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JP2015079889A - Wiring board and wiring board manufacturing method - Google Patents

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JP2015079889A
JP2015079889A JP2013216792A JP2013216792A JP2015079889A JP 2015079889 A JP2015079889 A JP 2015079889A JP 2013216792 A JP2013216792 A JP 2013216792A JP 2013216792 A JP2013216792 A JP 2013216792A JP 2015079889 A JP2015079889 A JP 2015079889A
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JP
Japan
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collar part
ink
metal nano
substrate
collar
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Application number
JP2013216792A
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Japanese (ja)
Inventor
正則 秋江
Masanori Akie
正則 秋江
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a highly reliable wiring board and a wiring board manufacturing method.SOLUTION: A wiring board comprises: a substrate; a first rib part formed on one surface of the substrate; a second rib part which is formed on the first rib part and along a longer direction of the first rib part, and which has a width narrower than that of the first rib part; a third rib part which is formed on the one surface of the substrate and along the first rib part; a fourth rib part which is formed on the third rib part and along a longer direction of the third rib part, and which has a width narrower than that of the third rib part; and distribution lines each of which is composed of metal nano ink and formed between the first rib part and the second rib part, and the third rib part and the fourth rib part, and along the first rib part, the second rib part, the third rib part and the fourth rib part.

Description

本発明は、配線基板、及び、配線基板の製造方法に関する。   The present invention relates to a wiring board and a method for manufacturing the wiring board.

従来より、電極が形成された第1基板と貫通孔が形成された第2基板とを含む積層基板の製造方法がある(例えば、特許文献1参照)。この製造方法は、隙間形成用の絶縁部材を前記第1基板及び前記第2基板の少なくとも一方に配置する工程と、前記第1基板の電極と前記第2基板の貫通孔とを位置合わせし、前記絶縁部材を間に挟んで前記第1基板上に前記第2基板を配置する工程とを有する。また、この製造方法は、さらに、前記第2基板の貫通孔の内部にインクジェット法を用いて金属粒子を含むインクを充填する工程と、を有し、前記絶縁部材が、前記第1基板上での前記インクの広がりを堰き止める。   Conventionally, there is a method for manufacturing a laminated substrate including a first substrate on which an electrode is formed and a second substrate on which a through hole is formed (see, for example, Patent Document 1). In this manufacturing method, the step of disposing an insulating member for forming a gap on at least one of the first substrate and the second substrate, and the electrode of the first substrate and the through hole of the second substrate are aligned, Disposing the second substrate on the first substrate with the insulating member interposed therebetween. The manufacturing method further includes a step of filling the inside of the through hole of the second substrate with an ink containing metal particles using an inkjet method, and the insulating member is formed on the first substrate. The ink spread is blocked.

また、この製造方法では、隙間形成用の絶縁部材を前記第1基板及び前記第2基板の両方に配置してもよいとされている。   Further, in this manufacturing method, an insulating member for forming a gap may be disposed on both the first substrate and the second substrate.

特開2007−012790号公報JP 2007-012790 A

ところで、従来の積層基板の製造方法によって前記第1基板及び前記第2基板のいずれか一方又は両方に隙間形成用の絶縁部材を形成しても、例えば、前記インクを充填する工程における位置合わせにずれが生じると、絶縁部材をインクが跨ぎ、インクの広がりを堰き止められないおそれがある。このような場合には、インクから形成される配線等が本来意図されていない他の配線等に接続される可能性があり、信頼性が低下するおそれがある。   By the way, even if an insulating member for forming a gap is formed on one or both of the first substrate and the second substrate by a conventional method of manufacturing a laminated substrate, for example, for alignment in the step of filling the ink When the deviation occurs, the ink straddles the insulating member, and there is a possibility that the spreading of the ink cannot be blocked. In such a case, the wiring formed from the ink may be connected to other wiring that is not originally intended, and the reliability may be reduced.

そこで、信頼性の高い配線基板、及び、配線基板の製造方法を提供することを目的とする。   Therefore, an object is to provide a highly reliable wiring board and a method for manufacturing the wiring board.

本発明の実施の形態の配線基板は、基板と、前記基板の一方の面に形成される第1畝部と、前記第1畝部の上に前記第1畝部の長手方向に沿って形成され、前記第1畝部よりも幅の狭い第2畝部と、前記基板の一方の面に、前記第1畝部に沿って形成される第3畝部と、前記第3畝部の上に前記第3畝部の長手方向に沿って形成され、前記第3畝部よりも幅の狭い第4畝部と、前記第1畝部及び前記第2畝部と、前記第3畝部及び前記第4畝部との間において、前記第1畝部、前記第2畝部、前記第3畝部、及び前記第4畝部に沿って、金属ナノインクから形成される配線とを含む。   The wiring board according to the embodiment of the present invention is formed along the longitudinal direction of the first hook part on the board, the first hook part formed on one surface of the board, and the first hook part. A second collar part narrower than the first collar part, a third collar part formed along the first collar part on one surface of the substrate, and an upper side of the third collar part Formed along the longitudinal direction of the third collar, and narrower than the third collar, the first collar, the second collar, the third collar, Between the fourth collar part, the first collar part, the second collar part, the third collar part, and the wiring formed from the metal nano ink along the fourth collar part are included.

信頼性の高い配線基板、及び、配線基板の製造方法を提供することができる。   A highly reliable wiring board and a method for manufacturing the wiring board can be provided.

実施の形態1の配線基板100を示す図である。1 is a diagram showing a wiring board 100 according to a first embodiment. 実施の形態1の配線基板100の製造工程の手順を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing a procedure of manufacturing steps of the wiring board 100 of the first embodiment. 実施の形態1の配線基板100の製造工程を段階的に示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the wiring board 100 of Embodiment 1 in steps. 実施の形態1の配線基板100の製造工程を段階的に示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the wiring board 100 of Embodiment 1 in steps. 比較用の配線基板と実施の形態1の配線基板100との違いを説明するための図である。It is a figure for demonstrating the difference between the wiring board for a comparison, and the wiring board 100 of Embodiment 1. FIG. 実施の形態2の配線基板200の製造工程の手順を示す図である。It is a figure which shows the procedure of the manufacturing process of the wiring board 200 of Embodiment 2. FIG. 実施の形態2の配線基板200の製造工程を段階的に示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the wiring board 200 of Embodiment 2 in steps. 実施の形態2の配線基板200の製造工程を段階的に示す図である。It is a figure which shows the manufacturing process of the wiring board 200 of Embodiment 2 in steps.

以下、本発明の配線基板、及び、配線基板の製造方法を適用した実施の形態について説明する。   Embodiments to which a wiring board and a method for manufacturing a wiring board according to the present invention are applied will be described below.

<実施の形態1>
図1は、実施の形態1の配線基板100を示す図であり、(A)は平面図、(B)は(A)のA−A矢視断面を示す図である。図1では、直交座標系であるXYZ座標系を定義する。
<Embodiment 1>
1A and 1B are diagrams showing a wiring board 100 according to Embodiment 1, in which FIG. 1A is a plan view and FIG. In FIG. 1, an XYZ coordinate system that is an orthogonal coordinate system is defined.

配線基板100は、基板10、下バンク20、上バンク30、及び配線41、42を含む。   The wiring substrate 100 includes a substrate 10, a lower bank 20, an upper bank 30, and wirings 41 and 42.

基板10は、絶縁材料によって形成される薄板状の部材であり、例えば、エポキシ樹脂、ポリイミド樹脂、ポリカーボネート樹脂等で形成することができる。エポキシ樹脂を用いる場合は、基板10としてFR(Flame Retardant type)4等の規格の基板を用いればよい。   The substrate 10 is a thin plate member formed of an insulating material, and can be formed of, for example, an epoxy resin, a polyimide resin, a polycarbonate resin, or the like. When an epoxy resin is used, a standard substrate such as FR (Flame Retardant type) 4 may be used as the substrate 10.

なお、配線基板100は、製造工程の最後に金属ナノインクを焼成する処理を行うため、基板10には、焼成処理に耐えうる耐熱性を有することが求められる。また、基板10の表面と下バンク20とには、上バンク30よりも金属ナノインクに対する濡れ性を増大させる表面処理が施される。ここでは、金属ナノインクに対する濡れ性を増大させる表面処理は、親水性を増大させる表面処理と同義である。   In addition, since the wiring board 100 performs the process which bakes metal nanoink at the end of a manufacturing process, it is calculated | required that the board | substrate 10 has heat resistance which can endure a baking process. Further, the surface of the substrate 10 and the lower bank 20 are subjected to a surface treatment that increases the wettability with respect to the metal nano ink as compared with the upper bank 30. Here, the surface treatment for increasing the wettability with respect to the metal nano ink is synonymous with the surface treatment for increasing the hydrophilicity.

下バンク20は、後に基板10の表面に形成される配線41、42を形成する領域を平面視で囲むように基板10の表面に形成される。   The lower bank 20 is formed on the surface of the substrate 10 so as to surround a region in which the wirings 41 and 42 to be formed later on the surface of the substrate 10 are formed in a plan view.

下バンク20は、配線41、42を形成するために基板10の表面にインクジェット法で塗布する金属ナノインクを堰き止めるために設けられており、土手又は畝のような部材である。ここでは、下バンク20が下畝部の一例であるものとして取り扱うが、下バンク20を下土手部として取り扱ってもよい。   The lower bank 20 is provided to dam the metal nano ink applied to the surface of the substrate 10 by an ink jet method in order to form the wirings 41 and 42, and is a member such as a bank or a ridge. Here, the lower bank 20 is treated as an example of the lower heel part, but the lower bank 20 may be handled as a lower bank part.

下バンク20の厚さは、配線41、42の厚さよりも少し厚いことが望ましい。下バンク20の厚さは、例えば、配線41、42の厚さが1μmの場合には、2μm以上にすればよい。   It is desirable that the thickness of the lower bank 20 is slightly larger than the thickness of the wirings 41 and 42. For example, when the thickness of the wirings 41 and 42 is 1 μm, the thickness of the lower bank 20 may be 2 μm or more.

また、下バンク20は、金属ナノインクの焼成処理に耐えうる耐熱性を有することが求められる。下バンク20は、例えば、ポリイミド樹脂又はポリカーボネート樹脂等で形成すればよい。下バンク20は、例えば、予め成型したシート状の部材を基板10の表面に転写することによって形成される。   The lower bank 20 is required to have heat resistance that can withstand the firing process of the metal nanoink. The lower bank 20 may be formed of, for example, a polyimide resin or a polycarbonate resin. The lower bank 20 is formed, for example, by transferring a previously molded sheet-like member to the surface of the substrate 10.

下バンク20は、下バンク部21〜27を有する。下バンク部21、24、27は、Y軸方向に伸延しており、X軸方向に等間隔で互いに平行に配列されている。下バンク部21、24、27は、互いに等しいX軸方向の幅とY軸方向の長さを有する。また、下バンク部21、24、27の厚さは等しい。   The lower bank 20 has lower bank portions 21 to 27. The lower bank portions 21, 24, and 27 extend in the Y-axis direction and are arranged in parallel to each other at equal intervals in the X-axis direction. The lower bank portions 21, 24, and 27 have the same width in the X-axis direction and length in the Y-axis direction. Further, the thicknesses of the lower bank portions 21, 24 and 27 are equal.

下バンク部22は、下バンク部21と24のY軸負方向側端部を接続する部分であり、X軸方向に伸延する。同様に、下バンク部23は、下バンク部21と24のY軸正方向側端部を接続する部分であり、X軸方向に伸延する。   The lower bank portion 22 is a portion that connects the Y bank negative direction side ends of the lower bank portions 21 and 24, and extends in the X axis direction. Similarly, the lower bank portion 23 is a portion connecting the ends of the lower bank portions 21 and 24 on the Y axis positive direction side, and extends in the X axis direction.

下バンク部25は、下バンク部24と27のY軸負方向側端部を接続する部分であり、X軸方向に伸延する。同様に、下バンク部26は、下バンク部24と27のY軸正方向側端部を接続する部分であり、X軸方向に伸延する。   The lower bank part 25 is a part that connects the Y bank negative direction side ends of the lower bank parts 24 and 27 and extends in the X axis direction. Similarly, the lower bank portion 26 is a portion that connects the Y bank positive direction side ends of the lower bank portions 24 and 27 and extends in the X axis direction.

下バンク部22と23は、互いに平行にX軸方向に伸延しており、下バンク部25と26は、互いに平行にX軸方向に伸延している。下バンク部22と25は、X軸方向に同一直線上に伸延しており、下バンク部23と26は、X軸方向に同一直線上に伸延している。   The lower bank portions 22 and 23 extend in the X-axis direction in parallel with each other, and the lower bank portions 25 and 26 extend in the X-axis direction in parallel with each other. The lower bank portions 22 and 25 extend on the same straight line in the X-axis direction, and the lower bank portions 23 and 26 extend on the same straight line in the X-axis direction.

下バンク部22、23、25、26は、互いに等しいY軸方向の幅とX軸方向の長さを有する。また、下バンク部22、23、25、26の厚さは等しく、下バンク部21、24、27の厚さに等しい。   The lower bank portions 22, 23, 25, and 26 have the same width in the Y-axis direction and length in the X-axis direction. Further, the lower bank portions 22, 23, 25, and 26 have the same thickness, and the lower bank portions 21, 24, and 27 have the same thickness.

下バンク部21〜27は、幅方向における断面が台形である。この断面形状は、上底よりも下底が長い台形である。   The lower bank portions 21 to 27 have a trapezoidal cross section in the width direction. This cross-sectional shape is a trapezoid whose bottom is longer than the top.

下バンク20(下バンク部21〜27)と基板10の表面とには、上バンク30よりも金属ナノインクに対する濡れ性を増大させる表面処理が施される。   The lower bank 20 (lower bank portions 21 to 27) and the surface of the substrate 10 are subjected to a surface treatment that increases the wettability with respect to the metal nano ink more than the upper bank 30.

上バンク30は、下バンク20の上に形成される上畝部の一例である。上バンク30は、後に基板10の表面に形成される配線41、42を形成する領域を平面視で囲むように下バンク20の上面に形成される。   The upper bank 30 is an example of an upper collar formed on the lower bank 20. The upper bank 30 is formed on the upper surface of the lower bank 20 so as to surround a region in which the wirings 41 and 42 to be formed later on the surface of the substrate 10 are formed in a plan view.

上バンク30は、配線41、42を形成するために基板10の表面にインクジェット法で塗布する金属ナノインクを堰き止めるために設けられており、土手又は畝のような部材である。ここでは、上バンク30が上畝部の一例であるものとして取り扱うが、上バンク30を上土手部として取り扱ってもよい。   The upper bank 30 is provided to dam the metal nano ink applied to the surface of the substrate 10 by an ink jet method in order to form the wirings 41 and 42, and is a member such as a bank or a ridge. Here, although the upper bank 30 is handled as an example of the upper collar, the upper bank 30 may be handled as an upper bank.

上バンク30の厚さは、下バンク20と同様の厚さであればよい。また、上バンク30は、金属ナノインクの焼成処理に耐えうる耐熱性を有することが求められる。上バンク30は、例えば、ポリイミド樹脂又はポリカーボネート樹脂等で形成すればよい。上バンク30は、例えば、予め成型したものを下バンク20の上面に転写することによって形成される。   The thickness of the upper bank 30 may be the same as that of the lower bank 20. Further, the upper bank 30 is required to have heat resistance that can withstand the firing process of the metal nano ink. The upper bank 30 may be formed of, for example, polyimide resin or polycarbonate resin. The upper bank 30 is formed, for example, by transferring a previously molded product to the upper surface of the lower bank 20.

なお、上バンク30には、下バンク20に対して行われる濡れ性を向上させる表面処理は行われない。このため、上バンク30は、下バンク20よりも金属ナノインクに対する濡れ性が低く、上バンク30の表面に付着する金属ナノインクの接触角は、下バンク20の表面に付着する金属ナノインクの接触角よりも大きくなる。   The upper bank 30 is not subjected to surface treatment for improving the wettability performed on the lower bank 20. Therefore, the upper bank 30 has lower wettability to the metal nano ink than the lower bank 20, and the contact angle of the metal nano ink attached to the surface of the upper bank 30 is larger than the contact angle of the metal nano ink attached to the surface of the lower bank 20. Also grows.

上バンク30は、上バンク部31〜37を有する。上バンク部31〜37は、それぞれ、下バンク部21〜27の上面に配設される。   The upper bank 30 has upper bank portions 31 to 37. The upper bank portions 31 to 37 are disposed on the upper surfaces of the lower bank portions 21 to 27, respectively.

上バンク部31、34、37は、Y軸方向に伸延しており、X軸方向に等間隔で互いに平行に配列されている。上バンク部31、34、37は、互いに等しいX軸方向の幅とY軸方向の長さを有する。また、上バンク部31、34、37の厚さは等しい。   The upper bank portions 31, 34, and 37 extend in the Y-axis direction and are arranged in parallel to each other at equal intervals in the X-axis direction. The upper bank portions 31, 34, and 37 have the same width in the X-axis direction and length in the Y-axis direction. Further, the upper bank portions 31, 34 and 37 are equal in thickness.

上バンク部32は、上バンク部31と34のY軸負方向側端部を接続する部分であり、X軸方向に伸延する。同様に、上バンク部33は、上バンク部31と34のY軸正方向側端部を接続する部分であり、X軸方向に伸延する。   The upper bank portion 32 is a portion that connects the Y bank negative direction side end portions of the upper bank portions 31 and 34 and extends in the X axis direction. Similarly, the upper bank portion 33 is a portion connecting the Y bank positive direction side ends of the upper bank portions 31 and 34, and extends in the X axis direction.

上バンク部35は、上バンク部34と37のY軸負方向側端部を接続する部分であり、X軸方向に伸延する。同様に、上バンク部36は、上バンク部34と37のY軸正方向側端部を接続する部分であり、X軸方向に伸延する。   The upper bank portion 35 is a portion that connects the Y bank negative direction side ends of the upper bank portions 34 and 37 and extends in the X axis direction. Similarly, the upper bank portion 36 is a portion connecting the Y bank positive direction side end portions of the upper bank portions 34 and 37, and extends in the X axis direction.

上バンク部32と33は、互いに平行にX軸方向に伸延しており、上バンク部35と36は、互いに平行にX軸方向に伸延している。上バンク部32と35は、X軸方向に同一直線上に伸延しており、上バンク部33と36は、X軸方向に同一直線上に伸延している。   The upper bank portions 32 and 33 extend in the X-axis direction in parallel with each other, and the upper bank portions 35 and 36 extend in the X-axis direction in parallel with each other. The upper bank portions 32 and 35 extend on the same straight line in the X-axis direction, and the upper bank portions 33 and 36 extend on the same straight line in the X-axis direction.

上バンク部32、33、35、36は、互いに等しいY軸方向の幅とX軸方向の長さを有する。また、上バンク部32、33、35、36の厚さは等しく、上バンク部31、34、37の厚さに等しい。   The upper bank portions 32, 33, 35, and 36 have the same width in the Y-axis direction and length in the X-axis direction. Further, the thicknesses of the upper bank portions 32, 33, 35, and 36 are equal, and the thicknesses of the upper bank portions 31, 34, and 37 are equal.

上バンク部31〜37は、幅方向における断面が台形である。この断面形状は、上底よりも上底が長い台形である。また、上バンク部31〜37の幅は、それぞれ、下バンク部21〜27の幅の約1/3程度である。上バンク31〜37は、それぞれ、下バンク21〜27の幅方向における中央部に配設される。   The upper bank portions 31 to 37 have a trapezoidal cross section in the width direction. This cross-sectional shape is a trapezoid whose upper base is longer than the upper base. The widths of the upper bank portions 31 to 37 are about 1/3 of the widths of the lower bank portions 21 to 27, respectively. The upper banks 31 to 37 are arranged at the center portions in the width direction of the lower banks 21 to 27, respectively.

配線41と42とは、それぞれ、下バンク部21、22、23、24によって構築される矩形状の領域と、下バンク部24、25、26、27によって構築される矩形状の領域とに形成される。配線41と42は、設計上は互いに電気的に絶縁される配線である。   The wirings 41 and 42 are formed in a rectangular area constructed by the lower bank parts 21, 22, 23, 24 and a rectangular area constructed by the lower bank parts 24, 25, 26, 27, respectively. Is done. The wirings 41 and 42 are wirings that are electrically insulated from each other by design.

配線41と42は、それぞれの領域にインクジェット法によって塗布される金属ナノインクを焼成することによって作製される。金属ナノインクとしては、例えば、銀(Ag)又は銅(Cu)等のナノ粒子を有機溶媒に含有させたものであって、焼成処理によって有機溶媒を除去可能であり、有機溶媒を除去することによって銀又は銅の金属層を形成できるものであればよい。例えば、石原薬品株式会社の金属ナノインクを用いることができる。   The wirings 41 and 42 are produced by firing metal nano ink applied to each region by an ink jet method. As a metal nanoink, for example, nanoparticles such as silver (Ag) or copper (Cu) are contained in an organic solvent, and the organic solvent can be removed by baking treatment. By removing the organic solvent, What is necessary is just to be able to form a silver or copper metal layer. For example, the metal nano ink of Ishihara Pharmaceutical Co., Ltd. can be used.

金属ナノインクに含まれる金属粒子の粒径は、例えば、10〜数10nm程度である。インクジェット法で形成する配線41、42の線幅は、例えば、数10μm〜50μm程度まで微細化することができる。   The particle size of the metal particles contained in the metal nano ink is, for example, about 10 to several tens of nm. The line width of the wirings 41 and 42 formed by the inkjet method can be reduced to, for example, about several tens of μm to about 50 μm.

なお、配線41の幅(X軸方向の幅)方向に隣接する下バンク部21と上バンク部31は、それぞれ、第1畝部と第2畝部の一例である。また、配線41の幅(X軸方向の幅)方向に隣接する下バンク部24と上バンク部34は、それぞれ、第3畝部と第4畝部の一例である。   Note that the lower bank portion 21 and the upper bank portion 31 that are adjacent to each other in the width direction (width in the X-axis direction) of the wiring 41 are examples of a first collar portion and a second collar portion, respectively. Further, the lower bank part 24 and the upper bank part 34 adjacent to each other in the width (X-axis direction width) direction of the wiring 41 are examples of a third hook part and a fourth hook part, respectively.

また、配線42の幅(X軸方向の幅)方向に隣接する下バンク部24と上バンク部34は、それぞれ、第1畝部と第2畝部の一例である。また、配線42の幅(X軸方向の幅)方向に隣接する下バンク部27と上バンク部37は、それぞれ、第3畝部と第4畝部の一例である。   Further, the lower bank portion 24 and the upper bank portion 34 adjacent to each other in the width direction (width in the X-axis direction) of the wiring 42 are examples of a first collar portion and a second collar portion, respectively. Further, the lower bank portion 27 and the upper bank portion 37 adjacent to each other in the width (X-axis direction width) direction of the wiring 42 are examples of a third collar portion and a fourth collar portion, respectively.

なお、図1には一例として直線状の2本の配線41、42を示すが、配線基板100が具体的に設計される場合には、配線41、42は様々なパターンに形成され、さらに多くの配線を含むことになる。このため、配線基板100に含まれる様々な配線を囲むように下バンク20と上バンク30を形成すればよい。また、例えば、配線41、42の終端にパッドがある場合は、下バンク20と上バンク30は、パッドを平面視で囲むように閉じていればよい。   FIG. 1 shows two straight lines 41 and 42 as an example. However, when the wiring board 100 is specifically designed, the lines 41 and 42 are formed in various patterns, and more. It will include the wiring. For this reason, the lower bank 20 and the upper bank 30 may be formed so as to surround various wirings included in the wiring substrate 100. For example, when there is a pad at the end of the wirings 41 and 42, the lower bank 20 and the upper bank 30 may be closed so as to surround the pad in plan view.

また、下バンク部21、24、27は、両端が下バンク部22、23、25、26によって閉じられており、上バンク部31、34、37は、上バンク部32、33、35、36によって閉じられている。   The lower bank portions 21, 24, and 27 are closed at both ends by the lower bank portions 22, 23, 25, and 26, and the upper bank portions 31, 34, and 37 are the upper bank portions 32, 33, 35, and 36, respectively. Closed by.

しかしながら、下バンク部21、24、27の端部は、必ずしも下バンク部22、23、25、26によって閉じられていなくてもよく、開放されていてもよい。同様に、上バンク部31、34、37の端部は、必ずしも上バンク部32、33、35、36によって閉じられていなくてもよく、開放されていてもよい。   However, the end portions of the lower bank portions 21, 24, and 27 are not necessarily closed by the lower bank portions 22, 23, 25, and 26, and may be opened. Similarly, the end portions of the upper bank portions 31, 34, and 37 may not necessarily be closed by the upper bank portions 32, 33, 35, and 36, and may be opened.

また、図1には、配線41、42の両側を下バンク部21、24、27及び上バンク部31、34、37で挟む形態を示すが、片側だけでも配線41又は42を形成できる場合は、配線41又は42の片側のみに、下バンク部及び上バンク部を配設すればよい。   Further, FIG. 1 shows a form in which both sides of the wirings 41 and 42 are sandwiched between the lower bank parts 21, 24 and 27 and the upper bank parts 31, 34 and 37, but when the wirings 41 or 42 can be formed only on one side. The lower bank portion and the upper bank portion may be disposed only on one side of the wiring 41 or 42.

次に、図2を用いて、実施の形態1の配線基板100の製造方法の手順について説明する。   Next, the procedure of the manufacturing method of the wiring board 100 of Embodiment 1 is demonstrated using FIG.

図2は、実施の形態1の配線基板100の製造工程の手順を示す図である。   FIG. 2 is a diagram illustrating a procedure of a manufacturing process of the wiring substrate 100 according to the first embodiment.

まず、基板10の表面に下バンク20を形成する(ステップS1)。下バンク20は、例えば、予め成型したものを基板10の表面に転写することによって形成される。   First, the lower bank 20 is formed on the surface of the substrate 10 (step S1). The lower bank 20 is formed, for example, by transferring a previously molded one onto the surface of the substrate 10.

次に、基板10の表面と、下バンク20の表面とに、親水性を向上させるための表面処理を行う(ステップS2)。この表面処理としては、例えば、基板10と下バンク20との表面を酸素プラズマに晒す処理が挙げられる。   Next, surface treatment for improving hydrophilicity is performed on the surface of the substrate 10 and the surface of the lower bank 20 (step S2). Examples of the surface treatment include a treatment in which the surfaces of the substrate 10 and the lower bank 20 are exposed to oxygen plasma.

次に、下バンク20の上面に上バンク30を形成する(ステップS3)。上バンク30は、例えば、予め成型したものを下バンク20の上面に転写することによって形成される。   Next, the upper bank 30 is formed on the upper surface of the lower bank 20 (step S3). The upper bank 30 is formed, for example, by transferring a previously molded product to the upper surface of the lower bank 20.

次に、インクジェットプリンタを用いて、基板10の表面のうちの配線41、42を形成する領域に、インクジェット法で金属ナノインクを塗布する(ステップS4)。配線41、42を形成する領域は、それぞれ、下バンク部21、22、23、24及び上バンク部31、32、33、34によって構築される矩形状の領域と、下バンク部24、25、26、27及び上バンク部34、35、36、37によって構築される矩形状の領域である。   Next, metal nano-ink is applied to the region where the wirings 41 and 42 of the surface of the substrate 10 are to be formed by an inkjet method using an inkjet printer (step S4). The areas for forming the wirings 41 and 42 are rectangular areas constructed by the lower bank parts 21, 22, 23 and 24 and the upper bank parts 31, 32, 33 and 34, respectively, and the lower bank parts 24, 25, 26, 27 and upper bank sections 34, 35, 36, 37 are rectangular regions.

ステップS4の処理では、これらの領域の位置を表すデータをインクジェットプリンタのプリンタドライバに入力することによって、金属ナノインクを塗布すればよい。また、金属ナノインクの噴射量は、基板10の表面に塗布したい金属ナノインクの厚さ、インクジェット法による塗布速度(インクジェットプリンタのヘッドの移動速度)等に基づいて設定すればよい。   In the process of step S4, the metal nano ink may be applied by inputting data representing the positions of these areas to the printer driver of the ink jet printer. Further, the ejection amount of the metal nano ink may be set based on the thickness of the metal nano ink to be applied to the surface of the substrate 10, the application speed by the ink jet method (the moving speed of the head of the ink jet printer), and the like.

最後に、基板10の表面に塗布した金属ナノインクを焼成することにより、金属ナノインクに含有される有機溶媒を取り除き、金属を焼成させる(ステップS5)。これにより、金属ナノインクから配線41、42が形成される。   Finally, the metal nano ink applied to the surface of the substrate 10 is baked to remove the organic solvent contained in the metal nano ink, and the metal is baked (step S5). Thereby, the wirings 41 and 42 are formed from the metal nano ink.

次に、図3及び図4を用いて、実施の形態1の配線基板100の製造方法について説明する。   Next, the manufacturing method of the wiring substrate 100 of Embodiment 1 is demonstrated using FIG.3 and FIG.4.

図3及び図4は、実施の形態1の配線基板100の製造工程を段階的に示す図である。図3及び図4には、図1(B)に示す断面における製造工程を段階的に示すため、下バンク20については下バンク部21、24、27のみを示し、上バンク30については上バンク部31、34、37のみを示す。   3 and 4 are diagrams showing steps of manufacturing the wiring substrate 100 according to the first embodiment. 3 and 4 show only the lower bank portions 21, 24 and 27 for the lower bank 20 and the upper bank for the upper bank 30 in order to show the manufacturing process in the cross section shown in FIG. Only the parts 31, 34, 37 are shown.

まず、図3(A)に示すように、予め成型した下バンク20(下バンク部21、24、27)を基板10の表面に転写することにより、基板10の表面に下バンク20(下バンク部21、24、27)を形成する。   First, as shown in FIG. 3A, the lower bank 20 (lower bank portions 21, 24, and 27) molded in advance is transferred to the surface of the substrate 10, so that the lower bank 20 (lower bank) is formed on the surface of the substrate 10. Part 21, 24, 27).

次に、図3(B)に示すように、基板10の表面と、下バンク20(下バンク部21、24、27)の表面とに、親水性を向上させるための表面処理として、例えば、酸素プラズマに晒す処理を行う。図3(B)では、酸素プラズマを矢印で示す。酸素プラズマに晒す処理は、所定の減圧下にあるチャンバー等の内部に、下バンク20を形成した基板10を設置し、母ガスとして酸素を用いてプラズマを発生させることによって行えばよい。   Next, as shown in FIG. 3B, as a surface treatment for improving hydrophilicity on the surface of the substrate 10 and the surface of the lower bank 20 (lower bank parts 21, 24, 27), for example, Perform treatment to expose to oxygen plasma. In FIG. 3B, oxygen plasma is indicated by an arrow. The exposure to oxygen plasma may be performed by placing the substrate 10 on which the lower bank 20 is formed inside a chamber or the like under a predetermined reduced pressure and generating plasma using oxygen as a mother gas.

次に、図3(C)に示すように、予め成型した上バンク30(上バンク部31、34、37)を下バンク20(下バンク部21、24、27)の上面に転写することにより、下バンク20(下バンク部21、24、27)の上面に上バンク30(上バンク部31、34、37)を形成する。   Next, as shown in FIG. 3C, the upper bank 30 (upper bank portions 31, 34, 37) molded in advance is transferred to the upper surface of the lower bank 20 (lower bank portions 21, 24, 27). The upper bank 30 (upper bank units 31, 34, 37) is formed on the upper surface of the lower bank 20 (lower bank units 21, 24, 27).

次に、図3(D)に示すように、基板10の表面のうちの配線41、42を形成する領域に、インクジェット法で金属ナノインク40を塗布する。この工程は、金属ナノインクを噴射可能なインクジェットプリンタを用いて行えばよい。   Next, as shown in FIG. 3D, a metal nano-ink 40 is applied to a region of the surface of the substrate 10 where the wirings 41 and 42 are formed by an inkjet method. This step may be performed using an ink jet printer capable of ejecting metal nano ink.

図3(D)に示す断面では、配線41、42を形成する領域は、それぞれ、下バンク部21及び24と上バンク部31及び34とによって挟まれる領域と、下バンク部24及び27と上バンク部34及び37とによって挟まれる領域である。   In the cross section shown in FIG. 3D, the regions for forming the wirings 41 and 42 are the region sandwiched between the lower bank portions 21 and 24 and the upper bank portions 31 and 34, and the upper bank portions 24 and 27 and the upper banks, respectively. This is an area sandwiched between the bank portions 34 and 37.

ここで、図3(B)に示す工程の表面処理により、上バンク部31、34、37よりも下バンク部21、24、27の方が金属ナノインクに対する濡れ性が高くなっている。このため、図4(A)に示すようにインクジェットプリンタが金属ナノインクを噴射する位置がずれた場合でも、金属ナノインク40は、下バンク部21及び24と上バンク部31及び34とによって挟まれる領域と、下バンク部24及び27と上バンク部34及び37とによって挟まれる領域とに誘導される。   Here, due to the surface treatment in the process shown in FIG. 3B, the lower bank portions 21, 24, and 27 have higher wettability to the metal nano ink than the upper bank portions 31, 34, and 37. For this reason, as shown in FIG. 4A, even when the position where the ink jet printer ejects the metal nano ink is shifted, the metal nano ink 40 is sandwiched between the lower bank portions 21 and 24 and the upper bank portions 31 and 34. And a region sandwiched between the lower bank portions 24 and 27 and the upper bank portions 34 and 37.

従って、上バンク34を跨いで金属ナノインク40が塗布されることが抑制され、この結果、配線41と42が誤って接続されることが抑制される。   Therefore, the metal nano ink 40 is prevented from being applied across the upper bank 34, and as a result, the wirings 41 and 42 are prevented from being erroneously connected.

この結果、図3(D)に示すように、金属ナノインク40が塗布される位置にずれがない場合と、図4(A)に示すように、金属ナノインク40が塗布される位置にずれが生じた場合とのいずれの場合においても、図4(B)に示すように、正しい位置に配線41、42を形成するための金属ナノインク41A、42Aを塗布することができる。ここでいう正しい位置とは、下バンク部21及び24と上バンク部31及び34とによって挟まれる領域と、下バンク部24及び27と上バンク部34及び37とによって挟まれる領域とであり、配線41、42が本来形成されるように設計によって意図される位置である。   As a result, as shown in FIG. 3D, the position where the metal nano ink 40 is applied is not shifted, and as shown in FIG. 4A, the position where the metal nano ink 40 is applied is shifted. In either case, as shown in FIG. 4B, the metal nano ink 41A, 42A for forming the wirings 41, 42 can be applied at the correct positions. The correct position here is a region sandwiched between the lower bank portions 21 and 24 and the upper bank portions 31 and 34, and a region sandwiched between the lower bank portions 24 and 27 and the upper bank portions 34 and 37. This is a position intended by design so that the wirings 41 and 42 are originally formed.

最後に、基板10の表面に塗布した金属ナノインク41A、42Aを焼成することにより、図4(C)に示すように、金属ナノインク41A、42Aに含有される有機溶媒を取り除き、金属を焼成させる。これにより、金属ナノインクから配線41、42が形成される。図4(C)に示す配線41、42の高さは、図4(B)に示す金属ナノインク41A、42Aの高さよりも少し低くなる。これは、有機溶媒が除去されて焼成されるためである。   Finally, by firing the metal nano inks 41A and 42A applied to the surface of the substrate 10, as shown in FIG. 4C, the organic solvent contained in the metal nano inks 41A and 42A is removed, and the metal is fired. Thereby, the wirings 41 and 42 are formed from the metal nano ink. The heights of the wirings 41 and 42 shown in FIG. 4C are slightly lower than the heights of the metal nano inks 41A and 42A shown in FIG. This is because the organic solvent is removed and baked.

また、インクジェット法に用いるインクジェットプリンタは、例えば、コンティニュアス型、オンデマンド型(ピエゾ方式、又は、サーマル方式)のいずれであってもよい。   The ink jet printer used for the ink jet method may be, for example, either a continuous type or an on-demand type (piezo type or thermal type).

以上のように、実施の形態1の配線基板100は、基板10の表面に形成される下バンク20と上バンク20との二層構造を含み、基板10の表面と下バンク20の表面に濡れ性を向上させる表面処理を施している。   As described above, the wiring substrate 100 according to the first embodiment includes a two-layer structure of the lower bank 20 and the upper bank 20 formed on the surface of the substrate 10, and wets the surface of the substrate 10 and the surface of the lower bank 20. Surface treatment to improve the properties.

このため、金属ナノインク40を塗布する工程で塗布する位置にずれが生じたとしても(図4(A)参照)、金属ナノインク40が上バンク30を跨いで塗布されることを抑制できる。   For this reason, even if a shift occurs in the application position in the step of applying the metal nano ink 40 (see FIG. 4A), the metal nano ink 40 can be prevented from being applied across the upper bank 30.

従って、製造工程において金属ナノインク40を塗布する位置にずれが生じても、配線41と42が接続されることが抑制され、電気的に信頼性の高い配線基板100を製造することができる。   Therefore, even if a shift occurs in the position where the metal nano ink 40 is applied in the manufacturing process, the connection between the wirings 41 and 42 is suppressed, and the wiring substrate 100 with high electrical reliability can be manufactured.

ここで、図5を用いて、比較用の配線基板と実施の形態1の配線基板100との違いについて説明する。   Here, the difference between the comparative wiring board and the wiring board 100 of the first embodiment will be described with reference to FIG.

図5は、比較用の配線基板と実施の形態1の配線基板100との違いを説明するための図である。   FIG. 5 is a diagram for explaining a difference between the comparative wiring board and the wiring board 100 of the first embodiment.

図5(A)は、基板10の表面に、下バンク20及び上バンク30を形成せず、濡れ性を向上させるための表面処理も行っていない配線基板1を示す図である。この配線基板1のように、基板10の表面に金属ナノインク40を塗布すると、金属ナノインクの濡れ広がりが発生し、配線41、42を形成するために十分な寸法制御性を得ることが困難である。   FIG. 5A is a diagram showing the wiring substrate 1 in which the lower bank 20 and the upper bank 30 are not formed on the surface of the substrate 10 and the surface treatment for improving the wettability is not performed. When the metal nano ink 40 is applied to the surface of the substrate 10 as in the wiring substrate 1, the metal nano ink wets and spreads, and it is difficult to obtain sufficient dimensional controllability to form the wirings 41 and 42. .

次に、図5(B)に示す配線基板2のように、基板10の表面にバンク20Aを形成する。バンク20Aの断面は、台形ではなく長方形である。バンク20Aは、実施の形態1の下バンク20の断面形状を台形から長方形に変更した構成を有する。   Next, the bank 20A is formed on the surface of the substrate 10 as in the wiring substrate 2 shown in FIG. The cross section of the bank 20A is not trapezoidal but rectangular. The bank 20A has a configuration in which the cross-sectional shape of the lower bank 20 of the first embodiment is changed from a trapezoid to a rectangle.

このようなバンク20Aを形成した配線基板2に金属ナノインク40を塗布する際に、図5(C)に示すように金属ナノインク40を塗布する位置にずれが生じると、バンク20Aの上に跨った金属ナノインク40Aが発生するおそれがある。このような場合には、設計上は接続されないはずの相隣接する配線同士が電気的に接続されるため、配線基板2の信頼性が低下する。   When the metal nano ink 40 is applied to the wiring board 2 on which such a bank 20A is formed, if the position where the metal nano ink 40 is applied is shifted as shown in FIG. 5C, the metal nano ink 40 straddles the bank 20A. There is a possibility that the metal nano ink 40A may be generated. In such a case, adjacent wirings that should not be connected in design are electrically connected to each other, so that the reliability of the wiring board 2 is lowered.

また、金属ナノインク40を塗布する位置にずれが生じていなくても、基板10の表面の濡れ性が十分に高くない場合は、基板10の表面に塗布された金属ナノインク40に気泡80が含まれるおそれがある。気泡80が生じた金属ナノインク40を焼成すると、配線に局所的に細い部分が生じ、電気抵抗が一定ではない区間が生じ、特性インピーダンスが設計値からずれるおそれがある。   In addition, even if the position where the metal nano ink 40 is applied is not shifted, if the wettability of the surface of the substrate 10 is not sufficiently high, the metal nano ink 40 applied to the surface of the substrate 10 includes bubbles 80. There is a fear. When the metal nano ink 40 in which the bubbles 80 are generated is baked, a thin portion is locally generated in the wiring, a section where the electric resistance is not constant is generated, and the characteristic impedance may be deviated from the design value.

以上のように、図5(A)、(B)に示す配線基板1、2では、十分な信頼性を確保することが困難である。   As described above, with the wiring boards 1 and 2 shown in FIGS. 5A and 5B, it is difficult to ensure sufficient reliability.

これに対して、実施の形態1の配線基板100は、下バンク20と上バンク20との二層構造を含み、基板10の表面と下バンク20の表面の濡れ性を向上させることにより、金属ナノインク40を塗布する位置にずれが生じても、配線41と42の接続が抑制され、電気的に信頼性の高い配線基板100を製造することができる。   On the other hand, the wiring substrate 100 according to the first embodiment includes a two-layer structure of the lower bank 20 and the upper bank 20, and improves the wettability between the surface of the substrate 10 and the surface of the lower bank 20, thereby Even if the position where the nano ink 40 is applied is displaced, the connection between the wirings 41 and 42 is suppressed, and the wiring substrate 100 with high electrical reliability can be manufactured.

また、実施の形態1の配線基板100は、下バンク20及び上バンク30の断面が、上底よりも下底が長い台形であるため、インクジェット法で金属ナノインク40を塗布する際に、金属ナノインク40が斜め下方向に滴り易くなり、金属ナノインク40の一部が配線41と42に跨った状態で残存することを抑制できる。   Moreover, since the cross section of the lower bank 20 and the upper bank 30 is a trapezoid whose lower base is longer than the upper base, the wiring substrate 100 of the first embodiment has a metal nano ink 40 when the metal nano ink 40 is applied by an ink jet method. 40 tends to drip diagonally downward, and a part of the metal nano ink 40 can be prevented from remaining in a state of straddling the wirings 41 and 42.

以上、実施の形態1によれば、信頼性の高い配線基板100を提供することができる。   As described above, according to the first embodiment, a highly reliable wiring board 100 can be provided.

なお、以上では、基板10の表面と下バンク20の表面に濡れ性を向上させる表面処理を施す形態について説明したが、このような表面処理を行うのは、下バンク20の表面のみであってもよい。この場合は、例えば、基板10に下バンク20を転写する前に、濡れ性を向上させる表面処理を下バンク20に行っておけばよい。   In the above description, the surface treatment for improving the wettability is performed on the surface of the substrate 10 and the surface of the lower bank 20. However, the surface treatment is performed only on the surface of the lower bank 20. Also good. In this case, for example, the surface treatment for improving the wettability may be performed on the lower bank 20 before the lower bank 20 is transferred to the substrate 10.

また、以上では、基板10の表面と下バンク20の表面に濡れ性を向上させる表面処理を施す形態について説明したが、これの代わりに、又は、これに加えて、上バンク30に濡れ性を低下させる表面処理を施してもよい。濡れ性を低下させる表面処理としては、例えば、撥水性の薬品を塗布する処理が挙げられる。   In the above description, the surface treatment for improving the wettability is performed on the surface of the substrate 10 and the surface of the lower bank 20, but instead of or in addition to this, the upper bank 30 has wettability. You may perform the surface treatment to reduce. Examples of the surface treatment for reducing wettability include a treatment for applying a water-repellent chemical.

<実施の形態2>
実施の形態2の配線基板200は、実施の形態1の配線基板100と製造方法が異なるが、配線基板200の構成は配線基板100の構成と略同様である。このため、各構成要素については、実施の形態1と同一の符号を用いて説明を行う。両者の相違点は、実施の形態2の配線基板200の下バンク20の断面が台形ではなく長方形である点である。
<Embodiment 2>
The wiring board 200 of the second embodiment is different in manufacturing method from the wiring board 100 of the first embodiment, but the configuration of the wiring board 200 is substantially the same as the configuration of the wiring board 100. For this reason, each component will be described using the same reference numerals as those in the first embodiment. The difference between the two is that the cross section of the lower bank 20 of the wiring board 200 of the second embodiment is not trapezoidal but rectangular.

図6は、実施の形態2の配線基板200の製造工程の手順を示す図である。   FIG. 6 is a diagram illustrating a procedure of a manufacturing process of the wiring board 200 according to the second embodiment.

まず、基板10の表面の全体に絶縁層を形成する(ステップS21)。この絶縁層は、後にマスクを用いたエッチング処理を行うことにより、下バンク20になるものである。このため、絶縁層の材質は、下バンク20を構築するポリイミド樹脂等でよい。   First, an insulating layer is formed on the entire surface of the substrate 10 (step S21). This insulating layer becomes the lower bank 20 by performing an etching process using a mask later. For this reason, the material of the insulating layer may be a polyimide resin or the like that constructs the lower bank 20.

ポリイミド樹脂層は、例えば、ポリイミドワニスを塗布し、イミド化して形成すればよい。   The polyimide resin layer may be formed, for example, by applying a polyimide varnish and imidizing it.

次に、絶縁層の上に、マスクを形成する(ステップS22)。このマスクは、下バンク20を形成するために用いるため、平面視で下バンク20と同じ形状を有していればよい。マスクは、絶縁層の上面の全体にフォトレジストを形成し、露光によって下バンク20と同一の形状にパターニングを行い、エッチング処理を行うことによって作製すればよい。   Next, a mask is formed on the insulating layer (step S22). Since this mask is used to form the lower bank 20, it only needs to have the same shape as the lower bank 20 in plan view. The mask may be manufactured by forming a photoresist on the entire upper surface of the insulating layer, patterning the same shape as the lower bank 20 by exposure, and performing an etching process.

次に、マスクを用いて、絶縁層の不要部分を除去する(ステップS23)。例えば、絶縁層がポリイミド樹脂層の場合は、例えば、東レエンジニアリング株式会社製のポリイミドエッチング液等を用いて不要部分を除去すればよい。ステップS23により、下バンク20が完成する。   Next, unnecessary portions of the insulating layer are removed using a mask (step S23). For example, when the insulating layer is a polyimide resin layer, unnecessary portions may be removed using, for example, a polyimide etching solution manufactured by Toray Engineering Co., Ltd. By step S23, the lower bank 20 is completed.

次に、基板10の表面と、下バンク20の表面とに、親水性を向上させるための表面処理を行う(ステップS24)。この表面処理としては、例えば、基板10と下バンク20との表面を酸素プラズマに晒す処理が挙げられる。   Next, surface treatment for improving hydrophilicity is performed on the surface of the substrate 10 and the surface of the lower bank 20 (step S24). Examples of the surface treatment include a treatment in which the surfaces of the substrate 10 and the lower bank 20 are exposed to oxygen plasma.

以下、実施の形態1におけるステップS3〜S5と同様の処理をステップS25〜S27で行えばよい。   Hereinafter, the same processing as Steps S3 to S5 in Embodiment 1 may be performed in Steps S25 to S27.

次に、図7及び図8を用いて、実施の形態2の配線基板200の製造方法について説明する。   Next, the manufacturing method of the wiring board 200 of Embodiment 2 is demonstrated using FIG.7 and FIG.8.

図7及び図8は、実施の形態2の配線基板200の製造工程を段階的に示す図である。図7及び図8には、図1(B)に示す断面における製造工程を段階的に示すため、下バンク20については下バンク部21、24、27のみを示し、上バンク30については上バンク部31、34、37のみを示す。   7 and 8 are diagrams showing steps of manufacturing the wiring substrate 200 according to the second embodiment. 7 and 8 show only the lower bank portions 21, 24, and 27 for the lower bank 20 and the upper bank for the upper bank 30 in order to show the manufacturing process in the cross section shown in FIG. Only the parts 31, 34, 37 are shown.

まず、図7(A)に示すように、基板10の表面の全体に絶縁層250を形成する。絶縁層250は、後に下バンク20になるものであるため、下バンク20を構築するポリイミド樹脂層等であればよい。   First, as shown in FIG. 7A, an insulating layer 250 is formed over the entire surface of the substrate 10. Since the insulating layer 250 will be the lower bank 20 later, it may be a polyimide resin layer or the like that constructs the lower bank 20.

次に、図7(B)に示すように、絶縁層250の上に、マスク260を形成する。マスク260は、下バンク20を形成するために用いるため、平面視で下バンク20と同じ形状を有していればよい。マスク260は、絶縁層250の上面の全体にフォトレジストを形成し、露光によって下バンク20と同一の形状にパターニングを行い、エッチング処理を行うことによって作製すればよい。   Next, as illustrated in FIG. 7B, a mask 260 is formed over the insulating layer 250. Since the mask 260 is used to form the lower bank 20, it only needs to have the same shape as the lower bank 20 in plan view. The mask 260 may be manufactured by forming a photoresist on the entire top surface of the insulating layer 250, patterning the same shape as the lower bank 20 by exposure, and performing an etching process.

次に、図7(C)に示すように、マスク260を用いて絶縁層250の不要部分を除去することにより、下バンク20(下バンク部21、24、27)が完成する。その後、下バンク20(下バンク部21、24、27)の上に残存するマスク260Aを除去すればよい。   Next, as shown in FIG. 7C, unnecessary portions of the insulating layer 250 are removed using a mask 260, whereby the lower bank 20 (lower bank portions 21, 24, 27) is completed. Thereafter, the mask 260A remaining on the lower bank 20 (lower bank portions 21, 24, 27) may be removed.

次に、図7(D)に示すように、基板10の表面と、下バンク20(下バンク部21、24、27)の表面とに、親水性を向上させるための表面処理として、例えば、酸素プラズマに晒す処理を行う。図7(D)では、酸素プラズマを矢印で示す。酸素プラズマに晒す処理は、所定の減圧下にあるチャンバー等の内部に、下バンク20を形成した基板10を設置し、母ガスとして酸素を用いてプラズマを発生させることによって行えばよい。   Next, as shown in FIG. 7D, as a surface treatment for improving hydrophilicity on the surface of the substrate 10 and the surface of the lower bank 20 (lower bank portions 21, 24, 27), for example, Perform treatment to expose to oxygen plasma. In FIG. 7D, oxygen plasma is indicated by an arrow. The exposure to oxygen plasma may be performed by placing the substrate 10 on which the lower bank 20 is formed inside a chamber or the like under a predetermined reduced pressure and generating plasma using oxygen as a mother gas.

以後、図8(A)乃至(E)に示すように、実施の形態1において図3(C)、(D)、図4(A)、(B)、(C)に示した処理と同様の処理を行うことにより、上バンク30の形成、金属ナノインク40の塗布、焼成処理を行う。これにより、図8(E)に示すように、実施の形態2の配線基板200が完成する。   Thereafter, as shown in FIGS. 8A to 8E, the same processes as those shown in FIGS. 3C, 4D, 4A, 4B, and 4C in the first embodiment are used. By performing this process, the upper bank 30 is formed, the metal nano ink 40 is applied, and the baking process is performed. Thereby, as shown in FIG. 8E, the wiring substrate 200 of the second embodiment is completed.

以上のように、実施の形態2の配線基板200は、基板10の表面に形成される下バンク20と上バンク20との二層構造を含み、基板10の表面と下バンク20の表面に濡れ性を向上させる表面処理を施している。   As described above, the wiring board 200 according to the second embodiment includes a two-layer structure of the lower bank 20 and the upper bank 20 formed on the surface of the substrate 10, and wets the surface of the substrate 10 and the surface of the lower bank 20. Surface treatment to improve the properties.

このため、金属ナノインク40を塗布する工程で塗布する位置にずれが生じたとしても(図8(C)参照)、金属ナノインク40が上バンク30を跨いで塗布されることを抑制できる。   For this reason, even if a shift occurs in the application position in the process of applying the metal nano ink 40 (see FIG. 8C), it is possible to suppress the metal nano ink 40 from being applied across the upper bank 30.

従って、製造工程において金属ナノインク40を塗布する位置にずれが生じても、配線41と42が接続されることが抑制され、電気的に信頼性の高い配線基板200を製造することができる。   Therefore, even if the position where the metal nano-ink 40 is applied in the manufacturing process is shifted, the connection between the wirings 41 and 42 is suppressed, and the wiring board 200 with high electrical reliability can be manufactured.

以上、本発明の例示的な実施の形態の配線基板、及び、配線基板の製造方法について説明したが、本発明は、具体的に開示された実施の形態に限定されるものではなく、特許請求の範囲から逸脱することなく、種々の変形や変更が可能である。
以上の実施の形態に関し、さらに以下の付記を開示する。
(付記1)
基板と、
前記基板の一方の面に形成される第1畝部と、
前記第1畝部の上に前記第1畝部の長手方向に沿って形成され、前記第1畝部よりも幅の狭い第2畝部と、
前記基板の一方の面に、前記第1畝部に沿って形成される第3畝部と、
前記第3畝部の上に前記第3畝部の長手方向に沿って形成され、前記第3畝部よりも幅の狭い第4畝部と、
前記第1畝部及び前記第2畝部と、前記第3畝部及び前記第4畝部との間において、前記第1畝部、前記第2畝部、前記第3畝部、及び前記第4畝部に沿って、金属ナノインクから形成される配線と
を含み、
前記第1畝部及び前記第3畝部の前記金属ナノインクの濡れ性は、前記第2畝部及び前記第4畝部の前記金属ナノインクの濡れ性よりも高い、配線基板。
(付記2)
前記第1畝部及び前記第3畝部には、前記金属ナノインクの濡れ性を前記第2畝部及び前記第4畝部よりも増大させる表面処理が施される、付記1記載の配線基板。
(付記3)
前記第1畝部及び前記第3畝部に加えて、さらに、前記基板の前記一方の面のうち前記第1畝部と前記第3畝部との間の領域にも、前記表面処理が施される、付記2記載の配線基板。
(付記4)
前記配線は、インクジェット法で形成した前記金属ナノインクを焼成することによって形成される、付記1乃至3のいずれか一項記載の配線基板。
(付記5)
前記第2畝部と、前記第4畝部とには、前記金属ナノインクの濡れ性を前記第1畝部及び前記第3畝部よりも低下させる表面処理が施される、付記1乃至4のいずれか一項記載の配線基板。
(付記6)
前記第2畝部及び前記第4畝部は、それぞれ、前記第1畝部及び前記第3畝部の幅方向における中央部に形成される、付記1乃至5のいずれか一項記載の配線基板。
(付記7)
基板と、
前記基板の一方の面に形成される第1畝部と、
前記第1畝部の上に前記第1畝部の長手方向に沿って形成され、前記第1畝部よりも幅の狭い第2畝部と、
前記第1畝部及び前記第2畝部に沿って、金属ナノインクから形成される配線と
を含み、
前記第1畝部の前記金属ナノインクの濡れ性は、前記第2畝部の前記金属ナノインクの濡れ性よりも高い、配線基板。
(付記8)
前記第1畝部には、前記金属ナノインクの濡れ性を前記第2畝部よりも増大させる表面処理が施される、付記7記載の配線基板。
(付記9)
前記配線は、インクジェット法で形成した前記金属ナノインクを焼成することによって形成される、付記7又は8記載の配線基板。
(付記10)
前記基板の一方の面に、前記第1畝部に沿って形成される第3畝部と、
前記第3畝部の上に前記第3畝部の長手方向に沿って形成され、前記第3畝部よりも幅の狭い第4畝部と
をさらに含み、
前記配線は、前記第1畝部及び前記第2畝部と、前記第3畝部及び前記第4畝部との間に形成され、
前記第3畝部の前記金属ナノインクの濡れ性は、前記第4畝部の前記金属ナノインクの濡れ性よりも高い、付記7乃至9のいずれか一項記載の配線基板。
(付記11)
基板の一方の面に第1畝部を形成する工程と、
前記第1畝部の上に前記第1畝部の長手方向に沿って、前記第1畝部よりも幅の狭い第2畝部を形成する工程と、
前記基板の一方の面に、前記第1畝部に沿って第3畝部を形成する工程と、
前記第3畝部の上に前記第3畝部の長手方向に沿って、前記第3畝部よりも幅の狭い第4畝部を形成する工程と、
前記第1畝部及び前記第3畝部の金属ナノインクの濡れ性を、前記第2畝部及び前記第4畝部の前記金属ナノインクの濡れ性よりも高くする工程と、
前記第1畝部及び前記第2畝部と、前記第3畝部及び前記第4畝部との間において、前記第1畝部、前記第2畝部、前記第3畝部、及び前記第4畝部に沿って、前記金属ナノインクから配線を形成する工程と
を含む、配線基板の製造方法。
(付記12)
前記第1畝部及び前記第3畝部の前記金属ナノインクの濡れ性を、前記第2畝部及び前記第4畝部の前記金属ナノインクの濡れ性よりも高くする工程は、前記第1畝部及び前記第3畝部に、金属ナノインクの濡れ性を前記第2畝部及び前記第4畝部よりも増大させる表面処理を施す工程である、付記11記載の配線基板の製造方法。
(付記13)
前記基板の前記一方の面のうち前記第1畝部と前記第3畝部との間の領域に、前記金属ナノインクの濡れ性を前記第2畝部及び前記第4畝部よりも増大させる表面処理を施す工程をさらに含む、付記12記載の配線基板の製造方法。
(付記14)
前記金属ナノインクから配線を形成する工程は、
インクジェット法で前記金属ナノインクを塗布する工程と、
前記塗布された金属ナノインクを焼成することによって前記配線を形成する工程と
を有する、付記11乃至13のいずれか一項記載の配線基板の製造方法。
(付記15)
前記第1畝部及び前記第3畝部を形成する工程は、それぞれ、前記基板の前記一方の面に、前記第1畝部用のシート部材及び前記第3畝部用のシート状部材を転写する工程である、付記11乃至14のいずれか一項記載の配線基板の製造方法。
(付記16)
前記第1畝部及び前記第3畝部を形成する工程は、
前記基板の前記一方の面に前記第1畝部及び前記第3畝部用の材料層を形成する工程と、
前記材料層の上にフォトレジストによるマスクを形成する工程と、
前記マスクを用いてエッチング処理を行うことによって前記第1畝部及び前記第3畝部を形成する工程と
を有する、付記11乃至15のいずれか一項記載の配線基板の製造方法。
(付記17)
前記第2畝部及び前記第4畝部を形成する工程は、それぞれ、前記第1畝部及び前記第3畝部の上に、前記第2畝部用のシート部材及び前記第4畝部用のシート状部材を転写する工程である、付記11乃至16のいずれか一項記載の配線基板の製造方法。
(付記18)
基板の一方の面に第1畝部を形成する工程と、
前記第1畝部の上に前記第1畝部の長手方向に沿って、前記第1畝部よりも幅の狭い第2畝部を形成する工程と、
前記第1畝部の金属ナノインクの濡れ性を、前記第2畝部の前記金属ナノインクの濡れ性よりも高くする工程と、
前記第1畝部及び前記第2畝部に沿って、前記金属ナノインクから配線を形成する工程と
を含む、配線基板の製造方法。
The wiring board and the method for manufacturing the wiring board according to the exemplary embodiments of the present invention have been described above, but the present invention is not limited to the specifically disclosed embodiments, and is claimed. Various modifications and changes can be made without departing from the scope.
Regarding the above embodiment, the following additional notes are disclosed.
(Appendix 1)
A substrate,
A first flange formed on one surface of the substrate;
A second collar part formed on the first collar part along the longitudinal direction of the first collar part and having a width smaller than that of the first collar part;
A third flange formed on one surface of the substrate along the first flange;
A fourth collar part formed on the third collar part along the longitudinal direction of the third collar part, and having a narrower width than the third collar part;
Between the first collar part and the second collar part and the third collar part and the fourth collar part, the first collar part, the second collar part, the third collar part, and the first collar part A wiring formed from metal nano-ink along the four ribs, and
The wiring board in which the wettability of the metal nano-ink in the first and third collars is higher than the wettability of the metal nano-ink in the second and fourth collars.
(Appendix 2)
The wiring board according to appendix 1, wherein the first collar part and the third collar part are subjected to a surface treatment that increases the wettability of the metal nano-ink more than the second collar part and the fourth collar part.
(Appendix 3)
In addition to the first flange portion and the third flange portion, the surface treatment is also applied to a region between the first flange portion and the third flange portion of the one surface of the substrate. The wiring board according to appendix 2.
(Appendix 4)
The wiring board according to any one of appendices 1 to 3, wherein the wiring is formed by firing the metal nano ink formed by an inkjet method.
(Appendix 5)
Supplementary notes 1 to 4, wherein the second collar part and the fourth collar part are subjected to a surface treatment that lowers the wettability of the metal nano-ink than the first collar part and the third collar part. The wiring board according to any one of claims.
(Appendix 6)
The wiring board according to any one of appendices 1 to 5, wherein the second collar part and the fourth collar part are respectively formed in the center part in the width direction of the first collar part and the third collar part. .
(Appendix 7)
A substrate,
A first flange formed on one surface of the substrate;
A second collar part formed on the first collar part along the longitudinal direction of the first collar part and having a width smaller than that of the first collar part;
A wiring formed of metal nano-ink along the first collar and the second collar;
The wiring board in which the wettability of the metal nano-ink in the first collar is higher than the wettability of the metal nano-ink in the second collar.
(Appendix 8)
The wiring board according to appendix 7, wherein the first collar part is subjected to a surface treatment that increases wettability of the metal nano-ink more than the second collar part.
(Appendix 9)
The wiring board according to appendix 7 or 8, wherein the wiring is formed by firing the metal nano ink formed by an inkjet method.
(Appendix 10)
A third flange formed on one surface of the substrate along the first flange;
A fourth hook part formed on the third hook part along the longitudinal direction of the third hook part and having a width smaller than that of the third hook part;
The wiring is formed between the first and second collar parts, and the third and fourth collar parts,
The wiring board according to any one of appendices 7 to 9, wherein the wettability of the metal nano-ink in the third collar part is higher than the wettability of the metal nano-ink in the fourth collar part.
(Appendix 11)
Forming a first flange on one surface of the substrate;
Forming a second collar part narrower than the first collar part on the first collar part along the longitudinal direction of the first collar part;
Forming a third collar along the first collar on one surface of the substrate;
Forming a fourth collar part having a width narrower than that of the third collar part on the third collar part along the longitudinal direction of the third collar part;
Making the wettability of the metal nano-ink of the first and third collars higher than the wettability of the metal nano-ink of the second and fourth collars;
Between the first collar part and the second collar part and the third collar part and the fourth collar part, the first collar part, the second collar part, the third collar part, and the first collar part Forming a wiring from the metal nano ink along the four ribs.
(Appendix 12)
The step of making the wettability of the metal nano-ink of the first and third collars higher than the wettability of the metal nano-ink of the second and fourth collars includes the first collar The method for manufacturing a wiring board according to appendix 11, wherein the third collar part is subjected to a surface treatment that increases the wettability of the metal nano-ink more than the second collar part and the fourth collar part.
(Appendix 13)
A surface that increases the wettability of the metal nano-ink in the region between the first ridge and the third ridge in the one surface of the substrate as compared with the second ridge and the fourth ridge. The method for manufacturing a wiring board according to appendix 12, further comprising a step of performing a treatment.
(Appendix 14)
The step of forming the wiring from the metal nano ink,
Applying the metal nano ink by an inkjet method;
The method for manufacturing a wiring board according to any one of appendices 11 to 13, further comprising: forming the wiring by baking the applied metal nano ink.
(Appendix 15)
In the step of forming the first flange portion and the third flange portion, the sheet member for the first flange portion and the sheet member for the third flange portion are transferred to the one surface of the substrate, respectively. 15. The method for manufacturing a wiring board according to any one of appendices 11 to 14, which is a step to perform.
(Appendix 16)
Forming the first flange and the third flange,
Forming a material layer for the first collar and the third collar on the one surface of the substrate;
Forming a photoresist mask on the material layer;
The method of manufacturing a wiring board according to any one of appendices 11 to 15, further comprising: forming the first flange portion and the third flange portion by performing an etching process using the mask.
(Appendix 17)
The step of forming the second collar part and the fourth collar part includes the sheet member for the second collar part and the fourth collar part on the first collar part and the third collar part, respectively. The method for manufacturing a wiring board according to any one of appendices 11 to 16, which is a step of transferring the sheet-like member.
(Appendix 18)
Forming a first flange on one surface of the substrate;
Forming a second collar part narrower than the first collar part on the first collar part along the longitudinal direction of the first collar part;
Making the wettability of the metal nano-ink of the first collar part higher than the wettability of the metal nano-ink of the second collar part;
Forming a wiring from the metal nano ink along the first collar and the second collar.

100 配線基板
10 基板
20 下バンク
21〜27 下バンク部
30 上バンク
31〜37 上バンク部
40 金属ナノインク
41、42 配線
200 配線基板
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Wiring board 10 Board | substrate 20 Lower bank 21-27 Lower bank part 30 Upper bank 31-37 Upper bank part 40 Metal nano ink 41, 42 Wiring 200 Wiring board

Claims (11)

基板と、
前記基板の一方の面に形成される第1畝部と、
前記第1畝部の上に前記第1畝部の長手方向に沿って形成され、前記第1畝部よりも幅の狭い第2畝部と、
前記基板の一方の面に、前記第1畝部に沿って形成される第3畝部と、
前記第3畝部の上に前記第3畝部の長手方向に沿って形成され、前記第3畝部よりも幅の狭い第4畝部と、
前記第1畝部及び前記第2畝部と、前記第3畝部及び前記第4畝部との間において、前記第1畝部、前記第2畝部、前記第3畝部、及び前記第4畝部に沿って、金属ナノインクから形成される配線と
を含み、
前記第1畝部及び前記第3畝部の前記金属ナノインクの濡れ性は、前記第2畝部及び前記第4畝部の前記金属ナノインクの濡れ性よりも高い、配線基板。
A substrate,
A first flange formed on one surface of the substrate;
A second collar part formed on the first collar part along the longitudinal direction of the first collar part and having a width smaller than that of the first collar part;
A third flange formed on one surface of the substrate along the first flange;
A fourth collar part formed on the third collar part along the longitudinal direction of the third collar part, and having a narrower width than the third collar part;
Between the first collar part and the second collar part and the third collar part and the fourth collar part, the first collar part, the second collar part, the third collar part, and the first collar part A wiring formed from metal nano-ink along the four ribs, and
The wiring board in which the wettability of the metal nano-ink in the first and third collars is higher than the wettability of the metal nano-ink in the second and fourth collars.
前記第1畝部及び前記第3畝部には、前記金属ナノインクの濡れ性を前記第2畝部及び前記第4畝部よりも増大させる表面処理が施される、請求項1記載の配線基板。   The wiring board according to claim 1, wherein the first collar part and the third collar part are subjected to a surface treatment that increases wettability of the metal nano-ink more than the second collar part and the fourth collar part. . 前記第1畝部及び前記第3畝部に加えて、さらに、前記基板の前記一方の面のうち前記第1畝部と前記第3畝部との間の領域にも、前記表面処理が施される、請求項2記載の配線基板。   In addition to the first flange portion and the third flange portion, the surface treatment is also applied to a region between the first flange portion and the third flange portion of the one surface of the substrate. The wiring board according to claim 2. 前記配線は、インクジェット法で形成した前記金属ナノインクを焼成することによって形成される、請求項1乃至3のいずれか一項記載の配線基板。   The wiring substrate according to claim 1, wherein the wiring is formed by firing the metal nano ink formed by an ink jet method. 前記第2畝部と、前記第4畝部とには、前記金属ナノインクの濡れ性を前記第1畝部及び前記第3畝部よりも低下させる表面処理が施される、請求項1乃至4のいずれか一項記載の配線基板。   The surface treatment which lowers the wettability of the said metal nano ink rather than the said 1st collar part and the said 3rd collar part is given to the said 2nd collar part and the said 4th collar part. The wiring board according to any one of the above. 前記第2畝部及び前記第4畝部は、それぞれ、前記第1畝部及び前記第3畝部の幅方向における中央部に形成される、請求項1乃至5のいずれか一項記載の配線基板。   6. The wiring according to claim 1, wherein the second collar part and the fourth collar part are respectively formed in the center part in the width direction of the first collar part and the third collar part. substrate. 基板と、
前記基板の一方の面に形成される第1畝部と、
前記第1畝部の上に前記第1畝部の長手方向に沿って形成され、前記第1畝部よりも幅の狭い第2畝部と、
前記第1畝部及び前記第2畝部に沿って、金属ナノインクから形成される配線と
を含み、
前記第1畝部の前記金属ナノインクの濡れ性は、前記第2畝部の前記金属ナノインクの濡れ性よりも高い、配線基板。
A substrate,
A first flange formed on one surface of the substrate;
A second collar part formed on the first collar part along the longitudinal direction of the first collar part and having a width smaller than that of the first collar part;
A wiring formed of metal nano-ink along the first collar and the second collar;
The wiring board in which the wettability of the metal nano-ink in the first collar is higher than the wettability of the metal nano-ink in the second collar.
基板の一方の面に第1畝部を形成する工程と、
前記第1畝部の上に前記第1畝部の長手方向に沿って、前記第1畝部よりも幅の狭い第2畝部を形成する工程と、
前記基板の一方の面に、前記第1畝部に沿って第3畝部を形成する工程と、
前記第3畝部の上に前記第3畝部の長手方向に沿って、前記第3畝部よりも幅の狭い第4畝部を形成する工程と、
前記第1畝部及び前記第3畝部の金属ナノインクの濡れ性を、前記第2畝部及び前記第4畝部の前記金属ナノインクの濡れ性よりも高くする工程と、
前記第1畝部及び前記第2畝部と、前記第3畝部及び前記第4畝部との間において、前記第1畝部、前記第2畝部、前記第3畝部、及び前記第4畝部に沿って、前記金属ナノインクから配線を形成する工程と
を含む、配線基板の製造方法。
Forming a first flange on one surface of the substrate;
Forming a second collar part narrower than the first collar part on the first collar part along the longitudinal direction of the first collar part;
Forming a third collar along the first collar on one surface of the substrate;
Forming a fourth collar part having a width narrower than that of the third collar part on the third collar part along the longitudinal direction of the third collar part;
Making the wettability of the metal nano-ink of the first and third collars higher than the wettability of the metal nano-ink of the second and fourth collars;
Between the first collar part and the second collar part and the third collar part and the fourth collar part, the first collar part, the second collar part, the third collar part, and the first collar part Forming a wiring from the metal nano ink along the four ribs.
前記第1畝部及び前記第3畝部の前記金属ナノインクの濡れ性を、前記第2畝部及び前記第4畝部の前記金属ナノインクの濡れ性よりも高くする工程は、前記第1畝部及び前記第3畝部に、金属ナノインクの濡れ性を前記第2畝部及び前記第4畝部よりも増大させる表面処理を施す工程である、請求項8記載の配線基板の製造方法。   The step of making the wettability of the metal nano-ink of the first and third collars higher than the wettability of the metal nano-ink of the second and fourth collars includes the first collar 9. The method for manufacturing a wiring board according to claim 8, wherein the third collar part is subjected to a surface treatment for increasing the wettability of the metal nano-ink more than the second collar part and the fourth collar part. 前記基板の前記一方の面のうち前記第1畝部と前記第3畝部との間の領域に、前記金属ナノインクの濡れ性を前記第2畝部及び前記第4畝部よりも増大させる表面処理を施す工程をさらに含む、請求項9記載の配線基板の製造方法。   A surface that increases the wettability of the metal nano-ink in the region between the first ridge and the third ridge in the one surface of the substrate as compared with the second ridge and the fourth ridge. The method for manufacturing a wiring board according to claim 9, further comprising a step of performing a treatment. 前記金属ナノインクから配線を形成する工程は、
インクジェット法で前記金属ナノインクを塗布する工程と、
前記塗布された金属ナノインクを焼成することによって前記配線を形成する工程と
を有する、請求項8乃至10のいずれか一項記載の配線基板の製造方法。
The step of forming the wiring from the metal nano ink,
Applying the metal nano ink by an inkjet method;
The method of manufacturing a wiring board according to claim 8, further comprising: forming the wiring by baking the applied metal nano ink.
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