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JP2017087301A - ロボット、制御装置およびロボットシステム - Google Patents

ロボット、制御装置およびロボットシステム Download PDF

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Abstract

【課題】ロボットが干渉しないようにするための空間を小さくすることができるロボット、制御装置およびロボットシステムを提供すること。
【解決手段】ロボット1は、第1回動軸O1周りに回動可能な第1アーム12と、第1アーム12に、第1回動軸O1の軸方向とは異なる軸方向である第2回動軸O2周りに回動可能に設けられた第2アーム13と、慣性センサー51、52と、を備え、第2回動軸O2の軸方向から見て、第1アーム12と第2アーム13とが重なることが可能である。
【選択図】図1

Description

本発明は、ロボット、制御装置およびロボットシステムに関するものである。
従来、ロボットアームを備えたロボットが知られている。ロボットアームは複数のアーム(アーム部材)が関節部を介して連結され、最も先端側(最も下流側)のアームには、エンドエフェクターとして、例えば、ハンドが装着される。関節部はモーターにより駆動され、その関節部の駆動により、アームが回動する。そして、ロボットは、例えば、ハンドで対象物を把持し、その対象物を所定の場所へ移動させ、組立等の所定の作業を行う。
このようなロボットとして、特許文献1には、垂直多関節ロボットが開示されている。特許文献1に記載のロボットは、基台に対してハンドを、最も基端側(最も上流側)の回動軸(鉛直方向に延びる回動軸)である第1回動軸周りに180°異なる位置に移動させる際、基台に対して最も基端側(基台側)のアームである第1アームを、前記第1回動軸周りに回動させることにより行う構成になっている。
特開2014−46401号公報
特許文献1に記載のロボットでは、ハンドを基台に対して第1回動軸周りに180°異なる位置に移動させる場合に、ロボットが干渉しないようにするための大きな空間を必要とする。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の本発明により実現することが可能である。
本発明のロボットは、第n(nは1以上の整数)回動軸周りに回動可能な第nアームと、
前記第nアームに、前記第n回動軸の軸方向とは異なる軸方向である第(n+1)回動軸周りに回動可能に設けられた第(n+1)アームと、
第1慣性センサーと、を備え、
前記第(n+1)回動軸の軸方向から見て、前記第nアームと前記第(n+1)アームとが重なることが可能であることを特徴とする。
このようなロボットによれば、第(n+1)回動軸の軸方向から見て、第nアームと前記第(n+1)アームとが重なることが可能であるため、ロボットが干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。また、第1慣性センサーの出力に基づいて、ロボットの振動を低減することができる。
本発明のロボットでは、前記第nアームの長さは、前記第(n+1)アームの長さよりも長いことが好ましい。
これにより、第nアームと第(n+1)アームとの干渉を回避しつつ、第(n+1)回動軸の軸方向から見て、第nアームと第(n+1)アームとが重なることが可能なロボットを実現することができる。
本発明のロボットでは、基台を備え、
前記第nアーム(nは1である)は、前記基台に前記第n回動軸周りに回動可能に設けられていることが好ましい。
これにより、基台に対して第nアームおよび第(n+1)アームを回動させることができる。
本発明のロボットでは、前記第1慣性センサーは、前記第nアームに設けられていることが好ましい。
これにより、第1慣性センサーの出力を用いて第nアームの振動を高精度に検出することができる。そのため、第1慣性センサーの出力に基づいて、第nアームの振動を比較的簡単な制御で低減することができる。ここで、一般に、第nアームおよび第(n+1)アームを含むロボットアームの先端側の振動は、より基端側にあるアームの回動軸周りの振動の影響を受けやすい。そのため、ロボットアームの先端の振動を低減するには、より基端側にあるアームの振動を優先的に低減することが効果的である。
本発明のロボットでは、前記第(n+1)アームに設けられた第2慣性センサーを備えることが好ましい。
これにより、第2慣性センサーの出力に基づいて、第(n+1)アームの振動を比較的簡単な制御で低減することができる。
本発明のロボットでは、前記第(n+1)アームに、前記第(n+1)回動軸の軸方向と平行な軸方向である第(n+2)回動軸周りに回動可能に設けられた第(n+2)アームと、
前記第(n+2)アームに設けられた第2慣性センサーと、を備えることが好ましい。
これにより、第2慣性センサーの出力に基づいて、第(n+1)アームおよび第(n+2)アームの振動を低減することができる。
本発明のロボットでは、前記第1慣性センサーは、前記第n回動軸の軸方向と平行な軸方向である検出軸を有することが好ましい。
これにより、第1慣性センサーとして例えば角速度センサーを用いた場合に、第1慣性センサーの出力を用いて第nアームの第n回動軸周りの振動を高精度に検出することができる。そのため、ロボットの振動を効率的に低減することができる。
本発明のロボットでは、前記第1慣性センサーは、角速度センサーであることが好ましい。
これにより、第1慣性センサーの出力を用いて第nアームの第n回動軸周りの振動を高精度に検出することができる。
本発明のロボットでは、前記第1慣性センサーは、前記第n回動軸の軸方向と異なる軸方向である検出軸を有することが好ましい。
これにより、第1慣性センサーとして例えば加速度センサーを用いた場合に、第1慣性センサーの出力を用いて第nアームの第n回動軸周りの振動を高精度に検出することができる。そのため、ロボットの振動を効率的に低減することができる。
本発明のロボットでは、前記第1慣性センサーは、加速度センサーであることが好ましい。
これにより、第1慣性センサーの出力を用いて第nアームの第n回動軸周りの振動を高精度に検出することができる。
本発明のロボットでは、前記第2慣性センサーは、前記第(n+1)回動軸の軸方向と平行な軸方向である検出軸を有することが好ましい。
これにより、第2慣性センサーとして例えば角速度センサーを用いた場合に、第2慣性センサーの出力を用いて第(n+1)アームの第(n+1)回動軸周りの振動を高精度に検出することができる。そのため、ロボットの振動を効率的に低減することができる。
本発明のロボットでは、前記第2慣性センサーは、前記第(n+1)回動軸の軸方向と異なる軸方向である検出軸を有することが好ましい。
これにより、第2慣性センサーとして例えば加速度センサーを用いた場合に、第2慣性センサーの出力を用いて第(n+1)アームの第(n+1)回動軸周りの振動を高精度に検出することができる。そのため、ロボットの振動を効率的に低減することができる。
