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JP2012061717A - Liquid droplet discharge head and inkjet recording apparatus - Google Patents

Liquid droplet discharge head and inkjet recording apparatus Download PDF

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JP2012061717A
JP2012061717A JP2010207638A JP2010207638A JP2012061717A JP 2012061717 A JP2012061717 A JP 2012061717A JP 2010207638 A JP2010207638 A JP 2010207638A JP 2010207638 A JP2010207638 A JP 2010207638A JP 2012061717 A JP2012061717 A JP 2012061717A
Authority
JP
Japan
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liquid
liquid chamber
ink
droplet discharge
discharge head
Prior art date
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Pending
Application number
JP2010207638A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takeshi Takemoto
武 竹本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
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Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a liquid droplet discharge head which efficiently has a large number of liquid chambers and is further miniaturized and to provide an inkjet recording apparatus.SOLUTION: The liquid droplet discharge head 10A includes: a nozzle plate 11 which includes a plurality of nozzles 16; a liquid chamber substrate 12 which is joined to the nozzle plate 11, to be provided and in which a plurality of liquid chambers 18 are communicated with each other and sectioned according to the position of the nozzle 16; a vibration plate 13 which is joined to the liquid chamber substrate 12, to be provided; a PZT film 21 which is provided on the opposite side of the liquid chamber substrate 12, according to each liquid chamber 18; and an ink supply substrate 14 which is joined to the vibration plate 13, to be provided. In the liquid droplet discharge head 10A, a liquid supply path 28 through which an ink I is supplied to the liquid chambers 18 is formed by the nozzle plate 11, the liquid chamber substrate 12, the vibration plate 13 and the ink supply substrate 14 and a voltage is applied to the PZT film 21, to generate pressure in each liquid chamber 18 and discharge the ink I from the nozzles 16. The ink I is supplied to the plurality of liquid chambers 18 in series.

Description

本発明は、液滴吐出ヘッド（インクジェットヘッド）及びインクジェット記録装置に関する。   The present invention relates to a droplet discharge head (inkjet head) and an inkjet recording apparatus.

インク（液滴）吐出ヘッドを搭載したプリンタは、画質のきれいさ、値段の安さ、ノズルの数を増減することで印刷速度が速いプリンタから遅いが安いプリンタまで対応可能な高速対応性が評価され、インクジェットプリンタとして普及が進んでいる。   Printers equipped with ink (droplet) ejection heads are evaluated for their high image quality, low price, and high speed compatibility that can handle printers with high printing speeds to slow but cheap printers by increasing or decreasing the number of nozzles. As an ink jet printer, it is becoming popular.

近年、インクジェットプリンタの更なる普及の促進を図るため、液滴吐出ヘッドの更なる画質向上、高速化、コストの低減、小型化が要求されてきている。画質の向上を図るためには、ノズル数が増加するため、液滴吐出ヘッド自体が大型化し、液滴吐出ヘッドを備えるインクジェット記録装置もそれに伴い大型化してしまうことが余儀なくされている。また、ノズル数が増加するほど、異物、気泡等によりノズル詰まりを生じてインクの不吐出などを生じるため、インクジェットプリンタとして信頼性の低下を防止することも強く要求されてきている。   In recent years, in order to promote further popularization of ink jet printers, further improvement in image quality, speeding up, cost reduction, and miniaturization of droplet discharge heads have been demanded. In order to improve the image quality, the number of nozzles increases, so that the droplet discharge head itself is increased in size, and the inkjet recording apparatus including the droplet discharge head is inevitably increased in size accordingly. Further, as the number of nozzles increases, nozzle clogging occurs due to foreign matters, bubbles, etc., resulting in non-ejection of ink and the like, and it has been strongly required to prevent a decrease in reliability as an ink jet printer.

液滴吐出ヘッドの作製方法は、切削やプレスなど機械加工を主とした作製方法から、半導体プロセス、微細加工技術を用いて液滴吐出ヘッドを量産する作製方法に変化してきている。このような液滴吐出ヘッドの作製方法の変更により、コストの低減を図る方法として、液滴吐出ヘッドを小型化する方法がある。たとえば、１枚のシリコン基板からより多くの液滴吐出ヘッドが作製できるようにする。そのためには、液滴吐出ヘッドを構成する液室部材、液体供給基板、電気機械変換素子などを更に小さくする必要がある。   The manufacturing method of the droplet discharge head has changed from a manufacturing method mainly using machining such as cutting and pressing to a manufacturing method in which a droplet discharge head is mass-produced using a semiconductor process and a fine processing technique. As a method for reducing the cost by changing the manufacturing method of the droplet discharge head, there is a method of downsizing the droplet discharge head. For example, more liquid droplet ejection heads can be manufactured from one silicon substrate. For this purpose, it is necessary to further reduce the size of the liquid chamber member, the liquid supply substrate, the electromechanical conversion element, and the like constituting the droplet discharge head.

図２２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す平面図である。図２２に示すように、従来の液滴吐出ヘッド１００は、供給通路１０１に個別に液室１０２を並列に設け、供給通路１０１側に設けられる液室１０２の数を多くしている。インク１０３が供給される共通の一つの供給通路１０１に対し、供給通路１０１から並列に設けた個々の液室１０２にインク１０３が分岐して供給され、各々の液室１０２のノズルからインク１０３が吐出噴射される。これにより、単位面積当たりの液滴吐出ヘッド１００の数を増加し、液滴吐出ヘッド１００の小型化を図っている。上述した液滴吐出ヘッドにかかる従来技術としては、特許文献１、２が知られている。   FIG. 22 is a plan view showing the configuration of the droplet discharge head. As shown in FIG. 22, the conventional droplet discharge head 100 is provided with the liquid chambers 102 in parallel in the supply passage 101, and the number of liquid chambers 102 provided on the supply passage 101 side is increased. The ink 103 is branched and supplied from the supply passage 101 to the individual liquid chambers 102 provided in parallel to the common supply passage 101 to which the ink 103 is supplied, and the ink 103 is supplied from the nozzles of the respective liquid chambers 102. Discharge is jetted. Thereby, the number of droplet discharge heads 100 per unit area is increased, and the droplet discharge head 100 is downsized. Patent Documents 1 and 2 are known as conventional techniques relating to the above-described droplet discharge head.

しかしながら、上記従来技術では、ノズルの数を更に増加しようとする場合、単位面積当たりで作製される液滴吐出ヘッドの数を十分増加させることはできないため、単位面積当たりで作製される液滴吐出ヘッドの更なる小型化を図ることはできない、という問題がある。   However, in the above prior art, when the number of nozzles is further increased, the number of droplet discharge heads produced per unit area cannot be increased sufficiently. There is a problem that the head cannot be further reduced in size.

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、多数の液室を効率よく有すると共に、更なる小型化を図った液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above, and an object of the present invention is to provide a liquid droplet ejection head and an ink jet recording apparatus that have a large number of liquid chambers and are further miniaturized.

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、複数のノズルを備えたノズル板と、前記ノズル板に接合して設けられ、前記ノズルの設けられている位置に対応するように複数の液室を連通させて区分けする液室基板と、前記液室基板と接合して設けられる振動板と、前記振動板を挟んで前記液室基板の反対側にあり、各液室に対応して設けられる電気機械変換素子と、前記振動板と接合して設けられ、前記電気機械変換素子を囲うように形成された液体供給基板とを有し、前記ノズル板と前記液室基板と前記振動板と前記液体供給基板とにより、液体が前記液室に供給される液体供給通路が形成され、前記電気機械変換素子に電圧を印加することにより各々の前記液室に圧力を発生させ、前記液体を前記ノズルから吐出する液滴吐出ヘッドであり、前記液体を複数の液室に直列に供給することを特徴とする。   In order to solve the above-described problems and achieve the object, the present invention provides a nozzle plate provided with a plurality of nozzles, and is bonded to the nozzle plate so as to correspond to the position where the nozzle is provided. A liquid chamber substrate that separates the plurality of liquid chambers in communication with each other, a vibration plate joined to the liquid chamber substrate, and on the opposite side of the liquid chamber substrate across the vibration plate, A correspondingly provided electromechanical conversion element; and a liquid supply substrate provided so as to be joined to the vibration plate and surrounding the electromechanical conversion element, the nozzle plate, the liquid chamber substrate, A liquid supply passage through which liquid is supplied to the liquid chamber is formed by the vibration plate and the liquid supply substrate, and pressure is generated in each of the liquid chambers by applying a voltage to the electromechanical transducer, Droplets for discharging the liquid from the nozzle An output head, and supplying a series of the liquid to a plurality of liquid chambers.

本発明によれば、多数の液室を効率よく有すると共に、更なる小型化を図ることができる、という効果を奏する。   According to the present invention, it is possible to efficiently have a large number of liquid chambers and to achieve further miniaturization.

図１は、本発明の第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a droplet discharge head according to a first embodiment of the present invention. 図２は、図１中のＡ−Ａ断面図である。2 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 図３は、図１中のＢ−Ｂ断面図である。3 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 図４は、液滴吐出ヘッドの他の構成の図１中のＡ−Ａ断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1 showing another configuration of the droplet discharge head. 図５は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。FIG. 5 is a sectional view schematically showing another configuration of the droplet discharge head. 図６は、図５中のＡ−Ａ断面図である。6 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 図７は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing another configuration of the droplet discharge head. 図８は、本発明の第２の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a droplet discharge head according to the second embodiment of the present invention. 図９は、図８中のＡ−Ａ断面図である。9 is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 図１０は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing another configuration of the droplet discharge head. 図１１は、本発明の第３の実施形態に係る液滴吐出ヘッド構成を簡略に示す断面図である。FIG. 11 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a droplet discharge head according to the third embodiment of the present invention. 図１２は、液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図である。FIG. 12 is a diagram simply showing the configuration of the liquid chamber of the droplet discharge head. 図１３は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。FIG. 13 is a cross-sectional view schematically showing another configuration of the droplet discharge head. 図１４は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。FIG. 14 is a cross-sectional view schematically showing another configuration of the droplet discharge head. 図１５は、本発明の第４の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図である。FIG. 15 is a diagram simply showing the configuration of the liquid chamber of the droplet discharge head according to the fourth embodiment of the present invention. 図１６は、従来の液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図である。FIG. 16 is a diagram simply showing the configuration of a liquid chamber of a conventional droplet discharge head. 図１７は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの液室の配置の他の一例を示す図である。FIG. 17 is a diagram illustrating another example of the arrangement of the liquid chambers of the droplet discharge head according to the present embodiment. 図１８は、本発明の第４の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す図である。FIG. 18 is a diagram simply showing the configuration of a droplet discharge head according to the fourth embodiment of the present invention. 図１９は、本実施形態にかかるインクジェットを搭載したインクジェット記録装置の構成を示す斜視図である。FIG. 19 is a perspective view showing a configuration of an ink jet recording apparatus equipped with the ink jet according to the present embodiment. 図２０は、インクジェット記録装置の機構部の全体構成を示す概略構成図である。FIG. 20 is a schematic configuration diagram illustrating an overall configuration of a mechanism unit of the ink jet recording apparatus. 図２１は、インクジェット記録装置の機構部の要部を示す平面図である。FIG. 21 is a plan view showing the main part of the mechanism part of the ink jet recording apparatus. 図２２は、液滴吐出ヘッドの構成を示す平面図である。FIG. 22 is a plan view showing the configuration of the droplet discharge head.

以下に添付図面を参照して、この発明にかかる液滴吐出ヘッド及びインクジェット記録装置の一実施形態を詳細に説明する。   Exemplary embodiments of a droplet discharge head and an inkjet recording apparatus according to the present invention will be explained below in detail with reference to the accompanying drawings.

［第１の実施形態］
図１は、本発明の第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す断面図であり、図２は、図１中のＡ−Ａ断面図であり、図３は、図１中のＢ−Ｂ断面図を示す。図１に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、ノズル板１１と、液室基板１２と、振動板１３と、液体供給基板（インク供給基板）１４と、天板１５とを有するものである。尚、本実施形態では、液滴吐出ヘッド１０Ａの長さ方向をＸ、幅方向をＹ、厚さ方向をＺとする。 [First Embodiment]
1 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a droplet discharge head according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1, and FIG. 1 is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. As shown in FIG. 1, a droplet discharge head 10A according to this embodiment includes a nozzle plate 11, a liquid chamber substrate 12, a vibration plate 13, a liquid supply substrate (ink supply substrate) 14, a top plate 15, It is what has. In this embodiment, the length direction of the droplet discharge head 10A is X, the width direction is Y, and the thickness direction is Z.

