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JP2012218261A - Liquid jet head unit, manufacturing method therefor, and liquid jet apparatus - Google Patents

Liquid jet head unit, manufacturing method therefor, and liquid jet apparatus Download PDF

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JP2012218261A
JP2012218261A JP2011085169A JP2011085169A JP2012218261A JP 2012218261 A JP2012218261 A JP 2012218261A JP 2011085169 A JP2011085169 A JP 2011085169A JP 2011085169 A JP2011085169 A JP 2011085169A JP 2012218261 A JP2012218261 A JP 2012218261A
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JP
Japan
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liquid ejecting
head unit
liquid jet
exposure hole
recording head
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP2011085169A
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Japanese (ja)
Inventor
Yuma Fukuzawa
祐馬 福澤
Yoshinao Miyata
佳直 宮田
Takeshi Ko
岳 高
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Seiko Epson Corp
Original Assignee
Seiko Epson Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid jet head unit capable of performing highly accurate positioning of each recording head relatively easily and inexpensively and to provide a manufacturing method therefor and a liquid jet apparatus.SOLUTION: The liquid jet head unit 1 includes a plurality of liquid jet heads 200 each jetting a liquid droplet from a nozzle 206, and a fixing plate 300 having an exposure hole 301 for exposing the nozzle and allowing the mutually positioned liquid jet heads 200 to be fixed. The fixing plate 300 is provided with a spring 302 at the edge of the exposure hole 301 and each of the liquid jet heads 200 is bonded to the fixing plate 300 while being pressed toward the inside of the exposure hole 301 by means of the spring 302.

Description

本発明は、液滴を噴射する液体噴射ヘッドを複数備え、これら複数の液体噴射ヘッドが固定板に位置決め固定されてなる液体噴射ヘッドユニット、及びその製造方法並びに液体噴射装置に関する。   The present invention relates to a liquid ejecting head unit including a plurality of liquid ejecting heads for ejecting liquid droplets, the plurality of liquid ejecting heads being positioned and fixed to a fixed plate, a manufacturing method thereof, and a liquid ejecting apparatus.

従来、例えば、圧電素子や、発熱素子等の圧力発生手段によって液体に圧力を付与することで、ノズルから液滴を噴射する液体噴射ヘッドが知られており、その代表例としては、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッド(以下、単に「記録ヘッド」とも言う)が挙げられる。また一般的には、このような記録ヘッドは、複数並設された状態で固定されてインクジェット式記録ヘッドユニット(以下、単に「ヘッドユニット」とも言う)が構成され、このヘッドユニットがインクジェット式記録装置(以下、単に「記録装置」とも言う)に搭載されている。   Conventionally, for example, a liquid ejecting head that ejects liquid droplets from a nozzle by applying pressure to the liquid by a pressure generating unit such as a piezoelectric element or a heat generating element is known. An ink jet type recording head (hereinafter also simply referred to as “recording head”) is exemplified. In general, a plurality of such recording heads are fixed in a state of being arranged in parallel to form an ink jet recording head unit (hereinafter also simply referred to as “head unit”), and the head unit is used for ink jet recording. It is mounted on a device (hereinafter also simply referred to as “recording device”).

ヘッドユニットとしては、例えば、インク滴を噴射するノズルが穿設されたノズルプレートと、ノズルに連通する圧力発生室や複数の圧力発生室が連通するリザーバー等の流路が形成された流路形成基板とを有する複数の記録ヘッドが、相互に位置決めされた状態で固定板に固定されたものがある(例えば、特許文献1参照)。   As the head unit, for example, a flow path formation in which a flow path such as a nozzle plate having nozzles for ejecting ink droplets and a pressure generation chamber communicating with the nozzles or a reservoir communicating with a plurality of pressure generation chambers is formed. There is one in which a plurality of recording heads having a substrate are fixed to a fixed plate while being positioned relative to each other (see, for example, Patent Document 1).

また、このようなヘッドユニットを製造する際には、所定のアライメント装置によりガラスマスク等を用いて各記録ヘッドを位置決めし、この状態で各記録ヘッドを固定板に固定していた。これにより各記録ヘッドを高精度に位置決めした状態で固定板に固定することができる。   Further, when manufacturing such a head unit, each recording head is positioned using a glass mask or the like by a predetermined alignment device, and each recording head is fixed to a fixed plate in this state. Thereby, each recording head can be fixed to the fixed plate in a state of being positioned with high accuracy.

