JP2010125394A - 成分抽出システム - Google Patents

Abstract

【課題】１台の昇圧ポンプを利用して複数の洗浄容器の洗浄サイクルを短時間に行うことができ、洗浄サイクルを所定時間内に効率よく繰り返すことができる成分抽出システムを提供する。
【解決手段】成分抽出システム１０Ａにおいてコントローラ１９は、昇圧ポンプ１３を利用して第１洗浄容器１５に流入する流体を所定の圧力に昇圧する第１昇圧手段、第１洗浄容器１５に対する昇圧ポンプ１３の負荷を解除しつつ、流体を利用してフィルタから不純物を抽出する第１抽出手段、第１洗浄容器１５に流入する流体を大気圧に減圧する第１減圧手段、第１抽出手段の実行時に昇圧ポンプ１３を利用して第２洗浄容器１６に流入する流体を所定の圧力に昇圧する第２昇圧手段、第２洗浄容器１６に対する昇圧ポンプ１３の負荷を解除しつつ、流体を利用してフィルタから不純物を抽出する第２抽出手段、第２洗浄容器１６に流入する流体を大気圧に減圧する第２減圧手段を実行する。
【選択図】図１

Description

本発明は、超臨界または亜臨界のいずれかの流体を使用して気密容器に収容された被収容物から所定の成分を抽出する成分抽出システムに関する。

超臨界の二酸化炭素洗浄流体が循環するメイン流路と、二酸化炭素洗浄流体が循環するサブ流路と、それら流路につながって二酸化炭素洗浄流体が流入する１つの洗浄容器と、主流路に設置された１台の昇圧ポンプと、サブ流路に設置された１台の循環ポンプと、洗浄容器の下流側に延びるサブ流路に設置された濾過フィルタとから形成された洗浄システムがある（特許文献１参照）。昇圧ポンプは、洗浄容器に流入する二酸化炭素を所定の圧力に昇圧する。循環ポンプは、被洗浄物の洗浄中に洗浄容器内部に流通する二酸化炭素洗浄流体の圧力を一定に保持しつつ、その洗浄流体をサブ流路に循環させる。濾過フィルタは、洗浄流体に含まれる不純物を濾過する。この洗浄システムは、超臨界の二酸化炭素洗浄流体をサブ流路に循環させつつ洗浄容器内部に収容された被洗浄物の洗浄を行うから、被洗浄物の洗浄時間を短縮することができる。また、濾過フィルタをサブ流路に設置することで、洗浄流体に含まれる微細な不純物を取り除くことができ、洗浄流体を清潔に保つことができる。
特開平８−２０６４８５号公報

前記公報に開示の洗浄システムは、１台の昇圧ポンプを利用して超臨界の二酸化炭素洗浄流体を１つの洗浄容器に流入させ、１台の循環ポンプを利用して１つの洗浄容器にその洗浄流体を流通させているが、洗浄容器が複数設置された場合、１台の昇圧ポンプで２つの洗浄容器の洗浄サイクル（昇圧・洗浄・減圧）を実施すると、１回の洗浄サイクルに要する時間が２倍になる。その一例を、１台の昇圧ポンプと１つの洗浄容器とにおいて洗浄を行う場合の洗浄流体の圧力の変化を時系列に示す図１３と、１台の昇圧ポンプと２つの洗浄容器とにおいて洗浄を行う場合の洗浄流体の圧力の変化を時系列に示す図１４とに基づいて説明すると、以下のとおりである。

１台の昇圧ポンプを用いて１つの洗浄容器を洗浄運転する場合、図１３に示すように、たとえば、洗浄容器に流入する洗浄流体の圧力を３０分（昇圧時間）の間に０ＭＰａから２０ＭＰａに昇圧し、３０分が経過し、洗浄流体の昇圧が終了した後、その圧力を保持した状態で洗浄流体を第１洗浄容器に１時間（洗浄時間）流通させる。次に、１時間（減圧時間）の間に洗浄流体の圧力を大気圧に戻す。１台の昇圧ポンプと１つの洗浄容器とを用いてこのような洗浄サイクルを行う場合、７時間３０分で３回の洗浄サイクルを繰り返すことができる。しかし、１台の昇圧ポンプを用いて２つの洗浄容器を並行して洗浄運転する場合、図１４に示すように、昇圧時間と洗浄時間とが図１３のそれに比較して２倍になり、８時間で４回の洗浄サイクルしか繰り返すことができず、洗浄サイクルを所定時間内に効率よく繰り返すことができない。一方、昇圧および洗浄に要する時間を１つの洗浄容器の場合と同じにするため、それぞれの洗浄容器に対応する複数台の昇圧ポンプを設置すると、それら昇圧ポンプの設置コストや運転コストが上昇し、その結果、洗浄システムの運転コストが上昇する。

本発明の目的は、１台の昇圧ポンプを利用して複数の気密容器の成分抽出サイクル（昇圧・抽出・減圧）を短時間に行うことができ、成分抽出サイクルを所定時間内に効率よく繰り返すことができる成分抽出システムを提供することにある。本発明の他の目的は、１台の昇圧ポンプと１台の循環ポンプとを利用して複数の気密容器の成分抽出サイクルを短時間に行うことができ、成分抽出サイクルを所定時間内に効率よく繰り返すことができる成分抽出システムを提供することにある。

前記課題を解決するための本発明の前提は、超臨界または亜臨界のいずれかの流体が流入する気密容器に該流体を流入させ、その流体を利用して気密容器に収容された被収容物に含まれる成分を抽出する成分抽出システムである。

前記前提における本発明の第１の特徴は、成分抽出システムが、複数の気密容器と、それら気密容器につながって流体が循環する流路と、流路に設置されて流体を昇圧する１台の昇圧ポンプと、流路に設置されて流体のそれら気密容器への流入経路を切り換える切換弁と、気密容器と昇圧ポンプとの間の流路に設置されて流体に含まれる成分を流体から分離する気液分離装置と、制御装置とを含み、制御装置が、切換弁を利用して流路を循環する流体を昇圧ポンプを経由しつつ一方の気密容器に流入させ、昇圧ポンプを利用して一方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧する第１昇圧手段と、第１昇圧手段を実行してから所定時間経過後に、切換弁を利用して一方の気密容器に対する昇圧ポンプの負荷を解除しつつ、昇圧後の超臨界または亜臨界の流体を利用して一方の気密容器に収容された被収容物から所定の成分を抽出する第１抽出手段と、第１抽出手段を実行してから所定時間経過後に一方の気密容器内の流体を大気圧に減圧する第１減圧手段と、第１抽出手段の実行時に切換弁を利用して流路を循環する流体を昇圧ポンプを経由しつつ他方の気密容器に流通させ、昇圧ポンプを利用して他方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧する第２昇圧手段と、第２昇圧手段を実行してから所定時間経過後に、切換弁を利用して他方の気密容器に対する昇圧ポンプの負荷を解除しつつ、昇圧後の超臨界または亜臨界の流体を利用して他方の気密容器に収容された被収容物から所定の成分を抽出する第２抽出手段と、第２抽出手段を実行してから所定時間経過後であって第１減圧手段の実行中に他方の気密容器内の流体を大気圧に減圧する第２減圧手段とを有し、第１昇圧手段では、第２減圧手段の実行中に切換弁を利用して流路を循環する流体を昇圧ポンプを経由しつつ一方の気密容器に流通させ、昇圧ポンプを利用して一方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧することにある。

前記第１の特徴を有する本発明の一例としては、成分抽出システムが、流路に設置されて流体の圧力を調節可能な圧力制御弁を含み、第１抽出手段では、第１昇圧手段を実行してから所定時間経過後に圧力制御弁を利用して流体の圧力を所定の圧力に減圧し、流体の圧力を減圧した後に圧力制御弁と昇圧ポンプとを利用して流体の圧力を再び昇圧させ、第２抽出手段では、第２昇圧手段を実行してから所定時間経過後に圧力制御弁を利用して流体の圧力を所定の圧力に減圧し、流体の圧力を減圧した後に圧力制御弁と昇圧ポンプとを利用して流体の圧力を再び昇圧させる。

前記前提における本発明の第２の特徴は、成分抽出システムが、複数の気密容器と、それら気密容器につながって流体が循環するメイン流路と、それら気密容器につながって流体が循環するサブ流路と、メイン流路に設置されて流体を昇圧する１台の昇圧ポンプと、気密容器と昇圧ポンプとの間のメイン流路に設置されて流体に含まれる成分を流体から分離する気液分離装置と、サブ流路に設置されて流体をサブ流路に循環させる１台の循環ポンプと、それら流路に設置されて流体をメイン流路とサブ流路とのいずれか一方に循環させる切換弁と、制御装置とを含み、制御装置が、切換弁を利用して流体をメイン流路から一方の気密容器に流通させつつ、昇圧ポンプを利用してメイン流路を循環する流体を所定の圧力に昇圧する第１昇圧手段と、切換弁を利用して昇圧後の超臨界または亜臨界の流体をメイン流路からサブ流路に循環させ、循環ポンプを利用して流体をサブ流路から一方の気密容器に流通させるサブ流路第１循環手段と、サブ流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後に切換弁を利用して昇圧後の超臨界または亜臨界の流体をサブ流路からメイン流路に循環させ、昇圧ポンプを利用して流体をメイン流路から一方の気密容器に流通させるメイン流路第１循環手段と、メイン流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後に一方の気密容器内の流体の圧力を大気圧に減圧する第１減圧手段と、サブ流路第１循環手段の実行時に切換弁を利用して流体をメイン流路から他方の気密容器に流通させつつ、昇圧ポンプを利用してメイン流路を循環する流体を所定の圧力に昇圧する第２昇圧手段と、メイン流路第１循環手段の実行時に切換弁を利用して昇圧後の超臨界または亜臨界の流体をメイン流路からサブ流路に循環させ、循環ポンプを利用して流体をサブ流路から他方の気密容器に流通させるサブ流路第２循環手段と、第１減圧手段の実行時に切換弁を利用して昇圧後の超臨界または亜臨界の流体をサブ流路からメイン流路に循環させ、昇圧ポンプを利用して流体をメイン流路から他方の気密容器に流通させるメイン流路第２循環手段と、第２メイン循環手段を実行してから所定時間経過後であって第１昇圧手段の実行中に他方の気密容器内の流体の圧力を大気圧に減圧する第２減圧手段とを有し、第１昇圧手段では、第２減圧手段の実行中に切換弁を利用して流体をメイン流路から一方の気密容器に流通させつつ、昇圧ポンプを利用してメイン流路を循環する流体を所定の圧力に昇圧することにある。

前記第２の特徴を有する本発明の一例としては、成分抽出システムが、気密容器の下流側に設置されてメイン流路を循環する流体に含まれる成分を分析する成分分析装置を含み、成分分析装置が、被収容物から所定の成分を抽出した後の流体に含まれる成分を分析する成分分析手段と、成分分析手段によって分析した成分分析結果を制御装置に出力する分析結果出力手段とを有し、制御装置が、成分分析装置から出力された成分分析結果に基づいて、流体に含まれる成分の種類を特定する種類特定手段と、気液分離装置内の流体の圧力を成分の種類に適した圧力に調節する圧力調節手段と、気液分離装置内の流体の温度を成分の種類に適した温度に調節する温度調節手段とを含む。

前記第２の特徴を有する本発明の他の一例として、種類特定手段では、流体に含まれる成分の種類から成分の沸点と飽和蒸気圧とのうちの少なくとも一方を特定し、圧力調節手段では、種類特定手段によって特定した沸点と飽和蒸気圧との少なくとも一方に基づいて成分の種類に適した圧力を決定し、温度調節手段では、種類特定手段によって特定した沸点と飽和蒸気圧との少なくとも一方に基づいて成分の種類に適した温度を決定する。

前記第１および第２の特徴を有する本発明の他の一例としては、被収容物が洗浄対象の被洗浄物であり、被収容物に含まれる成分が不純物である。

本発明にかかる成分抽出システムによれば、１台の昇圧ポンプを利用して一方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧してから所定時間経過後、一方の気密容器に対する昇圧ポンプの負荷を解除し、それと同時に、その昇圧ポンプを利用して他方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧し、さらに、他方の気密容器に流入する流体を大気圧に減圧しつつ、昇圧ポンプを利用して一方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧するから、一方の気密容器に流入する流体の昇圧ポンプによる昇圧が終了した後、その昇圧ポンプを他方の気密容器に流入する流体の昇圧に利用することができ、さらに、他方の気密容器に流入する流体を減圧しつつ、その昇圧ポンプを一方の気密容器に流入する流体の昇圧に利用することができる。成分抽出システムは、１台の昇圧ポンプで複数の気密容器の成分抽出サイクル（昇圧・抽出・減圧）を実施したときの１回のサイクルに要する時間が２倍になることはなく、時間差を利用して１台の昇圧ポンプで複数の気密容器に対する成分抽出サイクルを短時間に行うことができ、所定時間内に成分抽出サイクルを効率よく繰り返すことができる。この成分抽出システムは、昇圧ポンプが１台であったとしても、複数の気密容器に収容された被収容物に含まれる成分をそれら被収容物から短時間に抽出することができる。

第１抽出手段において一方の気密容器に流入する流体の減圧および昇圧を圧力制御弁や昇圧ポンプを利用して行うとともに、第２抽出手段において他方の気密容器に流入する流体の減圧および昇圧を圧力制御弁や昇圧ポンプを利用して行う成分抽出システムは、成分の種類によってそれら成分を抽出するときの流体の圧力が異なるとしても、成分の抽出時に流体の圧力を変化させることで、流体の圧力を各種成分の抽出圧力に対応させることができ、被収容物に各種の成分が含まれていたとしても、それら成分を被収容物から確実に抽出することができる。

