JP2018182017A - 離間装置および離間方法 - Google Patents

Abstract

【課題】接着シートに付与していた張力を解除しても、被着体の相互間隔が極力狭くならないようにすることができる離間装置および離間方法を提供する。【解決手段】離間装置１０は、一方の面ＡＳ１と他方の面ＡＳ２との少なくとも一方に複数の被着体ＣＰが貼付された接着シートＡＳの端部を保持する複数の保持手段２０と、接着シートＡＳの端部を保持した保持手段２０を相対移動させ、被着体ＣＰの相互間隔を広げる離間手段３０とを備える。接着シートＡＳは、所定のエネルギーが付与されることで硬化可能とされる。離間手段３０で被着体ＣＰの相互間隔を広げた状態の接着シートＡＳに、所定のエネルギーを付与することで当該接着シートＡＳを硬化させる第１エネルギー付与手段５０を備えている。【選択図】図１

Description

本発明は、離間装置および離間方法に関する。

従来、接着シートに貼付された複数の被着体の相互間隔を広げる離間装置が知られている（例えば、特許文献１参照）。

特開２０１６−１２７１２４号公報

しかしながら、特許文献１に記載されたような従来の離間装置では、例えば、接着シート上で相互間隔が広げられた片状体（被着体）を当該接着シートと共に搬送するような場合、保持手段による接着シートの保持がなくなると、接着シートは、付与されていた張力が解除され、変形前の状態に近付こうとするので、被着体の相互間隔が狭くなるという不都合がある。

本発明の目的は、接着シートに付与していた張力を解除しても、被着体の相互間隔が極力狭くならないようにすることができる離間装置および離間方法を提供することにある。

本発明は、請求項に記載した構成を採用した。

本発明によれば、所定のエネルギーが付与されることで硬化可能とされた接着シートに、当該所定のエネルギーを付与して当該接着シート硬化させるので、接着シートに付与していた張力を解除しても、被着体の相互間隔が極力狭くならないようにすることができる。
さらに、維持部材取付手段を備えれば、被着体の相互間隔がより狭くならないようにすることができる。
また、切断手段を備えれば、接着シート上で相互間隔が広げられた被着体を搬送する際、接着シートの端部が搬送の妨げになることを防止することができる。
さらに、第２エネルギー付与手段を備えれば、被着体の相互間隔を広げやすくすることができる。

（Ａ）は、本発明の実施形態に係る離間装置の平面図。（Ｂ）は、図１（Ａ）の側面図。 （Ａ）、（Ｂ）は、本発明の実施形態に係る離間装置の動作説明図。 （Ａ）〜（Ｃ）は、本発明の実施形態に係る離間装置の動作説明図。 （Ａ）、（Ｂ）は、本発明の他の例の説明図。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
なお、本実施形態におけるＸ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、それぞれが直交する関係にあり、Ｘ軸およびＹ軸は、所定平面内の軸とし、Ｚ軸は、前記所定平面に直交する軸とする。さらに、本実施形態では、Ｙ軸と平行な矢印ＢＤ方向から観た場合を基準とし、基準となる図を挙げることなく方向を示した場合、「上」がＺ軸の矢印方向で「下」がその逆方向、「左」がＸ軸の矢印方向で「右」がその逆方向、「前」がＹ軸の矢印方向で「後」がその逆方向とする。

本発明の離間装置１０は、一方の面ＡＳ１に複数の被着体ＣＰが貼付された接着シートＡＳの端部を保持する複数の保持手段２０と、接着シートＡＳの端部を保持した保持手段２０を相対移動させ、被着体ＣＰの相互間隔を広げる離間手段３０と、被着体ＣＰの相互間隔や各被着体ＣＰの全体的な集合形状等を検知可能なカメラや投影機等の撮像手段、光学センサや音波センサ等の各種センサ等の検知手段４０と、離間手段３０で被着体ＣＰの相互間隔を広げた状態の接着シートＡＳに、所定のエネルギーとしての紫外線ＵＶを付与することで当該接着シートＡＳを硬化させる第１エネルギー付与手段５０と、接着シートＡＳに別のエネルギーとしての赤外線ＩＲを付与する第２エネルギー付与手段６０と、被着体ＣＰの相互間隔を広げた状態の接着シートＡＳに間隔維持部材ＤＭを取り付ける維持部材取付手段７０と、接着シートＡＳを切断する切断手段８０とを備えている。
なお、接着シートＡＳは、基材シートの一方の面に紫外線硬化型の接着剤層が積層され、張力が付与された後、紫外線ＵＶが付与されることなく当該張力が解除されると、変形前の状態に近付こうとする性質を備え、紫外線ＵＶが付与されることで硬化する一方、赤外線ＩＲが付与されることで軟化するものが採用されている。

