JP2017098427A - Wiring board, electronic device, and electronic module - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、電子部品が電気的に接続される配線導体を有する配線基板、配線基板を含む電子装置および電子モジュールに関するものである。 The present invention relates to a wiring board having a wiring conductor to which an electronic component is electrically connected, an electronic device including the wiring board, and an electronic module.
半導体素子、センサ素子または容量素子等の電子部品が搭載される配線基板として、絶縁基板の上面に電子部品が収容される凹部を有する絶縁基板と、絶縁基板の凹部内から下面等の外表面にかけて設けられた配線導体とを有するものが用いられている。この凹部の底面に電子部品が搭載されて電子装置が製作される。製作された電子装置において、配線導体を介して電子部品と外部電気回路とが互いに電気的に接続される。 As a wiring board on which electronic components such as a semiconductor element, a sensor element or a capacitor element are mounted, an insulating substrate having a concave portion in which the electronic component is accommodated on the upper surface of the insulating substrate, and from the concave portion of the insulating substrate to the outer surface such as the lower surface What has the wiring conductor provided is used. An electronic device is manufactured by mounting electronic components on the bottom surface of the recess. In the manufactured electronic device, the electronic component and the external electric circuit are electrically connected to each other through the wiring conductor.
近年、絶縁基板の凹部内から上面にかけて配線導体が設けられたものが用いられるようになってきている。この場合の電子装置は、絶縁基板の上面が外部電気回路に対向するように上下ひっくり返されて、外部電気回路に実装される。 In recent years, a substrate in which a wiring conductor is provided from the inside of the concave portion to the upper surface of an insulating substrate has been used. The electronic device in this case is mounted on the external electric circuit by being turned upside down so that the upper surface of the insulating substrate faces the external electric circuit.
上記従来の技術においては、絶縁基板の下面側にさらに回路導体が配置される場合がある。回路導体は、例えば電子装置を他の電子部品または電子装置等に電気的に接続させるためのものであり、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)を含むインバータまた
はECU(Engine Control Unit)等のパワーモジュールに含まれる回路導体等である。このような場合に、例えば絶縁基板に生じた空隙のために、配線導体と回路導体との間の電気絶縁性が不十分になる可能性があるという問題点があった。
In the above conventional technique, a circuit conductor may be further arranged on the lower surface side of the insulating substrate. The circuit conductor is, for example, for electrically connecting an electronic device to another electronic component or electronic device, and is connected to an inverter including an IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) or a power module such as an ECU (Engine Control Unit). Circuit conductors included. In such a case, there is a problem that the electrical insulation between the wiring conductor and the circuit conductor may become insufficient due to, for example, a gap generated in the insulating substrate.
本発明の1つの態様の配線基板は、複数の絶縁層が積層されてなるとともに、電子部品が収容される凹部を含む第1主面および該第1主面と反対側の第2主面を有する絶縁基板と、前記第2主面を被覆している絶縁補助層と、前記凹部内から前記第1主面にかけて設けられた配線導体とを備えており、前記絶縁補助層の外表面が外部の回路導体に対向して配置される実装部を含んでいるとともに、前記絶縁補助層には前記配線導体が設けられていないことを特徴とする。 A wiring board according to one aspect of the present invention includes a first main surface including a plurality of insulating layers and a concave portion in which an electronic component is accommodated, and a second main surface opposite to the first main surface. And an insulating auxiliary layer covering the second main surface, and a wiring conductor provided from the inside of the recess to the first main surface, the outer surface of the auxiliary auxiliary layer being external A mounting portion disposed opposite to the circuit conductor is included, and the wiring conductor is not provided in the auxiliary insulation layer.
本発明の1つの態様の電子装置は、上記構成の配線基板と、前記凹部内に収容された電子部品とを備えることを特徴とする。 An electronic device according to one aspect of the present invention includes the wiring board having the above-described configuration and an electronic component housed in the recess.
本発明の1つの態様の電子モジュールは、上記構成の電子装置と、電子装置の前記実装部に対向して配置された回路導体とを備えていることを特徴とする。 An electronic module according to an aspect of the present invention includes the electronic device having the above-described configuration and a circuit conductor disposed to face the mounting portion of the electronic device.
本発明の1つの態様の配線基板によれば、絶縁基板の第2主面に絶縁補助層が配置されていることから、例えば第1主面が外部の配線基板に対向して実装されたときに、第2主
面側における配線基板の外表面である絶縁補助層の外表面と配線導体との間の電気絶縁性が高い配線基板を提供することができる。
According to the wiring substrate of one aspect of the present invention, since the auxiliary insulation layer is disposed on the second main surface of the insulating substrate, for example, when the first main surface is mounted facing the external wiring substrate. In addition, it is possible to provide a wiring board having high electrical insulation between the outer surface of the auxiliary insulation layer, which is the outer surface of the wiring board on the second main surface side, and the wiring conductor.
本発明の1つの態様の電子装置によれば、上記構成の配線基板に電子部品が搭載されてなることから、第2主面側に回路導体が配置されるときに、その回路導体と配線導体との間の電気絶縁性が高い電子装置を提供することができる。 According to the electronic device of one aspect of the present invention, since the electronic component is mounted on the wiring board having the above configuration, when the circuit conductor is arranged on the second main surface side, the circuit conductor and the wiring conductor are arranged. An electronic device with high electrical insulation between the two can be provided.
本発明の1つの態様の電子モジュールによれば、上記構成の電子装置の実装部に回路導体が対向して配置されてなることから、配線導体と回路導体との電気絶縁性が高い電子モジュールを提供することができる。 According to the electronic module of one aspect of the present invention, since the circuit conductor is disposed opposite to the mounting portion of the electronic device having the above configuration, an electronic module having high electrical insulation between the wiring conductor and the circuit conductor is provided. Can be provided.
本発明の実施形態の配線基板、電子装置および電子モジュールを、添付の図面を参照して説明する。図1は本発明の実施形態の配線基板および電子装置を示す断面図である。また、図2は本発明の実施形態の電子モジュールを示す断面図である。また、図3は本発明の実施形態の電子モジュールを分解して示す斜視図である。 A wiring board, an electronic device, and an electronic module according to embodiments of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a cross-sectional view showing a wiring board and an electronic device according to an embodiment of the present invention. FIG. 2 is a cross-sectional view showing the electronic module of the embodiment of the present invention. FIG. 3 is an exploded perspective view showing the electronic module according to the embodiment of the present invention.
複数の絶縁層2が積層されて絶縁基板1が形成されている。絶縁基板1は、電子部品が収容される凹部3を含む第1主面1aおよびその第1主面1aと反対側の第2主面1bを有している。絶縁基板1の第2主面1bは絶縁補助層4によって被覆されている。また、凹部3内から第1主面1aにかけて配線導体5が設けられている。絶縁基板1、絶縁補助層4および配線導体5によって配線基板10が基本的に構成されている。配線基板10において、絶縁補助層4の外表面4aが外部の回路導体31に対向して配置される実装部4bを含んでいる。また、絶縁補助層4には配線導体5が設けられていない。なお、図1においては絶縁基板1と補助絶縁層4とを分けて示しているが、実際には絶縁基板1と補助絶縁層4とは互いに一体であり、積層体6を形成している。絶縁補助層4の実装部4bを含む外表面は、例えば絶縁補助層4の互いに対向し合う2つの主面のうち絶縁基板1とは反対側の主面である。 A plurality of insulating layers 2 are laminated to form an insulating substrate 1. The insulating substrate 1 has a first main surface 1a including a recess 3 in which an electronic component is accommodated, and a second main surface 1b opposite to the first main surface 1a. The second main surface 1 b of the insulating substrate 1 is covered with the auxiliary insulating layer 4. A wiring conductor 5 is provided from the inside of the recess 3 to the first main surface 1a. A wiring substrate 10 is basically constituted by the insulating substrate 1, the auxiliary insulation layer 4, and the wiring conductor 5. In the wiring substrate 10, the outer surface 4 a of the auxiliary insulation layer 4 includes a mounting portion 4 b that is disposed to face the external circuit conductor 31. Further, the insulation conductor layer 4 is not provided with the wiring conductor 5. In FIG. 1, the insulating substrate 1 and the auxiliary insulating layer 4 are shown separately, but actually, the insulating substrate 1 and the auxiliary insulating layer 4 are integrated with each other to form a laminated body 6. The outer surface including the mounting portion 4b of the insulating auxiliary layer 4 is, for example, a main surface opposite to the insulating substrate 1 among two main surfaces of the insulating auxiliary layer 4 facing each other.
この配線基板10の凹部3内に電子部品21が収容されて電子装置20が基本的に構成されている。また、電子装置20の実装部4bに回路導体31が対向して配置されて電子モジュール30が基本的に構成されている。電子装置20は、配線基板10に電子部品が収容された後に上下ひっくり返された状態で外部の配線基板に実装されるため、図1と図2とでは配線基板10を上下逆にして示している。 An electronic device 21 is basically configured by housing an electronic component 21 in the recess 3 of the wiring board 10. In addition, the electronic module 30 is basically configured by arranging the circuit conductor 31 so as to face the mounting portion 4 b of the electronic device 20. Since the electronic device 20 is mounted on an external wiring board in an upside down state after electronic components are accommodated in the wiring board 10, FIGS. 1 and 2 show the wiring board 10 upside down. .
絶縁基板1は、電子部品21を搭載して固定するための基体部分である。絶縁基板1は、例えば長方形状等の四角形板状(直方体状)であり、第1主面1a(図1では上面)および第1主面1aと反対側の第2主面1b(図1の例では下面)を有している。絶縁基板1の第1主面には、電子部品21を収容するための凹部3が設けられている。 The insulating substrate 1 is a base portion for mounting and fixing the electronic component 21. The insulating substrate 1 has, for example, a rectangular plate shape (a rectangular parallelepiped shape) such as a rectangular shape, and a first main surface 1a (upper surface in FIG. 1) and a second main surface 1b opposite to the first main surface 1a (in FIG. 1). In the example, it has a lower surface). The first main surface of the insulating substrate 1 is provided with a recess 3 for accommodating the electronic component 21.
絶縁基板1の第1主面1aおよび第2主面1bは、例えば長方形状等の四角形状であるが、六角形または八角形等の他の多角形状であってもよく、円形状または楕円形状等であってもよい。言い換えれば、絶縁基板1は、これらの多角形板状または円板状等であって
もよい。
The first main surface 1a and the second main surface 1b of the insulating substrate 1 are, for example, a quadrangular shape such as a rectangular shape, but may be other polygonal shapes such as a hexagonal shape or an octagonal shape, a circular shape or an elliptical shape. Etc. In other words, the insulating substrate 1 may have a polygonal plate shape or a disk shape.
絶縁基板1は、上記のように複数の絶縁層2が互いに厚み方向に(上下に)積層されて形成されている。絶縁層2は、後述する配線導体5を設けるスペースを確保する機能等を有している。複数の絶縁層2のそれぞれに配線導体5が設けられ、これらの絶縁層2が互いに積層されることによって、配線導体5を引き回すスペースが内部および表面に十分に大きく確保された絶縁基板1が形成されている。 The insulating substrate 1 is formed by laminating a plurality of insulating layers 2 in the thickness direction (up and down) as described above. The insulating layer 2 has a function of securing a space for providing a wiring conductor 5 to be described later. A wiring conductor 5 is provided on each of the plurality of insulating layers 2 and these insulating layers 2 are laminated to form an insulating substrate 1 in which a space for routing the wiring conductor 5 is secured sufficiently large in the inside and on the surface. Has been.
配線導体5は、例えば凹部3の内部から絶縁基板1の第1主面1a等の外表面にかけて設けられている。配線導体5のうち凹部3内に位置する部分には、凹部3内に収容される電子部品21がボンディングワイヤ22等の導電性接続材を介して電気的に接続される。また、配線導体5のうち絶縁基板1の第1主面1a等に設けられた部分は、外部の配線基板(図1では図示せず)とはんだ等の導電性接続材(図1では図示せず)を介して電気的に接続される。つまり、配線導体5は、凹部3内に収容される電子部品21と外部の配線基板とを電気的に接続する導電路を形成する機能を有している。 The wiring conductor 5 is provided, for example, from the inside of the recess 3 to the outer surface such as the first main surface 1a of the insulating substrate 1. An electronic component 21 accommodated in the recess 3 is electrically connected to a portion of the wiring conductor 5 located in the recess 3 through a conductive connecting material such as a bonding wire 22. Further, a portion of the wiring conductor 5 provided on the first main surface 1a and the like of the insulating substrate 1 is composed of an external wiring substrate (not shown in FIG. 1) and a conductive connection material such as solder (not shown in FIG. 1). )). That is, the wiring conductor 5 has a function of forming a conductive path that electrically connects the electronic component 21 housed in the recess 3 and an external wiring board.
絶縁基板1は、例えば酸化アルミニウム質焼結体、ガラスセラミック焼結体、窒化アルミニウム質焼結体またはムライト質焼結体等のセラミック焼結体によって形成されている。絶縁基板1は、例えば酸化アルミニウム質焼結体からなる場合であれば、次のようにして製作することができる。すなわち、まず酸化アルミニウムおよび酸化ケイ素等の原料粉末を適当な有機バインダおよび有機溶剤とともにシート状に成形して四角シート状のセラミックグリーンシートを作製する。その後、このセラミックグリーンシートを適当な寸法に切断、成形したものを複数枚積層し、この積層したものを1300〜1600℃の温度で焼成することによって絶縁基板1を製作することができる。焼成された複数のセラミックグリーンシートが、それぞれ絶縁基板1の絶縁層2になる。 The insulating substrate 1 is formed of a ceramic sintered body such as an aluminum oxide sintered body, a glass ceramic sintered body, an aluminum nitride sintered body, or a mullite sintered body. If the insulating substrate 1 is made of, for example, an aluminum oxide sintered body, it can be manufactured as follows. That is, first, raw material powders such as aluminum oxide and silicon oxide are formed into a sheet shape together with an appropriate organic binder and an organic solvent to produce a square sheet-like ceramic green sheet. Thereafter, a plurality of the ceramic green sheets cut and molded to an appropriate size are stacked, and the stacked substrates are fired at a temperature of 1300 to 1600 ° C., whereby the insulating substrate 1 can be manufactured. The plurality of fired ceramic green sheets become the insulating layers 2 of the insulating substrate 1 respectively.
配線導体5は、例えば、タングステン、モリブデン、マンガン、銅、銀、パラジウム、金、白金、ニッケルまたはコバルト等の金属材料、またはこれらの金属材料を含む合金材料等によって形成されている。このような金属材料等は、メタライズ層またはめっき層等の金属層として、絶縁層2の表面に設けられている。 The wiring conductor 5 is made of, for example, a metal material such as tungsten, molybdenum, manganese, copper, silver, palladium, gold, platinum, nickel, or cobalt, or an alloy material containing these metal materials. Such a metal material or the like is provided on the surface of the insulating layer 2 as a metal layer such as a metallized layer or a plating layer.
また、配線導体5は、絶縁層2を厚み方向に貫通する貫通導体(貫通導体としては符号なし)を含んでいる。貫通導体の部分も、上記と同様の材料からなり、同様の方法で形成されている。 Further, the wiring conductor 5 includes a through conductor (no sign as a through conductor) that penetrates the insulating layer 2 in the thickness direction. The through conductor portion is also made of the same material as described above, and is formed by the same method.
配線導体5は、例えば、タングステンのメタライズ層である場合には、タングステンの粉末を有機溶剤および有機バインダと混合して作製した金属ペーストを絶縁基板1の絶縁層2となるセラミックグリーンシートの表面またはあらかじめ設けておいた貫通孔内に、スクリーン印刷法等の方法で印刷して焼成する方法で形成することができる。このメタライズ層は、絶縁基板1の第1主面1a等の外表面に露出する部分において、電解めっき法または無電解めっき法等のめっき法でニッケルおよび金等のめっき層がさらに被着されたものであってもよい。 When the wiring conductor 5 is, for example, a tungsten metallized layer, the surface of the ceramic green sheet that becomes the insulating layer 2 of the insulating substrate 1 or a metal paste prepared by mixing tungsten powder with an organic solvent and an organic binder or In the through-hole previously provided, it can form by the method of printing and baking by methods, such as a screen printing method. This metallized layer was further coated with a plating layer such as nickel and gold by a plating method such as an electrolytic plating method or an electroless plating method at a portion exposed to the outer surface such as the first main surface 1a of the insulating substrate 1. It may be a thing.
絶縁基板1の第2主面1bを被覆している絶縁補助層4は、絶縁基板1の第2主面1b側の外部に対する電気絶縁性を高めるためのものである。絶縁基板1の第2主面1bが絶縁補助層4で被覆されていることによって、配線導体5のうち第2主面1bに近い部分と外部との間にさらに絶縁補助層4が介在する。そのため、絶縁補助層4の厚みおよび材料等に応じて、配線導体5の外部に対する電気絶縁性が向上する。 The auxiliary insulation layer 4 covering the second main surface 1b of the insulating substrate 1 is for enhancing the electrical insulation with respect to the outside of the insulating substrate 1 on the second main surface 1b side. By covering the second main surface 1b of the insulating substrate 1 with the auxiliary insulation layer 4, the auxiliary insulation layer 4 is further interposed between the portion of the wiring conductor 5 close to the second main surface 1b and the outside. Therefore, the electrical insulation with respect to the outside of the wiring conductor 5 is improved according to the thickness and material of the auxiliary insulation layer 4.
絶縁補助層4の外表面(絶縁基板1の第2主面に接していない表面)は、回路導体31が
対向して配置される実装部4bを含んでいる。図1に示す例においては、絶縁補助層4の下面および側面が外表面4aであり、下面の全面が実装部4bになっている。外部の回路導体が実装部4bに対向して配置されたときには、例えば、回路導体31の電気的または磁気的な状態を、積層体6(配線基板10)に収容された電子部品21等で検知または測定することができる。回路導体31の詳細については後述する。
The outer surface of the auxiliary insulation layer 4 (the surface not in contact with the second main surface of the insulating substrate 1) includes a mounting portion 4b on which the circuit conductor 31 is disposed so as to face. In the example shown in FIG. 1, the lower surface and side surfaces of the auxiliary insulating layer 4 are the outer surface 4a, and the entire lower surface is the mounting portion 4b. When the external circuit conductor is arranged facing the mounting portion 4b, for example, the electrical or magnetic state of the circuit conductor 31 is detected by the electronic component 21 or the like housed in the multilayer body 6 (wiring board 10). Or can be measured. Details of the circuit conductor 31 will be described later.
絶縁補助層4は、例えば絶縁基板1と同様の材料を用い、同様の方法で形成することができる。すなわち、絶縁層2となるセラミックグリーンシートと同様の材料を用い、同様の方法で製作した絶縁補助層4用のセラミックグリーンシートを、絶縁層2となる複数のセラミックグリーンシートの下側(第2主面1b側)に積層してグリーンシート積層体を作製する。絶縁補助層4用のセラミックグリーンシートには、配線導体5用等の金属ペーストは印刷しない。その後、このグリーンシート積層体を一体焼成することによって、絶縁基板1の第2主面1bを被覆する絶縁補助層4を形成することができる。すなわち、第2主面1bが絶縁補助層4で被覆された絶縁基板1を製作することができる。 The insulating auxiliary layer 4 can be formed by using the same material as that of the insulating substrate 1 and using the same method. That is, the ceramic green sheet for the auxiliary insulation layer 4 manufactured by the same method using the same material as the ceramic green sheet used as the insulating layer 2 is placed under the plurality of ceramic green sheets used as the insulating layer 2 (second A green sheet laminate is produced by laminating on the main surface 1b side). A metal paste for the wiring conductor 5 or the like is not printed on the ceramic green sheet for the auxiliary insulation layer 4. Then, the auxiliary insulation layer 4 which coat | covers the 2nd main surface 1b of the insulated substrate 1 can be formed by baking this green sheet laminated body integrally. That is, it is possible to manufacture the insulating substrate 1 in which the second main surface 1b is covered with the insulating auxiliary layer 4.
前述したように、絶縁基板1と絶縁補助層4とは互いに積層されて積層体6を形成している。この積層体6を、電子部品21を搭載するための基体とみなすこともできる。すなわち、基体としての積層体6の最上面に設けられた配線導体5が外部の配線基板と電気的に接続されるとともに、積層体6の第2主面1b側の表面に回路導体31が対向して配置される。外部の回路導体における電気的または磁気的な状態を電子部品21で検知または測定して、その結果を外部の配線基板に、電気信号として配線導体5から伝送することもできる。 As described above, the insulating substrate 1 and the auxiliary insulating layer 4 are laminated together to form the laminated body 6. The laminated body 6 can also be regarded as a base on which the electronic component 21 is mounted. That is, the wiring conductor 5 provided on the uppermost surface of the multilayer body 6 as a base is electrically connected to an external wiring board, and the circuit conductor 31 faces the surface of the multilayer body 6 on the second main surface 1b side. Arranged. The electrical or magnetic state of the external circuit conductor can be detected or measured by the electronic component 21, and the result can be transmitted as an electrical signal from the wiring conductor 5 to the external wiring board.
電子部品21としては、例えば、ICやLSI等の半導体集積回路素子、およびLED(発光ダイオード)やPD(フォトダイオード)、CCD(電荷結合素子)等の光半導体素子、電流センサ素子または磁気センサ素子等のセンサ素子、半導体基板の表面に微小な電子機械機構が形成されてなるマイクロマシン(いわゆるMEMS素子)等の種々の電子素子が挙げられる。また、電子部品21は、圧電素子や容量素子、抵抗器等であってもよく、複数種のものが含まれていてもよい。 Examples of the electronic component 21 include a semiconductor integrated circuit element such as an IC or LSI, an optical semiconductor element such as an LED (light emitting diode), PD (photodiode), or CCD (charge coupled device), a current sensor element, or a magnetic sensor element. And various electronic elements such as a micromachine (so-called MEMS element) in which a minute electromechanical mechanism is formed on the surface of a semiconductor substrate. Further, the electronic component 21 may be a piezoelectric element, a capacitive element, a resistor, or the like, and may include a plurality of types.
例えば、電子部品21が電流センサ素子であれば、回路導体31を流れる電流の大きさ等を検知することができる。この場合には、回路導体31に電気的に接続された他の電子部品または電子機器(例えば電池、発電機、電動機またはインバータ等)の電気的な状態を検知(いわゆるモニタリング等)することができる。また、電子部品21が磁気センサ素子であれば、回路導体31を流れる電流の変動(変動に伴う電磁的な数値の変動)等を検知することができる。この場合には、回路導体31に電気的に接続された他の部品(発信器またはアンテナ等)の電磁的な状態を検知することができる。 For example, if the electronic component 21 is a current sensor element, the magnitude of the current flowing through the circuit conductor 31 can be detected. In this case, it is possible to detect (so-called monitoring or the like) the electrical state of another electronic component or electronic device (for example, a battery, a generator, a motor, or an inverter) electrically connected to the circuit conductor 31. . In addition, if the electronic component 21 is a magnetic sensor element, it is possible to detect fluctuations in the current flowing through the circuit conductor 31 (electromagnetic numerical fluctuations accompanying fluctuations). In this case, the electromagnetic state of other components (such as a transmitter or an antenna) electrically connected to the circuit conductor 31 can be detected.
配線基板10に対する電子部品21の収容および電子装置20の製作は、例えば次のようにして行なわれている。すなわち、まず図3の矢印(A)に示すように、凹部3の底面に電子部品21を接着剤または低融点ろう材等の接合材で接合する。次に、電子部品21と配線導体5とをボンディングワイヤ22等の導電性接続材で電気的に接続する。その後、必要に応じて、図3の矢印(B)に示すように、凹部3を塞ぐように絶縁基板1の第1主面1aに蓋体23を接合して凹部3内に電子部品21を気密封止する。以上によって電子装置20を製作することができる。電子部品21は、その種類に応じて、蓋体23以外の手段で封止されてもよく、封止されなくてもよい。 The electronic component 21 is accommodated in the wiring board 10 and the electronic device 20 is manufactured, for example, as follows. That is, first, as shown by an arrow (A) in FIG. 3, the electronic component 21 is bonded to the bottom surface of the recess 3 with a bonding material such as an adhesive or a low melting point brazing material. Next, the electronic component 21 and the wiring conductor 5 are electrically connected by a conductive connecting material such as a bonding wire 22. Thereafter, as shown by an arrow (B) in FIG. 3, the lid 23 is joined to the first main surface 1 a of the insulating substrate 1 so as to close the recess 3 and the electronic component 21 is placed in the recess 3 as necessary. Seal hermetically. Thus, the electronic device 20 can be manufactured. The electronic component 21 may be sealed by means other than the lid 23 depending on the type, and may not be sealed.
この電子装置20を含む電子モジュール30は、図3の矢印(C)に示すように、実装部4bに対向するように回路導体31を配置することによって製作されている。回路導体31は、例えばバスバーを含むものであり、電子装置20を上記のような他の電子部品または電子機
器等に電気的に接続させるためのものである。図2に示す電子モジュール30は、例えば、IGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)を含むインバータまたはECU(Engine Control Unit)等のパワーモジュールの一部を構成するものである。パワーモジュールは、図
示しない他の電子装置または電子回路等が、回路導体31に電気的に接続されて構成されている。
The electronic module 30 including the electronic device 20 is manufactured by disposing a circuit conductor 31 so as to face the mounting portion 4b as shown by an arrow (C) in FIG. The circuit conductor 31 includes, for example, a bus bar, and is used to electrically connect the electronic device 20 to other electronic components or electronic devices as described above. The electronic module 30 shown in FIG. 2 constitutes a part of a power module such as an inverter including an IGBT (Insulated Gate Bipolar Transistor) or an ECU (Engine Control Unit). The power module is configured by electrically connecting other electronic devices or electronic circuits (not shown) to the circuit conductor 31.
回路導体31は、電子装置20と直接に電気的に接続されたものである必要はない。例えば、回路導体31と配線導体5との電磁的な結合が可能になる程度の位置に、回路導体31が配置されていればよい。この電磁的な結合によって、例えば、回路導体31およびこれと電気的に接続された他の電子部品等のモニタリングが可能になる。 The circuit conductor 31 does not need to be directly electrically connected to the electronic device 20. For example, the circuit conductor 31 may be disposed at a position where the circuit conductor 31 and the wiring conductor 5 can be electromagnetically coupled. This electromagnetic coupling enables, for example, monitoring of the circuit conductor 31 and other electronic components electrically connected thereto.
また、上記の電子装置20および電子モジュール30は、前述したように第1主面側に配置された配線導体5が外部配線基板41に電気的に接続されてもよい。図2に示す例では外部配線基板41が有する外部配線導体42と配線導体5とが互いに対向し合い、はんだバンプ43を介して互いに電気的に接続されている。電子装置20および電子モジュール30は、例えば図3の矢印(C’)に示すように、上下ひっくり返されて外部配線基板41に搭載される。なお、先に電子装置20を外部配線基板41に搭載してから、実装部4bに回路導体31を配置するようにしてもよい。外部配線基板41は、例えば、電子モジュール30から伝送される信号の解析等の機能を有している。 In the electronic device 20 and the electronic module 30 described above, the wiring conductor 5 arranged on the first main surface side may be electrically connected to the external wiring board 41 as described above. In the example shown in FIG. 2, the external wiring conductor 42 and the wiring conductor 5 included in the external wiring board 41 face each other and are electrically connected to each other through the solder bumps 43. The electronic device 20 and the electronic module 30 are turned upside down and mounted on the external wiring board 41, for example, as shown by an arrow (C ') in FIG. Note that the circuit conductor 31 may be disposed on the mounting portion 4b after the electronic device 20 is first mounted on the external wiring board 41. The external wiring board 41 has functions such as analysis of signals transmitted from the electronic module 30, for example.
実施形態の配線基板10は、絶縁基板1の第2主面1bに絶縁補助層4が配置されていることから、例えば第1主面1aが外部配線基板41に対向して実装されたときに、第2主面1b側における配線基板10の外表面である絶縁補助層4の外表面と配線導体5との間の電気絶縁性が高い配線基板10を提供することができる。つまり、配線基板10において、配線導体5の外部に対する電気絶縁性を向上させることができる。この場合、配線導体5の外部に対する電気絶縁性は、配線基板10のうち実装部4bに最も近い絶縁層2の層間に配置された配線導体5と、回路導体31との間の電気絶縁性に相当する。 In the wiring substrate 10 of the embodiment, since the auxiliary insulation layer 4 is disposed on the second main surface 1b of the insulating substrate 1, for example, when the first main surface 1a is mounted facing the external wiring substrate 41, for example. The wiring board 10 having high electrical insulation between the outer surface of the auxiliary insulation layer 4 that is the outer surface of the wiring board 10 on the second main surface 1b side and the wiring conductor 5 can be provided. That is, in the wiring board 10, the electrical insulation with respect to the outside of the wiring conductor 5 can be improved. In this case, the electrical insulation of the wiring conductor 5 with respect to the outside is the electrical insulation between the circuit conductor 31 and the wiring conductor 5 disposed between the layers of the insulating layer 2 closest to the mounting portion 4 b of the wiring board 10. Equivalent to.
すなわち、仮に、絶縁基板1の第2主面1bを含む最下層側の絶縁層2の一部に、セラミック材料間の隙間等による空隙が存在していたとしても、その空隙の下側に位置する絶縁補助層4によって、空隙を介した配線導体5と外部との電気絶縁性の低下が効果的に抑制されている。なお、絶縁層2の空隙は、例えば、多結晶体であるセラミック焼結体を形成しているセラミック材料の粒子間に生じる。空隙(つまり空気等)では絶縁層2に比べて絶縁破壊電圧が小さい。また外気中の水分が入り込む可能性がある。そのため、上記のような電気絶縁性の低下が生じやすい。 That is, even if a gap due to a gap between ceramic materials exists in a part of the insulating layer 2 on the lowermost layer side including the second main surface 1b of the insulating substrate 1, it is positioned below the gap. By the insulating auxiliary layer 4 to be reduced, a decrease in electrical insulation between the wiring conductor 5 and the outside via the gap is effectively suppressed. In addition, the space | gap of the insulating layer 2 arises between the particle | grains of the ceramic material which forms the ceramic sintered compact which is a polycrystal, for example. In the air gap (that is, air or the like), the dielectric breakdown voltage is smaller than that of the insulating layer 2. In addition, moisture in the outside air may enter. For this reason, the above-described deterioration in electrical insulation is likely to occur.
このような配線基板10および配線基板10に電子部品21が収容されてなる電子装置20においては、第2主面1b側の外表面である絶縁補助層4の実装部4bに回路導体31が対向して配置されたときに、配線導体5と回路導体31との電気絶縁性を高くすることができる。つまり、配線導体5と回路導体31との電気絶縁性が高い電子モジュール30を製作することができる。これは、電子モジュール30自体の導体間の電気絶縁性向上の効果とみなすこともできる。 In the wiring board 10 and the electronic device 20 in which the electronic component 21 is accommodated in the wiring board 10, the circuit conductor 31 faces the mounting portion 4 b of the auxiliary insulation layer 4 that is the outer surface on the second main surface 1 b side. Therefore, the electrical insulation between the wiring conductor 5 and the circuit conductor 31 can be increased. That is, the electronic module 30 having high electrical insulation between the wiring conductor 5 and the circuit conductor 31 can be manufactured. This can be regarded as an effect of improving electrical insulation between conductors of the electronic module 30 itself.
なお、絶縁補助層4自体は、上記のように絶縁層2と同様の材料によって形成されたものであるため、絶縁層2と同様の空隙が存在する可能性があるが、絶縁補助層4には配線導体(図示せず)が形成されていない。そのため、その配線導体の存在による配線基板10としての外部に対する電気絶縁性の低下は生じない。また、第2主面1bを含む絶縁層2
の空隙と、絶縁補助層4の空隙とのそれぞれの位置が平面視で同じ位置になる可能性は非常に小さい。そのため、これらの空隙が上下につながり合うことによる、配線導体5と外部との電気絶縁性の低下の可能性は非常に小さい。
Since the auxiliary insulating layer 4 itself is formed of the same material as that of the insulating layer 2 as described above, there may be a void similar to that of the insulating layer 2. No wiring conductor (not shown) is formed. For this reason, there is no reduction in electrical insulation with respect to the outside as the wiring board 10 due to the presence of the wiring conductor. Insulating layer 2 including second main surface 1b
The possibility that the respective positions of the gap and the gap of the auxiliary insulation layer 4 are the same in a plan view is very small. Therefore, there is very little possibility that the electrical insulation between the wiring conductor 5 and the outside is lowered due to these gaps being connected vertically.
