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JP2015125109A - Laser radar and beam irradiation device - Google Patents

Laser radar and beam irradiation device Download PDF

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Publication number
JP2015125109A
JP2015125109A JP2013271429A JP2013271429A JP2015125109A JP 2015125109 A JP2015125109 A JP 2015125109A JP 2013271429 A JP2013271429 A JP 2013271429A JP 2013271429 A JP2013271429 A JP 2013271429A JP 2015125109 A JP2015125109 A JP 2015125109A
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JP
Japan
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mirror
laser
light
laser radar
reflected
Prior art date
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Pending
Application number
JP2013271429A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
健一郎 川渕
Kenichiro Kawabuchi
健一郎 川渕
山口 淳
Atsushi Yamaguchi
山口  淳
加納 康行
Yasuyuki Kano
康行 加納
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
Original Assignee
Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
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Publication date
Application filed by Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd filed Critical Panasonic Intellectual Property Management Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a laser radar capable of scanning a laser beam over a wide range and a beam irradiation device mounted in the laser radar.SOLUTION: A laser radar comprises: a mirror actuator 1 for rotating a mirror 141; an emission unit 310 for inputting to the mirror 141, a plurality of laser beams from angles different in a rotation direction of the mirror 141; light receiving units 340, 350 for receiving the reflected light of the plurality of laser beams from a target area; and a DSP for detecting an object in the target area on the basis of output from the light receiving units 340, 350. Thus, since the plurality of laser beams are inputted to the mirror 141 from angles different in the rotation direction of the mirror 141, the target area can be scanned with the laser beams in a significantly wider range of angles than scanning angles corresponding to a rotated angle of the mirror 141.

Description

本発明は、目標領域にレーザ光を照射したときの反射光をもとに目標領域の状況を検出するレーザレーダ、および当該レーザレーダに用いて好適なビーム照射装置に関する。   The present invention relates to a laser radar that detects the state of a target area based on reflected light when the target area is irradiated with laser light, and a beam irradiation apparatus suitable for use in the laser radar.

近年、建物への侵入検知等のセキュリティ用途として、レーザレーダが用いられている。一般に、レーダレーダは、レーザ光を目標領域内でスキャンさせ、各スキャン位置における反射光の有無から、各スキャン位置における物体の有無を検出する。さらに、各スキャン位置におけるレーザ光の照射タイミングから反射光の受光タイミングまでの所要時間をもとに、各スキャン位置における物体までの距離が検出される(特許文献1)。   In recent years, laser radar has been used for security purposes such as intrusion detection into buildings. In general, radar radar scans a laser beam within a target area, and detects the presence or absence of an object at each scan position from the presence or absence of reflected light at each scan position. Further, the distance to the object at each scan position is detected based on the required time from the laser light irradiation timing at each scan position to the reflected light reception timing (Patent Document 1).

目標領域においてレーザ光を走査させるためのアクチュエータとして、たとえば、2つの軸を回動軸としてミラーを回動させるジンバル方式のミラーアクチュエータを用いることができる。このミラーアクチュエータを用いる場合、レーザ光は、斜め方向からミラーに入射される。2つの軸を回動軸としてミラーが水平方向と鉛直方向に回動されると、目標領域内においてレーザ光が水平方向と鉛直方向に振られる。   As an actuator for scanning a laser beam in a target area, for example, a gimbal mirror actuator that rotates a mirror about two axes as rotation axes can be used. When this mirror actuator is used, the laser light is incident on the mirror from an oblique direction. When the mirror is rotated in the horizontal direction and the vertical direction using the two axes as rotation axes, the laser light is oscillated in the horizontal direction and the vertical direction in the target area.

特開2009−14698号公報JP 2009-14698 A

上記のミラーアクチュエータでは、レーザ光が目標領域を走査可能な範囲は、ミラーアクチュエータのミラーを回動させることが可能な角度に依存する。ミラーを回動させることが可能な角度は、ミラーアクチュエータの構造に応じて、所定の角度範囲までに制限される。   In the above mirror actuator, the range in which the laser beam can scan the target area depends on the angle at which the mirror of the mirror actuator can be rotated. The angle at which the mirror can be rotated is limited to a predetermined angle range depending on the structure of the mirror actuator.

本発明は、かかる課題に鑑みて為されたものあり、広範囲にレーザ光を走査可能なレーザレーダおよび当該レーザレーダに搭載されるビーム照射装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such problems, and an object thereof is to provide a laser radar capable of scanning a laser beam over a wide range and a beam irradiation device mounted on the laser radar.

本発明の第1の局面はレーザレーダに関する。第1の局面に係るレーザレーダは、ミラーを回動させるミラーアクチュエータと、前記ミラーの回動方向において異なる角度から複数のレーザ光を前記ミラーに入射させる出射部と、目標領域からの前記複数のレーザ光の反射光を受光する受光部と、前記受光部からの出力に基づき前記目標領域における物体を検出する検出部と、を備える。   The first aspect of the present invention relates to a laser radar. A laser radar according to a first aspect includes a mirror actuator that rotates a mirror, an emission unit that makes a plurality of laser beams incident on the mirror from different angles in the rotation direction of the mirror, and the plurality of laser beams from a target area. A light receiving unit that receives reflected light of the laser beam, and a detection unit that detects an object in the target area based on an output from the light receiving unit.

本発明の第2の局面はビーム照射装置に関する。第2の局面に係るビーム照射装置は、ミラーを回動させるミラーアクチュエータと、前記ミラーの回動方向において異なる角度から複数のレーザ光を前記ミラーに入射させる出射部と、を備える。   The second aspect of the present invention relates to a beam irradiation apparatus. A beam irradiation apparatus according to a second aspect includes a mirror actuator that rotates a mirror and an emission unit that causes a plurality of laser beams to enter the mirror from different angles in the rotation direction of the mirror.

本発明によれば、広範囲にレーザ光を走査可能なレーザレーダおよび当該レーザレーダに搭載されるビーム照射装置を提供することができる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the laser radar which can scan a laser beam over a wide range, and the beam irradiation apparatus mounted in the said laser radar can be provided.

本発明の効果ないし意義は、以下に示す実施の形態の説明により更に明らかとなろう。ただし、以下に示す実施の形態は、あくまでも、本発明を実施化する際の一つの例示であって、本発明は、以下の実施の形態に記載されたものに何ら制限されるものではない。   The effects and significance of the present invention will become more apparent from the following description of embodiments. However, the embodiment described below is merely an example when the present invention is implemented, and the present invention is not limited to what is described in the following embodiment.

実施の形態に係るミラーアクチュエータの分解斜視図を示す図である。It is a figure which shows the disassembled perspective view of the mirror actuator which concerns on embodiment. 実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。It is a figure which shows the assembly process of the mirror actuator which concerns on embodiment. 実施の形態に係るミラーアクチュエータの組立過程を示す図である。It is a figure which shows the assembly process of the mirror actuator which concerns on embodiment. 実施の形態に係るミラーアクチュエータの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the mirror actuator which concerns on embodiment. 実施の形態に係るレーザレーダの構成を示す図である。It is a figure which shows the structure of the laser radar which concerns on embodiment. 実施の形態に係るレーザ光の出射光と反射光の光路を示す図である。It is a figure which shows the optical path of the emitted light and reflected light of the laser beam which concerns on embodiment. 実施の形態に係るミラーのミラー面に入射するレーザ光の出射領域と目標領域から反射された光が受光部に受光される受光領域を示す図である。It is a figure which shows the light reception area | region where the light reflected from the emission area | region of the laser beam which injects into the mirror surface of the mirror which concerns on embodiment, and a target area | region is received by a light-receiving part. 実施の形態に係るレーザ光の走査範囲を示す図である。It is a figure which shows the scanning range of the laser beam which concerns on embodiment. 比較例に係るレーザ光の走査範囲を示す図である。It is a figure which shows the scanning range of the laser beam which concerns on a comparative example. 実施の形態および比較例に係るミラーのミラー面に対するレーザ光の出射角度を示すグラフである。It is a graph which shows the emitting angle of the laser beam with respect to the mirror surface of the mirror concerning embodiment and a comparative example. 実施の形態に係るサーボ光学系の構成および作用を説明する図である。It is a figure explaining the structure and effect | action of the servo optical system which concerns on embodiment. 実施の形態に係るレーザレーダの回路構成を示す図である。It is a figure which shows the circuit structure of the laser radar which concerns on embodiment. 変更例1に係るレーザレーダの光学系を示す図である。It is a figure which shows the optical system of the laser radar which concerns on the example 1 of a change. 変更例2に係るレーザレーダの光学系を示す図である。It is a figure which shows the optical system of the laser radar which concerns on the example 2 of a change. 変更例3、4に係るミラーのミラー面に入射するレーザ光の出射領域と目標領域から反射された光が受光部に受光される受光領域を示す図である。It is a figure which shows the light reception area | region by which the light reflected from the emission area | region of the laser beam which injects into the mirror surface of the mirror which concerns on the modification examples 3 and 4 and the target area | region is received by a light-receiving part.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照して説明する。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

図1は、ミラーアクチュエータ1の分解斜視図である。図示の如く、ミラーアクチュエータ1は、インナーユニット10と、アウターユニット20とを備えている。   FIG. 1 is an exploded perspective view of the mirror actuator 1. As illustrated, the mirror actuator 1 includes an inner unit 10 and an outer unit 20.

