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JP2010192261A - Method of manufacturing solid-sealing organic el device, its manufacturing device, and solid-sealing organic el device - Google Patents

Method of manufacturing solid-sealing organic el device, its manufacturing device, and solid-sealing organic el device Download PDF

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JP2010192261A
JP2010192261A JP2009035669A JP2009035669A JP2010192261A JP 2010192261 A JP2010192261 A JP 2010192261A JP 2009035669 A JP2009035669 A JP 2009035669A JP 2009035669 A JP2009035669 A JP 2009035669A JP 2010192261 A JP2010192261 A JP 2010192261A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
organic
adhesive layer
substrate
solid
manufacturing
Prior art date
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Pending
Application number
JP2009035669A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Keiji Takehisa
敬士 竹久
Hideyuki Kobayashi
秀幸 小林
Hideki Kamata
英樹 鎌田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Rohm Co Ltd
Original Assignee
Rohm Co Ltd
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Publication date
Application filed by Rohm Co Ltd filed Critical Rohm Co Ltd
Priority to JP2009035669A priority Critical patent/JP2010192261A/en
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a manufacturing method as well as a device of a solid-sealing organic EL with improved manufacturing yield, and to provide a solid-sealing organic EL device. <P>SOLUTION: The method and device of manufacturing the organic EL element comprises a step of forming an adhesive layer 16 on the surface of a sealing substrate 18, a step of forming an organic EL element 40 on the surface of an ITO substrate 10, a step of forming a jig 50 loading springs 52a and 52b at either end part of the sealing substrate 18, a step of forming jigs 54a and 54b for gripping the ITO substrate 10, a step of positioning the ITO substrate 10 on the sealing substrate 18 by setting the sealing substrate 18 and the ITO substrate 10 opposed to each other so as to make the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 face each other and by making the jigs 54a and 54b opposed to the springs 52a and 52b, respectively, and a step of stacking together the organic EL element 40 and the adhesive layer 16 by pressing the ITO substrate 10 onto the sealing substrate 18 with the adhesive layer 16 softened by vacuum heating. The solid-sealing organic EL device is also provided. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、固体封止有機EL装置の製造方法および製造装置、固体封止有機EL装置に関し、特に作業性および歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置に関する。   The present invention relates to a manufacturing method and manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device, and a solid-sealed organic EL device, and more particularly, a manufacturing method for a solid-sealed organic EL device with improved workability and yield, a manufacturing apparatus therefor, and a solid sealing. The present invention relates to a stop organic EL device.

近年、有機発光素子として有機EL(EL:Electroluminescence)素子を用いた表示装置や照明装置が実用化に向けて開発が進められている。従来、有機EL素子は、水分により劣化が著しいので防湿する必要があり、そのため基板上に搭載された有機EL素子を封止板等で封止している。   In recent years, display devices and illumination devices using organic EL (EL) elements as organic light emitting elements have been developed for practical use. Conventionally, an organic EL element has been significantly deteriorated by moisture and therefore needs to be moisture-proof. For this reason, an organic EL element mounted on a substrate is sealed with a sealing plate or the like.

従来、有機EL素子を封止する方法として、例えば、有機EL素子が搭載された基板面にシール材を介して封止缶で密封し、封止された内部空間に不活性ガス等の気体を充填する中空封止技術が知られている(例えば、特許文献1参照。)。或いは有機EL素子が搭載された基板面にシール材を介して封止缶で密封し、封止された内部空間にシリコーンオイル等の液体からなる充填材を充填する液体封止技術が知られている(例えば、特許文献2参照。)また、樹脂などの流動性のある封止剤を基板面に適用し、ガラス板等を重ねてUV光照射や加熱などの方法により封止剤を硬化させて封止する固体封止技術が知られている。(例えば、特許文献3および特許文献4参照。)。   Conventionally, as a method of sealing an organic EL element, for example, the substrate surface on which the organic EL element is mounted is sealed with a sealing can via a sealing material, and a gas such as an inert gas is sealed in the sealed internal space. A hollow sealing technique for filling is known (for example, see Patent Document 1). Alternatively, a liquid sealing technique is known in which a substrate surface on which an organic EL element is mounted is sealed with a sealing can through a sealing material, and the sealed internal space is filled with a filler made of a liquid such as silicone oil. (For example, refer to Patent Document 2) In addition, a fluid sealant such as a resin is applied to the substrate surface, and a glass plate or the like is stacked to cure the sealant by a method such as UV light irradiation or heating. Solid sealing technology for sealing is known. (For example, refer to Patent Document 3 and Patent Document 4.)

樹脂等の固体封止剤を用いた従来例に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図16に示すように表される。   A method for manufacturing a solid-sealed organic EL device according to a conventional example using a solid sealant such as a resin is expressed as shown in FIG.

(a)まず、図16(a)に示すように、有機EL素子140を搭載したITOガラス基板100と、接着剤160を塗布した封止基板18を形成する。 (A) First, as shown in FIG. 16A, an ITO glass substrate 100 on which an organic EL element 140 is mounted and a sealing substrate 18 on which an adhesive 160 is applied are formed.

(b)次に、図16(b)に示すように、位置合せ工程と共に、有機EL素子140を搭載したITOガラス基板100と、接着剤160を塗布した封止基板18を貼り合せ、有機EL素子140を接着剤160に接触させる。この場合、接着剤160は、硬い状態を保持している。 (B) Next, as shown in FIG. 16B, together with the alignment step, the ITO glass substrate 100 on which the organic EL element 140 is mounted and the sealing substrate 18 to which the adhesive 160 is applied are bonded together to form an organic EL. The element 140 is brought into contact with the adhesive 160. In this case, the adhesive 160 holds a hard state.

(c)次に、図16(c)に示すように、真空ラミネータを用いて、真空引きを行うと共に、接着剤を塗布した封止基板18を温度Tで加熱して、接着剤160を柔らかくする。 (C) Next, as shown in FIG. 16C, vacuuming is performed using a vacuum laminator, and the sealing substrate 18 coated with the adhesive is heated at a temperature T to soften the adhesive 160. To do.

(d)次に、図16(d)に示すように、真空ラミネータを用いて、有機EL素子140を搭載したITOガラス基板100と、接着剤160を塗布した封止基板18を上部からプレス(ダイヤフラム式:圧力P)して、密着させる。この際、接着剤を塗布した封止基板18を温度Tで加熱している。 (D) Next, as shown in FIG. 16 (d), the ITO glass substrate 100 on which the organic EL element 140 is mounted and the sealing substrate 18 coated with the adhesive 160 are pressed from above using a vacuum laminator ( Diaphragm type: pressure P) to be brought into close contact. At this time, the sealing substrate 18 coated with the adhesive is heated at the temperature T.

(e)その後、図16(e)に示すように、有機EL素子140を搭載したITOガラス基板100と、接着剤160を塗布した封止基板18の貼り合せを完成する。さらに、その後、接着剤160を完全に硬化させるための本硬化処理を行う。 (E) Thereafter, as shown in FIG. 16 (e), the bonding of the ITO glass substrate 100 on which the organic EL element 140 is mounted and the sealing substrate 18 to which the adhesive 160 is applied is completed. Further, a main curing process for completely curing the adhesive 160 is performed thereafter.

これにより、有機EL素子140を搭載したITOガラス基板100と、接着剤160を塗布した封止基板18を貼り合せ、有機EL素子140を外部からの湿気や水分と接触するのを防ぐと共に、外部からの衝撃から保護することができる。   As a result, the ITO glass substrate 100 on which the organic EL element 140 is mounted and the sealing substrate 18 coated with the adhesive 160 are bonded to prevent the organic EL element 140 from coming into contact with moisture or moisture from the outside, and to the outside. Can be protected from impact from.

しかしながら、UV光照射や加熱などの方法により接着剤160を硬化させる方法において、接着剤160をITOガラス基板100上に貼り付ける際、硬化前のUV樹脂の貼り合わせ方や接着時の粘度の大きさによっては、異物により有機EL素子140が傷つけられて、ショートが発生するおそれがある。   However, in the method of curing the adhesive 160 by a method such as UV light irradiation or heating, when the adhesive 160 is pasted on the ITO glass substrate 100, the UV resin pasting method before curing and the viscosity at the time of adhesion are large. Depending on the situation, the organic EL element 140 may be damaged by a foreign substance and a short circuit may occur.

すなわち、熱可塑性の樹脂材料を有機EL素子140上に貼り付ける際に樹脂材料が硬い状態で有機EL素子140上に搭載すると、硬い状態の樹脂または樹脂と有機EL素子140間に存在する異物が、有機EL素子140を損傷して、有機EL素子140の陰極と陽極間の上下ショートが発生する。このため、従来の固体封止有機EL装置の歩留まりが低下するといった問題が生じる。   That is, when a thermoplastic resin material is attached onto the organic EL element 140 and the resin material is mounted on the organic EL element 140 in a hard state, foreign substances existing between the hard resin or the resin and the organic EL element 140 are removed. The organic EL element 140 is damaged, and a vertical short circuit occurs between the cathode and the anode of the organic EL element 140. For this reason, the problem that the yield of the conventional solid sealing organic electroluminescent apparatus falls arises.

特開平11−214152号公報JP 11-214152 A 特開2003−173868号公報JP 2003-173868 A 特開2005−32682号公報JP 2005-32682 A 特開2000−195660号公報JP 2000-195660 A

本発明の目的は、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, a manufacturing device thereof, and a solid-sealed organic EL device capable of improving the manufacturing yield without causing physical damage to the organic EL element during solid-sealing. It is to provide.