特開2005−096419号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2005-096419

しかしながら、このような方法で記録ヘッドの位置決めを行うと、製造コストが高くなってしまうという問題がある。例えば、アライメント装置は比較的高価であり高額な初期投資が必要となる。またアライメント装置によっては位置決め作業に比較的長い時間を要し、製造効率が低下する。   However, if the recording head is positioned by such a method, there is a problem that the manufacturing cost increases. For example, the alignment apparatus is relatively expensive and requires a large initial investment. Further, depending on the alignment apparatus, a relatively long time is required for the positioning operation, and the manufacturing efficiency decreases.

なお、このような問題は、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、勿論、インク以外の液滴を噴射する他の液体噴射ヘッドにおいても、同様に存在する。   Such a problem exists not only in an ink jet recording head that ejects ink droplets, but also in other liquid ejecting heads that eject droplets other than ink.

本発明はこのような事情に鑑みてなされたものであり、比較的容易且つ安価に、記録ヘッドを相互に高精度に位置決めすることができる液体噴射ヘッドユニット及びその製造方法並びに液体噴射装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of such circumstances, and provides a liquid ejecting head unit, a manufacturing method thereof, and a liquid ejecting apparatus that can position recording heads with high accuracy relative to each other relatively easily and inexpensively. The purpose is to do.

上記課題を解決する本発明は、ノズルから液滴を噴射する複数の液体噴射ヘッドと、前記ノズルが露出される露出孔を有し前記液体噴射ヘッドが相互に位置決めされた状態で固定される固定板と、を具備する液体噴射ヘッドユニットであって、前記固定板が、前記露出孔の縁部にバネ部を備え、前記液体噴射ヘッドが、前記バネ部によって前記露出孔の内側に向かって押圧された状態で前記固定板に接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニットにある。
かかる本発明では、固定板に設けたバネ部によって各記録ヘッドを押圧し、所定の位置決め治具に対して各記録ヘッドを当接させることで、各記録ヘッドを比較的容易且つ安価に位置決めすることができる。したがって、ノズルから噴射する液滴の着弾位置精度が大幅に向上する。
The present invention that solves the above-described problems includes a plurality of liquid ejecting heads that eject liquid droplets from nozzles, and an exposure hole that exposes the nozzles, and the liquid ejecting heads are fixed in a state where they are positioned relative to each other. A liquid ejecting head unit including a plate, wherein the fixed plate includes a spring portion at an edge of the exposure hole, and the liquid ejecting head is pressed toward the inside of the exposure hole by the spring portion. In the liquid ejecting head unit, the liquid ejecting head unit is joined to the fixed plate in a state of being formed.
In the present invention, each recording head is pressed by a spring portion provided on the fixed plate, and each recording head is brought into contact with a predetermined positioning jig, thereby positioning each recording head relatively easily and inexpensively. be able to. Therefore, the landing position accuracy of the droplets ejected from the nozzle is greatly improved.

ここで、前記バネ部は、例えば、前記露出孔の交差する二辺にそれぞれ設けられている。また前記バネ部は、例えば、前記露出孔の隅部に設けられている。このようなバネ部によって各記録ヘッドの二面を位置決め治具に対して当接させることで、各記録ヘッドをより高精度に位置決めすることができる。   Here, the said spring part is each provided in the two sides which the said exposure hole cross | intersects, for example. Moreover, the said spring part is provided in the corner part of the said exposure hole, for example. Each recording head can be positioned with higher accuracy by bringing the two surfaces of each recording head into contact with the positioning jig by such a spring portion.

また前記バネ部が、前記露出孔の縁部から前記露出孔の内側で且つ前記液体噴射ヘッド側に突出して設けられていることが好ましい。つまりバネ部はノズル側に突出していないことが好ましい。これにより液滴を噴射する際にバネ部が邪魔になることがなく、また記録ヘッドの構造に拘わらず、各記録ヘッドをバネ部によって確実に押圧することができる。   Further, it is preferable that the spring portion is provided so as to protrude from an edge portion of the exposure hole to the inside of the exposure hole and toward the liquid ejecting head. That is, it is preferable that the spring portion does not protrude toward the nozzle side. Thus, the spring portion does not get in the way when the droplet is ejected, and each recording head can be reliably pressed by the spring portion regardless of the structure of the recording head.

また本発明は、このような構成の液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、前記固定板の表面に配置した前記液体噴射ヘッドの側面を、前記バネ部の押圧力によって所定の位置決め治具の基準面に当接させて各液体噴射ヘッドを相互に位置決めし、前記液体噴射ヘッドが前記基準面に当接されている状態で、当該液体噴射ヘッドを前記固定板に接合することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法にある。
かかる本発明の製造方法では、比較的容易且つ安価に、各記録ヘッドを高精度に位置決めして固定板に固定することができる。
According to another aspect of the invention, there is provided a method of manufacturing the liquid jet head unit having the above-described configuration, in which a side surface of the liquid jet head arranged on the surface of the fixed plate is placed on a predetermined positioning jig by a pressing force of the spring portion. The liquid ejecting heads are positioned in contact with each other by contacting a reference surface, and the liquid ejecting head is joined to the fixed plate in a state where the liquid ejecting head is in contact with the reference surface. The method is for manufacturing a liquid jet head unit.
In the manufacturing method of the present invention, each recording head can be positioned with high accuracy and fixed to the fixing plate relatively easily and inexpensively.

また前記位置決め治具は、前記基準面がフォトリソグラフィー法によって形成されたものであることが好ましい。これにより基準面を極めて高精度に形成することができる。したがって、この基準面を利用して各記録ヘッドも高精度に位置決めすることができる。   In the positioning jig, the reference surface is preferably formed by a photolithography method. As a result, the reference surface can be formed with extremely high accuracy. Therefore, each recording head can also be positioned with high accuracy using this reference plane.

また本発明は、上述した構成の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。かかる本発明では、信頼性を向上した液体噴射装置を安価に実現することができる。   According to another aspect of the invention, there is provided a liquid ejecting apparatus including the liquid ejecting head unit configured as described above. In the present invention, a liquid ejecting apparatus with improved reliability can be realized at low cost.

本発明の一実施形態に係るヘッドユニットの分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of the head unit which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るヘッドユニットの要部断面図である。It is principal part sectional drawing of the head unit which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る記録ヘッドの断面図である。1 is a cross-sectional view of a recording head according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る固定板の平面図及び断面図である。It is the top view and sectional view of a fixed board concerning one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る固定板の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of the stationary plate which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る位置決め治具を示す平面図及び断面図である。It is the top view and sectional drawing which show the positioning jig which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るヘッドユニットの製造方法を示す概略図である。It is the schematic which shows the manufacturing method of the head unit which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る固定板の変形例を示す平面図である。It is a top view which shows the modification of the stationary plate which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係るヘッドユニットの変形例を示す概略図である。It is the schematic which shows the modification of the head unit which concerns on one Embodiment of this invention. 本発明の一実施形態に係る記録装置の概略斜視図である。1 is a schematic perspective view of a recording apparatus according to an embodiment of the present invention.

以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
図1及び図2に示すように、液体噴射ヘッドユニットの一例であるインクジェット式記録ヘッドユニット1は、カートリッジケース100と、インクジェット式記録ヘッド200と、複数の記録ヘッド200が位置決め固定される固定板300とを備えている。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
As shown in FIGS. 1 and 2, an ink jet recording head unit 1, which is an example of a liquid ejecting head unit, includes a cartridge case 100, an ink jet recording head 200, and a fixed plate on which a plurality of recording heads 200 are positioned and fixed. 300.

カートリッジケース100は、例えば、樹脂材料で形成され、各色のインクが貯留されたインクカートリッジ(図示なし)がそれぞれ装着されるカートリッジ装着部101を有する。カートリッジケース100の底面側には、一端が各カートリッジ装着部101に開口し、他端が記録ヘッド200側に開口する複数のインク連通路102が設けられている。カートリッジ装着部101のインク連通路102の開口部分には、インクカートリッジに挿入されるインク供給針103が固定されている。   The cartridge case 100 includes, for example, a cartridge mounting portion 101 that is formed of a resin material and into which ink cartridges (not shown) that store ink of each color are mounted. On the bottom surface side of the cartridge case 100, a plurality of ink communication paths 102 having one end opened to each cartridge mounting portion 101 and the other end opened to the recording head 200 side are provided. An ink supply needle 103 to be inserted into the ink cartridge is fixed to the opening portion of the ink communication path 102 of the cartridge mounting portion 101.

カートリッジケース100の底面には、所定間隔で位置決めされた複数(例えば、4個)の記録ヘッド200が固定されている。各記録ヘッド200は、例えば、各色のインクに対応してそれぞれ設けられており、固定板300に位置決めされた状態で接合されると共に、カートリッジケース100の底面に固定されている。   A plurality of (for example, four) recording heads 200 positioned at predetermined intervals are fixed to the bottom surface of the cartridge case 100. Each recording head 200 is provided corresponding to each color ink, for example, and is bonded to the fixed plate 300 while being positioned, and is fixed to the bottom surface of the cartridge case 100.

ここで記録ヘッド200の構成について説明する。なお記録ヘッド200としては公知のものを用いればよく、ここではその一例について説明する。図3に示すように、記録ヘッド200を構成する流路形成基板201には、複数の圧力発生室202、これら複数の圧力発生室202に連通する連通部203、及び各圧力発生室202と連通部203とを繋ぐインク供給路204、が形成されている。流路形成基板201の一方面側には、各圧力発生室202に連通する複数のノズル206が穿設されたノズルプレート207が接合されている。流路形成基板201の他方面側には弾性膜208を介して、圧力発生室202内にノズル206からインク滴を噴射するための圧力を付与する圧力発生手段としての圧電素子209が設けられている。   Here, the configuration of the recording head 200 will be described. A known head may be used as the recording head 200, and an example thereof will be described here. As shown in FIG. 3, the flow path forming substrate 201 constituting the recording head 200 includes a plurality of pressure generation chambers 202, a communication portion 203 communicating with the plurality of pressure generation chambers 202, and communication with each pressure generation chamber 202. An ink supply path 204 that connects the section 203 is formed. A nozzle plate 207 in which a plurality of nozzles 206 communicating with each pressure generating chamber 202 is formed is joined to one surface side of the flow path forming substrate 201. On the other surface side of the flow path forming substrate 201, a piezoelectric element 209 is provided as pressure generating means for applying pressure for ejecting ink droplets from the nozzle 206 into the pressure generating chamber 202 via the elastic film 208. Yes.

流路形成基板201上には、圧電素子209を保護するための圧電素子保持部210を有する保護基板211が接合されている。また保護基板211には、流路形成基板201の連通部203と連通されて各圧力発生室202の共通のインク室となるマニホールド205を構成するマニホールド部212が形成されている。   A protective substrate 211 having a piezoelectric element holding portion 210 for protecting the piezoelectric element 209 is bonded on the flow path forming substrate 201. The protective substrate 211 is formed with a manifold portion 212 that constitutes a manifold 205 that communicates with the communication portion 203 of the flow path forming substrate 201 and serves as a common ink chamber for the pressure generation chambers 202.

保護基板211上には、各圧電素子209を駆動するための駆動IC213が実装されている。この駆動IC213の各出力端子は、図示しないが、ボンディングワイヤー等を介して各圧電素子209の個別電極から引き出されたリード電極と接続されている。また駆動IC213の各入力端子には、図示しないが、フレキシブルプリントケーブル(FPC)等の外部配線が接続され、この外部配線を介して印刷信号等の各種信号が供給されるようになっている。   A drive IC 213 for driving each piezoelectric element 209 is mounted on the protective substrate 211. Each output terminal of the drive IC 213 is connected to a lead electrode drawn from an individual electrode of each piezoelectric element 209 through a bonding wire or the like, although not shown. Although not shown, each input terminal of the drive IC 213 is connected to an external wiring such as a flexible printed cable (FPC), and various signals such as a print signal are supplied through the external wiring.

また保護基板211上にはコンプライアンス基板215が接合されている。このコンプライアンス基板215には、他の領域よりも厚さが薄い可撓部216がマニホールド205に対向して設けられている。またコンプライアンス基板215には、マニホールド205に連通するインク導入口217が形成されている。   A compliance substrate 215 is bonded on the protective substrate 211. The compliance substrate 215 is provided with a flexible portion 216 that is thinner than the other regions, facing the manifold 205. The compliance substrate 215 has an ink introduction port 217 communicating with the manifold 205.

コンプライアンス基板215上には、このインク導入口217に連通すると共にカートリッジケース100のインク連通路102に連通するインク供給連通路218が設けられたヘッドケース219が接合されている。そして、これらインク連通路102、インク供給連通路218及びインク導入口217を介してインクがマニホールド205内に供給されるようになっている。またこのヘッドケース219には、駆動IC213に対向する領域に、厚さ方向に貫通する駆動IC保持部220が設けられており、図示しないが、この駆動IC保持部220内には各駆動IC213を覆うようにポッティング剤が充填される。   On the compliance substrate 215, a head case 219 provided with an ink supply communication path 218 communicating with the ink introduction port 217 and communicating with the ink communication path 102 of the cartridge case 100 is joined. Ink is supplied into the manifold 205 through the ink communication path 102, the ink supply communication path 218, and the ink introduction port 217. The head case 219 is provided with a drive IC holding part 220 penetrating in the thickness direction in a region facing the drive IC 213. Although not shown, each drive IC 213 is placed in the drive IC holding part 220. Potting agent is filled so as to cover.

このような構成の記録ヘッド200では、マニホールド205からノズル206に至るまで内部をインクで満たした後、駆動IC213からの記録信号に従い、圧力発生室202に対応するそれぞれの圧電素子209に電圧を印加し、弾性膜208及び圧電素子209をたわみ変形させて各圧力発生室202内のインクに圧力を付与することにより、ノズル206からインク滴が噴射される。   In the recording head 200 having such a configuration, after filling the interior from the manifold 205 to the nozzle 206 with ink, a voltage is applied to each piezoelectric element 209 corresponding to the pressure generating chamber 202 in accordance with a recording signal from the driving IC 213. Then, the elastic film 208 and the piezoelectric element 209 are bent and deformed to apply pressure to the ink in each pressure generating chamber 202, thereby ejecting ink droplets from the nozzle 206.

そしてヘッドユニット1は、このような各記録ヘッド200が相互に位置決めされた状態で固定板300に固定されてなる(図1参照)。固定板300には、各記録ヘッド200のノズル206を露出する露出孔301が、各記録ヘッド200に対応して設けられている。すなわち固定板300には、各記録ヘッド200に対応する複数(本実施形態では4つ)の露出孔301が並設されている。そしてこの露出孔301からノズル206を露出させた状態で、記録ヘッド200のノズルプレート207側の面が接着剤350によって固定板300に接合されている。   The head unit 1 is fixed to the fixed plate 300 with the recording heads 200 positioned with respect to each other (see FIG. 1). The fixing plate 300 is provided with an exposure hole 301 for exposing the nozzle 206 of each recording head 200 corresponding to each recording head 200. That is, a plurality of (four in the present embodiment) exposure holes 301 corresponding to each recording head 200 are arranged in parallel on the fixed plate 300. The surface of the recording head 200 on the nozzle plate 207 side is bonded to the fixed plate 300 by the adhesive 350 with the nozzle 206 exposed from the exposure hole 301.

ここで、固定板300は、例えば、ステンレス鋼(SUS)等の金属板で形成されており、図4に示すように、各露出孔301の縁部にバネ部302が一体的に設けられている。すなわち固定板300は、露出孔301の縁部に、露出孔301の内側に向かって突出する突出部303を有し、この突出部303を記録ヘッド200側に変形させることによってバネ部302が形成されている。また本実施形態では、このようなバネ部302が露出孔301の縁部の交差する二辺にそれぞれ設けられている。   Here, the fixing plate 300 is formed of, for example, a metal plate such as stainless steel (SUS), and as shown in FIG. 4, a spring portion 302 is integrally provided at the edge of each exposure hole 301. Yes. That is, the fixing plate 300 has a protrusion 303 that protrudes toward the inside of the exposure hole 301 at the edge of the exposure hole 301, and the spring portion 302 is formed by deforming the protrusion 303 toward the recording head 200. Has been. In the present embodiment, such spring portions 302 are provided on two sides where the edges of the exposure holes 301 intersect.

なお本実施形態では、図4(a)に示すように、突出部303を略半円形状に形成しているが、突出部303の形状は、特に限定されるものではない。例えば、図5に示すように、突出部303は、略T字状に突出するように形成されていてもよい。このような形状とすることで、突出部303を変形させてバネ部302を形成し易くなる。   In this embodiment, as shown in FIG. 4A, the protrusion 303 is formed in a substantially semicircular shape, but the shape of the protrusion 303 is not particularly limited. For example, as shown in FIG. 5, the protruding portion 303 may be formed to protrude in a substantially T shape. By setting it as such a shape, it becomes easy to form the spring part 302 by deform | transforming the protrusion part 303. FIG.

そして各記録ヘッド200は、以下に説明するように、このバネ部302によって露出孔301の内側に向かって押圧された状態で固定板300に接合されている。これにより各記録ヘッド200は相互に高精度に位置決めされた状態で固定板300に固定されている。   Each recording head 200 is joined to the fixed plate 300 in a state of being pressed toward the inside of the exposure hole 301 by the spring portion 302 as described below. As a result, the recording heads 200 are fixed to the fixing plate 300 in a state where they are positioned with high accuracy.

以下、上述した構成のヘッドユニット1の製造方法の一例、特に、各記録ヘッド200の固定板300への固定方法の一例について説明する。   Hereinafter, an example of a method for manufacturing the head unit 1 having the above-described configuration, particularly an example of a method for fixing each recording head 200 to the fixing plate 300 will be described.