保持手段２０は、離間手段３０に支持された駆動機器としての回動モータ２１と、その出力軸２１Ａに支持された上保持部材２２とを備えている。

離間手段３０は、駆動機器としてのリニアモータ３１と、そのスライダ３１Ａに支持され、上面側で回動モータ２１を支持する下保持部材３２とを備えている。

第１エネルギー付与手段５０は、上ケースＵＣ内に複数配置された上側紫外線ランプ５１と、下ケースＢＣ内に複数配置された下側紫外線ランプ５２とを備えている。上側、下側紫外線ランプ５１、５２は、接着シートＡＳに全体的に紫外線ＵＶを照射するようになっている。

第２エネルギー付与手段６０は、Ｙ軸方向に移動するスライダ６１Ａを備えた駆動機器としてのリニアモータ６１と、スライダ６１Ａに支持され、Ｘ軸方向に移動するスライダ６２Ａを備えた駆動機器としてのリニアモータ６２と、スライダ６２Ａに支持されたベーステーブル６３と、ベーステーブル６３上にスタンド６４および下ケースＢＣを介して支持された赤外線ランプ６５とを備えている。赤外線ランプ６５は、接着シートＡＳに部分的に赤外線ＩＲを照射するようになっている。

維持部材取付手段７０は、リニアモータ６１、６２およびベーステーブル６３と、ベーステーブル６３上に支持された駆動機器としての直動モータ７１と、その出力軸７１Ａに支持され、減圧ポンプや真空エジェクタ等の図示しない減圧手段によって間隔維持部材ＤＭを支持可能な支持面７２Ａを有する支持テーブル７２とを備えている。なお、本実施形態の場合、間隔維持部材ＤＭは、硝子板ＧＰの一方の面に両面接着シートＢＡが貼付されたものが使用される。

切断手段８０は、複数のアームによって構成された駆動機器としての多関節ロボット８１と、当該多関節ロボット８１の作業部である先端アーム８１Ａにブラケット８２を介して支持された切断部材としてのカッター刃８３とを備えている。多関節ロボット８１は、その作業範囲内において、先端アーム８１Ａで支持したものを何れの位置、何れの角度にでも変位可能な所謂６軸ロボット等でよく、例えば、特開２０１６−８１９７４に例示されている多関節ロボット１１１等が例示できる。

以上の離間装置１０の動作を説明する。
先ず、各部材が図１（Ａ）、（Ｂ）中実線で示す初期位置で待機している離間装置１０に対し、当該離間装置１０の使用者（以下、単に「使用者」という）が操作パネルやパーソナルコンピュータ等の図示しない操作手段を介して自動運転開始の信号を入力する。その後、作業者または、駆動機器やコンベア等の図示しない搬送手段が、両面接着シートＢＡ側が上側となるように、間隔維持部材ＤＭを支持面７２Ａ上に載置すると、維持部材取付手段７０が図示しない減圧手段を駆動し、当該間隔維持部材ＤＭの吸着保持を開始する。そして、作業者または、図示しない搬送手段が複数の被着体ＣＰが貼付された接着シートＡＳを下保持部材３２上に載置すると、保持手段２０が各回動モータ２１を駆動し、図１（Ｂ）中二点鎖線で示すように、上保持部材２２と下保持部材３２とで接着シートＡＳの端部を保持する。

次いで、離間手段３０が各リニアモータ３１を駆動し、保持手段２０を相互に離間させて被着体ＣＰの相互間隔を広げる。このとき、各被着体ＣＰは、図２（Ａ）に示すように、接着シートＡＳのひずみ等によって、相互間隔が所定の間隔に広がらないことがある。そこで、検知手段４０がカメラ等を駆動し、各被着体ＣＰの相互間隔や各被着体ＣＰの全体的な集合形状等を検知する。次に、検知手段４０の検知結果を基にして、離間手段３０が各リニアモータ３１を駆動し、図２（Ｂ）に示すように、各被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように、または、各被着体ＣＰの全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように、各保持手段２０を個別に移動させる。このとき、被着体ＣＰの相互間隔が開き難い難開部分があることを検知手段４０が検知すると、第２エネルギー付与手段６０がリニアモータ６１、６２および赤外線ランプ６５を駆動し、難開部分に部分的に赤外線ＩＲを照射する（図３（Ａ）参照）。これにより、難開部分が軟化して被着体ＣＰの相互間隔が開き易くなる。

その後、第１エネルギー付与手段５０が上側、下側紫外線ランプ５１、５２を駆動し、図３（Ａ）に示すように、接着シートＡＳの一方の面ＡＳ１および他方の面ＡＳ２に紫外線ＵＶを付与し、当該接着シートＡＳを硬化させ、被着体ＣＰの相互間隔が狭くならないようにする。次いで、維持部材取付手段７０がリニアモータ６１、６２を駆動し、相互間隔が拡げられた被着体ＣＰの下方に間隔維持部材ＤＭを配置した後、直動モータ７１を駆動し、図３（Ｂ）に示すように、両面接着シートＢＡを介して、接着シートＡＳの他方の面ＡＳ２側に間隔維持部材ＤＭを取り付ける。

その後、切断手段８０が多関節ロボット８１を駆動し、図３（Ｃ）に示すように、カッター刃８３を接着シートＡＳに突き刺した後、当該カッター刃８３を被着体ＣＰ全体の外縁に沿って１周させて接着シートＡＳを切断し、間隔維持部材ＤＭが取り付けられ、接着シートＡＳ上で被着体ＣＰの相互間隔が広げられた一体物ＷＫを形成する。次いで、切断手段８０が多関節ロボット８１を駆動し、カッター刃８３を初期位置に復帰させると、維持部材取付手段７０が図示しない減圧手段の駆動を停止し、間隔維持部材ＤＭの吸着保持を解除する。そして、作業者または、図示しない搬送手段が一体物ＷＫを別の工程に搬送すると、保持手段２０が回動モータ２１を駆動し、上保持部材２２と下保持部材３２とでの接着シートＡＳの保持を解除する。その後、作業者または、図示しない搬送手段が、下保持部材３２上に残された接着シートＡＳ部分を取り去ると、各手段がそれぞれの駆動機器を駆動し、各部材を初期位置に復帰させ、以降上記同様の動作が繰り返される。

以上のような離間装置１０によれば、紫外線ＵＶが付与されることで硬化可能とされた接着シートＡＳに、当該紫外線ＵＶを付与して硬化させるので、接着シートＡＳに付与していた張力を解除しても、被着体ＣＰの相互間隔が極力狭くならないようにすることができる。

本発明における手段および工程は、それら手段および工程について説明した動作、機能または工程を果たすことができる限りなんら限定されることはなく、まして、前記実施形態で示した単なる一実施形態の構成物や工程に全く限定されることはない。例えば、保持手段は、一方の面と他方の面との少なくとも一方に複数の被着体が貼付された接着シートの端部を保持可能なものであれば、出願当初の技術常識に照らし合わせ、その技術範囲内のものであればなんら限定されることはない（その他の手段および工程も同じ）。

本発明の離間装置は、図４（Ａ）に示すように、保持手段２０と、接着シートＡＳにおける複数の被着体ＣＰが貼付された被着体接着領域ＣＥよりも外側であって、保持手段２０が保持した保持領域ＨＥの内側で当該接着シートＡＳに当接する当接手段９０と、接着シートＡＳの端部を保持した保持手段２０および当接手段９０を相対移動させ、被着体ＣＰの相互間隔を広げる離間手段３０Ａと、検知手段４０と、第１エネルギー付与手段５０と、被着体ＣＰの相互間隔を広げた状態で、接着シートＡＳに間隔維持部材ＤＭを取り付ける維持部材取付手段７０Ａと、切断手段８０とを備えた離間装置１０Ａとしてもよい。
なお、離間装置１０Ａにおいて、離間装置１０と同等の構成で同等の機能を有するものは、当該離間装置１０と同じ番号を付してその構成説明は省略し、動作説明は簡略化する。