図2は、ミラーアクチュエータ1のインナーユニット10を上側から見た一部分解斜視図である。なお、図2では、一部の部材が既に組付けられた状態が示されている。   FIG. 2 is a partially exploded perspective view of the inner unit 10 of the mirror actuator 1 as viewed from above. FIG. 2 shows a state in which some members are already assembled.

図2を参照して、インナーユニット10は、フレーム11と、パンシャフト12と、LED13と、ミラーユニット14と、パンコイルユニット15と、パンマグネットユニット16と、チルトマグネットユニット17、18と、ワイヤー19a〜19dとを備えている。   Referring to FIG. 2, the inner unit 10 includes a frame 11, a pan shaft 12, an LED 13, a mirror unit 14, a pan coil unit 15, a pan magnet unit 16, tilt magnet units 17, 18 and wires. 19a to 19d.

フレーム11は、パンシャフト12を回動可能に支持する枠部材である。パンシャフト12は、ミラー141をPan方向に回動させる回動軸である。LED13は、走査用のレーザ光の目標領域内での走査位置を検出するための拡散光(サーボ光)を出射する。LED13は、パンシャフト12の後側に取り付けられている。   The frame 11 is a frame member that rotatably supports the pan shaft 12. The pan shaft 12 is a rotation shaft that rotates the mirror 141 in the Pan direction. The LED 13 emits diffused light (servo light) for detecting the scanning position within the target region of the scanning laser light. The LED 13 is attached to the rear side of the pan shaft 12.

ミラーユニット14は、ミラー141と、ミラーホルダ142を備えている。ミラー141は、反射面がミラーホルダ142により、パンシャフト12の軸方向から所定の角度だけ前方向に傾いている。   The mirror unit 14 includes a mirror 141 and a mirror holder 142. The reflection surface of the mirror 141 is inclined forward by a predetermined angle from the axial direction of the pan shaft 12 by the mirror holder 142.

パンコイルユニット15は、パンコイル151と、ホルダ152と、ヨーク153と、ワイヤー固定基板154を備えている。   The pan coil unit 15 includes a pan coil 151, a holder 152, a yoke 153, and a wire fixing substrate 154.

ホルダ152の下部には、4つのパンコイル151が扇形に巻回されて固着されている。また、ホルダ152とワイヤー固定基板154の隅には、それぞれ、ワイヤー19a〜19dを通すための孔が形成されている。ワイヤー固定基板154の上面には、パンコイル151およびLED13に電流を供給するための導線が接続される端子とワイヤー19a〜19dおよびワイヤー28a〜28dに電流を供給するための回路パターンが配されている。ホルダ152の上面には、ヨーク153とワイヤー固定基板154が接着固定される。   Four pan coils 151 are wound in a fan shape and fixed to the lower portion of the holder 152. In addition, holes for passing the wires 19a to 19d are formed in the corners of the holder 152 and the wire fixing substrate 154, respectively. On the upper surface of the wire fixing substrate 154, a terminal to which a lead wire for supplying current to the pan coil 151 and the LED 13 is connected and a circuit pattern for supplying current to the wires 19a to 19d and wires 28a to 28d are arranged. . A yoke 153 and a wire fixing substrate 154 are bonded and fixed to the upper surface of the holder 152.

パンマグネットユニット16は、パンマグネット161と、ホルダ162を備えている。チルトマグネットユニット17、18は、それぞれ、チルトマグネット171、181とホルダ172、182を備えている。   The pan magnet unit 16 includes a pan magnet 161 and a holder 162. The tilt magnet units 17 and 18 include tilt magnets 171 and 181 and holders 172 and 182, respectively.

ワイヤー19a〜19dは、線状の弾性部材である。ワイヤー19a〜19dは、たとえば、りん青銅、ベリリウム銅等からなり、導電性に優れ、ばね性を有する。ワイヤー19a〜19dは、互いに同じ形状および特性を持ち、パンコイル151とLED13への電流供給と、ミラー141のPan方向の回動時において、ミラー141に安定した抗力を与えるために用いられる。なお、ワイヤー19a〜19dは、長手方向に力が加えられたとしても、略伸縮することはない。   The wires 19a to 19d are linear elastic members. The wires 19a to 19d are made of, for example, phosphor bronze, beryllium copper, etc., and have excellent conductivity and spring properties. The wires 19a to 19d have the same shape and characteristics as each other, and are used to supply a stable drag to the mirror 141 when supplying current to the pan coil 151 and the LED 13 and rotating the mirror 141 in the Pan direction. Note that the wires 19a to 19d do not substantially expand or contract even when a force is applied in the longitudinal direction.

ワイヤー固定基板191、192は、それぞれ、ガラスエポキシ樹脂等からなる薄板状の回路基板であり、可撓性を有している。ワイヤー固定基板191、192には、それぞれ、ワイヤー19a〜19dを通すための端子穴が形成されている。また、ワイヤー固定基板191、192には、それぞれ、ワイヤー19a〜19dに電流を供給するための回路パターンが配されている。   The wire fixing substrates 191 and 192 are thin circuit boards made of glass epoxy resin or the like, and have flexibility. Terminal holes for passing the wires 19a to 19d are formed in the wire fixing substrates 191 and 192, respectively. Further, circuit patterns for supplying current to the wires 19a to 19d are arranged on the wire fixing substrates 191 and 192, respectively.

パンシャフト12と、LED13と、ミラーユニット14と、パンコイルユニット15と、パンマグネットユニット16と、チルトマグネットユニット17、18と、ワイヤー19a〜19dと、ワイヤー固定基板191、192が、フレーム11に組付けられることにより、インナーユニット10が完成する。   The pan shaft 12, the LED 13, the mirror unit 14, the pan coil unit 15, the pan magnet unit 16, the tilt magnet units 17 and 18, the wires 19 a to 19 d, and the wire fixing substrates 191 and 192 are attached to the frame 11. By being assembled, the inner unit 10 is completed.

図3(a)、3(b)は、それぞれ、組み立てられたインナーユニット10を前側および後側から見た斜視図である。この状態で、ミラー141は、パンシャフト12を軸としてPan方向に回動可能となる。なお、パンコイルユニット15は、ミラー141のPan方向の回動に伴って、Pan方向に回動する。他方、ワイヤー固定基板191、192は、インナーユニット10の下面に固着されているため、ミラー141のPan方向の回動に伴って、Pan方向に回動しない。   FIGS. 3A and 3B are perspective views of the assembled inner unit 10 as viewed from the front side and the rear side, respectively. In this state, the mirror 141 can be rotated in the Pan direction about the pan shaft 12. The pan coil unit 15 rotates in the Pan direction as the mirror 141 rotates in the Pan direction. On the other hand, since the wire fixing substrates 191 and 192 are fixed to the lower surface of the inner unit 10, they do not rotate in the Pan direction as the mirror 141 rotates in the Pan direction.

図1に戻り、アウターユニット20は、フレーム21と、チルトコイルユニット22、23と、サーボユニット24と、チルトシャフト25、26と、2つのマグネット27と、ワイヤー28a〜28dとを備えている。   Returning to FIG. 1, the outer unit 20 includes a frame 21, tilt coil units 22 and 23, a servo unit 24, tilt shafts 25 and 26, two magnets 27, and wires 28 a to 28 d.

フレーム21は、前方が開いた枠部材からなっている。フレーム21の左右の側面には、チルトコイルユニット22、23が装着される。チルトコイルユニット22、23は、それぞれ、チルトコイル221、231と、ホルダ222、232とを備えている。図1では、チルトコイル221とホルダ222が隠れて見えないが、これらの部材は、チルトコイル231とホルダ232と同様の構成となっている。   The frame 21 is composed of a frame member whose front is open. Tilt coil units 22 and 23 are mounted on the left and right side surfaces of the frame 21. The tilt coil units 22 and 23 include tilt coils 221 and 231 and holders 222 and 232, respectively. In FIG. 1, the tilt coil 221 and the holder 222 are hidden and cannot be seen, but these members have the same configuration as the tilt coil 231 and the holder 232.

また、フレーム21の後側面には、サーボユニット24が装着される。サーボユニット24は、PSD241と、バンドパスフィルタ242と、ピンホール箱243とを備えている。サーボユニット24の構成は、追って図11を参照して説明する。   A servo unit 24 is mounted on the rear side surface of the frame 21. The servo unit 24 includes a PSD 241, a band pass filter 242, and a pinhole box 243. The configuration of the servo unit 24 will be described later with reference to FIG.

チルトシャフト25、26は、ミラー141をTilt方向に回動させる回動軸である。また、フレーム21の左内側面には、2つのマグネット27が装着されている。   The tilt shafts 25 and 26 are rotation axes that rotate the mirror 141 in the tilt direction. Two magnets 27 are attached to the left inner surface of the frame 21.

ワイヤー28a〜28dは、線状の弾性部材である。ワイヤー28a〜28dは、互いに同じ形状および特性を持ち、パンコイル151とLED13への電流供給のために利用される。ワイヤー28a〜28dは、通常の状態において、後方に湾曲した形状を有している。   The wires 28a to 28d are linear elastic members. The wires 28 a to 28 d have the same shape and characteristics as each other, and are used for supplying current to the pan coil 151 and the LED 13. The wires 28a to 28d have a shape curved backward in a normal state.

インナーユニット10は、チルトシャフト25、26により、アウターユニット20に回動可能に取り付けられる。こうして、ミラーアクチュエータ1の組立が完了する。   The inner unit 10 is rotatably attached to the outer unit 20 by tilt shafts 25 and 26. Thus, the assembly of the mirror actuator 1 is completed.

図4は、ミラーアクチュエータ1を前方から見た斜視図である。この状態で、フレーム11は、チルトシャフト25、26の周りにTilt方向に回動可能となる。なお、パンコイルユニット15とワイヤー固定基板191、192は、フレーム11のTilt方向の回動に伴って、Tilt方向に回動する。   FIG. 4 is a perspective view of the mirror actuator 1 as viewed from the front. In this state, the frame 11 can be rotated around the tilt shafts 25 and 26 in the tilt direction. The pan coil unit 15 and the wire fixing substrates 191 and 192 rotate in the tilt direction as the frame 11 rotates in the tilt direction.

図4に示すアセンブル状態において、パンコイル151に電流を流すと、パンコイル151と、パンマグネット161に生じる電磁駆動力によってパンシャフト12が回動し、これにより、ミラー141が、パンシャフト12を軸としてPan方向に回動する。チルトコイル221、231に電流を流すと、チルトコイル221、231と、チルトマグネット171、181に生じる電磁駆動力によってフレーム11がチルトシャフト25、26を軸としてTilt方向に回動し、これにより、ミラー141が、Tilt方向に回動する。   In the assembled state shown in FIG. 4, when a current is passed through the pan coil 151, the pan shaft 12 is rotated by the electromagnetic driving force generated in the pan coil 151 and the pan magnet 161, so that the mirror 141 is centered on the pan shaft 12. It rotates in the Pan direction. When a current is passed through the tilt coils 221 and 231, the frame 11 is rotated in the tilt direction about the tilt shafts 25 and 26 by the electromagnetic driving force generated in the tilt coils 221 and 231 and the tilt magnets 171 and 181. The mirror 141 rotates in the tilt direction.

ミラー141がPan方向に回動すると、フレーム11の背面に張られたワイヤー19a〜19dのばね性により、パンシャフト12を中心とした、ミラー141のPan方向の回動方向と逆向きのトルクが発生する。このように、ミラー141がPan方向に回動した状態では、常に逆向きのトルクが発生するため、パンコイル151への電流の印加を中止すると、ミラー141は、回動前の位置に戻される。   When the mirror 141 rotates in the Pan direction, due to the spring property of the wires 19a to 19d stretched on the back surface of the frame 11, a torque in the direction opposite to the Pan direction of the mirror 141 around the pan shaft 12 is generated. Occur. Thus, when the mirror 141 is rotated in the Pan direction, a reverse torque is always generated. Therefore, when the application of current to the pan coil 151 is stopped, the mirror 141 is returned to the position before the rotation.

ここで、レーザ光の走査範囲は、ミラー141をパン方向に回動可能な角度に依存する。本実施の形態におけるミラーアクチュエータ1では、ミラー141をパン方向に回動可能な角度は、略45度である。   Here, the scanning range of the laser light depends on the angle at which the mirror 141 can be rotated in the pan direction. In the mirror actuator 1 in the present embodiment, the angle at which the mirror 141 can be rotated in the pan direction is approximately 45 degrees.

本実施の形態に係るレーザレーダ300では、ミラー141をパン方向に回動可能な角度よりもレーザ光の走査範囲を大きく広げるために、パンシャフト12(図4参照)の回転方向において、異なる2つの角度からレーザ光がミラー141に入射するよう構成される。   In the laser radar 300 according to the present embodiment, in order to broaden the scanning range of the laser beam more than the angle at which the mirror 141 can be rotated in the pan direction, there are two differences in the rotation direction of the pan shaft 12 (see FIG. 4). Laser light is configured to enter the mirror 141 from one angle.

図5は、ミラーアクチュエータ1が搭載されたレーザレーダ300の構成を示す模式図である。なお、図5では、筐体400と主要な光学部材のみが示されており、筐体400の取り付け構造、回路基板等は、図示省略されている。   FIG. 5 is a schematic diagram showing a configuration of a laser radar 300 on which the mirror actuator 1 is mounted. In FIG. 5, only the housing 400 and main optical members are shown, and the mounting structure of the housing 400, the circuit board, and the like are not shown.

レーザレーダ300は、出射部310と、ハーフミラー320と、折り曲げミラー330と、ミラーアクチュエータ1と、受光部340、350を備える。これらの部材は、筐体400内に取り付けられる。ミラーアクチュエータ1は、ミラー141のミラー面がXY平面に平行となるように、筐体400に設置される。このように、ミラー141がパンシャフト12(図2参照)よりも前方に傾けられることにより、目標領域におけるレーザ光の走査ラインを直線状に近付けることができる。   The laser radar 300 includes an emitting unit 310, a half mirror 320, a bending mirror 330, a mirror actuator 1, and light receiving units 340 and 350. These members are attached in the housing 400. The mirror actuator 1 is installed in the housing 400 so that the mirror surface of the mirror 141 is parallel to the XY plane. As described above, the mirror 141 is tilted forward of the pan shaft 12 (see FIG. 2), whereby the laser light scanning line in the target region can be brought closer to a straight line.

筐体400には、投射窓410が取り付けられている。投射窓410には、可視光カットフィルタが設けられており、出射部310から出射されたレーザ光の波長帯域の光を透過し、外部から入射する可視光帯域の波長帯域の光を遮断する。   A projection window 410 is attached to the housing 400. The projection window 410 is provided with a visible light cut filter, which transmits light in the wavelength band of the laser light emitted from the emitting unit 310 and blocks light in the wavelength band of the visible light band incident from the outside.

図6は、レーザ光の出射光と反射光の光路を模式的に示した図である。図6は、ミラーアクチュエータ1を前方向から見た図である。   FIG. 6 is a diagram schematically showing the optical paths of the emitted light and reflected light of the laser light. FIG. 6 is a view of the mirror actuator 1 as viewed from the front.

図6を参照して、出射部310は、レーザ光源311と、ビーム整形レンズ312とを備える。レーザ光源311は、波長880nm〜940nm程度のレーザ光を出射する。ビーム整形レンズ312は、出射レーザ光が、目標領域において所定の形状となるよう、出射レーザ光を収束させる。ハーフミラー320は、レーザ光源311から出射される光の略半分を透過させ、略半分を折り曲げミラー330に向かう方向に向かって反射させる。折り曲げミラー330は、ハーフミラー320によって反射された光をミラーアクチュエータ1のミラー141に向かう方向に向かって反射させる。   With reference to FIG. 6, the emitting unit 310 includes a laser light source 311 and a beam shaping lens 312. The laser light source 311 emits laser light having a wavelength of about 880 nm to 940 nm. The beam shaping lens 312 converges the emitted laser light so that the emitted laser light has a predetermined shape in the target region. The half mirror 320 transmits approximately half of the light emitted from the laser light source 311 and reflects approximately half of the light toward the bending mirror 330. The bending mirror 330 reflects the light reflected by the half mirror 320 toward the mirror 141 of the mirror actuator 1.

レーザ光源311とビーム整形レンズ312とハーフミラー320は、直線上に並んでおり、ハーフミラー320を透過したレーザ光の進行方向は、ミラー141の縦中央線Lvよりも所定の角度(たとえば、略45度)だけ右側に傾き、且つ、ミラー141の横中央線Lhよりも所定の角度(たとえば、略30度)だけ下側に傾いている。また、折り曲げミラー330は、ミラー141の縦中央線Lvを含む鉛直平面についてハーフミラー320と対称の位置に位置付けられている。すなわち、折り曲げミラー330は、ミラー141に対して、ハーフミラー320を透過するレーザ光と反対の方向から同じ入射角度でレーザ光が入射するように、レーザ光を反射させる。   The laser light source 311, the beam shaping lens 312, and the half mirror 320 are arranged in a straight line, and the traveling direction of the laser light that has passed through the half mirror 320 is a predetermined angle (for example, approximately the vertical center line Lv of the mirror 141). 45 degrees) and to the right by a predetermined angle (for example, approximately 30 degrees) from the horizontal center line Lh of the mirror 141. Further, the bending mirror 330 is positioned at a position symmetrical to the half mirror 320 with respect to a vertical plane including the vertical center line Lv of the mirror 141. That is, the bending mirror 330 reflects the laser beam so that the laser beam is incident on the mirror 141 at the same incident angle from the direction opposite to the laser beam transmitted through the half mirror 320.

受光部340、350は、それぞれ、受光レンズ341、351と、バンドパスフィルタ342、352と、光検出器343、353とを備える。受光レンズ341、351は、目標領域から反射された光を集光する。バンドパスフィルタ342、352は、レーザ光源311から出射される波長帯域の光のみを透過し、それ以外の波長帯域の迷光を除去する。光検出器343、353は、APD(アバランシェ・フォトダイオード)またはPINフォトダイオードからなり、受光光量に応じた大きさの電気信号を回路基板に出力する。光検出器343、353は、受光感度が高く、ミラー141のミラー面の一部に反射された光の光量で物体を検出可能な精度を有している。   The light receiving units 340 and 350 include light receiving lenses 341 and 351, bandpass filters 342 and 352, and photodetectors 343 and 353, respectively. The light receiving lenses 341 and 351 collect the light reflected from the target area. The bandpass filters 342 and 352 transmit only light in the wavelength band emitted from the laser light source 311 and remove stray light in other wavelength bands. The photodetectors 343 and 353 are made of an APD (avalanche photodiode) or a PIN photodiode, and output an electric signal having a magnitude corresponding to the amount of received light to the circuit board. The photodetectors 343 and 353 have high light receiving sensitivity and have an accuracy capable of detecting an object with the amount of light reflected by a part of the mirror surface of the mirror 141.