ノズル板１１は、例えば樹脂、金属、ステンレス等で形成され、液室基板１２の一方の面に接着剤等によって接着されている。また、ノズル板１１は、複数のノズル１６を備えている。ノズル板１１のノズル面には、複数のノズル１６が等間隔で設けられ、複数のノズル１６は、平行に２列で設けられている。   The nozzle plate 11 is formed of, for example, resin, metal, stainless steel, and is bonded to one surface of the liquid chamber substrate 12 with an adhesive or the like. The nozzle plate 11 includes a plurality of nozzles 16. A plurality of nozzles 16 are provided at equal intervals on the nozzle surface of the nozzle plate 11, and the plurality of nozzles 16 are provided in two rows in parallel.

液室基板１２は、ノズル板１１と接合して設けられている。液室基板１２は、隔壁１７によって区画された複数の液室１８を有している。液室基板１２は、複数のノズル１６の設けられている位置に対応するように複数の液室１８を連通させて区分けする。液室１８は、図２に示すように、隔壁１７により各ノズル１６ごとに対応して個別に区切られており、幅方向（図２中、Ｙ軸方向）に相互に平行に２列並設され、長さ方向（図１、２中、Ｘ軸方向）に各々直列に２つ設けられている。液室１８は、後述するように、インクＩが供給される前流側に設けられる液室１８−１と、後流側に設けられる液室１８−２とにより構成されている。液室１８−１と液室１８−２とは、連通流路３２を介して連通している。液室基板１２は、ガラスや薄い金属板、またはその積層体、好ましくはシリコン基板などを用いて作製される。   The liquid chamber substrate 12 is provided so as to be joined to the nozzle plate 11. The liquid chamber substrate 12 has a plurality of liquid chambers 18 partitioned by partition walls 17. The liquid chamber substrate 12 is divided by connecting a plurality of liquid chambers 18 so as to correspond to positions where the plurality of nozzles 16 are provided. As shown in FIG. 2, the liquid chambers 18 are individually divided by the partition walls 17 corresponding to the respective nozzles 16, and arranged in two rows in parallel in the width direction (Y-axis direction in FIG. 2). Two are provided in series in the length direction (X-axis direction in FIGS. 1 and 2). As will be described later, the liquid chamber 18 includes a liquid chamber 18-1 provided on the upstream side to which the ink I is supplied and a liquid chamber 18-2 provided on the downstream side. The liquid chamber 18-1 and the liquid chamber 18-2 communicate with each other through the communication channel 32. The liquid chamber substrate 12 is manufactured using glass, a thin metal plate, or a laminate thereof, preferably a silicon substrate.

振動板１３は、ノズル板１１に対向する液室基板１２の反対側の面に形成され、液室基板１２と接合して設けられている。振動板１３は、ＳＯＩ(Silicon On Insurator)基板のＳｉＯ2層で形成され、シリコン基板をエッチングして液室１８を形成するときのエッチングストップ層として用いることができる。振動板１３は、ＳｉＯ2、ＳｉＮなどで成膜した振動板にすることにより、ＳＯＩ基板より安価となるため、コストを低減することができる。 The vibration plate 13 is formed on the surface on the opposite side of the liquid chamber substrate 12 facing the nozzle plate 11, and is provided so as to be joined to the liquid chamber substrate 12. The diaphragm 13 is formed of a SiO 2 layer of an SOI (Silicon On Insurator) substrate, and can be used as an etching stop layer when the liquid chamber 18 is formed by etching the silicon substrate. Since the diaphragm 13 is made of a diaphragm formed of SiO 2 , SiN or the like, the diaphragm 13 is less expensive than the SOI substrate, so that the cost can be reduced.

振動板１３を挟んで液室基板１２と反対側の面には、Ｐｂ（ＺｒＴｉ）Ｏ3（ＰＺＴ膜）を含む材料を薄膜に成型して得られるＰＺＴ膜２１が設けられている。ＰＺＴ膜２１は、電気機械変換素子として機能する。ＰＺＴ膜２１は、具体的にはスパッタリングやゾルゲル(sol-gel)法などの加工方法によって形成される。ＰＺＴ膜２１は、各液室１８に対応して設けられ、振動板１３の上に並列に６列設けられ、各々直列に２列で配置されている。ＰＺＴ膜２１は、圧電素子を形成する薄膜の１つである。振動板１３の液室基板１２と反対側の面には、密着層が形成され、前記密着層の上に、下部電極、ＰＺＴ膜２１及び上部電極の薄膜を積層してなる圧電素子が設けられる。前記下部電極および上部電極は、ＰＺＴ膜２１に電気的入力を行う電極である。ＰＺＴ膜２１は、前記下部電極および上部電極による電気的入力を機械的な変形に変換する。 A PZT film 21 obtained by molding a material containing Pb (ZrTi) O 3 (PZT film) into a thin film is provided on the surface opposite to the liquid chamber substrate 12 with the diaphragm 13 interposed therebetween. The PZT film 21 functions as an electromechanical conversion element. Specifically, the PZT film 21 is formed by a processing method such as sputtering or a sol-gel method. The PZT films 21 are provided corresponding to the liquid chambers 18, provided in six rows in parallel on the diaphragm 13, and are arranged in two rows in series. The PZT film 21 is one of thin films that form a piezoelectric element. An adhesion layer is formed on the surface of the vibration plate 13 opposite to the liquid chamber substrate 12, and a piezoelectric element formed by laminating a lower electrode, a PZT film 21 and a thin film of the upper electrode is provided on the adhesion layer. . The lower electrode and the upper electrode are electrodes that perform electrical input to the PZT film 21. The PZT film 21 converts electrical input by the lower electrode and the upper electrode into mechanical deformation.

インク供給基板１４は、振動板１３の液室基板１２側とは反対側の面上に設けられ、内側に凹状に形成されたＰＺＴ膜２１を収容するための収容部１４ａが各液室１８に対応して設けられている。インク供給基板１４は、振動板１３に例えば接着剤等により接合して設けられている。インク供給基板１４は、例えば、樹脂、シリコン基板、金属、又はガラスなどで形成される。インク供給基板１４を形成する材料としては、好ましくは比較的安く、加工精度もあり、かつ熱膨張率が液室基板１２、振動板１３と同程度であり、厚さも比較的自由に選択することが可能であるなどの観点からガラスを用いるのが好ましい。   The ink supply substrate 14 is provided on the surface opposite to the liquid chamber substrate 12 side of the vibration plate 13, and an accommodating portion 14 a for accommodating the PZT film 21 formed in a concave shape inside is provided in each liquid chamber 18. Correspondingly provided. The ink supply substrate 14 is provided by being joined to the vibration plate 13 with, for example, an adhesive. The ink supply substrate 14 is formed of, for example, a resin, a silicon substrate, a metal, or glass. The material for forming the ink supply substrate 14 is preferably relatively inexpensive, has high processing accuracy, has the same thermal expansion coefficient as that of the liquid chamber substrate 12 and the vibration plate 13, and the thickness thereof can be selected relatively freely. It is preferable to use glass from the viewpoint that it is possible.

ＰＺＴ膜２１は、振動板１３の液室基板１２側とは反対側の面上であって収容部１４ａ内に、各液室１８に対応して設けられている。ＰＺＴとはジルコン酸鉛(ＰｂＺｒＯ３)とチタン酸鉛(ＰｂＴｉＯ３)の固溶体であり、その比率により特性が異なる。一般的に優れた圧電特性を示す組成は、ＰｂＺｒＯ３とＰｂＴｉＯ３の比率が５３：４７の割合で、化学式で示すとＰｂ（Ｚｒ０．５３，Ｔｉ０．４７）Ｏ３、一般にＰＺＴ（５３／４７）と示される。酢酸鉛、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物の出発材料は、この化学式に従って秤量される。ＰＺＴは、酢酸鉛、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒としてメトキシエタノールに溶解させ均一溶液を作製し、ＰＺＴ前駆体溶液を得る。また、金属アルコキシド化合物は大気中の水分により容易に加水分解してしまうので、ＰＺＴ前駆体溶液に安定剤としてアセチルアセトン、酢酸、ジエタノールアミンなどの安定剤を適量、添加してもよい。 The PZT film 21 is provided on the surface opposite to the liquid chamber substrate 12 side of the diaphragm 13 and in the accommodating portion 14a corresponding to each liquid chamber 18. PZT is a solid solution of lead zirconate (PbZrO 3 ) and lead titanate (PbTiO 3 ), and the characteristics differ depending on the ratio. In general, the composition exhibiting excellent piezoelectric characteristics has a ratio of PbZrO 3 and PbTiO 3 of 53:47. When expressed by a chemical formula, Pb (Zr0.53, Ti0.47) O 3 , generally PZT (53/47 ). The starting materials for lead acetate, zirconium alkoxide and titanium alkoxide compounds are weighed according to this chemical formula. PZT uses lead acetate, zirconium alkoxide, and titanium alkoxide compounds as starting materials, and dissolves in methoxyethanol as a common solvent to produce a uniform solution to obtain a PZT precursor solution. Further, since the metal alkoxide compound is easily hydrolyzed by moisture in the atmosphere, an appropriate amount of a stabilizer such as acetylacetone, acetic acid or diethanolamine may be added to the PZT precursor solution as a stabilizer.

ＰＺＴ以外の複合酸化物としてはチタン酸バリウムなどが挙げられ、この場合はバリウムアルコキシド、チタンアルコキシド化合物を出発材料にし、共通溶媒に溶解させることでチタン酸バリウム前駆体溶液を作製することも可能である。   Examples of composite oxides other than PZT include barium titanate. In this case, it is also possible to prepare a barium titanate precursor solution by dissolving barium alkoxide and a titanium alkoxide compound in a common solvent. is there.

下地となる基板全面にＰＺＴ膜を得る場合、スピンコートなどの溶液塗布法により塗膜を形成し、溶媒乾燥、熱分解、結晶化の各々の熱処理を施す。塗膜から結晶化膜への変態には体積収縮が伴うので、クラックフリーなＰＺＴ膜２１を得るには一度の工程で１００ｎｍ以下の膜厚が得られるように前駆体濃度の調整が必要になる。ＰＺＴ膜２１の膜厚は１μｍから２μｍが要求される。スピンコートなどの溶液塗布法により１μｍから２μｍのＰＺＴ膜２１の膜厚を得るにはスピンコートなどを十数回繰り返し行う。   When a PZT film is obtained on the entire surface of the underlying substrate, a coating film is formed by a solution coating method such as spin coating, and heat treatments such as solvent drying, thermal decomposition, and crystallization are performed. Since the transformation from the coating film to the crystallized film involves volume shrinkage, it is necessary to adjust the precursor concentration so that a film thickness of 100 nm or less can be obtained in one step in order to obtain a crack-free PZT film 21. . The film thickness of the PZT film 21 is required to be 1 μm to 2 μm. In order to obtain a film thickness of the PZT film 21 of 1 μm to 2 μm by a solution coating method such as spin coating, spin coating or the like is repeated ten times or more.

インク供給基板１４は、ＰＺＴ膜２１同士の間に天板１５側から振動版１３側に貫通（図１中、Ｚ軸方向）した開口部２２を有する。開口部２２の幅方向Ｙの長さは、並列に配置される液室１８の数に応じて調整される。図２に示すように、直列に配置された液室１８−１、１８−２は、Ｙ方向に並列に長く配置されているため、図３に示すように、開口部２２もＹ軸方向に並列に配置される液室１８の数に応じてＹ方向に長く形成されている。   The ink supply substrate 14 has an opening 22 between the PZT films 21 penetrating from the top plate 15 side to the vibration plate 13 side (Z-axis direction in FIG. 1). The length in the width direction Y of the opening 22 is adjusted according to the number of liquid chambers 18 arranged in parallel. As shown in FIG. 2, the liquid chambers 18-1 and 18-2 arranged in series are arranged long in parallel in the Y direction, so that the opening 22 is also arranged in the Y axis direction as shown in FIG. 3. It is formed long in the Y direction according to the number of liquid chambers 18 arranged in parallel.

天板１５は、インク供給基板１４の上面側に設けられ、内側に凹状に形成された駆動ＩＣ２３を収容するための収容部１５ａを有する。天板１５は、開口部２２と対応するように、収容部１５ａから外部に貫通した封止口２４を有する。駆動ＩＣ２３は、インク供給基板１４の上面側に固定されている。天板１５および駆動ＩＣ２３は、インク供給基板１４に接合されている。   The top plate 15 is provided on the upper surface side of the ink supply substrate 14 and has a housing portion 15a for housing the drive IC 23 formed in a concave shape inside. The top plate 15 has a sealing port 24 penetrating from the accommodating portion 15 a to the outside so as to correspond to the opening portion 22. The drive IC 23 is fixed to the upper surface side of the ink supply substrate 14. The top plate 15 and the drive IC 23 are bonded to the ink supply substrate 14.

駆動ＩＣ２３は、インク供給基板１４上にワイヤーボンディングで実装されており、駆動ＩＣ２３とＰＺＴ膜２１の電極（図示していない）とはワイヤー２５により接続されている。駆動ＩＣ２３と接続されたワイヤー２５は、収容部１５ａから開口部２２を通過して振動板１３に接続される。ワイヤー２５により駆動ＩＣ２３からＰＺＴ膜２１に電圧などの入力情報が伝達される。   The drive IC 23 is mounted on the ink supply substrate 14 by wire bonding, and the drive IC 23 and the electrode (not shown) of the PZT film 21 are connected by a wire 25. The wire 25 connected to the drive IC 23 passes through the opening 22 from the housing portion 15 a and is connected to the diaphragm 13. Input information such as voltage is transmitted from the driving IC 23 to the PZT film 21 through the wire 25.

封止口２４から封止材が注入される。封止材としては、例えば、エポキシ樹脂、フェノール樹脂などが挙げられる。開口部２２と収容部１５ａとを封止材で封止することで、外部から温度、湿度、応力などの影響からワイヤー２５と電極（図示していない）との接続を安定に保つ。   A sealing material is injected from the sealing port 24. Examples of the sealing material include an epoxy resin and a phenol resin. By sealing the opening 22 and the accommodating portion 15a with a sealing material, the connection between the wire 25 and the electrode (not shown) is stably maintained from the outside due to the influence of temperature, humidity, stress, and the like.

天板１５は、インク供給基板１４と連通するように天板１５の両端部両側で流入口２６、流出口２７と連通している。   The top plate 15 communicates with the inlet 26 and the outlet 27 on both sides of the top plate 15 so as to communicate with the ink supply substrate 14.

液滴吐出ヘッド１０Ａは、ノズル板１１と液室基板１２と振動板１３とインク供給基板１４とにより、インクＩが液室１８に供給される液体供給通路２８を有すると共に、複数の液室１８からインクＩを排出する液体排出通路２９を有する。本実施形態では、液体供給通路２８と液体排出通路２９とによりインクＩを循環させる循環流路３０が形成される。循環流路３０は、液体供給通路２８から並列に配置された複数の液室１８を通過した後、液体排出通路２９からインクＩを排出する。具体的には、インクＩは、図示しない供給タンクからポンプなどの圧力制御手段により一定の圧力で流入口２６に送り込まれる。インクＩは、循環流路３０を矢印Ｃ方向に循環する。インクＩは、流入口２６から液体供給通路２８を通過し、図２中、矢印Ｄ、Ｅに示すように、並列に配置された各液室１８−１に供給された後、各液室１８−１の後流側に直列に設けられている各々の液室１８−２を通過する。その後、図２中、矢印Ｆに示すように、各液室１８−２を通過したインクＩは、液体排出通路２９を通過し、流出口２７から排出される。流出口２７から排出されたインクＩは、図示していないポンプなどの圧力制御手段により、一定の圧力で前記供給タンクに循環させる。この供給タンクに供給されたインクＩは、再度、流入口２６に供給され、流出口２７から循環流路３０を循環する。   The droplet discharge head 10 </ b> A has a liquid supply passage 28 through which the ink I is supplied to the liquid chamber 18 by the nozzle plate 11, the liquid chamber substrate 12, the vibration plate 13, and the ink supply substrate 14, and a plurality of liquid chambers 18. A liquid discharge passage 29 for discharging the ink I from the liquid. In the present embodiment, the liquid supply passage 28 and the liquid discharge passage 29 form a circulation passage 30 that circulates the ink I. The circulation passage 30 discharges the ink I from the liquid discharge passage 29 after passing through the plurality of liquid chambers 18 arranged in parallel from the liquid supply passage 28. Specifically, the ink I is sent to the inlet 26 at a constant pressure from a supply tank (not shown) by pressure control means such as a pump. Ink I circulates in circulation channel 30 in the direction of arrow C. The ink I passes through the liquid supply passage 28 from the inlet 26 and is supplied to the liquid chambers 18-1 arranged in parallel as shown by arrows D and E in FIG. -1 passes through each liquid chamber 18-2 provided in series on the downstream side. Thereafter, as indicated by an arrow F in FIG. 2, the ink I that has passed through each liquid chamber 18-2 passes through the liquid discharge passage 29 and is discharged from the outflow port 27. The ink I discharged from the outlet 27 is circulated to the supply tank at a constant pressure by pressure control means such as a pump (not shown). The ink I supplied to the supply tank is supplied again to the inlet 26 and circulates through the circulation channel 30 from the outlet 27.

画像を記録するための電気信号が駆動ＩＣ２３に入力されると、ＰＺＴ膜２１に電圧が印加され、振動板１３を変位させる。この振動板１３の変位により、液室１８内の圧力を変化させ、インク滴をノズル１６より吐出する。   When an electrical signal for recording an image is input to the drive IC 23, a voltage is applied to the PZT film 21 to displace the diaphragm 13. Due to the displacement of the vibration plate 13, the pressure in the liquid chamber 18 is changed and ink droplets are ejected from the nozzles 16.

直列に配置された液室１８−１と液室１８−２とを連通する連通流路３２は、流路幅を狭く形成した流体抵抗部材３３を有する。流体抵抗部材３３は、連通流路３２の流路幅を狭くしているため、液室１８−１から液室１８−２に流れるインクＩの流れの抵抗を高くしている。このため、液室１８−１から液室１８−２に流れるインクＩの吐出効率を向上させることができる。また、ＰＺＴ膜２１を駆動した際、液室１８−１、１８−２内に発生する圧力が各々の液室１８−１、１８−２に影響を与えることを抑制し、液室１８−１、１８−２内における圧力変動を緩和でき、クロストークを抑制することができる。   The communication flow path 32 that connects the liquid chamber 18-1 and the liquid chamber 18-2 arranged in series has a fluid resistance member 33 that has a narrow flow path width. Since the fluid resistance member 33 narrows the channel width of the communication channel 32, the resistance of the flow of the ink I flowing from the liquid chamber 18-1 to the liquid chamber 18-2 is increased. For this reason, the discharge efficiency of the ink I flowing from the liquid chamber 18-1 to the liquid chamber 18-2 can be improved. Further, when the PZT film 21 is driven, the pressure generated in the liquid chambers 18-1 and 18-2 is prevented from affecting the liquid chambers 18-1 and 18-2, and the liquid chamber 18-1 is suppressed. , 18-2 can be reduced, and crosstalk can be suppressed.

インクＩの供給は循環流としているため、インクＩは、円滑に液室１８−１、１８−２内に供給することができるため、吐出する応答周波数も高く設定することができる。また、気泡やごみなどの異物によってノズル１６からインクＩが不吐出となるなど急な不具合が生じても、インクＩの供給は循環流としているため、ノズル１６に詰まった異物を速やかに回収し、ノズル１６を吐出状態に回復することができる。さらに、液体供給通路２８からインクＩを連続的に供給し、インクＩの循環流を形成することにより、ノズル１６の前後においても循環流が形成されているため、ノズル１６から空気をインクＩに引き込んでインクＩ内に発生する空気を除去することができると共に、発生する熱を放散することができる。   Since the supply of the ink I is a circulation flow, the ink I can be smoothly supplied into the liquid chambers 18-1 and 18-2, so that the response frequency to be ejected can be set high. Even if a sudden failure such as ink I not being ejected from the nozzle 16 due to foreign matter such as bubbles or dust, the supply of the ink I is in a circulating flow, so that the foreign matter clogged in the nozzle 16 is promptly collected. The nozzle 16 can be restored to the discharge state. Furthermore, since the ink I is continuously supplied from the liquid supply passage 28 to form a circulation flow of the ink I, a circulation flow is also formed before and after the nozzle 16, so that air is supplied from the nozzle 16 to the ink I. It is possible to remove the air that is drawn in and generated in the ink I, and to dissipate the generated heat.

このように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、並列に設けた複数の液室１８−１に更に直列に液室１８−２を設けるようにしている。液体供給通路２８に並列に複数設けた液室１８を、液滴吐出ヘッド１０Ａの長さ方向Ｘに複数設ける場合、長さ方向Ｘに設けた液室１８ごとに液体供給通路２８および液体排出通路２９を設ける必要がある。そのため、液滴吐出ヘッド１０Ａの長さ方向Ｘに設けた液室１８ごとに要する液体供給通路２８および液体排出通路２９の面積の分だけ液滴吐出ヘッドに設置面積が必要になる。これに対し、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、並列に設けた複数の液室１８に更に直列に液室１８を設けているため、液体供給通路２８および液体排出通路２９を１つ設けるだけで足りる。   As described above, in the liquid droplet ejection head 10A according to the present embodiment, the liquid chamber 18-2 is further provided in series with the plurality of liquid chambers 18-1 provided in parallel. When a plurality of liquid chambers 18 provided in parallel with the liquid supply passage 28 are provided in the length direction X of the droplet discharge head 10A, the liquid supply passage 28 and the liquid discharge passage are provided for each liquid chamber 18 provided in the length direction X. 29 need to be provided. Therefore, the installation area of the droplet discharge head is required by the area of the liquid supply passage 28 and the liquid discharge passage 29 required for each liquid chamber 18 provided in the length direction X of the droplet discharge head 10A. On the other hand, the liquid droplet ejection head 10A according to the present embodiment further includes the liquid chamber 18 in series with the plurality of liquid chambers 18 provided in parallel. Therefore, one liquid supply passage 28 and one liquid discharge passage 29 are provided. It is enough to provide it.

このため、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａによれば、並列に設けた複数の液室１８−１に更に直列に液室１８−２を設けることで、並列に設けた複数の液室１８−１ごとに液体供給通路２８および液体排出通路２９を設ける必要がないため、単位面積当たりに設けられる液室１８を増加することができると共に、更なる小型化を図ることができる。また、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、液滴吐出ヘッド１０Ａを小型にすることで、コストの低減を図ることができる。さらに、複数の液室１８に対して液体供給通路２８および液体排出通路２９が１つで足りるため、全ての液室１８にインクＩを循環させるために要するインクＩの流通量を減少させることができる。したがって、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａは、高密度に液室及びノズルが配置できるので、小型としてコストを低減しつつ、集積度が高く、高速、高画質の液滴吐出ヘッドとすることができる。   For this reason, according to the droplet discharge head 10A according to the present embodiment, a plurality of liquid chambers provided in parallel is provided by further providing the liquid chamber 18-2 in series with the plurality of liquid chambers 18-1 provided in parallel. Since it is not necessary to provide the liquid supply passage 28 and the liquid discharge passage 29 for every 18-1, the liquid chambers 18 provided per unit area can be increased, and further downsizing can be achieved. Further, the droplet discharge head 10A according to the present embodiment can reduce the cost by reducing the size of the droplet discharge head 10A. Furthermore, since one liquid supply passage 28 and one liquid discharge passage 29 are sufficient for the plurality of liquid chambers 18, it is possible to reduce the amount of circulation of the ink I required to circulate the ink I in all the liquid chambers 18. it can. Accordingly, the liquid droplet ejection head 10A according to the present embodiment can arrange the liquid chambers and nozzles at high density. Therefore, the liquid droplet ejection head 10A is small, reduces cost, and has high integration, high speed, and high image quality. be able to.

また、インクＩの供給を循環流とすることで、異物、気泡に起因してノズル１６からインクＩが不吐出となることを抑制することができ、インクＩの不吐出が発生しても速やかに回復することができるため、安定して高画質での印刷が可能となり、インクジェットプリンタとしての信頼性を維持することができると共に、高速化を図ることができる。   Further, by supplying the ink I in a circulating flow, it is possible to suppress the non-ejection of the ink I from the nozzles 16 due to foreign matters and bubbles, and promptly even if the non-ejection of the ink I occurs. Therefore, it is possible to stably print with high image quality, maintain reliability as an inkjet printer, and increase the speed.

本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａにおいては、液室１８−１、１８−２同士の間に流体抵抗部材３３を含む連通流路３２を設けるようにしているが、本実施形態はこれに限定されるものではない。図４は、液滴吐出ヘッドの他の構成における図１中のＡ−Ａ断面図である。図４に示すように、液室１８−１の前流側と、液室１８−２の後流側とに、流体抵抗部材３３を含む連通流路３２を設けるようにしてもよい。液室１８−１の前流側および液室１８−２の後流側に流体抵抗部材３３を設けることにより、ＰＺＴ膜２１により液室１８内に発生する圧力を効率よくインクＩの吐出に使用することができる。   In the liquid droplet ejection head 10A according to the present embodiment, the communication flow path 32 including the fluid resistance member 33 is provided between the liquid chambers 18-1 and 18-2. It is not limited. FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. 1 in another configuration of the droplet discharge head. As shown in FIG. 4, a communication flow path 32 including a fluid resistance member 33 may be provided on the upstream side of the liquid chamber 18-1 and the downstream side of the liquid chamber 18-2. By providing the fluid resistance member 33 on the upstream side of the liquid chamber 18-1 and the downstream side of the liquid chamber 18-2, the pressure generated in the liquid chamber 18 by the PZT film 21 can be efficiently used for discharging the ink I. can do.

本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａにおいては、流入口２６から供給されたインクＩを流出口２７から排出して循環流路３０を形成し、インクＩを循環させるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、液体排出通路２９を設けず、液体供給通路２８から供給されたインクＩを循環させないようにしてもよい。図５は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図であり、図６は、図５中、Ａ−Ａ断面図である。図５、６に示すように、液室１８−１の前流側に、更に流体抵抗部材３３を含む連通流路３２を設ける。流入口２６からインクＩが液体供給通路２８を通って並列に設けられた各々の液室１８−１に供給される。その後、インクＩは、連通流路３２、液室１８−１、連通流路３２、液室１８−２の順に供給される。各液室１８−１、１８−２に供給されたインクＩは、ノズル１６から吐出される。   In the droplet discharge head 10A according to the present embodiment, the ink I supplied from the inflow port 26 is discharged from the outflow port 27 to form the circulation channel 30, and the ink I is circulated. The embodiment is not limited to this, and the liquid discharge passage 29 may not be provided, and the ink I supplied from the liquid supply passage 28 may not be circulated. FIG. 5 is a cross-sectional view schematically showing another configuration of the droplet discharge head, and FIG. 6 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. As shown in FIGS. 5 and 6, a communication channel 32 that further includes a fluid resistance member 33 is provided on the upstream side of the liquid chamber 18-1. Ink I is supplied from the inflow port 26 through the liquid supply passage 28 to each liquid chamber 18-1 provided in parallel. Thereafter, the ink I is supplied in the order of the communication channel 32, the liquid chamber 18-1, the communication channel 32, and the liquid chamber 18-2. The ink I supplied to the liquid chambers 18-1 and 18-2 is ejected from the nozzle 16.

本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａにおいては、液室１８を２つ設けるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、液室１８を２つ以上設けるようにしてもよい。図７は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。図７に示すように、液室１８−１〜１８−４を設けるようにしてもよい。流入口２６からインクＩが液体供給通路２８を通って並列に設けられた各々の液室１８−１に供給される。その後、インクＩは、連通流路３２、液室１８−１、連通流路３２、液室１８−２、連通流路３２、液室１８−３、連通流路３２、液室１８−４の順に供給される。これにより、ノズルを更に高集積に配置し、小型にすることができると共に、高画質の液滴吐出ヘッドを実現することができる。   In the droplet discharge head 10A according to the present embodiment, two liquid chambers 18 are provided. However, the present embodiment is not limited to this, and two or more liquid chambers 18 are provided. May be. FIG. 7 is a cross-sectional view schematically showing another configuration of the droplet discharge head. As shown in FIG. 7, liquid chambers 18-1 to 18-4 may be provided. Ink I is supplied from the inflow port 26 through the liquid supply passage 28 to each liquid chamber 18-1 provided in parallel. Thereafter, the ink I passes through the communication channel 32, the liquid chamber 18-1, the communication channel 32, the liquid chamber 18-2, the communication channel 32, the liquid chamber 18-3, the communication channel 32, and the liquid chamber 18-4. They are supplied in order. As a result, the nozzles can be arranged more highly integrated and can be miniaturized, and a high-quality liquid droplet ejection head can be realized.

［第２の実施形態］
本発明の第２の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドを説明する。なお、第１の実施形態と同一の要素（具体的には図１〜図７で例示した液滴吐出ヘッド１０Ａの構成）については同一の符号を付してその説明を省略する。以下では、第１の実施形態と異なる要素についてのみを説明する。図８は、本発明の第２の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す断面図であり、図９は、図８中のＡ−Ａ断面図である。図８、９に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｂは、インク供給基板１４の振動板１３との反対側にインク供給基板１４と接合する緩衝板４１を設けている。緩衝板４１は、インク供給基板１４に接着して固定されている。緩衝板４１は、樹脂などを用いて形成されたものである。樹脂は弾性を有するため、緩衝板４１として樹脂などを用いることで、液室１８−１、１８−２内でインクＩに圧力が加わった際、インクＩがインク溜め部４２に伝播されると、インクＩに加わった圧力を吸収できる。緩衝板４１を形成するために用いる材料としては、延伸部材であれば特に限定されるものではないが、緩衝板４１を形成するのに樹脂を用いる場合、樹脂としては、延伸部材であって、耐熱性、耐薬品性のあるポリイミドを樹脂材料として用いるのが好ましい。インク供給基板１４には、ＰＺＴ膜２１同士の間の開口部２２とその一部が緩衝板４１で形成されたインク溜め部（液体溜め部）４２が形成されている。 [Second Embodiment]
A droplet discharge head according to a second embodiment of the present invention will be described. The same elements as those in the first embodiment (specifically, the configuration of the droplet discharge head 10A illustrated in FIGS. 1 to 7) are denoted by the same reference numerals and description thereof is omitted. Only the elements different from the first embodiment will be described below. FIG. 8 is a cross-sectional view schematically showing a configuration of a droplet discharge head according to the second embodiment of the present invention, and FIG. 9 is a cross-sectional view taken along line AA in FIG. As shown in FIGS. 8 and 9, the droplet discharge head 10 </ b> B according to the present embodiment includes a buffer plate 41 that is bonded to the ink supply substrate 14 on the opposite side of the ink supply substrate 14 from the vibration plate 13. The buffer plate 41 is bonded and fixed to the ink supply substrate 14. The buffer plate 41 is formed using a resin or the like. Since the resin has elasticity, when the pressure is applied to the ink I in the liquid chambers 18-1 and 18-2 by using the resin or the like as the buffer plate 41, the ink I is transmitted to the ink reservoir 42. The pressure applied to the ink I can be absorbed. The material used to form the buffer plate 41 is not particularly limited as long as it is a stretched member, but when a resin is used to form the buffer plate 41, the resin is a stretched member, It is preferable to use a heat-resistant and chemical-resistant polyimide as a resin material. In the ink supply substrate 14, an opening 22 between the PZT films 21 and an ink reservoir (liquid reservoir) 42 in which a part thereof is formed by a buffer plate 41 are formed.

連通流路３２は、インク溜め部４２を更に有し、流体抵抗部材４３は液室基板１２のインク溜め部４２内に設けられる。本実施形態では、インクＩは液室１８−１を通り、流体抵抗部材４３により流路が変更されてインク溜め部４２を通り、さらに液室１８−２を通過した後、液体排出通路２９を通過して流出口２７から排出される。   The communication channel 32 further includes an ink reservoir 42, and the fluid resistance member 43 is provided in the ink reservoir 42 of the liquid chamber substrate 12. In this embodiment, the ink I passes through the liquid chamber 18-1, the flow path is changed by the fluid resistance member 43, passes through the ink reservoir 42, and further passes through the liquid chamber 18-2. It passes through and is discharged from the outlet 27.

駆動ＩＣ２３は緩衝板４１上に設けられている。インク供給基板１４は、ＰＺＴ膜２１のインク溜め部４２とは反対側の位置に開口部４４を有する。駆動ＩＣ２３はワイヤー２５により配線実装される。駆動ＩＣ２３はワイヤー２５により開口部４４から露出している振動板１３と接続されている。   The drive IC 23 is provided on the buffer plate 41. The ink supply substrate 14 has an opening 44 at a position opposite to the ink reservoir 42 of the PZT film 21. The drive IC 23 is mounted by wiring with a wire 25. The drive IC 23 is connected to the diaphragm 13 exposed from the opening 44 by a wire 25.

ＰＺＴ膜２１を駆動した際、液室基板１２内のインクＩは流体抵抗部材４３によりインク溜め部４２側に流れる。緩衝板４１は樹脂等の柔軟な部材で構成されているため、インク溜め部４２に流入したインクＩは緩衝板４１により、インクＩの圧力が緩衝される。これにより、インク溜め部４２から流出するインクＩの圧力は、インク溜め部４２に流入したときよりも弱められる。このため、インク溜め部４２と緩衝板４１は、ＰＺＴ膜２１を駆動したときに液室１８−１、１８−２内に発生する圧力がそれぞれの液室１８−１、１８−２に与える影響を抑制し、液室１８−１、１８−２内における圧力変動を緩和でき、クロストークを抑制することができる。   When the PZT film 21 is driven, the ink I in the liquid chamber substrate 12 flows to the ink reservoir 42 side by the fluid resistance member 43. Since the buffer plate 41 is made of a flexible member such as resin, the pressure of the ink I is buffered by the buffer plate 41 in the ink I flowing into the ink reservoir 42. As a result, the pressure of the ink I flowing out from the ink reservoir 42 is weaker than when it flows into the ink reservoir 42. For this reason, the ink reservoir 42 and the buffer plate 41 are affected by the pressure generated in the liquid chambers 18-1 and 18-2 when the PZT film 21 is driven. Can be suppressed, pressure fluctuations in the liquid chambers 18-1 and 18-2 can be reduced, and crosstalk can be suppressed.

よって、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｂによれば、ＰＺＴ膜２１を駆動した際、液室１８−１、１８−２内で発生するインクＩの圧力は流体抵抗部材４３によりインク溜め部４２側に伝播させ、緩衝板４１により緩衝することができるので、液室１８−１内で発生するインクＩの圧力が、液室１８−２に与える影響を抑制することができると共に、液室１８−２内で発生するインクＩの圧力が液室１８−１に与える影響を抑制し、クロストークを抑制することができる。   Therefore, according to the droplet discharge head 10 </ b> B according to the present embodiment, when the PZT film 21 is driven, the pressure of the ink I generated in the liquid chambers 18-1 and 18-2 is generated by the fluid resistance member 43. 42, and can be buffered by the buffer plate 41. Therefore, the influence of the pressure of the ink I generated in the liquid chamber 18-1 on the liquid chamber 18-2 can be suppressed, and the liquid chamber can be suppressed. The influence of the pressure of the ink I generated in 18-2 on the liquid chamber 18-1 can be suppressed, and crosstalk can be suppressed.

実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｂにおいては、液室１８を２つ設けるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、液室１８を２つ以上設けるようにしてもよい。図１０は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。図１０に示すように、液室１８を４つ直列に設けるようにしてもよい。流入口２６からインクＩが液体供給通路２８を通って並列に設けられた各々の液室１８−１に供給される。その後、インクＩは、液室１８−１、インク溜め部４２、液室１８−２、インク溜め部４２、液室１８−３、インク溜め部４２、液室１８−４の順に供給される。これにより、ノズルを更に高集積に配置し、小型にすることができると共に、高画質の液滴吐出ヘッドを実現することができる。   In the droplet discharge head 10B according to the embodiment, two liquid chambers 18 are provided. However, the present embodiment is not limited to this, and two or more liquid chambers 18 are provided. Also good. FIG. 10 is a cross-sectional view schematically showing another configuration of the droplet discharge head. As shown in FIG. 10, four liquid chambers 18 may be provided in series. Ink I is supplied from the inflow port 26 through the liquid supply passage 28 to each liquid chamber 18-1 provided in parallel. Thereafter, the ink I is supplied in the order of the liquid chamber 18-1, the ink reservoir 42, the liquid chamber 18-2, the ink reservoir 42, the liquid chamber 18-3, the ink reservoir 42, and the liquid chamber 18-4. As a result, the nozzles can be arranged more highly integrated and can be miniaturized, and a high-quality liquid droplet ejection head can be realized.

［第３の実施形態］
本発明の第３の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドを説明する。なお、第１の実施形態および第２の実施形態と同一の要素（具体的には図１〜図１０で例示した液滴吐出ヘッドの構成）については同一の符号を付してその説明を省略する。以下では、第１の実施形態および第２の実施形態と異なる要素についてのみを説明する。図１１は、本発明の第３の実施形態に係る液滴吐出ヘッド構成を簡略に示す断面図であり、図１２は、液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図である。図１１、１２に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１は、図１に示す第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａが液体供給通路２８を介して対向するように２つ設けたものである。即ち、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１は、第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂとを有し、第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂは、液体供給通路２８を介して対向するように設けるものである。第１の液室１８Ａは、液室１８Ａ−１と液室１８Ａ−２とを直列に配置して構成され、第２の液室１８Ｂは、液室１８Ｂ−１と液室１８Ｂ−２とを直列に配置して構成されている。 [Third Embodiment]
A droplet discharge head according to a third embodiment of the present invention will be described. The same elements as those in the first embodiment and the second embodiment (specifically, the configuration of the droplet discharge head exemplified in FIGS. 1 to 10) are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. To do. Hereinafter, only elements different from those in the first embodiment and the second embodiment will be described. FIG. 11 is a cross-sectional view schematically showing the configuration of a droplet discharge head according to the third embodiment of the present invention, and FIG. 12 is a diagram simply showing the configuration of the liquid chamber of the droplet discharge head. As shown in FIGS. 11 and 12, the droplet discharge head 10C-1 according to the present embodiment is arranged so that the droplet discharge head 10A according to the first embodiment shown in FIG. Two are provided. That is, the droplet discharge head 10C-1 according to the present embodiment has a first liquid chamber 18A and a second liquid chamber 18B, and the first liquid chamber 18A and the second liquid chamber 18B are liquid. It is provided so as to face each other through the supply passage 28. The first liquid chamber 18A is configured by arranging the liquid chamber 18A-1 and the liquid chamber 18A-2 in series, and the second liquid chamber 18B includes the liquid chamber 18B-1 and the liquid chamber 18B-2. They are arranged in series.

本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１は、天板１５の中央部にインクＩの流入口２６を設けると共に、天板１５の両側に流出口２７を設けている。これにより、流入口２６から供給されたインクＩが液体供給通路２８から第１の液室１８Ａを通過して流出口２７から排出される循環流路３０−１と、インクＩが液体供給通路２８から第２の液室１８Ｂを通過して流出口２７から排出される循環流路３０−２とを形成した。液体供給通路２８に供給されたインクＩは、第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂとに各々分割して供給される。これにより、多数の第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂをコンパクトに形成でき、１つの液体供給通路２８からインクＩを第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂとに効率よく供給することができる。よって、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１によれば、ノズルの集積度を向上させることができ、更に小型とすることができ、製造コストを低減することができると共に、高集積化が可能となり、画質向上、高速化が可能となる。   The droplet discharge head 10 </ b> C- 1 according to the present embodiment is provided with an ink inlet 26 at the center of the top plate 15 and outlets 27 on both sides of the top 15. As a result, the ink I supplied from the inlet 26 passes through the first liquid chamber 18A from the liquid supply passage 28 and is discharged from the outlet 27, and the ink I is supplied from the liquid supply passage 28. The circulation channel 30-2 that passes through the second liquid chamber 18B and is discharged from the outlet 27 is formed. The ink I supplied to the liquid supply passage 28 is divided and supplied to the first liquid chamber 18A and the second liquid chamber 18B. As a result, a large number of first liquid chambers 18A and second liquid chambers 18B can be formed in a compact manner, and ink I can be efficiently transferred from one liquid supply passage 28 to the first liquid chamber 18A and the second liquid chamber 18B. Can be supplied well. Therefore, according to the droplet discharge head 10C-1 according to the present embodiment, the integration degree of nozzles can be improved, the size can be further reduced, the manufacturing cost can be reduced, and the high integration can be achieved. It is possible to improve image quality and speed.

本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１においては、流入口２６から供給されたインクＩを流出口２７から排出して循環流路３０−１、３０−２を形成し、インクＩを循環させるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、液体排出通路２９を設けず、液体供給通路２８から供給されたインクＩを循環させないようにしてもよい。図１３は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。図１３に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１では、流入口２６からインクＩが液体供給通路２８を通って並列に設けられた液室１８Ａ−１、１８Ｂ−１に供給される。液室１８Ａ側に供給されたインクＩは、連通流路３２、液室１８Ａ−１、連通流路３２、液室１８Ａ−２の順に供給される。各液室１８Ａ−１、１８Ａ−２に供給されたインクＩは、ノズル１６から吐出される。一方、液室１８Ａ側に供給されたインクＩは、連通流路３２、液室１８Ｂ−１、連通流路３２、液室１８Ｂ−２の順に供給され、各液室１８Ｂ−１、１８Ｂ−２に供給されたインクＩは、ノズル１６から吐出される。   In the droplet discharge head 10C-1 according to the present embodiment, the ink I supplied from the inlet 26 is discharged from the outlet 27 to form circulation channels 30-1 and 30-2, and the ink I is circulated. However, the present embodiment is not limited to this, and the liquid discharge passage 29 may not be provided, and the ink I supplied from the liquid supply passage 28 may not be circulated. FIG. 13 is a cross-sectional view schematically showing another configuration of the droplet discharge head. As shown in FIG. 13, in the droplet discharge head 10 </ b> C- 1 according to the present embodiment, the ink I passes from the inlet 26 to the liquid chambers 18 </ b> A- 1 and 18 </ b> B- 1 provided in parallel through the liquid supply passage 28. Supplied. The ink I supplied to the liquid chamber 18A side is supplied in the order of the communication channel 32, the liquid chamber 18A-1, the communication channel 32, and the liquid chamber 18A-2. The ink I supplied to the liquid chambers 18A-1 and 18A-2 is ejected from the nozzle 16. On the other hand, the ink I supplied to the liquid chamber 18A side is supplied in the order of the communication channel 32, the liquid chamber 18B-1, the communication channel 32, and the liquid chamber 18B-2, and the liquid chambers 18B-1, 18B-2. The ink I supplied to is discharged from the nozzle 16.

また、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１においては、図１に示す第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ａを液体供給通路２８を介して対向するように２つ設けるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではない。図１４は、液滴吐出ヘッドの他の構成を簡略に示す断面図である。図１４に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−２のように、図８に示す第２の実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｂを液体供給通路２８を介して対向するように２つ設けるようにしてもよい。   Further, in the droplet discharge head 10C-1 according to the present embodiment, two droplet discharge heads 10A according to the first embodiment shown in FIG. 1 are provided so as to face each other via the liquid supply passage 28. However, the present embodiment is not limited to this. FIG. 14 is a cross-sectional view schematically showing another configuration of the droplet discharge head. As shown in FIG. 14, like the droplet discharge head 10 </ b> C- 2 according to the present embodiment, the droplet discharge head 10 </ b> B according to the second embodiment shown in FIG. Two may be provided.

［第４の実施形態］
本発明の第４の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドを説明する。なお、第１の実施形態ないし第３の実施形態と同一の要素（具体的には図１〜図１４で例示した液滴吐出ヘッドの構成）については同一の符号を付してその説明を省略する。以下では、第１の実施形態ないし第３の実施形態と異なる要素についてのみを説明する。図１５は、本発明の第４の実施形態に係る液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図である。図１５に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｄは、１つの液体供給通路２８に対し、片側に設けた複数の第１の液室１８Ａを千鳥状に配置したものである。第２の液室１８Ｂについても、同様に、複数の第２の液室１８Ｂを千鳥状に配置してもよい。第１の液室１８Ａにおける液室１８Ａ−１、１８Ａ−２のノズル１６同士の間隔、第２の液室１８Ｂにおける液室１８Ｂ−１、１８Ｂ−２のノズル１６同士の間隔をＬ１とする。従来の液滴吐出ヘッドの液室の構成を簡略に示す図を図１６に示す。図１６に示すように、従来の液滴吐出ヘッドでは、液体供給通路２８に対して液室１８が並列に複数設けられており、各々の液室１８のノズル１６同士の間隔をＬ２とする。 [Fourth Embodiment]
A droplet discharge head according to a fourth embodiment of the present invention will be described. The same elements as those in the first to third embodiments (specifically, the configuration of the droplet discharge head exemplified in FIGS. 1 to 14) are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. To do. Hereinafter, only elements different from those in the first to third embodiments will be described. FIG. 15 is a diagram simply showing the configuration of the liquid chamber of the droplet discharge head according to the fourth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 15, the droplet discharge head 10 </ b> D according to the present embodiment is configured by arranging a plurality of first liquid chambers 18 </ b> A provided on one side in a staggered manner with respect to one liquid supply passage 28. Similarly, for the second liquid chamber 18B, a plurality of second liquid chambers 18B may be arranged in a staggered manner. Let L1 be the interval between the nozzles 16 of the liquid chambers 18A-1 and 18A-2 in the first liquid chamber 18A and the interval between the nozzles 16 of the liquid chambers 18B-1 and 18B-2 in the second liquid chamber 18B. FIG. 16 shows a simplified diagram of the configuration of the liquid chamber of a conventional droplet discharge head. As shown in FIG. 16, in the conventional droplet discharge head, a plurality of liquid chambers 18 are provided in parallel to the liquid supply passage 28, and the interval between the nozzles 16 of each liquid chamber 18 is L2.

液体供給通路２８に対して一方に設けられる第１の液室１８Ａにおける液室１８Ａ−１、１８Ａ−２のノズル１６同士または第２の液室１８Ｂのノズル１６同士の間隔Ｌ１を従来の液滴吐出ヘッドの液室１８のノズル１６同士の間隔Ｌ２の１／２程度の大きさにすることができるため、配置されるノズル１６の集積度を２倍に向上させることができる。   The distance L1 between the nozzles 16 of the liquid chambers 18A-1 and 18A-2 or the nozzles 16 of the second liquid chamber 18B in the first liquid chamber 18A provided on one side with respect to the liquid supply passage 28 is determined as a conventional droplet. Since the size can be about ½ of the interval L2 between the nozzles 16 of the liquid chamber 18 of the discharge head, the degree of integration of the nozzles 16 arranged can be improved by a factor of two.

よって、本発明の第４の実施形態に係る液滴吐出ヘッドによれば、第１の液室１８Ａにおける液室１８Ａ−１、１８Ａ−２のノズル１６同士または第２の液室１８Ｂにおける液室１８Ｂ−１、１８Ｂ−２のノズル１６同士の間隔Ｌ１を、従来の液滴吐出ヘッドの液室１８のノズル１６同士の間隔Ｌ２より小さくすることができるため、配置されるノズル１６の集積度を更に向上させることができる。   Therefore, according to the droplet discharge head according to the fourth embodiment of the present invention, the nozzles 16 of the liquid chambers 18A-1 and 18A-2 in the first liquid chamber 18A or the liquid chambers in the second liquid chamber 18B. Since the interval L1 between the nozzles 16 of 18B-1 and 18B-2 can be made smaller than the interval L2 between the nozzles 16 of the liquid chamber 18 of the conventional droplet discharge head, the degree of integration of the arranged nozzles 16 is increased. Further improvement can be achieved.

また、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｃ−１においては、複数の第１の液室１８Ａと複数の第２の液室１８Ｂとを液体供給通路２８を介して対向して並列に設けているが、本実施形態はこれに限定されるものではない。図１７は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッドの液室の配置の他の一例を示す図である。図１７に示すように、１つの液体供給通路２８に対し、第１の液室１８Ａと第２の液室１８Ｂとを千鳥状に配置してもよい。   Further, in the liquid droplet ejection head 10C-1 according to the present embodiment, a plurality of first liquid chambers 18A and a plurality of second liquid chambers 18B are provided in parallel to face each other via a liquid supply passage 28. However, the present embodiment is not limited to this. FIG. 17 is a diagram illustrating another example of the arrangement of the liquid chambers of the droplet discharge head according to the present embodiment. As shown in FIG. 17, the first liquid chamber 18 </ b> A and the second liquid chamber 18 </ b> B may be arranged in a staggered manner with respect to one liquid supply passage 28.

本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｄにおいては、液体供給通路２８に供給されたインクＩを循環させるようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、液体排出通路２９を設けず、液体供給通路２８から供給されたインクＩを循環させないようにしてもよい。このとき、液体供給通路２８に供給されたインクＩは並列に設けられた液室１８Ａ−１、１８Ｂ−１に供給される。液室１８Ａ側に供給されたインクＩは、連通流路３２、液室１８Ａ−１、連通流路３２、液室１８Ａ−２の順に供給される。各液室１８Ａ−１、１８Ａ−２に供給されたインクＩは、ノズル１６から吐出される。一方、液室１８Ａ側に供給されたインクＩは、連通流路３２、液室１８Ｂ−１、連通流路３２、液室１８Ｂ−２の順に供給され、各液室１８Ｂ−１、１８Ｂ−２に供給されたインクＩは、ノズル１６から吐出される。   In the droplet discharge head 10D according to the present embodiment, the ink I supplied to the liquid supply passage 28 is circulated. However, the present embodiment is not limited to this, and the liquid discharge passage 29 is not limited thereto. The ink I supplied from the liquid supply passage 28 may not be circulated. At this time, the ink I supplied to the liquid supply passage 28 is supplied to the liquid chambers 18A-1 and 18B-1 provided in parallel. The ink I supplied to the liquid chamber 18A side is supplied in the order of the communication channel 32, the liquid chamber 18A-1, the communication channel 32, and the liquid chamber 18A-2. The ink I supplied to the liquid chambers 18A-1 and 18A-2 is ejected from the nozzle 16. On the other hand, the ink I supplied to the liquid chamber 18A side is supplied in the order of the communication channel 32, the liquid chamber 18B-1, the communication channel 32, and the liquid chamber 18B-2, and the liquid chambers 18B-1, 18B-2. The ink I supplied to is discharged from the nozzle 16.

本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｄにおいては、液体供給通路２８に供給されたインクＩを液室１８Ａ、１８Ｂの両方に供給するようにしているが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｄは、図１に示す本発明の第１の実施形態に係る液滴吐出ヘッドのように、液室１８を１つのみとし、液体供給通路２８に供給されたインクＩを液室１８Ａまたは１８Ｂの一方のみに供給するようにしてもよい。   In the droplet discharge head 10D according to the present embodiment, the ink I supplied to the liquid supply passage 28 is supplied to both the liquid chambers 18A and 18B. However, the present embodiment is limited to this. Instead, the liquid droplet ejection head 10D according to the present embodiment has only one liquid chamber 18 as in the liquid droplet ejection head according to the first embodiment of the present invention shown in FIG. The ink I supplied to 28 may be supplied to only one of the liquid chambers 18A or 18B.

［第５の実施形態］
本発明の第５の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドを説明する。なお、第１の実施形態ないし第４の実施形態と同一の要素（具体的には図１〜図１７で例示した液滴吐出ヘッドの構成）については同一の符号を付してその説明を省略する。以下では、第１の実施形態ないし第４の実施形態と異なる要素についてのみを説明する。図１８は、本発明の第４の実施形態にかかる液滴吐出ヘッドの構成を簡略に示す図である。図１８に示すように、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｅは、インク供給基板１４の開口部２２内であって、振動板１３上に、ＰＺＴ膜２１を駆動する駆動ＩＣ２３がフリップチップ実装されている。具体的には、インク供給基板１４の中央部の開口部２２に、駆動ＩＣ２３が設けられている。駆動ＩＣ２３にはフリップチップ実装に必要なバンプ４５が金メッキなどで形成され、振動板１３には駆動ＩＣ２３のバンプ４５と対応する位置に同様のバンプが形成されて駆動ＩＣ２３はフリップチップ接合されている。 [Fifth Embodiment]
A droplet discharge head according to a fifth embodiment of the present invention will be described. The same elements as those in the first to fourth embodiments (specifically, the configuration of the droplet discharge head exemplified in FIGS. 1 to 17) are denoted by the same reference numerals, and the description thereof is omitted. To do. Hereinafter, only elements different from those in the first to fourth embodiments will be described. FIG. 18 is a diagram simply showing the configuration of a droplet discharge head according to the fourth embodiment of the present invention. As shown in FIG. 18, in the droplet discharge head 10E according to the present embodiment, the drive IC 23 for driving the PZT film 21 is flip-chip mounted on the diaphragm 13 in the opening 22 of the ink supply substrate 14. Has been. Specifically, a drive IC 23 is provided in the opening 22 at the center of the ink supply substrate 14. Bumps 45 necessary for flip chip mounting are formed on the drive IC 23 by gold plating or the like, and similar bumps are formed on the vibration plate 13 at positions corresponding to the bumps 45 of the drive IC 23, and the drive IC 23 is flip-chip bonded. .

駆動ＩＣ２３を振動板１３の上に設けることで、天板１５の厚さ（Ｚ軸方向）を小さくすることができる。また、天板１５の厚さを小さくすることができるため、循環流路３０の長さを短くすることができる。   By providing the drive IC 23 on the diaphragm 13, the thickness (Z-axis direction) of the top plate 15 can be reduced. Moreover, since the thickness of the top plate 15 can be reduced, the length of the circulation channel 30 can be reduced.

よって、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド１０Ｅによれば、駆動ＩＣ２３を振動板１３の上に設けることで、天板１５の厚さ（Ｚ軸方向）を小さくすることができると共に、天板１５の厚さを小さくすることができるため、循環流路３０の長さを短くすることができ、更なる小型化を図ることができると共に、コストを低減することができる。   Therefore, according to the droplet discharge head 10E according to the present embodiment, the thickness (Z-axis direction) of the top plate 15 can be reduced by providing the drive IC 23 on the vibration plate 13, and the top plate Since the thickness of 15 can be reduced, the length of the circulation channel 30 can be shortened, further miniaturization can be achieved, and the cost can be reduced.

［第６の実施形態］
本発明の第６の実施形態に係るインクジェット記録装置を説明する。なお、インクジェット記録装置に搭載されるインクジェットは、第１の実施形態ないし第５の実施形態と同一の要素（具体的には図１〜図１８で例示した液滴吐出ヘッドの構成）については同一の符号を付してその説明を省略する。以下では、第１の実施形態ないし第５の実施形態と異なる要素についてのみを説明する。図１９は、本実施形態にかかるインクジェットを搭載したインクジェット記録装置の構成を示す斜視図である。図１９に示すように、本実施形態に係るインクジェット記録装置５０は、装置本体５１と、装置本体５１に装着した、記録媒体である用紙を装填するための給紙トレイ５２と、画像が記録（形成）された用紙をストックするための排紙トレイ５３とを有している。 [Sixth Embodiment]
An ink jet recording apparatus according to the sixth embodiment of the present invention will be described. The ink jet mounted on the ink jet recording apparatus has the same elements (specifically, the configuration of the liquid droplet ejection head illustrated in FIGS. 1 to 18) as in the first to fifth embodiments. The description is abbreviate | omitted and attached | subjected. Hereinafter, only elements different from the first to fifth embodiments will be described. FIG. 19 is a perspective view showing a configuration of an ink jet recording apparatus equipped with the ink jet according to the present embodiment. As shown in FIG. 19, an inkjet recording apparatus 50 according to the present embodiment includes an apparatus main body 51, a paper feed tray 52 that is mounted on the apparatus main body 51 and is used for loading paper that is a recording medium, and an image is recorded ( A paper discharge tray 53 for stocking the formed paper.

更に、装置本体５１の前面５４の一端部側には、前面５４から前方側に突き出し、上面５５よりも低くなったカートリッジ装填部５６を有し、このカートリッジ装填部５６の上面に操作キーや表示器などの操作部５７を配置している。カートリッジ装填部５６には、液体保管用タンク（メインタンク）であるインクカートリッジ５８の脱着を行うための開閉可能な前カバー５９を有している。   Furthermore, one end of the front surface 54 of the apparatus main body 51 has a cartridge loading portion 56 that protrudes forward from the front surface 54 and is lower than the upper surface 55. On the upper surface of the cartridge loading portion 56, operation keys and displays are provided. An operation unit 57 such as a vessel is arranged. The cartridge loading unit 56 has a front cover 59 that can be opened and closed for attaching and detaching an ink cartridge 58 that is a liquid storage tank (main tank).

次に、本実施形態に係るインクジェット記録装置５０の機構部について、図２０、２１を参照して説明する。なお、図２０は、インクジェット記録装置５０の機構部の全体構成を示す概略構成図であり、図２１は、インクジェット記録装置５０の機構部の要部を示す平面図である。両図において、図１９と同じ参照符号は同じ構成要素を示す。   Next, the mechanism part of the ink jet recording apparatus 50 according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 20 is a schematic configuration diagram showing the overall configuration of the mechanism unit of the ink jet recording apparatus 50, and FIG. 21 is a plan view showing the main part of the mechanism unit of the ink jet recording apparatus 50. In both figures, the same reference numerals as those in FIG. 19 denote the same components.

図２０、２１に示すように、キャリッジ６１は、左右の側板（図示せず）に横架したガイド部材であるガイドロッド６２とステー６３とで主走査方向（キャリッジ走査方向）に摺動自在に保持され、主走査モータ（図示せず）によって図２１の矢示方向に移動走査する。   As shown in FIGS. 20 and 21, the carriage 61 is slidable in the main scanning direction (carriage scanning direction) by a guide rod 62 that is a guide member horizontally mounted on left and right side plates (not shown) and a stay 63. It is held and moved and scanned in the direction of the arrow in FIG. 21 by a main scanning motor (not shown).

キャリッジ６１には、イエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインク滴を吐出する４個の液滴吐出ヘッドからなる記録ヘッド６４を複数のインク吐出口を主走査方向と交叉する方向に配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着されている。   The carriage 61 includes a recording head 64 including four liquid droplet ejection heads that eject ink droplets of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (Bk) colors, and a plurality of ink ejection ports. Are arranged in a direction crossing the main scanning direction, and the ink droplet ejection direction is directed downward.

記録ヘッド６４を構成する液滴吐出ヘッドとしては、上述の第１の実施形態ないし第５の実施形態に係る液滴吐出ヘッドが用いられ、圧電素子などの圧電アクチュエータをエネルギー発生手段に用いたヘッドが搭載されている。すなわち、記録ヘッド６４は、並列に設けた複数の液室に更に直列に液室を設けている。これにより、並列に設けた複数の液室ごとに液体排出通路を設ける必要がないため、各液体排出通路を設けることで要する循環流路を流れるインクの流通量を減少することができる。また、記録ヘッド６４は、単位面積当たりで更に多数の個別の液室を有することができると共に、更なる小型化を図ることができ、コストの低減を図ることが可能となる。また、本実施形態は、これに限定されるものではなく、圧電素子などの圧電アクチュエータの他に、発熱抵抗体などの電気熱変換素子を用いて液体の膜沸騰による相変化を利用するサーマルアクチュエータ、温度変化による金属相変化を用いる形状記憶合金アクチュエータ、静電力を用いる静電アクチュエータなどの、インク滴を吐出するためのエネルギー発生手段として備えたものなどを使用できる。また、記録ヘッド６４としては各色の液滴を吐出するための複数のノズル列を有する１つの液滴吐出ヘッドで構成することもできる。   As the droplet discharge head constituting the recording head 64, the droplet discharge head according to the first to fifth embodiments described above is used, and a head using a piezoelectric actuator such as a piezoelectric element as an energy generating means. Is installed. That is, the recording head 64 further includes a liquid chamber in series with a plurality of liquid chambers provided in parallel. Thereby, since it is not necessary to provide a liquid discharge passage for each of the plurality of liquid chambers provided in parallel, it is possible to reduce the amount of ink that flows through the circulation flow path by providing each liquid discharge passage. In addition, the recording head 64 can have a larger number of individual liquid chambers per unit area, can be further reduced in size, and cost can be reduced. In addition, the present embodiment is not limited to this, and a thermal actuator that utilizes a phase change caused by film boiling of a liquid using an electrothermal transducer such as a heating resistor in addition to a piezoelectric actuator such as a piezoelectric element. In addition, a shape memory alloy actuator using a metal phase change due to a temperature change, an electrostatic actuator using an electrostatic force, or the like provided as energy generating means for ejecting ink droplets can be used. In addition, the recording head 64 can be configured by a single droplet discharge head having a plurality of nozzle rows for discharging droplets of each color.

また、キャリッジ６１には、記録ヘッド６４に各色のインクを供給するための各色の液体容器であるサブタンク６５を搭載している。サブタンク６５にはインク供給チューブ６６を介して前述した各色のメインタンクであるインクカートリッジ５８からインクが補充供給される。   In addition, the carriage 61 is equipped with a sub tank 65 that is a liquid container of each color for supplying ink of each color to the recording head 64. Ink is supplied to the sub tank 65 from the ink cartridge 58 which is the main tank of each color described above via the ink supply tube 66.

ここで、インクカートリッジ５８は、それぞれ各色に対応してイエロー（Ｙ）、シアン（Ｃ）、マゼンタ（Ｍ）、ブラック（Ｂｋ）の各色のインクを収容しているが、ブラックインクを収容するインクカートリッジ５８は、他のカラーインクを収容するインクカートリッジ５８よりもインクの収容容量を大きくしている。   Here, the ink cartridge 58 stores ink of each color of yellow (Y), cyan (C), magenta (M), and black (Bk) corresponding to each color, but ink that stores black ink. The cartridge 58 has a larger ink storage capacity than the ink cartridges 58 that store other color inks.

一方、排紙トレイ５３の用紙積載部（圧板）６７上に積載した用紙６８を給紙するための給紙部として、用紙積載部６７から用紙６８を１枚づつ分離給送する給紙コロ（半月コロ）６９及び給紙コロ６９に対向し、摩擦係数の大きな材質からなる分離パッド７０を備え、この分離パッド７０は給紙コロ６９側に付勢されている。   On the other hand, as a paper feeding unit for feeding the paper 68 stacked on the paper stacking unit (pressure plate) 67 of the paper discharge tray 53, a paper feeding roller (separately feeding the paper 68 one by one from the paper stacking unit 67). A separation pad 70 made of a material having a large friction coefficient is provided opposite to the half-moon roller 69 and the sheet feeding roller 69, and the separation pad 70 is urged toward the sheet feeding roller 69 side.

そして、この給紙部から給紙された用紙６８を記録ヘッド６４の下方側で搬送するための搬送部として、用紙６８を静電吸着して搬送するための搬送ベルト７１と、給紙部からガイド７２を介して送られる用紙６８を搬送ベルト７１との間で挟んで搬送するためのカウンタローラ７３と、略鉛直上方に送られる用紙６８を略９０°方向転換させて搬送ベルト７１上に倣わせるための搬送ガイド７４と、押さえ部材７５で搬送ベルト７１側に付勢された先端加圧コロ７６とを備えている。また、搬送ベルト７１表面を帯電させるための帯電手段である帯電ローラ７７を備えている。   As a transport unit for transporting the paper 68 fed from the paper feed unit below the recording head 64, a transport belt 71 for electrostatically attracting and transporting the paper 68, and a paper feed unit A counter roller 73 for transporting the paper 68 fed through the guide 72 while sandwiching it between the transport belt 71 and the paper 68 fed substantially vertically upward is turned approximately 90 ° and copied onto the transport belt 71. A conveying guide 74 for adjusting the pressure and a tip pressing roller 76 urged toward the conveying belt 71 by a pressing member 75. In addition, a charging roller 77 which is a charging unit for charging the surface of the conveyance belt 71 is provided.

ここで、搬送ベルト７１は、無端状ベルトであり、搬送ローラ７８とテンションローラ７９との間に掛け渡されて、図２１のベルト搬送方向（副走査方向）に周回するように構成している。   Here, the conveyance belt 71 is an endless belt, and is configured to wrap around the conveyance roller 78 and the tension roller 79 and circulate in the belt conveyance direction (sub-scanning direction) in FIG. .

帯電ローラ７７は、搬送ベルト７１の表層に接触し、搬送ベルト７１の回動に従動して回転するように配置され、加圧力として軸の両端に各２．５Ｎをかけている。また、搬送ベルト７１の裏側には、装置本体５１の機内の湿度を検出する湿度センサ８０と、記録ヘッド６４による印写領域に対応してガイド部材８１を配置している。   The charging roller 77 is arranged so as to contact the surface layer of the conveyor belt 71 and to rotate by the rotation of the conveyor belt 71, and applies 2.5N to both ends of the shaft as a pressing force. Further, on the back side of the conveyor belt 71, a humidity sensor 80 for detecting the humidity inside the apparatus main body 51 and a guide member 81 corresponding to the printing area by the recording head 64 are arranged.

ガイド部材８１は、上面が搬送ベルト７１を支持する２つのローラ（搬送ローラ７８とテンションローラ７９）の接線よりも記録ヘッド６４側に突出している。これにより、搬送ベルト７１は印写領域ではガイド部材８１の上面にて押し上げられてガイドされるので、高精度な平面性が維持される。   The upper surface of the guide member 81 protrudes toward the recording head 64 from the tangent line of the two rollers (the conveyance roller 78 and the tension roller 79) that support the conveyance belt 71. As a result, the conveyance belt 71 is pushed up and guided by the upper surface of the guide member 81 in the printing region, so that highly accurate flatness is maintained.

更に、ガイド部材８１の搬送ベルト７１の裏面と接触する面側には、主走査方向、すなわち搬送方向と直交する方向に複数の溝を形成して、搬送ベルト７１との接触面積を少なくし、搬送ベルト７１がスムーズにガイド部材８１の表面に沿って移動できるようにしている。   Furthermore, a plurality of grooves are formed in the main scanning direction, that is, a direction orthogonal to the conveyance direction, on the surface side of the guide member 81 that contacts the back surface of the conveyance belt 71 to reduce the contact area with the conveyance belt 71. The conveyor belt 71 can be moved along the surface of the guide member 81 smoothly.

また、記録ヘッド６４で記録された用紙６８を排紙するための排紙部として、搬送ベルト７１から用紙６８を分離するための分離爪８２と、排紙ローラ８３及び排紙コロ８４とを備え、排紙ローラ８３の下方に排紙トレイ５３を備えている。ここで、排紙ローラ８３と排紙コロ８４との間から排紙トレイ５３までの高さは排紙トレイ５３にストックできる量を多くするためにある程度高くしている。   Further, as a paper discharge unit for discharging the paper 68 recorded by the recording head 64, a separation claw 82 for separating the paper 68 from the transport belt 71, a paper discharge roller 83, and a paper discharge roller 84 are provided. A paper discharge tray 53 is provided below the paper discharge roller 83. Here, the height from the sheet discharge roller 83 and the sheet discharge roller 84 to the sheet discharge tray 53 is increased to some extent in order to increase the amount that can be stored in the sheet discharge tray 53.

更に、装置本体５１の背面部には両面給紙ユニット８５が着脱自在に装着されている。両面給紙ユニット８５は搬送ベルト７１の逆方向回転で戻される用紙６８を取り込んで反転させて再度カウンタローラ７３と搬送ベルト７１との間に給紙する。また、両面給紙ユニット８５の上面には手差し給紙部８６を設けている。   Further, a double-sided paper feeding unit 85 is detachably attached to the back surface of the apparatus main body 51. The double-sided paper feeding unit 85 takes in the paper 68 returned by the reverse rotation of the transport belt 71, reverses it, and feeds it again between the counter roller 73 and the transport belt 71. Further, a manual paper feed unit 86 is provided on the upper surface of the double-sided paper feed unit 85.

また、図２１に示すように、キャリッジ６１の走査方向片側の非印字領域には、記録ヘッド６４のノズルの状態を維持し、回復するための維持回復機構（以下「サブシステム」という）８７が配置されている。   Further, as shown in FIG. 21, a non-printing area on one side in the scanning direction of the carriage 61 has a maintenance / recovery mechanism (hereinafter referred to as “sub-system”) 87 for maintaining and recovering the nozzle state of the recording head 64. Has been placed.

サブシステム８７には、記録ヘッド６４のノズル面をキャッピングするためのキャップ部材８８ａ、８８ｂ、８８ｃ、８８ｄと、ノズル面をワイピングするためのワイパーブレード８９等とを備えている。   The subsystem 87 includes cap members 88a, 88b, 88c, and 88d for capping the nozzle surface of the recording head 64, a wiper blade 89 for wiping the nozzle surface, and the like.

なお、サブシステム８７では、記録領域側に最も近いキャップ部材８８ａを吸引ポンプ（図示しない）に接続した吸引及び保湿キャップとし、他のキャップ部材８８ｂ、８８ｃ、８８ｄは単なる保湿キャップとしている。   In the subsystem 87, the cap member 88a closest to the recording area side is a suction and moisture retention cap connected to a suction pump (not shown), and the other cap members 88b, 88c and 88d are simply moisture retention caps.

更に、キャリッジ６１の主走査方向の逆側非印字領域には、記録動作中に不使用ノズル内部のインクが乾燥し、吐出不良となることを未然に防ぐことを目的とした印字中空吐出動作の受け皿となり、記録ヘッド６４の各ノズルに対応して設けられているスリット９０を有する空吐出受け機構９１が配置されている。   Further, in the non-printing area on the opposite side in the main scanning direction of the carriage 61, the printing hollow discharge operation for preventing the ink inside the unused nozzles from being dried during the recording operation and causing defective discharge in advance. An idle discharge receiving mechanism 91 having a slit 90 provided corresponding to each nozzle of the recording head 64 is provided.

このように構成した本実施形態に係るインクジェット記録装置５０においては、給紙トレイ５２から用紙６８が１枚ずつ分離給紙され、略鉛直上方に給紙された用紙６８はガイド７２で案内され、搬送ベルト７１とカウンタローラ７３との間に挟まれて搬送され、更に先端を搬送ガイド７４で案内されて先端加圧コロ７６で搬送ベルト７１に押し付けられ、略９０°搬送方向が転換される。   In the inkjet recording apparatus 50 according to the present embodiment configured as described above, the paper 68 is separated and fed one by one from the paper feed tray 52, and the paper 68 fed substantially vertically upward is guided by the guide 72, The conveying belt 71 and the counter roller 73 are sandwiched and conveyed, and the leading end is guided by the conveying guide 74 and is pressed against the conveying belt 71 by the leading end pressing roller 76, thereby changing the conveying direction by approximately 90 °.

このとき、制御回路（図示しない）によって高圧電源から帯電ローラ７７に対してプラス出力とマイナス出力とが交互に繰り返すように、つまり交番する電圧が印加され、搬送ベルト７１が交番する帯電電圧パターン、すなわち、周回方向である副走査方向に、プラスとマイナスが所定の幅で帯状に交互に帯電されたものとなる。   At this time, a charging voltage pattern in which a positive voltage and a negative output are alternately repeated from the high-voltage power source to the charging roller 77 by a control circuit (not shown), that is, an alternating voltage is applied and the conveying belt 71 is alternating. That is, plus and minus are alternately charged in a band shape with a predetermined width in the sub-scanning direction which is the circumferential direction.

このプラス、マイナスを交互に帯電した搬送ベルト７１上に用紙６８が給送されると、用紙６８が搬送ベルト７１に静電的に吸着され、搬送ベルト７１の周回移動によって用紙６８が副走査方向に搬送される。   When the sheet 68 is fed onto the conveyance belt 71 charged with the plus and minus alternately, the sheet 68 is electrostatically attracted to the conveyance belt 71, and the sheet 68 is moved in the sub-scanning direction by the circumferential movement of the conveyance belt 71. It is conveyed to.

そこで、キャリッジ６１を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド６４を駆動することにより、停止している用紙６８にインク滴を吐出して１行分を記録し、用紙６８を所定量搬送後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は用紙６８の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了して、用紙６８を排紙トレイ５３に排紙する。   Accordingly, by driving the recording head 64 according to the image signal while moving the carriage 61, ink droplets are ejected onto the stopped paper 68 to record one line, and after the paper 68 is conveyed by a predetermined amount, Record the next line. Upon receiving a recording end signal or a signal that the trailing edge of the paper 68 has reached the recording area, the recording operation is finished and the paper 68 is discharged onto the paper discharge tray 53.

また、印字（記録）待機中にはキャリッジ６１はサブシステム８７側に移動されて、キャップ部材８８ａ〜８８ｄで記録ヘッド６４をキャッピングし、ノズルを湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止し、また、記録開始前、記録途中などに記録と関係しないインク滴を吐出する回復動作を行って安定した吐出性能を維持する。   During printing (recording) standby, the carriage 61 is moved to the subsystem 87 side, the recording head 64 is capped by the cap members 88a to 88d, and the nozzles are kept in a wet state, thereby preventing ejection failure due to ink drying. In addition, a recovery operation for discharging ink droplets not related to recording is performed before starting recording or during recording to maintain stable discharge performance.

なお、この回復動作を行うときにはキャップ部材８８ａのみが吸引キャップであるので、このキャップ部材８８ａの位置に目的とする記録ヘッド６４を移動してキャッピングする。   Since only the cap member 88a is a suction cap when performing this recovery operation, the target recording head 64 is moved to the position of the cap member 88a and capped.

更に、負圧レバー位置検出センサ９２は、サブタンク６５の負圧状態を負圧状態表示手段としての負圧レバー９３の変位として負圧レバー９３の検知端９３ａを検出する。なお、負圧レバー位置検出センサ９２はフォトインタラプタであってもよく、これにより負圧レバー９３の存在を検出することができる。   Further, the negative pressure lever position detection sensor 92 detects the detection end 93a of the negative pressure lever 93 as a displacement of the negative pressure lever 93 serving as a negative pressure state display means. Note that the negative pressure lever position detection sensor 92 may be a photo interrupter, whereby the presence of the negative pressure lever 93 can be detected.

負圧レバー位置検出センサ９２が負圧レバー９３の検知端９３ａを検出する仕組みは、以下のとおりである。キャリッジ６１の位置情報を検出する図示されていないシステム、すなわちエンコーダとフォトインタラプタなどの組合せによって、負圧レバー位置検出センサ９２によって負圧レバー９３の検知端９３ａを検出したときのキャリッジの位置情報に基づいて負圧レバー９３の位置を検出することができる。   The mechanism in which the negative pressure lever position detection sensor 92 detects the detection end 93a of the negative pressure lever 93 is as follows. The position information of the carriage when the detection end 93a of the negative pressure lever 93 is detected by the negative pressure lever position detection sensor 92 by a system (not shown) for detecting the position information of the carriage 61, that is, a combination of an encoder and a photo interrupter. Based on this, the position of the negative pressure lever 93 can be detected.

このように、本実施形態に係るインクジェット記録装置５０では、記録ヘッド６４は単位面積当たりにおける液室を更に増大させ、更なる小型化を図り、コストの低減を図ることができると共に、用いるインクの流量を減少することができる。したがって、本実施形態に係るインクジェット記録装置５０は、記録ヘッド６４として上述の第１の実施形態ないし第５の実施形態に係る液滴吐出ヘッドを搭載することにより、小型であり、高速、かつ高画質な印刷を可能とし、使用者の使い勝手の良いインクジェット記録装置を実現できる。   As described above, in the ink jet recording apparatus 50 according to the present embodiment, the recording head 64 can further increase the liquid chamber per unit area, further reduce the size, reduce the cost, and reduce the ink used. The flow rate can be reduced. Therefore, the ink jet recording apparatus 50 according to the present embodiment is small in size, high speed, and high by mounting the droplet discharge head according to the first to fifth embodiments as the recording head 64. An ink jet recording apparatus that enables printing with high image quality and is convenient for the user can be realized.

本発明に係る液滴吐出ヘッドは、オフィスやパーソナルで使用するプリンタの場合について説明したが、本実施形態は、これに限定されるものではなく、例えば、イメージスキャナ、ファクシミリ、産業用や商業用として使用される高速デジタル印刷機、複写機（MultiFunction Printer/Product/Peripheral；ＭＦＰ)、インクジェット技術を使った３次元造形機などに用いることができる。   The liquid droplet ejection head according to the present invention has been described for a printer used in an office or a personal computer. However, the present embodiment is not limited to this, for example, an image scanner, a facsimile, an industrial or commercial use. It can be used for a high-speed digital printing machine, a copying machine (MultiFunction Printer / Product / Peripheral; MFP), a three-dimensional modeling machine using inkjet technology, and the like.

１０Ａ〜１０Ｅ 液滴吐出ヘッド
１１ ノズル板
１２ 液室基板
１３ 振動板
１４ 液体供給基板（インク供給基板）
１５ 天板
１６ ノズル
１７ 隔壁
１８ 液室
２１ ＰＺＴ膜（電気機械変換素子）
２２、４４ 開口部
２３ 駆動ＩＣ
２４ 封止口
２５ ワイヤー
２６ 流入口
２７ 流出口
２８ 液体供給通路
２９ 液体排出通路
３０ 循環流路
３２ 連通流路
３３、４４ 流体抵抗部材
４１ 緩衝板
４２ インク溜め部（液体溜め部）
４５ バンプ
５０ インクジェット記録装置
５１ 装置本体
５２ 給紙トレイ
５３ 排紙トレイ
５４ 前面
５５ 上面
５６ カートリッジ装填部
５７ 操作部
５８ インクカートリッジ
５９ 前カバー
６１ キャリッジ
６２ ガイドロッド
６３ ステー
６４ 記録ヘッド
６５ サブタンク
６６ インク供給チューブ
６７ 用紙積載部（圧板）
６８ 用紙
６９ 給紙コロ（半月コロ）
７０ 分離パッド
７１ 搬送ベルト
７２ ガイド
７３ カウンタローラ
７４ 搬送ガイド
７５ 押さえ部材
７６ 先端加圧コロ
７７ 帯電ローラ
７８ 搬送ローラ
７９ テンションローラ
８０ 湿度センサ
８１ ガイド部材
８２ 分離爪
８３ 排紙ローラ
８４ 排紙コロ
８５ 両面給紙ユニット
８６ 手差し給紙部
８７ 維持回復機構（サブシステム）
８８ａ、８８ｂ、８８ｃ、８８ｄ キャップ部材
８９ ワイパーブレード
９０ スリット
９１ 空吐出受け機構
９２ 負圧レバー位置検出センサ
９３ 負圧レバー
９３ａ 検知端
Ｉ インク 10A to 10E Droplet discharge head 11 Nozzle plate 12 Liquid chamber substrate 13 Vibration plate 14 Liquid supply substrate (ink supply substrate)
15 Top plate 16 Nozzle 17 Partition 18 Liquid chamber 21 PZT film (electromechanical transducer)
22, 44 Opening 23 Drive IC
24 Sealing Port 25 Wire 26 Inlet 27 Outlet 28 Liquid Supply Channel 29 Liquid Discharge Channel 30 Circulating Channel 32 Communication Channel 33, 44 Fluid Resistance Member 41 Buffer Plate 42 Ink Reservoir (Liquid Reservoir)
45 Bump 50 Inkjet recording device 51 Device main body 52 Paper feed tray 53 Paper discharge tray 54 Front surface 55 Top surface 56 Cartridge loading portion 57 Operation portion 58 Ink cartridge 59 Front cover 61 Carriage 62 Guide rod 63 Stay 64 Recording head 65 Sub tank 66 Ink supply tube 67 Paper stacking section (pressure plate)
68 paper 69 paper feed roller (half moon roller)
70 Separation Pad 71 Conveying Belt 72 Guide 73 Counter Roller 74 Conveying Guide 75 Pressing Member 76 Tip Pressure Roller 77 Charging Roller 78 Conveying Roller 79 Tension Roller 80 Humidity Sensor 81 Guide Member 82 Separation Claw 83 Paper Discharge Roller 84 Paper Discharge Roller 85 Both Sides Paper feed unit 86 Manual paper feed unit 87 Maintenance and recovery mechanism (subsystem)
88a, 88b, 88c, 88d Cap member 89 Wiper blade 90 Slit 91 Empty discharge receiving mechanism 92 Negative pressure lever position detection sensor 93 Negative pressure lever 93a Detection end I Ink

特開２００３−１８１８号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2003-1818 特開２００９−１４３１６８号公報JP 2009-143168 A

Claims (10)

複数のノズルを備えたノズル板と、
前記ノズル板に接合して設けられ、前記ノズルの設けられている位置に対応するように複数の液室を連通させて区分けする液室基板と、
前記液室基板と接合して設けられる振動板と、
前記振動板を挟んで前記液室基板の反対側にあり、各液室に対応して設けられる電気機械変換素子と、
前記振動板と接合して設けられ、前記電気機械変換素子を囲うように形成された液体供給基板とを有し、
前記ノズル板と前記液室基板と前記振動板と前記液体供給基板とにより、液体が前記液室に供給される液体供給通路が形成され、
前記電気機械変換素子に電圧を印加することにより各々の前記液室に圧力を発生させ、前記液体を前記ノズルから吐出する液滴吐出ヘッドであり、
前記液体を複数の液室に直列に供給することを特徴とする液滴吐出ヘッド。 A nozzle plate having a plurality of nozzles;
A liquid chamber substrate which is provided bonded to the nozzle plate and which separates a plurality of liquid chambers so as to correspond to positions where the nozzles are provided;
A diaphragm provided by being bonded to the liquid chamber substrate;
An electromechanical conversion element provided on the opposite side of the liquid chamber substrate across the diaphragm and provided corresponding to each liquid chamber;
A liquid supply substrate provided so as to be joined to the vibration plate and surrounding the electromechanical transducer;
The nozzle plate, the liquid chamber substrate, the vibration plate, and the liquid supply substrate form a liquid supply passage through which liquid is supplied to the liquid chamber,
A droplet discharge head that generates a pressure in each of the liquid chambers by applying a voltage to the electromechanical transducer and discharges the liquid from the nozzle;
A liquid droplet ejection head, wherein the liquid is supplied to a plurality of liquid chambers in series. 複数の液室から液体を排出する液体排出通路が設けられ、前記液体供給通路と前記液体排出通路とにより液体を循環させる循環流路が形成され、前記循環流路は、前記液体を前記液体供給通路から複数の前記液室を通過して前記液体排出通路から排出することを特徴とする請求項１に記載の液滴吐出ヘッド。   A liquid discharge passage for discharging liquid from a plurality of liquid chambers is provided, and a circulation flow path for circulating the liquid is formed by the liquid supply passage and the liquid discharge passage. The circulation flow path supplies the liquid to the liquid supply The droplet discharge head according to claim 1, wherein the droplet discharge head passes through the plurality of liquid chambers and is discharged from the liquid discharge passage. 複数の液室を連通する連通流路は、流体抵抗部材を有することを特徴とする請求項１または２に記載の液滴吐出ヘッド。   The droplet discharge head according to claim 1, wherein the communication flow path that connects the plurality of liquid chambers includes a fluid resistance member. 前記振動板の反対側に前記液体供給基板と接合する緩衝板が設けられ、
前記液体供給基板は前記ノズル同士の間に貫通した開口部を有し、
前記開口部と前記緩衝板とで液体溜め部を形成し、
前記連通流路は、前記液体溜め部を有し、前記流体抵抗部材が前記液体溜め部内に設けられることを特徴とする請求項３に記載の液滴吐出ヘッド。 A buffer plate that is joined to the liquid supply substrate is provided on the opposite side of the diaphragm,
The liquid supply substrate has an opening penetrating between the nozzles,
A liquid reservoir is formed by the opening and the buffer plate,
The droplet discharge head according to claim 3, wherein the communication channel includes the liquid reservoir, and the fluid resistance member is provided in the liquid reservoir. 前記液体供給基板の前記振動板の反対側に、前記電気機械変換素子と対応するように、前記電気機械変換素子を駆動する駆動回路部材がフリップチップ実装されることを特徴とする請求項１から４のいずれか１つに記載の液滴吐出ヘッド。   The drive circuit member for driving the electromechanical transducer is flip-chip mounted on the opposite side of the liquid supply substrate to the diaphragm so as to correspond to the electromechanical transducer. 5. The droplet discharge head according to claim 1. 前記駆動回路部材と前記振動板との間をワイヤーボンディング実装したことを特徴とする請求項５に記載の液滴吐出ヘッド。   6. The liquid droplet ejection head according to claim 5, wherein the drive circuit member and the diaphragm are mounted by wire bonding. 前記液室は、前記液体が供給される前流側に設けられる液室と、前記前流側に設けられる液室より後流側に設けられる液室とを、千鳥状に配置することを特徴とする請求項１から６のいずれか１つに記載の液滴吐出ヘッド。   The liquid chamber is characterized in that a liquid chamber provided on the upstream side to which the liquid is supplied and a liquid chamber provided on the downstream side from the liquid chamber provided on the upstream side are arranged in a staggered manner. The droplet discharge head according to claim 1. 前記複数の液室は、第１の液室と第２の液室とを有し、前記第１の液室と前記第２の液室は、前記液体供給通路を介して対向するように設けられ、前記液体供給通路は、前記第１の液室と前記第２の液室とに前記液体を分岐させて供給することを特徴とする請求項１から７のいずれか１つに記載の液滴吐出ヘッド。   The plurality of liquid chambers include a first liquid chamber and a second liquid chamber, and the first liquid chamber and the second liquid chamber are provided to face each other via the liquid supply passage. The liquid supply passage according to claim 1, wherein the liquid supply passage branches and supplies the liquid to the first liquid chamber and the second liquid chamber. Drop ejection head. 前記第１の液室と前記第２の液室とが、千鳥状に配置されることを特徴とする請求項８に記載の液滴吐出ヘッド。   The liquid droplet ejection head according to claim 8, wherein the first liquid chamber and the second liquid chamber are arranged in a staggered manner. 請求項１から９のいずれか１つに記載の液滴吐出ヘッドを搭載したことを特徴とするインクジェット記録装置。   An ink jet recording apparatus comprising the droplet discharge head according to claim 1.
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