絶縁補助層4は、第2主面1b側の配線導体5と回路導体31との電気絶縁性を高める上では、絶縁基板1に含まれている絶縁層2の厚みよりも厚いものである方がよい。具体的には、絶縁層2の厚みが約50〜400μmであるときに、絶縁補助層4の厚みは約100〜500
μmに設定されていればよい。
The insulation auxiliary layer 4 is thicker than the insulation layer 2 included in the insulation substrate 1 in order to enhance the electrical insulation between the wiring conductor 5 on the second main surface 1b side and the circuit conductor 31. Is good. Specifically, when the insulating layer 2 has a thickness of about 50 to 400 μm, the insulating auxiliary layer 4 has a thickness of about 100 to 500.
It may be set to μm.
上記のように絶縁層2および絶縁補助層4の厚みがそれぞれに設定されているときに、配線導体5のうち実装部4bに最も近い絶縁層2の層間に配置されたものと回路導体31との間の電気絶縁性は、0.5mm厚みで絶縁破壊電圧が25kV・DC程度である。また、仮
に、これと他の条件が同じで絶縁補助層4が存在していないと仮定したとき(仮定の配線基板等は図示せず)には、配線導体のうち実装部に最も近い絶縁層の層間に配置されたものと回路導体との間の電気絶縁性は、0.1mm厚みで絶縁破壊電圧が10kV程度である。
したがって、この例では、実施形態の配線基板10およびそれを含む電子装置20および電子モジュール30について、15kV程度の電気絶縁性の向上が可能になる。
When the thicknesses of the insulating layer 2 and the auxiliary insulation layer 4 are set as described above, the wiring conductor 5 disposed between the layers of the insulating layer 2 closest to the mounting portion 4b and the circuit conductor 31 The electrical insulation between them is 0.5 mm thick and the dielectric breakdown voltage is about 25 kV · DC. Also, if it is assumed that the other conditions are the same and the insulation auxiliary layer 4 does not exist (assumed wiring board and the like are not shown), the insulating layer closest to the mounting portion of the wiring conductors The electrical insulation between the circuit conductor and the one disposed between the layers is 0.1 mm thick and the dielectric breakdown voltage is about 10 kV.
Therefore, in this example, the electrical insulation of about 15 kV can be improved for the wiring board 10 of the embodiment and the electronic device 20 and the electronic module 30 including the wiring board 10.
図4は、図1に示す配線基板10および電子装置20の変形例を示す断面図である。図4において図1と同様の部位には同様の符号を付している。図4に示す例において、絶縁基板1の内部のうち凹部3と第2主面1b(実装部4b)との間(図4では凹部3の下側)にも配線導体5が配置されている。凹部3の下側に配置された配線導体5配線導体5は、絶縁層2を挟んで上下に配置されている。これらの配線導体5は、例えば図4に示す電子装置20において、電子部品21の直下に位置することになる。 FIG. 4 is a cross-sectional view showing a modification of the wiring board 10 and the electronic device 20 shown in FIG. 4, parts similar to those in FIG. 1 are denoted by the same reference numerals. In the example shown in FIG. 4, the wiring conductor 5 is also arranged between the recess 3 and the second main surface 1 b (mounting portion 4 b) in the insulating substrate 1 (below the recess 3 in FIG. 4). . The wiring conductor 5 disposed below the recess 3 The wiring conductor 5 is disposed vertically with the insulating layer 2 interposed therebetween. These wiring conductors 5 are located immediately below the electronic component 21 in the electronic device 20 shown in FIG.
電子部品21の直下に位置する配線導体5は、例えば前述したような、凹部3内の電子部品21と外部配線基板41とを電気的に接続する導電路を形成するものに限らず、電磁的なノイズ低減のためのものであってもよい。この配線導体5の一部は、図3に示す例と同様に電子装置20がひっくり返されたときには電子部品21の直上に位置し、電子部品21と外部配線基板41との間に配線導体5の一部が位置することになる。電子部品21と外部配線基板41との間に位置する配線導体5が、例えば接地電位に設定されて、電子部品21と外部配線基板41とが互いに、効果的に電磁的にシールドされる。電磁的なシールドの機能を有する配線導体5の一部は、例えば平面透視で凹部3と同じ程度、またはそれ以上の大きさ(面積)を有するものであってもよい。 The wiring conductor 5 positioned immediately below the electronic component 21 is not limited to one that forms a conductive path that electrically connects the electronic component 21 in the recess 3 and the external wiring board 41 as described above, for example, but is electromagnetic. It may be for noise reduction. A part of the wiring conductor 5 is located immediately above the electronic component 21 when the electronic device 20 is turned over as in the example shown in FIG. 3, and the wiring conductor 5 is interposed between the electronic component 21 and the external wiring board 41. A part will be located. The wiring conductor 5 positioned between the electronic component 21 and the external wiring board 41 is set to, for example, a ground potential, and the electronic component 21 and the external wiring board 41 are effectively electromagnetically shielded from each other. A part of the wiring conductor 5 having an electromagnetic shielding function may have a size (area) equal to or larger than that of the concave portion 3 in a plan view.
すなわち、凹部3の下側に配置された配線導体5は、線状パターンのものに限らず、接地導体または電源導体等の、いわゆるべた状パターンのものであってもよい。また、凹部3の下側に配置された配線導体5の一部は、互いに対向し合う一対の容量電極として機能するようなものでもよい。この容量電極(配線導体5の一部)は、例えばデカップリング用のものでもよい。 That is, the wiring conductor 5 disposed below the recess 3 is not limited to a linear pattern, but may be a so-called solid pattern such as a ground conductor or a power supply conductor. Further, a part of the wiring conductor 5 disposed on the lower side of the recess 3 may function as a pair of capacitive electrodes facing each other. This capacitive electrode (a part of the wiring conductor 5) may be for decoupling, for example.
この例のように、実装部4bに比較的近い位置に、より多くの配線導体5が設けられている場合であっても、配線導体5の外部に対する電気絶縁性の向上に有効な配線基板10を提供することができる。また、このような配線基板10を含む、より多くの配線導体5と回路導体31との電気絶縁性に優れた電子モジュール30の製作が容易な電子装置20を提供することができる。 Even in the case where more wiring conductors 5 are provided at positions relatively close to the mounting portion 4b as in this example, the wiring board 10 is effective for improving the electrical insulation of the wiring conductor 5 to the outside. Can be provided. In addition, it is possible to provide an electronic device 20 including such a wiring board 10 and capable of easily manufacturing an electronic module 30 having excellent electrical insulation between more wiring conductors 5 and circuit conductors 31.
なお、図4に示す例のように、実装部4bに比較的近い位置に配線導体5がより多く配置されているようなときには、複数の絶縁補助層4が設けられていてもよい。すなわち、このような配線導体5の配置のときには、配線導体5と積層体6の実装部4bとの距離が近くなりやすい傾向がある。これに対して、後述するように複数の絶縁補助層4を配置することによって、配線導体5と実装部4bとの間の電気絶縁性、つまり配線導体5の外部に対する電気絶縁性を高く確保することができる。 Note that, as in the example illustrated in FIG. 4, when more wiring conductors 5 are disposed at positions relatively close to the mounting portion 4 b, a plurality of insulating auxiliary layers 4 may be provided. That is, when such a wiring conductor 5 is arranged, the distance between the wiring conductor 5 and the mounting portion 4b of the multilayer body 6 tends to be short. On the other hand, by disposing a plurality of auxiliary insulation layers 4 as will be described later, high electrical insulation between the wiring conductor 5 and the mounting portion 4b, that is, electrical insulation with respect to the outside of the wiring conductor 5 is ensured. be able to.
図5は、図2に示す電子モジュールの変形例を示す断面図である。図5において図2と同様の部位には同様の符号を付している。変形例の電子モジュール30は、図1に示す配線基板10の変形例および図2に示す電子装置20の変形例を含んでいる。 FIG. 5 is a cross-sectional view showing a modification of the electronic module shown in FIG. In FIG. 5, the same parts as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals. The electronic module 30 of the modification includes a modification of the wiring board 10 shown in FIG. 1 and a modification of the electronic device 20 shown in FIG.
図5に示す例においても、絶縁基板1の内部のうち凹部3と実装部4bとの間(図5では凹部3の上側)に複数層の配線導体5が配置されている。また、図5に示す例において、絶縁補助層4は互いに積層された複数の副絶縁層7で形成されている。絶縁補助層4は、このように複数の副絶縁層7を含むものであってもよい。副絶縁層7のそれぞれは、上記実施形態の配線基板10における絶縁補助層4(単層のもの)と同じ材料を用い、同様の方法で形成することができる。この場合には、複数の絶縁補助層用のセラミックグリーンシートを絶縁基板1となる複数のセラミックグリーンシートとともに積層し、同時焼成すればよい。 Also in the example shown in FIG. 5, a plurality of layers of wiring conductors 5 are arranged between the recess 3 and the mounting portion 4 b in the insulating substrate 1 (on the upper side of the recess 3 in FIG. 5). In the example shown in FIG. 5, the auxiliary insulation layer 4 is formed of a plurality of sub-insulating layers 7 stacked on each other. The insulating auxiliary layer 4 may include a plurality of sub-insulating layers 7 as described above. Each of the sub-insulating layers 7 can be formed by the same method using the same material as the auxiliary insulating layer 4 (single layer) in the wiring substrate 10 of the above embodiment. In this case, a plurality of ceramic green sheets for auxiliary insulation layers may be laminated together with a plurality of ceramic green sheets to be the insulating substrate 1 and fired simultaneously.
図5に示す例においても、図4に示す例と同様に、凹部3と第2主面1bとの間に複数層の配線導体5が配置されていることによる上記の効果を得ることができる。また、これらの配線導体5と回路導体31との電気絶縁性を効果的に向上させることができる。 In the example shown in FIG. 5 as well, as in the example shown in FIG. 4, the above-described effect can be obtained by arranging a plurality of layers of wiring conductors 5 between the recess 3 and the second main surface 1 b. . In addition, the electrical insulation between the wiring conductor 5 and the circuit conductor 31 can be effectively improved.
また、図5に示す例のように絶縁補助層4が複数の層(副絶縁層7)からなる場合には、配線導体5と回路導体31との電気絶縁性のより一層の向上に有効である。すなわち、仮に複数の副絶縁層7の1つの層が空隙を有していたとしても、その1つの層の空隙は他の副絶縁層7によって効果的に塞ぐことができる。また、複数の副絶縁層7がそれぞれに空隙を有していたとしても、それらの空隙が互いに上下につながる可能性が小さい。 Further, when the auxiliary insulation layer 4 is composed of a plurality of layers (sub-insulating layer 7) as in the example shown in FIG. 5, it is effective for further improving the electrical insulation between the wiring conductor 5 and the circuit conductor 31. is there. That is, even if one layer of the plurality of sub-insulating layers 7 has voids, the voids in the one layer can be effectively blocked by the other sub-insulating layers 7. Further, even if the plurality of sub-insulating layers 7 have gaps in each, the possibility that these gaps are connected to each other vertically is small.
つまり、1つの副絶縁層7に含まれている空隙は、その副絶縁層7と接する他の1つの副絶縁層7のうち空隙が存在しない部分によって塞がれる。言い換えれば、複数の副絶縁層7が互いに空隙を塞ぎ合うことができる。さらに、複数の副絶縁層7の空隙が第2主面1b側の絶縁層2の空隙とつながり合う可能性はさらに小さい。そのため、配線導体5と回路導体31との電気絶縁性が効果的に向上する。 That is, a void included in one sub-insulating layer 7 is blocked by a portion of the other one sub-insulating layer 7 in contact with the sub-insulating layer 7 where no void exists. In other words, the plurality of sub-insulating layers 7 can close the gaps. Further, the possibility that the gaps of the plurality of sub-insulating layers 7 are connected to the gaps of the insulating layer 2 on the second main surface 1b side is even smaller. Therefore, the electrical insulation between the wiring conductor 5 and the circuit conductor 31 is effectively improved.
また、仮に絶縁補助層4の厚みが一定としたときには、絶縁補助層4が単層である場合よりも、絶縁補助層4が複数の副絶縁層7からなる場合の方が、上記のように複数の副絶縁層7同士で互いに空隙を塞ぐことも容易であるため、配線導体5と外部との電気絶縁性が向上する可能性が大きい。 Further, if the thickness of the auxiliary insulation layer 4 is constant, the case where the auxiliary insulation layer 4 is composed of a plurality of sub-insulation layers 7 as compared with the case where the auxiliary insulation layer 4 is a single layer as described above. Since it is easy to close the gap between the plurality of sub-insulating layers 7, there is a high possibility that the electrical insulation between the wiring conductor 5 and the outside is improved.
また、図5に示す例において、複数の副絶縁層7のそれぞれの厚みが、絶縁層2の厚みよりも大きい。この場合には、比較的厚い副絶縁層7によって、配線導体5の外部に対する電気絶縁性を効果的に向上させることができる。 In the example shown in FIG. 5, the thickness of each of the plurality of sub-insulating layers 7 is larger than the thickness of the insulating layer 2. In this case, the relatively thick sub-insulating layer 7 can effectively improve the electrical insulation with respect to the outside of the wiring conductor 5.
なお、複数の副絶縁層7は、その全部が絶縁層2よりも厚いものでなくてもよい。この場合にも、比較的厚い副絶縁層7が含まれていることによって、配線導体5の外部に対する電気絶縁性を高めることができる。 Note that the plurality of sub-insulating layers 7 may not all be thicker than the insulating layer 2. Also in this case, by including the relatively thick sub-insulating layer 7, the electrical insulation with respect to the outside of the wiring conductor 5 can be enhanced.
