JP2016178133A - ドア開閉装置、搬送装置、ソータ装置、収納容器のドッキング方法 - Google Patents

Abstract

【課題】載置台上に載置される収納容器と、収納容器に対する被搬送物の出し入れを許容する開口が形成されているフレームとを密着させた際の密閉性を、弾性材に対する収納容器の押し付け力に依存せずに有効に高めことが可能なドア開閉装置を提供する。
【解決手段】フレーム２１のうち開口２１ａの開口縁近傍領域において開口２１ａを周回するように中空弾性シール部Ｓを設け、収納容器４を載置した載置台を所定のドッキング位置に位置付けた状態で、収縮状態にある中空弾性シール部Ｓを膨張状態（２）に変化させることによって、収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設定したシール面に中空弾性シール部Ｓを弾接させてシール領域を形成するように構成した。
【選択図】図１２

Description

本発明は、搬送室に隣接して配置されるドア開閉装置、及びこれを備えた搬送室、ソータ装置、さらには収納容器のドッキング方法に関するものである。

半導体の製造工程においては、歩留まりや品質の向上のため、クリーンルーム内でのウェーハの処理がなされている。しかしながら、素子の高集積化や回路の微細化、ウェーハの大型化が進んでいる今日では、小さな塵をクリーンルーム内の全体で管理することは、コスト的にも技術的にも困難となってきている。このため、近年では、クリーンルーム内全体の清浄度向上に代わる方法として、ウェーハの周囲の局所的な空間についてのみ清浄度をより向上させる「ミニエンバイロメント方式」を取り入れ、ウェーハの搬送その他の処理を行う手段が採用されている。ミニエンバイロメント方式では、筐体の内部で略閉止されたウェーハ搬送室の壁面の一部を構成するとともに、高清浄な内部空間に被搬送物が収納された収納容器（例えばＦＯＵＰ Front-Opening Unified Podと呼ばれる格納用容器）を載置し、収納容器の蓋部に密着した状態で当該蓋部を開閉させるドア部を備えたドア開閉装置が搬送室に隣接して設けられている。

このようなドア開閉装置は、搬送室との間で被搬送物の出し入れを行うための装置であり、収納容器との間でインターフェース部として機能する。そして、ドア開閉装置のドア部を収納容器の前面に設けた蓋部に密着させた状態でこれらドア部及び蓋部が同時に開けられると、搬送室内に設けた搬送ロボットによって、収納容器内の被搬送物を搬送室内に取り出したり、被搬送物を搬送室内からドア開閉装置を通じて収納容器内に収納できるように構成されている。

近年では素子の高集積化や微細化がますます進められており、ウェーハ等の被搬送物の表面にパーティクルや水分が付着しないように、被搬送物周辺をより一層高いクリーン度に維持することが求められている。さらに、被搬送物の表面が酸化する等して表面性状が変化することがないよう、被搬送物の周辺を不活性ガスである窒素雰囲気としたり、真空状態にすることも行われている。

こうした被搬送物の周辺雰囲気を適切に維持するために、下記特許文献１に開示されているように、密閉可能な格納ポッドタイプの収納容器（例えば前記ＦＯＵＰ）の内部に窒素やドライエアなどの環境ガスをパージ可能な機能を有するドア開閉装置も案出され、実用化されている。

また、ウェーハ搬送室の内部に、化学フィルタなどを通じて清浄化されたエアを導入することで、高いクリーン度のクリーン雰囲気にして、搬送中の被搬送物の表面にパーティクル等の付着による汚染がないようにされている。また、収納容器と同様に、搬送室の内部を乾燥窒素雰囲気とすることも考えられる。さらには、乾燥窒素以外であっても、被搬送物への処理に応じて適宜の特殊ガス（以下では総称して「環境ガス」とする）を用いたガス雰囲気とすることも考えられる。

特開２０１２−４９３８２号公報

上記のような構成を採用する場合、それぞれ所定のガス雰囲気にした搬送室の内部空間と収納容器の内部空間とをドア開閉装置の開口を通じて相互に連通させた状態で、開口と収納容器との良好な密閉性が確保されなければならない。開口と収納容器との良好な密閉性が確保されなければ、搬送室内の環境ガスや収納容器内の環境ガスが、搬送室やドア開閉装置（ロードポート）の外部に流出する事態が生じる。このような事態を想定し、搬送室内や収納容器内に大量の環境ガスを供給する構成も考えられる。

しかしながら、このような構成であれば、搬送室内や収納容器内の雰囲気を適切に維持管理することが可能であっても、大量の環境ガスが必要となることからガスに要する費用が増大することになる。また、開口と収納容器との良好な密閉性を確保できずに、搬送室内の環境ガスや収納容器内の環境ガスが搬送室や収納容器の外部に大量に流出すれば、その環境ガスの種類によっては作業環境の悪化にも繋がるおそれがある。

そこで、本出願人は、搬送室の壁面の一部を構成するフレーム（板状部）に、搬送室内を開放するための開口が形成されたロードポート（ドア開閉装置）において、開口の周縁に沿って例えばＯリングからなる弾性材を設ける構成を案出し、既に特許出願している（特願２０１４−０１７８１９）。この構成であれば、載置台上に載置されている収納容器を載置台とともにフレームに向かって移動させることで、弾性材が収納容器に弾接する。また、本出願人は、上記特許出願において、収納容器の一部（蓋部の周囲部分に設けられた鍔部）に係合片を係合させた状態で係合片とともに収納容器をフレーム側に引き込み可能な機構を利用することによって、収納容器と弾性材との密着性を高める点についても言及している。

ところで、上述の本出願人が案出したロードポート（ドア開閉装置）を適用して、例えばＯリングからなる弾性材を収納容器に弾接させた場合であっても、可撓性に劣る弾性材ゆえに、弾性材の表面の形状変形が不均一になる場合が想定される。その原因としては、弾性材と収納容器との間に部分的に微小な凹凸の隙間が生じることが挙げられる。また、上述の引き込み機構による引き込み力を増大させて、収納容器を弾性材に強力に押し付けることで良好なシール性能を確保する構成であれば、弾性材に対する収納容器の押し付け力によってシール性能にばらつきが生じ得る。

本発明は、このような課題に注目してなされたものであり、主たる目的は、載置台上に載置される収納容器と、収納容器に対する被搬送物の出し入れを許容する開口が形成されているフレームとの密着性を、弾性材に対する収納容器の押し付け力に依存せずに有効に高めことができ、収納容器内や搬送室内に供給される環境ガスの外部への流出や、空気等の外部からの流入を抑制して、被搬送物の品質向上を図ることが可能なドア開閉装置、及びそのようなドア開閉装置を備えたＥＦＥＭ等の搬送装置またはソータ装置、さらには収納容器のドッキング方法を提供することにある。

すなわち本発明は、搬送室に隣接して設けられ、収納容器本体の内部空間に被搬送物を収納可能な収納容器と搬送室との間で被搬送物の出し入れを行うためのドア開閉装置に関すものである。ここで、本発明における被搬送物としては、ウェーハ、レティクル、液晶基板、ガラス基板、カルチャープレート、培養容器、ディッシュ、シャーレ等を挙げることができる。つまり、本発明は、半導体、液晶、細胞培養等の各種分野での容器に収容される搬送対象物の搬送技術に適用することができる。また、本発明における「搬送室」は、被搬送物を搬送するための部屋であり、例えば被搬送物がウェーハであれは、搬送室は「ウェーハ搬送室」である。

そして、本発明に係るドア開閉装置は、搬送室の壁面の一部を構成し、当該搬送室内を開放するための開口が形成された板状をなすフレームと、開口を開閉可能なドア部と、収納容器本体の内部空間を開閉可能とする蓋部をドア部に対向させる向きで収納容器を載置してフレームに対して進退移動可能な載置台と、フレームのうち開口の開口縁または開口縁の近傍領域において開口を周回するように設けられ、且つ収縮状態と膨張状態との間で状態変化可能な中空弾性シール部とを備え、載置台上に載置した収納容器の蓋部が開口に接近する所定のドッキング位置に載置台を位置付けた状態で、収縮状態にある中空弾性シール部を膨張状態に変化させることによって、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するように構成したことを特徴としている。

本発明は、中空弾性シール部をフレームのうち開口の開口縁において当該開口を周回するように設けた構成、中空弾性シール部をフレームのうち開口縁の近傍領域において当該開口を周回するように設けた構成、これら何れの構成も包含する。また、「蓋部が開口に接近する所定のドッキング位置に載置台を位置付けた状態」において、蓋部が開口に到達せずに接近しているように設定することもできる。一方、「蓋部が開口に接近する所定のドッキング位置に載置台を位置付けた状態」において、蓋部が開口に接近して到達しているように設定することもできる。つまり、載置台のドッキング位置は、収納容器のサイズや種類、或いは中空弾性シール部の配置箇所等の仕様に応じて適宜設定することが可能である。なお、本発明における中空弾性シール部とは、弾性を有するシール部の構成自体が中空構造をなすものである。また、「搬送室内を開放するための開口」は、「フレームによって仕切られる空間を開放するためにフレームに形成された開口であると捉えることもできる。

このような本発明に係るドア開閉装置によれば、所定のドッキング位置に載置台を位置付けた状態で、それまで収縮状態にあった中空弾性シール部を膨張状態に変化させることによって、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に対して、フレームのうち開口の開口縁または開口縁の近傍領域において当該開口を周回するように設けた中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するように構成している。このため、フレームに形成した開口を周回するシール領域を介して収納容器とフレームとを相互に密着させることができる。しかも、本発明によれば、フレームと収納容器本体との隙間であって収納容器の外部及び搬送室の外部に連通し得る領域をシール領域で密閉することで、収納容器内を収納容器外の雰囲気（外気）から遮断することができる。

さらに、本発明では、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に対して、収縮状態から膨張状態に状態変化させた中空弾性シール部を弾接させることでシール領域を形成する構成を採用している。このため、シール領域のシール性（密閉性）を、Ｏリングなどの可撓性に劣る弾性材に対して収納容器本体のシール面を押し付けることで形成されるシール領域のシール性よりも高くすることができる。

このように、本発明に係るドア開閉装置によれば、収納容器内や搬送室内に環境ガスが供給される使用状況下であっても、環境ガスがフレームと収納容器本体との隙間から収納容器の外部や搬送室の外部へ流出する事態を防止できる。また、本発明によれば、シール領域を通じて外部から空気等が収納容器内や搬送室内に流入する事態を防止・抑制することができる。その結果、被搬送物の品質向上を図ることが可能である。

ドッキング位置に位置付けた載置台上の収納容器に対して、中空弾性シール部を収縮状態から膨張状態に変化させた場合、収容容器に対してフレームから離間する方向に押圧する力が作用する。その押圧力によって収納容器がフレームから離間する方向に移動したり、フレームから離間する方向に傾く可能性がある。このような事態が生じれば、収納容器内におけるパーティクルの舞い上がりや収納容器内に収納されている被搬送物の位置ズレも起こり得る。

このような不具合の発生を防止・抑制するために、本発明では、ドッキング位置に位置付けた載置台上の収納容器がフレームから離間する方向に移動することを規制する移動規制状態と、ドッキング位置に位置付けた載置台上の収納容器がフレームから離間する方向に移動することを許容する移動許容状態との間で切替可能な移動規制部をさらに備えたドア開閉装置にすることができる。そして、載置台をドッキング位置に位置付けた時点以降に、移動規制部を移動許容状態から移動規制状態に切り替え、当該移動規制状態を維持したまま、収縮状態にある中空弾性シール部を膨張状態に変化させるように構成すれば、以下の作用効果を奏する。すなわち、ドッキング位置に位置付けた載置台上の収納容器に対して中空弾性シール部を収縮状態から膨張状態に変化させた場合に収容容器に対して、フレームから離間する方向に押圧する力が作用しても、移動規制状態にある移動規制部によって収納容器の移動や傾動を防止・抑制することができる。その結果、ドッキング位置に位置付けた載置台上の収納容器がフレームから離間する方向に移動したり、傾動することで生じ得る収納容器内でのパーティクルの舞い上がりや被搬送物の位置ズレの発生を回避することができる。

なお、移動規制部を移動許容状態から移動規制状態に切り替えるタイミングは、「載置台をドッキング位置に位置付けた時点以降」であって、「収縮状態にある中空弾性シール部を膨張状態に変化させる」前であればよい。例えば、載置台をドッキング位置に位置付けた直後に、移動規制部を移動許容状態から移動規制状態に切り替える構成にしてもよい。また、載置台をドッキング位置に位置付けてから所定時間経過後に、移動規制部を移動許容状態から移動規制状態に切り替える構成にしてもよい。

本発明における移動規制部の好適な具体例としては、移動規制部は、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設けられた鍔部に係合可能な係合片と、当該係合片を鍔部に係合させた状態でフレーム側に移動させる引き込み部とを備えたものを挙げることができる。このような移動規制部であれば、係合片に係合させた収納容器本体の鍔部をフレーム側に引き込む動作により、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に対する中空弾性シール部の密着度を高める（密着面積を大きく）ことができる。その結果、シール領域のより一層良好なシール性を確保することができる。

なお、本発明における「鍔部」は、「収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設けられたもの」である。一方、本発明における「シール面」は、「収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面」である。ここで、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に鍔部を設けた構成において、シール面は鍔部のうち中空弾性シール部に対面する面に設定される場合がある。収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に鍔部を設けた構成において、シール面が、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分であって且つ鍔部とは異なる部分に設定される場合もある。

本発明において、移動規制部を、略矩形状をなす開口の両サイドにおける上端近傍及び下端近傍にそれぞれ配置した構成を採用することができる。このような構成により、ドッキング位置に位置付けた載置台上の収納容器に対して中空弾性シール部を膨張させて密着させる際に、収納容器がフレームから離間する方向へ移動したり、傾動する事態をより一層高い確率で防止することができる。

本発明における中空弾性シール部は、収縮状態と膨張状態の間で状態変化可能なものであればよい。例えば、中空部に供給された流体によって当該中空部の圧力が上がることで膨張状態になり、供給された流体を中空部から排出して当該中空部の圧力を下げることによって収縮状態になる中空弾性シール部（インフラートシールと称されるもの）を適用した場合には、供給圧力がシール面圧となり、良好なシール機能を発揮する。さらにこのような中空弾性シール部を適用することで、収納容器本体のシール面に対して中空部自体が膨張して面圧を負荷することができ、振動等によってシール面が変動した場合にも直ちに追随することが可能なシール領域を形成することができる。以上に詳述したドア開閉装置を、以下の説明では「本発明に係る第１のドア開閉装置」と称す場合がある。

また、本発明に係るドア開閉装置は、搬送室に隣接して設けられ、収納容器本体の内部空間に被搬送物を収納可能な収納容器と搬送室との間で被搬送物の出し入れを行うためのものであり、搬送室の壁面の一部を構成するフレームと、フレームによって仕切られる空間を開放するためにフレームに形成された開口を開閉可能なドア部と、フレームのうち、収納容器本体の内部空間を開閉可能とする蓋部をドア部に対向させる向きで収納容器を載置可能な位置に形成された載置台と、フレームのうち開口の開口縁または開口縁の近傍領域において開口を周回するように設けられ、且つ収縮状態と膨張状態との間で状態変化可能な中空弾性シール部とを備え、収納容器の蓋部が開口に接近する載置台上の所定のドッキング位置に収納容器を載置した状態で、収縮状態にある中空弾性シール部を膨張状態に変化させることによって、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するように構成したことを特徴としている。以下では、便宜上、当該発明に係るドア開閉装置を「本発明に係る第２のドア開閉装置」と称す。

本発明に係る第２のドア開閉装置は、以下の点で上述の本発明に係る第１のドア開閉装置と異なる。つまり、フレームは、搬送室の壁面の一部を構成し、当該フレームによって仕切られる空間を開放するための開口が形成されたものであればよく、板状をなすものに限定されない点、載置台は、フレームのうち、収納容器本体の内部空間を開閉可能とする蓋部をドア部に対向させる向きで収納容器を載置可能な位置に形成されたものであればよく、フレームに対して進退移動可能であるという条件を満たさなくてもよい点、及び、収納容器の蓋部が開口に接近する載置台上の所定のドッキング位置に収納容器を載置した状態で、収縮状態にある中空弾性シール部を膨張状態に変化させる点、これらの点で、本発明に係る第２のドア開閉装置は、上述の本発明に係る第１のドア開閉装置と異なるが、その他は同じである。

また、本発明に係る第２のドア開閉装置では、「フレームによって仕切られる空間を開放するためにフレームに形成された開口」が、フレームの一部である載置台に形成された開口である構成を採用することができる。

このような本発明に係る第２のドア開閉装置によれば、フレームに形成された載置台上の所定のドッキング位置に収納容器を載置した状態で、それまで収縮状態にあった中空弾性シール部を膨張状態に変化させることによって、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に対して、フレームのうち開口の開口縁または開口縁の近傍領域において当該開口を周回するように設けた中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するように構成している。このため、フレームに形成した開口を周回するシール領域を介して収納容器とフレームとを相互に密着させることができる。しかも、本発明によれば、フレームと収納容器本体との隙間であって収納容器の外部及び搬送室の外部に連通し得る領域をシール領域で密閉することで、収納容器内を収納容器外の雰囲気（外気）から遮断することができる。

さらに、本発明に係る第２のドア開閉装置では、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に対して、収縮状態から膨張状態に状態変化させた中空弾性シール部を弾接させることでシール領域を形成する構成を採用している。このため、シール領域のシール性（密閉性）を、Ｏリングなどの可撓性に劣る弾性材に対して収納容器本体のシール面を押し付けることで形成されるシール領域のシール性よりも高くすることができる。