本発明のロボットでは、前記第1慣性センサーは、互いに異なる軸方向である複数の検出軸を有することが好ましい。
これにより、第1慣性センサーの出力を用いてロボットの互いに異なる方向の振動を検出することができる。そのため、第1慣性センサーの出力に基づいて、ロボットの複数方向での振動を低減することができる。
本発明のロボットでは、前記第1慣性センサーは、3軸角速度センサーであることが好ましい。
これにより、第1慣性センサーが第nアームよりも先端側のアームに設けられていても、第1慣性センサーの出力を用いて第nアームの所望方向の振動を検出し、第1慣性センサーの出力に基づいて、第nアームの所望方向の振動を低減することができる。また、第1慣性センサーの設置姿勢がいかなるものであっても、設置箇所における所望方向の振動を検出することができる。そのため、第1慣性センサーの設置の自由度が増す。
本発明のロボットでは、前記第1慣性センサーの出力に基づいて、振動を低減することが好ましい。
これにより、振動を低減したロボットを提供することができる。
本発明の制御装置は、本発明のロボットの動作を制御することを特徴とする。
このような制御装置によれば、ロボットが干渉しないようにするための空間を小さくすることができるロボットの動作を制御することができる。また、かかるロボットの振動を低減することができる。
本発明のロボットシステムは、本発明のロボットと、
前記ロボットの動作を制御する制御装置と、を備えることを特徴とする。
このようなロボットシステムによれば、ロボットが干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。また、かかるロボットの振動を低減することができる。
本発明の第1実施形態に係るロボットシステムを示す概略構成図である。 図1に示すロボットの模式図である。 図1に示すロボットの第1アーム、第2アームおよび第3アームが重なっていない状態の概略側面図である。 図1に示すロボットの第1アーム、第2アームおよび第3アームが重なっている状態の概略側面図である。 図1に示すロボットの動作を説明するための図である。 図5に示すロボットの動作におけるハンドの移動経路を示す図である。 図1に示すロボットが備える慣性センサー(角速度センサー)を説明するための図である。 本発明の第2実施形態に係るロボットシステムのロボットが備える慣性センサー(角速度センサー)を説明するための図である。 本発明の第3実施形態に係るロボットシステムのロボットが備える慣性センサー(角速度センサー)を説明するための図である。 本発明の第4実施形態に係るロボットシステムのロボットが備える慣性センサー(加速度センサー)を説明するための図である。
以下、本発明のロボット、制御装置およびロボットシステムを添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。
[第1実施形態]
≪ロボットシステム≫
図1は、本発明の第1実施形態に係るロボットシステムを示す概略構成図である。図2は、図1に示すロボットの模式図である。
なお、以下では、説明の都合上、図1中の上側を「上」または「上方」、下側を「下」または「下方」と言う。また、図1中の基台側を「基端」または「上流」、その反対側(ハンド側)を「先端」または「下流」と言う。また、図1中の上下方向を「鉛直方向」とし、左右方向を「水平方向」とする。なお、本明細書において、2つの軸が互いに「平行」とは、当該2つの軸のうちの一方の軸が他方の軸に対して5°以下の範囲内で傾斜している場合も含む。
図1に示すロボットシステム100は、ロボット1と、ロボット1の作動を制御する制御装置5と、を備えている。このロボットシステム100は、例えば、腕時計のような精密機器等を製造する製造工程等で用いることができる。
<ロボット>
図1に示すロボット1は、精密機器やこれを構成する部品(対象物)の給材、除材、搬送および組立等の作業を行うことができる。
このロボット1は、基台11と、ロボットアーム10と、を有している。ロボットアーム10は、第1アーム12(第nアーム)、第2アーム13(第(n+1)アーム)、第3アーム14(第(n+2)アーム)、第4アーム15、第5アーム16および第6アーム17(6つのアーム)と、を備えている。すなわち、ロボット1は、基台11と、第1アーム12と、第2アーム13と、第3アーム14と、第4アーム15と、第5アーム16と、第6アーム17とが基端側から先端側に向ってこの順に連結された垂直多関節(6軸)ロボットである。第6アーム17の先端には、例えば、精密機器、部品等を把持するハンド91等のエンドエフェクターを着脱可能に取り付けることができるようになっている。また、ロボット1は、第1駆動源401、第2駆動源402、第3駆動源403、第4駆動源404、第5駆動源405および第6駆動源406(6つの駆動源)と、を備えている。さらに、ロボット1は、慣性センサー51(第1慣性センサー)および慣性センサー52(第2慣性センサー)を備えている。
なお、以下では、第1アーム12、第2アーム13、第3アーム14、第4アーム15、第5アーム16および第6アーム17をそれぞれ「アーム」とも言う。また、第1駆動源401、第2駆動源402、第3駆動源403、第4駆動源404、第5駆動源405および第6駆動源406をそれぞれ「駆動源(駆動部)」とも言う。
(基台)
図1に示すように、基台11は、ロボット1が天吊り型の垂直多関節ロボットの場合、ロボット1の最も上方に位置し、ロボット1の設置スペースの天井101の下面である取り付け面102に固定される部分(取り付けられる部材)である。
なお、本実施形態では、基台11の下部に設けられた板状のフランジ111が、取り付け面102に固定されているが、取り付け面102に固定される部分は、これに限定されず、例えば、基台11の上面であってもよい。また、この固定方法としては、特に限定されず、例えば、複数本のボルトによる固定方法等を採用することができる。
また、基台11の固定箇所としては、設置スペースの天井に限定されず、この他、例えば、設置スペースの壁、床、地上等であってもよい。
(ロボットアーム)
図1に示すロボットアーム10は、基台11に対して回動可能に支持されており、アーム12〜17は、それぞれ、基台11に対し独立して変位可能に支持されている。
第1アーム12は、屈曲した形状をなしている。第1アーム12は、基台11に設けられ、水平方向(第1方向)に延びる第1部分121と、第2アーム13に設けられ、垂直方向(第1方向とは異なる第2方向)に延びる第2部分122と、第1部分121と第2部分122との間に位置し、水平方向および垂直方向に対して傾斜した方向(第1方向および第2方向とは異なる方向)に延びる第3部分123と、を有している。より具体的には、第1アーム12は、基台11に接続され、基台11から鉛直方向下方に延出してから水平方向に延出した第1部分121と、第1部分121の基台11との接続部とは反対側の端部から第1部分121と遠ざかる方向へ傾斜しながら鉛直方向下方に延出した第3部分123と、第3部分123の先端から鉛直方向下方に延出した第2部分122と、を有している。なお、これら第1部分121、第2部分122および第3部分123は、一体で形成されている。また、第1部分121と第2部分122とは、図1の紙面手前から見て(後述する第1回動軸O1および第2回動軸O2の双方と直交する正面視で)、ほぼ直交(交差)している。