本発明の一態様によれば、封止基板の表面に接着層を形成する工程と、基板上に有機EL素子を形成する工程と、前記封止基板と両端部に昇降手段を搭載した第1冶具を形成する工程と、前記基板を把持する第2冶具を形成する工程と、前記封止基板と前記基板とを、前記接着層と前記有機EL素子とが対面するように対向させ、かつ前記第2冶具を前記昇降手段に対向させて、前記基板を前記封止基板上に位置合せする工程と、真空加熱により前記接着層を軟化させた状態で、前記基板を前記封止基板に押圧し、前記有機EL素子と前記接着層とを貼り合せる工程とを有する有機発光素子の製造方法が提供される。   According to one aspect of the present invention, a step of forming an adhesive layer on the surface of the sealing substrate, a step of forming an organic EL element on the substrate, and a first lifting / lowering means mounted on both ends of the sealing substrate. A step of forming a jig, a step of forming a second jig for gripping the substrate, the sealing substrate and the substrate facing each other such that the adhesive layer and the organic EL element face each other, and A step of positioning the substrate on the sealing substrate with a second jig facing the elevating means, and pressing the substrate against the sealing substrate in a state where the adhesive layer is softened by vacuum heating. The manufacturing method of the organic light emitting element which has the process of bonding the said organic EL element and the said contact bonding layer is provided.

本発明の他の態様によれば、封止基板の表面に接着層を形成する工程と、基板上に有機EL素子を形成する工程と、前記封止基板を昇降手段を介して搭載する第1冶具を形成する工程と、前記封止基板と前記基板とを、前記接着層と前記有機EL素子とが対面するように対向させ、前記基板を前記封止基板上に位置合せする工程と、真空加熱により前記接着層を軟化させた状態で、前記基板を前記封止基板に押圧し、前記有機EL素子と前記接着層とを貼り合せる工程とを有する有機発光素子の製造方法が提供される。   According to another aspect of the present invention, a step of forming an adhesive layer on the surface of the sealing substrate, a step of forming an organic EL element on the substrate, and a first mounting the sealing substrate via an elevating means. A step of forming a jig, a step of making the sealing substrate and the substrate face each other so that the adhesive layer and the organic EL element face each other, and aligning the substrate on the sealing substrate; There is provided a method for manufacturing an organic light-emitting element including a step of pressing the substrate against the sealing substrate in a state where the adhesive layer is softened by heating, and bonding the organic EL element and the adhesive layer.

本発明の他の態様によれば、昇降手段と、接着層を上面に形成した封止基板と、前記昇降手段とを搭載した第1冶具と、有機EL素子を上面に搭載した基板を把持する第2冶具とを備え、前記昇降手段によって、前記第1冶具と前記第2冶具を昇降させて、前記接着層を、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と前記封止基板と押圧して、前記基板と前記封止基板とを接着させる固体封止有機EL装置の製造装置が提供される。   According to another aspect of the present invention, the lifting means, the sealing substrate having the adhesive layer formed on the upper surface, the first jig having the lifting means mounted thereon, and the substrate having the organic EL element mounted on the upper surface are gripped. A second jig, the first and second jigs are lifted and lowered by the lifting means, and the adhesive layer is softened under vacuum heating, and the organic EL element and the sealing substrate An apparatus for manufacturing a solid-sealed organic EL device that presses and adheres the substrate and the sealing substrate is provided.

本発明の他の態様によれば、昇降手段と、有機EL素子を上面に搭載した基板と対向して、前記有機EL素子に対面する接着層を上面に形成した封止基板を前記昇降手段上に配置し、前記昇降手段を搭載した冶具とを備え、前記昇降手段によって、前記封止基板を昇降させて、前記接着層を、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と押圧して、前記基板と前記封止基板とを貼り合せる固体封止有機EL装置の製造装置が提供される。   According to another aspect of the present invention, an elevating means and a sealing substrate having an adhesive layer facing the organic EL element formed on the upper surface facing the substrate on which the organic EL element is mounted on the upper and lower means. And a jig on which the lifting means is mounted, the sealing substrate is lifted and lowered by the lifting means, and the adhesive layer is pressed against the organic EL element in a softened state under vacuum heating. Thus, a manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device for bonding the substrate and the sealing substrate is provided.

本発明の他の態様によれば、基板と、前記基板上に配置した有機EL素子と、前記有機EL素子を覆うように配置した接着層と、前記接着層を介して前記有機EL素子を封止する封止基板とを備え、前記接着層は、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と前記封止基板とを押圧して、前記基板と前記封止基板と貼り合せる固体封止有機EL装置が提供される。   According to another aspect of the present invention, a substrate, an organic EL element disposed on the substrate, an adhesive layer disposed to cover the organic EL element, and the organic EL element are sealed via the adhesive layer. A sealing substrate, and the adhesive layer presses the organic EL element and the sealing substrate in a softened state under vacuum heating to bond the substrate and the sealing substrate together. A stop organic EL device is provided.

本発明によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。   According to the present invention, there is provided a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, a manufacturing device thereof, and a solid-sealed organic EL device capable of improving the manufacturing yield without causing physical damage to the organic EL element during solid-sealing. Can be provided.

本発明の第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の模式的平面パターン構成図。The typical plane pattern block diagram of the solid sealing organic electroluminescent apparatus which concerns on the 1st Embodiment of this invention. 図1のI−I線に沿う模式的断面構造図。FIG. 2 is a schematic cross-sectional structure diagram taken along line II in FIG. 1. 本発明の第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法であって、(a)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その1)、(b)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その2)、(c)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その3)。BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a manufacturing method of the solid sealing organic electroluminescent apparatus concerning the 1st Embodiment of this invention, Comprising: Typical sectional structure drawing (the 1) explaining 1 process of (a) manufacturing process, (b) Manufacturing process Schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step (No. 2), (c) Schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step of the production process (No. 3). 本発明の第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストンの模式的な説明図。The typical explanatory view of the piston applied to the manufacturing method of the solid encapsulation organic EL device concerning a 2nd embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法であって、(a)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その1)、(b)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その2)、(c)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その3)。It is a manufacturing method of the solid sealing organic EL device which concerns on the 2nd Embodiment of this invention, Comprising: Typical sectional structure drawing (the 1) explaining 1 process of (a) manufacturing process, (b) Manufacturing process Schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step (No. 2), (c) Schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step of the production process (No. 3). 本発明の第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストンの模式的な説明図。The typical explanatory view of the piston applied to the manufacturing method of the solid encapsulation organic EL device concerning a 3rd embodiment of the present invention. 本発明の第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法であって、(a)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その1)、(b)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その2)、(c)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その3)。It is a manufacturing method of the solid sealing organic EL device which concerns on the 3rd Embodiment of this invention, Comprising: Typical sectional structure drawing (the 1) explaining 1 process of (a) manufacturing process, (b) Manufacturing process Schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step (No. 2), (c) Schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step of the production process (No. 3). 本発明の第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストンの模式的な説明図。The typical explanatory view of the piston applied to the manufacturing method of the solid encapsulation organic EL device concerning a 4th embodiment of the present invention. 本発明の第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法であって、(a)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その1)、(b)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その2)、(c)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その3)。It is a manufacturing method of the solid sealing organic electroluminescent apparatus which concerns on the 4th Embodiment of this invention, Comprising: Typical sectional structure drawing (the 1) explaining 1 process of (a) manufacturing process, (b) Manufacturing process Schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step (No. 2), (c) Schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step of the production process (No. 3). 本発明の第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストンの模式的な説明図。Typical explanatory drawing of the piston applied to the manufacturing method of the solid sealing organic electroluminescent apparatus which concerns on the 5th Embodiment of this invention. 本発明の第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法であって、(a)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その1)、(b)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その2)。It is a manufacturing method of the solid sealing organic electroluminescent apparatus which concerns on the 5th Embodiment of this invention, Comprising: Typical sectional structure drawing (the 1) explaining 1 process of (a) manufacturing process, (b) Manufacturing process FIG. 2 is a schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step (No. 2). 本発明の第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法であって、製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その1)。It is a manufacturing method of the solid sealing organic electroluminescent apparatus which concerns on the 6th Embodiment of this invention, Comprising: Typical sectional structure drawing explaining 1 process of a manufacturing process (the 1). 本発明の第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法であって、製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その2)。It is a manufacturing method of the solid sealing organic electroluminescent apparatus which concerns on the 6th Embodiment of this invention, Comprising: Typical sectional structure drawing explaining 1 process of a manufacturing process (the 2). 本発明の第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法であって、製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その3)。It is a manufacturing method of the solid sealing organic EL device which concerns on the 6th Embodiment of this invention, Comprising: Typical sectional structure drawing explaining 1 process of a manufacturing process (the 3). 本発明の第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法であって、製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その4)。It is a manufacturing method of the solid sealing organic EL device which concerns on the 6th Embodiment of this invention, Comprising: Typical sectional structure drawing explaining 1 process of a manufacturing process (the 4). 従来例に係る固体封止有機EL装置の製造方法であって、(a)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その1)、(b)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その2)、(c)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その3)、(d)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その4)、(e)製造工程の一工程を説明する模式的断面構造図(その5)。It is a manufacturing method of the solid sealing organic EL device which concerns on a prior art example, Comprising: (a) Typical cross-section figure explaining 1 process of a manufacturing process (the 1), (b) Model explaining 1 process of a manufacturing process (2), (c) schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step of the manufacturing process (3), (d) schematic cross-sectional structure diagram for explaining one step of the manufacturing process (4) (E) Typical cross-section FIG. (5) explaining 1 process of a manufacturing process.

次に、図面を参照して、本発明の第1〜第6の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。   Next, first to sixth embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, it should be noted that the drawings are schematic, and the relationship between the thickness and the planar dimensions, the ratio of the thickness of each layer, and the like are different from the actual ones. Therefore, specific thicknesses and dimensions should be determined in consideration of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.

又、以下に示す第1〜第6の実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施の形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の実施の形態は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。   Also, the following first to sixth embodiments exemplify apparatuses and methods for embodying the technical idea of the present invention, and the embodiments of the present invention are components. The material, shape, structure, arrangement, etc. are not specified below. Various modifications can be made to the embodiment of the present invention within the scope of the claims.

(第1の実施の形態)
(固体封止有機EL装置)
本発明の第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置1の模式的平面パターン構成は、図1に示すように表される。また、図1のI−I線に沿う模式的断面構造は、図2に示すように表される。
(First embodiment)
(Solid sealing organic EL device)
A schematic planar pattern configuration of the solid-sealed organic EL device 1 according to the first embodiment of the present invention is expressed as shown in FIG. A schematic cross-sectional structure taken along line II in FIG. 1 is expressed as shown in FIG.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置1は、図1〜図2に示すように、ITO基板10と、ITO基板10上に配置される有機EL素子40と、封止基板18と、封止基板18上に配置される接着層16とを備える。有機EL素子40は、ITO基板10上配置される陽極層12と、陽極層12上に配置される有機EL層30と、有機EL層30上に配置される陰極層14と、陰極層14上に配置される保護膜20を備える。有機EL層30は、陽極層12上に配置される正孔輸送層32と、正孔輸送層32上に配置される発光部(図示省略)と、発光部上に配置される電子輸送層31とを備える。   As shown in FIGS. 1 to 2, the solid-sealed organic EL device 1 according to the first embodiment includes an ITO substrate 10, an organic EL element 40 disposed on the ITO substrate 10, and a sealing substrate 18. And an adhesive layer 16 disposed on the sealing substrate 18. The organic EL element 40 includes an anode layer 12 disposed on the ITO substrate 10, an organic EL layer 30 disposed on the anode layer 12, a cathode layer 14 disposed on the organic EL layer 30, and a cathode layer 14. A protective film 20 is provided. The organic EL layer 30 includes a hole transport layer 32 disposed on the anode layer 12, a light emitting unit (not shown) disposed on the hole transport layer 32, and an electron transport layer 31 disposed on the light emitting unit. With.

すなわち、第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置1は、封止基板18がITO基板10と対向されて配置され、接着層16を介してITO基板10と封止基板18とを貼り合わせた構成を備える。これにより、有機EL素子40を外部からの湿気や水分と接触するのを防ぐと共に、外部からの衝撃から保護することができる。   That is, in the solid-sealed organic EL device 1 according to the first embodiment, the sealing substrate 18 is disposed so as to face the ITO substrate 10, and the ITO substrate 10 and the sealing substrate 18 are connected via the adhesive layer 16. Provided with a laminated structure. Thereby, the organic EL element 40 can be prevented from coming into contact with moisture or moisture from the outside and can be protected from an impact from the outside.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置1は、ITO基板10側から光が発光するように構成されているため、ITO基板10は、光を透過する透明基板が用いられる。ITO基板10の材質としては、例えば、ガラスが挙げられる。厚さは、例えば、約0.1〜1.1mm程度であるのがよい。ITO基板10にポリカーボネートやポリエチレンテレフタレート等の透明な樹脂を用いてフレキシブル性を持たせることも可能である。この場合、固体封止有機EL装置1の寿命の劣化の原因となる水蒸気や酸素等の侵入を防止するために、ITO基板10と接着層16の間には、ガスバリア層を配置することが好ましい。ガスバリア層としては、例えば、酸化ケイ素や酸化アルミニウム等の金属酸化物又は窒化アルミニウム、窒化珪素等の金属窒化物が挙げられる。   Since the solid-sealed organic EL device 1 according to the first embodiment is configured to emit light from the ITO substrate 10 side, the ITO substrate 10 is a transparent substrate that transmits light. An example of the material of the ITO substrate 10 is glass. The thickness is preferably about 0.1 to 1.1 mm, for example. The ITO substrate 10 can be made flexible by using a transparent resin such as polycarbonate or polyethylene terephthalate. In this case, a gas barrier layer is preferably disposed between the ITO substrate 10 and the adhesive layer 16 in order to prevent intrusion of water vapor, oxygen, or the like that causes the life of the solid-sealed organic EL device 1 to deteriorate. . Examples of the gas barrier layer include metal oxides such as silicon oxide and aluminum oxide, or metal nitrides such as aluminum nitride and silicon nitride.

陽極層12は、光を透過可能であり、厚さが、例えば、約150〜160nm程度のITO(インジウム−スズ酸化物)の透明電極からなる。   The anode layer 12 can transmit light and is made of a transparent electrode made of ITO (indium-tin oxide) having a thickness of about 150 to 160 nm, for example.

有機EL層30は、ITO基板10側から、正孔輸送層32、発光部(図示省略)および電子輸送層31が順次積層されている。   In the organic EL layer 30, a hole transport layer 32, a light emitting unit (not shown), and an electron transport layer 31 are sequentially stacked from the ITO substrate 10 side.

正孔輸送層32は、陽極層12から注入された正孔を円滑に発光部に輸送するためのものであり、例えば、厚さが約60nm程度のNPB(N,N−ジ(ナフタリル)−N,N−ジフェニル−ベンジデン)からなる。   The hole transport layer 32 is for smoothly transporting holes injected from the anode layer 12 to the light emitting part. For example, NPB (N, N-di (naphthalyl)-) having a thickness of about 60 nm is used. N, N-diphenyl-benzidene).

電子輸送層31は、陰極層14から注入された電子を円滑に発光部に輸送するためのものであり、例えば、厚さが約35nm程度のAlq(アルミニウムキノリノール錯体)からなる。 The electron transport layer 31 is for smoothly transporting electrons injected from the cathode layer 14 to the light emitting portion, and is made of, for example, Alq 3 (aluminum quinolinol complex) having a thickness of about 35 nm.

発光部は、注入された正孔および電子が再結合して発光するためのものであり、例えば、発光種であるクマリン化合物(C545T)が約1%程度ドーピングされ、厚さが約30nm程度のAlqからなる。 The light emitting portion is for emitting light by recombination of injected holes and electrons. For example, about 1% of a coumarin compound (C545T) which is a light emitting species is doped, and the thickness is about 30 nm. consisting of Alq 3.

なお、有機EL層30は、上記、正孔輸送層32、電子輸送層31以外の層、例えば、正孔注入層、電子注入層等を用いて構成しても良い。   The organic EL layer 30 may be configured using a layer other than the hole transport layer 32 and the electron transport layer 31, for example, a hole injection layer, an electron injection layer, or the like.

陰極層14は、例えば、厚さが約150nm程度で、材質が、例えば、アルミニウムからなる。   The cathode layer 14 has a thickness of about 150 nm, for example, and is made of, for example, aluminum.

接着層16は、有機発EL層30を密封すると共に、有機EL層30で発生したジュール熱を封止基板18側に伝え、放熱させるためのものである。接着層16は、厚さが、例えば、約3〜500μm程度である。   The adhesive layer 16 seals the organic EL layer 30 and transmits Joule heat generated in the organic EL layer 30 to the sealing substrate 18 side to dissipate heat. The adhesive layer 16 has a thickness of about 3 to 500 μm, for example.

接着層16の材質としては、上述の機能を有するのものであれば、特に限定はされないが、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、或いはUV硬化樹脂等が挙げられる。好ましくは、熱可塑性樹脂を用いるのがよい。熱可塑性樹脂としては、例えば、塩化ビニル樹脂,ポリエチレン,ポリプロピレン、アクリル、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、ポリカーボネート等の樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂は、好ましくは、加熱により軟化させた状態において、有機EL層30よりも流動性を有するのがよい。熱可塑性樹脂の粘度は、例えば、加熱により軟化させた状態において、約1×10Pa・s(パスカル・セカンド)未満であるのがよい。好ましくは、約1×10〜1×10Pa・s程度の範囲であるのがよい。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリウレタン樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。また、UV硬化樹脂としては、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられる。 The material of the adhesive layer 16 is not particularly limited as long as it has the above-described function, and examples thereof include a thermoplastic resin, a thermosetting resin, and a UV curable resin. Preferably, a thermoplastic resin is used. Examples of the thermoplastic resin include resins such as vinyl chloride resin, polyethylene, polypropylene, acrylic, polyethylene terephthalate, polyamide, and polycarbonate. The thermoplastic resin preferably has fluidity than the organic EL layer 30 in a state where it is softened by heating. The viscosity of the thermoplastic resin may be, for example, less than about 1 × 10 4 Pa · s (pascal second) when softened by heating. Preferably, the range is about 1 × 10 to 1 × 10 4 Pa · s. Examples of the thermosetting resin include an epoxy resin, a phenol resin, a polyurethane resin, and a melamine resin. Examples of the UV curable resin include acrylic resins, epoxy resins, and polyester resins.

また、封止基板18は、接着層16から伝わる熱を外部に放熱する機能を担っているので、熱伝導率の高いものが望ましい。   Further, since the sealing substrate 18 has a function of radiating the heat transmitted from the adhesive layer 16 to the outside, it is desirable that the sealing substrate 18 has a high thermal conductivity.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置1の動作は以下の通りである。   The operation of the solid-sealed organic EL device 1 according to the first embodiment is as follows.

