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JP2019041283A - Image pick-up device and imaging apparatus - Google Patents

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JP2019041283A JP2017162691A JP2017162691A JP2019041283A JP 2019041283 A JP2019041283 A JP 2019041283A JP 2017162691 A JP2017162691 A JP 2017162691A JP 2017162691 A JP2017162691 A JP 2017162691A JP 2019041283 A JP2019041283 A JP 2019041283A
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槙子 齋藤
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Abstract

To set a gain automatically for each pixel circuit according to a signal level, in a configuration where amplification means capable of changing the gain is provided in each pixel circuit.SOLUTION: An image pick-up device includes photoelectric conversion means generating charges according to an incident ray volume, multiple pixel circuits including a charge storage capacity for storing the charges, and amplification means for amplifying a voltage, corresponding to the charge amount stored in the charge storage capacity, and outputting an optical signal, respectively, multiple AD conversion means including comparison means for comparing the optical signal from the amplification means with a reference signal and outputting a comparison result, and multiple gain setting means for setting a gain of the amplification means, respectively, where the gain setting means sets the gain of the amplification means, on the basis of the comparison result from the comparison means corresponding to each pixel circuit, for each pixel circuit.SELECTED DRAWING: Figure 3

Description

本発明は撮像素子及び撮像装置に関する。   The present invention relates to an imaging element and an imaging apparatus.

デジタルカメラ等の撮像装置に対する高画質化の要求から、撮像装置に搭載される撮像素子に対し、撮像信号の高SN比化が求められている。SN比は、入射光に応じて生じた信号と、ノイズとの比率であり、ノイズが少なくSN比が高ければ、信号処理によるゲインアップを行って撮像装置としての高感度化を実現することができる。   Due to the demand for higher image quality for imaging devices such as digital cameras, higher signal-to-noise ratios of imaging signals are required for imaging devices mounted on imaging devices. The S / N ratio is a ratio between a signal generated according to incident light and noise. If there is little noise and the S / N ratio is high, gain enhancement by signal processing can be performed to achieve high sensitivity as an imaging apparatus. it can.

固体撮像素子で生じるノイズとしては、フォトダイオードや画素の電荷蓄積容量で生じる暗電流や、画素ソースフォロワで生じる1/fノイズなどの画素ノイズと、読出し回路で生じる読出しノイズが知られている。各ノイズのうち、画素ソースフォロワ、および、読出し回路で生じる成分については、画素ソースフォロワの変換ゲインを高く設定することにより、等価的に抑圧することが可能となる。   As noise generated in a solid-state image sensor, pixel noise such as dark current generated in a photodiode or a charge storage capacitor of a pixel, 1 / f noise generated in a pixel source follower, and readout noise generated in a reading circuit are known. Among each noise, components generated in the pixel source follower and the readout circuit can be equivalently suppressed by setting the conversion gain of the pixel source follower high.

特許文献1には、複数の光電変換部が浮遊拡散部と画素ソースフォロワを共有した構成の固体撮像素子が開示されている。特許文献1では、前述の構成において、光電変換部に設けられたカラーフィルタの色によって、信号を読み出す際の浮遊拡散部の容量を変更するよう固体撮像素子を駆動している。具体的には、外部信号の指示により、特定の色の光電変換部から信号を読み出す際に、浮遊拡散部の容量を変更することにより、画素ソースフォロワの変換ゲインを切り替える。これにより、感度の低い色の画素信号を高いゲインで出力させ、当該色の画素のノイズを抑制している。   Patent Document 1 discloses a solid-state imaging device in which a plurality of photoelectric conversion units share a floating diffusion unit and a pixel source follower. In Patent Document 1, in the above-described configuration, the solid-state imaging device is driven so as to change the capacitance of the floating diffusion unit when reading a signal depending on the color of the color filter provided in the photoelectric conversion unit. Specifically, the conversion gain of the pixel source follower is switched by changing the capacitance of the floating diffusion unit when a signal is read out from the photoelectric conversion unit of a specific color in accordance with an external signal instruction. Thereby, a pixel signal of a color with low sensitivity is output with a high gain, and noise of the pixel of the color is suppressed.

特開2008−305983号公報JP 2008-305983 A

撮像装置による実際の撮影シーンを考えたとき、同色の画素であっても、蓄積される信号量は画素毎にそれぞれ異なる。しかしながら、特許文献1に開示された従来技術では、光電変換部に設けられたカラーフィルタの色によって、予め定められた駆動パターンに従って画素ソースフォロワの変換ゲインを切り替えている。従って、様々な光源や被写体を撮影した場合に、信号量の少ない画素に対して選択的に高いゲインをかけ、ノイズを抑制するように駆動させることはできない。   When considering an actual shooting scene by the image pickup apparatus, the amount of accumulated signal varies from pixel to pixel even for pixels of the same color. However, in the conventional technique disclosed in Patent Document 1, the conversion gain of the pixel source follower is switched according to a predetermined drive pattern according to the color of the color filter provided in the photoelectric conversion unit. Therefore, when various light sources and subjects are photographed, it is not possible to selectively apply high gain to pixels with a small signal amount and drive them to suppress noise.

本発明は上記問題点を鑑みてなされたものであり、ゲインが変更可能な増幅手段を各画素回路に設けた構成において、信号レベルに応じてゲインを画素回路毎に自動的に設定することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above problems, and in a configuration in which each pixel circuit is provided with an amplifying means capable of changing the gain, the gain is automatically set for each pixel circuit in accordance with the signal level. Objective.

上記目的を達成するために、本発明の撮像素子は、入射光量に応じて電荷を発生する光電変換手段と、前記電荷を蓄積する電荷蓄積容量と、前記電荷蓄積容量に蓄積された電荷量に応じた電圧を増幅して光信号を出力する増幅手段と、をそれぞれ含む、複数の画素回路と、前記増幅手段からの光信号と参照信号とを比較して比較結果を出力する比較手段を含む、複数のAD変換手段と、前記増幅手段のゲインをそれぞれ設定する、複数のゲイン設定手段と、を備え、前記ゲイン設定手段は、前記画素回路ごとに、各画素回路に対応する前記比較手段の比較結果に基づいて、前記増幅手段のゲインを設定する。   In order to achieve the above object, an imaging device according to the present invention includes a photoelectric conversion unit that generates a charge according to the amount of incident light, a charge storage capacitor that stores the charge, and a charge amount that is stored in the charge storage capacitor. A plurality of pixel circuits, each of which includes amplifying means for amplifying a corresponding voltage and outputting an optical signal; and a comparing means for comparing the optical signal from the amplifying means with a reference signal and outputting a comparison result A plurality of AD conversion means and a plurality of gain setting means for setting gains of the amplifying means, respectively, wherein the gain setting means is provided for each of the pixel circuits with the comparison means corresponding to each pixel circuit. Based on the comparison result, the gain of the amplification means is set.

本発明によれば、ゲインが変更可能な増幅手段を各画素回路に設けた構成において、信号レベルに応じてゲインを画素回路毎に自動的に設定することができる。   According to the present invention, in a configuration in which each pixel circuit is provided with an amplifying means capable of changing the gain, the gain can be automatically set for each pixel circuit in accordance with the signal level.

本発明の実施形態に係る撮像装置の概略構成を示すブロック図。1 is a block diagram showing a schematic configuration of an imaging apparatus according to an embodiment of the present invention. 第1の実施形態における撮像素子の概略構成を示すブロック図。1 is a block diagram illustrating a schematic configuration of an image sensor according to a first embodiment. 第1の実施形態における撮像素子の等価回路図。FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of the image sensor according to the first embodiment. 第1の実施形態における撮像素子の駆動タイミングチャート。3 is a drive timing chart of the image sensor according to the first embodiment. 第1の実施形態における撮像信号の補正処理を示すフローチャート。5 is a flowchart illustrating image signal correction processing according to the first embodiment. 第1の実施形態の変形例における撮像素子の等価回路図。The equivalent circuit diagram of the image sensor in the modification of 1st Embodiment. 第1の実施形態の変形例における撮像素子の概略構成を示すブロック図。The block diagram which shows schematic structure of the image pick-up element in the modification of 1st Embodiment. 第2の実施形態における撮像素子の等価回路図。FIG. 6 is an equivalent circuit diagram of an image sensor according to the second embodiment. 第2の実施形態における撮像素子の駆動タイミングチャート。The drive timing chart of the image sensor in 2nd Embodiment. 第2の実施形態における撮像素子の駆動タイミングチャート。The drive timing chart of the image sensor in 2nd Embodiment. 第2の実施形態における撮像信号の補正処理を示すフローチャート。9 is a flowchart illustrating imaging signal correction processing according to the second embodiment. 第3の実施形態における撮像素子の等価回路図。The equivalent circuit schematic of the image sensor in 3rd Embodiment. 第3の実施形態における撮像素子の駆動タイミングチャート。10 is a drive timing chart of an image sensor according to a third embodiment. 第3の実施形態における撮像信号の補正処理を示すフローチャート。10 is a flowchart illustrating imaging signal correction processing according to the third embodiment. 第4の実施形態における撮像素子の等価回路図。FIG. 10 is an equivalent circuit diagram of an image sensor according to the fourth embodiment. 第4の実施形態における撮像素子の駆動タイミングチャート。10 is a drive timing chart of an image sensor according to a fourth embodiment. 第4の実施形態における撮像信号の補正処理を示すフローチャート。10 is a flowchart illustrating imaging signal correction processing according to the fourth embodiment.

以下、添付図面を参照して本発明を実施するための形態を詳細に説明する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

図1は、本発明の実施形態に係る撮像装置の概略構成を示すブロック図である。全体制御・演算回路3は、撮像装置全体の統括的な駆動・制御を行う。撮像素子1は、全体制御・演算回路3からの制御信号を受け、撮影レンズ7を通過した入射光を取り込み、画像信号に変換して出力する。信号処理部2は、全体制御・演算回路3からの制御信号を受け、撮像素子1から出力される画像信号に対して、信号増幅等の各種の補正や、データの並べ替えなどを行う。   FIG. 1 is a block diagram illustrating a schematic configuration of an imaging apparatus according to an embodiment of the present invention. The overall control / arithmetic circuit 3 performs overall drive / control of the entire imaging apparatus. The image sensor 1 receives a control signal from the overall control / arithmetic circuit 3, takes in incident light that has passed through the photographing lens 7, converts it into an image signal, and outputs it. The signal processing unit 2 receives a control signal from the overall control / arithmetic circuit 3 and performs various corrections such as signal amplification and data rearrangement on the image signal output from the image sensor 1.

記録部5は、全体制御・演算回路3から出力された画像信号等を記録保持するメモリカード等の記録媒体である。表示部4は、撮影後の画像やライブビュー画像、各種設定画面等を表示する。レンズ駆動部6は、全体制御・演算回路3からの制御信号を受け、撮影レンズ7を駆動する。   The recording unit 5 is a recording medium such as a memory card that records and holds an image signal or the like output from the overall control / arithmetic circuit 3. The display unit 4 displays an image after shooting, a live view image, various setting screens, and the like. The lens driving unit 6 receives the control signal from the overall control / arithmetic circuit 3 and drives the photographing lens 7.

<第1の実施形態>
以下、本発明の第1の実施形態について説明する。図2は、第1の実施形態における撮像素子1の構成を示すブロック図である。画素部10は、複数の画素回路100が行列状に配置されて構成される。なお、各画素回路100の構成については後述する。列回路部11は、複数の列回路110を備え、第1の実施形態では画素部10の各画素列に対応して設けられる。なお、各列回路110の構成については後述する。
<First Embodiment>
Hereinafter, a first embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 is a block diagram illustrating a configuration of the image sensor 1 according to the first embodiment. The pixel unit 10 includes a plurality of pixel circuits 100 arranged in a matrix. The configuration of each pixel circuit 100 will be described later. The column circuit unit 11 includes a plurality of column circuits 110, and is provided corresponding to each pixel column of the pixel unit 10 in the first embodiment. The configuration of each column circuit 110 will be described later.

列回路制御部12は、列回路110に対し各回路素子を制御するための制御信号を供給する。画素制御部13は、各画素回路100に対し、各回路素子を制御するための制御信号を供給する。   The column circuit control unit 12 supplies a control signal for controlling each circuit element to the column circuit 110. The pixel control unit 13 supplies a control signal for controlling each circuit element to each pixel circuit 100.

図3は、第1の実施形態における撮像素子1の構成を示す等価回路図である。撮像素子1の特徴は、画素からの信号を出力する出力アンプとして働く、画素ソースフォロワのゲインを、比較器111の比較結果に応じて切換え可能な構成にしている点である。画素ソースフォロワのゲイン設定を行うことにより、列アンプを設けずとも信号レベルの増幅率の切り替えが可能となり、列アンプで生じるノイズを廃し、また、画素ソースフォロワで生じたノイズを増幅させずに、高ゲインでの信号読出しを行うことが可能となる。さらに、画素ソースフォロワのゲインを比較器111の比較結果に応じて切り替えることにより、画素毎に独立して、信号レベルに応じたゲインを自動的に選択させることを可能にしている。   FIG. 3 is an equivalent circuit diagram illustrating a configuration of the image sensor 1 according to the first embodiment. The image sensor 1 is characterized in that the gain of a pixel source follower that functions as an output amplifier that outputs a signal from a pixel can be switched according to the comparison result of the comparator 111. By setting the pixel source follower gain, it is possible to switch the amplification level of the signal level without providing a column amplifier, eliminating the noise generated by the column amplifier and without amplifying the noise generated by the pixel source follower. Thus, it is possible to perform signal readout with high gain. Furthermore, by switching the gain of the pixel source follower according to the comparison result of the comparator 111, it is possible to automatically select the gain according to the signal level independently for each pixel.

各画素回路100は、フォトダイオードなどにより構成された、入射光量に応じた信号電荷を発生する光電変換部101を有する。浮遊拡散層FDは、光電変換部101で生じた電荷を蓄積する、第1の電荷蓄積容量である。転送スイッチ102は、画素制御部13から供給される転送パルスPTXによって、光電変換部101で生じた信号電荷の、浮遊拡散層FDへの転送を制御する。   Each pixel circuit 100 includes a photoelectric conversion unit 101 configured by a photodiode or the like that generates a signal charge corresponding to the amount of incident light. The floating diffusion layer FD is a first charge storage capacitor that stores charges generated in the photoelectric conversion unit 101. The transfer switch 102 controls the transfer of the signal charge generated in the photoelectric conversion unit 101 to the floating diffusion layer FD by the transfer pulse PTX supplied from the pixel control unit 13.

増幅トランジスタ103は、浮遊拡散層FDを含むゲート入力部に接続された電荷蓄積容量とともに、ソースフォロワアンプである画素ソースフォロワとして機能し、電荷蓄積容量の電圧を増幅して出力する。電圧Vと、容量Cに蓄えられる電荷量Qとの関係式(V=Q/C)より、増幅トランジスタ103のゲート入力部の容量が少ないほど、容量Cに蓄積された電荷量Qに対する画素ソースフォロワの出力電圧は大きくなることがわかる。従って、増幅トランジスタ103のゲート入力部の容量を変化させることにより、画素ソースフォロワのゲインを変化させることができる。   The amplification transistor 103 functions as a pixel source follower that is a source follower amplifier together with a charge storage capacitor connected to a gate input unit including the floating diffusion layer FD, and amplifies and outputs the voltage of the charge storage capacitor. From the relational expression (V = Q / C) between the voltage V and the amount of charge Q stored in the capacitor C (V = Q / C), the pixel source corresponding to the amount of charge Q stored in the capacitor C decreases as the capacitance of the gate input portion of the amplification transistor 103 decreases. It can be seen that the output voltage of the follower increases. Therefore, the gain of the pixel source follower can be changed by changing the capacitance of the gate input portion of the amplification transistor 103.

付加容量105は、第2の電荷蓄積容量であり、浮遊拡散層FDと並列に設けられる。容量付加スイッチ104は、付加容量105の接続/切り離しを行う。容量付加スイッチ104をオフすることで付加容量105を浮遊拡散層FDから切り離し、画素ソースフォロワのゲインを向上させることができる。容量付加スイッチ104は、列回路110から供給されるゲイン設定パルスPGAINまたは直接制御パルスPCRによって制御される。   The additional capacitor 105 is a second charge storage capacitor and is provided in parallel with the floating diffusion layer FD. The capacity addition switch 104 connects / disconnects the additional capacity 105. By turning off the capacitor addition switch 104, the additional capacitor 105 can be disconnected from the floating diffusion layer FD, and the gain of the pixel source follower can be improved. The capacitance addition switch 104 is controlled by a gain setting pulse PGAIN or a direct control pulse PCR supplied from the column circuit 110.

リセットスイッチ106は、浮遊拡散層FDおよび付加容量105の電荷をリセットするために用いられ、画素制御部13から供給される転送パルスPRESによって制御される。選択スイッチ107は、画素制御部13から供給される選択パルスPSELによって、画素回路100と列回路110との接続を制御する。   The reset switch 106 is used to reset the charges of the floating diffusion layer FD and the additional capacitor 105 and is controlled by a transfer pulse PRES supplied from the pixel control unit 13. The selection switch 107 controls connection between the pixel circuit 100 and the column circuit 110 by a selection pulse PSEL supplied from the pixel control unit 13.

電流源Iは、列回路110に接続された画素回路100の、画素ソースフォロワの出力電圧に応じて、電流を供給する。   The current source I supplies current according to the output voltage of the pixel source follower of the pixel circuit 100 connected to the column circuit 110.

カウンタ120は列回路制御部12に設けられ、信号のアップカウントを行う。カウンタ120から出力されたカウント値COUNTは、列回路部11に設けられた複数の列回路110の第1のメモリ113n及び第2のメモリ113sに共通に入力される。   The counter 120 is provided in the column circuit control unit 12 and counts up signals. The count value COUNT output from the counter 120 is input in common to the first memory 113n and the second memory 113s of the plurality of column circuits 110 provided in the column circuit unit 11.

列回路110には、画素回路100が接続される。ここでは各画素列に1つの列回路110が設けられるものとするが、1つの列回路110が複数の画素回路100に対応していればよく、例えば所定の画素ブロック単位に対応して1つの列回路110を設けるようにしてもよい。   The pixel circuit 100 is connected to the column circuit 110. Here, one column circuit 110 is provided for each pixel column, but one column circuit 110 only needs to correspond to a plurality of pixel circuits 100. For example, one column circuit 110 corresponds to a predetermined pixel block unit. A column circuit 110 may be provided.

比較器111は、画素回路100から出力された信号電圧Vpixと、参照信号RAMPの高低を比較し、参照信号RAMPの電圧が高い場合はハイレベル、低い場合はローレベルを出力する。第1のメモリ113n及び第2のメモリ113sは、比較器111の出力のハイレベルからローレベルへの遷移を受けて、カウンタ120から入力されたカウント値をデジタル信号値として記憶する。比較器111、カウンタ120、第1のメモリ113n及び第2のメモリ113sによって、アナログ信号である信号電圧Vpixをデジタル信号に変換可能なAD変換回路が構成される。   The comparator 111 compares the signal voltage Vpix output from the pixel circuit 100 with the level of the reference signal RAMP, and outputs a high level when the voltage of the reference signal RAMP is high and a low level when it is low. The first memory 113n and the second memory 113s receive the transition from the high level to the low level of the output of the comparator 111, and store the count value input from the counter 120 as a digital signal value. The comparator 111, the counter 120, the first memory 113n, and the second memory 113s constitute an AD conversion circuit that can convert the signal voltage Vpix that is an analog signal into a digital signal.

ゲーテッド・ラッチ回路(以下、ラッチ回路)112は、入力イネーブルパルスPLEがハイレベルの間のみ各端子からの入力を受け付ける。このとき、出力リセットパルスPLRとしてハイレベルが入力されると、ゲイン設定パルスPGAINがローレベルにリセットされる。出力リセットパルスPLRがローレベルの間に比較器111からハイレベルが入力された瞬間、ゲイン設定パルスPGAINがハイレベルに遷移し、出力リセットパルスPLRによってリセットされるまでの間ハイレベルを保持し続ける。ラッチ回路112から出力されるゲイン設定パルスPGAINは、当該列回路110に接続された画素回路100へ供給され、当該画素回路100の容量付加スイッチ104に接続される。   A gated latch circuit (hereinafter referred to as a latch circuit) 112 accepts input from each terminal only while the input enable pulse PLE is at a high level. At this time, when a high level is input as the output reset pulse PLR, the gain setting pulse PGAIN is reset to a low level. The moment the high level is input from the comparator 111 while the output reset pulse PLR is at the low level, the gain setting pulse PGAIN transitions to the high level and keeps the high level until it is reset by the output reset pulse PLR. . The gain setting pulse PGAIN output from the latch circuit 112 is supplied to the pixel circuit 100 connected to the column circuit 110 and is connected to the capacitance addition switch 104 of the pixel circuit 100.

制御切り替えスイッチ114は、容量付加スイッチ104の制御を、ゲイン設定パルスPGAINによる制御から直接制御パルスPCRによる制御に切り替える。直接制御パルスPCRがハイレベルの時は直接制御パルスPCRが、一方、直接制御パルスPCRがローレベルの時はゲイン設定パルスPGAINが、それぞれ容量付加スイッチ104のゲート電極に接続される。   The control changeover switch 114 switches the control of the capacitance addition switch 104 from the control by the gain setting pulse PGAIN to the control by the direct control pulse PCR. When the direct control pulse PCR is at the high level, the direct control pulse PCR is connected to the gate electrode of the capacitance addition switch 104, and when the direct control pulse PCR is at the low level, the gain setting pulse PGAIN is connected to the gate electrode of the capacitance addition switch 104, respectively.

なお、図3では、増幅トランジスタ103と浮遊拡散層FDから成る画素ソースフォロワを、1つの光電変換部101あたり1つずつ備えた構成について説明したが、複数の光電変換部101で、1つの画素ソースフォロワを共有する構成としてもよい。   Note that although FIG. 3 illustrates a configuration in which one pixel source follower including the amplification transistor 103 and the floating diffusion layer FD is provided for each photoelectric conversion unit 101, one pixel is included in the plurality of photoelectric conversion units 101. It is good also as a structure which shares a source follower.

次に、図4を参照して、第1の実施形態における、撮像素子1の画素回路100からの信号読出し動作について説明する。第1の実施形態における信号読出し動作の特徴は、画素回路100からの信号読出し動作の中で、各画素からの信号に応じた画素ソースフォロワの出力電圧に応じて、画素ソースフォロワのゲインが自動的に設定される点である。この読出し動作により、信号レベルに応じて、画素毎に独立してゲインを設定することを可能にしている。   Next, with reference to FIG. 4, a signal reading operation from the pixel circuit 100 of the image sensor 1 in the first embodiment will be described. The feature of the signal readout operation in the first embodiment is that, in the signal readout operation from the pixel circuit 100, the gain of the pixel source follower is automatically set according to the output voltage of the pixel source follower according to the signal from each pixel. It is a point set up automatically. This readout operation makes it possible to set the gain independently for each pixel in accordance with the signal level.

図4は、画素回路100から信号を読み出す際の駆動タイミングチャートである。信号読出しにおける第1のステップとして、信号の読み出しを行う前の時刻T201から時刻T208の間に、ラッチ回路112および浮遊拡散層FD、付加容量105のリセットを行う。   FIG. 4 is a drive timing chart when reading a signal from the pixel circuit 100. As a first step in signal readout, the latch circuit 112, the floating diffusion layer FD, and the additional capacitor 105 are reset between time T201 and time T208 before signal readout.

まず、時刻T201で、入力イネーブルパルスPLEをハイレベルとし、ラッチ回路112の各端子への入力をイネーブル状態とする。そして、時刻T202で、出力リセットパルスPLRをハイレベルとし、ラッチ回路112から出力されるゲイン設定パルスPGAINをローレベルにリセットし、画素回路100の容量付加スイッチ104をオフ状態に統一する。付加容量105は浮遊拡散層FDから切り離され、電荷蓄積容量は低下し、画素ソースフォロワのゲインが、高ゲインである第1のゲインに統一される。   First, at time T201, the input enable pulse PLE is set to high level, and the input to each terminal of the latch circuit 112 is enabled. At time T202, the output reset pulse PLR is set to the high level, the gain setting pulse PGAIN output from the latch circuit 112 is reset to the low level, and the capacitance addition switch 104 of the pixel circuit 100 is unified to the off state. The additional capacitor 105 is disconnected from the floating diffusion layer FD, the charge storage capacitance is reduced, and the gain of the pixel source follower is unified to the first gain which is a high gain.

次に時刻T203で、出力リセットパルスPLRをローレベルとする。このときラッチ回路112はゲイン設定パルスPGAINとしてローレベルを保持し続ける。時刻T204で、入力イネーブルパルスPLEをローレベルとし、ラッチ回路112の各端子への入力をディセーブル状態とする。   Next, at time T203, the output reset pulse PLR is set to low level. At this time, the latch circuit 112 continues to hold the low level as the gain setting pulse PGAIN. At time T204, the input enable pulse PLE is set to the low level, and the input to each terminal of the latch circuit 112 is disabled.

時刻T205で、選択パルスPSELをハイレベルとし、選択スイッチ107をオンして、画素回路100を列回路110に接続する。また、参照信号RAMPを、AD変換回路の変換レンジの下限に相当する最小の入力電圧Vrmaxに設定する。   At time T205, the selection pulse PSEL is set to high level, the selection switch 107 is turned on, and the pixel circuit 100 is connected to the column circuit 110. Further, the reference signal RAMP is set to the minimum input voltage Vrmax corresponding to the lower limit of the conversion range of the AD conversion circuit.

時刻T206で、リセットパルスPRESをハイレベルとし、リセットスイッチ106をオンして、浮遊拡散層FDの電荷をリセットする。このとき、直接制御パルスPCRをハイレベルとし、制御切り替えスイッチ114をオンして、付加容量105の電荷も同時にリセットする。時刻T207で、リセットパルスPRESをローレベルとし、リセットスイッチ106をオフして、浮遊拡散層FDと付加容量105の電荷のリセットを終了する。   At time T206, the reset pulse PRES is set to the high level, the reset switch 106 is turned on, and the charge of the floating diffusion layer FD is reset. At this time, the direct control pulse PCR is set to the high level, the control changeover switch 114 is turned on, and the charge of the additional capacitor 105 is simultaneously reset. At time T207, the reset pulse PRES is set to the low level, the reset switch 106 is turned off, and the resetting of the charges in the floating diffusion layer FD and the additional capacitor 105 is completed.

時刻T208で、直接制御パルスPCRをローレベルとし、制御切り替えスイッチ114をオフして、浮遊拡散層FDから付加容量105を切り離し、画素ソースフォロワのゲインを第1のゲインに設定する。   At time T208, the direct control pulse PCR is set to low level, the control changeover switch 114 is turned off, the additional capacitor 105 is disconnected from the floating diffusion layer FD, and the gain of the pixel source follower is set to the first gain.

次に、信号読出しにおける第2のステップとして、時刻T209から時刻T210の間に、浮遊拡散層FDのリセットレベルであるリセット信号RefのAD変換を行う。まず、第1のメモリ113nへの書き込みをイネーブル状態にする。そして、時刻T209から時刻T210の間に、参照信号RAMPとして、電圧がVrmaxから時間に比例して低下するランプ波を入力するのと同時に、カウンタ120でカウント値0からのアップカウントを行う。ランプ波の電圧が画素回路100からの出力電圧Vpixを下回った瞬間、比較器111の出力COMPがローレベルからハイレベルに遷移する。比較器111の出力COMPのローレベルへの遷移を受け、その時点のカウンタ120のカウント値を、リセット信号Refとして第1のメモリ113nに記憶させ、第1のメモリ113nへの書き込みをディセーブル状態にする。   Next, as a second step in signal readout, AD conversion of the reset signal Ref, which is the reset level of the floating diffusion layer FD, is performed between time T209 and time T210. First, writing to the first memory 113n is enabled. Then, during the period from time T209 to time T210, as the reference signal RAMP, a ramp wave whose voltage decreases from Vrmax in proportion to time is input, and at the same time, the counter 120 counts up from the count value 0. At the moment when the voltage of the ramp wave falls below the output voltage Vpix from the pixel circuit 100, the output COMP of the comparator 111 changes from low level to high level. In response to the transition of the output COMP of the comparator 111 to the low level, the count value of the counter 120 at that time is stored in the first memory 113n as the reset signal Ref, and writing to the first memory 113n is disabled. To.

リセット信号RefのAD変換が終了した時刻T210に、参照信号RAMPを、AD変換回路の変換レンジの上限に相当する最小の入力電圧Vrminに設定する。また、カウンタ120のカウント値を最大値にセットする。   At time T210 when the AD conversion of the reset signal Ref is completed, the reference signal RAMP is set to the minimum input voltage Vrmin corresponding to the upper limit of the conversion range of the AD conversion circuit. Further, the count value of the counter 120 is set to the maximum value.

次に、信号読出しにおける第3のステップとして、時刻T211から時刻T216の間に、リセット信号Refに対し光電変換部101で蓄積された光信号レベルが上乗せされた光信号SigのAD変換を行う。   Next, as a third step in signal readout, AD conversion of the optical signal Sig in which the optical signal level accumulated in the photoelectric conversion unit 101 is added to the reset signal Ref is performed between time T211 and time T216.

まず、時刻T211から時刻T213の間、入力イネーブルパルスPLEをハイレベルとし、ラッチ回路112の各端子への入力をイネーブル状態として、以降に述べるゲイン選択動作を行う。   First, between time T211 and time T213, the input enable pulse PLE is set to the high level, the input to each terminal of the latch circuit 112 is enabled, and the gain selection operation described below is performed.

時刻T211で、転送パルスPTXをハイレベルとし、転送スイッチ102をオンして、光電変換部101に蓄積された電荷を、浮遊拡散層FDに転送する。時刻T212に、転送パルスPTXをローレベルとし、転送スイッチ102をオフして、光電変換部101に蓄積された電荷の、浮遊拡散層FDへの転送を終了する。   At time T211, the transfer pulse PTX is set to high level, the transfer switch 102 is turned on, and the charge accumulated in the photoelectric conversion unit 101 is transferred to the floating diffusion layer FD. At time T212, the transfer pulse PTX is set to low level, the transfer switch 102 is turned off, and the transfer of the charge accumulated in the photoelectric conversion unit 101 to the floating diffusion layer FD is completed.

比較器111では、画素回路100からの出力電圧Vpixと参照信号RAMPの電圧Vrminを比較する。図4(a)に示すように、出力電圧Vpixが電圧Vrminを下回った場合(すなわち出力電圧VpixがAD変換レンジの上限を超過した場合)、比較器111の出力COMPがハイレベルからローレベルに遷移する。その結果、ラッチ回路112にゲイン設定パルスPGAINとしてハイレベルが保持され、容量付加スイッチ104がオン状態となる。これにより、付加容量105が浮遊拡散層FDに接続され、画素ソースフォロワのゲインが第1のゲインに対して低ゲインである第2のゲインに設定変更される。これにより、画素回路100からの出力電圧Vpixが、AD変換レンジの上限に相当する最小の入力電圧Vrminを上回り、AD変換レンジ内の電圧に変化する。   The comparator 111 compares the output voltage Vpix from the pixel circuit 100 with the voltage Vrmin of the reference signal RAMP. As shown in FIG. 4A, when the output voltage Vpix falls below the voltage Vrmin (that is, when the output voltage Vpix exceeds the upper limit of the AD conversion range), the output COMP of the comparator 111 changes from the high level to the low level. Transition. As a result, the latch circuit 112 holds the high level as the gain setting pulse PGAIN, and the capacitor addition switch 104 is turned on. As a result, the additional capacitor 105 is connected to the floating diffusion layer FD, and the gain of the pixel source follower is changed to the second gain that is lower than the first gain. As a result, the output voltage Vpix from the pixel circuit 100 exceeds the minimum input voltage Vrmin corresponding to the upper limit of the AD conversion range, and changes to a voltage within the AD conversion range.

一方、図4(b)に示すように、出力電圧Vpixが電圧Vrminを下回らなかった場合(すなわち出力電圧VpixがAD変換レンジの上限を超過しなかった場合)、ゲイン設定パルスPGAINはローレベルのままとなる。これにより、画素ソースフォロワは高ゲインである第1のゲインのままとなる。このゲイン設定動作は、信号読出し動作の度に、列回路110それぞれで実施されるため、画素ソースフォロワのゲインは画素毎に設定される。   On the other hand, as shown in FIG. 4B, when the output voltage Vpix does not fall below the voltage Vrmin (that is, when the output voltage Vpix does not exceed the upper limit of the AD conversion range), the gain setting pulse PGAIN is at the low level. Will remain. As a result, the pixel source follower remains at the first gain which is a high gain. Since this gain setting operation is performed in each column circuit 110 every time a signal reading operation is performed, the gain of the pixel source follower is set for each pixel.

時刻T213で、入力イネーブルパルスPLEをローレベルとし、ラッチ回路112の各端子への入力をディセーブル状態として、ゲイン選択動作を終了する。   At time T213, the input enable pulse PLE is set to the low level, the input to each terminal of the latch circuit 112 is disabled, and the gain selection operation is terminated.

時刻T214で、参照信号RAMPを、AD変換回路の変換レンジの下限に相当する最小の入力電圧Vrmaxに設定する。   At time T214, the reference signal RAMP is set to the minimum input voltage Vrmax corresponding to the lower limit of the conversion range of the AD conversion circuit.

第2のメモリ113sへの書き込みをイネーブル状態にし、時刻T215から時刻T216の間に、参照信号RAMPとして、時間に比例して電圧がVrmaxからVrminまで低下するランプ波を入力する。これと同時に、カウンタ120でカウント値0からのアップカウントを行う。ランプ波の電圧が画素回路100からの出力電圧Vpixを下回った瞬間、比較器111の出力COMPがハイレベルからローレベルに遷移する。比較器111の出力COMPのローレベルへの遷移を受け、その時点のカウンタ120のカウント値を、光信号Sigとして第2のメモリ113sに記憶させ、第2のメモリ113sへの書き込みをディセーブル状態にする。   Writing to the second memory 113s is enabled, and a ramp wave whose voltage decreases from Vrmax to Vrmin in proportion to time is input as the reference signal RAMP between time T215 and time T216. At the same time, the counter 120 counts up from the count value 0. At the moment when the voltage of the ramp wave falls below the output voltage Vpix from the pixel circuit 100, the output COMP of the comparator 111 changes from high level to low level. In response to the transition of the output COMP of the comparator 111 to the low level, the count value of the counter 120 at that time is stored in the second memory 113s as the optical signal Sig, and writing to the second memory 113s is disabled. To.

時刻T217で、選択パルスPSELをローレベルとし、選択スイッチ107をオフして、画素回路100を列回路110から切り離す。その後、第1のメモリ113nに記憶されたリセット信号Ref、第2のメモリ113sに記憶された光信号Sigを読み出す。また、ゲインを示す情報であるゲイン判定値GAINとして、ゲイン設定パルスPGAINのレベルがローレベルであれば0、ハイレベルであれば1を読出し、画素からの信号読出し動作を終了する。   At time T217, the selection pulse PSEL is set to low level, the selection switch 107 is turned off, and the pixel circuit 100 is disconnected from the column circuit 110. Thereafter, the reset signal Ref stored in the first memory 113n and the optical signal Sig stored in the second memory 113s are read. Further, 0 is read if the gain setting pulse PGAIN is at a low level, and 1 is read if the gain setting pulse PGAIN is at a high level, and the signal reading operation from the pixel is completed.

以上説明した画素回路100からの信号読出し動作を、所望の画素数の信号を読み出すまで繰り返し、撮像素子1からの一連の信号読出し動作とする。   The signal readout operation from the pixel circuit 100 described above is repeated until a signal of a desired number of pixels is read out, and a series of signal readout operations from the image sensor 1 is performed.

なお、第1の実施形態では、画素ソースフォロワのゲインを高いゲインである第1のゲインに設定して、ゲイン設定動作を行うようにしたが、第1のゲインに対し、低いゲインである第2のゲインに設定して、ゲイン設定動作を行うようにしてもよい。この場合、AD変換回路のAD変換レンジの上限値に対して第1のゲインG1と第2のゲインG2の比G2/G1を乗算した値に相当する入力電圧に、ゲイン選択動作を行う際の参照信号RAMPを設定し、ゲイン設定動作を行うようにする。その上で、この電圧レベルを下回らない画素について、第2のゲインG2に対して高ゲインである第1のゲインG1に設定変更するよう駆動すればよい。   In the first embodiment, the gain of the pixel source follower is set to the first gain which is a high gain and the gain setting operation is performed. However, the first gain which is lower than the first gain is used. The gain setting operation may be performed by setting the gain to 2. In this case, when the gain selection operation is performed on the input voltage corresponding to the value obtained by multiplying the upper limit value of the AD conversion range of the AD conversion circuit by the ratio G2 / G1 of the first gain G1 and the second gain G2. Set the reference signal RAMP and perform the gain setting operation. In addition, the pixels that do not fall below this voltage level may be driven to change the setting to the first gain G1, which is a higher gain than the second gain G2.

なお、本読出し動作において、リセット信号Refは、高いゲインである第1のゲインG1で読み出す様に駆動している。これは、のちに述べる補正動作において、高いゲインG1で読み出される信号、すなわち、ノイズがSN比に与える影響の大きい低輝度信号を出力する画素で、リセットレベルのばらつきをより精度良く除去し、補正精度を向上させるためである。   In this read operation, the reset signal Ref is driven so as to be read with the first gain G1, which is a high gain. This is a pixel that outputs a signal that is read with a high gain G1, that is, a low-luminance signal that has a large influence on the S / N ratio, in a correction operation to be described later. This is to improve accuracy.

次に、図5を参照して、撮像素子1から読み出した信号の補正処理について説明する。本実施形態の信号読出し動作によって読み出された光信号Sigには、画素毎に、それぞれ2種類の画素ソースフォロワのゲインのどちらかが設定されている。従って、各画素の光信号Sigにかかる総ゲインが一律となる様に補正を行ってから、1フレームの画像信号を生成する必要がある。本補正は、撮像装置の信号処理部2において行うか、あるいは撮像素子1の内部に、本補正を行う補正回路を設けるようにしてもよい。   Next, with reference to FIG. 5, the correction process of the signal read from the image sensor 1 will be described. One of the gains of two types of pixel source followers is set for each pixel in the optical signal Sig read by the signal reading operation of the present embodiment. Therefore, it is necessary to generate an image signal of one frame after performing correction so that the total gain applied to the optical signal Sig of each pixel becomes uniform. The main correction may be performed in the signal processing unit 2 of the imaging apparatus, or a correction circuit that performs the main correction may be provided inside the imaging device 1.

S101で、信号処理を行った画素数をカウントする不図示のカウンタのカウント値iを1にセットし、S102へ進む。S102で、i番目の画素について、光信号Sig、リセット信号Ref、ゲイン判定値GAINを取得し、S103へ進む。   In S101, a count value i of a counter (not shown) that counts the number of pixels subjected to signal processing is set to 1, and the process proceeds to S102. In S102, the optical signal Sig, the reset signal Ref, and the gain determination value GAIN are acquired for the i-th pixel, and the process proceeds to S103.

S103では、ゲイン判定値GAINが0であるかを判定する。0であれば画素ソースフォロワが高いゲインである第1のゲインG1に設定されたと判定してS104へ進み、0でなければ画素ソースフォロワが低いゲインである第2のゲインG2に設定されたと判定してS105へ進む。   In S103, it is determined whether the gain determination value GAIN is zero. If it is 0, it is determined that the pixel source follower is set to the first gain G1, which is a high gain, and the process proceeds to S104. If it is not 0, it is determined that the pixel source follower is set to the second gain G2, which is a low gain. Then, the process proceeds to S105.

S104で、画素ソースフォロワが高いゲインである第1のゲインG1に設定されて読み出された光信号Sigに対して補正演算を行う。光信号Sigからリセット信号Refを減算することで画素ソースフォロワのリセットレベルのばらつき成分を除去し、当該画素における補正後の信号Sとし、S106へ進む。   In S104, a correction operation is performed on the optical signal Sig read with the pixel source follower set to the first gain G1, which is a high gain. By subtracting the reset signal Ref from the optical signal Sig, the variation component of the reset level of the pixel source follower is removed to obtain a corrected signal S for the pixel, and the process proceeds to S106.

S105では、画素ソースフォロワが低いゲインである第2のゲインG2に設定されて読み出された光信号Sigに対して補正演算を行う。光信号Sigに対し第1のゲインG1と第2のゲインG2の比G1/G2を乗算することでゲイン補正を行い、その後リセット信号Refを減算することで、当該画素における補正後の信号Sとし、S106へ進む。   In S105, a correction operation is performed on the optical signal Sig read with the pixel source follower set to the second gain G2, which is a low gain. Gain correction is performed by multiplying the optical signal Sig by the ratio G1 / G2 of the first gain G1 and the second gain G2, and then the reset signal Ref is subtracted to obtain the corrected signal S in the pixel. The process proceeds to S106.

S106で、カウント値iの値が、1フレームの総画素数と等しいか判定する。カウント値iが1フレームの総画素数に達していなければS107へ進み、カウント値iが1フレームの総画素数に達していれば補正処理を終了する。S107では、カウント値iに1を加算し、S102へ戻って上記処理を繰り返す。   In S106, it is determined whether the count value i is equal to the total number of pixels in one frame. If the count value i has not reached the total number of pixels in one frame, the process proceeds to S107, and if the count value i has reached the total number of pixels in one frame, the correction process is terminated. In S107, 1 is added to the count value i, and the process returns to S102 and the above processing is repeated.

以上のような補正処理を行うことで、画素ソースフォロワのゲインが各々設定された各画素の光信号Sigから、撮像素子1及び信号処理部2でかかる総ゲインの等しい信号Sを得ることができる。このようにして得た各画素の信号Sを用いて、1フレームの画像信号を生成する。   By performing the correction processing as described above, a signal S having the same total gain can be obtained from the image sensor 1 and the signal processing unit 2 from the optical signal Sig of each pixel in which the gain of the pixel source follower is set. . An image signal of one frame is generated using the signal S of each pixel thus obtained.

上記の通り第1の実施形態では、画素ソースフォロワの電荷蓄積容量を画素回路の出力電圧に応じて切り替え可能な構成とすることで、画素ソースフォロワのゲインを画素毎に出力電圧に応じて自動で設定可能な構成とした。これにより、画素毎に独立して、信号レベルに応じたゲイン設定が可能となるとともに、画素毎に、信号レベルに応じてノイズを抑圧することができる。   As described above, in the first embodiment, the charge storage capacity of the pixel source follower can be switched according to the output voltage of the pixel circuit, so that the gain of the pixel source follower is automatically set according to the output voltage for each pixel. The configuration can be set with. Thereby, gain setting according to the signal level can be performed independently for each pixel, and noise can be suppressed according to the signal level for each pixel.

<変形例>
次に、図6および図7を参照して、本発明の第1の実施形態の変形例について説明する。
<Modification>
Next, a modification of the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.

図6は、本発明の第1の実施形態の変形例における撮像素子1の構成を示す等価回路図である。本変形例における撮像素子1の、第1の実施形態と異なる特徴は、第1の実施形態の列回路110に対応する読出し回路410を、各々の画素回路400に対応して1つずつ備えるようにした点である。また、これに伴い、信号のラッチ回路112を、各々の画素回路400に対応して1つずつ備えるようにしている。なお、読み出しを行う際に、読出し回路410に接続する画素回路400を選択する必要がないため、第2の実施形態で設けていた選択スイッチ107は、ここでは不要である。   FIG. 6 is an equivalent circuit diagram showing a configuration of the image sensor 1 in a modification of the first embodiment of the present invention. The image sensor 1 in this modification is different from the first embodiment in that the readout circuit 410 corresponding to the column circuit 110 of the first embodiment is provided for each pixel circuit 400 one by one. This is the point. Accordingly, one signal latch circuit 112 is provided corresponding to each pixel circuit 400. Note that the selection switch 107 provided in the second embodiment is not necessary here because it is not necessary to select the pixel circuit 400 connected to the readout circuit 410 when performing readout.

図7は、本変形例における撮像素子1の構成を示すブロック図である。本変形例では各々の画素回路400に対して読出し回路410を設けるため、1画素あたりの回路規模が大きくなる。このような構成において光電変換部101の開口率低下を抑止するため、ここでは、撮像素子1を複数の基板に分割し、分割した基板同士を積層した例を示す。本変形例における撮像素子1の断面図(図7(b)の点線X1−X2)を図7(a)に、上面図を図7(b)及び(c)に示す。ここでは、第1の基板1uと第2の基板1dを積層している。また、複数の画素回路400を行列状に配した画素部40と、画素制御部43とを第1の基板1uに配置している。そして、各画素回路400に対応する複数の読出し回路410を配した読出し回路部41と、読出し回路部41を制御するための制御信号を供給する読出し回路制御部42とを第2の基板1dに配置している。   FIG. 7 is a block diagram showing a configuration of the image sensor 1 in the present modification. In this modification, since the readout circuit 410 is provided for each pixel circuit 400, the circuit scale per pixel increases. In order to suppress a decrease in the aperture ratio of the photoelectric conversion unit 101 in such a configuration, here, an example in which the imaging element 1 is divided into a plurality of substrates and the divided substrates are stacked is shown. FIG. 7A shows a cross-sectional view (dotted line X1-X2 in FIG. 7B) of the image sensor 1 in this modification, and FIGS. 7B and 7C show top views. Here, the first substrate 1u and the second substrate 1d are stacked. In addition, a pixel unit 40 in which a plurality of pixel circuits 400 are arranged in a matrix and a pixel control unit 43 are arranged on the first substrate 1u. Then, a read circuit unit 41 provided with a plurality of read circuits 410 corresponding to each pixel circuit 400 and a read circuit control unit 42 that supplies a control signal for controlling the read circuit unit 41 are provided on the second substrate 1d. It is arranged.

なお、撮像素子1のその他の構成は、第1の実施形態の撮像素子1と同様であるため、説明を省略する。   Since the other configuration of the image sensor 1 is the same as that of the image sensor 1 of the first embodiment, the description thereof is omitted.

本変形例のように、各画素回路400に対して読出し回路410を設けた構成においては、全ての画素回路400からの信号読出しを、並列に同時に行うことができる。このような構成の撮像素子においても、第1の実施形態と同様に、画素ソースフォロワのゲインを、画素毎に出力電圧に応じて自動で設定可能な構成を適用することができる。   In the configuration in which the readout circuit 410 is provided for each pixel circuit 400 as in this modification, signal readout from all the pixel circuits 400 can be performed simultaneously in parallel. Also in the image sensor having such a configuration, a configuration in which the gain of the pixel source follower can be automatically set according to the output voltage for each pixel can be applied as in the first embodiment.

<第2の実施形態>
次に、本発明の第2の実施形態について説明する。第2の実施形態では、第1の実施形態における撮像素子1と構成の異なる撮像素子1aを、撮像素子1の代わりに用いる。その他の構成は第1の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
<Second Embodiment>
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the second embodiment, an image sensor 1 a having a configuration different from that of the image sensor 1 in the first embodiment is used instead of the image sensor 1. Since other configurations are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted.

第2の実施形態における撮像素子1aの第1の実施形態の撮像素子1と異なる特徴は、画素からの信号を出力する出力アンプとして働く、画素ソースフォロワのゲインを、複数の段階に切換え可能な構成にしている点である。   The image sensor 1a in the second embodiment is different from the image sensor 1 of the first embodiment in that the gain of the pixel source follower that functions as an output amplifier that outputs a signal from the pixel can be switched in a plurality of stages. It is the point which is made up.

図8は、第2の実施形態における撮像素子1aの構成を示す等価回路図である。図8では、画素ソースフォロワのゲインを複数の段階に切り替え可能な構成の一例として、画素ソースフォロワのゲインの2段階の切り替えにより、3種のゲインを設定可能な構成としている。   FIG. 8 is an equivalent circuit diagram showing the configuration of the image sensor 1a in the second embodiment. In FIG. 8, as an example of a configuration in which the gain of the pixel source follower can be switched to a plurality of stages, a configuration in which three types of gains can be set by switching the gain of the pixel source follower in two stages.

第2の実施形態における画素回路100aは、図3を参照して説明した画素回路100の構成に加えて、さらに、浮遊拡散層FDと並列に設けられた第3の電荷蓄積容量としての付加容量105aと、容量付加スイッチ104aとを有する。容量付加スイッチ104aは、付加容量105aの接続/切り離しを行う。容量付加スイッチ104aをオフすることで付加容量105aを浮遊拡散層FDから切り離し、画素ソースフォロワのゲインを向上させることができる。容量付加スイッチ104は、列回路110aから供給される第1のゲイン設定パルスPGAIN1または直接制御パルスPCRによって制御される。容量付加スイッチ104aは、列回路110aから供給される第2のゲイン設定パルスPGAIN2または直接制御パルスPCRによって制御される。   In addition to the configuration of the pixel circuit 100 described with reference to FIG. 3, the pixel circuit 100a according to the second embodiment further includes an additional capacitor as a third charge storage capacitor provided in parallel with the floating diffusion layer FD. 105a and a capacity addition switch 104a. The capacity addition switch 104a connects / disconnects the additional capacity 105a. By turning off the capacitor addition switch 104a, the additional capacitor 105a can be disconnected from the floating diffusion layer FD, and the gain of the pixel source follower can be improved. The capacitance addition switch 104 is controlled by the first gain setting pulse PGAIN1 or the direct control pulse PCR supplied from the column circuit 110a. The capacitance addition switch 104a is controlled by the second gain setting pulse PGAIN2 or the direct control pulse PCR supplied from the column circuit 110a.

列回路110aには、画素回路100aが接続される。ゲーテッド・ラッチ回路(以下、ラッチ回路)112から出力されるゲイン設定パルスPGAIN1は、当該列回路110aに接続された画素回路100aへ供給され、当該画素回路100aの容量付加スイッチ104に接続される。ラッチ回路112aは、入力イネーブルパルスPLE2がハイレベルの間のみ各端子からの入力を受け付ける。入力イネーブルパルスPLE2としては、ラッチ回路112と共通の入力イネーブルパルスPLEまたはラッチ回路112から出力されるゲイン設定パルスPGAIN1の遅延信号のいずれかが、入力選択パルスPLESELによって選択的され、入力される。ラッチ回路112aに入力されるゲイン設定パルスPGAIN1は、遅延素子115によって遅延されている。入力イネーブルパルスPLE2がハイレベルの間、出力リセットパルスPLRとしてハイレベルが入力されると、ゲイン設定パルスPGAIN2がローレベルにリセットされる。出力リセットパルスPLRがローレベルの間に比較器111からハイレベルが入力された瞬間、ゲイン設定パルスPGAIN2がハイレベルに遷移し、出力リセットパルスPLRによってリセットされるまでの間ハイレベルを保持し続ける。ラッチ回路112aから出力されるゲイン設定パルスPGAIN2は、当該列回路110aに接続された画素回路100aへ供給され、当該画素回路100aの容量付加スイッチ104aに接続される。   A pixel circuit 100a is connected to the column circuit 110a. The gain setting pulse PGAIN1 output from the gated latch circuit (hereinafter referred to as a latch circuit) 112 is supplied to the pixel circuit 100a connected to the column circuit 110a, and is connected to the capacitance addition switch 104 of the pixel circuit 100a. The latch circuit 112a accepts input from each terminal only while the input enable pulse PLE2 is at a high level. As the input enable pulse PLE2, either the input enable pulse PLE common to the latch circuit 112 or the delay signal of the gain setting pulse PGAIN1 output from the latch circuit 112 is selectively input by the input selection pulse PLESEL. The gain setting pulse PGAIN1 input to the latch circuit 112a is delayed by the delay element 115. When the high level is input as the output reset pulse PLR while the input enable pulse PLE2 is at the high level, the gain setting pulse PGAIN2 is reset to the low level. The moment the high level is input from the comparator 111 while the output reset pulse PLR is at the low level, the gain setting pulse PGAIN2 transitions to the high level and keeps the high level until it is reset by the output reset pulse PLR. . The gain setting pulse PGAIN2 output from the latch circuit 112a is supplied to the pixel circuit 100a connected to the column circuit 110a, and is connected to the capacitance addition switch 104a of the pixel circuit 100a.

制御切り替えスイッチ114aは、容量付加スイッチ104aの制御を、ゲイン設定パルスPGAIN2による制御から直接制御パルスPCRによる制御に切り替える。直接制御パルスPCRがハイレベルの時は直接制御パルスPCRが、直接制御パルスPCRがローレベルの時はゲイン設定パルスPGAIN2が、それぞれ容量付加スイッチ104aのゲート電極に接続される。   The control changeover switch 114a switches the control of the capacitance addition switch 104a from the control by the gain setting pulse PGAIN2 to the control by the direct control pulse PCR. When the direct control pulse PCR is at the high level, the direct control pulse PCR is connected to the gate electrode of the capacitance addition switch 104a, and when the direct control pulse PCR is at the low level, the gain setting pulse PGAIN2 is connected.

撮像素子1aのその他の構成は、第1の実施形態の撮像素子1と同様であるため、説明を省略する。   Since the other configuration of the image sensor 1a is the same as that of the image sensor 1 of the first embodiment, description thereof is omitted.

次に、図9を参照して、第2の実施形態における、撮像素子1aの画素回路100aからの信号読出し動作について説明する。第2の実施形態における信号読出し動作の、第1の実施形態と異なる特徴は、以下の通りである。すなわち、画素回路100aからの信号読出し動作の中で、各画素からの信号に応じた画素ソースフォロワの出力電圧に応じて、画素ソースフォロワのゲインが自動的に設定される際、画素毎に0段階から2段階のいずれかのゲイン変更が行われる点である。この読出し動作により、画素毎に独立して、信号レベルに応じて複数のゲインから適したゲインを選択し、設定することを可能にしている。   Next, with reference to FIG. 9, a signal readout operation from the pixel circuit 100a of the image sensor 1a in the second embodiment will be described. The features of the signal reading operation in the second embodiment that are different from those in the first embodiment are as follows. That is, in the signal read operation from the pixel circuit 100a, when the gain of the pixel source follower is automatically set according to the output voltage of the pixel source follower according to the signal from each pixel, 0 for each pixel. One of the gain changes is performed in any one of the two stages. By this readout operation, an appropriate gain can be selected and set from a plurality of gains according to the signal level independently for each pixel.

図9は、画素回路100aから信号を読み出す際の駆動タイミングチャートである。信号読出しにおける第1のステップとして、信号の読み出しを行う前の時刻T601から時刻T608の間に、ラッチ回路112,112aおよび浮遊拡散層FD、付加容量105,105aのリセットを行う。   FIG. 9 is a drive timing chart when reading a signal from the pixel circuit 100a. As a first step in signal readout, the latch circuits 112 and 112a, the floating diffusion layer FD, and the additional capacitors 105 and 105a are reset between time T601 and time T608 before signal readout.

まず、時刻T601で、入力イネーブルパルスPLE及び入力選択パルスPLESELをハイレベルとし、ラッチ回路112,112aの各端子への入力をイネーブル状態とする。そして、時刻T602で、出力リセットパルスPLRをハイレベルとし、ラッチ回路112から出力されるゲイン設定パルスPGAIN1、及びラッチ回路112aから出力されるゲイン設定パルスPGAIN2をローレベルにリセットする。これにより、画素回路100aの容量付加スイッチ104,104aをオフ状態に統一する。付加容量105,105aは浮遊拡散層FDから切り離され、電荷蓄積容量は低下し、画素ソースフォロワのゲインが、高ゲインである第1のゲインに統一される。   First, at time T601, the input enable pulse PLE and the input selection pulse PLESEL are set to the high level, and the input to each terminal of the latch circuits 112 and 112a is enabled. At time T602, the output reset pulse PLR is set to high level, and the gain setting pulse PGAIN1 output from the latch circuit 112 and the gain setting pulse PGAIN2 output from the latch circuit 112a are reset to low level. This unifies the capacitance addition switches 104 and 104a of the pixel circuit 100a to the off state. The additional capacitors 105 and 105a are separated from the floating diffusion layer FD, the charge storage capacitance is reduced, and the gain of the pixel source follower is unified to the first gain which is a high gain.

次に時刻T603で、出力リセットパルスPLRをローレベルとする。このときラッチ回路112はゲイン設定パルスPGAIN1としてローレベルを保持し続ける。また、ラッチ回路112aはゲイン設定パルスPGAIN2としてローレベルを保持し続ける。時刻T604で、入力イネーブルパルスPLE、入力選択パルスPLESELをローレベルとし、ラッチ回路112,112aの各端子への入力をディセーブル状態とする。   Next, at time T603, the output reset pulse PLR is set to low level. At this time, the latch circuit 112 continues to hold the low level as the gain setting pulse PGAIN1. The latch circuit 112a continues to hold the low level as the gain setting pulse PGAIN2. At time T604, the input enable pulse PLE and the input selection pulse PLESEL are set to low level, and the inputs to the respective terminals of the latch circuits 112 and 112a are disabled.

時刻T605で、選択パルスPSELをハイレベルとし、選択スイッチ107をオンして、画素回路100aを列回路110aに接続する。また、参照信号RAMPを、AD変換回路の変換レンジの下限に相当する最小の入力電圧Vrmaxに設定する。   At time T605, the selection pulse PSEL is set to the high level, the selection switch 107 is turned on, and the pixel circuit 100a is connected to the column circuit 110a. Further, the reference signal RAMP is set to the minimum input voltage Vrmax corresponding to the lower limit of the conversion range of the AD conversion circuit.

時刻T606で、リセットパルスPRESをハイレベルとし、リセットスイッチ106をオンして、浮遊拡散層FDの電荷をリセットする。このとき、直接制御パルスPCRをハイレベルとし、制御切り替えスイッチ114,114aをオンして、付加容量105,105aの電荷も同時にリセットする。時刻T607で、リセットパルスPRESをローレベルとし、リセットスイッチ106をオフして、浮遊拡散層FDと付加容量105,105aの電荷のリセットを終了する。   At time T606, the reset pulse PRES is set to high level, the reset switch 106 is turned on, and the charge of the floating diffusion layer FD is reset. At this time, the direct control pulse PCR is set to the high level, the control changeover switches 114 and 114a are turned on, and the charges of the additional capacitors 105 and 105a are simultaneously reset. At time T607, the reset pulse PRES is set to the low level, the reset switch 106 is turned off, and the resetting of the charges in the floating diffusion layer FD and the additional capacitors 105 and 105a is completed.

時刻T608で、直接制御パルスPCRをローレベルとし、制御切り替えスイッチ114,114aをオフして、浮遊拡散層FDから付加容量105,105aを切り離し、画素ソースフォロワのゲインを第1のゲインに設定する。   At time T608, the direct control pulse PCR is set to the low level, the control changeover switches 114 and 114a are turned off, the additional capacitors 105 and 105a are disconnected from the floating diffusion layer FD, and the gain of the pixel source follower is set to the first gain. .

次に、信号読出しにおける第2のステップとして、時刻T609から時刻T610の間に、浮遊拡散層FDのリセットレベルであるリセット信号RefのAD変換を行う。なお、時刻T609から時刻T610の動作は、第1の実施形態の時刻T209から時刻T210の動作と同様であるため、説明を省略する。   Next, as a second step in signal readout, AD conversion of the reset signal Ref, which is the reset level of the floating diffusion layer FD, is performed between time T609 and time T610. Note that the operation from time T609 to time T610 is the same as the operation from time T209 to time T210 in the first embodiment, and thus description thereof is omitted.

次に、信号読出しにおける第3のステップとして、時刻T611から時刻T616の間に、リセット信号Refに対し光電変換部101で蓄積された光信号レベルが上乗せされた光信号SigのAD変換を行う。   Next, as a third step in signal readout, AD conversion of the optical signal Sig in which the optical signal level accumulated in the photoelectric conversion unit 101 is added to the reset signal Ref is performed between time T611 and time T616.

まず、時刻T611から時刻T613の間、入力イネーブルパルスPLEをハイレベルとし、ラッチ回路112の各端子への入力をイネーブル状態として、以降に述べるゲイン選択動作を行う。   First, between time T611 and time T613, the input enable pulse PLE is set to the high level, the input to each terminal of the latch circuit 112 is enabled, and the gain selection operation described below is performed.

時刻T611で、転送パルスPTXをハイレベルとし、転送スイッチ102をオンして、光電変換部101に蓄積された電荷を、浮遊拡散層FDに転送する。時刻T612に、転送パルスPTXをローレベルとし、転送スイッチ102をオフして、光電変換部101に蓄積された電荷の、浮遊拡散層FDへの転送を終了する。   At time T611, the transfer pulse PTX is set to high level, the transfer switch 102 is turned on, and the charge accumulated in the photoelectric conversion unit 101 is transferred to the floating diffusion layer FD. At time T612, the transfer pulse PTX is set to low level, the transfer switch 102 is turned off, and the transfer of the charge accumulated in the photoelectric conversion unit 101 to the floating diffusion layer FD is completed.

比較器111では、画素回路100aからの出力電圧Vpixと参照信号RAMPの電圧Vrminを比較する。図9(a)及び(b)に示すように、出力電圧Vpixが電圧Vrminを下回った場合(すなわち出力電圧VpixがAD変換レンジの上限を超過した場合)、比較器111の出力COMPがローレベルからハイレベルに遷移する。その結果、ラッチ回路112にゲイン設定パルスPGAIN1としてハイレベルが保持され、容量付加スイッチ104がオン状態となる。これにより、付加容量105が浮遊拡散層FDに接続され、画素ソースフォロワのゲインが第1のゲインに対して低ゲインである第2のゲインに設定変更され、画素回路100aからの出力電圧Vpixが、より高い電圧に変化する。   The comparator 111 compares the output voltage Vpix from the pixel circuit 100a with the voltage Vrmin of the reference signal RAMP. As shown in FIGS. 9A and 9B, when the output voltage Vpix is lower than the voltage Vrmin (that is, when the output voltage Vpix exceeds the upper limit of the AD conversion range), the output COMP of the comparator 111 is low level. Transition from to high level. As a result, the latch circuit 112 holds the high level as the gain setting pulse PGAIN1, and the capacitor addition switch 104 is turned on. Accordingly, the additional capacitor 105 is connected to the floating diffusion layer FD, the gain of the pixel source follower is changed to the second gain that is lower than the first gain, and the output voltage Vpix from the pixel circuit 100a is changed. , Change to a higher voltage.

一方、図10に示すように、出力電圧Vpixが電圧Vrminを下回らなかった場合(すなわち出力電圧VpixがAD変換レンジの上限を超過しなかった場合)、ゲイン設定パルスPGAIN1はローレベルのままとなる。これにより、画素ソースフォロワは高ゲインである第1のゲインのままとなる。   On the other hand, as shown in FIG. 10, when the output voltage Vpix does not fall below the voltage Vrmin (that is, when the output voltage Vpix does not exceed the upper limit of the AD conversion range), the gain setting pulse PGAIN1 remains at the low level. . As a result, the pixel source follower remains at the first gain which is a high gain.

ゲイン設定パルスPGAIN1の遅延信号はラッチ回路112aに入力されるので、図9(a)、(b)に示すようにゲイン設定パルスPGAIN1がハイレベルへ遷移した場合、ラッチ回路112aの各端子への入力がイネーブル状態となる。この時点で、図9(a)に示すようにまだ出力電圧Vpixが電圧Vrminを下回っていた場合(すなわち出力電圧VpixがAD変換レンジの上限を超過していた場合)、比較器111の出力COMPはローレベルのままとなる。結果、ラッチ回路112aにゲイン設定パルスPGAIN2としてハイレベルが保持され、容量付加スイッチ104aがオン状態となり付加容量105aが浮遊拡散層FDに接続される。これにより、画素ソースフォロワのゲインが第2のゲインに対してさらに低ゲインの第3のゲインに設定変更される。その結果、画素回路100aからの出力電圧Vpixが、AD変換レンジの上限に相当する最小の入力電圧Vrminを上回り、AD変換レンジ内の電圧に変化する。図9(b)に示すように出力電圧Vpixが電圧Vrminを下回らない場合(すなわち出力電圧VpixがAD変換レンジの上限を超過しない場合)は、ゲイン設定パルスPGAIN2はローレベルのままとなる。そのため、画素ソースフォロワのゲインは第2のゲインのままとなる。   Since the delay signal of the gain setting pulse PGAIN1 is input to the latch circuit 112a, when the gain setting pulse PGAIN1 transits to a high level as shown in FIGS. 9A and 9B, the signals to the respective terminals of the latch circuit 112a are supplied. The input is enabled. At this time, as shown in FIG. 9A, when the output voltage Vpix is still lower than the voltage Vrmin (that is, when the output voltage Vpix exceeds the upper limit of the AD conversion range), the output COMP of the comparator 111 is output. Remains low. As a result, the high level is held as the gain setting pulse PGAIN2 in the latch circuit 112a, the capacitance additional switch 104a is turned on, and the additional capacitance 105a is connected to the floating diffusion layer FD. As a result, the gain of the pixel source follower is changed to a third gain that is lower than the second gain. As a result, the output voltage Vpix from the pixel circuit 100a exceeds the minimum input voltage Vrmin corresponding to the upper limit of the AD conversion range, and changes to a voltage within the AD conversion range. As shown in FIG. 9B, when the output voltage Vpix does not fall below the voltage Vrmin (that is, when the output voltage Vpix does not exceed the upper limit of the AD conversion range), the gain setting pulse PGAIN2 remains at the low level. Therefore, the gain of the pixel source follower remains the second gain.

このゲイン設定動作は、信号読出し動作の度に、列回路それぞれで実施されるため、出力信号のレベルによって、ゲインが切り替えられる段数は画素毎に異なり、画素ソースフォロワのゲインが、3種類のゲインの中から画素毎にそれぞれ選択され、設定される。   Since this gain setting operation is performed in each column circuit each time a signal readout operation is performed, the number of stages in which the gain is switched differs depending on the level of the output signal, and the gain of the pixel source follower is changed to three types of gains. Are selected and set for each pixel.

時刻T613で、入力イネーブルパルスPLEをローレベルとし、ラッチ回路112の各端子への入力をディセーブル状態として、ゲイン選択動作を終了する。   At time T613, the input enable pulse PLE is set to low level, the input to each terminal of the latch circuit 112 is disabled, and the gain selection operation is terminated.

時刻T614から時刻T616の動作は、第1の実施形態の時刻T214から時刻T216の動作と同様であるため、説明を省略する。   Since the operation from time T614 to time T616 is the same as the operation from time T214 to time T216 in the first embodiment, description thereof will be omitted.

時刻T617で、選択パルスPSELをローレベルとし、選択スイッチ107をオフして、画素回路100aを列回路110aから切り離す。その後、第1のメモリ113nに記憶されたリセット信号Ref、第2のメモリ113sに記憶された光信号Sigを読み出す。また、ゲインを示す情報であるゲイン判定値GAIN1として、ゲイン設定パルスPGAIN1のレベルがローレベルであれば0、ハイレベルであれば1を読み出す。さらに、ゲインを示す情報であるゲイン判定値GAIN2として、ゲイン設定パルスPGAIN2のレベルがローレベルであれば0、ハイレベルであれば1を読出し、画素回路100aからの信号読出し動作を終了する。   At time T617, the selection pulse PSEL is set to low level, the selection switch 107 is turned off, and the pixel circuit 100a is disconnected from the column circuit 110a. Thereafter, the reset signal Ref stored in the first memory 113n and the optical signal Sig stored in the second memory 113s are read. Further, 0 is read if the gain setting pulse PGAIN1 is at a low level, and 1 is read if the gain setting pulse PGAIN1 is at a high level, as the gain determination value GAIN1 that is information indicating the gain. Further, as the gain determination value GAIN2, which is information indicating the gain, 0 is read if the level of the gain setting pulse PGAIN2 is low, and 1 is read if the level is high, and the signal reading operation from the pixel circuit 100a is terminated.

以上に説明した画素回路100aからの信号読出し動作を、所望の画素数の信号を読み出すまで繰り返し、撮像素子1aからの一連の信号読出し動作とする。   The signal readout operation from the pixel circuit 100a described above is repeated until a signal having a desired number of pixels is read out, and a series of signal readout operations from the image sensor 1a is performed.

次に、図11を参照して、撮像素子1aから読み出した信号の補正処理について説明する。第2の実施形態の信号読出し動作によって読み出された光信号Sigには、画素毎に、それぞれ異なる3種類の画素ソースフォロワのゲインのいずれかが設定されている。従って、各画素の光信号Sigにかかる総ゲインが一律となる様に補正を行ってから、1フレームの画像信号を生成する必要がある。本補正は、撮像装置の信号処理部2において行うか、あるいは撮像素子1aの内部に、本補正を行う補正回路を設けるようにしてもよい。   Next, with reference to FIG. 11, the correction process of the signal read from the image sensor 1a will be described. In the optical signal Sig read by the signal reading operation of the second embodiment, any one of three different pixel source follower gains is set for each pixel. Therefore, it is necessary to generate an image signal of one frame after performing correction so that the total gain applied to the optical signal Sig of each pixel becomes uniform. The main correction may be performed in the signal processing unit 2 of the imaging apparatus, or a correction circuit that performs the main correction may be provided inside the imaging device 1a.

S201で、信号処理を行った画素数をカウントする不図示のカウンタのカウント値iを1にセットし、S202へ進む。S202で、i番目の画素について、光信号Sig、リセット信号Ref、ゲイン判定値GAIN1,GAIN2を取得し、S203へ進む。   In S201, the count value i of a counter (not shown) that counts the number of pixels subjected to signal processing is set to 1, and the process proceeds to S202. In S202, the optical signal Sig, the reset signal Ref, and the gain determination values GAIN1 and GAIN2 are acquired for the i-th pixel, and the process proceeds to S203.

S203では、ゲイン判定値GAIN1が0であるかを判定する。0であれば画素ソースフォロワが高いゲインである第1のゲインG1に設定されたと判定してS204へ進み、0でなければ画素ソースフォロワがそれ以外のゲインに設定されたと判定してS205へ進む。   In S203, it is determined whether or not the gain determination value GAIN1 is zero. If it is 0, it is determined that the pixel source follower is set to the first gain G1, which is a high gain, and the process proceeds to S204. If it is not 0, it is determined that the pixel source follower is set to another gain, and the process proceeds to S205. .

S204で、画素ソースフォロワが第1のゲインG1に設定されて読み出された光信号Sigに対して補正演算を行う。光信号Sigからリセット信号Refを減算することで画素ソースフォロワのリセットレベルのばらつき成分を除去し、当該画素における補正後の信号Sとし、S208へ進む。   In S204, the pixel source follower is set to the first gain G1 and correction calculation is performed on the read optical signal Sig. By subtracting the reset signal Ref from the optical signal Sig, the variation component of the reset level of the pixel source follower is removed to obtain a corrected signal S for the pixel, and the process proceeds to S208.

S205では、ゲイン判定値GAIN2が0であるかを判定する。0であれば画素ソースフォロワが第2のゲインG2に設定されたと判定してS206へ進み、0でなければ画素ソースフォロワがさらに低い第3のゲインG3に設定されたと判定してS207へ進む。   In S205, it is determined whether or not the gain determination value GAIN2 is zero. If it is 0, it is determined that the pixel source follower is set to the second gain G2, and the process proceeds to S206. If it is not 0, it is determined that the pixel source follower is set to the lower third gain G3, and the process proceeds to S207.

S206で、画素ソースフォロワが第2のゲインG2に設定されて読み出された光信号Sigに対して補正演算を行う。光信号Sigに対し第1のゲインG1と第2のゲインG2の比G1/G2を乗算することでゲイン補正を行い、その後リセット信号Refを減算することで、当該画素における補正後の信号Sとし、S208へ進む。   In S206, the pixel source follower is set to the second gain G2, and the correction operation is performed on the optical signal Sig read out. Gain correction is performed by multiplying the optical signal Sig by the ratio G1 / G2 of the first gain G1 and the second gain G2, and then the reset signal Ref is subtracted to obtain the corrected signal S in the pixel. , Go to S208.

S207では、画素ソースフォロワが第3のゲインG3に設定されて読み出された光信号Sigに対して補正演算を行う。光信号Sigに対し第1のゲインG1と第3のゲインG3の比G1/G3を乗算することでゲイン補正を行い、その後リセット信号Refを減算することで、当該画素における補正後の信号Sとし、S208へ進む。   In S207, the pixel source follower is set to the third gain G3, and a correction operation is performed on the read optical signal Sig. Gain correction is performed by multiplying the optical signal Sig by the ratio G1 / G3 of the first gain G1 and the third gain G3, and then the reset signal Ref is subtracted to obtain the corrected signal S in the pixel. , Go to S208.

S208で、カウント値iの値が、1フレームの総画素数と等しいか判定する。カウント値iが1フレームの総画素数に達していなければS209へ進み、カウント値iが1フレームの総画素数に達していれば補正処理を終了する。S209では、カウント値iに1を加算し、S202へ戻って上記処理を繰り返す。   In S208, it is determined whether the count value i is equal to the total number of pixels in one frame. If the count value i has not reached the total number of pixels in one frame, the process proceeds to S209, and if the count value i has reached the total number of pixels in one frame, the correction process is terminated. In S209, 1 is added to the count value i, and the process returns to S202 to repeat the above processing.

以上のような補正処理を行うことで、画素ソースフォロワのゲインが各々設定された各画素の光信号Sigから、撮像素子1a及び信号処理部2でかかる総ゲインの等しい信号Sを得ることができる。このようにして得た各画素の信号Sを用いて、1フレームの画像信号を生成する。   By performing the correction process as described above, a signal S having the same total gain can be obtained from the optical signal Sig of each pixel in which the gain of the pixel source follower is set. . An image signal of one frame is generated using the signal S of each pixel thus obtained.

なお、本第2の実施形態では、2段階のゲイン切り替えにより、3種のゲインを設定可能な構成を例に説明したが、同様に展開することで、2段階に限らず、より多段階のゲイン切り替えが可能な構成に展開することが可能である。   In the second embodiment, a configuration in which three types of gains can be set by switching gains in two stages has been described as an example. However, by developing in a similar manner, the number of stages is not limited to two, and more stages. It is possible to develop a configuration in which gain switching is possible.

上記の通り本第2の実施形態では、画素ソースフォロワの電荷蓄積容量を複数段階切り替え可能な構成とし、容量を切り替える段数を画素回路の出力電圧に応じて異ならせるようにする。これにより、画素ソースフォロワのゲインを画素毎に出力電圧に応じて自動で設定可能な構成とした。これにより、画素毎に独立して、信号レベルに応じた複数段階のゲイン設定変更が可能となり、画素毎に、信号レベルに応じてノイズを抑圧することができる。   As described above, in the second embodiment, the charge storage capacity of the pixel source follower is configured to be switchable in a plurality of stages, and the number of stages for switching the capacity is varied according to the output voltage of the pixel circuit. Thus, the gain of the pixel source follower can be automatically set according to the output voltage for each pixel. Accordingly, it is possible to change the gain setting in a plurality of stages according to the signal level independently for each pixel, and it is possible to suppress noise according to the signal level for each pixel.

<第3の実施形態>
次に、本発明の第3の実施形態について説明する。第3の実施形態では、第1の実施形態における撮像素子1と構成の異なる撮像素子1bを、撮像素子1の代わりに用いる。その他の構成は第1の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
<Third Embodiment>
Next, a third embodiment of the present invention will be described. In the third embodiment, an image sensor 1 b having a configuration different from that of the image sensor 1 in the first embodiment is used instead of the image sensor 1. Since other configurations are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted.

図12は、第3の実施形態における撮像素子1bの構成を示す等価回路図である。第3の実施形態における撮像素子1bの、第1の実施形態の撮像素子1と異なる特徴は、画素からの信号を出力する出力アンプとして働く、画素ソースフォロワのゲインを、段階的にではなく、連続的に変更可能な構成にしている点である。   FIG. 12 is an equivalent circuit diagram illustrating a configuration of the image sensor 1b according to the third embodiment. The image sensor 1b in the third embodiment is different from the image sensor 1 in the first embodiment in that the gain of the pixel source follower that functions as an output amplifier that outputs a signal from the pixel is not stepwise. This is a configuration that can be changed continuously.

第3の実施形態における画素回路100bは、図3を参照して説明した画素回路100の付加容量105の代わりに、図12に示すように、MOSキャパシタ108を有する。MOSキャパシタ108の容量が最大となるゲート電圧をVgmax、最小となるゲート電圧をVgminとしたとき、ゲート電圧をVgminとVgmaxの間で連続的に変化させることで、画素ソースフォロワのゲインを連続的に変更することができる。MOSキャパシタ108のゲートは、DAC回路130から供給されるゲイン設定電圧VGAINによって制御される。   A pixel circuit 100b according to the third embodiment includes a MOS capacitor 108 as illustrated in FIG. 12 instead of the additional capacitor 105 of the pixel circuit 100 described with reference to FIG. When the gate voltage at which the capacitance of the MOS capacitor 108 is maximized is Vgmax and the minimum gate voltage is Vgmin, the gate voltage is continuously changed between Vgmin and Vgmax, thereby continuously increasing the gain of the pixel source follower. Can be changed. The gate of the MOS capacitor 108 is controlled by a gain setting voltage VGAIN supplied from the DAC circuit 130.

カウンタ120bは列回路制御部12に設けられ、信号のアップカウント、ダウンカウントを行う。カウント値COUNTは列回路部11に設けられた複数の列回路110bのメモリ113n,113s,113gに共通に入力される。   The counter 120b is provided in the column circuit control unit 12, and performs up-counting and down-counting of signals. The count value COUNT is input in common to the memories 113n, 113s, 113g of the plurality of column circuits 110b provided in the column circuit unit 11.

列回路110bには、画素回路100bが接続される。比較器111bは、画素回路100bから出力された信号電圧Vpixと、参照信号RAMPの高低を比較し、信号電圧Vpixが低い場合はローレベル、高い場合はハイレベルを出力する。第1のメモリ113n、第2のメモリ113s、第3のメモリ113gは、比較器111bの出力のローレベルからハイレベルへの遷移を受けてカウンタ120bから入力されたカウント値をデジタル信号値として記憶する。   The pixel circuit 100b is connected to the column circuit 110b. The comparator 111b compares the signal voltage Vpix output from the pixel circuit 100b with the level of the reference signal RAMP, and outputs a low level when the signal voltage Vpix is low and a high level when the signal voltage Vpix is high. The first memory 113n, the second memory 113s, and the third memory 113g store the count value input from the counter 120b as a digital signal value in response to the transition from the low level to the high level of the output of the comparator 111b. To do.

ゲーテッド・ラッチ回路(以下ラッチ回路)112bは、入力イネーブルパルスPLEがハイレベルの間のみ各端子からの入力を受け付ける。このとき、出力リセットパルスPLRとしてハイレベルが入力されると、ゲート電圧保持パルスPVGHがハイレベルにリセットされる。出力リセットパルスPLRがローレベルの間に比較器111bからハイレベルが入力された瞬間、ゲート電圧保持パルスPVGHがローレベルに遷移し、出力リセットパルスPLRによってリセットされるまでの間ローレベルを保持し続ける。ラッチ回路112bから出力されるゲート電圧保持パルスPVGHは、当該列回路110bから画素回路100bに供給されるゲイン設定電圧VGAINの供給線に設けられ、ゲート電圧保持スイッチ117に接続される。   The gated latch circuit (hereinafter latch circuit) 112b accepts input from each terminal only while the input enable pulse PLE is at a high level. At this time, when a high level is input as the output reset pulse PLR, the gate voltage holding pulse PVGH is reset to the high level. The moment the high level is input from the comparator 111b while the output reset pulse PLR is low level, the gate voltage holding pulse PVGH transitions to low level and remains low until reset by the output reset pulse PLR. to continue. The gate voltage holding pulse PVGH output from the latch circuit 112b is provided on the supply line of the gain setting voltage VGAIN supplied from the column circuit 110b to the pixel circuit 100b, and is connected to the gate voltage holding switch 117.

撮像素子1bのその他の構成は、第1の実施形態の撮像素子1と同様であるため、説明を省略する。   Since the other configuration of the image sensor 1b is the same as that of the image sensor 1 of the first embodiment, description thereof is omitted.

次に、図13を参照して、第3の実施形態における、撮像素子1bの画素回路100bからの信号読出し動作について説明する。第3の実施形態による信号読出し動作の特徴は、画素回路100bからの信号読出し動作の中で、各々の画素回路100bからの出力電圧に応じて、画素ソースフォロワのゲインが自動的に設定される際、ゲインが段階的にではなく、連続的に変更される点である。   Next, with reference to FIG. 13, a signal readout operation from the pixel circuit 100b of the image sensor 1b in the third embodiment will be described. The signal readout operation according to the third embodiment is characterized in that the gain of the pixel source follower is automatically set according to the output voltage from each pixel circuit 100b during the signal readout operation from the pixel circuit 100b. However, the gain is changed continuously, not in steps.

図13は、画素回路100bから信号を読み出す際の駆動タイミングチャートである。信号読出しにおける第1のステップとして、信号の読み出しを行う前の時刻T901から時刻T908の間に、ラッチ回路112bおよび浮遊拡散層FDのリセットを行う。   FIG. 13 is a drive timing chart when reading a signal from the pixel circuit 100b. As a first step in signal readout, the latch circuit 112b and the floating diffusion layer FD are reset between time T901 and time T908 before signal readout.

まず、時刻T901で、入力イネーブルパルスPLEをハイレベルとし、ラッチ回路112bの各端子への入力をイネーブル状態とする。そして、時刻T902で、DAC回路130からの出力電圧をVgminとした状態で、出力リセットパルスPLRをハイレベルとし、ラッチ回路112bから出力されるゲート電圧保持パルスPVGHをハイレベルにリセットする。これにより、各列回路110bのゲート電圧保持スイッチ117がオン状態となり、各画素回路100bのMOSキャパシタ108に供給されるゲイン設定電圧VGAINがVgminに統一される。従って、MOSキャパシタ108の容量は最小となり、画素ソースフォロワのゲインが最大ゲインに統一される。   First, at time T901, the input enable pulse PLE is set to the high level, and the input to each terminal of the latch circuit 112b is enabled. At time T902, with the output voltage from the DAC circuit 130 set to Vgmin, the output reset pulse PLR is set to high level, and the gate voltage holding pulse PVGH output from the latch circuit 112b is reset to high level. As a result, the gate voltage holding switch 117 of each column circuit 110b is turned on, and the gain setting voltage VGAIN supplied to the MOS capacitor 108 of each pixel circuit 100b is unified to Vgmin. Accordingly, the capacitance of the MOS capacitor 108 is minimized, and the gain of the pixel source follower is unified to the maximum gain.

時刻T903で、出力リセットパルスPLRをローレベルとする。このときラッチ回路112bはゲート電圧保持パルスPVGHとしてハイレベルを保持し続ける。時刻T904で、入力イネーブルパルスPLEをローレベルとし、ラッチ回路112bの各端子への入力をディセーブル状態とする。   At time T903, the output reset pulse PLR is set to low level. At this time, the latch circuit 112b continues to hold the high level as the gate voltage holding pulse PVGH. At time T904, the input enable pulse PLE is set to the low level, and the input to each terminal of the latch circuit 112b is disabled.

時刻T905で、選択パルスPSELをハイレベルとし、選択スイッチ107をオンして、画素回路100bを列回路110bに接続する。   At time T905, the selection pulse PSEL is set to high level, the selection switch 107 is turned on, and the pixel circuit 100b is connected to the column circuit 110b.

時刻T906で、リセットパルスPRESをハイレベルとし、リセットスイッチ106をオンして、浮遊拡散層FDの電荷をリセットする。時刻T907で、リセットパルスPRESをローレベルとし、リセットスイッチ106をオフして、浮遊拡散層FDの電荷のリセットを終了する。   At time T906, the reset pulse PRES is set to high level, the reset switch 106 is turned on, and the charge of the floating diffusion layer FD is reset. At time T907, the reset pulse PRES is set to the low level, the reset switch 106 is turned off, and the resetting of the charge in the floating diffusion layer FD is completed.

次に、信号読出しにおける第2のステップとして、時刻T908から時刻T909の間に、浮遊拡散層FDのリセットレベルであるリセット信号RefのAD変換を行う。まず、第1のメモリ113nへの書き込みをイネーブル状態にする。そして、時刻T908から時刻T209の間に、参照信号RAMPとして、電圧がVrmaxから時間に比例して低下するランプ波を入力するのと同時に、カウンタ120bでカウント値0からのアップカウントを行う。ランプ波の電圧が画素回路100bからの出力電圧Vpixを下回った瞬間、比較器111bの出力COMPがローレベルからハイレベルに遷移する。比較器111bの出力COMPのハイレベルへの遷移を受け、その時点のカウンタ120bのカウント値を、リセット信号Refとして第1のメモリ113nに記憶させ、第1のメモリ113nへの書き込みをディセーブル状態にする。   Next, as a second step in signal readout, AD conversion of a reset signal Ref that is a reset level of the floating diffusion layer FD is performed between time T908 and time T909. First, writing to the first memory 113n is enabled. Then, during time T908 to time T209, as a reference signal RAMP, a ramp wave whose voltage decreases in proportion to time is input from Vrmax, and at the same time, the counter 120b counts up from the count value 0. At the moment when the voltage of the ramp wave falls below the output voltage Vpix from the pixel circuit 100b, the output COMP of the comparator 111b changes from the low level to the high level. In response to the transition of the output COMP of the comparator 111b to the high level, the count value of the counter 120b at that time is stored in the first memory 113n as the reset signal Ref, and writing to the first memory 113n is disabled. To.

リセット信号RefのAD変換が終了した時刻T909に、参照信号RAMPを、AD変換回路の変換レンジの上限に相当する最小の入力電圧Vrminに設定する。また、カウンタ120bのカウント値をCmaxにセットする。   At time T909 when the AD conversion of the reset signal Ref is completed, the reference signal RAMP is set to the minimum input voltage Vrmin corresponding to the upper limit of the conversion range of the AD conversion circuit. Further, the count value of the counter 120b is set to Cmax.

時刻T909から時刻T910の動作は、第1の実施形態の時刻T210から時刻T211の動作と同様であるが、カウンタ120bのカウント値は0にセットされる。   The operation from time T909 to time T910 is the same as the operation from time T210 to time T211 of the first embodiment, but the count value of the counter 120b is set to zero.

次に、信号読出しにおける第3のステップとして、時刻T910から時刻T915の間に、リセット信号Refに対し光電変換部101で蓄積された光信号レベルが上乗せされた光信号SigのAD変換を行う。   Next, as a third step in signal readout, AD conversion of the optical signal Sig in which the optical signal level accumulated in the photoelectric conversion unit 101 is added to the reset signal Ref is performed between time T910 and time T915.

まず、時刻T910で、転送パルスPTXをハイレベルとし、転送スイッチ102をオンして、光電変換部101に蓄積された電荷を、浮遊拡散層FDに転送する。時刻T911に、転送パルスPTXをローレベルとし、転送スイッチ102をオフして、光電変換部101に蓄積された電荷の、浮遊拡散層FDへの転送を終了する。   First, at time T910, the transfer pulse PTX is set to the high level, the transfer switch 102 is turned on, and the charge accumulated in the photoelectric conversion unit 101 is transferred to the floating diffusion layer FD. At time T911, the transfer pulse PTX is set to low level, the transfer switch 102 is turned off, and the transfer of the charge accumulated in the photoelectric conversion unit 101 to the floating diffusion layer FD is completed.

時刻T911から時刻T912の間、入力イネーブルパルスPLEをハイレベルとし、ラッチ回路112bの各端子への入力をイネーブル状態として、以降に述べるゲイン設定動作を行う。   From time T911 to time T912, the input enable pulse PLE is set to high level, the input to each terminal of the latch circuit 112b is enabled, and the gain setting operation described below is performed.

第3のメモリ113gへの書き込みをイネーブル状態にし、時刻T911から時刻T912の間、時間に比例して画素ソースフォロワのゲインを最大から最小に変化させるような電圧波形を、DAC回路130から出力する。   Writing to the third memory 113g is enabled, and a voltage waveform that changes the gain of the pixel source follower from the maximum to the minimum in proportion to the time is output from the DAC circuit 130 from time T911 to time T912. .

比較器111bでは、画素回路100bからの出力電圧Vpixと参照信号RAMPの電圧波形が比較され、出力電圧Vpixが参照信号RAMPの電圧Vrminを上回った時点で、比較器111bの出力COMPがローレベルからハイレベルに遷移する。その結果、ラッチ回路112bにゲート電圧保持パルスPVGHとしてローレベルが保持され、ゲート電圧保持スイッチ117がオフ状態となり、浮遊拡散層FDに接続されたMOSキャパシタ108の容量が固定され、画素ソースフォロワのゲインが決定される。   The comparator 111b compares the output voltage Vpix from the pixel circuit 100b with the voltage waveform of the reference signal RAMP, and when the output voltage Vpix exceeds the voltage Vrmin of the reference signal RAMP, the output COMP of the comparator 111b changes from the low level. Transition to high level. As a result, the latch circuit 112b holds the low level as the gate voltage holding pulse PVGH, the gate voltage holding switch 117 is turned off, the capacitance of the MOS capacitor 108 connected to the floating diffusion layer FD is fixed, and the pixel source follower Gain is determined.

一方、図13(b)に示すように、時刻T911の時点で出力電圧Vpixが電圧Vrminを下回っていなければ(すなわち、画素ソースフォロワが最大ゲインであっても出力電圧VpixがAD変換レンジを超過していなければ)、画素ソースフォロワは最大ゲインのまま保持される。それ以外の画素では、図13(a)に示すように、DAC回路130からの出力電圧に従って、時間とともに画素ソースフォロワのゲインが低下していく。そして、出力電圧Vpixが電圧Vrminを上回った時点でMOSキャパシタ108の容量が固定され、画素ソースフォロワのゲインが保持される。   On the other hand, as shown in FIG. 13B, if the output voltage Vpix is not lower than the voltage Vrmin at time T911 (that is, the output voltage Vpix exceeds the AD conversion range even if the pixel source follower has the maximum gain). If not, the pixel source follower is held at maximum gain. In the other pixels, as shown in FIG. 13A, the gain of the pixel source follower decreases with time in accordance with the output voltage from the DAC circuit. When the output voltage Vpix exceeds the voltage Vrmin, the capacitance of the MOS capacitor 108 is fixed, and the gain of the pixel source follower is held.

カウンタ120bは時刻T911から時刻T912の間にカウント値Cmaxからカウント値0までのダウンカウントを行う。比較器111bの出力COMPのハイレベルへの遷移を受けて、その時点のカウント値をゲインを示す情報であるゲイン係数Cgainとして第3のメモリ113gに記憶し、第3のメモリ113gへの書き込みをディセーブル状態にする。このゲイン設定動作は、信号読出し動作の度に、列回路110bそれぞれで実施されるため、画素ソースフォロワのゲインは画素毎に設定される。   The counter 120b counts down from the count value Cmax to the count value 0 between time T911 and time T912. In response to the transition of the output COMP of the comparator 111b to the high level, the count value at that time is stored in the third memory 113g as a gain coefficient Cgain which is information indicating the gain, and writing to the third memory 113g is performed. Disable state. Since this gain setting operation is performed in each column circuit 110b every time a signal reading operation is performed, the gain of the pixel source follower is set for each pixel.

時刻T912で、入力イネーブルパルスPLEをローレベルとし、ラッチ回路112bの各端子への入力をディセーブル状態として、ゲイン設定動作を終了する。   At time T912, the input enable pulse PLE is set to low level, the input to each terminal of the latch circuit 112b is disabled, and the gain setting operation is terminated.

時刻T913で、参照信号RAMPを、AD変換回路の変換レンジの下限に相当する最小の入力電圧Vrmaxに設定する。   At time T913, the reference signal RAMP is set to the minimum input voltage Vrmax corresponding to the lower limit of the conversion range of the AD conversion circuit.

第2のメモリ113sへの書き込みをイネーブル状態にし、時刻T914から時刻T915の間に、参照信号RAMPとして、時間に比例して電圧がVrmaxからVrminまで低下するランプ波を入力する。これと同時に、カウンタ120bでカウント値0からのアップカウントを行う。ランプ波の電圧が画素回路100bからの出力電圧Vpixを下回った瞬間、比較器111bの出力COMPがローレベルからハイレベルに遷移する。比較器111bの出力COMPのハイレベルへの遷移を受け、その時点のカウンタ120bのカウント値を、光信号Sigとして第2のメモリ113sに記憶させ、第2のメモリ113sへの書き込みをディセーブル状態にする。   Writing to the second memory 113s is enabled, and a ramp wave whose voltage decreases from Vrmax to Vrmin in proportion to time is input as the reference signal RAMP between time T914 and time T915. At the same time, the counter 120b counts up from the count value 0. At the moment when the voltage of the ramp wave falls below the output voltage Vpix from the pixel circuit 100b, the output COMP of the comparator 111b changes from the low level to the high level. In response to the transition of the output COMP of the comparator 111b to the high level, the count value of the counter 120b at that time is stored in the second memory 113s as the optical signal Sig, and writing to the second memory 113s is disabled. To.

時刻T916で、選択パルスPSELをローレベルとし、選択スイッチ107をオフして、画素回路100bを列回路110bから切り離す。その後、第1のメモリ113nに記憶されたリセット信号Ref、第2のメモリ113sに記憶された光信号Sig、第3のメモリ113gに記憶されたゲイン係数Cgainを読み出し、画素回路100bからの信号読出し動作を終了する。   At time T916, the selection pulse PSEL is set to low level, the selection switch 107 is turned off, and the pixel circuit 100b is disconnected from the column circuit 110b. Thereafter, the reset signal Ref stored in the first memory 113n, the optical signal Sig stored in the second memory 113s, and the gain coefficient Cgain stored in the third memory 113g are read out, and the signal is read out from the pixel circuit 100b. End the operation.

