JP2015230860A - Method and apparatus of manufacturing organic el display panel - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、インクジェット装置による有機ELディスプレイパネルの製造方法に関するもので、複数のインクジェットヘッドのノズルから塗布される体積調整方法に関する。 The present invention relates to a method for manufacturing an organic EL display panel using an inkjet apparatus, and more particularly to a volume adjustment method applied from nozzles of a plurality of inkjet heads.
近年、インクジェット技術を用いて電子デバイスを製造する方法が注目を集めている。 In recent years, a method of manufacturing an electronic device using an ink jet technique has attracted attention.
インクジェット技術による製造は、蒸着技術などに比べ設備構成がシンプルで安価な製
造が可能である。また、インクジェット技術は直接パターニング技術であるため蒸着技術
におけるマスクが不要で大型化が可能である。例えば、表示電子デバイスにおいては大画
面への市場要求が高まり、インクジェット塗布による電子デバイス製造技術への期待は高
まっている。
Manufacturing using inkjet technology is simpler and cheaper than equipment such as vapor deposition technology. In addition, since the inkjet technique is a direct patterning technique, a mask in the vapor deposition technique is not required and the size can be increased. For example, in display electronic devices, market demands for large screens have increased, and expectations for electronic device manufacturing technology by inkjet coating have increased.
以下、インクジェット技術によるパターニング方法について図5を用いて説明する。 Hereinafter, a patterning method using the inkjet technique will be described with reference to FIG.
図5は、インクジェット装置の平面図である。インクジェットヘッド20と基板10がある。インクジェットヘッド20のノズル21から、有機機能材料を含むインクの液滴を、基板10上のバンク11で囲まれた発色領域12に塗布して、有機機能層を形成する方法がある(例えば、特許文献1参照)。インクジェットヘッド20は、基板10上を矢印の方向へ相対移動しながら、インクを発色領域12へ塗布する。
FIG. 5 is a plan view of the ink jet apparatus. There are an
有機機能材料を含むインクは、ディスプレイ基板に配置された発色領域12に塗布される。
ここで発色領域とは、赤(R)、緑(G)、青(B)のいずれかの副画素が1列に並んだ領域を意味する。すなわちディスプレイ基板では、3種類の発色領域(R、G、B)が特定の方向に沿って互いに平行に配置されている。
The ink containing the organic functional material is applied to the
Here, the color development region means a region in which any one of red (R), green (G), and blue (B) subpixels is arranged in a line. That is, on the display substrate, three types of color development regions (R, G, B) are arranged in parallel to each other along a specific direction.
ディスプレイ基板に、有機機能層を、インクジェット装置で形成しようとする場合には、以下のプロセスとなる。 When an organic functional layer is to be formed on a display substrate using an inkjet device, the following process is performed.
(1)インクジェット装置のインクジェットヘッド20を、基板10上のバンク11で規定された発色領域12の長軸に対して図中の上部(または下部)に配置する。この時、好ましくは、発色領域12の長軸と、ノズル21の配列方向とが垂直になるように配置する。
(1) The
(2)インクジェットヘッド20を発色領域12の長軸に対して平行に相対移動させる。
(2) The
(3)発色領域12に、ノズル21から液滴を塗布して、有機機能層を形成する。
(3) A droplet is applied from the
このようにインクジェットヘッド20を発色領域12の長軸に対して平行に相対移動させる方法を、以下「縦塗り」という。
A method of moving the
しかし、上述したように、インクジェットヘッド20が有するノズル21から塗布される液滴の大きさには、ノズル21ごとにばらつきがあることから、基板10を縦塗りした場合、発色領域12間で塗布されるインクの量にばらつきが生じる。
However, as described above, the size of the liquid droplets applied from the
特にばらつく場合を図6の平面図で説明する。図6は、図5に相当する図である。インクジェットヘッド20がインクを塗布しないノズル21aを有する場合、発色領域12aに塗布されるインクの量は、発色領域12bに塗布されるインクの量よりも少なくなる。この発色領域12a、12b間におけるインクの量のばらつきは、発色領域12a、12b間における有機機能層の膜厚のばらつきにつながる。さらに、発色領域12a、12b間における有機機能層の膜厚のばらつきは、発色領域12a、12b間における輝度のムラにつながり、有機ELディスプレイパネルにおいて、いわゆる「スジムラ」の原因となる。
In particular, the case of variation will be described with reference to the plan view of FIG. FIG. 6 corresponds to FIG. When the
「スジムラ」の問題を解決させるための方法として、図7に記載された方法がある。図7は、図4、5に相当する平面図である。図7のインクジェットヘッド20には、塗布しないノズル21aと、より多くのインクを塗布するノズル21bとがある。
As a method for solving the problem of “straight spot”, there is a method described in FIG. FIG. 7 is a plan view corresponding to FIGS. The
塗布のプロセスは以下である。 The application process is as follows.
