JP2010518234A - ヘテロ元素を含むシロキサン化合物およびポリマー - Google Patents
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Abstract
Description
例えば、シロキサンポリマーにジメチルゲルモキサン単位を導入することによって、酸および塩基加水分解に対する溶解挙動が変更されたポリマーが生産される可能性が生じる。溶解挙動の改変によって、ゲルマノシロキサンポリマーの環境運命に関する利点を提供することができる。Si−O−Ge架橋は、酸性媒体中および塩基性媒体中の両方において、Si−O−Si架橋よりも迅速に加水分解される。結果として、シロキサンポリマー中のMe2Ge−O−Si架橋は、少量でも分解速度を高めることができる。
式A:
式B:
(R2)4−aGe(X4)a
式中R2は、水素原子、C1〜3アルキル基、または、C6〜15アリール基であり;X4は、C1〜10アルコキシ基、または、ハロゲン原子であり;および、aは、1〜4の整数である。このアプローチの目的は、ゲルマニウムを用いない方法と比較して、元々の電子特性(誘電率)を変更させることなく改変されたケイ素ポリマーで作製されたフィルムの機械特性を改善する手段を開発することである。低密度、低い誘電率のシロキサンポリマーフィルムが得られている。
−(R1R2GeO)n(R3R4SiO)m−
式中R1〜R4は、同一または異なって、アルキル、アルケニルおよび官能化したアルキル、ならびに、アルケニルラジカル、例えばビニルおよびシアノアルキルラジカル(例えばシアノプロピル)であり、nまたはmは正の整数であり、ここでn+mは3より大きく、n/(n+m)は0.01〜0.60の範囲である。
(R1R2SiO)n(R3R4GeO)m 式I
式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、以下の基:(A)C1〜C10ヒドロカルビル基、または、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、または、水素から選択される。R1、R2、R3およびR4で示されるC1〜C10ヒドロカルビル基、および、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基は、より典型的には、1〜6個の炭素原子を有する。少なくとも3個の炭素原子を含む非環式ヒドロカルビル、および、ハロゲンで置換されたヒドロカルビル基は、分枝状または非分岐状の構造を有していてもよい。R1、R2、R3およびR4で示されるヒドロカルビル基の例としては、これらに限定されないが、アルキル基、例えばメチル、エチル、プロピル、1−メチルエチル、ブチル、1−メチルプロピル、2−メチルプロピル、1,1−ジメチルエチル、ペンチル、1−メチルブチル、1−エチルプロピル、2−メチルブチル、3−メチルブチル、1,2−ジメチルプロピル、2,2−ジメチルプロピル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、および、デシル;シクロアルキル基、例えばシクロペンチル、シクロヘキシル、および、メチルシクロヘキシル;アリール基、例えばフェニル、および、ナフチル;アルカリール基、例えばトリル、および、キシリル;ならびに、アラルキル基、例えばベンジル、および、フェネチルが挙げられる。R1、R2、R3およびR4で示されるハロゲンで置換されたヒドロカルビル基の例としては、これらに限定されないが、3,3,3−トリフルオロプロピル、3−クロロプロピル、クロロフェニル、ジクロロフェニル、2,2,2−トリフルオロエチル、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル、および、2,2,3,3,4,4,5,5−オクタフルオロペンチルが挙げられ;および、(B)アルケニル基(これは、シリコーン樹脂内で同一でもよいし、または異なっていてもよい)は、典型的には、2〜約10個の炭素原子、あるいは、2〜6個の炭素原子を有し、例として、これらに限定されないが、ビニル、アリル、ブテニル、ヘキセニル、および、オクテニルが挙げられる。下付き文字mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1である。
R5R6R7ZO−(R1R2SiO)m(R3R4GeO)n−ZR5R6R7 式II
式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、以下の基:(A)C1〜C10ヒドロカルビル基、または、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、または、水素から選択される。R1、R2、R3およびR4で示されるC1〜C10ヒドロカルビル基、および、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基は、より典型的には、1〜6個の炭素原子を有する。少なくとも3個の炭素原子を含む非環式ヒドロカルビル、および、ハロゲンで置換されたヒドロカルビル基は、分枝状または非分岐状の構造を有していてもよい。R1、R2、R3およびR4で示されるヒドロカルビル基の例としては、これらに限定されないが、アルキル基、例えばメチル、エチル、プロピル、1−メチルエチル、ブチル、1−メチルプロピル、2−メチルプロピル、1,1−ジメチルエチル、ペンチル、1−メチルブチル、1−エチルプロピル、2−メチルブチル、3−メチルブチル、1,2−ジメチルプロピル、2,2−ジメチルプロピル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、および、デシル;シクロアルキル基、例えばシクロペンチル、シクロヘキシル、および、メチルシクロヘキシル;アリール基、例えばフェニル、および、ナフチル;アルカリール基、例えばトリル、および、キシリル;ならびに、アラルキル基、例えばベンジル、および、フェネチルが挙げられる。R1、R2、R3およびR4で示されるハロゲンで置換されたヒドロカルビル基の例としては、これらに限定されないが、3,3,3−トリフルオロプロピル、3−クロロプロピル、クロロフェニル、ジクロロフェニル、2,2,2−トリフルオロエチル、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル、および、2,2,3,3,4,4,5,5−オクタフルオロペンチルが挙げられ;および、(B)アルケニル基(これは、シリコーン樹脂内で同一でもよいし、または異なっていてもよい)は、典型的には、2〜約10個の炭素原子、あるいは、2〜6個の炭素原子を有し、例として、これらに限定されないが、ビニル、アリル、ブテニル、ヘキセニル、および、オクテニルが挙げられ;R5、R6、R7は、独立して、R1、R2、R3およびR4から選択され、さらに、水酸化物基を含んでいてもよい;および、Zは、独立して、SiまたはGeから選択される。
