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JP2012198524A - Drive mechanism of image pickup device - Google Patents

Drive mechanism of image pickup device Download PDF

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JP2012198524A
JP2012198524A JP2012045747A JP2012045747A JP2012198524A JP 2012198524 A JP2012198524 A JP 2012198524A JP 2012045747 A JP2012045747 A JP 2012045747A JP 2012045747 A JP2012045747 A JP 2012045747A JP 2012198524 A JP2012198524 A JP 2012198524A
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image sensor
drive
sets
link
driven
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JP2012045747A
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Naoto Fuse
直人 布施
Takayasu Hasegawa
敬恭 長谷川
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Canon Inc
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Canon Inc
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a drive mechanism of an image pickup device capable of preventing generation of vibration and unexpected inclination in the image pickup device.SOLUTION: The drive mechanism of an image pickup device 1 drives the image pickup device 1 including an imaging surface 101 in a direction perpendicular to the imaging surface 101. The drive mechanism comprises: a first planar three-node link mechanism 60 including a driven link 5c provided with the image pickup device 1 and two pairs of drive links 5a and 5b rotatably connected to the driven link 5c provided with the image pickup device 1 via a rotational pair 6a and 6b; two pairs of drive sections 3a and 3b which are connected to each of the two pairs of drive links 5a and 5b via a rotational pair 4a and 4b and can drive each of the drive links 5a and 5b in a direction parallel to the imaging surface 101 of the image pickup device 1; and guide mechanisms 10a and 10b for guiding the image pickup device 1 to be driven in a direction perpendicular to the imaging surface 101.

Description

本発明は、撮像装置に適用できる撮像素子の駆動機構に関する。詳しくは、撮像素子を撮像面に対して直角な方向に駆動して位置を制御することができる撮像素子の駆動機構に関する。   The present invention relates to an image sensor driving mechanism applicable to an imaging apparatus. Specifically, the present invention relates to a drive mechanism for an image sensor that can control the position by driving the image sensor in a direction perpendicular to the imaging surface.

静止画や動画を撮像する撮像装置には、たとえば特許文献1や特許文献2に記載されるように、撮像素子を駆動することによって自動焦点調整(AF)を実施するものがある。特許文献1に記載の撮像装置は、互いに対向する二組の駆動手段と、これら二組の駆動手段の間に架設される略逆V字形状の弾性体と、この略逆V字形状の弾性体の頂部に設けられる撮像素子とを備える。そして、二組の駆動手段を互いに反対方向に駆動することにより、略逆V字形状の弾性体の頂部に設けられる撮像素子を、光軸の方向に沿って移動させる。また、特許文献2に記載の撮像装置は、撮像素子が設けられたフレキシブル基板と、このフレキシブル基板の両端部に接続されるアクチュエータとを備える。そして、アクチュエータを駆動させることにより、撮像素子を光軸の方向に沿って移動させる。   Some imaging apparatuses that capture still images and moving images perform automatic focus adjustment (AF) by driving an imaging element, as described in Patent Document 1 and Patent Document 2, for example. An imaging apparatus described in Patent Document 1 includes two sets of driving units facing each other, a substantially inverted V-shaped elastic body provided between the two sets of driving units, and a substantially inverted V-shaped elasticity. An image sensor provided on the top of the body. Then, by driving the two sets of driving means in opposite directions, the image sensor provided on the top of the substantially inverted V-shaped elastic body is moved along the direction of the optical axis. Moreover, the imaging device described in Patent Document 2 includes a flexible substrate on which an imaging element is provided, and actuators connected to both ends of the flexible substrate. Then, by driving the actuator, the image sensor is moved along the direction of the optical axis.

しかしながら、特許文献1や特許文献2に開示される構成は、次のような問題を有する。撮像素子が弾性体やフレキシブル基板により支持される構成では、撮像時のシャッターの動作やその他の機構の駆動に起因する振動が、撮像素子に伝搬することがある。そうすると、撮像時において撮像素子に不測の振動が発生するおそれがある。制振のためにアクチュエータによって撮像素子を駆動すると、撮像素子の撮像面が、受光レンズなどの光軸に対して傾斜するおそれがある。図22は、撮像素子が傾斜する仕組みを、模式的に示した図である。特許文献1や特許文献2に記載の構成を模式化すると、図22に示すように、三節リンク機構で示される。このような三節リンク機構では、撮像素子が設けられるリンクが傾斜することができる。このため、特許文献1や特許文献2の構成では、撮像時において撮像素子が傾斜するおそれがあることから、外乱に対する耐性が低いという問題を有する。   However, the configurations disclosed in Patent Document 1 and Patent Document 2 have the following problems. In a configuration in which the imaging element is supported by an elastic body or a flexible substrate, vibrations due to the operation of the shutter during imaging or driving of other mechanisms may propagate to the imaging element. Then, unexpected vibration may occur in the image sensor during imaging. When the image sensor is driven by an actuator for vibration suppression, there is a possibility that the image pickup surface of the image sensor is inclined with respect to the optical axis of the light receiving lens or the like. FIG. 22 is a diagram schematically illustrating a mechanism in which the image sensor is tilted. When the configurations described in Patent Document 1 and Patent Document 2 are schematically illustrated, a three-bar linkage mechanism is illustrated as illustrated in FIG. In such a three-bar linkage mechanism, the link provided with the image sensor can be inclined. For this reason, in the structure of patent document 1 and patent document 2, since there exists a possibility that an image pick-up element may incline at the time of imaging, it has the problem that the tolerance with respect to a disturbance is low.

特開2005-312244号公報JP 2005-31244 A 特開2003-032537号公報JP 2003-032537 A

上記実情に鑑み、本発明が解決しようとする課題は、撮像素子の撮像面が光軸に対して傾斜しないようにできる撮像素子の駆動機構を提供することである。   In view of the above circumstances, the problem to be solved by the present invention is to provide a drive mechanism for an image sensor that can prevent the image pickup surface of the image sensor from being inclined with respect to the optical axis.

前記課題を解決するため、本発明は、撮像面を有する撮像素子を前記撮像面に対して直角な方向に駆動する撮像素子の駆動機構であって、前記撮像素子が設けられる被動リンクと、回転対偶を介して前記撮像素子が設けられる前記被動リンクに回転可能に連結される二組の駆動リンクとを備える第一の平面三節リンク機構と、二組の前記の駆動リンクのそれぞれに回転対偶を介して連結されており、二組の前記駆動リンクのそれぞれを前記撮像素子の前記撮像面に平行な方向に駆動できる二組の駆動部と、前記撮像素子を前記撮像面に対して直角な方向に駆動されるように案内する案内機構と、を備えることを特徴とする。   In order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an image sensor drive mechanism for driving an image sensor having an image pickup surface in a direction perpendicular to the image pickup surface, the driven link provided with the image sensor, and a rotation A pair of drive links rotatably connected to the driven link on which the image sensor is provided via a pair, and a pair of rotation links for each of the two sets of drive links. Two sets of drive links that are connected to each other and can drive each of the two sets of drive links in a direction parallel to the imaging surface of the imaging device, and a direction perpendicular to the imaging surface of the imaging device And a guide mechanism for guiding so as to be driven by the motor.

本発明によれば、撮像素子の駆動機構に平面三節リンク機構と案内機構を用いることで、撮像素子が光軸の方向以外の方向に移動することや傾斜することを防止できる。したがって、撮像素子の駆動機構の剛性を高めることができ、外乱に対する耐性を高めることができる。さらに、駆動部を光軸に直角な方向に向けて配置することができるから、構造の簡素化と、撮像素子の駆動機構の薄型化を図ることができる。このため、撮像素子の駆動機構の小型化や省スペース化を図ることができる。   According to the present invention, it is possible to prevent the image sensor from moving or tilting in a direction other than the direction of the optical axis by using the planar three-bar linkage mechanism and the guide mechanism as the drive mechanism of the image sensor. Therefore, the rigidity of the drive mechanism of the image sensor can be increased, and resistance to disturbance can be increased. Furthermore, since the drive unit can be arranged in a direction perpendicular to the optical axis, the structure can be simplified and the drive mechanism of the image sensor can be thinned. For this reason, the drive mechanism of the image sensor can be reduced in size and space.

図1は、本発明の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の構成の概念図である。FIG. 1 is a conceptual diagram of a configuration of a drive mechanism of an image sensor according to an embodiment of the present invention. 図2は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の構成を模式的に示した図である。FIG. 2 is a diagram schematically showing the configuration of the drive mechanism of the image sensor according to the first embodiment of the present invention. 図3は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の構成を模式的に示した平面図である。FIG. 3 is a plan view schematically showing the configuration of the drive mechanism of the image sensor according to the first embodiment of the present invention. 図4は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の構成を模式的に示した斜視図である。FIG. 4 is a perspective view schematically showing the configuration of the drive mechanism of the image sensor according to the first embodiment of the present invention. 図5は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構から、撮像素子とリンク機構とを除いて示した斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing the imaging device drive mechanism according to the first embodiment of the present invention, excluding the imaging device and the link mechanism. 図6は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の構成を模式的に示した側面図である。FIG. 6 is a side view schematically showing the configuration of the drive mechanism of the image sensor according to the first embodiment of the present invention. 図7は、本発明の各実施形態にかかる撮像装置における撮像素子の駆動機構に適用されるリンク機構の構成を、模式的に示した斜視図である。FIG. 7 is a perspective view schematically showing the configuration of a link mechanism applied to the drive mechanism of the image sensor in the image pickup apparatus according to each embodiment of the present invention. 図8は、本発明の第二実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の構成を模式的に示した図である。FIG. 8 is a diagram schematically showing the configuration of the drive mechanism of the image sensor according to the second embodiment of the present invention. 図9は、本発明の第二実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の構成を模式的に示した斜視図である。FIG. 9 is a perspective view schematically showing the configuration of the drive mechanism of the image sensor according to the second embodiment of the present invention. 図10は、本発明の第三実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の構成の概念図である。FIG. 10 is a conceptual diagram of the configuration of the drive mechanism of the image sensor according to the third embodiment of the present invention. 図11は、本発明の第四の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の平面三節リンクおよび撮像素子の周辺の構成を模式的に示す図である。FIG. 11 is a diagram schematically showing a configuration of a planar three-bar link of an image sensor driving mechanism and a periphery of the image sensor according to the fourth embodiment of the present invention. 図12は、本発明の第五の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構および撮像素子の周辺の構成を模式的に示す図である。FIG. 12 is a diagram schematically illustrating the configuration of the image sensor driving mechanism and the periphery of the image sensor according to the fifth embodiment of the present invention. 図13は、本発明の第四の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構において、撮像素子支持部材71が変形している状態を模式的に示す図である。FIG. 13 is a diagram schematically illustrating a state in which the image sensor supporting member 71 is deformed in the image sensor driving mechanism according to the fourth embodiment of the present invention. 図14は、本発明の第六の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の平面三節リンク機構および撮像素子の周辺の構成を模式的に示す図である。FIG. 14 is a diagram schematically showing the configuration of the planar three-bar linkage mechanism of the image sensor driving mechanism and the periphery of the image sensor according to the sixth embodiment of the present invention. 図15は、本発明の第六の実施形態の変形形態にかかる駆動機構の平面三節リンク機構および撮像素子の周辺の構成を模式的に示す図である。FIG. 15 is a diagram schematically illustrating the configuration of the periphery of the planar three-bar linkage mechanism of the drive mechanism and the imaging device according to a modification of the sixth embodiment of the present invention. 図16は、本発明の第七の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の平面三節リンク機構および撮像素子の周辺の構成を模式的に示す図である。FIG. 16 is a diagram schematically illustrating a configuration of a planar three-bar link mechanism of an image sensor driving mechanism and a periphery of the image sensor according to the seventh embodiment of the present invention. 図17は、図16のXVII部の拡大図である。FIG. 17 is an enlarged view of a portion XVII in FIG. 図18は、本発明の第八の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の平面三節リンク機構および撮像素子の周辺の構成を模式的に示す図である。FIG. 18 is a diagram schematically showing the configuration of the planar three-bar linkage mechanism of the image sensor driving mechanism and the periphery of the image sensor according to the eighth embodiment of the present invention. 図19は、図18のXIX部を拡大して示す図である。FIG. 19 is an enlarged view of the XIX portion of FIG. 図20は、本発明の第九の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構の平面三節リンク機構および撮像素子の周辺の構成を模式的に示す図である。FIG. 20 is a diagram schematically illustrating the configuration of the planar three-bar linkage mechanism of the image sensor driving mechanism and the periphery of the image sensor according to the ninth embodiment of the present invention. 図21は、図20のXXI部を拡大して示す図である。FIG. 21 is an enlarged view showing the XXI portion of FIG. 図22は、三節リンク機構により撮像素子を駆動する構成において、撮像素子が傾斜する仕組みを模式的に示した図である。FIG. 22 is a diagram schematically illustrating a mechanism in which the image sensor tilts in the configuration in which the image sensor is driven by the three-bar linkage mechanism.