まず、固体封止有機EL装置1の陽極層12および陰極層14の間に一定の電圧が印加される。これにより、陽極層12から正孔輸送層32を介して発光部に正孔が注入されるとともに、陰極層14から電子輸送層31を介して発光部に電子が注入される。発光部に注入された正孔と電子とが再結合することによって、光を発光する。発光された光は、ITO基板1を介して外部に出射される。   First, a constant voltage is applied between the anode layer 12 and the cathode layer 14 of the solid-sealed organic EL device 1. As a result, holes are injected from the anode layer 12 into the light emitting part through the hole transport layer 32, and electrons are injected from the cathode layer 14 into the light emitting part through the electron transport layer 31. Light is emitted by recombination of holes and electrons injected into the light emitting portion. The emitted light is emitted to the outside through the ITO substrate 1.

(固体封止有機EL装置の製造方法)
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図3(a)〜図3(c)に示すように表される。
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
The manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment is expressed as shown in FIGS.

(a)まず、図3(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にバネ52aおよび52bとを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bを形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、以下の通りである。例えば、平面視において略四角形の形状を有するガラスからなる封止基板18表面に、粘度が、例えば、加熱により軟化させた状態において、約1×10〜1×10Pa・s程度の熱可塑性樹脂からなる接着層16を、厚さを、例えば、約3〜500μm程度にして、均一に形成する。温度の高い状態で流動性が高い接着層16を、例えば、スピンコート、ディスペンサー、或いはスプレーによる塗布やディップ、フレキソ印刷又はスクリーン印刷等を用いて形成することができる。一方、温度が低いときに流動性が低い接着層16をペレット状に成形したものを封止基板18上に載置した後、加熱してリフローさせることにより密着して形成することもできる。また、予めシート状に成形した接着層16をラミネータで封止基板18上に貼り付けて形成することもできる。第1の実施の形態においては、シート状の接着層16を封止基板18上に貼り付けて形成する。一方、ITO基板10上に陽極層12を形成後、正孔輸送層32、発光部、および電子輸送層31を順に成膜し、次いで、陰極層14を成膜して有機EL素子40を形成する。尚、バネ52aおよび52bの材料としては、金属、プラスティックを用いることができる。 (A) First, as shown in FIG. 3A, a jig 50 on which a sealing substrate 18 having an adhesive layer 16 formed on the upper surface and springs 52a and 52b on both ends is formed. Also, jigs 54a and 54b are formed to hold the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted on the upper surface at both ends. Here, a method for forming the adhesive layer 16 on the upper surface of the sealing substrate 18 and a method for forming the organic EL element 40 on the upper surface of the ITO substrate 10 are as follows. For example, a thermoplastic resin having a viscosity of about 1 × 10 to 1 × 10 4 Pa · s on the surface of the sealing substrate 18 made of glass having a substantially rectangular shape in plan view, for example, when softened by heating. The adhesive layer 16 made of resin is uniformly formed with a thickness of, for example, about 3 to 500 μm. The adhesive layer 16 having high fluidity in a high temperature state can be formed using, for example, spin coating, dispenser, spray application, dipping, flexographic printing, or screen printing. On the other hand, after the adhesive layer 16 having a low fluidity formed into a pellet shape when placed at a low temperature is placed on the sealing substrate 18, it can be formed in close contact by heating and reflowing. Alternatively, the adhesive layer 16 previously formed into a sheet shape can be formed on the sealing substrate 18 by a laminator. In the first embodiment, the sheet-like adhesive layer 16 is attached to the sealing substrate 18 and formed. On the other hand, after forming the anode layer 12 on the ITO substrate 10, the hole transport layer 32, the light emitting portion, and the electron transport layer 31 are sequentially formed, and then the cathode layer 14 is formed to form the organic EL element 40. To do. As the material for the springs 52a and 52b, metal or plastic can be used.

(b)次に、図3(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、かつ冶具54aおよび54bをバネ52aおよび52bに対向させて、貼り合わせの準備を行う。 (B) Next, as shown in FIG. 3A, the sealing substrate 18 having the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 having the organic EL element 40 mounted on the upper surface are bonded to the adhesive layer 16 and the organic EL. The element 40 is made to face each other and the jigs 54a and 54b are made to face the springs 52a and 52b to prepare for bonding.

(c)次に、図3(b)に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように位置合せを行い、冶具54aおよび54bをバネ52aおよび52bに接触させる。さらに、例えば、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。 (C) Next, as shown in FIG. 3B, for example, in an argon atmosphere, the sealing substrate 18 having the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 having the organic EL element 40 mounted on the upper surface are formed. Positioning is performed so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 face each other, and the jigs 54a and 54b are brought into contact with the springs 52a and 52b. Further, for example, vacuuming is performed to about 1 to 10 kPa, and the jig 50 side is heated at about 60 to 90 ° C. at a temperature T, for example, to soften the adhesive layer 16.

(d)次に、図3(c)に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、バネ52aおよび52bを収縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。なお、図3(a)〜(c)は側面図を表し、陽極層12、有機EL層30、保護膜20および陰極層14を省略し、簡略化して示している。ここで、注意すべき点は、位置合せを実施しただけでは、図3(b)に示すように、バネ52aおよび52bの効果によって、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図3(c)に示すように、バネ52aおよび52bが収縮して、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる点である。すなわち、バネ52aおよび52bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような強度を備え、かつプレスによって、収縮するような材料で形成されている。 (D) Next, as shown in FIG. 3 (c), the pressure is returned to atmospheric pressure and the adhesive layer 16 is softened, and a pressure P of about 100 kPa is applied to the top of the ITO substrate 1 to 52a and 52b are contracted, and the adhesive layer 16, the organic EL element 40, the ITO substrate 10, and the sealing substrate 18 are brought into close contact with each other. Since heating is performed from the sealing substrate 18 side, heat transfer to the adhesive layer 16 is fast, and the heating time can be shortened. 3A to 3C are side views, in which the anode layer 12, the organic EL layer 30, the protective film 20, and the cathode layer 14 are omitted and simplified. Here, it should be noted that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are not attached to each other by the effect of the springs 52a and 52b, as shown in FIG. By pressing after the vacuum heating, the springs 52a and 52b contract as shown in FIG. 3C, and the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together. That is, when the upper and lower jigs 54a, 54b, 50 are aligned, the springs 52a and 52b are bonded with a set weight including the upper jigs 54a, 54b, the organic EL element 40, and the ITO substrate 10. The layer 16 and the organic EL element 40 are formed of a material that has a strength that does not come into contact with each other and that shrinks when pressed.

(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。 (E) Finally, it cools to room temperature, the contact bonding layer 16 is hardened, and the solid sealing organic electroluminescent apparatus 1 shown in FIGS. 1-2 is completed. In the case where a thermosetting resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by heating after being bonded to the organic EL element 40 in a softened state, and does not soften even when the temperature rises. Further, when a UV curable resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by irradiating with UV light and does not soften even when the temperature rises.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。   According to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, when the adhesive layer 16 comes into contact with the organic EL element 40, the adhesive layer 16 is in a softened state. Even if there is a foreign matter such as dust on the surface of the organic EL element 40, the adhesive layer 16 takes in the foreign matter such as dust or dust into the inside, so that the bonding can be performed without damaging the organic EL element 40. . In addition, since the manufacturing process is performed with the organic EL element 40 facing downward, the possibility that foreign matters such as dust adhere to the organic EL element 40 is reduced. As a result, the yield can be improved even in a manufacturing environment in which foreign matter such as dust or dust exists.

また、第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。   Further, according to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, thermoplastic resin, or the like is used for the adhesive layer 16, the shape of the adhesive layer 16 at room temperature. Can be held. This is advantageous in terms of manufacturing process for increasing the size of the solid-sealed organic EL device.

また、第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。   Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the adhesive layer 16, in the manufacturing process, a roll type The supply form can be taken. This makes it possible to improve the efficiency of the manufacturing process.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。   According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, the yield can be improved.

(固体封止有機EL装置の製造装置)
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、昇降手段と、接着層16を上面に形成した封止基板18と昇降手段とを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を把持する冶具54aおよび54bとを備え、昇降手段によって、冶具50と冶具54aおよび54bを昇降させて、接着層16を、真空加熱下において、軟化した状態で有機EL素子40と押圧して、ITO基板10と封止基板18とを接着させる。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
The manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the first embodiment includes a lifting / lowering means, a jig 50 on which a sealing substrate 18 having an adhesive layer 16 formed on the upper surface and a lifting / lowering means are mounted, and an organic EL element 40. Jigs 54a and 54b for holding the ITO substrate 10 mounted on the upper surface, and the jig 50 and the jigs 54a and 54b are moved up and down by lifting means, and the adhesive layer 16 is organically softened under vacuum heating. The ITO substrate 10 and the sealing substrate 18 are bonded by pressing with the EL element 40.

昇降手段は、冶具50および冶具54aおよび54bの位置合せを実施した際に、冶具50、有機EL素子40およびITO基板10を含む重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しない強度を備え、かつプレスによって、収縮されて、接着層16と有機EL素子40とを貼り合せることができる。   The elevating means is a weight that includes the jig 50, the organic EL element 40, and the ITO substrate 10 when the jig 50 and the jigs 54 a and 54 b are aligned, and does not contact the adhesive layer 16 and the organic EL element 40. And the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 can be bonded together.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置においては、昇降手段は、バネ52aおよび52bを用いる。   In the solid-sealed organic EL device manufacturing apparatus according to the first embodiment, the elevating means uses springs 52a and 52b.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図3(a)〜図3(c)に示すように、バネ52aおよび52bと、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にバネ52aおよび52bとを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bとを備える。   As shown in FIGS. 3A to 3C, the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the first embodiment has a sealing structure in which springs 52a and 52b and an adhesive layer 16 are formed on the upper surface. A jig 50 on which the stop substrate 18 and springs 52a and 52b are mounted on both ends, and jigs 54a and 54b for holding the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted on both ends are provided.

