JP2012134200A - Semiconductor heat radiator - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、パワートランジスタ等の発熱量の大きな半導体素子に装着する放熱装置に関し、特に、半導体素子の発熱を効率的に安定して放熱するための放熱部材の取り付け構造を特徴とする半導体放熱装置に関する。
The present invention relates to a heat radiating device mounted on a semiconductor element having a large calorific value, such as a power transistor, and in particular, a semiconductor heat radiating device characterized by a mounting structure of a heat radiating member for efficiently and stably radiating heat generated by the semiconductor element. About.
従来、パワートランジスタに代表される電力用の半導体素子は、プラスチック製のパッケージ内部に放熱効果のある金属板を設け、この金属板に半導体を載置してリード端子に接続しているが、通電による半導体の発熱を効率よく放熱させるために、パッケージ外部に放熱板等の放熱装置（ヒートシンク）を装着して使用するのが一般的である。 Conventionally, a power semiconductor element represented by a power transistor has been provided with a metal plate having a heat dissipation effect inside a plastic package, and a semiconductor is placed on the metal plate and connected to a lead terminal. In order to efficiently dissipate the heat generated by the semiconductor, it is common to use a heat radiating device (heat sink) such as a heat radiating plate mounted outside the package.
このような半導体素子は、図８に示す半導体素子１のように、発熱体である半導体２を収納している収納部３と、ネジ止め用の貫通孔４を有する固定部５とで構成されたパッケージ６から、複数のリード端子７が引き出された構造となっており、パッケージ６の背面８が放熱面として形成され、一般的には、放熱装置にパッケージ６の背面８を接触させ、貫通孔４にネジを通して締結し圧着させている。
Such a semiconductor element includes a housing part 3 that houses a semiconductor 2 that is a heating element and a fixing part 5 that has a through
このように半導体素子を放熱装置にネジ止めする場合、締め付けトルクが適正値より大きいとパッケージが変形し、また、締め付けトルクが適正値より小さいとパッケージと放熱装置との密着性が悪くなり、所定の放熱性能を得ることができないという問題が発生する。従って、配線基板の実装工程においては、半導体素子を放熱装置に取り付ける際のネジの締め付けトルクを厳密に管理しなければならない。
When the semiconductor element is screwed to the heat radiating device in this way, the package is deformed if the tightening torque is larger than the appropriate value, and if the tightening torque is smaller than the proper value, the adhesion between the package and the heat radiating device is deteriorated. This causes a problem that the heat dissipation performance cannot be obtained. Therefore, in the wiring board mounting process, it is necessary to strictly manage the tightening torque of the screws when the semiconductor element is attached to the heat dissipation device.
しかしながら、現実には、ネジの不適切な締め付けトルクによる放熱効率の低下や、ネジの過大な締め付けトルクによる半導体素子の破損等のトラブルが頻繁に発生し、特に、半導体素子を交換するような修理時においては、半導体素子を放熱装置に取り付ける際のネジの締め付けトルクが管理されない場合が多い。 However, in reality, troubles such as a decrease in heat dissipation efficiency due to inappropriate tightening torque of screws and damage to semiconductor elements due to excessive tightening torque of screws frequently occur, especially repairs that replace semiconductor elements. In some cases, the tightening torque of the screw when the semiconductor element is attached to the heat dissipation device is often not managed.
図９は、従来の半導体放熱装置の実施例及びその問題点を示す断面図であり、図９（Ａ）は、放熱板に半導体素子を取り付けて配線基板に実装した状態、図９（Ｂ）は、ネジの不適切な締め付けトルクによって、半導体素子が浮き上がった状態を示している。 FIG. 9 is a cross-sectional view showing an example of a conventional semiconductor heat dissipation device and its problems. FIG. 9A shows a state in which a semiconductor element is mounted on a heat sink and mounted on a wiring board. Shows a state where the semiconductor element is lifted by an inappropriate tightening torque of the screw.
