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JP2010138382A - Improved hot melt composition - Google Patents

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JP2010138382A JP2009252756A JP2009252756A JP2010138382A JP 2010138382 A JP2010138382 A JP 2010138382A JP 2009252756 A JP2009252756 A JP 2009252756A JP 2009252756 A JP2009252756 A JP 2009252756A JP 2010138382 A JP2010138382 A JP 2010138382A
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a hot melt composition including an acid wax and an acrylate functional monomer free of acid groups. <P>SOLUTION: The hot melt composition includes an acid wax and an acrylate functional monomer free of acid groups. Upon application of actinic radiation, the hot melt composition is cured to form an etch resist. The hot melt composition may be used in the manufacture of printed circuit boards, optoelectronic and photovoltaic devices. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、化学線への露光により硬化し、めっきレジストおよびエッチングレジストとして機能し、かつ基体から容易に剥離可能なホットメルト組成物に関する。より詳細には、本発明は化学線への露光により硬化し、めっきレジストおよびエッチングレジストとして機能し、基体から容易に剥離可能であり、酸基非含有アクリラートモノマーと一緒に高い酸価のワックスを含むホットメルト組成物に関する。   The present invention relates to a hot melt composition which is cured by exposure to actinic radiation, functions as a plating resist and an etching resist, and can be easily peeled off from a substrate. More particularly, the present invention cures upon exposure to actinic radiation, functions as a plating resist and etching resist, is easily peelable from the substrate, and has a high acid number wax together with an acid group-free acrylate monomer. The present invention relates to a hot melt composition comprising:

ホットメルトは周囲温度で固相であるが、インクジェット印刷装置における高い操作温度において液相で存在する。インクジェット操作温度において、液体ホットメルトの液滴は印刷装置から噴出されて、液滴が印刷物質の表面に接触したときに、液滴は硬化して液滴の所定のパターンを形成する。   A hot melt is a solid phase at ambient temperature, but exists in a liquid phase at high operating temperatures in an ink jet printing apparatus. At the ink jet operating temperature, liquid hot melt droplets are ejected from the printing device, and when the droplets contact the surface of the printing material, the droplets cure and form a predetermined pattern of droplets.

ホットメルトは、直接および転写印刷プロセスにおいて使用されてきた。ホットメルトは典型的には固体スティックにキャストされ、インクジェット印刷装置内に配置される。インクジェット装置の温度は、選択的な流体特性を有する液相が形成される操作温度まで上げられる。次いで、ホットメルトは、インクジェットプリンターのリザーバーおよび印刷ヘッドにおいて操作温度で液体として保持される。液相であるホットメルトは、次いで、基体上に所定のパターンで適用されうる。従来の印刷産業においてホットメルトはしばらくの間使用されてきたが、エレクトロニクス産業は電子素子の製造、例えば、プリント回路板(PCB)の製造などにおける問題を解決するためにこのような化合物の潜在的な用途を評価し始めている。   Hot melts have been used in direct and transfer printing processes. The hot melt is typically cast into a solid stick and placed in an inkjet printing apparatus. The temperature of the inkjet device is raised to an operating temperature at which a liquid phase having selective fluid properties is formed. The hot melt is then held as a liquid at the operating temperature in the reservoir and print head of the inkjet printer. The liquid phase hot melt can then be applied in a predetermined pattern onto the substrate. While hot melts have been used for some time in the traditional printing industry, the electronics industry has the potential of such compounds to solve problems in the manufacture of electronic devices, such as printed circuit boards (PCBs). Has begun to evaluate various uses.

PCBは、典型的には、6以上の段階を伴うドライフィルムネガ型フォトレジストプロセスを用いる様な複雑なプロセスで製造される。最初に、誘電物質が銅と積層されるかまたは銅で被覆され、次いで、その銅表面にフォトレジスト層が上塗りされる。プリント回路の必要な導電性回路のネガであるフォトツールが準備される。そのフォトツールはフォトレジスト層上に直接配置されて、UV光に曝露された領域を重合および硬化して、必要な導電性回路の潜像をフォトレジスト層内に生じさせる。フォトレジスト層は次いで、現像されて、フォトレジストの未露光領域を除去する。フォトレジスト層が遊離のカルボキシル基を含む場合には、この化学処理剤は典型的には穏やかなアルカリである。   PCBs are typically manufactured in a complex process such as using a dry film negative photoresist process with 6 or more stages. First, a dielectric material is laminated or coated with copper, and then a photoresist layer is overcoated on the copper surface. A phototool is prepared which is the negative of the necessary conductive circuit of the printed circuit. The phototool is placed directly on the photoresist layer to polymerize and cure the areas exposed to UV light to produce the necessary conductive circuit latent image in the photoresist layer. The photoresist layer is then developed to remove unexposed areas of the photoresist. If the photoresist layer contains free carboxyl groups, this chemical treatment is typically a mild alkali.

露出した銅は、次いで、化学エッチングによって、フォトレジスト層で保護されていない領域から選択的に取り除かれる。最終的に、フォトレジスト層の露光された領域は、フォト層が遊離のカルボン酸基を含む場合には、例えば、水性強アルカリを用いて、化学的に取り除かれる。   The exposed copper is then selectively removed from areas not protected by the photoresist layer by chemical etching. Finally, the exposed areas of the photoresist layer are chemically removed using, for example, aqueous strong alkali, if the photo layer contains free carboxylic acid groups.

このプロセスはPCBの製造において広く使用されているが、フォトレジスト層が別々に製造されて、銅/誘電物質積層物の全体領域上に適用されるので、このプロセスは冗長で、費用がかかり、かつ物質の無駄が多い。さらに、UV光照射の回折がおこり、そのフォトツールのUV透過領域の直接すぐ下にないフォトレジストの領域において現像および重合をもたらすように、所望の導電回路のネガ画像を含むフォトツールは、多くの場合フォトツール層から距離が離されている。フォトツールの製造が導電回路の密度および鮮明度を低減させうる場合には、このような問題が考慮されなければならない。さらに、UV光に曝露する前および曝露した後の双方でのフォトレジストの除去はアルカリ処理剤に依存するので、フォトレジストの化学構造は注意深く制御されなければならない。未露光フォトレジストが不完全に除去される場合、または露光され重合したフォトレジストのいくつかが銅を化学エッチングする前に除去される場合には、意図される導電回路の密度および完全性は大きく悪化されうる。よって、インクジェット印刷技術は光画像形成および現像工程の必要性をなくするので、インクジェット印刷技術を用いてフォトレジストおよび類似の物質を銅/誘電積層物の特定の領域に適用することに大きな関心が存在している。   Although this process is widely used in PCB manufacturing, the process is tedious and expensive because the photoresist layer is manufactured separately and applied over the entire area of the copper / dielectric stack. And there is a lot of waste of material. In addition, many phototools that contain a negative image of the desired conductive circuit so that diffraction of UV light occurs and results in development and polymerization in areas of the photoresist that are not directly below the UV transmission area of the phototool. In the case of a distance from the phototool layer. Such issues must be considered if the manufacture of the phototool can reduce the density and definition of the conductive circuit. Furthermore, the photoresist chemical structure must be carefully controlled because removal of the photoresist both before and after exposure to UV light is dependent on the alkaline processing agent. If the unexposed photoresist is incompletely removed, or if some of the exposed and polymerized photoresist is removed before chemical etching of the copper, the density and integrity of the intended conductive circuit is high. Can be exacerbated. Thus, because inkjet printing technology eliminates the need for photoimaging and development processes, there is great interest in applying photoresists and similar materials to specific areas of copper / dielectric laminates using inkjet printing technology. Existing.

インクジェット印刷の場合には、画像またはネガ画像はコンピュータから直接デジタル的に利用可能にされ、プロセス工程の数は半分にされ、様々な強度の水性アルカリを使用したフォトレジストの様々な除去の必要性が回避される。また、フォトレジスト層から距離を離されているフォトツールが存在していないので、回路の改良された鮮明度および密度の可能性がある。また、化学エッチングから保護されるべき領域だけにフォトレジストが適用されるので、フォトレジスト物質についてのコスト抑制も存在する。   In the case of inkjet printing, the image or negative image is made digitally available directly from the computer, the number of process steps is halved, and the need for various removals of photoresist using various strength aqueous alkalis Is avoided. Also, there is a possibility of improved clarity and density of the circuit because there are no photo tools that are separated from the photoresist layer. Also, since photoresist is applied only to areas that are to be protected from chemical etching, there is also a cost reduction for the photoresist material.

フォトレジストまたは類似の物質の実質的に完全な除去はリソグラフィー技術の作業者にとって非常に望まれている。フォトレジスト残留物が、除去後に基体上に残っている場合には、その残留物は基体のさらなる処理を悪化させる場合がある。例えば、フォトレジストはPCB上に堆積させられて、回路パターンを形成するためのネガ型マスクとして機能する。マスクで覆われていない基体の部分は、エッチング剤を用いてエッチングで除去され、次いでフォトレジストが剥離させられる。その後の工程は、典型的には結合工程または1以上の金属めっきプロセスを伴う。剥離後にPCB上に残っている残留物は結合または金属めっきを悪化させて、欠陥のある電子素子を生じさせる場合がある。   Substantially complete removal of photoresist or similar material is highly desirable for lithography art workers. If the photoresist residue remains on the substrate after removal, the residue may exacerbate further processing of the substrate. For example, the photoresist is deposited on the PCB and functions as a negative mask for forming a circuit pattern. The portion of the substrate that is not covered with the mask is etched away using an etchant, and then the photoresist is stripped. Subsequent steps typically involve a bonding step or one or more metal plating processes. Residues remaining on the PCB after stripping can worsen bonding or metal plating, resulting in defective electronic devices.

実質的に完全な除去に加えて、フォトレジストの迅速な除去もリソグラフィー技術の作業者にとって重要である。電子素子の製造の多くはアセンブリライン型プロセスを伴うので、より迅速な除去は、全体の製造プロセスをより効率的にする。よって、基体から迅速かつ完全に除去されうるフォトレジストまたは類似する物質についての必要性が存在する。   In addition to substantially complete removal, rapid removal of the photoresist is also important for lithography technology workers. Since much of the manufacturing of electronic devices involves an assembly line type process, faster removal makes the entire manufacturing process more efficient. Thus, there is a need for a photoresist or similar material that can be quickly and completely removed from a substrate.

米国特許第7,427,360号は従来のフォトレジストの画像形成方法に代えて、耐エッチングインクを用いたインクジェットプロセスによる電子素子の製造方法を開示する。そのインクはa)5〜95重量%が1種以上のモノ官能性モノマーである、1以上の官能基を含み酸基非含有アクリラート官能性モノマー30〜90部;b)1以上の酸基を含むアクリラート官能性モノマー1〜30部;c)ポリマーまたはプレポリマー0〜20部;d)ラジカル開始剤0〜20部;e)着色剤0〜5部;f)界面活性剤0〜5部を含み、当該インクは40℃で30cPs(mPa・s)以下の粘度を有する。そのインクは実質的に溶媒を含まず、化学線または粒子線照射によって重合可能である。そのインクは塩基を用いて基体から剥離されうる。   U.S. Pat. No. 7,427,360 discloses a method of manufacturing an electronic device by an ink jet process using an etching resistant ink instead of a conventional photoresist image forming method. The ink is a) 5 to 95% by weight of one or more monofunctional monomers, 30 to 90 parts of an acrylate functional monomer containing one or more functional groups and not containing acid groups; b) one or more acid groups. Acrylate functional monomer containing 1-30 parts; c) polymer or prepolymer 0-20 parts; d) radical initiator 0-20 parts; e) colorant 0-5 parts; f) surfactant 0-5 parts. And the ink has a viscosity of 30 cPs (mPa · s) or less at 40 ° C. The ink is substantially free of solvent and can be polymerized by actinic or particle beam irradiation. The ink can be peeled from the substrate using a base.

米国特許第7,427,360号明細書US Pat. No. 7,427,360

従来のフォトレジスト画像形成方法の代わりに電子素子製造に使用されうるインクジェット可能な組成物および方法が存在するが、依然として、電子素子を製造するための、改良されたインクジェット可能な配合物および方法についての必要性が存在している。   Although there are ink jettable compositions and methods that can be used in electronic device manufacturing in place of conventional photoresist imaging methods, there is still an improved ink jettable formulation and method for manufacturing electronic devices. There is a need for.

一態様においては、組成物は1種以上の酸ワックス、1種以上の酸基非含有アクリラート官能性モノマー、および1種以上のラジカル開始剤を含む。
別の態様においては、方法は、
a)1種以上の酸ワックス、1種以上の酸基非含有アクリラート官能性モノマー、および1種以上のラジカル開始剤を含む組成物を提供し;
b)組成物を基体上に選択的に堆積させ;
c)化学線を組成物に適用して組成物を硬化させ;
d)硬化した組成物で覆われていない基体の部分をエッチングし;
e)塩基を用いて、基体から硬化した組成物を除去して、パターン形成された物品を形成する;ことを含む。
さらなる態様においては、方法は、
a)1種以上の酸ワックス、1種以上の酸基非含有アクリラート官能性モノマー、および1種以上のラジカル開始剤を含む組成物を提供し;
b)組成物を基体上に選択的に堆積させ;
c)化学線を組成物に適用して組成物を硬化させ;
d)硬化した組成物で覆われていない基体の部分上を金属めっきし;
e)塩基を用いて硬化した組成物を除去して、パターン形成された物品を形成する;ことを含む。
In one aspect, the composition comprises one or more acid waxes, one or more acid group-free acrylate functional monomers, and one or more radical initiators.
In another aspect, the method comprises:
a) providing a composition comprising one or more acid waxes, one or more acid group-free acrylate functional monomers, and one or more radical initiators;
b) selectively depositing the composition on the substrate;
c) applying actinic radiation to the composition to cure the composition;
d) etching a portion of the substrate not covered with the cured composition;
e) using a base to remove the cured composition from the substrate to form a patterned article;
In a further aspect, the method comprises:
a) providing a composition comprising one or more acid waxes, one or more acid group-free acrylate functional monomers, and one or more radical initiators;
b) selectively depositing the composition on the substrate;
c) applying actinic radiation to the composition to cure the composition;
d) metal plating on a portion of the substrate not covered with the cured composition;
e) removing the cured composition with a base to form a patterned article;

組成物は酸基含有アクリラート官能性モノマーを含まない。塩基を用いて組成物が基体から除去されるのを可能にする酸基は、酸ワックス成分中に含まれ、これは基体から組成物をより迅速でかつ実質的に完全に除去するのを可能にする。ワックス成分の酸ワックス価は少なくとも50mgKOH/gである。組成物は溶媒も実質的に含まず、よって組成物は、作業者および環境に対して毒性であり得る望まれない溶媒を除いている。   The composition does not include an acid group-containing acrylate functional monomer. Acid groups that allow the composition to be removed from the substrate using a base are included in the acid wax component, which allows for quicker and substantially complete removal of the composition from the substrate. To. The acid wax value of the wax component is at least 50 mg KOH / g. The composition is substantially free of solvent, and thus the composition excludes unwanted solvents that can be toxic to workers and the environment.

ホットメルトである組成物は、従来のインクジェット装置によって、従来のスクリーン印刷方法によって、およびナノからマクロ堆積能力を有しうる従来のスプレー装置によって基体に適用されうる。組成物はレジストとして使用される。組成物はめっきレジストとしてまたはエッチングレジストとして使用されうる。本組成物および本方法はPCBのような電子素子の部品、およびリードフレーム、光電子素子、光起電素子の製造に、部品および精密工具の金属仕上げに使用されうる。それらは、その相変換特性のために、良好な画像鮮明度および低い流動性を有する。   Compositions that are hot melts can be applied to a substrate by conventional ink jet devices, by conventional screen printing methods, and by conventional spray devices that can have nano-to-macro deposition capabilities. The composition is used as a resist. The composition can be used as a plating resist or as an etching resist. The composition and method can be used in the manufacture of electronic device components such as PCBs, and lead frames, optoelectronic devices, photovoltaic devices, and metal finishing of components and precision tools. They have good image sharpness and low fluidity due to their phase change properties.

本明細書を通じて使用される場合、文脈が他に示さない限りは次の略語は次の意味を有する:℃=摂氏度;g=グラム;L=リットル;mL=ミリリットル;cm=センチメートル;μm=ミクロン;dm=デシメートル;Å=オングストローム=10−4ミクロン;amp.=アンペア;mJ=ミリジュール;W=ワット=アンペア×ボルト;重量%=重量パーセント;cp=センチポワズ;UV=紫外;IR=赤外;psi=ポンド/インチ=0.06805気圧=1.01325×10ダイン/cmAs used throughout this specification, unless the context indicates otherwise, the following abbreviations have the following meanings: ° C = degrees Celsius; g = grams; L = liters; mL = milliliters; cm = centimeters; = Micron; dm = decimeter; Å = angstrom = 10 −4 micron; = Amp; mJ = millijoules; W = Watts = Amps × volts; wt% = weight percent; cp = centipoise; UV = ultraviolet; IR = infrared; psi = pounds / inch 2 = 0.06805 atmospheres = 1.01325 × 10 6 dynes / cm 2 .

用語「プリント配線板」および「プリント回路板」は本明細書において交換可能に使用される。「化学線」は光化学反応を生じさせることができる電磁放射線を意味する。「粘度」=内部流体摩擦、または流体の剪断の速度に対する剪断応力の割合。「酸価」=物質中に存在する遊離酸を測定するための、1gmの遊離酸を中和するのに必要な水酸化カリウムのグラム数。他に示されない限りは全てのパーセンテージは重量基準であり、乾燥重量または溶媒を含まない重量を基準にする。全ての数値範囲は境界値を含み、このような数値範囲が合計で100%に制約されることが論理的である場合を除いて、任意の順に組み合わせ可能である。   The terms “printed wiring board” and “printed circuit board” are used interchangeably herein. “Actinic radiation” means electromagnetic radiation capable of causing a photochemical reaction. “Viscosity” = the ratio of shear stress to internal fluid friction, or fluid shear rate. “Acid number” = grams of potassium hydroxide required to neutralize 1 gm of free acid to determine the free acid present in the material. Unless otherwise indicated, all percentages are by weight and are based on dry weight or solvent free weight. All numerical ranges include boundary values and can be combined in any order except where it is logical that such numerical ranges are constrained to 100% in total.

酸ワックスと酸基非含有アクリラート官能性モノマーとの組み合わせは、ホットメルトであり、レジスト、例えばエッチングレジストもしくはめっきレジストとして使用されることができ、かつ同時に、組成物の実質的に全てが基体から除去されるように塩基剥離剤を用いて基体から剥離可能である組成物を提供する。組成物は酸エッチング剤、例えば、フッ化水素酸、硝酸、硫酸、リン酸、有機酸、例えば、カルボン酸およびこれらの混合物に対して耐性であり、かつ工業用エッチング剤、例えば、塩化第二銅(CuCl)および塩化第二鉄(FeCl)に対して耐性である。組成物は、塩基剥離剤、例えば、アルカノールアミンなどの有機アミン、アルカリ金属水酸化物、例えば、水酸化カリウム、水酸化ナトリウムおよびこれらの混合物、並びにアルカリ炭酸塩および重炭酸塩を用いて、基体から容易に剥離される。エッチング剤および剥離剤の双方の従来の強度が使用されうる。 The combination of the acid wax and the acid group-free acrylate functional monomer is a hot melt and can be used as a resist, such as an etching resist or a plating resist, and at the same time substantially all of the composition is removed from the substrate. Compositions are provided that can be peeled from a substrate using a base stripper to be removed. The composition is resistant to acid etchants such as hydrofluoric acid, nitric acid, sulfuric acid, phosphoric acid, organic acids such as carboxylic acids and mixtures thereof, and industrial etchants such as secondary chloride Resistant to copper (CuCl 2 ) and ferric chloride (FeCl 3 ). The composition comprises a substrate using a base stripper, for example an organic amine such as an alkanolamine, an alkali metal hydroxide such as potassium hydroxide, sodium hydroxide and mixtures thereof, and alkali carbonates and bicarbonates. Is easily peeled off. Conventional strengths of both etchants and strippers can be used.

組成物は、組成物が化学線の適用によって硬化させられるのを可能にする1種以上のラジカル開始剤も含む。当該技術分野で知られた従来の方法が、例えば、IR、UVおよび可視範囲の化学線、並びにX線およびマイクロ波などの化学線のソースとして使用されうる。   The composition also includes one or more radical initiators that allow the composition to be cured by application of actinic radiation. Conventional methods known in the art can be used as sources of actinic radiation such as, for example, IR, UV and visible range actinic radiation and X-rays and microwaves.

組成物は有機溶媒および水を含まない。これは組成物中に追加の溶媒または水が含まれないが、不純物としてまたは組成物を製造するために使用される様々な成分の製造における副生成物として痕跡量だけの溶媒または水が存在しうることを意味する。典型的には組成物は100重量%固形分である。組成物は低い流動性であり、よって組成物は0.05〜0.25、または例えば0.08〜0.18の範囲のアスペクト比(幅に対する高さ)の印刷ドットを形成する。それらは良好な画像鮮明度を有する画像も形成する。   The composition is free of organic solvent and water. This is free of additional solvent or water in the composition, but there is a trace amount of solvent or water as an impurity or as a by-product in the manufacture of the various components used to make the composition. It means to go. Typically the composition is 100% solids by weight. The composition is low flowable, so the composition forms printed dots with aspect ratios (height versus width) ranging from 0.05 to 0.25, or such as from 0.08 to 0.18. They also form images with good image definition.

組成物の粘度は、それらが多くの従来のインクジェット装置で使用されうるようなものである。典型的には、組成物の粘度は、40℃〜150℃で、5cp〜80cpの範囲である。粘度は従来の方法で測定されうるが、典型的には、回転スピンドル、例えば、18番スピンドルを用いたブルックフィールド粘度計を用いて測定される。   The viscosities of the compositions are such that they can be used in many conventional ink jet devices. Typically, the viscosity of the composition ranges from 5 to 80 cp at 40 ° C to 150 ° C. Viscosity can be measured in a conventional manner, but is typically measured using a Brookfield viscometer with a rotating spindle, eg, a # 18 spindle.

インクジェット装置は、基体に適用される選択的レジストデザインについて、そのメモリにデジタル的に情報を記憶することができる。好適なコンピュータープログラムの例は、ツーリングデータの生成のための標準CAD(コンピュータ支援設計)プログラムである。作業者は、インクジェット装置において、デジタル的に記憶されたプログラムを変更することによって組成物の選択的堆積を容易に変更することができる。さらに、登録問題も容易に取り組まれうる。インクジェット装置は、例えば、複数層PCBの製造におけるような基体間での潜在的に不適切な配置に気づくようにプログラムされることができる。その装置が基板間の誤登録を感知する場合には、プログラムはレジストマスクパターンのインクジェット適用を変更し、隣接する基板間の誤登録を回避もしくは修正する。基板から基板へのパターンを再設計する能力は、基板間の誤登録の可能性を低減させ、複数の定まったフォトツールを準備するコスト高でかつ非効率的な作業をなくする。よって、レジストの選択的堆積および画像形性の効率が、多くの従来法よりも改良される。   The ink jet device can store information digitally in its memory about the selective resist design applied to the substrate. An example of a suitable computer program is a standard CAD (Computer Aided Design) program for generating tooling data. The operator can easily change the selective deposition of the composition in the ink jet device by changing a digitally stored program. In addition, registration problems can be easily addressed. Ink jet devices can be programmed to be aware of potentially improper placement between substrates, such as in the manufacture of multi-layer PCBs, for example. If the device senses misregistration between substrates, the program changes the inkjet application of the resist mask pattern to avoid or correct misregistration between adjacent substrates. The ability to redesign the pattern from substrate to substrate reduces the possibility of misregistration between substrates and eliminates the costly and inefficient task of preparing multiple defined photo tools. Thus, the efficiency of selective deposition of resist and image formability is improved over many conventional methods.

インクジェット印刷の2つの主要なカテゴリー、「ドロップ−オン−デマンド(Drop−On−Demand)」インクジェットおよび「連続」インクジェットが存在する。ドロップ−オン−デマンドインクジェット技術を使用して、レジスト組成物はリザーバー中に貯蔵され、プリンターの印刷ヘッドのノズルに送達される。組成物の単一の液滴をノズルから出して、基体上に向かわせるための手段が存在する。典型的には、これはチャンバー内のダイヤフラムの圧電アクチュエーションであり、これはノズルから液滴を「ポンプ」輸送して出すか、または流体を局所的に加熱してチャンバー内の圧力を増加させ、これにより液滴を噴出させる。   There are two main categories of inkjet printing: “Drop-On-Demand” inkjet and “Continuous” inkjet. Using drop-on-demand ink jet technology, the resist composition is stored in a reservoir and delivered to the nozzles of the printer printhead. There are means for ejecting a single droplet of the composition out of the nozzle and onto the substrate. Typically this is a piezoelectric actuation of the diaphragm in the chamber, which “pumps” the droplets out of the nozzle or locally heats the fluid to increase the pressure in the chamber. This causes the droplets to be ejected.

「連続」インクジェット印刷において、レジスト組成物の連続流れがプリンターの印刷ヘッドのノズルに送達される。ノズルを通って出る前に、加圧された組成物の流れは電流がかけられたセラミッククリスタルを通って進む。この電流はAC(交流)電流の周波数に等しい圧電振動を生じさせる。この振動は、次に、一体となっている流れから組成物の液滴を生じさせる。組成物は連続した一連の液滴になり、この液滴は等しく空間が空けられており、等しいサイズである。帯電電極(charge electrode)において液滴が液体流れから分離する場所において噴出を取り囲む場合に、帯電電極と液滴との間に電圧が印加される。液滴が流れから分離する場合に、それぞれの液滴は、それが分離した時点で印加された電圧に比例した電荷を運ぶ。液滴が形成されるときに、同じ割合で帯電電極電圧を変化させることにより、それぞれの液滴は所定のレベルに帯電させられうる。液滴流れはその飛行を続け、一定の電位、例えば、±0.1kV〜±5kV、または例えば、±1kV〜±3kVに維持されている2つの偏光板の間を通過する。この電場の存在下で、液滴は、運ばれる電荷に比例した量でプレートの一方に向かって向きを変えられる。帯電していない液滴は偏向されずガーターに集められてインクノズルに再循環させられる。帯電しており、それ故に偏向される液滴は、液滴偏向の方向に対して直角に移動する放射エネルギー感受性物質上に衝突する。個々の液滴上の電荷を変化させることにより、所望のパターンが適用されうる。液滴のサイズは直径で30μm〜100μm、または例えば、40μm〜80μm、または例えば50μm〜70μmの範囲であり得る。   In “continuous” ink jet printing, a continuous stream of resist composition is delivered to the nozzles of the printer printhead. Prior to exiting through the nozzle, the flow of pressurized composition proceeds through a ceramic crystal that is energized. This current causes a piezoelectric vibration equal to the frequency of the AC (alternating current) current. This vibration in turn produces droplets of the composition from the united flow. The composition becomes a continuous series of droplets, which are equally spaced and of equal size. A voltage is applied between the charging electrode and the droplet when the droplet surrounds the jet at a location where the droplet separates from the liquid flow at the charge electrode. When a droplet separates from the flow, each droplet carries a charge proportional to the voltage applied at the time it separates. When the droplets are formed, each droplet can be charged to a predetermined level by changing the charging electrode voltage at the same rate. The droplet stream continues its flight and passes between two polarizing plates maintained at a constant potential, for example, ± 0.1 kV to ± 5 kV, or for example, ± 1 kV to ± 3 kV. In the presence of this electric field, the droplet is redirected towards one of the plates by an amount proportional to the charge carried. Uncharged droplets are not deflected but collected in the garter and recirculated to the ink nozzles. Charged and therefore deflected droplets impinge on a radiant energy sensitive material that moves perpendicular to the direction of droplet deflection. By changing the charge on the individual droplets, the desired pattern can be applied. The droplet size can range from 30 μm to 100 μm in diameter, or such as from 40 μm to 80 μm, or such as from 50 μm to 70 μm.

インクジェットプロセスは、連続可変データの高速適用に対するコンピューター制御に適合可能である。インクジェット印刷方法は3つの一般的カテゴリー:高圧(10psi以上)、低圧(10psi未満)および真空技術:に分けられうる。全ては当該技術分野において知られているか、または文献に記載されており、かつ基体へのレジスト組成物の適用において使用されうる。   The inkjet process is adaptable to computer control for high speed application of continuously variable data. Inkjet printing methods can be divided into three general categories: high pressure (more than 10 psi), low pressure (less than 10 psi) and vacuum technology. All are known in the art or described in the literature and can be used in the application of resist compositions to substrates.

インクジェットによる適用に加えて、レジスト組成物はスクリーン印刷を用いることによって、およびナノ−からマクロ−堆積能力を有する噴霧装置によって適用されうる。使用されうるタイプの噴霧装置の例は、Optomec(登録商標)から入手可能なM(登録商標)である。 In addition to ink jet application, the resist composition can be applied by using screen printing and by a spray device having nano-to-macro-deposition capabilities. Examples of the types of spray devices that may be used are Optomec available from (R) M 3 D (registered trademark).

レジスト組成物は当該技術分野で知られた好適な方法によって製造されうる。組成物中に典型的に含まれる、ワックス、酸基非含有アクリラート官能性モノマー、およびラジカル開始剤は室温で固体または半固体である。それらは任意の順序で一緒にされうる。それらは容易に一緒にまたは何らかの追加の成分と混合されうるように、それらは加熱されてそれらを軟化するかまたは液化することができる。成分は既存の混合または均一化装置において、任意の順序で一緒にされうる。その成分を混合するために25℃を超えて150℃までの温度が典型的に使用される。成分が均一に混合された後、混合物が25℃以下に冷却されて固体組成物を形成することができる。   The resist composition can be produced by any suitable method known in the art. The waxes, acid group-free acrylate functional monomers, and radical initiators typically included in the composition are solid or semi-solid at room temperature. They can be brought together in any order. They can be heated to soften or liquefy them so that they can easily be mixed together or with any additional ingredients. The components can be combined in any order in existing mixing or homogenizing equipment. Temperatures above 25 ° C. and up to 150 ° C. are typically used to mix the components. After the ingredients are uniformly mixed, the mixture can be cooled to 25 ° C. or lower to form a solid composition.

所望の耐エッチング性または耐めっき性、フロー、鮮明化および剥離能力を提供する酸ワックスおよび酸ワックスの組み合わせが組成物中に含まれうる。組成物の酸官能性は実質的に酸ワックスに限定される。典型的には高酸ワックスおよびその混合物が使用される。用語「高酸ワックス」は50mgKOH/g以上の高い酸含有量を有し、かつ50%以上酸官能化されているワックスを意味する。典型的には高酸ワックスは100mgKOH/g以上の酸含有量、より典型的には120mgKOH/g〜170mgKOH/gの酸含有量を有する。1種以上の酸ワックスが一緒にブレンドされて所望の酸価を達成することができる。酸ワックス成分はレジスト組成物の酸価を決定する。このようなワックスは典型的には酸含有結晶性ポリマーワックスである。用語「結晶性ポリマーワックス」は、結晶融点転移温度(crystalline melting point transition temperature:T)によって特徴づけられうるポリマーマトリックス内のポリマー鎖の秩序ある配列を含むワックス物質を意味する。この結晶融解温度はポリマーサンプルの結晶性ドメインの融解温度である。これは、ポリマー内の非晶質領域についてポリマー鎖が流動し始める温度を特徴づけるガラス転移温度(T)と対照をなす。酸ワックスは、組成物の0.5重量%〜40重量%、または例えば、組成物の5重量%〜25重量%の量で組成物中に含まれる。 Acid waxes and combinations of acid waxes that provide the desired etch or plating resistance, flow, sharpening and stripping capabilities can be included in the composition. The acid functionality of the composition is substantially limited to acid waxes. Typically high acid waxes and mixtures thereof are used. The term “high acid wax” means a wax that has a high acid content of 50 mg KOH / g or more and is acid functionalized by 50% or more. Typically, the high acid wax has an acid content of 100 mg KOH / g or more, more typically 120 mg KOH / g to 170 mg KOH / g. One or more acid waxes can be blended together to achieve the desired acid number. The acid wax component determines the acid value of the resist composition. Such waxes are typically acid-containing crystalline polymer waxes. The term “crystalline polymer wax” means a wax material that includes an ordered array of polymer chains within a polymer matrix that can be characterized by a crystalline melting point transition temperature (T m ). This crystal melting temperature is the melting temperature of the crystalline domain of the polymer sample. This contrasts with the glass transition temperature (T g ), which characterizes the temperature at which the polymer chains begin to flow for amorphous regions within the polymer. The acid wax is included in the composition in an amount of 0.5% to 40% by weight of the composition, or such as from 5% to 25% by weight of the composition.

組成物において使用されうるカルボン酸末端ポリエチレンワックスには、構造CH−(CHn−2−COOH(平均鎖長が16〜50である、鎖長「n」の混合物である)を有する炭素鎖、および類似の平均鎖長の線状低分子量ポリエチレンの混合物が挙げられるが、これらに限定されない。このようなワックスの例としては、nが40であるUNICID(登録商標)550、およびnが50であるUNICID(登録商標)700が挙げられるがこれらに限定されない。両方ともBaker Petrolite(米国)から入手可能である。UNICID(登録商標)550は80%のカルボン酸官能基と、類似の鎖長の線状低分子量ポリエチレンである残部を含み、72mgKOH/gの酸価および101℃の融点を有する。他のワックスの例は、n=16のヘキサデカン酸すなわちパルミチン酸、n=17のヘプタデカン酸すなわちマルガリン酸すなわちダツリン酸(daturic acid)、n=18のオクタデカン酸すなわちステアリン酸、n=20のエイコサン酸すなわちアラキドン酸、n=22のドコサン酸すなわちベヘン酸、n=24のテトラコサン酸すなわちリグノセリン酸、n=26のヘキサコサン酸すなわちセロチン酸、n=27のヘプタコサン酸すなわちカルボセリン酸、n=28のオクタコサン酸すなわちモンタン酸、n=30のトリアコンタン酸すなわちメリシン酸、n=32のドトリアコンタン酸すなわちラッセル酸、n=33のトリトリアコンタン酸すなわちセロメリッシン酸すなわちフィリン酸、n=34のテトラトリアコンタン酸すなわちゲダ酸、n=35のペンタトリアコンタン酸すなわちセロプラスチン酸などの、CH−(CH−COOHの構造を有する。 The carboxylic acid-terminated polyethylene waxes that may be used in the composition, structure CH 3 - having (CH 2) n-2 -COOH ( average chain length of 16 to 50, which is a mixture of chain lengths "n") Examples include, but are not limited to, carbon chains and mixtures of linear low molecular weight polyethylene of similar average chain length. Examples of such waxes, n is UNICID 40 (registered trademark) 550, and n is including but UNICID (TM) 700 is a 50 without limitation. Both are available from Baker Petrolite (USA). UNICID and (R) 550 is 80% of the carboxylic acid functional groups, including the remainder is a linear low molecular weight polyethylene of a similar chain length, having an acid number and 101 ° C. The melting point of the 72 mg KOH / g. Examples of other waxes are n = 16 hexadecanoic acid or palmitic acid, n = 17 heptadecanoic acid or margaric acid or datsuric acid, n = 18 octadecanoic acid or stearic acid, n = 20 eicosanoic acid Arachidonic acid, n = 22 docosanoic acid or behenic acid, n = 24 tetracosanoic acid or lignoceric acid, n = 26 hexacosanoic acid or serotic acid, n = 27 heptacosanoic acid or carboceric acid, n = 28 octacosanoic acid That is, montanic acid, n = 30 triacontanoic acid or melissic acid, n = 32 dotriacontanoic acid or raschelic acid, n = 33 tritriacontanoic acid or cellomelicinic acid or phyllic acid, n = 34 tetratriacontane It has a structure of CH 3 — (CH 2 ) n —COOH, such as acid, ie, gedic acid, n = 35 pentatriacontanoic acid, ie, celloplastic acid.

組成物に含まれる他の高酸ワックスの例としては、16以上の炭素原子の線状脂肪族鎖を有する高酸ワックスがある。典型的には、末端官能化カルボン酸を有する線状飽和脂肪族ワックスが使用される。このようなワックスは50mgKOH/gを超える酸価を有する。より典型的には、このような高酸ワックスはモンタンワックス、n−オクタコサン酸、CH−(CH26−COOH、100%酸官能化である。このようなワックスには、Clariant GmbH(ドイツ)により製造された、127〜160mgKOH/gの酸価を有するLicowax(登録商標)S、115〜135mgKOH/gの酸価を有するLicowax(登録商標)SW、100〜115mgKOH/gの酸価を有するLicowax(登録商標)UL、および130〜150mgKOH/gの酸価を有するLicowax(登録商標)X101が挙げられるがこれらに限定されない。他の好適な高酸ワックスには、酸末端のいくつかがエステル化されている、部分エステル化モンタン酸ワックス、例えば72〜92mgKOH/gの酸価を有するLicowax(登録商標)Uが挙げられる。 Examples of other high acid waxes included in the composition include high acid waxes having linear aliphatic chains of 16 or more carbon atoms. Typically, linear saturated aliphatic waxes with terminal functionalized carboxylic acids are used. Such waxes have an acid number greater than 50 mg KOH / g. More typically, such high acid waxes are montan waxes, n- octacosanoic, CH 3 - is (CH 2) 26 -COOH, functionalized 100% acid. Such wax, manufactured by Clariant GmbH (Germany), Licowax having an acid value of 127~160mgKOH / g (R) S, Licowax having an acid number of 115~135mgKOH / g (R) SW , 100~115mgKOH / g Licowax (R) having an acid value of UL, and 130~150mgKOH / g of Licowax having an acid value (R) X101 but are not limited to these. Other suitable high acid waxes, some acid end are esterified, partially esterified montan acid wax, Licowax (R) U having an acid value of e.g. 72~92mgKOH / g.

このような酸ワックスの融点は65℃〜150℃である。典型的には融点は80℃〜110℃である。   The melting point of such an acid wax is 65 ° C to 150 ° C. The melting point is typically 80 ° C to 110 ° C.

アクリラート官能性モノマーは酸官能基を含まず、かつCH=C(R)CO−(式中Rは、水素、アルキルまたはシアノである)のような反応性ビニル基を含む。Rがアルキルである場合には、それは典型的にはC1−6アルキルである。酸官能性モノマーは組成物中に含まれない。モノマーについての他の限定には、互いに対するその適合性、組成物の他の成分に対する適合性、最終のレジスト組成物において別の層を形成し得ないこと、所定の粘度を有することおよび塩基処理によって除去されることが挙げられる。アクリラート官能性モノマーは30,000以下、または例えば、20,000以下、または例えば、1,000〜5,000の分子量を有する。典型的には、酸基非含有アクリラート官能性モノマーの分子量は2,000を超えない。 The acrylate functional monomer does not contain an acid functional group and contains a reactive vinyl group such as CH 2 ═C (R) CO—, where R is hydrogen, alkyl or cyano. When R is alkyl, it is typically C 1-6 alkyl. Acid functional monomers are not included in the composition. Other limitations on the monomer include its compatibility with each other, compatibility with the other components of the composition, the inability to form another layer in the final resist composition, having a predetermined viscosity and base treatment. To be removed. The acrylate functional monomer has a molecular weight of 30,000 or less, or such as 20,000 or less, or such as 1,000 to 5,000. Typically, the molecular weight of the acid group-free acrylate functional monomer does not exceed 2,000.

酸基非含有アクリラート官能性モノマーの具体的な例には、商標Sartomer(商標)、Actilane(商標)およびPhotomer(商標)の下に入手可能なもの、例えば、Sartomer(商標)506(アクリル酸イソボルニル)、Sartomer(商標)306(トリプロピレングリコールジアクリラート)、Actilane(商標)430(トリメチロールプロパンエトキシラートトリアクリラート)、Actilane(商標)251(三官能性アクリラートオリゴマー)、Actilane(商標)411(CTFアクリラート)、Photomer(商標)4072(トリメチロールプロパンプロポキシラートトリアクリラート)、Photomer(商標)5429(ポリエステルテトラアクリラート)およびPhotomer(商標)4039(フェノールエトキシラートモノアクリラート)がある。Sartomer(商標)、Actilane(商標)およびPhotomer(商標)はそれぞれ、Cray Valley Inc.、Akros BVおよびCognis Inc.の商標である。モノマーの他の例には、アクリル酸ラウリル、アクリル酸イソデシル、アクリル酸イソオクチル、アクリル酸ブチル、アクリル酸2−ヒドロキシエチル、アクリル酸2−ヒドロキシプロピル、アクリル酸2−エチルヘキシル、1,6−ヘキサンジオールジアクリラート、ネオペンチルグリコールジアクリラート、ジエチレングリコールジアクリラート、ブタンジオールジアクリラート、トリメチロールプロパントリアクリラート、ペンタエリスリトールトリアクリラート、1,3−ブチレングリコールジアクリラート、1,4−ブチレングリコールジアクリラート、トリエチレングリコールジアクリラート、ペンタエリスリトールテトラアクリラート、トリプロピレングリコールジアクリラート、アクリル酸イソボルニル、アクリル酸2−ノルボルニル、アクリル酸シクロヘキシル、アクリル酸フェノキシエチルおよびアクリル酸テトラヒドロフルフリルがある。このような酸官能基非含有アクリラート官能性モノマーは50重量%〜80重量%の量で、または例えば、60重量%〜70重量%の量で組成物中に含まれる。 Specific examples of acid group-free acrylate functional monomers include those available under the trademarks Sartomer , Actilane ™, and Photoomer , such as Sartomer 506 (isobornyl acrylate ). ), Sartomer 306 (tripropylene glycol diacrylate), Actilane 430 (trimethylolpropane ethoxylate triacrylate), Actilane 251 (trifunctional acrylate oligomer), Actilane 411 (CTF acrylate), Photomer (TM) 4072 (trimethylol propane propoxylate triacrylate), Photomer (TM) 5429 (a polyester tetra A Rirato) and there is Photomer (TM) 4039 (phenolic ethoxylate monoacrylate). Sartomer (TM) , Actilane (TM) and Phototer (TM) are each available from Cray Valley Inc. Akros BV and Cognis Inc. Trademark. Other examples of monomers include lauryl acrylate, isodecyl acrylate, isooctyl acrylate, butyl acrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 1,6-hexanediol Diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, diethylene glycol diacrylate, butanediol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, 1,3-butylene glycol diacrylate, 1,4-butylene Glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, pentaerythritol tetraacrylate, tripropylene glycol diacrylate, isobornyl acrylate, 2-noacrylate Bornyl, cyclohexyl acrylate, a phenoxyethyl acrylate and tetrahydrofurfuryl acrylate. Such acid functional group-free acrylate functional monomers are included in the composition in an amount of 50 wt% to 80 wt%, or for example in an amount of 60 wt% to 70 wt%.

ラジカル開始剤は、アクリラート官能性モノマーの重合を開始するためにトレードにおいて典型的に使用される任意的な相乗剤(synergist)をはじめとするあらゆる開始剤であることができる。開始剤および存在する場合には相乗剤は化学線によって活性化されうる。化学線源には、水銀ランプ、キセノンランプ、炭素アークランプ、タングステンフィラメントランプ、発光ダイオード(LED)、レーザー、電子線および太陽光が挙げられるがこれらに限定されない。UV線、例えば中圧水銀ランプからのUV線が典型的に使用される。典型的にはラジカル開始剤はUV光で活性化される光開始剤である。   The radical initiator can be any initiator, including any synergist typically used in the trade to initiate the polymerization of acrylate functional monomers. The initiator and, if present, the synergist can be activated by actinic radiation. Actinic radiation sources include, but are not limited to, mercury lamps, xenon lamps, carbon arc lamps, tungsten filament lamps, light emitting diodes (LEDs), lasers, electron beams, and sunlight. UV radiation, for example UV radiation from medium pressure mercury lamps, is typically used. Typically the radical initiator is a photoinitiator activated with UV light.

ラジカル開始剤および相乗剤の例は、アントラキノン、置換アントラキノン、例えば、アルキル置換アントラキノンおよびハロゲン置換アントラキノン、例えば、2−ターシャリーブチルアントラキノン、1−クロロアントラキノン、p−クロロアントラキノン、2−メチルアントラキノン、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノンおよび2−アミルアントラキノン、任意に置換された多核キノン、例えば、1,4−ナフトキノン、9,10−フェナントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ベンズアントラキノン、2−メチル−1,4−ナフトキノン、2,3−ジクロロナフトキノン、1,4−ジメチルアントラキノン、2,3−ジメチルアントラキノン、2−フェニルアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン、3−クロロ−2−メチルアントラキノン、レテネキノン、7,8,9,10−テトラヒドロナフトアントラキノン、1,2,3,4−テトラヒドロベンゾアントラセン−7,2−ジオン、アセトフェノン系、例えばアセトフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2,2−ジエトキシ−2−フェニルアセトフェノン、1,1−ジクロロアセトフェノン、1−ヒドロキシシクロヘキシルフェニルケトンおよび2−メチル−1−(4−メチルチオ)フェニル−2−モルホリン−プロパン−1−オン;チオキサントン系、例えば、2−メチルチオキサントン、2−デシルチオキサントン、2−ドデシルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、2,4−ジメチルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロロチオキサントンおよび2,4−ジイソプロピルチオキサントン;ケタール、例えば、アセトフェノンジメチルケタールおよびジベンジルケタール;ベンゾイン系およびベンゾインアルキルエーテル、例えば、ベンゾイン、ベンジルベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテルおよびベンゾインイソブチルエーテル;アゾ化合物、例えばアゾビスイソバレロニトリル;ベンゾフェノン系、例えば、ベンゾフェノン、メチルベンゾフェノン、4,4−ジクロロベンゾフェノン、4,4−ビス−ジエチルアミノベンゾフェノン、ミヒラー(Michler’s)ケトン、およびキサントンおよびこれらの混合物がある。市販の開始剤および相乗剤の例には、Speedcure(商標)ITX、EHAおよび3040、Irgacure(商標)184、369、907および1850、Daracure(商標)1173がある。Speedcure(商標)、Irgacure(商標)およびDaracure(商標)は、それぞれ、Lambson PlcおよびCiba GmbHの登録商標である。 Examples of radical initiators and synergists are anthraquinones, substituted anthraquinones such as alkyl substituted anthraquinones and halogen substituted anthraquinones such as 2-tertiarybutylanthraquinone, 1-chloroanthraquinone, p-chloroanthraquinone, 2-methylanthraquinone, 2 Ethyl anthraquinone, octamethylanthraquinone and 2-amylanthraquinone, optionally substituted polynuclear quinones, such as 1,4-naphthoquinone, 9,10-phenanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-benz Anthraquinone, 2-methyl-1,4-naphthoquinone, 2,3-dichloronaphthoquinone, 1,4-dimethylanthraquinone, 2,3-dimethylanthraquinone, 2-phenylanthraquinone, 2,3-dipheni Anthraquinone, 3-chloro-2-methylanthraquinone, retenequinone, 7,8,9,10-tetrahydronaphthanthraquinone, 1,2,3,4-tetrahydrobenzoanthracene-7,2-dione, acetophenone series such as acetophenone, 2 , 2-dimethoxy-2-phenylacetophenone, 2,2-diethoxy-2-phenylacetophenone, 1,1-dichloroacetophenone, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone and 2-methyl-1- (4-methylthio) phenyl-2- Morpholine-propan-1-one; thioxanthone series such as 2-methylthioxanthone, 2-decylthioxanthone, 2-dodecylthioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, 2,4-dimethylthioxanthone, 2,4-diethi Thioxanthone, 2-chlorothioxanthone and 2,4-diisopropylthioxanthone; ketals such as acetophenone dimethyl ketal and dibenzyl ketal; benzoin and benzoin alkyl ethers such as benzoin, benzyl benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether and benzoin isobutyl ether; Azo compounds such as azobisisovaleronitrile; benzophenones, such as benzophenone, methylbenzophenone, 4,4-dichlorobenzophenone, 4,4-bis-diethylaminobenzophenone, Michler's ketone, and xanthone and mixtures thereof There is. Examples of commercially available initiators and synergists include Speedcure (TM) ITX, EHA and 3040, Irgacure (TM) 184, 369, 907 and 1850, Daracure (TM) 1173. Speedcure (TM) , Irgacure (TM) and Daracure (TM) are registered trademarks of Lambson Plc and Ciba GmbH, respectively.

ラジカル開始剤は、化学線に曝露した際に組成物の硬化を可能にするのに充分な量で含まれる。典型的には、このようなラジカル開始剤は組成物の0.1重量%〜10重量%、または例えば、組成物の1重量%〜5重量%の量で含まれる。   The radical initiator is included in an amount sufficient to allow the composition to cure when exposed to actinic radiation. Typically, such radical initiators are included in amounts of 0.1% to 10% by weight of the composition, or such as from 1% to 5% by weight of the composition.

場合によっては、1種以上の着色剤がレジスト組成物中に含まれうる。このような着色剤には、顔料および染料、例えば、蛍光染料が挙げられる。着色剤は所望の色コントラストを提供する従来の量で組成物中に含まれうる。好適な顔料には、これらに限定されないが、二酸化チタン、プルシアンブルー、硫化カドミウム、酸化鉄、赤色硫化水銀、ウルトラマリンおよびクロム顔料、例えば、クロム酸塩、モリブデン酸塩および混合クロム酸塩、および鉛、亜鉛、バリウム、カルシウムの硫酸塩、並びにこれらの混合物および修飾物が挙げられ、これらはクロムエロー、レモンエロー、ミドルオレンジクロム、スカーレットクロムおよびレッドクロムの名前で黄緑色から赤色までの顔料として市販されている。   In some cases, one or more colorants may be included in the resist composition. Such colorants include pigments and dyes such as fluorescent dyes. Coloring agents can be included in the composition in conventional amounts that provide the desired color contrast. Suitable pigments include, but are not limited to, titanium dioxide, Prussian blue, cadmium sulfide, iron oxide, red mercury sulfide, ultramarine and chromium pigments such as chromate, molybdate and mixed chromate, and Lead, zinc, barium, calcium sulfate, and mixtures and modifications thereof, which are commercially available as yellow-green to red pigments under the names chrome yellow, lemon yellow, middle orange chrome, scarlet chrome and red chrome. ing.

好適な染料には、これらに限定されないが、アゾ染料、金属錯体染料、ナフトール染料、アントラキノン染料、インジゴ染料、カルボニウム染料、キノンイミン染料、キサンテン染料、シアニド染料、キノリン染料、ニトロ染料、ニトロソ染料、ベンゾキノン染料、ナフトキノン染料、ペノリン染料、フタルシアニド染料およびロイコ染料が挙げられる。蛍光染料の例には、キサンテン、例えば、ローダミンおよびフルオレセイン、ビマン、クマリン、例えば、アンベリフェロン、芳香族アミン、例えば、ダンシル、スクアラート染料、ベンゾフラン、シアニン、メロシアニン、希土類キレートおよびカルボゾールがある。   Suitable dyes include, but are not limited to, azo dyes, metal complex dyes, naphthol dyes, anthraquinone dyes, indigo dyes, carbonium dyes, quinoneimine dyes, xanthene dyes, cyanide dyes, quinoline dyes, nitro dyes, nitroso dyes, benzoquinone And dyes, naphthoquinone dyes, penoline dyes, phthalocyanide dyes and leuco dyes. Examples of fluorescent dyes include xanthenes such as rhodamine and fluorescein, biman, coumarins such as ambelliferone, aromatic amines such as dansyl, squarate dyes, benzofurans, cyanines, merocyanines, rare earth chelates and carbosols.

任意である追加の添加剤には、これらに限定されないが、界面活性剤、例えば、非イオン性、カチオン性、アニオン性および両性界面活性剤、滑り改変剤(slip modifier)、チキソトロープ剤、発泡剤、消泡剤、可塑剤、増粘剤、バインダー、抗酸化剤、光開始剤安定化剤、光沢剤、殺真菌剤、殺バクテリア剤、有機および無機充填剤粒子、レベリング剤、不透明剤、帯電防止剤および金属接着剤が挙げられる。このような添加剤は従来の量で含まれうる。   Additional additives that are optional include, but are not limited to, surfactants such as nonionic, cationic, anionic and amphoteric surfactants, slip modifiers, thixotropic agents, blowing agents Antifoaming agent, plasticizer, thickener, binder, antioxidant, photoinitiator stabilizer, brightener, fungicide, bactericidal agent, organic and inorganic filler particles, leveling agent, opacifier, charging Examples include inhibitors and metal adhesives. Such additives can be included in conventional amounts.

レジスト組成物はエッチングレジストとしてまたはめっきレジストとして使用されうる。一般に、レジスト組成物は基体上に選択的に堆積され、続いて化学線でレジスト組成物を硬化させる。硬化後、基体の覆われていない部分が所望の深さまでエッチングされうるか、または基体表面の領域を除去して下層を露出させるようにエッチングされることができて、基体上にパターンを形成することができる。エッチング剤はエッチング中に基体からレジストを除去しないので、レジスト組成物はエッチングレジストとして機能する。エッチングレジストは、次いで、基体から剥離されて、当該技術分野において知られた従来の方法によってさらに加工するためのパターン形成された基体を残す。あるいは、基体の覆われていない領域は金属でめっきされることができて、基体上にパターンを形成することができ、よってこのレジストはめっきレジストとして機能する。次いで、めっきレジストは基体から剥離されて、当該技術分野において知られた従来の方法によってさらに加工するための金属パターンを有する基体を残す。剥離は0℃〜100℃、典型的には40℃〜60℃の温度で塩基を用いて行われる。   The resist composition can be used as an etching resist or as a plating resist. In general, a resist composition is selectively deposited on a substrate, followed by curing the resist composition with actinic radiation. After curing, an uncovered portion of the substrate can be etched to a desired depth, or can be etched to remove a region of the substrate surface to expose the underlying layer, forming a pattern on the substrate Can do. Since the etchant does not remove the resist from the substrate during etching, the resist composition functions as an etching resist. The etching resist is then stripped from the substrate, leaving a patterned substrate for further processing by conventional methods known in the art. Alternatively, the uncovered area of the substrate can be plated with metal and a pattern can be formed on the substrate, so that the resist functions as a plating resist. The plating resist is then stripped from the substrate, leaving a substrate with a metal pattern for further processing by conventional methods known in the art. Peeling is performed with a base at a temperature of 0 ° C to 100 ° C, typically 40 ° C to 60 ° C.

上記の変法として、基体は両面上をレジストで選択的に被覆され、化学線に曝露されることができる。次いで、エッチングおよびめっきが基体の両面で同時に行われうる。   As a variation of the above, the substrate can be selectively coated with resist on both sides and exposed to actinic radiation. Etching and plating can then be performed simultaneously on both sides of the substrate.

エッチングは、基体を構成する物質に好適な当該技術分野において知られた方法によってなされうる。典型的には、エッチングは酸、例えば、フッ化水素酸、硝酸、リン酸、塩化水素酸、有機酸、例えば、カルボン酸およびその混合物を用いて、または工業用エッチング剤、例えば、塩化第二銅(CuCl)および塩化第二鉄(FeCl)を用いて行われる。このようなエッチング剤は当該技術分野において周知であり、文献から得られうる。 Etching can be done by methods known in the art suitable for the material comprising the substrate. Typically, etching is performed using acids such as hydrofluoric acid, nitric acid, phosphoric acid, hydrochloric acid, organic acids such as carboxylic acids and mixtures thereof, or industrial etchants such as secondary chloride. Performed with copper (CuCl 2 ) and ferric chloride (FeCl 3 ). Such etchants are well known in the art and can be obtained from the literature.

エッチングは典型的には20℃〜100℃、より典型的には25℃〜60℃の温度で行われる。エッチングは、レジストで被覆された基体を、垂直または水平の位置でエッチング剤で噴霧または浸漬することを含む。典型的には、基体が水平位置にある場合には噴霧が行われる。これはエッチング剤の素早い除去を可能にする。エッチングの速度はエッチング剤を撹拌する、例えば、音波撹拌を用いて撹拌するまたは振動噴霧により促進されうる。基体がエッチング剤で処理された後、基体は典型的には水ですすがれて微量のエッチング剤を除去する。   Etching is typically performed at a temperature of 20 ° C to 100 ° C, more typically 25 ° C to 60 ° C. Etching involves spraying or dipping a resist coated substrate with an etchant in a vertical or horizontal position. Typically, spraying occurs when the substrate is in a horizontal position. This allows for quick removal of the etchant. The rate of etching can be facilitated by stirring the etchant, for example, using sonic stirring or oscillating spraying. After the substrate has been treated with the etchant, the substrate is typically rinsed with water to remove traces of the etchant.

1以上の金属層が基体上に形成されたパターンで堆積されうる。金属は無電解、電解、浸漬または光誘起めっきにより堆積されうる。従来の無電解、電解、および浸漬浴および方法が、金属または合金層を堆積させるために使用されうる。多くのこのような浴が市販されており、または文献に記載されている。金属には、これに限定されないが、貴金属および非貴金属、並びにこれらの合金が挙げられる。好適な貴金属の例は金、銀、白金、パラジウムおよびこれらの合金である。非貴金属の例は、銅、ニッケル、コバルト、ビスマス、亜鉛、インジウム、スズおよびこれらの合金である。   One or more metal layers may be deposited in a pattern formed on the substrate. The metal can be deposited by electroless, electrolytic, immersion or light induced plating. Conventional electroless, electrolytic, and immersion baths and methods can be used to deposit metal or alloy layers. Many such baths are commercially available or are described in the literature. Metals include, but are not limited to, noble metals and non-noble metals, and alloys thereof. Examples of suitable noble metals are gold, silver, platinum, palladium and alloys thereof. Examples of non-noble metals are copper, nickel, cobalt, bismuth, zinc, indium, tin and alloys thereof.

基体には、これに限定されないが、PCB、半導体ウェハ、例えば、光電池および太陽電池、および光電子素子のための部品が挙げられる。一般に、PCBの製造においては、レジスト組成物は銅クラッド板上に選択的に堆積され、化学線を用いて硬化される。レジストで覆われていない銅クラッド板の部分はエッチングで除去される。レジストは板から剥離されて、板上に回路パターンを残す。別の態様においては、レジストは板上に選択的に堆積されて、従来のプロセスを用いて金属シード層と導電性になり、化学線を用いて硬化される。レジストで覆われていない板の部分は金属または合金でめっきされる。次いで、硬化したレジストは板から剥離されて、板上に金属パターンを残す。   Substrates include, but are not limited to, PCBs, semiconductor wafers such as photovoltaic cells and solar cells, and components for optoelectronic devices. In general, in the manufacture of PCBs, a resist composition is selectively deposited on a copper clad plate and cured using actinic radiation. The portion of the copper clad plate not covered with the resist is removed by etching. The resist is stripped from the board, leaving a circuit pattern on the board. In another embodiment, the resist is selectively deposited on the plate, rendered conductive with the metal seed layer using conventional processes, and cured using actinic radiation. The portion of the plate not covered with resist is plated with a metal or alloy. The cured resist is then stripped from the plate, leaving a metal pattern on the plate.

一般に、光電池または太陽電池の製造において、レジストは、ドープされた半導体ウェハの前面反射防止層上に選択的に堆積される。反射防止層はケイ素、窒化ケイ素Si、酸化ケイ素SiO、またはこれらの組み合わせでありうる。典型的には、反射防止層はSiである。半導体は単結晶または多結晶であることができる。次いで、レジストは化学線で硬化されて、反射防止層の部分がエッチングで除去されて、ドープされた半導体(n+またはn++ドープ)のエミッタ層を露出させる。次いで、硬化したレジストは剥離され、反射防止層で覆われていないエミッタ層の部分は金属または合金でめっきされて、電流トラックおよびバスバーのパターンを形成する。 In general, in the manufacture of photovoltaic or solar cells, resist is selectively deposited on the front antireflective layer of a doped semiconductor wafer. The antireflective layer can be silicon, silicon nitride Si 3 N 4 , silicon oxide SiO x , or combinations thereof. Typically, the antireflective layer is Si 3 N 4 . The semiconductor can be single crystal or polycrystalline. The resist is then cured with actinic radiation and portions of the antireflective layer are etched away to expose the emitter layer of the doped semiconductor (n + or n ++ doped). The cured resist is then stripped and the portion of the emitter layer not covered by the antireflective layer is plated with a metal or alloy to form current track and bus bar patterns.

別の態様においては、レジストは、金属、例えば、アルミニウム、銅、ニッケル、銀および金で覆われているドープされた半導体ウェハの裏面に選択的に堆積されうる。レジストは化学線を用いて硬化される。レジストで覆われていない金属の部分はエッチングで除去されて、電極の電流トラックのパターンを形成する。   In another aspect, the resist may be selectively deposited on the backside of a doped semiconductor wafer that is covered with a metal, such as aluminum, copper, nickel, silver, and gold. The resist is cured using actinic radiation. The portion of the metal not covered with resist is etched away to form a pattern of electrode current tracks.

本組成物および方法は、電子素子の部品、例えば、PCB、およびリードフレーム、光電子素子、光起電素子の製造に、部品および精密工具の金属仕上げに使用されうる。それらは、その相変換特性のために、良好な画像鮮明度および低い流動性を有する。   The compositions and methods can be used in the manufacture of electronic device components, such as PCBs, and lead frames, optoelectronic devices, photovoltaic devices, and metal finishing of components and precision tools. They have good image sharpness and low fluidity due to their phase change properties.

次の実施例は本発明をさらに説明することを意図するものであり、本発明の範囲を限定することを意図するものではない。   The following examples are intended to further illustrate the present invention and are not intended to limit the scope of the invention.

実施例1−7
インクジェットエッチングレジスト組成物
Example 1-7
Inkjet etching resist composition

Figure 2010138382
Figure 2010138382

全ての7つの配合物は同じ方法で製造される。従来の実験室ブレンド装置を用いて、モノマー、酸ワックスおよびラジカル開始剤は一緒にブレンドされて、均一な混合物を形成する。従来の対流オーブン内で50℃〜90℃で加熱が行われて、他の成分とブレンドするには固すぎるあらゆる成分を液化する。混合後、それぞれの成分は、次いで、室温まで冷却されて、100%固体の組成物を形成する。この組成物は100mgKOH/gを超える酸価を有するものと期待される。   All seven formulations are made in the same way. Using conventional laboratory blending equipment, the monomer, acid wax and radical initiator are blended together to form a uniform mixture. Heating is performed at 50 ° C. to 90 ° C. in a conventional convection oven to liquefy any ingredients that are too hard to blend with the other ingredients. After mixing, each component is then cooled to room temperature to form a 100% solids composition. This composition is expected to have an acid number greater than 100 mg KOH / g.

全ての粘度は、60℃、80℃および100℃の温度でのサーモセル(thermosel)アタッチメントを備えたブルックフィールド(Brookfield)粘度計を用いて、15cp以下であると予想される。よって、組成物は従来のインクジェット装置、例えば、Schmidから得られるDirectmask(商標)DoD300を用いるインクジェットに好適であると予想される。 All viscosities are expected to be 15 cp or less using a Brookfield viscometer with a thermosel attachment at temperatures of 60 ° C., 80 ° C. and 100 ° C. Thus, the composition is expected to be suitable for conventional ink jet devices, for example, ink jets using Directmask DoD300 obtained from Schmid.

実施例8
エッチングレジストPCB用途
実施例1−7からのレジスト組成物は、圧電ドロップオンデマンドプリントヘッド(Spectra(商標)SE−128)から、7つの別々の銅クラッドFR4/ガラス−エポキシパネル上に、15μm〜30μmの厚みで、選択的にインクジェットされる。インクジェット中の温度は65℃〜95℃である。レジスト組成物がそれぞれのパネルに選択的に適用されてから、組成物は、120W/cmで動作中のFusionDバルブを用いて、150mJ/cm〜200mJ/cmでUV光に曝露される。全てのレジストは硬化すると予想される。
それぞれのレジストの硬度はASTM D3363−05鉛筆硬度試験を用いて試験される。硬度値は3H以上であると予想される。得られうる最も硬い値は5Hであり、最も柔らかいのが1Hである。
それぞれのパネルは、次いで、4NのCuClエッチング剤の水性エッチング溶液に50℃で5分間浸漬され、レジストで覆われていない銅の部分をエッチング除去する。銅は38μmの深さまでエッチングされる。レジスト組成物はCuClエッチング剤のエッチング作用に耐えると予想される。エッチングが完了した後、パネルはエッチング液から取り出されて水ですすがれる。
それぞれのパネルは次いで、2.5重量%水酸化ナトリウムの剥離水溶液の浴中に40℃〜50℃で、1分間浸漬されて、パネルからレジストを剥離する。実質的に全てのレジストがそれぞれのパネルから除去され、パネル上に銅回路パターンを残すと予想される。次いで、パネルはさらに処理されて電子素子のためのPCBの製造を完了する。
Example 8
Etch Resist PCB Application The resist composition from Examples 1-7 was obtained from a piezoelectric drop-on-demand printhead (Spectra SE-128) onto 7 separate copper clad FR4 / glass-epoxy panels. The ink is selectively ink-jetted with a thickness of 30 μm. The temperature during inkjet is 65 ° C to 95 ° C. The resist composition is selectively applied to each panel, the composition, using FusionD valve operating in 120 W / cm, is exposed to UV light at 150mJ / cm 2 ~200mJ / cm 2 . All resists are expected to cure.
The hardness of each resist is tested using the ASTM D3363-05 pencil hardness test. The hardness value is expected to be 3H or higher. The hardest value that can be obtained is 5H and the softest is 1H.
Each panel is then immersed in an aqueous etch solution of 4N CuCl 2 etchant at 50 ° C. for 5 minutes to etch away the portions of copper that are not covered with resist. Copper is etched to a depth of 38 μm. The resist composition is expected to withstand the etching action of the CuCl 2 etchant. After etching is complete, the panel is removed from the etchant and rinsed with water.
Each panel is then dipped in a bath of 2.5 wt% aqueous sodium hydroxide stripping solution at 40 ° C. to 50 ° C. for 1 minute to strip the resist from the panel. It is expected that substantially all of the resist will be removed from each panel, leaving a copper circuit pattern on the panel. The panel is then further processed to complete the production of the PCB for the electronic device.

実施例9
半導体適用のためのエッチングレジスト
pn−接合を有するドープされた単結晶シリコン半導体ウェハ7枚が提供される。ドープされた単結晶シリコンウェハの前面すなわちエミッタ層がテクスチャー化されかつn++ドープされる。裏面はアルミニウムでp++ドープされる。n++ドープされたエミッタ層とp++ドープされた裏面との間の領域はn+ドープされる。ドープされた単結晶シリコンウェハの前面は500nm厚のSiの層で被覆される。Siは反射防止層として機能する誘電体である。
それぞれのシリコンウェハの反射防止層は、電流トラックを形成するために、ドロップオンデマンドインクジェットプリンターによって、80℃〜100℃で、実施例1〜7の7種のレジスト組成物のいずれかで選択的に被覆される。各電流トラック間の距離が3mmであるように、レジスト組成物が堆積させられる。レジストは10μm厚で誘電層上に堆積させられる。次いで、レジストはフュージョンUVベルトシステムによって、150〜2000mJ/cmでUV光に曝される。全てのレジストは硬化することが予想される。
それぞれのレジストの硬度はASTM D3363−05鉛筆硬度試験を用いて試験される。硬度値は3H以上であると予想される。得られうる最も硬い値は5Hであり、最も柔らかいのが1Hである。
次いで、レジストで覆われていないSi誘電層がエッチングで除去されて、n++ドープされたエミッタ層の領域を露出させる。エミッタ層を露出させるために、エッチングは水性40%フッ化水素酸エッチング剤を用いて25℃で2〜10分間行われ、20μm幅で0.5μm深さの電流トラックを形成する。この酸エッチング剤はエッチングレジストをエッチング除去しないと予想される。ウェハのアルミニウム裏面も、ウェハの前面に適用されるのと同じレジストによって、エッチング中に酸エッチング剤から保護される。
ウェハの前面は2.5重量%の水酸化ナトリウムの水性剥離溶液で40℃〜50℃で噴霧されて、レジストを剥離除去する。金属めっきを悪化させる残留物が残っていないように、実質的に全てのレジストがそれぞれのウェハから除かれると予想される。次いで、ウェハの電流トラックは無電解ニッケルでめっきされ、0.1μm厚のニッケルシード層を形成する。ニッケルはNiplate(商標)600ミッド−リン無電解ニッケル浴(米国、マサチューセッツ州、マルボロのロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズエルエルシーから入手可能)を用いて堆積される。次いで、ニッケルシード層は10μm厚の銀の層で被覆される。Enlight(商標)600銀めっき浴(ロームアンドハースエレクトロニックマテリアルズエルエルシーから入手可能)が使用され、従来の光誘起めっきによって銀を堆積する。
Example 9
Etching resist for semiconductor applications Seven doped single crystal silicon semiconductor wafers with pn-junctions are provided. The front or emitter layer of the doped single crystal silicon wafer is textured and n ++ doped. The back side is p ++ doped with aluminum. The region between the n ++ doped emitter layer and the p ++ doped backside is n + doped. The front side of the doped single crystal silicon wafer is coated with a 500 nm thick layer of Si 3 N 4 . Si 3 N 4 is a dielectric that functions as an antireflection layer.
The anti-reflective layer of each silicon wafer is selectively selected from any of the seven resist compositions of Examples 1-7 at 80 ° C.-100 ° C. by a drop-on-demand ink jet printer to form current tracks. Coated. The resist composition is deposited so that the distance between each current track is 3 mm. The resist is deposited on the dielectric layer with a thickness of 10 μm. The resist is then exposed to UV light at 150-2000 mJ / cm 2 by a fusion UV belt system. All resists are expected to cure.
The hardness of each resist is tested using the ASTM D3363-05 pencil hardness test. The hardness value is expected to be 3H or higher. The hardest value that can be obtained is 5H and the softest is 1H.
The Si 3 N 4 dielectric layer that is not covered with resist is then etched away to expose regions of the n ++ doped emitter layer. In order to expose the emitter layer, the etching is performed using an aqueous 40% hydrofluoric acid etchant at 25 ° C. for 2-10 minutes to form a current track 20 μm wide and 0.5 μm deep. This acid etchant is not expected to etch away the etching resist. The aluminum back side of the wafer is also protected from the acid etchant during etching by the same resist applied to the front side of the wafer.
The front side of the wafer is sprayed at 40 ° C. to 50 ° C. with an aqueous stripping solution of 2.5% by weight sodium hydroxide to strip off the resist. It is expected that substantially all of the resist will be removed from each wafer so that no residue remains that will aggravate the metal plating. The wafer current track is then plated with electroless nickel to form a 0.1 μm thick nickel seed layer. Nickel is deposited using a Niplate 600 mid-phosphorous electroless nickel bath (available from Rohm and Haas Electronic Materials, LLC, Marlborough, Mass., USA). The nickel seed layer is then coated with a 10 μm thick silver layer. An Enlight 600 silver plating bath (available from Rohm and Haas Electronic Materials, LLC) is used to deposit silver by conventional light-induced plating.

実施例10
PCB適用のためのめっきレジスト
実施例1−7からのレジスト組成物が、圧電ドロップオンデマンドプリントヘッド(Spectra(商標)SE−128)から、7つの別々のエポキシパネル上に、15μm〜30μmの厚みで、選択的にインクジェットされる。エポキシパネルは1ミクロンの超薄銅シード層を有する。インクジェット中の温度は65℃〜95℃である。レジスト組成物がそれぞれのパネルに選択的に適用されてから、組成物は、120W/cmで動作中のFusionDバルブを用いて、150mJ/cm〜200mJ/cmでUV光に曝露される。全てのレジストは硬化すると予想される。
それぞれのレジストの硬度はASTM D3363−05鉛筆硬度試験を用いて試験される。硬度値は3H以上であると予想される。得られうる最も硬い値は5Hであり、最も柔らかいのが1Hである。
硬化したレジストを備えるそれぞれのパネルは、80g/Lの硫酸銅五水和物、225g/Lの硫酸、50ppmの塩素イオンおよび1g/Lのポリエチレンオキシドを含む銅電気めっき浴中に置かれる。電気めっきは1amp/dmで行われる。銅金属はレジストで覆われていない領域でパネル上に堆積させられる。銅堆積物が15μm〜25μm厚であるまで、銅堆積が行われる。
それぞれのパネルは次いで、2.5重量%水酸化ナトリウムの剥離水溶液の浴中に40℃〜50℃で、1分間浸漬されて、パネルからレジストを剥離する。実質的に全てのレジストがそれぞれのパネルから除去され、パネル上に銅回路パターンを残すと予想される。次いで、パネルはさらに処理されて電子素子のためのPCBの製造を完了する。
Example 10
Plating Resist for PCB Application The resist composition from Examples 1-7 is from a piezoelectric drop-on-demand printhead (Spectra SE-128) on 7 separate epoxy panels with a thickness of 15-30 μm. Then, ink jet is selectively performed. The epoxy panel has a 1 micron ultra-thin copper seed layer. The temperature during inkjet is 65 ° C to 95 ° C. The resist composition is selectively applied to each panel, the composition, using FusionD valve operating in 120 W / cm, is exposed to UV light at 150mJ / cm 2 ~200mJ / cm 2 . All resists are expected to cure.
The hardness of each resist is tested using the ASTM D3363-05 pencil hardness test. The hardness value is expected to be 3H or higher. The hardest value that can be obtained is 5H and the softest is 1H.
Each panel with the cured resist is placed in a copper electroplating bath containing 80 g / L copper sulfate pentahydrate, 225 g / L sulfuric acid, 50 ppm chloride ions and 1 g / L polyethylene oxide. Electroplating is performed at 1 amp / dm 2 . Copper metal is deposited on the panel in areas not covered with resist. Copper deposition is performed until the copper deposit is 15 μm to 25 μm thick.
Each panel is then dipped in a bath of 2.5 wt% aqueous sodium hydroxide stripping solution at 40 ° C. to 50 ° C. for 1 minute to strip the resist from the panel. It is expected that substantially all of the resist will be removed from each panel, leaving a copper circuit pattern on the panel. The panel is then further processed to complete the production of the PCB for the electronic device.

実施例11
太陽電池適用のためのめっきレジスト
pn−接合を有するドープされた単結晶シリコン半導体ウェハ7枚が提供される。ドープされた単結晶シリコンウェハの前面すなわちエミッタ層がテクスチャー化されかつn++ドープされる。裏面はアルミニウムでp++ドープされる。さらに、裏面は化学蒸着された10μm厚のアルミニウム層も含む。n++ドープされたエミッタ層とp++ドープされた裏面との間の領域はn+ドープされる。ドープされた単結晶シリコンウェハの前面は500nm厚のSiの層で被覆される。Siは反射防止層として機能する誘電体である。
それぞれのシリコンウェハのアルミニウム層は、ウェハの裏面に電流トラックを形成するために、ドロップオンデマンドインクジェットプリンターによって、80℃〜100℃で、実施例1〜7の7種のレジスト組成物のいずれかで選択的に被覆される。各電極トラック間の距離が3mmであるように、レジスト組成物が堆積させられる。レジストは15μm〜30μmの厚みで、アルミニウム層上に堆積させられる。次いで、レジストはフュージョンUVベルトシステムによって、150〜2000mJ/cmでUV光に曝される。全てのレジストは硬化することが予想される。
それぞれのレジストの硬度はASTM D3363−05鉛筆硬度試験を用いて試験される。硬度値は3H以上であると予想される。得られうる最も硬い値は5Hであり、最も柔らかいのが1Hである。
次いで、アルミニウム金属をエッチングするために、5重量%の酢酸、80重量%のリン酸、5重量%の硝酸、および10重量%の蒸留水からなる従来のエッチング浴を用いて、レジストで覆われていないアルミニウム層の領域がエッチングされて、露出したアルミニウムを除去する。それぞれのウェハの裏面は2.5重量%の水酸化ナトリウムの水性剥離溶液で40℃〜50℃で噴霧されて、レジストを剥離除去する。アルミニウム電流トラックのパターンが裏面上に残ってアノードとして機能する。
Example 11
Seven doped single crystal silicon semiconductor wafers with plating resist pn-junctions for solar cell applications are provided. The front or emitter layer of the doped single crystal silicon wafer is textured and n ++ doped. The back side is p ++ doped with aluminum. In addition, the backside also includes a 10 μm thick aluminum layer that is chemically vapor deposited. The region between the n ++ doped emitter layer and the p ++ doped backside is n + doped. The front side of the doped single crystal silicon wafer is coated with a 500 nm thick layer of Si 3 N 4 . Si 3 N 4 is a dielectric that functions as an antireflection layer.
The aluminum layer of each silicon wafer is one of the seven resist compositions of Examples 1-7 at 80 ° C.-100 ° C. by a drop-on-demand ink jet printer to form current tracks on the back side of the wafer. Is selectively coated. The resist composition is deposited so that the distance between each electrode track is 3 mm. The resist is deposited on the aluminum layer with a thickness of 15-30 μm. The resist is then exposed to UV light at 150-2000 mJ / cm 2 by a fusion UV belt system. All resists are expected to cure.
The hardness of each resist is tested using the ASTM D3363-05 pencil hardness test. The hardness value is expected to be 3H or higher. The hardest value that can be obtained is 5H and the softest is 1H.
It is then covered with resist using a conventional etching bath consisting of 5 wt% acetic acid, 80 wt% phosphoric acid, 5 wt% nitric acid, and 10 wt% distilled water to etch the aluminum metal. The areas of the aluminum layer not etched are etched to remove the exposed aluminum. The backside of each wafer is sprayed at 40 ° C. to 50 ° C. with an aqueous stripping solution of 2.5% by weight sodium hydroxide to strip off the resist. A pattern of aluminum current tracks remains on the back surface to function as the anode.

Claims (9)

1種以上の酸ワックス、1種以上の酸基非含有アクリラート官能性モノマー、および1種以上のラジカル開始剤を含む組成物。   A composition comprising one or more acid waxes, one or more acid group-free acrylate functional monomers, and one or more radical initiators. 前記1種以上のワックスの酸価が少なくとも100mgKOH/gである、請求項1に記載の組成物。   The composition of claim 1, wherein the acid value of the one or more waxes is at least 100 mg KOH / g. 前記1種以上のワックスの酸価が120mgKOH/g〜170mgKOH/gである、請求項2に記載の組成物。   The composition according to claim 2, wherein the acid value of the one or more waxes is 120 mgKOH / g to 170 mgKOH / g. 組成物が1種以上の着色剤をさらに含む、請求項1に記載の組成物。   The composition of claim 1, wherein the composition further comprises one or more colorants. 組成物が酸基含有アクリラート官能性モノマーを含まない、請求項1に記載の組成物。   The composition of claim 1, wherein the composition does not comprise an acid group-containing acrylate functional monomer. a)1種以上の酸ワックス、1種以上の酸基非含有アクリラート官能性モノマー、および1種以上のラジカル開始剤を含む組成物を提供し;
b)組成物を基体上に選択的に堆積させ;
c)化学線を組成物に適用して組成物を硬化させ;
d)硬化した組成物で覆われていない基体の部分をエッチングし;並びに
e)塩基を用いて、基体から硬化した組成物を除去して、パターン形成された物品を形成する;
ことを含む方法。
a) providing a composition comprising one or more acid waxes, one or more acid group-free acrylate functional monomers, and one or more radical initiators;
b) selectively depositing the composition on the substrate;
c) applying actinic radiation to the composition to cure the composition;
d) etching portions of the substrate not covered with the cured composition; and e) using a base to remove the cured composition from the substrate to form a patterned article;
A method involving that.
前記1種以上のワックスの酸価が少なくとも100mgKOH/gである、請求項6に記載の方法。   The method of claim 6, wherein the acid value of the one or more waxes is at least 100 mg KOH / g. 基体が、プリント回路板の部品、光起電素子、光電子素子、金属部品およびリードフレームから選択される、請求項6に記載の方法。   7. The method of claim 6, wherein the substrate is selected from printed circuit board components, photovoltaic elements, optoelectronic elements, metal components and lead frames. a)1種以上の酸ワックス、1種以上の酸基非含有アクリラート官能性モノマー、および1種以上のラジカル開始剤を含む組成物を提供し;
b)組成物を基体上に選択的に堆積させ;
c)化学線を組成物に適用して組成物を硬化させ;
d)硬化した組成物で覆われていない基体の部分上を金属めっきし;並びに
e)塩基を用いて、硬化した組成物を除去して、パターン形成された物品を形成する;
ことを含む方法。
a) providing a composition comprising one or more acid waxes, one or more acid group-free acrylate functional monomers, and one or more radical initiators;
b) selectively depositing the composition on the substrate;
c) applying actinic radiation to the composition to cure the composition;
d) metal plating on the portion of the substrate not covered with the cured composition; and e) using a base to remove the cured composition to form a patterned article;
A method involving that.
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