る。尚、バネ52aおよび52bの材料としては、前述の通り、金属、プラスティックを用いることができる。バネ52aおよび52bは、位置合せを実施しただけでは、図3(b)に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図3(c)に示すように、収縮して、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる程度の強度を有する。すなわち、バネ52aおよび52bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような強度を備え、かつプレスによって、収縮するような材料で形成されていれば良い。 The As described above, metal and plastic can be used as the material for the springs 52a and 52b. As shown in FIG. 3 (b), the springs 52a and 52b are not attached to each other as shown in FIG. 3B. As shown in (c), the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are contracted and have a strength enough to be bonded. That is, when the upper and lower jigs 54a, 54b, 50 are aligned, the springs 52a and 52b are bonded with a set weight including the upper jigs 54a, 54b, the organic EL element 40, and the ITO substrate 10. It is sufficient that the layer 16 and the organic EL element 40 have a strength that does not come into contact with each other and are made of a material that can be shrunk by a press.

また、複数のバネは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されている。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。   In addition, for example, when the sealing substrate 18 has a substantially rectangular shape in plan view, the plurality of springs are arranged at the four corners. For example, when the sealing substrate 18 has an elongated rectangular shape in plan view, the sealing substrate 18 may be disposed at two locations on both ends of the rectangle.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、バネ52aおよび52bを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the first embodiment, for example, a thermoplastic sheet-like resin material is used for solid-sealing the organic EL element 40 as the adhesive layer 16. In addition, since the thermoplastic sheet-like resin material is heated in a vacuum state and the resin is sufficiently melted, it can be bonded using the jig 50 equipped with the springs 52a and 52b. The thermoplastic sheet resin material can be brought into close contact with the organic EL element 40 without causing physical damage.

尚、バネ52aおよび52bを搭載した冶具50と、ITO基板10を両端部で把持する冶具54aおよび54bの上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、冶具の上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。   When the jig 50 having the springs 52a and 52b and the jigs 54a and 54b holding the ITO substrate 10 at both ends are moved up and down, signals from various sensors such as a temperature sensor and a pressure sensor are used as electrical signals. By detecting and moving up and down the jig, the ITO substrate on which the organic EL element 40 is mounted and the sealing substrate can be bonded together.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, since the jig that can be bonded under vacuum heating is used, the bonding layer 16 is bonded in a soft state. Therefore, workability is improved and mass production can be achieved.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the adhesive layer 16 first contacts the organic EL element 40. Therefore, since the organic EL element 40 can be bonded without physically damaging, the manufacturing yield is improved even in an environment where foreign matter exists.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the first embodiment, the solid-sealing technology can be applied, so that it can be applied to a flexible element.

貼り合せ装置(真空ラミネータ)内に上下昇降機能を搭載した場合は、装置がチャンバーのような構造になり、大幅なコストアップになるのに対して、第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。   When the up-and-down moving function is mounted in the bonding apparatus (vacuum laminator), the apparatus becomes a chamber-like structure, which greatly increases the cost, whereas the solid sealing according to the first embodiment According to the manufacturing method of an organic EL device and the manufacturing apparatus thereof, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, so that the cost of the manufacturing apparatus can be significantly reduced.

第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility of bubbles remaining when the bonding is performed is drastically reduced.

第1の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。   According to the first embodiment, a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.

(第2の実施の形態)
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストン62は、図4に示すように、所定の気体63を充填したピストンシリンダ60と、ピストン棒61とを備える。ピストン62の動作方式として、リモコン制御による電気信号により、磁石やモータを用いてピストン棒61の高さを変える方式、圧力や温度によって、ピストン棒61の高さを変える方式がある。バネ方式では、バネの弾性率により、貼り合せプレスの際に、通常より加圧する必要がある。これに対して、ピストン方式では、ピストン棒61の高さが一定となるため、加圧の必要がなく、通常の条件で、貼り合せを実施することができる。
(Second Embodiment)
As shown in FIG. 4, the piston 62 applied to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment includes a piston cylinder 60 filled with a predetermined gas 63 and a piston rod 61. As an operation method of the piston 62, there are a method of changing the height of the piston rod 61 using a magnet or a motor by an electric signal by remote control, and a method of changing the height of the piston rod 61 according to pressure or temperature. In the spring method, it is necessary to pressurize more than usual in the bonding press due to the elastic modulus of the spring. On the other hand, in the piston system, since the height of the piston rod 61 is constant, it is not necessary to apply pressure, and bonding can be performed under normal conditions.

(固体封止有機EL装置の製造方法)
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図5(a)〜図5(c)に示すように表される。
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
A manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment is expressed as shown in FIGS.

(a)まず、図5(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン62aおよび62bとを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bを形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、第1の実施の形態と同様である。 (A) First, as shown in FIG. 5A, a jig 50 having a sealing substrate 18 with an adhesive layer 16 formed on the upper surface and pistons 62a and 62b on both ends is formed. Also, jigs 54a and 54b are formed to hold the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted on the upper surface at both ends. Here, the method of forming the adhesive layer 16 on the upper surface of the sealing substrate 18 and the method of forming the organic EL element 40 on the upper surface of the ITO substrate 10 are the same as in the first embodiment.

(b)次に、図5(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、かつ冶具54aおよび54bをピストン62aおよび62b上に対向させて、貼り合わせの準備を行う。 (B) Next, as shown in FIG. 5A, the sealing substrate 18 having the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 having the organic EL element 40 mounted on the upper surface are bonded to the adhesive layer 16 and the organic EL. The element 40 is made to face each other and the jigs 54a and 54b are made to face the pistons 62a and 62b to prepare for bonding.

(c)次に、図5(b)に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように位置合せを行い、冶具54aおよび54b、ITO基板10および有機EL素子40の重さによって、ピストン62aおよび62bを押し下げる。さらに、例えば、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。 (C) Next, as shown in FIG. 5B, for example, in an argon atmosphere, the sealing substrate 18 with the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 with the organic EL element 40 mounted on the upper surface are formed. Positioning is performed so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 face each other, and the pistons 62a and 62b are pushed down by the weights of the jigs 54a and 54b, the ITO substrate 10, and the organic EL element 40. Further, for example, vacuuming is performed to about 1 to 10 kPa, and the jig 50 side is heated at about 60 to 90 ° C. at a temperature T, for example, to soften the adhesive layer 16.

(d)次に、図5(c)に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、ピストン62aおよび62bを圧縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。なお、位置合せを実施しただけでは、図5(b)に示すように、ピストン62aおよび62bの効果によって、接着層16と有機EL素子40とは貼り合せされず、真空加熱後、プレスすることによって、図5(c)に示すように、ピストン62aおよび62bが圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる。すなわち、ピストン62aおよび62bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧縮強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて接着層16と有機EL素子40とが貼り合せされるような圧縮強度を備えている。 (D) Next, as shown in FIG. 5C, the pressure is returned to the atmospheric pressure, and the pressure of about 100 kPa is applied to the upper portion of the ITO substrate 1 in a state where the adhesive layer 16 is softened. The adhesive layer 16, the organic EL element 40, the ITO substrate 10, and the sealing substrate 18 are brought into close contact with each other by compressing 62 a and 62 b. Since heating is performed from the sealing substrate 18 side, heat transfer to the adhesive layer 16 is fast, and the heating time can be shortened. It should be noted that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are not bonded to each other by the effect of the pistons 62a and 62b as shown in FIG. Thus, as shown in FIG. 5C, the pistons 62a and 62b are compressed, and the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are pasted together. That is, when the upper and lower jigs 54a, 54b, 50 are aligned, the pistons 62a and 62b are bonded together with a set weight including the upper jigs 54a, 54b, the organic EL element 40, and the ITO substrate 10. The layer 16 and the organic EL element 40 have a compressive strength that does not come into contact with each other, and are compressed by a press so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together.

(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。 (E) Finally, it cools to room temperature, the contact bonding layer 16 is hardened, and the solid sealing organic electroluminescent apparatus 1 shown in FIGS. 1-2 is completed. In the case where a thermosetting resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by heating after being bonded to the organic EL element 40 in a softened state, and does not soften even when the temperature rises. Further, when a UV curable resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by irradiating with UV light and does not soften even when the temperature rises.

第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。   According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, when the adhesive layer 16 comes into contact with the organic EL element 40, the adhesive layer 16 is in a softened state. Even if there is a foreign matter such as dust on the surface of the organic EL element 40, the adhesive layer 16 takes in the foreign matter such as dust or dust into the inside, so that the bonding can be performed without damaging the organic EL element 40. . In addition, since the manufacturing process is performed with the organic EL element 40 facing downward, the possibility that foreign matters such as dust adhere to the organic EL element 40 is reduced. As a result, the yield can be improved even in a manufacturing environment in which foreign matter such as dust or dust exists.

また、第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。   Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, thermoplastic resin, or the like is used for the adhesive layer 16, the shape of the adhesive layer 16 at room temperature. Can be held. This is advantageous in terms of manufacturing process for increasing the size of the solid-sealed organic EL device.

また、第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。   Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the adhesive layer 16, in the manufacturing process, a roll type The supply form can be taken. This makes it possible to improve the efficiency of the manufacturing process.

第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。   According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, the yield can be improved.

