JP2016086000A - Dry film and printed wiring board - Google Patents
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 223
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 223
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims abstract description 24
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 16
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 43
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 118
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 91
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 91
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 65
- -1 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 62
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 61
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 57
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 57
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 47
- 238000001723 curing Methods 0.000 description 43
- 125000002887 hydroxy group Chemical group [H]O* 0.000 description 43
- 238000000034 method Methods 0.000 description 39
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 31
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 24
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 23
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 22
- 238000011161 development Methods 0.000 description 20
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 19
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 18
- IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N bisphenol A Chemical compound C=1C=C(O)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(O)C=C1 IISBACLAFKSPIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 17
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 16
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 16
- 235000013824 polyphenols Nutrition 0.000 description 16
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 15
- 239000007795 chemical reaction product Substances 0.000 description 15
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 description 15
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 15
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 14
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 14
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 14
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 14
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 13
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 12
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 12
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 12
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 12
- RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N imidazole Natural products C1=CNC=N1 RAXXELZNTBOGNW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 12
- XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N sulfur monoxide Chemical group S=O XTQHKBHJIVJGKJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 description 11
- 229920003986 novolac Polymers 0.000 description 11
- 229920005862 polyol Polymers 0.000 description 11
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 11
- 230000001588 bifunctional effect Effects 0.000 description 10
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 10
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 10
- 229920002803 thermoplastic polyurethane Polymers 0.000 description 10
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 150000003077 polyols Chemical class 0.000 description 9
- 230000008569 process Effects 0.000 description 9
- 239000000047 product Substances 0.000 description 9
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N adipic acid Chemical compound OC(=O)CCCCC(O)=O WNLRTRBMVRJNCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000001476 alcoholic effect Effects 0.000 description 8
- PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N bisphenol F Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1CC1=CC=C(O)C=C1 PXKLMJQFEQBVLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 238000013329 compounding Methods 0.000 description 8
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 8
- 229920002857 polybutadiene Polymers 0.000 description 8
- 150000007519 polyprotic acids Polymers 0.000 description 8
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 8
- 125000003647 acryloyl group Chemical group O=C([*])C([H])=C([H])[H] 0.000 description 7
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 7
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 7
- 125000005442 diisocyanate group Chemical group 0.000 description 7
- 150000002762 monocarboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 7
- 239000000178 monomer Substances 0.000 description 7
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 7
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 7
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 7
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N Methacrylic acid Chemical compound CC(=C)C(O)=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N Propylene glycol Chemical compound CC(O)CO DNIAPMSPPWPWGF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 6
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 6
- 230000000670 limiting effect Effects 0.000 description 6
- 239000003208 petroleum Substances 0.000 description 6
- KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,7,7a-tetrahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1C=CC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 KMOUUZVZFBCRAM-OLQVQODUSA-N 0.000 description 5
- GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N Propylene oxide Chemical compound CC1CO1 GOOHAUXETOMSMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 5
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 5
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 5
- 229920000570 polyether Polymers 0.000 description 5
- 229920000139 polyethylene terephthalate Polymers 0.000 description 5
- 239000005020 polyethylene terephthalate Substances 0.000 description 5
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 5
- 150000003852 triazoles Chemical class 0.000 description 5
- YCCILVSKPBXVIP-UHFFFAOYSA-N 2-(4-hydroxyphenyl)ethanol Chemical compound OCCC1=CC=C(O)C=C1 YCCILVSKPBXVIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 2-Aminoethan-1-ol Chemical compound NCCO HZAXFHJVJLSVMW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 2-Propenoic acid Natural products OC(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- HEQOJEGTZCTHCF-UHFFFAOYSA-N 2-amino-1-phenylethanone Chemical compound NCC(=O)C1=CC=CC=C1 HEQOJEGTZCTHCF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N Dimethylamine Chemical compound CNC ROSDSFDQCJNGOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000005058 Isophorone diisocyanate Substances 0.000 description 4
- UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N Naphthalene Chemical compound C1=CC=CC2=CC=CC=C21 UFWIBTONFRDIAS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004721 Polyphenylene oxide Substances 0.000 description 4
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 4
- 150000001252 acrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 4
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 4
- 239000001361 adipic acid Substances 0.000 description 4
- 235000011037 adipic acid Nutrition 0.000 description 4
- TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L barium sulfate Chemical compound [Ba+2].[O-]S([O-])(=O)=O TZCXTZWJZNENPQ-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 4
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 235000019000 fluorine Nutrition 0.000 description 4
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 4
- NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N isophorone diisocyanate Chemical compound CC1(C)CC(N=C=O)CC(C)(CN=C=O)C1 NIMLQBUJDJZYEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 4
- JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N melamine powder Natural products NC1=NC(N)=NC(N)=N1 JDSHMPZPIAZGSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N mercury Chemical compound [Hg] QSHDDOUJBYECFT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052753 mercury Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 4
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 4
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 4
- 239000005060 rubber Substances 0.000 description 4
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 4
- 239000002562 thickening agent Substances 0.000 description 4
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 4
- ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 2-ethoxyethanol Chemical compound CCOCCO ZNQVEEAIQZEUHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 4,4'-sulfonyldiphenol Chemical compound C1=CC(O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(O)C=C1 VPWNQTHUCYMVMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 5K8XI641G3 Chemical compound CCC1=NC=C(C)N1 ULKLGIFJWFIQFF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 3
- XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acetate Chemical compound CCOC(C)=O XEKOWRVHYACXOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N Ethylene carbonate Chemical compound O=C1OCCO1 KMTRUDSVKNLOMY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N Fluorine Chemical compound FF PXGOKWXKJXAPGV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- SJRJJKPEHAURKC-UHFFFAOYSA-N N-Methylmorpholine Chemical compound CN1CCOCC1 SJRJJKPEHAURKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004962 Polyamide-imide Substances 0.000 description 3
- HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N [2-(hydroxymethyl)-3-prop-2-enoyloxy-2-(prop-2-enoyloxymethyl)propyl] prop-2-enoate Chemical compound C=CC(=O)OCC(CO)(COC(=O)C=C)COC(=O)C=C HVVWZTWDBSEWIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000002318 adhesion promoter Substances 0.000 description 3
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 3
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 3
- 239000000440 bentonite Substances 0.000 description 3
- 229910000278 bentonite Inorganic materials 0.000 description 3
- SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N bentoquatam Chemical compound O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O SVPXDRXYRYOSEX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005422 blasting Methods 0.000 description 3
- 229920001400 block copolymer Polymers 0.000 description 3
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 3
- 150000001732 carboxylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 3
- 239000011889 copper foil Substances 0.000 description 3
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 3
- 150000004292 cyclic ethers Chemical group 0.000 description 3
- GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N dialuminum;dioxosilane;oxygen(2-);hydrate Chemical compound O.[O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3].O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Si]=O GUJOJGAPFQRJSV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A dialuminum;hexamagnesium;carbonate;hexadecahydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[OH-].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Mg+2].[Al+3].[Al+3].[O-]C([O-])=O GDVKFRBCXAPAQJ-UHFFFAOYSA-A 0.000 description 3
- XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N dimethylbenzylamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=CC=C1 XXBDWLFCJWSEKW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000002009 diols Chemical class 0.000 description 3
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 3
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 3
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 3
- ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N furo[3,4-f][2]benzofuran-1,3,5,7-tetrone Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC2=C1C(=O)OC2=O ANSXAPJVJOKRDJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000013007 heat curing Methods 0.000 description 3
- 229910001701 hydrotalcite Inorganic materials 0.000 description 3
- 229960001545 hydrotalcite Drugs 0.000 description 3
- 239000011229 interlayer Substances 0.000 description 3
- JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N iron(III) oxide Inorganic materials O=[Fe]O[Fe]=O JEIPFZHSYJVQDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004850 liquid epoxy resins (LERs) Substances 0.000 description 3
- FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N maleic anhydride Chemical compound O=C1OC(=O)C=C1 FPYJFEHAWHCUMM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000005439 maleimidyl group Chemical class C1(C=CC(N1*)=O)=O 0.000 description 3
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 3
- 229910052901 montmorillonite Inorganic materials 0.000 description 3
- QVEIBLDXZNGPHR-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,4-dione;diazide Chemical class [N-]=[N+]=[N-].[N-]=[N+]=[N-].C1=CC=C2C(=O)C=CC(=O)C2=C1 QVEIBLDXZNGPHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000013034 phenoxy resin Substances 0.000 description 3
- 229920006287 phenoxy resin Polymers 0.000 description 3
- 239000000049 pigment Substances 0.000 description 3
- 229920002312 polyamide-imide Polymers 0.000 description 3
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 3
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 3
- 229920006267 polyester film Polymers 0.000 description 3
- 229920000098 polyolefin Polymers 0.000 description 3
- KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoyloxy prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOOC(=O)C=C KCTAWXVAICEBSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N propylene carbonate Chemical compound CC1COC(=O)O1 RUOJZAUFBMNUDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000005488 sandblasting Methods 0.000 description 3
- 150000003553 thiiranes Chemical class 0.000 description 3
- SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N trimellitic anhydride Chemical compound OC(=O)C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 SRPWOOOHEPICQU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000006097 ultraviolet radiation absorber Substances 0.000 description 3
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N urethane group Chemical group NC(=O)OCC JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N (3as,7ar)-3a,4,5,6,7,7a-hexahydro-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1CCC[C@@H]2C(=O)OC(=O)[C@@H]21 MUTGBJKUEZFXGO-OLQVQODUSA-N 0.000 description 2
- VZXTWGWHSMCWGA-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC=NC(N)=N1 VZXTWGWHSMCWGA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 1-naphthol Chemical compound C1=CC=C2C(O)=CC=CC2=C1 KJCVRFUGPWSIIH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 1755-01-7 Chemical compound C1[C@H]2[C@@H]3CC=C[C@@H]3[C@@H]1C=C2 HECLRDQVFMWTQS-RGOKHQFPSA-N 0.000 description 2
- PTBDIHRZYDMNKB-UHFFFAOYSA-N 2,2-Bis(hydroxymethyl)propionic acid Chemical compound OCC(C)(CO)C(O)=O PTBDIHRZYDMNKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- JVYDLYGCSIHCMR-UHFFFAOYSA-N 2,2-bis(hydroxymethyl)butanoic acid Chemical compound CCC(CO)(CO)C(O)=O JVYDLYGCSIHCMR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 2-(2-methoxy-5-methylphenyl)ethanamine Chemical compound COC1=CC=C(C)C=C1CCN SMZOUWXMTYCWNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HHOJVZAEHZGDRB-UHFFFAOYSA-N 2-(4,6-diamino-1,3,5-triazin-2-yl)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCCC1=NC(N)=NC(N)=N1 HHOJVZAEHZGDRB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 2-METHOXYETHANOL Chemical compound COCCO XNWFRZJHXBZDAG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 2-butoxyethanol Chemical compound CCCCOCCO POAOYUHQDCAZBD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CMLFRMDBDNHMRA-UHFFFAOYSA-N 2h-1,2-benzoxazine Chemical compound C1=CC=C2C=CNOC2=C1 CMLFRMDBDNHMRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CWLKGDAVCFYWJK-UHFFFAOYSA-N 3-aminophenol Chemical compound NC1=CC=CC(O)=C1 CWLKGDAVCFYWJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VHYFNPMBLIVWCW-UHFFFAOYSA-N 4-Dimethylaminopyridine Chemical compound CN(C)C1=CC=NC=C1 VHYFNPMBLIVWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 6-phenyl-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC(N)=NC(C=2C=CC=CC=2)=N1 GZVHEAJQGPRDLQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N Epichlorohydrin Chemical compound ClCC1CO1 BRLQWZUYTZBJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000877 Melamine resin Polymers 0.000 description 2
- LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N N-Butanol Chemical compound CCCCO LRHPLDYGYMQRHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920000459 Nitrile rubber Polymers 0.000 description 2
- LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N Phthalic anhydride Natural products C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C2=C1 LGRFSURHDFAFJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001665 Poly-4-vinylphenol Polymers 0.000 description 2
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 2
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 208000034189 Sclerosis Diseases 0.000 description 2
- PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N Styrene Chemical compound C=CC1=CC=CC=C1 PPBRXRYQALVLMV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N Thiazole Chemical compound C1=CSC=N1 FZWLAAWBMGSTSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NJYZCEFQAIUHSD-UHFFFAOYSA-N acetoguanamine Chemical compound CC1=NC(N)=NC(N)=N1 NJYZCEFQAIUHSD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N adamantane Chemical compound C1C(C2)CC3CC1CC2C3 ORILYTVJVMAKLC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001299 aldehydes Chemical class 0.000 description 2
- 125000002723 alicyclic group Chemical group 0.000 description 2
- 150000001338 aliphatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K aluminium hydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[OH-].[Al+3] WNROFYMDJYEPJX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 125000003277 amino group Chemical group 0.000 description 2
- 229920003180 amino resin Polymers 0.000 description 2
- MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N anthracene Chemical compound C1=CC=CC2=CC3=CC=CC=C3C=C21 MWPLVEDNUUSJAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000002585 base Substances 0.000 description 2
- WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N boron trifluoride Chemical compound FB(F)F WTEOIRVLGSZEPR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005282 brightening Methods 0.000 description 2
- JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N butyl 2,2-difluorocyclopropane-1-carboxylate Chemical compound CCCCOC(=O)C1CC1(F)F JHIWVOJDXOSYLW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001718 carbodiimides Chemical class 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N copper(II) phthalocyanine Chemical compound [Cu+2].C12=CC=CC=C2C(N=C2[N-]C(C3=CC=CC=C32)=N2)=NC1=NC([C]1C=CC=CC1=1)=NC=1N=C1[C]3C=CC=CC3=C2[N-]1 XCJYREBRNVKWGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 239000004643 cyanate ester Substances 0.000 description 2
- 150000007973 cyanuric acids Chemical class 0.000 description 2
- 150000004294 cyclic thioethers Chemical group 0.000 description 2
- DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N decane Chemical compound CCCCCCCCCC DIOQZVSQGTUSAI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N dicyandiamide Chemical compound NC(N)=NC#N QGBSISYHAICWAH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N diphenyl Chemical compound C1=CC=CC=C1C1=CC=CC=C1 ZUOUZKKEUPVFJK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 2
- 238000010292 electrical insulation Methods 0.000 description 2
- NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N fluorene Chemical compound C1=CC=C2CC3=CC=CC=C3C2=C1 NIHNNTQXNPWCJQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 125000003055 glycidyl group Chemical group C(C1CO1)* 0.000 description 2
- 125000002768 hydroxyalkyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000003112 inhibitor Substances 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N isobutanol Chemical compound CC(C)CO ZXEKIIBDNHEJCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002576 ketones Chemical class 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N oxetane Chemical compound C1COC1 AHHWIHXENZJRFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000002921 oxetanes Chemical class 0.000 description 2
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 2
- 150000004714 phosphonium salts Chemical class 0.000 description 2
- XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC=C1C(O)=O XNGIFLGASWRNHJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920005906 polyester polyol Polymers 0.000 description 2
- 229920001225 polyester resin Polymers 0.000 description 2
- 239000004645 polyester resin Substances 0.000 description 2
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 2
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 description 2
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- UOHMMEJUHBCKEE-UHFFFAOYSA-N prehnitene Chemical compound CC1=CC=C(C)C(C)=C1C UOHMMEJUHBCKEE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- AZIQALWHRUQPHV-UHFFFAOYSA-N prop-2-eneperoxoic acid Chemical compound OOC(=O)C=C AZIQALWHRUQPHV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 2
- WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M tetramethylammonium hydroxide Substances [OH-].C[N+](C)(C)C WGTYBPLFGIVFAS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 125000003396 thiol group Chemical group [H]S* 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N trimethylamine Chemical compound CN(C)C GETQZCLCWQTVFV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HADKRTWCOYPCPH-UHFFFAOYSA-M trimethylphenylammonium hydroxide Chemical compound [OH-].C[N+](C)(C)C1=CC=CC=C1 HADKRTWCOYPCPH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N triphenylphosphine Chemical compound C1=CC=CC=C1P(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 RIOQSEWOXXDEQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 2
- KYVBNYUBXIEUFW-UHFFFAOYSA-N 1,1,3,3-tetramethylguanidine Chemical compound CN(C)C(=N)N(C)C KYVBNYUBXIEUFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 1,1-Diethoxyethane Chemical compound CCOC(C)OCC DHKHKXVYLBGOIT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 1,3,5-tris(oxiran-2-ylmethyl)-1,3,5-triazinane-2,4,6-trione Chemical compound O=C1N(CC2OC2)C(=O)N(CC2OC2)C(=O)N1CC1CO1 OUPZKGBUJRBPGC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YJTKZCDBKVTVBY-UHFFFAOYSA-N 1,3-Diphenylbenzene Chemical group C1=CC=CC=C1C1=CC=CC(C=2C=CC=CC=2)=C1 YJTKZCDBKVTVBY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 1,3-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC(N)=C1 WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LAVARTIQQDZFNT-UHFFFAOYSA-N 1-(1-methoxypropan-2-yloxy)propan-2-yl acetate Chemical compound COCC(C)OCC(C)OC(C)=O LAVARTIQQDZFNT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUWDFGKRNIDKAE-UHFFFAOYSA-N 1-butoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCCCOCC(C)OC(C)=O FUWDFGKRNIDKAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZIKLJUUTSQYGQI-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxy-2-(2-ethoxypropoxy)propane Chemical compound CCOCC(C)OCC(C)OCC ZIKLJUUTSQYGQI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 1-ethoxypropan-2-yl acetate Chemical compound CCOCC(C)OC(C)=O LIPRQQHINVWJCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 1-methoxypropan-2-ol Chemical compound COCC(C)O ARXJGSRGQADJSQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethanol Chemical compound CCCCOCCOCCO OAYXUHPQHDHDDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DPBJAVGHACCNRL-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)ethyl prop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCOC(=O)C=C DPBJAVGHACCNRL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AUABZJZJXPSZCN-UHFFFAOYSA-N 2-(dimethylamino)phenol Chemical compound CN(C)C1=CC=CC=C1O AUABZJZJXPSZCN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 2-Oxohexane Chemical compound CCCCC(C)=O QQZOPKMRPOGIEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SYEWHONLFGZGLK-UHFFFAOYSA-N 2-[1,3-bis(oxiran-2-ylmethoxy)propan-2-yloxymethyl]oxirane Chemical compound C1OC1COCC(OCC1OC1)COCC1CO1 SYEWHONLFGZGLK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WFSMVVDJSNMRAR-UHFFFAOYSA-N 2-[2-(2-ethoxyethoxy)ethoxy]ethanol Chemical class CCOCCOCCOCCO WFSMVVDJSNMRAR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SHJIJMBTDZCOFE-UHFFFAOYSA-N 2-[2-[2-(2-hydroxyethoxy)ethoxy]ethoxy]-1-methoxyethanol Chemical compound COC(O)COCCOCCOCCO SHJIJMBTDZCOFE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 2-[[3-hydroxy-2,2-bis(hydroxymethyl)propoxy]methyl]-2-(hydroxymethyl)propane-1,3-diol Chemical compound OCC(CO)(CO)COCC(CO)(CO)CO TXBCBTDQIULDIA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 2-aminophenol Chemical compound NC1=CC=CC=C1O CDAWCLOXVUBKRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 2-benzyl-2-(dimethylamino)-1-(4-morpholin-4-ylphenyl)butan-1-one Chemical compound C=1C=C(N2CCOCC2)C=CC=1C(=O)C(CC)(N(C)C)CC1=CC=CC=C1 UHFFVFAKEGKNAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PQAMFDRRWURCFQ-UHFFFAOYSA-N 2-ethyl-1h-imidazole Chemical compound CCC1=NC=CN1 PQAMFDRRWURCFQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxyethyl prop-2-enoate Chemical compound OCCOC(=O)C=C OMIGHNLMNHATMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWZMWHWAWHPNHN-UHFFFAOYSA-N 2-hydroxypropyl prop-2-enoate Chemical compound CC(O)COC(=O)C=C GWZMWHWAWHPNHN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YTTFFPATQICAQN-UHFFFAOYSA-N 2-methoxypropan-1-ol Chemical compound COC(C)CO YTTFFPATQICAQN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 2-methyl-1h-imidazole Chemical compound CC1=NC=CN1 LXBGSDVWAMZHDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 2-phenyl-1h-imidazole Chemical compound C1=CNC(C=2C=CC=CC=2)=N1 ZCUJYXPAKHMBAZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIDDPPKZYZTEGS-UHFFFAOYSA-N 3-(2-ethyl-4-methylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound CCC1=NC(C)=CN1CCC#N UIDDPPKZYZTEGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PYSRRFNXTXNWCD-UHFFFAOYSA-N 3-(2-phenylethenyl)furan-2,5-dione Chemical compound O=C1OC(=O)C(C=CC=2C=CC=CC=2)=C1 PYSRRFNXTXNWCD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 3-(2-phenylimidazol-1-yl)propanenitrile Chemical compound N#CCCN1C=CN=C1C1=CC=CC=C1 BVYPJEBKDLFIDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 3-(3-methoxypropoxy)propan-1-ol Chemical compound COCCCOCCCO QCAHUFWKIQLBNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UFQHFMGRRVQFNA-UHFFFAOYSA-N 3-(dimethylamino)propyl prop-2-enoate Chemical compound CN(C)CCCOC(=O)C=C UFQHFMGRRVQFNA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940018563 3-aminophenol Drugs 0.000 description 1
- MECNWXGGNCJFQJ-UHFFFAOYSA-N 3-piperidin-1-ylpropane-1,2-diol Chemical compound OCC(O)CN1CCCCC1 MECNWXGGNCJFQJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UDGNCGOMVIKQOW-UHFFFAOYSA-N 4-[(dimethylamino)methyl]-n,n-dimethylaniline Chemical compound CN(C)CC1=CC=C(N(C)C)C=C1 UDGNCGOMVIKQOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DFBNFLIESVGWLZ-UHFFFAOYSA-N 4-[5-ethyl-3,4-bis(4-hydroxyphenyl)-2-propan-2-ylphenyl]phenol Chemical compound CC(C)C=1C(C=2C=CC(O)=CC=2)=C(C=2C=CC(O)=CC=2)C(CC)=CC=1C1=CC=C(O)C=C1 DFBNFLIESVGWLZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXNHGZAPOSHJMX-UHFFFAOYSA-N 4-ethenyl-1h-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound NC1=NC=NC(N)(C=C)N1 JXNHGZAPOSHJMX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 4-hydroxystyrene Chemical compound OC1=CC=C(C=C)C=C1 FUGYGGDSWSUORM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XHLKOHSAWQPOFO-UHFFFAOYSA-N 5-phenyl-1h-imidazole Chemical compound N1C=NC=C1C1=CC=CC=C1 XHLKOHSAWQPOFO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZNEHIUJFFLFDQP-UHFFFAOYSA-N 6-(3,4-dimethylphenyl)-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound C1=C(C)C(C)=CC=C1C1=NC(N)=NC(N)=N1 ZNEHIUJFFLFDQP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXLYUNPVVODNRE-UHFFFAOYSA-N 6-ethenyl-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical class NC1=NC(N)=NC(C=C)=N1 ZXLYUNPVVODNRE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NAMCDLUESQLMOZ-UHFFFAOYSA-N 6-ethyl-1,3,5-triazine-2,4-diamine Chemical compound CCC1=NC(N)=NC(N)=N1 NAMCDLUESQLMOZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910015900 BF3 Inorganic materials 0.000 description 1
- CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M Bromide Chemical compound [Br-] CPELXLSAUQHCOX-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N Butyl acetate Natural products CCCCOC(C)=O DKPFZGUDAPQIHT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L Carbonate Chemical compound [O-]C([O-])=O BVKZGUZCCUSVTD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N Dapsone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(N)C=C1 MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001293 FEMA 3089 Substances 0.000 description 1
- 229920002121 Hydroxyl-terminated polybutadiene Polymers 0.000 description 1
- VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N Isobutene Chemical group CC(C)=C VQTUBCCKSQIDNK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 102000006835 Lamins Human genes 0.000 description 1
- 108010047294 Lamins Proteins 0.000 description 1
- OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N Malonic acid Chemical compound OC(=O)CC(O)=O OFOBLEOULBTSOW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CNCOEDDPFOAUMB-UHFFFAOYSA-N N-Methylolacrylamide Chemical compound OCNC(=O)C=C CNCOEDDPFOAUMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CYTYCFOTNPOANT-UHFFFAOYSA-N Perchloroethylene Chemical group ClC(Cl)=C(Cl)Cl CYTYCFOTNPOANT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000002202 Polyethylene glycol Substances 0.000 description 1
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 1
- 229910000831 Steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000147 Styrene maleic anhydride Polymers 0.000 description 1
- GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N Triethanolamine Chemical compound OCCN(CCO)CCO GSEJCLTVZPLZKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000007983 Tris buffer Substances 0.000 description 1
- XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N Urea Chemical compound NC(N)=O XSQUKJJJFZCRTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920006311 Urethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 206010047571 Visual impairment Diseases 0.000 description 1
- FDLQZKYLHJJBHD-UHFFFAOYSA-N [3-(aminomethyl)phenyl]methanamine Chemical compound NCC1=CC=CC(CN)=C1 FDLQZKYLHJJBHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FHLPGTXWCFQMIU-UHFFFAOYSA-N [4-[2-(4-prop-2-enoyloxyphenyl)propan-2-yl]phenyl] prop-2-enoate Chemical compound C=1C=C(OC(=O)C=C)C=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(OC(=O)C=C)C=C1 FHLPGTXWCFQMIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WYBZFSGKJOYRQH-UHFFFAOYSA-N [nitro(phenyl)methyl] carbamate Chemical group NC(=O)OC([N+]([O-])=O)C1=CC=CC=C1 WYBZFSGKJOYRQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VEBCLRKUSAGCDF-UHFFFAOYSA-N ac1mi23b Chemical compound C1C2C3C(COC(=O)C=C)CCC3C1C(COC(=O)C=C)C2 VEBCLRKUSAGCDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011354 acetal resin Substances 0.000 description 1
- 150000008062 acetophenones Chemical class 0.000 description 1
- 150000007513 acids Chemical class 0.000 description 1
- 229920000800 acrylic rubber Polymers 0.000 description 1
- 238000007259 addition reaction Methods 0.000 description 1
- IBVAQQYNSHJXBV-UHFFFAOYSA-N adipic acid dihydrazide Chemical compound NNC(=O)CCCCC(=O)NN IBVAQQYNSHJXBV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 125000001931 aliphatic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- 150000001336 alkenes Chemical class 0.000 description 1
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N alpha-Methylstyrene Chemical compound CC(=C)C1=CC=CC=C1 XYLMUPLGERFSHI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N anthraquinone Natural products CCC(=O)c1c(O)c2C(=O)C3C(C=CC=C3O)C(=O)c2cc1CC(=O)OC PYKYMHQGRFAEBM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003254 anti-foaming effect Effects 0.000 description 1
- 239000002518 antifoaming agent Substances 0.000 description 1
- 239000010425 asbestos Substances 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N benzoin Chemical class C=1C=CC=CC=1C(O)C(=O)C1=CC=CC=C1 ISAOCJYIOMOJEB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000008366 benzophenones Chemical class 0.000 description 1
- KXHPPCXNWTUNSB-UHFFFAOYSA-M benzyl(trimethyl)azanium;chloride Chemical compound [Cl-].C[N+](C)(C)CC1=CC=CC=C1 KXHPPCXNWTUNSB-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004305 biphenyl Substances 0.000 description 1
- 235000010290 biphenyl Nutrition 0.000 description 1
- 229910001593 boehmite Inorganic materials 0.000 description 1
- NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N buta-1,3-diene;prop-2-enenitrile Chemical compound C=CC=C.C=CC#N NTXGQCSETZTARF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000004657 carbamic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 239000004202 carbamide Substances 0.000 description 1
- 239000006229 carbon black Substances 0.000 description 1
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 1
- 150000001805 chlorine compounds Chemical class 0.000 description 1
- 239000004927 clay Substances 0.000 description 1
- FCEOGYWNOSBEPV-FDGPNNRMSA-N cobalt;(z)-4-hydroxypent-3-en-2-one Chemical compound [Co].C\C(O)=C\C(C)=O.C\C(O)=C\C(C)=O FCEOGYWNOSBEPV-FDGPNNRMSA-N 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000012790 confirmation Methods 0.000 description 1
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 1
- 238000007334 copolymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 239000011258 core-shell material Substances 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M cyanate Chemical compound [O-]C#N XLJMAIOERFSOGZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N cyclohexane-1,2-dicarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1CCCCC1C(O)=O QSAWQNUELGIYBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PESYEWKSBIWTAK-UHFFFAOYSA-N cyclopenta-1,3-diene;titanium(2+) Chemical compound [Ti+2].C=1C=C[CH-]C=1.C=1C=C[CH-]C=1 PESYEWKSBIWTAK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWLIYXJBOIDXLL-UHFFFAOYSA-N decanedihydrazide Chemical compound NNC(=O)CCCCCCCCC(=O)NN ZWLIYXJBOIDXLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 125000004386 diacrylate group Chemical group 0.000 description 1
- 125000000664 diazo group Chemical group [N-]=[N+]=[*] 0.000 description 1
- GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N diglycidyl ether Chemical compound C1OC1COCC1CO1 GYZLOYUZLJXAJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N diphenylmethanediamine Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(N)(N)C1=CC=CC=C1 ZZTCPWRAHWXWCH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 238000005553 drilling Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000000975 dye Substances 0.000 description 1
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N ethyl carbamate;prop-2-enoic acid Chemical compound OC(=O)C=C.CCOC(N)=O UHESRSKEBRADOO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 239000003063 flame retardant Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 230000014509 gene expression Effects 0.000 description 1
- 150000002334 glycols Chemical class 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N hexane-1,1-diol Chemical compound CCCCCC(O)O ACCCMOQWYVYDOT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N hexanoic acid Chemical compound CCCCCC(O)=O FUZZWVXGSFPDMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940042795 hydrazides for tuberculosis treatment Drugs 0.000 description 1
- 150000002429 hydrazines Chemical class 0.000 description 1
- FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M hydroxidooxidoaluminium Chemical compound O[Al]=O FAHBNUUHRFUEAI-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N hydroxyacetaldehyde Natural products OCC=O WGCNASOHLSPBMP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000002460 imidazoles Chemical class 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229940079865 intestinal antiinfectives imidazole derivative Drugs 0.000 description 1
- FRCAGVUKJQCWBD-UHFFFAOYSA-L iodine green Chemical compound [Cl-].[Cl-].C1=CC(N(C)C)=CC=C1C(\C=1C=CC(=CC=1)[N+](C)(C)C)=C/1C=C(C)C(=[N+](C)C)C=C\1 FRCAGVUKJQCWBD-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N iso-butyl acetate Natural products CC(C)COC(C)=O GJRQTCIYDGXPES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229940035429 isobutyl alcohol Drugs 0.000 description 1
- FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M isocaproate Chemical compound CC(C)CCC([O-])=O FGKJLKRYENPLQH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- PHTQWCKDNZKARW-UHFFFAOYSA-N isopentyl alcohol Natural products CC(C)CCO PHTQWCKDNZKARW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003049 isoprene rubber Polymers 0.000 description 1
- OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N isovaleric acid methyl ester Natural products COC(=O)CC(C)C OQAGVSWESNCJJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 210000005053 lamin Anatomy 0.000 description 1
- 229940018564 m-phenylenediamine Drugs 0.000 description 1
- VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L magnesium dihydroxide Chemical compound [OH-].[OH-].[Mg+2] VTHJTEIRLNZDEV-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000000347 magnesium hydroxide Substances 0.000 description 1
- 229910001862 magnesium hydroxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002734 metacrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- DFENKTCEEGOWLB-UHFFFAOYSA-N n,n-bis(methylamino)-2-methylidenepentanamide Chemical compound CCCC(=C)C(=O)N(NC)NC DFENKTCEEGOWLB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JAOPKYRWYXCGOQ-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethyl-1-(4-methylphenyl)methanamine Chemical compound CN(C)CC1=CC=C(C)C=C1 JAOPKYRWYXCGOQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UQKAOOAFEFCDGT-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethyloctan-1-amine Chemical compound CCCCCCCCN(C)C UQKAOOAFEFCDGT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MMLLLDIKZOMEQH-UHFFFAOYSA-N n,n-dimethylprop-2-enamide;prop-2-enamide Chemical class NC(=O)C=C.CN(C)C(=O)C=C MMLLLDIKZOMEQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NXPPAOGUKPJVDI-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2-diol Chemical compound C1=CC=CC2=C(O)C(O)=CC=C21 NXPPAOGUKPJVDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N norbornene Chemical compound C1[C@@H]2CC[C@H]1C=C2 JFNLZVQOOSMTJK-KNVOCYPGSA-N 0.000 description 1
- TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N octane Chemical compound CCCCCCCC TVMXDCGIABBOFY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N olefin Natural products CCCCCCCC=C JRZJOMJEPLMPRA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 1
- 239000007800 oxidant agent Substances 0.000 description 1
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N pentaerythritol Chemical compound OCC(CO)(CO)CO WXZMFSXDPGVJKK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012466 permeate Substances 0.000 description 1
- 150000002989 phenols Chemical class 0.000 description 1
- DGTNSSLYPYDJGL-UHFFFAOYSA-N phenyl isocyanate Chemical compound O=C=NC1=CC=CC=C1 DGTNSSLYPYDJGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZESLRDFSNLECD-UHFFFAOYSA-N phenyl prop-2-eneperoxoate Chemical compound C=CC(=O)OOC1=CC=CC=C1 WZESLRDFSNLECD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LYKRPDCJKSXAHS-UHFFFAOYSA-N phenyl-(2,3,4,5-tetrahydroxyphenyl)methanone Chemical compound OC1=C(O)C(O)=CC(C(=O)C=2C=CC=CC=2)=C1O LYKRPDCJKSXAHS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPGWZZNNEUHDAQ-UHFFFAOYSA-N phenylphosphine Chemical compound PC1=CC=CC=C1 RPGWZZNNEUHDAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003003 phosphines Chemical class 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003018 phosphorus compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000000016 photochemical curing Methods 0.000 description 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 description 1
- IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N phthalocyanine Chemical compound N1C(N=C2C3=CC=CC=C3C(N=C3C4=CC=CC=C4C(=N4)N3)=N2)=C(C=CC=C2)C2=C1N=C1C2=CC=CC=C2C4=N1 IEQIEDJGQAUEQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920003207 poly(ethylene-2,6-naphthalate) Polymers 0.000 description 1
- 229920000058 polyacrylate Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920006122 polyamide resin Polymers 0.000 description 1
- 229920000768 polyamine Polymers 0.000 description 1
- 229920006149 polyester-amide block copolymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 239000011112 polyethylene naphthalate Substances 0.000 description 1
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 1
- 239000005056 polyisocyanate Substances 0.000 description 1
- 229920001228 polyisocyanate Polymers 0.000 description 1
- 239000002685 polymerization catalyst Substances 0.000 description 1
- 229920006324 polyoxymethylene Polymers 0.000 description 1
- 150000008442 polyphenolic compounds Chemical class 0.000 description 1
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 229920003225 polyurethane elastomer Polymers 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 1
- 230000003449 preventive effect Effects 0.000 description 1
- QCTJRYGLPAFRMS-UHFFFAOYSA-N prop-2-enoic acid;1,3,5-triazine-2,4,6-triamine Chemical class OC(=O)C=C.NC1=NC(N)=NC(N)=N1 QCTJRYGLPAFRMS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N propan-1-ol Chemical compound CCCO BDERNNFJNOPAEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N propylene glycol methyl ether acetate Chemical compound COCC(C)OC(C)=O LLHKCFNBLRBOGN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052895 riebeckite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 150000003335 secondary amines Chemical class 0.000 description 1
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000010959 steel Substances 0.000 description 1
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 1
- 150000005846 sugar alcohols Polymers 0.000 description 1
- 230000008961 swelling Effects 0.000 description 1
- 239000000454 talc Substances 0.000 description 1
- 229910052623 talc Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003512 tertiary amines Chemical class 0.000 description 1
- 229950011008 tetrachloroethylene Drugs 0.000 description 1
- 229920001169 thermoplastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004416 thermosoftening plastic Substances 0.000 description 1
- 150000003557 thiazoles Chemical class 0.000 description 1
- 125000000101 thioether group Chemical group 0.000 description 1
- YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N thioxanthen-9-one Chemical class C1=CC=C2C(=O)C3=CC=CC=C3SC2=C1 YRHRIQCWCFGUEQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N toluene 2,4-diisocyanate Chemical compound CC1=CC=C(N=C=O)C=C1N=C=O DVKJHBMWWAPEIU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NNENFOSYDBTCBO-UHFFFAOYSA-M tributyl(hexadecyl)phosphanium;chloride Chemical compound [Cl-].CCCCCCCCCCCCCCCC[P+](CCCC)(CCCC)CCCC NNENFOSYDBTCBO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- GLSQMJPVEVGXMZ-UHFFFAOYSA-N tributyl-(2,5-dihydroxyphenyl)phosphanium;bromide Chemical compound [Br-].CCCC[P+](CCCC)(CCCC)C1=CC(O)=CC=C1O GLSQMJPVEVGXMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TUQOTMZNTHZOKS-UHFFFAOYSA-N tributylphosphine Chemical compound CCCCP(CCCC)CCCC TUQOTMZNTHZOKS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N triphenylmethane Chemical compound C1=CC=CC=C1C(C=1C=CC=CC=1)C1=CC=CC=C1 AAAQKTZKLRYKHR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 1
- 150000003672 ureas Chemical class 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000007964 xanthones Chemical class 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N ε-Caprolactone Chemical class O=C1CCCCCO1 PAPBSGBWRJIAAV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- Materials For Photolithography (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Abstract
Description
本発明は、ドライフィルムおよびプリント配線板に関し、詳しくは、基材にラミネートする際に気泡が生じにくく、密着性に優れる樹脂層を有するドライフィルム、および、該ドライフィルムを硬化して得られる硬化物を具備するプリント配線板に関する。 The present invention relates to a dry film and a printed wiring board, and more specifically, a dry film having a resin layer that is less likely to generate bubbles when laminated on a substrate and has excellent adhesion, and a cure obtained by curing the dry film. The present invention relates to a printed wiring board having an object.
従来、電子機器等に用いられるプリント配線板に設けられるソルダーレジストや層間絶縁層等の保護膜や絶縁層の形成手段の一つとして、ドライフィルムが利用されている(例えば特許文献1〜3)。ドライフィルムは、所望の特性を有する硬化性樹脂組成物をキャリアフィルムの上に塗布後、乾燥工程を経て得られる樹脂層を有し、一般的には、キャリアフィルムとは反対側の面を保護するための保護フィルムがさらに積層された状態で市場に流通している。ドライフィルムの樹脂層を基材にラミネートした後、パターニングや硬化処理を施すことによって、上記のような保護膜や絶縁層をプリント配線板に形成することができる。
Conventionally, a dry film has been used as one of means for forming a protective film or an insulating layer such as a solder resist or an interlayer insulating layer provided on a printed wiring board used in an electronic device or the like (for example,
ドライフィルムの樹脂層を基材にラミネートする際に、樹脂層と基材の間に気泡が生じてしまうことがあり、このような気泡によって樹脂層と基材との密着性が損なわれる場合があった。 When laminating a resin layer of a dry film on a substrate, air bubbles may be generated between the resin layer and the substrate, and the adhesion between the resin layer and the substrate may be impaired by such bubbles. there were.
そこで本発明の目的は、基材にラミネートする際に気泡が生じにくく、密着性に優れる樹脂層を有するドライフィルム、および、該ドライフィルムを硬化して得られる硬化物を具備するプリント配線板を提供することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to provide a dry film having a resin layer that is less likely to generate bubbles when laminated on a substrate and has excellent adhesion, and a printed wiring board having a cured product obtained by curing the dry film. It is to provide.
本発明者等は上記を鑑み鋭意検討した結果、基材にラミネートする際に基材と接触する樹脂層の面側、即ちラミネート面側に設けられたフィルム(多くの場合は保護フィルム)の、前記樹脂層に接する面の粗度を調整することによって、前記課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。 As a result of intensive studies in view of the above, the inventors of the present invention have found that the surface of the resin layer that comes into contact with the substrate when laminating the substrate, that is, the film provided on the laminate surface side (in many cases a protective film), The inventors have found that the problem can be solved by adjusting the roughness of the surface in contact with the resin layer, and have completed the present invention.
また、ドライフィルムの樹脂層を基材にラミネートする際に、ラミネート面を間違えるという作業上のミスを防止するという課題もあったが、キャリアフィルムと保護フィルムの厚さに差を設けることによって、解決できることを見出し、本発明の他のドライフィルムを完成するに至った。 In addition, when laminating the resin layer of the dry film on the base material, there was a problem of preventing an operational error that the laminate surface was mistaken, but by providing a difference in the thickness of the carrier film and the protective film, It has been found that it can be solved, and has led to the completion of another dry film of the present invention.
即ち、本発明のドライフィルムは、第一のフィルムと、第二のフィルムと、前記第一のフィルムと前記第二のフィルムとの間に挟まれた樹脂層と、を有するドライフィルムであって、前記第二のフィルムの、前記樹脂層に接する面の算術平均表面粗さRaが0.1〜1.2μmであり、前記第二のフィルムの樹脂層と接する面が、基材へのラミネート面であることを特徴とするものである。 That is, the dry film of the present invention is a dry film having a first film, a second film, and a resin layer sandwiched between the first film and the second film. The arithmetic average surface roughness Ra of the surface in contact with the resin layer of the second film is 0.1 to 1.2 μm, and the surface in contact with the resin layer of the second film is laminated to the substrate. It is a surface.
本発明のドライフィルムは、前記第一のフィルムの厚さAが、前記第二のフィルムの厚さBよりも大きいことが好ましい。 In the dry film of the present invention, the thickness A of the first film is preferably larger than the thickness B of the second film.
本発明の他のドライフィルムは、第一のフィルムと、第二のフィルムと、前記第一のフィルムと前記第二のフィルムとの間に挟まれた樹脂層と、を有するドライフィルムであって、前記第二のフィルムの前記樹脂層と接する面が、基材へのラミネート面であり、前記第一のフィルムの厚みAが、前記第二のフィルムの厚みBよりも大きいことを特徴とするものである。 Another dry film of the present invention is a dry film having a first film, a second film, and a resin layer sandwiched between the first film and the second film. The surface of the second film in contact with the resin layer is a laminate surface to the substrate, and the thickness A of the first film is larger than the thickness B of the second film. Is.
本発明のドライフィルムは、回路を有するプリント配線板上に真空ラミネートするために用いられることが好ましい。 The dry film of the present invention is preferably used for vacuum laminating on a printed wiring board having a circuit.
本発明のドライフィルムは、前記第一のフィルムの、前記樹脂層に接する面の算術平均表面粗さRaが0.1μm以下であることが好ましい。 In the dry film of the present invention, the arithmetic average surface roughness Ra of the surface in contact with the resin layer of the first film is preferably 0.1 μm or less.
本発明のドライフィルムは、前記第一のフィルムの厚さAと、前記第二のフィルムの厚さBとの差(A−B)が1μm以上であることが好ましい。 In the dry film of the present invention, the difference (A−B) between the thickness A of the first film and the thickness B of the second film is preferably 1 μm or more.
本発明の硬化物は、前記ドライフィルムの樹脂層を硬化して得られることを特徴とするものである。 The cured product of the present invention is obtained by curing the resin layer of the dry film.
本発明のプリント配線板は、前記硬化物を具備することを特徴とするものである。 The printed wiring board of the present invention comprises the cured product.
本発明によれば、基材にラミネートする際に気泡が生じにくく、密着性に優れる樹脂層を有するドライフィルム、および、該ドライフィルムを硬化して得られる硬化物を具備するプリント配線板を提供することができる。 According to the present invention, there is provided a dry film having a resin layer that is less likely to generate bubbles when laminated on a substrate and has excellent adhesion, and a printed wiring board comprising a cured product obtained by curing the dry film. can do.
<ドライフィルム>
本発明のドライフィルムは、第一のフィルムと、第二のフィルムと、前記第一のフィルムと前記第二のフィルムとの間に挟まれた樹脂層と、を有するドライフィルムであって、前記第二のフィルムの、前記樹脂層に接する面の算術平均表面粗さRaが0.1〜1.2μmであり、前記第二のフィルムの樹脂層と接する面が、基材へのラミネート面であることを特徴とする。第二のフィルムの面の粗度を当該範囲に規定したことによって、当該面と接する樹脂層の面にも凹凸が形成され、これによって、ドライフィルムを基材にラミネートする際に、気泡が抜け易くなると考えられる。前記第二のフィルムの、前記樹脂層に接する面の算術平均表面粗さRaは、0.3〜1.2μmであることが好ましく、0.4〜1.2μmであることより好ましい。なお、算術平均表面粗さRaとは、JIS B0601に準拠して測定された値を意味する。
<Dry film>
The dry film of the present invention is a dry film having a first film, a second film, and a resin layer sandwiched between the first film and the second film, The arithmetic average surface roughness Ra of the surface in contact with the resin layer of the second film is 0.1 to 1.2 μm, and the surface in contact with the resin layer of the second film is a laminate surface to the substrate. It is characterized by being. By defining the roughness of the surface of the second film within the range, irregularities are also formed on the surface of the resin layer in contact with the surface, thereby eliminating air bubbles when laminating the dry film to the substrate. It will be easier. The arithmetic average surface roughness Ra of the surface in contact with the resin layer of the second film is preferably 0.3 to 1.2 μm, and more preferably 0.4 to 1.2 μm. In addition, arithmetic mean surface roughness Ra means the value measured based on JISB0601.