受光部340は、出射部310の下側に並ぶように配置される。受光部350は、ミラー141の縦中央線Lvを含む鉛直平面について受光部340と対称の位置に位置付けられている。すなわち、受光部350は、折り曲げミラー330よりもやや下側に位置付けられている。   The light receiving unit 340 is arranged so as to be arranged below the emitting unit 310. The light receiving unit 350 is positioned at a position symmetrical to the light receiving unit 340 with respect to a vertical plane including the vertical center line Lv of the mirror 141. That is, the light receiving unit 350 is positioned slightly below the folding mirror 330.

レーザ光源311から出射されたレーザ光は、ビーム整形レンズ312を透過した後、ハーフミラー320に入射する。ハーフミラー320に入射したレーザ光は、略半分がハーフミラー320を透過し、ミラーアクチュエータ1のミラー141に入射し、残り略半分がハーフミラー320によって反射され、折り曲げミラー330に入射する。折り曲げミラー330に入射したレーザ光は、折り曲げミラー330によって反射されて、ミラーアクチュエータ1のミラー141に入射する。ミラー141が中立位置にあるとき、ハーフミラー320を透過してミラー141に入射したレーザ光は、ミラー141の縦中央線Lvよりも左側に向かうように反射され、目標領域に投射される。ミラー141が中立位置にあるとき、折り曲げミラー330により反射されてミラー141に入射したレーザ光は、ミラー141の縦中央線Lvよりも右側に向かうように反射され、目標領域に投射される。   The laser light emitted from the laser light source 311 passes through the beam shaping lens 312 and then enters the half mirror 320. About half of the laser light incident on the half mirror 320 is transmitted through the half mirror 320, enters the mirror 141 of the mirror actuator 1, and the remaining half is reflected by the half mirror 320 and enters the bending mirror 330. The laser light incident on the bending mirror 330 is reflected by the bending mirror 330 and enters the mirror 141 of the mirror actuator 1. When the mirror 141 is in the neutral position, the laser beam that has passed through the half mirror 320 and entered the mirror 141 is reflected so as to be directed to the left side of the vertical center line Lv of the mirror 141, and is projected onto the target area. When the mirror 141 is in the neutral position, the laser light reflected by the bending mirror 330 and incident on the mirror 141 is reflected toward the right side of the vertical center line Lv of the mirror 141 and projected onto the target area.

なお、「中立位置」とは、ミラー141がミラーアクチュエータ1によってミラー141が回動されず、ミラー141のミラー面がパンシャフト12の回転軸(上下方向)からYZ平面(図5参照)の面内方向に所定の角度で傾く位置をいう。中立位置において、ハーフミラー320を透過したレーザ光と、折り曲げミラー330を反射したレーザ光は、ミラー141の中心よりも、上側の領域に入射する。   The “neutral position” means that the mirror 141 is not rotated by the mirror actuator 1 and the mirror surface of the mirror 141 is a surface on the YZ plane (see FIG. 5) from the rotation axis (vertical direction) of the pan shaft 12. A position that is inclined inward at a predetermined angle. In the neutral position, the laser light transmitted through the half mirror 320 and the laser light reflected from the bending mirror 330 are incident on a region above the center of the mirror 141.

目標領域からの反射光は、レーザ光が目標領域へと向かう光路を逆行して、ミラー141に入射する。このとき、ミラー141の縦中央線Lvよりも左側から入射する目標領域からの反射光は、ミラー141の略全面に入射し、このうち、横中央線Lhよりも下側の領域によって反射された反射光R1が、受光部340の受光レンズ341に入射する。受光レンズ341に入射した反射光R1は、受光レンズ341によって、光検出器343に収束される。光検出器343は、受光光量に応じた大きさの電気信号を出力する。光検出器343からの信号に基づいて、目標領域における物体の有無および物体までの距離が測定される。   The reflected light from the target area travels back along the optical path of the laser light toward the target area and enters the mirror 141. At this time, the reflected light from the target area incident from the left side of the vertical center line Lv of the mirror 141 is incident on substantially the entire surface of the mirror 141 and is reflected by the area below the horizontal center line Lh. The reflected light R <b> 1 enters the light receiving lens 341 of the light receiving unit 340. The reflected light R1 incident on the light receiving lens 341 is converged on the photodetector 343 by the light receiving lens 341. The photodetector 343 outputs an electrical signal having a magnitude corresponding to the amount of received light. Based on the signal from the photodetector 343, the presence / absence of an object in the target region and the distance to the object are measured.

また、ミラー141の縦中央線Lvよりも右側から入射する目標領域からの反射光は、ミラー141の略全面に入射し、このうち、横中央線Lhよりも下側の領域によって反射された反射光R2が、受光部350の受光レンズ351に入射する。そして、受光レンズ351に入射した反射光R2は、受光レンズ351によって、光検出器353に収束される。光検出器353は、受光光量に応じた大きさの電気信号を出力する。光検出器353からの信号に基づいて、目標領域における物体の有無および物体までの距離が測定される。   Reflected light from the target area incident from the right side of the vertical center line Lv of the mirror 141 is incident on substantially the entire surface of the mirror 141, and among these, the reflected light is reflected by the area below the horizontal central line Lh. The light R <b> 2 enters the light receiving lens 351 of the light receiving unit 350. Then, the reflected light R2 incident on the light receiving lens 351 is converged on the photodetector 353 by the light receiving lens 351. The photodetector 353 outputs an electrical signal having a magnitude corresponding to the amount of received light. Based on the signal from the photodetector 353, the presence / absence of an object in the target region and the distance to the object are measured.

なお、ハーフミラー320を透過してミラー141によって反射されたレーザ光E1と、折り曲げミラー330に反射され、ミラー141によって反射されたレーザ光E2は、それぞれ、目標領域の異なる範囲において走査される。レーザ光E1、E2による走査範囲において、物体の有無が、光検出器343、353のそれぞれの検出信号の有無によって検出される。   Note that the laser beam E1 transmitted through the half mirror 320 and reflected by the mirror 141 and the laser beam E2 reflected by the bending mirror 330 and reflected by the mirror 141 are scanned in different ranges of the target area. In the scanning range of the laser beams E1 and E2, the presence / absence of an object is detected by the presence / absence of detection signals from the photodetectors 343 and 353, respectively.

図7(a)、(b)は、出射部310からミラー141のミラー面にレーザ光を出射する領域(出射領域)と、目標領域から反射された光(反射光R1)が受光部340、350によって受光される領域(受光領域)を模式的に示す図である。   FIGS. 7A and 7B show a region where the laser beam is emitted from the emission unit 310 to the mirror surface of the mirror 141 (emission region), and the light reflected from the target region (reflected light R1) is the light receiving unit 340. FIG. 6 is a diagram schematically showing a region (light receiving region) received by 350.

図7(a)に示すように、本実施の形態では、レーザ光は、ミラー141の横中央線Lhよりも上側の領域に出射される。図7(b)に示す比較例では、レーザ光の出射領域がミラー141のミラー面の略中心Pに位置付けられている。比較例では、受光部340、350を上記実施の形態と同様に配置しようとすると、受光領域を幅Rw2の範囲で設定する必要があり、受光領域がかなり狭くなる。このため、比較例では、ミラー141のミラー面を有効に活用することができない。これに対し、本実施の形態では、出射領域がミラー141の横中央線Lhよりも上側に偏って配置されているため、受光領域を、幅Rw2よりも広い幅Rw1の範囲内で大きく設定することができる。   As shown in FIG. 7A, in the present embodiment, the laser beam is emitted to a region above the horizontal center line Lh of the mirror 141. In the comparative example shown in FIG. 7B, the laser light emission region is positioned at the approximate center P of the mirror surface of the mirror 141. In the comparative example, if the light receiving portions 340 and 350 are arranged in the same manner as in the above embodiment, the light receiving area needs to be set within the range of the width Rw2, and the light receiving area becomes considerably narrow. For this reason, in the comparative example, the mirror surface of the mirror 141 cannot be used effectively. On the other hand, in the present embodiment, since the emission region is arranged so as to be biased upward from the horizontal center line Lh of the mirror 141, the light receiving region is set to be larger within the range of the width Rw1 that is wider than the width Rw2. be able to.

なお、このように、出射領域が中心Pからずれた位置に位置付けられたとしても、目標領域におけるレーザ光の走査精度への影響は軽微である。   Even if the emission region is positioned at a position shifted from the center P in this way, the influence on the scanning accuracy of the laser light in the target region is slight.

図8は、本実施の形態に係るミラーアクチュエータ1を上側から見た場合のレーザ光E1、E2の走査範囲を模式的に示す図である。図9は、比較例に係るミラーアクチュエータ1を上側から見たレーザ光E3の走査範囲を模式的に示す図である。   FIG. 8 is a diagram schematically showing scanning ranges of the laser beams E1 and E2 when the mirror actuator 1 according to the present embodiment is viewed from the upper side. FIG. 9 is a diagram schematically illustrating a scanning range of the laser beam E3 when the mirror actuator 1 according to the comparative example is viewed from the upper side.

