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JP2014111515A - Production method of cover glass with circuit - Google Patents

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JP2014111515A JP2012266459A JP2012266459A JP2014111515A JP 2014111515 A JP2014111515 A JP 2014111515A JP 2012266459 A JP2012266459 A JP 2012266459A JP 2012266459 A JP2012266459 A JP 2012266459A JP 2014111515 A JP2014111515 A JP 2014111515A
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a production method of a cover glass with a circuit capable of suppressing simultaneously generation of a damage of the circuit and generation of a damage of the cover glass.SOLUTION: A production method of a cover glass with a circuit is described as follows; resist films 11a, 11b are formed on both sides 10a, 10b of a mother glass 10 having both sides 10a, 10b to which strengthening treatment is applied, a cutting pattern 12 for exposing partially both sides 10a, 10b is formed by removing partially each resist film 11a, 11b, each cutting recessed part 10d corresponding to the cutting pattern 12 is formed on both sides 10a, 10b by etching, the resist film 11a at least on one side 10a of the mother glass 10 is removed, a touch panel circuit 3 or the like is formed on one side 10a of each cover glass part 20A, and a plurality of touch panels 1 are obtained as a plurality of cover glasses with each circuit by cutting the mother glass 10 along the cutting recessed part 10d.

Description

本発明は、回路付きカバーガラスの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a cover glass with a circuit.

近年、携帯端末等に、タッチパネル式ディスプレイが広く用いられている。一般的なタッチパネル式ディスプレイは、液晶パネル等の表示装置と、表示装置上に積層されたタッチパネルと、タッチパネル上に積層されたカバーガラスとを有しており、カバーガラスが外表面に露出するように携帯端末等に搭載される。タッチパネルは、透明ガラス基板の少なくとも一方面上にタッチセンサを構成する電極配線が形成されたものである。このようなタッチパネルの製造方法として、特許文献1には、透明ガラス基板用のマザー基板の一方面上に複数のタッチパネル用の電極配線を形成した後に、マザー基板を切断し、複数のタッチパネルを得る製造方法が開示されている。   In recent years, touch panel displays have been widely used for portable terminals and the like. A general touch panel display has a display device such as a liquid crystal panel, a touch panel laminated on the display device, and a cover glass laminated on the touch panel so that the cover glass is exposed on the outer surface. It is mounted on mobile terminals. In the touch panel, electrode wiring constituting a touch sensor is formed on at least one surface of a transparent glass substrate. As a method for manufacturing such a touch panel, Patent Document 1 discloses that a plurality of touch panel electrode wirings are formed on one surface of a transparent glass substrate mother board, and then the mother substrate is cut to obtain a plurality of touch panels. A manufacturing method is disclosed.

また、特許文献2には、電極配線をカバーガラスの一方面上に直接形成したカバーガラス一体型のタッチパネルが開示されている。このようなカバーガラス一体型のタッチパネルも、カバーガラス用のマザーガラスの一方面上に複数のタッチパネル用の電極配線を形成した後に、マザーガラスを切断することで製造することが好ましい。ここで、カバーガラスには、傷つき防止のために強化処理が施されるのが一般的である。カバーガラス用のマザーガラスに強化処理が施されている場合、ダイヤモンドカッター又はレーザカッターによりマザーガラスを切断すると、クラック等の損傷が生じ易い。そこで、特許文献2には、クラックの発生を抑制するために、カバーガラス用のマザーガラスの一方面上に電極配線を形成した後に、マザーガラスの両面にエッチング保護膜を形成し、ケミカルエッチングによりマザーガラスを切断し、エッチング保護膜を除去する製造方法が開示されている。   Patent Document 2 discloses a cover glass-integrated touch panel in which electrode wiring is directly formed on one surface of a cover glass. Such a cover glass-integrated touch panel is also preferably manufactured by cutting the mother glass after forming a plurality of touch panel electrode wirings on one surface of the cover glass mother glass. Here, the cover glass is generally subjected to a tempering treatment to prevent damage. When the mother glass for cover glass is tempered, damage such as cracks tends to occur when the mother glass is cut with a diamond cutter or a laser cutter. Therefore, in Patent Document 2, in order to suppress the occurrence of cracks, an electrode wiring is formed on one surface of a mother glass for a cover glass, an etching protective film is formed on both surfaces of the mother glass, and chemical etching is performed. A manufacturing method for cutting the mother glass and removing the etching protective film is disclosed.

特開2008−33777号公報JP 2008-33777 A 特開2012−88946号公報JP 2012-88946 A

しかしながら、特許文献2に開示された製造方法では、エッチング保護膜の剥離工程において、剥離条件、及びタッチセンサ部の電極配線の電極材料によっては、電極配線(以下、回路という)が損傷する可能性がある。このため、特許文献2に開示された製造方法では、カバーガラスの損傷の発生を抑制することはできるものの、回路の損傷が発生してしまうおそれがある。   However, in the manufacturing method disclosed in Patent Document 2, in the etching protective film peeling process, the electrode wiring (hereinafter referred to as a circuit) may be damaged depending on the peeling conditions and the electrode material of the electrode wiring of the touch sensor unit. There is. For this reason, in the manufacturing method disclosed in Patent Document 2, although it is possible to suppress the occurrence of damage to the cover glass, the circuit may be damaged.

そこで、本発明は、回路の損傷の発生及びカバーガラスの損傷の発生を共に抑制することができる回路付きカバーガラスの製造方法を提供することを目的とする。   Then, an object of this invention is to provide the manufacturing method of the cover glass with a circuit which can suppress both generation | occurrence | production of damage to a circuit and generation | occurrence | production of damage to a cover glass.

本発明に係る回路付きカバーガラスの製造方法は、両面に強化処理が施された板状のマザーガラスの両面にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、各レジスト膜を部分的に除去することで、マザーガラスを複数のカバーガラス部に区画する区画線に沿ってマザーガラスの両面を部分的に露出させる切断用パターンを形成するパターン形成工程と、パターン形成工程の後に、エッチングにより、切断用パターンに対応する切断用凹部をマザーガラスの両面に形成する凹部形成工程と、凹部形成工程の後に、マザーガラスの少なくとも一方面のレジスト膜を除去し、各カバーガラス部の一方面上に回路を形成する回路形成工程と、切断用凹部に沿ってマザーガラスを切断することで、複数の回路付きカバーガラスを得る切断工程と、を備えることを特徴とする。   The method of manufacturing a cover glass with a circuit according to the present invention includes a resist film forming step of forming a resist film on both sides of a plate-like mother glass that has been reinforced on both sides, and partially removing each resist film. Then, a pattern forming step for forming a cutting pattern that partially exposes both surfaces of the mother glass along a partition line that divides the mother glass into a plurality of cover glass portions, and after the pattern forming step, for cutting by etching After forming the recesses for cutting corresponding to the pattern on both sides of the mother glass, and after the recess forming step, the resist film on at least one side of the mother glass is removed, and a circuit is formed on one side of each cover glass part. A circuit forming step to be formed, and a cutting step of obtaining a plurality of cover glasses with circuits by cutting the mother glass along the recesses for cutting. It is characterized in.

本発明に係る回路付きカバーガラスの製造方法によれば、回路形成工程の前に、レジスト膜形成工程、パターン形成工程、及び凹部形成工程が行われる。回路形成工程の前では、マザーガラスの両面に回路が形成されていないことから、回路の損傷を生じることなくエッチングとレジスト膜の除去を行うことができる。また、刃物を用いないエッチングを行うことにより、マザーガラスの両面に生じる応力が抑制されるため、マザーガラスの各カバーガラス部の損傷を生じることなく切断用凹部を形成することができる。凹部形成工程により切断用凹部が形成された時点では、マザーガラスの一体性は保たれているため、回路形成工程では、各カバーガラス部の回路を効率よく同時進行で形成することができる。切断工程では、切断用凹部に沿ってマザーガラスが切断される。切断用凹部が形成された部分では、マザーガラスのうち強化処理によって硬く且つ脆くなった表層が除去されている。このため、切断用凹部に沿ってマザーガラスを切断することで、各カバーガラス部の硬く且つ脆い表層に負荷をかけることなくマザーガラスを切断することができる。従って、回路の損傷の発生及びカバーガラスの損傷の発生を共に抑制することができる。   According to the method for manufacturing a cover glass with circuit according to the present invention, a resist film forming step, a pattern forming step, and a recess forming step are performed before the circuit forming step. Before the circuit formation step, no circuit is formed on both surfaces of the mother glass, so that the etching and the resist film can be removed without causing damage to the circuit. Moreover, since the stress which arises on both surfaces of mother glass is suppressed by performing the etching which does not use a cutter, the recessed part for a cutting | disconnection can be formed, without producing damage to each cover glass part of mother glass. Since the integrity of the mother glass is maintained at the time when the cutting recess is formed by the recess forming step, the circuit of each cover glass portion can be efficiently and simultaneously formed in the circuit forming step. In the cutting step, the mother glass is cut along the cutting recess. In the portion where the cutting recess is formed, the surface layer of the mother glass that has become hard and brittle by the tempering treatment is removed. For this reason, by cutting the mother glass along the recess for cutting, the mother glass can be cut without applying a load to the hard and brittle surface layer of each cover glass portion. Therefore, it is possible to suppress both the occurrence of circuit damage and the cover glass damage.

凹部形成工程では、エッチング剤にマザーガラスの両面を晒すことでエッチングを行ってもよく、砥粒を含有する気流にマザーガラスの両面を晒すことでエッチングを行ってもよい。   In the recess forming step, etching may be performed by exposing both surfaces of the mother glass to an etching agent, or etching may be performed by exposing both surfaces of the mother glass to an airflow containing abrasive grains.

レジスト膜形成工程では、感光性レジストをマザーガラスの両面に塗布又は貼付することで、一定の膜厚のレジスト膜を形成することが好ましい。この場合、膜厚の均一化を図り易い点で、感光性フィルムを用いることが好ましい。また、液状レジストを用いてレジスト膜を形成するのに比べ、感光性フィルムによれば、厚いレジスト膜を形成し易いという利点がある。レジスト膜を厚くすることで、エッチング剤の浸透をより確実に防止し、エッチング剤による回路の損傷をより確実に防止できる。   In the resist film forming step, it is preferable to form a resist film having a certain thickness by applying or sticking a photosensitive resist to both sides of the mother glass. In this case, it is preferable to use a photosensitive film because it is easy to make the film thickness uniform. Further, compared to forming a resist film using a liquid resist, the photosensitive film has an advantage that a thick resist film can be easily formed. By increasing the thickness of the resist film, it is possible to more reliably prevent the penetration of the etchant, and more reliably prevent the circuit from being damaged by the etchant.

回路形成工程では、マザーガラスの両面のレジスト膜を除去し、切断工程では、マザーガラスの一方面上に保護層を形成し、他方面上に切断用のレジスト膜を形成し、切断用のレジスト膜のうち切断用凹部に対応する部分を除去し、他方面側からのエッチングによって切断用凹部に沿ってマザーガラスを切断し、切断用のレジスト膜及び保護層を除去することが好ましい。この場合、回路形成工程ではマザーガラスの両面のレジスト膜を除去するため、マザーガラス全体をレジスト膜の剥離液に晒し、レジスト膜を効率よく除去することができる。切断工程では、刃物を用いないエッチングを行うことにより、マザーガラスに生じる応力が抑制されるため、マザーガラスの各カバーガラス部の損傷の発生を更に抑制することができる。また、マザーガラスの一方面上には保護層が形成され、エッチングが他方面側から行われるため、一方面側の回路は損傷され難い。また、切断用凹部に対応する部分を除去する処理を保護層に施す必要がないため、マザーガラスの一方面全体が保護層によってしっかりと保護される。更に、切断用凹部の形成により切断対象部分の厚さが小さくなっているため、マザーガラスは短時間のエッチングで切断される。これらのことから、回路形成工程後の切断工程においてエッチングを行ったとしても、回路の損傷の発生を抑制することができる。   In the circuit forming process, the resist films on both sides of the mother glass are removed, and in the cutting process, a protective layer is formed on one side of the mother glass, a resist film for cutting is formed on the other side, and a resist for cutting is formed. It is preferable to remove a portion of the film corresponding to the cutting recess, cut the mother glass along the cutting recess by etching from the other side, and remove the cutting resist film and the protective layer. In this case, since the resist film on both sides of the mother glass is removed in the circuit forming step, the entire mother glass can be exposed to a resist film stripping solution to efficiently remove the resist film. In the cutting process, by performing etching without using a blade, the stress generated in the mother glass is suppressed, so that the occurrence of damage to each cover glass portion of the mother glass can be further suppressed. Further, since a protective layer is formed on one side of the mother glass and etching is performed from the other side, the circuit on the one side is hardly damaged. Moreover, since it is not necessary to perform the process which removes the part corresponding to the recessed part for a cutting | disconnection to a protective layer, the whole one surface of mother glass is protected firmly by a protective layer. Furthermore, since the thickness of the part to be cut is reduced due to the formation of the recesses for cutting, the mother glass is cut in a short etching. From these things, even if it etches in the cutting process after a circuit formation process, generation | occurrence | production of damage to a circuit can be suppressed.

切断工程では、感光性レジストをマザーガラスの他方面(回路形成されていない面)に塗布又は貼付することで、切断用のレジスト膜を形成することが好ましい。この場合、膜厚の均一化を図り易い点で、感光性フィルムを用いることが好ましい。また、液状レジストを用いて切断用のレジスト膜を形成するのに比べ、切断用凹部内へのレジストの侵入を抑制することができる。これにより、切断用のレジスト膜のうち切断用凹部に対応する部分を容易に除去することができる。   In the cutting step, it is preferable to form a resist film for cutting by applying or sticking a photosensitive resist to the other side of the mother glass (the side where the circuit is not formed). In this case, it is preferable to use a photosensitive film because it is easy to make the film thickness uniform. Further, compared to forming a resist film for cutting using a liquid resist, entry of the resist into the recess for cutting can be suppressed. Thereby, the part corresponding to the recessed part for a cutting | disconnection can be easily removed among the resist films for a cutting | disconnection.

切断工程では、保護層を除去する前に切断用のレジスト膜を除去することが好ましい。この場合、切断用のレジスト膜を除去するための剥離液による回路損傷を防止し、回路をより確実に保護することができる。   In the cutting step, it is preferable to remove the cutting resist film before removing the protective layer. In this case, it is possible to prevent circuit damage due to the stripping solution for removing the resist film for cutting, and to protect the circuit more reliably.

切断工程では、エッチング剤にマザーガラスの他方面(回路形成されていない面)を晒すことでエッチングを行うことが好ましい。   In the cutting step, it is preferable to perform etching by exposing the other surface of the mother glass (the surface on which no circuit is formed) to the etching agent.

他方面側から視認可能な加飾膜を一方面に形成する加飾膜形成工程を凹部形成工程と切断工程との間に更に備えてもよい。   You may further provide the decoration film formation process which forms the decoration film visible from the other surface side in one surface between a recessed part formation process and a cutting process.

本発明に係るカバーガラス一体型のタッチパネルの製造方法は、上記回路付きカバーガラスの製造方法により、回路付きカバーガラスとしてカバーガラス一体型のタッチパネルを得ることを特徴とする。この製造方法によれば、カバーガラス一体型のタッチパネルの製造において、回路の損傷の発生及びカバーガラスの損傷の発生を共に抑制することができる。   The method for producing a cover glass-integrated touch panel according to the present invention is characterized in that a cover glass-integrated touch panel is obtained as a cover glass with a circuit by the method for producing a cover glass with a circuit. According to this manufacturing method, in the manufacture of the cover glass integrated touch panel, it is possible to suppress both the occurrence of circuit damage and the cover glass damage.

本発明に係る回路付きカバーガラスの製造方法によれば、回路の損傷の発生及びカバーガラスの損傷の発生を共に抑制することができる。   According to the method for manufacturing a cover glass with a circuit according to the present invention, it is possible to suppress both the occurrence of circuit damage and the cover glass damage.

カバーガラス一体型のタッチパネルの平面図である。It is a top view of a cover glass integrated touch panel. 図1中のII−II線に沿う断面図である。It is sectional drawing which follows the II-II line | wire in FIG. 両面にレジスト膜が形成されたマザーガラスの断面図である。It is sectional drawing of the mother glass in which the resist film was formed on both surfaces. 図3中のレジスト膜に切断用パターンが形成された状態を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which a cutting pattern is formed on the resist film in FIG. 3. 図4中のマザーガラスの平面図である。It is a top view of the mother glass in FIG. 図4中のマザーガラスに切断用凹部が形成された状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state by which the recessed part for cutting was formed in the mother glass in FIG. 図6中のレジスト膜を除去した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which removed the resist film in FIG. 図7中のマザーガラスの平面図である。It is a top view of the mother glass in FIG. 図8中のマザーガラスの一方面上に加飾膜及び回路を形成した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which formed the decoration film | membrane and the circuit on one side of the mother glass in FIG. 図9中のマザーガラスの平面図である。FIG. 10 is a plan view of the mother glass in FIG. 9. 図9中のマザーガラスの他方面に切断用のレジスト膜を形成した状態を示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view illustrating a state in which a cutting resist film is formed on the other surface of the mother glass in FIG. 9. 図9中のマザーガラスの一方面に保護層を形成した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which formed the protective layer in the one surface of the mother glass in FIG. 図12中のマザーガラスを切断した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which cut | disconnected the mother glass in FIG. 図13中の切断用のレジスト膜を除去した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which removed the resist film for cutting | disconnection in FIG. 図14中の保護層を除去し、各カバーガラスの切断面を研磨した状態を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the state which removed the protective layer in FIG. 14, and grind | polished the cut surface of each cover glass. 図15中のカバーガラスの平面図である。It is a top view of the cover glass in FIG.

以下、本発明に係る回路付きカバーガラスの製造方法の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ詳細に説明する。説明において、同一要素又は同一機能を有する要素には、同一符号を用いることとし、重複する説明を省略する。   DESCRIPTION OF EMBODIMENTS Hereinafter, a preferred embodiment of a method for producing a cover glass with a circuit according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. In the description, the same reference numerals are used for the same elements or elements having the same function, and redundant description is omitted.

まず、本実施形態に係る回路付きカバーガラスの一例として、カバーガラス一体型のタッチパネルの構成について説明する。図1及び図2に示されるように、カバーガラス一体型のタッチパネル1は、カバーガラス2と、カバーガラス2の一方面2a上に形成されたタッチパネル回路3と、タッチパネル回路3を囲むようにカバーガラス2の一方面2a上に形成された加飾膜4と、加飾膜4の一方面4a上に形成された周辺回路5と、を備えている。このタッチパネル1は、例えば、液晶パネル等の表示装置と共に携帯電話やスマートフォン等の携帯端末に搭載され、タッチパネル式ディスプレイを構成するものである。   First, as an example of a cover glass with a circuit according to the present embodiment, a configuration of a cover glass-integrated touch panel will be described. As shown in FIGS. 1 and 2, the cover glass integrated touch panel 1 includes a cover glass 2, a touch panel circuit 3 formed on one surface 2 a of the cover glass 2, and a cover so as to surround the touch panel circuit 3. The decorative film 4 formed on the one surface 2a of the glass 2 and the peripheral circuit 5 formed on the one surface 4a of the decorative film 4 are provided. The touch panel 1 is mounted on a mobile terminal such as a mobile phone or a smartphone together with a display device such as a liquid crystal panel, and constitutes a touch panel display.

カバーガラス2の平面形状に特に制限はないが、ここでは、平面形状が略長方形である例を示す。長辺の長さは例えば50〜500mm、短辺の長さは例えば30〜300mmであることが好ましい。カバーガラス2の厚さは、例えば0.3〜2mmである。カバーガラス2の一方の短辺2d側には、携帯端末等のスピーカやマイク用の孔2eが形成されていてもよい。   Although there is no restriction | limiting in particular in the planar shape of the cover glass 2, Here, the example whose planar shape is substantially rectangular is shown. The length of the long side is preferably 50 to 500 mm, for example, and the length of the short side is preferably 30 to 300 mm, for example. The cover glass 2 has a thickness of 0.3 to 2 mm, for example. A hole 2e for a speaker such as a portable terminal or a microphone may be formed on one short side 2d side of the cover glass 2.

カバーガラス2の好ましい材料としては、強化処理が施されたソーダライムガラス等が挙げられる。カバーガラス2の両面2a,2bには、強化処理が施されている。これにより、カバーガラス2の両面2a,2b側の表層2cが強化されている。強化処理としては、例えば、硝酸カリウムの溶融塩にガラスを浸漬して、ガラス結晶中のナトリウムをカリウムに置換し、ガラス結晶の硬度を高めるイオン交換処理等が挙げられる。   A preferable material of the cover glass 2 includes soda lime glass subjected to a tempering treatment. Reinforcing treatment is applied to both surfaces 2a and 2b of the cover glass 2. Thereby, the surface layer 2c on the both surfaces 2a, 2b side of the cover glass 2 is reinforced. Examples of the strengthening treatment include an ion exchange treatment in which glass is immersed in a molten salt of potassium nitrate to replace sodium in the glass crystal with potassium, thereby increasing the hardness of the glass crystal.

タッチパネル回路3は、タッチセンサを構成する回路であり、ITO(Indium Tin Oxide)等の透明な導電性材料を用いて構成される。加飾膜4は、タッチパネル回路3の外縁3aとカバーガラス2の外縁2fとの間の領域で一方面2a上に形成された不透明な膜であり、他方面2b側からカバーガラス2を通して視認可能となっている。加飾膜4は、携帯端末等のデザインに合わせて様々な色に着色可能である。加飾膜4の代表的な色としては、例えば黒色及び白色が挙げられる。加飾膜4の厚さは、例えば1〜100μmである。加飾膜4には、カバーガラス2の孔2eに対応する開口4bが形成されている。加飾膜4の好ましい材料としては、例えば黒色顔料を含むアクリル系樹脂組成物、金属酸化物を含む低融点ガラス等が挙げられる。   The touch panel circuit 3 is a circuit that constitutes a touch sensor, and is configured using a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide). The decorative film 4 is an opaque film formed on one surface 2a in a region between the outer edge 3a of the touch panel circuit 3 and the outer edge 2f of the cover glass 2, and is visible through the cover glass 2 from the other surface 2b side. It has become. The decorative film 4 can be colored in various colors according to the design of the mobile terminal or the like. As a representative color of the decorative film 4, for example, black and white are exemplified. The thickness of the decorative film 4 is, for example, 1 to 100 μm. An opening 4 b corresponding to the hole 2 e of the cover glass 2 is formed in the decorative film 4. Preferred materials for the decorative film 4 include, for example, an acrylic resin composition containing a black pigment, a low-melting glass containing a metal oxide, and the like.

周辺回路5は、タッチパネル回路3に対する電力の供給や信号の送受信を行うための回路であり、例えば銀、銅、アルミニウム等の金属材料により加飾膜4の一方面4a上に形成されている。周辺回路5は、不透明な加飾膜4上に形成されているため、他方面2b側からは視認されない。   The peripheral circuit 5 is a circuit for supplying power to the touch panel circuit 3 and transmitting / receiving signals, and is formed on the one surface 4a of the decorative film 4 by a metal material such as silver, copper, or aluminum. Since the peripheral circuit 5 is formed on the opaque decorative film 4, it is not visually recognized from the other surface 2b side.

このように構成されたタッチパネル1は、他方面2bが露出した状態で携帯端末等に搭載される。タッチパネル1の一方面2a側は、携帯端末等の内部で表示装置に貼付される。携帯端末等のユーザは、タッチパネル1を通して表示装置の表示内容を視認することができる。また、ユーザは、表示装置により表示されている図柄等に触れる感覚でタッチパネル1に触れることができる。ユーザの指がタッチパネル1に接触すると、その接触状態がタッチパネル回路3によって検出される。検出された接触状態に応じて携帯端末等を動作させることで、タッチパネル1へのタッチ操作による携帯端末等の操作が可能となる。   The touch panel 1 configured as described above is mounted on a portable terminal or the like with the other surface 2b exposed. The one surface 2a side of the touch panel 1 is attached to a display device inside a portable terminal or the like. A user such as a portable terminal can view the display content of the display device through the touch panel 1. Further, the user can touch the touch panel 1 with a sense of touching a symbol or the like displayed on the display device. When the user's finger touches the touch panel 1, the touch state is detected by the touch panel circuit 3. By operating the mobile terminal or the like according to the detected contact state, the mobile terminal or the like can be operated by a touch operation on the touch panel 1.

続いて、タッチパネル1の製造方法について説明する。まず、図3に示されるように、カバーガラス用のマザーガラス10を準備し、マザーガラス10の両面10a,10bにレジスト膜11a,11bをそれぞれ形成する(レジスト膜形成工程)。マザーガラス10は、複数のカバーガラス2を切り出すことが可能な板状素材である。例えば、マザーガラス10が正方形の矩形状を呈し、一辺の長さが500mm程度であれば、一枚のマザーガラス10から約10〜100枚のカバーガラス2を切り出すことが可能である。   Then, the manufacturing method of the touch panel 1 is demonstrated. First, as shown in FIG. 3, a mother glass 10 for a cover glass is prepared, and resist films 11a and 11b are respectively formed on both surfaces 10a and 10b of the mother glass 10 (resist film forming step). The mother glass 10 is a plate-like material from which a plurality of cover glasses 2 can be cut out. For example, if the mother glass 10 has a square rectangular shape and the length of one side is about 500 mm, about 10 to 100 cover glasses 2 can be cut out from one mother glass 10.

マザーガラス10の材料は、カバーガラス2の材料として上述したとおりである。マザーガラス10の両面10a,10bには、上述したイオン交換処理等の強化処理が施されている。これにより、マザーガラス10の両面10a,10b側の表層10cが強化されている。イオン交換処理は、例えば、溶融した硝酸カリウムにマザーガラス10を浸漬することで行うことができる。溶融した硝酸カリウムの温度は、例えば400〜500℃程度であり、浸漬時間は例えば1〜10時間である。   The material of the mother glass 10 is as described above as the material of the cover glass 2. The both surfaces 10a and 10b of the mother glass 10 are subjected to a strengthening process such as the ion exchange process described above. Thereby, the surface layer 10c of the mother glass 10 on both sides 10a and 10b is strengthened. The ion exchange treatment can be performed, for example, by immersing the mother glass 10 in molten potassium nitrate. The temperature of the molten potassium nitrate is, for example, about 400 to 500 ° C., and the immersion time is, for example, 1 to 10 hours.

レジスト膜11a,11bは、レジスト剤からなる薄膜である。レジスト剤は、感光性レジストであることが好ましい。この場合、レジスト膜11a,11bは、液状の感光性レジストを塗布するか、フィルム状の感光性レジスト(以下感光性フィルムという。)を貼付することで形成される。膜厚の均一化を図り易い点で、感光性フィルムを用いることが好ましい。感光性フィルムとしては、(A)バインダーポリマー、(B)光重合性化合物、及び(C)光重合開始剤を含む感光性樹脂組成物から形成されるものが挙げられる。   The resist films 11a and 11b are thin films made of a resist agent. The resist agent is preferably a photosensitive resist. In this case, the resist films 11a and 11b are formed by applying a liquid photosensitive resist or attaching a film-like photosensitive resist (hereinafter referred to as a photosensitive film). It is preferable to use a photosensitive film because it is easy to make the film thickness uniform. Examples of the photosensitive film include those formed from a photosensitive resin composition containing (A) a binder polymer, (B) a photopolymerizable compound, and (C) a photopolymerization initiator.

(A)バインダーポリマーは、アルカリ現像性の観点からカルボキシル基を有するアクリル樹脂であることが好ましい。密着性と剥離性の観点から、カルボキシル基を有するアクリル樹脂は、(メタ)アクリル酸及びアルキル基の炭素数が1〜10の(メタ)アクリル酸アルキルに由来する構造単位を含む共重合体であることがより好ましい。(A)バインダーポリマーの重量平均分子量(ゲルパーミエーションクロマトグラフィー(GPC)で測定し、標準ポリスチレンを用いた検量線により換算)は、耐現像液性の観点から20,000以上であることが好ましく、現像時間を短くできる観点から300,000以下であることが好ましく、25,000〜150,000であることがより好ましく、30,000〜100,000であることが特に好ましい。上記GPCでの測定は、例えば以下の条件で行われる。
ポンプ:日立 L−6000型(株式会社日立製作所製)
カラム:Gelpack GL−R420 + Gelpack GL−R430 + Gelpack GL−R440(計3本)(以上、日立化成工業株式会社製、商品名)
溶離液:テトラヒドロフラン
測定温度:室温(25℃)
流量:2.05mL/分
検出器:日立 L−3300型RI(株式会社日立製作所製)
(A) The binder polymer is preferably an acrylic resin having a carboxyl group from the viewpoint of alkali developability. From the viewpoint of adhesion and peelability, an acrylic resin having a carboxyl group is a copolymer containing a structural unit derived from (meth) acrylic acid and an alkyl (meth) acrylate having 1 to 10 carbon atoms in the alkyl group. More preferably. (A) The weight average molecular weight of the binder polymer (measured by gel permeation chromatography (GPC) and converted by a calibration curve using standard polystyrene) is preferably 20,000 or more from the viewpoint of developer resistance. From the viewpoint of shortening the development time, it is preferably 300,000 or less, more preferably 25,000 to 150,000, and particularly preferably 30,000 to 100,000. The measurement by the GPC is performed under the following conditions, for example.
Pump: Hitachi L-6000 (manufactured by Hitachi, Ltd.)
Column: Gelpack GL-R420 + Gelpack GL-R430 + Gelpack GL-R440 (3 in total) (above, manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., trade name)
Eluent: Tetrahydrofuran Measurement temperature: Room temperature (25 ° C)
Flow rate: 2.05 mL / min Detector: Hitachi L-3300 type RI (manufactured by Hitachi, Ltd.)

(B)光重合性化合物としては、トリス(2−(メタ)アクリロキシエチル)イソシアヌレート、ビス(2−(メタ)アクリロキシエチル)ヒドロキシエチルイソシアヌレート、ビスフェノールA系(メタ)アクリレート、トリシクロデカンジメタノール、ネオペンチルグリコール変性トリメチロールプロパンジアクリレート、多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、グリシジル基含有化合物にα、β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物、ウレタン結合を有する(メタ)アクリレート化合物等のウレタンモノマー、ノニルフェニルジオキシレン(メタ)アクリレート、γ−クロロ−β−ヒドロキシプロピル−β−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシエチル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、β−ヒドロキシプロピル−β’−(メタ)アクリロイルオキシエチル−o−フタレート、(メタ)アクリル酸アルキルエステル、エチレンオキサイド変性ノニルフェニル(メタ)アクリレート等が挙げられる。これらは単独で又は2種類以上を組み合わせて使用される。   (B) As the photopolymerizable compound, tris (2- (meth) acryloxyethyl) isocyanurate, bis (2- (meth) acryloxyethyl) hydroxyethyl isocyanurate, bisphenol A-based (meth) acrylate, tricyclo Decandimethanol, neopentyl glycol-modified trimethylolpropane diacrylate, a compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with α, β-unsaturated carboxylic acid, and a glycidyl group-containing compound reacted with α, β-unsaturated carboxylic acid A compound obtained by the above, a urethane monomer such as a (meth) acrylate compound having a urethane bond, nonylphenyldioxylene (meth) acrylate, γ-chloro-β-hydroxypropyl-β- (meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxyethyl-β′- And (meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, β-hydroxypropyl-β ′-(meth) acryloyloxyethyl-o-phthalate, (meth) acrylic acid alkyl ester, ethylene oxide-modified nonylphenyl (meth) acrylate, and the like. . These may be used alone or in combination of two or more.

多価アルコールにα,β−不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物としては、例えば、エチレン基の数が2〜14であるポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2〜14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンジエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンテトラエトキシトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンペンタエトキシトリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロールメタンテトラ(メタ)アクリレート、プロピレン基の数が2〜14であるポリプロピレングリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート等が挙げられる。剥離性とエッチング剤耐性の観点からは、ビス(2−(メタ)アクリロキシエチル)ヒドロキシエチルイソシアヌレートのような、ヒドロキシル基を有する(メタ)アクリレートを含むことが好ましい。   Examples of the compound obtained by reacting a polyhydric alcohol with an α, β-unsaturated carboxylic acid include, for example, polyethylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 ethylene groups and 2 to 14 propylene groups. Polypropylene glycol di (meth) acrylate, trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropane diethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropane Methylolpropane triethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropane tetraethoxytri (meth) acrylate, trimethylolpropane pentaethoxytri (meth) acrylate, tetramethylolmethanetri (meth) a Chlorate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate having 2 to 14 propylene groups, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) An acrylate etc. are mentioned. From the viewpoints of releasability and etchant resistance, it is preferable to include a (meth) acrylate having a hydroxyl group, such as bis (2- (meth) acryloxyethyl) hydroxyethyl isocyanurate.

(C)光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、N,N’−テトラメチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン(ミヒラーケトン)、N,N−テトラエチル−4,4’−ジアミノベンゾフェノン、ビス(2,4,6−トリメチルベンゾイル)−フェニルフォスフィンオキサイド、ビス(2,6−ジメトキシベンゾイル)−2,4,4−トリメチル−ペンチルフォスフィンオキサイド、2,4,6−トリメチルベンゾイル−ジフェニルフォスフィンオキサイド等のアシルフォスフィンオキサイド系化合物;2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾール二量体、2−(o−クロロフェニル)−4,5−ジ(m−メトキシフェニル)イミダゾール二量体等の2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体;ベンジル、2,2−ジエトキシアセトフェノン、ベンジルジメチルケタール、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モリホリノフェニル)−1−ブタノン、2−メチル−1−[4−(メチルチオ)フェニル]−2−モルホリノ−1−プロパン等が挙げられる。硬化性と現像性の観点から、2,4,5−トリアリールイミダゾール二量体が好ましい。
上記(A)成分の含有量は、(A)成分及び上記(B)成分の総量100質量部に対して、40〜80質量部の範囲であることが好ましく、45〜70質量部であることがより好ましい。(B)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、20〜60質量部の範囲であることが好ましく、30〜50質量部であることがより好ましい。上記(C)成分の含有量は、(A)成分及び(B)成分の総量100質量部に対して、0.1〜20質量部であることが好ましく、0.2〜10質量部であることがより好ましい。
(C) As a photopolymerization initiator, benzophenone, N, N′-tetramethyl-4,4′-diaminobenzophenone (Michler ketone), N, N-tetraethyl-4,4′-diaminobenzophenone, bis (2,4 , 6-trimethylbenzoyl) -phenylphosphine oxide, bis (2,6-dimethoxybenzoyl) -2,4,4-trimethyl-pentylphosphine oxide, 2,4,6-trimethylbenzoyl-diphenylphosphine oxide, etc. Acylphosphine oxide compounds; 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazole dimer, 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) imidazole dimer, etc. 2,4,5-triarylimidazole dimer; benzyl, 2,2-dieto Cyacetophenone, benzyldimethyl ketal, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-morpholinophenyl) -1-butanone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholino- Examples include 1-propane. From the viewpoint of curability and developability, 2,4,5-triarylimidazole dimer is preferred.
The content of the component (A) is preferably in the range of 40 to 80 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the component (A) and the component (B), and is 45 to 70 parts by mass. Is more preferable. The content of the component (B) is preferably in the range of 20 to 60 parts by mass and more preferably 30 to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the total amount of the components (A) and (B). preferable. The content of the component (C) is preferably 0.1 to 20 parts by mass, and 0.2 to 10 parts by mass with respect to 100 parts by mass as a total of the components (A) and (B). It is more preferable.

また、感光性フィルムは、ガラス基板との密着性をより向上させるために、3−メタクリロキシポリプロピルトリアルコキシシシラン等のシラン化合物を含むことが好ましい。この場合、シラン化合物の含有量は、(A)成分、(B)成分及び(C)成分の総量100質量部に対して、1〜15質量部であることが好ましく、2〜12質量部であることがより好ましく、4〜10質量部であることが更に好ましい。   Moreover, it is preferable that a photosensitive film contains silane compounds, such as 3-methacryloxy polypropyl trialkoxy silane, in order to improve adhesiveness with a glass substrate more. In this case, it is preferable that content of a silane compound is 1-15 mass parts with respect to 100 mass parts of total amounts of (A) component, (B) component, and (C) component, and is 2-12 mass parts. More preferably, it is 4 to 10 parts by mass.

感光性フィルムは、支持体と、その上に形成された感光性樹脂組成物層とを含む。支持体としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート、ポリプロピレン、ポリエチレン、ポリエステル等の重合体フィルムを好ましく用いることができる。重合体フィルムの厚みは、1〜100μm程度とすることが好ましい。支持体上への感光性樹脂組成物層の形成方法に特に制限はないが、感光性樹脂組成物の溶液を塗布、乾燥することにより好ましく実施できる。塗布される感光性樹脂組成物層の厚みは、用途により異なるが、乾燥後の厚みで1〜100μm程度であることが好ましい。塗布は、例えば、ロールコータ、コンマコータ、グラビアコータ、エアーナイフコータ、ダイコータ、バーコータ等の公知の装置を用いて行うことができる。乾燥は、70〜150℃、5〜30分間程度で行うことができる。また、感光性樹脂組成物層中の残存有機溶剤量は、後の工程での有機溶剤の拡散を防止する点から、2質量%以下とすることが好ましい。支持体として用いられる上記重合体フィルムを保護フィルムとして用いて、感光性樹脂組成物層表面を被覆してもよい。保護フィルムとしては、感光性樹脂組成物層と支持体の接着力に比べ、小さい接着力で感光性樹脂組成物層に接着されるものが好ましい。さらに、感光性フィルムは、感光性樹脂組成物層、支持体および任意の保護フィルムの他に、クッション層、接着層、光吸収層、ガスバリア層等の中間層や保護層を有していてもよい。   The photosensitive film includes a support and a photosensitive resin composition layer formed thereon. As the support, for example, a polymer film such as polyethylene terephthalate, polypropylene, polyethylene, or polyester can be preferably used. The thickness of the polymer film is preferably about 1 to 100 μm. Although there is no restriction | limiting in particular in the formation method of the photosensitive resin composition layer on a support body, It can implement preferably by apply | coating and drying the solution of the photosensitive resin composition. The thickness of the photosensitive resin composition layer to be applied varies depending on the use, but is preferably about 1 to 100 μm after drying. The application can be performed using a known apparatus such as a roll coater, a comma coater, a gravure coater, an air knife coater, a die coater, or a bar coater. Drying can be performed at 70 to 150 ° C. for about 5 to 30 minutes. Further, the amount of the remaining organic solvent in the photosensitive resin composition layer is preferably 2% by mass or less from the viewpoint of preventing diffusion of the organic solvent in the subsequent step. You may coat | cover the photosensitive resin composition layer surface using the said polymer film used as a support body as a protective film. As a protective film, what is adhere | attached on the photosensitive resin composition layer with a small adhesive force compared with the adhesive force of the photosensitive resin composition layer and a support body is preferable. Furthermore, the photosensitive film may have an intermediate layer and a protective layer such as a cushion layer, an adhesive layer, a light absorption layer, and a gas barrier layer in addition to the photosensitive resin composition layer, the support, and any protective film. Good.

レジスト膜11a,11bの厚さは、エッチング剤の浸透を抑制し易い点で、例えば10〜300μmであることが好ましく、30〜250μmであることがより好ましく、40〜200μmであることが特に好ましい。レジスト膜11a,11bは、液状のレジスト剤をマザーガラス10の両面10a,10bに塗布し、乾燥・硬化させることで形成することができる。上記感光性フィルムは、レジスト膜の膜厚が10μm以上である場合に特に適している。感光性フィルムを用いることにより、膜厚が10μm以上である場合にも膜厚の均一化を図り易い。   The thickness of the resist films 11a and 11b is, for example, preferably 10 to 300 μm, more preferably 30 to 250 μm, and particularly preferably 40 to 200 μm, from the viewpoint of easily suppressing the penetration of the etching agent. . The resist films 11a and 11b can be formed by applying a liquid resist agent to both surfaces 10a and 10b of the mother glass 10 and drying and curing. The photosensitive film is particularly suitable when the resist film has a thickness of 10 μm or more. By using the photosensitive film, it is easy to make the film thickness uniform even when the film thickness is 10 μm or more.

感光性フィルムを用いたレジスト膜11a,11bは、例えば以下のようにして形成できる。まず、感光性フィルムをマザーガラス10上に積層する。積層方法としては、感光性フィルムの感光性樹脂組成物層上に保護フィルムが存在している場合には、保護フィルムを除去しながらマザーガラス10上へ積層する。積層条件としては、例えば、感光性樹脂組成物層を70〜130℃程度に加熱しながら、0.1〜1MPa程度(1〜10kgf/cm2程度)の圧力を加えて圧着することが挙げられる。減圧下で積層することも可能である。   The resist films 11a and 11b using the photosensitive film can be formed as follows, for example. First, a photosensitive film is laminated on the mother glass 10. As a laminating method, when the protective film exists on the photosensitive resin composition layer of the photosensitive film, it is laminated on the mother glass 10 while removing the protective film. As lamination conditions, for example, a pressure of about 0.1 to 1 MPa (about 1 to 10 kgf / cm 2) is applied and pressure-bonded while the photosensitive resin composition layer is heated to about 70 to 130 ° C. It is also possible to laminate under reduced pressure.

感光性樹脂組成物層の積層後、所定パターンの領域に活性光線を照射して、露光部の感光性樹脂組成物層を光硬化させる。所定パターンの領域に活性光線を照射させる方法としては、フォトマスクを通して所定パターンの領域に活性光線を照射し、露光部の感光性樹脂層を光硬化させる方法がある。フォトマスクは、ネガ型でもポジ型でもよく、一般に用いられているものを使用できる。活性光線の光源としては、公知の光源、たとえば、カーボンアーク灯、水銀蒸気アーク灯、高圧水銀灯、キセノンランプ等の紫外線、可視光などを有効に放射するものが用いられる。また、フォトマスクを用いずに、レーザー直接描画露光を行うこともできる。   After lamination of the photosensitive resin composition layer, the region having a predetermined pattern is irradiated with actinic rays to photocur the photosensitive resin composition layer in the exposed portion. As a method of irradiating a predetermined pattern region with actinic rays, there is a method of irradiating a predetermined pattern region with actinic rays through a photomask and photocuring the photosensitive resin layer of the exposed portion. The photomask may be a negative type or a positive type, and a commonly used one can be used. As the light source of actinic light, a known light source, for example, a light source that effectively emits ultraviolet light, visible light, or the like, such as a carbon arc lamp, a mercury vapor arc lamp, a high-pressure mercury lamp, or a xenon lamp is used. Further, laser direct drawing exposure can be performed without using a photomask.

露光後に未露光部の感光性樹脂組成物層を現像により選択的に除去することにより、マザーガラス10上にレジスト膜11a,11bが形成される。なお現像工程は、支持体が存在する場合は、現像に先立ち、支持体を除去する。現像は、アルカリ性水溶液、水系現像液、有機溶剤等の現像液によるウエット現像、ドライ現像等で未露光部を除去することにより行われる。本発明においては、アルカリ性水溶液を用いることが好ましい。アルカリ性水溶液としては、例えば、0.1〜5質量%炭酸ナトリウムの希薄溶液、0.1〜5質量%炭酸カリウムの希薄溶液、0.1〜5質量%水酸化ナトリウムの希薄溶液等が挙げられる。このアルカリ性水溶液のpHは9〜11の範囲であることが好ましく、その温度は、感光性樹脂組成物層の現像性に合わせて調節される。また、アルカリ性水溶液中には、表面活性剤、消泡剤、有機溶剤等を混入させてもよい。上記現像の方式としては、たとえば、ディップ方式、スプレー方式、ブラッシング、スラッピング等が挙げられる。必要に応じて60〜250℃程度の加熱処理により、レジスト膜11a、11bをさらに硬化するようにしてもよい。次に、図4及び図5に示されるように、レジスト膜11a,11bを部分的に除去し、切断用パターン12と孔加工用パターン13とマーカ用パターン14とを共に形成する(パターン形成工程)。切断用パターン12は、マザーガラス10を複数のカバーガラス部20Aに区画する区画線PLに沿ってマザーガラス10の両面10a,10bを露出させる開口部である。区画線PLは、マザーガラス10を本体部20と本体部20を囲む額部21とに区画する外縁部PL1と、本体部20を複数のカバーガラス部20Aに区画する分割部PL2とを有している。各カバーガラス部20Aは、マザーガラス10の切断後にカバーガラス2となる。   Resist films 11a and 11b are formed on the mother glass 10 by selectively removing the photosensitive resin composition layer in the unexposed area after the exposure. In the development step, when a support is present, the support is removed prior to development. Development is performed by removing unexposed portions by wet development, dry development, or the like using a developer such as an alkaline aqueous solution, an aqueous developer, or an organic solvent. In the present invention, it is preferable to use an alkaline aqueous solution. Examples of the alkaline aqueous solution include a dilute solution of 0.1 to 5 mass% sodium carbonate, a dilute solution of 0.1 to 5 mass% potassium carbonate, a dilute solution of 0.1 to 5 mass% sodium hydroxide, and the like. . The pH of the alkaline aqueous solution is preferably in the range of 9 to 11, and the temperature is adjusted according to the developability of the photosensitive resin composition layer. Further, a surfactant, an antifoaming agent, an organic solvent, or the like may be mixed in the alkaline aqueous solution. Examples of the development method include a dip method, a spray method, brushing, and slapping. If necessary, the resist films 11a and 11b may be further cured by heat treatment at about 60 to 250 ° C. Next, as shown in FIGS. 4 and 5, the resist films 11a and 11b are partially removed, and the cutting pattern 12, the hole processing pattern 13, and the marker pattern 14 are formed together (pattern forming step). ). The cutting pattern 12 is an opening that exposes both surfaces 10a and 10b of the mother glass 10 along a partition line PL that partitions the mother glass 10 into a plurality of cover glass portions 20A. The lane marking PL has an outer edge portion PL1 that partitions the mother glass 10 into a main body portion 20 and a frame portion 21 that surrounds the main body portion 20, and a dividing portion PL2 that divides the main body portion 20 into a plurality of cover glass portions 20A. ing. Each cover glass portion 20 </ b> A becomes the cover glass 2 after the mother glass 10 is cut.

孔加工用パターン13は、各カバーガラス部20Aにおいてマザーガラス10の両面10a,10bを部分的に露出させる開口部である。各孔加工用パターン13は、上述したカバーガラス2の孔2eに対応する位置に形成されている。マーカ用パターン14は、マザーガラス10の額部21の四隅において、マザーガラス10の両面10a,10bを部分的に露出させる開口部である。各マーカ用パターン14は、平面視で十字形状を呈している。各マーカ用パターン14は、一方面10a及び他方面10bの一方側のみに形成されていてもよい。つまり、各マーカ用パターン14は、マザーガラス10の一方面10a及び他方面10bの一方のみを部分的に露出させる開口部であってもよい。   The hole processing pattern 13 is an opening partly exposing both surfaces 10a and 10b of the mother glass 10 in each cover glass part 20A. Each hole processing pattern 13 is formed at a position corresponding to the hole 2e of the cover glass 2 described above. The marker pattern 14 is an opening that partially exposes both surfaces 10 a and 10 b of the mother glass 10 at the four corners of the forehead portion 21 of the mother glass 10. Each marker pattern 14 has a cross shape in plan view. Each marker pattern 14 may be formed only on one side of the one surface 10a and the other surface 10b. That is, each marker pattern 14 may be an opening that partially exposes only one of the one surface 10 a and the other surface 10 b of the mother glass 10.

レジスト膜11a,11bを部分的に除去し、切断用パターン12、孔加工用パターン13、及びマーカ用パターン14を形成する代表的な手法としては、例えばフォトリソグラフィーが挙げられる。   As a typical method for partially removing the resist films 11a and 11b and forming the cutting pattern 12, the hole processing pattern 13, and the marker pattern 14, for example, photolithography may be mentioned.

次に、図6に示されるように、切断用パターン12に対応する切断用凹部10dをエッチングによりマザーガラス10の両面10a,10bに形成する(凹部形成工程)。また、これと共に、孔加工用パターン13に対応する孔加工用凹部10e及びマーカ用パターン14に対応するマーカ用凹部10f(図8参照)をエッチングによりマザーガラス10の両面10a,10bに形成する。   Next, as shown in FIG. 6, a cutting recess 10d corresponding to the cutting pattern 12 is formed on both surfaces 10a and 10b of the mother glass 10 by etching (recess forming step). At the same time, a hole processing recess 10e corresponding to the hole processing pattern 13 and a marker recess 10f (see FIG. 8) corresponding to the marker pattern 14 are formed on both surfaces 10a and 10b of the mother glass 10 by etching.

切断用凹部10d、孔加工用凹部10e及びマーカ用凹部10fの深さは、強化処理された層の厚さ以上であることが好ましい。切断用凹部10d、孔加工用凹部10e及びマーカ用凹部10fを形成するためのエッチングとしては、例えば、被加工物を液状のエッチング剤に晒すウェットエッチングや、被加工物を反応性の気体、イオン、ラジカル等に晒すドライエッチング等が挙げられる。また、砥粒を含有する気流に被加工物を晒すサンドブラスト等(以下、砥粒によるエッチングという。)もエッチングに含まれるものとする。これらの中で、効率よくエッチングできる観点から、ウェットエッチングが好ましい。   The depths of the cutting recess 10d, the hole processing recess 10e, and the marker recess 10f are preferably equal to or greater than the thickness of the reinforced layer. Etching for forming the cutting recess 10d, the hole processing recess 10e, and the marker recess 10f includes, for example, wet etching in which the workpiece is exposed to a liquid etching agent, and the workpiece is reacted with a reactive gas or ion. And dry etching exposed to radicals. In addition, sand blasting (hereinafter, referred to as etching by abrasive grains) in which a workpiece is exposed to an airflow containing abrasive grains is also included in the etching. Among these, wet etching is preferable from the viewpoint of efficient etching.

ウェットエッチング用の好ましいエッチング剤としては、例えばフッ酸10〜20質量%及び塩酸又は硫酸5〜20質量%を含む水溶液等が挙げられる。また、エッチング剤を被加工物に噴霧することが好ましい。   Preferable etching agents for wet etching include, for example, an aqueous solution containing 10 to 20% by mass of hydrofluoric acid and 5 to 20% by mass of hydrochloric acid or sulfuric acid. Moreover, it is preferable to spray an etching agent on a workpiece.

凹部形成工程では、切断用パターン12、孔加工用パターン13及びマーカ用パターン14において、マザーガラス10の両面10a,10bをエッチング剤等に晒すことで、切断用凹部10d、孔加工用凹部10e及びマーカ用凹部10fが同時進行で形成される。これにより、製造効率を向上させることができる。   In the recess forming step, in the cutting pattern 12, the hole processing pattern 13, and the marker pattern 14, the both surfaces 10 a and 10 b of the mother glass 10 are exposed to an etching agent or the like, whereby the cutting recess 10 d, the hole processing recess 10 e and The marker recess 10f is formed simultaneously. Thereby, manufacturing efficiency can be improved.

次に、図7及び図8に示すように、レジスト膜11a,11bを除去する。レジスト膜11a,11bは、例えば剥離液により除去することができる。剥離液としては、例えば水酸化ナトリウム、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等を溶媒に溶かした強アルカリ液が挙げられる。マザーガラス10の両面10a,10bのレジスト膜11a,11bを除去するため、マザーガラス10全体を剥離液に晒し、レジスト膜11a,11bを効率よく除去することができる。   Next, as shown in FIGS. 7 and 8, the resist films 11a and 11b are removed. The resist films 11a and 11b can be removed by, for example, a stripping solution. Examples of the stripping solution include a strong alkaline solution in which sodium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide or the like is dissolved in a solvent. Since the resist films 11a and 11b on both surfaces 10a and 10b of the mother glass 10 are removed, the entire mother glass 10 can be exposed to a stripping solution, and the resist films 11a and 11b can be efficiently removed.

次に、図9及び図10に示されるように、各カバーガラス部20Aの一方面10a上に、タッチパネル回路3、加飾膜4及び周辺回路5をそれぞれ形成する(回路形成工程、加飾膜形成工程)。タッチパネル回路3、加飾膜4及び周辺回路5のそれぞれの形成工程に用いられる代表的な手法としては、フォトリソグラフィーが挙げられる。タッチパネル回路3、加飾膜4及び周辺回路5のそれぞれの形成工程では、マーカ用凹部10fを位置決めの基準として用いる。カバーガラス部20A同士を区画する切断用凹部10dと共に形成されたマーカ用凹部10fを位置決めの基準として用いることで、タッチパネル回路3、加飾膜4及び周辺回路5のそれぞれの位置を各カバーガラス部20Aの位置に高精度に合わせることができる。また、タッチパネル回路3、加飾膜4及び周辺回路5の位置決めに共通のマーカ用凹部10fを用いることで、タッチパネル回路3、加飾膜4及び周辺回路5の位置を互いに高精度に合わせることができる。   Next, as shown in FIGS. 9 and 10, the touch panel circuit 3, the decorative film 4, and the peripheral circuit 5 are respectively formed on the one surface 10 a of each cover glass portion 20 </ b> A (circuit forming process, decorative film) Forming step). As a typical technique used in the respective formation processes of the touch panel circuit 3, the decorative film 4, and the peripheral circuit 5, photolithography can be mentioned. In each step of forming the touch panel circuit 3, the decorative film 4, and the peripheral circuit 5, the marker recess 10f is used as a positioning reference. By using the marker recess 10f formed together with the cutting recess 10d that partitions the cover glass portions 20A as a positioning reference, the positions of the touch panel circuit 3, the decorative film 4 and the peripheral circuit 5 are set to the respective cover glass portions. It can be adjusted to the position of 20A with high accuracy. Further, by using the common marker recess 10f for positioning the touch panel circuit 3, the decorative film 4 and the peripheral circuit 5, the positions of the touch panel circuit 3, the decorative film 4 and the peripheral circuit 5 can be aligned with each other with high accuracy. it can.

次に、図11に示されるように、マザーガラス10の他方面10bに切断用のレジスト膜15を形成し、レジスト膜15のうち切断用凹部10d及び孔加工用凹部10eに対応する部分を除去する。レジスト膜15には、レジスト膜11a,11bと同様のレジスト剤を用いることができる。レジスト膜15の厚さは、例えば10〜300μmであることが好ましく、30〜250μmであることがより好ましく、40〜200μmであることが特に好ましい。レジスト膜15は、レジスト膜11a,11bを形成する手法と同様の手法により形成することができる。予めフィルム状に成形されたレジスト剤を貼付することでレジスト膜15を形成する場合には、膜厚が均一なレジスト膜15を効率よく形成することができる。また、液状のレジスト剤を他方面10bに塗布してレジスト膜15を形成するのに比べ、切断用凹部10d内へのレジスト剤の侵入を抑制することができる。これにより、レジスト膜15のうち切断用凹部10d等に対応する部分を容易に除去することができる。レジスト膜15の部分的な除去を行う代表的な手法としては、フォトリソグラフィーが挙げられる。   Next, as shown in FIG. 11, a resist film 15 for cutting is formed on the other surface 10b of the mother glass 10, and portions of the resist film 15 corresponding to the recesses for cutting 10d and the recesses for hole processing 10e are removed. To do. For the resist film 15, the same resist agent as that for the resist films 11a and 11b can be used. The thickness of the resist film 15 is preferably, for example, 10 to 300 μm, more preferably 30 to 250 μm, and particularly preferably 40 to 200 μm. The resist film 15 can be formed by a method similar to the method of forming the resist films 11a and 11b. In the case where the resist film 15 is formed by pasting a resist agent previously formed into a film shape, the resist film 15 having a uniform film thickness can be efficiently formed. Further, compared with the case where the liquid resist agent is applied to the other surface 10b to form the resist film 15, the resist agent can be prevented from entering the cutting recess 10d. As a result, portions of the resist film 15 corresponding to the cutting recesses 10d and the like can be easily removed. As a typical method for partially removing the resist film 15, photolithography can be cited.

次に、図12に示されるように、マザーガラス10の一方面10aに保護層16を形成する。保護層16は、例えばフィルム支持体16aと粘着剤16bからなり、粘着剤16bを介してフィルム支持体16aををマザーガラス10の一方面10aに貼付することで形成することができる。また、フィルム支持体16aと粘着剤16bが一体となったシート状の保護材を貼付することが好ましい。フィルム支持体16aは、エッチング剤やレジスト膜15の剥離液に対して耐性を有する材料からなることが好ましい。このような材料としては、例えば、ポリプロピレンフィルム、ポリエチレンフィルム、ポリエステルフィルム等が挙げられる。これらの中でも、より好ましい材料として、ポリプロピレンフィルムが挙げられる。これらのフィルムを単独で用いてもよく、2種以上を積層して用いてもよい。また、粘着剤16bも、エッチング剤やレジスト膜15の剥離液に対して耐性を有する材料からなることが好ましい。このような材料としては、例えば、ポリエステル樹脂、ゴム系樹脂等が挙げられる。より好ましい粘着剤としてアクリル系粘着剤が挙げられる。これらの材料を単独で用いてもよく、2種以上を混合して用いてもよい。保護層16の厚さは、例えば10〜200μmであることが好ましく、15〜100μmであることがより好ましい。   Next, as shown in FIG. 12, a protective layer 16 is formed on one surface 10 a of the mother glass 10. The protective layer 16 includes, for example, a film support 16a and an adhesive 16b, and can be formed by sticking the film support 16a to the one surface 10a of the mother glass 10 via the adhesive 16b. Moreover, it is preferable to stick a sheet-like protective material in which the film support 16a and the adhesive 16b are integrated. The film support 16a is preferably made of a material having resistance to the etchant and the stripping solution for the resist film 15. Examples of such a material include a polypropylene film, a polyethylene film, and a polyester film. Among these, a polypropylene film is mentioned as a more preferable material. These films may be used alone or in combination of two or more. Moreover, it is preferable that the adhesive 16b is also made of a material having resistance to the etching agent and the stripping solution of the resist film 15. Examples of such materials include polyester resins and rubber resins. A more preferred adhesive is an acrylic adhesive. These materials may be used alone or in combination of two or more. The thickness of the protective layer 16 is preferably 10 to 200 μm, for example, and more preferably 15 to 100 μm.

また、保護層16はエッチング処理、レジスト剥離処理後に、ガラスや回路面から容易に剥がれることが好ましい。良好な剥離性が得られる粘着剤16bとして、加熱処理で接着力が低下するタイプ、露光処理により接着力が低下するタイプが挙げられる。これらの中でも、露光処理により接着力が低下するタイプが好ましい。   Moreover, it is preferable that the protective layer 16 is easily peeled off from the glass or the circuit surface after the etching treatment and the resist peeling treatment. Examples of the pressure-sensitive adhesive 16b from which good peelability can be obtained include a type in which the adhesive strength is reduced by heat treatment and a type in which the adhesive strength is reduced by exposure treatment. Among these, the type in which the adhesive strength is reduced by the exposure treatment is preferable.

次に、他方面10b側からエッチングを行い、図13に示すように、切断用凹部10dに沿ってマザーガラス10を切断し、額部21と複数のカバーガラス部20Aとに分割する(切断工程)。また、これと共に、各孔加工用凹部10eの範囲内に孔2eを形成する。このエッチングには、上述したウェットエッチング、ドライエッチング及び砥粒によるエッチングを用いることができる。切断工程では、他方面10b側の切断用凹部10d及び孔加工用凹部10eをエッチング剤等に晒すことで、マザーガラス10の切断と、孔2eの加工とを同時進行で実施される。これにより。製造効率を更に向上させることができる。   Next, etching is performed from the other surface 10b side, and as shown in FIG. 13, the mother glass 10 is cut along the cutting recess 10d, and is divided into a forehead portion 21 and a plurality of cover glass portions 20A (cutting step). ). At the same time, a hole 2e is formed in the range of each hole machining recess 10e. For this etching, the above-described wet etching, dry etching, and etching with abrasive grains can be used. In the cutting step, the cutting of the mother glass 10 and the processing of the hole 2e are performed simultaneously by exposing the cutting recess 10d and the hole processing recess 10e on the other surface 10b side to an etching agent or the like. By this. Manufacturing efficiency can be further improved.

次に、図14に示すように、額部21及び複数のカバーガラス部20Aからレジスト膜15を除去する。レジスト膜15は、レジスト膜11a,11bと同様に、剥離液にレジスト剤を溶解させることにより除去することができる。次に、図15及び図16に示すように、複数のカバーガラス部20Aから額部21及び保護層16を除去する。この際、保護層16の粘着剤に熱又は紫外線等のエネルギー線を照射して粘着剤の硬化を促進し、保護層16と各カバーガラス部20Aとの剥離性を向上させてもよい。保護層16を除去する前に切断用のレジスト膜15を除去することにより、レジスト膜15を除去するための剥離液がタッチパネル回路3、加飾膜4、周辺回路5等に付着することを保護層16によって防止し、タッチパネル回路3、加飾膜4、周辺回路5等をより確実に保護することができる。   Next, as shown in FIG. 14, the resist film 15 is removed from the forehead portion 21 and the plurality of cover glass portions 20A. The resist film 15 can be removed by dissolving a resist agent in a stripping solution, like the resist films 11a and 11b. Next, as shown in FIGS. 15 and 16, the forehead portion 21 and the protective layer 16 are removed from the plurality of cover glass portions 20A. At this time, the adhesive of the protective layer 16 may be irradiated with energy rays such as heat or ultraviolet rays to accelerate the curing of the adhesive, and the peelability between the protective layer 16 and each cover glass portion 20A may be improved. By removing the resist film 15 for cutting before removing the protective layer 16, it is possible to protect the stripping solution for removing the resist film 15 from adhering to the touch panel circuit 3, the decorative film 4, the peripheral circuit 5, and the like. The layer 16 prevents the touch panel circuit 3, the decorative film 4, the peripheral circuit 5, and the like more reliably.

保護層16から離れて個片化した各カバーガラス部20Aは、タッチパネル1のカバーガラス2となる。最後に、各カバーガラス2の外縁2fを研磨し、切断面を平滑化する。以上により、複数のタッチパネル1が完成する。   Each cover glass part 20 </ b> A separated from the protective layer 16 into a piece becomes the cover glass 2 of the touch panel 1. Finally, the outer edge 2f of each cover glass 2 is polished to smooth the cut surface. Thus, a plurality of touch panels 1 are completed.

以上説明したタッチパネル1の製造方法によれば、回路形成工程の前に、レジスト膜形成工程、パターン形成工程、及び凹部形成工程が行われる。回路形成工程の前では、マザーガラス10の両面10a,10bにタッチパネル回路3、加飾膜4、周辺回路5等(回路等)が形成されていないことから、回路等の損傷を生じることなくエッチングを行うことができる。また、刃物を用いないエッチングを行うことにより、マザーガラス10の両面10a,10bに生じる応力が抑制されるため、マザーガラス10の各カバーガラス部20Aの損傷を生じることなく切断用凹部10dを形成することができる。凹部形成工程により切断用凹部10dが形成された時点では、マザーガラス10の一体性は保たれているため、回路形成工程では、各カバーガラス部20Aの回路等を効率よく同時進行で形成することができる。切断工程では、切断用凹部10dに沿ってマザーガラス10が切断される。切断用凹部10dが形成された部分では、マザーガラス10のうち強化処理によって硬く且つ脆くなった表層10cが除去されている。このため、切断用凹部10dに沿ってマザーガラス10を切断することで、各カバーガラス部20Aの硬く且つ脆い表層10cに負荷をかけることなくマザーガラス10を切断することができる。従って、回路等の損傷の発生及びカバーガラス2の損傷の発生を共に抑制することができる。   According to the manufacturing method of the touch panel 1 described above, the resist film forming process, the pattern forming process, and the recess forming process are performed before the circuit forming process. Before the circuit formation process, the touch panel circuit 3, the decorative film 4, the peripheral circuit 5 and the like (circuit etc.) are not formed on the both surfaces 10a and 10b of the mother glass 10, so that the circuit etc. are etched without causing damage. It can be performed. Moreover, since the stress which generate | occur | produces on both surfaces 10a and 10b of the mother glass 10 is suppressed by performing the etching which does not use a blade, it forms the recessed part 10d for a cutting | disconnection, without producing damage to each cover glass part 20A of the mother glass 10. can do. Since the integrity of the mother glass 10 is maintained at the time when the cutting recess 10d is formed by the recess forming process, the circuits and the like of each cover glass part 20A are efficiently and simultaneously formed in the circuit forming process. Can do. In the cutting step, the mother glass 10 is cut along the cutting recess 10d. In the portion where the recess 10d for cutting is formed, the surface layer 10c that has become hard and brittle by the tempering process in the mother glass 10 is removed. For this reason, the mother glass 10 can be cut | disconnected without applying a load to the hard and brittle surface layer 10c of each cover glass part 20A by cut | disconnecting the mother glass 10 along the recessed part 10d for a cutting | disconnection. Therefore, both the occurrence of damage to the circuit and the like and the occurrence of damage to the cover glass 2 can be suppressed.

切断工程では、マザーガラス10の一方面10a上に保護層16を形成し、他方面10b上に切断用のレジスト膜15を形成し、切断用のレジスト膜15のうち切断用凹部10dに対応する部分を除去し、他方面10b側からのエッチングによって切断用凹部10dに沿ってマザーガラス10を切断している。切断工程において、刃物を用いないエッチングを行うことにより、マザーガラス10に生じる応力が抑制されるため、マザーガラス10の各カバーガラス部20Aの損傷の発生を更に抑制することができる。   In the cutting process, the protective layer 16 is formed on the one surface 10a of the mother glass 10, the resist film 15 for cutting is formed on the other surface 10b, and the cutting resist film 15 corresponds to the cutting recess 10d. The portion is removed, and the mother glass 10 is cut along the cutting recess 10d by etching from the other surface 10b side. By performing etching without using a blade in the cutting step, the stress generated in the mother glass 10 is suppressed, so that the occurrence of damage to each cover glass portion 20A of the mother glass 10 can be further suppressed.

また、マザーガラス10の一方面10a上には保護層16が形成され、エッチングが他方面10b側から行われるため、一方面10a側の回路等は浸食され難い。切断用凹部10dに対応する部分を除去する処理を保護層16に施す必要がないため、マザーガラス10の一方面10a全体が保護層16によってしっかりと保護される。更に、切断用凹部10dの形成により切断対象部分の厚さが小さくなっているため、マザーガラス10は短時間のエッチングで切断される。これらのことから、回路形成工程後の切断工程においてエッチングを行ったとしても、回路等の損傷の発生を抑制することができる。   Further, since the protective layer 16 is formed on the one surface 10a of the mother glass 10 and etching is performed from the other surface 10b side, the circuit on the one surface 10a side is hardly eroded. Since the protective layer 16 does not need to be treated to remove the portion corresponding to the cutting recess 10d, the entire one surface 10a of the mother glass 10 is firmly protected by the protective layer 16. Furthermore, since the thickness of the part to be cut is reduced by the formation of the cutting recess 10d, the mother glass 10 is cut in a short time. From these things, even if it etches in the cutting process after a circuit formation process, generation | occurrence | production of damage, such as a circuit, can be suppressed.

また、切断用凹部10dに対応する部分を除去する処理を保護層16に施す必要がないことは、製造効率の向上にも寄与する。更に、保護層16にフォトリソグラフィーを施す必要がないことから、保護層16の材料選択の自由度が高まり、エッチング剤や剥離液に対する耐性や、各カバーガラス部20Aからの剥離性等を考慮して最適な材料を選択し、製造効率を向上させることができる。   Further, the fact that the protective layer 16 does not need to be subjected to the process of removing the portion corresponding to the cutting recess 10d contributes to the improvement of manufacturing efficiency. Furthermore, since it is not necessary to perform photolithography on the protective layer 16, the degree of freedom in selecting the material of the protective layer 16 is increased, and the resistance to the etching agent and the peeling liquid, the peelability from each cover glass portion 20A, and the like are taken into consideration. Therefore, the optimum material can be selected and the production efficiency can be improved.

上述したように、パターン形成工程、回路形成工程及び加飾膜形成工程をフォトリソグラフィーにより実施することができる。このため、これらの工程同士で装置等の共通化を図ることができる。   As described above, the pattern forming step, the circuit forming step, and the decorative film forming step can be performed by photolithography. For this reason, it is possible to share the apparatus and the like between these processes.

以上、本発明の好適な実施形態について説明してきたが、本発明は上述した実施形態に限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で様々な変更が可能である。例えば、切断工程では、ダイヤモンドカッター等の刃物を用いた手法により、マザーガラス10の切断及び孔2eの加工を行ってもよい。この場合も、切断用凹部10dに沿ってマザーガラス10を切断することで、各カバーガラス部20Aの硬く且つ脆い表層10cに負荷をかけることなくマザーガラス10を切断することができる。   As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described, this invention is not limited to embodiment mentioned above, A various change is possible in the range which does not change the summary. For example, in the cutting step, the mother glass 10 may be cut and the hole 2e may be processed by a technique using a blade such as a diamond cutter. Also in this case, the mother glass 10 can be cut without applying a load to the hard and fragile surface layer 10c of each cover glass portion 20A by cutting the mother glass 10 along the recess 10d for cutting.

回路形成工程において、一方面10aのレジスト膜11aのみを除去し、切断工程では、他方面10bに残っているレジスト膜11bを切断用のレジスト膜15として利用してもよい。この場合、レジスト膜形成工程で形成されたレジスト膜11bを切断用のレジスト膜15として有効活用することにより、製造効率を向上させることができる。   In the circuit forming process, only the resist film 11a on the one surface 10a may be removed, and in the cutting process, the resist film 11b remaining on the other surface 10b may be used as the resist film 15 for cutting. In this case, manufacturing efficiency can be improved by effectively utilizing the resist film 11b formed in the resist film forming step as the resist film 15 for cutting.

加飾膜形成工程をなくし、加飾膜4を有しないタッチパネルを形成してもよい。   A touch panel that does not have the decorative film 4 may be formed by eliminating the decorative film forming step.

1…タッチパネル、2…カバーガラス、2a…一方面、2b…他方面、3…タッチパネル回路(回路)、4…加飾膜、5…周辺回路(回路)、10…マザーガラス、10a…一方面、10b…他方面、10d…切断用凹部、10e…孔加工用凹部、10f…マーカ用凹部、11a,11b…レジスト膜、12…切断用パターン、13…孔加工用パターン、14…マーカ用パターン、15…切断用のレジスト膜、16…保護層、20A…カバーガラス部、PL…区画線。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Touch panel, 2 ... Cover glass, 2a ... One side, 2b ... The other side, 3 ... Touch panel circuit (circuit), 4 ... Decorating film, 5 ... Peripheral circuit (circuit), 10 ... Mother glass, 10a ... One side DESCRIPTION OF SYMBOLS 10b ... Other side, 10d ... Recess for cutting, 10e ... Recess for hole processing, 10f ... Recess for marker, 11a, 11b ... Resist film, 12 ... Pattern for cutting, 13 ... Pattern for hole processing, 14 ... Pattern for marker 15 ... Resistive film for cutting, 16 ... Protective layer, 20A ... Cover glass part, PL ... Dividing line.

Claims (10)

両面に強化処理が施された板状のマザーガラスの前記両面にレジスト膜を形成するレジスト膜形成工程と、
前記各レジスト膜を部分的に除去することで、前記マザーガラスを複数のカバーガラス部に区画する区画線に沿って前記マザーガラスの前記両面を部分的に露出させる切断用パターンを形成するパターン形成工程と、
前記パターン形成工程の後に、エッチングにより、前記切断用パターンに対応する切断用凹部を前記マザーガラスの前記両面に形成する凹部形成工程と、
前記凹部形成工程の後に、前記マザーガラスの少なくとも一方面の前記レジスト膜を除去し、前記各カバーガラス部の前記一方面上に回路を形成する回路形成工程と、
前記切断用凹部に沿って前記マザーガラスを切断することで、複数の回路付きカバーガラスを得る切断工程と、を備えることを特徴とする回路付きカバーガラスの製造方法。
A resist film forming step of forming a resist film on both sides of the plate-like mother glass subjected to a tempering treatment on both sides;
Pattern formation that forms a cutting pattern that partially exposes the both surfaces of the mother glass along a partition line that partitions the mother glass into a plurality of cover glass portions by partially removing the resist films Process,
After the pattern formation step, a recess formation step for forming a recess for cutting corresponding to the cutting pattern on the both surfaces of the mother glass by etching,
After the recess forming step, removing the resist film on at least one surface of the mother glass, and forming a circuit on the one surface of each cover glass portion; and
Cutting the mother glass along the recess for cutting to obtain a plurality of cover glasses with circuit, and a method for producing a cover glass with circuit.
前記凹部形成工程では、エッチング剤に前記マザーガラスの前記両面を晒すことで前記エッチングを行うことを特徴とする請求項1記載の回路付きカバーガラスの製造方法。   The method for manufacturing a cover glass with circuit according to claim 1, wherein in the recess forming step, the etching is performed by exposing the both surfaces of the mother glass to an etching agent. 前記凹部形成工程では、砥粒を含有する気流に前記マザーガラスの前記両面を晒すことで前記エッチングを行うことを特徴とする請求項1記載の回路付きカバーガラスの製造方法。   The method for producing a cover glass with circuit according to claim 1, wherein in the recess forming step, the etching is performed by exposing the both surfaces of the mother glass to an air flow containing abrasive grains. 前記レジスト膜形成工程では、感光性レジストを前記マザーガラスの前記両面に貼付することで、一定の膜厚の前記レジスト膜を形成することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の回路付きカバーガラスの製造方法。   The said resist film formation process forms the said resist film of a fixed film thickness by affixing the photosensitive resist on the said both surfaces of the said mother glass. Of manufacturing cover glass with circuit. 前記回路形成工程では、前記マザーガラスの前記両面の前記レジスト膜を除去し、
前記切断工程では、前記マザーガラスの前記一方面上に保護層を形成し、他方面上に切断用のレジスト膜を形成し、前記切断用のレジスト膜のうち前記切断用凹部に対応する部分を除去し、前記他方面側からのエッチングによって前記切断用凹部に沿って前記マザーガラスを切断し、前記切断用のレジスト膜及び前記保護層を除去することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の回路付きカバーガラスの製造方法。
In the circuit formation step, the resist film on both sides of the mother glass is removed,
In the cutting step, a protective layer is formed on the one surface of the mother glass, a resist film for cutting is formed on the other surface, and a portion of the resist film for cutting corresponding to the cutting recess is formed. The said resist glass for cutting and the said protective layer are removed by removing and cutting | disconnecting the said mother glass along the said recessed part for a cutting | disconnection by the etching from the said other surface side. A method for producing a cover glass with a circuit according to claim 1.
前記切断工程では、感光性レジストを前記マザーガラスの前記他方面に塗布又は貼付することで、前記切断用のレジスト膜を形成することを特徴とする請求項5記載の回路付きカバーガラスの製造方法。   6. The method of manufacturing a cover glass with circuit according to claim 5, wherein, in the cutting step, the resist film for cutting is formed by applying or sticking a photosensitive resist to the other surface of the mother glass. . 前記切断工程では、前記保護層を除去する前に前記切断用のレジスト膜を除去することを特徴とする請求項5又は6記載の回路付きカバーガラスの製造方法。   The method for producing a cover glass with circuit according to claim 5 or 6, wherein, in the cutting step, the resist film for cutting is removed before removing the protective layer. 前記切断工程では、エッチング剤に前記マザーガラスの前記他方面を晒すことで前記エッチングを行うことを特徴とする請求項5〜7のいずれか一項記載の回路付きカバーガラスの製造方法。   In the said cutting process, the said etching is performed by exposing the said other surface of the said mother glass to an etching agent, The manufacturing method of the cover glass with a circuit as described in any one of Claims 5-7 characterized by the above-mentioned. 前記マザーガラスの他方面側から視認可能な加飾膜を前記マザーガラスの前記一方面に形成する加飾膜形成工程を前記凹部形成工程と前記切断工程との間に更に備えることを特徴とする請求項1〜8のいずれか一項記載の回路付きカバーガラスの製造方法。   A decorative film forming step of forming a decorative film visible from the other surface side of the mother glass on the one surface of the mother glass is further provided between the recess forming step and the cutting step. The manufacturing method of the cover glass with a circuit as described in any one of Claims 1-8. 請求項1〜9のいずれか一項記載の回路付きカバーガラスの製造方法により、回路付きカバーガラスとしてカバーガラス一体型のタッチパネルを得ることを特徴とするカバーガラス一体型のタッチパネルの製造方法。   A cover glass-integrated touch panel is obtained as the cover glass with circuit by the method for manufacturing a cover glass with circuit according to any one of claims 1 to 9.
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