JP2011173478A - 搬送車システム - Google Patents

Abstract

【課題】搬送車システムにおいて移載装置のコストを低減する。
【解決手段】搬送車システム１は、軌道３と、搬送車５と、バッファ９とを備えている。軌道３は、複数の処理装置２に沿って設けられている。搬送車５は、軌道３を走行して物品を搬送する。バッファ９は、軌道３の側方に配置され、ローラコンベア６３からなる載置面を有する。搬送車５は、支持台としてのローラコンベア３９と、プッシュプル移載装置４１とを有している。ローラコンベア３９は、バッファ９のローラコンベア６３と同一高さの支持面を有する。プッシュプル移載装置４１は、物品を押し引きすることでバッファ９と搬送車５との間で移動させる。
【選択図】図２

Description

本発明は、搬送車システム、特に、複数の処理装置間を軌道に沿って走行する搬送車を有する搬送車システムに関する。

大型化したガラス基板やそれが複数収納されたカセットを搬送するための搬送車が知られている。搬送車は、工場内のクリーンルーム内を自動走行して、処理装置間で物品を搬送する。

搬送車が走行する軌道は、例えば、天井から吊り下げられたレールまたは地上に設置されたレールである。この場合、レールおよび搬送車が走行する空間は、外部から遮断されたクリーンルームになっている。

ステーションには、スカラーアームによる移載装置が設けられている。スカラーアームによる移載装置が、搬送車からガラス基板やカセットをステーションの載置場所に移載し、それとは反対にステーションの載置場所からガラス基板やカセットを搬送車に移載する（例えば、特許文献１を参照。）。また、搬送車にスカラーアームによる移載装置を設けたものも知られている。

特開２００１−２９４３０２号公報

一方、重量物を搬送する搬送車システムにおいては、処理装置の近傍にサイドバッファを配置することが考えられる。しかし、重量物を保管するためのサイドバッファにスカラーアームによる移載装置を用いると、サイドバッファのコストがアップしたり、搬送車の重量が大きくなりすぎるという問題がある。

本発明の課題は、搬送車システムにおいて、重量物に対応したサイドバッファのコストを低減することにある。

本発明に係る搬送車システムは、複数の処理装置間で物品を搬送するための搬送車システムであって、軌道と、搬送車と、載置台とを備えている。軌道は、複数の処理装置に沿って設けられている。搬送車は、軌道を走行して物品を搬送する。載置台は、軌道の側方に配置され、載置面を有する。搬送車は、支持台と、プッシュプル装置とを有している。支持台は、載置台の載置面と同一高さの支持面を有する。プッシュプル移載装置は、物品を押し引きすることで載置台と支持台との間で移動させる。

このシステムでは、搬送車は、載置台の側方に停止して、プッシュプル移載装置によって支持台と載置台との間で物品を移動させる。物品は、プッシュプル移載装置から力が作用すると、載置面と支持面の上を移動する。このようにして、簡単な構造で、重量物の移載が可能になる。その結果、搬送車システムにおいて重量物に対応したサイドバッファのコストが低減される。さらに、搬送車に設けられた移載装置はプッシュプル移載装置なので、搬送車の重量が小さくなる。
なお、支持台の支持面と載置台の載置面は、物品の移載時に同一高さであればよい。つまり、いずれか又は両方の面が高さを変更可能であり、搬送車の走行中または停止中には両方の面の高さが異なっていてもよい。

載置台は、カバーと、カバー内載置された物品の周囲の清浄度を高めるための清浄装置をさらに有していてもよい。
このシステムでは、載置台における物品の周囲の清浄度が高くなる。なお、カバーは、例えば、物品の上方だけに配置されていてもよいし、物品の上方と左右だけに配置されていてもよいし、物品の上方と左右と奥に配置されていてもよい。

載置台の載置面は転動自在なコンベアであり、搬送車の支持面は転動自在なコンベアでもよい。

このシステムでは、コンベアが転動自在であるので、物品の移載時に磨耗粉の発生が抑えられる。

軌道は、複数の処理装置に隣接するループを有していてもよい。搬送車は、ループを一方通行で走行していてもよい。載置台は、少なくとも１つのループの内側においてループの両側部分に近接して配置され、ループの長手方向に一列に並んで配置された第１載置台および第２載置台を有していてもよい。第１載置台および第２載置台は、ループの両側部分の片側に向かって開いた第１開口部およびループの両側部分の反対側に向かって開いた第２開口部をそれぞれ有していてもよい。

このシステムでは、載置台がループ内においてループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第１開口部および第２開口部を有している。したがって、物品の仮置き時に、目的とする処理装置の近傍にある載置台を選択できる。以上の結果、物品の搬送効率が向上する。