以上に説明した画素回路100bからの信号読出し動作を、所望の画素数の信号を読み出すまで繰り返し、撮像素子1bからの一連の信号読出し動作とする。   The signal readout operation from the pixel circuit 100b described above is repeated until a signal having a desired number of pixels is read out, and a series of signal readout operations from the image sensor 1b is performed.

なお、第3の実施形態では、画素ソースフォロワのゲインを最大ゲインに設定して、ゲイン設定動作を行うようにしたが、画素ソースフォロワのゲインを最小ゲインに設定して、ゲイン設定動作を行うようにしてもよい。この場合、時刻T911から時刻T912の間、時間に比例して画素ソースフォロワのゲインを最小から最大に変化させるような電圧波形を、DAC回路130から出力して、ゲイン設定動作を行うようにする。画素ソースフォロワのゲインが最大ゲインに設定されても、AD変換回路の変換レンジの上限に相当する最小の入力電圧Vrminを下回らない画素については、画素ソースフォロワのゲインを最大ゲインに設定した状態で、以降の信号読出し動作を行えばよい。   In the third embodiment, the gain setting operation is performed by setting the gain of the pixel source follower to the maximum gain, but the gain setting operation is performed by setting the gain of the pixel source follower to the minimum gain. You may do it. In this case, from time T911 to time T912, a voltage waveform that changes the gain of the pixel source follower from the minimum to the maximum in proportion to the time is output from the DAC circuit 130 to perform the gain setting operation. . Even if the pixel source follower gain is set to the maximum gain, the pixel source follower gain is set to the maximum gain for pixels that do not fall below the minimum input voltage Vrmin corresponding to the upper limit of the conversion range of the AD converter circuit. The subsequent signal reading operation may be performed.

次に、図14を参照して、撮像素子1bから読み出した信号の補正処理について説明する。第3の実施形態の信号読出し動作によって読み出された光信号Sigは、画素毎に、それぞれ異なる画素ソースフォロワのゲインが設定されている。従って、各画素の光信号Sigにかかる総ゲインが一律となる様に補正を行ってから、1フレームの画像信号を生成する必要がある。本補正は、撮像装置の信号処理部2において行うか、あるいは撮像素子1bの内部に、本補正を行う補正回路を設けるようにしてもよい。   Next, with reference to FIG. 14, the correction process of the signal read from the image sensor 1b will be described. In the optical signal Sig read by the signal reading operation of the third embodiment, different pixel source follower gains are set for each pixel. Therefore, it is necessary to generate an image signal of one frame after performing correction so that the total gain applied to the optical signal Sig of each pixel becomes uniform. The main correction may be performed in the signal processing unit 2 of the imaging apparatus, or a correction circuit that performs the main correction may be provided inside the imaging device 1b.

S301で、信号処理を行った画素数をカウントする不図示のカウンタのカウント値iを1にセットし、S302へ進む。S302で、i番目の画素について、光信号Sig、リセット信号Ref、ゲイン係数Cgainを取得し、S303へ進む。   In S301, the count value i of a counter (not shown) that counts the number of pixels subjected to signal processing is set to 1, and the process proceeds to S302. In S302, the optical signal Sig, the reset signal Ref, and the gain coefficient Cgain are acquired for the i-th pixel, and the process proceeds to S303.

S303では、ゲイン係数Cgainが0であるかを判定する。0であれば画素ソースフォロワが最大ゲインに設定されたと判定してS304へ進み、0でなければ画素ソースフォロワがより低いゲインに設定されたと判定してS305へ進む。   In S303, it is determined whether or not the gain coefficient Cgain is zero. If it is 0, it is determined that the pixel source follower is set to the maximum gain, and the process proceeds to S304. If it is not 0, it is determined that the pixel source follower is set to a lower gain, and the process proceeds to S305.

S304で、画素ソースフォロワが最大ゲインに設定されて読み出された光信号Sigに対して補正演算を行う。光信号Sigからリセット信号Refを減算することで画素ソースフォロワのリセットレベルのばらつき成分を除去し、当該画素における補正後の信号Sとし、S306へ進む。   In S304, the pixel source follower is set to the maximum gain, and a correction operation is performed on the optical signal Sig read out. By subtracting the reset signal Ref from the optical signal Sig, the variation component of the reset level of the pixel source follower is removed to obtain a corrected signal S for the pixel, and the process proceeds to S306.

S305では、画素ソースフォロワがより低いゲインに設定されて読み出された光信号Sigに対して補正演算を行う。最大ゲインをGmax、最小ゲインをGminとし、ゲイン係数Cgainから、式(1)に従って当該画素の光信号Sig読出し時の画素ソースフォロワのゲインGsigを求める。これを式(2)に従って最大ゲインとの比を光信号Sigに対して乗算することでゲイン補正を行い、その後、リセット信号Refを減算することで、当該画素における補正後の信号Sとし、S306へ進む。
Gsig = (Gmax - Gmin)* Cgain / Cmax + Gmin …(1)
S = Gmax / Gsig * Sig - Ref …(2)
In S305, the pixel source follower is set to a lower gain and a correction operation is performed on the optical signal Sig read out. The maximum gain is Gmax, the minimum gain is Gmin, and the gain Gsig of the pixel source follower at the time of reading the optical signal Sig of the pixel is obtained from the gain coefficient Cgain according to the equation (1). The gain correction is performed by multiplying the optical signal Sig by the ratio to the maximum gain according to the equation (2), and then the reset signal Ref is subtracted to obtain the corrected signal S for the pixel, S306 Proceed to
Gsig = (Gmax-Gmin) * Cgain / Cmax + Gmin (1)
S = Gmax / Gsig * Sig-Ref (2)

S306で、カウント値iの値が、1フレームの総画素数と等しいか判定する。カウント値iが1フレームの総画素数に達していなければS307へ進み、カウント値iが1フレームの総画素数に達していれば補正処理を終了する。S307では、カウント値iに1を加算し、S302へ戻って上記処理を繰り返す。   In S306, it is determined whether the count value i is equal to the total number of pixels in one frame. If the count value i has not reached the total number of pixels in one frame, the process proceeds to S307, and if the count value i has reached the total number of pixels in one frame, the correction process is terminated. In S307, 1 is added to the count value i, and the process returns to S302 to repeat the above processing.

以上のような補正処理を行うことで、画素ソースフォロワのゲインが各々設定された各画素の光信号Sigから、撮像素子1bおよび信号処理部2でかかる総ゲインの等しい信号Sを得ることができる。このようにして得た各画素の信号Sを用いて、1フレームの画像信号を生成すればよい。   By performing the correction processing as described above, a signal S having the same total gain can be obtained from the image signal 1b and the signal processing unit 2 from the optical signal Sig of each pixel in which the gain of the pixel source follower is set. . One-frame image signals may be generated using the signal S of each pixel thus obtained.

上記の通り第3の実施形態によれば、浮遊拡散層の容量を画素の出力電圧に応じて連続的に変更することにより、画素ソースフォロワのゲインを画素毎に設定可能な構成とした。これにより、画素回路内に設けた増幅手段によって、画素毎に独立して、信号レベルに応じた連続的なゲイン変更が可能となり、画素毎に、信号レベルに応じてノイズを抑圧することができる。   As described above, according to the third embodiment, the gain of the pixel source follower can be set for each pixel by continuously changing the capacitance of the floating diffusion layer in accordance with the output voltage of the pixel. As a result, the amplifying means provided in the pixel circuit enables continuous gain change according to the signal level independently for each pixel, and noise can be suppressed according to the signal level for each pixel. .

<第4の実施形態>
次に、本発明の第4の実施形態について説明する。第4の実施形態では、第1の実施形態における撮像素子1と構成の異なる撮像素子1cを、撮像素子1の代わりに用いる。その他の構成は第1の実施形態と同様であるため、説明を省略する。
<Fourth Embodiment>
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described. In the fourth embodiment, an image sensor 1 c having a configuration different from that of the image sensor 1 in the first embodiment is used instead of the image sensor 1. Since other configurations are the same as those of the first embodiment, description thereof is omitted.

第4の実施形態における、第1の実施形態と異なる特徴は、第1のゲインおよび第2のゲインの双方で、リセット信号Refの読み出しを行う点である。画素回路100において、浮遊拡散層FD及び付加容量105の電荷がリセットされた状態のポテンシャルが異なる場合、浮遊拡散層FDに付加容量105が接続された状態と、接続されない状態とで、リセット信号Refのレベルは変化する。従って、リセットレベルのばらつきをより精度良く除去するために、第4の実施形態では、第1のゲインおよび第2のゲインの双方で、リセット信号Refの読み出しを行うようにする。   The fourth embodiment is different from the first embodiment in that the reset signal Ref is read with both the first gain and the second gain. In the pixel circuit 100, when the potentials of the floating diffusion layer FD and the additional capacitor 105 in a state where the charges are reset are different, the reset signal Ref depends on whether the additional capacitor 105 is connected to the floating diffusion layer FD or not. The level of changes. Therefore, in order to remove the variation in the reset level with higher accuracy, in the fourth embodiment, the reset signal Ref is read with both the first gain and the second gain.

図15は、第3の実施形態における撮像素子1cの構成を示す等価回路図である。第4の実施形態における撮像素子1cは、第1のゲイン及び第2のゲインの双方のリセット信号を記憶する。そのために、列回路110cが第1、第2のメモリ113n,113sに加えて、同様の機能を備えた第3のメモリ118を備えた点が、第1の実施形態と異なる。撮像素子1cのその他の構成は、第1の実施形態の撮像素子1と同様であるため、説明を省略する。   FIG. 15 is an equivalent circuit diagram showing the configuration of the image sensor 1c in the third embodiment. The image sensor 1c in the fourth embodiment stores reset signals for both the first gain and the second gain. Therefore, the column circuit 110c is different from the first embodiment in that it includes a third memory 118 having the same function in addition to the first and second memories 113n and 113s. Since the other configuration of the image sensor 1c is the same as that of the image sensor 1 of the first embodiment, description thereof is omitted.

次に、図16を参照して、第4の実施形態における、撮像素子1cの画素回路100からの信号読出し動作について説明する。   Next, with reference to FIG. 16, a signal reading operation from the pixel circuit 100 of the image sensor 1c in the fourth embodiment will be described.

時刻T1501より前に行われる動作は、図4に示した時刻T201から時刻T205までの動作と同様である。時刻T1501で、リセットパルスPRESをハイレベルとし、リセットスイッチ106をオンして、浮遊拡散層FDの電荷をリセットする。このとき、直接制御パルスPCRをハイレベルとし、制御切り替えスイッチ114をオンして、付加容量105の電荷も同時にリセットする。時刻T1502で、リセットパルスPRESをローレベルとし、リセットスイッチ106をオフして、浮遊拡散層FDと付加容量105の電荷のリセットを終了する。   The operation performed before time T1501 is the same as the operation from time T201 to time T205 shown in FIG. At time T1501, the reset pulse PRES is set to high level, the reset switch 106 is turned on, and the charge of the floating diffusion layer FD is reset. At this time, the direct control pulse PCR is set to the high level, the control changeover switch 114 is turned on, and the charge of the additional capacitor 105 is simultaneously reset. At time T1502, the reset pulse PRES is set to the low level, the reset switch 106 is turned off, and the resetting of the charges in the floating diffusion layer FD and the additional capacitor 105 is completed.

時刻T1503から時刻T1504の間、直接制御パルスPCRをハイレベルに保つ。そして、各画素の制御切り替えスイッチ114がオンされた状態で、低ゲインである第2のゲインにより、浮遊拡散層FDのリセットレベルである第2のリセット信号Ref2のAD変換を行う。さらに、第3のメモリ118への書き込みをイネーブル状態にし、時刻T1503から時刻T1504の間に、参照信号RAMPとして、電圧がVrmaxから時間に比例して低下するランプ波を入力する。このランプ波の入力と同時に、カウンタ120でカウント値0からのアップカウントを行う。ランプ波の電圧が画素回路100からの出力電圧Vpixを下回った瞬間、比較器111の出力COMPがハイレベルからローレベルに遷移する。比較器111の出力COMPのローレベルへの遷移を受け、その時点のカウンタ120のカウント値を、第2のリセット信号Ref2として第3のメモリ118に記憶させ、第3のメモリ118への書き込みをディセーブル状態にする。時刻T1504で、カウンタ120のカウント値を0にリセットする。   From time T1503 to time T1504, the direct control pulse PCR is kept at the high level. Then, in a state where the control changeover switch 114 of each pixel is turned on, AD conversion of the second reset signal Ref2 that is the reset level of the floating diffusion layer FD is performed with the second gain that is low gain. Further, writing to the third memory 118 is enabled, and a ramp wave whose voltage decreases in proportion to time from Vrmax is input as the reference signal RAMP between time T1503 and time T1504. Simultaneously with the input of the ramp wave, the counter 120 counts up from the count value 0. At the moment when the voltage of the ramp wave falls below the output voltage Vpix from the pixel circuit 100, the output COMP of the comparator 111 changes from high level to low level. In response to the transition of the output COMP of the comparator 111 to the low level, the count value of the counter 120 at that time is stored in the third memory 118 as the second reset signal Ref2, and the write to the third memory 118 is performed. Disable state. At time T1504, the count value of the counter 120 is reset to zero.

時刻T1505で、参照信号RAMPを、AD変換回路の変換レンジの下限に相当する最大の入力電圧Vrmaxに設定する。時刻T1506で、直接制御パルスPCRをローレベルとし、制御切り替えスイッチ114をオフして、浮遊拡散層FDから付加容量105を切り離し、画素ソースフォロワのゲインを第2のゲインに対して高ゲインである第1のゲインに設定する。   At time T1505, the reference signal RAMP is set to the maximum input voltage Vrmax corresponding to the lower limit of the conversion range of the AD conversion circuit. At time T1506, the direct control pulse PCR is set to the low level, the control switch 114 is turned off, the additional capacitor 105 is disconnected from the floating diffusion layer FD, and the gain of the pixel source follower is higher than the second gain. Set to the first gain.

時刻T1507から時刻T1508の間に、第1のゲインにより、浮遊拡散層FDのリセットレベルである第1のリセット信号Ref1のAD変換を行う。まず、第1のメモリ113nへの書き込みをイネーブル状態にする。そして、時刻T1507から時刻T1508の間に、参照信号RAMPとして、時刻T1503から時刻T1504に入力したものと同様のランプ波を入力するのと同時に、カウンタ120でカウント値0からのアップカウントを行う。ランプ波の電圧が画素回路100からの出力電圧Vpixを下回った瞬間、比較器111の出力COMPがハイレベルからローレベルに遷移する。比較器111の出力COMPのローレベルへの遷移を受け、その時点のカウンタ120のカウント値を、リセット信号Refとして第1のメモリ113nに記憶させ、第1のメモリ113nへの書き込みをディセーブル状態にする。   Between time T1507 and time T1508, AD conversion of the first reset signal Ref1 that is the reset level of the floating diffusion layer FD is performed with the first gain. First, writing to the first memory 113n is enabled. Then, during the period from time T1507 to time T1508, as the reference signal RAMP, the same ramp wave as that input from time T1503 to time T1504 is input, and at the same time, the counter 120 counts up from the count value 0. At the moment when the voltage of the ramp wave falls below the output voltage Vpix from the pixel circuit 100, the output COMP of the comparator 111 changes from high level to low level. In response to the transition of the output COMP of the comparator 111 to the low level, the count value of the counter 120 at that time is stored in the first memory 113n as the reset signal Ref, and writing to the first memory 113n is disabled. To.

