JP2012006099A - Reinforcement pad of rotary elastic grindstone and structure reinforced by pad - Google Patents
Reinforcement pad of rotary elastic grindstone and structure reinforced by pad Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012006099A JP2012006099A JP2010142703A JP2010142703A JP2012006099A JP 2012006099 A JP2012006099 A JP 2012006099A JP 2010142703 A JP2010142703 A JP 2010142703A JP 2010142703 A JP2010142703 A JP 2010142703A JP 2012006099 A JP2012006099 A JP 2012006099A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- grinding
- pad
- grindstone
- outer support
- back side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 title abstract description 14
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims description 48
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 5
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 4
- 229920003002 synthetic resin Polymers 0.000 description 4
- 239000000057 synthetic resin Substances 0.000 description 4
- 238000005336 cracking Methods 0.000 description 3
- 239000012141 concentrate Substances 0.000 description 2
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 238000009751 slip forming Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
Abstract
Description
本発明は、回転弾性砥石を支持する補強パッド及び回転弾性砥石のパッドによる補強構造に関する。 The present invention relates to a reinforcing pad for supporting a rotating elastic grindstone and a reinforcing structure using a pad of the rotating elastic grindstone.
回転弾性砥石とは、グラインダー等の回転駆動体に取り付けて使用される、柔軟性を有する砥石である。回転弾性砥石は、この柔軟性によって、該砥石を加工物に押しつける力加減で研削する深さを調節できるという利点を有する。 The rotary elastic grindstone is a grindstone having flexibility that is used by being attached to a rotary driving body such as a grinder. The rotary elastic grindstone has an advantage that the depth of grinding can be adjusted by adjusting the force with which the grindstone is pressed against the workpiece due to the flexibility.
回転弾性砥石はその柔軟性を確保するために、一般的に、砥石の研削部分の厚みは2〜3mm程度とされている。このような回転弾性砥石は、高速回転下で加工物に強く押し当てられると、砥石が過度に変形し、亀裂を生じて砥石が破損するという問題があった。そのため、従来よりこのような回転弾性砥石を使用する際には、図3(B)のXに示すような硬質合成樹脂製の補強パッドが砥石の背面に取り付けられている。 In order to ensure the flexibility of the rotary elastic grindstone, the thickness of the grinding portion of the grindstone is generally about 2 to 3 mm. When such a rotary elastic grindstone is pressed strongly against a workpiece under high speed rotation, the grindstone is excessively deformed, causing cracks and breakage of the grindstone. Therefore, when using such a rotational elastic grindstone, a reinforcing pad made of hard synthetic resin as shown by X in FIG. 3B is attached to the back of the grindstone.
しかしながら、この従来の補強パッドでは、回転弾性砥石を背面側から押さえつけるため、該砥石の撓みを妨げ、結果として加工物を深く研削してしまうという問題があった。これに対して、作業者は、回転弾性砥石にさらに柔軟性を与えようとして該砥石を手で揉むなどしていた。また、作業者は、回転弾性砥石の撓みを制限する補強パッドを取り外して該砥石を使用していたが、補強パッドがないと、過度の力が加わった際に砥石に亀裂破損が生じてしまう。 However, this conventional reinforcing pad has a problem in that since the rotary elastic grindstone is pressed from the back side, bending of the grindstone is hindered, resulting in deep grinding of the workpiece. On the other hand, the operator has manually held the grindstone to give the rotary elastic grindstone more flexibility. In addition, the operator has used the grindstone by removing the reinforcing pad that restricts the bending of the rotary elastic grindstone, but if there is no reinforcing pad, the grindstone will be cracked when excessive force is applied. .
特許文献1には、軟質合成樹脂よりなる補強パッドの中心層に、樹脂が含浸された布帛芯材を設けることが記載されている。これは、砥石の柔軟性を損なうことなく補強を実現せんとするものであったが、このような補強パッドは、製造するのに複数種類の材料が必要となり、また、補強パッドに柔軟性と補強性とを両立させること自体が難しく、さらに製造するのに手間やコストが非常にかかるという問題があった。
本発明は、上記問題点に鑑みてなされたものであって、回転弾性砥石が有する柔軟性を損なうことなく、しかもその砥石が過度に変形して破損に至ることを防止でき、容易に製造することができる回転弾性砥石の補強パッドを提供することを目的とする。 The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and can easily manufacture without impairing the flexibility of the rotary elastic grindstone and preventing the grindstone from being excessively deformed and damaging. An object of the present invention is to provide a reinforcing pad for a rotary elastic grindstone that can be used.
本発明は、上記課題を解決するために、回転弾性砥石の研削部と補強パッドとの間に隙間を設けるようにしたものである。 In order to solve the above-described problems, the present invention provides a gap between the grinding portion of the rotary elastic grindstone and the reinforcing pad.
すなわち、本発明は、環状の研削部と、該研削部から背面側へ突出した中央のオフセット部とを備える回転弾性砥石の補強パッドであって、上記オフセット部を背面から支える中央支持部と、上記研削部の背面との間に該研削部が背面側に撓むことを許容する隙間をおいて設けられ、背面側に撓んだ上記研削部を受ける外側支持部とを備えていることを特徴とする。 That is, the present invention is a reinforcing pad of a rotating elastic grindstone comprising an annular grinding part and a central offset part protruding from the grinding part to the back side, and a central support part that supports the offset part from the back side, A gap that allows the grinding part to bend to the back side between the back of the grinding part, and an outer support part that receives the grinding part that has been bent to the back side. Features.
また、本発明は、環状の研削部と、該研削部から背面側へ突出した中央のオフセット部とを備える回転弾性砥石のパッドによる補強構造であって、上記パッドは、上記オフセット部を背面から支える中央支持部と、上記研削部を背面から支える外側支持部とを備え、上記研削部と上記外側支持部との間に、上記研削部が背面側に撓むことを許容する隙間が設けられ、該外側支持部は背面側に撓んだ研削部を受けることを特徴とする。 Further, the present invention is a reinforcing structure by a pad of a rotating elastic grindstone provided with an annular grinding part and a central offset part protruding from the grinding part to the back side, and the pad has the offset part from the back side. A central support portion for supporting and an outer support portion for supporting the grinding portion from the back surface, and a gap is provided between the grinding portion and the outer support portion to allow the grinding portion to bend toward the back surface side. The outer support portion receives a ground portion bent toward the back side.
上記外側支持部は、外周に向かうにつれ上記研削部から離れていくように設けられていることが好ましい。 The outer support portion is preferably provided so as to move away from the grinding portion toward the outer periphery.
上記外側支持部は、上記研削部と平行に設けられたものであってもよい。 The outer support portion may be provided in parallel with the grinding portion.
本発明によれば、回転弾性砥石の研削部と補強パッドとの間には該研削部が背面側に撓むことを許容する隙間が設けられているため、上記回転弾性砥石が通常使用される程度の力で加工物に押しつけられた場合、該砥石は撓んでも補強パッドと接することがない。従って、回転弾性砥石の撓みを妨げることなく、該砥石の柔軟性を利用した研削が可能となる。しかも、上記回転弾性砥石が強い力で押しつけられた場合、該砥石が補強パッドと接するまで撓むと、補強パッドによって背面側から支持されるから、該砥石がそれ以上撓むことはない。従って、本発明によれば、回転弾性砥石が使用時に過度に変形して破損に至るのを防ぐことができる。また、本発明によれば、補強パッド自体に柔軟性を与える必要がなく、従来の補強パッドと同じ硬質合成樹脂を使用して製造することができるから、製造が容易であり、製造コストの上昇を抑えることができるという利点を有する。 According to the present invention, since the gap that allows the grinding portion to bend to the back side is provided between the grinding portion and the reinforcing pad of the rotational elastic grinding stone, the rotational elastic grinding stone is usually used. When pressed against the workpiece with a certain degree of force, the grindstone does not come into contact with the reinforcing pad even if it is bent. Therefore, grinding using the flexibility of the grindstone can be performed without hindering the bending of the rotary elastic grindstone. In addition, when the rotary elastic grindstone is pressed with a strong force, if the grindstone is bent until it comes into contact with the reinforcing pad, the grindstone will not bend any more because it is supported from the back side by the reinforcing pad. Therefore, according to the present invention, it is possible to prevent the rotary elastic grindstone from being excessively deformed during use and being damaged. Further, according to the present invention, there is no need to give flexibility to the reinforcing pad itself, and it can be manufactured using the same hard synthetic resin as the conventional reinforcing pad, so that the manufacturing is easy and the manufacturing cost is increased. It has the advantage that can be suppressed.
また、上記外側支持部が、外周に向かうにつれ上記研削部から離れていくように設けられたものでは、上記研削部の撓みを上記外側支持部全体で支持することができるから、接触部の応力の集中を避けることができる。 Further, in the case where the outer support portion is provided so as to move away from the grinding portion toward the outer periphery, the bending of the grinding portion can be supported by the entire outer support portion. Can avoid concentration.
以下、本発明を実施するための形態を図面に基づいて説明する。なお、以下の好ましい実施形態の説明は、本質的に例示に過ぎず、本発明、その適用物或いはその用途を制限することを意図するものではない。 Hereinafter, embodiments for carrying out the present invention will be described with reference to the drawings. It should be noted that the following description of the preferred embodiment is merely illustrative in nature and is not intended to limit the present invention, its application, or its use.
<実施形態1>
本実施形態について図1〜図3に基づき説明する。
<
This embodiment will be described with reference to FIGS.
図1に示すように、1は円盤状の回転弾性砥石であり、2は砥石1よりも直径が小さい円盤状の補強パッドである。3は砥石1の研削部、4は研削部3から背面側へ突出した中央のオフセット部、5は研削部3とオフセット部4との境界部、6はオフセット部4の中心に設けられた中心孔である。補強パッド2は、砥石1の背面側に設けられている。補強パッド2は、研削部3を支持する環状の外側支持部7を備え、該外側支持部7の内側には、オフセット部4を支持する円盤状の中央支持部8が連続して形成されている。本実施形態に係る補強パッド2は、従来の補強パッドと同様に、硬質合成樹脂で成形することができる。
As shown in FIG. 1, 1 is a disk-shaped rotational elastic grindstone, and 2 is a disk-shaped reinforcing pad having a diameter smaller than that of the
まず、外側支持部7について図2に基づき説明する。本実施形態では、外側支持部7は境界部5付近では研削部3と接しているが、そこから外周側へと向かうにつれ徐々に研削部3から離れていくように傾斜する形状となっている。そして、外側支持部7の外縁部は、砥石の背面側へと反り返る形状となっている。このように、本実施形態の補強パッドでは、外側支持部7と研削部3との間に、研削部3が背面側に撓むことを許容する隙間が設けられている。
First, the outer
砥石1が加工物に押し当てられたとき、研削部3は境界部5を曲げ中心として背面側へと撓むが、比較的弱い力で押し当てられた場合には、外側支持部7と研削部3との間に設けられた隙間により、研削部3は補強パッド2に妨げられることなく撓むことができる。一方で、比較的強い力で押し当てられた場合には、研削部3が外側支持部7と接するまで撓むと、外側支持部7が背面側より研削部3を受けて支えるから、砥石1の過度の変形や亀裂破損を防ぐことができる。また、外側支持部7の外縁部は、砥石の背面側へと反り返る形状となっているから、研削部3が支持部7に接したときに、その接触部に応力が集中することが避けられ、砥石1の亀裂破損を防ぐことができる。
When the
砥石1が亀裂することなく撓むことができる最大の撓み角度は、砥石の結合材や補強芯材の種類などによって定まる。外側支持部7と研削部3との間の角度が、この最大の撓み角度よりも小さくなるように補強パッド2を設計する必要がある。
The maximum bending angle at which the
次に、中央支持部8について図3(A)に基づき説明する。図3の各図は、砥石1及び補強パッド2をグラインダー装置に取り付けたときの状態を示している。cはグラインダーの回転軸であり、dはグラインダー装置本体と補強パッド2とを接続する接続金具、eは回転軸cの先端側より砥石1を固定する固定金具である。9は中央支持部8の中央部に設けられた、回転軸cを挿入する貫通孔10を有するボス部である。ボス部9には、背面側に、貫通孔10の周囲部を一段下げた環状の段下部11が形成されているとともに、研削面側に、円筒状の嵌合部12が突出している。中央支持部8は、ボス部9より外周側に、オフセット部4のテーパー状部分に対応する傾斜部を有し、外側支持部7へとつながっている。
Next, the
図3(B)に示すように、従来の補強パッドXは砥石1と係止する部分がなく、ただ砥石1に重ねられているだけであった。このため、固定金具eを外すと、砥石1のみが回転軸cから外れ、補強パッドがグラインダーに取り残されてしまい、次に回転弾性砥石と異なる砥石を取り付ける場合、この補強パッドを取り外さねばならないという問題があった。さらに、回転弾性砥石をグラインダーに再度取り付ける際には、補強パッドを装着しなおさなければならないという問題があった。
As shown in FIG. 3 (B), the conventional reinforcing pad X has no portion to be engaged with the
これに対して、図3(A)に示す本実施形態の補強パッドは、嵌合部12が砥石1の中心孔6に密に嵌合しているから、固定金具eを外しても、砥石1のみが回転軸cから外れることがなく、補強パッド2を砥石1に固定したまま取り外すことができる。従って、本実施形態の補強パッドでは砥石を取り換える際の作業を効率よく行うことができる。
On the other hand, the reinforcing pad of the present embodiment shown in FIG. 3A has the
また、従来の補強パッドXは、砥石1のオフセット部の形状によって、回転軸cの先端が研削面よりも突出してしまうという問題があった。回転弾性砥石は、ある程度撓んだ状態で使用されるため、研削面よりも回転軸cが突出していると、これが加工物を傷つけてしまっていた。これに対して、本実施形態の補強パッド2は、接続金具dが段下部11に嵌合するようにボス部9が厚く形成されているから、このボス部9の厚みの分だけ砥石1が回転軸cの先端側へずれて、回転軸cが研削面よりも突出することがない。従って、本実施形態に係る補助パッド2によれば、回転軸cが研削の邪魔になることがない。
Further, the conventional reinforcing pad X has a problem that the tip of the rotating shaft c protrudes from the grinding surface due to the shape of the offset portion of the
<実施形態2>
本実施形態は図4に示す。
<
This embodiment is shown in FIG.
本実施形態に係る補強パッド22は、外側支持部27が回転弾性砥石1の研削部3と一定の距離を保ち、平行に位置していることを特徴とする。本実施形態のものでも、外側支持部27の外縁部は、砥石の背面側へと反り返る形状となっている。
The reinforcing
本実施形態の補強パッド22では、外側支持部27が砥石1の研削部3とまったく接していないが、研削部3が加工物に押し当てられると、実施形態1と同様に、研削部3は、境界部5を曲げ中心として背面側へと撓み、図中の二点鎖線で示した状態となる。本実施形態の補強パッド22では、境界部5を中心として背面側へと撓み、外側支持部27と接したときの研削部3の撓み角度が、砥石1が亀裂することなく撓むことができる最大の撓み角度よりも小さくなるように補強パッド22を設計する必要がある。
In the reinforcing
従って、このような形状の補強パッド22であっても、比較的弱い力で押し当てられた場合には、外側支持部27と研削部3との間に設けられた隙間により、研削部3は補強パッド22に妨げられることなく撓むことができる。一方で、比較的強い力で押し当てられた場合には、研削部3が外側支持部27と接するまで撓むと、外側支持部27が背面側より研削部3を受けて支えるから、砥石1の過度の変形や亀裂破損を防ぐことができる。また、外側支持部27の外縁部は、砥石の背面側へと反り返る形状となっているから、研削部3が外側支持部27に接したときに、その接触部に応力が集中することが避けられ、砥石1の亀裂破損を防ぐことができる。
Therefore, even if the reinforcing
<実施形態3>
本実施形態は図5に示す。
<
This embodiment is shown in FIG.
本実施形態に係る補強パッド32は、外側支持部37が境界部5より外周側で研削部3と接し、そこから外縁部に至るまで外周側に向かうにつれ砥石1の背面側へと反り返る形状となっていることを特徴とする。このような形状であっても、外側支持部37は、外周に向かうにつれ研削部3から離れていくように設けられているため、外側支持部37と研削部3の背面との間に研削部3が背面側に撓むことを許容する隙間が形成され、背面側に撓んだ研削部3を外側支持部37が受けることができる。また、外側支持部37全体が砥石1の背面側へと反り返る形状となっているから、研削部3が背面側へ反り返るように撓み、外側支持部37に接したときに、接触面積が広くなり易く、その接触部に応力が集中することが避けられ、砥石1の亀裂破損を防ぐことができる。
The reinforcing
1 回転弾性砥石
2,22,32 補強パッド
3 研削部
4 オフセット部
7,27,37 外側支持部
8 中央支持部
DESCRIPTION OF
Claims (6)
上記オフセット部を背面から支える中央支持部と、
上記研削部の背面との間に該研削部が背面側に撓むことを許容する隙間をおいて設けられ、背面側に撓んだ上記研削部を受ける外側支持部とを備えていることを特徴とする回転弾性砥石の補強パッド。 A rotating elastic grindstone reinforcing pad comprising an annular grinding part and a central offset part protruding from the grinding part to the back side,
A central support for supporting the offset part from the back;
A gap that allows the grinding part to bend to the back side between the back of the grinding part, and an outer support part that receives the grinding part that has been bent to the back side. Reinforced pad for rotating elastic grindstone.
上記パッドは、上記オフセット部を背面から支える中央支持部と、上記研削部を背面から支える外側支持部とを備え、
上記研削部と上記外側支持部との間に、上記研削部が背面側に撓むことを許容する隙間が設けられ、該外側支持部は背面側に撓んだ研削部を受けることを特徴とする回転弾性砥石のパッドによる補強構造。 A reinforcing structure with a pad of a rotating elastic grindstone comprising an annular grinding part and a central offset part protruding from the grinding part to the back side,
The pad includes a center support portion that supports the offset portion from the back surface, and an outer support portion that supports the grinding portion from the back surface,
A gap is provided between the grinding part and the outer support part to allow the grinding part to bend to the back side, and the outer support part receives the grinding part bent to the back side. Reinforced structure with rotating elastic grindstone pad.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010142703A JP5560112B2 (en) | 2010-06-23 | 2010-06-23 | Reinforcement pad with rotating elastic grinding wheel and reinforcement structure with pad |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010142703A JP5560112B2 (en) | 2010-06-23 | 2010-06-23 | Reinforcement pad with rotating elastic grinding wheel and reinforcement structure with pad |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012006099A true JP2012006099A (en) | 2012-01-12 |
JP5560112B2 JP5560112B2 (en) | 2014-07-23 |
Family
ID=45537264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010142703A Active JP5560112B2 (en) | 2010-06-23 | 2010-06-23 | Reinforcement pad with rotating elastic grinding wheel and reinforcement structure with pad |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5560112B2 (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014200883A (en) * | 2013-04-04 | 2014-10-27 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | Pad for supporting abrasive disc |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3879178A (en) * | 1973-07-02 | 1975-04-22 | Norton Co | Discard mount for disc type grinding wheel |
JPS5734361U (en) * | 1980-08-04 | 1982-02-23 | ||
JPS57157456U (en) * | 1981-03-25 | 1982-10-02 | ||
JPH091463A (en) * | 1995-06-16 | 1997-01-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Grinding body for grinding on-line roll |
EP1982796A1 (en) * | 2007-04-20 | 2008-10-22 | Tyrolit Schleifmittelwerke Swarovski KG | Grinding wheel |
-
2010
- 2010-06-23 JP JP2010142703A patent/JP5560112B2/en active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3879178A (en) * | 1973-07-02 | 1975-04-22 | Norton Co | Discard mount for disc type grinding wheel |
JPS5734361U (en) * | 1980-08-04 | 1982-02-23 | ||
JPS57157456U (en) * | 1981-03-25 | 1982-10-02 | ||
JPH091463A (en) * | 1995-06-16 | 1997-01-07 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | Grinding body for grinding on-line roll |
EP1982796A1 (en) * | 2007-04-20 | 2008-10-22 | Tyrolit Schleifmittelwerke Swarovski KG | Grinding wheel |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014200883A (en) * | 2013-04-04 | 2014-10-27 | スリーエム イノベイティブ プロパティズ カンパニー | Pad for supporting abrasive disc |
EP2981392A4 (en) * | 2013-04-04 | 2017-02-08 | 3M Innovative Properties Company | Pad for supporting abrasive disc |
US10335917B2 (en) | 2013-04-04 | 2019-07-02 | 3M Innovative Properties Company | Pad for supporting abrasive disc |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5560112B2 (en) | 2014-07-23 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5233888B2 (en) | Method for manufacturing carrier for double-side polishing apparatus, carrier for double-side polishing apparatus and double-side polishing method for wafer | |
JP4904960B2 (en) | Carrier for double-side polishing apparatus, double-side polishing apparatus and double-side polishing method using the same | |
JP5151800B2 (en) | Carrier for double-side polishing apparatus, double-side polishing apparatus and double-side polishing method using the same | |
JP6529210B2 (en) | Polishing method using polishing disk and article used therefor | |
JP2009202259A (en) | Carrier for double-sided polishing device, double-sided polishing device using the same, and double-sided polishing method | |
JP4780142B2 (en) | Wafer manufacturing method | |
JP5730929B2 (en) | Cup type rotating grindstone | |
JP2010179375A (en) | Grinding object carrier and manufacturing method of ground product | |
JP5648623B2 (en) | Carrier for double-side polishing apparatus, double-side polishing apparatus and double-side polishing method using the same | |
JP5212041B2 (en) | Carrier for double-side polishing apparatus, double-side polishing apparatus and double-side polishing method using the same | |
WO2017061486A1 (en) | Carrier ring, grinding device, and grinding method | |
JP5560112B2 (en) | Reinforcement pad with rotating elastic grinding wheel and reinforcement structure with pad | |
JP5605260B2 (en) | Insert material and double-side polishing machine | |
WO2009088121A1 (en) | Jig for fixing grinder band | |
US20220388123A1 (en) | Detachable grinding disk for electric grinder with high adhesion efficiency | |
JP2011240460A (en) | Carrier for double-side polishing apparatus and double-side polishing apparatus using the same, and double-side polishing method | |
KR101350147B1 (en) | Velcro type grinding pad having flexible property and method of manufacturing the same | |
CN102672597A (en) | Double-side polishing apparatus | |
JP6300698B2 (en) | Polishing support member | |
JP2007007747A (en) | Retainer for matter to be polished and polishing head | |
JP2010214579A (en) | Reusable and reproducible polishing pad with auxiliary plate | |
JP5789870B2 (en) | Auxiliary plate and polishing apparatus for polishing pad having anti-soaking structure | |
JP2010017779A (en) | Wafer processing method | |
KR20130034127A (en) | A wafer notch wheel and an apparatus for grinding a wafer notch | |
JP5506765B2 (en) | Polishing drum |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20121109 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130326 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140225 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140227 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140425 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140527 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140609 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5560112 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |