JP2011163872A - Fine particle analyzing method - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、微粒子分析方法に関し、特に、大気環境中を飛散する微粒子の粒子径の測定と、その成分分析とを行うために用いて好適なものである。 The present invention relates to a method for analyzing fine particles, and is particularly suitable for use in measuring the particle size of fine particles scattered in the atmospheric environment and analyzing their components.
大気中を飛散する、直径が数μm以下の微粒子の粒径分布やその成分を明らかにすることができれば、その微粒子の発生源や、微粒子のその後の飛散履歴を特定することが可能となる。これにより、効率の良い環境対策を講じることができる。
粒子の直径（粒子径）が10μm以下の微粒子を浮遊粒子状物質（suspended particulate matter：SPM）と呼ぶ。この微粒子は大気中を長時間浮遊し、人間の体内にも侵入して疾病を引き起こすことが知られている。
If the particle size distribution of fine particles having a diameter of several μm or less and their components scattered in the atmosphere can be clarified, the generation source of the fine particles and the subsequent scattering history of the fine particles can be specified. Thereby, efficient environmental measures can be taken.
Fine particles having a particle diameter (particle diameter) of 10 μm or less are called suspended particulate matter (SPM). These fine particles are known to float in the atmosphere for a long time and enter the human body to cause disease.
特に粒径が2.5μｍ以下の微粒子（この粒子はPM2.5と呼ばれる）は、人体に対しその影響を強く及ぼすことが懸念されている。環境微粒子の無機成分の成分分析については、酸やアルカリ溶液に溶解させた微粒子に対して、誘導結合型プラズマ質量分析法（ICP-MS）を適用することにより評価することが一般的であった。一方、環境微粒子の有機成分の成分分析については、ガスクロマトグラフ質量分析法（GC-MS）等を用いて評価することが一般的であった。しかしながら、特定時間に特定個所に降下する環境微粒子の排出源は、必ずしも一箇所とは限らない。そのため、環境微粒子一個一個を評価し、その成分と粒径とを明らかにすることができる分析法が必要となる。しかしながら、各微粒子一個一個を捕集したままで、その粒子径と成分とを測定する技術はこれまでなかった。 In particular, there is a concern that fine particles having a particle size of 2.5 μm or less (this particle is called PM2.5) strongly affect the human body. The component analysis of inorganic components in environmental particulates was generally evaluated by applying inductively coupled plasma mass spectrometry (ICP-MS) to particulates dissolved in acid or alkaline solutions. . On the other hand, the component analysis of the organic component of the environmental fine particles is generally evaluated using gas chromatography mass spectrometry (GC-MS) or the like. However, the emission source of environmental particulates falling to a specific location at a specific time is not necessarily one location. Therefore, it is necessary to have an analytical method capable of evaluating each of the environmental fine particles and clarifying their components and particle sizes. However, there has been no technique for measuring the particle diameter and components while collecting each fine particle one by one.
特許文献１には、電子ビームと集束イオンビームとを併用した微細部位解析装置が開示されている。特許文献１に記載の技術では、電子ビームにより非破壊で注目粒子を特定し、集束イオンビームによりその粒子の成分分析を行うことを可能にしている。
Japanese Patent Application Laid-Open No. H10-228561 discloses a fine region analyzing apparatus using both an electron beam and a focused ion beam. In the technique described in
しかしながら、特許文献１に記載の技術は、単一の微粒子を特定し、特定した微粒子の成分を分析するに過ぎない。また、走査型分析電子顕微鏡でも、前述したのと同様な微粒子に関する情報を抽出することが可能である。しかしながら、微粒子は中空のものが多く、その密度を求めるには、微粒子の内部構造と外部とを分離して測定可能な二次イオン質量分析法を基本とするシステムが必須である。
本発明は、以上のような問題に鑑みてなされたものであり、各微粒子一個一個を捕集したままで、各微粒子一個一個の粒子径と成分とを精確に評価することができるようにすることを目的とする。
However, the technique described in
The present invention has been made in view of the problems as described above, and makes it possible to accurately evaluate the particle diameter and the component of each fine particle while collecting each fine particle. For the purpose.
本発明の微粒子分析方法は、試料台に置かれた捕集基板上の微粒子に電子ビームを照射する電子ビーム照射器と、前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出する検出器と、前記微粒子に集束イオンビームを照射する集束イオンビーム照射器と、前記集束イオンビームを前記微粒子に照射することにより前記微粒子から放出される二次イオンを検出する分析計と、を有する装置を用いて微粒子を分析する微粒子分析方法であって、前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出した結果に基づいて、前記微粒子を特定することと、前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出した結果に基づいて、前記微粒子の粒子径を測定することと、前記集束イオンビームの照射により前記微粒子から放出される二次イオンを検出した結果に基づいて、前記微粒子の成分を分析することと、を前記装置で行うことを特徴とする微粒子分析方法。
また、本発明の微粒子分析方法の他の態様例では、試料台に置かれた捕集基板上の微粒子に電子ビームを照射する電子ビーム照射器と、前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出する検出器と、前記微粒子に集束イオンビームを照射する集束イオンビーム照射器と、前記集束イオンビームを前記微粒子に照射することにより前記微粒子から放出される二次イオンを検出する分析計と、を有する装置を用いて微粒子を分析する微粒子分析方法であって、前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出した結果に基づいて、前記微粒子を特定することと、前記集束イオンビームの照射により前記微粒子から放出される全二次イオンを検出した結果に基づいて、前記微粒子の粒子径を測定することと、前記集束イオンビームの照射により前記微粒子から放出される二次イオンを検出した結果に基づいて、前記微粒子の成分を分析することと、を前記装置で行うことを特徴とする。
また、本発明の微粒子分析方法のその他の態様例では、試料台に置かれた捕集基板上の微粒子に電子ビームを照射する電子ビーム照射器と、前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出する検出器と、前記微粒子に集束イオンビームを照射する集束イオンビーム照射器と、前記集束イオンビームを前記微粒子に照射することにより前記微粒子から放出される二次イオンを検出する分析計と、を有する装置を用いて微粒子を分析する微粒子分析方法であって、前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出した結果に基づいて、前記微粒子を特定することと、前記集束イオンビームの照射により散乱される電子を検出した結果に基づいて、前記微粒子の粒子径を測定することと、前記集束イオンビームの照射により前記微粒子から放出される二次イオンを検出した結果に基づいて、前記微粒子の成分を分析することと、を前記装置で行うことを特徴とする。
The particle analysis method of the present invention includes an electron beam irradiator that irradiates an electron beam to particles on a collection substrate placed on a sample stage, a detector that detects electrons scattered by the electron beam irradiation, Fine particles using a device comprising: a focused ion beam irradiator that irradiates a fine particle with a focused ion beam; and an analyzer that detects secondary ions emitted from the fine particle by irradiating the fine particle with the focused ion beam. A method for analyzing fine particles, wherein the fine particles are identified based on a result of detecting electrons scattered by the electron beam irradiation, and a result of detecting electrons scattered by the electron beam irradiation And measuring the particle diameter of the fine particles and detecting secondary ions emitted from the fine particles by irradiation with the focused ion beam. Particle analysis method to be, and analyzing the components of the fine particles, characterized by performing in the apparatus based on.
In another embodiment of the fine particle analysis method of the present invention, an electron beam irradiator that irradiates fine particles on a collection substrate placed on a sample stage with an electron beam, and electrons scattered by the electron beam irradiation. A detector for detecting; a focused ion beam irradiator for irradiating the fine particle with a focused ion beam; and an analyzer for detecting secondary ions emitted from the fine particle by irradiating the fine particle with the focused ion beam; A method for analyzing fine particles using an apparatus having the following: a method for identifying fine particles based on a result of detecting electrons scattered by irradiation of the electron beam, and irradiation of the focused ion beam. Based on the detection result of all secondary ions released from the fine particles, the particle diameter of the fine particles is measured, and the focused ion beam is irradiated. Based on the result of detection of secondary ions emitted from the fine particles, and carrying out the analyzing component of the fine particles, with said device.
In another embodiment of the fine particle analysis method of the present invention, an electron beam irradiator that irradiates fine particles on a collection substrate placed on a sample stage with an electron beam, and electrons scattered by the electron beam irradiation. A detector for detecting; a focused ion beam irradiator for irradiating the fine particle with a focused ion beam; and an analyzer for detecting secondary ions emitted from the fine particle by irradiating the fine particle with the focused ion beam; A method for analyzing fine particles using an apparatus having the following: a method for identifying fine particles based on a result of detecting electrons scattered by irradiation of the electron beam, and irradiation of the focused ion beam. Based on the result of detecting the scattered electrons, the particle diameter of the fine particles is measured, and the fine particles are released from the fine particles by irradiation with the focused ion beam. Based on the result of detection of secondary ions, and carrying out the analyzing component of the fine particles, with said device.
本発明によれば、各微粒子一個一個を捕集したままで、各微粒子一個一個の粒子径と成分とを精確に評価することができる。 According to the present invention, it is possible to accurately evaluate the particle size and the component of each fine particle while collecting each fine particle one by one.
以下、図面を参照しながら、本発明の実施形態を説明する。
（第１の実施形態）
まず、本発明の第１の実施形態について説明する。
図１は、微粒子分析装置の概略構成の一例を示す図である。図示のとおり、微粒子分析装置は、主に、試料台１と、集束イオンビーム照射器３と、電子ビーム照射器４と、質量分析計５と、二次電子検出器６と、を備えている。
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
(First embodiment)
First, a first embodiment of the present invention will be described.
FIG. 1 is a diagram illustrating an example of a schematic configuration of a particle analyzer. As illustrated, the particle analyzer mainly includes a
試料台１は真空槽中にある。捕集基板７は、観察したい環境微粒子２（以下の説明では、必要に応じて、環境微粒子２を微粒子２と略称する）が試料台１の上に固定された状態で設置される。微粒子２の捕集は、市販のポータブルサンプラーやカスケードインパクタ等を利用することにより実現することができる。このとき、捕集基板７を該ポータブルサンプラーやカスケードインパクタ中に具備された濾紙上に設置するようにしてもよい。また、この際にポータブルサンプラーやカスケードインパクタ内の空気の流れを妨害しないように、捕集基板７の設置位置及び大きさを決定する必要がある。このようにすることによって、試料である微粒子２が分散される。
また、捕集基板７は、原子レベルでフラット（平滑）な表面を持つことが理想的である。例えば、シリコンウエハを捕集基板７として用いることが望ましい。シリコンウエハ以外でも、SiC、GaAs、サファイア、ガラス等の基板を捕集基板７として用いることができる。
本実施形態では、主に、粒子径が10μm以下の微粒子を測定対象とする。
The
The collection substrate 7 ideally has a flat (smooth) surface at the atomic level. For example, it is desirable to use a silicon wafer as the collection substrate 7. Other than silicon wafers, substrates such as SiC, GaAs, sapphire, and glass can be used as the collection substrate 7.
In the present embodiment, the measurement object is mainly fine particles having a particle diameter of 10 μm or less.
集束イオンビーム照射器３と電子ビーム照射器４は、試料台１の任意の高さにおいて、微粒子２の表面の同一地点にビームを照射するように、試料台１に対して鉛直上方向に設置された質量分析計５を挟んで、左右対称な関係となる位置に設置される。本実施形態では、集束イオンビーム照射器３と電子ビーム照射器４は、水平に設置された試料台１に対して伏角が４５°となる方向から、微粒子２にビームを照射するようにしている。
The focused ion beam irradiator 3 and the electron beam irradiator 4 are installed vertically above the
集束イオンビーム照射器３は、一般的に入手可能なものが利用でき、例えば液体金属であるガリウムイオン源からイオンビームを取り出し、微粒子２の表面において数10nmのレベルまでイオンビームを集束させることができる装置である。近年は、ガリウムイオン源の他にも、BiやAu等の集束イオン源も開発されており、これらの集束イオン源を使用することも可能である。集束イオンビーム照射器３の集束イオン源としてガリウムイオン源を用いた場合、微粒子２の表面において、集束イオンビーム照射器３から照射されたパルス状のGaイオンビームが、微粒子２の表面を構成する原子をスパッタリングする。これにより、微粒子２から二次イオンが発生する。このようにして発生した二次イオンは、質量分析計５により検出される。
質量分析計５は、飛行時間型質量分析計でも、四重極型質量分析計でも、二重収束型質量分析計でもよい。しかしながら、PM2.5のような小さな粒子径を持つ微粒子２を測定する際には、試料の損傷の激しい直流のイオンビームを用いる四重極型質量分析計や二重収束型質量分析計よりも、パルスイオンビームを用いる飛行時間型質量分析計を質量分析計５に用いた方が望ましい。
As the focused ion beam irradiator 3, a generally available one can be used. For example, an ion beam is extracted from a gallium ion source that is a liquid metal and focused on the surface of the fine particle 2 to a level of several tens of nm. It is a device that can. In recent years, in addition to gallium ion sources, focused ion sources such as Bi and Au have been developed, and these focused ion sources can also be used. When a gallium ion source is used as the focused ion source of the focused ion beam irradiator 3, the pulsed Ga ion beam irradiated from the focused ion beam irradiator 3 forms the surface of the fine particle 2 on the surface of the fine particle 2. Sputter atoms. As a result, secondary ions are generated from the fine particles 2. The secondary ions generated in this way are detected by the mass spectrometer 5.
The mass spectrometer 5 may be a time-of-flight mass spectrometer, a quadrupole mass spectrometer, or a double-focusing mass spectrometer. However, when measuring fine particles 2 with a small particle size such as PM2.5, rather than a quadrupole mass spectrometer or a double-focusing mass spectrometer that uses a direct-current ion beam with severe damage to the sample. It is desirable to use a time-of-flight mass spectrometer using a pulsed ion beam for the mass spectrometer 5.
このように、集束イオンビームを走査して微粒子２に照射することにより微粒子２から放出される二次イオンを検出し、二次イオン像に基づいて微粒子２の質量を質量分析計５で分析することにより、微粒子２の成分を分析することができる。このとき、後述する電子ビーム照射器４による電子ビームの照射により散乱された電子を検出して得られた二次電子像が観察されたときと同一の視野で、二次イオン像を観察する。尚、前述した集束イオン源の代わりに集束性の高いガスイオン源、液体金属イオン源等を利用することが可能である。 Thus, the secondary ion emitted from the fine particle 2 is detected by scanning the focused ion beam and irradiating the fine particle 2, and the mass of the fine particle 2 is analyzed by the mass spectrometer 5 based on the secondary ion image. Thus, the components of the fine particles 2 can be analyzed. At this time, the secondary ion image is observed in the same field of view as when the secondary electron image obtained by detecting the electrons scattered by the electron beam irradiation by the electron beam irradiator 4 described later is observed. It is possible to use a highly focused gas ion source, liquid metal ion source, or the like instead of the above-described focused ion source.
また、微粒子２の表面の有機物を取り除き、飛散中における微粒子２の付着や酸化等の化学反応を観察したい場合もある。この場合には、1013〜1016イオン／cm2程度の、パルス化された集束イオンビームを集束イオンビーム照射器３から微粒子２に照射して、微粒子２の表面付着物を除去した後、前述したようにして二次イオン像を観察するのが望ましい。 In some cases, organic substances on the surface of the fine particles 2 are removed, and chemical reactions such as adhesion and oxidation of the fine particles 2 during the scattering are observed. In this case, after the focused ion beam irradiator 3 irradiates the fine particles 2 with a pulsed focused ion beam of about 10 13 to 10 16 ions / cm 2 to remove the surface deposits of the fine particles 2, It is desirable to observe the secondary ion image as described above.
電子ビーム照射器４は、集束イオンビーム照射器３と同様、或いはそれ以上に集束された集束電子ビームを、微粒子２の表面に照射する装置である。電子ビーム照射器４から電子ビームを走査しながら照射することにより発生した二次電子、つまり、電子ビームの照射により散乱された電子は、二次電子検出器６にて検出され、その検出結果に基づいて、二次電子像を観察することができる。
このようにして得られた二次電子像から、捕集基板７の表面の微粒子２を含む分析面を決定することができ、微粒子２の存在位置を正確に決定することができる。また、この二次電子像から、予め定められている、微粒子２の特徴的な形状及び大きさ等に基づいて、測定部位内の各微粒子２の粒子径を求めることができる。さらに、微粒子２の粒子径を求めるに際し、微粒子２の質量を求めることもできる。具体的には、まず、微粒子２が球であると仮定して、その体積を求める。そして、微粒子２の成分から微粒子２の素性を明らかにし、その素性に対する一般的な比重と微粒子２の体積とに基づいて、微粒子２の質量を求める。
The electron beam irradiator 4 is a device that irradiates the surface of the microparticles 2 with a focused electron beam that is focused in the same manner as or more than the focused ion beam irradiator 3. Secondary electrons generated by irradiating the electron beam irradiator 4 while scanning the electron beam, that is, electrons scattered by the irradiation of the electron beam are detected by the secondary electron detector 6, and the detection result is obtained. Based on this, a secondary electron image can be observed.
From the secondary electron image thus obtained, the analysis surface including the fine particles 2 on the surface of the collection substrate 7 can be determined, and the position where the fine particles 2 are present can be accurately determined. In addition, from the secondary electron image, the particle diameter of each fine particle 2 in the measurement site can be obtained based on a predetermined characteristic shape and size of the fine particle 2. Furthermore, when determining the particle diameter of the fine particles 2, the mass of the fine particles 2 can also be determined. Specifically, first, assuming that the fine particle 2 is a sphere, its volume is obtained. Then, the identity of the fine particles 2 is clarified from the components of the fine particles 2, and the mass of the fine particles 2 is obtained based on the general specific gravity for the feature and the volume of the fine particles 2.
微粒子２の存在位置と粒子径とを二次電子像からそのまま決定することは、非常に煩雑で、労力を費やす。現在では、市販の二値化プログラム（二次電子像を二値化して微粒子２とその他のものとを判別するためのプログラム）を用いて、捕集基板７の表面に存在する微粒子２の数と、それぞれの微粒子２の粒子径とを求めることが可能となってきている。しかしながら、PM2.5のような細かい微粒子２の数と粒子径とを、前述した二値化プログラムを用いて判別しようする場合、捕集基板７の表面粗度が大きい場合には、これらの判別が困難となる。 It is very cumbersome and labor intensive to determine the location and particle size of the fine particles 2 as they are from the secondary electron image. At present, the number of the fine particles 2 existing on the surface of the collection substrate 7 using a commercially available binarization program (a program for binarizing the secondary electron image to discriminate the fine particles 2 from others). And the particle diameter of each fine particle 2 can be obtained. However, when the number of fine particles 2 such as PM2.5 and the particle diameter are determined using the above-described binarization program, if the surface roughness of the collection substrate 7 is large, these determinations are made. It becomes difficult.
そこで、前述したように原子レベルでフラットなシリコンウエハを捕集基板７に用いることで、前述した二値化プログラムを用いても、これらの判別を容易に行うことができ、微粒子２の粒子径の決定を容易にすることができる。イオンビームの照射によって、捕集基板７の表面の電荷蓄積（チャージアップ）を避けるために、捕集基板７に用いるシリコンウエハは、より低抵抗のものであるのが好ましい。尚、鏡面仕上げしたステンレス基板を捕集基板７として用いても、前述したようにして微粒子２の位置や粒子径を測定することは可能である。しかしながら、鏡面仕上げしたステンレス基板を捕集基板７として用いる場合には、ステンレスの研磨きずが微粒子２の二値化において大きな妨害となる虞があることに留意する必要がある。 Therefore, by using a flat silicon wafer at the atomic level for the collection substrate 7 as described above, these determinations can be easily performed even using the binarization program described above, and the particle diameter of the fine particles 2 can be determined. Can be easily determined. In order to avoid charge accumulation on the surface of the collection substrate 7 by ion beam irradiation, it is preferable that the silicon wafer used for the collection substrate 7 has a lower resistance. Even if a mirror-finished stainless steel substrate is used as the collection substrate 7, the position and particle diameter of the fine particles 2 can be measured as described above. However, when a mirror-finished stainless steel substrate is used as the collection substrate 7, it should be noted that stainless steel polishing flaws may be a major obstacle in binarizing the fine particles 2.
また、高電気絶縁性の微粒子２の成分分析を行うに際しては、前述したように、集束イオンビーム照射器３及び質量分析計５を用いて、微粒子２の質量を分析しているときに、電子ビーム照射器４により電子ビームを測定部位（微粒子２）に照射することで、電荷の補償を可能とする。しかしながら、電子ビーム照射器４は、電子ビームの照射により散乱された電子を二次電子検出器６で検出して得られる二次電子像を得る目的で設置されたものである。このため、電子ビームの集束性を考慮すると、数keVの加速電圧が必要となる。そこで、電荷の補償を目的とする場合は、電子ビーム照射器４ではなく、別途、加速電圧が小さい（100eV以下）低速の電子を発生可能な電子銃を利用するのが好ましい。 Further, when performing component analysis of the highly electrically insulating fine particles 2, as described above, when the mass of the fine particles 2 is analyzed using the focused ion beam irradiator 3 and the mass spectrometer 5, By irradiating the measurement site (fine particles 2) with the electron beam by the beam irradiator 4, the charge can be compensated. However, the electron beam irradiator 4 is installed for the purpose of obtaining a secondary electron image obtained by detecting the electrons scattered by the electron beam irradiation with the secondary electron detector 6. For this reason, an acceleration voltage of several keV is required in consideration of the focusing property of the electron beam. Therefore, for the purpose of charge compensation, it is preferable to use an electron gun that can generate low-speed electrons with a small acceleration voltage (100 eV or less), instead of the electron beam irradiator 4.
尚、以上のようにして、微粒子２の成分や、微粒子２の位置・粒子径や、微粒子２の空隙率の測定を行う処理は、例えば、質量分析計５及び二次電子検出器６に接続されたコンピュータ（ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭ、ＨＤＤ、ディスプレイ、各種のハードディスクを備えたコンピュータ）により実現することができる。 The process for measuring the components of the fine particles 2, the position / particle diameter of the fine particles 2, and the porosity of the fine particles 2 as described above is connected to, for example, the mass spectrometer 5 and the secondary electron detector 6. It can be realized by a computer (CPU, ROM, RAM, HDD, display, computer equipped with various hard disks).
以上の通り、本実施形態では、同一装置にて、各微粒子２を捕集したままで、各微粒子２の一個一個の粒子径と成分とを明らかにすることができる。これにより、微粒子２の飛散距離や、飛散方向を予測し、排出源の多様性、寄与、及び飛散履歴を明らかすることを可能とする。人体への影響が懸念されるPM2.5の粒子の測定を行うには、捕集基板７の平坦性が重要となる。そこで、シリコンウエハを捕集基板７として用いることにより、数μmからサブμmの粒子径の微粒子２を明瞭に観察することができ、さらにその微粒子２の成分を決定することができる。 As described above, in the present embodiment, it is possible to clarify the particle size and the component of each particle 2 while collecting each particle 2 with the same apparatus. Thereby, the scattering distance and the scattering direction of the fine particles 2 can be predicted, and the diversity of the emission sources, the contribution, and the scattering history can be clarified. The flatness of the collection substrate 7 is important for measuring PM2.5 particles, which are likely to be affected by the human body. Therefore, by using a silicon wafer as the collection substrate 7, it is possible to clearly observe the fine particles 2 having a particle diameter of several μm to sub-μm, and further to determine the components of the fine particles 2.
（第２の実施形態）
次に、本発明の第２の実施形態について説明する。前述した第１の実施形態では、微粒子２の粒子径を測定するために、電子ビームを微粒子２に照射することにより散乱される電子を検出することにより行う場合について説明した。これに対し、本実施形態では、集束イオンビームを微粒子２に照射して微粒子２の粒子径を測定する場合について説明する。このように、本実施形態と第１の実施形態とは、微粒子２の粒子径を測定する方法が主として異なる。したがって、本実施形態の説明において、第１の実施形態と同一の部分については、図１に付した符号と同一の符号を付す等して詳細な説明を省略する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the present invention will be described. In the first embodiment described above, a case has been described in which the particle diameter of the fine particles 2 is measured by detecting electrons scattered by irradiating the fine particles 2 with an electron beam. On the other hand, in this embodiment, the case where the focused ion beam is irradiated onto the fine particles 2 to measure the particle diameter of the fine particles 2 will be described. Thus, the present embodiment and the first embodiment are mainly different in the method for measuring the particle diameter of the fine particles 2. Therefore, in the description of the present embodiment, the same portions as those in the first embodiment are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
まず、集束イオン源としてパルスイオンビームを用いる。そして、この集束イオンビームを走査して微粒子２に照射することにより、微粒子２の表面から発生する全イオン種の二次イオンを検出して得られる全二次イオン像を二次電子検出器６で観察することにより、微粒子２の粒子径をほぼ非破壊で測定することができる。この全二次イオン像と、注目する元素の二次イオン像の観察から、微粒子２を構成する成分の情報を、微粒子２の粒子径の測定と同時に抽出することができる。 First, a pulsed ion beam is used as a focused ion source. Then, by scanning the focused ion beam and irradiating the fine particles 2, the secondary electron detector 6 obtains a total secondary ion image obtained by detecting secondary ions of all ion species generated from the surface of the fine particles 2. The particle diameter of the fine particles 2 can be measured almost nondestructively. From the observation of the total secondary ion image and the secondary ion image of the element of interest, information on the components constituting the fine particles 2 can be extracted simultaneously with the measurement of the particle diameter of the fine particles 2.
また、全二次イオン像では微粒子２の正確な粒径を求められない場合は、集束イオン源として直流のイオンビームを照射する。そして、集束イオンビーム照射器３が、直流のイオンビームを走査して微粒子２の表面に照射することで散乱される電子（二次電子）を検出して得られる走査イオン像を二次電子検出器６で観察することにより、微粒子２の粒子径を正確に確定できる。これは、二次イオンの信号量が元素の存在濃度に比例しないため、粒子の物理的形状を反映しない虞があるためである。その際は、物理的形状をほぼ再現する二次電子像である走査イオン像を観察する方が良い。この際は、微粒子２の粒子径の変化を抑えるために、観察時間を短時間にするか、観察する際のイオンビームの電流量を極力低減する必要がある。 In addition, when the exact particle diameter of the fine particles 2 cannot be obtained from the entire secondary ion image, a DC ion beam is irradiated as a focused ion source. Then, the focused ion beam irradiator 3 scans a DC ion beam and irradiates the surface of the fine particles 2 to detect the scattered ions (secondary electrons), and detects a scanning ion image obtained as a secondary electron. By observing with the vessel 6, the particle diameter of the fine particles 2 can be accurately determined. This is because the signal amount of secondary ions is not proportional to the existing concentration of the element and may not reflect the physical shape of the particles. In that case, it is better to observe a scanning ion image which is a secondary electron image that substantially reproduces the physical shape. At this time, in order to suppress the change in the particle diameter of the fine particles 2, it is necessary to shorten the observation time or to reduce the ion beam current amount as much as possible.
このように、集束イオンビーム照射器３が、直流の集束イオンビームを微粒子２の表面にて走査することで散乱される電子（二次電子）を検出して得られる走査イオン像を二次電子検出器６で観察することができる。前述したように、集束イオンビーム照射器３からの集束イオンビーム照射と電子ビーム照射器４からの電子ビーム照射により得られる二次イオン像と二次電子像は鏡像関係となる。よって、微粒子２へのイオンビームの照射を極力抑制して、走査イオン像を観察すると同時に、二次イオン像を観察することで、完全に同一視野の微粒子２の成分分布と粒子径とを同時に得ることが可能であり、完全な同一地点での観察を可能とする。 In this way, the focused ion beam irradiator 3 scans the surface of the fine particle 2 with a DC focused ion beam to detect the scattered electrons (secondary electrons), and obtains a scanned ion image as a secondary electron. It can be observed with the detector 6. As described above, the secondary ion image and the secondary electron image obtained by the focused ion beam irradiation from the focused ion beam irradiator 3 and the electron beam irradiation from the electron beam irradiator 4 have a mirror image relationship. Therefore, by irradiating the fine particle 2 with the ion beam as much as possible and observing the scanning ion image, and simultaneously observing the secondary ion image, the component distribution and the particle size of the fine particle 2 in the same field of view can be completely simultaneously It is possible to obtain a complete observation at the same point.
（第３の実施形態）
次に、本発明の第３の実施形態について説明する。本実施形態では、微粒子２の内部の情報として微粒子２の空隙率を求める場合について説明する。このように本実施形態では、第１、第２の実施形態に対し、空隙率を求める処理が追加されたものである。したがって、本実施形態の説明において、第１、第２の実施形態と同一の部分については、図１に付した符号と同一の符号を付す等して詳細な説明を省略する。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the present invention will be described. In this embodiment, a case where the porosity of the fine particles 2 is obtained as information inside the fine particles 2 will be described. Thus, in this embodiment, the process which calculates | requires a porosity is added with respect to 1st, 2nd embodiment. Therefore, in the description of this embodiment, the same parts as those in the first and second embodiments are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
微粒子２の内部の情報を取り出す場合は、特許文献１に示されるように、集束イオンビーム照射器３により、微粒子２を切断加工する。また、試料台１の着眼位置（測定対象の微粒子２が存在する位置）を中心に試料台１を（図１の上下方向を回転軸として）180°回転させることが可能な機器を試料台１に取り付けるようにする。
微粒子２の内部の空隙率を求めることは従来の電子線励起蛍光Ｘ線分析方法では不可能であった。従来の電子線励起蛍光Ｘ線分析では、情報の深さが１μm程度であり、サブミクロン単位の粒子径を有する微粒子の内部の空隙の情報を抽出することができないためである。本実施形態で用いる二次イオン質量分析法の表面における情報深さは数nmと非常に浅い。このため、微粒子２の極表面の情報のみを検出する。従って、切断加工した微粒子２の内部について元素マッピングを行うことで、微粒子２の表面と内部の情報を別々に観察することができる。
When taking out the information inside the fine particles 2, the fine particles 2 are cut and processed by the focused ion beam irradiator 3, as disclosed in
It was impossible to obtain the porosity inside the fine particles 2 by the conventional electron beam-excited fluorescent X-ray analysis method. This is because conventional electron beam-excited fluorescent X-ray analysis has an information depth of about 1 μm and cannot extract information on voids inside fine particles having a particle size of submicron units. The information depth on the surface of the secondary ion mass spectrometry used in the present embodiment is as shallow as several nm. For this reason, only information on the extreme surface of the fine particles 2 is detected. Therefore, by performing element mapping on the inside of the cut fine particle 2, information on the surface and the inside of the fine particle 2 can be observed separately.
具体的には、まず、前述したようにして切断した微粒子２を、当該微粒子２を中心に回転させながら、集束イオンビームを、前述したようにして微粒子２に照射して、微粒子２の内部の情報を得るようにする。この際、電子ビームと、集束イオンビームとを切断面に対して垂直に入射されるようにするのが好ましい。そして、前述したように、集束イオンビームの照射により微粒子２から放出される二次イオンを検出し、その二次イオン像を観察した結果に基づいて、微粒子２の内部の成分分析を行う。また、この二次イオン像を観察した結果に基づいて、微粒子２の内部にある空隙の大きさ（面積）を求め、微粒子２と空隙が球であると仮定して、空隙の体積を微粒子２の体積で割ることにより微粒子２の空隙率を求める。
以上のようにすることで、各微粒子２一個一個の空隙率を明らかにすることができ、微粒子２の密度を求めることができる。
Specifically, first, the fine particle 2 cut as described above is rotated around the fine particle 2 and the fine particle 2 is irradiated with the focused ion beam as described above, so that the inside of the fine particle 2 is irradiated. Get information. At this time, it is preferable that the electron beam and the focused ion beam are incident perpendicularly to the cut surface. As described above, secondary ions emitted from the fine particles 2 are detected by irradiation with the focused ion beam, and the components inside the fine particles 2 are analyzed based on the observation result of the secondary ion images. Further, based on the result of observing the secondary ion image, the size (area) of the void inside the fine particle 2 is obtained, and assuming that the fine particle 2 and the void are spheres, the volume of the void is defined as the fine particle 2. The porosity of the fine particles 2 is obtained by dividing by the volume of.
By doing so, the porosity of each fine particle 2 can be clarified and the density of the fine particles 2 can be obtained.
尚、前述した本発明の各実施形態は、何れも本発明を実施するにあたっての具体化の例を示したものに過ぎず、これらによって本発明の技術的範囲が限定的に解釈されてはならないものである。すなわち、本発明はその技術思想、またはその主要な特徴から逸脱することなく、様々な形で実施することができる。 It should be noted that each of the embodiments of the present invention described above is merely an example of implementation in carrying out the present invention, and the technical scope of the present invention should not be construed in a limited manner. Is. That is, the present invention can be implemented in various forms without departing from the technical idea or the main features thereof.
（実施例）
以下に本発明の実施例について説明する。以下の本発明の実施例は、図１に示された装置により実施された。
図２は、大気中から捕集した微粒子２に電子ビームを照射することにより散乱された電子を検出して得られた微粒子の二次電子像の一例を示す写真である。図２（ａ）で示される写真は、シリコンウエハを捕集基板７として用いた場合の微粒子の二次電子像である。この写真において、白い点がサブミクロン単位の粒子径であるSPM粒子を示し、黒い点がコンタミネーションである油滴を示している。図２（ｂ）で示される写真は、鏡面仕上げしたステンレス基板を捕集基板７として用いた場合の微粒子の二次電子像である。この写真から、前述した通り、ステンレス基板を捕集基板７として用いるとステンレス基板の研磨きずが問題となることが分かる。
(Example)
Examples of the present invention will be described below. The following examples of the present invention were implemented by the apparatus shown in FIG.
FIG. 2 is a photograph showing an example of a secondary electron image of fine particles obtained by detecting electrons scattered by irradiating fine particles 2 collected from the atmosphere with an electron beam. The photograph shown in FIG. 2A is a secondary electron image of fine particles when a silicon wafer is used as the collection substrate 7. In this photograph, white dots indicate SPM particles having a particle size in submicron units, and black dots indicate oil droplets that are contamination. The photograph shown in FIG. 2B is a secondary electron image of fine particles when a mirror-finished stainless steel substrate is used as the collection substrate 7. From this photograph, it can be seen that, as described above, when a stainless steel substrate is used as the collection substrate 7, polishing scratches on the stainless steel substrate become a problem.
図３は、路上で採取した微粒子を載せたシリコンウエハ基板に集束イオンビームを照射することにより得られた二次イオン像の一例を示す写真である。図３に示す各写真の視野は、それぞれ20μmである。また、図３において、Cl、SO4が負イオン、その他は正イオンである。また、図３に示す同一部位にNa、Mg、K、Ca等のアルカリ金属、或いはアルカリ土類金属元素が存在し、それと同一の位置にClやSO4が存在する。尚、Na、Mg、K、Caの群とCl、SO4の群とで斑点の位置が微妙にずれているのは正イオンと負イオンとの違いであり、装置上の問題によるものである。以上のことから、捕集された0.5μmの粒子径の微粒子は主成分として、Na、Mg、K、Ca等のアルカリ金属、或いはアルカリ土類金属元素で構成されていることが分かる。また、これらの元素のほかに、NH4が検出された。NH4の分布状態から、アルカリ金属、アルカリ土類金属で構成された微粒子の外側にNH4塩が付着した構造であることが分かった。また、その塩が硫酸塩、或いは塩化物であることも検出できた。 FIG. 3 is a photograph showing an example of a secondary ion image obtained by irradiating a focused ion beam onto a silicon wafer substrate on which fine particles collected on the road are placed. The field of view of each photograph shown in FIG. 3 is 20 μm. In FIG. 3, Cl and SO 4 are negative ions, and the others are positive ions. Further, an alkali metal such as Na, Mg, K, or Ca or an alkaline earth metal element is present at the same site shown in FIG. 3, and Cl and SO 4 are present at the same position. In addition, it is the difference between the positive ion and the negative ion that the position of the spot is slightly shifted between the group of Na, Mg, K, Ca and the group of Cl, SO 4 due to a problem on the apparatus. . From the above, it can be seen that the collected fine particles having a particle diameter of 0.5 μm are composed mainly of alkali metals such as Na, Mg, K, and Ca, or alkaline earth metal elements. In addition to these elements, NH 4 was detected. From the distribution of NH 4, an alkali metal, NH 4 salts on the outside of the fine particles composed of an alkaline earth metal was found to be the structure deposited. It was also possible to detect that the salt was sulfate or chloride.
図４は、同一地点で捕集された「『アルカリ金属・アルカリ土類金属元素で構成された微粒子』と『炭素系微粒子』」の粒径分布の一例を示す図である。図４において、黒のグラフは、炭素系微粒子の粒径分布を示し、灰色のグラフは、アルカリ金属・アルカリ土類金属元素で構成された微粒子の粒径分布を示す。また、図４の縦軸は、発生数（相対値）である。
炭素系微粒子の密度は、2.3g/cm3程度であり、アルカリ金属・アルカリ土類金属元素で構成された微粒子の密度は、3.7g/cm3程度である。同一地点で捕集された「『炭素系微粒子』と『アルカリ金属・アルカリ土類金属元素で構成された微粒子』の平均粒径は、炭素系微粒子で0.5μｍであり、アルカリ金属・アルカリ土類金属元素で構成された微粒子の平均粒径で0.3μｍである。このように成分の異なる粒子毎の粒度分布を構築することができる。この情報と単一粒子の内部の空隙率とを求めることで、発生源の特定が可能となるものと期待される。
FIG. 4 is a diagram showing an example of the particle size distribution of “fine particles composed of alkali metal / alkaline earth metal element” and “carbon fine particles” collected at the same point. In FIG. 4, the black graph shows the particle size distribution of carbon-based fine particles, and the gray graph shows the particle size distribution of fine particles composed of alkali metal / alkaline earth metal elements. The vertical axis in FIG. 4 is the number of occurrences (relative value).
The density of carbon-based fine particles is about 2.3 g / cm 3 , and the density of fine particles composed of alkali metal / alkaline earth metal elements is about 3.7 g / cm 3 . The average particle size of “carbon particles” and “fine particles composed of alkali metal / alkaline earth metal elements” collected at the same point is 0.5 μm for carbon particles, and alkali metals / alkaline earths. The average particle size of fine particles composed of metal elements is 0.3 μm, and thus it is possible to construct a particle size distribution for each particle having different components, and to obtain this information and the porosity within a single particle. Therefore, it is expected that the source will be identified.
図５は、集束イオンビームを照射して散乱される電子（二次電子）を検出して得られた、鉄を主成分とする単一のSPM粒子の内部に存在する空隙を観察した走査イオン像を示す写真である。この微粒子の粒子径は約３μmである。この微粒子を半分に切断して観察された空隙の大きさから、空隙率を求めた。また、この装置の走査イオン像の面分解能は約10nmであり、サブミクロン単位の粒子径を有する微粒子の空隙率を決定することも容易である。
このように電子ビームによる非破壊な観察と観察位置をSIMS（二次イオン質量分析）マッピングする技術は、粒子表面の損傷を全く与えない状態で観察することから優れた方法である。
FIG. 5 shows scanning ions obtained by observing voids inside a single SPM particle mainly composed of iron, which is obtained by detecting electrons (secondary electrons) scattered by irradiation with a focused ion beam. It is the photograph which shows an image. The particle diameter of the fine particles is about 3 μm. The porosity was determined from the size of the voids observed by cutting the fine particles in half. Further, the surface resolution of the scanning ion image of this apparatus is about 10 nm, and it is easy to determine the porosity of fine particles having a particle size of submicron units.
The non-destructive observation by the electron beam and the technique of mapping the observation position by SIMS (secondary ion mass spectrometry) are excellent methods because the observation is performed without damaging the particle surface.
しかしながら、図６で示すように、電子ビーム（EB）と集束イオンビーム（FIB）とが、180°方向に位置するため、観察像は鏡像の関係となる。微粒子を特定する際に、微粒子が表面の凹凸のあるところに存在する場合、電子ビームの照射により散乱された電子を検出して得られる二次電子像と、集束イオンビームを照射して発生したイオンを検出して得られる二次イオン像とが必ずしも一致しなくなる。これを避けるために、集束イオンビームを微粒子に照射することにより走査イオン像を得る際に、できるだけ粒子表面への集束インビームの照射量を低減するようにした。図７に、観察した大気浮遊粒子の走査イオン像（図７（ａ））と全二次イオン像（図７（ｂ））を示す。この二つは完全に一致しており、この微粒子の粒子径は約30μmである。このように、微粒子を特定し、完全に一致した元素マッピングを観察することが可能となる。
以上のように、SPM粒子の成分毎の粒度分布を明らかにすることが可能である。また、粒子内部と表面とを分離して検出することで飛散中の履歴や空隙の観察による発生時の熱履歴に関する情報も抽出することができる。
However, as shown in FIG. 6, since the electron beam (EB) and the focused ion beam (FIB) are positioned in the 180 ° direction, the observation image has a mirror image relationship. When identifying fine particles, if the fine particles exist on the surface with irregularities, they are generated by irradiating a focused ion beam with a secondary electron image obtained by detecting electrons scattered by the electron beam irradiation. The secondary ion image obtained by detecting ions does not always match. In order to avoid this, when a scanning ion image is obtained by irradiating fine particles with a focused ion beam, the irradiation amount of the focused in-beam on the particle surface is reduced as much as possible. FIG. 7 shows an observed scanning ion image (FIG. 7A) and all secondary ion images (FIG. 7B) of airborne particles. The two are completely coincident, and the particle size of the fine particles is about 30 μm. In this way, it is possible to identify fine particles and observe element mapping that is completely consistent.
As described above, it is possible to clarify the particle size distribution for each component of the SPM particles. Further, by separately detecting the inside of the particle and the surface, it is possible to extract information on the history of scattering and the heat history at the time of occurrence by observation of voids.
１ 試料台
２ 試料（微粒子）
３ 集束イオンビーム照射器
４ 電子ビーム照射器
５ 質量分析計
６ 二次電子検出器
７ 捕集基板
1 Sample stage 2 Sample (fine particles)
3 Focused ion beam irradiator 4 Electron beam irradiator 5 Mass spectrometer 6 Secondary electron detector 7 Collection substrate
Claims (6)
前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出した結果に基づいて、前記微粒子を特定することと、
前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出した結果に基づいて、前記微粒子の粒子径を測定することと、
前記集束イオンビームの照射により前記微粒子から放出される二次イオンを検出した結果に基づいて、前記微粒子の成分を分析することと、を前記装置で行うことを特徴とする微粒子分析方法。 An electron beam irradiator that irradiates an electron beam onto fine particles on a collection substrate placed on a sample stage, a detector that detects electrons scattered by the electron beam irradiation, and a focused ion beam that irradiates the fine particles A fine particle analysis method for analyzing fine particles using an apparatus having a focused ion beam irradiator and an analyzer that detects secondary ions emitted from the fine particles by irradiating the fine particles with the focused ion beam. And
Identifying the microparticles based on the results of detecting electrons scattered by the electron beam irradiation;
Measuring the particle diameter of the fine particles based on the result of detecting the electrons scattered by the electron beam irradiation;
A method for analyzing fine particles, comprising: analyzing a component of the fine particles based on a result of detecting secondary ions emitted from the fine particles by irradiation of the focused ion beam.
前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出した結果に基づいて、前記微粒子を特定することと、
前記集束イオンビームの照射により前記微粒子から放出される全二次イオンを検出した結果に基づいて、前記微粒子の粒子径を測定することと、
前記集束イオンビームの照射により前記微粒子から放出される二次イオンを検出した結果に基づいて、前記微粒子の成分を分析することと、を前記装置で行うことを特徴とする微粒子分析方法。 An electron beam irradiator that irradiates an electron beam onto fine particles on a collection substrate placed on a sample stage, a detector that detects electrons scattered by the electron beam irradiation, and a focused ion beam that irradiates the fine particles A fine particle analysis method for analyzing fine particles using an apparatus having a focused ion beam irradiator and an analyzer that detects secondary ions emitted from the fine particles by irradiating the fine particles with the focused ion beam. And
Identifying the microparticles based on the results of detecting electrons scattered by the electron beam irradiation;
Measuring the particle diameter of the fine particles based on the result of detecting all secondary ions emitted from the fine particles by irradiation of the focused ion beam;
A method for analyzing fine particles, comprising: analyzing a component of the fine particles based on a result of detecting secondary ions emitted from the fine particles by irradiation of the focused ion beam.
前記電子ビームの照射により散乱された電子を検出した結果に基づいて、前記微粒子を特定することと、
前記集束イオンビームの照射により散乱される電子を検出した結果に基づいて、前記微粒子の粒子径を測定することと、
前記集束イオンビームの照射により前記微粒子から放出される二次イオンを検出した結果に基づいて、前記微粒子の成分を分析することと、を前記装置で行うことを特徴とする微粒子分析方法。 An electron beam irradiator that irradiates an electron beam onto fine particles on a collection substrate placed on a sample stage, a detector that detects electrons scattered by the electron beam irradiation, and a focused ion beam that irradiates the fine particles A fine particle analysis method for analyzing fine particles using an apparatus having a focused ion beam irradiator and an analyzer that detects secondary ions emitted from the fine particles by irradiating the fine particles with the focused ion beam. And
Identifying the microparticles based on the results of detecting electrons scattered by the electron beam irradiation;
Measuring the particle diameter of the fine particles based on the result of detecting electrons scattered by irradiation of the focused ion beam;
A method for analyzing fine particles, comprising: analyzing a component of the fine particles based on a result of detecting secondary ions emitted from the fine particles by irradiation of the focused ion beam.
前記集束イオンビームを前記微粒子に照射することにより前記微粒子を切断加工し、
前記試料台の着眼位置を中心に前記試料台を回転させながら、前記微粒子の切断面に前記集束イオンビームを照射することにより前記微粒子から放出される二次イオンを検出した結果に基づいて、前記微粒子内部の成分および空隙を評価することを特徴とする請求項１〜３の何れか１項に記載の微粒子分析方法。 The apparatus further includes a device for rotating the sample stage around the point of interest of the sample stage,
The fine particles are cut by irradiating the fine particles with the focused ion beam,
Based on the result of detecting secondary ions emitted from the fine particles by irradiating the focused ion beam onto the cut surface of the fine particles while rotating the sample table around the point of interest of the sample table, The method for analyzing fine particles according to any one of claims 1 to 3, wherein a component and voids inside the fine particles are evaluated.
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