JP2017054113A - 光導波路およびそれを用いた位置センサならびに光回路基板 - Google Patents

Abstract

【課題】適正な光伝播が可能な光導波路およびそれを用いた位置センサならびに光回路基板を提供する。【解決手段】光導波路Ｗ２のコア３２が部分的にＳ字状に形成されている。そのＳ字状お部分は、光伝播の上流側の第１曲線部Ｓ１と、その第１曲線部Ｓ１と逆方向に曲がっている下流側の第２曲線部Ｓ２とが、長さ０（零）ｍｍ以上３０ｍｍ以下の直線部を介して、接続されている。そして、上記第１曲線部Ｓ１の出口の幅Ｂ１および上記第２曲線部の入口Ｂ２の幅の一方が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっている。【選択図】図１２

Description

本発明は、光導波路およびそれを用いて押圧位置を光学的に検知する位置センサならびに上記光導波路を用いて光素子と光伝播する光回路基板に関するものである。

本出願人は、これまでに、光導波路を用いて押圧位置を光学的に検知する位置センサを提案している（例えば、特許文献１参照）。このものは、図１７（ａ）に示すように、シート状のコアパターン部材を四角形シート状のアンダークラッド層１１とオーバークラッド層１３とで挟持した四角形シート状の光導波路Ｗ１０を有している。上記コアパターン部材は、複数の線状の光路用のコア１２を縦横に配置してなる格子状部分１２Ａと、この格子状部分１２Ａの外周部の一横辺および一縦辺に沿った状態で配置された第１外周コア部１２Ｂと、上記格子状部分１２Ａを介して上記一横辺および一縦辺に対面する他横辺および他縦辺に沿った状態で配置された第２外周コア部１２Ｃとを備えている。上記第１外周コア部１２Ｂは、１本のコア２６からなり、上記格子状部分１２Ａの縦横のコア１２の先端は、その１本のコア２６から分岐した状態になっている。上記第２外周コア部１２Ｃは、上記格子状部分１２Ａの各コア１２の後端から延設されたコア２７からなっている。また、上記位置センサは、上記コアパターン部材の第１外周コア部１２Ｂの端面に、発光素子１４が接続され、第２外周コア部１２Ｃの端面に、受光素子１５が接続されている。

このような光導波路を用いた位置センサでは、上記発光素子１４から発光された光は、第１外周コア部１２Ｂのコア２６から格子状部分１２Ａの各コア１２に分岐し第２外周コア部１２Ｃの各コア２７を経て、上記受光素子１５で受光されるようになっている。そして、上記格子状部分１２Ａに対応するオーバークラッド層１３の表面部分〔図１７（ａ）の中央に一点鎖線で示す長方形部分〕が、位置センサの入力領域１３Ａとなっている。

上記位置センサへの入力は、上記入力領域１３Ａを、例えば入力用のペン先で押圧することにより行われる。それにより、その押圧部分のコア１２が変形し、そのコア１２の光伝播量が低下する。そのため、上記押圧部分のコア１２では、上記受光素子１５での光の受光強度が低下することから、上記押圧位置を検知できるようになっている。その位置検知を利用して、文字等の入力も検知できるようになっている。

一方、最近の電子機器等では、伝送情報量の増加に伴い、電気回路基板に加えて、光回路基板が採用されている。その一例を図１８に示す。このものは、上記光回路基板が上記電気回路基板に積層された状態になっている。すなわち、上記電気回路基板８０は、絶縁層８１と、この絶縁層８１の表面に形成された電気配線８２とを備えている。上記光回路基板７０は、上記絶縁層８１の裏面（電気配線８２の形成面と反対側の面）に積層された光導波路Ｗ２０〔第１クラッド層７１，コア（光路）７２，第２クラッド層７３〕と、上記絶縁層８１の表面（電気配線８２の形成面）のうち上記光導波路Ｗ２０の両端部に対応する部分に実装された光素子（発光素子７４および受光素子７５）とを備えている（例えば、特許文献２参照）。この光回路基板７０では、光導波路Ｗ２０の両端部が、上記コア７２の軸方向に対して４５°傾斜した傾斜面に形成され、その傾斜面に位置するコア７２の部分が光反射面７２ａ，７２ｂになっている。また、上記発光素子７４および受光素子７５に対応する上記絶縁層８１の部分に、貫通孔８１ａ，８１ｂが形成され、上記発光素子７４と一端部の光反射面７２ａとの間および上記受光素子７５と他端部の光反射面７２ｂとの間で、上記貫通孔８１ａ，８１ｂを通して光Ｌ（二点鎖線で示す）が伝播可能となっている（光接続されている）。

上記光回路基板７０における光伝播は、つぎのようにして行われる。まず、発光素子７４から発光された光Ｌは、上記絶縁層８１の貫通孔８１ａを通過した後、第１クラッド層７１の一端部（図１８では右端部）を通り抜け、コア７２の一端部の光反射面７２ａで反射して（光路を９０°変換して）、コア７２内を伝播する。そして、そのコア７２内を伝播した光Ｌは、コア７２の他端部（図１８では左端部）の光反射面７２ｂで反射し（光路を９０°変換し）、第１クラッド層７１の他端部を通り抜けて出射され、上記絶縁層８１の貫通孔８１ｂを通過した後、受光素子７５で受光される。

なお、上記光回路基板７０の他端部では、上記受光素子７５に代えて、光ファイバを用いる場合がある。この場合も、上記と同様にして、光伝播が行われる。

特開２０１４−１９７３６３号公報 特開２０１４−２９４６６号公報

しかしながら、上記位置センサ〔図１７（ａ）参照〕では、場合によって、押圧位置の検知が正確にできないことがあった。そこで、本発明者らがその原因を追究した結果、押圧位置の検知が正確にできないときは、入力領域１３Ａを押圧していない状態であっても、受光素子１５での光の受光強度が低くなる部分があることがわかった。

このように入力領域１３Ａを押圧していなくても受光素子１５での光の受光強度が低くなる部分がある状態で、文字等を入力すると、その入力による押圧部分でも、受光素子１５での光の受光強度が低くなるため、上記押圧位置の検知が正確にできないのである。この点で上記光導波路を用いた位置センサは改善の余地がある。

また、上記光回路基板７０（図１８参照）でも、場合によって、受光素子７５での光の受光強度が低くなることがあった。その受光素子７５に代えて、光ファイバを用いた場合は、その光ファイバへの光伝播量が少なくなることがあった。このような場合、適正な光伝播（情報の伝送）ができないため、その光回路基板７０を組み込む電子機器等が適正に作動しないのである。

本発明は、このような事情に鑑みなされたもので、適正な光伝播が可能な光導波路およびそれを用いた位置センサならびに光回路基板の提供をその目的とする。

上記の目的を達成するため、本発明は、光路用の線状のコアと、このコアを上下から挟持するクラッド層とを備えた光導波路であって、上記コアが部分的に、光伝播の上流側の第１曲線部と、その第１曲線部と逆方向に曲がっている下流側の第２曲線部とが、長さ０（零）ｍｍ以上３０ｍｍ以下の直線部を介して、接続されたＳ字状に形成され、上記第１曲線部の出口の幅および上記第２曲線部の入口の幅の一方が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっている光導波路を第１の要旨とする。

また、本発明は、複数の線状のコアからなる格子状部分と、この格子状部分の外周部の一横辺および一縦辺にそれぞれ位置し、上記格子状部分の各縦コアの先端および各横コアの先端に光接続する第１外周コア部と、上記格子状部分を介して上記一横辺および一縦辺にそれぞれ対面する他横辺および他縦辺に位置し、その各他辺に沿って延び、上記格子状部分の各縦コアの後端および各横コアの後端から延設されている第２外周コア部とを備えたシート状のコアパターン部材と、このコアパターン部材を上下から挟持するシート状のクラッド層とを有するシート状の光導波路と、この光導波路の上記第１外周コア部の端面に接続された発光素子と、上記第２外周コア部の端面に接続された受光素子とを備えた位置センサであって、上記第２外周コア部の少なくとも一部分に対応する光導波路の部分が、上記第１の要旨の光導波路であり、上記発光素子で発光された光が、上記第１外周コア部から上記格子状部分および上記第２外周コア部を経て、上記受光素子で受光され、上記コアパターン部材の格子状部分に対応する位置センサの表面部分を入力領域とし、その入力領域における押圧位置を、その押圧により変化したコアの光伝播量によって特定する位置センサを第２の要旨とする。

さらに、本発明は、上記第１の要旨の光導波路と、この光導波路のコアの端部と光接続された光部材とを備えている光回路基板を第３の要旨とする。

なお、本発明において、Ｓ字状とは、上記のように、第１曲線部と第２曲線部とが、長さ０（零）ｍｍ以上３０ｍｍ以下の直線部を介して、接続された部分であり、逆Ｓ字状も含む意味である。また、第１曲線部と第２曲線部との間の直線部の長さが０（零）ｍｍであるとは、その直線部がなく、第１曲線部と第２曲線部とが直接接続されている意味である。そして、上記第１曲線部および第２曲線部とは、僅かでも曲がっているものを含む意味である。

また、本発明の第３の要旨の光回路基板において、光部材とは、発光，受光または光伝播等を担うものであり、例えば、光電変換を行う光素子（発光素子，受光素子）、光伝播を担う光ファイバ、その光ファイバの接続に用いる光ファイバ接続用コネクタ等があげられる。

本発明者らは、位置センサにおいて、入力領域を押圧していない状態で、受光素子での光の受光強度が均等になっているようにすべく、まず、図１７（ａ）に示す従来技術において、入力領域１３Ａを押圧していない状態で、受光素子１５での光の受光強度が低くなる部分が発生する原因を追究した。その結果、格子状部分１２Ａと受光素子１５との間の第２外周コア部１２ＣのうちＳ字状のコア部分で、光の漏れが発生しており、それが原因であることが判明した。ここで、上記第２外周コア部１２Ｃの端面に接続される上記受光素子１５は、シート状の光導波路Ｗ１０の周縁部に配置されるが、その受光素子１５の配置位置により、その受光素子１５の近傍部分〔図１７（ａ）の楕円Ｄ０で囲む部分〕では、上記第２外周コア部１２Ｃの少なくとも一部分のコア２７が、部分的に上記Ｓ字状に形成される場合があるのである。

そこで、本発明者らは、上記コア２７のＳ字状の部分で光が漏れる原因を追究した。その追究の過程で、上記Ｓ字状の部分では、上流側の第１曲線部Ｓ１１の曲がりの外側部分に光Ｌが偏ることが判明した〔図１７（ｂ）参照〕。一方、上記位置センサでは、コア１２，２６，２７の幅が広いほど、そのコア１２，２６，２７の光伝播量が多くなり、その伝播する光の、入力領域１３Ａの押圧による低下量も多くなることから、押圧位置の検知が容易になる。そのため、従来の位置センサでは、コア１２，２６，２７の幅が広く形成されている。そして、図１７（ｂ）に示すように、上記Ｓ字状の部分において、コア２７の幅が広い場合、上記のように上流側の第１曲線部Ｓ１１の曲がりの外側部分に偏った光Ｌ（二点鎖線で示す）は、下流側の第２曲線部Ｓ１２に伝播されると、その第２曲線部Ｓ１２の入口付近では、その曲がりの内側に偏って伝播することとなり、その第２曲線部Ｓ１２の曲がりの外側の側面に集中して到達する。ここで、上記のようにコア２７の幅が広いと、上記側面に到達した光Ｌは、入射角θが臨界角よりも小さくなることから、その殆どがその側面で反射することなく、その側面を透過する（コア２７から漏れる）ことが判明した。すなわち、上記Ｓ字状の部分での光Ｌの漏れの原因は、そのＳ字状の部分で、コア２７の幅が広いことにあることが判明した。

また、光回路基板でも、上記位置センサと同様の課題があることが判明した。すなわち、従来の光回路基板おいて、受光素子での光の受光強度が低くなる場合は、コアが部分的に上記Ｓ字状に形成されており、そのＳ字状の部分で、光の漏れが発生しているのである。そして、従来の光回路基板でも、コアの幅が広いほど、そのコアの光伝播量（伝送される情報量）が多くなることから、コアの幅が広く形成されており、このことが原因で、上記Ｓ字状の部分で、光Ｌが漏れることが判明した〔図１７（ｂ）参照〕。

また、第１曲線部と第２曲線部とが、直線部を介して、接続されている部分では、その直線部の長さが３０ｍｍ以下の場合、上記と同様に、第２曲線部で光が漏れることが判明した。一方、上記直線部の長さが３０ｍｍを超える場合は、第２曲線部での光の漏れが殆どないことが判明した。すなわち、この場合、第１曲線部の曲がりの外側部分に偏った光は、上記直線部が充分に長いため、その直線部の側面で反射を繰り返し、その直線部の出口付近では、上記光の偏りが解消される。そのため、第２曲線部の入口付近でも、その曲がりの内側への光の偏りが殆どなく、その第２曲線部の曲がりの外側の側面への光の集中的な到達も殆どない。それにより、第２曲線部での光の漏れも殆どないのである。

本発明者らは、このような知見を得て、上記Ｓ字状の部分で、下流側の第２曲線部のコアの幅を狭くすることを着想し、上記第１曲線部の出口の幅および上記第２曲線部の入口の幅の一方を、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くした。その結果、上記第２曲線部では、その第２曲線部の曲がりの外側の側面に到達した光は、入射角が臨界角よりも大きくなり、その殆どがその側面で反射し、光の漏れを低減できることを突き止めた。すなわち、上記位置センサにおいて、格子状部分と受光素子との間の第２外周コア部のコアが部分的にＳ字状に形成されていても、そのＳ字状の部分を上記のように特定の幅に設定することにより、その第２外周コア部のコアでは、伝播する光の漏れを低減させた状態で、その光が受光素子に到達することを突き止めた。それにより、入力領域を押圧していない状態で、受光素子での光の受光強度が均等になることを見出し、本発明に到達した。

また、上記光回路基板でも、上記位置センサと同様にして、コアのＳ字状の部分からの光の漏れを解決することができた。すなわち、上記光回路基板において、コアが部分的にＳ字状に形成されていても、そのＳ字状の部分を上記のように特定の幅に設定することにより、そのＳ字状の部分では、伝播する光の漏れを低減できることを突き止めた。それにより、受光素子での光の受光強度の低下または光ファイバへの光伝播量の低下が抑制されることを見出し、本発明に到達した。

そして、上記位置センサおよび上記光回路基板に用いる光導波路だけでなく、光電気混載基板等の他の用途の光導波路においても、コアが部分的に上記Ｓ字状に形成されているものは、光伝播がより適正になされることを見出した。

なお、上記位置センサにおいて「受光素子での光の受光強度が均等」とは、完全な均等を含むだけでなく、位置センサの入力領域における押圧位置を正確に検知できれば、その検知できる程度の略均等を含む意味である。

本発明の光導波路は、コアが部分的にＳ字状に形成されており、そのＳ字状の部分は、上流側の第１曲線部の出口の幅および下流側の第２曲線部の入口の幅の一方が、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっている。そのため、第１曲線部を伝播する光が、第２曲線部の曲がりの外側の側面に到達した際に、入射角が臨界角よりも大きくなり、その殆どがその側面で反射し、光の漏れを低減できる。すなわち、本発明の光導波路は、コアでの光伝播をより適正にすることができる。

本発明の位置センサは、格子状部分と受光素子との間の第２外周コア部の少なくとも一部分に対応する光導波路の部分が、本発明の上記光導波路になっている。そのため、その光導波路の部分のコアでは、第１曲線部を伝播する光が、第２曲線部の曲がりの外側の側面に到達した際に、入射角が臨界角よりも大きくなり、その殆どがその側面で反射し、光の漏れを低減できる。すなわち、上記第２外周コア部のコアでは、伝播する光の漏れを低減させた状態で、その光が受光素子に到達し、入力領域を押圧していない状態で、受光素子での光の受光強度を均等にすることができる。そのため、入力領域を押圧した際に、受光素子での光の受光強度が低下する部分を明確にすることができる。その結果、本発明の位置センサは、入力領域における押圧位置を正確に検知することができる。

本発明の光回路基板は、光部材と光接続する光導波路が、本発明の上記光導波路になっている。そのため、その光導波路のコアのＳ字状の部分では、第１曲線部を伝播する光が、第２曲線部の曲がりの外側の側面に到達した際に、入射角が臨界角よりも大きくなり、その殆どがその側面で反射し、光の漏れを低減できる。すなわち、上記光導波路のコアの端部から上記光部材が受光する場合において、上記光導波路のコアでは、伝播する光の漏れを低減できるため、上記光部材での光の受光強度の低下を抑制することができる。そして、コアに上記Ｓ字状の部分を形成することにより、コアの配置設計の自由度が向上し、光部材の配置に合わせてコアを配置設計することができる。また、本発明の光回路基板を組み込んだ電子機器等の適正な作動を、確実に実現することができる。

特に、上記第２曲線部の入口の幅が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっており、上記第２曲線部の入口の幅（Ｂ２：単位μｍ）と、その第２曲線部の曲率半径（Ｒ２：単位ｍｍ）と、上記Ｓ字状の部分が形成されたコアの屈折率（Ｋ１）と、そのコアの側面を被覆するクラッド層の屈折率（Ｋ２）との関係が、下記の式（１）を満たしている場合には、本発明の光導波路では、上記第２曲線部において、伝播する光の漏れる量をより減少させることができる。そのため、本発明の位置センサでは、受光素子での光の受光強度をより均等化することができ、押圧位置検知の正確性を向上させることができる。なお、上記第２曲線部の曲率半径（Ｒ２）は、その第２曲線部の幅方向の中心線の曲率半径である。