本実施形態では、例えば、図6に示す位置決め治具400を用いて各記録ヘッド200を相互に位置決めした状態で固定板300に固定している。この位置決め治具400は、図6に示すように、各記録ヘッド200が収容される複数の位置決め凹部401を有する。この位置決め凹部401は、記録ヘッド200よりも大きい開口面積で形成されている。また位置決め凹部401の交差する二面は、各記録ヘッド200を位置決めするための基準面402となっている。つまり位置決め治具400に形成されている各位置決め凹部401の基準面402の相対位置は、高精度に規定されている。この基準面402は、フォトリソグラフィー法を用いて形成されていることが好ましい。基準面402を極めて高精度に形成することができるからである。例えば、本実施形態では、位置決め治具400がシリコン基板で形成され、基準面402を含む位置決め凹部401がこのシリコン基板をエッチングすることによって高精度に形成されている。   In the present embodiment, for example, the recording heads 200 are fixed to the fixing plate 300 in a state where the recording heads 200 are mutually positioned using a positioning jig 400 shown in FIG. As shown in FIG. 6, the positioning jig 400 has a plurality of positioning recesses 401 in which the recording heads 200 are accommodated. The positioning recess 401 is formed with a larger opening area than the recording head 200. Further, two intersecting surfaces of the positioning recess 401 serve as a reference surface 402 for positioning each recording head 200. That is, the relative position of the reference surface 402 of each positioning recess 401 formed in the positioning jig 400 is defined with high accuracy. The reference surface 402 is preferably formed using a photolithography method. This is because the reference surface 402 can be formed with extremely high accuracy. For example, in this embodiment, the positioning jig 400 is formed of a silicon substrate, and the positioning recess 401 including the reference surface 402 is formed with high accuracy by etching the silicon substrate.

そして図7(a)に示すように、固定板300の表面に配置した記録ヘッド200を、このような位置決め治具400の各位置決め凹部401に収容する。そして、図7(b)に示すように、固定板300と位置決め治具400とを相対的に移動させ、記録ヘッド200の交差する二つの側面を固定板300の各バネ部302の押圧力によって位置決め治具400の二つの基準面402にそれぞれ当接させた状態に保持する。なお二つの基準面402で画成される隅部には、逃げ溝403が形成されているため(図6(a)参照)、記録ヘッド200を基準面に当接させた際に、記録ヘッド200の欠け等の問題が生じることはない。   Then, as shown in FIG. 7A, the recording head 200 disposed on the surface of the fixed plate 300 is accommodated in each positioning recess 401 of such a positioning jig 400. Then, as shown in FIG. 7B, the fixed plate 300 and the positioning jig 400 are relatively moved so that the two intersecting side surfaces of the recording head 200 are pressed by the pressing force of each spring portion 302 of the fixed plate 300. The positioning jig 400 is held in contact with the two reference surfaces 402. Since the relief grooves 403 are formed in the corners defined by the two reference surfaces 402 (see FIG. 6A), the recording head 200 is brought into contact with the reference surface. Problems such as chipping of 200 do not occur.

次いで、図7(c)に示すように、記録ヘッド200の側面が位置決め治具400の基準面402に当接されている状態、つまり各記録ヘッド200がバネ部302によって押圧された状態で、各記録ヘッド200の周縁部を接着剤350によって固定板300に固定する。その後、接着剤350を硬化させ、位置決め治具400を取り外すことによってヘッドユニット1が製造される。その結果、ヘッドユニット1を構成する各記録ヘッド200は、バネ部302によって露出孔301の内側に向かって押圧された状態となっている。   Next, as illustrated in FIG. 7C, in a state where the side surface of the recording head 200 is in contact with the reference surface 402 of the positioning jig 400, that is, in a state where each recording head 200 is pressed by the spring portion 302. The peripheral edge of each recording head 200 is fixed to the fixing plate 300 with an adhesive 350. Then, the head unit 1 is manufactured by curing the adhesive 350 and removing the positioning jig 400. As a result, each recording head 200 constituting the head unit 1 is pressed toward the inside of the exposure hole 301 by the spring portion 302.

以上説明したように、所定の位置決め治具400を用いて各記録ヘッド200を相互に位置決めして固定板300に固定することで、極めて容易且つ安価に、各記録ヘッド200を相互に高精度に位置決めした状態で固定板300に固定することができる。したがって、ノズル206から噴射される液滴の着弾位置精度を大幅に向上したヘッドユニット1を安価に実現することができる。   As described above, the recording heads 200 are positioned with respect to each other using the predetermined positioning jig 400 and fixed to the fixing plate 300, so that the recording heads 200 can be mutually highly accurate with high accuracy. It can be fixed to the fixing plate 300 in a positioned state. Therefore, the head unit 1 that greatly improves the landing position accuracy of the droplets ejected from the nozzle 206 can be realized at low cost.

以上、本発明の各実施形態を説明したが、本発明は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、バネ部302を、固定板300の露出孔301の縁部の交差する二辺にそれぞれ設けるようにしたが、バネ部302を設ける位置はこれに限定されるものではない。例えば、図8に示すように、露出孔301の隅部にバネ部302を設けるようにしてもよい。ただし、この場合には、記録ヘッド200の角部に、バネ部302が当接される当接面200aを形成しておくことが好ましい。   As mentioned above, although each embodiment of the present invention was described, the present invention is not limited to what was mentioned above. For example, in the above-described embodiment, the spring portion 302 is provided on each of two intersecting edges of the exposure hole 301 of the fixing plate 300, but the position where the spring portion 302 is provided is not limited to this. Absent. For example, as shown in FIG. 8, spring portions 302 may be provided at the corners of the exposure holes 301. However, in this case, it is preferable to form an abutting surface 200 a on which the spring portion 302 abuts at the corner of the recording head 200.

また、上述の実施形態では、ヘッドユニットの一例として、各記録ヘッド200が固定板300の表面に接合された構成を例示したが、ヘッドユニット1の構成はこれに限定されるものではない。例えば、図9(a)に示すように、ヘッドユニット1は、各記録ヘッド200が固定板300の露出孔301に挿入された状態で固定されたものであってもよい。またこの場合、バネ部302は、図9(b)に示すように、突出部303を記録ヘッド200の挿入側ではなくノズル206側(図中下側)に変形させたものであってもよい。   In the above-described embodiment, the configuration in which each recording head 200 is bonded to the surface of the fixed plate 300 is illustrated as an example of the head unit. However, the configuration of the head unit 1 is not limited to this. For example, as shown in FIG. 9A, the head unit 1 may be one in which each recording head 200 is fixed in a state of being inserted into the exposure hole 301 of the fixing plate 300. In this case, as shown in FIG. 9B, the spring portion 302 may be obtained by deforming the protruding portion 303 to the nozzle 206 side (lower side in the drawing) instead of the recording head 200 insertion side. .

またこのような構成のヘッドユニット1は、図10に示すように、インク供給手段を構成するインクカートリッジ2を着脱可能に備え、インクジェット式記録装置Iのキャリッジ3に搭載される。ヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動可能に設けられている。このヘッドユニット1は、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。   Further, as shown in FIG. 10, the head unit 1 having such a configuration is detachably equipped with an ink cartridge 2 that constitutes an ink supply means, and is mounted on a carriage 3 of an ink jet recording apparatus I. The carriage 3 on which the head unit 1 is mounted is provided on a carriage shaft 5 attached to the apparatus main body 4 so as to be movable in the axial direction. For example, the head unit 1 discharges a black ink composition and a color ink composition, respectively.

そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、ヘッドユニット1を搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラーなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている。   The driving force of the driving motor 6 is transmitted to the carriage 3 via a plurality of gears and a timing belt 7 (not shown), so that the carriage 3 on which the head unit 1 is mounted is moved along the carriage shaft 5. On the other hand, the apparatus main body 4 is provided with a platen 8 along the carriage shaft 5, and a recording sheet S, which is a recording medium such as paper fed by a not-shown paper feed roller, is conveyed on the platen 8. It is like that.

なお上述の実施形態では、インクジェット式記録ヘッドがキャリッジに搭載されて主走査方向に移動するタイプのインクジェット式記録装置を例示したが、本発明は、他のタイプのインクジェット式記録装置にも適用することができる。例えば、固定された複数のインクジェット式記録ヘッドを有し、紙等の記録シートSを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、いわゆるライン式のインクジェット式記録装置にも本発明を適用することができる。   In the above-described embodiment, the ink jet recording apparatus in which the ink jet recording head is mounted on the carriage and moves in the main scanning direction is exemplified. However, the present invention is also applicable to other types of ink jet recording apparatuses. be able to. For example, the present invention is also applied to a so-called line type ink jet recording apparatus that has a plurality of fixed ink jet recording heads and performs printing only by moving a recording sheet S such as paper in the sub-scanning direction. Can do.

また上述した実施形態では、圧力発生室内の液体に圧力を付与する圧力発生手段として、撓み振動型の圧電素子を例示したが、圧力発生手段は、特に限定されず、例えば、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電素子であってもよいし、発熱素子等であってもよい。   In the above-described embodiment, the flexural vibration type piezoelectric element is exemplified as the pressure generating means for applying pressure to the liquid in the pressure generating chamber. However, the pressure generating means is not particularly limited. For example, the piezoelectric material and the electrode are formed. It may be a longitudinal vibration type piezoelectric element in which materials are alternately stacked and expanded and contracted in the axial direction, or may be a heating element or the like.

さらに上述の実施形態では、インク滴を噴射するインクジェット式記録ヘッドを例示して本発明を説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものである。液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる記録ヘッドの他、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等を挙げることができる。   Further, in the above-described embodiment, the present invention has been described by exemplifying an ink jet recording head that ejects ink droplets. However, the present invention is widely intended for all liquid ejecting heads. Examples of the liquid ejecting head include a recording head used in an image recording apparatus such as a printer, a color material ejecting head used for manufacturing a color filter such as a liquid crystal display, an organic EL display, and an FED (field emission display). Examples thereof include an electrode material ejection head used for electrode formation and a bioorganic matter ejection head used for biochip production.

1 インクジェット式記録ヘッドユニット(ヘッドユニット)、 100 カートリッジケース、 200 インクジェット式記録ヘッド(記録ヘッド)、 300 固定板、 301 露出孔、 302 バネ部、 303 突出部、 350 接着剤、 400 位置決め治具、 401 位置決め凹部、 402 基準面、 403 逃げ溝、 I インクジェット式記録装置   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Inkjet recording head unit (head unit), 100 Cartridge case, 200 Inkjet recording head (recording head), 300 Fixing plate, 301 Exposed hole, 302 Spring part, 303 Protruding part, 350 Adhesive, 400 Positioning jig, 401 positioning recess 402 reference surface 403 escape groove I ink jet recording apparatus

Claims (7)

ノズルから液滴を噴射する複数の液体噴射ヘッドと、前記ノズルが露出される露出孔を有し前記液体噴射ヘッドが相互に位置決めされた状態で固定される固定板と、を具備する液体噴射ヘッドユニットであって、
前記固定板が、前記露出孔の縁部にバネ部を備え、
前記液体噴射ヘッドが、前記バネ部によって前記露出孔の内側に向かって押圧された状態で前記固定板に接合されていることを特徴とする液体噴射ヘッドユニット。
A liquid ejecting head comprising: a plurality of liquid ejecting heads that eject droplets from nozzles; and a fixing plate that has an exposure hole through which the nozzles are exposed and is fixed in a state where the liquid ejecting heads are positioned relative to each other. A unit,
The fixing plate includes a spring portion at an edge of the exposure hole;
The liquid ejecting head unit, wherein the liquid ejecting head is joined to the fixed plate in a state of being pressed toward the inside of the exposure hole by the spring portion.
前記バネ部が、前記露出孔の交差する二辺にそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射ヘッドユニット。   The liquid ejecting head unit according to claim 1, wherein the spring portion is provided on each of two sides where the exposure holes intersect. 前記バネ部が、前記露出孔の隅部に設けられていることを特徴とする請求項1又は2に記載の液体噴射ヘッドユニット。   The liquid ejecting head unit according to claim 1, wherein the spring portion is provided at a corner portion of the exposure hole. 前記バネ部が、前記露出孔の縁部から前記露出孔の内側で且つ前記液体噴射ヘッド側に突出して設けられていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニット。   The liquid according to claim 1, wherein the spring portion is provided so as to protrude from an edge portion of the exposure hole to the inside of the exposure hole and toward the liquid ejecting head. Jet head unit. 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法であって、
前記固定板の表面に配置した前記液体噴射ヘッドの側面を、前記バネ部の押圧力によって所定の位置決め治具の基準面に当接させて各液体噴射ヘッドを相互に位置決めし、
前記液体噴射ヘッドが前記基準面に当接されている状態で、当該液体噴射ヘッドを前記固定板に接合することを特徴とする液体噴射ヘッドユニットの製造方法。
It is a manufacturing method of the liquid jet head unit according to any one of claims 1 to 4,
The side surfaces of the liquid ejecting heads arranged on the surface of the fixed plate are brought into contact with the reference surface of a predetermined positioning jig by the pressing force of the spring portion, and the liquid ejecting heads are positioned relative to each other.
A method of manufacturing a liquid ejecting head unit, comprising: joining the liquid ejecting head to the fixed plate in a state where the liquid ejecting head is in contact with the reference surface.
前記位置決め治具は、前記基準面がフォトリソグラフィー法によって形成されたものであることを特徴とする請求項5に記載の液体噴射ヘッドユニットの製造方法。   The method of manufacturing a liquid jet head unit according to claim 5, wherein the positioning jig has the reference surface formed by a photolithography method. 請求項1〜4の何れか一項に記載の液体噴射ヘッドユニットを具備することを特徴とする液体噴射装置。   A liquid ejecting apparatus comprising the liquid ejecting head unit according to claim 1.
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