JP2013127602A - 光学部材、撮像装置、光学部材の製造方法及び撮像装置の製造方法 - Google Patents
光学部材、撮像装置、光学部材の製造方法及び撮像装置の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013127602A JP2013127602A JP2012222900A JP2012222900A JP2013127602A JP 2013127602 A JP2013127602 A JP 2013127602A JP 2012222900 A JP2012222900 A JP 2012222900A JP 2012222900 A JP2012222900 A JP 2012222900A JP 2013127602 A JP2013127602 A JP 2013127602A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass layer
- optical member
- base material
- phase
- porosity
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
Links
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims abstract description 118
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 title description 49
- 239000000463 material Substances 0.000 claims abstract description 128
- 239000005373 porous glass Substances 0.000 claims abstract description 127
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 126
- 238000005191 phase separation Methods 0.000 claims description 48
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 41
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 37
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 36
- 239000010703 silicon Substances 0.000 claims description 36
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 23
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 17
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 17
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 claims description 12
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 claims description 3
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 213
- 239000002585 base Substances 0.000 description 102
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 47
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 36
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 30
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 23
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 22
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 13
- 239000005388 borosilicate glass Substances 0.000 description 12
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 12
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 9
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 8
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 8
- 239000000075 oxide glass Substances 0.000 description 8
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 239000003513 alkali Substances 0.000 description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 7
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 7
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 7
- 229910000272 alkali metal oxide Inorganic materials 0.000 description 6
- JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N diboron trioxide Chemical compound O=BOB=O JKWMSGQKBLHBQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 6
- 238000001878 scanning electron micrograph Methods 0.000 description 6
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 description 6
- 239000005385 borate glass Substances 0.000 description 5
- 229910052810 boron oxide Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 5
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 5
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 5
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 5
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 5
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 5
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 5
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N Zinc monoxide Chemical compound [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- AOQZCUVGSOYNCB-UHFFFAOYSA-N [B].[Si]=O Chemical compound [B].[Si]=O AOQZCUVGSOYNCB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229910052783 alkali metal Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 4
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 4
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 4
- ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N Ethyl cellulose Chemical compound CCOCC1OC(OC)C(OCC)C(OCC)C1OC1C(O)C(O)C(OC)C(CO)O1 ZZSNKZQZMQGXPY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 3
- 238000001000 micrograph Methods 0.000 description 3
- KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N sodium oxide Chemical compound [O-2].[Na+].[Na+] KKCBUQHMOMHUOY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000001629 suppression Effects 0.000 description 3
- IRIAEXORFWYRCZ-UHFFFAOYSA-N Butylbenzyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC1=CC=CC=C1 IRIAEXORFWYRCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N Di-n-octyl phthalate Natural products CCCCCCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCCCCCC MQIUGAXCHLFZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000001856 Ethyl cellulose Substances 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N Titan oxide Chemical compound O=[Ti]=O GWEVSGVZZGPLCZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000001133 acceleration Effects 0.000 description 2
- 238000010306 acid treatment Methods 0.000 description 2
- 150000001340 alkali metals Chemical class 0.000 description 2
- 229910000287 alkaline earth metal oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N alpha-terpineol Chemical compound CC1=CCC(C(C)(C)O)CC1 WUOACPNHFRMFPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 2
- 239000006121 base glass Substances 0.000 description 2
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000006059 cover glass Substances 0.000 description 2
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 2
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 2
- SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N delta-terpineol Natural products CC(C)(O)C1CCC(=C)CC1 SQIFACVGCPWBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N dibutyl phthalate Chemical compound CCCCOC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCCCC DOIRQSBPFJWKBE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920001249 ethyl cellulose Polymers 0.000 description 2
- 235000019325 ethyl cellulose Nutrition 0.000 description 2
- 230000009477 glass transition Effects 0.000 description 2
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 2
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 2
- 239000011812 mixed powder Substances 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Al]O[Al]=O TWNQGVIAIRXVLR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);zirconium(4+) Chemical compound [O-2].[O-2].[Zr+4] RVTZCBVAJQQJTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 238000010583 slow cooling Methods 0.000 description 2
- 229910001948 sodium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229940116411 terpineol Drugs 0.000 description 2
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000011787 zinc oxide Substances 0.000 description 2
- 229910001928 zirconium oxide Inorganic materials 0.000 description 2
- VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 2-(2-butoxyethoxy)ethyl acetate Chemical compound CCCCOCCOCCOC(C)=O VXQBJTKSVGFQOL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SIXWIUJQBBANGK-UHFFFAOYSA-N 4-(4-fluorophenyl)-1h-pyrazol-5-amine Chemical compound N1N=CC(C=2C=CC(F)=CC=2)=C1N SIXWIUJQBBANGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 Boron-calcium oxide-magnesium oxide-aluminum oxide-titanium oxide Chemical compound 0.000 description 1
- 238000004833 X-ray photoelectron spectroscopy Methods 0.000 description 1
- AJHMDZNMHHOICX-UHFFFAOYSA-N [Si]=O.[B]=O Chemical compound [Si]=O.[B]=O AJHMDZNMHHOICX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 235000019647 acidic taste Nutrition 0.000 description 1
- 239000003463 adsorbent Substances 0.000 description 1
- 239000012670 alkaline solution Substances 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011324 bead Substances 0.000 description 1
- BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N bis(2-ethylhexyl) phthalate Chemical compound CCCCC(CC)COC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OCC(CC)CCCC BJQHLKABXJIVAM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052791 calcium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011575 calcium Substances 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 229910052681 coesite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052906 cristobalite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- RLRMXWDXPLINPJ-UHFFFAOYSA-N dioctan-2-yl benzene-1,2-dicarboxylate Chemical compound CCCCCCC(C)OC(=O)C1=CC=CC=C1C(=O)OC(C)CCCCCC RLRMXWDXPLINPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 1
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 238000000921 elemental analysis Methods 0.000 description 1
- 238000010828 elution Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 238000000445 field-emission scanning electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 238000004898 kneading Methods 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 150000007522 mineralic acids Chemical class 0.000 description 1
- 230000000877 morphologic effect Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229920001490 poly(butyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001483 poly(ethyl methacrylate) polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 1
- 229920002037 poly(vinyl butyral) polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 1
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 description 1
- 230000011514 reflex Effects 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 1
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 1
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 1
- 239000011734 sodium Substances 0.000 description 1
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- 229910052682 stishovite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 229910052905 tridymite Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001771 vacuum deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C15/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B17/00—Layered products essentially comprising sheet glass, or glass, slag, or like fibres
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B3/00—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form
- B32B3/26—Layered products comprising a layer with external or internal discontinuities or unevennesses, or a layer of non-planar shape; Layered products comprising a layer having particular features of form characterised by a particular shape of the outline of the cross-section of a continuous layer; characterised by a layer with cavities or internal voids ; characterised by an apertured layer
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C11/00—Multi-cellular glass ; Porous or hollow glass or glass particles
- C03C11/005—Multi-cellular glass ; Porous or hollow glass or glass particles obtained by leaching after a phase separation step
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/02—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with glass
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C17/00—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating
- C03C17/02—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with glass
- C03C17/04—Surface treatment of glass, not in the form of fibres or filaments, by coating with glass by fritting glass powder
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/113—Anti-reflection coatings using inorganic layer materials only
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2307/00—Properties of the layers or laminate
- B32B2307/40—Properties of the layers or laminate having particular optical properties
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B32—LAYERED PRODUCTS
- B32B—LAYERED PRODUCTS, i.e. PRODUCTS BUILT-UP OF STRATA OF FLAT OR NON-FLAT, e.g. CELLULAR OR HONEYCOMB, FORM
- B32B2551/00—Optical elements
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/20—Materials for coating a single layer on glass
- C03C2217/21—Oxides
- C03C2217/23—Mixtures
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2217/00—Coatings on glass
- C03C2217/90—Other aspects of coatings
- C03C2217/91—Coatings containing at least one layer having a composition gradient through its thickness
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C2218/00—Methods for coating glass
- C03C2218/30—Aspects of methods for coating glass not covered above
- C03C2218/32—After-treatment
- C03C2218/328—Partly or completely removing a coating
- C03C2218/33—Partly or completely removing a coating by etching
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T428/00—Stock material or miscellaneous articles
- Y10T428/249921—Web or sheet containing structurally defined element or component
- Y10T428/249953—Composite having voids in a component [e.g., porous, cellular, etc.]
- Y10T428/249967—Inorganic matrix in void-containing component
- Y10T428/249969—Of silicon-containing material [e.g., glass, etc.]
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
【課題】 リップルが抑制された、基材上に多孔質ガラス層を備えた光学部材を提供する。
【解決手段】 基材の上に配置された400nm以上の厚さを有する多孔質ガラス層を備える光学部材であって、多孔質ガラス層において、基材と多孔質ガラス層との界面から多孔質ガラス層の表面に向かって空孔率が増大し、かつ、前記基材から前記多孔質ガラス層の表面にわたって、厚さ方向で空孔率が連続的であり、特定の関係式を満たす傾斜領域を少なくとも有する。
【選択図】 図1
【解決手段】 基材の上に配置された400nm以上の厚さを有する多孔質ガラス層を備える光学部材であって、多孔質ガラス層において、基材と多孔質ガラス層との界面から多孔質ガラス層の表面に向かって空孔率が増大し、かつ、前記基材から前記多孔質ガラス層の表面にわたって、厚さ方向で空孔率が連続的であり、特定の関係式を満たす傾斜領域を少なくとも有する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、基材上に多孔質ガラス層を備える光学部材、あるいはその光学部材を備える撮像装置に関する。また、本発明は、その光学部材の製造方法に関する。
近年、多孔質ガラスは、例えば吸着剤、マイクロキャリア担体、分離膜、光学材料等の工業的利用に期待されている。特に多孔質ガラスは、低屈折率であるという特性から光学部材としての利用範囲が広い。
多孔質ガラスの比較的な容易な製造法として相分離現象を利用する方法がある。相分離現象を利用する多孔質ガラスの母材は、酸化ケイ素、酸化ホウ素、アルカリ金属酸化物などを原料としたホウケイ酸塩ガラスが一般的である。成型されたホウケイ酸塩ガラスを一定温度で保持する熱処理により相分離現象を起こさせ(以下、相分離処理と言う)、酸溶液によるエッチングで可溶成分である非酸化ケイ素リッチ相を溶出させて製造する。このようにして製造された多孔質ガラスを構成する骨格は主に酸化ケイ素である。多孔質ガラスの骨格径や孔径、空孔率は、光の反射率、屈折率に影響する。
非特許文献1では、エッチングにおいて非酸化ケイ素リッチ相の溶出を部分的に不十分にさせて、空孔率の制御を行い、表面から内部にわたって屈折率が大きくなる構成について開示されており、多孔質ガラスの表面での反射を低減している。
一方、特許文献1には、基材上に多孔質ガラス層を形成させる方法が開示されている。具体的には、基材上にホウケイ酸ガラス(相分離性ガラス)を含有する膜を印刷法により形成し、相分離処理と、エッチング処理とにより、基材上に多孔質ガラス層を形成している。
J.Opt.Soc.Am.,Vol.66,No.6,1976
特許文献1のように基材上に多孔質ガラス層を数μm形成した場合、多孔質ガラス表面に入射してきた光について、多孔質ガラス表面での反射光と、基材と多孔質ガラスとの界面での反射光とが干渉するため、リップル(干渉縞)が発生する。
非特許文献1には、基材の上に多孔質ガラス層を形成する構成については何ら開示されていない。さらに、非特許文献1の方法では、エッチングの進行度合いの制御が困難であるため、屈折率の制御が困難であり、また可溶成分である非酸化ケイ素リッチ相が残るため耐水性が下がり、曇りなどの光学部材として使用する上での問題が生じてしまう。
本発明の目的は、リップルが抑制された、基材上に多孔質ガラス層を備えた光学部材を提供すること、およびその光学部材を容易に製造する方法を提供することである。
本発明の光学部材は、基材と、前記基材の上に配置された400nm以上の厚さを有する多孔質ガラス層と、を備える光学部材であって、前記多孔質ガラス層において、前記基材と前記多孔質ガラス層との界面から多孔質ガラス層の表面に向かって空孔率が増大する傾斜領域を少なくとも有し、かつ、前記基材から前記多孔質ガラス層の表面にわたって、厚さ方向で空孔率が連続的であり、前記傾斜領域の両端の空孔率差P[%]と前記傾斜領域の厚さT[nm]とが、P/T≦0.60を満たすことを特徴とする。
また、本発明の光学部材の製造方法は、基材の上に形成された多孔質ガラス層を備える光学部材の製造方法であって、ケイ素を含有する非相分離性の第1母材層の上に非相分離性の第2母材層を形成する工程と、前記第1母材層に含まれるケイ素と前記第2母材層に含まれる成分とを互いに拡散させて、組成傾斜領域を有する相分離性ガラス層を形成する工程と、前記相分離性ガラス層を相分離して相分離ガラス層を形成する工程と、前記相分離性ガラス層をエッチングして、基材の上に多孔質ガラス層を形成する工程と、を有することを特徴とする。
本発明によれば、リップルが抑制された、基材上に多孔質ガラス層を備えた光学部材、およびその光学部材を容易に製造する方法を提供することができる。
以下、本発明の実施の形態を示して、本発明を詳細に説明する。本明細書で特に図示または記載されない部分に関しては、当該技術分野の周知または公知技術を適用する。
なお、本発明で多孔質構造を形成する「相分離」について、ガラス体に酸化ケイ素、酸化ホウ素、アルカリ金属を有する酸化物を含むホウケイ酸塩ガラスを用いた場合を例に説明する。「相分離」とは、ガラス内部でアルカリ金属を有する酸化物と酸化ホウ素を相分離前の組成より多く含有する相(非酸化ケイ素リッチ相)と、アルカリ金属を有する酸化物と酸化ホウ素を相分離前の組成より少なく含有する相(酸化ケイ素リッチ相)に、数nmから数十μmスケールの構造で分離することを意味する。そして、相分離させたガラスをエッチング処理して、非酸化ケイ素リッチ相を除去することでガラス体に多孔質構造を形成する。
相分離には、スピノーダル型とバイノーダル型がある。スピノーダル型の相分離により得られる多孔質ガラスの細孔は表面から内部にまで連結した貫通孔である。より具体的には、スピノーダル型の相分離由来の構造は、3次元的に孔が絡み合うような「アリの巣」状の構造であり、酸化ケイ素による骨格が「巣」で、貫通孔が「巣穴」にあたる。一方、バイノーダル型の相分離により得られる多孔質ガラスは、球形に近い閉曲面で囲まれた孔である独立孔が不連続に酸化ケイ素による骨格の中に存在している構造である。スピノーダル型の相分離由来の孔とバイノーダル型の相分離由来の孔は、電子顕微鏡による形態観察結果より判断され区別されうる。また、ガラス体の組成や相分離時の温度を制御することで、スピノーダル型の相分離かバイノーダル型の相分離が決まる。
<光学部材>
以下、本発明の光学部材の一例である基材105の上に多孔質ガラス層202を有する光学部材203を例に挙げ具体的に説明するが、何ら本発明を限定するものではない。
以下、本発明の光学部材の一例である基材105の上に多孔質ガラス層202を有する光学部材203を例に挙げ具体的に説明するが、何ら本発明を限定するものではない。
図1は、本発明の光学部材の断面模式図の一例を示している。
本発明の光学部材203は、基材105上に、連続した孔であるスピノーダル型の相分離由来の多孔質構造を有する多孔質ガラス層202を備えている。多孔質ガラス層202は低屈折率な膜であるので、多孔質ガラス層202と空気との界面(多孔質ガラス層202の表面)での反射が抑制されて光学部材として利用が期待される。しかし、基材105の上に多孔質ガラス層202を備える光学部材では、多孔質ガラス層202の表面での反射光と基材105と多孔質ガラス層202との界面における反射光とで干渉効果によって反射光に干渉縞が現れるリップルという現象が生じてしまう。特に、多孔質ガラス層202の厚みが400nm以上50μm以下である場合に、この干渉効果が強まるため、リップルが顕著に表れる。リップルは、反射率を測定し、波長を横軸に、反射率を縦軸にとってグラフを作成した場合に、正弦波のように強弱を周期的に繰り返す形で表される(図9の光学部材4参照)。このようなリップルがあると反射率の波長依存性が強くなり、光学部材として適さない場合がある。
そこで、本発明の光学部材203は、多孔質ガラス層202において、基材105から多孔質ガラス層202の表面にわたって、厚さ方向で空孔率が連続的であり、基材105と多孔質ガラス層202との界面から多孔質ガラス層202の表面に向かって空孔率が増大する傾斜領域107を少なくとも有する構成である。さらに、この傾斜領域107の多孔質ガラス層202の表面側の端部の空孔率から基材105側の端部の空孔率を引いた空孔率差P[%]と、傾斜領域107の厚さT[nm]とが、下記式1を満たす構成である。
P/T≦0.60 ・・・式1
P/T≦0.60 ・・・式1
図1の例では、基材105側の傾斜領域107の端部の空孔率は0であるので、Pは傾斜領域107の非傾斜領域106との境界面における空孔率で表すことができる。また、本発明での空孔率が増大する傾斜領域107とは空孔率の差Pが2[%]よりも大きいもの、またはP/Tが0.00[nm/%]よりも大きいものを指す。
本発明の構成により、基材105と多孔質ガラス層202との界面での急峻な屈折率の変化が抑えられ、この界面での実質的な反射が抑えられる。この結果、多孔質ガラス層202の表面での反射光と基材105と多孔質ガラス層202との界面での反射光との干渉によるリップルを抑制することが可能となる。
本発明では、基材105と多孔質ガラス層202との界面から多孔質ガラス層202の表面に向かって空孔率が増大する傾斜領域107を少なくとも有する構成であればよいが、より好ましくは、ガラス層全体で表面に向かって空孔率が増大する構成である。
前述した構成では、屈折率の急峻な変化が抑制されるため、より低反射を実現することが可能である。
また、傾斜領域は、多孔質ガラス層202内に複数あってもよい。その場合、複数の傾斜領域のうち少なくとも1つの傾斜領域が式1を満たしていればよい。
P/Tが0.60より大きい場合、光学部材として好適に使用可能な低反射率を実現することが困難であるだけでなく、場合によっては目視で干渉縞が明確に確認されることがある。より好ましくは、P/Tが0.30以下であり、さらに好ましくは0.10以下である。上述した範囲のP/Tでは、より低反射を実現し、かつ干渉縞がより視認されにくくなる。
電子顕微鏡写真の画像を骨格部分と孔部分とで2値化することで、P/Tを算出する処理を行う。具体的には走査電子顕微鏡(FE−SEM S−4800、日立製作所製)を用いて加速電圧5.0kVにて骨格の変化領域部分全体の濃淡観察が容易な1乃至10万倍の倍率で光学部材の多孔質ガラス層202の断面部分を観察し、画像を保存する。一視野で変化領域部分全体の観察が困難な場合は、複数の視野の画像を保存し、下記のグラフ化の作業を複数回行ってもよい。
以下、本発明の光学部材の一例の断面画像である図2を基にP/Tの算出方法を詳細に説明する。なお、図2は光学部材の断面を5万倍に拡大したものであり、多孔質ガラス層202は空孔率が0である基材105から光学部材表面部分に向かって空孔率が傾斜する傾斜領域107を有している。得られた画像を基に、画像解析ソフトを使用して、SEM画像を画像濃度ごとの頻度でグラフ化する。図3は、スピノーダル型多孔質構造の多孔質の画像濃度ごとの頻度を示す図である。図3で示した画像濃度変化の変曲点より右の部分が骨格(または、基材部分)を示している。
ピーク位置から画像濃度が高い側の変曲点を閾値にして明部(骨格部分、基材部分)と暗部(孔部分)を白黒2値化する(画像を表すピクセルの2値化を行う)。次いで、2値化した画像について、光学部材の厚さごとの黒色濃度計算を行う。その後、元の画像から明確に基材部分と判断できる部分での黒色濃度が空孔率0になるように補正をかけ、光学部材の厚さ方向の空孔率を算出し、横軸に厚さ方向の距離、縦軸に空孔率のグラフを作製する。なお、厚さ方向に40nm間隔で空孔率のデータを取る。
前述した方法で、多孔質ガラス層202と基材105とを同一の視野で観察した電子顕微鏡の画像から2値化を行った場合は、多孔質ガラス層202の画像領域の骨格の方が基材105部分の明度よりも高くなる場合がある。この結果、基材105と多孔質ガラス層202が同一視野で観察される画像では、孔の一部が骨格と判断されることがあり、算出される空孔率が実際の空孔率よりも小さく算出され、実際の空孔率が異なる場合がある。また、同様の理由で、多孔質ガラス層202最表面部分の観察画像を使用した際には、空孔率の値が実際の空孔率とは異なる値になることがあるため、注意する必要がある。このような場合は、下記手法にて多孔質ガラス層202の空孔率の補正を行う。
具体的には、基材105と多孔質ガラス層202との間に界面が存在する画像などでは、図2において多孔質ガラス層202を任意の倍率で観察した画像を、後述するような2値化作業を行い、空孔率を算出することで補正をかける。
この場合、視野内に多孔質ガラス層202以外のものが存在しないような視野を選択する必要がある。すなわち、画像解析ソフトを使用して、多孔質ガラス層202の部分のSEM画象を画像濃度ごとの頻度でグラフ化し、ピーク位置に近い変曲点を閾値にして明部(骨格部分)と暗部(孔部分)を白黒2値化する。次いで、暗部を空孔率100%、明部を空孔率0%となるように計算する。
多孔質ガラス層202単独で得られた空孔率の値と対応する箇所の空孔率が等しくなるように、前述した厚さ方向の空孔率を補正する。
具体的には、厚さ方向40nm以下の領域で分割した際に該当する箇所での空孔率の平均値が、得られた平均値と同じになるようにすればよい。同様に厚さ方向に複数の視野の画像を観察した場合にも、空孔率の値に補正をかける必要がある。
また、傾斜領域107が多孔質ガラス層202全体にわたり存在する場合は、光学部材の表面観察像から計算した空孔率と、断面観察像の表面部分の空孔率が等しくなるように補正をかければよい。
具体的に傾斜領域107は下記のようにして判断することができる。以降、図4(a)を一例として挙げ、傾斜領域の算出方法を説明する。はじめに測定したデータを40nmごとの平均値に変換し、グラフA(図4(a)の実線)を作成する。
1.グラフAにおいて基材(図4(a)の右側)から多孔質ガラス層の表面(図4(a)の左側)へ向かってみたときに、初めに空孔率が5%を超えた点をaとする。さらに、点aから多孔質ガラス層の表面側(図4(a)の左側)に向かって40nm、80nm移動した位置に対応するグラフA上の点を、それぞれa1、a2とする。次に、点a、a1、a2の3点で最小二乗法による回帰直線を作成し、近似直線1(細破線)とする。
2.近似直線1を点a2よりも多孔質ガラス層の表面(図4(a)の左側)方向へ延長し、多孔質ガラス層の表面に向かってみたとき、近似直線1とグラフAとの空孔率の差が初めて5%を超えるときのグラフA上の点をbとする。そして、近似直線1と空孔率0%の線との交点O’と点bの間(領域1)を10等分に分割した際のグラフA上の点の空孔率の値から、最小二乗法による回帰直線を作成し、直線A(太破線)を作成する。ここで、直線Aの空孔率が0%となる位置が傾斜領域の端部の点Oとなる。
また、近似直線1において空孔率が0%となる点が、SEM像で観察される多孔質構造の開始位置と400nm以上異なる場合は、多孔質構造部分と基材間とで空孔率が断続的に変化している可能性があるため、その箇所においては傾斜構造を有さないと判断し、下記手順に進む。
3.直線Aを点bよりも表面方向へ延長し、多孔質ガラス層の表面(図4(a)の左側)に向かう方向で、直線AとグラフAの点との空孔率差が初めて5%を超えるグラフA上の点をcとする。なお、図4(a)では、点bと点cは一致する。そして、点cから多孔質ガラス層の表面側に向かって40nm、80nm移動した位置に対応するグラフA上の点を、それぞれc1、c2とする。次に、点c、c1、c2の3点から近似直線1を作成したように近似直線2(細破線)を作成する。
4.近似直線2を、点c2よりも多孔質ガラス層の表面方向へ延長し、多孔質ガラス層の表面に向かう方向で、近似直線2とグラフAとの空孔率の差が初めて5%を超えるときのグラフA上の点をdとする。点cと点dの間(領域2)を10等分に分割した点の空孔率の値から、直線Aと同様に直線B(太破線)を作成する。
ここで、直線Bと直線Aとの交点が基材方向から領域1の端部の点となる。交点が領域2の範囲内にない場合は直線A、直線Bを適宜延長して交点を出す。
ここで、直線Bと直線Aとの交点が基材方向から領域1の端部の点となる。交点が領域2の範囲内にない場合は直線A、直線Bを適宜延長して交点を出す。
5.以降、多孔質ガラス層の表面(図4(a)の左側)方向へ向かい、前記3、4と同様の作業を繰り返し、直線B、直線C、直線D・・・を作成し、それらの直線の交点まで各直線を延長し、直線Aに関してはOから基材方向へ空孔率が0%の直線Oを作成し、それらを結びグラフB(図4(b)の破線)を作成する。
ここで、直線Oと直線A、直線Aと直線B、直線Bと直線C、直線Cと直線Dのそれぞれの交点が領域A乃至Dの始点と終点となる。
ここで、直線Oと直線A、直線Aと直線B、直線Bと直線C、直線Cと直線Dのそれぞれの交点が領域A乃至Dの始点と終点となる。
なお、前記1、3の作業にて、空孔率差が初めて5%を超える点とその先40nm、80nmの位置でのグラフA上の3点で最小二乗法によって作成した近似直線を、多孔質ガラス層の表面方向に延長した際に、グラフAとの空孔率の差が5%を超える点が存在しなかった場合には、その近似直線を直線とし、その作業を終了とする。
上記方法で算出された領域A、領域B、領域C、領域D・・・に関して、P/Tを算出する。
ここで領域AのPは15%、Tは338nmであり、P/Tは0.04[nm/%]である。また、領域BのPは11%、Tは543nmであり、P/Tは0.02[nm/%]である。領域CのPは−4%、Tは98nmであり、P/Tは−0.04[nm/%]である。領域DのP/Tは0.00[nm/%]である。
ここで領域AのPは15%、Tは338nmであり、P/Tは0.04[nm/%]である。また、領域BのPは11%、Tは543nmであり、P/Tは0.02[nm/%]である。領域CのPは−4%、Tは98nmであり、P/Tは−0.04[nm/%]である。領域DのP/Tは0.00[nm/%]である。
なお、隣り合う2つの領域において、P/Tの差の値が、正であって、かつ、0.10[nm/%]よりも小さい場合は各直線の領域を合わせたものを一つの傾斜領域107とする。領域のP/Tが0、または負の場合は、本発明の傾斜領域ではない。
複数の傾斜領域を合わせたものを一つの傾斜領域107とする際には、各直線のP/Tの平均値が傾斜領域のP/Tとなり、上記の場合では、傾斜領域107のP/Tは0.03[nm/%]である。また、傾斜領域107の厚さはそれぞれの傾斜領域の厚さを加算したものとする。この場合は、傾斜領域107の厚さは領域Aと領域Bの厚さの和である881nmとなる。
なお、得られたグラフは、図2と対応し、空孔率が0である部分が基材105であり、空孔率が0でない部分は多孔質ガラス層202であり、基材105と多孔質ガラス層202表面にわたって、厚さ方向で空孔率が連続的である。そのうち、基材105と多孔質ガラス層202との界面から多孔質ガラス層202の表面に向かって空孔率が増加する領域が存在している。
なお、厚さ方向での測定間隔の一番小さい数値は40nmであるため、上記の作業では40nm以上の傾斜領域を算出することができる。この作業によって、40nm以上の傾斜領域が存在しないとなった場合は、傾斜領域の厚さを測定間隔の一番小さい数値である40nm(T=40nm)としてP/Tの算出に用いる。
また、多孔質ガラス層202全体が空孔率の傾斜領域107となっていてもよい。その場合、多孔質ガラス層202の表面の空孔率を傾斜領域107の空孔率P[%]とし、多孔質ガラス層202の厚さを傾斜領域107の厚さT[nm]とする。
本発明において、基材105から多孔質ガラス層202の表面にわたって、厚さ方向で空孔率が連続的であることが必須である。
空孔率が連続的でない場合は、界面部分で急峻な屈折率変化が生じるため、リップルが発生する原因となり、反射率特性を悪化させる。
ここで、空孔率が連続的とは、前述したグラフAにおいて、4nm刻みの領域で空孔率を算出した時、隣り合う2つの4nm刻みの領域での空孔率の差が2.5%以下のことをいう。
ここで、空孔率が連続的とは、前述したグラフAにおいて、4nm刻みの領域で空孔率を算出した時、隣り合う2つの4nm刻みの領域での空孔率の差が2.5%以下のことをいう。
空孔率の差とは、例えば基材側から領域A、領域Bがあるとして、領域Aの空孔率をx%、領域Bの空孔率をy%としたとき、|y−x|のことである。なお、ここでいう空孔率は0%(例えば基材部分)も含まれる。
また、多孔質ガラス層202の傾斜領域107は、上記式1を満たせばいかなる傾斜領域を取っても構わないが、より好ましくは空孔率の変化が線形であることが望ましい。線形でない場合には、空孔率の変化が緩やかな部分と急峻な部分が存在するため、急峻な屈折率変化を生じる部分ができるため反射率が高くなると考えられる。ここで、本発明の線形とは、空孔率のグラフの傾斜領域107を厚さ方向に10等分割し、両端の箇所での空孔率を結んだ直線に対して、残りの8点の空孔率の値のこの直線からのずれが、いずれも15%以下であるものを指す。
また、傾斜領域107の厚さは200nm以上50.0μm以下が好ましく、より好ましくは400nm以上50.0μm以下である。厚さが200nmより小さいと、界面での急峻な屈折率の変化が生じやすく、また、多孔質ガラス層202の空孔率自体が小さくなるので、多孔質ガラス層202の表面での反射の抑制効果が小さくなる傾向がある。また、反射率を測定してリップルの抑制効果がより顕著に見られるのは、傾斜領域107の厚さが100nm以上である。また厚さが50.0μmより大きいとヘイズの影響が大きくなり光学部材として扱いにくくなる。
多孔質ガラス層202の厚さは、好ましくは400nm以上50.0μm以下であり、より好ましくは400nm以上20.0μm以下である。50.0μmよりも大きいと、ヘイズの影響が大きくなり光学部材として扱いにくくなる。
多孔質ガラス層202の厚さは、具体的には、走査電子顕微鏡(FE−SEMS−4800、日立製作所製)を用いて加速電圧5.0kVにて、SEMの像(電子顕微鏡写真)を撮影した。撮影した画像から基材上のガラス層部分の厚さを30点以上計測し、その平均値を用いる。
光学部材203の多孔質ガラス層202は、空孔率が一定の領域106を有していてもよい。
また、本発明の光学部材203は、多孔質ガラス層202よりも屈折率の小さい膜が多孔質ガラス層202の表面に設けられてもよい。
基材105としては、目的に応じて任意の材料の基材を使用することができる。基材105の材料としては、例えば石英ガラス、クォーツ、が透明性、耐熱性、強度の観点から好ましい。また、基材105は異なる材料からなる層が積層された構成でもかまわない。
基材105は透明であることが好ましい。基材105の透過率は可視光領域(450nm以上650nm以下の波長領域)で50%以上であることが好ましく、さらに好ましくは60%以上がよい。透過率が50%よりも小さい場合は光学部材として使用する際に問題が発生する場合がある。また、基材105がローパスフィルタや赤外線カットフィルタ、レンズの材料であってもよい。なお、本発明の基材105は、いわゆる非多孔質である。
多孔質ガラス層202の領域107の空孔率は特に制限はしないが、好ましくは30%以上70%以下であり、より好ましくは40%以上60%以下である。空孔率が30%よりも小さいと多孔質の利点を十分に活かすことができず、また、空孔率が70%よりも大きいと、表面強度が低下する傾向にあるため好ましくない。空孔率は上述した方法で算出する。
多孔質ガラス層202の平均孔径は、好ましくは1nm以上200nm以下であり、より好ましくは5nm以上100nm以下である。平均孔径が1nmよりも小さいと多孔質の構造の特徴を十分に活かすことができず、平均孔径が200nmよりも大きいと、表面強度が低下する傾向にあるため好ましくない。ただし、多孔質ガラス層202の厚さよりも小さいことが好ましい。
本発明における平均孔径とは、多孔質体表面の孔を複数の楕円で近似し、近似したそれぞれの楕円における短径の平均値であると定義する。具体的には、例えば図5(a)に示すように、多孔質体表面の電子顕微鏡写真を用い、孔10を複数の楕円11で近似し、それぞれの楕円における短径12の平均値を求めることで得られる。少なくとも30点以上計測し、その平均値を求める。
多孔質ガラス層202の平均骨格径は、1nm以上100nm以下が好ましい。平均骨格径が100nmよりも大きい場合は光の散乱が目立ち、透過率が大きく下がってしまう。また、平均骨格径が1nmよりも小さいと多孔質ガラス層202の強度が小さくなる傾向にある。
なお、本発明における平均骨格径とは、多孔質体表面の骨格を複数の楕円で近似し、近似したそれぞれの楕円における短径の平均値であると定義する。具体的には、例えば図5(b)に示すように、多孔質体表面の電子顕微鏡写真を用い、骨格13を複数の楕円14で近似し、それぞれの楕円における短径15の平均値を求めることで得られる。少なくとも30点以上計測し、その平均値を求める。
なお、光の散乱は、光学部材の厚さなどの影響を複合的に受けるため、孔径と骨格径だけで一義的に定まるものではない点に留意する。また、多孔質ガラス層202の孔径や骨格径は、原料となる材料やスピノーダル型の相分離させる際の熱処理条件などによって制御することができる。
本発明の光学部材は、具体的にはテレビやコンピュータなどの各種ディスプレイ、液晶表示装置に用いる偏光板、カメラ用ファインダーレンズ、プリズム、フライアイレンズ、トーリックレンズなどの光学部材に使用される。さらにはそれらを用いた撮影光学系、双眼鏡などの観察光学系、液晶プロジェクターなどに用いる投射光学系、レーザービームプリンターなどに用いる走査光学系などの各種レンズなどに使用することができる。
本発明の光学部材は、デジタルカメラやデジタルビデオカメラのような撮像装置にも搭載されてもよい。図6は、本発明の光学部材を用いたカメラ(撮像装置)、具体的には、レンズからの被写体像を、光学フィルタを通して撮像素子上に結像させるための撮像装置示す断面模式図である。撮像装置300は、本体310と、取り外し可能なレンズ320と、を備えている。デジタル一眼レフカメラ等の撮像装置では、撮影に使用する撮影レンズを焦点距離の異なるレンズに交換することにより、様々な画角の撮影画面を得ることができる。本体310は、撮像素子311と、赤外線カットフィルタ312と、ローパスフィルタ313と、本発明の光学部材203と、を有している。なお、光学部材203は図1で示したように基材105と、多孔質ガラス層202とを備えている。
また、光学部材203とローパスフィルタ313は一体で形成されていてもよいし別体であってもよい。また、光学部材203がローパスフィルタを兼ねる構成であってもよい。つまり、光学部材203の基材105がローパスフィルタであってもよい。
撮像素子311は、パッケージ(不図示)に収納されており、このパッケージはカバーガラス(不図示)にて撮像素子311を密閉状態で保持している。また、ローパスフィルタ313や赤外線カットフィルタ312等の光学フィルタと、カバーガラスとの間は、両面テープ等の密封部材にて密封構造となっている(不図示)。なお、光学フィルタとして、ローパスフィルタ313および赤外線カットフィルタ312を両方備える例について記載するが、いずれか一方であってもよい。
本発明の光学部材203の多孔質ガラス層202は、スピノーダル型の多孔質構造を有しているので、ゴミ付着抑制などの防塵性能に優れている。よって、光学部材203が光学フィルタの、撮像素子311とは反対側に位置するように配置されている。さらに、多孔質ガラス層202が基材105よりも撮像素子311から遠くなるように光学部材が配置されることが好ましい。言い換えれば、撮像素子311側から基材105、多孔質ガラス層202の順に配置されるように光学部材203が配置されるのが好ましい。
<光学部材の製造方法>
図7は、本発明の光学部材の製造方法を示す模式図である。本発明の光学部材は、基材上に多孔質ガラス層を有する構成であり、以下のように形成される。すなわち、ケイ素を含有する非相分離性の第1母材層の上に非相分離性の第2母材層が形成され、各母材層に含まれる成分を互いに拡散させて、組成傾斜領域を有する相分離性ガラス層が形成され、相分離性ガラス層に相分離処理、エッチング処理を行い、基材の上に多孔質ガラス層が形成される。詳細な製造方法を図7を用いて以下で述べる。
図7は、本発明の光学部材の製造方法を示す模式図である。本発明の光学部材は、基材上に多孔質ガラス層を有する構成であり、以下のように形成される。すなわち、ケイ素を含有する非相分離性の第1母材層の上に非相分離性の第2母材層が形成され、各母材層に含まれる成分を互いに拡散させて、組成傾斜領域を有する相分離性ガラス層が形成され、相分離性ガラス層に相分離処理、エッチング処理を行い、基材の上に多孔質ガラス層が形成される。詳細な製造方法を図7を用いて以下で述べる。
[非相分離性の第2母材層を形成する工程]
まず、図7(a)で示すように、ケイ素を含有する非相分離性の第1母材層102上に、非相分離性の第2母材層101を形成する。非相分離性とは相分離性ではないものであり、相分離性とは加熱処理によって上述した相分離が生じる特性のことをいう。具体的には、非相分離性の第2母材層101は、ケイ素含有量が少ない、あるいはケイ素を含まない材料からなり、それ自体では450℃以上750℃以下の温度で1時間乃至100時間の加熱処理を行って相分離を生じないものである。
まず、図7(a)で示すように、ケイ素を含有する非相分離性の第1母材層102上に、非相分離性の第2母材層101を形成する。非相分離性とは相分離性ではないものであり、相分離性とは加熱処理によって上述した相分離が生じる特性のことをいう。具体的には、非相分離性の第2母材層101は、ケイ素含有量が少ない、あるいはケイ素を含まない材料からなり、それ自体では450℃以上750℃以下の温度で1時間乃至100時間の加熱処理を行って相分離を生じないものである。
非相分離性の第2母材層101は、特に限定されるものではないが、例えば、酸化ケイ素系ガラスI(母体ガラス組成:酸化ケイ素−酸化ホウ素−アルカリ金属酸化物)、酸化ケイ素系ガラスII(母体ガラス組成:酸化ケイ素−酸化ホウ素−アルカリ金属酸化物−(アルカリ土類金属酸化物,酸化亜鉛,酸化アルミニウム,酸化ジルコニウム))、酸化チタン系ガラス(母体ガラス組成:酸化ケイ素−酸化ホウ素−酸化カルシウム−酸化マグネシウム−酸化アルミニウム−酸化チタン)などが挙げられる。それらの中でも、酸化ケイ素系ガラスIのホウケイ酸系ガラスが好ましく、さらに好ましくは、酸化ホウ素−アルカリ金属酸化物のアルカリボレート系ガラスである。
一般にホウケイ酸系ガラスにおいて、酸化ケイ素の割合が60.0重量%以下である組成のガラスでは相分離が確認されない傾向にある。
本発明の製造方法では、後述するように、第1母材層102からケイ素の拡散を利用して、非相分離性の第2母材層101を相分離性のガラス層の組成にする構成である。このため、第2母材層101は、ケイ素含有量が少ないことが好ましく、特に、第1母材層102の表層よりもケイ素含有量が少ないことが好ましい。特に第1母材層102の表層のケイ素含有量と第2母材層101のケイ素含有量の差が50.0重量%以上であることが好ましく、より好ましくは70.0重量%以上である。50.0重量%よりも小さいと、成分拡散の効果が小さくなることがある。さらに好ましくは、第2母材層101がケイ素を含まない構成である。なお、第1母材層102の表層とは、後述する成分拡散しうる領域のことである。
ケイ素含有量は、以下の方法で測定される。すなわちX線光電子分光装置(XPS)を用いて構成元素の定量分析を行う。測定装置としてはESCALAB 220i−XL(Thermo Scientific社製)を用いることができる。なお、測定の際に酸素を除外した元素の中で存在比(atomic%)を算出する。また、後述する組成傾斜領域104のケイ素含有量の測定としては、相分離性ガラス層201の表面からXPS測定と、スパッタによる表面切削を交互に繰り返すことで深さ方向の元素分析をすることができる。
第2母材層101としては、ケイ素含有量が増加することで相分離性を有する組成であることが望ましい。具体的には、上述したように、酸化ケイ素の割合が60.0重量%以下である組成のホウケイ酸ガラスが好適に使用することができ、より好ましくは酸化ケイ素の割合が30.0重量%以下の組成のものである。また、酸化ケイ素の割合が少ないアルカリボレート系のガラスも好適に使用することができる。
また、ケイ素含有量が多いほど溶融温度は上昇する傾向があるため、溶融温度を低くする点でも第2母材層101のケイ素含有量が小さいほうが好ましい。
本発明の第2母材層101は、組成傾斜領域を形成させるのに十分な厚さを有していればよく、具体的には100nm以上であることが好ましい。100nmよりも薄い場合、形成される多孔質ガラス層202の厚さが200nmを下回り、また組成傾斜領域が小さくなり、リップル抑制効果が小さくなるだけでなく、多孔質ガラス層202の表面での低反射率特性の効果を得られなくなる。
第2母材層101の形成方法としては、各母材層間の相互拡散が面内で一様に行われるように、第1母材層102上に平面状に形成する方法が好ましい。例えば、印刷法、真空蒸着法、スパッタリング法、スピンコート法、ディップコート法など膜形成が可能な全ての製造方法が挙げられる。この中で、任意のガラス組成のガラス層を形成するために好適に使用される方法として、スクリーン印刷を用いた印刷法が挙げられる。以下では、一般的なスクリーン印刷法を用いた方法を例示しながら説明する。スクリーン印刷法では、ガラス粉体をペースト化しスクリーン印刷機を使用して印刷されるため、ペーストの調整が必須である。
ガラス粉体となる基礎ガラスの製造方法は、目的とするガラスの組成となるように原料を調製するほかは、公知の方法を用いて製造することができる。例えば、各成分の供給源を含む原料を加熱溶融し、必要に応じて所望の形態に成形することにより製造することができる。加熱溶融する場合の加熱温度は、原料組成等により適宜設定すれば良いが、通常は1350℃乃至1450℃、特に1380℃乃至1430℃の範囲が好ましい。
ペーストとして使用するためには、基礎ガラスを粉体化してガラス粉体にする。粉体化の方法は、特に方法を限定する必要がなく、公知の粉体化方法が使用可能である。粉体化方法の一例として、ビーズミルに代表される液相での粉砕方法や、ジェットミルなどに代表される気相での粉砕方法が挙げられる。なお、使用するガラス粉体としては、非相分離性のガラス粉体が含有されていればよく、非相分離性のガラス粉体の他に、相分離性のガラス粉体が含有されていてもよい。
また、ペーストには、上記ガラス粉体と共に、熱可塑性樹脂、可塑剤、溶剤等が含まれる。ペーストに含有されるガラス粉体の割合としては、30.0重量%以上90.0重量%以下、好ましくは35.0重量%以上70.0重量%以下の範囲が望ましい。
ペーストに含有される熱可塑性樹脂は、乾燥後の膜強度を高め、また柔軟性を付与する成分である。熱可塑性樹脂として、ポリブチルメタアクリレート、ポリビニルブチラール、ポリメチルメタアクリレート、ポリエチルメタアクリレート、エチルセルロース等が使用可能である。これら熱可塑性樹脂は、単独あるいは複数を混合して使用することが可能である。ペーストに含有される前記熱可塑性樹脂の含有量は、0.1重量%以上30.0重量%以下が好ましい。0.1重量%よりも小さい場合は乾燥後の膜強度が弱くなる傾向にある。30.0重量%よりも大きい場合はガラス層を形成する際にガラス中に樹脂の残存成分が残りやすくなるため好ましくない。
ペーストに含有される可塑剤として、ブチルベンジルフタレート、ジオクチルフタレート、ジイソオクチルフタレート、ジカプリルフタレート、ジブチルフタレート等があげられる。これらの可塑剤は、単独あるいは複数を混合して使用することが可能である。ペーストに含有される可塑剤の含有量は10.0重量%以下が好ましい。可塑剤を添加することで、乾燥速度をコントロールすると共に、乾燥膜に柔軟性を与えることができる。
ペーストに含有される溶剤として、ターピネオール、ジエチレングリコールモノブチルエーテルアセテート、2,2,4−トリメチル−1,3−ペンタジオールモノイソブチレート等が挙げられる。前記溶剤は単独あるいは複数を混合して使用することが可能である。ペーストに含有される溶剤の含有量は、10.0重量%以上90.0重量%以下が好ましい。10.0重量%よりも小さいと均一な膜が得難くなる傾向にある。また、90.0重量%を超えると均一な膜が得難くなる傾向にある。
ペーストの作製は、上記の材料を所定の割合で混練することにより行うことができる。このようにして作成されたペーストをスクリーン印刷法を用いて第1母材層102上に塗布した後、ペーストの溶媒成分を乾燥・除去することで、ガラス粉体層を形成することができる。
そして、ガラス粉体層の粉体を融着、または溶融させて第2母材層101を形成する。ガラス粉体層を融着する際には、ガラス粉体膜のガラス転移点以上で熱処理することが好ましい。ガラス転移点よりも低い場合には粉体同士の融着が進行せず、平滑なガラス層が形成されない傾向にある。
なお、ペーストの溶媒成分の除去およびガラス粉体層を融着または溶融する工程は、後で行う相分離性ガラス層を形成する工程や相分離処理工程を兼ねてもよく、その場合はガラス粉体層が第2母材層101と対応する。
また、目的とする厚さにするために任意の回数、ガラスペーストを重ねて塗布、乾燥してもよい。
溶媒を乾燥・除去する温度、時間は使用する溶媒に応じて適宜、変更することができるが、熱可塑性樹脂の分解温度より低い温度で乾燥することが好ましい。乾燥温度が熱可塑性樹脂の分解温度より高い場合、ガラス粒子が固定されず、ガラス粉体層にしたときに欠陥の発生や凹凸が激しくなる傾向がある。
また、第1母材層102を用いることにより、相分離工程時の熱処理によるガラス層の歪みを抑制する効果や、多孔質ガラス層202の厚さを調整しやすいという効果が得られる。
第1母材層102は、最終的には、基材105と傾斜領域107の一部とになる。第1母材層102の材料としては、ケイ素元素を含有していれば何ら限定するわけではないが、上述した基材105と同じもの、例えば石英ガラス、クォーツ、を使用することができる。
基材の軟化温度は、後述する相分離工程での加熱温度(相分離温度)以上であることが好ましく、さらに好ましくは相分離温度に100℃を加算した温度以上である。ただし、基材が結晶の場合は溶融温度を軟化温度とする。軟化温度が相分離温度よりも低いと、相分離工程時において第1母材層102(基材105)の歪みが発生することがあるため、好ましくない。なお、相分離温度とは、スピノーダル型の相分離を生じるために加熱する温度のうち最大温度を表す。
また、第1母材層102は、相分離ガラス層のエッチングに対する耐性があることが好ましい。
[相分離性ガラス層を形成する工程]
続いて、図7(b)で示すように、第1母材層102に含まれる成分と第2母材層101に含まれる成分とを互いに拡散させて、基材105上に組成傾斜領域104を有する相分離性ガラス層201を形成する。組成傾斜領域104とは、基材105から相分離性ガラス層201の表面に向かってケイ素含有量が少なくなっている領域である。また、図7(b)の例では、相分離性ガラス層201はケイ素含有量が一定の領域103を有しているが、相分離性ガラス層201にわたって組成傾斜領域104が形成されていてもよい。
続いて、図7(b)で示すように、第1母材層102に含まれる成分と第2母材層101に含まれる成分とを互いに拡散させて、基材105上に組成傾斜領域104を有する相分離性ガラス層201を形成する。組成傾斜領域104とは、基材105から相分離性ガラス層201の表面に向かってケイ素含有量が少なくなっている領域である。また、図7(b)の例では、相分離性ガラス層201はケイ素含有量が一定の領域103を有しているが、相分離性ガラス層201にわたって組成傾斜領域104が形成されていてもよい。
ケイ素を拡散させるためにはいかなる手法を用いてもよいが、特に、相分離性ガラス層201の溶融温度以上の温度で熱処理することが好ましい。この理由として、下記のように推測している。
成分拡散時に第2母材層101が溶融状態にあると、第1母材層102の表層から第2母材層101へのケイ素の拡散が進行しやすく、徐々に第2母材層101中のケイ素含有量が多くなり、相分離性を有する組成へと変化する。
また、成分拡散の開始時は、第2母材層101はケイ素の含有量が少なく、溶融状態の第2母材層101の粘性は小さいため、第1母材層102から拡散してきたケイ素が第2母材層101の表面までさらに拡散する。そして、第2母材層101内のケイ素含有量が増加すると第2母材層101の粘性が大きくなる。特に、ケイ素供給源に近い第1母材層102と第2母材層101との界面付近では、第2母材層101の表面よりも粘性が高くなっていると考えられる。つまり、粘性に分布が生じると考えられる。このため、第1母材層102から拡散してきたケイ素が第2母材層101の表面までは拡散しにくくなり、第2母材層101の第1母材層102との界面付近でケイ素含有量の組成傾斜領域が形成される。この組成傾斜領域によって、さらに粘性の分布が生じ、ケイ素が拡散しにくい状態になり、ケイ素の拡散が抑えられ、結果として基材105側から相分離性ガラス層201の表面側へ向けて、ケイ素の組成傾斜がさらに緩やかなものとなると考える。
このような成分拡散によって、第1母材層102は組成傾斜領域104と第1母材層102と同じ組成の基材105に変化し、第2母材層101は相分離性ガラス層201の組成傾斜領域104に変化する。なお、第2母材層101は、相分離性ガラス層201の組成傾斜領域104とケイ素含有量が一定の領域103とに変化する場合もある。
ガラスの溶融温度は、下記のようにして算出される。溶融温度を測定したいガラスを加熱した際の様子を顕微鏡にて観察し、加熱温度を上げていき、溶融が確認された温度を溶融温度とする。具体的には、測定するガラスサンプルを粉砕したものを石英ガラスプレートの上に乗せ、加熱ステージが付随した顕微鏡(Imager.A1M ZEISS社製)を使用し、倍率750倍の視野で観察を行う。次いで、加熱顕微鏡でサンプル形状を観察しながらガラスが溶融した温度を溶融温度とする。溶融温度は、ガラス組成等により適宜設定すれば良いが、通常は500℃乃至1450℃であり、より好ましくは500℃乃至1000℃の範囲である。1450℃を超える温度で溶融すると、ガラス成分の蒸発により、ガラス組成が変化することがある。
形成された相分離性ガラス層201としては、例えば、酸化ケイ素系ガラスI(酸化ケイ素−酸化ホウ素−アルカリ金属酸化物)、酸化ケイ素系ガラスII(酸化ケイ素−酸化ホウ素−アルカリ金属酸化物−(アルカリ土類金属酸化物,酸化亜鉛,酸化アルミニウム,酸化ジルコニウムの少なくとも1種))、酸化ケイ素系ガラスIII(酸化ケイ素−リン酸塩−アルカリ金属酸化物)、酸化チタン系ガラス(酸化ケイ素−酸化ホウ素−酸化カルシウム−酸化マグネシウム−酸化アルミニウム−酸化チタン)などになることが望ましい。なかでも、酸化ケイ素系ガラスIのホウケイ酸系ガラスであることが好ましい。さらには、ホウケイ酸系ガラスにおいて酸化ケイ素の割合が55.0重量%以上95.0重量%以下の組成、特に60.0重量%以上85.0重量%以下の組成であることが好ましい。酸化ケイ素の割合が上記の範囲であると、骨格強度が高い相分離ガラスを得やすい傾向にあり、強度が必要とされる場合に有用である。
[相分離ガラス層を形成する工程、および多孔質ガラス層を形成する工程]
次に、図7(c)に示すように、相分離性ガラス層を相分離して相分離ガラス層を形成し、相分離ガラス層をエッチングして基材105の上に多孔質ガラス層202を形成する。この結果、多孔質ガラス層202には、基材105と多孔質ガラス層202との界面から多孔質ガラス層202の表面に向かって空孔率が増大する傾斜領域107が形成される。この傾斜領域107は組成傾斜領域104に由来する領域である。
次に、図7(c)に示すように、相分離性ガラス層を相分離して相分離ガラス層を形成し、相分離ガラス層をエッチングして基材105の上に多孔質ガラス層202を形成する。この結果、多孔質ガラス層202には、基材105と多孔質ガラス層202との界面から多孔質ガラス層202の表面に向かって空孔率が増大する傾斜領域107が形成される。この傾斜領域107は組成傾斜領域104に由来する領域である。
相分離ガラス層を形成するための相分離工程は、より具体的には450℃以上750℃以下の温度で1時間以上保持することにより行われる。この相分離工程での加熱温度は、一定温度である必要はなく、温度を連続的に変化させたり、異なる複数の温度段階を経てもよい。
また、上述した相分離性ガラス層201を形成する工程での熱処理によって、相分離性ガラス層201を形成する工程と相分離ガラス層を形成する工程とを同時に行うことも可能である。つまり、第2母材層101を熱処理することで成分拡散を行い、組成傾斜領域を形成し、相分離ガラス層を形成するようにしてもよい。
相分離ガラス層をエッチングする工程によって、相分離されたガラス層の酸化ケイ素リッチ相を残しながら、非酸化ケイ素リッチ相を除去することができ、残った部分が多孔質ガラス層202の骨格に、除去された部分が多孔質ガラス層202の孔になる。
非酸化ケイ素リッチ相を除去するエッチング処理は、水溶液に接触させることで可溶相である非酸化ケイ素リッチ相を溶出する処理が一般的である。水溶液をガラスに接触させる手段としては、水溶液中にガラスを浸漬させる手段が一般的であるが、ガラスに水溶液を塗布するなど、ガラスと水溶液が接触する手段であれば何ら限定されない。エッチング処理に必要な水溶液としては、水、酸溶液、アルカリ溶液など、非酸化ケイ素リッチ相を溶出可能な既存の溶液を使用することが可能である。また、用途に応じてこれらの水溶液に接触させる工程を複数種類選択してもよい。
一般的な相分離ガラスのエッチング処理では、非可溶相(酸化ケイ素リッチ相)部分への負荷の小ささと選択エッチングの度合いの観点から酸処理が好適に用いられる。酸溶液と接触させることによって、酸可溶成分である非酸化ケイ素リッチ相が溶出除去される一方で、酸化ケイ素リッチ相の侵食は比較的小さく、高い選択エッチング性を行なうことができる。
酸溶液としては、例えば塩酸、硝酸等の無機酸が好ましい。酸溶液は通常は水を溶媒とした水溶液を用いるのが好ましい。酸溶液の濃度は、通常は0.1mol/L以上2.0mol/L以下の範囲内で適宜設定すれば良い。酸処理工程では、酸溶液の温度を室温乃至100℃の範囲とし、処理時間は1時間以上500時間以下とすれば良い。
ガラス組成や作製条件によっては、相分離処理後のガラス表面にエッチングを阻害する酸化ケイ素層が数10nm程度発生する場合がある。この表面の酸化ケイ素層を研磨やアルカリ処理などで除去することもできる。エッチング条件によっては、骨格に可溶層の一部がゲル状の酸化ケイ素として堆積する場合がある。ゲル状酸化ケイ素が存在すると光学部材の環境などの安定性が低下する傾向がある。
必要であれば、酸性度が異なる酸エッチング液又は水を用い、多段階でエッチングする方法を用いることができる。エッチング温度として、20℃以上100℃以下でエッチングを行うこともできる。また必要であれば、エッチング処理中に超音波を印加して行うこともできる。
一般に、酸溶液やアルカリ溶液などで処理(エッチング工程1)をした後に水処理(エッチング工程2)をすることが好ましい。水処理を施すことで、多孔質ガラス骨格への残存成分の付着物を抑制することができ、より多孔度の高い多孔質ガラスが得られる傾向にある。
水処理工程における温度は、一般的には20℃以上100℃以下の範囲が好ましい。水処理工程の時間は、対象となるガラスの組成、大きさ等に応じて適宜定めることができるが、通常は1時間以上50時間以下とすれば良い。
以下に実施例について説明するが、本発明は実施例によって制限されるものではない。
<基材1>
基材1としては石英基材(株式会社飯山特殊硝子社製、軟化点1700℃、ヤング率72GPa)を用い、50mm×50mmの大きさに切断した厚さ0.5mmのもので、鏡面研磨したものを使用した。
基材1としては石英基材(株式会社飯山特殊硝子社製、軟化点1700℃、ヤング率72GPa)を用い、50mm×50mmの大きさに切断した厚さ0.5mmのもので、鏡面研磨したものを使用した。
<ガラス粉体1の作製例>
仕込み組成が、B2O3 80重量%、Na2O 20重量%になるように、石英粉体、酸化ホウ素、酸化ナトリウム、及びアルミナの混合粉体を白金るつぼ内で、1500℃、24時間溶融した。その後、溶融した原料の温度を1300℃に下げてからグラファイトの型に流し込んだ。その後、空気中で約20分間放冷した後、500℃の徐冷炉で5時間保持し、最後に24時間かけて冷却させてアルカリボレートガラスを得た。このアルカリボレートガラスを後述する光学部材の作製温度条件で熱処理したところ、相分離現象が確認されなかった。
仕込み組成が、B2O3 80重量%、Na2O 20重量%になるように、石英粉体、酸化ホウ素、酸化ナトリウム、及びアルミナの混合粉体を白金るつぼ内で、1500℃、24時間溶融した。その後、溶融した原料の温度を1300℃に下げてからグラファイトの型に流し込んだ。その後、空気中で約20分間放冷した後、500℃の徐冷炉で5時間保持し、最後に24時間かけて冷却させてアルカリボレートガラスを得た。このアルカリボレートガラスを後述する光学部材の作製温度条件で熱処理したところ、相分離現象が確認されなかった。
得られたアルカリボレートガラスのブロックを粒子の平均粒子径が2.0μmになるまで粉砕し、ガラス粉体1を得た。得られたガラス粉体1のSiの存在比は0atomic%であり、溶融温度は600℃であった。
<ガラス粉体2の作製例>
仕込み組成が、SiO2 64重量%、B2O3 27重量%、Na2O 6重量%、Al2O3 3重量%になるように、石英粉体、酸化ホウ素、酸化ナトリウム、及びアルミナの混合粉体を白金るつぼ内で、1500℃、24時間溶融した。その後、溶融した原料の温度を1300℃に下げてからグラファイトの型に流し込んだ。その後、空気中で約20分間放冷した後、500℃の徐冷炉で5時間保持し、最後に24時間かけて冷却させてホウケイ酸塩ガラスを得た。ホウケイ酸塩ガラスを後述する光学部材の作製温度条件で熱処理したところ、相分離現象が確認されなかった。
仕込み組成が、SiO2 64重量%、B2O3 27重量%、Na2O 6重量%、Al2O3 3重量%になるように、石英粉体、酸化ホウ素、酸化ナトリウム、及びアルミナの混合粉体を白金るつぼ内で、1500℃、24時間溶融した。その後、溶融した原料の温度を1300℃に下げてからグラファイトの型に流し込んだ。その後、空気中で約20分間放冷した後、500℃の徐冷炉で5時間保持し、最後に24時間かけて冷却させてホウケイ酸塩ガラスを得た。ホウケイ酸塩ガラスを後述する光学部材の作製温度条件で熱処理したところ、相分離現象が確認されなかった。
得られたホウケイ酸塩ガラスのブロックを粒子の平均粒子径が4.5μmになるまで粉砕し、ガラス粉体2を得た。得られたガラス粉体2のSiの存在比は51atomic%であり、溶融温度は850℃であった。
<ガラスペースト1の作製例>
ガラス粉体1 60.0質量部
ターピネオール 44.0質量部
エチルセルロース(登録商標 ETHOCEL Std 200(ダウ・ケミカル社製)) 2.0質量部
上記原材料を撹拌混合し、ガラスペースト1を得た。ガラスペースト1の粘度は21500mPa・sであった。
ガラス粉体1 60.0質量部
ターピネオール 44.0質量部
エチルセルロース(登録商標 ETHOCEL Std 200(ダウ・ケミカル社製)) 2.0質量部
上記原材料を撹拌混合し、ガラスペースト1を得た。ガラスペースト1の粘度は21500mPa・sであった。
<ガラスペースト2の作製例>
ガラス粉体1の代わりにガラス粉体2を使用する以外は、ガラスペースト1と同様の方法でガラスペースト2を得た。ガラスペースト2の粘度は31300mPa・sであった。
ガラス粉体1の代わりにガラス粉体2を使用する以外は、ガラスペースト1と同様の方法でガラスペースト2を得た。ガラスペースト2の粘度は31300mPa・sであった。
<光学部材1の作製例>
ガラスペースト1を基材1上にスクリーン印刷により塗布した。印刷機はマイクロテック社製、MT−320TVを使用した。また、#500の30mm×30mmの版を使用した。次いで、100℃の乾燥炉に10分間静置し、溶剤分を乾燥させて、ガラス粉体膜を形成した。このガラス粉体膜の厚みは、SEMにて測定したところ4.2μmであった。
ガラスペースト1を基材1上にスクリーン印刷により塗布した。印刷機はマイクロテック社製、MT−320TVを使用した。また、#500の30mm×30mmの版を使用した。次いで、100℃の乾燥炉に10分間静置し、溶剤分を乾燥させて、ガラス粉体膜を形成した。このガラス粉体膜の厚みは、SEMにて測定したところ4.2μmであった。
この膜を熱処理工程1として昇温速度10℃/minで860℃まで昇温し、3時間熱処理し、室温まで降温した。なお、XPSにて、ガラス層の組成を測定したところSiの含有量が500nm程度の領域で基材1に向かって傾斜していることが確認された。
その後、熱処理工程2として降温速度20℃/minで550℃まで降温し、550℃の温度で25時間熱処理し、膜最表面を研磨して相分離ガラスを得た。
相分離ガラス層を、80℃に加熱した1.0mol/Lの硝酸水溶液中に浸漬し、80℃にて24時間静置した。次いで、80℃に加熱した蒸留水中に浸漬し、24時間静置した。溶液から相分離ガラス構造体を取り出し、室温にて12時間乾燥して光学部材1を得た。この光学部材1の多孔質ガラス層202の厚さを測定すると8.5μmであった。
図2は、光学部材203の基材105と多孔質ガラス層202の断面の電子顕微鏡観察図(SEM像)である。電子顕微鏡(SEM)で光学部材表面を観察したところ、相分離によるスピノーダル型の多孔質構造が確認され、表面のガラス層が相分離ガラス層になっていたことが裏付けられている。また、図2から基材105から多孔質骨格が減少する様子が確認され、広いレンジにわたって空孔率が傾斜している領域(傾斜領域107)が確認された。なお、図3から、傾斜領域107の傾きは線形であった。
なお、光学部材1の製造条件を表1に、構成を表2に示す。
<光学部材2の作製例>
本例では、熱処理工程1において860℃で1時間保持した点以外は、光学部材1と同様にして光学部材2を作製した。光学部材2の製造条件を表1に示す。
本例では、熱処理工程1において860℃で1時間保持した点以外は、光学部材1と同様にして光学部材2を作製した。光学部材2の製造条件を表1に示す。
なお、多孔質ガラス層の厚さを測定すると8.0μmであり、電子顕微鏡像から基材部分から多孔質骨格が減少する様子が確認され、広いレンジにわたって多孔質構造が傾斜している様子が確認された。また、傾斜領域の傾きは線形なものであった。
得られた光学部材2の構成を表2に示す。
<光学部材3の作製例>
本例では、熱処理工程1において800℃で1時間保持し、熱処理工程2で550℃で50時間保持した点以外は、光学部材1と同様にして光学部材3を作製した。光学部材3の製造条件を表1に示す。
本例では、熱処理工程1において800℃で1時間保持し、熱処理工程2で550℃で50時間保持した点以外は、光学部材1と同様にして光学部材3を作製した。光学部材3の製造条件を表1に示す。
なお、多孔質ガラス層の厚さを測定すると3.8μmであり、電子顕微鏡像から基材部分から多孔質骨格が減少する様子が確認され、広いレンジにわたって多孔質構造が傾斜している様子が確認された。
得られた光学部材3の構成を表2に示す。
<光学部材4の作製例>
本例では、使用するガラスペーストをガラスペースト1からガラスペースト2に変更し、熱処理工程1において700℃で1時間保持し、熱処理工程2で600℃で50時間保持した点以外は、光学部材1と同様にして光学部材4を作製した。光学部材4の製造条件を表1に示す。
本例では、使用するガラスペーストをガラスペースト1からガラスペースト2に変更し、熱処理工程1において700℃で1時間保持し、熱処理工程2で600℃で50時間保持した点以外は、光学部材1と同様にして光学部材4を作製した。光学部材4の製造条件を表1に示す。
図8は、光学部材4の基材105と多孔質ガラス層210の断面の電子顕微鏡観察図(SEM像)である。電子顕微鏡(SEM)で光学部材4の表面を観察したところ、相分離による7.0μmの厚さのスピノーダル型の多孔質ガラス構造が確認されたが、基材105と多孔質構造の間には空孔率が傾斜している領域は確認されなかった。
得られた光学部材4の構成を表2に示す。なお、表2では、便宜上、上述したように傾斜領域の厚さを見積もった。
<表面反射率の評価>
レンズ反射率測定機(USPM−RU、オリンパス製)を用いて、波長領域450乃至650nmの範囲で1nmごとに各構造体の表面反射率を測定した。
レンズ反射率測定機(USPM−RU、オリンパス製)を用いて、波長領域450乃至650nmの範囲で1nmごとに各構造体の表面反射率を測定した。
表面反射率の結果を図9に記す。基材に使用した石英ガラスの反射率が波長領域450乃至650nmの範囲にわたって約3.4%であったので、光学部材1乃至4はいずれも、低反射率を有していることが分かる。
光学部材1乃至3では、リップルが低減された反射特性を有し、さらには波長領域450乃至650nmの範囲で93%を超える高い透過率を有しており、優れた光学性能を有しており、低反射率を有する光学部材として利用可能である。光学部材4ではリップルが著しく、また透過率が80%であり、光学部材としての利用にはやや難があった。
101 第1母材層
102 第2母材層
104 組成傾斜領域
105 基材
107 傾斜領域
201 相分離ガラス層
202 多孔質ガラス層
203 光学部材
102 第2母材層
104 組成傾斜領域
105 基材
107 傾斜領域
201 相分離ガラス層
202 多孔質ガラス層
203 光学部材
Claims (12)
- 基材と、前記基材の上に配置された400nm以上の厚さを有する多孔質ガラス層と、を備える光学部材であって、
前記多孔質ガラス層において、前記基材と前記多孔質ガラス層との界面から多孔質ガラス層の表面に向かって空孔率が増大する傾斜領域を少なくとも有し、かつ、前記基材から前記多孔質ガラス層の表面にわたって、厚さ方向で空孔率が連続的であり、
前記傾斜領域の両端の空孔率差P[%]と前記傾斜領域の厚さT[nm]とが、
P/T≦0.60
を満たすことを特徴とする光学部材。 - 前記空孔率差P[%]と前記厚さT[nm]とが、
P/T≦0.30
を満たすことを特徴とする請求項1に記載の光学部材。 - 前記空孔率差P[%]と前記厚さT[nm]とが、
P/T≦0.10
を満たすことを特徴とする請求項1又は2に記載の光学部材。 - 前記傾斜領域の空孔率が前記多孔質ガラス表面に向かって、単調に増大していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の光学部材。
- 前記傾斜領域の厚さが100nm以上であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の光学部材。
- 前記傾斜領域の厚さTが200nm以上であることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の光学部材。
- 前記傾斜領域の厚さTが400nm以上であることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の光学部材。
- 前記多孔質ガラス層は、空孔率が一定である領域を有することを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載の光学部材。
- 請求項1乃至8のいずれか1項に記載の光学部材と、撮像素子と、を有することを特徴とする撮像装置。
- 基材の上に形成された多孔質ガラス層を備える光学部材の製造方法であって、
ケイ素を含有する非相分離性の第1母材層の上に非相分離性の第2母材層を形成する工程と、
前記第1母材層に含まれるケイ素と前記第2母材層に含まれる成分とを互いに拡散させて、組成傾斜領域を有する相分離性ガラス層を形成する工程と、
前記相分離性ガラス層を相分離して相分離ガラス層を形成する工程と、
前記相分離ガラス層をエッチングして、基材の上に多孔質ガラス層を形成する工程と、
を有することを特徴とする光学部材の製造方法。 - 前記相分離性ガラス層を形成する工程は、前記第2母材層の溶融温度以上の温度で熱処理する工程を含むことを特徴とする請求項10に記載の光学部材の製造方法。
- 前記相分離性ガラス層を形成する工程と、前記相分離ガラス層を形成する工程と、は同時に行うことを特徴とする請求項10または11に記載の光学部材の製造方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012222900A JP2013127602A (ja) | 2011-11-18 | 2012-10-05 | 光学部材、撮像装置、光学部材の製造方法及び撮像装置の製造方法 |
US14/358,883 US20140320728A1 (en) | 2011-11-18 | 2012-11-06 | Optical member, image pickup apparatus, and method for manufacturing optical member |
PCT/JP2012/007110 WO2013073131A1 (en) | 2011-11-18 | 2012-11-06 | Optical member, image pickup apparatus, and method for manufacturing optical member |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011253070 | 2011-11-18 | ||
JP2011253070 | 2011-11-18 | ||
JP2012222900A JP2013127602A (ja) | 2011-11-18 | 2012-10-05 | 光学部材、撮像装置、光学部材の製造方法及び撮像装置の製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013127602A true JP2013127602A (ja) | 2013-06-27 |
Family
ID=47520212
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012222900A Withdrawn JP2013127602A (ja) | 2011-11-18 | 2012-10-05 | 光学部材、撮像装置、光学部材の製造方法及び撮像装置の製造方法 |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20140320728A1 (ja) |
JP (1) | JP2013127602A (ja) |
WO (1) | WO2013073131A1 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190023077A (ko) * | 2016-06-21 | 2019-03-07 | 쇼오트 아게 | 금속-유리 결합부, 특히 피드 스루 엘리먼트 또는 연결 엘리먼트 내에서의 금속-유리 결합부와 같은 적어도 부분적으로 결정화된 유리를 사용하여 제조된 결합부, 및 특히 피드 스루 엘리먼트 또는 연결 엘리먼트 내에서의 이러한 결합부의 제조 방법 |
Families Citing this family (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9393760B2 (en) | 2013-02-28 | 2016-07-19 | Corning Incorporated | Laminated glass articles with phase-separated claddings and methods for forming the same |
US10401535B2 (en) * | 2016-07-25 | 2019-09-03 | Apple Inc. | Electronic devices having transparent crystalline structures with antireflection coatings |
US20210031232A1 (en) * | 2019-07-30 | 2021-02-04 | United Protective Technologies, Llc | Transparent superhydrophobic composition |
US11603329B2 (en) * | 2020-04-22 | 2023-03-14 | Waymo Llc | Methods for preparing a superomniphobic coating |
US11724955B2 (en) * | 2020-07-29 | 2023-08-15 | Waymo Llc | Superomniphobic bulk optical glass |
WO2024112427A1 (en) * | 2022-11-21 | 2024-05-30 | Corning Incorporated | Glass article and methods of making the same |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4273826A (en) * | 1979-12-03 | 1981-06-16 | Owens-Illinois, Inc. | Process of making glass articles having antireflective coatings and product |
US4535026A (en) * | 1983-06-29 | 1985-08-13 | The United States Of America As Represented By The United States Department Of Energy | Antireflective graded index silica coating, method for making |
US4830879A (en) * | 1986-09-25 | 1989-05-16 | Battelle Memorial Institute | Broadband antireflective coating composition and method |
JPS6483583A (en) | 1987-09-26 | 1989-03-29 | Agency Ind Science Techn | Method for forming cellular film |
US5580819A (en) * | 1995-03-22 | 1996-12-03 | Ppg Industries, Inc. | Coating composition, process for producing antireflective coatings, and coated articles |
DE102005044522B4 (de) * | 2005-09-16 | 2010-02-11 | Schott Ag | Verfahren zum Aufbringen einer porösen Glasschicht, sowie Verbundmaterial und dessen Verwendung |
US8557877B2 (en) * | 2009-06-10 | 2013-10-15 | Honeywell International Inc. | Anti-reflective coatings for optically transparent substrates |
US20110151222A1 (en) * | 2009-12-22 | 2011-06-23 | Agc Flat Glass North America, Inc. | Anti-reflective coatings and methods of making the same |
JP5773576B2 (ja) * | 2010-04-01 | 2015-09-02 | キヤノン株式会社 | 反射防止構造および光学機器 |
JP2013124209A (ja) * | 2011-12-15 | 2013-06-24 | Canon Inc | 光学部材、撮像装置及び光学部材の製造方法 |
JP6016582B2 (ja) * | 2011-12-15 | 2016-10-26 | キヤノン株式会社 | 光学部材の製造方法 |
US20130215513A1 (en) * | 2012-01-30 | 2013-08-22 | Guardian Industries Corp. | Method of making coated article including anti-reflection coating with porosity differences in two layers, and products containing the same |
-
2012
- 2012-10-05 JP JP2012222900A patent/JP2013127602A/ja not_active Withdrawn
- 2012-11-06 US US14/358,883 patent/US20140320728A1/en not_active Abandoned
- 2012-11-06 WO PCT/JP2012/007110 patent/WO2013073131A1/en active Application Filing
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20190023077A (ko) * | 2016-06-21 | 2019-03-07 | 쇼오트 아게 | 금속-유리 결합부, 특히 피드 스루 엘리먼트 또는 연결 엘리먼트 내에서의 금속-유리 결합부와 같은 적어도 부분적으로 결정화된 유리를 사용하여 제조된 결합부, 및 특히 피드 스루 엘리먼트 또는 연결 엘리먼트 내에서의 이러한 결합부의 제조 방법 |
JP2019522618A (ja) * | 2016-06-21 | 2019-08-15 | ショット アクチエンゲゼルシャフトSchott AG | 少なくとも部分的に結晶化されたガラスで製造された結合、例えば金属−ガラス結合、ことにフィードスルーエレメントまたは結合エレメントの場合の金属−ガラス結合、ならびに、ことにフィードスルーエレメントまたは結合エレメントの場合のこのような結合の製造方法 |
JP7109383B2 (ja) | 2016-06-21 | 2022-07-29 | ショット アクチエンゲゼルシャフト | 少なくとも部分的に結晶化されたガラスで製造された結合、例えば金属-ガラス結合、ことにフィードスルーエレメントまたは結合エレメントの場合の金属-ガラス結合、ならびに、ことにフィードスルーエレメントまたは結合エレメントの場合のこのような結合の製造方法 |
KR102431602B1 (ko) | 2016-06-21 | 2022-08-12 | 쇼오트 아게 | 금속-유리 결합부, 특히 피드 스루 엘리먼트 또는 연결 엘리먼트 내에서의 금속-유리 결합부와 같은 적어도 부분적으로 결정화된 유리를 사용하여 제조된 결합부, 및 특히 피드 스루 엘리먼트 또는 연결 엘리먼트 내에서의 이러한 결합부의 제조 방법 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140320728A1 (en) | 2014-10-30 |
WO2013073131A1 (en) | 2013-05-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6080349B2 (ja) | 光学部材および撮像装置 | |
US9212088B2 (en) | Method for manufacturing optical member | |
JP6049401B2 (ja) | 光学部材、撮像装置及び光学部材の製造方法 | |
JP2013127602A (ja) | 光学部材、撮像装置、光学部材の製造方法及び撮像装置の製造方法 | |
US20160178806A1 (en) | Optical member and image pickup apparatus | |
US9517969B2 (en) | Method for manufacturing a porous glass film | |
US9766374B2 (en) | Optical member, image pickup apparatus, and method for manufacturing optical member | |
JP2013124209A (ja) | 光学部材、撮像装置及び光学部材の製造方法 | |
WO2013179563A1 (en) | Optical member with porous glass layer, image pickup apparatus, and method for manufacturing optical member | |
JP2013224249A (ja) | 光学部材の製造方法、光学部材及び撮像装置 | |
WO2013179602A1 (en) | Optical member, image pickup apparatus, and method for manufacturing optical member | |
US20160031754A1 (en) | Process for producing phase separation glass film, process for producing porous glass film, glass member, and imaging device | |
JP2015011162A (ja) | 光学部材、撮像装置及び光学部材の製造方法 | |
JP2016023109A (ja) | 相分離ガラス膜の製造方法、多孔質ガラス膜の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151005 |
|
A761 | Written withdrawal of application |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A761 Effective date: 20160909 |