JP2018166179A

JP2018166179A - Cutting device

Info

Publication number: JP2018166179A
Application number: JP2017063639A
Authority: JP
Inventors: 田中　英明; Hideaki Tanaka; 英明田中; 諭宮田; Satoshi Miyata
Original assignee: Disco Abrasive Systems Ltd
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2017-03-28
Filing date: 2017-03-28
Publication date: 2018-10-25

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cutting device which enables attachment of a cutting blade to a spindle without making a mistake about a kind of the cutting blade to be attached to the spindle.SOLUTION: A cutting device comprises: first and second cutting units 20-1, 20-2 each having a blade cover; a chuck table 10 for holding a workpiece; and a control unit 100. The cutting units 20-1, 20-2 each have a state detection part for detecting a state of a cutting blade. The blade cover includes a movable part which can be selectively placed at a proximity position or a separated position. After a received light amount of the state detection part has reached a given value or more, the control unit 100 sets the blade cover of the cutting unit 20-1 or 20-2, to which the state detection part with the received light amount having reached the given value or more is attached, at a separated position, and does not set the blade cover of the cutting unit 20-1 or 20-2, to which the state detection part with the received light amount not reached the given value or more is attached, at the separated position.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、被加工物を切削加工する切削装置に関する。 The present invention relates to a cutting device for cutting a workpiece.

半導体ウエーハや樹脂パッケージ基板など各種板状の被加工物を切削ブレードで分割する切削装置（ダイサー）が知られている。切削装置は、切削ブレードを装着するスピンドルにより構成された切削ユニットを２つ備えて、同時に２本の分割予定ラインを切削できるデュアルタイプのものが用いられる。このデュアルタイプの切削装置は、効率的な切削を実施している。 2. Description of the Related Art A cutting device (dicer) that divides various plate-like workpieces such as semiconductor wafers and resin package substrates with a cutting blade is known. The cutting apparatus includes two cutting units each including a spindle to which a cutting blade is attached, and a dual type that can simultaneously cut two division lines is used. This dual type cutting device performs efficient cutting.

デュアルタイプの切削装置は、それぞれのスピンドルに、それぞれ別の種類の切削ブレードを装着し、一方のスピンドルに装着した切削ブレードが厚い刃厚を有して、被加工物表面のメタルや機能層を除去するハーフカット溝を形成し、他方のスピンドルに装着した切削ブレードが薄い刃厚を有して、ハーフカット溝の溝底をフルカットして、個々のチップに分割するステップカットを実施することが知られている（例えば、特許文献１及び特許文献２参照）。 In the dual type cutting machine, different types of cutting blades are mounted on each spindle, and the cutting blade mounted on one spindle has a thick blade thickness, so that the metal or functional layer on the surface of the workpiece can be removed. A half-cut groove to be removed is formed, the cutting blade mounted on the other spindle has a thin blade thickness, the groove bottom of the half-cut groove is fully cut, and step cutting is performed to divide into individual chips. Is known (see, for example, Patent Document 1 and Patent Document 2).

特許第２８９２４５９号公報Japanese Patent No. 2892459 特開２００６−１８１７００号公報JP 2006-181700 A

ステップカットを実施する場合、デュアルタイプの切削装置は、各スピンドルに誤った種類の切削ブレードを装着して加工してしまうと、チッピングが大きくなったりして想定していた加工結果を大きく悪化させてしまう恐れがある。そこで、スピンドルに装着する切削ブレードの種類を間違えることなく、スピンドルに切削ブレードを装着できる方法が検討されてきた。例えば、切削ブレードや切削ブレードを収容するブレードケースと同じ色のフランジをスピンドルに装着することが考えられる。この場合、加工を続けると、フランジが切削屑で汚れてしまい、見分けがつきにくくなったり、オペレータの注意が散漫になると、色によっての識別も看過されてしまう恐れがあった。 When performing step cut, the dual type cutting machine greatly deteriorates the expected processing result, such as chipping becoming larger if the wrong type of cutting blade is mounted on each spindle. There is a risk that. Therefore, a method has been studied in which a cutting blade can be mounted on the spindle without making a mistake in the type of cutting blade mounted on the spindle. For example, it is conceivable to attach a flange of the same color as that of a cutting blade or a blade case containing the cutting blade to the spindle. In this case, if the processing is continued, the flange becomes soiled with cutting waste, and it becomes difficult to distinguish, and if the operator's attention is distracted, the identification by color may be overlooked.

本発明は、かかる問題点に鑑みてなされたものであり、その目的は、スピンドルに装着する切削ブレードの種類を間違えることなく、スピンドルに切削ブレードを装着することができる切削装置を提供することである。 The present invention has been made in view of such problems, and an object of the present invention is to provide a cutting apparatus capable of mounting a cutting blade on a spindle without making a mistake in the type of cutting blade mounted on the spindle. is there.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明の切削装置は、第１のスピンドルの先端に固定されたフランジに第１の切削ブレードが挟持されて装着される第１の切削ユニットと、第２のスピンドルの先端に固定されたフランジで第２の切削ブレードが挟持されて装着される第２の切削ユニットと、該切削ブレードに加工される被加工物を保持するチャックテーブルと、各構成要素を制御する制御ユニットと、を備える切削装置であって、該切削ユニットは、該スピンドルを回転自在に支持するスピンドルハウジングに固定され、該切削ブレードを覆って加工液を供給するブレードカバーと、該切削ブレードの刃先を挟んで対向する発光素子および受光素子を有し、該受光素子の受光量に基づいて該切削ブレードの状態を検出する状態検出部と、を有し、該ブレードカバーは、該スピンドルハウジングに固定された固定部と、加工液ノズルを該固定部に開閉可能に装着し、該加工液ノズルが該切削ブレードに近接した近接位置と、該切削ブレードから離間し該フランジに該切削ブレードを着脱する離間位置と、に選択的に位置付け可能な可動部と、を備え、該制御ユニットは、該状態検出部の該受光量が一定以上に達した後、該受光量が一定以上に達した該状態検出部が装着された該切削ユニットの該ブレードカバーを離間位置に設定し、該受光量が一定以上に達していない該状態検出部が装着された該切削ユニットの該ブレードカバーを離間位置に設定しないことを特徴とする。 In order to solve the above-described problems and achieve the object, a cutting apparatus according to the present invention includes a first cutting unit in which a first cutting blade is sandwiched and attached to a flange fixed to the tip of a first spindle. A second cutting unit on which the second cutting blade is sandwiched and mounted by a flange fixed to the tip of the second spindle, a chuck table for holding a workpiece to be processed by the cutting blade, A cutting unit comprising: a control unit that controls each component; and a blade cover that is fixed to a spindle housing that rotatably supports the spindle and that supplies a machining fluid covering the cutting blade And a light-emitting element and a light-receiving element facing each other across the cutting edge of the cutting blade, and a state of detecting the state of the cutting blade based on the amount of light received by the light-receiving element The blade cover has a fixed portion fixed to the spindle housing, and a working fluid nozzle mounted on the stationary portion so as to be openable and closable, and the working fluid nozzle is close to the cutting blade. A movable portion that can be selectively positioned at a position and a separation position at which the cutting blade is separated from the cutting blade and attached to and detached from the flange, and the control unit is configured to reduce the amount of light received by the state detection unit. After reaching a certain level, the amount of received light has reached a certain level. The blade cover of the cutting unit equipped with the state detection unit is set at a separated position, and the state where the amount of received light has not reached a certain level. The blade cover of the cutting unit on which the detection unit is mounted is not set to a separated position.

前記切削装置において、該制御ユニットは、該状態検出部の該受光量が一定以上に達した該状態検出部が装着された該切削ユニットの該切削ブレードを破損したと判定しても良い。 In the cutting apparatus, the control unit may determine that the cutting blade of the cutting unit to which the state detection unit in which the amount of light received by the state detection unit has reached a certain level or more is damaged.

本願発明の切削装置は、スピンドルに装着する切削ブレードの種類を間違えることなく、スピンドルに切削ブレードを装着することができる、という効果を奏する。 The cutting device of the present invention has an effect that the cutting blade can be mounted on the spindle without making a mistake in the type of cutting blade mounted on the spindle.

図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to the first embodiment. 図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットのスピンドルユニットを示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a spindle unit of the cutting unit of the cutting apparatus shown in FIG. 図３は、図２に示すスピンドルユニットのスピンドルとフランジとを示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a spindle and a flange of the spindle unit shown in FIG. 図４は、図２に示すスピンドルユニットのスピンドルと切削ブレードとを示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a spindle and a cutting blade of the spindle unit shown in FIG. 図５は、図２に示すスピンドルユニットのＹ軸方向の断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view of the spindle unit shown in FIG. 2 in the Y-axis direction. 図６は、図５に示されたスピンドルユニットのスピンドルがロックされた状態を示す断面図である。6 is a cross-sectional view showing a state where the spindle of the spindle unit shown in FIG. 5 is locked. 図７は、図１に示された切削装置の切削ユニットの正面図である。FIG. 7 is a front view of the cutting unit of the cutting apparatus shown in FIG. 図８は、図７に示された切削装置の切削ユニットのブレードカバーの可動部が離間位置に位置付けられた状態を示す正面図である。FIG. 8 is a front view showing a state in which the movable portion of the blade cover of the cutting unit of the cutting apparatus shown in FIG. 7 is positioned at the separation position. 図９は、図７中のＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図である。FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line IX-IX in FIG. 図１０は、図９に示された状態検出器の受光素子の受光量と切削ブレードの切り刃の摩耗量との関係を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the amount of light received by the light receiving element of the state detector shown in FIG. 9 and the amount of wear of the cutting blade of the cutting blade. 図１１は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する際に用いられる着脱治具を示す斜視図である。FIG. 11 is a perspective view showing an attaching / detaching jig used when the cutting blade of the cutting apparatus shown in FIG. 1 is replaced. 図１２は、図１１に示された着脱治具を回転するためのトルクドライバを示す平面図である。12 is a plan view showing a torque driver for rotating the attaching / detaching jig shown in FIG. 図１３は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する状態を示す正面図である。FIG. 13 is a front view showing a state in which the cutting blade of the cutting apparatus shown in FIG. 1 is replaced. 図１４は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する状態を一部断面で示す側面図である。FIG. 14 is a side view showing a part of the state in which the cutting blade of the cutting apparatus shown in FIG. 図１５は、図１に示された切削装置の交換用の切削ブレードをケース内に収容するところを示す分解斜視図である。FIG. 15 is an exploded perspective view showing a case where a replacement cutting blade of the cutting apparatus shown in FIG. 1 is housed in a case. 図１６は、図１に示された切削装置の交換用の切削ブレードを収容するケースの平面図である。FIG. 16 is a plan view of a case that houses a replacement cutting blade of the cutting apparatus shown in FIG. 1. 図１７は、図１に示された切削装置の読み取りユニットを示す斜視図である。FIG. 17 is a perspective view showing a reading unit of the cutting apparatus shown in FIG. 図１８は、図１に示された切削装置の制御ユニットの機能ブロック図である。18 is a functional block diagram of a control unit of the cutting apparatus shown in FIG. 図１９は、実施形態１に係る切削装置の制御ユニットの判定部が加工動作中に実施するフローチャートである。FIG. 19 is a flowchart executed by the determination unit of the control unit of the cutting apparatus according to the first embodiment during the machining operation. 図２０は、実施形態２に係る切削装置の切削ユニットに装着される切削ブレードとケースとを示す斜視図である。FIG. 20 is a perspective view showing a cutting blade and a case attached to the cutting unit of the cutting apparatus according to the second embodiment. 図２１は、実施形態３に係る切削装置の制御ユニットの判定部が加工動作中に実施するフローチャートである。FIG. 21 is a flowchart executed by the determination unit of the control unit of the cutting apparatus according to the third embodiment during the machining operation.

本発明を実施するための形態（実施形態）につき、図面を参照しつつ詳細に説明する。以下の実施形態に記載した内容により本発明が限定されるものではない。また、以下に記載した構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のものが含まれる。さらに、以下に記載した構成は適宜組み合わせることが可能である。また、本発明の要旨を逸脱しない範囲で構成の種々の省略、置換又は変更を行うことができる。 DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Embodiments (embodiments) for carrying out the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The present invention is not limited by the contents described in the following embodiments. The constituent elements described below include those that can be easily assumed by those skilled in the art and those that are substantially the same. Furthermore, the structures described below can be combined as appropriate. Various omissions, substitutions, or changes in the configuration can be made without departing from the scope of the present invention.

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１に係る切削装置を図面に基いて説明する。図１は、実施形態１に係る切削装置の構成例を示す斜視図である。 Embodiment 1
A cutting apparatus according to Embodiment 1 of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 1 is a perspective view illustrating a configuration example of a cutting apparatus according to the first embodiment.

実施形態１に係る切削装置１は、被加工物２０１を切削加工する装置である。実施形態１では、被加工物２０１は、シリコン、サファイア、ガリウムなどを母材とする円板状の半導体ウエーハや光デバイスウエーハである。被加工物２０１は、表面２０２に格子状に形成された複数の分割予定ライン２０３によって格子状に区画された領域にデバイス２０４が形成されている。本発明の被加工物２０１は、中央部が薄化され、外周部に厚肉部が形成された所謂ＴＡＩＫＯウエーハでもよく、ウエーハの他に、樹脂により封止されたデバイスを複数有した矩形状のパッケージ基板、セラミックス板、ガラス板等でも良い。被加工物２０１は、裏面２０５に保護部材である粘着テープ２０６が貼着されている。粘着テープ２０６は、外周に環状フレーム２０７が取り付けられている。 The cutting device 1 according to the first embodiment is a device that cuts a workpiece 201. In the first embodiment, the workpiece 201 is a disk-shaped semiconductor wafer or optical device wafer whose base material is silicon, sapphire, gallium, or the like. The workpiece 201 has a device 204 formed in a region partitioned in a lattice pattern by a plurality of division lines 203 formed in a lattice shape on the surface 202. The workpiece 201 of the present invention may be a so-called TAIKO wafer in which a central portion is thinned and a thick portion is formed on an outer peripheral portion. In addition to a wafer, a rectangular shape having a plurality of devices sealed with a resin. A package substrate, a ceramic plate, a glass plate, or the like may be used. The workpiece 201 has an adhesive tape 206 as a protective member attached to the back surface 205. The adhesive tape 206 has an annular frame 207 attached to the outer periphery.

図１に示された切削装置１は、被加工物２０１をチャックテーブル１０で保持し分割予定ライン２０３に沿って切削ブレード２１で切削する装置である。切削装置１は、図１に示すように、被加工物２０１を吸引保持する保持面１１を備えたチャックテーブル１０と、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１をスピンドル２２に装着した切削ブレード２１で切削する切削ユニット２０と、制御ユニット１００とを備える。 The cutting apparatus 1 shown in FIG. 1 is an apparatus that holds a workpiece 201 with a chuck table 10 and cuts it with a cutting blade 21 along a scheduled division line 203. As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 includes a chuck table 10 having a holding surface 11 for sucking and holding a workpiece 201, and a cutting blade in which the workpiece 201 held on the chuck table 10 is mounted on a spindle 22. The cutting unit 20 which cuts by 21 and the control unit 100 are provided.

また、切削装置１は、チャックテーブル１０を保持面１１と平行な加工送り方向であるＸ軸方向に移動させる図示しない加工送りユニットと、切削ユニット２０を保持面１１と平行でかつＸ軸方向に直交する割り出し方向であるＹ軸方向に移動させる図示しない割り出し送りユニットと、切削ユニット２０をＸ軸方向とＹ軸方向との双方と直交する鉛直方向に平行なＺ軸方向に移動させる図示しない切り込み送りユニットとを備える。また、切削装置１は、切削前後の被加工物２０１を収容するカセット１１１が載置されかつカセット１１１をＺ方向に移動させるカセットエレベータ１１０と、カセット１１１に被加工物２０１を出し入れするとともに被加工物２０１を搬送する図示しない搬送ユニットとを備える。 Further, the cutting apparatus 1 includes a machining feed unit (not shown) that moves the chuck table 10 in the X-axis direction, which is a machining feed direction parallel to the holding surface 11, and a cutting unit 20 that is parallel to the holding surface 11 and in the X-axis direction. An index feed unit (not shown) that moves in the Y-axis direction, which is an orthogonal index direction, and a notch (not shown) that moves the cutting unit 20 in the Z-axis direction parallel to the vertical direction perpendicular to both the X-axis direction and the Y-axis direction. A feeding unit. Further, the cutting apparatus 1 includes a cassette elevator 110 that houses a workpiece 201 before and after cutting, and moves the cassette 111 in the Z direction. A transport unit (not shown) that transports the object 201.

なお、切削装置１は、図１に示すように、切削ユニット２０を２つ備え、かつ切削ブレード２１同士が対面する位置に配置された、即ち、２スピンドルのダイサ、いわゆるフェイシングデュアルタイプの切削装置である。 As shown in FIG. 1, the cutting apparatus 1 includes two cutting units 20 and is disposed at a position where the cutting blades 21 face each other, that is, a two-spindle dicer, so-called facing dual type cutting. Device.

チャックテーブル１０は、円盤形状であり、被加工物２０１を保持する保持面１１がポーラスセラミック等から形成されている。また、チャックテーブル１０は、加工送りユニットにより移動自在で図示しない回転駆動源によりＺ方向と平行な軸心回りに回転自在に設けられている。チャックテーブル１０は、図示しない真空吸引源と接続され、真空吸引源により吸引されることで、切削ユニット２０の切削ブレード２１により切削加工される被加工物２０１を吸引、保持する。また、チャックテーブル１０の周囲には、エアーアクチュエータにより駆動して被加工物２０１の周囲の環状フレーム２０７を挟持するクランプ部１２が複数設けられている。 The chuck table 10 has a disk shape, and a holding surface 11 for holding the workpiece 201 is formed of porous ceramic or the like. Further, the chuck table 10 is provided so as to be movable by a machining feed unit and to be rotatable about an axis parallel to the Z direction by a rotation driving source (not shown). The chuck table 10 is connected to a vacuum suction source (not shown), and sucks and holds the workpiece 201 to be cut by the cutting blade 21 of the cutting unit 20 by being sucked by the vacuum suction source. Further, around the chuck table 10, a plurality of clamp portions 12 that are driven by an air actuator and sandwich an annular frame 207 around the workpiece 201 are provided.

次に、切削ユニット２０を図面に基いて説明する。図２は、図１に示された切削装置の切削ユニットのスピンドルユニットを示す斜視図である。図３は、図２に示すスピンドルユニットのスピンドルとフランジとを示す斜視図である。図４は、図２に示すスピンドルユニットのスピンドルと切削ブレードとを示す斜視図である。図５は、図２に示すスピンドルユニットのＹ軸方向の断面図である。図６は、図５に示されたスピンドルユニットのスピンドルがロックされた状態を示す断面図である。図７は、図１に示された切削装置の切削ユニットの正面図である。図８は、図７に示された切削装置の切削ユニットのブレードカバーの可動部が離間位置に位置付けられた状態を示す正面図である。図９は、図７中のＩＸ−ＩＸ線に沿う断面図である。図１０は、図９に示された状態検出器の受光素子の受光量と切削ブレードの切り刃の摩耗量との関係を示す図である。 Next, the cutting unit 20 is demonstrated based on drawing. FIG. 2 is a perspective view showing a spindle unit of the cutting unit of the cutting apparatus shown in FIG. FIG. 3 is a perspective view showing a spindle and a flange of the spindle unit shown in FIG. FIG. 4 is a perspective view showing a spindle and a cutting blade of the spindle unit shown in FIG. FIG. 5 is a cross-sectional view of the spindle unit shown in FIG. 2 in the Y-axis direction. 6 is a cross-sectional view showing a state where the spindle of the spindle unit shown in FIG. 5 is locked. FIG. 7 is a front view of the cutting unit of the cutting apparatus shown in FIG. FIG. 8 is a front view showing a state in which the movable portion of the blade cover of the cutting unit of the cutting apparatus shown in FIG. 7 is positioned at the separation position. FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line IX-IX in FIG. FIG. 10 is a diagram showing the relationship between the amount of light received by the light receiving element of the state detector shown in FIG. 9 and the amount of wear of the cutting blade of the cutting blade.

切削ユニット２０は、図２に示すように、スピンドル２２の先端に固定されたフランジ２９に切削ブレード２１が挟持されて装着される。切削ユニット２０は、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１を切削ブレード２１で切削するものである。切削ユニット２０は、それぞれ、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１に対して、割り出し送りユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ、切り込み送りユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられている。 As shown in FIG. 2, the cutting unit 20 is mounted with a cutting blade 21 sandwiched by a flange 29 fixed to the tip of the spindle 22. The cutting unit 20 is for cutting the workpiece 201 held on the chuck table 10 with the cutting blade 21. Each of the cutting units 20 is provided so as to be movable in the Y-axis direction by the index feed unit with respect to the work piece 201 held on the chuck table 10, and movably provided in the Z-axis direction by the cutting feed unit. It has been.

切削ユニット２０は、図２に示すスピンドルユニット２７と、図７に示すブレードカバー３０とを備える。スピンドルユニット２７は、図２、図３及び図４に示すように、スピンドル２２と、スピンドルハウジング２３と、第１のフランジ部材２４（図３及び図４に示す）と、切削ブレード２１と、円環状の第２のフランジ部材２５（図２及び図７に示す）とを備える。 The cutting unit 20 includes a spindle unit 27 shown in FIG. 2 and a blade cover 30 shown in FIG. 2, 3 and 4, the spindle unit 27 includes a spindle 22, a spindle housing 23, a first flange member 24 (shown in FIGS. 3 and 4), a cutting blade 21, and a circle. And an annular second flange member 25 (shown in FIGS. 2 and 7).

スピンドル２２は、図５及び図６に示すスピンドルモータ２２３によりＹ軸方向と平行な軸心回りに回転される。スピンドルモータ２２３は、スピンドル２２に連結されたロータ２２４と、ロータ２２４を回転させるステータ２２５とを備える。スピンドル２２の先端部には、図３に示すように、先端に向かうに従って徐々に小径となるテーパ部２２１と、テーパ部２２１よりも先端側に設けられた雄ねじ２２２が形成されている。スピンドルハウジング２３は、割り出し送りユニットによりＹ軸方向に移動自在に設けられ、かつ切り込み送りユニットによりＺ軸方向に移動自在に設けられた略円筒状に形成されている。スピンドルハウジング２３は、雄ねじ２２２が形成された先端部を露出させた状態でスピンドル２２を収容している。スピンドルハウジング２３は、スピンドル２２を軸心回りに回転自在に支持している。 The spindle 22 is rotated about an axis parallel to the Y-axis direction by a spindle motor 223 shown in FIGS. The spindle motor 223 includes a rotor 224 connected to the spindle 22 and a stator 225 that rotates the rotor 224. As shown in FIG. 3, a tapered portion 221 that gradually decreases in diameter toward the distal end and a male screw 222 provided on the distal end side of the tapered portion 221 are formed at the distal end portion of the spindle 22. The spindle housing 23 is formed in a substantially cylindrical shape that is provided so as to be movable in the Y-axis direction by an index feeding unit and is movable in the Z-axis direction by a cutting feed unit. The spindle housing 23 accommodates the spindle 22 in a state where the tip end portion on which the male screw 222 is formed is exposed. The spindle housing 23 supports the spindle 22 so as to be rotatable about its axis.

第１のフランジ部材２４は、スピンドル２２の先端部の外周に取り付けられる円筒状の円筒部２４１と、円筒部２４１の外周面から径方向外向きに延出したフランジ部２４２とを備える。円筒部２４１のフランジ部２４２よりも先端側には、雄ねじ２４３が形成されている。第１のフランジ部材２４は、円筒部２４１内にスピンドル２２の先端部が嵌め込まれ、ナット２８がスピンドル２２の先端部に設けられた雄ねじ２２２の外周に螺合することにより、図４に示すように、スピンドル２２に固定される。 The first flange member 24 includes a cylindrical cylindrical portion 241 that is attached to the outer periphery of the tip portion of the spindle 22, and a flange portion 242 that extends radially outward from the outer peripheral surface of the cylindrical portion 241. A male screw 243 is formed on the distal end side of the flange portion 242 of the cylindrical portion 241. As shown in FIG. 4, the first flange member 24 is fitted into the cylindrical portion 241 at the tip end of the spindle 22 and the nut 28 is screwed onto the outer periphery of the male screw 222 provided at the tip end portion of the spindle 22. And fixed to the spindle 22.

切削ブレード２１は、いわゆるハブブレードであり、円盤状の支持基台２１１の外周に固定されて、被加工物２０１を切削する円環状の切り刃２１２を備える。切り刃２１２は、ダイヤモンドやＣＢＮ（Cubic Boron Nitride）等の砥粒と、金属や樹脂等のボンド材（結合材）とからなり所定厚みに形成されている。なお、切削ブレード２１として、切り刃２１２のみで構成されたワッシャーブレードを用いてもよい。 The cutting blade 21 is a so-called hub blade, and includes an annular cutting blade 212 that is fixed to the outer periphery of a disk-shaped support base 211 and cuts the workpiece 201. The cutting blade 212 is made of abrasive grains such as diamond or CBN (Cubic Boron Nitride) and a bond material (bonding material) such as metal or resin, and is formed in a predetermined thickness. As the cutting blade 21, a washer blade composed of only the cutting blade 212 may be used.

切削ブレード２１は、第１のフランジ部材２４の円筒部２４１を内側に通して、フランジ部２４２の表面上に重ねられ、第２のフランジ部材２５が円筒部２４１に形成された雄ねじ２４３の外周に螺合して、第１のフランジ部材２４と第２のフランジ部材２５との間に保持されて、スピンドル２２に固定される。第１のフランジ部材２４と第２のフランジ部材２５とは、互いの間に切削ブレード２１を挟んで把持し、第１のフランジ部材２４がスピンドル２２の一端部に固定され、第２のフランジ部材２５が第１のフランジ部材２４に固定されることで、切削ブレード２１をスピンドル２２に固定するフランジ２９を構成する。こうして、切削ユニット２０のスピンドルユニット２７は、スピンドル２２の先端に固定されたフランジ２９に切削ブレード２１が挟持され装着される。 The cutting blade 21 is passed through the cylindrical portion 241 of the first flange member 24 and overlapped on the surface of the flange portion 242, and the second flange member 25 is formed on the outer periphery of the male screw 243 formed on the cylindrical portion 241. They are screwed together and held between the first flange member 24 and the second flange member 25 and fixed to the spindle 22. The first flange member 24 and the second flange member 25 hold the cutting blade 21 between them, and the first flange member 24 is fixed to one end of the spindle 22, and the second flange member 25 is fixed to the first flange member 24 to constitute a flange 29 for fixing the cutting blade 21 to the spindle 22. In this way, the spindle unit 27 of the cutting unit 20 is mounted with the cutting blade 21 held between the flange 29 fixed to the tip of the spindle 22.

また、スピンドルユニット２７は、図５及び図６に示すように、スピンドル２２の回転を規制するロック機構２７１を備えている。このロック機構２７１は、例えば特開２００４−２３５２５０号公報中に示されるロック装置と同一構成でよく、詳細構成は省略する。ロック機構２７１は、スピンドル２２の所定位置の同一円周上に形成された複数（例えば、３個）の係合穴２７２に係脱自在に係合するようにスピンドルハウジング２３に径方向にスライド自在に設けられたシャフトロックピン２７３を備える。 The spindle unit 27 includes a lock mechanism 271 that restricts the rotation of the spindle 22 as shown in FIGS. The lock mechanism 271 may have the same configuration as the lock device disclosed in, for example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-235250, and the detailed configuration is omitted. The lock mechanism 271 is slidable in the radial direction on the spindle housing 23 so as to be detachably engaged with a plurality of (for example, three) engagement holes 272 formed on the same circumference at a predetermined position of the spindle 22. The shaft lock pin 273 provided in the is provided.

シャフトロックピン２７３は、コイルばね２７４により係合穴２７２から離脱する方向に付勢されている。ロック機構２７１は、図６に示すように、制御ユニット１００により制御される切換弁２７５を介して、加圧気体供給源２７６から加圧された気体がシャフトロックピン２７３に供給されると、シャフトロックピン２７３がコイルばね２７４の付勢力に抗してスライドして、係合穴２７２内に係合してスピンドル２２の回転を規制する（即ちスピンドル２２をロックする）。ロック機構２７１は、図５に示すように、切換弁２７５を介して、加圧気体供給源２７６から加圧された気体がシャフトロックピン２７３に供給されないと、シャフトロックピン２７３がコイルばね２７４の付勢力により係合穴２７２内から離脱してスピンドル２２の回転を許容する。 The shaft lock pin 273 is urged by a coil spring 274 in a direction to be detached from the engagement hole 272. As shown in FIG. 6, when the gas pressurized from the pressurized gas supply source 276 is supplied to the shaft lock pin 273 via the switching valve 275 controlled by the control unit 100, the lock mechanism 271 has a shaft. The lock pin 273 slides against the urging force of the coil spring 274, engages in the engagement hole 272, and restricts the rotation of the spindle 22 (that is, locks the spindle 22). As shown in FIG. 5, when the gas pressurized from the pressurized gas supply source 276 is not supplied to the shaft lock pin 273 via the switching valve 275, the lock mechanism 271 is connected to the coil spring 274. The spindle 22 is released from the engagement hole 272 by the urging force to allow the spindle 22 to rotate.

ブレードカバー３０は、スピンドルハウジング２３に固定され、切削ブレード２１の上方及びＸ軸方向の両側を覆って、切削加工中に加工液である切削水を切削ブレード２１に供給するものである。ブレードカバー３０は、図７及び図８に示すように、固定部３１と、可動部３２とを備える。 The blade cover 30 is fixed to the spindle housing 23, covers the upper side of the cutting blade 21 and both sides in the X-axis direction, and supplies cutting water, which is a working fluid, to the cutting blade 21 during the cutting process. As shown in FIGS. 7 and 8, the blade cover 30 includes a fixed portion 31 and a movable portion 32.

固定部３１は、スピンドルハウジング２３に固定される。固定部３１は、切削ブレード２１の上方及びＸ軸方向の一方側を覆う。固定部３１は、状態検出部５０を取り付けているとともに、切削加工中に切削ブレード２１に切削水を供給する切削水噴射口３１１が設けられている。 The fixing portion 31 is fixed to the spindle housing 23. The fixing portion 31 covers the upper side of the cutting blade 21 and one side in the X-axis direction. The fixing unit 31 is provided with a state detection unit 50 and a cutting water injection port 311 for supplying cutting water to the cutting blade 21 during the cutting process.

状態検出部５０は、切削ブレード２１の回転中に切削ブレード２１の破損又は磨耗等の状態を検出するものである。状態検出部５０は、図９に示すように、切削ブレード２１の切り刃２１２の刃先を挟んで対向する発光素子５１および受光素子５２を有している。状態検出部５０は、受光素子５２の受光量に基づいて切削ブレード２１の状態を検出するものである。発光素子５１と、受光素子５２とは、Ｙ軸方向に間隔をあけて配置され、互いの間に切削ブレード２１の切り刃２１２の刃先を位置付けている。発光素子５１は、受光素子５２に向けて光を照射する。受光素子５２は、発光素子５１が照射した光を受光する。受光素子５２が受光する光の受光量は、図１０に示すように、切削ブレード２１の切り刃２１２が摩耗するにしたがって（摩耗量が増加するのにしたがって）徐々に増加する。また、受光素子５２が受光する光の受光量は、切削ブレード２１の切り刃２１２の周方向の一部分が破損すると、切削ブレード２１の回転中に増加するタイミングが生じる。状態検出部５０は、受光素子５２の受光量を示す情報を制御ユニット１００に出力する。 The state detection unit 50 detects a state such as breakage or wear of the cutting blade 21 while the cutting blade 21 is rotating. As shown in FIG. 9, the state detection unit 50 includes a light emitting element 51 and a light receiving element 52 that face each other with the cutting edge of the cutting blade 212 of the cutting blade 21 interposed therebetween. The state detection unit 50 detects the state of the cutting blade 21 based on the amount of light received by the light receiving element 52. The light emitting element 51 and the light receiving element 52 are arranged with a gap in the Y-axis direction, and the cutting edge of the cutting blade 212 of the cutting blade 21 is positioned between them. The light emitting element 51 irradiates light toward the light receiving element 52. The light receiving element 52 receives light emitted from the light emitting element 51. As shown in FIG. 10, the amount of light received by the light receiving element 52 gradually increases as the cutting blade 212 of the cutting blade 21 wears (as the amount of wear increases). The amount of light received by the light receiving element 52 is increased when the cutting blade 21 is rotated when a portion of the cutting blade 212 in the circumferential direction of the cutting blade 21 is damaged. The state detection unit 50 outputs information indicating the amount of light received by the light receiving element 52 to the control unit 100.

