JP2012089728A - 発光装置及びその製造方法 - Google Patents
発光装置及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012089728A JP2012089728A JP2010236266A JP2010236266A JP2012089728A JP 2012089728 A JP2012089728 A JP 2012089728A JP 2010236266 A JP2010236266 A JP 2010236266A JP 2010236266 A JP2010236266 A JP 2010236266A JP 2012089728 A JP2012089728 A JP 2012089728A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light emitting
- emitting device
- emitting element
- base
- convex portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 20
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 84
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 73
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 69
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 25
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 17
- 238000004070 electrodeposition Methods 0.000 claims description 10
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 claims description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims description 4
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 abstract description 42
- 239000000463 material Substances 0.000 abstract description 18
- 238000000605 extraction Methods 0.000 abstract description 12
- 238000001579 optical reflectometry Methods 0.000 abstract 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 23
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 23
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 22
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 13
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 13
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 9
- 229920002050 silicone resin Polymers 0.000 description 8
- 229910052784 alkaline earth metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 6
- 239000003822 epoxy resin Substances 0.000 description 6
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 6
- 229920000647 polyepoxide Polymers 0.000 description 6
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 5
- -1 alkaline earth metal sulfide Chemical class 0.000 description 4
- 150000001342 alkaline earth metals Chemical class 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 229910052747 lanthanoid Inorganic materials 0.000 description 4
- 150000002602 lanthanoids Chemical class 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 4
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 4
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 4
- 238000004382 potting Methods 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004954 Polyphthalamide Substances 0.000 description 3
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 230000005496 eutectics Effects 0.000 description 3
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 3
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 3
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 3
- 229920006375 polyphtalamide Polymers 0.000 description 3
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 3
- HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N Chloroform Chemical compound ClC(Cl)Cl HEDRZPFGACZZDS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N Palladium Chemical compound [Pd] KDLHZDBZIXYQEI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004734 Polyphenylene sulfide Substances 0.000 description 2
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 229910052915 alkaline earth metal silicate Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 2
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 2
- LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N haloperidol Chemical compound C1CC(O)(C=2C=CC(Cl)=CC=2)CCN1CCCC(=O)C1=CC=C(F)C=C1 LNEPOXFFQSENCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 229920000069 polyphenylene sulfide Polymers 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 2
- 239000011342 resin composition Substances 0.000 description 2
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 229920005992 thermoplastic resin Polymers 0.000 description 2
- 229920001187 thermosetting polymer Polymers 0.000 description 2
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 2
- WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N tungsten Chemical compound [W] WFKWXMTUELFFGS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010937 tungsten Substances 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004925 Acrylic resin Substances 0.000 description 1
- 229920000178 Acrylic resin Polymers 0.000 description 1
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015363 Au—Sn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052684 Cerium Inorganic materials 0.000 description 1
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052693 Europium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920000106 Liquid crystal polymer Polymers 0.000 description 1
- 239000004977 Liquid-crystal polymers (LCPs) Substances 0.000 description 1
- ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N Molybdenum Chemical compound [Mo] ZOKXTWBITQBERF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052779 Neodymium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N Orthosilicate Chemical compound [O-][Si]([O-])([O-])[O-] BPQQTUXANYXVAA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PHXNQAYVSHPINV-UHFFFAOYSA-N P.OB(O)O Chemical compound P.OB(O)O PHXNQAYVSHPINV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229920001807 Urea-formaldehyde Polymers 0.000 description 1
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- 150000001298 alcohols Chemical class 0.000 description 1
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 1
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004645 aluminates Chemical class 0.000 description 1
- 238000005219 brazing Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 229910017052 cobalt Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010941 cobalt Substances 0.000 description 1
- GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N cobalt atom Chemical compound [Co] GUTLYIVDDKVIGB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 239000000945 filler Substances 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N gallic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC(O)=C(O)C(O)=C1 LNTHITQWFMADLM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000000116 mitigating effect Effects 0.000 description 1
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011733 molybdenum Substances 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N neodymium atom Chemical compound [Nd] QEFYFXOXNSNQGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012454 non-polar solvent Substances 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 238000013021 overheating Methods 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000005011 phenolic resin Substances 0.000 description 1
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 1
- 229910052950 sphalerite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011029 spinel Substances 0.000 description 1
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052723 transition metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000003673 urethanes Chemical class 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 1
- XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N zinc oxide Inorganic materials [Zn]=O XLOMVQKBTHCTTD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Led Device Packages (AREA)
Abstract
【解決手段】表面に凹部を有する基体絶縁部及び一部が前記基体絶縁部に埋め込まれ、かつ凹部底面及び裏面で露出する基体導電部からなり、前記凹部中央に凸部を有する基体の該凸部上面に半導体発光素子を載置し、該半導体発光素子を、前記基体の基体導電部と電気的に接続し、前記基体導電部に電圧を印加して、前記半導体発光素子及び前記基体導電部表面に蛍光体粒子を付着させ、前記凸部を囲む凹部内に反射部材を充填して、前記基体導電部表面に付着した蛍光体粒子を被覆する工程を含む発光装置の製造方法。
【選択図】図1
Description
近年、高耐熱、高耐候、低コスト、形状の自由度などから、セラミックを基体とするLEDが一般的に出回っている。セラミック自体は銀などの金属膜に比べて反射率が低いため、発光素子を搭載する基体の凹部底面には銀を鍍金し、基体からの光の取り出しを向上させていることが多い。
そこで、無機膜又は金属膜等で銀をコーティングすることが提案されている(例えば、特許文献1等)が、前者は長期間に渡って銀の反射率を維持するには、未だ十分でない。また、後者では、耐候性は問題ないが、銀に比べ反射率の低下が避けられない。
そこで、反射率の高い材料を含有した樹脂で基体の凹部側面を被覆することもある(例えば、特許文献2等)が、発光素子の極近傍まで樹脂で被覆することは困難である。
これに対して、蛍光体層を形成することを意図しない部位にフォトレジストを形成して絶縁し、電着により蛍光体層を形成する方法が提案されているが(例えば、特許文献3等)、フォトレジストの形成及び除去の工程数が増大することに加え、フォトレジストのアライメントずれにより、蛍光体層を形成することを意図しない部位を完全にフォトレジストで被覆することは困難である。
(1)(a)表面に凹部を有する基体絶縁部及び一部が前記基体絶縁部に埋め込まれ、かつ凹部底面及び裏面で露出する基体導電部からなり、前記凹部中央に凸部を有する基体の該凸部上面に半導体発光素子を載置し、
(b)該半導体発光素子を、前記基体の基体導電部と電気的に接続し、
(c)前記基体導電部に電圧を印加して、前記半導体発光素子及び前記基体導電部表面に蛍光体粒子を付着させ、
(d)前記凸部を囲む凹部内に反射部材を充填して、前記基体導電部表面に付着した蛍光体粒子を被覆する工程を含む発光装置の製造方法。
(3)前記反射部材を、前記凸部の外縁において、該凸部の上面と同等又はそれより底面側に配置する上記の発光装置の製造方法。
(4)前記反射部材を、前記凹部の外縁から凸部の外縁の間において、底面側に凸の曲面に成形する上記の発光装置の製造方法。
(5)前記凸部が、半導体発光素子と同等又はそれより小さい上面を有する上記の発光装置の製造方法。
(6)前記凸部が、凹部の深さと同等の高さを有する上記の発光装置の製造方法。
(7)前記基体導電部は、さらに前記凸部表面で露出している上記の発光装置の製造方法。
(8)前記凸部は、前記基体から分離可能であり、内部に保護素子を備える上記の発光装置の製造方法。
(9)表面に凹部を有する基体絶縁部と、一部が前記基体絶縁部に埋め込まれ、かつ少なくとも凹部裏面で露出する基体導電部とからなる基体と、
半導体発光素子と、
該半導体発光素子及び前記凹部底面で露出する基体導電部表面に配置された蛍光体粒子と、
前記凹部内に配置された反射部材と、
前記半導体発光素子を被覆する封止部材とを備えてなり、
前記凹部は、その中央に凸部を有し、
前記半導体発光素子は、前記凸部上に載置され、
前記反射部材は、前記凹部内において、前記基体導電部表面に配置された蛍光体粒子を被覆している発光装置。
(10)前記蛍光体粒子が、電着法により配置されている上記の発光装置。
(11)前記凸部が、半導体発光素子と同等又はそれより小さい上面を有する上記の発光装置。
(12)前記凸部が、凹部の深さと同等の高さを有する上記の発光装置。
(13)前記反射部材が、前記凹部の外縁から凸部の外縁の間に底面側に凸の曲面を有する上記の発光装置。
基体11は、例えば、図2(A)〜(D)に示すように、基体絶縁部11a及び基体導電部11b、11ba、11bb、11bcとからなる。
基体絶縁部11aは、その表面に凹部11cを有している。
基体の凹部11c内の中央には、凸部11dが配置されている。言い換えると、凸部11dの周囲に凹部11cを有している。この凸部11dは、その上面に半導体発光素子12を搭載するためのものである。
凸部の上面の大きさは、半導体発光素子と同等か、それより小さいことが好ましい。特に、凸部の上面は、半導体発光素子によって、その全てが被覆される大きさであることがより好ましい。これにより、基体絶縁部による光の吸収を回避することができる。特に、凸部上面を半導体発光素子より小さなサイズとすることにより、より半導体発光素子の近傍まで、後述する反射部材を配置することができるため、さらなる光取り出し効率及び光品質の向上を図ることができる。
また、凸部の上面は、平坦面であり、凹部の底面に対して略平行であることが好ましい。
凸部の縦断面形状は、四角形、上に向かって幅狭又は幅広の台形状等であってもよいし、その側面に相当する部位が曲面を有していてもよい。
凸部の高さは、特に限定されるものではないが、半導体発光素子からの光の指向性を考慮すると、凹部の深さと同等であることが好ましい。ここで同等とは、凹部の深さ±200μm程度を許容することを意味する。
基体11は、上述した凹部の形状を無視すると、略板状の部材であることが好ましい。
基体導電部11ba、11bbは、図2(A)〜(C)に示すように、少なくとも、基体11凹部11c内の凸部11dの上面に配置されている。この場合、凸部上面で半導体発光素子12の電極と電気的に接続されるために、互いに分離した少なくとも一対の基体導電部11ba、11bbとして配置されている。また、凸部11dの上面から側面に渡って配置する基体導電部11bcが、一対の基体導電部11ba、11bbとそれぞれ連結されて延長し、凹部11cの底面及び発光装置の裏面側に露出する基体導電部11bと連結されていてもよい。
あるいは、図3(A)〜(C)に示すように、凸部11dの上面で互いに分離した一対の基体導電部11ba、11bbは、凸部11dの上面から凸部11d内部に形成された基体導電部11bc’と連結されて延長し、凹部11cの底面及び発光装置の裏面側に露出する基体導電部11bと連結されていてもよい。
基体導電部11bの凹部内における平面形状、裏面における露出形状は、特に限定されず、発光装置の大きさ、形状、発光素子の電極位置、発光素子配列、配置可能なスペース等を考慮して、その露出面積が適切となるように、あるいは、基体絶縁部及び基体導電部の積層構造を考慮して、適宜決定することができる。また、凹部の底面に露出した基体導電部は、半導体発光素子や保護素子を搭載する際や、集合基板を分割する際のアライメントマークとして利用することができる。
凸部11d、21dは、実質的に基体絶縁部と同じ材料によって成形され、凸部上面に露出した基体導電部11ba、11bb、21ba及び21bb、凸部上面から凸部側面において露出した又は凸部上面から凸部内部において配置した基体導電部11bc、11bc’を有したものであることが好ましい。
あるいは、その上に搭載される半導体発光素子に適切な電力を供給できる構造を有していれば、凸部11d、21dの内部に、保護素子、メタライズ層、バンプ層、導電層等の1以上のデバイスを搭載するためにマイクロ加工された半導体基板等、いわゆるサブマウントとして機能し得る構成を有していてもよい。
半導体発光素子12は、基体11の凹部11c内の凸部11d上に載置される。
半導体発光素子は、いわゆる発光ダイオードと呼ばれる素子であればどのようなものでもよい(以下「発光素子」と記載することがある)。例えば、基板上に、InN、AlN、GaN、InGaN、AlGaN、InGaAlN等の窒化物半導体、III−V族化合物半導体、II−VI族化合物半導体等、種々の半導体によって、発光層を含む積層構造が形成されたものが挙げられる。
半導体の構造としては、MIS接合、PIN接合、PN接合などのホモ構造、ヘテロ結合あるいはダブルヘテロ結合のものが挙げられる。
発光素子を構成する各半導体層には、Si、Ge等のドナー不純物及び/又はZn、Mg等のアクセプター不純物がドープされていてもよい。
発光層は、量子効果が生ずる薄膜に形成した単一量子井戸構造、多重量子井戸構造としてもよい。
発光素子は、異なる面(基板に対する両面側)に一対の電極が形成されているものを用いてもよいが、後述する蛍光体粒子の被覆方法を考慮して、同じ面(基板に対する同一面側)に一対の電極が形成されたものを用いることが好ましい。そして、これら電極面を下方(凹部の底面側)に向けて載置する(フェイスダウン)ことが好ましい。なお、サファイアのような絶縁性基板には、後述する蛍光体粒子の被覆方法を用いて蛍光体を付着することができないため、基板表面に蛍光体を付着させるための導電層を形成する必要がある。この導電層としては、例えば、アルミニウムの金属薄膜やインジウムと錫の複合酸化物(ITO)膜等を用いることができる。
蛍光体粒子は、半導体発光素子からの光を、異なる波長に変換させるものであり、発光素子からの光より短波長に変換させるものでもよいが、光取り出し効率の観点から長波長に変換させるものが好ましい。
蛍光体粒子13は、少なくとも、半導体発光素子の表面及び基体の凹部底面で露出する基体導電部表面に配置/付着されている。また、凸部の態様によっては、凸部の側面にも配置/付着されることがある。
蛍光体粒子の形状は、特に限定されないが、例えば、球形又はこれに近似する形状が好ましく、1〜100μm程度、5〜50μm程度、さらに10〜20μm程度の粒径を有することがより好ましい。
蛍光体粒子は、1種の蛍光体を含有する単層、2種以上の蛍光体が混合された単層、2種以上の蛍光体が別々の層に含有された2層以上の積層、2種以上の蛍光物質等がそれぞれ混合された単層の2層以上の積層のいずれであってもよい。
蛍光体粒子が半導体発光素子の表面に被覆する厚みは、特に限定されないが、例えば、10〜200μm程度の層厚が適している。
反射部材14は、基体11の凹部11c内に配置されている。
反射部材14を構成する材料は、特に限定されるものではなく、発光素子から出射される波長の光を50%以上、60%以上、好ましくは70%以上、80%以上、より好ましくは90%以上反射させることができる材料である。また、発光素子からの光などが透過、吸収しにくい部材が好ましい。
反射部材14は、基体11の凹部11c底面に露出する基体導電部11bと接触することがあるため、絶縁性の材料であることが好ましい。また、基体11及び基体導電部11b等と、線膨張係数の差が小さいものが好ましい。
これらの材料は単独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。これにより、光の透過率を調整することができ、また、樹脂の線膨張係数を調整することが可能となる。
これに対して、反射部材14は、基体の凹部内において、基体導電部の表面に配置された蛍光体粒子を被覆するように配置されている。つまり、基体11の凹部11c内表面及び凸部11dの側面を被覆するように配置されている。このように、色調バランスを損なう分布によって配置された蛍光体を被覆することにより、必要な部位に配置された蛍光体のみを効果的に励起させることが可能となり、光品質を維持/向上させることができる。
なお、反射部材14は、発光素子の側面を被覆していてもよい。この場合、発光素子側面からの光が一旦、発光素子内部へ押し戻され、発光素子の上面からのみ光が出射されることとなる。これにより、発光装置として輝度を向上させることができる。
反射部材の厚さは、最小の部位(つまり、底面側に凸の部位)において、基体絶縁部11a及び基体導電部11b上に付着した蛍光体粒子13を薄膜状で被覆する程度以上であればよく、最小の部位で、30μm程度以上の厚みを有していることが好ましい。これにより、基体絶縁部11aによる光の吸収を抑制し、効率よく光を取り出すことができるとともに、基体導電部11b上に付着した蛍光体粒子13を半導体発光素子からの光に晒すことを回避することができ、色調バランスを向上させることができる。また、凹部11cの深さにもよるが、最小の部位で、50〜100μm程度の厚みを有していることがより好ましい。これによって、より効率良く光を反射させることができる。
さらに、反射部材14が、発光素子の載置面と凸部の上面の間において、基体導電部11ba、11bbが分離している領域、つまり、基体が露出している領域を被覆するように充填されることが好ましい。これにより基体導電部11ba、11bbの間から光が下方向に抜けるのを抑制することができる。
本発明の発光装置は、発光素子を被覆する封止部材を備えている。
封止部材は、発光素子からの光に対して透光性で、かつ、耐光性及び絶縁性を有するものが好ましい。具体的には、シリコーン樹脂組成物、変性シリコーン樹脂組成物、エポキシ樹脂組成物、変性エポキシ樹脂組成物、アクリル樹脂組成物等、シリコーン樹脂、エポキシ樹脂、ユリア樹脂、フッ素樹脂及びこれらの樹脂を少なくとも1種以上含むハイブリッド樹脂等の有機物が挙げられる。
ここで、透光性とは、発光素子から出射された光を70%程度以上、80%程度以上、90%程度以上、95%程度以上透過させる性質を意味する。
封止部材の形状は、特に限定されるものではないが、基体の凹部上方にのみ配置されていることが好ましい。つまり、通常、半導体発光素子は、その外周が基体絶縁部の凹部によって壁状に包囲されているため、封止部材は、蛍光体粒子及び反射部材の上であって、凹部内を埋設する形態で配置されている。
また、配光特性等を考慮して、例えば、板状、上面を凸状レンズ形状、凹状レンズ形状、フレネルレンズ形状等としてもよいし、別個にレンズ形状の部材を併設してもよい。例えば、基体の凹部上に光透過性の高い樹脂等によってレンズを成形する場合には、レンズ効果による光取り出しの向上を図ることができる。
なお、封止部材には、必要に応じて、着色剤、光拡散剤、光反射材、各種フィラー等の添加剤が含有されていてもよい。
本発明の発光装置では、発光素子からの光の取り出しを効率的に行うために、また、その特性及び/又は信頼性を確保するために、上述した以外に、保護素子、レンズ部材等、種々の部品が適所に備えられていてもよい。
(a)表面に凹部を有する基体絶縁部及び一部が前記基体絶縁部に埋め込まれ、かつ凹部底面及び裏面で露出する基体導電部からなり、前記凹部中央に凸部を有する基体の該凸部上面に半導体発光素子を載置し、
(b)該半導体発光素子を、前記基体の基体導電部と電気的に接続し、
(c)前記基体導電部に電圧を印加して、前記半導体発光素子及び前記基体導電部表面に蛍光体粒子を付着させ、
(d)前記凸部を囲む凹部内に反射部材を充填して、前記基体導電部表面に付着した蛍光体粒子を被覆する。
工程(c)では、具体的には、まず、発光装置を、蛍光体粒子を含有する溶液中に浸漬し、発光装置と、溶液中に存在する電極との間にそれぞれ正又は負の電圧を印加する。これにより、発光装置の表面に露出した導電性の部材である半導体発光素子及び基体導電部表面に蛍光体粒子を均一に付着させる。必要に応じて、溶液の組成、印加する電圧の極性及び/又は大きさ等を適宜変更して、このような工程を1回以上繰り返してもよい。
また、印加電圧は、特に限定されるものではなく、例えば、5V〜80V程度が挙げられる。
電着の時間は、特に限定されず、用いる蛍光体の種類、印加電圧の大きさ、蛍光体粒子の積層厚み等によって、適宜調節することができる。例えば、3分から20分間程度が挙げられる。
溶液の温度は、通常、常温とすることが適している。
また、反射部材が、凸部の外縁において、基体の凸部上面と同等又はそれより下に配置するように、意図的に凹部が配置するように充填することが好ましい。
さらに、凹部の外縁から凸部の外縁の間において、底面側に凸の曲面に成形することが好ましい。例えば、基体凹部の容積より、小さい体積の反射部材を塗布することで、毛細管現象により、反射部材は優先的に基体凹部の壁に沿って這い上がり、意図的に反射部材を凹状に又は底面側に凸の曲面に成形することができる。また、反射部材の凹部は、反射部材の粘度及び基体凹部の材料への反射部材の濡れ性によっても調整することが可能である。
これにより、発光素子から横方向及び凹部底面方向に出射される光を、効率的に意図する方向に取り出すことが可能となる。
さらに、反射部材を半導体発光素子の周囲に配置することで、発光素子からの光が基体によって吸収されるのを防ぐことができる。
以下に、本発明の発光装置について図面に基づいて詳細に説明する。
この実施形態の発光装置10は、図1(A)〜(C)に示すように、基体11と、半導体発光素子12と、蛍光体粒子13と、反射部材14と、封止部材15とを備えてなる。
基体11は、図2(A)〜(D)に示すように、アルミナセラミックスからなる基体絶縁部11aと、タングステンからなる基体導電部11bとを備えて構成される。
基体絶縁部11aは、その表面に深さ100〜500μm程度の凹部11cを有しており、その凹部11cの中央に、その上面が略凹部11cの深さに相当する高さの基体11と一体的に成形された凸部11dが配置されている。凸部11dの上面の面積は、略半導体発光素子12の面積と一致している。
基体導電部11bは、その一部が基体絶縁部11aに埋め込まれており、凹部11c底面と基体11の裏面とにおいて、一対としてそれぞれ分離して露出し、半導体発光素子12と外部とを接続する端子として機能している。また、凸部上面において、半導体発光素子の一対の電極に対応して、基体導電体11ba及び11bbが配置されており、これらの基体導電体11ba及び11bbは、それぞれ、凸部11dの側面に形成された基体導電部11bcを介して、基体11の凹部11cの底面で露出した基体導電部11bと連結されている。
反射部材14は、TiO2(平均粒径:0.26μm程度)が含有されたシリコーン樹脂(TiO2濃度:0.3g/cm3程度)からなり、凸部11dが形成されている領域以外の凹部11c内表面(つまり、凹部11cの底面、内側面、凸部の側面)を略完全に被覆するように、その上面が底面側に凸の曲面を構成する形状で配置されている。また、この反射部材14によって、半導体発光素子12の上面及び側面に配置された蛍光体粒子13以外の蛍光体粒子13が被覆されている。反射部材14の最小膜厚は、50μm程度であり、最大膜厚は、凸部11dの高さと等しく、500μm程度である。
反射部材14は、凸部11dの外縁においては、この凸部11dの上面と同等の高さに位置している。
また、電着によって半導体発光素子の表面以外の導電性の部材表面に付着する蛍光体粒子を、反射部材によって確実に被覆することができるために、意図しない部位での蛍光体粒子による励起光の吸収を回避して、より光取り出し効率を向上させることが可能となる。
さらに、反射部材が、半導体発光素子の近傍まで基体を被覆するため、基体による光吸収を最小源に止めることができる。また、反射部材の上面が凹部の底面側に凸の曲面を有しているために、半導体発光素子から横方向又は底面方向に出射される光を、その曲面で有効に反射させることができ、より一層の光取り出し効率の向上を図ることができる。
まず、基体11を準備し、基体の凸部上面に半導体発光素子を、フェイスダウンで搭載する。半導体発光素子は、金属共晶接合法によって接合する。
次いで、YAG(粒径1μm〜20μm程度)を含有するイソプロピルアルコール溶液中に、発光装置を浸漬し、3〜20分間程度5〜80V程度の電圧を印加して、導電性の部材の表面に蛍光体粒子を付着させる。
続いて、反射部材を構成する材料を適当な粘度に調節し、凸部を囲む凹部内にポッティングする。この際、反射部材が凹部の外周において凹部の深さと一致するとともに、凸部の外縁に一致するような供給量でポッティングする。これにより、半導体発光装置の上面及び側面に付着した蛍光体粒子以外の蛍光体粒子を被覆することができる。
その後、同様にポッティングによって封止部材を成形する。
この実施形態の発光装置では、図3(A)〜(C)に示すように、凸部11dの上面に形成された基体導電部11ba及び11bbが、それぞれ、凸部11dの内部に配置された基体導電部11bcを介して、基体11の凹部11c底面に配置した基体導電部11bと連結されており、そのために、蛍光体粒子が凸部側面には配置されていない以外は、実施形態1の発光装置10と実質的に同様の構成である。
また、この発光装置は、実質的に実施形態1と同様に製造することができる。
このような発光装置は、実施形態1と同様の効果を有する。
この実施形態の発光装置では、図4(A)〜(D)に示すように、基体21における凹部21c内の凸部21dが、分離可能に成形されている以外は、実質的に実施形態1の発光装置10と実質的に同様の構成である。
なお、分離可能な凸部21d内には、図示しないが、保護素子が形成されている。
この発光装置は、半導体発光素子を凸部上面に載置し、接合部材を用いて電気的に接続するとともに、この凸部を、発光素子の搭載前後のいずれかに、基体21の凹部21cの底面の基体絶縁部21b上に、電気的に接続することにより実質的に実施形態1と同様に製造することができる。
このような発光装置は、実施形態1と同様の効果を有する。
11、21 基体
11a、21a 基体絶縁部
11b、11ba、11bb、11bc、11bc’、21b、21ba、21bb 基体導電部
11c、21c 凹部
11d、21d 凸部
12 半導体発光素子
13 蛍光体粒子
14 反射部材
15 封止部材
Claims (13)
- (a)表面に凹部を有する基体絶縁部及び一部が前記基体絶縁部に埋め込まれ、かつ凹部底面及び裏面で露出する基体導電部からなり、前記凹部中央に凸部を有する基体の該凸部上面に半導体発光素子を載置し、
(b)該半導体発光素子を、前記基体の基体導電部と電気的に接続し、
(c)前記基体導電部に電圧を印加して、前記半導体発光素子及び前記基体導電部表面に蛍光体粒子を付着させ、
(d)前記凸部を囲む凹部内に反射部材を充填して、前記基体導電部表面に付着した蛍光体粒子を被覆する工程を含むことを特徴とする発光装置の製造方法。 - 前記半導体発光素子を、前記凸部表面の露出した基体導電部と電気的に接続する請求項1に記載の発光装置の製造方法。
- 前記反射部材を、前記凸部の外縁において、該凸部の上面と同等又はそれより底面側に配置する請求項1又は2に記載の発光装置の製造方法。
- 前記反射部材を、前記凹部の外縁から凸部の外縁の間において、底面側に凸の曲面に成形する請求項1〜3のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
- 前記凸部を、半導体発光素子と同等又はそれより小さい上面とする請求項1〜4のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
- 前記凸部を、凹部の深さと同等の高さとする請求項1〜5のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
- 前記基体導電部を、さらに前記凸部表面で露出させる請求項1〜6のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
- 前記凸部は、前記基体から分離可能であり、内部に保護素子を備える請求項1〜7のいずれか1つに記載の発光装置の製造方法。
- 表面に凹部を有する基体絶縁部と、一部が前記基体絶縁部に埋め込まれ、かつ少なくとも凹部裏面で露出する基体導電部とからなる基体と、
半導体発光素子と、
該半導体発光素子及び前記凹部底面で露出する基体導電部表面に配置された蛍光体粒子と、
前記凹部内に配置された反射部材と、
前記半導体発光素子を被覆する封止部材とを備えてなり、
前記凹部は、その中央に凸部を有し、
前記半導体発光素子は、前記凸部上に載置され、
前記反射部材は、前記凹部内において、前記基体導電部表面に配置された蛍光体粒子を被覆していることを特徴とする発光装置。 - 前記蛍光体粒子が、電着法により配置されている請求項9に記載の発光装置。
- 前記凸部が、半導体発光素子と同等又はそれより小さい上面を有する請求項9又は10に記載の発光装置。
- 前記凸部が、凹部の深さと同等の高さを有する請求項9〜11のいずれか1つに記載の発光装置。
- 前記反射部材が、前記凹部の外縁から凸部の外縁の間に底面側に凸の曲面を有する請求項10〜12のいずれか1つに記載の発光装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010236266A JP5472031B2 (ja) | 2010-10-21 | 2010-10-21 | 発光装置及びその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010236266A JP5472031B2 (ja) | 2010-10-21 | 2010-10-21 | 発光装置及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012089728A true JP2012089728A (ja) | 2012-05-10 |
JP5472031B2 JP5472031B2 (ja) | 2014-04-16 |
Family
ID=46261013
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010236266A Expired - Fee Related JP5472031B2 (ja) | 2010-10-21 | 2010-10-21 | 発光装置及びその製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5472031B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9559267B2 (en) | 2014-11-29 | 2017-01-31 | Nichia Corporation | Light-emitting device |
US9640727B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-05-02 | Nichia Corporation | Light emitting device |
WO2018030486A1 (ja) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 京セラ株式会社 | 電気素子搭載用パッケージ、アレイ型パッケージおよび電気装置 |
TWI669029B (zh) * | 2016-11-11 | 2019-08-11 | 日商京瓷股份有限公司 | Package for mounting an electric component, array package, and electrical device |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003069086A (ja) * | 2001-06-11 | 2003-03-07 | Lumileds Lighting Us Llc | コンフォーマルに被覆された蛍光変換発光半導体構造を製造するための電気泳動の使用 |
JP2003298106A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-17 | Lumileds Lighting Us Llc | 発光素子に自己整合及び自己露光フォトレジストパターンを作製する方法 |
JP2004040099A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-02-05 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | オプトエレクトロニクス素子およびオプトエレクトロニクス素子の製造方法 |
JP2007294621A (ja) * | 2006-04-24 | 2007-11-08 | Sharp Corp | Led照明装置 |
JP2010537400A (ja) * | 2007-08-16 | 2010-12-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 薄型の側面発光ledに連結される光学要素 |
WO2012029695A1 (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-08 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置とその製造方法 |
-
2010
- 2010-10-21 JP JP2010236266A patent/JP5472031B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003069086A (ja) * | 2001-06-11 | 2003-03-07 | Lumileds Lighting Us Llc | コンフォーマルに被覆された蛍光変換発光半導体構造を製造するための電気泳動の使用 |
JP2003298106A (ja) * | 2002-03-22 | 2003-10-17 | Lumileds Lighting Us Llc | 発光素子に自己整合及び自己露光フォトレジストパターンを作製する方法 |
JP2004040099A (ja) * | 2002-06-28 | 2004-02-05 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | オプトエレクトロニクス素子およびオプトエレクトロニクス素子の製造方法 |
JP2007294621A (ja) * | 2006-04-24 | 2007-11-08 | Sharp Corp | Led照明装置 |
JP2010537400A (ja) * | 2007-08-16 | 2010-12-02 | コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ | 薄型の側面発光ledに連結される光学要素 |
WO2012029695A1 (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-08 | 日亜化学工業株式会社 | 発光装置とその製造方法 |
Cited By (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US9559267B2 (en) | 2014-11-29 | 2017-01-31 | Nichia Corporation | Light-emitting device |
US9640727B2 (en) | 2014-12-26 | 2017-05-02 | Nichia Corporation | Light emitting device |
KR102449952B1 (ko) * | 2016-08-10 | 2022-10-04 | 교세라 가부시키가이샤 | 전기 소자 탑재용 패키지, 어레이형 패키지, 및 전기 장치 |
JP6305668B1 (ja) * | 2016-08-10 | 2018-04-04 | 京セラ株式会社 | 電気素子搭載用パッケージ、アレイ型パッケージおよび電気装置 |
KR20190034545A (ko) * | 2016-08-10 | 2019-04-02 | 쿄세라 코포레이션 | 전기 소자 탑재용 패키지, 어레이형 패키지, 및 전기 장치 |
CN109564900A (zh) * | 2016-08-10 | 2019-04-02 | 京瓷株式会社 | 电气元件搭载用封装体和阵列型封装体以及电气装置 |
JP2019195096A (ja) * | 2016-08-10 | 2019-11-07 | 京セラ株式会社 | 電気素子搭載用パッケージ、アレイ型パッケージおよび電気装置 |
WO2018030486A1 (ja) * | 2016-08-10 | 2018-02-15 | 京セラ株式会社 | 電気素子搭載用パッケージ、アレイ型パッケージおよび電気装置 |
US11784459B2 (en) | 2016-08-10 | 2023-10-10 | Kyocera Corporation | Electrical element mounting package, array package, and electrical device |
CN109564900B (zh) * | 2016-08-10 | 2024-03-08 | 京瓷株式会社 | 电气元件搭载用封装体和阵列型封装体以及电气装置 |
TWI669029B (zh) * | 2016-11-11 | 2019-08-11 | 日商京瓷股份有限公司 | Package for mounting an electric component, array package, and electrical device |
TWI765161B (zh) * | 2016-11-11 | 2022-05-21 | 日商京瓷股份有限公司 | 電氣元件搭載用封裝體、陣列型封裝體及電氣裝置 |
TWI845964B (zh) * | 2016-11-11 | 2024-06-21 | 日商京瓷股份有限公司 | 發光元件搭載用封裝體、陣列型封裝體及電氣裝置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5472031B2 (ja) | 2014-04-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US10230034B2 (en) | Light emitting device and method for manufacturing light emitting device | |
JP5582048B2 (ja) | 発光装置 | |
TWI608637B (zh) | 發光裝置及其製造方法 | |
JP5644352B2 (ja) | 発光装置及びその製造方法 | |
JP4826470B2 (ja) | 発光装置 | |
JP5781741B2 (ja) | 発光装置 | |
JP6542509B2 (ja) | 蛍光体及びそれを含む発光素子パッケージ | |
JP2012099544A (ja) | 発光装置の製造方法 | |
JP2012099545A (ja) | 発光装置及びその製造方法 | |
JP5125060B2 (ja) | 発光装置 | |
JP5472031B2 (ja) | 発光装置及びその製造方法 | |
JP2008047712A (ja) | 発光装置 | |
JP2011253846A (ja) | 発光装置及びその製造方法 | |
JP2004186309A (ja) | 金属パッケージを備えた半導体発光装置 | |
JP2006269778A (ja) | 光学装置 | |
JP6326830B2 (ja) | 発光装置及びそれを備える照明装置 | |
JP5899734B2 (ja) | 発光装置 | |
JP5949875B2 (ja) | 発光装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130709 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20131219 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140107 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140120 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5472031 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |