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JP2013016205A - Capacitive coupling type touch panel - Google Patents

Capacitive coupling type touch panel Download PDF

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JP2013016205A
JP2013016205A JP2012225869A JP2012225869A JP2013016205A JP 2013016205 A JP2013016205 A JP 2013016205A JP 2012225869 A JP2012225869 A JP 2012225869A JP 2012225869 A JP2012225869 A JP 2012225869A JP 2013016205 A JP2013016205 A JP 2013016205A
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Japan
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electrodes
touch panel
conductor
opening
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Masaru Saito
賢 齋藤
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Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd
Japan Display Inc
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Panasonic Liquid Crystal Display Co Ltd
Japan Display East Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a capacitive coupling type touch panel in which characteristic decrease is suppressed and low cost is achieved.SOLUTION: A capacitive coupling type touch panel includes: a first shield conductor formed on a first surface of a substrate; an insulator film formed on the first conductor; plural first electrodes formed on the insulator film, extending in a first direction, and arranged in parallel; and plural second electrodes formed on the insulator film, extending in a second direction, and arranged in parallel. The first shield conductor receives a predetermined signal. Each of the plural first electrodes includes a first portion formed on the first surface of the substrate and a second portion formed away from the second electrodes on the insulator film. The first portion is connected to the second portion through a contact hole formed in the insulator film. The first shield conductor includes plural openings. The plural openings each include a first opening with the first portion formed in its opening and a second opening without the first portion formed in its opening.

Description

本発明は、タッチパネル付き表示装置に係り、特に、静電容量結合方式のタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に関するものである。   The present invention relates to a display device with a touch panel, and particularly to a display device with a touch panel provided with a capacitively coupled touch panel.

タッチパネルの主な方式として、光の変化を検出する方式と、電気的な特性の変化を検出する方式とが知られている。また、電気的な特性の変化を検出する方式として、静電容量結合方式が知られている。(下記、特許文献1、特許文献2参照)
図16乃至図18は従来の静電容量結合方式のタッチパネルに係る図であり、図16は電極パターンを示す平面図、図17は図16のF−F’線に沿った断面構造を示す断面図、図18は図16のG−G’線に沿った断面構造を示す断面図である。
従来の静電容量結合方式のタッチパネルは、図16乃至図18に示すように、第1の方向(例えばX方向)に延在し、前記第1の方向と交差する第2の方向(例えばY方向)に並設される複数の電極1Xと、この電極1Xと交差して前記第2の方向に延在し、前記第1の方向に並設される複数の電極2Yとを有している。複数の電極2Yは、基板11上に配置され、その上層に形成された絶縁膜12で覆われている。複数の電極1Xは、絶縁膜12上に配置され、その上層に形成された保護膜13で覆われている。電極1X及び2Yは、例えばITO(Indium Tin Oxide)等の透明性導電材料で形成されている。
また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルは、図17及び図18に示すように、基板11の観察者側とは反対側の面に面状のシールド用の導電体15を有している。このシールド用の導電体15は、所定の信号が入力され、表示パネルからタッチパネルへのノイズを低減している。シールド用の導電体15は、例えばITO等の透明性導電膜で形成されている。
As a main method of a touch panel, a method for detecting a change in light and a method for detecting a change in electrical characteristics are known. As a method for detecting a change in electrical characteristics, a capacitive coupling method is known. (See Patent Document 1 and Patent Document 2 below)
16 to 18 are diagrams related to a conventional capacitive coupling type touch panel, FIG. 16 is a plan view showing an electrode pattern, and FIG. 17 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure taken along line FF ′ of FIG. 18 and 18 are cross-sectional views showing a cross-sectional structure along the line GG ′ of FIG.
As shown in FIGS. 16 to 18, a conventional capacitively coupled touch panel extends in a first direction (for example, the X direction) and intersects the first direction (for example, Y direction). A plurality of electrodes 1 </ b> X arranged in parallel in the first direction, and a plurality of electrodes 2 </ b> Y extending in the second direction intersecting with the electrodes 1 </ b> X and arranged in parallel in the first direction. . The plurality of electrodes 2Y are disposed on the substrate 11 and covered with an insulating film 12 formed in an upper layer thereof. The plurality of electrodes 1X are disposed on the insulating film 12, and are covered with a protective film 13 formed in an upper layer thereof. The electrodes 1X and 2Y are made of a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide).
Further, as shown in FIGS. 17 and 18, the conventional capacitive coupling type touch panel has a planar shielding conductor 15 on the surface of the substrate 11 opposite to the observer side. . The shield conductor 15 receives a predetermined signal and reduces noise from the display panel to the touch panel. The shield conductor 15 is formed of a transparent conductive film such as ITO.

なお、本願発明に関連する先行技術文献としては以下のものがある。   As prior art documents related to the invention of the present application, there are the following.

特開2008−65748号公報JP 2008-65748 A 特願2007−175050号Japanese Patent Application No. 2007-175050

従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図16乃至図18に示すように、複数の電極1Xと複数の電極2Yとが絶縁膜12を介してそれぞれ異なる導電層(下層と上層)に形成されている。このような電極構造の場合、絶縁膜12及び上層の電極1X上に形成される保護膜13は、上層の電極1Xにより膜に歪みが生じるため、加えて、反射光に対しては、下層と上層とで光路長が異なるため、下層の電極1Xと上層の電極2Yに色差が生じ、電極1X及び電極2Yの電極パターンが顕在化する。このような電極パターンの顕在化は、光学特性の悪化を招き、タッチパネルを組み込んだ表示装置の特性低下を引き起こす要因となるため、対策が必要である。   In the conventional capacitive coupling type touch panel, as shown in FIGS. 16 to 18, the plurality of electrodes 1 </ b> X and the plurality of electrodes 2 </ b> Y are formed on different conductive layers (lower layer and upper layer) through the insulating film 12. ing. In the case of such an electrode structure, the protective film 13 formed on the insulating film 12 and the upper electrode 1X is distorted by the upper electrode 1X. Since the optical path length differs between the upper layer, a color difference occurs between the lower layer electrode 1X and the upper layer electrode 2Y, and the electrode patterns of the electrode 1X and the electrode 2Y become obvious. Such an actualization of the electrode pattern causes deterioration of optical characteristics and causes deterioration of the characteristics of a display device incorporating a touch panel, and thus countermeasures are necessary.

また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図17及び図18に示すように、基板11の観察者側の面(主面)とは反対側の面(裏面)にシールド用の導電体15を設けている。このような構造の場合、透明性導電材料層として、電極1Xを形成するための透明導電性材料層層と電極2Yを形成するための透明性導電材料層に、シールド用の導電体15を形成するための透明性導電材料層を加えた3つの透明性導電材料層が必要であり、低コスト化を阻害する要因となる。
そこで、本発明者は、電極1X、電極2Y、シールド用の導電体15の3つの透明性導電材料層に着目し、本発明をなした。
本発明の目的は、静電容量結合方式のタッチパネルにおいて、特性低下の抑制及び低コスト化を図ることが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
Further, in the conventional capacitive coupling type touch panel, as shown in FIGS. 17 and 18, a shielding conductor is provided on the surface (back surface) opposite to the surface (main surface) on the viewer side of the substrate 11. 15 is provided. In the case of such a structure, the shielding conductor 15 is formed on the transparent conductive material layer for forming the electrode 1X and the transparent conductive material layer for forming the electrode 2Y as the transparent conductive material layer. Therefore, three transparent conductive material layers to which the transparent conductive material layer is added are necessary, which becomes a factor that hinders cost reduction.
Therefore, the present inventor made the present invention by paying attention to three transparent conductive material layers of the electrode 1X, the electrode 2Y, and the conductor 15 for shielding.
An object of the present invention is to provide a technology capable of suppressing deterioration in characteristics and reducing costs in a capacitively coupled touch panel.
The above and other objects and novel features of the present invention will become apparent from the description of this specification and the accompanying drawings.

(1)表示パネルと、前記表示パネルの観察者側の面上に配置される静電容量結合方式のタッチパネルとを備え、前記タッチパネルは、基板と、前記基板の前記観察者側の面上に形成されるシールド用の第1導電体と、前記シールド用の第1導電体上に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され、第1の方向に延在し前記第1の方向と交差する第2の方向に並設される複数の第1電極と、前記絶縁膜上に形成され、前記第2の方向に延在し前記第2方向と交差する前記第1の方向に並設される複数の第2電極とを有するタッチパネル付き表示装置であって、前記シールド用の第1導電体は、所定の信号が入力され、前記複数の第1電極の各々は、前記基板の前記観察者側の面上に形成される第1部分と、前記絶縁膜上で前記第2電極とは分離して形成される第2部分とを有し、前記第1部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第2部分に接続され、前記シールド用の第1導電体は、複数の開口部を有し、前記複数の開口部は、開口内に前記第1部分が形成される第1開口部と、開口内に前記第1の部分が形成されない第2開口部とを含み、前記第1部分は、前記第1開口部内に形成されている。 (1) A display panel and a capacitively coupled touch panel disposed on an observer side surface of the display panel, the touch panel on a surface of the substrate and the observer side of the substrate A first conductor for shielding formed, an insulating film formed on the first conductor for shielding, and formed on the insulating film, extending in a first direction and extending in the first direction A plurality of first electrodes arranged in parallel in a second direction intersecting with the insulating film, and extending in the second direction extending in the second direction and aligned in the first direction intersecting with the second direction. A display device with a touch panel having a plurality of second electrodes provided, wherein a predetermined signal is input to the first conductor for shielding, and each of the plurality of first electrodes is connected to the substrate of the substrate. The first portion formed on the surface on the viewer side and the second electrode on the insulating film are A second portion formed separately, the first portion being connected to the second portion via a contact hole formed in the insulating film, and a plurality of first conductors for shielding The plurality of openings include a first opening in which the first portion is formed in the opening, and a second opening in which the first portion is not formed in the opening, The first portion is formed in the first opening.

(2)前記(1)において、前記シールド用の第1導電体は、互いに交差する第1片及び第2片で構成されるメッシュ形状からなり、前記第1開口部及び第2開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第1片及び前記第2片によって形成される開口部である。
(3)前記(2)において、前記第2電極は、前記第1電極の前記第1部分と平面的に交差する第1部分と、前記第1部分に連なる第2部分とを有し、前記第1電極の前記第2部分は、平面形状が前記第1電極の前記第1部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第2電極の前記第2部分は、平面形状が前記第2電極の前記第1部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第1電極の前記第2部分と前記第2電極の第2部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第1の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、前記シールド用の第1導電体の前記メッシュ形状の前記第1片及び前記第2片は、前記第1電極の第2部分及び前記第2電極の第2部分の互いに向かい合う各々の辺に沿って形成されている。
(4)前記(3)において、隣接する2つの前記第1電極の前記第1部分の間には、前記シールド用の第1導電体の前記メッシュ形状の前記第1片及び前記第2片が、少なくとも1本配置されている。
(5)前記(1)において、前記複数の第1電極と前記複数の第2電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第1電極、或いは前記複数の第2電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、前記複数の配線は、前記基板の前記観察者側の面上に形成され、前記絶縁膜上で前記複数の配線を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の第2導電体を有する。
(6)前記(1)乃至(5)の何れかにおいて、前記タッチパネルは、前記複数の第1電極と前記複数の第2電極上に形成される保護膜を有する。
(7)前記(6)において、前記タッチパネルは、前記保護膜上に形成されるフロントパネルを有する。
(2) In (1), the first conductor for shielding has a mesh shape composed of a first piece and a second piece intersecting each other, and each of the first opening and the second opening. Is an opening formed by the first piece and the second piece constituting the mesh shape.
(3) In the above (2), the second electrode includes a first portion that intersects the first portion of the first electrode in a plan view, and a second portion that continues to the first portion, The second portion of the first electrode is formed in a square shape whose planar shape is wider than the first portion of the first electrode, and the second portion of the second electrode has a planar shape of the second shape. The second portion of the first electrode and the second portion of the second electrode are formed in a rectangular shape wider than the first portion of the electrode, and each side facing each other is in the first direction. The mesh-shaped first piece and second piece of the first conductor for shielding are arranged in a state of forming an acute angle, and the second part of the first electrode and the second part of the second electrode Are formed along each side facing each other.
(4) In (3), between the first portions of the two adjacent first electrodes, the mesh-shaped first piece and the second piece of the first conductor for shielding are provided. At least one is arranged.
(5) In (1), each of the plurality of first electrodes or the plurality of second electrodes is formed around a region where the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed. A plurality of wirings that are electrically connected to each other, and the plurality of wirings are formed on the surface of the observer side of the substrate, and are formed so as to cover the plurality of wirings on the insulating film, It has the 2nd conductor for shielding into which a predetermined signal is inputted.
(6) In any one of the above (1) to (5), the touch panel has a protective film formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes.
(7) In the above (6), the touch panel has a front panel formed on the protective film.

(8)表示パネルと、前記表示パネルの観察者側の面上に配置される静電容量結合方式のタッチパネルとを備え、前記タッチパネルは、基板と、前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、第1の方向に延在し前記第1の方向と交差する第2の方向に並設される複数の第1電極と、前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、前記第2の方向に延在し前記第2の方向と交差する前記第1の方向に並設される複数の第2電極と、前記複数の第1電極および前記複数の第2電極上に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成されるシールド用の導電体とを有するタッチパネル付き表示装置であって、前記シールド用の導電体は、所定の信号が入力され、前記複数の第1電極の各々は、前記絶縁膜上に形成される第1部分と、前記基板の前記表示パネル側の面上で前記第2電極とは分離して形成される第2部分とを有し、前記第1部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第2部分に接続され、前記シールド用の導電体は、複数の開口部を有し、前記複数の開口部は、開口内に前記第1部分が形成される第1開口部と、開口内に前記第1部分が形成されない第2開口部とを含み、前記第1部分は、前記第1開口部内に形成されている。 (8) A display panel and a capacitively coupled touch panel disposed on an observer-side surface of the display panel, the touch panel on a surface of the substrate and the display panel side of the substrate A plurality of first electrodes extending in a first direction and juxtaposed in a second direction intersecting the first direction; and formed on a surface of the substrate on the display panel side, A plurality of second electrodes extending in a second direction and juxtaposed in the first direction intersecting the second direction; and formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes. And a shield conductor formed on the insulation film, wherein the shield conductor receives a predetermined signal and the plurality of first electrodes. Each of the first portion formed on the insulating film and the front of the substrate A second portion formed separately from the second electrode on the surface on the display panel side, and the first portion is connected to the second portion via a contact hole formed in the insulating film. The shielded conductor has a plurality of openings, and the plurality of openings includes a first opening in which the first portion is formed in the opening, and the first portion in the opening. And the second opening is not formed, and the first portion is formed in the first opening.

(9)前記(8)において、前記シールド用の導電体は、互いに交差する第1片及び第2片で構成されるメッシュ形状からなり、前記第1開口部及び第2開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第1片及び前記第2片によって形成される開口部である。
(10)前記(9)において、前記第2電極は、前記第1電極の前記第1の部分と平面的に交差する第1部分と、前記第1部分に連なる第2部分とを有し、前記第1電極の前記第2部分は、平面形状が前記第1電極の前記第1部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第2電極の前記第2部分は、平面形状が前記第2電極の前記第1部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第1電極の前記第2部分と前記第2電極の第2部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第1の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、前記シールド用の導電体の前記メッシュ形状の前記第1片及び前記第2片は、前記第1電極の第2部分及び前記第2電極の第2部分の互いに向かい合う各々の辺に沿う形状で形成されている。
(11)前記(10)において、隣接する2つの前記第1電極の前記第1部分の間には、前記シールド用の導電体の前記第1片及び前記第2片が、少なくとも1本配置されている。
(12)前記(8)において、前記複数の第1電極と前記複数の第2電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第1電極、或いは前記複数の第2電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、前記複数の配線は、前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、シールド用の導電体は、前記複数の配線を覆うように形成されている。
(13)前記(8)乃至(12)の何れかにおいて、前記タッチパネルは、前記複数の第1電極と前記複数の第2電極上に形成される保護膜を有する。
(14)前記(1)乃至(13)の何れかにおいて、前記複数の第1電極および前記複数の第2電極は、透明導電膜で構成されている。
(9) In (8), the conductor for shielding has a mesh shape composed of a first piece and a second piece intersecting each other, and each of the first opening and the second opening is It is an opening formed by the first piece and the second piece constituting the mesh shape.
(10) In the above (9), the second electrode has a first portion that intersects the first portion of the first electrode in a plane, and a second portion that continues to the first portion, The second portion of the first electrode is formed in a square shape whose planar shape is wider than the first portion of the first electrode, and the second portion of the second electrode has the planar shape of the first portion. The second electrode is formed in a rectangular shape having a width wider than the first portion, and the second portion of the first electrode and the second portion of the second electrode have respective sides facing each other in the first direction. The mesh-shaped first piece and the second piece of the shielding conductor are arranged at an acute angle with respect to the second part of the first electrode and the second part of the second electrode. It is formed in a shape along each side facing each other.
(11) In the above (10), at least one of the first piece and the second piece of the conductor for shielding is arranged between the first portions of two adjacent first electrodes. ing.
(12) In (8), each of the plurality of first electrodes or the plurality of second electrodes is formed around a region where the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed. A plurality of wirings electrically connected to the display panel, the plurality of wirings formed on the display panel side surface of the substrate, and a shield conductor formed to cover the plurality of wirings Has been.
(13) In any one of (8) to (12), the touch panel has a protective film formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes.
(14) In any one of (1) to (13), the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed of a transparent conductive film.

本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
本発明によれば、静電容量結合方式のタッチパネルにおいて、特性低下の抑制及び低コスト化を図ることが可能となる。
The effects obtained by the representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, it becomes possible to aim at suppression of a characteristic fall and cost reduction in a capacitive coupling type touch panel.

本発明の実施例1のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the electrode pattern of the touchscreen integrated in the display apparatus with a touchscreen of Example 1 of this invention. 図1の一部を拡大した平面図である。It is the top view which expanded a part of FIG. 図1のタッチパネルの断面構造を示す図((a)は図1のA−A’線に沿った断面図、(b)は(a)の一部を拡大した断面図)である。FIG. 2A is a cross-sectional view taken along line A-A ′ of FIG. 1 and FIG. 2B is an enlarged cross-sectional view of part of FIG. 図1のタッチパネルの断面構造を示す図((a)は図1のB−B’線に沿った断面図、(b)は(a)の一部を拡大した断面図)である。FIG. 2A is a cross-sectional view taken along line B-B ′ of FIG. 1 and FIG. 2B is an enlarged cross-sectional view of part of FIG. 図1のタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the conductor pattern for the shield of the touch panel of FIG. 本発明の実施例1のタッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the display apparatus with a touchscreen of Example 1 of this invention. 本発明の実施例1の変形例であるタッチパネルの断面構造を示す断面図である。It is sectional drawing which shows the cross-section of the touchscreen which is a modification of Example 1 of this invention. 本発明の実施例2のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the electrode pattern of the touchscreen integrated in the display apparatus with a touchscreen of Example 2 of this invention. 図8の一部を拡大した平面図である。It is the top view which expanded a part of FIG. 図8のタッチパネルの断面構造を示す図((a)は図8のD−D’線に沿った断面図、(b)は(a)の一部を拡大した断面図)である。FIGS. 8A and 8B are diagrams illustrating a cross-sectional structure of the touch panel in FIG. 8 (a) is a cross-sectional view taken along the line D-D ′ in FIG. 8, and FIG. 図8のタッチパネルの断面構造を示す図((a)は図8のE−E’線に沿った断面図、(b)は(a)の一部を拡大した断面図)である。8A and 8B are diagrams showing a cross-sectional structure of the touch panel in FIG. 8 (a) is a cross-sectional view taken along the line E-E 'in FIG. 8, and FIG. 本発明の実施例2のタッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。It is a block diagram which shows schematic structure of the display apparatus with a touchscreen of Example 2 of this invention. 本発明の実施例3のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the electrode pattern of the touchscreen integrated in the display apparatus with a touchscreen of Example 3 of this invention. 図13のシールド用の導体パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the conductor pattern for shielding of FIG. 本発明の実施例4であるタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the conductor pattern for the shield of the touchscreen integrated in the display apparatus with a touchscreen which is Example 4 of this invention. 従来の静電容量結合方式のタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。It is a top view which shows the electrode pattern of the conventional capacitive coupling type touchscreen. 図16のF−F’線に沿った断面構造を示す断面図である。FIG. 17 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure along the line F-F ′ of FIG. 16. 図16のG−G’線に沿った断面構造を示す断面図である。FIG. 17 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure along the line G-G ′ of FIG. 16.

以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。なお、発明の実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. In all the drawings for explaining the embodiments of the invention, those having the same function are given the same reference numerals, and the repeated explanation thereof is omitted.