図1は、本発明のドライフィルムの一実施形態を示した概略断面図である。ドライフィルム1は、第一のフィルム11と、第二のフィルム12と、前記第一のフィルム11と前記第二のフィルム12との間に挟まれた樹脂層13とを有する。前記第二のフィルムの、前記樹脂層に接する面は荒く、0.1〜1.2μmの算術平均表面粗さRaを有する。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing an embodiment of the dry film of the present invention. The
[第一のフィルムおよび第二のフィルム]
キャリアフィルムと保護フィルムとの間に挟まれた樹脂層を有するドライフィルムをラミネートする際には、多くの場合、保護フィルムを剥離して、保護フィルムと接していた側の樹脂層の面が基材と接触するようにラミネートされる。しかしながら、キャリアフィルムを剥離して、キャリアフィルムと接していた側の樹脂層の面が基材と接触するようにラミネートされる場合もある。本発明においては、基材にラミネートする際に基材と接触する樹脂層の面(即ちラミネート面)と接する側のフィルム(即ち第二のフィルム)の前記樹脂層に接する面が、前記範囲の算術平均表面粗さRaを有していればよい。即ち、第二のフィルムは、キャリアフィルムと保護フィルムのどちらであってもよい。好ましくは、第一のフィルムがキャリアフィルムであり、第二のフィルムが保護フィルムである。
[First film and second film]
When laminating a dry film having a resin layer sandwiched between a carrier film and a protective film, in many cases, the protective film is peeled off and the surface of the resin layer on the side in contact with the protective film is the base. Laminated to contact the material. However, the carrier film may be peeled and laminated so that the surface of the resin layer on the side in contact with the carrier film is in contact with the substrate. In the present invention, the surface in contact with the resin layer of the film (that is, the second film) on the side in contact with the surface of the resin layer that is in contact with the substrate (that is, the laminate surface) when laminating to the substrate is within the above range. What is necessary is just to have arithmetic mean surface roughness Ra. That is, the second film may be either a carrier film or a protective film. Preferably, the first film is a carrier film and the second film is a protective film.
キャリアフィルムとは、ドライフィルムの樹脂層を支持する役割を有するものであり、該樹脂層を形成する際に、後記の硬化性樹脂組成物が塗布されるフィルムである。キャリアフィルムとしては、例えば、ポリエチレンテレフタレートやポリエチレンナフタレート等のポリエステルフィルム、ポリイミドフィルム、ポリアミドイミドフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリテトラフルオロエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム、ポリスチレンフィルム等の熱可塑性樹脂からなるフィルム、および、表面処理した紙等を用いることができる。これらの中でも、耐熱性、機械的強度、取扱性等の観点から、ポリエステルフィルムを好適に使用することができる。キャリアフィルムの厚さは、特に制限されるものではないが概ね10〜150μmの範囲で用途に応じて適宜選択される。キャリアフィルムの樹脂層を設ける面には、離型処理が施されていてもよい。また、キャリアフイルムの樹脂層を設ける面には、スパッタもしくは極薄銅箔が形成されていてもよい。 A carrier film has a role which supports the resin layer of a dry film, and is a film by which the below-mentioned curable resin composition is apply | coated when forming this resin layer. As the carrier film, for example, a polyester film such as polyethylene terephthalate or polyethylene naphthalate, a polyimide film, a polyamideimide film, a polyethylene film, a polytetrafluoroethylene film, a polypropylene film, a film made of a thermoplastic resin such as a polystyrene film, and Surface-treated paper or the like can be used. Among these, a polyester film can be preferably used from the viewpoints of heat resistance, mechanical strength, handleability, and the like. The thickness of the carrier film is not particularly limited, but is appropriately selected depending on the application in the range of about 10 to 150 μm. The surface on which the resin layer of the carrier film is provided may be subjected to release treatment. Further, a sputtered or ultrathin copper foil may be formed on the surface of the carrier film on which the resin layer is provided.
保護フィルムとは、ドライフィルムの樹脂層の表面に塵等が付着するのを防止するとともに取扱性を向上させる目的で、樹脂層のキャリアフィルムとは反対の面に設けられる。保護フィルムとしては、例えば、前記キャリアフィルムで例示した熱可塑性樹脂からなるフィルム、および、表面処理した紙等を用いることができるが、これらの中でも、ポリエステルフィルムおよびポリエチレンフィルム、ポリプロピレンフィルムが好ましい。保護フィルムの厚さは、特に制限されるものではないが概ね10〜150μmの範囲で用途に応じて適宜選択される。保護フィルムの樹脂層を設ける面には、離型処理が施されていてもよい。 The protective film is provided on the surface opposite to the carrier film of the resin layer for the purpose of preventing dust and the like from adhering to the surface of the resin layer of the dry film and improving the handleability. As the protective film, for example, a film made of a thermoplastic resin exemplified for the carrier film, surface-treated paper, and the like can be used. Among these, a polyester film, a polyethylene film, and a polypropylene film are preferable. The thickness of the protective film is not particularly limited, but is appropriately selected depending on the intended use within a range of about 10 to 150 μm. The surface on which the resin layer of the protective film is provided may be subjected to a mold release treatment.
上記したような算術平均表面粗さRaを有する第二のフィルムとして、熱可塑性樹脂フィルムを使用する場合、フィルムを成膜する際の樹脂中にフィラーを添加したり、フィルム表面をブラスト処理したり、あるいはヘアライン加工、マットコーティング、またはケミカルエッチング等により、表面を所定の形態にすることができ、上記した算術平均表面粗さRaを有する熱可塑性樹脂フィルムを得ることができる。例えば、樹脂中にフィラーを添加する場合に、フィラーの粒径や添加量を調整することにより、算術平均表面粗さRaを制御することができる。また、ブラスト処理する場合は、ブラスト材やブラスト圧等の処理条件を調整することにより、算術平均表面粗さRaを制御することができる。このような表面粗さを有する熱可塑性樹脂フィルムとして、市販のものを使用してもよく、例えば、東レ社製ルミラーX42、ルミラーX43、ルミラーX44、ユニチカ社製エンブレットPTH−12、エンブレットPTH−25、エンブレットPTHA−25、エンブレットPTH−38、王子エフテックス社製アルファンMA−411、MA−420、E−201FおよびER−440等が挙げられる。 When using a thermoplastic resin film as the second film having the arithmetic average surface roughness Ra as described above, a filler is added to the resin when forming the film, or the film surface is blasted. Alternatively, the surface can be made into a predetermined form by hairline processing, mat coating, chemical etching, or the like, and a thermoplastic resin film having the arithmetic average surface roughness Ra can be obtained. For example, when a filler is added to the resin, the arithmetic average surface roughness Ra can be controlled by adjusting the particle size and the addition amount of the filler. In the case of blasting, the arithmetic average surface roughness Ra can be controlled by adjusting processing conditions such as blasting material and blast pressure. As the thermoplastic resin film having such a surface roughness, commercially available ones may be used. For example, Lumirror X42, Lumirror X43, Lumirror X44 manufactured by Toray Industries, Inc., Emblet PTH-12, Emblet PTH manufactured by Unitika -25, Emblet PTHA-25, Emblet PTH-38, Oji F-Tex Alphan MA-411, MA-420, E-201F, ER-440, and the like.
第一のフィルムは、前記樹脂層に接する面の算術平均表面粗さRaが0.1μm以下であることが好ましい。0.1μm以下の場合、硬化後の樹脂層の表面の平坦性が良好となり、光沢度も良好となる。また、第一のフィルムと第二のフィルムの算術平均表面粗さRaに差があると、見た目(光沢の有無)でどちらのフィルムかを認識し易くなり、作業上のミスを防止することができる。 The first film preferably has an arithmetic average surface roughness Ra of a surface in contact with the resin layer of 0.1 μm or less. When the thickness is 0.1 μm or less, the flatness of the surface of the resin layer after curing becomes good and the glossiness becomes good. Also, if there is a difference in the arithmetic average surface roughness Ra between the first film and the second film, it will be easier to recognize which film is visually (whether it is glossy) and prevent work mistakes. it can.
また、第二のフィルムを剥離し易くなるため、第一のフィルムの厚さAは、第二のフィルムの厚さBよりも大きいことが好ましい。より好ましくは、厚さAと厚さBとの差(A−B)が1μm以上である。また、第一のフィルムと第二のフィルムの厚さに差があると、手触りや見た目でどちらのフィルムかを認識し易くなり、作業上のミスを防止することができる。 Moreover, since it becomes easy to peel a 2nd film, it is preferable that the thickness A of a 1st film is larger than the thickness B of a 2nd film. More preferably, the difference (A−B) between the thickness A and the thickness B is 1 μm or more. Further, if there is a difference in thickness between the first film and the second film, it becomes easy to recognize which film is the touch or the appearance, and an operational error can be prevented.
第一のフィルムの厚さは10〜100μmが好ましいが、15μm以上であることがより好ましい。10μm以上の場合、ドライフィルムを基材にラミネート後、第一のフィルムを剥離せずに熱処理を施しても第一のフィルムが熱収縮しにくく、熱収縮によって厚さが均一ではなくなったり、熱収縮によって第一のフィルムに生じたスジに沿って樹脂層が流れてしまい、樹脂層にもスジが生じたりするという品質の劣化を防ぐことができる。 The thickness of the first film is preferably 10 to 100 μm, more preferably 15 μm or more. In the case of 10 μm or more, after laminating the dry film on the base material, even if the first film is heat-treated without being peeled off, the first film is difficult to heat shrink, and the thickness is not uniform due to the heat shrinking, It is possible to prevent deterioration in quality such that the resin layer flows along the streaks generated in the first film due to the shrinkage, and the streaks are also generated in the resin layer.
本発明のドライフィルムの樹脂層が感光性樹脂組成物からなる場合は、第一のドライフィルムを剥離せずに露光できるようにするため、第一のフィルムとして上記の熱可塑性樹脂のような光透過性の材料を用いることが好ましい。その場合、第一のフィルムの厚さは、45μm以下であることが好ましい。45μm以下の場合、アンダーカットが低減される。より好ましくは40μm以下である。 When the resin layer of the dry film of the present invention is composed of a photosensitive resin composition, the first film is exposed to light such as the above thermoplastic resin so that the first dry film can be exposed without peeling. It is preferable to use a permeable material. In that case, the thickness of the first film is preferably 45 μm or less. When it is 45 μm or less, undercut is reduced. More preferably, it is 40 μm or less.
[樹脂層]
本発明のドライフィルムの樹脂層は、キャリアフィルムに硬化性樹脂組成物を塗布後、乾燥工程を経て得られる。前記硬化性樹脂組成物は特に限定されず、従来公知のソルダーレジスト、層間絶縁層およびカバーレイ等のプリント配線板に設けられる保護層や絶縁層の形成に用いられる硬化性樹脂組成物を用いることができる。樹脂層の膜厚は特に限定されないが、乾燥後の膜厚が1〜200μmであることが好ましい。感光性樹脂層の場合、200μm以下の場合、深部硬化性の低下を抑えることができる。樹脂層は、硬化性樹脂とフィラーとを含み、溶剤を除いたドライフィルムの樹脂層全量基準で、フィラーの配合量が30質量%以上であることが好ましい。下記に硬化性樹脂組成物の具体例として、光重合開始剤を含有する光硬化性樹脂組成物、光硬化性熱硬化性樹脂組成物、熱硬化性樹脂組成物、光塩基発生剤を含有する光硬化性樹脂組成物、光酸発生剤を含有する光硬化性樹脂組成物、ネガ型光硬化性樹脂組成物およびポジ型光硬化性樹脂組成物、アルカリ現像型光硬化性樹脂組成物、溶剤現像型光硬化性樹脂組成物、膨潤剥離型樹脂組成物、溶解剥離型樹脂組成物が挙げられるが、これらに限定されるものではない。
[Resin layer]
The resin layer of the dry film of the present invention is obtained through a drying process after applying the curable resin composition to the carrier film. The curable resin composition is not particularly limited, and a curable resin composition used for forming a protective layer or an insulating layer provided on a printed wiring board such as a conventionally known solder resist, an interlayer insulating layer, and a coverlay is used. Can do. Although the film thickness of a resin layer is not specifically limited, It is preferable that the film thickness after drying is 1-200 micrometers. In the case of the photosensitive resin layer, when it is 200 μm or less, it is possible to suppress a decrease in deep part curability. The resin layer includes a curable resin and a filler, and the blending amount of the filler is preferably 30% by mass or more based on the total amount of the resin layer of the dry film excluding the solvent. Specific examples of the curable resin composition include a photocurable resin composition containing a photopolymerization initiator, a photocurable thermosetting resin composition, a thermosetting resin composition, and a photobase generator. Photocurable resin composition, photocurable resin composition containing photoacid generator, negative photocurable resin composition and positive photocurable resin composition, alkali development type photocurable resin composition, solvent Examples include, but are not limited to, development type photocurable resin compositions, swelling release resin compositions, and dissolution release resin compositions.
(光硬化性熱硬化性樹脂組成物)
光硬化性熱硬化性樹脂組成物の一例として、カルボキシル基含有樹脂と、光重合開始剤と、熱硬化性成分とを含む樹脂組成物について、下記に説明する。
(Photo-curable thermosetting resin composition)
As an example of the photocurable thermosetting resin composition, a resin composition containing a carboxyl group-containing resin, a photopolymerization initiator, and a thermosetting component will be described below.
カルボキシル基含有樹脂は、光照射により重合ないし架橋して硬化する成分であり、カルボキシル基が含まれることによりアルカリ現像性とすることができる。また、光硬化性や耐現像性の観点から、カルボキシル基の他に、分子内にエチレン性不飽和結合を有することが好ましいが、エチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを使用してもよい。カルボキシル基含有樹脂がエチレン性不飽和結合を有さない場合は、組成物を光硬化性とするために分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物(感光性モノマー)を併用する必要がある。エチレン性不飽和二重結合としては、アクリル酸もしくはメタアクリル酸またはそれらの誘導体由来のものが好ましい。カルボキシル基含有樹脂の中でも、共重合構造を有するカルボキシル基含有樹脂、ウレタン構造を有するカルボキシル基含有樹脂、エポキシ樹脂を出発原料とするカルボキシル基含有樹脂、フェノール化合物を出発原料とするカルボキシル基含有樹脂が好ましい。カルボキシル基含有樹脂の具体例としては、以下に列挙するような化合物(オリゴマーまたはポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。 The carboxyl group-containing resin is a component that is cured by being polymerized or cross-linked by light irradiation, and can be rendered alkali developable by containing a carboxyl group. In addition to the carboxyl group, it is preferable to have an ethylenically unsaturated bond in the molecule from the viewpoint of photocurability and development resistance, but only a carboxyl group-containing resin having no ethylenically unsaturated double bond. May be used. When the carboxyl group-containing resin does not have an ethylenically unsaturated bond, a compound (photosensitive monomer) having one or more ethylenically unsaturated groups in the molecule is used in order to make the composition photocurable. There is a need. As the ethylenically unsaturated double bond, those derived from acrylic acid, methacrylic acid or derivatives thereof are preferable. Among the carboxyl group-containing resins, there are carboxyl group-containing resins having a copolymer structure, carboxyl group-containing resins having a urethane structure, carboxyl group-containing resins starting from an epoxy resin, and carboxyl group-containing resins starting from a phenol compound. preferable. Specific examples of the carboxyl group-containing resin include compounds listed below (which may be either oligomers or polymers).
(1)後述するような2官能またはそれ以上の多官能エポキシ樹脂に(メタ)アクリル酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸などの2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。ここで、2官能またはそれ以上の多官能エポキシ樹脂は固形であることが好ましい。 (1) A bifunctional or higher polyfunctional epoxy resin as described later is reacted with (meth) acrylic acid, and a hydroxyl group present in the side chain is reacted with 2 such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, etc. A carboxyl group-containing photosensitive resin to which a basic acid anhydride is added. Here, the bifunctional or higher polyfunctional epoxy resin is preferably solid.
(2)後述するような2官能エポキシ樹脂の水酸基を、さらにエピクロロヒドリンでエポキシ化した多官能エポキシ樹脂に、(メタ)アクリル酸を反応させ、生じた水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。ここで、2官能エポキシ樹脂は固形であることが好ましい。 (2) A polyfunctional epoxy resin obtained by epoxidizing a hydroxyl group of a bifunctional epoxy resin as described later with epichlorohydrin is reacted with (meth) acrylic acid, and a dibasic acid anhydride is added to the resulting hydroxyl group. A carboxyl group-containing photosensitive resin. Here, the bifunctional epoxy resin is preferably solid.
(3)1分子中に2個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、(メタ)アクリル酸などの不飽和基含有モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸などの多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (3) An epoxy compound having two or more epoxy groups in one molecule is combined with a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule, and (meth) acrylic acid or the like. Polybasic, such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic acid, etc., with respect to the alcoholic hydroxyl group of the reaction product obtained by reacting with a saturated carboxylic acid containing monocarboxylic acid A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting an acid anhydride.
(4)ビスフェノールA、ビスフェノールF、ビスフェノールS、ノボラック型フェノール樹脂、ポリ−p−ヒドロキシスチレン、ナフトールとアルデヒド類の縮合物、ジヒドロキシナフタレンとアルデヒド類との縮合物などの1分子中に2個以上のフェノール性水酸基を有する化合物と、エチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に、(メタ)アクリル酸などの不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (4) Two or more per molecule such as bisphenol A, bisphenol F, bisphenol S, novolac type phenol resin, poly-p-hydroxystyrene, condensate of naphthol and aldehydes, condensate of dihydroxynaphthalene and aldehydes Reaction obtained by reacting an unsaturated group-containing monocarboxylic acid such as (meth) acrylic acid with a reaction product obtained by reacting a compound having a phenolic hydroxyl group with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting a product with a polybasic acid anhydride.
(5)1分子中に2個以上のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に、不飽和基含有モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (5) A reaction product obtained by reacting a compound having two or more phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate is reacted with an unsaturated group-containing monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by reacting the resulting reaction product with a polybasic acid anhydride.
(6)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネートなどのジイソシアネート化合物と、ポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基およびアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物などのジオール化合物の重付加反応によるウレタン樹脂の末端に、酸無水物を反応させてなる末端カルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (6) Diisocyanate compounds such as aliphatic diisocyanate, branched aliphatic diisocyanate, alicyclic diisocyanate, aromatic diisocyanate, polycarbonate polyol, polyether polyol, polyester polyol, polyolefin polyol, acrylic polyol, bisphenol A type A terminal carboxyl group-containing urethane resin obtained by reacting an acid anhydride with a terminal of a urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as an alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.
(7)ジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロール酪酸などのカルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物との重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレートなどの分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (7) During synthesis of a carboxyl group-containing urethane resin by a polyaddition reaction between a diisocyanate, a carboxyl group-containing dialcohol compound such as dimethylolpropionic acid or dimethylolbutyric acid, and a diol compound, a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate A carboxyl group-containing urethane resin in which a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups is added and terminally (meth) acrylated.
(8)ジイソシアネートと、カルボキシル基含有ジアルコール化合物と、ジオール化合物との重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (8) During synthesis of a carboxyl group-containing urethane resin by polyaddition reaction of a diisocyanate, a carboxyl group-containing dialcohol compound, and a diol compound, an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate, etc. A carboxyl group-containing urethane resin obtained by adding a compound having two isocyanate groups and one or more (meth) acryloyl groups, and then terminally (meth) acrylating.
(9)(メタ)アクリル酸などの不飽和カルボン酸と、スチレン、α−メチルスチレン、低級アルキル(メタ)アクリレート、イソブチレンなどの不飽和基含有化合物との共重合により得られるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (9) Carboxy group-containing photosensitivity obtained by copolymerization of unsaturated carboxylic acid such as (meth) acrylic acid and unsaturated group-containing compound such as styrene, α-methylstyrene, lower alkyl (meth) acrylate, and isobutylene. resin.
(10)後述するような多官能オキセタン樹脂に、アジピン酸、フタル酸、ヘキサヒドロフタル酸などのジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に、2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂に、さらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレートなどの1分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有感光性樹脂。 (10) A carboxyl group obtained by reacting a difunctional acid such as adipic acid, phthalic acid or hexahydrophthalic acid with a polyfunctional oxetane resin as described later and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl group A carboxyl group formed by adding a compound having one epoxy group and one or more (meth) acryloyl groups in one molecule, such as glycidyl (meth) acrylate and α-methylglycidyl (meth) acrylate, to the containing polyester resin Contains photosensitive resin.
(11)上述した(1)〜(10)のいずれかのカルボキシル基含有樹脂に、1分子中に環状エーテル基と(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加させたカルボキシル基含有感光性樹脂。 (11) A carboxyl group-containing photosensitive resin obtained by adding a compound having a cyclic ether group and a (meth) acryloyl group in one molecule to the carboxyl group-containing resin of any one of (1) to (10) described above.
なお、ここで(メタ)アクリレートとは、アクリレート、メタクリレートおよびそれらの混合物を総称する用語で、以下他の類似の表現についても同様である。 Here, (meth) acrylate is a generic term for acrylate, methacrylate, and mixtures thereof, and the same applies to other similar expressions.
カルボキシル基含有樹脂の酸価は、40〜150mgKOH/gであることが好ましい。カルボキシル基含有樹脂の酸価が40mgKOH/g以上とすることにより、アルカリ現像が良好になる。また、酸価を150mgKOH/gを以下とすることで、正常なレジストパターンの描画をし易くできる。より好ましくは、50〜130mgKOH/gである。 The acid value of the carboxyl group-containing resin is preferably 40 to 150 mgKOH / g. When the acid value of the carboxyl group-containing resin is 40 mgKOH / g or more, alkali development is improved. In addition, by setting the acid value to 150 mgKOH / g or less, it is possible to easily draw a normal resist pattern. More preferably, it is 50-130 mgKOH / g.
カルボキシル基含有樹脂の配合量は、溶剤を除いたドライフィルムの樹脂層全量基準で、20〜60質量%であることが好ましい。20質量%以上とすることにより塗膜強度を向上させることができる。また60質量%以下とすることで粘性が適当となり加工性が向上する。より好ましくは、30〜50質量%である。 It is preferable that the compounding quantity of carboxyl group-containing resin is 20-60 mass% on the resin layer whole quantity basis of the dry film except a solvent. Coating strength can be improved by setting it as 20 mass% or more. Further, when the content is 60% by mass or less, viscosity becomes appropriate and workability is improved. More preferably, it is 30-50 mass%.
上記したカルボキシル基含有樹脂を光重合させるために使用される光重合開始剤としては、公知のものを用いることができるが、なかでも、オキシムエステル基を有するオキシムエステル系光重合開始剤、α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤、アシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤、チタノセン系光重合開始剤が好ましい。光重合開始剤は1種を単独で用いてもよく、2種以上を併用して用いてもよい。 As the photopolymerization initiator used for photopolymerizing the above carboxyl group-containing resin, known ones can be used. Among them, an oxime ester photopolymerization initiator having an oxime ester group, α- Aminoacetophenone photopolymerization initiators, acylphosphine oxide photopolymerization initiators, and titanocene photopolymerization initiators are preferred. A photoinitiator may be used individually by 1 type and may be used in combination of 2 or more type.
オキシムエステル系光重合開始剤を使用する場合の配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.01〜5質量部とすることが好ましい。0.01質量部以上とすることにより、銅上での光硬化性がより確実となり、耐薬品性などの塗膜特性が向上する。また、5質量部以下とすることにより、塗膜表面での光吸収が抑えられ、深部の硬化性も向上する傾向がある。より好ましくは、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して0.5〜3質量部である。 The amount of the oxime ester photopolymerization initiator used is preferably 0.01 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. By setting it as 0.01 mass part or more, photocurability on copper becomes more reliable and coating-film characteristics, such as chemical resistance, improve. Moreover, the light absorption in the coating-film surface is suppressed by setting it as 5 mass parts or less, and there exists a tendency for the sclerosis | hardenability of a deep part to improve. More preferably, it is 0.5-3 mass parts with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin.
α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤またはアシルホスフィンオキサイド系光重合開始剤を用いる場合のそれぞれの配合量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、0.01〜15質量部であることが好ましい。0.01質量部以上とすることにより、銅上での光硬化性がより確実となり、耐薬品性などの塗膜特性が向上する。また、15質量部以下とすることにより、十分なアウトガスの低減効果が得られ、さらに硬化被膜表面での光吸収が抑えられ、深部の硬化性も向上する。より好ましくはカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して0.5〜10質量部である。 Each blending amount in the case of using an α-aminoacetophenone photopolymerization initiator or an acylphosphine oxide photopolymerization initiator is 0.01 to 15 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. preferable. By setting it as 0.01 mass part or more, photocurability on copper becomes more reliable and coating-film characteristics, such as chemical resistance, improve. Moreover, by setting it as 15 mass parts or less, sufficient reduction effect of an outgas is acquired, Furthermore, the light absorption in the cured film surface is suppressed, and the sclerosis | hardenability of a deep part improves. More preferably, it is 0.5-10 mass parts with respect to 100 mass parts of carboxyl group-containing resin.
上記した光重合開始剤と併用して、光開始助剤または増感剤を用いてもよい。光開始助剤または増感剤としては、ベンゾイン化合物、アセトフェノン化合物、アントラキノン化合物、チオキサントン化合物、ケタール化合物、ベンゾフェノン化合物、3級アミン化合物、およびキサントン化合物などを挙げることができる。これらの化合物は、光重合開始剤として用いることができる場合もあるが、光重合開始剤と併用して用いることが好ましい。また、光開始助剤または増感剤は1種類を単独で用いてもよく、2種以上を併用してもよい。 A photoinitiator or sensitizer may be used in combination with the above-described photopolymerization initiator. Examples of the photoinitiation assistant or sensitizer include benzoin compounds, acetophenone compounds, anthraquinone compounds, thioxanthone compounds, ketal compounds, benzophenone compounds, tertiary amine compounds, and xanthone compounds. These compounds may be used as a photopolymerization initiator in some cases, but are preferably used in combination with a photopolymerization initiator. Moreover, a photoinitiator auxiliary or a sensitizer may be used individually by 1 type, and may use 2 or more types together.
光硬化性熱硬化性樹脂組成物には、耐熱性、絶縁信頼性等の特性を向上させる目的で熱硬化性成分が含まれる。熱硬化性成分としては、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、アミノ樹脂、マレイミド化合物、ベンゾオキサジン樹脂、カルボジイミド樹脂、シクロカーボネート化合物、多官能エポキシ化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂などの公知慣用の熱硬化性樹脂が使用できる。これらの中でも好ましい熱硬化性成分は、1分子中に複数の環状エーテル基および/または環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略称する)を有する熱硬化性成分である。これら環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分は、市販されている種類が多く、その構造によって多様な特性を付与することができる。 The photocurable thermosetting resin composition contains a thermosetting component for the purpose of improving characteristics such as heat resistance and insulation reliability. Known thermosetting components such as isocyanate compounds, blocked isocyanate compounds, amino resins, maleimide compounds, benzoxazine resins, carbodiimide resins, cyclocarbonate compounds, polyfunctional epoxy compounds, polyfunctional oxetane compounds, episulfide resins, etc. Resin can be used. Among these, a preferable thermosetting component is a thermosetting component having a plurality of cyclic ether groups and / or cyclic thioether groups (hereinafter abbreviated as cyclic (thio) ether groups) in one molecule. There are many commercially available thermosetting components having a cyclic (thio) ether group, and various properties can be imparted depending on the structure.
分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分の配合量は、カルボキシル基含有樹脂のカルボキシル基1当量に対して、好ましくは0.3〜2.5当量、より好ましくは、0.5〜2.0当量となる範囲である。分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分の配合量を0.3当量以上とすることにより、硬化被膜にカルボキシル基が残存せず、耐熱性、耐アルカリ性、電気絶縁性などが向上する。また、2.5当量以下とすることにより、低分子量の環状(チオ)エーテル基が乾燥塗膜に残存せず、硬化被膜の強度などが向上する。 The blending amount of the thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule is preferably 0.3 to 2.5 equivalents, more preferably, with respect to 1 equivalent of the carboxyl group of the carboxyl group-containing resin. It is the range which becomes 0.5-2.0 equivalent. By making the amount of thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule 0.3 equivalent or more, no carboxyl group remains in the cured film, heat resistance, alkali resistance, electrical insulation Etc. improve. Moreover, by setting it as 2.5 equivalent or less, the low molecular weight cyclic (thio) ether group does not remain in the dry coating film, and the strength and the like of the cured coating film are improved.
分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分を使用する場合、熱硬化触媒を含有することが好ましい。そのような熱硬化触媒としては、例えば、イミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−エチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−フェニルイミダゾール、4−フェニルイミダゾール、1−シアノエチル−2−フェニルイミダゾール、1−(2−シアノエチル)−2−エチル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール誘導体;ジシアンジアミド、ベンジルジメチルアミン、4−(ジメチルアミノ)−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メトキシ−N,N−ジメチルベンジルアミン、4−メチル−N,N−ジメチルベンジルアミン等のアミン化合物、アジピン酸ジヒドラジド、セバシン酸ジヒドラジド等のヒドラジン化合物;トリフェニルホスフィン等のリン化合物などが挙げられる。また、グアナミン、アセトグアナミン、ベンゾグアナミン、メラミン、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン、2−ビニル−2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2−ビニル−4,6−ジアミノ−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物、2,4−ジアミノ−6−メタクリロイルオキシエチル−S−トリアジン・イソシアヌル酸付加物等のS−トリアジン誘導体を用いることもでき、好ましくはこれら密着性付与剤としても機能する化合物を熱硬化触媒と併用する。 When using a thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule, it is preferable to contain a thermosetting catalyst. Examples of such thermosetting catalysts include imidazole, 2-methylimidazole, 2-ethylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-phenylimidazole, 4-phenylimidazole, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole. Imidazole derivatives such as 1- (2-cyanoethyl) -2-ethyl-4-methylimidazole; dicyandiamide, benzyldimethylamine, 4- (dimethylamino) -N, N-dimethylbenzylamine, 4-methoxy-N, N -Amine compounds such as dimethylbenzylamine and 4-methyl-N, N-dimethylbenzylamine; hydrazine compounds such as adipic acid dihydrazide and sebacic acid dihydrazide; and phosphorus compounds such as triphenylphosphine. Also, guanamine, acetoguanamine, benzoguanamine, melamine, 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine, 2-vinyl-2,4-diamino-S-triazine, 2-vinyl-4,6-diamino S-triazine derivatives such as -S-triazine and isocyanuric acid adducts and 2,4-diamino-6-methacryloyloxyethyl-S-triazine and isocyanuric acid adducts can also be used. A compound that also functions in combination with a thermosetting catalyst.
熱硬化触媒の配合量は、分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分100質量部に対して、好ましくは0.1〜20質量部、より好ましくは0.5〜15.0質量部である。 The blending amount of the thermosetting catalyst is preferably 0.1 to 20 parts by mass, more preferably 0.5 to 15 parts per 100 parts by mass of the thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule. 0.0 part by mass.
光硬化性熱硬化性樹脂組成物には、上記したカルボキシル基含有樹脂、光重合開始剤、および熱硬化性成分に加えて、感光性モノマーが含まれていてもよい。感光性モノマーは、分子中に1個以上のエチレン性不飽和基を有する化合物である。感光性モノマーは、活性エネルギー線照射によるカルボキシル基含有樹脂の光硬化を助けるものである。 The photocurable thermosetting resin composition may contain a photosensitive monomer in addition to the above-described carboxyl group-containing resin, photopolymerization initiator, and thermosetting component. The photosensitive monomer is a compound having one or more ethylenically unsaturated groups in the molecule. The photosensitive monomer assists photocuring of the carboxyl group-containing resin by irradiation with active energy rays.
感光性モノマーとして用いられる化合物としては、例えば、慣用公知のポリエステル(メタ)アクリレート、ポリエーテル(メタ)アクリレート、ウレタン(メタ)アクリレート、カーボネート(メタ)アクリレート、エポキシ(メタ)アクリレートなどが挙げられる。具体的には、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレートなどのヒドロキシアルキルアクリレート類;エチレングリコール、メトキシテトラエチレングリコール、ポリエチレングリコール、プロピレングリコールなどのグリコールのジアクリレート類;N,N−ジメチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリルアミドなどのアクリルアミド類;N,N−ジメチルアミノエチルアクリレート、N,N−ジメチルアミノプロピルアクリレートなどのアミノアルキルアクリレート類;ヘキサンジオール、トリメチロールプロパン、ペンタエリスリトール、ジペンタエリスリトール、トリス−ヒドロキシエチルイソシアヌレートなどの多価アルコールまたはこれらのエチレオキサイド付加物、プロピレンオキサイド付加物、もしくはε−カプロラクトン付加物などの多価アクリレート類;フェノキシアクリレート、ビスフェノールAジアクリレート、およびこれらのフェノール類のエチレンオキサイド付加物もしくはプロピレンオキサイド付加物などの多価アクリレート類;グリセリンジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリグリシジルイソシアヌレートなどのグリシジルエーテルの多価アクリレート類;前記に限らず、ポリエーテルポリオール、ポリカーボネートジオール、水酸基末端ポリブタジエン、ポリエステルポリオールなどのポリオールを直接アクリレート化、もしくは、ジイソシアネートを介してウレタンアクリレート化したアクリレート類およびメラミンアクリレート、および前記アクリレートに対応する各メタクリレート類のいずれか少なくとも1種から適宜選択して用いることができる。 Examples of the compound used as the photosensitive monomer include conventionally known polyester (meth) acrylate, polyether (meth) acrylate, urethane (meth) acrylate, carbonate (meth) acrylate, epoxy (meth) acrylate, and the like. Specifically, hydroxyalkyl acrylates such as 2-hydroxyethyl acrylate and 2-hydroxypropyl acrylate; diacrylates of glycols such as ethylene glycol, methoxytetraethylene glycol, polyethylene glycol, and propylene glycol; N, N-dimethylacrylamide Acrylamides such as N-methylol acrylamide and N, N-dimethylaminopropyl acrylamide; aminoalkyl acrylates such as N, N-dimethylaminoethyl acrylate and N, N-dimethylaminopropyl acrylate; hexanediol, trimethylolpropane, Polyhydric alcohols such as pentaerythritol, dipentaerythritol, tris-hydroxyethyl isocyanurate or the like Multivalent acrylates such as thyloxide adducts, propylene oxide adducts, or ε-caprolactone adducts; polyvalent acrylates such as phenoxy acrylate, bisphenol A diacrylate, and ethylene oxide or propylene oxide adducts of these phenols Acrylates; glyceryl diglycidyl ether, glycerin triglycidyl ether, trimethylolpropane triglycidyl ether, polyglycerides of glycidyl ether such as triglycidyl isocyanurate; not limited to the above, polyether polyol, polycarbonate diol, hydroxyl-terminated polybutadiene Polyurethane polyol such as polyester polyol is directly acrylated or urethane acrylate via diisocyanate It can be used by appropriately selecting from at least one selected from acrylates and melamine acrylates and methacrylates corresponding to the acrylates.
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂などの多官能エポキシ樹脂に、アクリル酸を反応させたエポキシアクリレート樹脂や、さらにそのエポキシアクリレート樹脂の水酸基に、ペンタエリスリトールトリアクリレートなどのヒドロキシアクリレートとイソホロンジイソシアネートなどのジイソシアネートのハーフウレタン化合物を反応させたエポキシウレタンアクリレート化合物などを感光性モノマーとして用いてもよい。このようなエポキシアクリレート系樹脂は、指触乾燥性を低下させることなく、光硬化性を向上させることができる。 Epoxy acrylate resin obtained by reacting polyfunctional epoxy resin such as cresol novolac type epoxy resin with acrylic acid, and hydroxyl acrylate of the epoxy acrylate resin, hydroxy acrylate such as pentaerythritol triacrylate, and diisocyanate half urethane such as isophorone diisocyanate An epoxy urethane acrylate compound reacted with a compound may be used as the photosensitive monomer. Such an epoxy acrylate resin can improve photocurability without deteriorating the touch drying property.
感光性モノマーとして用いられる分子中にエチレン性不飽和基を有する化合物の配合量は、好ましくはカルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、5〜100質量部、より好ましくは、5〜70質量部の割合である。エチレン性不飽和基を有する化合物の配合量を5質量部以上とすることにより、光硬化性熱硬化性樹脂組成物の光硬化性が向上する。また、配合量を100質量部以下とすることにより、塗膜硬度を向上させることができる。 The compounding amount of the compound having an ethylenically unsaturated group in the molecule used as the photosensitive monomer is preferably 5 to 100 parts by mass, more preferably 5 to 70 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. Is the ratio. By making the compounding quantity of the compound which has an ethylenically unsaturated group 5 mass parts or more, the photocurability of a photocurable thermosetting resin composition improves. Moreover, the coating-film hardness can be improved by making a compounding quantity into 100 mass parts or less.
光硬化性熱硬化性樹脂組成物は、上記した成分以外にも、フィラー、着色剤、エラストマー、熱可塑性樹脂等の他の成分が含まれていてもよい。以下、これら成分についても説明する。 The photocurable thermosetting resin composition may contain other components such as a filler, a colorant, an elastomer, and a thermoplastic resin in addition to the components described above. Hereinafter, these components will also be described.
光硬化性熱硬化性樹脂組成物には、得られる硬化物の物理的強度等を上げるために、必要に応じて、フィラーを配合することができる。フィラーとしては、公知慣用の無機または有機フィラーが使用できるが、特に硫酸バリウム、球状シリカ、酸化チタン、ノイブルグ珪土粒子、およびタルクが好ましく用いられる。また、難燃性を付与する目的で、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、ベーマイトなども使用することができる。これらを単独でまたは2種以上配合することができる。 A filler can be mix | blended with a photocurable thermosetting resin composition as needed in order to raise the physical intensity | strength etc. of the hardened | cured material obtained. As the filler, known and commonly used inorganic or organic fillers can be used. In particular, barium sulfate, spherical silica, titanium oxide, Neuburg silica clay particles, and talc are preferably used. Further, for the purpose of imparting flame retardancy, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, boehmite and the like can also be used. These may be used alone or in combination of two or more.
フィラーの添加量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは500質量部以下、より好ましくは0.1〜300質量部、特に好ましくは、0.1〜150質量部である。フィラーの添加量が500質量部以下の場合、光硬化性熱硬化性樹脂組成物の粘度が高くなりすぎず、印刷性が良く、硬化物が脆くなりにくい。 The addition amount of the filler is preferably 500 parts by mass or less, more preferably 0.1 to 300 parts by mass, and particularly preferably 0.1 to 150 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. When the addition amount of the filler is 500 parts by mass or less, the viscosity of the photocurable thermosetting resin composition does not become too high, the printability is good, and the cured product is not easily brittle.
光硬化性熱硬化性樹脂組成物には、着色剤が含まれていてもよい。着色剤としては、赤、青、緑、黄、黒、白などの公知の着色剤を使用することができ、顔料、染料、色素のいずれでもよい。但し、環境負荷低減並びに人体への影響の観点からハロゲンを含有しないことが好ましい。 The photocurable thermosetting resin composition may contain a colorant. As the colorant, known colorants such as red, blue, green, yellow, black, and white can be used, and any of pigments, dyes, and pigments may be used. However, it is preferable not to contain a halogen from the viewpoint of reducing the environmental burden and affecting the human body.
着色剤の添加量は特に制限はないが、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは10質量部以下、特に好ましくは0.1〜7質量部の割合で充分である。 The addition amount of the colorant is not particularly limited, but is preferably 10 parts by mass or less, particularly preferably 0.1 to 7 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin.
また、光硬化性熱硬化性樹脂組成物には、得られる硬化物に対する柔軟性の付与、硬化物の脆さの改善などを目的にエラストマーを配合することができる。エラストマーとしては、例えばポリエステル系エラストマー、ポリウレタン系エラストマー、ポリエステルウレタン系エラストマー、ポリアミド系エラストマー、ポリエステルアミド系エラストマー、アクリル系エラストマー、オレフィン系エラストマー等が挙げられる。また、種々の骨格を有するエポキシ樹脂の一部または全部のエポキシ基を両末端カルボン酸変性型ブタジエン−アクリロニトリルゴムで変性した樹脂等も使用できる。更にはエポキシ含有ポリブタジエン系エラストマー、アクリル含有ポリブタジエン系エラストマー、水酸基含有ポリブタジエン系エラストマー、水酸基含有イソプレン系エラストマー等も使用することができる。エラストマーは、1種を単独で用いてもよく、2種類以上の混合物として使用してもよい。 Moreover, an elastomer can be mix | blended with a photocurable thermosetting resin composition for the purpose of provision of the softness | flexibility with respect to the hardened | cured material obtained, improvement of the brittleness of hardened | cured material, etc. Examples of the elastomer include a polyester elastomer, a polyurethane elastomer, a polyester urethane elastomer, a polyamide elastomer, a polyesteramide elastomer, an acrylic elastomer, and an olefin elastomer. Moreover, the resin etc. which modified the one part or all part of the epoxy resin which has various frame | skeleton with the carboxylic acid modified type butadiene- acrylonitrile rubber | gum at both ends can also be used. Furthermore, epoxy-containing polybutadiene elastomers, acrylic-containing polybutadiene elastomers, hydroxyl group-containing polybutadiene elastomers, hydroxyl group-containing isoprene elastomers and the like can also be used. One type of elastomer may be used alone, or a mixture of two or more types may be used.
エラストマーの添加量は、カルボキシル基含有樹脂100質量部に対して、好ましくは50質量部以下、より好ましくは1〜30質量部、特に好ましくは、5〜30質量部である。エラストマーの添加量が50質量部以下の場合、光硬化性熱硬化性樹脂組成物のアルカリ現像性が良好となり、現像可能な可使時間が短くなりにくい。 The addition amount of the elastomer is preferably 50 parts by mass or less, more preferably 1 to 30 parts by mass, and particularly preferably 5 to 30 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the carboxyl group-containing resin. When the addition amount of the elastomer is 50 parts by mass or less, the alkali developability of the photocurable thermosetting resin composition becomes good, and the developable pot life is not easily shortened.
また、光硬化性熱硬化性樹脂組成物には、必要に応じてさらに、ブロック共重合体、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。また、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤およびレベリング剤の少なくとも何れか1種、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、防錆剤、蛍光増白剤などのような公知慣用の添加剤類の少なくとも何れか一種を配合することができる。 In addition, the photocurable thermosetting resin composition may further contain components such as a block copolymer, an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet absorber as necessary. As these, those known in the field of electronic materials can be used. Further, known and commonly used thickeners such as fine silica, hydrotalcite, organic bentonite, montmorillonite, at least one of defoamers and leveling agents such as silicone, fluorine, and polymer, imidazole, and thiazole At least one of known and commonly used additives such as a silane coupling agent such as a triazole or triazole, a rust inhibitor, and a fluorescent brightening agent can be blended.
使用できる有機溶剤としては、特に制限はないが、例えば、ケトン類、芳香族炭化水素類、グリコールエーテル類、グリコールエーテルアセテート類、エステル類、アルコール類、脂肪族炭化水素、石油系溶剤などが挙げることができる。より具体的には、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、メチルブチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルエチルケトン等のケトン類;トルエン、キシレン、テトラメチルベンゼン等の芳香族炭化水素類;セロソルブ、メチルセロソルブ、ブチルセロソルブ、カルビトール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレングリコールジエチルエーテル、トリエチレングリコールモノエチルエーテル等のグリコールエーテル類;酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸イソブチル、エチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ジプロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールブチルエーテルアセテートなどのエステル類;エタノール、プロパノール、2−メトキシプロパノール、n−ブタノール、イソブチルアルコール、イソペンチルアルコール、エチレングリコール、プロピレングリコール等のアルコール類;オクタン、デカン等の脂肪族炭化水素;石油エーテル、石油ナフサ、水添石油ナフサ、ソルベントナフサ等の石油系溶剤等の他、N,N−ジメチルホルムアミド(DMF)、テトラクロロエチレン、テレビン油等が挙げられる。また、丸善石油化学社製スワゾール1000、スワゾール1500、スタンダード石油大阪発売所社製ソルベッソ100、ソルベッソ150、三共化学社製ソルベント#100、ソルベント#150、シェルケミカルズジャパン社製シェルゾールA100、シェルゾールA150、出光興産社製イプゾール100番、イプゾール150番等の有機溶剤を用いてもよい。このような有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。 The organic solvent that can be used is not particularly limited, and examples thereof include ketones, aromatic hydrocarbons, glycol ethers, glycol ether acetates, esters, alcohols, aliphatic hydrocarbons, petroleum solvents, and the like. be able to. More specifically, ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, methyl butyl ketone, methyl isobutyl ketone, and methyl ethyl ketone; aromatic hydrocarbons such as toluene, xylene, and tetramethylbenzene; cellosolve, methyl cellosolve, butyl cellosolve, carbitol, methyl Glycol ethers such as carbitol, butyl carbitol, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, triethylene glycol monoethyl ether Class: ethyl acetate, butyl acetate, isobutyl acetate, ethylene glycol monoethyl ester Esters such as teracetate, dipropylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol butyl ether acetate; ethanol, propanol, 2-methoxypropanol, n-butanol, isobutyl alcohol, isopentyl alcohol Alcohols such as ethylene glycol and propylene glycol; aliphatic hydrocarbons such as octane and decane; petroleum solvents such as petroleum ether, petroleum naphtha, hydrogenated petroleum naphtha, and solvent naphtha; and N, N-dimethylformamide ( DMF), tetrachloroethylene, turpentine oil and the like. In addition, Maruzen Petrochemical Co., Ltd. Swazol 1000, Swazol 1500, Standard Petroleum Osaka Sales Co., Ltd. Solvesso 100, Solvesso 150, Sankyo Chemical Co., Ltd. Solvent # 100, Solvent # 150, Shell Chemicals Japan Co., Ltd. Shell Sol A100, Shell Sol A150 Organic solvents such as Ipsol No. 100 and Ipsol No. 150 manufactured by Idemitsu Kosan Co., Ltd. may be used. Such an organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.