離間手段３０Ａは、ベースプレートＢＰ上に支持された駆動機器としての直動モータ３３と、その出力軸３３Ａに支持され、上面側で回動モータ２１を支持する下保持部材３４とを備えている。
維持部材取付手段７０Ａは、Ｙ軸方向に移動するスライダ７３Ａを備えた駆動機器としてのリニアモータ７３の当該スライダ７３Ａ上に、直動モータ７１を介して支持テーブル７２が支持されている。
当接手段９０は、ベースプレートＢＰ上に支持され、手前側に維持部材取付手段７０Ａの出入りを許容する切欠９１Ａが形成された円筒状の当接部材９１を備えている。当接部材９１の内部には、下側紫外線ランプ５２を支持する支持桟９１Ｂが設けられている。

このような離間装置１０Ａは、離間装置１０と同様にして複数の被着体ＣＰが貼付された接着シートＡＳが下保持部材３４上に載置されると、保持手段２０が回動モータ２１を駆動し、図４（Ａ）中二点鎖線で示すように、上保持部材２２と下保持部材３４とで接着シートＡＳの端部を保持する。なお、間隔維持部材ＤＭは、当接部材９１の外側（手前側）に位置する支持テーブル７２上に離間装置１０と同様にして載置される。また、接着シートＡＳの端部には、図４に示すように、リング状のフレームＲＦが貼付されているが、当該フレームＲＦは、なくてもよい。次いで、離間手段３０Ａが直動モータ３３を駆動し、保持手段２０を下降させて保持手段２０および当接手段９０を相対移動させ、図４（Ｂ）に示すように、被着体ＣＰの相互間隔を広げる。その後、離間装置１０と同様にして、第１エネルギー付与手段５０で紫外線ＵＶを付与して接着シートＡＳを硬化させた後、維持部材取付手段７０Ａがリニアモータ７３を駆動し、相互間隔が拡げられた被着体ＣＰの下方に間隔維持部材ＤＭを配置する。そして、離間装置１０と同様にして、図４（Ｂ）に示すように、維持部材取付手段７０Ａで接着シートＡＳの他方の面ＡＳ２側に間隔維持部材ＤＭを取り付け、切断手段８０で接着シートＡＳを切断した後、一体物ＷＫを別の工程に搬送する。

このような離間装置１０Ａによっても、離間装置１０と同様の効果を得ることができる。

保持手段２０は、他方の面ＡＳ２や、一方の面ＡＳ１および他方の面ＡＳ２の両方の面に複数の被着体ＣＰが貼付された接着シートＡＳの端部を保持する構成でもよいし、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で接着シートＡＳの端部を保持する構成でもよい。
保持手段２０は、離間装置１０の場合、例えば、右方へ移動する当該保持手段２０を１体とし、左方へ移動する当該保持手段２０を１体とした２体で構成してもよいし、例えば、右方、左方およびその他の方向へ移動する３体以上で構成してもよい。
保持手段２０は、離間装置１０Ａの場合、１体でもよいし２体以上でもよい。

離間手段３０、３０Ａは、複数でなく単数でもよく、この場合、例えば、離間装置１０は、１体のリニアモータの２つのスライダで、保持手段２０をそれぞれ１体ずつ支持し、被着体ＣＰの相互間隔を広げる構成とし、被着体ＣＰの相互間隔を１軸方向（例えば、Ｘ軸方向またはＹ軸方向等）のみに広げる構成としてもよい。
離間手段３０は、相互間隔を３軸以上の方向（例えば、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向およびその他の軸方向）に広げる構成でもよいし、例えば、Ｘ軸方向に移動させた複数の保持手段２０をそれぞれＹ軸方向に移動させる構成（Ｙ軸方向に移動させた複数の保持手段２０をそれぞれＸ軸方向に移動させる構成）とし、被着体ＣＰの相互間隔を広げてもよいし、被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように作動できない構成、または、各被着体ＣＰの全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように作動できない構成でもよい。
離間手段３０Ａは、保持手段２０を停止または移動させつつ、当接手段９０を移動させることで、保持手段２０および当接手段９０を相対移動させ、被着体ＣＰの相互間隔を広げてもよい。
離間手段３０、３０Ａは、作業者がボタンやレバー等を操作して、リニアモータ３１、直動モータ３３を駆動してもよく、この場合、例えば、検知手段４０による検知結果をモニタや検出器等の表示器に表示するように構成し、この表示器に表示される検知結果によって被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように、または、各被着体ＣＰの全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように、作業者がリニアモータ３１、直動モータ３３を駆動させてもよい。

