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JP2016184665A - Electronic device, electronic apparatus and mobile - Google Patents

Electronic device, electronic apparatus and mobile Download PDF

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JP2016184665A
JP2016184665A JP2015064151A JP2015064151A JP2016184665A JP 2016184665 A JP2016184665 A JP 2016184665A JP 2015064151 A JP2015064151 A JP 2015064151A JP 2015064151 A JP2015064151 A JP 2015064151A JP 2016184665 A JP2016184665 A JP 2016184665A
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JP
Japan
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terminal
electronic device
power supply
mounting surface
rotationally symmetric
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誠一 西山
Seiichi Nishiyama
誠一 西山
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Seiko Epson Corp
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electronic device capable of reducing adverse effect on an electronic device, even if the electronic device is mounted on a measuring device at a wrong angle, and to provide an electronic apparatus and a mobile including such an electronic device.SOLUTION: An electronic device 1 includes a base 61 (mounting surface) having an outer shape including a first side 60a, a second side 60b, a third side 60c and a fourth side 60d, power supply terminals 642a1, 642a2 arranged, respectively, on the first side 60a and second side 60b of the base 61, and a signal output terminal 642c10 arranged on the fourth side 60d of the base 61. The terminal 642c10 is arranged while avoiding the position of 90 degree rotational symmetry to the power supply terminals 642a1, 642a2 with respect to the center C of the base 61, the position of 180 degree rotational symmetry, and the position of 270 degree rotational symmetry.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、電子デバイス、電子機器および移動体に関するものである。   The present invention relates to an electronic device, an electronic apparatus, and a moving object.

電子デバイスとしては、例えば、ジャイロ素子等の機能素子と、この機能素子の駆動等を行うIC(Integrated Circuit)とをパケージ内に収納したものが知られている(例えば、特許文献1参照)。このような電子デバイスでは、一般に、パッケージの外表面に複数の外部実装端子が設けられており、この複数の外部実装端子を介して実装基板に実装される。ここで、複数の外部実装端子には、通常、電源電圧が入力される電源端子や、信号を出力する信号出力端子等が含まれる。   As an electronic device, for example, a device in which a functional element such as a gyro element and an IC (Integrated Circuit) for driving the functional element are accommodated in a package is known (for example, see Patent Document 1). In such an electronic device, generally, a plurality of external mounting terminals are provided on the outer surface of the package, and the electronic device is mounted on the mounting substrate via the plurality of external mounting terminals. Here, the plurality of external mounting terminals usually include a power supply terminal to which a power supply voltage is input, a signal output terminal for outputting a signal, and the like.

このような電子デバイスを検査する際や電子機器の実装基板に実装する際、電子デバイスを測定装置(治具)に装着して、または実装基板に実装して、電源端子を介して電源電圧を電子デバイスに印加する。しかし、電子デバイスが回転対称な平面視形状であるため、誤った角度で電子デバイスが測定装置に装着または実装基板に実装される場合がある。その場合、電源端子以外の他の端子(例えば信号出力端子)に電源電圧が印加されてしまい、電子デバイスの特性や動作に影響を与える可能性があるという問題があった。   When inspecting such an electronic device or mounting it on a mounting board of an electronic device, the electronic device is mounted on a measuring device (jig) or mounted on a mounting board, and the power supply voltage is supplied via a power supply terminal. Apply to electronic device. However, since the electronic device has a rotationally symmetrical plan view shape, the electronic device may be mounted on the measurement apparatus or mounted on the mounting board at an incorrect angle. In this case, there is a problem that the power supply voltage is applied to other terminals (for example, signal output terminals) other than the power supply terminal, which may affect the characteristics and operation of the electronic device.

特開2013−33821号公報JP 2013-33821 A

本発明の目的は、電子デバイスが測定装置や実装基板に誤った角度で装着されても電子デバイスに与える影響を低減することができる電子デバイスを提供すること、また、かかる電子デバイスを備える電子機器および移動体を提供することにある。   An object of the present invention is to provide an electronic device capable of reducing the influence on the electronic device even if the electronic device is mounted on the measuring apparatus or the mounting board at an incorrect angle, and an electronic apparatus including the electronic device. And to provide a moving body.

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
[適用例1]
本発明の電子デバイスは、外形がn回対称(ただし、nは2以上の整数である)である実装面と、
前記実装面に配置されている電源端子と、
前記実装面に配置されている信号出力端子と、
を備え、
360度を前記nで割った角度をθとしたとき、1≦m<nを満たす整数のそれぞれについて前記電源端子と前記実装面の中心に対して(m×θ°)回転対称となる位置を避けて、前記信号出力端子が配置されていることを特徴とする。
SUMMARY An advantage of some aspects of the invention is to solve at least a part of the problems described above, and the invention can be implemented as the following application examples.
[Application Example 1]
The electronic device of the present invention has a mounting surface whose outer shape is n-fold symmetric (where n is an integer of 2 or more),
A power supply terminal disposed on the mounting surface;
A signal output terminal disposed on the mounting surface;
With
Assuming that an angle obtained by dividing 360 degrees by n is θ, positions where the integers satisfying 1 ≦ m <n are rotationally symmetric with respect to the center of the power supply terminal and the mounting surface (m × θ °). Avoiding this, the signal output terminal is arranged.

このような電子デバイスによれば、正規の向き(角度)とは異なる向き(角度)で誤って測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、信号出力端子に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイスに与える影響を低減することができる。   According to such an electronic device, the power supply voltage is input to the signal output terminal even if the measurement device or the mounting board is mistakenly mounted or mounted in a direction (angle) different from the normal direction (angle). As a result, the influence on the electronic device can be reduced.

[適用例2]
本発明の電子デバイスは、互いに対向する第1辺および第2辺と、前記第1辺および前記第2辺に対して直交する方向に沿っている第3辺および第4辺と、を含む外形を有する実装面と、
前記実装面の前記第1辺側および前記第2辺側の少なくとも前記第1辺側に配置されている電源端子と、
前記実装面の中心より前記第2辺側、前記実装面の前記中心より前記第3辺側および前記実装面の前記中心より前記第4辺側のうち少なくとも1つに配置されている信号出力端子と、
を備え、
前記電源端子と前記実装面の中心に対して90度回転対称となる位置と、180度回転対称となる位置と、270度回転対称となる位置とを避けて、前記信号出力端子が配置されていることを特徴とする。
[Application Example 2]
An electronic device of the present invention includes an outer shape including a first side and a second side facing each other, and a third side and a fourth side along a direction orthogonal to the first side and the second side. A mounting surface having
A power supply terminal disposed on at least the first side of the first side and the second side of the mounting surface;
A signal output terminal arranged on at least one of the second side from the center of the mounting surface, the third side from the center of the mounting surface, and the fourth side from the center of the mounting surface. When,
With
The signal output terminal is arranged avoiding a position that is 90 degrees rotationally symmetric, a position that is 180 degrees rotationally symmetric, and a position that is 270 degrees rotationally symmetric with respect to the power supply terminal and the center of the mounting surface. It is characterized by being.

このような電子デバイスによれば、正規の向き(角度)とは異なる向き(角度)で誤って測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、信号出力端子に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイスに与える影響を低減することができる。   According to such an electronic device, the power supply voltage is input to the signal output terminal even if the measurement device or the mounting board is mistakenly mounted or mounted in a direction (angle) different from the normal direction (angle). As a result, the influence on the electronic device can be reduced.

[適用例3]
本発明の電子デバイスでは、前記実装面の前記中心より前記第1辺側に配置されている前記電源端子である第1電源端子と、
前記実装面の前記中心より前記第2辺側で、前記第1電源端子と前記中心に対して180度回転対称となる位置に配置されている前記電源端子である第2電源端子と、
を備えることが好ましい。
[Application Example 3]
In the electronic device of the present invention, a first power terminal that is the power terminal disposed on the first side from the center of the mounting surface;
A second power supply terminal that is the power supply terminal disposed at a position that is 180-degree rotationally symmetric with respect to the first power supply terminal and the center on the second side from the center of the mounting surface;
It is preferable to provide.

これにより、正規の向きから180度回転した向き(角度)で誤って測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、電源電圧が第1電源端子および第2電源端子に入力されることとなり、信号出力端子に電源電圧が入力されることを防止することができる。   As a result, even if the measurement device or the mounting board is mistakenly mounted or mounted in a direction (angle) rotated 180 degrees from the normal direction, the power supply voltage is input to the first power supply terminal and the second power supply terminal. The power supply voltage can be prevented from being input to the signal output terminal.

[適用例4]
本発明の電子デバイスでは、デジタル通信回路を備えており、
前記信号出力端子は、前記デジタル通信回路からのデジタル信号を出力する端子であることが好ましい。
[Application Example 4]
The electronic device of the present invention includes a digital communication circuit,
The signal output terminal is preferably a terminal that outputs a digital signal from the digital communication circuit.

これにより、誤った向き(角度)で測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、デジタル通信回路に電源電圧が入力されるのを防止することができる。   Accordingly, even if the measurement apparatus or the mounting board is mounted or mounted in an incorrect direction (angle), it is possible to prevent the power supply voltage from being input to the digital communication circuit.

[適用例5]
本発明の電子デバイスでは、アナログ通信回路を備えており、
前記信号出力端子は、前記アナログ通信回路からのアナログ信号を出力する端子であることが好ましい。
[Application Example 5]
The electronic device of the present invention comprises an analog communication circuit,
The signal output terminal is preferably a terminal that outputs an analog signal from the analog communication circuit.

これにより、測定装置に対して誤った向き(角度)で測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、アナログ通信回路に電源電圧が入力されるのを防止することができる。   Accordingly, even if the measurement apparatus or the mounting board is mounted or mounted in an incorrect direction (angle) with respect to the measurement apparatus, it is possible to prevent the power supply voltage from being input to the analog communication circuit.

[適用例6]
本発明の電子デバイスでは、レギュレーター回路と、
前記実装面に配置され、前記レギュレーター回路に電気的に接続されている外部容量端子と、
を備え、
前記電源端子と前記実装面の中心に対して90度回転対称となる位置と、180度回転対称となる位置と、270度回転対称となる位置とを避けて、前記外部容量端子が配置されていることが好ましい。
[Application Example 6]
In the electronic device of the present invention, a regulator circuit;
An external capacitance terminal disposed on the mounting surface and electrically connected to the regulator circuit;
With
The external capacitor terminal is arranged avoiding a position that is 90 degree rotationally symmetric, a position that is 180 degree rotationally symmetric, and a position that is 270 degree rotationally symmetric with respect to the power supply terminal and the center of the mounting surface. Preferably it is.

これにより、誤った向き(角度)で測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、外部容量端子を介してレギュレーター回路に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイスに与える悪影響を低減することができる。   As a result, even if the measuring device or mounting board is mounted or mounted in the wrong orientation (angle), it is possible to prevent the power supply voltage from being input to the regulator circuit via the external capacitance terminal. The adverse effect on the electronic device can be reduced.

[適用例7]
本発明の電子デバイスでは、前記レギュレーター回路である第1レギュレーター回路と、
前記第1レギュレーター回路と異なる前記レギュレーター回路である第2レギュレーター回路と、
前記第1レギュレーター回路に電気的に接続されている前記外部容量端子である第1外部容量端子と、
前記第1外部容量端子と前記実装面の中心に対して90度回転対称となる位置と、180度回転対称となる位置と、270度回転対称となる位置との少なくとも一つに前記実装面に配置され、前記第2レギュレーター回路に電気的に接続されている前記外部容量端子である第2外部容量端子と、
を備えることが好ましい。
[Application Example 7]
In the electronic device of the present invention, a first regulator circuit that is the regulator circuit;
A second regulator circuit that is the regulator circuit different from the first regulator circuit;
A first external capacitance terminal that is the external capacitance terminal electrically connected to the first regulator circuit;
The mounting surface has at least one of a position that is 90 ° rotationally symmetric, a position that is 180 ° rotationally symmetric, and a position that is 270 ° rotationally symmetric with respect to the center of the first external capacitor terminal and the mounting surface. A second external capacitance terminal which is the external capacitance terminal disposed and electrically connected to the second regulator circuit;
It is preferable to provide.

これにより、正規の向き(角度)とは異なる向き(角度)で誤って測定装置や実装基板に装着または実装されたとしても、電源電圧が第1外部容量端子および第2外部容量端子以外の端子に入力されることとなり、第1外部容量端子および第2外部容量端子に電源電圧が入力されることを防止することができる。また、誤装着または誤実装されたときに、同種の回路が第1外部容量端子および第2外部容量端子に接続されることとなり、異種の回路が第1外部容量端子および第2外部容量端子に接続される場合に比べて、誤装着または誤実装による電子デバイスへの影響を効果的に低減することができる。   As a result, even if the measurement device or the mounting board is mistakenly attached or mounted in a direction (angle) different from the normal direction (angle), the power supply voltage is a terminal other than the first external capacitance terminal and the second external capacitance terminal. Therefore, it is possible to prevent the power supply voltage from being input to the first external capacitor terminal and the second external capacitor terminal. In addition, when wrongly mounted or incorrectly mounted, the same type of circuit is connected to the first external capacitor terminal and the second external capacitor terminal, and different types of circuits are connected to the first external capacitor terminal and the second external capacitor terminal. Compared to the case of connection, the influence on the electronic device due to erroneous mounting or mounting can be effectively reduced.

[適用例8]
本発明の電子デバイスでは、第1物理量を検出する第1センサー素子と、
第2物理量を検出する第2センサー素子と、
前記第1レギュレーター回路が生成する第1電源電圧により動作し、前記第1センサー素子の信号処理を行う第1物理量信号処理回路と、
前記第2レギュレーター回路が生成する第2電源電圧により動作し、前記第2センサー素子の信号処理を行う第2物理量信号処理回路と、
を備えることが好ましい。
これにより、複数の物理量を検出することができる。
[Application Example 8]
In the electronic device of the present invention, a first sensor element that detects the first physical quantity;
A second sensor element for detecting a second physical quantity;
A first physical quantity signal processing circuit which operates by a first power supply voltage generated by the first regulator circuit and performs signal processing of the first sensor element;
A second physical quantity signal processing circuit which operates by a second power supply voltage generated by the second regulator circuit and performs signal processing of the second sensor element;
It is preferable to provide.
Thereby, a plurality of physical quantities can be detected.

[適用例9]
本発明の電子機器は、本発明の電子デバイスを備えることを特徴とする。
[Application Example 9]
An electronic apparatus according to the present invention includes the electronic device according to the present invention.

これにより、優れた特性を有する電子デバイスを備える電子機器を提供することができる。   Thereby, an electronic apparatus provided with the electronic device which has the outstanding characteristic can be provided.

[適用例10]
本発明の移動体は、本発明の電子デバイスを備えることを特徴とする。
[Application Example 10]
The moving body of the present invention includes the electronic device of the present invention.

これにより、優れた特性を有する電子デバイスを備える移動体を提供することができる。   Thereby, a moving object provided with the electronic device which has the outstanding characteristic can be provided.

本発明の第1実施形態に係る電子デバイスを示す斜視図である。1 is a perspective view showing an electronic device according to a first embodiment of the present invention. 図1に示す電子デバイスの断面図である。It is sectional drawing of the electronic device shown in FIG. 図1に示す電子デバイスが備えるセンサー素子(面内検出型)を示す平面図である。It is a top view which shows the sensor element (in-plane detection type) with which the electronic device shown in FIG. 1 is provided. 図1に示す電子デバイスが備えるセンサー素子(面外検出型)を示す平面図である。It is a top view which shows the sensor element (out-of-plane detection type) with which the electronic device shown in FIG. 1 is provided. 図1に示す電子デバイスの端子配置を示す裏面図である。It is a reverse view which shows the terminal arrangement | positioning of the electronic device shown in FIG. 図1に示す電子デバイスの作用を説明するための図である。It is a figure for demonstrating the effect | action of the electronic device shown in FIG. 本発明の第2実施形態に係る電子デバイスの端子配置を示す裏面図である。It is a back view which shows the terminal arrangement | positioning of the electronic device which concerns on 2nd Embodiment of this invention. 本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。1 is a perspective view illustrating a configuration of a mobile (or notebook) personal computer to which an electronic apparatus of the present invention is applied. 本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the mobile telephone (PHS is also included) to which the electronic device of this invention is applied. 本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the digital still camera to which the electronic device of this invention is applied. 本発明の移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the structure of the motor vehicle to which the mobile body of this invention is applied.

以下、電子デバイス、電子機器および移動体について、添付図面に示す好適な実施形態に基づいて詳細に説明する。   Hereinafter, an electronic device, an electronic apparatus, and a moving body will be described in detail based on preferred embodiments shown in the accompanying drawings.

1.電子デバイス
まず、本発明の電子デバイスについて説明する。
1. Electronic Device First, the electronic device of the present invention will be described.

<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る電子デバイスを示す斜視図、図2は、図1に示す電子デバイスの断面図である。なお、図1および図2では、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸およびZ軸を図示している。
<First Embodiment>
FIG. 1 is a perspective view showing an electronic device according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a cross-sectional view of the electronic device shown in FIG. In FIGS. 1 and 2, for convenience of explanation, the X axis, the Y axis, and the Z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other.

図1および図2に示すように、電子デバイス1は、3つのセンサー素子7X、7Y、7Zと、これらセンサー素子7X、7Y、7Zを収容するパッケージ6と、ICチップ8と、を有している。   As shown in FIGS. 1 and 2, the electronic device 1 includes three sensor elements 7X, 7Y, and 7Z, a package 6 that accommodates these sensor elements 7X, 7Y, and 7Z, and an IC chip 8. Yes.

(パッケージ)
パッケージ6は、凹部611を有する箱状のベース61と、凹部611の開口を塞いで接合された板状のリッド62とを有している。そして、凹部611がリッド62によって塞がれることにより形成された収容空間Sにセンサー素子7X、7Y、7Zが収納されている。収容空間Sは、減圧(真空)状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
(package)
The package 6 includes a box-shaped base 61 having a recess 611 and a plate-shaped lid 62 joined by closing the opening of the recess 611. The sensor elements 7X, 7Y, and 7Z are housed in the housing space S formed by closing the recess 611 with the lid 62. The storage space S may be in a reduced pressure (vacuum) state, or may be filled with an inert gas such as nitrogen, helium, or argon.

凹部611は、ベース61の上面に開放する第1凹部611aと、第1凹部611aの底面の中央部に開放する第2凹部611bと、を有している。   The recess 611 has a first recess 611a that opens to the upper surface of the base 61, and a second recess 611b that opens to the center of the bottom surface of the first recess 611a.

ベース61の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスや、各種ガラス材料を用いることができる。また、リッド62の構成材料としては、特に限定されないが、ベース61の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース61の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース61とリッド62の接合方法は、特に限定されず、例えば、接着材やろう材を介して接合することができる。本実施形態では、リッド62は、シームリング、低融点ガラス、接着剤等の接合部材63を介してベース61に接合されている。   Although it does not specifically limit as a constituent material of the base 61, Various ceramics, such as aluminum oxide, and various glass materials can be used. Further, the constituent material of the lid 62 is not particularly limited, but a member having a linear expansion coefficient approximate to that of the constituent material of the base 61 is preferable. For example, when the constituent material of the base 61 is ceramic as described above, an alloy such as Kovar is preferable. In addition, the joining method of the base 61 and the lid 62 is not specifically limited, For example, it can join via an adhesive material or a brazing material. In the present embodiment, the lid 62 is joined to the base 61 via a joining member 63 such as a seam ring, low-melting glass, or adhesive.

凹部611aの底面には、複数の接続端子641が形成されている。この複数の接続端子641は、それぞれ、ベース61に設けられた配線層643、644を介して、ベース61の底面に設けられた複数の端子642に電気的に接続されている。接続端子641等は、導電性を有していれば特に限定されないが、例えば、Cr(クロム)、W(タングステン)等のメタライズ層(下地層)に、Ni(ニッケル)、Au(金)、Ag(銀)、Cu(銅)等の各被膜を積層した金属被膜で構成されている。なお、端子642については、後に詳述する。   A plurality of connection terminals 641 are formed on the bottom surface of the recess 611a. The plurality of connection terminals 641 are electrically connected to a plurality of terminals 642 provided on the bottom surface of the base 61 via wiring layers 643 and 644 provided on the base 61, respectively. The connection terminal 641 and the like are not particularly limited as long as they have conductivity. For example, Ni (nickel), Au (gold), a metallization layer (underlayer) such as Cr (chrome), W (tungsten), etc. It is comprised by the metal film which laminated | stacked each film, such as Ag (silver) and Cu (copper). The terminal 642 will be described in detail later.

(ICチップ)
ICチップ8は、凹部611bの底面に接着剤等によって固定されている。ICチップ8は、複数の端子81を有し、各端子81が導電性ワイヤー101によって各接続端子641と電気的に接続されている。このICチップ8は、センサー素子7X、7Y、7Zを駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときにセンサー素子7X、7Y、7Zに生じる検出振動を検出する検出回路と、を有する。
(IC chip)
The IC chip 8 is fixed to the bottom surface of the recess 611b with an adhesive or the like. The IC chip 8 has a plurality of terminals 81, and each terminal 81 is electrically connected to each connection terminal 641 by the conductive wire 101. The IC chip 8 includes a drive circuit for driving and vibrating the sensor elements 7X, 7Y, and 7Z, and a detection circuit that detects detection vibration generated in the sensor elements 7X, 7Y, and 7Z when an angular velocity is applied.

また、ICチップ8の上面には、ポリイミド等の樹脂で構成された応力緩和層9が設けられており、この応力緩和層9上には、センサー素子7X、7Y、7Zに電気的に接続するための端子(図示せず)が露出して設けられている。   Further, a stress relaxation layer 9 made of a resin such as polyimide is provided on the upper surface of the IC chip 8, and the sensor elements 7X, 7Y, and 7Z are electrically connected on the stress relaxation layer 9. A terminal (not shown) is provided to be exposed.

センサー素子7X、7Y、7Zは、応力緩和層9上に導電性接着材を介して固定されている。これにより、センサー素子7X、7Y、7Zが有する各端子が導電性接着剤を介して応力緩和層9上の各端子に電気的に接続されている。導電性接着材としては、導電性および接着性を有していれば特に限定されず、例えば、シリコーン系、エポキシ系、アクリル系、ポリイミド系、ビスマレイミド系等の接着材に銀粒子等の導電性フィラーを分散させたものを用いることができる。   The sensor elements 7X, 7Y, and 7Z are fixed on the stress relaxation layer 9 via a conductive adhesive. Thereby, each terminal which sensor element 7X, 7Y, and 7Z has is electrically connected to each terminal on stress relaxation layer 9 via a conductive adhesive. The conductive adhesive is not particularly limited as long as it has conductivity and adhesiveness. For example, conductive adhesive such as silicone particles, epoxy-based, acrylic-based, polyimide-based, and bismaleimide-based conductive materials such as silver particles can be used. What disperse | distributed the property filler can be used.

ここで、センサー素子7Xは、X軸周りの角速度ωを検出するように配置され、センサー素子7Yは、Y軸周りの角速度ωを検出するように配置されている。また、センサー素子7Zは、Z軸周りの角速度ωを検出するように配置されている。 Here, the sensor element 7X is arranged to detect the angular velocity ω X around the X axis, and the sensor element 7Y is arranged to detect the angular velocity ω Y around the Y axis. The sensor element 7Z is arranged to detect an angular velocity omega Z around the Z axis.

なお、本実施形態では、ICチップ8がパッケージ6の内部に設けられているが、ICチップ8は、パッケージ6の外部に設けられていてもよい。この場合、センサー素子7X、7Y、7Zを直接パッケージ6に固定すればよい。   In this embodiment, the IC chip 8 is provided inside the package 6, but the IC chip 8 may be provided outside the package 6. In this case, the sensor elements 7X, 7Y, and 7Z may be directly fixed to the package 6.

