JP2014162085A - 液体吐出装置及びフレキシブル配線基板の接続方法 - Google Patents

Abstract

【課題】各駆動素子に接続される接続端子の面積を一定以上確保しつつ、装置の小型化を実現することができる液体吐出装置を提供する。
【解決手段】インクジェットヘッド４の流路形成部材２１には、複数の圧力室３３を覆うように振動板４０が設けられている。振動板４０には複数の圧電素子４４が設けられている。また、複数の圧電素子４４に設けられた電極４２，４３から、ＣＯＦ２４と電気的に接続される接続端子４６が、振動板４０の面方向に沿ってそれぞれ引き出されている。その上で、接続端子４６が配置される端子配置面４９は、振動板４０の面方向に対して傾斜した傾斜面又は湾曲面に形成されている。
【選択図】図４

Description

本発明は、液体吐出装置、及び、フレキシブル配線基板の接続方法に関する。

特許文献１の液体吐出装置（液滴吐出ヘッド）は、複数のノズルが形成されたノズル基板、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室等の流路が形成された流路形成基板、及び、複数のノズルからそれぞれ液体を吐出させるための複数の圧電素子を備えている。

流路形成基板には、複数の圧力室を覆うように振動板が設けられている。この振動板に、複数の圧力室とそれぞれ対向するように複数の圧電素子が配置されている。尚、振動板には、複数の圧電素子を覆う封止部が設けられており、封止部によって複数の圧電素子は外部から遮断されている。

各圧電素子は個別電極（上電極膜）を有する。各圧電素子の個別電極には接続端子が接続され、この接続端子は、振動板の表面において、圧電素子から封止部の外側まで引き出されている。振動板の表面に配置された、複数の圧電素子にそれぞれ対応する複数の接続端子には、駆動回路が実装されたフレキシブル配線基板が接続されている。駆動回路は、外部コントローラからの指令に基づき、フレキシブル配線基板の配線を介して、複数の圧電素子に対してそれぞれ電圧を印加する。

特許第４４９７０５４号公報

複数の接続端子にフレキシブル配線基板を押し付けて接続したときの、接続端子とフレキシブル配線基板との間の導通を確実にするために、各接続端子の面積は一定以上確保する必要がある。しかし、特許文献１のように、複数の圧電素子からそれぞれ引き出された複数の接続端子が振動板の表面に配置されている構成では、これら複数の接続端子を配置する領域を確保するために、振動板の面方向に大きな領域が必要となり、装置が大型化してしまう。特に、プリンタの分野では、近年ノズル数が増加する傾向にあり、それに伴って圧電素子及び接続端子の数も増加するため、装置が一層大型化することになる。

本発明の目的は、各接続端子の面積を一定以上確保しつつも、装置の小型化を実現することである。

第１の発明の液体吐出装置は、複数のノズル、及び、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む、液体流路が形成された流路構造体と、前記複数の圧力室を覆うように前記流路構造体に設けられた振動板と、前記振動板の前記圧力室とは反対側に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向するように配置された複数の駆動素子と、前記複数の駆動素子から前記振動板の面方向に沿ってそれぞれ延びる複数の配線と、前記複数の配線にそれぞれ設けられる複数の接続端子と、前記複数の接続端子に電気的に接続されるフレキシブル配線基板と、を有し、前記複数の接続端子が配置される端子配置面が、前記振動板の面方向に対して傾斜した傾斜面、又は、湾曲面を含むことを特徴とするものである。

本発明では、端子配置面が、振動板に対して傾斜した傾斜面、又は、湾曲面となっている。そのため、振動板と直交する方向から見たときの端子配置面の面積（投影面積）が小さくなる。つまり、各接続端子の面積を一定以上に確保しつつも、端子配置面の振動板の面方向における大きさを小さくできるため、装置を小型化することが可能となる。

第２の発明の液体吐出装置は、前記第１の発明において、前記端子配置面は、前記傾斜面又は前記湾曲面である第１端子配置面と、前記第１端子配置面と接続され、且つ、前記振動板の面方向と平行な面である第２端子配置面と、を有し、前記複数の接続端子に含まれる第１接続端子が、前記第１端子配置面に配置され、前記複数の接続端子に含まれる、前記第１接続端子とは別の第２接続端子が、前記第２端子配置面に配置されていることを特徴とするものである。

端子配置面が、傾斜面又は前記湾曲面である第１端子配置面に加えて、振動板の面方向と平行な面である第２端子配置面を有する構成であると、フレキシブル配線基板に、端子配置面から剥がれる向きに外力が作用したときに、その外力が第１端子配置面と第２端子配置面とに、異なる方向の力となって分散するため、フレキシブル配線基板が剥がれにくくなる。

第３の発明の液体吐出装置は、前記第２の発明において、 前記第１端子配置面と前記第２端子配置面は、それぞれ、前記振動板の面方向に平行な所定方向に沿って延在し、前記第１端子配置面は、前記所定方向と交差する方向における一方の縁において前記第２端子配置面と接続され、前記第１端子配置面は、前記所定方向と交差する方向に対して傾斜又は湾曲した面であり、前記第１端子配置面の複数の前記第１接続端子と、前記第２端子配置面の複数の前記第２接続端子とが、前記所定方向に沿って、千鳥状に配列されていることを特徴とするものである。

本発明では、第１端子配置面の複数の第１接続端子と第２端子配置面の複数の第２接続端子とが千鳥状に配列される。これにより、近接する接続端子間の距離を一定以上確保してショートやマイグレーションを抑えつつ、複数の接続端子を高密度に配置することができる。

第４の発明の液体吐出装置は、前記第２又は第３の発明において、前記第１端子配置面の前記複数の第１接続端子に接合される第１フレキシブル配線基板と、前記第２端子配置面の前記複数の第２接続端子に接合される第２フレキシブル配線基板とを有することを特徴とするものである。

圧電アクチュエータの複数の接続端子を高密度に配置した場合、これら複数の接続端子に１枚のフレキシブル配線基板を接続するには、このフレキシブル配線基板側の端子も高密度に配置する必要があり、特別なパターニングが必要となってコストが高くなる。本発明では２つの端子配置面に分けて配置された第１接続端子と第２接続端子に対して、２枚のフレキシブル配線基板をそれぞれ接続する構成を採用することで、各々のフレキシブル配線基板における端子の配置密度を下げることができる。従って、汎用品のフレキシブル配線基板を使用してコストを下げるといったことが可能となる。

第５の発明の液体吐出装置は、前記第２の発明において、各駆動素子には、前記フレキシブル配線基板から駆動信号が供給される第１電極と、所定の基準電位に保持される第２電極が設けられ、前記第１端子配置面の前記第１接続端子は前記配線を介して前記第１電極に接続され、前記第２端子配置面の前記第２接続端子は前記配線を介して前記第２電極に接続されていることを特徴とするものである。

傾斜面又は湾曲面からなる第１端子配置面では、第２端子配置面と比べて、フレキシブル配線基板を強く押し付けにくく、その分、接続部分の電気抵抗が大きくなることも考えられる。ここで、所定の基準電位に保持される必要のある第２電極において、途中の導通経路の電気抵抗が大きいと、電圧降下の影響で第２電極の電位が基準電位から変動しやすくなるため、第２電極に接続される導通経路の電気抵抗は小さく抑えたい。そこで、本発明では、フレキシブル配線基板を強く押し付けることのできる第２端子配置面に、第２電極に接続される第２接続端子が配置される。

