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JP2017047562A - Foamed composite sheet, multilayered foamed composite sheet and manufacturing method thereof - Google Patents

Foamed composite sheet, multilayered foamed composite sheet and manufacturing method thereof Download PDF

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JP2017047562A
JP2017047562A JP2015171010A JP2015171010A JP2017047562A JP 2017047562 A JP2017047562 A JP 2017047562A JP 2015171010 A JP2015171010 A JP 2015171010A JP 2015171010 A JP2015171010 A JP 2015171010A JP 2017047562 A JP2017047562 A JP 2017047562A
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JP
Japan
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foamed
composite sheet
foam
metal
sheet
Prior art date
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Application number
JP2015171010A
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Japanese (ja)
Inventor
健一郎 高須
Kenichiro Takasu
健一郎 高須
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sekisui Chemical Co Ltd
Original Assignee
Sekisui Chemical Co Ltd
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Publication date
Application filed by Sekisui Chemical Co Ltd filed Critical Sekisui Chemical Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a foamed composite sheet that shock absorption ability and sealability are good and outgoing radiation effect in a sheet thickness direction is high.SOLUTION: A foamed composite sheet 10 comprises: a foamed layer 11 having multiple air bubbles 14 inside; and a metal system membrane 12 provided on one face of the foaming layer 11 and formed from at least one material chosen from a group consisting of metal, metal oxide and metal nitride. Plural number of the foamed layer 11 provided the metal system membrane 12 are laminated along one direction (X direction) parallel to a sheet surface with a state that inclined for a thickness direction.SELECTED DRAWING: Figure 1

Description

本発明は、発泡複合シート、多層発泡複合シート、及びこれらの製造方法に関し、例えば電子機器用途で放熱シートとして使用する発泡複合シート、多層発泡複合シート、及びこれらの製造方法に関する。   The present invention relates to a foamed composite sheet, a multilayer foamed composite sheet, and a method for producing the same. For example, the present invention relates to a foamed composite sheet, a multilayer foamed composite sheet, and a method for producing the same.

パーソナルコンピューター、携帯電話、及び電子ペーパー等の各種電子機器内部には、表示パネル、CPU、パワーアンプ等の駆動により高い熱量を発する電子部品が多く搭載されている。そのため、これら電子部品及びその周辺が、過熱されるのを防止するために、放熱シートが使用されることがある。放熱シートとしては、例えば、シリコーン樹脂に熱伝導性充填材を混合したシリコーン熱伝導性シートが知られている。   In various electronic devices such as personal computers, mobile phones, and electronic paper, many electronic components that emit a large amount of heat by driving a display panel, a CPU, a power amplifier, and the like are mounted. Therefore, in order to prevent these electronic components and their surroundings from being overheated, a heat dissipation sheet may be used. As a heat dissipation sheet, for example, a silicone heat conductive sheet in which a heat conductive filler is mixed with a silicone resin is known.

また、電子部品の周辺には、衝撃、振動等を吸収するための衝撃吸収材、又は、部品間の隙間を埋めるためのシール材等が多く使用されている。各種電子部品は、小型化、集積化が進み過熱されやすくなっているため、衝撃吸収材及びシール材には、衝撃吸収性能及びシール性に加え、放熱性能が求められることがある。従来、放熱性能と衝撃吸収性能とを兼ね備えた衝撃吸収材として、エラストマー及び熱伝導性フィラーを含む樹脂組成物を発泡させてなる発泡体が知られている(例えば、特許文献1参照)。
さらに、電子機器の小型化及び集積化が進むにつれて、衝撃吸収材、シール材、放熱シート等には、より狭いスペースに配置させることが求められるようになってきている。
In addition, around the electronic component, an impact absorbing material for absorbing impact, vibration, or the like, or a sealing material for filling a gap between the components is often used. Since various electronic components are easily downsized and integrated and are easily overheated, the shock absorbing material and the sealing material may be required to have a heat dissipation performance in addition to the shock absorbing performance and the sealing performance. Conventionally, a foam obtained by foaming a resin composition containing an elastomer and a thermally conductive filler is known as an impact absorbing material having both heat dissipation performance and impact absorbing performance (see, for example, Patent Document 1).
Further, as electronic devices are further miniaturized and integrated, it has been demanded that shock absorbing materials, sealing materials, heat dissipation sheets, and the like be arranged in a narrower space.

特開2013−231166号公報JP 2013-231166 A

特許文献1に記載される衝撃吸収材は、柔軟性が高く、衝撃吸収性に優れ、狭いスペースでも圧縮させることで容易に配置することが可能であるが、放熱性能が十分ではなく、更なる放熱性能の向上が望まれている。一方で、シリコーン熱伝導性シートは、放熱性能が良好であるが、柔軟性が低く、衝撃吸収性能及びシール性が不十分であったり、狭い隙間に配置することが難しかったりすることがある。
さらに、放熱シートは、各種部品の過熱を防止するために、厚み方向に効果的に放熱することが求められることがあるが、特許文献1に記載される発泡体、及びシリコーン熱伝導性シートは、一般的に厚み方向に効果的に放熱することが難しい。
The shock absorber described in Patent Document 1 has high flexibility, excellent shock absorption, and can be easily arranged by compressing even in a narrow space, but the heat dissipation performance is not sufficient, and further Improvement of heat dissipation performance is desired. On the other hand, the silicone thermal conductive sheet has good heat dissipation performance, but it has low flexibility, impact absorption performance and sealing performance are insufficient, and it may be difficult to arrange in a narrow gap.
Furthermore, the heat-dissipating sheet may be required to dissipate heat effectively in the thickness direction in order to prevent overheating of various components, but the foam described in Patent Document 1 and the silicone thermal conductive sheet are Generally, it is difficult to effectively dissipate heat in the thickness direction.

本発明は、以上の問題点に鑑みて成されたものであり、本発明の課題は、柔軟性を良好にしつつも、シートの厚み方向に放熱効果の高いシート部材を提供することである。   The present invention has been made in view of the above problems, and an object of the present invention is to provide a sheet member having a high heat dissipation effect in the thickness direction of the sheet while improving flexibility.

本発明者は、鋭意検討の結果、発泡シート内部に傾斜するように金属系膜を設けることで、発泡体の柔軟性を維持しつつも、厚み方向における熱伝導性を高くして、厚み方向の放熱効果が高くなることを見出し、以下の本発明を完成させた。
すなわち、本発明は、以下の(1)〜(11)を提供するものである。
(1)内部に複数の気泡を有する発泡層と、前記発泡層の一方の面に設けられ、金属、金属酸化物及び金属窒化物からなる群から選択される少なくとも1種の金属系材料から形成される金属系膜とを備え、
前記金属系膜が設けられた発泡層が、厚さ方向に対して傾いた状態で、シート面に平行な一方向に沿って複数積層されてなる発泡複合シート。
(2)前記金属系膜と、前記発泡層とが前記一方向に沿って交互に設けられる上記(1)に記載の発泡複合シート。
(3)前記発泡層が、熱伝導性フィラーを内部に含有する上記(1)又は(2)に記載の発泡複合シート。
(4)前記発泡層が、ゴム系発泡体である上記(1)〜(3)のいずれか1項に記載の発泡複合シート。
(5)前記金属系膜が、ステンレス、モネル、アルミニウム、銅、銀、チタン及びニッケルからなる群から選択される少なくとも1種から形成される上記(1)〜(4)のいずれか1項に記載の発泡複合シート。
(6)前記各発泡層の厚みが、0.05〜2.0mmである上記(1)〜(5)のいずれか1項に記載の発泡複合シート。
(7)発泡複合シートの厚みが、0.05〜1.0mmである上記(1)〜(6)のいずれか1項に記載の発泡複合シート。
(8)前記発泡層の見掛け密度が0.1〜3.0g/ccである上記(1)〜(7)のいずれか1項に記載の発泡複合シート。
(9)前記金属系膜の付着量が5〜1000μg/cmである上記(1)〜(8)のいずれか1項に記載の発泡複合シート。
(10)複数の前記金属系膜が設けられた発泡層が、接着材を介して互いに接着して積層される上記(1)〜(9)のいずれか1項に記載の発泡複合シート。
(11)前記接着材が両面粘着テープである上記(10)に記載の発泡複合シート。
(12)内部に複数の気泡を有する発泡シートの一方の面に、金属酸化物及び金属窒化物からなる群から選択される少なくとも1種の金属系材料によって、金属系膜を形成し、その金属系膜を形成した発泡シートを複数層に重ねて積層体を形成し、次いで、この積層体の積層方向に対して傾斜する方向に沿って前記積層体をシート状に切断して、発泡複合シートを得る発泡複合シートの製造方法。
As a result of intensive studies, the inventor has provided a metal film so as to incline inside the foam sheet, thereby increasing the thermal conductivity in the thickness direction while maintaining the flexibility of the foam. As a result, the present invention was completed.
That is, the present invention provides the following (1) to (11).
(1) Formed from a foam layer having a plurality of bubbles inside and at least one metal-based material selected from the group consisting of metal, metal oxide, and metal nitride provided on one surface of the foam layer A metal-based film,
A foamed composite sheet obtained by laminating a plurality of foamed layers provided with the metal-based film along one direction parallel to the sheet surface in a state inclined with respect to the thickness direction.
(2) The foamed composite sheet according to (1), wherein the metal film and the foamed layer are alternately provided along the one direction.
(3) The foamed composite sheet according to (1) or (2), wherein the foamed layer contains a thermally conductive filler therein.
(4) The foamed composite sheet according to any one of (1) to (3), wherein the foamed layer is a rubber foam.
(5) In any one of the above (1) to (4), the metal film is formed of at least one selected from the group consisting of stainless steel, monel, aluminum, copper, silver, titanium, and nickel. The foamed composite sheet as described.
(6) The foamed composite sheet according to any one of (1) to (5), wherein the thickness of each foamed layer is 0.05 to 2.0 mm.
(7) The foamed composite sheet according to any one of (1) to (6), wherein the foamed composite sheet has a thickness of 0.05 to 1.0 mm.
(8) The foamed composite sheet according to any one of (1) to (7), wherein an apparent density of the foamed layer is 0.1 to 3.0 g / cc.
(9) The foamed composite sheet according to any one of (1) to (8), wherein the adhesion amount of the metal film is 5 to 1000 μg / cm 2 .
(10) The foamed composite sheet according to any one of (1) to (9), wherein the foamed layers provided with a plurality of the metal-based films are laminated by being bonded to each other via an adhesive.
(11) The foamed composite sheet according to (10), wherein the adhesive is a double-sided pressure-sensitive adhesive tape.
(12) A metal film is formed on at least one metal material selected from the group consisting of metal oxides and metal nitrides on one surface of a foam sheet having a plurality of bubbles inside, and the metal A foamed composite sheet is formed by stacking a foamed sheet having a base film on a plurality of layers to form a laminated body, and then cutting the laminated body into a sheet shape along a direction inclined with respect to the laminating direction of the laminated body. A method for producing a foamed composite sheet.

本発明によれば、発泡シートの良好な柔軟性を維持しつつ、厚み方向に放熱効果の高い発泡複合シートを提供する。   According to the present invention, a foamed composite sheet having a high heat dissipation effect in the thickness direction is provided while maintaining good flexibility of the foamed sheet.

本発明の一実施形態に係る発泡複合シートを示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows the foaming composite sheet which concerns on one Embodiment of this invention. 図1におけるII−II線上における断面図である。It is sectional drawing on the II-II line in FIG. 本発明の一実施形態に係る発泡複合シートの製造方法において、発泡シートを積層する工程を示す模式的な断面図である。In the manufacturing method of the foam composite sheet which concerns on one Embodiment of this invention, it is typical sectional drawing which shows the process of laminating | stacking a foam sheet. 本発明の一実施形態に係る発泡複合シートの製造方法において、積層体を切断する工程を示す模式的な断面図である。In the manufacturing method of the foam composite sheet which concerns on one Embodiment of this invention, it is typical sectional drawing which shows the process of cut | disconnecting a laminated body. 発泡複合シートの一使用例を示す模式的な断面図である。It is typical sectional drawing which shows one example of use of a foam composite sheet.

以下、本発明の一実施形態について図面を用いて詳細に説明する。図1、2は、本発明の一実施形態に係る発泡複合シートの断面図である。
なお、以下の説明では、発泡複合シート10のシート面に平行な一方向をX方向、シート面に平行でX方向と垂直の方向をY方向とし、シートの厚さ方向をZ方向とする。Z方向は、X,Y方向のいずれにも垂直である。
Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. 1 and 2 are sectional views of a foamed composite sheet according to an embodiment of the present invention.
In the following description, one direction parallel to the sheet surface of the foamed composite sheet 10 is the X direction, a direction parallel to the sheet surface and perpendicular to the X direction is the Y direction, and the thickness direction of the sheet is the Z direction. The Z direction is perpendicular to both the X and Y directions.

<発泡複合シート>
図1に示すように、発泡複合シート10は、内部に複数の気泡14を有する発泡層11と、発泡層11の一方の面に設けられる金属系膜12とを備える。なお、以下の説明においては、一方の面に金属系膜12が設けられた発泡層11を複合発泡層15として説明する。発泡複合シート10においては、Z方向に対して傾いた状態の複合発泡層15がX方向に沿って複数積層される。
複合発泡層15のZ方向に対する傾斜角度R1は、10〜80°であることが好ましく、20〜70°であることがより好ましい。複合発泡層15をこのような角度で傾斜させることで、金属系膜12及び後述する接着材13は、Z方向の圧縮を阻害しにくくなる。そのため、発泡複合シート10の柔軟性を低下させにくくなる。
<Foam composite sheet>
As shown in FIG. 1, the foamed composite sheet 10 includes a foamed layer 11 having a plurality of bubbles 14 inside, and a metal film 12 provided on one surface of the foamed layer 11. In the following description, the foamed layer 11 provided with the metal film 12 on one surface will be described as the composite foamed layer 15. In the foamed composite sheet 10, a plurality of composite foamed layers 15 that are inclined with respect to the Z direction are stacked along the X direction.
The inclination angle R1 of the composite foam layer 15 with respect to the Z direction is preferably 10 to 80 °, and more preferably 20 to 70 °. By tilting the composite foam layer 15 at such an angle, the metal-based film 12 and the adhesive 13 described later are unlikely to inhibit compression in the Z direction. Therefore, it becomes difficult to reduce the flexibility of the foamed composite sheet 10.

各複合発泡層15は、図1に示すように平行四辺形の断面形状(或いは、X方向における両端においては、平行四辺形が切断された断面形状)を呈し、かつ図2に示すようにY方向に延在する細長形状のものあり、その細長形状の複合発泡層15が、X方向に複数積層されて1枚の発泡複合シート10を構成する。
各複合発泡層15は、金属系膜12が設けられた一方の面15Aが、他の複合発泡層15の一方の面15Aとは反対側の面15Bに接着することで積層される。このような構成により、発泡層11及び金属系膜12は、X方向に沿って交互に設けられることになる。
また、各複合発泡層15の一方の面15Aは、反対側の面15Bに接着材13を介して接着される。ただし、発泡複合シート10において、各複合発泡層15を、接着材を用いなくても、他の複合発泡層15に接着可能であれば、接着材は省略可能である。
なお、図1,2には、発泡層11が、X方向に9つ並ぶ構成が示されるが、発泡層11の数は、限定されず、発泡複合シート10の大きさに合わせて適宜変更すればよい。
Each composite foam layer 15 has a parallelogram cross-sectional shape as shown in FIG. 1 (or a cross-sectional shape obtained by cutting the parallelogram at both ends in the X direction), and Y as shown in FIG. A plurality of elongated composite foam layers 15 are laminated in the X direction to form one foam composite sheet 10.
Each composite foam layer 15 is laminated by bonding one surface 15A on which the metal-based film 12 is provided to a surface 15B opposite to one surface 15A of the other composite foam layer 15. With such a configuration, the foam layers 11 and the metal-based films 12 are alternately provided along the X direction.
Further, one surface 15A of each composite foam layer 15 is bonded to the opposite surface 15B via an adhesive 13. However, in the foamed composite sheet 10, the adhesive can be omitted if each composite foamed layer 15 can be adhered to another composite foamed layer 15 without using an adhesive.
1 and 2 show a configuration in which nine foam layers 11 are arranged in the X direction. However, the number of foam layers 11 is not limited, and may be appropriately changed according to the size of the foam composite sheet 10. That's fine.

次に、発泡複合シートを構成する各部材についてより詳細に説明する。
[発泡層]
各発泡層11は、複数の気泡14を有する発泡体であって、発泡体の原料となる発泡体材料を発泡してなるものである。発泡層11は、具体的には、ポリオレフィン系発泡体、ゴム系発泡体、アクリル系発泡体、シリコーン系発泡体、ウレタン系発泡体等が挙げられるが、ゴム系発泡体が好ましい。ゴム系発泡体を使用することで、発泡複合シート10の柔軟性、衝撃吸収性、及びシール性を高めやすくなる。また、発泡層11は架橋したものであることが好ましい。
各発泡層11がゴム系発泡体である場合、発泡体材料に含有される樹脂成分としては、エラストマー樹脂が使用される。エラストマー樹脂としては、アクリロニトリルブタジエンゴム、エチレン−プロピレン−ジエンゴム、エチレン−プロピレンゴム、天然ゴム、ポリブタジエンゴム、ポリイソプレンゴム、スチレン−ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレン−ブタジエンブロック共重合体、水素添加スチレン−ブタジエン−スチレンブロック共重合体、水素添加スチレン−イソプレンブロック共重合体、水素添加スチレン−イソプレン−スチレンブロック共重合体、シリコーンゴム等が挙げられ、これらの中では、アクリロニトリルブタジエンゴム、エチレン−プロピレン−ジエンゴムが好ましい。これらエラストマー樹脂は、1種単独で使用してもよいし、2種以上を選択して使用してもよい。また、これらエラストマー樹脂は、液状ゴムであってもよいし、固体状のものであってもよいし、これらの混合物であってもよい。
Next, each member constituting the foamed composite sheet will be described in more detail.
[Foamed layer]
Each foam layer 11 is a foam having a plurality of bubbles 14 and is formed by foaming a foam material that is a raw material of the foam. Specific examples of the foam layer 11 include polyolefin foams, rubber foams, acrylic foams, silicone foams, urethane foams, and the like, but rubber foams are preferred. By using the rubber-based foam, it is easy to improve the flexibility, impact absorption, and sealing performance of the foamed composite sheet 10. Moreover, it is preferable that the foaming layer 11 is what bridge | crosslinked.
When each foam layer 11 is a rubber foam, an elastomer resin is used as the resin component contained in the foam material. Elastomer resins include acrylonitrile butadiene rubber, ethylene-propylene-diene rubber, ethylene-propylene rubber, natural rubber, polybutadiene rubber, polyisoprene rubber, styrene-butadiene block copolymer, hydrogenated styrene-butadiene block copolymer, hydrogenated Examples thereof include styrene-butadiene-styrene block copolymers, hydrogenated styrene-isoprene block copolymers, hydrogenated styrene-isoprene-styrene block copolymers, silicone rubbers, among these, acrylonitrile butadiene rubber, ethylene- Propylene-diene rubber is preferred. These elastomer resins may be used alone or in combination of two or more. In addition, these elastomer resins may be liquid rubber, solid, or a mixture thereof.

また、発泡層11は、内部に分散された熱伝導性フィラーを含有することが好ましい。発泡層11は、熱伝導性フィラーを含有することで、発泡複合シート10の熱伝導性をより良好にしやすくなる。また、熱伝導性フィラーは、一部が金属系膜12に接触し、金属系膜12とともに厚み方向の熱伝導性を良好にしやすくなる。
熱伝導性フィラーとしては、酸化マグネシウム、酸化アルミニウム、窒化ホウ素、タルク、窒化アルミニウム、及び、グラファイト、グラフェン、カーボンブラック、カーボンファイバ、カーボンナノチューブ、カーボンナノホーン等の炭素質材料が挙げられる。
これらの中では、酸化アルミニウム、酸化マグネシウム等の金属系フィラーが好ましく、中でも酸化マグネシウムがより好ましい。酸化マグネシウムを使用することで、後述する発泡シートを成形するとき、熱伝導性フィラーにより各種の装置を傷つけることを防止する。
これら熱伝導性フィラーは、1種単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。
Moreover, it is preferable that the foaming layer 11 contains the heat conductive filler disperse | distributed inside. The foamed layer 11 can easily improve the thermal conductivity of the foamed composite sheet 10 by containing a thermally conductive filler. Further, a part of the heat conductive filler comes into contact with the metal film 12, and it becomes easy to improve the heat conductivity in the thickness direction together with the metal film 12.
Examples of the thermally conductive filler include magnesium oxide, aluminum oxide, boron nitride, talc, aluminum nitride, and carbonaceous materials such as graphite, graphene, carbon black, carbon fiber, carbon nanotube, and carbon nanohorn.
Among these, metal fillers such as aluminum oxide and magnesium oxide are preferable, and among these, magnesium oxide is more preferable. By using magnesium oxide, it is possible to prevent various devices from being damaged by the thermally conductive filler when a foam sheet described later is formed.
These heat conductive fillers may be used alone or in combination of two or more.

熱伝導性フィラーとしては、平均粒径が好ましくは0.1〜100μm、より好ましくは0.5〜50μmのものを用いる。なお、本発明において、平均粒径は体積平均粒径であり、マイクロトラック粒度分布測定装置MT3300EX(日機装株式会社製)による測定値である。
熱伝導フィラーの含有量は、発泡層中の樹脂成分100質量部に対して100〜500質量部が好ましい。熱伝導フィラーの含有量が100質量部以上であると、発泡層11に十分な熱伝導性を付与することが可能になる。熱伝導フィラーの含有量が500質量部以下であると、発泡層11の柔軟性が低下することを防止する。発泡層11の熱伝導性、及び柔軟性の観点から、樹脂成分100質量部に対する熱伝導フィラーの含有量は、120〜480質量部が好ましく、150〜450質量部がより好ましい。
As the heat conductive filler, those having an average particle diameter of preferably 0.1 to 100 μm, more preferably 0.5 to 50 μm are used. In addition, in this invention, an average particle diameter is a volume average particle diameter, and is a measured value by the micro track particle size distribution measuring apparatus MT3300EX (made by Nikkiso Co., Ltd.).
As for content of a heat conductive filler, 100-500 mass parts is preferable with respect to 100 mass parts of resin components in a foamed layer. When the content of the heat conductive filler is 100 parts by mass or more, it is possible to impart sufficient heat conductivity to the foam layer 11. It is prevented that the softness | flexibility of the foam layer 11 falls that content of a heat conductive filler is 500 mass parts or less. From the viewpoint of thermal conductivity and flexibility of the foam layer 11, the content of the heat conductive filler with respect to 100 parts by mass of the resin component is preferably 120 to 480 parts by mass, and more preferably 150 to 450 parts by mass.

発泡体材料は、熱伝導性フィラー以外にも、後述する熱分解型発泡剤、架橋のための有機過酸化物、さらには、必要に応じて配合される、架橋助剤、酸化防止剤、発泡助剤、気泡核調整材、熱安定剤、着色剤、難燃剤、帯電防止剤、充填材等の各種添加剤を、発泡層11の物性を損なわない範囲で含有していてもよい。また、発泡層11がゴム系発泡体である場合でも、発泡体材料(発泡層11)は、ポリオレフィン樹脂等の上記のエラストマー樹脂以外の樹脂成分を含有してもよいが、エラストマー樹脂は、樹脂成分の主成分となるものである。具体的には、エラストマー樹脂は、発泡体材料(発泡層11)中の樹脂成分全量に対して、通常、70〜100質量%、好ましくは90〜100質量%含有される。   In addition to the thermally conductive filler, the foam material is a pyrolytic foaming agent described later, an organic peroxide for crosslinking, and further, a crosslinking aid, antioxidant, foaming, which is blended as necessary. Various additives such as an auxiliary agent, a cell nucleus adjusting material, a heat stabilizer, a colorant, a flame retardant, an antistatic agent, and a filler may be contained within a range that does not impair the physical properties of the foamed layer 11. Even when the foam layer 11 is a rubber-based foam, the foam material (foam layer 11) may contain a resin component other than the above-described elastomer resin such as a polyolefin resin. It is the main component of the component. Specifically, the elastomer resin is usually contained in an amount of 70 to 100% by mass, preferably 90 to 100% by mass, based on the total amount of the resin component in the foam material (foam layer 11).

また、各発泡層11は、その厚みD1が0.05〜2.0mmであることが好ましく、0.2〜1.0mmであることがより好ましい。厚みD1を上記上限値以下とすることで、発泡複合シート10における金属系膜12の数を多くしやすくなるので、発泡複合シート10の熱伝導性を向上させやすい。また、厚みD1を上記範囲内とすることで、発泡複合シート10の製造を容易にしやすくなる。
なお、各発泡層11の厚みD1とは、図1に示すように、発泡層11の金属系膜12が設けられた面と、その反対側の面との距離を意味する。発泡層11の厚みD1は、発泡複合シート10を製造する際に使用される発泡シート31(図3参照)の厚みと同一となる。
Each foam layer 11 has a thickness D1 of preferably 0.05 to 2.0 mm, and more preferably 0.2 to 1.0 mm. By setting the thickness D1 to be equal to or less than the above upper limit value, the number of the metal-based films 12 in the foamed composite sheet 10 can be easily increased, so that the thermal conductivity of the foamed composite sheet 10 can be easily improved. Moreover, it becomes easy to manufacture the foamed composite sheet 10 by making thickness D1 into the said range.
In addition, as shown in FIG. 1, the thickness D1 of each foam layer 11 means the distance between the surface on which the metal film 12 of the foam layer 11 is provided and the opposite surface. The thickness D1 of the foam layer 11 is the same as the thickness of the foam sheet 31 (see FIG. 3) used when the foam composite sheet 10 is manufactured.

発泡層11は、独立気泡を有することが好ましい。発泡層11は、独立気泡を有することにより、水、ホコリ等の侵入防止効果の高いシール材とすることが可能である。また、衝撃を受けた際に、気泡の変形量が抑えられるため、衝撃に対する発泡層の変形量が抑えられ、衝撃吸収性を高めやすくなる。
発泡層11は、その見掛け密度が0.1〜3.0g/ccであることが好ましく、0.3〜1.0g/ccであることがより好ましい。発泡層11は、見掛け密度がこれらの範囲となることで、適度な機械強度と柔軟性を有することが可能になる。なお、発泡層11の見掛け密度は、後述する発泡シート31の見掛け密度を測定することで求めることができる。
The foam layer 11 preferably has closed cells. Since the foam layer 11 has closed cells, it can be used as a sealing material having a high invasion preventing effect such as water and dust. Further, since the amount of deformation of the bubbles is suppressed when subjected to an impact, the amount of deformation of the foamed layer with respect to the impact is suppressed, and the impact absorbability is easily improved.
The apparent density of the foam layer 11 is preferably 0.1 to 3.0 g / cc, and more preferably 0.3 to 1.0 g / cc. The foamed layer 11 can have appropriate mechanical strength and flexibility when the apparent density falls within these ranges. In addition, the apparent density of the foam layer 11 can be calculated | required by measuring the apparent density of the foam sheet 31 mentioned later.

[金属系膜]
金属系膜12は、金属、金属酸化物及び金属窒化物からなる群から選択される少なくとも1種の金属系材料から形成されるものである。金属系膜12は、薄膜となるものであり、通常、金属系膜12における金属系材料の付着量は、各面において5〜1000μg/cmとなる。金属系膜12は、上記のように発泡層11の一方の面に設けられるものであるが、両面に設けられてもよい。ただし、発泡層11の一方の面上のみに設けられることが好ましい。
[Metal film]
The metal film 12 is formed of at least one metal material selected from the group consisting of metals, metal oxides, and metal nitrides. The metal film 12 is a thin film, and the adhesion amount of the metal material in the metal film 12 is normally 5 to 1000 μg / cm 2 on each surface. The metal film 12 is provided on one surface of the foamed layer 11 as described above, but may be provided on both surfaces. However, it is preferably provided only on one surface of the foam layer 11.

金属系膜12は、図1に示すように、発泡複合シート10の一方の面10Aと他方の面10Bを接続するように設けられる。そのため、発泡複合シート10のZ方向における熱伝導性を良好にして、Z方向の放熱効果を高めることが可能になる。また、金属系膜12は、上記したように発泡層11に熱伝導性フィラーが含有されていると、熱伝導性フィラーとともに、発泡複合シート10の熱伝導性をより高めることが可能である。   As shown in FIG. 1, the metal film 12 is provided so as to connect one surface 10 </ b> A and the other surface 10 </ b> B of the foamed composite sheet 10. Therefore, it is possible to improve the thermal conductivity in the Z direction of the foamed composite sheet 10 and enhance the heat dissipation effect in the Z direction. Moreover, when the metal-type film | membrane 12 contains the heat conductive filler in the foaming layer 11 as mentioned above, it is possible to improve the heat conductivity of the foam composite sheet 10 with a heat conductive filler.

金属系膜12は、発泡層11に比べると剛直で発泡複合シート10の柔軟性等を低くする要因ともなり得るが、金属系膜12は、一対の発泡層11の間においてZ方向に対して傾斜して配置される。そのため、金属系膜12は、発泡複合シート10がZ方向に圧縮される際、その圧縮を大きく阻害しないので、発泡複合シート10のZ方向における柔軟性を良好に維持しやすくなる。発泡複合シート10は、柔軟性が良好に維持されることで、シール性、衝撃吸収性等も良好にしやすくなる。また、金属系膜12は、上記のような付着量とすることで、極薄となるので、柔軟性がより一層良好になる。
金属系膜12の付着量は、高い柔軟性を維持しつつ熱伝導性を良好とするために、10〜200μg/cmであることが好ましい。
なお、金属系膜の付着量は、後述する実施例で記載するように、X線観察により、金属系膜12が設けられる一方の面15Aにおける単位面積当たりの金属系膜の重量を求めたものである。なお、金属系膜の付着量は、代替的に後述する発泡シートにおける一方の面に付着された金属系膜の付着量を測定することで求めることが可能である。
The metal-based film 12 is more rigid than the foamed layer 11 and may cause a decrease in flexibility and the like of the foamed composite sheet 10, but the metal-based film 12 is between the pair of foamed layers 11 with respect to the Z direction. Inclined. Therefore, when the foamed composite sheet 10 is compressed in the Z direction, the metal-based film 12 does not greatly inhibit the compression, so that the flexibility of the foamed composite sheet 10 in the Z direction is easily maintained. The foamed composite sheet 10 is easily maintained in flexibility, so that the sealing property, the shock absorption property, and the like are easily improved. Moreover, since the metal film 12 is made extremely thin by setting the amount of adhesion as described above, the flexibility is further improved.
The adhesion amount of the metal film 12 is preferably 10 to 200 μg / cm 2 in order to improve thermal conductivity while maintaining high flexibility.
The adhesion amount of the metal film was obtained by obtaining the weight of the metal film per unit area on one surface 15A on which the metal film 12 was provided by X-ray observation, as described in the examples described later. It is. The adhesion amount of the metal film can be obtained by measuring the adhesion amount of the metal film adhered to one surface of the foam sheet, which will be described later.