(固体封止有機EL装置の製造装置)
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図5(a)〜図5(c)に示すように、昇降手段をバネからピストン62aおよび62bに変更したものであり、ピストン62aおよび62bと、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン62aおよび62bとを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bとを備える。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
As shown in FIGS. 5 (a) to 5 (c), the solid-sealed organic EL device manufacturing apparatus according to the second embodiment is obtained by changing the lifting means from a spring to pistons 62a and 62b. The pistons 62a and 62b, the sealing substrate 18 with the adhesive layer 16 formed on the upper surface, the jig 50 with the pistons 62a and 62b mounted on both ends, and the ITO substrate 10 with the organic EL element 40 mounted on the upper surfaces And jigs 54a and 54b to be gripped.

ピストン62aおよび62bは、位置合せを実施しただけでは、図5(b)に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図5(c)に示すように、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる。すなわち、ピストン62aおよび62bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧力強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる程度の圧力強度を有する。   As shown in FIG. 5 (b), the pistons 62a and 62b are not attached to each other as shown in FIG. 5B. As shown in (c), the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together by being compressed. That is, when the upper and lower jigs 54a, 54b, 50 are aligned, the pistons 62a and 62b are bonded together with a set weight including the upper jigs 54a, 54b, the organic EL element 40, and the ITO substrate 10. The layer 16 and the organic EL element 40 have such a pressure strength that they do not come into contact with each other, and are compressed by a press so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together.

また、複数のピストンは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されている。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。   Further, for example, when the sealing substrate 18 has a substantially square shape in plan view, the plurality of pistons are arranged at the four corners. For example, when the sealing substrate 18 has an elongated rectangular shape in plan view, the sealing substrate 18 may be disposed at two locations on both ends of the rectangle.

第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、ピストン62aおよび62bを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the second embodiment, as the adhesive layer 16, for example, when a thermoplastic sheet-like resin material is used for solid-sealing the organic EL element 40 In addition, since the thermoplastic sheet-like resin material is heated in a vacuum state and the resin is sufficiently melted, it can be bonded using the jig 50 equipped with the pistons 62a and 62b. The thermoplastic sheet resin material can be brought into close contact with the organic EL element 40 without causing physical damage.

尚、ピストン62aおよび62bを搭載した冶具50と、ITO基板10を両端部で把持する冶具54aおよび54bの上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、冶具の上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。   When the jig 50 having the pistons 62a and 62b and the jigs 54a and 54b for holding the ITO substrate 10 at both ends are moved up and down, signals from various sensors such as a temperature sensor and a pressure sensor are used as electrical signals. By detecting and moving up and down the jig, the ITO substrate on which the organic EL element 40 is mounted and the sealing substrate can be bonded together.

第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, since the jig that can be bonded under vacuum heating is used, the bonding layer 16 is bonded in a soft state. Therefore, workability is improved and mass production can be achieved.

第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。   According to the method of manufacturing a solid-sealed organic EL device and the manufacturing device thereof according to the second embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the adhesive layer 16 is in contact with the organic EL element 40 for the first time. Therefore, since the organic EL element 40 can be bonded without physically damaging, the manufacturing yield is improved even in an environment where foreign matter exists.

第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the second embodiment, the solid-sealing technology can be applied, so that it can be applied to a flexible element.

第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, which can greatly reduce the cost of the manufacturing apparatus. it can.

第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility that air bubbles remain when the bonding is performed is drastically reduced.

第2の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。   According to the second embodiment, a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.

(第3の実施の形態)
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストン72は、図6に示すように、所定の熱可塑性材料73を充填したピストンシリンダ70と、ピストン棒71とを備える。熱可塑性材料73としては、例えばポリスチレン系、ポリオレフィン系、ポリエステル系、その他の複合材料等からなる熱可塑性エラストマーなどを適用することができる。
(Third embodiment)
As shown in FIG. 6, the piston 72 applied to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment includes a piston cylinder 70 filled with a predetermined thermoplastic material 73 and a piston rod 71. Prepare. As the thermoplastic material 73, for example, a thermoplastic elastomer made of polystyrene, polyolefin, polyester, or other composite materials can be applied.

ピストン72内に充填される熱可塑性材料73としては、室温では硬いが、温度をある温度まで上昇すると、溶けて流動的になるような材料を使用する。熱可塑性材料73を内部に充填させたピストン72が、ある温度まで上昇すると、熱可塑性材料73が溶けて流動的になり、ピストン72のピストン棒71が下がる。バネ方式では、バネの弾性率により、貼り合せプレスの際に、通常より加圧する必要がある。これに対して、ピストン方式では、ピストン棒71の高さが一定となるため、加圧の必要がなく、通常の条件で、貼り合せを実施することができる点は第2の実施の形態と同様である。   As the thermoplastic material 73 filled in the piston 72, a material that is hard at room temperature but melts and becomes fluid when the temperature is raised to a certain temperature is used. When the piston 72 filled with the thermoplastic material 73 rises to a certain temperature, the thermoplastic material 73 melts and becomes fluid, and the piston rod 71 of the piston 72 falls. In the spring method, it is necessary to pressurize more than usual in the bonding press due to the elastic modulus of the spring. On the other hand, in the piston system, since the height of the piston rod 71 is constant, there is no need for pressurization, and the bonding can be performed under normal conditions, as in the second embodiment. It is the same.

(固体封止有機EL装置の製造方法)
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図7(a)〜図7(c)に示すように表される。
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
A method for manufacturing a solid-sealed organic EL device according to the third embodiment is expressed as shown in FIGS.

(a)まず、図7(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン72aおよび72bとを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bを形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、第1の実施の形態と同様である。 (A) First, as shown in FIG. 7A, a jig 50 having a sealing substrate 18 with an adhesive layer 16 formed on the upper surface and pistons 72a and 72b on both ends is formed. Also, jigs 54a and 54b are formed to hold the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted on the upper surface at both ends. Here, the method of forming the adhesive layer 16 on the upper surface of the sealing substrate 18 and the method of forming the organic EL element 40 on the upper surface of the ITO substrate 10 are the same as in the first embodiment.

(b)次に、図7(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、かつ冶具54aおよび54bをピストン72aおよび72b上に対向させて、貼り合わせの準備を行う。 (B) Next, as shown in FIG. 7A, the sealing substrate 18 with the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 with the organic EL element 40 mounted on the upper surface are bonded to the adhesive layer 16 and the organic EL. The element 40 is made to face each other and the jigs 54a and 54b are made to face the pistons 72a and 72b to prepare for bonding.

(c)次に、図7(b)に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように位置合せを行い、冶具54aおよび54b、ITO基板10および有機EL素子40の重さによって、ピストン72aおよび72bを押し下げる。さらに、例えば、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。同時に、ピストンシリンダ70内に充填される熱可塑性材料73としては、室温では硬いが、温度をある温度まで上昇すると、溶けて流動的になるような材料を使用するため、熱可塑性材料73を内部に充填させたピストン72が、ある温度まで上昇すると、熱可塑性材料73が溶けて流動的になり、ピストン72のピストン棒71が下がる。 (C) Next, as shown in FIG. 7B, for example, in an argon atmosphere, the sealing substrate 18 having the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 having the organic EL element 40 mounted on the upper surface are formed. Positioning is performed so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 face each other, and the pistons 72a and 72b are pushed down by the weights of the jigs 54a and 54b, the ITO substrate 10, and the organic EL element 40. Further, for example, vacuuming is performed to about 1 to 10 kPa, and the jig 50 side is heated at about 60 to 90 ° C. at a temperature T, for example, to soften the adhesive layer 16. At the same time, as the thermoplastic material 73 filled in the piston cylinder 70, a material that is hard at room temperature but melts and becomes fluid when the temperature is raised to a certain temperature is used. When the piston 72 filled in is raised to a certain temperature, the thermoplastic material 73 is melted and fluidized, and the piston rod 71 of the piston 72 is lowered.

(d)次に、図7(c)に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、ピストン72aおよび72bを圧縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。なお、位置合せを実施しただけでは、図7(b)に示すように、ピストン72aおよび72bの効果によって、接着層16と有機EL素子40とは貼り合せされず、真空加熱後、プレスすることによって、図7(c)に示すように、ピストン72aおよび72bが圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる。すなわち、ピストン72aおよび72bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧縮強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて接着層16と有機EL素子40とが貼り合せされるような圧縮強度を備えている。 (D) Next, as shown in FIG. 7C, the pressure is returned to the atmospheric pressure, and the pressure of about 100 kPa is applied to the upper portion of the ITO substrate 1 in a state where the adhesive layer 16 is softened. The adhesive layer 16, the organic EL element 40, the ITO substrate 10, and the sealing substrate 18 are brought into close contact with each other by compressing 72 a and 72 b. Since heating is performed from the sealing substrate 18 side, heat transfer to the adhesive layer 16 is fast, and the heating time can be shortened. 7B, the bonding layer 16 and the organic EL element 40 are not bonded to each other due to the effects of the pistons 72a and 72b, and pressing is performed after vacuum heating as shown in FIG. 7B. Thus, as shown in FIG. 7C, the pistons 72a and 72b are compressed, and the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are pasted together. That is, when the upper and lower jigs 54a, 54b, 50 are aligned, the pistons 72a and 72b are bonded together with a set weight including the upper jigs 54a, 54b, the organic EL element 40, and the ITO substrate 10. The layer 16 and the organic EL element 40 have a compressive strength that does not come into contact with each other, and are compressed by a press so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together.

(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。 (E) Finally, it cools to room temperature, the contact bonding layer 16 is hardened, and the solid sealing organic electroluminescent apparatus 1 shown in FIGS. 1-2 is completed. In the case where a thermosetting resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by heating after being bonded to the organic EL element 40 in a softened state, and does not soften even when the temperature rises. Further, when a UV curable resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by irradiating with UV light and does not soften even when the temperature rises.

第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。   According to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, when the adhesive layer 16 comes into contact with the organic EL element 40, the adhesive layer 16 is in a softened state, Even if there is a foreign matter such as dust on the surface of the organic EL element 40, the adhesive layer 16 takes in the foreign matter such as dust or dust into the inside, so that the bonding can be performed without damaging the organic EL element 40. . In addition, since the manufacturing process is performed with the organic EL element 40 facing downward, the possibility that foreign matters such as dust adhere to the organic EL element 40 is reduced. As a result, the yield can be improved even in a manufacturing environment in which foreign matter such as dust or dust exists.

また、第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。   Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, thermoplastic resin, or the like is used for the adhesive layer 16, the shape of the adhesive layer 16 at room temperature. Can be held. This is advantageous in terms of manufacturing process for increasing the size of the solid-sealed organic EL device.

また、第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。   Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the adhesive layer 16, in the manufacturing process, a roll type The supply form can be taken. This makes it possible to improve the efficiency of the manufacturing process.

第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。   According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, the yield can be improved.

(固体封止有機EL装置の製造装置)
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図7(a)〜図7(c)に示すように、ピストン72aおよび72bと、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン72aおよび72bとを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bとを備える。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
As shown in FIGS. 7 (a) to 7 (c), the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the third embodiment has a sealed structure in which pistons 72a and 72b and an adhesive layer 16 are formed on the upper surface. A jig 50 on which the stop substrate 18 and pistons 72a and 72b are mounted on both ends, and jigs 54a and 54b that hold the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted on both ends are provided.

ピストン72aおよび72bは、位置合せを実施しただけでは、図7(b)に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図7(c)に示すように、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる。すなわち、ピストン72aおよび72bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧力強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる程度の圧力強度を有する。   As shown in FIG. 7 (b), the pistons 72a and 72b are not bonded to each other as shown in FIG. 7B. As shown in (c), the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together by being compressed. That is, when the upper and lower jigs 54a, 54b, 50 are aligned, the pistons 72a and 72b are bonded together with a set weight including the upper jigs 54a, 54b, the organic EL element 40, and the ITO substrate 10. The layer 16 and the organic EL element 40 have such a pressure strength that they do not come into contact with each other, and are compressed by a press so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together.

また、複数のピストンは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されている。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。   Further, for example, when the sealing substrate 18 has a substantially square shape in plan view, the plurality of pistons are arranged at the four corners. For example, when the sealing substrate 18 has an elongated rectangular shape in plan view, the sealing substrate 18 may be disposed at two locations on both ends of the rectangle.

第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、ピストン72aおよび72bを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the third embodiment, for example, a thermoplastic sheet-like resin material is used for solid-sealing the organic EL element 40 as the adhesive layer 16. In addition, since the thermoplastic sheet-like resin material is heated in a vacuum state and the resin is sufficiently melted, it can be bonded using the jig 50 equipped with the pistons 72a and 72b. The thermoplastic sheet resin material can be brought into close contact with the organic EL element 40 without causing physical damage.

尚、ピストン72aおよび72bを搭載した冶具50と、ITO基板10を両端部で把持する冶具54aおよび54bの上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、冶具の上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。   When the jig 50 having the pistons 72a and 72b and the jigs 54a and 54b for holding the ITO substrate 10 at both ends are moved up and down, signals from various sensors such as a temperature sensor and a pressure sensor are used as electrical signals. By detecting and moving up and down the jig, the ITO substrate on which the organic EL element 40 is mounted and the sealing substrate can be bonded together.

第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, since the jig that can be bonded under vacuum heating is used, the bonding layer 16 is bonded in a soft state. Therefore, workability is improved and mass production can be achieved.

第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。   According to the method of manufacturing a solid-sealed organic EL device and the manufacturing device thereof according to the third embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the adhesive layer 16 comes into contact with the organic EL element 40 for the first time. Therefore, since the organic EL element 40 can be bonded without physically damaging, the manufacturing yield is improved even in an environment where foreign matter exists.

第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the third embodiment, the solid-sealing technology can be applied, so that it can be applied to a flexible element.

第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, which can greatly reduce the cost of the manufacturing apparatus. it can.

第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility that air bubbles remain when the bonding is performed is drastically reduced.

第3の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。   According to the third embodiment, a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.

(第4の実施の形態)
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストン82は、図8に示すように、所定の感温性ゲル83を充填したピストンシリンダ80と、ピストン棒81とを備える。感温性ゲル83とは、溶媒を多く含むゲル(架橋高分子)が、温度変化によってゲル内部にある溶媒とゲル自身が分離する相分離(分離現象)を引き起こし、ゲルの体積が変化するものである。すなわち、図8に示すように、感温性ゲル83と空気、窒素ガス、希ガスなどの気体85を充填したピストンシリンダ80の温度が上昇して、所定の温度に達すると、感温性ゲル83が相分離を起こし、相分離した感温性ゲル84と相分離していない感温性ゲル83に分離し、相分離した感温性ゲル84の粘度が低いことから、ピストン棒81が下がる。第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法においても、ピストン棒81の高さが一定となるため、加圧の必要がなく、通常の条件で、貼り合せを実施することができる点は第2の実施の形態と同様である。
(Fourth embodiment)
As shown in FIG. 8, the piston 82 applied to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment includes a piston cylinder 80 filled with a predetermined temperature-sensitive gel 83, a piston rod 81, Is provided. The thermosensitive gel 83 is a gel in which a gel (crosslinked polymer) containing a large amount of solvent causes a phase separation (separation phenomenon) in which the solvent in the gel separates from the gel itself due to a temperature change, and the volume of the gel changes. It is. That is, as shown in FIG. 8, when the temperature of the piston cylinder 80 filled with the temperature-sensitive gel 83 and the gas 85 such as air, nitrogen gas, or rare gas rises and reaches a predetermined temperature, the temperature-sensitive gel 83 is phase-separated and separated into the temperature-sensitive gel 83 that is not phase-separated from the phase-separated temperature-sensitive gel 84, and the piston rod 81 is lowered because the viscosity of the phase-separated temperature-sensitive gel 84 is low. . Also in the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, since the height of the piston rod 81 is constant, there is no need for pressurization, and bonding is performed under normal conditions. This is the same as in the second embodiment.

感温性ゲル83の例としては、イオン液体(イオン性液体)を構造内に多く有するゲルを適用することができ、具体的には、四級オニウム塩を有するポリスチレン系のゲル、イミダゾリウム塩を含むゲルなどを適用することができる。   As an example of the temperature-sensitive gel 83, a gel having a large amount of ionic liquid (ionic liquid) in the structure can be applied. Specifically, a polystyrene-based gel having a quaternary onium salt, an imidazolium salt A gel or the like containing can be applied.

(固体封止有機EL装置の製造方法)
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図9(a)〜図9(c)に示すように表される。
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
The manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment is expressed as shown in FIGS. 9 (a) to 9 (c).

(a)まず、図9(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン82aおよび82bとを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bを形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、第1の実施の形態と同様である。 (A) First, as shown in FIG. 9A, a jig 50 having a sealing substrate 18 with an adhesive layer 16 formed on the upper surface and pistons 82a and 82b on both ends is formed. Also, jigs 54a and 54b are formed to hold the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted on the upper surface at both ends. Here, the method of forming the adhesive layer 16 on the upper surface of the sealing substrate 18 and the method of forming the organic EL element 40 on the upper surface of the ITO substrate 10 are the same as in the first embodiment.

(b)次に、図9(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、かつ冶具54aおよび54bをピストン82aおよび82b上に対向させて、貼り合わせの準備を行う。 (B) Next, as shown in FIG. 9A, the sealing substrate 18 having the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 having the organic EL element 40 mounted on the upper surface are bonded to the adhesive layer 16 and the organic EL. The element 40 is made to face each other and the jigs 54a and 54b are made to face the pistons 82a and 82b to prepare for bonding.

(c)次に、図9(b)に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように位置合せを行い、冶具54aおよび54b、ITO基板10および有機EL素子40の重さによって、ピストン82aおよび82bを押し下げる。さらに、例えば、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。同時に、ピストンシリンダ80内に充填される感温性ゲル83としては、室温では粘性が高いが、温度をある温度まで上昇すると、相分離を起こし粘性が低くなるような材料を使用する。このため、感温性ゲル83を内部に充填させたピストン82が、ある温度まで上昇すると、感温性ゲル83が相分離をした感温性ゲル84に変化し、ピストン82のピストン棒81が下がる。 (C) Next, as shown in FIG. 9B, for example, in an argon atmosphere, the sealing substrate 18 having the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 having the organic EL element 40 mounted on the upper surface are formed. Positioning is performed so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 face each other, and the pistons 82a and 82b are pushed down by the weights of the jigs 54a and 54b, the ITO substrate 10 and the organic EL element 40. Further, for example, vacuuming is performed to about 1 to 10 kPa, and the jig 50 side is heated at about 60 to 90 ° C. at a temperature T, for example, to soften the adhesive layer 16. At the same time, the temperature-sensitive gel 83 filled in the piston cylinder 80 is made of a material that has high viscosity at room temperature but causes phase separation and lowers viscosity when the temperature is raised to a certain temperature. For this reason, when the piston 82 filled with the temperature-sensitive gel 83 rises to a certain temperature, the temperature-sensitive gel 83 changes to a temperature-sensitive gel 84 that has undergone phase separation, and the piston rod 81 of the piston 82 Go down.