(1)複数のノズル21を有するインクジェットヘッド20を、基板10の発色領域の長軸に対する側部に配置する。
(1) The
(2)インクジェットヘッド20を発色領域12の長軸に対して垂直に相対移動させる。
(2) The
(3)発色領域12に、ノズル21から有機機能材料の液滴を塗布して、有機機能層を形成する。
(3) An organic functional layer is formed by applying droplets of an organic functional material from the
このようにインクジェットヘッド20を発色領域12の長軸に対して垂直に相対移動させる方法を、以下「横塗り」という。横塗りでは、発色領域12には、図6の縦塗りの場合より、より多くのノズル21から塗布されたインクが塗布される。
The method of moving the
このように横塗り方式で塗布することにより、1つのセル(発色領域12)内により多くのノズル21で液滴を塗布することが可能となる。より多くのノズル21で液滴を塗布することにより、セル内の液滴の体積変動ばらつきが緩和される。
Thus, by applying by the horizontal coating method, it becomes possible to apply droplets with
塗布しないノズル21aと、より多くのインクを塗布するノズル21bがあっても、9つのノズルに対して1つ分のばらつきがでるのみである。なお、ノズルは、初期に塗布量が調整させており、近傍のノズルで、詰まる、多く塗布することは、皆無である。
Even if there is a
図6の「縦塗り」、図7の「横塗り」のいずれの場合でも、セル内に打たれた液滴量を均一化するためにインクジェットヘッド20のノズル21から塗布される液滴量を、事前に調整する方法がとられてきている。例えば、特許文献2では、描画のために駆動する選択したノズル群と駆動しない非選択ノズル群とに切り替えノズル郡のノズル21の塗布量のばらつきをノズル群の各々のノズル21の塗布量データに基づきノズル毎に塗布量の調整を行うことにより、カラーフィルターを形成していた。
In either case of “vertical coating” in FIG. 6 or “horizontal coating” in FIG. 7, the amount of droplets applied from the
一方、有機ELパネルにおいて、塗布する基板サイズは、年々大きくなっていき、ガラスサイズは以下のようになっている。G1ガラス基板(400mm×300mm)、G2ガラス基板(470mm×370mm)、G3ガラス基板(650mm×550mm)、G4ガラス基板(880mm×680mm)、G5ガラス基板(1300mm×1100mm)、G6ガラス基板(1850mm×1500mm)、G7.5ガラス基板(2250mm×1950mm)、G8ガラス基板(2500mm×2200mm)、G10ガラス基板(2850mm×3050mm)である。 On the other hand, in the organic EL panel, the substrate size to be applied is increasing year by year, and the glass size is as follows. G1 glass substrate (400 mm × 300 mm), G2 glass substrate (470 mm × 370 mm), G3 glass substrate (650 mm × 550 mm), G4 glass substrate (880 mm × 680 mm), G5 glass substrate (1300 mm × 1100 mm), G6 glass substrate (1850 mm) × 1500 mm), G7.5 glass substrate (2250 mm × 1950 mm), G8 glass substrate (2500 mm × 2200 mm), and G10 glass substrate (2850 mm × 3050 mm).
有機ELパネルは、大きな1つのガラス基板に複数のELパネルを形成し、その後、有機EL素子を各々分離して形成する。 The organic EL panel is formed by forming a plurality of EL panels on one large glass substrate and then separating the organic EL elements.
例えば、図8に示した平面配置をする。基板32上に、65インチパネル33が3枚、55インチパネル34が2枚、配置した構成となる。このように配置することにより、基板32上に無駄なく、パネルを配置することができる。インクジェットヘッド36により、方向35の方向に相対移動させ、インクを65インチパネル33が3枚、55インチパネル34が2枚に同時に塗布する。
For example, the planar arrangement shown in FIG. On the
ここで、インクジェットヘッド36で塗布を行う場合、方向35で塗布するということは、縦塗りと横塗りを混在して塗布しなければならないということになる。
横塗りに関しては、図7で示したように、インクジェットヘッド20のノズル21から出てきた液滴体積がばらついても、セル内に落とすことができるノズル21の数が多いため、平均化効果により、膜厚が均一になる。
Here, when coating is performed with the
Regarding horizontal coating, as shown in FIG. 7, even if the volume of droplets coming out from the
しかし、図6に示したように、縦塗りに関しては、ノズル21の数が少ないために、液滴を塗布してから乾燥後に膜厚が均一になりにくい。
However, as shown in FIG. 6, regarding the vertical coating, since the number of
上記のように、パネルサイズが大きくなり、ガラス基板上に縦塗りパネルと横塗りパネルが存在する場合に、各ノズルから塗布される体積を同じように調整しても、縦塗りパネルのセルと横塗りパネルのセルにおいて体積の調整精度が異なるという課題を有している。 As mentioned above, when the panel size is large and there are vertical and horizontal coated panels on the glass substrate, even if the volume applied from each nozzle is adjusted in the same way, There is a problem that the volume adjustment accuracy differs in the cells of the horizontal coating panel.
本発明の目的は、横塗りよりも、ばらつきやすい縦塗り時でも、一様な有機機能層を有する有機ELパネル及びその製造方法を提供することである。 An object of the present invention is to provide an organic EL panel having a uniform organic functional layer and a method for manufacturing the same even during vertical coating, which is more variable than horizontal coating.
上記課題を解決するため、一方向に沿う第1パネルと、第1パネルと異なり、他方向に沿う第2パネルとを有する1枚のガラス基板に、第1パネルの1つの第1セルへ塗布する複数の第1ノズルと、第2パネルの1つの第2セルへ塗布する複数の第2ノズルと、を含む1つのインクジェットヘッドを用いて、第1パネルと前記第2パネルとに、インクを塗布する方法であって、第1セルへの前記複数の第1ノズルの塗布条件を決める第1条件設定工程と、第1セルへの複数の第1ノズルによる塗布量の合計と、第1セルへの目的の塗布量との差を求める第1計算工程と、1セルへ塗布する複数の第1ノズルのうち、1つの第1ノズルにおいて、差が無くなるように塗布量を増減させる第1調整工程と、を含む有機ELディスプレイパネルの製造法を用いる。 In order to solve the above-mentioned problems, a single glass substrate having a first panel along one direction and a second panel along the other direction unlike the first panel is applied to one first cell of the first panel. Ink is applied to the first panel and the second panel using one inkjet head including a plurality of first nozzles and a plurality of second nozzles applied to one second cell of the second panel. A first condition setting step for determining application conditions of the plurality of first nozzles to the first cell; a total amount of application by the plurality of first nozzles to the first cell; A first calculation step for obtaining a difference between the target application amount and a first adjustment for increasing or decreasing the application amount so that there is no difference in one first nozzle among a plurality of first nozzles applied to one cell. And manufacturing an organic EL display panel The law is used.
また、一方向に沿う第1パネルと、前記第1パネルと異なり、他方向に沿う第2パネルとを有する1枚のガラス基板を保持する保持部と、第1パネルの1つの第1セルへ塗布する複数の第1ノズルと、第2パネルの1つの第2セルへ塗布する複数の第2ノズルと、を含む1つのインクジェットヘッドと、を含むインク塗布装置であって、第1セルへの複数の第1ノズルの塗布条件を決める第1条件設定部と、第1セルへの複数の第1ノズルによる塗布量の合計と、第1セルへの目的の塗布量との差を求める第1計算部と、1セルへ塗布する複数の第1ノズルのうち、1つの前記第1ノズルにおいて、差が無くなるように塗布量を増減させる第1調整部と、を含む有機ELディスプレイパネルの製造装置を用いる。 Also, unlike the first panel, a holding unit that holds one glass substrate having a second panel along the other direction unlike the first panel, and one first cell of the first panel One ink jet head including a plurality of first nozzles to be applied and a plurality of second nozzles to be applied to one second cell of the second panel. A first condition setting unit that determines application conditions for a plurality of first nozzles, a first for obtaining a difference between a total of application amounts of the plurality of first nozzles to the first cell and a target application amount to the first cell. A device for manufacturing an organic EL display panel, comprising: a calculation unit; and a first adjustment unit that increases or decreases a coating amount so as to eliminate a difference in one of the plurality of first nozzles applied to one cell. Is used.
本発明は、縦塗り時でも均一に塗布ができるような液滴の体積調整方法である。つまり、初めにノズルからの液滴塗布量をある一定の範囲で調整を行う。次にセル内のセル内のあるノズルでセル全体の体積をある一定量に調整することにより、縦塗り時でもセル内の体積量を一定にすることが可能となる。このように縦塗り時と横塗り時で体積調整方法を変化させることにより、縦塗り時を塗布するノズル数が少なくなっても体積を一定に調整することが可能となる。 The present invention is a method for adjusting the volume of droplets so that it can be uniformly applied even during vertical coating. That is, first, the amount of droplets applied from the nozzle is adjusted within a certain range. Next, by adjusting the volume of the entire cell to a certain amount with a certain nozzle in the cell, the volume in the cell can be made constant even during vertical coating. In this way, by changing the volume adjustment method between vertical coating and horizontal coating, the volume can be adjusted to be constant even when the number of nozzles applied during vertical coating is reduced.
以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。
(実施の形態1)
図1は、インクジェットヘッド36で塗布を行う場合の平面配置図である。1つのインクジェットヘッド36に、縦塗りインクジェットヘッドノズル群37と、横塗り部を塗布する横塗りインクジェットヘッドノズル群38とが別々に存在させる。このようにすることで、別々に各ノズル群からの体積を別々に調整することができるためである。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is a plan layout view when coating is performed by the
<「縦塗り」と「横塗り」との問題点>
以下、「縦塗り」と「横塗り」方式で同じようにインクジェットヘッドから塗布された液滴の体積を同じように調整した場合に、「縦塗り」と「横塗り」とでばらつきが異なる理由について詳細に説明する。
<Problems with "Vertical painting" and "Horizontal painting">
The reason why the difference between `` vertical coating '' and `` horizontal coating '' differs when the volume of droplets applied from the inkjet head is adjusted in the same way for the `` vertical coating '' and `` horizontal coating '' methods Will be described in detail.
図2は、インクジェットヘッド36とセル43、セル44との関係を示す平面図である。図1における65インチパネル33のセル、1つと、55インチパネル34のセル、1つとを、拡大したものである。65インチパネル33のセル43に、ある一定間隔のノズルピッチを持つインクジェットヘッド36で塗布する場合、ノズル55、56、57,58により、それぞれ、液滴45、液滴46、液滴47、液滴48が塗布される。
FIG. 2 is a plan view showing the relationship between the
それぞれのセル内の体積ばらつきを計算する。 The volume variation within each cell is calculated.
(1)セル43の場合
セル43で異なるノズル4個で塗布する場合、全体の塗布ばらつきの標準偏差をσmean、異なるノズル4個の塗布ばらつきの標準偏差をσ1、σ2、σ3、σ4とする。
(1) In the case of
When coating with four different nozzles in the
σ1 2+σ2 2+σ3 2+σ4 2=σmean 2・・・(数1)
(数1)において、各ノズルの塗布ばらつきが等しいと仮定すると、
σ1=σ2=σ3=σ4・・・(数2)
となり、
4σ1 2=σmean 2・・・(数3)
ここで、標準偏差の平均値のばらつきをn%(ただし、nは10以下)とおくと、各ノズル部でのばらつきは
σ1 2=σmean 2/4・・・(数4)
σ1=σmean/2・・・(数5)
となり、σ1=n/2となり、例えばn=3%とすると、σ1=1.5%となる。
σ 1 2 + σ 2 2 + σ 3 2 + σ 4 2 = σ mean 2 ( Expression 1)
In (Equation 1), assuming that the application variation of each nozzle is equal,
σ 1 = σ 2 = σ 3 = σ 4 (Equation 2)
And
4σ 1 2 = σ mean 2 (Expression 3)
Here, the variation of n% of the average value of standard deviations (where, n is 10 or less) is denoted by, the variation in each nozzle unit σ 1 2 = σ mean 2/ 4 ··· ( Equation 4)
σ 1 = σ mean / 2 ( Expression 5)
Σ 1 = n / 2. For example, when n = 3%, σ 1 = 1.5%.
