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JP2014014790A - A paste coating apparatus - Google Patents

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JP2014014790A
JP2014014790A JP2012155001A JP2012155001A JP2014014790A JP 2014014790 A JP2014014790 A JP 2014014790A JP 2012155001 A JP2012155001 A JP 2012155001A JP 2012155001 A JP2012155001 A JP 2012155001A JP 2014014790 A JP2014014790 A JP 2014014790A
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JP
Japan
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paste
nozzle
stirring mechanism
glass
liquid material
Prior art date
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Pending
Application number
JP2012155001A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masaken Watanabe
正賢 渡邉
Shigeo Watanabe
茂雄 渡▲邉▼
Yoshiaki Tokuyasu
良紀 徳安
Akinori Gowa
昭典 後和
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Ltd filed Critical Hitachi Ltd
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Priority to TW102123177A priority patent/TW201420207A/en
Priority to CN201310277355.0A priority patent/CN103537404B/en
Priority to KR1020130079564A priority patent/KR101515125B1/en
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Pending legal-status Critical Current

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    • B05SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05CAPPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/02Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
    • H01L21/027Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34
    • H01L21/0271Making masks on semiconductor bodies for further photolithographic processing not provided for in group H01L21/18 or H01L21/34 comprising organic layers

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a paste coating apparatus which agitates a paste before discharging the paste from a nozzle with a simple structure.SOLUTION: A paste coating apparatus includes: a paste storage part 30 which reservoirs a glass paste applied to an element side substrate; a nozzle 31a which discharges the glass paste to the element side substrate; a conduit line 312a for circulating the glass paste from the paste storage part 30 to the nozzle 31a; and an agitation mechanism 33 which is incorporated into the conduit line 312a and agitates the glass paste circulating in the conduit line 312a. The agitation mechanism 33 is incorporated into the conduit line 312a so as to freely play.

Description

本発明は、ペースト塗布装置に関する。   The present invention relates to a paste coating apparatus.

例えば、有機EL(Electro-Luminescence)素子を発光させて映像等を表示する有機ELパネルなどの発光パネルの製造工程には、有機EL素子などの発光素子が備わるガラス基板(素子側基板)に、封止用のガラス基板(封止基板)を貼り合わせる工程が含まれる。この工程では、ディスペンサなどのペースト塗布装置によって、封止基板を固着するためのガラスフリットが含まれるペースト(ガラスペースト)が素子側基板に塗布される。   For example, in a manufacturing process of a light emitting panel such as an organic EL panel that displays an image by emitting light from an organic EL (Electro-Luminescence) element, a glass substrate (element side substrate) provided with a light emitting element such as an organic EL element is used. A step of bonding a sealing glass substrate (sealing substrate) is included. In this step, a paste (glass paste) containing glass frit for fixing the sealing substrate is applied to the element side substrate by a paste application device such as a dispenser.

この技術分野の背景技術として、例えば、特許文献1には「棒状体の表面に軸方向へ螺旋状のつばを備えるスクリューと、スクリューを回転させる回転駆動機構と、スクリューが挿設されるスクリュー挿設孔、スクリュー挿設孔の側面に設けられた液材供給口および液材供給口と連通する液材供給流路を有する本体部と、スクリュー挿設孔に配設され、スクリューが挿通されるシール部材と、本体部に装着され、スクリュー挿設孔と連通するノズルと、を設け、スクリュー挿設孔の液材供給口より上方に防液空間を構成し、シール部材が濡れないように液体材料を供給すると共にスクリューを正回転させてノズルから吐出することを特徴とする」と記載されている(要約参照)。   As background art of this technical field, for example, Patent Document 1 discloses that “a screw having an axially spiral collar on the surface of a rod-like body, a rotational drive mechanism for rotating the screw, and a screw insertion in which the screw is inserted. A main body having a liquid material supply port provided on a side surface of the installation hole and the screw insertion hole and a liquid material supply channel communicating with the liquid material supply port; and a screw insertion hole disposed in the screw insertion hole. A seal member and a nozzle that is mounted on the main body and communicates with the screw insertion hole are provided, and a liquid-proof space is formed above the liquid material supply port of the screw insertion hole, so that the seal member does not get wet. It is characterized in that the material is supplied and the screw is rotated forward and discharged from the nozzle "(see the summary).

WO2008/126414号公報WO2008 / 126414

ガラスペーストのようなペースト状の液体材料をノズルから吐出して素子側基板に塗布する場合、空気圧でノズル内を加圧して押し出す方式が採られる場合がある。このような液体材料(ガラスペースト)には、ガラスフリットなどの微小な固形粒子が混合されて含まれるが、この固形粒子(ガラスフリット等)が集まって塊状になると、ノズルなどの細管部を閉塞することがある。
したがって、ガラスペーストは含まれる固形粒子(ガラスフリット等)が拡散した状態であることが要求される。
例えば、ガラスペーストをノズルまで案内する管路で当該ガラスペーストを攪拌することによって、固形粒子が拡散する状態を維持できる。
When a paste-like liquid material such as glass paste is ejected from the nozzle and applied to the element-side substrate, a method may be employed in which the inside of the nozzle is pressurized and pushed out by air pressure. Such a liquid material (glass paste) contains a mixture of fine solid particles such as glass frit. When these solid particles (glass frit and the like) are collected into a lump, the fine tube portion such as a nozzle is blocked. There are things to do.
Therefore, the glass paste is required to be in a state in which the contained solid particles (glass frit and the like) are diffused.
For example, the state in which solid particles are diffused can be maintained by stirring the glass paste in a conduit that guides the glass paste to the nozzle.

例えば、特許文献1に記載されるように、ノズル(液材供給口)までペーストを案内する管路(液材供給流路)に、回転するスクリューを備えることによって管路内でペーストを攪拌できる。
しかしながら、特許文献1に記載される構成ではスクリューを支持する構成、スクリューを回転させる構成、等が必要になるため、液体材料を塗布する装置の構造が複雑になるという問題がある。
For example, as described in Patent Document 1, the paste can be stirred in the pipe line by providing a rotating screw in a pipe line (liquid material supply flow path) that guides the paste to the nozzle (liquid material supply port). .
However, the configuration described in Patent Document 1 requires a configuration for supporting the screw, a configuration for rotating the screw, and the like, and thus there is a problem that the structure of the apparatus for applying the liquid material becomes complicated.

そこで本発明は、簡単な構造で、ノズルから吐出する前のペーストを攪拌できるペースト塗布装置を提供することを課題とする。   Then, this invention makes it a subject to provide the paste coating apparatus which can stir the paste before discharging from a nozzle with a simple structure.

前記課題を解決するため本発明は、基板に塗布されるペースト状の液体材料を貯留する貯留部から液体材料を吐出するノズルまで液体材料が流通する管路に当該液体材料を攪拌する攪拌機構が備わるペースト塗布装置とする。そして、当該攪拌機構は、管路に遊動可能に組み込まれているという特徴を有する。   In order to solve the above problems, the present invention provides an agitation mechanism for agitating the liquid material in a conduit through which the liquid material flows from a reservoir that stores the paste-like liquid material applied to the substrate to a nozzle that discharges the liquid material. The provided paste application device. And the said stirring mechanism has the characteristic that it is incorporated in the pipe line so that floating was possible.

本発明によると、簡単な構造で、ノズルから吐出する前のペーストを攪拌できるペースト塗布装置を提供できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the paste coating apparatus which can stir the paste before discharging from a nozzle with a simple structure can be provided.

本発明の実施例に係るペースト塗布装置を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the paste coating device which concerns on the Example of this invention. (a)はシリンジヘッドの側面図、(b)はノズルホルダの構成を示す断面図である。(A) is a side view of a syringe head, (b) is sectional drawing which shows the structure of a nozzle holder. 攪拌機構を構成する要素の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the element which comprises a stirring mechanism. (a)は封止部材が取り外された状態を示すアーム部の断面図、(b)は攪拌機構が挿入される状態を示すアーム部の断面図、(c)は封止部材で管路の開放端が閉塞された状態を示すアーム部の断面図である。(A) is a cross-sectional view of the arm portion showing a state in which the sealing member is removed, (b) is a cross-sectional view of the arm portion showing a state in which the stirring mechanism is inserted, and (c) is a cross-sectional view of the conduit with the sealing member. It is sectional drawing of the arm part which shows the state by which the open end was obstruct | occluded.

以下、適宜図を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。なお、以下の説明では有機ELパネルを発光パネルの一例とするが、本発明は有機ELパネルの他の発光パネルにも適用できる。有機ELパネルの他の発光パネルとして、プラズマディスプレイパネル、液晶表示パネル、などがある。本発明は、有機ELパネルに限定されず、2枚のガラス基板をガラスペーストに含まれるガラスフリットの焼成で固着する構成の発光パネルに広く適用できる。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings as appropriate. In the following description, an organic EL panel is taken as an example of a light-emitting panel, but the present invention can also be applied to other light-emitting panels of an organic EL panel. As other light emitting panels of the organic EL panel, there are a plasma display panel, a liquid crystal display panel, and the like. The present invention is not limited to an organic EL panel, and can be widely applied to a light-emitting panel having a configuration in which two glass substrates are fixed by firing glass frit contained in a glass paste.

図1は本実施例に係るペースト塗布装置を示す斜視図、図2の(a)はシリンジヘッドの側面図、(b)はノズルホルダの構成を示す断面図である。
図1に示すように、本実施例のペースト塗布装置1は、発光面10aが形成されたガラス基板などの基板(素子側基板10)が載置されるテーブル2を有し、テーブル2に載置された素子側基板10に所定の形状(塗布パターン)でガラスペースト(液体材料)を塗布する。
素子側基板10は、例えば、有機ELパネルを構成する要素であり、発光面10aは、図示しない有機EL素子を含んだ回路が配置される面である。これらの有機EL素子を含んだ回路は図示しない制御部によって有機EL素子の発光が制御される。
FIG. 1 is a perspective view showing a paste coating apparatus according to the present embodiment, FIG. 2A is a side view of a syringe head, and FIG. 1B is a cross-sectional view showing a configuration of a nozzle holder.
As shown in FIG. 1, the paste coating apparatus 1 of the present embodiment has a table 2 on which a substrate (element-side substrate 10) such as a glass substrate on which a light emitting surface 10 a is formed is placed on the table 2. A glass paste (liquid material) is applied to the placed element-side substrate 10 in a predetermined shape (application pattern).
The element side substrate 10 is, for example, an element constituting an organic EL panel, and the light emitting surface 10a is a surface on which a circuit including an organic EL element (not shown) is arranged. In a circuit including these organic EL elements, light emission of the organic EL elements is controlled by a control unit (not shown).

テーブル2は、ペースト塗布装置1のステージ1aに配置され、移動装置2a,2bによって、ステージ1aとなる平面上で、交差する2方向に移動可能に構成される。
つまり、本実施例のペースト塗布装置1のステージ1aは、素子側基板10が載置される平面になる。
ステージ1aには、テーブル2が移動する2方向をそれぞれX軸,Y軸とする座標軸が設定され、テーブル2は移動装置2aによってX軸に沿った方向(X軸方向)に移動し、移動装置2bによってY軸に沿った方向(Y軸方向)に移動するように構成される。
なお、移動装置2aにテーブル2のX軸方向への移動距離を検出するセンサ(位置検出センサなど)が備わり、移動装置2bにテーブル2のY軸方向への移動距離を検出するセンサ(位置検出センサなど)が備わる構成が好ましい。
The table 2 is arranged on the stage 1a of the paste application device 1, and is configured to be movable in two intersecting directions on the plane that becomes the stage 1a by the moving devices 2a and 2b.
That is, the stage 1a of the paste coating apparatus 1 of the present embodiment is a plane on which the element side substrate 10 is placed.
The stage 1a is set with coordinate axes in which the two directions in which the table 2 moves are the X axis and Y axis, respectively, and the table 2 is moved in the direction along the X axis (X axis direction) by the moving device 2a. 2b is configured to move in the direction along the Y-axis (Y-axis direction).
The moving device 2a is provided with a sensor (position detection sensor or the like) that detects the moving distance of the table 2 in the X-axis direction, and the moving device 2b is a sensor that detects the moving distance of the table 2 in the Y-axis direction (position detection). A configuration provided with a sensor or the like is preferable.

また、ペースト塗布装置1には、テーブル2に載置された素子側基板10に、上方からガラスペーストを塗布するシリンジヘッド3が備わる。シリンジヘッド3は、ステージ1aの上方に横架されるガントリ4に取り付けられ、下方のステージ1a上で2方向(X軸方向,Y軸方向)に移動するテーブル2に向けてガラスペーストを塗布するように構成される。
なお、図1には1つのシリンジヘッド3が備わるペースト塗布装置1が図示されているが、2つ以上のシリンジヘッド3が備わる構成のペースト塗布装置1であってもよい。
In addition, the paste application device 1 includes a syringe head 3 that applies glass paste from above to the element-side substrate 10 placed on the table 2. The syringe head 3 is attached to a gantry 4 that is horizontally mounted above the stage 1a, and applies a glass paste toward the table 2 that moves in two directions (X-axis direction and Y-axis direction) on the lower stage 1a. Configured as follows.
Although FIG. 1 shows the paste application apparatus 1 provided with one syringe head 3, the paste application apparatus 1 having two or more syringe heads 3 may be used.

また、本実施例では、移動装置2a,2bによってテーブル2がステージ1a上で移動し、シリンジヘッド3が取り付けられるガントリ4はステージ1aに対して固定される。
この構成では、テーブル2が移動装置2a,2bで移動することによって、テーブル2に載置される素子側基板10とシリンジヘッド3を相対的に移動させることができる。
つまり、移動装置2a,2bは、素子側基板10とシリンジヘッド3を相対的に移動させる機能を有する。
このような構成の他、シリンジヘッド3やガントリ4がX軸方向およびY軸方向に移動する構成であってもよい。または、テーブル2がX軸方向とY軸方向の一方に移動し、シリンジヘッド3(ガントリ4)がX軸方向とY軸方向の他方に移動する構成であってもよい。
いずれの構成であっても、シリンジヘッド3とテーブル2(素子側基板10)を相対的に移動させることが可能である。
In this embodiment, the table 2 is moved on the stage 1a by the moving devices 2a and 2b, and the gantry 4 to which the syringe head 3 is attached is fixed to the stage 1a.
In this configuration, when the table 2 is moved by the moving devices 2a and 2b, the element side substrate 10 and the syringe head 3 placed on the table 2 can be relatively moved.
That is, the moving devices 2a and 2b have a function of moving the element side substrate 10 and the syringe head 3 relatively.
In addition to such a configuration, the syringe head 3 and the gantry 4 may be configured to move in the X-axis direction and the Y-axis direction. Alternatively, the table 2 may move in one of the X axis direction and the Y axis direction, and the syringe head 3 (gantry 4) may move in the other of the X axis direction and the Y axis direction.
In any configuration, the syringe head 3 and the table 2 (element-side substrate 10) can be moved relatively.

ペースト塗布装置1は、制御装置5によって制御される。制御装置5は、移動装置2a,2bを制御してテーブル2を適宜移動する。また、制御装置5は、シリンジヘッド3を制御してガラスペーストの塗布をON/OFFする。
さらに、制御装置5は、テーブル2のX軸方向およびY軸方向の移動距離をセンサによって取得し、テーブル2を任意の位置に移動するように移動装置2a,2bを制御する。
The paste application device 1 is controlled by the control device 5. The control device 5 moves the table 2 appropriately by controlling the moving devices 2a and 2b. The control device 5 controls the syringe head 3 to turn on / off the application of the glass paste.
Further, the control device 5 acquires the movement distances of the table 2 in the X-axis direction and the Y-axis direction by a sensor, and controls the movement devices 2a and 2b so as to move the table 2 to an arbitrary position.

このように構成されるペースト塗布装置1では、テーブル2に載置される素子側基板10にシリンジヘッド3でガラスペーストを塗布する。   In the paste coating apparatus 1 configured as described above, the glass paste is applied to the element side substrate 10 placed on the table 2 by the syringe head 3.

ペースト塗布装置1には、前の工程で、発光面10aが形成された素子側基板10が搬送手段20で搬送される。
なお、素子側基板10の形状(発光面10aの形状)は矩形に限定されない。
例えば、円形や楕円形の素子側基板10(発光面10a)であってもよいし、n角形(nは3以上の自然数)の素子側基板10であってもよい。
In the paste application apparatus 1, the element-side substrate 10 on which the light emitting surface 10 a is formed is transferred by the transfer means 20 in the previous step.
The shape of the element side substrate 10 (the shape of the light emitting surface 10a) is not limited to a rectangle.
For example, it may be a circular or elliptical element-side substrate 10 (light emitting surface 10a), or may be an n-sided (n is a natural number of 3 or more) element-side substrate 10.

また、搬送手段20は、例えば、図1に示すように搬送コンベアとすればよいが、搬送ロボットなどであってもよく、搬送手段20の構成は限定されない。
図1に示すように、搬送手段20でペースト塗布装置1に搬送された素子側基板10はテーブル2に載置されて適宜固定される。テーブル2に素子側基板10を固定する構成は限定するものではない。例えば、テーブル2の側から素子側基板10を吸引して固定する構成とすればよい。
制御装置5はテーブル2に素子側基板10が載置(固定)されると、移動装置2a,2bを制御してテーブル2を移動し、素子側基板10を所定の塗布開始位置に移動する。塗布開始位置は、シリンジヘッド3によるガラスペーストの塗布を開始する所定の位置であって、適宜設定されていることが好ましい。そして、制御装置5は、シリンジヘッド3からガラスペーストを塗布しながらテーブル2を移動して、所定の塗布パターンを描くように、素子側基板10にガラスペーストを塗布する。
Further, for example, the transport unit 20 may be a transport conveyor as shown in FIG. 1, but may be a transport robot or the like, and the configuration of the transport unit 20 is not limited.
As shown in FIG. 1, the element-side substrate 10 transported to the paste application device 1 by the transport means 20 is placed on the table 2 and fixed as appropriate. The configuration for fixing the element side substrate 10 to the table 2 is not limited. For example, the element side substrate 10 may be sucked and fixed from the table 2 side.
When the element-side substrate 10 is placed (fixed) on the table 2, the control device 5 controls the moving devices 2a and 2b to move the table 2, and moves the element-side substrate 10 to a predetermined application start position. The application start position is a predetermined position at which application of the glass paste by the syringe head 3 is started, and is preferably set as appropriate. Then, the control device 5 moves the table 2 while applying the glass paste from the syringe head 3, and applies the glass paste to the element side substrate 10 so as to draw a predetermined application pattern.

なお、ペースト塗布装置1には、テーブル2に載置された素子側基板10を所定の基準位置に移動させるための位置決め手段が備わることが好ましい。
位置決め手段の構成は限定するものではない。例えば、素子側基板10にあらかじめマーキングされた基準点(G1,G2)を画像認識用カメラ等で読み取り、読み取った基準点G1,G2が所定の位置になるように制御装置5がテーブル2を移動する構成とすればよい。このように、マーキングされた基準点G1,G2が所定の位置になる素子側基板10の位置が素子側基板10の基準位置となる。
また、例えば、素子側基板10に2個以上の基準点G1,G2がマーキングされ、テーブル2がステージ1aに平行な面内で回転可能な構成とすれば、制御装置5は、全ての基準点G1,G2が所定の位置になるようにテーブル2を回転させることができる。このことによって、矩形に形成される発光面10aの一辺をステージ1aに設定される座標軸(X軸,Y軸)と平行にすることができる。
そして、制御装置5は、テーブル2をX軸方向およびY軸方向に適宜移動して、発光面10aの周囲にガラスペーストを塗布することができる。
The paste application device 1 is preferably provided with positioning means for moving the element-side substrate 10 placed on the table 2 to a predetermined reference position.
The configuration of the positioning means is not limited. For example, the reference point (G1, G2) marked in advance on the element side substrate 10 is read by an image recognition camera or the like, and the control device 5 moves the table 2 so that the read reference points G1, G2 are at predetermined positions. What is necessary is just to be the structure to do. Thus, the position of the element side substrate 10 where the marked reference points G1 and G2 are in a predetermined position becomes the reference position of the element side substrate 10.
Further, for example, if two or more reference points G1 and G2 are marked on the element-side substrate 10 and the table 2 is configured to be rotatable in a plane parallel to the stage 1a, the control device 5 can be used for all the reference points. The table 2 can be rotated so that G1 and G2 are at predetermined positions. Accordingly, one side of the light emitting surface 10a formed in a rectangular shape can be made parallel to the coordinate axes (X axis, Y axis) set on the stage 1a.
And the control apparatus 5 can apply | coat glass paste to the circumference | surroundings of the light emission surface 10a by moving the table 2 suitably to a X-axis direction and a Y-axis direction.

なお、シリンジヘッド3が上下動可能にガントリ4に取り付けられ、さらに、シリンジヘッド3に素子側基板10とノズル31a(図2の(b)参照)との距離を計測するセンサ(レーザ光を使用する光学式変位計など)が取り付けられる構成としてもよい。
このような構成であれば、制御装置5は、ガラスペーストを塗布するときに、ノズル31aと素子側基板10の距離を計測できる。そして、制御装置5は、シリンジヘッド3を上下動させることによって、ノズル31aと素子側基板10を好適な距離に維持できる。
The syringe head 3 is attached to the gantry 4 so as to be movable up and down. Further, a sensor (using laser light) that measures the distance between the element-side substrate 10 and the nozzle 31a (see FIG. 2B) on the syringe head 3 is used. It is also possible to adopt an arrangement in which an optical displacement meter or the like is attached.
If it is such a structure, the control apparatus 5 can measure the distance of the nozzle 31a and the element side board | substrate 10, when apply | coating glass paste. And the control apparatus 5 can maintain the nozzle 31a and the element side board | substrate 10 in a suitable distance by moving the syringe head 3 up and down.

図2の(a)はシリンジヘッドの側面図、(b)はノズルホルダの構成を示す断面図である。
図2の(a)に示すように、本実施例のシリンジヘッド3は、空洞の円筒からなってガラスペーストを貯留する貯留部(ペースト貯留部30)と、ペースト貯留部30の一端に取り付けられるノズルホルダ31と、を含んで構成される。また、ペースト貯留部30には、ノズルホルダ31が取り付けられる一端と対する他端に空気加圧部32が備わる。
ペースト貯留部30には素子側基板10(図1参照)に塗布されるガラスペーストが貯留され、空気加圧部32によってペースト貯留部30の内部が加圧されたとき、ガラスペーストはペースト貯留部30からノズルホルダ31に押し出され、ノズルホルダ31に備わるノズル31aから吐出する。
空気加圧部32は、例えば、図示しない空気圧縮機(コンプレッサ)で圧縮された圧縮空気(または窒素ガスなど)をペースト貯留部30の内部に送り込む構成とすればよい。
2A is a side view of the syringe head, and FIG. 2B is a cross-sectional view showing the configuration of the nozzle holder.
As shown in FIG. 2A, the syringe head 3 of the present embodiment is attached to one end of a paste storage unit 30 and a storage unit (paste storage unit 30) that is made of a hollow cylinder and stores glass paste. And a nozzle holder 31. Moreover, the paste storage part 30 is provided with an air pressurization part 32 at the other end with respect to one end to which the nozzle holder 31 is attached.
The paste reservoir 30 stores glass paste applied to the element-side substrate 10 (see FIG. 1), and when the interior of the paste reservoir 30 is pressurized by the air pressurizer 32, the glass paste is pasted into the paste reservoir. The nozzle 30 is pushed out from the nozzle 30 and discharged from a nozzle 31 a provided in the nozzle holder 31.
For example, the air pressurizing unit 32 may be configured to send compressed air (or nitrogen gas or the like) compressed by an air compressor (compressor) (not shown) into the paste storage unit 30.

シリンジヘッド3は、ペースト貯留部30の軸方向が上下方向となってノズルホルダ31が下方になるようにガントリ4(図1参照)に取り付けられる。そして、空気加圧部32から送り込まれる圧縮空気でペースト貯留部30から押し出され、ノズル31aから吐出するガラスペーストが、下方のステージ1a(図1参照)上で移動する素子側基板10(図1参照)に塗布されるように構成される。   The syringe head 3 is attached to the gantry 4 (see FIG. 1) so that the axial direction of the paste storage unit 30 is the vertical direction and the nozzle holder 31 is downward. And the element side board | substrate 10 (FIG. 1) from which the glass paste extruded from the paste storage part 30 with the compressed air sent from the air pressurization part 32 and discharged from the nozzle 31a moves on the lower stage 1a (refer FIG. 1). Configured to be applied).

図2の(b)に示すように、ノズルホルダ31は、ペースト貯留部30の一端に連結する胴体部311と、ペースト貯留部30の軸方向と垂直な方向に胴体部311から延設されるアーム部312と、を含んで構成される。
そして、シリンジヘッド3は、アーム部312がステージ1a(図1参照)を形成する平面と平行になるようにガントリ4(図1参照)に取り付けられる。
また、胴体部311の内部にはガラスペーストが流通する管路311aが形成され、アーム部312の内部にはガラスペーストが流通する管路312aが形成される。そして、胴体部311の管路311aとアーム部312の管路312aはコーナ部313aを介して連通する。
As shown in FIG. 2B, the nozzle holder 31 extends from the body portion 311 in a direction perpendicular to the axial direction of the paste storage portion 30 and the body portion 311 connected to one end of the paste storage portion 30. And an arm portion 312.
The syringe head 3 is attached to the gantry 4 (see FIG. 1) so that the arm portion 312 is parallel to the plane forming the stage 1a (see FIG. 1).
Further, a conduit 311 a through which the glass paste flows is formed inside the body portion 311, and a conduit 312 a through which the glass paste flows is formed inside the arm portion 312. And the pipe line 311a of the trunk | drum 311 and the pipe line 312a of the arm part 312 are connected via the corner part 313a.

アーム部312の管路312aは、アーム部312の軸方向に伸びる管路であり、アーム部312の先端部312b(胴体部311の側と対する側の端部)を貫通するように構成される。つまり、先端部312bには管路312aの開放端312cが形成される。そして、管路312aの先端部312bには、管路312aの開放端312cを閉塞する封止部材31cが嵌め込まれる。
封止部材31cは、例えば、管路312aの先端部312b側(管路312aの開放端312c)に形成される雌ねじに螺合するねじ部材であって着脱可能に構成されることが好ましい。
なお、封止部材31cとアーム部312の先端部312bの間に図示しないシール部材が配設されて、封止部材31cと先端部312bの間が密封される構成が好ましい。
The pipe 312a of the arm 312 is a pipe extending in the axial direction of the arm 312 and is configured to penetrate the distal end 312b of the arm 312 (the end opposite to the body 311). . That is, the open end 312c of the pipe line 312a is formed at the distal end portion 312b. And the sealing member 31c which obstruct | occludes the open end 312c of the pipe line 312a is engage | inserted by the front-end | tip part 312b of the pipe line 312a.
The sealing member 31c is, for example, a screw member that is screwed into a female screw formed on the distal end portion 312b side (open end 312c of the pipe 312a) of the pipe 312a, and is preferably configured to be detachable.
It is preferable that a sealing member (not shown) is disposed between the sealing member 31c and the distal end portion 312b of the arm portion 312 so that the sealing member 31c and the distal end portion 312b are sealed.

また、アーム部312にはノズル31aが取り付けられる。ノズル31aは、図1に示すガントリ4にシリンジヘッド3が取り付けられたときに下方に向かってガラスペーストを吐出する方向に取り付けられる。
例えば、ペースト貯留部30の軸方向が上下方向となるようにシリンジヘッド3が取り付けられる場合、ノズル31aは軸方向がペースト貯留部30の軸方向と平行になって下方が開口するように取り付けられる。そして、ノズル31aとアーム部312の管路312aは連通する。
A nozzle 31 a is attached to the arm portion 312. The nozzle 31a is attached in a direction in which the glass paste is discharged downward when the syringe head 3 is attached to the gantry 4 shown in FIG.
For example, when the syringe head 3 is attached so that the axial direction of the paste storage unit 30 is the vertical direction, the nozzle 31a is attached so that the axial direction is parallel to the axial direction of the paste storage unit 30 and the lower part opens. . The nozzle 31a communicates with the pipe 312a of the arm 312.

シリンジヘッド3が図2の(a)、(b)に示すように構成されると、空気加圧部32から圧縮空気が送り込まれてペースト貯留部30の内部が加圧されたとき、ガラスペーストはペースト貯留部30からノズルホルダ31に押し出され、胴体部311の管路311aを流通する。さらに、ガラスペーストは、コーナ部313aを経由してアーム部312の管路312aを流通し、ノズル31aから吐出する。   When the syringe head 3 is configured as shown in FIGS. 2A and 2B, when the compressed air is fed from the air pressurizing unit 32 and the inside of the paste storing unit 30 is pressurized, the glass paste Is extruded from the paste reservoir 30 to the nozzle holder 31 and circulates through the conduit 311a of the body 311. Further, the glass paste flows through the conduit 312a of the arm 312 via the corner 313a and is discharged from the nozzle 31a.

さらに、本実施例のペースト塗布装置1(図1参照)には、ノズルホルダ31のアーム部312の管路312aに攪拌機構33が組み込まれる。
攪拌機構33は、例えば、管路312aに沿って流れるガラスペーストを、管路312aの内壁312a1の周方向に沿って旋回させる機能を有する翼状部材であることが好ましい。
Further, in the paste coating apparatus 1 (see FIG. 1) of the present embodiment, the stirring mechanism 33 is incorporated in the pipe 312a of the arm portion 312 of the nozzle holder 31.
The stirring mechanism 33 is preferably, for example, a wing-like member having a function of turning the glass paste flowing along the pipe 312a along the circumferential direction of the inner wall 312a1 of the pipe 312a.

図3は攪拌機構を構成する要素の一例を示す図である。
攪拌機構33は、例えば、図3に示すように、管路312aにおけるガラスペーストGpの流れの上流から見て、管路312aの内壁312a1に沿った右方向の旋回力をガラスペーストGpに付与する右エレメント33aと、管路312aの内壁312a1に沿った左方向の旋回力をガラスペーストGpに付与する左エレメント33bと、がそれぞれ複数、直列に配置された形状のスタティックミキサであることが好適である。
FIG. 3 is a diagram showing an example of elements constituting the stirring mechanism.
For example, as shown in FIG. 3, the stirring mechanism 33 applies a rightward turning force along the inner wall 312a1 of the pipe 312a to the glass paste Gp when viewed from the upstream side of the flow of the glass paste Gp in the pipe 312a. It is preferable that the right element 33a is a static mixer having a shape in which a plurality of right elements 33a and a left element 33b that applies a leftward turning force along the inner wall 312a1 of the pipe line 312a to the glass paste Gp are arranged in series. is there.

図3に示すように、攪拌機構33(スタティックミキサ)が軸方向に組み込まれた管路312aを流通するガラスペーストGpは、攪拌機構33によって管路312aの内壁312a1の周方向に沿って旋回し攪拌される。したがって、ガラスペーストGpに含まれるガラスフリット等の固形粒子は拡散した状態が維持されて塊状になることが抑制される。
なお、図3に示す右エレメント33aと左エレメント33bの形状は、攪拌機構33の機能を説明するために例示したものであって、攪拌機構33(スタティックミキサ)の形状を限定するものではない。
As shown in FIG. 3, the glass paste Gp flowing through the pipe 312a in which the stirring mechanism 33 (static mixer) is incorporated in the axial direction is swung along the circumferential direction of the inner wall 312a1 of the pipe 312a by the stirring mechanism 33. Stir. Therefore, solid particles such as glass frit contained in the glass paste Gp are kept in a diffused state and are prevented from becoming a lump.
Note that the shapes of the right element 33a and the left element 33b shown in FIG. 3 are illustrated for explaining the function of the stirring mechanism 33, and do not limit the shape of the stirring mechanism 33 (static mixer).

図4の(a)〜(c)は、攪拌機構がアーム部の管路に組み込まれるステップを示す図である。
図4の(a)に示すように、アーム部312の管路312aは先端部312bを貫通し、先端部312bに管路312aの開放端312cが形成されている。したがって、封止部材31cが取り外されると管路312aは先端部312bの側が開放する。
また、封止部材31cをねじ部材とすることによって、アーム部312から容易に取り外し可能に構成できる。
(A)-(c) of FIG. 4 is a figure which shows the step in which a stirring mechanism is integrated in the pipe line of an arm part.
As shown in FIG. 4A, the pipe 312a of the arm 312 passes through the tip 312b, and the open end 312c of the pipe 312a is formed at the tip 312b. Therefore, when the sealing member 31c is removed, the pipe 312a is opened on the tip 312b side.
Further, by using the sealing member 31c as a screw member, the arm member 312 can be easily detached.

そして、例えば、図4の(b)に示すように、攪拌機構33は、管路312aが開口している開放端312cから、管路312aの内側に容易に進入可能である。つまり、攪拌機構33を組み込む作業者は、先端部312bの開放端312cから管路312aに攪拌機構33を容易に挿入できる。
その後、図4の(c)に示すように、封止部材31cがアーム部312の先端部312bに取り付けられると管路312aの開放端312cは閉塞され、攪拌機構33は管路312aに封じ込められて管路312aに組み込まれる。
For example, as shown in FIG. 4B, the stirring mechanism 33 can easily enter the inside of the pipe line 312a from the open end 312c where the pipe line 312a is open. That is, the operator who incorporates the stirring mechanism 33 can easily insert the stirring mechanism 33 into the pipe line 312a from the open end 312c of the distal end portion 312b.
Thereafter, as shown in FIG. 4C, when the sealing member 31c is attached to the distal end portion 312b of the arm portion 312, the open end 312c of the conduit 312a is closed, and the stirring mechanism 33 is sealed in the conduit 312a. Are incorporated into the conduit 312a.

また、攪拌機構33は、管路312aの開放端312cから挿入された状態にあって、管路312aの内壁312a1やその他の機構、構造物によって拘束されない状態に組み込まれる。このことによって、攪拌機構33は、管路312a内を自由に移動可能(遊動可能)に組み込まれる。
換言すると、管路312aの構成を、攪拌機構33を支持するための機構や構造物を必要としない簡素な構成とすることができる。
Further, the stirring mechanism 33 is inserted from the open end 312c of the pipe 312a, and is incorporated in a state where it is not restrained by the inner wall 312a1 of the pipe 312a, other mechanisms, or structures. Thus, the stirring mechanism 33 is incorporated so as to be freely movable (movable) in the pipe 312a.
In other words, the configuration of the conduit 312a can be a simple configuration that does not require a mechanism or a structure for supporting the stirring mechanism 33.

なお、図2の(b)に示すように、管路312aの胴体部311の側にはコーナ部313aが形成されてペースト貯留部30の側に湾曲している。したがって、アーム部312の管路312a内の攪拌機構33は、コーナ部313aの位置までしか移動できず、アーム部312の管路312aから他に移動することはない。
このように、攪拌機構33は、極めて容易な作業でアーム部312の管路312aに組み込まれる。
As shown in FIG. 2B, a corner portion 313a is formed on the side of the trunk portion 311 of the conduit 312a and is curved toward the paste storage portion 30 side. Therefore, the stirring mechanism 33 in the pipe 312a of the arm 312 can move only to the position of the corner 313a, and does not move from the pipe 312a of the arm 312 to the other.
Thus, the stirring mechanism 33 is incorporated into the pipe line 312a of the arm portion 312 with an extremely easy work.

また、本実施例のペースト塗布装置1(図1参照)は、ペースト貯留部30(図2の(a)参照)に備わる空気加圧部32(図2の(a)参照)がペースト貯留部30を加圧してガラスペーストGp(図3参照)を押し出し、アーム部312のノズル31a(図2の(b)参照)から吐出する構成である。
空気加圧部32がペースト貯留部30を加圧するとアーム部312の管路312a(図2の(b)参照)は、コーナ部313aの側から加圧され、攪拌機構33(図2の(b)参照)は封止部材31c(図2の(b)参照)の側に押し付けられる。このように、攪拌機構33は封止部材31cに押し付けられることによって回転が抑制されるため、管路312aをガラスペーストGpが流通するときの攪拌機構33の回転が抑制されて、攪拌機構33は効果的にガラスペーストGpを攪拌できる。
Further, in the paste coating apparatus 1 (see FIG. 1) of the present embodiment, the air pressurization unit 32 (see FIG. 2 (a)) provided in the paste storage unit 30 (see FIG. 2 (a)) is a paste storage unit. 30 is pressed to extrude the glass paste Gp (see FIG. 3) and eject it from the nozzle 31a (see FIG. 2B) of the arm 312.
When the air pressurization unit 32 pressurizes the paste storage unit 30, the pipe 312a (see FIG. 2B) of the arm unit 312 is pressurized from the corner unit 313a side, and the stirring mechanism 33 (( b) is pressed against the sealing member 31c (see FIG. 2B). Thus, since the rotation of the stirring mechanism 33 is suppressed by being pressed against the sealing member 31c, the rotation of the stirring mechanism 33 when the glass paste Gp flows through the conduit 312a is suppressed, and the stirring mechanism 33 is The glass paste Gp can be effectively stirred.

以上のように、本実施例のペースト塗布装置1(図1参照)は、素子側基板10(図1参照)に塗布するガラスペーストGp(図3参照)が流通する管路312a(図2の(b)参照)にスタティックミキサなどの攪拌機構33(図2の(b)参照)が組み込まれている。そして、ガラスペーストGpを攪拌しながらノズル31a(図2の(b)参照)まで流通させ、ノズル31aから吐出させて素子側基板10に塗布できる。したがって、ガラスペーストGpに含まれるガラスフリットなどの固形粒子が拡散した状態を維持することができ、ガラスフリットなどの固形粒子でノズル31aなどの細管部が詰まることを抑制できる。
さらに、攪拌機構33をスタティックミキサとすることによって、攪拌機構33を駆動する圧縮空気以外の動力源も不要であり、非常に簡素な構造でガラスペーストGpを攪拌できる。
また、作業者等が攪拌機構33をアーム部312の管路312a(図2の(b)参照)に組み込む作業も非常に容易であり、ペースト塗布装置1を管理する作業者等が容易に攪拌機構33を組み込むことができる。
As described above, the paste applying apparatus 1 (see FIG. 1) of the present embodiment has the conduit 312a (see FIG. 2) through which the glass paste Gp (see FIG. 3) applied to the element side substrate 10 (see FIG. 1) flows. A stirring mechanism 33 (see FIG. 2B) such as a static mixer is incorporated in (see (b)). And it can distribute | circulate to the nozzle 31a (refer (b) of FIG. 2), stirring glass paste Gp, can be discharged from the nozzle 31a, and can be apply | coated to the element side board | substrate 10. FIG. Accordingly, it is possible to maintain a state where solid particles such as glass frit contained in the glass paste Gp are diffused, and it is possible to suppress clogging of the thin tube portion such as the nozzle 31a with solid particles such as glass frit.
Furthermore, when the stirring mechanism 33 is a static mixer, a power source other than the compressed air that drives the stirring mechanism 33 is unnecessary, and the glass paste Gp can be stirred with a very simple structure.
Also, it is very easy for an operator or the like to incorporate the agitation mechanism 33 into the pipe 312a (see FIG. 2B) of the arm portion 312, and the operator or the like who manages the paste coating apparatus 1 can easily agitate. A mechanism 33 can be incorporated.

また、本実施例の攪拌機構33(図2の(b)参照、スタティックミキサなど)は、ペースト塗布装置1のステージ1a(図1参照)と平行に延びるアーム部312の管路312a(図2の(b)参照)に組み込まれる。
そして、ステージ1aが略水平になるようにペースト塗布装置1が設置される場合、アーム部312は略水平方向に延び、管路312a内を流通するガラスペーストGp(図3参照)は略水平方向に流通する。
したがって、アーム部312の管路312aに組み込まれた攪拌機構33で管路312aの内壁312a1(図3参照)の周方向に沿って旋回するガラスペーストGpは上下方向に攪拌されることになる。このことによって、密度の違いによる沈殿等でガラスフリットが塊状になりやすいガラスペーストGpを好適に攪拌することができ、ガラスフリットが拡散した状態を好適に維持できる。
Further, the stirring mechanism 33 (see FIG. 2B, a static mixer, etc.) of the present embodiment is provided with a pipe line 312a (see FIG. 2) of the arm portion 312 extending in parallel with the stage 1a (see FIG. 1) of the paste coating apparatus 1. (See (b)).
When the paste applying apparatus 1 is installed so that the stage 1a is substantially horizontal, the arm portion 312 extends in a substantially horizontal direction, and the glass paste Gp (see FIG. 3) flowing through the pipe 312a is in a substantially horizontal direction. Circulate in
Therefore, the glass paste Gp swirling along the circumferential direction of the inner wall 312a1 (see FIG. 3) of the pipe 312a is stirred up and down by the stirring mechanism 33 incorporated in the pipe 312a of the arm 312. This makes it possible to suitably stir the glass paste Gp in which the glass frit tends to agglomerate due to precipitation or the like due to the difference in density, and it is possible to favorably maintain the state in which the glass frit has diffused.

なお、本発明は前記した実施例や変形例に限定されるものではない。例えば、前記した実施例は本発明をわかりやすく説明するために詳細に説明したものであり、必ずしも説明した全ての構成を備えるものに限定されるものではない。
また、ある実施例の構成の一部を他の実施例の構成に置き換えることも可能であり、また、ある実施例の構成に他の実施例の構成を加えることも可能である。
In addition, this invention is not limited to an above described Example and modification. For example, the above-described embodiments have been described in detail for easy understanding of the present invention, and are not necessarily limited to those having all the configurations described.
Further, a part of the configuration of a certain embodiment can be replaced with the configuration of another embodiment, and the configuration of another embodiment can be added to the configuration of a certain embodiment.

例えば、攪拌機構33(図2の(b)参照)はスタティックミキサに限定されない。例えば、細長い平板が1方向に捩れて形成される部材であってもよい。この場合、アーム部312の管路312a(図2の(b)参照)を流通するガラスペーストGp(図3参照)は1方向に旋回しながら流通する。上流から見て左右両方に旋回する場合に比べて、ガラスペーストGpに含まれる固形粒子が拡散される効果は小さいが、固形粒子を拡散させる効果を得ることができる。また、スタティックミキサに比べて安価な部材を攪拌機構33とすることができる。   For example, the stirring mechanism 33 (see FIG. 2B) is not limited to a static mixer. For example, a member formed by twisting an elongated flat plate in one direction may be used. In this case, the glass paste Gp (see FIG. 3) flowing through the pipe 312a (see FIG. 2B) of the arm portion 312 flows while turning in one direction. The effect of diffusing solid particles contained in the glass paste Gp is small as compared to the case of turning both left and right when viewed from the upstream, but the effect of diffusing the solid particles can be obtained. In addition, a cheaper member than the static mixer can be used as the stirring mechanism 33.

または、アーム部312の管路312a(図2の(b)参照)を流通するガラスペーストGp(図3参照)を、内壁312a1(図2の(b)参照)の周方向に沿って旋回させる機能を有する複数の翼状部材が管路312aに挿入された構成の攪拌機構33(図2の(b)参照)であってもよい。   Or glass paste Gp (refer FIG. 3) which distribute | circulates the pipe line 312a (refer FIG.2 (b)) of the arm part 312 is swung along the circumferential direction of inner wall 312a1 (refer FIG.2 (b)). The stirring mechanism 33 (refer FIG. 2B) of the structure by which the several wing-like member which has a function was inserted in the pipe line 312a may be sufficient.

1 ペースト塗布装置
1a ステージ(基板が載置される平面)
2 テーブル
3 シリンジヘッド
10 素子側基板(基板)
30 ペースト貯留部(貯留部)
31a ノズル
31c 封止部材
33 攪拌機構(スタティックミキサ)
312 アーム部
312a 管路
312a1 内壁
312c 開放端
Gp ガラスペースト(液体材料)
1 Paste coating device 1a Stage (plane on which a substrate is placed)
2 Table 3 Syringe head 10 Element side substrate (substrate)
30 Paste storage part (storage part)
31a Nozzle 31c Sealing member 33 Stirring mechanism (static mixer)
312 Arm part 312a Pipe line 312a1 Inner wall 312c Open end Gp Glass paste (liquid material)

Claims (5)

基板に塗布されるペースト状の液体材料を貯留する貯留部と、
前記液体材料を前記基板に向けて吐出するノズルと、
前記貯留部から前記ノズルまで前記液体材料が流通する管路と、
前記管路に組み込まれて当該管路を流通する前記液体材料を攪拌する攪拌機構と、を有し、
前記攪拌機構は、前記管路に遊動可能に組み込まれていることを特徴とするペースト塗布装置。
A reservoir for storing a paste-like liquid material applied to the substrate;
A nozzle that discharges the liquid material toward the substrate;
A conduit through which the liquid material flows from the reservoir to the nozzle;
An agitation mechanism that agitates the liquid material that is incorporated into the conduit and flows through the conduit;
The paste applying apparatus, wherein the stirring mechanism is incorporated in the duct so as to be freely movable.
前記攪拌機構は前記管路の開放端から当該管路に挿入された状態で備わり、
前記開放端は、着脱可能な封止部材で閉塞されていることを特徴とする請求項1に記載のペースト塗布装置。
The stirring mechanism is provided in a state of being inserted into the pipeline from the open end of the pipeline,
The paste applying apparatus according to claim 1, wherein the open end is closed with a detachable sealing member.
前記管路は、前記基板が載置される平面と略平行に前記液体材料を流通させるように構成され、
前記攪拌機構は、前記管路の内壁の周方向に沿って前記液体材料を旋回させる機能を有することを特徴とする請求項1または請求項2に記載のペースト塗布装置。
The conduit is configured to circulate the liquid material substantially parallel to a plane on which the substrate is placed,
The paste applying apparatus according to claim 1, wherein the stirring mechanism has a function of rotating the liquid material along a circumferential direction of an inner wall of the pipe line.
前記攪拌機構がスタティックミキサであることを特徴とする請求項1または請求項2に記載のペースト塗布装置。   The paste applying apparatus according to claim 1, wherein the stirring mechanism is a static mixer. 前記攪拌機構がスタティックミキサであることを特徴とする請求項3に記載のペースト塗布装置。   The paste applying apparatus according to claim 3, wherein the stirring mechanism is a static mixer.
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