直鎖状のゲルマノシロキサンポリマーは、開環重合のような有機ケイ素化学においてよく知られている方法に類似した方法を用いて製造することができる。この方法によれば、例えば上記式Iで説明されているものような環状のゲルマノシロキサンポリマーは、これらに限定されないが、酸性もしくは塩基性触媒、または、酸もしくは塩基の塩などの適切な触媒の使用によって開環を受けるように作成することができる。酸触媒としては、これらに限定されないが、アレニウスタイプ(プロトン供与体)、例えば硫酸(H2SO4)、または、酢酸(CH3COOH)、または、トリフルオロ酢酸(CF3COOH)、または、ルイスタイプの酸(電子受容体)、例えば塩化第二鉄(FeCl3)、または、塩化アルミニウム(AlCl3)が挙げられる。これらは、ホモジニアスに作用させてもよいし、または、ヘテロジニアスに作用させてもよい。式IIで示されるゲルマノシロキサンポリマーの形成において有用なヘテロジニアスな酸の例は、アルミノケイ酸塩粘土であり、例えばベントナイト粘土である。塩基性触媒の例としては、これらに限定されないが、アミン、例えばアンモニア(NH3)、または、メチルアミン(CH3NH2)、ホスフィン、および、アルカリ金属、および、アルカリ土類の水酸化物、例えばKOHまたはCsOHが挙げられる。塩触媒の例としては、これらに限定されないが、シラノレート、例えばカリウムシラノレート、酢酸塩、例えば酢酸ナトリウム、または、アンモニウム、または、ホスホニウム塩、例えば塩化テトラブチルアンモニウム、または、臭化テトラエチルホスホニウムなどが挙げられる。当業者であれば認識しているであろうが、これらの例は、本方法の範囲を限定することを目的としておらず、開環重合反応を実施するためにそれよりもかなり多くの種類の触媒が使用可能である。
−(R1R2Ge−O)n−(R3R4Si−O)m− 式III
式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、以下の基:(A)C1〜C10ヒドロカルビル基、または、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、または、水素から選択される。R1、R2、R3およびR4で示されるC1〜C10ヒドロカルビル基、および、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基は、より典型的には、1〜6個の炭素原子を有する。少なくとも3個の炭素原子を含む非環式ヒドロカルビル、および、ハロゲンで置換されたヒドロカルビル基は、分枝状または非分岐状の構造を有していてもよい。R1、R2、R3およびR4で示されるヒドロカルビル基の例としては、これらに限定されないが、アルキル基、例えばメチル、エチル、プロピル、1−メチルエチル、ブチル、1−メチルプロピル、2−メチルプロピル、1,1−ジメチルエチル、ペンチル、1−メチルブチル、1−エチルプロピル、2−メチルブチル、3−メチルブチル、1,2−ジメチルプロピル、2,2−ジメチルプロピル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、および、デシル;シクロアルキル基、例えばシクロペンチル、シクロヘキシル、および、メチルシクロヘキシル;アリール基、例えばフェニル、および、ナフチル;アルカリール基、例えばトリル、および、キシリル;ならびに、アラルキル基、例えばベンジル、および、フェネチルが挙げられる。R1、R2、R3およびR4で示されるハロゲンで置換されたヒドロカルビル基の例としては、これらに限定されないが、3,3,3−トリフルオロプロピル、3−クロロプロピル、クロロフェニル、ジクロロフェニル、2,2,2−トリフルオロエチル、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル、および、2,2,3,3,4,4,5,5−オクタフルオロペンチルが挙げられ;および、(B)アルケニル基(これは、シリコーン樹脂内で同一でもよいし、または異なっていてもよい)は、典型的には、2〜約10個の炭素原子、あるいは、2〜6個の炭素原子を有し、例として、これらに限定されないが、ビニル、アリル、ブテニル、ヘキセニル、および、オクテニルが挙げられる。下付き文字mおよびnは正の整数であり、ここでn+mは3より大きく、n/(n+m)は、0.60より大きい。
−(R1R2SiO)m(R3R4GeO)n(R8R9ZO)p 式IV
式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、以下の基:(A)C1〜C10ヒドロカルビル基、または、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、または、水素から選択される。R1、R2、R3およびR4で示されるC1〜C10ヒドロカルビル基、および、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基は、より典型的には、1〜6個の炭素原子を有する。少なくとも3個の炭素原子を含む非環式ヒドロカルビル、および、ハロゲンで置換されたヒドロカルビル基は、分枝状または非分岐状の構造を有していてもよい。R1、R2、R3およびR4で示されるヒドロカルビル基の例としては、これらに限定されないが、アルキル基、例えばメチル、エチル、プロピル、1−メチルエチル、ブチル、1−メチルプロピル、2−メチルプロピル、1,1−ジメチルエチル、ペンチル、1−メチルブチル、1−エチルプロピル、2−メチルブチル、3−メチルブチル、1,2−ジメチルプロピル、2,2−ジメチルプロピル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、および、デシル;シクロアルキル基、例えばシクロペンチル、シクロヘキシル、および、メチルシクロヘキシル;アリール基、例えばフェニル、および、ナフチル;アルカリール基、例えばトリル、および、キシリル;ならびに、アラルキル基、例えばベンジル、および、フェネチルが挙げられる。R1、R2、R3およびR4で示されるハロゲンで置換されたヒドロカルビル基の例としては、これらに限定されないが、3,3,3−トリフルオロプロピル、3−クロロプロピル、クロロフェニル、ジクロロフェニル、2,2,2−トリフルオロエチル、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル、および、2,2,3,3,4,4,5,5−オクタフルオロペンチルが挙げられ;および、(B)アルケニル基(これは、シリコーン樹脂内で同一でもよいし、または異なっていてもよい)は、典型的には、2〜約10個の炭素原子、あるいは、2〜6個の炭素原子を有し、例として、これらに限定されないが、ビニル、アリル、ブテニル、ヘキセニル、および、オクテニルが挙げられる。R8およびR9のうち少なくとも一方は、ヒドリド、または、アリールもしくは置換されたアリール基であり;Zは、独立して、GeまたはSiから選択され;n、mおよびpは正の整数であり、ここでn+m>3であり、n/n+m+pは0.01〜0.99の範囲であり、および、p≧1である。式IVで示されるゲルマノシロキサンポリマーの製造方法は、上述の式IIで示されるポリマーに関する方法に類似している。式IVで示されるポリマーに関して、前駆体の例としては、これらに限定されないが、HMeSiCl2、または、PhMeSiCl2、または、HPhSiCl2、または、HMeGeCl2、または、HPhGeSiCl2(式中Meはメチルであり、Phはフェニルである)が挙げられる。前駆体のその他の典型的な例は、Me2SiCl2、および、MeoGeCl2である。末端をブロックする基の非存在下で、本ゲルマノシロキサンポリマーは加水分解物であり、反応性を有する末端基を有し、最も一般的には、ヒドロキシル、塩化物またはアルコキシ基を有する。
−(R1R2SiO)m(R3R4GeO)n(R10ZO3/2)q− 式V
式中R1、R2、R3、R4およびR10は、独立して、以下の基:(A)C1〜C10ヒドロカルビル基、または、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、または、水素から選択される。R1、R2、R3およびR4で示されるC1〜C10ヒドロカルビル基、および、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基は、より典型的には、1〜6個の炭素原子を有する。少なくとも3個の炭素原子を含む非環式ヒドロカルビル、および、ハロゲンで置換されたヒドロカルビル基は、分枝状または非分岐状の構造を有していてもよい。R1、R2、R3およびR4で示されるヒドロカルビル基の例としては、これらに限定されないが、アルキル基、例えばメチル、エチル、プロピル、1−メチルエチル、ブチル、1−メチルプロピル、2−メチルプロピル、1,1−ジメチルエチル、ペンチル、1−メチルブチル、1−エチルプロピル、2−メチルブチル、3−メチルブチル、1,2−ジメチルプロピル、2,2−ジメチルプロピル、ヘキシル、ヘプチル、オクチル、ノニル、および、デシル;シクロアルキル基、例えばシクロペンチル、シクロヘキシル、および、メチルシクロヘキシル;アリール基、例えばフェニル、および、ナフチル;アルカリール基、例えばトリル、および、キシリル;ならびに、アラルキル基、例えばベンジル、および、フェネチルが挙げられる。R1、R2、R3およびR4で示されるハロゲンで置換されたヒドロカルビル基の例としては、これらに限定されないが、3,3,3−トリフルオロプロピル、3−クロロプロピル、クロロフェニル、ジクロロフェニル、2,2,2−トリフルオロエチル、2,2,3,3−テトラフルオロプロピル、および、2,2,3,3,4,4,5,5−オクタフルオロペンチルが挙げられ;および、(B)アルケニル基(これは、シリコーン樹脂内で同一でもよいし、または異なっていてもよい)は、典型的には、2〜約10個の炭素原子、あるいは、2〜6個の炭素原子を有し、例として、これらに限定されないが、ビニル、アリル、ブテニル、ヘキセニル、および、オクテニルが挙げられる。Zは、独立して、GeまたはSiから選択され;m、nおよびqは正の整数であり;および、m+n+qは、4より大きい。整数qは、ネットワーク中の分岐点の数を意味する。当業者であれば認識しているものと予想されるが、架橋を形成するポイントの数が大きければ(qの数がより大きい場合)、粘度がより大きくなるため、加工上の問題を処理する必要が生じる場合がある。さらに、架橋を形成するポイント間の距離も、材料のレオロジー特性に影響を与える。
[(R1R2R2SiO1/2)w(R1’R2’R2’GeO1/2)v(R2R2SiO)y(R2’R2’GeO)x(R1SiO3/2)z(R1’GeO3/2)r(SiO4/2)s(GeO4/2)t] 式VI
式中w、v、y、x、z、r、s、tは、加水分解性の前駆体の量によって予め決定されたモル分率であり、v、x、rまたはtの少なくとも1つは、ゼロではない。上記の式において、RnおよびRn’基は必ずしも同一ではないが、典型的にはそれらは同一である。このような指定の場合、Rn’基はゲルマニウムの核に結合しており、Rn基はケイ素の核に結合している。
Vi4Si、PhSiVi3、MeSiVi3、PhMeSiVi2、Ph2SiVi2、および、PhSi(CH2CH=CH2)3、
で示されるシランが挙げられ、式中Meはメチルであり、Phはフェニルであり、Viはビニルである。本発明の目的に適したアルケニルが結合しているゲルマンの例としては、これらに限定されないが、テトラアリルゲルマンのようなゲルマンが挙げられる。また当業者であれば認識しているものと予想されるが、アルケニルが結合しているゲルマノシランは、このタイプのゲルマノシロキサン樹脂にとって適切な架橋剤であり得る。
HR1R1Si−R3−SiR1R1H 式VII
式中R1は定義された通りであり、上記で例示されたものが挙げられ、さらに、R3は、以下の構造から選択される式で示される脂肪族不飽和を含まないヒドロカルビレン基である:
式VIIで示されるオルガノハイドロジェンシランの具体的な例(式中R1およびR3は上述した通りであり、上記で例示されたものが挙げられる)としては、これらに限定されないが、以下の構造から選択される式で示されるオルガノハイドロジェンシランが挙げられる:
架橋剤が存在する場合、縮合硬化性ゲルマノシロキサン樹脂中の架橋剤の濃度は、縮合硬化性樹脂を硬化(架橋)させるのに十分な濃度である。架橋剤の正確な量は、望ましい硬化の程度に依存し、一般的に、ゲルマノシロキサン樹脂中のケイ素(およびゲルマニウム)に結合した水素原子、ヒドロキシ基または加水分解性の基のモル数に対する、架橋剤中のケイ素(およびゲルマニウム)に結合した加水分解性の基のモル数の比率が増加するにつれて増加する。架橋剤の最適な量は、慣例的な実験によって容易に決定することができる。
三首の丸底フラスコに、撹拌子、コンデンサー、温度計、および、追加の漏斗を備え付けた。加水分解が完了したら、水を添加して、HCl濃度を18重量%にした。この系にNaOHをHClを中和するモル量で添加した。6.98g(0.175mol)の量のNaOHを、29.0g(1.61mol)の脱イオン水に溶解させ、室温に冷却した。この水溶液に5.6g(0.043mol)のMe2SiCl2を滴下した。29.0g(0.31mol)の量のトルエンを添加した。続いてこの2相系に、7.5g(0.043mol)のMe2GeCl2を滴下した。Me2GeCl2添加後のpHは約4.0であり、望ましい値よりもわずかに酸性寄りであった。Me2GeCl2添加が完了した後に、この反応混合物を2時間撹拌した。この2相を分液漏斗を用いて分離した。トルエン相を無水硫酸ナトリウム上で乾燥させた。
A.25モル%のMe 2 GeCl 2 /75モル%のMe 2 SiCl 2
250mLの丸底フラスコに、温度計、コンデンサー、添加漏斗、機械式撹拌器、および、加熱マントルを備え付けた。9.26gの量のNaOHを9.40gの脱イオン水に溶解させ、反応フラスコに添加し、これを氷槽中に置いて、溶液を10℃に冷却した。このNaOH溶液に、約12mLのMe2SiCl2を滴下した。この反応液を冷却し、この反応液に約5gのMe2GeCl2を滴下した。約27mLの石油エーテルを添加した。この反応液を35〜45℃で4時間還流した。反応生成物をろ過して、残留したNaClを除去した。水相と有機相とを分離した。水相を石油エーテルで洗浄した。有機相をCaSO4で乾燥させた。N2流下で石油エーテル相を乾燥させることにより、生成物を得た。最終産物は粘性の液体であった。
250mLの丸底フラスコに、温度計、コンデンサー、添加漏斗、機械式撹拌器、および、加熱マントルを備え付けた。9.37gの量のNaOHを9.63gの脱イオン水に溶解させ、反応フラスコに添加し、これを氷槽中に置いて、溶液を10℃に冷却した。続いてこの溶液に7.4mLのMe2SiCl2を滴下し、この溶液を10℃に冷却した。3.39gの量のNaOHを5.01gの水に溶解させ、反応液に添加した。Me2GeCl2を添加する前に、これを行って反応溶液を塩基性にした。この反応液に、10mLの量のMe2GeCl2を滴下した。この反応液を10℃に冷却し、約37mLの石油エーテルを添加した。この反応液を45〜55℃で4時間還流した。反応生成物をろ過して、残留したNaClを除去した。石油エーテルを用いてフラスコをリンスし、続いて水相と一緒に分液漏斗に注入した。水相と有機相とを分離した。水相を石油エーテルで洗浄した。石油エーテル相を硫酸カルシウムで一晩乾燥させた。N2流下で石油エーテル相を乾燥させることにより、生成物を得た。最終産物は、液体と結晶様の沈殿との混合物であった。
250mLの丸底フラスコに、温度計、コンデンサー、添加漏斗、機械式撹拌器、および、加熱マントルを備え付けた。6.22gの量のNaOHを6.72gの脱イオン水に溶解させた。丸底フラスコに氷槽を付けた。NaOH/水溶液を約10℃に冷却し、この反応液に2.5mLのMe2SiCl2を滴下した。この反応液を約10℃に冷却した。丸底フラスコに10mLの量のMe2GeCl2を滴下した。この溶液を冷却して10℃に戻し、20mLの石油エーテルを添加した。この反応を約40℃で4時間還流した。反応生成物をろ過して、残留したNaClを除去した。水相と有機相とを分離した。水相を石油エーテルで洗浄した。有機相をCaSO4で乾燥させた。N2流下で石油エーテル相を乾燥させることにより、生成物を得た。最終産物の大部分が多少の液体を含む結晶であった。
250mLの丸底フラスコに、温度計、コンデンサー、添加漏斗、機械式撹拌器、および、加熱マントルを備え付けた。9.21gの量のNaOHを10.77gの脱イオン水に溶解させた。丸底フラスコに氷槽を付けた。NaOH/水溶液を約15℃に冷却した。10gの量のMe2GeCl2、および、7mLのMe2SiCl2を添加漏斗中で一緒に混合した。続いて反応液に、この混合物を滴下した。続いて37mLの石油エーテルを反応液に添加した。添加が完了したら、氷槽を取り除き、この反応液を約40℃で4時間還流した。反応生成物をろ過して、残留したNaClを除去した。水相と有機相とを分離した。有機相をMgSO4で乾燥させた。N2流下で石油エーテル相を乾燥させることにより、生成物を得た。最終産物は、多少の結晶/沈殿を含む液体であった。
(Me2GeO)4を以下のようにして作製した。100mLの丸底フラスコに、温度計、コンデンサー、添加漏斗、磁気式の撹拌棒、および、加熱マントルを備え付けた。8.99gの量のNaOHを9.14gの脱イオン水に溶解させた。丸底フラスコに氷槽を付けた。20gの量のMe2GeCl2を40分間かけて滴下した。続いて、28mLの石油エーテルを添加した。Me2GeCl2および石油エーテルの添加中の温度は約10〜20℃であった。この反応混合物を約4時間還流した。反応液が十分に混合されたことが観察された。水相と有機相とを分液漏斗を用いて分離した。水相を30mLの石油エーテルで4回洗浄した。分液漏斗の壁上にゲル様の液滴が観察された。石油エーテル相を無水硫酸マグネシウム上で乾燥させ、生成物をN2流下で再結晶させた。最終産物は、白色の結晶質の物質であった。
50mLの丸底フラスコに、窒素パージ、温度計、コンデンサー、添加漏斗、磁気式の撹拌棒、および、加熱マントルを備え付けた。このフラスコに、1.32gの量の(Me2GeO)4、9.02gのダウ・コーニング(Dow Corning)(登録商標)345フルイド(345 Fluid)、および、0.43gのカリウムトリメチルシラノレートを添加し、撹拌した。この反応液を加熱し、65℃で全ての成分を溶解させて溶液にした。熱を約130℃に高め、この反応液を2時間撹拌した。粘度の増加が観察された。pHが約6になるまで酢酸を滴下した(フィッシャー・ショート・レンジ・アルカシッドpHペーパー(Fisher Short Range Alkacid pH paper)で試験したところ、pH6.0〜8.5であった)。酢酸添加後に白色の沈殿が形成された。このサンプルを遠心分離し、ろ過して沈殿を除去した。
ポリジメチルシロキサン(PDMS)をMe2SiCl2の標準的な加水分解によって生産した。20gのMe2SiCl2を57.55gのH2Oに滴下し、約7時間反応させた。pHが中性になるまで生成物を水で洗浄した。
表3に、ウェーハ表面上の5ポイントで測定した平均のフィルム厚さ、基準のフィルムの元素組成、および、平均の屈折率を示す。ウェーハ上のフィルム厚さは、ウェーハ表面の全幅にわたり20%変化した。フィルムごとに報告されている屈折率(RI)値は、波長632nmでの値である。フィルムの屈折率は、ウェーハ表面の全幅にわたり6%変化した。
Claims (70)
- ヘテロ元素を含むシロキサン化合物で作製された物品であって、該物品は、約1.5より大きい屈折率を有し、該物品は、0〜50原子パーセントの水素を含み、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、Si、O、CおよびMを含むヘテロ元素を含むシロキサンポリマーで作製され、ここでMは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、実験式:SiwMxOyCzで示され、ここでMは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;w+x+y+z=1;0.5*y<w+x<1.5*y;および、0.1*y<w+x<6zである、上記物品。
- 前記ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーが:
(R1R2SiO)n(R3R4MO)m
[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1であり;および、n+mの合計は、48未満であり;および、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーは、環状構造を有する];
または、
R5R6R7ZO−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n−ZR5R6R7
[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;R5、R6およびR7は、独立して、R1、R2、R3およびR4、または、水酸化物から選択され;Zは、独立して、SiまたはMから選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1である、および、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーは、直鎖状構造を有する];
または、
X−(R1R2Si−O)n−(R3R4M−O)m−X’
[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;XおよびX’は、ハロゲン化物、水酸化物、および、アルコキシドから選択され;mおよびnは正の整数であり、ここでn+mは3より大きく;および、n/(n+m)は、0.60より大きい];
または、
−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n(R8R9ZO)p
[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;および、R8およびR9の少なくとも一方は、ヒドリド、または、アリールもしくは置換されたアリール基であり;Zは、独立して、MまたはSiから選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;n、mおよびpは正の整数であり、ここでn+m>3であり、n/n+m+pは0.01〜0.99の範囲であり、および、p≧1である];
または、
−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n(R10ZO3/2)q−
[式中R1、R2、R3、R4およびR10は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;Zは、独立して、MまたはSiから選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;m、nおよびqは正の整数であり;m+n+qは、4より大きく;および、qは、分岐点の数である];
または、
[(R1R2R2SiO1/2)w(R1’R2’R2’MO1/2)v(R2R2SiO)y(R2’R2’MO)x(R1SiO3/2)z(R1’MO3/2)r(SiO4/2)s(MO4/2)t]
[式中R1およびR1’は、独立して、脂肪族不飽和を含まないC1〜C10ヒドロカルビル基、または、脂肪族不飽和を含まないハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基から選択され;R2およびR2’は、独立して、R1、R1’、アルケニル基、または、水素であり;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;および、w、v、y、x、z、r、s、tは、加水分解性の前駆体の量によって予め決定されたモル分率であり、v、x、rまたはtの少なくとも1つは、ゼロではない]
を含む、請求項1に記載の物品。 - 前記物品が、約1.7〜約2.8の屈折率を有する、請求項1または2に記載の物品。
- Mが、Geである、請求項1〜3のいずれか一項に記載の物品。
- ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーの製造方法であって、該方法は:
式R1R2SiX’2、および、R3R4MX''2で示される前駆体[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;および、X’2、および、X''2は、独立して、ハロゲン、および、アルコキシ基から選択される]を溶媒系中で加水分解して、縮合し、式:
(R1R2SiO)n(R3R4MO)m
[式中mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1であり;および、n+mの合計は、48未満である]
で示される環状構造を形成すること、
を含む、上記方法。 - 前記溶媒系が、非極性有機溶媒、および、水相を含む、請求項5に記載の方法。
- 前記非極性有機溶媒が、トルエン、ベンゼン、ヘプタン、石油エーテル、および、それらの組み合わせから選択される、請求項6に記載の方法。
- 前記前駆体が、塩基性条件下で加水分解され、縮合される、請求項5〜7のいずれか一項に記載の方法。
- 前記前駆体が、同時に添加される、請求項5〜8のいずれか一項に記載の方法。
- 前記前駆体が、連続的に添加される、請求項5〜8のいずれか一項に記載の方法。
- R3R4MX''2前駆体が加水分解される前に、前記R1R2SiX’2前駆体が加水分解される、請求項5〜10のいずれか一項に記載の方法。
- X’2およびX''2がハロゲンであり、ここで該ハロゲン化物前駆体は、R1R2SiOHおよびR3R4MOHに加水分解され、さらに加水分解および縮合されて前記環状構造を形成する、請求項5〜11のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーを硬化することをさらに含む、請求項5〜12のいずれか一項に記載の方法。
- ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーの製造方法であって、該方法は:
式:
(R1R2SiO)n(R3R4MO)m
[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1であり;および、n+mの合計は、48未満である]
で示される環状構造を提供すること;
溶媒系中で、触媒の存在下で、該環状構造を反応させて、式:
P−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n−P’
[式中PおよびP’は、X、または、末端をブロックする基から選択され、Xは、独立して、ハロゲン化物、水酸化物、または、アルコキシドから選択される、および、mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1である]
で示される直鎖状構造を形成すること、
を含む、上記方法。 - 式中PおよびP’は、末端をブロックする基であり、ここで前記環状構造は、R5R6R7ZX、R5R6R7Z−O−ZR7R6R5[式中R5、R6およびR7は、独立して、R1、R2、R3およびR4、または、水酸化物から選択され;Xは、ハロゲン化物、アルコキシド、または、水酸化物から選択され;および、Zは、独立して、SiまたはMから選択される]、または、それらの組み合わせから選択される末端をブロックする前駆体と反応し、直鎖状構造:
R5R6R7ZO−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n−ZR5R6R7
[式中mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1である]
を形成する、請求項14に記載の方法。 - 前記環状構造が、酸性または塩基性条件下で反応する、請求項14または15に記載の方法。
- 前記環状構造が、式R1R2SiX’2、および、R3R4MX’’2で示される前駆体[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;および、X’2、および、X’’2は、独立して、ハロゲン、および、アルコキシ基から選択される]を、溶媒系中で加水分解および縮合することによって形成される、請求項14〜16のいずれか一項に記載の方法。
- 前記環状構造を、式(R8R9ZO)pで示される前駆体[式中R8およびR9の少なくとも一方は、ヒドリド、または、アリールもしくは置換されたアリール基である]と反応させ、式:
P−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n(R8R9ZO)p−P’
[式中PおよびP’は、X、または、末端をブロックする基から選択され、Xは、独立して、ハロゲン化物、水酸化物、または、アルコキシドから選択され、Zは、独立して、SiまたはMから選択され;および、n、mおよびpは正の整数であり、ここでn+m>3であり、n/n+m+pは0.01〜0.99の範囲であり、および、p≧1である]
で示される直鎖状構造を形成することをさらに含む、請求項14〜17のいずれか一項に記載の方法。 - 前記環状構造を、式R10ZX3[式中R10は、アルキル、アルケニル、官能化したアルキル、または、官能化したアルケニル基から選択され、Xは、ハロゲン、水酸化物基、または、アルコキシ基であり、Zは、SiおよびMから選択される]で示される前駆体と反応させて、式:
P−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n(R10ZO3/2)q−P’
[式中PおよびP’は、X、または、末端をブロックする基から選択され;Xは、独立して、ハロゲン化物、水酸化物、または、アルコキシドから選択され;Zは、独立して、SiまたはMから選択され;qは、正の整数であり;および、m+n+qは、4より大きい]
で示される直鎖状構造を形成することをさらに含む、請求項14〜17のいずれか一項に記載の方法。 - ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーの製造方法であって、該方法は、溶媒系中で、触媒の存在下で、環状(R1R2SiO)n化合物、および、環状(R3R4MO)m化合物を反応させて、式:
P−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n−P’
[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、アルキル、アルケニル、官能化したアルキル、または、官能化したアルケニル基から選択され;PおよびP’は、X、または、末端をブロックする基から選択され;Xは、独立して、ハロゲン化物、水酸化物、および、アルコキシドから選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;および、mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1である]
で示される直鎖状構造を形成することを含む、上記方法。 - PおよびP’が末端をブロックする基であり、ここで前記環状化合物は、R5R6R7ZX、R5R6R7Z−O−ZR7R6R5、または、それらの組み合わせから選択される末端をブロックする前駆体と反応し、ここで式中R5、R6およびR7は、独立して、R1、R2、R3およびR4、または、水酸化物から選択され;Xは、ハロゲン化物、アルコキシド、または、水酸化物から選択され;および、Zは、独立して、SiまたはMから選択され、直鎖状構造:
R5R6R7ZO−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n−ZR5R6R7
[式中mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1である]
を形成する、請求項20に記載の方法。 - 前記環状化合物が、酸性または塩基性条件下で反応する、請求項20または21に記載の方法。
- 前記環状化合物を、式(R8R9ZO)pで示される前駆体[式中R8およびR9の少なくとも一方は、ヒドリド、または、アリールもしくは置換されたアリール基である]と反応させ、式:
P−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n(R8R9ZO)p−P’
[式中PおよびP’は、X、または、末端をブロックする基から選択され、Xは、独立して、ハロゲン化物、水酸化物、または、アルコキシドから選択され、Zは、独立して、SiまたはMから選択され;および、n、mおよびpは正の整数であり、ここでn+m>3であり、n/n+m+pは0.01〜0.99の範囲であり、および、p≧1である]
で示される直鎖状構造を形成することをさらに含む、請求項20〜22のいずれか一項に記載の方法。 - 前記環状化合物を、式R10ZX3で示される前駆体[式中R10は、アルキル、アルケニル、官能化したアルキル、または、官能化したアルケニル基から選択され、Xは、ハロゲン、水酸化物基、または、アルコキシ基であり、Zは、SiおよびMから選択される]と反応させて、式:
P−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n(R10ZO3/2)q−P’
[式中PおよびP’は、X、または、末端をブロックする基から選択され;Xは、独立して、ハロゲン化物、水酸化物、または、アルコキシドから選択され;Zは、独立して、SiまたはMから選択され;qは、正の整数であり;および、m+n+qは、4より大きい]
で示される直鎖状構造を形成することをさらに含む、請求項20〜22のいずれか一項に記載の方法。 - ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーの製造方法であって、該方法は、
式X−(SiR1R2O)z−SiR1R2X’で示される直鎖状ポリシロキサン前駆体[式中R1およびR2は、独立して、アルキル、アルケニル、官能化したアルキル、または、官能化したアルケニル基から選択され、XおよびX’は、独立して、ハロゲン化物、水酸化物、および、アルコキシドから選択され、zは、1より大きい整数であるか、または、1である]を、
R3R4MX2[式中R3およびR4は、独立して、アルキル、アルケニル、官能化したアルキル、または、官能化したアルケニル基から選択され、Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり、X2は、ハロゲン化物、水酸化物、および、アルコキシドから選択される]、または、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族からの元素を含む環状有機化合物から選択される第二の前駆体と溶媒系の存在下で反応させ;
式:
P−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n−P’
[式中PおよびP’は、X、または、末端をブロックする基から選択され;Xは、ハロゲン化物、水酸化物、および、アルコキシドから選択され;および、mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1である]
で示される直鎖状構造を形成すること、
を含む、上記方法。 - Pが、末端をブロックする基であり、ここで前記直鎖状ポリシロキサン前駆体および第二の前駆体は、R5R6R7ZX、R5R6R7Z−O−ZR7R6R5、または、それらの組み合わせから選択される末端をブロックする前駆体[式中R5、R6およびR7は、独立して、R1、R2、R3およびR4、または、水酸化物から選択され;Xは、ハロゲン化物、アルコキシド、または、水酸化物から選択され;および、Zは、独立して、SiまたはMから選択され]と反応し、直鎖状構造:
R5R6R7ZO−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n−ZR5R6R7
[式中mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1である]
を形成する、請求項25に記載の方法。 - 前記直鎖状ポリシロキサン前駆体が、酸性または塩基性条件下で反応する、請求項25または26に記載の方法。
- 前記直鎖状ポリシロキサン前駆体および第二の前駆体を、式(R8R9ZO)pで示される前駆体[式中R8およびR9の少なくとも一方は、ヒドリド、または、アリールもしくは置換されたアリール基である]と反応させ、
式:
P−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n(R8R9ZO)p−P’
[式中PおよびP’は、X、または、末端をブロックする基から選択され、Xは、独立して、ハロゲン化物、水酸化物、または、アルコキシドから選択され、Zは、独立して、SiまたはMから選択され;および、n、mおよびpは正の整数であり、ここでn+m>3であり、n/n+m+pは0.01〜0.99の範囲であり、および、p≧1である]
で示される直鎖状構造を形成することをさらに含む、請求項25〜27のいずれか一項に記載の方法。 - 前記直鎖状ポリシロキサン前駆体および第二の前駆体を、式R10ZX3で示される前駆体[式中R10は、アルキル、アルケニル、官能化したアルキル、または、官能化したアルケニル基から選択され、Xは、ハロゲン、水酸化物基、または、アルコキシ基であり、Zは、SiおよびMから選択される]と反応させ、式:
P−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n(R10ZO3/2)q−P’
[式中PおよびP’は、X、または、末端をブロックする基から選択され;Xは、独立して、ハロゲン化物、水酸化物、または、アルコキシドから選択される;Zは、独立して、SiまたはMから選択され;qは、正の整数であり;および、m+n+qは、4より大きい]
で示される直鎖状構造を形成することをさらに含む、請求項25〜27のいずれか一項に記載の方法。 - 前記触媒が、酸触媒、塩基性触媒、酸触媒の塩、塩基性触媒の塩、または、それらの組み合わせから選択される、請求項14〜29のいずれか一項に記載の方法。
- 前記溶媒系が、トルエン、ベンゼン、キシレン、メシチレン、クロロメタン、トリクロロエタン、ブロモベンゼン、クロロベンゼン、石油エーテル、n−ペンタン、ヘキサン、ヘプタン、イソオクタン、ドデカン、シクロペンタン、シクロヘキサン、メチルイソブチルケトン、イソプロパノール、ブタノール、テトラヒドロフラン、ジオキサン、または、それらの組み合わせから選択される、請求項14〜30のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーを硬化することをさらに含む、請求項14〜31のいずれか一項に記載の方法。
- ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーの製造方法であって、該方法は:
1種またはそれ以上のR1SiO3/2前駆体、R1’MO3/2前駆体、SiO4/2前駆体、および、MO4/2前駆体を、1種またはそれ以上のR1R2R2SiO1/2前駆体、R1’R2’R2’MO1/2前駆体、R2R2SiO前駆体、および、R2’R2’MO前駆体[式中R1およびR1’は、独立して、脂肪族不飽和を含まないC1〜C10ヒドロカルビル基、または、脂肪族不飽和を含まないハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基から選択され、R2およびR2’は、独立して、R1またはR1’基、アルケニル基、または、水素から選択され;および、Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族の金属から選択される元素である]と反応させ、
式:
[(R1R2R2SiO1/2)w(R1’R2’R2’MO1/2)v(R2R2SiO)y(R2’R2’MO)x(R1SiO3/2)z(R1’MO3/2)r(SiO4/2)s(MO4/2)t]
[式中w、v、y、x、z、r、s、tは、加水分解性の前駆体の量によって予め決定されたモル分率であり、v、x、rまたはtの少なくとも1つは、ゼロではない]
で示される樹脂を形成すること、
を含む、上記方法。 - 溶媒をさらに含む、請求項33に記載の方法。
- 前記溶媒が、飽和脂肪族炭化水素、脂環式炭化水素、芳香族炭化水素、環状エーテル、ケトン、ハロゲン化アルカン、ハロゲン化芳香族炭化水素、および、それらの組み合わせから選択される、請求項34に記載の方法。
- ヒドロシリル化架橋剤をさらに含む、請求項33〜35のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ヒドロシリル化架橋剤が、ケイ素に結合した水素原子を有する化合物、Mに結合した水素原子を有する化合物、ケイ素に結合したアルケニル基を有する化合物、Mに結合したアルケニル基を有する化合物、または、それらの組み合わせから選択される、請求項36に記載の方法。
- 前記ヒドロシリル化架橋剤が、オルガノハイドロジェンシラン、オルガノハイドロジェンシロキサン、オルガノハイドロジェンゲルマン、オルガノハイドロジェンゲルモキサン、オルガノハイドロジェンゲルモシラン、オルガノハイドロジェンゲルマノシロキサン、または、それらの組み合わせから選択される、請求項36〜37のいずれか一項に記載の方法。
- ヒドロシリル化触媒をさらに含む、請求項33〜38のいずれか一項に記載の方法。
- 前記ヒドロシリル化触媒が、白金族金属、白金族金属を含む化合物、または、それらの組み合わせから選択される、請求項39に記載の方法。
- 前記ヒドロシリル化触媒が、担持触媒である、請求項39〜40のいずれか一項に記載の方法。
- 前記前駆体が、約0〜約150℃の温度で反応する、請求項33〜41のいずれか一項に記載の方法。
- 縮合触媒をさらに含む、請求項33〜42のいずれか一項に記載の方法。
- 前記縮合触媒が、アミン、および、鉛、スズ、亜鉛および鉄のカルボン酸との錯体から選択される、請求項43に記載の方法。
- 縮合架橋剤をさらに含む、請求項33〜44のいずれか一項に記載の方法。
- 前記縮合架橋剤が、式(R7)qSiX4−q、または、(R7’)qMX4−q[式中R7は、C1〜C8ヒドロカルビル、または、C1〜C8のハロゲンで置換されたヒドロカルビルから選択され、Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり、Xは、加水分解性の基であり、qは、0または1である]で示される、請求項45に記載の方法。
- 前記反応が、塩基の存在下で起こる、請求項33〜46のいずれか一項に記載の方法。
- フリーラジカル開始剤をさらに含む、請求項33〜47のいずれか一項に記載の方法。
- 前記フリーラジカル開始剤が、ベンゾフェノン、ハロゲン化ベンゾフェノン、アセトフェノン、ポリシラン、有機過酸化物、または、それらの組み合わせから選択される、請求項48に記載の方法。
- 炭素、酸素、および、少なくとも2種のIV族/IVB族元素の組み合わせの濃度を制御して、対応するシロキサンポリマーの屈折率よりも高い目的の屈折率を達成することを含む、高分子材料の製造方法。
- ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーであって:
(R1R2SiO)n(R3R4MO)m
[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1であり;および、n+mの合計は、48未満であり;および、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーは、環状構造を有する]
を含む、上記シロキサンポリマー。 - n+mの合計が、12未満である、請求項51に記載のヘテロ元素を含むシロキサンポリマー。
- R1、R2、R3およびR4が、メチル基である、請求項51または52に記載のヘテロ元素を含むシロキサンポリマー。
- (R1R2SiO)および(R3R4MO)単位が、前記環状構造中でランダムに配置されている、請求項51〜53のいずれか一項に記載のヘテロ元素を含むシロキサンポリマー。
- ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーであって、
R5R6R7ZO−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n−ZR5R6R7
[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;R5、R6およびR7は、独立して、R1、R2、R3およびR4、または、水酸化物から選択され;Zは、独立して、SiまたはMから選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;mおよびnは、1より大きい整数であるか、または、1である]
を含み、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーは、直鎖状構造を有する、上記シロキサンポリマー。 - (R1R2SiO)単位が、前記ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーの1〜99モル%を構成し、および、(R3R4MO)単位が、前記ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーの99〜1モル%を構成する、請求項55に記載のヘテロ元素を含むシロキサンポリマー。
- R1、R2、R3、R4、R5、R6およびR7が、メチル基である、請求項55または56に記載のヘテロ元素を含むシロキサンポリマー。
- (R1R2SiO)および(R3R4MO)単位が、前記直鎖状構造中でランダムに配置されている、請求項55〜57のいずれか一項に記載のヘテロ元素を含むシロキサンポリマー。
- ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーであって、
X−(R1R2Si−O)n−(R3R4M−O)m−X’
[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;XおよびX’は、ハロゲン化物、水酸化物、および、アルコキシドから選択され;mおよびnは正の整数であり、ここでn+mは3より大きく;および、n/(n+m)は、0.60より大きい]
を含む、上記シロキサンポリマー。 - ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーであって、
−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n(R8R9ZO)p
[式中R1、R2、R3およびR4は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;および、R8およびR9の少なくとも一方は、ヒドリド、または、アリールもしくは置換されたアリール基であり;Zは、独立して、MまたはSiから選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;n、mおよびpは正の整数であり、ここでn+m>3であり、n/n+m+pは0.01〜0.99の範囲であり、および、p≧1である]
を含む、上記シロキサンポリマー。 - ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーであって、
−(R1R2SiO)m(R3R4MO)n(R10ZO3/2)q−
[式中R1、R2、R3、R4およびR10は、独立して、C1〜C10ヒドロカルビル基、ハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基、水素、または、アルケニル基から選択され;Zは、独立して、MまたはSiから選択され;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;m、nおよびqは正の整数であり;m+n+qは、4より大きく;および、qは、分岐点の数である]
を含む、上記シロキサンポリマー。 - ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーであって、
[(R1R2R2SiO1/2)w(R1’R2’R2’MO1/2)v(R2R2SiO)y(R2’R2’MO)x(R1SiO3/2)z(R1’MO3/2)r(SiO4/2)s(MO4/2)t]
[式中R1およびR1’は、独立して、脂肪族不飽和を含まないC1〜C10ヒドロカルビル基、または、脂肪族不飽和を含まないハロゲンで置換されたC1〜C10ヒドロカルビル基から選択され;R2およびR2’は、独立して、R1、R1’、アルケニル基、または、水素であり;Mは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;および、w、v、y、x、z、r、s、tは、加水分解性の前駆体の量によって予め決定されたモル分率であり、v、x、rまたはtの少なくとも1つは、ゼロではない]
を含む、上記シロキサンポリマー。 - 前記アルケニル基が、2〜10個の炭素原子を有する、請求項62に記載のヘテロ元素を含むシロキサンポリマー。
- 前記ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーが、約500〜約100,000の数平均分子量を有する、請求項62または63に記載のヘテロ元素を含むシロキサンポリマー。
- Mが、IVA族、IVB族、または、V、Nb、Ta、Mo、W、Zn、Al、Ga、In、Tlから選択される元素である、請求項51〜64のいずれか一項に記載のヘテロ元素を含むシロキサンポリマー。
- 前記ヘテロ元素を含むシロキサンポリマーで作製されたフィルム、コーティングまたはゲルが、約1.7〜2.8の屈折率を有する、請求項51〜65のいずれか一項に記載のヘテロ元素を含むシロキサンポリマー。
- 半導体の発光活性を有する素子、レンズ、および、ヘテロ元素を含むシロキサン化合物を含む発光装置であって、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、Si、O、CおよびMを含むヘテロ元素を含むシロキサンポリマーで作製され、ここでMは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、実験式:SiwMxOyCzで示され、ここでMは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;w+x+y+z=1;0.5*y<w+x<1.5*y;および、0.1*y<w+x<6zであり、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、装置の光の放出/輸送特性効率を調節するために用いられる、上記装置。
- 半導体の発光活性を有する素子、レンズ、および、ヘテロ元素を含むシロキサン化合物を含む発光装置であって、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、Si、O、CおよびMを含むヘテロ元素を含むシロキサンポリマーで作製され、ここでMは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、実験式:SiwMxOyCzで示され、ここでMは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;w+x+y+z=1;0.5*y<w+x<1.5*y;および、0.1*y<w+x<6zであり、ここで該装置は、該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物でカプセル化される、上記装置。
- ヘテロ元素を含むシロキサン化合物で構成される少なくとも1つの素子で形成された光導波路構造であって、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、Si、O、CおよびMを含むヘテロ元素を含むシロキサンポリマーで作製され、ここでMは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、実験式:SiwMxOyCzで示され、ここでMは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;w+x+y+z=1;0.5*y<w+x<1.5*y;および、0.1*y<w+x<6zであり、該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物の屈折率を制御することによって光路およびエネルギー損失を制御することができる、上記構造。
- ヘテロ元素を含むシロキサン化合物を含む光ファイバー材料であって、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、Si、O、CおよびMを含むヘテロ元素を含むシロキサンポリマーで作製され、ここでMは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり、ここで該ヘテロ元素を含むシロキサン化合物は、実験式:SiwMxOyCzで示され、ここでMは、IIB族、IIIA族、IVA族、IVB族、VB族またはVIB族から選択される元素であり;w+x+y+z=1;0.5*y<w+x<1.5*y;および、0.1*y<w+x<6zである、上記材料。
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