第2アーム13は、長手形状をなし、第1アーム12の先端部(第2部分122の第3部分123とは反対の端部)に接続されている。
第3アーム14は、長手形状をなし、第2アーム13の第1アーム12が接続されている端部とは反対の端部に接続されている。第3アーム14は、第2アーム13に接続され、第2アーム13から水平方向に延出した第1部分141と、第1部分141から鉛直方向に延出した第2部分142と、を有している。なお、これら第1部分141および第2部分142は、一体で形成されている。また、第1部分141と第2部分142とは、図1の紙面手前から見て(後述する第3回動軸O3および第4回動軸O4の双方と直交する正面視で)、ほぼ直交(交差)している。
第4アーム15は、第3アーム14の第2アーム13が接続されている端部とは反対の端部に接続されている。第4アーム15は、互いに対向する1対の支持部151、152を有している。支持部151、152は、第5アーム16との接続に用いられる。
第5アーム16は、支持部151、152の間に位置し、支持部151、152に接続されることで第4アーム15と連結している。なお、第4アーム15は、この構造に限らず、例えば、支持部が1つ(片持ち)であってもよい。
第6アーム17は、平板状をなし、第5アーム16の先端部に接続されている。また、第6アーム17の先端部(第5アーム16と反対側の端部)には、ハンド91が着脱可能に装着される。ハンド91としては、特に限定されず、例えば、複数本の指部(フィンガー)を有する構成のものが挙げられる。
なお、前述した各アーム12〜17の外装(外形を構成する部材)は、それぞれ、1つの部材で構成されていてもよいし、複数の部材で構成されていてもよい。
次に、図2を参照しつつ、アーム12〜17の駆動とともに駆動源401〜406について説明する。
図2に示すように、基台11と第1アーム12とは、関節(接続部分)171を介して連結されている。なお、関節171は、基台11に含まれていてもよく、また、含まれていなくてもよい。
関節171は、基台11に連結された第1アーム12を基台11に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第1アーム12は、基台11に対し、鉛直方向と平行な第1回動軸O1(第n回動軸)を中心に(第1回動軸O1周りに)回動可能となっている。また、第1回動軸O1は、ロボット1の最も上流側にある回動軸である。この第1回動軸O1周りの回動は、モーター401Mを有する第1駆動源401の駆動によりなされる。また、第1駆動源401のモーター401Mは、ケーブル(図示せず)を介してモータードライバー301に電気的に接続されていて、モータードライバー301を介して制御部(図示せず)により制御される。なお、第1駆動源401はモーター401Mとともに設けた減速機(図示せず)によってモーター401Mからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。
また、第1アーム12と第2アーム13とは、関節(接続部分)172を介して連結されている。関節172は、互いに連結された第1アーム12と第2アーム13のうちの一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第2アーム13は、第1アーム12に対し、水平方向と平行な第2回動軸O2(第(n+1)回動軸)を中心に(第2回動軸O2周りに)回動可能となっている。第2回動軸O2は、第1回動軸O1と直交している。この第2回動軸O2周りの回動は、モーター402Mを有する第2駆動源402の駆動によりなされる。また、第2駆動源402のモーター402Mは、ケーブル(図示せず)を介してモータードライバー302に電気的に接続されていて、モータードライバー302を介して制御部(図示せず)により制御される。なお、第2駆動源402はモーター402Mとともに設けた減速機(図示せず)によってモーター402Mからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。また、第2回動軸O2は、第1回動軸O1に直交する軸と平行であってもよく、また、第2回動軸O2は、第1回動軸O1と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。
また、第2アーム13と第3アーム14とは、関節(接続部分)173を介して連結されている。関節173は、互いに連結された第2アーム13と第3アーム14のうちの一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第3アーム14は、第2アーム13に対して、水平方向と平行な第3回動軸O3(第(n+2)回動軸)を中心に(第3回動軸O3周りに)回動可能となっている。第3回動軸O3は、第2回動軸O2と平行である。この第3回動軸O3周りの回動は、第3駆動源403の駆動によりなされる。また、第3駆動源403のモーター403Mは、ケーブル(図示せず)を介してモータードライバー303に電気的に接続されていて、モータードライバー303を介して制御部(図示せず)により制御される。なお、第3駆動源403はモーター403Mとともに設けた減速機(図示せず)によってモーター403Mからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。
また、第3アーム14と第4アーム15とは、関節(接続部分)174を介して連結されている。関節174は、互いに連結された第3アーム14と第4アーム15のうちの一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第4アーム15は、第3アーム14に対し、第3アーム14の中心軸方向と平行な第4回動軸O4を中心に(第4回動軸O4周りに)回動可能となっている。第4回動軸O4は、第3回動軸O3と直交している。この第4回動軸O4周りの回動は、第4駆動源404の駆動によりなされる。また、第4駆動源404のモーター404Mは、ケーブル(図示せず)を介してモータードライバー304に電気的に接続されていて、モータードライバー304を介して制御部(図示せず)により制御される。なお、第4駆動源404はモーター404Mとともに設けた減速機(図示せず)によってモーター404Mからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。また、第4回動軸O4は、第3回動軸O3に直交する軸と平行であってもよく、また、第4回動軸O4は、第3回動軸O3と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。
また、第4アーム15と第5アーム16とは、関節(接続部分)175を介して連結されている。関節175は、互いに連結された第4アーム15と第5アーム16の一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第5アーム16は、第4アーム15に対し、第4アーム15の中心軸方向と直交する第5回動軸O5を中心に(第5回動軸O5周りに)回動可能となっている。第5回動軸O5は、第4回動軸O4と直交している。この第5回動軸O5周りの回動は、第5駆動源405の駆動によりなされる。また、第5駆動源405のモーター405Mは、ケーブル(図示せず)を介してモータードライバー305に電気的に接続されていて、モータードライバー305を介して制御部(図示せず)により制御される。なお、第5駆動源405はモーター405Mとともに設けた減速機(図示せず)によってモーター405Mからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。また、第5回動軸O5は、第4回動軸O4に直交する軸と平行であってもよく、また、第5回動軸O5は、第4回動軸O4と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。
また、第5アーム16と第6アーム17とは、関節(接続部分)176を介して連結されている。関節176は、互いに連結された第5アーム16と第6アーム17の一方を他方に対し回動可能に支持する機構を有している。これにより、第6アーム17は、第5アーム16に対し、第6回動軸O6を中心に(第6回動軸O6周りに)回動可能となっている。第6回動軸O6は、第5回動軸O5と直交している。この第6回動軸O6周りの回動は、第6駆動源406の駆動によりなされる。また、第6駆動源406のモーター406Mは、ケーブル(図示せず)を介してモータードライバー306に電気的に接続されていて、モータードライバー306を介して制御部(図示せず)により制御される。なお、第6駆動源406はモーター406Mとともに設けた減速機(図示せず)によってモーター406Mからの駆動力を伝達するように構成してもよく、また、減速機が省略されていてもよい。また、第6回動軸O6は、第4回動軸O4に直交する軸と平行であってもよく、また、第6回動軸O6は、第5回動軸O5に直交する軸と平行であってもよく、また、第6回動軸O6は、第5回動軸O5と直交していなくても、軸方向が互いに異なっていればよい。
そして、このような駆動をするロボット1は、第6アーム17の先端部に接続されたハンド91で精密機器、部品等を把持したまま、各アーム12〜17等の動作を制御することにより、当該精密機器や部品の搬送等の各作業を行うことができる。なお、ハンド91の駆動は、制御装置5により制御される。
(慣性センサー)
図1に示す慣性センサー51、52は、それぞれ、角速度センサー(ジャイロセンサー)である。本実施形態では、慣性センサー51(第1慣性センサー)は、第1アーム12の第1部分121に設けられ、第1アーム12の振動を含むアームの動作を検出する機能を有する。また、慣性センサー52(第2慣性センサー)は、第2アーム13に設けられ、第2アーム13の振動を含むアームの動作を検出する機能を有する。これら慣性センサー51、52は、それぞれ、検出したアームの動作に応じた信号を出力する。慣性センサー51、52としては、それぞれ、角速度を検出することができれば特に限定されないが、例えば、シリコンまたは水晶を用いて構成された振動素子を有する振動型の角速度センサーを用いることができる。
このような制御装置5によれば、ロボット1の動作を制御することができる。特に、制御装置5は、慣性センサー51、52の出力に基づいて、ロボット1の振動を低減することができる。なお、慣性センサー51、52については、後に詳述する。
<制御装置>
図1に示す制御装置5は、ロボット1の動作を制御する機能を有する。特に、制御装置5は、慣性センサー51、52の出力に基づいて、ロボット1の振動を低減する機能を有する。なお、ロボットの振動の低減については、慣性センサー51、52の説明とともに後に詳述する。
この制御装置5は、例えば、CPU(Central Processing Unit)が内蔵されたパーソナルコンピューター(PC)等で構成することができる。なお、制御装置5は、本実施形態ではロボット1とは別体で設けられているが、ロボット1に内蔵されていてもよい。
以上、ロボット1の基本的な構成について簡単に説明した。このような構成のロボット1は、前述したように、6つ(複数)のアーム12〜17を有する垂直多関節ロボットであるため、駆動範囲が広く、高い作業性を発揮することができる。
また、このロボット1は、前述したように、第1アーム12の基端側が基台11に取り付けられており、これにより、各アーム12〜17を基台11に対して回動させることができる。そして、ロボット1は、基台11が天井101に取り付けられている天吊り型であり、基台11と第1アーム12との接続部分である関節171が、第1アーム12と第2アーム13との接続部分である関節172より鉛直方向上方に位置している。このため、ロボット1よりも鉛直下方側におけるロボット1の作業範囲をより広くすることができる。
次に、図3、図4、図5および図6を参照しつつ、各アーム12〜17の関係について説明する。
図3は、図1に示すロボットの第1アーム、第2アームおよび第3アームが重なっていない状態の概略側面図である。図4は、図1に示すロボットの第1アーム、第2アームおよび第3アームが重なっている状態の概略側面図である。図5は、図1に示すロボットの動作を説明するための図である。図6は、図5に示すロボットの動作におけるハンドの移動経路を示す図である。
なお、以下の説明では、第3アーム14、第4アーム15、第5アーム16および第6アーム17については、これらを真っ直ぐに伸ばした状態、換言すれば、図3および図4に示すように、第4回動軸O4と第6回動軸O6とが一致しているか、または平行である状態で考えることとする。
まず、図3に示すように、第1アーム12の長さL1は、第2アーム13の長さL2よりも長く設定されている。
ここで、第1アーム12の長さL1とは、第2回動軸O2の軸方向から見て、第2回動軸O2と、取り付け面102(図1参照)との間の距離である。また、第2アーム13の長さL2とは、第2回動軸O2の軸方向から見て、第2回動軸O2と、第3回動軸O3との間の距離である。なお、第1アーム12の長さL1を、第2回動軸O2の軸方向から見て、第2回動軸O2と、第1アーム12を回動可能に支持する軸受部61(関節171が有する部材)の図3中の左右方向に延びる中心線611との間の距離と捉えてもよい。また、第1アーム12の長さL1を、第2回動軸O2の軸方向から見て、第1アーム12の先端面と取り付け面102との間の距離と捉え、また、第2アーム13の長さL2を、第2回動軸O2の軸方向から見て、第2アーム13の先端面と第2アーム13の基端面との間の距離と捉えてもよい。