メイン流路とサブ流路とを利用しつつ、１台の昇圧ポンプと１台の循環ポンプとで複数の気密容器の成分抽出サイクルを行う成分抽出システムは、１台の昇圧ポンプを利用してメイン流路から一方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧してから所定時間経過後、１台の循環ポンプによって流体をサブ流路から一方の気密容器に循環させ、それと同時に、その昇圧ポンプを利用してメイン流路から他方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧し、さらに、他方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧してから所定時間経過後、その循環ポンプによって流体をサブ流路から他方の気密容器に循環させ、それと同時に、昇圧ポンプによって流体をメイン流路から一方の気密容器に循環させるから、一方の気密容器に流入する流体の昇圧ポンプによる昇圧が終了した後、一方の気密容器に対する流体の循環を循環ポンプによって行い、昇圧ポンプを他方の気密容器に流入する流体の昇圧に利用することができ、さらに、他方の気密容器に流入する流体の昇圧が終了した後、他方の気密容器に対する流体の循環を循環ポンプによって行い、一方の気密容器に対する流体の循環を昇圧ポンプによって行うことができる。また、メイン流路から一方の気密容器に流通する流体の圧力を減圧しつつ、他方の気密容器に対する流体の循環を１台の昇圧ポンプによって行い、メイン流路から他方の気密容器に流通する流体の圧力を減圧しつつ、メイン流路から一方の気密容器に流入する流体の昇圧をその昇圧ポンプによって行うことができる。成分抽出システムは、時間差を利用して１台の昇圧ポンプと１台の循環ポンプとで複数の気密容器に対する成分抽出サイクル（昇圧・抽出・減圧）を短時間に行うことができ、所定時間内に成分抽出サイクルを効率よく繰り返すことができる。この成分抽出システムは、昇圧ポンプおよび循環ポンプが１台であったとしても、複数の気密容器に収容された被収容物に含まれる成分をそれら被収容物から短時間に抽出することができる。

メイン流路を循環する流体に含まれる成分を分析する成分分析装置を含み、気液分離装置内の流体の圧力を成分の種類に適した圧力に調節するとともに、気液分離装置内の流体の温度を成分の種類に適した温度に調節する成分抽出システムは、気液分離装置内の流体の圧力を成分の種類に適した圧力に調節しつつ、気液分離装置内の流体の温度を成分の種類に適した温度に調節するから、特定した成分の種類に適した圧力・温度条件で気液分離装置を運転することができ、成分の蒸気圧の差を効率的に利用して流体に含まれる成分をその流体から効率よく分離することができる。

成分の種類からその成分の沸点と飽和蒸気圧とのうちの少なくとも一方を特定し、特定した沸点と飽和蒸気圧との少なくとも一方に基づいて成分の種類に適した圧力と温度とを決定する成分抽出システムは、成分の沸点や飽和蒸気圧からその成分の種類に適した圧力と温度とが決定されるから、その成分に最も適した圧力・温度条件を気液分離装置に適用し、その圧力・温度条件で気液分離装置を運転することができ、成分の蒸気圧の差を効率的に利用して流体に含まれる成分を流体から効率よく分離することができる。この成分抽出システムは、特定した成分に適した圧力・温度条件で気液分離装置を運転するから、気液分離装置の過度の運転を防ぐことができ、その結果、システムのエネルギー効率を向上させることができる。

被収容物が洗浄対象の被洗浄物であり、被収容物に含まれる成分が不純物である成分抽出システムは、複数の気密容器に収容された被洗浄物に含まれる不純物をそれら被洗浄物から短時間に抽出することができるから、短時間に複数の被洗浄物を洗浄することができ、被洗浄物に対する洗浄効率を大幅に向上させることができる。

添付の図面を参照し、本発明に係る成分抽出システムの詳細をフィルタの洗浄を例として説明すると、以下のとおりである。図１は、一例として示す成分抽出システム１０Ａの構成図である。この成分抽出システム１０Ａは、気体を濾過した後の使用済のエアフィルタ（被収容物）（被洗浄物）の洗浄や液体を濾過した後の使用済のリキッドフィルタ（被収容物）（被洗浄物）の洗浄に好適に利用される。それらフィルタの洗浄には、超臨界または亜臨界のいずれかの洗浄流体（流体）が使用される。

なお、このシステム１０Ａで洗浄される被洗浄物は、フィルタのみならず、超臨界や亜臨界の洗浄流体によって洗浄可能なすべての被洗浄物が含まれる。また、このシステム１０Ａは、フィルタの洗浄のみならず、たとえば、コーヒー豆からカフェイン（成分）を抽出するように、被収容物から所定の成分を抽出する場合にも利用することができる。システム１０Ａにおいて成分を抽出する対象物（被収容物）に特に限定はなく、超臨界や亜臨界の流体によって成分を抽出可能なすべての被収容物が含まれる。

成分抽出システム１０Ａは、二酸化炭素を液化する凝縮器１１、液化された二酸化炭素を収容する真空断熱の貯留タンク１２、タンク１２から供給された二酸化炭素を所定圧力に加圧可能な１台の昇圧ポンプ１３、二酸化炭素を所定温度に加熱可能な加熱器１４、フィルタを収容かつ洗浄する２つの第１および第２洗浄容器１５，１６（複数の気密容器）、洗浄流体を冷却可能な冷却器１７、洗浄流体に含まれる不純物（汚れ成分）を洗浄流体から分離可能な気液分離装置１８、各機器をコントロールするコントローラ１９（制御装置）を備えている。

凝縮器１１、タンク１２、昇圧ポンプ１３、加熱器１４、洗浄容器１５，１６、冷却器１７、気液分離装置１８は、管路２０（流路）を介して互いに連結されている。それら機器の連結順序は、図１に示すように、凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第１洗浄容器１５→冷却器１７→気液分離装置１８であり、凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第２洗浄容器１６→冷却器１７→気液分離装置１８である。

第１洗浄容器１５と冷却器１７とを連結する管路２０には、第１圧力制御弁２１が設置されている。第２洗浄容器１６と冷却器１７とを連結する管路２０には、第２圧力制御弁２２が設置されている。第１および第２圧力制御弁２１，２２は、その弁機構の開度を変更することで、第１および第２洗浄容器１５，１６内部の洗浄流体の圧力を調節可能である。凝縮器１１と貯留タンク１２とを連結する管路２０には、第３圧力制御弁４６が設置されている。第３圧力制御弁４６は、その弁機構の開度を変更することで、気液分離装置１８内部の洗浄流体の圧力、温度を調節可能である。なお、このシステム１０Ａでは、第３圧力制御弁４６の弁機構の開度が常時一定に保持されている。

加熱器１４と第１洗浄容器１５とを連結する管路２０には、切換弁２３が設置され、加熱器１４と第２洗浄容器１６とを連結する管路２０には、切換弁２４が設置されている。第１洗浄容器１５と第１圧力制御弁２１とを連結する管路２０には、切換弁２５が設置され、第２洗浄容器１６と第２圧力制御弁２２とを連結する管路２０には、切換弁２６が設置されている。それら切換弁２３〜２６の弁機構を開閉することで、洗浄流体の循環経路を変えることができる。

第１および第２洗浄容器１５，１６には、図示はしていないが、それら容器の内部温度を測定する温度センサが取り付けられ、それら容器の内部圧力を測定する圧力センサが取り付けられている。それら洗浄容器１５，１６の内部には、気密構造洗浄室（図示せず）が作られている。管路２０には、図示はしていないが、流量センサが設置されている。

気液分離装置１８は、不純物の蒸気圧の差を利用して洗浄流体に含まれる不純物を洗浄流体から分離する。気液分離装置１８には、それを加熱するヒータが内蔵され、図示はしていないが、その内部温度を測定する温度センサが取り付けられているとともに、その内部圧力を測定する圧力センサが取り付けられている。気液分離装置１８には、回収器２７が取り付けられている。回収器２７には、気液分離装置１８によって分離された不純物（液体）が回収される。

被洗浄物であるエアフィルタには、セパレータ型エアフィルタやミニプリーツ型エアフィルタ等がある。エアフィルタは、主に空調用フィルタや空気清浄用フィルタ、排気処理用フィルタ、車両用エアフィルタとして使用される。被洗浄物であるリキッドフィルタは、浄水装置用フィルタや浸透圧を利用する膜装置用フィルタとして使用される。

エアフィルタやリキッドフィルタには、粗大な不純物を除去するプレフィルタ、微細な不純物を除去する中性能フィルタまたは高性能フィルタ、極めて微細の不純物を除去するＨＥＰＡ（ヘパ）フィルタやＵＬＰＡ（ウルパ）フィルタ、化学物質を除去するケミカルフィルタ、それら各フィルタを組み合わせた複合フィルタ等が使用される。

エアフィルタやリキッドフィルタは、ガラス繊維や吸着剤、合成樹脂繊維を濾材とし、フィルタカートリッジに収納して使用される。それらフィルタは、蛇腹に折り畳まれた四角柱状の立体構造を有する。なお、このシステムで洗浄されるフィルタには、立体構造を有するそれの他に、略扁平のものも含まれ、さらに、円柱状や多角柱状のものも含まれる。吸着剤には、活性炭やゼオライト、セラミック多孔体等が使用される。

合成樹脂繊維を形成する合成樹脂には、ポリプロピレン、ポリエステル、ポリエチレン、ポリエーテルスルフォン、ポリスルフォン、ナイロン６、ポリフェニレンサルファイド等が使用される。濾材としては、それら繊維のみを重ね合わせたもの、それら繊維間に粒状活性炭や粒状ゼオライト、粒状セラミック多孔体等の吸着剤を担持させ、それら繊維を重ね合わせたもの、重なり合う繊維集合物の間に粒状活性炭や粒状ゼオライト、粒状セラミック多孔体等の吸着剤を介在させたものも含まれる。

超臨界や亜臨界のいずれかの洗浄流体は、気体と液体との性質を有し、エアフィルタやリキッドフィルタを形成する濾材の微細な間隙に容易に進入し、濾材表面に付着した不純物を溶かし込むとともに、濾材内部に浸透して濾材内部に滲入した不純物を溶かし込む。洗浄流体は、それを利用することで、濾材表面に付着した不純物を落とすことができるのみならず、濾材内部に滲入した不純物を落とすことができる。また、洗浄流体は、被収容物の内部に容易に進入し、被収容物の内部に浸透して被収容物に含まれる成分を溶かし込む。洗浄流体は、それを利用することで、被収容物に含まれる成分を抽出することができる。

貯留タンク１２から供給された二酸化炭素は、昇圧ポンプ１３によって５．０〜３０．０ＭＰａの圧力に加圧された後、加熱器１４によって３０〜１２０℃の温度に加熱され、超臨界または亜臨界のいずれかの洗浄流体になる。洗浄流体は、昇圧ポンプ１３によって強制的に第１および第２洗浄容器１５，１６に供給され、洗浄容器１５，１６の気密構造洗浄室に流入し、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄する。洗浄容器１５，１６から流出した洗浄流体は、管路２０を通って気液分離装置１８に流入し、気液分離装置１８によってそれに含まれる不純物が分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。

システム１０Ａにおけるフィルタ洗浄運転中では、洗浄流体が管路２０を通り、第１洗浄容器１５→第１圧力制御弁２１→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３→加熱器１４の順で循環するとともに、第２洗浄容器１６→第２圧力制御弁２２→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３→加熱器１４の順で循環する。

洗浄時間が終了すると、洗浄容器１５，１６から流出した洗浄流体が第１および第２圧力制御弁２１，２２によって減圧されて非超臨界または非亜臨界の洗浄流体（二酸化炭素）に戻る。なお、必要であれば、制御弁２１，２２による減圧に加えて洗浄容器１５，１６から流出した洗浄流体を冷却器１７によって冷却する場合もある。洗浄流体は、凝縮器１１に流入し、凝縮器１１によって液体に戻り、貯留タンク１２に流入した後、再びタンク１２から管路２０に供給され、超臨界または亜臨界のいずれかの洗浄流体になって第１および第２洗浄容器１５，１６に供給される。

コントローラ１９は、中央処理部（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリとを備えたコンピュータであり、大容量ハードディスクが内蔵されている。コントローラ１９には、インターフェイス２８（有線または無線）を介して凝縮器１１、タンク１２、昇圧ポンプ１３、加熱器１４、それら洗浄容器１５，１６の温度センサや圧力センサ、流量センサ、冷却器１７、気液分離装置１８、気液分離装置１８の温度センサや圧力センサ、圧力制御弁２１，２２、切換弁２３〜２６が接続されている。コントローラ１９は、フィルタの洗浄において、洗浄サイクル（昇圧・洗浄・減圧）（成分抽出サイクル（昇圧・抽出・減圧））を繰り返し実行する。

コントローラ１９は、凝縮器１１の温度、タンク１２からの二酸化炭素供給量や昇圧ポンプ１３の出力、加熱器１４の出力、冷却器１７の出力、圧力制御弁２１，２２の開度を監視する。コントローラ１９は、温度センサや圧力センサ、流量センサから出力される計測結果に基づいて、二酸化炭素供給量、それら機器の温度や出力、制御弁２１，２２の開度をコントロールする。なお、コントローラ１９には、図示はしていないが、ＯＮ／ＯＦＦスイッチやキーユニット等の入力装置、プリンタやディスプレイ等の出力装置がインターフェイスを介して接続されている。

フィルタの洗浄運転中、コントローラ１９は、それに接続された凝縮器１１、タンク１２、昇圧ポンプ１３、加熱器１４、洗浄容器１５，１６、冷却器１７、圧力制御弁２１，２２を最適な運転状態（フィルタを最も効率よく洗浄し得る状態）に保持する。具体的にコントローラ１９は、洗浄容器１５，１６に収容されたフィルタを最適な状態で洗浄し得るように、それら機器をあらかじめ設定された運転条件（設定供給量や設定出力、設定開度）に合致させる。

コントローラ１９は、各センサから入力される計測結果に基づいて各運転条件に誤差が生じたと判断すると、それら機器を調節して運転条件を設定時のそれに戻すフィードバック制御を実行する。コントローラ１９は、洗浄流体の洗浄容器１５，１６への流入量や洗浄容器１５，１６からの流出量を昇圧ポンプ１３によって調節し、洗浄容器１５，１６内に流入する洗浄流体の圧力を圧力制御弁２１，２２によって調節するとともに、洗浄容器１５，１５内に流入する洗浄流体の温度を加熱器１４によって調節する。