検知手段４０は、作業者の目視でもよく、例えば、作業者が目視によって、被着体ＣＰの相互間隔が所定間隔となるように、または、各被着体ＣＰの全体的な集合形状が基の全体的な集合形状に対して相似関係となるように、ボタンやレバー等を操作して、リニアモータ３１、直動モータ３３を駆動するように構成してもよいし、本発明の離間装置１０、１０Ａに備わっていなくてもよい。

第１エネルギー付与手段５０は、接着シートＡＳの一方の面ＡＳ１側および他方の面ＡＳ２側の少なくとも一方の面側に第１エネルギーを付与する構成でもよいし、あらゆる波長の電磁波（例えばＸ線や赤外線等）、加熱または冷却された気体や液体等の流体等を第１エネルギーとして接着シートＡＳに付与するものでもよく、接着シートＡＳの構成に応じて当該接着シートＡＳを硬化できる第１エネルギーを付与可能なものであれば何でもよいし、上ケースＵＣ内に１体または複数配置されていてもよいし、下ケースＢＣ内に１体または複数配置されていてもよいし、上ケースＵＣや下ケースＢＣ内に配置されていなくてもよいし、上ケースＵＣや下ケースＢＣ自体がなくてもよいし、接着シートＡＳに部分的に第１エネルギーを付与する構成でもよいし、上側、下側紫外線ランプ５１、５２として、ＬＥＤ（Light Emitting Diode、発光ダイオード）ランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用してもよいし、それらを適宜に組み合わせたものを採用してもよい。

第２エネルギー付与手段６０は、接着シートＡＳの一方の面ＡＳ１側および他方の面ＡＳ２側の少なくとも一方の面側に第２エネルギーを付与する構成でもよいし、あらゆる波長の電磁波（例えばＸ線や紫外線等）、加熱または冷却された気体や液体等の流体等を第２エネルギーとして接着シートＡＳに付与するものでもよく、接着シートＡＳの構成に応じて当該接着シートＡＳを軟化できる第２エネルギーを付与可能なものであれば何でもよいし、上ケースＵＣ内に１体または複数配置されていてもよいし、下ケースＢＣ内に１体または複数配置されていてもよいし、上ケースＵＣや下ケースＢＣ内に配置されていなくてもよいし、接着シートＡＳに全体的に第２エネルギーを付与する構成でもよいし、赤外線ランプ６５として、ＬＥＤランプ、高圧水銀ランプ、低圧水銀ランプ、メタルハライドランプ、キセノンランプ、ハロゲンランプ等何を採用してもよいし、それらを適宜に組み合わせたものを採用してもよいし、本発明の離間装置１０に備わっていなくてもよい。

維持部材取付手段７０、７０Ａは、メカチャックやチャックシリンダ等の把持手段、クーロン力、接着剤、粘着剤、磁力、ベルヌーイ吸着、駆動機器等で間隔維持部材ＤＭを支持する構成でもよいし、本発明の離間装置１０、１０Ａに備わっていなくてもよく、このように、維持部材取付手段７０、７０Ａが備わっていなくても、被着体ＣＰの相互間隔を広げた状態で接着シートＡＳが硬化されているので、接着シートＡＳに付与していた張力を解除しても、被着体の相互間隔が極力狭くならないようにすることができる。
維持部材取付手段７０、７０Ａは、被着体ＣＰの相互間隔を広げた状態の接着シートＡＳの一方の面ＡＳ１や他方の面ＡＳ２に、環状または環状でない間隔維持部材ＤＭを取り付けてもよいし、接着シートＡＳに第１エネルギーを付与した後、付与する前、付与と同時に、当該接着シートＡＳに間隔維持部材ＤＭを取り付けてもよい。