光硬化性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有するドライフィルムを用いたプリント配線板の製造方法としては、従来公知の方法を用いればよい。例えば、下記のような方法でプリント配線板を製造することができる。ドライフィルムから第二のフィルムを剥離して、樹脂層を露出させ、回路パターンが形成された基板上に、真空ラミネーター等を用いて前記感光性ドライフィルムの感光性樹脂層をラミネートし、樹脂層にパターン露光を行う。第一のフィルムは、ラミネート後または露光後のいずれかに、剥離すればよい。その後、アルカリ現像を行うことにより、前記基板上にパターニングされた樹脂層を形成し、前記パターニングされた樹脂層を光照射ないし熱により硬化させて、硬化被膜を形成することによりプリント配線板を製造することができる。 As a method for producing a printed wiring board using a dry film having a resin layer composed of a photocurable thermosetting resin composition, a conventionally known method may be used. For example, a printed wiring board can be manufactured by the following method. The second film is peeled from the dry film to expose the resin layer, and the photosensitive resin layer of the photosensitive dry film is laminated on the substrate on which the circuit pattern is formed using a vacuum laminator or the like. Pattern exposure is performed. The first film may be peeled off either after lamination or after exposure. Thereafter, by performing alkali development, a patterned resin layer is formed on the substrate, and the patterned resin layer is cured by light irradiation or heat to form a cured film, thereby producing a printed wiring board. can do.
(熱硬化性樹脂組成物)
熱硬化性樹脂組成物の一例として、熱硬化性成分を含む樹脂組成物について、下記に説明する。
(Thermosetting resin composition)
As an example of the thermosetting resin composition, a resin composition containing a thermosetting component will be described below.
熱硬化性樹脂成分は、熱による硬化反応が可能な官能基を有する樹脂である。熱硬化性樹脂成分は特に限定されず、エポキシ化合物、多官能オキセタン化合物、分子内に2個以上のチオエーテル基を有する化合物、すなわちエピスルフィド樹脂等を用いることができる。 The thermosetting resin component is a resin having a functional group that can be cured by heat. The thermosetting resin component is not particularly limited, and an epoxy compound, a polyfunctional oxetane compound, a compound having two or more thioether groups in the molecule, that is, an episulfide resin can be used.
上記エポキシ化合物は、エポキシ基を有する化合物であり、従来公知のものをいずれも使用できる。分子中にエポキシ基を2個有する2官能性エポキシ化合物、分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ化合物等が挙げられる。なお、水素添加された2官能エポキシ化合物であってもよい。 The epoxy compound is a compound having an epoxy group, and any conventionally known one can be used. Examples thereof include a bifunctional epoxy compound having two epoxy groups in the molecule and a polyfunctional epoxy compound having many epoxy groups in the molecule. In addition, a hydrogenated bifunctional epoxy compound may be used.
エポキシ化合物としては、例えば、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、臭素化ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、ビスフェノールAのノボラック型エポキシ樹脂、ビフェニル型エポキシ樹脂、ナフトール型エポキシ樹脂、ナフタレン型エポキシ樹脂、ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂、トリフェニルメタン型エポキシ樹脂、脂環式エポキシ樹脂、脂肪族鎖状エポキシ樹脂、リン含有エポキシ樹脂、アントラセン型エポキシ樹脂、ノルボルネン型エポキシ樹脂、アダマンタン型エポキシ樹脂、フルオレン型エポキシ樹脂、アミノフェノール型エポキシ樹脂、アミノクレゾール型エポキシ樹脂、アルキルフェノール型エポキシ樹脂等が用いられる。これらエポキシ樹脂は、1種を単独または2種類以上を組合せて用いることができる。 Examples of the epoxy compound include bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, brominated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, and cresol novolak type. Epoxy resin, bisphenol A novolak type epoxy resin, biphenyl type epoxy resin, naphthol type epoxy resin, naphthalene type epoxy resin, dicyclopentadiene type epoxy resin, triphenylmethane type epoxy resin, alicyclic epoxy resin, aliphatic chain Epoxy resin, phosphorus-containing epoxy resin, anthracene type epoxy resin, norbornene type epoxy resin, adamantane type epoxy resin, fluorene type epoxy resin, aminophenol type epoxy resin Resin, amino cresol type epoxy resin, alkylphenol type epoxy resin or the like is used. These epoxy resins can be used alone or in combination of two or more.
エポキシ化合物は、固形エポキシ樹脂、半固形エポキシ樹脂、液状エポキシ樹脂の何れであってもよい。本明細書において、固形エポキシ樹脂とは40℃で固体状であるエポキシ樹脂をいい、半固形エポキシ樹脂とは20℃で固体状であり、40℃で液状であるエポキシ樹脂をいい、液状エポキシ樹脂とは20℃で液状のエポキシ樹脂をいう。液状の判定は、危険物の試験及び性状に関する省令(平成元年自治省令第1号)の別紙第2の「液状の確認方法」に準じて行う。 The epoxy compound may be a solid epoxy resin, a semi-solid epoxy resin, or a liquid epoxy resin. In this specification, a solid epoxy resin refers to an epoxy resin that is solid at 40 ° C., and a semi-solid epoxy resin refers to an epoxy resin that is solid at 20 ° C. and is liquid at 40 ° C. Means an epoxy resin that is liquid at 20 ° C. Judgment of liquid state shall be made in accordance with the second “Liquid Confirmation Method” of the Ministerial Ordinance on Dangerous Goods Testing and Properties (Ministry of Local Government Ordinance No. 1 of 1989).
熱硬化性樹脂成分は、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。熱硬化性樹脂成分の配合量は、溶剤を除いたドライフィルムの樹脂層全量基準で、10〜50質量%であることが好ましく、10〜40質量%であることがより好ましく、10〜35質量%がさらにより好ましい。また、液状エポキシ樹脂を配合する場合の、液状エポキシ樹脂の配合量は、硬化物のガラス転移温度(Tg)およびクラック耐性がより良好となるため、熱硬化性樹脂成分全質量あたり、0〜45質量%であることが好ましく、0〜30質量%であることがより好ましく、0〜5質量%であることが特に好ましい。 A thermosetting resin component can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types. The compounding amount of the thermosetting resin component is preferably 10 to 50% by mass, more preferably 10 to 40% by mass, and more preferably 10 to 35% by mass based on the total amount of the resin layer of the dry film excluding the solvent. % Is even more preferred. Moreover, since the glass transition temperature (Tg) and crack resistance of hardened | cured material become more favorable, the compounding quantity of a liquid epoxy resin in the case of mix | blending a liquid epoxy resin becomes 0-45 per thermosetting resin component total mass. It is preferably mass%, more preferably 0 to 30 mass%, and particularly preferably 0 to 5 mass%.
熱硬化性樹脂組成物には、得られる硬化物の物理的強度等を上げるために、必要に応じて、フィラーを配合することができる。フィラーとしては、特に制限はないが、例えば、前記光硬化性熱硬化性樹脂組成物で例示したフィラーが挙げられる。フィラーは、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。 A filler can be mix | blended with a thermosetting resin composition as needed in order to raise the physical intensity | strength etc. of the hardened | cured material obtained. Although there is no restriction | limiting in particular as a filler, For example, the filler illustrated with the said photocurable thermosetting resin composition is mentioned. A filler may be used individually by 1 type and may be used as a mixture of 2 or more types.
使用できる有機溶剤としては、特に制限はないが、例えば、前記光硬化性熱硬化性樹脂組成物で例示した有機溶剤が挙げられる。有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。 Although there is no restriction | limiting in particular as an organic solvent which can be used, For example, the organic solvent illustrated with the said photocurable thermosetting resin composition is mentioned. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.
熱硬化性樹脂組成物は硬化剤を含有することができる。硬化剤としては、フェノール樹脂、ポリカルボン酸およびその酸無水物、シアネートエステル樹脂、活性エステル樹脂、マレイミド化合物、脂環式オレフィン重合体等が挙げられる。硬化剤は1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。 The thermosetting resin composition can contain a curing agent. Examples of the curing agent include phenol resins, polycarboxylic acids and acid anhydrides thereof, cyanate ester resins, active ester resins, maleimide compounds, and alicyclic olefin polymers. A hardening | curing agent can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
上記硬化剤は、熱硬化性樹脂成分のエポキシ基等の熱硬化反応が可能な官能基と、その官能基と反応する硬化剤中の官能基との比率が、硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)=0.2〜2となるような割合で配合することが好ましい。硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)を上記範囲内とすることで、デスミア工程におけるフィルム表面の粗化を防止することができる。より好ましくは硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)=0.2〜1.5であり、さらに好ましくは硬化剤の官能基/熱硬化反応が可能な官能基(当量比)=0.3〜1.0である。 In the curing agent, the ratio of the functional group capable of thermosetting reaction, such as the epoxy group of the thermosetting resin component, to the functional group in the curing agent that reacts with the functional group is the functional group of the curing agent / thermosetting. It is preferable to blend in such a ratio that the functional group capable of reacting (equivalent ratio) = 0.2-2. By setting the functional group of the curing agent / functional group capable of thermosetting reaction (equivalent ratio) within the above range, roughening of the film surface in the desmear process can be prevented. More preferably, the functional group of the curing agent / functional group capable of thermosetting reaction (equivalent ratio) = 0.2 to 1.5, and more preferably the functional group of the curing agent / functional group capable of thermosetting reaction ( Equivalent ratio) = 0.3 to 1.0.
熱硬化性樹脂組成物は、得られる硬化被膜の機械的強度を向上させるために、さらに熱可塑性樹脂を含有することができる。熱可塑性樹脂は、溶剤に可溶であることが好ましい。溶剤に可溶である場合、ドライフィルムの柔軟性が向上し、クラックの発生や粉落ちを抑制できる。熱可塑性樹脂としては、熱可塑性ポリヒドロキシポリエーテル樹脂や、エピクロルヒドリンと各種2官能フェノール化合物の縮合物であるフェノキシ樹脂或いはその骨格に存在するヒドロキシエーテル部の水酸基を各種酸無水物や酸クロリドを使用してエステル化したフェノキシ樹脂、ポリビニルアセタール樹脂、ポリアミド樹脂、ポリアミドイミド樹脂、ブロック共重合体等が挙げられる。熱可塑性樹脂は1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。 The thermosetting resin composition can further contain a thermoplastic resin in order to improve the mechanical strength of the resulting cured film. The thermoplastic resin is preferably soluble in a solvent. When it is soluble in the solvent, the flexibility of the dry film is improved, and the generation of cracks and powder falling can be suppressed. As the thermoplastic resin, use is made of thermoplastic polyhydroxy polyether resin, phenoxy resin that is a condensate of epichlorohydrin and various bifunctional phenolic compounds, or hydroxyl group of hydroxy ether part present in the skeleton of various acid anhydrides and acid chlorides. And esterified phenoxy resin, polyvinyl acetal resin, polyamide resin, polyamideimide resin, block copolymer and the like. A thermoplastic resin can be used individually by 1 type or in combination of 2 or more types.
熱可塑性樹脂の配合量は、溶剤を除いた樹脂層全量基準で、0.5〜20質量%、好ましくは0.5〜10質量%の割合が好ましい。熱可塑性樹脂の配合量が上記範囲外になると、均一な粗化面状態を得られ難くなる。 The blending amount of the thermoplastic resin is 0.5 to 20% by mass, preferably 0.5 to 10% by mass, based on the total amount of the resin layer excluding the solvent. When the blending amount of the thermoplastic resin is out of the above range, it becomes difficult to obtain a uniform roughened surface state.
さらに、熱硬化性樹脂組成物は、必要に応じてゴム状粒子を含有することができる。このようなゴム状粒子としては、ポリブタジエンゴム、ポリイソプロピレンゴム、ウレタン変性ポリブタジエンゴム、エポキシ変性ポリブタジエンゴム、アクリロニトリル変性ポリブタジエンゴム、カルボキシル基変性ポリブタジエンゴム、カルボキシル基または水酸基で変性したアクリロニトリルブタジエンゴム、およびそれらの架橋ゴム粒子、コアシェル型ゴム粒子等が挙げられ、1種を単独または2種以上を組み合わせて用いることができる。これらのゴム状粒子は、得られる硬化被膜の柔軟性を向上させたり、クラック耐性が向上したり、酸化剤による表面粗化処理を可能とし、銅箔等との密着強度を向上させるために添加される。 Furthermore, the thermosetting resin composition can contain rubber-like particles as necessary. Examples of such rubber-like particles include polybutadiene rubber, polyisopropylene rubber, urethane-modified polybutadiene rubber, epoxy-modified polybutadiene rubber, acrylonitrile-modified polybutadiene rubber, carboxyl group-modified polybutadiene rubber, acrylonitrile butadiene rubber modified with a carboxyl group or a hydroxyl group, and These crosslinked rubber particles, core-shell type rubber particles, and the like can be mentioned, and one kind can be used alone or two or more kinds can be used in combination. These rubber-like particles are added to improve the flexibility of the resulting cured film, improve crack resistance, enable surface roughening treatment with an oxidizing agent, and improve adhesion strength with copper foil, etc. Is done.
ゴム状粒子の平均粒径は0.005〜1μmの範囲が好ましく、0.2〜1μmの範囲がより好ましい。本発明におけるゴム状粒子の平均粒径は、動的光散乱法を用いて測定することが出来る。例えば、適当な有機溶剤にゴム状粒子を超音波などにより均一に分散させ、FPRA−1000(大塚電子社製)を用いて、ゴム状粒子の粒度分布を質量基準で作成し、そのメディアン径を平均粒径とすることで測定することができる。 The average particle size of the rubber-like particles is preferably in the range of 0.005 to 1 μm, and more preferably in the range of 0.2 to 1 μm. The average particle diameter of the rubber-like particles in the present invention can be measured using a dynamic light scattering method. For example, rubber-like particles are uniformly dispersed in an appropriate organic solvent by ultrasonic waves, etc., and using FPRA-1000 (manufactured by Otsuka Electronics Co., Ltd.), the particle size distribution of the rubber-like particles is created on a mass basis and the median diameter is The average particle size can be measured.
ゴム状粒子の配合量は、溶剤を除いた樹脂層全量基準で、0.5〜10質量%であることが好ましく、1〜5質量%であることがより好ましい。0.5質量%以上の場合、クラック耐性が得られ、導体パターン等との密着強度を向上できる。10質量%以下の場合、熱膨張係数(CTE)が低下し、ガラス転移温度(Tg)が上昇して硬化特性が向上する。 The compounding amount of the rubber-like particles is preferably 0.5 to 10% by mass and more preferably 1 to 5% by mass based on the total amount of the resin layer excluding the solvent. In the case of 0.5% by mass or more, crack resistance is obtained, and the adhesion strength with a conductor pattern or the like can be improved. When the content is 10% by mass or less, the coefficient of thermal expansion (CTE) decreases, the glass transition temperature (Tg) increases, and the curing characteristics are improved.
本発明のドライフィルムの樹脂層は、硬化促進剤を含有することができる。硬化促進剤は、熱硬化反応を促進させるものであり、密着性、耐薬品性、耐熱性等の特性をより一層向上させるために使用される。このような硬化促進剤の具体例としては、イミダゾールおよびその誘導体;アセトグアナミン、ベンゾグアナミン等のグアナミン類;ジアミノジフェニルメタン、m−フェニレンジアミン、m−キシレンジアミン、ジアミノジフェニルスルフォン、ジシアンジアミド、尿素、尿素誘導体、メラミン、多塩基ヒドラジド等のポリアミン類;これらの有機酸塩および/またはエポキシアダクト;三フッ化ホウ素のアミン錯体;エチルジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−S−トリアジン、2,4−ジアミノ−6−キシリル−S−トリアジン等のトリアジン誘導体類;トリメチルアミン、トリエタノールアミン、N,N−ジメチルオクチルアミン、N−ベンジルジメチルアミン、ピリジン、N−メチルモルホリン、ヘキサ(N−メチル)メラミン、2,4,6−トリス(ジメチルアミノフェノール)、テトラメチルグアニジン、m−アミノフェノール等のアミン類;ポリビニルフェノール、ポリビニルフェノール臭素化物、フェノールノボラック、アルキルフェノールノボラック等のポリフェノール類;トリブチルホスフィン、トリフェニルホスフィン、トリス−2−シアノエチルホスフィン等の有機ホスフィン類;トリ−n−ブチル(2,5−ジヒドロキシフェニル)ホスホニウムブロマイド、ヘキサデシルトリブチルホスホニウムクロライド等のホスホニウム塩類;ベンジルトリメチルアンモニウムクロライド、フェニルトリブチルアンモニウムクロライド等の4級アンモニウム塩類;前記多塩基酸無水物;ジフェニルヨードニウムテトラフルオロボロエート、トリフェニルスルホニウムヘキサフルオロアンチモネート、2,4,6−トリフェニルチオピリリウムヘキサフルオロホスフェート等の光カチオン重合触媒;スチレン−無水マレイン酸樹脂;フェニルイソシアネートとジメチルアミンの等モル反応物や、トリレンジイソシアネート、イソホロンジイソシアネート等の有機ポリイソシアネートとジメチルアミンの等モル反応物、金属触媒等の従来公知の硬化促進剤が挙げられる。硬化促進剤の中でも、BHAST耐性が得られることから、ホスホニウム塩類が好ましい。 The resin layer of the dry film of the present invention can contain a curing accelerator. The curing accelerator is for accelerating the thermosetting reaction, and is used for further improving properties such as adhesion, chemical resistance, and heat resistance. Specific examples of such curing accelerators include imidazole and derivatives thereof; guanamines such as acetoguanamine and benzoguanamine; diaminodiphenylmethane, m-phenylenediamine, m-xylenediamine, diaminodiphenylsulfone, dicyandiamide, urea, urea derivatives, Polyamines such as melamine and polybasic hydrazides; organic acid salts and / or epoxy adducts thereof; amine complexes of boron trifluoride; ethyldiamino-S-triazine, 2,4-diamino-S-triazine, 2,4- Triazine derivatives such as diamino-6-xylyl-S-triazine; trimethylamine, triethanolamine, N, N-dimethyloctylamine, N-benzyldimethylamine, pyridine, N-methylmorpholine, hexa (N-methyl) Amines such as lamin, 2,4,6-tris (dimethylaminophenol), tetramethylguanidine, m-aminophenol; polyphenols such as polyvinylphenol, polyvinylphenol bromide, phenol novolac, alkylphenol novolac; tributylphosphine, tri Organic phosphines such as phenylphosphine and tris-2-cyanoethylphosphine; phosphonium salts such as tri-n-butyl (2,5-dihydroxyphenyl) phosphonium bromide and hexadecyltributylphosphonium chloride; benzyltrimethylammonium chloride and phenyltributylammonium chloride Quaternary ammonium salts such as polybasic acid anhydrides; diphenyliodonium tetrafluoroboroate, triphenyl Photocationic polymerization catalyst such as sulfonium hexafluoroantimonate and 2,4,6-triphenylthiopyrylium hexafluorophosphate; styrene-maleic anhydride resin; equimolar reaction product of phenyl isocyanate and dimethylamine, tolylene diisocyanate, Conventionally known curing accelerators such as an equimolar reaction product of an organic polyisocyanate such as isophorone diisocyanate and dimethylamine, and a metal catalyst can be used. Among the curing accelerators, phosphonium salts are preferred because BHAST resistance is obtained.
硬化促進剤は、1種を単独または2種以上混合して用いることができる。硬化促進剤の使用は必須ではないが、特に硬化を促進したい場合には、熱硬化性樹脂成分100質量部に対して好ましくは0.01〜5質量部の範囲で用いることができる。金属触媒の場合、熱硬化性樹脂成分100質量部に対して金属換算で10〜550ppmが好ましく、25〜200ppmが好ましい。 A hardening accelerator can be used individually by 1 type or in mixture of 2 or more types. The use of a curing accelerator is not essential, but particularly when it is desired to accelerate curing, it can be used preferably in the range of 0.01 to 5 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the thermosetting resin component. In the case of a metal catalyst, 10 to 550 ppm is preferable in terms of metal with respect to 100 parts by mass of the thermosetting resin component, and 25 to 200 ppm is preferable.
熱硬化性樹脂組成物は、さらに必要に応じて、フタロシアニン・ブルー、フタロシアニン・グリーン、アイオジン・グリーン、ジスアゾイエロー、クリスタルバイオレット、酸化チタン、カーボンブラック、ナフタレンブラック等の従来公知の着色剤、アスベスト、オルベン、ベントン、微紛シリカ等の従来公知の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系等の消泡剤および/またはレベリング剤、チアゾール系、トリアゾール系、シランカップリング剤等の密着性付与剤、難燃剤、チタネート系、アルミニウム系の従来公知の添加剤類を用いることができる。 The thermosetting resin composition may further include, as necessary, conventionally known colorants such as phthalocyanine blue, phthalocyanine green, iodine green, disazo yellow, crystal violet, titanium oxide, carbon black, naphthalene black, asbestos, Conventionally known thickeners such as olben, benton and fine silica, adhesion of antifoaming and / or leveling agents such as silicones, fluorines and polymers, thiazoles, triazoles and silane coupling agents Conventionally known additives such as imparting agents, flame retardants, titanates, and aluminum can be used.
熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有するドライフィルムを用いたプリント配線板の製造方法としては、従来公知の方法を用いればよい。例えば、下記のような方法でプリント配線板を製造することができる。ドライフィルムから第二のフィルムを剥離し、回路パターンが形成された回路基板に加熱ラミネートした後、熱硬化させる。熱硬化は、オーブン中で硬化、もしくは熱板プレスで硬化させてもよい。回路が形成された基材と本発明のドライフィルムをラミネートもしくは熱板プレスする際に、銅箔もしくは回路形成された基材を同時に積層することもできる。回路パターンが形成された基板上の所定の位置に対応する位置に、レーザー照射またはドリルでパターンやビアホールを形成し、回路配線を露出させることで、プリント配線板を製造することができる。この際、パターンやビアホール内の回路配線上に除去しきれないで残留した成分(スミア)が存在する場合にはデスミア処理を行う。第一のフィルムは、ラミネート後、熱硬化後、レーザー加工後またはデスミア処理後のいずれかに、剥離すればよい。 As a method for producing a printed wiring board using a dry film having a resin layer made of a thermosetting resin composition, a conventionally known method may be used. For example, a printed wiring board can be manufactured by the following method. The second film is peeled off from the dry film, heat laminated to the circuit board on which the circuit pattern is formed, and then thermally cured. The heat curing may be performed in an oven or by a hot plate press. When laminating or hot plate pressing the substrate on which the circuit is formed and the dry film of the present invention, the copper foil or the substrate on which the circuit is formed can be laminated simultaneously. A printed wiring board can be manufactured by forming a pattern or a via hole by laser irradiation or drilling at a position corresponding to a predetermined position on the substrate on which the circuit pattern is formed, and exposing the circuit wiring. At this time, if there is a component (smear) that cannot be completely removed on the circuit wiring in the pattern or via hole, desmear processing is performed. The first film may be peeled off after lamination, after heat curing, after laser processing, or after desmear treatment.
(光塩基発生剤含有組成物)
光塩基発生剤含有組成物の一例として、アルカリ現像性樹脂と、熱反応性成分と、光塩基発生剤とを含む組成物について、下記に説明する。
(Photobase generator-containing composition)
As an example of the photobase generator-containing composition, a composition containing an alkali-developable resin, a thermally reactive component, and a photobase generator will be described below.
アルカリ現像性樹脂は、フェノール性水酸基、チオール基およびカルボキシル基のうち1種以上の官能基を含有し、アルカリ溶液で現像可能な樹脂であり、好ましくはフェノール性水酸基を2個以上有する化合物、カルボキシル基含有樹脂、フェノール性水酸基およびカルボキシル基を有する化合物、チオール基を2個以上有する化合物が挙げられる。 The alkali-developable resin is a resin that contains one or more functional groups among phenolic hydroxyl groups, thiol groups, and carboxyl groups and that can be developed with an alkaline solution, preferably a compound having two or more phenolic hydroxyl groups, carboxyl Examples thereof include a group-containing resin, a compound having a phenolic hydroxyl group and a carboxyl group, and a compound having two or more thiol groups.