(2)セル44の場合
同様にして、セル44の場合、異なる7個のノズルで塗布すると、
σ1 2+σ2 2+σ3 2+σ4 2+σ5 2+σ6 2+σ7 2=σmean 2・・・(数6)
となり、σ1=n/√7となり、例えばn=3%とすると、σ1=1.1%となる。つまり、ノズルの体積を同程度に調整しても、ノズル数が多い方法で塗布する方がばらつきを抑制することが可能となる。
(2) In the case of the
σ 1 2 + σ 2 2 + σ 3 2 + σ 4 2 + σ 5 2 + σ 6 2 + σ 7 2 = σ mean 2 ( Equation 6)
Σ 1 = n / √7. For example, when n = 3%, σ 1 = 1.1%. That is, even if the volume of the nozzle is adjusted to the same level, it is possible to suppress variations by applying with a method having a large number of nozzles.
このため、ノズルからのインク塗布量が変化した場合、「縦塗り」と「横塗り」とでばらつきのレベルが異なる。ノズル数が少ない、セル43の場合、ばらつきが大きくなってしまい。輝度ムラとなる可能性がある。
For this reason, when the amount of ink applied from the nozzle changes, the level of variation differs between “vertical coating” and “horizontal coating”. In the case of the
<実施例>
そこで、実施の形態では、「縦塗り」と「横塗り」とを同時にする場合でも、ばらつきを抑える方法を以下に示す。ここで、インクジェットヘッド36は、図1に示すような構成にする。つまり、インクジェットヘッド36は、パネルの長手方向から、縦塗り塗布する縦塗りインクジェットヘッドノズル群37と、パネルの短手方向から、横塗り塗布する横塗りインクジェットヘッドノズル群38とが異なっている構成とする。
<Example>
Therefore, in the embodiment, a method for suppressing variation even when “vertical coating” and “horizontal coating” are performed simultaneously will be described below. Here, the
このようにインクジェットヘッド36を、縦塗りインクジェットヘッドノズル群37と、横塗りインクジェットヘッドノズル群38と、に分けることにより、それぞれのノズルの体積を別々の方法で調整することが可能となる。
By dividing the
インクジェットヘッド36のノズルからの体積を調整する場合、塗布に関わる部分の電圧を変化させることにより、インクジェットヘッド36の各ノズルから塗布される体積を調整することが可能である。
When adjusting the volume from the nozzle of the
インクジェットヘッド36での体積ばらつきの再現性は、ある値以下になる。ここで、横塗りのn個ノズルにより横塗りすることを考える。つまり、目標とするk番目のノズルから塗布される液滴の体積(塗布再現性の体積)をVk、塗布再現性により変化する体積量ΔVkとすると、調整後の液滴の測定された体積V(k)は、VkとΔVkの和で表すことができる。ここで、ΔVk<Vkであるとする。
V(k)=ΔVk+Vk・・・(数7)
n個のノズルで塗布した液滴の体積Vtotalは、
Vtotal=V(1)+V(2)+・+V(k)+・+V(n)
=(ΔV0+ΔV1+・+ΔVk+・+ΔVm)+(V1+V2+V3+・+Vk+・・+Vn)・・・(数8)
となる。セル内の体積を考えた場合、多くのノズルで体積を調整することにより、セル全体のばらつきは低減できる。
The reproducibility of the volume variation in the
V (k) = ΔV k + V k (Expression 7)
The volume V total of the droplets applied by n nozzles is
Vtotal = V (1) + V (2) +. + V (k) +. + V (n)
= (ΔV 0 + ΔV 1 + • + ΔV k + • + ΔV m ) + (V 1 + V 2 + V 3 + • + V k + •• + V n ) (Equation 8)
It becomes. When the volume in the cell is considered, the variation of the whole cell can be reduced by adjusting the volume with many nozzles.
ところが、セル内に入る全体の体積を考えた場合、各ノズルの再現性による誤差(ΔV0+ΔV1+・+ΔVk+・+ΔVk)が発生し、(V1+V2+V3+・+Vk+・・+Vn)の総和分セル内の体積が変化してしまう。 However, when the total volume entering the cell is considered, an error (ΔV 0 + ΔV 1 + • + ΔV k + • + ΔV k ) occurs due to the reproducibility of each nozzle, and (V 1 + V 2 + V 3 + • + V k). The volume in the sum cell of (+ .. + V n ) changes.
そこで、縦塗り方式では、横塗りのn個より少ないノズルの数がm個で塗布することになる。m個のノズルで塗布した場合の体積は、
Vtotal=V(1)+V(2)+・+V(k)+・+V(m)
=(ΔV0+ΔV1+・+ΔVk+・+ΔVm)+(V1+V2+V3+・+Vk+・・+Vm)・・・(数9)
と書き表すことができる。m個がn個より少ないため、1つのばらつきが全体に及ぼす影響は横塗りより大きい。
Therefore, in the vertical coating method, the number of nozzles less than n in the horizontal coating is applied with m. The volume when applied with m nozzles is
Vtotal = V (1) + V (2) +. + V (k) +. + V (m)
= (ΔV 0 + ΔV 1 + • + ΔV k + • + ΔV m ) + (V 1 + V 2 + V 3 + • + V k + •• + V m ) (Equation 9)
Can be written as: Since m is less than n, the influence of one variation on the whole is larger than horizontal coating.
そこで、一旦、各ノズルからの塗布体積を調整した後、各セル内において、セル内へ塗布するある1つのノズルにて、更に体積を調整する。 Therefore, once the application volume from each nozzle is adjusted, the volume is further adjusted by one nozzle applied to the cell in each cell.
ところが、決められたセルの目標体積を一定としたときに任意のある1つのノズルでその体積量を調整することは、そのあるノズルにより、体積調整量を大きく変化させることができることになり、体積変化量を大きく変化することは容易である。 However, adjusting the volume amount with any one nozzle when the target volume of the determined cell is fixed, the volume adjustment amount can be greatly changed by the certain nozzle, and the volume It is easy to change the amount of change greatly.
そこで、目標体積に対して、同じセル内へ塗布するある1つのノズルでのみで体積調整する。目標のセル体積をVtarget、セル内に入る体積をVtotal、その差をΔVcellとすると、
ΔVcell=Vtarget―Vtotal (数10)
となる。このΔVcellを調整するために、ある1つのノズルであるk番目のノズル体積V(k)は、k番目ノズルの再現性をΔVk、調整した体積Vkとする、実際のノズル体積V(k)’にΔVcellを加えた値で全体のセル内の体積をある目標値に近づける制御を行う。
Therefore, the volume is adjusted with only one nozzle applied to the same cell with respect to the target volume. If the target cell volume is V target , the volume entering the cell is V total , and the difference is ΔV cell ,
ΔV cell = V target −V total ( Equation 10)
It becomes. In order to adjust this ΔV cell , the k-th nozzle volume V (k) that is one nozzle is the actual nozzle volume V (k with the reproducibility of the k-th nozzle as ΔV k and the adjusted volume Vk. ) ′ To which ΔV cell is added to control the volume in the entire cell to be close to a certain target value.
つまり、k番目ノズルに調整分のインク量がでるようにする。
V(k)’=(ΔVk+Vk)+ΔVcell・・・(数11)
このように制御することにより、
Vtarget≒Vtotal・・・(数12)
となり、縦塗りであってもセル全体の体積を調整することにより、体積調整精度を向上することが可能となる。
That is, the adjustment amount of ink is generated at the k-th nozzle.
V (k) ′ = (ΔV k + V k ) + ΔV cell (Equation 11)
By controlling in this way,
V target ≈ V total ( Expression 12)
Thus, even in the case of vertical coating, it is possible to improve the volume adjustment accuracy by adjusting the volume of the entire cell.
<全体プロセス>
以下に全体のプロセスを説明する。縦塗りのノズルで以下調整をする。体積調整のステップを図3に示す。
<Overall process>
The overall process is described below. Make the following adjustments with the vertical nozzle. The volume adjustment step is shown in FIG.
(1)まず、セルへ塗布すべき塗布条件を決める(条件設定工程)。 (1) First, application conditions to be applied to the cell are determined (condition setting step).
(2)次に、セルへの目的の塗布量とそのセルへの実際の塗布量との差を計算する(計算工程)。 (2) Next, the difference between the target application amount to the cell and the actual application amount to the cell is calculated (calculation step).
(3)そのセルへ塗布するノズルのうち1つのノズルで、上記差がなくなるように塗布量を増減させる(調整工程)。 (3) The application amount is increased or decreased by using one of the nozzles applied to the cell so that the above difference is eliminated (adjustment process).
(1)では、1つのセルにどのノズルで塗布するが決定する。
(2)では、そのセルに必要な塗布量と、(1)で決定したノズルによって塗布した場合の塗布量との差を求める。
(3)では、その差が無くなるように、1つのノズルの塗布量を決定する。
In (1), which nozzle is applied to one cell is determined.
In (2), the difference between the coating amount required for the cell and the coating amount when applied by the nozzle determined in (1) is obtained.
In (3), the coating amount of one nozzle is determined so that the difference is eliminated.
つまり、セル内においてそのセルへ塗布するある1つノズルで体積が一定になるように体積調整を行う。 That is, the volume is adjusted so that the volume is constant with one nozzle applied to the cell in the cell.
ここでは、体積調整は、ある1つのノズルで体積調整を行うとしたが、体積を増やす場合は、中央付近のノズルで制御を行い。体積を減らす場合には、端部付近のノズルで行うことが好ましい。これは、中央付近に大液滴を塗布した方がセル内で同一液滴形状になり易く、乾燥むらを抑制することができるためである。 Here, the volume adjustment is performed using a single nozzle. However, when the volume is increased, control is performed using a nozzle near the center. When reducing the volume, it is preferable to use a nozzle near the end. This is because applying a large droplet near the center tends to form the same droplet shape in the cell, and drying unevenness can be suppressed.
ここで中央付近のノズルとは、そのセルへ塗布するノズルの内、セル中央位置から、セルの端までの半分のところの領域までを、塗布するノズルである。セルの中央に位置し、セルの半分の領域を塗布ノズルである。 Here, the nozzle in the vicinity of the center is a nozzle that applies from the center position of the cell to a half area from the center position of the cell to the end of the cell. The coating nozzle is located in the center of the cell and half the area of the cell.
一方、端部のノズルとは、上記中央付近以外に位置し、セルの端部を塗布するノズルである。 On the other hand, the nozzle at the end is a nozzle that is located outside the vicinity of the center and that applies the end of the cell.
また、(2)の前に、各ノズルの塗布量が均質となるように調整してもよい。または、調整せず、以前の各ノズルの塗布量を用いて計算してもよい。または、塗布を実施して、各ノズルからの塗布量を求めて、その値を用いてもよい。 Further, before (2), the application amount of each nozzle may be adjusted to be uniform. Or you may calculate using the application amount of each nozzle before, without adjusting. Or you may apply | coat and obtain | require the application amount from each nozzle, and may use the value.
図2のセル43では、縦塗りインクジェットヘッドでは、セル43に対して、4ノズルでセルを塗布しており、液滴45、液滴46、液滴47、液滴48で塗布されている。一方、横塗りの場合も同様に横塗りインクジェットヘッド群により、セル44に複数の液滴で塗布されている。セル43で縦塗りすることを考えると、数13となる。
Vtotal=(ΔV1+ΔV2+ΔV3+ΔV4)+(V1+V2+V3+V4)・・・(数13)
従って、セル内の目標体積と実際の体積差は、数14となる。
ΔVcell=Vtarget―Vtotal・・・(数14)
このΔVcellの値が負の値の場合は、Vtotalの値を増やす必要があり、液滴量を増やす場合には中央付近のノズルで体積を増加させる。つまり、液滴46または液滴47を増やす。
In the
V total = (ΔV 1 + ΔV 2 + ΔV 3 + ΔV 4 ) + (V 1 + V 2 + V 3 + V 4 ) (Equation 13)
Therefore, the target volume in the cell and the actual volume difference are expressed by Equation 14.
ΔV cell = V target −V total ( Expression 14)
When the value of ΔV cell is a negative value, it is necessary to increase the value of Vtotal. When the amount of droplets is increased, the volume is increased by a nozzle near the center. That is, the
また、ΔVcellが正の値の場合には、両端付近のノズルで体積を減らす。つまり、液滴45、または、液滴48を減らす。
When ΔV cell is a positive value, the volume is reduced by the nozzles near both ends. That is, the number of
このようにする理由は、セル中央に塗布されるインクはセル全体へ広がりやすいので、多くしてもよい。セル端部へ塗布される液滴は、セル全体へ広がりにくいので、少なめにするためである。 The reason for this is that the amount of ink applied to the center of the cell tends to spread throughout the cell, and may be increased. This is because the number of droplets applied to the cell edge is difficult to spread over the entire cell, and is therefore small.
この例は代表1ノズルで体積の調整を行ったが、複数のセル内のあるノズルで体積調整を行ってもよい。つまり、中央液滴の増加、両端の液滴の減少の両者を組み合わせてもよい。 In this example, the volume is adjusted with one representative nozzle, but the volume may be adjusted with a nozzle in a plurality of cells. That is, both the increase of the central droplet and the decrease of the droplets at both ends may be combined.
結果、縦塗りインクジェットヘッドノズル群37と、横塗りインクジェットヘッドノズル群38とを含むインクジェットヘッドにて、同時に複数の種類のパネルに塗布できる。
As a result, it is possible to apply to a plurality of types of panels at the same time with an inkjet head including the vertically coated inkjet head nozzle group 37 and the laterally coated inkjet
特に、複数種類のセルが同じ基板32上にあり、同時に塗布する時には、上記のように、ある1つノズルで調整するのが、有効である。なぜなら、塗布条件が大きく異なるものがあるため、全体として、塗布量を合わせるには困難である。
In particular, when a plurality of types of cells are on the
また、この調整方法を、横塗りに対しても同様に実施してもよい。しかし、簡素化するため、横塗りに対しては、この調整をしないのが好ましい。この場合、横塗りでは、上記(1)のセルへ塗布すべき塗布条件を決定するのみで、他の上記(2)、(3)は実施しない。 Further, this adjustment method may be similarly performed for the horizontal coating. However, for simplicity, it is preferable not to make this adjustment for horizontal coating. In this case, in the horizontal coating, only the coating conditions to be applied to the cells of (1) are determined, and the other (2) and (3) are not performed.
横塗りに対して、この調整を実施しない場合、調整の基準が1つのインクジェットヘッド内で変わることとなり複雑となる。しかし、調整の簡素化ができる。 If this adjustment is not performed for the horizontal coating, the adjustment reference is changed within one ink jet head, which is complicated. However, the adjustment can be simplified.
(実施の形態2)
実施の形態2は、実施の形態1に対して、ノズルの調整のやり方が異なる。この実施の形態では、ノズルの塗布量を変えるのでなく、塗布回数を複数回行う。その他、説明しない事項は、実施の形態1と同じである。
(Embodiment 2)
The second embodiment is different from the first embodiment in the manner of nozzle adjustment. In this embodiment, the number of coatings is performed a plurality of times instead of changing the coating amount of the nozzles. Other matters not described are the same as those in the first embodiment.
実施の形態2の方法を説明する。図4は、図1の65インチパネル33の1つのセルを拡大したセル50と、インクジェットヘッド36との平面配置図である。
A method according to the second embodiment will be described. FIG. 4 is a plan layout view of the
セル50内に、ノズル55,56,57,58から塗布された、それぞれの液滴51,552,53,54を示めしている。しかし、液滴53は塗布されていないことを表し、液滴53を塗布するためのノズル57が不塗布になった場合である。
In the
ノズルが不塗布になっていない場合のセル50内の体積は、上記の数8のようになる。ここで、今3番目のノズル57が不塗布になっているときは、中央付近にあるセル内のあるノズルで体積調整を行うことが望ましい。このときセル内の体積Vtotal’は下記のように表すことができる。
Vtotal’=(ΔV1+ΔV2+ΔV3+ΔV4)+(V1+V2+V3+V4)・・・(数15)
Vtotal’=Vtotal−ΔV3−V3・・・(数16)
と表すことができる。一方、セルの体積の目標値Vtargetと実際のセルの体積Vtotal’の差ΔVcell’は、以下となる。
ΔVcell’=Vtarget−Vtotal’・・・(数17)
数式17に、数式16を代入する。
ΔVcell’=Vtarget−(Vtotal−ΔV3−V3)=ΔVcell+ΔV4+V4・・・(数18)
ここで、ΔV3は再現性の誤差である。3番目のノズル57が不塗布になった場合は、2番目のノズルを2回打ち、2回打ちしたノズルで体積調整V2’を行うことにより、セル内の体積を目標体積に近づけることが可能となる。この実施の形態では、塗布量を調整せず、回数で塗布量を調整する。結果、数式18より、以下となる。
V2’=V(2)+(ΔVcell+V3)/2・・・(数19)
図4に示したように、セル50に、液滴51、液滴52、液滴54が塗布されており、液滴53のノズル57が不塗布となった場合、ノズル56で2回打ちを行う。
When the nozzle is not uncoated, the volume in the
V total '= (ΔV 1 + ΔV 2 + ΔV 3 + ΔV 4 ) + (V 1 + V 2 + V 3 + V 4 ) (Equation 15)
V total '= V total −ΔV 3 −V 3 (Equation 16)
It can be expressed as. On the other hand, the difference ΔV cell ′ between the target value V target of the cell volume and the actual cell volume V total ′ is as follows.
ΔV cell ′ = V target −V total ′ ( Expression 17)
Expression 16 is substituted into Expression 17.
ΔV cell ′ = V target − (V total −ΔV 3 −V 3 ) = ΔV cell + ΔV 4 + V 4 (Equation 18)
Here, ΔV 3 is a reproducibility error. When the
V 2 ′ = V (2) + (ΔV cell + V 3 ) / 2 (Equation 19)
As shown in FIG. 4, when the
また、液滴52のノズル56は2回打ちを行うため、目標体積については(V2+ΔV/2)として調整を行う。ここでは、ΔV>0と想定した。
In addition, since the
1回の塗布量を増やすより、塗布回数を増やした方が、精度よく量が調整できる。印加電圧と塗布量との比例関係がばらつくためである。 The amount can be adjusted more accurately by increasing the number of times of application than by increasing the amount of application at one time. This is because the proportional relationship between the applied voltage and the coating amount varies.
<なお書き>
実施の形態では、図1に示したように、縦塗りインクジェットヘッドノズル群37と、横塗りインクジェットヘッドノズル群38と、により、それぞれ別の種類のパネルへインクを塗布する。しかし、上記と同様の方法で、同じ種類のパネルへ塗布してもよい。
<Notes>
In the embodiment, as shown in FIG. 1, ink is applied to different types of panels by the vertically-coated inkjet head nozzle group 37 and the horizontally-coated inkjet
実施の形態1,2は、組み合わせができる。 Embodiments 1 and 2 can be combined.
また、上記方法を以下のインク塗布装置に用いることができる。一方向に沿う第1パネルと、第1パネルと異なり、他方向に沿う第2パネルとを有する1枚のガラス基板を保持する保持部と、第1パネルの1つの第1セルへ塗布する複数の第1ノズルと、第2パネルの1つの第2セルへ塗布する複数の第2ノズルと、を含む1つのインクジェットヘッドと、を含むインク塗布装置であって、第1セルへの前記複数の第1ノズルの塗布条件を決める第1条件設定部と、第1セルへの複数の第1ノズルによる塗布量の合計と、第1セルへの目的の塗布量との差を求める第1計算部と、1セルへ塗布する複数の第1ノズルのうち、1つの第1ノズルにおいて、差が無くなるように塗布量を増減させる第1調整部と、を含むインク塗布装置である。 Moreover, the said method can be used for the following ink application apparatuses. Unlike the first panel, a first panel along one direction and a second panel along the other direction, a holding unit that holds one glass substrate, and a plurality of coatings applied to one first cell of the first panel A plurality of second nozzles that apply to one second cell of the second panel, and an ink application apparatus that includes the plurality of second nozzles that apply to one second cell of the second panel, A first condition setting unit for determining a coating condition of the first nozzle, and a first calculation unit for calculating a difference between a total coating amount of the plurality of first nozzles applied to the first cell and a target coating amount applied to the first cell. And a first adjustment unit that increases / decreases the application amount so that there is no difference in one first nozzle among the plurality of first nozzles applied to one cell.
上記実施の形態は、有機ELディスプレイパネルの製造方法、製造装置を前提に記載した。しかし、他のデバイスでも同様に使用される。 The above embodiment has been described on the premise of a manufacturing method and a manufacturing apparatus of an organic EL display panel. However, it is used in other devices as well.
有機ELディスプレイ以外に、ディスプレイ一般に使用できる。さらに、ディスプレイに限らず、インクジェットを用いて、セルへインクを塗布するものに使用できる。 In addition to the organic EL display, the display can be generally used. Furthermore, it can be used not only for displays but also for applying ink to cells using inkjet.
10 基板
11 バンク
12 発色領域
12a 発色領域
12b 発色領域
20 インクジェットヘッド
21 ノズル
21a、21b ノズル
32 基板
33 65インチパネル
34 55インチパネル
35 方向
36 インクジェットヘッド
37 縦塗りインクジェットヘッドノズル群
38 横塗りインクジェットヘッドノズル群
43 セル
44 セル
45 液滴
46 液滴
47 液滴
48 液滴
50 セル
51,52,53,54 液滴
55、56、57、58 ノズル
DESCRIPTION OF
Claims (7)
前記第1パネルの1つの第1セルへ塗布する複数の第1ノズルと、前記第2パネルの1つの第2セルへ塗布する複数の第2ノズルと、を含む1つのインクジェットヘッドを用いて、
前記第1パネルと前記第2パネルとに、インクを塗布する方法であって、
前記第1セルへの前記複数の第1ノズルの塗布条件を決める第1条件設定工程と、
前記第1セルへの前記複数の第1ノズルによる塗布量の合計と、前記第1セルへの目的の塗布量との差を求める第1計算工程と、
前記1セルへ塗布する複数の前記第1ノズルのうち、1つの前記第1ノズルにおいて、前記差が無くなるように塗布量を増減させる第1調整工程と、
を含む有機ELディスプレイパネルの製造方法。 A single glass substrate having a first panel along one direction and a second panel along the other direction, unlike the first panel,
Using one inkjet head including a plurality of first nozzles applied to one first cell of the first panel and a plurality of second nozzles applied to one second cell of the second panel,
A method of applying ink to the first panel and the second panel,
A first condition setting step for determining application conditions of the plurality of first nozzles to the first cell;
A first calculation step for obtaining a difference between a total amount of application by the plurality of first nozzles to the first cell and a target application amount to the first cell;
A first adjustment step of increasing or decreasing the coating amount so as to eliminate the difference in one of the plurality of first nozzles applied to the one cell;
The manufacturing method of the organic electroluminescent display panel containing this.
前記第2セルへの前記複数の第2ノズルによる塗布量の合計と、前記第2セルへの目的の塗布量との差を求める第2計算工程と、
前記2セルへ塗布する複数の前記第2ノズルのうち、1つの前記第2ノズルにおいて、前記差が無くなるように塗布量を増減させる第2調整工程と、
をさらに含む請求項1記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。 A second condition setting step for determining application conditions of the plurality of second nozzles to the second cell;
A second calculation step of obtaining a difference between a total amount of the plurality of second nozzles applied to the second cell and a target amount applied to the second cell;
A second adjustment step of increasing or decreasing the coating amount so that the difference is eliminated in one second nozzle among the plurality of second nozzles applied to the two cells;
The method for producing an organic EL display panel according to claim 1, further comprising:
前記第2セルへの前記複数の第2ノズルによる塗布量の合計と、前記第2セルへの目的の塗布量との差を求める第2計算工程は含まず、
前記2セルへ塗布する複数の前記第2ノズルのうち、1つの前記第2ノズルにおいて、前記差が無くなるように塗布量を増減させる第2調整工程は含まない、
請求項1記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。 A second condition setting step for determining application conditions of the plurality of second nozzles to the second cell,
The second calculation step for obtaining the difference between the total amount of application by the plurality of second nozzles to the second cell and the target application amount to the second cell is not included,
Of the plurality of second nozzles applied to the two cells, one second nozzle does not include a second adjustment step for increasing or decreasing the application amount so that the difference is eliminated.
The manufacturing method of the organic electroluminescent display panel of Claim 1.
1つの前記第1セルへ前記インクを塗布する前記複数の第1ノズルの内、前記第1セルの端部部分へインクを塗布する前記第1ノズルのインク塗布量を減らす、または、
1つの前記第1セルへ前記インクを塗布する前記複数の第1ノズルの内、前記第1セルの中央部分へインクを塗布する前記第1ノズルの前記インク塗布量を増やす、
請求項1記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。 In the first adjustment step of increasing or decreasing the coating amount,
Reducing the amount of ink applied to the first nozzle that applies ink to the end portion of the first cell among the plurality of first nozzles that apply the ink to one first cell; or
Increasing the ink application amount of the first nozzle that applies ink to the central portion of the first cell among the plurality of first nozzles that apply the ink to one first cell;
The manufacturing method of the organic electroluminescent display panel of Claim 1.
前記第1セルの端部部分とは、前記第1セルのうち、前記第1セルの中央部分以外である請求項4記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。 The central portion of the first cell is a half region from the central position of the first cell to the end of the first cell;
5. The method of manufacturing an organic EL display panel according to claim 4, wherein the end portion of the first cell is a portion other than a central portion of the first cell in the first cell.
1つの前記第1セルへ前記インクを塗布する前記複数の第1ノズルのインク塗布回数を増やす請求項1記載の有機ELディスプレイパネルの製造方法。 In the first adjustment step of increasing or decreasing the coating amount,
The method for manufacturing an organic EL display panel according to claim 1, wherein the number of times of ink application of the plurality of first nozzles that apply the ink to one of the first cells is increased.
前記第1パネルの1つの第1セルへ塗布する複数の第1ノズルと、前記第2パネルの1つの第2セルへ塗布する複数の第2ノズルと、を含む1つのインクジェットヘッドと、を含むインク塗布装置であって、
前記第1セルへの前記複数の第1ノズルの塗布条件を決める第1条件設定部と、
前記第1セルへの前記複数の第1ノズルによる塗布量の合計と、前記第1セルへの目的の塗布量との差を求める第1計算部と、
前記1セルへ塗布する複数の前記第1ノズルのうち、1つの前記第1ノズルにおいて、前記差が無くなるように塗布量を増減させる第1調整部と、を含む有機ELディスプレイパネルの製造装置。
Unlike the first panel, a first panel along one direction, and a holding unit that holds one glass substrate having a second panel along the other direction;
One inkjet head including a plurality of first nozzles that apply to one first cell of the first panel and a plurality of second nozzles that apply to one second cell of the second panel. An ink application device,
A first condition setting unit for determining application conditions of the plurality of first nozzles to the first cell;
A first calculation unit for obtaining a difference between a total amount of application by the plurality of first nozzles to the first cell and a target application amount to the first cell;
An apparatus for manufacturing an organic EL display panel, comprising: a first adjustment unit that increases or decreases a coating amount so as to eliminate the difference in one of the plurality of first nozzles applied to the one cell.
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