JP2014215257A

JP2014215257A - ヘーズ値計測装置

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Publication number: JP2014215257A
Application number: JP2013094774A
Authority: JP
Inventors: 佐藤　賢治; Kenji Sato; 賢治佐藤; 惇原冨; Jun Haratomi; 靖雄石川; Yasuo Ishikawa; 金子高義; Takayoshi Kaneko; 高義金子
Original assignee: NIPPON DENSHOKU KOGYO CO Ltd
Current assignee: NIPPON DENSHOKU KOGYO CO Ltd
Priority date: 2013-04-26
Filing date: 2013-04-26
Publication date: 2014-11-17

Abstract

【課題】ＪＩＳ規格に準拠したヘーズ値を求めることができると共に、可視光域の任意の波長帯域におけるヘーズ値を求めることでヘーズ値を分光特性と合わせて評価することができる新たなヘーズ値計測装置を提供する。【解決手段】ヘーズ値計測装置１は、可視光域の平行光を２方向に出射する光源装置１０と、計測対象の試料Ｗを保持すると共に光源装置１０の第１の出射光Ｌ１が入射する入口開口２０Ａ、入口開口２０Ａに対向した位置に設けられ参照白板２２と光トラップ２３によって選択的に覆われる出口開口２０Ｂ、光源装置１０の第２の出射光Ｌ２が入射する補償開口２０Ｃ、受光開口２０Ｄを備える積分球２０と、第２の出射光Ｌ２を補償開口２０Ｃに導く参照光導入光学系２４と、第１の出射光Ｌ１と第２の出射光Ｌ２を選択的に遮蔽する光遮蔽手段３０と、受光開口２０Ｄに設けられる分光器２とを備え、分光器２の出力によってヘーズ値の分光特性を求める。【選択図】図１

Description

本発明は、光透過性のある物質の曇り度合いを示すヘーズ値を計測するヘーズ値計測装置に関するものである。

光透過性の物質の曇り度合いの指標となるヘーズ値は、計測対象物に平行光を入射することによって計測され、１００×（拡散透過率）／（全光線透過率）によって定義された値（％）であり、その計測方法は、JIS K7105，JIS K7361，JIS K7136などによって規格化されている。

前述したＪＩＳ規格で定められた計測方法に用いられるヘーズ値計測装置は、光源、光源から出射した光を平行光にして計測対象の試料に照射する照射光学系、試料を保持する入口開口と入口開口に対向した出口開口と受光開口など（JIS K7361，JIS K7136においては補償開口）を備えた積分球、積分球の受光開口に設けられる受光器、積分球の出口開口に選択的に配備される参照白板及び光トラップなどを備えるものである。

また、下記特許文献１には、照射光学系から射出された計測光による計測試料からの反射光の光量を検出し、検出した反射光に含まれる正反射光成分と拡散反射光成分とに基づき、計測試料のヘーズ値を算出することが記載されている。この従来技術は、光源としてハロゲンランプなどの光源やレーザダイオードなどのレーザ光を用い、積分球に設けた検出用開口に光ファイバの入力端を接続し、この光ファイバの出射端に分光分析装置を接続して、この分光分析装置によって分光された波長毎の分光スペクトルを検出することで、反射光の検出値から視感度を考慮したヘーズ値を求めることが記載されている。

特開２０１３−５３９１９号公報

前述したＪＩＳ規格のヘーズ値計測方法によると、光源と受光器はフィルターを用いて規定の出力を得られなければならないとされているが、光学フィルターを用いた一般的な方法では、ヘーズ値を分光特性と合わせて評価することはできない。これに対して、計測対象物のヘーズ値が特定波長帯域でどのような値を示すか（ヘーズ値の分光特性）は、計測対象物の光透過特性や光散乱特性を様々な観点から評価する上で重要な指標になると考えられる。また、透明材料のヘーズ値と色に関する計測値を同時に計測することができれば、計測対象物の視覚的な評価を数値化する上で有効であると考えられる。

特許文献１に記載された従来技術は、光源としてハロゲンランプなどの光源を用いて、受光部に設けた分光分析装置によって検出した分光スペクトルを用いて、反射光の検出値から視感度を考慮したヘーズ値を求めることが示されているが、試料の反射光の検出値からヘーズ値を求めるので、透過光に基づくヘーズ値の計測方法を定めたＪＩＳ規格に準拠しておらず、求めた値を標準値として取り扱うことができない。また、試料反射光の分光スペクトルは検出しているが、波長帯域毎のヘーズ値を求めているわけではないので、ヘーズ値を分光特性や色に関する計測値と合わせて評価するというニーズには応えることができないものであった。

本発明は、このような事情に対処するものであって、ＪＩＳ規格に準拠したヘーズ値を求めることができると共に、可視光域の任意の波長帯域におけるヘーズ値を求めることでヘーズ値を分光特性や色に関する計測値と合わせて評価することができる新たなヘーズ値計測装置を提供すること、ヘーズ値の分光特性を求めることで、ヘーズ値計測装置に新たな機能を付加すること、等が本発明の目的である。

このような目的を達成するために、本発明によるヘーズ値計測装置は、以下の構成を少なくとも具備するものである。
可視光域の平行光を２方向に出射する光源装置と、計測対象の試料を保持すると共に前記光源装置の第１の出射光が入射する入口開口と、該入口開口に対向した位置に設けられ参照白板と光トラップによって選択的に覆われる出口開口と、前記光源装置の第２の出射光が入射する補償開口と、受光開口とを備える積分球と、前記第２の出射光を前記補償開口に導く参照光導入光学系と、前記第１の出射光と前記第２の出射光を選択的に遮蔽する光遮蔽手段と、前記受光開口に設けられる分光器とを備え、前記分光器の出力によってヘーズ値の分光特性を求めることを特徴とするヘーズ値計測装置。

このような特徴を有するヘーズ値計測装置は、可視光域の任意の波長帯域におけるヘーズ値を求めることでヘーズ値を分光特性と合わせて評価することができる。また、第１の出射光と第２の出射光を選択的に遮蔽することで、JIS K7105，JIS K7361，JIS K7136に準拠した計測方法を実現することができ、ＪＩＳ規格に準拠したヘーズ値を求めることができる。更には、ヘーズ値や全光線透過率の分光特性を求めることで、色に関する評価値（三刺激値）の計測やレイリー散乱の計測など、新たな機能をヘーズ値計測装置に付加することができる。

本発明の一実施形態に係るヘーズ値計測装置の構成を示した説明図である。本発明の一実施形態に係るヘーズ値計測装置の構成を示した説明図である。本発明の一実施形態に係るヘーズ値計測装置の構成を示した説明図である。（ａ），（ｂ）は、本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置による計測方法を示した説明図である。（ａ），（ｂ）は、本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置による計測方法を示した説明図である。（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置による計測方法を示した説明図である。（ａ）〜（ｄ）は、本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置による計測方法を示した説明図である。本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置の光源装置の波長特性例を示したグラフである。

以下、図面を参照しながら本発明の実施形態を説明する。図１〜図３は、本発明の一実施形態に係るヘーズ値計測装置の構成を示した説明図である。図１は、全体構成を示している。ヘーズ値計測装置１は、光源装置１０、積分球２０、光遮蔽手段３０などを備えている。光源装置１０は、可視光域の平行光を２方向に出射するものであればよいが、例えば図示のように、可視光域内で異なる波長帯域の光を出射する複数の光源１１，１２，１３を備え、複数の光源１１，１２，１３からの出射光を合成した平行光を第１の出射光Ｌ１及び第２の出射光Ｌ２として２方向に出射するもので構成することができる。以下の説明では、複数の光源を備えたものを例にして説明するが、可視光域の一部又は全体の波長帯域を有する単一光源によって光源装置１０を構成することもできる。

光源１１（第１の光源）は、可視光域の中間乃至長波長側に光出射強度のピークを有する光源であり、例えば、ハロゲンランプとＩＲカットフィルタ（赤外線カットフィルタ）によって構成することができる。光源１２，１３（第２の光源）は、可視光域の短波長側に光強度のピークを有する光源であり、例えば、発光ダイオード（ＬＥＤ）によって構成することができる。光源１１は、例えば、３８０ｎｍ〜近赤外の波長帯域を有し、出射光路にＩＲカットフィルタ（赤外線カットフィルタ）を挿入することで５００〜６００ｎｍ付近にピーク波長を形成したハロゲンランプを用いることができ、光源１２は、３８０ｎｍ付近にピーク波長を有する短波長狭帯域の発光ダイオードを用いることができ、光源１３は、４００ｎｍ付近にピーク波長を有する短波長狭帯域の発光ダイオードを用いることができる。

図１に示した光源装置１０の構成例を説明すると、光源１１から出射した光は、レンズ系１４Ａ，１４Ｂと絞り１４Ｃなどから構成される平行光線形成光学系１４によって平行光になり、光源１２，１３から出射した光は、コンデンサレンズ光学系１５，１６によってそれぞれ平行光になる。光源装置１０は、このような平行光線形成光学系１４とコンデンサレンズ光学系１５，１６を備えると共に、光源１２，１３から出射された光を合成するビームスプリッタ１７、更には、光源１１から出射した光と光源１２，１３から出射した光を合成して２方向（第１の出射光Ｌ１及び第２の出射光Ｌ２）に分配するビームスプリッタ１８を備える。

光源装置１０から出射する第１の出射光Ｌ１と第２の出射光Ｌ２の光路上には、光遮蔽手段３０が配備されている。光遮蔽手段３０は、第１の出射光Ｌ１を遮蔽することができるシャッター３１と第２の出射光Ｌ２を遮蔽することができるシャッター３２がそれぞれ設けられ、これらシャッター３１，３２によって第１の出射光Ｌ１と第２の出射光Ｌ２が選択的に遮蔽される。

積分球２０は、入口開口２０Ａ、出口開口２０Ｂ、補償開口２０Ｃ、受光開口２０Ｄを備えている。入口開口２０Ａには、ヘーズ値を計測する対象の試料Ｗを保持する試料保持部２１が設けられており、光源装置１０から出射される平行光である第１の出射光Ｌ１が入射するように形成されている。出口開口２０Ｂは、入口開口２０Ａと対向した位置に設けられており、参照白板２２が開閉自在に設けられると共に参照白板２２を含めて出口開口２０Ｂを覆うように光トラップ２３が設けられている。出口開口２０Ｂは、参照白板２２を閉じることによって参照白板２２により覆われる状態と、参照白板２２を開くことによって光トラップ２３によって覆われる状態が選択可能になっている。補償開口２０Ｃは、光源装置１０から出射される平行光である第２の出射光Ｌ２が入射する位置に設けられ、第２の出射光Ｌ２は、参照光導入光学系２４（ミラー２４Ａ，２４Ｂ）によって補償開口２０Ｃに導かれている。

図２に示すように、受光開口２０Ｄには図示省略した光ファイバを介して分光器２が設けられる。分光器２には、分光器２の出力によって可視光域内の任意の波長帯域におけるヘーズ値を計測する計測部（演算処理部）３が接続されている。図３には、分光器２の構成例を示している。分光器２は、例えば、ＣＣＤ型のポリクロメーター分光器を用いることができる。その一例を示すと、分光器２は、積分球２０の受光開口２０Ｄから出射される光が光ファイバを介して入射する入射口２Ａと、入射口２Ａを通った光を平行光にする光学系２Ｂと、光学系２Ｂによって平行光にされた光を受けて波長毎に異なる角度に反射させる反射型回折格子２Ｃと、反射型回折格子２Ｃによって反射された光を集光する光学系２Ｄと、光学系２Ｄによって集光された光を受光する２次元受光面を有する撮像素子（ＣＣＤ）２Ｅとを備えており、撮像素子２Ｅの出力が計測部３に出力されている。このような分光器２によると、入射口２Ａに入射した光は反射型回折格子２Ｃによって分光され、分光された光が撮像素子２Ｅの２次元受光面の異なる位置に結像されることになるので、２次元受光面の受光位置に応じた出力によって、分光強度を得ることができる。

このような構成を備えたヘーズ値計測装置１によると、光源装置１０から出射する第１の出射光Ｌ１及び第２の出射光Ｌ２は、可視光域内で異なる波長帯域の光を出射する複数の光源１１，１２，１３の出射光が合成された光であるから、可視光域の広い帯域で所望のスペクトル強度を有するものとなる。このような光源装置１０を用い、受光開口２０Ｄに設置した分光器２によってヘーズ値などを求めることで、分光器２の出力から明所視標準視感効率Ｖ（λ）と標準の光の組み合わせに相当するＪＩＳ規格に準拠したヘーズ値などを求めることができることは勿論のこと、可視光の全波長域に対して、ヘーズ値の分光特性を得ることができる。これによると計測対象となる透明材料の試料が、可視光の全波長域において、または任意の特定波長において、どのような光散乱特性を有するかを把握することが可能になり、透明材料の光透過特性及び光散乱特性を様々な観点から評価することが可能になる。

図４〜図７は、本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置による計測方法を示した説明図である。ヘーズ値計測装置１の構造については図１と同一符号を付して重複説明を省略する。

＜JIS K 7105に準拠した計測方法＞
図４によって、JIS K 7105に準拠した計測方法を説明する。ここでは、全光線透過率Ｔｔ（％）と拡散透過率Ｔｄ（％）を求めて、Ｈ＝（Ｔｄ／Ｔｔ）×１００で定義されるヘーズ値（％）を求める。ここでの各手順では、第２の出射光Ｌ２をシャッター３２で遮蔽する。

手順１：出口開口２０Ｂを参照白板２２で覆い、試料Ｗを取り外した状態で入口開口２０Ａに第１の出射光Ｌ１を入射させ、入射光の分光強度Ｔ１(λｎ)を計測する。
手順２：図４（ａ）に示すように、試料保持部２１に試料Ｗを保持した状態で試料Ｗを介して入口開口２０Ａに第１の出射光Ｌ１を入射させ、透過光の分光強度Ｔ２(λｎ)を計測する。ここでλｎは測定する波長を表し、例えば３８０ｎｍ〜７８０ｎｍの範囲で５ｎｍ間隔の値とする。

手順３：出口開口２０Ｂの参照白板２２を開放して出口開口２０Ｂを光トラップ２３で覆い、試料Ｗを取り外した状態で入口開口２０Ａに第１の出射光Ｌ１を入射させ、拡散分光強度Ｔ３(λｎ)を計測する。
手順４：図４（ｂ）に示すように、試料保持部２１に試料Ｗを保持した状態で試料Ｗを介して入口開口２０Ａに第１の出射光Ｌ１を入射させ、透過拡散光の分光強度Ｔ４(λｎ)を計測する。

分光強度Ｔ１(λｎ)を１００に合わせ、Ｔｔｓ(λｎ)＝Ｔ２(λｎ)により分光された全光線透過率Ｔｔｓ(λｎ)（％）を求め、Ｔｄｓ(λｎ)＝Ｔ４(λｎ)−Ｔ３(λｎ)×（Ｔ２(λｎ)／１００）により分光された拡散透過率Ｔｄｓ(λｎ)（％）を求める。この際、分光された平行光線透過率Ｔｐｓ(λｎ)（％）はＴｐｓ(λｎ)＝Ｔｔｓ(λｎ)−Ｔｄｓ(λｎ)で求める。このようにして求めたＴｔｓ(λｎ)（％）とＴｄｓ(λｎ)（％）から、Ｈｓ(λｎ)＝（Ｔｄｓ(λｎ)／Ｔｔｓ(λｎ)）×１００により分光されたヘーズ値Ｈｓ(λｎ)（％）を求める。
ここで、全光線透過率Ｔｔおよび拡散透過率Ｔｄを、下記の式（１）〜（３）で求める。ここで、Ｓ(λ)は、標準の光の分光分布の波長λにおける値であり、JIS K 7105においては標準の光Ｃが適用される。Ｖ(λ)は、明所視標準視感効率として定められる規定値である。また、Δλは、測定される波長間隔である。Ｋは、１００を基準に合わせるための基準化係数である。このようにして求めた全光線透過率Ｔｔ（％）と拡散透過率Ｔｄ（％）から、Ｈ＝（Ｔｄ／Ｔｔ）×１００によりヘーズ値Ｈ（％）を求める。

＜JIS K 7361に準拠した計測方法＞
図５によって、JIS K 7361に準拠した透明材料の全光線透過率の試験方法を説明する。ここでは、出口開口２０Ｂを参照白板２２で覆い、試料保持部２１には試料Ｗを保持させる。

手順１Ａ：図５（ｂ）に示すように、シャッター３２を開放し、第１の出射光Ｌ１をシャッター３１で遮蔽し、参照光導入光学系２４（ミラー２４Ａ，２４Ｂ）を介して第２の出射光Ｌ２を補償開口２０Ｃに入射させ、入射光の分光強度Ｔ１ａを計測する。ここで、分光強度Ｔ１ａ(λｎ)を１００に合わせる。
手順２Ａ：第２の出射光Ｌ２をシャッター３２で遮蔽し、試料Ｗを介して入口開口２０Ａに第１の出射光Ｌ１を入射させ、透過光の分光強度Ｔ２(λｎ)を計測する。

このように計測したＴ１ａ(λｎ)とＴ２(λｎ)によって、分光された全光線透過率（％）をＴｔｓ(λｎ)＝（Ｔ２(λｎ)／Ｔ１ａ(λｎ)）×１００によって求める。このようにして求めたＴｔｓ(λｎ)（％）から、全光線透過率Ｔｔ（％）を前記の式（１）及び（３）により求める。ここでＳ(λ)は、JIS K 7361においては標準の光Ｄ６５が適用される。

＜JIS K 7136に準拠した計測方法＞
図６及び図７によって、JIS K 7136に準拠したヘーズ値の求め方を説明する。図６（ａ）〜（ｄ）には、試料保持部２１から試料Ｗを取り外した状態を示しており、図７（ａ）〜（ｄ）には、試料保持部２１に試料Ｗを保持した状態を示している。そして、図６（ａ），（ｃ）及び図７（ａ），（ｃ）には、出口開口２０Ｂを参照白板２２で覆った状態を示しており、図６（ｂ），（ｄ）及び図７（ｂ），（ｄ）には、参照白板２２を開放して出口開口２０Ｂを光トラップ２３で覆った状態を示している。また、図６（ａ），（ｂ）及び図７（ａ），（ｂ）は、第２の出射光Ｌ２をシャッター３２で遮蔽した状態を示しており、図６（ｃ），（ｄ）及び図７（ｃ），（ｄ）は、第１の出射光Ｌ１をシャッター３１で遮蔽した状態を示している。

手順１Ｂ：図６（ａ）に示すように、出口開口２０Ｂを参照白板２２で覆った状態で入口開口２０Ａに第１の出射光Ｌ１を入射して、分光強度Ｔ１ｓ(λｎ)を計測する。
手順２Ｂ：図６（ｃ）に示すように、出口開口２０Ｂを参照白板２２で覆った状態で補償開口２０Ｃに第２の出射光Ｌ２を入射して、分光強度Ｔ１ｒ(λｎ)を計測する。

手順３Ｂ：図７（ａ）に示すように、出口開口２０Ｂを参照白板２２で覆った状態で試料Ｗを介して入口開口２０Ａに第１の出射光Ｌ１を入射して、分光強度Ｔ２ｓ(λｎ)を計測する。
手順４Ｂ：図７（ｃ）に示すように、試料Ｗを試料保持部２１に保持して、出口開口２０Ｂを参照白板２２で覆った状態で補償開口２０Ｃに第２の出射光Ｌ２を入射して、分光強度Ｔ２ｒ(λｎ)を計測する。

手順５Ｂ：図６（ｂ）に示すように、出口開口２０Ｂを光トラップ２３で覆った状態で入口開口２０Ａに第１の出射光Ｌ１を入射して、分光強度Ｔ３ｓ(λｎ)を計測する。
手順６Ｂ：図６（ｄ）に示すように、出口開口２０Ｂを光トラップ２３で覆った状態で補償開口２０Ｃに第２の出射光Ｌ２を入射して、分光強度Ｔ３ｒ(λｎ)を計測する。

手順７Ｂ：図７（ｂ）に示すように、出口開口２０Ｂを光トラップ２３で覆った状態で試料Ｗを介して入口開口２０Ａに第１の出射光Ｌ１を入射して、分光強度Ｔ４ｓ(λｎ)を計測する。
手順８Ｂ：次図７（ｄ）に示すように、試料Ｗを試料保持部２１に保持して、出口開口２０Ｂを光トラップ２３で覆った状態で補償開口２０Ｃに第２の出射光Ｌ２を入射して、分光強度Ｔ４ｒ(λｎ)を計測する。

計測される各分光強度の計測手順（手順１Ｂ〜８Ｂ）と図との対応を下記の表１にまとめている。ここで出口開口２０Ｂを参照白板２２とした場合の計測方法が全透過の状態であり、出口開口２０Ｂを光トラップにした場合の計測方法が拡散状態である。

そして、分光された全光線透過率（％）Ｔｔｓ(λｎ)，分光された拡散透過率（％）Ｔｄｓ(λｎ)，分光されたヘーズ値（％）Ｈｓ(λｎ)は、下記の式（３）〜（５）で求めることができる。
全光線透過率Ｔｔおよび拡散透過率Ｔｄを、前記の式（１）〜（３）で求める。ここでＳ(λ)は、JIS K 7136においては標準の光Ｄ６５が適用される。このようにして求めた全光線透過率Ｔｔ（％）と拡散透過率Ｔｄ（％）から、Ｈ＝（Ｔｄ／Ｔｔ）×１００によりヘーズ値Ｈ（％）を求める。

＜光源装置出射光の波長特性について＞
本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置１における光源装置１０は、前述したように複数の光源１１，１２，１３を備えることで、試料Ｗの散乱光の分光特性を効果的に取得するための波長特性を具備している。図８は、光源装置１０から出射した光の波長帯域の一例を示している。図示の例は、ハロゲンランプと赤外カットフィルタを通して５００〜６００ｎｍ付近にピーク波長を有する光源１１を用い、光源１２として３８０ｎｍ付近にピーク波長を有する短波長狭帯域の発光ダイオードを用い、光源１３として４００ｎｍ付近にピーク波長を有する短波長狭帯域の発光ダイオードを用いている。このような光源装置１０から出射した光は、可視光域（３８０〜７８０ｎｍ）全体で所望の光強度を有している。

本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置１は、このような波長特性を有する光源装置１０と分光器２を備えることで、ヘーズ値の分光特性を効果的に得ることができると共に、従来のヘーズ値計測装置では得ることができない各種の機能を付加することができる。

＜特殊機能の付加１：色の計測＞
本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置１は、計測対象となる試料Ｗのヘーズ値、全光線透過率、拡散透過率を求めると同時に、JIS Z 8722（色の計測方法−反射及び透過物体色）で規定される透過物体の幾何条件ｆに基づく三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を求めることができる。ここでの幾何条件ｆとは、図４（ａ），（ｂ）に示す状態に対応しており、出口開口２０Ｂを参照白板２２で覆って、全光線透過率を計測する状態（図４（ａ）参照）と、出口開口２０Ｂを光トラップで覆って、拡散透過率を計測する状態（図４（ｂ）参照）に対応している。

JIS Z 8722で規定される透過物体の三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）は、下記の式（６）で求めることができ、その際の基準化係数Ｋは下記の式（７）で求めることができる。ここで、Ｓ(λ)は、測色用イルミナントの分光分布の波長λにおける値であり、照明光源の設定によって決められる規定値である。ｘ(λ)，ｙ(λ)，ｚ(λ)は、ＸＹＺ表示色系における等色関数の値であり、これも規格によって定められる規定値である。また、Δλは、三刺激計算のための波長間隔である。よって、本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置１によると、図４（ａ）に示す状態で求められる全光線透過率の分光特性、又は図４（ｂ）に示す状態で求められる拡散透過率の分光特性をＴ(λ)に適用することで、ヘーズ値、全光線透過率、拡散透過率の分光特性と共に、透過物体の三刺激値（Ｘ，Ｙ，Ｚ）を求めることができる。

＜特殊機能の付加２：レイリー散乱の計測＞
レイリー散乱は、光の波長の４乗に逆比例して散乱強度が強くなることが知られている。本発明の実施形態に係るヘーズ値計測装置１は、全光線透過率及び散乱透過率の分光特性を計測することができるので、この計測結果に基づいて試料Ｗ内に存在する微粒子によるレイリー散乱の散乱強度を求めることができ、この計測結果によって試料Ｗ内に存在する微粒子の状態を評価することができる。

以上、本発明の実施の形態について図面を参照して詳述してきたが、具体的な構成はこれらの実施の形態に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲の設計の変更等があっても本発明に含まれる。

１：ヘーズ値計測装置，２：分光器，３：計測部（演算処理部），
１０：光源装置，１１，１２，１３：光源，１４：平行光線形成光学系，
１５，１６：コンデンサレンズ光学系，１７，１８：ビームスプリッタ，
２０：積分球，２０Ａ：入口開口，２０Ｂ：出口開口，２０Ｃ：補償開口，
２０Ｄ：受光開口，２１：試料保持部，２２：参照白板，２３：光トラップ，
２４：参照光導入光学系，３０：光遮蔽手段，３１，３２：シャッター，
Ｗ：試料，Ｌ１：第１の出射光，Ｌ２：第２の出射光

Claims

可視光域の平行光を２方向に出射する光源装置と、
計測対象の試料を保持すると共に前記光源装置の第１の出射光が入射する入口開口と、該入口開口に対向した位置に設けられ参照白板と光トラップによって選択的に覆われる出口開口と、前記光源装置の第２の出射光が入射する補償開口と、受光開口とを備える積分球と、
前記第２の出射光を前記補償開口に導く参照光導入光学系と、
前記第１の出射光と前記第２の出射光を選択的に遮蔽する光遮蔽手段と、
前記受光開口に設けられる分光器とを備え、
前記分光器の出力によってヘーズ値の分光特性を求めることを特徴とするヘーズ値計測装置。
前記光源装置は、可視光域内で異なる波長帯域の光を出射する複数の光源を備え、該複数の光源の出射光を合成して出射することを特徴とする請求項１記載のヘーズ値計測装置。
前記光源装置は、
可視光域の中間乃至長波長側に光出射強度のピークを有する第１の光源と、
可視光域の短波長側に光強度のピークを有する第２の光源と、
前記第１の光源から出射した光と前記第２の光源から出射した光を合成して２方向に分配するビームスプリッタとを備えることを特徴とする請求項２記載のヘーズ値計測装置。
前記第１の光源がハロゲンランプであり、前記第２の光源が異なる波長特性の光を出射する複数の発光ダイオードであることを特徴とする請求項３記載のヘーズ値計測装置。