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JP2015220295A - パワーモジュール及びその製造方法 - Google Patents

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JP2015220295A JP2014101685A JP2014101685A JP2015220295A JP 2015220295 A JP2015220295 A JP 2015220295A JP 2014101685 A JP2014101685 A JP 2014101685A JP 2014101685 A JP2014101685 A JP 2014101685A JP 2015220295 A JP2015220295 A JP 2015220295A
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純司 藤野
三紀夫 石原
Mikio Ishihara
三紀夫 石原
大輔 村田
Daisuke Murata
大輔 村田
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Abstract

【課題】製品信頼性を従来に比べて向上可能なパワーモジュール、及びその製造方法を提供する。
【解決手段】パワー半導体素子21,22を導体層13に接合した絶縁基板11と、絶縁基板を収納するケース51と、ケース内側に充填されパワー半導体素子、導体層、及び絶縁基板を封止する封止樹脂31とを有するパワーモジュールであって、絶縁基板の周縁部に対応したアンカー領域11aにアンカー部材110を設けた。
【選択図】図1

Description

本発明は、パワーモジュール及びその製造方法に関する。
産業機器から家電あるいは情報端末まで、あらゆる製品にパワーモジュールが普及しつつある。また家電に搭載されるパワーモジュールについては、小型軽量化とともに多品種に対応できる高い生産性及び高い信頼性が求められる。
さらにまた、動作温度が高く、効率に優れている点で今後の主流となる可能性の高いSiC半導体に適用できるパッケージ形態であることも、パワーモジュールに併せて求められている。
日本国特許第4832486号
パワーモジュールは、高電圧及び大電流を扱うため発熱が大きいことから、効率的に排熱する目的で熱伝導率に優れたセラミック基板を絶縁基板として用いる場合が多い。またパワーモジュールは、パワー半導体素子の保護及び回路の絶縁を目的として樹脂封止を行う場合が多い。よって封止樹脂の硬化収縮及び温度サイクルによる熱応力により、封止樹脂とセラミック基板との界面での剥離あるいはクラック発生が、長期信頼性を確保する上での課題となる場合がある。
上記特許文献1では、リードフレームなどの金属板に対してプラズマ照射を行うことにより、その表面に微細な開口部を形成して封止樹脂との密着性を改善する方法が提案されている。しかしながら、絶縁性が高く、かつ膨張係数を小さく調整した封止樹脂には、シリカなどのフィラーが混合されている場合が多い。このフィラーのサイズが微細な開口部よりも大きい場合もあり、開口部にフィラーが浸透しにくく、その結果、アンカー効果が得にくいという問題があった。
本発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、製品信頼性を従来に比べて向上可能なパワーモジュール、及びその製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明は以下のように構成する。
即ち、本発明の一態様におけるパワーモジュールは、導体層が形成されパワー半導体素子を上記導体層に接合した絶縁基板と、この絶縁基板を収納するケースと、このケース内側に充填され上記パワー半導体素子、上記導体層、及び上記絶縁基板を封止する封止樹脂とを有するパワーモジュールであって、上記絶縁基板の周縁部に対応したアンカー領域にアンカー部材を備えたことを特徴とする。
本発明の一態様におけるパワーモジュールによれば、封止樹脂の硬化収縮及び熱応力が発生しやすい絶縁基板の周縁部に対応したアンカー領域にアンカー部材を備えたことで、封止樹脂と絶縁基板の周縁部との接合度を従来に比べて増すことができる。したがって、絶縁基板と封止樹脂との界面で生じやすい剥離を抑制することが可能となる。その結果、従来に比べて製品信頼性を向上させることができ、また、製品の長寿命化及び歩留まりの向上を図ることも可能となる。
本発明の実施の形態1におけるパワーモジュールの一例を示す断面図である。 図1に示すパワーモジュールの平面図である。 (a)〜(e)は図1に示すパワーモジュールの製造方法を説明するための図である。 図1に示すパワーモジュールの変形例でトランスファモールドにて作製した場合の断面図である。 本発明の実施の形態2におけるパワーモジュールの一例を示す断面図である。 本発明の実施の形態3におけるパワーモジュールの一例を示す断面図である。
本発明の実施形態であるパワーモジュール及びその製造方法について、図を参照しながら以下に説明する。尚、各図において、同一又は同様の構成部分については同じ符号を付している。また、以下の説明が不必要に冗長になるのを避け当業者の理解を容易にするため、既によく知られた事項の詳細説明及び実質的に同一の構成に対する重複説明を省略する場合がある。また、以下の説明及び添付図面の内容は、特許請求の範囲に記載の主題を限定することを意図するものではない。
また、以下ではパワーモジュールに限定して説明を行う。これは高い発熱性に起因する課題を解決するために以下に説明する各構成が特にパワーモジュールに有効であるからである。しかしながら、以下に説明する各構成は、パワー半導体素子ではない通常の半導体素子を封止した半導体モジュールにも適用可能である。
実施の形態1.
