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JP2010214116A - 超音波診断装置用プローブ及びその製造方法 - Google Patents

超音波診断装置用プローブ及びその製造方法 Download PDF

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JP2010214116A JP2010058053A JP2010058053A JP2010214116A JP 2010214116 A JP2010214116 A JP 2010214116A JP 2010058053 A JP2010058053 A JP 2010058053A JP 2010058053 A JP2010058053 A JP 2010058053A JP 2010214116 A JP2010214116 A JP 2010214116A
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Abstract

【課題】製造が容易であり、圧電層と印刷回路基板との間の接合不良による性能低下を防止できるように構造を改善した超音波診断装置用プローブ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】吸音体１１０，１１１を備える吸音層と、互いに離隔して形成される複数の電極を備えており、前記各吸音体の間に挟まれて接合される第１連結部１２０と、前記複数の電極と電気的に連結されるように配置される圧電体とを備えた超音波診断装置用プローブを構成する。
【選択図】図１

Description

本発明は、プローブに関するもので、より詳しくは、超音波を用いて対象体の内部の映像を生成するための超音波診断装置用プローブ及びその製造方法に関する。
超音波診断装置は、対象体の体表から体内の所望の部位に向かって超音波信号を照射し、反射された超音波信号（超音波エコー信号）の情報を用いて、軟部組織の断層像や血流に関する情報を無侵襲で得る装置である。この装置は、Ｘ線診断装置、ＣＴスキャナー（Ｃｏｍｐｕｔｅｒｉｚｅｄ Ｔｏｍｏｇｒａｐｈｙ Ｓｃａｎｎｅｒ）、ＭＲＩ（Ｍａｇｎｅｔｉｃ Ｒｅｓｏｎａｎｃｅ Ｉｍａｇｅ）、核医学診断装置などの他の映像診断装置と比較して、小型でかつ低廉である、リアルタイムで表示可能である、Ｘ線などのように被爆を受けることなく安全性が高い、という長所を有しており、心臓、腹部、泌尿器、及び産婦人科などの領域の診断に広く用いられている。
特に、超音波診断装置は、対象体の超音波映像を得るために、超音波信号を対象体に送信し、対象体から反射される超音波エコー信号を受信するプローブを備えている。
プローブは、トランスデューサと、上端が開放されたケースと、開放されたケースの上端に結合されて対象体の表面と直接接触するカバーとを含む部材で構成さる。
ここで、トランスデューサは、圧電物質を振動させることにより、電気的な信号と音響的な信号とを相互変換する圧電層と、圧電層から発生した超音波が対象体に最大限に伝達されるように、圧電層と対象体との間の音響インピ−ダンス差を減少させる音響整合層と、圧電層の前方に進行する超音波を特定の地点に集束させるレンズ層と、超音波が圧電層の後方へ進行するのを遮断して、映像が歪むのを防止する吸音層とを備えている。
圧電層は、圧電体及び電極を含み、電極は、圧電体の上端及び下端にそれぞれ接合される。そして、この圧電層には、更に、印刷回路基板（Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ；ＰＣＢ）が接合される。印刷回路基板は、圧電体の電極に連結される配線電極を備えており、圧電体の信号伝達の役割をする。印刷回路基板と圧電層は、印刷回路基板の配線電極と圧電層の電極とが連結されることで互いに接続される。
上記のようなプローブにおいて、従来は、この接続作業を人の手で行っているため、印刷回路基板の配線電極と圧電層の電極とを連結するための接続作業に多くの手間がかかり、結果として製造時間が増加するという問題点がある。また、接続作業が手作業で行われるので、接続部位の耐久性と均一性が低下し、性能が低下するという問題点がある。したがって、これを改善する必要性が要請される。
本発明は、上記のような問題点を改善するためになされたもので、その目的は、製造が容易であり、圧電層と印刷回路基板との間の接合不良による性能低下を防止できるように構造を改善した超音波診断装置用プローブ及びその製造方法を提供することにある。
本発明の一側面に係る超音波診断装置用プローブは、吸音体を備える吸音層と、互いに離隔して形成される複数の電極を備えており、前記各吸音体の間に挟まれて接合される第１連結部と、前記複数の電極と電気的に連結されるように配置される圧電体とを備えている。
また、前記圧電体は、直線状に配列される複数の圧電体を含み、該複数の圧電体が配列される方向を配列方向とし、該配列方向に直交する方向を縦方向とし、前記第１連結部は、前記吸音体の間に前記複数の電極が前記縦方向に沿って配置されるように配置されることが好ましい。
また、前記第１連結部は、フレキシブル印刷回路基板を含む部材で構成されることが好ましい。
また、前記吸音層には、前記複数の電極と電気的に連結される電極層が備えられていることが好ましい。
また、前記電極層は、前記吸音層の表面に形成されることが好ましい。
また、前記吸音層には装着溝が形成され、前記圧電体は、前記装着溝に挿入されることが好ましい。
また、本発明は、前記配列方向に離隔して形成される前記複数の電極を備えており、前記各吸音体の間に挟まれて接合される第２連結部をさらに備えていることが好ましい。
また、前記第１連結部および前記第２連結部を前記縦方向から見たとき、前記第１連結部の前記複数の電極と前記第２連結部の前記複数の電極が交互に配置されるように、前記第２連結部が前記吸音体の間に前記複数の電極が前記縦方向に沿って配置されるように配置されることが好ましい。
また、前記第１連結部の前記複数の電極と前記第２連結部の前記複数の電極は、信号電極であることが好ましい。
本発明の他の側面に係る超音波診断装置用プローブの製造方法は、第１連結部に互いに離隔するように複数の電極を形成する段階と、前記第１連結部を各吸音体の間に挟んで接合して吸音層を形成する段階と、前記複数の電極と電気的に連結するように前記吸音層に圧電体を積層する段階とを含む。
また、本発明は、前記吸音層を形成した後、前記圧電体及び前記複数の電極と電気的に連結されるように、前記吸音層の上に電極層を形成する段階をさらに含むことが好ましい。
また、前記圧電体は、直線状に配列される複数の圧電体を含み、該複数の圧電体が配列される方向を配列方向とし、該配列方向に直交する方向を縦方向とし、前記吸音層を形成する段階では、前記第１連結部を前記吸音体の間に前記複数の電極が前記縦方向に沿って配置されるように配置することが好ましい。
本発明の更に他の側面に係る超音波診断装置用プローブの製造方法は、第１連結部に互いに離隔するように複数の電極を形成する段階と、第２連結部に互いに離隔するように複数の電極を形成する段階と、前記第１連結部及び前記第２連結部を各吸音体の間に挟んで接合して吸音層を形成する段階と、前記第１連結部の前記複数の電極及び前記第２連結部の前記複数の電極と電気的に連結されるように前記吸音層に圧電体を積層する段階とを含む。
また、本発明は、前記吸音層を形成した後、前記圧電体と前記第１連結部の前記複数の電極及び前記第２連結部の前記複数の電極に電気的に連結されるように、前記吸音層に電極層を形成する段階をさらに含むことが好ましい。
また、前記圧電体は、直線状に配列される複数の圧電体を含み、該複数の圧電体が配列される方向を配列方向とし、該配列方向に直交する方向を縦方向とし、前記吸音層を形成する段階では、前記第１連結部および前記第２連結部を前記縦方向から見たとき、前記第１連結部の前記複数の電極と前記第２連結部の前記複数の電極が交互に配置されるように、前記第２連結部を前記吸音体の間に前記複数の電極が前記縦方向に沿って配置されるように配置することが好ましい。
また、本発明は、前記吸音層に装着溝を形成する段階をさらに含み、前記第１連結部に圧電体を積層する段階では、前記装着溝に前記圧電体を挿入することが好ましい。
本発明の超音波診断装置用プローブ及びその製造方法によると、製造過程で難しくて手間が多くかかる半田付け作業の代わりに、電極層を用いて圧電体と第１連結部、または圧電体と第１連結部及び第２連結部とが接続されるので、接続作業が容易になり、接続不良による性能低下の発生頻度を少なくし、設置作業中に発生する発熱によって圧電体の性能が低下するのを防止することができる。
また、本発明は、第１連結部または第１連結部及び第２連結部が吸音層と圧電体との間に配置される代わりに、各吸音体の間に挟まれて接合され、電極層を通して圧電体と電気的に連結される構造をとることで、圧電体と第１連結部または第２連結部との間の接続不良によって性能が低下する頻度を少なくし、第１連結部及び第２連結部が破損するのを防止することができる。
また、本発明は、吸音体に第１連結部及び第２連結部が挟まれて接合され、電極層が形成される形態になっているので、吸音層（吸音体）を独立して製作し保管しておくことが可能である。従って、吸音層を予め所望の形状及び寸法に製作しておき、これと他の部品を組み合わせてトランスデューサを組み立てることができる。この結果、製造が容易になり、製造費用が節減されて、各完成品の均一性も向上する。
また、本発明によれば、信号電極と接地電極との間の距離が近接する形態を有するので、ノイズを減少させることができる。
また、本発明は、第１連結部の電極と第２連結部の電極が交互に配置される構造をとることで、ダイシング（切断）によって分離された各部分が、充分な強度を保持しながらより狭いピッチを有し、かつ、高密度でありながら小さい形状を有することができる。
また、本発明は、吸音体に装着溝が形成され、この装着溝に圧電体が挿入される構造をとることで、その形状を小型化することができ、圧電体と第１連結部及び第２連結部との接続作業を容易にする。これにより、圧電体の支持構造は、より堅固になり、接続不良による性能低下を抑制することができる。
本発明の第１実施例に係る超音波診断装置用プローブの構成を概略的に示す図である。 本発明の第１実施例に係る超音波診断装置用プローブの他の構成を概略的に示す図である。 本発明の第１実施例に係る超音波診断装置用プローブの製造方法を示すフローチャートである。 本発明の第１実施例に係る吸音層を形成する過程を示す図である。 本発明の第１実施例に係る吸音層を形成する過程を示す図である。 本発明の第１実施例に係る吸音層に電極層を形成する過程を示す図である。 本発明の第２実施例に係る超音波診断装置用プローブの構成を概略的に示す図である。 本発明の第２実施例に係る超音波診断装置用プローブの製造方法を示すフローチャートである。 本発明の第２実施例に係る吸音層を形成する過程を示す図である。 本発明の第２実施例に係る吸音層を形成する過程を示す図である。 本発明の第２実施例に係る吸音層に電極層を形成する過程を示す図である。 本発明の第２実施例に係る吸音層の分離状態を示す図である。 本発明の第３実施例に係る超音波診断装置用プローブの構成を概略的に示す図である。 本発明の第３実施例に係る超音波診断装置用プローブの製造方法を示すフローチャートである。
以下、添付された各図面を参照して、本発明に係る超音波診断装置用プローブ及びその製造方法の実施例を説明する。図面で示す各線の太さや構成要素の大きさなどは、説明の明瞭性と便宜のために、誇張して図示されることがある。また、後述する各用語は、本発明での機能を考慮して定義された用語で、これは、使用者、運用者の意図又は慣例によって変わり得る。したがって、このような各用語は、本明細書の全般的な内容に基づいて定義されるべきである。なお、以下の説明において、「前方」は各図における「上」または「上方」を、「後方」は各図における「下」または「下方」を意味する。
図１及び図２は、本発明の第１実施例に係る超音波診断装置用プローブの構成を概略的に示す図である。
まず、図１を参照すると、本発明の第１実施例に係る超音波診断装置用プローブ１００は、吸音層１１０、第１連結部１２０及び圧電体１３０を備えている。
吸音層１１０は、後述する圧電体１３０の後方（図１では下側）に配置される。吸音層１１０は、圧電体１３０の自由振動を抑制することで超音波のパルス幅を減少させ、超音波が不必要に圧電体１３０の後方に伝播するのを遮断することで、映像の歪みを防止する。
吸音層１１０は、複数個の吸音体１１１、１１２を備えており、吸音体１１１、１１２の接合によって形成される。吸音層１１０は、エポキシ樹脂及びタングステンパウダーなどが添加されたゴムを含む材質で形成される。
第１連結部１２０は、絶縁部（図１で電極１２５以外の部分）及び電極１２５を含む。電極１２５は、絶縁部上に複数個形成され、"配列方向"に離隔して形成される。ここで、"配列方向"とは、図４に示すように、アレイ形状に電極１２５（圧電体１３０）が配列される方向（第１連結部１２０の長手方向）を意味する。すなわち、電極１２５は、アレイ形状に複数の圧電体１３０が配列される方向に離隔して形成される。
本実施例において、第１連結部１２０に形成される電極１２５は、後述する圧電体１３０の第１電極１３１と電気的に連結される信号電極である。
このような電極１２５を含む第１連結部１２０は、各吸音体１１１、１１２の間に挟まれて接合される。本実施例によると、第１連結部１２０は、二つの吸音体１１１、１１２の間に挿入され、吸音体１１１と吸音体１１２との間に挟まれて接合される。
第１連結部１２０は、"吸音体１１１、１１２の間で縦方向"に配置され、吸音体１１１、１１２は、第１連結部１２０の両側面にそれぞれ接合されることで吸音層１１０を形成する。ここで、"吸音体１１１、１１２の間で縦方向"とは、後述する電極層１１５と直交する方向を意味する（図４参照）。すなわち、前記配列方向と直交する方向を意味する。
このように各吸音体１１１、１１２の間に挟まれて接合される第１連結部１２０の一端（図１で上端）は、圧電体１３０と隣接する吸音層１１０の前方（図1で吸音層１１０の上側）に露出され、他端（図１で下端）は、吸音層１１０の後方を通して吸音層１１０の外側（下側）に延在される。第１連結部１２０の一端が吸音層１１０の前方に露出されるので、吸音層１１０の前方には、第１連結部１２０の電極１２５が吸音層１１０の外側（上側）に露出される。
上記のような第１連結部１２０は、フレキシブル印刷回路基板（Ｆｌｅｘｉｂｌｅ Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ；ＦＰＣＢ）で構成されるが、その他に、印刷回路基板（Ｐｒｉｎｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ Ｂｏａｒｄ；ＰＣＢ）など、電気信号を供給することができる全ての構成を含むことができる。
一方、吸音層１１０は電極層１１５を備えている。電極層１１５は、吸音層１１０の上に形成され、吸音層１１０と圧電体１３０との間に配置される。このような電極層１１５は、電極１２５と電気的に連結されるように配置される。
本実施例によると、電極層１１５は、吸音層１１０の表面、好ましくは圧電体１３０と隣接する吸音層１１０の前方側の表面（上面）に形成される。このような電極層１１５は、蒸着、スパッタリング、めっきまたはスプレーなどの方法で形成される。
圧電体１３０は、電極１２５と電気的に連結されるように配置される。圧電体１３０は、共振現象を用いて超音波を発生させるもので、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）のセラミック、亜鉛ニオブ酸鉛及びチタン酸鉛の固溶体で作られるＰＺＮＴ単結晶、マグネシウムニオブ酸鉛及びチタン酸鉛の固溶体で作られるＰＺＭＴ単結晶などで形成される。
圧電体１３０には、第１電極１３１及び第２電極１３５が形成される。第１電極１３１及び第２電極１３５は、圧電体１３０の前方及び後方にそれぞれ配置され、このうち、第１電極１３１は、電極層１１５と電気的に連結される。
第１電極１３１及び第２電極１３５は、高伝導性金属で形成される。ここで、第１電極１３１及び第２電極１３５のうちのいずれか一つは、圧電体１３０の信号電極（または正極）に該当し、他の一つは、圧電体１３０の接地電極（または負極）に該当する。
前記第１電極１３１及び第２電極１３５は、信号電極と接地電極とが互いに分離されるように形成される。本実施例においては、第１電極１３１が信号電極に該当し、第２電極１３５が接地電極に該当する。
本実施例によると、圧電体１３０は、互いに電気的に連結される電極層１１５と第１電極１３１を介して電極１２５と電気的に連結される。
前記圧電体１３０は、複数個の圧電体１３０がアレイ形状（直線状）に配列される形態をとることで、多チャンネルとして使用される。これによって、電極層１１５は、アレイ形状に配列される圧電体１３０に対応するように複数個が並んでアレイ形状に配列される。このようにアレイ形状に配列されるそれぞれの圧電体１３０及び電極層１１５は、配列方向に離隔して形成される各電極１２５にそれぞれ対応して連結される。
本実施例の超音波診断装置用プローブ１００は、音響整合層１４０及び接地連結部１５０をさらに備える。
音響整合層１４０は、圧電体１３０の前方（図1の上側）に配置される。音響整合層１４０は、圧電体１３０の音響インピーダンスと対象体の音響インピーダンスとを整合させ、圧電体１３０から発生する超音波信号を対象体に効率的に伝達させる役割をするもので、圧電体１３０の音響インピーダンスと対象体の音響インピーダンスとの中間値を有するように設定される。
このような音響整合層１４０は、ガラスまたは樹脂材質で形成され、音響インピーダンスが圧電体１３０から対象体に向かって段階的に変化するように、互いに異なる材質で形成される第１音響整合層１４２及び第２音響整合層１４４を備える。
音響整合層１４０には、電極部１４５が備えられている。電極部１４５は、音響整合層１４０の全体を取り囲むように形成されるか、音響整合層１４０の一部分に形成される。電極部１４５が音響整合層１４０の一部分に形成される場合、電極部１４５は、圧電体１３０と隣接する第１音響整合層１４２を取り囲むように形成されることが好ましい。
電極部１４５は、電極層１１５の場合と同様に、蒸着、スパッタリング、めっきまたはスプレーなどの方法で形成される。
このような電極部１４５は、圧電体１３０の第２電極１３５と電気的に連結される。このような連結によって、圧電体１３０は電極部１４５と電気的に連結される。
接地連結部１５０は、電極部１４５と電気的に連結される。接地連結部１５０は、第１連結部１２０の場合と同様に、印刷回路基板、フレキシブル印刷回路基板、及び電気信号を供給することができる全ての部材で構成することができる。このような接地連結部１５０は、鉛などのはんだ付け材料や異方性伝導体などによって電極部１４５に連結される。このような電極部１４５との連結を通して、接地連結部１５０は、圧電体１３０の第２電極１３５に連結されることで、圧電体１３０と電気的に連結される。
上述した例によると、圧電体１３０と接地連結部１５０との連結が、音響整合層１４０に形成される電極部１４５によって行われるが、本発明はこれに限定されることはない。本発明によると、圧電体１３０と接地連結部１５０との連結は、上述した方式の他にも多様な方式で行われる。
一例として、図２を参照すると、第１音響整合層１６２及び第２音響整合層１６４を備える音響整合層１６０は、圧電体１３０に直接連結される。すなわち、音響整合層１６０は、圧電体１３０の第２電極１３５と電気的に連結される。
音響整合層１６０は、その全体が伝導性材質で形成されるか、一部分が伝導性材質で形成される。音響整合層１６０の一部分が伝導性材質で形成される場合、圧電体１３０と隣接する第１音響整合層１６２が伝導性材質で形成されることが好ましい。
一方、図示していないが、本実施例の超音波診断装置用プローブ１００は、音響整合層１４０の前方に配置され、前方に進行する超音波信号を特定の地点に収束させるレンズ層をさらに備えることができる。
このような本実施例の超音波診断装置用プローブ１００は、線形の表面形状を有するリニアタイプのプローブ及びフェイズドアレー（Phased Array）タイプのプローブ形態であるか、凸状の表面形状を有するコンベックス（Ｃｏｎｖｅｘ）タイプのプローブ形態である。
図３は、本発明の第１実施例に係る超音波診断装置用プローブの製造方法を示すフローチャートである。また、図４及び図５は、本発明の第１実施例に係る吸音層を形成する過程を、図６は、本発明の第１実施例に係る吸音層に電極層を形成する過程を示す図である。
以下、図１乃至図６を参照して、本発明の第１実施例に係る超音波診断装置用プローブの製造方法に対して説明する。
本実施例の超音波診断装置用プローブの製造方法（Ｓ１００）によると、図４に示すように、まず、第１連結部１２０（絶縁部）に電極１２５を形成する（Ｓ１１０）。
このとき、各電極１２５は、吸音体１１１、１１２の間に縦方向（図４の上下方向）に沿って形成され、配列方向、すなわち、アレイ形状に圧電体１３０が配列される方向に離隔して形成される。
本実施例では、第１連結部１２０がフレキシブル印刷回路基板で構成されているが、本発明はこれに限定されることはない。本発明の第１連結部１２０は、フレキシブル印刷回路基板の他に、印刷回路基板を含め、電気信号を供給することができる他の部材で構成することができ、多様な変形実施が可能である。
上記のように第１連結部１２０に電極１２５を形成するとともに、図５に示すように、第１連結部１２０を各吸音体１１１、１１２の間に挟んで接合して、吸音層１１０を形成する（Ｓ１２０）。
このために、まず、エポキシ樹脂及びタングステンパウダーなどが添加されたゴムを含む材質で吸音体１１１、１１２を形成する。その後、吸音体１１１と吸音体１１２との間に第１連結部１２０を電極１２５が縦方向に沿って配置されるように配置し、第１連結部１２０の両側面に吸音体１１１、１１２を接合して吸音層１１０の形成を完了する。
このように各吸音体１１１、１１２の間に接合される第１連結部１２０は、一端が圧電体１３０と隣接する吸音層１１０の前方に露出され、他端が吸音層１１０の後方を通して吸音層１１０の外側に延在される形態を有する。
第１連結部１２０の一端が吸音層１１０の前方に露出されるので、吸音層１１０の前方には、第１連結部１２０の電極１２５が吸音層１１０の外側に露出される。
吸音層１１０を形成した後は、図６に示すように、圧電体１３０及び電極１２５と電気的に連結されるように吸音層１１０に電極層１１５を形成する（Ｓ１３０）。
本実施例においては、電極層１１５を吸音層１１０の表面、好ましくは圧電体１３０と隣接する吸音層１１０の前方側の表面（上面）に形成する。このような電極層１１５は、蒸着、スパッタリング、めっきまたはスプレーなどの方法で形成される。
上記のように形成される電極層１１５によると、吸音層１１０の表面に接する電極層１１５の後方側（下面）は、第１連結部１２０の電極１２５と電気的に連結される。
吸音層１１０の上に電極層１１５が形成されると、圧電体１３０が電極１２５と電気的に連結されるように、吸音層１１０の上に圧電体１３０を積層する（Ｓ１４０）。すなわち、電極層１１５上に、第１電極１３１、圧電体１３０、第２電極１３５を順次積層する。
この過程で、圧電体１３０の第１電極１３１は、電極層１１５と電気的に連結される。このように第１電極１３１に連結される電極層１１５が第１連結部１２０の電極１２５と電気的に連結される状態であるので、圧電体１３０は、互いに電気的に連結される電極層１１５と第１電極１３１を介して電極１２５と電気的に連結される。
一方、本実施例の圧電体１３０は、所定の間隔を有して複数個に分離され、その分離された複数個の圧電体１３０が並んでアレイ形状に配列される形態をとることで、第１連結部１２０に形成されている複数個の電極１２５に対応して多チャンネルで使用される。
そして、電極層１１５も、圧電体１３０に形成された第１電極１３１に対応するように複数個に分離され、分離された複数個の電極層１１５は、それぞれの第１電極１３１に対応するように並んでアレイ形状に配列される形態をとる。
本実施例においては、吸音層１１０と圧電体１３０の積層体は、ダイシング装置（図示せず）によってダイシング（切断）される。このようなダイシングは、電極層１１５が確実に分離される程度の深さで行われる。
前記ダイシングによって、圧電体１３０は、所定の間隔を有して複数個に分離され、その分離された一つの圧電体１３０に形成された第１電極１３１及び第２電極１３５は、隣接する他の圧電体１３０に形成された第１電極１３１及び第２電極１３５と電気的に完全に分離される。
そして、前記ダイシングによって、分離された一つの圧電体１３０に形成された第１電極１３１に、分離された一つの電極層１１５のみが連結されるように、分離された一つの電極層１１５は、隣接する他の電極層１１５と電気的に完全に分離される。
本実施例では、電極層１１５が、圧電体１３０と一緒にダイシングされることで、第１電極１３１に対応して分離されるように形成されるが、本発明はこれに限定されることはない。本発明の電極層１１５は、圧電体１３０が吸音層１１０に積層される前に、光エッチング、エッチングなどによって第１電極１３１に対応して分離されるようにパターニングされる方法で製作することも可能で、多様な実施方法が可能である。
上記のように吸音層１１０に圧電体１３０が積層されると、図１に示すように、圧電体１３０と接地連結部１５０とを電気的に連結する（Ｓ１５０）。
接地連結部１５０は、音響整合層１４０に形成される電極部１４５と第２電極１３５との電気的連結を通して圧電体１３０と電気的に連結されるか、図２に示すように、それ自体が伝導性材質で形成される音響整合層１６０（第１音響整合層１６２）と第２電極１３５との電気的連結を通して圧電体１３０と電気的に連結される。
上述した超音波診断装置用プローブの製造方法（Ｓ１００）は、必ず上述した順に実施される必要はなく、その順序を変えて実施したり、同時に実施してもかまわない。
上述したような本実施例の超音波診断装置用プローブ１００は、製造過程で難しくて手間が多くかかる半田付け作業の代わりに、電極層１１５を用いて圧電体１３０と第１連結部１２０とを接続させることで、接続作業が容易になる上、接続不良による不良率の発生を少なくすることができる。また、設置作業中に発生する発熱によって圧電体１３０の性能が低下するのを防止することができる。
また、本実施例の超音波診断装置用プローブ１００は、第１連結部１２０が吸音層１１０と圧電体１３０との間に配置されずに、各吸音体１１１、１１２の間に挟まれて接合され、電極層１１５を通して圧電体１３０と電気的に連結される構造をとることで、圧電体１３０と第１連結部１２０との間の接続不良による性能低下の発生を少なくし、反りによって第１連結部１２０が破損するのを防止することができる。
また本発明によれば、吸音体１１１と１１２の間に第１連結部１２０を挟んで接合し、吸音体１１１、１１２の上に電極層１１５を形成することにより、吸音層１１０（吸音体１１１、１１２）を独立して製作及び保管することが可能である。従って、本実施例の超音波診断装置用プローブ１００は、予め吸音層１１０を所望の形状及び寸法に製作しておき、これに他の部品を接続して組み立てることにより、プローブの製造が容易になり、完成品の均一性が向上するばかりか、製造費用も低下させることができる。
図７は、本発明の第２実施例に係る超音波診断装置用プローブの構成を概略的に示す図である。
説明の便宜のために、上述した実施例と構成及び機能が同一または類似のものについては、同一の図面番号で引用し、これに対する詳細な説明は省略する。
図７を参照すると、本発明の第２実施例に係る超音波診断装置用プローブ２００は、吸音層２１０、第１連結部１２０、第２連結部２７０、圧電体１３０、音響整合層１４０及び接地連結部１５０を備えている。
吸音層２１０は、圧電体１３０の後方（図７では下側）に配置される。吸音層２１０は、複数個の吸音体２１１、２１２、２１３を備えており、吸音体２１１、２１２、２１３の接合によって形成される。吸音層２１０は、エポキシ樹脂及びタングステンパウダーなどが添加されたゴムを含む材料で形成される。
第１連結部１２０は、各吸音体２１１、２１２の間に挟まれて接合される。本実施例によると、第１連結部１２０は、３個の吸音体２１１、２１２、２１３のうち二つの吸音体２１１、２１２の間に挿入され、吸音体２１１と吸音体２１２との間に挟まれて接合される。また、第１連結部１２０は、吸音体２１１と２１２の間に、電極１２５が縦方向に沿って配置されるように配置され、吸音体２１１、２１２は、第１連結部１２０の両側面に接合される。
このように各吸音体２１１、２１２の間に挿入される第１連結部１２０の一端は、圧電体１３０と隣接する吸音層２１０の前方に露出され、他端は、吸音層２１０の後方を通して吸音層２１０の外側に延在される。第１連結部１２０の一端が吸音層２１０の前方に露出されるので、吸音層２１０の前方には、第１連結部１２０の電極１２５が吸音層２１０の外側に露出される。
第２連結部２７０は、絶縁部（図７で電極２７５以外の部分）及び電極２７５を備える。電極２７５は、絶縁部上に複数個備わり、配列方向（第２連結部２７０の長手方向）に離隔して形成される。本実施例によると、第２連結部２７０は、二つの吸音体２１２、２１３の間に挿入され、吸音体２１２と吸音体２１３との間に挟まれて接合される。第２連結部２７０は、吸音体２１２と２１３の間で、電極２７５が縦方向に沿って配置されるように配置され、吸音体２１２、２１３は、第２連結部２７０の両側面にそれぞれ接合される。
このように吸音体２１２と２１３の間に挟まれて接合される第２連結部２７０の一端（図７で上端）は、圧電体１３０と隣接する吸音層２１０の前方に露出され、他端（図７で下端）は、吸音層２１０の後方を通して吸音層２１０の外側（下側）に延在される。第２連結部２７０の一端が吸音層２１０の前方に露出されるので、吸音層２１０の前方には、第２連結部２７０の電極２７５が吸音層２１０の外側（上側）に露出される。
第２連結部２７０は、第１連結部１２０の場合と同様に、フレキシブル印刷回路基板の他、印刷回路基板など、電気信号を供給できる全ての構成を含む。
実施例によれば、第１連結部１２０及び第２連結部２７０は、吸音層２１０が占める幅だけ離隔して配置される。すなわち、吸音層２１０内に離隔して配置される。また、第２連結部２７０の電極２７５は、図７の右側から見て、第１連結部１２０の電極１２５と交互に配置される。
さらに、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５は、圧電体１３０の第１電極１３１と電気的に連結される。
一方、吸音層２１０は電極層２１５を備える。電極層２１５は、吸音層２１０の上に形成され、吸音層２１０と圧電体１３０との間に配置される。このような電極層２１５は、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と電気的に連結されるように配置される。
圧電体１３０は、複数個の圧電体１３０がアレイ形状に配列される形態をとることで、多チャンネルとして使用される。このため、電極層２１５も、アレイ形状に配列される圧電体１３０に対応して複数個が並んでアレイ形状に配列される形態をとる。このようにアレイ形状に配列されるそれぞれの圧電体１３０及び電極層２１５は、配列方向に離隔して形成される各電極１２５、２７５にそれぞれ対応して連結される。
音響整合層１４０には電極部１４５が備えられており、接地連結部１５０は、電極部１４５と電気的に連結される。本実施例では、圧電体１３０と接地連結部１５０との連結は、音響整合層１４０に形成される電極部１４５によって行われるが、本発明はこれに限定されることはなく、本発明に係る圧電体１３０と接地連結部１５０との連結は、上記の方式以外にも多様な方式で行うことができる。
図８は、本発明の第２実施例に係る超音波診断装置用プローブの製造方法を示すフローチャートである。図９及び図１０は、本発明の第２実施例に係る吸音層を形成する過程を、また図１１は、前記吸音層に電極層を形成する過程を示す図である。
以下、図７乃至図１１を参照して、本発明の第２実施例に係る超音波診断装置用プローブの製造方法について説明する。
本実施例の超音波診断装置用プローブの製造方法（Ｓ２００）によると、図９に示すように、まず、第１連結部１２０（絶縁部）に電極１２５を形成し（Ｓ２１０）、第２連結部２７０（絶縁部）に電極２７５を形成する（Ｓ２２０）。
このとき、第１連結部１２０の各電極１２５及び第２連結部２７０の各電極２７５は、吸音体２１１、２１２、２１３の間で縦方向に沿って形成され、配列方向、すなわち、アレイ形状に圧電体１３０が配列される方向に離隔して形成される。
上記のように第１連結部１２０及び第２連結部２７０にそれぞれ電極１２５及び２７５を形成した後は、図１０に示すように、第１連結部１２０及び第２連結部２７０を各吸音体２１１、２１２、２１３の間に挟んで接合して、吸音層２１０を形成する（Ｓ２３０）。
このために、まず、エポキシ樹脂及びタングステンパウダーなどが添加されたゴムを含む材質で吸音体２１１、２１２、２１３を形成する。その後、吸音体２１１と吸音体２１２との間に第１連結部１２０を電極１２５が縦方向に沿って配置されるように配置し、第１連結部１２０の両側面に吸音体２１１、２１２を接合する。
さらに、吸音体２１２と吸音体２１３との間に第２連結部２７０を電極２７５が縦方向に沿って配置されるように配置し、第２連結部２７０の両側面に吸音体２１２、２１３を接合して吸音層２１０の形成を完了する。
このように各吸音体２１１、２１２、２１３の間に挟まれて接合される第１連結部１２０及び第２連結部２７０は、一端が圧電体１３０と隣接する吸音層２１０の前方に露出され、他端が吸音層２１０の後方を通して吸音層２１０の外側に延在される形態を有する。
第１連結部１２０及び第２連結部２７０の一端が吸音層２１０の前方に露出されるので、吸音層２１０の前方には、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５が吸音層２１０の外側にそれぞれ露出される。
本実施例によると、吸音層２１０の形成時、第１連結部１２０と第２連結部２７０を、各電極部１２５、２７５が縦方向に沿って配置されるように、吸音体２１１、２１２、２１３の間に配置するが、図９の右側から見て、第１連結部１２０の電極１２５と第２連結部２７０の電極２７５とを交互に配置することが好ましい。
吸音層２１０を形成した後には、図１１に示すように、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と圧電体１３０に電気的に連結されるように吸音層２１０に電極層２１５を形成する（Ｓ２４０）。
上記のように電極層２１５が形成されると、吸音層２１０の表面に接する電極層２１５の後方側は、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と電気的に連結される。
吸音層２１０に電極層２１５が形成されると、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と電気的に連結されるように吸音層２１０の上に圧電体１３０を積層する（Ｓ２５０）。すなわち、電極層２１５上に、第１電極１３１、圧電体１３０、第２電極１３５を順次積層する。
この過程で、圧電体１３０の第１電極１３１は、電極層２１５と電気的に連結される。このように第１電極１３１に連結される電極層２１５は、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と電気的に連結される状態であるので、圧電体１３０は、互いに電気的に連結される電極層２１５と第１電極１３１を介して第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と電気的に連結される。
一方、本実施例の圧電体１３０は、本発明の第１実施例の場合と同様に、所定の間隔を有して複数個に分離され、分離された複数個の圧電体１３０が並んでアレイ形状に配列される形態をとることで、第１連結部１２０及び第２連結部２７０に形成されている複数個の電極１２５、２７５に対応する多チャンネルとして使用される。
そして、電極層２１５も、圧電体１３０に形成された第１電極１３１に対応するように複数個に分離され、分離された複数個の電極層２１５は、それぞれの第１電極１３１に対応するように並んでアレイ形状に配列される。
本実施例によると、吸音層２１０と圧電体１３０の積層体は、ダイシング装置（図示せず）によってダイシングされる。このようなダイシングは、電極層２１５が確実に分離される程度の深さで行われる。
前記ダイシングによって、圧電体１３０は、所定の間隔を有して複数個に分離され、分離された一つの圧電体１３０に形成された第１電極１３１及び第２電極１３５は、隣接する他の圧電体１３０に形成された第１電極１３１及び第２電極１３５と電気的に完全に分離される。
そして、前記ダイシングによって、分離された一つの圧電体１３０に形成された第１電極１３１に、分離された一つの電極層２１５のみが連結されるように、分離された一つの電極層２１５は、隣接する他の電極層２１５と電気的に完全に分離される。
図１２は、本発明の第２実施例に係る吸音層の分離状態を示す図である。
以下、図１２を参照して、ダイシングによる吸音層と第１連結部及び第２連結部との分離状態について説明する。ここで、図１２では、電極層の図示が省略されている。
図１２を参照すると、吸音層２１０と圧電体１３０（図７参照）の積層体をダイシングすることによって、吸音層２１０と、この吸音層２１０に形成される電極層２１５（図７参照）と、この電極層２１５に電気的に連結される第１連結部１２０及び第２連結部２７０は、次のように分離される。
すなわち、電極層２１５は、上記のように行われるダイシングによって、分離された一つの電極層２１５が、隣接する他の電極層２１５と電気的に完全に分離される。このとき、分離された一つの電極層２１５には、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５のうち何れか一つのみと連結される。
このためには、電極層２１５をダイシングによって分離するとき、配列方向に形成される第１連結部１２０の各電極１２５の間に該当する部分を分離すると同時に、配列方向に備わる第２連結部２７０の各電極２７５の間に該当する部分も分離しなければならない。
本実施例によると、図１２に示すように、第１連結部１２０の電極１２５と第２連結部２７０の電極２７５が交互に配置されるので、電極層２１５を分離するようにダイシングすることによって電極層２１５に形成される各分離線ｄは、第１連結部１２０の各電極１２５の間に形成されると同時に、第１連結部１２０の各電極１２５と交互に配置される第２連結部２７０の各電極２７５の間に形成される。
これによって、分離された一つの電極層２１５は、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５のうち何れか一つのみと連結される。
上記のように吸音層２１０に圧電体１３０が積層されると、図７に示すように、圧電体１３０（第２電極１３５）に音響整合層１４０を積層し、圧電体１３０と接地連結部１５０とを電気的に連結する（Ｓ２６０）。これに対する詳細な事項は、本発明の第１実施例で説明した通りであるので、これに対する説明は省略する。
上述した超音波診断装置用プローブの製造方法（Ｓ２００）は、必ず上述した順に実施される必要はなく、その順序を変えて実施したり、同時に実施することもできる。
上述したような本実施例の超音波診断装置用プローブ２００は、第１連結部１２０及び第２連結部２７０、すなわち、複数個の連結部１２０、２７０が圧電体１３０と電気的に連結される構造をとることで、第１連結部１２０及び第２連結部２７０と接地連結部１５０との間の距離を近接させることができる。
これによって、本実施例の超音波診断装置用プローブ２００は、第１連結部１２０及び第２連結部２７０の電極１２５、２７５（すなわち、信号電極）と接地連結部１５０の電極（すなわち、接地電極）との間の距離が近接する形態を有するので、ノイズを減少させることができる。
また、本実施例の超音波診断装置用プローブ２００は、吸音層２１０に複数個の連結部１２０、２７０が接合され、第１連結部１２０の電極１２５と第２連結部２７０の電極２７５が交互に配置される構造をとることで、ダイシングによって分離された各部分は、充分な強度を有しながらも、より狭いピッチを有することができ、高密度でありながらも小さい形状を有することができる。
図１３は、本発明の第３実施例に係る超音波診断装置用プローブの構成を概略的に示す図である。
説明の便宜のために、上述した実施例と構成及び機能が同一の構造または類似した構造には、同一の図面番号で引用し、これに対する詳細な説明は省略する。
図１３を参照すると、本発明の第３実施例に係る超音波診断装置用プローブ３００は、吸音層３１０、第１連結部１２０、第２連結部２７０、圧電体１３０、音響整合層１６０及び接地連結部１５０を備えている。
吸音層３１０は、圧電体１３０の後方に配置される。吸音層３１０は、複数個の吸音体３１１、３１２、３１３を備えており、吸音体３１１、３１２、３１３と第１連結部１２０及び第２連結部２７０との接合によって形成される。
本実施例によると、吸音層３１０には装着溝３１４が形成される。装着溝３１４は、圧電体１３０と隣接する吸音層３１０の前方に形成される。このような装着溝３１４に圧電体１３０が挿入される。装着溝３１４は、圧電体１３０が吸音層３１０に挿入されるように、圧電体１３０に対応する形状に吸音層３１０に凹んで形成される。
さらに、吸音層３１０は電極層３１５を備えている。電極層３１５は、吸音層３１０の上に形成され、吸音層３１０と圧電体１３０との間に配置される。このような電極層３１５は、装着溝３１４に形成されることが好ましく、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と電気的に連結されるように配置される。
音響整合層１６０は圧電体１３０の前方に配置される。音響整合層１６０は、吸音層３１０と、この吸音層３１０の装着溝３１４に挿入された圧電体１３０とによって構成される平面の上に積層される。
このような音響整合層１６０は、第１音響整合層１６２及び第２音響整合層１６４を備え、圧電体１３０と直接連結される。すなわち、音響整合層１６０は、圧電体１３０（第２電極１３５）の第２電極１３５と電気的に連結される。
音響整合層１６０は、その全体が伝導性材質で形成されるか、一部分が伝導性材質で形成される。音響整合層１６０の一部分が伝導性材質で形成される場合、圧電体１３０と隣接する第１音響整合層１６２が伝導性材質で形成されることが好ましい。
本実施例では、圧電体１３０と接地連結部１５０との連結が音響整合層１６０の第１音響整合層１６２によって行われるが、本発明はこれに限定されることはなく、本発明に係る圧電体１３０と接地連結部１５０との連結は、上述した方式以外にも多様な方式で行うことができる。
図１４は、本発明の第３実施例に係る超音波診断装置用プローブの製造方法を示すフローチャートである。
以下、図１３及び図１４を参照して、本発明の第３実施例に係る超音波診断装置用プローブの製造方法について説明する。
本実施例の超音波診断装置用プローブの製造方法（Ｓ３００）によると、吸音層３１０に装着溝３１４を形成する（Ｓ３１０）。
一例として、エポキシ樹脂及びタングステンパウダーなどが添加されたゴムを含む材質で形成される吸音体３１１、３１２、３１３に装着溝３１４を形成するために、中心に配置される吸音体３１２の両側に配置される吸音体３１１、３１３が段差を有して形成される。このような吸音体３１１、３１３は、段差が付いた部分の面が、中心に配置された吸音体３１２の上面と同一の高さで形成され、中心に配置された吸音体３１２と隣接するように配置されることで、装着溝３１４を形成することができる。
そして、第１連結部１２０（絶縁部）に電極１２５を形成し（Ｓ３２０）、第２連結部２７０（絶縁部）に電極２７５を形成する（Ｓ３３０）。
このとき、第１連結部１２０の各電極１２５及び第２連結部２７０の各電極２７５は、吸音体３１１、３１２、３１３の間で縦方向に沿って形成され、配列方向、すなわち、アレイ形状に圧電体１３０が配列される方向に離隔して形成される。
上記のように第１連結部１２０及び第２連結部２７０に電極１２５、２７５を形成するとともに、第１連結部１２０及び第２連結部２７０を各吸音体３１１、３１２、３１３の間に挟んで接合して吸音層３１０を形成する（Ｓ３４０）。
このために、吸音体３１１と吸音体３１２との間に第１連結部１２０を電極１２５が縦方向に沿って配置されるように配置し、第１連結部１２０の両側面に吸音体３１１、３１２を接合する。さらに、吸音体３１２と吸音体３１３との間に第２連結部２７０を電極２７５が縦方向に沿って配置されるように配置し、第２連結部２７０の両側面に吸音体３１２、３１３を接合して吸音層３１０の形成を完了する。
このように各吸音体３１１、３１２、３１３の間に挟まれて接合される第１連結部１２０及び第２連結部２７０は、一端（図１３で上端）が装着溝３１４を通して圧電体１３０と隣接する吸音層３１０の前方に露出され、他端（図１３で下端）が吸音層３１０の後方を通して吸音層３１０の外側に延在される形態を有する。
第１連結部１２０及び第２連結部２７０の一端が装着溝３１４を通して吸音層３１０の前方に露出されるので、吸音層３１０の前方には、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５が装着溝３１４を通して吸音層３１０の外側にそれぞれ露出される。
吸音層３１０を形成した後は、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と圧電体１３０に電気的に連結されるように吸音層３１０の上に電極層３１５を形成する（Ｓ３５０）。電極層３１５は、装着溝３１４に形成されることが好ましい。
上記のように電極層３１５が形成されると、装着溝３１４の表面に接する電極層３１５の後方側は、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と電気的に連結される。
吸音層３１０の上に電極層３１５が形成されると、第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と電気的に連結されるように装着溝３１４に圧電体１３０を挿入し、吸音層３１０に圧電体１３０を積層する（Ｓ３６０）。すなわち、電極層３１５上に、第１電極１３１、圧電体１３０、第２電極１３５を順次積層する。
この過程で、圧電体１３０の第１電極１３１は、圧電体１３０と隣接する電極層３１５の前方側と電気的に連結される。このように第１電極１３１に連結される電極層３１５は、その後方側が第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と電気的に連結される状態であるので、圧電体１３０は、互いに電気的に連結される電極層３１５と第１電極１３１を介して第１連結部１２０の電極１２５及び第２連結部２７０の電極２７５と電気的に連結される。
上記のように吸音層３１０に圧電体１３０が積層されると、圧電体１３０（第２電極１３５）に音響整合層１６０を積層し、圧電体１３０と接地連結部１５０とを電気的に連結する（Ｓ３７０）。これに対する詳細な事項は、本発明の第１実施例で説明した通りであるので、これに対する説明は省略する。
上述した超音波診断装置用プローブの製造方法（Ｓ３００）は、必ず上述した順に実施されることなく、その順序を変えて実施したり、同時に実施してもかまわない。
上述したような本実施例の超音波診断装置用プローブ３００は、吸音体３１１、３１２、３１３に装着溝３１４が形成され、この装着溝３１４に圧電体１３０が挿入される構造をとることで、その形状が小型化されるだけでなく、圧電体１３０と第１連結部１２０及び第２連結部２７０との接続作業を容易にし、圧電体１３０の支持構造をより堅固にすることで、接続不良及びこれによる性能低下を抑制することができる。
本発明は、図面に示した実施例を参考にして説明したが、これは、例示的なものに過ぎず、当該技術分野で通常の知識を有する者であれば、これから多様な変形及び均等な他の実施例が可能である点を理解するであろう。したがって、本発明の真の技術的保護範囲は、下記の特許請求の範囲によって定められるべきである。
１００，２００，３００ 超音波診断装置用プローブ、
１１０，２１０，３１０ 吸音層、
１１１，１１２，２１１，２１２，２１３，３１１，３１２，３１３ 吸音体、
１１５，２１５，３１５ 電極層、１２０ 第１連結部、
１２５，２７５ 電極、１３０ 圧電体、
１３１ 第１電極、１３５ 第２電極、
１４０，１６０ 音響整合層、１４２，１６２ 第１音響整合層、
１４４，１６４ 第２音響整合層、１４５ 電極部、
１５０ 接地連結部、２７０ 第２連結部、
３１４ 装着溝

Claims (16)

  1. 複数の吸音体を備える吸音層と、
    互いに離隔して形成される複数の電極を備えており、前記各吸音体の間に挟まれて接合される第１連結部と、
    前記複数の電極と電気的に連結されるように配置される圧電体と、を備えることを特徴とする超音波診断装置用プローブ。
  2. 前記圧電体は、直線状に配列される複数の圧電体を含み、該複数の圧電体が配列される方向を配列方向とし、該配列方向に直交する方向を縦方向とし、
    前記第１連結部は、前記吸音体の間に、前記複数の電極が前記縦方向に沿って配置されるように配置されることを特徴とする請求項１に記載の超音波診断装置用プローブ。
  3. 前記第１連結部は、フレキシブル印刷回路基板を含むことを特徴とする請求項１に記載の超音波診断装置用プローブ。
  4. 前記吸音層には、前記複数の電極と電気的に連結される電極層が備えられていることを特徴とする請求項１に記載の超音波診断装置用プローブ。
  5. 前記電極層は、前記吸音層の表面に形成されることを特徴とする請求項４に記載の超音波診断装置用プローブ。
  6. 前記吸音層には装着溝が形成され、
    前記圧電体は、前記装着溝に挿入されることを特徴とする請求項１に記載の超音波診断装置用プローブ。
  7. 互いに離隔して形成される複数の電極を備えており、前記各吸音体の間に挟まれて接合される第２連結部をさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載の超音波診断装置用プローブ。
  8. 前記第１連結部および前記第２連結部を縦方向から見たとき、前記第１連結部の前記複数の電極と前記第２連結部の前記複数の電極が交互に配置されるように、前記第２連結部が前記吸音体の間に、前記複数の電極が前記縦方向に沿って配置されるように配置されることを特徴とする請求項７に記載の超音波診断装置用プローブ。
  9. 前記第１連結部の前記複数の電極と前記第２連結部の前記複数の電極は、信号電極であることを特徴とする請求項８に記載の超音波診断装置用プローブ。
  10. 第１連結部に互いに離隔するように複数の電極を形成する段階と、
    前記第１連結部を各吸音体の間に挟んで接合して吸音層を形成する段階と、
    前記複数の電極と電気的に連結されるように前記吸音層に圧電体を積層する段階と、を含むことを特徴とする超音波診断装置用プローブの製造方法。
  11. 前記吸音層を形成した後、前記圧電体及び前記複数の電極と電気的に連結されるように、前記吸音層に電極層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１０に記載の超音波診断装置用プローブの製造方法。
  12. 前記圧電体は、直線状に配列される複数の圧電体を含み、該複数の圧電体が配列される方向を配列方向とし、該配列方向に直交する方向を縦方向とし、前記吸音層を形成する段階では、前記第１連結部を前記吸音体の間に、前記複数の電極が前記縦方向に沿って配置されるように配置することを特徴とする請求項１０に記載の超音波診断装置用プローブの製造方法。
  13. 第１連結部に互いに離隔するように複数の電極を形成する段階と、
    第２連結部に互いに離隔するように複数の電極を形成する段階と、
    前記第１連結部及び前記第２連結部を各吸音体の間に挟んで接合して吸音層を形成する段階と、
    前記第１連結部の前記複数の電極及び前記第２連結部の前記複数の電極と電気的に連結されるように前記吸音層に圧電体を積層する段階と、を含むことを特徴とする超音波診断装置用プローブの製造方法。
  14. 前記吸音層を形成した後、前記圧電体と前記第１連結部の前記複数の電極及び前記第２連結部の前記複数の電極に電気的に連結されるように、前記吸音層に電極層を形成する段階をさらに含むことを特徴とする請求項１３に記載の超音波診断装置用プローブの製造方法。
  15. 前記圧電体は、直線状に配列される複数の圧電体を含み、該複数の圧電体が配列される方向を配列方向とし、該配列方向に直交する方向を縦方向とし、
    前記吸音層を形成する段階では、前記第１連結部および前記第２連結部を縦方向から見たとき、前記第１連結部の前記複数の電極と前記第２連結部の前記複数の電極が交互に配置されるように、前記第２連結部を前記吸音体の間に前記複数の電極が前記縦方向に沿って配置されるように配置することを特徴とする請求項１３に記載の超音波診断装置用プローブの製造方法。
  16. 前記吸音層に装着溝を形成する段階をさらに含み、
    前記第１連結部に圧電体を積層する段階では、前記装着溝に前記圧電体を挿入することを特徴とする請求項１３に記載の超音波診断装置用プローブの製造方法。
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