第６の発明の液体吐出装置は、前記第１〜第５の何れかの発明において、前記端子配置面は、前記振動板と直交する方向において、前記振動板を基準として前記圧力室とは反対側に位置していることを特徴とするものである。

本発明では、端子配置面が、振動板を基準として、圧力室と反対側に位置していることから、フレキシブル配線基板を、圧力室と反対側から端子配置面に接合する場合に、その接合作業が容易になる。

第７の発明の液体吐出装置は、前記第１の発明において、前記複数の駆動素子は、前記振動板の面方向と平行な所定方向に沿って配列されて、前記所定方向と交差する方向に並ぶ２列の駆動素子列を構成し、前記２列の駆動素子列の間には、これら２列の駆動素子列を区切るように前記所定方向に延びる壁部が設けられ、前記壁部の、前記所定方向に延びる２つの側部の表面が、前記傾斜面又は前記湾曲面に形成され、前記複数の接続端子は、前記複数の駆動素子にそれぞれ対応して、前記２列の駆動素子列の間において前記所定方向に沿って配列され、前記所定方向と交差する方向に並ぶ２列の接続端子列を構成し、２列の接続端子列は、前記壁部の前記２つの側部の表面にそれぞれ配置されていることを特徴とするものである。

本発明では、２列の駆動素子列に対応する２列の接続端子列が、２列の駆動素子列の間に設けられた壁部の、２つの側部の表面にそれぞれ形成されている。そのため、フレキシブル配線基板を壁部に押し付けることで、このフレキシブル配線基板を２列の接続端子列とそれぞれ接合することが可能であり、接合作業が容易になる。

第８の発明の液体吐出装置は、前記第１の発明において、前記流路構造体に、前記振動板の面方向において前記駆動素子と並ぶ凹部が形成され、前記凹部の内壁面の一部に、前記傾斜面又は前記湾曲面からなる前記端子配置面が設けられていることを特徴とするものである。

また、第９の発明の液体吐出装置は、前記第１〜第７の何れかの発明において、前記複数の駆動素子はそれぞれ圧電素子を含み、前記複数の駆動素子を覆うように前記流路構造体に設けられたカバー部材を有し、前記流路構造体と前記カバー部材により、前記振動板の面方向において前記駆動素子と並ぶ凹部が形成され、前記凹部の内壁面の一部に、前記傾斜面又は前記湾曲面からなる前記端子配置面が設けられていることを特徴とするものである。

上記の第８、第９の発明の構成によれば、フレキシブル配線基板と接続端子とを接合する際に、流動性を有する導電性の接合材料（例えば、導電性接着剤やハンダなど）の余剰分が流れ落ちて、凹部の底部に溜まる。そのため、余剰の導電性接合材料が接続端子の周囲に滞留することによる短絡等の問題が防止される。

第１０の発明の液体吐出装置は、前記第８又は第９の発明において、前記凹部の開口縁に、前記端子配置面の法線方向に前記フレキシブル配線基板を押し付ける治具を、前記凹部内に斜めに挿入するための治具挿入部が設けられていることを特徴とするものである。

凹部の開口縁に設けられた治具挿入部から、凹部内へ治具を斜めに挿入することにより、凹部の内壁面の、傾斜面又は湾曲面からなる端子配置面に対して、その法線方向にフレキシブル配線基板を押し付けることが可能となる。尚、本発明における法線方向とは、傾斜面の場合は、この傾斜面に直交する方向のことを言う。また、湾曲面の場合は、湾曲の頂部又は底部における接平面と直交する方向のことを言う。

第１１の発明の液体吐出装置は、前記第１〜第１０の何れかの発明において、前記流路構造体又は前記振動板に、前記流路構造体及び前記振動板とは別の部材である、前記傾斜面又は前記湾曲面からなる前記端子配置面を有する端子形成部材が取り付けられていることを特徴とするものである。

本発明では、端子配置面が、流路構造体や振動板とは別の部材に形成されていることから、流路構造体や振動板の形状等の制約を受けることなく、様々な形状の端子配置面を形成することができ、端子配置面の形状自由度が高まる。

第１２の発明の液体吐出装置は、上記第１〜第１１の何れかの発明において、前記フレキシブル配線基板は、前記端子配置面に配置された前記複数の接続端子と、異方性導電性接着剤によって接合されてもよい。

第１３の発明のフレキシブル配線基板の接続方法は、前記第１の発明の液体吐出装置におけるフレキシブル配線基板の接続方法であって、前記傾斜面又は前記湾曲面である前記端子配置面に対して、前記フレキシブル配線基板を、前記端子配置面の法線方向に押し付けながら、前記フレキシブル配線基板を前記複数の接続端子と接合することを特徴とするものである。

本発明では、傾斜面又は湾曲面である端子配置面に対して、フレキシブル配線基板を法線方向に押し付けることにより、フレキシブル配線基板を、端子配置面の複数の接続端子と確実に接合できる。

第１４の発明のフレキシブル配線基板の接続方法は、前記第４の発明の液体吐出装置におけるフレキシブル配線基板の接続方法であって、前記第１端子配置面に対して、前記フレキシブル配線基板を、前記第１端子配置面の法線方向に押し付けて接合する、第１接合工程と、前記第２端子配置面に対して、前記フレキシブル配線基板を、前記第２端子配置面と直交する方向に押し付けて接合する、第２接合工程と、を有することを特徴とするものである。

本発明は、端子配置面が、傾斜面又は前記湾曲面である第１端子配置面と、振動板の面方向と平行な面である第２端子配置面とを有する場合の、フレキシブル配線基板の接続方法である。第１端子配置面に対してはその法線方向にフレキシブル配線基板を押し付け、第２端子配置面に対してもその法線方向にフレキシブル配線基板を押し付けることで、傾き又は形状が異なる２つの端子配置面のそれぞれに対してフレキシブル配線基板を確実に接合することができる。

第１５の発明のフレキシブル配線基板の接続方法は、前記第１３又は第１４の発明において、前記フレキシブル配線基板を、前記端子配置面に配置された前記複数の接続端子と、異方性導電性接着剤によって接合することを特徴とするものである。

異方性導電性接着剤を用いてフレキシブル配線基板を接合する場合は、フレキシブル配線基板を端子配置面に強く押し付ける必要があるが、傾斜面又は湾曲面である端子配置面に対してその法線方向にフレキシブル配線基板を押し付けることで、強い押圧力で接合することが可能となる。

本発明では、端子配置面が、振動板に対して傾斜した傾斜面、又は、湾曲面となっているため、振動板と直交する方向から見たときの端子配置面の投影面積が小さくなる。従って、各接続端子の面積を一定以上に確保しつつ、端子配置面の、振動板の面方向における大きさを小さくでき、装置を小型化することが可能となる。

