JP2011177874A

JP2011177874A - 回転板位置調整装置及び方法

Info

Publication number: JP2011177874A
Application number: JP2010047326A
Authority: JP
Inventors: Shinichi Oe; 慎一大江; Sei Sugiura; 勢杉浦; Toshikazu Satone; 俊和佐土根; Ritsuko Hasegawa; りつ子長谷川
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 2010-03-04
Filing date: 2010-03-04
Publication date: 2011-09-15

Abstract

【課題】構造が簡易で、回転板の微小変位に対応可能な、回転板位置調整装置及び方法を提供する。
【解決手段】吸着搬送装置５１と認識カメラ７と制御装置１０とを備えた回転板位置調整装置５０において、上記吸着搬送装置に備わり回転板２の吸着動作を行う吸着ヘッド１は、ヘッド本体１０１と、上記回転板を吸着する金属製の吸着パッド１０２と、上記ヘッド本体と上記吸着パッドとを接合し、かつ上記回転板の姿勢に上記吸着パッドが倣うように変形する接着部１０３とを備えた。
【選択図】図１

Description

本発明は、例えば、位置検出を行うセンサとしてのエンコーダー用の回転板を吸着保持し、かつ上記回転板が取り付けられる回転部材に対して上記回転板を微小移動して位置調整を行う、回転板位置調整装置及び方法に関する。

例えば半導体製造設備等では、微小のワークを保持し搬送するために、吸引穴を有し被搬送物であるワークを吸着保持する吸着ヘッドと、ワークを吸着した状態の吸着ヘッドを搬送する搬送ヘッドとが用いられている。ここで、被搬送物と、当該被搬送物に接触し吸着保持する吸着ヘッドの吸着面とが平行ではない場合にも、安定した吸着及び搬送を実現するために、従来、下記のような工夫が施されている。

例えば、特許文献１では、上記吸着ヘッドに相当する吸着ノズルは、被搬送物に接触する吸着面を有する吸着用チャックと本体との間に、可撓性を有する弾性体で構成したクッション部を設けている。該クッション部を設けることで、吸着用チャックの吸着面と被搬送物とが平行ではない場合でも、吸着用チャックの吸着面を被搬送物に押圧することでクッション部が撓み、上記吸着面を被搬送物に密着させることが可能となり、被搬送物の吸着搬送が可能となる。

また、特許文献２では、上記吸着ヘッドに相当する吸着治具において、ホルダ部材と吸着パット部材との間に、吸着パット部材よりも高弾性の部材である独泡パット部材を設けた構成が開示されている。該構成によれば、上記吸着パット部材が被搬送物を吸着するとき、独泡パット部材が変形し、被搬送物の傾きを吸収して被搬送物と吸着パット部材の吸着面との平行度を保ち、安定した吸着保持が可能となる。

特開平８−２９０３８２号公報特開２００６−４９４８５号公報

しかしながら、上述した従来技術の構成では、吸着面を被搬送物に押圧したときに変形可能な、可撓性のクッション部や独泡パット部を設けていることから、搬送ヘッドの構造が複雑で大型化するという問題があった。

また、位置検出を行うセンサとしてのエンコーダー用のガラス円板用の吸着搬送装置は、回転シャフトへ上記ガラス円板を高精度で装着する必要があり、吸着、搬送、及び位置調整の各工程を繰り返して行う必要がある。よって、上述した従来の吸着ヘッドに比べて、エンコーダー用ガラス円板用の吸着搬送装置における吸着ヘッドは、ガラス円板の姿勢に精度良く倣ってガラス円板の吸着及び吸着解除を行う必要がある。

上述のようにガラス円板用の吸着ヘッドは、ガラス円板の姿勢に精度良く倣う必要があり、上述した従来の吸着ヘッドのような、可撓性のクッション部や独泡パット部を介在させた構成では、ガラス円板の微小な傾きに対応しきれず、ガラス円板の位置調整ができないという問題がある。

さらに、エンコーダー用のガラス円板に対して樹脂材にてなる吸着面を接触させた場合、塵や埃等の異物が付着するという問題が発生する。よって、ゴム、スポンジ、ＭＣナイロン等の樹脂材にて吸着面を作製することはできないという問題もある。

