JP2011056415A - 塗布装置とその塗布位置補正方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ガントリやその塗布ヘッドの位置ずれの補正を可能にする。
【解決手段】基台１上で基板載置台８を跨ぐようにして、Ｘ軸方向に移動可能に設けられたガントリ３Ｌ，３Ｒ夫々に、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５ＲｃがＹ軸方向に移動可能に設けられている。基板載置台８のガントリ３Ｌ，３Ｒ側に夫々捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂが設けられ、捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂにガントリ３Ｌ，３Ｒの塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃでペーストマークを描画され、それらの位置をもとに、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ間の、また、塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃ間のＸＹ軸方向の位置ずれが検出される。また、基板載置台８の中央部に基準位置マーク９が設けられ、ガントリ３Ｌ，３Ｒのこの基準位置マーク９への移動距離を検出することにより、これらガントリ３Ｌ，３ＲのＸ軸方向の位置ずれが検出される。
【選択図】図１

Description

本発明は、液晶パネルなどのフラットパネルの製造のための塗布装置に係り、特に、塗布ヘッドが移動可能に設けられたガントリを備え、これら塗布ヘッドをＸ，Ｙ軸方向に移動させながら、塗布ヘッドから基板上に接着剤などのペーストを塗布して、基板上に所定のペーストパターンを描画する塗布装置とその塗布位置補正方法に関する。

ＬＣＤ（液晶表示装置）パネルなどのフラットパネルの分野においては、そのパネルの作成効率を図るために、１枚のガラス基板から複数のパネル基板が得られるように、ガラス基板のサイズの大型化が進んでおり、これに伴って、かかるフラットパネルを作成するためにガラス基板に接着剤などのペーストを塗布するための塗布装置も大型化してきている。このような塗布装置では、複数の塗布ヘッドが設けられたガントリが用いられ、これら塗布ヘッドを同時に同じ軌跡に沿って移動させながら、ペーストを塗布することにより、同じガラス基板上に同じペーストパターンが同時に形成されるようにしている。

このような塗布装置の一従来例として、架台上に、基板が保持される基板保持部が設けられ、この基板を跨ぐようにして、一方向（Ｘ軸方向）に往復移動が可能な２台のガントリが設けられ、これら夫々のガントリにその長手方向（Ｙ方向）に配列されてその方向に移動可能な複数の塗布ヘッドが設けられ、これら塗布ヘッドがガントリの長手方向（Ｙ軸方向）に移動し、夫々のガントリがその長手方向に垂直な方向（Ｘ軸方向）に移動することにより、これら塗布ヘッドがペーストを吐出しながら同じ軌跡に沿って移動し、同じ基板上に複数の同じペーストパターンを描画するようにした技術が知られている（例えば、特許文献１参照）。

また、他の従来例として、複数の塗布ヘッドが設けられた２台のガントリを設けたものであるが、一方のガントリを固定し、他方のガントリを移動可能とし、このガントリを移動させることにより、２台のガントリを所定の間隔で設置できるようにし、かかる状態で基板を２方向に移動させ、夫々のガントリの塗布ヘッドからペーストを吐出させることにより、この基板上に複数の同じペーストパターンを同時に描画するようにした塗布装置が塗布装置が提案されている（例えば、特許文献２参照）。

また、この特許文献２に記載の塗布装置では、ガントリに設けられている塗布ヘッド毎に、そのノズルをガントリの移動方向に平行な方向（Ｙ軸方向）に移動させる手段も設けられており、基板にθ軸方向のずれがある場合には、かかる手段でもって夫々の塗布ヘッドをガントリに対してＹ軸方向に変位（位置調整）させることにより、基板のθ軸方向のずれを補償するようにしている。

さらに他の従来例として、フレーム（ガントリ）に複数のヘッドユニット（塗布ヘッド）が設けられ、これらヘッドユニットのノズルをＸＹＺの３方向に移動可能とし、かかるフレームは固定として、基板を平面上のＸＹ軸方向に移動することにより、複数のペーストパターンを描画するようにしたペースト塗布器が提案されている（例えば、特許文献３参照）。

かかる特許文献３に記載の技術では、Ｘ軸方向をフレームの長手方向、Ｙ軸方向をフレームの長手方向に垂直な方向、Ｚ軸方向が基板に対するノズルの高さ方向として、ヘッドユニットが交換されたときに、交換された新たなヘッドユニットに対し、そのノズルをＸＹ軸方向に移動させることにより、ヘッドユニットの交換による新たなヘッドユニットのノズルの位置ずれを補正するものである。

かかる交換ノズルの位置ずれの補正方法としては、基板が載置されるステージの所定の位置に計測手段が設けられ、複数のノズルのうちの交換ノズル以外の１つを基準ノズルとして、この計測手段を所定の位置に移動させ、その位置での計測手段と基準ノズルとの位置ずれを検出して計測手段の補正位置を求め、この補正位置に計測手段を移動させた後、交換ノズルに対応する所定の位置に移動させ、この所定の位置と交換ノズルとの位置ずれを検出して、この交換ノズルの補正位置を求めるものであり、これにより、ダミー基板にペーストを塗布する作業を行なうことなく、交換ノズルの位置ずれを補正することができる、というものである。

特開２００２−３４６４５２号公報 特開２００３−２２５６０６号公報 特開２００５−７３９３号公報

ＬＣＤパネルなどの製造のために、複数のガントリに設けられた複数の塗布ヘッドを用いて大型の同じ基板に複数の同じペーストパターンを同時に描画する場合には、かかる基板から複数のパネルに分断するなどの後工程の作業の上から、ペーストパターンが描画された夫々の基板上で、これらペーストパターンが夫々常に基板上の決められた位置に描画されることが必要である。このためには、同じガントリに設けられている複数の塗布ヘッド間で常に正しい位置関係が設定されていることが必要であるし、異なるガントリに設けられた塗布ヘッド間でも、常に正しい位置関係が設定されていることが必要であって、ガントリ間で常に位置関係が正しく設定されていることも必要である。このため、夫々の塗布ヘッドのノズルの位置を監視し、位置ずれが生じた場合には、それを補正することが必要である。特に、塗布ヘッドのシリンジ（ペースト収納筒）に収納されているペーストを使いきり、新たな塗布ヘッドに交換する場合には、そのノズルに位置ずれが生ずる可能性があり、このためのノズルの位置調整が必要となる。

これに対し、上記特許文献１には、複数の塗布ヘッドが設けられた２台のガントリを用い、基板を固定し、ガントリの移動とガントリに対する塗布ヘッドとの移動とにより、この基板上に複数の同じペーストパターンを同時に描画する技術が開示されているが、夫々の塗布ヘッドのノズルの位置ずれの調整に関しては記載されていないし、ガントリ間の位置ずれの調整についても記載されていない。

また、上記特許文献２に記載の技術は、ガントリに設けられている塗布ヘッドを基板面に平行でガントリの長手方向に垂直な方向に位置調整する手段が設けられており、塗布ヘッドの位置調整を可能にしているが、かかる位置調整は、基板のθ軸方向のずれを塗布ヘッドの配列で補正するものであり、基板に設けられた位置決めようマークの位置ずれの検出結果に基づいて行なわれるものである。

しかしながら、塗布装置を使用するために、ガントリに複数の塗布ヘッドを取り付けたり、塗布ヘッドの交換をしたりするなどして塗布ヘッドに位置ずれが生じることがあるが、基板のθ軸方向のずれに応じて塗布ヘッドの配列を調整するものの、上記特許文献２に記載の方法では、かかる塗布ヘッド間の位置ずれの点については、配慮されていない。

また、上記特許文献２に記載の発明では、一方のガントリを固定し、他方のガントリを移動可能として、このガントリを移動させることにより、固定された一方のガントリに対する他方のガントリの位置関係を設定するものであるが、これらガントリ間の位置ずれを調整する点については、配慮されていない。

同じ基板上に複数のガントリに設けられた複数の塗布ヘッドを用いて複数のペーストパターンを描画する場合、ようにしているが、上記特許文献１に記載の技術のように、２台のガントリがともに移動可能である場合には、基板に対する夫々のガントリの位置関係が規定の関係となるように、これら２台のガントリの位置関係を設定することは非常に困難である。

さらに、特許文献３に記載の技術では、ヘッドユニットが交換されたときに、交換された新たなヘッドユニットに対し、そのノズル（交換ノズル）をＸＹ軸方向に移動させることにより、交換ノズルの位置ずれを補正するものであるが、このために、移動可能な計測手段が設けられ、この計測手段が交換ノズルの位置まで移動して、この計測手段の移動距離からこの交換ノズルの位置ずれを検出するものであり、計測手段やそれを移動させる手段、移動させる処理などが必要となる。

また、特許文献３に記載の技術では、ガントリ（フレーム）は１台のみが用いられ、しかも、このガントリは固定されているものであり、ガントリ間の位置関係の調整といった問題は生じない。

本発明の目的は、かかる問題を解消し、ペーストパターンの描画時に移動する複数台のガントリを用い、これらガントリの位置関係のずれやこれらガントリに設けられている塗布ヘッド間の位置ずれを補正することができるようにした塗布装置とその塗布位置補正方法を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は、基台上に第１の方向に移動可能に複数のガントリが設けられ、ガントリ毎にガントリの長手方向に沿う第２の方向に移動可能に複数の塗布ヘッドが設けられ、ガントリの第１の方向への移動と塗布ヘッドのガントリに対する第２の方向への移動とにより、塗布ヘッドが第１，第２の方向に移動しながら、架台に設けられた基板載置台に載置された基板上にペーストを塗布し、塗布ヘッド毎に基板上にペーストパターンを描画する塗布装置であって、塗布ヘッドは夫々カメラを備え、基板載置台に、ガントリ毎に、ガントリに設けられた複数の塗布ヘッドの位置合わせのための捨て打ち用ガラス基板を設けるとともに、複数のガントリの位置合わせのための基準位置マークを設け、捨て打ち用ガラス基板には、同じガントリでの複数の塗布ヘッドからペーストが塗布されてペーストマークが描画され、捨て打ち用ガラス基板上に描画されたペーストマークをカメラで撮像してペーストマークの描画位置を検出することにより、ガントリでの複数の塗布ヘッド間の位置ずれを検出し、検出した位置ずれに応じて、複数の塗布ヘッド相互間の位置合わせを行なう第１の手段と、複数のガントリ夫々を基板載置台上の基準位置マークがカメラで撮像される位置まで第１の方向に移動させることにより、ガントリ夫々の基準位置マークの位置までの移動距離を検出して、ガントリ毎にペーストパターン描画のための予め決められた待機位置からの第１の方向の位置ずれを検出し、検出した位置ずれに応じて、ガントリ毎に待機位置への位置合わせを行なう第２の手段とを備えたことを特徴とする。

また、本発明による塗布装置は、基準位置マークが、基板載置台に中央部付近に設けられた基板保持用の吸着孔であることを特徴とする。

さらに、本発明による塗布装置は、塗布ヘッドが、ガントリが移動する第１の方向に移動可能であって、第１の方向の位置合わせを可能としたことを特徴とする。

さらに、本発明による塗布装置は、ガントリ毎に、ガントリに設けられている複数の塗布ヘッドのうちの１つを基準塗布ヘッドとし、基準塗布ヘッドは第１の方向に対しては位置固定として、基準塗布ヘッド以外の塗布ヘッドを第１の方向に移動可能とし、基準塗布ヘッド以外の塗布ヘッドを、基準塗布ヘッドに第１の方向の位置合わせを可能としたことを特徴とする。

上記目的を達成するために、本発明は、基台上に第１の方向に移動可能に複数のガントリが設けられ、ガントリ毎にガントリの長手方向に沿う第２の方向に移動可能に複数の塗布ヘッドが設けられ、ガントリの第１の方向への移動と塗布ヘッドのガントリに対する第２の方向への移動とにより、塗布ヘッドが第１，第２の方向に移動しながら、架台に設けられた基板載置台に載置された基板上にペーストを塗布し、塗布ヘッド毎に基板上にペーストパターンを描画する塗布装置の塗布位置補正方法であって、ガントリ毎に基板載置台に捨て打ち用ガラス基板が設けられており、捨て打ち用ガラス基板上に、これに該当するガントリに設けられた複数の塗布ヘッド毎にペーストマークを描画し、描画された夫々のペーストマークをカメラで撮像することによってその位置を検出して複数の塗布ヘッド相互間の位置ずれを検出し、検出した位置ずれをもとに、複数の塗布ヘッドの位置合わせを行ない、基板載置台に基準位置マークが設けられ、複数のガントリを夫々基準位置マークの位置まで移動させて、複数のガントリ毎に、基準位置マークの位置に対するガントリの予め決められた待機位置からの第１の方向の位置ずれを検出し、検出した位置ずれをもとに、複数のガントリを待機位置に位置合わせをすることを特徴とする。

また、本発明による塗布装置の塗布位置補正方法は、基準位置マークが、基板載置台に中央部付近に設けられた基板保持用の吸着孔であることを特徴とする。

さらに、本発明による塗布装置の塗布位置補正方法は、塗布ヘッドが、ガントリが移動する第１の方向に移動可能であって、第１の方向の位置合わせを可能としたことを特徴とする。

さらに、本発明による塗布装置の塗布位置補正方法は、ガントリ毎に、ガントリに設けられている複数の塗布ヘッドのうちの１つを基準塗布ヘッドとし、基準塗布ヘッドは第１の方向に対しては位置固定として、基準塗布ヘッド以外の塗布ヘッドを第１の方向に移動可能とし、基準塗布ヘッド以外の塗布ヘッドを、基準塗布ヘッドに第１の方向の位置合わせを可能としたことを特徴とする。

本発明によれば、基板載置台に捨て打ち用ガラス基板を設け、この捨て打ち用ガラス基板にガントリに設けられた複数の塗布ヘッドでペーストマークを塗布するだけで、これら塗布ヘッド間の位置ずれを検出するものであるから、各ガントリでの塗布ヘッド間の位置ずれを短時間で正確に検出し、補正することが可能となるし、また、基板載置台に設けられた位置基準マークをもとに、各ガントリの位置ずれを検出するものであるから、ガントリ間の位置ずれを短時間で正確に検出することができてその位置ずれを補正することができ、従って、全てのガントリでの塗布ヘッド間の位置関係を短時間で正確に設定することができて、基板でのペーストパターンの塗布精度が大幅に向上する。

本発明による塗布装置の一実施形態を示す斜視図である。 図１における基板搭載台８の一具体例を示す斜視図である。 図１における塗布ヘッドの一具体例を示す側面図である。 図１及び図３の各部の動作を制御する制御系の一具体例を示すブロック構成図である。 図１におけるガントリと塗布ヘッドの位置ずれの補正（位置合わせ）の手順の一具体例を示すフローチャートである。

以下、本発明の実施形態を図面により説明する。

図１は本発明による塗布装置の一実施形態を示す斜視図であって、１は架台、１ａは前面、１ｂは上面、１ｃは右側面、１ｄは左側面、１ｅは裏面、２ａ，２ｂはリニアレール、３Ｒ，３Ｌはガントリ、４Ｒａ，４Ｒｂ，４Ｌａ，４Ｌｂはリニア駆動機構、５Ｒａ〜５Ｒｃ，５Ｌａ〜５Ｌｃは塗布ヘッド、６はシリンジ（ペースト収納筒）、７はＣＣＤカメラ、８は基板搭載台、９は基準位置マーク、１０ａ，１０ｂは捨て打ち用ガラス基板である。

同図において、ここでは、架台１の前面１ａ及び裏面１ｅに平行な方向をＸ軸方向、架台１の右側面１ｃ及び左側面１ｄに平行な方向をＹ軸方向、架台１の上面１ｂに垂直な方向をＺ軸方向としており、架台１の上面１ｂには、その前面１ａ側の辺に沿ってＸ軸方向にリニアレール２ａが、また、その裏面１ｅ側の辺に沿ってＸ軸方向にリニアレール２ｂが夫々設けられている。これらリニアレール２ａ，２ｂは、右側面１ｃから左側面１ｄまで伸延している。

リニアレール２ａにリニア駆動機構４Ｒａが、リニアレール２ｂにリニア駆動機構４Ｒｂが夫々設けられており、リニア駆動機構４Ｒａにガントリ３Ｒの一方の端部が、リニア駆動機構４Ｒｂにガントリ３Ｒの他方の端部が夫々載置されて、これらリニアレール２ａ，２ｂ間を跨ぐように、ガントリ３Ｒが設けられている。リニア駆動機構４Ｒａ，４Ｒｂは夫々、リニアレール２ａ，２ｂとともに、リニアモータ（Ｘ軸リニアモータ）を構成しており、リニア駆動機構４Ｒａ，４Ｒｂがリニアレール２ａ，２ｂに沿って移動することにより、ガントリ３ＲがＸ軸方向に移動する。この場合、ガントリ３Ｒは、かかる移動によってＸ軸方向のいずれの位置にあっても、架台１の右側面１ｃに平行（即ち、Ｙ軸方向に平行）であり、このように、リニア駆動機構４Ｒａ，４Ｒｂが常に位置制御される。

同様にして、リニアレール２ａにリニア駆動機構４Ｌａが、リニアレール２ｂにリニア駆動機構４Ｌｂが夫々設けられており、リニア駆動機構４Ｌａにガントリ３Ｌの一方の端部が、リニア駆動機構４Ｌｂにガントリ３Ｌの他方の端部が夫々載置されて、これらリニアレール２ａ，２ｂ間を跨ぐように、ガントリ３Ｌが設けられている。リニア駆動機構４Ｌａ，４Ｌｂは夫々、リニアレール２ａ，２ｂとともに、リニアモータ（Ｘ軸リニアモータ）を構成しており、リニア駆動機構４Ｌａ，４Ｌｂがリニアレール２ａ，２ｂに沿って移動することにより、ガントリ３ＬがＸ軸方向に移動する。この場合、ガントリ３Ｌは、かかる移動によってＸ軸方向のいずれの位置にあっても、架台１の左側面１ｄに平行（即ち、Ｙ軸方向に平行）であり、このように、リニア駆動機構４Ｌａ，４Ｌｂが常に位置制御される。

従って、ガントリ３Ｒとガントリ３Ｌとは、常にＹ軸方向に伸延した互いに平行な状態に制御される。

ガントリ３Ｒのガントリ３Ｌに対向する側の面に、複数（ここでは、３個）の塗布ヘッド５Ｒａ，５Ｒｂ，５Ｒｃがガントリ３Ｒの長手方向（Ｙ軸方向）に配列され、かつガントリ３Ｒに沿って移動可能に設けられており、同様に、ガントリ３Ｒのガントリ３Ｌに対向する側の面にも、ガントリ３Ｒと同じ個数（ここでは、３個）の塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｌｂ，５Ｌｃがガントリ３Ｌの長手方向（Ｙ軸方向）に配列され、かつガントリ３Ｌに沿って移動可能に設けられている。

ここで、ガントリ３Ｌに設けられた塗布ヘッド５Ｌａについてみると、これには、基板（図示せず）に塗布するペーストが収納されたシリンジ６やこの塗布ヘッド５Ｌａで塗布されたペーストの状態を撮像するためのＣＣＤカメラ７が設けられており、さらには、図示しないが、シリンジ６からのペーストを基板上に吐出するためのノズルやノズルと基板との間隔を測定するセンサ、ノズルを上下方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸駆動機構なども設けられている。このＺ軸駆動機構は、ノズルとともに、シリンダやＣＣＤカメラ，センサなどもＺ軸方向に移動させる。また、このＣＣＤカメラは、塗布ヘッド５Ｌａとともに移動する。

他の塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃ，５Ｌｂ，５Ｌｃも、説明を省略するが、塗布ヘッド５Ｌａと同じ上記の構成をなしている。

架台１の上面１ｂには、リニアレール２ａ，２ｂ間に基板（図示せず）が載置される基板載置台８が設けられている。この基板載置台８には、図示しないが、搭載された基板をこの基板載置台８に固定するための基板吸着手段が設けられており、また、搭載された基板のＸ，Ｙ軸方向の位置を調整するための図示しないＸＹ軸方向位置調整手段や、搭載された基板のθ軸方向のずれを補正するための図示しないθ軸方向補正テーブルも設けられている。

図２は図１における基板搭載台８の一具体例を示す斜視図であって、８ａは上面、８ｂは左側面、８ｃは右側面、１１ａ，１１ｂは連結部材、１２ａ，１２ｂは溝部であり、図１に対応する部分には同一符号をつけている。

同図において、基板載置台８の上面８ａには、Ｘ軸方向に対向する左側面８ｂ側の辺と右側面８ｃ側の辺とに夫々捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂが設けられている。これら捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂはＹ軸方向に互いに平行であって、これら捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂの一方の端部が連結部材１１ａによって連結され、他方の端部が連結部材１１ｂによって連結されている。

また、基板載置台８の上面８ａには、右側面８ｂから左側面８ｃにわたって、かつ２つの連結部材１１ａ，１１ｂの間隔に等しい間隔で２つの溝部１２ａ，１２ｂが設けられている。これら溝部１２ａ，１２ｂは、それらの横断面の形状，寸法が連結部材１１ａ，１１ｂの横断面の形状，寸法に等しい。

連結部材１１ａ，１１ｂで連結された捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂは、連結部材１１ａが溝部１２ａに、連結部材１１ｂが溝部１２ａに夫々嵌め込まれることにより、基板搭載台８の上面８ａに取り付けられる。この場合、捨て打ち用ガラス基板１０ａがこの上面８ａの左側面８ｂ側の辺に沿って位置付けられ、捨て打ち用ガラス基板１０ｂがこの上面８ａの右側面８ｃ側の辺に沿って位置付けられるように、連結部材１１ａ，１１ｂが夫々溝部１２ａ，１２ｂに嵌め込まれる。

捨て打ち用ガラス基板１０ａは、図１でのガントリ３Ｌに設けられた塗布ヘッド５Ｌａ〜５ＬｃのＸＹ軸方向の位置ずれを検出するために用いられるものである。この場合、これら塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃのうちのいずれか１つを基準塗布ヘッドとし（以下では、塗布ヘッド５Ｌａをガントリ３Ｌ側の基準塗布ヘッドとする）、この基準塗布ヘッド５Ｌａに対する塗布ヘッド５Ｌｂ，５ＬｃのＸＹ軸方向の位置ずれを検出する。この位置ずれの検出は、これら塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃで捨て打ち用ガラス基板１０ａ上にペーストを塗布して所定のペーストマーク（例えば、十字マーク）を描画し、基準塗布ヘッド５Ｌａに設けられたＣＣＤカメラ７（図１）でこれらペーストマークを撮像し、これらペーストマークの中心位置を検出することにより、これら中心位置の検出位置を塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃの位置（より具体的には、それらのノズルのペースト吐出口の位置）とするものであり、これらの検出位置から、基準塗布ヘッド５Ｌａに対する塗布ヘッド５Ｌｂ，５ＬｃのＸＹ軸方向の位置ずれが検出できる。

捨て打ち用ガラス基板１０ｂは、図１でのガントリ３Ｒに設けられた塗布ヘッド５Ｒａ〜５ＲｃのＸＹ軸方向の位置ずれを検出するために用いられるものである。この場合も、上記と同様にして、これら塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃのうちのいずれか１つを基準塗布ヘッドとし（以下では、塗布ヘッド５Ｒａをガントリ３Ｒ側の基準塗布ヘッドとする）、これら塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃで捨て打ち用ガラス基板１０ｂ上にペーストマークを描き、これらペーストマークを基準塗布ヘッド５ＲａのＣＣＤカメラで撮像し、これらペーストマークの中心位置を検出することにより、上記と同様にして、この基準塗布ヘッド５Ｒａに対する塗布ヘッド５Ｒｂ，５ＲｃのＸＹ軸方向の位置ずれを検出するものである。

以上の位置ずれの検出結果をもとに、ガントリ３Ｌでの塗布ヘッド５Ｌａ〜５ＬｃのＸＹ軸方向の位置ずれ（即ち、基準塗布ヘッド５Ｌａに対する塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃの位置ずれ）が補正されることになり、これら塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃでのノズルのペースト吐出口がＹ軸方向に沿って所定の間隔で配列された状態となる。同様にして、ガントリ３Ｒでの塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃについても、ＸＹ軸方向の位置ずれが補正されることにより、これら塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃでのノズルのペースト吐出口がＹ軸方向に沿って所定の間隔で配列された状態となる。

基板載置台８の上面８ａの中心位置には、基準位置マーク９が設けられている。この基準位置マーク９は、２台のガントリ３Ｌ，３Ｒ間の位置ずれを検出するためのものである。ガントリ３Ｌ，３Ｒは、この位置ずれを補正するために、夫々独立にＸ軸方向に移動させることも可能であり、この位置ずれを補正するために、図１において、ガントリ３Ｌを現在の位置から右方向（Ｘ軸方向）に移動させ、かつ基準塗布ヘッド５ＬａをＹ軸方向に移動させてこの基準塗布ヘッド５Ｌａに設けられているＣＣＤカメラ７が基準位置マーク９を撮像する状態とする。そして、この基準位置マーク９を撮像してその中心位置を求める。移動前の基準塗布ヘッド５Ｌａの位置とこの基準位置マーク９の検出位置とのＸ軸方向の差が基準位置マーク９に対するガントリ３Ｌの位置（ガントリ３Ｌまでの距離）となり、予め設定された距離との差からこのガントリ３ＬのＸ軸方向の位置ずれが検出される。

同様にして、ガントリ３Ｒに対しても、その基準塗布ヘッド５Ｒａに設けられたＣＣＤカメラを用いることにより、このガントリ３ＲのＸ軸方向の位置ずれを検出することができる。そして、このようにして検出された位置ずれ量を用いてこれらガントリ３Ｌ，３ＲのＸ軸方向の位置ずれを補正することにより、これらガントリ３Ｌ，３Ｒが、基準位置マーク９に関して対称な位置（即ち、基準位置マーク９を中心として、互いに反対側の等距離の位置）に位置設定されることになり、かつかかる位置が基準位置マーク９から上記の予め設定された距離となるので、これらガントリ３Ｌ，３Ｒ間の間隔は、ガントリ３Ｌの塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃで描画されるペーストパターンとガントリ３Ｒの塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃで描画されるペーストパターンとのＸ軸方向の間隔としての予め決められた距離となる。

なお、図２において、図示しないが、基板載置台８の上面８ａには、真空ポンプ（図示せず）から負圧が供給される吸着孔が複数設けられており、これにより、先に説明したように、載置された基板（図示せず）は上面８ａに吸着されて、位置ずれが生じないように固定される。

ここで、基板載置台８での基準マーク９としては、基板載置台８上に特別に設けられたものとしてもよいが、かかる吸着孔のうちの基板載置台８の中央位置での吸着孔としてもよい。

基板は、基板載置台８の上面８ａの捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂとの間に載置される。この基板には、その４隅などの所定の位置に位置マークが設けられており、上記のように、これらが位置ずれの補正がなされた所定の塗布ヘッド（例えば、塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｌｃ，５Ｒａ，５Ｒｃ）のＣＣＤカメラ７で撮像され、その中心位置が検出されることにより、ＸＹ軸方向やθ軸方向の位置ずれが検出され、この検出された位置ずれに応じて基板載置台８のＸＹθ軸方向の位置を調整することにより、基板の各辺がＸＹ軸方向に平行で、かつ位置補正後のガントリ３Ｌ，３Ｒに対する基板の中心位置が、かかる位置調整前でのガントリ３Ｌ，３Ｒに対する基準位置マーク９の位置と同じ位置に設定されることになる。

また、連結部材１１ａ，１１ｂを溝部１２ａ，１２ｂから取り外すことが可能であり、これらを取り外すことにより、位置調整のために用いられた捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂを新たな捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂと交換することができる。

図３は図１における塗布ヘッドの一具体例を示す側面図（一部断面を示す）であって、３はガントリ（ガントリ３Ｌ，３Ｒの総称）、５は塗布ヘッド（塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃの総称）、１３は塗布ヘッド取付テーブル、１４はＺ軸テーブル支持部、１４ａは連接部、１５はＺ軸テーブル、１６ａ〜１６ｃはリニアガイド機構部、１７は駆動コイル、１８はリニアレール、１９ａ，１９ｂはリニアボール、２０はモータ載置部、２１はＸ軸駆動モータ、２２はシャフト、２３は軸受、２４はカム、２５は貫通孔、２６はＺ軸駆動モータ、２７はＺ軸駆動部、２８は上下動テーブル、２９は光学距離計、３０はノズル、３１は基板であり、図１に対応する部分には同一符号をつけている。

同図において、ガントリ３に対し、その上面の一部と塗布ヘッド５側の側面の一部とを覆うように、横断面がＬ字状をなす塗布ヘッド取付テーブル１３が設けられている。この塗布ヘッド取付テーブル１３の平面状部分の下面側には、ガントリ３の上面にその長手方向（Ｙ軸方向）に伸延して設けられたリニアレール１８に対向して、駆動コイル１７が設けられており、さらに、この駆動コイル１７を挟むようにして、所定個数ずつのリニアガイド機構部１６ａ，１６ｂが設けられている。ここでは、駆動コイル１７の両側に１個ずつリニアガイド機構部１６ａ，１６ｂを図示しているが、２個以上の個数ずつ設けられている。これらリニアガイド機構部１６ａ，１６ｂは夫々車輪を備えており、かかる車輪がガントリ３の上面に乗った状態にある。

また、この塗布ヘッド取付テーブル１３の垂直状部分のガントリ３側の面には、リニアガイド機構部１６ａ，１６ｂと同様の構成のリニアガイド機構部１６ｃが設けられており、リニアガイド機構部１６ｃの車輪がガントリ３の塗布ヘッド取付テーブル１３に対向する側面に当接している。

以上のように、塗布ヘッド取付テーブル１３が、リニアガイド機構部１６ａ〜１６ｃを介して、ガントリ３に沿うＹ軸方向の移動を可能に取り付けられている。また、ガントリ３上のリニアレール１８とこれに対向して塗布ヘッド取付テーブル１３に設けられた駆動コイル１７とは、塗布ヘッド５をガントリ３の長手方向に沿ってＹ軸方向に移動させるためのリニアモータ（Ｙ軸リニアモータ）を構成しており、駆動コイル１７を駆動することにより、塗布ヘッド取付テーブル１３がガントリ３に沿ってＹ軸方向に移動する。

塗布ヘッド取付テーブル１３には、図面上断面形状が逆Ｚ字状をなすＺ軸テーブル支持部１４が設けられている。このＺ軸テーブル支持部１４の上側の平面状部分は塗布ヘッド取付テーブル１３の上記の平面状部分に取り付けられ、このＺ軸テーブル支持部１４の垂直状部分は塗布ヘッド取付テーブル１３の上記の垂直状部分に取り付けられ、このＺ軸テーブル支持部１４の下側の平面状部分がこの垂直状部分の下端部に設けられている。

このＺ軸テーブル支持部１４の上側に、同様に図面上断面形状が逆Ｚ字状をなすＺ軸テーブル１５が設けられている。このＺ軸テーブル１５の上側の平面状部分の下面側には、リニアに配列された複数のボール（リニアボール）１９ａが設けられ、この上側の平面状部分がこのリニアボール１９ａを挾んでＺ軸テーブル支持部１４の上側の平面状部分上に配置され、また、このＺ軸テーブル１５の下側の平面状部分の下面側には、同様のリニアボール１９ｂが設けられ、この下側の平面状部分がこのリニアボール１９ｂを挾んでＺ軸テーブル支持部１４の下側の平面状部分上に配置されている。このＺ軸テーブル１５の垂直状部分は、Ｚ軸テーブル支持部１４の垂直状部分とある程度の間隔を置いて配置されている。

以上の構成により、Ｚ軸テーブル１５は、Ｚ軸テーブル支持部１４、従って、ガントリ３に対し、Ｘ軸方向に移動可能に構成されている。

なお、かかるＺ軸テーブル１５のＸ軸方向の移動は、塗布ヘッド５の上記のＸ軸方向の位置ずれを補正するためのものであり、この補正のためのＸ軸方向の位置調整量はｍｍ単位である。このため、かかる位置調整によってＺ軸テーブル支持部１４の垂直状部分とＺ軸テーブル１５の垂直状部分とが衝突しない程度に、これら垂直状部分の上記の間隔が設けられている。

Ｚ軸テーブル支持部１４には、連接部１４ａを介して、モータ載置部２０が設けられており、このモータ載置部２０にＸ軸駆動モータ２１が設けられている。これにより、このＸ軸駆動モータ２１はＺ軸テーブル１５の上側に配置された状態にあり、このＸ軸駆動モータ２１の下向きの回転軸が、Ｚ軸テーブル１５の上側の平面状部分に設けられた貫通孔２５を通り、かつＺ軸テーブル支持部１４の下側の平面状部分の側面に設けられた軸受２４と上記のモータ載置部２０に設けられた図示しない軸受で回転可能に支持されるシャフト２２に連結されている。また、このシャフト２２には、Ｚ軸テーブル１５の下側の平面状部分の側面に対向する位置に、この側面に当接可能にカム２４が設けられており、Ｘ軸駆動モータ２１が起動してシャフト２２が回転することにより、このカム２４が回転して、その変位量だけＺ軸テーブル１５がＺ軸テーブル支持部１４に対してＸ軸方向に移動する。なお、貫通孔２５は、Ｚ軸テーブル１５のＸ軸方向の移動範囲の移動に対し、シャフト２２がこの貫通孔２５の壁面に突き当たらない程度の大きさの直径の孔である（なお、このＺ軸テーブル１５のＸ軸方向の移動範囲は、数ｍｍ程度である）。

Ｚ軸テーブル１５の垂直面状部分に塗布ヘッド５が取り付けられ、Ｚ軸テーブル１５のＸ軸方向の移動により、塗布ヘッド５がＸ軸方向に移動する。

なお、ガントリ３Ｌ，３Ｒ夫々側の基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａには、かかるＸ軸駆動モータフ２１は設けられておらず、ガントリ３Ｌ，３Ｒに対するＸ軸方向の移動はできないようにしている。従って、基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａでは、Ｚ軸テーブル支持部１４にＺ軸テーブル１５が固定されて設けられ、このＺ軸テーブル１５に塗布ヘッド５が取り付けられた構成をなしている。但し、いかに説明する構成は、基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａについても同様である。

塗布ヘッド５は、Ｚ軸駆動モータ２６を備え、Ｚ軸テーブル１５の垂直面状部分に塗布ヘッド５が取り付けられたＺ軸駆動部２７と、Ｚ軸駆動部２７に取り付けられ、Ｚ軸駆動モータ２６の駆動によって上下方向、即ち、Ｚ軸方向に移動する上下動テーブル２８とを備え、この上下動テーブル２８とともに上下動可能にシリンジ６とＣＣＤカメラ７と光学距離計２９などが設けられた構成をなしている。

シリンジ６には、基板載置台８（図１）に載置された基板３１に上側から対向するようにノズル３０が設けられており、外部から圧縮気体（窒素ガスや空気など）がシリンジ６内に導入されることにより、このシリンジ６に収納されているペーストがこのノズル３０の先端のペースト吐出口から吐出される。

また、光学距離計２９はノズル３０のペースト吐出口から基板３１の表面までの距離（間隔）を測定する間隔測定器を構成するものであって、この光学距離計２９の間隔測定結果をもとに、Ｚ軸駆動モータ２６が起動し、これにより、上下動テーブル２８が上下動してノズル３０のペースト吐出口と基板３１の表面との間隔が規定の間隔に設定される。

以上のようにして、塗布ヘッド５はガントリ３に取り付けられており、駆動コイル１７を稼働させることにより、リニアモータが稼働して塗布ヘッド５（より詳細には、ノズル３０）をガントリ３の長手方向（Ｙ軸方向）に移動させることができ、Ｘ軸駆動モータ２１を稼働させることにより、塗布ヘッド５（より詳細には、ノズル３０）をガントリ３の長手方向に対して垂直なＸ軸方向に移動させることができ、Ｚ軸駆動モータ２６を稼働させることにより、塗布ヘッド５のノズル３０を上下方向（Ｚ軸方向）に移動させることができる。

通常、塗布装置が組み立てられて設置された初期状態のときや、ノズル３０を備えたシリンジ６の取替えなどのメンテナンス時には、ノズル３０の位置が規定の位置からずれている場合があり（これを、塗布ヘッド５の位置ずれという）、このために、図１で説明したように、各塗布ヘッド５の位置ずれを調整する必要があるが、ガントリ３に対してＸ軸方向に移動するＺ軸テーブル１５に塗布ヘッド５を設けたことにより、塗布ヘッド５のＸ軸方向の位置ずれを調整することができる。

全ての塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃが上記の構成をなしており（但し、基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａは、Ｘ軸駆動モータ２１を備えていない）、これにより、基準塗布ヘッド５Ｌａに対する塗布ヘッド５Ｌｂ，５ＬｃのＸ軸方向の位置ずれ、基準塗布ヘッド５Ｒａに対する塗布ヘッド５Ｒｂ，５ＲｃのＸ軸方向の位置ずれを夫々毎に調整することができて、これら塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃのノズル３０をＹ軸方向に一列に配列させるようにすることができる。

図４は図１及び図３の各部の動作を制御する制御系の一具体例を示すブロック構成図であって、３２は主制御部、３２ａはマイクロコンピュータ、３２ｂは外部インターフェース、３２ｃはモータコントローラ、３２ｄはＸ軸ドライバ、３２ｅはＹ軸ドライバ、３２ｆはＸ−Ｘ軸ドライバ、３３は副制御部、３３ａはマイクロコンピュータ、３３ｂは外部インターフェース、３３ｃはモータコントローラ、３３ｄはＺ軸ドライバ、３３ｅはＸ軸ドライバ、３４はキーボード、３５はディスプレイ装置、３６は外部記憶装置、３７は画像処理装置、３８は画像モニタ、３９はＸ軸リニアモータ、４０はＹ軸リニアモータであり、前出図面に対応する部分には同一符号をつけて重複する説明を省略する。

同図において、この実施形態では、主制御部３２と副制御部３３とを備えており、これらが連動して動作する。主制御部３２は、ガントリ３Ｌ，３ＲをＸ軸方向に移動させるためのＸ軸リニアモータ３９と、これらガントリ３Ｌ，３Ｒに設けられた塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃをガントリ３Ｌ，３Ｒの長手方向に沿ってＹ軸方向に移動させるＹ軸リニアモータ４０と、基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａ以外の塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃ，５Ｒｂ，５Ｒｃの図３に示すノズル３０をＸ軸方向に移動させる（以下では、これを、塗布ヘッドをＸ軸方向に移動させるという）Ｘ軸駆動モータ２１を駆動制御するものである。ここで、Ｘ軸リニアモータ３９は、図１において、ガントリ３Ｌについては、リニアレール２ａと駆動コイルからなるリニタ駆動機構４Ｌａ、リニアレール２ｂと駆動コイルからなるリニタ駆動機構４Ｌｂであり、ガントリ３Ｒについては、リニアレール２ａと駆動コイルからなるリニタ駆動機構４Ｒａ、リニアレール２ｂと駆動コイルからなるリニタ駆動機構４Ｒｂである。Ｙ軸リニアモータ４０は、図３において、各塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃでの駆動コイル１７とリニアレール１８とからなるリニアモータである。副制御部３３は、各塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃの図３に示すノズル３０をＺ軸方向に移動させるＺ軸駆動モータ２６を駆動制御する。

主制御部３２には、マイクロコンピュータ３２ａ，外部インターフェース３２ｂ及びモータコントローラ３２ｃが設けられており、マイクロコンピュータ３２ａは、図示しないが、主演算部やペースト塗布描画を行なうための処理プログラムを格納したＲＯＭ，主演算部での処理結果や外部インターフェース３２ｂやモータコントローラ３２ｃからの入力データを格納するＲＡＭ，外部インターフェース３２ｂやモータコントローラ３２ｃとデータのやりとりをする入出力部などを備えている。

このマイクロコンピュータ３２ａには、上記のメモリに格納されているデータやプログラムなどの修正などを行なうためのキーボード３４やディスプレイ装置３５が外部インターフェース３２ｂを介して接続されている。ディスプレイ装置３５では、マイクロコンピュータ３２ａのメモリに格納されているデータやプログラムを表示することができ、キーボード３４からはこれを修正するデータを入力することができる。また、キーボード３４からはペーストパターンの描画データなどを入力することができ、これらの入力データは、ディスプレイ装置３５で表示されるとともに、外部記憶装置３６にも記憶される。

また、マイクロコンピュータ３２ａには、外部記憶装置３６やＣＣＤカメラ７からの撮像データを処理し、また、画像モニタ３８への画像データを処理する画像処理装置３７も外部インターフェース３２ｂを介して接続されている。ＣＣＤカメラ７が捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂ上のペーストマークや基板載置台８での基準位置マーク９（図１，図２），基板３１上の位置マークなどを撮像して得られる画像データは、画像処理装置３７で処理された後、画像モニタ３８で表示されるとともに、外部インターフェース３２ｂを介してマイクロコンピュータ３２ａに供給される。マイクロコンピュータ３２ａでは、その処理結果が、制御データとして、モータコントローラ３２ｃに供給され、これにより、ガントリ３Ｌ，３ＲのＸ軸方向の位置ずれや塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５ＲｃのＸ・Ｙ軸方向の位置ずれ（即ち、基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａに対する塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃ，５Ｒｂ，５ＲｃのＸ・Ｙ軸方向の位置ずれ）の補正などのための各部の制御が行なわれる。

モータコントローラ３２ｃは、Ｘ軸ドライバ３２ｄやＹ軸ドライバ３２ｅやＸ−Ｘ軸ドライバ３２ｆを駆動する。ガントリ３Ｌ，３ＲのＸ軸方向の位置ずれを補正する場合には、基準塗布ヘッド５Ｌａ，５ＲａのＣＣＤカメラ７で基板載置台８の基準位置マーク９（図１，図２）を撮像されて得られる画像テータが、画像処理装置３７で処理されてマイクロコンピュータ３２ａに供給され、そこで処理されてモータコントローラ３２ｃに供給される。モータコントローラ３２ｃは、この処理された画像データをもとに、Ｘ軸ドライバ３２ｄを制御し、Ｘ軸リニアモータ３９を制御駆動することにより、ガントリ３Ｌ，３ＲのＸ軸方向の位置ずれが調整される。また、基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａに対する塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃ，５Ｒｂ，５ＲｃのＹ軸方向の位置ずれを補正する場合には、捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂ上に形成されたペーストマークを基準塗布ヘッド５Ｌａ，５ＲａのＣＣＤカメラ７で撮像されて得られる画像データが、画像処理装置３７で処理されてマイクロコンピュータ３２ａに供給され、そこで処理されてモータコントローラ３２ｃに供給される。モータコントローラ３２ｃは、この処理された画像データをもとに、Ｙ軸ドライバ３２ｅを制御し、Ｙ軸リニアモータ４０を制御駆動することにより、基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａに対する塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃ，５Ｒｂ，５ＲｃのＹ軸方向の位置ずれが調整される。さらに、基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａに対する塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃ，５Ｒｂ，５ＲｃのＸ軸方向の位置ずれを補正する場合には、上記のように、捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂ上に形成されたペーストマークを撮像され、画像処理装置３７とマイクロコンピュータ３２ａで処理された画像データがモータコントローラ３２ｃに供給されることにより、モータコントローラ３２ｃが、この処理された画像データをもとに、Ｘ−Ｘ軸ドライバ３２ｆを制御し、塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃ，５Ｒｂ，５ＲｃのＸ軸駆動モータ２１を制御駆動することにより、基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａに対する塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃ，５Ｒｂ，５ＲｃのＸ軸方向の位置ずれが調整される。

なお、基板載置台８に基板３１が載置された場合には、マイクロコンピュータ３２ａの制御のもとに、上記のように、この基板３１のＸＹθ軸方向の位置調整が行なわれるが、ここでは、このための手段を省略している。

また、基板上にペーストパターンを描画するときには、マイクロコンピュータ３２ａが外部記憶装置３６に格納されているペーストパターンの描画データを取り込み、これを処理してモータコントローラ３２ｃに供給する。モータコントローラ３２ｃは、この描画データをもとにＸ軸ドライバ３２ｄとＹ軸ドライバ３２ｅとを駆動し、Ｘ軸リニアモータ３９を制御してガントリ３Ｌ，３Ｒを動作させ、Ｙ軸リニアモータ４０を制御して塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃを動作させ、基板上に所望のペーストパターンを描画させる。

なお、このときには、空圧制御系により、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃのシリンジ６に導入する圧縮気体を制御し、ノズル３０からのペーストの吐出制御が行なわれるが、この点については、省略している。

副制御部３３は、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃを上下に（Ｚ軸方向に）移動させ、これら塗布ヘッド５のノズル３０の先端の基板３１の面からの高さが予め規定された高さになるように、Ｚ軸駆動モータ２６を駆動制御するものである。副制御部３３のマイクロコンピュータ３３ａは、外部インターフェース３３ｂを介して主制御部３２の外部インターフェース３２ｂと通信ケーブルで接続され、これにより、副制御部３３は主制御部３２と連携して動作する。また、マイクロコンピュータ３３ａは、外部インターフェース３３ｂを介して光学距離計２９に接続されるとともに、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５ＲｃのＺ軸駆動モータ２６を駆動するＺ軸ドライバ３３ｄを制御するモータコントローラ３３ｃに接続されている。

上記のように、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５ＲｃのＸ軸方向の位置ずれを補正する場合には、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃによって捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂ上に形成されたペーストマークを基準塗布ヘッド５Ｌａ，５ＲａのＣＣＤカメラ７で撮像して得られ、画像処理装置３７と主制御部３２のマイクロコンピュータ３２ａで処理された画像データがモータコントローラ３２ｃに供給される。モータコントローラ３２ｃは、この供給された画像データをもとに、Ｘ−Ｘ軸ドライバ３２ｆを制御し、Ｘ軸駆動モータ２１を駆動制御して基準塗布ヘッド５Ｌａ，５Ｒａに対する塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃ，５Ｒｂ，５ＲｃのＸ軸方向の位置ずれを補正する。

また、基板載置台８上に載置された基板３１にペーストパターンを描画するときには、光学距離計２９で検出された塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃのノズル３０と基板３１の表面との間隔のデータが外部インターフェース３３ｂを介してマイクロコンピュータ３３ａに供給され、そこで処理されてモータコントローラ３３ｃに供給される。モータコントローラ３３ｃは、この供給されたデータをもとに、Ｚ軸ドライバ３３ｄを制御し、Ｚ軸駆動モータ２６を駆動制御して塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５ＲｃをＺ軸方向に移動させてノズル３０と基板３１の表面との間隔を規定の間隔に制御する。

なお、リニアモータ３９，４０や駆動モータ２６，２１には夫々、移動量や回転を検出するためのエンコーダが設けられているが、これらは省略している。

このようにして、主制御部３２と副制御部３３とからなる制御系による制御により、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５ＲｃのＸＹ軸方向の位置ずれやガントリ３Ｌ，３ＲのＸ軸方向の位置ずれの補正などが行なわれる。

図５は図１におけるガントリ３Ｌ，３Ｒと塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃの位置ずれの補正（位置合わせ）の手順の一具体例を示すフローチャートである。以下、図１〜図４を参照して、この手順を説明する。なお、図５において、「塗布ヘッド５」は全ての塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃの総称であり、「塗布ヘッド５Ｌ」は塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃの総称、「塗布ヘッド５Ｒ」は塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃの総称である。

図５において、ガントリ３Ｌ，３Ｒが収納状態にあるときには、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃは、そのノズル３０が基板載置台８の捨て打ち用ガラス基板１０ａよりも基板載置台８とは反対側の位置にある（即ち、ノズル３０は捨て打ち用ガラス基板１０ａからずれた位置にある）ように、位置付けられており（この位置を、以下、ガントリ３Ｌの収納位置という）、塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃも、同様に、そのノズル３０が基板載置台８の捨て打ち用ガラス基板１０ｂよりも基板載置台８とは反対側の位置にある（即ち、ノズル３０は捨て打ち用ガラス基板１０ｂからずれた位置にある）ように、位置付けられている（この位置を、以下、ガントリ３Ｒの収納位置という）。このように、ガントリ３Ｌ，３Ｒが収納状態にあるときには、基板載置台８で捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂの取り付け、取り外しをすることができる。

かかる収納状態で、Ｘ軸リニアモータ３９が駆動され、ガントリ３Ｌが基板載置台８の方向（即ち、Ｘ軸方向）に予め決められた所定の距離だけ移動することにより、各塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃのノズル３０が捨て打ち用ガラス基板１０ａの真上に移動し、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃがこのときの位置に位置づけられる（この位置を、以下、ガントリ３Ｌの仮待機位置という）。同様に、ガントリ３Ｒが基板載置台８の方向（即ち、Ｘ軸方向）に予め決められた所定の距離だけ移動することにより、各塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃのノズル３０が捨て打ち用ガラス基板１０ｂの真上に移動し、塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃがこのときの位置に位置づけられる（この位置を、以下、ガントリ３Ｌの仮待機位置という）。これら待機位置のデータは、マイクロコンピュータ３２ａのメモリに保存されている。

そして、夫々の塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃにおいて、光学距離計２９の測定結果をもとにＺ軸駆動モータ２６が駆動されることにより、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃのノズル３０の捨て打ち用ガラス基板１０ａからの高さと塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃのノズル３０の捨て打ち用ガラス基板１０ｂからの高さとが全て等しく所定の高さに設定される。しかる後、ガントリ３Ｌ，３ＲのＸ軸リニアモータ３９と塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５ＲｃのＹ軸リニアモータ４０とが駆動されることにより、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５ＲｃがＸＹ軸方向に移動し、これとともに、シリンジ６に圧縮気体が送り込まれることにより、夫々のノズル３０の吐出口からペーストが吐出される。これにより、ガントリ３Ｌ側の塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ毎に基板載置台８の一方側の捨て打ち用ガラス基板１０ａ上に、中心位置が検出可能な、例えば、十字状のペーストマークが描画され、ガントリ３Ｒ側の塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃ毎に基板載置台８の他方側の捨て打ち用ガラス基板１０ｂ上に、同じ形状のペーストマークが描画される（ステップ１００）。

次に、ガントリ３Ｌが上記の仮待機位置に戻り、このガントリ３Ｌ側の塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃのいずれか１つ、例えば、基準塗布ヘッド５Ｌａに設けられているＣＣＤカメラ７でこの基準塗布ヘッド５Ｌａによって捨て打ち用ガラス基板１０ａ上に描画されたペーストマークが撮像され、その画像データが画像処理装置３７で処理されてその中心点位置が検出され、この中心点位置のデータが、Ｌ側ヘッド基準中心点位置のデータとして、外部インターフェース３２ｂを介してマイクロコンピュータ３２ａに供給され、そのメモリに格納保存される。同様にして、ガントリ３Ｒが上記の仮待機位置に戻り、このガントリ３Ｒ側の塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃのいずれか１つ、例えば、基準塗布ヘッド５Ｒａに設けられているＣＣＤカメラ７でこの基準塗布ヘッド５Ｒａによって捨て打ち用ガラス基板１０ｂ上に描画されたペーストマークが撮像され、その画像データが画像処理装置３７で処理されてその中心点位置が検出され、この中心点位置のデータが、Ｒ側ヘッド基準中心点位置のデータとして、外部インターフェース３２ｂを介してマイクロコンピュータ３２ａに供給され、そのメモリに格納保存される（ステップ１０１）。

次に、ガントリ３Ｌ側で、基準塗布ヘッド５Ｌａ以外の塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃがガントリ３Ｌに沿って基準塗布ヘッド５Ｌａとは反対側に移動してガントリ３Ｌの端部に寄せられ、基準塗布ヘッド５Ｌａがガントリ３Ｌに沿って移動することにより、この基準塗布ヘッド５Ｌａに設けられているＣＣＤカメラ７で塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃによって捨て打ち用ガラス基板１０ａ上に描画された夫々のペーストマークが順次撮像され、それらの画像データが画像処理装置３７で処理されてそれらの中心点位置が検出され、さらに、各塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃ毎に、既に求められて保存されている基準塗布ヘッド５ＬａのＬ側ヘッド基準中心位置とのＸ軸方向の位置誤差量ΔＸ_LとＹ軸方向の位置誤差量ΔＹ_Lとが求められ、これらＸ軸方向の位置誤差量ΔＸ_LとＹ軸方向の位置誤差量ΔＹ_Lのデータが外部インターフェース３２ｂを介してマイクロコンピュータ３２ａに供給され、そのメモリに格納保存される。同様にして、ガントリ３Ｒ側で、基準塗布ヘッド５Ｒａ以外の塗布ヘッド５Ｒｂ，５Ｒｃがガントリ３Ｒに沿って基準塗布ヘッド５Ｒａとは反対側に移動してガントリ３Ｒの端部に寄せられ、基準塗布ヘッド５Ｒａがガントリ３Ｒに沿って移動することにより、この基準塗布ヘッド５Ｒａに設けられているＣＣＤカメラ７で塗布ヘッド５Ｒｂ，５Ｒｃによって捨て打ち用ガラス基板１０ｂ上に描画されたペーストマークが順次撮像され、それらの画像データが画像処理装置３７で処理されてそれらの中心点位置が検出され、さらに、各塗布ヘッド５Ｒｂ，５Ｒｃ毎に、既に求められて保存されている基準塗布ヘッド５ＲａのＲ側ヘッド基準中心位置とのＸ軸方向の位置誤差量ΔＸ_RとＹ軸方向の位置誤差量ΔＹ_Rとが求められ、これらＸ軸方向の位置誤差量ΔＸ_RとＹ軸方向の位置誤差量ΔＹ_Rとのデータが外部インターフェース３２ｂを介してマイクロコンピュータ３２ａに供給され、そのメモリに格納保存される（ステップ１０２）。

以上により、ガントリ３Ｌでの塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃの基準塗布ヘッド５Ｌａに対するＸ軸方向の位置ずれとＹ軸方向の位置ずれ、及びガントリ３Ｒでの塗布ヘッド５Ｒｂ，５Ｒｃの基準塗布ヘッド５Ｒａに対するＸ軸方向の位置ずれとＹ軸方向の位置ずれが夫々検出され、それらの検出結果がマイクロコンピュータ３２ａのメモリに保存されることになる。

次に、基準塗布ヘッド５ＬａをＹ軸方向に、ガントリ３ＬをＸ軸方向に夫々移動させて、基準塗布ヘッド５Ｌａのノズル３０を捨て打ち用ガラス基板１０ａでのこの基準塗布ヘッド５Ｌａで描画されたペーストマークの中心点位置に一致させてＬ側ヘッド基準中心位置に設定し、このときのガントリ３Ｌの位置（仮待機位置）をこのガントリ３Ｌの基準位置とする。同様にして、基準塗布ヘッド５ＲａをＹ軸方向に、ガントリ３ＲをＸ軸方向に移動させて、基準塗布ヘッド５Ｒａのノズル３０を捨て打ち用ガラス基板１０ｂでのこの基準塗布ヘッド５Ｒａで描画されたペーストマークの中心点位置に一致させてＲ側ヘッド基準中心位置に設定し、このときのガントリ３Ｒの位置（仮待機位置）をこのガントリ３Ｒの基準位置とする。

そして、ガントリ３Ｌをこの基準位置からＸ軸方向（即ち、基板載置台８の基準位置マーク９の方向）に移動させるとともに、基準塗布ヘッド５ＬａをこのＬ側ヘッド基準中心位置からＹ軸方向に移動させ、この基準塗布ヘッド５ＬａのＣＣＤカメラ７でこの基準位置マーク９を撮像できる状態にする。このＣＣＤカメラ７で撮像して得られる画像データは画像処理装置３７に供給されて処理され、この処理結果がマイクロコンピュータ３２ａに供給される。マイクロコンピュータ３２ａでは、この処理結果で基準位置マーク９の画像データが検出されることになると、上記の仮待機位置から基準位置マーク９までのガントリ３Ｌの移動距離が算出され、さらに、この移動距離の予め決められた設定移動距離（基板へのペーストパターンの描画のためにガントリ３Ｌが待機する待機位置から基準位置マーク９までのＸ軸方向の距離）からの誤差が計算され、ガントリ３Ｌの設定移動距離からのＸ軸方向の位置ずれ量としてマイクロコンピュータ３２ａのメモリに格納される（ステップ１０３）。

なお、ＣＣＤカメラ７の撮像範囲は、ノズル３０を中心とする範囲であり、この撮像範囲内に基準位置マーク９が存在する状態になったときには、この基準位置マーク９とノズル３０１との位置関係を求めることができる。従って、ＣＣＤカメラ７がこの基準位置マーク９を撮像した状態とすることにより、基準位置マーク９とノズル３０１との間のＸ軸方向の距離を求め、これを修正距離として、仮待機位置からかかる状態となるまでの基準塗布ヘッド５ＬａのＸ軸方向の移動距離を修正することにより、基準塗布ヘッド５Ｌａの基準位置マーク９までのＸ軸方向の移動距離、従って、ガントリ３Ｌの仮待機位置から基準位置マーク９までのＸ軸方向の移動距離を求めることができる。

以上のことは、ガントリ３Ｒについても同様であり、基準塗布ヘッド５Ｒａを用いることにより、このガントリ３Ｒの仮待機位置から基準位置マーク９までの移動距離が算出され、さらに、設定移動距離（基板へのペーストパターンの描画のためにガントリ３Ｒが待機する待機位置から基準位置マーク９までのＸ軸方向の距離）からのＸ軸方向の位置ずれ量が算出されてマイクロコンピュータ３２ａのメモリに格納される（ステップ１０４）。

以上のようにして、ガントリ３Ｌ，３Ｒ毎に、仮待機位置からペーストパターン描画のために待機する待機位置までのＸ軸方向の距離が、Ｘ軸方向の位置ずれ量として得られることになる。

次いで、ステップ１０２で求めたガントリ３Ｌでの塗布ヘッド５Ｌｂ，５ＬｃのＸ軸方向の位置誤差量ΔＸ_LとＹ軸方向の位置誤差量ΔＹ_Lをもとに、これら塗布ヘッド５Ｌｂ，５ＬｃのＸ軸方向とＹ軸方向との位置データを求め、同様にして、ステップ１０２で求めたガントリ３Ｒでの塗布ヘッド５Ｒｂ，５ＲｃのＸ軸方向の位置誤差量ΔＸ_RとＹ軸方向の位置誤差量ΔＹ_Rをもとに、これら塗布ヘッド５Ｒｂ，５ＲｃのＸ軸方向とＹ軸方向との位置データを求める（ステップ１０５）。

そして、求めた位置データをもとに、ガントリ３Ｌにおいて、基準塗布ヘッド５Ｌａに対するＸ軸方向の塗布ヘッド５Ｌｂ，５Ｌｃの位置を設定するとともに、Ｙ軸方向の位置（塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃの間隔）を設定する。これにより、ガントリ３Ｌ上で、塗布ヘッド５Ｌａ〜５ＬｃがＹ軸方向に所定の間隔で配列されるとともに、これらのノズル３０がＸ軸に沿って一線上に配列されることになる。同様にして、上記の求めた位置データをもとに、ガントリ３Ｒにおいて、基準塗布ヘッド５Ｒａに対するＸ軸方向の塗布ヘッド５Ｒｂ，５Ｒｃの位置を設定するとともに、Ｙ軸方向の位置（塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃの間隔）を設定する。これにより、ガントリ３Ｒ上で、塗布ヘッド５Ｒａ〜５ＲｃがＹ軸方向に所定の間隔で配列されるとともに、これらのノズル３０がＸ軸に沿って一線上に配列されることになる（ステップ１０６）。

また、ガントリ３Ｌ，３Ｒを上記の仮待機位置に戻し、ステップ１０３で求めたガントリ３Ｌの設定移動距離からのＸ軸方向の位置ずれ量をもとに、ガントリ３Ｌの位置を仮待機位置から調整する。これにより、ガントリ３Ｌが上記の待機位置に設定されることになる。同様にして、ガントリ３Ｒについても、ステップ１０４で求めたガントリ３Ｒの設定移動距離からのＸ軸方向の位置ずれ量をもとに、ガントリ３Ｒの位置を仮待機位置から調整する。これにより、ガントリ３Ｒが上記の待機位置に設定されることになる（ステップ１０７）。

このようにして、ガントリ３Ｌ，３Ｒが、基板載置台８の基準位置マーク９に関して互いに反対側で、この基準位置マークから所定の距離離れた待機位置に位置設定されることになり、これとともに、ガントリ３Ｌで塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃが所定の間隔で、かつＸ軸に沿って一線に配列された状態となり、ガントリ３Ｒでも、塗布ヘッド５Ｒａ〜５Ｒｃが所定の間隔で、かつＸ軸に沿って一線に配列された状態となる。

かかる状態は、基板載置台８上に基板３１が載置される前の状態であり、基板載置台８上に基板３１が載置され、そのＸＹθ軸方向のずれが調整されると、ガントリ３Ｌ，３ＲがＸ軸方向に移動して、ペーストパターンの描画動作開始位置に設定され、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃ毎に、ペースト吐出圧や基板３１に対するノズル３０の高さなどの初期設定が行なわれ、しかる後、塗布ヘッド５Ｌａ〜５Ｌｃ，５Ｒａ〜５Ｒｃ毎に基板３１上に所定のペーストパターンが描画される。

以上のように、この実施形態では、塗布ヘッド（ノズル）の位置合わせ調整（Ｘ軸に沿う一線上に揃える）は、基板載置台８に設けられた捨て打ち用ガラス基板１０ａ，１０ｂを用いて行なわれ、ガントリ３Ｌ，３Ｒの位置合わせ調整は、基板載置台８に予め設けられている基準位置マーク９を用いて行なわれるので、かかる調整にダミーのガラス基板を基板載置台８に搭載する必要がなくなる。

また、ガントリでの塗布ヘッド間の位置ずれの補正においては、かかる塗布ヘッドのうちの１つを基準塗布ヘッドとし、この基準塗布ヘッドに対する他の塗布ヘッドの位置ずれを補正して位置合わせを行なうものであるから、かかる位置合わせを短時間で行なうことができる。

さらに、夫々の塗布ヘッドでノズルやシリンジ，ＣＣＤカメラなどを、ガントリの移動方向のＸ軸方向にも、移動可能としているので、かかる塗布ヘッドの位置決めをより正確に行なうことが可能となる。

以上のように、この実施形態では、塗布ヘッドのノズル間の校正やガントリ間の校正を簡単に、かつ短時間で行なうことが可能となり、また、校正誤差も低減できる。

また、上記実施形態では、上記の基準塗布ヘッドに対しては、Ｘ軸方向の移動機構を設けず、Ｘ軸方向に対しては固定状態としているので、部品点数を低減できる。

１ 架台
２ａ，２ｂ リニアレール
３，３Ｒ，３Ｌ ガントリ
４Ｒａ，４Ｒｂ，４Ｌａ，４Ｌｂ リニア駆動機構
５，５Ｒａ〜６Ｒｃ，５Ｌａ〜５Ｌｃ 塗布ヘッド
６ シリンジ（ペースト収納筒）
７ ＣＣＤカメラ
８ 基板搭載台
９ 基準位置マーク
１０ａ，１０ｂ 捨て打ち用ガラス基板
１１ａ，１１ｂ 連結部材
１２ａ，１２ｂ 溝部
１３ 塗布ヘッド取付テーブル
１４ Ｚ軸テーブル支持部
１４ａ 連接部
１５ Ｚ軸テーブル
１６ａ〜１６ｃ リニアガイド機構部
１７ 駆動コイル
１８ リニアレール
１９ａ，１９ｂ リニアボール
２０ モータ載置部
２１ Ｘ軸駆動モータ
２２ シャフト
２３ 軸受
２４ カム
２５ 貫通孔
２６ Ｚ軸駆動モータ
２７ Ｚ軸駆動部
２８ 上下動テーブル
２９ 光学距離計
３０ ノズル
３１ 基板
３２ 主制御部
３３ 副制御部

Claims (8)

1. 基台上に第１の方向に移動可能に複数のガントリが設けられ、該ガントリ毎に該ガントリの長手方向に沿う第２の方向に移動可能に複数の塗布ヘッドが設けられ、該ガントリの第１の方向への移動と該塗布ヘッドの該ガントリに対する該第２の方向への移動とにより、該塗布ヘッドが該第１，第２の方向に移動しながら、該架台に設けられた基板載置台に載置された基板上にペーストを塗布し、該塗布ヘッド毎に該基板上にペーストパターンを描画する塗布装置において、
   該塗布ヘッドは夫々カメラを備え、
   該基板載置台に、該ガントリ毎に、該ガントリに設けられた複数の該塗布ヘッドの位置合わせのための捨て打ち用ガラス基板を設けるとともに、複数の該ガントリの位置合わせのための基準位置マークを設け、
   該捨て打ち用ガラス基板には、同じ該ガントリでの複数の該塗布ヘッドからペーストが塗布されてペーストマークが描画され、
   該捨て打ち用ガラス基板上に描画された該ペーストマークを該カメラで撮像して該ペーストマークの描画位置を検出することにより、該ガントリでの複数の該塗布ヘッド間の位置ずれを検出し、検出した該位置ずれに応じて、複数の該塗布ヘッド相互間の位置合わせを行なう第１の手段と、
   複数の該ガントリ夫々を該基板載置台上の該基準位置マークが該カメラで撮像される位置まで該第１の方向に移動させることにより、該ガントリ夫々の該基準位置マークの位置までの移動距離を検出して、該ガントリ毎にペーストパターン描画のための予め決められた待機位置からの該第１の方向の位置ずれを検出し、検出した該位置ずれに応じて、該ガントリ毎に該待機位置への位置合わせを行なう第２の手段と
   を備えたことを特徴とする塗布装置。
2. 請求項１において、
   前記基準位置マークは、前記基板載置台に中央部付近に設けられた基板保持用の吸着孔であることを特徴とする塗布装置。
3. 請求項１または２において、
   前記塗布ヘッドは、前記ガントリが移動する前記第１の方向に移動可能であって、前記第１の方向の位置合わせを可能としたことを特徴とする塗布装置。
4. 請求項３において、
   前記ガントリ毎に、前記ガントリに設けられている複数の前記塗布ヘッドのうちの１つを基準塗布ヘッドとし、
   該基準塗布ヘッドは前記第１の方向に対しては位置固定として、該基準塗布ヘッド以外の前記塗布ヘッドを前記第１の方向に移動可能とし、
   該基準塗布ヘッド以外の前記塗布ヘッドを、該基準塗布ヘッドに対して前記第１の方向の位置合わせを可能としたことを特徴とする塗布装置。
5. 基台上に第１の方向に移動可能に複数のガントリが設けられ、該ガントリ毎に該ガントリの長手方向に沿う第２の方向に移動可能に複数の塗布ヘッドが設けられ、該ガントリの第１の方向への移動と該塗布ヘッドの該ガントリに対する該第２の方向への移動とにより、該塗布ヘッドが該第１，第２の方向に移動しながら、該架台に設けられた基板載置台に載置された基板上にペーストを塗布し、該塗布ヘッド毎に該基板上にペーストパターンを描画する塗布装置の塗布位置補正方法であって、
   該ガントリ毎に該基板載置台に捨て打ち用ガラス基板が設けられており、
   該捨て打ち用ガラス基板上に、これに該当する該ガントリに設けられた複数の該塗布ヘッド毎にペーストマークを描画し、描画された夫々の該ペーストマークをカメラで撮像することによってその位置を検出して複数の該塗布ヘッド相互間の位置ずれを検出し、検出した該位置ずれをもとに、複数の該塗布ヘッドの位置合わせを行ない、
   該基板載置台に基準位置マークが設けられ、
   複数の該ガントリを夫々該基準位置マークの位置まで移動させて、複数の該ガントリ毎に、該基準位置マークの位置に対する該ガントリの予め決められた待機位置からの該第１の方向の位置ずれを検出し、検出した該位置ずれをもとに、複数の該ガントリを該待機位置に位置合わせをする
   ことを特徴とするとする塗布装置の塗布位置補正方法。
6. 請求項５において、
   前記基準位置マークは、前記基板載置台に中央部付近に設けられた基板保持用の吸着孔であることを特徴とする塗布装置の塗布位置補正方法。
7. 請求項５または６において、
   前記塗布ヘッドは、前記ガントリが移動する前記第１の方向に移動可能であって、前記第１の方向の位置合わせを可能としたことを特徴とする塗布装置の塗布位置補正方法。
8. 請求項７において、
   前記ガントリ毎に、前記ガントリに設けられている複数の前記塗布ヘッドのうちの１つを基準塗布ヘッドとし、
   該基準塗布ヘッドは前記第１の方向に対しては位置固定として、該基準塗布ヘッド以外の前記塗布ヘッドを前記第１の方向に移動可能とし、
   該基準塗布ヘッド以外の前記塗布ヘッドを、該基準塗布ヘッドに前記第１の方向の位置合わせを可能としたことを特徴とする塗布装置の塗布位置補正方法。

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