金属系膜12を形成する金属としては、アルミニウム、銅、銀、ニッケル、チタン等の金属、及びステンレス、モネル等の2種以上の金属からなる合金が挙げられる。また、金属系膜を形成する金属酸化物としては、酸化アルミニウム、酸化亜鉛等が挙げられる。また金属窒化物としては、窒化チタン等が挙げられる。これらは、1種単独で使用してもよいし、2種以上を組み合わせて使用してもよい。
これらの中では放熱効果が高いことから、金属から形成されることが好ましく、アルミニウム、ステンレス、及びチタンから選択される1種以上がより好ましく、熱伝導性が高い点からアルミニウムがさらに好ましい。
Examples of the metal that forms the metal-based film 12 include metals such as aluminum, copper, silver, nickel, and titanium, and alloys made of two or more metals such as stainless steel and monel. Examples of the metal oxide forming the metal film include aluminum oxide and zinc oxide. Moreover, titanium nitride etc. are mentioned as a metal nitride. These may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.
In these, since it is high in the heat dissipation effect, it is preferable to form from a metal, 1 or more types selected from aluminum, stainless steel, and titanium are more preferable, and aluminum is more preferable from a point with high heat conductivity.

[接着材]
接着材13としては、複合発泡層15を他の複合発泡層15に接着できるものであれば、特に限定されない。接着材13としては、具体的には、粘着剤層、両面粘着テープ、接着剤層等が挙げられ、両面粘着テープが好ましい。両面粘着テープは、基材と、基材の両面に設けられた粘着剤層とを備えるものである。両面粘着テープは、一方の粘着剤層を金属系膜12に接着させるとともに、他方の粘着剤層を、発泡層11の金属系膜12が設けられた面とは反対側の面に接着させる。接着材として両面粘着テープを使用すると、発泡複合シートに容易に接着材を設けることが可能になる。
接着材13は、金属系膜12と同様に、一対の発泡層11、11の間においてZ方向に対して傾斜して配置される。そのため、接着材13は、発泡層11に比べて剛直であるが、発泡複合シート10のZ方向における圧縮を大きく阻害せず、発泡複合シート10のZ方向における柔軟性を良好に維持しやすくなる。
[Adhesive]
The adhesive 13 is not particularly limited as long as it can bond the composite foam layer 15 to another composite foam layer 15. Specific examples of the adhesive 13 include a pressure-sensitive adhesive layer, a double-sided pressure-sensitive adhesive tape, and an adhesive layer, and a double-sided pressure-sensitive adhesive tape is preferable. The double-sided pressure-sensitive adhesive tape includes a base material and a pressure-sensitive adhesive layer provided on both surfaces of the base material. In the double-sided pressure-sensitive adhesive tape, one pressure-sensitive adhesive layer is bonded to the metal film 12 and the other pressure-sensitive adhesive layer is bonded to the surface of the foamed layer 11 opposite to the surface on which the metal film 12 is provided. When a double-sided pressure-sensitive adhesive tape is used as the adhesive, it is possible to easily provide the adhesive on the foamed composite sheet.
Similar to the metal film 12, the adhesive 13 is disposed between the pair of foam layers 11 and 11 so as to be inclined with respect to the Z direction. Therefore, the adhesive 13 is stiffer than the foamed layer 11, but does not significantly inhibit the compression of the foamed composite sheet 10 in the Z direction, and easily maintains the flexibility of the foamed composite sheet 10 in the Z direction. .

接着材の厚みD3は、1〜200μmであることが好ましく、より好ましくは3〜150μmであり、更に好ましくは5〜100μmである。接着材の厚みが200μm以下であると、発泡複合シートにおいて、接着材により柔軟性及び熱伝導性が低下することを防止する。また、1μm以上とすることで、適度な接着性を発揮することが可能になる。
粘着剤層を構成する粘着剤としては、特に制限はなく、例えば、アクリル系粘着剤、ウレタン系粘着剤、ゴム系粘着剤等が挙げられる。また、両面粘着テープの基材としては、特に限定されないが、樹脂フィルム、紙基材、不織布等が挙げられる。
The thickness D3 of the adhesive is preferably 1 to 200 μm, more preferably 3 to 150 μm, and still more preferably 5 to 100 μm. When the thickness of the adhesive is 200 μm or less, in the foamed composite sheet, the flexibility and thermal conductivity are prevented from being lowered by the adhesive. Moreover, it becomes possible to exhibit moderate adhesiveness by setting it as 1 micrometer or more.
There is no restriction | limiting in particular as an adhesive which comprises an adhesive layer, For example, an acrylic adhesive, a urethane type adhesive, a rubber-type adhesive, etc. are mentioned. Moreover, as a base material of a double-sided adhesive tape, although not specifically limited, a resin film, a paper base material, a nonwoven fabric, etc. are mentioned.

発泡複合シート10の25%圧縮強度は、5〜200kPaが好ましく、10〜190kPaがより好ましく、15〜150kPaがさらに好ましい。
圧縮強度を5〜200kPaとすることで、発泡複合シートの柔軟性が適度なものとなって、発泡複合シートを狭いスペースに容易に配置することが可能になる。また、衝撃吸収性及びシール性も良好にしやすくなる。なお、発泡複合シート10は、上記したように内部に圧縮強度を大きくする要因となり得る金属系膜12、接着材13が設けられるものであるが、これらはZ方向に対して傾斜して配置しているので、比較的低い圧縮強度を確保しやすい。
The 25% compressive strength of the foamed composite sheet 10 is preferably 5 to 200 kPa, more preferably 10 to 190 kPa, and still more preferably 15 to 150 kPa.
By setting the compressive strength to 5 to 200 kPa, the flexibility of the foamed composite sheet becomes appropriate, and the foamed composite sheet can be easily arranged in a narrow space. Moreover, it becomes easy to make a shock absorption property and a sealing property favorable. Note that the foamed composite sheet 10 is provided with the metal film 12 and the adhesive 13 which can increase the compressive strength as described above, and these are arranged so as to be inclined with respect to the Z direction. Therefore, it is easy to ensure a relatively low compressive strength.

また、発泡複合シート10は、その厚みD2が0.05〜1.0mmであることが好ましい。発泡複合シートの厚みが0.05mm以上となると、機械強度を良好にしやすくなる。また、1.0mm以下とすることで、柔軟性を確保し、かつ小型化された各種電子機器の狭いスペースに配置しやすくなる。以上の観点から発泡シートの厚みは、0.1〜0.6mmであることがより好ましい。
なお、発泡複合シート10の厚みD2とは、その一方の面10Aから他方の面10Bまでの距離を意味し、後述する固定用接着材等の任意の部材を備える場合、その任意の部材の厚みを含まない。上記した圧縮強度、及び見かけ倍率も同様である。
The foamed composite sheet 10 preferably has a thickness D2 of 0.05 to 1.0 mm. When the thickness of the foamed composite sheet is 0.05 mm or more, the mechanical strength is easily improved. Moreover, by setting it as 1.0 mm or less, it becomes easy to arrange | position in the narrow space of the various electronic devices which ensured flexibility and were reduced in size. From the above viewpoint, the thickness of the foam sheet is more preferably 0.1 to 0.6 mm.
Note that the thickness D2 of the foamed composite sheet 10 means the distance from one surface 10A to the other surface 10B, and when an arbitrary member such as a fixing adhesive described later is provided, the thickness of the arbitrary member Not included. The above-described compressive strength and apparent magnification are the same.

発泡複合シート10は、その両面10A、10Bのうち少なくともいずれか一方の面に固定用接着材をさらに備えていてもよい。発泡複合シート10は、固定用接着材を備える場合、その固定用接着材により、各種部材に固定される。なお、固定用接着材の構成は、上記した接着材と同様であるのでその説明は省略する。   The foamed composite sheet 10 may further include a fixing adhesive on at least one of the both surfaces 10A and 10B. When the foamed composite sheet 10 includes a fixing adhesive, the foamed composite sheet 10 is fixed to various members by the fixing adhesive. The configuration of the fixing adhesive is the same as that of the above-described adhesive, and the description thereof is omitted.

<発泡複合シートの製造方法>
以下、本発明の発泡複合シートの製造方法について図3、4を用いて説明する。発泡複合シートの製造においては、まず、内部に複数の気泡を有する発泡シート31を用意し、上記金属系材料により各発泡シート31の一方の面に金属系膜32を形成する。
<Method for producing foamed composite sheet>
Hereinafter, the manufacturing method of the foam composite sheet of this invention is demonstrated using FIG. In the manufacture of a foamed composite sheet, first, a foamed sheet 31 having a plurality of bubbles is prepared, and a metal film 32 is formed on one surface of each foamed sheet 31 using the metal material.

[発泡シートの製造]
発泡シート31の製造方法について説明すると、発泡シート31は、発泡体材料に気泡を形成して製造するが、好ましくは、発泡体材料をシート状に加工して、発泡させる方法が挙げられる。
発泡体材料をシート状に加工する方法は、エラストマー樹脂等の樹脂成分、並びに必要に応じて配合される熱伝導性フィラー、及びその他添加剤を押出機に供給して溶融混練し、押出機から押出すことによってシート状にされた発泡体材料を得る方法が挙げられる。あるいは、カレンダー、コンベアベルトキャスティングなどを用いて混練しながら連続的に搬送することにより発泡体材料を、所定厚みを有するシート状に加工してもよい。
[Manufacture of foam sheet]
The manufacturing method of the foam sheet 31 will be described. The foam sheet 31 is manufactured by forming bubbles in the foam material. Preferably, the foam material 31 is processed into a sheet shape and foamed.
The foam material is processed into a sheet by supplying a resin component such as an elastomer resin, a thermally conductive filler blended as necessary, and other additives to the extruder, melt-kneading, and from the extruder The method of obtaining the foam material made into the sheet form by extrusion is mentioned. Or you may process a foam material into the sheet form which has predetermined thickness by conveying continuously, kneading | mixing using a calendar | calender, conveyor belt casting, etc.

発泡体材料を発泡させる方法は、シート状の発泡体材料を加熱して、発泡体材料に配合された熱分解型発泡剤を発泡させることで行う方法が挙げられる。ここで、熱分解型発泡剤の具体例としては、分解温度が160℃〜270℃程度の有機系又は無機系の化学発泡剤が挙げられる。
有機系発泡剤としては、アゾジカルボンアミド、アゾジカルボン酸金属塩(アゾジカルボン酸バリウム等)、アゾビスイソブチロニトリル等のアゾ化合物、N,N’−ジニトロソペンタメチレンテトラミン等のニトロソ化合物、ヒドラゾジカルボンアミド、4,4’−オキシビス(ベンゼンスルホニルヒドラジド)、トルエンスルホニルヒドラジド等のヒドラジン誘導体、トルエンスルホニルセミカルバジド等のセミカルバジド化合物等が挙げられる。
無機系発泡剤としては、酸アンモニウム、炭酸ナトリウム、炭酸水素アンモニウム、炭酸水素ナトリウム、亜硝酸アンモニウム、水素化ホウ素ナトリウム、無水クエン酸モノソーダ等が挙げられる。
これらの中では、微細な気泡を得る観点、及び経済性、安全面の観点から、アゾ化合物、ニトロソ化合物が好ましく、アゾジカルボンアミド、アゾビスイソブチロニトリル、N,N’−ジニトロソペンタメチレンテトラミンがより好ましく、アゾジカルボンアミドが特に好ましい。
これらの熱分解型発泡剤は、単独で又は2以上を組み合わせて使用することができる。
熱分解型発泡剤の含有量は、発泡シートの気泡が破裂せずに適切に発泡ができるように、樹脂成分100質量部に対して1〜25質量部が好ましく、1〜20質量部がより好ましい。ただし、熱伝導性フィラーを使用する場合、少量の発泡剤では十分に発泡しないため、3〜25質量部が好ましく、5〜20質量部がより好ましい。一方で、熱伝導性フィラーを使用しない場合には、1〜12質量部が好ましく、1〜8質量部がより好ましい。熱分解型発泡剤の含有量が上記範囲内であると、発泡体材料の発泡性が向上し、所望の発泡倍率を有する発泡シートを得やすくなり、柔軟性、衝撃吸収性、シール性に優れた発泡シートを得やすくなる。
熱分解型発泡剤を分解させて発泡させる方法としては、特に制限はなく、例えば、発泡体材料を熱風により加熱する方法、赤外線により加熱する方法、塩浴による方法、オイルバスによる方法等が挙げられ、これらは併用してもよい。
Examples of the method of foaming the foam material include a method of heating the sheet-like foam material and foaming the pyrolytic foaming agent blended in the foam material. Here, specific examples of the thermal decomposition type foaming agent include organic or inorganic chemical foaming agents having a decomposition temperature of about 160 ° C. to 270 ° C.
Examples of organic foaming agents include azodicarbonamide, azodicarboxylic acid metal salts (such as barium azodicarboxylate), azo compounds such as azobisisobutyronitrile, nitroso compounds such as N, N′-dinitrosopentamethylenetetramine, Examples thereof include hydrazine derivatives such as hydrazodicarbonamide, 4,4′-oxybis (benzenesulfonylhydrazide) and toluenesulfonylhydrazide, and semicarbazide compounds such as toluenesulfonyl semicarbazide.
Examples of the inorganic foaming agent include ammonium acid, sodium carbonate, ammonium hydrogen carbonate, sodium hydrogen carbonate, ammonium nitrite, sodium borohydride, anhydrous monosodium citrate, and the like.
Among these, azo compounds and nitroso compounds are preferable from the viewpoint of obtaining fine bubbles, and from the viewpoints of economy and safety, and azodicarbonamide, azobisisobutyronitrile, N, N′-dinitrosopentamethylene. Tetramine is more preferred, and azodicarbonamide is particularly preferred.
These pyrolytic foaming agents can be used alone or in combination of two or more.
The content of the pyrolytic foaming agent is preferably 1 to 25 parts by mass, more preferably 1 to 20 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the resin component so that the foamed sheet can be appropriately foamed without rupturing. preferable. However, when using a thermally conductive filler, 3 to 25 parts by mass is preferable and 5 to 20 parts by mass is more preferable because a small amount of foaming agent does not sufficiently foam. On the other hand, when not using a heat conductive filler, 1-12 mass parts is preferable and 1-8 mass parts is more preferable. When the content of the pyrolytic foaming agent is within the above range, the foamability of the foam material is improved, and it becomes easy to obtain a foamed sheet having a desired foaming ratio, and is excellent in flexibility, impact absorption, and sealing properties. It becomes easy to obtain a foam sheet.
The method for decomposing and foaming the pyrolytic foaming agent is not particularly limited, and examples thereof include a method of heating the foam material with hot air, a method of heating with infrared rays, a method using a salt bath, a method using an oil bath, and the like. These may be used in combination.

本製造方法では、発泡体材料は、架橋することが好ましい。架橋は、発泡前のシート状の発泡体材料に対して行うことが好ましい。発泡体材料を架橋する方法としては、例えば、発泡体材料に電子線、α線、β線、γ線等の電離性放射線を照射する方法、発泡体材料に予め有機過酸化物を配合しておき、発泡体材料を加熱して有機過酸化物を分解させる方法等が挙げられ、これらの方法は併用されてもよい。これらの中では、電離性放射線を照射する方法が好ましい。電離性放射線の照射量は、0.5〜10Mradが好ましく、1〜8Mradがより好ましい。
発泡シートは、延伸させてもよい。延伸は発泡体材料を発泡させた後に行ってもよいし、発泡体材料を発泡させつつ行ってもよい。なお、発泡体材料を発泡させた後、発泡シートを延伸する場合には、発泡シートを冷却することなく発泡時の溶融又は軟化状態を維持したまま続けて発泡シートを延伸したほうがよいが、発泡シートを冷却した後、再度、発泡シートを加熱して溶融又は軟化状態とした上で発泡シートを延伸してもよい。
In this production method, the foam material is preferably crosslinked. Crosslinking is preferably performed on the sheet-like foam material before foaming. As a method of crosslinking the foam material, for example, a method of irradiating the foam material with ionizing radiation such as electron beam, α ray, β ray, γ ray, and the like, an organic peroxide is blended in advance with the foam material. In addition, a method of decomposing the organic peroxide by heating the foam material and the like may be mentioned, and these methods may be used in combination. In these, the method of irradiating ionizing radiation is preferable. The irradiation dose of ionizing radiation is preferably 0.5 to 10 Mrad, and more preferably 1 to 8 Mrad.
The foam sheet may be stretched. Stretching may be performed after foaming the foam material, or may be performed while foaming the foam material. When the foam sheet is stretched after foaming the foam material, it is better to stretch the foam sheet while maintaining the melted or softened state during foaming without cooling the foam sheet. After cooling the sheet, the foamed sheet may be stretched again by heating it to a molten or softened state.

また、発泡体材料は、物理発泡を行うことによって、発泡させてもよい。この場合、上記熱分解型発泡剤を使用する代わりに、発泡体材料に物理発泡剤を含浸させることが好ましい。物理発泡剤の含浸は、シート状にされた発泡体材料に対して行うことが好ましい
発泡体材料に含浸させる物理発泡剤としては、高圧の不活性ガスを用いることが好ましい。不活性ガスとしては、発泡体材料に対して不活性で、かつ含浸可能なものであれば特に制限されず、例えば、二酸化炭素、窒素ガス、空気等が挙げられる。これらのガスは混合して用いてもよい。これらのうち、発泡体の素材として用いる樹脂への含浸量が多く、含浸速度の速い二酸化炭素が好適である。また、不純物の少ないクリーンな樹脂発泡体を得る観点からも二酸化炭素が好ましい。なお、発泡体材料に含浸させる際の不活性ガスは、超臨界状態又は亜臨界状態であることが好ましい。
The foam material may be foamed by performing physical foaming. In this case, it is preferable to impregnate the foam material with a physical foaming agent instead of using the pyrolytic foaming agent. The impregnation with the physical foaming agent is preferably performed on the foam material formed into a sheet. As the physical foaming agent to be impregnated into the foam material, it is preferable to use a high-pressure inert gas. The inert gas is not particularly limited as long as it is inert with respect to the foam material and can be impregnated, and examples thereof include carbon dioxide, nitrogen gas, and air. These gases may be mixed and used. Among these, carbon dioxide having a large amount of impregnation into the resin used as the material of the foam and having a high impregnation rate is preferable. Carbon dioxide is also preferred from the viewpoint of obtaining a clean resin foam with few impurities. In addition, it is preferable that the inert gas at the time of making a foam material impregnate is a supercritical state or a subcritical state.

なお、発泡シート31は、気泡を多数有するものであるが、独立気泡を有することが好ましい。なお、独立気泡を有する発泡シートとは、独立気泡率が70%以上である発泡シートを意味する。独立気泡率は、ASTMD 2856−94に基づき測定されるものである。発泡シートの独立気泡率は、90%以上であることが好ましい。また、発泡シート31の厚みは、上記した、発泡層11の厚みと同様である。   In addition, although the foam sheet 31 has many bubbles, it is preferable to have closed cells. The foamed sheet having closed cells means a foamed sheet having a closed cell ratio of 70% or more. The closed cell ratio is measured based on ASTM D 2856-94. The closed cell ratio of the foam sheet is preferably 90% or more. The thickness of the foam sheet 31 is the same as the thickness of the foam layer 11 described above.

[金属系膜の形成]
本製造方法においては、上記のようにして得た発泡シート31の少なくとも一方の面31Aに、金属系膜32を形成する。金属系膜32の材料及び付着量は、上記発泡層における金属系膜の材料及び付着量と同様である。すなわち、各面における金属系膜32の金属系材料の付着量は、通常、5〜1000μg/cm、好ましくは10〜200μg/cmとなる。
金属系膜32の形成は、スパッタリングにより行うことが好ましい。極薄の金属系膜32は、金属蒸着等により形成することも可能であるが、加工温度が低く発泡シートの加熱劣化を防げる点、及び金属系膜を薄くかつ均一な厚みとしやすい点等からスパッタリングが好ましい。
[Metal film formation]
In this manufacturing method, the metal film 32 is formed on at least one surface 31A of the foamed sheet 31 obtained as described above. The material and adhesion amount of the metal film 32 are the same as the material and adhesion amount of the metal film in the foam layer. That is, the adhesion amount of the metal material of the metal film 32 on each surface is usually 5 to 1000 μg / cm 2 , preferably 10 to 200 μg / cm 2 .
The metal film 32 is preferably formed by sputtering. The ultra-thin metal film 32 can be formed by metal vapor deposition or the like. However, the processing temperature is low and heat deterioration of the foamed sheet can be prevented, and the metal film can be easily made thin and uniform. Sputtering is preferred.

[接着材の形成]
また、本製造方法においては、発泡シート31の表面に、接着材33を形成する。
接着材33は、金属系膜32を設ける一方の面31A側に形成してもよいが、図3に示すように、金属系膜32を設ける一方の面31Aの反対側の面31Bに形成することが好ましい。
なお、接着材33は、金属系膜32を形成する面側に形成する場合には、金属系膜32の上に形成することになる。
[Formation of adhesive]
In the present manufacturing method, the adhesive 33 is formed on the surface of the foam sheet 31.
The adhesive 33 may be formed on one surface 31A side where the metal film 32 is provided, but as shown in FIG. 3, it is formed on the surface 31B opposite to the one surface 31A where the metal film 32 is provided. It is preferable.
Note that the adhesive 33 is formed on the metal film 32 when formed on the surface side on which the metal film 32 is formed.

接着材33の形成は、金属系膜32が既に形成されている発泡シート31に対して行ってもよいが、金属系膜32を発泡シート31に形成する前に行ってもよい。ただし、金属系膜32を形成する前に発泡シート31上に接着材33を形成する場合、発泡シート31の一面(図3における面31B)に接着材を形成した後、発泡シートの接着材が形成されない面(図3における面31A)に、金属系膜を形成することになる。   The adhesive 33 may be formed on the foam sheet 31 on which the metal film 32 has already been formed, but may be performed before the metal film 32 is formed on the foam sheet 31. However, when the adhesive 33 is formed on the foam sheet 31 before the metal film 32 is formed, the adhesive of the foam sheet is formed after forming the adhesive on one surface of the foam sheet 31 (surface 31B in FIG. 3). A metal-based film is formed on the surface that is not formed (surface 31A in FIG. 3).

接着材33は、例えば、両面粘着シートを発泡シートの表面に貼付することで形成することが可能である。また、粘着剤又は接着剤を塗布して粘着剤層又は接着剤層として接着材を形成してもよい。粘着剤又は接着剤を塗布する方法としては、コーター等の塗工機を用いて粘着剤又は接着剤を塗布する方法、スプレーを用いて粘着剤又は接着剤を噴霧、塗布する方法、刷毛を用いて粘着剤又は接着剤を塗布する方法等が挙げられる。ただし、金属系膜32を設けた発泡シート31同士を、接着材を用いずに接着可能であれば、接着材33は省略可能である。   The adhesive 33 can be formed, for example, by sticking a double-sided PSA sheet on the surface of the foam sheet. Moreover, an adhesive may be applied as an adhesive layer or an adhesive layer by applying an adhesive or an adhesive. As a method of applying an adhesive or an adhesive, a method of applying an adhesive or an adhesive using a coating machine such as a coater, a method of spraying and applying an adhesive or an adhesive using a spray, a brush And a method of applying a pressure-sensitive adhesive or an adhesive. However, the adhesive 33 can be omitted if the foamed sheets 31 provided with the metal film 32 can be bonded together without using an adhesive.

[積層体の形成]
次に、上記のようにして得た、金属系膜32を一方の面31Aに形成した発泡シート31を複数層に重ねて、積層体を形成する。発泡シート31は、複数枚用意して、これらを重ねてもよいし、発泡シート31を折りたたんで重ねてもよいし、これらの方法を組み合わせてもよいが、複数枚の発泡シート31を重ねることが好ましい。
発泡シート31の重ね合わせは、各層を構成する各発泡シート31の間に、金属系膜32が配置されるように行う。すなわち、図3に示すように、各発泡シート31の金属系膜32が形成された一方の面31Aを、接着材33を介して、発泡シート31の金属系膜32が形成された面とは反対側の面31Bに貼り合わせるようにして、積層体40を得る。
なお、上記したように、接着材33は、金属系膜32が設けられた一方の面31Aとは反対側の面31B上に形成しておくことが好ましいが、金属系膜32の上に形成しておいてもよい。
[Formation of laminate]
Next, the foamed sheet 31 having the metal film 32 formed on the one surface 31A, obtained as described above, is stacked on a plurality of layers to form a laminate. A plurality of foam sheets 31 may be prepared and stacked, or the foam sheets 31 may be folded and stacked, or these methods may be combined, but a plurality of foam sheets 31 may be stacked. Is preferred.
The overlapping of the foam sheets 31 is performed such that the metal film 32 is disposed between the foam sheets 31 constituting each layer. That is, as shown in FIG. 3, the one surface 31A on which the metal film 32 of each foam sheet 31 is formed is the surface on which the metal film 32 of the foam sheet 31 is formed through the adhesive 33. The laminated body 40 is obtained by bonding to the opposite surface 31B.
As described above, the adhesive 33 is preferably formed on the surface 31B opposite to the one surface 31A on which the metal film 32 is provided, but is formed on the metal film 32. You may keep it.

[積層体の切断]
次に、積層体40を、図4に示すように、積層体40の積層方向に対して傾斜する方向に沿ってシート状に切断して、発泡複合シート10を得る。積層体40の切断は、公知のスライサーにより行えばよいが、例えば、積層体40を液体窒素等により凍結した後に行ってもよい。
なお、本製造方法で使用した発泡シート31、金属系膜32、及び接着材33それぞれは、発泡複合シート10における発泡層11、金属系膜12、及び接着材13となる。また、切断する際の切断ラインLの積層方向に対する傾斜角度R2、及び切断する際のスライス厚みD4は、上記した発泡複合シート10における傾斜角度R1、及び厚みD2に一致する。また、発泡複合シート10は、その外縁部が適宜切断されて、外縁部の形状が適宜整えられてもよい。
[Cutting the laminate]
Next, as shown in FIG. 4, the laminated body 40 is cut into a sheet shape along a direction inclined with respect to the lamination direction of the laminated body 40 to obtain the foamed composite sheet 10. The laminated body 40 may be cut with a known slicer, but for example, after the laminated body 40 is frozen with liquid nitrogen or the like.
Note that the foam sheet 31, the metal film 32, and the adhesive 33 used in this manufacturing method are the foam layer 11, the metal film 12, and the adhesive 13 in the foam composite sheet 10, respectively. Moreover, the inclination angle R2 with respect to the stacking direction of the cutting line L when cutting, and the slice thickness D4 when cutting coincide with the inclination angle R1 and the thickness D2 of the foamed composite sheet 10 described above. In addition, the foamed composite sheet 10 may have its outer edge portion appropriately cut, and the shape of the outer edge portion may be appropriately adjusted.

<発泡複合シートの使用方法>
発泡複合シート10は、例えば、電子機器内部で使用されるものである。電子機器としては、携帯電話、タブレット型端末、電子ペーパー、ノート型PC、ビデオカメラ、デジタルカメラ等の携帯機器が好ましい。発泡複合シート10は、電子機器内部において熱源の近傍に配置され、熱源から発した熱を拡散させたり、放熱させたりする放熱シートとして使用する。発泡複合シート又は多層発泡複合シートは、柔軟性が高く、かつ薄くすることが可能であるため、狭いスペースにも適切に配置することが可能である。
<Usage method of foamed composite sheet>
The foam composite sheet 10 is used, for example, inside an electronic device. As the electronic device, a mobile device such as a mobile phone, a tablet terminal, electronic paper, a notebook PC, a video camera, and a digital camera is preferable. The foamed composite sheet 10 is disposed in the vicinity of the heat source inside the electronic device, and is used as a heat dissipation sheet that diffuses or dissipates heat generated from the heat source. Since the foamed composite sheet or the multilayer foamed composite sheet is highly flexible and can be thinned, it can be appropriately disposed in a narrow space.

また、発泡複合シート10は、電子機器内部の特定の部品に取り付けられ、又はその部品の周囲に設けられて、その部品に衝撃が加わることを防止する衝撃吸収材として使用する。また、電子機器内部の隙間を埋めて、埃や水分等が電子機器内部に侵入するのを防止するシール材としても用いる。すなわち、発泡複合シート10は、放熱シートとして使用しつつ、衝撃吸収材又はシール材として使用することも可能である。   The foamed composite sheet 10 is attached to a specific part inside the electronic device or provided around the part, and is used as an impact absorbing material that prevents the part from being subjected to an impact. Further, it is also used as a sealing material that fills the gap inside the electronic device and prevents dust, moisture, etc. from entering the electronic device. That is, the foamed composite sheet 10 can be used as an impact absorbing material or a sealing material while being used as a heat dissipation sheet.

発泡複合シート10は、放熱シートとして使用する場合、例えば、熱源と、ヒートシンクとの間に配置して使用され、ヒートシンクとともに、熱源からの発熱を放熱させる放熱機構を構成する。
熱源は、駆動又は使用するときに発熱する部材であり、具体的には、CPU、バッテリー、パワーアンプ等が挙げられる。また、ヒートシンクは、鉄、ステンレス鋼等の金属部材、グラファイトシート、又はこれらの積層体等で構成される。
発泡複合シート10は、その一方の面10Aがヒートシンクに、他方の面10Bが熱源に向けられるように配置される。発泡複合シート10は、Z方向に熱伝導性に優れるため、熱源から発生した熱を効率よくヒートシンクに伝達させて熱源の熱を、ヒートシンクから効果的に放熱させることが可能になる。熱源と、ヒートシンクとの間には、発泡複合シート10を1枚配置してもよいし、2枚以上配置してもよい。
なお、発泡複合シート10の一方の面10Aは、ヒートシンクに接するように配置することが好ましく、ヒートシンクを構成するグラファイトシートに接触することがさらに好ましい。発泡複合シート10がヒートシンクに接することで、熱源からの熱を、発泡複合シート10によって、ヒートシンクに効果的に伝熱させて、ヒートシンクから放熱させることが可能である。さらに、熱源からの熱をより効果的に発泡複合シート10に伝熱するために、熱源を、発泡複合シート10の他方の面10Bに接するように配置してもよい。
When the foamed composite sheet 10 is used as a heat dissipation sheet, for example, it is used by being disposed between a heat source and a heat sink, and constitutes a heat dissipation mechanism that dissipates heat generated from the heat source together with the heat sink.
The heat source is a member that generates heat when driven or used, and specifically includes a CPU, a battery, a power amplifier, and the like. The heat sink is composed of a metal member such as iron or stainless steel, a graphite sheet, or a laminate thereof.
The foamed composite sheet 10 is arranged so that one surface 10A thereof faces the heat sink and the other surface 10B faces the heat source. Since the foamed composite sheet 10 has excellent thermal conductivity in the Z direction, the heat generated from the heat source can be efficiently transmitted to the heat sink, and the heat of the heat source can be effectively dissipated from the heat sink. One foam composite sheet 10 may be disposed between the heat source and the heat sink, or two or more sheets may be disposed.
In addition, it is preferable to arrange | position so that one surface 10A of the foam composite sheet 10 may contact a heat sink, and it is further more preferable to contact the graphite sheet which comprises a heat sink. When the foamed composite sheet 10 is in contact with the heat sink, heat from the heat source can be effectively transferred to the heat sink by the foamed composite sheet 10 and can be dissipated from the heat sink. Further, in order to more effectively transfer heat from the heat source to the foamed composite sheet 10, the heat source may be disposed so as to contact the other surface 10 </ b> B of the foamed composite sheet 10.

また、発泡複合シート10は、厚さ方向に圧縮した状態で配置して使用することが好ましい。発泡複合シート10は、圧縮した状態で使用することで、発泡層11内部の気泡14が小さくなるので、気泡内部の気体による断熱効果が低くなって、放熱性が良好になりやすい。具体的には、発泡複合シート10は、好ましくは圧縮率20〜80%、より好ましくは圧縮率30〜70%で圧縮させて配置する。
なお、圧縮率とは、発泡複合シート10の圧縮前の厚みをD2,圧縮後の発泡複合シートの厚みをD2’とすると、{(D2−D2’)/D2}×100で算出される値である。
Moreover, it is preferable to arrange | position and use the foaming composite sheet 10 in the state compressed in the thickness direction. When the foamed composite sheet 10 is used in a compressed state, the bubbles 14 inside the foamed layer 11 are reduced, so that the heat insulation effect due to the gas inside the bubbles is reduced, and the heat dissipation tends to be good. Specifically, the foamed composite sheet 10 is preferably compressed and arranged at a compression rate of 20 to 80%, more preferably a compression rate of 30 to 70%.
The compression rate is a value calculated by {(D2−D2 ′) / D2} × 100, where D2 is the thickness before compression of the foamed composite sheet 10 and D2 ′ is the thickness of the foamed composite sheet after compression. It is.

以下、図5を用いて、発泡複合シート10を、熱源22と、ヒートシンク23の間に配置して使用する一態様をより具体的に説明する。
図5に示す態様においては、熱源22としてのCPUとパワーアンプ(PA)が基板25上に設けられるとともに、これらと一定の距離を置いてヒートシンク23が設けられる。ヒートシンク23は、金属部材23Aと、グラファイトシートからなる熱拡散シート23Bとの積層構造であり、熱拡散シート23Bが、熱源22側に向けられている。
また、熱源22を構成するCPUとパワーアンプが筐体26内に配置されている。そのため、発泡複合シート10は、熱源22と筐体26の間、及び筐体26とヒートシンク23の間の両方に配置される。また、発泡複合シート10は、いずれも厚さ方向に圧縮した状態で配置される。なお、筐体26は、例えば、電磁波を遮蔽するための電磁波シールドである。
なお、ヒートシンク23と、基板25の距離は、通常、0.1〜1mm程度であるが、電子機器を小型化する観点から、0.1〜0.6mmであることが好ましい。
Hereinafter, an embodiment in which the foamed composite sheet 10 is used between the heat source 22 and the heat sink 23 will be described more specifically with reference to FIG.
In the embodiment shown in FIG. 5, a CPU as a heat source 22 and a power amplifier (PA) are provided on a substrate 25, and a heat sink 23 is provided at a certain distance from these. The heat sink 23 has a laminated structure of a metal member 23A and a heat diffusion sheet 23B made of a graphite sheet, and the heat diffusion sheet 23B is directed to the heat source 22 side.
Further, a CPU and a power amplifier constituting the heat source 22 are arranged in the housing 26. Therefore, the foamed composite sheet 10 is disposed both between the heat source 22 and the housing 26 and between the housing 26 and the heat sink 23. Moreover, all the foam composite sheets 10 are arrange | positioned in the state compressed in the thickness direction. The housing 26 is, for example, an electromagnetic wave shield for shielding electromagnetic waves.
In addition, although the distance of the heat sink 23 and the board | substrate 25 is about 0.1-1 mm normally, it is preferable that it is 0.1-0.6 mm from a viewpoint of reducing an electronic device in size.

熱源22と筐体26の間の発泡複合シート10は、一方の面10Aが筐体26に接するとともに、他方の面10Bが熱源22及び基板15に接するように配置される。また、筐体26とヒートシンク23の間の発泡複合シート10は、一方の面10Aがヒートシンク23(熱拡散シート23B)に、他方の面10Bが筐体26に接するように配置される。
発泡複合シート10は、金属系膜12によりZ方向に熱伝導性に優れるため、熱源22で発した熱は、発泡複合シート10により効果的にZ方向に沿ってヒートシンク23に伝熱され、ヒートシンク23から放熱される。
The foamed composite sheet 10 between the heat source 22 and the housing 26 is disposed so that one surface 10A is in contact with the housing 26 and the other surface 10B is in contact with the heat source 22 and the substrate 15. The foamed composite sheet 10 between the housing 26 and the heat sink 23 is disposed so that one surface 10A is in contact with the heat sink 23 (heat diffusion sheet 23B) and the other surface 10B is in contact with the housing 26.
Since the foamed composite sheet 10 has excellent thermal conductivity in the Z direction due to the metal-based film 12, the heat generated by the heat source 22 is effectively transferred to the heat sink 23 along the Z direction by the foamed composite sheet 10. The heat is radiated from 23.

各発泡複合シート10は、上記のように、通常、厚さ方向に圧縮した状態で配置される。ここで、筐体26と熱源22の間の発泡複合シート10は、その他方の面10Bが、凹凸面を構成する基板25及び熱源22の表面に接触するので、その凹凸面に対応した形状に変形して圧縮することが好ましい。
なお、図5では、筐体26と熱源22の間の多層発泡複合シート10は、他方の面10Bが、基板25及び熱源22の表面(すなわち、凹凸面)と完全に一致した形状に変形するように示されるが、このように完全に一致した形状に変形する必要はなく、他方の面10Bと熱源22又は基板25の間に隙間があってもよい。
As described above, each of the foamed composite sheets 10 is usually disposed in a compressed state in the thickness direction. Here, the foamed composite sheet 10 between the housing 26 and the heat source 22 has a shape corresponding to the uneven surface because the other surface 10B contacts the surface of the substrate 25 and the heat source 22 constituting the uneven surface. It is preferable to deform and compress.
In FIG. 5, the multilayer foam composite sheet 10 between the casing 26 and the heat source 22 is deformed into a shape in which the other surface 10 </ b> B completely matches the surface of the substrate 25 and the heat source 22 (that is, the uneven surface). However, it is not necessary to be deformed into such a completely matched shape, and there may be a gap between the other surface 10B and the heat source 22 or the substrate 25.

また、図5に示す態様では、筐体26が省略されてもよい。筐体26が省略される場合、熱源22と、ヒートシンク23との間に、発泡複合シート10が、通常1枚設けられる。その場合にも、発泡複合シート10は、圧縮した状態で、その一方の面10Aがヒートシンク23に、他方の面10Bが熱源22に接するように配置される。
さらに、発泡複合シート10が固定用接着材を備える場合、発泡複合シート10は、固定用接着材により、筐体26または熱源22及び基板25に固定されてもよい。
Moreover, the housing | casing 26 may be abbreviate | omitted in the aspect shown in FIG. When the case 26 is omitted, one foam composite sheet 10 is usually provided between the heat source 22 and the heat sink 23. Also in that case, the foamed composite sheet 10 is disposed in a compressed state so that one surface 10A thereof is in contact with the heat sink 23 and the other surface 10B is in contact with the heat source 22.
Furthermore, when the foamed composite sheet 10 includes a fixing adhesive, the foamed composite sheet 10 may be fixed to the housing 26 or the heat source 22 and the substrate 25 with the fixing adhesive.

以下、本発明を実施例により更に詳細に説明するが、本発明はこれら実施例によってなんら限定されるものではない。   EXAMPLES Hereinafter, although an Example demonstrates this invention still in detail, this invention is not limited at all by these Examples.

[測定方法]
本明細書における各物性の測定方法及び評価方法は、次の通りである。
<金属系膜の付着量>
金属系膜の付着量は、蛍光X線分析装置(株式会社リガク製、装置名.RIX1000)にて、測定治具に発泡シートを挟み、1cm2の面積にX線を照射することで定量的に測定した。
<厚み>
発泡シート、及び発泡複合シートの厚みは、ダイヤルゲージで計測した値である。
<見掛け密度>
JIS K6767に準拠して発泡シートの見掛け密度を測定した。
<25%圧縮強度>
25%圧縮強度は、JIS K6767に準拠して測定したものである。
<放熱テスト>
実施例で得られた発泡複合シート、及び比較例で得られた発泡シートについて、2cm各にカットし、厚みを1cm以上に重ねた試料を用意し、ホットディスク法により、京都電子工業(株)製「TPS−1500」を用いて、熱伝導率を23℃にて測定し、その放熱性能を評価した。
[Measuring method]
The measurement method and evaluation method of each physical property in this specification are as follows.
<Amount of metal film attached>
The amount of adhesion of the metal film is quantitative by irradiating an area of 1 cm 2 with X-rays with a foam sheet sandwiched between measurement jigs with a fluorescent X-ray analyzer (manufactured by Rigaku Corporation, apparatus name: RIX1000). Measured.
<Thickness>
The thicknesses of the foam sheet and the foam composite sheet are values measured with a dial gauge.
<Apparent density>
The apparent density of the foamed sheet was measured according to JIS K6767.
<25% compressive strength>
The 25% compressive strength is measured in accordance with JIS K6767.
<Heat dissipation test>
For the foamed composite sheets obtained in the examples and the foamed sheets obtained in the comparative examples, samples were cut into 2 cm pieces and overlaid with a thickness of 1 cm or more, and by hot disk method, Kyoto Electronics Industry Co., Ltd. Thermal conductivity was measured at 23 ° C. using “TPS-1500” manufactured by the manufacturer, and its heat dissipation performance was evaluated.