〔実施例1〕
本実施例1では、表示パネルの一例として例えば液晶表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に本発明を適用した例について説明する。
図1乃至図6は本発明の実施例1のタッチパネル付き表示装置に係る図であり、
図1は、タッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図2は、図1の一部を拡大した平面図、
図3は、図1のタッチパネルの断面構造を示す図((a)は図1のA−A’線に沿った断面図、(b)は(a)の一部を拡大した断面図)、
図4は、図1のタッチパネルの断面構造を示す図((a)は図1のB−B’線に沿った断面図、(b)は(a)の一部を拡大した断面図)、
図5は、図1のタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図、
図6は、タッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図、
なお、図6において、タッチパネル20は、図1のC−C’線に沿った断面構造を示している。
[Example 1]
In the first embodiment, an example in which the present invention is applied to a display device with a touch panel provided with a touch panel on a liquid crystal display panel will be described as an example of a display panel.
1 to 6 are diagrams related to a display device with a touch panel according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 1 is a plan view showing an electrode pattern of a touch panel incorporated in a display device with a touch panel,
FIG. 2 is an enlarged plan view of a part of FIG.
3 is a diagram showing a sectional structure of the touch panel of FIG. 1 ((a) is a sectional view taken along the line AA ′ of FIG. 1, (b) is a sectional view in which (a) is enlarged),
4 is a diagram showing a sectional structure of the touch panel of FIG. 1 ((a) is a sectional view taken along line BB ′ of FIG. 1, (b) is a sectional view enlarging a part of (a)),
FIG. 5 is a plan view showing a conductor pattern for shielding the touch panel of FIG.
FIG. 6 is a block diagram showing a schematic configuration of a display device with a touch panel,
In FIG. 6, the touch panel 20 shows a cross-sectional structure along the line CC ′ in FIG. 1.

本実施例1のタッチパネル付き表示装置は、図6に示すように、液晶表示パネル30と、液晶液示パネル30の観察者側の面上に配置された静電容量結合方式のタッチパネル20と、液晶表示パネル30の観察者側とは反対側の面下に配置されたバックライト40とを備えている。液晶表示パネル30としては、例えばIPS方式、TN方式、VA方式等の液晶表示パネルが用いられている。液晶表示パネル30は、複数の画素がマトリクス状に配置された表示領域と、この表示領域の周囲に配置された非表示領域とを有している。複数の画素の各々は、画素電極及び対向電極を有している。非表示領域には、ブラックマトリクスなどの遮光膜が設けられている。
タッチパネル20は、図1乃至図4に示すように、基板11の観察者側の面上において、各々が第1の方向(例えばX方向)に延在し、各々が前記第1の方向と交差する第2の方向(例えばY方向)に所定の配列ピッチで並設される複数の電極1Xと、各々が複数の電極1Xと交差して前記第2の方向に延在し、各々が前記第1の方向に所定の配列ピッチで並設される複数の電極2Yとを有している。
複数の電極2Yの各々は、第1部分2aと、この第1部分2aの幅よりも広い幅の第2部分2bとが前記第2の方向に交互に複数配置された電極パターンで形成されている。複数の電極2Yの各々は、基板11の観察者側の面上に絶縁膜12を介して配置され、その上層に形成された保護膜13で覆われている。基板11としては、例えばガラス等の透明な絶縁性基板が用いられている。
As shown in FIG. 6, the display device with a touch panel according to the first embodiment includes a liquid crystal display panel 30, a capacitively coupled touch panel 20 disposed on the surface of the liquid crystal display panel 30 on the viewer side, A backlight 40 is provided below the surface of the liquid crystal display panel 30 opposite to the viewer side. As the liquid crystal display panel 30, for example, a liquid crystal display panel of an IPS method, a TN method, a VA method, or the like is used. The liquid crystal display panel 30 has a display area in which a plurality of pixels are arranged in a matrix, and a non-display area arranged around the display area. Each of the plurality of pixels has a pixel electrode and a counter electrode. In the non-display area, a light shielding film such as a black matrix is provided.
As shown in FIGS. 1 to 4, the touch panel 20 extends on the viewer side surface of the substrate 11 in a first direction (for example, the X direction), and each crosses the first direction. A plurality of electrodes 1X arranged in parallel in a second direction (for example, the Y direction) at a predetermined arrangement pitch, each extending across the plurality of electrodes 1X and extending in the second direction, And a plurality of electrodes 2Y arranged in parallel at a predetermined arrangement pitch in one direction.
Each of the plurality of electrodes 2Y is formed of an electrode pattern in which a first portion 2a and a second portion 2b having a width wider than the width of the first portion 2a are alternately arranged in the second direction. Yes. Each of the plurality of electrodes 2Y is arranged on the surface of the substrate 11 on the viewer side via an insulating film 12, and is covered with a protective film 13 formed thereon. As the substrate 11, for example, a transparent insulating substrate such as glass is used.

複数の電極1Xの各々は、第1部分1aと、この第1部分1aの幅よりも広い幅の第2部分1bとが前記第1の方向に交互に複数配置された電極パターンで形成されている。複数の電極1Xの各々の第1の部分1aは、電極2Yとは異なる導電層に形成され、電極2Yの第1部分2aと平面的に交差している。複数の電極1Xの各々の第2部分1bは、電極2Yと同層の導電層に電極2Yとは分離して形成されている。本実施例1において、電極1Xの第1部分1aは、基板11側から見て電極2Yよりも下層に形成されている。
複数の電極1Xの各々の第2部分1bは、電極2Yと同様に、基板11の観察者側の面上に絶縁膜12を介して配置され、その上層に形成された保護膜13で覆われている。複数の電極1Xの各々の第1部分1aは、基板11の観察者側の面上に配置され、その上層に形成された絶縁膜12で覆われている。
電極1Xの第1部分1aは、電極2Yの第1部分2aと平面的に交差し、この第1部分2aを挟んで隣り合う2つの第2部分1bに、電極1Xの第1部分1aと電極2Yとの間の層間絶縁膜である絶縁膜12に形成されたコンタクトホール12aを介してそれぞれ電気的にかつ機械的に接続されている。
即ち、複数の電極1Xの各々は、電極2Yとは異なる導電層に形成され、電極2Yと交差する第1部分1aと、電極2Yとは分離して電極2Yと同層の導電層に形成される第2部分1bとを有し、電極1Xの第1部分1aは、この第1部分1aと電極2Yとの間の絶縁膜12に形成されたコンタクトホール12aを介して電極1Xの第2部分1bと電気的に接続されている。
Each of the plurality of electrodes 1X is formed of an electrode pattern in which a first portion 1a and a second portion 1b having a width wider than the width of the first portion 1a are alternately arranged in the first direction. Yes. Each first portion 1a of the plurality of electrodes 1X is formed in a conductive layer different from the electrode 2Y, and intersects the first portion 2a of the electrode 2Y in a plane. Each second portion 1b of the plurality of electrodes 1X is formed separately from the electrode 2Y in the same conductive layer as the electrode 2Y. In the first embodiment, the first portion 1a of the electrode 1X is formed in a lower layer than the electrode 2Y when viewed from the substrate 11 side.
Like the electrode 2Y, each of the second portions 1b of the plurality of electrodes 1X is disposed on the surface on the viewer side of the substrate 11 via the insulating film 12, and is covered with a protective film 13 formed thereon. ing. Each first portion 1a of the plurality of electrodes 1X is disposed on the surface of the substrate 11 on the viewer side, and is covered with an insulating film 12 formed on the upper layer.
The first portion 1a of the electrode 1X intersects the first portion 2a of the electrode 2Y in a plan view, and two adjacent second portions 1b across the first portion 2a are connected to the first portion 1a of the electrode 1X and the electrode. They are electrically and mechanically connected via contact holes 12a formed in the insulating film 12 which is an interlayer insulating film between 2Y.
That is, each of the plurality of electrodes 1X is formed in a conductive layer different from the electrode 2Y, and the first portion 1a intersecting with the electrode 2Y is separated from the electrode 2Y and formed in the same conductive layer as the electrode 2Y. The first portion 1a of the electrode 1X is connected to the second portion of the electrode 1X through a contact hole 12a formed in the insulating film 12 between the first portion 1a and the electrode 2Y. It is electrically connected to 1b.

電極2Yの第2部分2bは、隣り合う2つの電極1Xにおいて、平面的に見たとき、各々の第1部分1aの間に配置されている。電極1Xの第2部分1bは、隣り合う2つの電極2Yにおいて、平面的に見たとき、各々の第1部分2aの間に配置されている。
即ち、電極2Yは、電極1X間に電極1Xと交差する部分(2a)の幅よりも広い幅の部分2bを有し、電極1Xは、電極2Y間に電極2Yと交差する部分1aの幅よりも広い幅の部分1bを有している。
タッチパネル20は、平面的に見たとき、複数の電極2Y及び1Xが配置された中央領域と、この中央領域の周囲に配置された周辺領域とを有している。タッチパネル20の周辺領域には、図1に示すように、複数の電極2Yの各々と電気的に接続された複数の配線5、及び、複数の電極1Xの各々と電気的に接続された複数の配線5が配置されている。これら複数の配線5の各々は、複数の電極2Y、複数の電極1Xの各々とタッチ位置制御回路とを電気的に接続する配線である。
The second part 2b of the electrode 2Y is disposed between the first parts 1a when viewed in plan in the two adjacent electrodes 1X. The second portion 1b of the electrode 1X is disposed between the first portions 2a of the two adjacent electrodes 2Y when viewed in plan.
That is, the electrode 2Y has a width 2b wider than the width (2a) of the portion (2a) intersecting the electrode 1X between the electrodes 1X, and the electrode 1X has a width of the portion 1a intersecting the electrode 2Y between the electrodes 2Y. Has a portion 1b having a wider width.
When viewed in a plan view, the touch panel 20 includes a central region in which the plurality of electrodes 2Y and 1X are disposed, and a peripheral region disposed around the central region. In the peripheral region of the touch panel 20, as shown in FIG. 1, a plurality of wirings 5 electrically connected to each of the plurality of electrodes 2Y and a plurality of electrodes electrically connected to each of the plurality of electrodes 1X. Wiring 5 is arranged. Each of the plurality of wirings 5 is a wiring that electrically connects each of the plurality of electrodes 2Y and the plurality of electrodes 1X and the touch position control circuit.

タッチパネル20の中央領域は、液晶表示パネル30の表示領域に対応して配置され、タッチパネル20の周辺領域は、液晶表示パネル30の非表示領域に対応して配置されている。即ち、タッチパネル20の複数の電極1X及び2Yは、液晶表示パネル30の表示領域と対向する領域に配置され、複数の配線5は、液晶表示パネル30の非表示領域と対向する領域に配置されている。
図3及び図4に示すように、複数の配線5の各々は、基板11の観察者側の面(主面)上に配置され、その上層に形成された絶縁膜12で覆われている。複数の配線5の各々は、各電極(電極1X,電極2Y)の終端において、図3及び図4に示すように、絶縁膜12に形成されたコンタクトホール12bを介して、対応する電極(電極1X,電極2Y)と電気的に接続されている。
複数の電極1X及び複数の電極2Yの各々は、高い透過性を有する材料、例えばITO(Indium Tin Oxide)等の透明性導電材料で形成されている。複数の配線5の各々は、例えば導電性材料が異なる2層構造で構成されており、例えば電極1Xの第1部分1aと同層の透明性導電膜(例えばITO)と、この透明性導電膜上に形成され、この透明性導電膜よりも抵抗値が低い導電性金属膜との2層構造になっている。
The central area of the touch panel 20 is arranged corresponding to the display area of the liquid crystal display panel 30, and the peripheral area of the touch panel 20 is arranged corresponding to the non-display area of the liquid crystal display panel 30. That is, the plurality of electrodes 1X and 2Y of the touch panel 20 are disposed in a region facing the display region of the liquid crystal display panel 30, and the plurality of wirings 5 are disposed in a region facing the non-display region of the liquid crystal display panel 30. Yes.
As shown in FIGS. 3 and 4, each of the plurality of wirings 5 is disposed on the surface (main surface) on the viewer side of the substrate 11 and is covered with an insulating film 12 formed in an upper layer thereof. Each of the plurality of wirings 5 has a corresponding electrode (electrode) at the end of each electrode (electrode 1X, electrode 2Y) via a contact hole 12b formed in the insulating film 12, as shown in FIGS. 1X, electrode 2Y).
Each of the plurality of electrodes 1X and the plurality of electrodes 2Y is made of a transparent material such as ITO (Indium Tin Oxide) having high transparency. Each of the plurality of wirings 5 has, for example, a two-layer structure made of different conductive materials. For example, the transparent conductive film (for example, ITO) in the same layer as the first portion 1a of the electrode 1X, and the transparent conductive film It has a two-layer structure with a conductive metal film formed thereon and having a resistance value lower than that of the transparent conductive film.

タッチパネル20は、図1乃至図5に示すように、シールド用の導電体3を有している。このシールド用の導電体3は、基板11の観察者側の面(主面)上に配置され、その上層に形成された絶縁膜12で覆われている。
シールド用の導電体3は、電極1Xの第1部分1aと同層で形成され、高い透過性を有する材料、例えばITO(Indium Tin Oxide)等の透明性導電材料で形成されている。複数の電極1Xの第1部分1aとシールド用の導電体3は、同一の導電膜をパターンニングすることによって形成される。
As shown in FIGS. 1 to 5, the touch panel 20 includes a shielding conductor 3. The shielding conductor 3 is disposed on the surface (main surface) of the substrate 11 on the viewer side, and is covered with an insulating film 12 formed thereon.
The shield conductor 3 is formed in the same layer as the first portion 1a of the electrode 1X, and is formed of a highly transparent material, for example, a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide). The first portions 1a of the plurality of electrodes 1X and the shielding conductor 3 are formed by patterning the same conductive film.

シールド用の導電体3は、平面的に見たとき、複数の電極(電極1X,電極2Y)を覆うようにしてタッチパネル20の中央領域に配置されている。シールド用の導電体3は、図3乃至図5に示すように、複数の開口部4を有している。この複数の開口部4は、開口内に電極1Xの第1部分1aが配置される開口部4aと、開口内に電極1Xの第1部分1aが配置されない開口部4bとを含み、電極1Xの第1部分1aは、シールド用の導電体3の開口部4a内に形成されている。即ち、本実施例1のシールド用の導電体3は、電極1Xの第1部分1aとは分離して電極1Xの第1部分1aと同層の導電層で形成されている。
本実施例1において、シールド用の導電体3は、例えば、各々が第3の方向に延在し、各々が前記第3の方向と直交する第4の方向に所定のピッチで並設される複数の片3aと、各々が前記第3の方向と交差する前記第4の方向に延在し、各々が前記第3の方向に所定のピッチで並設される複数の片3bとで構成されるメッシュ形状からなり、開口部4a及び開口部4bの各々は、メッシュ形状を構成する片3a及び片3bによって形成される開口部である。
本実施例1において、電極1X及び電極1Yの各々の第2部分(1b,2b)の平面形状は、図1及び図2に示すように、例えば、各々の第1部分(1a,2a)の幅よりも広い幅の方形状で形成され、電極1Xの第2部分1bと電極2Yの第2部分2bは、互いに向かい合う各々の辺が前記第1の方向(例えばX方向)に対して鋭角を成す状態(傾斜した状態)で配置されており、これに伴ってシールド用の導電体3は、図5に示すように、メッシュ形状を構成する一方の片3a及び他方の片3bが、電極1Xの第2部分1b及び電極2Yの第2部分2bの互いに向かい合う各々の辺に沿う形状で形成されている。電極1Xの第2部分1bと電極2Yの第2部分2bは、互いに向かい合う各々の辺が前記第1の方向(X方向)に対して例えば45度の角度を成す状態(傾斜した状態)で配置され、メッシュ形状を構成する一方の片3aは例えば第1の方向(X方向)に対して時計回りで45度の角度をもって延在し、メッシュ形状を構成する他方の片3bは例えば第1の方向(X方向)に対して反時計回りで45度の角度をもって延在している。
本実施例1において、シールド用の導電体3は、隣接する2つの電極1Xの第1部分1aの間に、メッシュ形状を構成する一方の片3a及び他方の片3bが1本配置される形状、換言すれば、隣接する2つの電極1Xの第1部分1aの間を、メッシュ形状を構成する一方の片3a及び他方の片3bが横切る形状になっている。
The shield conductor 3 is disposed in the central region of the touch panel 20 so as to cover a plurality of electrodes (electrode 1X, electrode 2Y) when viewed in plan. The shielding conductor 3 has a plurality of openings 4 as shown in FIGS. The plurality of openings 4 include an opening 4a in which the first portion 1a of the electrode 1X is disposed in the opening, and an opening 4b in which the first portion 1a of the electrode 1X is not disposed in the opening. The first portion 1a is formed in the opening 4a of the conductor 3 for shielding. In other words, the shielding conductor 3 according to the first embodiment is formed of the same conductive layer as the first portion 1a of the electrode 1X, separated from the first portion 1a of the electrode 1X.
In the first embodiment, for example, the conductors 3 for shielding extend in the third direction, and are arranged in parallel at a predetermined pitch in a fourth direction orthogonal to the third direction. A plurality of pieces 3a and a plurality of pieces 3b each extending in the fourth direction intersecting with the third direction and arranged in parallel at a predetermined pitch in the third direction. Each of the opening 4a and the opening 4b is an opening formed by the piece 3a and the piece 3b constituting the mesh shape.
In the first embodiment, the planar shape of each of the second portions (1b, 2b) of the electrode 1X and the electrode 1Y is, for example, as shown in FIGS. 1 and 2, for example, each of the first portions (1a, 2a). The second portion 1b of the electrode 1X and the second portion 2b of the electrode 2Y have an acute angle with respect to the first direction (for example, the X direction). As shown in FIG. 5, the shield conductor 3 is arranged in a state (inclined state), and as shown in FIG. 5, one piece 3a and the other piece 3b constituting the mesh shape are connected to the electrode 1X. The second portion 1b and the second portion 2b of the electrode 2Y are formed in a shape along each side facing each other. The second portion 1b of the electrode 1X and the second portion 2b of the electrode 2Y are arranged in a state where each side facing each other forms an angle of 45 degrees, for example, with respect to the first direction (X direction) (inclined state). The one piece 3a constituting the mesh shape extends at an angle of 45 degrees clockwise with respect to the first direction (X direction), for example, and the other piece 3b constituting the mesh shape is, for example, the first piece 3a It extends at an angle of 45 degrees counterclockwise with respect to the direction (X direction).
In the first embodiment, the shield conductor 3 has a shape in which one piece 3a and the other piece 3b constituting the mesh shape are arranged between the first portions 1a of two adjacent electrodes 1X. In other words, the shape is such that one piece 3a and the other piece 3b constituting the mesh shape cross between the first portions 1a of two adjacent electrodes 1X.

本実施例1のタッチパネル20は、基板11の観察者側の面と反対側の面が液晶表示パネル30の観察者側の面と向かい合うようにして液晶表示パネル30上に配置されており、シールド用の導電体3は、液晶表示パネル30とタッチパネル20の複数の電極(電極1X,電極2Y)が配置された中央領域との間に配置されている。シールド用の導電体3は、所定の信号が入力され、液晶表示パネル30からタッチパネル20へのノイズを低減している。本実施例1のシールド用の導電体3は、タッチパネル付き表示装置において使用される電源電位のうち、例えば基準電位(例えば0V)に電位固定される配線と電気的に接続されている。   The touch panel 20 according to the first embodiment is disposed on the liquid crystal display panel 30 so that the surface of the substrate 11 opposite to the surface on the viewer side faces the surface on the viewer side of the liquid crystal display panel 30, and is shielded. The electrical conductor 3 is disposed between the liquid crystal display panel 30 and the central region where the plurality of electrodes (electrode 1X, electrode 2Y) of the touch panel 20 are disposed. The shield conductor 3 receives a predetermined signal and reduces noise from the liquid crystal display panel 30 to the touch panel 20. The shielding conductor 3 according to the first embodiment is electrically connected to a wiring whose potential is fixed to, for example, a reference potential (for example, 0 V) among power supply potentials used in a display device with a touch panel.

タッチパネル20は、図1乃至図4に示すように、シールド用の導電体3とは別にシールド用の導電体6を有している。このシールド用の導電体6は、絶縁膜12上に配置され、その上層に形成された保護膜13で覆われている。
シールド用の導電体6は、電極1Xの第2部分1b及び電極2Yと同層に形成され、高い透過性を有する材料、例えばITO(Indium Tin Oxide)等の透明性導電材料で形成されている。複数の電極1Xの第2部分1b、複数の電極2Y、及びシールド用の導電体6は、同一の導電膜をパターンニングすることによって形成される。
シールド用の導電体6は、平面的に見たとき、複数の配線5を覆うようにしてタッチパネル20の周辺領域に配置されている。シールド用の導電体6は、電極1Xの第2部分1b及び電極2Yとは分離してこれらと同層の導電層で形成されている。
シールド用導電体6は、所定の信号が入力され、観察者側からタッチパネル20へのノイズを低減している。本実施例1のシールド用の導電体6は、タッチパネル付き表示装置において使用される電源電位のうち、例えば基準電位(例えば0V)に電位固定される配線と電気的に接続されている。
なお、図6では、観察者の指50と電極1Xとの間にC1,C3の容量が、観察者の指50と電極2Yとの間にC2の容量が形成されていることを模式的に示している。本実施例のタッチパネル20は、電極1Xと電極2Yとの結合容量の容量差を検出して、観察者の指50がタッチした、タッチパネル20のタッチ面内におけるタッチ位置座標を検出する。
As shown in FIGS. 1 to 4, the touch panel 20 includes a shielding conductor 6 in addition to the shielding conductor 3. The shield conductor 6 is disposed on the insulating film 12 and is covered with a protective film 13 formed thereon.
The shield conductor 6 is formed in the same layer as the second portion 1b of the electrode 1X and the electrode 2Y, and is formed of a highly transparent material, for example, a transparent conductive material such as ITO (Indium Tin Oxide). . The second portions 1b of the plurality of electrodes 1X, the plurality of electrodes 2Y, and the conductor for shielding 6 are formed by patterning the same conductive film.
The shield conductor 6 is arranged in the peripheral region of the touch panel 20 so as to cover the plurality of wirings 5 when viewed in plan. The shield conductor 6 is formed of the same conductive layer as the second conductor 1b of the electrode 1X and the electrode 2Y.
The shield conductor 6 receives a predetermined signal and reduces noise from the observer side to the touch panel 20. The shielding conductor 6 according to the first embodiment is electrically connected to a wiring whose potential is fixed to, for example, a reference potential (for example, 0 V) among power supply potentials used in a display device with a touch panel.
In FIG. 6, it is schematically shown that C1 and C3 capacitances are formed between the observer's finger 50 and the electrode 1X, and C2 capacitances are formed between the observer's finger 50 and the electrode 2Y. Show. The touch panel 20 according to the present embodiment detects a touch position coordinate on the touch surface of the touch panel 20 touched by the observer's finger 50 by detecting a capacitance difference in the coupling capacitance between the electrode 1X and the electrode 2Y.

次に、本実施例1のタッチパネル20の製造方法について、図1乃至図5を参照して説明する。
まず、基板11の観察者側の面上に、透明性導電材料(例えばITO)からなる第1の透明性導電膜を形成する。
次に、例えばポジ型レジストを用いて前記第1の透明性導電膜上に、電極パターン、シールド用の導電体パターン、及び配線パターンを有する第1のマスクを形成し、その後、前記第1のマスクをエッチングマスクとして使用し、前記第1の透明性導電膜をエッチングすることにより、基板11上に、電極1Xの第1部分1a、シールド用の導電体3、及び配線下層パターンを形成する。シールド用の導電体3は、開口内に電極1Xの第1部分1aが形成される開口部4aと、開口内に電極1Xの第1部分1aが形成されない開口部4bとを含む複数の開口部4を有する形状で形成され、電極1Xの第1部分1aは、シールド用の導電体3の開口部4内に形成される。
次に、前記第1のマスクを除去し、その後、前記配線下層パターン上に、例えば導電性金属材料からなる配線上層パターンを選択的に形成する。これにより、前記配線下層パターン及び前記配線上層パターンからなる2層構造の配線5が形成される。
次に、シールド用の導電体3上、電極1Xの第1部分1a上、及び配線5上を含む基板11上に、例えばネガ型レジストからなる絶縁膜12を形成する。この工程において、シールド用の導電体3、電極1Xの第1部分1a、及び配線5は絶縁膜12で覆われる。
次に、絶縁膜12の必要な部分にコンタクトホール12a及びコンタクトホール12bを形成し、その後、コンタクトホール12a内及びコンタクトホール12b内を含む絶縁膜12上に、透明性導電材料(例えばITO)からなる第2の透明性導電膜を形成する。
Next, a method for manufacturing the touch panel 20 according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.
First, a first transparent conductive film made of a transparent conductive material (for example, ITO) is formed on the surface of the substrate 11 on the viewer side.
Next, a first mask having an electrode pattern, a shielding conductor pattern, and a wiring pattern is formed on the first transparent conductive film using, for example, a positive resist, and then the first mask is formed. By using the mask as an etching mask and etching the first transparent conductive film, the first portion 1a of the electrode 1X, the conductor 3 for shielding, and the wiring lower layer pattern are formed on the substrate 11. The shield conductor 3 includes a plurality of openings including an opening 4a in which the first portion 1a of the electrode 1X is formed in the opening and an opening 4b in which the first portion 1a of the electrode 1X is not formed in the opening. 4 and the first portion 1a of the electrode 1X is formed in the opening 4 of the conductor 3 for shielding.
Next, the first mask is removed, and then an upper wiring layer pattern made of, for example, a conductive metal material is selectively formed on the lower wiring layer pattern. Thereby, the wiring 5 having a two-layer structure composed of the wiring lower layer pattern and the wiring upper layer pattern is formed.
Next, an insulating film 12 made of, for example, a negative resist is formed on the substrate 3 including the conductor 3 for shielding, the first portion 1a of the electrode 1X, and the wiring 5. In this step, the shielding conductor 3, the first portion 1a of the electrode 1X, and the wiring 5 are covered with the insulating film 12.
Next, a contact hole 12a and a contact hole 12b are formed in a necessary portion of the insulating film 12, and then a transparent conductive material (for example, ITO) is formed on the insulating film 12 including the inside of the contact hole 12a and the inside of the contact hole 12b. A second transparent conductive film is formed.

次に、例えばポジ型レジストを用いて前記第2の透明性導電膜上に、電極パターン及びシールド用の導電体パターンを有する第2のマスクを形成し、その後、前記第2のマスクをエッチングマスクとして使用し、前記第2の導電膜をエッチングすることにより、絶縁膜12上に、電極1Xの第2部分1b、電極2Y、及びシールド用の導電体6を形成する。この工程において、上層の第2部分1bは、コンタクトホール12aを介して下層の第1部分1aと電気的にかつ機械的に接続される。また、下層の第1部分1aは、上層の電極2Y第1部分1aと交差する。また、電極1X及び電極2Yは、各々の終端が、コンタクトホール12bを介して、対応する下層の配線5と電気的にかつ機械的に接続される。
次に、前記第2のマスクを除去し、その後、電極1Xの第2部分1b、電極2Y、及びシールド用の導電体6上を含む絶縁膜12上に、例えばネガ型レジストからなる保護膜13を形成することにより、図1乃至図5に示す構造となる。この工程において、電極1Xの第2部分1b、電極2Y、及びシールド用の導電体6は保護膜13で覆われる。
Next, a second mask having an electrode pattern and a shield conductor pattern is formed on the second transparent conductive film using, for example, a positive resist, and then the second mask is used as an etching mask. And the second conductive film is etched to form the second portion 1b of the electrode 1X, the electrode 2Y, and the shield conductor 6 on the insulating film 12. In this step, the upper second portion 1b is electrically and mechanically connected to the lower first portion 1a through the contact hole 12a. The lower first portion 1a intersects the upper electrode 2Y first portion 1a. The ends of the electrode 1X and the electrode 2Y are electrically and mechanically connected to the corresponding lower-layer wiring 5 through the contact holes 12b.
Next, the second mask is removed, and then the protective film 13 made of, for example, a negative resist is formed on the insulating film 12 including the second portion 1b of the electrode 1X, the electrode 2Y, and the conductor 6 for shielding. By forming the structure, the structure shown in FIGS. 1 to 5 is obtained. In this step, the second portion 1b of the electrode 1X, the electrode 2Y, and the shielding conductor 6 are covered with the protective film 13.

ところで、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図16乃至図18に示すように、複数の電極1Xと複数の電極2Yとが絶縁膜12を介してそれぞれ異なる導電層(下層と上層)に形成されている。このような電極構造の場合、絶縁膜12及び上層の電極1X上に形成される保護膜13は、上層の電極1Xにより膜に歪みが生じるため、加えて、反射光に対しては、下層と上層とで光路長が異なるため、下層の電極2Yと上層の電極1Xに色差が生じ、電極1X及び電極2Yの電極パターンが顕在化する。
これに対し、本実施例の静電容量結合方式のタッチパネル20では、図1乃至図4に示すように、電極1Xは、電極2Yとは異なる層に電極2Yと交差するようにして形成される第1部分1aと、電極2Yと同層に電極2Yとは分離して形成される第2部分1bとを有し、第1部分1aは、第1部分1aと電極2Yとの間の絶縁膜12に形成されたコンタクトホール12aを介して第2部分1bに接続されている。
このような電極構造の場合、保護膜13に対して均一な成膜面を持たせることができるため、保護膜13に生じる歪みを抑制でき、保護膜13の歪みによる色差から生じる電極パターンの顕在化を抑えることができる。この結果、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制できるため、タッチパネル20を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
また、色差の生じる部分を最小、即ち電極1Xの第1部分1aのみとすることができるため、光路差による色差から生じる電極パターンの顕在化も抑えることができる。この結果、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制できるため、タッチパネル20を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
By the way, in the conventional capacitive coupling type touch panel, as shown in FIGS. 16 to 18, the plurality of electrodes 1 </ b> X and the plurality of electrodes 2 </ b> Y are formed on different conductive layers (lower layer and upper layer) through the insulating film 12. Is formed. In the case of such an electrode structure, the protective film 13 formed on the insulating film 12 and the upper electrode 1X is distorted by the upper electrode 1X. Since the optical path length differs between the upper layer, a color difference occurs between the lower electrode 2Y and the upper electrode 1X, and the electrode patterns of the electrode 1X and the electrode 2Y become obvious.
On the other hand, in the capacitively coupled touch panel 20 of the present embodiment, as shown in FIGS. 1 to 4, the electrode 1X is formed in a layer different from the electrode 2Y so as to intersect the electrode 2Y. The first portion 1a has a second portion 1b formed separately from the electrode 2Y in the same layer as the electrode 2Y. The first portion 1a is an insulating film between the first portion 1a and the electrode 2Y. 12 is connected to the second portion 1b through a contact hole 12a.
In the case of such an electrode structure, since the protective film 13 can have a uniform film formation surface, distortion generated in the protective film 13 can be suppressed, and the electrode pattern resulting from the color difference due to the distortion of the protective film 13 can be realized. Can be suppressed. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the optical characteristics due to the actualization of the electrode pattern, and thus it is possible to suppress the deterioration of the characteristics of the display device incorporating the touch panel 20.
In addition, since the portion where the color difference occurs can be minimized, that is, only the first portion 1a of the electrode 1X, it is possible to suppress the manifestation of the electrode pattern caused by the color difference due to the optical path difference. As a result, it is possible to suppress the deterioration of the optical characteristics due to the actualization of the electrode pattern, and thus it is possible to suppress the deterioration of the characteristics of the display device incorporating the touch panel 20.

また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図17及び図18に示すように、基板11の観察者側の面とは反対側の面にシールド用の導電体15を設けている。このような構造の場合、透明性導電材料層として、電極1Xを形成するための透明導電性材料層層と電極2Yを形成するための透明性導電材料層に、シールド用の導電体15を形成するための透明性導電材料層を加えた3つの透明性導電材料層が必要であり、低コスト化を阻害する要因となる。
これに対し、本実施例の静電容量結合方式のタッチパネル20では、図1乃至図5に示すように、シールド用の導電体3は、電極1Xの第1部分1aと同層の透明性導電膜で形成されている。また、シールド用の導電体3は、電極1Xの第1部分1aが形成される領域に開口部4aを有し、電極1Xの第1部分1aは、シールド用の導電体3に形成された開口部4a内に形成されている。
このような電極構造とすることにより、電極1Xと、電極2Yと、液晶表示パネル30からタッチパネル20へのノイズを低減するシールド用の導電体3とを2つの層の透明性導電材料層で構成することができ、従来のタッチパネルと比較して透明導電材料層に係る材料及びプロセスを省くことができるため、より安価にタッチパネルを製造することができる。これにより、タッチパネルを組み込むタッチパネル付き表示装置の低コスト化を図ることができる。
Further, in the conventional capacitive coupling type touch panel, as shown in FIGS. 17 and 18, a shielding conductor 15 is provided on the surface of the substrate 11 opposite to the surface on the observer side. In the case of such a structure, the shielding conductor 15 is formed on the transparent conductive material layer for forming the electrode 1X and the transparent conductive material layer for forming the electrode 2Y as the transparent conductive material layer. Therefore, three transparent conductive material layers to which the transparent conductive material layer is added are necessary, which becomes a factor that hinders cost reduction.
On the other hand, in the capacitive coupling type touch panel 20 of this embodiment, as shown in FIGS. 1 to 5, the shielding conductor 3 is a transparent conductive layer in the same layer as the first portion 1a of the electrode 1X. It is formed of a film. The shielding conductor 3 has an opening 4a in a region where the first portion 1a of the electrode 1X is formed, and the first portion 1a of the electrode 1X has an opening formed in the shielding conductor 3. It is formed in the part 4a.
By adopting such an electrode structure, the electrode 1X, the electrode 2Y, and the shield conductor 3 for reducing noise from the liquid crystal display panel 30 to the touch panel 20 are configured by two transparent conductive material layers. Since the material and process which concern on a transparent conductive material layer can be omitted compared with the conventional touch panel, a touch panel can be manufactured more cheaply. Thereby, cost reduction of the display apparatus with a touch panel incorporating a touch panel can be achieved.

また、本実施例1のタッチパネル20では、図1乃至図4に示すように、絶縁膜12上で複数の配線5を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の導電体6を有している。本実施例ではシールド用の導電体に0Vを入力している。シールドに使用する導電体に入力する信号の種別は本発明の趣旨を規制するものではなく、他の信号でもよい。このシールド用の導電体6は、電極1Xの第1部分1a、及び電極2Yと同層の透明性導電層に形成されている。このような構造とすることにより、観察者側からタッチパネルへのノイズをシールド用の導電体6により低減できると共に、電極1Xと、電極2Yと、観察者側からタッチパネル20へのノイズを低減するシールド用の導電体6とを2つの層の透明性導電材料層で構成することができるため、安価にタッチパネルを製造することができる。   Further, in the touch panel 20 according to the first embodiment, as shown in FIGS. 1 to 4, the shield conductor 6 is formed on the insulating film 12 so as to cover the plurality of wirings 5 and receives a predetermined signal. have. In this embodiment, 0V is input to the shielding conductor. The type of signal input to the conductor used for the shield does not regulate the gist of the present invention and may be other signals. The shield conductor 6 is formed on the first conductive layer 1a of the electrode 1X and the transparent conductive layer in the same layer as the electrode 2Y. With such a structure, noise from the observer side to the touch panel can be reduced by the shielding conductor 6, and the electrode 1X, the electrode 2Y, and the shield to reduce noise from the observer side to the touch panel 20 can be reduced. Therefore, the touch panel can be manufactured at a low cost.

ここで、本実施例1のように、基板11と電極1X及び電極2Yとの間にシールド用の導電体3を設けることにより、液晶表示パネル30からタッチパネル20へのノイズを低減することができるが、電極1X及び電極2Yとシールド用の導電体3との距離が数μm程度しかないため、電極1X及び電極2Yとシールド用の導電体3との間で容量が発生する。この容量は、静電容量方式のタッチパネルの動作に悪影響を及ぼす場合があるため、出来るだけ小さくすることが望ましい。
そこで、本実施例1のシールド用の導電体3は、開口内に電極1Xの第1部分1aが形成される開口部4aを有し、更にこの開口部4aとは別に、開口内に電極1Xの第1部分1aが形成されない開口部4bも有している。このような導電体構造とすることにより、電極1X及び電極2Yとシールド用の導電体3との間で発生する容量を低減できるため、信頼性が高く、ノイズ耐性に優れたタッチパネル付き表示装置を安価に提供することができる。
Here, the noise from the liquid crystal display panel 30 to the touch panel 20 can be reduced by providing the shielding conductor 3 between the substrate 11 and the electrodes 1X and 2Y as in the first embodiment. However, since the distance between the electrode 1X and the electrode 2Y and the shielding conductor 3 is only about several μm, a capacitance is generated between the electrode 1X and the electrode 2Y and the shielding conductor 3. Since this capacitance may adversely affect the operation of the capacitive touch panel, it is desirable to make it as small as possible.
Therefore, the shielding conductor 3 according to the first embodiment has an opening 4a in which the first portion 1a of the electrode 1X is formed in the opening. Further, separately from the opening 4a, the electrode 1X is formed in the opening. There is also an opening 4b in which the first portion 1a is not formed. By adopting such a conductor structure, the capacity generated between the electrode 1X and the electrode 2Y and the shield conductor 3 can be reduced, so that a display device with a touch panel having high reliability and excellent noise resistance can be obtained. It can be provided at low cost.

なお、電極1X及び電極2Yとシールド用の導電体3との間で発生する容量は、開口内に電極1Xの第1部分1aが形成されない開口部4bの数及び大きさ、即ち単位面積当たりの非導電体領域を増加することによって小さくなるが、電極1X及び電極2Yとシールド用の導電体3との間で発生する容量と、導電体3によるシールド効果とは、トレードオフの関係にあるため、開口部4bの数及び大きさはシールド効果を考慮して決定することが望ましい。開口部4bの数及び大きさは、メッシュ形状を構成する一方及び他方の片(3a,3b)が隣接する2つの電極1Xの第1部分1aの間を横切る本数(隣接する2つの電極1Xの第1部分1aの間に、メッシュ形状を構成する一方及び他方の片(3a,3b)を配置する本数)で規定することができるため、シールド用の導電体3としては、本実施例1のように、隣接する2つの電極1Xの第1部分1aの間を、少なくとも互いに交差する一方及び他方の片(3a,3b)が1本ずつ横切るメッシュ形状(隣接する2つの電極1Xの第1部分1aの間に、互いに交差する一方及び他方の片(3a,3b)が少なくとも1本配置されるメッシュ形状)とすることが望ましい。   The capacitance generated between the electrode 1X and the electrode 2Y and the shielding conductor 3 is the number and size of the opening 4b in which the first portion 1a of the electrode 1X is not formed in the opening, that is, per unit area. Although it is reduced by increasing the non-conductor region, the capacitance generated between the electrodes 1X and 2Y and the shielding conductor 3 and the shielding effect by the conductor 3 are in a trade-off relationship. The number and size of the openings 4b are preferably determined in consideration of the shielding effect. The number and size of the openings 4b are determined by the number of one and the other pieces (3a, 3b) constituting the mesh shape that cross between the first portions 1a of the two adjacent electrodes 1X (the two adjacent electrodes 1X The number of one and the other pieces (3a, 3b) constituting the mesh shape between the first portions 1a) can be defined, so that the shield conductor 3 is the same as that of the first embodiment. Thus, between the first portions 1a of the two adjacent electrodes 1X, at least one mesh and the other piece (3a, 3b) crossing each other cross each other (the first portion of the two adjacent electrodes 1X) It is desirable that a mesh shape in which at least one of the one and the other pieces (3a, 3b) intersecting each other is arranged between 1a.

図7は、本発明の実施例1の変形例であるタッチパネルの断面構造を示す断面図である。
本変形例のタッチパネル20は、基本的に前述の実施例1と同様の構成になっており、以下の構成が異なっている。
即ち、図7に示すように、本変形例のタッチパネル20は、保護膜13上に形成されるフロントパネル14を有している。このようなタッチパネル20においても、前述の実施例1と同様の効果が得られる。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing a cross-sectional structure of a touch panel which is a modification of the first embodiment of the present invention.
The touch panel 20 of the present modification has basically the same configuration as that of the first embodiment, and the following configuration is different.
That is, as shown in FIG. 7, the touch panel 20 of this modification has a front panel 14 formed on the protective film 13. Also in such a touch panel 20, the same effect as in the first embodiment can be obtained.

[実施例2]
図8乃至図12は、本発明の実施例2のタッチパネル付き表示装置に係る図であり、
図8は、タッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図9は、図8の一部を拡大した平面図、
図10は、図8のタッチパネルの断面構造を示す図((a)は図8のD−D’線に沿った断面図、(b)は(a)の一部を拡大した断面図)、
図11は、図8のタッチパネルの断面構造を示す図((a)は図8のE−E’線に沿った断面図、(b)は(a)の一部を拡大した断面図)、
図12は、タッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。
[Example 2]
8 to 12 are diagrams related to a display device with a touch panel according to a second embodiment of the present invention.
FIG. 8 is a plan view showing an electrode pattern of a touch panel incorporated in a display device with a touch panel,
FIG. 9 is an enlarged plan view of a part of FIG.
10 is a view showing a cross-sectional structure of the touch panel of FIG. 8 ((a) is a cross-sectional view taken along the line DD ′ of FIG. 8, (b) is a cross-sectional view in which a part of (a) is enlarged),
11 is a view showing a cross-sectional structure of the touch panel of FIG. 8 ((a) is a cross-sectional view taken along the line EE ′ of FIG. 8, (b) is a cross-sectional view in which a part of (a) is enlarged),
FIG. 12 is a block diagram illustrating a schematic configuration of a display device with a touch panel.

本実施例2のタッチパネル付き表示装置は、基本的に前述の実施例1と同様の構成になっており、以下の構成が異なっている。
即ち、前述の実施例1では、図1乃至図4に示すように、下層の導電層に、電極1Xの第1部分1a、及びシールド用の導電体3が形成され、これよりも上層の導電層に、電極1Xの第2部分1b、電極2Y、及びシールド用の導電体6が形成された例について説明したが、本実施例2では、図8乃至図11に示すように、下層の導電層に、電極1Xの第2部分1b、及び電極2Y(2a,2b)が形成され、これよりも上層の導電層に、電極1Xの第1部分1a、及びシールド用の導電体3が形成されている。
複数の電極1Xの各々の第2部分1b、複数の電極2Y、及び複数の配線5は、基板11の主面上に形成され、これらの上層に形成された絶縁膜12で覆われている。複数の電極1Xの各々の第1部分1a、及びシールド用の導電体3は、絶縁膜12上に形成され、これらの上層に形成された保護膜13で覆われている。
電極1Xの第1部分1a(本実施例では上層)は、電極2Yの第1部分2aと平面的に交差し、この第1部分2aを挟んで隣り合う2つの第2部分1b(本実施例では下層)に、電極1Xの第1部分1aと電極2Yとの間の層間絶縁膜である絶縁膜12に形成されたコンタクトホール12aを介してそれぞれ電気的にかつ機械的に接続されている。
シールド用の導電体3は、複数の電極1Xの各々の第2部分1b、複数の電極2Y、及び複数の配線5を覆うようにして、タッチパネル20の中央領域及び周辺領域に形成されている。
The display device with a touch panel according to the second embodiment basically has the same configuration as that of the first embodiment described above, and the following configuration is different.
That is, in the first embodiment, as shown in FIGS. 1 to 4, the first portion 1a of the electrode 1X and the shielding conductor 3 are formed in the lower conductive layer, and the upper conductive layer is further formed. Although the example in which the second portion 1b of the electrode 1X, the electrode 2Y, and the shielding conductor 6 are formed in the layer has been described, in the second embodiment, as shown in FIGS. The second portion 1b of the electrode 1X and the electrode 2Y (2a, 2b) are formed in the layer, and the first portion 1a of the electrode 1X and the shielding conductor 3 are formed in the upper conductive layer. ing.
The second portions 1b of each of the plurality of electrodes 1X, the plurality of electrodes 2Y, and the plurality of wirings 5 are formed on the main surface of the substrate 11 and covered with an insulating film 12 formed on the upper layer thereof. Each of the first portions 1a of the plurality of electrodes 1X and the conductor 3 for shielding are formed on the insulating film 12, and are covered with a protective film 13 formed on these layers.
The first portion 1a (upper layer in this embodiment) of the electrode 1X intersects the first portion 2a of the electrode 2Y in a plan view, and two adjacent second portions 1b (this embodiment) sandwiching the first portion 2a. Are electrically and mechanically connected to each other via contact holes 12a formed in the insulating film 12 which is an interlayer insulating film between the first portion 1a of the electrode 1X and the electrode 2Y.
The shield conductor 3 is formed in the central region and the peripheral region of the touch panel 20 so as to cover the second portions 1b, the plurality of electrodes 2Y, and the plurality of wirings 5 of each of the plurality of electrodes 1X.

本実施例2のタッチパネル20は、図12に示すように、基板11の保護膜13側の面が液晶表示パネル30の観察者側の面と向かい合うようにして液晶表示パネル30上に配置されており、シールド用の導電体3は、液晶表示パネル30とタッチパネル20の中央領域及び周辺領域との間に配置されている。シールド用の導電体3は、所定の信号が入力され、液晶表示パネル30からタッチパネル20へのノイズを低減している。
本実施例2においても、保護膜13の歪みによる色差から生じる電極パターンの顕在化、及び光路差による色差から生じる電極パターンの顕在化も抑えることができるため、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制でき、タッチパネル20を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
また、電極1Xと、電極2Yと、液晶表示パネル30からタッチパネル20へのノイズを低減するシールド用の導電体3とを2つの層の透明性導電材料層で構成することができ、従来のタッチパネルと比較して透明導電材料層に係る材料及びプロセスを省くことができるため、より安価にタッチパネルを製造することができる。これにより、タッチパネルを組み込むタッチパネル付き表示装置の低コスト化を図ることができる。
シールド用の導電体3は、本実施例2においても、前述の実施例1と同様に、開口内に電極1Xの第1部分1aが形成される開口部4aを有し、更にこの開口部4aとは別に、開口内に電極1Xの第1部分1aが形成されない開口部4bも有している。本実施例2においても、前述の実施例1と同様に、電極1X及び電極2Yとシールド用の導電体3との間で発生する容量を低減できるため、信頼性が高く、ノイズ耐性に優れたタッチパネル付き表示装置を安価に提供することができる。
As shown in FIG. 12, the touch panel 20 of the second embodiment is arranged on the liquid crystal display panel 30 so that the surface of the substrate 11 on the protective film 13 side faces the surface of the liquid crystal display panel 30 on the viewer side. In addition, the conductor 3 for shielding is disposed between the liquid crystal display panel 30 and the central region and the peripheral region of the touch panel 20. The shield conductor 3 receives a predetermined signal and reduces noise from the liquid crystal display panel 30 to the touch panel 20.
In the second embodiment as well, the manifestation of the electrode pattern caused by the color difference due to the distortion of the protective film 13 and the manifestation of the electrode pattern caused by the color difference due to the optical path difference can be suppressed. Deterioration can be suppressed, and deterioration in characteristics of a display device incorporating the touch panel 20 can be suppressed.
In addition, the electrode 1X, the electrode 2Y, and the shield conductor 3 for reducing noise from the liquid crystal display panel 30 to the touch panel 20 can be configured by two layers of transparent conductive material layers. Since the material and process which concern on a transparent conductive material layer can be omitted compared with, a touch panel can be manufactured more inexpensively. Thereby, cost reduction of the display apparatus with a touch panel incorporating a touch panel can be achieved.
Also in the second embodiment, the shielding conductor 3 has an opening 4a in which the first portion 1a of the electrode 1X is formed in the opening, as in the first embodiment, and this opening 4a. Apart from this, it also has an opening 4b in which the first portion 1a of the electrode 1X is not formed. Also in the second embodiment, similarly to the first embodiment, since the capacitance generated between the electrode 1X and the electrode 2Y and the conductor 3 for shielding can be reduced, the reliability is high and the noise resistance is excellent. A display device with a touch panel can be provided at low cost.

[実施例3]
図13及び図14は、本発明の実施例3であるタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルに係る図であり、
図13は、タッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図14は、図13のシールド用の導体パターンを示す平面図である。
本実施例3のタッチパネル付き表示装置は、基本的に前述の実施例1と同様の構成になっており、シールド用の導電体3の構成が異なっている。
即ち、前述の実施例1のシールド用の導電体3は、隣接する2つの電極1Xの第1部分1aの間を、互いに交差する一方の片3a及び他方の片3bが1本ずつ横切るメッシュ形状になっている。
これに対し、本実施例3のシールド用の導電体3は、図13及び図14に示すように、隣接する2つの電極1Xの第1部分1aの間を、互いに交差する一方の片3a及び他方の片3bが2本ずつ横切るメッシュ形状になっている。本実施例3において、一方及び他方の片(3a,3b)の各々の幅は、例えば20μm程度であり、開口部4a及び4bの各々の幅は、例えば200μm程度である。
このようにシールド用の導電体3が構成された本実施例3においても、前述の実施例1と同様の効果が得られる。
なお、本実施例3におけるシールド用の導電体3のメッシュ・パターン形状は、前述の実施例1の変形例及び実施例2においても適用できることは言うまでもない。
[Example 3]
FIG.13 and FIG.14 is a figure which concerns on the touchscreen integrated in the display apparatus with a touchscreen which is Example 3 of this invention,
FIG. 13 is a plan view showing an electrode pattern of a touch panel,
FIG. 14 is a plan view showing a conductor pattern for shielding in FIG.
The display device with a touch panel according to the third embodiment has basically the same configuration as that of the first embodiment described above, and the configuration of the conductor 3 for shielding is different.
That is, the shielding conductor 3 of the first embodiment described above has a mesh shape in which one piece 3a and the other piece 3b intersect each other between the first portions 1a of two adjacent electrodes 1X. It has become.
On the other hand, as shown in FIGS. 13 and 14, the shielding conductor 3 according to the third embodiment has one piece 3a crossing each other between the first portions 1a of two adjacent electrodes 1X. The other piece 3b has a mesh shape that crosses two by two. In the third embodiment, the width of each of the one and other pieces (3a, 3b) is, for example, about 20 μm, and the width of each of the openings 4a, 4b is, for example, about 200 μm.
In the third embodiment in which the shielding conductor 3 is configured as described above, the same effect as in the first embodiment can be obtained.
In addition, it cannot be overemphasized that the mesh pattern shape of the conductor 3 for a shield in this Example 3 is applicable also to the modification of Example 1 and Example 2 mentioned above.

[実施例4]
図15は、本発明の実施例4であるタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図である。
本実施例4のタッチパネル付き表示装置は、基本的に前述の実施例1と同様の構成になっており、シールド用の導電体3の構成が異なっている。
即ち、前述の実施例1のシールド用の導電体3は、隣接する2つの電極1Xの第1部分1aの間を、互いに交差する一方の片3a及び他方の片3bが横切るメッシュ形状になっている。
これに対し、本実施例4のシールド用の導電体3は、図15に示すように、メッシュ形状ではなく、単純に複数の開口部4a及び開口部4bが点在するパターン形状になっている。
このようにシールド用の導電体3が構成された本実施例4においても、前述の実施例1と同様の効果が得られる。
なお、本実施例4におけるシールド用の導電体3のパターン形状は、前述の実施例1の変形例及び実施例2においても適用できることは言うまでもない。
[Example 4]
FIG. 15: is a top view which shows the conductor pattern for the shield of the touchscreen integrated in the display apparatus with a touchscreen which is Example 4 of this invention.
The display device with a touch panel of the fourth embodiment has basically the same configuration as that of the first embodiment described above, and the configuration of the conductor 3 for shielding is different.
That is, the conductor 3 for shielding of the above-described first embodiment has a mesh shape in which one piece 3a and the other piece 3b intersecting each other cross between the first portions 1a of two adjacent electrodes 1X. Yes.
On the other hand, as shown in FIG. 15, the conductor 3 for shielding according to the fourth embodiment is not a mesh shape but simply a pattern shape in which a plurality of openings 4a and openings 4b are dotted. .
In the fourth embodiment in which the shielding conductor 3 is configured as described above, the same effect as in the first embodiment can be obtained.
In addition, it cannot be overemphasized that the pattern shape of the conductor 3 for a shield in this Example 4 is applicable also to the modification of Example 1 mentioned above and Example 2. FIG.

なお、前述の実施例(1,2,3,4)及び変形例では、電極1Xの第1部分1a及び第2部分1bをそれぞれ異なる導電層で形成した例について説明したが、本発明は、電極2Yの第1部分2a及び第2部分2bをそれぞれ異なる導電層で構成した場合も含むことは言うまでもない。
また、前述の実施例(1,2,3,4)及び変形例では表示パネルの一例として液晶表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、有機EL表示パネルや無機EL表示パネル等の他の表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に適用することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
In the above-described embodiments (1, 2, 3, 4) and modifications, the example in which the first portion 1a and the second portion 1b of the electrode 1X are formed of different conductive layers has been described. It goes without saying that the case where the first portion 2a and the second portion 2b of the electrode 2Y are formed of different conductive layers is also included.
In the above-described embodiments (1, 2, 3, 4) and modifications, the display device with a touch panel provided with a touch panel on the liquid crystal display panel has been described as an example of the display panel, but the present invention is limited to this. The present invention can be applied to a display device with a touch panel provided with a touch panel on another display panel such as an organic EL display panel or an inorganic EL display panel.
As mentioned above, the invention made by the present inventor has been specifically described based on the above embodiments. However, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Of course.

1X 電極
1a 第1部分
1b 第2部分
2Y 電極
2a 第1部分
2b 第2部分
3 シールド用の導電体
3a,3b 片
4,4a,4b 開口部
5 配線
6 シールド用の導電体
11 基板
12 絶縁膜
12a,12b コンタクトホール
13 保護膜
14 フロントパネル
15 シールド用の導電体
20 タッチパネル
30 液晶表示パネル
40 バックライト
1X electrode 1a 1st part 1b 2nd part 2Y electrode 2a 1st part 2b 2nd part 3 Shielding conductor 3a, 3b piece 4, 4a, 4b Opening 5 wiring 6 Shielding conductor 11 Substrate 12 Insulating film 12a, 12b Contact hole 13 Protective film 14 Front panel 15 Conductor for shielding 20 Touch panel 30 Liquid crystal display panel 40 Backlight

Claims (14)

基板と、
前記基板の第1の面上に形成されるシールド用の第1導電体と、
前記シールド用の第1導電体上に形成される絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成され、第1の方向に延在し前記第1の方向と交差する第2の方向に並設される複数の第1電極と、
前記絶縁膜上に形成され、前記第2の方向に延在し前記第2方向と交差する前記第1の方向に並設される複数の第2電極とを有する静電容量結合方式のタッチパネルであって、
前記シールド用の第1導電体は、所定の信号が入力され、
前記複数の第1電極の各々は、前記基板の前記第1の面上に形成される第1部分と、前記絶縁膜上で前記第2電極とは分離して形成される第2部分とを有し、
前記第1部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第2部分に接続され、
前記シールド用の第1導電体は、複数の開口部を有し、
前記複数の開口部は、開口内に前記第1部分が形成される第1開口部と、開口内に前記第1の部分が形成されない第2開口部とを含み、
前記第1部分は、前記第1開口部内に形成されていることを特徴とする静電容量結合方式のタッチパネル。
A substrate,
A first conductor for shielding formed on the first surface of the substrate;
An insulating film formed on the first conductor for shielding;
A plurality of first electrodes formed on the insulating film, extending in a first direction and juxtaposed in a second direction intersecting the first direction;
A capacitively coupled touch panel formed on the insulating film and having a plurality of second electrodes arranged in parallel in the first direction extending in the second direction and intersecting the second direction. There,
A predetermined signal is input to the first conductor for shielding,
Each of the plurality of first electrodes includes a first portion formed on the first surface of the substrate and a second portion formed separately from the second electrode on the insulating film. Have
The first portion is connected to the second portion through a contact hole formed in the insulating film,
The first conductor for shielding has a plurality of openings,
The plurality of openings include a first opening in which the first portion is formed in the opening, and a second opening in which the first portion is not formed in the opening,
The capacitive coupling type touch panel, wherein the first portion is formed in the first opening.
前記シールド用の第1導電体は、互いに交差する第1片及び第2片で構成されるメッシュ形状からなり、
前記第1開口部及び第2開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第1片及び前記第2片によって形成される開口部であることを特徴とする請求項1に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
The first conductor for shielding has a mesh shape composed of a first piece and a second piece intersecting each other,
2. The electrostatic according to claim 1, wherein each of the first opening and the second opening is an opening formed by the first piece and the second piece constituting the mesh shape. Capacitive coupling type touch panel.
前記第2電極は、前記第1電極の前記第1部分と平面的に交差する第1部分と、前記第1部分に連なる第2部分とを有し、
前記第1電極の前記第2部分は、平面形状が前記第1電極の前記第1部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第2電極の前記第2部分は、平面形状が前記第2電極の前記第1部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第1電極の前記第2部分と前記第2電極の第2部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第1の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、
前記シールド用の第1導電体の前記メッシュ形状の前記第1片及び前記第2片は、前記第1電極の第2部分及び前記第2電極の第2部分の互いに向かい合う各々の辺に沿って形成されていることを特徴とする請求項2に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
The second electrode includes a first portion that intersects the first portion of the first electrode in a plane, and a second portion that continues to the first portion,
The second portion of the first electrode is formed in a square shape having a wider planar shape than the first portion of the first electrode,
The second portion of the second electrode is formed in a square shape having a wider planar shape than the first portion of the second electrode,
The second portion of the first electrode and the second portion of the second electrode are arranged in a state where each side facing each other forms an acute angle with respect to the first direction;
The mesh-shaped first piece and the second piece of the first conductor for shielding are along each side of the second portion of the first electrode and the second portion of the second electrode facing each other. 3. The capacitively coupled touch panel according to claim 2, wherein the touch panel is formed.
隣接する2つの前記第1電極の前記第1部分の間には、前記シールド用の第1導電体の前記メッシュ形状の前記第1片及び前記第2片が、少なくとも1本配置されていることを特徴とする請求項3に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。   Between the first portions of the two adjacent first electrodes, at least one of the mesh-shaped first piece and second piece of the first conductor for shielding is disposed. The capacitively coupled touch panel according to claim 3. 前記複数の第1電極と前記複数の第2電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第1電極、或いは前記複数の第2電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、
前記複数の配線は、前記基板の前記第1の面上に形成され、
前記絶縁膜上で前記複数の配線を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の第2導電体を有することを特徴とする請求項1に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
A plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes formed around a region where the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed and electrically connected to each of the plurality of first electrodes or the plurality of second electrodes; Have wiring,
The plurality of wirings are formed on the first surface of the substrate,
2. The capacitively coupled touch panel according to claim 1, further comprising a second conductor for shielding, which is formed so as to cover the plurality of wirings on the insulating film and receives a predetermined signal. .
前記複数の第1電極と前記複数の第2電極上に形成される保護膜を有することを特徴とする請求項1乃至請求項5の何れか1項に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。   6. The capacitively coupled touch panel according to claim 1, further comprising a protective film formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes. 7. 前記保護膜上に形成されるフロントパネルを有することを特徴とする請求項6に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。   7. The capacitively coupled touch panel according to claim 6, further comprising a front panel formed on the protective film. 基板と、
前記基板の第2の面上に形成され、第1の方向に延在し前記第1の方向と交差する第2の方向に並設される複数の第1電極と、
前記基板の前記第2の面上に形成され、前記第2の方向に延在し前記第2の方向と交差する前記第1の方向に並設される複数の第2電極と、
前記複数の第1電極および前記複数の第2電極上に形成される絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成されるシールド用の導電体とを有する静電容量結合方式のタッチパネルであって、
前記シールド用の導電体は、所定の信号が入力され、
前記複数の第1電極の各々は、前記絶縁膜上に形成される第1部分と、前記基板の前記第2の面上で前記第2電極とは分離して形成される第2部分とを有し、
前記第1部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第2部分に接続され、
前記シールド用の導電体は、複数の開口部を有し、
前記複数の開口部は、開口内に前記第1部分が形成される第1開口部と、開口内に前記第1部分が形成されない第2開口部とを含み、
前記第1部分は、前記第1開口部内に形成されていることを特徴とする静電容量結合方式のタッチパネル。
A substrate,
A plurality of first electrodes formed on a second surface of the substrate, extending in a first direction and juxtaposed in a second direction intersecting the first direction;
A plurality of second electrodes formed on the second surface of the substrate, extending in the second direction and juxtaposed in the first direction intersecting the second direction;
An insulating film formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes;
A capacitively coupled touch panel having a shielding conductor formed on the insulating film,
A predetermined signal is input to the shielding conductor,
Each of the plurality of first electrodes includes a first portion formed on the insulating film and a second portion formed separately from the second electrode on the second surface of the substrate. Have
The first portion is connected to the second portion through a contact hole formed in the insulating film,
The shield conductor has a plurality of openings,
The plurality of openings include a first opening in which the first part is formed in the opening, and a second opening in which the first part is not formed in the opening,
The capacitive coupling type touch panel, wherein the first portion is formed in the first opening.
前記シールド用の導電体は、互いに交差する第1片及び第2片で構成されるメッシュ形状からなり、
前記第1開口部及び第2開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第1片及び前記第2片によって形成される開口部であることを特徴とする請求項8に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
The shield conductor comprises a mesh shape composed of a first piece and a second piece intersecting each other,
9. The electrostatic according to claim 8, wherein each of the first opening and the second opening is an opening formed by the first piece and the second piece constituting the mesh shape. Capacitive coupling type touch panel.
前記第2電極は、前記第1電極の前記第1の部分と平面的に交差する第1部分と、前記第1部分に連なる第2部分とを有し、
前記第1電極の前記第2部分は、平面形状が前記第1電極の前記第1部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第2電極の前記第2部分は、平面形状が前記第2電極の前記第1部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第1電極の前記第2部分と前記第2電極の第2部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第1の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、
前記シールド用の導電体の前記メッシュ形状の前記第1片及び前記第2片は、前記第1電極の第2部分及び前記第2電極の第2部分の互いに向かい合う各々の辺に沿う形状で形成されていることを特徴とする請求項9に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
The second electrode includes a first portion that intersects the first portion of the first electrode in a plane, and a second portion that continues to the first portion,
The second portion of the first electrode is formed in a square shape having a wider planar shape than the first portion of the first electrode,
The second portion of the second electrode is formed in a square shape having a wider planar shape than the first portion of the second electrode,
The second portion of the first electrode and the second portion of the second electrode are arranged in a state where each side facing each other forms an acute angle with respect to the first direction;
The mesh-shaped first piece and second piece of the shielding conductor are formed in a shape along each side of the second portion of the first electrode and the second portion of the second electrode facing each other. 10. The capacitively coupled touch panel according to claim 9, wherein the touch panel is a capacitively coupled touch panel.
隣接する2つの前記第1電極の前記第1部分の間には、前記シールド用の導電体の前記第1片及び前記第2片が、少なくとも1本配置されていることを特徴とする請求項10に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。   The at least one first piece and the second piece of the conductor for shielding are arranged between the first portions of the two adjacent first electrodes. 10. The capacitively coupled touch panel according to 10. 前記複数の第1電極と前記複数の第2電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第1電極、或いは前記複数の第2電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、
前記複数の配線は、前記基板の前記第2の面上に形成され、
シールド用の導電体は、前記複数の配線を覆うように形成されていることを特徴とする請求項8に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
A plurality of first electrodes and a plurality of second electrodes formed around a region where the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are formed and electrically connected to each of the plurality of first electrodes or the plurality of second electrodes; Have wiring,
The plurality of wirings are formed on the second surface of the substrate,
9. The capacitively coupled touch panel according to claim 8, wherein the shield conductor is formed so as to cover the plurality of wirings.
前記複数の第1電極と前記複数の第2電極上に形成される保護膜を有することを特徴とする請求項8乃至請求項12の何れか1項に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。   13. The capacitively coupled touch panel according to claim 8, further comprising a protective film formed on the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes. 前記複数の第1電極および前記複数の第2電極は、透明導電膜で構成されていることを特徴とする請求項1乃至請求項13の何れか1項に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。   14. The capacitively coupled touch panel according to claim 1, wherein the plurality of first electrodes and the plurality of second electrodes are made of a transparent conductive film. .
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