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JP2011199810A - Acoustic wave demultiplexer - Google Patents

Acoustic wave demultiplexer Download PDF

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JP2011199810A
JP2011199810A JP2010067402A JP2010067402A JP2011199810A JP 2011199810 A JP2011199810 A JP 2011199810A JP 2010067402 A JP2010067402 A JP 2010067402A JP 2010067402 A JP2010067402 A JP 2010067402A JP 2011199810 A JP2011199810 A JP 2011199810A
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JP
Japan
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piezoelectric substrate
transmission
reception
acoustic wave
thickness
Prior art date
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Pending
Application number
JP2010067402A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Daisuke Miyazaki
大輔 宮崎
Masashi Omura
正志 大村
Ryoichi Omote
良一 表
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve an isolation characteristic in an acoustic wave demultiplexer having a transmitting side filter chip and a receiving side filter chip.SOLUTION: The acoustic wave demultiplexer 1 includes the transmitting side filter chip 30 and the receiving side filter chip 20. The receiving side filter chip 20 has a receiving side piezoelectric substrate 21, and a receiving side acoustic wave filter 23 formed on the receiving side piezoelectric substrate 21. The transmitting side filter chip 30 has a transmitting side piezoelectric substrate 31, and a transmitting side acoustic wave filter 33 formed on the transmitting side piezoelectric substrate 31. The thickness Tof the receiving side piezoelectric substrate 21 is smaller than the thickness Tof the transmitting side piezoelectric substrate 31.

Description

本発明は、弾性波分波器に関する。特には、本発明は、送信側フィルタチップと受信側フィルタチップとを有する弾性波分波器に関する。   The present invention relates to an elastic wave duplexer. In particular, the present invention relates to an acoustic wave duplexer having a transmission side filter chip and a reception side filter chip.

近年、アンテナ端子と、送信側信号端子及び受信側信号端子との間において、送信信号と受信信号とを分波する分波器として、弾性表面波や弾性境界波などの弾性波を使用した弾性波分波器が広く用いられるようになってきている。   In recent years, an elastic device using an elastic wave such as a surface acoustic wave or a boundary acoustic wave is used as a demultiplexer for separating a transmission signal and a reception signal between an antenna terminal and a transmission-side signal terminal and a reception-side signal terminal. Wave demultiplexers are becoming widely used.

弾性波分波器は、一般的に、実装基板上に実装されている送信側フィルタチップと受信側フィルタチップとを有している。送信側フィルタチップには、アンテナ端子と送信側信号端子との間に接続されている送信側弾性波フィルタ部が設けられている。一方、受信側フィルタチップには、アンテナ端子と受信側信号端子との間に接続されている受信側弾性波フィルタ部が設けられている。   The elastic wave duplexer generally includes a transmission side filter chip and a reception side filter chip mounted on a mounting substrate. The transmission-side filter chip is provided with a transmission-side elastic wave filter portion connected between the antenna terminal and the transmission-side signal terminal. On the other hand, the reception-side filter chip is provided with a reception-side acoustic wave filter portion connected between the antenna terminal and the reception-side signal terminal.

例えば、弾性波分波器を小型化する観点からは、送信側弾性波フィルタ部の圧電基板と、受信側弾性波フィルタ部の圧電基板とを一体に形成することが好ましい。しかしながら、この場合は、弾性波分波器のアイソレーション特性が悪くなりがちであるという問題があった。   For example, from the viewpoint of downsizing the acoustic wave duplexer, it is preferable to integrally form the piezoelectric substrate of the transmission side acoustic wave filter unit and the piezoelectric substrate of the reception side acoustic wave filter unit. However, in this case, there is a problem that the isolation characteristic of the elastic wave duplexer tends to deteriorate.

このような問題などに鑑み、例えば、下記の特許文献1などにおいては、送信側弾性波フィルタ部の圧電基板と、受信側弾性波フィルタ部の圧電基板とを別個に設けた弾性波分波器が開示されている。   In view of such a problem, for example, in Patent Document 1 below, an acoustic wave duplexer in which a piezoelectric substrate of a transmission-side elastic wave filter unit and a piezoelectric substrate of a reception-side elastic wave filter unit are separately provided Is disclosed.

特開2005−318128号公報JP-A-2005-318128

しかしながら、送信側弾性波フィルタ部の圧電基板と、受信側弾性波フィルタ部の圧電基板とを別個に設けた場合であっても、十分に良好なアイソレーション特性が得られない場合が合った。   However, even when the piezoelectric substrate of the transmission-side elastic wave filter unit and the piezoelectric substrate of the reception-side elastic wave filter unit are provided separately, a sufficiently good isolation characteristic cannot be obtained.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、送信側フィルタチップと受信側フィルタチップとを有する弾性波分波器において、アイソレーション特性の改善を図ることにある。   The present invention has been made in view of such a point, and an object thereof is to improve isolation characteristics in an acoustic wave duplexer having a transmission filter chip and a reception filter chip.

本発明に係る弾性波分波器は、アンテナ端子と、送信側信号端子と、受信側信号端子と、送信側フィルタチップ及び受信側フィルタチップとを備えている。受信側フィルタチップは、受信側圧電基板と、受信側弾性波フィルタ部とを有する。受信側弾性波フィルタ部は、受信側圧電基板上に形成されている。受信側弾性波フィルタ部は、アンテナ端子と受信側信号端子との間に接続されている。送信側フィルタチップは、送信側圧電基板と、送信側弾性波フィルタ部とを有する。送信側弾性波フィルタ部は、送信側圧電基板上に形成されている。送信側弾性波フィルタ部は、アンテナ端子と送信側信号端子との間に接続されている。受信側圧電基板の厚みTRxが、送信側圧電基板の厚みTTxよりも小さい。 The elastic wave duplexer according to the present invention includes an antenna terminal, a transmission side signal terminal, a reception side signal terminal, a transmission side filter chip, and a reception side filter chip. The reception-side filter chip has a reception-side piezoelectric substrate and a reception-side elastic wave filter unit. The reception-side elastic wave filter unit is formed on the reception-side piezoelectric substrate. The reception side acoustic wave filter unit is connected between the antenna terminal and the reception side signal terminal. The transmission-side filter chip has a transmission-side piezoelectric substrate and a transmission-side elastic wave filter unit. The transmission-side elastic wave filter unit is formed on the transmission-side piezoelectric substrate. The transmission-side acoustic wave filter unit is connected between the antenna terminal and the transmission-side signal terminal. The thickness T Rx of the reception side piezoelectric substrate is smaller than the thickness T Tx of the transmission side piezoelectric substrate.

本発明に係る弾性波分波器のある特定の局面では、受信側圧電基板の厚みTRxが、0.2mm以下である。この構成によれば、送信側周波数帯における送信側信号端子と受信側信号端子との間のアイソレーション特性をより改善することができる。 In a specific aspect of the acoustic wave duplexer according to the present invention, the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate is 0.2mm or less. According to this configuration, the isolation characteristic between the transmission side signal terminal and the reception side signal terminal in the transmission side frequency band can be further improved.

本発明に係る弾性波分波器の他の特定の局面では、受信側圧電基板の厚みTRxが、0.1mm以上である。この構成によれば、送信側周波数帯における送信側信号端子と受信側信号端子との間のアイソレーション特性を悪化させることなく、受信側フィルタチップの剛性を高めることができる。 In another specific aspect of the acoustic wave duplexer according to the present invention, the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate is 0.1mm or more. According to this configuration, it is possible to increase the rigidity of the reception-side filter chip without deteriorating the isolation characteristics between the transmission-side signal terminal and the reception-side signal terminal in the transmission-side frequency band.

本発明に係る弾性波分波器の別の特定の局面では、送信側圧電基板の厚みTTxが、0.3mm以下である。この構成によれば、送信側信号端子と受信側信号端子との間のアイソレーション特性をより改善することができる。 In another specific aspect of the acoustic wave duplexer according to the present invention, the thickness T Tx of the transmission-side piezoelectric substrate is 0.3 mm or less. According to this configuration, the isolation characteristic between the transmission side signal terminal and the reception side signal terminal can be further improved.

本発明に係る弾性波分波器のさらに他の特定の局面では、受信側弾性波フィルタと送信側弾性波フィルタとのいずれか一方が、バランス型フィルタである。   In still another specific aspect of the elastic wave duplexer according to the present invention, one of the reception-side elastic wave filter and the transmission-side elastic wave filter is a balanced filter.

本発明に係る弾性波分波器のさらに別の特定の局面では、受信側弾性波フィルタが、バランス型フィルタである。   In still another specific aspect of the acoustic wave duplexer according to the present invention, the reception-side acoustic wave filter is a balanced filter.

本発明に係る弾性波分波器のまた他の特定の局面では、受信側圧電基板と、送信側圧電基板とは、異なる材料からなる。   In another specific aspect of the elastic wave duplexer according to the present invention, the reception-side piezoelectric substrate and the transmission-side piezoelectric substrate are made of different materials.

本発明に係る弾性波分波器のまた別の特定の局面では、受信側圧電基板がLiTaO基板からなり、送信側圧電基板がLiNbO基板からなる。この構成では、比較的薄い受信側圧電基板が、剛性が比較的高いLiTaO基板からなるため、弾性波分波器の耐久性の劣化を抑制しつつ、アイソレーション特性を高めることができる。 In another specific aspect of the elastic wave duplexer according to the present invention, the reception-side piezoelectric substrate is made of a LiTaO 3 substrate, and the transmission-side piezoelectric substrate is made of a LiNbO 3 substrate. In this configuration, since the relatively thin receiving-side piezoelectric substrate is made of the LiTaO 3 substrate having relatively high rigidity, it is possible to improve the isolation characteristics while suppressing deterioration in durability of the acoustic wave duplexer.

本発明では、受信側圧電基板の厚みTRxが、送信側圧電基板の厚みTTxよりも小さい。このため、送信側周波数帯における送信側信号端子と受信側信号端子との間のアイソレーション特性を改善することができる。また、求められる耐電力性が低い受信側フィルタチップの受信側圧電基板は、求められる耐電力性が高い送信側フィルタチップの送信側圧電基板よりも小さくし得るため、破損しにくい。このため、受信側圧電基板の厚みTRxを送信側圧電基板の厚みTTxよりも小さくしても、耐久性がそれほど劣化しない。従って、本発明によれば、優れたアイソレーション特性を有し、かつ高い耐久性を有する弾性波分波器を提供することができる。 In the present invention, the thickness T Rx of the reception side piezoelectric substrate is smaller than the thickness T Tx of the transmission side piezoelectric substrate. For this reason, the isolation characteristic between the transmission side signal terminal and the reception side signal terminal in the transmission side frequency band can be improved. In addition, the reception-side piezoelectric substrate of the reception-side filter chip with low required power resistance can be made smaller than the transmission-side piezoelectric substrate of the transmission-side filter chip with high required power resistance, and thus is not easily damaged. Therefore, even if less than the thickness T Tx transmission side piezoelectric substrate thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate, is not significantly deteriorated durability. Therefore, according to the present invention, an elastic wave duplexer having excellent isolation characteristics and high durability can be provided.