切断手段８０は、カッター刃８３の代わりに、レーザカッタ、イオンビーム、火力、熱、水圧、電熱線、気体や液体等の吹付け等を切断部材として採用したり、適宜な駆動機器を組み合わせたもので切断部材を移動させて切断するようにしたりしてもよいし、本発明の離間装置１０、１０Ａに備わっていなくてもよい。

当接手段９０は、角筒状や楕円筒状等の他、円柱、角柱、楕円中等の他の形状の当接部材９１を採用してもよい。

離間装置１０Ａは、第２エネルギー付与手段６０を備えていてもよいし、維持部材取付手段７０Ａを当接部材９１の内部に配置し、当該維持部材取付手段７０Ａが当接部材９１の内部に出入りしない構成としてもよく、この場合、維持部材取付手段７０Ａは、リニアモータ７３がなくてもよく、当接部材９１は切欠９１Ａがなくてもよい。

間隔維持部材ＤＭは、硝子板ＧＰの代わりに、例えば、金属、樹脂、木材、陶器等の部材を採用してもよいし、両面接着シートＢＡの代わりに、接着剤、濡れ性、磁着、吸着、ベルヌーイ吸着等で接着シートに取り付けるようにしてもよいし、外縁部がその他の領域よりも厚さが大きく形成されたカップ形状や鍋形状のものでもよいし、それ自体を接着シートＡＳまたは接着シートＡＳとは異なる他の接着シートで構成してもよく、接着シートＡＳが変形前の状態に近付こうとする力に打ち勝つ剛性を備えたものであれば何でもよいし、形状もどのような形状でもよい。

本発明における接着シートＡＳ、両面接着シートＢＡ、他の接着シートおよび被着体ＣＰの材質、種別、形状等は、特に限定されることはない。例えば、接着シートＡＳは、第１エネルギーが付与されることで硬化するものであれば何ら限定されることはない。さらに、接着シートＡＳ、両面接着シートＢＡおよび他の接着シートは、例えば、円形、楕円形、三角形や四角形等の多角形、その他の形状であってもよいし、感圧接着性、感熱接着性等の接着形態のものであってもよく、感熱接着性のものが採用された場合は、それを加熱する適宜なコイルヒータやヒートパイプの加熱側等の加熱手段を設けるといった適宜な方法で接着されればよい。また、接着シートＡＳは、第２エネルギーが付与されることで軟化しないものであってもよい。さらに、接着シートＡＳおよび他の接着シートは、例えば、接着剤層だけの単層のもの、基材と接着剤層との間に中間層を有するもの、基材の上面にカバー層を有する等３層以上のもの、更には、基材を接着剤層から剥離することのできる所謂両面接着シートのようなものであってもよく、そのような両面接着シートや両面接着シートＢＡは、単層又は複層の中間層を有するものや、中間層のない単層又は複層のものであってよい。また、被着体ＣＰとしては、例えば、食品、樹脂容器、シリコン半導体ウエハや化合物半導体ウエハ等の半導体ウエハ、半導体チップ、回路基板、光ディスク等の情報記録基板、ガラス板、鋼板、陶器、木板または樹脂等の単体物であってもよいし、それら２つ以上で形成された複合物であってもよく、任意の形態の部材や物品なども対象とすることができる。なお、接着シートＡＳは、機能的、用途的な読み方に換え、例えば、情報記載用ラベル、装飾用ラベル、保護シート、ダイシングテープ、ダイアタッチフィルム、ダイボンディングテープ、記録層形成樹脂シート等の任意のシート、フィルム、テープ等でもよい。
被着体ＣＰは、予め接着シートＡＳ上で複数存在していてもよいし、離間手段３０、３０Ａで接着シートＡＳに張力を付与した時点で個片化し、接着シートＡＳ上に複数存在するようになるものでもよい。このような接着シートＡＳに張力を付与した時点で複数存在するようになる被着体ＣＰとしては、例えば、半導体ウエハにレーザを照射し、当該半導体ウエハに線状や格子状等の脆弱な脆弱ラインを形成しておき、接着シートＡＳに張力を付与した時点で個片化し、複数の被着体ＣＰとなるものや、例えば、樹脂や硝子板にカッター刃で切り込み、当該樹脂や硝子板に線状や格子状等の表裏に貫通することのない切断予定ラインや、ミシン目の切断予定ライン等を形成しておき、接着シートＡＳに張力を付与した時点で複数の被着体ＣＰとなるもの等、何ら限定されるものではない。

