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JP2016219779A - Light emitting device - Google Patents

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JP2016219779A
JP2016219779A JP2016051530A JP2016051530A JP2016219779A JP 2016219779 A JP2016219779 A JP 2016219779A JP 2016051530 A JP2016051530 A JP 2016051530A JP 2016051530 A JP2016051530 A JP 2016051530A JP 2016219779 A JP2016219779 A JP 2016219779A
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征爾 清田
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一真 ▲高▼鶴
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英一郎 岡久
Eiichiro Okahisa
英一郎 岡久
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light emitting device in which, even when a lens array is mounted while being slightly rotated from a predetermined direction, a significant deviation hardly occurs in a positional relationship between a light source and a lens section and, consequently, an intensity distribution of light emitted from the lens array hardly changes.SOLUTION: A light emitting device includes a substrate, a lens array having a plurality of lens sections 22 in a matrix, and a plurality of semiconductor laser elements 30 disposed on the substrate. Each of the semiconductor laser elements emits a respective laser beam. Each laser beam has a beam shape with a greater width in a column direction than in a row direction on a light incident surface of each of the plurality of lens sections. The plurality of lens sections have an inter-vertex distance in the row direction which is smaller than both a maximum outer diameter E of each of the lens sections, and an inter-vertex distance in the column direction. A curvature of the lens sections in the row direction is the same as that of the lens sections in the column direction.SELECTED DRAWING: Figure 1A

Description

本開示は発光装置に関する。   The present disclosure relates to a light emitting device.

複数の光源から出射した光をコリメートレンズアレイによりコリメートする光源装置が知られている(特許文献1参照)。   A light source device that collimates light emitted from a plurality of light sources using a collimating lens array is known (see Patent Document 1).

特開2014−102367号公報JP 2014-102367 A

しかしながら、上記従来の光源装置では、コリメートレンズアレイを構成する各レンズ要素が、各レンズ要素に入射するレーザ光の断面形状に応じて、複数の曲率を有している。このため、コリメートレンズアレイが所定の向きから僅かに回転して実装されるだけで、光源とレンズ要素の位置関係に大きなずれが生じ、コリメートレンズアレイから出射する光の強度分布が変化してしまう虞がある。   However, in the conventional light source device, each lens element constituting the collimating lens array has a plurality of curvatures according to the cross-sectional shape of the laser light incident on each lens element. For this reason, only by rotating the collimating lens array slightly from a predetermined direction, a large shift occurs in the positional relationship between the light source and the lens element, and the intensity distribution of the light emitted from the collimating lens array changes. There is a fear.

上記の課題は、例えば、次の手段により解決することができる。基体と、行列状に複数のレンズ部を有するレンズアレイと、前記基体上に配置された複数の半導体レーザ素子と、を備えた発光装置であって、前記複数の半導体レーザ素子はレーザ光をそれぞれ出射し、各レーザ光は行方向より列方向に幅が広くなるビーム形状を前記複数のレンズ部の各光入射面において有し、前記複数のレンズ部は、個々のレンズ部の最大外径と列方向の頂点間距離とのいずれよりも小さい行方向の頂点間距離を有するとともに、行方向と列方向とにおいて同じ曲率を有することを特徴とする発光装置。   The above problem can be solved by, for example, the following means. A light emitting device comprising a base, a lens array having a plurality of lens portions in a matrix, and a plurality of semiconductor laser elements arranged on the base, wherein the plurality of semiconductor laser elements respectively emit laser light. Each laser beam has a beam shape whose width is wider in the column direction than in the row direction at each light incident surface of the plurality of lens units, and the plurality of lens units has a maximum outer diameter of each lens unit. A light emitting device having a vertex distance in the row direction smaller than any of the vertex distances in the column direction and having the same curvature in the row direction and the column direction.

上記の発光装置によれば、レンズアレイが所定の向きから僅かに回転して実装された場合であっても、光源とレンズ部の位置関係に大きなずれが生じにくく、レンズアレイから出射する光の強度分布が変化しにくい発光装置を提供することができる。   According to the above light-emitting device, even when the lens array is mounted by being slightly rotated from a predetermined direction, the positional relationship between the light source and the lens portion is not likely to be greatly shifted, and the light emitted from the lens array is not affected. A light-emitting device in which the intensity distribution is hardly changed can be provided.

実施形態1に係る発光装置の模式的平面図である。1 is a schematic plan view of a light emitting device according to Embodiment 1. FIG. 図1A中のA−A断面図である。It is AA sectional drawing in FIG. 1A. 図1A中のB−B断面図である。It is BB sectional drawing in FIG. 1A. 図1A中のC−C断面図である。It is CC sectional drawing in FIG. 1A. 基体の模式的平面図である。It is a typical top view of a base. 図2A中のD−D断面図である。It is DD sectional drawing in FIG. 2A. 図2A中のE−E断面図である。It is EE sectional drawing in FIG. 2A. レンズアレイの模式的平面図である。It is a schematic plan view of a lens array. 図3A中のF−F断面図である。It is FF sectional drawing in FIG. 3A. 図3A中のG−G断面図である。It is GG sectional drawing in FIG. 3A. 図3A中のH−H断面図である。It is a HH sectional view in Drawing 3A. 基体上に配置された半導体レーザ素子の模式的平面図である。It is a typical top view of the semiconductor laser element arrange | positioned on a base | substrate. 図4A中のI−I断面図である。It is II sectional drawing in FIG. 4A. 図4A中のJ−J断面図である。It is JJ sectional drawing in FIG. 4A. 図4C中の破線で囲んだ部分を拡大して示す図である。It is a figure which expands and shows the part enclosed with the broken line in FIG. 4C. 封止部材の模式的平面図である。It is a schematic plan view of a sealing member. 図5A中のK−K断面図である。It is KK sectional drawing in FIG. 5A. 図5A中のL−L断面図である。It is LL sectional drawing in FIG. 5A. 実施形態2に係る発光装置の模式的平面図である。6 is a schematic plan view of a light emitting device according to Embodiment 2. FIG. 図6A中のM−M断面図である。It is MM sectional drawing in FIG. 6A. 図6A中のN−N断面図である。It is NN sectional drawing in FIG. 6A. 図6A中のO−O断面図である。It is OO sectional drawing in FIG. 6A. 実施形態3に係る発光装置の模式的平面図である。6 is a schematic plan view of a light emitting device according to Embodiment 3. FIG. 実施形態4に係る発光装置の模式的平面図である。6 is a schematic plan view of a light emitting device according to Embodiment 4. FIG.

[実施形態1に係る発光装置]
図1Aは実施形態1に係る発光装置の模式的平面図である。また、図1Bは図1A中のA−A断面図であり、図1Cは図1A中のB−B断面図であり、図1Dは図1A中のC−C断面図である。図1Aにおいては、理解を容易にするため、最も左上のレンズ部下方に配置される半導体レーザ素子30等を透過的に示している。図1Aから図1Dに示すように、実施形態1に係る発光装置1は、基体10と、行列状に複数のレンズ部22を有するレンズアレイ20と、基体10上に配置された複数の半導体レーザ素子30と、を備えた発光装置であって、複数の半導体レーザ素子30はレーザ光をそれぞれ出射し、各レーザ光は行方向より列方向に幅が広くなるビーム形状を複数のレンズ部22の各光入射面LAにおいて有し、複数のレンズ部22は、個々のレンズ部22の最大外径Eと列方向の頂点間距離PYとのいずれよりも小さい行方向の頂点間距離PXを有するとともに、行方向と列方向とにおいて同じ曲率を有する発光装置である。以下、順に説明する。
[Light Emitting Device According to Embodiment 1]
1A is a schematic plan view of a light emitting device according to Embodiment 1. FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1A, FIG. 1C is a cross-sectional view taken along line BB in FIG. 1A, and FIG. 1D is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. In FIG. 1A, in order to facilitate understanding, the semiconductor laser element 30 and the like disposed below the upper left lens unit are shown transparently. As shown in FIGS. 1A to 1D, the light emitting device 1 according to Embodiment 1 includes a base 10, a lens array 20 having a plurality of lens portions 22 in a matrix, and a plurality of semiconductor lasers arranged on the base 10. A plurality of semiconductor laser elements 30 each emitting a laser beam, and each laser beam has a beam shape whose width is wider in the column direction than in the row direction. In each light incident surface LA, the plurality of lens portions 22 have a vertex-to-vertex distance PX in the row direction that is smaller than either the maximum outer diameter E of the individual lens portions 22 or the column-to-vertex distance PY. The light emitting device has the same curvature in the row direction and the column direction. Hereinafter, it demonstrates in order.

(基体10)
図2Aは基体の模式的平面図である。また、図2Bは図2A中のD−D断面図であり、図2Cは図2A中のE−E断面図である。図2Aから図2Cに示すように、基体10は、例えば、基部12と、基部12から突出する側壁14と、基部12と側壁14とにより形成される凹部10aと、を有する。基部12は凸部12aを有し、凸部12aは凹部10a内に形成されている。このような凸部12aを有する基部12を用いれば、基体10が凹部10aを有することにより生じ得る基部12の反り(この反りは特に基部12と側壁14とが異なる材料からなる場合に生じやすい。)を抑制することができるため、基部12に対する半導体レーザ素子30等の実装が容易となる。また、凸部12a上に半導体レーザ素子30などの部材を配置することにより、これらの部材をレンズアレイ20に近づけることができるため、レンズアレイ20(レンズ部22)の光入射面LAにおけるレーザ光の拡がりを抑制することも可能となる。なお、基体10、基部12、及び側壁14の形状や厚みは特に限定されるものではなく、例えば、基体10には、凹部10aを有する部材のほか、例えば平板状の部材(例:側壁14を有しておらず基部12のみからなる部材)を用いることもできる。
(Substrate 10)
FIG. 2A is a schematic plan view of the substrate. 2B is a DD cross-sectional view in FIG. 2A, and FIG. 2C is an EE cross-sectional view in FIG. 2A. As shown in FIGS. 2A to 2C, the base body 10 includes, for example, a base portion 12, a side wall 14 protruding from the base portion 12, and a concave portion 10 a formed by the base portion 12 and the side wall 14. The base 12 has a convex portion 12a, and the convex portion 12a is formed in the concave portion 10a. If the base portion 12 having such a convex portion 12a is used, the warpage of the base portion 12 that may be caused by the base body 10 having the concave portion 10a (this warp is likely to occur particularly when the base portion 12 and the side wall 14 are made of different materials. ) Can be suppressed, and mounting of the semiconductor laser element 30 and the like on the base 12 is facilitated. Further, by arranging members such as the semiconductor laser element 30 on the convex portion 12a, these members can be brought close to the lens array 20, so that the laser light on the light incident surface LA of the lens array 20 (lens portion 22). It is also possible to suppress the spread of. In addition, the shape and thickness of the base | substrate 10, the base part 12, and the side wall 14 are not specifically limited, For example, in addition to the member which has the recessed part 10a, the base | substrate 10 has flat member (example: side wall 14). It is also possible to use a member that does not have a base 12 and does not have.

基体10(基部12、側壁14)には例えば鉄、鉄合金、若しくは銅などの金属材料、AlN、SiC,若しくはSiNなどのセラミック材料、又はこれらの材料を組み合わせた材料を用いることができる。   For the base body 10 (base portion 12, side wall 14), for example, a metal material such as iron, an iron alloy, or copper, a ceramic material such as AlN, SiC, or SiN, or a material combining these materials can be used.

基体10には発光装置1を外部と電気的に接続するための配線90(例:リード)が設けられている。配線90は発光装置1の外周のいずれに設けられていてもよいが、基体10の上面又は側面に設けられることが好ましい。つまり、配線90は基体10の下面には設けられていないことが好ましい。このようにすれば、基体10の下面全面を実装面として利用することができるため、本開示のように熱源となる半導体レーザ素子30が1つの基体10に複数配置される場合においても熱引きの良好な発光装置を提供することができる。なお、基体10の側壁14に配線90を設ける場合は、側壁14の高さが一定以上必要となるため、側壁14に配線90を設けない場合よりも基部12上に配置される半導体レーザ素子30等がレンズアレイ20から離れて配置されることになる。しかるに、前述した凸部12aを有する基部12を用いれば、このような場合においても半導体レーザ素子30やミラー50などをレンズアレイ20(レンズ部22)に近づけて配置することが可能となる。   The substrate 10 is provided with wiring 90 (for example, leads) for electrically connecting the light emitting device 1 to the outside. The wiring 90 may be provided on any of the outer circumferences of the light emitting device 1, but is preferably provided on the upper surface or the side surface of the substrate 10. That is, the wiring 90 is preferably not provided on the lower surface of the base body 10. In this way, since the entire lower surface of the substrate 10 can be used as a mounting surface, even when a plurality of semiconductor laser elements 30 serving as heat sources are arranged on one substrate 10 as in the present disclosure, A good light-emitting device can be provided. In the case where the wiring 90 is provided on the side wall 14 of the substrate 10, the height of the side wall 14 is required to be a certain level or higher. Etc. are arranged away from the lens array 20. However, if the base 12 having the convex portions 12a described above is used, the semiconductor laser element 30, the mirror 50, and the like can be arranged close to the lens array 20 (lens portion 22) even in such a case.

(レンズアレイ20)
図3Aはレンズアレイの模式的平面図である。また、図3Bは図3A中のF−F断面図であり、図3Cは図3A中のG−G断面図であり、図3Dは図3A中のH−H断面図である。図3Aから図3Dに示すように、レンズアレイ20は複数のレンズ部22と接続部24を有している。各レンズ部22は光入射面LAと光出射面LBをそれぞれ有しており、各レンズ部22の光入射面LAに入射した各レーザ光は屈折され各レンズ部22の光出射面LBからそれぞれ出射される。接続部24は列方向(図1中のY方向)において隣り合うレンズ部22同士を接続する。なお、レンズアレイ20はレンズ部22だけで構成することもできる。この場合は、例えば、レンズ部22が接続部24を介さず互いに直接接続される。レンズアレイ20(レンズ部22や接続部24)はガラスや合成石英などの透光性を有する材料を用いて形成することができる。
(Lens array 20)
FIG. 3A is a schematic plan view of the lens array. 3B is a cross-sectional view taken along line FF in FIG. 3A, FIG. 3C is a cross-sectional view taken along line GG in FIG. 3A, and FIG. 3D is a cross-sectional view taken along line HH in FIG. As illustrated in FIGS. 3A to 3D, the lens array 20 includes a plurality of lens portions 22 and connection portions 24. Each lens portion 22 has a light incident surface LA and a light exit surface LB, and each laser beam incident on the light entrance surface LA of each lens portion 22 is refracted and is emitted from the light exit surface LB of each lens portion 22. Emitted. The connection unit 24 connects the lens units 22 adjacent in the column direction (Y direction in FIG. 1). The lens array 20 can also be configured with only the lens portion 22. In this case, for example, the lens units 22 are directly connected to each other without the connection unit 24 interposed therebetween. The lens array 20 (lens portion 22 and connection portion 24) can be formed using a light-transmitting material such as glass or synthetic quartz.

(複数のレンズ部22)
複数のレンズ部22はm行n列(m≧2、n≧1)の行列状に設けられる。複数のレンズ部22は、個々のレンズ部22の最大外径Eと列方向(図1中のY方向)の頂点間距離PYのいずれよりも小さい行方向(図1中のX方向)の頂点間距離PXを有する。このようにすれば、各レンズ部22が行方向(図1中のX方向)において連なって(連続して)形成されるため、行方向(図1中のX方向)においてレーザ光が出射されない空間の無駄を削減して、レンズアレイ20(ひいては発光装置1)の小型化を図ることができる。なお、「列方向の頂点間距離」とは列方向において隣り合うレンズ部の頂点間距離をいう。また、「行方向の頂点間距離」とは行方向において隣り合うレンズ部の頂点間距離をいう。また、「頂点」とは平面視におけるレンズ部の中心をいい、「最大外径」とは平面視におけるレンズ部の直径のうち最長のものをいう。
(Multiple lens units 22)
The plurality of lens units 22 are provided in a matrix of m rows and n columns (m ≧ 2, n ≧ 1). The plurality of lens portions 22 have apexes in the row direction (X direction in FIG. 1) smaller than both the maximum outer diameter E of the individual lens portions 22 and the inter-vertex distance PY in the column direction (Y direction in FIG. 1). Having a distance PX. In this way, since each lens part 22 is formed continuously (continuously) in the row direction (X direction in FIG. 1), laser light is not emitted in the row direction (X direction in FIG. 1). It is possible to reduce the waste of space and reduce the size of the lens array 20 (and thus the light emitting device 1). The “distance between vertices in the row direction” refers to the distance between vertices of adjacent lens portions in the row direction. The “distance between vertices in the row direction” means the distance between vertices of adjacent lens portions in the row direction. Further, “vertex” refers to the center of the lens portion in plan view, and “maximum outer diameter” refers to the longest diameter of the lens portion in plan view.

列方向(図1中のY方向)の頂点間距離PYは、好ましくは1mm以上12mm以下、より好ましくは3mm以上9mm以下とすることができる。また、行方向(図1中のX方向)の頂点間距離PXは、好ましくは0.5mm以上9mm以下、より好ましくは2mm以上6mm以下とすることができる。頂点間距離PXや頂点間距離PYをこれらの下限値以上にすることで、隣り合う半導体レーザ素子30からのレーザ光が干渉し合うのを抑制することができる。また、頂点間距離PXや頂点間距離PYをこれらの上限値以下にすることで、より小型の発光装置を提供することができる。   The inter-vertex distance PY in the column direction (Y direction in FIG. 1) can be preferably 1 mm to 12 mm, more preferably 3 mm to 9 mm. Further, the inter-vertex distance PX in the row direction (X direction in FIG. 1) can be preferably 0.5 mm to 9 mm, and more preferably 2 mm to 6 mm. By setting the inter-vertex distance PX and the inter-vertex distance PY to be equal to or greater than these lower limit values, it is possible to prevent the laser beams from adjacent semiconductor laser elements 30 from interfering with each other. Further, by making the inter-vertex distance PX and the inter-vertex distance PY less than or equal to these upper limit values, it is possible to provide a more compact light emitting device.

個々のレンズ部22の最大外径Eは、頂点間距離PXの好ましくは1倍以上2倍以下、より好ましくは1.25倍以上1.75倍以下とすることができる。最大外径Eをこれらの下限値以上にすることで、隣り合う半導体レーザ素子30からのレーザ光が干渉し合うのを抑制することができる。また、最大外径Eをこれらの上限値以下にすることでより小型の発光装置を提供することができる。   The maximum outer diameter E of each lens portion 22 is preferably 1 to 2 times, more preferably 1.25 to 1.75 times the inter-vertex distance PX. By setting the maximum outer diameter E to be equal to or greater than these lower limit values, it is possible to suppress the laser beams from adjacent semiconductor laser elements 30 from interfering with each other. Moreover, a smaller light-emitting device can be provided by setting the maximum outer diameter E to be equal to or less than these upper limit values.

個々のレンズ部22は行方向(図1中のX方向)と列方向(図1中のY方向)とにおいて同じ曲率を有する。すなわち、個々のレンズ部22は、レンズ部22の頂点を通る行方向(図1中のX方向)の断面において曲率RXの曲線を有するとともに、レンズ部22の頂点を通る列方向(図1中のY方向)の断面において曲率RXに等しい曲率RY(曲率RX=曲率RY)の曲線を有する。このようにすれば、レンズアレイ20が所定の向きから僅かに回転して実装された場合であっても、光源(半導体レーザ素子30。ミラー50を備える場合はミラー50。以下同じ。)とレンズ部22の位置関係に大きなずれが生じにくい。なお、個々のレンズ部22は、行方向(図1中のX方向)と列方向(図1中のY方向)だけではなく、各レンズ部22の頂点を通るすべての方向において同じ曲率を有すること、すなわち、各レンズ部22の頂点を通るすべての断面において同じ曲率の曲線を有することが好ましい。このようにすれば、より一層、光源とレンズ部22の位置関係に大きなずれが生じにくくなる。   The individual lens portions 22 have the same curvature in the row direction (X direction in FIG. 1) and the column direction (Y direction in FIG. 1). That is, each lens unit 22 has a curve with a curvature RX in a section in a row direction (X direction in FIG. 1) passing through the apex of the lens unit 22, and in a column direction (in FIG. 1) passing through the apex of the lens unit 22. In the cross section in the Y direction) has a curve with a curvature RY equal to the curvature RX (curvature RX = curvature RY). In this way, even when the lens array 20 is mounted by slightly rotating from a predetermined direction, the lens and the light source (semiconductor laser element 30. If the mirror 50 is provided, the mirror 50; the same applies hereinafter) and the lens. Large deviations in the positional relationship of the portions 22 are unlikely to occur. Each lens unit 22 has the same curvature not only in the row direction (X direction in FIG. 1) and the column direction (Y direction in FIG. 1) but also in all directions passing through the apex of each lens unit 22. That is, it is preferable to have curves of the same curvature in all cross sections passing through the apex of each lens portion 22. In this way, a large shift in the positional relationship between the light source and the lens unit 22 is less likely to occur.

複数のレンズ部22は、特に限定されないが、好ましくは半導体レーザ素子30から入射するレーザ光を平行化(コリメート)できる形状を有することが好ましい。例えば、複数のレンズ部22は、それぞれ、少なくとも一部が非球面状曲面(例:光入射面LAが平面で光出射面LBが非球面状曲面)からなるものであることが好ましい。このようにすれば、半導体レーザ素子30からのレーザ光を光の強度分布を変化させずに平行化させることができる。   The plurality of lens portions 22 are not particularly limited, but preferably have a shape that can collimate laser light incident from the semiconductor laser element 30. For example, it is preferable that at least a part of each of the plurality of lens portions 22 is an aspherical curved surface (eg, the light incident surface LA is a flat surface and the light emitting surface LB is an aspherical curved surface). In this way, the laser light from the semiconductor laser element 30 can be collimated without changing the light intensity distribution.

複数のレンズ部22は、それぞれ、少なくとも一部周縁が平面視円弧状からなることが好ましい。このようにすれば、他の平面視形状からなる場合と比較して、レンズ部22に非球面状曲面をより多く設けることができるため、半導体レーザ素子30からのレーザ光を効率良くレンズ部22から出射させることができる。   It is preferable that each of the plurality of lens portions 22 has an arc shape at least partially in the plan view. In this way, the lens unit 22 can be provided with more aspherical curved surfaces than in the case of another planar view shape, and therefore the laser beam from the semiconductor laser element 30 can be efficiently supplied to the lens unit 22. Can be emitted.

レンズアレイ20は、公知の方法により、基体10(基体10とレンズアレイ20との間に封止部材80を設ける場合は封止部材80)に固定することができる。例えば、基体10にレンズアレイ20を直接固定する場合は、接着固定やレーザ溶接、あるいは抵抗溶接等の方法により、レンズアレイ20と基体10とを固定することができる。レーザ溶接や抵抗溶接などにより固定する場合、レンズアレイ20中の少なくとも溶接加工される部位は金属材料により構成される。また、基体10とレンズアレイ20との間に封止部材80を設ける場合は、UV硬化性接着剤等の接着剤により、レンズアレイ20と封止部材80とを接着固定することができる。   The lens array 20 can be fixed to the base 10 (a sealing member 80 when the sealing member 80 is provided between the base 10 and the lens array 20) by a known method. For example, when the lens array 20 is directly fixed to the base 10, the lens array 20 and the base 10 can be fixed by a method such as adhesive fixing, laser welding, or resistance welding. When fixing by laser welding or resistance welding, at least a portion to be welded in the lens array 20 is made of a metal material. Further, when the sealing member 80 is provided between the base 10 and the lens array 20, the lens array 20 and the sealing member 80 can be bonded and fixed with an adhesive such as a UV curable adhesive.

半導体レーザ素子30が配置された空間を密閉空間にするためには、基体10に蓋をする部材を溶接により固定するのが好ましい。しかしながら、溶接は位置ずれを生じさせやすい。このため、レンズアレイを基体に溶接で直接固定し、レンズアレイで基体に直接蓋をすると、レンズアレイが位置ずれし、半導体レーザ素子からの光をレンズ部に対し所定の態様(例:所定の広がり角、所定の位置関係)で入射させることができなくなるおそれがある。そこで、本実施形態では、レンズアレイ20とは別の部材である封止部材80を設けて、封止部材80により基体10に蓋をするものとする。このようにすれば、封止部材80を基体10に対し溶接により固定する一方で、レンズアレイ20を封止部材80に対しUV硬化性接着剤により固定することができるため、半導体レーザ素子30が配置された空間を封止部材80で密閉空間にしながら、レンズアレイ20の位置ずれを抑制することができる。   In order to make the space in which the semiconductor laser element 30 is disposed a sealed space, it is preferable to fix a member that covers the base 10 by welding. However, welding tends to cause misalignment. For this reason, when the lens array is directly fixed to the base by welding and the base is directly covered with the lens array, the lens array is displaced, and the light from the semiconductor laser element is transmitted to the lens portion in a predetermined mode (eg, predetermined There is a possibility that the incident light cannot be made incident at a divergence angle or a predetermined positional relationship. Therefore, in this embodiment, a sealing member 80 that is a member different from the lens array 20 is provided, and the base member 10 is covered with the sealing member 80. In this way, the sealing member 80 can be fixed to the base 10 by welding, while the lens array 20 can be fixed to the sealing member 80 with a UV curable adhesive. The positional displacement of the lens array 20 can be suppressed while the arranged space is sealed with the sealing member 80.

(複数の半導体レーザ素子30)
図4Aは基体上に配置された半導体レーザ素子の模式的平面図である。また、図4Bは図4A中のI−I断面図であり、図4Cは図4A中のJ−J断面図であり、図4Dは図4C中の破線で囲んだ部分を拡大して示す図である。図4Aから図4Dに示すように、複数の半導体レーザ素子30は基体10上に配置される。具体的に説明すると、複数の半導体レーザ素子30が、行方向(図4中のX方向)及び列方向(図4中のY方向)に配置されている。半導体レーザ素子30は、例えば、基体10の凹部10a底面(凸部12aを有する基部12を用いる場合は凸部12a上)に、直接配置することもできるし、載置体40などを介して配置することもできる。載置体40を介して配置するようにすれば、複数の半導体レーザ素子30にて生じた熱を載置体40を介して効率的に排熱することができる。
(Multiple semiconductor laser elements 30)
FIG. 4A is a schematic plan view of a semiconductor laser device disposed on a substrate. 4B is a cross-sectional view taken along a line II in FIG. 4A, FIG. 4C is a cross-sectional view taken along a line JJ in FIG. 4A, and FIG. 4D is an enlarged view of a portion surrounded by a broken line in FIG. It is. As shown in FIGS. 4A to 4D, the plurality of semiconductor laser elements 30 are arranged on the substrate 10. More specifically, a plurality of semiconductor laser elements 30 are arranged in the row direction (X direction in FIG. 4) and the column direction (Y direction in FIG. 4). For example, the semiconductor laser element 30 can be arranged directly on the bottom surface of the concave portion 10a of the base body 10 (on the convex portion 12a when the base 12 having the convex portion 12a is used), or is arranged via the mounting body 40 or the like. You can also If it arrange | positions via the mounting body 40, the heat which generate | occur | produced in the several semiconductor laser element 30 can be efficiently exhausted via the mounting body 40. FIG.

複数の半導体レーザ素子30はレーザ光をそれぞれ出射し、各レーザ光は、直接またはミラー50などを介して、個々のレンズ部22の光入射面LAにそれぞれ入射する。各レーザ光は行方向(図1中のX方向)より列方向(図1中のY方向)に幅が広くなるビーム形状を複数のレンズ部22の各光入射面LAにおいて有する(列方向のビーム幅WY>行方向のビーム幅WX)。複数の半導体レーザ素子30には窒化物半導体を用いた半導体レーザ素子などを用いることができる。   The plurality of semiconductor laser elements 30 respectively emit laser light, and each laser light is incident on the light incident surface LA of each lens unit 22 directly or via a mirror 50 or the like. Each laser beam has a beam shape that is wider in the column direction (Y direction in FIG. 1) than in the row direction (X direction in FIG. 1) on each light incident surface LA of the plurality of lens portions 22 (in the column direction). Beam width WY> beam width WX in the row direction). For the plurality of semiconductor laser elements 30, a semiconductor laser element using a nitride semiconductor can be used.

複数の半導体レーザ素子30はワイヤ60等により互いに電気的に接続することができる。ワイヤ60としては、金、銀、銅、アルミニウム等を用いることができる。接続の態様は特に限定されないが、例えば、ワイヤ60を用いて行方向(図1中のX方向)に設けられた複数の半導体レーザ素子30を直列接続することができる。   The plurality of semiconductor laser elements 30 can be electrically connected to each other by wires 60 or the like. As the wire 60, gold, silver, copper, aluminum, or the like can be used. Although the connection mode is not particularly limited, for example, a plurality of semiconductor laser elements 30 provided in the row direction (X direction in FIG. 1) can be connected in series using the wire 60.

図4Aでは、各行において複数の半導体レーザ素子30は直線上に配置されており、隣り合う半導体レーザ素子30間には中継部材70が設けられている。そして、中継部材70を介して隣り合う半導体レーザ素子30がワイヤ60により電気的に接続されている。こうすることで、各ワイヤ60の長さを比較的短くすることができるため、電気抵抗が大きくなるのを抑制することができる。また、各行において、隣り合う半導体レーザ素子30間の距離を大きくすることができるため、半導体レーザ素子30同士の熱干渉を低減することができる。中継部材70としては、鉄、鉄合金、銅などの金属材料、又は上面に電気配線が形成されたAlN、SiC、SiNなどの絶縁材料を用いることができる。中継部材70上に半導体レーザ素子30は配置されない。   In FIG. 4A, a plurality of semiconductor laser elements 30 are arranged on a straight line in each row, and a relay member 70 is provided between adjacent semiconductor laser elements 30. The adjacent semiconductor laser elements 30 are electrically connected by wires 60 through the relay member 70. By doing so, since the length of each wire 60 can be made relatively short, it is possible to suppress an increase in electrical resistance. Moreover, since the distance between the adjacent semiconductor laser elements 30 can be increased in each row, thermal interference between the semiconductor laser elements 30 can be reduced. As the relay member 70, a metal material such as iron, an iron alloy, or copper, or an insulating material such as AlN, SiC, or SiN having an electrical wiring formed on the upper surface can be used. The semiconductor laser element 30 is not disposed on the relay member 70.

中継部材70の上面は、載置体40の上面又は半導体レーザ素子30の上面と実質的に同じ高さに位置するのが好ましい。このようにすれば、ワイヤ60を実装しやすくなる。半導体レーザ素子30が載置体40に設けられる場合は、中継部材70の上面は、載置体40の上面と実質的に同じ高さに位置するのがよい。これにより、半導体レーザ素子30の上面と実質的に同じ高さとする場合に比較して、中継部材70の高さ方向における厚みを小さくすることができ、部材費を低減することができる。   The upper surface of the relay member 70 is preferably located at substantially the same height as the upper surface of the mounting body 40 or the upper surface of the semiconductor laser element 30. In this way, the wire 60 can be easily mounted. When the semiconductor laser element 30 is provided on the mounting body 40, the upper surface of the relay member 70 is preferably positioned at substantially the same height as the upper surface of the mounting body 40. Thereby, compared with the case where it makes substantially the same height as the upper surface of the semiconductor laser element 30, the thickness in the height direction of the relay member 70 can be made small, and member cost can be reduced.

半導体レーザ素子30は、各レンズ部に対応してm行n列(m≧2、n≧1)に設けられる。このとき、行方向における半導体レーザ素子30の数は、列方向における半導体レーザ素子30の数よりも多いことが好ましい。そして、半導体レーザ素子30は、複数の半導体レーザ素子30からの光(発光装置1としての光)の分布が正方形となるように、設けられるのがよい。これにより、発光装置1をプロジェクタの一部として用いる場合に、発光強度の分布を均一化しやすくすることができる。   The semiconductor laser elements 30 are provided in m rows and n columns (m ≧ 2, n ≧ 1) corresponding to each lens unit. At this time, the number of semiconductor laser elements 30 in the row direction is preferably larger than the number of semiconductor laser elements 30 in the column direction. The semiconductor laser element 30 is preferably provided so that the distribution of light from the plurality of semiconductor laser elements 30 (light as the light emitting device 1) is square. Thereby, when using the light-emitting device 1 as a part of a projector, it can make it easy to equalize distribution of emitted light intensity.

(ミラー50)
図4Aから図4Dに示すように、発光装置1は、基体10上に、半導体レーザ素子30の出射光をレンズ部22に向けて反射するミラー50を備えていてもよい。ミラー50は半導体レーザ素子30の出射面(レーザ光を出射する面。以下、同じ。)とミラー50とが向かい合うように配置される。これにより、半導体レーザ素子30の光出射面から出射されたレーザ光がレンズ部22の出射面に達するまでの距離(以下「光路長」という。)を長くすることができる。したがって、レンズアレイ20の光出射面における光密度を低減することができ、レンズ部22での集塵を抑制しやすくなる。また、光路長を長くすることで、光路長が短い場合(例えば、ミラー50を配置せずに半導体レーザ素子30からレンズ部22に光を直接照射する場合)と比較して、レンズ部22から出射される光の強度分布の変化を低減することができる。これは、光路長を長くすることで、半導体レーザ素子30の位置ずれにより半導体レーザ素子30からの光がレンズ部22の光入射面に対して垂直以外の方向から入射したとしても、レンズ部22を通過した後の光の傾きを小さくできるためである。
(Mirror 50)
As shown in FIGS. 4A to 4D, the light emitting device 1 may include a mirror 50 on the base 10 that reflects the light emitted from the semiconductor laser element 30 toward the lens unit 22. The mirror 50 is disposed so that the emission surface of the semiconductor laser element 30 (the surface from which laser light is emitted; the same applies hereinafter) and the mirror 50 face each other. Thereby, the distance (hereinafter referred to as “optical path length”) required for the laser light emitted from the light emitting surface of the semiconductor laser element 30 to reach the emitting surface of the lens portion 22 can be increased. Therefore, the light density on the light exit surface of the lens array 20 can be reduced, and dust collection at the lens unit 22 can be easily suppressed. Further, by increasing the optical path length, the lens unit 22 can be compared with the case where the optical path length is short (for example, when the light is directly irradiated from the semiconductor laser element 30 to the lens unit 22 without arranging the mirror 50). Changes in the intensity distribution of the emitted light can be reduced. This is because by increasing the optical path length, even if light from the semiconductor laser element 30 is incident from a direction other than perpendicular to the light incident surface of the lens part 22 due to the positional deviation of the semiconductor laser element 30, the lens part 22 This is because the inclination of the light after passing through can be reduced.

ミラー50の数や形状等は特に限定されない。例えば、行方向(図1のX方向)に長いミラーを列状に複数配置してもよいし、複数のレンズ部22に対応してm行n列(m≧2、n≧1)の行列状に複数のミラー50を配置してもよい。行列状に配置する場合は、複数のレンズ部22の各々に対して1つのミラー50が設けられるため、ある半導体レーザ素子30とあるミラー50の位置関係にずれが生じても他の半導体レーザ素子30と他のミラー50との位置関係には影響が生じなくなる。したがって、1つのミラー50の実装ずれによる影響を最小限に抑えることができる。   The number and shape of the mirrors 50 are not particularly limited. For example, a plurality of mirrors that are long in the row direction (X direction in FIG. 1) may be arranged in a column, or a matrix of m rows and n columns (m ≧ 2, n ≧ 1) corresponding to the plurality of lens units 22. A plurality of mirrors 50 may be arranged in a shape. When arranged in a matrix, one mirror 50 is provided for each of the plurality of lens portions 22, so that even if a positional relationship between a certain semiconductor laser element 30 and a certain mirror 50 is shifted, other semiconductor laser elements are arranged. The positional relationship between the mirror 30 and the other mirror 50 is not affected. Therefore, the influence of mounting deviation of one mirror 50 can be minimized.

ミラー50にはガラス、合成石英、サファイア、アルミニウムなどを用いることができる。ミラー50は半導体レーザ素子30の出射光(半導体レーザ素子30から出射されたレーザ光。以下同じ。)を反射させる反射面を有する。反射面には例えば誘電体多層膜等の反射膜が設けられる。なお、ミラー50を利用せず、複数の半導体レーザ素子30の各出射光をそのままレンズアレイ20に入射させる場合には、例えば、ミラー50ではなく、複数の半導体レーザ素子30をm行n列(m≧2、n≧1)の行列状で基体10上に配置する。   The mirror 50 can be made of glass, synthetic quartz, sapphire, aluminum or the like. The mirror 50 has a reflecting surface that reflects the emitted light of the semiconductor laser element 30 (laser light emitted from the semiconductor laser element 30; the same applies hereinafter). A reflective film such as a dielectric multilayer film is provided on the reflective surface. In the case where the light emitted from the plurality of semiconductor laser elements 30 is directly incident on the lens array 20 without using the mirror 50, for example, the plurality of semiconductor laser elements 30 instead of the mirror 50 are arranged in m rows and n columns ( They are arranged on the substrate 10 in a matrix form of m ≧ 2 and n ≧ 1).

ミラー50は、特に限定されるわけではないが、レンズ部22の頂点直下に位置していることが好ましい。なかでも、ミラー50の反射部がレンズ部22の頂点直下に位置していることが好ましい。このようにすれば、ミラー50において、半導体レーザ素子30の出射光をレンズ部22の頂点に向けて反射することができるため、レンズアレイ20(レンズ部22)から出射する光の強度分布が変化しにくい。なお、ここでいう反射部とはミラー50に設けられた反射面のうち半導体レーザ素子30の出射光を反射する部分をさす。   The mirror 50 is not particularly limited, but is preferably located immediately below the apex of the lens unit 22. Especially, it is preferable that the reflection part of the mirror 50 is located directly under the vertex of the lens part 22. In this way, the mirror 50 can reflect the light emitted from the semiconductor laser element 30 toward the apex of the lens portion 22, so that the intensity distribution of the light emitted from the lens array 20 (lens portion 22) changes. Hard to do. Here, the reflecting portion refers to a portion of the reflecting surface provided on the mirror 50 that reflects the emitted light of the semiconductor laser element 30.

図1Aから図1Dに示すように(例えば、図1A中の最も左上に位置するレンズ部22において透過的に示された半導体レーザ素子30及びミラー50を参照。)、半導体レーザ素子30及びミラー50は、平面視においてレンズ部22の周縁より内側に配置されていることが好ましい。このようにすれば、半導体レーザ素子30がミラー50に近接して配置されるため、レンズ部22から出射される光の面積が大きくなるのを抑制することができる。   As shown in FIGS. 1A to 1D (see, for example, the semiconductor laser element 30 and the mirror 50 transparently shown in the lens unit 22 located at the upper left in FIG. 1A). Is preferably arranged on the inner side of the periphery of the lens portion 22 in plan view. In this case, since the semiconductor laser element 30 is disposed close to the mirror 50, it is possible to suppress an increase in the area of light emitted from the lens unit 22.

(封止部材80)
図1Aから図1Dに示すように、発光装置1は、基体10とレンズアレイ20との間に封止部材80を備えていてもよい。封止部材80を設けることでレンズアレイ20のみを設ける場合と比較して気密封止の効果を高めることができる。特に、半導体レーザ素子30として窒化物半導体を用いる場合は、有機物等が半導体レーザ素子30の出射面に集塵されやすくなるため、封止部材80による気密封止の効果がより顕著となる。
(Sealing member 80)
As illustrated in FIGS. 1A to 1D, the light emitting device 1 may include a sealing member 80 between the base 10 and the lens array 20. By providing the sealing member 80, the effect of hermetic sealing can be enhanced as compared with the case where only the lens array 20 is provided. In particular, when a nitride semiconductor is used as the semiconductor laser element 30, the organic substance or the like is easily collected on the emission surface of the semiconductor laser element 30, and thus the hermetic sealing effect by the sealing member 80 becomes more remarkable.

図5Aは封止部材の模式的平面図である。また、図5Bは図5A中のK−K断面図であり、図5Cは図5A中のL−L断面図である。図5Aにおいては、理解を容易にするため、窓部82aを破線により透過的に示している。図5Aから図5Cに示すように、封止部材80は複数の窓部82aを有する本体部82と透光性部材84とを有している。本体部82にはガラス、金属、セラミック、又はこれらの材料を組み合わせた材料などを用いることができ、好ましくは金属を用いる。これにより、溶接等により基体10と封止部材80とを固定することができるため、気密封止しやすくなる。また、透光性部材84には少なくとも半導体レーザ素子30の出射光を透過させる部材を用いることができる。本体部82や透光性部材84の形状は特に限定されない。例えば、本実施形態では本体部82がレンズアレイ20側に凹部82bを有しているが、基体10として平板状の部材を用いる場合は基体10側に凹部82bを有するものとしてもよい。   FIG. 5A is a schematic plan view of a sealing member. 5B is a sectional view taken along the line KK in FIG. 5A, and FIG. 5C is a sectional view taken along the line LL in FIG. 5A. In FIG. 5A, for easy understanding, the window portion 82a is transparently shown by a broken line. As shown in FIGS. 5A to 5C, the sealing member 80 includes a main body portion 82 having a plurality of window portions 82 a and a translucent member 84. The main body 82 can be made of glass, metal, ceramic, or a combination of these materials, preferably metal. Thereby, since the base | substrate 10 and the sealing member 80 can be fixed by welding etc., it becomes easy to carry out airtight sealing. Further, as the translucent member 84, a member that transmits at least light emitted from the semiconductor laser element 30 can be used. The shapes of the main body 82 and the translucent member 84 are not particularly limited. For example, in the present embodiment, the main body portion 82 has the concave portion 82b on the lens array 20 side. However, when a flat plate member is used as the base body 10, the main body portion 82 may have the concave portion 82b on the base body 10 side.

本体部82は、2つ以上の半導体レーザ素子30に対して1つの窓部82aを有していてもよいが、複数の半導体レーザ素子30の各々に対して1つの窓部82aをそれぞれ有していることが好ましい。このようにすれば、窓部82aを除く本体部82と透光性部材84との接合面積を増やすことができるため、基体10と本体部82とを気密封止のために抵抗溶接等により接合する場合において、応力による透光性部材84の割れを抑制することができる。   The main body 82 may have one window 82 a for two or more semiconductor laser elements 30, but has one window 82 a for each of the plurality of semiconductor laser elements 30. It is preferable. In this way, the bonding area between the main body 82 excluding the window 82a and the translucent member 84 can be increased, so the base 10 and the main body 82 are bonded together by resistance welding or the like for hermetic sealing. In this case, it is possible to suppress cracking of the translucent member 84 due to stress.

以上のとおり、実施形態1に係る発光装置1によれば、複数のレンズ部22が行方向(図1のX方向)と列方向(図1のY方向)とにおいて同じ曲率を有する。したがって、レンズアレイ20が所定の向きから僅かに回転して実装された場合であっても、光源とレンズ部22の位置関係に大きなずれが生じにくく、レンズアレイ20から出射する光の強度分布が変化しにくい発光装置を提供することができる。   As described above, according to the light emitting device 1 according to the first embodiment, the plurality of lens units 22 have the same curvature in the row direction (X direction in FIG. 1) and the column direction (Y direction in FIG. 1). Therefore, even when the lens array 20 is mounted by being slightly rotated from a predetermined direction, a large shift is hardly caused in the positional relationship between the light source and the lens unit 22, and the intensity distribution of light emitted from the lens array 20 is A light-emitting device that hardly changes can be provided.

[実施形態2に係る発光装置2]
図6Aは実施形態2に係る発光装置の模式的平面図であり、図6Bは図6A中のM−M断面図であり、図6Cは図6A中のN−N断面図であり、図6Dは図6A中のO−O断面図である。図6Aにおいては、理解を容易にするため、最も左上のレンズ部下方に配置される半導体レーザ素子30などを透過的に示している。図6Aから図6Dに示すように、実施形態2に係る発光装置2は、複数のレンズアレイ20A、20B、20C、20Dが列方向(図1のY方向)に配列されるとともに、複数のレンズアレイ20A、20B、20C、20Dの各々が行方向(図1のX方向)に複数のレンズ部22を有する点で、実施形態1に係る発光装置1と相違する。実施形態2によっても、実施形態1と同様に、レンズアレイ20が所定の向きから僅かに回転して実装された場合であっても、光源とレンズ部22の位置関係に大きなずれが生じにくく、レンズアレイ20から出射する光の強度分布が変化しにくい発光装置を提供することができる。
[Light Emitting Device 2 According to Embodiment 2]
6A is a schematic plan view of the light-emitting device according to Embodiment 2, FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line MM in FIG. 6A, FIG. 6C is a cross-sectional view taken along line NN in FIG. FIG. 6B is a cross-sectional view taken along line OO in FIG. 6A. In FIG. 6A, in order to facilitate understanding, the semiconductor laser element 30 and the like arranged below the uppermost lens unit are shown transparently. 6A to 6D, the light-emitting device 2 according to Embodiment 2 includes a plurality of lens arrays 20A, 20B, 20C, and 20D arranged in a column direction (Y direction in FIG. 1) and a plurality of lenses. The arrays 20A, 20B, 20C, and 20D are different from the light emitting device 1 according to the first embodiment in that each of the arrays 20A, 20B, 20C, and 20D includes a plurality of lens units 22 in the row direction (X direction in FIG. 1). Even in the second embodiment, similarly to the first embodiment, even when the lens array 20 is mounted by being slightly rotated from a predetermined direction, it is difficult to cause a large shift in the positional relationship between the light source and the lens unit 22. A light emitting device in which the intensity distribution of light emitted from the lens array 20 is unlikely to change can be provided.

[実施形態3に係る発光装置3]
図7に実施形態3に係る発光装置3の模式的平面図を示す。図7では、凹部82bの外縁を破線で示している。また、図7では、レンズアレイ20が接着剤により封止部材80に固定される領域にハッチングを施している。図7に示すように、発光装置3では、レンズアレイ20が、レンズ部22とレンズ部22同士を接続する接続部24とを備えるとともに、接続部24において接着剤により封止部材80に固定されている。封止部材80は、基体10における複数の半導体レーザ素子30が載置された領域に向かって凹んだ凹部82bを有している。レンズアレイ20は、平面視において、凹部82bの内側に貫通孔Fを有するとともに、凹部82bの外側において接着剤により封止部材80に固定されている。
[Light Emitting Device 3 According to Embodiment 3]
FIG. 7 shows a schematic plan view of the light emitting device 3 according to the third embodiment. In FIG. 7, the outer edge of the recess 82b is indicated by a broken line. Moreover, in FIG. 7, the area | region where the lens array 20 is fixed to the sealing member 80 with an adhesive agent is hatched. As shown in FIG. 7, in the light emitting device 3, the lens array 20 includes a lens portion 22 and a connection portion 24 that connects the lens portions 22, and is fixed to the sealing member 80 with an adhesive at the connection portion 24. ing. The sealing member 80 has a recess 82 b that is recessed toward the region where the plurality of semiconductor laser elements 30 are placed on the base 10. The lens array 20 has a through hole F inside the recess 82b in plan view, and is fixed to the sealing member 80 by an adhesive outside the recess 82b.

レンズアレイと封止部材との間の空間が密閉空間であると、レンズアレイが有機物を含む接着剤(例えば、UV硬化性接着剤)により固定される場合において、接着剤から気化したガスがレンズアレイと封止部材との間の空間に留まってしまう。このとき、気化したガスに含まれる有機物が、レーザ光に反応し、透光性部材やレンズアレイに堆積するおそれがある。これに対して、接続部24に貫通孔Fを設ければ、レンズアレイ20と封止部材80との間の空間が開放空間となるため、接着剤から気化したガスを当該空間外へと逃がし、有機物の堆積(集塵)を抑制しやすくなる。開放空間とは開放された空間をいう。   When the space between the lens array and the sealing member is a sealed space, when the lens array is fixed by an adhesive containing an organic substance (for example, a UV curable adhesive), gas evaporated from the adhesive is the lens. It remains in the space between the array and the sealing member. At this time, the organic substance contained in the vaporized gas reacts with the laser beam and may be deposited on the translucent member or the lens array. On the other hand, if the through hole F is provided in the connection portion 24, the space between the lens array 20 and the sealing member 80 becomes an open space, so that the gas evaporated from the adhesive is released to the outside of the space. , It becomes easy to suppress the accumulation (dust collection) of organic matter. An open space is an open space.

貫通孔Fは複数設けられるのが好ましい。そして、複数の貫通孔Fは、レンズアレイ20の中心線に対して線対称に設けられることが好ましい。このようにすれば、レンズアレイ20と封止部材80との間の空間内に空気の流れを形成しやすくなるため(例えば、2つの貫通孔を線対称に設けた場合には、一方の貫通孔から空間内に空気が流入し、他方の貫通孔から空間外へ空気が流出する空気の流れが形成されやすくなる。)、より一層、接着剤から気化したガスを当該空間外へと逃がして、当該空間内における有機物の堆積(集塵)を抑制することができる。また、レンズアレイ20と封止部材80との間の空間内における結露の発生を抑制することもできる。UV硬化性接着剤などの有機物を含む接着剤は水分を吸収しやすい材料であるため、レンズアレイ20がUV硬化性接着剤により固定される場合においては、大気中から接着剤に吸収された水分が封止部材80とレンズアレイ20との間の空間に留まりやすく、使用状況によっては空間内に結露が発生するおそれがある。したがって、空間内に空気の流れを形成する上記の構成は、UV硬化性接着剤などの有機物を含む接着剤でレンズアレイ20を封止部材80に固定する場合に特に好ましく適用することができる。   A plurality of through holes F are preferably provided. The plurality of through holes F are preferably provided symmetrically with respect to the center line of the lens array 20. This makes it easier to form an air flow in the space between the lens array 20 and the sealing member 80 (for example, when two through holes are provided in line symmetry, one through Air flows into the space from the hole and air flows out from the other through-hole to the outside of the space.), And the gas vaporized from the adhesive is released to the outside of the space. The accumulation (dust collection) of organic matter in the space can be suppressed. In addition, the occurrence of condensation in the space between the lens array 20 and the sealing member 80 can be suppressed. Since an adhesive containing an organic substance such as a UV curable adhesive is a material that easily absorbs moisture, when the lens array 20 is fixed by the UV curable adhesive, moisture absorbed by the adhesive from the atmosphere. Tends to stay in the space between the sealing member 80 and the lens array 20, and there is a risk that condensation may occur in the space depending on the use situation. Therefore, the above-described configuration for forming an air flow in the space can be particularly preferably applied when the lens array 20 is fixed to the sealing member 80 with an adhesive containing an organic substance such as a UV curable adhesive.

[実施形態4に係る発光装置4]
図8に実施形態4に係る発光装置4の模式的平面図を示す。図8では、凹部82bの外縁を実線及び破線で示している。また、図8では、レンズアレイ20が接着剤により封止部材80に固定される領域にハッチングを施している。図8に示すように、発光装置4では、封止部材80は、基体10における複数の半導体レーザ素子30が載置された領域に向かって凹んだ凹部82bを有している。レンズアレイ20は、平面視において、レンズアレイ20の外縁の一部が凹部82bの内側に位置するように配置されているとともに(図8中の開口部Gを参照)、凹部82bの外側において接着剤により封止部材80に固定されている。発光装置4においても、レンズアレイ20と封止部材80との間の空間が開放空間となるため、有機物の堆積(集塵)や結露の発生を抑制しやすくなる。
[Light Emitting Device 4 According to Embodiment 4]
FIG. 8 is a schematic plan view of the light emitting device 4 according to the fourth embodiment. In FIG. 8, the outer edge of the recess 82b is indicated by a solid line and a broken line. Moreover, in FIG. 8, the area | region where the lens array 20 is fixed to the sealing member 80 with an adhesive agent is hatched. As shown in FIG. 8, in the light emitting device 4, the sealing member 80 has a recess 82 b that is recessed toward the region where the plurality of semiconductor laser elements 30 are placed on the base 10. The lens array 20 is arranged so that a part of the outer edge of the lens array 20 is located inside the recess 82b in plan view (see the opening G in FIG. 8), and is bonded outside the recess 82b. It is fixed to the sealing member 80 with an agent. Also in the light emitting device 4, since the space between the lens array 20 and the sealing member 80 is an open space, it is easy to suppress organic matter accumulation (dust collection) and condensation.

開口部Gの数及び配置は、レンズアレイ20の外縁の一部を凹部82bの内側に位置させるものであればよく、図8に図示した数及び配置に限定されるものではない。ただし、開口部Gは、平面視において、レンズアレイ20の外縁の2箇所以上(四隅に限らない。)に設けられていることが好ましい。そして、この場合、それらの開口部Gは、レンズアレイ20の中心に対して点対称の位置に設けられることが好ましい。このようにすれば、複数の貫通孔Fをレンズアレイ20の中心線に対して線対称に設ける場合と同様に、レンズアレイ20と封止部材80との間の空間内に空気の流れを形成しやすくなる。したがって、より一層、有機物の堆積(集塵)や結露の発生を抑制することができる。   The number and arrangement of the openings G are not limited to the number and arrangement shown in FIG. 8 as long as a part of the outer edge of the lens array 20 is positioned inside the recess 82b. However, the openings G are preferably provided at two or more locations (not limited to the four corners) on the outer edge of the lens array 20 in plan view. In this case, the openings G are preferably provided at positions that are point-symmetric with respect to the center of the lens array 20. In this way, an air flow is formed in the space between the lens array 20 and the sealing member 80 as in the case where the plurality of through holes F are provided symmetrically with respect to the center line of the lens array 20. It becomes easy to do. Therefore, the accumulation of organic matter (dust collection) and the occurrence of condensation can be further suppressed.

以上、実施形態3、4について説明したが、貫通孔Fや開口部Gは、レンズアレイ20と封止部材80との間の空間を開放空間とする具体的な構成の一例である。レンズアレイ20と封止部材80との間の空間は、空間内で生じたガスを外部に逃がすことができるよう開放されていればよく、このような開放された空間(すなわち開放空間)を具体的にどのように構成するのかは特に限定されない。   Although Embodiments 3 and 4 have been described above, the through hole F and the opening G are examples of specific configurations in which the space between the lens array 20 and the sealing member 80 is an open space. The space between the lens array 20 and the sealing member 80 may be open so that the gas generated in the space can be released to the outside, and such an open space (that is, an open space) is specified. The configuration is not particularly limited.

以上、実施形態について説明したが、これらの説明によって特許請求の範囲に記載された構成は何ら限定されるものではない。   Although the embodiments have been described above, the configurations described in the scope of the claims are not limited by these descriptions.

1、2、3、4 発光装置
10 基体
10a 凹部
12 基部
12a 凸部
14 側壁
20、20A、20B、20C、20D レンズアレイ
22 レンズ部
24 接続部
30 半導体レーザ素子
40 載置体
50 ミラー
60 ワイヤ
70 中継部材
80 封止部材
82 本体部
82a 窓部
82b 凹部
84 透光性部材
90 配線
PX 行方向の頂点間距離
PY 列方向の頂点間距離
WX 行方向のビーム幅
WY 列方向のビーム幅
LA 光入射面
LB 光出射面
E 最大外径
F 貫通孔
G 開口部
X 行方向
Y 列方向
1, 2, 3, 4 Light emitting device 10 Base 10a Recess 12 Base 12a Protrusion 14 Side wall 20, 20A, 20B, 20C, 20D Lens array 22 Lens portion 24 Connection portion 30 Semiconductor laser element 40 Mounting body 50 Mirror 60 Wire 70 Relay member 80 Sealing member 82 Main body portion 82a Window portion 82b Recess 84 Translucent member 90 Wiring PX Distance between vertices PY in row direction Distance between vertices in row direction WX Beam width in row direction WY Beam width LA in row direction Light incidence Surface LB Light exit surface E Maximum outer diameter F Through hole G Opening X Row direction Y Column direction

Claims (8)

基体と、行列状に複数のレンズ部を有するレンズアレイと、前記基体上に配置された複数の半導体レーザ素子と、を備えた発光装置であって、
前記複数の半導体レーザ素子はレーザ光をそれぞれ出射し、
各レーザ光は行方向より列方向に幅が広くなるビーム形状を前記複数のレンズ部の各光入射面において有し、
前記複数のレンズ部は、個々のレンズ部の最大外径と列方向の頂点間距離とのいずれよりも小さい行方向の頂点間距離を有するとともに、行方向と列方向とにおいて同じ曲率を有することを特徴とする発光装置。
A light emitting device comprising a base, a lens array having a plurality of lens portions in a matrix, and a plurality of semiconductor laser elements arranged on the base,
The plurality of semiconductor laser elements each emit laser light,
Each laser beam has a beam shape that is wider in the column direction than in the row direction on each light incident surface of the plurality of lens portions,
The plurality of lens portions have a vertex-to-vertex distance in the row direction smaller than both the maximum outer diameter of each lens portion and the distance between the vertices in the column direction, and have the same curvature in the row direction and the column direction. A light emitting device characterized by the above.
基体と、列方向に配列され、それぞれが行方向に複数のレンズ部を有する複数のレンズアレイと、前記基体上に配置された複数の半導体レーザ素子と、を備えた発光装置であって、
前記複数の半導体レーザ素子はレーザ光をそれぞれ出射し、
各レーザ光は行方向より列方向に幅が広くなるビーム形状を前記複数のレンズ部の各光入射面において有し、
前記複数のレンズ部は、個々のレンズ部の最大外径と列方向の頂点間距離とのいずれよりも小さい行方向の頂点間距離を有するとともに、行方向と列方向とにおいて同じ曲率を有することを特徴とする発光装置。
A light-emitting device comprising: a base; a plurality of lens arrays arranged in a column direction, each having a plurality of lens portions in a row direction; and a plurality of semiconductor laser elements arranged on the base,
The plurality of semiconductor laser elements each emit laser light,
Each laser beam has a beam shape that is wider in the column direction than in the row direction on each light incident surface of the plurality of lens portions,
The plurality of lens portions have a vertex-to-vertex distance in the row direction smaller than both the maximum outer diameter of each lens portion and the distance between the vertices in the column direction, and have the same curvature in the row direction and the column direction. A light emitting device characterized by the above.
前記基体上に、前記半導体レーザ素子の出射光を前記レンズ部に向けて反射するミラーを備えることを特徴とする請求項1または2に記載の発光装置。   3. The light emitting device according to claim 1, further comprising a mirror that reflects the emitted light of the semiconductor laser element toward the lens unit on the base. 4. 前記ミラーは前記レンズ部の頂点直下に位置していることを特徴とする請求項3に記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 3, wherein the mirror is located immediately below the apex of the lens unit. 前記レンズ部は少なくとも一部が非球面状曲面からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の発光装置。   The light-emitting device according to claim 1, wherein at least a part of the lens portion is an aspherical curved surface. 前記レンズ部は少なくとも一部周縁が平面視円弧状からなることを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, wherein at least a part of the periphery of the lens portion has an arc shape in plan view. 前記基体と前記レンズアレイとの間に封止部材を備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の発光装置。   The light emitting device according to claim 1, further comprising a sealing member between the base and the lens array. 前記レンズアレイは、前記レンズ部と前記レンズ部同士を接続する接続部とを備えるとともに、前記接続部において接着剤により前記封止部材に固定され、
前記レンズアレイと前記封止部材との間の空間は開放空間であることを特徴とする請求項7に記載の発光装置。

The lens array includes the lens part and a connection part that connects the lens parts, and is fixed to the sealing member by an adhesive in the connection part,
The light emitting device according to claim 7, wherein a space between the lens array and the sealing member is an open space.

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