時刻T1509以降は、不図示ではあるが、図4の時刻T210から時刻T217までと同様の動作を行い、光信号SigのAD変換を行う。その後、第1のメモリ113nに記憶された第1のリセット信号Ref1、第2のメモリ113sに記憶された光信号Sig、第3のメモリ118に記憶された第2のリセット信号Ref2を読み出す。また、ゲイン判定値GAINとして、ゲイン設定パルスPGAINのレベルがローレベルであれば0、ハイレベルであれば1を読出し、画素回路100からの信号読出し動作を終了する。   After time T1509, although not shown, the same operation as from time T210 to time T217 in FIG. 4 is performed to perform AD conversion of the optical signal Sig. Thereafter, the first reset signal Ref1 stored in the first memory 113n, the optical signal Sig stored in the second memory 113s, and the second reset signal Ref2 stored in the third memory 118 are read. As the gain determination value GAIN, 0 is read if the level of the gain setting pulse PGAIN is low, and 1 is read if the level is high, and the signal reading operation from the pixel circuit 100 is terminated.

以上説明した画素回路100からの信号読出し動作を、所望の画素数の信号を読み出すまで繰り返し、撮像素子1cからの一連の信号読出し動作とする。   The signal readout operation from the pixel circuit 100 described above is repeated until a signal of a desired number of pixels is read out, and a series of signal readout operations from the image sensor 1c is performed.

以上の読出し動作により、第1のゲインによる第1のリセット信号Ref1、および、第2のゲインによる第2のリセット信号Ref2の双方を得ることができる。   With the above read operation, both the first reset signal Ref1 with the first gain and the second reset signal Ref2 with the second gain can be obtained.

次に、図17を参照して、撮像素子1cから読み出した信号の補正処理について説明する。第4の実施形態の信号読出し動作によって読み出された光信号Sigは、画素毎に、それぞれ2種類の画素ソースフォロワのゲインのどちらかが設定されている。従って、第4の実施形態では、第1のゲイン及び第2のゲインのどちらが設定されていたかによって、光信号Sigから減算するリセット信号を、第1のリセット信号Ref1、第2のリセット信号Ref2の中から選択する。   Next, with reference to FIG. 17, the correction process of the signal read from the image sensor 1c will be described. One of the gains of two types of pixel source followers is set for each pixel of the optical signal Sig read by the signal reading operation of the fourth embodiment. Therefore, in the fourth embodiment, depending on which of the first gain and the second gain is set, the reset signal to be subtracted from the optical signal Sig is the first reset signal Ref1 and the second reset signal Ref2. Choose from.

S401で、信号処理を行った画素数をカウントする不図示のカウンタのカウント値iを1にセットし、S402へ進む。S402で、i番目の画素について、光信号Sig、リセット信号Ref1、リセット信号Ref2、ゲイン判定値GAINを取得し、S403へ進む。   In S401, the count value i of a counter (not shown) that counts the number of pixels subjected to signal processing is set to 1, and the process proceeds to S402. In S402, the optical signal Sig, the reset signal Ref1, the reset signal Ref2, and the gain determination value GAIN are acquired for the i-th pixel, and the process proceeds to S403.

S403で、ゲイン判定値GAINが0であるかを判定する。0であれば画素ソースフォロワが高いゲインである第1のゲインG1に設定されたと判定してS404へ進み、0でなければ画素ソースフォロワが低いゲインである第2のゲインG2に設定されたと判定してS405へ進む。   In S403, it is determined whether the gain determination value GAIN is zero. If it is 0, it is determined that the pixel source follower is set to the first gain G1, which is a high gain, and the process proceeds to S404. If it is not 0, it is determined that the pixel source follower is set to the second gain G2, which is a low gain. Then, the process proceeds to S405.

S404では、画素ソースフォロワが高いゲインである第1のゲインG1に設定されて読み出された光信号Sigに対して補正演算を行う。第1のゲインで読み出された第1のリセット信号Ref1を、光信号Sigから減算することで画素ソースフォロワのリセットレベルのばらつき成分を除去し、当該画素における補正後の信号Sとし、S406へ進む。   In S404, a correction operation is performed on the optical signal Sig read with the pixel source follower set to the first gain G1, which is a high gain. By subtracting the first reset signal Ref1 read out with the first gain from the optical signal Sig, the variation component of the reset level of the pixel source follower is removed to obtain a corrected signal S for the pixel, and the process proceeds to S406. move on.

S405では、画素ソースフォロワが低いゲインである第2のゲインに設定されて読み出された光信号Sigに対して補正演算を行う。第2のゲインで読み出された第2のリセット信号Ref2を、光信号Sigから減算することで画素ソースフォロワのリセットレベルのばらつき成分を除去する。その後、光信号Sigに対し第1のゲインG1と第2のゲインG2の比G1/G2を乗算することでゲイン補正を行うことで、当該画素における補正後の信号Sとし、S406へ進む。   In S405, a correction operation is performed on the optical signal Sig read out with the pixel source follower set to the second gain, which is a low gain. The variation component of the reset level of the pixel source follower is removed by subtracting the second reset signal Ref2 read out with the second gain from the optical signal Sig. Thereafter, gain correction is performed by multiplying the optical signal Sig by the ratio G1 / G2 of the first gain G1 and the second gain G2, thereby obtaining a corrected signal S for the pixel, and the process proceeds to S406.

S406及びS407の動作は、第1の実施形態において図5のS106及びS107で説明した動作と同様であるため、説明を省略する。   The operations in S406 and S407 are the same as the operations described in S106 and S107 in FIG. 5 in the first embodiment, and thus the description thereof is omitted.

以上のような補正処理を行うことで、画素ソースフォロワのゲインが各々設定された各画素の光信号Sigから、撮像素子1c及び信号処理部2でかかる総ゲインの等しい信号Sを得ることができる。このようにして得た各画素の信号Sを用いて、1フレームの画像信号を生成すればよい。   By performing the correction processing as described above, a signal S having the same total gain can be obtained from the image signal 1c and the signal processing unit 2 from the optical signal Sig of each pixel in which the gain of the pixel source follower is set. . One-frame image signals may be generated using the signal S of each pixel thus obtained.

上記の通り第4の実施形態では、画素回路内に設けた増幅手段によって、画素ソースフォロワのゲインを画素毎に設定可能な構成とし、設定可能な各ゲインで画素ソースフォロワのリセットレベルを読み出すようにした。これにより、信号レベルに応じて独立してゲインが設定された各画素の信号に対し、精度の高いリセットレベルの補正を行うことが可能となり、ノイズをさらに抑圧可能にした固体撮像素子を提供可能である。   As described above, in the fourth embodiment, the gain of the pixel source follower is set for each pixel by the amplifying means provided in the pixel circuit, and the reset level of the pixel source follower is read with each settable gain. I made it. This makes it possible to perform highly accurate reset level correction on each pixel signal for which gain has been set independently according to the signal level, and to provide a solid-state imaging device that can further suppress noise. It is.

以上、本発明の好ましい実施形態について説明したが、本発明はこれらの実施形態に限定されず、その要旨の範囲内で種々の変形及び変更が可能である。   As mentioned above, although preferable embodiment of this invention was described, this invention is not limited to these embodiment, A various deformation | transformation and change are possible within the range of the summary.

例えば、第2〜第4の実施形態については、上述した第1の実施形態の変形例と同様の変形が可能である。   For example, about the 2nd-4th embodiment, the same deformation | transformation as the modification of 1st Embodiment mentioned above is possible.

1,1a,1b,1c:撮像素子、2:信号処理部、3:全体制御・演算部、100,100a,100b:画素回路、110,110a,110b,110c:列回路、103:増幅トランジスタ、104:容量付加スイッチ、105:付加容量、111:比較器、112:ゲーテッド・ラッチ回路、113n:第1のメモリ、113s:第2のメモリ、113g,118:第3のメモリ、114:制御切り替えスイッチ、120,120b:カウンタ、FD:浮遊拡散層、I:電流源   1, 1a, 1b, 1c: imaging device, 2: signal processing unit, 3: overall control / calculation unit, 100, 100a, 100b: pixel circuit, 110, 110a, 110b, 110c: column circuit, 103: amplification transistor, 104: capacity addition switch, 105: additional capacity, 111: comparator, 112: gated latch circuit, 113n: first memory, 113s: second memory, 113g, 118: third memory, 114: control switching Switch, 120, 120b: Counter, FD: Floating diffusion layer, I: Current source

Claims (14)

入射光量に応じて電荷を発生する光電変換手段と、
前記電荷を蓄積する電荷蓄積容量と、
前記電荷蓄積容量に蓄積された電荷量に応じた電圧を増幅して光信号を出力する増幅手段と、
をそれぞれ含む、複数の画素回路と、
前記増幅手段からの光信号と参照信号とを比較して比較結果を出力する比較手段を含む、複数のAD変換手段と、
前記増幅手段のゲインをそれぞれ設定する、複数のゲイン設定手段と、
を備え、
前記ゲイン設定手段は、前記画素回路ごとに、各画素回路に対応する前記比較手段の比較結果に基づいて、前記増幅手段のゲインを設定することを特徴とする撮像素子。
Photoelectric conversion means for generating charge according to the amount of incident light;
A charge storage capacity for storing the charge;
Amplifying means for amplifying a voltage corresponding to the amount of charge stored in the charge storage capacitor and outputting an optical signal;
A plurality of pixel circuits each including
A plurality of AD conversion means including comparison means for comparing the optical signal from the amplification means with a reference signal and outputting a comparison result;
A plurality of gain setting means for setting the gain of the amplifying means;
With
The image pickup device, wherein the gain setting means sets the gain of the amplification means for each of the pixel circuits based on a comparison result of the comparison means corresponding to each pixel circuit.
前記各画素回路は、前記電荷蓄積容量と並列に設けられた付加容量と、前記付加容量を前記電荷蓄積容量に接続/切り離すためのスイッチとを有し、
前記ゲイン設定手段は、前記スイッチを制御することにより、前記付加容量と前記電荷蓄積容量との接続を制御することで、前記増幅手段のゲインを設定することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。
Each pixel circuit has an additional capacitor provided in parallel with the charge storage capacitor, and a switch for connecting / disconnecting the additional capacitor to / from the charge storage capacitor,
2. The gain setting unit according to claim 1, wherein the gain setting unit sets a gain of the amplification unit by controlling a connection between the additional capacitor and the charge storage capacitor by controlling the switch. Image sensor.
前記各画素回路は、前記電荷蓄積容量と並列に設けられた複数の付加容量と、前記複数の付加容量をそれぞれ前記電荷蓄積容量に接続/切り離すための複数のスイッチとを有し、
前記ゲイン設定手段は、前記スイッチを制御することにより、前記複数の付加容量それぞれと前記電荷蓄積容量との接続を制御することで、前記増幅手段のゲインを設定することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。
Each pixel circuit includes a plurality of additional capacitors provided in parallel with the charge storage capacitor, and a plurality of switches for connecting / disconnecting the plurality of additional capacitors to / from the charge storage capacitor, respectively.
2. The gain setting means sets the gain of the amplifying means by controlling connection between each of the plurality of additional capacitors and the charge storage capacitor by controlling the switch. The imaging device described in 1.
前記ゲイン設定手段は、前記付加容量を接続することで、切り離している場合よりも前記増幅手段のゲインを低くすることを特徴とする請求項2または3に記載の撮像素子。   The image pickup device according to claim 2 or 3, wherein the gain setting means makes the gain of the amplification means lower by connecting the additional capacitor than when the gain setting means is disconnected. 前記各画素回路は、前記電荷蓄積容量と並列に設けられた、容量を連続的に変更可能な付加容量を有し、
前記ゲイン設定手段は、前記付加容量の容量を制御することで、前記増幅手段のゲインを設定することを特徴とする請求項1に記載の撮像素子。
Each of the pixel circuits has an additional capacitor provided in parallel with the charge storage capacitor and capable of continuously changing the capacitance.
The image pickup device according to claim 1, wherein the gain setting unit sets a gain of the amplification unit by controlling a capacitance of the additional capacitor.
前記ゲイン設定手段は、前記付加容量の容量をより大きくすることで、前記増幅手段のゲインをより小さくすることを特徴とする請求項2または3に記載の撮像素子。   The image pickup device according to claim 2, wherein the gain setting unit further reduces the gain of the amplification unit by increasing the capacity of the additional capacitor. 前記ゲイン設定手段は、前記光信号が前記参照信号よりも小さい場合に、前記ゲインを小さくすることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の撮像素子。   The imaging device according to claim 1, wherein the gain setting unit reduces the gain when the optical signal is smaller than the reference signal. 前記電荷蓄積容量をリセットした時の信号を、前記ゲイン設定手段により予め決められたゲインが設定された前記増幅手段で増幅して出力されたリセット信号と、前記光信号と、をそれぞれ前記AD変換手段によりAD変換した信号と、前記設定されたゲインを示す情報と、を出力するように制御する制御手段を更に有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像素子。   A signal when the charge storage capacitor is reset is amplified by the amplifying means set with a gain determined in advance by the gain setting means, and the optical signal and the reset signal are respectively output from the AD converter. 5. The image pickup device according to claim 1, further comprising a control unit that controls to output a signal AD-converted by the unit and information indicating the set gain. 6. . 前記電荷蓄積容量をリセットした時の信号を、前記ゲイン設定手段により設定可能な複数の前記ゲインそれぞれにより前記増幅手段で増幅して出力された複数のリセット信号と、前記光信号と、をそれぞれ前記AD変換手段によりAD変換した信号と、前記設定されたゲインを示す情報と、を出力するように制御する制御手段を更に有することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の撮像素子。   A signal when the charge storage capacitor is reset, a plurality of reset signals that are amplified and output by the amplifying unit with a plurality of gains that can be set by the gain setting unit, and the optical signal, respectively. 5. The control device according to claim 1, further comprising a control unit that controls to output a signal AD-converted by the AD conversion unit and information indicating the set gain. 6. Image sensor. 前記AD変換手段と、前記ゲイン設定手段は、予め決められた数の画素回路ごとにそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の撮像素子。   10. The image pickup device according to claim 1, wherein the AD conversion unit and the gain setting unit are arranged for each of a predetermined number of pixel circuits. 11. 前記複数の画素回路は行列状に配置され、
前記AD変換手段と、前記ゲイン設定手段は、各列に対応してそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項10に記載の撮像素子。
The plurality of pixel circuits are arranged in a matrix,
The image pickup device according to claim 10, wherein the AD conversion unit and the gain setting unit are arranged corresponding to each column.
前記複数の画素回路と、前記複数のAD変換手段及び前記複数のゲイン設定手段とが、互いに異なる複数の基板に配置されていることを特徴とする請求項1乃至11のいずれか1項に記載の撮像素子。   12. The device according to claim 1, wherein the plurality of pixel circuits, the plurality of AD conversion units, and the plurality of gain setting units are arranged on a plurality of different substrates. Image sensor. 請求項7または8に記載の撮像素子と、
前記撮像素子から出力された光信号に対して、前記設定されたゲインを示す情報とに基づいて、前記複数の画素回路に対応する光信号のゲインが一律になるようにゲイン補正する補正手段と
を有することを特徴とする撮像装置。
The image sensor according to claim 7 or 8,
Correction means for correcting the gain so that the gain of the optical signal corresponding to the plurality of pixel circuits is uniform based on the information indicating the set gain with respect to the optical signal output from the imaging device; An imaging device comprising:
前記補正手段は、前記各画素回路の前記リセット信号に基づいて、前記各画素回路の前記光信号のノイズを更に補正することを特徴とする請求項13に記載の撮像装置。   The imaging apparatus according to claim 13, wherein the correction unit further corrects noise of the optical signal of each pixel circuit based on the reset signal of each pixel circuit.
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