JP2011016264A - 透明導電フィルム構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】透明導電フィルム構造1は、基板10と、前記基板上に形成された多層膜構造20とを含み、前記多層膜構造20は、前記基板10に最も近い位置から順に反射率調整層21と透明導電フィルム22とからなる。
【選択図】図2
Description
本発明は、反射率調整層21の光学的効果により、透明導電フィルム構造のエッチングされない部分とエッチングされた部分との反射率を近い範囲に制御し、エッチングの後に異なる膜による反射率の差を制御し、両ブロックの間の色表示の落差をなくし、エッチング工程による痕跡或いは構造上の違いが目で視認されなくなるので、本発明の膜構造の表示結果を向上することができる。
10 基板
20 多層膜構造
21 反射率調整層
22 透明導電フィルム
A、B反射率
Claims (5)
- 基板と、前記基板上に形成された多層膜構造とを含む透明導電フィルム構造であって、
前記多層膜構造は、基板に最も近い位置から順に反射率調整層と透明導電フィルムとからなり、
前記反射率調整層は前記基板上に配置され、前記反射率調整層は、前記基板より屈折率が低い化合物からなるものであり、
前記透明導電フィルムは前記反射率調整層上に配置され、
前記透明導電フィルム積層構造がエッチングされた後に、前記透明導電フィルム構造のエッチングされた部分とエッチングされない部分との反射率が近いことを特徴とする透明導電フィルム構造。 - 前記基板の材質は、ガラス、PET、またはガラス/PETのいずれかであり、前記基板の屈折率は、1.52であることを特徴とする請求項1に記載の透明導電フィルム構造。
- 前記反射率調整層の材質は、酸化物、フッ化物、または酸化物とフッ化物の組合せのいずれかであり、前記反射率調整層の屈折率は、1.42〜1.46であり、前記反射率調整層の膜厚の厚みは、300Å〜800Åであり、
前記透明導電フィルムの材質は、ITOであり、前記透明導電フィルムの膜厚の厚みは、130Å〜200Åであることを特徴とする請求項1に記載の透明導電フィルム構造。 - 前記反射率調整層の材質は、SiO2、MgF2、またはSiO2とMgF2との組合せのいずれかであることを特徴とする請求項3に記載の透明導電フィルム構造。
- 前記透明導電フィルム構造のエッチングされた部分の反射率は8.6であり、前記透明導電フィルムのエッチングされない部分の反射率は8.8であることを特徴とする請求項1に記載の透明導電フィルム構造。
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