JP2019007762A - タッチプローブを用いた計測方法 - Google Patents
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Abstract
Description
タッチプローブは被計測物に接触するスタイラスを装着し、スタイラスの先端球が被計測物に接触した位置をトリガー信号として出力するものである。
この種のタッチプローブは、スタイラスをプローブ本体に3点支持されているもの等、スタイラスの先端球の接触を検出するとともに、スタイラスの保護等を目的に何らかの可変支持構造を有している。
一方、スタイラスの先端球が被計測物に接触し、そのトリガー信号により、スタイラスの送りが停止するまでにオーバーシュートによる誤差が生じることになる。
本発明者が実験検討した結果、スタイラスのオーバーシュート量は先端球の接触送り方向により相違することが明らかになった。
これは、スタイラスのプローブ本体への支持構造に起因すると推定される。
これでは接触方向毎に異なるオーバーシュート量も補正する必要があり、キャリブレーションに多くの工数を有することになる。
ここで、前記タッチプローブは工作機械の工具主軸に装着され、前記先端球の接触位置が割り出し制御されていてもよい。
タッチプローブは、スタイラスが被計測物に接触した後に、この被計測物から離れる際に、スタイラスの位置が常に高い精度を持って元の位置に復帰するようにプローブ本体に支持されており、接触の感知方法としては圧力センサ方式,光学センサ方式,電気接点方式等が採用されている。
これにより、単一のオーバーシュートの補正量を考慮するだけで精度の高い計測が可能になる。
例えば図2に示すように、Y軸方向の対向する位置、Z軸方向の対向する位置、及び、X軸方向の位置の5点の測定が必要となる。
この際に少なくともX,Y,Z軸方向の並進制御及びB軸廻りに回転制御された工具主軸にタッチプローブ12を装着し、タッチプローブに取り付けたスタイラス13の先端球13aを基準球に向けて送り制御し、その接触位置を計測することになる。
これだと例えば、1つの先端球の位置(接点)13bに着目すると、対向するY方向及び対向するZ方向にて、それぞれ異なることになり、スタイラスのオーバーシュート量に差が生じてしまう。
オーバーシュート量は、図4に模式図を示すように、外径25mmの基準球11に外径6mmの先端球13aを接触させた位置S1からスキップ送りさせた位置S2とする。
これにより、オーバーシュート量bは、下記の式で求まる。
いずれもタッチプローブを装着した工具主軸のB軸の回転に合せて、Z,X方向をその分回転させた座標系で測定した。
B軸角度や工具主軸の送り方向によって、オーバーシュート量に大きな差はないが、方向1と2との間で、オーバーシュート量に大きな差が認められた。
このことから、移動する直進軸やタッチプローブの傾きによってはオーバーシュート量に変化がなく、先端球の接点13bの位置を合せ、先端球としては同じ方向に送り制御すると、オーバーシュート量が概ね同一であり、基準球位置計測においてZ,Y方向のオーバーシュート量は相殺されるため、送り方向毎に異なる補正をする必要がない。
12 タッチプローブ
13 スタイラス
13a 先端球
13b 接点
Claims (3)
- タッチプローブに取り付けたスタイラスの先端球が、被計測物に接触する際に、
前記被計測物に接触する前記先端球の接触位置が同一になるように制御されていることを特徴とするタッチプローブを用いた計測方法。 - 前記タッチプローブは工作機械の工具主軸に装着され、前記先端球の接触位置が割り出し制御されていることを特徴とする請求項1記載のタッチプローブを用いた計測方法。
- 前記被計測物は工作機械の主軸に取り付けた基準球であり、前記基準球の位置を計測するものであることを特徴とする請求項1又は2記載のタッチプローブを用いた計測方法。
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03277449A (ja) * | 1990-03-26 | 1991-12-09 | Okuma Mach Works Ltd | 計測機能を備えた数値制御装置 |
JPH04171161A (ja) * | 1990-11-02 | 1992-06-18 | Fuji Heavy Ind Ltd | タッチセンサーによる基準穴位置測定方法 |
JP2010032373A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Fanuc Ltd | 機上計測装置にて計測対象物の形状を計測する工作機械システム |
JP2012110983A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Howa Mach Ltd | 主軸定位置停止の指令方法及びワーク測定方法 |
US20130151001A1 (en) * | 2011-02-22 | 2013-06-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Calibration method for a spherical measurement probe |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03277449A (ja) * | 1990-03-26 | 1991-12-09 | Okuma Mach Works Ltd | 計測機能を備えた数値制御装置 |
JPH04171161A (ja) * | 1990-11-02 | 1992-06-18 | Fuji Heavy Ind Ltd | タッチセンサーによる基準穴位置測定方法 |
JP2010032373A (ja) * | 2008-07-29 | 2010-02-12 | Fanuc Ltd | 機上計測装置にて計測対象物の形状を計測する工作機械システム |
JP2012110983A (ja) * | 2010-11-22 | 2012-06-14 | Howa Mach Ltd | 主軸定位置停止の指令方法及びワーク測定方法 |
US20130151001A1 (en) * | 2011-02-22 | 2013-06-13 | Siemens Aktiengesellschaft | Calibration method for a spherical measurement probe |
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