カルボキシル基含有樹脂としては、公知のカルボキシル基を含む樹脂を用いることができる。カルボキシル基の存在により、樹脂組成物をアルカリ現像性とすることができる。また、カルボキシル基の他に、分子内にエチレン性不飽和結合を有する化合物を用いてもよいが、本発明においては、カルボキシル基含有樹脂として、エチレン性不飽和二重結合を有さないカルボキシル基含有樹脂のみを用いることが好ましい。 As the carboxyl group-containing resin, a known resin containing a carboxyl group can be used. Due to the presence of the carboxyl group, the resin composition can be made alkali developable. In addition to the carboxyl group, a compound having an ethylenically unsaturated bond in the molecule may be used, but in the present invention, the carboxyl group-containing resin is a carboxyl group having no ethylenically unsaturated double bond. It is preferable to use only the containing resin.
本発明に用いることができるカルボキシル基含有樹脂の具体例としては、前記光硬化性熱硬化性樹脂組成物に含まれるカルボキシル基含有樹脂として挙げた(1)〜(11)の他に、以下に列挙するような化合物(オリゴマー及びポリマーのいずれでもよい)が挙げられる。 As specific examples of the carboxyl group-containing resin that can be used in the present invention, in addition to (1) to (11) listed as the carboxyl group-containing resins contained in the photocurable thermosetting resin composition, The compounds as listed (any of oligomers and polymers) may be mentioned.
(12)脂肪族ジイソシアネート、分岐脂肪族ジイソシアネート、脂環式ジイソシアネート、芳香族ジイソシアネート等のジイソシアネートと、ジメチロールプロピオン酸、ジメチロールブタン酸等のカルボキシル基含有ジアルコール化合物及びポリカーボネート系ポリオール、ポリエーテル系ポリオール、ポリエステル系ポリオール、ポリオレフィン系ポリオール、アクリル系ポリオール、ビスフェノールA系アルキレンオキシド付加体ジオール、フェノール性ヒドロキシル基及びアルコール性ヒドロキシル基を有する化合物等のジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (12) Diisocyanates such as aliphatic diisocyanates, branched aliphatic diisocyanates, alicyclic diisocyanates, and aromatic diisocyanates; carboxyl group-containing dialcohol compounds such as dimethylolpropionic acid and dimethylolbutanoic acid, polycarbonate polyols, and polyethers A carboxyl group-containing urethane resin by a polyaddition reaction of a diol compound such as a polyol, a polyester-based polyol, a polyolefin-based polyol, an acrylic polyol, a bisphenol A-based alkylene oxide adduct diol, a compound having a phenolic hydroxyl group and an alcoholic hydroxyl group.
(13)ジイソシアネートと、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、水添ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビキシレノール型エポキシ樹脂、ビフェノール型エポキシ樹脂等の2官能エポキシ樹脂の(メタ)アクリレートもしくはその部分酸無水物変性物、カルボキシル基含有ジアルコール化合物及びジオール化合物の重付加反応によるカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (13) Diisocyanate and bifunctional epoxy resin such as bisphenol A type epoxy resin, hydrogenated bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, bixylenol type epoxy resin, biphenol type epoxy resin ( Carboxyl group-containing urethane resin by polyaddition reaction of (meth) acrylate or its partial acid anhydride modified product, carboxyl group-containing dialcohol compound and diol compound.
(14)上記(12)又は(13)の樹脂の合成中に、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート等の分子中に1つの水酸基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (14) During the synthesis of the resin of the above (12) or (13), a compound having one hydroxyl group and one or more (meth) acryloyl groups in a molecule such as hydroxyalkyl (meth) acrylate is added. (Meth) acrylic carboxyl group-containing urethane resin.
(15)上記(12)又は(13)の樹脂の合成中に、イソホロンジイソシアネートとペンタエリスリトールトリアクリレートの等モル反応物など、分子中に1つのイソシアネート基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を加え、末端(メタ)アクリル化したカルボキシル基含有ウレタン樹脂。 (15) During the synthesis of the resin of the above (12) or (13), one isocyanate group and one or more (meth) acryloyl groups are introduced into the molecule, such as an equimolar reaction product of isophorone diisocyanate and pentaerythritol triacrylate. The carboxyl group-containing urethane resin which added the compound which has and was terminally (meth) acrylated.
(16)前述するような多官能エポキシ樹脂に飽和モノカルボン酸を反応させ、側鎖に存在する水酸基に無水フタル酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸等の2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有樹脂。ここで、多官能エポキシ樹脂は固形であることが好ましい。 (16) A polyfunctional epoxy resin as described above is reacted with a saturated monocarboxylic acid, and a dibasic acid anhydride such as phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride or hexahydrophthalic anhydride is added to the hydroxyl group present in the side chain. Carboxyl group-containing resin. Here, the polyfunctional epoxy resin is preferably solid.
(17)後述するような多官能オキセタン樹脂にジカルボン酸を反応させ、生じた1級の水酸基に2塩基酸無水物を付加させたカルボキシル基含有ポリエステル樹脂。 (17) A carboxyl group-containing polyester resin obtained by reacting a polyfunctional oxetane resin as described later with a dicarboxylic acid and adding a dibasic acid anhydride to the resulting primary hydroxyl group.
(18)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (18) A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide. .
(19)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンオキシド、プロピレンオキシドなどのアルキレンオキシドとを反応させて得られる反応生成物に飽和モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (19) A saturated monocarboxylic acid is reacted with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with an alkylene oxide such as ethylene oxide or propylene oxide. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting a basic acid anhydride.
(20)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に飽和モノカルボン酸を反応させ、得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (20) A reaction product obtained by reacting a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate, with a saturated monocarboxylic acid. A carboxyl group-containing resin obtained by reacting with a polybasic acid anhydride.
(21)1分子中に複数のフェノール性水酸基を有する化合物とエチレンカーボネート、プロピレンカーボネートなどの環状カーボネート化合物とを反応させて得られる反応生成物に多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (21) A carboxyl group obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a reaction product obtained by reacting a compound having a plurality of phenolic hydroxyl groups in one molecule with a cyclic carbonate compound such as ethylene carbonate or propylene carbonate. Containing resin.
(22)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物と、飽和モノカルボン酸とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (22) An epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule, a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol, and a saturated monocarboxylic acid React with acid and react with polybasic acid anhydrides such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic acid etc. to the alcoholic hydroxyl group of the resulting reaction product Carboxyl group-containing resin obtained by allowing
(23)1分子中に複数のエポキシ基を有するエポキシ化合物に、p−ヒドロキシフェネチルアルコール等の1分子中に少なくとも1個のアルコール性水酸基と1個のフェノール性水酸基を有する化合物とを反応させ、得られた反応生成物のアルコール性水酸基に対して、無水マレイン酸、テトラヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、無水ピロメリット酸、アジピン酸等の多塩基酸無水物を反応させて得られるカルボキシル基含有樹脂。 (23) reacting an epoxy compound having a plurality of epoxy groups in one molecule with a compound having at least one alcoholic hydroxyl group and one phenolic hydroxyl group in one molecule such as p-hydroxyphenethyl alcohol; Carboxyl groups obtained by reacting polybasic acid anhydrides such as maleic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride, pyromellitic anhydride, adipic acid with the alcoholic hydroxyl group of the obtained reaction product Containing resin.
(24)上記(12)〜(23)のいずれかの樹脂にさらにグリシジル(メタ)アクリレート、α−メチルグリシジル(メタ)アクリレート等の分子中に1つのエポキシ基と1つ以上の(メタ)アクリロイル基を有する化合物を付加してなるカルボキシル基含有樹脂。 (24) One epoxy group and one or more (meth) acryloyl in a molecule such as glycidyl (meth) acrylate, α-methylglycidyl (meth) acrylate and the like in any one of the resins (12) to (23) above A carboxyl group-containing resin formed by adding a group-containing compound.
上記のようなアルカリ現像性樹脂は、バックボーン・ポリマーの側鎖に多数のカルボキシル基やヒロドキシ基等を有するため、アルカリ水溶液による現像が可能になる。
また、上記アルカリ現像性樹脂のヒドロキシル基当量又はカルボキシル基当量は、80〜900g/eq.であることが好ましく、さらに好ましくは、100〜700g/eq.である。ヒドロキシル基当量又はカルボキシル基当量が900g/eq.以下の場合、パターン層の密着性が得られ、アルカリ現像が容易となる。一方、ヒドロキシル基当量又はカルボキシル基当量が80g/eq.以上の場合には、現像液による光照射部の溶解が抑えられ、必要以上にラインが痩せたりせずに、正常なレジストパターンの描画が容易となるため好ましい。また、カルボキシル基当量やフェノール基当量が大きい場合、アルカリ現像性樹脂の含有量が少ない場合でも、現像が可能となるため、好ましい。
Such an alkali-developable resin has a large number of carboxyl groups, hydroxyl groups, and the like in the side chain of the backbone polymer, so that development with an alkaline aqueous solution becomes possible.
In addition, the hydroxyl group equivalent or carboxyl group equivalent of the alkali developable resin is 80 to 900 g / eq. And more preferably 100 to 700 g / eq. It is. Hydroxyl group equivalent or carboxyl group equivalent is 900 g / eq. In the following cases, adhesion of the pattern layer is obtained, and alkali development becomes easy. On the other hand, the hydroxyl group equivalent or the carboxyl group equivalent is 80 g / eq. The above case is preferable because dissolution of the light-irradiated portion by the developer is suppressed, and a normal resist pattern can be easily drawn without losing lines more than necessary. Further, it is preferable that the carboxyl group equivalent or the phenol group equivalent is large because development is possible even when the content of the alkali-developable resin is small.
アルカリ現像性樹脂の酸価は、40〜150mgKOH/gであることが好ましい。アルカリ現像性樹脂の酸価が40mgKOH/g以上とすることにより、アルカリ現像が良好になる。また、酸価を150mgKOH/gを以下とすることで、正常なレジストパターンの描画をし易くできる。より好ましくは、50〜130mgKOH/gである。 The acid value of the alkali developable resin is preferably 40 to 150 mgKOH / g. When the acid value of the alkali-developable resin is 40 mgKOH / g or more, alkali development is improved. In addition, by setting the acid value to 150 mgKOH / g or less, it is possible to easily draw a normal resist pattern. More preferably, it is 50-130 mgKOH / g.
アルカリ現像性樹脂の配合量は、溶剤を除いたドライフィルムの樹脂層全量基準で、20〜60質量%であることが好ましい。20質量%以上とすることにより塗膜強度を向上させることができる。また60質量%以下とすることで粘性が適当となり塗布性が向上する。より好ましくは、30〜50質量%である。 The blending amount of the alkali-developable resin is preferably 20 to 60% by mass based on the total amount of the resin layer of the dry film excluding the solvent. Coating strength can be improved by setting it as 20 mass% or more. Further, when the content is 60% by mass or less, the viscosity becomes appropriate and the coating property is improved. More preferably, it is 30-50 mass%.
熱反応性化合物は、熱による硬化反応が可能な官能基を有する樹脂である。エポキシ樹脂、多官能オキセタン化合物等が挙げられる。 The thermoreactive compound is a resin having a functional group that can be cured by heat. An epoxy resin, a polyfunctional oxetane compound, etc. are mentioned.
上記エポキシ樹脂は、エポキシ基を有する樹脂であり、公知のものをいずれも使用できる。分子中にエポキシ基を2個有する2官能性エポキシ樹脂、分子中にエポキシ基を多数有する多官能エポキシ樹脂等が挙げられる。なお、水素添加された2官能エポキシ化合物であってもよい。 The epoxy resin is a resin having an epoxy group, and any known one can be used. Examples thereof include a bifunctional epoxy resin having two epoxy groups in the molecule, and a polyfunctional epoxy resin having many epoxy groups in the molecule. In addition, a hydrogenated bifunctional epoxy compound may be used.
エポキシ樹脂は、エポキシ当量が100以上であることが好ましい。エポキシ当量が100以上であることにより、硬化膜の反りを抑制し、長時間高湿度下に放置した場合でも現像性に優れる。 The epoxy resin preferably has an epoxy equivalent of 100 or more. When the epoxy equivalent is 100 or more, the warp of the cured film is suppressed, and the developability is excellent even when left under high humidity for a long time.
上記熱反応性化合物の配合量としては、アルカリ現像性樹脂との当量比(熱反応性基:アルカリ現像性基)が、1:0.1〜1:10であることが好ましく、1:0.2〜1:8であることがより好ましい。このような配合比の範囲内である場合、現像が良好になる。 The blending amount of the heat-reactive compound is preferably such that the equivalent ratio to the alkali-developable resin (heat-reactive group: alkali-developable group) is 1: 0.1 to 1:10, and 1: 0 More preferably, it is 2 to 1: 8. When the ratio is within such a range, the development is good.
光塩基発生剤は、紫外線や可視光等の光照射により分子構造が変化するか、または、分子が開裂することにより、上記の熱反応性化合物の付加反応の触媒として機能しうる1種以上の塩基性物質を生成する化合物である。塩基性物質として、例えば2級アミン、3級アミンが挙げられる。 One or more photobase generators can function as a catalyst for the addition reaction of the above-mentioned thermoreactive compound when the molecular structure is changed by irradiation with light such as ultraviolet rays or visible light, or when the molecule is cleaved. It is a compound that produces a basic substance. Examples of basic substances include secondary amines and tertiary amines.
光塩基発生剤として、例えば、α−アミノアセトフェノン化合物、オキシムエステル化合物や、アシルオキシイミノ基,N−ホルミル化芳香族アミノ基、N−アシル化芳香族アミノ基、ニトロベンジルカーバメイト基、アルコオキシベンジルカーバメート基等の置換基を有する化合物等が挙げられる。 Examples of photobase generators include α-aminoacetophenone compounds, oxime ester compounds, acyloxyimino groups, N-formylated aromatic amino groups, N-acylated aromatic amino groups, nitrobenzyl carbamate groups, and alkoxyoxybenzyl carbamates. And compounds having a substituent such as a group.
上記光塩基発生剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上を組み合わせて用いてもよい。光塩基発生剤含有組成物中の光塩基発生剤の配合量は、好ましくは熱反応性化合物100質量部に対して1〜50質量部であり、さらに好ましくは、1〜40質量部である。1質量部以上の場合、現像が容易になるため好ましい。 The said photobase generator may be used individually by 1 type, and may be used in combination of 2 or more type. The compounding quantity of the photobase generator in a photobase generator containing composition becomes like this. Preferably it is 1-50 mass parts with respect to 100 mass parts of thermoreactive compounds, More preferably, it is 1-40 mass parts. The amount of 1 part by mass or more is preferable because development is easy.
光塩基発生剤含有組成物には、得られる硬化物の物理的強度等を上げるために、必要に応じて、フィラーを配合することができる。フィラーとしては、特に制限はないが、例えば、前記光硬化性熱硬化性樹脂組成物で例示したフィラーが挙げられる。フィラーは、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。 In the photobase generator-containing composition, a filler can be blended as necessary in order to increase the physical strength of the obtained cured product. Although there is no restriction | limiting in particular as a filler, For example, the filler illustrated with the said photocurable thermosetting resin composition is mentioned. A filler may be used individually by 1 type and may be used as a mixture of 2 or more types.
使用できる有機溶剤としては、特に制限はないが、例えば、前記光硬化性熱硬化性樹脂組成物で例示した有機溶剤が挙げられる。有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。 Although there is no restriction | limiting in particular as an organic solvent which can be used, For example, the organic solvent illustrated with the said photocurable thermosetting resin composition is mentioned. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.
光塩基発生剤含有組成物には、必要に応じてさらに、メルカプト化合物、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。
また、上記の光塩基発生剤含有組成物には、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤及び/又はレベリング剤、シランカップリング剤、防錆剤などのような公知慣用の添加剤類を配合することができる。
If necessary, the photobase generator-containing composition may further contain components such as a mercapto compound, an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet absorber. As these, those known in the field of electronic materials can be used.
The photobase generator-containing composition includes a known and commonly used thickener such as finely divided silica, hydrotalcite, organic bentonite, and montmorillonite, an antifoaming agent such as silicone, fluorine, and polymer. Or well-known and usual additives, such as a leveling agent, a silane coupling agent, a rust preventive agent, can be mix | blended.
光塩基発生剤含有組成物からなる樹脂層を有するドライフィルムを用いたプリント配線板の製造方法としては、従来公知の方法を用いればよい。例えば、下記のような方法でプリント配線板を製造することができる。ドライフィルムから第二のフィルムを剥離して、樹脂層を露出させ、回路パターンが形成された基板上に、真空ラミネーター等を用いてドライフィルムをラミネートする。その後、ネガ型のパターン状の光照射にて光塩基発生剤含有樹脂組成物に含まれる光塩基発生剤を活性化して光照射部を硬化し、アルカリ現像により未照射部を除去することによりネガ型のパターン層を形成することができる。第一のフィルムは、ラミネート後または露光後のいずれかに、剥離すればよい。また、光照射後かつ現像前に、樹脂層を加熱することが好ましい。これにより、樹脂層を十分に硬化して、さらに硬化特性に優れたパターン層を得ることができる。尚、光照射後かつ現像前の加熱は、未照射部が熱硬化しない温度であることが好ましい。また、現像後に、熱硬化(ポストキュア)を行うことが好ましい。現像後、紫外線照射を行うことで、光照射時に活性化せずに残った光塩基発生剤を活性化させた後に、熱硬化(ポストキュア)を行ってもよい。 As a method for producing a printed wiring board using a dry film having a resin layer made of a photobase generator-containing composition, a conventionally known method may be used. For example, a printed wiring board can be manufactured by the following method. The second film is peeled from the dry film to expose the resin layer, and the dry film is laminated on the substrate on which the circuit pattern is formed using a vacuum laminator or the like. After that, the photobase generator contained in the photobase generator-containing resin composition is activated by negative pattern light irradiation to cure the light irradiated portion, and the negative portion is removed by alkali development to remove the unirradiated portion. A pattern layer of the mold can be formed. The first film may be peeled off either after lamination or after exposure. Moreover, it is preferable to heat a resin layer after light irradiation and before image development. Thereby, a resin layer can fully be hardened and the pattern layer excellent in the hardening characteristic can be obtained. The heating after light irradiation and before development is preferably a temperature at which the unirradiated part is not thermally cured. Moreover, it is preferable to perform thermosetting (post-cure) after development. After development, ultraviolet curing may be performed to activate the photobase generator remaining without being activated at the time of light irradiation, and then heat curing (post-cure) may be performed.
(ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物)
ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物の一例として、光照射によりカルボキシル基を発生する化合物を含む樹脂組成物について、下記に説明する。
(Positive photosensitive thermosetting resin composition)
As an example of the positive photosensitive thermosetting resin composition, a resin composition containing a compound that generates a carboxyl group by light irradiation will be described below.
光照射によりカルボキシル基を発生する化合物の中でも、ナフトキノンジアジド化合物を用いることが好ましい。ナフトキノンジアジド化合物は、従来より、カルボキシル基やフェノール性水酸基と錯体を形成することによりカルボキシル基等のアルカリ可溶性を抑え、その後の光照射によって錯体が解離して、アルカリ可溶性を発現させる系に用いられている。この場合、ナフトキノンジアジド化合物が膜中に残存していると、光照射によって錯体が解離し可溶性が発現するおそれがあるため、半導体分野等では、残存するナフトキノンジアジド化合物は、最終的に高温で飛ばすことで除去されていた。しかし、プリント配線板の分野ではこのような高温をかけることができず、安定性の観点から永久塗膜として使用できないために、ナフトキノンジアジド化合物は、実際上、用いられていなかった。本発明において、光照射によりカルボキシル基を発生する化合物としてナフトキノンジアジド化合物を用いた場合には、未露光部に残存するナフトキノンジアジド化合物は、熱硬化反応時に架橋構造に取り込まれて安定化するので、従来のような除去の問題を生ずることなく、膜強靭性、すなわち、耐屈曲性や、電気特性を向上させることができる。特に、光照射によりカルボキシル基を発生する化合物としてのナフトキノンジアジド化合物を、ポリアミドイミド樹脂と熱硬化成分とを併用することで、現像性や解像性を良好に確保しつつ、屈曲性を効果的に向上することができるものとなり、好ましい。 Among the compounds that generate a carboxyl group by light irradiation, it is preferable to use a naphthoquinonediazide compound. Naphthoquinone diazide compounds are conventionally used in systems that suppress alkali solubility such as carboxyl groups by forming complexes with carboxyl groups and phenolic hydroxyl groups, and then dissociate the complex by subsequent light irradiation to develop alkali solubility. ing. In this case, if the naphthoquinone diazide compound remains in the film, the complex may be dissociated by light irradiation and the solubility may be expressed. Therefore, in the semiconductor field and the like, the remaining naphthoquinone diazide compound will eventually fly at a high temperature. It was removed by that. However, in the field of printed wiring boards, such a high temperature cannot be applied, and since it cannot be used as a permanent coating film from the viewpoint of stability, a naphthoquinone diazide compound has not been actually used. In the present invention, when a naphthoquinone diazide compound is used as a compound that generates a carboxyl group by light irradiation, the naphthoquinone diazide compound remaining in the unexposed part is incorporated into the crosslinked structure during the thermosetting reaction and is stabilized, The film toughness, that is, the bending resistance and the electrical characteristics can be improved without causing the conventional removal problem. In particular, naphthoquinone diazide compound as a compound that generates a carboxyl group by light irradiation is used in combination with polyamideimide resin and thermosetting component to ensure good developability and resolution while ensuring flexibility. This is preferable because it can be improved.
ナフトキノンジアジド化合物としては、具体的には例えば、トリス(4−ヒドロキシフェニル)−1−エチル−4−イソプロピルベンゼンのナフトキノンジアジド付加物(例えば、三宝化学研究所社製のTS533,TS567,TS583,TS593)や、テトラヒドロキシベンゾフェノンのナフトキノンジアジド付加物(例えば、三宝化学研究所社製のBS550,BS570,BS599)等を使用することができる。 Specific examples of the naphthoquinone diazide compound include, for example, naphthoquinone diazide adduct of tris (4-hydroxyphenyl) -1-ethyl-4-isopropylbenzene (for example, TS533, TS567, TS583, TS593 manufactured by Sanpo Chemical Laboratory Co., Ltd.). ), Naphthoquinonediazide adducts of tetrahydroxybenzophenone (for example, BS550, BS570, BS599 manufactured by Sanpo Chemical Laboratory Co., Ltd.) and the like can be used.
ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物には、得られる硬化物の物理的強度等を上げるために、必要に応じて、フィラーを配合することができる。フィラーとしては、特に制限はないが、例えば、前記光硬化性熱硬化性樹脂組成物で例示したフィラーが挙げられる。フィラーは、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。 In the positive photosensitive thermosetting resin composition, a filler can be blended as necessary in order to increase the physical strength of the obtained cured product. Although there is no restriction | limiting in particular as a filler, For example, the filler illustrated with the said photocurable thermosetting resin composition is mentioned. A filler may be used individually by 1 type and may be used as a mixture of 2 or more types.
ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物が含有するアルカリ現像性樹脂の具体例としては、前記光硬化性熱硬化性樹脂組成物で例示したカルボキシル基含有樹脂、および、前記光塩基発生剤含有組成物で例示したアルカリ現像性樹脂等が挙げられる。 Specific examples of the alkali-developable resin contained in the positive photosensitive thermosetting resin composition include the carboxyl group-containing resin exemplified in the photocurable thermosetting resin composition, and the photobase generator-containing composition. Examples thereof include alkali developable resins.
ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物には、耐熱性、絶縁信頼性等の特性を向上させる目的で熱硬化性成分が含まれていてもよい。熱硬化性成分としては、イソシアネート化合物、ブロックイソシアネート化合物、アミノ樹脂、マレイミド化合物、ベンゾオキサジン樹脂、カルボジイミド樹脂、シクロカーボネート化合物、多官能エポキシ化合物、多官能オキセタン化合物、エピスルフィド樹脂などの公知慣用の熱硬化性樹脂が使用できる。これらの中でも好ましい熱硬化性成分は、1分子中に複数の環状エーテル基および/または環状チオエーテル基(以下、環状(チオ)エーテル基と略称する)を有する熱硬化性成分である。これら環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分は、市販されている種類が多く、その構造によって多様な特性を付与することができる。 The positive photosensitive thermosetting resin composition may contain a thermosetting component for the purpose of improving characteristics such as heat resistance and insulation reliability. Known thermosetting components such as isocyanate compounds, blocked isocyanate compounds, amino resins, maleimide compounds, benzoxazine resins, carbodiimide resins, cyclocarbonate compounds, polyfunctional epoxy compounds, polyfunctional oxetane compounds, episulfide resins, etc. Resin can be used. Among these, a preferable thermosetting component is a thermosetting component having a plurality of cyclic ether groups and / or cyclic thioether groups (hereinafter abbreviated as cyclic (thio) ether groups) in one molecule. There are many commercially available thermosetting components having a cyclic (thio) ether group, and various properties can be imparted depending on the structure.
分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分の配合量は、カルボキシル基含有感光性樹脂のカルボキシル基1当量に対して、好ましくは0.3〜2.5当量、より好ましくは、0.5〜2.0当量となる範囲である。分子中に複数の環状(チオ)エーテル基を有する熱硬化性成分の配合量を0.3当量以上とすることにより、硬化被膜にカルボキシル基が残存せず、耐熱性、耐アルカリ性、電気絶縁性などが向上する。また、2.5当量以下とすることにより、低分子量の環状(チオ)エーテル基が乾燥塗膜に残存せず、硬化被膜の強度などが向上する。 The blending amount of the thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule is preferably 0.3 to 2.5 equivalents, more preferably 1 equivalent to the carboxyl group of the carboxyl group-containing photosensitive resin. Is in the range of 0.5 to 2.0 equivalents. By making the amount of thermosetting component having a plurality of cyclic (thio) ether groups in the molecule 0.3 equivalent or more, no carboxyl group remains in the cured film, heat resistance, alkali resistance, electrical insulation Etc. improve. Moreover, by setting it as 2.5 equivalent or less, the low molecular weight cyclic (thio) ether group does not remain in the dry coating film, and the strength and the like of the cured coating film are improved.
使用できる有機溶剤としては、特に制限はないが、例えば、前記光硬化性熱硬化性樹脂組成物で例示した有機溶剤が挙げられる。有機溶剤は、1種を単独で用いてもよく、2種以上の混合物として用いてもよい。 Although there is no restriction | limiting in particular as an organic solvent which can be used, For example, the organic solvent illustrated with the said photocurable thermosetting resin composition is mentioned. An organic solvent may be used individually by 1 type, and may be used as a 2 or more types of mixture.
ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物は、上記した成分以外にも、ブロック共重合体、フィラー、着色剤、エラストマー、熱可塑性樹脂等の他の成分が含まれていてもよい。また、ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物には、必要に応じてさらに、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤などの成分を配合することができる。これらは、電子材料の分野において公知の物を使用することができる。また、微粉シリカ、ハイドロタルサイト、有機ベントナイト、モンモリロナイトなどの公知慣用の増粘剤、シリコーン系、フッ素系、高分子系などの消泡剤およびレベリング剤の少なくとも何れか1種、イミダゾール系、チアゾール系、トリアゾール系等のシランカップリング剤、防錆剤、蛍光増白剤などのような公知慣用の添加剤類の少なくとも何れか一種を配合することができる。 The positive photosensitive thermosetting resin composition may contain other components such as a block copolymer, a filler, a colorant, an elastomer, and a thermoplastic resin in addition to the components described above. In addition, the positive photosensitive thermosetting resin composition may further contain components such as an adhesion promoter, an antioxidant, and an ultraviolet absorber as necessary. As these, those known in the field of electronic materials can be used. Further, known and commonly used thickeners such as fine silica, hydrotalcite, organic bentonite, montmorillonite, at least one of defoamers and leveling agents such as silicone, fluorine, and polymer, imidazole, and thiazole At least one of known and commonly used additives such as a silane coupling agent such as a triazole or triazole, a rust inhibitor, and a fluorescent brightening agent can be blended.
ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物からなる樹脂層を有するドライフィルムを用いたプリント配線板の製造方法としては、従来公知の方法を用いればよい。例えば、下記のような方法でプリント配線板を製造することができる。ドライフィルムから第二のフィルムを剥離し、樹脂層を露出させ、回路パターンが形成された基板上に、真空ラミネーター等を用いてドライフィルムをラミネートする。その後、樹脂層に光をポジ型のパターン状に照射し、樹脂層をアルカリ現像して、光照射部を除去することによりポジ型のパターン層を形成することができる。第一のフィルムは、ラミネート後または露光後のいずれかに、剥離すればよい。また、現像後に、樹脂層を加熱硬化(ポストキュア)し、未照射部を硬化することによって、プリント配線板を製造することができる。ポジ型感光性熱硬化性樹脂組成物においては、光照射により発生する酸によって、アルカリ現像液に対して可溶な組成に変化するので、アルカリ現像によるポジ型のパターン形成が可能となる。 As a method for producing a printed wiring board using a dry film having a resin layer made of a positive photosensitive thermosetting resin composition, a conventionally known method may be used. For example, a printed wiring board can be manufactured by the following method. The second film is peeled from the dry film, the resin layer is exposed, and the dry film is laminated on the substrate on which the circuit pattern is formed using a vacuum laminator or the like. Thereafter, the resin layer is irradiated with light in a positive pattern, the resin layer is alkali-developed, and the light irradiation portion is removed, whereby a positive pattern layer can be formed. The first film may be peeled off either after lamination or after exposure. Moreover, a printed wiring board can be manufactured by heat-hardening (post-cure) a resin layer after image development, and hardening | curing an unirradiated part. In the positive photosensitive thermosetting resin composition, a composition that is soluble in an alkali developer is changed by an acid generated by light irradiation, so that a positive pattern can be formed by alkali development.
本発明の他のドライフィルムは第一のフィルムと、第二のフィルムと、前記第一のフィルムと前記第二のフィルムとの間に挟まれた樹脂層と、を有するドライフィルムであって、前記第二のフィルムの前記樹脂層と接する面が、基材へのラミネート面であり、前記第一のフィルムの厚みAが、前記第二のフィルムの厚みBよりも大きいことを特徴とするものである。本発明の他のドライフィルムの第一のフィルム、第二のフィルム、および、樹脂層については、それぞれ、前記の本発明のドライフィルムに記載した第一のフィルム、第二のフィルム、および、樹脂層と同様である。本発明の他のドライフィルムは、前記第二のフィルムの、前記樹脂層に接する面の算術平均表面粗さRaが0.1〜1.2μmであることが好ましく、0.3〜1.2μmであることがより好ましく、0.4〜1.2μmであることさらに好ましい。 Another dry film of the present invention is a dry film having a first film, a second film, and a resin layer sandwiched between the first film and the second film, The surface of the second film in contact with the resin layer is a laminate surface to the base material, and the thickness A of the first film is larger than the thickness B of the second film. It is. Regarding the first film, the second film, and the resin layer of the other dry film of the present invention, the first film, the second film, and the resin described in the dry film of the present invention, respectively. Same as layer. In another dry film of the present invention, the arithmetic average surface roughness Ra of the surface in contact with the resin layer of the second film is preferably 0.1 to 1.2 μm, and 0.3 to 1.2 μm. It is more preferable that it is 0.4 to 1.2 μm.
本発明のドライフィルムおよび本発明の他のドライフィルムは、プリント配線板の永久保護膜の形成に好ましく用いることができ、中でもソルダーレジスト層、層間絶縁層、フレキシブルプリント配線板のカバーレイの形成に好ましく用いることができる。また、本発明のドライフィルムは、気泡の影響が大きいパッケージ基板のようなファインピッチの配線パターンを備えたプリント配線板に好適に用いることができる。さらに、ドライフィルムのラミネート方法として気泡が生じ易い真空ラミネートを採用した場合にも、本発明のドライフィルムを好適に用いることができる。本発明のドライフィルムおよび本発明の他のドライフィルムを用いて、配線を貼り合わせることによって配線板を形成してもよい。また、半導体チップ用の封止樹脂としても用いることができる。 The dry film of the present invention and the other dry film of the present invention can be preferably used for the formation of a permanent protective film for a printed wiring board, and in particular, for the formation of a solder resist layer, an interlayer insulating layer, and a coverlay for a flexible printed wiring board. It can be preferably used. In addition, the dry film of the present invention can be suitably used for a printed wiring board having a fine pitch wiring pattern such as a package substrate having a large influence of air bubbles. Furthermore, the dry film of the present invention can also be suitably used when a vacuum laminate in which bubbles are likely to be generated is employed as the dry film laminating method. You may form a wiring board by bonding a wiring using the dry film of this invention, and the other dry film of this invention. It can also be used as a sealing resin for semiconductor chips.
以下、本発明の実施例、比較例および試験例を示して本発明について具体的に説明するが、本発明が下記実施例に限定されるものでないことはもとよりである。なお、以下において「部」および「%」とあるのは、特に断りのない限り全て質量基準である。 EXAMPLES Hereinafter, although an Example, a comparative example, and a test example of this invention are shown and this invention is demonstrated concretely, it cannot be overemphasized that this invention is not what is limited to the following Example. In the following description, “parts” and “%” are all based on mass unless otherwise specified.
(硬化性組成物1〜12の調整)
下記表1、2に示す処方にて各成分を配合、撹拌し、3本ロールミルにて混練分散し、粘度0.5〜20dPa・s(回転粘度計5rpm、25℃)になるよう調整した。
(Adjustment of curable compositions 1-12)
The components shown in Tables 1 and 2 below were blended, stirred, and kneaded and dispersed with a three-roll mill to adjust the viscosity to 0.5 to 20 dPa · s (rotary viscometer 5 rpm, 25 ° C.).
*2:DIC社製EMG−1015(カルボキシル基含有ポリイミド樹脂、溶液酸価:863mgKOH/g、固形分50%)
*3:新中村化学工業社製A−DCP(トリシクロデカンジメタノールジアクリレート)
*4:三菱化学社製jER828(ビスフェノールA型エポキシ樹脂;エポキシ当量180g/eq)
*5:DIC社製HP−7200L(ジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂;エポキシ当量247g/eq)
*6:明和化成社製HF−1M(フェノールノボラック樹脂;水酸基当量106g/eq)
*7:新日化エポキシ製造社製SN−485(ナフト−ルアラルキル樹脂;水酸基当量210g/eq)
*8:DIC社製LA−3018(ノボラック樹脂;水酸基当量75g/eq)
*9:DIC社製LA−7054(ノボラック樹脂;水酸基当量125g/eq)
*10:ロンザジャパン社製PT−30(フェノールノボラック型多官能シアネートエステル;シアネート当量124g/eq)
*11:DIC社製HPC−8000−65T(活性エステル樹脂;当量223g/eq)
*12:BASFジャパン社製イルガキュア369(α−アミノアセトフェノン系光重合開始剤)
*13:堺化学社製B−30(硫酸バリウム)
*14:アドマテックス社製SO−C2(シリカ)
*15:昭和電工社製ハイジライトH−42T(水酸化アルミニウム)
*16:大和化成社製BMI−2300(フェニルメタンマレイミドの縮合物;軟化点70〜145℃)
*17:コバルト(II)アセチルアセトナート
*18:四国化成社製2E4MZ(2−エチル−4−メチルイミダゾール)
*19:4−ジメチルアミノピリジン
*20:新日鉄化学社製FX−293(フェノキシ樹脂)
*21:Pigment blue 15:3
*22:Pigment Yellow 147
*23:シクロヘキサノン(沸点150℃)
*24:N,N−ジメチルホルムアミド(沸点153℃)
*25:トルエン(沸点110℃)
* 2: EMG-1015 manufactured by DIC (carboxyl group-containing polyimide resin, solution acid value: 863 mg KOH / g, solid content 50%)
* 3: Shin-Nakamura Chemical Co., Ltd. A-DCP (tricyclodecane dimethanol diacrylate)
* 4: jER828 manufactured by Mitsubishi Chemical Corporation (bisphenol A type epoxy resin; epoxy equivalent 180 g / eq)
* 5: HP-7200L manufactured by DIC (dicyclopentadiene type epoxy resin; epoxy equivalent 247 g / eq)
* 6: HF-1M manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd. (phenol novolac resin; hydroxyl group equivalent: 106 g / eq)
* 7: SN-485 (Naphthol aralkyl resin; hydroxyl group equivalent 210 g / eq) manufactured by Nippon Kayaku Epoxy Manufacturing Co., Ltd.
* 8: LA-3018 manufactured by DIC (novolac resin; hydroxyl group equivalent 75 g / eq)
* 9: LA-7054 (Novolak resin; hydroxyl group equivalent 125 g / eq) manufactured by DIC
* 10: PT-30 manufactured by Lonza Japan (phenol novolac type polyfunctional cyanate ester; cyanate equivalent 124 g / eq)
* 11: DIC's HPC-8000-65T (active ester resin; equivalent 223 g / eq)
* 12: BASF Japan Irgacure 369 (α-aminoacetophenone photopolymerization initiator)
* 13: Sakai Chemical B-30 (barium sulfate)
* 14: Admatechs SO-C2 (silica)
* 15: Showa Denko Hijilite H-42T (aluminum hydroxide)
* 16: BMI-2300 manufactured by Daiwa Kasei Co., Ltd. (condensate of phenylmethanemaleimide; softening point 70-145 ° C.)
* 17: Cobalt (II) acetylacetonate * 18: 2E4MZ (2-ethyl-4-methylimidazole) manufactured by Shikoku Kasei Co., Ltd.
* 19: 4-dimethylaminopyridine * 20: FX-293 (phenoxy resin) manufactured by Nippon Steel Chemical Co., Ltd.
* 21: Pigment blue 15: 3
* 22: Pigment Yellow 147
* 23: Cyclohexanone (boiling point 150 ° C)
* 24: N, N-dimethylformamide (boiling point 153 ° C.)
* 25: Toluene (boiling point 110 ° C)
(キャリアフィルム、保護フィルム)
キャリアフィルムとしては、東レ社製ルミラーS10、FB50、リンテック社製AL−5を用いた。保護フィルムとしては、王子エフテックス社製MA−411、MA−420、E−201F、ER−440、FG−201を用いた。
(Carrier film, protective film)
As a carrier film, Toray Co., Ltd. Lumirror S10, FB50, and Lintec Corporation AL-5 were used. As a protective film, MA-411, MA-420, E-201F, ER-440, and FG-201 manufactured by Oji F-Tex Co., Ltd. were used.
<キャリアフィルム、保護フィルムの厚み測定>
下記表3〜6に記載のキャリアフィルムおよび保護フィルムについて、JIS K7130に準拠し、フィルムの幅方向について9か所、マイクロメーターにより測定を行い、それぞれの平均値を算出、厚みの測定値(単位μm)とした。
<Measurement of thickness of carrier film and protective film>
About the carrier film and protective film of the following Tables 3-6, based on JISK7130, it measures with the micrometer in nine places about the width direction of a film, calculates each average value, and the measured value (unit) μm).
<キャリアフィルム、保護フィルムのRa測定>
下記表3〜6に記載のキャリアフィルムおよび保護フィルムについて、表面粗さRaの測定を、レーザー顕微鏡VK−8500(キーエンス社、測定倍率×2000倍、Z軸測定ピッチ10nm)を用いて測定した。レーザー光を透過する透明なフィルムについては、Auスパッタ処理を行った後に、表面粗さRaの測定を行った。また、下記サンドブラスト処理したキャリアフィルムおよび保護フィルムについては、サンドブラスト処理を行った後に、表面粗さRaの測定を行った。
<Ra measurement of carrier film and protective film>
About the carrier film and protective film of the following Tables 3-6, the measurement of surface roughness Ra was measured using the laser microscope VK-8500 (Keyence Corporation, measurement magnification x2000 times, Z-axis measurement pitch 10nm). About the transparent film which permeate | transmits a laser beam, after performing Au sputtering process, the surface roughness Ra was measured. Moreover, about the carrier film and protective film which were subjected to the following sandblast treatment, the surface roughness Ra was measured after the sandblast treatment.
<サンドブラスト処理>
表面の粗さを調整するために、次のようにサンドブラスト処理を行った。下記表3〜6に記載のキャリアフィルムおよび保護フィルムについて、フィルムの表面状態が、所望の凹凸となるようにJIS Z 0312−1996に準拠し、ブラスト処理用非金属系研削材を選択し、さらにフィルムの搬送速度、処理回数、射出圧力の条件を設定し、研削材をそれぞれのフィルムの表面に打ち付けた後、水処理および超音波洗浄によって研削材を洗い流した後、フィルムを乾燥させた。
サンドブラスト処理を行ったキャリアフィルムおよび保護フィルムについては、下記表3〜6中に「有り」、行っていないものについては「無し」と記載した。
<Sandblasting>
In order to adjust the surface roughness, sandblasting was performed as follows. For the carrier film and protective film described in Tables 3 to 6 below, select a non-metallic abrasive for blasting in accordance with JIS Z 0312-1996 so that the surface state of the film becomes the desired unevenness, The conditions of the film conveyance speed, the number of treatments, and the injection pressure were set, the abrasive was struck on the surface of each film, the abrasive was washed away by water treatment and ultrasonic cleaning, and the film was dried.
About the carrier film and protective film which performed the sandblasting process, it described as "it exists" in the following Tables 3-6, and the thing which did not perform it as "absent."
(実施例1〜26、比較例1〜4)
<ドライフィルムの作製>
上記で得た硬化性組成物1〜12を、バーコーターを用いて、乾燥後の膜厚が表3〜6に記載の膜厚となるように、表3〜6に記載のキャリアフィルム上(サンドブラスト処理を行ったものは処理面側)に塗布した。その後、熱風循環式乾燥炉にて70〜120℃(平均100℃)にて5〜10分間乾燥し、キャリアフィルム上に硬化性樹脂層を有する乾燥塗膜を得た。次いで、ロールラミネーターにて、表3〜6に記載の保護フィルムを、温度70℃にて樹脂層上に張り合わせを行い、両面をフィルムでサンドイッチされた、実施例および比較例のドライフィルムを得た。
(Examples 1-26, Comparative Examples 1-4)
<Production of dry film>
On the carrier films described in Tables 3 to 6 so that the film thickness after drying of the
以下に示す評価方法にて、実施例および比較例のドライフィルムを評価した。評価結果を表3〜6に示す。尚、以下に示す評価方法においては、キャリアフィルムを第一のフィルム、保護フィルムを第二のフィルムとして評価している。 The dry film of an Example and a comparative example was evaluated with the evaluation method shown below. The evaluation results are shown in Tables 3-6. In the evaluation methods shown below, the carrier film is evaluated as the first film and the protective film is evaluated as the second film.
<ドライフィルムの熱収縮>
実施例および比較例のドライフィルムについて、保護フィルムを剥離した状態で、100cm×100cmの範囲でキャリアフィルムの熱収縮の評価を目視にて行った。判断基準は以下のとおり。
○:熱収縮はみられなかった。
△:PETの巻方向に対し、水平方向に熱収縮によるスジが1ヶ所確認された。
×:PETの巻方向に対し、水平方向に熱収縮によるスジが2ヶ所以上確認された。
<Heat shrinkage of dry film>
About the dry film of the Example and the comparative example, in the state which peeled the protective film, the thermal contraction evaluation of the carrier film was visually performed in the range of 100 cm x 100 cm. Judgment criteria are as follows.
○: No heat shrinkage was observed.
Δ: One streak due to heat shrinkage was confirmed in the horizontal direction with respect to the winding direction of PET.
X: Two or more streaks due to heat shrinkage were confirmed in the horizontal direction with respect to the PET winding direction.
<保護フィルムの剥離性>
実施例および比較例のドライフィルムについて、200×200mmサイズの正方形に切り出しを行い、一つの頂点から保護フィルムの剥離を手動にて行い、保護フィルムの表面に樹脂層由来の成分が付着しているかを目視にて判断し、剥離性の良否を評価した。判断基準は以下のとおり。
○:保護フィルムに樹脂層由来の成分が付着していない。
△:保護フィルムに、わずかに樹脂層由来の成分が付着していた。
×:保護フィルムに、多数の樹脂層由来の成分が付着していた。
<Peelability of protective film>
About the dry film of an Example and a comparative example, it cuts out into the square of 200x200 mm size, peels off a protective film manually from one vertex, and the component derived from the resin layer has adhered to the surface of a protective film Was judged visually, and the quality of peelability was evaluated. Judgment criteria are as follows.
○: A component derived from the resin layer is not attached to the protective film.
(Triangle | delta): The component derived from the resin layer had adhered to the protective film slightly.
X: The component derived from many resin layers had adhered to the protective film.
<気泡の発生>
銅厚10μm、L(ライン:配線幅)/S(スペース:間隔幅)=10/10μmの櫛歯パターンの微細回路が形成されている両面プリント配線基板に前処理として、メック社製CZ−8101処理にて0.5μm相当のエッチング処理を行った。次いで、各実施例および比較例のドライフィルムを、保護フィルムを剥離した後、バッチ式真空加圧ラミネーターMVLP-500(名機社製)を用い、前記エッチング処理した基板にラミネートした。ラミネート条件は、5kgf/cm2、80℃、1分、1Torrの条件にて加熱ラミネートし、次いで熱板プレス機で10kgf/cm2、80℃、1分の条件にてレベリングさせた。ラミネート後にラインとスペースの境界部分に空気が入り込み、樹脂層中に気泡(ボイド)が発生しているか否かを100ヶ所、キャリアフィルム越しに確認した。前記の方法にて評価したものを「ラミネート後」とした。観察後、樹脂層を硬化させた状態にて同様に気泡の発生の有無を評価したものを「硬化後」とした。硬化条件については、次項に詳細を示す。評価基準は以下のとおりである。
◎: ボイドが確認されなかった。
○: 1〜2ヶ所のボイドが確認された。
△: 3〜5ヶ所のボイドが確認された。
×: 6ヶ所以上のボイドが確認された。
<Bubble generation>
CZ-8101 manufactured by MEC was used as a pretreatment for a double-sided printed wiring board on which a fine circuit having a comb-teeth pattern having a copper thickness of 10 μm and L (line: wiring width) / S (space: space width) = 10/10 μm was formed. The etching process corresponding to 0.5 μm was performed. Next, after the protective film was peeled off, the dry film of each Example and Comparative Example was laminated on the etched substrate using a batch type vacuum pressure laminator MVLP-500 (manufactured by Meiki Co., Ltd.). Lamination was carried out under the conditions of 5 kgf / cm 2 , 80 ° C., 1 minute, 1 Torr, and then leveled with a hot plate press at 10 kgf / cm 2 , 80 ° C., 1 minute. After laminating, air entered the boundary between the line and the space, and it was confirmed through the carrier film at 100 places whether or not bubbles were generated in the resin layer. What was evaluated by the above method was defined as “after lamination”. After observation, the evaluation of the presence or absence of generation of bubbles in the state where the resin layer was cured was regarded as “after curing”. The curing conditions are detailed in the next section. The evaluation criteria are as follows.