可動部３２は、加工液ノズルである切削水ノズル３２１を固定部３１に開閉可能に装着しているものであり、固定部３１のＸ軸方向の他方側に取り付けられている。可動部３２は、固定部３１にＸ軸方向に移動自在に支持されている。可動部３２は、固定部３１に収容されたエアーシリンダ３１２のロッド３１３（図８に示す）が伸縮することにより、固定部３１に対してＸ軸方向に移動される。また、可動部３２は、下端に切削水ノズル３２１を装着している。切削水ノズル３２１は、可動部３２の下端から切削水噴射口３１１に向かって延びており、切削加工中に切削ブレード２１及び切削ブレード２１が切削する被加工物２０１の切削箇所に切削水を供給する切削水供給孔（図示せず）を複数設けている。 The movable portion 32 is provided with a cutting water nozzle 321 that is a machining fluid nozzle attached to the fixed portion 31 so as to be openable and closable, and is attached to the other side of the fixed portion 31 in the X-axis direction. The movable part 32 is supported by the fixed part 31 so as to be movable in the X-axis direction. The movable portion 32 is moved in the X-axis direction with respect to the fixed portion 31 when the rod 313 (shown in FIG. 8) of the air cylinder 312 accommodated in the fixed portion 31 expands and contracts. Moreover, the movable part 32 is equipped with a cutting water nozzle 321 at the lower end. The cutting water nozzle 321 extends from the lower end of the movable portion 32 toward the cutting water injection port 311 and supplies cutting water to the cutting portion of the cutting blade 21 and the workpiece 201 cut by the cutting blade 21 during the cutting process. A plurality of cutting water supply holes (not shown) are provided.

可動部３２は、エアーシリンダ３１２のロッド３１３が伸縮することにより、切削水ノズル３２１が切削ブレード２１に近接した図７に示す近接位置と、切削ブレード２１から離間しスピンドル２２に切削ブレード２１を着脱可能とする図８に示す離間位置と、に選択的に位置付け可能である。近接位置は、スピンドル２２への切削ブレード２１の着脱を切削水ノズル３２１等が規制する位置であり、離間位置は、スピンドル２２への切削ブレード２１の着脱を許容する位置である。 When the rod 313 of the air cylinder 312 expands and contracts, the movable part 32 moves away from the cutting blade 21 and closes the cutting water nozzle 321 to the cutting blade 21 and attaches the cutting blade 21 to and from the spindle 22. The separation position shown in FIG. 8 can be selectively positioned. The proximity position is a position where the cutting water nozzle 321 or the like restricts attachment / detachment of the cutting blade 21 to / from the spindle 22, and the separation position is a position where attachment / detachment of the cutting blade 21 to / from the spindle 22 is allowed.

次に、切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換する手順を図面に基いて説明する。図１１は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する際に用いられる着脱治具を示す斜視図である。図１２は、図１１に示された着脱治具を回転するためのトルクドライバを示す平面図である。図１３は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する状態を示す正面図である。図１４は、図１に示された切削装置の切削ブレードを交換する状態を一部断面で示す側面図である。 Next, a procedure for replacing the cutting blade 21 of the cutting unit 20 will be described with reference to the drawings. FIG. 11 is a perspective view showing an attaching / detaching jig used when the cutting blade of the cutting apparatus shown in FIG. 1 is replaced. 12 is a plan view showing a torque driver for rotating the attaching / detaching jig shown in FIG. FIG. 13 is a front view showing a state in which the cutting blade of the cutting apparatus shown in FIG. 1 is replaced. FIG. 14 is a side view showing a part of the state in which the cutting blade of the cutting apparatus shown in FIG.

切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換する際には、ブレードカバー３０の可動部３２を離間位置に位置付けて、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４の円筒部２４１の外周に着脱する。図１１に示す着脱治具４０及び図１２に示すトルクドライバ４１は、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４の円筒部２４１の外周に着脱するためのものである。 When the cutting blade 21 of the cutting unit 20 is replaced, the movable portion 32 of the blade cover 30 is positioned at the separated position, and the second flange member 25 is attached to and detached from the outer periphery of the cylindrical portion 241 of the first flange member 24. . An attachment / detachment jig 40 shown in FIG. 11 and a torque driver 41 shown in FIG. 12 are for attaching / detaching the second flange member 25 to / from the outer periphery of the cylindrical portion 241 of the first flange member 24.

着脱治具４０は、図１１に示すように、円形凹部４０１を有しており、円形凹部４０１の内周面に周方向に等間隔離間して４個の固定ナット把持爪４０２が配設されている。円形凹部４０１は、離間位置に位置付けられている切削ユニット２０の第２のフランジ部材２５の外側に被さることができる。なお、円形凹部４０１は、着脱治具４０が切削水ノズル３２１等と干渉して、近接位置に位置付けられている切削ユニット２０の第２のフランジ部材２５の外側には被さることができない。固定ナット把持爪４０２は、半径方向に弾性変形可能に配設され、互いの間に円形凹部４０１が被さった第２のフランジ部材２５を外側から把持可能である。円形凹部４０１の中央部には、トルクドライバ４１の先端の差し込み用の貫通孔４０３が形成されている。貫通孔４０３の平面形状は、正六角形である。 As shown in FIG. 11, the attachment / detachment jig 40 has a circular recess 401, and four fixing nut gripping claws 402 are arranged on the inner peripheral surface of the circular recess 401 at equal intervals in the circumferential direction. ing. The circular recess 401 can be placed on the outer side of the second flange member 25 of the cutting unit 20 positioned at the separation position. The circular recess 401 cannot be covered on the outer side of the second flange member 25 of the cutting unit 20 positioned in the proximity position by the attachment / detachment jig 40 interfering with the cutting water nozzle 321 or the like. The fixing nut gripping claws 402 are arranged so as to be elastically deformable in the radial direction, and can grip the second flange member 25 covered with the circular recess 401 between each other from the outside. A through hole 403 for insertion at the tip of the torque driver 41 is formed at the center of the circular recess 401. The planar shape of the through hole 403 is a regular hexagon.

トルクドライバ４１は、図１２に示すように、着脱治具４０の貫通孔４０３中に挿入される断面６角形状の係合部４１１と、トルクドライバ回転用のハンドル４１２とを有している。トルクドライバ４１は、第２のフランジ部材２５の外側に被さった着脱治具４０の貫通孔４０３に係合部４１１が挿入されて、ハンドル４１２が回転されることにより、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４に対して回転させる。 As shown in FIG. 12, the torque driver 41 includes an engaging portion 411 having a hexagonal cross section inserted into the through hole 403 of the attaching / detaching jig 40 and a handle 412 for rotating the torque driver. The torque driver 41 inserts the engaging portion 411 into the through-hole 403 of the attaching / detaching jig 40 that covers the outside of the second flange member 25 and rotates the handle 412, so that the second flange member 25 is moved. The first flange member 24 is rotated.

切削ユニット２０の切削ブレード２１を交換する際には、ブレードカバー３０の可動部３２を離間位置に位置付けて、図１３及び図１４に示すように、円形凹部４０１を第２のフランジ部材２５の外側に被せ、貫通孔４０３内にハンドル４１２の係合部４１１を挿入する。ハンドル４１２を回転して、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４に対して回転させて、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４から取り外す。切削ブレード２１を交換し、その後、第２のフランジ部材２５を着脱治具４０の円形凹部４０１内に収容し、第２のフランジ部材２５を雄ねじ２４３の外周に螺合し、貫通孔４０３内にハンドル４１２の係合部４１１を挿入する。ハンドル４１２を回転して、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４に対して回転させて、第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４に固定して、フランジ部材２４，２５間に交換後の切削ブレード２１を挟持する。なお、着脱治具４０及びトルクドライバ４１は、円形凹部４０１が近接位置に位置付けられている切削ユニット２０の第２のフランジ部材２５の外側には被さることができないので、近接位置に位置付けられている切削ユニット２０の第２のフランジ部材２５を第１のフランジ部材２４に対して回転させることができない。 When the cutting blade 21 of the cutting unit 20 is replaced, the movable portion 32 of the blade cover 30 is positioned at the separation position, and the circular recess 401 is formed outside the second flange member 25 as shown in FIGS. Then, the engaging portion 411 of the handle 412 is inserted into the through hole 403. The handle 412 is rotated to rotate the second flange member 25 relative to the first flange member 24 to remove the second flange member 25 from the first flange member 24. After replacing the cutting blade 21, the second flange member 25 is accommodated in the circular recess 401 of the attachment / detachment jig 40, the second flange member 25 is screwed onto the outer periphery of the male screw 243, and is inserted into the through hole 403. The engaging portion 411 of the handle 412 is inserted. By rotating the handle 412, the second flange member 25 is rotated with respect to the first flange member 24, and the second flange member 25 is fixed to the first flange member 24. The exchanged cutting blade 21 is sandwiched between them. The attaching / detaching jig 40 and the torque driver 41 are positioned at the proximity positions because they cannot be covered outside the second flange member 25 of the cutting unit 20 where the circular recess 401 is positioned at the proximity position. The second flange member 25 of the cutting unit 20 cannot be rotated with respect to the first flange member 24.

また、実施形態１において、交換用の切削ブレード２１は、図１５及び図１６に示すケース６０に収容されている。図１５は、図１に示された切削装置の交換用の切削ブレードをケース内に収容するところを示す分解斜視図である。図１６は、図１に示された切削装置の交換用の切削ブレードを収容するケースの平面図である。 In the first embodiment, the replacement cutting blade 21 is accommodated in the case 60 shown in FIGS. 15 and 16. FIG. 15 is an exploded perspective view showing a case where a replacement cutting blade of the cutting apparatus shown in FIG. 1 is housed in a case. FIG. 16 is a plan view of a case that houses a replacement cutting blade of the cutting apparatus shown in FIG. 1.

ケース６０は、合成樹脂により構成され、透明であるのが好ましい。ケース６０は、図１５に示すように、本体ケース６１と、本体ケース６１にヒンジ部６２で開閉可能に取り付けられたカバー６３とから構成される。ヒンジ部６２は、本体ケース６１及びカバー６３よりも厚みが薄く形成されて可撓性を有する、所謂セルフヒンジである。本体ケース６１は、切削ブレード２１の中央に設けられた孔が嵌合される円形凸部６４を備えている。 The case 60 is preferably made of a synthetic resin and transparent. As shown in FIG. 15, the case 60 includes a main body case 61 and a cover 63 attached to the main body case 61 by a hinge portion 62 so as to be opened and closed. The hinge portion 62 is a so-called self hinge that is formed thinner than the main body case 61 and the cover 63 and has flexibility. The main body case 61 includes a circular convex portion 64 into which a hole provided in the center of the cutting blade 21 is fitted.

カバー６３は、本体ケース６１の外側に係止可能なフック６５が一体的に形成されており、フック６５を本体ケース６１に形成された係合突起６６に係止することにより、カバー６３が、図１６に示すように本体ケース６１に対して閉じた状態で保持される。 The cover 63 is integrally formed with a hook 65 that can be locked to the outside of the main body case 61. By locking the hook 65 to an engaging protrusion 66 formed on the main body case 61, the cover 63 is As shown in FIG. 16, the main body case 61 is held in a closed state.

ケース６０のカバー６３は、外表面の所定箇所に切削ブレード２１の品種情報である種類を特定する着脱シール７０が貼着（設置）されている。着脱シール７０は、切削ブレード２１の種類を特定するための品種情報を含む識別コードであるバーコード７１が印刷されている。また、実施形態１において、着脱シール７０は、切削ブレード２１の種類を示す文字列７２も印刷されている。バーコード７１は、切削ブレード２１の種類を示す。 The cover 63 of the case 60 is attached (installed) with a detachable seal 70 that identifies the type of product type of the cutting blade 21 at a predetermined location on the outer surface. The detachable seal 70 is printed with a bar code 71 that is an identification code including product type information for specifying the type of the cutting blade 21. In the first embodiment, the detachable seal 70 is also printed with a character string 72 indicating the type of the cutting blade 21. The bar code 71 indicates the type of the cutting blade 21.

また、切削装置１は、バーコード７１を読み取る図１７に示す読み取りユニット８０を備える。図１７は、図１に示された切削装置の読み取りユニットを示す斜視図である。実施形態１において、読み取りユニット８０は、バーコード７１を光学的に読み取るバーコードリーダである。読み取りユニット８０は、読み取ったバーコード７１が示す切削ブレード２１の種類を制御ユニット１００に出力する。 Moreover, the cutting device 1 includes a reading unit 80 shown in FIG. FIG. 17 is a perspective view showing a reading unit of the cutting apparatus shown in FIG. In the first embodiment, the reading unit 80 is a barcode reader that optically reads the barcode 71. The reading unit 80 outputs the type of the cutting blade 21 indicated by the read barcode 71 to the control unit 100.

前述した切削装置１は、２つの切削ユニット２０のスピンドル２２に互いに異なる種類の切削ブレード２１を装着し、一方の切削ユニット２０の切削ブレード２１で分割予定ライン２０３の厚み方向の途中まで切削した後、他方の切削ユニット２０の切削ブレード２１で被加工物２０１をデバイス２０４に分割する、所謂ステップカットを行う装置である。 In the cutting apparatus 1 described above, different types of cutting blades 21 are mounted on the spindles 22 of the two cutting units 20, and the cutting blades 21 of one of the cutting units 20 cut the middle part of the planned dividing line 203 in the thickness direction. This is an apparatus for performing so-called step cutting, in which the workpiece 201 is divided into devices 204 by the cutting blade 21 of the other cutting unit 20.

以下、一方の切削ユニット２０を第１の切削ユニット２０−１と記し、第１の切削ユニット２０−１のスピンドル２２を第１のスピンドル２２−１、切削ブレード２１を第１の切削ブレード２１−１と記す。また、他方の切削ユニット２０を第２の切削ユニット２０−２と記し、第２の切削ユニット２０−２のスピンドル２２を第２のスピンドル２２−２、切削ブレード２１を第２の切削ブレード２１−２と記す。また、第１の切削ユニット２０−１と第２の切削ユニット２０−２とを区別する必要がない場合には、単に切削ユニット２０と記し、第１のスピンドル２２−１と第２のスピンドル２２−２とを区別する必要がない場合には、単にスピンドル２２と記し、第１の切削ブレード２１−１と第２の切削ブレード２１−２とを区別する必要がない場合には、単に切削ブレード２１と記す。切削装置１が、所謂ステップカットを行うために、第１の切削ユニット２０−１の第１のスピンドル２２−１に装着される第１の切削ブレード２１−１の種類は、予め定められ、かつ第２の切削ユニット２０−２の第２のスピンドル２２−２に装着される第２の切削ブレード２１−２の種類は、予め定められ、かつ第１の切削ブレード２１−１の種類と異なる。 Hereinafter, one cutting unit 20 is referred to as a first cutting unit 20-1, the spindle 22 of the first cutting unit 20-1 is the first spindle 22-1, and the cutting blade 21 is the first cutting blade 21-. 1 is written. The other cutting unit 20 is referred to as a second cutting unit 20-2, the spindle 22 of the second cutting unit 20-2 is the second spindle 22-2, and the cutting blade 21 is the second cutting blade 21-. 2 When there is no need to distinguish between the first cutting unit 20-1 and the second cutting unit 20-2, they are simply referred to as the cutting unit 20, and the first spindle 22-1 and the second spindle 22. -2 is simply referred to as the spindle 22, and when there is no need to distinguish between the first cutting blade 21-1 and the second cutting blade 21-2, it is simply a cutting blade. 21. In order for the cutting device 1 to perform a so-called step cut, the type of the first cutting blade 21-1 attached to the first spindle 22-1 of the first cutting unit 20-1 is determined in advance, and The type of the second cutting blade 21-2 attached to the second spindle 22-2 of the second cutting unit 20-2 is predetermined and is different from the type of the first cutting blade 21-1.

制御ユニット１００は、切削装置１の上述した各構成要素をそれぞれ制御して、被加工物２０１に対する加工動作を切削装置１に実施させるものである。なお、制御ユニット１００は、コンピュータである。制御ユニット１００は、加工動作の状態や画像などを表示する液晶表示装置などにより構成される表示ユニット２００及びオペレータが加工内容情報などを登録する際に用いる図示しない入力装置と接続されている。入力装置は、表示ユニット２００に設けられたタッチパネルと、キーボード等の外部入力装置とのうち少なくとも一つにより構成される。図１８は、図１に示された切削装置の制御ユニットの機能ブロック図である。 The control unit 100 controls each component described above of the cutting apparatus 1 to cause the cutting apparatus 1 to perform a processing operation on the workpiece 201. The control unit 100 is a computer. The control unit 100 is connected to a display unit 200 configured by a liquid crystal display device or the like for displaying a processing operation state or an image, and an input device (not shown) used when an operator registers processing content information. The input device includes at least one of a touch panel provided in the display unit 200 and an external input device such as a keyboard. 18 is a functional block diagram of a control unit of the cutting apparatus shown in FIG.

また、制御ユニット１００は、図１及び図１８に示すように、ブレード情報登録部１０１と、加工条件登録部１０２と、判定部１０３とを備える。ブレード情報登録部１０１は、各切削ユニット２０−１，２０−２のスピンドル２２−１，２２−２に装着する切削ブレード２１−１，２１−２の品種である種類を登録するものである。ブレード情報登録部１０１には、読み取りユニット８０によって読み取られた品種情報である切削ブレード２１の種類が登録される。 Further, the control unit 100 includes a blade information registration unit 101, a machining condition registration unit 102, and a determination unit 103, as shown in FIGS. The blade information registration unit 101 registers types that are types of the cutting blades 21-1 and 21-2 attached to the spindles 22-1 and 22-2 of the cutting units 20-1 and 20-2. In the blade information registration unit 101, the type of the cutting blade 21 that is the product type information read by the reading unit 80 is registered.

加工条件登録部１０２は、切削ブレード２１−１，２１−２とスピンドル２２−１，２２−２の組合せを含む加工条件１０４を登録するものである。加工条件登録部１０２に登録される加工条件１０４は、図１８に示すように、第１の切削ユニット２０−１の条件を登録する第１の切削条件登録部１０４−１と、第２の切削ユニット２０−２の条件を登録する第２の切削条件登録部１０４−２と、被加工物２０１の加工条件を登録する被加工物条件登録部１０４−３とを備える。 The machining condition registration unit 102 registers a machining condition 104 including a combination of the cutting blades 21-1, 21-2 and the spindles 22-1, 22-2. As shown in FIG. 18, the machining condition 104 registered in the machining condition registration unit 102 includes a first cutting condition registration unit 104-1 that registers the conditions of the first cutting unit 20-1, and a second cutting. A second cutting condition registration unit 104-2 that registers conditions of the unit 20-2 and a workpiece condition registration unit 104-3 that registers processing conditions of the workpiece 201 are provided.

第１の切削条件登録部１０４−１は、第１の切削ユニット２０−１の第１のスピンドル２２−１に装着される第１の切削ブレード２１−１の種類、切削可能な分割予定ライン２０３の数、及び切削可能な長さが入力装置などから登録される。第２の切削条件登録部１０４−２は、第２の切削ユニット２０−２の第２のスピンドル２２−２に装着される第２の切削ブレード２１−２の種類、切削可能な分割予定ライン２０３の数、及び切削可能な長さが入力装置などから登録される。 The first cutting condition registration unit 104-1 includes the type of the first cutting blade 21-1 attached to the first spindle 22-1 of the first cutting unit 20-1, and the scheduled dividing line 203 that can be cut. And the length that can be cut are registered from an input device or the like. The second cutting condition registration unit 104-2 includes the type of the second cutting blade 21-2 to be mounted on the second spindle 22-2 of the second cutting unit 20-2, and the scheduled dividing line 203 that can be cut. And the length that can be cut are registered from an input device or the like.

被加工物条件登録部１０４−３は、被加工物２０１の外径、厚さ、粘着テープ２０６の厚さ、切削加工時の第１の切削ブレード２１−１の保持面１１からの高さ、第１のスピンドル２２−１の回転数、切削加工時の第２の切削ブレード２１−２の保持面１１からの高さ、第２のスピンドル２２−２の回転数、及び加工送り速度が入力装置などから登録される。 The workpiece condition registration unit 104-3 includes the outer diameter and thickness of the workpiece 201, the thickness of the adhesive tape 206, the height from the holding surface 11 of the first cutting blade 21-1 at the time of cutting, The number of rotations of the first spindle 22-1, the height from the holding surface 11 of the second cutting blade 21-2 at the time of cutting, the number of rotations of the second spindle 22-2, and the machining feed rate are input devices. And so on.

判定部１０３は、状態検出部５０の受光素子５２の受光量が切削ブレード２１の回転中に少なくとも一時的に図１０に示す一定５００以上に達すると、受光素子５２の受光量が少なくとも一時的に一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の切り刃２１２が破損又は摩耗して、切削加工に適していないと判定する。判定部１０３は、切削ブレード２１の切り刃２１２が破損又は摩耗して切削加工に適していないと判定すると、切削条件登録部１０４−１，１０４−２を参照して、受光素子５２の受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の種類を特定する。判定部１０３は、ブレード情報登録部１０１を参照して、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の種類と、読み取りユニット８０が読み取ってブレード情報登録部１０１に登録された切削ブレード２１の種類とが一致しているか否かを判定する。 When the amount of light received by the light receiving element 52 of the state detecting unit 50 reaches at least temporarily 500 or more as shown in FIG. 10 while the cutting blade 21 is rotating, the determining unit 103 at least temporarily receives the light received by the light receiving element 52. It is determined that the cutting blade 212 of the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 that has reached a certain value of 500 or more is attached is damaged or worn and is not suitable for cutting. When the determination unit 103 determines that the cutting blade 212 of the cutting blade 21 is damaged or worn and is not suitable for cutting, the light receiving amount of the light receiving element 52 is referred to with reference to the cutting condition registration units 104-1 and 104-2. The type of the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 having a predetermined value of 500 or more is mounted is specified. The determination unit 103 refers to the blade information registration unit 101, reads the type of the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 whose received light amount has reached 500 or more and the reading unit 80 reads the blade. It is determined whether or not the type of the cutting blade 21 registered in the information registration unit 101 matches.

判定部１０３は、一致していると判定すると、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０内のエアーシリンダ３１２のロッド３１３を伸張させて、可動部３２を離間位置に設定し、受光素子５２の受光量が一定５００以上に達していない状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０内のエアーシリンダ３１２のロッド３１３を縮小させたままにして可動部３２を近接位置に維持する。 If the determination unit 103 determines that they match, the rod 313 of the air cylinder 312 in the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the received light amount has reached a certain value of 500 or more is attached is extended. The movable portion 32 is set to a separated position, and the rod 313 of the air cylinder 312 in the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the light receiving amount of the light receiving element 52 does not reach a certain value of 500 or more is reduced. The movable part 32 is maintained in the proximity position while being left.

こうして、判定部１０３は、状態検出部５０の受光量が一定５００以上に達した後、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０を離間位置に設定し、受光量が一定５００以上に達していない状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０を離間位置に設定しないで近接位置に維持する。また、判定部１０３は、第１の切削ブレード２１−１を装着する際に、ブレード情報登録部１０１に第１の切削ブレード２１−１の種類が登録されると、第２の切削ユニット２０−２のブレードカバー３０の可動部３２は近接位置に維持されて離間位置に設定されないが、第１の切削ユニット２０−１のブレードカバー３０の可動部３２は離間位置に設定される。また、判定部１０３は、第２の切削ブレード２１−２を装着する際に、ブレード情報登録部１０１に第２の切削ブレード２１−２の種類が登録されると、第１の切削ユニット２０−１のブレードカバー３０の可動部３２は近接位置に維持されて離間位置に設定されないが、第２の切削ユニット２０−２のブレードカバー３０の可動部３２は離間位置に設定される。 In this way, the determination unit 103 moves the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 with the received light amount reaches a certain 500 or more after the light reception amount of the state detection unit 50 reaches the certain 500 or more to the separation position. The blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the received light amount does not reach a certain value of 500 or more is set to the close position without being set to the separated position. Further, when the type of the first cutting blade 21-1 is registered in the blade information registration unit 101 when mounting the first cutting blade 21-1, the determination unit 103 registers the second cutting unit 20-. The movable portion 32 of the second blade cover 30 is maintained at the close position and is not set to the separated position, but the movable portion 32 of the blade cover 30 of the first cutting unit 20-1 is set to the separated position. In addition, when the determination unit 103 attaches the second cutting blade 21-2 and the type of the second cutting blade 21-2 is registered in the blade information registration unit 101, the determination unit 103 selects the first cutting unit 20-. The movable part 32 of one blade cover 30 is maintained at the close position and is not set to the separated position, but the movable part 32 of the blade cover 30 of the second cutting unit 20-2 is set to the separated position.

次に、実施形態１に係る切削装置１の加工動作を説明する。実施形態１に係る切削装置１の加工動作は、オペレータが加工内容情報を制御ユニット１００に登録し、オペレータが切削加工前の被加工物２０１を収容したカセット１１１をカセットエレベータ１１０に載置し、オペレータから加工動作の開始指示があると、制御ユニット１００により開始される。 Next, the machining operation of the cutting device 1 according to the first embodiment will be described. In the machining operation of the cutting apparatus 1 according to the first embodiment, the operator registers the machining content information in the control unit 100, and the operator places the cassette 111 containing the workpiece 201 before cutting on the cassette elevator 110, When there is a machining operation start instruction from the operator, the control unit 100 starts the processing operation.

加工動作において、制御ユニット１００は、被加工物２０１を搬送ユニットに取り出させ、粘着テープ２０６を介して被加工物２０１を保持面１１に吸引保持する。制御ユニット１００は、第２の切削ユニット２０−２に取り付けられた図示しない撮像ユニットが撮像した画像に切削ユニット２０−１，２０−２の切削ブレード２１−１，２１−２との位置合わせを行なうためのパターンマッチング等の画像処理を実施し、チャックテーブル１０に保持された被加工物２０１と切削ユニット２０−１，２０−２との相対位置を調整する。 In the processing operation, the control unit 100 causes the workpiece 201 to be taken out by the transport unit, and sucks and holds the workpiece 201 on the holding surface 11 via the adhesive tape 206. The control unit 100 aligns the positions of the cutting units 20-1 and 20-2 with the cutting blades 21-1 and 21-2 on an image captured by an imaging unit (not shown) attached to the second cutting unit 20-2. Image processing such as pattern matching is performed to adjust the relative position between the workpiece 201 held on the chuck table 10 and the cutting units 20-1 and 20-2.

そして、制御ユニット１００は、加工内容情報に基づいて、加工送りユニットと割り出し送りユニットと切り込み送りユニットと回転駆動源により、切削ブレード２１−１，２１−２と被加工物２０１とを分割予定ライン２０３に沿って相対的に移動させて、被加工物２０１の分割予定ライン２０３を切削する。 Then, the control unit 100 divides the cutting blades 21-1 and 21-2 and the workpiece 201 into the division lines based on the machining content information by the machining feed unit, the index feed unit, the cutting feed unit, and the rotational drive source. It moves relatively along 203, and the division | segmentation scheduled line 203 of the to-be-processed object 201 is cut.

制御ユニット１００は、すべての分割予定ライン２０３を切削して、被加工物２０１を個々のデバイス２０４に分割すると、被加工物２０１をカセット１１１内に搬入し、カセット１１１内に収容した被加工物２０１を順に切削加工して、カセット１１１内の全ての被加工物２０１の切削加工が完了すると加工動作を終了する。 When the control unit 100 cuts all the division lines 203 and divides the workpiece 201 into the individual devices 204, the workpiece 201 is carried into the cassette 111 and the workpiece accommodated in the cassette 111. When 201 is sequentially cut and all the workpieces 201 in the cassette 111 have been cut, the machining operation ends.

実施形態１に係る切削装置１の制御ユニット１００の判定部１０３は、加工動作中に図１９に示すフローチャートを繰り返し実施する。図１９は、実施形態１に係る切削装置の制御ユニットの判定部が加工動作中に実施するフローチャートである。 The determination unit 103 of the control unit 100 of the cutting apparatus 1 according to the first embodiment repeatedly performs the flowchart shown in FIG. 19 during the machining operation. FIG. 19 is a flowchart executed by the determination unit of the control unit of the cutting apparatus according to the first embodiment during the machining operation.

制御ユニット１００の判定部１０３は、加工動作中に、図１９に示すように、少なくとも一方の切削ユニット２０の状態検出部５０の受光素子５２が受光した受光量が少なくとも一時的に一定５００以上に達したが否かを判定する（ステップＳＴ１）。制御ユニット１００は、２つの切削ユニット２０の双方の状態検出部５０の受光素子５２が受光した受光量が少なくとも一時的に一定５００以上に達していないと判定する（ステップＳＴ１：Ｎｏ）と、ステップＳＴ１を繰り返す。 During the machining operation, the determination unit 103 of the control unit 100 receives at least temporarily a certain amount of light received by the light receiving element 52 of the state detection unit 50 of at least one cutting unit 20 as shown in FIG. It is determined whether or not it is reached (step ST1). When the control unit 100 determines that the amount of light received by the light receiving elements 52 of the state detecting units 50 of both of the two cutting units 20 has not temporarily reached a certain level of 500 or more (step ST1: No), Repeat ST1.

制御ユニット１００の判定部１０３は、少なくとも一方の切削ユニット２０の状態検出部５０の受光素子５２が受光した受光量が少なくとも一時的に一定５００以上に達したと判定する（ステップＳＴ１：Ｙｅｓ）と、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のスピンドルモータ２２３を停止し、ロック機構２７１のシャフトロックピン２７３に加圧された気体を供給して。ロック機構２７１にスピンドル２２の回転を規制させる即ちスピンドル２２をロックする（ステップＳＴ２）。 When the determination unit 103 of the control unit 100 determines that the amount of light received by the light receiving element 52 of the state detection unit 50 of at least one cutting unit 20 has temporarily reached a certain value of 500 or more (step ST1: Yes). Then, the spindle motor 223 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the light receiving amount has reached a certain value of 500 or more is stopped, and the pressurized gas is supplied to the shaft lock pin 273 of the lock mechanism 271. The lock mechanism 271 restricts the rotation of the spindle 22, that is, the spindle 22 is locked (step ST2).

制御ユニット１００の判定部１０３は、切削条件登録部１０４−１，１０４−２を参照して、受光素子５２の受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の種類を特定し、ブレード情報登録部１０１を参照して、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の種類と、ブレード情報登録部１０１に登録された切削ブレード２１の種類とが一致しているか否かを判定する（ステップＳＴ３）。即ち、ステップＳＴ３では、制御ユニット１００の判定部１０３は、ロックされた切削ユニット２０に装着されるべき種類の切削ブレード２１のバーコード７１を読み取ったか否かを判定する。制御ユニット１００の判定部１０３は、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の種類と、ブレード情報登録部１０１に登録された切削ブレード２１の種類とが一致していない判定する（ステップＳＴ３：Ｎｏ）と、ステップＳＴ３を繰り返す。 The determination unit 103 of the control unit 100 refers to the cutting condition registration units 104-1 and 104-2, and the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the light receiving amount of the light receiving element 52 has reached a certain level of 500 or more is mounted. The type of the cutting blade 21 is specified, and the blade information registration unit 101 is referred to, and the type of the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 whose received light amount has reached a certain value of 500 or more and the blade information registration are registered. It is determined whether or not the type of the cutting blade 21 registered in the part 101 matches (step ST3). That is, in step ST3, the determination unit 103 of the control unit 100 determines whether or not the barcode 71 of the type of cutting blade 21 to be mounted on the locked cutting unit 20 has been read. The determination unit 103 of the control unit 100 determines the type of the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 with the received light amount reaching 500 or more and the cutting blade 21 registered in the blade information registration unit 101 are registered. If it is determined that the types do not match (step ST3: No), step ST3 is repeated.

なお、実施形態１において、切削装置１は、ステップＳＴ３において、表示ユニット２００に受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の種類を示す情報を表示するなどして、表示ユニット２００に受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１を装着することをオペレータに促しても良い。こうして、制御ユニット１００の判定部１０３は、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の種類と、ブレード情報登録部１０１に登録された切削ブレード２１の種類とが一致しないと、ブレードカバー３０を離間位置に設定しない。 In the first embodiment, the cutting device 1 receives information indicating the type of the cutting blade 21 of the cutting unit 20 in which the state detection unit 50 in which the received light amount reaches a certain 500 or more is mounted on the display unit 200 in step ST3. For example, the operator may be prompted to attach the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 with the received light amount reaching a certain value of 500 or more is attached to the display unit 200. In this way, the determination unit 103 of the control unit 100 determines the type of the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the amount of received light reaches a certain value of 500 or more and the cutting blade registered in the blade information registration unit 101. If the type 21 does not match, the blade cover 30 is not set to the separated position.

制御ユニット１００の判定部１０３は、オペレータが受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のスピンドル２２に取り付ける種類のバーコード７１を読み取りユニット８０に読み取らせて、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の種類と、ブレード情報登録部１０１に登録された切削ブレード２１の種類とが一致していると判定する（ステップＳＴ３：Ｙｅｓ）と、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０の可動部３２を離間位置に位置付ける（ステップＳＴ４）。 The determination unit 103 of the control unit 100 causes the reading unit 80 to read the barcode 71 of the type attached to the spindle 22 of the cutting unit 20 to which the operator has mounted the state detection unit 50 in which the amount of received light reaches a certain value of 500 or more. It is determined that the type of the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the amount of received light has reached a certain value of 500 or more is mounted matches the type of the cutting blade 21 registered in the blade information registration unit 101. If it does (step ST3: Yes), the movable part 32 of the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the state detection part 50 in which the amount of received light has reached a certain value of 500 or more is mounted is positioned at the separation position (step ST4).

制御ユニット１００の判定部１０３は、オペレータが切削ブレード２１を交換し、オペレータからの加工動作の再開指示を受け付けると、切削加工を再開し（ステップＳＴ５）、ステップＳＴ１に戻る。 When the operator replaces the cutting blade 21 and receives an instruction to resume the machining operation from the operator, the determination unit 103 of the control unit 100 resumes the cutting process (step ST5) and returns to step ST1.

以上のように、実施形態１に係る切削装置１によれば、状態検出部５０の受光量が一定５００以上に達した後、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０を制御ユニット１００の判定部１０３が離間位置に設定し、受光量が一定５００以上に達していない状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０を近接位置に維持する。このために、制御ユニット１００は、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１のみを交換することができる。また、切削装置１は、着脱治具４０等が近接位置に位置付けられている切削ユニット２０の第２のフランジ部材２５を回転させることができないので、近接位置に位置付けられている切削ユニット２０のスピンドル２２に切削ブレード２１を装着したくても物理的に装着することができない。その結果、切削装置１は、オペレータの注意力が散漫になったとしても、スピンドル２２に装着する切削ブレード２１の種類を間違えることなく、スピンドル２２に切削ブレード２１を装着することができる。また、切削装置１は、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０のみを制御ユニット１００の判定部１０３が離間位置に設定するので、交換が必要な切削ブレード２１のみを交換することができる。 As described above, according to the cutting device 1 according to the first embodiment, after the light reception amount of the state detection unit 50 reaches a certain value of 500 or more, the state detection unit 50 whose light reception amount has reached a certain value of 500 or more is mounted. The determination unit 103 of the control unit 100 sets the blade cover 30 of the cutting unit 20 to the separated position, and the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the received light amount does not reach a certain value of 500 or more is mounted is the proximity position. To maintain. For this reason, the control unit 100 can replace only the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the received light amount reaches a certain value of 500 or more is mounted. Further, since the cutting apparatus 1 cannot rotate the second flange member 25 of the cutting unit 20 in which the attaching / detaching jig 40 or the like is positioned at the close position, the spindle of the cutting unit 20 positioned at the close position. Even if it is desired to attach the cutting blade 21 to 22, it cannot be physically attached. As a result, the cutting apparatus 1 can attach the cutting blade 21 to the spindle 22 without making a mistake in the type of the cutting blade 21 attached to the spindle 22 even if the operator's attention is distracted. Further, in the cutting apparatus 1, since the determination unit 103 of the control unit 100 sets only the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the received light amount has reached a certain value of 500 or more is mounted, replacement is possible. Only the necessary cutting blade 21 can be replaced.

また、切削装置１は、第１の切削ブレード２１−１を装着する際には、第１の切削ユニット２０−１のブレードカバー３０の可動部３２のみが離間位置に設定され、第２の切削ブレード２１−２を装着する際には、第２の切削ユニット２０−２のブレードカバー３０の可動部３２のみが離間位置に設定される。このために、切削装置１は、着脱治具４０を用いて離間位置に位置付けられた切削ユニット２０−１，２０−２のスピンドル２２−１，２２−２に切削ブレード２１−１，２１−２を装着することができる。 In addition, when the cutting device 1 is mounted with the first cutting blade 21-1, only the movable portion 32 of the blade cover 30 of the first cutting unit 20-1 is set at the separated position, and the second cutting blade When mounting the blade 21-2, only the movable part 32 of the blade cover 30 of the second cutting unit 20-2 is set to the separated position. For this purpose, the cutting apparatus 1 uses the cutting blades 21-1 and 21-2 to the spindles 22-1 and 22-2 of the cutting units 20-1 and 20-2 that are positioned at the separated positions using the attachment / detachment jig 40. Can be worn.

また、切削装置１は、切削ブレード２１を収容するケース６０に設置されたバーコード７１を読み取る読み取りユニット８０を備え、ブレード情報登録部１０１に読み取りユニット８０が読み取った切削ブレード２１の種類が登録される。このために、切削装置１は、読み取りユニット８０でバーコード７１を読み取ることにより、スピンドル２２に装着する切削ブレード２１の種類を間違えることなく、スピンドル２２に切削ブレード２１を装着することができる。 Further, the cutting apparatus 1 includes a reading unit 80 that reads a barcode 71 installed in a case 60 that houses the cutting blade 21, and the type of the cutting blade 21 read by the reading unit 80 is registered in the blade information registration unit 101. The For this reason, the cutting apparatus 1 can attach the cutting blade 21 to the spindle 22 by reading the bar code 71 by the reading unit 80 without making a mistake in the type of the cutting blade 21 attached to the spindle 22.

また、切削装置１は、制御ユニット１００の加工条件登録部１０２の切削条件登録部１０４−１，１０４−２に各切削ユニット２０−１，２０−２のスピンドル２２−１，２２−２に装着する切削ブレード２１−１，２１−２の種類を登録している。このために、切削装置１は、ブレード情報登録部１０１に登録された切削ブレード２１の種類と切削条件登録部１０４−１，１０４−２に登録された切削ブレード２１−１，２１−２の種類とを照合することができる。その結果、ブレード情報登録部１０１に登録された種類の切削ブレード２１を装着する切削ユニット２０のブレードカバー３０の可動部３２のみを確実に離間位置に位置付けることができる。 The cutting device 1 is mounted on the spindles 22-1 and 22-2 of the cutting units 20-1 and 20-2 in the cutting condition registration units 104-1 and 104-2 of the processing condition registration unit 102 of the control unit 100. The types of cutting blades 21-1, 21-2 to be registered are registered. For this purpose, the cutting apparatus 1 includes the types of the cutting blades 21 registered in the blade information registration unit 101 and the types of the cutting blades 21-1 and 21-2 registered in the cutting condition registration units 104-1 and 104-2. And can be matched. As a result, only the movable part 32 of the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the type of cutting blade 21 registered in the blade information registration unit 101 is attached can be reliably positioned at the separated position.

また、切削装置１は、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の種類と、ブレード情報登録部１０１に登録された切削ブレード２１の種類とが一致しないと、ブレードカバー３０を離間位置に設定しない。このために、切削装置１は、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１を正規の種類の切削ブレード２１に交換することができる。その結果、切削装置１は、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のスピンドル２２に種類を間違えることなく切削ブレード２１を装着することができる。 In addition, the cutting apparatus 1 includes the type of the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 with the received light amount reaching 500 or more is fixed, and the type of the cutting blade 21 registered in the blade information registration unit 101. If they do not match, the blade cover 30 is not set to the separated position. For this reason, the cutting apparatus 1 can replace the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 with the light receiving amount reaching a certain value of 500 or more is attached with a regular type of cutting blade 21. As a result, the cutting apparatus 1 can attach the cutting blade 21 to the spindle 22 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 having a light receiving amount of 500 or more is attached without making a mistake.

また、切削装置１は、状態検出部５０の受光量が一定５００以上に達した後、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のスピンドル２２をロックするので、切削ブレード２１の交換を安全に行うことができる。 In addition, the cutting device 1 locks the spindle 22 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the light reception amount reaches a certain value of 500 or more is mounted after the light reception amount of the state detection unit 50 reaches a certain value of 500 or more. The cutting blade 21 can be exchanged safely.

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２に係る切削装置を図面に基いて説明する。図２０は、実施形態２に係る切削装置の切削ユニットに装着される切削ブレードとケースとを示す斜視図である。図２０は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 2]
A cutting apparatus according to Embodiment 2 of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 20 is a perspective view showing a cutting blade and a case attached to the cutting unit of the cutting apparatus according to the second embodiment. In FIG. 20, the same parts as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

実施形態２に係る切削装置１は、切削ブレード２１の支持基台２１１の所定箇所に切削ブレード２１の種類を特定する着脱シール７０が貼着（設置）されていること以外、実施形態１と同じである。実施形態２に係る切削装置１の読み取りユニット８０は、切削ブレード２１に設置された着脱シール７０のバーコード７１を読み取る。 The cutting apparatus 1 according to the second embodiment is the same as the first embodiment except that a detachable seal 70 that identifies the type of the cutting blade 21 is attached (installed) to a predetermined location of the support base 211 of the cutting blade 21. It is. The reading unit 80 of the cutting apparatus 1 according to the second embodiment reads the barcode 71 of the detachable seal 70 installed on the cutting blade 21.

実施形態２に係る切削装置１は、実施形態１と同様に、離間位置に位置付けられた切削ユニット２０のスピンドル２２に切削ブレード２１を装着することにより、スピンドル２２に装着する切削ブレード２１の種類を間違えることなく、スピンドル２２に切削ブレード２１を装着することができる。 As in the first embodiment, the cutting device 1 according to the second embodiment attaches the cutting blade 21 to the spindle 22 of the cutting unit 20 positioned at the separated position, thereby changing the type of the cutting blade 21 to be attached to the spindle 22. The cutting blade 21 can be mounted on the spindle 22 without making a mistake.