図8を参照して、ハーフミラー320を透過し、ミラー141に反射されたレーザ光E1は、ミラー141の回動によって、ミラー141の回動角度βに対応する走査角度α1で左側の目標領域に走査される。また、折り曲げミラー330に反射され、ミラー141に反射されたレーザ光E2は、ミラー141の回動によって、ミラー141の回動角度βに対応する走査角度α2で右側の目標領域に走査される。走査角度α1、α2は、回動角度βの略2倍に相当する。レーザ光E1とレーザ光E2の走査範囲の一部の範囲O1は、重なっている。これにより、目標領域を隙間なくレーザ光で走査することができる。   Referring to FIG. 8, the laser light E <b> 1 that has been transmitted through the half mirror 320 and reflected by the mirror 141 is rotated to the left target area at the scanning angle α <b> 1 corresponding to the rotation angle β of the mirror 141. Scanned. Further, the laser beam E2 reflected by the bending mirror 330 and reflected by the mirror 141 is scanned to the right target area at a scanning angle α2 corresponding to the rotation angle β of the mirror 141 by the rotation of the mirror 141. The scanning angles α1 and α2 correspond to approximately twice the rotation angle β. The partial range O1 of the scanning range of the laser beam E1 and the laser beam E2 overlaps. As a result, the target area can be scanned with the laser beam without any gap.

図9を参照して、比較例の場合、ミラー141の正面下方から1つのレーザ光が入射している。比較例の場合、ミラー141に反射されたレーザ光E3は、ミラー141の回動によって、ミラー141の回動角度βに対応する走査角度α3で正面の目標領域に走査される。走査角度α3は、回動角度βの略2倍に相当する。比較例の場合、ミラー141に対し、レーザ光が1つしか入射されないため、目標領域をミラー141の回動角度βに対応する走査角度α3でしか走査できない。たとえば、回動角度βが略45度の場合、走査角度α3は略90度となる。   Referring to FIG. 9, in the case of the comparative example, one laser beam is incident from below the front surface of mirror 141. In the case of the comparative example, the laser beam E3 reflected by the mirror 141 is scanned to the front target area at a scanning angle α3 corresponding to the rotation angle β of the mirror 141 by the rotation of the mirror 141. The scanning angle α3 corresponds to approximately twice the rotation angle β. In the case of the comparative example, since only one laser beam is incident on the mirror 141, the target area can be scanned only at the scanning angle α3 corresponding to the rotation angle β of the mirror 141. For example, when the rotation angle β is approximately 45 degrees, the scanning angle α3 is approximately 90 degrees.

これに対し、図8に示すように、本実施の形態では、ハーフミラー320によって分光されたレーザ光が、パンシャフト12の回転方向において、異なる2つの角度からミラー141に入射するため、ミラー141の回動角度βに対応する走査角度よりも大幅に広い角度範囲で目標領域をレーザ光で走査することができる。たとえば、回動角度βが略45度の場合、略180度に近い角度範囲で目標領域をレーザ光で走査することができる。   On the other hand, as shown in FIG. 8, in the present embodiment, the laser light split by the half mirror 320 is incident on the mirror 141 from two different angles in the rotation direction of the pan shaft 12. The target area can be scanned with the laser beam in an angle range significantly wider than the scanning angle corresponding to the rotation angle β. For example, when the rotation angle β is approximately 45 degrees, the target area can be scanned with laser light in an angle range close to approximately 180 degrees.

図10は、本実施の形態に係るミラー141のミラー面に対するレーザ光の出射角度γを示すグラフである。図10のグラフには、比較例に係るミラー141のミラー面に対するレーザ光の出射角度γの範囲が示されている。なお、ミラー141が中立位置にあるときのミラー面に対して正面に出射されるレーザ光の出射角度γが0度に対応し、ミラー141の正面よりも左側に出射されたレーザ光の出射角度γに正の符号が付され、ミラー141の正面よりも右側に出射されたレーザ光の出射角度γに負の符号が付されている。   FIG. 10 is a graph showing an emission angle γ of the laser beam with respect to the mirror surface of the mirror 141 according to the present embodiment. The graph of FIG. 10 shows the range of the laser beam emission angle γ with respect to the mirror surface of the mirror 141 according to the comparative example. The emission angle γ of the laser beam emitted to the front with respect to the mirror surface when the mirror 141 is in the neutral position corresponds to 0 degree, and the emission angle of the laser beam emitted to the left side of the front of the mirror 141. A positive sign is attached to γ, and a negative sign is attached to the emission angle γ of the laser light emitted to the right side of the front surface of the mirror 141.

本願の発明者らは、ミラー141のミラー面に対し左右方向に45度、下方向に31度傾いた入射角度で入射し、ミラー面で反射されるレーザ光E1、E2のパン方向、チルト方向の出射角度γをシミュレーションによって算出した。本シミュレーションでは、ミラー141をチルト方向に+10度、0度、−10度の3種類の角度で傾けた時のレーザ光の出射角度γの軌跡を算出した。なお、本シミュレーションでは、ミラー141のパン方向の回動角度βは、−28度〜28度の範囲に設定されている。   The inventors of the present application enter the panning and tilting directions of the laser beams E1 and E2 that are incident on the mirror surface of the mirror 141 at an incident angle inclined by 45 degrees in the horizontal direction and 31 degrees in the downward direction and reflected by the mirror surface. The emission angle γ was calculated by simulation. In this simulation, the locus of the emission angle γ of the laser beam when the mirror 141 is tilted at three types of angles of +10 degrees, 0 degrees, and −10 degrees in the tilt direction was calculated. In this simulation, the rotation angle β in the pan direction of the mirror 141 is set in a range of −28 degrees to 28 degrees.

比較例の場合、レーザ光の出射角度γは、略−45度〜45度の範囲となっており、ミラー141の回動角度βの略2倍となっている。   In the case of the comparative example, the laser beam emission angle γ is in the range of approximately −45 degrees to 45 degrees, which is approximately twice the rotation angle β of the mirror 141.

本実施の形態の場合、ミラー141のチルト方向の回動角度が0度のとき、右側からミラー141に入射したレーザ光の出射角度γの範囲は、82.5度〜−9.4度である。ミラー141のチルト方向の回動角度が0度のとき、左側からミラー141に入射したレーザ光の出射角度γの範囲は、9.4度〜−82.5度である。すなわち、ミラー141が中立位置にあるときのミラー面の正面付近の目標領域では、右側から入射したレーザ光の走査範囲と、左側から入射したレーザ光の走査範囲が一部重なっている。   In the case of the present embodiment, when the rotation angle of the mirror 141 in the tilt direction is 0 degree, the range of the emission angle γ of the laser light incident on the mirror 141 from the right side is 82.5 degrees to −9.4 degrees. is there. When the rotation angle of the mirror 141 in the tilt direction is 0 degree, the range of the emission angle γ of the laser light incident on the mirror 141 from the left side is 9.4 degrees to −82.5 degrees. That is, in the target area near the front of the mirror surface when the mirror 141 is in the neutral position, the scanning range of the laser light incident from the right side and the scanning range of the laser light incident from the left side partially overlap.

ミラー141のチルト方向の回動角度が10度のとき、右側からミラー141に入射したレーザ光の出射角度γの範囲は、86.9度〜−6.4度である。ミラー141のチルト方向の回動角度が10度のとき、右側からミラー141に入射したレーザ光の出射角度γの範囲は、6.4度〜86.9度である。   When the rotation angle of the mirror 141 in the tilt direction is 10 degrees, the range of the emission angle γ of the laser light incident on the mirror 141 from the right side is 86.9 degrees to −6.4 degrees. When the rotation angle of the tilt direction of the mirror 141 is 10 degrees, the range of the emission angle γ of the laser light incident on the mirror 141 from the right side is 6.4 degrees to 86.9 degrees.

ミラー141のチルト方向の回動角度が−10度のとき、右側からミラー141に入射したレーザ光の出射角度γの範囲は、82.2度〜−12.3度である。ミラー141のチルト方向の回動角度が−10度のとき、左側からミラー141に入射したレーザ光の出射角度γの範囲は、12.3度〜−82.2度である。   When the rotation angle of the tilt direction of the mirror 141 is −10 degrees, the range of the emission angle γ of the laser light incident on the mirror 141 from the right side is 82.2 degrees to −12.3 degrees. When the rotation angle of the mirror 141 in the tilt direction is −10 degrees, the range of the emission angle γ of the laser light incident on the mirror 141 from the left side is 12.3 degrees to −82.2 degrees.

このように、本実施の形態では、レーザ光を略−80度〜80度の範囲で振ることができ、ミラー141のパン方向の回動角度βの略−28度〜28度に比べ、概ねミラー141のパン方向の回動角度βの3倍の範囲で目標領域をレーザ光で走査することができる。したがって、本実施の形態では、比較例の場合よりも大幅にレーザ光の走査範囲を広げることができる。   As described above, in the present embodiment, the laser beam can be swung in a range of approximately −80 degrees to 80 degrees, which is roughly compared with the rotation angle β of the mirror 141 in the pan direction of approximately −28 degrees to 28 degrees. The target area can be scanned with the laser beam in the range of three times the rotation angle β of the mirror 141 in the pan direction. Therefore, in this embodiment, the scanning range of the laser beam can be greatly expanded as compared with the comparative example.

また、図6に示すように、本実施の形態では、別々の受光部340、350を備えているため、受光部340、350は、それぞれで対応する目標領域の反射光R1、R2を同時に受光することができる。よって、レーザ光E1、レーザ光E2の出射タイミングを略同時にすることができ、これにより、目標領域の2つの範囲を略並行してレーザ光で走査することができる。したがって、効率的に目標領域をレーザ光で走査することができる。   Further, as shown in FIG. 6, in this embodiment, since the light receiving units 340 and 350 are provided separately, the light receiving units 340 and 350 simultaneously receive the reflected lights R1 and R2 of the corresponding target areas, respectively. can do. Therefore, the emission timings of the laser beam E1 and the laser beam E2 can be made substantially simultaneously, and thereby the two ranges of the target area can be scanned with the laser beam substantially in parallel. Therefore, the target area can be efficiently scanned with the laser light.

図11(a)、(b)は、ミラー141の位置を検出するためのサーボ光学系を説明する図である。   FIGS. 11A and 11B are diagrams illustrating a servo optical system for detecting the position of the mirror 141.

図11(a)を参照して、LED13、PSD241およびピンホール243aは、ミラーアクチュエータ1のミラー141が上記中立位置にあるときに、LED13がピンホール箱243のピンホール243aとPSD241の中心に向き合うように配置されている。   Referring to FIG. 11A, the LED 13, the PSD 241 and the pinhole 243a are opposed to the pinhole 243a of the pinhole box 243 and the center of the PSD 241 when the mirror 141 of the mirror actuator 1 is in the neutral position. Are arranged as follows.

図11(b)のようにミラー141が破線で示す中立位置から矢印方向に回動すると、LED13からの拡散光(サーボ光)のうちピンホール243aを通る光の光路が、LP1からLP2へと変位する。その結果、PSD241上におけるサーボ光の入射位置が変化し、PSD241から出力される位置検出信号が変化する。したがって、PSD241にて検出されるサーボ光の入射位置によって、ミラー141の位置を検出することができ、結果、目標領域における走査レーザ光の走査位置を検出することができる。   When the mirror 141 rotates in the direction of the arrow from the neutral position indicated by the broken line as shown in FIG. 11B, the optical path of the light passing through the pinhole 243a out of the diffused light (servo light) from the LED 13 changes from LP1 to LP2. Displace. As a result, the incident position of the servo light on the PSD 241 changes, and the position detection signal output from the PSD 241 changes. Therefore, the position of the mirror 141 can be detected based on the incident position of the servo light detected by the PSD 241. As a result, the scanning position of the scanning laser light in the target area can be detected.

図12は、レーザレーダ300の回路構成を示す図である。   FIG. 12 is a diagram illustrating a circuit configuration of the laser radar 300.

PSD信号処理回路501は、PSD241からの出力信号をもとに求めた位置検出信号をDSP507に出力する。サーボLED駆動回路502は、DSP507からの信号をもとに、LED13に駆動信号を供給する。アクチュエータ駆動回路503は、DSP507からの信号をもとに、ミラーアクチュエータ1を駆動する。具体的には、目標領域においてレーザ光を所定の軌道に沿って走査させるための駆動信号がミラーアクチュエータ1に供給される。   The PSD signal processing circuit 501 outputs a position detection signal obtained based on the output signal from the PSD 241 to the DSP 507. The servo LED drive circuit 502 supplies a drive signal to the LED 13 based on the signal from the DSP 507. The actuator drive circuit 503 drives the mirror actuator 1 based on the signal from the DSP 507. Specifically, a drive signal for scanning the laser beam along a predetermined trajectory in the target area is supplied to the mirror actuator 1.

スキャンLD駆動回路504は、DSP507からの信号をもとに、レーザ光源311に駆動信号を供給する。PD信号処理回路505、506は、それぞれ、光検出器343、353の受光光量に応じた電圧信号を増幅およびデジタル化してDSP507に供給する。   The scan LD drive circuit 504 supplies a drive signal to the laser light source 311 based on the signal from the DSP 507. The PD signal processing circuits 505 and 506 amplify and digitize voltage signals corresponding to the amounts of light received by the photodetectors 343 and 353, and supply the amplified signals to the DSP 507.

DSP507は、PSD信号処理回路501から入力された位置検出信号をもとに、目標領域におけるレーザ光の走査位置を検出し、ミラーアクチュエータ1の駆動制御や、レーザ光源311の駆動制御等を実行する。また、DSP507は、PD信号処理回路50
5、506から入力される電圧信号に基づいて、目標領域内のレーザ光照射位置に物体が存在するかを判定し、同時に、レーザ光源311から出力されるレーザ光の照射タイミングと、光検出器343、353にて受光される目標領域からの反射光の受光タイミングの間の時間差をもとに、物体までの距離を測定する。
The DSP 507 detects the scanning position of the laser beam in the target area based on the position detection signal input from the PSD signal processing circuit 501, and executes drive control of the mirror actuator 1, drive control of the laser light source 311, and the like. . Further, the DSP 507 includes a PD signal processing circuit 50.
5, 506 determines whether an object is present at the laser beam irradiation position in the target area based on the voltage signal input from the laser beam source 506, and simultaneously applies the irradiation timing of the laser beam output from the laser light source 311 and the photodetector The distance to the object is measured based on the time difference between the light reception timings of the reflected light from the target area received at 343 and 353.

<実施形態の効果>
以上、本実施の形態によれば、以下の効果が奏される。
<Effect of embodiment>
As described above, according to the present embodiment, the following effects are exhibited.

図8に示すように、ミラー141のミラー面に対して、パンシャフト12(図4参照)の回転方向において、異なる2つの入射角度でレーザ光が入射されるため、ミラー141のパン方向の回動角度βに対応する走査角度α1、α2よりも広い角度範囲で目標領域をレーザ光で走査することができる。   As shown in FIG. 8, the laser light is incident on the mirror surface of the mirror 141 at two different incident angles in the rotation direction of the pan shaft 12 (see FIG. 4). The target area can be scanned with the laser beam in an angle range wider than the scanning angles α1 and α2 corresponding to the moving angle β.

また、レーザ光E1とE2の走査範囲の一部の範囲O1が重なっているため、目標領域を隙間なくレーザ光で走査することができる。これにより、特に物体が位置付けられ易いレーザレーダ300の正面位置において、漏れなく障害物を検出することができる。   Further, since the partial range O1 of the scanning range of the laser beams E1 and E2 overlaps, the target region can be scanned with the laser beam without any gap. Thereby, it is possible to detect an obstacle without leakage particularly at the front position of the laser radar 300 where the object is easily positioned.

また、レーザ光源311を出射したレーザ光がハーフミラー320によって分光されるため、他の光源を用いることなく、ミラー141に複数の異なる角度でレーザ光を入射させることができる。したがって、部品点数の削減、および消費電力を削減することができる。   Further, since the laser light emitted from the laser light source 311 is dispersed by the half mirror 320, the laser light can be incident on the mirror 141 at a plurality of different angles without using another light source. Therefore, the number of parts and power consumption can be reduced.

また、図6に示すように、別々の受光部340、350を備えているため、レーザ光E1、レーザ光E2を略同時に出射させながら、目標領域の2つの範囲を略並行してレーザ光で走査することができる。したがって、効率的に目標領域をレーザ光で走査することができる。   Further, as shown in FIG. 6, since the separate light receiving portions 340 and 350 are provided, the laser light E1 and the laser light E2 are emitted almost simultaneously, and the two ranges of the target area are substantially parallel with the laser light. Can be scanned. Therefore, the target area can be efficiently scanned with the laser light.

また、受光部340が出射部310の下側に並べて配置されるため、受光部340が出射部310の後方に設置される場合に比べて、装置をコンパクトにすることができる。   In addition, since the light receiving unit 340 is arranged below the emission unit 310, the apparatus can be made more compact than when the light reception unit 340 is installed behind the emission unit 310.

また、レーザ光がミラー141の中心Pよりも上側の領域に照射されるため、受光部340が出射部310の下側に並ぶように構成される場合であっても、反射光R1、R2の受光領域を極力大きくすることができる。これにより、装置をコンパクトにしつつ、精度良く物体を検出することができる。   In addition, since the laser light is applied to the region above the center P of the mirror 141, even if the light receiving unit 340 is configured to be arranged below the emitting unit 310, the reflected light R1 and R2 The light receiving area can be enlarged as much as possible. This makes it possible to detect an object with high accuracy while making the device compact.

以上、本発明の実施の形態について説明したが、本発明は上記実施の形態に何ら制限されるものではなく、また、本発明の実施の形態も上記以外に種々の変更が可能である。   Although the embodiments of the present invention have been described above, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made to the embodiments of the present invention other than the above.

<変更例1>
たとえば、上記実施の形態では、ミラー141に異なる2つの角度でレーザ光を入射させるために、出射部310のレーザ光源311から出射されたレーザ光がハーフミラー320によって分光されたが、図13に示すように、出射部360が設けられても良い。
<Modification 1>
For example, in the above embodiment, the laser light emitted from the laser light source 311 of the emitting unit 310 is split by the half mirror 320 so that the laser light is incident on the mirror 141 at two different angles. As shown, an exit 360 may be provided.

図13は、変更例1に係るレーザレーダ300の光学系を模式的に示した図である。   FIG. 13 is a diagram schematically illustrating an optical system of a laser radar 300 according to the first modification.

図13では、図6に示す上記実施の形態のレーザレーダ300に出射部360が追加されており、ハーフミラー320と折り曲げミラー330が省略されている。   In FIG. 13, the emission unit 360 is added to the laser radar 300 of the above embodiment shown in FIG. 6, and the half mirror 320 and the bending mirror 330 are omitted.

出射部360は、レーザ光源361と、ビーム整形レンズ362とを備える。レーザ光源361、ビーム整形レンズ362は、出射部310のレーザ光源311、ビーム整形レ
ンズ312と同様に構成されている。出射部360は、ミラー141の縦中央線Lvを含む鉛直平面について出射部310と対称の位置に位置付けられている。すなわち、出射部360は、出射部310を出射したレーザ光と同じ入射角度となるように、レーザ光をミラー141に向けて出射する。ミラー141は、出射部360から出射されたレーザ光を目標領域に向けて反射させる。
The emission unit 360 includes a laser light source 361 and a beam shaping lens 362. The laser light source 361 and the beam shaping lens 362 are configured in the same manner as the laser light source 311 and the beam shaping lens 312 of the emission unit 310. The emission part 360 is positioned at a position symmetrical to the emission part 310 with respect to a vertical plane including the vertical center line Lv of the mirror 141. That is, the emitting unit 360 emits the laser light toward the mirror 141 so that the incident angle is the same as that of the laser beam emitted from the emitting unit 310. The mirror 141 reflects the laser beam emitted from the emitting unit 360 toward the target area.

変更例1の構成とすれば、上記実施の形態と同様に、ミラー141に異なる2つの角度でレーザ光が入射されるため、レーザ光の走査範囲を広角化させることができる。なお、変更例1では、別途、出射部360が設けられるため、上記実施の形態に比べて部品点数とコストが上昇する。このため、上記実施の形態のように、1つのレーザ光源311から出射されたレーザ光を分光する構成の方が望ましい。   If the configuration of the modification example 1 is used, the laser beam is incident on the mirror 141 at two different angles as in the above-described embodiment, so that the scanning range of the laser beam can be widened. In the first modification, since the emission unit 360 is separately provided, the number of parts and the cost are increased as compared with the above embodiment. For this reason, as in the above-described embodiment, a configuration in which laser light emitted from one laser light source 311 is dispersed is more desirable.

<変更例2>
また、図14に示すように、出射部360を設けた場合、受光部350を省略しても良い。
<Modification 2>
Further, as shown in FIG. 14, when the emitting unit 360 is provided, the light receiving unit 350 may be omitted.

図14は、変更例2に係るレーザレーダ300の光学系を模式的に示した図である。   FIG. 14 is a diagram schematically illustrating an optical system of a laser radar 300 according to the second modification.

図14では、図3に示す変更例1のレーザレーダ300から受光部350が省略されており、折り曲げミラー370とハーフミラー380が追加されている。   In FIG. 14, the light receiving unit 350 is omitted from the laser radar 300 of the first modification shown in FIG. 3, and a bending mirror 370 and a half mirror 380 are added.

変更例2に係るレーザ光源311、361では、互いのレーザ光の出射タイミングが異なるように発光制御される。   In the laser light sources 311 and 361 according to the modification example 2, light emission is controlled so that the emission timings of the laser beams are different from each other.

第1の出射タイミングで目標領域に出射されたレーザ光E1に対応する反射光R1は、ミラー141によって反射され、ハーフミラー380に入射する。反射光R1は、ハーフミラー380によって略半分が反射され、略半分がハーフミラー380を透過して、受光部340の受光レンズ341に入射する。そして、受光レンズ341に入射した反射光R1は、受光レンズ341によって、光検出器343に収束される。   The reflected light R1 corresponding to the laser light E1 emitted to the target area at the first emission timing is reflected by the mirror 141 and enters the half mirror 380. About half of the reflected light R 1 is reflected by the half mirror 380, about half is transmitted through the half mirror 380 and enters the light receiving lens 341 of the light receiving unit 340. Then, the reflected light R1 incident on the light receiving lens 341 is converged on the photodetector 343 by the light receiving lens 341.

第2の出射タイミングで目標領域に出射されたレーザ光E2に対応する反射光R2は、ミラー141によって反射され、折り曲げミラー370に入射する。反射光R1は、折り曲げミラー370によって反射され、ハーフミラー380に入射する。反射光R2は、ハーフミラー380を略半分が透過し、略半分がハーフミラー380によって反射されて、受光レンズ341に入射する。そして、受光レンズ341に入射した反射光R1は、受光レンズ341によって、光検出器343に収束される。   The reflected light R2 corresponding to the laser light E2 emitted to the target region at the second emission timing is reflected by the mirror 141 and enters the bending mirror 370. The reflected light R 1 is reflected by the bending mirror 370 and enters the half mirror 380. The reflected light R <b> 2 is transmitted through the half mirror 380 substantially in half, and substantially half is reflected by the half mirror 380 and enters the light receiving lens 341. Then, the reflected light R1 incident on the light receiving lens 341 is converged on the photodetector 343 by the light receiving lens 341.

変更例2によっても、上記実施の形態同様、レーザ光の走査範囲を広角化させることができる。   Also in the second modification, the scanning range of the laser beam can be widened as in the above embodiment.

しかしながら、変更例2では、受光部340で反射光R1を受光する必要があるため、反射光の光路中に折り曲げミラー370とハーフミラー380が設けられる。したがって、ハーフミラー380によって、反射光の光量が減衰され、受光部340に対する受光光量が減衰する。   However, in the second modification, since the reflected light R1 needs to be received by the light receiving unit 340, the bending mirror 370 and the half mirror 380 are provided in the optical path of the reflected light. Therefore, the amount of reflected light is attenuated by the half mirror 380, and the amount of received light with respect to the light receiving unit 340 is attenuated.

また、1つの受光部340で2つの反射光R1、R2を受光する必要があるため、レーザ光源311とレーザ光源361の出射タイミングを異ならせる必要がある。したがって、上記実施の形態に比べ、変更例2の場合、目標領域をレーザ光で走査する速度が遅くなる。   Further, since it is necessary to receive the two reflected lights R1 and R2 with one light receiving unit 340, it is necessary to make the emission timings of the laser light source 311 and the laser light source 361 different. Therefore, compared with the above-described embodiment, in the second modification, the speed of scanning the target area with the laser beam is slow.

上記実施の形態のように、別々の受光部340、350によって反射光R1、R2が受光させると、2つのレーザ光の出射タイミングを異ならせる必要もなく、また、レーザ光E1、E2による目標領域の走査を並行して行うことができる。このため、上記実施の形態のように、ミラー141に入射させるレーザ光の数に対応する数の受光部が設けられた方が望ましい。   When the reflected lights R1 and R2 are received by the separate light receiving units 340 and 350 as in the above embodiment, there is no need to make the emission timings of the two laser lights different, and the target area by the laser lights E1 and E2 Can be performed in parallel. For this reason, it is desirable to provide the number of light receiving portions corresponding to the number of laser beams incident on the mirror 141 as in the above embodiment.

<変更例3、4>
また、本実施の形態では、レーザ光の出射領域がミラー141のミラー面の横中央線Lhよりも上側に偏って位置付けられたが、図15(a)に示す変更例3のように、出射領域が横中央線Lhよりも下側に偏って位置付けられても良い。さらには、図15(b)に示す変更例4のように、出射領域が縦中央線Lvよりも左側に偏って位置付けられても良い。この他、出射領域は、ミラー141のミラー面の中心Pから偏った位置に配置されていれば、どのような位置に位置付けられても良い。出射領域がミラー141のミラー面の中心Pからずれた分、受光領域を大きくすることができる。
<Modification examples 3 and 4>
Further, in the present embodiment, the laser light emission region is positioned so as to be biased to the upper side of the horizontal center line Lh of the mirror surface of the mirror 141. However, as in Modification 3 shown in FIG. The region may be positioned so as to be biased downward from the horizontal center line Lh. Furthermore, as in Modification Example 4 shown in FIG. 15B, the emission region may be positioned to the left of the vertical center line Lv. In addition, the emission region may be positioned at any position as long as it is disposed at a position deviated from the center P of the mirror surface of the mirror 141. The light receiving area can be enlarged by the amount that the emission area deviates from the center P of the mirror surface of the mirror 141.

なお、レーザ光の出射領域がミラー141のミラー面の中心Pから偏った位置に配置されることによる効果は、上記実施の形態のように、ミラー141に複数のレーザ光が入射される構成に限られるものではない。   Note that the effect of arranging the laser beam emission region at a position deviated from the center P of the mirror surface of the mirror 141 is that a plurality of laser beams are incident on the mirror 141 as in the above embodiment. It is not limited.

すなわち、この効果を実現する発明は、以下のように抽出することが可能である。   That is, the invention that realizes this effect can be extracted as follows.

レーザ光を出射する出射部と、前記レーザ光をミラーで反射させて目標領域において走査させるミラーアクチュエータと、前記目標領域からの前記レーザ光の反射光を受光する受光部と、前記受光部からの出力に基づき前記目標領域における物体を検出する検出部と、を備え、前記受光部は、前記ミラーに向かって前記出射部の横に並ぶように配置され、前記出射部は、前記ミラーのミラー面の中心よりも所定方向に偏った位置に前記レーザ光を入射させ、前記受光部は、前記ミラー面に対する前記レーザ光の入射位置よりも前記ミラー面の前記中心側の領域において反射される前記反射光が導かれる位置に配置される、ことを特徴とするレーザレーダ。   An emission unit that emits laser light; a mirror actuator that reflects the laser light by a mirror and scans the target region; a light receiving unit that receives reflected light of the laser light from the target region; A detection unit that detects an object in the target area based on an output, and the light receiving unit is arranged to be next to the emission unit toward the mirror, and the emission unit is a mirror surface of the mirror The laser beam is incident on a position that is deviated in a predetermined direction from the center of the laser beam, and the light receiving unit is reflected in the region on the center side of the mirror surface from the incident position of the laser beam with respect to the mirror surface. A laser radar, which is disposed at a position where light is guided.

こうすると、受光部の受光領域を大きくすることができる。これにより、装置の小型化のために、受光部を出射部の横に並べる構成とした場合にも、精度良く物体を検出することができる。   In this way, the light receiving area of the light receiving unit can be enlarged. Thereby, even when it is set as the structure which arranges a light-receiving part beside an output part for size reduction of an apparatus, an object can be detected with sufficient accuracy.

<その他の変更例>
また、上記実施の形態では、図8に示すように、レーザ光E1の走査範囲とレーザ光E2の走査範囲の一部の範囲O1が重なるように、ミラー141に対するレーザ光の入射角度が調整されたが、範囲O1の重なり量は、適宜調整され得る。たとえば、目標領域におけるレーザ光の照射漏れを確実に防ぐ必要がある場合は、範囲O1はある程度広くした方が望ましく、よりレーザ光の走査範囲の広角化が望まれる場合は、範囲O1は狭くした方が望ましい。
<Other changes>
In the above embodiment, as shown in FIG. 8, the incident angle of the laser beam on the mirror 141 is adjusted so that the scanning range of the laser beam E1 and the partial range O1 of the scanning range of the laser beam E2 overlap. However, the overlapping amount of the range O1 can be adjusted as appropriate. For example, if it is necessary to reliably prevent laser beam irradiation leakage in the target area, it is desirable to widen the range O1 to some extent. Is preferable.

また、ミラー141に入射させるレーザ光の数やミラー141に対するレーザ光の入射角度は、上記実施の形態の例に限られるものではなく、ミラー141の回動可能な角度、使用条件等に応じて、適宜調整され得る。たとえば、ミラー141の回動可能な角度が小さい場合は、4つのレーザ光がミラー141に入射されても良い。   In addition, the number of laser beams incident on the mirror 141 and the incident angle of the laser beams on the mirror 141 are not limited to the example in the above embodiment, and depend on the angle at which the mirror 141 can be rotated, usage conditions, and the like. Can be adjusted as appropriate. For example, when the angle at which the mirror 141 can be rotated is small, four laser beams may be incident on the mirror 141.

また、上記実施の形態では、パン方向の走査範囲を広げるために、ミラー141のミラー面に対して、パンシャフト12(図4参照)の回転方向において、異なる2つの入射角度でレーザ光が入射されたが、チルト方向の走査範囲を広げたい場合は、チルトシャフト
25、26(図1参照)の回転方向において、異なる2つの入射角度でレーザ光が入射されるようにしても良い。こうすると、チルト方向の走査範囲を広げることができる。
Further, in the above embodiment, in order to widen the scanning range in the pan direction, laser light is incident on the mirror surface of the mirror 141 at two different incident angles in the rotation direction of the pan shaft 12 (see FIG. 4). However, when it is desired to extend the scanning range in the tilt direction, the laser light may be incident at two different incident angles in the rotation direction of the tilt shafts 25 and 26 (see FIG. 1). In this way, the scanning range in the tilt direction can be expanded.

また、上記実施の形態では、2つの軸を回動軸としてミラー141を回動させるミラーアクチュエータ1に本発明が適用されたが、1つの軸を回動軸としてミラーを回動させるミラーアクチュエータに本発明が適用されても良い。   In the above embodiment, the present invention is applied to the mirror actuator 1 that rotates the mirror 141 about two axes as a rotation axis. However, the present invention is applied to a mirror actuator that rotates a mirror about one axis as a rotation axis. The present invention may be applied.

また、上記実施の形態では、ハーフミラー320と折り曲げミラー330によって、レーザ光を分光してミラー141に入射させたが、その他の分光手段でレーザ光が分光されても良い。たとえば、回折作用によってレーザ光を分光させる回折格子が用いられても良いし、偏向方向に応じてレーザ光を分光させる偏向ビームスプリッタが用いられても良い。   In the above embodiment, the laser light is split by the half mirror 320 and the bending mirror 330 and is incident on the mirror 141. However, the laser light may be split by other spectroscopic means. For example, a diffraction grating that splits laser light by a diffraction action may be used, or a deflection beam splitter that splits laser light according to the deflection direction may be used.

さらに、上記実施の形態では、ミラー141がパンシャフト12の軸方向から所定の角度で傾いていたが、ミラー141が傾いていなくても良い。   Further, in the above embodiment, the mirror 141 is inclined at a predetermined angle from the axial direction of the pan shaft 12, but the mirror 141 may not be inclined.

この他、本発明の実施の形態は、特許請求の範囲に示された技術的思想の範囲内において、適宜、種々の変更が可能である。   In addition, the embodiment of the present invention can be variously modified as appropriate within the scope of the technical idea shown in the claims.

1 … ミラーアクチュエータ
141 … ミラー
310 … 出射部
320 … ハーフミラー(分光素子)
330 … 折り曲げミラー
340、350 … 受光部
343、353 … 光検出器
507 … DSP(検出部)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Mirror actuator 141 ... Mirror 310 ... Output part 320 ... Half mirror (spectral element)
330 ... Bending mirror 340, 350 ... Light receiving part 343, 353 ... Photodetector 507 ... DSP (detection part)

Claims (7)

ミラーを回動させるミラーアクチュエータと、
前記ミラーの回動方向において異なる角度から複数のレーザ光を前記ミラーに入射させる出射部と、
目標領域からの前記複数のレーザ光の反射光を受光する受光部と、
前記受光部からの出力に基づき前記目標領域における物体を検出する検出部と、を備える、
ことを特徴とするレーザレーダ。
A mirror actuator for rotating the mirror;
An emitting section for allowing a plurality of laser beams to enter the mirror from different angles in the rotation direction of the mirror;
A light receiving unit that receives reflected light of the plurality of laser beams from a target region;
A detection unit that detects an object in the target region based on an output from the light receiving unit,
A laser radar characterized by that.
請求項1に記載のレーザレーダにおいて、
前記ミラーによって反射された複数のレーザ光の前記目標領域における走査範囲が一部重なる、
ことを特徴とするレーザレーダ。
The laser radar according to claim 1, wherein
The scanning ranges in the target area of the plurality of laser beams reflected by the mirror partially overlap,
A laser radar characterized by that.
請求項1または2に記載のレーザレーダにおいて、
前記出射部は、光源から出射されたレーザ光を分光する分光素子を備え、前記分光素子により分光されたレーザ光を異なる角度で前記ミラーに入射させる、
ことを特徴とするレーザレーダ。
The laser radar according to claim 1 or 2,
The emission unit includes a spectroscopic element that splits laser light emitted from a light source, and makes the laser light split by the spectroscopic element enter the mirror at different angles.
A laser radar characterized by that.
請求項3に記載のレーザレーダにおいて、
前記分光素子は、前記レーザ光の一部を透過させて前記ミラーに入射させるハーフミラーであり、
前記出射部は、前記ハーフミラーにより反射された前記レーザ光をさらに反射させて前記ミラーに入射させる折り曲げミラーを備える、
ことを特徴とするレーザレーダ。
The laser radar according to claim 3, wherein
The spectroscopic element is a half mirror that transmits a part of the laser light and enters the mirror.
The emitting portion includes a folding mirror that further reflects the laser light reflected by the half mirror and enters the mirror.
A laser radar characterized by that.
請求項1ないし4の何れか一項に記載のレーザレーダにおいて、
前記受光部は、前記複数のレーザ光の数に対応する複数の光検出器を含み、
前記複数の光検出器は、それぞれ、前記複数のレーザ光のうち何れか1つのレーザ光の前記反射光を受光する、
ことを特徴とするレーザレーダ。
In the laser radar according to any one of claims 1 to 4,
The light receiving unit includes a plurality of photodetectors corresponding to the number of the plurality of laser beams,
Each of the plurality of photodetectors receives the reflected light of any one of the plurality of laser beams;
A laser radar characterized by that.
請求項1ないし5の何れか一項に記載のレーザレーダにおいて、
前記出射部は、前記ミラーのミラー面の中心よりも所定方向に偏った位置に前記レーザ光を入射させ、
前記受光部は、前記ミラー面に対する前記レーザ光の入射位置よりも前記ミラー面の前記中心側の領域において反射される前記反射光が導かれる位置に配置される、
ことを特徴とするレーザレーダ。
The laser radar according to any one of claims 1 to 5,
The emission part makes the laser light incident at a position that is deviated in a predetermined direction from the center of the mirror surface of the mirror,
The light receiving portion is disposed at a position where the reflected light reflected in the region on the center side of the mirror surface from the incident position of the laser light on the mirror surface is guided.
A laser radar characterized by that.
ミラーを回動させるミラーアクチュエータと、
前記ミラーの回動方向において異なる角度から複数のレーザ光を前記ミラーに入射させる出射部と、を備える、
ことを特徴とするビーム照射装置。
A mirror actuator for rotating the mirror;
An emission part for allowing a plurality of laser beams to enter the mirror from different angles in the rotation direction of the mirror,
A beam irradiation apparatus characterized by that.
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