載置台は、載置面を上下方向に通過して物品を支持可能な支持部材と、支持部材を駆動する駆動機構とを有しており、載置面に物品が載置された状態で駆動機構が支持部材を駆動すると、支持部材は載置面を通って物品を上昇させることで載置面上に物品を置くための空間を確保してもよい。

このシステムでは、物品が載置面に置かれると、駆動機構が支持部材を駆動して上昇させることで、物品を載置面より高い位置に移動させる。その状態で、搬送車から物品を載置面に搬送させることができる。以上の結果、載置台における物品収容能力が高くなっている。

本発明に係る搬送車システムでは、移載装置のコストが低減される。

本発明の一実施形態が採用された搬送車システムの模式平面図。 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。 搬送車の模式平面図。 図１の部分拡大図。 軌道の変形例を示す搬送車システムの部分模式平面図。 搬送車システムの制御系を示すブロック図。 搬送車内のコントローラの構成を示すブロック図。 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。 本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図。 レール上に保護カバーを置いた状態を説明するための、搬送車システムの部分断面図。 本発明の他の実施形態が採用された搬送車システムの模式平面図。 本発明のさらに他の実施形態が採用された搬送車システムの部分断面図。 載置台の模式平面図。 載置台の部分側面図。 搬送車システムの部分断面図。

（１）搬送車システム
図１を用いて、本発明に係る搬送車システム１を説明する。図１は、本発明の一実施形態が採用された搬送車システムの模式平面図である。この実施形態では、搬送車システム１は、大型の液晶を製造する液晶製造工場に採用されている。液晶製造工場には、複数の処理装置２および検査装置４が配置されている。

搬送車システム１は、複数の処理装置２間で物品（例えば、複数の基板を収容したカセット）を搬送するシステムであって、軌道３と、搬送車５と、自動倉庫７と、複数のバッファ９とを有している。搬送車システム１では、軌道３は複数のループ（周回路）を有しており、搬送車５は各ループを一方通行で走行するようになっている。

軌道３は、第１〜第４ループ１１，１３，１５，１７を有している。第１〜第３ループ１１、１３、１５は一方向に長く延びており、そのため直線状の両側部分と両端にあるカーブとを有している。第１〜第３ループ１１、１３，１５は、互いに平行に並んで延びている。第４ループ１７は、第１〜第３ループ１１，１３，１５の片側端間を延びるように配置されている。この実施形態では、第１〜第３ループ１１，１３，１５の第４ループ１７と反対側には、軌道が設けられていない。したがって、第１〜第４ループ１１，１３，１５，１７間に装置を搬入することまたはそれらの間から装置を搬出することが容易になる。

第１ループ１１は、複数の第１ショートカット用連結部１９を設けることで、第１小ループ１１ａ、第２小ループ１１ｂ、第３小ループ１１ｃを実現している。第２ループ１３は、複数の第２ショートカット用連結部２１を設けることで、第４小ループ１３ａ、第５小ループ１３ｂ、第６小ループ１３ｃを実現している。第３ループ１５は、複数の第３ショートカット用連結部２３を設けることで、第７小ループ１５ａ、第８小ループ１５ｂ、第９小ループ１５ｃを実現している。

第４ループ１７は、第４ショートカット用連結部２５を設けることで、第１０小ループ１７ａ、第１１小ループ１７ｂを実現している。第１０小ループ１７ａは、複数の連結部２７によって、第１ループ１１および第２ループ１３に連結されている。第１１小ループ１７ｂは、連結部２８によって、第３ループ１５に連結されている。

複数の処理装置２は、第１〜第４ループ１１，１３，１５，１７の外側に多数並んで配置されている。処理装置２の構成や種類は公知であるので、ここでは詳細な説明を省略する。

複数の処理装置２の一種類としては、各ループ間に連続して配置された連続処理装置２９が設けられている。連続処理装置２９は、第１ループ１１と第２ループ１３との間、および第２ループ１３と第３ループ１５の間に配置されている。連続処理装置２９は、物品を直接移動可能に連結して配置された第１処理装置２９ａおよび第２処理装置２９ｂを含んでいる。例えば、第１処理装置２９ａはエッチング装置であり、第２処理装置２９ｂは剥離装置である。したがって、物品は、第１ループ１１にある搬送車５から第１処理装置２９ａの入口ステーション３６に搬入・処理され、次に第２処理装置２９ｂに搬入・処理され、最後に第２ループ１３の出口ステーション３８にある搬送車５に搬出される。以上に述べたように、複数の処理装置２間に搬送軌道が設けられていないので、搬送車システム１全体での搬送工程数が少なくなる。