また、図3および図4に示すように、ロボット1は、第2回動軸O2の軸方向から見て、第1アーム12と第2アーム13とのなす角度θを0°にすることが可能なように構成されている。すなわち、ロボット1は、第2回動軸O2の軸方向から見て、第1アーム12と第2アーム13とが重なることが可能なように構成されている。特に、前述したように、第1アーム12の長さL1は、第2アーム13の長さL2よりも長く設定されているため、第2回動軸O2の軸方向から見て、第1アーム12と第2アーム13とが重なった場合、第2アーム13が第1アーム12に干渉しないように構成されている。
ここで、前記第1アーム12と第2アーム13とのなす角度θとは、第2回動軸O2の軸方向から見て、第2回動軸O2と第3回動軸O3とを通る直線(第2回動軸O2の軸方向から見た場合の第2アーム13の中心軸)621と、第1回動軸O1とのなす角度である(図3参照)。
また、図4に示すように、ロボット1は、第2回動軸O2の軸方向から見て、第2アーム13と、第3アーム14とが重なることが可能なように構成されている。したがって、ロボット1は、第2回動軸O2の軸方向から見て、第1アーム12と、第2アーム13と、第3アーム14とが同時に重なることが可能なように構成されている。
また、図3に示すように、第3アーム14、第4アーム15および第5アーム16の合計の長さL3は、第2アーム13の長さL2よりも長く設定されている。これにより、図4に示すように、第2回動軸O2の軸方向から見て、第2アーム13と第3アーム14とを重ねたとき、第2アーム13からロボットアーム10の先端、すなわち、第6アーム17の先端を突出させることができる。これによって、ハンド91が、第1アーム12および第2アーム13と干渉することを防止することができる。
ここで、第3アーム14、第4アーム15および第5アーム16の合計の長さL3とは、第2回動軸O2の軸方向から見て、第3回動軸O3と第5回動軸O5との間の距離である(図4参照)。この場合、第3アーム14、第4アーム15および第5アーム16は、図4に示すような第4回動軸O4と第6回動軸O6とが一致しているか、または平行である状態である。
このようなロボットアーム10を有するロボット1では、上記のような関係を満たすことにより、図5に示すように、第1アーム12を回動させずに、第2アーム13、第3アーム14を回動させることにより、第2回動軸O2の軸方向から見て第1アーム12と第2アーム13とのなす角度θが0°となる状態(第1アーム12と第2アーム13とが重なった状態)を経て、ハンド91(第3アーム14の先端)を第1回動軸O1周りに180°異なる位置に移動させることができる。
このようなロボットアーム10の駆動により、ロボット1は、図6に示すように、ハンド91を矢印62、63で示すように移動させる動作を行わずに、ハンド91を矢印64で示すように移動させる動作を行うことができる。すなわち、ロボット1は、第1回動軸O1の軸方向から見て、ハンド91(ロボットアーム10の先端)を直線上に移動させる動作を行うことができる。これより、ロボット1が干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。このため、ロボット1を設置するための設置スペースの面積S(設置面積)を、従来よりも小さくすることができる。
具体的には、図6に示すように、ロボット1の設置スペースの幅Wを、従来の設置スペースの幅WXより小さく、例えば、幅WXの80%以下にすることができる。このため、ロボット1の幅方向(生産ラインの方向)の稼働領域を小さくすることができる。これにより、ロボット1を生産ラインに沿って単位長さ当たりに多く配置することができ、生産ラインを短縮することができる。
また、同様に、ロボット1の設置スペースの高さ(鉛直方向の長さ)を従来の高さより低く、具体的には、例えば従来の高さの80%以下にすることができる。
また、ハンド91を矢印64で示すように移動させる動作を行うことが可能であるため、ハンド91を第1回動軸O1周りに180°異なる位置に移動させる際、例えば、第1アーム12を回動させないか、または、第1アーム12の回動角(回動量)を小さくすることができる。第1アーム12の第1回動軸O1周りの回動角を小さくすることで、第1回動軸O1の軸方向から見て、基台11よりも外側に張り出している部分(第2部分122および第3部分123)を有する第1アーム12の回動を小さくすることができるため、ロボット1の周辺機器との干渉を少なくすることができる。
また、ハンド91を矢印64で示すように移動させる動作を行うことが可能であるため、ロボット1の動きを少なくすることができ、よって、ロボット1を効率良く駆動することができる。そのため、タクトタイムを短縮することができ、作業効率を向上させることができる。また、ロボットアーム10の先端を直線上に移動させることができるため、ロボット1の動きを把握し易い。
ここで、上述したようなロボット1のハンド91(ロボットアーム10の先端)を第1回動軸O1周りに180°異なる位置に移動させる動作を、従来のロボットのように単純に第1アーム12を第1回動軸O1周りに回動させて実行しようとすると、ロボット1が周辺装置に干渉する虞があるので、その干渉を回避するための退避点をロボット1に教示する必要がある。例えば、第1アーム12のみを第1回動軸O1周りに90°回転させるとロボット1が周辺装置にも干渉する場合には、周辺装置に干渉しないよう、多数の退避点をロボット1に教示する必要がある。このように従来のロボットでは、多数の退避点を教示することが必要であり、膨大な数の退避点が必要になり、教示に多くの手間および長い時間を要する。
これに対し、ロボット1では、ハンド91を第1回動軸O1周りに180°異なる位置に移動させる動作を実行する場合、干渉する虞がある領域や部分が非常に少なくなるため、教示する退避点の数を低減することができ、教示に要する手間および時間を低減することができる。すなわち、ロボット1では、教示する退避点の数は、例えば、従来のロボットの1/3程度になり、飛躍的に教示が容易になる。
また、ロボット1では、第3アーム14および第4アーム15の図1中の右側の二点鎖線で囲まれた領域(部分)105は、ロボット1がロボット1自身および他の部材と干渉しないか、または干渉し難い領域(部分)である。このため、前記領域105に、所定の部材を搭載した場合、その部材は、ロボット1および周辺装置等に干渉し難い。このため、ロボット1では、領域105に、所定の部材を搭載することが可能である。特に、領域105のうち、第3アーム14の図1中の右側の領域に前記所定の部材を搭載する場合は、その部材が周辺装置(図示せず)と干渉する確率はさらに低くなるので、より効果的である。
前記領域105に搭載可能なものとしては、例えば、ハンド、ハンドアイカメラ等のセンサーの駆動を制御する制御装置、吸着機構の電磁弁等が挙げられる。