本実施形態に係るインクジェットプリンタの概略平面図である。 インクジェットヘッドの平面図である。 カバー部材及びＣＯＦの図示を省略したインクジェットヘッドの平面図である。 図２のインクジェットヘッドのIV-IV線断面図である。 ＣＯＦの接合工程の説明図である。 変更形態１のインクジェットヘッドの断面図である。 変更形態１におけるＣＯＦの接合工程の説明図である。 変更形態２のインクジェットヘッドの断面図である。 変更形態３のインクジェットヘッドの断面図である。 変更形態３のインクジェットヘッドの平面図である。 変更形態４のインクジェットヘッドの平面図である。 変更形態５のインクジェットヘッドの平面図である。 変更形態２〜５におけるＣＯＦの接合工程の説明図である。 変更形態６のインクジェットヘッドの断面図である。 変更形態７のインクジェットヘッドの断面図である。 変更形態８のインクジェットヘッドの断面図である。 変更形態９のインクジェットヘッドの断面図である。 変更形態１０のインクジェットヘッドの断面図である。

次に、本発明の実施の形態について説明する。本実施形態は、インクジェットプリンタに本発明を適用した一例である。図１は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。まず、図１を参照してインクジェットプリンタ１の概略構成について説明する。尚、以下では、図１の紙面手前側を上方、紙面向こう側を下方と定義して、適宜、「上」「下」の方向語を使用して説明する。図１に示すように、インクジェットプリンタ１は、プラテン２と、キャリッジ３と、インクジェットヘッド４と、搬送機構５等を備えている。

プラテン２の上面には、被記録媒体である記録用紙１００が載置される。キャリッジ３は、プラテン２と対向する領域において２本のガイドレール１０，１１に沿って走査方向に往復移動可能に構成されている。キャリッジ３には無端ベルト１４が連結され、キャリッジ駆動モータ１５によって無端ベルト１４が駆動されることで、キャリッジ３は走査方向に移動する。

インクジェットヘッド４（液体吐出装置）は、キャリッジ３に取り付けられており、キャリッジ３とともに走査方向に移動する。インクジェットヘッド４は、プリンタ１に装着されたインクカートリッジ１７と、図示しないチューブによって接続されている。また、インクジェットヘッド４の下面（図１の紙面向こう側の面）には、複数のノズル３０が形成されている。そして、このインクジェットヘッド４は、インクカートリッジ１７から供給されたインクを、複数のノズル３０からプラテン２に載置された記録用紙１００に対して吐出する。

搬送機構５は、搬送方向にプラテン２を挟むように配置された２つの搬送ローラ１８，１９を有する。搬送機構５は、２つの搬送ローラ１８，１９によって、プラテン２に載置された記録用紙１００を搬送方向に搬送する。

以上のインクジェットプリンタ１は、プラテン２上に載置された記録用紙１００に対して、キャリッジ３を走査方向に移動させつつ、キャリッジ３に搭載されたインクジェットヘッド４からインクをそれぞれ吐出させる。また、２つの搬送ローラ１８，１９によって記録用紙１００を搬送方向に所定量搬送する。上記の、インクジェットヘッド４によるインク吐出動作と搬送機構５による記録用紙１００の搬送動作とを、交互に繰り返して実行させることによって、記録用紙１００に画像等を印刷する。

次に、インクジェットヘッド４について説明する。図２、図３はインクジェットヘッドの平面図である。但し、図３では、図２のカバー部材２３は二点鎖線で示されて詳細な図示は省略され、また、ＣＯＦ２４の図示も省略されている。図４は、図２のIV-IV線断面図である。また、図４において、流路形成部材２１及びノズルプレート２０に形成されたインク流路内のインクを、符号“Ｉ”で示している。図２〜図４に示すように、インクジェットヘッド４は、ノズルプレート２０と、流路形成部材２１と、圧電アクチュエータ２２と、カバー部材２３と、配線部材であるＣＯＦ（Chip On film）２４等を備えている。

（ノズルプレート）
図４に示すように、ノズルプレート２０は、ポリイミド等の合成樹脂や金属材料で形成された板状の部材である。ノズルプレート２０には、下方に開口した複数のノズル３０が形成されている。図３に示すように、複数のノズル３０は、搬送方向に沿って２列に配列されている。尚、２列のノズル列は、それぞれのノズル３０の位置が搬送方向に半ピッチだけずれた、いわゆる千鳥状の配列となっている。また、ノズルプレート２０は、次に説明する流路形成部材２１の下面に接着されている。

（流路形成部材）
流路形成部材２１は、金属材料やシリコンなどで形成されたブロック状の部材である。流路形成部材２１の上面には、インクカートリッジ１７（図１参照）と接続されるインク供給孔３１が形成されている。流路形成部材２１の内部には、それぞれ搬送方向に延在する２本のマニホールド３２が形成されている。２本のマニホールド３２は１つのインク供給孔３１に共通に接続されており、インクカートリッジ１７から供給されたインクが２本のマニホールド３２にそれぞれ供給される。

また、流路形成部材２１の上面（ノズルプレート２０の接合面とは反対側の面）には、複数のノズル３０にそれぞれ連通した複数の圧力室３３が形成されている。複数の圧力室３３は、複数のノズル３０に対応して、搬送方向に沿って千鳥状に２列に配列されている。複数の圧力室３３は、圧電アクチュエータ２２の振動板４０によって上方から覆われている。各圧力室３３は走査方向に長い略楕円形の平面形状を有し、その長手方向一端部において対応するノズル３０と連通している。尚、図３、図４に示すように、図中左側のノズル列においては圧力室３３の左端部にノズル３０が連通する一方、図中右側のノズル列においては、圧力室３３の右端部にノズル３０が連通している。そして、２列のノズル列は、平面視で２列の圧力室列の外側の端部とそれぞれ重なるように配置されている。

尚、図３、図４に示すように、流路形成部材２１の上面の、２列の圧力室列の間の領域には、ノズル３０及び圧力室３３の配列方向（搬送方向）に沿って延びる凹部３５が形成されている。凹部３５の内壁面の、幅方向両側部分は、振動板４０の面方向（ここでは、凹部３５が延びる方向と直交する走査方向）に対して傾斜した傾斜面に形成されている。後で説明するが、この傾斜面は、圧電アクチュエータ２２の端子４６，４８が配置される端子配置面４９となっている。また、凹部３５は、後述するカバー部材２３の壁部５３によって２つの小凹部３６に区画されている。

図２〜図４に示すように、２列の圧力室列は、２本のマニホールド３２とそれぞれ重なる位置に配置され、各圧力室３３は、その直下に位置するマニホールド３２に連通している。これにより、図４に示すように、流路形成部材２１には、マニホールド３２から分岐して、圧力室３３を経てノズル３０に連通する、個別インク流路３４が複数形成されている。尚、本実施形態のノズルプレート２０と流路形成部材２１が、本発明における「流路構造体」に相当する。

（圧電アクチュエータ）
圧電アクチュエータ２２は、流路形成部材２１の上面に配置されている。図２〜図４に示すように、圧電アクチュエータ２２は、振動板４０と、圧電体４１と、複数の個別電極４２と、共通電極４３とを有する。

流路形成部材２１の上面に、２列の圧力室列をそれぞれ覆うように２枚の振動板４０が設けられている。振動板４０は、例えば、金属材料やセラミックス材料で形成できる。あるいは、流路形成部材２１がシリコンで形成される場合は、その表面に二酸化シリコンの膜を形成してこれを振動板４０としてもよい。尚、振動板４０の上面には、後述する共通電極４３や配線４５，４７等が形成される。そのため、振動板４０が金属等の導電材料で形成される場合は、振動板４０の上面には絶縁膜が形成される。

２枚の振動板４０の上面には、それぞれ矩形の平面形状を有する２つの圧電体４１が配置されている。各圧電体４１は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体である、強誘電性のチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）を主成分とする圧電材料で形成されている。圧電体４１は、スパッタ法やゾルゲル法等の公知の成膜技術によって、振動板４０の上面に直接形成することができる。あるいは、未焼成の薄いグリーンシートを焼成してから振動板４０に貼り付けることによって形成することもできる。また、図２、図３に示すように、２つの圧電体４１は、２列の圧力室列をそれぞれ覆うように、それらの長手方向がノズル配列方向と平行となるように配置されている。

複数の個別電極４２は、圧電体４１の上面の、複数の圧力室３３とそれぞれ対向する領域に形成されている。その結果、複数の個別電極４２は、複数の圧力室３３と同様、ノズル配列方向に沿って２列に配列されている。各個別電極４２は、圧力室３３よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有し、対応する圧力室３３の中央部と対向するように配置されている。

振動板４０の上面には、複数の個別電極４２の、平面視でノズル３０とは反対側に位置する端部にそれぞれ接続された、複数の個別電極用配線４５が形成されている。複数の個別電極用配線４５は、振動板４０の面方向に沿って、対応する個別電極４２から圧力室３３の長手方向（図３の左右方向）に延びている。具体的には、図３に示すように、左側の個別電極４２の列からは個別電極用配線４５が右側に引き出され、右側の個別電極４２の列からは個別電極用配線４５が左側に引き出されている。また、流路形成部材２１の２つの圧電体４１の間には、これら圧電体４１と振動板４０の面方向に並ぶように凹部３５（２つの小凹部３６）が配置されている。そして、複数の個別電極用配線４５は、２つの個別電極４２の列から、それら２列の内側に位置する凹部３５（２つの小凹部３６）まで引き出されている。

複数の個別電極用配線４５の先端部（個別電極４２と反対側の端部）には、複数の個別電極用端子４６がそれぞれ設けられている。これにより、２列の個別電極４２の列の間に、それぞれ対応した、走査方向に並ぶ２列の個別電極用端子４６の列が配置されている。より詳しくは、左側の個別電極４２の列に対応する個別電極用端子４６の列は、左側の小凹部３６の内壁面に形成された傾斜面においてノズル配列方向に沿って配列されている。また、右側の個別電極４２の列に対応する個別電極用端子４６の列は、右側の小凹部３６の内壁面に形成された傾斜面においてノズル配列方向に沿って配列されている。尚、複数の個別電極用端子４６が配置された２つの小凹部３６の傾斜面を、以下、端子配置面４９と称する。２つの端子配置面４９にそれぞれ配置された２列の個別電極用端子４６には、２枚のＣＯＦ２４がそれぞれ接続される。これにより、複数の個別電極４２はＣＯＦ２４に実装されたドライバＩＣ５０と接続される。

２つの圧電体４１と２枚の振動板４０との間には、２つの共通電極４３がそれぞれ配置されている。共通電極４３は、１列の圧力室列を構成する複数の圧力室３３に跨ってノズル配列方向に延び、対応する圧電体４１の下面のほぼ全域と接している。図３に示すように、振動板４０の上面には、１つの共通電極４３に接続された２本の共通電極用配線４７が、振動板４０の面方向に沿って延びている。図３の左側の共通電極４３に接続された２本の共通電極用配線４７は左側の小凹部３６まで引き出され、これら２本の共通電極用配線４７の先端部に設けられた２つの共通電極用端子４８が、小凹部３６の内壁面の傾斜した端子配置面４９に配置されている。図３の右側の共通電極４３についても同様であり、２本の共通電極用配線４７の先端部に設けられた２つの共通電極用端子４８が、右側の小凹部３６の傾斜した端子配置面４９に配置されている。これらの共通電極用端子４８にはＣＯＦ２４が接続される。これにより、２つの共通電極４３はＣＯＦ２４に実装されたドライバＩＣ５０と接続され、ドライバＩＣ５０によって常にグランド電位に保持される。

尚、個別電極用端子４６と共通電極用端子４８は、共に円形の平面形状を有する。しかし、端子配置面４９が振動板４０に対して傾斜しているが故に、振動板４０と直交する方向から見た図３においては、端子４６，４８の走査方向における幅が狭く見え、図３ではそれぞれ楕円形状に示されている。また、本実施形態の、個別電極４２に接続された個別電極用端子４６と、共通電極４３に接続された共通電極用端子４８が、本発明における「接続端子」に相当する。

図４に示すように、圧電体４１の、１つの圧力室３３と対向し、１つの個別電極４２と共通電極４３とに挟まれる部分（以下、「圧電素子４４」ともいい、本発明の駆動素子に相当する）は、後で説明するように、個別電極４２にドライバＩＣ５０から駆動信号が供給されたときに変形して、１つの圧力室３３内のインクに吐出エネルギーを付与する部分となる。複数の圧電素子４４の各々は、その厚み方向に分極されている。また、２列の圧力室列に対応して、複数の圧電素子４４もノズル配列方向に沿って配列され、走査方向に並ぶ２列の圧電素子の列を構成している。また、本実施形態の図３では、１つの圧電体４１が１列の圧力室列に属する複数の圧力室３３に跨って配置されており、１列の圧力室列に対応した、１列の圧電素子列を構成する複数の圧電素子４４が繋がった構成となっている。これに対して、複数の圧力室３３にそれぞれ対応する複数の圧電素子４４が互いに分離した構成であってもよい。また、本実施形態では、圧電体４１の上面に個別電極４２、下面に共通電極４３が配置されているが、電極４２，４３の上下の配置が逆であってもよい。

（カバー部材）
カバー部材２３は、２つの圧電体４１を覆った状態で流路形成部材２１及び振動板４０に接合される。このカバー部材２３は、圧電体４１を外気から遮断することにより外部の水分（湿気）が圧電素子４４に入り込むことを防止する目的で設けられている。図２〜図４に示すように、カバー部材２３は、２つの封止部５１と、連結部５２とを有する。

２つの封止部５１はそれぞれ矩形の箱状に形成されている。各封止部５１は、底部が上となる逆さまの状態で振動板４０の上面に配置され、対応する矩形状の圧電体４１の全体をそれぞれ上から覆う。連結部５２は、２つの封止部５１の間に位置してこれら２つの封止部５１を連結する。連結部５２には、ノズル配列方向に長い矩形状の２つの貫通穴５２ａが形成されている。さらに、連結部５２の２つの貫通穴５２ａの間には、貫通穴５２ａの長手方向に延びる下方突出状の壁部５３が形成されている。この壁部５３は、２列の圧電素子４４の列を区切るように、その全長にわたって流路形成部材２１の凹部３５の底面に当接する。このとき、壁部５３によって凹部３５が２つの小凹部３６に区画される。即ち、その内壁面の一部分に端子配置面４９が形成された小凹部３６は、流路形成部材２１とカバー部材２３の壁部５３とによって形成されている。尚、壁部５３の上端部の２つの角部が面取りされており、それぞれ傾斜面５３ａが形成されている。

（ＣＯＦ）
２つの小凹部３６の端子配置面４９には、カバー部材２３の２つの貫通穴５２ａに挿通された２枚のＣＯＦ２４がそれぞれ接合される。この端子配置面４９とＣＯＦ２４の接合については後で詳述する。各ＣＯＦ２４の、カバー部材２３の外側に引き出された部分には、ドライバＩＣ５０が実装されている。尚、ドライバＩＣ５０は、カバー部材２３の封止部５１の上面に載置されている。ＣＯＦ２４に形成された配線（図示省略）によって、ドライバＩＣ５０と、端子配置面４９に配置された、個別電極４２用の個別電極用端子４６と共通電極４３用の共通電極用端子４８が電気的に接続される。

ドライバＩＣ５０の内部には、圧電素子４４を駆動するための各種回路が組み込まれている。また、ＣＯＦ２４は図示しない制御基板とも接続されており、２枚のＣＯＦ２４にそれぞれ実装された２つのドライバＩＣ５０に対して制御基板から各種制御信号が送られる。ドライバＩＣ５０は、制御基板から入力された制御信号に基づいて生成した駆動信号を、複数の個別電極４２に対して出力し、複数の圧電素子４４を個別に駆動する。一方で、ドライバＩＣ５０は、２つの共通電極４３の電位をグランド電位に保持する。

尚、本実施形態では、端子配置面４９の端子４６，４８に接続されるフレキシブル配線基板として、ドライバＩＣが実装されたＣＯＦを例示しているが、ＩＣチップが実装されていないフレキシブル配線基板が接続されてもよい。

ドライバＩＣ５０から個別電極４２に対して駆動信号が入力されたときの圧電素子４４の動作について説明する。ある個別電極４２に対してドライバＩＣ５０から駆動信号が入力されると、この個別電極４２と共通電極４３の間に電位差が生じて、２つの電極４２，４３の間の圧電体４１の部分（圧電素子４４）に厚み方向の電界が作用する。この電界の方向は、圧電素子４４の分極方向と平行であるから、圧電素子４４は厚み方向に伸長するとともに面方向に収縮する。この圧電素子４４の面方向の収縮によって、圧力室３３を覆っている振動板４０が圧力室３３側に凸となるように撓み、圧力室３３の容積が変化する。これにより、圧力室３３内のインクに圧力（吐出エネルギー）が付与され、この圧力室３３に連通するノズル３０からインクの液滴が吐出される。

端子配置面４９に配置された端子４６，４８とＣＯＦ２４との接合について、詳細に説明する。端子配置面４９の端子４６，４８とＣＯＦ２４との接合は、ハンダや導電性接着剤等の、流動性を有する導電性の接合材料を用いて行う。一例として、異方性導電性接着剤を用いた接合例を説明する。まず、端子配置面４９に、熱硬化性樹脂に導電性粒子が分散されてなる、異方性導電フィルム（ＡＣＦ）や異方性導電ペースト（ＡＣＰ）などの異方性導電性接着剤を、複数の端子４６，４８を覆うように配する。次に、ＣＯＦ２４を加熱しながら端子配置面４９に押し付ける。すると、端子配置面４９の端子４６，４８とＣＯＦ２４側の端子との間に存在する、異方性導電性接着剤の一部分に局所的に大きな圧力が作用して熱硬化性樹脂が横へ押し出される。このときに残存した導電粒子によってＣＯＦ２４側の端子と端子４６，４８が導通する。また、同時に、横に押し出された熱硬化性樹脂が加熱によって硬化し、ＣＯＦ２４と端子配置面４９とが機械的に接合される。

ここで、図４に示すように、個別電極用端子４６及び共通電極用端子４８が配置される、小凹部３６の内壁面の端子配置面４９は、振動板４０の面方向に対して傾斜した傾斜面に形成されている。そのため、端子配置面４９の、振動板４０の面方向における端子配置面４９の大きさ、即ち、振動板４０と直交する方向から見たときの端子配置面４９の投影面積を小さくすることができる。従って、各端子４６，４８の実面積を一定以上に確保しつつ、振動板４０の面方向における端子配置面４９の幅Ｗを小さくできるため、インクジェットヘッド４の小型化が可能となる。また、特に、シリコンのエッチングによって流路形成部材２１を形成する場合、流路形成部材２１の大型化はコストアップに直結する。そのため、端子配置面４９の幅を小さくすることによるコストダウンの効果は大きい。

また、本実施形態では、流路形成部材２１とカバー部材２３との間に形成された小凹部３６の内壁面に、傾斜面からなる端子配置面４９が設けられている。この構成では、ＣＯＦ２４と端子配置面４９の端子４６，４８とを接合する際に、導電性接着剤やハンダなどの、流動性を有する導電性の接合材料の余剰分が流れ落ちて、小凹部３６の底部に溜まる。そのため、余剰の導電性接合材料が端子４６，４８の周囲に滞留することによる短絡等の問題が防止される。

尚、ＣＯＦ２４を端子配置面４９に接合する際には、ヒータを内蔵した治具５５を用いて、加熱しながらＣＯＦ２４を端子配置面４９に押し付ける。特に、異方性導電性接着剤を用いた接合では、ＣＯＦ２４の押し付け力が不足すると、ＣＯＦ２４の端子と端子配置面４９の端子４６，４８との間で、熱硬化性樹脂を横に十分に押し出すことができず、電気的接続の信頼性が低下する。そのため、ＣＯＦ２４を、傾斜面からなる端子配置面４９に、その法線方向に押し付けることが好ましい。

但し、小凹部３６の内壁面に端子配置面４９が設けられていると、端子配置面４９に対してその法線方向にＣＯＦ２４を押し付けることが難しい場合がある。そこで、本実施形態では、図４に示すように、小凹部３６を形成するカバー部材２３の壁部５３の上端部の角部が面取りされて傾斜面５３ａが形成されている。図５は、ＣＯＦの接合工程の説明図である。図５に示すように、傾斜面５３ａは、小凹部３６の開口縁のうちの、端子配置面４９とは反対側に位置する部分に存在している。そのため、傾斜面５３ａから、ＣＯＦ２４を押し付けるための治具５５を小凹部３６内へ斜めに挿入することにより、小凹部３６の内壁面の、傾斜面からなる端子配置面４９に対して、その法線方向にＣＯＦ２４を押し付けることが可能となる。これにより、ＣＯＦ２４を、端子配置面４９の複数の端子４６，４８と確実に接合できる。本実施形態の、壁部５３に形成された傾斜面５３ａが、本発明における治具挿入部に相当する。尚、治具挿入部の形状は、図５の傾斜面５３ａには限られない。例えば、治具５５を挿通させることが可能な幅を有する溝であってもよい。

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。但し、前記実施形態と同様の構成については、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。

１］端子４６，４８が配置される端子配置面４９が湾曲面であってもよい（変更形態１）。例えば、図６（ａ）に示すように、端子配置面４９が凸状の湾曲面であってもよい。あるいは、図６（ｂ）に示すように、端子配置面４９が凹状の湾曲面であってもよい。

端子配置面４９が湾曲面の場合、図７に示すように、端子配置面４９に対応した湾曲形状を有する治具５５によってＣＯＦ２４を端子配置面４９に押しつける。この場合も、ＣＯＦ２４を端子配置面４９の法線方向に押しつけることが好ましい。尚、端子配置面４９が湾曲面である場合の、端子配置面４９の法線方向とは、図６（ａ）の凸状湾曲面では湾曲面の頂部における接平面５６ａに直交する方向であり、また、図６（ｂ）の凹状湾曲面では湾曲面の底部における接平面５６ｂに直交する方向である。

端子配置面４９が湾曲面である場合、前記実施形態のような傾斜面と比べて、端子配置面４９の面積をさらに大きくすることができる。しかしながら、前記実施形態では、端子配置面４９は振動板４０に対して傾斜しているものの、端子配置面４９自体は平坦な面である。これに対し、本変更形態のように、端子配置面４９自体が湾曲していると、端子配置面４９に対してＣＯＦ２４を均等な力で押しつけにくいため、接合作業が難しくなるという点でやや不利である。尚、図６（ａ）の凸状湾曲形状と比べると、図６（ｂ）の凹状の湾曲形状は、基材をエッチングすることによって容易に形成できるため、傾斜面や凸状湾曲面よりも形成が容易であると言える。

尚、端子配置面４９が湾曲面である場合、この湾曲面の法線方向が振動板４０の面方向と平行（湾曲面の接平面が振動板４０と直交）であると、上方（振動板４０と直交する方向）からＣＯＦ２４を端子配置面４９に接合することが難しくなる。従って、端子配置面４９の法線方向は、振動板４０の面方向と平行ではないことが好ましい。

尚、以降の変更形態において、説明の簡単のため、端子配置面が傾斜面と湾曲面のうちの一方である場合を例に挙げて説明している箇所があるが、傾斜面と湾曲面の何れか一方の面に限定されるような特段の説明がない限り、記載のない他方の形態についても同様に採用可能であることを付言しておく。

２］端子配置面４９が、傾斜面又は湾曲面のみで構成されるのではなく、傾斜面又は湾曲面に加えて、振動板４０の面方向に平行な面も含んでいてもよい。

（変更形態２）
図８では、端子配置面４９が、搬送方向にそれぞれ延びる第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂとを含む。第１端子配置面４９ａは、振動板４０の面方向（走査方向）に対して傾斜した傾斜面である。一方、第２端子配置面４９ｂは、振動板４０の面方向と平行な綿である。第１端子配置面４９ａは、その走査方向の一方の縁（端）において、第２端子配置面４９ｂと接続されている。尚、第１端子配置面４９ａは、振動板４０の面方向（ここでは走査方向）に対して湾曲した湾曲面であってもよい。

図８（ａ）の例では、傾斜面である第１端子配置面４９ａの下端に第２端子配置面４９ｂが接続され、この第２端子配置面４９ｂが小凹部３６の平らな底面に設けられている。一方、図８（ｂ）の例では、第１端子配置面４９ａの上端に第２端子配置面４９ｂが接続され、第２端子配置面４９ｂは振動板４０の上面に設けられている。

このように、端子配置面４９が、傾斜面（又は湾曲面）である第１端子配置面４９ａに加えて、振動板４０の面方向と平行な面である第２端子配置面４０ｂを有する構成であると、ＣＯＦ２４に、端子配置面４９から剥がれる向きに外力が作用したときに、その外力が第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂとに、異なる方向の力となって分散するため、ＣＯＦ２４が剥がれにくくなる。

また、図８では、１つの個別電極用端子４６が、第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂとに跨って配置されている。このように、傾斜面又は湾曲面からなる第１端子配置面４９ａのみでは、端子４６の面積を十分確保できない場合に、振動板４０に平行な第２端子配置面４９ｂが設けられてもよい。

（変更形態３）
上述の、端子配置面４９が第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂとを含む構成において、図９、図１０に示すように、複数の個別電極用端子４６が、第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂに分けて配置されてもよい。図１０の例では、第１端子配置面４９ａに配置された個別電極用端子４６（本発明の第１接続端子に相当）と、第２端子配置面４９ｂに配置された個別電極用端子４６（本発明の第２接続端子に相当）とが、端子配置面４９ａ，４９ｂが延在するノズル配列方向に沿って、千鳥状に２列に配列されている。この図１０の形態では、近接する個別電極用端子４６間の距離を一定以上確保してショートやマイグレーションを抑えつつ、複数の個別電極用端子４６を高密度に配置することができる。尚、第１端子配置面４９ａの個別電極用端子４６（本発明の第１接続端子に相当する）と、第２端子配置面４９ｂの個別電極用端子４６（本発明の第２接続端子に相当する）の配置は、千鳥配置の形態には限られず、任意の配置形態を採用することができる。

また、複数の個別電極用端子４６が、第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂに分けて配置される場合、図９（ａ）のように、１枚のＣＯＦ２４が第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂに接合されてもよいが、第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂに、２枚のＣＯＦ２４がそれぞれ接合されてもよい。即ち、図９（ｂ）のように、第１端子配置面４９ａの個別電極用端子４６にＣＯＦ２４Ａ（本発明の第１フレキシブル配線基板）が接合され、第２端子配置面４９ｂの個別電極用端子４６にＣＯＦ２４Ｂ（本発明の第２フレキシブル配線基板）が接合されてもよい。

複数の個別電極用端子４６が高密度に配置される場合に、対応するＣＯＦ２４が１枚であると、このＣＯＦ２４側の端子も高密度に配置する必要があり、特別なパターニングが必要となってコストが高くなる。この点、図９（ｂ）のように、２つの端子配置面４９ａ，４９ｂに対して、２枚のＣＯＦ２４をそれぞれ接続する構成を採用すれば、各々のＣＯＦ２４における端子の配置密度を下げることができる。従って、汎用品のＣＯＦを使用してコストを下げるといったことが可能となる。

（変更形態４）
第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂとで、異なる種類の端子が配置されていてもよい。

例えば、図１１では、第１端子配置面４９ａに、個別電極４２（第１電極）に接続された個別電極用端子４６（第１接続端子に相当）が配置され、第２端子配置面４９ｂに、共通電極４３（第２電極）に接続された共通電極用端子４８（第２接続端子に相当）が配置されている。

傾斜面（又は湾曲面）からなる第１端子配置面４９ａでは、振動板４０と平行な第２端子配置面４９ｂと比べて、上方からＣＯＦ２４を強く押し付けにくいため、その分、ＣＯＦ２４との接続部分の電気抵抗が大きくなることも考えられる。ここで、複数の圧電素子４４に共通の共通電極４３は、所定の基準電位（例えばグランド電位）に保持される。しかし、共通電極４３に接続される途中の導通経路の電気抵抗が大きいと、電圧降下の影響で共通電極４３の電位が基準電位から変動しやすくなる。この観点からは、ＣＯＦ２４を強く押し付けることのできる第２端子配置面４９ｂに、共通電極用端子４８が配置されることが好ましい。

（変更形態５）
上記変更形態４とは別の観点に基づけば、図１１とは、端子４６，４８の配置が逆であってもよい。即ち、図１２に示すように、第１端子配置面４９ａに共通電極用端子４８（本発明の第１接続端子に相当）が配置され、第２端子配置面４９ｂに個別電極用端子４６（本発明の第２接続端子に相当）が配置されてもよい。

傾斜面（又は湾曲面）からなる第１端子配置面４９ａは、第２端子配置面４９ｂと比べて、ＣＯＦ２４を強く押し付けにくいということは、電気的接続の信頼性が、第２端子配置面４９ｂと比べると若干低くなるというということでもある。この点、個別電極４２について、万が一、個別電極用端子４６とＣＯＦ２４との電気的接続が分断されてしまうと、対応する圧電素子４４を駆動することができなくなる。これに対し、共通電極４３については、複数の共通電極用端子４８でＣＯＦ２４と共通電極４３の電気的接続をとるようにすれば、万が一、１つの共通電極用端子４８においてＣＯＦ２４との電気的接続が分断されても、圧電素子４４を駆動できないというほどの致命的な問題にはならない。この観点からは、ＣＯＦ２４を強く押し付けることのできる第２端子配置面４９ｂに、個別電極用端子４６が配置されることが好ましい。

尚、上記変更形態２〜５のように、端子配置面４９が、第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂを含む場合、第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂに対して、ＣＯＦ２４をそれぞれ法線方向に押し付けることが好ましい。例えば、図１３（ａ）に示すように、傾斜面からなる第１端子配置面４９ａに対しては、小凹部３６内に治具５５を斜めに挿入して、この第１端子配置面４９ａの法線方向にＣＯＦ２４を押し付けて接合する（第１接合工程）。また、図１３（ｂ）に示すように、振動板４０と平行な第２端子配置面４９ｂに対しては、小凹部３６内に治具５５を鉛直下向きに挿入して、この第２端子配置面４９ｂの法線方向にＣＯＦ２４を押し付けて接合する（第２接合工程）。これにより、傾き又は形状の異なる２つの端子配置面４９ａ，４９ｂのそれぞれに対して、ＣＯＦ２４を確実に接合することができる。尚、図１３のように、第１端子配置面４９ａと第２端子配置面４９ｂへのＣＯＦ２４の接合を２工程で行ってもよいが、２つの端子配置面４９ａ，４９ｂの両方を押圧可能な２つの押圧面を有する治具を用いて、２つの端子配置面４９ａ，４９ｂへのＣＯＦ２４の接合を同時に行ってもよい。

３］端子配置面４９が形成される部材、及び、その端子配置面４９が形成される部分の形状等は、以下に例示するように適宜変更可能である。

（変更形態６）
図１４に示すように、カバー部材２３の壁部５３が省略され、流路形成部材２１に形成された１つの凹部３５が２つの小凹部３６に区画されない構成であってもよい。尚、この変更形態４では、端子配置面４９が設けられる凹部３５が、流路形成部材２１のみに形成されることになる。この変更形態４では、壁部５３が省略されている分、凹部３５の開口面積が大きくなることから、この凹部３５内に治具を挿入しやすくなる。尚、流路形成部材２１にのみ凹部３５が形成されている場合には、流路形成部材２１の、凹部３５の開口縁となる部分に、図５のような治具挿入部が設けられてもよい。

（変更形態７）
あるいは、２つの小凹部３６を形成するカバー部材２３の壁部５３に、端子配置面４９が設けられてもよい。例えば、図１５（ａ）では、振動板４０の上面に、２つの圧電素子４４の列を区切るように、圧電素子４４の配列方向（ノズル配列方向）に延びる壁部５３が配置されている。そして、この壁部５３の２つの側部５３ａの表面がそれぞれ傾斜面に形成されている。尚、図１５（ａ）のように、カバー部材２３が壁部５３を有さない構成である場合には、２列の圧電素子４４の列をそれぞれ覆う２つの封止部５１が連結部５２で連結されている必要は特になく、２つの封止部５１がそれぞれ別の部材で形成されていてもよい。

また、図１５（ｂ）のように、壁部５３の２つの側部５３ａの表面が湾曲面に形成されてもよい。また、図１５（ｂ）では、壁部５３の断面形状が半楕円形であるが、このような形状には限られず、例えば、半円形（真円の半分の形状）であってもよい。尚、この変更形態７において、壁部５３の２つの側部５３ａとは、壁部５３の頂点を含む鉛直面に対して、両側に位置する部分を指す。

傾斜面（又は湾曲面）に形成された２つの側部５３ａの表面はそれぞれ２つの端子配置面４９となり、２つの端子配置面４９に、２列の圧電素子列に対応する２列の端子４６（４８）の列がそれぞれ配置されている。この構成では、図１５に示すような治具５７を用いて、ＣＯＦ２４を上方から壁部５３に押し付けることで、ＣＯＦ２４を、壁部５３の２つの側部５３ａにそれぞれ配置された２列の端子４６（４８）の列と接合することが可能であり、接合作業が容易になる。尚、ＣＯＦ２４に、２つの側部５３ａの法線方向にそれぞれ治具を押し当てて、別々の工程で２つの端子配置面４９にＣＯＦ２４を接合してもよい。また、この変更形態７では、端子配置面４９を傾斜面あるいは湾曲面とするために、前記実施形態（図４）のように流路形成部材２１に凹部３５を形成する必要はない。

また、カバー部材２３の壁部５３ではなく、圧電素子４４を封止する封止部５１の側壁部に、傾斜面又は湾曲面からなる端子配置面４９が形成されてもよい。

（変更形態８）
上記変更形態７に関連して、２つの圧電素子４４の列を区切るように配置される壁部が、流路形成部材２１あるいは振動板４０に形成されてもよい。図１６に、流路形成部材２１に、壁部５８が形成された例を示す。

（変更形態９）
圧電体４１を覆うカバー部材２３が省略されていてもよい。図１７には、前記変更形態８の図１６において、カバー部材２３が省略された構成を示す。尚、図１７では、前記実施形態とは異なり、端子配置面４９は、流路形成部材２１やカバー部材２３等によって形成された凹部の内壁面に設けられた構成ではない。そのため、端子配置面４９の周囲に広い空間が広がることになり、傾斜面（又は湾曲面）からなる端子配置面４９にＣＯＦ２４を強く押し付けやすくなる。

尚、図１５〜図１７の形態では、端子配置面４９が、振動板４０よりも下方、即ち、振動板４０と直交する方向において、振動板４０を基準として圧力室３３と反対側に位置している。そのため、図４のように、端子配置面４９が、圧力室３３側に位置している形態と比べて、端子配置面４９にＣＯＦ２４を接合しやすいと言える。

（変更形態１０）
端子配置面４９が、流路形成部材２１や振動板４０とは別の部材に形成されてもよい。図１８（ａ）では、振動板４０の上面に、傾斜面を有する端子形成部材６０が取り付けられ、前記傾斜面が端子配置面４９となっている。また、図１８（ｂ）では、流路形成部材２１の上面に、湾曲面を有する端子形成部材６１が取り付けられ、前記湾曲面が端子配置面４９となっている。このように、端子配置面４９が、流路形成部材２１や振動板４０とは別の部材に形成されていると、流路形成部材２１や振動板４０の形状等の制約を受けることなく、様々な形状の端子配置面４９を形成することができ、端子配置面４９の形状自由度が高まる。

（変更形態１１）
振動板４０に配置される駆動素子は、圧電素子以外のものであってもよい。例えば、加熱によって熱膨張することにより振動板を変形させる熱膨張素子であってもよい。

以上説明した前記実施形態及びその変更形態は、本発明を、印刷用紙にインクを吐出して画像等を印刷するインクジェットプリンタに適用したものであるが、画像等の印刷以外の様々な用途で使用される液体吐出装置においても本発明は適用されうる。例えば、基板に導電性の液体を噴射して、基板表面に導電パターンを形成する液体吐出装置にも、本発明を適用することは可能である。

１ インクジェットプリンタ
４ インクジェットヘッド
２０ ノズルプレート
２１ 流路形成部材
２２ 圧電アクチュエータ
２３ カバー部材
２４ ＣＯＦ
３０ ノズル
３３ 圧力室
３５ 凹部
３６ 小凹部
４０ 振動板
４２ 個別電極
４３ 共通電極
４４ 圧電素子
４６ 個別電極用端子
４８ 共通電極用端子
４９ａ 第１端子配置面
４９ｂ 第２端子配置面
５３ａ 傾斜面
５３ 壁部
５５ 治具
５８ 壁部
６０，６１ 端子形成部材

Claims (15)

1. 複数のノズル、及び、前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む、液体流路が形成された流路構造体と、
   前記複数の圧力室を覆うように前記流路構造体に設けられた振動板と、
   前記振動板の前記圧力室とは反対側に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向するように配置された複数の駆動素子と、
   前記複数の駆動素子から前記振動板の面方向に沿ってそれぞれ延びる複数の配線と、
   前記複数の配線にそれぞれ設けられる複数の接続端子と、
   前記複数の接続端子に電気的に接続されるフレキシブル配線基板と、を有し、
   前記複数の接続端子が配置される端子配置面が、前記振動板の面方向に対して傾斜した傾斜面、又は、湾曲面を含むことを特徴とする液体吐出装置。
2. 前記端子配置面は、
   前記傾斜面又は前記湾曲面である第１端子配置面と、
   前記第１端子配置面と接続され、且つ、前記振動板の面方向と平行な面である第２端子配置面と、を有し、
   前記複数の接続端子に含まれる第１接続端子が、前記第１端子配置面に配置され、
   前記複数の接続端子に含まれる、前記第１接続端子とは別の第２接続端子が、前記第２端子配置面に配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
3. 前記第１端子配置面と前記第２端子配置面は、それぞれ、前記振動板の面方向に平行な所定方向に沿って延在し、
   前記第１端子配置面は、前記所定方向と交差する方向における一方の縁において前記第２端子配置面と接続され、
   前記第１端子配置面は、前記所定方向と交差する方向に対して傾斜又は湾曲した面であり、
   前記第１端子配置面の複数の前記第１接続端子と、前記第２端子配置面の複数の前記第２接続端子とが、前記所定方向に沿って、千鳥状に配列されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
4. 前記第１端子配置面の前記複数の第１接続端子に接合される第１フレキシブル配線基板と、前記第２端子配置面の前記複数の第２接続端子に接合される第２フレキシブル配線基板とを有することを特徴とする請求項２又は３に記載の液体吐出装置。
5. 各駆動素子には、前記フレキシブル配線基板から駆動信号が供給される第１電極と、所定の基準電位に保持される第２電極が設けられ、
   前記第１端子配置面の前記第１接続端子は前記配線を介して前記第１電極に接続され、
   前記第２端子配置面の前記第２接続端子は前記配線を介して前記第２電極に接続されていることを特徴とする請求項２に記載の液体吐出装置。
6. 前記端子配置面は、前記振動板の面と直交する方向において、前記振動板を基準として前記圧力室とは反対側に位置していることを特徴とする請求項１〜５の何れかに記載の液体吐出装置。
7. 前記複数の駆動素子は、前記振動板の面方向と平行な所定方向に沿って配列されて、前記所定方向と交差する方向に並ぶ２列の駆動素子列を構成し、
   前記２列の駆動素子列の間には、これら２列の駆動素子列を区切るように前記所定方向に延びる壁部が設けられ、
   前記壁部の、前記所定方向に延びる２つの側部の表面が、前記傾斜面又は前記湾曲面に形成され、
   前記複数の接続端子は、前記複数の駆動素子にそれぞれ対応して、前記２列の駆動素子列の間において前記所定方向に沿って配列され、前記所定方向と交差する方向に並ぶ２列の接続端子列を構成し、
   ２列の接続端子列は、前記壁部の前記２つの側部の表面にそれぞれ配置されていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
8. 前記流路構造体に、前記振動板の面方向において前記駆動素子と並ぶ凹部が形成され、
   前記凹部の内壁面の一部に、前記傾斜面又は前記湾曲面からなる前記端子配置面が設けられていることを特徴とする請求項１に記載の液体吐出装置。
9. 前記複数の駆動素子はそれぞれ圧電素子を含み、
   前記複数の駆動素子を覆うように前記流路構造体に設けられたカバー部材を有し、
   前記流路構造体と前記カバー部材により、前記振動板の面方向において前記駆動素子と並ぶ凹部が形成され、
   前記凹部の内壁面の一部に、前記傾斜面又は前記湾曲面からなる前記端子配置面が設けられていることを特徴とする請求項１〜７の何れかに記載の液体吐出装置。
10. 前記凹部の開口縁に、前記端子配置面の法線方向に前記フレキシブル配線基板を押し付ける治具を、前記凹部内に斜めに挿入するための治具挿入部が設けられていることを特徴とする請求項８又は９に記載の液体吐出装置。
11. 前記流路構造体又は前記振動板に、前記流路構造体及び前記振動板とは別の部材である、前記傾斜面又は前記湾曲面からなる前記端子配置面を有する端子形成部材が取り付けられていることを特徴とする請求項１〜１０の何れかに記載の液体吐出装置。
12. 前記フレキシブル配線基板は、前記端子配置面に配置された前記複数の接続端子と、異方性導電性接着剤によって接合されることを特徴とする請求項１〜１１の何れかに記載の液体吐出装置。
13. 請求項１の液体吐出装置におけるフレキシブル配線基板の接続方法であって、
    前記傾斜面又は前記湾曲面である前記端子配置面に対して、前記フレキシブル配線基板を、前記端子配置面の法線方向に押し付けながら、前記フレキシブル配線基板を前記複数の接続端子と接合することを特徴とするフレキシブル配線基板の接続方法。
14. 請求項４の液体吐出装置におけるフレキシブル配線基板の接続方法であって、
    前記第１端子配置面に対して、前記フレキシブル配線基板を、前記第１端子配置面の法線方向に押し付けて接合する、第１接合工程と、
    前記第２端子配置面に対して、前記フレキシブル配線基板を、前記第２端子配置面と直交する方向に押し付けて接合する、第２接合工程と、
    を有することを特徴とするフレキシブル配線基板の接続方法。
15. 前記フレキシブル配線基板を、前記端子配置面に配置された前記複数の接続端子と、異方性導電性接着剤によって接合することを特徴とする請求項１３又は１４に記載のフレキシブル配線基板の接続方法。

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