以下に、本発明の各実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。   Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.

図1は、本発明の各実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100の構成の概念図である。図1に示すように、本発明の各実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100は、第一の平面三節リンク機構60と、撮像素子1と、二組の駆動部3a,3bと、二組の案内機構10a,10bとを有する。二組の駆動部3a,3bを、それぞれ「第一の駆動部3a」、「第二の駆動部3b」と称する。二組の案内機構10a,10bを、それぞれ「第一の案内機構10a」、「第二の案内機構10b」と称する。   FIG. 1 is a conceptual diagram of a configuration of a drive mechanism 100 for an image sensor according to each embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, an image sensor drive mechanism 100 according to each embodiment of the present invention includes a first planar three-bar linkage mechanism 60, an image sensor 1, two sets of drive units 3 a and 3 b, and two sets. Guide mechanisms 10a and 10b. The two sets of driving units 3a and 3b are referred to as “first driving unit 3a” and “second driving unit 3b”, respectively. The two sets of guide mechanisms 10a and 10b are referred to as “first guide mechanism 10a” and “second guide mechanism 10b”, respectively.

第一の平面三節リンク機構60は、撮像素子1を駆動する。第一の平面三節リンク機構60は、四組の回転対偶4a,4b,6a,6bと、三組のリンク5a,5b,5cとを有する。三組のリンク5a,5b,5cのうちの一組のリンク5cには、撮像素子1が設けられる。撮像素子1が設けられるリンク5cを、「被動リンク5c」と称する。被動リンク5cには、撮像素子1の光軸2の方向(Z軸方向)に直角な方向(X軸方向)に沿って離間した位置に、他の二組のリンク5a,5bのそれぞれの一端が、回転対偶6a,6bを介して回転可能に連結される。これら他の二組のリンク5a,5bを、それぞれ、「第一の駆動リンク5a」、「第二の駆動リンク5b」と称する。このように、第一の平面三節リンク機構60は、二組の駆動リンク5a,5bを備える。第一の駆動リンク5aの他端は、回転対偶4aを介して、第一の駆動部3aと回転可能に連結する。第二の駆動リンク5bの他端は、回転対偶4bを介して、第二の駆動部3bと回転可能に連結する。第一の平面三節リンク機構60は、理想的には、可動平面(図1においてはX−Z平面)以外の空間(すなわち、Y軸方向の空間)には、自由度を有さない。   The first planar three-bar linkage mechanism 60 drives the image sensor 1. The first planar three-bar linkage mechanism 60 has four sets of rotating pairs 4a, 4b, 6a, 6b and three sets of links 5a, 5b, 5c. The imaging device 1 is provided in one set of links 5c among the three sets of links 5a, 5b, and 5c. The link 5c provided with the image sensor 1 is referred to as a “driven link 5c”. The driven link 5c includes one end of each of the other two sets of links 5a and 5b at a position separated along a direction (X-axis direction) perpendicular to the direction of the optical axis 2 (Z-axis direction) of the image sensor 1. Are rotatably coupled via the rotating pairs 6a and 6b. These other two sets of links 5a and 5b are referred to as "first drive link 5a" and "second drive link 5b", respectively. Thus, the first planar three-bar linkage mechanism 60 includes two sets of drive links 5a and 5b. The other end of the first drive link 5a is rotatably connected to the first drive unit 3a via a rotary pair 4a. The other end of the second drive link 5b is rotatably connected to the second drive unit 3b via a rotation pair 4b. Ideally, the first planar three-bar linkage mechanism 60 has no degree of freedom in a space (that is, a space in the Y-axis direction) other than the movable plane (XZ plane in FIG. 1).

撮像素子1は、外部から光を受光する撮像面101を有しており、撮像面101で受光した光を電気信号に変換することができる。撮像素子1には、CCD素子などといった、公知の各種撮像素子が適用できる。撮像素子1は、その撮像面101が駆動方向に直角になるように配設される。すなわち、撮像素子1の撮像面101は、第一の平面三節リンク機構60の可動平面(X−Z平面)に対して直角な方向を向いている。   The imaging device 1 has an imaging surface 101 that receives light from the outside, and can convert the light received by the imaging surface 101 into an electrical signal. Various known image sensors such as a CCD element can be applied to the image sensor 1. The image pickup device 1 is arranged so that the image pickup surface 101 is perpendicular to the drive direction. That is, the imaging surface 101 of the imaging device 1 is oriented in a direction perpendicular to the movable plane (XZ plane) of the first planar three-bar linkage mechanism 60.

二組の駆動部3a,3bは、第一の平面三節リンク機構60の可動平面上に設けられる。そして、二組の駆動部3a,3bのそれぞれは、二組の駆動リンク5a,5bのそれぞれの他端を、光軸2に対して直角な方向に往復動させることができる。図1中の矢印dは、二組の駆動部3a,3bの往復動の方向および範囲を示す(他の図も同様とする)。すなわち、二組の駆動部3a,3bの駆動軸13(往復動の軌跡)は、光軸2(Z軸)に対して直角な方向(X軸方向)に向けられる。また、図1に示すように、二組の駆動部3a,3bの駆動軸13は、一直線上にある。二組の駆動部3a,3bは、二組の駆動リンク5a,5bのそれぞれの他端を、互いに反対方向に同期して駆動することができる。そして、二組の駆動部3a,3bが同期して作動すると、被動リンク5cが光軸2の方向に移動する。図1中の矢印eは、二組の駆動部3a,3bの移動の向きを模式的に示し、矢印fは、被動リンク5cの移動の向きを模式的に示す(他の図も同様とする)。このように、本発明の各実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100は、撮像素子1を光軸2の方向に移動させることにより合焦動作を行うことができる。二組の駆動部3a,3bの具体的な構成については後述する。   The two sets of driving units 3 a and 3 b are provided on the movable plane of the first planar three-bar linkage mechanism 60. Each of the two sets of drive units 3 a and 3 b can reciprocate the other ends of the two sets of drive links 5 a and 5 b in a direction perpendicular to the optical axis 2. An arrow d in FIG. 1 indicates the direction and range of reciprocation of the two sets of drive units 3a and 3b (the same applies to other drawings). That is, the drive shafts 13 (reciprocal trajectories) of the two sets of drive units 3a and 3b are directed in a direction (X-axis direction) perpendicular to the optical axis 2 (Z-axis). Further, as shown in FIG. 1, the drive shafts 13 of the two sets of drive units 3a and 3b are in a straight line. The two sets of drive units 3a and 3b can drive the other ends of the two sets of drive links 5a and 5b in synchronization with each other in opposite directions. And if two sets of drive parts 3a and 3b operate | move synchronously, the driven link 5c will move to the direction of the optical axis 2. FIG. The arrow e in FIG. 1 schematically shows the direction of movement of the two sets of drive units 3a and 3b, and the arrow f schematically shows the direction of movement of the driven link 5c (the same applies to the other figures). ). As described above, the drive mechanism 100 for the image sensor according to each embodiment of the present invention can perform the focusing operation by moving the image sensor 1 in the direction of the optical axis 2. Specific configurations of the two sets of driving units 3a and 3b will be described later.

二組の案内機構10a,10bは、撮像素子1の撮像面101が光軸2に対して直角となる姿勢を維持する機能を有する。第一の平面三節リンク機構60は、一自由度を有するリンク機構である。そして、第一の平面三節リンク機構60が二組の案内機構10a,10bを備えないとすると、被動リンク5cがチルト方向の自由度を有する(図22参照)。このため、外部から振動が加わった場合などには、撮像素子1がチルト方向に回転や振動する可能性がある。そこで、本発明の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100は、二組の案内機構10a,10bによって、撮像素子1の移動方向を規制する。特に、二組の案内機構10a,10bは、撮像素子1が光軸2の方向に沿って移動することを許容し、それ以外の方向へ移動することを規制する。これにより、二組の案内機構10a,10bは、撮像素子1のチルト方向への自由度を拘束する。   The two sets of guide mechanisms 10 a and 10 b have a function of maintaining the posture in which the imaging surface 101 of the imaging device 1 is perpendicular to the optical axis 2. The first planar three-bar link mechanism 60 is a link mechanism having one degree of freedom. If the first planar three-bar linkage mechanism 60 does not include two sets of guide mechanisms 10a and 10b, the driven link 5c has a degree of freedom in the tilt direction (see FIG. 22). For this reason, when vibration is applied from the outside, the image sensor 1 may rotate or vibrate in the tilt direction. Therefore, the drive mechanism 100 for the image sensor according to the embodiment of the present invention regulates the moving direction of the image sensor 1 by the two sets of guide mechanisms 10a and 10b. In particular, the two sets of guide mechanisms 10a and 10b allow the image sensor 1 to move along the direction of the optical axis 2 and restrict it from moving in other directions. Thus, the two sets of guide mechanisms 10a and 10b restrain the degree of freedom of the image sensor 1 in the tilt direction.