図９（Ａ）（Ｂ）において、半導体放熱装置１３０の放熱板１３１は、半導体素子１をネジ１３８によって取り付けた状態で、配線基板１４０にネジ１４２で取り付けてあり、また、半導体素子１のリード端子７は、配線基板１４０のスルーホール１４１に挿入されハンダ付けされている。
9A and 9B, the
図９（Ａ）では、ネジ１３８を適切なトルクで締め付けているため、半導体素子１の背面（放熱面）８は、放熱板１３１に密着しているが、図９（Ｂ）では、ネジ１３８の締め付けトルクが過大であるため、半導体素子１の固定部５が変形し、背面８が放熱板１３１の接触面１３３から浮き上がっている。このような状態では、半導体放熱装置１３０は、所定の放熱性能を得ることができず、また、固定部５にクラックが発生しやすくなる。
In FIG. 9A, since the
すなわち、図９に示すような、従来の半導体放熱装置においては、半導体素子を取り付ける際のネジの不適切な締め付けトルクによって、放熱効率の低下や半導体素子の破損が発生するという問題がある。 That is, in the conventional semiconductor heat dissipation device as shown in FIG. 9, there is a problem in that the heat dissipation efficiency is reduced and the semiconductor element is damaged due to an inappropriate tightening torque of the screw when the semiconductor element is attached.
この問題を解決するために、例えば、特許文献１の技術が提案されている。特許文献１に記載された放熱装置（電気回路モジュール）は、半導体素子を放熱部材に直接ネジ止めするのではなく、放熱部材にネジ止めした固定部材が、半導体素子を放熱部材に圧着して固定する構成となっている。
In order to solve this problem, for example, the technique of
しかし、この構成においても、後で詳細に説明するように、半導体素子の形状的なばらつきによる放熱部材への圧着不足で、半導体素子と放熱部材との熱抵抗が増加したり半導体素子の固定が不十分であったり等の問題が発生する。また、このような固定部材は、構造が複雑であるため高価であり、更に、放熱装置を小型化する弊害にもなっていた。 However, even in this configuration, as will be described in detail later, the thermal resistance between the semiconductor element and the heat radiating member increases due to insufficient crimping to the heat radiating member due to variations in the shape of the semiconductor element, and the semiconductor element is not fixed. Problems such as insufficiency occur. In addition, such a fixing member is expensive because of its complicated structure, and has also been a detrimental effect of downsizing the heat dissipation device.
本発明は、上記の問題点を解決するためになされたものであり、半導体素子の発熱を効率的に安定して放熱するための半導体放熱装置を安価に製造して提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to inexpensively manufacture and provide a semiconductor heat dissipation device for efficiently and stably dissipating heat generated by a semiconductor element. .
この目的を達成するため本発明は次のように構成する。まず本発明は、半導体を収納した収納部及び貫通孔を有する固定部で構成され、収納部及び固定部の同一側に形成される第１放熱面と、収納部の第１放熱面の反対側に形成される第２放熱面とを有する半導体素子に装着される半導体放熱装置を対象とする。 In order to achieve this object, the present invention is configured as follows. First, the present invention is composed of a housing portion that contains a semiconductor and a fixed portion having a through hole, and a first heat radiating surface formed on the same side of the housing portion and the fixing portion, and a side opposite to the first heat radiating surface of the housing portion. A semiconductor heat dissipation device mounted on a semiconductor element having a second heat dissipation surface formed on the semiconductor device.
このような半導体放熱装置において、本発明にあっては、半導体素子の第１放熱面に接触する第１放熱部材と、第１放熱部材との接合部を支点として半導体素子の固定部に接触せずに第２放熱面に弾性的に接触する第２放熱部材と、半導体素子の貫通孔に挿通して第１放熱部材及び第２放熱部材に係合し、第１放熱部材と第２放熱部材とで半導体素子を挟持させる固定部材とを備えたことを特徴とする。 In such a semiconductor heat radiating device, in the present invention, the first heat radiating member that contacts the first heat radiating surface of the semiconductor element and the joint between the first heat radiating member are contacted to the fixing portion of the semiconductor element. A second heat radiating member that elastically contacts the second heat radiating surface, and a first heat radiating member and a second heat radiating member inserted through the through hole of the semiconductor element and engaged with the first heat radiating member and the second heat radiating member. And a fixing member for sandwiching the semiconductor element.
ここで、第１放熱部材は、半導体素子の第１放熱面の実質的に全面に接触する第１接触面と、固定部材を挿通する第１取付孔とを有し、第２放熱部材は、半導体素子の第２放熱面の一部又は全面に接触する第２接触面と、固定部材を挿通する第２取付孔とを有し、固定部材は、第１取付孔、貫通孔、第２取付孔に挿通し、接合部を支点、第２取付孔を力点、第２接触面を作用点として第２放熱面を押圧する。更に、第１放熱部材は、配線基板に固定する基板取付部を有する。 Here, the first heat dissipating member has a first contact surface that contacts substantially the entire first heat dissipating surface of the semiconductor element, and a first mounting hole through which the fixing member is inserted. A second contact surface that contacts a part or the entire surface of the second heat dissipation surface of the semiconductor element and a second mounting hole through which the fixing member is inserted. The fixing member includes the first mounting hole, the through hole, and the second mounting. The second heat radiating surface is pressed through the hole, with the joint portion as a fulcrum, the second mounting hole as a force point, and the second contact surface as an action point. Furthermore, the first heat radiating member has a board mounting portion that is fixed to the wiring board.
また、この半導体放熱装置は、第１接触面に複数の半導体素子を配線基板に実装する方向に並べて配置し、第１放熱部材と第２放熱部材とでこの複数の半導体素子を挟持して固定する構成としてもよい。 In addition, the semiconductor heat dissipation device is arranged by arranging a plurality of semiconductor elements on the first contact surface in the mounting direction on the wiring board, and sandwiching and fixing the plurality of semiconductor elements between the first heat dissipation member and the second heat dissipation member. It is good also as composition to do.
このように、複数の半導体素子を挟持して固定する構成の場合、第２放熱部材は、複数の半導体素子の配置位置間にスリットを形成し、スリットにより分離された第２接触面の各々が、複数の半導体素子の第２放熱面に個別に接触する。 Thus, in the case of a configuration in which a plurality of semiconductor elements are sandwiched and fixed, the second heat dissipation member forms slits between the arrangement positions of the plurality of semiconductor elements, and each of the second contact surfaces separated by the slits is , Individually contacting the second heat radiation surfaces of the plurality of semiconductor elements.
ここで、第１放熱部材及び第２放熱部材の少なくとも何れか一方は、第１放熱部材の基板取付部を配線基板に固定した状態で、配線基板とは反対側に、配線基板の略平行方向に屈曲した形状の屈曲部を有する。 Here, at least one of the first heat radiating member and the second heat radiating member is in a substantially parallel direction of the wiring board on the side opposite to the wiring board in a state where the board mounting portion of the first heat radiating member is fixed to the wiring board. A bent portion having a bent shape.
また、第１放熱部材及び第２放熱部材は、板金加工したアルミニウム又はアルミニウム合金であり、更に、第２放熱部材は、第１放熱部材より熱伝導率が高い材質とする。
The first heat radiating member and the second heat radiating member are made of aluminum or aluminum alloy processed by sheet metal, and the second heat radiating member is made of a material having a higher thermal conductivity than the first heat radiating member.
本発明によれば、半導体素子を放熱装置に取り付ける際に、半導体素子を２枚の放熱板で弾性的に挟持して固定するようにしたことで、従来の放熱板に半導体素子の固定部を直接ネジ止めする方法で問題になる、ネジの不適切な締め付けトルクによる半導体素子の浮き上がりや破損等を防止できる。 According to the present invention, when the semiconductor element is attached to the heat radiating device, the semiconductor element is elastically sandwiched and fixed between the two heat radiating plates, so that the fixing portion of the semiconductor element is attached to the conventional heat radiating plate. It is possible to prevent the semiconductor element from being lifted or damaged due to an inappropriate tightening torque of the screw, which is a problem with the direct screwing method.
また、本発明によれば、半導体素子を弾性的に挟持することで、従来の固定治具を用いて半導体素子を放熱板に固定する方法で問題になる、半導体素子の形状的なばらつきによる放熱板への圧着不足で、半導体素子と放熱板との熱抵抗が増加したり半導体素子の固定が不十分であったり等のトラブルを防止することができる。 In addition, according to the present invention, heat dissipation due to variation in the shape of the semiconductor element, which is a problem in the method of fixing the semiconductor element to the heat sink using a conventional fixing jig by elastically holding the semiconductor element, Insufficient pressure bonding to the plate can prevent troubles such as an increase in the thermal resistance between the semiconductor element and the heat radiating plate and insufficient fixation of the semiconductor element.
また、本発明によれば、２枚の放熱板を組み合わせて使用することで、半導体素子の両面から効率的に放熱させることができ、従来の１枚の放熱板で半導体素子の片面から放熱させる半導体放熱装置に比べて放熱効率が向上する。 In addition, according to the present invention, by using two heat sinks in combination, heat can be efficiently radiated from both sides of the semiconductor element, and heat can be radiated from one side of the semiconductor element by one conventional heat radiating board. The heat dissipation efficiency is improved as compared with the semiconductor heat dissipation device.
更に、本発明によれば、２枚の放熱板としてアルミニウム材を板金加工したものを使用することで、複雑な形状にすることなく表面積を増やすことができ、所定の放熱性能を備えた半導体放熱装置を安価に製造することができる。
Furthermore, according to the present invention, the surface area can be increased without using a complicated shape by using a sheet metal processed aluminum material as the two heat radiation plates, and the semiconductor heat radiation with a predetermined heat radiation performance can be achieved. The device can be manufactured at low cost.
図１は、本発明による半導体放熱装置の実施形態を示す断面図であり、上記の半導体素子に対して本発明を適用した場合の半導体放熱装置について説明する。 FIG. 1 is a cross-sectional view showing an embodiment of a semiconductor heat radiating device according to the present invention, and a semiconductor heat radiating device when the present invention is applied to the above-described semiconductor element will be described.
図１に示すように、半導体放熱装置１０は、熱伝導性に優れたアルミニウムやアルミニウム合金等の板材を板金加工した、第１放熱板（第１放熱部材）１１と第２放熱板２１（第２放熱部材）、及びネジ（固定部材）２８で構成されている。
As shown in FIG. 1, the semiconductor
第１放熱板１１は、半導体素子１の背面８（第１放熱面）に接触する第１接触面１３と第１取付孔１４を有する半導体取付部１２、及び配線基板１４０に固定する基板取付部１５を形成し、第２放熱板２１は、半導体素子１の表面９（第２放熱面）に接触する第２接触面２３と第２取付孔２４を有する押圧部２２、第１放熱板１１に当接する接合部２５、屈曲部２６、及び段曲部２７を形成している。
The first
第２放熱板２１の段曲部２７は、半導体素子１の背面８から表面９までの厚さに実質的に等しい段差を有し、屈曲部２６は、半導体放熱装置１０の基板取付部１５を配線基板１４０に固定した状態で、接合部２５から配線基板１４０の略平行方向に屈曲した形状となっている。
The stepped
屈曲部２６は、半導体放熱装置１０が所定の放熱性能を発揮するのに必要な第２放熱板２１の表面積を確保しながら、半導体放熱装置１０の配線基板１４０からの高さを所定の寸法内に抑えるために形成しており、その形状は図１に示す形態に限らず、また、第１放熱板１１側に設けてもよく、更に、第１放熱板１１と第２放熱板２１の両方に設けることも可能である。
The bent portion 26 keeps the height of the semiconductor
第１放熱板１１の第１取付孔１４は、ネジ２８に螺合する雌ネジとなっており、第２放熱板２１の第２取付孔２４は、内径がネジ２８の外径よりも大径となっている。また、ネジ２８は、外径が半導体素子１の貫通孔４の内径よりも小径となっている。
The first mounting
なお、第１取付孔１４の雌ネジは、半導体放熱装置１０を組み立てる以前に、予めネジ切り作業を施して形成する方法と、予めネジ切りを行わずにネジ２８としてセルフタップネジを使用し、ネジ込み時に形成する方法の何れでも構わない。
The female screw of the first mounting
半導体放熱装置１０に半導体素子１を取り付けるには、第１放熱板１１、半導体素子１、第２放熱板２１を各々の第１取付孔１４、貫通孔４、第２取付孔２４の位置が概ね一致するように重ね合わせ、第１放熱板１１の第１接触面１３と半導体素子１の背面８、第２放熱板２１の第２接触面２３と半導体素子１の表面９が接触した状態で、ネジ２８を第２取付孔２４、貫通孔４に通し、第１取付孔１４にネジ止めする。
In order to attach the
ここで、半導体素子１の固定部５と第２放熱板２１の押圧部２２との間には空間があるため、ネジ２８を締め込むことで、第２放熱板２１の接合部２５を支点、第２取付孔２４とネジ２８の頭部との係合部を力点、第２接触面２３を作用点として、第２放熱板２１の弾性によって押圧部２２が半導体素子１の収納部３を押圧する。
Here, since there is a space between the fixing portion 5 of the
半導体素子１は、この押圧部２２の押圧によって、第１放熱板１１と第２放熱板２１とで挟持されるように保持される。その後、半導体素子１のリード端子７を配線基板１４０のスルーホール１４１に通しておいて、第１放熱板１の基板取付部１５をネジ１４２で配線基板１４０に固定し、リード端子７をハンダ付けすることで、半導体素子１と半導体放熱装置１０は、配線基板１４０に固定される。
The
半導体素子１の背面８と第１放熱板１１の第１接触面１３、半導体素子１の表面９と第２放熱板２１の第２接触面２３が圧着しているため、半導体素子１は、通電された際の半導体２の発熱を第１放熱板１１を介して放熱するだけではなく、第２放熱板２１からも放熱することができる。
Since the
また、半導体素子１が発熱した際の表面９の温度は、通常、背面８の温度より低い。このように熱勾配が背面９よりも小さな状態で、表面９と同様に放熱させるためには、第２放熱板２１を第１放熱板１１より熱伝導率が高い材質で形成すればよく、このように構成することで更に効率的に放熱させることが可能となる。
Further, the temperature of the
図２は、図１に示す半導体放熱装置を複数の半導体素子に適用した場合の外観図であり、配線基板に実装する以前の状態である。図２に示すように、半導体放熱装置１０は、３個の半導体素子１を並べて配置し、３本のネジ２８を締め付けて第１放熱板１１と第２放熱板２１とで３個の半導体素子１を挟持して固定している。
FIG. 2 is an external view when the semiconductor heat dissipation device shown in FIG. 1 is applied to a plurality of semiconductor elements, and shows a state before being mounted on a wiring board. As shown in FIG. 2, the semiconductor
本実施形態においては、３個の半導体素子１を並べているが、半導体素子１の数はこれに限定されず、２個でも４個以上でも構わない。
In the present embodiment, three
図３は、図２に示す半導体放熱装置の分解図であり、ネジ２８を省略している。図３に示すように、半導体放熱装置１０を組み立てる際には、３個の半導体素子１を、各々の貫通孔４と対応する第１放熱板１１の第１取付孔１４と第２放熱板２１の第２取付孔２４の位置が概ね一線上にあるように配置し、ネジ２８を第２取付孔２４、貫通孔４に通し、第１取付孔１４にネジ止めする。
FIG. 3 is an exploded view of the semiconductor heat dissipation device shown in FIG. As shown in FIG. 3, when assembling the semiconductor
なお、半導体放熱装置１０を組み立てる際に、半導体素子１の配線基板１４０に対する取り付け角度がずれないようにするには、半導体素子１の向きを規制する組立治具を使用する等の周知の方法を適宜選択し、位置ずれを防止すればよい。
In order to prevent the mounting angle of the
図４は、従来の半導体放熱装置の実施例と図１に示す実施形態とを対比する断面図で、図４（Ａ）は、特許文献１に記載された技術を図１に示す実施形態に対応させて示し、図４（Ｂ）は、図１に示す実施形態を示している。
4 is a cross-sectional view comparing an example of a conventional semiconductor heat dissipation device with the embodiment shown in FIG. 1, and FIG. 4 (A) shows the technique described in
図４（Ａ）に示すように、従来の半導体放熱装置１１０は、放熱板１１１と樹脂等を金型により成形して形成した固定部材１２１とで構成され、固定部材１２１をネジ１２８によって放熱板１１１に取り付け、本来は、固定部材１２１の固定部１２２で半導体素子１を放熱板１１１に押さえ込むようになっている。
As shown in FIG. 4A, the conventional semiconductor
しかし、図４（Ａ）においては、半導体素子１の背面８から表面９までの厚みが所定値より小さいか、または段差部１２７の段差が所定値より大きい場合、あるいはその両方が複合した場合を示しており、固定部１２２と半導体素子１の表面９との間には隙間ができている。
However, in FIG. 4A, the thickness from the
このような状態は、半導体放熱装置１１０を組み立てた時点で発生していなくとも、特に、固定部材１２１が樹脂である場合は、経時変化で起こることがある。この状態では、半導体素子１の背面８は放熱板１１１に接触していても圧着不足となっており、半導体素子１の背面８と放熱板１１１の接触面１１３との熱抵抗が増加して放熱効率が低下したり、半導体素子１の固定が不十分であったり等のトラブルが発生する。
Even if such a state does not occur at the time of assembling the semiconductor
しかし、図４（Ｂ）に示す本発明の半導体放熱装置１０においては、半導体素子１の厚みが所定値より小さい場合や、第２放熱板２１の段曲部２７の段差が所定値より大きい場合でも、ネジ２８を締め込むことで、第２放熱板２１の弾性によって押圧部２２が半導体素子１の収納部３を適切に押圧することができる。
However, in the semiconductor
従って、図４（Ｂ）に示す本発明の構造は、図４（Ａ）に示す従来の構造に比べて、半導体素子１の発熱を効率的に安定して放熱することができ、また、第２放熱板２１が複雑な形状でないため、板材を板金加工したものを使用することができ、半導体放熱装置を安価に製造することができる。
Therefore, the structure of the present invention shown in FIG. 4B can efficiently and stably dissipate heat generated from the
図５は、本発明による半導体放熱装置の他の実施形態を示す説明図であり、図５（Ａ）は半導体放熱装置の断面図、図５（Ｂ）は第２放熱板の外観図である。本実施形態は、複数の半導体素子１を配置する場合に適用し、第２放熱板４１の半導体素子１の配置位置間にスリットを形成している。
FIG. 5 is an explanatory view showing another embodiment of the semiconductor heat dissipation device according to the present invention, FIG. 5 (A) is a sectional view of the semiconductor heat dissipation device, and FIG. 5 (B) is an external view of the second heat dissipation plate. . This embodiment is applied to the case where a plurality of
図５（Ａ）に示すように、半導体放熱装置３０は、第１放熱板３１と第２放熱板４１、及び固定部材となるネジ４８とナット４９で構成されている。図１に示す実施形態において、第２放熱板２１に形成されていた屈曲部２６が、本実施形態では、第１放熱板３１に屈曲部３６として設けてある。
As shown in FIG. 5A, the semiconductor
また、図１に示す実施形態では、第１取付孔１４は雌ネジとなっていたが、本実施形態では、第１取付孔３４は第２取付孔４４と同様に、ネジ４８の外径よりも大径となっており、第２取付孔４４、半導体素子１の貫通孔４、第１取付孔３４に通したネジ４８をナット４９で締めこみ、第２放熱板４１の押圧部４２が半導体素子１の収納部３を押圧するようになっている。
In the embodiment shown in FIG. 1, the first mounting
本実施形態においては、第２放熱板４１側にネジ４８のネジ頭、第１放熱板３１側にナット４９となるように配置されているが、この形態に限らず逆向きの配置でもよく、ネジ４８を通す方向は組み立て易さ等を考慮して適宜選択される。また、第１放熱板３１の基板取付部３５も、ネジ１４３とナット１４４で配線基板１４０に固定しているが、これもこの形態に限らず、他の方法で固定してもよい。
In this embodiment, the screw head of the
なお、図１に示す実施形態においても、第２放熱板２１の第２取付孔２４を雌ネジとして、ネジ２８を第１放熱板１１側から通すようにしてもよく、これ以降に説明する他の実施形態においても同様である。
In the embodiment shown in FIG. 1 as well, the second mounting
また、図５（Ｂ）に示すように、第２放熱板４１は、半導体素子１の配置位置間にスリット４６を形成している。スリット４６は、押圧部４２の先端側から段曲部４７まで形成されているため、ネジ４８とナット４９を締め込むことで、スリット４６で分離された押圧部４２の各々が、半導体素子１の収納部３を個別に押圧することが可能となる。
In addition, as shown in FIG. 5B, the second
従って、本実施形態においては、複数の半導体素子１の背面８から表面９までの厚さがばらついていたとしても、ネジ４８の各々の締め付けトルクを個別に管理することで、全ての半導体素子１の第１放熱板３１と第２放熱板４１との圧着の程度を適切にすることができる。
Therefore, in this embodiment, even if the thicknesses from the
図６は、本発明による半導体放熱装置の他の実施形態を示す説明図であり、図６（Ａ）は半導体放熱装置の断面図、図６（Ｂ）は第２放熱板の外観図である。本実施形態は、半導体１５２の収納部１５３と貫通孔１５４を有する固定部１５５とに段差がない形状の半導体素子１５１を配置する場合に適用する。
6A and 6B are explanatory views showing another embodiment of the semiconductor heat dissipation device according to the present invention. FIG. 6A is a sectional view of the semiconductor heat dissipation device, and FIG. 6B is an external view of the second heat dissipation plate. . This embodiment is applied to the case where a
図６（Ａ）に示すように、半導体放熱装置５０は、第１放熱板５１と第２放熱板６１、及び固定部材となるネジ６８で構成され、第２放熱板６１は、押圧部６２と半導体素子１５１の固定部１５５との間に空間を確保するように、段曲部６７と押圧部６２を形成している。
As shown in FIG. 6A, the semiconductor
従って、ネジ６８を締め込むことで、第２放熱板６１の接合部６５を支点、第２取付孔６４とネジ６８の頭部との係合部を力点、第２接触面６３を作用点として、第２放熱板６１の弾性によって押圧部６２が半導体素子１の収納部３を押圧することができる。
Therefore, by tightening the
本実施形態においては、ネジ６８をバネ座金６９を介して第１放熱板５１の第１取付孔５４にネジ止めしているが、第２放熱板６１の弾性がバネ座金と同様な効果を発揮するため、バネ座金６９は必須というわけではなく、他の実施形態と同様に、バネ座金６９を介さずにネジ６８のみでネジ止めしても構わない。
In the present embodiment, the
また、図１に示す実施形態において、第２放熱板２１のみに形成されていた屈曲部２６が、本実施形態では、図６（Ａ）（Ｂ）に示すように、第２放熱板６１の屈曲部６６だけではなく第１放熱板５１にも屈曲部５６として設けてある。このように、第１放熱板５１と第２放熱板６１の両方に屈曲部５６、６６を設けることで、半導体放熱装置５０の放熱面積が増加し、放熱効率を更に上げることができる。
Further, in the embodiment shown in FIG. 1, the bent portion 26 formed only on the second
図７は、本発明による半導体放熱装置の他の実施形態を示す断面図である。本実施形態は、図１、５、６の実施形態では第２放熱板に設けられていた段曲部を第１放熱板側に設けた形態であり、図７（Ａ）は、収納部３と固定部５に段差がある半導体素子１を配置する場合、図７（Ｂ）は、収納部１５３と固定部１５５に段差がない半導体素子１５１を配置する場合に適用する。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing another embodiment of a semiconductor heat dissipation device according to the present invention. In this embodiment, the stepped portion provided on the second heat sink in the embodiments of FIGS. 1, 5, and 6 is provided on the first heat sink, and FIG. 7B is applied when the
図７（Ａ）に示すように、半導体放熱装置７０は、第１放熱板７１と第２放熱板８１、及び固定部材となるネジ８８で構成されており、第１放熱板７１に段差部７７、第２放熱板８１に屈曲部８６を設けている。
As shown in FIG. 7A, the semiconductor
また、図７（Ｂ）に示すように、半導体放熱装置９０は、第１放熱板９１と第２放熱板１０１、及び固定部材となるネジ１０８で構成されており、第１放熱板９１に段差部９７と屈曲部９６を設けている。
As shown in FIG. 7B, the semiconductor
図７（Ａ）（Ｂ）に示すような、段曲部７７、９７を第１放熱板側に設けた形態であっても、図１、５、６に示すような、段曲部２７、４７、６７を第２放熱板側に設けた形態と同様な作用及び効果を有するため、段曲部を第１放熱板と第２放熱板の何れに設けるかは設計的事項であり、設計時の都合によって適宜選択することができる。
Even if the stepped
以上で実施形態の説明を終えるが、本考案は上記の実施形態に限定されず、その目的と利点を損なうことのない適宜の変形を含み、更に上記の実施形態に示した数値等による限定は受けない。
Although the description of the embodiment has been completed above, the present invention is not limited to the above-described embodiment, includes appropriate modifications without impairing the object and advantages thereof, and is further limited by numerical values shown in the above-described embodiment. I do not receive it.
１、１５１：半導体素子
２：半導体
３、１５３：収納部
４、１５４：貫通孔
５、１５５：固定部
６：パッケージ
７：リード端子
８：背面（第１放熱面）
９：表面（第２放熱面）
１０、３０、５０、７０、９０：半導体放熱装置
１１、３１、５１、７１、９１：第１放熱板（第１放熱部材）
１２、３２、５２：半導体取付部
１３、３３、５３：第１接触面
１４、３４、５４：第１取付孔
１５、３５、５５：基板取付部
３６、５６、９６：屈曲部
７７、９７：段曲部
２１、４１、６１、８１、１０１：第２放熱板（第２放熱部材）
２２、４２、６２：押圧部
２３、４３、６３：第２接触面
２４、４４、６４：第２取付孔
２５、４５、６５：接合部
２６、６６、８６、：屈曲部
２７、４７、６７、１０７：段曲部
２８、４８、６８、８８、１０８：ネジ（固定部材）
４６：スリット
４９：ナット
６９：バネ座金
１１０、１３０：半導体放熱装置
１１１、１３１：放熱板
１１３、１３３：接触面
１２１：固定部材
１２２：固定部
１２７：段差部
１２８、１３８、１４２、１４３：ネジ
１４０：配線基板
１４１：スルーホール
１４４：ナット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,151: Semiconductor element 2: Semiconductor 3, 153:
9: Surface (second heat dissipation surface)
10, 30, 50, 70, 90: Semiconductor
12, 32, 52: Semiconductor attachment portions 13, 33, 53: First contact surfaces 14, 34, 54: First attachment holes 15, 35, 55:
22, 42, 62: pressing
46: slit 49: nut 69:
Claims (8)
前記第１放熱面に接触する第１放熱部材と、
前記第１放熱部材との接合部を支点として前記固定部に接触せずに前記第２放熱面に弾性的に接触する第２放熱部材と、
前記貫通孔に挿通して前記第１放熱部材及び第２放熱部材に係合し、前記第１放熱部材と前記第２放熱部材とで前記半導体素子を挟持させる固定部材と、
を備えたことを特徴とする半導体放熱装置。
A storage part containing a semiconductor and a fixed part having a through-hole, and a first heat radiating surface formed on the same side of the storage part and the fixed part, and a side opposite to the first heat radiating surface of the storage part In a semiconductor heat dissipation device attached to a semiconductor element provided with a second heat dissipation surface to be formed,
A first heat radiating member in contact with the first heat radiating surface;
A second heat dissipating member that elastically contacts the second heat dissipating surface without contacting the fixed part with a joint with the first heat dissipating member as a fulcrum;
A fixing member that is inserted through the through hole and engages with the first and second heat dissipation members, and sandwiches the semiconductor element between the first heat dissipation member and the second heat dissipation member;
A semiconductor heat dissipation device.
前記第１放熱部材は、
前記第１放熱面の実質的に全面に接触する第１接触面と、
前記固定部材を挿通する第１取付孔と、
を有し、
前記第２放熱部材は、
前記第２放熱面の一部又は全面に接触する第２接触面と、
前記固定部材を挿通する第２取付孔と、
を有し、
前記固定部材は、
前記第１取付孔、前記貫通孔、前記第２取付孔に挿通し、前記接合部を支点、前記第２取付孔を力点、前記第２接触面を作用点として前記第２放熱面を押圧することを特徴とする半導体放熱装置。
In the semiconductor heat dissipation device according to claim 1,
The first heat dissipation member is
A first contact surface that contacts substantially the entire surface of the first heat dissipation surface;
A first mounting hole for inserting the fixing member;
Have
The second heat radiating member is
A second contact surface that contacts a part or the entire surface of the second heat dissipation surface;
A second mounting hole through which the fixing member is inserted;
Have
The fixing member is
Inserting the first mounting hole, the through hole, and the second mounting hole, pressing the second heat radiating surface with the joint portion as a fulcrum, the second mounting hole as a force point, and the second contact surface as an action point. A semiconductor heat dissipation device.
3. The semiconductor heat radiating device according to claim 2, wherein the first heat radiating member has a board mounting portion fixed to the wiring board.
4. The semiconductor heat dissipation device according to claim 3, wherein a plurality of the semiconductor elements are arranged side by side in a direction of mounting on the wiring board on the first contact surface, and the first heat dissipation member and the second heat dissipation member include: A semiconductor heat dissipation device, wherein the plurality of semiconductor elements are sandwiched and fixed.
5. The semiconductor heat dissipation device according to claim 4, wherein the second heat dissipation member forms a slit between positions where the plurality of semiconductor elements are arranged, and each of the second contact surfaces separated by the slit is A semiconductor heat dissipating device, wherein the semiconductor heat dissipating device individually contacts the second heat dissipating surfaces of a plurality of semiconductor elements.
6. The semiconductor heat radiating device according to claim 3, wherein at least one of the first heat radiating member and the second heat radiating member is in a state where the board mounting portion is fixed to the wiring board. A semiconductor heat radiating device having a bent portion bent in a substantially parallel direction of the wiring board on the side opposite to the wiring board.
7. The semiconductor heat radiating device according to claim 1, wherein the first heat radiating member and the second heat radiating member are made of sheet metal or aluminum alloy.
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