図5に示す例において、回路導体31がバスバーであり、電子部品21が電流センサ素子等のセンサ素子であってもよい。すなわち、電子モジュール30は、回路導体31がバスバーを含んでおり、電子部品21がセンサ素子であるものでも構わない。 In the example shown in FIG. 5, the circuit conductor 31 may be a bus bar, and the electronic component 21 may be a sensor element such as a current sensor element. That is, in the electronic module 30, the circuit conductor 31 may include a bus bar and the electronic component 21 may be a sensor element.
回路導体31としてのバスバーは、例えば、接合材等(図示せず)によって実装部4bに直接に接合されていてもよく、実装部4bに単に接するように配置されていてもよい。回路導体31が実装部4bに直接に接合されない場合には、両者がそれぞれ筐体等の別の部材
(図示せず)に固定されて、互いに所定の位置関係で配置される。
The bus bar as the circuit conductor 31 may be directly bonded to the mounting portion 4b by, for example, a bonding material or the like (not shown), or may be disposed so as to be simply in contact with the mounting portion 4b. When the circuit conductor 31 is not directly joined to the mounting portion 4b, both are fixed to another member (not shown) such as a casing and arranged in a predetermined positional relationship with each other.
上記の各例において、例えば図3に示す例のように、回路導体31は、その幅が絶縁基板1の幅(長方形板状の絶縁基板1の短辺方向の寸法)よりも大きいもの(バスバー等)でもよい。これによって、例えば発電機または大容量電池等を含む他の電子部品間の大電流の送受が可能になっている。 In each of the above examples, as in the example shown in FIG. 3, for example, the circuit conductor 31 has a width greater than the width of the insulating substrate 1 (the dimension in the short side direction of the rectangular plate-shaped insulating substrate 1) (bus bar Etc.). Thereby, for example, a large current can be transmitted and received between other electronic components including a generator or a large capacity battery.
この回路導体31に対して電子部品21は電磁的な結合が可能であり、回路導体31を流れる電流の大きさの測定、電磁的な状態の変動等の検知ができるように配置されている。例えば前述したように電子部品21が電流センサ素子であれば、回路導体31を流れる電流の大きさを測定することができる。これによって、例えば、回路導体31と電気的に接続された電池の容量、発電量または放射される電磁波の大きさ等の情報を検知(モニタリング)することができる。 The electronic component 21 can be electromagnetically coupled to the circuit conductor 31 and is arranged so as to be able to measure the magnitude of the current flowing through the circuit conductor 31 and to detect fluctuations in the electromagnetic state. For example, if the electronic component 21 is a current sensor element as described above, the magnitude of the current flowing through the circuit conductor 31 can be measured. Thereby, for example, information such as the capacity of the battery electrically connected to the circuit conductor 31, the amount of power generation, or the magnitude of the radiated electromagnetic wave can be detected (monitored).
なお、本発明の配線基板、電子装置および電子モジュールは、以上の実施の形態に限定されるものではなく、本発明の要旨の範囲内であれば種々の変更は可能である。例えば、絶縁基板1および絶縁補助層4の少なくとも一方の外表面(つまり積層体6の外表面)に、回路導体31に対する位置合わせ用のマーク(図示せず)が設けられていてもよい。位置合わせ用のマークとしては、例えば、配線導体5と同様の金属材料からなるパターン、および凹部または凸部等であって回路導体の凸部または凹部(図示せず)にはめ合わせられるような部分等が挙げられる。また、このような位置合わせ用のマークは、回路導体31の方に設けられていてもよく、配線基板1(積層体6)および回路導体31の両方に設けられていてもよい。 The wiring board, electronic device, and electronic module of the present invention are not limited to the above embodiments, and various modifications can be made within the scope of the present invention. For example, a mark (not shown) for alignment with the circuit conductor 31 may be provided on at least one outer surface of the insulating substrate 1 and the auxiliary insulating layer 4 (that is, the outer surface of the multilayer body 6). Examples of the alignment mark include a pattern made of the same metal material as that of the wiring conductor 5 and a concave or convex portion that can be fitted to the convex or concave portion (not shown) of the circuit conductor. Etc. Such alignment marks may be provided on the circuit conductor 31, or may be provided on both the wiring board 1 (laminated body 6) and the circuit conductor 31.
1・・・絶縁基板
1a・・・第1主面
1b・・・第2主面
2・・・絶縁層
3・・・凹部
4・・・絶縁補助層
4a・・(絶縁補助層の)外表面
4b・・・実装部
5・・・配線導体
6・・・積層体
7・・・副絶縁層
10・・・配線基板
20・・・電子装置
21・・・電子部品
22・・・ボンディングワイヤ
23・・・蓋体
30・・・電子モジュール
31・・・回路導体
41・・・外部配線基板
42・・・外部配線導体
43・・・金属バンプ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Insulating substrate 1a ... 1st main surface 1b ... 2nd main surface 2 ... Insulating layer 3 ... Recessed part 4 ... Insulating auxiliary layer 4a ... (outside of insulating auxiliary layer) Surface 4b ... Mounting part 5 ... Wiring conductor 6 ... Laminated body 7 ... Sub-insulating layer
10 ... wiring board
20 ... Electronic device
21 ... Electronic components
22: Bonding wire
23 ... Lid
30 ・ ・ ・ Electronic module
31 ... Circuit conductor
41 ... External wiring board
42 ... External wiring conductor
43 ... Metal bump
Claims (6)
前記第2主面を被覆している絶縁補助層と、
前記凹部内から前記第1主面にかけて設けられた配線導体とを備えており、
前記絶縁補助層の外表面が外部の回路導体に対向して配置される実装部を含んでいるとともに、前記絶縁補助層には前記配線導体が設けられていないことを特徴とする配線基板。 An insulating substrate having a first main surface including a recessed portion in which a plurality of insulating layers are stacked and an electronic component is accommodated, and a second main surface opposite to the first main surface;
An auxiliary insulation layer covering the second main surface;
A wiring conductor provided from the inside of the recess to the first main surface,
A wiring board characterized in that an outer surface of the auxiliary insulation layer includes a mounting portion arranged to face an external circuit conductor, and the auxiliary wiring layer is not provided with the wiring conductor.
前記凹部内に収容された電子部品とを備えることを特徴とする電子装置。 The wiring board according to claim 1;
An electronic device comprising: an electronic component housed in the recess.
該電子装置の前記実装部に対向して配置された回路導体とを備えていることを特徴とする電子モジュール。 An electronic device according to claim 4,
An electronic module comprising: a circuit conductor disposed to face the mounting portion of the electronic device.
The electronic module according to claim 5, wherein the circuit conductor includes a bus bar, and the electronic component is a sensor element.
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