さらに、上記第２曲線部の入口の幅（Ｂ２：単位μｍ）と、その第２曲線部の曲率半径（Ｒ２：単位ｍｍ）と、上記Ｓ字状の部分が形成されたコアの屈折率（Ｋ１）と、そのコアの側面を被覆するクラッド層の屈折率（Ｋ２）との関係が、下記の式（２）を満たしている場合には、本発明の光導波路では、上記第２曲線部において、伝播する光の漏れる量をさらに減少させることができる。そのため、本発明の位置センサでは、受光素子での光の受光強度をさらに均等化することができ、押圧位置検知の正確性をさらに向上させることができる。

一方、上記第１曲線部の出口の幅が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっており、上記第１曲線部の出口の幅（Ｂ１：単位μｍ）と、その第１曲線部の曲率半径（Ｒ１：単位ｍｍ）と、上記Ｓ字状の部分が形成されたコアの屈折率（Ｋ１）と、そのコアの側面を被覆するクラッド層の屈折率（Ｋ２）との関係が、下記の式（３）を満たしている場合にも、本発明の光導波路では、上記第２曲線部において、伝播する光の漏れる量をより減少させることができる。そのため、本発明の光回路基板では、上記光導波路のコアの端部から前記光部材が受光する場合において、その光部材での光の受光強度の低下をより抑制することができる。そして、その光回路基板を組み込んだ電子機器等の適正作動実現の確実性を向上させることができる。なお、上記第１曲線部の曲率半径（Ｒ１）は、その第１曲線部の幅方向の中心線の曲率半径である。

（ａ）は、本発明の位置センサの第１の実施の形態を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＸ−Ｘ断面の中央部を模式的に示す拡大断面図であり、（ｃ）は、（ａ）の楕円Ｄ１で囲む部分に形成されているコアのＳ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 本発明の位置センサの第２の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 本発明の位置センサの第３の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 本発明の位置センサの第４の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 本発明の位置センサの第５の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 本発明の位置センサの第６の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 本発明の位置センサの第７の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 本発明の位置センサの第８の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 上記位置センサを構成する光導波路の変形例を模式的に示す、その光導波路の中央部の拡大断面図である。 （ａ）〜（ｆ）は、上記位置センサにおける格子状部分のコアの交差形態を模式的に示す拡大平面図である。 （ａ），（ｂ）は、上記格子状部分のコアの交差部における光の進路を模式的に示す拡大平面図である。 （ａ）は、本発明の光回路基板の第１の実施の形態を模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）のＹ−Ｙ断面を模式的に示す断面図であり、（ｃ）は、（ａ）の楕円Ｄ２で囲む部分に形成されているコアのＳ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 本発明の光回路基板の第２の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 本発明の光回路基板の第３の実施の形態を模式的に示す平面図である。 （ａ），（ｂ）は、上記光回路基板を構成する光導波路の変形例を模式的に示す、その光導波路の拡大断面図である。 実験例１，２の結果を示すグラフである。 （ａ）は、従来の位置センサを模式的に示す平面図であり、（ｂ）は、（ａ）の上記Ｓ字状の部分を模式的に示す拡大平面図である。 従来の光回路基板を模式的に示す縦断面図である。

つぎに、本発明の実施の形態を図面にもとづいて詳しく説明する。

図１（ａ）は、本発明の位置センサの第１の実施の形態を示す平面図であり、図１（ｂ）は、図１（ａ）のＸ−Ｘ断面の中央部を拡大した図である。この実施の形態の位置センサは、四角形シート状の光導波路Ｗと、この光導波路Ｗの四角形状の隣り合う二つの角部分〔図１（ａ）では上側の二つの角部分〕に配置された２個の発光素子４と、残りの二つの角部分〔図１（ａ）では下側の二つの角部分〕に配置された２個の受光素子５とを備えている。

上記光導波路Ｗは、四角形シート状のアンダークラッド層１の表面に、シート状のコアパターン部材が形成され、そのコアパターン部材を被覆した状態で、上記アンダークラッド層１の表面に、四角形シート状のオーバークラッド層３が形成されたものとなっている。上記コアパターン部材は、複数の線状の光路用のコア２を縦横に配置してなる格子状部分２Ａと、この格子状部分２Ａの外周部の一横辺および一縦辺〔図１（ａ）では上側の辺および右側の辺〕にそれぞれ位置し、その各辺に沿って延びる第１外周コア部２Ｂと、上記格子状部分２Ａを介して上記一横辺および一縦辺にそれぞれ対面する他横辺および他縦辺〔図１（ａ）では下側の辺および左側の辺〕に位置し、その各他辺に沿って延びる第２外周コア部２Ｃとを備えている。

上記第１外周コア部２Ｂは、１本のコア２１からなり、上記格子状部分２Ａの各縦コア２の先端〔図１（ａ）では上端〕および各横コア２の先端〔図１（ａ）では右端〕に光接続している。これにより、それら各縦コア２および各横コア２は、上記第１外周コア部２Ｂから分岐された状態になっている。上記第２外周コア部２Ｃは、上記各縦コア２の後端〔図１（ａ）では下端〕および各横コア２の後端〔図１（ａ）では左端〕から延設されたコア２２からなっている。そして、上記第１外周コア部２Ｂの端面に、上記発光素子４が接続され、上記第２外周コア部２Ｃの端面に、上記受光素子５が接続されている。

なお、図１（ａ）では、コア２，２１，２２を鎖線で示しており、格子状部分２Ａのコア２の数およびそれらコア２から延設された第２外周コア部２Ｃのコア２２の数を略して図示している。また、図１（ａ）のコア２の矢印は、光の進む方向を示している。

この実施の形態の位置センサの特徴は、図１（ｃ）に拡大平面図で示すように、上記第２外周コア部２Ｃの一部のコア２２の、受光素子５の近傍部分〔図１（ａ）の楕円Ｄ１で囲む部分〕に形成されるＳ字状の部分のコア幅にある。すなわち、図１（ｃ）に、上記第２外周コア部２Ｃの複数のコア２２のうちの１本のコア２２のＳ字状の部分を、拡大した平面図で示している。そのＳ字状の部分は、この実施の形態では、光伝播の上流側の第１曲線部Ｓ１と、その第１曲線部Ｓ１と逆方向に曲がっている下流側の第２曲線部Ｓ２とが、連続して接続された状態で形成されている。そして、上記Ｓ字状の部分の入口（第１曲線部Ｓ１の入口）の幅は、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０と等しくなっている。上記Ｓ字状の部分では、第１曲線部Ｓ１の幅が、その第１曲線部Ｓ１の入口から出口にいくにつれて徐々に狭くなっており、その第１曲線部Ｓ１の出口の幅は、第２曲線部Ｓ２の入口の幅Ｂ２とが等しくなっている。その第２曲線部Ｓ２の幅は、長さ方向に一定になっている。これにより、第２曲線部Ｓ２の入口の幅Ｂ２が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっている。

このように、上記Ｓ字状の部分を特徴的なコア幅に設定することにより、そのＳ字状の部分での光Ｌの漏れを低減する（光Ｌの伝播損失を低くする）ことができる。すなわち、上記Ｓ字状の部分では、上流側の第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側部分に光Ｌ（二点鎖線で示す）が偏り、その光Ｌが下流側の第２曲線部Ｓ２に伝播されると、その光Ｌは、上記第２曲線部Ｓ２の入口付近では、その曲がりの内側に偏って伝播することとなり、その第２曲線部Ｓ２の曲がりの外側の側面に集中して到達する。ここで、上記のような、Ｓ字状の部分の特徴的なコア幅の設定により、上記第２曲線部Ｓ２のコア幅が狭くなっているため、上記側面に到達した光Ｌは、入射角θが臨界角よりも大きくなる。そのため、その光Ｌの殆どが上記側面で反射し、光Ｌの漏れを低減できるのである。そして、上記第２外周コア部２Ｃのコア２２では、伝播する光Ｌの漏れを低減させた状態で、その光Ｌが受光素子５に到達する。

このような位置センサでは、図１（ａ）に示すように、上記発光素子４から発光された光は、第１外周コア部２Ｂのコア２１から格子状部分２Ａの各コア２に分岐し上記第２外周コア部２Ｃの各コア２２を経て、上記受光素子５で受光されるようになっている。そして、上記コアパターン部材の格子状部分２Ａに対応するオーバークラッド層３の表面部分〔図１（ａ）の中央に一点鎖線で示す長方形部分〕が、入力領域３Ａとなっている。

上記位置センサへの文字等の入力は、上記入力領域３Ａに、直接または樹脂フィルムもしくは紙等を介して、ペン等の入力体で文字等を書くことにより行われる。このとき、上記入力領域３Ａがペン先等で押圧され、その押圧部分のコア２が変形し、そのコア２の光伝播量が低下する。そのため、上記押圧部分のコア２では、上記受光素子５での光の受光強度が低下することから、上記押圧位置（ＸＹ座標）を検知できるようになっている。

ここで、先に述べたように、上記第２外周コア部２Ｃのコア２２では、伝播する光の漏れを低減させた状態で、その光が受光素子５に到達することから、入力領域３Ａを押圧していない状態で、受光素子５での光の受光強度を均等にすることができる。そのため、入力領域３Ａを押圧した際に、受光素子５での光の受光強度が低下する部分を明確にすることができる。その結果、上記位置センサは、入力領域３Ａにおける押圧位置を正確に検知することができる。

