JP2010522091A - 研磨物品、並びにその製造及び使用方法 - Google Patents

Abstract

研磨物品は、多孔質研磨部材（１０４）と、不織布濾材（１２０）と、第２不織布濾材（１４０）と、場合により多孔質接合層（１４６）とを含む。多孔質研磨部材に空いた複数の開口部は、前記第１不織布濾材と協働することで、多孔質研磨部材の外側の研磨面から前記第２不織布濾材に向かう前記粒子の流れを生じさせる。研磨物品の製造及び使用方法も包含されている。

Description

研磨物品類は、工業において研磨用途、研削用途、及び磨き用途で使用される。

これらは、多くの異なる寸法のベルト類、ディスク類、シート類等の様々に変形された形状で入手することができる。

一般に、研磨物品を「シート製品類」（すなわち、ディスク類又はシート類）の形で使用する場合は、バックアップパッドを使用して、研磨物品を研磨工具に取り付けるか又は付着する。ある種のバックアップパッドは、一連の溝で繋がった集塵孔類を有している。集塵孔類は、典型的に、真空供給源に接続されて、例えば、研磨物品の研磨面上に蓄積する削り屑（本明細書で使用するとき、用語「削り屑」は、研磨プロセス中に生じた粉塵や屑のような遊離物質を指す。）等の粒子類を制御するのに役立つ。研磨面から削り屑を取り除くことによって、研磨物品の性能が向上することが知られている。

一部の研磨工具類は、集塵手段を装備した一体型真空システム類を有している。これら研磨工具類の抽出能力及び保持能力は、それらと関連するバックアップパッド類に必要な既存の研磨ディスク類の吸い込み要件のために、ある程度限られている。

米国再発行特許第３０，７８２号 米国再発行特許第３１，２８５号 米国特許第５，４９６，５０７号 米国特許第５，４７２，４８１号 米国特許第４，２１５，６８２号 米国特許第５，０５７，７１０第 米国特許第４，５９２，８１５号 米国特許第５，９７６，２０８第 米国特許第６，１３９，３０８号 米国特許第５，４９６，５０７号 米国特許第５，０５８，２４７号 米国特許第４，８９４，０６０号 米国特許第５，６７９，３０２号 米国特許第６，５７９，１６１号 米国特許出願公開第２００４／０１７０８０１号

一部の研磨工具の構成では、粉塵は、研磨工具類に接続したホースを通して複合集塵システムに回収される。しかしながら、研磨工具の操作者が、集塵システム類を必ずしも利用できるとは限らない。更に、ホースを必要とする集塵システム類の使用は扱い難い場合があり、操作者が研磨工具を操作するのを妨げる場合もある。

一態様では、本発明は、研磨物品であって、
基材の第１表面と隣接して固着された研磨材層を含む多孔質研磨部材であって、この研磨材層が、少なくとも１つの結合剤によって基材の第１表面に固着された複数の研磨粒子を含み、研磨材層が外側の研磨面を有しており、基材が、当該基材の第１表面とは反対側に第２表面を有しており、複数の開口部が、外側の研磨面から基材の第２表面にまで及んでいる、多孔質研磨部材と、
第１表面と第１表面とは反対側の第２表面とを有する第１不織布濾材であって、この第１不織布濾材の第１表面が、基材の第２表面と隣接して固着されており、第１不織布濾材が複数の繊維を含む、第１不織布濾材と、
第１表面と第１表面とは反対側の第２表面とを有する第２不織布濾材であって、この第２不織布濾材の第１表面が、第１不織布濾材の第２表面と隣接して固着されており、第２不織布濾材が複数の繊維を含む、第２不織布濾材と、を備え、
複数の開口部が第１不織布濾材と協働することで、外側の研磨面から第２不織布濾材に向かう粒子の流れを生じさせ、未使用状態において、研磨物品の少なくとも一部が、水０．２〜２０ミリリットルまでの範囲の圧力降下測定試験に準拠する圧力降下を示す、研磨物品を提供する。

別の態様では、本発明は、研磨物品の製造方法であって、
基材の第１表面と隣接して固着された研磨材層を含む多孔質研磨部材を提供する工程であって、この研磨材層が、少なくとも１つの結合剤によって基材の第１表面に固着された複数の研磨粒子を含み、研磨材層が外側の研磨面を有しており、基材が、当該基材の第１表面とは反対側に第２表面を有しており、複数の開口部が、外側の研磨面から基材の第２表面にまで及んでいる、工程と、
第１不織布濾材を提供する工程であって、この第１不織布濾材が第１表面と第１表面とは反対側の第２表面とを有しており、第１不織布濾材が複数の繊維を含んでおり、第１不織布濾材の第１表面が、基材の第２表面と隣接している、工程と、
第２不織布濾材を提供する工程であって、この第２不織布濾材が、第１表面と第１表面とは反対側の第２表面とを有しており、第２不織布濾材が複数の繊維を含んでおり、第２不織布濾材の第１表面が、第１不織布濾材の第２表面と隣接している、工程と、
第１不織布濾材を基材の第２表面に固着させる、工程と、
第２不織布濾材を第１不織布濾材に固着させる、工程と、を含み、
複数の開口部が第１不織布濾材と協働することで、外側の研磨面から第２不織布濾材に向かう粒子の流れを生じさせ、未使用状態において、研磨物品の少なくとも一部が、水０．２〜２０ミリリットルまでの範囲の圧力降下測定試験に準拠する圧力降下を示す、製造方法を提供する。

更に別の態様では、本発明は、研磨物品であって、
基材の第１表面と隣接して固着された研磨材層を含む多孔質研磨部材であって、この研磨材層が、少なくとも１つの結合剤によって基材の第１表面に固着された複数の研磨粒子を含み、研磨材層が外側の研磨面を有しており、基材が、当該基材の第１表面とは反対側に第２表面を有しており、複数の開口部が、外側の研磨面から基材の第２表面にまで及んでいる、多孔質研磨部材と、
第１表面と第１表面とは反対側の第２表面とを有する第１不織布濾材であって、この第１不織布濾材の第１表面が、基材の第２表面と隣接して固着されており、第１不織布濾材が複数の繊維を含み、第１不織布濾材が、厚さ１〜２５ミリメートル及び嵩密度０．０４〜０．５グラム／立方センチメートルを有する、第１不織布濾材と、
第１表面と第１表面とは反対側の第２表面とを有する第２不織布濾材であって、この第２不織布濾材の第１表面が、第１不織布濾材の第２表面と隣接して固着されており、第２不織布濾材が複数の繊維を含み、第２不織布濾材が、厚さ０．５〜１５ミリメートル及び嵩密度０．０４〜０．５グラム／立方センチメートルを有する、第２不織布濾材と、を含み、
複数の開口部が第１不織布濾材と協働することで、外側の研磨面から第２不織布濾材に向かう粒子の流れを生じさせる、研磨物品を提供する。

更に他の態様では、本発明は、研磨物品の製造方法であって、
基材の第１表面と隣接して固着された研磨材層を含む多孔質研磨部材を提供する工程であって、この研磨材層が、少なくとも１つの結合剤によって基材の第１表面に固着された複数の研磨粒子を含み、研磨材層が外側の研磨面を有しており、基材が、当該基材の第１表面とは反対側に第２表面を有しており、複数の開口部が、外側の研磨面から基材の第２表面にまで及んでいる、工程と、
第１表面と第１表面とは反対側の第２表面とを有する第１不織布濾材を提供する工程であって、この第１不織布濾材の第１表面が、基材の第２表面と隣接しており、第１不織布濾材が複数の繊維を含んでおり、第２不織布濾材が、厚さ０．５〜１５ミリメートル及び嵩密度０．０４〜０．５グラム／立方センチメートルを有する、工程と、
第１表面と第１表面とは反対側の第２表面とを有する第２不織布濾材を提供する工程であって、この第２不織布濾材の第１表面が、第１不織布濾材の第２表面と隣接しており、第２不織布濾材が複数の繊維を含んでおり、第２不織布濾材が、厚さ０．５〜１５ミリメートル及び嵩密度０．０４〜０．５グラム／立方センチメートルを有する、工程と、
第１不織布濾材を基材の第２表面に固着させる、工程と、
第２不織布濾材を第１不織布濾材に固着させる、工程と、を含み、
複数の開口部が第１不織布濾材と協働することで、外側の研磨面から第２不織布濾材に向かう粒子の流れを生じさせる、製造方法を提供する。

特定の実施形態では、多孔質研磨部材は、有孔の被覆研磨材を含む。特定の実施形態では、多孔質研磨部材は、スクリーン研磨材を含む。特定の実施形態では、第１不織布濾材と第２不織布濾材とを互いにニードルタッキング又はスティッチボンドによって固着する。特定の実施形態では、多孔質研磨部材は、接着剤によって第１不織布濾材に固着される。特定の実施形態では、第１不織布濾材は、接着剤によって第２不織布濾材に固着される。特定の実施形態では、第１不織布濾材又は第２不織布濾材のうち少なくとも一方は、プロピレン繊維類、ポリエステル繊維類、ナイロン繊維類、及びこれらの混合物からなる群より選択される合成繊維を含む。特定の実施形態では、基材は、金属箔、紙、布地、及びプラスチックフィルムからなる群より選択される。特定の実施形態では、第１不織布濾材又は第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、ブロー成形されたマイクロファイバーウェブを含む。特定の実施形態では、第１不織布濾材又は第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、エレクトレット電荷を含む。特定の実施形態では、基材の第２表面と第１不織布濾材の第１表面とが同一の広がりを有しており、第１不織布濾材の第２表面と第２不織布濾材の第１表面とが同一の広がりを有している。特定の実施形態では、第１不織布濾材又は第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、その主要部分に沿って密封された周辺端部を有している。特定の実施形態では、研磨物品は研磨ディスクを含む。

特定の実施形態では、多孔質接合層は、第２不織布濾材の第２表面に固着されている。特定の実施形態では、多孔質接合層は、２つの部分からなる機械的係合システムのループ部又はフック部を含む。特定の実施形態では、第１不織布濾材と第２不織布濾材と多孔質接合層とが、ニードルタッキング又はスティッチボンドによって互いに固着されている。

本発明による研磨物品は、例えば、ワークピース表面を研磨物品に接触させる工程と、研磨物品と表面を相対的に動かして表面を機械変性する工程と、を含む方法によって、ワークピース表面を研磨するのに有用である。

有利なことに、本発明による研磨物品類は、相当な量の粒子（例えば、削り屑）を発生させるこれら研磨用途において使用するのに特に適しており、少なくとも一部の実施形態では、例えば、真空供給源を有する工具と組み合わせて使用する場合に、かかる研磨用途で発生した粒子の少なくとも４０％、５０％（すなわち、過半数）、６０％、７０％、８０％、あるいは９０％超を有効に捕捉することができる。

本明細書で使用するとき、
用語「空気抵抗」とは、不織布ウェブ又は研磨物品の厚さ寸法を通過する空気の抵抗を指し、比較目的で使用される場合、空気抵抗値はいずれも同じ条件下で測定すべきであり；
用語「不織布濾材」とは、内部空隙を有し、複数の絡まった及び／又は結合した繊維から実質上形成される材料であって、織る又は編む以外の方法で製造された材料を指し；及び
不織布濾材に適用されるような用語「厚さ」とは、ＡＳＴＭ Ｄ５７３６−９５（２００１年改訂）「嵩高い不織布の厚さのための標準試験法（Standard Test Method for Thickness of Highloft Nonwoven Fabrics）」に準拠して１３．８Ｐａ（０．００２ポンド／平方インチ）の圧力板力を用いて測定したときの不織布ウェブの厚さを指す。

本発明の一実施形態による代表的な研磨物品の、物品を形成する層を示すために一部を切り取った斜視図。 図１Ａに示す研磨物品の概略断面図。 本発明による研磨物品に有用な代表的な多孔質研磨部材の平面図。 図２Ａに示す多孔質研磨部材の断面図。 本発明による研磨物品に有用な代表的な多孔質研磨部材の、研磨材層を形成する構成要素を示すために一部を切り取った平面図。 直径１２．７ｃｍ（５インチ）の被覆研磨ディスクに関する代表的な穿孔パターン４００を示す実物大の平面図。

これらの図は理想化されたものであって、単に本発明の研磨物品を説明することを意図しており、非限定的である。

図１Ａは、一部が切り取られた代表的な研磨物品１０２（研磨ディスクとして示されている）の斜視図を示している。図１Ａに示すように、研磨物品１０２は、多孔質研磨部材１０４と、第１不織布濾材１２０と、第２不織布濾材１４０と、任意の多孔質接合層１４６と、を有する。多孔質研磨部材１０４は、粒子類（例えば、研磨プロセス中に発生した切り屑）をこの多孔質研磨部材１０４に貫流させる複数の開口部を備えている。粒子類は、研磨物品中の濾材によって捕捉される。任意のシール類１０５は、第１及び第２不織布濾材１２０、１４０それぞれの周辺端部１０６（図１Ｂに示す）を密封することで、研磨物品１０２によって保持されなかった粒子類が横方向に流出するのを防ぐ。

図１Ｂは、図１Ａに示した研磨物品１０２の概略断面図を示している。図１Ｂに示されているように、研磨物品１０２は複数の層を含む。第１不織布濾材１２０は、第１表面１２２と、第１表面１２２とは反対側の第２表面１２４と、を含む。第２不織布濾材１４０は、第１表面１４２と、第１表面１４２とは反対側の第２表面１４４と、を含む。第１不織布濾材１２０の第１表面１２２は、多孔質研磨部材１０４と隣接している。第１不織布濾材１２０の第２表面１２４は、第２不織布濾材１４０の第１表面１４２と隣接している。多孔質接合層１４６は、第２不織布濾材１４０の第２表面１４４と隣接している。

研磨物品の多孔質研磨部材及び様々な濾材層は、ある層から次の層への粒子の流れを防げない方式で互いに固着されているが、粒子の流れが幾分部分的に又は微量に存在する場合もある。一部の実施形態では、研磨物品の多孔質研磨部材及び様々な濾材層は、ある層から次の層への粒子の流れを本質的に抑止しない方式で互いに固着されている。一部の実施形態では、研磨物品を貫流する粒子の量は、多孔質研磨部材と第１不織布濾材との間、又は第１不織布濾材と第２不織布濾材との間に研磨材を導入することによって、少なくとも部分的に制限することもできる。制限の程度は、例えば、別個の接着領域（例えば、噴霧スプレー又はスターブド（starved）押出成形ダイ）あるいは個別の接着ライン（例えば、ホットメルト回転スプレー又は模様付きロールコーター）等の非連続的な形式で、層の間に接着剤を塗布することにより、最小限に抑えることができる。

図２Ａは、多孔質研磨部材を形成するのに用いられる代表的な被覆研磨材の平面図を示している。図２Ｂは、図２Ａに示されている多孔質研磨部材の一部分の断面図を示している。図２Ｂに示されているように、多孔質研磨部材２０４は、第１表面２０８及び第２表面２１０を有する基材２０６と、メイクコート２１４と、複数の研磨粒子２１２と、サイズコート２１５と、を含む。図２Ａに示されているように、多孔質研磨部材２０４は、複数の開口部２１６を備えている（図２Ｂには示されていない）。

図３は、多孔質研磨部材を形成するのに用いられる代表的なスクリーン研磨材の平面図を示している。図３には、研磨材層を形成する構成要素を示すために一部を切り取った部分が包含されている。図３に示されているように、多孔質研磨部材３０４は、オープンメッシュ基材３０６と、メイクコート３１４と、複数の研磨粒子３１２と、サイズコート３１５とを含む。多孔質研磨部材３０４は、多孔質研磨部材を貫通する複数の開口部３１６を含む。開口部３１６は、オープンメッシュ基材３０６の開口３１８によって形成されている。

オープンメッシュ基材は、例えば、有孔フィルム類、不織布類、又は織布類、あるいは編布類を包含する、任意の多孔質材料で作製することができる。図３に示す実施形態では、オープンメッシュ基材３０６は有孔フィルムである。基材用のフィルムは、金属、紙、又は成形された熱可塑性材料類及び成形された熱硬化性樹脂材料類を包含するプラスチックから製造されてよい。一部の実施形態では、オープンメッシュ基材には、穿孔した又はスリットを入れた延伸シート材料が含まれる。一部の実施形態では、オープンメッシュ基材には、ファイバーグラス、ナイロン、ポリエステル、ポリプロピレン、又はアルミニウムが含まれる。

オープンメッシュ基材３０６の開口部３１８は、図３に示されているように、概ね正方形であり得る。別の実施形態では、開口部の形状は、例えば、矩形状、円形状、楕円形状、三角形状、平行四辺形状、多角形状、又はこれら形状の組み合わせを包含する他の幾何学的形状であってもよい。オープンメッシュ基材３０６の開口部３１８は、図３に示されているように、寸法も配置も均一であり得る。他の実施形態では、開口部は、例えば、ランダムな開口部配置パターンを用いることにより、開口部類の寸法又は形状を変えることにより、又はランダムな配置とランダムな形状とランダムな寸法との任意の組み合わせにより、不均一に配置することもできる。

別の態様では、織布基材又は編布基材を有するスクリーン研磨材を使用して、多孔質研磨部材を形成してもよい。織布基材は、典型的には、第１方向に延びる、概ね平行な複数の縦糸要素類と、第２方向に延びる、概ね平行な複数の横糸要素類と、を含む。オープンメッシュ基材の横糸要素類と縦糸要素類とを交差させることで、複数の開口部が形成される。第２方向を第１方向と垂直にすることで、織布オープンメッシュ基材に正方形の開口部を形成することができる。一部の実施形態では、第１方向と第２方向を交差させて、ひし形の模様が形成される。開口部の形状は、その他の幾何学的形状であってもよく、例えば、矩形状、円形状、楕円形状、三角形状、平行四辺形状、多角形状、又はこれら形状の組み合わせが挙げられる。一部の実施形態では、縦糸要素及び横糸要素は、平織り（one-over-one）で一緒に織られる、織糸である。

縦糸要素及び横糸要素は、例えば、織ること（weaving）、ステッチボンド、又は接着剤結合を包含する当業者に既知の任意の方法で組み合わせることができる。縦糸要素及び横糸要素は、繊維類、長繊維類、糸類、織糸類、又はそれらの組み合わせであってよい。縦糸要素及び横糸要素は、例えば、合成繊維類、天然繊維類、ガラス繊維類、及び金属を包含する、当業者に既知の様々な材料で作製されてもよい。一部の実施形態では、縦糸要素及び横糸要素は、熱可塑性材料又は金属ワイヤの単繊維を含む。一部の実施形態では、織布オープンメッシュ基材は、ナイロン、ポリエステル、又はポリプロピレンを含む。

多孔質研磨部材は、スクリーン研磨材であるか、有孔の被覆研磨材であるか、又はその他であるかに関わらず、様々な開口面積を有する開口部を含んでいてよい。多孔質研磨部材の開口部の「開口面積」とは、多孔質研磨部材の厚さ全体を測定したときの開口部の面積（すなわち、３次元の物体が通り抜けることが可能な開口部を形成している材料の外辺部によって囲まれた面積）を指す。有用な多孔質研磨部材は、典型的に、開口部１つ当たり少なくとも約０．５平方ミリメートルの平均開口面積を有する。一部の実施形態では、多孔質研磨部材は、開口部１つ当たり少なくとも約１平方ミリメートルの平均開口面積を有する。なお更なる実施形態では、多孔質研磨部材は、開口部１つ当たり少なくとも約１．５平方ミリメートルの平均開口面積を有する。

多孔質研磨部材は、織られているか、穿孔しているか、又はその他であるかに関わらず、多孔質研磨部材を通過し得る空気の量だけでなく、研磨材層の有効面積及び性能にも影響を及ぼす総開口面積を含む。多孔質研磨部材の「総開口面積」とは、多孔質研磨部材の外辺部によって形成される面積全体を測定したときの、開口部の累計開口面積を指す。多孔質研磨部材は、研磨材層１平方センチメートル当たり少なくとも約０．０１平方センチメートル（すなわち、開口面積１パーセント）の総開口面積を有する。一部の実施形態では、多孔質研磨部材は、研磨材層１平方センチメートル当たり少なくとも約０．０３平方センチメートル（すなわち、開口面積３パーセント）の総開口面積を有する。なお更なる実施形態では、多孔質研磨部材は、研磨材層１平方センチメートル当たり少なくとも約０．０５平方センチメートル（すなわち、開口面積５パーセント）の総開口面積を有する。

典型的に、多孔質研磨部材は、研磨材層１平方センチメートル当たり約０．９５平方センチメートル（すなわち、開口面積９５パーセント）未満の総開口面積を有する。一部の実施形態では、多孔質研磨部材は、研磨材層１平方センチメートル当たり約０．９平方センチメートル（すなわち、開口面積９０パーセント）未満の総開口面積を有する。なお更なる実施形態では、多孔質研磨部材は、研磨材層１平方センチメートル当たり約０．８０平方センチメートル（すなわち、開口面積８０パーセント）未満の総開口面積を有する。

上述のように、多孔質研磨部材は、穿孔被覆研磨材であるか、被覆スクリーン研磨材であるか、不織布研磨材であるか、又はその他であるかに関わらず、複数の研磨粒子類と、少なくとも１つの結合剤と、を含む。一部の実施形態では、研磨材層は、メイクコート、サイズコート、スーパーサイズコート、又はそれらの組み合わせを含む。一部の実施形態では、研磨材層は、結合剤前駆体中に研磨粒子類を含むスラリーコートを硬化することによって、少なくともある程度提供される。典型的には、基材（例えば、処理済み又は未処理の裏材、オープンメッシュ、又は不織布繊維ウェブ）の少なくとも一部を、第１結合剤前駆体を含むメイク層前駆体でコーティングすることによって、被覆研磨材のメイク層が調製される。

基材の上には、１つ以上の処理（例えば、バックサイズ、プレサイズ、含浸剤、又はサブサイズ）を有していてよい。好適な基材類は、研磨技術分野において広く知られており、例えば、金属箔、紙、布地、例えば、ニット類、不織布、若しくは織布（オープンスクリム類や密に織られた布地類が包含される）、織布メッシュ（例えば、スクリム）、プラスチックフィルム（例えば、ポリエステル、ポリエチレン、及びポリプロピレンなどの熱可塑性材料類を包含するもの）、及びこれらの組み合わせからなる場合がある。一部の実施形態では、基材は、積層構造を有さない。

基材は、好ましくは比較的薄く、可撓性である。例えば、一部の実施形態では、基材の厚さは、１ミリメートル未満、０．５ミリメートル未満、あるいは０．１ミリメートル未満であってよい。一部の実施形態では、基材の厚さを貫通する孔、穴、又は他の多孔質特徴は、その長さ全体にわたって実質上均一な断面を有する。

次に、第１結合剤前駆体を含むメイク層前駆体に（例えば、静電コーティング又は落下コーティングによって）研磨粒子を少なくとも部分的に埋め込んで、このメイク層前駆体を少なくとも部分的に硬化する。研磨粒子の静電コーティングは、典型的には、直立に配向させた研磨粒子をもたらす。研磨物品類の文脈において、用語「直立に配向させた」とは、大多数の研磨粒子類の長い方の寸法を裏材に対してほぼ垂直に向けて（すなわち、６０〜１２０度の間）配置した特徴を指す。研磨粒子を直立に配向させるための他の手法を更に使用してもよい。

続いて、メイク層及び研磨材粒子類の少なくとも一部に、第２結合剤前駆体（第１結合剤前駆体と同一であっても異なっていてもよい）を含むサイズ層前駆体をコーティングして、このサイズ層前駆体を少なくとも部分的に硬化することによって、サイズ層が調製される。一部の被覆研磨物品類では、スーパーサイズがサイズ層の少なくとも一部に適用される。存在する場合、スーパーサイズ層には、典型的に、研削助剤類及び／又は目づまり防止材類が包含される。

結合剤は、典型的には、結合剤前駆体を（例えば、熱的手段によって、又は電磁放射線若しくは微粒子放射線を用いて）硬化することによって形成される。メイクコート、サイズコート、スーパーサイズコート、及びスラリーコートに使用するのに適した有用な結合剤前駆体類は、研磨材技術分野では周知であって、例えば、遊離基重合性モノマー及び／又はオリゴマー、エポキシ樹脂類、アクリル樹脂類、ウレタン樹脂類、フェノール樹脂類、尿素ホルムアルデヒド樹脂類、メラミンホルムアルデヒド樹脂類、アミンプラスト樹脂類、シアナート樹脂類、又はこれらの組み合わせが挙げられる。有用な結合剤前駆体類には、熱硬化性樹脂類及び放射線硬化性樹脂類が包含され、これらは、例えば、熱的に硬化する及び／又は放射線に暴露することにより硬化することができる。

当該技術分野において周知のように、触媒類、反応開始剤類、及び／又は硬化剤類を結合剤前駆体類と組み合わせて、典型的には有効量で用いてもよい。

被覆研磨材類に好適な研磨粒子には、例えば、研磨物品類に一般的に使用されるあらゆる既知の研磨材粒子又は研磨材が包含される。被覆研磨材に有用な研磨粒子類の例としては、例えば、溶融酸化アルミニウム、熱処理済みの酸化アルミニウム、白色溶融酸化アルミニウム、黒色炭化ケイ素、緑色炭化ケイ素、二ホウ化チタン、炭化ホウ素、炭化タングステン、炭化チタン、ダイヤモンド、立方晶窒化ホウ素、ザクロ石、溶融アルミナジルコニア、ゾルゲル研磨粒子類、シリカ、酸化鉄、クロミア、セリア、ジルコニア、チタニア、ケイ酸塩類、炭酸金属塩類（例えば、炭酸カルシウム（例えば、チョーク、方解石、泥灰土、トラバーチン、大理石、及び石灰石）、炭酸マグネシウムカルシウム、炭酸ナトリウム、炭酸マグネシウム）、シリカ（例えば、石英、ガラス玉類、ガラス球類、及びガラス繊維類）ケイ酸塩類（例えば、タルク、粘土類、（モンモリロナイト）長石、雲母、ケイ酸カルシウム、メタケイ酸カルシウム、アルミノケイ酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム）、硫酸金属塩（例えば、硫酸カルシウム、硫酸バリウム、硫酸ナトリウム、硫酸ナトリウムアルミニウム、硫酸アルミニウム）、石膏、アルミニウム三水和物、グラファイト、金属酸化物類（例えば、酸化錫、酸化カルシウム）、酸化アルミニウム、二酸化チタン、及び亜硫酸金属塩類（例えば、亜硫酸カルシウム）、金属粒子類（例えば、錫、鉛、銅）、熱可塑性物質（例えば、ポリカーボネート、ポリエーテルイミド、ポリエステル、ポリエチレン、ポリスルホン、ポリスチレン、アクリロニトリル−ブタジエン−スチレンブロックコポリマー、ポリプロピレン、アセタールポリマー類、ポリ塩化ビニル、ポリウレタン類、ナイロン）から形成されるプラスチック研磨粒子類、架橋ポリマー類（例えば、フェノール樹脂類、アミノプラスト樹脂類、ウレタン樹脂類、エポキシ樹脂類、メラミン−ホルムアルデヒド、アクリレート樹脂類、アクリル化イソシアヌレート樹脂類、尿素ホルムアルデヒド樹脂類、イソシアヌレート樹脂類、アクリル化ウレタン樹脂類、アクリル化エポキシ樹脂類）から成形されるプラスチック研磨粒子類、並びにこれらの組み合わせが挙げられる。研磨粒子類はまた、例えば結合剤などの更なる構成成分を包含する粒塊類又は複合体類であってもよい。特定の研磨用途に使用される研磨粒子類を選択する際に使用される基準には、典型的に、研磨寿命、切削率、基板表面の仕上がり、粉砕効率、及び製品原価が包含される。

被覆研磨部材は更に、研磨剤粒子の表面改質添加物類、カップリング剤類、可塑剤類、充填剤類、発泡剤類、繊維類、静電防止剤類、反応開始剤類、懸濁化剤類、光増感剤類、潤滑剤類、湿潤剤類、界面活性剤類、顔料類、染料類、ＵＶ安定剤類、及び懸濁剤類等の任意の添加物類を含んでもよい。これら材料の量は、所望の性質を付与するように選択される。添加物類は更に、結合剤に混入しても、別個のコーティングとして適用されても、粒塊の孔の中に保持されても、又は前記の組み合わせであってもよい。

（例えば、基材の性質に起因して）本来は多孔質でない場合、例えば、機械的穿孔（例えば、打抜き加工）、レーザ穿孔、他のいずれかの好適な技法によって、研磨部材に穿孔を施してもよい。あらゆるパターンの穿孔を使用することができる。穿孔は、例えば、円形又は楕円形、直線、弓状、あるいは幾分複雑な形状であってもよい。多孔質研磨部材の多孔性は、粒子類（例えば、切り屑）を外側の研磨面から第１及び第２濾材へ向かって、それらが発生する速度に匹敵する速度で流させるのに十分でなければならない。

多孔質研磨部材として使用するのに適した市販されている有孔の被覆研磨物品類の例としては、取引表記「ノートン・マルチ−エアー（NORTON MULTI-AIR）」としてドイツ・ヴェッセリング（Wesseling）のサン−ゴバン・アブレシブズ社（Saint-Gobain Abrasives GmbH）から入手可能な材料、及び取引表記「クリーン・サンディング・ディスク（CLEAN SANDING DISC）」としてミネソタ州セント・ポール（Saint Paul）の３Ｍ社（3M Company）から入手可能な被覆研磨ディスク類が挙げられる。

一部の実施形態では、第１及び／又は第２不織布濾材の平均厚さは、少なくとも０．５、１、あるいは少なくとも５ミリメートルであって、１０若しくは１５ミリメートルまでである。他の実施形態では、第１不織布濾材の厚さは、２０ミリメートルまで、あるいは３０ミリメートル以上であってもよい。一部の実施形態では、第１不織布濾材の平均厚さは、約２０ミリメートル未満である。

一部の実施形態では、第１及び／又は第２不織布濾材は、０．０４〜０．５グラム／立方センチメートル（ｇ／ｃｍ^３）の嵩密度を有する。例えば、第１濾材の嵩密度は、０．７５〜０．４ｇ／ｃｍ^３、又は１〜０．３ｇ／ｃｍ^３であってよい。

一部の実施形態では、第１濾材は、第２濾材よりも厚く、所望によりそれよりも密度が小さい。他の実施形態では、第２濾材は、第１濾材よりも厚く、所望によりそれよりも密度が小さい。

研磨物品の第１及び／又は第２濾材は、静電気帯電していてよい。静電気帯電は、粒子と濾材表面との間の誘引力を高めることによって、粒状物を流体の流れから取り除く濾材の能力を増強する。濾材の繊維の近くを通過する非衝突粒子類は、流体の流れから更に容易に引き出され、及び、衝突粒子類は、更に強く付着する。受動的な静電気帯電は、半恒久的又は恒久的な電荷を示す誘電性材料である、エレクトレットによってもたらされる。エレクトレット帯電性の高分子材料としては、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）及びポリプロピレン等の非極性ポリマー類が挙げられる。

誘電性材料を帯電するためには幾つかの方法が用いられ、そのいずれも、研磨物品の濾材を帯電するのに使用することができ、コロナ放電、荷電場の存在下での材料の加熱及び冷却、接触帯電、ウェブへの帯電粒子の噴霧、及び表面への水噴射又は水滴流の衝突が挙げられる。加えて、混合材料を使用することによって、表面の帯電能力を増強してもよい。帯電方法の例は、米国再発行特許第３０，７８２号（ヴァン・ターナウト（van Turnhout）ら）、米国再発行特許第３１，２８５号（ヴァン・ターナウトら）、第５，４９６，５０７号（エンゲージヴァンド（Angadjivand）ら）、第５，４７２，４８１号（ジョーンズ（Jones）ら）、第４，２１５，６８２号（キュービック（Kubik）ら）、第５，０５７，７１０第（ニシウラ（Nishiura）ら）、及び第４，５９２，８１５号（ナカオ（Nakao））、第５，９７６，２０８第（ルソー（Rousseau）ら）に開示されている。

第１及び／第２不織布濾材はそれぞれ、複数の繊維を含む。

一部の実施形態では、第１及び／又は第２不織布濾材は、直径約１００マイクロメートル未満、場合によっては約５０マイクロメートル未満、及び、場合によっては直径約１マイクロメートル未満の繊維寸法を有する材料を含む。

第１及び／又は第２不織布濾材は、混合物やブレンドを包含する多種多様な有機高分子材料から製造することができる。好適な濾材には、市販されている多種多様な材料が包含される。これらとしては、ポリプロピレン、線状低密度ポリエチレン、ポリ−１−ブテン、ポリ（４−メチル−１−ペンテン）、ポリテトラフルオロエチレン、ポリクロロトリフルオロエチレン等のポリオレフィン類；又はポリ塩化ビニル；ポリスチレン等の芳香族ポリアレーン類；ポリカーボネート類；ポリエステル類；及びこれらの混合物（ブレンド又はコポリマーを包含する）が挙げられる。一部の実施形態では、材料には、分岐アルキルラジカルを有しないポリオレフィン類、及びそれらのコポリマーが包含される。更なる実施形態では、材料には、熱可塑性繊維形成物質類（例えば、ポリエチレン、ポリプロピレン、これらのコポリマー等のポリオレフィン類）が包含される。その他の好適な材料としては、ポリ乳酸（ＰＬＡ）等の熱可塑性ポリマー類；セルロース、レーヨン、アクリル、及び変性アクリル（ハロゲン変性アクリル）等の非熱可塑性繊維類；デラウェア州ウィルミントン（Wilmington）のＥ．Ｉ．デュポン・ド・ネモアーズ社（E.I. du Pont de Nemours & Co.）からノーメックス（NOMEX）及びケブラー（KEVLAR）という取引表記で入手可能なもの等のポリアミド繊維若しくはポリイミド繊維；並びに、異なるポリマー類の繊維混合物が挙げられる。

不織布濾材は、例えば、メルトブローン法、スパンボンド法、カーディング法、エアレイイング（乾燥レイイング）法、又は湿式レイイング法を含む従来の不織布技術によってウェブに形成されてよい。ブロー成形されたマイクロファイバーウェブ及びその製造法に関する詳細は、当該技術分野では周知であり、例えば、米国特許第６，１３９，３０８号（ベリガン（Berrigan）ら）及び同第５，４９６，５０７号（エンゲージヴァンド（Angadjivand）ら）に見出すことができる。代表的なメルトブローン成形された不織布濾材としては、例えば、２００６年７月３１日出願の米国特許出願第１１／４６１１３６号（ブランドナー（Brandner）ら）に記載されているような二峰性ブローン成形マイクロファイバー部材が挙げられる。

必要に応じて、不織布濾材は、例えば、熱形成可能な不織布ウェブを熱缶と接触させることによって調製されるように、勾配のついた密度を有する場合がある。

必要に応じて、繊維類又はウェブ類は、例えば、コロナ放電電極類又は高強度電界を用いることを包含する既知の方法によって荷電されてもよい。繊維類は、繊維形成中に、濾材ウェブの中に繊維を形成する前に又はその形成中に、あるいは濾材ウェブの形成後に荷電されてもよい。第２濾材を形成する繊維類は、第１不織布濾材と結合した後で荷電されてもよい。第２不織布濾材は、感圧性接着剤を包含するポリマー結合剤若しくは接着剤でコーティングされた繊維類を含んでいてもよい。

多孔質接合層は、空気を通すことができる。多孔質接合層は、接着剤層、布地、シート材料、成形体、又はこれらの組み合わせを含む場合がある。シート材は、例えば、２つの部分からなる機械的嵌合システムのループ部又はフック部を含むことができる。多孔質接合層は、処理中にそれを保護するために、任意の剥離ライナーの付いた感圧性接着剤層を含む場合もある。

一部の実施形態では、多孔質接合層は、不織布、織布、又は編布ループ材料を含む。このループ材料を用いて、相補的な嵌合構成要素を有するバックアップパッドに研磨物品を固着することもできる。

ループ状の多孔質接合層に適した材料としては、織布及び不織布の両方の材料が挙げられる。織布及び編布の多孔質接合層材料は、フックと嵌合する直立ループを形成するように、その布地構造中に包含されるループ形成性の長繊維類又は織糸を有していてもよい。不織布のループ状接合界面材料は、からみ合う繊維類によって形成されたループを有する場合がある。一部の不織布ループ状接合界面材料では、直立したループ類を形成するように織糸で不織布ウェブにステッチ加工することで、ループが形成される。

ループ状の多孔質接合層として用いるのに適した有用な不織布類としては、例えば、エアレイド類、スパンボンド類、スパンレース類、メルトブローン成形された集成ウェブ類、及びカード加工された集成ウェブが挙げられる。不織布材料は、当業者に既知の様々な方法で結合することができ、例えば、ニードルパンチング、スティッチボンディング、水流交絡、化学接着、熱接着、及びこれらの組み合わせが挙げられる。使用される織布又は不織布材料は、天然繊維類（例えば、木材繊維若しくは綿繊維）、合成繊維類（例えば、ポリエステル繊維若しくはポリプロピレン繊維）、又は天然繊維と合成繊維との組み合わせから作製することができる。一部の実施形態では、多孔質接合層は、ナイロン、ポリエステル、又はポリプロピレンを含む。

一部の実施形態では、その中を通る空気の流れを著しく妨げない開口構造を有するループ状の多孔質接合層が選択される。一部の実施形態では、多孔質接合層材料は、少なくともある程度は、材料の多孔性に基づいて選択される。

一部の実施形態では、多孔質接合層はフック材料を含む。研磨物品に有用なフック材料を形成するのに用いられる材料は、当業者に既知の多種多様な方法のうちの一つで作製されてもよい。多孔質接合層類を作製するのに有用なフック材料を製造するための幾つかの好適なプロセスとしては、例えば、米国特許第５，０５８，２４７号（トーマス（Thomas）ら）、同第４，８９４，０６０号（ネストガード（Nestegard））、同第５，６７９，３０２号（ミラー（Miller）ら）及び同第６，５７９，１６１号（チェスリー（Chesley）ら）に記載の方法が挙げられる。

フック材料は、例えば、米国特許出願公開第２００４／０１７０８０１号（セス（Seth）ら）に記されているポリマー網状材料等の多孔質材料であってよい。別の実施形態では、空気を通すことができるようにフック材料に開口部を設けてもよい。当業者に既知のいずれかの方法を用いて、フック材料に開口部を形成することができる。例えば、開口部は、例えば、ダイ、レーザ、又は当業者に既知の他の穿孔器具を使用してフック材料のシートから切り取られてもよい。別の実施形態では、フック材料を開口部から形成する場合もある。

研磨物品の多孔質接合層は、濾材からの空気の流れを妨げない方式で濾材に固着されている。一部の実施形態では、研磨物品の多孔質接合層は、濾材からの空気の流れを実質上抑止しない方式で濾材に固着されている。多孔質接合層からの空気の流れの量は、シート材料を含む多孔質接合層と濾材との間に接着剤を導入することにより、少なくとも幾分か制限することができる。制限の程度は、例えば、別個の接着領域（例えば、噴霧スプレー又はスターブド（starved）押出ダイ）あるいは個別の接着ライン（例えば、ホットメルト回転スプレー又は模様付きロールコーター）等の非連続的な形式で、多孔質接合層のシート材料と濾材との間に接着剤を適用することによって最小限に抑えることができる。

代表的な有用な接着剤類としては、感圧性接着剤及び非感圧性接着剤の両方が挙げられる。感圧性接着剤類は、室温において通常は粘着性であり、最大でも指で軽く抑えることによって表面に接着することができる一方で、非感圧性接着剤類としては、溶媒、熱、若しくは放射線で活性化する接着システム類が包含される。有用な接着剤類の例としては、ポリアクリレートの一般的な組成に基づくもの；ポリビニルエーテル；天然ゴム、ポリイソプレン、及びポリイソブチレン等のジエン含有ゴム類；ポリクロロプレン；ブチルゴム；ブタジエン−アクリロニトリルポリマー類；熱可塑性エラストマー類；スチレン−イソプレンブロックコポリマー、及びスチレン−イソプレン−スチレンブロックコポリマー、エチレン−プロピレン−ジエンポリマー、及びスチレン−ブタジエンポリマー等のブロックコポリマー類；ポリ（α−オレフィン類）；非晶質ポリオレフィン類；シリコーン；ポリ（エチレン−コ−酢酸ビニル）、ポリ（エチレン−コ−エチルアクリレート）、及びポリ（エチレン−コ−エチルメタアクリレート）等のエチレン含有コポリマー類；ポリウレタン類；ポリアミド類；ポリエステル類；エポキシ類；ポリ（ビニルピロリドン）及びビニルピロリドンコポリマー類；並びに前記の混合物が挙げられる。加えて、接着剤類は、粘着付与剤類、可塑剤類、充填剤類、酸化防止剤類、安定剤類、顔料類、拡散粒子類、硬化剤類、及び溶媒類等の添加物を含有する場合もある。

研磨物品内の様々な層は、例えば、接着剤、感圧性接着剤、ホットメルト接着剤、スプレー接着剤、熱接合、ニードルタッキング、スティッチボンディング、及び超音波接合等の、任意の好適な付着形式を利用して互いに付着されていてよい。一部の実施形態では、例えば、ミネソタ州セント・ポール（St. Paul）の３Ｍ社（3M Company）から入手可能な「３Ｍブランド・スーパー７７接着剤（3M BRAND SUPER 77 ADHESIVE）」等のスプレー接着剤を多孔質研磨材の片側に適用することによって、これらの層を互いに付着させる。他の実施形態では、ホットメルトスプレーガン、若しくは櫛型シムの付いた押出成型機のいずれかを利用して、ホットメルト接着剤を層の片側に適用する。更なる実施形態では、前もって成形された接着剤メッシュを、結合しようとする層の間に配置する。

必要に応じて、接着剤物品の周辺端部に、典型的には周辺端部の（全部ではないが）少なくとも大部分にシールを適用することで、研磨物品によって保持されない粒子類が横方向へ流出するのを軽減又は防止してもよい。シール類の例としては、溶接、テープ、ラテックスコーティング類、コーキング材類、及びシーラント類（例えば、ラテックス又はシリコーン）が挙げられる。

本発明による研磨物品類は、一般には研磨プロセス中に粒子類を回収するのに有用であり、場合によっては、大量の粒子類を速い分配速度で保持することもできる。研磨物品類は、かかる物品類と共に使用するのに適したいずれかの装置類と共に利用するのに適している。その例としては、研磨物品の多孔質接合層及び／又は第２不織布濾材に適用された真空を利用する又は利用しない、無作為の軌道研磨機、二重作用研磨機、及びディスク状研磨機が挙げられる。

いかなる特定の理論にも束縛されることを望まないが、本発明による研磨物品類の場合には、所定の構成要素（例えば、第１不織布濾材）が第２の構成要素（例えば、第２不織布濾材）によって補助され得るように複数の濾材類が作用する場合があり、第２の構成要素は、第１構成要素の故障状態に対処してそれを補い、全体の効率を高く維持し、共に使用される研磨材の性能と適合する程度まで性能を高めることができると考えられる。

したがって、一部の実施形態では、本発明による研磨物品の少なくとも一部（例えば、代表的な穿孔領域）は（未使用状態において）、水０．２〜２０ミリメートルまでの範囲の（下記の）圧力降下測定試験に準拠した圧力降下を示す。例えば、本発明による研磨物品の少なくとも一部は（未使用状態において）、水１〜１５ミリメートルまで、あるいは水４〜１０ミリメートルまでの範囲の圧力降下測定試験に準拠した圧力降下を示す。

圧力降下測定試験は、次のようにして実施する：
研磨物品の厚さにわたる圧力降下は、シリンダー類の長さが垂直方向に向いているように、これらシリンダー類に空気を毎秒５．２センチメートルの面速度で貫流させるように、直列に配備された等しい内径の一対のシリンダーを備える濾材試験装置を用いて求められる。圧力変換器を各シリンダーに搭載することで、シリンダー内の圧力が測定される。上部シリンダーと下部シリンダーの隣接する末端部をそれぞれ研磨物品に密封する。試験すべき研磨物品は、横方向への漏れを防ぐために、その方向と直角に交わりかつ空気の流れの方を向いている研磨物品の外側研磨面を用いてシリンダー間にしっかりと固定する。第１シリンダーと第２シリンダーとの空気圧の差を、研磨物品の圧力降下として記録する。

本明細書中で引用された全ての特許、特許出願、及び公報は、それら全体がそれぞれ個別に組み込まれているかのように参照により組み込まれる。

本発明の利点及び他の実施形態を、以下の実施例によって更に例証するが、これら実施例に列挙される特定の材料及びその量、並びに他の条件及び詳細は、本発明を不当に制限するものと解されるべきではない。

特に記載のない限り、実施例及び以下の明細書中の部、百分率、割合等は全て、重量基準である。

以下の実施例全体を通して、次の省略形を使用する。

手順１：濾材末端部の密封
濾材ディスク１（ＦＭ１）の末端部は、メリーランド州バルチモア（Baltimore）のダップ・プロダクツ社（DAP Products, Inc.）から取引表記「ダップ・アレックス・プラス（DAP ALEX PLUS）」として製造されているシリコン−アクリル・コーキング材製の平滑な連続ビーズを、ディスクの（周囲に隣接する）周辺端部を囲むように適用することによって密封した。コーキング材は、スパチュラによって濾材の末端部に押し込んだ。このコーキング材を少なくとも８時間乾燥させた。この方法で密封したＦＭ１を、ＦＭ３と呼ぶ。

手順２：転写テープの研磨材への積層及びレーザ穿孔
研磨材シート１（ＡＭ１）を、取引表記「３Ｍ ９６４ １３ミル転写テープ（13 MIL TRANSFER TAPE）」として３Ｍ社（3M Company）から入手可能な同様の寸法の両面転写テープのシートに以下の手順で積層した。テープの片側のライナーを取り除いて、このテープの露出した粘着性感圧性接着剤に外側研磨面とは反対側のＡＭ１シートの面を手で積層した。積層された研磨材に、図４に示したパターン４００に従ってレーザ穿孔を施した。レーザ穿孔した直径１２．７ｃｍ（５インチ）のディスクに切り取られたこの層状構造体を、ＡＭ２と呼ぶ。

手順３：濾材又は研磨材とＡＴ１との接合
３Ｍ社（3M Company）から取引表記「スーパー７７スプレー接着剤（SUPER 77 SPRAY ADHESIVE）」として市販されている感圧性接着剤を、約１５．２ｃｍ（６インチ）平方のＡＴ１シートのループ状でない面に適用して、摂氏２５度で約３０秒間乾燥させた。接着剤の乾燥重量は、約１２ミリグラム／平方センチメートル（ｍｇ／ｃｍ^２）であった。濾材ＦＭ１、ＦＭ２、若しくはＦＭ３、又は研磨材ＡＭ５若しくはＡＭ６の円形の表面を、ＡＴ１の接着剤コーティングした面に積層した。構造体の末端部から突き出た余剰のＡＴ１材料を挟みで切り取ることによって取り除き、円形のほぼ同一の広がりを持つ多層構造体を作製した。

手順４：濾材とＡＭ２との接合
転写テープＡＭ２のライナーを剥がして、このテープの粘着性の感圧性接着剤を露出させた。ＡＭ２の層と濾材の層とがほぼ同一の広がりを持つように、適切な円形の濾材ディスク（ＦＭ１若しくはＦＭ３）をこの接着剤と位置合わせして手で積層した。

場合によっては、ＦＭ１とＦＭ３は、以下に記すようにＦＭ２のディスクに予め積層しておいた。この場合、ＦＭ１若しくはＦＭ３の露出した円形の表面（すなわち、ＦＭ２と接合する面とは反対側の面）を、ＡＭ２に積層した。

ＡＭ２をＦＭ４／ＦＭ５ニードルタッキング加工した濾材と接合する場合、ＡＭ２をＦＭ４の露出した円形の表面に接合することで、ほぼ同一の広がりを持つ層が形成される。

手順５：ＦＭ１若しくはＦＭ３とＦＭ２との接合
３Ｍ社（3M Company）から取引表記「スーパー７７スプレー接着剤（SUPER 77 SPRAY ADHESIVE）」として市販されている感圧性接着剤を、濾材ＦＭ１若しくはＦＭ３の円形の表面及びＦＭ２の円形の表面に適用して、摂氏２５度で約３０秒間乾燥させた。接着剤の乾燥重量は、約１２ミリグラム／平方センチメートル（ｍｇ／ｃｍ^２）であった。次に、２種の接着剤コーティングされた円形表面類を互いに位置合わせして積層した。構造体を乾燥させて、ほぼ同一の広がりを持つ２層構造体を作製した。

手順６：ＦＭ４の製造
ＦＭ４は、ＦＩＢ１とＦＩＢ２との重量比９０／１０のブレンドから作製した。このブレンドの坪量は約１５５グレイン／６４８ｇ／ｍ^２（２４平方インチ）、厚さは約１２．７ｃｍ（５インチ）であった。エアレイド・ウェブ形成機である、ニューヨーク州マケドン（Macedon）のランド・マシーン社（Rando Machine Corporation）から入手可能な取引表記「ランド・ウェバー（RANDO WEBBER）」を利用し、常套の条件を用いて、前記繊維ブレンドからＦＭ４を形成した。

手順７：ＦＭ４とＦＭ５との接合
手順６のランド・ウェバー（RANDO WEBBER）から出たところで、ＦＭ４をＦＭ５の上に載せて、これら２つの層を、イタリア・ミラノ（Milan）のＳＴＰインピアンチＳｐａ（STP Impianti Spa）から入手可能な取引表記「オートマテックス（AUTOMATEX）」ニードルタッカー（needle tacker）に１．５２ｍ／分の速度で通過させることで互いに接着させた。このニードルタッカーの速度は、０．０１８５ｍ^２／ｓ（１８５ストローク）／分であって、１５ｍｍ上方から貫通させて、パンチ密度は８．４パンチ／ｃｍ^２であった。針は、タイプＦ２０ ９−３７−９Ｋ １５×２０×２．５であり、ウィスコンシン州マニトウォック（Manitowoc）のフォスター・ニードル社（Manitowoc）から入手可能なものであった。ニードルタッキング加工したＦＭ５／ＦＭ６濾材の最終坪量は約８５５ｇ／ｍｍ^２であり、厚さは約５．２ｍであった。組み合わされた不織布構造体を、対流式オーブンに摂氏１２９度で２分間通過させることで、ＦＩＢ１が構造全体と互いに接合された。仕上がった構造体を摂氏２５度まで冷却させた。

上記手順を用いて、表１、表２、及び表３に示すような様々な多層研磨濾材ディスクを調製した。反復実施例（すなわち、同じ構造の複製）は、数字の後に続く文字で表す（例えば、実施例１ａ、実施例１ｂ、及び実施例１ｃ）。複製比較例は、文字の後に続く数字で表す（例えば、比較例Ａ１、比較例Ａ２、及び比較例Ａ３）。一部の濾材の様々な特性を表４に記す。

いずれかの特定の具体例に関し、前記表中で互いに隣接している構成要素類（例えば、多孔質研磨部材、濾材、及び多孔質接合層）は、実際の研磨物品類内でも互いに隣接している。所望の最終構造が得られるのであれば、層を互いに組み合わせて多層研磨ディスクを形成する加工順序は、多くの場合、特に重要ではないことが当業者には自明であろう。

更に、多層研磨濾材ディスクの構造内で２つ以上の異なる濾材を用いる場合、これら濾材を研磨材に対して配置する順序が研磨物品の性能に影響を与える場合があることにも気付くであろう。この点で、異なる濾材は、多層構造体内では互換性がない場合がある。これには、そのろ過能力に勾配が付いた単一の濾材を利用する状況も包含される（例えば、それは、ろ過すべき粒子類の貫流方向では実質上不均質である）。

試験方法
研磨試験法１
直径１２．７センチメートル（５．０インチ）の研磨ディスクを秤量し、次に、取引表記「３Ｍフッキット・バックアップ・パッド（3M HOOKIT BACKUP PAD）、＃２０２０６」として３Ｍ社（3M Company）から入手可能な、４０穴の直径１２．７ｃｍ（５．０インチ）×厚さ０．９５ｃｍ（３／８インチ）の発泡体裏打ちパッドに接合した。この裏打ちパッドとディスクアセンブリを、その後、ニューヨーク州クラレンス（Clarence）のダイナブレード社（Dynabrade Corp.）から入手した、直径１２．７ｃｍ（５インチ）の中程度の仕上げ用の二重作用軌道研磨機、モデル２１０３３に取り付けた。このディスクの研磨面を、ミネソタ州ホワイト・ベア・レイク（White Bear Lake）のホワイト・ベア・ボート・ワークス（White Bear Boat Works）から入手した、予め秤量した４６ｃｍ×７６ｃｍ（１８インチ×３０インチ）のゲルコーティングしたファイバーグラス強化プラスチックパネルと手動で接触させた。この研磨機は、６２０ｋＰａ（９０ｐｓｉ）のエアライン圧及び４４Ｎ（１０重量ポンド）の下向きの力で、各サイクル７５秒で２サイクル運転させた。ワークピースの表面に対して０度の角度を使用した。全長が合わせて１２．８メートル（５０４インチ）の、毎秒１７ｃｍ（毎秒６．７インチ）の工具速度で、同じ場所を横断方向に２４回パスすることからなる各サイクルにパネル表面にわたって通過させることで、均一な研磨面の試験パネルとなる。１回目の研磨サイクルの後で、試験パネルは、研磨したパネルの最上面全域に圧縮空気を吹き付けて清掃することで、目に見える粉塵を除去した。ディスクを裏打ちパッドから外して、パネルとディスクの両方を秤量した。研磨材を裏打ちパッドに再度取り付けて、同じ試験パネルを用いて７５秒の研磨サイクルを繰り返した。試験パネルは再度、研磨したパネルの最上面全域に圧縮空気を吹き付けることにより清掃され、目に見える粉塵を除去した。研磨ディスクを裏打ちパッドから外して、パネルと研磨ディスクの両方を秤量した。報告されたデータは、２回目の研磨サイクル後のものであって、累積研磨時間は１５０秒である。

以下の測定値は、この方法で試験した各試料について得たものであって、前述の表１及び表２中の実施例一つにつき２つの試験試料の平均として報告した：
「切削量」：プラスチックパネルから除去された重量（グラム）；
「保持量」：サンプルディスク内で回収された粒子類の重量（グラム）；及び
「ＤＥ％」：保持量／切削量の比に１００を乗じたもの。

研磨試験法２
１２．７ｃｍ（５．０インチ）研磨濾材ディスクを秤量し、裏打ちパッドに接合した後、研磨試験法１の記載と同様にしてディスク／パッドアセンブリを軌道研磨機に取り付けた。ディスクの研磨面を、ミネソタ州ホワイト・ベア・レイク（White Bear Lake）のホワイト・ベア・ボート・ワークス（White Bear Boat Works）から入手した、予め秤量した４５．７ｃｍ×７６．２ｃｍ（１８インチ×３０インチ）のゲルコーティングしたファイバーグラス強化プラスチックパネルに手動で接触させた。研磨機は、６２０ｋＰａ（９０ｐｓｉ）のエアライン圧で、各サイクル２５秒で６サイクル運転させた。ワークピースの表面に対して０度の角度を使用した。最初の３サイクルの後に、試験パネルは、研磨したパネルの最上面全域に圧縮空気を吹き付けることにより清掃され、目に見える粉塵を除去した。ディスクを裏打ちパッドから外して、パネルとディスクの両方を秤量した。研磨材を裏打ちパッドに再度取り付けて、同じ試験パネルを用いて最後の３回の研磨サイクルを行った。試験パネルは再度、研磨したパネルの最上面全域に圧縮空気を吹き付けることにより清掃され、目に見える粉塵を除去した。研磨ディスクを裏打ちパッドから外して、パネルと研磨ディスクの両方を秤量した。報告されたデータは、６回目の研磨サイクル後のものであって、累積研磨時間は１５０秒であった。

以下の測定値は、この方法で試験した各試料について得たものであって、前述の表１及び表２中の実施例一つにつき２つの試験試料の平均として報告した：
「切削量」：プラスチックパネルから除去された重量（グラム）；
「保持量」：サンプルディスク内で回収された粒子類の重量（グラム）；及び
「ＤＥ％」：保持量／切削量の比に１００を乗じたもの。

表面仕上げ測定試験法
研磨した試験パネル類のもたらされた表面粗さを、取引表記「パートメーター・モデル（PERTHOMETER MODEL）Ｍ４Ｐ−１３０５８９」としてオハイオ州シンシナティ（Cincinnati）のマール社（Mahr Corporation）から入手可能な表面仕上げ試験装置を用いて求めた。表面仕上げ値は、１５０秒の研磨試験が終わる毎に、試験パネルの研磨部位３箇所で測定した。Ｒｚ（Ｒｔｍとしても知られる）は、最大ピーク対谷部の値の平均であって、測定毎に記録した。

改善された圧力降下測定試験
本明細書における圧力降下測定試験を、内径１１．４ｃｍ（４．５インチ）のシリンダー一対を備えたろ過試験装置を用い、毎秒３２リットルの気流量で行った。圧力変換器は、マサチューセッツ州ウィルミントン（Wilmington）のＭＫＳインストルメンツ（MKS Instruments）から取引表記「ＭＫＳバラトロン圧力変換器（MKS BARATRON PRESSURE TRANSDUCER）、３９８ＨＤ−０００１０ＳＰ１２」として入手した（１．３３ｋＰａ（１０ｔｏｒｒ）限界）。

研磨試験１は、表１に作成したデータに対応する研磨手順として利用した。研磨試験２は、表２に作成したデータに対応する研磨手順として利用した。

改善された圧力降下試験測定は全ての実施例では行われなかった。表１及び２に報告した特定の実施例についての改善された圧力降下試験を、追加の比較例に関するデータと併せて表３に報告する。

改善された圧力降下試験測定は、表３に示したものを除き、研磨試験法１又は研磨試験法２によってあらゆる研磨を行う前の研磨物品において行われた。

実施例１ｂ、２ｂ、３ｂ、４ｂ、及び比較例Ａ２はいずれも、同様のゲルコーティングされたファイバーグラス強化プラスチックパネルを用いて行った。実施例６、７、及び比較例Ａ３はいずれも、同様のゲルコーティングされたファイバーグラス強化プラスチックパネルだが前記の実施例及び比較例とは別のパネルを用いて行った。実施例５及び比較例Ａ４は、更に別のパネルで行った。多種多様なパネルによって、様々な切削量測定値が導かれる可能性がある。

^＊ （上記）表３中の実施例１ｂ及び３ｂは、研磨試験法２の終了後に測定した。

本発明の様々な変更例及び代替物は、本発明の範囲及び趣旨から逸脱することなく当業者により行われてもよいが、本発明は、本明細書で説明された具体的実施形態に不当に限定されないことを理解すべきである。

Claims (61)

1. 研磨物品であって、
   基材の第１表面と隣接して固着された研磨材層を含む多孔質研磨部材であって、前記研磨材層が、少なくとも１つの結合剤によって前記基材の前記第１表面に固着された複数の研磨粒子を含み、前記研磨材層が外側の研磨面を有しており、前記基材が、当該基材の前記第１表面とは反対側に第２表面を有しており、及び複数の開口部が、前記外側の研磨面から前記基材の前記第２表面にまで及んでいる、多孔質研磨部材と、
   第１表面と前記第１表面とは反対側の第２表面とを有する第１不織布濾材であって、前記第１不織布濾材の前記第１表面が、前記基材の前記第２表面と隣接して固着されており、及び前記第１不織布濾材が複数の繊維を含む、第１不織布濾材と、
   第１表面と前記第１表面とは反対側の第２表面とを有する第２不織布濾材であって、前記第２不織布濾材の第１表面が、前記第１不織布濾材の前記第２表面と隣接して固着されており、及び前記第２不織布濾材が複数の繊維を含む、第２不織布濾材と、を備え、
   前記複数の開口部が前記第１不織布濾材と協働することで、前記外側の研磨面から前記第２不織布濾材に向かう前記粒子の流れを生じさせ、及び未使用状態において、研磨物品の少なくとも一部が、水０．２〜２０ミリリットルまでの範囲の圧力降下測定試験に準拠する圧力降下を示す、研磨物品。
2. 前記多孔質研磨部材が、有孔の被覆研磨材を含む、請求項１に記載の研磨物品。
3. 前記多孔質研磨部材が、スクリーン研磨材を含む、請求項１に記載の研磨物品。
4. 前記第２不織布濾材の前記第２表面と隣接して固着された多孔質接合層を更に含む、請求項１に記載の研磨物品。
5. 前記多孔質接合層が、２つの部分からなる機械的係合システムのループ部又はフック部を含む、請求項４に記載の研磨物品。
6. 前記第１不織布濾材と前記第２不織布濾材と前記多孔質接合層が、ニードルタッキング又はスティッチボンドによって互いに固着されている、請求項４に記載の研磨物品。
7. 前記第１不織布濾材と前記第２不織布濾材が、ニードルタッキング又はスティッチボンドによって互いに固着されている、請求項１に記載の研磨物品。
8. 前記第１不織布濾材が、接着剤によって前記第２不織布濾材に固着されている、請求項１に記載の研磨物品。
9. 前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、その主要部分に沿って密封された周辺端部を有している、請求項１に記載の研磨物品。
10. 前記第１不織布濾材が、ポリプロピレン繊維類、ポリエステル繊維類、ナイロン繊維類、及びこれらの混合物からなる群より選択される合成繊維を含む、請求項１に記載の研磨物品。
11. 前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、ブロー成形されたマイクロファイバーウェブを含む、請求項１に記載の研磨物品。
12. 前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、エレクトレット電荷を含む、請求項１に記載の研磨物品。
13. 前記基材が、金属箔、紙、布地、及びプラスチックフィルムからなる群より選択される、請求項１に記載の研磨物品。
14. 前記研磨物品が、研磨ディスクを含む、請求項１に記載の研磨物品。
15. ワークピース表面の研磨方法であって、前記表面を請求項１に記載の研磨物品に接触させる工程と、前記研磨物品と前記表面とを相対的に動かして前記表面を機械変性する工程と、を含む、研磨方法。
16. 研磨物品の製造方法であって、
    基材の第１表面と隣接して固着された研磨材層を含む多孔質研磨部材を提供する工程であって、前記研磨材層が、少なくとも１つの結合剤によって前記基材の前記第１表面に固着された複数の研磨粒子を含み、前記研磨材層が外側の研磨面を有しており、前記基材が、当該基材の前記第１表面とは反対側に第２表面を有しており、及び複数の開口部が、前記外側の研磨面から前記基材の前記第２表面にまで及んでいる、工程と、
    第１不織布濾材を提供する工程であって、前記第１不織布濾材が第１表面と前記第１表面とは反対側の第２表面とを有しており、前記第１不織布濾材が複数の繊維を含んでおり、及び前記第１不織布濾材の前記第１表面が、前記基材の前記第２表面と隣接している、工程と、
    第２不織布濾材を提供する工程であって、前記第２不織布濾材が、第１表面と前記第１表面とは反対側の第２表面とを有しており、前記第２不織布濾材が複数の繊維を含んでおり、及び前記第２不織布濾材の前記第１表面が、前記第１不織布濾材の前記第２表面と隣接している、工程と、
    前記第１不織布濾材を前記基材の前記第２表面に固着させる工程と、
    前記第２不織布濾材を前記第１不織布濾材に固着させる工程と、を含み、
    前記複数の開口部が前記第１不織布濾材と協働することで、前記外側の研磨面から前記第２不織布濾材に向かう前記粒子の流れを生じさせ、及び未使用状態において、前記研磨物品の少なくとも一部が、水０．２〜２０ミリリットルまでの範囲の圧力降下測定試験に準拠する圧力降下を示す、製造方法。
17. 前記多孔質研磨部材が、有孔の被覆研磨材を含む、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
18. 前記多孔質研磨部材が、スクリーン研磨剤を含む、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
19. 前記方法が、前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方の周辺端部の大部分を密封する工程を更に含む、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
20. 前記第２不織布濾材に多孔質接合層を固着させる工程を更に含む、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
21. 前記多孔質接合層が、２つの部分からなる機械的係合システムのループ部又はフック部を含む、請求項２０に記載の研磨物品の製造方法。
22. 前記第１不織布濾材と前記第２不織布濾材と前記多孔質接合層とを、ニードルタッキング又はスティッチボンドによって互いに固着させる、請求項２０に記載の研磨物品の製造方法。
23. 前記第１不織布濾材と前記第２不織布濾材とを、ニードルタッキング又はスティッチボンドによって互いに固着させる、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
24. 前記多孔質研磨部材を、接着剤によって前記第１不織布濾材に固着させる、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
25. 前記第１不織布濾材を、接着剤によって前記第２不織布濾材に固着させる、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
26. 前記第１不織布濾材と前記第２不織布濾材とが、ポリプロピレン繊維、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、及びこれらの混合物からなる群より選択される合成繊維を含む、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
27. 前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、ブロー成形されたマイクロファイバーウェブを含む、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
28. 前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、エレクトレット電荷を含む、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
29. 前記基材が、金属箔、紙、布地、及びプラスチックフィルムからなる群より選択される、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
30. 前記研磨物品が、研磨ディスクを含む、請求項１６に記載の研磨物品の製造方法。
31. 研磨物品であって、
    基材の第１表面と隣接して固着された研磨材層を含む多孔質研磨部材であって、前記研磨材層が、少なくとも１つの結合剤によって前記基材の前記第１表面に固着された複数の研磨粒子を含み、前記研磨材層が外側の研磨面を有しており、前記基材が、当該基材の前記第１表面とは反対側に第２表面を有しており、及び複数の開口部が、前記外側の研磨面から前記基材の前記第２表面にまで及んでいる、多孔質研磨部材と、
    第１表面と前記第１表面とは反対側の第２表面とを有する第１不織布濾材であって、前記第１不織布濾材の前記第１表面が、前記基材の前記第２表面と隣接して固着されており、前記第１不織布濾材が複数の繊維を含み、及び前記第１不織布濾材が、厚さ１〜２５ミリメートル及び嵩密度０．０４〜０．５グラム／立方センチメートルを有する、第１不織布濾材と、
    第１表面と前記第１表面とは反対側の第２表面とを有する第２不織布濾材であって、前記第２不織布濾材の第１表面が、前記第１不織布濾材の前記第２表面と隣接して固着されており、前記第２不織布濾材が複数の繊維を含み、及び前記第２不織布濾材が、厚さ０．５〜１５ミリメートル及び嵩密度０．０４〜０．５グラム／立方センチメートルを有する、第２不織布濾材と、を備え、
    前記複数の開口部が前記第１不織布濾材と協働することで、前記外側の研磨面から前記第２不織布濾材に向かう前記粒子の流れを生じさせる、研磨物品。
32. 前記多孔質研磨部材が、有孔の被覆研磨材を含む、請求項３１に記載の研磨物品。
33. 前記多孔質研磨部材が、スクリーン研磨材を含む、請求項３１に記載の研磨物品。
34. 前記第２不織布濾材の前記第２表面と隣接して固着した多孔質接合層を更に含む、請求項３１に記載の研磨物品。
35. 前記多孔質接合層が、２つの部分からなる機械的係合システムのループ部又はフック部を含む、請求項３４に記載の研磨物品。
36. 前記第１不織布濾材と前記第２不織布濾材と前記多孔質接合層とが、ニードルタッキング又はスティッチボンドによって互いに固着されている、請求項３４に記載の研磨物品。
37. 前記第１不織布濾材と前記第２不織布濾材とが、ニードルタッキング又はスティッチボンドによって互いに固着されている、請求項３１に記載の研磨物品。
38. 前記多孔質研磨部材が、接着剤によって前記第１不織布濾材に固着されている、請求項３１に記載の研磨物品。
39. 前記第１不織布濾材が、接着剤によって前記第２不織布濾材に固着されている、請求項３１に記載の研磨物品。
40. 前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、その大部分に沿って密封された周辺端部を有する、請求項３１に記載の研磨物品。
41. 前記第１不織布濾材と前記第２不織布濾材とが、ポリプロピレン繊維、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、及びこれらの混合物からなる群より選択される合成繊維を含む、請求項３１に記載の研磨物品。
42. 前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、ブロー成形されたマイクロファイバーウェブを含む、請求項３１に記載の研磨物品。
43. 前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、エレクトレット電荷を含む、請求項３１に記載の研磨物品。
44. 前記基材が、金属箔、紙、布地、及びプラスチックフィルムからなる群より選択される、請求項３１に記載の研磨物品。
45. 前記研磨物品が、研磨ディスクを含む、請求項３１に記載の研磨物品。
46. ワークピース表面の研磨方法であって、前記表面を請求項３１に記載の研磨物品に接触させる工程と、前記研磨物品と前記表面とを相対的に動かして前記表面を機械変性する工程と、を含む、研磨方法。
47. 研磨物品の製造方法であって、
    基材の第１表面と隣接して固着された研磨材層を含む多孔質研磨部材を提供する工程であって、前記研磨材層が、少なくとも１つの結合剤によって前記基材の前記第１表面に固着された複数の研磨粒子を含み、前記研磨材層が外側の研磨面を有しており、前記基材が、当該基材の前記第１表面とは反対側に第２表面を有しており、複数の開口部が、前記外側の研磨面から前記基材の前記第２表面にまで及んでいる、工程と、
    第１表面と前記第１表面とは反対側の第２表面とを有する第１不織布濾材を提供する工程であって、前記第１不織布濾材の前記第１表面が、前記基材の前記第２表面と隣接しており、前記第１不織布濾材が複数の繊維を含んでおり、前記第２不織布濾材が、厚さ０．５〜１５ミリメートル及び嵩密度０．０４〜０．５グラム／立方センチメートルを有する、工程と、
    第１表面と前記第１表面とは反対側の第２表面とを有する第２不織布濾材を提供する工程であって、前記第２不織布濾材の前記第１表面が、前記第１不織布濾材の前記第２表面と隣接しており、前記第２不織布濾材が複数の繊維を含んでおり、前記第２不織布濾材が、厚さ０．５〜１５ミリメートル及び嵩密度０．０４〜０．５グラム／立方センチメートルを有する、工程と、
    前記第１不織布濾材を前記基材の前記第２表面に固着させる工程と、
    前記第２不織布濾材を前記第１不織布濾材に固着させる工程と、を含み、
    前記複数の開口部が前記第１不織布濾材と協働することで、前記外側の研磨面から前記第２不織布濾材に向かう前記粒子の流れを生じさせる、製造方法。
48. 前記多孔質研磨部材が、有孔の被覆研磨材を含む、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
49. 前記多孔質研磨部材が、スクリーン研磨材を含む、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
50. 前記方法が、前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方の周辺端部の大部分を密封する工程を更に含む、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
51. 前記第２不織布濾材に多孔質接合層を固着する工程を更に含む、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
52. 前記多孔質接合層が、２つの部分からなる機械的係合システムのループ部又はフック部を含む、請求項５１に記載の研磨物品の製造方法。
53. 前記第１不織布濾材と、前記第２不織布濾材と、前記多孔質接合層とが、ニードルタッキング又はスティッチボンドによって互いに固着される、請求項５１に記載の研磨物品の製造方法。
54. 前記第１不織布濾材と前記第２不織布濾材とを、ニードルタッキング又はスティッチボンドによって互いに固着させる、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
55. 前記多孔質研磨部材を、接着剤によって第１不織布濾材に固着させる、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
56. 前記第１不織布濾材を、接着剤によって前記第２不織布濾材に固着させる、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
57. 前記第１不織布濾材と前記第２不織布濾材とが、ポリプロピレン繊維、ポリエステル繊維、ナイロン繊維、及びこれらの混合物からなる群より選択される合成繊維を含む、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
58. 前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、ブロー成形されたマイクロファイバーウェブを含む、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
59. 前記第１不織布濾材又は前記第２不織布濾材のうち少なくとも一方が、エレクトレット電荷を含む、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
60. 前記基材が、金属箔、紙、布地、及びプラスチックフィルムからなる群より選択される、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。
61. 前記研磨物品が、研磨ディスクを含む、請求項４７に記載の研磨物品の製造方法。

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