本発明は、上述したような問題点を解決するためになされたもので、構造が簡易で、回転板の微小変位に対応可能な、回転板位置調整装置及び方法を提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明は以下のように構成する。
即ち、本発明の一態様における回転板位置調整装置は、回転板を吸着し搬送する吸着搬送装置と、上記吸着搬送装置にて回転部材に設けられ回転装置にて回転される上記回転板を撮像する認識カメラと、上記吸着搬送装置及び上記認識カメラと電気的に接続され上記回転部材と上記回転板との相対的な位置調整動作の制御を行う制御装置とを備えた回転板位置調整装置において、上記吸着搬送装置に備わり上記回転板の吸着動作を行う吸着ヘッドは、ヘッド本体と、上記回転板に接触し、吸着して保持する金属製の吸着パッドと、上記ヘッド本体と上記吸着パッドとの間に設けられて上記ヘッド本体と上記吸着パッドとを接合し、かつ上記回転板の姿勢に上記吸着パッドが倣うように変形する接着部とを備えたことを特徴とする。

本発明の一態様における回転板位置調整装置によれば、吸着搬送装置に備わり回転板を吸着する吸着ヘッドにおいて、回転板に接触し吸着する吸着パッドは、金属製であり、塵や埃等の異物が付着するという問題は生じない。さらに、上記吸着パッドは、接着部を介してヘッド本体に取り付けられ、上記接着部は、吸着パッドが回転板の姿勢に倣うように変形可能である。このように、吸着搬送装置における吸着ヘッドは、構造が極めて簡易であり小型化が可能であり、かつ回転板の微小変位に対応可能であり、被搬送物である回転板に損傷を与えることがない。よって、回転部材に対して回転板を正確かつ確実に載置することができ、例えばエンコーダーの精度向上に貢献することができる。

本発明の一実施形態における回転板位置調整装置の概略構成を示す図である。図１に示す吸着ヘッドの先端部分を示す拡大図である。図１に示す吸着ヘッドにて吸着保持される回転板の斜視図である。図１に示す円板載置部材に載置された回転板を回転させる動作を説明するための図である。図４Ａに示すＡ方向から回転板を見た状態において、回転板の円板中心マークの移動を説明するための図である。回転板の円板中心マークの移動に基づいて回転板の位置調整動作を説明するための図である。吸着ヘッドと円板載置部材とが平行ではない位置関係において、吸着ヘッドが回転板の吸着を解除した状態を示す図である。吸着ヘッドと円板載置部材とが平行ではない位置関係において、吸着ヘッドが回転板を吸着した状態を示す図である。図７に示すＡ部の拡大図である。吸着ヘッドと円板載置部材とが平行ではない位置関係において、図１に示す吸着ヘッドの吸着パッドが回転板を吸着した状態を示す図である。本発明の他の実施形態における回転板位置調整方法の動作を説明するためのフローチャートである。

本発明の実施形態である回転板位置調整装置、及び該回転板位置調整装置において実行される回転板位置調整方法について、図を参照しながら以下に説明する。尚、各図において、同一又は同様の構成部分については同じ符号を付している。

また、本実施形態では、回転板位置調整装置として、位置検出を行うセンサとしてのエンコーダー用の回転板を吸着保持して、モーターへの上記回転板の取り付け位置調整を行うエンコーダー用の回転板位置調整装置を例に採り説明を行う。しかしながら本発明は、これに限定されず、一般的に、被搬送物を吸着保持する吸着ヘッド、及び該吸着ヘッドを備え上記被搬送物を支持する支持体に対して上記被搬送物の位置決めを行う位置調整装置に適用可能である。

実施の形態１．
図１から図３を参照して、本実施形態におけるエンコーダー用の回転板位置調整装置５０について説明する。
エンコーダー用の回転板位置調整装置５０は、基本的構成部分として、吸着搬送装置５１と、認識カメラ７と、制御装置１０とを備え、本実施形態ではさらに、回転装置５２をも備えている。このようなエンコーダー用の回転板位置調整装置５０は、位置検出を行うセンサとしてのエンコーダーに設けられ、上記被搬送物の一例に相当する回転板を、当該エンコーダー用のモーターに取り付ける際の位置調整を行うための装置である。ここで上記回転板は、ロータリーエンコーダーを構成するためのスリットを形成した円板であり、本実施形態では、ガラス円板から作製されている。勿論、回転板は、ガラス製に限定されるものではない。

吸着搬送装置５１は、吸着ヘッド１と、負圧源６と、Ｚステージ８と、Ｘ，Ｙステージ９とを備える。吸着ヘッド１は、上述の回転板２を吸着保持するための負圧空気を発生させる負圧源６に接続されるとともに、Ｚステージ８に設置されている。Ｚステージ８は、回転板２の厚み方向、ここでは垂直方向であるＺ方向に沿って吸着ヘッド１を移動させる装置である。このようなＺステージ８は、上記Ｚ方向に対して互いに直交するＸ方向及びＹ方向に移動可能なＸ，Ｙステージ９に設置されている。よって、吸着ヘッド１は、Ｘ，Ｙステージ９によって、Ｘ方向及びＹ方向に可動であり、Ｚステージ８によってＺ方向に可動である。

本実施形態のエンコーダー用回転板位置調整装置５０において特徴的構成部分の一つである吸着ヘッド１における先端部分は、図２に示すように、ヘッド本体１０１と、吸着パッド１０２と、接着部１０３とを有する。ヘッド本体１０１は、中空形状の例えば円筒形状であり、中空部分１０１ａは、上記負圧源６と連通している。吸着パッド１０２は、中空の例えば円筒形状でその吸着面１０２ａが図３に示す回転板２の吸着搬送面２ａに接触する部材であり、吸着搬送面２ａへの異物付着を防止するため、金属製、例えばステンレス鋼製にて作製される。尚、吸着パッド１０２の中空部分１０２ｂは、ヘッド本体１０１の中空部分１０１ａを介して負圧源６と連通している。よって、回転板２は、吸着パッド１０２の吸着面１０２ａに吸着され保持可能である。

接着部１０３は、ヘッド本体１０１と吸着パッド１０２との間に設けられて、ヘッド本体１０１と吸着パッド１０２とを接合し、かつ回転板２の姿勢に吸着パッド１０２が倣うように変形可能な部分である。さらに詳しく説明すると、本実施形態では一例として、ヘッド本体１０１と吸着パッド１０２との間隔は、約０．５ｍｍに設定され、この隙間を、紫外線照射により硬化するＵＶ接着剤で充填して接着部１０３を形成している。接着部１０３に用いるＵＶ接着剤の硬化後の硬度は、ゴム硬度で４０度から５０度のものを用いる。接着部１０３がこの程度のゴム硬度を有することで、接着部１０３は、可撓性を有する弾性部材として作用し、回転板２の傾きを吸収することができ、回転板２の姿勢に吸着パッド１０２を倣わせることができる。

吸着ヘッド１を上述のように構成することで、吸着ヘッド１は、構造が極めて簡易であって小型化が可能であり、かつ回転板２の傾き、つまり微小変位に対応することができるという効果が得られる。

次に、回転装置５２は、上記回転板２を回転させる装置であり、把持機構１３及び駆動部１４を有する。詳しく説明すると、本実施形態では、把持機構１３は、モーター４の本体から突出するモーターシャフト５を把持する。ここで、モーターシャフト５は、上記支持体あるいは回転部材の一例に相当し、モーター４は、モーターシャフト５を上記Ｚ方向に平行とした状態にて配置されている。一方、モーターシャフト５の非突出側には、円板載置部材３が取り付けられる。該円板載置部材３には、上述の吸着搬送装置５１によって回転板２が載置される。モーターシャフト５に円板載置部材３が取り付けられた状態において、駆動部１４は、モーターシャフト５を把持している把持機構を回転する。該回転により、モーターシャフト５とともに円板載置部材３が回転する。

認識カメラ７は、吸着搬送装置５１の吸着ヘッド１を退避させた状態で、円板載置部材３に載置された回転板２を、上記Ｚ方向において回転板２の上方から撮像するカメラである。

制御装置１０は、モーターシャフト５つまり円板載置部材３と回転板２との相対的な位置調整動作の制御を行う装置であり、画像認識処理部１１と位置制御部１２とを有する。尚、制御装置１０は、実際にはコンピュータにて構成可能であり、該コンピュータにおいて機能的に画像認識処理部１１及び位置制御部１２が存在するものである。

画像認識処理部１１は、認識カメラ７と電気的に接続され、認識カメラ７から得た回転板２の位置データを処理する。位置制御部１２は、吸着搬送装置５１と電気的に接続され、認識カメラ７から得た回転板２の位置データを元に、Ｘ、Ｙステージ９及びＺステージ８の位置制御を行う。制御装置１０による、モーターシャフト５つまり円板載置部材３と回転板２との相対的な、具体的な位置調整動作制御については、以下の動作説明にて行う。

以上のように構成された本実施形態のエンコーダー用の回転板位置調整装置５０における、モーターシャフト５つまり円板載置部材３に対する回転板２の位置調整方法について、図１０を参照して以下に説明する。尚、この位置調整方法は、上述した制御装置１０にて、より詳しくは上記画像認識処理部１１及び上記位置制御部１２にて実行されるものである。

（１）まず、吸着搬送装置５１は、回転板供給部（不図示）から回転板２を吸着ヘッド１で吸着保持する。一方、回転装置５２の上方には、搬送装置（不図示）にてモーター４が搬入され、把持機構１３側にモーターシャフト５を配向して設置面１５に設置される。さらに、モーターシャフト５の非突出側には、円板載置部材３が取り付けられる。尚、上記設置面１５は、吸着ヘッド１における吸着パッド１０２の、回転板２と接触する吸着面１０２ａと平行に設定された面である。

（２）次に、上述のように設置された円板載置部材３の載置面３ａに、吸着搬送装置５１を用いて、吸着ヘッド１に吸着されている回転板２を載置する（図１０のステップ１）。

（３）次に、上記載置面３ａへの回転板２の載置後、吸着パッド１０２の真空吸着を解除する。そして、Ｘ，Ｙステージ９を駆動して吸着ヘッド１を、載置面３ａ上の回転板２の認識カメラ７による撮像の邪魔にならない場所へ、回転板２の上方から退避させる。

（４）次に、図４Ａに示すように、認識カメラ７は、回転板２を撮像する。そして、認識カメラ７から得られた撮像情報を元に、制御装置１０の画像認識処理部１１は、回転板２の中心にある円板中心マーク２０１（図３）の位置を求める。このときの状態を図４Ｂに示す。また、図４Ｂにおいて、認識カメラ７にて撮像された円板中心マーク２０１の位置について「２１１」の符号を付す。

（５）次に、把持機構１３でモーターシャフト５を把持し、把持機構１３を駆動部１４にて、モーターシャフト５を例えば時計回り方向に１２０度回転させる。上述のように、モーターシャフト５の非突出側には円板載置部材３が直結されており、モーターシャフト５を回転させることで、円板載置部材３は連動して回転し、円板載置部材３に載置されている回転板２もともに１２０度回転する。

（６）上記回転後、認識カメラ７にて、回転板２を再度撮像する。そして、認識カメラ７から得られた撮像情報を元に、画像認識処理部１１は、円板中心マーク２０１の位置を求める。尚、図４Ｂにおいて、この第２回目の撮像において得られた円板中心マーク２０１の位置について「２１２」の符号を付す。

（７）第２回目の撮像後、更に、時計回り方向に１２０度、回転板２を回転させ、回転後の回転板２を再々度撮像し、円板中心マーク２０１の位置を再び求める。尚、図４Ｂにおいて、この第３回目の撮像において得られた円板中心マーク２０１の位置について「２１３」の符号を付す。

（８）上述した（４）から（７）の動作にて得られた、円板中心マーク２０１の「２１１」から「２１３」の３つの位置情報から、制御装置１０は、マーク位置２１１、２１２、２１３の３点を通る円２１４を求め、さらに、円２１４の中心点２１５の位置、及び円２１４の半径２１６を求める。この半径２１６が、回転板２の中心である円板中心マーク２０１と、モーターシャフト５の回転中心つまり上記中心点２１５とのズレ量、換言すると、円板載置部材３への回転板２の設置誤差に相当する。尚、上記（３）から当該（８）までの動作が図１０のステップ２に相当する。

ここで、上記ズレ量が許容範囲内に収まっている場合には、調整動作を終了する（図１０のステップ３）。実際には、この時点では許容範囲内に収まっていることは希であるので、通常では、以下のステップへ移行する。

（９）次に、図５に示すように、計算より求めたモーターシャフト５の回転中心点２１５の位置に、回転板２の中心である円板中心マーク２０１を移動させる。即ち、まず、吸着ヘッド１を回転板２の上方に再び移動させ、Ｚステージ８を下降し、吸着ヘッド１の吸着パッド１０２を回転板２に接触させる。

（１０）上記接触後、吸着ヘッド１の吸着を開始し、回転板２を吸着し吸着パッド１０２に保持する。

（１１）吸着保持後、制御装置１０は、上述のように求めた上記ズレ量に従い位置制御部１２にてＸ、Ｙステージ９の移動を制御し、回転板２の中心である円板中心マーク２０１を、モーターシャフト５の回転中心である中心点２１５へ半径２１６分、移動させる

（１２）次に、回転板２の移動後、吸着ヘッド１の吸着を解除し、認識カメラ７による撮像動作の邪魔にならない場所へ、吸着ヘッド１を退避させる。

（１３）上記退避後、上述の（４）から（１１）までの動作を再び実行する（図１０のステップ４）。

（１４）このような位置調整動作を、回転板２の円板中心マーク２０１とモーターシャフト５の回転中心点２１５とのズレ量が所定量、例えば５μｍ以内、の範囲に収まるまで繰り返し行う。そして、上記ズレ量が所定値以下になった時点で、回転板２を円板載置部材３に接着固定する。

以上説明した動作により、円板載置部材３への回転板２の位置調整及び固定が行われるが、吸着ヘッド１における吸着パッド１０２の、回転板２と接触する吸着面１０２ａと、円板載置部材３とが平行な位置関係にあるときには、上記接着部１０３を有しない従来の吸着ヘッドを用いても上記位置調整動作は可能である。

しかしながら、実際には図６に示すように、例えば、モーターシャフト５がモーター４の本体に対して傾斜している、あるいはモーターシャフト５に対して円板載置部材３が傾斜して取り付けられている等の原因により、吸着パッド１０２の吸着面１０２ａと、円板載置部材３とが平行でない場合が発生する。このような状況にて、上記接着部１０３を有しない従来の吸着ヘッドを用いた場合には、以下に説明するような問題が発生する。

即ち、吸着パッド１０２の吸着面１０２ａと、円板載置部材３とが平行でない場合には、吸着パッド１０２に回転板２が吸着されている状態では、図７に示すように、回転板２と円板載置部材３との間に隙間が生じる。このような状況下において、上述の（４）から（１１）に記載の位置調整動作を行い、図７に示すような位置にて回転板２の吸着を解除したときには、図８に示すように、吸着状態における回転板２の円板中心マーク２０１は、回転板２が円板載置部材３に載置されたときには、位置２１７から位置２１８に移動する。本来、吸着パッド１０２の吸着面１０２ａと、円板載置部材３とが平行であるならば、回転板２が円板載置部材３に載置されたときには、円板中心マーク２０１は、位置２１７の鉛直下における位置２１９に位置する。

ここで、図８を参照して、吸着パッド１０２に吸着されている回転板２と、円板載置部材３の載置面３ａとのなす角度をθとし、回転板２と載置面３ａとの接点２２０から回転板２の円板中心マーク２０１までの回転板２の直径方向における距離をｒとしたとき、上記直径方向において、本来の位置２１９と位置２１８とのズレ量は、ｒ（１−ｃｏｓθ）となる。例えば、上記距離ｒが５ｍｍであり、円板中心マーク２０１を通過するＺ方向の軸において、回転板２と載置面３ａとの隙間が５μｍであった場合、上述の位置調整動作における上記（３）にて吸着を解除するときや、上記（１０）にて吸着を行うときに、円板中心マーク２０１は、３μｍ程度、位置ズレしてしまうことになる。

したがって、従来の吸着ヘッドを用いた場合には、回転板２におけるこのような位置ズレの発生に起因して、回転板２の円板中心マーク２０１とモーターシャフト５の回転中心点２１５とを一致させるのに長時間を要したり、両者の位置調整ができなかったりするという問題が発生する。

これに対して、本実施形態のエンコーダー用回転板位置調整装置５０に備わる吸着ヘッド１では、接着部１０３を有することから、図９に示すように、接着部１０３の弾性により、傾斜している回転板２に吸着パッド１０２の吸着面１０２ａを倣わせることができる。よって、上記（３）の動作における吸着解除、及び上記（１０）の動作における吸着保持を行うときでも、回転板２の上記位置ズレ（微小移動）を抑制することができる。したがって、回転板２の円板中心マーク２０１とモーターシャフト５の回転中心点２１５との位置合わせを安定して行うことが可能となる。

このような効果は、接着部１０３におけるゴム硬度が４０度から５０度であることに起因して得られる。即ち、ゴム硬度が４０度未満の接着部では、回転板２を吸着したとき、接着部が変形した状態のまま、吸着ヘッドが回転板２を搬送してしまう。よって、次工程で、吸着ヘッド１が回転板２の吸着を解除したときに、位置ズレが発生することとなる。
一方、ゴム硬度が５０度を超える接着部では、回転板２の傾斜に吸着パッドが追従できず、従来の吸着ヘッドと同様に、回転板２と吸着パッドとの間に隙間が発生する。よって、回転板２を吸着するときに位置ズレが発生することになる。
したがって、接着部１０３におけるゴム硬度は、４０度から５０度の間であるのが好ましい。

上述のように本実施形態のエンコーダー用回転板位置調整装置５０によれば、回転板２を吸着保持する吸着パッド１０２の吸着面１０２ａと、回転板２とが平行になっていない場合でも、吸着パッド１０２を回転板２に押圧することで、接着部１０３が撓み、吸着面１０２ａを回転板２に沿わせることができ、かつ、この状態で吸着パッド１０２は、回転板２を吸着、保持することができる。よって、回転板２が傾斜していることに起因して発生する回転板２の位置ズレを抑制することができ、回転板２の安定した位置調整を実現することができる。これにより、従来に比べて調整時間が短くて済むとともに、接着剤の硬化収縮で起こる微小変位量で、これまで接着固定後に位置ズレし不良となっていたものが解消できる。したがって、検出精度の高いエンコーダーを提供することが可能となる。

尚、上述の実施形態では、回転板２を載置する円板載置部材３を移動させず回転板２を上記位置ズレ量に従い移動させて、円板載置部材３と回転板２との位置調整を行っている。しかしながら、これとは逆に、回転板２を移動させずに円板載置部材３側を上記位置ズレ量に従い移動させて位置調整動作を行っても良く、上述と同様の効果を得ることができる。即ち、回転板位置調整方法では、円板載置部材３及び回転板２を相対的に位置補正すればよい。

１吸着ヘッド、２回転板、３円板載置部材、４モーター、７認識カメラ、１０制御装置、
５０エンコーダー用回転板位置調整装置、５１吸着搬送装置、５２回転装置、
１０１ヘッド本体、１０２吸着パッド、１０３接着部、
２０１円板中心マーク。

Claims

回転板を吸着し搬送する吸着搬送装置と、上記吸着搬送装置にて回転部材に設けられ回転装置にて回転される上記回転板を撮像する認識カメラと、上記吸着搬送装置及び上記認識カメラと電気的に接続され上記回転部材と上記回転板との相対的な位置調整動作の制御を行う制御装置とを備えた回転板位置調整装置において、
上記吸着搬送装置に備わり上記回転板の吸着動作を行う吸着ヘッドは、
ヘッド本体と、
上記回転板に接触し、吸着して保持する金属製の吸着パッドと、
上記ヘッド本体と上記吸着パッドとの間に設けられて上記ヘッド本体と上記吸着パッドとを接合し、かつ上記回転板の姿勢に上記吸着パッドが倣うように変形する接着部と、を備えたことを特徴とする回転板位置調整装置。
上記接着部は、４０度から５０度のゴム硬度を有する接着剤である、請求項１記載の回転板位置調整装置。
上記接着部は、ＵＶ硬化型の接着剤である、請求項１又は２記載の回転板位置調整装置。
請求項１から３のいずれか１項に記載の回転板位置調整装置に備わる制御装置にて実行される回転板位置調整方法であって、
上記回転板位置調整装置に備わる吸着ヘッドにて回転部材へ回転板を載置した後、上記回転部材を回転させる度に上記回転板の中心マークを撮像することで得られる上記中心マークの軌跡から、上記回転部材の部材中心と上記回転板の板中心との位置ズレ量を求める第１ステップと、
上記位置ズレ量が許容範囲内か否かを判断し、上記許容範囲内であれば調整動作を終了する第２ステップと、
上記位置ズレ量が許容範囲内でなければ、上記吸着ヘッドにて上記回転板を吸着して上記位置ズレ量に従い上記回転板及び上記回転部材を相対的に位置補正して再び上記回転板を上記回転部材に載置して上記第１ステップへ移行する第３ステップと、
を備えたことを特徴とする回転板位置調整方法。