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JP2014087972A - Manufacturing method for liquid discharge head - Google Patents

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JP2014087972A
JP2014087972A JP2012238940A JP2012238940A JP2014087972A JP 2014087972 A JP2014087972 A JP 2014087972A JP 2012238940 A JP2012238940 A JP 2012238940A JP 2012238940 A JP2012238940 A JP 2012238940A JP 2014087972 A JP2014087972 A JP 2014087972A
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resin composition
light irradiation
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photocurable resin
manufacturing
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Application number
JP2012238940A
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Motoaki Sato
元昭 佐藤
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Canon Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method for a liquid discharge head that can accurately regulate the height of a sealant coating an electrical connection between an element substrate and an electrical connection substrate.SOLUTION: The manufacturing method for a liquid discharge head comprising: an element substrate comprising a connection terminal electrically connected to an energy generating element; an electric wiring substrate comprising a lead wiring electrically connected to the connection terminal; and a sealing portion for protecting an electrical connection between the element substrate and the electric wiring substrate, performs the steps of: arranging a light-curing resin composition on the electric connection; curing the surface portion of the light-curing resin composition by first light irradiation; pressing a height control member to the light-curing resin composition to adjust the height of the light-curing resin composition; curing the light-curing resin composition by second light irradiation to form a sealing portion.

Description

本発明は、液体吐出ヘッドの製造方法に関し、好ましくはインクジェット記録ヘッドの製造方法に関する。   The present invention relates to a method for manufacturing a liquid discharge head, and preferably to a method for manufacturing an ink jet recording head.

インクジェット記録ヘッド等の液体吐出ヘッドは、インクに代表される液体を吐出するための吐出口群と、各吐出口に対応して設けられるエネルギー発生素子とが設けられた素子基板を備える構成が知られている。また、液体吐出ヘッドには、エネルギー発生素子の駆動に用いられる電気信号や電力をインクジェット記録装置本体から受け取るためのコンタクト部が設けられている。このコンタクト部と素子基板との接続は、可撓性を有する電気配線部材が一般的に用いられる。   A liquid discharge head such as an ink jet recording head is known to include an element substrate provided with a discharge port group for discharging a liquid typified by ink and an energy generating element provided corresponding to each discharge port. It has been. In addition, the liquid discharge head is provided with a contact portion for receiving an electric signal and electric power used for driving the energy generating element from the main body of the ink jet recording apparatus. For the connection between the contact portion and the element substrate, an electric wiring member having flexibility is generally used.

インクジェット記録ヘッドにおいて、素子基板と電気配線基板との電気接続部分は、インク吐出口付近のインク滴を除去する時のブレード拭きや被記録媒体との衝突等から保護するために封止剤で覆われている。   In the ink jet recording head, the electrical connection portion between the element substrate and the electric wiring substrate is covered with a sealant to protect it from blade wiping when the ink droplets near the ink discharge port are removed and collision with the recording medium. It has been broken.

より具体的には、液体吐出ヘッドの筐体の一部である支持部材と素子基板との接合は、支持部材に接着剤を塗布した後、素子基板を位置合わせすることにより行われる。電気配線基板と素子基板とは、電気配線基板から露出したインナーリードが素子基板に設けられた接続端子と接合することにより電気的に接続される。そして、この電気接合部分は封止剤によって覆われ保護される。   More specifically, the support member, which is a part of the casing of the liquid discharge head, and the element substrate are joined by applying an adhesive to the support member and then aligning the element substrate. The electrical wiring substrate and the element substrate are electrically connected by joining inner leads exposed from the electrical wiring substrate to connection terminals provided on the element substrate. And this electrical junction part is covered and protected by the sealing agent.

封止剤の上部はヘッド面において最も高い凸部となるため、被記録媒体とヘッドとの紙間距離を規制する要因となる。そのため、封止剤高さの規格の公差バラツキが大きくなると、紙間距離を必要距離以上に離すこととなり、その結果、着弾精度が低下して印字品位が低下する。一方、封止剤の硬化後の高さ精度が向上すると、紙間距離を適切な距離に設定できるようになり、インクジェット記録ヘッドの印字品位を改善することができる。その結果、吐出周波数を高めてより微細な液滴を飛ばして高精細な画像を形成するという技術課題に対応することができる。   Since the upper portion of the sealant is the highest convex portion on the head surface, it becomes a factor that regulates the distance between the recording medium and the head. For this reason, when the tolerance variation in the standard of the sealant height increases, the distance between the papers is increased beyond the necessary distance. As a result, the landing accuracy is lowered and the print quality is lowered. On the other hand, when the height accuracy after curing of the sealant is improved, the inter-paper distance can be set to an appropriate distance, and the print quality of the ink jet recording head can be improved. As a result, it is possible to cope with the technical problem of forming a high-definition image by increasing the discharge frequency and flying finer droplets.

封止剤高さを制御する方法としては、ノズルプレート又は電気接続基板に凹凸をつけて封止剤の流れを止める方法が特許文献1に開示されている。   As a method for controlling the height of the sealant, Patent Document 1 discloses a method of stopping the flow of the sealant by providing irregularities on the nozzle plate or the electrical connection substrate.

特開平8−048042号公報JP-A-8-048042

しかしながら、従来技術では材料の粘度のバラツキや温湿度の影響、部品寸法の組み付け精度等により高さの公差が大きくなり、紙間距離を短くすることが不十分となる場合があった。   However, in the prior art, the height tolerance increases due to the variation in the viscosity of the material, the influence of temperature and humidity, the assembly accuracy of the component dimensions, and the like, and it may be insufficient to shorten the distance between the sheets.

また、封止剤を配置する領域には所定の凹凸があるため、封止剤を流動させて配置するのに時間がかかり、製造タクトを上げることができない場合があった。   In addition, since there are predetermined irregularities in the region where the sealant is disposed, it takes time to dispose the sealant in a flow, and there are cases where the manufacturing tact cannot be increased.

そこで、本発明は、素子基板と電気接続基板の電気接続部分を被覆する封止剤の高さを精度よく規定することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することを目的とする。   In view of the above, an object of the present invention is to provide a method for manufacturing a liquid discharge head that can accurately define the height of a sealing agent that covers an electrical connection portion between an element substrate and an electrical connection substrate.

本発明は、
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と該エネルギー発生素子と電気的に接続される接続端子とを備える素子基板と、前記接続端子と電気的に接続されるリード配線を備える電気配線基板と、前記素子基板と前記電気配線基板との電気接続部分を保護する封止部と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記電気接続部分に光硬化型樹脂組成物を配置する工程と、
第一の光照射によって前記光硬化型樹脂組成物の表面部分を硬化させる工程と、
高さ制御部材を前記光硬化型樹脂組成物に押圧し、該光硬化型樹脂組成物の高さを調整する工程と、
前記光硬化型樹脂組成物を第二の光照射によって硬化させ、前記封止部を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法である。
The present invention
An element substrate including an energy generating element that generates energy used for discharging a liquid and a connection terminal electrically connected to the energy generating element, and a lead wiring electrically connected to the connection terminal A liquid discharge head manufacturing method comprising: an electrical wiring board comprising: a sealing portion that protects an electrical connection portion between the element substrate and the electrical wiring board;
Disposing a photocurable resin composition on the electrical connection part;
Curing the surface portion of the photocurable resin composition by first light irradiation;
A step of pressing a height control member against the photocurable resin composition to adjust the height of the photocurable resin composition;
Curing the photocurable resin composition by second light irradiation to form the sealing portion;
A method for manufacturing a liquid discharge head, comprising:

本発明により、素子基板と電気接続基板の電気接続部分を被覆する封止剤の高さを精度よく規定することができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供することができる。   According to the present invention, it is possible to provide a method of manufacturing a liquid discharge head that can accurately define the height of the sealing agent that covers the electrical connection portion between the element substrate and the electrical connection substrate.

また、好ましくは、本発明は、電気接続部分に光硬化型樹脂組成物を用いて高精度な高さで封止部を形成することにより、高さの公差バラツキが小さくなり、紙間距離を小さくすることができる。また、高さがより良く制御されたことで、液体吐出ヘッドの品質が向上し、また、光硬化反応を利用することでタクトも短くなる。これにより印字品位に優れ、高性能で低価格な液体吐出ヘッドを提供できる。   Preferably, in the present invention, by using the photocurable resin composition in the electrical connection portion to form the sealing portion with a high accuracy height, variation in height tolerance is reduced, and the inter-paper distance is reduced. Can be small. In addition, the quality of the liquid discharge head is improved by controlling the height better, and the tact time is shortened by using the photocuring reaction. As a result, it is possible to provide a liquid discharge head that has excellent print quality, high performance, and low price.

本実施形態により製造されるインクジェット記録ヘッドの構成例を説明する模式的斜視図である。It is a typical perspective view explaining the structural example of the inkjet recording head manufactured by this embodiment. 図1のA部の模式平面図である。It is a model top view of the A section of FIG. 図2のA−A線における断面図であって、実施例1の製造方法を説明するための概念図である。FIG. 3 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 2, and is a conceptual diagram for explaining the manufacturing method of Example 1. 高さ制御部材兼光源装置を用いて光硬化型樹脂組成物を押圧及び光照射する、実施例2の製造方法を説明するための概念図である。It is a conceptual diagram for demonstrating the manufacturing method of Example 2 which presses and light-irradiates a photocurable resin composition using a height control member and light source device. 未硬化部分を除去する、実施例3の製造方法を説明するための概念図である。It is a conceptual diagram for demonstrating the manufacturing method of Example 3 which removes an unhardened part. 実施例4の製造方法の製造フローを示す模式図である。6 is a schematic diagram showing a manufacturing flow of a manufacturing method of Example 4. FIG. 液体吐出ヘッドの構成例を示す模式的斜視図である。It is a typical perspective view which shows the structural example of a liquid discharge head. 素子基板の構成例を示す模式的平面図である。It is a typical top view which shows the structural example of an element substrate. 素子基板と電気配線基板との電気接続部分を説明するための拡大模式図である。It is an enlarged schematic diagram for demonstrating the electrical connection part of an element substrate and an electrical wiring board.

以下、本実施形態の構成要件について説明する。   Hereinafter, the configuration requirements of this embodiment will be described.

図7及び図8は、本発明の実施形態により製造される液体吐出ヘッドの構成例を示す図である。図7(a)は、液体吐出ヘッド100の斜視図を示し、図7(b)は、図7(a)の液体吐出ヘッド100の各部を分解して示す分解斜視図である。図8(a)は、液体吐出ヘッド100を構成する素子基板101の吐出口104が形成された表面側を示す平面図であり、図8(b)は、素子基板101のインク供給口105が形成された裏面側を示す底面図である。   7 and 8 are diagrams illustrating a configuration example of the liquid discharge head manufactured according to the embodiment of the present invention. FIG. 7A shows a perspective view of the liquid discharge head 100, and FIG. 7B is an exploded perspective view showing each part of the liquid discharge head 100 in FIG. 7A in an exploded manner. FIG. 8A is a plan view showing the surface side on which the discharge port 104 of the element substrate 101 constituting the liquid discharge head 100 is formed, and FIG. 8B shows the ink supply port 105 of the element substrate 101. It is a bottom view which shows the formed back surface side.

液体吐出ヘッド100は、図7(a)に示されるように、素子基板101、電気配線基板102と、インク収容部103とを含んでいる。インク収容部103の内部には、注入されたインクが保持されている。そして、インク収容部103と連通したインク供給流路106を介して素子基板101にインクが導かれ、素子基板101に設けられた吐出口104からインクが吐出される。なお、本実施形態では、液体吐出ヘッド100とインク収容部103とが一体型の形態で説明するが、液体吐出ヘッド100に対してインク収容部103が着脱可能な方式であっても本発明は適用可能である。   As shown in FIG. 7A, the liquid ejection head 100 includes an element substrate 101, an electric wiring substrate 102, and an ink storage unit 103. The injected ink is held inside the ink containing portion 103. Then, the ink is guided to the element substrate 101 through the ink supply channel 106 communicated with the ink containing portion 103, and the ink is ejected from the ejection port 104 provided in the element substrate 101. In the present embodiment, the liquid discharge head 100 and the ink storage unit 103 are described as an integrated type. Applicable.

図9に示すように、素子基板101を構成する基板117には、長溝状の貫通口からなるインク供給口105が形成されており、インク供給流路106と連通している。インク供給口105の両側には、インクを吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子として、電気熱変換素子(不図示)が設けられている。また、基板117には電気熱変換素子に電力や電気信号を供給するための配線が形成されている。さらに、素子基板101の基板117の一端部と反対の他端部には、電気配線基板102から電気信号や電力を受け取るための接続端子107が複数配列されている。また基板117に積層されるノズルプレート116には、複数の電気熱変換素子に対応した吐出口104が形成されている。吐出口104とインク供給口105とを連通する流路(不図示)が、ノズルプレート116と基板117との間に形成されている。   As shown in FIG. 9, the substrate 117 constituting the element substrate 101 has an ink supply port 105 formed of a long groove-like through-hole, and communicates with the ink supply channel 106. Electrothermal conversion elements (not shown) are provided on both sides of the ink supply port 105 as energy generating elements that generate energy used to eject ink. In addition, wiring for supplying electric power and electric signals to the electrothermal transducer is formed on the substrate 117. Further, a plurality of connection terminals 107 for receiving electric signals and electric power from the electric wiring board 102 are arranged on the other end portion of the element substrate 101 opposite to the one end portion of the substrate 117. The nozzle plate 116 stacked on the substrate 117 is formed with discharge ports 104 corresponding to a plurality of electrothermal conversion elements. A flow path (not shown) that connects the ejection port 104 and the ink supply port 105 is formed between the nozzle plate 116 and the substrate 117.

電気配線基板102はインクを吐出するための電気信号や電力を記録装置本体から素子基板101へ伝達するための配線部材であり、可撓性を有している。電気配線基板102は、コンタクト部108、樹脂のフィルムに挟まれた電気配線(不図示)、樹脂フィルムの端面から露出するリード配線であるインナーリード109が形成されている。このような可撓性を有する電気配線基板102の一例として、TAB(Tape Automated Bonding)方式のテープが挙げられる。コンタクト部108は、複数のコンタクトパッドで構成されており、液体吐出ヘッド100が記録装置本体に装着される際に、記録装置本体側のコネクタピン(不図示)と接触して電気的接続がなされる。電気配線基板に形成される電気配線は、コンタクト部108とインナーリード109を接続している。インナーリード109は、素子基板101の縁に設けられた接続端子107とボンディングにより電気的に接続される。なお、このインナーリード109と素子基板101の接続端子107とが接続された後、インク等の液体からこれらの接続端子を含む電気接続部分を被覆して保護するために樹脂材である封止剤を用いて封止部110が形成される。   The electric wiring substrate 102 is a wiring member for transmitting an electric signal and electric power for discharging ink from the recording apparatus main body to the element substrate 101, and has flexibility. The electrical wiring substrate 102 is formed with contact portions 108, electrical wiring (not shown) sandwiched between resin films, and inner leads 109 that are lead wirings exposed from the end surfaces of the resin film. As an example of such an electric wiring board 102 having flexibility, a TAB (Tape Automated Bonding) type tape can be cited. The contact portion 108 is composed of a plurality of contact pads. When the liquid ejection head 100 is mounted on the recording apparatus main body, the contact section 108 comes into contact with a connector pin (not shown) on the recording apparatus main body side to be electrically connected. The The electrical wiring formed on the electrical wiring board connects the contact portion 108 and the inner lead 109. The inner lead 109 is electrically connected to the connection terminal 107 provided on the edge of the element substrate 101 by bonding. In addition, after the inner lead 109 and the connection terminal 107 of the element substrate 101 are connected, an encapsulant that is a resin material is used to cover and protect an electrical connection portion including these connection terminals from a liquid such as ink. The sealing part 110 is formed using.

液体吐出ヘッド100の筐体の一部である支持部材111と素子基板101との接合は、支持部材111に接着剤を塗布した後、素子基板101を位置合わせすることにより行われる。また、支持部材111には、素子基板を接着する際の接着剤とは別の接着剤にて電気配線部材102が接着固定される。   The support member 111, which is a part of the casing of the liquid discharge head 100, and the element substrate 101 are joined by applying an adhesive to the support member 111 and then aligning the element substrate 101. In addition, the electric wiring member 102 is bonded and fixed to the support member 111 with an adhesive different from the adhesive used when the element substrate is bonded.

支持部材111は、樹脂成形により形成されることができる。この支持部材111は、素子基板101を配置する部分が、その周囲の電気配線基板102を接着、固定する部分よりも凹んでいる形状に形成することができる。これは、電気配線基板102のインナーリード109と素子基板101の接続端子107とをほぼ同じ高さにして、両者の電気接合部の信頼性を向上させるためである。   The support member 111 can be formed by resin molding. The support member 111 can be formed in a shape in which the portion where the element substrate 101 is disposed is recessed from the portion where the surrounding electric wiring substrate 102 is bonded and fixed. This is because the inner leads 109 of the electric wiring substrate 102 and the connection terminals 107 of the element substrate 101 are made substantially the same height to improve the reliability of the electric junction between them.

本実施形態の製造方法は、まず、図3(a)に示すように、電気接続部分に光硬化型樹脂組成物を配置した後、第一の光照射によって光硬化型樹脂組成物の表面部分を硬化させる。次に、図3(b)に示すように、高さ制御部材を光硬化型樹脂組成物に押圧し、光硬化型樹脂組成物の高さを調整する。そして、図3(c)に示すように、光硬化型樹脂組成物を第二の光照射によって硬化させ、封止部を形成する。   In the manufacturing method of the present embodiment, first, as shown in FIG. 3 (a), after the photocurable resin composition is arranged in the electrical connection portion, the surface portion of the photocurable resin composition is irradiated by the first light irradiation. Is cured. Next, as shown in FIG. 3B, the height control member is pressed against the photocurable resin composition to adjust the height of the photocurable resin composition. And as shown in FIG.3 (c), a photocurable resin composition is hardened by 2nd light irradiation, and a sealing part is formed.

以下、本実施形態の各構成要素等について説明する。   Hereinafter, each component of this embodiment will be described.

本実施形態で用いる照射装置の光源は、封止剤としての光硬化型樹脂組成物の活性種を励起させて硬化反応を促進するものであれば、特に限定されずに用いることができる。光硬化型樹脂組成物としては、例えば、ラジカル重合系のアクリル系樹脂組成物やイオン重合系のエポキシ系樹脂組成物が挙げられ、これらの樹脂組成物は紫外線照射装置を使用して硬化することができる。光源としては、例えば、低圧水銀ランプ(185〜254nm)、高圧水銀UVランプ(365nm)、メタルハライドUVランプ(200〜400nm)、エキシマランプ、超高圧UVランプ等が挙げられる。光源は、光硬化型樹脂組成物の反応開始波長を考慮して適宜選択することができる。また、発光部の発熱量が少ないUV−LED光源を用いてもよい。   The light source of the irradiation apparatus used in the present embodiment is not particularly limited as long as it excites the active species of the photocurable resin composition as a sealant to promote the curing reaction. Examples of the photocurable resin composition include a radical polymerization type acrylic resin composition and an ion polymerization type epoxy resin composition, and these resin compositions are cured using an ultraviolet irradiation device. Can do. Examples of the light source include a low-pressure mercury lamp (185 to 254 nm), a high-pressure mercury UV lamp (365 nm), a metal halide UV lamp (200 to 400 nm), an excimer lamp, and an ultrahigh-pressure UV lamp. The light source can be appropriately selected in consideration of the reaction initiation wavelength of the photocurable resin composition. Moreover, you may use the UV-LED light source with little calorific value of a light emission part.

本実施形態で用いる封止剤は、光硬化型樹脂組成物からなる。光硬化型樹脂組成物としては、短時間での接着という観点から、イオン重合反応機構により硬化する樹脂組成物を用いることが好ましい。イオン重合反応機構により硬化する封止剤としては、例えば、UVカチオンエポキシ接着剤を好ましく用いることができ、UVカチオンエポキシ接着剤の中でも、遅延硬化型UVカチオンエポキシ接着剤をより好ましく用いることができる。   The sealant used in the present embodiment is made of a photocurable resin composition. As the photocurable resin composition, it is preferable to use a resin composition that is cured by an ion polymerization reaction mechanism from the viewpoint of adhesion in a short time. As a sealant that cures by an ion polymerization reaction mechanism, for example, a UV cationic epoxy adhesive can be preferably used, and among UV cationic epoxy adhesives, a delayed curing type UV cationic epoxy adhesive can be more preferably used. .

素子基板(チップ)と電気配線基板(例えばTAB)との接続は、例えば、以下のようにして行われる。まず、素子基板に設けられた電極パッド上に、成膜、フォトリソ及びメッキ工程などによって金メッキバンプを設ける。その後、金メッキバンプとTABのインナーリードとを熱と荷重によって接合する。   The connection between the element substrate (chip) and the electric wiring substrate (for example, TAB) is performed as follows, for example. First, gold plating bumps are provided on electrode pads provided on the element substrate by film formation, photolithography, plating processes, and the like. Thereafter, the gold-plated bump and the TAB inner lead are joined together by heat and load.

素子基板と電気配線テープとの接続の際、素子基板と電気配線テープのインナーリードのエッジタッチを防ぐためにリードフォーミングを行うことができる。リードフォーミングは、ギャングボンダーで素子基板と電気配線テープの高さに差を設けてILB(Inner Lead Bonding)を行い、インナーリードを変形させることによって行う。通常、素子基板の吐出面とTABのポリイミド面が同一方向となるようにILBを行う。そして、素子基板は支持部材となるタンクケースのインク供給口からのリークが発生しないように接着される。   When the element substrate and the electric wiring tape are connected, lead forming can be performed to prevent edge touch between the inner leads of the element substrate and the electric wiring tape. The lead forming is performed by changing the height of the element substrate and the electric wiring tape with a gang bonder to perform inner lead bonding (ILB) and deforming the inner lead. Usually, ILB is performed so that the discharge surface of the element substrate and the polyimide surface of TAB are in the same direction. The element substrate is bonded so that leakage from the ink supply port of the tank case serving as the support member does not occur.

さらに、電気配線テープは、吐出面に付着したインクの流出などによって電気配線テープの銅箔面上でショートや腐食が起こらないように、銅箔面を保護するカバーフィルム面側を素子基板と同様にタンクケースに接合する。   In addition, the electrical wiring tape is the same as the element substrate on the cover film surface side that protects the copper foil surface so that short circuit and corrosion do not occur on the copper foil surface of the electrical wiring tape due to the outflow of ink attached to the discharge surface, etc. To the tank case.

その後、素子基板と電気配線テープの隙間を封止剤で封止する。本実施形態では、素子基板周囲と電気配線テープとの隙間に加え、電極部の上部も被覆することができる。また、例えば、圧力式のディスペンサーを用いて、光硬化型樹脂組成物を電気接続部分に吐出して配置することができる。   Thereafter, the gap between the element substrate and the electric wiring tape is sealed with a sealant. In the present embodiment, in addition to the gap between the element substrate periphery and the electric wiring tape, the upper portion of the electrode portion can be covered. Further, for example, using a pressure dispenser, the photocurable resin composition can be discharged and disposed on the electrical connection portion.

本実施形態では、電気接続部分に光硬化型樹脂組成物を配置した後、光硬化型樹脂組成物に低エネルギーの光照射(第一の光照射)を行い、表面部分を硬化させる。これにより、光硬化型樹脂組成物の表面部分を粘性が低い又は粘性がない状態にすることができ、高さ制御部材を光硬化型樹脂組成物に押圧しても樹脂組成物が高さ制御部材に付着し難くなる。結果として、連続した製造工程を設計することが可能となる。   In this embodiment, after arrange | positioning a photocurable resin composition in an electrical connection part, low energy light irradiation (1st light irradiation) is performed to a photocurable resin composition, and a surface part is hardened. As a result, the surface portion of the photocurable resin composition can be in a state of low or no viscosity, and the height of the resin composition can be controlled even when the height control member is pressed against the photocurable resin composition. It becomes difficult to adhere to the member. As a result, it is possible to design a continuous manufacturing process.

本実施形態において、樹脂組成物の表面部分を硬化させる第一の光照射は、塗布した厚み全体が硬化する光照射量の10〜20%を与えることで行うことができる。   In this embodiment, the 1st light irradiation which hardens the surface part of a resin composition can be performed by giving 10 to 20% of the light irradiation amount which the whole apply | coated thickness hardens | cures.

樹脂組成物の表面部分は、例えば、樹脂組成物の表面から0.1〜10μmの範囲であり、0.5〜5μmの範囲であることが好ましい。   The surface portion of the resin composition is, for example, in the range of 0.1 to 10 μm and preferably in the range of 0.5 to 5 μm from the surface of the resin composition.

樹脂組成物の塗布部分には電気配線(リード)が存在するため、高さ制御部材を押圧する際の電気配線への圧力や硬化時の硬化収縮を考慮して、樹脂組成物の塗布量を設定することが望ましい。また、電気配線の線膨張係数や材料の動的粘弾性挙動を考慮して、硬化状態を決定することが望ましい。   Since there is an electrical wiring (lead) in the application part of the resin composition, the application amount of the resin composition is determined in consideration of the pressure on the electrical wiring when pressing the height control member and the curing shrinkage at the time of curing. It is desirable to set. Further, it is desirable to determine the curing state in consideration of the linear expansion coefficient of the electrical wiring and the dynamic viscoelastic behavior of the material.

高さ制御部材を第一の光照射後の樹脂組成物に押当てて樹脂組成物の高さを調整した後、第二の光照射によって樹脂組成物をさらに硬化させることにより、封止部を形成する。   After adjusting the height of the resin composition by pressing the height control member against the resin composition after the first light irradiation, the resin composition is further cured by the second light irradiation to thereby seal the sealing portion. Form.

第二の光照射は、塗布した厚み全体が硬化する光照射量の80〜90%を与えることで行うことができる。   The second light irradiation can be performed by giving 80 to 90% of the light irradiation amount that the entire applied thickness is cured.

封止部の高さは、例えば、電気配線基板の表面から80〜500μmの範囲であり、100〜300μmの範囲であることが好ましい。   The height of the sealing portion is, for example, in the range of 80 to 500 μm from the surface of the electric wiring board, and preferably in the range of 100 to 300 μm.

封止部の形状は、回復時のワイパーブレード拭きに対応するため、角部にアールがついて裾広がりな形状であることが好ましい。また、紙等の記録媒体との距離を狭くするため、封止部の上部は平坦であることが好ましい。   The shape of the sealing portion is preferably a shape with rounded corners and widened hems in order to cope with wiper blade wiping during recovery. In order to reduce the distance from a recording medium such as paper, the upper portion of the sealing portion is preferably flat.

光硬化型樹脂組成物の塗布には、例えば、液状の組成物を塗布することができるディスペンサーを用いることができる。   For application of the photocurable resin composition, for example, a dispenser capable of applying a liquid composition can be used.

圧力式の液体供給部材は、支持部材及び記録素子基板にインク液を供給するタンク部材であり、その材料としては、インク液と接触して膨潤、溶解、有機、無機物質の溶出がない材質であれば有機、無機材のいずれでも用いることができる。原材料の価格や加工のし易さから熱可塑性樹脂を用いることが好ましく、ポリプロピレン、変性PPEといった汎用樹脂を主にタンク材料として用いることができる。また、機械的強度を高めるために、シリカやアルミナ、カーボン等を充填剤として用いてもよい。   The pressure-type liquid supply member is a tank member that supplies ink liquid to the support member and the recording element substrate, and the material thereof is a material that does not swell, dissolve, elute organic or inorganic substances in contact with the ink liquid. Any organic or inorganic material can be used. A thermoplastic resin is preferably used in view of the price of raw materials and ease of processing, and general-purpose resins such as polypropylene and modified PPE can be mainly used as a tank material. In order to increase the mechanical strength, silica, alumina, carbon, or the like may be used as a filler.

本実施形態で用いる高さ制御部材は、光硬化型樹脂組成物を任意の高さに調整するための部材であり、必要に合わせて部材の形状を決定することができる。高さ制御部材の材質は、特に制限されるものではなく、無機材料、有機材料問わず用いることができる。   The height control member used in the present embodiment is a member for adjusting the photocurable resin composition to an arbitrary height, and the shape of the member can be determined according to need. The material of the height control member is not particularly limited, and can be used regardless of whether it is an inorganic material or an organic material.

また、第一の光照射又は第二の光照射に対して透明な材質を用いて高さ制御部材を形成することが好ましい。このような高さ制御部材を用いれば、高さ制御部材を光硬化型樹脂組成物に押圧した状態で第二の光照射を行うことができる(図6参照)。また、光を照射する光源の延長上に透明な高さ制御部材を配置し、光照射装置と高さ制御部材とを一体に形成することもできる。この高さ制御部材兼光照射装置を用いて、該装置の上下移動とヘッドの搬送を同期させることで、封止剤硬化工程を完結することができるため、装置の構成が簡易となり、装置コストを下げることができるという利点がある。   Moreover, it is preferable to form the height control member using a material transparent to the first light irradiation or the second light irradiation. If such a height control member is used, the second light irradiation can be performed in a state where the height control member is pressed against the photocurable resin composition (see FIG. 6). In addition, a transparent height control member can be disposed on the extension of the light source that emits light, and the light irradiation device and the height control member can be integrally formed. By using this height control member and light irradiation device, the sealant curing process can be completed by synchronizing the vertical movement of the device and the conveyance of the head, so the configuration of the device is simplified and the device cost is reduced. There is an advantage that it can be lowered.

光硬化型樹脂組成物の未硬化物が、経時的にワークや治工具に付着堆積しないように、高さ制御部材の表面、つまり樹脂組成物と接する面を撥液処理することが好ましい。例えば、高さ制御部材に撥水若しくは撥油性の透明樹脂を塗布して撥液性層を設けることが好ましい。撥液性層を構成する樹脂としては、例えば、パーフルオロシリコン系樹脂やパーフルオロ系樹脂等を用いることができる。   The surface of the height control member, that is, the surface in contact with the resin composition is preferably subjected to a liquid repelling treatment so that the uncured product of the photocurable resin composition does not adhere to and accumulate on the workpiece or the jig over time. For example, it is preferable to provide a liquid repellent layer by applying a water or oil repellent transparent resin to the height control member. As the resin constituting the liquid repellent layer, for example, a perfluorosilicon resin or a perfluoro resin can be used.

また、高さ制御部材に照射光の波長に対して透明な部材を用いることで、高さ制御部材を樹脂組成物に押圧した状態で光照射を行うことができる。また、光量の調整や該高さ制御部材に屈折率分布を設けることで封止剤の硬化形状を制御することが可能である。たとえば、高さ制御部材を光拡散系の屈折率分布として高さ制御部材の中心部に比べて外側に行くほど屈折率が連続的に低くなるような分布をつける。裾野を引く部分に光が照射されて形状が維持される。硬化物が裾野を引く形状にするようにすることもできる。裾野を引く形状とすることで接着面積を大きくして接着力を高めるのに効果がある。   Moreover, light irradiation can be performed in the state which pressed the height control member against the resin composition by using a transparent member with respect to the wavelength of irradiation light for the height control member. Further, the cured shape of the sealant can be controlled by adjusting the amount of light and providing a refractive index distribution on the height control member. For example, the height control member is distributed as a refractive index distribution of the light diffusion system so that the refractive index continuously decreases toward the outside as compared to the center of the height control member. The shape is maintained by irradiating light to the part where the base is drawn. The cured product can be shaped to have a skirt. The shape having a skirt is effective in increasing the adhesion area by increasing the adhesion area.

連続生産時には、図6に示すように、高さ制御部材を透明シート状として、該シート状の高さ制御部材を表面部分が硬化した樹脂組成物に押圧した状態で第二の光照射を行ってもよい。   At the time of continuous production, as shown in FIG. 6, the height control member is formed into a transparent sheet, and the second light irradiation is performed in a state where the sheet-shaped height control member is pressed against the resin composition whose surface portion is cured. May be.

以下、図面を参照にして、本発明の実施形態について説明する。また、以下の説明では、本発明の適用例として、インクジェット記録ヘッドを例に挙げて説明を行う。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, an inkjet recording head will be described as an example of application of the present invention.

なお、従来の方法では、一般的に、硬化メカニズムとして、熱硬化、紫外線硬化、熱、紫外線併用、湿気硬化等が用いられる。しかし、ヘッドの部材にプラスチックが多く用いられることから、キュアの温度はあまり高く設定できない。例えば熱硬化型の封止剤を用いる場合、キュア時間が長くなり、記録素子基板及びインク供給部材についてもキュア時に熱膨張による変形が起こる場合がある。熱膨張により変形した記録素子基板やインク供給部材を常温に戻すと収縮し、封止剤を介して応力変形が生じる場合がある。   In the conventional method, generally, as a curing mechanism, thermosetting, ultraviolet curing, heat, ultraviolet combined use, moisture curing, or the like is used. However, since a lot of plastic is used for the head member, the curing temperature cannot be set too high. For example, when a thermosetting sealant is used, the curing time becomes long, and the recording element substrate and the ink supply member may be deformed due to thermal expansion during curing. When the recording element substrate or ink supply member deformed due to thermal expansion is returned to room temperature, the recording element substrate contracts and stress deformation may occur through the sealant.

そこで、本実施形態では、封止剤として、イオン重合反応機構により硬化する樹脂組成物であることが好ましい。イオン重合反応機構により硬化する樹脂組成物を用いることにより、短時間での接着が可能となり、封止剤の熱が伝わることによるインク供給部材、シリコン基板の熱膨張を低減することができる。このような観点から、遅延硬化型UVカチオンエポキシ接着剤が封止剤としてより好ましく用いられる。   Therefore, in the present embodiment, the sealant is preferably a resin composition that is cured by an ionic polymerization reaction mechanism. By using a resin composition that is cured by an ion polymerization reaction mechanism, adhesion in a short time is possible, and thermal expansion of the ink supply member and the silicon substrate due to transfer of heat of the sealant can be reduced. From such a viewpoint, a delayed curing type UV cationic epoxy adhesive is more preferably used as a sealant.

イオン重合反応機構により硬化する封止剤としては、イオン反応の種類からカチオン重合によるものとアニオン重合によるものに大別される。アニオン重合反応によって硬化する封止剤としては、被着材表面に付着する微量な水やアミン等で反応を開始する、シアノアクリレート系瞬間接着剤が挙げられる。カチオン重合反応によって硬化する封止剤としては、光酸発生剤が光エネルギーを受けて酸を発生させて、エポキシ、オキセタン、ビニルエーテル等を重合させた硬化材料が知られている。   Sealants that cure by an ionic polymerization reaction mechanism are roughly classified into those based on cationic polymerization and those based on anionic polymerization, depending on the type of ionic reaction. Examples of the sealant that is cured by an anionic polymerization reaction include a cyanoacrylate instantaneous adhesive that starts the reaction with a small amount of water, amine, or the like attached to the surface of the adherend. As a sealant that cures by a cationic polymerization reaction, a curable material is known in which a photoacid generator receives light energy to generate an acid to polymerize epoxy, oxetane, vinyl ether, or the like.

イオン重合反応について、光カチオン重合開始剤としてのモノスルホニウム塩とエポキシモノマーを例にして説明する。光酸発生剤は、カチオン部とアニオン部からなるイオン性のスルホニウム塩系のオニウム塩である。光酸発生剤は、紫外光の照射によって分解し、アニオン部が酸の発生源になる。次いで、溶媒または酸発生剤自体から水素を引き抜いて酸を発生する。酸はエポキシに配位し、次のエポキシの攻撃を受けてオキソニウムカチオンを生成し、前記オキソニウムカチオンとエポキシの逐次開環重合が進行する。   The ionic polymerization reaction will be described by taking a monosulfonium salt and an epoxy monomer as photocationic polymerization initiators as examples. The photoacid generator is an ionic sulfonium salt-based onium salt composed of a cation portion and an anion portion. The photoacid generator is decomposed by irradiation with ultraviolet light, and the anion portion becomes an acid generation source. Next, hydrogen is extracted from the solvent or the acid generator itself to generate an acid. The acid is coordinated to the epoxy and is subjected to the attack of the next epoxy to generate an oxonium cation, and sequential ring-opening polymerization of the oxonium cation and the epoxy proceeds.

ヘッドの種類によっては、素子基板及び電気配線基板の高さ関係から、デバイスホールの深さが高くなり、封止剤の硬化可能な厚みを超える場合も考えられる。この場合には素子基板及び電気配線基板の貼り付け前に、封止剤とは別に接着剤組成物を下層に配置させた後、素子基板、電気配線基板を実装することができる。続いて、光硬化型樹脂組成物を素子基板および電気配線基板の間に塗布した後、第一の光照射、押圧による高さ調整、第二の光照射を行うことにより、封止部を形成する。この際、接着剤組成物と光硬化型樹脂の材質は、硬化阻害やインクの接触による劣化の少ない材質であれば、異なるものを用いても、同じものを用いても構わない。   Depending on the type of the head, the depth of the device hole may be increased due to the height relationship between the element substrate and the electric wiring substrate, which may exceed the curable thickness of the sealant. In this case, before the element substrate and the electric wiring board are attached, the element composition and the electric wiring board can be mounted after the adhesive composition is disposed in the lower layer separately from the sealing agent. Subsequently, after the photocurable resin composition is applied between the element substrate and the electrical wiring substrate, a sealing portion is formed by performing first light irradiation, height adjustment by pressing, and second light irradiation. To do. In this case, different materials may be used for the adhesive composition and the photocurable resin, as long as the materials are less likely to be inhibited by curing inhibition or ink contact, and the same materials may be used.

塗布量、押圧時の高さ変移量、光照射範囲および材料の粘度を適切に設定すれば、未硬化部分はほとんど生じないが、高さ変移量が大きい場合に未硬化部分が生じる可能性がある。この場合、未硬化部分を除去することで後工程での品質問題を防ぐことができる。除去する方法としては、拭き材で拭きとる方法や、鋭利な部分を有する道具でこそぎ取る等の方法があり、いずれの方法でも容易に未硬化部を除去することが可能である。   If the coating amount, height shift amount during pressing, light irradiation range and material viscosity are set appropriately, there will be almost no uncured part, but there is a possibility that an uncured part will occur if the height shift amount is large. is there. In this case, the quality problem in a post process can be prevented by removing the uncured portion. As a method of removing, there are a method of wiping with a wiping material and a method of scraping with a tool having a sharp portion, and any method can easily remove the uncured portion.

(実施例1)
以下、実施例について説明する。
Example 1
Examples will be described below.

本実施例では、図1に示したインクジェット記録ヘッドの構成とした。図1に示されるインクジェット記録ヘッドは、素子基板1、リード線2、電気配線テープ3、ヘッドCRG(Bk)10からなる。ヘッドCRG(Bk)10の電気配線(リード)の下部に当たるデバイスホール部分に、封止部の下層7として、接着剤組成物を幅6mm×1mm、0.5mm厚みで塗り硬化させておく。ヘッドCRG(Bk)10のデバイスホールに素子基板を貼り付けた後、電気配線テープ3をリード線を介して、図2の模式図に示すように、素子基板1と電気配線テープ3を電気的に接続する。   In this embodiment, the configuration of the ink jet recording head shown in FIG. 1 is adopted. The ink jet recording head shown in FIG. 1 includes an element substrate 1, a lead wire 2, an electric wiring tape 3, and a head CRG (Bk) 10. An adhesive composition is applied and cured in a width of 6 mm × 1 mm and a thickness of 0.5 mm as a lower layer 7 of the sealing portion in the device hole portion corresponding to the lower part of the electric wiring (lead) of the head CRG (Bk) 10. After the element substrate is attached to the device hole of the head CRG (Bk) 10, the element substrate 1 and the electric wiring tape 3 are electrically connected to each other through the lead wires via the electric wiring tape 3 as shown in the schematic diagram of FIG. Connect to.

次いで、塗布予定部位13にディスペンサーを用いて封止剤としてのUVカチオンエポキシ接着剤(粘度3500mPa・s)を塗布した。つまり、素子基板と電気配線基板との電気接続部分に光硬化型樹脂組成物からなる封止剤を配置した。   Next, a UV cationic epoxy adhesive (viscosity: 3500 mPa · s) as a sealant was applied to the planned application site 13 using a dispenser. That is, the sealing agent which consists of a photocurable resin composition was arrange | positioned in the electrical connection part of an element substrate and an electrical wiring board.

その後、塗布面にUV光源4にてUV光を200mJ/cm照射した。この第一の光照射により封止剤の表面部分を硬化した。 Then, the UV light source 4 irradiated UV light 200mJ / cm < 2 > on the coating surface. The surface portion of the sealant was cured by this first light irradiation.

その後、底面が楕円状の押圧面であり、該押圧面がフッ素系樹脂による撥液処理が施された高さ制御部材9を用いて、封止剤高さが電気配線テープの表面より測定して0.3mmとなるように押圧を行った。所定高さに達したら高さ制御部材9を速やかに離形した。   Thereafter, the height of the sealant is measured from the surface of the electric wiring tape using the height control member 9 whose bottom surface is an elliptical pressing surface, and the pressing surface is subjected to a liquid repellent treatment with a fluorine-based resin. Was pressed to 0.3 mm. When the predetermined height was reached, the height control member 9 was quickly released.

その後、UV光を600mJ/cm照射して封止剤を硬化させた(第二の光照射)。 Thereafter, the sealant was cured by irradiation with UV light at 600 mJ / cm 2 (second light irradiation).

なお、本実施例では、ブラックインク用インクジェット記録ヘッドについて説明したが、これに限らずカラー用インクジェット記録ヘッドにも適用可能である。   In this embodiment, the black ink jet recording head has been described. However, the present invention is not limited to this, and can be applied to a color ink jet recording head.

(実施例2)
本実施例では、封止剤をヘッドに塗布するまでは実施例1と同じように行い、高さ制御部材としての透明樹脂からなる部材をUV光源の先端に配置した、高さ制御部材兼光照射装置12を用いて、封止剤の高さ調整及び硬化を行った。
(Example 2)
In this example, the same process as in Example 1 was performed until the sealant was applied to the head, and a member made of a transparent resin as a height control member was disposed at the tip of the UV light source, and the height control member and light irradiation. Using the device 12, the height of the sealant was adjusted and cured.

第一の光照射におけるUV照射量は250mJ/cm、第二の光照射におけるUV照射量は700mJ/cmとし、実施例1と同様の硬化状態が得られた。実施例1に比べて照射量を多くしているのは高さ制御部材(透明樹脂)の光路長分の光の損失があるためである。高さ制御部材を光源の一部とすることで光照射部は上下方向の動きのみの簡単な機構となり、装置が簡易化できる。 The UV irradiation amount in the first light irradiation was 250 mJ / cm 2 , and the UV irradiation amount in the second light irradiation was 700 mJ / cm 2, and the same cured state as in Example 1 was obtained. The reason why the irradiation amount is increased as compared with Example 1 is that there is a light loss corresponding to the optical path length of the height control member (transparent resin). By making the height control member a part of the light source, the light irradiating unit becomes a simple mechanism that moves only in the vertical direction, and the apparatus can be simplified.

(実施例3)
本実施例では、封止剤をヘッドに塗布するまでは実施例1と同じように行い、実施例1〜2より照射範囲の狭いUV光源にて照射を行った。図5(a)に示すように周囲に残った未硬化部分(光硬化型樹脂組成物6)を、先端1mmのPP樹脂のスクレバー15で掻き取った。図5(b)に、未硬化部除去後のヘッド断面部と光硬化型樹脂組成物の硬化物を示す。遅延硬化性の封止剤は照射後に除々に硬化反応が進行して除去が難しくなるので、照射直後に未硬化部を除去することが好ましい。図5に示すように、光源の照射特性(フォーカスタイプやコリメートタイプ等)と照射範囲を選択することで硬化物の形状を任意に形成することができる。図5に示した上面から下面にかけて末広がり形状の封止部は、接触面を広くして密着性を高めたり、幅及び奥行き方向の寸法を精度よく作り込むことができる。
(Example 3)
In this example, the same procedure as in Example 1 was performed until the sealant was applied to the head, and irradiation was performed with a UV light source having a narrower irradiation range than in Examples 1-2. As shown in FIG. 5A, the uncured portion (photo-curable resin composition 6) remaining in the periphery was scraped off with a PP resin scrubber 15 having a tip of 1 mm. FIG. 5B shows a head cross-sectional portion after removal of the uncured portion and a cured product of the photocurable resin composition. Since the delayed curable sealant gradually undergoes a curing reaction after irradiation and becomes difficult to remove, it is preferable to remove the uncured portion immediately after irradiation. As shown in FIG. 5, the shape of the cured product can be arbitrarily formed by selecting the irradiation characteristics (focus type, collimating type, etc.) of the light source and the irradiation range. The sealing portion having a diverging shape from the upper surface to the lower surface shown in FIG. 5 can widen the contact surface to improve adhesion, and can accurately make dimensions in the width and depth directions.

(実施例4)
本実施例では、UVカチオンエポキシ接着剤を塗布し、第一の光照射を行ったまでは実施例1と同様に行った。その後、図6に示すような装置を用い、高さ調整及び第二の光照射を行った。高さ制御部材はロールに巻かれた透明樹脂フィルム14であり、透明樹脂フィルム14の封止剤が接触する面側には透明撥液処理層が設けられている。ヘッドCRGは治具に搭載して図に示す矢印方向に流動させ、連続式フィルム押圧機構を用いて封止剤の当たる面が新規のフィルム面となるようにロールとヘッドCRGが連動して移動する。
(Example 4)
In this example, the same procedure as in Example 1 was performed until the UV cationic epoxy adhesive was applied and the first light irradiation was performed. Then, height adjustment and 2nd light irradiation were performed using the apparatus as shown in FIG. The height control member is a transparent resin film 14 wound around a roll, and a transparent liquid repellent treatment layer is provided on the surface side of the transparent resin film 14 where the sealant comes into contact. The head CRG is mounted on a jig and flows in the direction of the arrow shown in the figure, and the roll and the head CRG move in conjunction with each other so that the surface to which the sealant hits becomes a new film surface using a continuous film pressing mechanism. To do.

封止剤を塗布した後に第一の光照射を行って封止剤の表面部分を硬化させる。その後、フィルム面を封止剤に押圧して、封止剤の厚みを所定高さに合わせる。この高さ調整と同時に又は後に上方の光源より光を照射して封止剤の硬化を完了させる。   After applying the sealant, the first light irradiation is performed to cure the surface portion of the sealant. Thereafter, the film surface is pressed against the sealant to adjust the thickness of the sealant to a predetermined height. Simultaneously or after this height adjustment, light is irradiated from the upper light source to complete the curing of the sealant.

高さ制御部材として巻き取り方式のフィルムを用いることで、絶えずクリーンな面が封止剤と当接してコンタミを防げ、品質も安定する。また、巻き取り側にクリーニング機構を設ければ、押圧フィルム交換の頻度も低減できる。   By using a roll-up film as the height control member, the clean surface constantly comes into contact with the sealant to prevent contamination, and the quality is stabilized. Further, if a cleaning mechanism is provided on the winding side, the frequency of pressing film replacement can be reduced.

(実施例5)
本実施例では、封止剤をヘッドに塗布するまでは実施例1と同様に行った。高さ制御部材としての透明樹脂からなる部材をUV光源の先端に付けた高さ制御部材兼光照射装置12に屈折率分布を付けたものを用いて、封止剤の高さ調整及び硬化を行った。
(Example 5)
In this example, the same process as in Example 1 was performed until the sealant was applied to the head. Using a height control member / light irradiation device 12 with a refractive index distribution attached to the tip of the UV light source with a transparent resin as a height control member, the height of the sealant is adjusted and cured. It was.

屈折率分布は、封止剤の上面から下面に向けて光が拡散するような屈折率の分布を高さ制御部材に付与してある。たとえば高さ制御部材に照射光の波長に対して透明性を失わない無機あるいは有機の微粒子を高さ制御部材の中心から外側に向かうほど添加率を連続的に下げるように添加する。あるいは屈折率の異なる二種のモノマーを高さ制御部材の中心から外側に向かうほど屈折率が連続的低くなるように重合させる。封止剤の粘度、チキソ性をコントロールして、照射領域が封止剤よりわずかな大きい領域となるように設定することで、硬化物の形状の適正化と使用エネルギー量の削減の双方を満足することが可能となる。更に材質にパーフルオロ系のポリマーが低屈折率成分として入っていれば、低表面自由エネルギー面となり、高さ制御部材の撥液処理も不要となる。   The refractive index distribution is given to the height control member such that the light is diffused from the upper surface to the lower surface of the sealant. For example, inorganic or organic fine particles that do not lose transparency with respect to the wavelength of irradiation light are added to the height control member such that the addition rate decreases continuously from the center of the height control member toward the outside. Alternatively, two types of monomers having different refractive indexes are polymerized so that the refractive index continuously decreases from the center of the height control member toward the outside. By controlling the viscosity and thixotropy of the sealant and setting the irradiation area to be a slightly larger area than the sealant, both the optimization of the shape of the cured product and the reduction of the amount of energy used are satisfied. It becomes possible to do. Further, if the material contains a perfluoro polymer as a low refractive index component, it becomes a low surface free energy surface, and the liquid repellent treatment of the height control member becomes unnecessary.

1 素子基板(チップ)
2 電気配線(リード)
3 電気配線基板(TAB)
4 光源
5 光
6 光硬化型樹脂組成物
7 接着剤(封止部の下層)
8 素子基板
9 高さ制御部材
10 ヘッドCRG(Bk)
11 封止部(光硬化型樹脂組成物の硬化物)
12 高さ制御部材兼光照射装置
13 封止剤塗布領域
14 連続式フィルム押圧機構
15 スクレバー
16 タンクケース
100 液体吐出ヘッド
101 素子基板
102 電気配線基板
103 インク収容部
104 吐出口
105 インク供給口
106 インク供給流路
107 接続端子
108 コンタクト部
109 インナーリード
110 封止部
111 支持部材
116 ノズルプレート
117 基板
1 Element substrate (chip)
2 Electrical wiring (lead)
3 Electric wiring board (TAB)
4 Light source 5 Light
6 Photocurable resin composition 7 Adhesive (lower layer of sealing part)
8 Element substrate 9 Height control member 10 Head CRG (Bk)
11 Sealing part (cured product of photocurable resin composition)
DESCRIPTION OF SYMBOLS 12 Height control member and light irradiation apparatus 13 Sealant application | coating area | region 14 Continuous type film press mechanism 15 Scrater 16 Tank case 100 Liquid discharge head 101 Element board | substrate 102 Electric wiring board 103 Ink accommodating part 104 Ejection port 105 Ink supply port 106 Ink supply Flow path 107 Connection terminal 108 Contact portion 109 Inner lead 110 Sealing portion 111 Support member 116 Nozzle plate 117 Substrate

Claims (8)

液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子と該エネルギー発生素子と電気的に接続される接続端子とを備える素子基板と、前記接続端子と電気的に接続されるリード配線を備える電気配線基板と、前記素子基板と前記電気配線基板との電気接続部分を保護する封止部と、を備える液体吐出ヘッドの製造方法であって、
前記電気接続部分に光硬化型樹脂組成物を配置する工程と、
第一の光照射によって前記光硬化型樹脂組成物の表面部分を硬化させる工程と、
高さ制御部材を前記光硬化型樹脂組成物に押圧し、該光硬化型樹脂組成物の高さを調整する工程と、
前記光硬化型樹脂組成物を第二の光照射によって硬化させ、前記封止部を形成する工程と、
を有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
An element substrate including an energy generating element that generates energy used for discharging a liquid and a connection terminal electrically connected to the energy generating element, and a lead wiring electrically connected to the connection terminal A liquid discharge head manufacturing method comprising: an electrical wiring board comprising: a sealing portion that protects an electrical connection portion between the element substrate and the electrical wiring board;
Disposing a photocurable resin composition on the electrical connection part;
Curing the surface portion of the photocurable resin composition by first light irradiation;
A step of pressing a height control member against the photocurable resin composition to adjust the height of the photocurable resin composition;
Curing the photocurable resin composition by second light irradiation to form the sealing portion;
A method of manufacturing a liquid discharge head, comprising:
前記高さ制御部材の前記光硬化型樹脂組成物に接する面に撥液性層が設けられている請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。   The method of manufacturing a liquid ejection head according to claim 1, wherein a liquid repellent layer is provided on a surface of the height control member that contacts the photocurable resin composition. 前記高さ制御部材が前記第一の光照射及び前記第二の光照射の照射光に対して透明な材質からなる請求項1又は2に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。   3. The method of manufacturing a liquid ejection head according to claim 1, wherein the height control member is made of a material transparent to the irradiation light of the first light irradiation and the second light irradiation. 前記第一の光照射及び前記第二の光照射に用いる光源と前記高さ制御部材が一体に取り付けられた高さ制御部材兼光照射装置を用いて、前記第一の光照射、前記光硬化型樹脂組成物の高さ調整、及び前記第二の光照射が行われる請求項3に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。   Using the light source used for the first light irradiation and the second light irradiation and the height control member and the light irradiation device in which the height control member is integrally attached, the first light irradiation, the photo-curing type The method of manufacturing a liquid ejection head according to claim 3, wherein the height adjustment of the resin composition and the second light irradiation are performed. 前記第二の光照射は、前記高さ制御部材が前記光硬化型樹脂組成物に押圧された状態で前記高さ制御部材を介して行われる請求項3又は4に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。   5. The liquid ejection head according to claim 3, wherein the second light irradiation is performed via the height control member in a state where the height control member is pressed against the photocurable resin composition. Method. 前記第一の光照射及び前記第二の光照射は紫外線が用いられ、前記光硬化型樹脂組成物が遅延硬化型UVカチオンエポキシ接着剤である請求項1乃至5のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。   The liquid ejection according to claim 1, wherein ultraviolet rays are used for the first light irradiation and the second light irradiation, and the photocurable resin composition is a delayed curing UV cationic epoxy adhesive. Manufacturing method of the head. 前記高さ制御部材に屈折率分布が付与されている請求項1乃至6のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。   The method of manufacturing a liquid ejection head according to claim 1, wherein a refractive index distribution is given to the height control member. 前記第二の光照射を行った後に、前記光硬化型樹脂組成物の未硬化部を除去する工程を有する請求項1乃至7のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。   The method of manufacturing a liquid ejection head according to claim 1, further comprising a step of removing an uncured portion of the photocurable resin composition after performing the second light irradiation.
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JP2016078289A (en) * 2014-10-14 2016-05-16 キヤノン株式会社 Manufacturing method of liquid discharge head

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