JP2019140362A

JP2019140362A - 半導体装置、および半導体装置の作製方法

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Publication number: JP2019140362A
Application number: JP2018040197A
Authority: JP
Inventors: 山崎　舜平; Shunpei Yamazaki; 舜平山崎; 克明栃林; Katsuaki Tochibayashi; 涼太方堂; Ryota Hodo
Original assignee: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Current assignee: Semiconductor Energy Laboratory Co Ltd
Priority date: 2018-02-14
Filing date: 2018-03-06
Publication date: 2019-08-22

Abstract

【課題】オン電流が大きく、信頼性の優れた半導体装置を提供する。【解決手段】第１の絶縁体と、第１の絶縁体上の第２の絶縁体および第１の導電体と、第２の絶縁体上の第３の絶縁体と、第１の導電体上、第２の絶縁体上および第３の絶縁体上の第４の絶縁体と、第４の絶縁体上の第５の絶縁体と、第５の絶縁体上の第１の酸化物と、第１の酸化物上の第２の酸化物と、第２の酸化物上の第２の導電体および第３の導電体と、第２の導電体上の第６の絶縁体と、第３の導電体上の第７の絶縁体と、第６の絶縁体上の第８の絶縁体と、第７の絶縁体上の第９の絶縁体と、第２の酸化物の上面と接する第３の酸化物と、第３の酸化物上の第１０の絶縁体と、第１０の絶縁体上の第４の導電体と、第８の絶縁体、第９の絶縁体および第４の導電体を覆う第１１の絶縁体と、を有し、第２の絶縁体は第１の導電体の側面と接し、第１１の絶縁体は第４の絶縁体の上面と接する半導体装置。【選択図】図１

Description

本発明の一態様は、半導体装置、ならびに半導体装置の作製方法に関する。または、本発明の一態様は、半導体ウエハ、モジュール、および電子機器に関する。

なお、本明細書等において半導体装置とは、半導体特性を利用することで機能し得る装置全般を指す。トランジスタなどの半導体素子をはじめ、半導体回路、演算装置、記憶装置は、半導体装置の一態様である。表示装置（液晶表示装置、発光表示装置など）、投影装置、照明装置、電気光学装置、蓄電装置、記憶装置、半導体回路、撮像装置、および電子機器などは、半導体装置を有すると言える場合がある。

なお、本発明の一態様は、上記の技術分野に限定されない。本明細書等で開示する発明の一態様は、物、方法、または、製造方法に関するものである。または、本発明の一態様は、プロセス、マシン、マニュファクチャ、または、組成物（コンポジション・オブ・マター）に関するものである。

トランジスタに適用可能な半導体薄膜として、シリコン系半導体材料が広く知られているが、その他の材料として酸化物半導体が注目されている。酸化物半導体としては、例えば、酸化インジウム、酸化亜鉛などの一元系金属の酸化物のみでなく、多元系金属の酸化物も知られている。多元系金属の酸化物の中でも、特に、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物（以下、ＩＧＺＯとも呼ぶ。）に関する研究が盛んに行われている。

ＩＧＺＯに関する研究により、酸化物半導体において、単結晶でも非晶質でもない、ＣＡＡＣ（ｃ−ａｘｉｓａｌｉｇｎｅｄｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ）構造およびｎｃ（ｎａｎｏｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅ）構造が見出された（非特許文献１乃至非特許文献３参照。）。非特許文献１および非特許文献２では、ＣＡＡＣ構造を有する酸化物半導体を用いてトランジスタを作製する技術も開示されている。さらに、ＣＡＡＣ構造およびｎｃ構造よりも結晶性の低い酸化物半導体でさえも、微小な結晶を有することが、非特許文献４および非特許文献５に示されている。

さらに、ＩＧＺＯを活性層として用いたトランジスタは極めて低いオフ電流を持ち（非特許文献６参照。）、その特性を利用したＬＳＩおよびディスプレイが報告されている（非特許文献７および非特許文献８参照。）。

Ｓ．Ｙａｍａｚａｋｉｅｔａｌ．， "ＳＩＤＳｙｍｐｏｓｉｕｍＤｉｇｅｓｔｏｆＴｅｃｈｎｉｃａｌＰａｐｅｒｓ"，２０１２，ｖｏｌｕｍｅ４３，ｉｓｓｕｅ１，ｐ．１８３−１８６Ｓ．Ｙａｍａｚａｋｉｅｔａｌ．， "ＪａｐａｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓ"，２０１４，ｖｏｌｕｍｅ５３，Ｎｕｍｂｅｒ４Ｓ，ｐ．０４ＥＤ１８−１−０４ＥＤ１８−１０Ｓ．Ｉｔｏｅｔａｌ．， "ＴｈｅＰｒｏｃｅｅｄｉｎｇｓｏｆＡＭ−ＦＰＤ’１３ＤｉｇｅｓｔｏｆＴｅｃｈｎｉｃａｌＰａｐｅｒｓ"，２０１３，ｐ．１５１−１５４Ｓ．Ｙａｍａｚａｋｉｅｔａｌ．， "ＥＣＳＪｏｕｒｎａｌｏｆＳｏｌｉｄＳｔａｔｅＳｃｉｅｎｃｅａｎｄＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ"，２０１４，ｖｏｌｕｍｅ３，ｉｓｓｕｅ９，ｐ．Ｑ３０１２−Ｑ３０２２Ｓ．Ｙａｍａｚａｋｉ， "ＥＣＳＴｒａｎｓａｃｔｉｏｎｓ"，２０１４，ｖｏｌｕｍｅ６４，ｉｓｓｕｅ１０，ｐ．１５５−１６４Ｋ．Ｋａｔｏｅｔａｌ．， "ＪａｐａｎｅｓｅＪｏｕｒｎａｌｏｆＡｐｐｌｉｅｄＰｈｙｓｉｃｓ"，２０１２，ｖｏｌｕｍｅ５１，ｐ．０２１２０１−１−０２１２０１−７Ｓ．Ｍａｔｓｕｄａｅｔａｌ．， "２０１５ＳｙｍｐｏｓｉｕｍｏｎＶＬＳＩＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙＤｉｇｅｓｔｏｆＴｅｃｈｎｉｃａｌＰａｐｅｒｓ"，２０１５，ｐ．Ｔ２１６−Ｔ２１７Ｓ．Ａｍａｎｏｅｔａｌ．， "ＳＩＤＳｙｍｐｏｓｉｕｍＤｉｇｅｓｔｏｆＴｅｃｈｎｉｃａｌＰａｐｅｒｓ"，２０１０，ｖｏｌｕｍｅ４１，ｉｓｓｕｅ１，ｐ．６２６−６２９

本発明の一態様は、オン電流が大きい半導体装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一態様は、高い周波数特性を有する半導体装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一態様は、信頼性が良好な半導体装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一態様は、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一態様は、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することを課題の一つとする。または、本発明の一態様は、生産性の高い半導体装置を提供することを課題の一つとする。

本発明の一態様は、長期間においてデータの保持が可能な半導体装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、情報の書き込み速度が速い半導体装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、設計自由度が高い半導体装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、消費電力を抑えることができる半導体装置を提供することを課題の一つとする。本発明の一態様は、新規な半導体装置を提供することを課題の一つとする。

なお、これらの課題の記載は、他の課題の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの課題の全てを解決する必要はないものとする。なお、これら以外の課題は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の課題を抽出することが可能である。

本発明の一態様は、第１の絶縁体と、第１の絶縁体上の第２の絶縁体、および第１の導電体と、第２の絶縁体上の第３の絶縁体と、第１の導電体上、第２の絶縁体上、および第３の絶縁体上の第４の絶縁体と、第４の絶縁体上の第５の絶縁体と、第５の絶縁体上の第１の酸化物と、第１の酸化物上の第２の酸化物と、第２の酸化物上の第２の導電体、および第３の導電体と、第４の絶縁体の上面の一部、第５の絶縁体の側面、第１の酸化物の側面、第２の酸化物の側面、第２の導電体の側面、および第２導電体の上面と接する第６の絶縁体と、第４の絶縁体の上面の一部、第５の絶縁体の側面、第１の酸化物の側面、第２の酸化物の側面、第３の導電体の側面、および第３導電体の上面と接する第７の絶縁体と、第６の絶縁体上の第８の絶縁体と、第７の絶縁体上の第９の絶縁体と、第２の酸化物の上面と接する第３の酸化物と、第３の酸化物上の第１０の絶縁体と、第１０の絶縁体上の第４の導電体と、第８の絶縁体、第９の絶縁体、および第４の導電体を覆う第１１の絶縁体と、を有し、第２の絶縁体は、第１の導電体の側面と接し、第１１の絶縁体は、第４の絶縁体の上面、第６の絶縁体の側面、第７の絶縁体の側面、第８絶縁体の側面、第９の絶縁体の側面、第３酸化物の側面、第４の導電体の側面、および第４の導電体の上面とそれぞれ接する、半導体装置である。

また、本発明の一態様は、第１の絶縁体と、第１の絶縁体上の第２の絶縁体、および第１の導電体と、第２の絶縁体上の第３の絶縁体と、第１の導電体上、第２の絶縁体上、および第３の絶縁体上の第４の絶縁体と、第４の絶縁体上の第５の絶縁体と、第５の絶縁体上の第１の酸化物と、第１の酸化物上の第２の酸化物と、第２の酸化物上の第２の導電体、および第３の導電体と、第４の絶縁体の上面の一部、第５の絶縁体の側面、第１の酸化物の側面、第２の酸化物の側面、第２の導電体の側面、および第２導電体の上面と接する第６の絶縁体と、第４の絶縁体の上面の一部、第５の絶縁体の側面、第１の酸化物の側面、第２の酸化物の側面、第３の導電体の側面、および第３導電体の上面と接する第７の絶縁体と、第６の絶縁体上の第８の絶縁体と、第７の絶縁体上の第９の絶縁体と、第２の酸化物の上面と接する第３の酸化物と、第３の酸化物上の第１０の絶縁体と、第１０の絶縁体上の第４の導電体と、第８の絶縁体、第９の絶縁体、および第４の導電体を覆う第１１の絶縁体と、を有し、第２の絶縁体は、第１の導電体の側面と接し、第１１の絶縁体は、第１の絶縁体の上面、第４の絶縁体の上面、第６の絶縁体の側面、第７の絶縁体の側面、第８絶縁体の側面、第９の絶縁体の側面、第３酸化物の側面、第４の導電体の側面、および第４の導電体の上面とそれぞれ接する、半導体装置である。

また、第６乃至第９の絶縁体、および第１１の絶縁体は、それぞれ、第５の絶縁体よりも酸素および水素の一方または双方を透過し難い、ことが好ましい。

また、０第６乃至第９の絶縁体、および第１１の絶縁体、それぞれ、第１０の絶縁体よりも酸素および水素の一方または双方を透過し難い、ことが好ましい。

また、第２の絶縁体、第６の絶縁体、第７の絶縁体、および第１１の絶縁体は、それぞれ、シリコン、および窒素を有する、ことが好ましい。

また、第２の絶縁体、および第１１の絶縁体の抵抗率は、それぞれ、１×１０^１０Ωｃｍ以上、１×１０^１５Ωｃｍ以下である、ことが好ましい。

また、第８の絶縁体、および第９の絶縁体は、それぞれ、アルミニウム、およびハフニウムの一方または両方を含む酸化物である、ことが好ましい。

また、第８の絶縁体、および第９の絶縁体は、それぞれ、酸化アルミニウムである、ことをが好ましい。

また、第１乃至第３の酸化物は、それぞれ、Ｉｎと、元素Ｍ（ＭはＡｌ、Ｇａ、Ｙ、またはＳｎ）と、Ｚｎと、を有する、ことが好ましい。

また、本発明の一態様は、基板上に第１の絶縁体を形成し、第１の絶縁体上に、第１の酸化膜、第２の酸化膜、および第１の導電膜を順に成膜し、第１の酸化膜、第２の酸化膜、および第１の導電膜を加工して、第１の酸化物、第２の酸化物、および第１の導電体層を形成し、第１の酸化物、第２の酸化物、および第１の導電体層を覆って、第１の絶縁膜、および第２の絶縁膜を順に成膜し、リソグラフィー法によって、第２の絶縁膜に第１の加工を行ない、第１の絶縁膜に第２の加工を行い、第２の導電体層に第２の酸化物の一部が露出する第３の加工を行うことで、第２乃至第５の絶縁体、第１の導電体、および第２の導電体を形成し、第２の酸化物上、第４の絶縁体、および第５の絶縁体上に、第３の酸化膜、第３の絶縁膜、第４の酸化膜、および第２の導電膜を順に成膜し、リソグラフィー法によって、第４の酸化膜、および第２の導電膜を第３の絶縁膜の一部、が露出する加工を行うことで、第３の酸化物、および第３の導電体を形成し、リソグラフィー法によって、第３の酸化膜、および第２の絶縁膜を第４の絶縁体の一部、および第５の絶縁体の一部が露出する加工を行うことによって、第４の酸化物、および第６の絶縁体を形成し、第２の絶縁体，第３の絶縁体、第６の絶縁体、第３の酸化物、第４の酸化物、および第３の導電体を覆う、第７の絶縁体を形成すること、を特徴とする半導体装置の作製方法。

また、第１の加工は、ウェットエッチング法を用い、第２の加工、および第３の加工は、ドライエッチング法を用いてもよい。

本発明の一態様により、オン電流が大きい半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、高い周波数特性を有する半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、生産性の高い半導体装置を提供することができる。

または、長期間においてデータの保持が可能な半導体装置を提供することができる。または、データの書き込み速度が速い半導体装置を提供することができる。または、設計自由度が高い半導体装置を提供することができる。または、消費電力を抑えることができる半導体装置を提供することができる。または、新規な半導体装置を提供することができる。

なお、これらの効果の記載は、他の効果の存在を妨げるものではない。なお、本発明の一態様は、これらの効果の全てを有する必要はない。なお、これら以外の効果は、明細書、図面、請求項などの記載から、自ずと明らかとなるものであり、明細書、図面、請求項などの記載から、これら以外の効果を抽出することが可能である。

本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す上面図および断面図。本発明の一態様に係る半導体装置の作製方法を示す上面図および断面図。本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図。本発明の一態様に係る記憶装置の構成を示す断面図。本発明の一態様に係る記憶装置の構成例を示すブロック図。本発明の一態様に係る記憶装置の構成例を示す回路図。本発明の一態様に係る半導体装置の模式図。本発明の一態様に係る記憶装置の模式図。本発明の一態様に係る電子機器を示す図。酸化物のエネルギーバンド構造を説明する図。本発明の実施例に係る断面を示す写真。本発明の実施例に係る断面を示す写真。本発明の実施例に係る断面を示す写真。本発明の実施例に係るエッチングレートを示すグラフ。本発明の実施例に係る断面を示す写真およびＥＤＸのグラフ。本発明の実施例に係る断面を示す写真。本発明の実施例に係る断面ＳＴＥＭ像、およびＥＤＸマップ。本発明の実施例に係る平面ＳＴＥＭ像、およびＥＤＸマップ。

以下、実施の形態について図面を参照しながら説明する。ただし、実施の形態は多くの異なる態様で実施することが可能であり、趣旨およびその範囲から逸脱することなくその形態および詳細を様々に変更し得ることは、当業者であれば容易に理解される。したがって、本発明は、以下の実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではない。

また、図面において、大きさ、層の厚さ、または領域は、明瞭化のために誇張されている場合がある。よって、必ずしもそのスケールに限定されない。なお、図面は、理想的な例を模式的に示したものであり、図面に示す形状または値などに限定されない。例えば、実際の製造工程において、エッチングなどの処理により層やレジストマスクなどが意図せずに目減りすることがあるが、理解を容易とするために省略して示すことがある。また、図面において、同一部分または同様な機能を有する部分には同一の符号を異なる図面間で共通して用い、その繰り返しの説明は省略する場合がある。また、同様の機能を指す場合には、ハッチパターンを同じくし、特に符号を付さない場合がある。

また、特に上面図（「平面図」ともいう。）や斜視図などにおいて、発明の理解を容易とするため、一部の構成要素の記載を省略する場合がある。また、一部の隠れ線などの記載を省略する場合がある。

また、本明細書等において、第１、第２等として付される序数詞は便宜上用いるものであり、工程順または積層順を示すものではない。そのため、例えば、「第１の」を「第２の」または「第３の」などと適宜置き換えて説明することができる。また、本明細書等に記載されている序数詞と、本発明の一態様を特定するために用いられる序数詞は一致しない場合がある。

また、本明細書等において、「上に」、「下に」などの配置を示す語句は、構成同士の位置関係を、図面を参照して説明するために、便宜上用いている。また、構成同士の位置関係は、各構成を描写する方向に応じて適宜変化するものである。したがって、明細書で説明した語句に限定されず、状況に応じて適切に言い換えることができる。

例えば、本明細書等において、ＸとＹとが直接的に接続されている場合と、ＸとＹとが接続されている、と明示的に記載されている場合は、ＸとＹとが電気的に接続されている場合と、ＸとＹとが機能的に接続されている場合とが、本明細書等に開示されているものとする。したがって、所定の接続関係、例えば、図または文章に示された接続関係に限定されず、図または文章に示された接続関係以外のものも、図または文章に記載されているものとする。

ここで、Ｘ、Ｙは、対象物（例えば、装置、素子、回路、配線、電極、端子、導電膜、層、など）であるとする。

また、ソースやドレインの機能は、異なる極性のトランジスタを採用する場合や、回路動作において電流の方向が変化する場合などには入れ替わることがある。このため、本明細書等においては、ソースやドレインの用語は、入れ替えて用いることができる場合がある。

なお、本明細書等において、トランジスタの構造によっては、実際にチャネルの形成される領域におけるチャネル幅（以下、「実効的なチャネル幅」ともいう。）と、トランジスタの上面図において示されるチャネル幅（以下、「見かけ上のチャネル幅」ともいう。）と、が異なる場合がある。例えば、ゲート電極が半導体の側面を覆う場合、実効的なチャネル幅が、見かけ上のチャネル幅よりも大きくなり、その影響が無視できなくなる場合がある。例えば、微細かつゲート電極が半導体の側面を覆うトランジスタでは、半導体の側面に形成されるチャネル形成領域の割合が大きくなる場合がある。その場合は、見かけ上のチャネル幅よりも、実効的なチャネル幅の方が大きくなる。

このような場合、実効的なチャネル幅の、実測による見積もりが困難となる場合がある。例えば、設計値から実効的なチャネル幅を見積もるためには、半導体の形状が既知という仮定が必要である。したがって、半導体の形状が正確にわからない場合には、実効的なチャネル幅を正確に測定することは困難である。

本明細書では、単にチャネル幅と記載した場合には、見かけ上のチャネル幅を指す場合がある。または、本明細書では、単にチャネル幅と記載した場合には、実効的なチャネル幅を指す場合がある。なお、チャネル長、チャネル幅、実効的なチャネル幅、見かけ上のチャネル幅などは、断面ＴＥＭ像などを解析することなどによって、値を決定することができる。

なお、半導体の不純物とは、例えば、半導体を構成する主成分以外をいう。例えば、濃度が０．１原子％未満の元素は不純物と言える。不純物が含まれることにより、例えば、半導体のＤＯＳ（ＤｅｎｓｉｔｙｏｆＳｔａｔｅｓ）が高くなることや、結晶性が低下することなどが起こる場合がある。半導体が酸化物半導体である場合、半導体の特性を変化させる不純物としては、例えば、第１族元素、第２族元素、第１３族元素、第１４族元素、第１５族元素、および酸化物半導体の主成分以外の遷移金属などがあり、例えば、水素、リチウム、ナトリウム、シリコン、ホウ素、リン、炭素、窒素などがある。酸化物半導体の場合、水も不純物として機能する場合がある。また、酸化物半導体の場合、例えば不純物の混入によって酸素欠損を形成する場合がある。また、半導体がシリコンである場合、半導体の特性を変化させる不純物としては、例えば、酸素、水素を除く第１族元素、第２族元素、第１３族元素、第１５族元素などがある。

なお、本明細書等において、酸化窒化シリコンとは、その組成として、窒素よりも酸素の含有量が多いものである。また、窒化酸化シリコンとは、その組成として、酸素よりも窒素の含有量が多いものである。

また、本明細書等において、「絶縁体」という用語を、絶縁膜または絶縁層と言い換えることができる。また、「導電体」という用語を、導電膜または導電層と言い換えることができる。また、「半導体」という用語を、半導体膜または半導体層と言い換えることができる。

また、本明細書等において、「平行」とは、二つの直線が−１０度以上１０度以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、−５度以上５度以下の場合も含まれる。また、「略平行」とは、二つの直線が−３０度以上３０度以下の角度で配置されている状態をいう。また、「垂直」とは、二つの直線が８０度以上１００度以下の角度で配置されている状態をいう。したがって、８５度以上９５度以下の場合も含まれる。また、「略垂直」とは、二つの直線が６０度以上１２０度以下の角度で配置されている状態をいう。

なお、本明細書において、バリア膜とは、水、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する膜のことであり、当該バリア膜に導電性を有する場合は、導電性バリア膜と呼ぶことがある。

本明細書等において、金属酸化物（ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅ）とは、広い表現での金属の酸化物である。金属酸化物は、酸化物絶縁体、酸化物導電体（透明酸化物導電体を含む。）、酸化物半導体（ＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒまたは単にＯＳともいう。）などに分類される。例えば、トランジスタの半導体層に金属酸化物を用いた場合、当該金属酸化物を酸化物半導体と呼称する場合がある。つまり、ＯＳＦＥＴあるいはＯＳトランジスタと記載する場合においては、酸化物または酸化物半導体を有するトランジスタと換言することができる。

また、本明細書等において、ノーマリーオフとは、ゲートに電位を印加しない、またはゲートに接地電位を与えたときに、トランジスタに流れるチャネル幅１μｍあたりの電流が、室温において１×１０^−２０Ａ以下、８５℃において１×１０^−１８Ａ以下、または１２５℃において１×１０^−１６Ａ以下であることをいう。

（実施の形態１）
以下では、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の一例について説明する。

＜半導体装置の構成例＞
図１（Ａ）、図１（Ｂ）、および図１（Ｃ）は、本発明の一態様に係るトランジスタ２００、およびトランジスタ２００周辺の上面図および断面図である。

図１（Ａ）は、トランジスタ２００を有する半導体装置の上面図である。また、図１（Ｂ）、および図１（Ｃ）は、当該半導体装置の断面図である。ここで、図１（Ｂ）は、図１（Ａ）にＡ１−Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００のチャネル長方向の断面図でもある。また、図１（Ｃ）は、図１（Ａ）にＡ３−Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００のチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図１（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。

本発明の一態様の半導体装置は、基板（図示せず。）上の絶縁体２１４と、絶縁体２１４上に配置された、トランジスタ２００と、トランジスタ２００上に配置された絶縁体２８０、絶縁体２８０上に配置された絶縁体２８２と、絶縁体２８２上に配置された絶縁体２８１と、を有する。絶縁体２１４、絶縁体２８０、絶縁体２８１、および絶縁体２８２は層間膜として機能する。また、トランジスタ２００と電気的に接続し、プラグとして機能する導電体２４０（導電体２４０ａ、および導電体２４０ｂ）とを有する。なお、プラグとして機能する導電体２４０の側面に接して絶縁体２４１（絶縁体２４１ａ、および絶縁体２４１ｂ）が設けられる。また、絶縁体２８１上、および導電体２４６上には、導電体２４０と電気的に接続し、配線として機能する導電体２４６（導電体２４６ａ、および導電体２４６ｂ）が設けられる。

また、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７４、絶縁体２８０、絶縁体２８２、および絶縁体２８１の開口の内壁に接して絶縁体２４１ａが設けられ、その側面に接して導電体２４０ａの第１の導電体が設けられ、さらに内側に導電体２４０ａの第２の導電体が設けられている。また、絶縁体２７２ｂ、絶縁体２７３ｂ、絶縁体２７４、絶縁体２８０、絶縁体２８２、および絶縁体２８１の開口の内壁に接して絶縁体２４１ｂが設けられ、その側面に接して導電体２４０ｂの第１の導電体が設けられ、さらに内側に導電体２４０ｂの第２の導電体が設けられている。ここで、導電体２４０の上面の高さと、絶縁体２８１の上面の高さは同程度にできる。なお、トランジスタ２００では、導電体２４０の第１の導電体および導電体２４０の第２の導電体を積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体２４０を単層、または３層以上の積層構造として設ける構成にしてもよい。構造体が積層構造を有する場合、形成順に序数を付与し、区別する場合がある。

［トランジスタ２００］
図１に示すように、トランジスタ２００は、絶縁体２１４上の導電体２０５（導電体２０５ａ、および導電体２０５ｂ）と、導電体２０５の側面、および絶縁体２１４の上面の一部と接する絶縁体２１５と、絶縁体２１５上の絶縁体２１６と、絶縁体２１６上、絶縁体２１５上、および導電体２０５上の絶縁体２２２と、絶縁体２２２上の絶縁体２２４と、絶縁体２２４上の酸化物２３０ａと、酸化物２３０ａ上の酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｂの上面と接する導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂと、絶縁体２２２の上面の一部、絶縁体２２４の側面、酸化物２３０ａの側面、酸化物２３０ｂの側面、導電体２４２ａの側面、および導電体２４２ａ上面と接する絶縁体２７２ａと、絶縁体２２２の上面の一部、絶縁体２２４の側面、酸化物２３０ａの側面、酸化物２３０ｂの側面、導電体２４２ｂの側面、および導電体２４２ｂの上面と接する絶縁体２７２ｂと、絶縁体２７２ａ上の絶縁体２７３ａと、絶縁体２７２ｂ上の絶縁体２７３ｂと、絶縁体２７３ａ上、絶縁体２７３ｂ上、導電体２４２ａの側面、導電体２４２ｂの側面、および酸化物２３０ｂの上面と接する酸化物２３０ｃと、酸化物２３０ｃ上の絶縁体２５０と、絶縁体２５０上の酸化物２５２と、酸化物２５２上の導電体２６０（導電体２６０ａ、および導電体２６０ｂ）と、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、酸化物２０３ｃ、絶縁体２５０、酸化物２５２、および導電体２６０を覆う絶縁体２７４と、を有する。また、絶縁体２７４は、絶縁体２２２の上面の一部、絶縁体２７２ａの側面、絶縁体２７２ｂの側面、絶縁体２７３ａの側面、絶縁体２７３ｂの側面、酸化物２３０ｃの側面、酸化物２５２の側面、導電体２６０の側面、および導電体２６０の上面と接する。

また、図１（Ｂ）に示すようにトランジスタ２００のチャネル長方向の一方においては、絶縁体２７２ａの側面、および絶縁体２７３ａの側面は概略面一であり、絶縁体２２２上に配置される。また、酸化物２３０ｃの側面、および絶縁体２５０の側面は概略面一であり、絶縁体２７３ａ上に配置される。また、トランジスタ２００のチャネル長方向の他方においては、絶縁体２７２ｂの側面、および絶縁体２７３ｂの側面は概略面一であり、絶縁体２２２上に配置される。また、酸化物２３０ｃの側面、および絶縁体２５０の側面は概略面一であり、絶縁体２７３ｂ上に配置される。

また、図１（Ｃ）に示すようにトランジスタ２００のチャネル幅方向の一方においては、酸化物２３０ｃの側面、および絶縁体２５０の側面は概略面一であり、絶縁体２２２上に配置される。

また、絶縁体２２２、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７２ｂ、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、および絶縁体２７４は、水素（例えば、水素原子、水素分子など）の少なくとも一の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。また、絶縁体２２２、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７２ｂ、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、および絶縁体２７４は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子など）の少なくとも一の拡散を抑制する機能を有することが好ましい。例えば、絶縁体２２２、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７２ｂ、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、および絶縁体２７４は、それぞれ絶縁体２２４よりも酸素および水素の一方または双方の透過性が低いことが好ましい。絶縁体２２２、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７２ｂ、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、および絶縁体２７４は、それぞれ絶縁体２５０よりも酸素および水素の一方または双方の透過性が低いことが好ましい。絶縁体２２２、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７２ｂ、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、および絶縁体２７４は、それぞれ絶縁体２８０よりも酸素および水素の一方または双方の透過性が低いことが好ましい。

また、酸化物２３０は、絶縁体２２４上の酸化物２３０ａと、酸化物２３０ａ上の酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｂ上に配置され、少なくとも一部が酸化物２３０ｂの上面に接する酸化物２３０ｃと、を有することが好ましい。

なお、トランジスタ２００では、チャネルが形成される領域（以下、チャネル形成領域ともいう。）と、その近傍において、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃの３層を積層する構成について示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、酸化物２３０ｂの単層、酸化物２３０ｂと酸化物２３０ａの２層構造、酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃの２層構造、または４層以上の積層構造を設ける構成にしてもよい。また、トランジスタ２００では、導電体２６０を２層の積層構造として示しているが、本発明はこれに限られるものではない。例えば、導電体２６０が、単層構造であってもよいし、３層以上の積層構造であってもよい。

また、トランジスタ２００は、チャネル形成領域を含む酸化物２３０（酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃ）に、酸化物半導体として機能する金属酸化物（以下、酸化物半導体ともいう。）を用いることが好ましい。

チャネル形成領域に酸化物半導体を用いたトランジスタ２００は、非導通状態において極めてリーク電流（オフ電流）が小さいため、低消費電力の半導体装置を提供できる。また、酸化物半導体は、スパッタリング法などを用いて成膜できるため、高集積型の半導体装置を構成するトランジスタ２００に用いることができる。

例えば、酸化物２３０として、Ｉｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物（元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、錫、銅、バナジウム、ベリリウム、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種）等の金属酸化物を用いるとよい。特に、元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、または錫を用いるとよい。また、酸化物２３０として、Ｉｎ−Ｇａ酸化物、Ｉｎ−Ｚｎ酸化物、Ｇａ−Ｚｎ酸化物、およびＧａ酸化物を用いてもよい。

また、酸化物半導体を用いたトランジスタは、酸化物半導体中のチャネルが形成される領域に不純物および酸素欠損が存在すると、電気特性が変動しやすく、信頼性が悪くなる場合がある。また、酸化物半導体中のチャネルが形成される領域に酸素欠損が含まれていると、トランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。したがって、チャネルが形成される領域中の酸素欠損はできる限り低減されていることが好ましい。例えば、絶縁体２５０などを介して酸化物２３０に酸素を供給し、酸素欠損を補填すればよい。これにより、電気特性の変動を抑制し、安定した電気特性を有するとともに、信頼性を向上させたトランジスタを提供することができる。

導電体２６０は、トランジスタ２００の第１のゲート電極として機能する。また、導電体２４２（導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂ）はトランジスタ２００のソース電極またはドレイン電極として機能する。

また、図１（Ｂ）に示すように、酸化物２３０上に接するように設けられ、トランジスタ２００のソース電極またはドレイン電極として機能する導電体２４２に含まれる元素が、酸化物２３０の酸素を吸収する機能を有する場合、酸化物２３０と導電体２４２の間、または酸化物２３０の表面近傍に、部分的に低抵抗領域が形成される場合があり、トランジスタ２００のソース領域またはドレイン領域として機能する。この場合、当該低抵抗領域には、酸素欠損に入り込んだ不純物（水素、窒素、または金属元素等）がドナーとして機能し、キャリア密度が増加する場合がある。なお、以下において、酸素欠損に入り込んだ水素のことをＶ_ｏＨと呼ぶ場合がある。また、酸化物２３０の、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂと重ならない領域には、トランジスタ２００のチャネル形成領域として機能する領域を有する。該領域は、低抵抗領域よりもキャリア密度が小さく、Ｖ_ｏＨが低減されていることが好ましい。

図１（Ｂ）（Ｃ）に示すように、絶縁体２７４は、絶縁体２２２の上面の一部、酸化物２３０ｃの側面、絶縁体２５０の側面、絶縁体２５０の上面、導電体２６０の側面、および導電体２６０の上面に接することが好ましい。これにより、絶縁体２８０は、絶縁体２７４によって、導電体２６０、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および酸化物２３０と離隔される。このような構造とすることで、絶縁体２８０に含まれる水素や水などの不純物、またはトランジスタ２００の外方から水素などの不純物が導電体２６０、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および酸化物２３０へ浸入することを抑制できるので、トランジスタ２００に良好な電気特性および信頼性を与えることができる。絶縁体２７４としては、窒化シリコン、窒化酸化シリコン、酸化アルミニウム、または酸化ハフニウムを用いることができる。

図４は、図１（Ａ）にＡ５−Ａ６の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００と電気的に接続し、プラグとして機能する導電体２４０ｂのチャネル幅方向の断面図でもある。図４に示すように、導電体２４０ｂの側面には、絶縁体２４１ｂが配置されているので、絶縁体２８０からの水素や水などの不純物および酸素が導電体２４０ｂへ拡散することを抑制することができる。導電体２４０ａについても、同様の効果を有する。

また、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７２ｂ、絶縁体２７３ａおよび絶縁体２７３ｂは、水素や水などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する。図４に示すように、導電体２４２ｂの上面、導電体２４２ｂの側面、酸化物２３０ａの側面、および酸化物２３０ｂの側面は、絶縁体２７２ｂ、および絶縁体２７３ｂで覆われ、さらに、絶縁体２７２ｂおよび絶縁体２７３ｂを絶縁体２７４で覆う構造となっているので、導電体２４２ｂの側面および導電体２４２ｂの上面方向から導電体２４２ｂへの水素や水などの不純物および酸素の拡散を抑制することができるので、導電体２４２ｂの酸化を抑制することができる。尚、導電体２４２ａについても同様の効果を有する。また、酸化物２３０ａの側面、および酸化物２３０ｂの側面方向から酸化物２０３ａおよび酸化物２３０ｂへの水素や水などの不純物および酸素の拡散を抑制することができる。絶縁体２７２ａおよび絶縁体２７２ｂは、例えば、窒化シリコン膜、または窒化酸化シリコン膜を用いることができる。また、絶縁体２７３ａおよび絶縁体２７３ｂとしては、例えば、酸化アルミニウム、または酸化ハフニウムを用いることができる。

図１（Ｃ）に示すように、絶縁体２２４の底面を基準として、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｂと、導電体２６０とが、重ならない領域における導電体２６０の底面の高さは、酸化物２３０ｂの底面の高さより低い位置に配置されていることが好ましい。また、酸化物２３０ｂと、導電体２６０とが、重ならない領域における導電体２６０の底面の高さと、酸化物２３０ｂの底面の高さと、の差は、０ｎｍ以上１００ｎｍ以下、好ましくは、３ｎｍ以上５０ｎｍ以下、より好ましくは、５ｎｍ以上２０ｎｍ以下とする。

このように、ゲート電極として機能する導電体２６０が、チャネル形成領域の酸化物２３０ｂの側面および上面を酸化物２３０ｃおよび絶縁体２５０を介して覆う構成となっており、導電体２６０の電界をチャネル形成領域の酸化物２３０ｂ全体に作用させやすくなる。よって、トランジスタ２００のオン電流を増大させ、周波数特性を向上させることができる。

以上より、オン電流が大きいトランジスタを有する半導体装置を提供することができる。または、高い周波数特性を有するトランジスタを有する半導体装置を提供することができる。または、電気特性の変動を抑制し、安定した電気特性を有するとともに、信頼性を向上させた半導体装置を提供することができる。または、オフ電流が小さいトランジスタを有する半導体装置を提供することができる。

以下では、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の詳細な構成について説明する。

導電体２０５は、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび導電体２６０と、重なるように配置する。また、酸化物２３０ａ全体、酸化物２３０ｂ全体および導電体２６０全体と重なるように配置することが好ましい。

ここで、導電体２６０は、第１のゲート（トップゲートともいう。）電極として機能する場合がある。また、導電体２０５は、第２のゲート（ボトムゲートともいう。）電極として機能する場合がある。その場合、導電体２０５に印加する電位を、導電体２６０に印加する電位と、連動させず、独立して変化させることで、トランジスタ２００のＶｔｈを制御することができる。特に、導電体２０５に負の電位を印加することにより、トランジスタ２００のＶｔｈを０Ｖより大きくし、オフ電流を低減することが可能となる。したがって、導電体２０５に負の電位を印加したほうが、印加しない場合よりも、導電体２６０に印加する電位が０Ｖのときのドレイン電流を小さくすることができる。

なお、導電体２０５は、図１（Ａ）に示すように、酸化物２３０の導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂと重ならない領域の大きさよりも、大きく設けるとよい。特に、図１（Ｃ）に示すように、導電体２０５は、酸化物２３０のチャネル幅方向と交わる端部よりも外側の領域においても、延伸していることが好ましい。つまり、酸化物２３０のチャネル幅方向における側面において、導電体２０５と、導電体２６０とは、絶縁体を介して重畳していることが好ましい。導電体２０５を大きく設けることによって、導電体２０５形成以降の作製工程のプラズマを用いた処理において、局所的なチャージング（チャージアップと言う。）の緩和ができる場合がある。ただし、本発明の一態様はこれに限定されない。導電体２０５は、少なくとも導電体２４２ａと、導電体２４２ｂとの間に位置する酸化物２３０と重畳すればよい。

また、上記構成を有することで、第１のゲート電極としての機能を有する導電体２６０の電界と、第２のゲート電極としての機能を有する導電体２０５の電界によって、領域２３４のチャネル形成領域を電気的に取り囲むことができる。本明細書において、第１のゲート電極、および第２のゲート電極の電界によって、チャネル形成領域を電気的に取り囲むトランジスタの構造を、ｓｕｒｒｏｕｎｄｅｄｃｈａｎｎｅｌ（Ｓ−ｃｈａｎｎｅｌ）構造とよぶ。

また、導電体２０５ａは、水または水素などの不純物および酸素の透過を抑制する導電体が好ましい。例えば、チタン、窒化チタン、タンタル、または窒化タンタルを用いることができる。また、導電体２０５ｂは、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。なお、導電体２０５を２層で図示したが、３層以上の多層構造としてもよい。

ここで、酸化物半導体と、酸化物半導体の下層に位置する絶縁体、または導電体と、酸化物半導体の上層に位置する絶縁体、または導電体とを、大気開放を行わずに、異なる膜種を連続成膜することで、不純物（特に、水素、水）の濃度が低減された、実質的に高純度真性である酸化物半導体膜を成膜することができるので好ましい。

例えば、５つの処理チャンバーを有する成膜装置を用いて、絶縁体２１６、絶縁体２１５、および導電体２０５上に配置される、絶縁体２２２、絶縁体２２４となる絶縁膜、酸化物２３０ａとなる酸化膜、酸化物２３０ｂとなる酸化膜、および導電体２４２となる導電膜を順に連続成膜すればよい。

絶縁体２１５絶縁体２７４、および絶縁体２８１は、水または水素などの不純物が、基板側から、または、上方からトランジスタ２００に混入するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。したがって、絶縁体２１４は、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子（Ｎ_２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ_２など）、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する（上記不純物が透過しにくい。）絶縁性材料を用いることが好ましい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子など）の少なくとも一の拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい。）絶縁性材料を用いることが好ましい。

例えば、絶縁体２１５、絶縁体２７４および絶縁体２８１として窒化シリコンなどを用いることが好ましい。これにより、水または水素などの不純物が絶縁体２１５よりも基板側からトランジスタ２００側に拡散するのを抑制することができる。または、絶縁体２２４などに含まれる酸素が、絶縁体２１５よりも基板側に、拡散するのを抑制することができる。また、水または水素などの不純物が絶縁体２７４よりも上方に配置されている絶縁体２８０、または／および導電体２４６などからトランジスタ２００側に拡散するのを抑制することができる。

また、絶縁体２１５、絶縁体２７４および絶縁体２８１の抵抗率を低くすることが好ましい場合がある。例えば、絶縁体２１５、絶縁体２７４および絶縁体２８１の抵抗率を概略１×１０^１３Ωｃｍとすることで、半導体装置作製工程のプラズマ等を用いる処理において、絶縁体２１５、絶縁体２７４、または絶縁体２８１が、導電体２０５、導電体２４２または導電体２６０のチャージアップを緩和することができる場合がある。絶縁体２１５、絶縁体２７４および絶縁体２８１の抵抗率は、好ましくは、１×１０^１０Ωｃｍ以上１×１０^１５Ωｃｍ以下とする。

また、導電体２０５の側面は、絶縁体２１５が接して配置されている。また、導電体２０５の上面は、絶縁体２２２が接して配置されている。また、導電体２０５の底面は、絶縁体２１４の上面と接して配置されている。つまり、導電体２０５は、水または水素などの不純物および酸素の透過を抑制する絶縁体で覆われている。このような、構造とすることで、水または水素などの不純物および酸素が、導電体２０５に吸収されることを抑制することができ、過剰酸素を効率よく酸化物２３０に添加することができる。並びに、導電体２０５中の水または水素などの不純物が外方へ拡散することを抑制することができる。

また、絶縁体２１４は、積層構造であってもよい。例えば、酸化アルミニウム膜と、窒化シリコン膜との積層構造を絶縁体２１４に用いる好適である。酸化アルミニウム膜によって、絶縁体２１４の下方に酸素を供給することができる。また、窒化シリコン膜によって、基板側からトランジスタ２００側に拡散する水素、水などの不純物の拡散を抑制することができる。

また、絶縁体２１６、および絶縁体２８０は、絶縁体２１４よりも誘電率が低いことが好ましい。誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。例えば、絶縁体２１６、および絶縁体２８０として、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、または空孔を有する酸化シリコンなどを適宜用いればよい。

絶縁体２２２、および絶縁体２２４は、ゲート絶縁体としての機能を有する。

例えば、絶縁体２２４は、酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンなどを適宜用いればよい。

また、酸化物２３０と接する絶縁体２２４は、加熱により酸素を脱離することが好ましい。本明細書では、加熱により離脱する酸素を過剰酸素と呼ぶことがある。例えば、絶縁体２２４は、酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンなどを適宜用いればよい。酸素を含む絶縁体を酸化物２３０に接して設けることにより、酸化物２３０中の酸素欠損を低減し、トランジスタ２００の信頼性を向上させることができる。

絶縁体２２４として、具体的には、加熱により一部の酸素が脱離する酸化物材料を用いることが好ましい。加熱により酸素を脱離する酸化物とは、ＴＤＳ（ＴｈｅｒｍａｌＤｅｓｏｒｐｔｉｏｎＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）分析にて、酸素分子に換算しての酸素の脱離量が１．０×１０^１８ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ^３以上、好ましくは１．０×１０^１９ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ^３以上、さらに好ましくは２．０×１０^１９ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ^３、または３．０×１０^２０ｍｏｌｅｃｕｌｅｓ／ｃｍ^３以上である酸化物膜である。なお、上記ＴＤＳ分析時における膜の表面温度としては１００℃以上７００℃以下、または１００℃以上４００℃以下の範囲が好ましい。

絶縁体２２２は、水または水素などの不純物が、基板側からトランジスタ２００に混入するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。例えば、絶縁体２２２は、絶縁体２２４より水素透過性が低いことが好ましい。絶縁体２２２および絶縁体２７４によって、絶縁体２２４および酸化物２３０などを囲むことにより、外方から水または水素などの不純物がトランジスタ２００に侵入することを抑制することができる。

さらに、絶縁体２２２は、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子など）の少なくとも一の拡散を抑制する機能を有する（上記酸素が透過しにくい。）ことが好ましい。例えば、絶縁体２２２は、絶縁体２２４より酸素透過性が低いことが好ましい。絶縁体２２２が、酸素や不純物の拡散を抑制する機能を有することで、酸化物２３０が有する酸素が、絶縁体２２２より下側へ拡散することを低減できるので、好ましい。また、導電体２０５が、絶縁体２２４や、酸化物２３０が有する酸素と反応することを抑制することができる。

絶縁体２２２は、絶縁性材料であるアルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を用いるとよい。アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。このような材料を用いて絶縁体２２２を形成した場合、絶縁体２２２は、酸化物２３０からの酸素の放出や、トランジスタ２００の周辺部から酸化物２３０への水素等の不純物の混入を抑制する層として機能する。

または、これらの絶縁体に、例えば、酸化アルミニウム、酸化ビスマス、酸化ゲルマニウム、酸化ニオブ、酸化シリコン、酸化チタン、酸化タングステン、酸化イットリウム、酸化ジルコニウムを添加してもよい。またはこれらの絶縁体を窒化処理してもよい。上記の絶縁体に酸化シリコン、酸化窒化シリコンまたは窒化シリコンを積層して用いてもよい。

また、絶縁体２２２は、例えば、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化タンタル、酸化ジルコニウム、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、チタン酸ストロンチウム（ＳｒＴｉＯ_３）または（Ｂａ，Ｓｒ）ＴｉＯ_３（ＢＳＴ）などのいわゆるｈｉｇｈ−ｋ材料を含む絶縁体を単層または積層で用いてもよい。トランジスタの微細化、および高集積化が進むと、ゲート絶縁体の薄膜化により、リーク電流などの問題が生じる場合がある。ゲート絶縁体として機能する絶縁体にｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることで、物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時のゲート電位の低減が可能となる。

なお、絶縁体２２２、および絶縁体２２４が、２層以上の積層構造を有していてもよい。その場合、同じ材料からなる積層構造に限定されず、異なる材料からなる積層構造でもよい。

酸化物２３０は、酸化物２３０ａと、酸化物２３０ａ上の酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｂ上の酸化物２３０ｃと、を有する。酸化物２３０ｂ下に酸化物２３０ａを有することで、酸化物２３０ａよりも下方に形成された構造物から、酸化物２３０ｂへの不純物の拡散を抑制することができる。また、酸化物２３０ｂ上に酸化物２３０ｃを有することで、酸化物２３０ｃよりも上方に形成された構造物から、酸化物２３０ｂへの不純物の拡散を抑制することができる。

なお、酸化物２３０は、各金属原子の原子数比が異なる酸化物により、積層構造を有することが好ましい。具体的には、酸化物２３０ａに用いる金属酸化物において、構成元素中の元素Ｍの原子数比が、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物における、構成元素中の元素Ｍの原子数比より、大きいことが好ましい。また、酸化物２３０ａに用いる金属酸化物において、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比が、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物における、Ｉｎに対する元素Ｍの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物２３０ｂに用いる金属酸化物において、元素Ｍに対するＩｎの原子数比が、酸化物２３０ａに用いる金属酸化物における、元素Ｍに対するＩｎの原子数比より大きいことが好ましい。また、酸化物２３０ｃは、酸化物２３０ａまたは酸化物２３０ｂに用いることができる金属酸化物を、用いることができる。

また、酸化物２３０ｂは、結晶性を有することが好ましい。例えば、後述するＣＡＡＣ−ＯＳ（ｃ−ａｘｉｓａｌｉｇｎｅｄｃｒｙｓｔａｌｌｉｎｅｏｘｉｄｅｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）を用いることが好ましい。ＣＡＡＣ−ＯＳなどの結晶性を有する酸化物は、不純物や欠陥（酸素欠損など）が少なく、結晶性の高い、緻密な構造を有している。よって、ソース電極またはドレイン電極による、酸化物２３０ｂからの酸素の引き抜きを抑制することができる。これにより、熱処理を行っても、酸化物２３０ｂから酸素が引き抜かれることを低減できるので、トランジスタ２００は、製造工程における高い温度（所謂サーマルバジェット）に対して安定である。

また、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｃの伝導帯下端のエネルギーが、酸化物２３０ｂの伝導帯下端のエネルギーより高くなることが好ましい。また、言い換えると、酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｃの電子親和力が、酸化物２３０ｂの電子親和力より小さいことが好ましい。

ここで、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃの接合部において、伝導帯下端のエネルギー準位はなだらかに変化する。換言すると、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ｃの接合部における伝導帯下端のエネルギー準位は、連続的に変化または連続接合するともいうことができる。このようにするためには、酸化物２３０ａと酸化物２３０ｂとの界面、および酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃとの界面において形成される混合層の欠陥準位密度を低くするとよい。

具体的には、酸化物２３０ａとして、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］、または１：１：０．５［原子数比］の金属酸化物を用いればよい。また、酸化物２３０ｂとして、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］、または３：１：２［原子数比］の金属酸化物を用いればよい。また、酸化物２３０ｃとして、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］、Ｇａ：Ｚｎ＝２：１［原子数比］、またはＧａ：Ｚｎ＝２：５［原子数比］の金属酸化物を用いればよい。また、酸化物２３０ｃを積層構造とする場合の具体例としては、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］と、Ｇａ：Ｚｎ＝２：１［原子数比］との積層構造、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］と、Ｇａ：Ｚｎ＝２：５［原子数比］との積層構造、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：３［原子数比］と、酸化ガリウムとの積層構造などが挙げられる。

このとき、キャリアの主たる経路は酸化物２３０ｂとなる。酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｃを上述の構成とすることで、酸化物２３０ａと酸化物２３０ｂとの界面、および酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃとの界面における欠陥準位密度を低くすることができる。そのため、界面散乱によるキャリア伝導への影響が小さくなり、トランジスタ２００は高いオン電流、および高い周波数特性を得ることができる。なお、酸化物２３０ｃを積層構造とした場合、上述の酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｃとの界面における欠陥準位密度を低くする効果に加え、酸化物２３０ｃが有する構成元素が、絶縁体２５０側に拡散するのを抑制することが期待される。より具体的には、酸化物２３０ｃを積層構造とし、積層構造の上方にＩｎを含まない酸化物を位置させるため、絶縁体２５０側に拡散しうるＩｎを抑制することができる。絶縁体２５０は、ゲート絶縁体として機能するため、Ｉｎが拡散した場合、トランジスタの特性不良となる。したがって、酸化物２３０ｃを積層構造とすることで、信頼性の高い半導体装置を提供することが可能となる。

酸化物２３０は、酸化物半導体として機能する金属酸化物を用いることが好ましい。例えば、領域２３４となる金属酸化物としては、バンドギャップが２ｅＶ以上、好ましくは２．５ｅＶ以上のものを用いることが好ましい。このように、バンドギャップの大きい金属酸化物を用いることで、トランジスタのオフ電流を低減することができる。このようなトランジスタを用いることで、低消費電力の半導体装置を提供できる。

酸化物２３０ｂ上には、ソース電極、およびドレイン電極として機能する導電体２４２（導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂ）が設けられる。導電体２４２の膜厚は、例えば、１ｎｍ以上５０ｎｍ以下、好ましくは２ｎｍ以上２５ｎｍ以下、とすればよい。

導電体２４２としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンから選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いることが好ましい。例えば、窒化タンタル、窒化チタン、タングステン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いることが好ましい。また、窒化タンタル、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。

絶縁体２５０は、ゲート絶縁体として機能する。絶縁体２５０は、酸化物２３０ｃの上面に接して配置することが好ましい。絶縁体２５０は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンを用いることができる。特に、酸化シリコン、および酸化窒化シリコンは熱に対し安定であるため好ましい。

絶縁体２２４と同様に、絶縁体２５０は、加熱により酸素が放出される絶縁体を用いて形成することが好ましい。加熱により酸素が放出される絶縁体を、絶縁体２５０として、酸化物２３０ｃの上面に接して設けることにより、酸化物２３０ｂの領域２３４に効果的に酸素を供給することができる。また、絶縁体２２４と同様に、絶縁体２５０中の水または水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。絶縁体２５０の膜厚は、１ｎｍ以上２０ｎｍ以下とするのが好ましい。

また、絶縁体２５０と導電体２６０との間に酸化物２５２を設けてもよい。酸化物２５２は、絶縁体２５０から導電体２６０への酸素拡散を抑制することが好ましい。酸素の拡散を抑制する酸化物を設けることで、絶縁体２５０から導電体２６０への酸素の拡散が抑制される。つまり、酸化物２３０へ供給する酸素量の減少を抑制することができる。また、絶縁体２５０の酸素による導電体２６０の酸化を抑制することができる。尚、酸化物２５２を設けない構成とすることもできる。

また、酸化物２５２は、ゲート絶縁体の一部としての機能を有する場合がある。したがって、絶縁体２５０に酸化シリコンや酸化窒化シリコンなどを用いる場合、酸化物２５２は、比誘電率が高いｈｉｇｈ−ｋ材料である酸化物を用いることが好ましい。ゲート絶縁体を、絶縁体２５０と酸化物２５２との積層構造とすることで、熱に対して安定、かつ比誘電率の高い積層構造とすることができる。したがって、ゲート絶縁体の物理膜厚を保持したまま、トランジスタ動作時に印加するゲート電位の低減化が可能となる。また、ゲート絶縁体として機能する絶縁体の等価酸化膜厚（ＥＯＴ）の薄膜化が可能となる。

具体的には、ハフニウム、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、ジルコニウム、タングステン、チタン、タンタル、ニッケル、ゲルマニウム、または、マグネシウムなどから選ばれた一種、または二種以上が含まれた金属酸化物を用いることができる。特に、アルミニウム、またはハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体である、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。

または、酸化物２５２は、ゲート電極の一部としての機能を有する場合がある。この場合は、酸素を含む導電性材料をチャネル形成領域側に設けるとよい。酸素を含む導電性材料をチャネル形成領域側に設けることで、当該導電性材料から離脱した酸素がチャネル形成領域に供給されやすくなる。

特に、ゲート電極として機能する導電体として、チャネルが形成される金属酸化物に含まれる金属元素および酸素を含む導電性材料を用いることが好ましい。また、前述した金属元素および窒素を含む導電性材料を用いてもよい。また、インジウム錫酸化物、酸化タングステンを含むインジウム酸化物、酸化タングステンを含むインジウム亜鉛酸化物、酸化チタンを含むインジウム酸化物、酸化チタンを含むインジウム錫酸化物、インジウム亜鉛酸化物、シリコンを添加したインジウム錫酸化物を用いてもよい。また、窒素を含むインジウムガリウム亜鉛酸化物を用いてもよい。このような材料を用いることで、チャネルが形成される金属酸化物に含まれる水素を捕獲することができる場合がある。または、外方の絶縁体などから混入する水素を捕獲することができる場合がある。

導電体２６０は、図１では２層構造として示しているが、単層構造でもよいし、３層以上の積層構造であってもよい。

導電体２６０ａは、水素原子、水素分子、水分子、窒素原子、窒素分子、酸化窒素分子（Ｎ_２Ｏ、ＮＯ、ＮＯ_２など）、銅原子などの不純物の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。または、酸素（例えば、酸素原子、酸素分子など）の少なくとも一の拡散を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。

また、導電体２６０ａが酸素の拡散を抑制する機能を持つことにより、絶縁体２５０に含まれる酸素により、導電体２６０ｂが酸化して導電率が低下することを抑制することができる。酸素の拡散を抑制する機能を有する導電性材料としては、例えば、タンタル、窒化タンタル、ルテニウム、または酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。

また、導電体２６０ｂは、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、導電体２６０は、配線としても機能するため、導電性が高い導電体を用いることが好ましい。例えば、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることができる。また、導電体２６０ｂは積層構造としてもよく、例えば、チタン、窒化チタンと上記導電性材料との積層構造としてもよい。

絶縁体２８０は、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、または空孔を有する酸化シリコンなどを有することが好ましい。特に、酸化シリコンおよび酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため好ましい。特に、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、空孔を有する酸化シリコンなどの材料は、加熱により脱離する酸素を含む領域を容易に形成することができるため好ましい。

絶縁体２８０中の水または水素などの不純物濃度が低減されていることが好ましい。また、絶縁体２８０の上面は、平坦化されていてもよい。

絶縁体２８２は、水または水素などの不純物が、上方から絶縁体２８０に混入するのを抑制するバリア絶縁膜として機能することが好ましい。絶縁体２８２としては、例えば、酸化アルミニウム、窒化シリコン、または窒化酸化シリコンなどの絶縁体を用いればよい。

導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂは、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂは積層構造としてもよい。

また、導電体２４０を積層構造とする場合、絶縁体２８１、絶縁体２８２、絶縁体２８０、絶縁体２７４、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、絶縁体２７２ａ、および絶縁体２７２ｂと接する導電体には、水または水素などの不純物の透過を抑制する機能を有する導電性材料を用いることが好ましい。例えば、タンタル、窒化タンタル、チタン、窒化チタン、ルテニウム、または酸化ルテニウムなどを用いることが好ましい。また、水または水素などの不純物の透過を抑制する機能を有する導電性材料は、単層または積層で用いてもよい。当該導電性材料を用いることで、絶縁体２８０に添加された酸素が導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂに吸収されるのを防ぐことができる。また、絶縁体２８１より上層から水または水素などの不純物が、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを通じて酸化物２３０に混入するのを抑制することができる。

絶縁体２４１ａおよび絶縁体２４１ｂとしては、例えば、酸化アルミニウム、窒化シリコン、または窒化酸化シリコンなどの絶縁体を用いればよい。絶縁体２４１ａおよび絶縁体２４１ｂは、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７２ｂ、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂおよび絶縁体２７４に接して設けられるので、絶縁体２８０などから水または水素などの不純物が、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを通じて酸化物２３０に混入するのを抑制することができる。また、絶縁体２８０に含まれる酸素が導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂに吸収されるのを防ぐことができる。

また、導電体２４０ａの上面、および導電体２４０ｂの上面に接して配線として機能する導電体２４６（導電体２４６ａ、および導電体２４６ｂ）を配置してもよい。導電体２４６は、タングステン、銅、またはアルミニウムを主成分とする導電性材料を用いることが好ましい。また、当該導電体は、積層構造としてもよく、例えば、チタン、窒化チタンと上記導電性材料との積層としてもよい。なお、当該導電体は、絶縁体に設けられた開口に埋め込むように形成してもよい。

＜半導体装置の構成材料＞
以下では、半導体装置に用いることができる構成材料について説明する。

＜基板＞
トランジスタ２００を形成する基板としては、例えば、絶縁体基板、半導体基板、または導電体基板を用いればよい。絶縁体基板としては、例えば、ガラス基板、石英基板、サファイア基板、安定化ジルコニア基板（イットリア安定化ジルコニア基板など）、樹脂基板などがある。また、半導体基板としては、例えば、シリコン、ゲルマニウムなどの半導体基板、または炭化シリコン、シリコンゲルマニウム、ヒ化ガリウム、リン化インジウム、酸化亜鉛、酸化ガリウムからなる化合物半導体基板などがある。さらには、前述の半導体基板内部に絶縁体領域を有する半導体基板、例えば、ＳＯＩ（ＳｉｌｉｃｏｎＯｎＩｎｓｕｌａｔｏｒ）基板などがある。導電体基板としては、黒鉛基板、金属基板、合金基板、導電性樹脂基板などがある。または、金属の窒化物を有する基板、金属の酸化物を有する基板などがある。さらには、絶縁体基板に導電体または半導体が設けられた基板、半導体基板に導電体または絶縁体が設けられた基板、導電体基板に半導体または絶縁体が設けられた基板などがある。または、これらの基板に素子が設けられたものを用いてもよい。基板に設けられる素子としては、容量素子、抵抗素子、スイッチ素子、発光素子、記憶素子などがある。

＜絶縁体＞
絶縁体としては、絶縁性を有する酸化物、窒化物、酸化窒化物、窒化酸化物、金属酸化物、金属酸化窒化物、金属窒化酸化物などがある。

例えば、トランジスタの微細化、および高集積化が進むと、ゲート絶縁体の薄膜化により、リーク電流などの問題が生じる場合がある。ゲート絶縁体として機能する絶縁体に、ｈｉｇｈ−ｋ材料を用いることで物理膜厚を保ちながら、トランジスタ動作時の低電圧化が可能となる。一方、層間膜として機能する絶縁体には、比誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。したがって、絶縁体の機能に応じて、材料を選択するとよい。

また、比誘電率の高い絶縁体としては、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化物、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化窒化物、またはシリコンおよびハフニウムを有する窒化物などがある。

また、比誘電率が低い絶縁体としては、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコン、または樹脂などがある。

また、酸化物半導体を用いたトランジスタは、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体で囲うことによって、トランジスタの電気特性を安定にすることができる。水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体としては、例えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニウム、シリコン、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、ネオジム、ハフニウム、またはタンタルを含む絶縁体を、単層で、または積層で用いればよい。具体的には、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウム、または酸化タンタルなどの金属酸化物、窒化アルミニウム、窒化アルミニウムチタン、窒化チタン、窒化酸化シリコンまたは窒化シリコンなどの金属窒化物を用いることができる。

また、ゲート絶縁体として機能する絶縁体は、加熱により脱離する酸素を含む領域を有する絶縁体であることが好ましい。例えば、加熱により脱離する酸素を含む領域を有する酸化シリコンまたは酸化窒化シリコンを酸化物２３０と接する構造とすることで、酸化物２３０が有する酸素欠損を補償することができる。

＜導電体＞
導電体としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウム、イリジウム、ストロンチウム、ランタンなどから選ばれた金属元素、または上述した金属元素を成分とする合金か、上述した金属元素を組み合わせた合金等を用いることが好ましい。例えば、窒化タンタル、窒化チタン、タングステン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物などを用いることが好ましい。また、窒化タンタル、窒化チタン、チタンとアルミニウムを含む窒化物、タンタルとアルミニウムを含む窒化物、酸化ルテニウム、窒化ルテニウム、ストロンチウムとルテニウムを含む酸化物、ランタンとニッケルを含む酸化物は、酸化しにくい導電性材料、または、酸素を吸収しても導電性を維持する材料であるため、好ましい。また、リン等の不純物元素を含有させた多結晶シリコンに代表される、電気伝導度が高い半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。

また、上記の材料で形成される導電層を複数積層して用いてもよい。例えば、前述した金属元素を含む材料と、酸素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造としてもよい。また、前述した金属元素を含む材料と、窒素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造としてもよい。また、前述した金属元素を含む材料と、酸素を含む導電性材料と、窒素を含む導電性材料と、を組み合わせた積層構造としてもよい。

＜金属酸化物＞
酸化物２３０として、酸化物半導体として機能する金属酸化物を用いることが好ましい。以下では、本発明に係る酸化物２３０に適用可能な金属酸化物について説明する。

金属酸化物は、少なくともインジウムまたは亜鉛を含むことが好ましい。特に、インジウムおよび亜鉛を含むことが好ましい。また、それらに加えて、アルミニウム、ガリウム、イットリウムまたは錫などが含まれていることが好ましい。また、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、またはマグネシウムなどから選ばれた一種、または複数種が含まれていてもよい。

ここでは、金属酸化物が、インジウム、元素Ｍおよび亜鉛を有するＩｎ−Ｍ−Ｚｎ酸化物である場合を考える。なお、元素Ｍは、アルミニウム、ガリウム、イットリウム、または錫などとする。そのほかの元素Ｍに適用可能な元素としては、ホウ素、チタン、鉄、ニッケル、ゲルマニウム、ジルコニウム、モリブデン、ランタン、セリウム、ネオジム、ハフニウム、タンタル、タングステン、マグネシウムなどがある。ただし、元素Ｍとして、前述の元素を複数組み合わせても構わない場合がある。

なお、本明細書等において、窒素を有する金属酸化物も金属酸化物（ｍｅｔａｌｏｘｉｄｅ）と総称する場合がある。また、窒素を有する金属酸化物を、金属酸窒化物（ｍｅｔａｌｏｘｙｎｉｔｒｉｄｅ）と呼称してもよい。

［金属酸化物の構造］
酸化物半導体（金属酸化物）は、単結晶酸化物半導体と、それ以外の非単結晶酸化物半導体と、に分けられる。非単結晶酸化物半導体としては、例えば、ＣＡＡＣ−ＯＳ、多結晶酸化物半導体、ｎｃ−ＯＳ、擬似非晶質酸化物半導体（ａ−ｌｉｋｅＯＳ：ａｍｏｒｐｈｏｕｓ−ｌｉｋｅｏｘｉｄｅｓｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒ）、および非晶質酸化物半導体などがある。

ＣＡＡＣ−ＯＳは、ｃ軸配向性を有し、かつａ−ｂ面方向において複数のナノ結晶が連結し、歪みを有した結晶構造となっている。なお、歪みとは、複数のナノ結晶が連結する領域において、格子配列の揃った領域と、別の格子配列の揃った領域と、の間で格子配列の向きが変化している箇所を指す。

ナノ結晶は、六角形を基本とするが、正六角形状とは限らず、非正六角形状である場合がある。また、歪みにおいて、五角形、および七角形などの格子配列を有する場合がある。なお、ＣＡＡＣ−ＯＳにおいて、歪み近傍においても、明確な結晶粒界（グレインバウンダリーともいう。）を確認することは難しい。すなわち、格子配列の歪みによって、結晶粒界の形成が抑制されていることがわかる。これは、ＣＡＡＣ−ＯＳが、ａ−ｂ面方向において酸素原子の配列が稠密でないことや、金属元素が置換することで原子間の結合距離が変化することなどによって、歪みを許容することができるためである。

また、ＣＡＡＣ−ＯＳは、インジウム、および酸素を有する層（以下、Ｉｎ層）と、元素Ｍ、亜鉛、および酸素を有する層（以下、（Ｍ，Ｚｎ）層）とが積層した、層状の結晶構造（層状構造ともいう）を有する傾向がある。なお、インジウムと元素Ｍは、互いに置換可能であり、（Ｍ，Ｚｎ）層の元素Ｍがインジウムと置換した場合、（Ｉｎ，Ｍ，Ｚｎ）層と表すこともできる。また、Ｉｎ層のインジウムが元素Ｍと置換した場合、（Ｉｎ，Ｍ）層と表すこともできる。

ＣＡＡＣ−ＯＳは結晶性の高い金属酸化物である。一方、ＣＡＡＣ−ＯＳは、明確な結晶粒界を確認することが難しいため、結晶粒界に起因する電子移動度の低下が起こりにくいといえる。また、金属酸化物の結晶性は不純物の混入や欠陥の生成などによって低下する場合があるため、ＣＡＡＣ−ＯＳは不純物や欠陥（酸素欠損（Ｖ_Ｏ：ｏｘｙｇｅｎｖａｃａｎｃｙともいう。）など）の少ない金属酸化物ともいえる。したがって、ＣＡＡＣ−ＯＳを有する金属酸化物は、物理的性質が安定する。そのため、ＣＡＡＣ−ＯＳを有する金属酸化物は熱に強く、信頼性が高い。

ｎｃ−ＯＳは、微小な領域（例えば、１ｎｍ以上１０ｎｍ以下の領域、特に１ｎｍ以上３ｎｍ以下の領域）において原子配列に周期性を有する。また、ｎｃ−ＯＳは、異なるナノ結晶間で結晶方位に規則性が見られない。そのため、膜全体で配向性が見られない。したがって、ｎｃ−ＯＳは、分析方法によっては、ａ−ｌｉｋｅＯＳや非晶質酸化物半導体と区別が付かない場合がある。

なお、インジウムと、ガリウムと、亜鉛と、を有する金属酸化物の一種である、インジウム−ガリウム−亜鉛酸化物（以下、ＩＧＺＯ）は、上述のナノ結晶とすることで安定な構造をとる場合がある。特に、ＩＧＺＯは、大気中では結晶成長がし難い傾向があるため、大きな結晶（ここでは、数ｍｍの結晶、または数ｃｍの結晶）よりも小さな結晶（例えば、上述のナノ結晶）とする方が、構造的に安定となる場合がある。

ａ−ｌｉｋｅＯＳは、ｎｃ−ＯＳと非晶質酸化物半導体との間の構造を有する金属酸化物である。ａ−ｌｉｋｅＯＳは、鬆または低密度領域を有する。すなわち、ａ−ｌｉｋｅＯＳは、ｎｃ−ＯＳおよびＣＡＡＣ−ＯＳと比べて、結晶性が低い。

酸化物半導体（金属酸化物）は、多様な構造をとり、それぞれが異なる特性を有する。本発明の一態様の酸化物半導体は、非晶質酸化物半導体、多結晶酸化物半導体、ａ−ｌｉｋｅＯＳ、ｎｃ−ＯＳ、ＣＡＡＣ−ＯＳのうち、二種以上を有していてもよい。

［不純物］
ここで、金属酸化物中における各不純物の影響について説明する。

また、金属酸化物にアルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれると、欠陥準位を形成し、キャリアを生成する場合がある。したがって、アルカリ金属またはアルカリ土類金属が含まれている金属酸化物をチャネル形成領域に用いたトランジスタはノーマリーオン特性となりやすい。このため、金属酸化物中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度を低減することが好ましい。具体的には、ＳＩＭＳにより得られる金属酸化物中のアルカリ金属またはアルカリ土類金属の濃度（二次イオン質量分析法（ＳＩＭＳ：ＳｅｃｏｎｄａｒｙＩｏｎＭａｓｓＳｐｅｃｔｒｏｍｅｔｒｙ）により得られる濃度）を、１×１０^１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下、好ましくは２×１０^１６ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３以下にする。

また、金属酸化物に含まれる水素は、金属原子と結合する酸素と反応して水になるため、酸素欠損を形成する場合がある。当該酸素欠損に水素が入ることで、キャリアである電子が生成される場合がある。また、水素の一部が金属原子と結合する酸素と結合して、キャリアである電子を生成することがある。従って、水素が含まれている金属酸化物を用いたトランジスタは、ノーマリーオン特性となりやすい。

このため、金属酸化物中の水素はできる限り低減されていることが好ましい。具体的には、金属酸化物において、ＳＩＭＳにより得られる水素濃度を、１×１０^２０ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満、好ましくは１×１０^１９ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満、より好ましくは５×１０^１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満、さらに好ましくは１×１０^１８ａｔｏｍｓ／ｃｍ^３未満とする。不純物が十分に低減された金属酸化物をトランジスタのチャネル形成領域に用いることで、安定した電気特性を付与することができる。

トランジスタの半導体に用いる金属酸化物として、結晶性の高い薄膜を用いることが好ましい。該薄膜を用いることで、トランジスタの安定性または信頼性を向上させることができる。該薄膜として、例えば、単結晶金属酸化物の薄膜または多結晶金属酸化物の薄膜が挙げられる。しかしながら、単結晶金属酸化物の薄膜または多結晶金属酸化物の薄膜を基板上に形成するには、高温またはレーザー加熱の工程が必要とされる。よって、製造工程のコストが増加し、さらに、スループットも低下してしまう。

２００９年に、ＣＡＡＣ構造を有するＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物（ＣＡＡＣ−ＩＧＺＯと呼ぶ。）が発見されたことが、非特許文献１および非特許文献２で報告されている。ここでは、ＣＡＡＣ−ＩＧＺＯは、ｃ軸配向性を有する、結晶粒界が明確に確認されない、低温で基板上に形成可能である、ことが報告されている。さらに、ＣＡＡＣ−ＩＧＺＯを用いたトランジスタは、優れた電気特性および信頼性を有することが報告されている。

また、２０１３年には、ｎｃ構造を有するＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物（ｎｃ−ＩＧＺＯと呼ぶ。）が発見された（非特許文献３参照。）。ここでは、ｎｃ−ＩＧＺＯは、微小な領域（例えば、１ｎｍ以上３ｎｍ以下の領域）において原子配列に周期性を有し、異なる該領域間で結晶方位に規則性が見られないことが報告されている。

非特許文献４および非特許文献５では、上記のＣＡＡＣ−ＩＧＺＯ、ｎｃ−ＩＧＺＯ、および結晶性の低いＩＧＺＯのそれぞれの薄膜に対する電子線の照射による平均結晶サイズの推移が示されている。結晶性の低いＩＧＺＯの薄膜において、電子線が照射される前でさえ、１ｎｍ程度の結晶性ＩＧＺＯが観察されている。よって、ここでは、ＩＧＺＯにおいて、完全な非晶質構造（ｃｏｍｐｌｅｔｅｌｙａｍｏｒｐｈｏｕｓｓｔｒｕｃｔｕｒｅ）の存在を確認できなかった、と報告されている。さらに、結晶性の低いＩＧＺＯの薄膜と比べて、ＣＡＡＣ−ＩＧＺＯの薄膜およびｎｃ−ＩＧＺＯの薄膜は電子線照射に対する安定性が高いことが示されている。よって、トランジスタの半導体として、ＣＡＡＣ−ＩＧＺＯの薄膜またはｎｃ−ＩＧＺＯの薄膜を用いることが好ましい。

金属酸化物を用いたトランジスタは、非導通状態において極めてリーク電流が小さい、具体的には、トランジスタのチャネル幅１μｍあたりのオフ電流がｙＡ／μｍ（１０^−２４Ａ／μｍ）オーダである、ことが非特許文献６に示されている。例えば、金属酸化物を用いたトランジスタのリーク電流が低いという特性を応用した低消費電力のＣＰＵなどが開示されている（非特許文献７参照。）。

また、金属酸化物を用いたトランジスタのリーク電流が低いという特性を利用した、該トランジスタの表示装置への応用が報告されている（非特許文献８参照。）。表示装置では、表示される画像が１秒間に数十回切り換っている。１秒間あたりの画像の切り換え回数はリフレッシュレートと呼ばれている。また、リフレッシュレートを駆動周波数と呼ぶこともある。このような人の目で知覚が困難である高速の画面の切り換えが、目の疲労の原因として考えられている。そこで、表示装置のリフレッシュレートを低下させて、画像の書き換え回数を減らすことが提案されている。また、リフレッシュレートを低下させた駆動により、表示装置の消費電力を低減することが可能である。このような駆動方法を、アイドリング・ストップ（ＩＤＳ）駆動と呼ぶ。

ＣＡＡＣ構造およびｎｃ構造の発見は、ＣＡＡＣ構造またはｎｃ構造を有する金属酸化物を用いたトランジスタの電気特性および信頼性の向上、ならびに、製造工程のコスト低下およびスループットの向上に貢献している。また、該トランジスタのリーク電流が低いという特性を利用した、該トランジスタの表示装置およびＬＳＩへの応用研究が進められている。

＜半導体装置の作製方法＞
次に、図１に示す、本発明に係るトランジスタ２００を有する半導体装置について、作製方法を図５乃至図１２を用いて説明する。また、図５乃至図１２において、各図の（Ａ）は上面図を示す。また、各図の（Ｂ）は、（Ａ）に示すＡ１−Ａ２の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００のチャネル長方向の断面図でもある。また、各図の（Ｃ）は、（Ａ）にＡ３−Ａ４の一点鎖線で示す部位に対応する断面図であり、トランジスタ２００のチャネル幅方向の断面図でもある。なお、各図の（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。

まず、基板（図示しない。）を準備し、当該基板上に絶縁体２１４を成膜する。絶縁体２１４の成膜は、スパッタリング法、化学気相成長（ＣＶＤ：ＣｈｅｍｉｃａｌＶａｐｏｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、分子線エピタキシー（ＭＢＥ：ＭｏｌｅｃｕｌａｒＢｅａｍＥｐｉｔａｘｙ）法、パルスレーザ堆積（ＰＬＤ：ＰｕｌｓｅｄＬａｓｅｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法、またはＡＬＤ（ＡｔｏｍｉｃＬａｙｅｒＤｅｐｏｓｉｔｉｏｎ）法などを用いて行うことができる。

なお、ＣＶＤ法は、プラズマを利用するプラズマＣＶＤ（ＰＥＣＶＤ：ＰｌａｓｍａＥｎｈａｎｃｅｄＣＶＤ）法、熱を利用する熱ＣＶＤ（ＴＣＶＤ：ＴｈｅｒｍａｌＣＶＤ）法、光を利用する光ＣＶＤ（ＰｈｏｔｏＣＶＤ）法などに分類できる。さらに用いる原料ガスによって金属ＣＶＤ（ＭＣＶＤ：ＭｅｔａｌＣＶＤ）法、有機金属ＣＶＤ（ＭＯＣＶＤ：ＭｅｔａｌＯｒｇａｎｉｃＣＶＤ）法に分けることができる。

プラズマＣＶＤ法は、比較的低温で高品質の膜が得られる。また、熱ＣＶＤ法は、プラズマを用いないため、被処理物へのプラズマダメージを小さくすることが可能な成膜方法である。例えば、半導体装置に含まれる配線、電極、素子（トランジスタ、容量素子など）などは、プラズマから電荷を受け取ることでチャージアップする場合がある。このとき、蓄積した電荷によって、半導体装置に含まれる配線、電極、素子などが破壊される場合がある。一方、プラズマを用いない熱ＣＶＤ法の場合、こういったプラズマダメージが生じないため、半導体装置の歩留まりを高くすることができる。また、熱ＣＶＤ法では、成膜中のプラズマダメージが生じないため、欠陥の少ない膜が得られる。

また、ＡＬＤ法は、原子の性質である自己制御性を利用し、一層ずつ原子を堆積することができるので、極薄の成膜が可能、アスペクト比の高い構造への成膜が可能、ピンホールなどの欠陥の少ない成膜が可能、被覆性に優れた成膜が可能、および低温での成膜が可能、などの効果がある。また、ＡＬＤ法には、プラズマを利用した成膜方法ＰＥＡＬＤ（ＰｌａｓｍａＥｎｈａｎｃｅｄＡＬＤ）法も含まれる。プラズマを利用することで、より低温での成膜が可能となり好ましい場合がある。なお、ＡＬＤ法で用いるプリカーサには炭素などの不純物を含むものがある。このため、ＡＬＤ法により設けられた膜は、他の成膜法により設けられた膜と比較して、炭素などの不純物を多く含む場合がある。なお、不純物の定量は、Ｘ線光電子分光法（ＸＰＳ：Ｘ−ｒａｙＰｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いて行うことができる。

ＣＶＤ法およびＡＬＤ法は、ターゲットなどから放出される粒子が堆積する成膜方法とは異なり、被処理物の表面における反応により膜が形成される成膜方法である。したがって、被処理物の形状の影響を受けにくく、良好な段差被覆性を有する成膜方法である。特に、ＡＬＤ法は、優れた段差被覆性と、優れた厚さの均一性を有するため、アスペクト比の高い開口部の表面を被覆する場合などに好適である。ただし、ＡＬＤ法は、比較的成膜速度が遅いため、成膜速度の速いＣＶＤ法などの他の成膜方法と組み合わせて用いることが好ましい場合もある。

ＣＶＤ法およびＡＬＤ法は、原料ガスの流量比によって、得られる膜の組成を制御することができる。例えば、ＣＶＤ法およびＡＬＤ法では、原料ガスの流量比によって、任意の組成の膜を成膜することができる。また、例えば、ＣＶＤ法およびＡＬＤ法では、成膜しながら原料ガスの流量比を変化させることによって、組成が連続的に変化した膜を成膜することができる。原料ガスの流量比を変化させながら成膜する場合、複数の成膜室を用いて成膜する場合と比べて、搬送や圧力調整に掛かる時間を要さない分、成膜に掛かる時間を短くすることができる。したがって、半導体装置の生産性を高めることができる場合がある。

本実施の形態では、絶縁体２１４として、スパッタリング法によって、酸化アルミニウムを成膜する。絶縁体２１４として、酸化アルミニウムを用いることで、水、水素などの不純物および酸素の透過を絶縁体２１４より上の層に拡散することを抑制することができる。

次に絶縁体２１４上に、導電体２０５となる導電膜を成膜する。導電体２０５となる導電膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。また、導電体２０５となる導電膜は、多層膜とすることができる。

本実施の形態では、導電体２０５ａとなる導電膜をスパッタリング法によって窒化タンタルを成膜する。次に、導電体２０５ｂとなる導電膜として、スパッタリング法によってタングステンを成膜する。

次に、リソグラフィー法を用いて、導電体２０５となる導電膜を加工し、導電体２０５を形成する。

なお、リソグラフィー法では、まず、マスクを介してレジストを露光する。次に、露光された領域を、現像液を用いて除去または残存させてレジストマスクを形成する。次に、当該レジストマスクを介してエッチング処理することで導電体、半導体または絶縁体などを所望の形状に加工することができる。例えば、ＫｒＦエキシマレーザ光、ＡｒＦエキシマレーザ光、ＥＵＶ（ＥｘｔｒｅｍｅＵｌｔｒａｖｉｏｌｅｔ）光などを用いて、レジストを露光することでレジストマスクを形成すればよい。また、基板と投影レンズとの間に液体（例えば水）を満たして露光する、液浸技術を用いてもよい。また、前述した光に代えて、電子ビームやイオンビームを用いてもよい。なお、電子ビームやイオンビームを用いる場合には、マスクは不要となる。なお、レジストマスクの除去には、アッシングなどのドライエッチング処理を行う、ウェットエッチング処理を行う、ドライエッチング処理後にウェットエッチング処理を行う、またはウェットエッチング処理後にドライエッチング処理を行うことができる。

また、レジストマスクの代わりに絶縁体や導電体からなるハードマスクを用いてもよい。ハードマスクを用いる場合、導電体２０５となる導電膜上にハードマスク材料となる絶縁膜や導電膜を形成し、その上にレジストマスクを形成し、ハードマスク材料をエッチングすることで所望の形状のハードマスクを形成することができる。導電体２０５となる導電膜のエッチングは、レジストマスクを除去してから行っても良いし、レジストマスクを残したまま行っても良い。後者の場合、エッチング中にレジストマスクが消失することがある。導電体２０５となる導電膜のエッチング後にハードマスクをエッチングにより除去しても良い。一方、ハードマスクの材料が後工程に影響が無い、あるいは後工程で利用できる場合、必ずしもハードマスクを除去する必要は無い。

ドライエッチング装置としては、平行平板型電極を有する容量結合型プラズマ（ＣＣＰ：ＣａｐａｃｉｔｉｖｅｌｙＣｏｕｐｌｅｄＰｌａｓｍａ）エッチング装置を用いることができる。平行平板型電極を有する容量結合型プラズマエッチング装置は、平行平板型電極の一方の電極に高周波電源を印加する構成でもよい。または平行平板型電極の一方の電極に複数の異なった高周波電源を印加する構成でもよい。または平行平板型電極それぞれに同じ周波数の高周波電源を印加する構成でもよい。または平行平板型電極それぞれに周波数の異なる高周波電源を印加する構成でもよい。または高密度プラズマ源を有するドライエッチング装置を用いることができる。高密度プラズマ源を有するドライエッチング装置は、例えば、誘導結合型プラズマ（ＩＣＰ：ＩｎｄｕｃｔｉｖｅｌｙＣｏｕｐｌｅｄＰｌａｓｍａ）エッチング装置などを用いることができる。

次に、絶縁体２１４上、導電体２０５上に絶縁膜２１５Ａを成膜する。絶縁膜２１５Ａは、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。ＣＶＤ法によって窒化シリコンを成膜する。

次に、絶縁膜２１６Ａを成膜する。絶縁膜２１６Ａの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。本実施の形態では、絶縁体２１６となる絶縁膜として、ＣＶＤ法によって酸化シリコンを成膜する（図５参照。）。

ここで、絶縁膜２１６Ａの膜厚は、導電体２０５の膜厚以上とすることが好ましい。例えば、導電体２０５の膜厚を１とすると、絶縁膜２１６Ａの膜厚は、１以上３以下とする。本実施の形態では、導電体２０５の膜厚の膜厚を１５０ｎｍとし、絶縁膜２１６Ａの膜厚を３５０ｎｍとする。

次に、絶縁膜２１６Ａおよび絶縁膜２１５ＡにＣＭＰ（ｃｈｅｍｉｃａｌＭｅｃｈａｎｉｃａｌＰｏｌｉｓｈｉｎｇ）処理を行うことで、絶縁膜２１６Ａの一部および絶縁膜２１５Ａの一部を除去し、導電体２０５の表面を露出させる。これにより、上面が平坦な、導電体２０５、絶縁体２１５および絶縁体２１６を形成することができる（図６参照。）。

次に、絶縁体２１６上、絶縁体２１５上、および導電体２０５上に絶縁体２２２を成膜する。絶縁体２２２として、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体を成膜するとよい。なお、アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化ハフニウム、アルミニウムおよびハフニウムを含む酸化物（ハフニウムアルミネート）などを用いることが好ましい。アルミニウムおよびハフニウムの一方または双方の酸化物を含む絶縁体は、酸素、水素、および水に対するバリア性を有する。絶縁体２２２が、水素および水に対するバリア性を有することで、トランジスタ２００の周辺に設けられた構造体に含まれる水素、および水が、絶縁体２２２を通じてトランジスタ２００の内側へ拡散することが抑制され、酸化物２３０中の酸素欠損の生成を抑制することができる。

絶縁体２２２の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。

次に、絶縁体２２２上に絶縁膜２２４Ａを成膜する。絶縁膜２２４Ａの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。

続いて、加熱処理を行うと好ましい。加熱処理は、２５０℃以上６５０℃以下、好ましくは３００℃以上５００℃以下、さらに好ましくは３２０℃以上４５０℃以下で行えばよい。なお、加熱処理は、窒素または不活性ガス雰囲気、または酸化性ガスを１０ｐｐｍ以上、１％以上、もしくは１０％以上含む雰囲気で行う。また、加熱処理は減圧状態で行ってもよい。または、加熱処理は、窒素または不活性ガス雰囲気で加熱処理した後に、脱離した酸素を補うために酸化性ガスを１０ｐｐｍ以上、１％以上、または１０％以上含む雰囲気で加熱処理を行ってもよい。

本実施の形態では、例えば、加熱処理として、絶縁膜２２４Ａの成膜後に窒素雰囲気にて４００℃の温度で１時間の処理を行い、さらに、酸素雰囲気にて４００℃の温度で１時間の処理を行う。当該加熱処理によって、絶縁膜２２４Ａに含まれる水素や水などの不純物を除去することなどができる。また、加熱処理は絶縁体２２２の成膜後で行うこともできる。

ここで、絶縁膜２２４Ａに加熱により脱離する酸素を含む領域を形成するために、イオン注入法、イオンドーピング法、プラズマ処理、およびプラズマイマージョンイオンインプランテーション法から選ばれた一、または複数の方法を用いて絶縁膜２２４Ａに酸素を供給してもよい。このとき、イオン化された原料ガスを質量分離して添加するイオン注入法を用いることで、絶縁膜２２４Ａに制御よく酸素を供給できるため、好ましい。

なお、上記の方法の代わりに、減圧状態で酸素を含むプラズマ処理を行ってもよい。酸素を含むプラズマ処理は、例えば、マイクロ波を用いた高密度プラズマを発生させる電源を有する装置を用いることが好ましい。または、基板側にＲＦ（ＲａｄｉｏＦｒｅｑｕｅｎｃｙ）を印加する電源を有してもよい。高密度プラズマを用いることより、高密度の酸素ラジカルを生成することができ、基板側にＲＦを印加することで、高密度プラズマによって生成された酸素ラジカルを効率良く絶縁膜２２４Ａ内に導くことができる。または、この装置を用いて不活性ガスを含むプラズマ処理を行った後に、脱離した酸素を補うために酸素を含むプラズマ処理を行ってもよい。なお、当該プラズマ処理の条件を適宜選択することにより、絶縁膜２２４Ａに含まれる水素や水などの不純物を除去することができる。その場合、加熱処理は行わなくてもよい。

次に、絶縁膜２２４Ａ上に、酸化物２３０ａとなる酸化膜２３０Ａと、酸化物２３０ｂとなる酸化膜２３０Ｂを順に成膜する（図７参照。）。なお、上記酸化膜は、大気環境に晒さずに連続して成膜することが好ましい。大気開放せずに成膜することで、酸化膜２３０Ａ、および酸化膜２３０Ｂ上に大気環境からの不純物または水分が付着することを防ぐことができ、酸化膜２３０Ａと酸化膜２３０Ｂとの界面近傍を清浄に保つことができる。

酸化膜２３０Ａ、および酸化膜２３０Ｂの成膜はスパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。

酸化膜２３０Ａ、および酸化膜２３０Ｂの成膜は、スパッタリング法を用いることが好ましく、スパッタリングガスとして酸素、または、酸素と希ガスの混合ガスを用いる。スパッタリングガスに含まれる酸素の割合を高めることで、成膜される酸化膜中の酸素を増やし、当該酸化膜の結晶性を向上させることができる。また、基板を加熱しながら成膜を行うことによって、当該酸化膜の結晶性を向上させることができる。

また、酸化膜２３０Ａ、および酸化膜２３０Ｂをスパッタリング法によって成膜する場合は、上記の金属酸化物のターゲットを用いることができる。ただし、例えば、金属酸化物をスパッタリング装置にて成膜する場合、ターゲットの原子数比からずれた原子数比の膜が形成される。特に、成膜時の基板温度によっては、ターゲットの［Ｚｎ］よりも、膜の［Ｚｎ］が小さくなる場合がある。

また、スパッタリングガスを高純度化することが好ましい。例えば、スパッタリングガスとして用いる酸素ガスや希ガスは、露点が−６０℃以下、好ましくは−１００℃以下にまで高純度化したガスを用いる。高純度化されたスパッタリングガスを用いて成膜することで、酸化物２３０に水分等が取り込まれることを可能な限り防ぐことができる。

また、スパッタリング法で酸化膜２３０Ａ及び酸化膜２３０Ｂを成膜する場合、スパッタリング装置が有する成膜室内の水分を可能な限り除去することが好ましい。例えば、クライオポンプのような吸着式の真空排気ポンプを用いて、成膜室内を高真空（５×１０^−７Ｐａから１×１０^−４Ｐａ程度まで）に排気することが好ましい。特に、スパッタリング装置の待機時における、成膜室内のＨ_２Ｏに相当するガス分子（ｍ／ｚ＝１８に相当するガス分子）の分圧を１×１０^−４Ｐａ以下、好ましく５×１０^−５Ｐａ以下とすることが好ましい。

特に、酸化膜２３０Ａの成膜時に、スパッタリングガスに含まれる酸素の一部が絶縁膜２２４Ａに供給される場合がある。したがって、酸化膜２３０Ａのスパッタリングガスに含まれる酸素の割合は７０％以上、好ましくは８０％以上、より好ましくは１００％とすればよい。

また、酸化膜２３０Ｂをスパッタリング法で形成する場合、スパッタリングガスに含まれる酸素の割合を１０％以上、好ましくは３０％以上として成膜すると、酸化膜２３０Ｂを上記のＣＡＡＣ−ＯＳ膜にすることができる。

本実施の形態では、例えば、酸化膜２３０Ａとして、スパッタリング法によって、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：１：０．５［原子数比］、または１：３：４［原子数比］などのターゲットを用いて成膜する。また、酸化膜２３０Ｂとして、スパッタリング法によって、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］、または３：１：２［原子数比］などのターゲットを用いて成膜する。なお、各酸化膜は、成膜条件、および原子数比を適宜選択することで、酸化物２３０に求める特性に合わせて形成するとよい。

次に、加熱処理を行ってもよい。加熱処理は、上述した加熱処理条件を用いることができる。加熱処理によって、酸化膜２３０Ａ、および酸化膜２３０Ｂ中の水素や水などの不純物を除去することなどができる。本実施の形態では、例えば、窒素雰囲気にて４００℃の温度で１時間の処理を行った後に、連続して酸素雰囲気にて４００℃の温度で１時間の処理を行う。

次に、酸化膜２３０Ｂ上に、導電膜２４２Ａを成膜する。導電膜２４２Ａの成膜はスパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる（図７参照。）。

次に、リソグラフィー法によって、導電膜２４２Ａ、酸化膜２３０Ｂ、酸化膜２３０Ａ、および絶縁膜２２４Ａを順に加工し、導電体層２４２Ｂ、酸化物２３０ｂ、酸化物２３０ａ、および絶縁体２２４を形成する（図８参照。）。

ここで、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂは、少なくとも一部が導電体２０５と重なるように形成する。また、酸化物２３０ａの側面、酸化物２３０ｂの側面、導電体２４２ａの側面および導電体２４２ｂの側面は、それぞれ、絶縁体２２２の上面に対し、概略垂直であることが好ましい。概略垂直であることで、複数のトランジスタ２００を設ける際に、小面積化、高密度化が可能となる。または、酸化物２３０ａの側面、酸化物２３０ｂの側面、導電体２４２ａの側面および導電体２４２ｂの側面と、それぞれ、絶縁体２２２と、の上面のなす角が低い角度になる構成にしてもよい。その場合、酸化物２３０ａの側面、酸化物２３０ｂの側面、導電体２４２ａの側面および導電体２４２ｂの側面と、それぞれ、絶縁体２２２と、の上面のなす角は６０°以上７０°未満が好ましい。この様な形状とすることで、これより後の工程において、絶縁体２７２ａおよび絶縁体２７２ｂなどの被覆性が向上し、鬆などの欠陥を低減することができる。

次に、絶縁体２２２、導電体層２４２Ｂ、酸化物２３０ｂ、酸化物２３０ａ、および絶縁体２２４を覆う様に、絶縁膜２７２Ａを成膜する。絶縁膜２７２Ａの成膜は、水、水素など不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体を用いることが好ましい。絶縁膜２７２Ａの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。本実施の形態では、スパッタリング法によって、窒化シリコンを成膜する（図９参照。）。

次に、絶縁膜２７２Ａ上に、絶縁膜２７３Ａを成膜する。絶縁膜２７３Ａの成膜は、水、水素など不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体を用いることが好ましい。絶縁膜２７３Ａの成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。本実施の形態では、スパッタリング法によって、酸化アルミニウムを成膜する（図９参照。）。

次に、リソグラフィー法によって、絶縁膜２７３Ａ、絶縁膜２７２Ａ、および導電体層２４２Ｂを順に加工することで、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７２ｂ、導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂを形成する。尚、本実施の形態では、絶縁膜２７３は、ウェットエッチング法を用いて加工し、絶縁膜２７２Ａ、および導電体層２４２Ｂは、ドライエッチング法を用いて加工する。導電体２４２ａは、絶縁体２７２ａおよび絶縁体２７３ａに覆われ、導電体２４２ｂは、絶縁体２７２ｂおよび絶縁体２７３ｂに覆われる（図１０参照。）。

これまでのドライエッチングなどの処理を行うことによって、エッチングガスなどに起因した不純物が酸化物２３０ａ、および酸化物２３０ｂなどの表面または内部に付着または拡散することがある。不純物としては、例えば、フッ素または塩素などがある。

上記の不純物などを除去するために、洗浄を行う。洗浄方法としては、洗浄液など用いたウェット洗浄、プラズマを用いたプラズマ処理、または熱処理による洗浄などがあり、上記洗浄を適宜組み合わせて行ってもよい。

ウェット洗浄としては、シュウ酸、リン酸、またはフッ化水素酸などを炭酸水または純水で希釈した水溶液を用いて洗浄処理を行ってもよい。または、純水または炭酸水を用いた超音波洗浄を行ってもよい。

次に加熱処理を行っても良い。加熱処理は、減圧下で行い、大気に暴露することなく、連続して酸化物２３０ｃとなる酸化膜を成膜してもよい。このような処理を行うことによって、酸化物２３０ｂの表面などに表面に吸着している水分および水素を除去し、さらに酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｂ中の水分濃度および水素濃度を低減させることができる。加熱処理の温度は、１００℃以上４００℃以下が好ましい。本実施の形態では、加熱処理の温度を２００℃とする。

酸化物２３０ｃとなる酸化膜の成膜はスパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。酸化物２３０ｃとなる酸化膜に求める特性に合わせて、酸化膜２３０Ａ、または酸化膜２３０Ｂと同様の成膜方法を用いて、酸化物２３０ｃとなる酸化膜を成膜すればよい。本実施の形態では、酸化物２３０ｃとなる酸化膜として、スパッタリング法によって、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］、あるいは４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用いて成膜する。

尚、酸化物２３０ｃとなる酸化膜は、積層としてもよい。例えば、スパッタリング法によって、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用いて成膜して、連続してＩｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用いて成膜してもよい。

特に、酸化物２３０ｃとなる酸化膜の成膜時に、スパッタリングガスに含まれる酸素の一部が酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｂに供給される場合がある。したがって、酸化物２３０ｃとなる酸化膜のスパッタリングガスに含まれる酸素の割合は７０％以上、好ましくは８０％以上、より好ましくは１００％とすればよい。

次に加熱処理を行っても良い。加熱処理は、減圧下で行い、大気に暴露することなく、連続して絶縁体２５０となる絶縁膜を成膜してもよい。このような処理を行うことによって、酸化物２３０ｃとなる酸化膜の表面などに吸着している水分および水素を除去し、さらに酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂおよび酸化物２３０ｃとなる酸化膜中の水分濃度および水素濃度を低減させることができる。加熱処理の温度は、１００℃以上４００℃以下が好ましい。

絶縁体２５０となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて成膜することができる。絶縁体２５０となる絶縁膜として、ＣＶＤ法により、酸化窒化シリコンを成膜することが好ましい。なお、絶縁体２５０となる絶縁膜を成膜する際の成膜温度は、３５０℃以上４５０℃未満、特に４００℃前後とすることが好ましい。絶縁膜２５０Ａを、４００℃で成膜することで、不純物が少ない絶縁体を成膜することができる。

次に、絶縁体２５０となる絶縁膜上に、酸化物２５２となる酸化膜を成膜してもよい。酸化物２５２となる酸化膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて成膜することができる。酸化物２５２となる酸化膜としては、酸化物２３０ｃとなる酸化膜と同様の酸化膜を用いることができる。本実施の形態では、スパッタリング法によって、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用いて成膜する。

次に、導電体２６０ａとなる導電膜および導電体２６０ｂとなる導電膜を成膜する。導電体２６０ａとなる導電膜および導電体２６０ｂとなる導電膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。

本実施の形態では、導電体２６０ａとなる導電膜としてスパッタリング法によって窒化チタンを成膜し、導電体２６０ｂとなる導電膜として、スパッタリング法によって、タングステンを成膜する。

また、上述と異なる、酸化物２３０ｃとなる酸化膜、絶縁体２５０となる絶縁膜、酸化物２５２となる酸化膜、導電体２６０ａとなる導電膜、および導電体２６０ｂとなる導電膜の成膜方法として、例えば、酸化物２３０ｃとなる酸化膜、絶縁体２５０となる絶縁膜、酸化物２５２となる酸化膜、導電体２６０ａとなる導電膜、および導電体２６０ｂとなる導電膜を、マルチチャンバー装置を用いて連続して成膜してもよい。

上記構成とすることで、不純物（代表的には、水、水素など）を徹底的に排除した積層膜を形成することが可能となる。

次に、導電体２６０ａとなる導電膜、導電体２６０ｂとなる導電膜、および酸化物２５２となる酸化膜、をリソグラフィー法によって、順に加工し、導電体２６０ａ、導電体２６０ｂ、および酸化物２５２を形成する。尚、本実施の形態では、導電体２６０ａおよび導電体２６０ｂはドライエッチング法を用いて加工し、酸化物２５２はウェットエッチング法を用いて加工する（図１１参照。）。

尚、導電体２６０ａの側面、導電体２６０ｂの側面、および酸化物２５２の側面は、概略一致していることが好ましい。

次に、加熱処理を行ってもよい。加熱処理は、窒素雰囲気にて３００℃以上４５０℃以下で行うことが好ましい。本実施の形態では、窒素雰囲気にて４００℃の温度で１時間の処理を行う。

次に、リソグラフィー法によって、絶縁体２５０となる酸化膜および酸化物２３０ｃとなる酸化膜を順に加工することで、絶縁体２５０、および酸化物２３０ｃを形成する。トランジスタ２００のチャネル長方向の一方においては、絶縁体２５０の側面、および酸化物２３０ｃの側面は、略一致し、絶縁体２７３ａ上に配置されることが好ましい。また、トランジスタ２００のチャネル長方向の他方においては、絶縁体２５０の側面、および酸化物２３０ｃの側面は、略一致し、絶縁体２７３ｂ上に配置されることが好ましい。また、トランジスタ２００のチャネル幅方向の一方においては、絶縁体２５０の側面、および酸化物２３０ｃの側面は、略一致し、絶縁体２２２上に配置されることが好ましい（図１１参照。）。

次に絶縁体２７４を成膜する。尚、絶縁体２７４の成膜前に、加熱処理を行ってもよい。該加熱処理は、減圧下で行い、大気に暴露することなく、連続して絶縁体２７４を成膜してもよい。この様に加熱処理を行うことによって、表面吸着水を除去し、表面吸着水が再付着することなく絶縁体２７４の成膜ができるので好ましい。

絶縁体２７４は、水、水素など不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体を用いることが好ましい。絶縁体２７４となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。本実施の形態では、ＣＶＤ法によって窒化シリコン膜を成膜する（図１２参照。）。

次に、絶縁体２７４上に、絶縁体２８０となる絶縁膜を成膜する。絶縁体２８０となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。次に、絶縁体２８０となる絶縁膜にＣＭＰ処理を行い、上面が平坦な絶縁体２８０を形成する。

次に、加熱処理を行ってもよい。本実施の形態では、窒素雰囲気にて４００℃の温度で１時間の処理を行う。該加熱処理によって、絶縁体２５０および絶縁体２８０中の水分濃度および水素濃度を低減させることができる。

次に、絶縁体２８０上に、絶縁体２８２となる絶縁膜を形成してもよい。絶縁体２８２となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。絶縁体２８２となる絶縁膜としては、例えば、スパッタリング法によって、酸化アルミニウム膜を成膜することが好ましい。

次に、加熱処理を行ってもよい。本実施の形態では、窒素雰囲気にて４００℃の温度で１時間の処理を行う。該加熱処理によって、絶縁体２８２の成膜によって添加された酸素を絶縁体２８０へ注入することができる。

次に絶縁体２８２上に、絶縁体２８１となる絶縁体を成膜してもよい。絶縁体２８１となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。本実施の形態では、ＣＶＤ法によって、窒化シリコンを成膜する（図１３参照。）。

次に、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７４、絶縁体２８０、絶縁体２８２および絶縁体２８１に、導電体２４２ａに達する開口を形成する。ならびに、絶縁体２７２ｂ、絶縁体２７３ｂ、絶縁体２７４、絶縁体２８０、絶縁体２８２および絶縁体２８１に、導電体２４２ｂに達する開口を形成する。当該開口の形成は、リソグラフィー法を用いて行えばよい。

次に、絶縁体２４１となる絶縁膜を成膜し、当該絶縁膜を異方性エッチングして絶縁体２４１を形成する。絶縁体２４１となる絶縁膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法、またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。絶縁体２４１となる絶縁膜としては、酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁膜を用いることが好ましい。例えば、ＡＬＤ法によって、酸化アルミニウム膜を成膜することが好ましい。また、窒化シリコン膜を用いてもよい。また、異方性エッチングは、例えばドライエッチング法などを行えばよい。開口の側壁部をこのような構成とすることで、外方からの酸素の透過を抑制し、次に形成する導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂの酸化を防止することができる。また、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂから、水、水素などの不純物が外部に拡散することを防ぐことができる。

次に、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜を成膜する。導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜は、水、水素など不純物の透過を抑制する機能を有する導電体を含む積層構造とすることが望ましい。たとえば、窒化タンタル、窒化チタンなどと、タングステン、モリブデン、銅など、と、の積層とすることができる。導電体２４０となる導電膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。

次に、ＣＭＰ処理を行うことで、導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂとなる導電膜の一部を除去し、絶縁体２８１を露出する。その結果、上記開口のみに、当該導電膜が残存することで上面が平坦な導電体２４０ａおよび導電体２４０ｂを形成することができる。なお、当該ＣＭＰ処理により、絶縁体２８１の一部が除去される場合がある。

次に、導電体２４６となる導電膜を成膜する。導電体２４６となる導電膜の成膜は、スパッタリング法、ＣＶＤ法、ＭＢＥ法、ＰＬＤ法またはＡＬＤ法などを用いて行うことができる。

次に、導電体２４６となる導電膜をリソグラフィー法によって加工し、導電体２４０ａの上面と接する導電体２４６ａおよび導電体２４０ｂの上面と接する導電体２４６ｂを形成する（図１参照。）。

以上により、図１に示すトランジスタ２００を有する半導体装置を作製することができる。図５乃至図１３に示すように、本実施の形態に示す半導体装置の作製方法を用いることで、トランジスタ２００を作製することができる。

＜半導体装置の変形例１＞
以下では、図２を用いて、先の＜半導体装置の構成例＞で示したものとは異なる、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の一例について説明する。

図２（Ａ）、図２（Ｂ）、および図２（Ｃ）は、本発明の一態様に係るトランジスタ２００、およびトランジスタ２００周辺の上面図および断面図である。

図２（Ａ）は、トランジスタ２００を有する半導体装置の上面図である。また、図２（Ｂ）、および図２（Ｃ）は、当該半導体装置の断面図である。ここで、図２（Ｂ）は、図２（Ａ）にＡ１−Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００のチャネル長方向の断面図でもある。また、図２（Ｃ）は、図２（Ａ）にＡ３−Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００のチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図２（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。

なお、図２に示す半導体装置において、＜半導体装置の構成例＞に示した半導体装置（図１および図４参照。）を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。

以下、トランジスタ２００の構成について、それぞれ図２を用いて説明する。なお、本項目においても、トランジスタ２００の構成材料については＜半導体装置の構成例＞で詳細に説明した材料を用いることができる。

図２（Ｂ）に示すように絶縁体２２４の形状が、図１に示すトランジスタ２００と異なる。また、絶縁体２２４の膜厚が、図１に示すトランジスタ２００よりも厚い構成となっている。

図２に示すように、トランジスタ２００は、絶縁体２１４上の導電体２０５（導電体２０５ａ、および導電体２０５ｂ）と、導電体２０５の側面、および絶縁体２１４の上面の一部と接する絶縁体２１５と、絶縁体２１５上の絶縁体２１６と、絶縁体２１６上、絶縁体２１５上、および導電体２０５上の絶縁体２２２と、絶縁体２２２上の絶縁体２２４と、絶縁体２２４上の酸化物２３０ａと、酸化物２３０ａ上の酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｂの上面と接する導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂと、絶縁体２２４の上面の一部、酸化物２３０ａの側面、酸化物２３０ｂの側面、導電体２４２ａの側面、および導電体２４２ａ上面と接する絶縁体２７２ａと、絶縁体２２４の上面の一部、酸化物２３０ａの側面、酸化物２３０ｂの側面、導電体２４２ｂの側面、および導電体２４２ｂの上面と接する絶縁体２７２ｂと、絶縁体２７２ａ上の絶縁体２７３ａと、絶縁体２７２ｂ上の絶縁体２７３ｂと、絶縁体２７３ａ上、絶縁体２７３ｂ上、導電体２４２ａの側面、導電体２４２ｂの側面、および酸化物２３０ｂの上面と接する酸化物２３０ｃと、酸化物２３０ｃ上の絶縁体２５０と、絶縁体２５０上の酸化物２５２と、酸化物２５２上の導電体２６０（導電体２６０ａ、および導電体２６０ｂ）と、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、酸化物２０３ｃ、絶縁体２５０、酸化物２５２、および導電体２６０を覆う絶縁体２７４と、を有する。また、絶縁体２７４は、絶縁体２２２の上面の一部、絶縁体２２４の側面、絶縁体２７２ａの側面、絶縁体２７２ｂの側面、絶縁体２７３ａの側面、絶縁体２７３ｂの側面、酸化物２３０ｃの側面、酸化物２５２の側面、導電体２６０の側面、および導電体２６０の上面と接する。

また、図２（Ｂ）に示すようにトランジスタ２００のチャネル長方向の一方においては、絶縁体２２４の側面、絶縁体２７２ａの側面、および絶縁体２７３ａの側面は概略面一であり、絶縁体２２２上に配置される。また、酸化物２３０ｃの側面、および絶縁体２５０の側面は概略面一であり、絶縁体２７３ａ上に配置される。また、トランジスタ２００のチャネル長方向の他方においては、絶縁体２２４の側面、絶縁体２７２ｂの側面、および絶縁体２７３ｂの側面は概略面一であり、絶縁体２２２上に配置される。また、酸化物２３０ｃの側面、および絶縁体２５０の側面は概略面一であり、絶縁体２７３ｂ上に配置される。

また、図２（Ｃ）に示すようにトランジスタ２００のチャネル幅方向の一方においては、酸化物２３０ｃの側面、および絶縁体２５０の側面は概略面一であり、絶縁体２２２上に配置される。

絶縁体２２４をこのような形状とするためには、トランジスタ２００を有する半導体装置の作製工程において、酸化物２３０ａの形成工程に続けて、絶縁体２２４を形成せず、後の工程である絶縁体２７２ａ、および絶縁体２７２ｂの形成工程に続けて、絶縁体２２４を形成すればよい。その他の構成および効果については、半導体装置の構成例の説明を参酌することができる。

＜半導体装置の変形例２＞
以下では、図３を用いて、先の＜半導体装置の構成例＞で示したものとは異なる、本発明の一態様に係るトランジスタ２００を有する半導体装置の一例について説明する。

図３（Ａ）、図３（Ｂ）、および図３（Ｃ）は、本発明の一態様に係るトランジスタ２００、およびトランジスタ２００周辺の上面図および断面図である。

図３（Ａ）は、トランジスタ２００を有する半導体装置の上面図である。また、図３（Ｂ）、および図３（Ｃ）は、当該半導体装置の断面図である。ここで、図３（Ｂ）は、図３（Ａ）にＡ１−Ａ２の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００のチャネル長方向の断面図でもある。また、図３（Ｃ）は、図３（Ａ）にＡ３−Ａ４の一点鎖線で示す部位の断面図であり、トランジスタ２００のチャネル幅方向の断面図でもある。なお、図３（Ａ）の上面図では、図の明瞭化のために一部の要素を省いて図示している。

なお、図３に示す半導体装置において、＜半導体装置の構成例＞に示した半導体装置（図１および図４参照。）を構成する構造と同機能を有する構造には、同符号を付記する。

以下、トランジスタ２００の構成について、それぞれ図３を用いて説明する。なお、本項目においても、トランジスタ２００の構成材料については＜半導体装置の構成例＞で詳細に説明した材料を用いることができる。

図３に示すように、＜半導体装置の構成例＞に示した半導体装置とは、酸化物２３０ｃ上に酸化物２３０ｄが設けられている点、および絶縁体２７４の下に絶縁体２５４が設けられている点が異なる。

トランジスタ２００は、図３に示すように、酸化物２３０ｂおよび酸化物２３０ｃよりも広いバンドギャップを有する酸化物２３０ａおよび酸化物２３０ｄによって、酸化物２３０ｂおよび酸化物２３０ｃを挟む構成としてもよい。このような構成とすることで埋め込みチャネルを実現することができる。つまり、このような構成は、酸化物２３０ａと、酸化物２３０ｃとの界面近傍および酸化物２３０ｃと、酸化物２３０ｄとの界面近傍において、より多くの電流が流れるようなパスが形成されることになる。そのため、電流パスにおいて、それぞれの界面近傍でのトラップ準位を少なくすることが出来る。その結果、オン電流の増大や、信頼性の向上などを図ることができる。なお、これらの場合、酸化物２３０ｄと、酸化物２３０ｂとは、異なる組成の酸化物半導体を用いていてもよいし、概ね同じ組成の酸化物半導体を用いていてもよい。

または、例えば、酸化物２３０ａと、酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｃと、酸化物２３０ｄとにおいて、概ね同じ組成を有するスパッタリングターゲット部材を用いつつ、それぞれで異なるプロセス条件で成膜してもよい。例えば、酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｃとは、概ね同じプロセス条件で成膜し、酸化物２３０ａと、酸化物２３０ｄとは、概ね同じプロセス条件で成膜し、酸化物２３０ａと、酸化物２３０ｂとは、それぞれ異なるプロセス条件で成膜してもよい。

電子親和力または伝導帯下端のエネルギーＥｃは、図２１に示すように、真空準位と価電子帯上端のエネルギーＥｖとの差であるイオン化ポテンシャルＩｐと、バンドギャップＥｇから求めることができる。イオン化ポテンシャルＩｐは、例えば、紫外線光電子分光分析（ＵＰＳ：ＵｌｔｒａｖｉｏｌｅｔＰｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）装置を用いて測定することができる。バンドギャップＥｇは、例えば、分光エリプソメータを用いて測定することができる。

また、トランジスタ２００の構成において、酸化物２３０ｂの上面、および側面に、ソース電極またはドレイン電極を形成する際の加工ダメージが生じる場合がある。つまり、酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｃとの界面近傍に加工ダメージによる欠陥が生じる場合がある。酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｃとを等しいか、または近傍の組成の酸化物半導体を用いることで、酸化物２３０ｂのＥｃと、酸化物２３０ｃと、のＥｃ差は同じか小さいので、チャネルが形成される領域は、酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｃとの界面近傍だけではなく、酸化物２３０ｃより小さいＥｃである酸化物２３０ｄと酸化物２３０ｃと、の界面近傍にも形成される。

よって、加工ダメージを有する酸化物２３０ｂと、酸化物２３０ｃとの界面近傍の影響を小さくすることができる。さらに、酸化物２３０ｃとなる酸化物、酸化物２３０ｄとなる酸化物および第１のゲート絶縁体としての機能を有する絶縁体２５０となる絶縁体を積層して成膜した後に、酸化物２３０ｃとなる酸化物、酸化物２３０ｄとなる酸化物および絶縁体２５０となる絶縁体を加工し、酸化物２３０ｃ、酸化物２３０ｄおよび絶縁体２５０を形成すれば、酸化物２３０ｃと、酸化物２３０ｄと、の界面近傍および酸化物２３０ｄと、絶縁体２５０と、の界面近傍は、加工によるダメージの影響を受けず良好となる。

以上により、トランジスタ２００の信頼性を向上させることができる。また、酸化物２３０ｂの全体、酸化物２３０ｃの一部および酸化物２３０ｄの一部が、導電体２６０の電界によって取り囲まれていることから非導通時の電流（オフ電流）を小さくすることができる。

また、図３（Ｂ）（Ｃ）に示すように、絶縁体２５４は、絶縁体２２２の上面の一部、酸化物２３０ｃの側面、酸化物２３０ｄの側面、絶縁体２５０の側面、絶縁体２５０の上面、導電体２６０の側面、および導電体２６０の上面に接することが好ましい。さらに、絶縁体２５４上に絶縁体２７４が配置されていることが好ましい。これにより、絶縁体２８０は、絶縁体２５４および絶縁体２７４によって、導電体２６０、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および酸化物２３０と離隔される。このような構造とすることで、絶縁体２８０に含まれる水素や水などの不純物、またはトランジスタ２００の外方から水素などの不純物が導電体２６０、絶縁体２２４、絶縁体２５０、および酸化物２３０へ浸入することを抑制できるので、トランジスタ２００に良好な電気特性および信頼性を与えることができる。絶縁体２５４は、水素や水などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有することが好ましい。絶縁体２５４として、酸化アルミニウムまたは酸化ハフニウムを用いることができる。その他の構成および効果については、半導体装置の構成例の説明を参酌することができる。

本発明の一態様により、オン電流の大きい半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、高い周波数特性を有する半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、信頼性が良好な半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、微細化または高集積化が可能な半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、良好な電気特性を有する半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、オフ電流の小さい半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、消費電力が低減された半導体装置を提供することができる。または、本発明の一態様により、生産性の高い半導体装置を提供することができる。

以上、本実施の形態に示す構成、方法などは、他の実施の形態や実施例に示す構成、方法などと適宜組み合わせて用いることができる。

（実施の形態２）
本実施の形態では、半導体装置の一形態を、図１４および図１５を用いて説明する。

［記憶装置１］
本発明の一態様である容量素子を使用した、半導体装置（記憶装置）の一例を図１４に示す。本発明の一態様の半導体装置は、トランジスタ２００はトランジスタ３００の上方に設けられ、容量素子１００はトランジスタ３００、およびトランジスタ２００の上方に設けられている。なお、トランジスタ２００として、先の実施の形態で説明したトランジスタ２００を用いることができる。

トランジスタ２００は、酸化物半導体を有する半導体層にチャネルが形成されるトランジスタである。トランジスタ２００は、オフ電流が小さいため、これを記憶装置に用いることにより長期にわたり記憶内容を保持することが可能である。つまり、リフレッシュ動作を必要としない、あるいは、リフレッシュ動作の頻度が極めて少ないため、記憶装置の消費電力を十分に低減することができる。

図１４に示す半導体装置において、配線１００１はトランジスタ３００のソースと電気的に接続され、配線１００２はトランジスタ３００のドレインと電気的に接続されている。また、配線１００３はトランジスタ２００のソースおよびドレインの一方と電気的に接続され、配線１００４はトランジスタ２００の第１のゲートと電気的に接続され、配線１００６はトランジスタ２００の第２のゲートと電気的に接続されている。そして、トランジスタ３００のゲート、およびトランジスタ２００のソースおよびドレインの他方は、容量素子１００の電極の一方と電気的に接続され、配線１００５は容量素子１００の電極の他方と電気的に接続されている。

また、図１４に示す記憶装置は、マトリクス状に配置することで、メモリセルアレイを構成することができる。

＜トランジスタ３００＞
トランジスタ３００は、基板３１１上に設けられ、ゲート電極として機能する導電体３１６、ゲート絶縁体として機能する絶縁体３１５、基板３１１の一部からなる半導体領域３１３、およびソース領域またはドレイン領域として機能する低抵抗領域３１４ａ、および低抵抗領域３１４ｂを有する。トランジスタ３００は、ｐチャネル型、あるいはｎチャネル型のいずれでもよい。

ここで、図１４に示すトランジスタ３００はチャネルが形成される半導体領域３１３（基板３１１の一部）が凸形状を有する。また、半導体領域３１３の側面および上面を、絶縁体３１５を介して、導電体３１６が覆うように設けられている。なお、導電体３１６は仕事関数を調整する材料を用いてもよい。このようなトランジスタ３００は半導体基板の凸部を利用していることからＦＩＮ型トランジスタとも呼ばれる。なお、凸部の上部に接して、凸部を形成するためのマスクとして機能する絶縁体を有していてもよい。また、ここでは半導体基板の一部を加工して凸部を形成する場合を示したが、ＳＯＩ基板を加工して凸形状を有する半導体膜を形成してもよい。

なお、図１４に示すトランジスタ３００は一例であり、その構造に限定されず、回路構成や駆動方法に応じて適切なトランジスタを用いればよい。

＜容量素子１００＞
容量素子１００は、トランジスタ２００の上方に設けられる。容量素子１００は、第１の電極として機能する導電体１１０と、第２の電極として機能する導電体１２０、および誘電体として機能する絶縁体１３０とを有する。

また、例えば、導電体２４６上に設けた導電体１１２と、導電体１１０は、同時に形成することができる。なお、導電体１１２は、容量素子１００、トランジスタ２００、またはトランジスタ３００と電気的に接続するプラグ、または配線としての機能を有する。

図１４では、導電体１１２、および導電体１１０は単層構造を示したが、当該構成に限定されず、２層以上の積層構造でもよい。例えば、バリア性を有する導電体と導電性が高い導電体との間に、バリア性を有する導電体、および導電性が高い導電体に対して密着性が高い導電体を形成してもよい。

また、絶縁体１３０は、例えば、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、酸化アルミニウム、酸化窒化アルミニウム、窒化酸化アルミニウム、窒化アルミニウム、酸化ハフニウム、酸化窒化ハフニウム、窒化酸化ハフニウム、窒化ハフニウムなどを用いればよく、積層または単層で設けることができる。

例えば、絶縁体１３０には、酸化窒化シリコンなどの絶縁耐力が大きい材料と、高誘電率（ｈｉｇｈ−ｋ）材料との積層構造を用いることが好ましい。当該構成により、容量素子１００は、高誘電率（ｈｉｇｈ−ｋ）の絶縁体を有することで、十分な容量を確保でき、絶縁耐力が大きい絶縁体を有することで、絶縁耐力が向上し、容量素子１００の静電破壊を抑制することができる。

なお、高誘電率（ｈｉｇｈ−ｋ）材料（高い比誘電率の材料）の絶縁体としては、酸化ガリウム、酸化ハフニウム、酸化ジルコニウム、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化物、アルミニウムおよびハフニウムを有する酸化窒化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化物、シリコンおよびハフニウムを有する酸化窒化物またはシリコンおよびハフニウムを有する窒化物などがある。

一方、絶縁耐力が大きい材料（低い比誘電率の材料）としては、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンまたは樹脂などがある。

＜配線層＞
各構造体の間には、層間膜、配線、およびプラグ等が設けられた配線層が設けられていてもよい。また、配線層は、設計に応じて複数層設けることができる。ここで、プラグまたは配線としての機能を有する導電体は、複数の構造をまとめて同一の符号を付与する場合がある。また、本明細書等において、配線と、配線と電気的に接続するプラグとが一体物であってもよい。すなわち、導電体の一部が配線として機能する場合、および導電体の一部がプラグとして機能する場合もある。

例えば、トランジスタ３００上には、層間膜として、絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２４、および絶縁体３２６が順に積層して設けられている。また、絶縁体３２０、絶縁体３２２、絶縁体３２４、および絶縁体３２６には容量素子１００、またはトランジスタ２００と電気的に接続する導電体３２８、および導電体３３０等が埋め込まれている。なお、導電体３２８、および導電体３３０はプラグ、または配線として機能する。

また、層間膜として機能する絶縁体は、その下方の凹凸形状を被覆する平坦化膜として機能してもよい。例えば、絶縁体３２２の上面は、平坦性を高めるために化学機械研磨（ＣＭＰ）法等を用いた平坦化処理により平坦化されていてもよい。

絶縁体３２６、および導電体３３０上に、配線層を設けてもよい。例えば、図１４において、絶縁体３５０、絶縁体３５２、及び絶縁体３５４が順に積層して設けられている。また、絶縁体３５０、絶縁体３５２、及び絶縁体３５４には、導電体３５６が形成されている。導電体３５６は、プラグ、または配線として機能する。

同様に、絶縁体２１０、絶縁体２１２、絶縁体２１４、および絶縁体２１６には、導電体２１８、及びトランジスタ２００を構成する導電体（導電体２０５）等が埋め込まれている。なお、導電体２１８は、容量素子１００、またはトランジスタ３００と電気的に接続するプラグ、または配線としての機能を有する。さらに、導電体１２０、および絶縁体１３０上には、絶縁体１５０が設けられている。

層間膜として用いることができる絶縁体としては、絶縁性を有する酸化物、窒化物、酸化窒化物、窒化酸化物、金属酸化物、金属酸化窒化物、金属窒化酸化物などがある。

例えば、層間膜として機能する絶縁体には、誘電率が低い材料を層間膜とすることで、配線間に生じる寄生容量を低減することができる。したがって、絶縁体の機能に応じて、材料を選択するとよい。

例えば、絶縁体２１６、絶縁体２１２、絶縁体３５２、および絶縁体３５４等には、誘電率の低い絶縁体を有することが好ましい。例えば、当該絶縁体は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコン、空孔を有する酸化シリコンまたは樹脂などを有することが好ましい。または、当該絶縁体は、酸化シリコン、酸化窒化シリコン、窒化酸化シリコン、窒化シリコン、フッ素を添加した酸化シリコン、炭素を添加した酸化シリコン、炭素および窒素を添加した酸化シリコンまたは空孔を有する酸化シリコンと、樹脂と、の積層構造を有することが好ましい。酸化シリコンおよび酸化窒化シリコンは、熱的に安定であるため、樹脂と組み合わせることで、熱的に安定かつ誘電率の低い積層構造とすることができる。樹脂としては、例えば、ポリエステル、ポリオレフィン、ポリアミド（ナイロン、アラミドなど）、ポリイミド、ポリカーボネートまたはアクリルなどがある。

また、酸化物半導体を用いたトランジスタは、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体で囲うことによって、トランジスタの電気特性を安定にすることができる。従って、絶縁体２１０、および絶縁体３５０等には、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体を用いればよい。

水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体としては、例えば、ホウ素、炭素、窒素、酸素、フッ素、マグネシウム、アルミニウム、シリコン、リン、塩素、アルゴン、ガリウム、ゲルマニウム、イットリウム、ジルコニウム、ランタン、ネオジム、ハフニウムまたはタンタルを含む絶縁体を、単層で、または積層で用いればよい。具体的には、水素などの不純物および酸素の透過を抑制する機能を有する絶縁体として、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジム、酸化ハフニウムまたは酸化タンタルなどの金属酸化物、窒化酸化シリコンまたは窒化シリコンなどを用いることができる。

配線、プラグに用いることができる導電体としては、アルミニウム、クロム、銅、銀、金、白金、タンタル、ニッケル、チタン、モリブデン、タングステン、ハフニウム、バナジウム、ニオブ、マンガン、マグネシウム、ジルコニウム、ベリリウム、インジウム、ルテニウムなどから選ばれた金属元素を１種以上含む材料を用いることができる。また、リン等の不純物元素を含有させた多結晶シリコンに代表される、電気伝導度が高い半導体、ニッケルシリサイドなどのシリサイドを用いてもよい。

例えば、導電体３２８、導電体３３０、導電体３５６、導電体２１８、および導電体１１２等としては、上記の材料で形成される金属材料、合金材料、金属窒化物材料、または金属酸化物材料などの導電性材料を、単層または積層して用いることができる。耐熱性と導電性を両立するタングステンやモリブデンなどの高融点材料を用いることが好ましく、タングステンを用いることが好ましい。または、アルミニウムや銅などの低抵抗導電性材料で形成することが好ましい。低抵抗導電性材料を用いることで配線抵抗を低くすることができる。

＜＜酸化物半導体が設けられた層の配線、またはプラグ＞＞
なお、トランジスタ２００に、酸化物半導体を用いる場合、酸化物半導体の近傍に過剰酸素領域を有する絶縁体が設けることがある。その場合、該過剰酸素領域を有する絶縁体と、該過剰酸素領域を有する絶縁体に設ける導電体との間に、バリア性を有する絶縁体を設けることが好ましい。

例えば、図１４では、絶縁体２２４、およびトランジスタ２００は、バリア性を有する絶縁体２２２、絶縁体２５４、および絶縁体２７４により、封止する構造とすることができる。また、絶縁体２４１ｃは導電体２４０ｃおよび絶縁体２８０の一部と接しており、絶縁体２８０に含まれている、水または水素などの不純物、および酸素の導電体２４０ｃへの拡散を抑制することができる。

つまり、絶縁体２４１ｃを設けることで、絶縁体２８０が有する過剰酸素が、導電体２４０ｃに吸収されることを抑制することができる。また、絶縁体２４１ｃを有することで、不純物である水素が、導電体２４０ｃを介して、トランジスタ２００へ拡散することを抑制することができる。

なお、絶縁体２４１ｃとしては、水または水素などの不純物、および酸素の拡散を抑制する機能を有する絶縁性材料を用いるとよい。例えば、酸化アルミニウムまたは酸化ハフニウムなどを用いることが好ましい。また、他にも、例えば、酸化マグネシウム、酸化ガリウム、酸化ゲルマニウム、酸化イットリウム、酸化ジルコニウム、酸化ランタン、酸化ネオジムまたは酸化タンタルなどの金属酸化物、窒化酸化シリコンまたは窒化シリコンなどを用いることができる。

以上が構成例についての説明である。本構成を用いることで、酸化物半導体を有するトランジスタを用いた半導体装置において、電気特性の変動を抑制すると共に、信頼性を向上させることができる。または、オン電流が大きい酸化物半導体を有するトランジスタを提供することができる。または、オフ電流が小さい酸化物半導体を有するトランジスタを提供することができる。または、消費電力が低減された半導体装置を提供することができる。

［記憶装置２］
本発明の一態様である半導体装置を使用した、記憶装置の一例を図１５に示す。図１５に示す記憶装置は、図１４で示したトランジスタ２００、トランジスタ３００、および容量素子１００を有する半導体装置に加え、トランジスタ４００を有している。

トランジスタ４００は、トランジスタ２００の第２のゲート電圧を制御することができる。例えば、トランジスタ４００の第１のゲート及び第２のゲートをソースとダイオード接続し、トランジスタ４００のソースと、トランジスタ２００の第２のゲートを接続する構成とする。当該構成でトランジスタ２００の第２のゲートの負電位を保持するとき、トランジスタ４００の第１のゲートーソース間の電圧および、第２のゲートーソース間の電圧は、０Ｖになる。トランジスタ４００において、第２のゲート電圧及び第１のゲート電圧が０Ｖのときのドレイン電流が非常に小さいため、トランジスタ２００およびトランジスタ４００に電源供給をしなくても、トランジスタ２００の第２のゲートの負電位を長時間維持することができる。これにより、トランジスタ２００、およびトランジスタ４００を有する記憶装置は、長期にわたり記憶内容を保持することが可能である。

従って、図１５において、配線１００１はトランジスタ３００のソースと電気的に接続され、配線１００２はトランジスタ３００のドレインと電気的に接続されている。また、配線１００３はトランジスタ２００のソースおよびドレインの一方と電気的に接続され、配線１００４はトランジスタ２００のゲートと電気的に接続され、配線１００６はトランジスタ２００のバックゲートと電気的に接続されている。そして、トランジスタ３００のゲート、およびトランジスタ２００のソースおよびドレインの他方は、容量素子１００の電極の一方と電気的に接続され、配線１００５は容量素子１００の電極の他方と電気的に接続されている。配線１００７はトランジスタ４００のソースと電気的に接続され、配線１００８はトランジスタ４００のゲートと電気的に接続され、配線１００９はトランジスタ４００のバックゲートと電気的に接続され、配線１０１０はトランジスタ４００のドレインと電気的に接続されている。ここで、配線１００６、配線１００７、配線１００８、及び配線１００９が電気的に接続されている。

また、図１５に示す記憶装置は、図１４に示す記憶装置と同様に、マトリクス状に配置することで、メモリセルアレイを構成することができる。なお、１個のトランジスタ４００は、複数のトランジスタ２００の第２のゲート電圧を制御することができる。そのため、トランジスタ４００は、トランジスタ２００よりも、少ない個数を設けるとよい。

＜トランジスタ４００＞
トランジスタ４００は、トランジスタ２００と、同じ層に形成されており、並行して作製することができるトランジスタである。トランジスタ４００は、第１のゲート電極として機能する導電体４６０（導電体４６０ａ、および導電体４６０ｂ）と、第２のゲート電極として機能する導電体４０５（導電体４０５ａ、および導電体４０５ｂ）と、ゲート絶縁層として機能する絶縁体２２２、絶縁体２２４、および絶縁体４５０と、絶縁体４５０上に配置された酸化物４５２と、チャネルが形成される領域を有する酸化物４３０ｃと、ソースまたはドレインの一方として機能する導電体４４２ａ、酸化物４３２ｂ、および酸化物４３２ａと、ソースまたはドレインの他方として機能する導電体４４２ｂ、酸化物４３１ｂ、および酸化物４３１ａと、導電体４４０（導電体４４０ａ、および導電体４４０ｂ）と、を有する。

トランジスタ４００において、導電体４０５は、導電体２０５と、同じ層である。酸化物４３１ａ、および酸化物４３２ａは、酸化物２３０ａと、同じ層であり、酸化物４３１ｂ、および酸化物４３２ｂは、酸化物２３０ｂと、同じ層である。導電体４４２は、導電体２４２と、同じ層である。酸化物４３０ｃは、酸化物２３０ｃは同じ層である。絶縁体４５０は、絶縁体２５０と、同じ層である。酸化物４５２は、酸化物２５２と、同じ層である。導電体４６０は、導電体２６０と、同じ層である。

なお、同じ層に形成された構造体は、同時に形成することができる。例えば、酸化物４３０ｃは、酸化物２３０ｃとなる酸化膜を加工することで、形成することができる。

トランジスタ４００の活性層として機能する酸化物４３０ｃは、酸化物２３０などと同様に、酸素欠損が低減され、水素または水などの不純物が低減されている。これにより、トランジスタ４００のしきい値電圧を０Ｖより大きくし、オフ電流を低減し、第２のゲート電圧及び第１のゲート電圧が０Ｖのときのドレイン電流を非常に小さくすることができる。

＜＜ダイシングライン＞＞
以下では、大面積基板を半導体素子ごとに分断することによって、複数の半導体装置をチップ状で取り出す場合に設けられるダイシングライン（スクライブライン、分断ライン、又は切断ラインと呼ぶ場合がある）について説明する。分断方法としては、例えば、まず、基板に半導体素子を分断するための溝（ダイシングライン）を形成した後、ダイシングラインにおいて切断し、複数の半導体装置に分断（分割）する場合がある。

ここで、例えば、図１５に示すように、絶縁体２７４と、絶縁体２１５とが接する領域をダイシングラインとなるように設計することが好ましい。つまり、複数のトランジスタ２００を有するメモリセル、およびトランジスタ４００の外縁に設けられるダイシングラインとなる領域近傍において、絶縁体２２２、および絶縁体２１６に開口を設けた後に、絶縁体２７４を形成すればよい。

つまり、上記絶縁体２２２、および絶縁体２１６に設けた開口において、絶縁体２１４と、絶縁体２７４とが接する。例えば、このとき、絶縁体２１５と、絶縁体２７４とを同材料及び同方法を用いて形成してもよい。絶縁体２１５、および絶縁体２７４を、同材料、および同方法で設けることで、密着性を高めることができる。絶縁体２１５および絶縁体２７４としては、例えば、窒化シリコンを用いることが好ましい。

当該構造により、絶縁体２１５、および絶縁体２７４で、絶縁体２２４、トランジスタ２００、およびトランジスタ４００を包み込むことができる。絶縁体２１５、および絶縁体２７４は、酸素、水素、及び水の拡散を抑制する機能を有しているため、本実施の形態に示す半導体素子が形成された回路領域ごとに、基板を分断することにより、複数のチップに加工しても、分断した基板の側面方向から、水素又は水などの不純物が混入し、トランジスタ２００、およびトランジスタ４００に拡散することを防ぐことができる。

また、当該構造により、絶縁体２２４の過剰酸素が絶縁体２７４、および絶縁体２１５の外部に拡散することを防ぐことができる。従って、絶縁体２２４の過剰酸素は、効率的にトランジスタ２００、またはトランジスタ４００におけるチャネルが形成される酸化物に供給される。当該酸素により、トランジスタ２００、またはトランジスタ４００におけるチャネルが形成される酸化物の酸素欠損を低減することができる。これにより、トランジスタ２００、またはトランジスタ４００におけるチャネルが形成される酸化物を欠陥準位密度が低い、安定な特性を有する酸化物半導体とすることができる。つまり、トランジスタ２００、またはトランジスタ４００の電気特性の変動を抑制すると共に、信頼性を向上させることができる。

本実施の形態は、他の実施の形態および実施例などに記載した構成と適宜組み合わせて実施することが可能である。

（実施の形態３）
本実施の形態では、図１６および図１７を用いて、本発明の一態様に係る、酸化物を半導体に用いたトランジスタ（以下、ＯＳトランジスタと呼ぶ場合がある。）、および容量素子が適用されている記憶装置（以下、ＯＳメモリ装置と呼ぶ場合がある。）について説明する。ＯＳメモリ装置は、少なくとも容量素子と、容量素子の充放電を制御するＯＳトランジスタを有する記憶装置である。ＯＳトランジスタのオフ電流は極めて小さいので、ＯＳメモリ装置は優れた保持特性をもち、不揮発性メモリとして機能させることができる。

＜記憶装置の構成例＞
図１６（Ａ）にＯＳメモリ装置の構成の一例を示す。記憶装置１４００は、周辺回路１４１１、およびメモリセルアレイ１４７０を有する。周辺回路１４１１は、行回路１４２０、列回路１４３０、出力回路１４４０、コントロールロジック回路１４６０を有する。

列回路１４３０は、例えば、列デコーダ、プリチャージ回路、センスアンプ、および書き込み回路等を有する。プリチャージ回路は、配線をプリチャージする機能を有する。センスアンプは、メモリセルから読み出されたデータ信号を増幅する機能を有する。なお、上記配線は、メモリセルアレイ１４７０が有するメモリセルに接続されている配線であり、詳しくは後述する。増幅されたデータ信号は、出力回路１４４０を介して、データ信号ＲＤＡＴＡとして記憶装置１４００の外部に出力される。また、行回路１４２０は、例えば、行デコーダ、ワード線ドライバ回路等を有し、アクセスする行を選択することができる。

記憶装置１４００には、外部から電源電圧として低電源電圧（ＶＳＳ）、周辺回路１４１１用の高電源電圧（ＶＤＤ）、メモリセルアレイ１４７０用の高電源電圧（ＶＩＬ）が供給される。また、記憶装置１４００には、制御信号（ＣＥ、ＷＥ、ＲＥ）、アドレス信号ＡＤＤＲ、データ信号ＷＤＡＴＡが外部から入力される。アドレス信号ＡＤＤＲは、行デコーダおよび列デコーダに入力され、ＷＤＡＴＡは書き込み回路に入力される。

コントロールロジック回路１４６０は、外部からの入力信号（ＣＥ、ＷＥ、ＲＥ）を処理して、行デコーダ、列デコーダの制御信号を生成する。ＣＥは、チップイネーブル信号であり、ＷＥは、書き込みイネーブル信号であり、ＲＥは、読み出しイネーブル信号である。コントロールロジック回路１４６０が処理する信号は、これに限定されるものではなく、必要に応じて、他の制御信号を入力すればよい。

メモリセルアレイ１４７０は、行列状に配置された、複数個のメモリセルＭＣと、複数の配線を有する。なお、メモリセルアレイ１４７０と行回路１４２０とを接続している配線の数は、メモリセルＭＣの構成、一列に有するメモリセルＭＣの数などによって決まる。また、メモリセルアレイ１４７０と列回路１４３０とを接続している配線の数は、メモリセルＭＣの構成、一行に有するメモリセルＭＣの数などによって決まる。

なお、図１６（Ａ）において、周辺回路１４１１とメモリセルアレイ１４７０を同一平面上に形成する例について示したが、本実施の形態はこれに限られるものではない。例えば、図１６（Ｂ）に示すように、周辺回路１４１１の一部の上に、メモリセルアレイ１４７０が重なるように設けられてもよい。例えば、メモリセルアレイ１４７０の下に重なるように、センスアンプを設ける構成にしてもよい。

図１７に上述のメモリセルＭＣに適用できるメモリセルの構成例について説明する。

［ＤＯＳＲＡＭ］
図１７（Ａ）乃至（Ｃ）に、ＤＲＡＭのメモリセルの回路構成例を示す。本明細書等において、１ＯＳトランジスタ１容量素子型のメモリセルを用いたＤＲＡＭを、ＤＯＳＲＡＭ（ＤｙｎａｍｉｃＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＲａｎｄｏｍＡｃｃｅｓｓＭｅｍｏｒｙ）と呼ぶ場合がある。図１７（Ａ）に示す、メモリセル１４７１は、トランジスタＭ１と、容量素子ＣＡと、を有する。なお、トランジスタＭ１は、ゲート（フロントゲートと呼ぶ場合がある。）、及びバックゲートを有する。

トランジスタＭ１の第１端子は、容量素子ＣＡの第１端子と接続され、トランジスタＭ１の第２端子は、配線ＢＩＬと接続され、トランジスタＭ１のゲートは、配線ＷＯＬと接続され、トランジスタＭ１のバックゲートは、配線ＢＧＬと接続されている。容量素子ＣＡの第２端子は、配線ＣＡＬと接続されている。

配線ＢＩＬは、ビット線として機能し、配線ＷＯＬは、ワード線として機能する。配線ＣＡＬは、容量素子ＣＡの第２端子に所定の電位を印加するための配線として機能する。データの書き込み時、及び読み出し時において、配線ＣＡＬには、低レベル電位を印加するのが好ましい。配線ＢＧＬは、トランジスタＭ１のバックゲートに電位を印加するための配線として機能する。配線ＢＧＬに任意の電位を印加することによって、トランジスタＭ１のしきい値電圧を増減することができる。

また、メモリセルＭＣは、メモリセル１４７１に限定されず、回路構成の変更を行うことができる。例えば、メモリセルＭＣは、図１７（Ｂ）に示すメモリセル１４７２のように、トランジスタＭ１のバックゲートが、配線ＢＧＬでなく、配線ＷＯＬと接続される構成にしてもよい。また、例えば、メモリセルＭＣは、図１７（Ｃ）に示すメモリセル１４７３ように、シングルゲート構造のトランジスタ、つまりバックゲートを有さないトランジスタＭ１で構成されたメモリセルとしてもよい。

上記実施の形態に示す半導体装置をメモリセル１４７１等に用いる場合、トランジスタＭ１としてトランジスタ２００を用い、容量素子ＣＡとして容量素子１００を用いることができる。トランジスタＭ１としてＯＳトランジスタを用いることによって、トランジスタＭ１のリーク電流を非常に低くすることができる。つまり、書き込んだデータをトランジスタＭ１によって長時間保持することができるため、メモリセルのリフレッシュの頻度を少なくすることができる。また、メモリセルのリフレッシュ動作を不要にすることができる。また、リーク電流が非常に低いため、メモリセル１４７１、メモリセル１４７２、メモリセル１４７３に対して多値データ、又はアナログデータを保持することができる。

また、ＤＯＳＲＡＭにおいて、上記のように、メモリセルアレイ１４７０の下に重なるように、センスアンプを設ける構成にすると、ビット線を短くすることができる。これにより、ビット線容量が小さくなり、メモリセルの保持容量を低減することができる。

［ＮＯＳＲＡＭ］
図１７（Ｄ）乃至（Ｈ）に、２トランジスタ１容量素子のゲインセル型のメモリセルの回路構成例を示す。図１７（Ｄ）に示す、メモリセル１４７４は、トランジスタＭ２と、トランジスタＭ３と、容量素子ＣＢと、を有する。なお、トランジスタＭ２は、フロントゲート（単にゲートと呼ぶ場合がある。）、及びバックゲートを有する。本明細書等において、トランジスタＭ２にＯＳトランジスタを用いたゲインセル型のメモリセルを有する記憶装置を、ＮＯＳＲＡＭ（ＮｏｎｖｏｌａｔｉｌｅＯｘｉｄｅＳｅｍｉｃｏｎｄｕｃｔｏｒＲＡＭ）と呼ぶ場合がある。

トランジスタＭ２の第１端子は、容量素子ＣＢの第１端子と接続され、トランジスタＭ２の第２端子は、配線ＷＢＬと接続され、トランジスタＭ２のゲートは、配線ＷＯＬと接続され、トランジスタＭ２のバックゲートは、配線ＢＧＬと接続されている。容量素子ＣＢの第２端子は、配線ＣＡＬと接続されている。トランジスタＭ３の第１端子は、配線ＲＢＬと接続され、トランジスタＭ３の第２端子は、配線ＳＬと接続され、トランジスタＭ３のゲートは、容量素子ＣＢの第１端子と接続されている。

配線ＷＢＬは、書き込みビット線として機能し、配線ＲＢＬは、読み出しビット線として機能し、配線ＷＯＬは、ワード線として機能する。配線ＣＡＬは、容量素子ＣＢの第２端子に所定の電位を印加するための配線として機能する。データの書き込み時、データ保持の最中、データの読み出し時において、配線ＣＡＬには、低レベル電位を印加するのが好ましい。配線ＢＧＬは、トランジスタＭ２のバックゲートに電位を印加するための配線として機能する。配線ＢＧＬに任意の電位を印加することによって、トランジスタＭ２のしきい値電圧を増減することができる。

また、メモリセルＭＣは、メモリセル１４７４に限定されず、回路の構成を適宜変更することができる。例えば、メモリセルＭＣは、図１７（Ｅ）に示すメモリセル１４７５のように、トランジスタＭ２のバックゲートが、配線ＢＧＬでなく、配線ＷＯＬと接続される構成にしてもよい。また、例えば、メモリセルＭＣは、図１７（Ｆ）に示すメモリセル１４７６のように、シングルゲート構造のトランジスタ、つまりバックゲートを有さないトランジスタＭ２で構成されたメモリセルとしてもよい。また、例えば、メモリセルＭＣは、図１７（Ｇ）に示すメモリセル１４７７のように、配線ＷＢＬと配線ＲＢＬを一本の配線ＢＩＬとしてまとめた構成であってもよい。

上記実施の形態に示す半導体装置をメモリセル１４７４等に用いる場合、トランジスタＭ２としてトランジスタ２００を用い、トランジスタＭ３としてトランジスタ３００を用い、容量素子ＣＢとして容量素子１００を用いることができる。トランジスタＭ２としてＯＳトランジスタを用いることによって、トランジスタＭ２のリーク電流を非常に低くすることができる。これにより、書き込んだデータをトランジスタＭ２によって長時間保持することができるため、メモリセルのリフレッシュの頻度を少なくすることができる。また、メモリセルのリフレッシュ動作を不要にすることができる。また、リーク電流が非常に低いため、メモリセル１４７４に多値データ、又はアナログデータを保持することができる。メモリセル１４７５乃至１４７７も同様である。

なお、トランジスタＭ３は、チャネル形成領域にシリコンを有するトランジスタ（以下、Ｓｉトランジスタと呼ぶ場合がある）であってもよい。Ｓｉトランジスタの導電型は、ｎチャネル型としてもよいし、ｐチャネル型としてもよい。Ｓｉトランジスタは、ＯＳトランジスタよりも電界効果移動度が高くなる場合がある。よって、読み出しトランジスタとして機能するトランジスタＭ３として、Ｓｉトランジスタを用いてもよい。また、トランジスタＭ３にＳｉトランジスタを用いることで、トランジスタＭ３の上に積層してトランジスタＭ２を設けることができるので、メモリセルの占有面積を低減し、記憶装置の高集積化を図ることができる。

また、トランジスタＭ３はＯＳトランジスタであってもよい。トランジスタＭ２、Ｍ３にＯＳトランジスタを用いた場合、メモリセルアレイ１４７０をｎ型トランジスタのみを用いて回路を構成することができる。

また、図１７（Ｈ）に３トランジスタ１容量素子のゲインセル型のメモリセルの一例を示す。図１７（Ｈ）に示すメモリセル１４７８は、トランジスタＭ４乃至Ｍ６、および容量素子ＣＣを有する。容量素子ＣＣは適宜設けられる。メモリセル１４７８は、配線ＢＩＬ、ＲＷＬ、ＷＷＬ、ＢＧＬ、およびＧＮＤＬに電気的に接続されている。配線ＧＮＤＬは低レベル電位を与える配線である。なお、メモリセル１４７８を、配線ＢＩＬに代えて、配線ＲＢＬ、ＷＢＬに電気的に接続してもよい。

トランジスタＭ４は、バックゲートを有するＯＳトランジスタであり、バックゲートは配線ＢＧＬに電気的に接続されている。なお、トランジスタＭ４のバックゲートとゲートとを互いに電気的に接続してもよい。あるいは、トランジスタＭ４はバックゲートを有さなくてもよい。

なお、トランジスタＭ５、Ｍ６はそれぞれ、ｎチャネル型Ｓｉトランジスタまたはｐチャネル型Ｓｉトランジスタでもよい。或いは、トランジスタＭ４乃至Ｍ６がＯＳトランジスタでもよい、この場合、メモリセルアレイ１４７０をｎ型トランジスタのみを用いて回路を構成することができる。

上記実施の形態に示す半導体装置をメモリセル１４７８に用いる場合、トランジスタＭ４としてトランジスタ２００を用い、トランジスタＭ５、Ｍ６としてトランジスタ３００を用い、容量素子ＣＣとして容量素子１００を用いることができる。トランジスタＭ４としてＯＳトランジスタを用いることによって、トランジスタＭ４のリーク電流を非常に低くすることができる。

なお、本実施の形態に示す、周辺回路１４１１、およびメモリセルアレイ１４７０等の構成は、上記に限定されるものではない。これらの回路、および当該回路に接続される配線、回路素子等の、配置または機能は、必要に応じて、変更、削除、または追加してもよい。

本実施の形態に示す構成は、他の実施の形態および実施例などに示す構成と適宜組み合わせて用いることができる。

（実施の形態４）
本実施の形態では、図１８を用いて、本発明の半導体装置が実装されたチップ１２００の一例を示す。チップ１２００には、複数の回路（システム）が実装されている。このように、複数の回路（システム）を一つのチップに集積する技術を、システムオンチップ（ＳｙｓｔｅｍｏｎＣｈｉｐ：ＳｏＣ）と呼ぶ場合がある。

図１８（Ａ）に示すように、チップ１２００は、ＣＰＵ（ＣｅｎｔｒａｌＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）１２１１、ＧＰＵ（ＧｒａｐｈｉｃｓＰｒｏｃｅｓｓｉｎｇＵｎｉｔ）１２１２、一または複数のアナログ演算部１２１３、一または複数のメモリコントローラ１２１４、一または複数のインターフェース１２１５、一または複数のネットワーク回路１２１６等を有する。

チップ１２００には、バンプ（図示しない）が設けられ、図１８（Ｂ）に示すように、プリント基板（ＰｒｉｎｔｅｄＣｉｒｃｕｉｔＢｏａｒｄ：ＰＣＢ）１２０１の第１の面と接続する。また、ＰＣＢ１２０１の第１の面の裏面には、複数のバンプ１２０２が設けられており、マザーボード１２０３と接続する。

マザーボード１２０３には、ＤＲＡＭ１２２１、フラッシュメモリ１２２２等の記憶装置が設けられていてもよい。例えば、ＤＲＡＭ１２２１に先の実施の形態に示すＤＯＳＲＡＭを用いることができる。また、例えば、フラッシュメモリ１２２２に先の実施の形態に示すＮＯＳＲＡＭを用いることができる。

ＣＰＵ１２１１は、複数のＣＰＵコアを有することが好ましい。また、ＧＰＵ１２１２は、複数のＧＰＵコアを有することが好ましい。また、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２は、それぞれ一時的にデータを格納するメモリを有していてもよい。または、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２に共通のメモリが、チップ１２００に設けられていてもよい。該メモリには、前述したＮＯＳＲＡＭや、ＤＯＳＲＡＭを用いることができる。また、ＧＰＵ１２１２は、多数のデータの並列計算に適しており、画像処理や積和演算に用いることができる。ＧＰＵ１２１２に、本発明の酸化物半導体を用いた画像処理回路や、積和演算回路を設けることで、画像処理、および積和演算を低消費電力で実行することが可能になる。

また、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２が同一チップに設けられていることで、ＣＰＵ１２１１およびＧＰＵ１２１２間の配線を短くすることができ、ＣＰＵ１２１１からＧＰＵ１２１２へのデータ転送、ＣＰＵ１２１１、およびＧＰＵ１２１２が有するメモリ間のデータ転送、およびＧＰＵ１２１２での演算後に、ＧＰＵ１２１２からＣＰＵ１２１１への演算結果の転送を高速に行うことができる。

アナログ演算部１２１３はＡ／Ｄ（アナログ／デジタル）変換回路、およびＤ／Ａ（デジタル／アナログ）変換回路の一、または両方を有する。また、アナログ演算部１２１３に上記積和演算回路を設けてもよい。

メモリコントローラ１２１４は、ＤＲＡＭ１２２１のコントローラとして機能する回路、およびフラッシュメモリ１２２２のインターフェースとして機能する回路を有する。

インターフェース１２１５は、表示装置、スピーカー、マイクロフォン、カメラ、コントローラなどの外部接続機器とのインターフェース回路を有する。コントローラとは、マウス、キーボード、ゲーム用コントローラなどを含む。このようなインターフェースとして、ＵＳＢ（ＵｎｉｖｅｒｓａｌＳｅｒｉａｌＢｕｓ）、ＨＤＭＩ（登録商標）（Ｈｉｇｈ−ＤｅｆｉｎｉｔｉｏｎＭｕｌｔｉｍｅｄｉａＩｎｔｅｒｆａｃｅ）などを用いることができる。

ネットワーク回路１２１６は、ＬＡＮ（ＬｏｃａｌＡｒｅａＮｅｔｗｏｒｋ）などのネットワーク回路を有する。また、ネットワークセキュリティー用の回路を有してもよい。

チップ１２００には、上記回路（システム）を同一の製造プロセスで形成することが可能である。そのため、チップ１２００に必要な回路の数が増えても、製造プロセスを増やす必要が無く、チップ１２００を低コストで作製することができる。

ＧＰＵ１２１２を有するチップ１２００が設けられたＰＣＢ１２０１、ＤＲＡＭ１２２１、およびフラッシュメモリ１２２２が設けられたマザーボード１２０３は、ＧＰＵモジュール１２０４と呼ぶことができる。

ＧＰＵモジュール１２０４は、ＳｏＣ技術を用いたチップ１２００を有しているため、そのサイズを小さくすることができる。また、画像処理に優れていることから、スマートフォン、タブレット端末、ラップトップＰＣ、携帯型（持ち出し可能な）ゲーム機などの携帯型電子機器に用いることが好適である。また、ＧＰＵ１２１２を用いた積和演算回路により、ディープニューラルネットワーク（ＤＮＮ）、畳み込みニューラルネットワーク（ＣＮＮ）、再帰型ニューラルネットワーク（ＲＮＮ）、自己符号化器、深層ボルツマンマシン（ＤＢＭ）、深層信念ネットワーク（ＤＢＮ）などの演算を実行することができるため、チップ１２００をＡＩチップ、またはＧＰＵモジュール１２０４をＡＩシステムモジュールとして用いることができる。

（実施の形態５）
本実施の形態では、先の実施の形態に示す半導体装置を用いた記憶装置の応用例について説明する。先の実施の形態に示す半導体装置は、例えば、各種電子機器（例えば、情報端末、コンピュータ、スマートフォン、電子書籍端末、デジタルカメラ（ビデオカメラも含む）、録画再生装置、ナビゲーションシステムなど）の記憶装置に適用できる。なお、ここで、コンピュータとは、タブレット型のコンピュータや、ノート型のコンピュータや、デスクトップ型のコンピュータの他、サーバシステムのような大型のコンピュータを含むものである。または、先の実施の形態に示す半導体装置は、メモリカード（例えば、ＳＤカード）、ＵＳＢメモリ、ＳＳＤ（ソリッド・ステート・ドライブ）等の各種のリムーバブル記憶装置に適用される。図１９にリムーバブル記憶装置の幾つかの構成例を模式的に示す。例えば、先の実施の形態に示す半導体装置は、パッケージングされたメモリチップに加工され、様々なストレージ装置、リムーバブルメモリに用いられる。

図１９（Ａ）はＵＳＢメモリの模式図である。ＵＳＢメモリ１１００は、筐体１１０１、キャップ１１０２、ＵＳＢコネクタ１１０３および基板１１０４を有する。基板１１０４は、筐体１１０１に収納されている。例えば、基板１１０４には、メモリチップ１１０５、コントローラチップ１１０６が取り付けられている。基板１１０４のメモリチップ１１０５などに先の実施の形態に示す半導体装置を組み込むことができる。

図１９（Ｂ）はＳＤカードの外観の模式図であり、図１９（Ｃ）は、ＳＤカードの内部構造の模式図である。ＳＤカード１１１０は、筐体１１１１、コネクタ１１１２および基板１１１３を有する。基板１１１３は筐体１１１１に収納されている。例えば、基板１１１３には、メモリチップ１１１４、コントローラチップ１１１５が取り付けられている。基板１１１３の裏面側にもメモリチップ１１１４を設けることで、ＳＤカード１１１０の容量を増やすことができる。また、無線通信機能を備えた無線チップを基板１１１３に設けてもよい。これによって、ホスト装置とＳＤカード１１１０間の無線通信によって、メモリチップ１１１４のデータの読み出し、書き込みが可能となる。基板１１１３のメモリチップ１１１４などに先の実施の形態に示す半導体装置を組み込むことができる。

図１９（Ｄ）はＳＳＤの外観の模式図であり、図１９（Ｅ）は、ＳＳＤの内部構造の模式図である。ＳＳＤ１１５０は、筐体１１５１、コネクタ１１５２および基板１１５３を有する。基板１１５３は筐体１１５１に収納されている。例えば、基板１１５３には、メモリチップ１１５４、メモリチップ１１５５、コントローラチップ１１５６が取り付けられている。メモリチップ１１５５はコントローラチップ１１５６のワークメモリであり、例えばＤＯＳＲＡＭチップを用いればよい。基板１１５３の裏面側にもメモリチップ１１５４を設けることで、ＳＳＤ１１５０の容量を増やすことができる。基板１１５３のメモリチップ１１５４などに先の実施の形態に示す半導体装置を組み込むことができる。

（実施の形態６）
本発明の一態様に係る半導体装置は、ＣＰＵやＧＰＵなどのプロセッサ、またはチップに用いることができる。図２０に、本発明の一態様に係るＣＰＵやＧＰＵなどのプロセッサ、またはチップを備えた電子機器の具体例を示す。

＜電子機器・システム＞
本発明の一態様に係るＧＰＵ又はチップは、様々な電子機器に搭載することができる。電子機器の例としては、例えば、テレビジョン装置、デスクトップ型もしくはノート型のパーソナルチップ、チップ用などのモニタ、デジタルサイネージ（ＤｉｇｉｔａｌＳｉｇｎａｇｅ：電子看板）、パチンコ機などの大型ゲーム機などの比較的大きな画面を備える電子機器の他、デジタルカメラ、デジタルビデオカメラ、デジタルフォトフレーム、携帯電話機、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、音響再生装置、などが挙げられる。また、本発明の一態様に係る集積回路又はチップを電子機器に設けることにより、電子機器に人工知能を搭載することができる。

本発明の一態様の電子機器は、アンテナを有していてもよい。アンテナで信号を受信することで、表示部で映像や情報等の表示を行うことができる。また、電子機器がアンテナ及び二次電池を有する場合、アンテナを、非接触電力伝送に用いてもよい。

本発明の一態様の電子機器は、センサ（力、変位、位置、速度、加速度、角速度、回転数、距離、光、液、磁気、温度、化学物質、音声、時間、硬度、電場、電流、電圧、電力、放射線、流量、湿度、傾度、振動、においまたは赤外線を測定する機能を含むもの）を有していてもよい。

本発明の一態様の電子機器は、様々な機能を有することができる。例えば、様々な情報（静止画、動画、テキスト画像など）を表示部に表示する機能、タッチパネル機能、カレンダー、日付または時刻などを表示する機能、様々なソフトウェア（プログラム）を実行する機能、無線通信機能、記録媒体に記録されているプログラムまたはデータを読み出す機能等を有することができる。図２０に、電子機器の例を示す。

［携帯電話］

図２０（Ａ）には、情報端末の一種である携帯電話（スマートフォン）が図示されている。情報端末５５００は、筐体５５１０と、表示部５５１１と、を有しており、入力用インターフェースとして、タッチパネルが表示部５５１１に備えられ、ボタンが筐体５５１０に備えられている。

情報端末５５００は、本発明の一態様のチップを適用することで、人工知能を利用したアプリケーションを実行することができる。人工知能を利用したアプリケーションとしては、例えば、会話を認識してその会話内容を表示部５５１１に表示するアプリケーション、表示部５５１１に備えるタッチパネルに対してユーザが入力した文字、図形などを認識して、表示部５５１１に表示するアプリケーション、指紋や声紋などの生体認証を行うアプリケーションなどが挙げられる。

［情報端末１］
図２０（Ｂ）には、デスクトップ型情報端末５３００が図示されている。デスクトップ型情報端末５３００は、情報端末の本体５３０１と、ディスプレイ５３０２と、キーボード５３０３と、を有する。

デスクトップ型情報端末５３００は、先述した情報端末５５００と同様に、本発明の一態様のチップを適用することで、人工知能を利用したアプリケーションを実行することができる。人工知能を利用したアプリケーションとしては、例えば、設計支援ソフトウェア、文章添削ソフトウェア、献立自動生成ソフトウェアなどが挙げられる。また、デスクトップ型情報端末５３００を用いることで、新規の人工知能の開発を行うことができる。

なお、上述では、電子機器としてスマートフォン、及びデスクトップ用情報端末を例として、それぞれ図２０（Ａ）、（Ｂ）に図示したが、スマートフォン、及びデスクトップ用情報端末以外の情報端末を適用することができる。スマートフォン、及びデスクトップ用情報端末以外の情報端末としては、例えば、ＰＤＡ（ＰｅｒｓｏｎａｌＤｉｇｉｔａｌＡｓｓｉｓｔａｎｔ）、ノート型情報端末、ワークステーションなどが挙げられる。

［電化製品］
図２０（Ｃ）は、電化製品の一例である電気冷凍冷蔵庫５８００を示している。電気冷凍冷蔵庫５８００は、筐体５８０１、冷蔵室用扉５８０２、冷凍室用扉５８０３等を有する。

電気冷凍冷蔵庫５８００に本発明の一態様のチップを適用することによって、人工知能を有する電気冷凍冷蔵庫５８００を実現することができる。人工知能を利用することによって電気冷凍冷蔵庫５８００は、電気冷凍冷蔵庫５８００に保存されている食材、その食材の消費期限などを基に献立を自動生成する機能や、電気冷凍冷蔵庫５８００に保存されている食材に合わせた温度に自動的に調節する機能などを有することができる。

本一例では、電化製品として電気冷凍冷蔵庫について説明したが、その他の電化製品としては、例えば、掃除機、電子レンジ、電子オーブン、炊飯器、湯沸かし器、ＩＨ調理器、ウォーターサーバ、エアーコンディショナーを含む冷暖房器具、洗濯機、乾燥機、オーディオビジュアル機器などが挙げられる。

［ゲーム機］

図２０（Ｄ）は、ゲーム機の一例である携帯ゲーム機５２００を示している。携帯ゲーム機は、筐体５２０１、表示部５２０２、ボタン５２０３等を有する。

携帯ゲーム機５２００に本発明の一態様のＧＰＵ又はチップを適用することによって、低消費電力の携帯ゲーム機５２００を実現することができる。また、低消費電力により、回路からの発熱を低減することができるため、発熱によるその回路自体、周辺回路、及びモジュールへの影響を少なくすることができる。

更に、携帯ゲーム機５２００に本発明の一態様のＧＰＵ又はチップを適用することによって、人工知能を有する携帯ゲーム機５２００を実現することができる。

本来、ゲームの進行、ゲーム上に登場する生物の言動、ゲーム上で発生する現象などの表現は、そのゲームが有するプログラムによって定められているが、携帯ゲーム機５２００に人工知能を適用することにより、ゲームのプログラムに限定されない表現が可能になる。例えば、プレイヤーが問いかける内容、ゲームの進行状況、時刻、ゲーム上に登場する人物の言動が変化するといった表現が可能となる。

また、携帯ゲーム機５２００で複数のプレイヤーが必要なゲームを行う場合、人工知能によって擬人的にゲームプレイヤーを構成することができるため、対戦相手を人工知能によるゲームプレイヤーとすることによって、１人でもゲームを行うことができる。

図２０（Ｄ）では、ゲーム機の一例として携帯ゲーム機を図示しているが、本発明の一態様のＧＰＵ又はチップを適用するゲーム機はこれに限定されない。本発明の一態様のＧＰＵ又はチップを適用するゲーム機としては、例えば、家庭用の据え置き型ゲーム機、娯楽施設（ゲームセンター、遊園地など）に設置されるアーケードゲーム機、スポーツ施設に設置されるバッティング練習用の投球マシンなどが挙げられる。

［移動体］
本発明の一態様のＧＰＵ又はチップは、移動体である自動車、及び自動車の運転席周辺に適用することができる。

図２０（Ｅ１）は移動体の一例である自動車５７００を示し、図２０（Ｅ２）は、自動車の室内におけるフロントガラス周辺を示す図である。図２０（Ｅ１）では、ダッシュボードに取り付けられた表示パネル５７０１、表示パネル５７０２、表示パネル５７０３の他、ピラーに取り付けられた表示パネル５７０４を図示している。

表示パネル５７０１乃至表示パネル５７０３は、スピードメーターやタコメーター、走行距離、給油量、ギア状態、エアコンの設定など、その他様々な情報を提供することができる。また、表示パネルに表示される表示項目やレイアウトなどは、ユーザの好みに合わせて適宜変更することができ、デザイン性を高めることが可能である。表示パネル５７０１乃至表示パネル５７０３は、照明装置として用いることも可能である。

表示パネル５７０４には、自動車５７００に設けられた撮像装置（図示しない。）からの映像を映し出すことによって、ピラーで遮られた視界（死角）を補完することができる。すなわち、自動車５７００の外側に設けられた撮像装置からの画像を表示することによって、死角を補い、安全性を高めることができる。また、見えない部分を補完する映像を映すことによって、より自然に違和感なく安全確認を行うことができる。表示パネル５７０４は、照明装置として用いることもできる。

本発明の一態様のＧＰＵ又はチップは人工知能の構成要素として適用できるため、例えば、当該チップを自動車５７００の自動運転システムに用いることができる。また、当該チップを道路案内、危険予測などを行うシステムに用いることができる。表示パネル５７０１乃至表示パネル５７０４には、道路案内、危険予測などの情報を表示する構成としてもよい。

なお、上述では、移動体の一例として自動車について説明しているが、移動体は自動車に限定されない。例えば、移動体としては、電車、モノレール、船、飛行体（ヘリコプター、無人航空機（ドローン）、飛行機、ロケット）なども挙げることができ、これらの移動体に本発明の一態様のチップを適用して、人工知能を利用したシステムを付与することができる。

［放送システム］
本発明の一態様のＧＰＵ又はチップは、放送システムに適用することができる。

図２０（Ｆ）は、放送システムにおけるデータ伝送を模式的に示している。具体的には、図２０（Ｆ）は、放送局５６８０から送信された電波（放送信号）が、各家庭のテレビジョン受信装置（ＴＶ）５６００に届くまでの経路を示している。ＴＶ５６００は、受信装置を備え（図示しない。）、アンテナ５６５０で受信された放送信号は、当該受信装置を介して、ＴＶ５６００に送信される。

図２０（Ｆ）では、アンテナ５６５０は、ＵＨＦ（ＵｌｔｒａＨｉｇｈＦｒｅｑｕｅｎｃｙ）アンテナを図示しているが、アンテナ５６５０としては、ＢＳ・１１０°ＣＳアンテナ、ＣＳアンテナなども適用できる。

電波５６７５Ａ、電波５６７５Ｂは地上波放送用の放送信号であり、電波塔５６７０は受信した電波５６７５Ａを増幅して、電波５６７５Ｂの送信を行う。各家庭では、アンテナ５６５０で電波５６７５Ｂを受信することで、ＴＶ５６００で地上波ＴＶ放送を視聴することができる。なお、放送システムは、図２０（Ｆ）に示す地上波放送に限定せず、人工衛星を用いた衛星放送、光回線によるデータ放送などとしてもよい。

上述した放送システムは、本発明の一態様のチップを適用して、人工知能を利用した放送システムとしてもよい。放送局５６８０から各家庭のＴＶ５６００に放送データを送信するとき、エンコーダによって放送データの圧縮が行われ、アンテナ５６５０が当該放送データを受信したとき、ＴＶ５６００に含まれる受信装置のデコーダによって当該放送データの復元が行われる。人工知能を利用することによって、例えば、エンコーダの圧縮方法の一である動き補償予測において、表示画像に含まれる表示パターンの認識を行うことができる。また、人工知能を利用したフレーム内予測などを行うこともできる。また、例えば、解像度の低い放送データを受信して、解像度の高いＴＶ５６００で当該放送データの表示を行うとき、デコーダによる放送データの復元において、アップコンバートなどの画像の補間処理を行うことができる。

上述した人工知能を利用した放送システムは、放送データの量が増大する超高精細度テレビジョン（ＵＨＤＴＶ：４Ｋ、８Ｋ）放送に対して好適である。

また、ＴＶ５６００側における人工知能の応用として、例えば、ＴＶ５６００に人工知能を有する録画装置を設けてもよい。このような構成にすることによって、当該録画装置にユーザの好みを人工知能に学習させることで、ユーザの好みにあった番組を自動的に録画することができる。

本実施の形態で説明した電子機器、その電子機器の機能、人工知能の応用例、その効果などは、他の電子機器の記載と適宜組み合わせることができる。

図１に示すトランジスタ２００が有するソース電極またはドレイン電極として機能する導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂを形成した試料を作製して、該試料の断面観察を走査透過電子顕微鏡（日立ハイテクノロジーズ社製ＨＤ−２７００）を用いて行った。

試料の作製は、まず、シリコンウエハを熱酸化して、酸化シリコン膜を形成した。次に、該酸化シリコン膜上に、絶縁体２２２となる絶縁膜として、ＡＬＤ法によって、酸化ハフニウム膜を２０ｎｍの膜厚で成膜した。次に、絶縁体２２４となる絶縁膜として、ＣＶＤ法によって、酸化窒化シリコン膜を３０ｎｍの膜厚で成膜した。

次に、絶縁体２２４となる絶縁膜上に、酸化物２３０ａとなる第１の酸化物として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物をスパッタリング法により、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のターゲットを用いて成膜した。続いて、第１の酸化物上に、酸化物２３０ｂとなる第２の酸化物として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物をスパッタリング法により、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のターゲットを用いて成膜した。なお、第１の酸化物と第２の酸化物とは、連続成膜した。

次に、第２の酸化物上に、導電体２４２となる窒化タンタル膜をスパッタリング法によって成膜した。その後、当該窒化タンタル膜、第２の酸化物、および第１の酸化物を加工し、酸化物２３０ａ、酸化物２３０ｂ、導電体層２４２Ｂを形成した。

次に、絶縁体２７２ａおよび絶縁体２７２ｂとなる絶縁膜として、窒化シリコン膜をスパッタリング法によって１０ｎｍの膜厚で成膜した。

次に、絶縁体２７２ａおよび絶縁体２７２ｂとなる絶縁膜上に、絶縁体２７３ａおよび絶縁体２７３ｂとなる絶縁膜として、酸化アルミニウム膜をスパッタリング法によって８ｎｍの膜厚で成膜した。

次に、リソグラフィー法によって、エッチングマスクを形成し、絶縁体２７３ａおよび絶縁体２７３ｂとなる酸化アルミニウム膜をウェットエッチング法によって加工し、絶縁体２７３ａおよび絶縁体２７３ｂを形成した。

次に、絶縁体２７２ａおよび絶縁体２７２ｂとなる窒化シリコン膜をドライエッチング法によって加工し、絶縁体２７２ａおよび絶縁体２７２ｂを形成した。

次に、導電体２４２となる窒化タンタル膜をドライエッチング法によって加工し、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂを形成した。以上によって、試料を作製した。

試料の断面観察結果として、断面写真像を図２２に示す。図２２（Ａ）は、試料のＬ長方向の断面像を示し、図２２（Ｂ）は、試料のチャネル形成領域におけるチャネル幅方向の断面像を示す。図２２（Ａ）に示すように、Ｌ長方向の断面において、不具合は観察されず良好な形状が得られていることを確認することができた。また、図２２（Ｂ）に示すように、チャネル形成領域におけるチャネル幅方向の断面においても、絶縁体２２２と絶縁体２２４の界面近傍、絶縁体２２４と酸化物２３０ａとの界面近傍、および酸化物２３０ａと酸化物２３０ｂとの界面近傍のいずれにおいてもアンダーカット等の不具合は観察されず良好な形状であることを確認することができた。

本実施例は、少なくともその一部を本明細書中に記載する他の実施の形態と適宜組み合わせて実施することができる。

本実施例では、先の実施例と同様に、図１に示すトランジスタ２００が有するソース電極またはドレイン電極として機能する導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂを形成した試料を作製して、除電プラズマ処理の効果を評価した。該試料の断面観察を走査透過電子顕微鏡（日立ハイテクノロジーズ社製ＨＤ−２７００）を用いて行った。除電プラズマ処理については後述する。

導電体２４２となる窒化タンタル膜の形成に用いたドライエッチング装置は、エッチング中に基板に蓄積した静電気を除電する機能を有する。即ち、導電体２４２となる窒化タンタル膜を形成するエッチング処理が完了後に、導電体２４２となる窒化タンタル膜の形成よりも低い電力によるプラズマ処理を行うことで、基板に蓄積した静電気を除去するものである。このプラズマ処理を除電プラズマ処理と呼ぶ。

本実施例では、酸素を用いた除電プラズマ処理を行った試料Ａと、窒素を用いた除電プラズマ処理を行った試料Ｂと、を作製して断面観察を行った。

次に、導電体２４２となる窒化タンタル膜をドライエッチング法によって加工し、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂを形成した。

ここで、試料Ａは、酸素を用いた除電プラズマ処理を行ない、試料Ｂは、窒素を用いた除電プラズマ処理を行なった。次に、アンモニア水を用いて試料Ａおよび試料Ｂを洗浄した。以上により、試料Ａおよび試料Ｂを作製した。

図２３は、試料ＡのＬ長方向の断面像である。図２３（Ａ）は、導電体２４２となる窒化タンタル膜をドライエッチング法によって加工し、酸素を用いた除電プラズマ処理を行なった後の断面写真像であり、図２３（Ｂ）は、その後にアンモニア水を用いて洗浄した後の断面写真像である。図２３（Ａ）（Ｂ）ともに、導電体２４２（窒化タンタル膜）の端部の酸化膜厚は、およそ３ｎｍとなった。

また、図２４は、試料ＢのＬ長方向の断面像である。図２４（Ａ）は、導電体２４２となる窒化タンタル膜をドライエッチング法によって加工し、窒素を用いた除電プラズマ処理を行なった後の断面写真像であり、図２４（Ｂ）は、その後にアンモニア水を用いて洗浄した後の断面写真像である。図２４（Ａ）（Ｂ）ともに、導電体２４２（窒化タンタル膜）の端部の酸化膜厚は、およそ１ｎｍとなった。

以上の結果より、アンモニア水を用いて洗浄しても導電体２４２（窒化タンタル膜）の端部の酸化膜厚の変化は見られないことから酸化は進行しないことを確認した。また、窒素を用いた除電プラズマ処理は、酸素を用いた除電プラズマ処理よりも導電体２４２（窒化タンタル膜）の端部の酸化を抑制することを確認した。

本実施例では、ソース電極またはドレイン電極として機能する導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの形成後に行う洗浄に用いる洗浄液について評価した。洗浄液は、超希釈フッ酸、現像液、およびアンモニア水を評価した。

次に、それぞれの洗浄液について、第１の酸化物である酸化物２３０ａ、第２の酸化物である酸化物２３０ｂ、および、スパッタリング法によって成膜した酸化アルミニウム膜、およびＣＶＤ法によって成膜した酸化窒化シリコン膜のそれぞれのエッチングレートを測定した。エッチングレートは、エッチング前後の膜厚を測定し、その膜厚差とエッチング時間から求めた。膜厚の測定は、分光エリプソメータを用いた。

図２５にエッチングレートの測定結果を示す。尚、第１の酸化物は、超希釈フッ酸、および現像液のエッチングレート、第２の酸化物は、超希釈フッ酸、現像液、およびアンモニア水のエッチングレート、ＡＬＤ法によって成膜した酸化アルミニウム膜は、超希釈フッ酸、現像液、およびアンモニア水のエッチングレート、スパッタリング法によって成膜した酸化アルミニウム膜は、超希釈フッ酸、および現像液のエッチングレート、ＣＶＤ法によって成膜した酸化窒化シリコン膜は、超希釈フッ酸、現像液、およびアンモニア水のエッチングレートを測定した。

図２５に示すように、現像液およびアンモニア水は、超希釈フッ酸と比較すると酸化アルミニウムのエッチンレートが高い事が解った。また、現像液およびアンモニア水は、超希釈フッ酸と比較すると第１の酸化物である酸化物２３０ａおよび第２の酸化物である酸化物２３０ｂのエッチングレートが低いことが解った。また、ＣＶＤ法によって成膜した酸化窒化シリコン膜は、超希釈フッ酸、現像液、およびアンモニア水ともにエッチングレートの測定ができなかった。これにより、現像液およびアンモニア水は、ソース電極またはドレイン電極として機能する導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂを形成後の洗浄液として、適している結果となった。

次に、図１に示すトランジスタ２００と、図１に示すトランジスタ２００が有するソース電極またはドレイン電極として機能する導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂを形成した試料（試料Ｃおよび試料Ｄ）と、を作製した。トランジスタ２００は、ソース電極またはドレイン電極として機能する導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂを形成後に超希釈フッ酸による洗浄を行い、試料Ｃは、超希釈フッ酸による洗浄を行い、試料Ｄはアンモニア水による洗浄を行った。各試料の断面観察およびエネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＸ）による分析を走査透過電子顕微鏡（日立ハイテクノロジーズ社製ＨＤ−２７００）を用いて行った。

図２６（Ａ）にトランジスタ２００のチャネル幅方向の断面像を示す。また、図２６（Ｂ）は、図２６（Ａ）に矢印で示す方向にアルミニウムについてＥＤＸ分析した結果である。尚、ＥＤＸ分析は４つのトランジスタについて行った。

図２６（Ｂ）のＥＤＸ分析結果では、４つのトランジスタとも酸化物２３０ｂと酸化物２３０ｃと界面近傍でｉｎｔｅｎｓｉｔｙのピークが確認され、アルミニウムが検出されたことがわかる。

図２７（Ａ）は、試料Ｃのチャネル幅方向の断面写真像であり、図２７（Ｂ）は、試料Ｄのチャネル幅方向の断面写真像である。図２７（Ａ）、および図２７（Ｂ）において、点線で囲った領域Ｅ、領域Ｆ、領域Ｇ、および領域ＨのＥＤＸ分析を行い、領域Ｅにおいてアルミニウムが検出された。その他の領域については、アルミニウムの検出はされなかった。以上により、ソース電極またはドレイン電極として機能する導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂを形成後のアンモニア水による洗浄は、超希釈フッ酸による洗浄よりもアルミニウムの残渣物の除去効果に優れていることを確認した。

本実施例では、図１に示したトランジスタ２００として試料１Ａを作製し、形状を評価した。なお、試料１Ａの形状の評価には、走査透過型電子顕微鏡（ＳＴＥＭ：ＳｃａｎｎｉｎｇＴｒａｎｓｍｉｓｓｉｏｎＥｌｅｃｔｒｏｎＭｉｃｒｏｓｃｏｐｅ）およびエネルギー分散型Ｘ線分光法（ＥＤＸ：ＥｎｅｒｇｙＤｉｓｐｅｒｓｉｖｅＸ−ｒａｙｓｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）を用いた。

以下に、試料１Ａの作製方法について説明する。なお、試料１Ａの作製方法の詳細については、図５乃至図１３に係る記載を参酌することができる。

なお、酸化膜２３０Ａとして、スパッタリング法により、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物を成膜した。第１の酸化物は、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝１：３：４［原子数比］のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物ターゲットを用いて成膜した。続いて、酸化膜２３０Ａ上に、酸化膜２３０Ｂとして、スパッタリング法により、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物を成膜した。酸化膜２３０Ｂは、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物ターゲットを用いて成膜した。

次に、酸化膜２３０Ｂ上に、導電膜２４２Ａとして、窒化タンタル膜を成膜した。その後、当該窒化タンタル膜、上記第２の酸化物、および上記第１の酸化物を加工し、導電層２４２Ｂ、酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ａを形成した。

次に、導電層２４２Ｂ上に、絶縁体２７２Ａ、および絶縁体２７３Ａとして、酸化アルミニウム膜を成膜した。絶縁体２７２Ａは、スパッタリング法により、Ａｌ_２Ｏ_３のターゲットを用い、５ｎｍの膜厚で、成膜した。また、絶縁体２７３Ａは、ＡＬＤ法により、３ｎｍの膜厚で、成膜した。

その後、リソグラフィー法を用いて、絶縁体２７３Ａ、絶縁体２７２Ａ、および導電層２４２Ｂを選択的に除去し、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７２ｂ、導電体２４２ａ、および導電体２４２ｂを形成した。

次に、絶縁体２７３ａ、絶縁体２７３ｂ、絶縁体２７２ａ、絶縁体２７２ｂ、導電体２４２ａ、導電体２４２ｂ酸化物２３０ｂ、および酸化物２３０ａ導電体２４２ｂ上に、酸化物２３０ｃとなる酸化膜として、Ｉｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物をスパッタリング法により、Ｉｎ：Ｇａ：Ｚｎ＝４：２：４．１［原子数比］のＩｎ−Ｇａ−Ｚｎ酸化物ターゲットを用いて成膜した。

続いて、絶縁体２５０となる絶縁膜として、酸化窒化シリコン膜を成膜した。次に、絶縁体２５０となる絶縁膜上に、導電体２６０ａとなる導電膜として、窒化チタン膜を成膜した。続いて、導電体２６０ｂとなる導電膜として、タングステン膜を成膜した。なお、当該窒化チタン膜、および当該タングステン膜は連続成膜により形成した。

その後、当該タングステン膜、当該窒化チタン膜、絶縁体２５０となる絶縁膜、および酸化物２３０ｃとなる酸化膜を加工し、導電体２６０ｂ、導電体２６０ａ、絶縁体２５０、および酸化物２３０ｃを形成した。

次に、絶縁体２７４として、酸化アルミニウム膜を成膜した。絶縁体２７２Ａは、ＡＬＤ法により、７ｎｍの膜厚で、成膜した。

次に、絶縁体２８０となる絶縁膜として、酸化窒化シリコン膜を成膜した。

以上の工程より、試料１Ａを作製した。

＜試料１Ａの断面観察および元素分析＞
試料１Ａの断面観察および元素分析を行った結果について説明する。断面観察用およびＥＤＸ測定用の装置は、日立ハイテクノロジーズ社製ＨＤ−２３００を用い、元素分析の装置は、ＥＤＡＸ社製ＥＤＸＳｉ（Ｌｉ）検出器を用いた。

図２８（Ａ）は、試料１Ａの断面ＳＴＥＭ像である。なお、図２８（Ａ）に示す領域は、図１に示すＡ１−Ａ２の一点鎖線に示す部位における、導電体２６０と酸化物２３０が重畳する領域周辺とした。

また、図２８（Ｂ）は、Ａｌ−Ｋ線のＥＤＸマップである。なお、ＥＤＸマップを取得した領域は、図２８（Ａ）に示す当該断面ＳＴＥＭ像を取得した領域と同じ領域とした。

図２８（Ａ）および図２８（Ｂ）から、絶縁体２７２、絶縁体２７３、および絶縁体２７４により、導電体２６０、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの酸化が抑制されていることがわかった。また、導電体２６０、絶縁体２５０、および酸化物２３０ｃの側面、および導電体２４０の上面には、一様にアルミニウムが検出されており、導電体２４０、導電体２６０、および酸化物２３０は、バリア膜により包囲されていることがわかった。

＜試料１Ａの平面観察および元素分析＞
次に、試料１Ａの平面観察および元素分析を行った結果について説明する。なお、試料１Ａの平面観察および元素分析を行う前に、試料１Ａの加工を行った。具体的には、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの上面が露出する面（図２８（Ａ）に示す一点鎖線Ｂ１−Ｂ２の高さ）まで、試料１Ａの上面を平面加工した。また、図２９（Ａ）に示す一点鎖線Ｂ１−Ｂ２は、図２８（Ａ）に示す断面の位置を示す。

上記加工後の試料１Ａに対して、平面観察および元素分析を行った。平面観察用およびＥＤＸ測定用の装置は、上記装置を用いた。図２９（Ａ）は、試料１Ａの平面ＳＴＥＭ像である。また、図２９（Ｂ）は、Ａｌ−Ｋ線のＥＤＸマップである。なお、ＥＤＸマップを取得した領域は、当該平面ＳＴＥＭ像を取得した領域と同じ領域である。

図２９（Ａ）および図２９（Ｂ）から、絶縁体２７２、絶縁体２７３、および絶縁体２７４により、導電体２６０、導電体２４２ａおよび導電体２４２ｂの酸化が抑制されていることがわかった。また、導電体２６０、絶縁体２５０、および酸化物２３０ｃの側面、および導電体２４０の上面には、一様にアルミニウムが検出されており、導電体２４０、導電体２６０、および酸化物２３０は、バリア膜により包囲されていることがわかった。

１００容量素子
１１０導電体
１１２導電体
１２０導電体
１３０絶縁体
１５０絶縁体
２００トランジスタ
２０３ａ酸化物
２０３ｃ酸化物
２０５導電体
２０５ａ導電体
２０５ｂ導電体
２１０絶縁体
２１２絶縁体
２１４絶縁体
２１５絶縁体
２１５Ａ絶縁膜
２１６絶縁体
２１６Ａ絶縁膜
２１８導電体
２２２絶縁体
２２４絶縁体
２２４Ａ絶縁膜
２３０酸化物
２３０ａ酸化物
２３０Ａ酸化膜
２３０ｂ酸化物
２３０Ｂ酸化膜
２３０ｃ酸化物
２３０ｄ酸化物
２３４領域
２４０導電体
２４０ａ導電体
２４０ｂ導電体
２４０ｃ導電体
２４１絶縁体
２４１ａ絶縁体
２４１ｂ絶縁体
２４１ｃ絶縁体
２４２導電体
２４２ａ導電体
２４２Ａ導電膜
２４２ｂ導電体
２４２Ｂ導電体層
２４６導電体
２４６ａ導電体
２４６ｂ導電体
２５０絶縁体
２５０Ａ絶縁膜
２５２酸化物
２５４絶縁体
２６０導電体
２６０ａ導電体
２６０ｂ導電体
２７２ａ絶縁体
２７２Ａ絶縁膜
２７２ｂ絶縁体
２７３絶縁膜
２７３ａ絶縁体
２７３Ａ絶縁膜
２７３ｂ絶縁体
２７４絶縁体
２８０絶縁体
２８１絶縁体
２８２絶縁体
３００トランジスタ
３１１基板
３１３半導体領域
３１４ａ低抵抗領域
３１４ｂ低抵抗領域
３１５絶縁体
３１６導電体
３２０絶縁体
３２２絶縁体
３２４絶縁体
３２６絶縁体
３２８導電体
３３０導電体
３５０絶縁体
３５２絶縁体
３５４絶縁体
３５６導電体
４００トランジスタ
４０５導電体
４０５ａ導電体
４０５ｂ導電体
４３０ｃ酸化物
４３１ａ酸化物
４３１ｂ酸化物
４３２ａ酸化物
４３２ｂ酸化物
４４０導電体
４４０ａ導電体
４４０ｂ導電体
４４２導電体
４４２ａ導電体
４４２ｂ導電体
４５０絶縁体
４５２酸化物
４６０導電体
４６０ａ導電体
４６０ｂ導電体
１００１配線
１００２配線
１００３配線
１００４配線
１００５配線
１００６配線
１００７配線
１００８配線
１００９配線
１０１０配線
１１００ＵＳＢメモリ
１１０１筐体
１１０２キャップ
１１０３ＵＳＢコネクタ
１１０４基板
１１０５メモリチップ
１１０６コントローラチップ
１１１０ＳＤカード
１１１１筐体
１１１２コネクタ
１１１３基板
１１１４メモリチップ
１１１５コントローラチップ
１１５０ＳＳＤ
１１５１筐体
１１５２コネクタ
１１５３基板
１１５４メモリチップ
１１５５メモリチップ
１１５６コントローラチップ
１２００チップ
１２０１ＰＣＢ
１２０２バンプ
１２０３マザーボード
１２０４ＧＰＵモジュール
１２１１ＣＰＵ
１２１２ＧＰＵ
１２１３アナログ演算部
１２１４メモリコントローラ
１２１５インターフェース
１２１６ネットワーク回路
１２２１ＤＲＡＭ
１２２２フラッシュメモリ
１４００記憶装置
１４１１周辺回路
１４２０行回路
１４３０列回路
１４４０出力回路
１４６０コントロールロジック回路
１４７０メモリセルアレイ
１４７１メモリセル
１４７２メモリセル
１４７３メモリセル
１４７４メモリセル
１４７５メモリセル
１４７６メモリセル
１４７７メモリセル
１４７８メモリセル
５２００携帯ゲーム機
５２０１筐体
５２０２表示部
５２０３ボタン
５３００デスクトップ型情報端末
５３０１本体
５３０２ディスプレイ
５３０３キーボード
５５００情報端末
５５１０筐体
５５１１表示部
５６００ＴＶ
５６５０アンテナ
５６７０電波塔
５６７５Ａ電波
５６７５Ｂ電波
５６８０放送局
５７００自動車
５７０１表示パネル
５７０２表示パネル
５７０３表示パネル
５７０４表示パネル
５８００電気冷凍冷蔵庫
５８０１筐体
５８０２冷蔵室用扉
５８０３冷凍室用扉

Claims

第１の絶縁体と、
第１の絶縁体上の第２の絶縁体、および第１の導電体と、
第２の絶縁体上の第３の絶縁体と、
第１の導電体上、第２の絶縁体上、および第３の絶縁体上の第４の絶縁体と、
第４の絶縁体上の第５の絶縁体と、
第５の絶縁体上の第１の酸化物と、
第１の酸化物上の第２の酸化物と、
第２の酸化物上の第２の導電体、および第３の導電体と、
第４の絶縁体の上面の一部、第５の絶縁体の側面、第１の酸化物の側面、第２の酸化物の側面、第２の導電体の側面、および第２導電体の上面と接する第６の絶縁体と、
第４の絶縁体の上面の一部、第５の絶縁体の側面、第１の酸化物の側面、第２の酸化物の側面、第３の導電体の側面、および第３導電体の上面と接する第７の絶縁体と、
第６の絶縁体上の第８の絶縁体と、
第７の絶縁体上の第９の絶縁体と、
第２の酸化物の上面と接する第３の酸化物と、
第３の酸化物上の第１０の絶縁体と、
第１０の絶縁体上の第４の導電体と、

第８の絶縁体、第９の絶縁体、および第４の導電体を覆う第１１の絶縁体と、を有し、
第２の絶縁体は、第１の導電体の側面と接し、
第１１の絶縁体は、第４の絶縁体の上面、第６の絶縁体の側面、第７の絶縁体の側面、第８絶縁体の側面、第９の絶縁体の側面、第３酸化物の側面、第４の導電体の側面、および第４の導電体の上面とそれぞれ接する、ことを特徴とする半導体装置。
第１の絶縁体と、
第１の絶縁体上の第２の絶縁体、および第１の導電体と、
第２の絶縁体上の第３の絶縁体と、
第１の導電体上、第２の絶縁体上、および第３の絶縁体上の第４の絶縁体と、
第４の絶縁体上の第５の絶縁体と、
第５の絶縁体上の第１の酸化物と、
第１の酸化物上の第２の酸化物と、
第２の酸化物上の第２の導電体、および第３の導電体と、
第４の絶縁体の上面の一部、第５の絶縁体の側面、第１の酸化物の側面、第２の酸化物の側面、第２の導電体の側面、および第２導電体の上面と接する第６の絶縁体と、
第４の絶縁体の上面の一部、第５の絶縁体の側面、第１の酸化物の側面、第２の酸化物の側面、第３の導電体の側面、および第３導電体の上面と接する第７の絶縁体と、
第６の絶縁体上の第８の絶縁体と、
第７の絶縁体上の第９の絶縁体と、
第２の酸化物の上面と接する第３の酸化物と、
第３の酸化物上の第１０の絶縁体と、
第１０の絶縁体上の
第４の導電体と、
第８の絶縁体、第９の絶縁体、および第４の導電体を覆う第１１の絶縁体と、を有し、
第２の絶縁体は、第１の導電体の側面と接し、
第１１の絶縁体は、第１の絶縁体の上面、第４の絶縁体の上面、第６の絶縁体の側面、第７の絶縁体の側面、第８絶縁体の側面、第９の絶縁体の側面、第３酸化物の側面、第４の導電体の側面、および第４の導電体の上面とそれぞれ接する、ことを特徴とする半導体装置。
請求項１または請求項２において、
第６乃至第９の絶縁体、および第１１の絶縁体は、それぞれ、
第５の絶縁体よりも酸素および水素の一方または双方を透過し難い、ことを特徴とする半導体装置。
請求項１乃至請求項３のいずれか一項において、
第６乃至第９の絶縁体、および第１１の絶縁体、それぞれ、
第１０の絶縁体よりも酸素および水素の一方または双方を透過し難い、
ことを特徴とする半導体装置。
請求項１乃至請求項４のいずれか一項において、
第２の絶縁体、第６の絶縁体、第７の絶縁体、および第１１の絶縁体は、それぞれ、
シリコン、および窒素を有する、
ことを特徴とする半導体装置。
請求項１乃至請求項５のいずれか一項において、
第２の絶縁体、および第１１の絶縁体の抵抗率は、それぞれ、
１×１０^１０Ωｃｍ以上、１×１０^１５Ωｃｍ以下である、
ことを特徴とする半導体装置。
請求項１乃至請求項６のいずれか一項において、
第８の絶縁体、および第９の絶縁体は、それぞれ、
アルミニウム、およびハフニウムの一方または両方を含む酸化物である、
ことを特徴とする半導体装置。
請求項１乃至請求項７のいずれか一項において、
第８の絶縁体、および第９の絶縁体は、それぞれ、
酸化アルミニウムである、ことを特徴とする半導体装置。
請求項１乃至請求８のいずれか一項において、
第１乃至第３の酸化物は、それぞれ、
Ｉｎと、元素Ｍ（ＭはＡｌ、Ｇａ、Ｙ、またはＳｎ）と、Ｚｎと、を有する、
ことを特徴とする半導体装置。
基板上に第１の絶縁体を形成し、
第１の絶縁体上に、第１の酸化膜、第２の酸化膜、および第１の導電膜を順に成膜し、
第１の酸化膜、第２の酸化膜、および第１の導電膜を加工して、第１の酸化物、第２の酸化物、および第１の導電体層を形成し、
第１の酸化物、第２の酸化物、および第１の導電体層を覆って、第１の絶縁膜、および第２の絶縁膜を順に成膜し、
リソグラフィー法によって、第２の絶縁膜に第１の加工を行ない、
第１の絶縁膜に第２の加工を行い、
第２の導電体層に第２の酸化物の一部が露出する第３の加工を行うことで、
第２乃至第５の絶縁体、

第１の導電体、および第２の導電体を形成し、
第２の酸化物上、第４の絶縁体、および第５の絶縁体上に、第３の酸化膜、第３の絶縁膜、第４の酸化膜、および第２の導電膜を順に成膜し、
リソグラフィー法によって、第４の酸化膜、および第２の導電膜を第３の絶縁膜の一部、が露出する加工を行うことで、第３の酸化物、および第３の導電体を形成し、
リソグラフィー法によって、第３の酸化膜、および第２の絶縁膜を第４の絶縁体の一部、および第５の絶縁体の一部が露出する加工を行うことによって、第４の酸化物、および第６の絶縁体を形成し、
第２の絶縁体，第３の絶縁体、第６の絶縁体、第３の酸化物、第４の酸化物、および第３の導電体を覆う、第７の絶縁体を形成すること、を特徴とする半導体装置の作製方法。
請求項１０において、
第１の加工は、ウェットエッチング法を用い、第２の加工、および第３の加工は、ドライエッチング法を用いること、を特徴とする半導体装置の作製方法。