JP2011253974A - Electronic component mounting device, and electronic component mounting method - Google Patents
Electronic component mounting device, and electronic component mounting method Download PDFInfo
- Publication number
- JP2011253974A JP2011253974A JP2010127460A JP2010127460A JP2011253974A JP 2011253974 A JP2011253974 A JP 2011253974A JP 2010127460 A JP2010127460 A JP 2010127460A JP 2010127460 A JP2010127460 A JP 2010127460A JP 2011253974 A JP2011253974 A JP 2011253974A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic component
- nozzle
- spring member
- suction nozzle
- tension spring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 16
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims abstract description 59
- 230000002787 reinforcement Effects 0.000 claims abstract description 34
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 27
- 230000003014 reinforcing effect Effects 0.000 claims abstract description 13
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims abstract description 11
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 32
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 claims description 18
- 238000000926 separation method Methods 0.000 claims 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 7
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 7
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 7
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 description 6
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000003780 insertion Methods 0.000 description 2
- 230000037431 insertion Effects 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
Abstract
Description
本発明は、基板に電子部品を実装する電子部品実装装置および電子部品実装方法に関するものである。 The present invention relates to an electronic component mounting apparatus and an electronic component mounting method for mounting electronic components on a substrate.
電子部品を基板に実装する電子部品実装装置では、部品供給部に収納された電子部品を実装ヘッドによってピックアップし、基板上へ移送して所定の実装点に搭載する。電子部品のピックアップの方法としては、吸着ノズルによって真空吸着する方法が広く用いられている。吸着ノズルは一般に吸着対象の電子部品に応じて種類やサイズが異なっているため、吸着対象の電子部品に応じて実装ヘッドに着脱自在に装着される。吸着ノズルを実装ヘッドに着脱自在に装着する形式としては、吸着ノズルを保持するノズル保持部に、吸着ノズルに設けられた凹部に嵌合する形状のクランプアームを同心配置で複数設け、これらのクランプアームの外面側を周回させて円環状のスプリングを装着する構成が知られている(特許文献1参照)。 In an electronic component mounting apparatus that mounts an electronic component on a substrate, the electronic component stored in the component supply unit is picked up by a mounting head, transferred onto the substrate, and mounted at a predetermined mounting point. As a method for picking up electronic components, a method of vacuum suction using a suction nozzle is widely used. Since the suction nozzle generally has a different type and size depending on the electronic component to be sucked, it is detachably attached to the mounting head according to the electronic component to be sucked. The suction nozzle can be attached to the mounting head in a detachable manner by providing a plurality of clamp arms concentrically arranged in the nozzle holding portion that holds the suction nozzle and fitting into the recess provided in the suction nozzle. A configuration is known in which an annular spring is mounted around the outer surface of the arm (see Patent Document 1).
吸着ノズルの着脱に際しては、クランプアームの嵌入突部と吸着ノズルの凹部とがスプリングの弾性力によって押し付けられた状態で摺動し摩耗が生じやすいため、特許文献1に示す例においては、クランプアームの嵌入突部に潤滑剤を貯留する溝部を設けることにより、摺動による摩耗を低減するようにしている。 In attaching and detaching the suction nozzle, since the fitting protrusion of the clamp arm and the concave portion of the suction nozzle are slid in a state where they are pressed by the elastic force of the spring, wear tends to occur. Wearing by sliding is reduced by providing a groove for storing the lubricant in the fitting protrusion.
近年電子基板に実装される電子部品の種類の多様化に伴い、電子部品実装装置において吸着ノズルが保持対象とする電子部品の種類には、従来と比較してより重量が大きい大型部品が含まれるようになっている。そしてこのような大型部品を吸着保持している場合には、吸着ノズルに作用する荷重が大きくなることから、吸着ノズルをクランプするためのスプリングの保持力が十分でない場合には、吸着ノズルが保持した部品とともにノズル保持部から脱落する場合がある。このようなノズル脱落の不具合を低減するためには、スプリングのバネ強度を大きくすることにより大きな保持力を得ることができるが、この場合には、ノズル交換に際して既装着の吸着ノズルをノズル保持部から取り外す際に大きな力を必要とする。この結果、嵌入突部と凹部との摺動面の摩耗が促進され、部品寿命の低下を招くという問題が生じる。このように、従来の電子部品実装装置においては、部品保持状態における吸着ノズルの安定した保持力の確保と、ノズル交換時の着脱容易性とを両立させることが困難であるという課題があった。 In recent years, with the diversification of the types of electronic components mounted on electronic boards, the types of electronic components to be held by the suction nozzle in the electronic component mounting apparatus include large components that are heavier than conventional ones. It is like that. When such a large component is held by suction, the load acting on the suction nozzle increases, so if the holding force of the spring for clamping the suction nozzle is not sufficient, the suction nozzle holds it. May fall out of the nozzle holding part together with the removed parts. In order to reduce such a problem of nozzle dropout, it is possible to obtain a large holding force by increasing the spring strength of the spring. Requires a great deal of force when removing from. As a result, the wear of the sliding surface between the fitting protrusion and the recess is promoted, resulting in a problem that the life of the component is reduced. As described above, in the conventional electronic component mounting apparatus, there is a problem that it is difficult to achieve both the securing of the stable holding force of the suction nozzle in the component holding state and the ease of attachment / detachment at the time of nozzle replacement.
そこで本発明は、部品保持状態における吸着ノズルの安定した保持力の確保と、ノズル交換時の着脱容易性とを両立させることができる電子部品実装装置および電子部品実装方法を提供することを目的とする。 Accordingly, an object of the present invention is to provide an electronic component mounting apparatus and an electronic component mounting method capable of ensuring both stable holding force of the suction nozzle in the component holding state and easy attachment / detachment at the time of nozzle replacement. To do.
