JP2016108799A - ガラスパネルユニット - Google Patents

Abstract

【課題】真空空間を安定して形成できるガラスパネルユニットを提供する。【解決手段】ガラスパネルユニット１０は、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、シール４０と、真空空間５０とを備える。第２ガラスパネル３０は、第１ガラスパネル２０と対向するように配置される。シール４０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを枠状に気密に接合する。真空空間５０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とシール４０とで囲まれている。シール４０は、低融点金属を含むガラスで形成されている、【選択図】図１

Description

ガラスパネルユニットが開示される。より詳しくは、一対のガラスパネルの間に真空空間を備えたガラスパネルユニットが開示される。

２枚以上のガラスパネルを間をあけて重ねて密閉した空間を形成し、その空間を真空にしたガラスパネルユニットが知られている。このようなガラスパネルユニットは、複層ガラスとも呼ばれている。このようなガラスパネルユニットは、真空断熱ガラスとも呼ばれている。ガラスパネルユニットは断熱性が高い。ガラスパネルユニットでは、真空が維持されることが重要である。

ガラスパネルユニットでは、２枚のガラスパネルがシールによって接着される（特許文献１参照）。シールは、真空空間を枠状に囲み、真空を維持する機能を有する。

米国特許第６，５４１，０８４号

シールとして、ガラスを含む材料が用いられる場合がある。特許文献１では、ガラス材料でシールが形成されている。しかしながら、ガラスパネルユニットでは、シールの近傍において強度が低下しやすい。

本開示の目的は、強度の高いガラスパネルユニットを提供することである。

ガラスパネルユニットが開示される。前記ガラスパネルユニットは、第１ガラスパネルと、第２ガラスパネルと、シールと、真空空間とを備える。前記第２ガラスパネルは、前記第１ガラスパネルと対向するように配置される。前記シールは、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを枠状に気密に接合する。前記真空空間は、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記シールとで囲まれている。前記シールは、低融点金属を含むガラスで形成されている。

本開示のガラスパネルユニットによれば、強度を効果的に向上することができる。

ガラスパネルユニットの一例を示す概略断面図である。 ガラスパネルユニットの一例を示す概略平面図である。 ガラスパネルユニットの製造例を示す斜視図である。 ガラスパネルユニットの製造例を示す斜視図である。 ガラスパネルユニットの製造例を示す斜視図である。 ガラスパネルユニットの製造例を示す斜視図である。 ガラスパネルユニット用の組立て品の概略平面図である。 ガラスパネルユニット用の組立て品の概略断面図である。 ガラスパネルユニットの製造例を示す斜視図である。 ガラスパネルユニットの一例を示す概略断面図である。

図１及び図２は、ガラスパネルユニット１０の一実施形態を示す。本実施形態のガラスパネルユニット１０は、真空断熱ガラスユニットである。真空断熱ガラスユニットは、少なくとも一対のガラスパネルを備える複層ガラスパネルの一種であって、一対のガラスパネル間に真空空間５０を有している。なお、図２では、内部構造が理解しやすいよう、第１ガラスパネル２０の一部（左下）を破断して、描画している。

ガラスパネルユニット１０は、第１ガラスパネル２０と、第２ガラスパネル３０と、シール４０と、真空空間５０とを備える。第２ガラスパネル３０は、第１ガラスパネル２０と対向するように配置される。シール４０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを枠状に気密に接合する。真空空間５０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とシール４０とで囲まれている。シール４０は、低融点金属を含むガラスで形成されている。

ガラスパネルユニット１０は、シール４０が低融点金属を含むガラスで形成されるため、２つのガラスパネル及びシール４０による熱膨張差で発生する応力が緩和される。そのため、強度の高いガラスパネルユニット１０を得ることができる。

第１ガラスパネル２０は、第１ガラスパネル２０の平面形状を定める本体２１と、コーティング２２と、を備える。本体２１は、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（外面；図１における上面）及び第２面（内面；図１における下面）を有する。本体２１の第１面及び第２面はいずれも平面である。第１ガラスパネル２０の本体２１の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、ソーダガラス、ホウケイ酸ガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。なお、第１ガラスパネル２０は、コーティング２２を有さなくてもよい。第１ガラスパネル２０は、本体２１のみから構成されてもよい。

コーティング２２は、本体２１の第２面に形成される。コーティング２２は、好ましくは、赤外線反射膜である。なお、コーティング２２は、赤外線反射膜に限定されず、所望の物理特性を有する膜であってもよい。

第２ガラスパネル３０は、第２ガラスパネル３０の平面形状を定める本体３１を備える。本体３１は、矩形状であり、互いに平行な厚み方向の第１面（内面；図１における上面）及び第２面（外面；図１における下面）を有する。本体３１の第１面及び第２面はいずれも平面である。第２ガラスパネル３０の本体３１の材料は、たとえば、ソーダライムガラス、ソーダガラス、ホウケイ酸ガラス、高歪点ガラス、化学強化ガラス、無アルカリガラス、石英ガラス、ネオセラム、物理強化ガラスである。本体３１の材料は、本体２１の材料と同じであってよい。本体３１の平面形状は、本体２１と同じである。つまり、第２ガラスパネル３０の平面形状は、第１ガラスパネル２０と同じである。

第２ガラスパネル３０は、本体３１のみで構成されている。つまり、本体３１そのものが第２ガラスパネル３０である。第２ガラスパネル３０は、コーティングを有していてもよい。コーティングは、本体３１の第１面に形成され得る。このコーティングは、第１ガラスパネル２０のコーティング２２と同じであってよい。

第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、本体２１の第２面と本体３１の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置されている。つまり、本体２１の第１面はガラスパネルユニット１０の外側に向けられ、本体２１の第２面はガラスパネルユニット１０の内側に向けられる。また、本体３１の第１面はガラスパネルユニット１０の内側に向けられ、本体３１の第２面はガラスパネルユニット１０の外側に向けられる。

第１ガラスパネル２０の厚みは、特に限定されるものではないが、たとえば、１〜１０ｍｍの範囲内である。第２ガラスパネル３０の厚みは、特に限定されるものではないが、たとえば、１〜１０ｍｍの範囲内である。第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、厚みが同じであってもよいし、厚みが異なっていてもよい。第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との厚みが同じであると、ガラスパネルユニット１０の形成が容易になる。第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とは、平面視における外縁が揃っている。

図１及び図２では、ガラスパネルユニット１０は、ガス吸着体６０をさらに備える。ガス吸着体６０は、真空空間５０内に配置される。本実施形態では、ガス吸着体６０は、長尺状である。ガス吸着体６０は、第２ガラスパネル３０の長さ方向の第２端側（図２における左端側）に、第２ガラスパネル３０の幅方向に沿って形成されている。つまり、ガス吸着体６０は、真空空間５０の端に配置される。このようにすれば、ガス吸着体６０を目立たなくすることができる。また、ガラスパネルにガス吸着体６０を直接配置するようにすると、ガス吸着体６０の配置が容易になる。なお、ガス吸着体６０は、真空空間５０の任意の場所に設けられ得る。

ガス吸着体６０は、不要なガス（残留ガス等）を吸着するために用いられる。不要なガスは、たとえば、シール４０が形成される際に放出されるガスである。あるいは、不要なガスは、シール４０の隙間から内部に侵入するガスである。ガスが増加すると、真空度が低下し、断熱性が低下し得る。

ガス吸着体６０は、ゲッタを有する。ゲッタは、所定の大きさより小さい分子を吸着する性質を有する材料である。ゲッタは、たとえば、蒸発型ゲッタである。蒸発型ゲッタは、たとえば、ゼオライトまたはイオン交換されたゼオライトである。

ガラスパネルユニット１０は、少なくとも１つのスペーサ７０をさらに備えることが好ましい。スペーサ７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間に配置される。

図１及び図２では、ガラスパネルユニット１０は、複数のスペーサ７０を備える。複数のスペーサ７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間隔を所定間隔に維持するために用いられる。スペーサ７０により、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とのスペースがより確実に確保される。スペーサ７０は１つでもよいが、ガラスパネル間の厚みを確保するためには２つ以上の方が好ましい。複数のスペーサ７０が用いられると、ガラスパネルユニット１０の強度が高まる。スペーサ７０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間に配置される。

複数のスペーサ７０は、真空空間５０内に配置されている。具体的には、複数のスペーサ７０は、仮想的な矩形状の格子の交差点に配置されている。たとえば、複数のスペーサ７０の間隔は、１〜１０ｃｍの範囲内であり、具体的には２ｃｍであり得る。ただし、スペーサ７０の大きさ、スペーサ７０の数、スペーサ７０の間隔、スペーサ７０の配置パターンは、適宜選択することができる。

スペーサ７０は、上記所定間隔（第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間隔）とほぼ等しい高さを有する円柱状である。たとえば、スペーサ７０は、直径が０．１〜１０ｍｍの範囲内であり、高さが１０〜１０００μｍの範囲内であってよい。具体的には、スペーサ７０は、直径が０．５ｍｍで高さが１００μｍであり得る。なお、各スペーサ７０は、角柱状や球状などの所望の形状であってもよい。スペーサ７０の高さは、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間の距離、すなわち、真空空間５０の厚みを規定する。真空空間５０の厚みは、たとえば、１０〜１０００μｍの範囲内であってよい。真空空間５０の厚みは、具体的には、１００μｍであり得る。

スペーサ７０は、透明な材料を用いて形成される。それにより、スペーサ７０が目立たなくなる。ただし、各スペーサ７０は、十分に小さければ、不透明な材料を用いて形成されていてもよい。スペーサ７０の材料は、後述する第１溶融工程、排気工程、第２溶融工程において、スペーサ７０が変形しないように選択される。たとえば、スペーサ７０の材料は、第１熱接着剤の第１軟化点及び第２熱接着剤の第２軟化点よりも高い軟化点（軟化温度）を有するように選択される。

複数のスペーサ７０は、フィルムで形成されてもよい。フィルムが、スペーサ７０の形状に合わせて切り取られることでスペーサ７０が形成され得る。フィルムは、樹脂の積層体であってもよい。

シール４０は、真空空間５０を完全に囲むとともに、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とを気密に接合する。シール４０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間に配置される。シール４０は、矩形の枠状である。真空空間５０は、真空度が所定値以下である。所定値は、たとえば、０．１Ｐａである。真空空間５０は、排気により形成され得る。排気は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０とシール４０のうちの少なくとも一つに排気するための孔を形成して、内部の気体を吸引することで行われ得る。ただし、後述する排気が行われて、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との両方に、排気口が存在していないことが好ましい。それにより、外観のよいガラスパネルユニット１０を得ることができる。図１では、第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０は、排気口を有していない。

真空空間５０は、加熱しながら排気することによって真空が形成され得る。加熱により真空性が高まる。また、加熱によって、シール４０が形成され得る。真空を形成する際の加熱の温度は、３００℃以上であってよい。それにより、真空性がさらに向上する。真空空間５０の形成の具体的な手法は後述する。

シール４０は、低融点金属を含むガラスで形成されている。シール４０は、母体がガラスであり、母体の中に低融点金属が存在していてよい。シール４０内では、低融点金属は、分散して配置され得る。シール４０は、ガラスを主体とする熱接着剤で形成され得る。熱接着剤は、たとえば、ガラスフリットを含む。ガラスフリットは、ガラス粒子であってよい。ガラス粒子は、原料において、粉末の形状となり得る。シール４０の中の低融点金属は、低融点金属粒子を由来としている。低融点金属粒子は、原料において、粉末の形状となり得る。熱接着剤は、ガラスフリットと低融点金属粒子とを含むガラスフリット組成物であってよい。シール４０は、ガラスフリット組成物から形成される。ガラスフリットは、たとえば、低融点ガラスフリットである。ガラスフリットとしては、たとえば、ビスマス系ガラスフリット、鉛系ガラスフリット、バナジウム系ガラスフリットが挙げられる。シール４０は、後述のように、複数の熱接着剤で形成されてもよい。

ここで、従来、シールの材料として、接着強度や気密安定性の観点から、低融点ガラスが使用されることがある。シールの材料となるガラスは、ガラスパネルよりも融点が低いことが好ましい。そのため、シールの材料として低融点ガラスは好ましい。そして、低融点ガラスは、接着性が高い。しかしながら、低融点ガラスをシールに使用した場合、ガラスパネルとシールとの熱膨張性が合わなくなることがある。ガラスパネルは熱膨張性ができるだけ低いガラスが好ましく用いられるのに対し、シールの材料となる低融点ガラスは熱膨張性が高くなる傾向にあり、熱膨張性の違いが大きくなるのである。ガラスパネルとシールとの熱膨張性が合わないと、ガラスパネルユニットの製造中に破壊が生じたり、ガラスパネルに反りが発生したり、ガラスパネルユニットの強度が低下したりしやすくなる。これらの要因は、シールとガラスパネルとの接触部分の近傍に残留応力が発生するためと推測される。特に、ソーダガラスなどの熱膨張係数（α）が８〜９ｐｐｍ／℃の材料でガラスパネルを形成した場合、ガラスパネルユニットの一方の面と他方の面とでの温度差が大きくなると、２枚のガラスパネルの熱膨張差により内部応力が発生しやすくなる。熱膨張差による応力は、極端な場合には、ガラスパネルユニットを破壊に至らせる。そのため、シールの材料として、熱膨張性と接着性とを考慮したガラスを使用することが求められ、使用するガラスに制約を受ける。また、ガラスパネルについても、同様に、使用するガラスに制約を受ける。シールの熱膨張性を小さくする手法として、低熱膨張性のセラミックスフィラーをシールに含ませ、その含有率を増やすことも考えられるが、その場合、シールの材料（熱接着剤）の軟化点が上昇しやすくなる。シールの材料（熱接着剤）の軟化点が、ガラスパネルの歪点付近に至ってしまうと、ガラスパネルに悪影響を及ぼしやすくなる。このように、従来のシールを用いた場合、ガラスパネルユニットの強度が十分に向上しにくい。

一方、本開示のガラスパネルユニット１０は、上記のように、低融点金属を含むシール４０を備えている。上記のシール４０は、低融点金属を含むガラスで形成されているため、ガラス部分と低融点金属部分とを含む。シール４０は、気密性と接着強度とがガラスの部分で高まり、２つのガラスパネル及びシール４０による熱膨張差で発生する応力が低融点金属の部分で緩和される。そのため、シール４０に用いるガラスの熱膨張性と、ガラスパネルの熱膨張性との違いが大きくなっても、強度高く２つのガラスパネルをシール４０で接着することが可能になる。また、低融点金属が、熱膨張差で発生する応力を緩和するため、ガラスパネルユニット１０の製造中での破壊や、ガラスパネルの反りや、ガラスパネルユニット１０の強度の低下を抑制することができる。また、シール４０に使用するガラスに選択の幅が広がり、熱膨張性がより低いガラスを使用することが可能になる。そのため、ガラスパネルとシール４０との熱膨張差をさらに低減することができ、ガラスパネルユニット１０の強度をより高めることができる。また、ガラスパネル（第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０）に使用するガラスにも選択の幅が広がり、熱膨張性がより低いガラスでガラスパネルを形成することができ、ガラスパネルユニット１０の強度がさらに向上し得る。また、ガラスパネルユニット１０は、ガラスパネルユニット１０の一方の側（表側）と他方の側（裏側）とで温度差が大きい環境下でも、使用することが可能になる。

低融点金属は、たとえば、亜鉛（Ｚｎ）、スズ（Ｓｎ）、インジウム（Ｉｎ）、ガリウム（Ｇａ）、ビスマス（Ｂｉ）、鉛（Ｐｂ）、アンチモン（Ｓｂ）、銀（Ａｇ）、銅（Ｃｕ）から選ばれる１つ以上の金属を含んでいてよい。低融点金属は、合金であってよい。低融点金属は、低融点合金となり得る。低融点金属は、はんだに使用される金属であってよい。低融点金属粒子は、はんだ粒子であり得る。環境の観点からは、低融点金属は、鉛フリー（鉛非含有）であることが好ましい。低融点金属として、Ｓｎ−Ｐｂ系、Ｐｂ−Ｓｎ−Ｓｂ系、Ｓｎ−Ｓｂ系、Ｓｎ−Ｐｂ−Ｂｉ系、Ｂｉ−Ｓｎ系、Ｓｎ−Ｃｕ系、Ｓｎ−Ｐｂ−Ｃｕ系、Ｓｎ−Ｉｎ系、Ｓｎ−Ａｇ系、Ｓｎ−Ｐｂ−Ａｇ、及びＰｂ−Ａｇ系の合金が例示される。

低融点金属の融点は、たとえば、３００℃未満であってよい。低融点金属の融点は、さらに２５０℃未満であってもよく、２００℃未満であってもよい。低融点金属の融点が低いほど、上記の効果が得られやすくなる。ただし、低融点金属の融点は、接着性の点から、１００℃よりも高いことが好ましく、１５０℃よりも高いことがより好ましい。低融点金属の融点は、特に２３０℃未満であることが好ましい一態様である。２３０℃はスズの融点程度である。低融点金属の融点が２３０℃未満であると、効果的に熱膨張差による応力を緩和することができる。なお、低融点金属の融点は、低融点金属粒子の融点と言い換えることができる。

シール４０において、低融点金属の含有率は、特に限定されるものではないが、たとえば、１〜８０質量％であることが好ましい。低融点金属の含有率がこの範囲になることで、熱膨張差による応力を緩和する効果を有効に得ることができる。シール４０中の低融点金属の含有率は、５〜７０質量％であることがより好ましく、１０〜６０質量％であることがさらに好ましい。シール４０におけるガラスの含有率は、低融点金属の含有率よりも大きいことも好ましく、低融点金属の含有率の２倍よりも大きくてもよく、低融点金属の含有率の３倍よりも大きくてもよい。シール４０中の低融点金属の含有率と、ガラスフリット組成物中の低融点金属粒子の含有率とは同じであってよい。

上述のように、低融点金属を含むシール４０では、シール４０に用いるガラス材料の選択の幅が広がる。シール４０は、低熱膨張ガラスを含むことが可能である。低熱膨張ガラスの使用により、ガラスパネルユニット１０の強度が向上する。低熱膨張ガラスは、低熱膨張ガラスフリットを由来とするものであってよい。シール４０は、低熱膨張性を有し得る。シール４０は、熱膨張係数（α）が、１０ｐｐｍ／℃未満であることが好ましい。たとえば、当該熱膨張係数（α）は、７〜９．５ｐｐｍ／℃の範囲内であってよく、８〜９ｐｐｍ／℃の範囲内であり得る。シール４０の熱膨張性は、シール４０自体で測定されてもよいし、シール４０を形成するための材料から形成された成形体（たとえば板）で測定されてもよい。また、シール４０に含まれる低熱膨張ガラスは、その低熱膨張ガラスのみで成形体（たとえば板）を形成したときの成形体の熱膨張係数（α）が、１０ｐｐｍ／℃未満であることが好ましい。たとえば、当該熱膨張係数（α）は、７〜９．５ｐｐｍ／℃の範囲内であってよく、８〜９ｐｐｍ／℃の範囲内であり得る。

また、上述のように、低融点金属を含むシール４０では、ガラスパネルの材料の選択の幅が広がる。第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０は、低熱膨張性を有することが可能である。低熱膨張性を有するガラスの使用により、ガラスパネルユニット１０の強度が向上する。第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０は、熱膨張係数（α）が１０ｐｐｍ／℃未満であることが好ましい。たとえば、第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０は、熱膨張係数（α）が７〜９．５ｐｐｍ／℃の範囲内であってよく、８〜９ｐｐｍ／℃の範囲内であり得る。第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０の材料として、無アルカリガラス、ホウケイ酸ガラス、ソーダガラス、及び石英ガラスから選ばれる１つを使用することが特に好ましい。これらのガラスは、熱膨張性が小さい。上記のシール４０では、これらのガラスを効果的に接着できる。上記のシール４０の材料では、比較的低温で２つのガラスパネルを接着できる。たとえば、２枚のガラスパネルの接着温度を、４５０℃未満、あるいは４００℃未満、さらには３５０℃未満とすることも可能である。

第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０は、シール４０よりも融点の高いガラスから形成され得る。第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０に含まれるガラスの融点は、たとえば、５００℃より高いことが好ましく、７００℃より高いことがより好ましく、１０００℃より高いことがさらに好ましい。第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０に含まれるガラスの融点は、さらに１５００℃より高くなってもよい。一方、シール４０は、第１ガラスパネル２０及び第２ガラスパネル３０よりも融点の低いガラスから形成され得る。シール４０に含まれるガラスの融点は、たとえば、６００℃より低いことが好ましく、５００℃より低いことがより好ましく、４５０℃より低いことがさらに好ましい。

シール４０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間の距離を調整する材料を備えていることが好ましい。それにより、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間のスペースが確実に形成され得る。第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間の距離を調整する材料としては、たとえば、粒子、線材などが挙げられる。粒子は、熱接着剤（ガラスフリット組成物）に容易に混合され、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間の距離を形成することができる。

シール４０は、第１ガラスパネル２０と第２ガラスパネル３０との間の距離を形成するための粒子が含まれ得る。粒子は、熱接着剤がシール４０に変化する際の熱によって変形しない特性を有し得る。粒子が２つのガラスパネルに挟まれるため、２つのガラスパネルが接着されるときには、２つのガラスパネルの間の隙間は、粒子径より小さくならない。そのため、シール４０は、潰れずに、高さ（ガラスパネル間の距離）を確保することができる。粒子は、金属粒子、高融点ガラス粒子などが用いられ得る。粒子は、ビーズであってよい。粒子の大きさによって、シール４０の高さを調整することができる。ガラスフリット組成物は、ガラスフリットと、低融点金属粒子と、距離調整粒子とを含み得る。

ガラスパネルユニット１０は、窓に使用可能である。窓としては、建築物の窓、乗物（車、列車、船、飛行機などを含む）用の窓、展示用の窓が挙げられる。ガラスパネルユニット１０は、ディスプレイにも使用可能である。

図３〜図９により、ガラスパネルユニット１０の製造方法について説明する。図３〜図９は、ガラスパネルユニット１０の製造例である。図３〜図９に示す方法により、図１及び図２で示されるガラスパネルユニット１０が製造され得る。図３〜図９の方法では、排気口を有さないガラスパネルユニット１０が製造される。

ガラスパネルユニット１０は、まず、図３〜図５に示されるように仮組立て品１００を得た後、所定の処理によって、図６〜図８に示す組立て品１１０を得るようにする。その後、図９に示すように、組立て品１１０から一部を切り出してガラスパネルユニット１０を得ることができる。

ガラスパネルユニット１０の製造方法は、準備工程と、組立工程と、密閉工程と、除去工程と、を有する。なお、準備工程は、省略してもよい。

準備工程は、第１ガラス基板２００、第２ガラス基板３００、枠体４１０、仕切り４２０、ガス吸着体６０、及び複数のスペーサ７０を準備する工程である。準備工程により、内部空間５００、通気路６００、排気口７００が形成され得る。

第１ガラス基板２００は、第１ガラスパネル２０に利用される基板である。図８に示すように、第１ガラス基板２００は、第１ガラス基板２００の平面形状を定めるガラス板２１０と、コーティング２２０と、を備える。ガラス板２１０は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の第１面及び第２面を有する。コーティング２２０は、ガラス板２１０の第２面に形成される。ガラス板２１０は、第１ガラスパネル２０の本体２１を構成する。ガラス板２１０の第１面は本体２１の第１面に対応し、ガラス板２１０の第２面は本体２１の第２面に対応する。コーティング２２０は、第１ガラスパネル２０のコーティング２２を構成する。なお、コーティング２２０は存在しなくてもよい。

第２ガラス基板３００は、第２ガラスパネル３０に利用される基板である。図８に示すように、第２ガラス基板３００は、第２ガラス基板３００の平面形状を定めるガラス板３１０を備える。ガラス板３１０は、矩形状の平板であり、互いに平行な厚み方向の第１面及び第２面を有する。第２ガラス基板３００は、第２ガラスパネル３０の本体３１を構成する。ガラス板３１０の第１面は本体３１の第１面に対応し、ガラス板３１０の第２面は本体３１の第２面に対応する。ガラス板３１０の平面形状及び平面サイズは、ガラス板２１０と同じである。つまり、第２ガラス基板３００の平面形状は、第１ガラス基板２００と同じである。また、ガラス板３１０の厚みは、ガラス板２１０と同じである。第２ガラス基板３００は、ガラス板３１０のみで構成されている。つまり、ガラス板３１０が第２ガラス基板３００そのものである。

第２ガラス基板３００は、第１ガラス基板２００に対向するように配置される。具体的には、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第２面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。

枠体４１０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間に配置され、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。これによって、図５に示すように、枠体４１０と第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とで囲まれた内部空間５００が形成される。

枠体４１０は、熱接着剤（第１軟化点を有する第１熱接着剤）で形成される。枠体４１０は最終的にシール４０に変化し得る。第１熱接着剤は、たとえば、第１のガラスフリット組成物である。第１のガラスフリット組成物は、ガラスフリットと、低融点金属粒子とを含む。ガラスフリット及び低融点金属粒子は、上記のシール４０で述べた材料を用いることができる。第１のガラスフリット組成物は、上記で説明した距離調整粒子を含んでもよい。

枠体４１０は、矩形の枠状である。枠体４１０の平面形状は、ガラス板２１０，３１０と同じであるが、枠体４１０の平面サイズはガラス板２１０，３１０より小さい。図３に示すように、枠体４１０は、第２ガラス基板３００の外周に沿って形成されている。つまり、枠体４１０は、第２ガラス基板３００上のほぼすべての領域を囲うように形成されている。

仕切り４２０は、内部空間５００内に配置される。図５に示すように、仕切り４２０は、内部空間５００を、排気空間５１０と通気空間５２０とに仕切る。排気空間５１０は後に排気される空間であり、通気空間５２０は排気空間５１０の排気に使用される空間である。仕切り４２０は、排気空間５１０が通気空間５２０よりも大きくなるように、第２ガラス基板３００の中央よりも第２ガラス基板３００の長さ方向（図３における左右方向）の第１端側（図３における右端側）に形成される。

仕切り４２０は、壁部４２１と、一対の遮断部４２２（第１遮断部４２２１及び第２遮断部４２２２）と、を備える。壁部４２１は、第２ガラス基板３００の幅方向に沿って形成されている。幅方向とは、図５においては、矩形状の仮組立て品１００の短辺に沿った方向を意味する。ただし、壁部４２１の長さ方向の両端は、枠体４１０とは接触していない。一対の遮断部４２２は、壁部４２１の長さ方向の両端から、第２ガラス基板３００の長さ方向の第１端側に延びている。

仕切り４２０は、熱接着剤（第２軟化点を有する第２熱接着剤）で形成されている。仕切り４２０は最終的にシール４０に変化し得る。第２熱接着剤は、たとえば、第２のガラスフリット組成物である。第２のガラスフリット組成物は、ガラスフリットと、低融点金属とを含む。第２のガラスフリット組成物は、上記で説明した距離調整粒子を含んでもよい。ガラスフリット及び低融点金属は、上記のシール４０で述べた材料を用いることができる。第２熱接着剤は、第１熱接着剤と同じであってよい。そのため、第２軟化点と第１軟化点は等しい。

ガス吸着体６０は、排気空間５１０内に配置される。具体的には、ガス吸着体６０は、排気空間５１０の端に配置される。また、ガス吸着体６０は、仕切り４２０及び通気路６００から離れた位置にある。そのため、排気空間５１０の排気時に、ガス吸着体６０が排気を妨げる可能性を低くできる。

図３に示すように、複数のスペーサ７０は、縦横に所定の間隔で配置され得る。複数のスペーサ７０は、フィルムで形成されてもよい。フィルムは、樹脂の積層体であってもよい。フィルムが、スペーサ７０の形状に合わせて切り取られることでスペーサ７０が形成され得る。準備工程に、スペーサ７０を形成する工程が加えられてもよい。

通気路６００は、内部空間５００内で排気空間５１０と通気空間５２０とをつなぐ。通気路６００は、第１通気路６１０と、第２通気路６２０と、を備える。第１通気路６１０は、第１遮断部４２２１と第１遮断部４２２１に対向する枠体４１０の部分との間に形成された空間である。第２通気路６２０は、第２遮断部４２２２と第２遮断部４２２２に対向する枠体４１０の部分との間に形成された空間である。上記のように仕切り４２０を配置することで、通気路６００が形成される。

排気口７００は、通気空間５２０と外部空間とをつなぐ孔である。排気口７００は、通気空間５２０及び通気路６００を介して排気空間５１０を排気するために用いられる。したがって、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とは、排気空間５１０を排気するための排気路を構成する。排気口７００は、通気空間５２０と外部空間とをつなぐように第２ガラス基板３００に形成されている。具体的には、排気口７００は、第２ガラス基板３００の角部分に位置している。

以上のような部材により、準備工程が行われる。準備工程は、第１〜第６工程を有する。なお、第２〜第６工程の順番は、適宜変更してもよい。

第１工程は、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００を形成する工程（基板形成工程）である。たとえば、第１工程では、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００を作製する。また、第１工程では、必要に応じて、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００を洗浄する。

第２工程は、排気口７００を形成する工程である。第２工程では、第２ガラス基板３００に、排気口７００を形成する。また、第２工程では、必要に応じて、第２ガラス基板３００を洗浄する。なお、排気口７００は、第１ガラス基板２００に設けられてもよい。

第３工程は、枠体４１０及び仕切り４２０を形成する工程（シール材形成工程）である。第３工程では、ディスペンサなどを利用して、枠体４１０の材料（第１熱接着剤；第１のガラスフリット組成物）及び仕切り４２０の材料（第２熱接着剤；第２のガラスフリット組成物）を第２ガラス基板３００（ガラス板３１０の第１面）上に塗布する。そして、枠体４１０の材料及び仕切り４２０の材料を乾燥させるとともに、仮焼成する。たとえば、枠体４１０の材料及び仕切り４２０の材料が塗布された第２ガラス基板３００を４８０℃で２０分間加熱する。なお、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００と一緒に加熱してもよい。つまり、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００と同じ条件（４８０℃で２０分間）で加熱してもよい。これにより、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との反りの差を低減できる。

第４工程は、スペーサ７０を設置する工程（スペーサ設置工程）である。第４工程では、複数のスペーサ７０を予め形成しておき、チップマウンタなどを利用して、複数のスペーサ７０を、第２ガラス基板３００の所定位置に設置する。なお、複数のスペーサ７０は、公知の薄膜形成技術を利用して形成されていてもよい。例えば、スペーサ７０を形成するための流動性組成物を第２ガラス基板３００の上に塗布することで、スペーサ７０が形成され得る。

第５工程は、ガス吸着体６０を形成する工程（ガス吸着体形成工程）である。第５工程では、ゲッタの粉体が分散された溶液を第２ガラス基板３００の所定位置に塗布し、乾燥させることで、ガス吸着体６０を形成する。

第１工程から第５工程が終了することで、図３に示されるような、枠体４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、複数のスペーサ７０が形成された第２ガラス基板３００が得られる。

第６工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを配置する工程（配置工程）である。第６工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、ガラス板２１０の第２面とガラス板３１０の第１面とが互いに平行かつ対向するように配置される。図４は、第１ガラス基板２００を第２ガラス基板３００に重ねている様子を示している。なお、本例では、第２ガラス基板３００に各部材（枠体４１０、仕切り４２０など）を配置しているが、第１ガラス基板２００に各部材を配置してもよい。

組立工程は、仮組立て品１００を用意する工程である。具体的には、組立工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合することで、仮組立て品１００を用意する。つまり、組立工程は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを枠体４１により気密に接合する工程（第１溶融工程）である。

第１溶融工程では、第１軟化点以上の所定温度（第１溶融温度）で第１熱接着剤を一旦溶融させることで、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを気密に接合する。第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とは、枠体４１０によって気密に接合される。具体的には、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００は、溶融炉内に配置され、第１溶融温度で所定時間（第１溶融時間）だけ加熱される。

第１溶融温度及び第１溶融時間は、枠体４１０の熱接着剤によって第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とが気密に接合されるが、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように、設定される。つまり、第１溶融温度の下限は、第１軟化点であるが、第１溶融温度の上限は、仕切り４２０によって通気路６００が塞がれることがないように設定される。たとえば、第１軟化点及び第２軟化点が４３４℃である場合、第１溶融温度は、４４０℃に設定される。また、第１溶融時間は、たとえば、１０分である。なお、第１溶融工程では、枠体４１０からガスが放出されるが、このガスはガス吸着体６０によって吸着されてもよい。

上述した組立工程（第１溶融工程）によって、図５に示される仮組立て品１００が得られる。仮組立て品１００は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、枠体４１０と、内部空間５００と、仕切り４２０と、通気路６００と、排気口７００と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。

密閉工程は、仮組立て品１００に上記所定の処理を行って組立て品１１０を得る工程である。密閉工程は、排気工程と、溶融工程（第２溶融工程）と、を有する。つまり、排気工程及び第２溶融工程が上記所定の処理に相当する。

排気工程は、所定温度（排気温度）で、排気空間５１０を、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気して真空空間５０とする工程である。このように、排気工程では加熱されることが好ましい。それにより、真空性が高まる。

排気は、たとえば、真空ポンプを用いて行われる。真空ポンプは、図５に示されるように、排気管８１０と、シールヘッド８２０と、により仮組立て品１００に接続される。排気管８１０は、たとえば、排気管８１０の内部と排気口７００とが連通するように第２ガラス基板３００に接合される。そして、排気管８１０にシールヘッド８２０が取り付けられ、これによって、真空ポンプの吸気口が排気口７００に接続される。

第１溶融工程と排気工程と第２溶融工程とは、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００を溶融炉内に配置したまま行われる。このとき、第２ガラス基板３００は、枠体４１０、仕切り４２０、通気路６００、排気口７００、ガス吸着体６０、複数のスペーサ７０が設けられている。排気管８１０は、少なくとも第１溶融工程の前に、第２ガラス基板３００に接合される。

排気工程では、所定の排気温度で所定時間（排気時間）だけ、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気する。排気温度は、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度（たとえば、３５０℃）より高く、かつ、第１軟化点及び第２軟化点（たとえば、４３４℃）より低く設定される。排気温度は、好ましくは、３００℃以上である。たとえば、排気温度は、３９０℃である。このようにすれば、枠体４１０及び仕切り４２０は変形しない。また、ガス吸着体６０のゲッタが活性化し、ゲッタが吸着していた分子（ガス）がゲッタから放出される。そして、ゲッタから放出された分子（つまりガス）は、排気空間５１０、通気路６００、通気空間５２０、及び、排気口７００を通じて排出される。したがって、排気工程では、ガス吸着体６０の吸着能力が回復する。排気時間は、所望の真空度（たとえば、０．１Ｐａ以下の真空度）の真空空間５０が得られるように設定される。たとえば、排気時間は、１２０分に設定される。

第２溶融工程は、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０を囲むシール４０を形成する工程である。第２溶融工程では、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成する。具体的には、第１ガラス基板２００及び第２ガラス基板３００は、溶融炉内で、第２溶融温度で所定時間（第２溶融時間）だけ加熱される。

第２溶融温度及び第２溶融時間は、第２熱接着剤が軟化し、通気路６００を塞ぐ隔壁４２が形成されるように設定される。第２溶融温度の下限は、第２軟化点（４３４℃）である。ただし、第２溶融工程では、第１溶融工程とは異なり、仕切り４２０を変形させることを目的としているから、第２溶融温度は、第１溶融温度（４４０℃）より高くしている。たとえば、第２溶融温度は、４６０℃に設定される。また、第２溶融時間は、たとえば、３０分である。

隔壁４２が形成されると、真空空間５０が通気空間５２０から分離される。そのため、真空ポンプで真空空間５０を排気することはできなくなる。第２溶融工程が終了するまでは、枠体４１０及び隔壁４２が加熱されているから、枠体４１０及び隔壁４２からガスが放出されることがある。しかしながら、枠体４１０及び隔壁４２から放出されたガスは、真空空間５０内のガス吸着体６０に吸着される。そのため、真空空間５０の真空度が悪化することが防止される。つまり、ガラスパネルユニット１０の断熱性が悪くなることが防止される。

第１溶融工程でも、枠体４１０及び隔壁４２が加熱されているから、枠体４１０及び隔壁４２からガスが放出されることがある。枠体４１０及び隔壁４２から放出されたガスはガス吸着体６０に吸着されるから、第１溶融工程によってガス吸着体６０の吸着能力が低下している場合がある。しかしながら、排気工程では、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度以上の排気温度で排気空間５１０の排気を行い、これによって、ガス吸着体６０の吸着能力を回復させている。したがって、ガス吸着体６０は、第２溶融工程において、枠体４１０及び隔壁４２から放出されたガスを十分に吸着できる。つまり、ガス吸着体６０が枠体４１０及び隔壁４２から放出されたガスを十分に吸着できずに真空空間５０の真空度が悪化することを防止できる。

また、第２溶融工程では、排気工程から継続して、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気する。つまり、第２溶融工程では、第２溶融温度で、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気しながら、仕切り４２０を変形させて通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成する。これによって、第２溶融工程中に、真空空間５０の真空度が悪化することがさらに防止される。ただし、第２溶融工程では、必ずしも、通気路６００と通気空間５２０と排気口７００とを介して排気空間５１０を排気する必要はない。

上記所定の処理では、所定温度（排気温度）で、通気路６００、通気空間５２０、及び排気口７００を介して排気空間５１０を排気して排気空間５１０を真空空間５０とする。排気温度は、ガス吸着体６０のゲッタの活性化温度より高くしている。これによって、排気空間５１０の排気とゲッタの吸着能力の回復とが同時に行える。

また、上記所定の処理では、仕切り４２０を変形させて、通気路６００を塞ぐ隔壁４２を形成することで、真空空間５０を囲むシール４０を形成する（図７参照）。仕切り４２０は、第２熱接着剤を含んでいるから、第２軟化点以上の所定温度（第２溶融温度）で第２熱接着剤を一旦溶融させることで、仕切り４２０を変形させて隔壁４２を形成することができる。なお、第１溶融温度は、第２溶融温度より低くしている。これによって、枠体４１０で第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを接合する際に、仕切り４２０が変形して通気路６００が塞がれることを防止できる。なお、仕切り４２０は、枠体４１０よりも溶融時の変形性が大きい材料で形成されてもよい。

仕切り４２０は、第１遮断部４２２１が第１通気路６１０を塞ぎ、第２遮断部４２２２が第２通気路６２０を塞ぐように、変形される。このようにして仕切り４２０を変形することで得られた隔壁４２は、真空空間５０を通気空間５２０から（空間的に）分離する。隔壁（第２部分）４２と枠体４１０において真空空間５０に対応する部分（第１部分）４１とが、真空空間５０を囲むシール４０を構成する。

このように、真空空間５０は、通気空間５２０、及び排気口７００を介して排気空間５１０を排気することで形成される。真空空間５０は、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とシール４０とで完全に密閉されているから、通気空間５２０及び排気口７００から分離されている。

また、矩形の枠状のシール４０が形成される。シール４０は、第１部分４１と、第２部分４２と、を有する。第１部分４１は、枠体４１０において真空空間５０に対応する部分である。つまり、第１部分４１は、枠体４１０において真空空間５０に面している部分である。第１部分４１は、略Ｕ字状であり、シール４０の四辺のうちの三辺を構成する。第１部分４１は、第１のガラスフリット組成物から形成される。第２部分４２は、仕切り４２０を変形することで得られる隔壁である。第２部分４２は、Ｉ字状であり、シール４０の四辺のうちの残りの一辺を構成する。第２部分４２は、第２のガラスフリット組成物から形成される。

排気工程では、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とが近づく方向の力が発生する。このとき、スペーサ７０が、第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００との間の空間を確保する。

ここで、シール４０が、低融点金属粒子を含むガラスフリット組成物から形成された場合、低融点金属粒子を含まないガラスフリット組成物から形成された場合に比べて、熱膨張差を低減することができ、熱膨張差で発生する応力を緩和することができる。そして、製造中におけるガラスパネルの破壊や、ガラスパネルの反りなどを低減させることができる。また、２つのガラスパネルを強度高く接着することができる。

上述した密閉工程によって、図６〜図８に示される組立て品１１０が得られる。組立て品１１０は、第１ガラス基板２００と、第２ガラス基板３００と、シール４０と、真空空間５０と、通気空間５２０と、ガス吸着体６０と、複数のスペーサ７０と、を備える。図７では、内部構造が理解しやすいよう、第１ガラス基板２００の一部（右下）を破断して、描画している。

除去工程は、組立て品１１０から通気空間５２０を有する部分１１を除去することで、真空空間５０を有する部分であるガラスパネルユニット１０を得る工程である。図７に示されるように、具体的には、溶融炉から取り出された組立て品１１０は、切断線９００に沿って切断され、真空空間５０を有する所定部分（ガラスパネルユニット）１０と、通気空間５２０を有する部分（不要な部分）１１と、に分割される。不要な部分１１は、主に、第１ガラス基板２００のうち通気空間５２０に対応する部分２３０と、第２ガラス基板３００のうち通気空間５２０に対応する部分３２０と、枠体４１０のうち通気空間５２０に対応する部分４１１と、を含んでいる。ガラスパネルユニット１０の製造コストを考慮すれば、不要な部分１１は小さいほうが好ましい。図９では、組立て品１１０から不要な部分１１を除去する様子を示している。

切断は、適宜の切断装置によって行われる。切断装置としては、スクライバ、レーザが例示される。第１ガラス基板２００と第２ガラス基板３００とを同時に切断すると、ガラスパネルユニット１０を効率よく切り出すことができる。なお、切断線９００の形状は、ガラスパネルユニット１０の形状によって定まる。ガラスパネルユニット１０は矩形状であるから、切断線９００は、壁４２の長さ方向に沿った直線となっている。

上述した、準備工程、組立工程、密閉工程、及び除去工程を経て、図１及び図２に示すようなガラスパネルユニット１０が得られる。第１ガラスパネル２０は、第１ガラス基板２００のうち真空空間５０に対応する部分である。第２ガラスパネル３０は、第２ガラス基板３００のうち真空空間５０に対応する部分である。真空空間５０を形成するための排気口７００は、第２ガラス基板３００において通気空間５２０に対応する部分３２０に存在し、排気管８１０は部分３２０に接続されている。そのため、第２ガラスパネル３０には、排気口７００が存在していない。

以下、ガラスパネルユニットの更なる変形例を説明する。変形例の説明にあたっては、同様の構成の番号について括弧を付す。

上記実施形態では、ガラスパネルユニット（１０）は矩形状であるが、ガラスパネルユニット（１０）は、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）、第２ガラスパネル（３０）、及びシール（４０）は、矩形状ではなく、円形状や多角形状など所望の形状であってもよい。なお、第１ガラス基板（２００）、第２ガラス基板（３００）、枠体（４１０）、及び、隔壁（４２）のそれぞれの形状は、上記実施形態の形状に限定されず、所望の形状のガラスパネルユニット（１０）が得られるような形状であればよい。なお、ガラスパネルユニット（１０）の形状や大きさは、ガラスパネルユニット（１０）の用途に応じて決定される。

また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）の第１面及び第２面はいずれも平面に限定されない。同様に、第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）の第１面及び第２面はいずれも平面に限定されない。

また、第１ガラスパネル（２０）の本体（２１）と第２ガラスパネル（３０）の本体（３１）とは同じ平面形状及び平面サイズを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ厚みを有していなくてもよい。また、本体（２１）と本体（３１）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。同様に、第１ガラス基板（２００）のガラス板（２１０）と第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）とは同じ平面形状及び平面サイズを有していなくてもよい。また、ガラス板（２１０）とガラス板（３１０）とは同じ厚みを有していなくてもよい。ガラス板（２１０）とガラス板（３１０）とは同じ材料で形成されていなくてもよい。

また、シール（４０）は、第１ガラスパネル（２０）及び第２ガラスパネル（３０）と同じ平面形状を有していなくてもよい。同様に、枠体（４１０）は、第１ガラス基板（２００）及び第２ガラス基板（３００）と同じ平面形状を有していなくてもよい。

また、第１ガラスパネル（２０）は、さらに、所望の物理特性を有して本体（２１）の第２平面に形成されるコーティングを備えていてもよい。あるいは、第１ガラスパネル（２０）は、コーティング（２２）を備えていなくてもよい。つまり、第１ガラスパネル（２０）は、本体（２１）のみで構成されていてもよい。

また、第２ガラスパネル（３０）は、さらに、所望の物理特性を有するコーティングを備えていてもよい。コーティングは、たとえば、本体（３１）の第１平面及び第２平面にそれぞれ形成される薄膜の少なくとも一方を備えていればよい。コーティングは、たとえば、特定波長の光を反射する膜（赤外線反射膜、紫外線反射膜）などである。

上記実施形態では、枠体（４１０）は、第１熱接着剤（第１のガラスフリット組成物）で形成されている。ただし、枠体（４１０）は、第１熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、枠体（４１０）は、第１熱接着剤（第１のガラスフリット組成物）を含んでいればよい。また、上記実施形態では、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）のほぼすべての領域を囲うように形成されている。しかしながら、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）上の所定の領域を囲うように形成されていればよい。つまり、枠体（４１０）は、第２ガラス基板（３００）のほぼすべての領域を囲うように形成されている必要はない。また、組立て品（１１０）は、２以上の枠体（４１０）を有していてもよい。つまり、組立て品（１１０）は、２以上の内部空間（５００）を有していてもよい。この場合、１つの組立て品（１１０）から２以上のガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。

上記実施形態では、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤（第２のガラスフリット組成物）で形成されている。ただし、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤に加えて、芯材等の他の要素を備えていてもよい。つまり、仕切り（４２０）は、第２熱接着剤（第２のガラスフリット組成物）を含んでいればよい。また、上記実施形態では、仕切り（４２０）はその両端が枠体（４１０）とは連結されていない。そして、仕切り（４２０）の両端と枠体（４１０）との隙間が、通気路（６１０，６２０）である。ただし、仕切り（４２０）は、その両端の一方のみが枠体（４１０）に連結されていなくてもよく、この場合、仕切り（４２０）と枠体（４１０）との間に一つの通気路（６００）が形成される。あるいは、仕切り（４２０）は、その両端が枠体（４１０）に連結されていてもよい。この場合、通気路（６００）は、仕切り（４２０）に形成された貫通孔であってもよい。あるいは、通気路（６００）は、仕切り（４２０）と第１ガラス基板（２００）との隙間であってもよい。あるいは、仕切り（４２０）は、間隔をあけて配置された２以上の仕切りで形成されていてもよい。この場合、通気路（６００）は、２以上の仕切りの隙間であってもよい。

上記実施形態では、内部空間（５００）は、一つの排気空間（５１０）と一つの通気空間（５２０）とに仕切られている。ただし、内部空間（５００）は、１以上の排気空間（５１０）と１以上の通気空間（５２０）とに仕切られていてもよい。内部空間（５００）が２以上の排気空間（５１０）を有する場合、１つの組立て品（１１０）から２以上のガラスパネルユニット（１０）を得ることができる。

上記実施形態では、第２熱接着剤（第２のガラスフリット組成物）は、第１熱接着剤（第１のガラスフリット組成物）と同じであり、第２軟化点と第１軟化点は等しい。ただし、第２熱接着剤は、第１熱接着剤と異なる材料であってもよい。たとえば、第２熱接着剤は、第１熱接着剤の第１軟化点と異なる第２軟化点を有していてもよい。ここで、第２軟化点は、第１軟化点より高いことが好ましい。この場合、第１溶融温度を、第１軟化点以上第２軟化点未満とすることができる。このようにすれば、第１溶融工程において、仕切り（４２０）が変形してしまうことを防止できる。

また、第１接着剤及び第２熱接着剤は、ガラスフリット組成物に限定されず、たとえば、ガラスフリットと低融点金属粒子とが別剤となった材料などであってもよい。

上記実施形態では、枠体（４１０）、ガス吸着体（６０）、及び仕切り（４２０）の加熱に溶融炉を利用している。しかしながら、加熱は、適宜の加熱手段で行うことができる。加熱手段は、たとえば、レーザや、熱源に接続された伝熱板などである。

上記実施形態では、通気路（６００）は２つの通気路（６１０，６２０）を備えているが、通気路（６００）は、一つの通気路だけで構成されていてもよいし、３以上の通気路で構成されていてもよい。また、通気路（６００）の形状は、特に限定されない
上記実施形態では、排気口（７００）は、第２ガラス基板（３００）に形成されている。しかし、排気口（７００）は、第１ガラス基板（２００）のガラス板（２１０）に形成されていてもよいし、枠体（４１０）に形成されていてもよい。要するに、排気口（７００）は、不要な部分（１１）に形成されていればよい。

上記実施形態では、ガス吸着体（６０）のゲッタは蒸発型ゲッタであるが、ゲッタは非蒸発型ゲッタであってもよい。非蒸発型ゲッタは、所定温度（活性化温度）以上になると、吸着された分子が内部に入り込むことで、吸着能力が回復する。ただし、蒸発型ゲッタとは異なり、吸着された分子を放出するわけではないので、非蒸発型ゲッタは、ある程度以上の分子を吸着すると、たとえ活性化温度以上に加熱されても、吸着能力が回復しなくなる。

上記実施形態では、ガス吸着体（６０）は、長尺状であるが、他の形状であってもよい。また、ガス吸着体（６０）は、必ずしも真空空間（５０）の端にある必要はない。また、上記実施形態では、ガス吸着体（６０）は、ゲッタの粉体を含む液体（たとえばゲッタの粉体を液体に分散して得られた分散液や、ゲッタの粉体を液体に溶解させて得られた溶液）を塗布することにより形成される。しかしながら、ガス吸着体（６０）は、基板と、基板に固着されたゲッタと、を備えていてもよい。このようなガス吸着体（６０）は、ゲッタの粉末を含む液体に基板を浸漬し、乾燥することで得ることができる。なお、基板は、所望の形状であってよく、たとえば、長尺の矩形状である。

あるいは、ガス吸着体（６０）は、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）の表面（第１面）に全体的あるいは部分的に形成された膜であってもよい。このようなガス吸着体（６０）は、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）の表面（第１面）をゲッタの粉末を含む液体でコーティングすることで得ることができる。

あるいは、ガス吸着体（６０）は、スペーサ（７０）に含まれていてもよい。たとえば、スペーサ（７０）を、ゲッタを含む材料で形成すれば、ガス吸着体（６０）を含むスペーサ（７０）を得ることができる。

あるいは、ガス吸着体（６０）は、ゲッタで形成された固形物であってもよい。このようなガス吸着体（６０）は、比較的大きく、第１ガラス基板（２００）と第２ガラス基板（３００）との間に配置できないことがある。この場合には、第２ガラス基板（３００）のガラス板（３１０）に凹所を形成して、この凹所にガス吸着体（６０）を配置すればよい。

あるいは、ガス吸着体（６０）は、ゲッタが分子を吸着しないように、予めパッケージ内に配置しておいてもよい。この場合、第２溶融工程の後に、パッケージを破壊して、ガス吸着体（６０）を真空空間（５０）に曝せばよい。

上記実施形態では、ガラスパネルユニット（１０）はガス吸着体（６０）を備えているが、ガラスパネルユニット（１０）は、ガス吸着体（６０）を備えていなくてもよい。

上記実施形態では、ガラスパネルユニット（１０）は複数のスペーサ（７０）を備えているが、ガラスパネルユニット（１０）は、一つのスペーサ（７０）を備えていてもよいし、スペーサ（７０）を備えていなくてもよい。

上記実施形態では、不要な部分（１１）を除去することで、排気口を有さないガラスパネルユニット（１０）を形成することを説明したが、ガラスパネルユニット（１０）は、排気口を有していてもよい。その場合、排気口は、第１ガラスパネル（２０）と、第２ガラスパネル（３０）とのうちの少なくともいずれか一方に設けられ得る。真空空間（５０）の真空を維持するため、排気口は閉じられる。第１ガラスパネル（２０）及び第２ガラスパネル（３０）の少なくともいずれか一方に排気口が設けられた場合、キャップ材により排気口が閉じられ得る。ただし、外観をよくするためには、ガラスパネルユニット（１０）は排気口を有していないことが好ましい。

図１０に、ガラスパネルユニットの変形例（ガラスパネルユニット１０Ａ）を示す。ガラスパネルユニット１０Ａは、第２ガラスパネル３０に排気口７００を有する。排気口７００は、封止部８１により、閉鎖されている。これにより、真空空間５０は真空が維持される。封止部８１は、排気管８１０から形成されている。封止部８１は、たとえば排気管８１０を構成するガラスの熱溶着で形成され得る。封止部８１の外側にはキャップ８０が配置されている。キャップ８０は封止部８１を覆っている。キャップ８０が封止部８１を覆うことで、排気口７００を高く閉鎖できる。また、キャップ８０により、排気口７００部分での破損を抑制できる。ガラスパネルユニット１０Ａは、排気口７００、封止部８１及びキャップ８０が設けられていること以外は、図１及び図２のガラスパネルユニット１０と同じである。図１及びス２のガラスパネルユニット１０と同じ構成については同じ符号を付しており、それらの構成には、適宜、図１及び図２で行った説明を適用できる。ガラスパネルユニット１０Ａは、仮組立て品１００の作製方法に準じて製造することができる。ガラスパネルユニット１０Ａは、排気口７００を有する部分を除去しなくてもよいため、製造が容易になり得る。

１０ ガラスパネルユニット
２０ 第１ガラスパネル
３０ 第２ガラスパネル
４０ シール
５０ 真空空間

Claims (5)

1. 第１ガラスパネルと、
   前記第１ガラスパネルと対向するように配置された第２ガラスパネルと、
   前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとを枠状に気密に接合するシールと、
   前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルと前記シールとで囲まれた真空空間とを備え、
   前記シールは、低融点金属を含むガラスで形成されている、
   ガラスパネルユニット。
2. 前記シールは、低熱膨張ガラスを含む、
   請求項１に記載のガラスパネルユニット。
3. 前記第１ガラスパネル及び第２ガラスパネルは、低熱膨張性を有する、
   請求項１又は２に記載のガラスパネルユニット。
4. 前記シールは、前記第１ガラスパネルと前記第２ガラスパネルとの間の距離を調整する材料を含む、
   請求項１乃至３のいずれか１項に記載のガラスパネルユニット。
5. 第１ガラスパネルと第２ガラスパネルとの間に配置される少なくとも１つのスペーサをさらに備える、
   請求項１乃至４のいずれか１項に記載のガラスパネルユニット。

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