コントローラ１９の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいて、メモリに格納されたアプリケーションを起動し、起動したアプリケーションに従って、以下の各手段を実行する。コントローラ１９の中央処理部は、切換弁２３〜２６を利用して管路２０を循環する洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由しつつ第１洗浄容器１５に流通させ、昇圧ポンプ１３を利用して第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体を所定の圧力に昇圧する第１昇圧手段を実行する。中央処理部は、第１昇圧手段を実行してから所定時間経過後に、切換弁２３〜２６を利用して第１洗浄容器１５に対する昇圧ポンプ１３の負荷を解除しつつ、昇圧後の洗浄流体を利用して第１洗浄容器１５に収容されたフィルタから不純物を抽出する第１抽出手段を実行する。中央処理部は、第１抽出手段を実行してから所定時間経過後に第１洗浄容器１５内の洗浄流体を大気圧に減圧する第１減圧手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、第１抽出手段の実行時に切換弁２３〜２６を利用して管路２０を循環する洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由しつつ第２洗浄容器１６に流通させ、昇圧ポンプ１３を利用して第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体を所定の圧力に昇圧する第２昇圧手段を実行する。中央処理部は、第２昇圧手段を実行してから所定時間経過後に、切換弁２３〜２６を利用して第２洗浄容器１６に対する昇圧ポンプ１３の負荷を解除しつつ、昇圧後の洗浄流体を利用して第２洗浄容器１６に収容されたフィルタから不純物を抽出する第２抽出手段を実行する。中央処理部は、第２抽出手段を実行してから所定時間経過後であって第１減圧手段の実行中に、第２洗浄容器１６内の洗浄流体を大気圧に減圧する第２減圧手段を実行する。

図２は、このシステム１０Ａにおける洗浄手順の一例を示すフローチャートであり、図３は、このシステム１０Ａにおける洗浄流体の圧力の変化を時系列に示す図である。図２，３を参照しつつ、このシステム１０Ａにおけるフィルタ洗浄運転の一例を説明すると以下のとおりである。なお、洗浄容器１５，１６の気密構造洗浄室には、被洗浄物である使用済のフィルタが収容されている。洗浄サイクルの設定回数は６回に設定されているものとする。洗浄サイクルの繰り返し回数は、入力装置を介してコントローラ１９に入力される。繰り返し回数に特に限定はなく、繰り返し回数を任意に設定または変更することができる。なお、繰り返し回数は奇数回であってもよい。

システム１０Ａを起動させると、各機器が稼動する。コントローラ１９は、昇圧ポンプ１３の出力を調節しつつ、第１圧力制御弁２１の開度を調節し、タンク１２に貯留された液化二酸化炭素の設定量を管路２０に供給する。コントローラ１９は、昇圧ポンプ１３の出力を設定出力に保持しつつ、圧力制御弁２１の開度を設定開度に保持し、二酸化炭素を所定の圧力に加圧するとともに、加熱器１４の出力を設定出力に保持し、加圧された二酸化炭素を所定の温度に加熱する。

コントローラ１９は、切換弁２３，２５の弁機構を開け、切換弁２４，２６の弁機構を閉め、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第１洗浄容器１５に流通させつつ、図３に示すように、第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体の圧力を３０分（第１昇圧時間）の間に０ＭＰａから２０ＭＰａに昇圧する（第１昇圧手段）（Ｓ−１）。第１昇圧手段において洗浄流体は、昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第１洗浄容器１５→第１圧力制御弁２１→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３の順で管路２０を循環する。第１昇圧時間に特に限定はなく、第１昇圧時間を任意に設定または変更することができる。なお、昇圧ポンプ１３の稼働と同時に切換弁２３，２５の弁機構が開状態になる。

第１昇圧手段を実行してから３０分が経過し、洗浄流体の昇圧が終了すると（第１昇圧手段を実行してから所定時間経過後）、コントローラ１９は、切換弁２３の弁機構を閉め、超臨界または亜臨界の洗浄流体を第１洗浄容器１５の内部に３０分の間封入する。コントローラ１９は、洗浄流体の昇圧が終了した後（第１昇圧手段を実行してから所定時間経過後）、第１圧力制御弁２１の弁機構の開度を拡大し、第１洗浄容器１５内部の洗浄流体の圧力を３０分の間に２０ＭＰａから１５ＭＰａに次第に減圧する。圧力の減圧時間に特に限定はなく、減圧時間を任意に設定または変更することができる。

コントローラ１９は、洗浄流体の圧力を減圧した後、切換弁２３の弁機構を開け、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第１洗浄容器１５に流通させつつ、第１圧力制御弁２１の弁機構の開度を縮小し、洗浄容器１５内部の洗浄流体の圧力を３０分の間に１５ＭＰａから２０ＭＰａに次第に上昇させる。圧力の昇圧時間に特に限定はなく、昇圧時間を任意に設定または変更することができる。減圧時間と昇圧時間との和が第１洗浄時間となるが、第１洗浄時間に特に限定はなく、第１洗浄時間を任意に設定または変更することができる。コントローラ１９は、第１洗浄時間において洗浄流体を利用して第１洗浄容器１５の内部に収容されたフィルタに含まれる不純物を抽出する（第１抽出手段）（Ｓ−２）。

第１抽出手段では、５ＭＰａの範囲で洗浄流体の圧力を減圧および昇圧（圧力変動）させているが、圧力の変動範囲に特に限定はなく、フィルタに含まれる不純物の種類によって圧力の変動範囲を任意に設定または変更することができる。第１抽出手段において洗浄流体は、第１洗浄容器１５の気密構造洗浄室に収容されたフィルタを流通し、それに含まれる不純物をフィルタから分離する。気液分離装置１８では、洗浄流体に含まれる不純物が洗浄流体から分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。なお、第１洗浄時間において洗浄容器１５内部の洗浄流体の圧力を減圧および昇圧させているが、減圧および昇圧させることなく、第１洗浄時間において洗浄流体の圧力を一定圧に保持することもできる。

コントローラ１９は、第１抽出手段と同時に（第１昇圧時間経過後であって、第１抽出手段の実行時）、昇圧ポンプ１３の出力を調節しつつ、第２圧力制御弁２２の開度を調節し、タンク１２に貯留された液化二酸化炭素の設定量を管路２０に供給する。コントローラ１９は、昇圧ポンプ１３の出力を設定出力に保持しつつ、制御弁２２の開度を設定開度に保持し、二酸化炭素を所定の圧力に加圧するとともに、加熱器１４の出力を設定出力に保持し、加圧された二酸化炭素を所定の温度に加熱する。

コントローラ１９は、第１抽出手段（第１洗浄時間のうちの減圧時間と並行して）と同時に、切換弁２４，２６の弁機構を開け、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第２洗浄容器１６に流通させ、図３に示すように、第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体の圧力を３０分（第２昇圧時間）の間に０ＭＰａから２０ＭＰａに昇圧する（第２昇圧手段）（Ｓ−３）。このとき切換弁２３の弁機構は、閉状態にある。第２昇圧手段において洗浄流体は、昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第２洗浄容器１６→第２圧力制御弁２２→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３の順で管路２０を循環する。第２昇圧時間に特に限定はないが、第１昇圧時間と一致している必要がある。なお、昇圧ポンプ１３の稼働と同時に切換弁２４，２６の弁機構が開状態になる。

第１抽出手段を実行してから１時間経過後（第１洗浄時間経過後）、コントローラ１９は、切換弁２３の弁機構を閉め、第１圧力制御弁２１の弁機構の弁開度を拡大し、第１洗浄容器１５内の洗浄流体の圧力を１時間（第１減圧時間）の間に大気圧に減圧する（第１減圧手段）（Ｓ−４）。なお、第１減圧手段において必要であれば、制御弁２１による減圧に加えて洗浄流体を冷却器１７によって冷却する。

第１減圧手段では、洗浄流体に含まれる不純物が気液分離装置１８によって洗浄流体から分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。洗浄流体は、凝縮器１１によって液体に戻り、貯留タンク１２に流入する。第１洗浄容器１５内の圧力が大気圧に戻り、洗浄容器１５内の温度が室温に戻った後、洗浄後のフィルタを洗浄容器１５から取り出すとともに、次の使用済のフィルタを洗浄容器１５に収容し、そのフィルタの洗浄を開始する。第１減圧時間に特に限定はなく、第１減圧時間を任意に設定または変更することができる。

第２昇圧手段を実行してから３０分が経過し、洗浄流体の昇圧が終了すると（第２昇圧手段を実行してから所定時間経過後）、コントローラ１９は、切換弁２４の弁機構を閉め、超臨界または亜臨界の洗浄流体を第２洗浄容器１６の内部に３０分の間封入する。コントローラ１９は、洗浄流体の昇圧が終了した後（第２昇圧手段を実行してから所定時間経過後）、第２圧力制御弁２２の弁機構の開度を拡大し、第２洗浄容器１６内部の洗浄流体の圧力を３０分の間に２０ＭＰａから１５ＭＰａに次第に減圧する。圧力の減圧時間に特に限定はないが、第１洗浄容器１５における減圧時間と一致させる必要がある。

コントローラ１９は、洗浄流体の圧力を減圧した後、切換弁２４の弁機構を開け、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第２洗浄容器１６に流通させつつ、第２圧力制御弁２２の弁機構の開度を縮小し、洗浄容器１６内部の洗浄流体の圧力を３０分の間に１５ＭＰａから２０ＭＰａに次第に上昇させる。圧力の昇圧時間に特に限定はないが、第１洗浄容器１５における昇圧時間と一致させる必要がある。減圧時間と昇圧時間との和が第２洗浄時間となる。第２洗浄時間に特に限定はないが、第１洗浄時間と一致させる必要がある。コントローラ１９は、第２洗浄時間において洗浄流体を利用して第２洗浄容器１６の内部に収容されたフィルタに含まれる不純物を抽出する（第２抽出手段）（Ｓ−５）。

第２抽出手段では、５ＭＰａの範囲で洗浄流体の圧力を減圧および昇圧（圧力変動）させているが、圧力の変動範囲に特に限定はなく、フィルタに含まれる不純物の種類によって圧力の変動範囲を任意に設定または変更することができる。第２抽出手段において洗浄流体は、第２洗浄容器１６の気密構造洗浄室に収容されたフィルタを流通し、それに含まれる不純物をフィルタから分離する。気液分離装置１８では、洗浄流体に含まれる不純物が洗浄流体から分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。なお、第２洗浄時間において洗浄容器１６内部の洗浄流体の圧力を減圧および昇圧させているが、減圧および昇圧させることなく、第２洗浄時間において洗浄流体の圧力を一定圧に保持することもできる。

第２抽出手段を実行してから１時間経過後（第２洗浄時間経過後）、コントローラ１９は、切換弁２４の弁機構を閉め、第２圧力制御弁２２の弁機構の弁開度を拡大し、第２洗浄容器１６内の洗浄流体の圧力を１時間（第２減圧時間）の間に大気圧に減圧する（第２減圧手段）（Ｓ−６）。なお、第２減圧手段において必要であれば、制御弁２２による減圧に加えて洗浄流体を冷却器１７によって冷却する。

第２減圧手段では、洗浄流体に含まれる不純物が気液分離装置１８によって洗浄流体から分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。洗浄流体は、凝縮器１１によって液体に戻り、貯留タンク１２に流入する。第２洗浄容器１６内の圧力が大気圧に戻り、洗浄容器１６内の温度が室温に戻った後、洗浄後のフィルタを洗浄容器１６から取り出すとともに、次の使用済のフィルタを洗浄容器１６に収容し、そのフィルタの洗浄を開始する。第２減圧時間に特に限定はないが、第１減圧時間と一致する必要がある。

第１減圧手段と第２減圧手段とが終了すると、コントローラ１９は、設定回数の洗浄サイクルが行われたかを判断する（Ｓ−７）。設定回数（６回）の洗浄サイクルが行われたと判断すると、コントローラ１９は、システム１０Ａを停止する。設定回数の洗浄サイクルが行われていないと判断すると、コントローラ１９は、第１減圧手段が終了した後であって第２減圧手段の実行中に、切換弁２３の弁機構を開け、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第１洗浄容器１５に流通させ、図３に示すように、第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体の圧力を３０分（第１昇圧時間）の間に０ＭＰａから２０ＭＰａに昇圧する（第１昇圧手段）（Ｓ−１）。その後コントローラ１９は、ステップ２（Ｓ−２）からの各手段を繰り返す。

コントローラ１９は、第１昇圧手段→第１流通手段→第１減圧手段の洗浄サイクルと第２昇圧手段→第２流通手段→第２減圧手段の洗浄サイクルとの合計を６回繰り返した後、フィルタの洗浄を終了する。６回の洗浄サイクルを繰り返す時間は、図２に示すように８時間である。なお、このシステム１０Ａを利用せずに１台の昇圧ポンプと２つの洗浄容器とにおいて洗浄を行うと、図１４に示すように、８時間で４回の洗浄サイクルを繰り返すことができるに過ぎないが、このシステム１０Ａを利用することによって８時間で６回の洗浄サイクルを繰り返すことができる。

成分抽出システム１０Ａは、１台の昇圧ポンプ１３を利用して第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体を所定の圧力に昇圧してから所定時間経過後、第１洗浄容器１５に対する昇圧ポンプ１３の負荷を解除し、それと同時に、その昇圧ポンプ１３を利用して第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体を所定の圧力に昇圧し、さらに、第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体を大気圧に減圧しつつ、昇圧ポンプ１３を利用して第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体を所定の圧力に昇圧するから、第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体の昇圧ポンプ１３による昇圧が終了した後、その昇圧ポンプ１３を第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体の昇圧に利用することができ、さらに、第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体を減圧しつつ、その昇圧ポンプ１３を第１洗浄容器１５に流入する流体の昇圧に利用することができる。

成分抽出システム１０Ａは、１台の昇圧ポンプ１３で複数の洗浄容器１５，１６の洗浄サイクル（昇圧・洗浄・減圧）を実施したときの１回のサイクルに要する時間が２倍になることはなく、時間差を利用して１台の昇圧ポンプ１３で複数の洗浄容器１５，１６に対する洗浄サイクルを短時間に行うことができ、所定時間内に洗浄サイクルを効率よく繰り返すことができる。成分抽出システム１０Ａは、昇圧ポンプ１３が１台であったとしても、複数の洗浄容器１５，１６に収容されたフィルタに含まれる不純物をそれらフィルタから短時間に抽出することができる。

成分抽出システム１０Ａは、第１抽出手段において第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体の減圧と昇圧とを行うとともに、第２抽出手段において第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体の減圧と昇圧とを行うから、不純物の種類によってそれら不純物を抽出するときの洗浄流体の圧力が異なるとしても、不純物の抽出時に洗浄流体の圧力を変化させることで、洗浄流体の圧力を各種不純物の抽出圧力に対応させることができ、フィルタに各種の不純物が含まれていたとしても、それら不純物をフィルタから確実に抽出することができる。

図４は、他の一例として示す成分抽出システム１０Ｂの構成図である。図４では、サブ管路３４を一点鎖線で示す。この成分抽出システム１０Ｂは、図１のそれと同様に、フィルタ（被収容物）（被洗浄物）の洗浄に好適に利用される。それらフィルタの洗浄には、超臨界または亜臨界のいずれかの洗浄流体（流体）が使用される。なお、このシステム１０Ｂは、フィルタの洗浄のみならず、たとえば、被収容物から所定の成分を抽出する場合にも利用することができる。

成分抽出システム１０Ｂは、洗浄流体が循環するメイン管路３３（メイン流路）と、洗浄流体が循環するサブ管路３４（サブ流路）とを有する。システム１０Ｂは、二酸化炭素を液化する凝縮器１１、液化された二酸化炭素を収容する真空断熱の貯留タンク１２、タンク１２から供給された二酸化炭素を所定圧力に加圧可能な１台の昇圧ポンプ１３、二酸化炭素を所定温度に加熱可能な加熱器１４、フィルタを収容かつ洗浄する２つの第１および第２洗浄容器１５，１６（複数の気密容器）、洗浄流体を冷却可能な冷却器１７、洗浄流体に含まれる不純物（汚れ成分）を洗浄流体から分離可能な気液分離装置１８、洗浄流体をサブ管路３４に循環させる循環ポンプ４３、各機器をコントロールするコントローラ１９（制御装置）を備えている。

凝縮器１１、タンク１２、昇圧ポンプ１３、加熱器１４、洗浄容器１５，１６、冷却器１７、気液分離装置１８は、メイン管路３３を介して互いに連結されている。メイン管路３３におけるそれら機器の連結順序は、図４に示すように、凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第１洗浄容器１５→冷却器１７→気液分離装置１８であり、凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第２洗浄容器１６→冷却器１７→気液分離装置１８である。

第１洗浄容器１５と冷却器１７とを連結する管路３３には、第１圧力制御弁２１が設置されている。第２洗浄容器１６と冷却器１７とを連結する管路３３には、第２圧力制御弁２２が設置されている。第１および第２圧力制御弁２１，２２は、その弁機構の開度を変更することで、第１および第２洗浄容器１５，１６内部の洗浄流体の圧力を調節可能である。凝縮器１１と貯留タンク１２とを連結する管路３３には、第３圧力制御弁４６が設置されている。第３圧力制御弁４６は、その弁機構の開度を変更することで、気液分離装置１８内部の洗浄流体の圧力、温度を調節可能である。なお、このシステム１０Ｂでは、第３圧力制御弁４６の弁機構の開度が常時一定に保持されている。

加熱器１４と第１洗浄容器１５とを連結するメイン管路３３には、切換弁３５が設置され、加熱器１４と第２洗浄容器１６とを連結するメイン管路３３には、切換弁３６が設置されている。第１洗浄容器１５と第１圧力制御弁２３とを連結するメイン管路３３には、切換弁３７が設置され、第２洗浄容器１６と第２圧力制御弁２４とを連結するメイン管路３３には、切換弁３８が設置されている。サブ管路３４には、切換弁３９〜４２が設置されている。それら切換弁３５〜４２を開閉することで、洗浄流体の循環経路をメイン管路３３からサブ管路３４に変えることができるとともに、洗浄流体の循環経路をサブ管路３４からメイン管路３３に変えることができる。循環ポンプ４３は、サブ管路３４に設置されている。

第１および第２洗浄容器１５，１６には、図示はしていないが、温度センサや圧力センサが取り付けられている。それら洗浄容器１５，１６の内部には、気密構造洗浄室（図示せず）が作られている。メイン管路３３には、図示はしていないが、流量センサが設置されている。

気液分離装置１８は、不純物の蒸気圧の差を利用して洗浄流体に含まれる不純物を洗浄流体から分離する。気液分離装置１８には、それを加熱するヒータが内蔵され、図示はしていないが、その内部温度を測定する温度センサが取り付けられているとともに、その内部圧力を測定する圧力センサが取り付けられている。気液分離装置１８には、回収器２７が取り付けられている。回収器２７には、気液分離装置１８によって分離された不純物（液体）が回収される。

貯留タンク１２から供給された二酸化炭素は、昇圧ポンプ１３によって５．０〜３０．０ＭＰａの圧力に加圧された後、加熱器１４によって３０〜１２０℃の温度に加熱され、超臨界または亜臨界のいずれかの洗浄流体になる。洗浄流体は、昇圧ポンプ１３または循環ポンプ４３によって強制的に第１および第２洗浄容器１５，１６に供給され、洗浄容器１５，１６の気密構造洗浄室に流入し、洗浄室に収容されたフィルタを洗浄する。洗浄容器１５，１６から流出した洗浄流体は、メイン管路３３を通って気液分離装置１８に流入し、気液分離装置１８によってそれに含まれる不純物が分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。

システム１０Ｂにおけるフィルタ洗浄運転中では、洗浄流体がメイン管路３３を通り、第１洗浄容器１５→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第１洗浄容器１５の順で循環するとともに、第２洗浄容器１６→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第２洗浄容器１６の順で循環する。また、洗浄流体がサブ管路３４を通り、第１洗浄容器１５→循環ポンプ４３→第１洗浄容器１５の順で循環するとともに、第２洗浄容器１６→循環ポンプ４３→第２洗浄容器１６の順で循環する。

洗浄時間が終了すると、洗浄容器１５，１６から流出した洗浄流体が第１および第２圧力制御弁２１，２２によって減圧されて非超臨界または非亜臨界の洗浄流体（二酸化炭素）に戻る。なお、必要であれば、制御弁２１，２２による減圧に加えて洗浄容器１５，１６から流出した洗浄流体を冷却器１７によって冷却する場合もある。洗浄流体は、凝縮器１１に流入し、凝縮器１１によって液体に戻り、貯留タンク１２に流入した後、再びタンク１２からメイン管路３３に供給され、超臨界または亜臨界のいずれかの洗浄流体になって第１および第２洗浄容器１５，１６に供給される。

コントローラ１９は、図１のシステム１０Ａのそれと同様に、中央処理部（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリとを備えたコンピュータであり、大容量ハードディスクが内蔵されている。コントローラ１９には、インターフェイス２８（有線または無線）を介して凝縮器１１、タンク１２、昇圧ポンプ１３、加熱器１４、それら洗浄容器１５，１６の温度センサや圧力センサ、流量センサ、冷却器１７、気液分離装置１８、気液分離装置１８の温度センサや圧力センサ、圧力制御弁２１，２２、切換弁３５〜４２、循環ポンプ４３が接続されている。コントローラ１９は、フィルタの洗浄において、洗浄サイクル（昇圧・洗浄・減圧）（成分抽出サイクル（昇圧・抽出・減圧））を繰り返し実行する。

コントローラ１９は、凝縮器１１の温度、タンク１２からの二酸化炭素供給量や昇圧ポンプ１３の出力、加熱器１４の出力、冷却器１７の出力、圧力制御弁２１，２２の開度、循環ポンプ４３の出力を監視する。コントローラ１９は、温度センサや圧力センサ、流量センサから出力される計測結果に基づいて、二酸化炭素供給量、それら機器の温度や出力、制御弁２１，２２の開度をコントロールする。フィルタの洗浄中、コントローラ１９は、それに接続された凝縮器１１、タンク１２、昇圧ポンプ１３、加熱器１４、洗浄容器１５，１６、冷却器１７、圧力制御弁２１，２２、循環ポンプ４３を最適な運転状態（フィルタを最も効率よく洗浄し得る状態）に保持する。

コントローラ１９は、各センサから入力される計測結果に基づいて各運転条件に誤差が生じたと判断すると、それら機器を調節して運転条件を設定時のそれに戻すフィードバック制御を実行する。コントローラ１９は、洗浄流体の洗浄容器１５，１６への流入量や洗浄容器１５，１６からの流出量を昇圧ポンプ１３または循環ポンプ４３によって調節し、洗浄容器１５，１６内に流入する洗浄流体の圧力を圧力制御弁２１，２２によって調節するとともに、洗浄容器１５，１６内に流入する洗浄流体の温度を加熱器１４によって調節する。

コントローラ１９の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいて、メモリに格納されたアプリケーションを起動し、起動したアプリケーションに従って、以下の各手段を実行する。コントローラ１９の中央処理部は、切換弁３５〜４２を利用して洗浄流体をメイン流路３３を通じて第１洗浄容器１５に流通させ、昇圧ポンプ１３を利用してメイン流路３３を循環する洗浄流体（第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体）を所定の圧力に昇圧する第１昇圧手段を実行し、切換弁３５〜４２を利用して昇圧後の洗浄流体をメイン流路３３からサブ流路３４に循環させ、循環ポンプ４３を利用して洗浄流体をサブ流路３４を通じて第１洗浄容器１５に流通させるサブ流路第１循環手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、サブ流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後に、切換弁３５〜４２を利用して昇圧後の洗浄流体をサブ流路３４からメイン流路３３に循環させ、昇圧ポンプ１３を利用して洗浄流体をメイン流路３３を通じて第１洗浄容器１５に流通させるメイン流路第１循環手段を実行し、メイン流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後に、第１洗浄容器１５内の洗浄流体の圧力を大気圧に減圧する第１減圧手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、サブ流路第１循環手段の実行時に（サブ流路第１循環手段と並行し）、切換弁３５〜４２を利用して洗浄流体をメイン流路３３を通じて第２洗浄容器１６に流通させ、昇圧ポンプ１３を利用してメイン流路３３を循環する洗浄流体（第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体）を所定の圧力に昇圧する第２昇圧手段を実行し、メイン流路第１循環手段の実行時に（メイン流路第１循環手段と並行し）、切換弁３５〜４２を利用して昇圧後の洗浄流体をメイン流路３３からサブ流路３４に循環させ、循環ポンプ４３を利用して洗浄流体をサブ流路３４を通じて第２洗浄容器１６に流通させるサブ流路第２循環手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、第１減圧手段の実行時に（第１減圧手段と並行し）、切換弁３５〜４２を利用して昇圧後の洗浄流体をサブ流路３４からメイン流路３３に循環させ、昇圧ポンプ１３を利用して洗浄流体をメイン流路３３を通じて第２洗浄容器１６に流通させるメイン流路第２循環手段を実行し、第２メイン循環手段を実行してから所定時間経過後であって第１昇圧手段の実行中に、第２洗浄容器１６内の洗浄流体の圧力を大気圧に減圧する第２減圧手段を実行する。

図５は、このシステム１０Ｂにおける洗浄手順の一例を示すフローチャートであり、図６は、このシステム１０Ｂにおける洗浄流体の圧力の変化を時系列に示す図である。図５，６を参照しつつ、このシステム１０Ｂにおけるフィルタ洗浄運転の一例を説明すると以下のとおりである。洗浄容器１５，１６の気密構造洗浄室には、被洗浄物である使用済のフィルタが収容されている。洗浄サイクルの設定回数は６回に設定されているものとする。洗浄サイクルの繰り返し回数は、入力装置を介してコントローラ１９に入力される。繰り返し回数に特に限定はなく、繰り返し回数を任意に設定または変更することができる。なお、繰り返し回数は奇数回であってもよい。

システム１０Ｂを起動させると、各機器が稼動する。コントローラ１９は、昇圧ポンプ１３の出力を調節しつつ、第１圧力制御弁２１の開度を調節し、タンク１２に貯留された液化二酸化炭素の設定量をメイン管路３３に供給する。コントローラ１９は、昇圧ポンプ１３の出力を設定出力に保持しつつ、圧力制御弁２１の開度を設定開度に保持し、二酸化炭素を所定の圧力に加圧するとともに、加熱器１４の出力を設定出力に保持し、加圧された二酸化炭素を所定の温度に加熱する。

コントローラ１９は、切換弁３５，３７の弁機構を開け、切換弁３６，３８，３９，４０，４１，４２の弁機構を閉め、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第１洗浄容器１５に流通させつつ、図６に示すように、第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体の圧力を３０分（第１昇圧時間）の間に０ＭＰａから２０ＭＰａに昇圧する（第１昇圧手段）（Ｓ−１０）。第１昇圧時間に特に限定はなく、第１昇圧時間を任意に設定または変更することができる。第１昇圧手段において洗浄流体は、昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第１洗浄容器１５→第１圧力制御弁２１→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３の順でメイン管路３３を循環する。なお、昇圧ポンプ１３の稼働と同時に切換弁３５，３７の弁機構が開状態になる。

第１昇圧手段を実行してから３０分が経過し、洗浄流体の昇圧が終了すると（第１昇圧手段を実行してから所定時間経過後）、コントローラ１９は、切換弁３９，４０の弁機構を開け、切換弁３５，３７，４１，４２の弁機構を閉め、洗浄流体をサブ管路３４に流入させ、洗浄流体を循環ポンプ４３を利用してサブ管路３４から第１洗浄容器１５に３０分の間（第１洗浄時間）流通させる（サブ流路第１循環手段）（Ｓ−１１）。第１洗浄時間に特に限定はなく、第１洗浄時間を任意に設定または変更することができる。

サブ流路第１循環手段において洗浄流体は、洗浄容器１５の気密構造洗浄室に流入し、第１洗浄容器１５→循環ポンプ４３→第１洗浄容器１５の順でサブ管路３４を循環する。サブ管路３４を循環する洗浄流体は、フィルタを流通し、それに含まれる不純物をフィルタから分離する。

コントローラ１９は、サブ流路第１循環手段と同時に（第１昇圧時間経過後であって、サブ流路第１循環手段の実行時）、昇圧ポンプ１３の出力を調節しつつ、第２圧力制御弁２２の開度を調節し、タンク１２に貯留された液化二酸化炭素の設定量を管路３３に供給する。コントローラ１９は、昇圧ポンプ１３の出力を設定出力に保持しつつ、圧力制御弁２２の開度を設定開度に保持し、二酸化炭素を所定の圧力に加圧するとともに、加熱器１４の出力を設定出力に保持し、加圧された二酸化炭素を所定の温度に加熱する。

コントローラ１９は、サブ流路第１循環手段と同時に、切換弁３６，３８の弁機構を開け、切換弁３５，３７，４１，４２の弁機構を閉め、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第２洗浄容器１６に流通させつつ、図６に示すように、第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体の圧力を３０分（第２昇圧時間）の間に０ＭＰａから２０ＭＰａに昇圧する（第２昇圧手段）（Ｓ−１２）。このとき切換弁３９，４０の弁機構は、開放状態にある。第２昇圧手段において洗浄流体は、昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第２洗浄容器１６→第２圧力制御弁２２→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３の順でメイン管路３３を循環する。第２昇圧時間に特に限定はないが、第１昇圧時間と一致している必要がある。

サブ流路第１循環手段を実行してから３０分が経過すると（サブ流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後）、コントローラ１９は、切換弁３５，３７の弁機構を開け、切換弁３９，４０の弁機構を閉め、昇圧後の洗浄流体をサブ流路３４からメイン流路３３に循環させ、昇圧ポンプ１３を利用して洗浄流体をメイン流路３３から第１洗浄容器１５に３０分の間（第２洗浄時間）流通させる（メイン流路第１循環手段）（Ｓ−１３）。第２洗浄時間に特に限定はなく、第２洗浄時間を自任意に設定または変更することができる。

メイン流路第１循環手段において洗浄流体は、第１洗浄容器１５の気密構造洗浄室に流入し、昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第１洗浄容器１５→第１圧力制御弁２１→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３の順でメイン管路３３を循環する。メイン管路３３を循環する洗浄流体は、フィルタを流通し、それに含まれる不純物をフィルタから分離した後、第１洗浄容器１５から流出する。気液分離装置１８では、洗浄流体に含まれる不純物が洗浄流体から分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。不純物が除去された洗浄流体は、気液分離装置１８からメイン管路３３を通って第１洗浄容器１５に流入する。

第２昇圧手段を実行してから３０分が経過し、洗浄流体の昇圧が終了すると（第２昇圧手段を実行してから所定時間経過後であって、メイン流路第１循環手段の実行時）、コントローラ１９は、切換弁４１，４２の弁機構を開け、切換弁３６，３８の弁機構を閉め、洗浄流体をサブ管路３４に流入させ、洗浄流体を循環ポンプ４３を利用してサブ管路３４から第２洗浄容器１６に３０分の間（第３洗浄時間）流通させる（サブ流路第２循環手段）（Ｓ−１４）。第３洗浄時間に特に限定はないが、第１洗浄時間と一致させる必要がある。

サブ流路第２循環手段において洗浄流体は、第２洗浄容器１６の気密構造洗浄室に流入し、第２洗浄容器１６→循環ポンプ４３→第２洗浄容器１６の順でサブ管路３４を循環する。サブ管路３４を循環する洗浄流体は、フィルタを流通し、それに含まれる不純物をフィルタから分離する。

メイン流路第１循環手段を実行してから３０分が経過すると、（メイン流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後）、コントローラ１９は、切換弁３５の弁機構を閉め、第１圧力制御弁２４の弁機構の弁開度を拡大し、第１洗浄容器１５内の洗浄流体の圧力を１時間（第１減圧時間）の間に大気圧に減圧する（第１減圧手段）（Ｓ−１５）。なお、第１減圧手段において必要であれば、制御弁２１による減圧に加えて洗浄流体を冷却器１７によって冷却する。

第１減圧手段では、洗浄流体に含まれる不純物が気液分離装置１８によって洗浄流体から分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。第１洗浄容器１５内の圧力が大気圧に戻り、洗浄容器１６内の温度が室温に戻った後、洗浄後のフィルタを洗浄容器１５から取り出すとともに、次の使用済のフィルタを洗浄容器１５に収容し、そのフィルタの洗浄を開始する。第１減圧時間に特に限定はなく、第１減圧時間を任意に設定または変更することができる。

サブ流路第２循環手段を実行してから３０分が経過すると（サブ流路第２循環手段を実行してから所定時間経過後であって、第１減圧手段の実行時）、コントローラ１９は、切換弁３６，３８の弁機構を開け、切換弁４１，４２の弁機構を閉め、昇圧後の洗浄流体をサブ流路３４からメイン流路３３に循環させ、昇圧ポンプ１３を利用して洗浄流体をメイン流路３３から第２洗浄容器１６に３０分の間（第４洗浄時間）流通させる（メイン流路第２循環手段）（Ｓ−１６）。第４洗浄時間に特に限定はないが、第２洗浄時間に一致させる必要がある。

メイン流路第２循環手段において洗浄流体は、第２洗浄容器１６の気密構造洗浄室に流入し、昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第２洗浄容器１６→第２圧力制御弁２２→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３の順でメイン管路３３を循環する。メイン管路３３を循環する洗浄流体は、フィルタを流通し、それに含まれる不純物をフィルタから分離した後、第２洗浄容器１６から流出する。気液分離装置１８では、洗浄流体に含まれる不純物が洗浄流体から分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。不純物が除去された洗浄流体は、気液分離装置１８からメイン管路３３を通って第２洗浄容器１６に流入する。

メイン流路第２循環手段を実行してから３０分が経過すると、（メイン流路第２循環手段を実行してから所定時間経過後であって、第１昇圧手段の実行中）、コントローラ１７は、切換弁３６の弁機構を閉め、第２圧力制御弁２２の弁機構の弁開度を拡大し、第２洗浄容器１６内の洗浄流体の圧力を１時間（第２減圧時間）の間に大気圧に減圧する（第２減圧手段）（Ｓ−１７）。なお、第２減圧手段において必要であれば、制御弁２２による減圧に加えて洗浄流体を冷却器１７によって冷却する。

第２減圧手段では、洗浄流体に含まれる不純物が気液分離装置１８によって洗浄流体から分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。第２洗浄容器１６内の圧力が大気圧に戻り、洗浄容器１６内の温度が室温に戻った後、洗浄後のフィルタを洗浄容器１６から取り出すとともに、次の使用済のフィルタを洗浄容器１６に収容し、そのフィルタの洗浄を開始する。第２減圧時間に特に限定はないが、第１減圧時間に一致させる必要がある。

第１減圧手段と第２減圧手段とが終了すると、コントローラ１９は、設定回数の洗浄サイクルが行われたかを判断する（Ｓ−１８）。設定回数（６回）の洗浄サイクルが行われたと判断すると、コントローラ１９は、システム１０Ｂを停止する。設定回数の洗浄サイクルが行われていないと判断すると、コントローラ１９は、第１減圧手段が終了した後であって第２減圧手段の実行中に、切換弁３５，３７の弁機構を開け、切換弁３９，４０の弁機構を閉め、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第１洗浄容器１５に流通させ、図６に示すように、第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体の圧力を３０分（第１昇圧時間）の間に０ＭＰａから２０ＭＰａに昇圧する（第１昇圧手段）（Ｓ−１０）。その後コントローラ１９は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの各手段を繰り返す。

コントローラ１９は、第１昇圧手段→サブ流路第１循環手段→メイン流路第１循環手段→第１減圧手段の洗浄サイクルと第２昇圧手段→サブ流路第２循環手段→メイン流路第２循環手段→第２減圧手段の洗浄サイクルとの合計を６回繰り返した後、フィルタの洗浄を終了する。６回の洗浄サイクルを繰り返す時間は、図６に示すように８時間である。なお、このシステム１０Ｂを利用せずに１台の昇圧ポンプと２つの洗浄容器とにおいて洗浄を行うと、図１４に示すように、８時間で４回の洗浄サイクルを繰り返すことができるに過ぎないが、このシステム１０Ｂを利用することによって８時間で６回の洗浄サイクルを繰り返すことができる。

成分抽出システム１０Ｂは、１台の昇圧ポンプ１３を利用してメイン管路３３から第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体を所定の圧力に昇圧してから所定時間経過後、１台の循環ポンプ４３によって洗浄流体をサブ管路３４から第１洗浄容器１５に循環させ、それと同時に、その昇圧ポンプ１３を利用してメイン管路３３から第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体を所定の圧力に昇圧し、さらに、第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体を所定の圧力に昇圧してから所定時間経過後、その循環ポンプ４３によって洗浄流体をサブ管路３４から第２洗浄容器１６に循環させ、それと同時に、昇圧ポンプ１３によって洗浄流体をメイン管路３３から第１洗浄容器１５に循環させるから、第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体の昇圧ポンプ１３による昇圧が終了した後、第１洗浄容器１５に対する洗浄流体の循環を循環ポンプ４３によって行い、昇圧ポンプ１３を第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体の昇圧に利用することができ、さらに、第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体の昇圧が終了した後、第２洗浄容器１６に対する洗浄流体の循環を循環ポンプ４３によって行い、第１洗浄容器１５に対する洗浄流体の循環を昇圧ポンプ１３によって行うことができる。また、メイン管路３３から第１洗浄容器１５に流通する洗浄流体の圧力を減圧しつつ、第２洗浄容器１６に対する洗浄流体の循環を１台の昇圧ポンプ１３によって行い、メイン管路３３から第１洗浄容器１５に流通する洗浄流体の圧力を減圧しつつ、メイン管路３３から第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体の昇圧をその昇圧ポンプ１３によって行うことができる。

成分抽出システム１０Ｂは、１台の昇圧ポンプ１３と１台の循環ポンプ４３とで複数の洗浄容器の洗浄サイクル（昇圧・洗浄・減圧）を実施したときの１回のサイクルに要する時間が２倍になることはなく、時間差を利用して１台の昇圧ポンプ１３と１台の循環ポンプ４３とで複数の洗浄容器に対する洗浄サイクルを短時間に行うことができ、所定時間内に洗浄サイクルを効率よく繰り返すことができる。この成分抽出システム１０Ｂは、昇圧ポンプ１３および循環ポンプ４３が１台であったとしても、複数の洗浄容器１５，１６に収容されたフィルタに含まれる不純物をそれらフィルタから短時間に抽出することができる。

図７は、他の一例として示す成分抽出システム１０Ｃの構成図である。図７では、サブ管路３４を一点鎖線で示す。この成分抽出システム１０Ｃは、図１のそれと同様に、フィルタ（被収容物）（被洗浄物）の洗浄に好適に利用される。それらフィルタの洗浄には、超臨界または亜臨界のいずれかの洗浄流体（流体）が使用される。なお、このシステム１０Ｃは、フィルタの洗浄のみならず、たとえば、被収容物から所定の成分を抽出する場合にも利用することができる。

このシステム１０Ｃが図４のシステム１０Ｂと異なるのは、ガスクロマトグラフ４４（成分分析装置）を備えている点、第３圧力制御弁４６を利用して気液分離装置１８内の洗浄流体の圧力、温度を調節する点にあり、このシステム１０Ｃにおけるその他の構成は図４のシステム１０Ｂのそれらと同一であるから、図４と同一の符号を付すことで、このシステム１０Ｃにおけるその他の構成の説明は省略する。第３圧力制御弁４６は、凝縮器１１と貯留タンク１２とを連結するメイン管路３３に設置されている。第３圧力制御弁４６は、その弁機構の開度を変更することで、気液分離装置１８内部の洗浄流体の圧力、温度を調節可能である。

ガスクロマトグラフ４４は、洗浄流体に含まれる不純物の成分を分析する。ガスクロマトグラフ４４による第１サンプリングポイントＰ１は、第１洗浄容器１５と第１圧力制御弁２１とを連結するメイン管路３３に設定され、第２サンプリングポイントＰ２は、第２洗浄容器１６と第２圧力制御弁２２とを連結するメイン管路３３に設定されている。ガスクロマトグラフ４４から延びるサンプリング管４７は、洗浄容器１５，１６と圧力制御弁２１，２２とを連結するメイン管路３３に接続されている。フィルタを洗浄した直後の洗浄流体の一部は、管路３３からサンプリング管４７に流入し、減圧弁（図示せず）によって減圧されてガスクロマトグラフ４４に送られる。

ガスクロマトグラフ４４は、メイン流路第１循環手段の実行中（メイン流路第１循環手段の実行と略同時）とメイン流路第２循環手段の実行中（メイン流路第２循環手段の実行と略同時）とに、フィルタを洗浄した後の洗浄流体に含まれる不純物の成分を分析する成分分析手段を実行し、成分分析手段によって分析した成分分析結果をコントローラ１９に出力する分析結果出力手段を実行する。なお、ガスクロマトグラフ４４は、サブ流路第１循環手段の実行中（サブ流路第１循環手段の実行と略同時）とサブ流路第２循環手段の実行中（サブ流路第２循環手段の実行と略同時）とに成分分析手段を実行することもできる。

サブ流路第１循環手段の実行中とサブ流路第２循環手段の実行中とに成分分析手段を実行する場合は、第１サンプリングポイントＰ１が第１洗浄容器１５と切換弁４０とを連結するサブ管路３４に設定され、第２サンプリングポイントＰ２が第２洗浄容器１６と切換弁４２とを連結するサブ管路３４に設定される。ガスクロマトグラフ４４から延びるサンプリング管４７は、洗浄容器１５，１６と切換弁４０，４２とを連結するサブ管路３４に接続される。フィルタを洗浄した後の洗浄流体の一部は、管路３４からサンプリング管４７に流入し、減圧弁（図示せず）によって減圧されてガスクロマトグラフ４４に送られる。

コントローラ１９は、図１，４のシステム１０Ａ，１０Ｂのそれと同様に、中央処理部（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリとを備えたコンピュータであり、大容量ハードディスクが内蔵されている。コントローラ１９には、インターフェイス３２（有線または無線）を介して凝縮器１１、タンク１２、昇圧ポンプ１３、加熱器１４、それら洗浄容器１５，１６の温度センサや圧力センサ、流量センサ、冷却器１７、気液分離装置１８、気液分離装置１８の温度センサ、圧力制御弁２３，２４，４６、切換弁３５〜４２、循環ポンプ４３、ガスクロマトグラフ４４が接続されている。コントローラ１９は、フィルタの洗浄において、洗浄サイクル（昇圧・洗浄・減圧）（成分抽出サイクル（昇圧・抽出・減圧））を繰り返し実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいて、メモリに格納されたアプリケーションを起動し、起動したアプリケーションに従って、以下の各手段を実行する。コントローラ１９の中央処理部は、切換弁３５〜４２を利用して洗浄流体をメイン流路３３を通じて第１洗浄容器１５に流通させ、昇圧ポンプ１３を利用してメイン流路３３を循環する洗浄流体（第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体）を所定の圧力に昇圧する第１昇圧手段を実行し、切換弁３５〜４２を利用して昇圧後の洗浄流体をメイン流路３３からサブ流路３４に循環させ、循環ポンプ４３を利用して洗浄流体をサブ流路３４を通じて第１洗浄容器１５に流通させるサブ流路第１循環手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、サブ流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後に、切換弁３５〜４２を利用して昇圧後の洗浄流体をサブ流路３４からメイン流路３３に循環させ、昇圧ポンプ１３を利用して洗浄流体をメイン流路３３を通じて第１洗浄容器１５に流通させるメイン流路第１循環手段を実行する。中央処理部は、メイン流路第１循環手段の実行中（メイン流路第１循環手段の実行と略同時）に、ガスクロマトグラフ４４から出力された成分分析結果（ガスクロマトグラフ４４において分析された不純物の種類）に基づいて、洗浄流体に含まれる不純物の種類を特定する種類特定手段を実行する。種類特定手段では、洗浄流体に含まれる不純物の種類からその不純物の沸点と飽和蒸気圧とを特定する。

コントローラ１９の中央処理部は、メイン流路第１循環手段の実行中（メイン流路第１循環手段の実行と略同時）であって、種類特定手段を実行した後に、気液分離装置１８内の洗浄流体の圧力を不純物の種類に適した設定圧力に調節する圧力調節手段を実行し、気液分離装置１８内の洗浄流体の温度を不純物の種類に適した設定温度に調節する温度調節手段を実行する。圧力調節手段では、種類特定手段によって特定した不純物の沸点と飽和蒸気圧とに基づいて設定圧力を決定し、温度調節手段では、種類特定手段によって特定した不純物の沸点と飽和蒸気圧とに基づいて設定温度を決定する。中央処理部は、メイン流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後に、第１洗浄容器１５内の洗浄流体の圧力を大気圧に減圧する第１減圧手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、サブ流路第１循環手段の実行時に（サブ流路第１循環手段と並行し）、切換弁３５〜４２を利用して洗浄流体をメイン流路３３を通じて第２洗浄容器１６に流通させ、昇圧ポンプ１３を利用してメイン流路３３を循環する洗浄流体（第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体）を所定の圧力に昇圧する第２昇圧手段を実行し、メイン流路第１循環手段の実行時に（メイン流路第１循環手段と並行し）、切換弁３５〜４２を利用して昇圧後の洗浄流体をメイン流路３３からサブ流路３４に循環させ、循環ポンプ４３を利用して洗浄流体をサブ流路３４を通じて第２洗浄容器１６に流通させるサブ流路第２循環手段を実行する。中央処理部は、第１減圧手段の実行時に（第１減圧手段と並行し）、切換弁３５〜４２を利用して昇圧後の洗浄流体をサブ流路３４からメイン流路３３に循環させ、昇圧ポンプ１３を利用して洗浄流体をメイン流路３３を通じて第２洗浄容器１６に流通させるメイン流路第２循環手段を実行する。

コントローラ１９の中央処理部は、メイン流路第２循環手段の実行中（メイン流路第２循環手段の実行と略同時）に、ガスクロマトグラフ４４から出力された成分分析結果に基づいて、洗浄流体に含まれる不純物の種類を特定する種類特定手段を実行する。中央処理部は、メイン流路第２循環手段の実行中（メイン流路第２循環手段の実行と略同時）であって、種類特定手段を実行した後に、気液分離装置１８内の洗浄流体の圧力を不純物の種類に適した設定圧力に調節する圧力調節手段を実行し、気液分離装置１８内の洗浄流体の温度を不純物の種類に適した設定温度に調節する温度調節手段を実行する。中央処理部は、メイン流路第２循環手段を実行してから所定時間経過後であって第１昇圧手段の実行中に、第２洗浄容器１６内の洗浄流体の圧力を大気圧に減圧する第２減圧手段を実行する。

図８は、このシステム１０Ｃにおける洗浄手順の一例を示すフローチャートであり、図９は、このシステム１０Ｃにおける洗浄流体の圧力の変化を時系列に示す図である。図１０は、特定した不純物の種類、沸点、飽和蒸気圧の一例を示す図であり、図１１は、不純物の種別区分とその沸点および飽和蒸気圧との第１関係を示す図である。図１２は、不純物の種別区分と設定圧力および設定温度との第２関係を示す図である。

それら図を参照しつつ、このシステム１０Ｃにおけるフィルタ洗浄運転の一例を説明すると以下のとおりである。洗浄容器１５，１６の気密構造洗浄室には、被洗浄物である使用済のフィルタが収容されている。洗浄サイクルの設定回数は６回に設定されているものとする。洗浄サイクルの繰り返し回数は、入力装置を介してコントローラ１９に入力される。繰り返し回数に特に限定はなく、繰り返し回数を任意に設定または変更することができる。使用済のフィルタには、主な不純物としてイソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルが含まれているものとする。コントローラ１９のハードディスクには、図１１の不純物の種類とその沸点および飽和蒸気圧の第１関係が格納され、図１２の不純物の種別区分と設定圧力および設定温度との第２関係が格納されている。

システム１０Ｃを起動させると、各機器が稼動する。コントローラ１９は、昇圧ポンプ１３の出力を調節しつつ、第１圧力制御弁２１の開度を調節し、タンク１２に貯留された液化二酸化炭素の設定量をメイン管路３３に供給する。コントローラ１９は、昇圧ポンプ１３の出力を設定出力に保持しつつ、制御弁２１の開度を設定開度に保持し、二酸化炭素を所定の圧力に加圧するとともに、加熱器１４の出力を設定出力に保持し、加圧された二酸化炭素を所定の温度に加熱する。

コントローラ１９は、切換弁３５，３７の弁機構を開け、切換弁３６，３８，３９，４０，４１，４２の弁機構を閉め、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第１洗浄容器１５に流通させつつ、図９に示すように、第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体の圧力を３０分（第１昇圧時間）の間に０ＭＰａから２０ＭＰａに昇圧する（第１昇圧手段）（Ｓ−３０）。第１昇圧時間に特に限定はなく、第１昇圧時間を任意に設定または変更することができる。第１昇圧手段において洗浄流体は、昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第１洗浄容器１５→第１圧力制御弁２１→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３の順でメイン管路３３を循環する。なお、昇圧ポンプ１３の稼働と同時に切換弁３５，３７の弁機構が開状態になる。

第１昇圧手段を実行してから３０分が経過し、洗浄流体の昇圧が終了すると（第１昇圧手段を実行してから所定時間経過後）、コントローラ１９は、切換弁３９，４０の弁機構を開け、切換弁３５，３７，４１，４２の弁機構を閉め、洗浄流体をサブ管路３４に流入させ、洗浄流体を循環ポンプ４３を利用してサブ管路３４から第１洗浄容器１５に３０分の間（第１洗浄時間）流通させる（サブ流路第１循環手段）（Ｓ−３１）。第１洗浄時間に特に限定はなく、第１洗浄時間を任意に設定または変更することができる。サブ流路第１循環手段において洗浄流体は、洗浄容器１５の気密構造洗浄室に流入し、第１洗浄容器１５→循環ポンプ４３→第１洗浄容器１５の順でサブ管路３４を循環する。サブ管路３４を循環する洗浄流体は、フィルタを流通し、それに含まれる不純物をフィルタから分離する。

コントローラ１９は、サブ流路第１循環手段と同時に（第１昇圧時間経過後であって、サブ流路第１循環手段の実行時）、昇圧ポンプ１３の出力を調節しつつ、第２圧力制御弁２２の開度を調節し、タンク１２に貯留された液化二酸化炭素の設定量を管路２０に供給する。コントローラ１９は、昇圧ポンプ１３の出力を設定出力に保持しつつ、制御弁２２の開度を設定開度に保持し、二酸化炭素を所定の圧力に加圧するとともに、加熱器１４の出力を設定出力に保持し、加圧された二酸化炭素を所定の温度に加熱する。

コントローラ１９は、サブ流路第１循環手段と同時に、切換弁３６，３８の弁機構を開け、切換弁３５，３７，４１，４２の弁機構を閉め、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第２洗浄容器１６に流通させつつ、図９に示すように、第２洗浄容器１６に流入する洗浄流体の圧力を３０分（第２昇圧時間）の間に０ＭＰａから２０ＭＰａに昇圧する（第２昇圧手段）（Ｓ−３２）。このとき切換弁３９，４０の弁機構は、開放状態にある。第２昇圧手段において洗浄流体は、昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第２洗浄容器１６→第２圧力制御弁２２→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３の順でメイン管路３３を循環する。第２昇圧時間に特に限定はないが、第１昇圧時間と一致している必要がある。

サブ流路第１循環手段を実行してから３０分が経過すると（サブ流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後）、コントローラ１９は、切換弁３５，３７の弁機構を開け、切換弁３９，４０の弁機構を閉め、昇圧後の洗浄流体をサブ流路３４からメイン流路３３に循環させ、昇圧ポンプ１３を利用して洗浄流体をメイン流路３３から第１洗浄容器１５に３０分の間（第２洗浄時間）流通させる（メイン流路第１循環手段）（Ｓ−３３）。第２洗浄時間に特に限定はなく、第２洗浄時間を任意に設定または変更することができる。

メイン流路第１循環手段において洗浄流体は、第１洗浄容器１５の気密構造洗浄室に流入し、昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第１洗浄容器１５→第１圧力制御弁２１→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３の順でメイン管路３３を循環する。メイン管路３３を循環する洗浄流体は、フィルタを流通し、それに含まれる不純物（イソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチル）をフィルタから分離した後、第１洗浄容器１５から流出する。第１洗浄容器１５から流出した直後の洗浄流体（フィルタを洗浄した直後の洗浄流体）に含まれる不純物（汚れ）は、その大部分がイソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルである。

第２昇圧手段を実行してから３０分が経過し、洗浄流体の昇圧が終了すると（第２昇圧手段を実行してから所定時間経過後であって、メイン流路第１循環手段の実行時）、コントローラ１９は、切換弁４１，４２の弁機構を開け、切換弁３６，３８の弁機構を閉め、洗浄流体をサブ管路３４に流入させ、洗浄流体を循環ポンプ４３を利用してサブ管路３４から第２洗浄容器１６に３０分の間（第３洗浄時間）流通させる（サブ流路第２循環手段）（Ｓ−３４）。第３洗浄時間に特に限定はないが、第１洗浄時間と一致させる必要がある。サブ流路第２循環手段において洗浄流体は、第２洗浄容器１６の気密構造洗浄室に流入し、第２洗浄容器１６→循環ポンプ４３→第２洗浄容器１６の順でサブ管路３４を循環する。サブ管路３４を循環する洗浄流体は、フィルタを流通し、それに含まれる不純物（イソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチル）をフィルタから分離する。

メイン流路第１循環手段の実行中（メイン流路第１循環手段の実行と略同時）に洗浄流体の一部は、メイン管路３３に設置されたサンプリング管４７からガスクロマトグラフ４４に送られる。ガスクロマトグラフ４４は、洗浄流体に含まれる不純物の成分を分析し（成分分析手段）、その分析結果をコントローラ１９に出力する（分析結果出力手段）。なお、サブ流路第１循環手段の実行中に成分分析手段を実行する場合は、サブ流路第１循環手段の実行中に洗浄流体の一部がサブ管路３４に設置されたサンプリング管４７からガスクロマトグラフ４４に送られ、ガスクロマトグラフ４４が洗浄流体に含まれる不純物の成分を分析し、その分析結果をコントローラ１９に出力する。

コントローラ１９は、ガスクロマトグラフ４４から出力された分析結果に基づき、洗浄流体に含まれる不純物の種類を特定した後、不純物の種類からその不純物の沸点と飽和蒸気圧とを特定する（種類特定手段）（Ｓ−３５）。コントローラ１９は、特定した不純物の種類、沸点、飽和蒸気圧をハードディスクに格納する。特定した不純物は、図１０に示すように、沸点が８２（℃）および飽和蒸気圧が３３（ｍｍＨｇ）のイソプロピルアルコール、沸点が１１０（℃）および飽和蒸気圧が２２．５（ｍｍＨｇ）のトルエン、沸点が３８６（℃）および飽和蒸気圧が２．２８×１０^−７（ｍｍＨｇ）のフタル酸ジオクチルである。

コントローラ１９は、不純物の種類（イソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチル）、沸点、飽和蒸気圧を特定すると、ハードディスクに格納された不純物の種別区分とその沸点および飽和蒸気圧の第１関係（図１１参照）を抽出する。コントローラ１９は、イソプロピルアルコールの沸点および飽和蒸気圧を第１関係に当て嵌め、イソプロピルアルコールがＶＶＯＣ（高揮発性有機化合物、沸点：５０（℃）未満、飽和蒸気圧：１５（ｋＰａ）以上）に属すると判断し、トルエンの沸点および飽和蒸気圧を第１関係に当て嵌め、トルエンがＶＯＣ（揮発性有機化合物、沸点：５０（℃）以上２６０（℃）未満、飽和蒸気圧：１０^−２（ｋＰａ）以上）に属すると判断する。さらに、フタル酸ジオクチルの沸点および飽和蒸気圧を第１関係に当て嵌め、フタル酸ジオクチルがＳＶＯＣ（準揮発性有機化合物、沸点：２６０（℃）以上４００（℃）未満、飽和蒸気圧：１０^−８〜１０^−２（ｋＰａ）以上）に属すると判断する。

洗浄流体にはＶＶＯＣ、ＶＯＣ、ＳＶＯＣに属する不純物が含まれているが、コントローラ１９は、それらのうち、ＶＶＯＣに属する不純物が含まれると判断すると、ＶＯＣやＳＶＯＣが含まれるにもかかわらず、ＶＶＯＣに対応する最も厳しい運転条件を気液分離装置１８に適用する。具体的にコントローラ１９は、不純物の種別区分と設定圧力および設定温度との第２関係（図１２参照）をハードディスクから抽出し、その第２関係から、ＶＶＯＣが検出された場合の気液分離装置１８の運転条件として、設定圧力を２（ＭＰａ）に決定し、設定温度を−２０（℃）に決定する（Ｓ−３６）。

コントローラ１９は、第３圧力制御弁４６の弁機構を調節して気液分離装置１８に流入する洗浄流体の圧力（気液分離装置１８内の洗浄流体の圧力）を２（ＭＰａ）（設定圧力）に保持し（圧力調節手段）、気液分離装置１８に流入する洗浄流体の温度（気液分離装置１８内の洗浄流体の温度）を−２０（℃）（設定温度）に保持する（温度調節手段）（Ｓ−３７）。なお、冷却器１７の出力を調整して気液分離装置１８に流入する洗浄流体の温度（気液分離装置１８内の洗浄流体の温度）を−２０（℃）に微調整する。気液分離装置１８内の洗浄流体の温度や圧力は装置１８に取り付けられた温度センサや圧力センサによって計測され、その計測結果がそれらセンサからコントローラ１９に出力される。

フィルタに含まれる主な不純物がトルエン、フタル酸ジオクチルである場合、コントローラ１９は、ＶＯＣに属する不純物が含まれると判断するとともに、ＳＶＯＣに属する不純物が含まれていると判断する。コントローラ１９は、ＶＯＣに属する不純物が含まれると判断すると、ＳＶＯＣが含まれるにもかかわらず、ＶＯＣに対応する運転条件を気液分離装置１８に適用する。具体的にコントローラ１９は、不純物の種別区分と設定圧力および設定温度との第２関係（図１２参照）から、ＶＯＣが検出された場合の気液分離装置１８の運転条件として、設定圧力を４（ＭＰａ）に決定し、設定温度を５（℃）に決定する（Ｓ−３６）。

この場合、コントローラ１９は、第３圧力制御弁４６の弁機構を調節して気液分離装置１８に流入する洗浄流体の圧力（気液分離装置１８内の洗浄流体の圧力）を４（ＭＰａ）（設定圧力）に保持し（圧力調節手段）、気液分離装置１８に流入する洗浄流体の温度（気液分離装置１８内の洗浄流体の温度）を５（℃）（設定温度）に保持する（温度調節手段）（Ｓ−３７）。なお、冷却器１７の出力を調整して気液分離装置１８に流入する洗浄流体の温度（気液分離装置１８内の洗浄流体の温度）を５（℃）に微調整する。

フィルタに含まれる主な不純物がフタル酸ジオクチルである場合、コントローラ１９は、ＳＶＯＣに属する不純物が含まれていると判断する。コントローラ１９は、ＳＶＯＣに属する不純物が含まれると判断すると、ＳＶＯＣに対応する運転条件を気液分離装置１８に適用する。具体的にコントローラ１９は、不純物の種別区分と設定圧力および設定温度との第２関係（図１２参照）から、ＳＶＯＣが検出された場合の気液分離装置１８の運転条件として、設定圧力を６（ＭＰａ）に決定し、設定温度を２２（℃）に決定する（Ｓ−３６）。

この場合、コントローラ１９は、第３圧力制御弁４６の弁機構を調節して気液分離装置１８に流入する洗浄流体の圧力（気液分離装置１８内の洗浄流体の圧力）を６（ＭＰａ）（設定圧力）に保持し（圧力調節手段）、気液分離装置１８に流入する洗浄流体の温度（気液分離装置１８内の洗浄流体の温度）を２２（℃）（設定温度）に保持する（温度調節手段）（Ｓ−３７）。なお、冷却器１７やヒータ４５の出力を調整して気液分離装置１８に流入する洗浄流体の温度（気液分離装置１８内の洗浄流体の温度）を２２（℃）に微調整する。

ＶＶＯＣに属する不純物には、イソプロピルアルコールの他に、メタン（沸点：−１６１℃）、ホルムアルデヒド（沸点：−２１℃）、メチルメルカプタン（沸点：６℃）、アセトアルデヒド（沸点：２０℃）、ジクロロメタン（沸点：４０℃）等がある。ガスクロマトグラフ４４によってそれらが検出されると、コントローラ１９は、ＶＶＯＣに対応する運転条件を気液分離装置１８に適用する。

ＶＯＣに属する不純物には、トルエンの他に、酢酸メチル（沸点：７７℃）、エタノール（沸点：７８℃）、ベンゼン（沸点：８０℃）、メチルエチルケトン（沸点：８０℃）、トリクロロエタン（沸点：１１３℃）、キシレン（沸点：１４０℃）、リモネン（沸点：１７８℃）、Ｌニコチン（沸点：２４７℃）等がある。ガスクロマトグラフ４４によってそれらが検出されると、コントローラ１９は、ＶＯＣに対応する運転条件を気液分離装置１８に適用する。

ＳＶＯＣに属する不純物には、フタル酸ジオクチルの他に、クロロピリホス（沸点：２９０℃）、フタル酸ジブチル（沸点：３４０℃）等がある。ガスクロマトグラフ２０によってそれらが検出されると、コントローラ２１は、ＳＶＯＣに対応する運転条件を気液分離装置１８に適用する。なお、沸点が４００℃以上のＰＯＭ（粒子状有機物：ＰＣＢ、ベンゾピレン）がガスクロマトグラフ４４によって検出された場合、コントローラ２１は、ＳＶＯＣに対応する運転条件を気液分離装置１９に適用する。

気液分離装置１８では、洗浄流体に含まれるイソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルを洗浄流体から効率よく分離することができるように、装置１８内の洗浄流体の圧力が設定圧力（２ＭＰａ）に保持され、装置１８内の洗浄流体の温度が設定温度（−２０℃）に保持される。ゆえに、洗浄流体に含まれるイソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルが装置１８によって確実に分離され、イソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルが回収器２７に回収される。イソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルが分離された洗浄流体は、気液分離装置１８から凝縮器１１に流入し、メイン管路３３を通って第１洗浄容器１５に流入する。

メイン流路第１循環手段を実行してから３０分が経過すると、（メイン流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後）、コントローラ１９は、ＶＶＯＣに対応する運転条件を解除した後、切換弁３５の弁機構を閉め、第１圧力制御弁２１の弁機構の弁開度を拡大し、第１洗浄容器１５内の洗浄流体の圧力を１時間（第１減圧時間）の間に大気圧に減圧する（第１減圧手段）（Ｓ−３８）。なお、第１減圧手段において必要であれば、制御弁２１による減圧に加えて洗浄流体を冷却器１７によって冷却する。

第１減圧手段では、洗浄流体に含まれる不純物が気液分離装置１８によって洗浄流体から分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。第１洗浄容器１５内の圧力が大気圧に戻り、洗浄容器１５内の温度が室温に戻った後、洗浄後のフィルタを洗浄容器１５から取り出すとともに、次の使用済のフィルタを洗浄容器１５に収容し、そのフィルタの洗浄を開始する。第１減圧時間に特に限定はなく、第１減圧時間を任意に設定または変更することができる。

サブ流路第２循環手段を実行してから３０分が経過すると（サブ流路第２循環手段を実行してから所定時間経過後であって、第１減圧手段の実行時）、コントローラ１９は、切換弁３６，３８の弁機構を開け、切換弁４１，４２の弁機構を閉め、昇圧後の洗浄流体をサブ流路３４からメイン流路３３に循環させ、昇圧ポンプ１３を利用して洗浄流体をメイン流路３３から第２洗浄容器１６に３０分の間（第４洗浄時間）流通させる（メイン流路第２循環手段）（Ｓ−３９）。第４洗浄時間に特に限定はないが、第２洗浄時間に一致させる必要がある。

メイン流路第２循環手段において洗浄流体は、第２洗浄容器１６の気密構造洗浄室に流入し、昇圧ポンプ１３→加熱器１４→第２洗浄容器１６→第２圧力制御弁２２→冷却器１７→気液分離装置１８→凝縮器１１→タンク１２→昇圧ポンプ１３の順でメイン管路３３を循環する。メイン管路３３を循環する洗浄流体は、フィルタを流通し、それに含まれる不純物（イソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチル）をフィルタから分離した後、第２洗浄容器１６から流出する。第２洗浄容器１６から流出した直後の洗浄流体（フィルタを洗浄した直後の洗浄流体）に含まれる不純物（汚れ）は、その大部分がイソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルである。

メイン流路第２循環手段の実行中（メイン流路第２循環手段の実行と略同時）に洗浄流体の一部は、メイン管路３３に設置されたサンプリング管４７からガスクロマトグラフ４４に送られる。ガスクロマトグラフ４４は、洗浄流体に含まれる不純物の成分を分析し（成分分析手段）、その分析結果をコントローラ１９に出力する（分析結果出力手段）。なお、サブ流路第２循環手段の実行中に成分分析手段を実行する場合は、サブ流路第２循環手段の実行中に洗浄流体の一部がサブ管路３４に設置されたサンプリング管４７からガスクロマトグラフ４４に送られ、ガスクロマトグラフ４４が洗浄流体に含まれる不純物の成分を分析し、その分析結果をコントローラ１９に出力する。

コントローラ１９は、ガスクロマトグラフ４４から出力された分析結果に基づき、洗浄流体に含まれる不純物の種類を特定した後、不純物の種類からその不純物の沸点と飽和蒸気圧とを特定する（種類特定手段）（Ｓ−４０）。コントローラ１９は、特定した不純物の種類（イソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチル）、沸点、飽和蒸気圧をハードディスクに格納する。

コントローラ１９は、不純物の種類（イソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチル）、沸点、飽和蒸気圧を特定すると、ハードディスクに格納された不純物の種別区分とその沸点および飽和蒸気圧の第１関係（図１１参照）を抽出する。コントローラ１９は、イソプロピルアルコールの沸点および飽和蒸気圧を第１関係に当て嵌め、イソプロピルアルコールがＶＶＯＣに属すると判断し、トルエンの沸点および飽和蒸気圧を第１関係に当て嵌め、トルエンがＶＯＣに属すると判断する。さらに、フタル酸ジオクチルの沸点および飽和蒸気圧を第１関係に当て嵌め、フタル酸ジオクチルがＳＶＯＣに属すると判断する。

コントローラ１９は、それらのうち、ＶＶＯＣに属する不純物が含まれると判断すると、ＶＶＯＣに対応する運転条件を気液分離装置１８に適用する。コントローラ１９は、不純物の種別区分と設定圧力および設定温度との第２関係（図１２参照）をハードディスクから抽出し、その第２関係から、ＶＶＯＣが検出された場合の気液分離装置１８の運転条件として、設定圧力を２（ＭＰａ）に決定し、設定温度を−２０（℃）に決定する（Ｓ−４１）。

コントローラ１９は、第３圧力制御弁４６の弁機構を調節して気液分離装置１８に流入する洗浄流体の圧力（気液分離装置１８内の洗浄流体の圧力）を２（ＭＰａ）（設定圧力）に保持し（圧力調節手段）、気液分離装置１８に流入する洗浄流体の温度（気液分離装置１８内の洗浄流体の温度）を−２０（℃）（設定温度）に保持する（温度調節手段）（Ｓ−４２）。なお、冷却器１７の出力を調整して気液分離装置１８に流入する洗浄流体の温度（気液分離装置１８内の洗浄流体の温度）を−２０（℃）に微調整する。

フィルタに含まれる主な不純物がトルエン、フタル酸ジオクチルである場合、コントローラ１９は、ＶＯＣに属する不純物が含まれると判断するとともに、ＳＶＯＣに属する不純物が含まれていると判断する。コントローラ１９は、ＶＯＣに属する不純物が含まれると判断すると、ＶＯＣに対応する運転条件を気液分離装置１８に適用し、第２関係（図１２参照）から、ＶＯＣが検出された場合の気液分離装置１８の運転条件として、設定圧力を４（ＭＰａ）に決定し、設定温度を５（℃）に決定する（Ｓ−４１）。

フィルタに含まれる主な不純物がフタル酸ジオクチルである場合、コントローラ１９は、ＳＶＯＣに属する不純物が含まれていると判断する。コントローラ１９は、ＳＶＯＣに属する不純物が含まれると判断すると、ＳＶＯＣに対応する運転条件を気液分離装置１８に適用し、第２関係（図１２参照）から、ＳＶＯＣが検出された場合の気液分離装置１８の運転条件として、設定圧力を６（ＭＰａ）に決定し、設定温度を２２（℃）に決定する（Ｓ−４１）。

気液分離装置１８では、洗浄流体に含まれるイソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルを洗浄流体から効率よく分離することができるように、装置１８内の洗浄流体の圧力が設定圧力（２ＭＰａ）に保持され、装置１８内の洗浄流体の温度が設定温度（−２０℃）に保持される。ゆえに、洗浄流体に含まれるイソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルが装置１８によって確実に分離され、イソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルが回収器２７に回収される。イソプロピルアルコール、トルエン、フタル酸ジオクチルが分離された洗浄流体は、気液分離装置１８からメイン管路３３を通って第２洗浄容器１６に流入する。

メイン流路第２循環手段を実行してから３０分が経過すると、（メイン流路第２循環手段を実行してから所定時間経過後であって、第１昇圧手段の実行中）、コントローラ１９は、ＶＶＯＣに対応する運転条件を解除した後、切換弁３６の弁機構を閉め、第２圧力制御弁２４の弁機構の弁開度を拡大し、第２洗浄容器１６内の洗浄流体の圧力を１時間（第２減圧時間）の間に大気圧に減圧する（第２減圧手段）（Ｓ−４３）。なお、第２減圧手段において必要であれば、制御弁２２による減圧に加えて洗浄流体を冷却器１７によって冷却する。

第２減圧手段では、洗浄流体に含まれる不純物が気液分離装置１８によって洗浄流体から分離される。洗浄流体から分離された不純物は、回収器２７に回収される。第２洗浄容器１６内の圧力が大気圧に戻り、洗浄容器１６内の温度が室温に戻った後、洗浄後のフィルタを洗浄容器１６から取り出すとともに、次の使用済のフィルタを洗浄容器１６に収容し、そのフィルタの洗浄を開始する。第２減圧時間に特に限定はないが、第１減圧時間に一致させる必要がある。

第１減圧手段と第２減圧手段とが終了すると、コントローラ１９は、設定回数の洗浄サイクルが行われたかを判断する（Ｓ−４４）。設定回数（６回）の洗浄サイクルが行われたと判断すると、コントローラ１９は、システム１０Ｃを停止する。設定回数の洗浄サイクルが行われていないと判断すると、コントローラ１９は、第１減圧手段が終了した後であって第２減圧手段の実行中に、切換弁３５，３７の弁機構を開け、切換弁３９，４０の弁機構を閉め、洗浄流体を昇圧ポンプ１３を経由させて第１洗浄容器１５に流通させ、図９に示すように、第１洗浄容器１５に流入する洗浄流体の圧力を３０分（第１昇圧時間）の間に０ＭＰａから２０ＭＰａに昇圧する（第１昇圧手段）（Ｓ−３０）。その後コントローラ１９は、ステップ３１（Ｓ−３１）からの各手段を繰り返す。

コントローラ１９は、第１昇圧手段→サブ流路第１循環手段→メイン流路第１循環手段→第１減圧手段の洗浄サイクルと第２昇圧手段→サブ流路第２循環手段→メイン流路第２循環手段→第２減圧手段の洗浄サイクルとの合計を６回繰り返した後、フィルタの洗浄を終了する。６回の洗浄サイクルを繰り返す時間は、図９に示すように８時間である。なお、このシステム１０Ｃを利用せずに１台の昇圧ポンプと２つの洗浄容器とにおいて洗浄を行うと、図１４に示すように、８時間で４回の洗浄サイクルを繰り返すことができるに過ぎないが、このシステム１０Ｃを利用することによって８時間で６回の洗浄サイクルを繰り返すことができる。

この成分抽出システム１０Ｃでは、特定した沸点と飽和蒸気圧とに基づいて設定圧力を決定し、特定した沸点と飽和蒸気圧とに基づいて設定温度を決定しているが、特定した沸点と飽和蒸気圧とのいずれか一方に基づいて設定圧力を決定し、特定した沸点と飽和蒸気圧とのいずれか一方に基づいて設定温度を決定してもよい。また、成分分析装置としてガスクロマトグラフ４４を利用しているが、ガスクロマトグラフ４４の他に、ガスクロマトグラフ質量分析装置、高速液体クロマトグラフ質量分析装置、誘導結合プラズマ質量分析装置、単収束扇形磁場型質量分析装置、二重収束扇形磁場型質量分析装置、四重極型質量分析装置、四重極イオントラップ型質量分析装置、飛行時間型質量分析装置のいずれかを使用することもできる。

この成分抽出システム１０Ｃは、図４に示すシステム１０Ｂが有する効果に加え、以下の効果を有する。成分抽出システム１０Ｃは、気液分離装置１８内の洗浄流体の圧力を不純物（成分）の種類に適した設定圧力に調節しつつ、気液分離装置１８内の洗浄流体の温度を不純物の種類に適した設定温度に調節するから、特定した不純物の種類に適した圧力・温度条件で気液分離装置１８を運転することができ、不純物の蒸気圧の差を効率的に利用して洗浄流体に含まれる不純物をその洗浄流体から効率よく分離することができる。成分抽出システム１０Ｃは、特定した不純物に適した圧力・温度条件で気液分離装置１８を運転するから、気液分離装置１８の過度の運転を防ぐことができ、その結果、システム１０Ｃのエネルギー効率を向上させることができる。

一例として示す成分抽出システムの構成図。 洗浄手順の一例を示すフローチャート。 洗浄流体の圧力の変化を時系列に示す図 他の一例として示す成分抽出システムの構成図。 洗浄手順の一例を示すフローチャート。 洗浄流体の圧力の変化を時系列に示す図。 他の一例として示す成分抽出システムの構成図。 洗浄手順の一例を示すフローチャート。 洗浄流体の圧力の変化を時系列に示す図。 特定した不純物の種類、沸点、飽和蒸気圧の一例を示す図。 不純物の種別区分と沸点および飽和蒸気圧との第１関係を示す図。 沸点および飽和蒸気圧と設定圧力および設定温度との第２関係を示す図。 １台の昇圧ポンプと１つの洗浄容器とにおいて洗浄を行う場合の洗浄流体の圧力の変化を時系列に示す図。 １台の昇圧ポンプと２つの洗浄容器とにおいて洗浄を行う場合の洗浄流体の圧力の変化を時系列に示す図。

符号の説明

１０Ａ 成分抽出システム
１０Ｂ 成分抽出システム
１１ 凝縮器
１２ 貯留タンク
１３ 昇圧ポンプ
１４ 加熱器
１５ 第１洗浄容器
１６ 第２洗浄容器
１７ 冷却器
１８ 気液分離装置
１９ コントローラ（制御装置）
２０ 管路（流路）
２１ 第１圧力制御弁
２２ 第２圧力制御弁
２３〜２６ 切換弁
３３ メイン管路（メイン流路）
３４ サブ管路（サブ流路）
３５〜４２ 切換弁
４３ 循環ポンプ
４４ ガスクロマトグラフ（成分分析装置）

Claims (6)

1. 超臨界または亜臨界のいずれかの流体が流入する気密容器に該流体を流入させ、前記流体を利用して前記気密容器に収容された被収容物に含まれる成分を抽出する成分抽出システムにおいて、
   前記成分抽出システムが、複数の前記気密容器と、それら気密容器につながって前記流体が循環する流路と、前記流路に設置されて前記流体を昇圧する１台の昇圧ポンプと、前記流路に設置されて前記流体のそれら気密容器への流入経路を切り換える切換弁と、前記気密容器と前記昇圧ポンプとの間の流路に設置されて前記流体に含まれる成分を該流体から分離する気液分離装置と、制御装置とを含み、
   前記制御装置が、前記切換弁を利用して前記流路を循環する流体を前記昇圧ポンプを経由しつつ一方の気密容器に流入させ、前記昇圧ポンプを利用して一方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧する第１昇圧手段と、前記第１昇圧手段を実行してから所定時間経過後に、前記切換弁を利用して一方の気密容器に対する前記昇圧ポンプの負荷を解除しつつ、昇圧後の超臨界または亜臨界の流体を利用して一方の気密容器に収容された被収容物から所定の成分を抽出する第１抽出手段と、前記第１抽出手段を実行してから所定時間経過後に一方の気密容器内の流体を大気圧に減圧する第１減圧手段と、
   前記第１抽出手段の実行時に前記切換弁を利用して前記流路を循環する流体を前記昇圧ポンプを経由しつつ他方の気密容器に流通させ、前記昇圧ポンプを利用して他方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧する第２昇圧手段と、前記第２昇圧手段を実行してから所定時間経過後に、前記切換弁を利用して他方の気密容器に対する前記昇圧ポンプの負荷を解除しつつ、昇圧後の超臨界または亜臨界の流体を利用して他方の気密容器に収容された被収容物から所定の成分を抽出する第２抽出手段と、前記第２抽出手段を実行してから所定時間経過後であって前記第１減圧手段の実行中に他方の気密容器内の流体を大気圧に減圧する第２減圧手段とを有し、
   前記第１昇圧手段では、前記第２減圧手段の実行中に前記切換弁を利用して前記流路を循環する流体を前記昇圧ポンプを経由しつつ一方の気密容器に流通させ、前記昇圧ポンプを利用して一方の気密容器に流入する流体を所定の圧力に昇圧することを特徴とする成分抽出システム。
2. 前記成分抽出システムが、前記流路に設置されて前記流体の圧力を調節可能な圧力制御弁を含み、前記第１抽出手段では、前記第１昇圧手段を実行してから所定時間経過後に前記圧力制御弁を利用して前記流体の圧力を所定の圧力に減圧し、前記流体の圧力を減圧した後に前記圧力制御弁と前記昇圧ポンプとを利用して前記流体の圧力を再び昇圧させ、前記第２抽出手段では、前記第２昇圧手段を実行してから所定時間経過後に前記圧力制御弁を利用して前記流体の圧力を所定の圧力に減圧し、前記流体の圧力を減圧した後に前記圧力制御弁と前記昇圧ポンプとを利用して前記流体の圧力を再び昇圧させる請求項１記載の成分抽出システム。
3. 超臨界または亜臨界のいずれかの流体が流入する気密容器に該流体を流入させ、前記流体を利用して前記気密容器に収容された被収容物に含まれる成分を抽出する成分抽出システムにおいて、
   前記成分抽出システムが、複数の前記気密容器と、それら気密容器につながって前記流体が循環するメイン流路と、それら気密容器につながって前記流体が循環するサブ流路と、前記メイン流路に設置されて前記流体を昇圧する１台の昇圧ポンプと、前記気密容器と前記昇圧ポンプとの間のメイン流路に設置されて前記流体に含まれる成分を該流体から分離する気液分離装置と、前記サブ流路に設置されて前記流体を該サブ流路に循環させる１台の循環ポンプと、それら流路に設置されて前記流体をメイン流路とサブ流路とのいずれか一方に循環させる切換弁と、制御装置とを含み、
   前記制御装置が、前記切換弁を利用して前記流体をメイン流路から一方の気密容器に流通させつつ、前記昇圧ポンプを利用してメイン流路を循環する流体を所定の圧力に昇圧する第１昇圧手段と、前記切換弁を利用して昇圧後の超臨界または亜臨界の流体をメイン流路からサブ流路に循環させ、前記循環ポンプを利用して前記流体をサブ流路から一方の気密容器に流通させるサブ流路第１循環手段と、前記サブ流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後に前記切換弁を利用して昇圧後の超臨界または亜臨界の流体をサブ流路からメイン流路に循環させ、前記昇圧ポンプを利用して前記流体をメイン流路から一方の気密容器に流通させるメイン流路第１循環手段と、前記メイン流路第１循環手段を実行してから所定時間経過後に一方の気密容器内の流体の圧力を大気圧に減圧する第１減圧手段と、
   前記サブ流路第１循環手段の実行時に前記切換弁を利用して前記流体をメイン流路から他方の気密容器に流通させつつ、前記昇圧ポンプを利用してメイン流路を循環する流体を所定の圧力に昇圧する第２昇圧手段と、前記メイン流路第１循環手段の実行時に前記切換弁を利用して昇圧後の超臨界または亜臨界の流体をメイン流路からサブ流路に循環させ、前記循環ポンプを利用して前記流体をサブ流路から他方の気密容器に流通させるサブ流路第２循環手段と、前記第１減圧手段の実行時に前記切換弁を利用して昇圧後の超臨界または亜臨界の流体をサブ流路からメイン流路に循環させ、前記昇圧ポンプを利用して前記流体をメイン流路から他方の気密容器に流通させるメイン流路第２循環手段と、第２メイン循環手段を実行してから所定時間経過後であって前記第１昇圧手段の実行中に他方の気密容器内の流体の圧力を大気圧に減圧する第２減圧手段とを有し、
   前記第１昇圧手段では、前記第２減圧手段の実行中に前記切換弁を利用して前記流体をメイン流路から一方の気密容器に流通させつつ、前記昇圧ポンプを利用してメイン流路を循環する流体を所定の圧力に昇圧することを特徴とする成分抽出システム。
4. 前記成分抽出システムが、前記気密容器の下流側に設置されて前記メイン流路を循環する流体に含まれる成分を分析する成分分析装置を含み、前記成分分析装置が、前記被収容物から所定の成分を抽出した後の流体に含まれる成分を分析する成分分析手段と、前記成分分析手段によって分析した成分分析結果を前記制御装置に出力する分析結果出力手段とを有し、前記制御装置が、前記成分分析装置から出力された成分分析結果に基づいて、前記流体に含まれる成分の種類を特定する種類特定手段と、前記気液分離装置内の流体の圧力を前記成分の種類に適した圧力に調節する圧力調節手段と、前記気液分離装置内の流体の温度を前記成分の種類に適した温度に調節する温度調節手段とを含む請求項３記載の成分抽出システム。
5. 前記種類特定手段では、前記流体に含まれる成分の種類から該成分の沸点と飽和蒸気圧とのうちの少なくとも一方を特定し、前記圧力調節手段では、前記種類特定手段によって特定した前記沸点と前記飽和蒸気圧との少なくとも一方に基づいて前記成分の種類に適した圧力を決定し、前記温度調節手段では、前記種類特定手段によって特定した前記沸点と前記飽和蒸気圧との少なくとも一方に基づいて前記成分の種類に適した温度を決定する請求項４記載の成分抽出システム。
6. 前記被収容物が、洗浄対象の被洗浄物であり、前記被収容物に含まれる成分が、不純物である請求項１ないし請求項５いずれかに記載の成分抽出システム。

Images