A: No void was confirmed.
○: 1-2 voids were confirmed.
Δ: 3 to 5 voids were confirmed.
×: 6 or more voids were confirmed.
<硬化基板の製法>
実施例および比較例のドライフィルムについて、「熱硬化」、「光・熱硬化」および「PEB(post exposure bake)」の3種類の硬化方法により、それぞれ樹脂層の硬化を行った。表3〜6中の<硬化基板の製法>の項目に、それぞれ硬化させた方法を記載した。以下に、それぞれの硬化方法を記載する。
<Method for manufacturing cured substrate>
About the dry film of an Example and a comparative example, the resin layer was hardened by three types of hardening methods, "Thermosetting", "Light and thermosetting", and "PEB (post exposure bake)", respectively. The methods of curing were described in the item <Production method of cured substrate> in Tables 3 to 6, respectively. Below, each hardening method is described.
硬化方法「熱硬化」
各実施例、比較例に記載の樹脂層を、前記<気泡の発生>に記載の方法にて回路基板上にドライフィルムをラミネートした。その後、キャリアフィルムを剥離し、熱風循環式乾燥炉にて180℃で30分間、次いで190℃60分間、樹脂層を硬化させた。
Curing method "thermosetting"
A dry film was laminated on a circuit board with the resin layer described in each example and comparative example by the method described in <Generation of bubbles>. Thereafter, the carrier film was peeled off, and the resin layer was cured in a hot air circulation drying oven at 180 ° C. for 30 minutes and then at 190 ° C. for 60 minutes.
硬化方法「光・熱硬化」
各実施例および比較例に記載の樹脂層を、前記<気泡の発生>に記載の方法にて回路基板上にドライフィルムをラミネートした。その後、キャリアフィルム越しに高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用い、ソルダーレジストパターンを200mJ/cm2露光し、次いでキャリアフィルムを剥離後、30℃の1wt%Na2CO3水溶液をスプレー圧0.2Paの条件で60秒間現像を行い、レジストパターンを得た。次いで、この基板をUVコンベア炉にて積算露光量1J/cm2の条件で紫外線照射した後、熱風循環式乾燥炉を用い150℃で60分間加熱処理を行い、樹脂層を硬化させた。
Curing method "light / thermosetting"
A dry film was laminated on a circuit board by the method described in <Generation of bubbles> in the resin layers described in the examples and comparative examples. Then, the solder resist pattern is exposed to 200 mJ / cm 2 using an exposure device equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp) through the carrier film, and then the carrier film is peeled off, and then sprayed with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. Development was performed for 60 seconds under a pressure of 0.2 Pa to obtain a resist pattern. Next, the substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1 J / cm 2 , and then heat-treated at 150 ° C. for 60 minutes using a hot air circulation type drying furnace to cure the resin layer.
硬化方法「PEB」
各実施例および比較例に記載の樹脂層を、前記<気泡の発生>に記載の方法にて回路基板上にドライフィルムをラミネートした。その後、キャリアフィルム越しに高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用い、ソルダーレジストパターンを500mJ/cm2露光した。次いで、キャリアフィルムを剥離後、熱風循環式乾燥炉にて100℃で30分間加熱処理(PEB処理)を行った。得られた基板について、35℃の3wt%TMAHと5wt%エタノールアミン混合水溶液にて3分間浸漬し、現像を行った。更にORC社製紫外線照射装置にて1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、ついで熱風循環式乾燥炉にて170℃で60分間加熱処理を行い、樹脂層を硬化させた。
Curing method "PEB"
A dry film was laminated on a circuit board by the method described in <Generation of bubbles> in the resin layers described in the examples and comparative examples. Thereafter, the solder resist pattern was exposed to 500 mJ / cm 2 using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp) through a carrier film. Next, after peeling off the carrier film, heat treatment (PEB treatment) was performed at 100 ° C. for 30 minutes in a hot air circulating drying furnace. The obtained substrate was developed by being immersed in a mixed aqueous solution of 3 wt% TMAH and 5 wt% ethanolamine at 35 ° C. for 3 minutes. Further, ultraviolet irradiation was performed with an energy amount of 1 J / cm 2 by an ultraviolet irradiation device manufactured by ORC, and then heat treatment was performed at 170 ° C. for 60 minutes in a hot air circulation type drying furnace to cure the resin layer.
<硬化後の光沢度>
前記<硬化基板の作製>の方法によって得られた硬化基板について、光沢度計マイクロトリグロス(ビッグガードナー社製)を用いて60°時の光沢度について評価した。数値が小さくなる程、失沢し、数値が高くなる程、高グロス度となる。グロス度が40以上の場合、失沢しておらず、望ましい。
◎: 硬化後の光沢度50以上。
○: 硬化後の光沢度が40以上、50未満。
×: 硬化後の光沢度40未満。
<Glossiness after curing>
About the cured substrate obtained by the method of <Preparation of cured substrate>, the glossiness at 60 ° was evaluated using a gloss meter Micro Trigloss (manufactured by Big Gardner). The smaller the value, the more lost, and the higher the value, the higher the gloss. If the degree of gloss is 40 or more, it is desirable because it is not lost.
A: Glossiness after curing is 50 or more.
○: The glossiness after curing is 40 or more and less than 50.
X: Glossiness after curing is less than 40.
<アンダーカット>
樹脂層を光・熱硬化性組成物で形成した実施例および比較例については、下記のようにアンダーカットも評価した。
銅厚15μmの銅張り板上に、前処理としてメック社製CZ−8101処理を、0.5μm相当エッチング処理を行った。次いで、硬化基板の作製の項目の、硬化方法「光・熱硬化」の作製方法に準拠して、レジストパターン(L/S=50/50μm、ライン上のパターン)を形成した。得られた基板について、精密切断機を用い、ラインに対して垂直になるように切断を行い、光学顕微鏡を用い、表層部と深部のラインの断面長さ測定を行った。評価基準は以下の通りである。
○:表層部と深部のラインの断面長さの差が、0μm以上、5μm未満。
△:表層部と深部のラインの断面長さの差が、5μm以上、8μm未満。
×:表層部と深部のラインの断面長さの差が、8μm以上。
<Undercut>
About the Example and comparative example which formed the resin layer with the photo and thermosetting composition, the undercut was also evaluated as follows.
On a copper-clad plate having a copper thickness of 15 μm, a CZ-8101 process manufactured by MEC was pre-processed and an etching process corresponding to 0.5 μm was performed. Next, a resist pattern (L / S = 50/50 μm, pattern on the line) was formed in accordance with the method of preparing the curing method “light / thermosetting” in the item of manufacturing the cured substrate. About the obtained board | substrate, it cut | disconnected so that it might become perpendicular | vertical with respect to a line using the precision cutting machine, and the cross-sectional length of the surface layer part and the line of a deep part was measured using the optical microscope. The evaluation criteria are as follows.
○: The difference in cross-sectional length between the surface layer portion and the deep portion line is 0 μm or more and less than 5 μm.
(Triangle | delta): The difference of the cross-sectional length of a surface layer part and a deep part line is 5 micrometers or more and less than 8 micrometers.
X: The difference of the cross-sectional length of the surface layer part and the deep part line is 8 micrometers or more.
上記表3〜6に示す結果から、実施例1〜26のドライフィルムの場合、基材にラミネートする際に気泡が生じにくく、密着性に優れることがわかる。
一方、保護フィルム(第二のフィルム)の算術平均表面粗さRaが0.1〜1.2μmの範囲を満たさない比較例1〜4のドライフィルムは、気泡の発生が顕著であった。
From the results shown in Tables 3 to 6, it can be seen that in the case of the dry films of Examples 1 to 26, bubbles are less likely to be produced when laminating to the substrate, and the adhesiveness is excellent.
On the other hand, in the dry films of Comparative Examples 1 to 4 in which the arithmetic average surface roughness Ra of the protective film (second film) does not satisfy the range of 0.1 to 1.2 μm, the generation of bubbles was remarkable.
1 ドライフィルム
11 第一のフィルム
12 第二のフィルム
13 樹脂層
DESCRIPTION OF
(実施例1〜8、11〜16、参考例9、10、17〜26、比較例1〜4)
<ドライフィルムの作製>
上記で得た硬化性組成物1〜12を、バーコーターを用いて、乾燥後の膜厚が表3〜6に記載の膜厚となるように、表3〜6に記載のキャリアフィルム上(サンドブラスト処理を行ったものは処理面側)に塗布した。その後、熱風循環式乾燥炉にて70〜120℃(平均100℃)にて5〜10分間乾燥し、キャリアフィルム上に硬化性樹脂層を有する乾燥塗膜を得た。次いで、ロールラミネーターにて、表3〜6に記載の保護フィルムを、温度70℃にて樹脂層上に張り合わせを行い、両面をフィルムでサンドイッチされた、実施例、参考例および比較例のドライフィルムを得た。
(Examples 1-8, 11-16, Reference Examples 9, 10, 17-26 , Comparative Examples 1-4)
<Production of dry film>
On the carrier films described in Tables 3 to 6 so that the film thickness after drying of the
以下に示す評価方法にて、実施例、参考例および比較例のドライフィルムを評価した。評価結果を表3〜6に示す。尚、以下に示す評価方法においては、キャリアフィルムを第一のフィルム、保護フィルムを第二のフィルムとして評価している。 The dry film of an Example , a reference example, and a comparative example was evaluated with the evaluation method shown below. The evaluation results are shown in Tables 3-6. In the evaluation methods shown below, the carrier film is evaluated as the first film and the protective film is evaluated as the second film.
<ドライフィルムの熱収縮>
実施例、参考例および比較例のドライフィルムについて、保護フィルムを剥離した状態で、100cm×100cmの範囲でキャリアフィルムの熱収縮の評価を目視にて行った。判断基準は以下のとおり。
○:熱収縮はみられなかった。
△:PETの巻方向に対し、水平方向に熱収縮によるスジが1ヶ所確認された。
×:PETの巻方向に対し、水平方向に熱収縮によるスジが2ヶ所以上確認された。
<Heat shrinkage of dry film>
About the dry film of an Example , a reference example, and a comparative example, the evaluation of the thermal contraction of the carrier film was visually performed in the range of 100 cm x 100 cm in the state which peeled the protective film. Judgment criteria are as follows.
○: No heat shrinkage was observed.
Δ: One streak due to heat shrinkage was confirmed in the horizontal direction with respect to the winding direction of PET.
X: Two or more streaks due to heat shrinkage were confirmed in the horizontal direction with respect to the PET winding direction.
<保護フィルムの剥離性>
実施例、参考例および比較例のドライフィルムについて、200×200mmサイズの正方形に切り出しを行い、一つの頂点から保護フィルムの剥離を手動にて行い、保護フィルムの表面に樹脂層由来の成分が付着しているかを目視にて判断し、剥離性の良否を評価した。判断基準は以下のとおり。
○:保護フィルムに樹脂層由来の成分が付着していない。
△:保護フィルムに、わずかに樹脂層由来の成分が付着していた。
×:保護フィルムに、多数の樹脂層由来の成分が付着していた。
<Peelability of protective film>
About the dry film of an Example , a reference example, and a comparative example, it cuts out into the square of 200x200 mm size, peels off a protective film manually from one vertex, and the component derived from a resin layer adheres to the surface of a protective film It was judged visually whether peelability was good or not. Judgment criteria are as follows.
○: A component derived from the resin layer is not attached to the protective film.
(Triangle | delta): The component derived from the resin layer had adhered to the protective film slightly.
X: The component derived from many resin layers had adhered to the protective film.
<気泡の発生>
銅厚10μm、L(ライン:配線幅)/S(スペース:間隔幅)=10/10μmの櫛歯パターンの微細回路が形成されている両面プリント配線基板に前処理として、メック社製CZ−8101処理にて0.5μm相当のエッチング処理を行った。次いで、各実施例、参考例および比較例のドライフィルムを、保護フィルムを剥離した後、バッチ式真空加圧ラミネーターMVLP-500(名機社製)を用い、前記エッチング処理した基板にラミネートした。ラミネート条件は、5kgf/cm2、80℃、1分、1Torrの条件にて加熱ラミネートし、次いで熱板プレス機で10kgf/cm2、80℃、1分の条件にてレベリングさせた。ラミネート後にラインとスペースの境界部分に空気が入り込み、樹脂層中に気泡(ボイド)が発生しているか否かを100ヶ所、キャリアフィルム越しに確認した。前記の方法にて評価したものを「ラミネート後」とした。観察後、樹脂層を硬化させた状態にて同様に気泡の発生の有無を評価したものを「硬化後」とした。硬化条件については、次項に詳細を示す。評価基準は以下のとおりである。
◎: ボイドが確認されなかった。
○: 1〜2ヶ所のボイドが確認された。
△: 3〜5ヶ所のボイドが確認された。
×: 6ヶ所以上のボイドが確認された。
<Bubble generation>
CZ-8101 manufactured by MEC was used as a pretreatment for a double-sided printed wiring board on which a fine circuit having a comb-teeth pattern having a copper thickness of 10 μm and L (line: wiring width) / S (space: space width) = 10/10 μm was formed. The etching process corresponding to 0.5 μm was performed. Next, after the protective film was peeled off, the dry film of each Example , Reference Example and Comparative Example was laminated on the etched substrate using a batch type vacuum pressure laminator MVLP-500 (manufactured by Meiki Co., Ltd.). Lamination was carried out under the conditions of 5 kgf / cm 2, 80 ° C., 1 minute, 1 Torr, and then leveled with a hot plate press at 10 kgf / cm 2, 80 ° C., 1 minute. After laminating, air entered the boundary between the line and the space, and it was confirmed through the carrier film at 100 places whether or not bubbles were generated in the resin layer. What was evaluated by the above method was defined as “after lamination”. After observation, the evaluation of the presence or absence of generation of bubbles in the state where the resin layer was cured was regarded as “after curing”. The curing conditions are detailed in the next section. The evaluation criteria are as follows.
A: No void was confirmed.
○: 1-2 voids were confirmed.
Δ: 3 to 5 voids were confirmed.
×: 6 or more voids were confirmed.
<硬化基板の製法>
実施例、参考例および比較例のドライフィルムについて、「熱硬化」、「光・熱硬化」および「PEB(post exposure bake)」の3種類の硬化方法により、それぞれ樹脂層の硬化を行った。表3〜6中の<硬化基板の製法>の項目に、それぞれ硬化させた方法を記載した。以下に、それぞれの硬化方法を記載する。
<Method for manufacturing cured substrate>
About the dry film of an Example , a reference example, and a comparative example, the resin layer was hardened by three types of hardening methods, "Thermosetting", "Light and thermosetting", and "PEB (post exposure bake)", respectively. The methods of curing were described in the item <Production method of cured substrate> in Tables 3 to 6, respectively. Below, each hardening method is described.
硬化方法「熱硬化」
各実施例、参考例および比較例に記載の樹脂層を、前記<気泡の発生>に記載の方法にて回路基板上にドライフィルムをラミネートした。その後、キャリアフィルムを剥離し、熱風循環式乾燥炉にて180℃で30分間、次いで190℃60分間、樹脂層を硬化させた。
Curing method "thermosetting"
A dry film was laminated on the circuit board by the method described in <Generation of bubbles> in the resin layers described in each of Examples , Reference Examples and Comparative Examples. Thereafter, the carrier film was peeled off, and the resin layer was cured in a hot air circulation drying oven at 180 ° C. for 30 minutes and then at 190 ° C. for 60 minutes.
硬化方法「光・熱硬化」
各参考例および比較例に記載の樹脂層を、前記<気泡の発生>に記載の方法にて回路基板上にドライフィルムをラミネートした。その後、キャリアフィルム越しに高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用い、ソルダーレジストパターンを200mJ/cm2露光し、次いでキャリアフィルムを剥離後、30℃の1wt%Na2CO3水溶液をスプレー圧0.2Paの条件で60秒間現像を行い、レジストパターンを得た。次いで、この基板をUVコンベア炉にて積算露光量1J/cm2の条件で紫外線照射した後、熱風循環式乾燥炉を用い150℃で60分間加熱処理を行い、樹脂層を硬化させた。
Curing method "light / thermosetting"
A dry film was laminated on the circuit board by the method described in <Generation of bubbles> in the resin layers described in each of the reference examples and comparative examples. Then, the solder resist pattern is exposed to 200 mJ / cm 2 using an exposure device equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp) through the carrier film, and then the carrier film is peeled off, and then sprayed with a 1 wt% Na 2 CO 3 aqueous solution at 30 ° C. Development was performed for 60 seconds under a pressure of 0.2 Pa to obtain a resist pattern. Next, the substrate was irradiated with ultraviolet rays in a UV conveyor furnace under the condition of an integrated exposure amount of 1 J / cm 2 , and then heat-treated at 150 ° C. for 60 minutes using a hot air circulation type drying furnace to cure the resin layer.
硬化方法「PEB」
参考例18に記載の樹脂層を、前記<気泡の発生>に記載の方法にて回路基板上にドライフィルムをラミネートした。その後、キャリアフィルム越しに高圧水銀灯(ショートアークランプ)搭載の露光装置を用い、ソルダーレジストパターンを500mJ/cm2露光した。次いで、キャリアフィルムを剥離後、熱風循環式乾燥炉にて100℃で30分間加熱処理(PEB処理)を行った。得られた基板について、35℃の3wt%TMAHと5wt%エタノールアミン混合水溶液にて3分間浸漬し、現像を行った。更にORC社製紫外線照射装置にて1J/cm2のエネルギー量で紫外線照射を行い、ついで熱風循環式乾燥炉にて170℃で60分間加熱処理を行い、樹脂層を硬化させた。
Curing method "PEB"
The resin layer described in Reference Example 18 was laminated with a dry film on the circuit board by the method described in <Generation of bubbles>. Thereafter, the solder resist pattern was exposed to 500 mJ / cm 2 using an exposure apparatus equipped with a high-pressure mercury lamp (short arc lamp) through a carrier film. Next, after peeling off the carrier film, heat treatment (PEB treatment) was performed at 100 ° C. for 30 minutes in a hot air circulating drying furnace. The obtained substrate was developed by being immersed in a mixed aqueous solution of 3 wt% TMAH and 5 wt% ethanolamine at 35 ° C. for 3 minutes. Further, ultraviolet irradiation was performed with an energy amount of 1 J / cm 2 by an ultraviolet irradiation device manufactured by ORC, and then heat treatment was performed at 170 ° C. for 60 minutes in a hot air circulation type drying furnace to cure the resin layer.
<アンダーカット>
樹脂層を光・熱硬化性組成物で形成した参考例および比較例については、下記のようにアンダーカットも評価した。
銅厚15μmの銅張り板上に、前処理としてメック社製CZ−8101処理を、0.5μm相当エッチング処理を行った。次いで、硬化基板の作製の項目の、硬化方法「光・熱硬化」の作製方法に準拠して、レジストパターン(L/S=50/50μm、ライン上のパターン)を形成した。得られた基板について、精密切断機を用い、ラインに対して垂直になるように切断を行い、光学顕微鏡を用い、表層部と深部のラインの断面長さ測定を行った。評価基準は以下の通りである。
○:表層部と深部のラインの断面長さの差が、0μm以上、5μm未満。
△:表層部と深部のラインの断面長さの差が、5μm以上、8μm未満。
×:表層部と深部のラインの断面長さの差が、8μm以上。
<Undercut>
About the reference example and comparative example which formed the resin layer with the photothermosetting composition, the undercut was also evaluated as follows.
On a copper-clad plate having a copper thickness of 15 μm, a CZ-8101 process manufactured by MEC was pre-processed and an etching process corresponding to 0.5 μm was performed. Next, a resist pattern (L / S = 50/50 μm, pattern on the line) was formed in accordance with the method of preparing the curing method “light / thermosetting” in the item of manufacturing the cured substrate. About the obtained board | substrate, it cut | disconnected so that it might become perpendicular | vertical with respect to a line using the precision cutting machine, and the cross-sectional length of the surface layer part and the line of a deep part was measured using the optical microscope. The evaluation criteria are as follows.
○: The difference in cross-sectional length between the surface layer portion and the deep portion line is 0 μm or more and less than 5 μm.
(Triangle | delta): The difference of the cross-sectional length of a surface layer part and a deep part line is 5 micrometers or more and less than 8 micrometers.
X: The difference of the cross-sectional length of the surface layer part and the deep part line is 8 micrometers or more.
上記表3〜6に示す結果から、実施例1〜8、11〜16のドライフィルムの場合、基材にラミネートする際に気泡が生じにくく、密着性に優れることがわかる。
一方、保護フィルム(第二のフィルム)の算術平均表面粗さRaが0.1〜1.2μmの範囲を満たさない比較例1〜4のドライフィルムは、気泡の発生が顕著であった。
From the results shown in Tables 3 to 6, it can be seen that in the case of the dry films of Examples 1 to 8 and 11 to 16 , bubbles are hardly generated when laminated on the base material, and the adhesiveness is excellent.
On the other hand, in the dry films of Comparative Examples 1 to 4 in which the arithmetic average surface roughness Ra of the protective film (second film) does not satisfy the range of 0.1 to 1.2 μm, the generation of bubbles was remarkable.
Claims (8)
前記第二のフィルムの、前記樹脂層に接する面の算術平均表面粗さRaが0.1〜1.2μmであり、
前記第二のフィルムの樹脂層と接する面が、基材へのラミネート面であることを特徴とするドライフィルム。 A dry film having a first film, a second film, and a resin layer sandwiched between the first film and the second film,
The arithmetic average surface roughness Ra of the surface in contact with the resin layer of the second film is 0.1 to 1.2 μm,
The dry film, wherein the surface of the second film in contact with the resin layer is a laminate surface to a substrate.
前記第二のフィルムの前記樹脂層と接する面が、基材へのラミネート面であり、
前記第一のフィルムの厚みAが、前記第二のフィルムの厚みBよりも大きいことを特徴とすることを特徴とするドライフィルム。 A dry film having a first film, a second film, and a resin layer sandwiched between the first film and the second film,
The surface in contact with the resin layer of the second film is a laminate surface to the substrate,
The dry film is characterized in that the thickness A of the first film is larger than the thickness B of the second film.
A printed wiring board comprising the cured product according to claim 7.
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---|---|---|---|
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Family
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Country Status (1)
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