(センサー素子)
図3は、図1に示す電子デバイスが備えるセンサー素子(面内検出型)を示す平面図、図4は、図1に示す電子デバイスが備えるセンサー素子(面外検出型)を示す平面図である。なお、図3および図4では、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸として、x軸、y軸およびz軸を図示しており、各軸を示す矢印の先端側を「+」、基端側を「−」とする。また、x軸に平行な方向を「x軸方向」、y軸に平行な方向を「y軸方向」、z軸に平行な方向を「z軸方向」という。また、+z軸方向側を「上」、−z軸方向側を「下」ともいう。また、各図では、説明の便宜上、各電極の図示を省略している。
(Sensor element)
3 is a plan view showing a sensor element (in-plane detection type) included in the electronic device shown in FIG. 1, and FIG. 4 is a plan view showing a sensor element (out-of-plane detection type) included in the electronic device shown in FIG. is there. 3 and 4, for convenience of explanation, the x axis, the y axis, and the z axis are illustrated as three axes orthogonal to each other, and “+” indicates the tip side of the arrow indicating each axis, and the base end. The side is “−”. A direction parallel to the x-axis is referred to as an “x-axis direction”, a direction parallel to the y-axis is referred to as a “y-axis direction”, and a direction parallel to the z-axis is referred to as a “z-axis direction”. The + z-axis direction side is also referred to as “upper”, and the −z-axis direction side is also referred to as “lower”. Moreover, in each figure, illustration of each electrode is abbreviate | omitted for convenience of explanation.

前述したように、電子デバイス1は、X軸周りの角速度ωを検出するセンサー素子7Xと、Y軸周りの角速度ωを検出するセンサー素子7Yと、Z軸周りの角速度ωを検出するセンサー素子7Zと、を備えている。以下、これらセンサー素子7X、7Y、7Zについて詳述する。なお、センサー素子7X、7Yは、配置が異なるだけで、互いに同様の構成であるため、以下では、センサー素子7Xについて代表的に説明する。 As described above, the electronic device 1 detects the sensor element 7X that detects the angular velocity ω X around the X axis, the sensor element 7Y that detects the angular velocity ω Y around the Y axis, and the angular velocity ω Z around the Z axis. And a sensor element 7Z. Hereinafter, the sensor elements 7X, 7Y, and 7Z will be described in detail. Since the sensor elements 7X and 7Y have the same configuration except for the arrangement, the sensor element 7X will be representatively described below.

≪面内検出型センサー素子≫
図3に示すセンサー素子7Xは、面内検出型の角速度検出素子(ジャイロ素子)である。このセンサー素子7Xは、圧電基板2と、圧電基板2に形成された電極(図示せず)と、を有している。
≪In-plane detection type sensor element≫
A sensor element 7X shown in FIG. 3 is an in-plane detection type angular velocity detection element (gyro element). The sensor element 7X includes the piezoelectric substrate 2 and electrodes (not shown) formed on the piezoelectric substrate 2.

−圧電基板−
圧電基板2の構成材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料が挙げられる。これらの中でも、圧電基板2の構成材料としては、水晶を用いることが好ましい。水晶を用いることで、他の材料と比較して優れた周波数温度特性を有するセンサー素子7Xが得られる。なお、以下では、圧電基板2を水晶で構成した場合について説明する。
-Piezoelectric substrate-
Examples of the constituent material of the piezoelectric substrate 2 include piezoelectric materials such as quartz, lithium tantalate, and lithium niobate. Among these, it is preferable to use quartz as a constituent material of the piezoelectric substrate 2. By using quartz, a sensor element 7X having excellent frequency temperature characteristics as compared with other materials can be obtained. Hereinafter, a case where the piezoelectric substrate 2 is made of quartz will be described.

圧電基板2は、水晶基板の結晶軸であるY軸(機械軸)およびX軸(電気軸)で規定されるXY平面に広がりを有し、Z軸(光軸)方向に厚みを有する板状をなしている。すなわち、圧電基板2は、Zカット水晶板で構成されている。なお、Z軸は、圧電基板2の厚さ方向と必ずしも一致している必要はなく、常温近傍における周波数の温度による変化を小さくする観点から、厚さ方向に対して若干傾けてもよい。具体的には、Zカット水晶板とは、Z軸に直交した面をX軸およびY軸の少なくとも一方を中心に0度〜10度の範囲で回転させた面が、主面となるようなカット角の水晶板を含む。
圧電基板2の厚さは、特に限定されず、40.0〜300.0μm程度とされる。
The piezoelectric substrate 2 has a plate shape that extends in the XY plane defined by the Y axis (mechanical axis) and the X axis (electric axis), which are crystal axes of the quartz substrate, and has a thickness in the Z axis (optical axis) direction. I am doing. That is, the piezoelectric substrate 2 is composed of a Z-cut quartz plate. Note that the Z-axis does not necessarily coincide with the thickness direction of the piezoelectric substrate 2, and may be slightly inclined with respect to the thickness direction from the viewpoint of reducing the change due to the temperature of the frequency near room temperature. Specifically, the Z-cut quartz plate is such that a surface obtained by rotating a surface orthogonal to the Z-axis within a range of 0 degrees to 10 degrees around at least one of the X-axis and the Y-axis is the main surface. Includes crystal plate with cut angle.
The thickness of the piezoelectric substrate 2 is not particularly limited, and is about 40.0 to 300.0 μm.

このような圧電基板2は、基部21と、駆動振動腕(第1駆動振動腕)221および駆動振動腕(第2駆動振動腕)222と、検出振動腕(第1検出振動腕)231および検出振動腕(第2検出振動腕)232と、調整振動腕241および調整振動腕242と、支持部(枠体)25と、4つの連結部261、262、263、264とを有し、これらが一体的に形成されている。   Such a piezoelectric substrate 2 includes a base 21, a drive vibration arm (first drive vibration arm) 221, a drive vibration arm (second drive vibration arm) 222, a detection vibration arm (first detection vibration arm) 231, and a detection. The vibration arm (second detection vibration arm) 232, the adjustment vibration arm 241 and the adjustment vibration arm 242, a support portion (frame body) 25, and four connection portions 261, 262, 263, and 264, It is integrally formed.

駆動振動腕221および駆動振動腕222は、それぞれ、基部21から−y軸方向に延出している。また、駆動振動腕221および駆動振動腕222は、x軸方向に沿って並んで配置されている。   The drive vibrating arm 221 and the drive vibrating arm 222 each extend from the base portion 21 in the −y axis direction. Further, the drive vibration arm 221 and the drive vibration arm 222 are arranged side by side along the x-axis direction.

この駆動振動腕221は、基部21から延出している腕部2211と、腕部2211の先端側に設けられていて腕部2211よりも幅の広い幅広部2212と、腕部2211の延出方向に沿って設けられている1対の溝(図示せず)と、を有する。同様に、駆動振動腕222は、基部21から延出している腕部2221と、腕部2221の先端側に設けられていて腕部2221よりも幅の広い幅広部2222と、腕部2221の延出方向に沿って設けられている1対の溝(図示せず)と、を有する。   The drive vibrating arm 221 includes an arm portion 2211 extending from the base portion 21, a wide portion 2212 that is provided on the distal end side of the arm portion 2211 and wider than the arm portion 2211, and an extending direction of the arm portion 2211 A pair of grooves (not shown) provided along the line. Similarly, the drive vibrating arm 222 includes an arm portion 2221 extending from the base portion 21, a wide portion 2222 provided on the distal end side of the arm portion 2221 and wider than the arm portion 2221, and an extension of the arm portion 2221. A pair of grooves (not shown) provided along the outgoing direction.

このような駆動振動腕221、222では、幅広部2212、2222(ハンマーヘッド)を設けることによって、角速度の検出感度を向上させるとともに、駆動振動腕221、222の長さを短くすることができる。また、溝を設けることによって、熱弾性損失やCI値を低減し、駆動振動腕221、222を効率的に駆動振動させることができる。なお、幅広部2212、2222は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。   In such driving vibration arms 221, 222, by providing the wide portions 2212, 2222 (hammer head), the detection sensitivity of the angular velocity can be improved and the length of the driving vibration arms 221, 222 can be shortened. Further, by providing the groove, the thermoelastic loss and the CI value can be reduced, and the drive vibrating arms 221 and 222 can be driven and vibrated efficiently. The wide portions 2212 and 2222 may be provided as necessary and may be omitted.

検出振動腕231および検出振動腕232は、それぞれ、基部21から+y軸方向に延出している。また、検出振動腕231および検出振動腕232は、x軸方向に沿って並んで配置されている。   The detection vibration arm 231 and the detection vibration arm 232 respectively extend from the base portion 21 in the + y axis direction. The detection vibrating arm 231 and the detection vibrating arm 232 are arranged side by side along the x-axis direction.

この検出振動腕231は、基部21から延出している腕部2311と、腕部2311の先端側に設けられていて腕部2311よりも幅の広い幅広部2312と、腕部2311の延出方向に沿って設けられている1対の溝(図示せず)と、を有する。同様に、検出振動腕232は、基部21から延出している腕部2321と、腕部2321の先端側に設けられていて腕部2321よりも幅の広い幅広部2322と、腕部2321の延出方向に沿って設けられている1対の溝(図示せず)と、を有する。   The detection vibrating arm 231 includes an arm portion 2311 extending from the base portion 21, a wide portion 2312 that is provided on the distal end side of the arm portion 2311 and wider than the arm portion 2311, and an extending direction of the arm portion 2311. A pair of grooves (not shown) provided along the line. Similarly, the detection vibrating arm 232 includes an arm portion 2321 extending from the base portion 21, a wide portion 2322 provided on the distal end side of the arm portion 2321 and wider than the arm portion 2321, and an extension of the arm portion 2321. A pair of grooves (not shown) provided along the outgoing direction.

このような検出振動腕231、232では、幅広部2312、2322を設けることによって、検出振動腕231、232の共振周波数(固有振動数)を低くしたり、検出振動腕231、232の長さを短くしたりすることができる。また、溝を設けることによって、検出振動を効率的に検出することができる。なお、幅広部2312、2322および溝は、それぞれ、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。   In such detection vibration arms 231 and 232, by providing the wide portions 2312 and 2322, the resonance frequency (natural frequency) of the detection vibration arms 231 and 232 can be lowered, or the length of the detection vibration arms 231 and 232 can be reduced. It can be shortened. In addition, the detection vibration can be efficiently detected by providing the groove. Note that the wide portions 2312 and 2322 and the groove may be provided as necessary and may be omitted.

調整振動腕241および調整振動腕242は、それぞれ、基部21から+y軸方向に延出している。また、調整振動腕241および調整振動腕242は、前述した検出振動腕231、232を挟んで、x軸方向に沿って並んで配置されている。   The adjustment vibration arm 241 and the adjustment vibration arm 242 respectively extend from the base portion 21 in the + y axis direction. Further, the adjustment vibration arm 241 and the adjustment vibration arm 242 are arranged side by side along the x-axis direction with the detection vibration arms 231 and 232 interposed therebetween.

この調整振動腕241は、基部21から延出している腕部2411と、腕部2411の先端側に設けられていて腕部2411よりも幅の広い幅広部2412と、を有する。同様に、調整振動腕242は、基部21から延出している腕部2421と、腕部2421の先端側に設けられていて腕部2421よりも幅の広い幅広部2422と、を有する。   The adjustment vibrating arm 241 includes an arm part 2411 extending from the base part 21, and a wide part 2412 provided on the distal end side of the arm part 2411 and wider than the arm part 2411. Similarly, the adjustment vibrating arm 242 includes an arm portion 2421 extending from the base portion 21, and a wide portion 2422 provided on the distal end side of the arm portion 2421 and wider than the arm portion 2421.

このような調整振動腕241、242では、幅広部2412、2422を設けることによって、調整振動腕241、242の共振周波数(固有振動数)を低くしたり、調整振動腕241、242の長さを短くしたりすることができる。なお、幅広部2412、2422は、必要に応じて設ければよく、省略してもよい。また、検出振動腕231、232と同様に、調整振動腕241、242の主面に溝を設けてもよい。   In such adjustment vibration arms 241 and 242, the wide portions 2412 and 2422 are provided to reduce the resonance frequency (natural frequency) of the adjustment vibration arms 241 and 242 or to reduce the length of the adjustment vibration arms 241 and 242. It can be shortened. Note that the wide portions 2412 and 2422 may be provided as necessary and may be omitted. Similarly to the detection vibrating arms 231 and 232, grooves may be provided on the main surfaces of the adjustment vibrating arms 241 and 242.

支持部25は、連結部261、262、263、264を介して基部21を支持する機能を有している。この支持部25は、基部21に対して−y軸方向側に配置されていてx軸方向に沿って延びている長尺状をなす部分251、部分251の両端部から+y軸方向に沿って延びている2つの部分252、253と、を有している。   The support portion 25 has a function of supporting the base portion 21 via the connecting portions 261, 262, 263, and 264. The support portion 25 is disposed on the −y axis direction side with respect to the base portion 21 and has a long shape 251 extending along the x axis direction, and from both ends of the portion 251 along the + y axis direction. Two portions 252 and 253 extending.

連結部261は、長尺状をなし、一端部が部分252の+y軸方向側の端部に接続され、他端部が基部21の−x軸方向側の端部に接続されていて、基部21と支持部25とを連結している。同様に、連結部262は、長尺状をなし、一端部が部分253の+y軸方向側の端部に接続され、他端部が基部21の+x軸方向側の端部に接続されていて、基部21と支持部25とを連結している。   The connecting portion 261 has a long shape, one end is connected to the + y-axis direction end of the portion 252, and the other end is connected to the −x-axis-side end of the base 21. 21 and the support part 25 are connected. Similarly, the connecting portion 262 has an elongated shape, one end is connected to the end of the portion 253 on the + y axis direction side, and the other end is connected to the end of the base portion 21 on the + x axis direction side. The base portion 21 and the support portion 25 are connected.

また、連結部263は、長尺状をなし、一端部が部分251の中央部に接続され、他端部が基部21の−x軸方向側の端部に接続されていて、基部21と支持部25とを連結している。同様に、連結部264は、長尺状をなし、一端部が部分251の中央部に接続され、他端部が基部21の+x軸方向側の端部に接続されていて、基部21と支持部25とを連結している。   The connecting portion 263 has a long shape, one end is connected to the center of the portion 251, and the other end is connected to the end on the −x axis direction side of the base 21, and is supported by the base 21. The part 25 is connected. Similarly, the connecting portion 264 has an elongated shape, one end is connected to the central portion of the portion 251, and the other end is connected to the end of the base portion 21 on the + x-axis direction side, and supports the base portion 21. The part 25 is connected.

このような連結部261、262、263、264は、それぞれ、途中に屈曲または湾曲した複数の部分を有する。これにより、連結部261、262、263、264の様々な方向での柔軟性を高めることができる。そのため、センサー素子7Xの耐衝撃性を高めたり、連結部261、262、263、264の曲げ変形を伴う基部21の不要な振動の周波数を駆動振動や検出振動の周波数から遠ざけて検出特性を高めたりすることができる。また、センサー素子7Xの小型化を図ることができる。   Each of such connecting portions 261, 262, 263, 264 has a plurality of portions bent or curved in the middle. Thereby, the softness | flexibility in the various directions of the connection parts 261,262,263,264 can be improved. Therefore, the shock resistance of the sensor element 7X is increased, and the detection characteristics are improved by keeping the frequency of unnecessary vibration of the base portion 21 accompanied by bending deformation of the connecting portions 261, 262, 263, and 264 away from the frequency of driving vibration and detection vibration. Can be. Further, the sensor element 7X can be reduced in size.

−電極−
前述した圧電基板2の表面に設けられている電極は、図示しないが、駆動信号電極と、駆動接地電極と、検出信号電極と、検出接地電極と、を有している。かかる電極は、導電性を有していれば特に限定されないが、例えば、Cr(クロム)、W(タングステン)などのメタライズ層(下地層)に、Ni(ニッケル)、Au(金)、Ag(銀)、Cu(銅)などの各被膜を積層した金属被膜で構成することができる。
-Electrode-
The electrodes provided on the surface of the piezoelectric substrate 2 described above have a drive signal electrode, a drive ground electrode, a detection signal electrode, and a detection ground electrode, although not shown. Such an electrode is not particularly limited as long as it has electrical conductivity. For example, Ni (nickel), Au (gold), Ag ( It can be composed of a metal film obtained by laminating films such as silver) and Cu (copper).

以上説明したように構成されたセンサー素子7Xでは、センサー素子7Xに角速度が加わらない状態において、駆動信号電極と駆動接地電極との間に電界が生じると、駆動振動腕221、222は、図3中矢印Aで示すようにx軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動(駆動振動)を行う。   In the sensor element 7X configured as described above, when an electric field is generated between the drive signal electrode and the drive ground electrode in a state where no angular velocity is applied to the sensor element 7X, the drive vibrating arms 221 and 222 are As shown by the middle arrow A, bending vibration (drive vibration) is performed so as to be opposite to each other in the x-axis direction.

また、この駆動振動に伴って、調整振動腕241、242も、x軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動(調整振動)を行う。   Further, along with this drive vibration, the adjustment vibration arms 241 and 242 also perform bending vibration (adjustment vibration) so as to be opposite to each other in the x-axis direction.

この駆動振動を行っている状態で、y軸方向に沿った中心軸a1周りの角速度ωがセンサー素子7Xに加わると、駆動振動腕221、222にコリオリ力が作用し、このコリオリ力により、駆動振動腕221、222がz軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動する。これに伴い、検出振動腕231、232は、図3中Bで示すようにz軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動(検出振動)する。この検出振動により、検出振動腕231、232に発生した電荷を、検出信号電極から検出信号として取り出し、この検出信号に基づいて角速度が求められる。   When an angular velocity ω around the central axis a1 along the y-axis direction is applied to the sensor element 7X in a state where this driving vibration is performed, Coriolis force acts on the driving vibration arms 221 and 222, and driving is performed by this Coriolis force. The vibrating arms 221 and 222 bend and vibrate so as to be opposite to each other in the z-axis direction. Accordingly, the detection vibrating arms 231 and 232 vibrate (detection vibration) so as to be opposite to each other in the z-axis direction as indicated by B in FIG. Due to this detection vibration, charges generated in the detection vibration arms 231 and 232 are taken out from the detection signal electrode as a detection signal, and the angular velocity is obtained based on this detection signal.

なお、このとき、調整振動腕241、242も、駆動振動腕221、222と同様に、z軸方向に互いに反対方向となるように屈曲振動するが、この屈曲振動による電荷は出力されない。すなわち、コリオリ力の作用の有無にかかわらず、調整振動腕241、242から出力される電荷は、基本的に、前述した調整振動によるもののみであって一定である。これにより、圧電基板2の製造バラツキ等に起因する漏れ出力を調整することができる。   At this time, similarly to the drive vibration arms 221 and 222, the adjustment vibration arms 241 and 242 also bend and vibrate so as to be opposite to each other in the z-axis direction, but no charge is output due to this bending vibration. That is, regardless of the presence or absence of the action of the Coriolis force, the charges output from the adjustment vibration arms 241 and 242 are basically only due to the adjustment vibration described above and are constant. Thereby, the leak output resulting from the manufacturing variation of the piezoelectric substrate 2, etc. can be adjusted.

以上説明したようなセンサー素子7Xは、中心軸a1が図1および図2に示すX軸に平行となるように設置されている。これにより、センサー素子7XによりX軸周りの角速度ωを検出することができる。また、センサー素子7Yは、中心軸a1が図1および図2に示すY軸に平行となるように設置されている。これにより、センサー素子7YによりY軸周りの角速度ωを検出することができる。 The sensor element 7X as described above is installed such that the central axis a1 is parallel to the X axis shown in FIGS. Thereby, the angular velocity ω X around the X axis can be detected by the sensor element 7X. The sensor element 7Y is installed so that the central axis a1 is parallel to the Y axis shown in FIGS. Thereby, the angular velocity ω Y around the Y axis can be detected by the sensor element 7Y.

≪面外検出型センサー素子≫
図4に示すセンサー素子7Zは、面外検出型の角速度検出素子(ジャイロ素子)である。このセンサー素子7Zは、圧電基板4と、圧電基板4の表面に形成された電極(図示せず)と、を有している。なお、以下では、前述したセンサー素子7Xと同様の事項については、その説明を省略する。
≪Out-of-plane detection sensor element≫
A sensor element 7Z shown in FIG. 4 is an out-of-plane detection type angular velocity detection element (gyro element). The sensor element 7Z includes a piezoelectric substrate 4 and electrodes (not shown) formed on the surface of the piezoelectric substrate 4. In the following, the description of matters similar to those of the sensor element 7X described above is omitted.

−圧電基板−
圧電基板4は、Zカット水晶板で構成されている。この圧電基板4は、基部41と、基部41から延出している駆動振動腕421〜424および検出振動腕431、432と、固定部441、442と、固定部441と基部41とを連結している支持梁451、452と、固定部442と基部41とを連結している支持梁453、454と、を有している。なお、この圧電基板4は、図4に示すように、左右対称に形成されている。
-Piezoelectric substrate-
The piezoelectric substrate 4 is composed of a Z-cut quartz plate. The piezoelectric substrate 4 includes a base 41, driving vibration arms 421 to 424 and detection vibration arms 431 and 432 extending from the base 41, fixing parts 441 and 442, a fixing part 441, and a base 41. Support beams 451 and 452, and support beams 453 and 454 that connect the fixed portion 442 and the base portion 41. The piezoelectric substrate 4 is formed symmetrically as shown in FIG.

基部41は、中心部に位置する本体部411と、本体部411から−x軸方向に延出している連結腕412と、本体部411から+x軸方向に延出している連結腕413と、を有している。なお、連結腕412、413の上面および下面のそれぞれに、その長さ方向(x軸方向)に延在する有底の溝を設けてもよい。   The base 41 includes a main body portion 411 located at the center, a connecting arm 412 extending from the main body portion 411 in the −x-axis direction, and a connecting arm 413 extending from the main body portion 411 in the + x-axis direction. Have. In addition, you may provide the bottomed groove | channel extended in the length direction (x-axis direction) in each of the upper surface and lower surface of the connection arms 412,413.

駆動振動腕421は、基部41の連結腕412の先端部から+y軸方向に延出している。また、駆動振動腕422は、連結腕412の先端部から−y軸方向に延出している。同様に、駆動振動腕423は、連結腕413の先端部から+y軸方向に延出している。また、駆動振動腕424は、連結腕413の先端部から−y軸方向に延出している。   The drive vibrating arm 421 extends in the + y-axis direction from the distal end portion of the connecting arm 412 of the base portion 41. The drive vibrating arm 422 extends in the −y-axis direction from the distal end portion of the connecting arm 412. Similarly, the drive vibration arm 423 extends in the + y-axis direction from the distal end portion of the connection arm 413. The drive vibrating arm 424 extends in the −y axis direction from the distal end portion of the connecting arm 413.

この駆動振動腕421〜424は、それぞれ、基部41から延出している腕部4211〜4241と、腕部4211〜4241の先端側に設けられていて腕部4211〜4241よりも幅の大きい幅広部4212〜4242と、腕部4211〜4241の延出方向に沿って設けられている溝(図示せず)と、を有している。   Each of the drive vibrating arms 421 to 424 includes an arm part 4211 to 4241 extending from the base part 41 and a wide part that is provided on the distal end side of the arm part 4211 to 4241 and is wider than the arm part 4211 to 4241. 4212 to 4242 and grooves (not shown) provided along the extending direction of the arm portions 4211 to 4241.

検出振動腕431は、基部41の本体部411から+y軸方向に延出している。また、検出振動腕432は、本体部411から−y軸方向に延出している。   The detection vibrating arm 431 extends in the + y-axis direction from the main body 411 of the base 41. Further, the detection vibrating arm 432 extends in the −y axis direction from the main body 411.

この検出振動腕431、432は、それぞれ、基部41から延出している腕部4311、4321と、腕部4311、4321の先端側に設けられていて腕部4311、4321よりも幅の大きい幅広部4312、4322と、腕部4311、4321の延出方向に沿って設けられている溝(図示せず)と、を有している。   The detection vibrating arms 431 and 432 are arm portions 4311 and 4321 extending from the base portion 41 and wide portions provided on the distal ends of the arm portions 4311 and 4321 and having a width wider than the arm portions 4311 and 4321, respectively. 4312 and 4322, and grooves (not shown) provided along the extending direction of the arm portions 4311 and 4321.

固定部441は、基部41に対して+y軸方向側に位置し、x軸方向に延在している。一方、固定部442は、基部41に対して−y軸方向側に位置し、x軸方向に延在している。   The fixed portion 441 is located on the + y axis direction side with respect to the base portion 41 and extends in the x axis direction. On the other hand, the fixed portion 442 is located on the −y axis direction side with respect to the base portion 41 and extends in the x axis direction.

支持梁451は、駆動振動腕421と検出振動腕431との間を通って基部41の本体部411と固定部441とを連結している。また、支持梁452は、駆動振動腕423と検出振動腕431との間を通って基部41の本体部411と固定部441とを連結している。同様に、支持梁453は、駆動振動腕422と検出振動腕432との間を通って基部41の本体部411と固定部442とを連結している。また、支持梁454は、駆動振動腕424と検出振動腕432との間を通って基部41の本体部411と固定部442とを連結している。   The support beam 451 passes between the drive vibration arm 421 and the detection vibration arm 431 and connects the main body portion 411 and the fixed portion 441 of the base 41. Further, the support beam 452 passes between the drive vibration arm 423 and the detection vibration arm 431 and connects the main body portion 411 and the fixing portion 441 of the base portion 41. Similarly, the support beam 453 passes between the drive vibration arm 422 and the detection vibration arm 432 and connects the main body portion 411 and the fixed portion 442 of the base portion 41. Further, the support beam 454 passes between the driving vibration arm 424 and the detection vibration arm 432 and connects the main body portion 411 and the fixing portion 442 of the base portion 41.

各支持梁451〜454は、長尺状をなし、その途中に屈曲または湾曲した複数の部分を有している。   Each of the support beams 451 to 454 has a long shape, and has a plurality of bent or curved portions in the middle thereof.

−電極−
前述した圧電基板4の表面に設けられている電極は、図示しないが、駆動信号電極と、駆動接地電極と、検出信号電極と、検出接地電極と、を有している。
-Electrode-
The electrodes provided on the surface of the piezoelectric substrate 4 described above have a drive signal electrode, a drive ground electrode, a detection signal electrode, and a detection ground electrode, although not shown.

以上説明したように構成されたセンサー素子7Zでは、センサー素子7Zに角速度が加わらない状態において、駆動信号電極と駆動接地電極との間に電界が生じると、各駆動振動腕421〜424が図4中矢印Cに示す方向に屈曲振動(駆動振動)を行う。このとき、駆動振動腕421、422と駆動振動腕423、424とが図4にて左右対称の振動を行っているため、基部41および検出振動腕431、432は、ほとんど振動しない。   In the sensor element 7Z configured as described above, when an electric field is generated between the drive signal electrode and the drive ground electrode in a state where the angular velocity is not applied to the sensor element 7Z, each of the drive vibrating arms 421 to 424 is shown in FIG. Bending vibration (drive vibration) is performed in the direction indicated by the middle arrow C. At this time, since the drive vibration arms 421 and 422 and the drive vibration arms 423 and 424 are vibrating symmetrically in FIG. 4, the base 41 and the detection vibration arms 431 and 432 hardly vibrate.

この駆動振動を行っている状態で、z軸に沿った中心軸a2(重心)周りの角速度ωがセンサー素子7Zに加わると、検出振動(検出モードの振動)が励振される。具体的には、駆動振動腕421〜424および基部41の連結腕412、413に図4中矢印Dで示す方向のコリオリの力が働き、新たな振動が励起される。これに伴い、この連結腕412、413の振動を打ち消すように、検出振動腕431、432に図4中矢印Eに示す方向の検出振動が励起される。そして、この検出振動により検出振動腕431、432に発生した電荷を、検出信号電極から検出信号として取り出し、この検出信号に基づいて角速度が求められる。   When the angular velocity ω around the central axis a2 (center of gravity) along the z-axis is applied to the sensor element 7Z in the state where the driving vibration is performed, the detection vibration (vibration in the detection mode) is excited. Specifically, the Coriolis force in the direction indicated by the arrow D in FIG. 4 acts on the drive vibrating arms 421 to 424 and the connecting arms 412 and 413 of the base 41 to excite new vibrations. Accordingly, detection vibrations in the direction indicated by arrow E in FIG. 4 are excited in the detection vibration arms 431 and 432 so as to cancel the vibrations of the connecting arms 412 and 413. Then, the charges generated in the detection vibrating arms 431 and 432 by this detection vibration are taken out from the detection signal electrodes as detection signals, and the angular velocity is obtained based on the detection signals.

以上説明したようなセンサー素子7Zは、中心軸a2が図1および図2に示すZ軸に平行となるように設置されている。これにより、センサー素子7ZによりZ軸周りの角速度ωを検出することができる。 The sensor element 7Z as described above is installed such that the central axis a2 is parallel to the Z axis shown in FIGS. Thereby, the angular velocity ω Z around the Z axis can be detected by the sensor element 7Z.

(端子配置)
以下、電子デバイス1の端子642について詳述する。
(Terminal arrangement)
Hereinafter, the terminal 642 of the electronic device 1 will be described in detail.

図5は、図1に示す電子デバイスの端子配置を示す裏面図、図6は、図1に示す電子デバイスの作用を説明するための図である。   5 is a back view showing the terminal arrangement of the electronic device shown in FIG. 1, and FIG. 6 is a diagram for explaining the operation of the electronic device shown in FIG.

ベース61の底面(実装面)に設けられた複数の端子642は、2つの電源端子642a1、642a2と、4つの外部容量端子642b1〜642b4と、その他の複数の端子642c1〜642c10および4つの端子642d1〜642d4と、を含んでいる。   The plurality of terminals 642 provided on the bottom surface (mounting surface) of the base 61 include two power supply terminals 642a1 and 642a2, four external capacitor terminals 642b1 to 642b4, a plurality of other terminals 642c1 to 642c10, and four terminals 642d1. -642d4.

電源端子642a1、642a2は、測定装置30の端子31a1、31a2に接続され、それぞれ、外部電源からの電源電圧が入力される端子であり、例えば、電源端子642a1は、ICチップ8に含まれるインターフェース回路を駆動する電源電圧が入力される端子(VDDI)であり、電源端子642a2は、ICチップ8全体の動作に用いる電源電圧が入力される端子(VDD)である。   The power supply terminals 642a1 and 642a2 are connected to the terminals 31a1 and 31a2 of the measuring apparatus 30 and are terminals to which a power supply voltage from an external power supply is input. For example, the power supply terminal 642a1 is an interface circuit included in the IC chip 8. Is a terminal (VDDI) to which a power supply voltage for driving is input, and the power supply terminal 642a2 is a terminal (VDD) to which a power supply voltage used for the operation of the entire IC chip 8 is input.

外部容量端子642b1〜642b4は、測定装置30の端子31b1〜31b4に接続され、それぞれ、ICチップ8内部の電源電圧の安定化を図るためのコンデンサが接続される端子であり、例えば、外部容量端子642b1は、ICチップ8に含まれるインターフェース回路の電源電圧の安定化を図るためのコンデンサが接続される端子(VDDL)であり、外部容量端子642b2は、センサー素子7Xを駆動する駆動回路の電源電圧の安定化を図るためのコンデンサが接続される端子(VDDMX)であり、外部容量端子642b3は、センサー素子7Zを駆動する駆動回路の電源電圧の安定化を図るためのコンデンサが接続される端子(VDDMZ)であり、外部容量端子642b4は、センサー素子7Yを駆動する駆動回路の電源電圧の安定化を図るためのコンデンサが接続される端子(VDDMY)である。   The external capacitance terminals 642b1 to 642b4 are connected to the terminals 31b1 to 31b4 of the measuring device 30 and are connected to capacitors for stabilizing the power supply voltage inside the IC chip 8, respectively. For example, the external capacitance terminals 642b1 is a terminal (VDDL) to which a capacitor for stabilizing the power supply voltage of the interface circuit included in the IC chip 8 is connected, and the external capacitance terminal 642b2 is a power supply voltage of the drive circuit that drives the sensor element 7X. The external capacitor terminal 642b3 is a terminal to which a capacitor for stabilizing the power supply voltage of the drive circuit that drives the sensor element 7Z is connected (VDDMX). VDDMZ), and the external capacitor terminal 642b4 is a drive circuit for driving the sensor element 7Y. Source is a terminal to which the capacitor for stabilizing the voltage is connected (VDDMY).

端子642c10は、測定装置30の端子31c10に接続され、ICチップ8に含まれるインターフェース回路から外部へ信号を出力する信号出力端子(MISO)であり、端子642c10を用いた通信方式としては、例えば、SPI(登録商標)(Serial Peripheral Interface)が用いられる。他の端子642c1〜642c9は、測定装置30の端子31c1〜31c9に接続され、例えば、端子642c9は、ICチップ8に含まれるインターフェース回路に信号を入力する信号入力端子(MOSI)であり、端子642c6、642c7は、通信方式としてI2C(登録商標)を選択したときに用いる端子(I2C_DA、I2C_CL)であり、端子642c1は、通信方式を選択する信号が入力される端子(SS)であり、端子642c1を用いることで、通信方式をSPIとI2Cとで選択できるようになっている。   The terminal 642c10 is a signal output terminal (MISO) that is connected to the terminal 31c10 of the measuring device 30 and outputs a signal from an interface circuit included in the IC chip 8 to the outside. As a communication method using the terminal 642c10, for example, SPI (registered trademark) (Serial Peripheral Interface) is used. The other terminals 642c1 to 642c9 are connected to the terminals 31c1 to 31c9 of the measuring apparatus 30. For example, the terminal 642c9 is a signal input terminal (MOSI) that inputs a signal to an interface circuit included in the IC chip 8, and the terminal 642c6 , 642c7 are terminals (I2C_DA, I2C_CL) used when I2C (registered trademark) is selected as the communication system, and the terminal 642c1 is a terminal (SS) to which a signal for selecting the communication system is input, and the terminal 642c1 By using, the communication method can be selected between SPI and I2C.

また、端子642c2は、例えば、ICチップ8内のデータ更新のタイミングを計るのに用いる端子(DRY)である。端子642c3、642c4は、例えば、それぞれ、電気的に開放された端子(NC)である。端子642c8は、例えば、クロック信号が入力される端子(SCLK)である。端子642c5は、基準電位に接続される端子(GND)である。端子642d1〜642d4は、ICチップ8に設定情報を書き込む際に用いる電源電圧が入力される端子(VPP)等である。   The terminal 642c2 is a terminal (DRY) used to measure the timing of data update in the IC chip 8, for example. The terminals 642c3 and 642c4 are, for example, electrically opened terminals (NC), respectively. The terminal 642c8 is, for example, a terminal (SCLK) to which a clock signal is input. The terminal 642c5 is a terminal (GND) connected to the reference potential. Terminals 642d1 to 642d4 are terminals (VPP) to which a power supply voltage used when setting information is written in the IC chip 8 is input.

以上のような機能を有する各端子は、ベース61の底面の外周に沿って並んで配置されている。   The terminals having the functions as described above are arranged side by side along the outer periphery of the bottom surface of the base 61.

具体的に説明すると、パッケージ6のベース61は、図5に示すように、平面視で、互いに対向する第1辺60aおよび第2辺60bと、第1辺60aおよび第2辺60bに対して交差する方向に延びていて互いに対向する第3辺60cおよび第4辺60dと、を含む矩形の外形を有する。本実施形態では、第1辺60aおよび第2辺60bは互いに平行であり、第3辺60cおよび第4辺60dは第1辺60aおよび第2辺60bに対して直交している。   More specifically, as shown in FIG. 5, the base 61 of the package 6 has a first side 60a and a second side 60b, and a first side 60a and a second side 60b that face each other in plan view. It has a rectangular outer shape including a third side 60c and a fourth side 60d that extend in the intersecting direction and face each other. In the present embodiment, the first side 60a and the second side 60b are parallel to each other, and the third side 60c and the fourth side 60d are orthogonal to the first side 60a and the second side 60b.

そして、第1辺60aに沿って、端子642c1、電源端子642a1、端子642c2、外部容量端子642b1がこの順に並んで配置されている。また、第2辺60bに沿って、外部容量端子642b2、端子642c3、電源端子642a2、端子642c4がこの順に並んで配置されている。また、第3辺60cに沿って、端子642c5、端子642c6、端子642c7、外部容量端子642b3がこの順に並んでいる。また、第4辺60dに沿って、外部容量端子642b4、端子642c8、端子642c9、端子642c10がこの順に並んで配置されている。   A terminal 642c1, a power supply terminal 642a1, a terminal 642c2, and an external capacitance terminal 642b1 are arranged in this order along the first side 60a. Further, the external capacitor terminal 642b2, the terminal 642c3, the power supply terminal 642a2, and the terminal 642c4 are arranged in this order along the second side 60b. Further, the terminal 642c5, the terminal 642c6, the terminal 642c7, and the external capacitor terminal 642b3 are arranged in this order along the third side 60c. Further, the external capacitor terminal 642b4, the terminal 642c8, the terminal 642c9, and the terminal 642c10 are arranged in this order along the fourth side 60d.

ここで、電源端子642a1は、ベース61の第1辺60a側に配置され、電源端子642a2は、ベース61の中心Cより第2辺60b側に配置されている。また、信号出力端子である端子642c10は、ベース61の中心Cより第4辺60d側に配置されている。   Here, the power terminal 642a1 is arranged on the first side 60a side of the base 61, and the power terminal 642a2 is arranged on the second side 60b side from the center C of the base 61. The terminal 642c10 that is a signal output terminal is arranged on the fourth side 60d side from the center C of the base 61.

特に、電源端子642a1および端子642c10は、互いにベース61(実装面)の中心Cに対して90度回転対称、180度回転対称および270度回転対称となる位置を避けて配置されている。換言すれば、電源端子642a1とベース61(実装面)の中心に対して90度回転対称となる位置と、180度回転対称となる位置と、270度回転対称となる位置とを避けて、端子642c10が配置されている。すなわち、図6に示すように、ベース61をその中心Cまわりに90°、180°、270°のいずれの角度で回転した状態で測定装置30に誤装着されたとき、端子642c10は、平面視で、電源端子642a1、642a2に接続されるべき端子31a1、31a2に重ならないように配置されている。   In particular, the power supply terminal 642a1 and the terminal 642c10 are disposed so as to avoid positions that are 90 ° rotationally symmetric, 180 ° rotationally symmetric, and 270 ° rotationally symmetric with respect to the center C of the base 61 (mounting surface). In other words, avoid the positions that are 90 degree rotationally symmetric, 180 degree rotationally symmetric, and 270 degree rotationally symmetric with respect to the center of the power supply terminal 642a1 and the base 61 (mounting surface). 642c10 is arranged. That is, as shown in FIG. 6, when the base 61 is erroneously attached to the measuring apparatus 30 with the base 61 rotated about its center C at any angle of 90 °, 180 °, and 270 °, the terminal 642c10 is viewed in plan view. Thus, the terminals 31a1 and 31a2 to be connected to the power supply terminals 642a1 and 642a2 are arranged so as not to overlap.

このような電子デバイス1によれば、測定装置30(検査装置)に対して正規の向き(角度)とは異なる向き(角度)で誤って装着されたとしても、信号出力端子である端子642c10に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイス1に与える悪影響を低減することができる。   According to such an electronic device 1, even if it is erroneously attached to the measuring apparatus 30 (inspection apparatus) in an orientation (angle) different from the normal orientation (angle), the signal output terminal 642c10 is attached. Input of the power supply voltage can be prevented, and as a result, adverse effects on the electronic device 1 can be reduced.

また、電子デバイス1が実装基板に対して正規の向き(角度)とは異なる向き(角度)で誤って実装されたとしても、信号出力端子である端子642c10に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイス1に与える悪影響を低減することができる。そのように電子デバイス1が実装基板に誤って実装された場合は、実装基板における電子デバイス1が実装される接続端子の機能を、電子デバイス1の向きに合わせた正しい機能に切り替えることができる。すなわち、誤った向き(角度)で実装された電子デバイス1の実装端子の配置に合わせて、実装基板側の接続端子の機能を切り替えることができる。このように切り替える方法は、実装基板から電子デバイス1を取り外すことが困難である場合に有効である。   Further, even when the electronic device 1 is mistakenly mounted on the mounting substrate in an orientation (angle) different from the normal orientation (angle), the power supply voltage is prevented from being input to the signal output terminal 642c10. As a result, adverse effects on the electronic device 1 can be reduced. As described above, when the electronic device 1 is erroneously mounted on the mounting board, the function of the connection terminal on which the electronic device 1 is mounted on the mounting board can be switched to a correct function according to the direction of the electronic device 1. That is, the function of the connection terminal on the mounting board side can be switched in accordance with the arrangement of the mounting terminals of the electronic device 1 mounted in the wrong direction (angle). This switching method is effective when it is difficult to remove the electronic device 1 from the mounting board.

なお、本実施形態では、実装面が略矩形をなしていて4回対称の外形をなす場合を例に説明しているが、これに限定されず、実装面の外形がn回対称(ただし、nは2以上の整数である)である場合、360°を前記nで割った角度をθとし、1以上であって前記nよりも小さい整数をmとしたとき、電源端子および信号出力端子は、互いに実装面の中心に対して(m×θ°)回転対称となる位置を避けて配置されていればよい。   In the present embodiment, the case where the mounting surface is substantially rectangular and has a four-fold symmetric outer shape is described as an example. However, the present invention is not limited to this, and the outer shape of the mounting surface is n-fold symmetric (however, n is an integer of 2 or more), when θ is an angle obtained by dividing 360 ° by n and m is an integer of 1 or more and smaller than n, the power supply terminal and the signal output terminal are It is only necessary to avoid the position (m × θ °) that is rotationally symmetric with respect to the center of the mounting surface.

また、電源端子642a1、642a2(第1、2電源端子)は、互いにベース61(実装面)の中心Cに対して180度回転対称となる位置に配置されている。すなわち、図6(a)に示すように、ベース61をその中心Cまわりに180°回転した状態で測定装置30に誤装着されたり実装基板に実装されたとき、平面視で、電源端子642a1が、電源端子642a2に接続されるべき端子31a2に重なり、かつ、電源端子642a2が、電源端子642a1に接続されるべき端子31a1に重なるように配置されている。これにより、測定装置30(検査装置)や実装基板に対して正規の向きから180度回転した向き(角度)で誤って装着(実装)されたとしても、電源電圧が電源端子642a1、642a2に入力されることとなり、信号出力端子である端子642c10に電源電圧が入力されることを防止することができる。   The power supply terminals 642a1 and 642a2 (first and second power supply terminals) are arranged at positions that are 180 degrees rotationally symmetric with respect to the center C of the base 61 (mounting surface). That is, as shown in FIG. 6 (a), when the base 61 is erroneously attached to the measuring apparatus 30 and is mounted on the mounting substrate in a state where the base 61 is rotated about its center C, the power supply terminal 642a1 is seen in plan view. The power supply terminal 642a2 is arranged so as to overlap the terminal 31a2 to be connected, and the power supply terminal 642a2 is arranged to overlap the terminal 31a1 to be connected to the power supply terminal 642a1. As a result, even if the measurement device 30 (inspection device) or the mounting substrate is erroneously mounted (mounted) in a direction (angle) rotated 180 degrees from the normal direction, the power supply voltage is input to the power supply terminals 642a1 and 642a2. Thus, it is possible to prevent the power supply voltage from being input to the terminal 642c10 which is a signal output terminal.

また、信号出力端子である端子642c10は、ICチップ8に含まれるデジタル通信回路からのデジタル信号を出力する端子、または、ICチップ8に含まれるアナログ通信回路からのアナログ信号を出力する端子である。したがって、測定装置30(検査装置)や実装基板に対して誤った向き(角度)で装着(実装)されたとしても、デジタル通信回路またはアナログ通信回路に電源電圧が入力されるのを防止することができる。   A terminal 642c10 that is a signal output terminal is a terminal that outputs a digital signal from a digital communication circuit included in the IC chip 8, or a terminal that outputs an analog signal from an analog communication circuit included in the IC chip 8. . Therefore, even if the measurement device 30 (inspection device) or the mounting board is mounted (mounted) in the wrong direction (angle), the power supply voltage is prevented from being input to the digital communication circuit or the analog communication circuit. Can do.

また、外部容量端子642b1〜642b4は、ICチップ8に含まれるレギュレーター回路に電気的に接続されている。そして、電源端子642a1、642a2および外部容量端子642b1〜642b4は、互いにベース61(実装面)の中心Cに対して、90度回転対称、180度回転対称および270度回転対称のいずれかとなる位置を避けて配置されている。換言すれば、電源端子642a1および642a2と、ベース61(実装面)の中心Cに対して、90度回転対称となる位置と、180度回転対称となる位置と、270度回転対称となる位置と、の少なくとも1つを避けて、外部容量端子642b1〜642b4が配置されている。これにより、測定装置30(検査装置)に対して誤った向き(角度)で装着(実装)されたとしても、外部容量端子642b1〜642b4を介してレギュレーター回路に電源電圧が入力されることを防止することができ、その結果、電子デバイス1に与える悪影響を低減することができる。   The external capacitor terminals 642b1 to 642b4 are electrically connected to a regulator circuit included in the IC chip 8. The power supply terminals 642a1 and 642a2 and the external capacitor terminals 642b1 to 642b4 are positioned at any one of 90 degree rotational symmetry, 180 degree rotational symmetry, and 270 degree rotational symmetry with respect to the center C of the base 61 (mounting surface). Arranged to avoid. In other words, with respect to the power terminals 642a1 and 642a2 and the center C of the base 61 (mounting surface), a position that is 90 degree rotationally symmetric, a position that is 180 degree rotationally symmetric, and a position that is 270 degree rotationally symmetric. The external capacitance terminals 642b1 to 642b4 are arranged so as to avoid at least one of. This prevents the power supply voltage from being input to the regulator circuit via the external capacitance terminals 642b1 to 642b4 even if the measurement apparatus 30 (inspection apparatus) is mounted (mounted) in the wrong direction (angle). As a result, adverse effects on the electronic device 1 can be reduced.

しかも、外部容量端子642b1〜642b4は、ICチップ8に含まれる互いに異なるレギュレーター回路に電気的に接続されていて、互いにベース61(実装面)の中心Cに対して90度回転対称、180度回転対称および270度回転対称のいずれかとなる位置で実装面に配置されている。換言すれば、外部容量端子642b1〜642b4のうちのいずれか1つと、ベース61(実装面)の中心Cに対して90度回転対称となる位置、180度回転対称となる位置、270度回転対称となる位置の少なくとも一つに、外部容量端子642b1〜642b4のうちの他の1つが配置されている。これにより、測定装置30(検査装置)に対して正規の向き(角度)とは異なる向き(角度)で誤って装着(実装)されたとしても、電源電圧が外部容量端子642b1〜642b4以外の端子に入力されることとなり、外部容量端子642b1〜642b4に電源電圧が入力されることを防止することができる。また、誤装着されたときに、同種の回路が外部容量端子642b1〜642b4に接続されることとなり、異種の回路が外部容量端子642b1〜642b4に接続される場合に比べて、誤装着による電子デバイス1への悪影響を効果的に低減することができる。ここで、外部容量端子642b1〜642b4のうちの任意の1つの端子が「第1外部容量端子」、他の任意の1つの端子が「第2外部容量端子」を構成し、これに対応するレギュレーター回路がそれぞれ「第1レギュレーター回路」および「第2レギュレーター回路」を構成する。   In addition, the external capacitor terminals 642b1 to 642b4 are electrically connected to different regulator circuits included in the IC chip 8, and are mutually symmetrical with respect to the center C of the base 61 (mounting surface) by 90 degrees and rotated by 180 degrees. It is disposed on the mounting surface at a position that is either symmetric or 270-degree rotationally symmetric. In other words, any one of the external capacitor terminals 642b1 to 642b4 and a position that is 90 ° rotationally symmetric, 180 ° rotationally symmetric, and 270 ° rotationally symmetric with respect to the center C of the base 61 (mounting surface). The other one of the external capacitance terminals 642b1 to 642b4 is disposed at at least one of the positions. As a result, even if the measurement device 30 (inspection device) is erroneously mounted (mounted) in a direction (angle) different from the normal direction (angle), the power supply voltage is a terminal other than the external capacitance terminals 642b1 to 642b4. Therefore, it is possible to prevent the power supply voltage from being input to the external capacitor terminals 642b1 to 642b4. In addition, when wrongly mounted, the same type of circuit is connected to the external capacitor terminals 642b1 to 642b4, and compared with the case where a different type of circuit is connected to the external capacitor terminals 642b1 to 642b4, an electronic device due to incorrect mounting. 1 can be effectively reduced. Here, an arbitrary one of the external capacitance terminals 642b1 to 642b4 constitutes a “first external capacitance terminal”, and another arbitrary one of the terminals constitutes a “second external capacitance terminal”, and a regulator corresponding thereto The circuits constitute a “first regulator circuit” and a “second regulator circuit”, respectively.

また、電子デバイス1は、前述したようにセンサー素子7X、7Y、7Zを有し、ICチップ8には、第1レギュレーター回路が生成する第1電源電圧により動作し、第1センサー素子の信号処理を行う「第1物理量信号処理回路」と、第2レギュレーター回路が生成する第2電源電圧により動作し、第2センサー素子の信号処理を行う「第2物理量信号処理回路」と、が設けられている。これにより、複数の物理量を検出することができる。   Further, as described above, the electronic device 1 has the sensor elements 7X, 7Y, and 7Z, and the IC chip 8 is operated by the first power supply voltage generated by the first regulator circuit, and the signal processing of the first sensor element. And a “second physical quantity signal processing circuit” that operates by the second power supply voltage generated by the second regulator circuit and performs signal processing of the second sensor element. Yes. Thereby, a plurality of physical quantities can be detected.

なお、誤装着は、ベース61に形成された面取り部65や、電子デバイス1上に印刷された文字等の向きによって、判断することができる。   Note that mismounting can be determined by the orientation of a chamfered portion 65 formed on the base 61 or characters printed on the electronic device 1.

<第2実施形態>
図7は、本発明の第2実施形態に係る電子デバイスの端子配置を示す裏面図である。
Second Embodiment
FIG. 7 is a back view showing the terminal arrangement of the electronic device according to the second embodiment of the present invention.

以下、本実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項はその説明を省略する。   Hereinafter, the present embodiment will be described with a focus on differences from the above-described embodiments, and description of similar matters will be omitted.

図7に示す電子デバイス1Aは、2つの端子642c3、642c4間を接続する配線を有する。このような電子デバイス1Aは、端子31c3、31c4に電気的に接続された製造検査基板回路32により、電子デバイス1Aが正規の向きで装着されたか否かを判断することができる。この製造検査基板回路32は、電子デバイス1Aが正規の向きで装着されたか否かを判断するデバイス実装検出回路321を有する。電子デバイス1Aが正規の向きで測定装置に装着されたとき、製造検査基板回路32が配線66を介した通電を行うことができ、それにより、電子デバイス1Aが正規の向きで装着されたと判断する。一方、電子デバイス1Aが正規の向きとは異なる向きで誤って測定装置に装着されたとき、製造検査基板回路32が配線66を介した通電を行うことができず、それにより、電子デバイス1Aが誤装着されたと判断する。なお、誤装着は、ベース61に形成された面取り部65や、電子デバイス1A上に印刷された文字等の向きによっても、判断することができるが、本実施形態では、電子デバイス1A上に印刷された文字等の向き等が間違っていることも知ることができる。   The electronic device 1A illustrated in FIG. 7 includes wiring that connects the two terminals 642c3 and 642c4. In such an electronic device 1A, it is possible to determine whether or not the electronic device 1A is mounted in a normal orientation by the manufacturing inspection board circuit 32 electrically connected to the terminals 31c3 and 31c4. The manufacturing inspection board circuit 32 includes a device mounting detection circuit 321 that determines whether or not the electronic device 1A is mounted in a normal orientation. When the electronic device 1A is attached to the measuring apparatus in a normal orientation, the manufacturing inspection board circuit 32 can be energized through the wiring 66, thereby determining that the electronic device 1A is attached in the normal orientation. . On the other hand, when the electronic device 1A is mistakenly attached to the measuring apparatus in a direction different from the normal direction, the manufacturing inspection board circuit 32 cannot perform energization through the wiring 66. Judged that it was installed incorrectly Incorrect mounting can also be determined by the chamfered portion 65 formed on the base 61 or the orientation of characters printed on the electronic device 1A, but in this embodiment, printing is performed on the electronic device 1A. It is also possible to know that the direction of the characters etc. that are displayed is wrong.

2.電子機器
次いで、本発明の電子機器について、図9〜図11に基づき、詳細に説明する。
2. Electronic Device Next, the electronic device of the present invention will be described in detail with reference to FIGS.

図8は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。   FIG. 8 is a perspective view showing the configuration of a mobile (or notebook) personal computer to which the electronic apparatus of the present invention is applied.

この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1108を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、角速度検知手段(ジャイロセンサー)として機能する電子デバイス1が内蔵されている。   In this figure, a personal computer 1100 includes a main body portion 1104 provided with a keyboard 1102 and a display unit 1106 provided with a display portion 1108. The display unit 1106 is rotated with respect to the main body portion 1104 via a hinge structure portion. It is supported movably. Such a personal computer 1100 incorporates an electronic device 1 that functions as angular velocity detection means (gyro sensor).

図9は、本発明の電子機器を適用した携帯電話機(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。   FIG. 9 is a perspective view showing a configuration of a mobile phone (including PHS) to which the electronic apparatus of the present invention is applied.

この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1208が配置されている。このような携帯電話機1200には、角速度検知手段(ジャイロセンサー)として機能する電子デバイス1が内蔵されている。   In this figure, a cellular phone 1200 includes a plurality of operation buttons 1202, an earpiece 1204, and a mouthpiece 1206, and a display unit 1208 is disposed between the operation buttons 1202 and the earpiece 1204. Such a cellular phone 1200 incorporates an electronic device 1 that functions as angular velocity detection means (gyro sensor).

図10は、本発明の電子機器を適用したディジタルスチルカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。   FIG. 10 is a perspective view showing the configuration of a digital still camera to which the electronic apparatus of the present invention is applied. In this figure, connection with an external device is also simply shown. Here, an ordinary camera sensitizes a silver halide photographic film with a light image of a subject, whereas a digital still camera 1300 photoelectrically converts a light image of a subject with an imaging device such as a CCD (Charge Coupled Device). An imaging signal (image signal) is generated.

ディジタルスチルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部1310が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部1310は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。   A display unit 1310 is provided on the back of a case (body) 1302 in the digital still camera 1300, and is configured to perform display based on an imaging signal from the CCD. The display unit 1310 displays a subject as an electronic image. Functions as a viewfinder.

また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。   A light receiving unit 1304 including an optical lens (imaging optical system), a CCD, and the like is provided on the front side (the back side in the drawing) of the case 1302.

撮影者が表示部1310に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。   When the photographer confirms the subject image displayed on the display unit 1310 and presses the shutter button 1306, the CCD image pickup signal at that time is transferred and stored in the memory 1308.

また、このディジタルスチルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。   In the digital still camera 1300, a video signal output terminal 1312 and an input / output terminal 1314 for data communication are provided on the side surface of the case 1302. As shown in the figure, a television monitor 1430 is connected to the video signal output terminal 1312 and a personal computer 1440 is connected to the input / output terminal 1314 for data communication as necessary. Further, the imaging signal stored in the memory 1308 is output to the television monitor 1430 or the personal computer 1440 by a predetermined operation.

このようなディジタルスチルカメラ1300には、角速度検知手段(ジャイロセンサー)として機能する電子デバイス1が内蔵されている。   Such a digital still camera 1300 incorporates an electronic device 1 that functions as angular velocity detection means (gyro sensor).

なお、本発明の電子機器は、図8のパーソナルコンピューター(モバイル型パーソナルコンピューター)、図9の携帯電話機、図10のディジタルスチルカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシュミレーター等に適用することができる。   In addition to the personal computer (mobile personal computer) of FIG. 8, the mobile phone of FIG. 9, and the digital still camera of FIG. Device (for example, inkjet printer), laptop personal computer, TV, video camera, video tape recorder, car navigation device, pager, electronic notebook (including communication function), electronic dictionary, calculator, electronic game device, word processor, work Station, video phone, security TV monitor, electronic binoculars, POS terminal, medical equipment (eg electronic thermometer, blood pressure monitor, blood glucose meter, electrocardiogram measuring device, ultrasonic diagnostic device, electronic endoscope), fish detector, various measurements Equipment, instruments (eg If, gages for vehicles, aircraft, and ships), can be applied to a flight simulator or the like.

3.移動体
次いで、本発明の移動体について、図11に基づき、詳細に説明する。
3. Next, the moving body of the present invention will be described in detail with reference to FIG.

図11は、本発明の移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。   FIG. 11 is a perspective view showing the configuration of an automobile to which the moving body of the present invention is applied.

自動車1500には、角速度検知手段(ジャイロセンサー)として機能する電子デバイス1が内蔵されており、電子デバイス1によって車体1501の姿勢を検出することができる。電子デバイス1の検出信号は、車体姿勢制御装置1502に供給され、車体姿勢制御装置1502は、その信号に基づいて車体1501の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪1503のブレーキを制御したりすることができる。その他、このような姿勢制御は、二足歩行ロボットやラジコンヘリコプターで利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、センサー素子7Xが組み込まれる。   The automobile 1500 incorporates an electronic device 1 that functions as angular velocity detection means (gyro sensor), and the attitude of the vehicle body 1501 can be detected by the electronic device 1. The detection signal of the electronic device 1 is supplied to the vehicle body posture control device 1502, and the vehicle body posture control device 1502 detects the posture of the vehicle body 1501 based on the signal and controls the stiffness of the suspension according to the detection result. The brakes of the individual wheels 1503 can be controlled. In addition, such posture control can be used by a biped robot or a radio control helicopter. As described above, the sensor element 7X is incorporated in realizing the posture control of various moving objects.

以上、本発明の電子デバイス、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これらに限定されるものではない。   The electronic device, the electronic apparatus, and the moving body of the present invention have been described based on the illustrated embodiments. However, the present invention is not limited to these.

また、本発明では、各部の構成は、同様の機能を発揮する任意の構成のものに置換することができ、また、任意の構成を付加することもできる。   Moreover, in this invention, the structure of each part can be substituted by the thing of the arbitrary structures which exhibit the same function, and arbitrary structures can also be added.

また、前述した実施形態では、本発明のセンサー素子についてH型およびダブルT型を例に説明したが、溝を有する駆動振動腕を有するものであれば、これに限定されず、例えば、二脚音叉、三脚音叉、直交型、角柱型等の種々の形態であってもよい。   In the above-described embodiment, the sensor element of the present invention has been described by taking the H type and the double T type as examples. However, the sensor element is not limited to this as long as it has a driving vibration arm having a groove. Various forms such as a tuning fork, a tripod tuning fork, an orthogonal type, and a prismatic type may be used.

また、駆動振動腕、検出振動腕および調整振動腕の数は、それぞれ、1つまたは3つ以上であってもよい。また、駆動振動腕は、検出振動腕を兼ねていてもよい。   In addition, the number of drive vibration arms, detection vibration arms, and adjustment vibration arms may be one or three or more, respectively. Further, the drive vibration arm may also serve as the detection vibration arm.

1‥‥電子デバイス
1A‥‥電子デバイス
2‥‥圧電基板
4‥‥圧電基板
6‥‥パッケージ
7X‥‥センサー素子
7Y‥‥センサー素子
7Z‥‥センサー素子
8‥‥ICチップ
9‥‥応力緩和層
21‥‥基部
25‥‥支持部
30‥‥測定装置
31a1、31a2‥‥端子
31b1〜31b4‥‥端子
31c1〜31c10‥‥端子
32‥‥製造検査基板回路
41‥‥基部
60a‥‥第1辺
60b‥‥第2辺
60c‥‥第3辺
60d‥‥第4辺
61‥‥ベース
62‥‥リッド
63‥‥接合部材
65‥‥面取り部
66‥‥配線
81‥‥端子
101‥‥導電性ワイヤー
221‥‥駆動振動腕
222‥‥駆動振動腕
231‥‥検出振動腕
232‥‥検出振動腕
241‥‥調整振動腕
242‥‥調整振動腕
251‥‥部分
252‥‥部分
253‥‥部分
261‥‥連結部
262‥‥連結部
263‥‥連結部
264‥‥連結部
321‥‥デバイス実装検出回路
411‥‥本体部
412‥‥連結腕
413‥‥連結腕
421‥‥駆動振動腕
422‥‥駆動振動腕
423‥‥駆動振動腕
424‥‥駆動振動腕
431‥‥検出振動腕
432‥‥検出振動腕
441‥‥固定部
442‥‥固定部
451‥‥支持梁
452‥‥支持梁
453‥‥支持梁
454‥‥支持梁
611‥‥凹部
611a‥‥凹部
611b‥‥凹部
641‥‥接続端子
642‥‥端子
642a1‥‥電源端子
642a2‥‥電源端子
642b1‥‥外部容量端子
642b2‥‥外部容量端子
642b3‥‥外部容量端子
642b4‥‥外部容量端子
642c1‥‥端子
642c2‥‥端子
642c3‥‥端子
642c4‥‥端子
642c5‥‥端子
642c6‥‥端子
642c7‥‥端子
642c8‥‥端子
642c9‥‥端子
642c10‥‥端子
642d1‥‥端子
642d2‥‥端子
642d3‥‥端子
642d4‥‥端子
643‥‥配線層
644‥‥配線層
1100‥‥パーソナルコンピューター
1102‥‥キーボード
1104‥‥本体部
1106‥‥表示ユニット
1108‥‥表示部
1200‥‥携帯電話機
1202‥‥操作ボタン
1204‥‥受話口
1206‥‥送話口
1208‥‥表示部
1300‥‥ディジタルスチルカメラ
1302‥‥ケース
1304‥‥受光ユニット
1306‥‥シャッターボタン
1308‥‥メモリー
1310‥‥表示部
1312‥‥ビデオ信号出力端子
1314‥‥入出力端子
1430‥‥テレビモニター
1440‥‥パーソナルコンピューター
1500‥‥自動車
1501‥‥車体
1502‥‥車体姿勢制御装置
1503‥‥車輪
2211‥‥腕部
2212‥‥幅広部
2221‥‥腕部
2222‥‥幅広部
2311‥‥腕部
2312‥‥幅広部
2321‥‥腕部
2322‥‥幅広部
2411‥‥腕部
2412‥‥幅広部
2421‥‥腕部
2422‥‥幅広部
4211、4221、4231、4241‥‥腕部
4212、4222、4232.4242‥‥幅広部
4311、4321‥‥腕部
4312、4322‥‥幅広部
a1‥‥中心軸
a2‥‥中心軸
S‥‥収容空間
ω‥‥角速度
ω‥‥角速度
ω‥‥角速度
ω‥‥角速度
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Electronic device 1A ... Electronic device 2 ... Piezoelectric substrate 4 ... Piezoelectric substrate 6 ... Package 7X ... Sensor element 7Y ... Sensor element 7Z ... Sensor element 8 ... IC chip 9 ... Stress relaxation layer 21 ... base 25 ... support 30 ... measuring devices 31a1, 31a2 ... terminals 31b1 to 31b4 ... terminals 31c1 to 31c10 ... terminal 32 ... manufacturing inspection board circuit 41 ... base 60a ... first side 60b 2nd side 60c ... 3rd side 60d ... 4th side 61 ... Base 62 ... Lid 63 ... Joining member 65 ... Chamfer 66 ... Wiring 81 ... Terminal 101 ... Conductive wire 221 Drive vibration arm 222 Drive vibration arm 231 Detection vibration arm 232 Detection vibration arm 241 Adjustment vibration arm 242 Adjustment vibration arm 251 Part 252 Part 253 Part 61 ... Connection part 262 ... Connection part 263 ... Connection part 264 ... Connection part 321 ... Device mounting detection circuit 411 ... Body part 412 ... Connection arm 413 ... Connection arm 421 ... Drive vibration arm 422 ... Drive vibration arm 423 Drive vibration arm 424 Drive vibration arm 431 Detection vibration arm 432 Detection vibration arm 441 Fixing portion 442 Fixing portion 451 Support beam 452 Support beam 453 Support beam 454 Support beam 611 Recess 611a Recess 611b Recess 641 Connection terminal 642 Terminal 642a1 Power supply terminal 642a2 Power supply terminal 642b1 External capacity terminal 642b2 External capacity Terminal 642b3 ... External capacity terminal 642b4 ... External capacity terminal 642c1 ... Terminal 642c2 ... Terminal 642c3 ... Terminal 642c4 ... Terminal 642c5 ... terminal 642c6 ... terminal 642c7 ... terminal 642c8 ... terminal 642c9 ... terminal 642c10 ... terminal 642d1 ... terminal 642d2 ... terminal 642d3 ... terminal 642d4 ... terminal 643 ... wiring layer 644 ... wiring layer 1100 ... ... Personal computer 1102 ... Keyboard 1104 ... Main unit 1106 ... Display unit 1108 ... Display part 1200 ... Mobile phone 1202 ... Operation buttons 1204 ... Earpiece 1206 ... Earpiece 1208 ... Display part 1300 ... Digital still camera 1302 Case 1304 Light receiving unit 1306 Shutter button 1308 Memory 1310 Display unit 1312 Video signal output terminal 1314 Input / output terminal 1430 Television monitor 1440 Personal computer Motor 1500 ... Automobile 1501 ... Car body 1502 ... Car body posture control device 1503 ... Wheel 2211 ... Arm part 2212 ... Wide part 2221 ... Arm part 2222 ... Wide part 2311 ... Arm part 2312 ... Wide part 2321 ... arm part 2322 ... wide part 2411 ... arm part 2412 ... wide part 2421 ... arm part 2422 ... wide parts 4211, 4221, 4231, 4241 ... arm parts 4212, 4222, 42322.4242 ... Wide part 4311, 4321 ... Arm part 4312, 4322 ... Wide part a1 ... Center axis a2 ... Center axis S ... Housing space ω ... Angular speed ω X ... Angular speed ω Y ... Angular speed ω Z ... Angular speed

Claims (10)

外形がn回対称(ただし、nは2以上の整数である)である実装面と、
前記実装面に配置されている電源端子と、
前記実装面に配置されている信号出力端子と、
を備え、
360度を前記nで割った角度をθとしたとき、1≦m<nを満たす整数のそれぞれについて前記電源端子と前記実装面の中心に対して(m×θ°)回転対称となる位置を避けて、前記信号出力端子が配置されていることを特徴とする電子デバイス。
A mounting surface whose outer shape is n-fold symmetric (where n is an integer of 2 or more);
A power supply terminal disposed on the mounting surface;
A signal output terminal disposed on the mounting surface;
With
Assuming that an angle obtained by dividing 360 degrees by n is θ, positions where the integers satisfying 1 ≦ m <n are rotationally symmetric with respect to the center of the power supply terminal and the mounting surface (m × θ °). The electronic device is characterized in that the signal output terminal is arranged to be avoided.
互いに対向する第1辺および第2辺と、前記第1辺および前記第2辺に対して直交する方向に沿っている第3辺および第4辺と、を含む外形を有する実装面と、
前記実装面の前記第1辺側および前記第2辺側の少なくとも前記第1辺側に配置されている電源端子と、
前記実装面の中心より前記第2辺側、前記実装面の前記中心より前記第3辺側および前記実装面の前記中心より前記第4辺側のうち少なくとも1つに配置されている信号出力端子と、
を備え、
前記電源端子と前記実装面の中心に対して90度回転対称となる位置と、180度回転対称となる位置と、270度回転対称となる位置とを避けて、前記信号出力端子が配置されていることを特徴とする電子デバイス。
A mounting surface having an outer shape including a first side and a second side facing each other, and a third side and a fourth side along a direction orthogonal to the first side and the second side;
A power supply terminal disposed on at least the first side of the first side and the second side of the mounting surface;
A signal output terminal arranged on at least one of the second side from the center of the mounting surface, the third side from the center of the mounting surface, and the fourth side from the center of the mounting surface. When,
With
The signal output terminal is arranged avoiding a position that is 90 degrees rotationally symmetric, a position that is 180 degrees rotationally symmetric, and a position that is 270 degrees rotationally symmetric with respect to the power supply terminal and the center of the mounting surface. An electronic device characterized by comprising:
前記実装面の前記中心より前記第1辺側に配置されている前記電源端子である第1電源端子と、
前記実装面の前記中心より前記第2辺側で、前記第1電源端子と前記中心に対して180度回転対称となる位置に配置されている前記電源端子である第2電源端子と、
を備える請求項2に記載の電子デバイス。
A first power supply terminal which is the power supply terminal arranged on the first side from the center of the mounting surface;
A second power supply terminal that is the power supply terminal disposed at a position that is 180-degree rotationally symmetric with respect to the first power supply terminal and the center on the second side from the center of the mounting surface;
An electronic device according to claim 2.
デジタル通信回路を備えており、
前記信号出力端子は、前記デジタル通信回路からのデジタル信号を出力する端子である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電子デバイス。
Equipped with digital communication circuit,
The electronic device according to claim 1, wherein the signal output terminal is a terminal that outputs a digital signal from the digital communication circuit.
アナログ通信回路を備えており、
前記信号出力端子は、前記アナログ通信回路からのアナログ信号を出力する端子である請求項1ないし3のいずれか1項に記載の電子デバイス。
It has an analog communication circuit,
The electronic device according to claim 1, wherein the signal output terminal is a terminal that outputs an analog signal from the analog communication circuit.
レギュレーター回路と、
前記実装面に配置され、前記レギュレーター回路に電気的に接続されている外部容量端子と、
を備え、
前記電源端子と前記実装面の中心に対して90度回転対称となる位置と、180度回転対称となる位置と、270度回転対称となる位置とを避けて、前記外部容量端子が配置されている請求項2ないし5のいずれか1項に記載の電子デバイス。
A regulator circuit;
An external capacitance terminal disposed on the mounting surface and electrically connected to the regulator circuit;
With
The external capacitor terminal is arranged avoiding a position that is 90 degree rotationally symmetric, a position that is 180 degree rotationally symmetric, and a position that is 270 degree rotationally symmetric with respect to the power supply terminal and the center of the mounting surface. The electronic device according to any one of claims 2 to 5.
前記レギュレーター回路である第1レギュレーター回路と、
前記第1レギュレーター回路と異なる前記レギュレーター回路である第2レギュレーター回路と、
前記第1レギュレーター回路に電気的に接続されている前記外部容量端子である第1外部容量端子と、
前記第1外部容量端子と前記実装面の中心に対して90度回転対称となる位置と、180度回転対称となる位置と、270度回転対称となる位置との少なくとも一つに前記実装面に配置され、前記第2レギュレーター回路に電気的に接続されている前記外部容量端子である第2外部容量端子と、
を備える請求項2に記載の電子デバイス。
A first regulator circuit which is the regulator circuit;
A second regulator circuit that is the regulator circuit different from the first regulator circuit;
A first external capacitance terminal that is the external capacitance terminal electrically connected to the first regulator circuit;
The mounting surface has at least one of a position that is 90 ° rotationally symmetric, a position that is 180 ° rotationally symmetric, and a position that is 270 ° rotationally symmetric with respect to the center of the first external capacitor terminal and the mounting surface. A second external capacitance terminal which is the external capacitance terminal disposed and electrically connected to the second regulator circuit;
An electronic device according to claim 2.
第1物理量を検出する第1センサー素子と、
第2物理量を検出する第2センサー素子と、
前記第1レギュレーター回路が生成する第1電源電圧により動作し、前記第1センサー素子の信号処理を行う第1物理量信号処理回路と、
前記第2レギュレーター回路が生成する第2電源電圧により動作し、前記第2センサー素子の信号処理を行う第2物理量信号処理回路と、
を備える請求項7に記載の電子デバイス。
A first sensor element for detecting a first physical quantity;
A second sensor element for detecting a second physical quantity;
A first physical quantity signal processing circuit which operates by a first power supply voltage generated by the first regulator circuit and performs signal processing of the first sensor element;
A second physical quantity signal processing circuit which operates by a second power supply voltage generated by the second regulator circuit and performs signal processing of the second sensor element;
An electronic device according to claim 7.
請求項1ないし8のいずれか1項に記載の電子デバイスを備えることを特徴とする電子機器。   An electronic apparatus comprising the electronic device according to claim 1. 請求項1ないし8のいずれか1項に記載の電子デバイスを備えることを特徴とする移動体。   A moving body comprising the electronic device according to claim 1.
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