本発明の電子部品実装装置は、部品供給部から吸着ノズルによって電子部品を吸着保持して取り出して基板位置決め部に位置決めされた基板に実装する電子部品実装装置であって、前記吸着ノズルが着脱自在に装着される実装ヘッドと、この実装ヘッドを前記部品供給部と前記基板位置決め部との間で移動させるヘッド移動手段と、前記実装ヘッドに設けられ前記吸着ノズルを着脱自在に保持するノズル保持部とを備え、前記ノズル保持部は、前記吸着ノズルに設けられた被クランプ部をクランプする複数のクランプアームおよびこれらのクランプアームの外面側を周回して装着されて前記クランプアームに対してクランプ方向の付勢力を与える円環形状の引張りバネ部材よりなるクランプ機構と、前記引張りバネ部材に対して少なくとも相対向する2位置において外周側から規制部材を当接させて前記円環形状の引張りバネ部材の外径方向への変位を規制することにより前記クランプ機構によるクランプ力を補強するクランプ力補強機構と、前記実装ヘッドに設けられた相対移動手段によって前記規制部材を前記ノズル保持部に対してノズル軸方向に往復動させて、この規正部材の位置を前記引張りバネ部材の外周面に当接する第1位置と、前記引張りバネ部材の外周面から離脱する第2位置とに切り換えることにより、前記クランプ機構によるクランプ力の補強実行および補強解除を切り換える補強切り換え手段とを備えた。 The electronic component mounting apparatus according to the present invention is an electronic component mounting apparatus that sucks and holds an electronic component from a component supply unit by a suction nozzle and mounts the electronic component on a substrate positioned in a substrate positioning unit. A mounting head mounted on the head, a head moving means for moving the mounting head between the component supply unit and the substrate positioning unit, and a nozzle holding unit provided in the mounting head for detachably holding the suction nozzle A plurality of clamp arms for clamping a clamped portion provided in the suction nozzle, and mounted around the outer surface side of the clamp arms and clamped with respect to the clamp arm. A clamping mechanism comprising an annular tension spring member that provides a biasing force of at least the tension spring member A clamping force reinforcing mechanism that reinforces a clamping force by the clamping mechanism by restricting displacement of the annular tension spring member in the outer diameter direction by contacting a regulating member from the outer peripheral side at two facing positions; A first position in which the regulating member is reciprocated in the nozzle axial direction with respect to the nozzle holding portion by relative movement means provided in the mounting head, and the position of the setting member abuts on the outer peripheral surface of the tension spring member. And a reinforcing switching means for switching between executing and releasing the reinforcement of the clamping force by the clamping mechanism by switching to the second position where the tension spring member is disengaged from the outer peripheral surface.
本発明の電子部品実装方法は、吸着ノズルが着脱自在に装着される実装ヘッドと、この実装ヘッドを前記部品供給部と前記基板位置決め部との間で移動させるヘッド移動手段と、前記実装ヘッドに設けられ前記吸着ノズルを着脱自在に保持するノズル保持部とを備え、前記ノズル保持部は、前記吸着ノズルに設けられた被クランプ部をクランプする複数のクランプアームおよびこれらのクランプアームの外面側を周回して装着されて前記クランプアームに対してクランプ方向の付勢力を与える円環形状の引張りバネ部材よりなるクランプ機構と、前記引張りバネ部材に対して少なくとも相対向する2位置において外周側から規正部材を当接させて前記円環形状の引張りバネ部材の外径方向への変位を規制することにより前記クランプ機構によるクランプ力を補強するクランプ力補強機構と、前記実装ヘッドに設けられた相対移動手段によって前記規制部材を前記ノズル保持部に対してノズル軸方向に往復動させて、この規正部材の位置を前記引張りバネ部材の外周面に当接する第1位置と、前記引張りバネ部材の外周面から離脱する第2位置とに切り換えることにより、前記クランプ機構によるクランプ力の補強実行および補強解除を切り換える補強切り換え手段とを備えた電子部品実装装置によって、部品供給部から前記吸着ノズルによって電子部品を吸着保持して取り出して基板位置決め部に位置決めされた基板に実装する電子部品実装方法であって、予め重量が大きい大型部品として設定された所定部品を吸着保持の対象とする場合には、前記規制部材の位置を前記第1位置に位置させた状態で電子部品を前記吸着ノズルによって吸着保持し、前記所定部品以外の電子部品を吸着保持の対象とする場合および前記ノズル保持部において吸着ノズルを交換する場合には、前記規制部材の位置を前記第1位置に位置させた状態で作業を行う。 The electronic component mounting method of the present invention includes a mounting head to which a suction nozzle is detachably mounted, a head moving means for moving the mounting head between the component supply unit and the substrate positioning unit, and a mounting head. A nozzle holding portion that detachably holds the suction nozzle, and the nozzle holding portion includes a plurality of clamp arms that clamp a clamped portion provided in the suction nozzle and an outer surface side of these clamp arms. A clamp mechanism comprising an annular tension spring member which is mounted so as to circulate and applies a biasing force in the clamping direction to the clamp arm, and is regulated from the outer periphery side at least at two positions opposite to the tension spring member. The clamp mechanism controls the displacement of the annular tension spring member in the outer diameter direction by contacting the member. The regulating member is reciprocated in the nozzle axial direction with respect to the nozzle holding portion by a clamping force reinforcing mechanism that reinforces the clamping force and a relative moving means provided on the mounting head, and the position of the regulating member is pulled by the tension. Reinforcement switching means for switching between executing and releasing reinforcement of the clamping force by the clamp mechanism by switching between a first position contacting the outer peripheral surface of the spring member and a second position separating from the outer peripheral surface of the tension spring member. The electronic component mounting apparatus including the electronic component mounting apparatus includes: an electronic component mounting method in which the electronic component is sucked and held from the component supply unit by the suction nozzle and mounted on the substrate positioned by the substrate positioning unit, and the weight is large in advance. In a case where a predetermined part set as a part is an object to be sucked and held, the position of the restriction member is set to the first position. When the electronic component is sucked and held by the suction nozzle in a state of being positioned and the electronic component other than the predetermined component is to be sucked and held and when the suction nozzle is replaced in the nozzle holding portion, The operation is performed with the position positioned at the first position.
本発明によれば、吸着ノズルに設けられた被クランプ部をクランプするクランプ機構に設けられた複数のクランプアームの外面側を周回して装着されてクランプ方向の付勢力を与える円環形状の引張りバネ部材に対して外周側から規正部材を当接させて引張りバネ部材の外径方向への変位を規制してクランプ機構によるクランプ力を補強するクランプ力補強機構と、実装ヘッドに設けられた相対移動手段によって規制部材をノズル軸方向に往復動させてこの規正部材の位置を引張りバネ部材の外周面に当接する第1位置と引張りバネ部材の外周面から離脱する第2位置とに切り換えてクランプ機構によるクランプ力の補強実行および補強解除を切り換える補強切り換え手段とを備えることにより、部品保持状態における吸着ノズルの安定した保持力の確保と、ノズル交換時の着脱容易性とを両立させることができる。 According to the present invention, the ring-shaped tension member that is mounted around the outer surface side of the plurality of clamp arms provided in the clamp mechanism that clamps the clamped portion provided in the suction nozzle to provide the urging force in the clamping direction. A clamping force reinforcement mechanism that reinforces the clamping force by the clamping mechanism by abutting a setting member against the spring member from the outer peripheral side and restricting the displacement of the tension spring member in the outer diameter direction, and a relative provided on the mounting head The regulating member is reciprocated in the nozzle axis direction by the moving means, and the position of the regulating member is switched between the first position where the regulating member abuts on the outer circumferential surface of the tension spring member and the second position where the regulating member is detached from the outer circumferential surface of the tension spring member. By providing reinforcement switching means for switching between the reinforcement execution of the clamping force by the mechanism and the cancellation of the reinforcement, the suction nozzle can be stabilized in the component holding state. And securing lifting force, it is possible to achieve both quick release at the time of nozzle replacement.
次に本発明の実施の形態を図面を参照して説明する。まず図1を参照して、電子部品実装装置1の構造を説明する。電子部品実装装置1は、部品供給部から吸着ノズルによって電子部品を吸着保持して取り出して、基板位置決め部に位置決めされた基板に実装する機能を有している。図1において、基台1aの中央には基板搬送機構2がX方向に配設されている。基板搬送機構2は電子部品が実装される基板3をX方向に搬送する。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. First, the structure of the electronic component mounting apparatus 1 will be described with reference to FIG. The electronic component mounting apparatus 1 has a function of picking up and holding an electronic component from a component supply unit by a suction nozzle and mounting it on a substrate positioned in the substrate positioning unit. In FIG. 1, a
基板搬送機構2による搬送経路には、基板を実装位置に位置決めして保持する基板位置決め部が設けられており、この基板位置決め部によって位置決めされた基板3に対して、電子部品が実装される。基板搬送機構2を挟んだ両側方には部品供給部4が配置されており、部品供給部4にはそれぞれ複数のテープフィーダ5が並設されている。テープフィーダ5は電子部品を収納したキャリアテープをピッチ送りして、以下に説明する部品搭載機構に電子部品を供給する。
A substrate positioning portion that positions and holds the substrate at the mounting position is provided in the transport path by the
基台1aのX方向の一端部にはY軸移動テーブル6がY方向に配設されており、Y軸移動テーブル6には1対のX軸移動テーブル7がY方向にスライド自在に結合されている。2つのX軸移動テーブル7にはそれぞれ下端部に吸着ノズル26(図2参照)を備えた実装ヘッド8が装着されており、Y軸移動テーブル6およびX軸移動テーブル7を駆動することにより実装ヘッド8は水平移動する。これにより、実装ヘッド8によってそれぞれの部品供給部4のテープフィーダ5から電子部品を取り出し、基板搬送機構2に位置決めされた基板3に移送搭載する部品実装動作が実行される。したがって、Y軸移動テーブル6、X軸移動テーブル7は、実装ヘッド8を移動させるヘッド移動機構を構成する。
A Y-axis moving table 6 is disposed in the Y direction at one end of the
次に、図2を参照して実装ヘッド8の構造について説明する。図2において実装ヘッド8は垂直な取付プレート10を備えており、Z軸駆動機構9によって昇降する昇降部材9aに取付プレート10を介して装着される。Z軸駆動機構9を駆動することにより、実装ヘッド8の全体が昇降動作を行う(矢印a)。取付プレート10の上部に設けられた平面部10aには、モータ11が垂直に配設されている。モータ11の回転軸11aは、カップリング12を介して回転ブロック13の上端軸13aと結合されている。回転ブロック13の下部は中空軸14と結合されており、中空軸14との結合部に設けられた中空部13bは、管路13cを介して正圧供給源15に接続されている。Z軸駆動機構9、モータ11および正圧供給源15は、制御部17によって制御される。
Next, the structure of the
取付プレート10の側面にはハウジング18が固着されており、ハウジング18は上下のベアリング19を介して中空軸14を回転自在に軸支している。中空軸14内に装着されたスプラインハウジング20には上下にスプライン軸21が昇降自在に挿通している。スプライン軸21の上端部は、中空部13b内に装着されたベロフラム16に当接し、下端部は吸着ノズル26を保持するノズルブロック22に結合されている。スプライン軸21が昇降することにより、ノズル保持部25に保持された吸着ノズル26が昇降する(矢印b)。したがってスプライン軸21は、吸着ノズル26を昇降させるノズル軸となっている。
A
ハウジング18の下面には、水平な結合部材27が結合されており、結合部材27は垂直な連結部28を介して水平な板状の移動部材29と連結されている。移動部材29は、後述するように、吸着ノズル26をクランプするクランプ力を必要に応じて補強する機能において、円筒形状部材30を昇降させるために設けられており、実装ヘッド8を昇降させるZ軸駆動機構9によって昇降方向に相対移動する。すなわち制御部17によってZ軸駆動機構9、モータ11および正圧供給源15を制御して、ハウジング18およびスプライン軸21の昇降動作とノズル保持部25のθ回転動作とを組み合わせることにより、円筒形状部材30を円環形状の引張りバネ部材である環状バネ部材33の外周に嵌脱させるようにしている。これにより、環状バネ部材33によるクランプ力の補強の有無が切り換えられる。なお、ノズルブロック22は、上端をハウジング18に支持された引張りバネ部材35(図4参照)によって上方に付勢されており、これによりスプライン軸21およびノズルブロック22の下方への移動が規制されている。
A
正圧供給源15を駆動して中空部13b内に正圧を付与すると、ベロフラム16はこの圧力によって上述の引張りバネ部材35の付勢力に抗してスプライン軸21を下方に押圧する。すなわち、正圧供給源15およびベロフラム16は、スプライン軸21に対して空圧による下向きの荷重を作用させることにより、実装ヘッド8に対して昇降自在に設けられたノズル保持部25に下方への押圧力を可変に付与する押圧機構となっている。このとき、制御部17によって正圧供給源15から供給される空圧の圧力を制御することにより、電子部品を押圧する押圧力が制御される。なお、押圧機構としてベロフラム以外の他形式のエアアクチュエータを用いてもよい。
When the positive
スプライン軸21の下端部に結合されたノズルブロック22の下部は、吸着ノズル26が着脱自在に装着されるノズル保持部25となっており、吸着ノズル26が装着された状態では、吸着ノズル26の軸部26aに設けられた吸着孔26bは管路23を介して真空吸引源24に接続される。真空吸引源24を駆動することにより、管路23を介して真空吸引され、これにより吸着ノズル26の吸着孔26bに電子部品を真空吸着して保持する。
The lower part of the
モータ11を回転させることにより、回転ブロック13,中空軸14,スプラインハウジング20,スプライン軸21を介してノズルブロック22に回転が伝達される。これにより、ノズルブロック22とともに吸着ノズル26がθ方向に回転する(矢印c)。モータ11は、スプライン軸21をθ回転させるθ回転駆動手段となっている。したがって、吸着ノズル26に吸着保持された電子部品のθ方向の回転位置を任意に調整することができる。この回転動作において、ノズルブロック22に組み込まれた回転継手部22aによって、真空吸引源24に接続された管路23に対するノズルブロック22の回転が許容されるようになっており、回転継手部22aは、廻り止め部材22bによって廻り止めされている。
By rotating the
吸着ノズル26に保持した電子部品を基板に搭載する実装時には、電子部品の種類によって定められた所定の実装荷重で電子部品を押圧する必要がある。この押圧は、正圧供給源15から中空部13bに正圧を付与し、ベロフラム16によってスプライン軸21を下方に押圧することによって行われる。このとき、正圧供給源15から供給される圧力を調整することにより、ベロフラム16が押圧する荷重を任意に設定することができる。したがって、同一の実装ヘッド8を用いて、実装荷重が異る多種類の電子部品を実装できるようになっている。
When mounting the electronic component held by the
次に、図3を参照して、吸着ノズル26およびノズル保持部25の構造を説明する。図3に示すように吸着ノズル26は、吸着孔26bを有し下方に延出する軸部26aを円板状の鍔部26cの下面側に設け、さらに吸着ノズル26をノズル保持部25によってクランプして保持するための被クランプ部26fが設けられた装着突部26dを、鍔部26cの上面側に突設した構成となっている。
Next, the structure of the
ノズル保持部25は上記構成の吸着ノズル26を着脱自在に保持する機能を有しており、上下に貫通して吸着ノズル26と連通する吸引開口部25bが設けられた本体部25aを主体としている。本体部25aは外側に延出した鍔状の延出部25dを有しており、本体部25aの下部には装着突部26dの外テーパ面26eが嵌合する内テーパ面25cが形成されている。真空吸引源24を駆動することにより、管路23を介して吸引開口部25b内が真空吸引される。本体部25aの両側面には、2つのクランプアーム32が装着されており、これらのクランプアーム32のクランプアーム32の外面側を周回して環状バネ部材33が装着されている。環状バネ部材33は無端円環形状の引張りバネ部材であり、クランプアーム32に対して内側方向(クランプ方向)の付勢力を与える付勢手段としての機能を有している。クランプアーム32および環状バネ部材33は、吸着ノズル26をクランプするクランプ機構を構成する。
The
外テーパ面26eを内テーパ面25cに嵌合させて吸着ノズル26をノズル保持部25に保持させた状態では、図3(b)に示すように、環状バネ部材33の付勢力によってクランプアーム32の下部突起32bが被クランプ部26fに対して押し付けられ、これにより吸着ノズル26はクランプされる。このクランプ力は環状バネ部材33の付勢力に依存しているため、大きなクランプ力を必要とする場合には、必要とされるクランプ力に応じて適切なバネ強さを有する環状バネ部材33を選定する必要がある。しかしながら、過大なバネ強さの環状バネ部材33を採用すると、ノズル脱着動作時に下部突起32bや被クランプ部26fに過度の面摩擦が作用して摩耗が促進されるなどの不都合が生じるため、実際に採用可能な環状バネ部材33のバネ強さには限度がある。
In a state where the outer tapered
このため、本実施の形態においては、強いバネ強さの環状バネ部材33を用いることなくクランプ力を増大させることができるよう、以下に説明するクランプ力補強機構を備えるようにしている。以下、図4,図5を参照して、クランプ力補強機構の構成を説明する。図4に示すように、本体部25aの外周には、クランプアーム32に装着された状態における環状バネ部材33の外径に応じた内径を有する略円筒形状の円筒形状部材30が装着されている。円筒形状部材30の上端部には相対向する2位置において外方に延出した被係止部30aおよび内方に鍔状に延出した鍔部30bが設けられている(図5参照)。
For this reason, in this embodiment, a clamping force reinforcing mechanism described below is provided so that the clamping force can be increased without using the
図4に示す状態では、被係止部30aの上面が移動部材29の下面に当接している。円筒形状部材30の内周部において、延出部25dと鍔部30bの間には、圧縮バネ部材31が装着されており、圧縮バネ部材31の付勢力により円筒形状部材30は移動部材29の下面に押し付けられている。円筒形状部材30は内周面に環状バネ部材33が内嵌する寸法形状となっており、円筒形状部材30をノズル保持部25に対して相対的に下降させた状態では、円筒形状部材30の内周面は環状バネ部材33の外周面に当接し(図6(b)参照)、環状バネ部材33の外径方向への変位を規制する。これにより、環状バネ部材33によってクランプアーム32を内側方向(クランプ方向)へ押し付けるクランプ力が補強される。すなわち、円筒形状部材30のノズル保持部25に対する高さ方向の相対位置を変更することにより、クランプ力の補強実行/補強解除を切り換えるようにしている。
In the state shown in FIG. 4, the upper surface of the locked
上記構成において、環状バネ部材33が内嵌する円筒形状部材30は、環状バネ部材33に対して外周側から当接して、環状バネ部材33の外径方向への変位を規制する規制部材としての機能を有している。これにより、クランプアーム32、環状バネ部材33よりなるクランプ機構によるクランプ力を補強するクランプ力補強機構が構成される。なお本実施の形態においては、規制部材として円筒形状部材30を用いているが、環状バネ部材33の外径方向への変位を規制する機能を果たすためには、少なくとも相対向する2位置において環状バネ部材33に対して外周側から当接すればよく、このような機能を有する形状の部材であれば、円筒形状部材30のような形状に限定されるものではない。
In the above configuration, the
スプライン軸21およびノズルブロック22は、ピン36を介してハウジング18に支持された引張りバネ部材35によって上方に付勢されるとともに(矢印d)、中空部13b内に供給される正圧空気(矢印e)によって、空気圧に応じた押圧力でベロフラム16を介して下方に押圧される(矢印f)。この構成により、中空部13b内に付与される空気圧を制御することにより、スプライン軸21、ノズルブロック22を介してノズル保持部25および吸着ノズル26を下方に押し下げ、または上方に復帰させることが可能となっている。すなわち、空気圧による押圧力を引張りバネ部材35の付勢力よりも小さくすることにより、ノズル保持部25、吸着ノズル26は引張りバネ部材35の付勢力により上方に移動し、また空気圧による押圧力を引張りバネ部材35の付勢力よりも大きくすることにより、ノズル保持部25、吸着ノズル26は引張りバネ部材35の付勢力に抗して下方に移動する。
The
このように本実施の形態においては、Z軸駆動機構9によって昇降方向に相対移動する移動部材29の動作とスプライン軸21を昇降させる前述の押圧機構との動作とを組み合わせることにより、円筒形状部材30をノズル保持部25に対してノズル軸方向に相対移動させることが可能となっている。したがって、移動部材29、引張りバネ部材35および前述の押圧機構は、円筒形状部材30をノズル保持部25に対してノズル軸方向に相対移動させる相対移動手段を構成する。このような構成を採用することにより、実装ヘッド8の機構を複雑化することなく、円筒形状部材30の相対移動機能を実現することができる。
Thus, in the present embodiment, the cylindrical member is obtained by combining the operation of the moving
なお、本実施の形態においては、実装ヘッド8に既に設けられている引張りバネ部材35や押圧機構を利用して相対移動手段を構成するようにしているが、本発明はこれに限定されるものではなく、円筒形状部材30をノズル保持部25に対してノズル軸方向に相対移動可能な機構であれば、空圧アクチュエータなどの駆動源を用いた移動機構を別途付加するようにしてもよい。
In the present embodiment, the relative moving means is configured using the
次に図5を参照して移動部材29の機能を説明する。前述のように、本実施の形態におけるクランプ力補強機構では、円筒形状部材30のノズル保持部25に対する相対位置を変更することにより、補強実行および補強解除を切り換えるようになっている。移動部材29は、この相対位置の変更のために用いられるものである。矩形板状の移動部材29には、中央部に位置して円形の開口部29aが形成されており、開口部29aには相対向する2位置に切欠き部29bが設けられている。開口部29a、切欠き部29bはそれぞれ円筒形状部材30の本体および被係止部30aが上下方向に挿通可能な寸法に設定されている。
Next, the function of the moving
図5(a)、(b)、(c)は、移動部材29と円筒形状部材30との相対位置関係を示すものであり、移動部材29を下面側から見た下面図を、それぞれにおけるA−A断面、B−B断面、C−C断面と併せて示している。まず図5(a)は、モータ11を駆動してスプライン軸21を回転させることにより、被係止部30aを切欠き部29bに対して略直交する方向に合わせた状態で、被係止部30aを移動部材29の下面29dに当接させた状態を示している。この状態では、Z軸駆動機構9を駆動してハウジング18を下降させ、結合部材27とともに移動部材29を下降させることにより、円筒形状部材30をスプライン軸21、ノズルブロック22に対して相対的に下降させることができる。
5A, 5B, and 5C show the relative positional relationship between the moving
図5(b)は、モータ11を駆動してスプライン軸21を回転させることにより、被係止部30aの方向を切欠き部29bに合わせた状態で、円筒形状部材30を移動部材29に対して相対的に昇降させる状態を示している。すなわちこの状態では、円筒形状部材30は被係止部30aとともに開口部29a、切欠き部29bを挿通することが可能であるため、図4にて説明した操作により、円筒形状部材30を移動部材29に対して相対的に上昇または下降させることができる(矢印h)。すなわち、下面29d側に位置していた被係止部30aを上面29c側に移動させ、またはその逆の移動を行わせることが可能となっている。
FIG. 5B shows a state in which the
図5(c)は、図5(b)にて切欠き部29bを挿通して上面29c側に移動させ、さらにモータ11を駆動してスプライン軸21を回転させることにより、被係止部30aを切欠き部29bに対して略直交する方向に合わせた状態で、被係止部30aを移動部材29の上面29cに当接させた状態を示している。この状態では、図4にて説明した操作によって円筒形状部材30を移動部材29に対して相対的に下降させることにより、被係止部30aを上面29cに対して押し付けることができる。
In FIG. 5C, the notched
次に図6,図7を参照して、クランプ力補強機構および補強切り換え手段の機能の実際例を説明する。図6(a)は、図4に示す状態から、円筒形状部材30をノズル保持部25に対して相対的に下降させて、クランプ力の補強実行状態にする際の動作を示している。すなわちこの場合には、まず部品供給部4の近傍に配置されるノズル収納部など、軸部26aを挿通させることが可能な挿通孔37aが設けられた固定平面37の上方に実装ヘッド8を移動させる。次いで、Z軸駆動機構9を駆動してハウジング18を下降させ、挿通孔37aに軸部26aを挿通させながら鍔部26cを固定平面37の上面37bに当接させる。この状態では、円筒形状部材30はまだ環状バネ部材33の外周面に当接する位置には到達しない。
Next, actual examples of functions of the clamping force reinforcing mechanism and the reinforcing switching means will be described with reference to FIGS. FIG. 6A shows an operation when the
この後、図6(b)に示すように、Z軸駆動機構9を駆動して結合部材27をさらに所定量だけ下降させる(矢印j)。これにより、円筒形状部材30もともに下降し(矢印k)、内周面が環状バネ部材33の外周面に当接して、環状バネ部材33の外径方向への変位を規制する。これにより、クランプアーム32、環状バネ部材33よりなるクランプ機構による吸着ノズル26のクランプ力が補強される。図6(b)に示す円筒形状部材30の位置は、環状バネ部材33の外周面に内周面が当接する第1位置となっている。
Thereafter, as shown in FIG. 6B, the Z-axis drive mechanism 9 is driven to further lower the
図7(a)は、図6(b)に示す状態から、円筒形状部材30をノズル保持部25に対して相対的に上昇させて、クランプ力の補強解除状態にする際の動作を示している。まずモータ11を駆動してスプライン軸21を回転させることにより(矢印m)、被係止部30aの方向を切欠き部29bに合わせ、この状態で、図4に示す操作によって引張りバネ部材35の付勢力によりスプライン軸21を上昇させる(矢印l)。これにより、円筒形状部材30は内周面が環状バネ部材33の外周面から離脱する(矢印n)とともに、被係止部30aは移動部材29の上面29c側に移動する。
FIG. 7A shows an operation when the
この後、モータ11を駆動してスプライン軸21を回転させることにより(矢印o)、図7(b)に示すように、被係止部30aを開口部29aに直交する方向に位置させ、この状態で、図4に示す操作によってスプライン軸21を下降させる(矢印p)。これにより、被係止部30aは上面29cに押し付けられ(矢印q)、位置が固定される。そしてこの状態では、クランプ補強機構によるクランプ力は補強解除の状態となる。図7(b)に示す円筒形状部材30の位置は、環状バネ部材33の外周面から離脱する第2位置となっている。
Thereafter, by driving the
上述構成においては、環状バネ部材33の外径方向の変位を規制する規制部材としての円筒形状部材30を、ノズル保持部25に対してスプライン軸21のノズル軸方向に往復動させて、円筒形状部材30の位置を上述の第1位置と第2位置とに切り換えることによって、前述のクランプ機構によるクランプ力の補強実行、補強解除を切り換えるようにしている。すなわち本実施の形態に示す構成において、前述の相対移動手段およびスプライン軸21をθ回転するモータ11を制御する制御部17は、相対移動手段によって円筒形状部材30をノズル保持部25に対してノズル軸方向に往復動させて、この円筒形状部材30の位置を、図6(b)、図7(b)にそれぞれ示す第1位置と第2位置とに切り換えることにより、クランプ機構によるクランプ力の補強実行および補強解除を切り換える補強切り換え手段を構成する。
In the above-described configuration, the
そしてこのクランプ力の補強実行、補強解除の機能は、円筒形状部材30に外周方向に延出して設けられた被係止部30aを、移動部材29において係止部として機能する上面29c、下面29dによって係止した状態で、前述の相対移動手段を駆動することにより、円筒形状部材30の位置を前述の第1位置と第2位置とに切り換えるようにしている。
The function of executing the reinforcement of the clamping force and the function of releasing the reinforcement are the
この電子部品実装装置は上記の様に構成されており、以下電子部品実装作業フローについて説明する。まず部品実装作業が開始されると(ST1)、実装ヘッド8において吸着ノズル26の交換が必要か否かが判断される(ST2)。この判断は、記憶装置に予め記憶された実装データに基づいて行われる。ここで、ノズル交換が必要ならば、クランプ力の補強解除状態でノズル交換動作を実行する(ST3)。すなわち、円筒形状部材30の位置を図7(b)に示す第2位置に位置させた状態でノズル交換作業を行う。そしてノズル交換作業を実行した後には、また(ST2)においてノズル交換が不要の場合には、次に実装の対象となる対象部品は大型部品として設定された所定部品であるか否かを判断する(ST4)。すなわち、予め記憶装置に記憶された部品データを制御部17が読み出し、質量が大きくノズル保持部25によって吸着ノズル26をクランプするクランプ力を補強する必要があるか否かを判断する。
This electronic component mounting apparatus is configured as described above, and the electronic component mounting work flow will be described below. First, when the component mounting operation is started (ST1), it is determined whether or not the
そして対象部品が大型部品以外である場合には、クランプ力の補強解除状態で電子部品を吸着保持する(ST5)。すなわち円筒形状部材30の位置を、図7(b)に示す第2位置に位置させた状態で電子部品を吸着ノズル26によって吸着保持する。これに対し対象部品が大型部品である場合には、クランプ力の補強実行状態で電子部品を吸着保持する(ST6)。すなわち円筒形状部材30の位置を、図6(b)に示す第1位置に位置させた状態で電子部品を吸着ノズル26によって吸着保持する。次いで、電子部品を吸着ノズル26によって吸着保持した実装ヘッド8は基板搬送機構2に位置決め保持された基板3へ移動し、保持した電子部品を基板3に実装する(ST7)。
If the target component is other than a large component, the electronic component is sucked and held in a state where the reinforcement of the clamping force is released (ST5). That is, the electronic component is sucked and held by the
上述のように、本実施の形態に示す電子部品実装方法においては、予め重量が大きい大型部品として設定された所定部品を吸着保持の対象とする場合には、円筒形状部材30の位置を前述の第1位置に位置させた状態で電子部品を吸着ノズル26によって吸着保持し、所定部品以外の電子部品を吸着保持の対象とする場合およびノズル保持部25において吸着ノズル26を交換する場合には、円筒形状部材30の位置を第1位置に位置させた状態で作業を行う形態となっている。これにより、吸着ノズル26のクランプ力を対象部品に応じて適正に選択することが可能となるとともに、ノズル交換時にはクランプ力を低減させることができ、安定したノズル保持力の確保とノズル交換時の着脱容易性とを両立させることができる。
As described above, in the electronic component mounting method shown in the present embodiment, when a predetermined component previously set as a large component having a large weight is to be sucked and held, the position of the
本発明の電子部品実装装置および電子部品実装方法は、部品保持状態における吸着ノズルの安定した保持力の確保と、ノズル交換時の着脱容易性とを両立させることができるという効果を有し、吸着ノズルによって電子部品を保持して基板に移送搭載する分野において有用である。 The electronic component mounting apparatus and the electronic component mounting method of the present invention have the effect of ensuring both stable holding force of the suction nozzle in the component holding state and ease of attachment / detachment when replacing the nozzle. This is useful in the field where electronic components are held by a nozzle and transferred to a substrate.
1 電子部品実装装置
2 基板搬送機構
3 基板
4 部品供給部
5 テープフィーダ
6 Y軸移動テーブル
7 X軸移動テーブル
8 実装ヘッド
25 ノズル保持部
25a 本体部
25b 吸引開口部
26 吸着ノズル
26b 吸着孔
26f 被クランプ部
29 移動部材
29a 開口部
30 円筒形状部材
30a 被係止部
32 クランプアーム
33 環状バネ部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Electronic
Claims (4)
前記吸着ノズルが着脱自在に装着される実装ヘッドと、この実装ヘッドを前記部品供給部と前記基板位置決め部との間で移動させるヘッド移動手段と、前記実装ヘッドに設けられ前記吸着ノズルを着脱自在に保持するノズル保持部とを備え、
前記ノズル保持部は、前記吸着ノズルに設けられた被クランプ部をクランプする複数のクランプアームおよびこれらのクランプアームの外面側を周回して装着されて前記クランプアームに対してクランプ方向の付勢力を与える円環形状の引張りバネ部材よりなるクランプ機構と、
前記引張りバネ部材に対して少なくとも相対向する2位置において外周側から規制部材を当接させて前記円環形状の引張りバネ部材の外径方向への変位を規制することにより前記クランプ機構によるクランプ力を補強するクランプ力補強機構と、
前記実装ヘッドに設けられた相対移動手段によって前記規制部材を前記ノズル保持部に対してノズル軸方向に往復動させて、この規正部材の位置を前記引張りバネ部材の外周面に当接する第1位置と、前記引張りバネ部材の外周面から離脱する第2位置とに切り換えることにより、前記クランプ機構によるクランプ力の補強実行および補強解除を切り換える補強切り換え手段とを備えたことを特徴とする電子部品実装装置。 An electronic component mounting apparatus that mounts on a substrate positioned by a substrate positioning unit by sucking and holding an electronic component by suction nozzle from a component supply unit,
A mounting head to which the suction nozzle is detachably mounted, a head moving means for moving the mounting head between the component supply unit and the board positioning unit, and the suction nozzle provided in the mounting head are detachable. A nozzle holding part for holding the
The nozzle holding portion is mounted around a plurality of clamp arms that clamp the clamped portion provided in the suction nozzle and the outer surface side of these clamp arms, and exerts an urging force in the clamping direction on the clamp arm. A clamping mechanism comprising an annular tension spring member to be applied;
Clamping force by the clamp mechanism by restricting displacement of the annular tension spring member in the outer diameter direction by bringing a regulating member into contact with the tension spring member from the outer peripheral side at least at two positions opposite to each other. Clamping force reinforcement mechanism to reinforce,
A first position in which the regulating member is reciprocated in the nozzle axial direction with respect to the nozzle holding portion by relative movement means provided in the mounting head, and the position of the setting member abuts on the outer peripheral surface of the tension spring member. And an electronic component mounting comprising: a reinforcing switching means for switching between executing and releasing reinforcement of the clamping force by the clamp mechanism by switching to a second position where the tension spring member is separated from the outer peripheral surface of the tension spring member apparatus.
前記相対移動手段は、前記実装ヘッドを昇降させるZ軸駆動機構によって昇降方向に相対移動する移動部材と、前記実装ヘッドに対して昇降自在に設けられた前記ノズル保持部に下方への押圧力を可変に付与する押圧機構とを備え、
前記補強切り換え手段は、前記円筒形状部材に外周方向に延出して設けられた被係止部を、前記移動部材に設けられた係止部によって係止した状態で前記相対移動手段を駆動することにより、前記円筒形状部材の位置を前記第1位置と、前記第2位置とに切り換えることを特徴とする電子部品実装装置。 The regulating member is a cylindrical member into which the annular tension spring member is fitted,
The relative movement means applies a downward pressing force to a moving member that moves relative to the mounting head by a Z-axis drive mechanism that moves the mounting head up and down, and the nozzle holding portion that is movable up and down relative to the mounting head. A pressing mechanism that variably applies,
The reinforcement switching means drives the relative movement means in a state in which a locked portion provided extending in the outer peripheral direction on the cylindrical member is locked by a locking portion provided on the moving member. To switch the position of the cylindrical member between the first position and the second position.
予め重量が大きい大型部品として設定された所定部品を吸着保持の対象とする場合には、前記規制部材の位置を前記第1位置に位置させた状態で電子部品を前記吸着ノズルによって吸着保持し、
前記所定部品以外の電子部品を吸着保持の対象とする場合および前記ノズル保持部において吸着ノズルを交換する場合には、前記規制部材の位置を前記第1位置に位置させた状態で作業を行うことを特徴とする電子部品実装方法。 A mounting head to which the suction nozzle is detachably mounted, a head moving means for moving the mounting head between the component supply unit and the substrate positioning unit, and the suction nozzle provided in the mounting head to be detachable. A plurality of clamp arms for clamping a clamped portion provided on the suction nozzle, and mounted around the outer surface side of the clamp arms. A clamping mechanism comprising an annular tension spring member that applies a biasing force in the clamping direction against the tension spring member, and at least two positions opposed to the tension spring member by contacting a setting member from the outer peripheral side. Clamp that reinforces the clamping force by the clamping mechanism by restricting the displacement of the shape tension spring member in the outer diameter direction The regulating member is reciprocated in the nozzle axial direction with respect to the nozzle holding portion by a force reinforcing mechanism and relative moving means provided on the mounting head, and the position of the regulating member is set on the outer peripheral surface of the tension spring member. Electronic component mounting comprising reinforcement switching means for switching between the reinforcement execution and release of the clamping force by the clamp mechanism by switching between a first position of contact and a second position of separation from the outer peripheral surface of the tension spring member An electronic component mounting method in which an electronic component is sucked and held by a suction nozzle from a component supply unit and mounted on a substrate positioned on a substrate positioning unit by an apparatus,
In the case where a predetermined component set in advance as a large component having a large weight is to be sucked and held, the electronic component is sucked and held by the suction nozzle in a state where the position of the regulating member is positioned at the first position,
When an electronic component other than the predetermined component is to be sucked and held, and when the suction nozzle is replaced in the nozzle holding portion, the operation is performed with the position of the restricting member at the first position. An electronic component mounting method characterized by the above.
前記相対移動手段は、前記実装ヘッドを昇降させるZ軸駆動機構によって昇降方向に相対移動する移動部材と、前記実装ヘッドに対して昇降自在に設けられた前記ノズル保持部に下方への押圧力を可変に付与する押圧機構とを備え、
前記円筒形状部材に外周方向に延出して設けられた被係止部を、前記移動部材に設けられた係止部によって係止した状態で前記相対移動手段を駆動することにより、前記円筒形状部材の位置を前記第1位置と、前記第2位置とに切り換えることを特徴とする請求項3に記載の電子部品実装方法。 The regulating member is a cylindrical member into which the annular tension spring member is fitted,
The relative movement means applies a downward pressing force to a moving member that moves relative to the mounting head by a Z-axis drive mechanism that moves the mounting head up and down, and the nozzle holding portion that is movable up and down relative to the mounting head. A pressing mechanism that variably applies,
The cylindrical member is driven by driving the relative moving means in a state in which a locked portion provided extending in the outer peripheral direction on the cylindrical member is locked by a locking portion provided on the moving member. The electronic component mounting method according to claim 3, wherein the position is switched between the first position and the second position.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010127460A JP5353824B2 (en) | 2010-06-03 | 2010-06-03 | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010127460A JP5353824B2 (en) | 2010-06-03 | 2010-06-03 | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011253974A true JP2011253974A (en) | 2011-12-15 |
JP5353824B2 JP5353824B2 (en) | 2013-11-27 |
Family
ID=45417665
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010127460A Expired - Fee Related JP5353824B2 (en) | 2010-06-03 | 2010-06-03 | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5353824B2 (en) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016013583A (en) * | 2014-07-01 | 2016-01-28 | アキム株式会社 | Carrier device |
CN113138296A (en) * | 2020-01-20 | 2021-07-20 | 鸿劲精密股份有限公司 | Electronic component crimping mechanism and crimping device and test sorting equipment using same |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06196896A (en) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Component installation head |
JP2001191287A (en) * | 2000-01-06 | 2001-07-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic part mounting transfer head |
JP2009200532A (en) * | 2009-06-09 | 2009-09-03 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | Electric component holding device |
-
2010
- 2010-06-03 JP JP2010127460A patent/JP5353824B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06196896A (en) * | 1992-12-24 | 1994-07-15 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Component installation head |
JP2001191287A (en) * | 2000-01-06 | 2001-07-17 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Electronic part mounting transfer head |
JP3714080B2 (en) * | 2000-01-06 | 2005-11-09 | 松下電器産業株式会社 | Transfer head for mounting electronic components |
JP2009200532A (en) * | 2009-06-09 | 2009-09-03 | Fuji Mach Mfg Co Ltd | Electric component holding device |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016013583A (en) * | 2014-07-01 | 2016-01-28 | アキム株式会社 | Carrier device |
CN113138296A (en) * | 2020-01-20 | 2021-07-20 | 鸿劲精密股份有限公司 | Electronic component crimping mechanism and crimping device and test sorting equipment using same |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5353824B2 (en) | 2013-11-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5278370B2 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method | |
KR100495586B1 (en) | Electronic component mounting device and mounting head device | |
JP5353824B2 (en) | Electronic component mounting apparatus and electronic component mounting method | |
WO2015033399A1 (en) | Work apparatus for substrate | |
JP2008142880A (en) | Part transfer device and surface mounting machine | |
JP2005230941A (en) | Robot for conveying glass substrate | |
JP2017092200A (en) | Component mounter | |
CN1663794A (en) | Printing apparatus and method for bonding material | |
JP3907876B2 (en) | Electronic component mounting device | |
JP5062130B2 (en) | Component mounter | |
JP6737961B2 (en) | Parts mounting machine | |
WO2015045033A1 (en) | Component mounting apparatus | |
JP2007150105A (en) | Electronic component mounter | |
JP4973614B2 (en) | Mounting head and component mounting machine | |
JP2015056574A (en) | Mount head and part mounting apparatus | |
JP4902442B2 (en) | Electronic circuit component holding device | |
JP2020136548A (en) | Nozzle holder attachment/detachment device and head maintenance method | |
JP6646811B2 (en) | Component mounting device and component mounting method | |
JP7194034B2 (en) | SUPPORT PIN AND SUBSTRATE PROCESSING MACHINE INCLUDING THE SAME | |
JPWO2019230204A1 (en) | Scribe device and tool change mechanism provided in the scribe device | |
JP4871808B2 (en) | Component transfer device for suction nozzle changing device, surface mounter and component inspection machine | |
JP2013229477A (en) | Component mounting method and component mounting apparatus | |
JP7142204B2 (en) | Suction nozzle and component mounter | |
JP2015056573A (en) | Mount head and part mounting apparatus | |
TWI830034B (en) | Parts lifting device and parts installation device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120426 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7421 Effective date: 20121218 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130417 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130423 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130530 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130730 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130812 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5353824 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |