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JP2015141393A - Illumination device and projection device - Google Patents

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JP2015141393A
JP2015141393A JP2014015780A JP2014015780A JP2015141393A JP 2015141393 A JP2015141393 A JP 2015141393A JP 2014015780 A JP2014015780 A JP 2014015780A JP 2014015780 A JP2014015780 A JP 2014015780A JP 2015141393 A JP2015141393 A JP 2015141393A
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JP
Japan
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light
diffusion
incident
coherent light
optical element
Prior art date
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Pending
Application number
JP2014015780A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
田 一 敏 石
Kazutoshi Ishida
田 一 敏 石
重 牧 夫 倉
Makio Kurashige
重 牧 夫 倉
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an illumination device that can illuminate at sufficiently even luminance while making speckle unnoticeable.SOLUTION: An illumination device 40 comprises: a first diffusion element 50; an irradiation device 70 that irradiates the first diffusion element with coherent light so as to scan on the first diffusion element; a deflection element 55 that changes an optical path of the coherent light diffused by the first diffusion element; a uniformization optical element 65 through which incident light passes while totally reflected; and a second diffusion element 60 that is arranged in the optical path from the deflection element to the uniformization optical element. The coherent light, which is incident upon a certain area on the first diffusion element and diffused, and the coherent light, which is incident upon other area different from the certain area on the first diffusion element and diffused, are respectively converged to the second diffusion element by the deflection element, pass through the uniformization optical element after diffused by the second diffusion element, and are used in illumination.

Description

本発明は、照明装置および照明装置を有する投射装置に関する。   The present invention relates to an illumination device and a projection device having the illumination device.

例えば特許文献1に開示されているように、レンズアレイやホログラムからなる光学素子を用いた照明装置が知られている。とりわけ特許文献1に開示された照明装置では、コヒーレント光を射出する光源と、光源からの光の光路を周期的に変化させる走査装置と、を有した照射装置が設けられている。この照明装置では、光学素子上の各領域に入射した光の光路が、光学素子によって調整されて一定の被照明領域に向けられる。この結果、被照明領域は、光学素子上の各領域に対応した種々の方向から照明されることになる。   For example, as disclosed in Patent Document 1, an illumination device using an optical element including a lens array or a hologram is known. In particular, the illumination device disclosed in Patent Document 1 includes an irradiation device including a light source that emits coherent light and a scanning device that periodically changes the optical path of light from the light source. In this illumination device, the optical path of light incident on each area on the optical element is adjusted by the optical element and directed to a certain illuminated area. As a result, the illuminated area is illuminated from various directions corresponding to each area on the optical element.

レーザー光などのコヒーレント光を射出する照明装置では、スペックルの発生という問題が生じる。スペックル(speckle)は、レーザー光などのコヒーレント光を散乱面に照射したときに現れる斑点状の模様である。スペックルは、例えばスクリーン上に発生すると斑点状の輝度ムラ(明るさのムラ)として観察され、観察者に対して生理的な悪影響を及ぼす要因になる。特許文献1に開示された照明装置によれば、照明光の散乱面への入射角度が経時的に変化するため、コヒーレント光の拡散で生じる散乱面上でのスペックルが重畳されて時間的に平均化されて目立たなくなる。   In an illumination device that emits coherent light such as laser light, there is a problem of speckle generation. A speckle is a speckled pattern that appears when a scattering surface is irradiated with coherent light such as laser light. For example, speckle is observed as spot-like luminance unevenness (brightness unevenness) when it occurs on the screen, and causes a physiological adverse effect on the observer. According to the illumination device disclosed in Patent Document 1, since the incident angle of the illumination light on the scattering surface changes with time, speckles on the scattering surface generated by the diffusion of the coherent light are superimposed and temporally. Averaged to be inconspicuous.

WO2012/033179A1WO2012 / 033179A1

ところで、本件発明者らは、被照明領域での照度分布を均一化する観点から、図7に示すように、照明装置140に均一化光学素子165を追加することを検討している。図7に示された照明装置140では、拡散素子150とコンデンサレンズ155とを有した光学素子145が用いられている。コンデンサレンズは、拡散素子からの発散光束の光路を均一化光学素子の入射面に向ける。この照明装置におけるスペックルの不可視化は、コンデンサレンズから均一化光学素子に入射する入射光束の光軸の角度変動の大きさθxaを大きくすることによって、達成され得る。 By the way, the present inventors are considering adding a homogenizing optical element 165 to the illumination device 140 as shown in FIG. 7 from the viewpoint of uniformizing the illuminance distribution in the illuminated area. In the illumination device 140 shown in FIG. 7, an optical element 145 having a diffusing element 150 and a condenser lens 155 is used. The condenser lens directs the optical path of the divergent light beam from the diffusing element toward the incident surface of the uniformizing optical element. Speckle invisibility in the illumination device can be achieved by increasing the magnitude θ xa of the angle variation of the optical axis of the incident light beam incident on the uniformizing optical element from the condenser lens.

その一方で、拡散素子での拡散能の強さθyaは、スペックル低減に直接的に寄与しない。均一化光学素子まで光源光をより確実に誘導してより高い利用効率で利用する観点からは、拡散素子での拡散角θyaを広げ過ぎないことが有効である。また、光源光の利用効率以外の観点からも、図8及び図9に示すように、拡散素子での拡散角θyaを広げることには制約が生じる。図8に示すように、拡散素子150での拡散角θybを大きく設定すると、大型のコンデンサレンズ156を用いる必要が生じ照明装置も大型化してしまう。また、図9に示すように、コンデンサレンズ155を大型化させずに拡散素子150での拡散角θybを大きくするには、拡散素子151を小型化する必要が生じる。拡散素子151を小型すると、光軸の角度変動の大きさθxbが小さくなり、スペックルを十分に目立たなくすることができなくなる。 On the other hand, the intensity θ ya of the diffusibility in the diffusing element does not directly contribute to speckle reduction. From the viewpoint of more reliably guiding the light source light to the homogenizing optical element and using it with higher utilization efficiency, it is effective not to widen the diffusion angle θ ya at the diffusion element too much. Further, from the viewpoint other than the utilization efficiency of the light source light, as shown in FIGS. 8 and 9, there is a restriction on increasing the diffusion angle θ ya in the diffusion element. As shown in FIG. 8, when the diffusion angle θ yb in the diffusing element 150 is set large, it is necessary to use a large condenser lens 156, and the illuminating device is also enlarged. Further, as shown in FIG. 9, in order to increase the diffusion angle θ yb in the diffusing element 150 without increasing the size of the condenser lens 155, it is necessary to reduce the size of the diffusing element 151. If the diffusing element 151 is reduced in size, the magnitude of the angle variation of the optical axis θ xb becomes smaller, and the speckle cannot be made inconspicuous enough.

しかしながら、拡散素子での拡散角θyaが小さいと、図7に示すように、均一化光学素子165の長さにも依存するが、均一化光学素子165内で十分に全反射が繰り返されなくなる。結果として、各瞬間において、均一化光学素子165の出射面のうちの一部分のみからしか光が出射しなくなる。すなわち、各瞬間に照明可能となる領域LZは、均一化光学素子165の出射面に対面する被照明領域LZの一部分となってしまい、被照明領域LZを均一な照度にて照明することができない。 However, if the diffusion angle θ ya at the diffusing element is small, the total reflection is not sufficiently repeated in the uniformizing optical element 165, depending on the length of the uniformizing optical element 165, as shown in FIG. . As a result, at each moment, light is emitted only from a part of the emission surface of the uniformizing optical element 165. That is, zone LZ a that enables illumination at each instant is becomes a part of the illumination zone LZ facing the exit surface of uniformizing optics 165, it is possible to illuminate the illumination zone LZ at uniform illuminance Can not.

本発明は、以上の点を考慮してなされたものであり、スペックルを目立たなくさせながら十分に均一な照度で照明することができる照明装置、並びに、この照明装置を用いた投射装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in consideration of the above points, and provides an illuminating device capable of illuminating with sufficiently uniform illuminance while making speckles inconspicuous, and a projection device using the illuminating device. The purpose is to do.

本発明による照明装置は、
第1拡散素子と、
前記第1拡散素子上を走査するようにして前記第1拡散素子にコヒーレント光を照射する照射装置と、
前記第1拡散素子で拡散されたコヒーレント光の光路を変更する偏向素子と、
前記偏向素子で光路を変更されたコヒーレント光が反射しながら通過する均一化光学素子と、
前記偏向素子から前記均一化光学素子までの光路に配置される第2拡散素子と、を備え、
前記第1拡散素子上の或る領域に入射して拡散されたコヒーレント光、並びに、前記第1拡散素子上の前記或る領域とは異なる別の領域に入射して拡散されたコヒーレント光が、それぞれ、前記偏向素子によって前記第2拡散素子に集められ、当該第2拡散素子によって拡散された後に均一化光学素子を通過して照明に用いられる。
The lighting device according to the present invention comprises:
A first diffusing element;
An irradiation device for irradiating the first diffusion element with coherent light so as to scan on the first diffusion element;
A deflection element for changing an optical path of coherent light diffused by the first diffusion element;
A uniformizing optical element through which the coherent light whose optical path has been changed by the deflecting element is reflected, and
A second diffusing element disposed in an optical path from the deflecting element to the homogenizing optical element,
Coherent light that has been incident and diffused on a certain region on the first diffusion element, and coherent light that has been incident and diffused on another region different from the certain region on the first diffusion element are: Each is collected by the deflecting element on the second diffusing element, diffused by the second diffusing element, and then passed through the uniformizing optical element and used for illumination.

本発明による照明装置において、前記第2拡散素子は、凹レンズを含むようにしてもよい。   In the illumination device according to the present invention, the second diffusing element may include a concave lens.

本発明による照明装置において、前記第2拡散素子は、凸レンズを含むようにしてもよい。   In the illumination device according to the present invention, the second diffusing element may include a convex lens.

本発明による照明装置において、前記第2拡散素子は、前記均一化光学素子の入射面上に配置されていてもよい。   In the illumination device according to the present invention, the second diffusing element may be disposed on an incident surface of the uniformizing optical element.

本発明による照明装置において、前記第2拡散素子の主点は、前記偏向素子の後側焦点上に位置していてもよい。   In the illuminating device according to the present invention, the principal point of the second diffusing element may be located on the rear focal point of the deflecting element.

本発明による照明装置において、前記偏向素子から前記第2拡散素子までの距離は、前記偏向素子の焦点距離以上であるようにしてもよい。   In the illumination device according to the present invention, a distance from the deflection element to the second diffusion element may be equal to or greater than a focal length of the deflection element.

本発明による照明装置において、前記第2拡散素子から前記均一化光学素子の入射面までの距離は、前記偏向素子から前記第2拡散素子までの距離よりも短くなっていてもよい。   In the illumination device according to the present invention, a distance from the second diffusion element to the incident surface of the uniformizing optical element may be shorter than a distance from the deflection element to the second diffusion element.

本発明による照明装置において、前記第1拡散素子の入射面から前記偏向素子までの距離は、前記第2拡散素子から前記均一化光学素子の入射面までの距離よりも長く、前記偏向素子から前記第2拡散素子までの距離よりも短くなっていてもよい。   In the illumination device according to the present invention, a distance from the incident surface of the first diffusing element to the deflecting element is longer than a distance from the second diffusing element to the incident surface of the homogenizing optical element. It may be shorter than the distance to the second diffusion element.

本発明による照明装置において、前記第1拡散素子は、複数の凹レンズを含むレンズアレイを有するようにしてもよい。   In the illumination device according to the present invention, the first diffusion element may have a lens array including a plurality of concave lenses.

本発明による照明装置において、前記第1拡散素子は、複数の凸レンズを含むレンズアレイを有するようにしてもよい。   In the illumination device according to the present invention, the first diffusion element may have a lens array including a plurality of convex lenses.

本発明による照明装置において、前記第1拡散素子は、ホログラム記録媒体を含むようにしてもよい。   In the illumination device according to the present invention, the first diffusion element may include a hologram recording medium.

本発明による投射装置は、
上述した本発明による照明装置のいずれかと、
前記照明装置からの光によって照明される空間光変調器と、を備える。
The projection apparatus according to the present invention
Any of the lighting devices according to the invention described above;
A spatial light modulator illuminated by light from the illumination device.

本発明による投射装置が、前記空間光変調器からの光を被投射体上に向ける投射光学系を、さらに備えるようにしてもよい。   The projection apparatus according to the present invention may further include a projection optical system that directs light from the spatial light modulator onto the projection target.

本発明による投射型表示装置は、
上述した本発明による投射装置のいずれかと、
前記投射装置から光を投射される被投射体と、を備える。
The projection display device according to the present invention is
Any of the projection devices according to the invention described above;
A projection object to which light is projected from the projection device.

本発明によれば、スペックルを目立たなくさせることができるとともに、十分に均一な照度で照明することができる。   According to the present invention, speckles can be made inconspicuous, and illumination can be performed with sufficiently uniform illuminance.

図1は、本発明による一実施の形態を説明するための図であって、投射装置および投射型表示装置の概略構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram for explaining an embodiment of the present invention, and is a diagram showing a schematic configuration of a projection device and a projection display device. 図2は、図1の投射装置に含まれた照明装置を示す図である。FIG. 2 is a diagram illustrating an illumination device included in the projection device of FIG. 図3は、図1の部分拡大図である。FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 図4は、図2に対応する図であって、照明装置の一変形例を示す図である。FIG. 4 is a diagram corresponding to FIG. 2 and showing a modification of the illumination device. 図5は、図2に対応する図であって、照明装置の他の変形例を示す図である。FIG. 5 is a view corresponding to FIG. 2 and showing another modification of the illumination device. 図6は、図1に対応する図であって、照明装置のさらに他の変形例を示す図である。FIG. 6 is a diagram corresponding to FIG. 1 and is a diagram illustrating still another modification of the illumination device. 図7は、照明装置の一参考例を示す図である。FIG. 7 is a diagram illustrating a reference example of the lighting device. 図8は、照明装置の他の参考例を示す図である。FIG. 8 is a diagram illustrating another reference example of the lighting device. 図9は、照明装置のさらに他の参考例を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing still another reference example of the lighting device.

以下、図面を参照して本発明の一実施の形態について説明する。なお、本件明細書に添付する図面においては、図示と理解のしやすさの便宜上、適宜縮尺および縦横の寸法比等を、実物のそれらから変更し誇張してある。   Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings. In the drawings attached to the present specification, for the sake of illustration and ease of understanding, the scale, the vertical / horizontal dimension ratio, and the like are appropriately changed and exaggerated from those of the actual product.

また、本明細書において用いる、形状や幾何学的条件並びにそれらの程度を特定する、例えば、「平行」、「直交」、「同一」等の用語や長さや角度の値等については、厳密な意味に縛られることなく、同様の機能を期待し得る程度の範囲を含めて解釈することとする。   In addition, as used in this specification, the shape and geometric conditions and the degree thereof are specified, for example, terms such as “parallel”, “orthogonal”, “identical”, length and angle values, etc. are strictly Without being bound by meaning, it should be interpreted including the extent to which similar functions can be expected.

図1に示す投射型映像表示装置10は、スクリーン15と、映像光を投射する投射装置20と、を有している。投射装置20は、仮想面上に位置する被照明領域LZをコヒーレント光で照明する照明装置40と、被照明領域LZと重なる位置に配置され照明装置40によって照明される空間光変調器30と、空間光変調器30からのコヒーレント光をスクリーン15に投射する投射光学系25と、を有している。すなわち、ここで説明する一実施の形態において、照明装置40は、空間光変調器30を照明するための照明装置として、投射装置20に組み込まれている。そして、照明装置40は、コヒーレント光によって被照明領域LZを照明するが、この照明装置40には、スペックルを目立たなくさせる工夫がなされている。   A projection video display device 10 shown in FIG. 1 includes a screen 15 and a projection device 20 that projects video light. The projection device 20 includes an illumination device 40 that illuminates the illuminated region LZ located on the virtual plane with coherent light, a spatial light modulator 30 that is disposed at a position overlapping the illuminated region LZ, and is illuminated by the illumination device 40, A projection optical system 25 that projects coherent light from the spatial light modulator 30 onto the screen 15. That is, in one embodiment described here, the illumination device 40 is incorporated in the projection device 20 as an illumination device for illuminating the spatial light modulator 30. And although the illuminating device 40 illuminates the to-be-illuminated area | region LZ with coherent light, the device which makes speckle inconspicuous is made | formed in this illuminating device 40.

まず、照明装置40について説明する。図1に示されているように、照明装置40は、コヒーレント光を照射する照射装置70と、照射装置からの光を所定の領域に向ける光学素子45と、光学素子45から照射されるコヒーレント光を拡散させる第2拡散素子60と、第2拡散素子60で拡散されたコヒーレント光を誘導する均一化光学素子65と、を有している。   First, the illumination device 40 will be described. As shown in FIG. 1, the illumination device 40 includes an irradiation device 70 that emits coherent light, an optical element 45 that directs light from the irradiation device to a predetermined region, and coherent light emitted from the optical element 45. And a homogenizing optical element 65 for guiding the coherent light diffused by the second diffusion element 60.

この照明装置40において、照射装置70は、光学素子45上を走査するようにして当該光学素子45にコヒーレント光を照射する。したがって、ある瞬間に、照射装置70によってコヒーレント光を照射されている光学素子45上の領域は、光学素子45の表面の一部分となる。光学素子45は、走査経路上の或る一つの領域に入射したコヒーレント光、並びに、走査経路上の前記或る一つの領域からずれた位置にある別の一つの領域に入射したコヒーレント光が、それぞれ第2拡散素子60に入射するように、光路を調整する。とりわけ、以下に説明する実施の形態では、光学素子45の入射面をなす第1拡散素子50を平面分割してなる複数の領域にそれぞれに入射した光が、第2拡散素子60に入射するよう、照射装置70から光学素子45に照射されたコヒーレント光の光路が調整される。第2拡散素子60に入射した光は、当該第2拡散素子60で拡散された後に、均一化光学素子65を通過して被照明領域LZの照明に用いられる。   In the illumination device 40, the irradiation device 70 irradiates the optical element 45 with coherent light so as to scan the optical element 45. Therefore, at a certain moment, the region on the optical element 45 irradiated with the coherent light by the irradiation device 70 becomes a part of the surface of the optical element 45. The optical element 45 receives coherent light incident on a certain area on the scanning path and coherent light incident on another area at a position shifted from the certain area on the scanning path. The optical paths are adjusted so as to be incident on the second diffusing element 60, respectively. In particular, in the embodiment described below, light incident on each of a plurality of regions obtained by dividing the first diffusion element 50 forming the incident surface of the optical element 45 into a plane is incident on the second diffusion element 60. The optical path of the coherent light irradiated to the optical element 45 from the irradiation device 70 is adjusted. The light incident on the second diffusing element 60 is diffused by the second diffusing element 60 and then passes through the homogenizing optical element 65 to be used for illuminating the illuminated region LZ.

照射装置70は、特定波長帯域のコヒーレント光を射出する光源装置71と、光源装置71からの光の進行方向を光学素子45に向ける走査装置75と、を有している。光源装置71は、コヒーレント光を生成する光源72、例えばレーザー光源72を有している。   The irradiation device 70 includes a light source device 71 that emits coherent light in a specific wavelength band, and a scanning device 75 that directs the traveling direction of light from the light source device 71 toward the optical element 45. The light source device 71 includes a light source 72 that generates coherent light, for example, a laser light source 72.

一方、走査装置75は、光源72からのコヒーレント光の光路を経時的に変化させるデバイスである。図示された具体例において、走査装置75は、一つの回動軸Raを中心として回動可能な光路変更部材を有している。光路変更部材は、それ自体、入射光の光路を変更する機能を有している。この光路変更部材が、一つの軸Raを中心として回動する。すなわち、図示された照射装置70は、一次元走査デバイスとして構成されている。光路変更部材としては、プリズム等を例示することもできるが、図示された例では、反射面76aを有した反射部材76として構成されている。この反射部材76は、反射面76aと平行な回動軸Raを中心として回動可能に保持されている。このような走査装置75は、一例として、共振ミラーデバイスから構成され得る。   On the other hand, the scanning device 75 is a device that changes the optical path of coherent light from the light source 72 over time. In the illustrated example, the scanning device 75 has an optical path changing member that can rotate around a single rotation axis Ra. The optical path changing member itself has a function of changing the optical path of incident light. This optical path changing member rotates around one axis Ra. That is, the illustrated irradiation apparatus 70 is configured as a one-dimensional scanning device. As the optical path changing member, a prism or the like can be exemplified, but in the illustrated example, it is configured as a reflecting member 76 having a reflecting surface 76a. The reflection member 76 is held so as to be rotatable about a rotation axis Ra parallel to the reflection surface 76a. Such a scanning device 75 may be constituted by a resonant mirror device as an example.

次に、光学素子45について説明する。光学素子45は、上述したように、各領域への入射光を当該領域の位置に応じた特定の方向に向ける光路制御機能を有している。ここで説明する光学素子45は、各領域への入射光の進行方向を変更して、第2拡散素子60に集める。すなわち、光学素子45の入射面を平面分割してなる各領域に照射された照射装置70からのコヒーレント光は、光学素子45を経由した後に、第2拡散素子60に向かうようになる。   Next, the optical element 45 will be described. As described above, the optical element 45 has an optical path control function that directs incident light to each region in a specific direction according to the position of the region. The optical element 45 described here collects the second diffusion element 60 by changing the traveling direction of the incident light to each region. That is, the coherent light from the irradiation device 70 irradiated to each region obtained by dividing the incident surface of the optical element 45 into a plane is directed to the second diffusion element 60 after passing through the optical element 45.

図1及び図2に示すように、光学素子45は、光学素子45の入射面をなす第1拡散素子50と、第1拡散素子50で拡散されたコヒーレント光の光路を調整する偏向素子55と、を有している。図2に示すように、光学素子45は、入射光を拡散して、当該光の光路幅を広げる。偏向素子55は、光路幅を広げられた光学素子45からの光束の光路を補正して第2拡散素子60に集める。   As shown in FIGS. 1 and 2, the optical element 45 includes a first diffusing element 50 that forms an incident surface of the optical element 45, and a deflecting element 55 that adjusts an optical path of coherent light diffused by the first diffusing element 50. ,have. As shown in FIG. 2, the optical element 45 diffuses incident light and widens the optical path width of the light. The deflecting element 55 corrects the optical path of the light beam from the optical element 45 whose optical path width is widened and collects it in the second diffusing element 60.

一例として、図1及び図2に示された例において、第1拡散素子50は、照射装置70からの光の入射方向に対応して形成されたレンズアレイ51を含んで構成され得る。ここで「レンズアレイ」とは、単位レンズとも呼ばれる小さなレンズの集合体であり、屈折または反射によって光の進行方向を偏向させる素子として機能する。図示された例において、レンズアレイ51は、凹レンズからなる単位凹レンズ52を敷き詰めて形成されている。レンズアレイ51をなす複数の単位凹レンズ52は、各凹レンズの光軸と直交する仮想面上に並べられている。そして、レンズアレイ51は、各単位凹レンズ52に対応する各領域に入射する光を拡散させる。一方、図2に示された一具体例において、偏向素子55は、レンズアレイ51に対向して配置されたコンデンサレンズまたはフィールドレンズとして機能するレンズ56から構成されている。   As an example, in the example shown in FIGS. 1 and 2, the first diffusing element 50 may be configured to include a lens array 51 formed corresponding to the incident direction of light from the irradiation device 70. Here, the “lens array” is a collection of small lenses, also called unit lenses, and functions as an element that deflects the traveling direction of light by refraction or reflection. In the illustrated example, the lens array 51 is formed by spreading unit concave lenses 52 made of concave lenses. The plurality of unit concave lenses 52 constituting the lens array 51 are arranged on a virtual plane orthogonal to the optical axis of each concave lens. The lens array 51 diffuses light incident on each region corresponding to each unit concave lens 52. On the other hand, in one specific example shown in FIG. 2, the deflecting element 55 includes a lens 56 that functions as a condenser lens or a field lens disposed to face the lens array 51.

第2拡散素子60は、第1拡散素子50の単位レンズと同様に、入射光を拡散して、光路幅を広げることができる。図示された例において、第2拡散素子60は、凹レンズ61として形成されている。   Similar to the unit lens of the first diffusing element 50, the second diffusing element 60 can diffuse incident light and widen the optical path width. In the illustrated example, the second diffusing element 60 is formed as a concave lens 61.

均一化光学素子65は、被照明領域LZにおける照度の均一化を確保するために設けられた素子である。均一化光学素子65の入射面65aへ入射したコヒーレント光は、均一化光学素子65内で反射、例えば全反射を繰り返し、出射面65bから出射する。この結果、均一化光学素子65の出射面65bでの照度分布は均一化する。図示された例では、均一化光学素子65の出射面65bに対面する領域を被照明領域LZとしている。すなわち、均一化光学素子65を設けることで、被照明領域LZ内の全域が均一な光量で照明されることになる。   The homogenizing optical element 65 is an element provided to ensure uniform illuminance in the illuminated area LZ. The coherent light incident on the incident surface 65a of the homogenizing optical element 65 is repeatedly reflected, for example, totally reflected in the homogenizing optical element 65, and is emitted from the emitting surface 65b. As a result, the illuminance distribution on the exit surface 65b of the homogenizing optical element 65 becomes uniform. In the illustrated example, an area facing the emission surface 65b of the homogenizing optical element 65 is an illuminated area LZ. That is, by providing the uniformizing optical element 65, the entire area within the illuminated area LZ is illuminated with a uniform light amount.

均一化光学素子65は、例えばインテグレータロッド66を用いて構成可能である。インテグレータロッド66は、筒状になっており、その入射面に入射したコヒーレント光を内壁で全反射させながら出射面方向に伝搬させる。これにより、インテグレータロッド66の出射面からは、出射面内の全域で光量が均一なコヒーレント光が出射される。ここで、均一化の程度は、個々の使用形態によって異なるが、概略的な目安としては、出射面での照度分布のばらつきが10%以内である。なお、均一化光学素子65としては、インテグレータロッドに限られることなく、例えばカライドスコープやライトパイプを用いることができる。   The homogenizing optical element 65 can be configured using, for example, an integrator rod 66. The integrator rod 66 has a cylindrical shape, and propagates the coherent light incident on the incident surface in the direction of the exit surface while totally reflecting the light on the inner wall. As a result, coherent light having a uniform amount of light is emitted from the exit surface of the integrator rod 66 throughout the exit surface. Here, the degree of homogenization varies depending on each usage pattern, but as a rough guide, the variation in the illuminance distribution on the exit surface is within 10%. The homogenizing optical element 65 is not limited to the integrator rod, and for example, a kaleidoscope or a light pipe can be used.

次に、空間光変調器30について説明する。空間光変調器30は、被照明領域LZに重ねて配置される。そして、空間光変調器30は、照明装置40によって照明され、変調画像を形成する。照明装置40からの光は、被照明領域LZの全域のみを照明する。したがって、空間光変調器30の入射面は、照明装置40によって光を照射される被照明領域LZと同一の形状および大きさであることが好ましい。この場合、照明装置40からの光を、変調画像の形成に高い利用効率で利用することができるからである。   Next, the spatial light modulator 30 will be described. The spatial light modulator 30 is disposed so as to overlap the illuminated area LZ. The spatial light modulator 30 is illuminated by the illumination device 40 to form a modulated image. The light from the illumination device 40 illuminates only the entire illuminated area LZ. Therefore, it is preferable that the incident surface of the spatial light modulator 30 has the same shape and size as the illuminated region LZ irradiated with light by the illumination device 40. In this case, it is because the light from the illuminating device 40 can be utilized with high utilization efficiency for the formation of a modulated image.

空間光変調器30は、特に制限されることなく、種々の公知の空間光変調器を利用することができる。例えば、偏光を利用することなく変調画像を形成する空間光変調器、例えばデジタルミラーデバイス(DMD)や、偏光を利用して変調画像を形成する透過型の液晶マイクロディスプレイや反射型のLCoS(Liquid Crystal On Silicon(登録商標))を、空間光変調器30として用いることができる。   The spatial light modulator 30 is not particularly limited, and various known spatial light modulators can be used. For example, a spatial light modulator that forms a modulated image without using polarized light, such as a digital mirror device (DMD), a transmissive liquid crystal microdisplay that forms a modulated image using polarized light, or a reflective LCoS (Liquid) Crystal On Silicon (registered trademark) can be used as the spatial light modulator 30.

図1に示された例のように、空間光変調器30が、透過型の液晶マイクロディスプレイである場合、照明装置40によって面状に照明される空間光変調器30が、画素毎にコヒーレント光を選択して透過させることにより、空間光変調器30をなすディスプレイの画面上に変調画像が形成されるようになる。こうして得られた変調画像は、最終的には、投射光学系25によって、等倍で或いは変倍されてスクリーン15へ投射される。これにより、観察者は、スクリーン15上に投射された当該画像を観察することができる。スクリーン15は、透過型スクリーンとして構成されていてもよいし、反射型スクリーンとして構成されていてもよい。   As in the example shown in FIG. 1, when the spatial light modulator 30 is a transmissive liquid crystal microdisplay, the spatial light modulator 30 illuminated in a planar shape by the illumination device 40 is coherent light for each pixel. By selecting and transmitting, a modulated image is formed on the screen of the display forming the spatial light modulator 30. The modulated image thus obtained is finally projected onto the screen 15 by the projection optical system 25 at the same magnification or scaled. Thereby, the observer can observe the image projected on the screen 15. The screen 15 may be configured as a transmissive screen or may be configured as a reflective screen.

次に、以上の構成からなる照明装置40、投射装置20および投射型映像表示装置10の作用について説明する。   Next, the operation of the illumination device 40, the projection device 20, and the projection display device 10 having the above-described configuration will be described.

まず、照射装置70は、光学素子45の第1拡散素子50上を走査するようにして、第1拡散素子50へコヒーレント光を照射する。具体的には、光源装置71の光源72で一定方向に沿って進む特定波長帯域のコヒーレント光が生成され、このコヒーレント光が走査装置75で進行方向を変えられる。走査装置75は、周期的な動作を行っており、この結果、第1拡散素子50上でのコヒーレント光の入射位置も、周期的に変化するようになる。   First, the irradiation device 70 irradiates the first diffusion element 50 with coherent light so as to scan the first diffusion element 50 of the optical element 45. Specifically, coherent light of a specific wavelength band traveling along a certain direction is generated by the light source 72 of the light source device 71, and the traveling direction of the coherent light is changed by the scanning device 75. The scanning device 75 performs a periodic operation. As a result, the incident position of the coherent light on the first diffusion element 50 also changes periodically.

第1拡散素子50の各単位凹レンズ52に入射したコヒーレント光は、それぞれ、第1拡散素子50での拡散機能により拡散され、光路幅を広げて偏向素子55に入射する。偏向素子55へ入射したコヒーレント光は、偏向素子55での光路調整機能により、第2拡散素子60向けられる。すなわち、第1拡散素子50の各領域に入射したコヒーレント光は、それぞれ、第2拡散素子60に集められるようになる。なお、図示された例において、第1拡散素子50上の各領域に入射したコヒーレント光は、それぞれ、図1に一点鎖線で示された光軸が互いに平行となるように、光路を変更される。そして、偏向素子55での光路変更機能により、第1拡散素子50上の各領域に入射したコヒーレント光の光軸は、偏向素子55をなすレンズ56の後側焦点Pにて交わるようになる。 The coherent light incident on each unit concave lens 52 of the first diffusing element 50 is diffused by the diffusing function of the first diffusing element 50 and is incident on the deflecting element 55 with the optical path width widened. The coherent light incident on the deflection element 55 is directed to the second diffusion element 60 by the optical path adjustment function of the deflection element 55. That is, the coherent light incident on each region of the first diffusion element 50 is collected by the second diffusion element 60. In the illustrated example, the optical path of the coherent light incident on each region on the first diffusing element 50 is changed so that the optical axes indicated by the alternate long and short dash lines in FIG. 1 are parallel to each other. . Then, due to the optical path changing function in the deflecting element 55, the optical axes of the coherent light incident on each region on the first diffusing element 50 intersect at the rear focal point P f of the lens 56 constituting the deflecting element 55. .

第2拡散素子60は、均一化光学素子65の入射面65aに対面する位置に配置されている。したがって、第2拡散素子60に入射したコヒーレント光は、発散角を広げて、均一化光学素子65に入射する。均一化光学素子65は、入射光の全反射を繰り返し引き起こすことにより、光量の面内分布を均一化させる機能を有している。そして、第2拡散素子60で拡散された発散光は、この均一化光学素子65の均一化作用を効果的に及ぼされやすくなる。すなわち、第1拡散素子50上へのコヒーレント光の入射領域に依存することなく、常に、均一化光学素子65の出射面65b内の各位置から均一な光量にてコヒーレント光が出射することができるようになる。以上のようにして、照射装置70は、均一化光学素子65の出射面65bに対面する被照明領域LZをコヒーレント光で均一に照明することができる。   The second diffusing element 60 is disposed at a position facing the incident surface 65 a of the homogenizing optical element 65. Therefore, the coherent light incident on the second diffusing element 60 is incident on the uniformizing optical element 65 with a divergence angle widened. The homogenizing optical element 65 has a function of making the in-plane distribution of the light quantity uniform by repeatedly causing total reflection of incident light. The divergent light diffused by the second diffusing element 60 is likely to be effectively subjected to the homogenizing action of the homogenizing optical element 65. That is, the coherent light can always be emitted with a uniform light amount from each position in the emission surface 65b of the homogenizing optical element 65 without depending on the incident region of the coherent light on the first diffusion element 50. It becomes like this. As described above, the irradiation device 70 can uniformly illuminate the illuminated area LZ facing the emission surface 65b of the homogenizing optical element 65 with coherent light.

図1に示すように、投射装置20においては、照明装置40の被照明領域LZと重なる位置に空間光変調器30が配置されている。このため、空間光変調器30は、照明装置40によって面状に照明され、画素毎にコヒーレント光を選択して透過させることにより、映像を形成するようになる。この映像は、投射光学系25によってスクリーン15に投射される。スクリーン15に投射されたコヒーレント光は、拡散され、観察者に映像として認識されるようになる。   As shown in FIG. 1, in the projection device 20, the spatial light modulator 30 is arranged at a position overlapping the illuminated area LZ of the illumination device 40. For this reason, the spatial light modulator 30 is illuminated in a planar shape by the illumination device 40, and forms an image by selecting and transmitting the coherent light for each pixel. This image is projected onto the screen 15 by the projection optical system 25. The coherent light projected on the screen 15 is diffused and recognized as an image by the observer.

ところで、スクリーン上に投射されたコヒーレント光は拡散によって干渉し、スペックルを生じさせることになる。一方、ここで説明する照明装置40によれば、次に説明するように、スペックルを極めて効果的に目立たなくさせることができる。   By the way, the coherent light projected on the screen interferes by diffusion and causes speckle. On the other hand, according to the illuminating device 40 described here, speckles can be made extremely inconspicuous as described below.

スペックルを目立たなくさせるには、偏光・位相・角度・時間といったパラメータを多重化し、モードを増やすことが有効であるとされている。ここでいうモードとは、互いに無相関なスペックルパターンのことである。例えば、複数のレーザー光源から同一のスクリーンに異なる方向からコヒーレント光を投射した場合、レーザー光源の数だけ、モードが存在することになる。また、同一のレーザー光源からのコヒーレント光を、時間を区切って異なる方向から、スクリーンに投射した場合、人間の目で分解不可能な時間の間にコヒーレント光の入射方向が変化した回数だけ、モードが存在することになる。そして、このモードが多数存在する場合には、光の干渉パターンが無相関に重ねられ平均化され、結果として、観察者の目によって観察されるスペックルが目立たなくなるものと考えられている。   In order to make speckles inconspicuous, it is effective to multiplex parameters such as polarization, phase, angle, and time and increase the mode. The mode here refers to speckle patterns that are uncorrelated with each other. For example, when coherent light is projected from different directions onto the same screen from a plurality of laser light sources, there are as many modes as the number of laser light sources. In addition, when coherent light from the same laser light source is projected onto the screen from different directions at different times, the mode will be the same as the number of times the incident direction of the coherent light has changed during a time that cannot be resolved by the human eye. Will exist. When there are a large number of these modes, the interference patterns of light are uncorrelated and averaged, and as a result, speckles observed by the observer's eyes are considered inconspicuous.

上述した照明装置40では、コヒーレント光が、第1拡散素子50上を走査するようにして、第1拡散素子50に照射される。第1拡散素子50へ入射したコヒーレント光は、偏向素子55にて光路を調整された後に、第2拡散素子60を経て均一化光学素子65に入射する。したがって、均一化光学素子65に入射するコヒーレント光の入射方向は、変化し続ける。そして、均一化光学素子65による均一化機能は、当該均一化光学素子65の内部での全反射に起因している。したがって、ある瞬間に均一化光学素子65から出射する光束の進行方向は、当該光束が均一化光学素子65に入射した際の進行方向に依存して決定される。均一化光学素子65による均一化機能が十分に発揮されていると仮定すれば、当該光束の均一化光学素子65の入射面65aへの入射時における最大入射角度の大きさは、当該光束の均一化光学素子65の出射面65bからの出射時における最大出射角度の大きさとなり、同様に、当該光束の均一化光学素子65の入射面65aへの入射時における最小入射角度の大きさが、当該光束の均一化光学素子65の出射面65bからの出射時における最小出射角度の大きさとなる。   In the illumination device 40 described above, the coherent light is applied to the first diffusion element 50 so as to scan the first diffusion element 50. The coherent light incident on the first diffusing element 50 is adjusted in the optical path by the deflecting element 55 and then enters the uniformizing optical element 65 via the second diffusing element 60. Therefore, the incident direction of the coherent light incident on the homogenizing optical element 65 continues to change. The homogenizing function of the homogenizing optical element 65 is caused by total reflection inside the homogenizing optical element 65. Therefore, the traveling direction of the light beam emitted from the homogenizing optical element 65 at a certain moment is determined depending on the traveling direction when the light beam enters the uniformizing optical element 65. Assuming that the homogenizing function by the homogenizing optical element 65 is sufficiently exerted, the maximum incident angle when the light beam is incident on the incident surface 65a of the homogenizing optical element 65 is equal to the uniform light beam. The size of the maximum emission angle at the time of emission from the emission surface 65b of the opticalizing element 65 is the same, and similarly, the size of the minimum incident angle at the time of incidence of the light flux on the incident surface 65a of the uniformizing optical element 65 is It becomes the size of the minimum emission angle at the time of emission from the emission surface 65b of the optical element 65 for uniformizing the luminous flux.

すなわち、均一化光学素子65の出射面65bから出射するコヒーレント光の出射方向の角度域は、当該光が均一化光学素子65の入射面65aへ入射する際の入射角度の角度域に依存する。そして、均一化光学素子65へのコヒーレント光の入射角度が経時的に変化することから、均一化光学素子65の出射面65bから出射するコヒーレント光の出射方向の角度域も変化することになる。その一方で、任意の瞬間に均一化光学素子65の出射面65bから出射するコヒーレント光の出射方向の角度域は、出射面65b内の各位置において或る程度均一化する。   That is, the angle range of the coherent light exiting from the exit surface 65b of the homogenizing optical element 65 depends on the angle range of the incident angle when the light enters the entrance surface 65a of the homogenizing optical element 65. And since the incident angle of the coherent light to the homogenizing optical element 65 changes with time, the angular range of the emitting direction of the coherent light emitted from the emitting surface 65b of the homogenizing optical element 65 also changes. On the other hand, the angular range in the emission direction of the coherent light emitted from the emission surface 65b of the homogenizing optical element 65 at any moment is made uniform to some extent at each position in the emission surface 65b.

すなわち、照射装置70から第1拡散素子50の各領域に入射したコヒーレント光は、それぞれ、同一の被照明領域LZの全域をコヒーレント光で照明することになるが、当該被照明領域LZを照明するコヒーレント光の照明方向は互いに異なる。そして、コヒーレント光が入射する第1拡散素子50上の領域が経時的に変化するため、被照明領域LZへのコヒーレント光の入射方向も経時的に変化する。   That is, the coherent light incident on each area of the first diffusion element 50 from the irradiation device 70 illuminates the entire illuminated area LZ with the coherent light, but illuminates the illuminated area LZ. The illumination directions of coherent light are different from each other. Since the region on the first diffusion element 50 where the coherent light enters changes with time, the incident direction of the coherent light to the illuminated region LZ also changes with time.

被照明領域LZを基準にして考えると、被照明領域LZ内の各領域には絶えずコヒーレント光が入射してくるが、その入射方向は、図3に矢印A1で示すように、常に変化し続けることになる。結果として、空間光変調器30の透過光によって形成された映像の各画素をなす光が、図3に矢印A2で示すように経時的に光路を変化させながら、スクリーン15の特定の位置に投射されるようになる。   Considering the illuminated area LZ as a reference, coherent light constantly enters each area in the illuminated area LZ, but the direction of incidence always changes as shown by an arrow A1 in FIG. It will be. As a result, the light forming each pixel of the image formed by the light transmitted through the spatial light modulator 30 is projected to a specific position on the screen 15 while changing its optical path over time as indicated by an arrow A2 in FIG. Will come to be.

以上のことから、上述してきた照明装置40を用いることによれば、映像を表示しているスクリーン15上の各位置において時間的にコヒーレント光の入射方向が変化していき、且つ、この変化は、人間の目で分解不可能な速さであり、結果として、人間の目には、相関の無いコヒーレント光の散乱パターンが多重化されて観察されることになる。したがって、各散乱パターンに対応して生成されたスペックルが重ねられ平均化されて、観察者に観察されることになる。これにより、スクリーン15に表示されている映像を観察する観察者に対して、スペックルを極めて効果的に目立たなくさせることができる。   From the above, according to the illumination device 40 described above, the incident direction of the coherent light changes temporally at each position on the screen 15 displaying the image, and this change is This is a speed that cannot be resolved by the human eye. As a result, a non-correlated coherent light scattering pattern is multiplexed and observed in the human eye. Therefore, speckles generated corresponding to each scattering pattern are overlapped and averaged and observed by an observer. Thereby, speckles can be made very inconspicuous for an observer who observes the image displayed on the screen 15.

なお、人間によって観察される従来のスペックルには、スクリーン15上でのコヒーレント光の散乱を原因とするスクリーン側でのスペックルだけでなく、スクリーンに投射される前におけるコヒーレント光の散乱を原因とする投射装置側でのスペックルも発生し得る。この投射装置側で発生したスペックルパターンは、空間光変調器30を介してスクリーン15上に投射されることによって、観察者に認識され得るようにもなる。しかしながら、本実施の形態によれば、コヒーレント光が光学素子45の第1拡散素子50上を連続的に走査し、そして光学素子45の各領域に入射したコヒーレント光が、それぞれ、空間光変調器30が重ねられた被照明領域LZの全域を照明するようになる。すなわち、光学素子45が、スペックルパターンを形成していたそれまでの波面とは別途の新たな波面を形成し、複雑且つ均一に、被照明領域LZ、さらには、空間光変調器30を介してスクリーン15を照明するようになる。このような光学素子45での新たな波面の形成により、投射装置側で発生するスペックルパターンは不可視化されることになる。   Note that conventional speckles observed by humans include not only speckles on the screen caused by scattering of coherent light on the screen 15, but also scattering of coherent light before being projected on the screen. Speckle on the projection device side can also occur. The speckle pattern generated on the projection device side is projected onto the screen 15 via the spatial light modulator 30 so that it can be recognized by the observer. However, according to the present embodiment, the coherent light continuously scans on the first diffusion element 50 of the optical element 45, and the coherent light incident on each region of the optical element 45 is a spatial light modulator. The whole area of the illuminated area LZ 30 is illuminated. That is, the optical element 45 forms a new wavefront that is separate from the wavefront used to form the speckle pattern, and is complex and uniform through the illuminated region LZ and the spatial light modulator 30. The screen 15 is illuminated. With the formation of a new wavefront in such an optical element 45, the speckle pattern generated on the projection device side is invisible.

ところで、以上に説明したように、照明装置40及び投射装置20におけるスペックルの不可視化は、偏向素子55から均一化光学素子に入射する入射光束の光軸の角度変動の大きさθ(図2参照)を大きくすることによって、達成され得る。その一方で、第1拡散素子50での拡散能の強さは、すなわち発散角の大きさθ(図2参照)は、光軸の経時的な角度変動の大きさθと比較して、スペックル低減に大きな影響を及ぼすものではない。このため、均一化光学素子65の入射面65aに光源光をより確実に入射させてより高い利用効率で光源光を利用する観点からは、拡散素子での拡散角を広げ過ぎないことが有効である。むしろ、図1、図2及び図7の例と比較して、図8に示すように拡散素子150での拡散角θybを大きく設定すると、大型のコンデンサレンズ156を用いる必要が生じ照明装置140も大型化してしまう。或いは、コンデンサレンズ155を大型化させずに拡散素子での拡散角θybを大きくするには、図9に示すように、拡散素子151を小型化する必要が生じる。拡散素子151を小型すると、光軸の角度変動の大きさθxbが小さくなり、スペックル低減の点において不利である。 Incidentally, as described above, the speckle invisibility in the illumination device 40 and the projection device 20 is caused by the magnitude θ x of the optical axis of the incident light beam incident on the uniformizing optical element from the deflection element 55 (see FIG. This can be achieved by increasing 2). On the other hand, the intensity of the diffusing ability in the first diffusing element 50, that is, the magnitude of the divergence angle θ y (see FIG. 2) is compared with the magnitude of the angular variation with time of the optical axis θ x. It does not have a big influence on speckle reduction. For this reason, from the viewpoint of more reliably making the light source light incident on the incident surface 65a of the homogenizing optical element 65 and using the light source light with higher utilization efficiency, it is effective not to widen the diffusion angle in the diffusing element too much. is there. Rather, when the diffusion angle θ yb in the diffusing element 150 is set large as shown in FIG. 8 as compared with the examples of FIGS. Will also increase in size. Alternatively, in order to increase the diffusion angle θ yb in the diffusion element without increasing the size of the condenser lens 155, it is necessary to reduce the size of the diffusion element 151 as shown in FIG. If the diffusing element 151 is made small, the magnitude θ xb of the angle variation of the optical axis becomes small, which is disadvantageous in terms of speckle reduction.

以上のように、照射装置70から照射されるコヒーレント光の利用効率の観点から、第1拡散素子50での拡散角θyaは、大きくなり過ぎない方が好ましい、また、第1拡散素子50での拡散角θyaを大きくすることには、その他の弊害をともなう。 As described above, from the viewpoint of the utilization efficiency of the coherent light irradiated from the irradiation device 70, it is preferable that the diffusion angle θ ya in the first diffusion element 50 is not too large. Increasing the diffusion angle θ ya is accompanied by other adverse effects.

しかしながら、第1拡散素子50での拡散角θyaが十分な大きさまで大きくなっていないと、図7に示すように、各瞬間に均一化光学素子165に入射する光の入射方向が狭い角度範囲内に揃ってしまう。この場合、均一化光学素子165を十分に長くしない限り、均一化光学素子165内で十分に全反射が繰り返されなくなる。均一化光学素子165を長くすると、当然、照明装置40が大型化するといった不都合が生じる。均一化光学素子165内での全反射が十分に生じていないと、各瞬間において、均一化光学素子165の出射面のうちの一部の領域LZのみからしか光が出射しなくなる。すなわち、各瞬間に照明可能となる領域LZは、均一化光学素子165の出射面に対面する被照明領域LZの一部分となってしまい、被照明領域LZを均一な照度にて照明することができない。 However, if the diffusion angle θ ya at the first diffusion element 50 is not large enough, the incident direction of the light incident on the uniformizing optical element 165 at each instant is narrow as shown in FIG. It will be aligned inside. In this case, unless the uniformizing optical element 165 is sufficiently long, total reflection is not sufficiently repeated in the uniformizing optical element 165. If the uniformizing optical element 165 is lengthened, there is a disadvantage that the illumination device 40 is naturally enlarged. If the total reflection in the homogenizing optical element 165 is not sufficiently generated, light is emitted only from a partial region LZa of the exit surface of the homogenizing optical element 165 at each moment. That is, zone LZ a that enables illumination at each instant is becomes a part of the illumination zone LZ facing the exit surface of uniformizing optics 165, it is possible to illuminate the illumination zone LZ at uniform illuminance Can not.

一方、本実施の形態においては、偏向素子55から均一化光学素子65までの光路に、第2拡散素子60が配置されている。第2拡散素子60は、均一化光学素子65の入射面65aに対面して配置されている。このため、第2拡散素子60は、各瞬間に均一化光学素子65内に入射するコヒーレント光の発散角θ(図2参照)を、均一化光学素子65への入射直前に広げることができる。すなわち、スペックルの低減に直接的な影響を及ぼす光軸の経時的な角度変動の大きさθを小さくしてしまうことなく、任意の瞬間に均一化光学素子65へ入射するコヒーレント光の入射角度範囲の大きさを広げることができる。これにより、均一化光学素子65の長さを長くしなくとも均一化光学素子65での全反射が促進され、均一化光学素子65の出射面65bの各位置から出射するコヒーレント光の光量を、効果的に均一化することができ、これにより、スペックルの目立たせることなく、被照明領域LZを均一な照度にて照明することができる。 On the other hand, in the present embodiment, the second diffusing element 60 is disposed in the optical path from the deflecting element 55 to the uniformizing optical element 65. The second diffusing element 60 is disposed so as to face the incident surface 65 a of the uniformizing optical element 65. Therefore, the second diffusing element 60 can widen the divergence angle θ z (see FIG. 2) of the coherent light that enters the uniformizing optical element 65 at each instant immediately before entering the uniformizing optical element 65. . That is, the incidence of coherent light incident on the uniformizing optical element 65 at an arbitrary moment without decreasing the magnitude θ x of the optical axis with time that directly affects speckle reduction. The size of the angle range can be expanded. Accordingly, total reflection at the uniformizing optical element 65 is promoted without increasing the length of the uniformizing optical element 65, and the amount of coherent light emitted from each position of the exit surface 65b of the uniformizing optical element 65 is It is possible to effectively equalize, and thereby the illuminated area LZ can be illuminated with uniform illuminance without conspicuous speckles.

とりわけ、本実施の形態では、第2拡散素子60が凹レンズ61として構成されている。凹レンズ61によれば、凸レンズのように一度焦点を結んだ後に拡散現象が生じるのではなく、入射光を入射直後に拡散させて光路幅を広げることができる。すなわち、導光方向の長さが短い均一化光学素子65を用いながら、均一化光学素子65の出射面65bの各位置からの出射光量を均一化することができる。同様に、本実施の形態では、第1拡散素子50をなすレンズアレイ51が、単位レンズとして、凹レンズからなる単位凹レンズ52を含んでいる。したがって、第1拡散素子50と偏向素子55との距離を短くして、照明装置40及び投射装置20の小型化を図ることができる。   In particular, in the present embodiment, the second diffusing element 60 is configured as a concave lens 61. According to the concave lens 61, the diffusion phenomenon does not occur after focusing once like the convex lens, but the incident light can be diffused immediately after the incident to widen the optical path width. That is, the amount of light emitted from each position on the exit surface 65b of the uniformizing optical element 65 can be uniformized while using the uniformizing optical element 65 having a short length in the light guide direction. Similarly, in the present embodiment, the lens array 51 forming the first diffusing element 50 includes a unit concave lens 52 made of a concave lens as a unit lens. Therefore, the distance between the first diffusing element 50 and the deflecting element 55 can be shortened to reduce the size of the illumination device 40 and the projection device 20.

なお、第2拡散素子60の主点Pmcから均一化光学素子65の入射面65aまでの距離Lは、偏向素子55の主点Pmbから第2拡散素子60の主点Pmcまでの距離Lよりも短くなっている。すなわち、第2拡散素子60は、偏向素子55から離間して、均一化光学素子65の直前に配置され得る。このような配置は、照射装置70から射出された光の利用効率を向上させる観点並びに装置の小型化の観点から、好ましい。なお、「主点」とは、レンズの光学的な中心であり、焦点距離を定める中心点である。 The distance L c from the principal point P mc of the second diffusing element 60 to the incident surface 65 a of the uniformizing optical element 65 is from the principal point P mb of the deflecting element 55 to the principal point P mc of the second diffusing element 60. It is shorter than the distance L b. In other words, the second diffusing element 60 can be disposed away from the deflection element 55 and immediately before the uniformizing optical element 65. Such an arrangement is preferable from the viewpoint of improving the utilization efficiency of light emitted from the irradiation device 70 and from the viewpoint of miniaturization of the device. The “principal point” is the optical center of the lens and is the center point that determines the focal length.

また、図1及び図2において、第2拡散素子60は、均一化光学素子65の入射面65aから離間して配置されている。しかしながら、照射装置70から射出された光の利用効率を向上させる観点並びに装置の小型化の観点から、第2拡散素子60は、均一化光学素子65の入射面65aに接触して、当該入射面65a上に配置されていることが好ましい。   In FIGS. 1 and 2, the second diffusing element 60 is disposed away from the incident surface 65 a of the homogenizing optical element 65. However, from the viewpoint of improving the utilization efficiency of the light emitted from the irradiation device 70 and from the viewpoint of miniaturization of the device, the second diffusing element 60 comes into contact with the incident surface 65a of the homogenizing optical element 65 and the incident surface. It is preferable to arrange on 65a.

さらに、第2拡散素子60が凹レンズ61からなる場合、偏向素子55の主点Pmbから第2拡散素子60の主点Pmcまでの距離Lは、偏向素子55の焦点距離f以上であることが好ましい。このような例によれば、スペックルの低減に直接的な影響を及ぼす光軸の経時的な角度変動の大きさθが、第2拡散素子60によって、小さくなってしまうことを防止することができる。すなわち、第2拡散素子60からの出射後における光軸の経時的な角度変動の大きさθが、第2拡散素子60への入射前における光軸の経時的な角度変動の大きさθ以上となり、スペックル低減に有利である。 Further, when the second diffusing element 60 is composed of the concave lens 61, the distance L b from the principal point P mb of the deflecting element 55 to the principal point P mc of the second diffusing element 60 is not less than the focal length f b of the deflecting element 55. Preferably there is. According to such an example, it is possible to prevent the second diffusion element 60 from reducing the magnitude θ x of the temporal change in the optical axis that directly affects speckle reduction. Can do. That is, the magnitude θ Z of the temporal change in the optical axis after emission from the second diffusing element 60 is equal to the magnitude θ x of the angular change in the optical axis over time before entering the second diffusing element 60. This is advantageous for speckle reduction.

なお、偏向素子55の主点Pmbから第2拡散素子60の主点Pmcまでの距離Lが、偏向素子55の焦点距離fより大きくなると、照明装置40が大型化してしまう。この点を考慮して、図1及び図2に示すように、第2拡散素子60の主点Pmcが、偏向素子55の後側焦点P上に位置していることが、スペックルの低減及び装置の大型化回避の両立において好ましい。第2拡散素子60の主点Pmcが、偏向素子55の後側焦点P上に位置している場合、第2拡散素子60に各瞬間に入射する光の光軸は、第2拡散素子60で曲がらない。したがって、期待したスペックル低減機能を安定して確保することが可能となる。なお、後側焦点Pとは、偏向素子55の入射側及び出射側の両側に位置することになる一対の焦点のうち、出射側に位置する焦点、本実施の形態では、第2拡散素子60の側に位置する焦点のことを意味している。 If the distance L b from the principal point P mb of the deflecting element 55 to the principal point P mc of the second diffusing element 60 is larger than the focal length f b of the deflecting element 55, the illumination device 40 is increased in size. In consideration of this point, as shown in FIGS. 1 and 2, it is shown that the principal point P mc of the second diffusing element 60 is located on the rear focal point P f of the deflecting element 55. This is preferable in terms of both reduction and avoiding the enlargement of the apparatus. When the principal point P mc of the second diffusing element 60 is located on the rear focal point P f of the deflecting element 55, the optical axis of the light incident on the second diffusing element 60 at each moment is expressed by the second diffusing element. No turn at 60. Therefore, the expected speckle reduction function can be stably secured. The rear focal point P f is a focal point located on the outgoing side of the pair of focal points located on both the incident side and the outgoing side of the deflecting element 55. In the present embodiment, the second diffusing element is used. It means the focal point located on the 60 side.

さらに、上述した実施の形態では、第1拡散素子50の入射面から偏向素子55の主点Pmbまでの距離Lが、第2拡散素子60の主点Pmcから均一化光学素子65の入射面65aまでの距離Lよりも長く、偏向素子55の主点Pmbから第2拡散素子60の主点Pmcまでの距離Lよりも短くなっている。この結果、スペックルを目立たなくさせることができるとともに十分に均一な照度で被照明領域LZを照明することを可能にした有用な照明装置40において、装置の十分な小型化を実現することができる。 Furthermore, in the embodiment described above, the distance L a from the incident surface of the first diffusion device 50 until the main point P mb deflection element 55, a homogenizing optical element 65 from the principal point of the second diffusion element 60 P mc The distance L c is longer than the distance L c to the incident surface 65 a and shorter than the distance L b from the principal point P mb of the deflecting element 55 to the principal point P mc of the second diffusion element 60. As a result, the speckle can be made inconspicuous, and in the useful illumination device 40 that can illuminate the illuminated area LZ with sufficiently uniform illuminance, the device can be sufficiently downsized. .

上述した実施の形態に対して様々な変更を加えることが可能である。以下、図面を参照しながら、変形の一例について説明する。以下の説明および以下の説明で用いる図面では、上述した実施の形態と同様に構成され得る部分について、上述の実施の形態における対応する部分に対して用いた符号と同一の符号を用いることとし、重複する説明を省略する。   Various modifications can be made to the above-described embodiment. Hereinafter, an example of modification will be described with reference to the drawings. In the following description and the drawings used in the following description, the same reference numerals as those used for the corresponding parts in the above embodiment are used for the parts that can be configured in the same manner as in the above embodiment. A duplicate description is omitted.

<第1拡散素子>
上述した実施の形態において、光学素子45の第1拡散素子50のレンズアレイ51が、単位レンズとして、凹レンズからなる単位凹レンズ52を有する例を示したが、これに限られない。図4に示すように、光学素子45の第1拡散素子50のレンズアレイ51が、単位レンズとして、凸レンズからなる単位凸レンズ53を有するようにしてもよい。なお、図4中に点線で示したレンズアレイは、凹レンズからなる単位レンズを含んだ図2のレンズアレイの配置を示している。また、図5に示すように、光学素子45の第1拡散素子50が、ホログラム記録媒体54を含むようにしてもよい。
<First diffusion element>
In the above-described embodiment, the example in which the lens array 51 of the first diffusing element 50 of the optical element 45 includes the unit concave lens 52 made of a concave lens as the unit lens is shown, but the present invention is not limited thereto. As shown in FIG. 4, the lens array 51 of the first diffusing element 50 of the optical element 45 may include a unit convex lens 53 made of a convex lens as a unit lens. In addition, the lens array shown with the dotted line in FIG. 4 has shown arrangement | positioning of the lens array of FIG. 2 including the unit lens which consists of a concave lens. Further, as shown in FIG. 5, the first diffusion element 50 of the optical element 45 may include a hologram recording medium 54.

<第2拡散素子>
また上述した実施の形態において、第2拡散素子60が、凹レンズ61として構成されている例を示したが、これに限られない。一例として、図4に示すように、第2拡散素子60が、凸レンズ62として構成されていてもよい。
<Second diffusion element>
In the above-described embodiment, the example in which the second diffusing element 60 is configured as the concave lens 61 is shown, but the present invention is not limited thereto. As an example, as shown in FIG. 4, the second diffusing element 60 may be configured as a convex lens 62.

<光源装置>
さらに上述した実施の形態において、光源装置71は、単一の光源72を有していた。しかしながら、この例に限られず、光源装置71が、複数の光源を含むようにしてもよい。一例として、光源装置71が、複数のレーザー光源を含むレーザーアレイとして構成されていてもよい。光源装置71に含まれる複数の光源は、互いに異なる波長帯域の光を生成するようにしてもよいし、同一波長帯域の光を生成するようにしてもよい。異なる波長帯域の光を生成する複数の光源を用いた場合、加法混色により、単一の光源では生成することができない色の光によって、被照明領域LZを照明することができる。また、複数の光源が、赤色波長帯域の光、緑色波長帯域の光、青色波長帯域の光をそれぞれ生成する場合には、白色光にて被照明領域LZを照明することができる。一方、同一の波長帯域の光を生成する複数の光源を用いた場合、高出力で被照明領域LZを照明することが可能となる。
<Light source device>
Further, in the above-described embodiment, the light source device 71 has the single light source 72. However, the present invention is not limited to this example, and the light source device 71 may include a plurality of light sources. As an example, the light source device 71 may be configured as a laser array including a plurality of laser light sources. The plurality of light sources included in the light source device 71 may generate light in different wavelength bands, or may generate light in the same wavelength band. When a plurality of light sources that generate light of different wavelength bands are used, the illuminated region LZ can be illuminated by light of a color that cannot be generated by a single light source due to additive color mixing. Further, when the plurality of light sources respectively generate red wavelength band light, green wavelength band light, and blue wavelength band light, the illuminated region LZ can be illuminated with white light. On the other hand, when a plurality of light sources that generate light of the same wavelength band are used, the illuminated region LZ can be illuminated with high output.

<走査装置>
また、走査装置75が、コヒーレント光の進行方向を反射によって変化させる一軸回動型のデバイスとして形成されている例を示したが、この例に限られない。走査装置75は、反射部材76の反射面76aが、第1の回動軸線Raだけでなく、第1の回動軸線Raと交差する第2の回動軸線を中心としても回動可能となっていてもよい。また、走査装置75が、二以上の反射デバイスを含んでいてもよい。この場合、各反射デバイスの反射面が、単一の軸線を中心としてのみ回動可能であっても、走査装置75は、第1拡散素子50上での走査経路を二次元的な経路とすることができる。なお、走査装置75に含まれる反射デバイスの具体例としては、MEMSミラー等を挙げることができる。また、走査装置75は、反射によってコヒーレント光の進行方向を変化させる反射デバイス以外のデバイスを含んで構成されていてもよい。例えば、走査装置75が、屈折プリズムやレンズ等を含んでいていてもよい。
<Scanning device>
In addition, although the example in which the scanning device 75 is formed as a uniaxial rotation type device that changes the traveling direction of coherent light by reflection has been described, the present invention is not limited to this example. The scanning device 75 can rotate not only about the first rotation axis Ra but also about the second rotation axis that intersects the first rotation axis Ra, so that the reflection surface 76a of the reflection member 76 is centered. It may be. Further, the scanning device 75 may include two or more reflection devices. In this case, even if the reflecting surface of each reflecting device can be rotated only about a single axis, the scanning device 75 uses the scanning path on the first diffusion element 50 as a two-dimensional path. be able to. A specific example of the reflection device included in the scanning device 75 includes a MEMS mirror. The scanning device 75 may include a device other than the reflection device that changes the traveling direction of the coherent light by reflection. For example, the scanning device 75 may include a refractive prism, a lens, and the like.

<投射装置>
さらに上述した実施の形態では、空間光変調器30が、均一化光学素子65の出射面65bに直面するようにして配置され、空間光変調器30が均一な光量にて照明されるようになっている例を示したが、この例に限られない。例えば、図6に示すように、均一化光学素子65と空間光変調器30との間にリレー光学系35が配置されていてもよい。リレー光学系35によって、空間光変調器30が配置されている位置は、均一化光学素子65の出射面65bと共役な面となっている。このため、図6に示された例においても、空間光変調器30は、均一な光量にて照明される。
<Projection device>
Further, in the above-described embodiment, the spatial light modulator 30 is arranged so as to face the emission surface 65b of the uniformizing optical element 65, and the spatial light modulator 30 is illuminated with a uniform light amount. However, the present invention is not limited to this example. For example, as shown in FIG. 6, a relay optical system 35 may be disposed between the homogenizing optical element 65 and the spatial light modulator 30. The position where the spatial light modulator 30 is arranged by the relay optical system 35 is a surface conjugate with the emission surface 65 b of the homogenizing optical element 65. For this reason, also in the example shown in FIG. 6, the spatial light modulator 30 is illuminated with a uniform light amount.

<他の用途>
さらに、上述した実施の形態において、照明装置40が、投射装置20及び投射型映像表示装置10に組み込まれた例を示したが、これに限られず、種々の用途に照明装置40を用いることができる。一例として、上述した照明装置40を、スキャナ用の照明装置等に用いることができる。
<Other uses>
Further, in the above-described embodiment, the example in which the lighting device 40 is incorporated in the projection device 20 and the projection type video display device 10 has been described. However, the present invention is not limited thereto, and the lighting device 40 may be used for various applications. it can. As an example, the illumination device 40 described above can be used in a scanner illumination device or the like.

<変形例の組み合わせ>
なお、以上において上述した実施の形態に対するいくつかの変形例を説明してきたが、当然に、複数の変形例を適宜組み合わせて適用することも可能である。
<Combination of modification>
In addition, although the some modification with respect to embodiment mentioned above was demonstrated above, naturally, it is also possible to apply combining several modifications suitably.

10 投射型映像表示装置
15 スクリーン
20 投射装置
25 投射光学系
30 空間光変調器
35 リレー光学系
40 照明装置
45 光学素子
50 第1拡散素子
51 レンズアレイ
52 単位凹レンズ
53 単位凸レンズ
54 ホログラム記録媒体
55 偏向素子
56 レンズ
57 主点
60 第2拡散素子
61 凹レンズ
62 主点
62 凸レンズ
65 均一化光学素子
65a 入射面
65b 出射面
66 インテグレータロッド
70 照射装置
71 光源装置
72 光源
75 走査装置
76 反射部材
76a 反射面
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Projection type image display apparatus 15 Screen 20 Projection apparatus 25 Projection optical system 30 Spatial light modulator 35 Relay optical system 40 Illumination apparatus 45 Optical element 50 First diffusion element 51 Lens array 52 Unit concave lens 53 Unit convex lens 54 Hologram recording medium 55 Deflection Element 56 Lens 57 Main point 60 Second diffusing element 61 Concave lens 62 Main point 62 Convex lens 65 Uniform optical element 65a Incident surface 65b Output surface 66 Integrator rod 70 Irradiation device 71 Light source device 72 Light source 75 Scan device 76 Reflective member 76a Reflective surface

Claims (8)

第1拡散素子と、
前記第1拡散素子上を走査するようにして前記第1拡散素子にコヒーレント光を照射する照射装置と、
前記第1拡散素子で拡散されたコヒーレント光の光路を変更する偏向素子と、
前記偏向素子で光路を変更されたコヒーレント光が反射しながら通過する均一化光学素子と、
前記偏向素子から前記均一化光学素子までの光路に配置される第2拡散素子と、を備え、
前記第1拡散素子上の或る領域に入射して拡散されたコヒーレント光、並びに、前記第1拡散素子上の前記或る領域とは異なる別の領域に入射して拡散されたコヒーレント光が、それぞれ、前記偏向素子によって前記第2拡散素子に集められ、当該第2拡散素子によって拡散された後に均一化光学素子を通過して照明に用いられる、照明装置。
A first diffusing element;
An irradiation device for irradiating the first diffusion element with coherent light so as to scan on the first diffusion element;
A deflection element for changing an optical path of coherent light diffused by the first diffusion element;
A uniformizing optical element through which the coherent light whose optical path has been changed by the deflecting element is reflected, and
A second diffusing element disposed in an optical path from the deflecting element to the homogenizing optical element,
Coherent light that has been incident and diffused on a certain region on the first diffusion element, and coherent light that has been incident and diffused on another region different from the certain region on the first diffusion element are: An illuminating device, wherein each of the illuminating devices is collected in the second diffusing element by the deflecting element, diffused by the second diffusing element, and then used for illumination through the uniformizing optical element.
前記第2拡散素子は、凹レンズを含む、請求項1に記載の照明装置。   The lighting device according to claim 1, wherein the second diffusion element includes a concave lens. 前記第2拡散素子は、凸レンズを含む、請求項1に記載の照明装置。   The lighting device according to claim 1, wherein the second diffusion element includes a convex lens. 前記第2拡散素子は、前記均一化光学素子の入射面上に配置されている、請求項1〜3のいずれか一項に記載の照明装置。   The illuminating device according to any one of claims 1 to 3, wherein the second diffusing element is disposed on an incident surface of the uniformizing optical element. 前記第2拡散素子の主点は、前記偏向素子の後側焦点上に位置している、請求項1〜4のいずれか一項に記載の照明装置。   The illuminating device according to claim 1, wherein a main point of the second diffusing element is located on a rear focal point of the deflecting element. 前記第2拡散素子から前記均一化光学素子の入射面までの距離は、前記偏向素子から前記第2拡散素子までの距離よりも短い、請求項1〜5のいずれか一項に記載の照明装置。   6. The illumination device according to claim 1, wherein a distance from the second diffusion element to an incident surface of the uniformizing optical element is shorter than a distance from the deflection element to the second diffusion element. . 前記第1拡散素子は、複数の凹レンズを含むレンズアレイを有する、請求項1〜6のいずれか一項に記載の照明装置。   The lighting device according to claim 1, wherein the first diffusion element has a lens array including a plurality of concave lenses. 請求項1〜7のいずれか一項に記載された照明装置と、
前記照明装置からの光によって照明される空間光変調器と、を備える、投射装置。
The lighting device according to any one of claims 1 to 7,
And a spatial light modulator illuminated by light from the illumination device.
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