図1には、本発明の実施の形態1によるパワーモジュール101の概念図が示されている。また図2は、パワーモジュール101の平面図であり、構成を明示するため封止樹脂31の充填前の状態を示している。
パワーモジュール101は、基本的構成部分として、絶縁基板11と、ケース51と、封止樹脂31とを有し、さらに特徴的構成部分としてアンカー部材110を有する。
絶縁基板11の表、裏主面には銅製の導体層12、13が形成され、裏面の導体層13には、パワー半導体素子21,22が例えばはんだ接合される。ケース51は、絶縁基板11を収納可能な樹脂製の枠体で構成され、パワー半導体素子21,22と電気的に接続可能となる電極61及び端子62がインサートモールドされている。
アンカー部材110は、絶縁基板11の周縁部に対応したアンカー領域11aに形成され、封止樹脂31の硬化収縮及び熱応力が発生しやすい絶縁基板の周縁部と、封止樹脂31との接合度を増すための部材である。本実施の形態1では、後述の製造方法で述べるように、アンカー領域11aに相当する、導体層13の外周部13aを、引き起こして絶縁基板11の周縁部側へ傾けて作製した、かえり部111がアンカー部材110に相当する。
封止樹脂31は、ケース51内に充填される樹脂材であり、ケース51内に収納した絶縁基板11、収納された絶縁基板11に実装されているパワー半導体素子21,22、及び絶縁基板11に形成したアンカー部材110、並びに、パワー半導体素子21,22に電気的に接続した電極61及び端子62を封止する。
以上説明したような構成を有する本実施の形態1のパワーモジュール101の製造方法について説明する。
図3の(a)に示すように、まず絶縁基板11を準備する。本実施の形態1では、絶縁基板11は、AlN製のセラミック基板であり、一例として40mm×25mm×厚さ0.635mのサイズである。このような絶縁基板11の表、裏主面には、一例として厚さ0.4mmの銅製の導体層12、13が形成される。ここで、アンカー領域11aに対応した、導体層13の外周部13aのみは、アンカー部材110、本実施の形態1では、かえり部111を作製するために0.6mmの厚さに形成されている。
次に、図3の(b)に示すように、プレス金型14を用いて、導体層13の外周部13aを引き起こして絶縁基板11の周縁部側へ傾けて、アンカー部材110つまり、かえり部111を形成する。
次に、図3の(c)に示すように、絶縁基板11の裏面の導体層13に、パワー半導体素子21,22を例えばはんだ接合(はんだダイボンド)する。本実施の形態1では、パワー半導体素子21は例えばダイオードであり、一例として15mm×15mm×厚さ0.3mmのサイズである。パワー半導体素子22は、例えばIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)である。
次に、図3の(d)に示すように、ケース51が接着剤52を用いて固定され、隙間を埋めることでダイレクトポッティング封止樹脂31の漏れを防止している。本実施の形態1では、ケース51はPPS樹脂製で、一例として48mm×28mm×高さ12mmのサイズであり、接着剤52はシリコーン製である。また、ケース51には主端子61がインサートモールドされており、パワー半導体素子21,22等におけるソース電極及びドレイン電極など大電流が流れる電極と、例えばはんだにて電気的に接続される。また、ケース51の外周部には、ネジ止め電極65(図2)が形成されている。
主端子61(主端子61a、61bの総称)は、図2に示すように2つ配置される。一つの主端子61aの一端は、パワー半導体素子21(ダイオード)における主回路電極21a、及びパワー半導体素子22(IGBT)におけるソース電極22aとそれぞれはんだ3で接続される。主端子61aの他端は、一方のネジ止め電極65を形成している。もう一つの主端子61bの一端は、絶縁基板11の導体層13に直接はんだ付けされ、パワー半導体素子21,22のドレイン電極と接続される。主端子61bの他端は、他方のネジ止め電極65を形成している。
次に、図3の(e)に示すように、ケース51に形成した信号端子62は、IGBTであるパワー半導体素子22の制御端子22b(図2参照)に相当するゲート電極、温度センサー電極などとワイヤ63でそれぞれ電気的に接続する。本実施の形態1では、信号端子62は幅1.5mmのサイズであり、ワイヤ63はアルミ製でφ0.15mmのサイズである。
最後に、図1に示すように、ダイレクトポッティング封止樹脂31を60℃に加熱した状態で、ケース51内に流し込み、真空脱泡して、加熱して硬化させて封止を完了する。ここでの加熱は、一例として100℃で1.5時間行い、その後、140℃で1.5時間行う。このようにして、パワーモジュール101が完成する。
以上説明したパワーモジュール101では、従来と同様に、製造時における封止樹脂31の硬化収縮、及び、動作中においてパワー半導体素子21,22が発する熱により、特に、絶縁基板11の周縁部には、繰り返し熱応力が作用する。しかしながら、本実施の形態1のパワーモジュール101では、その絶縁基板11の周縁部に対応したアンカー領域11aにアンカー部材110を備えたことで、封止樹脂31と絶縁基板11の周縁部との接合度を増すことができる。したがって、絶縁基板11と封止樹脂31との界面で生じやすい剥離を抑制することが可能となる。その結果、従来に比べて製品信頼性を向上させることができ、また、製品の長寿命化及び歩留まりの向上を図ることも可能となる。
上述のパワーモジュール101における構成部分に対する変形例に関して以下に説明する。
[変形例]
上述の説明では、絶縁基板11はセラミック基板であり、その材料としてAlNを用いているが、アルミナ及あるいはSiNなどのセラミック材料でも同様の効果が得られる。さらに放熱性を考慮する必要があまりない場合には、ガラスエポキシ基板などを用いることも可能である。
また、ケース51の材料としてPPSを用いているが、LCP(液晶ポリマー)を用いても同様の効果が得られる。
また、パワーモジュール101では、パワー半導体素子21(ダイオード)とパワー半導体素子22(IGBT)とが一対で1in1のモジュール構成であるが、二対で2in1、あるいは6対で6in1のモジュール構成であっても、主端子となる金属板上に信号端子を配置することで同様の効果が得られる。
また、上述の構成では、パワー半導体素子21,22の主端子回路形成に対して板状の主端子61を用いてはんだ付けを行ったが、銅製ワイヤあるいはアルミ被服銅ワイヤ、または金ワイヤあるいはリボンボンドを用いる、あるいは金属板を超音波接合するバスバーなどを用いても、同様の効果が得られる。
また、ダイレクトポッティング封止樹脂31について、流し込んで常温硬化させる種類のものでも同様の効果が得られる。
また、パワー半導体素子21,22と絶縁基板11との接続、及び主端子61とパワー半導体素子21,22との接続に、はんだを用いたが、Agフィラーをエポキシ樹脂に分散させた導電性接着剤、又はナノ粒子を低温焼成させるAgナノパウダ、あるいはCuナノパウダなどを用いても同様の効果が得られる。
また、図4に示すように、ケース51を用いずに、金型を用いてトランスファモールド封止樹脂35によって封止するトランスファモールドパッケージにおいても、アンカー領域11aによって信頼性の向上が期待できる。
実施の形態2.
図5には、実施の形態2によるパワーモジュール102の概念図を示している。
アンカー部材110として、上述した実施の形態1におけるパワーモジュール101では、絶縁基板11に設けている導電層13を利用して作製する形態を示した。本実施の形態2のパワーモジュール102では、上述のアンカー領域11aに相当した、導電層13の外周部13aに、別途、金属片112を接合することでアンカー部材110を構成する。
このような構造であることから、実施の形態1におけるパワーモジュール101では導電層13の外周部13aは厚肉に形成したのに対し本パワーモジュール102では、導電層13の外周部13aを厚肉にする必要はなく、導電層13は、その全体が均一な厚さで形成されている。
また金属片112は、封止樹脂31との係合性を向上させるため図5に示すように、金属片112の一端部は、導電層13の外周部13aの端面を超えて導電層13の外周側へ突出して配置させる、つまりオーバーハングさせるのがよい。
その他の構成は、上述した実施の形態1におけるパワーモジュール101の構成と変わる部分はなく、ここでの説明を省略する。よって以下には、金属片112の形成に関する工程について説明を行う。
実施の形態1にて説明したように、絶縁基板11に導電層12,13を形成した後、パワー半導体素子21,22を接合する前に、導体層13の外周部13aに金属片112を超音波接合によって、オーバーハング部を形成するように接合する。本実施の形態2では、金属片112はアルミニウム製で、幅2mm、厚さ1mm、奥行き18mmのサイズである。
以後、実施の形態1において図3の(c)から(e)を参照して説明した工程、並びにダイレクトポッティング封止樹脂31の流入、加熱及び硬化の上述した工程が順次行われ、図5に示す本実施の形態2におけるパワーモジュール102が完成する。
以上説明したパワーモジュール102においても、実施の形態1におけるパワーモジュール101と同様に、絶縁基板11の周縁部に対応したアンカー領域11aにアンカー部材110つまり金属片112を備えたことで、封止樹脂31と絶縁基板11の周縁部との接合度を増すことができる。したがって、絶縁基板11と封止樹脂31との界面で生じやすい剥離を抑制することが可能となる。その結果、従来に比べて製品信頼性を向上させることができ、また、製品の長寿命化及び歩留まりの向上を図ることも可能となる。
また、実施の形態1における[変形例]欄に記載した、パワーモジュールの各構成部分に対する変形例に関する説明は、本実施の形態2におけるパワーモジュール102に対しても適用可能である。
実施の形態3.
図6には、実施の形態3によるパワーモジュール103の概念図を示している。
上述した実施の形態1、2では、絶縁基板11に設けている導電層13を利用してアンカー部材110を形成する形態を示した。一方、本実施の形態3のパワーモジュール103では、上述のケース51に直接又は間接に保持される一端と、上述のアンカー領域11aに相当する、絶縁基板11の周縁部に接合する他端とを有する連結片113及び連結片114の少なくとも一方をアンカー部材110として用いる。以下に詳しく説明する。
アンカー部材110を構成する連結片113について説明を行う。
連結片113は、図6において左側に示すように、本実施の形態3では一例として金属製の端子形状物から形成される。その一端113aは、主端子61aから分岐した分岐部分に相当する。実施の形態1にて説明したように、主端子61aは、ケース51にインサートモールドされていることから、連結片113の一端113aは、ケース51に間接的に保持される。連結片113の他端113bは、絶縁基板11に形成した導体層15に例えばはんだ接合される。この導体層15は、アンカー領域11aに相当する、絶縁基板11の周縁部に、導電層13とは独立して、つまり導電層13と電気的に導通することなく、形成される。
図6では、左側に連結片113を設け、右側に連結片114を設けた構成を図示するが、連結可能な主端子(電極等)がパワーモジュール103の右側にも存在する形態であれば、連結片114に代えて連結片113を設けて左右両側に連結片113を設置してもよい。
また本実施の形態3では、主端子61aに接続する形態であることから連結片113は金属製である。しかしながら、製造時における封止樹脂31の硬化収縮、及び、動作中においてパワー半導体素子21,22が発する熱により、絶縁基板11の周縁部に作用する熱応力に対して十分に耐え得る接合力が得られる場合には、連結片113は金属製でなくてもよい。尚、連結片113が非金属製である場合には、導電層15を設ける必要はなくなる。非金属製の連結片113は、接着剤等で主端子61a及び絶縁基板11と固定されることになる。
次に、アンカー部材110を構成する連結片114について説明を行う。
連結片114は、図6において右側に示すように、本実施の形態3では一例として金属製の端子形状物から形成される。その一端114aは、ケース51に突入しケース51に直接、保持される。連結片114の他端114bは、上述した導体層15に例えばはんだ接合される。
また連結片114においても連結片113の場合と同様に、図6において、連結片113に代えて連結片114を設けて左右両側に連結片114を設置してもよい。
また連結片114においても金属製である必要はない。
以上説明したパワーモジュール103においても、実施の形態1におけるパワーモジュール101と同様に、絶縁基板11の周縁部に対応したアンカー領域11aにアンカー部材110つまり連結片113及び連結片114の少なくとも一方を備えたことで、封止樹脂31と絶縁基板11の周縁部との接合度を増すことができる。特に本パワーモジュール103では、パワーモジュール101,102と比べると、主端子61aあるいはケース51と連結片113及び連結片114との間に封止樹脂31が回り込むスペースを形成しており、アンカー部材110におけるオーバーハングサイズがより大きくなると考えられる。よって、ケース51に対する封止樹脂31の固定をより確実なものにすることができ、絶縁基板11と封止樹脂31との接合度をより増すことができる。したがって、絶縁基板11と封止樹脂31との界面で生じやすい剥離を抑制することが可能となる。その結果、従来に比べて製品信頼性を向上させることができ、また、製品の長寿命化及び歩留まりの向上を図ることも可能となる。
また、実施の形態1における[変形例]欄に記載した、パワーモジュールの各構成部分に対する変形例に関する説明は、本実施の形態3におけるパワーモジュール103に対しても適用可能である。
11 絶縁基板、11a アンカー領域、12,13 導体層、
21,22 パワー半導体素子、31 封止樹脂、51 ケース、
101〜103 パワーモジュール、110 アンカー部材、
111 かえり部、112 金属片、113,114 連結片。

Claims (7)

  1. 導体層が形成されパワー半導体素子を上記導体層に接合した絶縁基板と、この絶縁基板を収納するケースと、このケース内側に充填され上記パワー半導体素子、上記導体層、及び上記絶縁基板を封止する封止樹脂とを有するパワーモジュールであって、
    上記絶縁基板の周縁部に対応したアンカー領域にアンカー部材を備えたことを特徴とするパワーモジュール。
  2. 上記アンカー部材は、上記アンカー領域に相当した、上記導体層の外周部を引き起こし上記絶縁基板の周縁部側へ傾けたかえり部である、請求項1に記載のパワーモジュール。
  3. 上記アンカー部材は、上記アンカー領域に相当した、上記導体層の外周部に接合した金属片である、請求項1に記載のパワーモジュール。
  4. 上記アンカー部材は、上記ケースに直接又は間接に保持される一端と、上記アンカー領域に接合する他端とを有する連結片である、請求項1に記載のパワーモジュール。
  5. 上記一端は、上記ケース内を延在する電極から分岐した分岐部分に相当する、請求項4に記載のパワーモジュール。
  6. 上記一端は、上記ケース内に終端し保持される保持部分に相当する、請求項4に記載のパワーモジュール。
  7. パワー半導体素子を導体層に接合した絶縁基板が収納されたケース内に封止樹脂を充填して形成されるパワーモジュールの製造方法であって、
    上記絶縁基板に上記導体層を形成した後、上記パワー半導体素子の接合前に、上記絶縁基板の周縁部に対応したアンカー領域にアンカー部材を形成することを備えたことを特徴とするパワーモジュールの製造方法。
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