具体例としては、例えば、ハンドに吸着機構を設ける場合、領域105に電磁弁等を設置すると、ロボット1が駆動する際に前記電磁弁が邪魔にならない。このように、領域105は、利便性が高い。
また、ロボット1では、天井101と第1アーム12との間において、図1中の左側の二点鎖線で囲まれた領域(部分)106も、前述した領域105と同様、ロボット1がロボット1自身および他の部材と干渉しないか、または干渉し難い領域(部分)である。
次に、図7に基づいて、慣性センサー51、52およびその検出結果を用いた制御(ロボット1の振動を低減する制御)について詳述する。
図7は、図1に示すロボットが備える慣性センサー(角速度センサー)を説明するための図である。
前述したように、ロボット1は、第1アーム12に設けられた慣性センサー51(第1慣性センサー)と、第2アーム13に設けられた慣性センサー52(第2慣性センサー)と、を備えている。
図7に示すように、慣性センサー51は、検出軸α1周りの角速度ω1を検出する1軸タイプの角速度センサーである。この慣性センサー51は、検出軸α1が第1回動軸O1と平行となるように設置されている。本実施形態では、慣性センサー51は、第1アーム12の基端側の部分(第1部分121)に設けられている。
なお、ここで、「検出軸α1が第1回動軸O1と平行」とは、検出軸α1が第1回動軸O1に対して5°以下の範囲で傾斜している場合も含む。また、図7に示す慣性センサー51の設置位置は、一例であり、第1アーム12の第1回動軸O1周りの振動を検出することができれば、図示の位置に限定されず、第1アーム12のいかなる位置であってもよい。また、検出軸α1は、第1回動軸O1と一致していてもよい。また、検出軸α1は、第1回動軸O1に対して傾斜していてもよいが、その場合、第1アーム12の第1回動軸O1周りの振動を効率的に検出する上で、その傾斜角度は、できるだけ小さいことが好ましく、具体的には、45°以下であることが好ましく、10°以下であることがより好ましい。
また、慣性センサー52は、検出軸α2周りの角速度ω2を検出する1軸タイプの角速度センサーである。この慣性センサー52は、検出軸α2が第2回動軸O2と平行となるように設置されている。本実施形態では、慣性センサー52は、第2アーム13の第2回動軸O2と第3回動軸O3との間の部分に設けられている。
なお、ここで、「検出軸α2が第2回動軸O2と平行」とは、検出軸α2が第2回動軸O2に対して5°以下の範囲で傾斜している場合も含む。また、図7に示す慣性センサー52の設置位置は、一例であり、第2アーム13の第2回動軸O2周りの振動を検出することができれば、図示の位置に限定されず、第2アーム13のいかなる位置であってもよい。また、検出軸α2は、第2回動軸O2と一致していてもよい。また、検出軸α2は、第2回動軸O2に対して傾斜していてもよいが、その場合、第2アーム13の第2回動軸O2周りの振動を効率的に検出する上で、その傾斜角度は、できるだけ小さいことが好ましく、具体的には、45°以下であることが好ましく、10°以下であることがより好ましい。
以上説明したような慣性センサー51、52は、図1に示す制御装置5に電気的に接続されている。そして、慣性センサー51、52の出力は、制御装置5に入力される。
制御装置5は、慣性センサー51、52の出力に基づいて、ロボット1の振動を低減する制御を行う。より具体的には、制御装置5は、慣性センサー51の出力に基づいて、第1アーム12に第1回動軸O1周りの振動を低減するように、モーター401Mの駆動を制御する。また、制御装置5は、慣性センサー52の出力に基づいて、第2アーム13に第2回動軸O2周りの振動を低減するように、モーター402Mの駆動を制御する。
一般に、ロボットアーム10の先端側の振動は、より基端側にあるアームの回動軸周りの振動の影響を受けやすい。特に、本実施形態のロボット1のように、ロボットアーム10が有するアーム数が比較的多く、かつ、ロボットアーム10の長さが比較的長く、しかも、第1アーム12よりも先端側のアームが第1アーム12に対して片持ち支持されている構成では、ロボットアーム10の基端側の振動が先端側の振動に与える影響が大きい。そのため、ロボットアーム10の先端の振動を低減するには、より基端側にあるアームの振動を優先的に低減することが効果的である。そこで、本実施形態では、前述したように、ロボットアーム10が有する複数のアームのうち、第1アーム12に慣性センサー51を設けるとともに第2アーム13に慣性センサー52を設けている。
慣性センサー51を第1アームに設けることにより、慣性センサー51の出力を用いて第1アーム12の振動を高精度に検出することができる。そのため、慣性センサー51の出力に基づいて、第1アーム12の振動を比較的簡単な制御で低減することができる。同様に、慣性センサー52が第2アーム13に設けられていることにより、慣性センサー52の出力を用いて第2アーム13の振動を高精度に検出することができる。そのため、慣性センサー52の出力に基づいて、第2アーム13の振動を比較的簡単な制御で低減することができる。
また、角速度センサーである慣性センサー51の検出軸α1の軸方向が第1回動軸O1の軸方向と平行であるため、慣性センサー51の出力を用いて第1アーム12の第1回動軸O1周りの振動を高精度に検出することができる。そのため、ロボット1の振動を効率的に低減することができる。例えば、慣性センサー51の出力に基づいて第1アーム12の振動を低減する際に、制御装置5におけるモーター401Mの動作の制御に必要な演算量を少なくすることができる。また、3軸タイプの角速度センサーを用いる場合に比べて、低コスト化を図ったり第1アーム12の軽量化を図ったりすることもできる。
同様に、角速度センサーである慣性センサー52の検出軸α2の軸方向が第2回動軸O2の軸方向と平行であるため、慣性センサー52の出力を用いて第2アーム13の第2回動軸O2周りの振動を高精度に検出することができる。
以上説明したようなロボットシステム100によれば、ロボット1が干渉しないようにするための空間を小さくすることができる。また、かかるロボット1の振動を低減することができる。
[第2実施形態]
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図8は、本発明の第2実施形態に係るロボットシステムのロボットが備える慣性センサー(角速度センサー)を説明するための図である。
以下、第2実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
図8に示すロボット1Aは、前述した第1実施形態のロボット1の慣性センサー52に代えて、慣性センサー53(第2慣性センサー)を備えている以外は、前述したロボット1と同様である。
慣性センサー53は、第3アーム14に設けられ、検出軸α3周りの角速度ω3を検出する1軸タイプの角速度センサーである。この慣性センサー53は、検出軸α3が第3回動軸O3と平行となるように設置されている。
なお、ここで、「検出軸α3が第3回動軸O3と平行」とは、検出軸α3が第3回動軸O3に対して5°以下の範囲で傾斜している場合も含む。また、図8に示す慣性センサー53の設置位置は、一例であり、第3アーム14の第3回動軸O3周りの振動を検出することができれば、図示の位置に限定されず、第3アーム14のいかなる位置であってもよい。例えば、検出軸α3は、第3回動軸O3と一致していてもよい。また、検出軸α3は、第3回動軸O3に対して傾斜していてもよいが、その場合、第3アーム14の第3回動軸O3周りの振動を効率的に検出する上で、その傾斜角度は、できるだけ小さいことが好ましく、具体的には、45°以下であることが好ましく、10°以下であることがより好ましい。
このように慣性センサー53が第3アーム14に設けられているため、慣性センサー53の出力に基づいて、第2アーム13および第3アーム14の双方の振動を低減することができる。
以上説明した第2実施形態によっても、ロボット1Aが干渉しないようにするための空間を小さくするとともに、ロボット1Aの振動を低減することができる。
[第3実施形態]
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
図9は、本発明の第3実施形態に係るロボットシステムのロボットが備える慣性センサー(角速度センサー)を説明するための図である。
以下、第3実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
図9に示すロボット1Bは、前述した第1実施形態のロボット1の慣性センサー51、52に代えて、慣性センサー53B(第1慣性センサー)を備えている以外は、前述したロボット1と同様である。
慣性センサー53Bは、第3アーム14に設けられ、互いに直交する検出軸α3x、α3y、α3z周りの角速度ω3x、ω3y、ω3zを検出する3軸タイプの角速度センサーである。この慣性センサー53Bは、検出軸α3xが第3回動軸O3と平行となるように設置されている。この慣性センサー53Bは、1軸タイプの角速度センサーを3つ組み合わせて検出軸α3x、α3y、α3z周りの角速度ω3x、ω3y、ω3zを検出するように構成されたものであってもよいし、1つの振動素子で検出軸α3x、α3y、α3z周りの角速度ω3x、ω3y、ω3zを検出するように構成されたものであってもよい。
なお、図9に示す慣性センサー53Bの設置位置は、一例であり、図示の位置に限定されず、第3アーム14のいかなる位置であってもよい。また、慣性センサー53Bの設置姿勢も、前述したものに限定されない。また、検出軸α3xが第3回動軸O3と一致していてもよい。また、検出軸α3xは、第3回動軸O3に対して傾斜していてもよいが、その場合、慣性センサー53Bの出力を用いてロボット1を制御する際に、その傾きを考慮した演算を行えばよい。
このような慣性センサー53Bの出力を用いてロボット1Bの振動を低減するには、慣性センサー53Bの出力に基づいて、第1アーム12の第1回動軸O1周りの振動、第2アーム13の第2回動軸O2周りの振動、および、第3アーム14の第3回動軸O3周りの振動をそれぞれ低減するように、モーター401M、402M、403Mの駆動を制御する。その際、必要に応じて、駆動源401、402、403に設けられたロータリーエンコーダー(図示せず)の回動角度情報を用いてもよい。
このように慣性センサー53Bが第3アーム14に設けられているため、慣性センサー53Bの出力に基づいて、第2アーム13および第3アーム14の振動を低減することができる。
特に、本実施形態では、慣性センサー53Bが互いに異なる軸方向である複数の検出軸α3x、α3y、α3zを有するため、慣性センサー53の出力を用いて、ロボット1Bの互いに異なる方向の振動を検出することができる。そのため、慣性センサー53Bの出力に基づいて、ロボット1Bの複数方向での振動を低減することができる。
しかも、慣性センサー53Bが第1アーム12や第2アーム13よりも先端側の第3アーム14に設けられていても、慣性センサー53Bの出力を用いて第3アーム14だけでなく第1アーム12および第2アーム13の所望方向の振動を検出し、慣性センサー53Bの出力に基づいて、第1アーム12の所望方向の振動を低減することができる。したがって、第1アーム12、第2アーム13および第3アーム14の振動を検出するための慣性センサーの数が1つで済むため、慣性センサーのための配線が簡単化されるとともに、ロボットアーム10全体を小さくすることができる。また、慣性センサー53Bの設置姿勢がいかなるものであっても、設置箇所における所望方向の振動を検出することができる。そのため、慣性センサー53Bの設置の自由度が増す。
以上説明した第3実施形態によっても、ロボット1Bが干渉しないようにするための空間を小さくするとともに、ロボット1Bの振動を低減することができる。
[第4実施形態]
次に、本発明の第4実施形態について説明する。
図10は、本発明の第4実施形態に係るロボットシステムのロボットが備える慣性センサー(加速度センサー)を説明するための図である。
以下、第4実施形態について説明するが、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項についてはその説明を省略する。
図10に示すロボット1Cは、前述した第1実施形態のロボット1の慣性センサー51、52に代えて、慣性センサー51C、52Cを備えている以外は、前述したロボット1と同様である。
図10に示すように、慣性センサー51Cは、検出軸β1に平行な方向の加速度a1を検出する1軸タイプの加速度センサーである。この慣性センサー51Cは、検出軸β1が第1回動軸O1と異なる方向となるように設置されている。このように慣性センサー51Cの検出軸β1の軸方向が第1回動軸O1の軸方向と異なることにより、慣性センサー51Cの出力を用いて第1アーム12の第1回動軸O1周りの振動を高精度に検出することができる。
また、慣性センサー52Cは、検出軸β2に平行な方向の加速度a2を検出する1軸タイプの加速度センサーである。この慣性センサー52Cは、検出軸β2が第2回動軸O2と異なる方向となるように設置されている。このように慣性センサー52Cの検出軸β2の軸方向が第2回動軸O2の軸方向と異なることにより、慣性センサー52Cの出力を用いて第2アーム13の第2回動軸O2周りの振動を高精度に検出することができる。
このような慣性センサー51C、52Cとしては、それぞれ、加速度を検出することができれば特に限定されないが、例えば、MEMS技術を用いて製造された加速度センサー素子を含んで構成された加速度センサーを用いることができる。また、各慣性センサー51C、52Cは、複数の検出軸を有する加速度センサーであってもよい。
なお、図10に示す慣性センサー51Cの設置位置は、一例であり、第1アーム12の第1回動軸O1周りの振動を検出することができれば、図示の位置に限定されない。また、図10に示す慣性センサー51Cに設置姿勢(検出軸β1の向き)は、便宜的なものであり、第1アーム12の第1回動軸O1周りの振動を検出することができれば、図示の姿勢に限定されない。同様に、慣性センサー52Cの設置位置および設置姿勢も、図示のものに限定されない。
以上説明した第4実施形態によっても、ロボット1Cが干渉しないようにするための空間を小さくするとともに、ロボット1Cの振動を低減することができる。
以上、本発明のロボット、制御装置およびロボットシステムを、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の2以上の構成(特徴)を組み合わせたものであってもよい。
また、前記実施形態では、ロボットが有するロボットアームの回動軸の数は、6つであるが、本発明では、これに限定されず、ロボットアームの回動軸の数は、例えば、2つ、3つ、4つ、5つまたは7つ以上でもよい。また、前記実施形態では、ロボットが有するアームの数は、6つであるが、本発明では、これに限定されず、ロボットが有するアームの数は、例えば、2つ、3つ、4つ、5つ、または、7つ以上でもよい。
また、前記実施形態では、ロボットが有するロボットアームの数は、1つであるが、本発明では、これに限定されず、ロボットが有するロボットアームの数は、例えば、2つ以上でもよい。すなわち、ロボットは、例えば、双腕ロボット等の複数腕ロボットであってもよい。
また、前述した実施形態では、慣性センサーとして角速度センサーまたは加速度センサーのいずれかをアームに設ける場合を例に説明したが、角速度センサーと加速度センサーとを組み合わせてアームに設けてもよい。例えば、第1慣性センサーおよび第2慣性センサーの少なくとも一方の慣性センサーとして、3つの検出軸を有する角速度センサーと3つの検出軸を有する角速度センサーとを組み合わせたもの(いわゆる6軸タイプの慣性センサー)を用いてもよい。
また、前述した実施形態では、第1アーム、第2アームまたは第3アームに第1慣性センサーまたは第2慣性センサーを設けた場合を例に説明したが、慣性センサーの設置位置は、ロボットアームのいかなる部分であってもよく、例えば、第4アームであってもよいし、第5アーム、第6アームまたはエンドエフェクターのような先端部であってもよい。
1…ロボット、1A…ロボット、1B…ロボット、1C…ロボット、5…制御装置、10…ロボットアーム、11…基台、12…第1アーム、13…第2アーム、14…第3アーム、15…第4アーム、16…第5アーム、17…第6アーム、51…慣性センサー(第1慣性センサー)、51C…慣性センサー(第1慣性センサー)、52…慣性センサー(第2慣性センサー)、52C…慣性センサー(第2慣性センサー)、53…慣性センサー(第2慣性センサー)、53B…慣性センサー(第1慣性センサー)、61…軸受部、62…矢印、63…矢印、64…矢印、91…ハンド、100…ロボットシステム、101…天井、102…面、105…領域、106…領域、111…フランジ、121…第1部分、122…第2部分、123…第3部分、141…第1部分、142…第2部分、151…支持部、152…支持部、171…関節、172…関節、173…関節、174…関節、175…関節、176…関節、301…モータードライバー、302…モータードライバー、303…モータードライバー、304…モータードライバー、305…モータードライバー、306…モータードライバー、401…駆動源、401M…モーター、402…駆動源、402M…モーター、403…駆動源、403M…モーター、404…駆動源、404M…モーター、405…駆動源、405M…モーター、406…駆動源、406M…モーター、611…中心線、621…直線、a1…加速度、a2…加速度、O1…第1回動軸(第n回動軸)、O2…第2回動軸(第(n+1)回動軸)、O3…第3回動軸(第(n+2)回動軸)、O4…第4回動軸、O5…第5回動軸、O6…第6回動軸、S…面積、W…幅、WX…幅、α1…検出軸、α2…検出軸、α3…検出軸、α3x…検出軸、α3y…検出軸、α3z…検出軸、β1…検出軸、β2…検出軸、θ…角度、ω1…角速度、ω2…角速度、ω3…角速度、ω3x…角速度、ω3y…角速度、ω3z…角速度

Claims (17)

  1. 第n(nは1以上の整数)回動軸周りに回動可能な第nアームと、
    前記第nアームに、前記第n回動軸の軸方向とは異なる軸方向である第(n+1)回動軸周りに回動可能に設けられた第(n+1)アームと、
    第1慣性センサーと、を備え、
    前記第(n+1)回動軸の軸方向から見て、前記第nアームと前記第(n+1)アームとが重なることが可能であることを特徴とするロボット。
  2. 前記第nアームの長さは、前記第(n+1)アームの長さよりも長い請求項1に記載のロボット。
  3. 基台を備え、
    前記第nアーム(nは1である)は、前記基台に前記第n回動軸周りに回動可能に設けられている請求項1または2に記載のロボット。
  4. 前記第1慣性センサーは、前記第nアームに設けられている請求項3に記載のロボット。
  5. 前記第(n+1)アームに設けられた第2慣性センサーを備える請求項4に記載のロボット。
  6. 前記第(n+1)アームに、前記第(n+1)回動軸の軸方向と平行な軸方向である第(n+2)回動軸周りに回動可能に設けられた第(n+2)アームと、
    前記第(n+2)アームに設けられた第2慣性センサーと、を備える請求項4に記載のロボット。
  7. 前記第1慣性センサーは、前記第n回動軸の軸方向と平行な軸方向である検出軸を有する請求項6に記載のロボット。
  8. 前記第1慣性センサーは、角速度センサーである請求項7に記載のロボット。
  9. 前記第1慣性センサーは、前記第n回動軸の軸方向と異なる軸方向である検出軸を有する請求項6に記載のロボット。
  10. 前記第1慣性センサーは、加速度センサーである請求項9に記載のロボット。
  11. 前記第2慣性センサーは、前記第(n+1)回動軸の軸方向と平行な軸方向である検出軸を有する請求項6ないし10のいずれか1項に記載のロボット。
  12. 前記第2慣性センサーは、前記第(n+1)回動軸の軸方向と異なる軸方向である検出軸を有する請求項6ないし10のいずれか1項に記載のロボット。
  13. 前記第1慣性センサーは、互いに異なる軸方向である複数の検出軸を有する請求項1ないし12のいずれか1項に記載のロボット。
  14. 前記第1慣性センサーは、3軸角速度センサーである請求項13に記載のロボット。
  15. 前記第1慣性センサーの出力に基づいて、振動を低減する請求項1ないし14のいずれか1項に記載のロボット。
  16. 請求項1ないし15のいずれか1項に記載のロボットの動作を制御することを特徴とする制御装置。
  17. 請求項1ないし15のいずれか1項に記載のロボットと、
    前記ロボットの動作を制御する制御装置と、を備えることを特徴とするロボットシステム。
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