前記実施形態における駆動機器は、回動モータ、直動モータ、リニアモータ、単軸ロボット、多関節ロボット等の電動機器、エアシリンダ、油圧シリンダ、ロッドレスシリンダおよびロータリシリンダ等のアクチュエータ等を採用することができる上、それらを直接的又は間接的に組み合せたものを採用することもできる。

１０、１０Ａ…離間装置
２０…保持手段
３０、３０Ａ…離間手段
５０…第１エネルギー付与手段
６０…第２エネルギー付与手段
７０、７０Ａ…維持部材取付手段
８０…切断手段
９０…当接手段
ＡＳ…接着シート
ＡＳ１…一方の面
ＣＥ…被着体接着領域
ＣＰ…被着体
ＨＥ…保持領域
ＤＭ…間隔維持部材
ＩＲ…赤外線（別のエネルギー）
ＵＶ…紫外線（所定のエネルギー）

Claims (7)

1. 一方の面と他方の面との少なくとも一方に複数の被着体が貼付された接着シートの端部を保持する複数の保持手段と、
   前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ、前記被着体の相互間隔を広げる離間手段とを備え、
   前記接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで硬化可能とされ、
   前記離間手段で前記被着体の相互間隔を広げた状態の前記接着シートに、前記所定のエネルギーを付与することで当該接着シートを硬化させる第１エネルギー付与手段を備えていることを特徴とする離間装置。
2. 一方の面と他方の面との少なくとも一方に複数の被着体が貼付された接着シートの端部を保持する保持手段と、
   前記接着シートにおける前記複数の被着体が貼付された被着体接着領域よりも外側であって、前記保持手段が保持した保持領域の内側で当該接着シートに当接する当接手段と、
   前記接着シートの端部を保持した前記保持手段および当接手段を相対移動させ、前記被着体の相互間隔を広げる離間手段とを備え、
   前記接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで硬化可能とされ、
   前記離間手段で前記被着体の相互間隔を広げた状態の前記接着シートに、前記所定のエネルギーを付与することで当該接着シートを硬化させる第１エネルギー付与手段を備えていることを特徴とする離間装置。
3. 前記被着体の相互間隔を広げた状態の前記接着シートに間隔維持部材を取り付ける維持部材取付手段を備えていることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の離間装置。
4. 前記接着シートを切断する切断手段を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項３に記載の離間装置。
5. 前記接着シートは、前記所定のエネルギーとは異なる別のエネルギーが付与されることで軟化可能とされ、
   前記接着シートに前記別のエネルギーを付与する第２エネルギー付与手段を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項４に記載の離間装置。
6. 一方の面と他方の面との少なくとも一方に複数の被着体が貼付された接着シートの端部を複数の保持手段で保持する保持工程と、
   前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ、前記被着体の相互間隔を広げる離間工程とを有し、
   前記接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで硬化可能とされ、
   前記離間工程で前記被着体の相互間隔を広げた状態の前記接着シートに、前記所定のエネルギーを付与することで当該接着シートを硬化させる第１エネルギー付与工程を有することを特徴とする離間方法。
7. 一方の面と他方の面との少なくとも一方に複数の被着体が貼付された接着シートの端部を保持手段で保持する保持工程と、
   前記接着シートにおける前記複数の被着体が貼付された被着体接着領域よりも外側であって、前記保持手段が保持した保持領域の内側で当該接着シートに当接する当接手段および、前記接着シートの端部を保持した前記保持手段を相対移動させ、前記被着体の相互間隔を広げる離間工程とを有し、
   前記接着シートは、所定のエネルギーが付与されることで硬化可能とされ、
   前記離間工程で前記被着体の相互間隔を広げた状態の前記接着シートに、前記所定のエネルギーを付与することで当該接着シートを硬化させる第１エネルギー付与工程を有することを特徴とする離間方法。

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