さらに、上記第２曲線部Ｓ２において、伝播する光の漏れる量をより減少させることができ、それにより、受光素子５での光の受光強度をより均等化して、押圧位置検知の正確性を向上させる観点から、上記第２曲線部Ｓ２の入口の幅（Ｂ２：単位μｍ）と、その第２曲線部Ｓ２の曲率半径（Ｒ２：単位ｍｍ）と、上記Ｓ字状の部分が形成されたコア２２の屈折率（Ｋ１）と、そのコア２２の側面を被覆するオーバークラッド層３の屈折率（Ｋ２）との関係が、下記の式（１）を満たすように設定することが好ましい。より好ましくは、下記の式（２）を満たすように設定することである。なお、上記第２曲線部Ｓ２の曲率半径（Ｒ２）は、その第２曲線部Ｓ２の幅方向の中心線の曲率半径である。

ところで、受光素子５は、一般に、小さいものであるため、その受光素子５では、上記コア２２と接続する受光領域が狭く、その受光領域に接続される上記コア２２の本数に限度がある。上記位置センサでは、先に述べたように、受光素子５の近傍部分に形成されるＳ字状の部分において、下流側の第２曲線部Ｓ２のコア幅が狭くなっていることから、その狭くなった幅のまま、上記コア２２の先端まで形成すると、上記受光領域に接続されるコア２２の本数を増加させることが可能となる。その結果、入力領域３Ａに対応する格子状部分２Ａのコア２の本数を増加させることが可能となり、その入力領域３Ａにおいて検知する押圧位置の位置精度を向上させることが可能となる。

また、上記光導波路Ｗでは、格子状部分２Ａのコア２の弾性率がアンダークラッド層１およびオーバークラッド層３の弾性率よりも大きく設定されていることが好ましい。その理由は、弾性率の設定がその逆であると、コア２の周辺が硬くなるため、オーバークラッド層３の入力領域３Ａの部分を押圧するペン先等の面積よりもかなり広い面積の光導波路Ｗの部分が凹み、押圧位置を正確に検知し難くなる傾向にあるからである。そこで、各弾性率としては、例えば、コア２の弾性率は、１ＧＰａ以上１０ＧＰａ以下の範囲内に設定され、オーバークラッド層３の弾性率は、０．１ＧＰａ以上１０ＧＰａ未満の範囲内に設定され、アンダークラッド層１の弾性率は、０．１ＭＰａ以上１ＧＰａ以下の範囲内に設定されることが好ましい。この場合、コア２の弾性率が大きいため、小さな押圧力では、コア２はつぶれない（コア２の断面積は小さくならない）ものの、押圧により光導波路Ｗが凹むため、その凹んだ部分に対応するコア２の曲がった部分から光の漏れ（散乱）が発生し、そのコア２では、受光素子５での光の受光強度が低下することから、押圧位置を検知することができる。なお、上記弾性率の値は、ティー・エイ・インスツルメント社製の動的粘弾性測定装置ＲＳＡIII を用いて測定した引張弾性率の値である。

上記アンダークラッド層１，コア２，２１，２２およびオーバークラッド層３の形成材料としては、感光性樹脂，熱硬化性樹脂等があげられ、その形成材料に応じた製法により、光導波路Ｗを作製することができる。また、コア２，２１，２２の屈折率は、アンダークラッド層１およびオーバークラッド層３の屈折率よりも大きく設定されている。その屈折率および上記弾性率の調整は、例えば、各形成材料の種類の選択や組成比率を調整して行うことができる。そして、各層の厚みは、例えば、アンダークラッド層１が１０〜５００μｍの範囲内、コア２，２１，２２が５〜１００μｍの範囲内、オーバークラッド層３（コア２，２１，２２の頂面からの厚み）が１〜２００μｍの範囲内に設定される。なお、上記アンダークラッド層１として、ゴムシートを用い、そのゴムシート上にコア２，２１，２２を形成するようにしてもよい。

図２は、本発明の位置センサの第２の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を示す拡大平面図〔図１（ｃ）に相当する図〕である。この実施の形態では、図１（ａ）〜（ｃ）に示す上記第１の実施の形態において、Ｓ字状の部分が、第１曲線部Ｓ１と第２曲線部Ｓ２とが、長さ０（零）ｍｍを超え３０ｍｍ以下の直線部Ｔを介して、接続された状態で形成されている。その直線部Ｔの幅は、長さ方向に一定であり、第１曲線部Ｓ１の出口の幅（第２曲線部Ｓ２の入口の幅Ｂ２）と等しくなっている。それ以外の部分は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には、同じ符号を付している。

この実施の形態では、第１曲線部Ｓ１と第２曲線部Ｓ２との間に直線部Ｔが形成されているものの、その直線部Ｔの長さが３０ｍｍ以下と短いため、第１曲線部Ｓ１から直線部Ｔに伝播した光Ｌ（二点鎖線で示す）は、その直線部Ｔの側面で殆ど反射することなく、第２曲線部Ｓ２に伝播される。そして、その第２曲線部Ｓ２は、上記第１の実施の形態と同様であることから、その第２曲線部Ｓ２に伝播された光Ｌは、上記第１の実施の形態と同様にして、漏れを低減させた状態で受光素子５に到達する。すなわち、この実施の形態の位置センサも、上記第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。

図３は、本発明の位置センサの第３の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を示す拡大平面図〔図１（ｃ）に相当する図〕である。この実施の形態では、図１（ａ）〜（ｃ）に示す上記第１の実施の形態において、上記Ｓ字状の部分の第１曲線部Ｓ１の幅が、長さ方向に一定であり、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０と等しくなっている。第２曲線部Ｓ２は、上記第１の実施の形態と同様であり、幅が長さ方向に一定であり、その第２曲線部Ｓ２の入口の幅Ｂ２が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっている。上記第２曲線部Ｓ２の入口は、上記第１曲線部Ｓ１の出口のうち、その幅方向おいて、その第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側に対応する部分に配置されている。すなわち、上記Ｓ字状の部分は、第１曲線部Ｓ１と第２曲線部Ｓ２との接続部が段状に形成され、その接続部の幅が、第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側（第２曲線部Ｓ２の曲がりの内側）に一気に狭まっている。それ以外の部分は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には、同じ符号を付している。

この実施の形態では、第１曲線部Ｓ１と第２曲線部Ｓ２との接続部の幅が、第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側に一気に狭まっているものの、上記第１の実施の形態と同様に、第１曲線部Ｓ１を伝播する光Ｌ（二点鎖線で示す）は、その曲がりの外側部分に偏ることから、その光Ｌの殆どが、第２曲線部Ｓ２に伝播される。そして、その第２曲線部Ｓ２は、上記第１の実施の形態と同様であることから、その第２曲線部Ｓ２に伝播された光Ｌは、上記第１の実施の形態と同様にして、漏れを低減させた状態で受光素子５に到達する。すなわち、この実施の形態の位置センサも、上記第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。

図４は、本発明の位置センサの第４の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を示す拡大平面図〔図１（ｃ）に相当する図〕である。この実施の形態では、図３に示す上記第３の実施の形態において、Ｓ字状の部分が、第１曲線部Ｓ１と第２曲線部Ｓ２とが、長さ０（零）ｍｍを超え３０ｍｍ以下の直線部Ｔを介して、接続された状態で形成されている。その直線部Ｔの入口は、上記第１曲線部Ｓ１の出口のうち、その幅方向おいて、その第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側に対応する部分に配置されている。その直線部Ｔの幅は、長さ方向に一定であり、第２曲線部Ｓ２の入口の幅Ｂ２と等しくなっている。すなわち、第１曲線部Ｓ１と直線部Ｔとの接続部が段状に形成され、その接続部の幅が、第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側に一気に狭まっている。それ以外の部分は、上記第３の実施の形態と同様であり、同様の部分には、同じ符号を付している。

この実施の形態では、第１曲線部Ｓ１と直線部Ｔとの接続部の幅が、第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側に一気に狭まっているものの、上記第３の実施の形態と同様に、第１曲線部Ｓ１を伝播する光Ｌ（二点鎖線で示す）は、その曲がりの外側部分に偏ることから、その光Ｌの殆どが、直線部Ｔに伝播される。しかも、その光Ｌは、図２に示す上記第２の実施の形態と同様に、その直線部Ｔの側面で殆ど反射することなく、第２曲線部Ｓ２に伝播される。そして、その第２曲線部Ｓ２は、上記第１の実施の形態と同様であることから、その第２曲線部Ｓ２に伝播された光Ｌは、上記第１の実施の形態と同様にして、漏れを低減させた状態で受光素子５に到達する。すなわち、この実施の形態の位置センサも、上記第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。

図５は、本発明の位置センサの第５の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を示す拡大平面図〔図１（ｃ）に相当する図〕である。この実施の形態では、図４に示す上記第４の実施の形態において、第１曲線部Ｓ１の幅と、直線部Ｔの幅とが等しくなっている。また、第２曲線部Ｓ２の入口が、上記直線部Ｔの出口のうち、その幅方向おいて、上記第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側に対応する部分に配置されている。すなわち、直線部Ｔと第２曲線部Ｓ２との接続部が段状に形成され、その接続部の幅が、第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側に対応する部分に一気に狭まっている。それ以外の部分は、上記第４の実施の形態と同様であり、同様の部分には、同じ符号を付している。

この実施の形態では、第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側部分に偏って伝播する光Ｌ（二点鎖線で示す）は、そのまま、直線部Ｔでも、上記外側部分に対応する部分に偏って伝播される。しかも、その直線部Ｔに伝播した光Ｌは、上記第４の実施の形態と同様に、その直線部Ｔの側面で殆ど反射することなく、第２曲線部Ｓ２に伝播される。そのため、直線部Ｔと第２曲線部Ｓ２との接続部の幅が、上記のように直線部Ｔの上記外側部分に一気に狭まっていても、直線部Ｔを伝播する光Ｌの殆どが、第２曲線部Ｓ２に伝播される。そして、その第２曲線部Ｓ２は、上記第１の実施の形態と同様であることから、その第２曲線部Ｓ２に伝播された光Ｌは、上記第１の実施の形態と同様にして、漏れを低減させた状態で受光素子５に到達する。すなわち、この実施の形態の位置センサも、上記第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。

図６は、本発明の位置センサの第６の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を示す拡大平面図〔図１（ｃ）に相当する図〕である。この実施の形態では、図５に示す上記第５の実施の形態において、上記直線部Ｔの入口の幅が、第１曲線部Ｓ１の幅と等しく、その直線部Ｔの出口の幅が、第２曲線部Ｓ２の幅とが等しくなっている。すなわち、直線部Ｔは、その入口から出口にいくにつれて幅が徐々に狭くなるテーパ状に形成されている。それ以外の部分は、上記第５の実施の形態と同様であり、同様の部分には、同じ符号を付している。

この実施の形態でも、第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側部分に偏って伝播する光Ｌ（二点鎖線で示す）は、そのまま、直線部Ｔの上記外側部分に対応する部分に偏って伝播される。しかも、その直線部Ｔに伝播した光Ｌは、上記第５の実施の形態と同様に、その直線部Ｔの側面で殆ど反射することなく、第２曲線部Ｓ２に伝播される。そして、その第２曲線部Ｓ２は、上記第１の実施の形態と同様であることから、その第２曲線部Ｓ２に伝播された光Ｌは、上記第１の実施の形態と同様にして、漏れを低減させた状態で受光素子５に到達する。すなわち、この実施の形態の位置センサも、上記第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。

図７は、本発明の位置センサの第７の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を示す拡大平面図〔図１（ｃ）に相当する図〕である。この実施の形態では、図３に示す上記第３の実施の形態において、第１曲線部Ｓ１の幅が、第２曲線部Ｓ２の幅と等しく、狭くなっている。すなわち、Ｓ字状の部分の幅は、全て、長さ方向に一定で等しく、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっている。それ以外の部分は、上記第３の実施の形態と同様であり、同様の部分には、同じ符号を付している。

この実施の形態では、Ｓ字状の部分の幅は、長さ方向に一定で等しく、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっているため、この実施の形態でも、第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側部分に偏って伝播する光Ｌ（二点鎖線で示す）は、そのまま、第２曲線部Ｓ２に伝播される。そして、その第２曲線部Ｓ２は、上記第１の実施の形態と同様であることから、その第２曲線部Ｓ２に伝播された光Ｌは、上記第１の実施の形態と同様にして、漏れを低減させた状態で受光素子５に到達する。すなわち、この実施の形態の位置センサも、上記第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。

図８は、本発明の位置センサの第８の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を示す拡大平面図〔図１（ｃ）に相当する図〕である。この実施の形態では、図７に示す上記第７の実施の形態において、Ｓ字状の部分が、第１曲線部Ｓ１と第２曲線部Ｓ２とが、長さ０（零）ｍｍを超え３０ｍｍ以下の直線部Ｔを介して、接続された状態で形成されている。その直線部Ｔの幅は、長さ方向に一定であり、第１曲線部Ｓ１の幅（第２曲線部Ｓ２の幅）と等しくなっている。それ以外の部分は、上記第７の実施の形態と同様であり、同様の部分には、同じ符号を付している。

この実施の形態でも、第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側部分に偏って伝播する光Ｌ（二点鎖線で示す）は、そのまま、直線部Ｔの上記外側部分に対応する部分に偏って伝播される。しかも、その直線部Ｔに伝播した光Ｌは、図２に示す上記第２の実施の形態と同様に、その直線部Ｔの側面で殆ど反射することなく、第２曲線部Ｓ２に伝播される。そして、その第２曲線部Ｓ２は、上記第１の実施の形態と同様であることから、その第２曲線部Ｓ２に伝播された光Ｌは、上記第１の実施の形態と同様にして、漏れを低減させた状態で受光素子５に到達する。すなわち、この実施の形態の位置センサも、上記第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。

なお、上記各実施の形態では、Ｓ字状の部分が形成されたコア２２を、第２外周コア部２Ｃの一部分としたが、その全部のコア２２に上記Ｓ字状の部分が形成されていてもよい。

さらに、上記各実施の形態では、光導波路Ｗの断面構造を、図１（ｂ）に示すものとしたが、他でもよく、例えば、図９に断面図で示すように、図１（ｂ）に示すものを上下逆さまにした構造のものとしてもよい。すなわち、その光導波路Ｗは、シート状のアンダークラッド層１の表面部分に、コア２が埋設されて、上記アンダークラッド層１の表面とコア２の頂面とが面一に形成され、それらアンダークラッド層１の表面とコア２の頂面とを被覆した状態で、シート状のオーバークラッド層３が形成されたものとなっている。

そして、上記各実施の形態において、格子状部分のコア２の各交差部は、通常、図１０（ａ）に拡大平面図で示すように、交差する４方向の全てが連続した状態に形成されているが、他でもよい。例えば、図１０（ｂ）に示すように、交差する１方向のみが、隙間Ｇにより分断され、不連続になっているものでもよい。上記隙間Ｇは、アンダークラッド層１またはオーバークラッド層３の形成材料で形成されている。その隙間Ｇの幅ｄは、０（零）を超え（隙間Ｇが形成されていればよく）、通常、２０μｍ以下に設定される。それと同様に、図１０（ｃ），（ｄ）に示すように、交差する２方向〔図１０（ｃ）は対向する２方向、図１０（ｄ）は隣り合う２方向〕が不連続になっているものでもよいし、図１０（ｅ）に示すように、交差する３方向が不連続になっているものでもよいし、図１０（ｆ）に示すように、交差する４方向の全てが不連続になっているものでもよい。さらに、図１０（ａ）〜（ｆ）に示す上記交差部のうちの２種類以上の交差部を備えた格子状としてもよい。すなわち、本発明において、複数の線状のコア２により形成される「格子状」とは、一部ないし全部の交差部が上記のように形成されているものを含む意味である。

なかでも、図１０（ｂ）〜（ｆ）に示すように、交差する少なくとも１方向を不連続とすると、光の交差損失を低減させることができる。すなわち、図１１（ａ）に示すように、交差する４方向の全てが連続した交差部では、その交差する１方向〔図１１（ａ）では上方向〕に注目すると、交差部に入射する光の一部は、その光が進んできたコア２と直交するコア２の側面２ａに到達し、その側面２ａでの入射角が臨界角よりも小さいことから、コア２を透過する〔図１１（ａ）の二点鎖線の矢印参照〕。このような光の透過が、交差する上記と反対側の方向〔図１１（ａ）では下方向〕でも発生する。これに対し、図１１（ｂ）に示すように、交差する１方向〔図１１（ｂ）では上方向〕が隙間Ｇにより不連続になっていると、上記隙間Ｇとコア２との界面が形成され、図１１（ａ）においてコア２を透過する光の一部は、上記界面での入射角が臨界角よりも大きくなることから、その界面を透過することなく、その界面で反射し、コア２を進み続ける〔図１１（ｂ）の二点鎖線の矢印参照〕。このことから、先に述べたように、交差する少なくとも１方向を不連続とすると、光の交差損失を低減させることができるのである。その結果、ペン先等による押圧位置の検知感度を高めることができる。

また、上記各実施の形態では、光導波路Ｗを四角形シート状としたが、格子状のコア２を有するものであれば、他の多角形シート状としてもよい。

図１２（ａ）は、本発明の光回路基板の第１の実施の形態を示す平面図であり、図１２（ｂ）は、図１２（ａ）のコアの中心軸に沿う縦断面図（Ｙ−Ｙ断面図）である。この実施の形態の光回路基板３０も、前記従来の光回路基板７０（図１８参照）と同様、電気回路基板４０に積層されるものである。そして、その光回路基板３０は、図１２（ａ）の平面図に示すように、一端側（図では上端側）に、２個の発光素子３４を備え、他端側（図では下端側）に、２個の受光素子３５を備えている。そして、一端側の２個の発光素子３４の間隔よりも、他端側の２個の受光素子３５の間隔の方が広く設定されている。それにより、光回路基板７０の幅が、一端側で狭く、他端側で広く形成されているとともに、発光素子３４と受光素子３５との間で光伝播する、隣り合うコア３２の間隔が、発光素子３４側よりも、受光素子３５側の方が広く設定されている。それに伴って、上記コア３２が、長さ方向の中央部分〔図１２（ａ）の楕円Ｄ２で囲む部分〕において、Ｓ字状に曲がっている。なお、図１２（ａ）では、コア３２の幅を誇張して図示している。

そのコア３２のＳ字状の部分は、この実施の形態では、図１２（ｃ）に拡大平面図で示すように、光伝播の上流側の第１曲線部Ｓ１と、その第１曲線部Ｓ１と逆方向に曲がっている下流側の第２曲線部Ｓ２とが、連続して接続された状態で形成されている。そして、上記Ｓ字状の部分の入口（第１曲線部Ｓ１の入口）の幅が、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０と等しくなっている。そして、第１曲線部Ｓ１の幅が、その第１曲線部Ｓ１の入口から出口にいくにつれて徐々に狭くなっており、その第１曲線部Ｓ１の出口の幅Ｂ１は、第２曲線部Ｓ２の入口の幅Ｂ２とが等しくなっている。その第２曲線部Ｓ２の幅は、長さ方向に一定になっている。

それ以外の部分は、図１８に示す前記従来の電気回路基板８０および光回路基板７０と同様である。すなわち、図１２（ｂ）において、符号４１は絶縁層、符号４２はその絶縁層４１の表面に形成された電気配線〔図１２（ａ）では図示せず〕、符号４１ａ，４１ｂは上記絶縁層４１に形成された貫通孔、符号Ｗ２は光導波路、符号３２ａ，３２ｂはコア３２の両端部に形成された光反射面、符号３１は第１クラッド層、符号３３は第２クラッド層を示す。そして、コア３２の一端部と発光素子３４とが光接続されているとともに、コア３２の他端部と受光素子３５とが光接続されており、光Ｌ（二点鎖線で示す）は、発光素子３４からコア３２を介して受光素子３５に伝播するようになっている。

そして、上記コア３２のＳ字状の部分では、上記の特徴的なコア幅に設定することにより、そのＳ字状の部分での光Ｌの漏れを低減する（光Ｌの伝播損失を低くする）ことができる。すなわち、上記Ｓ字状の部分では、図１２（ｃ）に示すように、上流側の第１曲線部Ｓ１の出口の幅Ｂ１を、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くすることより、伝播する光Ｌ（二点鎖線で示す）は、上流側の第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側部分に偏った状態で、下流側の第２曲線部Ｓ２に伝播される。そして、その光Ｌは、上記第２曲線部Ｓ２の入口付近では、その曲がりの内側に偏って伝播することとなり、その第２曲線部Ｓ２の曲がりの外側の側面に集中して到達する。ここで、第２曲線部Ｓ２の入口の幅Ｂ２は、第１曲線部Ｓ１の出口の幅Ｂ１と等しく狭くなっており、その第２曲線部Ｓ２の幅は、長さ方向に一定になっていることから、上記第２曲線部Ｓ２の曲がりの外側の側面に到達した光Ｌは、入射角θが臨界角よりも大きくなる。そのため、その光Ｌの殆どが上記側面で反射し、光Ｌの漏れを低減できるのである。このように、上記コア３２では、伝播する光Ｌの漏れを低減させた状態で、その光Ｌが受光素子３５に到達する。

さらに、上記第２曲線部Ｓ２において、伝播する光の漏れる量をより減少させることができ、それにより、受光素子５での光の受光強度の減少をより抑制する観点から、上記第１曲線部Ｓ１の出口の幅（Ｂ１：単位μｍ）と、その第１曲線部Ｓ１の曲率半径（Ｒ１：単位ｍｍ）と、上記Ｓ字状の部分が形成されたコアの屈折率（Ｋ１）と、そのコア３２の側面を被覆する第２クラッド層３３の屈折率（Ｋ２）との関係が、下記の式（３）を満たすように設定することが好ましい。なお、上記第１曲線部Ｓ１の曲率半径（Ｒ１）は、その第１曲線部Ｓ１の幅方向の中心線の曲率半径である。

また、上記第１曲線部Ｓ１のコア幅は、入口も出口も含めて、例えば、１〜８０μｍの範囲内に設定されることが好ましい。そして、上記第１曲線部Ｓ１の曲率半径（Ｒ１）は、例えば、０．５〜５．０ｍｍの範囲内に設定されることが好ましい。さらに、上記屈折率差（Ｋ１−Ｋ２）は、例えば、０．００５〜０．０５の範囲内に設定されることが好ましい。

図１３は、本発明の光回路基板の第２の実施の形態における上記Ｓ字状の部分を示す拡大平面図〔図１２（ｃ）に相当する図〕である。この実施の形態では、図１２（ａ）〜（ｃ）に示す上記第１の実施の形態において、Ｓ字状の部分が、第１曲線部Ｓ１と第２曲線部Ｓ２とが、長さ０（零）ｍｍを超え３０ｍｍ以下の直線部Ｔを介して、接続された状態で形成されている。その直線部Ｔの幅は、長さ方向に一定であり、第１曲線部Ｓ１の出口の幅Ｂ１（第２曲線部Ｓ２の入口の幅Ｂ２）と等しくなっている。それ以外の部分は、上記第１の実施の形態と同様であり、同様の部分には、同じ符号を付している。

この実施の形態でも 上記Ｓ字状の部分では、上流側の第１曲線部Ｓ１の出口の幅Ｂ１が、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっていることより、伝播する光Ｌ（二点鎖線で示す）は、上流側の第１曲線部Ｓ１の曲がりの外側部分に偏った状態で、直線部Ｔに伝播される。そして、その直線部Ｔの長さが３０ｍｍ以下と短いため、第１曲線部Ｓ１から直線部Ｔに伝播した光Ｌは、その直線部Ｔの側面で殆ど反射することなく、上記偏ったままの状態で、第２曲線部Ｓ２に伝播される。その光Ｌは、上記第１の実施の形態と同様、上記第２曲線部Ｓ２の入口付近では、その曲がりの内側に偏って伝播することとなり、その第２曲線部Ｓ２の曲がりの外側の側面に集中して到達する。そして、その第２曲線部Ｓ２は、上記第１の実施の形態と同様であることから、上記側面に到達した光Ｌの殆どが、その側面で反射し、光Ｌの漏れを低減できる。このように、上記第２曲線部Ｓ２に伝播された光Ｌは、上記第１の実施の形態と同様にして、漏れを低減させた状態で受光素子５に到達する。すなわち、この実施の形態の光回路基板も、上記第１の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。

図１４は、本発明の光回路基板の第３の実施の形態を示す平面図である。この実施の形態では、絶縁層６１の表面に光素子５４，ＩＣチップインタフェース，抵抗，コンデンサ，コイル等の多数の電子部品５０が分散された状態で配置され、そのうちの複数の光素子５４に、光導波路Ｗ３のコア５２の一端部が光接続され、それらコア５２の他端部が光ファイバ接続用コネクタ５５に光接続されている。上記コア５２は、分散配置された電子部品５０を回避するように配置形成されることから、その一部分（図１４の楕円Ｄ３で囲む部分）がＳ字状に形成されている。そして、そのＳ字状の部分が、図１２（ｃ）に示す第１の実施の形態または図１３に示す第２の実施の形態と同様に、特徴的なコア幅に設定されている。それ以外の部分は、上記第１または第２の実施の形態と同様である。そして、この実施の形態の光回路基板も、上記第１または第２の実施の形態と同様の作用・効果を奏する。

なお、上記光回路基板の各実施の形態における光導波路Ｗ２，Ｗ３の断面構造〔図１（ｂ），図９に相当する断面構造〕は、図１５（ａ）に示す断面構造でもよいし、図１５（ｂ）に示す断面構造でもよい。すなわち、図１５（ａ）に示す断面構造は、第１クラッド層３１の下面に、コア３２が突出形成され、そのコア３２の側面および下面を被覆した状態で、上記第１クラッド層３１の下面に、第２クラッド層３３が形成された構造となっている。一方、図１５（ｂ）に示す断面構造は、図１５（ａ）に示す断面構造を上下逆さまにしたものとなっている。すなわち、第１クラッド層３１の下面部分に、コア３２が埋設されて、上記第１クラッド層３１の下面とコア３２の下面とが面一に形成され、それら第１クラッド層３１の下面とコア３２の下面とを被覆した状態で、第２クラッド層３３が形成された構造となっている。

また、上記位置センサおよび上記光回路基板の各実施の形態では、Ｓ字状の部分の下流側の第２曲線部Ｓ２の幅を、長さ方向に一定としたが、そのＳ字状の部分での光の伝播損失は、第２曲線部Ｓ２の幅が狭い程、低くなる傾向にあるため、第２曲線部Ｓ２の入口から出口にいくにつれて徐々に狭くしてもよい。

そして、上記各実施の形態では、Ｓ字状の部分が形成されたコア２２，３２を有する光導波路Ｗ，Ｗ２，Ｗ３を、位置センサおよび光回路基板に用いたが、光電気混載基板等の他の用途の光導波路としてもよい。

つぎに、実施例について比較例と併せて説明する。但し、本発明は、実施例に限定されるものではない。

〔アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料〕
成分ａ：エポキシ樹脂（三菱化学社製、ＹＸ７４００）６０重量部。
成分ｂ：エポキシ樹脂（ダイセル社製、ＥＨＰＥ３１５０）４０重量部。
成分ｃ：光酸発生剤（サンアプロ社製、ＣＰＩ−１０１Ａ）１重量部。
これら成分ａ〜ｃを混合することにより、アンダークラッド層およびオーバークラッド層の形成材料を調製した。

〔コアの形成材料〕
成分ｄ：エポキシ樹脂（ダイセル社製、ＥＨＰＥ３１５０）１００重量部。
成分ｅ：光酸発生剤（アデカ社製、ＳＰ−１７０）１重量部。
成分ｆ：乳酸エチル（和光純薬工業社製、溶剤）５０重量部。
これら成分ｄ〜ｆを混合することにより、コアの形成材料を調製した。

〔実施例１〕
上記各形成材料を用いて、コアの一部分がＳ字状に形成されている光導波路を作製した。そのＳ字状の部分は、第１曲線部Ｓ１の幅が、その第１曲線部Ｓ１の入口から出口にいくにつれて徐々に狭くなり、第２曲線部Ｓ２の入口の幅Ｂ２が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっているものとした〔図１（ｃ）参照〕。そして、第２曲線部Ｓ２の入口の幅Ｂ２を、下記の表１に示す様々な値に設定した。また、その表１には、それ以外の寸法，屈折率等を示した。なお、Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０を２００μｍとした。また、アンダークラッド層の厚みを２５μｍ、コアの厚みを３０μｍ、オーバークラッド層の、コアの頂面からの厚みを７０μｍとした。

〔比較例１〕
上記実施例１において、Ｓ字状の部分の幅を２００μｍと広く一定としたものを比較例１とした。それ以外の部分は、上記実施例１と同様とした。

〔光伝播損失の測定〕
上記光導波路のコアの一端面に、発光素子（Optowell社製、XH85-S0603-2s ）を接続し、上記コアの他端面に、受光素子（浜松ホトニクス社製、s10226）を接続した。そして、上記発光素子の発光強度（Ｅ）と上記受光素子での受光強度（Ｆ）から、下記の式（４）にしたがって、光伝播損失（α）を算出し、下記の表１に示した。

上記表１の結果から、実施例１は、比較例１と比較して、光伝播損失が小さいことがわかる。このことから、Ｓ字状の部分の第２曲線部の入口の幅Ｂ２が、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっていることが、光伝播損失を小さくする点で有効であることがわかる。なお、実施例１は、前記の式（１）を満たしている。

〔実施例２〜４および比較例２，３〕
上記実施例１および比較例１において、オーバークラッド層の形成材料を変えることにより、そのオーバークラッド層の屈折率を変え、それらを実施例２〜４および比較例２，３とした。そして、上記実施例１と同様にして、光伝播損失を算出した。その結果を、下記の表２，３に示した。

上記表２，３の結果から、実施例２〜４も、比較例２，３と比較して、光伝播損失が小さいことがわかる。このことからも、Ｓ字状の部分の第２曲線部の入口の幅Ｂ２が、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっていることが、光伝播損失を小さくする点で有効であることがわかる。なお、実施例２〜４も、前記の式（１）を満たしている。

また、図２〜８に示すＳ字状の部分が形成されたコアを有する光導波路についても、上記実施例１〜４と同様の傾向を示す結果が得られた。

〔位置センサ〕
上記各Ｓ字状の部分が形成された第２外周コア部を有する、図１（ａ）に示す位置センサを作製した。なお、発光素子および受光素子は上記と同様のものを用いた。

〔受光強度の測定〕
上記位置センサにおいて、入力領域を押圧していない状態で、受光素子で受光する光の強度を測定すると、図１（ｃ），図２〜８に示すＳ字状の部分が形成された第２外周コア部を有する位置センサでは、入力領域全体で均等であった。それに対し、比較例１〜３のＳ字状の部分が形成された第２外周コア部を有する位置センサでは、そのＳ字状の部分が形成されたコアに対応する部分で弱く、不均等になっていた。

〔実験例１〕
上記実施例１と同様の形成材料を用い、コアの一部分がＳ字状に形成されている光導波路を作製した。そのＳ字状の部分は、第１曲線部の入口の幅を２００μｍ、出口の幅を４０μｍ、曲率半径を１０ｍｍとし、第２曲線部の入口の幅を４０μｍ、出口の幅を１５μｍ、曲率半径を１０ｍｍとした。なお、上記第１曲線部の入口の幅は、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅と同じとした。そして、第１曲線部と第２曲線部との間に直線部を設け、その直線部の長さを０（零）ｍｍから１．２ｍｍずつ長くし、各直線部の長さで、上記実施例１と同様にして、光伝播損失を算出した。その結果を図１６のグラフに示した。

〔実験例２〕
上記実験例１において、第１曲線部の幅を２００μｍと広く一定とし、第２曲線部の入口の幅を２００μｍ、出口の幅を１５μｍ、曲率半径を１０ｍｍとした。そして、上記実験例１と同様にして、光伝播損失を算出した。その結果を上記図１６のグラフに合わせて示した。

上記図１６のグラフから、実験例１では、直線部の長さに係わらず、光伝播損失が略一定であることがわかる。それに対し、実験例２では、直線部の長さが３０ｍｍ以下の場合、直線部の長さが短いほど、光伝播損失が大きくなる傾向にあり、直線部の長さが３０ｍｍを超える場合は、光伝播損失が上記実験例１と略同じで略一定であることがわかる。これらのことから、直線部の長さが３０ｍｍ以下の場合、光伝播損失を小さくするためには、第２曲線部の入口の幅を、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くすることが、有効であることがわかる。

また、電気回路基板に積層する光回路基板用の光導波路として、下記の新たな各形成材料を用いて、コアの一部分がＳ字状に形成されている光導波路を作製した〔図１２（ａ），（ｂ）参照〕。

〔第１クラッド層および第２クラッド層の形成材料〕
成分ｇ：エポキシ樹脂（三菱化学社製、ｊＥＲ１００１）６０重量部。
成分ｈ：エポキシ樹脂（ダイセル社製、ＥＨＰＥ３１５０）３０重量部。
成分ｉ：エポキシ樹脂（ＤＩＣ社製、ＥＸＡ−４８１６）１０重量部。
成分ｊ：光酸発生剤（サンアプロ社製、ＣＰＩ−１０１Ａ）０．５重量部。
成分ｋ：酸化防止剤（共同薬品社製、Ｓｏｎｇｎｏｘ１０１０）０．５重量部。
成分ｌ：酸化防止剤（三光社製、ＨＣＡ）０．５重量部。
成分ｍ：乳酸エチル（和光純薬工業社製、溶剤）５０重量部。
これら成分ｇ〜ｍを混合することにより、第１クラッド層および第２クラッド層の形成材料を調製した。

〔コアの形成材料〕
成分ｎ：エポキシ樹脂（新日鐵化学社製、ＹＤＣＮ−７００−３）５０重量部。
成分ｏ：エポキシ樹脂（三菱化学社製、ｊＥＲ１００１）３０重量部。
成分ｐ：エポキシ樹脂（大阪ガスケミカル社製、オグソールＰＧ−１００）２０重量部。
成分ｑ：光酸発生剤（サンアプロ社製、ＣＰＩ−１０１Ａ）０．５重量部。
成分ｒ：酸化防止剤（共同薬品社製、Ｓｏｎｇｎｏｘ１０１０）０．５重量部。
成分ｓ：酸化防止剤（三光社製、ＨＣＡ）０．１２５重量部。
成分ｔ：乳酸エチル（和光純薬工業社製、溶剤）５０重量部。
これら成分ｎ〜ｔを混合することにより、コアの形成材料を調製した。

〔実施例５〜９〕
実施例５〜９では、上記Ｓ字状の部分は、第１曲線部Ｓ１の幅が、その第１曲線部Ｓ１の入口から出口にいくにつれて徐々に狭く、第１曲線部Ｓ１の出口の幅Ｂ１が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっているものとした〔図１２（ｃ），図１３参照〕。そして、第１曲線部Ｓ１の出口の幅Ｂ１や曲率半径Ｒ１等を、下記の表４に示す様々な値に設定した。また、第１曲線部Ｓ１の入口の幅は、Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０と同値とした。さらに、直線部Ｔ（実施例６〜９）の幅および第２曲線部Ｓ２の幅は、長さ方向に一定であり、上記第１曲線部Ｓ１の出口の幅Ｂ１と同値とした。そして、第２曲線部Ｓ２の曲率半径は、いずれの実施例も０．５ｍｍとした。なお、第１クラッド層の厚みを２５μｍ、コアの厚み（第１クラッド層の下面からの突出高さ）を３０μｍ、第２クラッド層の、コアの下面からの厚みを７０μｍとした。

〔比較例４〜６〕
下記の表４に示すように、比較例４では、第１曲線部の幅が、その第１曲線部の入口から出口にいくにつれて徐々に広くなるものとし、比較例５，６では、第１曲線部の幅が、その長さ方向に一定とした。そして、第１曲線部Ｓ１の曲率半径Ｒ１等を、下記の表４に示す様々な値に設定した。それ以外の部分は、実施例５〜９と同様とした。

〔光伝播損失の測定〕
ＶＣＳＥＬ光源（三喜社製、OP250-LS-850-MM-50-SC 、発光波長８５０ｎｍ）を接続したＧＩ型直径５０μｍのマルチモード光ファイバ（三喜社製、FFP-GI20-0500 ：第１の光ファイバ）と、受光器（アドバンテスト社製、光マルチメータ、Q8221 ）を接続した上記と同じＧＩ型直径５０μｍのマルチモード光ファイバ（第２の光ファイバ）とを準備した。そして、上記第１の光ファイバの先端と上記第２の光ファイバの先端とを突き合わせ、上記ＶＣＳＥＬ光源からの光を上記受光器で受光し、その受光強度（Ｈ）を測定した。

ついで、上記第１の光ファイバの先端を、上記実施例５〜９および上記比較例４〜６の光導波路における１本のコアの一端部の光反射面（光入射部）に光接続するとともに、上記第２の光ファイバの先端を、上記コアの他端部の光反射面（光出射部）に光接続した。そして、その状態で上記受光器で受光し、その受光強度（Ｉ）を測定した。

そして、測定した上記受光強度（Ｈ，Ｉ）から、下記の式（５）にしたがって、光伝播損失（β）を算出し、下記の表４に示した。

上記表４の結果から、実施例５〜９は、比較例４〜６と比較して、光伝播損失が小さいことがわかる。このことから、Ｓ字状の部分の第１曲線部の出口の幅Ｂ１が、そのＳ字状の部分より上流側のコア部分の幅Ｂ０よりも狭くなっていることが、光伝播損失を小さくする点で有効であることがわかる。特に、前記の式（３）を満たしている実施例７〜９は、光伝播損失がより小さくなっていることがわかる。

また、前記実施例１〜４の、コアの一部分がＳ字状に形成されている光導波路を、上記実施例５〜９と同様に、光回路基板用の光導波路として用いても、それら実施例５〜９と同様の傾向を示す結果が得られた。

本発明の光導波路は、コアでの光伝播をより適正にする場合に利用可能であり、光通信用途として用いることができ、光通信用途での光伝播損失低減およびコア引き回しの省スペース化に有効である。そして、本発明の位置センサは、入力領域を押圧していない状態で、受光素子での光の受光強度を均等にする場合に利用可能である。また、本発明の光回路基板は、光素子での光の受光強度の低下を抑制する場合に利用可能である。

Ｗ２ 光導波路
３２ コア
Ｓ１ 第１曲線部
Ｓ２ 第２曲線部
Ｂ０ 上流側のコア部分の幅
Ｂ１ 第１曲線部の出口の幅
Ｂ２ 第２曲線部の入口の幅

Claims (12)

1. 光路用の線状のコアと、このコアを上下から挟持するクラッド層とを備えた光導波路であって、上記コアが部分的に、光伝播の上流側の第１曲線部と、その第１曲線部と逆方向に曲がっている下流側の第２曲線部とが、長さ０（零）ｍｍ以上３０ｍｍ以下の直線部を介して、接続されたＳ字状に形成され、上記第１曲線部の出口の幅および上記第２曲線部の入口の幅の一方が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっていることを特徴とする光導波路。
2. 上記第２曲線部の入口の幅が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっており、上記第２曲線部の入口の幅（Ｂ２：単位μｍ）と、その第２曲線部の曲率半径（Ｒ２：単位ｍｍ）と、上記Ｓ字状の部分が形成されたコアの屈折率（Ｋ１）と、そのコアの側面を被覆するクラッド層の屈折率（Ｋ２）との関係が、下記の式（１）を満たしている請求項１記載の光導波路。
   

   
3. 上記第２曲線部の入口の幅（Ｂ２：単位μｍ）と、その第２曲線部の曲率半径（Ｒ２：単位ｍｍ）と、上記Ｓ字状の部分が形成されたコアの屈折率（Ｋ１）と、そのコアの側面を被覆するクラッド層の屈折率（Ｋ２）との関係が、下記の式（２）を満たしている請求項２記載の光導波路。
   

   
4. 上記第２曲線部の入口の幅が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっており、上記第１曲線部の幅が、その第１曲線部の入口から出口にいくにつれて徐々に狭くなっており、上記直線部の幅および上記第２曲線部の幅が、それぞれ、長さ方向に一定になっており、上記第１曲線部の出口の幅と、上記直線部の幅と、上記第２曲線部の幅とが等しくなっている請求項１〜３のいずれか一項に記載の光導波路。
5. 上記第２曲線部の入口の幅が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっており、上記第１曲線部の幅，上記直線部の幅および上記第２曲線部の幅が、それぞれ、長さ方向に一定になっており、上記第１曲線部の幅が、上記第２曲線部の幅よりも広くなっており、上記直線部の幅と、上記第２曲線部の幅とが等しくなっており、上記直線部の入口が、上記第１曲線部の出口のうち、その幅方向おいて、その第１曲線部の曲がりの外側に対応する部分に配置されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の光導波路。
6. 上記第２曲線部の入口の幅が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっており、上記第１曲線部の幅，上記直線部の幅および上記第２曲線部の幅が、それぞれ、長さ方向に一定になっており、上記第１曲線部の幅が、上記第２曲線部の幅よりも広くなっており、上記第１曲線部の幅と、上記直線部の幅とが等しくなっており、上記第２曲線部の入口が、上記直線部の出口のうち、その幅方向おいて、上記第１曲線部の曲がりの外側に対応する部分に配置されている請求項１〜３のいずれか一項に記載の光導波路。
7. 上記第２曲線部の入口の幅が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっており、上記第１曲線部の幅および上記第２曲線部の幅が、それぞれ、長さ方向に一定になっており、上記第１曲線部の幅が、上記第２曲線部の幅よりも広くなっており、上記直線部の入口の幅が、上記第１曲線部の幅と等しく、その直線部の出口の幅が、上記第２曲線部の幅と等しくなっている請求項１〜３のいずれか一項に記載の光導波路。
8. 上記第２曲線部の入口の幅が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっており、上記第１曲線部の幅，上記直線部の幅および上記第２曲線部の幅が、全て、長さ方向に一定で等しくなっている請求項１〜３のいずれか一項に記載の光導波路。
9. 上記第１曲線部の出口の幅が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっており、上記第１曲線部の出口の幅（Ｂ１：単位μｍ）と、その第１曲線部の曲率半径（Ｒ１：単位ｍｍ）と、上記Ｓ字状の部分が形成されたコアの屈折率（Ｋ１）と、そのコアの側面を被覆するクラッド層の屈折率（Ｋ２）との関係が、下記の式（３）を満たしている請求項１記載の光導波路。
   

   
10. 上記第１曲線部の出口の幅が、上記Ｓ字状の部分より上流側のコア部分の幅よりも狭くなっており、上記第１曲線部の幅が、その第１曲線部の入口から出口にいくにつれて徐々に狭くなっており、上記直線部の幅および上記第２曲線部の幅が、それぞれ、長さ方向に一定になっており、上記第１曲線部の出口の幅と、上記直線部の幅と、上記第２曲線部の幅とが等しくなっている請求項１または９記載の光導波路。
11. 複数の線状のコアからなる格子状部分と、この格子状部分の外周部の一横辺および一縦辺にそれぞれ位置し、上記格子状部分の各縦コアの先端および各横コアの先端に光接続する第１外周コア部と、上記格子状部分を介して上記一横辺および一縦辺にそれぞれ対面する他横辺および他縦辺に位置し、その各他辺に沿って延び、上記格子状部分の各縦コアの後端および各横コアの後端から延設されている第２外周コア部とを備えたシート状のコアパターン部材と、このコアパターン部材を上下から挟持するシート状のクラッド層とを有するシート状の光導波路と、この光導波路の上記第１外周コア部の端面に接続された発光素子と、上記第２外周コア部の端面に接続された受光素子とを備えた位置センサであって、上記第２外周コア部の少なくとも一部分に対応する光導波路の部分が、上記請求項１〜８のいずれか一項に記載の光導波路であり、上記発光素子で発光された光が、上記第１外周コア部から上記格子状部分および上記第２外周コア部を経て、上記受光素子で受光され、上記コアパターン部材の格子状部分に対応する位置センサの表面部分を入力領域とし、その入力領域における押圧位置を、その押圧により変化したコアの光伝播量によって特定することを特徴とする位置センサ。
12. 上記請求項１，９，１０のいずれか一項に記載の光導波路と、この光導波路のコアの端部と光接続された光部材とを備えていることを特徴とする光回路基板。

Images