このように、本発明の各実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100は、二組の案内機構10a,10bを備えることにより、高剛性化を図ることができ、外乱に対する耐性を高くすることができる。さらに、二組の駆動部3a,3bが撮像素子1の撮像面101に平行に配置されるから、撮像素子1の駆動機構100の構造の簡素化や薄型化(光軸2の方向の寸法の小型化)を図ることができる。   As described above, the image sensor drive mechanism 100 according to each embodiment of the present invention includes the two sets of guide mechanisms 10a and 10b, so that the rigidity can be increased and the resistance to disturbance can be increased. it can. Further, since the two sets of driving units 3a and 3b are arranged in parallel to the imaging surface 101 of the imaging device 1, the structure of the driving mechanism 100 of the imaging device 1 is simplified and thinned (the dimension in the direction of the optical axis 2). Downsizing).

次に、本発明の第一実施形態について説明する。図2は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aの構成を、模式的に示した平面図である。本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aの二組の案内機構10a,10bは、平行リンク機構により形成される。本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aの基本的な原理は、図1に示すとおりである。   Next, a first embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 is a plan view schematically showing the configuration of the image sensor drive mechanism 100a according to the first embodiment of the present invention. Two sets of guide mechanisms 10a and 10b of the drive mechanism 100a for the image sensor according to the first embodiment of the present invention are formed by a parallel link mechanism. The basic principle of the image sensor drive mechanism 100a according to the first embodiment of the present invention is as shown in FIG.

図2に示すように、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aに適用される第一の平面三節リンク機構60は、四組の回転対偶4a,4b,6a,6bと、三組のリンク5a,5b,5cとを備える。三組のリンク5a,5b,5cは、一組の被動リンク5cと、二組の駆動リンク5a,5bからなる。被動リンク5cには、光軸2に直角な方向に沿って離間した位置に、二組の駆動リンク5a,5bのそれぞれの一端が、回転対偶6a,6bを介して回転可能に連結される。二組の駆動リンク5a,5bのそれぞれの他端は、二組の駆動部3a,3bのそれぞれに、回転対偶4a,4bを介して回転可能に連結する。第一の平面三節リンク機構60は、理想的には、可動平面(図1においてはX−Z平面)以外の空間(すなわち、Y軸方向の空間)には、自由度を有さない。   As shown in FIG. 2, the first planar three-bar linkage mechanism 60 applied to the image sensor drive mechanism 100a according to the first embodiment of the present invention includes four pairs of rotating pairs 4a, 4b, 6a, 6b, Three sets of links 5a, 5b, 5c are provided. The three sets of links 5a, 5b and 5c are composed of a set of driven links 5c and two sets of drive links 5a and 5b. One end of each of the two sets of drive links 5a and 5b is rotatably connected to the driven link 5c via a rotation pair 6a and 6b at positions separated along a direction perpendicular to the optical axis 2. The other ends of the two sets of drive links 5a and 5b are rotatably connected to the two sets of drive units 3a and 3b via the rotation pairs 4a and 4b, respectively. Ideally, the first planar three-bar linkage mechanism 60 has no degree of freedom in a space (that is, a space in the Y-axis direction) other than the movable plane (XZ plane in FIG. 1).

さらに、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aは、二組の案内機構10a,10bとして、二組の案内リンク8a,8bと、四組の回転対偶7a,7b,9a,9bとを備える。二組の案内リンク8a,8bを、それぞれ、「第一の案内リンク8a」、「第二の案内リンク8b」と称する。二組の案内リンク8a,8bのそれぞれの一端は、回転対偶7a,7bを介して、被動リンク5cに回転可能に連結する。また、二組の案内リンク8a,8bのそれぞれの他端は、回転対偶9a,9bを介して、二組の駆動部3a,3bのそれぞれに回転可能に連結する。そして、第一の案内リンク8aと、第一の駆動リンク5aとは、平行に設けられる。同様に、第二の案内リンク8bと、第二の駆動リンク5bとは、平行に設けられる。第一の案内リンク8aの他端と、第一の駆動リンク5aの他端とは、第一の駆動部3aに連結される。同様に、第二の案内リンク8bの他端と、第二の駆動リンク5bの他端とは、第二の駆動部3bに連結される。そして、第一の案内リンク8aと、第一の駆動リンク5aと、第一の駆動部3aと、被動リンク5cとが、平行リンク機構を形成する。同様に、第二の案内リンク8bと、第二の駆動リンク5bと、第二の駆動部3bと、被動リンク5cとが、平行リンク機構を形成する。   Furthermore, the image sensor drive mechanism 100a according to the first embodiment of the present invention includes two sets of guide links 8a and 8b and four sets of rotary pairs 7a, 7b, 9a, as two sets of guide mechanisms 10a and 10b. 9b. The two sets of guide links 8a and 8b are referred to as “first guide link 8a” and “second guide link 8b”, respectively. One end of each of the two sets of guide links 8a and 8b is rotatably connected to the driven link 5c via a rotating pair 7a and 7b. Further, the other ends of the two sets of guide links 8a and 8b are rotatably connected to the two sets of driving units 3a and 3b via the rotation pairs 9a and 9b, respectively. The first guide link 8a and the first drive link 5a are provided in parallel. Similarly, the second guide link 8b and the second drive link 5b are provided in parallel. The other end of the first guide link 8a and the other end of the first drive link 5a are connected to the first drive unit 3a. Similarly, the other end of the second guide link 8b and the other end of the second drive link 5b are connected to the second drive unit 3b. The first guide link 8a, the first drive link 5a, the first drive unit 3a, and the driven link 5c form a parallel link mechanism. Similarly, the second guide link 8b, the second drive link 5b, the second drive unit 3b, and the driven link 5c form a parallel link mechanism.

平行リンク機構の互いに対向するリンクどうしは平行に維持される。したがって、二組の駆動部3a,3bの駆動軸13と、被動リンク5cとは、平行に維持される。このため、被動リンク5cに設けられる撮像素子1は、光軸2に直角な状態に維持される。このように、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aによれば、撮像素子1の撮像面101がチルト方向に変位することを防止できる。したがって、撮像素子の駆動機構100aの高剛性化を図ることができる。   The mutually opposing links of the parallel link mechanism are maintained in parallel. Therefore, the drive shaft 13 of the two sets of drive units 3a and 3b and the driven link 5c are maintained in parallel. For this reason, the image sensor 1 provided in the driven link 5 c is maintained in a state perpendicular to the optical axis 2. Thus, according to the drive mechanism 100a of the image sensor according to the first embodiment of the present invention, it is possible to prevent the image pickup surface 101 of the image sensor 1 from being displaced in the tilt direction. Therefore, the rigidity of the drive mechanism 100a for the image sensor can be increased.

図3は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aの具体的な構成を示した平面図である。図4は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aの具体的な構成を示した斜視図である。図5は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aから撮像素子1および第一の平面三節リンク機構60を除いて示した斜視図である。図6は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aの具体的な構成を示した平面図である。   FIG. 3 is a plan view showing a specific configuration of the image sensor driving mechanism 100a according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a perspective view showing a specific configuration of the drive mechanism 100a for the image sensor according to the first embodiment of the present invention. FIG. 5 is a perspective view showing the image pickup device drive mechanism 100a according to the first embodiment of the present invention with the image pickup device 1 and the first planar three-bar linkage mechanism 60 removed. FIG. 6 is a plan view showing a specific configuration of the image sensor drive mechanism 100a according to the first embodiment of the present invention.

図3と図4のそれぞれに示すように、第一の駆動リンク5aは、二組のリンク部材51a,52aにより構成される。同様に、第二の駆動リンク5bも、二組のリンク部材51b,52bにより構成される。そして、第一の駆動リンク5aを構成する二組のリンク部材51a,52aは、Y軸方向に離間して設けられる。同様に、第二の駆動リンク5bを構成する二組のリンク部材51b,52bも、Y軸方向に離間して設けられる。特に、二組の駆動リンク5a,5bを構成する二組のリンク部材51a,52a,51b,52bは、撮像素子1のY軸方向の両端部に設けられる構成であることが好ましい。二組の駆動リンク5a,5bがこのような構成を有すると、第一の平面三節リンク機構60が、可動平面(X−Z平面)以外の空間(Y軸方向の空間)の自由度を持つことを防止できる。したがって、撮像素子1が光軸2の方向以外の方向へ移動することを防止できる。なお、二組の駆動リンク5a,5bを構成するリンク部材の数は限定されない。要は、二組の駆動リンク5a,5bは、複数のリンク部材がY軸方向に離間して設けられる構成であればよい。   As shown in FIG. 3 and FIG. 4, the first drive link 5a is composed of two sets of link members 51a and 52a. Similarly, the second drive link 5b is also composed of two sets of link members 51b and 52b. And two sets of link members 51a and 52a which constitute the 1st drive link 5a are separated and provided in the Y-axis direction. Similarly, the two sets of link members 51b and 52b constituting the second drive link 5b are also provided apart from each other in the Y-axis direction. In particular, the two sets of link members 51a, 52a, 51b, and 52b constituting the two sets of drive links 5a and 5b are preferably provided at both ends in the Y-axis direction of the imaging device 1. When the two sets of drive links 5a and 5b have such a configuration, the first planar three-bar linkage mechanism 60 has a degree of freedom in a space (Y-axis direction space) other than the movable plane (XZ plane). Can be prevented. Therefore, it is possible to prevent the image sensor 1 from moving in a direction other than the direction of the optical axis 2. The number of link members constituting the two sets of drive links 5a and 5b is not limited. In short, the two sets of drive links 5a and 5b may have a configuration in which a plurality of link members are provided separately in the Y-axis direction.

図5と図6のそれぞれに示すように、二組の駆動部3a,3bにはボイスコイルモータ(VCM)が適用される。ボイスコイルモータは、コイル部材31と、上部ヨーク32と、下部ヨーク33と、ガイド板バネ34と、磁石35と、駆動部材36とを有する。駆動部材36は、ガイド板バネ34によってベース部材37に連結される。また、磁石35がベース部材37に設けられる。そして、駆動部材36には、磁石35に近接する位置に、コイル部材31が組み付けられる。下部ヨーク33は、磁石35とベース部材37との間に設けられるとともに、上部ヨーク32は、コイル部材31と磁石35と下部ヨーク33とを覆うように設けられる。ガイド板バネ34は、駆動部材36の駆動方向を規定する。すなわち、駆動部材36は、ガイド板バネ34が曲げ弾性変形することによって、Y軸方向に移動できるが、他の方向には移動できない。ガイド板バネ34の曲げ弾性変形の方向は、撮像素子1の撮像面101と平行に設定される。このため、駆動部材36は、撮像素子1の撮像面101に平行に移動する。ベース部材37は、撮像装置の本体(不図示)に取り付けられる。   As shown in FIGS. 5 and 6, a voice coil motor (VCM) is applied to the two sets of drive units 3a and 3b. The voice coil motor includes a coil member 31, an upper yoke 32, a lower yoke 33, a guide plate spring 34, a magnet 35, and a drive member 36. The drive member 36 is connected to the base member 37 by a guide plate spring 34. A magnet 35 is provided on the base member 37. The coil member 31 is assembled to the drive member 36 at a position close to the magnet 35. The lower yoke 33 is provided between the magnet 35 and the base member 37, and the upper yoke 32 is provided so as to cover the coil member 31, the magnet 35, and the lower yoke 33. The guide leaf spring 34 defines the drive direction of the drive member 36. That is, the drive member 36 can move in the Y-axis direction as the guide plate spring 34 is bent elastically deformed, but cannot move in the other direction. The direction of bending elastic deformation of the guide plate spring 34 is set in parallel with the imaging surface 101 of the imaging device 1. For this reason, the drive member 36 moves in parallel with the imaging surface 101 of the imaging device 1. The base member 37 is attached to the main body (not shown) of the imaging device.

なお、第一実施形態においては、二組の駆動部3a,3bとしてボイスコイルモータが適用される構成を示したが、適用可能な駆動部3a,3bは、ボイスコイルモータに限定されるものではない。要は、二組の駆動リンク5a(リンク部材51a,52a),5b(リンク部材51b,52b)のそれぞれの他端を往復動させることができる構成であればよい。たとえば、二組の駆動部3a,3bには、ボイスコイルモータのほかに、電磁石や、圧電アクチュエータや、超音波モータなどといった、各種リニアアクチュエータが適用可能である。   In the first embodiment, the configuration in which the voice coil motor is applied as the two sets of drive units 3a and 3b is shown. However, the applicable drive units 3a and 3b are not limited to the voice coil motor. Absent. In short, any configuration may be employed as long as the other ends of the two sets of drive links 5a (link members 51a and 52a) and 5b (link members 51b and 52b) can be reciprocated. For example, in addition to the voice coil motor, various linear actuators such as an electromagnet, a piezoelectric actuator, and an ultrasonic motor can be applied to the two sets of driving units 3a and 3b.

図7は、本発明の第一実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100aに適用される第二の案内機構10bとしての案内リンク8bおよび回転対偶7b,9bの構成を示した斜視図である。図7に示すように、案内リンク8bおよび回転対偶7b,9bは、帯板状の部材により一体に形成される。案内リンク8bを構成するリンク部材は、帯板状の部材の幅方向の両側が曲げ起こされることによって、剛性が高められている。回転対偶7b,9bは、幅方向の両側に曲げ起こされた部分を有さない部分であり、弾性変形できる部分である。すなわち、回転対偶7b,9bは、弾性ヒンジにより構成される。なお、他のリンク部材および回転対偶も、図7に示す構成が適用される。   FIG. 7 is a perspective view showing the configuration of the guide link 8b and the rotation pairs 7b and 9b as the second guide mechanism 10b applied to the drive mechanism 100a for the image sensor according to the first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 7, the guide link 8b and the rotating pairs 7b and 9b are integrally formed of a band plate-like member. The link member constituting the guide link 8b is enhanced in rigidity by bending and raising both sides in the width direction of the band plate-like member. The rotation pairs 7b and 9b are portions that do not have portions bent and raised on both sides in the width direction, and are portions that can be elastically deformed. That is, the rotation pairs 7b and 9b are constituted by elastic hinges. The structure shown in FIG. 7 is applied to other link members and rotating pairs.

次に、本発明の第二実施形態について説明する。図8は、本発明の第二実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100bの構成を、模式的に示した平面図である。本発明の第二実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100bの二組の案内機構10a,10bは、板バネ11a,11bを有する。本発明の第二実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100bの基本原理は、図1に示す構成と同じである。   Next, a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 8 is a plan view schematically showing the configuration of the drive mechanism 100b for the image sensor according to the second embodiment of the present invention. Two sets of guide mechanisms 10a and 10b of the drive mechanism 100b for the image sensor according to the second embodiment of the present invention have leaf springs 11a and 11b. The basic principle of the image sensor drive mechanism 100b according to the second embodiment of the present invention is the same as that shown in FIG.

図8に示すように、本発明の第二実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100bは、撮像素子1と、第一の平面三節リンク機構60と、二組の案内機構10a,10bと、二組の駆動部3a,3bとを備える。   As shown in FIG. 8, an image sensor drive mechanism 100 b according to the second embodiment of the present invention includes an image sensor 1, a first planar three-bar linkage mechanism 60, two sets of guide mechanisms 10 a and 10 b, A set of drive units 3a and 3b is provided.

第一の平面三節リンク機構60は、四組の回転対偶4a,4b,6a,6bと、三組のリンク5a,5b,5cとを有する。三組のリンク5a,5b,5cは、一組の被動リンク5cと、二組の駆動リンク5a,5bからなる。被動リンク5cには、光軸2に直角な方向に沿って互いに離間した位置に、回転対偶6a,6bを介して、二組の駆動リンク5a,5bのそれぞれの一端が回転可能に連結される。二組の駆動リンク5a,5bのそれぞれの他端は、回転対偶4a,4bを介して、二組の駆動部3a,3bのそれぞれに回転可能に連結される。第一の平面三節リンク機構60は、理想的には、可動平面(図1においてはX−Z平面)以外の空間(すなわち、Y軸方向の空間)には、自由度を有さない。   The first planar three-bar linkage mechanism 60 has four sets of rotating pairs 4a, 4b, 6a, 6b and three sets of links 5a, 5b, 5c. The three sets of links 5a, 5b and 5c are composed of a set of driven links 5c and two sets of drive links 5a and 5b. One end of each of the two sets of drive links 5a and 5b is rotatably connected to the driven link 5c via rotary pairs 6a and 6b at positions separated from each other along a direction perpendicular to the optical axis 2. . The other ends of the two sets of drive links 5a and 5b are rotatably connected to the two sets of drive units 3a and 3b via rotation pairs 4a and 4b, respectively. Ideally, the first planar three-bar linkage mechanism 60 has no degree of freedom in a space (that is, a space in the Y-axis direction) other than the movable plane (XZ plane in FIG. 1).

二組の案内機構10a,10bは、それぞれ板バネ11a,11bと板バネ固定部12a,12bとを有する。板バネ11a,11bの一端は、被動リンク5cに固定される。また、板バネ11a,11bの他端は、板バネ固定部12a,12bを介して、外部(たとえば、撮像素子の駆動機構のフレームなど)に固定される。そして、板バネ11a,11bは、光軸2に関して線対称に配設される。また、板バネ11a,11bは、光軸2の方向に沿って曲げ弾性変形可能に配設される。たとえば、板バネ11a,11bは、それらの長手方向が光軸2に対して略直角となるように配置される。このため、被動リンク5cは、軸線方向に沿って往復動できるが、他の方向への移動は拘束される。このように、本発明の第二実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100bは、二組の案内機構10a,10bの板バネ11a,11bおよび板バネ固定部12a,12bによって、高剛性化が図られ、撮像素子1の高精度な駆動を実行できる。   The two sets of guide mechanisms 10a and 10b have leaf springs 11a and 11b and leaf spring fixing portions 12a and 12b, respectively. One ends of the leaf springs 11a and 11b are fixed to the driven link 5c. The other ends of the leaf springs 11a and 11b are fixed to the outside (for example, a frame of a driving mechanism of the image sensor) via the leaf spring fixing portions 12a and 12b. The leaf springs 11 a and 11 b are arranged symmetrically with respect to the optical axis 2. The leaf springs 11a and 11b are arranged so as to be bent and elastically deformable along the direction of the optical axis 2. For example, the leaf springs 11 a and 11 b are arranged so that their longitudinal directions are substantially perpendicular to the optical axis 2. For this reason, the driven link 5c can reciprocate along the axial direction, but movement in other directions is restricted. As described above, the drive mechanism 100b for the image pickup device according to the second embodiment of the present invention is improved in rigidity by the leaf springs 11a and 11b and the leaf spring fixing portions 12a and 12b of the two sets of guide mechanisms 10a and 10b. Therefore, the image sensor 1 can be driven with high accuracy.

図9は、本発明の第二実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100bの斜視図である。図9に示すように、第一の駆動リンク5aは、二組のリンク部材51a,52aにより構成され、第二の駆動リンク5bも、二組のリンク部材51b,52bにより構成される。そして、第一の駆動リンク5aの二組のリンク部材51a,52aと、第二の駆動リンク5bの二組のリンク部材51b,52bは、Y軸方向(光軸2の方向および駆動軸13の方向に直角な方向)に離間して設けられる。このような構成によれば、第一の平面三節リンク機構60の可動平面(X−Z平面)以外の空間(Y軸方向の空間)への自由度が拘束される。なお、駆動部3a,3bの構成と、各リンクおよび各回転対偶の具体的な構成は、本発明の第一実施形態と同じ構成が適用できる。すなわち、本発明の第二実施形態においても、各回転対偶は弾性ヒンジによって構成される。このように、二組の駆動リンク5a,5bは、それぞれ、複数のリンク部材51a,51bにより構成される。なお、二組の駆動リンク5a,5bを構成するリンク部材の数は限定されない。要は、二組の駆動リンク5a,5bは、複数のリンク部材がY軸方向に離間して設けられる構成であればよい。   FIG. 9 is a perspective view of the drive mechanism 100b for the image sensor according to the second embodiment of the present invention. As shown in FIG. 9, the first drive link 5a is constituted by two sets of link members 51a and 52a, and the second drive link 5b is also constituted by two sets of link members 51b and 52b. The two sets of link members 51a and 52a of the first drive link 5a and the two sets of link members 51b and 52b of the second drive link 5b are arranged in the Y-axis direction (the direction of the optical axis 2 and the drive shaft 13). In a direction perpendicular to the direction). According to such a configuration, the degree of freedom in the space (Y-axis direction space) other than the movable plane (XZ plane) of the first planar three-bar linkage mechanism 60 is restricted. In addition, the structure same as 1st embodiment of this invention is applicable to the structure of drive part 3a, 3b, and the specific structure of each link and each rotation pair. That is, also in the second embodiment of the present invention, each rotating pair is constituted by an elastic hinge. In this way, the two sets of drive links 5a and 5b are each constituted by a plurality of link members 51a and 51b. The number of link members constituting the two sets of drive links 5a and 5b is not limited. In short, the two sets of drive links 5a and 5b may have a configuration in which a plurality of link members are provided separately in the Y-axis direction.

次に、本発明の第三実施形態について説明する。本発明の第三実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100cは、撮像素子1の駆動時に生じる反動を打ち消すことができる構成を有しており、ユーザの持ち手に振動などが伝達しないようにできる。図10は、本発明の第三実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100cの構成の概念図である。図10に示すように、本発明の第三実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100cは、撮像素子1と、カウンターマス14と、二組の平面三節リンク機構60,70と、二組の駆動部3a,3bと、四組の案内機構10a,10b,10c,10dとを備える。二組の平面三節リンク機構60,70を、それぞれ、「第一の平面三節リンク機構60」「第二の平面三節リンク機構70」と称する。   Next, a third embodiment of the present invention will be described. The image sensor drive mechanism 100c according to the third embodiment of the present invention has a configuration that can cancel the reaction that occurs when the image sensor 1 is driven, and can prevent vibrations from being transmitted to the user's handle. . FIG. 10 is a conceptual diagram of a configuration of an image sensor drive mechanism 100c according to the third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 10, the image sensor drive mechanism 100 c according to the third embodiment of the present invention includes an image sensor 1, a counter mass 14, two sets of planar three-bar linkage mechanisms 60 and 70, and two sets of drives. The parts 3a and 3b and four sets of guide mechanisms 10a, 10b, 10c and 10d are provided. The two sets of plane three-bar linkage mechanisms 60 and 70 are referred to as “first plane three-bar link mechanism 60” and “second plane three-bar link mechanism 70”, respectively.

第一の平面三節リンク機構60は、二組の駆動リンク5a,5b(第一の駆動リンク5aと第二の駆動リンク5b)と、一組の被動リンク5cと、四組の回転対偶4a,4b,6a,6bとを有する。第二の平面三節リンク機構70は、二組の駆動リンク5d,5e(第三の駆動リンク5dと第四の駆動リンク5e)と、一組の被動リンク5fと、四組の回転対偶4c,4d,6c,6dとを有する。第一の平面三節リンク機構60の被動リンク5cには、撮像素子1が設けられる。第二の平面三節リンク機構70の被動リンク5fには、カウンターマス14が設けられる。撮像素子1とカウンターマス14とは、同じ質量を有する。第一の平面三節リンク機構60の被動リンク5cには、X軸方向に互いに離間した位置に、回転対偶6a,6bを介して、二組の駆動リンク5a,5bのそれぞれの一端が、回転可能に連結される。同様に、第二の平面三節リンク機構70の被動リンク5fには、X軸方向に互いに離間した位置に、回転対偶6c,6dを介して、二組の駆動リンク5d,5eのそれぞれの一端が回転可能に連結される。第一の駆動部3aには、第一の駆動リンク5aの他端と、第三の駆動リンク5dの他端とが、それぞれ回転対偶4a,4cを介して回転可能に連結される。第二の駆動部3bには、第二の駆動リンク5bの他端と、第四の駆動リンク5eの他端とが、それぞれ回転対偶4b,4dを介して回転可能に連結される。そして、二組の平面三節リンク機構60,70は、同じ構成を有しており、二組の駆動部3a,3bの共通の駆動軸13に関して線対称に配設される(実際には、X−Y平面に関して面対称に配設される)。   The first planar three-bar linkage 60 includes two sets of drive links 5a and 5b (first drive link 5a and second drive link 5b), one set of driven links 5c, and four sets of rotating pairs 4a, 4b, 6a, 6b. The second planar three-bar linkage mechanism 70 includes two sets of drive links 5d and 5e (third drive link 5d and fourth drive link 5e), one set of driven links 5f, and four sets of rotating pairs 4c, 4d, 6c, 6d. The imaging element 1 is provided on the driven link 5 c of the first planar three-bar linkage mechanism 60. A counter mass 14 is provided on the driven link 5 f of the second planar three-bar linkage mechanism 70. The image sensor 1 and the counter mass 14 have the same mass. One end of each of the two sets of drive links 5a and 5b is rotatable on the driven link 5c of the first planar three-bar linkage mechanism 60 at positions separated from each other in the X-axis direction via the rotation pairs 6a and 6b. Connected to Similarly, the driven link 5f of the second planar three-bar linkage mechanism 70 has one end of each of the two sets of drive links 5d and 5e via rotation pairs 6c and 6d at positions separated from each other in the X-axis direction. It is rotatably connected. The other end of the first drive link 5a and the other end of the third drive link 5d are rotatably connected to the first drive unit 3a via rotation pairs 4a and 4c, respectively. The other end of the second drive link 5b and the other end of the fourth drive link 5e are rotatably connected to the second drive unit 3b via rotation pairs 4b and 4d, respectively. The two sets of plane three-bar linkage mechanisms 60 and 70 have the same configuration, and are arranged line-symmetrically with respect to the common drive shaft 13 of the two sets of drive units 3a and 3b (actually, X -Disposed symmetrically with respect to the Y plane).

これらの二組の平面三節リンク機構60,70は、理想的には、可動平面(図10においてはX−Z平面)以外の空間(Y軸方向の空間)には自由度を有さない。   Ideally, these two sets of planar three-joint link mechanisms 60 and 70 have no degree of freedom in spaces (spaces in the Y-axis direction) other than the movable plane (XZ plane in FIG. 10).

二組の駆動部3a,3bが駆動軸13に沿って移動すると、第一の平面三節リンク機構60の被動リンク5cと第二の平面三節リンク機構70の被動リンク5fとが、光軸2の方向に沿って互いに反対向きに移動する。図10の矢印fは、被動リンク5c(撮像素子1)の移動方向を示し、矢印gは、被動リンク5f(カウンターマス14)の移動方向を示す。二組の平面三節リンク機構60,70は同じ構成を有するから、撮像素子1とカウンターマス14は同期して駆動される。このため、撮像素子1が駆動されることによって生じる光軸2の方向の反動は、カウンターマス14が駆動されることによって打ち消される。このように、撮像装置のオートフォーカス動作において撮像素子1が駆動された場合であっても、撮像素子1の駆動に起因する振動などの発生を防止できる。したがって、ユーザに不快感や違和感を引き起こすことを防止できる。   When the two sets of drive units 3a and 3b move along the drive shaft 13, the driven link 5c of the first planar three-bar linkage mechanism 60 and the driven link 5f of the second planar three-bar linkage mechanism 70 Move in opposite directions along the direction. The arrow f in FIG. 10 indicates the moving direction of the driven link 5c (imaging device 1), and the arrow g indicates the moving direction of the driven link 5f (counter mass 14). Since the two sets of planar three-bar linkage mechanisms 60 and 70 have the same configuration, the image sensor 1 and the counter mass 14 are driven in synchronization. For this reason, the reaction in the direction of the optical axis 2 caused by driving the image sensor 1 is canceled by driving the counter mass 14. As described above, even when the image pickup device 1 is driven in the autofocus operation of the image pickup apparatus, it is possible to prevent the occurrence of vibration or the like due to the drive of the image pickup device 1. Therefore, it is possible to prevent the user from feeling uncomfortable or uncomfortable.

なお、図10に示す本発明の第三実施形態における二組の平面三節リンク機構60,70および四組の案内機構10a,10b,10c,10dは、図1に示す第一の平面三節リンク機構60と共通の構成を有する。ただし、二組の平面三節リンク機構60,70の具体的な構成は図4に示す構成に限定されない。たとえば、第二実施形態(図9参照)と同じ構成を有していてもよい。要は、撮像素子1とカウンターマス14とを、互いに反対向きに同期して移動させることができる構成であればよい。   Note that the two sets of planar three-joint link mechanisms 60 and 70 and the four sets of guide mechanisms 10a, 10b, 10c, and 10d in the third embodiment of the present invention shown in FIG. 10 are the first planar three-joint link mechanisms shown in FIG. 60 and the same configuration. However, the specific configuration of the two sets of planar three-bar linkage mechanisms 60 and 70 is not limited to the configuration shown in FIG. For example, you may have the same structure as 2nd embodiment (refer FIG. 9). In short, any configuration may be used as long as the imaging element 1 and the counter mass 14 can be moved synchronously in opposite directions.

また、第一の平面三節リンク機構60の二組の案内機構10a,10bと、第二の平面三節リンク機構70の二組の案内機構10c,10dの剛性を異ならせるとともに、撮像素子1とカウンターマス14の質量を異ならせる構成であってもよい。そして、このような構成においては、カウンターマス14の質量を、第二の平面三節リンク機構70の二組の案内機構10c,10dの剛性の変更量に反比例させる構成であることが好ましい。たとえば、第二の平面三節リンク機構70の二組の案内機構10c,10dの板バネのバネ定数を、第一の平面三節リンク機構60の二組の案内機構10a,10bの板バネのバネ定数よりも大きくする。そして、カウンターマス14の質量を、撮像素子1の質量に対して、バネ定数の変更量に反比例するように小さくする。このような構成によれば、カウンターマス14の質量を小さくしても、撮像素子1の駆動に起因する反動を打ち消すことができる。したがって、撮像素子の駆動機構の重量化や大型化を防止または抑制できる。   The two sets of guide mechanisms 10a and 10b of the first planar three-bar linkage mechanism 60 and the two sets of guide mechanisms 10c and 10d of the second planar three-bar link mechanism 70 are made different in rigidity, and the imaging device 1 and the counter are countered. The mass 14 may have a different mass. In such a configuration, it is preferable that the mass of the counter mass 14 is inversely proportional to the amount of change in rigidity of the two sets of guide mechanisms 10 c and 10 d of the second planar three-bar linkage mechanism 70. For example, the spring constants of the leaf springs of the two sets of guide mechanisms 10c and 10d of the second planar three-joint link mechanism 70 are the spring constants of the leaf springs of the two sets of guide mechanisms 10a and 10b of the first planar three-bar linkage mechanism 60. Larger than. Then, the mass of the counter mass 14 is reduced with respect to the mass of the image sensor 1 so as to be inversely proportional to the amount of change of the spring constant. According to such a configuration, even if the mass of the counter mass 14 is reduced, the reaction caused by the driving of the image sensor 1 can be canceled. Accordingly, it is possible to prevent or suppress an increase in weight and size of the drive mechanism of the image sensor.

次に、本発明の第四の実施形態について、図11を参照して説明する。図11は、本発明の第四の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100dの第一の平面三節リンク機構60および撮像素子1の周辺の構成を模式的に示す図である(案内機構は図略)。本発明の第四の実施形態は、部品点数の削減と製造コストの削減を図ることができる形態である。なお、第一の実施形態と共通の構成については、同じ符号を付して示し、説明は省略する。
第一の平面三節リンク機構60は、被動リンク5cと、四組の回転対偶4a,4b,6a,6bと、二組の駆動リンク5a,5bとを有する。説明の便宜上、四組の回転対偶のそれぞれを、第一の回転対偶4a、第二の回転対偶4b、第三の回転対偶6a、第四の回転対偶6bと称する。また、二組の駆動リンクのうちの一方を第一の駆動リンク5aと称し、他方を第二の駆動リンク5bと称する。被動リンク5cの一端と第一の駆動リンク5aとは、弾性ヒンジである第三の回転対偶6aによって連結される。第一の駆動リンク5aと第一の駆動部3aとは、弾性ヒンジである第一の回転対偶4aによって連結される。被動リンク5cの他端と第二の駆動リンク5bとは、弾性ヒンジである第四の回転対偶6bによって連結される。第二の駆動リンク5bと第二の駆動部3bとは、弾性ヒンジである第二の回転対偶4bによって連結される。
第一の平面三節リンク機構60の被動リンク5cの前記一端側の部分と、第三の回転対偶6aと、一方の駆動リンクとしての第一の駆動リンク5aと、第一の回転対偶4aとは、第一の板バネ79aによって一体に形成される。同様に、第一の平面三節リンク機構60の被動リンク5cの前記他端側の部分と、第四の回転対偶6bと、他方の駆動リンクとしての第二の駆動リンク5bと、第二の回転対偶4bとは、第二の板バネ79bによって一体に形成される。
さらに、第四の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100dは、撮像素子支持部材71と被動リンク支持部材72とを有する。撮像素子支持部材71と被動リンク支持部材72は、たとえば略板状の部材が適用される。撮像素子1は、撮像素子支持部材71に設けられる。そして、撮像素子支持部材71と被動リンク支持部材72とが第一の板バネ79aおよび第二の板バネ79bを挟持する。撮像素子支持部材71と被動リンク支持部材72とは、ネジ73によって締結(結合)される。
このような構成によれば、部品点数の削減と、製造コストの削減を図ることができる。
Next, a fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 11 is a diagram schematically showing the configuration around the first planar three-bar linkage mechanism 60 and the image sensor 1 of the image sensor drive mechanism 100d according to the fourth embodiment of the present invention (the guide mechanism is shown in FIG. 11). Abbreviation). The fourth embodiment of the present invention is a form that can reduce the number of parts and the manufacturing cost. In addition, about the same structure as 1st embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and shown, and description is abbreviate | omitted.
The first planar three-bar linkage mechanism 60 includes a driven link 5c, four pairs of rotating pairs 4a, 4b, 6a, 6b, and two sets of drive links 5a, 5b. For convenience of explanation, each of the four rotation pairs is referred to as a first rotation pair 4a, a second rotation pair 4b, a third rotation pair 6a, and a fourth rotation pair 6b. One of the two sets of drive links is referred to as a first drive link 5a, and the other is referred to as a second drive link 5b. One end of the driven link 5c and the first drive link 5a are connected by a third rotary pair 6a that is an elastic hinge. The 1st drive link 5a and the 1st drive part 3a are connected by the 1st rotation pair 4a which is an elastic hinge. The other end of the driven link 5c and the second drive link 5b are connected by a fourth rotary pair 6b that is an elastic hinge. The 2nd drive link 5b and the 2nd drive part 3b are connected by the 2nd rotation pair 4b which is an elastic hinge.
The portion of the one end side of the driven link 5c of the first planar three-bar linkage mechanism 60, the third rotary pair 6a, the first drive link 5a as one drive link, and the first rotary pair 4a The first leaf spring 79a is integrally formed. Similarly, the portion on the other end side of the driven link 5c of the first planar three-bar linkage mechanism 60, the fourth rotary pair 6b, the second drive link 5b as the other drive link, and the second rotation The pair 4b is integrally formed by a second leaf spring 79b.
Further, the image sensor drive mechanism 100 d according to the fourth embodiment includes an image sensor support member 71 and a driven link support member 72. As the imaging element support member 71 and the driven link support member 72, for example, a substantially plate-like member is applied. The image sensor 1 is provided on the image sensor support member 71. The imaging element support member 71 and the driven link support member 72 sandwich the first plate spring 79a and the second plate spring 79b. The image sensor support member 71 and the driven link support member 72 are fastened (coupled) by screws 73.
According to such a configuration, it is possible to reduce the number of parts and the manufacturing cost.

次に、本発明の第五の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100eについて説明する。なお、第四の実施形態と共通の構成については、同じ符号を付して示し、説明は省略する。
図12は、本発明の第五の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100eおよび撮像素子1の周辺の構成を模式的に示す図である(案内機構は図略)。
第五の実施形態は図13の状態を改善するための実施形態である。図13は、図12のXIII部の拡大図であり、本発明の第4の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100dにおいて、撮像素子支持部材71が変形している状態を模式的に示す図である。すなわち、前述の第四の実施形態においては、撮像素子支持部材71と被動リンク支持部材72とが、第一の板バネ79aと第二の板バネ79bとを挟持する構成である。このような構成であると、図13に示すように、ネジ73による締結力では、撮像素子支持部材71や第一の板バネ79aや第二の板バネ79bは完全に固定されずに変形することがある。そうすると、撮像素子支持部材71や第一の板バネ79aや第二の板バネ79bにおいて、固定されていない部分(非固定部分)の寸法が増加し、撮像素子の駆動機構100eの剛性が低下するおそれがある。
第五の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100eは、第四の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100dについて、剛性を高めた構成を有する。図12に示すように、第一の平面三節リンク機構60の被動リンク5cの前記一端側の部分と、第三の回転対偶6aと、第一の駆動リンク5aと、第一の回転対偶4aとは、第一の板バネ79aによって一体に形成される。同様に、第一の平面三節リンク機構60の被動リンク5cの前記他端側の部分と、第四の回転対偶6bと、第二の駆動リンク5bと、第二の回転対偶4bとは、第二の板バネ79bによって一体に形成される。そして、第一の板バネ79aのうちの被動リンク5cとなる部分は、第三の回転対偶6aとなる部分よりも厚い。同様に、第二の板バネ79bのうちの被動リンク5cとなる部分は、第四の回転対偶6bとなる部分よりも厚い。そして、このような構成により、被動リンク5cとなる部分は、第三の回転対偶6aと第四の回転対偶6bとなる部分よりも剛性が高くなる(変形しにくくなる)。なお、被動リンク5cとなる部分と第三の回転対偶6aおよび第四の回転対偶6bとなる部分の厚さの比は、(第三の回転対偶6aおよび第四の回転対偶6bとなる部分の厚さ)/(被動リンク5cとなる部分の厚さ)=1/10程度であることが好ましい。このような構成によれば、被動リンク5cとなる部分の変形を防止しつつ、第三の回転対偶6aおよび第四の回転対偶6bが変形することができる。
また、第一の平面三節リンク機構60の第三の回転対偶6aと第四の回転対偶6bと被動リンク5cと、撮像素子支持部材71とが一体の部材で形成される構成であってもよい。このような構成であっても、前記同様の効果を得ることができる。
Next, an image sensor drive mechanism 100e according to a fifth embodiment of the present invention will be described. In addition, about the structure common to 4th embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and shown, and description is abbreviate | omitted.
FIG. 12 is a diagram schematically showing the configuration around the image sensor drive mechanism 100e and the image sensor 1 according to the fifth embodiment of the present invention (the guide mechanism is not shown).
The fifth embodiment is an embodiment for improving the state of FIG. FIG. 13 is an enlarged view of a portion XIII in FIG. 12, schematically showing a state in which the image sensor support member 71 is deformed in the image sensor drive mechanism 100 d according to the fourth embodiment of the present invention. It is. That is, in the above-described fourth embodiment, the imaging element support member 71 and the driven link support member 72 are configured to sandwich the first plate spring 79a and the second plate spring 79b. With such a configuration, as shown in FIG. 13, with the fastening force of the screw 73, the imaging element support member 71, the first plate spring 79a, and the second plate spring 79b are deformed without being completely fixed. Sometimes. Then, in the imaging element support member 71, the first leaf spring 79a, and the second leaf spring 79b, the dimension of the non-fixed portion (non-fixed portion) increases, and the rigidity of the imaging device drive mechanism 100e decreases. There is a fear.
The image sensor drive mechanism 100e according to the fifth embodiment has a configuration in which the rigidity of the image sensor drive mechanism 100d according to the fourth embodiment is increased. As shown in FIG. 12, the one end side portion of the driven link 5c of the first planar three-bar linkage mechanism 60, the third rotary pair 6a, the first drive link 5a, and the first rotary pair 4a Are integrally formed by the first leaf spring 79a. Similarly, the portion on the other end side of the driven link 5c of the first planar three-bar linkage mechanism 60, the fourth rotary pair 6b, the second drive link 5b, and the second rotary pair 4b are: The two plate springs 79b are integrally formed. And the part used as the driven link 5c of the 1st leaf | plate spring 79a is thicker than the part used as the 3rd rotation pair 6a. Similarly, the part which becomes the driven link 5c in the second leaf spring 79b is thicker than the part which becomes the fourth rotary pair 6b. And by such a structure, the part used as the driven link 5c becomes higher rigidity (it becomes difficult to deform | transform) than the part used as the 3rd rotation pair 6a and the 4th rotation pair 6b. In addition, the ratio of the thickness of the portion that becomes the driven link 5c and the portion that becomes the third rotation pair 6a and the fourth rotation pair 6b is (the portion of the portion that becomes the third rotation pair 6a and the fourth rotation pair 6b). Thickness) / (thickness of the portion to be the driven link 5c) = 1/10 is preferable. According to such a configuration, the third rotating pair 6a and the fourth rotating pair 6b can be deformed while preventing deformation of the portion that becomes the driven link 5c.
Further, the third rotating pair 6a, the fourth rotating pair 6b, the driven link 5c, and the imaging element support member 71 of the first planar three-bar linkage mechanism 60 may be formed as an integral member. . Even with such a configuration, the same effect as described above can be obtained.

次に、本発明の第六の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100fについて説明する。本発明の第六の実施形態は、第五の実施形態と同様に、図12に示す状態の発生を防止するための形態である。なお、第四の実施形態と共通の構成については、同じ符号を付して示し、説明は省略する。
図14は、本発明の第六の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100fの第一の平面三節リンク機構60および撮像素子1の周辺の構成を模式的に示す図である。図14に示すように、被動リンク支持部材72のX軸方向の軸方向の端部が、第三の回転対偶6aおよび第四の回転対偶6bとしての弾性ヒンジの一部に達している。そして、その状態で、撮像素子支持部材71と被動リンク支持部材72とがネジ73によって締結されている。すなわち、第三の回転対偶6aと第四の回転対偶6bのそれぞれの一部が、撮像素子支持部材71と被動リンク支持部材72とによって挟持されている。このような構成によれば、第三の回転対偶6aおよび第四の回転対偶6bのそれぞれの一部が拘束されるため、非固定部分の寸法の増加を防止することができる。したがって、撮像素子の駆動機構100fの剛性の低下を防止できる。
図15は、本発明の第六の実施形態の変形形態にかかる撮像素子の駆動機構100fの第一の平面三節リンク機構60および撮像素子1の周辺の構成を模式的に示す図である。図15に示すように、被動リンク支持部材72のX軸方向の軸方向の端部が、第三の回転対偶6aおよび第四の回転対偶6bとしての弾性ヒンジの一部に達している。そして、その状態で、撮像素子支持部材71と被動リンク支持部材72とがネジ73によって締結されている。さらに、撮像素子支持部材71と被動リンク支持部材72のX軸方向端部であって、第三の回転対偶6aと第四の回転対偶6bのそれぞれに達している部分が、ネジ74によって締結されている。このような構成によれば、第三の回転対偶6aおよび第四の回転対偶6bとしての弾性ヒンジの一部が、撮像素子支持部材71と被動リンク支持部材72とネジ74とによって、強固に挟持される。したがって、第一の板バネ79aおよび第二の板バネ79bの非固定部分の寸法の増加を防止できるから、撮像素子の駆動機構100fの剛性の低下を防止できる。
Next, an image sensor drive mechanism 100f according to a sixth embodiment of the present invention will be described. As in the fifth embodiment, the sixth embodiment of the present invention is a form for preventing the occurrence of the state shown in FIG. In addition, about the structure common to 4th embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and shown, and description is abbreviate | omitted.
FIG. 14 is a diagram schematically showing a configuration around the first planar three-bar linkage mechanism 60 and the image sensor 1 of the image sensor drive mechanism 100f according to the sixth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 14, the end portion of the driven link support member 72 in the X-axis direction reaches a part of the elastic hinge as the third rotation pair 6a and the fourth rotation pair 6b. In this state, the imaging element support member 71 and the driven link support member 72 are fastened by screws 73. That is, a part of each of the third rotating pair 6a and the fourth rotating pair 6b is sandwiched between the imaging element support member 71 and the driven link support member 72. According to such a structure, since each part of the 3rd rotation pair 6a and the 4th rotation pair 6b is restrained, the increase in the dimension of a non-fixed part can be prevented. Therefore, it is possible to prevent a decrease in rigidity of the drive mechanism 100f for the image sensor.
FIG. 15 is a diagram schematically illustrating the configuration of the periphery of the first planar three-bar linkage mechanism 60 of the image sensor drive mechanism 100f and the image sensor 1 according to a modification of the sixth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 15, the axial end of the driven link support member 72 in the X-axis direction reaches a part of the elastic hinge as the third rotary pair 6a and the fourth rotary pair 6b. In this state, the imaging element support member 71 and the driven link support member 72 are fastened by screws 73. Furthermore, the X-axis direction end portions of the imaging element support member 71 and the driven link support member 72 and the portions reaching the third rotation pair 6 a and the fourth rotation pair 6 b are fastened by screws 74. ing. According to such a configuration, a part of the elastic hinge as the third rotating pair 6a and the fourth rotating pair 6b is firmly held by the imaging element support member 71, the driven link support member 72, and the screw 74. Is done. Therefore, an increase in the dimension of the non-fixed portions of the first leaf spring 79a and the second leaf spring 79b can be prevented, and a decrease in rigidity of the drive mechanism 100f of the image sensor can be prevented.

次に、本発明の第七の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100gについて説明する。本発明の第七の実施形態は、第五の実施形態と同様に、図12に示す状態の発生を防止するための形態である。なお、第四の実施形態と共通の構成については、同じ符号を付して示し、説明は省略する。
図16は、本発明の第七の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100gの第一の平面三節リンク機構60および撮像素子1の周辺の構成を模式的に示す図である。図17は、図16のXVII部の拡大図である。図16と図17に示すように、撮像素子支持部材71には、第一の板バネ79aと第二の板バネ79bに接触する側の面であって、ネジ73が締結される位置(たとえば、ネジ73が貫通する穴が形成される位置)に、ザグリ溝75が形成される。ザグリ溝75は、被動リンク5cの可動平面(X−Z面)に対して直角方向(Y軸方向)に延伸する。このような構成であると、図17に示すように、撮像素子支持部材71は、ネジ73を締結する軸線方向の力によって、ザグリ溝75が形成される部分が、被動リンク5cに接近するように変形する。その結果、ザグリ溝75の開口の縁部76が、被動リンク5c(第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれ)に常に接触する。このため、被動リンク5cは、ザグリ溝75の開口の縁部76によって、被動リンク支持部材72に常に押さえつけられる。したがって、第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれの非固定部分の寸法の増加を防止できるから、撮像素子の駆動機構100gの剛性の低下を防止できる。
Next, an image sensor drive mechanism 100g according to a seventh embodiment of the present invention will be described. As in the fifth embodiment, the seventh embodiment of the present invention is a form for preventing the occurrence of the state shown in FIG. In addition, about the structure common to 4th embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and shown, and description is abbreviate | omitted.
FIG. 16 is a diagram schematically showing a configuration around the first planar three-bar linkage mechanism 60 and the imaging device 1 of the imaging device driving mechanism 100g according to the seventh embodiment of the present invention. FIG. 17 is an enlarged view of a portion XVII in FIG. As shown in FIGS. 16 and 17, the image sensor support member 71 is a surface on the side in contact with the first leaf spring 79 a and the second leaf spring 79 b, and a position where the screw 73 is fastened (for example, A counterbore groove 75 is formed at a position where a hole through which the screw 73 passes is formed. The counterbore groove 75 extends in a direction perpendicular to the movable plane (XZ plane) of the driven link 5c (Y-axis direction). With such a configuration, as shown in FIG. 17, the image sensor support member 71 is configured such that the portion where the counterbore groove 75 is formed approaches the driven link 5 c by the axial force that fastens the screw 73. Transforms into As a result, the edge 76 of the opening of the counterbore groove 75 always contacts the driven link 5c (each of the first leaf spring 79a and the second leaf spring 79b). For this reason, the driven link 5 c is always pressed against the driven link support member 72 by the edge 76 of the opening of the counterbore groove 75. Accordingly, an increase in the size of the non-fixed portion of each of the first plate spring 79a and the second plate spring 79b can be prevented, so that a decrease in rigidity of the drive mechanism 100g of the image sensor can be prevented.

次に、本発明の第八の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100hについて説明する。本発明の第八の実施形態は、第七の実施形態の変形形態であり、図12に示す状態の発生を防止するための形態である。なお、第七の実施形態と共通の構成については、同じ符号を付して示し、説明は省略する。
図18は、本発明の第八の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100hの第一の平面三節リンク機構60および撮像素子1の周辺の構成を模式的に示す図である。図19は、図18のXIX部を拡大して示す図である。
図18と図19に示すように、撮像素子支持部材71には、第一の板バネ79aと第二の板バネ79bに接触する側の面であって、ネジ73が締結される位置に、ザグリ溝75が形成される。ザグリ溝75は、被動リンク5cの可動平面(X−Z面)に対して直角方向(Y軸方向)に延伸する。さらに、ザグリ溝75よりもX軸方向の端部側には、エッジ部77が形成される。エッジ部77は、被動リンク5cとしての第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれの側に向かって先細り形状に突起し、先端が尖った山のように形成される部分である。このような構成によれば、図19に示すように、撮像素子支持部材71はネジ73を締結する軸線方向の力によって、ザグリ溝75が形成される部分が被動リンク5cに接近するように変形する。その結果、エッジ部77が、被動リンク5c(第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれ)に常に接触する。このため、被動リンク5cは、エッジ部77によって、被動リンク支持部材72に常に押さえつけられる。そうすると、撮像素子支持部材71は、エッジ部77が被動リンク5cとしての第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれに常に接触した状態で移動するように変形する。したがって、第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれの非固定部分の寸法の増加を防止できるから、撮像素子の駆動機構100hの剛性の低下を防止できる。
Next, an image sensor drive mechanism 100h according to an eighth embodiment of the present invention will be described. The eighth embodiment of the present invention is a modification of the seventh embodiment and is a form for preventing the occurrence of the state shown in FIG. In addition, about the structure which is common in 7th embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and shown, and description is abbreviate | omitted.
FIG. 18 is a diagram schematically illustrating the configuration of the periphery of the first planar three-bar linkage mechanism 60 and the image sensor 1 of the image sensor drive mechanism 100h according to the eighth embodiment of the present invention. FIG. 19 is an enlarged view of the XIX portion of FIG.
As shown in FIGS. 18 and 19, the imaging element support member 71 is a surface on the side in contact with the first plate spring 79 a and the second plate spring 79 b, at a position where the screw 73 is fastened. A counterbore groove 75 is formed. The counterbore groove 75 extends in a direction perpendicular to the movable plane (XZ plane) of the driven link 5c (Y-axis direction). Further, an edge portion 77 is formed on the end portion side in the X-axis direction from the counterbored groove 75. The edge portion 77 is a portion that protrudes in a tapered shape toward each side of the first leaf spring 79a and the second leaf spring 79b as the driven link 5c and is formed like a mountain with a sharp tip. . According to such a configuration, as shown in FIG. 19, the imaging element support member 71 is deformed so that the portion where the counterbore groove 75 is formed approaches the driven link 5 c by the axial force that fastens the screw 73. To do. As a result, the edge portion 77 is always in contact with the driven link 5c (each of the first leaf spring 79a and the second leaf spring 79b). For this reason, the driven link 5 c is always pressed against the driven link support member 72 by the edge portion 77. Then, the imaging element support member 71 is deformed so that the edge portion 77 moves while always in contact with each of the first plate spring 79a and the second plate spring 79b as the driven link 5c. Therefore, an increase in the size of the non-fixed portions of the first plate spring 79a and the second plate spring 79b can be prevented, and a decrease in rigidity of the drive mechanism 100h of the image sensor can be prevented.

次に、本発明の第九の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100iについて説明する。本発明の第九の実施形態は、第七の実施形態の変形形態であり、図12に示す状態の発生を防止するための形態である。なお、第七の実施形態と共通の構成については、同じ符号を付して示し、説明は省略する。
図20は、本発明の第九の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100iの第一の平面三節リンク機構60および撮像素子1の周辺の構成を模式的に示す図である。図21は、図20のXXI部を拡大して示す図である。
図20と図21に示すように、撮像素子支持部材71には、被動リンク支持部材72に接触する側の面であって、ネジ73が締結される位置に、被動リンク5cの可動平面(X−Z面)に対して直角方向(Y軸方向)に延伸するザグリ溝75が形成される。さらに、ザグリ溝75よりもX軸方向の端部側には、R部78が形成される。R部78は、被動リンク5cとしての第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれの側に向かって、所定の曲率半径を有する円弧状に膨出するように形成される部分である。このような構成によれば、図21に示すように、撮像素子支持部材71はネジ73を締結する軸線方向の力によって、ザグリ溝75が形成される部分が被動リンク5c(第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれ)に接近するように変形する。その結果、R部78が、被動リンク5c(第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれ)に常に接触する。このため、被動リンク5cは、R部78によって、被動リンク支持部材72に常に押さえつけられる。そうすると、撮像素子支持部材71は、エッジ部77が被動リンク5cとしての第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれに常に接触した状態で移動するように変形する。したがって、第一の板バネ79aと第二の板バネ79bのそれぞれの非固定部分の寸法の増加を防止できるから、撮像素子の駆動機構100iの剛性の低下を防止できる。
Next, an image sensor drive mechanism 100i according to a ninth embodiment of the present invention will be described. The ninth embodiment of the present invention is a modification of the seventh embodiment, and is a form for preventing the occurrence of the state shown in FIG. In addition, about the structure which is common in 7th embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and shown, and description is abbreviate | omitted.
FIG. 20 is a diagram schematically showing the configuration of the periphery of the first planar three-bar linkage mechanism 60 and the image sensor 1 of the image sensor drive mechanism 100i according to the ninth embodiment of the present invention. FIG. 21 is an enlarged view showing the XXI portion of FIG.
As shown in FIGS. 20 and 21, the imaging element support member 71 has a movable plane (X) of the driven link 5 c at the position where the screw 73 is fastened on the surface that contacts the driven link support member 72. A counterbore groove 75 extending in a direction perpendicular to the (Z plane) (Y-axis direction) is formed. Further, an R portion 78 is formed on the end side in the X-axis direction from the counterbore groove 75. The R portion 78 is a portion formed so as to bulge into an arc having a predetermined radius of curvature toward the respective sides of the first leaf spring 79a and the second leaf spring 79b as the driven link 5c. is there. According to such a configuration, as shown in FIG. 21, the image sensor support member 71 has a portion where the counterbore groove 75 is formed by the axial force that fastens the screw 73, so that the driven link 5 c (first leaf spring) is formed. 79a and the second leaf spring 79b). As a result, the R portion 78 always contacts the driven link 5c (each of the first leaf spring 79a and the second leaf spring 79b). For this reason, the driven link 5 c is always pressed against the driven link support member 72 by the R portion 78. Then, the imaging element support member 71 is deformed so that the edge portion 77 moves while always in contact with each of the first plate spring 79a and the second plate spring 79b as the driven link 5c. Therefore, an increase in the size of the non-fixed portions of the first plate spring 79a and the second plate spring 79b can be prevented, and a decrease in the rigidity of the drive mechanism 100i of the image sensor can be prevented.

なお、本発明の第四〜第九の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100d,100e,100f,100g,100h,100iは、第一〜第三の実施形態にかかる撮像素子の駆動機構100a,100b,100cに組み合わせることができる。   The image sensor drive mechanisms 100d, 100e, 100f, 100g, 100h, and 100i according to the fourth to ninth embodiments of the present invention are the image sensor drive mechanisms 100a, 100a, 100b, 100c can be combined.

以上、本発明の各実施形態について、図面を参照して詳細に説明したが、本発明は、前記実施形態に何ら限定されるものではない。本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲において、種々の改変が可能である。   As mentioned above, although each embodiment of this invention was described in detail with reference to drawings, this invention is not limited to the said embodiment at all. The present invention can be variously modified without departing from the spirit of the present invention.

1:撮像素子、5c:被動リンク、5a,5b:駆動リンク、4a,4b,6a,6b:回転対偶、3a,3b:駆動部 1: imaging device, 5c: driven link, 5a, 5b: driving link, 4a, 4b, 6a, 6b: rotating pair, 3a, 3b: driving unit

Claims (13)

撮像面を有する撮像素子を前記撮像面に対して直角な方向に駆動する撮像素子の駆動機構であって、
前記撮像素子が設けられる被動リンクと、回転対偶を介して前記撮像素子が設けられる前記被動リンクに回転可能に連結される二組の駆動リンクとを備える第一の平面三節リンク機構と、
二組の前記の駆動リンクのそれぞれに回転対偶を介して連結されており、二組の前記駆動リンクのそれぞれを前記撮像素子の前記撮像面に平行な方向に駆動できる二組の駆動部と、
前記撮像素子を前記撮像面に対して直角な方向に駆動されるように案内する案内機構と、
を備えることを特徴とする撮像素子の駆動機構。
An image sensor driving mechanism for driving an image sensor having an imaging surface in a direction perpendicular to the imaging surface,
A first planar three-joint link mechanism comprising: a driven link provided with the image sensor; and two sets of drive links rotatably connected to the driven link provided with the image sensor via a rotating pair;
Two sets of drive links that are connected to each of the two sets of drive links via a rotary pair, and that can drive each of the two sets of drive links in a direction parallel to the imaging surface of the imaging device;
A guide mechanism for guiding the image sensor to be driven in a direction perpendicular to the imaging surface;
A drive mechanism for an image sensor, comprising:
前記回転対偶は、弾性ヒンジであることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子の駆動機構。   The drive mechanism for an image sensor according to claim 1, wherein the rotating pair is an elastic hinge. 前記案内機構は、前記平面三節リンク機構の二組の前記駆動リンクに平行に設けられる案内リンクと、前記案内リンクを二組の前記被動リンクに回転可能に連結する回転対偶と、前記案内リンクを二組の前記駆動部に回転可能に連結する回転対偶と、を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の撮像素子の駆動機構。   The guide mechanism includes a guide link provided in parallel with the two sets of the drive links of the planar three-bar linkage mechanism, a rotating pair for rotatably connecting the guide links to the two sets of the driven links, and the guide links. The image sensor drive mechanism according to claim 1, further comprising: a rotary pair that is rotatably connected to the two sets of the drive units. 前記案内リンクは、前記撮像素子の撮像面に平行な方向に沿って離間して設けられる複数のリンク部材を有することを特徴とする請求項3に記載の撮像素子の駆動機構。   The drive mechanism for an image sensor according to claim 3, wherein the guide link includes a plurality of link members that are provided apart from each other along a direction parallel to the imaging surface of the image sensor. 前記案内機構は、前記撮像素子の前記撮像面に平行になるように前記被動リンクに設けられる板バネを有することを特徴とする請求項1又は2に記載の撮像素子の駆動機構。   3. The drive mechanism for an image sensor according to claim 1, wherein the guide mechanism includes a leaf spring provided on the driven link so as to be parallel to the imaging surface of the image sensor. 前記撮像素子の駆動方向とは反対に前記撮像素子に同期して駆動されるカウンターマスを備えることを特徴とする請求項1に記載の撮像素子の駆動機構。   The drive mechanism for an image pickup device according to claim 1, further comprising a counter mass that is driven in synchronization with the image pickup device opposite to the drive direction of the image pickup device. 前記カウンターマスが設けられる被動リンクと、回転対偶を介して前記カウンターマスが設けられる前記被動リンクに回転可能に連結される二組の駆動リンクとを備える第二の平面三節リンク機構と、
前記カウンターマスを前記撮像素子の撮像面に対して直角の方向に駆動されるように案内する他の案内機構と、
をさらに備え、
前記第二の平面三節リンク機構の二組の前記駆動リンクは、回転対偶を介して、二組の前記駆動部のそれぞれに回転可能に連結されるとともに、
前記第一の平面三節リンク機構と前記第二の平面三節リンク機構とは、線対称に配設されることを特徴とする請求項6に記載の撮像素子の駆動機構。
A second planar three-bar linkage mechanism comprising: a driven link provided with the counter mass; and two sets of drive links rotatably connected to the driven link provided with the counter mass via a rotating pair.
Another guide mechanism for guiding the counter mass so as to be driven in a direction perpendicular to the imaging surface of the imaging device;
Further comprising
Two sets of the drive links of the second planar three-bar linkage mechanism are rotatably connected to each of the two sets of the drive units via a rotation pair,
The image sensor driving mechanism according to claim 6, wherein the first planar three-joint link mechanism and the second planar three-joint link mechanism are arranged line-symmetrically.
前記第一の平面三節リンク機構と前記第二の平面三節リンク機構とは同じ構成を有するとともに、前記カウンターマスは前記撮像素子と同じ質量を有することを特徴とする請求項7に記載の撮像素子の駆動機構。   The imaging device according to claim 7, wherein the first planar three-bar linkage mechanism and the second planar three-bar linkage mechanism have the same configuration, and the counter mass has the same mass as the imaging device. Drive mechanism. 前記被動リンクの一部と、前記二組の駆動リンクの一方と、前記被動リンクの一部と前記二組の駆動リンクの一方とを連結する回転対偶である弾性ヒンジとを構成する第一の板バネと、
前記被動リンクの他の一部と、前記二組の駆動リンクの他方と、前記被動リンクの他の一部と前記二組の駆動リンクの他方とを連結する回転対偶である弾性ヒンジとを構成する第二の板バネと、
前記被動リンクを支持する被動リンク支持部材と、
前記撮像素子が設けられる撮像素子支持部材と、
を有し、
前記第一の板バネと前記第二の板バネの前記被動リンクを構成する部分は、前記被動リンク支持部材と前記撮像素子支持部材とにより挟持され、前記被動リンク支持部材と前記撮像素子支持部材とはネジにより締結されることを特徴とする請求項2に記載の撮像素子の駆動機構。
A first part that constitutes a part of the driven link, one of the two sets of drive links, and an elastic hinge that is a rotational pair that couples the part of the driven links and one of the two sets of drive links. Leaf springs,
The other part of the driven link, the other of the two sets of drive links, and the elastic hinge that is a rotating pair that connects the other part of the driven links and the other of the two sets of drive links. A second leaf spring to
A driven link support member for supporting the driven link;
An image sensor support member provided with the image sensor;
Have
The portion of the first leaf spring and the second leaf spring that constitutes the driven link is sandwiched between the driven link support member and the imaging element support member, and the driven link support member and the imaging element support member The image sensor drive mechanism according to claim 2, wherein the image sensor is fastened by a screw.
前記第一の板バネおよび前記第二の板バネのうちの前記被動リンクを構成する部分の厚さは、前記弾性ヒンジを構成する部分の厚さよりも厚いことを特徴とする請求項9に記載の撮像素子の駆動機構。   The thickness of the part which comprises the said driven link among said 1st leaf | plate spring and said 2nd leaf | plate spring is thicker than the thickness of the part which comprises the said elastic hinge. The drive mechanism of the image sensor. 前記被動リンク支持部材および前記撮像素子支持部材は、前記弾性ヒンジの少なくとも一部を挟持していることを特徴とする請求項9に記載の撮像素子の駆動機構。   The drive mechanism for an image sensor according to claim 9, wherein the driven link support member and the image sensor support member sandwich at least a part of the elastic hinge. 前記被動リンク支持部材および前記撮像素子支持部材は、前記弾性ヒンジの少なくとも一部を挟持しているとともに、前記弾性ヒンジの少なくとも一部を挟持している部分はネジにより締結されていることを特徴とする請求項11に記載の撮像素子の駆動機構。   The driven link support member and the imaging element support member sandwich at least a part of the elastic hinge, and a portion sandwiching at least a part of the elastic hinge is fastened by a screw. The drive mechanism for an image sensor according to claim 11. 前記撮像素子支持部材の前記被動リンクに接する面のうちの前記ネジが締結される部分には、前記被動リンクの軸線方向に直角な方向に延伸するザグリ溝が形成されることを特徴とする請求項9に記載の撮像素子の駆動機構。   A counterbored groove extending in a direction perpendicular to the axial direction of the driven link is formed in a portion of the surface of the imaging element support member that contacts the driven link to which the screw is fastened. Item 10. The drive mechanism of the image sensor according to Item 9.
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