本発明の一実施形態に係る弾性波分波器の模式図である。1 is a schematic diagram of an acoustic wave duplexer according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係る弾性波分波器の等価回路図である。1 is an equivalent circuit diagram of an elastic wave duplexer according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態における受信側フィルタチップの模式的断面図である。It is a typical sectional view of the receiving side filter chip in one embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態における送信側フィルタチップの模式的断面図である。It is typical sectional drawing of the transmission side filter chip | tip in one Embodiment of this invention. 実施例1〜3及び比較例のそれぞれにおける送信側信号端子と第1の受信側信号端子との間のアイソレーション特性を表すグラフである。It is a graph showing the isolation characteristic between the transmission side signal terminal and the 1st reception side signal terminal in each of Examples 1-3 and a comparative example. 実施例1及び実施例4のそれぞれにおける送信側信号端子と第1の受信側信号端子との間のアイソレーション特性を表すグラフである。It is a graph showing the isolation characteristic between the transmission side signal terminal in each of Example 1 and Example 4, and the 1st reception side signal terminal. 直達波を説明するための等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram for demonstrating a direct wave. 直達波を説明するための等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram for demonstrating a direct wave. 直達波を説明するための等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram for demonstrating a direct wave.

以下、本発明を実施した好ましい形態について、図1及び図2に示す弾性表面波分波器1を例に挙げて説明する。但し、弾性表面波分波器1は、単なる例示である。本発明に係る弾性波分波器は、弾性表面波分波器1に何ら限定されない。本発明に係る弾性波分波器は、例えば、弾性境界波を利用した弾性境界波分波器であってもよい。   Hereinafter, a preferred embodiment in which the present invention is implemented will be described taking the surface acoustic wave duplexer 1 shown in FIGS. 1 and 2 as an example. However, the surface acoustic wave duplexer 1 is merely an example. The elastic wave duplexer according to the present invention is not limited to the surface acoustic wave duplexer 1. The elastic wave duplexer according to the present invention may be, for example, a boundary acoustic wave duplexer using boundary acoustic waves.

本実施形態の弾性表面波分波器1は、送信周波数帯(Tx帯)が1850MHz〜1910MHzであり、受信周波数帯(Rx帯)が1930MHz〜1990MHzである。   The surface acoustic wave duplexer 1 of the present embodiment has a transmission frequency band (Tx band) of 1850 MHz to 1910 MHz and a reception frequency band (Rx band) of 1930 MHz to 1990 MHz.

図1は、本実施形態に係る弾性波分波器の模式図である。図2は、本実施形態に係る弾性波分波器の等価回路図である。図3は、受信側フィルタチップの模式的断面図である。図4は、送信側フィルタチップの模式的断面図である。   FIG. 1 is a schematic diagram of an acoustic wave duplexer according to the present embodiment. FIG. 2 is an equivalent circuit diagram of the acoustic wave duplexer according to the present embodiment. FIG. 3 is a schematic cross-sectional view of the reception-side filter chip. FIG. 4 is a schematic cross-sectional view of the transmission-side filter chip.

図1に示すように、弾性表面波分波器1は、配線基板10と、受信側フィルタチップ20と、送信側フィルタチップ30とを備えている。受信側フィルタチップ20と送信側フィルタチップ30とは、配線基板10にフリップチップ実装されている。配線基板10の上には、樹脂層11が形成されている。この樹脂層11によって受信側フィルタチップ20と送信側フィルタチップ30とが封止されている。   As shown in FIG. 1, the surface acoustic wave duplexer 1 includes a wiring board 10, a reception-side filter chip 20, and a transmission-side filter chip 30. The reception-side filter chip 20 and the transmission-side filter chip 30 are flip-chip mounted on the wiring board 10. A resin layer 11 is formed on the wiring substrate 10. The resin layer 11 seals the reception side filter chip 20 and the transmission side filter chip 30.

図3に示すように、受信側フィルタチップ20は、受信側圧電基板21を備えている。受信側圧電基板21は、圧電性を有する基板である限りにおいて特に限定されない。受信側圧電基板21は、例えば、LiNbO基板、LiTaO基板、水晶基板、ZnO基板等により構成することができる。なかでも、受信側圧電基板21は、LiTaO基板により構成されていることが好ましい。受信側圧電基板21をLiTaO基板により構成した場合、横モードリップルを抑圧することができ、温度特性にも優れたフィルタを得ることができる。 As shown in FIG. 3, the reception-side filter chip 20 includes a reception-side piezoelectric substrate 21. The receiving side piezoelectric substrate 21 is not particularly limited as long as it is a substrate having piezoelectricity. The reception-side piezoelectric substrate 21 can be constituted by, for example, a LiNbO 3 substrate, a LiTaO 3 substrate, a crystal substrate, a ZnO substrate, or the like. Among them, the receiving side piezoelectric substrate 21 is preferably made of a LiTaO 3 substrate. When the receiving side piezoelectric substrate 21 is composed of a LiTaO 3 substrate, transverse mode ripple can be suppressed, and a filter having excellent temperature characteristics can be obtained.

受信側圧電基板21の上には、弾性表面波を励振させるIDT電極を含む電極22が形成されている。この電極22によって受信側弾性表面波フィルタ部23が構成されている。電極22は、例えば、Al,Pt,Au,Ag,Cu,Ti,Ni,Cr,Pd,Ni,Wなどの金属や、これらの金属の一種以上を含む合金などにより形成することができる。電極22は、例えば、複数の金属膜や合金膜の積層体により構成されていてもよい。   An electrode 22 including an IDT electrode for exciting a surface acoustic wave is formed on the reception-side piezoelectric substrate 21. The electrode 22 constitutes a reception-side surface acoustic wave filter unit 23. The electrode 22 can be formed of, for example, a metal such as Al, Pt, Au, Ag, Cu, Ti, Ni, Cr, Pd, Ni, and W, or an alloy containing one or more of these metals. For example, the electrode 22 may be composed of a laminate of a plurality of metal films or alloy films.

図4に示すように、送信側フィルタチップ30は、送信側圧電基板31を備えている。送信側圧電基板31は、圧電性を有する基板である限りにおいて特に限定されない。送信側圧電基板31は、例えば、LiNbO基板、LiTaO基板、水晶基板、ZnO基板等により構成することができる。なかでも、送信側圧電基板31は、LiNbO基板により構成されていることが好ましい。送信側圧電基板をLiNbO基板により構成した場合、挿入損失が低減された、広帯域の通過特性を有するフィルタを得ることができる。もっとも、送信側圧電基板31は、受信側圧電基板21と同じ種類の圧電基板により構成されていてもよい。 As shown in FIG. 4, the transmission-side filter chip 30 includes a transmission-side piezoelectric substrate 31. The transmission side piezoelectric substrate 31 is not particularly limited as long as it is a substrate having piezoelectricity. The transmission-side piezoelectric substrate 31 can be composed of, for example, a LiNbO 3 substrate, a LiTaO 3 substrate, a crystal substrate, a ZnO substrate, or the like. Among them, the transmission side piezoelectric substrate 31 is preferably formed of a LiNbO 3 substrate. When the transmission-side piezoelectric substrate is composed of a LiNbO 3 substrate, it is possible to obtain a filter having a broadband pass characteristic with reduced insertion loss. However, the transmission-side piezoelectric substrate 31 may be formed of the same type of piezoelectric substrate as the reception-side piezoelectric substrate 21.

送信側圧電基板31の上には、弾性表面波を励振させるIDT電極を含む電極32が形成されている。この電極32によって送信側弾性表面波フィルタ部33が構成されている。電極32は、例えば、Al,Pt,Au,Ag,Cu,Ti,Ni,Cr,Pd,Ni,Wなどの金属や、これらの金属の一種以上を含む合金などにより形成することができる。電極32は、例えば、複数の金属膜や合金膜の積層体により構成されていてもよい。   An electrode 32 including an IDT electrode for exciting a surface acoustic wave is formed on the transmission side piezoelectric substrate 31. The electrode 32 constitutes a transmission-side surface acoustic wave filter unit 33. The electrode 32 can be formed of, for example, a metal such as Al, Pt, Au, Ag, Cu, Ti, Ni, Cr, Pd, Ni, and W, or an alloy containing one or more of these metals. For example, the electrode 32 may be formed of a laminate of a plurality of metal films or alloy films.

図2に示すように、弾性表面波分波器1は、アンテナ端子12と、送信側信号端子13と、第1及び第2の受信側信号端子14a、14bとを備えている。   As shown in FIG. 2, the surface acoustic wave duplexer 1 includes an antenna terminal 12, a transmission-side signal terminal 13, and first and second reception-side signal terminals 14a and 14b.

送信側弾性表面波フィルタ部33は、アンテナ端子12と送信側信号端子13との間に接続されている。本実施形態では、送信側弾性表面波フィルタ部33は、平衡−不平衡変換機能を有さないラダー型弾性表面波フィルタ部により構成されており、送信側信号端子13がひとつ設けられている。   The transmission-side surface acoustic wave filter unit 33 is connected between the antenna terminal 12 and the transmission-side signal terminal 13. In the present embodiment, the transmission-side surface acoustic wave filter unit 33 is configured by a ladder-type surface acoustic wave filter unit that does not have a balanced-unbalanced conversion function, and one transmission-side signal terminal 13 is provided.

受信側弾性表面波フィルタ部23は、アンテナ端子12と第1及び第2の受信側信号端子14a、14bとの間に接続されている。本実施形態では、受信側弾性表面波フィルタ部23は、平衡−不平衡変換機能を有する所謂バランス型の縦結合共振子型弾性波フィルタ部により構成されている。   The reception-side surface acoustic wave filter unit 23 is connected between the antenna terminal 12 and the first and second reception-side signal terminals 14a and 14b. In the present embodiment, the reception-side surface acoustic wave filter unit 23 includes a so-called balanced longitudinally coupled resonator type acoustic wave filter unit having a balanced-unbalanced conversion function.

なお、送信側弾性表面波フィルタ部および受信側弾性表面波フィルタ部は、上記の組み合わせに限ったものではない。本実施形態では、送信側弾性表面波フィルタ部をラダー型フィルタ部、受信側弾性表面波フィルタ部を縦結合共振子型フィルタ部としているが、構成を変えても本実施形態と同様の効果が得られる。   The transmission-side surface acoustic wave filter unit and the reception-side surface acoustic wave filter unit are not limited to the above combinations. In this embodiment, the transmission-side surface acoustic wave filter unit is a ladder-type filter unit, and the reception-side surface acoustic wave filter unit is a longitudinally coupled resonator-type filter unit. However, the same effect as this embodiment can be obtained even if the configuration is changed. can get.

本実施形態では、受信側圧電基板21の厚みTRxが、送信側圧電基板31の厚みTTxよりも小さい。従って、実施例においても裏付けられるように、送信側周波数帯における送信側信号端子13と第1の受信側信号端子14aとの間のアイソレーション特性を良好にすることができる。 In the present embodiment, the thickness T Rx of the reception side piezoelectric substrate 21 is smaller than the thickness T Tx of the transmission side piezoelectric substrate 31. Therefore, as is also supported in the embodiment, the isolation characteristic between the transmission side signal terminal 13 and the first reception side signal terminal 14a in the transmission side frequency band can be improved.

また、送信側フィルタチップ30よりも求められる耐電力性が低い受信側フィルタチップ20の方が、圧電基板を小さくし得る。このため、受信側圧電基板21は、送信側圧電基板31よりも小さく、破損しにくい。よって、受信側圧電基板21の厚みTRxを送信側圧電基板31の厚みTTxよりも小さくしても、弾性表面波分波器1の耐久性がそれほど低下しない。従って、本実施形態の弾性表面波分波器1は、優れたアイソレーション特性を有し、かつ高い機械的耐久性を有する。 In addition, the receiving-side filter chip 20 having lower power durability than the transmitting-side filter chip 30 can make the piezoelectric substrate smaller. For this reason, the receiving side piezoelectric substrate 21 is smaller than the transmitting side piezoelectric substrate 31 and is not easily damaged. Therefore, even if less than the thickness T Tx transmission side piezoelectric substrate 31 and the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21, is not significantly reduced durability of the surface acoustic wave duplexer 1. Therefore, the surface acoustic wave duplexer 1 according to this embodiment has excellent isolation characteristics and high mechanical durability.

また、本実施形態では、薄い受信側圧電基板21が高剛性のLiTaO基板により構成されている。このため、より高い耐久性を実現することができる。 In the present embodiment, the thin receiving-side piezoelectric substrate 21 is composed of a highly rigid LiTaO 3 substrate. For this reason, higher durability can be realized.

受信側圧電基板21の厚みTRxが薄い方がより優れたアイソレーション特性が得られるため、受信側圧電基板21の厚みTRxは0.2mm以下であることが好ましい。但し、受信側圧電基板21の厚みTRxが0.1mm以下である場合は、受信側圧電基板21の厚みTRxが薄くなっても、弾性表面波分波器1のアイソレーション特性は大きく変化しなくなる。このため、アイソレーション特性を改善する観点からは、受信側圧電基板21の厚みTRxを0.1mm未満にする必要はない。また、受信側圧電基板21の厚みTRxが薄くなりすぎると、受信側圧電基板21の機械的強度が低下する傾向にある。このため、受信側圧電基板21の厚みTRxは、0.1mm以上であることが好ましい。 Since the isolation characteristics of better thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 is thin is better is obtained, the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 is preferably 0.2mm or less. However, when the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 is 0.1mm or less, even thinner thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21, isolation characteristics of the surface acoustic wave duplexer 1 is greatly changed No longer. Therefore, from the viewpoint of improving the isolation characteristic it is not required to be less than 0.1mm thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21. If the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 is too thin, the mechanical strength of the received side piezoelectric substrate 21 tends to decrease. Therefore, the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 is preferably 0.1mm or more.

より優れたアイソレーション特性を得る観点からは、送信側圧電基板31の厚みTTxも薄い方が好ましい。このため、送信側圧電基板31の厚みTTxは、0.3mm以下であることが好ましく、0.25mm以下であることがより好ましい。 From the viewpoint of obtaining better isolation characteristics, it is preferable that the thickness T Tx of the transmission-side piezoelectric substrate 31 is also thin. For this reason, the thickness T Tx of the transmission-side piezoelectric substrate 31 is preferably 0.3 mm or less, and more preferably 0.25 mm or less.

なお、受信側圧電基板21の厚みTRxを送信側圧電基板31の厚みTTxよりも小さくすることにより、送信側周波数帯における送信側信号端子13と第1の受信側信号端子14aとの間のアイソレーション特性を改善できる理由は、以下の理由によるものと考えられる。弾性表面波分波器に電気信号が印加されると、電磁界の洩れが生じる。これにより、送信側圧電基板31、受信側圧電基板21、アンテナ端子12、送信側信号端子13及び受信側信号端子14a、14bと、グランドとの間にインダクタンスや容量の電気的な結合が発生する。その結果、信号の一部が、圧電基板の上に形成されているIDT電極を経由せずに、発生したインダクタンスや容量を経由して直達する場合がある。以下に、信号の一部が直達する現象について説明する。 Incidentally, to be smaller than the thickness T Tx transmission side piezoelectric substrate 31 and the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21, between the transmission-side signal terminal 13 at the transmitting side frequency band and the first reception-side signal terminal 14a The reason why the isolation characteristics can be improved is considered to be as follows. When an electrical signal is applied to the surface acoustic wave duplexer, electromagnetic field leakage occurs. As a result, electrical coupling of inductance and capacitance occurs between the transmission-side piezoelectric substrate 31, the reception-side piezoelectric substrate 21, the antenna terminal 12, the transmission-side signal terminal 13, and the reception-side signal terminals 14a and 14b and the ground. . As a result, a part of the signal may reach directly through the generated inductance or capacitance without going through the IDT electrode formed on the piezoelectric substrate. Hereinafter, a phenomenon in which a part of the signal reaches directly will be described.

送信用弾性表面波フィルタチップ及び受信用弾性表面波フィルタチップは、基板にフリップチップ実装され、かつ封止樹脂により封止されている。すなわち、弾性表面波フィルタチップは、IDT電極が形成された一方の主面が基板に対向しており、反対側の他方の主面上には高分子系材料(樹脂)からなる封止部が存在している。この封止部や圧電基板部により、弾性表面波フィルタチップの他方の主面上に存在する容量に起因する直達波が発生する。   The surface acoustic wave filter chip for transmission and the surface acoustic wave filter chip for reception are flip-chip mounted on a substrate and sealed with a sealing resin. That is, in the surface acoustic wave filter chip, one main surface on which the IDT electrode is formed is opposed to the substrate, and a sealing portion made of a polymer material (resin) is provided on the other main surface on the opposite side. Existing. Due to the sealing portion and the piezoelectric substrate portion, a direct wave due to the capacitance existing on the other main surface of the surface acoustic wave filter chip is generated.

例えば図7の回路図に示すように、入力端子61,62と出力端子63,64を備えた2端子対の弾性表面波フィルタ60を考える。このとき、図8の回路図において矢印70,72で示すように、弾性表面波フィルタ60を経ずに、入力端子61,62から出力端子63,64に直接伝わる信号が存在する。この信号を直達波と言う。   For example, as shown in the circuit diagram of FIG. 7, a two-terminal-pair surface acoustic wave filter 60 having input terminals 61 and 62 and output terminals 63 and 64 is considered. At this time, as indicated by arrows 70 and 72 in the circuit diagram of FIG. 8, there are signals transmitted directly from the input terminals 61 and 62 to the output terminals 63 and 64 without passing through the surface acoustic wave filter 60. This signal is called a direct wave.

直達波は、図9の等価回路図に示すように、入力端子61,62と出力端子63,64との間の相互インダクタンスによる成分74と、入力端子61,62と出力端子63,64との間の容量結合による成分76と、グランドの浮きによる成分78などを含む。   As shown in the equivalent circuit diagram of FIG. 9, the direct wave is generated by a component 74 due to mutual inductance between the input terminals 61 and 62 and the output terminals 63 and 64, and between the input terminals 61 and 62 and the output terminals 63 and 64. A component 76 due to capacitive coupling between the two and a component 78 due to floating of the ground are included.

この直達波により、弾性波分波器における、送信端子と受信端子間のアイソレーション特性が悪くなる場合がある。ここで、送信側圧電基板、受信側圧電基板、アンテナ端子、送信側信号端子及び受信側信号端子と、グランドとの間に発生する容量の大きさは、圧電基板の厚みに依存する。具体的には、圧電基板の厚みが薄くなるほど圧電基板と各端子間に発生する容量の大きさが小さくなる。このため、圧電基板の厚みが薄くなるほど、発生した容量を介しての信号の直達成分が少なくなる。本実施形態では、受信側圧電基板21の厚みが薄くされているため、受信側弾性表面波フィルタ部23における信号の直達を抑制することができる。その結果、アイソレーション特性の悪化を抑制できるものと考えられる。   This direct wave may deteriorate the isolation characteristics between the transmission terminal and the reception terminal in the elastic wave duplexer. Here, the size of the capacitance generated between the transmission side piezoelectric substrate, the reception side piezoelectric substrate, the antenna terminal, the transmission side signal terminal and the reception side signal terminal, and the ground depends on the thickness of the piezoelectric substrate. Specifically, the smaller the thickness of the piezoelectric substrate, the smaller the capacitance generated between the piezoelectric substrate and each terminal. For this reason, as the thickness of the piezoelectric substrate decreases, the direct achievement of the signal through the generated capacitance decreases. In the present embodiment, since the thickness of the reception-side piezoelectric substrate 21 is reduced, it is possible to suppress direct signal arrival at the reception-side surface acoustic wave filter unit 23. As a result, it is considered that deterioration of isolation characteristics can be suppressed.

以下、受信側圧電基板21の厚みTRxを送信側圧電基板31の厚みTTxよりも小さくすることにより、送信側周波数帯における送信側信号端子13と第1の受信側信号端子14aとの間のアイソレーション特性を改善できることについて、実施例に基づいてさらに詳細に説明する。 Hereinafter, to be smaller than the thickness T Tx transmission side piezoelectric substrate 31 and the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21, between the transmission-side signal terminal 13 at the transmitting side frequency band and the first reception-side signal terminal 14a The fact that the isolation characteristics can be improved will be described in more detail based on examples.

図5及び図6に上記実施形態に係る弾性表面波分波器1と実質的に同様の構成を有する実施例1〜4に係る弾性表面波分波器のアイソレーション特性と、比較例に係る弾性表面波分波器のアイソレーション特性とを示す。なお、比較例に係る弾性表面波分波器は、受信側圧電基板21の厚みTRxと送信側圧電基板31の厚みTTxとを共に、0.25mmとしたこと以外は、上記実施形態に係る弾性表面波分波器1と同様の構成を有している。 5 and 6 show the isolation characteristics of the surface acoustic wave duplexers according to Examples 1 to 4 having substantially the same configuration as that of the surface acoustic wave duplexer 1 according to the embodiment, and the comparative example. The isolation characteristics of a surface acoustic wave duplexer are shown. Incidentally, surface acoustic wave duplexer according to the comparative example, the the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 and the thickness T Tx transmission side piezoelectric substrate 31 together, except for a 0.25 mm, the above-described embodiment The surface acoustic wave duplexer 1 has the same configuration.

図5及び図6において実線で示すグラフは、送信側圧電基板31の厚みTTxが0.25mmであり、受信側圧電基板21の厚みTRxが0.1mmである、実施例1に係る弾性表面波分波器1のアイソレーション特性を示すグラフである。 5 and 6, the graphs indicated by the solid lines indicate the elasticity according to the first embodiment, in which the thickness T Tx of the transmission-side piezoelectric substrate 31 is 0.25 mm and the thickness T Rx of the reception-side piezoelectric substrate 21 is 0.1 mm. 4 is a graph showing the isolation characteristics of the surface wave duplexer 1.

図5において、一点破線で示すグラフは、送信側圧電基板31の厚みTTxが0.25mmであり、受信側圧電基板21の厚みTRxが0.15mmである、実施例2に係る弾性表面波分波器1のアイソレーション特性を示すグラフである。 In FIG. 5, a graph indicated by a one-dot broken line indicates an elastic surface according to the second embodiment in which the thickness T Tx of the transmission-side piezoelectric substrate 31 is 0.25 mm and the thickness T Rx of the reception-side piezoelectric substrate 21 is 0.15 mm. 4 is a graph showing the isolation characteristics of the wave splitter 1.

図5において、二点破線で示すグラフは、送信側圧電基板31の厚みTTxが0.25mmであり、受信側圧電基板21の厚みTRxが0.2mmである、実施例3に係る弾性表面波分波器1のアイソレーション特性を示すグラフである。 In FIG. 5, the graph indicated by a two-dot broken line indicates the elasticity according to Example 3 in which the thickness T Tx of the transmission-side piezoelectric substrate 31 is 0.25 mm and the thickness T Rx of the reception-side piezoelectric substrate 21 is 0.2 mm. 4 is a graph showing the isolation characteristics of the surface wave duplexer 1.

図5において、点線で示すグラフは、受信側圧電基板21の厚みTRxと送信側圧電基板31の厚みTTxとが等しい、比較例に係る弾性表面波分波器のアイソレーション特性を示すグラフである。 5, the graph shown by a dotted line, and the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 and the thickness T Tx transmission side piezoelectric substrate 31 are equal, the graph showing the isolation characteristics of the surface acoustic wave duplexer according to the comparative example It is.

図6において、一点破線で示すグラフは、送信側圧電基板31の厚みTTxが0.25mmであり、受信側圧電基板21の厚みTRxが0.05mmである、実施例4に係る弾性表面波分波器1のアイソレーション特性を示すグラフである。 In FIG. 6, a graph indicated by a one-dot broken line shows an elastic surface according to the fourth embodiment in which the thickness T Tx of the transmission-side piezoelectric substrate 31 is 0.25 mm and the thickness T Rx of the reception-side piezoelectric substrate 21 is 0.05 mm. 4 is a graph showing the isolation characteristics of the wave splitter 1.

図5に示すように、受信側圧電基板21の厚みTRxと送信側圧電基板31の厚みTTxとが等しい比較例と比べて、受信側圧電基板21の厚みTRxが、送信側圧電基板31の厚みTTxよりも小さい実施例1〜4では、送信側周波数帯における送信側信号端子13と第1の受信側信号端子14aとの間のアイソレーション特性が良好であることが分かる。また、受信側圧電基板21の厚みTRxが薄い方が、送信側周波数帯における送信側信号端子13と第1の受信側信号端子14aとの間のアイソレーション特性がより良好であることが分かる。しかしながら、図6に示すように、受信側圧電基板21の厚みTRxが0.1mmである場合と、受信側圧電基板21の厚みTRxが0.05mmである場合とでは、弾性表面波分波器のアイソレーション特性は、同等であった。以上の結果から、受信側圧電基板21の厚みTRxは、0.2mm以下であることが好ましく、0.15mm以下であることがより好ましいことが分かる。また、受信側圧電基板21の厚みTRxは、0.1mm以上であることが好ましいことが分かる。 As shown in FIG. 5, the thickness T Rx of the reception-side piezoelectric substrate 21 is smaller than that of the comparative example in which the thickness T Rx of the reception-side piezoelectric substrate 21 is equal to the thickness T Tx of the transmission-side piezoelectric substrate 31. In Examples 1 to 4 smaller than the thickness T Tx of 31, it can be seen that the isolation characteristic between the transmission side signal terminal 13 and the first reception side signal terminal 14a in the transmission side frequency band is good. Further, it the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 is thin, it can be seen isolation characteristic is more favorable between the transmission-side signal terminal 13 at the transmitting side frequency band and the first reception-side signal terminal 14a . However, as shown in FIG. 6, and when the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 is 0.1 mm, in the case the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 is 0.05 mm, the surface acoustic wave component The isolation characteristics of the waver were similar. From the above results, the thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21 is preferably, it can be seen more preferably 0.15mm or less 0.2mm or less. The thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate 21, it is understood that it is preferable that the 0.1mm or more.

1…弾性表面波分波器
10…配線基板
11…樹脂層
12…アンテナ端子
13…送信側信号端子
14a…第1の受信側信号端子
14b…第2の受信側信号端子
20…受信側フィルタチップ
21…受信側圧電基板
22…電極
23…受信側弾性表面波フィルタ部
30…送信側フィルタチップ
31…送信側圧電基板
32…電極
33…送信側弾性表面波フィルタ部
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Surface acoustic wave duplexer 10 ... Wiring board 11 ... Resin layer 12 ... Antenna terminal 13 ... Transmission side signal terminal 14a ... 1st reception side signal terminal 14b ... 2nd reception side signal terminal 20 ... Reception side filter chip DESCRIPTION OF SYMBOLS 21 ... Reception side piezoelectric substrate 22 ... Electrode 23 ... Reception side surface acoustic wave filter part 30 ... Transmission side filter chip 31 ... Transmission side piezoelectric substrate 32 ... Electrode 33 ... Transmission side surface acoustic wave filter part

Claims (8)

アンテナ端子と、
送信側信号端子と、
受信側信号端子と、
送信側フィルタチップ及び受信側フィルタチップとを備える弾性波分波器であって、
前記受信側フィルタチップは、受信側圧電基板と、前記受信側圧電基板上に形成されており、前記アンテナ端子と前記受信側信号端子との間に接続されている受信側弾性波フィルタ部とを有し、
前記送信側フィルタチップは、送信側圧電基板と、前記送信側圧電基板上に形成されており、前記アンテナ端子と前記送信側信号端子との間に接続されている送信側弾性波フィルタ部とを有し、
前記受信側圧電基板の厚みTRxが、前記送信側圧電基板の厚みTTxよりも小さい、弾性波分波器。
An antenna terminal;
A transmitter signal terminal;
A receiving signal terminal;
An elastic wave demultiplexer comprising a transmission side filter chip and a reception side filter chip,
The reception-side filter chip includes a reception-side piezoelectric substrate and a reception-side acoustic wave filter portion formed on the reception-side piezoelectric substrate and connected between the antenna terminal and the reception-side signal terminal. Have
The transmission-side filter chip includes a transmission-side piezoelectric substrate and a transmission-side acoustic wave filter portion formed on the transmission-side piezoelectric substrate and connected between the antenna terminal and the transmission-side signal terminal. Have
An elastic wave duplexer in which a thickness T Rx of the reception-side piezoelectric substrate is smaller than a thickness T Tx of the transmission-side piezoelectric substrate.
前記受信側圧電基板の厚みTRxが、0.2mm以下である、請求項1に記載の弾性波分波器。 The thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate is 0.2mm or less, the acoustic wave duplexer according to claim 1. 前記受信側圧電基板の厚みTRxが、0.1mm以上である、請求項2に記載の弾性波分波器。 The thickness T Rx of the receiving side piezoelectric substrate is 0.1mm or more, the acoustic wave duplexer according to claim 2. 前記送信側圧電基板の厚みTTxが、0.3mm以下である、請求項1〜3のいずれか一項に記載の弾性波分波器。 The thickness T Tx transmission side piezoelectric substrate is 0.3mm or less, the acoustic wave duplexer according to any one of claims 1-3. 前記受信側弾性波フィルタと前記送信側弾性波フィルタとのいずれか一方が、バランス型フィルタである、請求項1〜4のいずれか一項に記載の弾性波分波器。   The elastic wave duplexer according to any one of claims 1 to 4, wherein one of the reception-side elastic wave filter and the transmission-side elastic wave filter is a balanced filter. 前記受信側弾性波フィルタが、バランス型フィルタである、請求項5に記載の弾性波分波器。   The elastic wave duplexer according to claim 5, wherein the reception-side elastic wave filter is a balanced filter. 前記受信側圧電基板と、前記送信側圧電基板とは、異なる材料からなる、請求項1〜6のいずれか一項に記載の弾性波分波器。   The elastic wave duplexer according to claim 1, wherein the reception-side piezoelectric substrate and the transmission-side piezoelectric substrate are made of different materials. 前記受信側圧電基板がLiTaO基板からなり、前記送信側圧電基板がLiNbO基板からなる、請求項1〜7のいずれか一項に記載の弾性波分波器。 The acoustic wave duplexer according to claim 1, wherein the reception-side piezoelectric substrate is made of a LiTaO 3 substrate and the transmission-side piezoelectric substrate is made of a LiNbO 3 substrate.
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