自動倉庫７は、第１ループ１１と第２ループ１３との間に配置されている。自動倉庫７は、物品を載置可能な複数の棚と、クレーンとを有している。自動倉庫７の構成は公知であるので、ここでは説明を省略する。自動倉庫７は、第１ループ１１と第２ループ１３が延びる方向に長く延びており、第１ループ１１側に延びる第１ステーション３１と、第２ループ１３側に延びる第２ステーション３３とを有している。これにより、自動倉庫７は、第１ループ１１または第２ループ１３を走行する搬送車５との間で物品を出し入れ可能である。
なお、この実施形態では、複数の検査装置４は、自動倉庫７に接続される形態で自動倉庫７の周囲に配置されている。ただし、検査装置の位置は特に限定されない。

複数のバッファ９は、物品を処理装置２間で搬送する際の仮置き場所として機能する載置台である。複数のバッファ９は、第１〜第４ループ１１〜１７内、より具体的には各小ループ内に配置されている。バッファ９は、ループの長手方向に沿って長く形成されており、後述するように、開口部が設けられた複数の収納部を有している。第１〜第９小ループ１１ａ、１１ｂ、１１ｃ、１３ａ、１３ｂ、１３ｃ、１５ａ、１５ｂ、１５ｃ内には、それぞれ４つのバッファ９が配置されている。第１０小ループ１７ａ内には、６つのバッファ９が配置されている。第１１小ループ１７ｂ内には、４つのバッファ９が一列にかつ直線状に配置されている。
図４を用いて、第１バッファ９Ａと第２バッファ９Ｂの配置および構造について詳細に説明する。図４は、図１の部分拡大図である。各小ループ内では、第１バッファ９Ａと第２バッファ９Ｂとが交互に配置されている。第１バッファ９Ａと第２バッファ９Ｂは、基本的な構造は同じであるが、開口部の向きが逆になっている。図４に示すように、第１小ループ１１ａ内において、第１バッファ９Ａは、３台の第１の単位バッファ８５を有している。第１の単位バッファ８５は、隣接する軌道、具体的には第１小ループ１１ａの一方の直線部分を向いた第１開口部８５ａを有している。第２バッファ９Ｂは、３台の第２の単位バッファ８６を有している。第２の単位バッファ８６は、隣接する軌道、具体的には第１小ループ１１ａの他方の直線部分に向いた第２開口部８６ａを有している。以上より、第１バッファ９Ａの第１開口部８５ａと第２バッファ９Ｂの第２開口部８６ａは、第１小ループ１１ａ内で反対側を向いている。以上の結果、第１バッファ９Ａに対しては第１小ループ１１ａの第１サイドからのアクセスが可能であり、第２バッファ９Ｂに対しては第１小ループ１１ａの第２サイドからのアクセスが可能になっている。このように小ループのいずれのサイドからもアクセス可能なバッファが１つの小ループ内に確保されているので、搬送車５とバッファ９との間での移載が短時間で実行可能である。

以上の構成により、各処理装置２に隣接するループ内にバッファ９があり、特に、ループの両側部分に向かってそれぞれ開口する開口部を有するバッファ９があることになる。したがって、２つの処理装置２間で物品を搬送する際には、通常は、２つのコマンドで搬送を実現することができる。具体的には、第１のコマンドによって、搬送車５が出発地である処理装置２から物品を搬出し、目的地である処理装置２の近傍のバッファ９に搬送する。第２のコマンドによって、搬送車５が物品をバッファ９から目的地である処理装置２に搬送する。このように搬送車５の２回の動きによって物品の搬送が完了するので、搬送車システム１における物品の搬送スループットが向上する。

図５を用いて、搬送車システム１の変形例として、停止場所を確保したレイアウトを説明する。図５は、軌道の変形例を示す搬送車システムの部分模式平面図である。
図５では、処理装置２の一部が取り除かれて、その箇所に、第７小ループ１５ａから延びるバイパス８９が配置されている。バイパス８９は、両端が第７小ループ１５ａに接続されており、その中間部が所定長さの直線状になって第７小ループ１５ａの直線部分に対して平行になっている。バイパス８９には、複数台の搬送車５が停止可能になっている。なお、バイパス８９の配置位置、形状は、この実施形態に限定されない。また、バイパス８９の停車可能台数は一台でもよい。
点検またはメンテナンスが必要な搬送車５は、バイパス８９に入って、直線部分で停止する。その状態で作業者が搬送車５を点検またはメンテナンスする。以上より、点検又はメンテナンス作業によって、処理装置２間を搬送する搬送車５の作業を停止させることがない。つまり、搬送車システム１におけるダウンタイムを低減または無くすことができる。

（２）搬送車
図２および図３を用いて、搬送車５の構造について説明する。図２は、本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図である。図３は、搬送車の模式平面図である。
図２においては紙面直交方向が搬送車５の搬送方向であり、紙面左右方向が物品の移載方向である。図３においては紙面上下方向が搬送車５の搬送方向であり、紙面左右方向が物品の移載方向である。
図２には、床面３２と天井面３４が示され、さらに、搬送車５、バッファ９、処理装置２のステーション２ａが示されている。搬送車５、バッファ９、処理装置２のステーション２ａの上面は、概ね同じ高さであり、天井面３４に近接している。

搬送車５は、処理装置２のステーション間でガラス基板やカセット等の物品を搬送するための搬送手段である。搬送車５は、本体３５と、走行部３７と、ローラコンベア３９と、プッシュプル移載装置４１と、ミニエンバイロメント機構４３とを有している。
本体３５は、概ね箱形形状を有している。
走行部３７は、本体３５の左右前後に設けられた車輪４５と、車輪４５に接続された走行モータ１３１（図７）と、走行モータ１３１に設けられたエンコーダ１３９（図７）を有している。車輪４５が走行するレール４７は、図２から明らかなように、床面３２に形成された凹部３２ａ内に配置されており、床面３２より下方に配置されている。

なお、図１４に示すように、搬送車５が走行しない箇所のレール４７の上には、保護カバー７０を置くことができる。保護カバー７０は、レール４７を覆い、床面３２と平行に配置される。保護カバー７０によって床面３２が平坦になっているので、作業者がレール４７を越えて移動する際にレール４７を破損するおそれがない。

ローラコンベア３９は、本体３５の上面に転動可能に設けられてており、搬送車５の支持面を構成している。図２および図３に示すように、ローラコンベア３９のローラ３９ａは、走行方向に直角の方向に並べられており、これにより物品が左右方向に容易に移動可能である。なお、ローラコンベア３９は、走行方向に離れた一対のローラ列から構成されている。ローラコンベア３９のローラ３９ａはすべてフリーローラ（自律的には駆動しないローラ）であり、ローラの列は単に物品のガイド部材を構成している。したがって、物品を移載する際の抵抗を減らすことができ、重量のある物品の移載に適している。このように搬送車５の支持面は転動自在なローラからなるローラコンベア３９であるので、物品の移載時に磨耗粉の発生が抑えられる。

プッシュプル移載装置４１は、ローラコンベア３９のローラ列上の物品を押し引きして移動させる進退装置である。プッシュプル移載装置４１は、左右方向に伸縮可能なアーム機構５１と、アーム機構５１に設けられたフック部材５３と、アーム機構５１を上下・左右・進退させるプッシュプル駆動機構１３３（図７）とを有している。図２に示す状態では、プッシュプル移載装置４１は、ローラコンベア３９より下方に配置されている。なお、プッシュプル移載装置４１は、物品の荷重を支持する必要がないので、構成が簡単である。したがって、搬送車５の軽量化が実現される。
フック部材５３は、アーム機構５１の最上段のアームからさらに左右方向両側に延びる第１部分５３ａと、第１部分５３ｂの端部から上方に延びる第２部分５３ｂとを有している。第２部分５３ｂ同士の左右方向距離は、物品の左右方向長さよりわずかに長くなっている。

ミニエンバイロメント機構４３は、筐体５５と、一対のシャッタ５７と、ＦＦＵ（Ｆａｎ Ｆｉｌｔｅｒ Ｕｎｉｔ）５９とを有している。ミニエンバイロメント機構４３は、搬送車５において物品の周囲環境の清浄度を向上させるための機構である。筐体５５は、本体３５の上部および前後に設けられ、所定の空間を遮蔽している。筐体５５の左右両側には開口部が形成されており、開口部には一対のシャッタ５７が設けられている。シャッタ５７は、シャッタ駆動モータ１３５（図７）によって開閉動作が可能である。図２に示す状態では、一対のシャッタ５７は、筐体５５内の空間を外部から遮蔽している。ＦＦＵ５９は、筐体５５内にクリーンエアを供給するための装置であり、ＦＦＵ駆動モータ１３７（図７）によって駆動される。

（３）バッファ
図２を用いて、バッファ９（図４の第１の単位バッファ８５、第２の単位バッファ８６に相当）の構造を説明する。
バッファ９は、例えば、第１小ループ１１ａの内側において両側部分に近接して配置されている。バッファ９は、載置台６１と、ローラコンベア６３と、ミニエンバイロメント機構６５とを有している。

載置台６１は、概ね箱形形状を有している。ローラコンベア６３は、載置台６１の上面に転動可能に設けられており、バッファ９の載置面を構成している。ローラコンベア６３は、搬送車５のローラコンベア３９と同一高さである。ローラコンベア６３のローラは、走行方向に直角の方向に並べられており、これにより物品が左右方向に容易に移動可能となっている。なお、ローラコンベア６３は、走行方向に離れた一対のローラ列から構成されている。ローラコンベア６３のローラはすべてフリーローラである。このようにバッファ９の載置面は転動自在なローラからなるローラコンベア６３であるので、物品の移載時に磨耗粉の発生が抑えられる。

ミニエンバイロメント機構６５は、カバー６７と、ＦＦＵ６９とを有している。ミニエンバイロメント機構６５は、バッファ９においてカバー６７内すなわち物品の周囲環境の清浄度を向上させるための機構である。カバー６７は、載置台６１の上部に設けられ、所定の空間を遮蔽している。カバー６７の軌道側には、開口部６７ａ（図４の第１開口部８５ａ、第２開口部８６ａに相当）が形成されている。この実施形態では、カバーは物品の上方だけに配置されているが、カバーは、物品の上方と左右だけに配置されていてもよいし、物品の上方と左右と奥に配置されていてもよい。この実施形態では開口部にシャッタは設けられていないが、必要に応じてシャッタを設けてもよい。ＦＦＵ６９は、筐体５５内にクリーンエアを供給することで、載置された物品の周囲の清浄度を高めるための装置である。ＦＦＵ６９は、ＦＦＵ駆動モータ１３７（図７）によって駆動される。

（４）ステーション
図２を用いて、処理装置２のステーション２ａについて説明する。ステーション２ａは、載置台７１と、ローラコンベア７３とを有している。

載置台７１は、概ね箱形形状を有している。ローラコンベア７３は、載置台７１の上面に転動可能に設けられている。ローラコンベア７３のローラは、走行方向に直角の方向に並べられており、これにより物品が左右方向に容易に移動可能となっている。なお、ローラコンベア７３は、走行方向に離れた一対のローラ列から構成されている。ローラコンベア７３のローラはすべてフリーローラである。

（５）制御構成
図６を用いて、搬送車システム１の制御系１２０を説明する。図６は、搬送車システムの制御系を示すブロック図である。

制御系１２０は、製造コントローラ１２１と、物流コントローラ１２３と、自動倉庫コントローラ１２５と、搬送車コントローラ１２７とを有している。

物流コントローラ１２３は、自動倉庫コントローラ１２５および搬送車コントローラ１２７の上位のコントローラである。搬送車コントローラ１２７は、複数の搬送車５を管理し、これらに搬送指令を割り付ける割り付け機能を有している。なお、「搬送指令」は、走行に関する指令や、荷つかみ位置と荷下ろし位置に関する指令を含んでいる。

製造コントローラ１２１は、処理装置２との間で通信することができる。処理装置２は、処理が終了した物品の搬送要求（荷つかみ要求・荷下ろし要求）を製造コントローラ１２１に送信する。

製造コントローラ１２１は、処理装置２からの搬送要求を物流コントローラ１２３に送信し、物流コントローラ１２３は報告を製造コントローラ１２１に送信する。

物流コントローラ１２３は、製造コントローラ１２１から搬送要求を受けると、自動倉庫７での入庫や出庫が伴っている場合、所定のタイミングで入庫や出庫指令を自動倉庫コントローラ１２５へ送信する。そして、自動倉庫コントローラ１２５は、これに応じて入庫や出庫指令を自動倉庫７へ送信する。物流コントローラ１２３は、さらに、製造コントローラ１２１から搬送要求を受け取ると、それを搬送指令に変換し、搬送車５への搬送指令割り付け動作を行う。

搬送車コントローラ１２７は、搬送指令を作成するために各搬送車５と連続的に通信して、各搬送車５から送信された位置データをもとにその位置情報を得ている。

図７を用いて、搬送車５の搬送車内コントローラ１２９について説明する。図７は、搬送車内のコントローラの構成を示すブロック図である。

搬送車内コントローラ１２９は、ＣＰＵ、ＲＡＭ、ＲＯＭ等からなりプログラムを実行するコンピュータである。搬送車内コントローラ１２９のメモリには、ルートマップが保存されている。搬送車５は、ルートマップに記載の座標と自機の内部座標（エンコーダ１３９（後述）によって求めた座標）とを比較しながら走行を続ける。

搬送車内コントローラ１２９には、走行モータ１３１、プッシュプル駆動機構１３３、シャッタ駆動モータ１３５、ＦＦＵ駆動モータ１３７、エンコーダ１３９が接続されている。

（６）搬送車システムの動作
図２および図８〜図１３を用いて、搬送車システム１における動作を説明する。図８〜図１３は、本発明の一実施形態としての搬送車システムの部分断面図である。図２の状態では、搬送車５は、物品Ｃ１を載置した状態で、バッファ９と処理装置２のステーション２ａとの間に停止している。ステーション２ａには、物品Ｃ２が載置されている。この状態から、搬送車５は、物品Ｃ１をバッファ９に降ろして、次に物品Ｃ２をステーション２ａから積み込む。以下、その動作を詳細に説明する。

図２の状態から、搬送車５において、シャッタ駆動モータ１３５が駆動されることで、バッファ９側のシャッタ５７が開かれる。さらに、プッシュプル駆動機構１３３の昇降機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１が上昇される。その結果、フック部材５３の第２部分５３ｂが物品Ｃ１の左右方向両側に配置される。アーム機構５１の上昇後の状態を図８に示す。

図８の状態から、搬送車５において、プッシュプル駆動機構１３３のスライド機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１がバッファ９側にスライドされる。これにより、物品Ｃ１はフック部材５３の第２部分５３ｂに押されて、搬送車５からバッファ９内に搬送される。具体的には、物品Ｃ１は、ローラコンベア３９およびローラコンベア６３上を滑って移動する。物品Ｃ１の移動後の状態を図９に示す。

図９の状態から、搬送車５において、プッシュプル駆動機構１３３の昇降機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１が下降される。その結果、フック部材５３の第２部分５３ｂが物品Ｃ１の左右方向両側より下方に配置される。次に、プッシュプル駆動機構１３３のスライド機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１が搬送車５側にスライドされる。これにより、アーム機構５１が搬送車５内に戻る。最後に、シャッタ駆動モータ１３５が駆動されて、バッファ９側のシャッタ５７が閉じられる。シャッタ５７が閉じられた状態を図１０に示す。

以上に説明したように、搬送車５はバッファ９の側方に停止して、プッシュプル移載装置４１によって本体３５とバッファ９との間で物品を移動させる。物品は、プッシュプル移載装置４１から力が作用すると、ローラコンベア３９とローラコンベア６３の上を移動する。このようにして、簡単な構造で、重量物の移載が可能になっている。

図１０の状態から、搬送車５において、シャッタ駆動モータ１３５が駆動されることで、ステーション２ａ側のシャッタ５７が開かれる。さらに、プッシュプル駆動機構１３３のスライド機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１がバッファ９側にスライドされる。アーム機構５１のスライド後の状態を図１１に示す。

図１１の状態から、搬送車５において、プッシュプル駆動機構１３３の昇降機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１が上昇される。その結果、フック部材５３の第２部分５３ｂが物品Ｃ２の左右方向両側に配置される。アーム機構５１が上昇した状態を図１２に示す。

図１２の状態から、プッシュプル駆動機構１３３のスライド機構が駆動されて、アーム機構５１が搬送車５側にスライドされる。これにより、アーム機構５１が搬送車５内に戻る。また、物品Ｃ２は、フック部材５３の第２部分５３ｂに押されて、ステーション２ａから搬送車５内に搬送される。具体的には、物品Ｃ２は、ローラコンベア７３およびローラコンベア３９上を滑って移動する。さらに、プッシュプル駆動機構１３３の昇降機構（図示せず）が駆動されて、アーム機構５１が下降される。その結果、フック部材５３の第２部分５３ｂが物品Ｃ２の左右方向両側より下方に配置される。最後に、シャッタ駆動モータ１３５が駆動されて、ステーション２ａ側のシャッタ５７が閉じられる。シャッタ５７が閉じられた状態を図１３に示す。
以上により、一連の移載動作が終了する。

（７）他の実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、発明の要旨を逸脱しない範囲で種々の変更が可能である。

（Ａ）上記の実施形態では、異なる側に向いた開口部をそれぞれが複数有する第１バッファ９Ａと第２バッファ９Ｂが１つずつ交互に設けられているが、本発明はそのような実施形態に限定されない。
バッファは、ループ内において、ループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第１開口部および第２開口部を有していれば、どのような構造であってもよい。例えば、一方の種類のバッファが連続して配置されていてもよい。さらには、開口部を１つだけ有しているバッファが用いられていてもよい。つまり、バッファの形状、それぞれのバッファの連続数については特に限定されない。
以上の構造によって、バッファがループ内においてループの両側部分に向かってそれぞれ開いた第１開口部および第２開口部を有している。したがって、物品をバッファ９に搬入するときに、目的とする処理装置２の近傍にありしかも当該処理装置２に向かって開いた開口部を有するバッファを選択できる。以上の結果、物品の搬送効率が向上する。

（Ｂ）ループ内で複数のバッファ９は直線状に配置されていなくてもよい。ただし、ループの幅を極端に大きくしないためには、複数のバッファ９は一列で配置されていることが好ましい。なお、バッファ９が直線状に配置されている場合は、ループの幅を最小限に設定できる。

（Ｃ）図１５に示す搬送車システムでは、軌道３は、前記実施形態の構造に加えて、第１〜第３ループ１１，１３，１５の第４ループ１７と反対側に、第５ループ７７を有している。

第５ループ７７は、第５ショートカット連結部７９を設けることで、第１２小ループ７７ａ、第１３小ループ７７ｂを実現している。第１２小ループ７７ａは、複数の連結部８１によって、第１ループ１１および第２ループ１３に連結されている。第１３小ループ７７ｂは、連結部８３によって、第３ループ１５に連結されている。
第１〜第５ループ１１，１３，１５，１７、７７のレールは、前記実施形態で説明したように床面３２の凹部３２ａ内に収納されている。この実施形態では、例えば通常時には、第５ループ７７のレールの上に保護カバーをかけておく。保護カバーを配置することで床面３２が平坦になるので、第１〜第４ループ１１，１３，１５，１７間に装置を搬入することまたはそれらの間から装置を搬出することが容易になる。また、作業者が第５ループ７７を越えて移動する際にレールを破損するおそれがない。そして、例えば非常時には、保護カバーを外して搬送車５を第５ループ７７上で走行させるようにできる。

この実施形態では、第５ループ７７内には、バッファは設けられていない。ただし、必要に応じてバッファを配置してもよい。

（Ｄ）図１６〜図１９を用いて、バッファにおける物品収容能力を高めた他の実施形態を説明する。図１６は、本発明のさらに他の実施形態が採用された搬送車システムの部分断面図である。図１７は、載置台の模式平面図である。図１８は、載置台の部分側面図である。図１９は、搬送車システムの部分断面図である。

図１６および図１７に示すように、バッファ９１は、ローラコンベア９３と、支持機構９５とを有している。
ローラコンベア９３は、前記実施形態と同様であるが、各ローラ９３ａ間には所定の隙間が確保されている。ローラコンベア９３は、ローラ９３ａを支持する支持部９３ｂ、支柱９３ｃ、および支持棒９３ｄをさらに有している。支持部９３ｂは、ローラ９３ａを直接支持する部分であり、ローラ９３ａが並べられた方向に延びている。支持部９３ｂは、ローラ９３ａの他のローラ列に対向する側の端部を回転自在に支持している。支柱９３ｃは、支持部９３ｂを所定高さに維持している。支持棒９３ｄは、支柱９３ｃから斜めに延びてローラ９３ａの他のローラ列と反対側の端部を回転自在に支持している。つまり、ローラ９３ａの他のローラ列と反対側には支柱は設けられていない。

支持機構９５は、ローラコンベア９３上の物品をローラコンベア９３より上方に移動させるための機構であり、支持部材９７と、駆動機構９９と有している。支持部材９７は、一対のローラコンベア９３を上下方向にそれぞれ通過して物品を支持可能な一対の部材であり、図１７に示すように、基枠１０１と、基枠１０１から延びる複数の細い支持部１０３とを有している。各基枠１０１は、各ローラコンベア９３の前後方向外側に配置され、ローラコンベア９３の各ローラ９３ａが並んだ方向に延びている。図１６および図１７に示すように、複数の支持部１０３は、ローラコンベア９３のローラ９３ａ間に延びている。支持部１０３の上面は、平坦な面であり、ローラ９３ａの上面より下方に配置されている。駆動機構９９は、支持部材９７を駆動するための機構であり、支柱１０５と、昇降モータ（図示せず）と、チェーン（図示せず）とを有している。支柱１０５は、例えば四隅に設けられて上下方向に延びており、図１８に示すように、支持部材９７の基枠１０１の両端を上下動可能に支持する。昇降モータ（図示せず）は、チェーン（図示せず）を介して支持部材９７を上下動させることができる。

この実施形態では、支柱１０５が高く延びているので、それに伴い、バッファ９１のカバー６７の天井部も高くなっており、さらに天井面３４もバッファ９１に対応する部分が高くなっている。

この搬送車システムでは、物品がローラコンベア９３上に置かれた後に、昇降モータ（図示せず）がチェーン（図示せず）を巻き上げることで支持部材９７を上昇させる。すると、複数の支持部１０３がローラコンベア９３のローラ９３ａ間を通って上方に移動する。これにより、図１８に示すように、支持部材９７の支持部１０３が物品Ｃを持ち上げ、それにより物品Ｃがローラコンベア９３のローラ９３ａから離れる。最終的には、図１９に示すように、物品Ｃはバッファ９１内で最も高い位置で複数の支持部１０３によって支持される。この状態で、ローラコンベア９３上には次の物品を搬入可能な空間が確保される。以上のようにして、バッファ９１内に２個の物品が搬入可能である。つまり、バッファ９１における物品収容能力が高くなっている。
なお、物品を持ち上げるための支持部材の形状は前記実施形態に限定されない。支持部材は例えば梯子形状であってもよい。
（Ｅ）本体３５のローラコンベア３９とバッファ９のローラコンベア６３は、物品Ｃの移載時に同一高さであればよい。つまり、いずれか又は両方の面が高さを変更可能であり、搬送車５の走行中または停止中には両方の面の高さが異なっていてもよい。
（Ｆ）前記実施形態では、ループ内のバッファは一列に配置されていたが、本発明はそのような実施形態に限定されない。例えば、ループ内に２列のバッファが配置されていてもよい。

本発明は、複数の処理装置間を軌道に沿って走行する搬送車を有する搬送車システムに広く適用できる。

１ 搬送車システム
２ 処理装置
２ａ ステーション
３ 軌道
４ 検査装置
５ 搬送車
７ 自動倉庫
９ バッファ
９Ａ 第１バッファ
９Ｂ 第２バッファ
１１ 第１ループ
１１ａ 第１小ループ
１１ｂ 第２小ループ
１１ｃ 第３小ループ
１３ 第２ループ
１３ａ 第４小ループ
１３ｂ 第５小ループ
１３ｃ 第６小ループ
１５ 第３ループ
１５ａ 第７小ループ
１５ｂ 第８小ループ
１５ｃ 第９小ループ
１７ 第４ループ
１７ａ 第１０小ループ
１７ｂ 第１１小ループ
１９ 第１ショートカット用連結部
２１ 第２ショートカット用連結部
２３ 第３ショートカット用連結部
２５ 第４ショートカット用連結部
２７ 連結部
２８ 連結部
２９ 連続処理装置
２９ａ 第１処理装置
２９ｂ 第２処理装置
３１ 第１ステーション
３２ 床面
３２ａ 凹部
３３ 第２ステーション
３４ 天井面
３５ 本体（支持台）
３６ 入口ステーション
３７ 走行部
３８ 出口ステーション
３９ ローラコンベア（支持面）
３９ａ ローラ
４１ プッシュプル移載装置
４３ ミニエンバイロメント機構
４５ 車輪
４７ レール
５１ アーム機構
５３ フック部材
５３ａ 第１部分
５３ｂ 第２部分
５５ 筐体
５７ シャッタ
５９ ＦＦＵ（清浄装置）
６１ 載置台
６３ ローラコンベア（載置面）
６５ ミニエンバイロメント機構
６７ カバー
６７ａ 開口部
６９ ＦＦＵ
７０ 保護カバー
７１ 載置台
７３ ローラコンベア
７７ 第５ループ
７７ａ 第１２小ループ
７７ｂ 第１３小ループ
７９ 第５ショートカット用連結部
８１ 連結部
８３ 連結部
８５ 第１の単位バッファ
８５ａ 第１開口部
８６ 第２の単位バッファ
８６ａ 第２開口部
８９ バイパス
９１ バッファ
９３ ローラコンベア
９３ａ ローラ
９３ｂ 支持部
９３ｃ 支柱
９３ｄ 支持棒
９５ 支持機構
９７ 支持部材
９９ 駆動機構
１０１ 基枠
１０３ 支持部
１０５ 支柱
１２０ 制御系
１２１ 製造コントローラ
１２３ 物流コントローラ
１２５ 自動倉庫コントローラ
１２７ 搬送車コントローラ
１２９ 搬送車内コントローラ
１３１ 走行モータ
１３３ プッシュプル駆動機構
１３５ シャッタ駆動モータ
１３７ ＦＦＵ駆動モータ
１３９ エンコーダ

Claims (5)

1. 複数の処理装置間で物品を搬送するための搬送車システムであって、
   前記複数の処理装置に沿って設けられた軌道と、
   前記軌道を走行して物品を搬送する搬送車と、
   前記軌道の側方に配置され、載置面を有する載置台とを備え、
   前記搬送車は、前記載置台の前記載置面と同一高さの支持面を有する支持台と、前記物品を押し引きすることで前記載置台と前記支持台との間で移動させるプッシュプル移載装置とを有している、
   搬送車システム。
2. 前記載置台は、カバーと、前記カバー内の清浄度を高めるための清浄装置とをさらに有している、請求項１に記載の搬送車システム。
3. 前記載置台の前記載置面は転動自在なコンベアであり、
   前記搬送車の前記支持面は転動自在なコンベアである、請求項１または２に記載の搬送車システム。
4. 前記軌道は、前記複数の処理装置に隣接する複数のループを有しており、
   前記搬送車は、前記ループを一方通行で走行しており、
   前記載置台は、少なくとも１つの前記ループの内側において前記ループの両側部分に近接して配置され、前記ループの長手方向に一列に並んで配置された第１載置台および第２載置台を有しており、
   前記第１載置台および前記第２載置台は、前記ループの前記両側部分の片側に向かって開いた第１開口部および前記ループの前記両側部分の反対側に向かって開いた第２開口部をそれぞれ有する、請求項１〜３のいずれかに記載の搬送車システム。
5. 前記載置台は、前記載置面を上下方向に通過して前記物品を支持可能な支持部材と、前記支持部材を駆動する駆動機構とを有しており、
   前記載置面に物品が載置された状態で前記駆動機構が前記支持部材を駆動すると、前記支持部材は前記載置面を通って前記物品を上昇させることで前記載置面上に物品を置くための空間を確保する、請求項１〜４のいずれかに記載の搬送車システム。

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