なお、本発明に係る第２のドア開閉装置において、蓋部による密閉状態を解除した収納容器本体の内部空間が下方に向かって開放される収納容器を適用した場合、収納容器本体のシール面は収納容器本体の下向き面に設定され、中空弾性シール部は収納容器本体のシール面に対して下方から弾接する構成になる。この場合、フレームの一部に形成された載置台上の所定のドッキング位置に収納容器を載置した時点で、収納容器本体のシール面に、収縮状態にある中空弾性シール部が接触する構成を採用することも可能である。一方、載置台上の所定のドッキング位置に収納容器を載置した時点で、収納容器本体のシール面に、収縮状態にある中空弾性シール部が接触しない構成を採用することも可能である。何れの構成においても、収縮状態にある中空弾性シール部を膨張状態に変化させることによって、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するように構成すればよい。

このように、本発明に係る第２のドア開閉装置であれば、本発明に係る第１のドア開閉装置と同様に、環境ガスがフレームと収納容器本体との隙間から収納容器の外部や搬送室の外部へ流出する事態や、シール領域を通じて外部から空気等が収納容器内や搬送室内に流入する事態を防止・抑制することができる。その結果、被搬送物の品質向上を図ることが可能である。

載置台上のドッキング位置に載置した収納容器に対して、中空弾性シール部を収縮状態から膨張状態に変化させた場合、収容容器に対してフレームから離間する方向に押圧する力が作用する。その押圧力によって収納容器がフレームから離間する方向に移動したり、フレームから離間する方向に傾く可能性がある。このような場合、ドッキング位置に位置付けた収納容器がフレームから離間する方向に移動することを規制する移動規制状態と、ドッキング位置に位置付けた収納容器がフレームから離間する方向へ移動することを許容する移動許容状態との間で切替可能な移動規制部をさらに備えたドア開閉装置にすることができる。そして、収納容器をドッキング位置に載置した時点以降に、移動規制部を移動許容状態から移動規制状態に切り替え、当該移動規制状態を維持したまま、収縮状態にある中空弾性シール部を膨張状態に変化させるように構成すればよい。移動規制部の設置箇所や数は適宜選択することができる。

また、本発明に係る搬送装置は、搬送室と、搬送室の壁面に設けた上述の構成を有するドア開閉装置と、搬送室内に設けられ、且つドア開閉装置の載置台上の収納容器と搬送室と間で被搬送物を出し入れ可能な搬送ロボットとを備えていることを特徴としている。

また、本発明に係るソータ装置は、搬送室と、搬送室の壁面に複数設けた上述の構成を有するドア開閉装置と、搬送室内に設けられ、且つ少なくとも複数のドア開閉装置の載置台上に載置された収納容器同士の間で被搬送物を出し入れ可能な搬送ロボットとを備えていることを特徴としている。

このような搬送装置やソータ装置であれば、上述の構成を有するドア開閉装置を備えていることによって、上述した作用効果を得ることができる。そして、ドア開閉装置のフレームと収納容器との密着性を高めた環境下で、搬送ロボットによって被搬送物の出し入れ処理を好適に行うことができる。

また、本発明の収納容器のドッキング方法は、上述の本発明に係る第１のドア開閉装置を利用した収納容器のドッキング方法に関するものであり、収納容器を載置した載置台を、蓋部が開口に接近する所定のドッキング位置に移動させた後に、収縮状態にある中空弾性シール部を膨張状態に変化させることによって、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するシール処理を経ることを特徴としている。

このような収納容器のドッキング方法であれば、所定のドッキング位置に移動させた載置台上の収納容器のうちシール面に、膨張状態に変化させ中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するシール処理を経ることで、上述した作用効果を得ることができる。このような収納容器のドッキング方法を採用することによって、フレームの開口と収納容器本体との隙間、つまり、収納容器の内部空間が収納容器の外部及び搬送室の外部に連通し得る隙間を密閉することが可能である。そして、載置台上に載置される収納容器の内部空間と搬送室の内部空間とを連通させた際の良好な密閉性を確保することができる。その結果、収納容器内や搬送室内に供給される環境ガスの外部への流出や、空気等の外部からの流入を抑制して、使用する環境ガスの供給量を削減するとともに、被搬送物の品質向上を図ることができる。

また、本発明の収納容器のドッキング方法は、上述の本発明に係る第２のドア開閉装置を利用した収納容器のドッキング方法に関するものであり、収納容器を、蓋部が開口に接近する載置台上の所定のドッキング位置に載置した後に、収縮状態にある中空弾性シール部を膨張状態に変化させることによって、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するシール処理を経ることを特徴としている。

このような収納容器のドッキング方法であれば、載置台上の所定のドッキング位置に載置した収納容器のうちシール面に、膨張状態に変化させ中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するシール処理を経ることで、上述した作用効果を得ることができる。このような収納容器のドッキング方法を採用することによって、フレームの開口と収納容器本体との隙間、つまり、収納容器の内部空間が収納容器の外部及び搬送室の外部に連通し得る隙間を密閉することが可能である。そして、載置台上に載置される収納容器の内部空間と搬送室の内部空間とを連通させた際の良好な密閉性を確保することができる。その結果、収納容器内や搬送室内に供給される環境ガスの外部への流出や、空気等の外部からの流入を抑制して、使用する環境ガスの供給量を削減するとともに、被搬送物の品質向上を図ることができる。

本発明は、収納容器本体のうち蓋部の周囲部分に設定したシール面に対して、フレームのうち開口の開口縁または開口縁の近傍領域において開口を周回するように設けた中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するように構成している。本発明では、所定のドッキング位置に位置付けた載置台上の収納容器に対して、収縮状態から膨張状態に変化させた中空弾性シール部を弾接させることができる。したがって、本発明によれば、弾性材に対する収納容器の押し付け力に依存せずに有効に高めことができ、収納容器内や搬送室内に環境ガスが供給される使用状況下においても、収納容器内や搬送室内の環境ガスが外部へ流出したり、外部の空気等が収納容器内や搬送室内に流入する事態の発生を防止・抑制して、被搬送物の品質向上を図ることが可能なドア開閉装置、及びそのようなドア開閉装置を備えたＥＦＥＭ等の搬送装置またはソータ装置、さらには収納容器の開放方法を提供することを提供することができる。

本発明の一実施形態に係るドア開閉装置を備えたＥＦＥＭとその周辺装置の相対位置関係を示す模式的に示す側面図。 実施形態に係るドア開閉装置を一部省略して示す斜視図。 図２のｘ方向矢視図。 図２のｙ方向矢視図。 載置台に収納容器がフレームから離間し且つドア部が全閉位置にある状態の同実施形態に係るドア開閉装置の側断面を模式的に示す図。 載置台をドッキング位置に位置付け且つドア部が全閉位置にある状態を図５に対応して示す図。 ドア部が移動方向切替位置にある状態を図５に対応して示す図。 ドア部が全開位置にある状態を図５に対応して示す図。 同実施形態におけるウインドウユニットの全体斜視図。 図６の一部を拡大して中空弾性シール部が収縮状態にある時点を模式的に示す図。 中空弾性シール部が膨張状態にある時点を図１０に対応して示す図。 膨張状態にある中空弾性シール部がシール面に弾接している時点を図１０に対応して示す図。 収納容器クランプ処理完了時点における移動規制部及びその周辺を収納容器側から見た模式図。 収納容器密閉処理完了時点におけるドア開閉装置の所定高さ位置における平断面を模式的に示す図。 本実施形態におけるＥＦＥＭの動作手順を示すフローチャート。 本実施形態におけるＥＦＥＭの動作手順を示すフローチャート。 同実施形態の一変形例に係るドア開閉装置を図６に対応して示す図。 同実施形態の他の一変形例に係るドア開閉装置を図５に対応して示す図。 同実施形態のさらに異なる一変形例に係るドア開閉装置を図７に対応して示す図。 同変形例に係るドア開閉装置を図８に対応して示す図。 同実施形態に係るドア開閉装置のさらに異なる一変形例を図８に対応して示す図。 本発明の他の実施形態に係るドア開閉装置とその周辺装置の相対位置関係を示す模式的に示す側面図。

以下、本発明の一実施形態を、図面を参照して説明する。本実施形態に係るドア開閉装置２は、例えば半導体の製造工程において用いられ、図１に示すように、クリーンルーム内において、搬送室３の壁面の一部を構成し、搬送室３と収納容器４との間で被搬送物Ｗの出し入れを行うためのものである。以下では、ドア開閉装置２が、本発明に係る搬送装置の一例であるＥＦＥＭ１（Equipment Front End Module）の一部を構成するロードポートであって、被搬送物Ｗである例えばウェーハを収納容器４（例えばＦＯＵＰ）と搬送室３（ウェーハ搬送室）の間で出し入れ処理する態様について説明する。なお、ＥＦＥＭで取り扱うウェーハのサイズはＳＥＭＩ（Semiconductor Equipment and Materials International）規格として標準化されているが、生産性向上の観点からウェーハの大径化が進められ、これまでの直径３００（半径１５０）ｍｍから直径４５０（半径２２５）ｍｍ乃至直径５００（半径２５０）ｍｍのウェーハへの移行が推進されている。

本実施形態に係るドア開閉装置２は、図１乃至図４に示すように、搬送室３の壁面３Ａの一部を構成し、且つ搬送室３の内部空間３Ｓを開放するための開口２１ａが形成された板状をなすフレーム２１と、フレーム２１の開口２１ａを開閉するドア部２２と、フレーム２１に略水平姿勢で設けた載置台２３とを備えている。ここで、搬送室３の内部空間３Ｓを開放するための開口２１ａは、フレーム２１によって仕切られる空間である搬送室３の内部空間３Ｓを開放するためにフレーム２１に形成された開口である。なお、図２及び図３は、図１で示す載置台２３の下方に設けた外部カバー２０（図２参照）を取外し、内部構造の一部を露出させた状態を示している。

フレーム２１は、起立姿勢で配置され、載置台２３上に載置した収納容器４の搬出入口４１と連通し得る大きさの開口２１ａを有する略矩形板状のものである。本実施形態のドア開閉装置２は、フレーム２１を搬送室３に密着させた状態で使用可能なものである。また、フレーム２１の下端には、キャスタ及び設置脚を有する脚部２４を設けている。本実施形態では、両側方に起立させた支柱２１１と、これら支柱２１１により支持されたフレーム本体２１２と、フレーム本体２１２に略矩形状に開放された窓部２１３に取り付けられたウインドウユニット２１４とを備えたフレーム２１を適用している。

ウインドウユニット２１４は、収納容器４の蓋部２２と対向する位置に設けられており、このウインドウユニット２１４に設けた開口２１５が、本発明におけるフレーム２１に形成された開口２１ａに相当する。

ここで、本実施形態でいう略矩形とは、四辺を備える長方形を基本形状としながら四隅を円弧によって滑らかにつないだ形状をいう。なお、図示していないが、フレーム本体２１２のうち搬送室側の面（前面）の外周近傍には、矩形枠状に形成された弾性材としてのガスケットを設け、搬送室３のうちフレーム２１が装着される開口の縁部近傍にガスケットを接触させることで、フレーム本体２１２と搬送室との隙間を無くし、フレーム本体２１２と搬送室３との隙間を通じて搬送室３の内部空間３Ｓから外部へのガスの漏れを抑制するようにしている。

ドア開閉装置２の載置台２３は、フレーム２１のうち高さ方向中央よりもやや上方寄りの位置に略水平姿勢で配置される水平基台２５（支持台）の上部に設けられる。この載置台２３は、収納容器本体４２の内部空間４Ｓを開閉可能とする蓋部４３をドア部２２に対向させる向きで収納容器４を載置可能なものである。また、載置台２３は、図５及び図６に示すように、収納容器４の蓋部４３がフレーム２１の開口２１ａに接近する所定のドッキング位置（図６参照）と、蓋部４３をドッキング位置よりもフレーム２１から所定距離離間した位置（図５参照）との間で、フレーム２１に対して進退移動可能に構成されている。載置台２３は、図２に示すように、上向きに突出させた複数の突起２３１を有し、これらの突起２３１を収納容器４の底面に形成された穴（図示省略）に係合させることで、載置台２３上における収納容器４の位置決めを図っている。なお、図５及び図６等では、載置台２３上における収納容器４の載置状態として、載置台２３の上面に収納容器４の底面が接触している状態を示している。しかしながら、実際には、載置台２３の上面よりも上方に突出している複数の位置決め用突起２３１が、収納容器４の底面に形成された有底の穴に係合することで収納容器４を支持しており、載置台２３の上面と収納容器４の底面は相互に接触せず、載置台２３の上面と収納容器４の底面の間に所定の隙間が形成されるように規定されている。また、載置台２３に対して収納容器４を固定するためのロック爪２３２を設けている。このロック爪２３２を収納容器４の底面に設けた被ロック部（図示省略）に引っ掛けて固定したロック状態にすることで、位置決め用の突起２３１と協働して収納容器４を載置台２３上における適正な位置に案内しながら固定することができる。また、収納容器４の底面に設けた被ロック部に対するロック爪２３２のロック状態を解除することで収納容器４を載置台２３から離間可能な状態にすることができる。

本実施形態では、このようなロードポートの載置台２３に載置した収納容器４とフレーム２１が並ぶ前後方向Ｄ（図１等参照）において、フレーム２１側を前方と定義し、収納容器４側を後方と定義する。

本実施形態のドア開閉装置２は、載置台２３上の所定箇所に複数のノズル２６１を設けている。これらのノズル２６１は、収納容器４の底面側から当該収納容器４内に窒素ガスや不活性ガス又はドライエア等の適宜選択された気体である環境ガス（パージガスとも称され、主に窒素ガスやドライエアが用いられる）を注入し、収納容器４内の気体雰囲気を環境ガスに置換可能なボトムパージ部２６を構成するものとして備えられたものである。しかしながら、本実施形態のドア開閉装置２では、これら予め載置台２３上に設けられているノズル２６１を、後述する圧力調整部６の一部を構成するノズルとして利用している。これら複数のノズル２６１は、本来であれば、環境ガスを収納容器４内に注入するボトムパージ注入用ノズルや、収納容器４内の気体雰囲気を排出するボトムパージ排出用ノズルとして機能するものであり、例えば載置台２３の幅方向に沿って離間した位置に対にして設けることができ。また、これら複数のノズル２６１は、収納容器４の底部に設けた注入口及び排出口（ともに図示省略）に嵌合した状態で連結可能なものである。各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）又は注入口及び排出口は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものである。各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）と収納容器４の注入口及び排出口との嵌合部分は、ノズル２６１に設けたパッキン等によって密閉状態になる。なお、本実施形態のドア開閉装置２は、載置台２３上に収納容器４が載置されていない状態であれば、各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）を載置台２３の上面よりも下方に位置付けている。そして、載置台２３に設けた例えば加圧センサの被押圧部を収納容器４のうち底面部が押圧したことを検出した際に、制御部２Ｃからの信号によって、各ノズル２６１（ボトムパージ注入用ノズル、ボトムパージ排出用ノズル）を上方に進出させて収納容器４の注入口と排出口にそれぞれ連結するように構成している。

ドア部２２は、収納容器４の蓋部４３に当該ドア部２２を連結して、蓋部４３を収納容器本体４２から取り外し可能な蓋連結状態と、蓋部４３に対する連結状態を解除し、且つ蓋部４３を収納容器本体４２に取り付けた蓋連結解除状態との間で切り替え可能な連結機構２２１（図４参照）を備えている。ドア部２２は、連結機構２２１によって蓋部４３を一体化した状態で保持したまま所定の移動経路に沿って移動可能なものである。本実施形態のドア開閉装置２は、図５乃至図８に示すように、ドア部２２を、当該ドア部２２が保持する蓋部４３によって収納容器本体４２の内部空間４Ｓを密閉する全閉位置（Ｃ）と、当該ドア部２２が保持する蓋部４３を収納容器本体４２から離間させて当該収納容器本体４２の内部空間４Ｓを搬送室３内に向かって前方に全開放させる全開位置（Ｏ）との間で移動可能に構成している。本実施形態では、図８に示す全開位置（Ｏ）に位置付けたドア部２２の姿勢を、図５及び図６に示す全閉位置（Ｃ）に位置付けたドア部２２の起立姿勢と同じ姿勢に設定し、全開位置（Ｏ）と全閉位置（Ｃ）との間も起立姿勢を維持したまま移動するように設定している。すなわち、全開位置（Ｏ）と全閉位置（Ｃ）との間におけるドア部２２の移動経路は、全閉位置（Ｃ）にあるドア部２２をその高さ位置を維持したまま搬送室３側へ移動させた経路（水平経路）と、全開位置（Ｏ）にあるドア部２２をその前後位置を維持したまま上方へ移動させた経路（鉛直経路）とからなり、水平経路と鉛直経路が交わるポイントにおいて、ドア部２２の移動方向が水平方向から鉛直方向に、或いは鉛直方向から水平方向に切り替わる。この水平経路と鉛直経路が交わるポイントにおいて、ドア部２２は、図７に示す移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けられる。同図から把握できるように、移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けたドア部２２が鉛直方向及び水平方向の何れにも移動できるように、移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けたドア部２２に保持される収納容器４の蓋部４３は、ドア部２２と共にフレーム２１よりも前方の位置（収納容器本体４２から完全に離間し、搬送室３の内部空間３Ｓに配置される位置）に位置付けられる。特に、後述するように本実施形態のドア開閉装置２はチャンバ５を備えている。そのため、少なくともドア部２２の全閉位置（Ｃ）と移動方向切替位置（Ｐ）との間の移動がチャンバ５の内部空間５Ｓで行われるように構成している。また、移動方向切替位置（Ｐ）を経由して全閉位置（Ｃ）と全開位置（Ｏ）との間で移動するドア部２２がチャンバ５と干渉しないように構成している。

このようなドア部２２の移動は、ドア開閉装置２に設けたドア移動機構２７によって実現している。ドア移動機構２７は、図５乃至図８に示すように、ドア部２２を支持する支持フレーム２７１と、スライド支持部２７２を介して支持フレーム２７１を前後方向Ｄに移動可能に支持する可動ブロック２７３と、可動ブロック２７３を上下方向Ｈに移動可能に支持するスライドレール２７４と、ドア部２２の水平経路に沿った前後方向Ｄの移動、及び鉛直経路に沿った上下方向Ｈの移動を行わせるための駆動源（例えば図示しないアクチュエータ）とを備えている。このアクチュエータに対して制御部２Ｃから駆動指令を与えることで、ドア部２２を前後方向Ｄ及び上下方向に移動させるものである。なお、前後移動用のアクチュエータと、上下移動用のアクチュエータとを別々に備えた態様であってもよいし、共通のアクチュエータを駆動源として前後移動及び上下移動を行う態様であってもよい。

支持フレーム２７１は、ドア部２２の後部下方を支持するものである。この支持フレーム２７１は、下方に向かって延材した後に、フレーム２１に形成したスリット状の挿通孔２１ｂを通過して搬送室３の外側（載置台２３側）に張り出した略クランク上の形状をしている。この支持フレーム２７１を支持するためのスライド支持部２７２、可動ブロック２７３、スライドレール２７４もフレーム２１よりも載置台２３側、つまり搬送室３の外側に配置している。これらスライド支持部２７２、可動ブロック２７３、スライドレール２７４は、ドア部２２を移動させる際の摺動箇所となる。本実施形態では、これらを搬送室３の外側に配置することで、ドア部２２の移動時にパーティクルが万が一発生した場合であっても、挿通孔２１ｂを微小なスリット状に設定していることにより、搬送室３内にパーティクルが進入する事態を防止・抑制することができる。また、ドア移動機構２７のうち搬送室３の外側に配置されるパーツや部分、具体的には、支持フレーム２７１の一部、スライド支持部２７２、可動ブロック２７３及びスライドレール２７４を被覆するカバー２８を設けている。これにより、フレーム２１に形成した上述の挿通孔２１ｂを通じて搬送室３内の環境ガスがＥＦＥＭ１の外部に流出しないように設定している。

また、本実施形態に係るドア開閉装置２は、図１、図５乃至図８に示すように、フレーム２１の開口２１ａよりも搬送室３側に設けられるチャンバ５を備えている。このチャンバ５は、ドア部２２によって内部空間を開放した状態にある収納容器４を収納容器４の前面側から遮蔽し得るものである。なお、図１では、チャンバ５全体を陰線（一点鎖線）で示し、ドア開閉装置２の側断面を示す図５乃至図８では、チャンバ５全体を側断面ではなく側面図として模式的に示している。また、図２乃至図４ではチャンバ５を省略している。

チャンバ５は、収納容器４の搬出入口４１及びフレーム２１の開口２１ａと対向する位置に設けられる。そして、本実施形態では、ドア部２２を全開位置（Ｏ）に移動させて蓋部４３による密閉状態が解除された収納容器４の内部空間４Ｓを前方に開放した際に、当該収納容器４の内部空間４Ｓが連通する空間をチャンバ５で少なくとも前後方向に遮断するように構成している。つまり、収納容器４の内部空間４Ｓが連通する空間をチャンバ５の内部空間５Ｓに制限し得るものである。このチャンバ５は、フレーム２１に形成した開口２１ａの開口寸法よりも一回り大きい起立壁５１と、この起立壁５１の両側縁からそれぞれフレーム２１側に延伸する左右一対の側壁５２と、起立壁５１の上縁及び下縁からそれぞれフレーム２１側に延伸する上壁５３及び底壁５４とを一体ないし一体的に設けたものである。そして、チャンバ５の内部空間５Ｓは、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）に位置付けている場合、チャンバ５の各壁５１，５２，５３，５４とフレーム２１及びドア部２２によって密閉または略密閉された空間になる。また、ドア部２２を全開位置（Ｏ）に移動させた場合、チャンバ５の内部空間５Ｓは、搬出入口４１及びフレーム２１の開口２１ａを介して収納容器４の内部空間４Ｓに連通する密閉または略密閉された空間になる。

本実施形態のドア開閉装置２では、チャンバ５を、図示しないチャンバ移動機構によって、フレーム２１の開口２１ａを搬送室３側から被覆する遮蔽位置（図５乃至図８参照）と、開口２１ａに通じる収納容器４の内部空間４Ｓを搬送室３の内部空間３Ｓ、ひいては処理装置Ｍの内部空間ＭＳに開放し得るチャンバ退避位置（図示省略）との間で移動可能に構成している。チャンバ移動機構としては、チャンバ５を水平駆動させるためのエアシリンダと、チャンバ５の水平動作をガイドするガイドレール部と、チャンバ５を昇降駆動させるためのエアシリンダと、チャンバ５の昇降動作をガイドするガイドレール部とを用いたものを挙げることができる。本実施形態のドア開閉装置２は、ドア部２２及びチャンバ５をそれぞれ相互に独立して移動可能に設定している。また、チャンバ５の底壁５４には、これら各部材や機構が通過可能な開口部やスリットを形成している（図示省略）。これにより、チャンバ５を遮蔽位置に設定した状態においてドア部２２を移動させた際に、ドア部２２やドア移動機構２７がチャンバ５と干渉する事態を回避することができる。

本実施形態では、チャンバ５内に窒素ガス等の環境ガスを供給するガス供給用ノズル５５と、チャンバ５内に充填された環境ガスをチャンバ５外に排出するガス排出用ノズル５６とを備えたチャンバ５を適用している。チャンバ５の上壁５３に設けたガス供給用ノズル５５からガス供給用ノズル５５から環境ガスをチャンバ５内に供給するチャンバ内パージ処理を実施することができる。このチャンバ内パージ処理を実施すると、チャンバ５の底壁５４に設けたガス排出用ノズル５６からチャンバ５内の気体雰囲気を排出するように構成している。すなわち、本実施形態のドア開閉装置２は、チャンバ５の内部空間５Ｓに充満していた空気や空気以外の清浄度が低い環境ガスなどの気体を、このガス排出用ノズル５６を通じてチャンバ５の外へ排出するように構成し、ガス供給用ノズル５５から供給する環境ガスをチャンバ５内に高濃度で充填できるようにしている。なお、ガス供給用ノズル５５及びガス排出用ノズル５６は、気体の逆流を規制する弁機能を有するものである。

また、本実施形態に係るドア開閉装置２は、フレーム２１に形成した開口２１ａとは別の経路を用いてチャンバ５の内部空間５Ｓと収納容器４の内部空間４Ｓを相互に連通させる圧力調整部６を備えている。

本実施形態の圧力調整部６は、チャンバ５の内部空間５Ｓに供給した環境ガスを当該チャンバ５の外部に排出するガス排出部６１と、収納容器４の内部空間４Ｓに環境ガスを導入するガス導入部６３と、ガス排出部６１とガス導入部６３の間に配置されるガス排気経路６２とを備えている。ガス排気経路６２の上流端はガス排出部６１に連結されている。ガス排気経路６２の下流端はガス導入部６３に連結されている。このようなガス排気経路６２を通じて、チャンバ５内から排出される環境ガスを収納容器４内に導入することができる。本実施形態では、上述のチャンバ５の底壁５４に設けたガス排出用ノズル５６によってガス排出部６１を構成している。また、載置台２３に設けたノズル２６１のうちボトムパージ注入用ノズルによってガス導入部６３を構成している。ここで、図５乃至図８では、載置台２３上において前後方向Ｄに離間する位置に設けた複数のノズル２６１のうち相対的にフレーム２１側のノズル２６１をガス導入部６３として機能させている態様を例示している。また、本実施形態の圧力調整部６は、ガス排気経路６２を、上流端をガス排出用ノズル５６に連結した排気チューブによって構成している。そして、この排気チューブ６２の下流端をガス導入部６３として機能するノズル２６１に連結している。

図６乃至図８に模式的に示すように、圧力調整部８を構成する排気チューブ６２のうち上流端と下流端との間の所定部分は、フレーム２１を厚み方向（前後方向）に貫通したり、水平基台２５及び載置台２３を高さ方向に貫通している。なお、これらフレーム２１、水平基台２５及び載置台２３のうち排気チューブ６２が貫通する部分に適宜のシール処理を施している。これにより、貫通部分の隙間による密閉性の低下を防止・抑制することができる。また、本実施形態では、チャンバ５の移動や載置台２３の移動にも追従可能なフレキシブル性或いは伸縮性（蛇腹タイプも含む）に優れた排気チューブ６２を適用している。排気チューブ６２のうちガス排出用ノズル５６やガス導入用ノズル６３との嵌合部分は、パッキン等によって密閉状態にしている。

さらに、本実施形態に係るドア開閉装置２は、図９に示すように、開口４２の周縁近傍に設けた中空弾性シール部Ｓと、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４がフレーム２１から離間する方向（後方）に移動することを規制する移動規制部Ｌとを備えている。本実施形態では、中空弾性シール部Ｓ及び移動規制部Ｌを、上述のウインドウユニット２１４としてユニット化している。

このウインドウユニット２１４は、図２乃至図４及び図９に示すように、中央部分に略矩形状の開口２１５を形成した枠形状をなす窓枠部２１６と、中空弾性シール部Ｓと、移動規制部Ｌとを備えている。

窓枠部２１６は、収納容器４の蓋部４３と対向する位置に設けられたものである。窓枠部２１６には、収納容器４の蓋部４３の外周（外寸）よりも僅かに大きい開口寸法に設定した開口２１５が形成されている。この開口２１５を通じて、ドア部２２に保持された状態にある蓋部４３が搬送室３内側へ移動できるように構成している。

中空弾性シール部Ｓは、フレーム２１のうち開口２１ａの開口縁近傍領域において開口２１ａを周回するように設けられる。フレーム２１にウインドウユニット２１４を取り付けた構成を採用している本実施形態では、窓枠部２１６のうち開口２１５の開口縁近傍領域において開口２１５を周回する位置に中空弾性シール部Ｓを設けている。より具体的には、窓枠部２１６の背面２１６Ａのうち、収納容器本体４２の前面４２Ｂであって且つ後述するシール面（収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設定した面）と対向する位置に中空弾性シール部Ｓを周回させて取り付けている。矩形状をなす開口２１５の開口縁近傍において開口２１５を周回するように配置された中空弾性シール部Ｓは、図９に示すように、収納容器４側から見て略矩形状をなす。したがって、中空弾性シール部Ｓは、開口２１５の開口上縁近傍に配置されている上辺部分ＳＡ、開口２１５の開口下縁近傍に配置されている下辺部分ＳＢ、開口２１５の開口両側縁近傍にそれぞれ配置されている側辺部分ＳＣに大別することができる。これら四つの辺部分ＳＡ，ＳＢ，ＳＣを備える長方形を基本形状とした本実施形態の中空弾性シール部Ｓは、四隅を円弧によって滑らかにつないだ形状を有する。

そして、中空弾性シール部Ｓは、収縮状態（１）と膨張状態（２）との間で状態変化可能なものである。本実施形態における中空弾性シール部Ｓは、図９乃至図１１に示すように、内部が中空であって全体として開口２１ａを周回するリング状の中空部Ｓ１と、中空部Ｓ１の内部に連通する流体通路Ｓ２（図示例では流通孔）とを備えている。中空弾性シール部Ｓは、流体通路Ｓ２を通じて供給された流体によって中空部Ｓ１の圧力が上がることで膨張状態になる。また、中空弾性シール部Ｓは、供給された流体を中空部Ｓ１から流体通路Ｓ２を通じて排出して当該中空部Ｓ１の圧力を下げることによって収縮状態になる。すなわち、本実施形態では、中空弾性シール部Ｓとして、インフラートシールを適用している。中空弾性シール部Ｓは、中空部Ｓ１及び流体通路Ｓ２をそれぞれ１つずつ備えている。

本実施形態のドア開閉装置２では、窓枠部２１６の背面２１６Ａに、開口２１５の開口縁近傍を周回するように断面が凹形状となる中空弾性シール取付溝（図１０において中空部Ｓ１が嵌まっている凹部）を形成している。この中空弾性シール取付溝に中空部Ｓ１を挿入した状態で緊密に取り付けている。なお、中空部Ｓ１は、接着剤やボルト等の適宜の手段によって中空弾性シール取付溝から抜け外れないように取り付けられる。この取付状態において、中空部Ｓ１のうちフレーム２１側の所定部分のみが中空弾性シール取付溝に収容される一方、他の部分（収納容器４側の所定部分）は中空弾性シール取付溝に収容されずに中空弾性シール取付溝の外に露出している。

そして、中空弾性シール部Ｓが図１０に示す収縮状態（１）にある場合に、中空部Ｓ１に連通する流体通路Ｓ２を通じて所定のガス供給部から流体を中空部Ｓ１に供給して圧力を上げる。すると、中空弾性シール部Ｓは、図１１に示すように、中空部Ｓ１のうち中空弾性シール取付溝の外に露出している部分を収納容器４側（後方）に向かって膨張させた膨張状態（２）になる。なお、図１１では、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されている収納容器４を想像線で示している。そして、同図には、収納容器４との接触が生じない条件下における中空弾性シール部Ｓの膨張状態（２）を模式的に示している。

一方、図１２には、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されている収納容器４に対して、収縮状態（１）から膨張状態（２）に変化した中空弾性シール部Ｓが弾接している時点を示している。同図に示すように、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されている収納容器本体４２の前面４２Ｂに対して、膨張状態（２）にある中空部Ｓ１が弾接する。すなわち、本実施形態では、収納容器４のうち中空弾性シール部Ｓが弾接する収納容器本体４２の前面４２Ｂをシール面に設定している。そして、このシール面に中空弾性シール部Ｓを弾接させることで良好なシール領域を形成することができる。

本実施形態では、中空弾性シール部Ｓを収縮状態（１）にした場合にも中空部Ｓ１の一部が中空弾性シール取付溝の外に露出している。しかしながら、後述するように、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３に載置されている収納容器４のシール面（収納容器本体４２の前面４２Ｂ）が、収縮状態（１）にある中空弾性シール部Ｓに当接しない程度に接近するように設定している。また、中空部Ｓ１に供給される流体は、搬送室３内に供給する環境ガスや、収納容器４内に供給する環境ガスを使用することができる。

本実施形態では、膨張状態（２）にある中空弾性シール部Ｓに対して、流体通路Ｓ２を通じて中空部Ｓ１内を真空吸引することにより、中空弾性シール部Ｓを膨張状態（２）から図１０に示す収縮状態（１）に変化させるように構成している。具体的には、中空部Ｓ１へ環境ガスを供給する環境ガス供給経路Ｓ３を流体通路Ｓ２の上流端に接続し、環境ガス供給経路Ｓ３にガス供給切替スイッチＳ４を設けている。また、環境ガス供給経路Ｓ３には、中空部Ｓ１内を真空吸引するバキューム経路Ｓ５を接続し、バキューム経路Ｓ５にガス排気切替スイッチＳ６を設けている。これら各スイッチＳ４，Ｓ６は例えば開閉弁(切替弁)で構成することができる。そして、各スイッチＳ４，Ｓ６の開閉状態を後述するように適宜切り替えることで、中空弾性シール部Ｓを収縮状態（１）と膨張状態（２）との間で状態変化させることができる。

なお、図５乃至図８では、中空弾性シール部Ｓを黒く塗りつぶした略楕円形状のマークで模式的に示している。また、図６乃至図８では、収納容器本体４２の前面（シール面）がフレーム２１（ウインドウユニット２１４）に接触しているが、実際には、収納容器本体４２のシール面はフレーム２１（ウインドウユニット２１４）に接触しない。上述したように、収納容器本体４２のシール面は、膨張状態（２）にある中空弾性シール部Ｓを介してフレーム２１（ウインドウユニット２１４）に接触している。

移動規制部Ｌは、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４がフレーム２１から離間する方向（後方）に移動することを規制する移動規制状態（３）と、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４がフレーム２１から離間する方向へ移動することを許容する移動許容状態（４）との間で切替可能なものである。すなわち、移動規制部Ｌは、移動規制状態（３）になることで、所定のドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されている収納容器４を保持することが可能である。

本実施形態における移動規制部Ｌは、図９等に示すように、収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設けられた鍔部４５に係合可能な係合片Ｌ１と、係合片Ｌ１を鍔部４５に係合させた状態でフレーム２１側に移動させる引き込み部Ｌ２とを備えている。このような移動規制部Ｌは、収納容器本体４２の鍔部４５を係合片Ｌ１とフレーム２１との間に挟み込む状態で保持可能なクランプ機能を発揮する。本実施形態では、フレーム２１にウインドウユニット２１４を設けている。したがって、移動規制部Ｌは、収納容器本体４２の鍔部４５を係合片Ｌ１とウインドウユニット２１４の窓枠部２１６との間に挟み込む機能を有する。

引き込み部Ｌ２は、窓枠部２１６に形成した孔部を貫通する姿勢で配置され、前後方向Ｄに進退移動可能なシャフトＬ３と、シャフトＬ３の基端部側に設けられ、当該シャフトＬ３を進退移動させるためのシリンダＬ４とを主体とするものである。シャフトＬ３の外周には、軸方向に沿って９０°位相がねじれたガイド溝Ｌ３ａを形成している（図９参照）。そして、窓枠部２１６側に固定したガイドピン（図示省略）がガイド溝Ｌ３ａに対してシャフトＬ３の径方向から挿入した状態となっている。これにより、シャフトＬ３の進退動作に伴ってガイド溝Ｌ３ａがガイドピンに案内されて、シャフトＬ３全体が軸中心回りに９０°回動する構成になる。

シリンダＬ４は、搬送室３の内部空間３Ｓに配置されるものである。なお、搬送室３の内部空間３Ｓにチャンバ５を配置した本実施形態では、チャンバ５の内部空間５ＳにシリンダＬ４が配置される。このシリンダＬ４に基端部を保持されているシャフトＬ３の先端側領域は、搬送室Ｌの外側、つまりフレーム２１の最背面２１Ａよりも後方（収納容器４側）に配されることになる（図２及び図９参照）。シリンダＬ４は、窓枠部２１６に固定したシリンダ支持部Ｌ５によって支持されている。

係合片Ｌ１は、図９及び図１３に示すように、基端Ｌ１ａをシャフトＬ３の先端に取り付け、基端Ｌ１ａからシャフトＬ３の径方向外側（シャフト５３の軸中心から離間する方向）に向かって先端５１ｂを延在させた形状を有する。そして、シリンダＬ４によってシャフトＬ３を所定の基準位置よりも搬送室３から離間する方向（後方）に向かって所定距離移動させる。すると、係合片Ｌ１がシャフトＬ３と同一方向に移動しつつ先端Ｌ１ｂを含む全体が前後方向Ｄにおいて収納容器４に対面しない非対面姿勢（図１３には、非対面姿勢の一例として係合片Ｌ１の先端Ｌ１ｂが上方向を向く姿勢を想像線で示す）になる。なお、本実施形態では、係合片Ｌ１に他の部材が巻き込まれることを防止すべく、係合片Ｌ１の周囲に適宜のカバーＬ６を設けることもできる。

また、係合片５１が非対面姿勢をとる位置まで後方に向かって移動させたシャフトＬ３を、搬送室３側（前方）に向かって所定距離移動させる（引き込ませる）。すると、係合片Ｌ１はシャフトＬ３と同一方向に移動しつつ先端Ｌ１ｂを含む所定領域が前後方向Ｄにおいて収納容器４に対面する対面姿勢（図１３には、対面姿勢の一例として係合片Ｌ１の先端Ｌ１ｂが水平方向を向く姿勢を実線で示す）になる。

本実施形態に係るドア開閉装置２は、係合片Ｌ１を非対面姿勢にすることで、収納容器４を載置している載置台２３を、収納容器４の蓋部４３が開口２１ａ，２１５に接近する所定のドッキング位置と、ドッキング位置よりも搬送室３から所定距離離間した位置との間で移動させることができる。すなわち、移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢にすることで移動許容状態（４）になる。

このような移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢にした状態で、アンドッキング位置にある載置台２３を、収納容器４を載置したままドッキング位置に移動させた時点以降に、非対面姿勢にある係合片Ｌ１をシャフトＬ３とともに搬送室３側に引き込む方向に移動させて非対面姿勢から対面姿勢に変更する。すると、係合片Ｌ１を収納容器本体４２の前面４２Ｂにおいて外側方に張り出した鍔部４５に係合させることができる。そして、シャフトＬ３を搬送室３側に向かって引き込むことで、係合片Ｌ１と収納容器４の鍔部４５との係合状態を維持したまま係合片Ｌ１が搬送室３側（前方）に引き込まれる。その結果、収納容器４の鍔部４５を係合片Ｌ１とフレーム２１の間に挟み込む状態になり、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４がフレーム２１から離間する方向に移動することを規制することができる。すなわち、移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢から対面姿勢に変更させて、その係合片Ｌ１を引き込み部Ｌ２によってフレーム２１側に引き込むことで移動規制状態（３）になる。

本実施形態では、載置台２３を所定のドッキング位置に位置付けた時点で、収納容器本体４２の前面４２Ｂが、所定寸法の隙間を隔ててフレーム２１の背面２１Ａ（窓枠部２１６の背面２１６Ａ）に接近するように設定している。また、移動規制部Ｌを移動許容状態（４）から移動規制状態（３）に切り替えた場合においても、収納容器本体４２の前面４２Ｂとフレーム２１の背面２１Ａ（窓枠部２１６の背面２１６Ａ）の間には所定寸法の隙間が確保されている。

本実施形態のドア開閉装置２では、このような移動規制部Ｌを、図２及び図９に示すように、フレーム２１のうち略矩形状をなす開口２１ａの両サイドにおける上端近傍及び下端近傍の合計４箇所にそれぞれ配置している。具体的には、ウインドウユニット２１４のうち窓枠部２１６のうち略矩形状をなす開口２１５の両側部において上下方向に離間させた合計４箇所に移動規制部Ｌを配置している。

上記のように構成したドア開閉装置２は、制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。本実施形態のＥＦＥＭ１は、このようなドア開閉装置２を、搬送室３の一つの壁面３Ａに複数（例えば３台）並べて配置している。上述したように、収納容器４とフレーム２１が並ぶ前後方向Ｄにおいて、フレーム２１側を前方と定義し、収納容器４側を後方と定義した本実施形態において、搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した壁面３Ａは背面と捉えることができる。

ＥＦＥＭ１は、図１に示すように、共通のクリーンルーム内に相互に隣接する位置に設けたドア開閉装置２（ロードポート）及び搬送室３を主体として構成されたものである。ＥＦＥＭ１の作動は、ドア開閉装置２のコントローラ（図２に示す制御部２Ｃ）や、ＥＦＥＭ１全体のコントローラ（図１に示す制御部３Ｃ）によって制御される。

搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した壁面３Ａ（背面）に対向する壁面３Ｂには例えば処理装置Ｍ（半導体処理装置）が隣接して設けられる。クリーンルームにおいて、処理装置Ｍの内部空間ＭＳ、搬送室３の内部空間３Ｓ及びドア開閉装置２上に載置される収納容器４の内部空間４Ｓは高清浄度に維持される。一方、ドア開閉装置２を配置した空間、換言すれば処理装置Ｍ外、ＥＦＥＭ１外は比較的低清浄度となる。なお、図１は、ドア開閉装置２及び搬送室３の相対位置関係、及びこれらドア開閉装置２及び搬送室３を備えたＥＦＥＭ１と、処理装置Ｍとの相対位置関係を模式的に示した側面図である。

処理装置Ｍは、相対的に搬送室３に近い位置に配置したロードロック室と、相対的に搬送室３から遠い位置に配置した処理装置本体とを備えたものである。本実施形態では、図１に示すように、ＥＦＥＭ１の前後方向Ｄにおいてドア開閉装置２、搬送室３、処理装置Ｍをこの順で相互に密接させて配置している。なお、処理装置Ｍの作動は、処理装置Ｍのコントローラ（図１に示す制御部ＭＣ）によって制御される。ここで、処理装置Ｍ全体のコントローラである制御部ＭＣや、ＥＦＥＭ１全体のコントローラである制御部３Ｃは、ドア開閉装置２の制御部２Ｃの上位コントローラである。

搬送室３は、被搬送物ＷであるウェーハＷを収納容器４と処理装置Ｍとの間で搬送可能な搬送ロボット３１を内部空間３Ｓに設けている。搬送ロボット３１は、例えば複数のリンク要素を相互に水平旋回可能に連結し、先端部にハンドを設けたアームと、アームの基端部を構成するアームベースを旋回可能に支持し且つ搬送室３の幅方向（ドア開閉装置２の並列方向）に走行する走行部とを備え、アーム長が最小になる折畳状態と、アーム長が折畳状態時よりも長くなる伸長状態との間で形状が変わるリンク構造（多関節構造）のものである。なお、搬送室３の側面にバッファステーション、アライナの何れか一方または両方を配置したＥＦＥＭを構成することも可能である。

搬送室３は、ドア開閉装置２及び処理装置Ｍが接続されることによって、内部空間３Ｓが略密閉された状態となる。搬送室３内は、図示しないガス供給口及びガス排出口を用いて環境ガスによるパージ処理を行うことで、環境ガス濃度を高めることが可能となっている。そして、ウェーハ搬送室３の上部にファンフィルタユニット３２を設けて下方に向けてガスを送出し、下部に設けたケミカルフィルタよりガスの吸引を行う。吸引したガスは、循環ダクト３２１を介して上部のファンフィルタユニット３２に向けて戻される。こうすることで、搬送室３の内部空間３Ｓで上方から下方に向かう気流であるダウンフローを形成する。したがって、搬送室３内のガスを循環させて清浄な状態に維持することができる。また、搬送室３の内部空間３ＳにウェーハＷの表面を汚染するパーティクルが存在した場合であっても、ダウンフローによってパーティクルを下方に押し下げ、搬送中のウェーハＷの表面へのパーティクルの付着を抑制することが可能となる。図１には、ファンフィルタユニット３２によるガスの流れを矢印で模式的に示している。

このような環境ガス濃度の高い搬送室３の内部空間３Ｓに上述のチャンバ５を配置した本実施形態では、チャンバ５の内部空間５Ｓに対する環境ガスのパージ処理（チャンバ内パージ処理）を、搬送室３の内部空間３Ｓに対する環境ガスのパージ処理と同時に、或いは個別に実施できるように制御している。つまり、上述のチャンバ５の上壁５３に設けたガス供給用ノズル５５は、チャンバ内パージ処理専用のガス供給源から供給される環境ガスをチャンバ５内に供給するものであってもよいし、搬送室３内に供給される環境ガスをそのままチャンバ５内に供給するものであってもよい。

本実施形態では、収納容器４としてＦＯＵＰを適用している。本実施形態における収納容器４は、前面（フレーム２１側の面）に形成した搬出入口４１を通じて内部空間４Ｓを前方にのみ開放可能な収納容器本体４２と、搬出入口４１を開閉可能な蓋部４３を備えている。収納容器４は、内部に複数枚の被搬送物ＷであるウェーハＷを上下方向Ｈに多段状に収容し、搬出入口４１を介してこれらウェーハＷを出し入れ可能に構成された既知のものである。

収納容器本体４２は、背壁、左右一対の側壁、上壁及び底壁を一体に有する。これら各壁によって囲まれる内部空間４Ｓに被搬送物Ｗを複数段所定ピッチで載せることが可能な棚部４２１（ウェーハ載置部）を備えたものである。収納容器本体４２を構成する各壁同士の境界部分は緩やかな湾曲形状をなす。また、上壁における上向面の中央部に、収納容器搬送装置（例えばＯＨＴ：Over Head Transport）等に把持されるフランジ部を設けている。収納容器本体４２の前端部には、他の部分よりも上方及び両側方に突出させた鍔部４５を設けている。つまり、収納容器本体４２のうち、蓋部４３が配置される領域の周囲部分に鍔部４５を設けている。本実施形態では、この鍔部４５に対して上述した移動規制部Lの係合片L１が係合するように設定している。

蓋部４３は、ドア開閉装置２の載置台２３に載置された状態においてドア開閉装置２のドア部２２と対面するものであり、概略板状をなす。蓋部４３の高さ寸法は、ドア部２２のうち蓋部４３に密着し得る面の高さ寸法と略等しく設定されている。なお、図５等では、ドア部２２のうち蓋部４３に密着し得る面の高さ寸法よりも僅かに大きい高さ寸法に設定された蓋部４３を模式的に示している。蓋部４３には、この蓋部４３を収納容器本体４２にロックし得るラッチ部（図示省略）を設けている。また、図１４に示すように、蓋部４３の内向き面４３１にはリテーナ４４を設けている。リテーナ４４は、蓋部４３に一体又は一体的に設けられたものでもよいが、蓋部４３に着脱可能に設けたものであれば、損傷した場合等には該当するリテーナ４４だけを交換するだけで対応することができる。さらに、一枚のウェーハを保持するリテーナの数は単数又は複数の何れであってもよく、リテーナ４４の形状も適宜変更することも可能である。このような、収納容器４内に収納されたウェーハＷを蓋部４３の内向き面４３１側から弾性変形しながら保持してウェーハ押さえとして機能するリテーナ４４を蓋部４３の内向き面４３１（具体的には内向き面４３１に形成した凹部４３２）に設けている。これにより、収納容器４内における各被搬送物Ｗの収納位置を位置決めするとともに、薄く脆弱なウェーハ等の被搬送物Ｗの損傷を防止することができる。なお、内向き面４３１のうち搬出入口４１を蓋部４３で閉止した状態において収納容器本体４２に接触または近接する所定の部分（図示例では内向き面４３１の両サイド）にガスケット４３３を設けている。そして、蓋部４３の内向き面４３１よりも優先してガスケット４３３を収納容器本体４２に接触させて弾性変形させることで、収納容器４の内部空間４Ｓを完全密閉できるように構成されている。なお、図１４ではチャンバ５を省略している。

本実施形態に係るドア開閉装置２は、制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。本実施形態では、ドア開閉装置２が有する制御部２Ｃから各部に駆動指令を与えるように構成している。制御部２Ｃは、記憶部と、ＲＯＭと、ＲＡＭと、Ｉ／Ｏポートと、ＣＰＵと、外部の表示装置（不図示）等との間でのデータの入出力を行う入出力インタフェース（ＩＦ）と、これらを相互に接続して各部の間で情報を伝達するバスとを備えた構成を有する。記憶部には、このドア開閉装置２で実行される処理の種類に応じて、制御手順が記憶されている。つまり、この記憶部には、装置各部の所定の動作プログラムが格納されている。

このように、本実施形態におけるプログラムは、非一時的なコンピュータ読取可能な記録媒体（ハードディスク等）に実行可能なプログラムとして格納されているものである。ＲＯＭは、ハードディスク、ＥＥＰＲＯＭ、フラッシュメモリなどから構成され、ＣＰＵの動作プログラムなどを記憶する記録媒体である。ＲＡＭは、ＣＰＵのワークエリアなどとして機能する。Ｉ／Ｏポートは、例えば、ＣＰＵが出力する制御信号を装置の各部へ出力したり、センサからの情報をＣＰＵに供給する。ＣＰＵは、制御部２Ｃの中枢を構成し、ＲＯＭに記憶された動作プログラムを実行する。ＣＰＵは、記憶部に記憶されているプログラムに沿ってドア開閉装置の動作を制御する。記憶部に記憶されているプログラム内容は、ドア開閉装置２を備えたＥＦＥＭ１の使用方法及び作用と併せて、ＥＦＥＭ１の動作フローを示す図１５及び図１６等を参照しながら説明する。

先ず、搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した共通の壁面３Ａに沿って延伸する直線上の搬送ライン（動線）で作動するＯＨＴ等の収納容器搬送装置により収納容器４がドア開閉装置２の上方まで搬送され、載置台２３上に載置される。この際、例えば載置台２３に設けた位置決め用突起２３１が収納容器４の位置決め用凹部に嵌まる。また、制御部２Ｃが、載置台２３上のロック爪２３２をロック状態にする（ロック処理Ｓｔ１）。具体的には、収納容器４の底面に設けた被ロック部（図示省略）に対して、載置台２３上のロック爪２３２を引っ掛けて固定することでロック状態になる。これにより、収納容器４を載置台２３上の所定の正規位置に載置して固定することができる。本実施形態では、搬送室３の幅方向に３台並べて配置したドア開閉装置２の載置台２３にそれぞれ収納容器４を載置することができる。また、収納容器４が載置台２３上に所定の位置に載置されているか否かを検出する着座センサ（図示省略）により収納容器４が載置台２３上の正規位置に載置されたことを検出するように構成することもできる。

次いで、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、図５に示す位置にある載置台２３を図６に示すドッキング位置まで移動させる（ドッキング処理Ｓｔ２）。すなわち、図５に示す位置にある載置台２３をフレーム２１に向かって前進させて、フレーム２１のうち開口２１ａの周縁における最も収納容器本体４２に近いフレーム最背面２１Ａに収納容器４の前面（相互に面一な収納容器本体４２の前面４２Ｂ及び蓋部４３の外向き面４３４）を所定距離まで接近させる。このドッキング処理Ｓｔ２を実行するまでは、移動規制部Ｌが、係合片Ｌ１を非対面姿勢にした移動許容状態（４）に維持されている。また、このドッキング処理Ｓｔ２を実行するまでは、中空弾性シール部Ｓが収縮状態（１）に維持されている。なお、図５等における符号２１Ｂが指す面は、フレーム２１のうち開口２１ａ（窓枠部２１６の開口２１５）の周縁において収納容器本体４２から最も遠いフレーム最前面である。

そして、載置台２２を所定のドッキング位置まで移動させると、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、移動規制部Ｌを用いて収納容器４の少なくとも両サイドを保持して固定する処理（収納容器クランプ処理Ｓｔ３）を行う。具体的には、移動規制部Ｌの引き込み部Ｌ２によって係合片Ｌ１をフレーム２１側に引き込む。すると、係合片Ｌ１は非対面姿勢から対面姿勢に切り替わり、収納容器本体４２の鍔部４５に係合した状態になる。この状態で、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４の鍔部４５を、移動規制部Ｌの係合片Ｌ１とフレーム最背面２１Ａ（窓枠部２１６の背面２１６Ａ）との間で挟み込むことができる。すなわち、収納容器クランプ処理Ｓｔ３は、移動規制部Ｌを移動許容状態（４）から移動規制状態（３）に切り替える処理で実現できる。

なお、移動規制部Ｌを移動許容状態（４）から移動規制状態（３）に切り替えるタイミングは、載置台２３をドッキング位置に位置付けた時点以降であって、収縮状態（１）にある中空弾性シール部Ｓを膨張状態（２）に変化させる前であればよい。したがって、載置台２３をドッキング位置に位置付けた直後に、移動規制部Ｌを移動許容状態（４）から移動規制状態（３）に切り替える構成にしてもよい。また、載置台２３をドッキング位置に位置付けてから所定時間経過後に、移動規制部Ｌを移動許容状態（４）から移動規制状態（３）に切り替える構成にしてもよい。

本実施形態のドア開閉装置２では、収納容器クランプ処理をＳｔ３完了した時点において収縮状態（１）にある中空弾性シール部Ｓが、収納容器本体４２の前面４２Ｂに接近するように設定している。つまり、収納容器クランプ処理Ｓｔ３を完了した時点では、収縮状態（１）にある中空弾性シール部Ｓが収納容器本体４２の前面４２Ｂに当接しないように設定している（図１０参照）。

次いで、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、収納容器クランプ処理Ｓｔ３を完了する時点まで収縮状態（１）に設定していた中空弾性シール部（２）を膨張状態に状態変化させて、フレーム２１に形成した開口２１ａ（窓枠部２１６の開口２１５）の近傍における収納容器４とフレーム２１との隙間を塞ぐ処理（シール処理Ｓｔ４）を実施する。すなわち、シール処理Ｓｔ４実施前までは閉状態にあったガス供給切替スイッチＳ４を開状態に切り替えるとともに、シール処理Ｓｔ４実施前までは開状態にあったガス排気切替スイッチＳ６を閉状態に切り替える。すると、中空部Ｓ１に連通する流体通路Ｓ２（流通孔）を通じて所定のガス供給源から流体が中空部Ｓ１に供給される。これにより、中空部Ｓ１内の圧力を上げて、中空部Ｓ１を図１０に示す収縮状態から後方（収納容器４側）に向かって膨張させた図１２に示す膨張状態に状態変化させることができる。その結果、中空弾性シール部Ｓと、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されている収納容器４のうちシール面に設定した収納容器本体４２の前面４２Ｂとが弾接する。このシール処理Ｓｔ４を経ることにより、収納容器本体４２の前面４２Ｂに弾接させた中空弾性シール部Ｓに作用する供給圧力がシール面圧となり、良好なシール領域が形成される。

本実施形態において、シール処理Ｓｔ４によって中空弾性シール部Ｓが弾接する部分は、収納容器本体４２の前面４２Ｂのうち収納容器４の搬出入口４１の近傍を周回する部分である。さらに具体的に、シール処理Ｓｔ４によって中空弾性シール部Ｓの上辺部分ＳＡ及び両側辺部分ＳＣ（図９参照）が弾接する部分は、収納容器４の搬出入口４１の近傍を周回する部分のうち収納容器本体４２の前端部に設けた鍔部４５の前面である。また、鍔部４５は、収納容器本体４２の前端部において上方及び両側方に突出させて設けたものである。つまり、収納容器本体４２の前端部において下方に突出する鍔部は設けられていない。したがって、シール処理Ｓｔ４によって中空弾性シール部Ｓの下辺部分ＳＢは、収納容器本体４２の前端部における下端側の前面である。

本実施形態のドア開閉装置２では、収納容器本体４２の前面４２Ｂをシール面とし、このシール面に対して中空弾性シール部Ｓの中空部Ｓ１自体が膨張して面圧を負荷することができる。その結果、振動等によってシール面が変動した場合にも直ちに追随することが可能なシール領域を確保することができる。

シール処理Ｓｔ４を実施して、中空弾性シール部Ｓが膨張状態（２）に変化することで、収納容器４にはフレーム２１から離間する方向に押圧される力が作用する。しかしながら、本実施形態のドア開閉装置２では、収納容器クランプ処理Ｓｔ３を経ることによって、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４を移動規制部Ｌで固定した状態を維持することができる。このため、中空弾性シール部Ｓに押圧される収納容器４がフレーム２１から離間する方向に移動したり、傾動する事態を防止することができる。特に、本実施形態では、略矩形状をなす開口２１ａ，２１５の両サイドにおける上端近傍及び下端近傍の合計４箇所に移動規制部Ｌを配置している。これにより、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４のうち、収納容器本体４２の前端部における両サイドの上端近傍及び下端近傍の合計４箇所を、各移動規制部Ｌで固定することができる。

本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、シール処理Ｓｔ４に続いて、連結機構２２１を蓋連結状態に切り替える（蓋連結処理Ｓｔ５）。この処理により、予め全閉位置（Ｃ）で待機させているドア部２２に蓋部４３を連結機構２２１で連結して密着状態で保持することができる。また、収納容器本体４２から蓋部４３を取り外し可能な状態になる。また、本実施形態のドア開閉装置２では、載置台２３上の正規位置に収納容器４が載置された時点で、制御部２Ｃが、載置台２３に設けた例えば加圧センサの被押圧部を収納容器４のうち底面部が押圧したことを検出する。これをきっかけに、制御部２Ｃが、載置台２３に設けたノズル２６１（ガス導入部６３として機能するノズルを含む全てのノズル２６１）を載置台２３の上面よりも上方へ進出させる駆動命令（信号）を与える。その結果、これら各ノズル２６１を収納容器４の注入口と排出口にそれぞれ連結し、収納容器４内に対するパージ処理を実行可能な状態になる。

引き続き、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、チャンバ５内に対して環境ガスを供給するチャンバ内パージ処理Ｓｔ６を実行する。このチャンバ内パージ処理Ｓｔ６は、適宜の環境ガス供給源から供給される環境ガスを、チャンバ５の上壁５３に設けたガス供給用ノズル５５からチャンバ５内に注入して、チャンバ５内を環境ガスに置換する処理である。このようなチャンバ内パージ処理Ｓｔ６を実行することにより、チャンバ５の底壁５４に設けたガス排出用ノズル５６（ガス排出部６１）からチャンバ５内の気体雰囲気が排出される。その排出された気体雰囲気（排出ガス）は、排気チューブ６２を通って、載置台２３に設けたノズル２６１のうち排気チューブ６２の下流端が接続されてガス導入部６３として機能するノズル２６１から収納容器４の内部空間４Ｓに導入される。これにより、収納容器４の内部空間４Ｓは、チャンバ５の内部空間５Ｓと同じ環境ガスで充填され、収納容器４の内部空間４Ｓの圧力が、チャンバ５の内部空間５Ｓの圧力と等しくなる。

すなわち、本実施形態では、収納容器４の内部空間４Ｓを密閉した状態でチャンバ内パージ処理Ｓｔ６を行い、当該パージ処理Ｓｔ６が施されたチャンバ５の内部空間５Ｓから、開口２１ａとは別の経路を用いた圧力調整部６によって収納容器４の内部空間４Ｓに対してチャンバ５内の環境ガスを導入して、収納容器４の内部空間４Ｓの圧力をチャンバ５の内部空間５Ｓの圧力と均一にする圧力調整処理Ｓｔ７を実施している。圧力調整処理Ｓｔ７の実行中は、載置台２３に設けたノズル２６１のうち、収納容器４に形成された排出口に連結され且つ圧力調整部６の排気チューブ６２が接続されていないノズル２６１（ボトムパージ排出用ノズル）から収納容器４内の気体雰囲気を排出し、その排出した気体雰囲気（この気体雰囲気は、圧力調整処理実行開始から所定時間までは空気や空気以外の清浄度が低い環境ガスであり、当該所定時間経過後は収納容器４の内部空間４Ｓに充填された環境ガスである）を、図示しない適宜の排気経路を通じて収納容器４内及び搬送室３内に連通していない適宜の空間に排気するように構成している。これにより、ガス導入部６３として機能するノズル２６１から供給する環境ガスを収納容器４内に高濃度で充填できるようにしている。このような圧力調整処理Ｓｔ７を実施することによって、収納容器４の内部空間４Ｓを環境ガスで満たして、収納容器４内の水分濃度及び酸素濃度をそれぞれ所定値以下にまで低下させて収納容器４内における被搬送物Ｗの周囲環境を低湿度環境及び低酸素環境にする。したがって、圧力調整処理Ｓｔ７は、収納容器４の内部空間４Ｓを環境ガスに置換する処理（収納容器内パージ処理）を兼ねる処理であると捉えることもできる。

そして、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、圧力調整処理Ｓｔ７に続いて、蓋部４３をドア部２２とともに移動させて、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１を開放して、収納容器４内の密閉状態を解除する処理（収納容器密閉解除処理Ｓｔ８）を実行する。具体的には、制御部２Ｃが、図７及び図８に示すように、ドア部２２をドア移動機構２７により全閉位置（Ｃ）からチャンバ５の内部空間５Ｓにおいて搬送室３側に向かって上述の水平経路に沿って所定距離移動させる。さらに、制御部２Ｃが、図７及び図８に示すように、上述の移動方向切替位置（Ｐ）に到達したドア部２２を上述の鉛直経路に沿って所定距離降下させて全開位置（Ｏ）に位置付ける。この収納容器密閉解除処理Ｓｔ８を実行する時点では、上述の圧力調整処理Ｓｔ７によってチャンバ５の内部空間５Ｓと収納容器４の内部空間４Ｓの圧力差をなくした状態にあるため、ドア部２２をチャンバ５の内部空間５Ｓ側に移動させる処理をスムーズ且つ適切に行うことができる。なお、収納容器密閉解除処理Ｓｔ８は、収納容器４内を開放する処理であることから、「収納容器開放処理」とも言える。

引き続いて、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、チャンバ５を、遮蔽位置から、開口２１ａに通じる収納容器４の内部空間４Ｓを搬送室３の内部空間３Ｓ、ひいては処理装置Ｍの内部空間ＭＳに開放し得るチャンバ退避位置（図示省略）に移動させる処理（チャンバ退避処理Ｓｔ９）を実行する。これにより、収納容器本体４２の内部空間４Ｓ及び搬送室３の内部空間３Ｓがチャンバ５に遮蔽されずに相互に連通した状態になる。なお、チャンバ内パージ処理Ｓｔ６を実行した後に、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）から移動方向切替位置（Ｐ）まで移動させて、その位置で一旦待機させた状態で、チャンバ５を遮蔽位置からチャンバ退避位置に移動させ、その後に、ドア部２２を移動方向切替位置（Ｐ）から全開位置（Ｏ）に移動させる処理手順を採用することも可能である。また、本実施形態では、圧力調整処理Ｓｔ７を完了した後の適宜の時点、例えばチャンバ退避処理Ｓｔ９を実行する前の時点で、チャンバ５の内部空間５Ｓに対する環境ガスの供給を停止しておくことで、ガス使用量及びガス使用時間を制限し、コストの削減を図ることもできる。

そして、収納容器本体４２の内部空間４Ｓと搬送室３の内部空間３Ｓとを連通させた状態で、搬送室３の内部空間３Ｓに設けた搬送ロボット３１が収納容器４内にアクセスして、被搬送物Ｗに対する搬送処理を実施する（搬送処理Ｓｔ１０）。搬送処理Ｓｔ１０において実施可能な搬送処理内容は、搬送ロボット３１がハンドで収納容器４内の被搬送物Ｗを取り出す処理や、製造装置Ｍによる適宜の処理を終えた処理済みの被搬送物Ｗをハンドで収納容器４内に入れる処理である。例えば搬送処理Ｓｔ１０によって収納容器４内の被搬送物Ｗを搬送室３内に搬送した場合、搬送室３内に搬送された被搬送物Ｗは、搬送ロボット３１によって処理装置Ｍ（具体的にはロードロック室）に搬送したり、バッファステーション又はアライナに搬送される。また、製造装置Ｍによる適宜の処理を終えた処理済みの被搬送物Ｗは、搬送ロボット３１によって処理装置Ｍの内部空間ＭＳから収納容器４の内部空間４Ｓに直接収納されたり、バッファステーションを経由してから収納容器４の内部空間４Ｓに順次収納される。

そして、本実施形態に係るドア開閉装置２では、収納容器４に対する搬送ロボット３１の次のアクセスを実行する場合（図１５におけるＳｔ１１；Ｙｅｓ）、搬送処理Ｓｔ６を繰り返し行う。本実施形態に係るドア開閉装置２では、収納容器４内の被搬送物Ｗが全て処理装置Ｍによる処理工程を終えたものになると、制御部２Ｃが、次の搬送処理を実行しない場合（図１５におけるＳｔ１１；Ｎｏ）の処理を実行する。つまり、制御部２Ｃが、ドア移動機構２７によりドア部２２を全閉位置（Ｃ）に移動させて、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１を閉止して、収納容器４の内部空間４Ｓを密閉する処理（収納容器密閉処理Ｓｔ１２、図１６参照）を実行する。具体的には、制御部２Ｃが、図７及び図８に示すように、ドア部２２を上述の鉛直経路に沿って所定距離上昇させて全開位置（Ｏ）から移動方向切替位置（Ｐ）まで移動させる。続いて、制御部２Ｃが、移動方向切替位置（Ｐ）に到達したドア部２２を搬送室３から離間する方向（後方）に向かって上述の水平経路に沿って所定距離移動させる。その結果、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１は閉止されて、収納容器４の内部空間４Ｓは密閉状態になる。この収納容器密閉処理Ｓｔ１２に伴って、蓋部４３の内向き面４３１に設けたリテーナ４４が、弾性変形しながら被搬送物Ｗのエッジを保持し、収納容器４に収納されている全ての被搬送物Ｗを正規の収納位置に位置決めすることができる（図１４参照）。

次いで、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、チャンバ５をチャンバ退避位置から遮蔽位置に移動させる処理（チャンバ遮蔽処理Ｓｔ１３）を実行する。続いて、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、上述のチャンバ内パージ処理Ｓｔ６及び圧力調整処理Ｓｔ７とそれぞれ同じ処理内容である第二次チャンバ内パージ処理Ｓｔ１４及び第二次圧力調整処理Ｓｔ１５を実行する。なお、ドア部２２を全開位置（Ｏ）から移動方向切替位置（Ｐ）まで移動させ、その位置で一旦待機させた状態で、チャンバ遮蔽処理Ｓｔ１３を実行してから、第二次チャンバ内パージ処理Ｓｔ１４及び第二次圧力調整処理Ｓｔ１５を実行し、その後に、ドア部２２を移動方向切替位置（Ｐ）から全閉位置（Ｃ）に移動させる処理手順を採用することも可能である。また、本実施形態では、チャンバ内パージ処理Ｓｔ６を開始した後の適宜の時点でチャンバ５の内部空間５Ｓに対する環境ガスの供給を停止することにより、ガスの使用量及び使用時間を制限し、コストの削減を図ることが可能である。

引き続いて、本実施形態に係るドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、連結機構２２１を蓋連結状態から蓋連結解除状態に切り替える処理（蓋連結解除処理Ｓｔ１６）を実行する。この処理により、連結機構２２１によるドア部２２と蓋部４３の連結状態（蓋連結状態）を解除して、収納容器本体４２に蓋部４３を取り付けることができる。

次いで、本実施形態に係るドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、蓋連結解除処理Ｓｔ１６に続いて、中空弾性シール部Ｓを膨張状態（２）から収縮状態（１）に状態変化させて、中空弾性シール部１による収納容器本体４２の前面４２Ｂとフレーム２１とのシール状態を解除する処理（シール解除処理Ｓｔ１７）を実行する。すなわち、シール処理Ｓｔ４の開始後からシール解除処理Ｓｔ１７実施前まで開状態に維持されているガス供給切替スイッチＳ４を閉状態に切り替えるとともに、シール処理Ｓｔ４の開始後からシール解除処理Ｓｔ１７実施前まで閉状態に維持されているガス排気切替スイッチＳ６を開状態に切り替える。すると、流体通路Ｓ２を通じて中空部Ｓ１内は真空吸引される。したがって、中空部Ｓ１内に供給されていた流体を中空部Ｓ１から排出することができる。これにより、中空部Ｓ１の圧力を下げて、中空弾性シール部Ｓを図１２に示す膨張状態（２）から図１０に示す収縮状態（１）に変化させることができる。その結果、中空弾性シール部Ｓと、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上に載置されている収納容器４の前面４２Ｂとの弾接状態が解除される。

本実施形態に係るドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、シール解除処理Ｓｔ１７に続いて、移動規制部Ｌによる収納容器４の固定状態（クランプ状態）を解除する収納容器クランプ解除処理Ｓｔ１８を行う。具体的には、移動規制部Ｌの引き込み部Ｌ２によってフレーム２１側に引き込まれた位置にある係合片Ｌ１を、シャフトＬ３とともにフレーム２１から離間する方向に移動させる。すると、係合片Ｌ１が対面姿勢から非対面姿勢に自動的に切り替わり、収納容器本体４２の鍔部４５に対する係合片Ｌ１の係合状態が解除され、移動規制部Ｌによる収納容器４の固定状態を解除することができる。すなわち、収納容器クランプ解除処理Ｓｔ１８は、移動規制部Ｌを移動規制状態（３）から移動許容状態（４）に切り替える処理で実現できる。

次いで、本実施形態のドア開閉装置２では、制御部２Ｃが、載置台２３をフレーム２１から離間する方向に後退させる処理（ドッキング解除処理Ｓｔ１９）を実行する。また、制御部２Ｃが、載置台２３上のロック爪２３２で収納容器４をロックしている状態を解除する（ロック解除処理Ｓｔ２０）。具体的には、収納容器４の底面に設けた被ロック部に対するロック爪２３２のロック状態を解除する。これにより、所定の処理を終えた被搬送物Ｗを格納した収納容器４は、各ドア開閉装置２の載置台２３上から収納容器搬送装置に引き渡され、次工程へと運び出される。

以上のように、本実施形態に係るドア開閉装置２は、フレーム２１のうち開口２１ａの開口縁近傍領域において開口２１ａを周回するように中空弾性シール部Ｓを設け、この中空弾性シール部Ｓを収縮状態（１）と膨張状態（２）との間で状態変化可能に構成している。したがって、載置台２３上に載置した収納容器４の蓋部４３が開口２１ａに接近する所定のドッキング位置に載置台２３を位置付けた状態で、収縮状態（１）にある中空弾性シール部Ｓを膨張状態（２）に変化させることにより、収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設定したシール面、つまり本実施形態であれば収納容器本体４２の前面４２Ｂに、中空弾性シール部Ｓを弾接させて良好なシール領域を形成することができる。その結果、フレーム２１に形成した開口２１ａを周回するシール領域を介して収納容器４とフレーム２１とを相互に密着させることができる。

しかも、本実施形態に係るドア開閉装置２によれば、フレーム２１の開口２１ａと収納容器本体４２との隙間であって収納容器４の外部及び搬送室３の外部に連通し得る領域をシール領域で密閉することで、収納容器４内を収納容器４外の雰囲気（外気）から遮断することができる。また、本実施形態のドア開閉装置２は、収納容器本体４２のシール面に膨張状態（２）の中空弾性シール部Ｓを弾接させることで形成したシール領域を通じて外部から空気等が収納容器４内や搬送室３内に流入する事態も防止・抑制することができる。その結果、被搬送物の品質向上を図ることが可能である。

さらに、本実施形態に係るドア開閉装置２は、収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設定したシール面に対して、収縮状態（１）から膨張状態（２）に状態変化させた中空弾性シール部Ｓを弾接させることでシール領域を形成する構成を採用している。このため、本実施形態において形成されるシール領域のシール性（密閉性）を、Ｏリングなどの可撓性に劣る弾性材に対して収納容器本体４２のシール面を押し付けることで形成されるシール領域のシール性よりも高くすることができる。したがって、収納容器４内や搬送室３内に環境ガスが供給される使用状況下であっても、環境ガスがシール領域から収納容器４の外部や搬送室３の外部へ流出する事態を防止することができる。また、上述の中空弾性シール部Ｓを用いることによって、比較的大きな隙間に対してもシールが可能である。

特に、本実施形態に係るドア開閉装置２は、少なくともフレーム２１の開口２１ａの上端近傍に移動規制部Ｌを設けている。そして、移動規制部Ｌが、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４がフレーム２１から離間する方向に移動することを規制する移動規制状態（３）と、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４がフレーム２１から離間する方向に移動することを許容する移動許容状態（４）との間で切替可能なものである。したがって、載置台２３をドッキング位置に位置付けた時点以降に、移動規制部Ｌを移動許容状態（４）から移動規制状態（３）に切り替えて、移動規制状態（３）を維持したまま、収縮状態（１）にある中空弾性シール部Ｓを膨張状態（２）に変化させることで、以下の作用効果を奏する。すなわち、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４に対して中空弾性シール部Ｓを収縮状態（１）から膨張状態（３）に変化させた場合に、フレーム２１から離間する方向に押圧する力が収容容器４に作用しても、少なくとも開口２１ａの上端近傍に設けた移動規制状態（３）にある移動規制部Ｌによって収納容器４の移動や傾動を防止・抑制することができる。その結果、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４がフレーム２１から離間する方向に移動したり、傾動することで生じ得る収納容器４内でのパーティクルの舞い上がりや被搬送物Ｗの位置ズレの発生を回避することができる。

また、本実施形態では、移動規制部Ｌとして、収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設けられた鍔部４５に係合可能な係合片Ｌ１と、係合片Ｌ１を鍔部４５に係合させた状態でフレーム２１側に移動させることが可能な引き込み部Ｌ２とを備えたもの適用している。このような移動規制部Ｌであるため、係合片Ｌ１に係合させた収納容器本体４２の鍔部４５をフレーム２１側に引き込む動作により、収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設定したシール面に対する中空弾性シール部Ｓの密着度を高める（密着面積を大きく）ことができる。その結果、シール領域のより一層良好なシール性を確保することができる。本実施形態においてシール領域を形成する「シール面」は、「収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設定した面」である。本実施形態では、収納容器本体４３のうち蓋部４３の周囲部分において上方及び外側方に突出させた鍔部４５を設けた収納容器４を採用しており、中空シール部Ｓの上辺部分ＳＡ及び両側辺部分ＳＣが鍔部４５の前面に弾接する。したがって、鍔部４５の前面は、シール処理Ｓｔ４によって中空弾性シール部Ｓが弾接するシール面として機能する。

加えて、本実施形態に係るドア開閉装置２は、略矩形状をなす開口２１ａの両サイドにおける上端近傍及び下端近傍にそれぞれ移動規制部Ｌを配置した構成を採用している。これにより、ドッキング位置に位置付けた載置台２３上の収納容器４に対して中空弾性シール部Ｓを膨張させて密着させる際に、収納容器４がフレーム２１から離間する方向へ移動したり、傾動する事態をより確実に防止することができる。

特に、本実施形態に係るドア開閉装置２では、中空部Ｓ１に供給された流体によって中空部Ｓ１の圧力が上がることで膨張状態（２）になり、供給された流体を中空部Ｓ１から排出して中空部Ｓ１の圧力を下げることによって収縮状態（１）になる中空弾性シール部を適用している。これにより、中空部Ｓ１内における供給圧力がそのままシール面圧となり、良好なシール機能を発揮する。また、収納容器本体４２のシール面に対して中空部Ｓ１自体が膨張して面圧を負荷することができ、振動等によってシール面が変動した場合にも直ちに追随することが可能なシール領域を形成することができる。

また、本実施形態に係る搬送装置（ＥＦＥＭ１）は、搬送室３と、搬送室３の壁面３Ａに設けた上述の構成を有するドア開閉装置２と、搬送室３内に設けられ、且つドア開閉装置２の載置台２３上の収納容器４と搬送室３と間で被搬送物Ｗを出し入れ可能な搬送ロボット３１とを備えているため、ドア開閉装置２が奏する上述の作用効果を得て、フレーム２１のうち開口２１ａの周辺部分と収納容器４との隙間をなくし、その隙間を通じて、収納容器４内や搬送室３内の環境ガスが収納容器４の外部や搬送室３の外部へ流出する事態や、外部から空気等が収納容器４内や搬送室３内に流入する事態を防止・抑制することができる。

また、本実施形態では、上述のドア開閉装置２を利用した収納容器４のドッキング方法として、収納容器４を載置した載置台２３を、蓋部４３が開口２１ａに接近する所定のドッキング位置に移動させた後に、収縮状態（１）にある中空弾性シール部Ｓを膨張状態（２）に変化させて、収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設定したシール面に中空弾性シール部Ｓを弾接させてシール領域を形成するシール処理Ｓｔ４を経る方法を採用している。したがって、フレーム２１の開口２１ａと収納容器本体４２との隙間、つまり、収納容器４の内部空間４Ｓや搬送室３の内部空間３Ｓが外部に連通し得る隙間を密閉することができ、載置台２３上に載置される収納容器４の内部空間４Ｓと搬送室３の内部空間３Ｓとを連通させた際の良好な密閉性を確保することができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、フレームのうち開口の開口縁近傍において開口を周回するように中空弾性シール部を設け、シール処理を実施することで、ドッキング位置に位置付けた載置台上の収納容器の前面に対して、中空弾性シール部が後方（収納容器側）に膨張して弾接する構成を例示した。この構成に代えて、中空弾性シール部をフレームのうち開口の開口縁において開口を周回するように中空弾性シール部を設けた構成を採用することができる。このような構成を適用する好適な場合として、収納容器の蓋部がフレームの開口に接近する所定のドッキング位置に載置台を位置付けた状態において、蓋部が開口に接近して到達している態様を挙げることができる。

つまり、図１７に示すように、載置台２３を所定のドッキング位置に位置付けた状態において、収納容器４の蓋部４３がフレーム２１の開口２１ａ（ウインドウユニット２１４の開口２１５）に接近して到達するように設定されている場合、収納容器本体４２の前面４２Ｂは、フレーム２１に形成した開口２１ａの開口後縁よりも前方に位置付けられる。このような構成において、フレーム２１のうち開口２１ａの開口縁において開口を周回するように設けた中空弾性シール部Ｓが収縮状態（１）にあれば、収納容器本体４２の前端部に中空弾性シール部Ｓが接触しないように設定しておく。そして、中空弾性シール部Ｓを収縮状態（１）から膨張状態（２）に状態変化させると、中空弾性シール部Ｓが開口２１ａの開口寸法を狭くする方向（開口２１ａの中心に向かう方向）に膨張して、収納容器本体４２の前端部に弾接する。これにより、フレーム２１の開口２１ａと収納容器本体４２との隙間を密閉することができる。

図１７に示す構成を採用した場合、シール処理によって中空弾性シール部Ｓが弾接する対象であるシール面は、載置台２３を所定のドッキング位置に位置付けた状態において、収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分であって且つ開口２１ａの開口縁に対面する面である。具体的には、収納容器本体４２のうち、前後方向Ｄと直交する方向において開口２１ａの開口縁に対面する面がシール面として機能する。したがって、収納容器本体４２の前端部における上向き面、下向き面、及び側面が、シール面として機能する。そして、これらシール面に膨張状態の中空弾性シール部Ｓを弾接させることでシール領域を形成することができる。なお、図１７に示すように、収納容器本体４２の前端部に鍔部４５を設けている場合は、鍔部４５の上向き面や側面がシール面として機能する。

図１７に示す構成を採用した場合、収縮状態及び膨張状態にある中空弾性シール部がフレームの厚み内に収まるように設定することができる。一方、収縮状態及び膨張状態にある中空弾性シール部がフレームの厚み内に収まらずに、フレーム２１の最前面２１Ｂまたは最背面２１Ａの少なくとも何れか一方の面よりも前方または後方にはみ出す形態となってもよい。

また、載置台のドッキング位置は、収納容器本体の前端部がフレームの開口フレームにおける中空弾性シール部の配置箇所等の仕様に応じて適宜設定することが可能である。

例えば図１７に示すように構成のように、ドッキング位置に位置付けた載置台上の収納容器に対して、中空弾性シール部を収縮状態から膨張状態に変化させた場合、収容容器に対してフレームから離間する方向に押圧する力が作用しない構成であれば、移動規制部を省略することが可能である。移動規制部が不要であれば、移動規制部を備えた態様と比較して構造の簡素化を図ることができる。

本発明における中空弾性シール部は、収縮状態と膨張状態の間で状態変化可能なものであればよい。したがって、上述した構成のいわゆるインフラートシール以外のパーツや機構を用いて中空弾性シール部を構成することも可能である。

また、フレームに形成された開口を周回する中空弾性シール部を、高さ方向あるいは前後方向に所定ピッチで複数段状に配置してもよい。この場合、複数の中空弾性シール部を配置したことでシール領域が広くなり、より一層高いシール性を確保することができる。また、一つの中空弾性シール部のシール機能が低下した場合においても、他の中空弾性シール部が有効なシール機能を確保することで、シール領域の良好なシール性を確保することができる。

また、フレームに形成された開口に沿って複数の中空弾性シール要素を順番に並べて配置することで、開口を周回するように配置された中空弾性シール部を構成することも可能である。

移動規制部を配置する箇所は適宜選択することができる。一例として、収納容器本体の上端部における両サイド以外の部分（例えば幅方向中央部分）を保持可能な移動規制部を備えたドア開閉装置であってもよい。また、移動規制部の数を変更することも可能である。

さらにはまた、前記実施形態で例示したクランプ機能を発揮する移動規制部に代えて、または加えて、クランプ機能は発揮しないが適宜の手段によりロック機能またはホールド機能を発揮することで、ドッキング位置に位置付けた載置台上の収納容器がフレームから離間する方向に移動したり、傾動することを規制可能な移動規制部を適用することもできる。

また、中空弾性シール部及び移動規制部をユニット化してフレームに配置してもよいし、中空弾性シール部及び移動規制部をユニット化せずに個別に配置してもよい。上記実施形態におけるウインドウユニット２１４を省略した構成を採用する場合、フレーム本体２１２に開口２１ａが直接形成されたフレームを適用することができる。

上述の実施形態では、搬送室内にチャンバを配置した構成を例示したが、搬送室内にチャンバが配置されない構成を採用することが可能である。搬送室内にチャンバが配置されない構成であれば、圧力調整部も省略することができる。この場合、チャンバ内パージ処理や圧力調整処理も省略される。

なお、チャンバ及び圧力調整部を備えたドア開閉装置として、例えば、図１８に示すように、ガス排出部６１’をフレーム２１に設け、このガス排出部６１’に上流端を連結したガス排気経路６２’を備えた圧力調整部６’を採用することができる。フレーム２１に設けたガス排出部６１’は、チャンバ５の内部空間５Ｓに連通する貫通孔である。このガス排出部６１’にガス排気経路６２’の上流端を密着させている。ガス排気経路６２’の大部分は、上述のカバー２８内に配置される。ガス排気経路６２’のうち少なくとも上述のカバー２８内に配置される部分は、チューブによって形成される。ガス排気経路６２’の下流端は、ガス導入部６３に密着している。このような圧力調整部６’により、チャンバ内パージ処理によってチャンバ５内に供給する環境ガスは、ガス排出部６１’、ガス排気経路６２’及びガス導入部６３をこの順に通過して収納容器４の内部空間４Ｓに導入される。したがって、このような圧力調整部６’を通じてチャンバ５の内部空間５Ｓと収納容器４の内部空間４Ｓの圧力差をなくすことができる。このようなガス排気経路６２’であれば、チャンバ５の移動に追従して移動または変形可能であるという条件が要求されない。したがって、ガス排気経路６２’を構成する部材の選択や、設置スペース上の設計自由度が高まる。ガス排気経路６２’として、図１８に示すように、ガス排出部６１’から流れてくるチャンバ５内の環境ガスをガス導入部６３に向かわせる経路（圧力調整経路）に加えて、ガス排出部６１’から流れてくるチャンバ５内の環境ガスを適宜の排気空間（例えば搬送室の内部空間）に向かわせる経路（排気経路）を有する構成を採用することができる。図１８には、排気経路の下流端を、フレーム２１のうち上述のカバー２８の内部空間と搬送室の内部空間を連通する位置に設けた貫通孔６４’に密着させている。この場合、ガス排出部６１’から流れてくるチャンバ５内の環境ガスの排気経路を、圧力調整経路または排気経路の何れかに切替可能な構成（例えば切替弁を配置する構成）にすればよい。

また、ドア部が、全閉位置と全開位置との間の移動の全部または一部に回転動作を伴うものであっても構わない。例えば、図１９及び図２０に示すように、全閉位置（Ｃ）と移動方向切替位置（Ｐ）との間におけるドア部２２の移動を回転動作に設定しつつ、移動方向切替位置（Ｐ）と全開位置（Ｏ）との間におけるドア部２２の移動を直線動作に設定する構成を挙げることができる。この場合、移動方向切替位置（Ｐ）に位置付けたドア部２２の姿勢は、所定角度傾斜した姿勢となる。この傾斜姿勢を維持したまま移動方向切替位置（Ｐ）と全開位置（Ｏ）の間で移動することになる。なお、図１９及び図２０では一部省略しているドア移動機構２７の具体的な構成や駆動源も適宜変更することができる。

また、上述の実施形態では、被搬送物の出し入れ処理中はドア部を全開位置に待機させるように構成した態様を例示した。このような態様に代えて、例えば、図２１に示すように、被搬送物Ｗの出し入れ処理中はその被搬送物Ｗを収納容器４に対して出し入れするために必要な分だけ収納容器本体４２の内部空間４Ｓを開放する中途開放位置（Ｉ）にドア部２２を待機させるように構成することも可能である。このような構成であれば、被搬送物Ｗの出し入れ処理中における収納容器本体４２の内部空間４Ｓの高さ方向における開放度合いを効果的に低減することが可能である。したがって、収納容器本体４２の内部空間４Ｓを開放した時点で収納容器４内のパージ濃度は一旦低下し、水分濃度が上昇するが、その上昇した水分濃度を所定値の低水分濃度に戻すまでの時間を短縮することができる。さらに、ドア部２２を全閉位置（Ｃ）と全開位置（Ｏ）の間で移動させる態様よりも、ドア部２２の移動ストロークの短縮化を図ることができるというメリットもある。なお、全開位置（Ｏ）の設定次第では、収納容器４内の最下段の位置に収納される被搬送物Ｗの出し入れ処理中の中途開放位置が、全開位置（Ｏ）と同じ位置または略同じ位置になる場合もある。なお、図２１では、チャンバを省略している。

本発明に係るドア開閉装置は、搬送装置の一例であるＥＦＥＭの一部を構成するものとして使用可能であることは上述した通りである。したがって、ＥＦＥＭ以外の搬送装置やソータ装置の一部を構成するものとして使用することも可能である。ソータ装置は、搬送室の壁面に本発明に係るドア開閉装置を複数配置し、各ドア開閉装置の載置台上に載置した収納容器間で被搬送物を搬送室内に設けた搬送ロボットによって入替可能な装置である。搬送室の共通の壁面に複数のドア開閉装置を配置したソータ装置、或いは搬送室の相互に異なる壁面（例えば前壁と後壁のように対向する壁面）にそれぞれ１又は複数のドア開閉装置を配置したソータ装置、あるいは何れかの側面にバッファステーションやアライナを配置し、各ドア開閉装置の載置台上に載置した収納容器同士、或いは、収納容器とバッファステーションまたはアライナとの間で被搬送物を搬送ロボットによって入替・出し入れ可能なソータ装置、これら何れであっても構わない。

このようなソータ装置であれば、上述の構成を有するドア開閉装置を備えていることによって、上述した作用効果を得ることができ、被搬送物の出し入れ処理を好適に行うことができる。

搬送室の壁面に配置するドア開閉装置は１台であってもよい。

上述した実施形態では、被搬送物としてウェーハを例示したが、被搬送物が、レティクル、液晶基板、ガラス基板、カルチャープレート、培養容器、ディッシュ、或いはシャーレ等であってもよい。すなわち、本発明は、半導体、液晶、細胞培養等の各種分野での容器に収容される搬送対象の搬送技術に適用することができる。

また、本発明に係るドア開閉装置は、ロードポートに限定されず、収納容器と搬送室のインターフェース部分として機能する用途で使用可能なものである。

収納容器内のパージ処理として、上述したボトムパージ処理に加えて、または代えて、収納容器の内部空間の前方から環境ガスを供給するいわゆるフロントパージ処理を適用することも可能である。フロントパージ処理を実行するフロントパージ部は、収納容器本体または蓋体に設けてもよいし、ドア開閉装置に設けてもよい。本発明における収納容器は、上述の実施形態で述べたように、ドア開閉装置の載置台上に載置された時点以降の適宜のタイミングでパージ処理が施される収納容器であってもよい。しかしながら、本発明における収納容器として、ドア開閉装置の載置台上に載置された時点以降の適宜のタイミングでパージ処理が施されない収納容器や、載置台上に載置されるよりも前の時点で予めパージ処理が施されている収納容器を適用することもできる。ドア開閉装置の載置台上に載置されるよりも前の時点で予め施されるパージ処理のタイミングの具体例としては、複数の収納容器を保管可能な保管庫に保管されている時点、ドア開閉装置とは別の専用パージステーション上に載置されている時点、他の被搬送物製造装置における製造工程中の適宜の時点乃至製造完了後の適宜の時点を挙げることができる。

収納容器の種類やタイプ、搬送室の具体的な構成や機能も適宜変更することができる。パージ処理に要する環境ガスとして、窒素ガスやドライエア以外の気体を適用しても構わない。

搬送ロボットとして、被搬送物把持部（上述の実施形態であればハンド）を複数有するものを適用することができる。また、被搬送物把持部がハンド以外の所定のパーツ等から構成された搬送ロボットを適用することもできる。また、搬送ロボットは、搬送室内に配置されるものであればよい。搬送ロボットを備えたドア開閉装置であってよい。

上述の実施形態では、ドア開閉装置２が制御部２Ｃを備え、ドア部２２の移動等、各部の作動を制御部２Ｃが司る態様を例示した。この態様に代えて、ドア開閉装置の上位の装置（上述の実施形態であればＥＦＥＭ、あるいは処理装置）の作動を司る制御部（上位コントローラである上述のＥＦＥＭ全体の制御部３Ｍや処理装置Ｍの制御部ＭＣ）によって、ドア開閉装置の作動も司るように構成することも可能である。

また、上述の制御部は、専用のシステムによらず、通常のコンピュータシステムを用いて実現可能である。例えば、汎用コンピュータに、上述の処理を実行するためのプログラムを格納した記録媒体（フレキシブルディスク、ＣＤ−ＲＯＭなど）から当該プログラムをインストールすることにより、上述の処理を実行する制御部を構成することができる。そして、これらのプログラムを供給するための手段は任意である。上述のように所定の記録媒体を介して供給できる他、例えば、通信回線、通信ネットワーク、通信システムなどを介して供給してもよい。この場合、例えば、通信ネットワークの掲示板（ＢＢＳ）に当該プログラムを掲示し、これをネットワークを介して搬送波に重畳して提供してもよい。そして、このように提供されたプログラムを起動し、ＯＳの制御下で、他のアプリケーションプログラムと同様に実行することにより、上述の処理を実行することができる。

また、例えば、ＥＦＥＭ以外の搬送装置として、例えば、図２２に示すように、ＳＭＩＦ（standard of mechanical interface）システム１を挙げることができる。ＳＭＩＦシステム１では、底に蓋部４３が設けられた収納容器４を、フレーム２１の一部に形成した載置台２３に載置した状態で、収納容器４の下方から蓋部４３をドア部２２によって開閉することができる。また、ＳＭＩＦシステムでは、例えばウェーハである被搬送物を収容したカセットと呼ばれる収容ケース（図示省略）を、収納容器４の蓋部４３上に固定し、ドア部２２の昇降移動に伴って、搬送室３内に搬送可能な状態に待機させたり、収納容器内４Ｓに搬送することができる。以下に、本発明に係るドア開閉装置２を適用した搬送装置１（ＳＭＩＦシステム）の一例を第２実施形態として説明する。

第２実施形態に係るドア開閉装置２は、例えば半導体の製造工程において用いられ、図２２に示すように、クリーンルーム内において、ローダと称される搬送室３の壁面の一部を構成し、搬送室３と収納容器４との間で被搬送物Ｗの出し入れを行うためのものである。第２実施形態に係るドア開閉装置２は、搬送室３の壁面３Ａの一部を構成するフレーム２１と、フレーム２１に形成した開口２１ａを開閉するドア部２２と、フレーム２１のうち、収納容器４の内部空間４Ｓを開閉可能とする蓋部４３をドア部２２に対向させる向きで収納容器４を載置可能な位置に形成された載置台２３とを備えている。

フレーム２１は、中空箱状をなし、上壁２１１を載置部２３として機能させている。そして、載置台２３として機能するフレーム２１の上壁２１１に、フレーム２１に仕切られる空間（フレームの内部空間２１Ｓ）を開放するための開口２１ａを形成している。この開口２１ａは、載置台２３上に載置した収納容器４の搬出入口４１と連通し得る大きさを有する。また、この開口２１ａは、載置台２３の平面視中央部分に形成されている。第２実施形態のドア開閉装置２は、このようなフレーム２１を搬送室３に密着させた状態で使用可能なものである。なお、フレーム２１のうち搬送室３の内部空間３Ｓと、フレーム２１の内部空間２１Ｓとを仕切る起立壁２１２の一部に、相互の内部空間３Ｓ，２１Ｓを連通させる開口２１２ａを形成している。

ドア部２２は、収納容器４の蓋部４３に当該ドア部２２を連結して、蓋部４３を収納容器本体４２から取り外し可能な蓋連結状態と、蓋部４３に対する連結状態を解除し、且つ蓋部４３を収納容器本体４２に取り付けた蓋連結解除状態との間で切り替え可能な連結機構（図示省略）を備えている。ドア部２２は、連結機構によって蓋部４３を一体化した状態で保持したまま所定の移動経路に沿って移動可能なものである。第２実施形態のドア開閉装置２は、ドア部２２を、当該ドア部２２が保持する蓋部４３によって収納容器本体４２の内部空間４Ｓを密閉する全閉位置（図２２参照）と、当該ドア部２２が保持する蓋部４３を収納容器本体４２から離間させて当該収納容器本体４２の内部空間４Ｓをフレーム２１の内部空間２１Ｓに向かって下方に全開放させる全開位置（図示省略）との間で移動可能に構成している。第２実施形態では、図２２に示す全閉位置にドア部２２を、その姿勢を維持したまま全開位置まで移動可能に設定している。すなわち、全閉位置と全開位置との間におけるドア部２２の移動経路は、全閉位置にあるドア部２２をその前後位置を維持したまま下方へ移動させた経路（鉛直経路）である。

このようなドア部２２の移動は、ドア開閉装置２に設けたドア移動機構２７によって実現している。ドア移動機構２７は、ドア部２２を支持した状態で昇降可能な昇降部２７１と、昇降部２７１を駆動させる駆動源（例えば図示しないアクチュエータ）とを備えている。このアクチュエータに対して制御部から駆動指令を与えることで、ドア部２２を上下方向に移動させることができる。

また、第２実施形態に係るドア開閉装置２は、開口４２の周縁近傍に設けた中空弾性シール部Ｓと、載置台２３上の所定のドッキング位置に載置した収納容器４がフレーム２１から離間する方向（上方）に移動することを規制する移動規制部Ｌとを備えている。

中空弾性シール部Ｓは、フレーム２１のうち開口２１ａの開口縁近傍領域において開口２１ａを周回するように設けられる。フレーム２１の一部に載置台２３を形成している第２実施形態では、載置台２３の平面視中央部分に形成した開口２１ａの開口縁近傍領域において開口２１５を周回する位置に中空弾性シール部Ｓを設けている。より具体的には、載置台２３の上向き面２３Ｔのうち、収納容器本体４２の下向き面４２Ｕであって且つ後述するシール面（収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設定した面）と対向する位置に中空弾性シール部Ｓを周回させて取り付けている。矩形状をなす開口２１ａの開口縁近傍において開口２１ａを周回するように配置された中空弾性シール部Ｓは、平面視略矩形状をなす。第２実施形態では、中空弾性シール部Ｓを、前後方向Ｄに所定ピッチで複数段（図示例では２段）状に配置している。

そして、中空弾性シール部Ｓは、図２２に示す膨張状態と図示しない収縮状態との間で状態変化可能なものである。第２実施形態における中空弾性シール部Ｓは、上述の実施形態における中空弾性シール部Ｓの構成と同様にインフラートシールを適用している。すなわち、中空弾性シール部Ｓは、内部が中空であって全体として開口２１ａを周回するリング状の中空部と、中空部の内部に連通する流体通路（流通孔）とを備えている。中空弾性シール部Ｓは、流体通路を通じて供給された流体によって中空部の圧力が上がることで膨張状態になる。また、中空弾性シール部Ｓは、供給された流体を中空部から流体通路を通じて排出して当該中空部の圧力を下げることによって収縮状態になる。中空弾性シール部Ｓは、中空部及び流体通路Ｓをそれぞれ１つずつ備えている。

第２実施形態のドア開閉装置２では、載置台２３の上向き面２３Ｔに、開口２１ａの開口縁近傍を周回するように断面が凹形状となる中空弾性シール取付溝を形成している。この中空弾性シール取付溝に中空部を挿入した状態で緊密に取り付けている。なお、中空部は、接着剤やボルト等の適宜の手段によって中空弾性シール取付溝から抜け外れないように取り付けられる。この取付状態において、中空部のうちフレーム２１側の所定部分のみが中空弾性シール取付溝に収容される一方、他の部分（収納容器４側の所定部分）は中空弾性シール取付溝に収容されずに中空弾性シール取付溝の外に露出している。そして、中空弾性シール部Ｓが収縮状態にある場合に、中空部に連通する流体通路を通じて所定のガス供給部から流体を中空部に供給して圧力を上げると、中空弾性シール部Ｓは、中空部のうち中空弾性シール取付溝の外に露出している部分を収納容器４側（上方）に向かって膨張させた膨張状態になる。

図２２に示すように、載置台２３上の所定のドッキング位置に載置した収納容器本体４２の下向き面４２Ｕに対して、膨張状態にある中空弾性シール部Ｓが弾接する。すなわち、本実施形態では、収納容器４のうち中空弾性シール部Ｓが弾接する収納容器本体４２の下向き面をシール面に設定している。そして、このシール面に中空弾性シール部Ｓを弾接させることで良好なシール領域を形成することができる。

本実施形態では、中空弾性シール部Ｓを収縮状態にした場合にも中空部の一部が中空弾性シール取付溝の外に露出している。載置台２３上の所定のドッキング位置に載置した収納容器４のシール面（収納容器本体４２の下向き面４２Ｕ）が、収縮状態にある中空弾性シール部Ｓに接触するように設定している。なお、載置台２３上の所定のドッキング位置に載置した収納容器４のシール面が、収縮状態にある中空弾性シール部Ｓよりも優先して他のパーツに接触させることによって、収縮状態にある中空弾性シール部Ｓに当接しない程度に接近するように設定した構成を採用してもよい。また、中空部Ｓ１に供給される流体は、搬送室３内に供給する環境ガスや、収納容器４内に供給する環境ガスを使用することができる。

第２実施形態では、膨張状態にある中空弾性シール部Ｓに対して、流体通路Ｓ２を通じて中空部内を真空吸引することにより、中空弾性シール部Ｓを膨張状態から収縮状態に変化させることができる。

なお、図２２では、中空弾性シール部Ｓを黒く塗りつぶした略円形状のマークで模式的に示している。同図からも把握できるように、第２実施形態では、フレーム２１（具体的には載置台２３）の下向き面とドア部２３との間にも中空弾性シール部Ｓを配置している。

移動規制部Ｌは、載置台２３上のドッキング位置に載置した収納容器４がフレーム２１から離間する方向（上方）に移動することを規制する移動規制状態（図２２参照）と、載置台２３上のドッキング位置に載置した収納容器４がフレーム２１から離間する方向へ移動することを許容する移動許容状態（図示省略）との間で切替可能なものである。すなわち、移動規制部Ｌは、移動規制状態になることで、載置台２３上の所定のドッキング位置に載置した収納容器４を保持することが可能である。

本実施形態における移動規制部Ｌは、収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設けられた鍔部４５に係合可能な係合片Ｌ１を主体としてなる。なお、係合片Ｌ１を鍔部４５に係合させた状態でフレーム２１側に移動させる引き込み部を備えた移動規制部を採用することもできる。このような移動規制部Ｌは、収納容器本体４２の鍔部４５を係合片Ｌ１とフレーム２１との間に挟み込む状態で保持可能なクランプ機能を発揮する。

係合片Ｌ１は、高さ方向Ｈにおいて収納容器４に対面する対面姿勢（図２２参照）と、少高さ方向Ｈにおいて収納容器４に対面しない非対面姿勢（図示省略）との間で可動する。

第２実施形態に係るドア開閉装置２は、係合片Ｌ１を非対面姿勢にすることで、載置台２３の上方から収納容器４を、蓋部４３が開口２１ａに接近する所定のドッキング位置に載置したり、ドッキング位置に載置されている収納容器を載置台２３の上方へ移動させることができる。すなわち、移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢にすることで移動許容状態になる。

このような移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢にした状態で収納容器４を載置台２３上のドッキング位置に載置させ、その時点以降に、非対面姿勢にある係合片Ｌ１を非対面姿勢から対面姿勢に変更する。すると、係合片Ｌ１を収納容器本体４２の下端部において外側方に張り出した鍔部４５に係合させることができる。その結果、収納容器４の鍔部４５を係合片Ｌ１とフレーム２１（具体的には載置台２３）の間に挟み込む状態になり、ドッキング位置に載置した収納容器４がフレーム２１から離間する方向に移動することを規制することができる。すなわち、移動規制部Ｌは、係合片Ｌ１を非対面姿勢から対面姿勢に変更させることで移動規制状態になる。

第２実施形態のドア開閉装置２では、このような移動規制部Ｌを、収納容器４の鍔部４５の四隅近傍をクランプ可能な位置、すなわち合計４箇所に配置している。

上記のように構成したドア開閉装置２は、ドア開閉装置２のコントローラ（制御部）から各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。このようなドア開閉装置２を、搬送室３の一つの壁面３Ａに複数（例えば３台）並べて配置することができる。

図２２に示すように、第２実施形態に係る搬送装置１は、共通のクリーンルーム内に相互に隣接する位置に設けたドア開閉装置２及び搬送室であるローダ３を主体として構成されたものである。搬送装置１の作動は、ドア開閉装置２のコントローラや、搬送装置１全体のコントローラによって制御される。搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した壁面３Ａに対向する壁面には例えば図示しない処理装置（半導体処理装置）が隣接して設けられる。なお、処理装置の作動は、処理装置のコントローラによって制御される。ここで、処理装置全体のコントローラや、搬送装置１全体のコントローラは、ドア開閉装置２の制御部の上位コントローラである。

搬送室であるローダ３は、収納容器４の内部空間４Ｓからフレーム２１の内部空間２１Ｓに移動したカセット（被搬送物Ｗが収容されたカセット）を処理装置に搬送したり、処理装置から取り出したカセットをドア搬送装置２のドア部２２に搬送可能なものである。搬送室３は、ドア開閉装置２及び処理装置Ｍが接続されることによって、内部空間３Ｓが略密閉された状態となる。搬送室３内は、図示しないガス供給口及びガス排出口を用いて環境ガスによるパージ処理を行うことで、環境ガス濃度を高めることが可能となっている。

第２実施形態では、下端に形成した搬出入口４１を通じて内部空間４Ｓを下方にのみ開放可能な収納容器本体４２と、搬出入口４１を開閉可能な蓋部４３を備えた収納容器４を適用している。そして、収納容器４の内部空間４Ｓには、複数枚の被搬送物であるウェーハを上下方向Ｈに多段状に収容したカセット（図示省略）が蓋部４３上にセットされ、搬出入口４１を介してこれらウェーハをカセットごと出し入れ可能に構成された既知のものである。

収納容器本体４２の下端部には、他の部分よりも外方に突出させた鍔部４５を設けている。つまり、収納容器本体４２のうち、蓋部４３が配置される領域の周囲部分に鍔部４５を設けている。本実施形態では、この鍔部４５に対して上述した移動規制部Lの係合片L１が係合するように設定している。

蓋部４３は、収納容器４を載置台２３上のドッキング位置に載置した状態においてドア開閉装置２のドア部２２と対面するものであり、概略板状をなす。蓋部４３には、この蓋部４３を収納容器本体４２にロックし得るラッチ部（図示省略）を設けている。なお、蓋部４３のうち搬出入口４１を蓋部４３で閉止した状態において収納容器本体４２に接触または近接する所定の部分にガスケット４３３を設けている。そして、蓋部４３の上向き面よりも優先してガスケット４３３を収納容器本体４２に接触させて弾性変形させることで、収納容器４の内部空間４Ｓを完全密閉できるように構成されている。

本実施形態に係るドア開閉装置２は、所定の制御部（この制御部は、ドア開閉装置２の制御部であってもよいし、上述の上位コントローラであってもよい）から各部に駆動指令を与えることで所定の動作を実行する。制御部の記憶部には、装置各部の所定の動作プログラムが格納されている。このプログラムは、非一時的なコンピュータ読取可能な記録媒体（ハードディスク等）に実行可能なプログラムとして格納されているものである。ドア開閉装置２を備えた搬送装置１の使用方法及び作用は以下の通りである。

先ず、搬送室３のうちドア開閉装置２を配置した共通の壁面３Ａに沿って延伸する直線上の搬送ライン（動線）で作動するＯＨＴ等の収納容器搬送装置により収納容器４がドア開閉装置２の上方まで搬送され、載置台２３上に載置される。この際、例えば載置台２３に設けた位置決め用突起が収納容器４の位置決め用凹部に嵌まる。また、制御部が、載置台２３上の図示しないロック爪をロック状態にする。これにより、収納容器４を載置台２３上の所定のドッキング位置に載置して固定するドッキング処理を行うことができる。第２実施形態では、搬送室３の幅方向に３台並べて配置したドア開閉装置２の載置台２３にそれぞれ収納容器４を載置することができる。また、収納容器４が載置台２３上に所定のドッキング位置に載置されているか否かを検出する着座センサ（図示省略）により収納容器４が載置台２３上のドッキング位置に載置されたことを検出するように構成することもできる。ドッキング処理を実行するまでは、移動規制部Ｌが、係合片Ｌ１を非対面姿勢にした移動許容状態に維持されている。また、このドッキング処理を実行するまでは、中空弾性シール部Ｓが収縮状態に維持されている。

そして、第２実施形態のドア開閉装置２では、制御部が、移動規制部Ｌを用いて収納容器４の鍔部４５を保持して固定する処理（収納容器クランプ処理）を行う。具体的には、移動規制部Ｌの係合片Ｌ１を、非対面姿勢から対面姿勢に切り替えて収納容器本体４２の鍔部４５に係合させる。この状態で、載置台２３上のドッキング位置に載置した収納容器４の鍔部４５を、移動規制部Ｌの係合片Ｌ１とフレーム２３の上向き面２３Ｔとの間で挟み込むことができる。すなわち、収納容器クランプ処理は、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替える処理で実現できる。

なお、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替えるタイミングは、載置台２３上のドッキング位置に収納容器４を載置した時点以降であって、収縮状態にある中空弾性シール部Ｓを膨張状態に変化させる前であればよい。したがって、載置台２３上のドッキング位置に収納容器４を載置した直後に、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替える構成にしてもよい。また、載置台２３上のドッキング位置に収納容器４を載置してから所定時間経過後に、移動規制部Ｌを移動許容状態から移動規制状態に切り替える構成にしてもよい。

第２実施形態のドア開閉装置２では、収納容器クランプ処理を完了した時点において収縮状態にある中空弾性シール部Ｓが、収納容器本体４２の下向き面４２Ｕに接触するように設定している。

次いで、第２実施形態のドア開閉装置２では、制御部が、収納容器クランプ処理を完了する時点まで収縮状態に設定していた中空弾性シール部を膨張状態に状態変化させて、フレーム２１に形成した開口２１ａの近傍における収納容器４とフレーム２１との隙間を塞ぐ処理（シール処理）を実施する。その結果、中空弾性シール部Ｓと、載置台２３上のドッキング位置に載置した収納容器４のうちシール面に設定した収納容器本体４２の下向き面４２Ｕとが弾接する。このシール処理を経ることにより、収納容器本体４２の下向き面４２Ｕに弾接させた中空弾性シール部Ｓに作用する供給圧力がシール面圧となり、良好なシール領域が形成される。

第２実施形態において、シール処理によって中空弾性シール部Ｓが弾接する部分は、収納容器本体４２の下向き面４２Ｕ（鍔部４５の下向き面）のうち収納容器４の搬出入口４１の近傍を周回する部分である。

第２実施形態のドア開閉装置２では、収納容器本体４２の下向き面４２Ｕをシール面とし、このシール面に対して中空弾性シール部Ｓの中空部Ｓ１自体が膨張して面圧を負荷することができる。その結果、振動等によってシール面が変動した場合にも直ちに追随することが可能なシール領域を確保することができる。

シール処理を実施して、中空弾性シール部Ｓが膨張状態に変化することで、収納容器４にはフレーム２１から離間する方向に押圧される力が作用する。しかしながら、本実施形態のドア開閉装置２では、収納容器クランプ処理を経ることによって、載置台２３上のドッキング位置に載置した収納容器４を移動規制部Ｌで固定した状態を維持することができる。このため、中空弾性シール部Ｓに押圧される収納容器４がフレーム２１から離間する方向に移動したり、傾動する事態を防止することができる。特に、本実施形態では、平面視矩形状をなす鍔部４５の四隅近傍を保持可能な位置に移動規制部Ｌを配置している。

第２実施形態のドア開閉装置２では、制御部が、シール処理に続いて、連結機構を蓋連結状態に切り替える（蓋連結処理）。この処理により、予め全閉位置で待機させているドア部２２に蓋部４３を連結機構で連結して密着状態で保持することができる。また、収納容器本体４２から蓋部４３を取り外し可能な状態になる。また、第２実施形態のドア開閉装置２では、載置台２３上のドッキング位置に収納容器４が載置された時点以降の適宜のタイミングで、制御部が、収納容器４内に対するパージ処理を実行することができる。

そして、第２実施形態のドア開閉装置２では、制御部が、蓋部４３をドア部２２とともに移動させて、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１を開放して、収納容器４内の密閉状態を解除する処理（収納容器密閉解除処理）を実行する。具体的には、制御部が、ドア部２２をドア移動機構２７により全閉位置からフレーム２１の内部空間２１Ｓに向かって下方へ所定距離移動させる。なお、収納容器密閉解除処理は、収納容器４内を開放する処理であることから、「収納容器開放処理」とも言える。

引き続いて、第２実施形態のドア開閉装置２では、収納容器本体４２の内部空間４Ｓと搬送室３の内部空間３Ｓとを連通させた状態で、制御部が、蓋部４３上のカセットを搬送室２に搬送する処理（搬送処理）を実施する。搬送室３内に搬送されたカセットは、処理装置に搬送されたり、バッファステーションに搬送される。また、処理装置による適宜の処理を終えた処理済みのウェーハが収容されたカセットは、搬送室３の内部空間３Ｓを経由して、全開位置に位置付けたドア部２２に保持されている蓋部４３上に載置される。

次いで、第２実施形態に係るドア開閉装置２では、制御部が、ドア移動機構２７によりドア部２２を全閉位置に移動させて、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１を閉止して、収納容器４の内部空間４Ｓを密閉する処理（収納容器密閉処理）を実行する。具体的には、制御部が、全開位置にあるドア部２２を所定距離上昇させて全閉位置まで移動させる。その結果、フレーム２１の開口２１ａ及び収納容器４の搬出入口４１は閉止されて、収納容器４の内部空間４Ｓは密閉状態になる。

引き続いて、第２実施形態に係るドア開閉装置２では、制御部が、連結機構を蓋連結状態から蓋連結解除状態に切り替える処理（蓋連結解除処理）を実行する。この処理により、連結機構２２１によるドア部２２と蓋部４３の連結状態（蓋連結状態）を解除して、収納容器本体４２に蓋部４３を取り付けることができる。

次いで、第２実施形態に係るドア開閉装置２では、制御部が、蓋連結解除処理に続いて、中空弾性シール部Ｓを膨張状態から収縮状態に状態変化させて、中空弾性シール部１による収納容器本体４２の下向き面４２Ｕとフレーム２１とのシール状態を解除する処理（シール解除処理）を実行する。その結果、中空弾性シール部Ｓと、載置台２３上のドッキング位置に載置した収納容器４の下向き面４２Ｕとの弾接状態が解除される。

第２実施形態に係るドア開閉装置２では、制御部が、シール解除処理に続いて、移動規制部Ｌによる収納容器４の固定状態（クランプ状態）を解除する収納容器クランプ解除処理を行う。具体的には、係合片Ｌ１を対面姿勢から非対面姿勢に切り替えて、収納容器本体４２の鍔部４５に対する係合片Ｌ１の係合状態を解除し、移動規制部Ｌによる収納容器４の固定状態を解除する。すなわち、収納容器クランプ解除処理Ｓｔ１８は、移動規制部Ｌを移動規制状態から移動許容状態に切り替える処理で実現できる。

次いで、第２実施形態のドア開閉装置２では、制御部が、載置台２３上のロック爪で収納容器４をロックしている状態を解除して、載置台２３上の収納容器４を上方へ移動可能な状態にする処理（ドッキング解除処理）を実行する。これにより、所定の処理を終えた被搬送物Ｗが収容されたカセットを格納した収納容器４は、各ドア開閉装置２の載置台２３上から収納容器搬送装置に引き渡され、次工程へと運び出される。

以上のように、第２実施形態に係るドア開閉装置２は、フレーム２１のうち開口２１ａの開口縁近傍領域において開口２１ａを周回するように中空弾性シール部Ｓを設け、この中空弾性シール部Ｓを収縮状態と膨張状態との間で状態変化可能に構成している。したがって、収納容器４の蓋部４３が開口２１ａに接近する載置台２３上の所定のドッキング位置に収納容器４を載置した状態で、収縮状態にある中空弾性シール部Ｓを膨張状態に変化させることにより、収納容器本体のうち蓋部４３の周囲部分に設定したシール面、つまり本実施形態であれば収納容器本体４２の下向き面４２Ｕに、中空弾性シール部Ｓを弾接させて良好なシール領域を形成することができる。その結果、フレーム２１に形成した開口２１ａを周回するシール領域を介して収納容器４とフレーム２１とを相互に密着させることができる。

しかも、第２実施形態に係るドア開閉装置２によれば、フレーム２１の開口２１ａと収納容器本体４２との隙間であって収納容器４の外部及び搬送室３の外部に連通し得る領域をシール領域で密閉することで、収納容器４内を収納容器４外の雰囲気（外気）から遮断することができ、シール領域を通じて外部から空気等が収納容器４内や搬送室３内に流入する事態を防止・抑制することができる。その結果、被搬送物の品質向上を図ることが可能である。その他、上述の実施形態と同様または略同様の作用効果を第２実施形態に係るドア開閉装置２であっても得ることができる。

このような第２実施形態に係るドア開閉装置２は、ＳＭＩＦシステム（ＳＭＩＦローダーとも呼ばれる）に好適に適用することができる。

特に、第２実施形態では、上述のドア開閉装置２を利用した収納容器４のドッキング方法として、収納容器４を、載置台２３上の所定のドッキング位置に載置した後に、収縮状態にある中空弾性シール部Ｓを膨張状態に変化させて、収納容器本体４２のうち蓋部４３の周囲部分に設定したシール面に中空弾性シール部Ｓを弾接させてシール領域を形成するシール処理を経る方法を採用している。したがって、フレーム２１の開口２１ａと収納容器本体４２との隙間を確実に密閉することができる。

第２実施形態として示した本発明に係るドア開閉装置は、上述の搬送装置以外の搬送装置やソータ装置の一部を構成するものとして使用することも可能である。

なお、上述した各種変形例は、第２の実施形態に係る本発明のドア開閉装置にも適用することができる。

その他、各部の具体的構成についても上記実施形態に限られるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲で種々変形が可能である。

１…搬送装置（ＥＦＥＭ）
２…ドア開閉装置
２１…フレーム
２１ａ…開口
２２…ドア部
２３…載置台
３…搬送室
３１…搬送ロボット
４…収納容器
４Ｓ…収納容器の内部空間
４５…鍔部
Ｌ…移動規制部
Ｌ１…係合片
Ｌ２…引き込み部
Ｓ…中空弾性シール部
Ｓ１…中空部
Ｗ…被搬送物

Claims (7)

1. 搬送室に隣接して設けられ、収納容器本体の内部空間に被搬送物を収納可能な収納容器と前記搬送室との間で前記被搬送物の出し入れを行うためのドア開閉装置であって、
   前記搬送室の壁面の一部を構成し、当該搬送室内を開放するための開口が形成された板状をなすフレームと、
   前記開口を開閉可能なドア部と、
   前記収納容器本体の内部空間を開閉可能とする蓋部を前記ドア部に対向させる向きで前記収納容器を載置して前記フレームに対して進退移動可能な載置台と、
   前記フレームのうち前記開口の開口縁または開口縁の近傍領域において前記開口を周回するように設けられ、且つ収縮状態と膨張状態との間で状態変化可能な中空弾性シール部とを備え、
   前記載置台上に載置した前記収納容器の前記蓋部が前記開口に接近する所定のドッキング位置に前記載置台を位置付けた状態で、前記収縮状態にある前記中空弾性シール部を前記膨張状態に変化させることによって、前記収納容器本体のうち前記蓋部の周囲部分に設定したシール面に前記中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するように構成したことを特徴とするドア開閉装置。
2. 前記ドッキング位置に位置付けた前記載置台上の前記収納容器が前記フレームから離間する方向に移動することを規制する移動規制状態と、前記ドッキング位置に位置付けた前記載置台上の前記収納容器が前記フレームから離間する方向へ移動することを許容する移動許容状態との間で切替可能な移動規制部をさらに備え、
   前記載置台を前記ドッキング位置に位置付けた時点以降に、前記移動規制部を前記移動許容状態から前記移動規制状態に切り替え、当該移動規制状態を維持したまま、前記収縮状態にある前記中空弾性シール部を前記膨張状態に変化させるように構成した請求項１に記載のドア開閉装置。
3. 搬送室に隣接して設けられ、収納容器本体の内部空間に被搬送物を収納可能な収納容器と前記搬送室との間で前記被搬送物の出し入れを行うためのドア開閉装置であって、
   前記搬送室の壁面の一部を構成するフレームと、
   前記フレームによって仕切られる空間を開放するために前記フレームに形成された開口を開閉可能なドア部と、
   前記フレームのうち、前記収納容器本体の内部空間を開閉可能とする蓋部を前記ドア部に対向させる向きで前記収納容器を載置可能な位置に形成された載置台と、
   前記フレームのうち前記開口の開口縁または開口縁の近傍領域において前記開口を周回するように設けられ、且つ収縮状態と膨張状態との間で状態変化可能な中空弾性シール部とを備え、
   前記収納容器の前記蓋部が前記開口に接近する前記載置台上の所定のドッキング位置に前記収納容器を載置した状態で、前記収縮状態にある前記中空弾性シール部を前記膨張状態に変化させることによって、前記収納容器本体のうち前記蓋部の周囲部分に設定したシール面に前記中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するように構成したことを特徴とするドア開閉装置。
4. 前記搬送室と、前記搬送室の壁面に設けた請求項１乃至３の何れかに記載のドア開閉装置と、前記搬送室内に設けられ、且つ前記ドア開閉装置上の前記収納容器と前記搬送室と間で前記被搬送物を出し入れ可能な搬送ロボットとを備えていることを特徴とする搬送装置。
5. 前記搬送室と、前記搬送室の壁面に複数設けた請求項１乃至３の何れかに記載のドア開閉装置と、前記搬送室内に設けられ、且つ少なくとも複数の前記ドア開閉装置上の前記収納容器間で前記被搬送物を出し入れ可能な搬送ロボットとを備えていることを特徴とするソータ装置。
6. 収納容器本体の内部空間を蓋部で密閉可能な収納容器を請求項１又は２に記載のドア開閉装置の前記載置台上に載置した状態で前記フレームに密着させる収納容器のドッキング方法であり、
   前記収納容器を載置した前記載置台を、前記蓋部が前記開口に接近する所定のドッキング位置に移動させた後に、前記収縮状態にある前記中空弾性シール部を前記膨張状態に変化させることによって、前記収納容器本体のうち前記蓋部の周囲部分に設定したシール面に前記中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するシール処理を経ることを特徴とする収納容器のドッキング方法。
7. 収納容器本体の内部空間を蓋部で密閉可能な収納容器を請求項３に記載のドア開閉装置の前記載置台上に載置した状態で前記フレームに密着させる収納容器のドッキング方法であり、
   前記収納容器を、前記蓋部が前記開口に接近する前記載置台上の所定のドッキング位置に載置した後に、前記収縮状態にある前記中空弾性シール部を前記膨張状態に変化させることによって、前記収納容器本体のうち前記蓋部の周囲部分に設定したシール面に前記中空弾性シール部を弾接させてシール領域を形成するシール処理を経ることを特徴とする収納容器のドッキング方法。
   

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