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JP2016212275A - Low thermal conductivity film - Google Patents

Low thermal conductivity film Download PDF

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JP2016212275A
JP2016212275A JP2015096244A JP2015096244A JP2016212275A JP 2016212275 A JP2016212275 A JP 2016212275A JP 2015096244 A JP2015096244 A JP 2015096244A JP 2015096244 A JP2015096244 A JP 2015096244A JP 2016212275 A JP2016212275 A JP 2016212275A
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transparent conductive
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JP2015096244A
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尚洋 眞下
Naohiro Mashita
尚洋 眞下
弘朋 河原
Hirotomo Kawahara
弘朋 河原
和久 吉岡
Kazuhisa Yoshioka
和久 吉岡
富田 倫央
Michihisa Tomita
倫央 富田
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Abstract

【課題】耐久性が改善された低熱貫流フィルム。
【解決手段】第1および第2の表面を有するフィルム基材と、前記フィルム基材の前記第1の表面に配置され、少なくとも第1の層および第2の層を有し、前記第1の層は、前記第2の層よりも前記フィルム基材により近く、波長550nmの光に対して、前記第2の層の屈折率よりも高い屈折率を有する、屈折率調整膜と、前記屈折率調整膜の上に配置されたインジウムスズ酸化物(ITO)を主体とする透明導電層と、前記透明導電層の上に配置され、波長550nmの光に対する屈折率が1.55以下の上部層と、を有する、低熱貫流フィルム。
【選択図】図1
A low thermal flow-through film with improved durability.
A film substrate having first and second surfaces; and at least a first layer and a second layer disposed on the first surface of the film substrate; The layer is closer to the film substrate than the second layer, and has a refractive index higher than the refractive index of the second layer with respect to light having a wavelength of 550 nm, and the refractive index A transparent conductive layer mainly composed of indium tin oxide (ITO) disposed on the adjustment film; an upper layer disposed on the transparent conductive layer and having a refractive index of 1.55 or less with respect to light having a wavelength of 550 nm; A low thermal flow-through film.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、低熱貫流フィルムに関する。   The present invention relates to a low heat-through film.

従来より、建物や車両などのガラス部材の内側に低熱貫流フィルムを貼り付けることにより、室内(車内)の温度低下を抑制し、室内(車内)の断熱効果を高め得ることが知られている。   2. Description of the Related Art Conventionally, it is known that a low heat-through film is attached to the inside of a glass member such as a building or a vehicle, thereby suppressing a temperature drop in the room (inside the vehicle) and enhancing the heat insulating effect in the room (in the vehicle).

一般的な低熱貫流フィルムは、樹脂製のフィルム基材に、薄い銀層を含む多層膜をフィルム基材の室内(車内)面側に配置することにより構成される。この薄い銀層が室内(車内)の赤外線等を反射する赤外線反射機能層として機能するため、低熱貫流フィルムを使用した際に、前述のような断熱効果を得ることができる。   A general low heat-throughflow film is configured by arranging a multilayer film including a thin silver layer on a resin film base material on the indoor (inside of the vehicle) surface side of the film base material. Since this thin silver layer functions as an infrared reflection functional layer that reflects infrared rays or the like in the room (inside the vehicle), the above-described heat insulation effect can be obtained when a low heat-through film is used.

特許第5336739号明細書Japanese Patent No. 5336739

しかしながら、従来の低熱貫流フィルムは、耐湿性、耐擦傷性、および耐指紋性などの点で問題がある銀層を有するため、あまり良好な耐久性を示さないという問題がある。例えば、従来の低熱貫流フィルムは、環境中の水分と反応したり、指で触った後に変色が生じたりするなど、容易に劣化してしまう傾向がある。   However, the conventional low heat-throughflow film has a problem that it does not show very good durability because it has a silver layer having problems in terms of moisture resistance, scratch resistance, and fingerprint resistance. For example, conventional low heat-throughflow films tend to deteriorate easily, such as reacting with moisture in the environment or causing discoloration after touching with a finger.

このため、より良好な耐久性を有する低熱貫流フィルムが要望されている。   For this reason, there is a demand for a low heat-through film having better durability.

本発明は、このような背景に鑑みなされたものであり、本発明では、従来に比べて耐久性が改善された低熱貫流フィルムを提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such a background, and an object of the present invention is to provide a low heat-through film having improved durability as compared with the conventional art.

本発明では、
第1および第2の表面を有するフィルム基材と、
前記フィルム基材の前記第1の表面に配置され、少なくとも第1の層および第2の層を有し、前記第1の層は、前記第2の層よりも前記フィルム基材により近く、波長550nmの光に対して、前記第2の層の屈折率よりも高い屈折率を有する、屈折率調整膜と、
前記屈折率調整膜の上に配置されたインジウムスズ酸化物(ITO)を主体とする透明導電層と、
前記透明導電層の上に配置され、波長550nmの光に対する屈折率が1.55以下の上部層と、
を有する、低熱貫流フィルムが提供される。
In the present invention,
A film substrate having first and second surfaces;
Disposed on the first surface of the film substrate and having at least a first layer and a second layer, the first layer being closer to the film substrate than the second layer, and having a wavelength A refractive index adjusting film having a refractive index higher than that of the second layer with respect to 550 nm light;
A transparent conductive layer mainly composed of indium tin oxide (ITO) disposed on the refractive index adjusting film;
An upper layer disposed on the transparent conductive layer and having a refractive index of 1.55 or less for light having a wavelength of 550 nm;
A low thermal flow-through film is provided.

本発明では、従来に比べて耐久性が改善された低熱貫流フィルムを提供することができる。   The present invention can provide a low heat-throughflow film having improved durability as compared with the prior art.

本発明の一実施形態による低熱貫流フィルムの構成を模式的に示した断面図である。It is sectional drawing which showed typically the structure of the low heat-throughflow film by one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態による低熱貫流フィルムの製造方法のフローの一例を模式的に示した図である。It is the figure which showed typically an example of the flow of the manufacturing method of the low heat-throughflow film by one Embodiment of this invention. サンプル1において、各入射角度で光を照射した際に生じる反射色を、色空間の色座標にプロットした図である。In sample 1, it is the figure which plotted the reflective color which arises when light is irradiated at each incident angle on the color coordinate of color space. サンプル2において、各入射角度で光を照射した際に生じる反射色を、色空間の色座標にプロットした図である。In sample 2, it is the figure which plotted the reflected color which arises when light is irradiated at each incident angle on the color coordinate of color space. サンプル3において、各入射角度で光を照射した際に生じる反射色を、色空間の色座標にプロットした図である。In sample 3, it is the figure which plotted the reflective color produced when light was irradiated at each incident angle on the color coordinate of color space. サンプル4において、各入射角度で光を照射した際に生じる反射色を、色空間の色座標にプロットした図である。In sample 4, it is the figure which plotted the reflective color produced when light was irradiated at each incident angle on the color coordinate of color space. サンプル7において、各入射角度で光を照射した際に生じる反射色を、色空間の色座標にプロットした図である。In sample 7, it is the figure which plotted the reflective color produced when light was irradiated at each incident angle on the color coordinate of color space. サンプル8において、各入射角度で光を照射した際に生じる反射色を、色空間の色座標にプロットした図である。In sample 8, it is the figure which plotted the reflective color produced when light was irradiated at each incident angle on the color coordinate of color space.

以下、図面を参照して、本発明の一実施形態について説明する。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

(本発明の一実施形態による低熱貫流フィルム)
図1には、本発明の一実施形態による低熱貫流フィルムの断面を模式的に示す。
(Low thermal once-through film according to one embodiment of the present invention)
In FIG. 1, the cross section of the low thermal-flow-through film by one Embodiment of this invention is shown typically.

図1に示すように、この低熱貫流フィルム100は、フィルム基材110と、屈折率調整膜120と、透明導電層130と、上部層150とを有する。   As shown in FIG. 1, the low heat-throughflow film 100 includes a film substrate 110, a refractive index adjusting film 120, a transparent conductive layer 130, and an upper layer 150.

フィルム基材110は、第1の表面112および第2の表面114を有する。   The film substrate 110 has a first surface 112 and a second surface 114.

屈折率調整膜120は、フィルム基材110の第1の表面112に設置される。屈折率調整膜120は、該屈折率調整膜120に含まれる1または2以上の層の屈折率を制御することにより、低熱貫流フィルム100の反射色の角度依存性を調節する役割を有する。   The refractive index adjustment film 120 is installed on the first surface 112 of the film base 110. The refractive index adjusting film 120 has a role of adjusting the angle dependency of the reflected color of the low heat-throughflow film 100 by controlling the refractive index of one or more layers included in the refractive index adjusting film 120.

図1の例では、屈折率調整膜120は、フィルム基材110に近い側から、第1の層122と第2の層126の2層で構成される。この構成では、第1の層122は、波長550nmの光に対して第2の層126よりも高い屈折率を有する。   In the example of FIG. 1, the refractive index adjustment film 120 is composed of two layers, a first layer 122 and a second layer 126, from the side close to the film substrate 110. In this configuration, the first layer 122 has a higher refractive index than the second layer 126 with respect to light having a wavelength of 550 nm.

ただし、これは単なる一例であって、屈折率調整膜120は、単層または3層以上で構成されても良い。   However, this is merely an example, and the refractive index adjustment film 120 may be composed of a single layer or three or more layers.

透明導電層130は、熱線反射機能を有する層として、屈折率調整膜120の上部に配置される。透明導電層130は、インジウムスズ酸化物(ITO)を主体とする材料で構成される。ここで、本願において、「A材料を主体とする」とは、その部材が、A材料を50wt%以上含むことを意味する。また、本発明記載の「屈折率」とは、本発明記載の膜を積層時に加工したときと同じ条件で基材上に単層に加工し、屈折率を測定した場合の屈折率を意味する。   The transparent conductive layer 130 is disposed on the refractive index adjusting film 120 as a layer having a heat ray reflecting function. The transparent conductive layer 130 is made of a material mainly composed of indium tin oxide (ITO). Here, in the present application, “consisting mainly of the A material” means that the member contains 50 wt% or more of the A material. Further, the “refractive index” described in the present invention means a refractive index when a refractive index is measured by processing into a single layer on a substrate under the same conditions as when the film described in the present invention is processed during lamination. .

透明導電層130の波長550nmの光に対する屈折率は、例えば、1.6〜2.5の範囲である。   The refractive index of the transparent conductive layer 130 with respect to light having a wavelength of 550 nm is, for example, in the range of 1.6 to 2.5.

上部層150は、透明導電層130の上に配置される。ここで、本願において、「上部層」の「上部」とは、フィルム基材110に対して透明導電層130よりも遠い側に配置されることを意味する。従って、「上部層」と言う表現は、上部層150が、必ずしも最上層であることを意味するものではない。   The upper layer 150 is disposed on the transparent conductive layer 130. Here, in this application, the “upper part” of the “upper layer” means that the film base 110 is disposed on the side farther from the transparent conductive layer 130. Therefore, the expression “upper layer” does not necessarily mean that the upper layer 150 is the uppermost layer.

上部層150は、透明導電層130を保護するとともに、低熱貫流フィルム100の耐久性を高める役割を有する。   The upper layer 150 has a role of protecting the transparent conductive layer 130 and enhancing the durability of the low heat-throughflow film 100.

なお、図1には示されていないが、透明導電層130と上部層150の間に、剥離防止層を設置しても良い。剥離防止層を設置した場合、透明導電層130と上部層150の間の界面で、両者が剥離する可能性を軽減できる。ただし、剥離防止層140の設置は任意であり、剥離防止層140は、省略しても良い。   Although not shown in FIG. 1, a peeling prevention layer may be provided between the transparent conductive layer 130 and the upper layer 150. When the peeling prevention layer is provided, the possibility that both peel at the interface between the transparent conductive layer 130 and the upper layer 150 can be reduced. However, the installation of the peeling prevention layer 140 is arbitrary, and the peeling prevention layer 140 may be omitted.

このような構成を有する低熱貫流フィルム100は、良好な断熱性を発揮する。例えば、低熱貫流フィルム100の垂直放射率は、0.3以下である。従って、低熱貫流フィルム100を、例えば、建物の窓ガラスおよび車両のガラス部材(以下、これらをまとめて、単に「ガラス部材」とも称する)等に適用した場合、室内(車内)の熱が外部に逸散することを、有意に抑制することが可能となる。   The low heat-throughflow film 100 having such a configuration exhibits good heat insulating properties. For example, the vertical emissivity of the low thermal flow-through film 100 is 0.3 or less. Therefore, when the low heat-throughflow film 100 is applied to, for example, a window glass of a building and a glass member of a vehicle (hereinafter collectively referred to as “glass member”) or the like, the heat in the room (inside the vehicle) is exposed to the outside. Dissipation can be significantly suppressed.

また、低熱貫流フィルム100では、赤外反射機能層として、銀層の代わりに、ITOを主体とした透明導電層130が使用される。このため、この低熱貫流フィルム100は、比較的良好な耐久性を有する。例えば、この低熱貫流フィルム100では、従来のような、環境中の水分と反応したり、指で触った際の油脂により変色が生じたりして、容易に劣化してしまうという問題を有意に抑制することができる。   Further, in the low heat-throughflow film 100, the transparent conductive layer 130 mainly composed of ITO is used as the infrared reflection functional layer instead of the silver layer. For this reason, this low heat-throughflow film 100 has relatively good durability. For example, the low heat-throughflow film 100 significantly suppresses the conventional problem that it easily deteriorates by reacting with moisture in the environment or causing discoloration due to oils and fats when touched with a finger. can do.

また、従来の低熱貫流フィルムでは、視認方向によって、低熱貫流フィルムの反射色に変化が生じる場合がある。このような反射色の角度依存性は、低熱貫流フィルムが貼付されたガラス部材を見た視認者に、違和感を与える可能性がある。   Moreover, in the conventional low heat-throughflow film, the reflected color of the low heat-throughflow film may change depending on the viewing direction. Such angle dependency of the reflected color may give a viewer a sense of incongruity when he / she looks at the glass member on which the low heat-through film is attached.

しかしながら、本発明の一実施形態による低熱貫流フィルム100は、屈折率調整膜120を有する。この屈折率調整膜120においては、該屈折率調整膜120を構成する各層の屈折率が適正に調整されている。例えば、前述のように、屈折率調整膜120は、波長550nmの光に対して相対的に高い屈折率を有する第1の層122と、相対的に低い屈折率を有する第2の層126とで構成される。   However, the low heat-throughflow film 100 according to the embodiment of the present invention includes the refractive index adjusting film 120. In the refractive index adjusting film 120, the refractive index of each layer constituting the refractive index adjusting film 120 is appropriately adjusted. For example, as described above, the refractive index adjusting film 120 includes the first layer 122 having a relatively high refractive index with respect to light having a wavelength of 550 nm, and the second layer 126 having a relatively low refractive index. Consists of.

また、本低熱貫流フィルム100では、屈折率調整膜120〜上部層150までの各層が、相互に反射色の角度依存性に悪影響を及ぼさないように構成されている。例えば、上部層150は、波長550nmの光に対する屈折率が1.55以下となるような材料で構成されている。   Moreover, in this low heat-throughflow film 100, each layer from the refractive index adjustment film | membrane 120 to the upper layer 150 is comprised so that the angle dependence of a reflected color may not be adversely affected. For example, the upper layer 150 is made of a material that has a refractive index of 1.55 or less with respect to light having a wavelength of 550 nm.

このような構成により、本低熱貫流フィルム100では、反射色の角度依存性を有意に抑制することができる。   With such a configuration, the present low heat-throughflow film 100 can significantly suppress the angle dependency of the reflected color.

(本発明の一実施形態による低熱貫流フィルムを構成する部材)
次に、本発明の一実施形態による低熱貫流フィルムを構成する各部材について、より詳しく説明する。なお、以下の説明では、各部材(層)を表す際に、明確化のため、図1に使用した参照符号を使用する。
(Members constituting the low heat-throughflow film according to one embodiment of the present invention)
Next, each member which comprises the low heat-throughflow film by one Embodiment of this invention is demonstrated in detail. In the following description, the reference numerals used in FIG. 1 are used for clarity when representing each member (layer).

(フィルム基材110)
低熱貫流フィルム100のフィルム基材110は、他の層を支持する基材としての役割を有する。
(Film substrate 110)
The film substrate 110 of the low heat-throughflow film 100 has a role as a substrate that supports other layers.

フィルム基材110は、例えば、透明な樹脂で構成される。透明な樹脂としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート、ポリメタクリレート、およびポリカーボネート等が挙げられる。   The film base 110 is made of a transparent resin, for example. Examples of the transparent resin include polyethylene terephthalate (PET), polyethylene naphthalate, polymethacrylate, and polycarbonate.

フィルム基材110の厚さは、例えば、5μm〜200μmの範囲であっても良い。フィルム基材110の厚さを200μm以下とすることにより、低熱貫流フィルム100の全体の厚さを抑制することができる。また、フィルム基材110の厚さを5μm以上とすることにより、上部に積層される各層を支持することができる。   The thickness of the film substrate 110 may be, for example, in the range of 5 μm to 200 μm. By setting the thickness of the film base 110 to 200 μm or less, the entire thickness of the low heat-throughflow film 100 can be suppressed. Moreover, each layer laminated | stacked on the upper part can be supported by the thickness of the film base material 110 being 5 micrometers or more.

フィルム基材110の厚さは、30μm〜150μmの範囲が好ましく、40μm〜120μmの範囲がより好ましい。   The thickness of the film substrate 110 is preferably in the range of 30 μm to 150 μm, and more preferably in the range of 40 μm to 120 μm.

(屈折率調整膜120)
屈折率調整膜120は、低熱貫流フィルム100の反射色の角度依存性を調節する役割を有する。
(Refractive index adjusting film 120)
The refractive index adjusting film 120 has a role of adjusting the angle dependency of the reflected color of the low thermal flow-through film 100.

前述のように、屈折率調整膜120は、少なくとも第1の層122と第2の層126とを含む、複数の層で構成されても良い。   As described above, the refractive index adjustment film 120 may be composed of a plurality of layers including at least the first layer 122 and the second layer 126.

この場合、フィルム基材110により近い第1の層122は、波長550nmの光に対して、第2の層126よりも高い屈折率を有することが好ましい。例えば、第1の層122は、波長550nmの光に対して、1.6〜2.5の範囲の屈折率を有する。屈折率は、1.7〜2.4の範囲であることが好ましく、1.7〜2.2の範囲であることがより好ましい。   In this case, the first layer 122 closer to the film substrate 110 preferably has a higher refractive index than the second layer 126 with respect to light having a wavelength of 550 nm. For example, the first layer 122 has a refractive index in the range of 1.6 to 2.5 with respect to light having a wavelength of 550 nm. The refractive index is preferably in the range of 1.7 to 2.4, and more preferably in the range of 1.7 to 2.2.

一方、第2の層126は、例えば、波長550nmの光に対して1.6以下の屈折率を有する。屈折率は、1.55以下であることが好ましい。   On the other hand, the second layer 126 has a refractive index of 1.6 or less with respect to light having a wavelength of 550 nm, for example. The refractive index is preferably 1.55 or less.

第1の層122は、例えば、Ti、Nb、Ta、Zn、Al、In、およびZrの少なくとも一種を含む酸化物または酸窒化物で構成される。特に、これらの中では、Nb、Zn、Inの少なくとも一種を含む酸化物または酸窒化物が好ましい。   The first layer 122 is made of, for example, an oxide or oxynitride containing at least one of Ti, Nb, Ta, Zn, Al, In, and Zr. Among these, oxides or oxynitrides containing at least one of Nb, Zn, and In are particularly preferable.

なお、第1の層122を酸化スズで構成した場合、以降の加熱プロセスにおいて、第1の層122に割れが生じる可能性がある。このため、低熱貫流フィルム100の製造過程に熱処理工程が含まれる場合、第1の層122を酸化スズで構成することは好ましくない。   Note that in the case where the first layer 122 is made of tin oxide, the first layer 122 may be cracked in the subsequent heating process. For this reason, when the heat treatment process is included in the manufacturing process of the low heat-throughflow film 100, it is not preferable that the first layer 122 is made of tin oxide.

第1の層122の厚さは、例えば10nm〜40nmの範囲であり、10nm〜35nmの範囲であることが好ましい。   The thickness of the first layer 122 is, for example, in the range of 10 nm to 40 nm, and preferably in the range of 10 nm to 35 nm.

第2の層126は、例えば、SiO、SiON、またはMgFのいずれかを主体とする材料で構成されても良い。 The second layer 126 may be made of a material mainly composed of, for example, SiO 2 , SiON, or MgF 2 .

第2の層126の厚さは、例えば5nm〜45nmの範囲であり、10nm〜40nmの範囲であることが好ましい。   The thickness of the second layer 126 is, for example, in the range of 5 nm to 45 nm, and preferably in the range of 10 nm to 40 nm.

屈折率調整膜120は、波長550nmの光に対して1.6〜1.8の範囲の屈折率を有する、単一の層で構成されても良い。この層は、酸化アルミニウム、酸窒化珪素、酸化珪素、フッ化マグネシウムなどを含む物質で構成され、膜厚は30nm〜90nmの範囲であっても良い。   The refractive index adjustment film 120 may be composed of a single layer having a refractive index in the range of 1.6 to 1.8 with respect to light having a wavelength of 550 nm. This layer is made of a material containing aluminum oxide, silicon oxynitride, silicon oxide, magnesium fluoride, or the like, and may have a thickness in the range of 30 nm to 90 nm.

(透明導電層130)
透明導電層130は、インジウムスズ酸化物(ITO)を主体とする材料で構成される。ITOは、赤外線反射機能を有する。
(Transparent conductive layer 130)
The transparent conductive layer 130 is made of a material mainly composed of indium tin oxide (ITO). ITO has an infrared reflection function.

ITOには、添加物が含有されても良い。そのような添加物は、例えば珪素、アルミニウム、マグネシウム、ニオビウム、ジルコニウム、ガリウム、タングステン、亜鉛、タンタル、チタニウム、および/またはカリウム等であっても良い。   An additive may be contained in ITO. Such additives may be, for example, silicon, aluminum, magnesium, niobium, zirconium, gallium, tungsten, zinc, tantalum, titanium, and / or potassium.

ITO中の酸化スズの割合は、全体の5wt%〜12.5wt%の範囲であり、全体の6.5wt%〜11wt%の範囲であることが好ましい。酸化スズの割合が12.5wt%以下の場合、酸化スズの量が多いほど、抵抗が小さくなる傾向にある。   The ratio of tin oxide in ITO is in the range of 5 wt% to 12.5 wt% of the whole, and preferably in the range of 6.5 wt% to 11 wt% of the whole. When the ratio of tin oxide is 12.5 wt% or less, the resistance tends to decrease as the amount of tin oxide increases.

また、透明導電層130は、ITOの他に、最大50wt%未満の他の材料を含んでも良い。そのような材料は、例えば、珪素、アルミニウム、マグネシウム、ニオビウム、ジルコニウム、ガリウム、タングステン、亜鉛、タンタル、チタニウム、および/またはカリウムなどであっても良い。   Further, the transparent conductive layer 130 may include other materials of less than 50 wt% at the maximum in addition to ITO. Such a material may be, for example, silicon, aluminum, magnesium, niobium, zirconium, gallium, tungsten, zinc, tantalum, titanium, and / or potassium.

ITOには、赤外線の反射率を上げる効果がある。このため、透明導電層130が厚いほど、低熱貫流フィルム100の放射率が低下する。透明導電層130の厚さは、例えば、100nm〜200nmの範囲であり、120nm〜170nmの範囲であることが好ましい。透明導電層130がITOで構成される場合、その厚さを100nm以上とすることにより、0.25程度の低い放射率を有する低熱貫流フィルム100を得ることができる。ただし、ITOの厚さを200nm以上とした場合、ITOの単位厚さあたりの放射率の低下量が少なくなる上、フィルムおよび積層膜に反り、シワおよびクラック等が生じ易くなる。   ITO has the effect of increasing the reflectance of infrared rays. For this reason, the emissivity of the low heat-throughflow film 100 decreases as the transparent conductive layer 130 is thicker. The thickness of the transparent conductive layer 130 is, for example, in the range of 100 nm to 200 nm, and preferably in the range of 120 nm to 170 nm. When the transparent conductive layer 130 is made of ITO, the low heat-through film 100 having a low emissivity of about 0.25 can be obtained by setting the thickness to 100 nm or more. However, when the thickness of the ITO is 200 nm or more, the amount of decrease in the emissivity per unit thickness of the ITO is reduced, and the film and the laminated film are warped, so that wrinkles and cracks are likely to occur.

波長550nmの光に対する透明導電層130の屈折率は、通常1.6〜2.5の範囲である。   The refractive index of the transparent conductive layer 130 for light having a wavelength of 550 nm is usually in the range of 1.6 to 2.5.

(剥離防止層)
剥離防止層は、必要に応じて設置される。剥離防止層を設置することにより、透明導電層130と上部層150の間の剥離強度を高められる場合がある。ただし、剥離防止層の設置は任意である。
(Peeling prevention layer)
A peeling prevention layer is installed as needed. By providing the peeling prevention layer, the peeling strength between the transparent conductive layer 130 and the upper layer 150 may be increased. However, the installation of the peeling prevention layer is optional.

剥離防止層は、例えば、珪素、亜鉛、ジルコニウム、窒化珪素、窒化チタン、チタン、アルミニウム、および酸化セリウムなどの金属、金属窒化物および金属酸化物で構成されても良い。剥離防止層の厚さは、例えば、1nm〜10nmの範囲である。   The peeling prevention layer may be made of, for example, a metal such as silicon, zinc, zirconium, silicon nitride, titanium nitride, titanium, aluminum, and cerium oxide, a metal nitride, and a metal oxide. The thickness of the peeling prevention layer is, for example, in the range of 1 nm to 10 nm.

(上部層150)
上部層150は、その下側に存在する層、例えば、透明導電層130および/または剥離防止層を保護するために配置される。例えば、透明導電層130の上部に上部層150を設置することにより、透明導電層130の耐熱性を高めることができる。また、上部層150を設置することにより、耐擦傷性が高まり、透明導電層130に摩耗減肉や傷等が生じることを抑制することができる。
(Upper layer 150)
The upper layer 150 is disposed to protect a layer existing therebelow, for example, the transparent conductive layer 130 and / or the anti-peeling layer. For example, the heat resistance of the transparent conductive layer 130 can be improved by installing the upper layer 150 on the transparent conductive layer 130. Further, by providing the upper layer 150, the scratch resistance is increased, and it is possible to suppress the occurrence of wear thinning or scratches in the transparent conductive layer 130.

また、適正な上部層150を設置した場合、低熱貫流フィルム100の可視光域の透過率を高めることができる。   Moreover, when the suitable upper layer 150 is installed, the transmittance | permeability of the visible light region of the low heat-throughflow film 100 can be raised.

上部層150は、波長550nmの光に対する屈折率が1.6以下の材料で構成されることが好ましく、屈折率が1.55以下の材料で構成されることがより好ましい。そのような材料として、例えば、シリカ(SiO)、SiON、およびMgF等が挙げられる。上部層150は、例えばシリカ(SiO)を主体とする層であっても良い。上層部150は、最大50wt%未満の他の材料を含んでも良い。そのような材料は、アルミニウム、ジルコニウム、スズなどであっても良い。(これらの添加物により、摩擦に対する耐久性がさらに改善される。)この場合、透明導電層130の耐熱性を高めることができる。また、透明導電層130に摩耗減肉や傷等が生じることを抑制することができる。 The upper layer 150 is preferably made of a material having a refractive index of 1.6 or less with respect to light having a wavelength of 550 nm, and more preferably made of a material having a refractive index of 1.55 or less. Examples of such a material include silica (SiO 2 ), SiON, and MgF 2 . The upper layer 150 may be a layer mainly composed of silica (SiO 2 ), for example. The upper layer portion 150 may include other materials that are less than 50 wt% at the maximum. Such a material may be aluminum, zirconium, tin or the like. (The durability against friction is further improved by these additives.) In this case, the heat resistance of the transparent conductive layer 130 can be increased. In addition, it is possible to suppress the occurrence of wear thinning, scratches, or the like in the transparent conductive layer 130.

上部層150の厚さは、例えば、10nm〜100nmの範囲である。上部層150の厚さは、例えば、10nm〜60nmの範囲であることが好ましい。   The thickness of the upper layer 150 is, for example, in the range of 10 nm to 100 nm. The thickness of the upper layer 150 is preferably in the range of 10 nm to 60 nm, for example.

(粘着層)
この他、低熱貫流フィルム100は、粘着層を有しても良い。粘着層は、通常、フィルム基材110の第2の表面114の側に配置される。粘着層を介して、低熱貫流フィルム100をガラスなどの対象物に貼付することができる。
(Adhesive layer)
In addition, the low heat-throughflow film 100 may have an adhesive layer. The adhesive layer is usually disposed on the second surface 114 side of the film substrate 110. The low heat-throughflow film 100 can be attached to an object such as glass through the adhesive layer.

粘着層は、粘着剤のみで構成されたもの、あるいは粘着剤中に各種添加剤が添加されたものの、いずれも使用可能である。後者の場合、添加剤としては、例えば赤外線反射剤、赤外線吸収剤、および紫外線吸収剤等が挙げられる。   The pressure-sensitive adhesive layer may be composed of only a pressure-sensitive adhesive, or may be one in which various additives are added to the pressure-sensitive adhesive. In the latter case, examples of the additive include an infrared reflector, an infrared absorber, and an ultraviolet absorber.

粘着剤としては、アクリル系材料、シリコーン系材料、ウレタン系材料、およびブタジエン系材料などが挙げられる。特に、アクリル系粘着剤が好ましい。アクリル系粘着剤は、主成分としてアクリル系単量体単位を含む重合体であっても良く、この場合、アクリル系単量体は、(メタ)アクリル酸、イタコン酸、(無水)マレイン酸、(無水)フマル酸、クロトン酸、およびこれらのアルキルエステルであっても良い。ここで、(メタ)アクリル酸とは、アクリル酸およびメタクリル酸の総称を意味する。   Examples of the pressure sensitive adhesive include acrylic materials, silicone materials, urethane materials, and butadiene materials. In particular, an acrylic adhesive is preferable. The acrylic pressure-sensitive adhesive may be a polymer containing an acrylic monomer unit as a main component. In this case, the acrylic monomer includes (meth) acrylic acid, itaconic acid, (anhydrous) maleic acid, (Anhydrous) fumaric acid, crotonic acid, and alkyl esters thereof may be used. Here, (meth) acrylic acid means a general term for acrylic acid and methacrylic acid.

紫外線吸収剤としては、例えば、トリアジン系の材料が使用できる。   As the ultraviolet absorber, for example, a triazine-based material can be used.

(低熱貫流フィルム100)
低熱貫流フィルム100は、0.1〜0.3の範囲の垂直放射率を有することが好ましい。このような放射率では、赤外および遠赤外の波長の光に対する熱貫流率を有意に低下させることができる。
(Low thermal once-through film 100)
The low heat-throughflow film 100 preferably has a vertical emissivity in the range of 0.1 to 0.3. Such emissivity can significantly reduce the thermal transmissivity for light of infrared and far infrared wavelengths.

低熱貫流フィルム100は、入射角0゜で光が入射した際に生じる反射光のCIE1976 Lb色空間におけるa値とb値が、−10≦a値≦3、および−15≦b値≦10を満たすことが好ましい。さらに、光の入射角が60゜のときの反射光における色座標(a,b)は、光の入射角が5゜のときの反射光における色座標(a,b)との距離が5以下であることが好ましい。この場合、反射光の角度依存性を有意に抑制することが可能となる。 In the low heat-throughflow film 100, the a * value and b * value in the CIE 1976 L * a * b color space of reflected light generated when light is incident at an incident angle of 0 ° are −10 ≦ a * value ≦ 3, and − It is preferable to satisfy 15 ≦ b * value ≦ 10. Further, the color coordinates in the reflected light when the incident angle of light is 60 ° (a *, b *) are the color coordinates in the reflected light when the incident angle of light is 5 ° (a *, b *) and the The distance is preferably 5 or less. In this case, the angle dependency of the reflected light can be significantly suppressed.

低熱貫流フィルム100は、例えば、ガラス部材等に貼付して使用される。そのようなガラス部材は、建物の窓ガラスおよび車両のガラス部材(例えばフロントガラス、リアガラス、サイドガラス、およびルーフガラス)等であっても良い。さらに、ガラス部材は、冷蔵装置、冷凍装置、およびショーケース等に使用されるものであっても良い。   The low heat flow-through film 100 is used by being attached to a glass member or the like, for example. Such a glass member may be a window glass of a building, a glass member of a vehicle (for example, a windshield, a rear glass, a side glass, and a roof glass). Furthermore, the glass member may be used for a refrigeration apparatus, a refrigeration apparatus, a showcase, and the like.

(本発明の一実施形態による低熱貫流フィルムの製造方法)
次に、図2を参照して、前述のような特徴を有する本発明の一実施形態による低熱貫流フィルムの製造方法の一例について説明する。なお、ここでは、一例として、図1に示したような低熱貫流フィルム100を例に、その製造方法について説明する。
(Manufacturing method of low heat-throughflow film according to one embodiment of the present invention)
Next, with reference to FIG. 2, an example of the manufacturing method of the low heat-throughflow film by one Embodiment of this invention which has the above characteristics is demonstrated. Here, as an example, a manufacturing method thereof will be described using the low heat-throughflow film 100 as shown in FIG. 1 as an example.

図2には、本発明の一実施形態による低熱貫流フィルムの製造方法のフローの一例を模式的に示す。   In FIG. 2, an example of the flow of the manufacturing method of the low heat-throughflow film by one Embodiment of this invention is shown typically.

図2に示すように、この製造方法は、
第1および第2の表面を有するフィルム基体を準備するステップ(ステップS110)と、
前記フィルム基体の第1の表面に、屈折率調整膜を設置するステップ(ステップS120)と、
前記屈折率調整膜の上に透明導電層を設置するステップ(ステップS130)と、
前記透明導電層の上に剥離防止層を設置するステップ(ステップS140)と、
前記剥離防止層の上に上部層を設置するステップ(ステップS150)と、
を有する。なお、ステップS140、すなわち剥離防止層の設置は、省略しても良い。
As shown in FIG.
Providing a film substrate having first and second surfaces (step S110);
Installing a refractive index adjusting film on the first surface of the film substrate (step S120);
Installing a transparent conductive layer on the refractive index adjusting film (step S130);
Installing an anti-peeling layer on the transparent conductive layer (step S140);
Installing an upper layer on the anti-peeling layer (step S150);
Have In addition, you may abbreviate | omit step S140, ie, installation of a peeling prevention layer.

以下、各ステップについて詳しく説明する。なお、以降の記載では、明確化のため、各部材を表す際に、図1に使用した参照符号を使用する。   Hereinafter, each step will be described in detail. In the following description, the reference numerals used in FIG. 1 are used to represent each member for the sake of clarity.

(ステップS110)
まず、フィルム基材110が準備される。
(Step S110)
First, the film substrate 110 is prepared.

前述のように、フィルム基材110は、例えば、透明な樹脂で構成されても良い。   As described above, the film substrate 110 may be made of a transparent resin, for example.

(ステップS120)
次に、フィルム基材110の第1の表面112に、屈折率調整膜120が設置される。
(Step S120)
Next, the refractive index adjustment film 120 is installed on the first surface 112 of the film substrate 110.

前述のように、屈折率調整膜120は、第1の層122および第2の層126を含む複数の層で形成されても良い。このうち、フィルム基材110により近い第1の層122は、例えば、Ti、Nb、Ta、Zn、Al、In、およびZrの少なくとも一種を含む酸化物または酸窒化物を主体とする材料で構成される。第1の層122は、例えば、亜鉛スズ酸化物を主体とする層であっても良い。一方、第2の層126は、シリカを主体とする層であっても良い。   As described above, the refractive index adjustment film 120 may be formed of a plurality of layers including the first layer 122 and the second layer 126. Among these, the first layer 122 closer to the film base 110 is made of a material mainly composed of an oxide or oxynitride containing at least one of Ti, Nb, Ta, Zn, Al, In, and Zr, for example. Is done. For example, the first layer 122 may be a layer mainly composed of zinc tin oxide. On the other hand, the second layer 126 may be a layer mainly composed of silica.

第1および第2の層122、126は、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、化学気相成膜法、または湿式成膜法等により形成される。第1および第2の層122、126は、特に、スパッタリング法により形成されることが好ましい。スパッタリング法は、環境負荷が少なく、スパッタリング法で得られた層は、厚さが比較的均一になるからである。   The first and second layers 122 and 126 are formed, for example, by sputtering, vacuum deposition, ion plating, chemical vapor deposition, or wet deposition. The first and second layers 122 and 126 are particularly preferably formed by a sputtering method. This is because the sputtering method has a small environmental load, and the layer obtained by the sputtering method has a relatively uniform thickness.

スパッタリング法としては、DCスパッタリング法、ACスパッタリング法、DCパルススパッタリング法、高周波スパッタリング法、および高周波重畳DCスパッタリング法等が挙げられる。スパッタリング法としては、マグネトロンスパッタリング法を採用しても良い。   Examples of the sputtering method include a DC sputtering method, an AC sputtering method, a DC pulse sputtering method, a high frequency sputtering method, and a high frequency superimposed DC sputtering method. As the sputtering method, a magnetron sputtering method may be employed.

第1の層122は、例えば、10nm〜40nmの厚さで成膜され、第2の層126は、例えば、5nm〜45nmの厚さで成膜される。   The first layer 122 is formed with a thickness of 10 nm to 40 nm, for example, and the second layer 126 is formed with a thickness of 5 nm to 45 nm, for example.

(ステップS130)
次に、屈折率調整膜120の上に、ITOを主体とする透明導電層130が設置される。
(Step S130)
Next, the transparent conductive layer 130 mainly composed of ITO is disposed on the refractive index adjustment film 120.

透明導電層130は、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、化学気相成膜法、または湿式成膜法等により形成される。前述のように、スパッタリング法としては、DCスパッタリング法、ACスパッタリング法、DCパルススパッタリング法、高周波スパッタリング法、および高周波重畳DCスパッタリング法等が挙げられる。スパッタリング法としては、マグネトロンスパッタリング法を採用しても良い。   The transparent conductive layer 130 is formed, for example, by sputtering, vacuum deposition, ion plating, chemical vapor deposition, or wet deposition. As described above, examples of the sputtering method include a DC sputtering method, an AC sputtering method, a DC pulse sputtering method, a high frequency sputtering method, and a high frequency superimposed DC sputtering method. As the sputtering method, a magnetron sputtering method may be employed.

透明導電層130は、例えば、100nm〜200nmの厚さで成膜される。   The transparent conductive layer 130 is formed with a thickness of 100 nm to 200 nm, for example.

なお、透明導電層130をスパッタリング法で成膜する場合、フィルム基材110の成膜温度は、特に問われない。ただし、成膜温度は、フィルムに対する熱負荷によるシワが発生しない程度に抑制されることが好ましい。例えば、スパッタリング法による透明導電層130の成膜中のフィルム基材110の温度は、170℃以下であることが好ましい。   Note that when the transparent conductive layer 130 is formed by a sputtering method, the film formation temperature of the film substrate 110 is not particularly limited. However, it is preferable that the film formation temperature be suppressed to such an extent that wrinkles due to heat load on the film do not occur. For example, the temperature of the film substrate 110 during the formation of the transparent conductive layer 130 by sputtering is preferably 170 ° C. or lower.

透明導電層130は、例えば、屈折率調整膜120上にアモルファス状のITO層を成膜し、その後結晶化させることにより形成しても良い。結晶化のため熱処理温度は、例えば、50℃〜180℃の範囲である。この方法では、低垂直放射率のITO層を得ることができる。   The transparent conductive layer 130 may be formed, for example, by forming an amorphous ITO layer on the refractive index adjusting film 120 and then crystallizing it. The heat treatment temperature for crystallization is, for example, in the range of 50 ° C to 180 ° C. With this method, an ITO layer with a low vertical emissivity can be obtained.

なお、この熱処理(以下、「結晶化熱処理」という)は、次の剥離防止層140の形成工程(ステップS140)以降に実施しても良い。例えば、結晶化熱処理は、全ての層の成膜後に実施しても良い。   Note that this heat treatment (hereinafter referred to as “crystallization heat treatment”) may be performed after the next step of forming the peeling prevention layer 140 (step S140). For example, the crystallization heat treatment may be performed after forming all the layers.

(ステップS140)
次に、透明導電層130の上に、剥離防止層が設置される。
(Step S140)
Next, a peel preventing layer is provided on the transparent conductive layer 130.

剥離防止層は、例えば、酸化セリウムなどの金属酸化物で構成され、スパッタリング法により成膜されても良い。   The peeling prevention layer is made of, for example, a metal oxide such as cerium oxide, and may be formed by a sputtering method.

剥離防止層は、例えば、1nm〜10nmの範囲である。   The peeling prevention layer is, for example, in the range of 1 nm to 10 nm.

ただし、このステップは、省略しても良い。   However, this step may be omitted.

(ステップS150)
次に、剥離防止層(剥離防止層が存在しない場合は、透明導電層130)の上に、上部層150が配置される。上部層150は、シリカ(SiO)を主体とする材料で構成されても良い。
(Step S150)
Next, the upper layer 150 is disposed on the peeling prevention layer (the transparent conductive layer 130 when no peeling prevention layer is present). The upper layer 150 may be made of a material mainly composed of silica (SiO 2 ).

上部層150は、例えば、スパッタリング法、真空蒸着法、イオンプレーティング法、化学気相成膜法、または湿式成膜法等により形成される。前述のように、スパッタリング法としては、DCスパッタリング法、ACスパッタリング法、DCパルススパッタリング法、高周波スパッタリング法、および高周波重畳DCスパッタリング法等が挙げられる。スパッタリング法としては、マグネトロンスパッタリング法を採用しても良い。   The upper layer 150 is formed by, for example, sputtering, vacuum deposition, ion plating, chemical vapor deposition, or wet deposition. As described above, examples of the sputtering method include a DC sputtering method, an AC sputtering method, a DC pulse sputtering method, a high frequency sputtering method, and a high frequency superimposed DC sputtering method. As the sputtering method, a magnetron sputtering method may be employed.

上部層150は、例えば、10nm〜100nmの厚さで成膜される。   The upper layer 150 is formed with a thickness of 10 nm to 100 nm, for example.

その後、必要な場合、フィルム基材110の第2の表面114の側に、粘着層が設置される。なお、粘着層の設置方法は、当業者には明らかであるため、ここでは説明しない。   Thereafter, if necessary, an adhesive layer is placed on the second surface 114 side of the film substrate 110. In addition, since the installation method of an adhesion layer is clear to those skilled in the art, it is not demonstrated here.

以上の工程により、本発明の一実施形態による低熱貫流フィルム100を製造することができる。   Through the above steps, the low heat-through film 100 according to the embodiment of the present invention can be manufactured.

なお、上記製造方法は、単なる一例であって、本発明の一実施形態による低熱貫流フィルムは、その他の製造方法を用いても製造され得ることは当業者には明らかである。   In addition, the said manufacturing method is only an example, Comprising: It is clear to those skilled in the art that the low heat-throughflow film by one Embodiment of this invention can be manufactured also using another manufacturing method.

次に、本発明の実施例について説明する。   Next, examples of the present invention will be described.

(実施例1)
以下の方法で、低熱貫流率フィルムを製造した。
Example 1
A low thermal permeability film was produced by the following method.

まず、一方の表面(第2の表面)に粘着層を有するPETフィルム(厚さ100μm)を準備した。次に、このPETフィルムの他方の表面(第1の表面)に対して、イオンビームを用いて乾式洗浄処理を行った。   First, a PET film (thickness: 100 μm) having an adhesive layer on one surface (second surface) was prepared. Next, the other surface (first surface) of this PET film was dry-cleaned using an ion beam.

乾式洗浄処理は、イオンビーム形成装置内に酸素ガスとアルゴンガスの混合ガス(酸素ガス量:約30vol%)を導入し、イオンビームでイオン化されたアルゴンイオンおよび酸素イオンを、PETフィルムの第1の表面に照射することにより実施した。   In the dry cleaning treatment, a mixed gas of oxygen gas and argon gas (oxygen gas amount: about 30 vol%) is introduced into the ion beam forming apparatus, and argon ions and oxygen ions ionized by the ion beam are used as the first PET film. It was carried out by irradiating the surface of

次に、PETフィルムの洗浄後の第1の表面に、屈折率調整膜を成膜した。屈折率調整膜は、インジウムスズ酸化物(ITO)層(第1の層)と、シリカ(SiO)層と(第2の相)の2層構造とした。 Next, a refractive index adjusting film was formed on the first surface after the PET film was washed. The refractive index adjusting film has a two-layer structure of an indium tin oxide (ITO) layer (first layer), a silica (SiO 2 ) layer, and a (second phase).

最初の第1の層は、スズ酸化物を10wt%含むITOターゲットを用いたACマグネトロンスパッタリング法により成膜した。成膜雰囲気は、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気とし、0.8Paの圧力で実施した。これにより、厚さ25nmのITO層が形成された(波長550nmにおける屈折率=1.83)。   The first first layer was formed by an AC magnetron sputtering method using an ITO target containing 10 wt% tin oxide. The film forming atmosphere was a mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, and the pressure was 0.8 Pa. Thereby, an ITO layer having a thickness of 25 nm was formed (refractive index at a wavelength of 550 nm = 1.83).

なお、実施例1における各層の膜厚は、スパッタリング時の成膜速度とスパッタ時間の関係から求めた値である(以下の実施例および比較例においても同様)。   In addition, the film thickness of each layer in Example 1 is the value calculated | required from the relationship between the film-forming speed | rate at the time of sputtering, and sputtering time (same in the following Examples and Comparative Examples).

次の第2の層は、多結晶ケイ素からなるターゲットを用いたACマグネトロンスパッタリング法により成膜した。成膜雰囲気は、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気とし、0.3Paの圧力で実施した。これにより、厚さ30nmのシリカ層が形成された(波長550nmにおける屈折率=1.47)。   The next second layer was formed by AC magnetron sputtering using a target made of polycrystalline silicon. The film forming atmosphere was a mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, and was performed at a pressure of 0.3 Pa. As a result, a silica layer having a thickness of 30 nm was formed (refractive index at a wavelength of 550 nm = 1.47).

次に、ACマグネトロンスパッタリング法により、屈折率調整膜の上に、透明導電層としてITO層を成膜した。   Next, an ITO layer was formed as a transparent conductive layer on the refractive index adjustment film by AC magnetron sputtering.

ターゲットには、スズ酸化物を10wt%含むITOターゲットを用いた。成膜雰囲気は、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気とし、0.8Paの圧力で成膜を実施した。これにより、厚さ150nmのITO層が形成された(波長550nmにおける屈折率=1.83)。   As the target, an ITO target containing 10 wt% of tin oxide was used. The film forming atmosphere was a mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, and the film was formed at a pressure of 0.8 Pa. Thereby, an ITO layer having a thickness of 150 nm was formed (refractive index at a wavelength of 550 nm = 1.83).

次に、ACマグネトロンスパッタリング法により、透明導電層の上に、上部層としてシリカ層を成膜した。   Next, a silica layer was formed as an upper layer on the transparent conductive layer by an AC magnetron sputtering method.

ターゲットには、多結晶ケイ素からなるターゲットを使用した。成膜雰囲気は、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気とし、0.3Paの圧力で実施した。これにより、厚さ25nmのシリカ層が形成された(波長550nmにおける屈折率=1.47)。   A target made of polycrystalline silicon was used as the target. The film forming atmosphere was a mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, and was performed at a pressure of 0.3 Pa. As a result, a silica layer having a thickness of 25 nm was formed (refractive index at a wavelength of 550 nm = 1.47).

以上の工程により、低熱貫流率フィルム(「実施例1に係るフィルム」と称する)が得られた。   Through the above steps, a low thermal conductivity film (referred to as “film according to Example 1”) was obtained.

さらに、得られた実施例1に係るフィルムを所定の寸法に切り出した後、このフィルムを、粘着層を介してソーダライムガラス板(厚さ3mm)の一方の表面に貼り付けることにより、試験用のサンプル(以下、「サンプル1」と称する)を製造した。   Further, after the obtained film according to Example 1 was cut out to a predetermined size, this film was attached to one surface of a soda lime glass plate (thickness 3 mm) via an adhesive layer for testing. (Hereinafter referred to as “Sample 1”).

(実施例2)
実施例1と同様の方法により、実施例2に係るフィルムを製造した。ただし、この実施例2では、屈折率調整膜の第1の層(ITO)の厚さは19nmとし、第2の層(シリカ層)の厚さは30nmとし、上部層であるシリカ層の膜厚は60nmとした。その他の条件は、実施例1の場合と同様である。
(Example 2)
A film according to Example 2 was produced in the same manner as in Example 1. However, in Example 2, the thickness of the first layer (ITO) of the refractive index adjusting film is 19 nm, the thickness of the second layer (silica layer) is 30 nm, and the film of the silica layer which is the upper layer The thickness was 60 nm. Other conditions are the same as in the first embodiment.

また、実施例1と同様の方法により、実施例2に係るフィルムを用いて、試験用のサンプル(以下、「サンプル2」と称する)を製造した。   In addition, a test sample (hereinafter referred to as “sample 2”) was produced using the film according to example 2 by the same method as in example 1.

(実施例3)
実施例1と同様の方法により、実施例3に係るフィルムを製造した。ただし、この実施例3では、屈折率調整膜の第1の層(ITO)の厚さは24nmとし、第2の層(シリカ層)の厚さは33nmとし、上部層であるシリカ層の膜厚は90nmとした。その他の条件は、実施例1の場合と同様である。
Example 3
A film according to Example 3 was produced in the same manner as in Example 1. However, in Example 3, the thickness of the first layer (ITO) of the refractive index adjusting film is 24 nm, the thickness of the second layer (silica layer) is 33 nm, and the film of the silica layer which is the upper layer The thickness was 90 nm. Other conditions are the same as in the first embodiment.

また、実施例1と同様の方法により、実施例3に係るフィルムを用いて、試験用のサンプル(以下、「サンプル3」と称する)を製造した。   In addition, a test sample (hereinafter referred to as “sample 3”) was produced using the film according to example 3 by the same method as in example 1.

以下の表1には、実施例1〜3に係るフィルムの層構成をまとめて示す。   Table 1 below collectively shows the layer configurations of the films according to Examples 1 to 3.

Figure 2016212275
(比較例1)
以下の方法で、低熱貫流率フィルムを製造した。
Figure 2016212275
(Comparative Example 1)
A low thermal permeability film was produced by the following method.

まず、実施例1と同様の方法で、第1の表面が乾式洗浄処理されたPETフィルムを準備した。   First, a PET film having a first surface subjected to a dry cleaning treatment was prepared in the same manner as in Example 1.

次に、ACマグネトロンスパッタリング法により、PETフィルムの第1の表面に、第1の層として、亜鉛とスズの酸化物層を成膜した。   Next, an oxide layer of zinc and tin was formed as a first layer on the first surface of the PET film by an AC magnetron sputtering method.

ターゲットには、亜鉛を30mol%含むスズターゲットを用いた。成膜雰囲気は、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気とし、0.3Paの圧力で成膜を実施した。これにより、厚さ40nmの亜鉛とスズの酸化物層が形成された。   A tin target containing 30 mol% of zinc was used as the target. The film formation atmosphere was a mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, and film formation was performed at a pressure of 0.3 Pa. As a result, a 40 nm thick zinc and tin oxide layer was formed.

次に、ACマグネトロンスパッタリング法により、第1の層の上に、第2の層として、銀合金層を成膜した。   Next, a silver alloy layer was formed as a second layer on the first layer by an AC magnetron sputtering method.

ターゲットには、パラジウムを4mol%含む銀ターゲットを用いた。成膜雰囲気は、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気とし、0.4Paの圧力で成膜を実施した。これにより、厚さ12nmの銀合金層が形成された。   As the target, a silver target containing 4 mol% of palladium was used. The film forming atmosphere was a mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, and the film was formed at a pressure of 0.4 Pa. As a result, a silver alloy layer having a thickness of 12 nm was formed.

次に、ACマグネトロンスパッタリング法により、第2の層の上に、第3の層として、亜鉛とスズの酸化物層を成膜した。   Next, an oxide layer of zinc and tin was formed as a third layer on the second layer by an AC magnetron sputtering method.

第3の層の成膜条件は、第1の層の場合と同様である。これにより、厚さ40nmの亜鉛とスズの酸化物層が形成された。   The deposition conditions for the third layer are the same as those for the first layer. As a result, a 40 nm thick zinc and tin oxide layer was formed.

次に、ACマグネトロンスパッタリング法により、第3の層の上に、第4の層として、シリカ層を成膜した。   Next, a silica layer was formed as a fourth layer on the third layer by an AC magnetron sputtering method.

ターゲットには、多結晶ケイ素からなるターゲットを使用した。成膜雰囲気は、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気とし、0.3Paの圧力で実施した。これにより、厚さ40nmのシリカ層が形成された。   A target made of polycrystalline silicon was used as the target. The film forming atmosphere was a mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, and was performed at a pressure of 0.3 Pa. Thereby, a silica layer having a thickness of 40 nm was formed.

以上の工程により、低熱貫流率フィルム(「比較例1に係るフィルム」と称する)が得られた。   Through the above steps, a low thermal conductivity film (referred to as “film according to Comparative Example 1”) was obtained.

さらに、得られた比較例1に係るフィルムを所定の寸法に切り出した後、このフィルムを、粘着層を介してソーダライムガラス板の一方の表面に貼り付けることにより、試験用のサンプル(以下、「サンプル4」と称する)を製造した。   Furthermore, after cutting out the film according to Comparative Example 1 thus obtained to a predetermined size, this film was attached to one surface of a soda lime glass plate via an adhesive layer, thereby giving a test sample (hereinafter, (Referred to as “Sample 4”).

(比較例2)
比較例1と同様の方法により、比較例2に係るフィルムを製造した。ただし、この比較例2では、第2の層である銀合金層の成膜用のターゲットとして、パラジウムを8mol%含む銀ターゲットを使用した。その他の条件は、比較例1の場合と同様である。
(Comparative Example 2)
A film according to Comparative Example 2 was produced in the same manner as in Comparative Example 1. However, in Comparative Example 2, a silver target containing 8 mol% of palladium was used as a target for forming the silver alloy layer as the second layer. Other conditions are the same as in Comparative Example 1.

また、比較例1と同様の方法により、比較例2に係るフィルムを用いて、試験用のサンプル(以下、「サンプル5」と称する)を製造した。   In addition, a test sample (hereinafter referred to as “sample 5”) was produced using the film according to comparative example 2 by the same method as in comparative example 1.

(比較例3)
比較例1と同様の方法により、比較例3に係るフィルムを製造した。ただし、この比較例3では、第1の層および第3の層用の成膜用のターゲットとして、亜鉛を50mol%含むスズターゲットを用いた。その他の条件は、比較例1の場合と同様である。
(Comparative Example 3)
A film according to Comparative Example 3 was produced in the same manner as in Comparative Example 1. However, in Comparative Example 3, a tin target containing 50 mol% of zinc was used as a film formation target for the first layer and the third layer. Other conditions are the same as in Comparative Example 1.

また、比較例1と同様の方法により、比較例3に係るフィルムを用いて、試験用のサンプル(以下、「サンプル6」と称する)を製造した。   In addition, a test sample (hereinafter referred to as “sample 6”) was produced using the film according to comparative example 3 by the same method as in comparative example 1.

以下の表2には、比較例1〜3に係るフィルムの層構成をまとめて示す。   Table 2 below collectively shows the layer configurations of the films according to Comparative Examples 1 to 3.

Figure 2016212275
(評価)
次に、各サンプル1〜6を用いて、以下の特性評価を実施した。
Figure 2016212275
(Evaluation)
Next, the following characteristic evaluation was implemented using each sample 1-6.

(熱貫流率の評価)
以下の方法で、50mm×50mmの寸法の各サンプル1〜6を用いて、熱貫流率の評価を行った。
(Evaluation of heat transmissibility)
The heat transmissivity was evaluated using each sample 1 to 6 having a size of 50 mm × 50 mm by the following method.

まず、フーリエ変換赤外分光光度計(FT/IR−420:日本分光株式会社製)を用いて、各サンプル1〜6の垂直放射率を測定する。垂直放射率の測定は、JIS R3106に準拠して実施した。   First, the vertical emissivity of each sample 1-6 is measured using a Fourier transform infrared spectrophotometer (FT / IR-420: manufactured by JASCO Corporation). The measurement of the vertical emissivity was performed according to JIS R3106.

次に、得られた垂直放射率から、JIS A5759に記載の方法で、熱貫流率を求めた。   Next, the heat transmissivity was determined from the obtained vertical emissivity by the method described in JIS A5759.

評価の際には、得られた熱貫流率が4.5以下であるサンプルを、低熱貫流サンプルとし、熱貫流率が4.5を超えるものを、非低熱貫流サンプルと判断した。   At the time of evaluation, the obtained sample having a heat flow rate of 4.5 or less was regarded as a low heat flow rate sample, and a sample having a heat flow rate exceeding 4.5 was judged as a non-low heat flow rate sample.

その結果、サンプル1〜6は、いずれも低熱貫流サンプルであることがわかった。   As a result, it was found that Samples 1 to 6 were all low heat flow samples.

(耐擦傷性の評価)
以下の方法で、100mm×100mmの寸法の各サンプル1〜6を用いて、耐擦傷性の評価を行った。
(Evaluation of scratch resistance)
The scratch resistance was evaluated using each sample 1 to 6 having a size of 100 mm × 100 mm by the following method.

まず、サンプルを、フィルムの上部層が上側となるようにして、摺動試験機に水平に設置する。摺動試験機は、水平台の上部に、水平表面を有する押し付け部材を有する。押し付け部材の水平表面には、白フェルトが設置されている。   First, the sample is placed horizontally on a sliding tester so that the upper layer of the film is on the upper side. The sliding tester has a pressing member having a horizontal surface at the top of the horizontal table. White felt is installed on the horizontal surface of the pressing member.

次に、上部層に所定の薬液を、該薬液が直径約20mmの寸法で広がるように滴下する。次に、摺動試験機の押し付け部材の水平表面を、サンプル上部層に接触させ、上から500gの荷重を加える。   Next, a predetermined chemical solution is dropped on the upper layer so that the chemical solution spreads with a diameter of about 20 mm. Next, the horizontal surface of the pressing member of the sliding tester is brought into contact with the upper layer of the sample, and a load of 500 g is applied from above.

次に、この状態で、押し付け部材の水平表面を、サンプルに対して水平方向に往復移動させる。水平方向の移動距離は、50mmとし、水平表面を往路方向に50mm進行させた後、逆方向(復路方向)に同距離だけ移動させる。この操作を、12往復/分の速度で、2000回繰り返す。   Next, in this state, the horizontal surface of the pressing member is reciprocated in the horizontal direction with respect to the sample. The moving distance in the horizontal direction is 50 mm, and the horizontal surface is moved 50 mm in the forward direction, and then moved in the opposite direction (return direction) by the same distance. This operation is repeated 2000 times at a speed of 12 reciprocations / minute.

摺動操作後、サンプルの摺動面を目視で観察し、傷の有無を評価する。傷が認められないサンプルを、耐擦傷性が良好であると判断し、傷が認められるサンプルを、耐擦傷性が良好ではないと判断した。   After the sliding operation, the sliding surface of the sample is visually observed to evaluate the presence or absence of scratches. Samples with no scratches were judged to have good scratch resistance, and samples with scratches were judged to have poor scratch resistance.

なお、薬液として、中性洗剤、アルカリ性洗剤、エタノール、および純水を使用した。   In addition, neutral detergent, alkaline detergent, ethanol, and pure water were used as the chemical solution.

以下の表3には、各サンプル1〜6において得られた結果をまとめて示した。   Table 3 below collectively shows the results obtained for each of Samples 1 to 6.

Figure 2016212275
表において、○は、サンプルの上部層に傷が認められなかったことを示しており、×は、サンプルの上部層に傷が認められたことを示している。なお、表3の「薬液」の欄において、「なし」とは、薬液を滴下せずに(すなわち乾燥状態で)、上記試験を行った際の結果である。ただし、この場合、押し付け部材の往復回数は、5000回とした。
Figure 2016212275
In the table, ◯ indicates that no scratch was observed in the upper layer of the sample, and x indicates that a scratch was observed in the upper layer of the sample. In the column of “Chemical Solution” in Table 3, “None” is the result when the above test was performed without dropping the chemical solution (that is, in a dry state). However, in this case, the number of reciprocations of the pressing member was 5000.

耐擦傷性の評価結果から、実施例1〜実施例3に係るフィルムを使用したサンプル1〜サンプル3では、薬液の種類によらず、何れの試験でも良好な耐擦傷性が得られることがわかった。また、サンプル1〜サンプル3では、薬液を使用しない「乾燥」状態においても、良好な耐擦傷性が得られることがわかった。   From the evaluation results of scratch resistance, it can be seen that Samples 1 to 3 using the films according to Examples 1 to 3 can obtain good scratch resistance in any test regardless of the type of chemical solution. It was. Further, it was found that Sample 1 to Sample 3 can obtain good scratch resistance even in a “dry” state in which no chemical solution is used.

一方、比較例1〜比較例3に係るフィルムを使用したサンプル4〜サンプル6では、薬液の種類によっては、あまり良好な耐擦傷性が得られないことがわかった。   On the other hand, in Samples 4 to 6 using the films according to Comparative Examples 1 to 3, it was found that very good scratch resistance could not be obtained depending on the type of the chemical solution.

(反射色の角度依存性)
次に、サンプル1を用いて、以下の方法により、反射色の角度依存性を評価した。
(Angle dependence of reflected color)
Next, using sample 1, the angle dependency of the reflected color was evaluated by the following method.

サンプル1に対して、JISK5602に準じ、分光光度計(U4100:日立ハイテクノロジー社製)で、上部層の側から所定の角度(5゜〜60゜)で可視光(波長340nm〜840nm)を照射し、得られる反射色を測定した。   Sample 1 is irradiated with visible light (wavelength 340 nm to 840 nm) at a predetermined angle (5 ° to 60 °) from the upper layer side with a spectrophotometer (U4100: manufactured by Hitachi High-Technology Corporation) in accordance with JISK5602. The reflected color obtained was measured.

得られた反射色は、CIE1976 L色空間で表した(D65光源、10゜視野)。 The obtained reflected color was expressed in CIE 1976 L * a * b * color space (D65 light source, 10 ° field of view).

図3〜図6には、それぞれ、サンプル1〜サンプル4において、各入射角度で光を照射した際に生じた反射色を、色空間の色座標にプロットした図を示す。   FIGS. 3 to 6 are diagrams in which the reflected colors generated when light is irradiated at each incident angle in Samples 1 to 4 are plotted on the color coordinates of the color space.

図3〜図6では、各サンプルにおいて、光の入射角度が5゜〜60゜まで変化した際に生じる反射色の変化を定量的に把握することができる。   3 to 6, it is possible to quantitatively grasp the change in the reflected color that occurs when the incident angle of light changes from 5 ° to 60 ° in each sample.

図3から、サンプル1では、入射角度が5゜〜60゜まで変化しても、反射光の色座標があまり変化していないことがわかる。同様に、図4および図5から、サンプル2、3では、入射角度が5゜〜60゜まで変化しても、反射光の色座標があまり変化していないことがわかる。   From FIG. 3, it can be seen that in sample 1, the color coordinate of the reflected light does not change much even if the incident angle changes from 5 ° to 60 °. Similarly, it can be seen from FIGS. 4 and 5 that in Samples 2 and 3, the color coordinates of the reflected light do not change much even if the incident angle changes from 5 ° to 60 °.

これに対して、図6に示すように、サンプル4の場合は、入射角度が5゜〜60゜まで変化すると、反射光の色座標が大きく変化することがわかった。   On the other hand, as shown in FIG. 6, in the case of sample 4, it was found that when the incident angle changes from 5 ° to 60 °, the color coordinate of the reflected light changes greatly.

このように、サンプル1〜サンプル3では、サンプルからの反射色の角度依存性が有意に抑制されていることが確認された。   Thus, it was confirmed that Sample 1 to Sample 3 significantly suppressed the angle dependency of the reflected color from the sample.

(実施例4)
前述の実施例1と同様の方法により、実施例4に係るフィルムを製造した。ただし、この実施例4では、屈折率調整膜として、第1の層〜第3の層で構成された3層構造のものを使用した。
Example 4
A film according to Example 4 was produced in the same manner as in Example 1 described above. However, in Example 4, a three-layer structure composed of the first layer to the third layer was used as the refractive index adjusting film.

第1の層は、アルミナ(波長550nmにおける屈折率=1.71)とし、厚さは、20nmとした。第2の層は、チタニア(波長550nmにおける屈折率=2.41)とし、厚さは、6nmとした。また、第3の層は、シリカ(波長550nmにおける屈折率=1.47)とし、厚さは、20nmとした。   The first layer was alumina (refractive index at a wavelength of 550 nm = 1.71), and the thickness was 20 nm. The second layer was titania (refractive index at a wavelength of 550 nm = 2.41), and the thickness was 6 nm. The third layer was silica (refractive index at a wavelength of 550 nm = 1.47), and the thickness was 20 nm.

第1の層は、アルミニウムターゲットを用いたACマグネトロンスパッタリング法により成膜した。成膜雰囲気は、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気とし、0.4Paの圧力で実施した。   The first layer was formed by an AC magnetron sputtering method using an aluminum target. The film forming atmosphere was a mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, and the pressure was 0.4 Pa.

第2の層は、チタンターゲットを用いたACマグネトロンスパッタリング法により成膜した。成膜雰囲気は、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気とし、0.4Paの圧力で実施した。   The second layer was formed by an AC magnetron sputtering method using a titanium target. The film forming atmosphere was a mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, and the pressure was 0.4 Pa.

第3の層は、多結晶ケイ素からなるターゲットを用いたACマグネトロンスパッタリング法により成膜した。成膜雰囲気は、アルゴンガスと酸素ガスの混合ガス雰囲気とし、0.3Paの圧力で実施した。   The third layer was formed by AC magnetron sputtering using a target made of polycrystalline silicon. The film forming atmosphere was a mixed gas atmosphere of argon gas and oxygen gas, and was performed at a pressure of 0.3 Pa.

屈折率調整膜の上には、透明導電層として厚さ150nmのITO層を成膜した。また、透明導電層の上には、上部層として厚さ25nmのシリカ層を成膜した。これらの層の成膜条件は、実施例1の場合と同様である。   On the refractive index adjusting film, an ITO layer having a thickness of 150 nm was formed as a transparent conductive layer. Further, a silica layer having a thickness of 25 nm was formed as an upper layer on the transparent conductive layer. The film forming conditions for these layers are the same as those in the first embodiment.

その後、実施例1と同様の方法により、実施例4に係るフィルムを用いて、試験用のサンプル(以下、「サンプル7」と称する)を製造した。   Thereafter, a test sample (hereinafter referred to as “sample 7”) was produced using the film according to example 4 by the same method as in example 1.

(実施例5)
実施例4と同様の方法により、実施例5に係るフィルムを製造した。ただし、この実施例5では、屈折率調整膜の第1の層として、厚さが7nmのチタニアを使用した。また、屈折率調整膜の第2の層として、厚さが13nmのアルミナを使用した。さらに、屈折率調整膜の第3の層として、厚さが26nmのシリカを使用した。
(Example 5)
A film according to Example 5 was produced in the same manner as in Example 4. However, in Example 5, titania having a thickness of 7 nm was used as the first layer of the refractive index adjustment film. Further, alumina having a thickness of 13 nm was used as the second layer of the refractive index adjusting film. Further, silica having a thickness of 26 nm was used as the third layer of the refractive index adjusting film.

その他の条件は、実施例4の場合と同様である。   Other conditions are the same as in the fourth embodiment.

実施例1と同様の方法により、実施例5に係るフィルムを用いて、試験用のサンプル(以下、「サンプル8」と称する)を製造した。   A test sample (hereinafter referred to as “sample 8”) was produced using the film according to example 5 by the same method as in example 1.

以下の表4には、実施例4〜5に係るフィルムの層構成をまとめて示す。   Table 4 below collectively shows the layer configurations of the films according to Examples 4 to 5.

Figure 2016212275
(熱貫流率の評価および耐擦傷性の評価)
サンプル7およびサンプル8を用いて、前述のような熱貫流率の評価、および耐擦傷性の評価を行った。
Figure 2016212275
(Evaluation of heat flow rate and scratch resistance)
Sample 7 and Sample 8 were used for the evaluation of the thermal conductivity and the scratch resistance as described above.

熱貫流率の評価の結果、サンプル7およびサンプル8は、いずれも低熱貫流サンプルであることがわかった。また、耐擦傷性の評価の結果、サンプル7およびサンプル8では、薬液の種類によらず、何れの試験でも良好な耐擦傷性が得られることがわかった。また、サンプル7およびサンプル8では、薬液を使用しない「乾燥」状態においても、良好な耐擦傷性が得られることがわかった。   As a result of the evaluation of the heat flow rate, it was found that both Sample 7 and Sample 8 were low heat flow samples. In addition, as a result of the evaluation of scratch resistance, it was found that Sample 7 and Sample 8 were able to obtain good scratch resistance in any test regardless of the type of chemical solution. Sample 7 and sample 8 were also found to have good scratch resistance even in a “dry” state where no chemical solution was used.

(反射色の角度依存性の評価)
次に、サンプル7およびサンプル8を用いて、前述の方法により、反射色の角度依存性を評価した。
(Evaluation of angle dependency of reflected color)
Next, using Sample 7 and Sample 8, the angle dependency of the reflected color was evaluated by the above-described method.

図7および図8には、それぞれ、サンプル7およびサンプル8において、各入射角度で光を照射した際に生じた反射色を、色空間の色座標にプロットした図を示す。   FIGS. 7 and 8 are diagrams in which the reflected colors generated when light is irradiated at the respective incident angles in the samples 7 and 8 are plotted on the color coordinates of the color space.

図7および図8では、各サンプルにおいて、光の入射角度が5゜〜60゜まで変化した際に生じる反射色の変化を定量的に把握することができる。   7 and 8, it is possible to quantitatively grasp the change in reflected color that occurs when the incident angle of light changes from 5 ° to 60 ° in each sample.

図7から、サンプル7では、入射角度が5゜〜60゜まで変化しても、反射光の色座標があまり変化していないことがわかる。同様に、図8から、サンプル8では、入射角度が5゜〜60゜まで変化しても、反射光の色座標があまり変化していないことがわかる。このことから、サンプル7およびサンプル8では、サンプルからの反射色の角度依存性が有意に抑制されることが確認された。   From FIG. 7, it can be seen that in sample 7, the color coordinates of the reflected light do not change much even if the incident angle changes from 5 ° to 60 °. Similarly, it can be seen from FIG. 8 that in sample 8, the color coordinate of the reflected light does not change much even if the incident angle changes from 5 ° to 60 °. From this, it was confirmed that in Sample 7 and Sample 8, the angle dependency of the reflected color from the sample was significantly suppressed.

本発明は、各種ガラス部材の表面に貼付されるフィルム等に利用することができる。   The present invention can be used for a film or the like attached to the surface of various glass members.

100 低熱貫流フィルム
110 フィルム基材
112 第1の表面
114 第2の表面
120 屈折率調整膜
122 第1の層
126 第2の層
130 透明導電層
150 上部層
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Low heat flow film 110 Film base material 112 1st surface 114 2nd surface 120 Refractive index adjustment film | membrane 122 1st layer 126 2nd layer 130 Transparent conductive layer 150 Upper layer

Claims (7)

第1および第2の表面を有するフィルム基材と、
前記フィルム基材の前記第1の表面に配置され、少なくとも第1の層および第2の層を有し、前記第1の層は、前記第2の層よりも前記フィルム基材により近く、波長550nmの光に対して、前記第2の層の屈折率よりも高い屈折率を有する、屈折率調整膜と、
前記屈折率調整膜の上に配置されたインジウムスズ酸化物(ITO)を主体とする透明導電層と、
前記透明導電層の上に配置され、波長550nmの光に対する屈折率が1.55以下の上部層と、
を有する、低熱貫流フィルム。
A film substrate having first and second surfaces;
Disposed on the first surface of the film substrate and having at least a first layer and a second layer, the first layer being closer to the film substrate than the second layer, and having a wavelength A refractive index adjusting film having a refractive index higher than that of the second layer with respect to 550 nm light;
A transparent conductive layer mainly composed of indium tin oxide (ITO) disposed on the refractive index adjusting film;
An upper layer disposed on the transparent conductive layer and having a refractive index of 1.55 or less for light having a wavelength of 550 nm;
A low thermal flow-through film.
前記透明導電層は、100nm〜200nmの範囲の範囲の厚さを有する、請求項1に記載の低熱貫流フィルム。   The low heat flow through film of claim 1, wherein the transparent conductive layer has a thickness in the range of 100 nm to 200 nm. 前記上部層は、10nm〜100nmの範囲の厚さを有する、請求項1または2に記載の低熱貫流フィルム。   The low thermal flux film according to claim 1 or 2, wherein the upper layer has a thickness in the range of 10 nm to 100 nm. 前記上部層は、SiOを主体とする、請求項1乃至3のいずれか一つに記載の低熱貫流フィルム。 The top layer, the SiO 2 as a main component, the low heat transmission film according to any one of claims 1 to 3. 前記第1の層は、Ti、Nb、Ta、Zn、Al、In、およびZrのうちの少なくとも一種を含む酸化物または酸窒化物で構成され、および/または
前記第2の層は、SiOを主体とする、請求項1乃至4のいずれか一つに記載の低熱貫流フィルム。
The first layer is made of an oxide or oxynitride containing at least one of Ti, Nb, Ta, Zn, Al, In, and Zr, and / or the second layer is made of SiO 2 The low heat flow-through film according to any one of claims 1 to 4, comprising:
前記フィルム基材の前記第2の表面には、粘着層が設置される、請求項1乃至5のいずれか一つに記載の低熱貫流フィルム。   The low heat flow-through film according to any one of claims 1 to 5, wherein an adhesive layer is provided on the second surface of the film substrate. 前記フィルム基材は、透明な樹脂で構成される、請求項1乃至6のいずれか一つに記載の低熱貫流フィルム。   The low thermal flow-through film according to any one of claims 1 to 6, wherein the film base is made of a transparent resin.
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