[実施例1]
(発泡シートの作製)
エチレンプロピレンジエンゴム(三井化学株式会社製、商品名.EMB−EPT4021)60質量部と、エチレンプロピレンジエンゴム(三井化学株式会社製、商品名.EP−21)40質量部と、熱分解型発泡剤としてのアゾジカルボンアミド17質量部と、酸化マグネシウム(RF−10−SC、宇部マテリアルズ(株)製、平均粒径:5μm、熱伝導率:50W/m・K)220質量部と、酸化防止剤としてのフェノール系酸化防止剤0.1質量部とを、プラストミルにて130℃で溶融混練して得た発泡体材料をプレスして、厚み0.2mmの長尺シート状にした。
次に、上記長尺シート状の発泡体材料の両面に加速電圧500kVの電子線を1.5Mrad照射して発泡体材料を架橋した。
その後、この発泡体材料を熱風及び赤外線ヒーターにより250℃に保持された発泡炉内に連続的に送り込んで加熱して発泡させ、発泡シートを得た。この発泡シートは、見掛け密度0.69g/cc、厚みが0.4mmであった。
[Example 1]
(Production of foam sheet)
60 parts by mass of ethylene propylene diene rubber (Mitsui Chemical Co., Ltd., trade name. EMB-EPT4021), 40 parts by mass of ethylene propylene diene rubber (Mitsui Chemicals Co., Ltd., trade name. EP-21), and pyrolytic foaming 17 parts by mass of azodicarbonamide as an agent, 220 parts by mass of magnesium oxide (RF-10-SC, manufactured by Ube Materials, average particle size: 5 μm, thermal conductivity: 50 W / m · K), and oxidation A foam material obtained by melt-kneading 0.1 parts by mass of a phenolic antioxidant as an inhibitor at 130 ° C. with a plastmill was pressed into a long sheet having a thickness of 0.2 mm.
Next, the foam material was crosslinked by irradiating an electron beam with an acceleration voltage of 500 kV for 1.5 Mrad on both surfaces of the long sheet-like foam material.
Thereafter, the foam material was continuously fed into a foaming furnace maintained at 250 ° C. with hot air and an infrared heater and heated to foam, thereby obtaining a foam sheet. This foam sheet had an apparent density of 0.69 g / cc and a thickness of 0.4 mm.

(金属系膜及び接着材の形成)
上記の発泡シートをロール状に巻取り、スパッタリング装置の密閉チャンバ内にセットし、このチャンバ内圧力を一旦5×10−6Torrに減圧し、次いでアルゴンガスを導入して圧力7×10−4Torrの低圧アルゴンガス雰囲気とし、上記の発泡シートを1.0m/分の速度で引出し走行させながら50KWHの電力を投入し、上記発泡シートの一方の面にアルミニウムをスパッタして、アルミニウム膜を形成した。これにより、一方の面に金属系膜としてアルミニウム膜を設けた発泡シートを得た。このアルミニウム膜を設けた発泡シートは、25%圧縮強度が85KPaであった。発泡シートにおけるアルミニウム薄膜の付着量は、13.0μg/cmであった。なお、このアルミニウム薄膜の付着量を、発泡層におけるアルミニウム薄膜の付着量とした。
(Formation of metal films and adhesives)
The above foamed sheet is wound into a roll and set in a sealed chamber of a sputtering apparatus. The pressure in the chamber is once reduced to 5 × 10 −6 Torr, then argon gas is introduced to introduce a pressure of 7 × 10 −4. A low-pressure argon gas atmosphere of Torr is used, and 50 KWH of electric power is applied while the foam sheet is drawn and run at a speed of 1.0 m / min, and aluminum is sputtered on one surface of the foam sheet to form an aluminum film. did. Thereby, the foam sheet which provided the aluminum film as a metal film on one side was obtained. The foam sheet provided with this aluminum film had a 25% compressive strength of 85 KPa. The adhesion amount of the aluminum thin film on the foamed sheet was 13.0 μg / cm 2 . In addition, the adhesion amount of this aluminum thin film was made into the adhesion amount of the aluminum thin film in a foaming layer.

(発泡複合シートの作製)
上記発泡シートの金属系膜が形成された一面とは反対側の面に、接着材として厚み10μmの両面粘着テープ(積水化学工業株式会社製、商品名.3801X)を貼付した後、発泡シートを、適当なサイズに切断することにより、80枚の発泡シートとした。80枚の発泡シートを、両面粘着テープにより接着されるように重ね合わせて積層体を得た。次いで、この積層体を液体窒素に浸漬して凍結させた後、積層方向に対し45°で傾斜した切断ラインに沿って切断して、厚み0.4mmの発泡複合シートを得た。得られた発泡複合シートの25%圧縮強度を測定するとともに、放熱テストを実施した。その結果を表1に示す。
(Production of foamed composite sheet)
After affixing a double-sided adhesive tape (Sekisui Chemical Co., Ltd., trade name: 3801X) having a thickness of 10 μm as an adhesive to the surface opposite to the surface on which the metal-based film of the foamed sheet was formed, the foamed sheet was Then, 80 foam sheets were obtained by cutting into appropriate sizes. Eighty foam sheets were superposed so as to be bonded with a double-sided pressure-sensitive adhesive tape to obtain a laminate. Next, the laminate was immersed in liquid nitrogen and frozen, and then cut along a cutting line inclined at 45 ° with respect to the stacking direction to obtain a foamed composite sheet having a thickness of 0.4 mm. While measuring 25% compressive strength of the obtained foamed composite sheet, the heat dissipation test was implemented. The results are shown in Table 1.

[比較例1]
実施例1と同様の方法で、発泡シート(金属系膜未含有)を作製して、その発泡シートについて、25%圧縮強度を測定して柔軟性を評価するとともに、放熱テストを実施し放熱性能を評価した。
[Comparative Example 1]
A foamed sheet (containing no metal film) was prepared in the same manner as in Example 1. The foamed sheet was measured for 25% compressive strength to evaluate flexibility, and a heat dissipation test was performed to perform heat dissipation performance. Evaluated.

実施例1では、放熱テストの結果から明らかなように、熱伝導率が高く、Z方向における放熱性が良好であったことが理解できる。また、25%圧縮強度から明らかなように、柔軟性も良好であった。一方で、比較例1は、25%圧縮強度から明らかなように、柔軟性が良好であったものの、金属系膜を有しないため、放熱テストの結果から明らかなように放熱性能が低くなった。   In Example 1, as is clear from the results of the heat dissipation test, it can be understood that the heat conductivity is high and the heat dissipation in the Z direction is good. Further, as apparent from the 25% compressive strength, the flexibility was also good. On the other hand, Comparative Example 1 had good flexibility as apparent from the 25% compressive strength, but did not have a metal film, so that the heat dissipation performance was low as apparent from the results of the heat dissipation test. .

10 発泡複合シート
11 ゴム系発泡シート
11A 一方の面
11B 他方の面
12 金属系膜
13 接着材
14 気泡
20 多層発泡複合シート
20A,20B 最外面
22 熱源
23 ヒートシンク
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Foam composite sheet 11 Rubber-type foam sheet 11A One side 11B The other side 12 Metal film 13 Adhesive material 14 Bubble 20 Multi-layer foam composite sheet 20A, 20B Outermost surface 22 Heat source 23 Heat sink

Claims (12)

内部に複数の気泡を有する発泡層と、前記発泡層の一方の面に設けられ、金属、金属酸化物及び金属窒化物からなる群から選択される少なくとも1種の金属系材料から形成される金属系膜とを備え、
前記金属系膜が設けられた発泡層が、厚さ方向に対して傾いた状態で、シート面に平行な一方向に沿って複数積層されてなる発泡複合シート。
A metal formed from at least one metal-based material selected from the group consisting of a metal, a metal oxide and a metal nitride provided on one surface of the foam layer, and a foam layer having a plurality of bubbles inside A system membrane,
A foamed composite sheet obtained by laminating a plurality of foamed layers provided with the metal-based film along one direction parallel to the sheet surface in a state inclined with respect to the thickness direction.
前記金属系膜と、前記発泡層とが前記一方向に沿って交互に設けられる請求項1に記載の発泡複合シート。   The foamed composite sheet according to claim 1, wherein the metal film and the foamed layer are alternately provided along the one direction. 前記発泡層が、熱伝導性フィラーを内部に含有する請求項1又は2に記載の発泡複合シート。   The foamed composite sheet according to claim 1 or 2, wherein the foamed layer contains a thermally conductive filler therein. 前記発泡層が、ゴム系発泡体である請求項1〜3のいずれか1項に記載の発泡複合シート。   The foamed composite sheet according to any one of claims 1 to 3, wherein the foamed layer is a rubber foam. 前記金属系膜が、ステンレス、モネル、アルミニウム、銅、銀、チタン及びニッケルからなる群から選択される少なくとも1種から形成される請求項1〜4のいずれか1項に記載の発泡複合シート。   The foamed composite sheet according to any one of claims 1 to 4, wherein the metal film is formed of at least one selected from the group consisting of stainless steel, monel, aluminum, copper, silver, titanium, and nickel. 前記各発泡層の厚みが、0.05〜2.0mmである請求項1〜5のいずれか1項に記載の発泡複合シート。   The foamed composite sheet according to any one of claims 1 to 5, wherein a thickness of each foamed layer is 0.05 to 2.0 mm. 発泡複合シートの厚みが、0.05〜1.0mmである請求項1〜6のいずれか1項に記載の発泡複合シート。   The foamed composite sheet according to any one of claims 1 to 6, wherein the thickness of the foamed composite sheet is 0.05 to 1.0 mm. 前記発泡層の見掛け密度が0.1〜3.0g/ccである請求項1〜7のいずれか1項に記載の発泡複合シート。   The foamed composite sheet according to any one of claims 1 to 7, wherein an apparent density of the foamed layer is 0.1 to 3.0 g / cc. 前記金属系膜の付着量が5〜1000μg/cmである請求項1〜8のいずれか1項に記載の発泡複合シート。 The foam composite sheet according to any one of claims 1 to 8, wherein the adhesion amount of the metal film is 5 to 1000 µg / cm 2 . 複数の前記金属系膜が設けられた発泡層が、接着材を介して互いに接着して積層される請求項1〜9のいずれか1項に記載の発泡複合シート。   The foamed composite sheet according to any one of claims 1 to 9, wherein the foamed layers provided with the plurality of metal-based films are laminated by being bonded to each other via an adhesive. 前記接着材が両面粘着テープである請求項10に記載の発泡複合シート。   The foamed composite sheet according to claim 10, wherein the adhesive is a double-sided pressure-sensitive adhesive tape. 内部に複数の気泡を有する発泡シートの一方の面に、金属酸化物及び金属窒化物からなる群から選択される少なくとも1種の金属系材料によって金属系膜を形成し、その金属系膜を形成した発泡シートを複数層に重ねて積層体を形成し、次いで、この積層体の積層方向に対して傾斜する方向に沿って前記積層体をシート状に切断して、発泡複合シートを得る発泡複合シートの製造方法。   A metal film is formed on at least one metal material selected from the group consisting of metal oxide and metal nitride on one surface of a foam sheet having a plurality of bubbles inside, and the metal film is formed. The foamed composite is obtained by stacking the foamed sheets in a plurality of layers to form a laminate, and then cutting the laminate into a sheet shape along a direction inclined with respect to the stacking direction of the laminate. Sheet manufacturing method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2021240762A1 (en) * 2020-05-29 2021-12-02 パナソニックIpマネジメント株式会社 Production method of thermal insulation panel

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