また、実施形態２に係る切削装置１は、切削ブレード２１の支持基台２１１の所定箇所に切削ブレード２１の種類を特定する着脱シール７０が貼着されているので、ケース６０から切削ブレード２１を取り外して、時間などが経過し、切削ブレード２１を取り出したケース６０が不明となっても、切削ブレード２１の貼着されたバーコード７１を読み取ることで、種類を誤ることなく切削ブレード２１をスピンドル２２に装着することができる。 In the cutting device 1 according to the second embodiment, the detachable seal 70 that identifies the type of the cutting blade 21 is attached to a predetermined location of the support base 211 of the cutting blade 21, so that the cutting blade 21 is removed from the case 60. Even when time has elapsed and the case 60 from which the cutting blade 21 has been taken out becomes unclear, by reading the bar code 71 to which the cutting blade 21 is adhered, the cutting blade 21 can be spindled without error. 22 can be attached.

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３に係る切削装置を図面に基いて説明する。図２１は、実施形態３に係る切削装置の制御ユニットの判定部が加工動作中に実施するフローチャートである。図２１は、実施形態１と同一部分に同一符号を付して説明を省略する。 [Embodiment 3]
A cutting apparatus according to Embodiment 3 of the present invention will be described with reference to the drawings. FIG. 21 is a flowchart executed by the determination unit of the control unit of the cutting apparatus according to the third embodiment during the machining operation. In FIG. 21, the same parts as those of the first embodiment are denoted by the same reference numerals, and description thereof is omitted.

実施形態３に係る切削装置１の制御ユニット１００の判定部１０３は、状態検出部５０の受光素子５２の受光量が少なくとも一時的に一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１の切り刃２１２が破損又は摩耗して、切削加工に適していないと判定する。実施形態３に係る切削装置１の制御ユニット１００の判定部１０３は、その後、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０内のエアーシリンダ３１２のロッド３１３を伸張させて、可動部３２を離間位置に設定し、受光素子５２の受光量が一定５００以上に達していない状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０内のエアーシリンダ３１２のロッド３１３を縮小させたままにして可動部３２を近接位置に維持する。 The determination unit 103 of the control unit 100 of the cutting apparatus 1 according to the third embodiment includes a cutting unit in which the state detection unit 50 in which the amount of light received by the light receiving element 52 of the state detection unit 50 temporarily reaches a certain level 500 or more is mounted It is determined that the cutting blade 212 of the 20 cutting blades 21 is broken or worn and is not suitable for cutting. Thereafter, the determination unit 103 of the control unit 100 of the cutting device 1 according to the third embodiment of the air cylinder 312 in the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the received light amount has reached a certain level of 500 or more is mounted. The air cylinder in the blade cover 30 of the cutting unit 20 in which the rod 313 is extended, the movable part 32 is set at the separated position, and the state detection part 50 in which the light receiving amount of the light receiving element 52 does not reach a certain value of 500 or more The movable portion 32 is maintained in the proximity position while the rod 313 of the 312 is kept contracted.

実施形態３に係る切削装置１の制御ユニット１００の判定部１０３は、図２１に示すように、実施形態１と同様にステップＳＴ１を実施し、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のスピンドルモータ２２３をロックした（ステップＳＴ２）後、ステップＳＴ３を行うことなく、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０の可動部３２を離間位置に位置付ける（ステップＳＴ４）。そして。実施形態３に係る切削装置１の制御ユニット１００の判定部１０３は、ステップＳＴ５を実施形態１と同様に実施する。 As shown in FIG. 21, the determination unit 103 of the control unit 100 of the cutting apparatus 1 according to the third embodiment performs step ST1 as in the first embodiment, and the state detection unit 50 in which the received light amount reaches a certain value of 500 or more. After locking the spindle motor 223 of the cutting unit 20 mounted with (step ST2), without performing step ST3, the blade cover of the cutting unit 20 mounted with the state detection unit 50 in which the received light amount has reached a certain value of 500 or more The 30 movable parts 32 are positioned at the separation positions (step ST4). And then. The determination unit 103 of the control unit 100 of the cutting device 1 according to the third embodiment performs step ST5 as in the first embodiment.

実施形態３に係る切削装置１は、状態検出部５０の受光量が一定５００以上に達した後、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０を制御ユニット１００の判定部１０３が離間位置に設定し、受光量が一定５００以上に達していない状態検出部５０が装着された切削ユニット２０のブレードカバー３０を近接位置に維持する。このために、制御ユニット１００は、受光量が一定５００以上に達した状態検出部５０が装着された切削ユニット２０の切削ブレード２１のみを交換することができる。その結果、切削装置１は、交換が必要な切削ブレード２１のみを交換することができる。 In the cutting apparatus 1 according to the third embodiment, the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the light reception amount has reached a certain value of 500 or more is mounted after the light reception amount of the state detection unit 50 has reached a certain value of 500 or more. The determination unit 103 of the control unit 100 sets the separation position, and the blade cover 30 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the received light amount does not reach a certain level of 500 or more is maintained at the close position. For this reason, the control unit 100 can replace only the cutting blade 21 of the cutting unit 20 to which the state detection unit 50 in which the received light amount reaches a certain value of 500 or more is mounted. As a result, the cutting device 1 can replace only the cutting blade 21 that needs to be replaced.

前述した実施形態１及び実施形態２に係る切削装置１の制御ユニット１００は、ＣＰＵ（central processing unit）のようなマイクロプロセッサを有する演算処理装置と、ＲＯＭ（read only memory）又はＲＡＭ（random access memory）のようなメモリを有する記憶装置と、入出力インターフェース装置とを有する。制御ユニット１００の演算処理装置は、記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムに従って演算処理を実施して、切削装置１を制御するための制御信号を、入出力インターフェース装置を介して切削装置１の上述した構成要素に出力する。また、制御ユニット１００のブレード情報登録部１０１の機能は、読み取りユニット８０が読み取った切削ブレード２１の種類を演算処理装置が記憶装置に書き込むことにより実現される。制御ユニット１００の加工条件登録部１０２の機能は、加工条件を演算処理装置が記憶装置に書き込むことにより実現される。即ち、制御ユニット１００のブレード情報登録部１０１及び加工条件登録部１０２の機能は、記憶装置により実現される。制御ユニット１００の判定部１０３の機能は、演算処理装置が記憶装置に記憶されているコンピュータプログラムを実施することにより実現される。 The control unit 100 of the cutting device 1 according to the first embodiment and the second embodiment described above includes an arithmetic processing device having a microprocessor such as a CPU (central processing unit), a ROM (read only memory) or a RAM (random access memory). And the input / output interface device. The arithmetic processing device of the control unit 100 performs arithmetic processing according to the computer program stored in the storage device, and sends a control signal for controlling the cutting device 1 to the above-mentioned of the cutting device 1 via the input / output interface device. Output to the specified component. Further, the function of the blade information registration unit 101 of the control unit 100 is realized by the arithmetic processing device writing the type of the cutting blade 21 read by the reading unit 80 in the storage device. The function of the machining condition registration unit 102 of the control unit 100 is realized by writing the machining conditions into the storage device by the arithmetic processing unit. That is, the functions of the blade information registration unit 101 and the processing condition registration unit 102 of the control unit 100 are realized by the storage device. The function of the determination unit 103 of the control unit 100 is realized when the arithmetic processing device executes a computer program stored in the storage device.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではない。即ち、本発明の骨子を逸脱しない範囲で種々変形して実施することができる。実施形態１から実施形態３に示された切削装置１は、読み取りユニット８０がバーコード７１を読み取って、ブレード情報登録部１０１に読み取りユニット８０が読み取った切削ブレード２１−１，２１−２の種類が登録されるが、本発明では、オペレータが入力装置を操作して、ブレード情報登録部１０１に切削ブレード２１−１，２１−２の種類が登録されても良い。 The present invention is not limited to the above embodiment. That is, various modifications can be made without departing from the scope of the present invention. In the cutting device 1 shown in the first to third embodiments, the reading unit 80 reads the barcode 71, and the blade information registration unit 101 reads the types of the cutting blades 21-1 and 21-2 read by the reading unit 80. However, in the present invention, the operator may operate the input device to register the types of the cutting blades 21-1 and 21-2 in the blade information registration unit 101.

１切削装置
１０チャックテーブル
２０切削ユニット
２０−１第１の切削ユニット
２０−２第２の切削ユニット
２１切削ブレード
２１−１第１の切削ブレード
２１−２第２の切削ブレード
２２スピンドル
２２−１第１のスピンドル
２２−２第２のスピンドル
２３スピンドルハウジング
２９フランジ
３０ブレードカバー
３１固定部
３２可動部
５０状態検出部
５１発光素子
５２受光素子
６０ケース
７１バーコード（識別コード）
８０読み取りユニット
１００制御ユニット
１０１ブレード情報登録部
１０２加工条件登録部
２０１被加工物
３２１切削水ノズル（加工液ノズル） DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Cutting device 10 Chuck table 20 Cutting unit 20-1 1st cutting unit 20-2 2nd cutting unit 21 Cutting blade 21-1 1st cutting blade 21-2 2nd cutting blade 22 Spindle 22-1 1st 1 spindle 22-2 second spindle 23 spindle housing 29 flange 30 blade cover 31 fixed part 32 movable part 50 state detection part 51 light emitting element 52 light receiving element 60 case 71 bar code (identification code)
80 Reading Unit 100 Control Unit 101 Blade Information Registration Unit 102 Processing Condition Registration Unit 201 Workpiece 321 Cutting Water Nozzle (Working Fluid Nozzle)

Claims

The first cutting blade is clamped and mounted on the flange fixed to the tip of the first spindle, and the second cutting blade is clamped by the flange fixed to the tip of the second spindle. A cutting device comprising: a second cutting unit to be mounted; a chuck table for holding a workpiece to be processed by the cutting blade; and a control unit for controlling each component;
The cutting unit is
A blade cover fixed to a spindle housing that rotatably supports the spindle and covering the cutting blade to supply a machining fluid;
A light-emitting element and a light-receiving element facing each other across the cutting edge of the cutting blade, and a state detection unit that detects the state of the cutting blade based on the amount of light received by the light-receiving element,
The blade cover
A fixed portion fixed to the spindle housing;
A machining fluid nozzle is attached to the fixed portion so as to be openable and closable, and a selection is made between a proximity position where the machining fluid nozzle is close to the cutting blade and a separation position where the machining blade is separated from the cutting blade and the cutting blade is attached to and detached from the flange. A movable part that can be positioned in a position,
The control unit is
After the amount of received light of the state detection unit reaches a certain level or more, the blade cover of the cutting unit on which the state detection unit having the amount of received light reaches a certain level or more is set to a separated position, and the amount of received light The cutting apparatus is characterized in that the blade cover of the cutting unit to which the state detection unit that has not reached a certain level is mounted is not set in the separated position.

2. The control unit according to claim 1, wherein the control unit determines that the cutting blade of the cutting unit to which the state detection unit in which the light reception amount of the state detection unit has reached a certain level or more is damaged is damaged. Cutting equipment.