(d)次に、図9(c)に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、ピストン82aおよび82bを圧縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。なお、位置合せを実施しただけでは、図9(b)に示すように、ピストン82aおよび82bの効果によって、接着層16と有機EL素子40とは貼り合せされず、真空加熱後、プレスすることによって、図9(c)に示すように、ピストン82aおよび82bが圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる。すなわち、ピストン82aおよび82bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧縮強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて接着層16と有機EL素子40とが貼り合せされるような圧縮強度を備えている。 (D) Next, as shown in FIG. 9C, the pressure is returned to the atmospheric pressure, and the pressure of about 100 kPa is applied to the upper portion of the ITO substrate 1 with the adhesive layer 16 softened, and the piston The adhesive layer 16, the organic EL element 40, the ITO substrate 10, and the sealing substrate 18 are brought into close contact with each other by compressing 82 a and 82 b. Since heating is performed from the sealing substrate 18 side, heat transfer to the adhesive layer 16 is fast, and the heating time can be shortened. 9B, the bonding layer 16 and the organic EL element 40 are not bonded to each other due to the effects of the pistons 82a and 82b as shown in FIG. 9B. Thus, as shown in FIG. 9C, the pistons 82a and 82b are compressed, and the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are pasted together. That is, when the upper and lower jigs 54a, 54b, 50 are aligned, the pistons 82a and 82b are bonded with a set weight including the upper jigs 54a, 54b, the organic EL element 40, and the ITO substrate 10. The layer 16 and the organic EL element 40 have a compressive strength that does not come into contact with each other, and are compressed by a press so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together.

(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。 (E) Finally, it cools to room temperature, the contact bonding layer 16 is hardened, and the solid sealing organic electroluminescent apparatus 1 shown in FIGS. 1-2 is completed. In the case where a thermosetting resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by heating after being bonded to the organic EL element 40 in a softened state, and does not soften even when the temperature rises. Further, when a UV curable resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by irradiating with UV light and does not soften even when the temperature rises.

第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。   According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, when the adhesive layer 16 comes into contact with the organic EL element 40, the adhesive layer 16 is in a softened state. Even if there is a foreign matter such as dust on the surface of the organic EL element 40, the adhesive layer 16 takes in the foreign matter such as dust or dust into the inside, so that the bonding can be performed without damaging the organic EL element 40. . In addition, since the manufacturing process is performed with the organic EL element 40 facing downward, the possibility that foreign matters such as dust adhere to the organic EL element 40 is reduced. As a result, the yield can be improved even in a manufacturing environment in which foreign matter such as dust or dust exists.

また、第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。   Further, according to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, thermoplastic resin, or the like is used for the adhesive layer 16, the shape of the adhesive layer 16 at room temperature. Can be held. This is advantageous in terms of manufacturing process for increasing the size of the solid-sealed organic EL device.

また、第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。   Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the adhesive layer 16, in the manufacturing process, a roll type The supply form can be taken. This makes it possible to improve the efficiency of the manufacturing process.

第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。   According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, the yield can be improved.

(固体封止有機EL装置の製造装置)
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図9(a)〜図9(c)に示すように、ピストン82aおよび82bと、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン82aおよび82bとを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bとを備える。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
As shown in FIGS. 9 (a) to 9 (c), a manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment has a sealed structure in which pistons 82a and 82b and an adhesive layer 16 are formed on the upper surface. A jig 50 on which the stop substrate 18 and pistons 82a and 82b are mounted at both ends, and jigs 54a and 54b for holding the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted on both ends are provided.

ピストン82aおよび82bは、位置合せを実施しただけでは、図9(b)に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図9(c)に示すように、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる。すなわち、ピストン82aおよび82bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧力強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる程度の圧力強度を有する。   As shown in FIG. 9 (b), the pistons 82a and 82b are not bonded to each other as shown in FIG. 9B. As shown in (c), the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together by being compressed. That is, when the upper and lower jigs 54a, 54b, 50 are aligned, the pistons 82a and 82b are bonded together with a set weight including the upper jigs 54a, 54b, the organic EL element 40, and the ITO substrate 10. The layer 16 and the organic EL element 40 have such a pressure strength that they do not come into contact with each other, and are compressed by a press so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together.

また、複数のピストンは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されている。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。   Further, for example, when the sealing substrate 18 has a substantially square shape in plan view, the plurality of pistons are arranged at the four corners. For example, when the sealing substrate 18 has an elongated rectangular shape in plan view, the sealing substrate 18 may be disposed at two locations on both ends of the rectangle.

第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、ピストン82aおよび82bを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the fourth embodiment, as the adhesive layer 16, for example, when a thermoplastic sheet-like resin material is used for solid-sealing the organic EL element 40 In addition, since the thermoplastic sheet-like resin material is heated in a vacuum state and the resin is sufficiently melted, it can be bonded using the jig 50 equipped with the pistons 82a and 82b. The thermoplastic sheet resin material can be brought into close contact with the organic EL element 40 without causing physical damage.

尚、ピストン82aおよび82bを搭載した冶具50と、ITO基板10を両端部で把持する冶具54aおよび54bの上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、冶具の上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。   When the jig 50 having the pistons 82a and 82b and the jigs 54a and 54b holding the ITO substrate 10 at both ends are moved up and down, signals from various sensors such as a temperature sensor and a pressure sensor are used as electrical signals. By detecting and moving up and down the jig, the ITO substrate on which the organic EL element 40 is mounted and the sealing substrate can be bonded together.

第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, since the jig that can be bonded under vacuum heating is used, the bonding layer 16 is bonded in a soft state. Therefore, workability is improved and mass production can be achieved.

第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。   According to the method of manufacturing a solid-sealed organic EL device and the manufacturing device thereof according to the fourth embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the adhesive layer 16 comes into contact with the organic EL element 40 for the first time. Therefore, since the organic EL element 40 can be bonded without physically damaging, the manufacturing yield is improved even in an environment where foreign matter exists.

第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the fourth embodiment, the solid-sealing technology can be applied, so that it can be applied to a flexible element.

第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, which can greatly reduce the cost of the manufacturing apparatus. it can.

第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the manufacturing apparatus thereof according to the fourth embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility that bubbles remain when bonded is drastically reduced.

第4の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。   According to the fourth embodiment, a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.

(第5の実施の形態)
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストン92は、図10に示すように、風船93を内包するピストンシリンダ90と、ピストン棒91とを備える。風船93の中の気体は、一般的に害が少ないような気体(空気、窒素、アルゴンなど)を適用することができる。風船93は、再利用可能なものでも良く、或いは使い捨てタイプのものであっても良い。
(Fifth embodiment)
As shown in FIG. 10, the piston 92 applied to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment includes a piston cylinder 90 that encloses a balloon 93 and a piston rod 91. As the gas in the balloon 93, a gas (air, nitrogen, argon, etc.) that is generally less harmful can be applied. The balloon 93 may be reusable or disposable.

第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストン92は、圧力感知式のものであって、外気がある真空度になると、中の気体が膨張して風船93が破れるようなものを使用する。風船93が破れた結果、しぼんだ風船94のようになり、ピストン棒91が下がる。   The piston 92 applied to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment is of a pressure sensing type, and when the outside air reaches a certain degree of vacuum, the gas inside expands and the balloon 93 Use something that breaks. As a result of the balloon 93 being torn, it looks like a deflated balloon 94 and the piston rod 91 is lowered.

(固体封止有機EL装置の製造方法)
第5実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図11(a)〜図11(b)に示すように表される。
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
A method for manufacturing a solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment is expressed as shown in FIGS.

(a)まず、図11(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン92aおよび92bとを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bを形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、第1の実施の形態と同様である。 (A) First, as shown in FIG. 11A, a jig 50 having a sealing substrate 18 with an adhesive layer 16 formed on the upper surface and pistons 92a and 92b on both ends is formed. Also, jigs 54a and 54b are formed to hold the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted on the upper surface at both ends. Here, the method of forming the adhesive layer 16 on the upper surface of the sealing substrate 18 and the method of forming the organic EL element 40 on the upper surface of the ITO substrate 10 are the same as in the first embodiment.

(b)次に、図11(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、かつ冶具54aおよび54bをピストン82aおよび82b上に対向させて、貼り合わせの準備を行う。 (B) Next, as shown in FIG. 11A, the sealing substrate 18 with the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 with the organic EL element 40 mounted on the upper surface are bonded to the adhesive layer 16 and the organic EL. The element 40 is made to face each other and the jigs 54a and 54b are made to face the pistons 82a and 82b to prepare for bonding.

(c)次に、図11(b)に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように位置合せを行い、冶具54aおよび54b、ITO基板10および有機EL素子40の重さによって、ピストン92aおよび92bを押し下げる。さらに、例えば、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。同時に、ピストンシリンダ90内に内包される風船93は、外気がある真空度になると、中の気体が膨張して風船93が破れる。風船93が破れた結果、しぼんだ風船94のようになり、ピストン棒91が下がる。 (C) Next, as shown in FIG. 11B, for example, in an argon atmosphere, the sealing substrate 18 having the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 having the organic EL element 40 mounted on the upper surface are formed. Positioning is performed so that the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 face each other, and the pistons 92a and 92b are pushed down by the weights of the jigs 54a and 54b, the ITO substrate 10 and the organic EL element 40. Further, for example, vacuuming is performed to about 1 to 10 kPa, and the jig 50 side is heated at about 60 to 90 ° C. at a temperature T, for example, to soften the adhesive layer 16. At the same time, when the balloon 93 contained in the piston cylinder 90 reaches a certain degree of vacuum, the inside gas expands and the balloon 93 is broken. As a result of the balloon 93 being torn, it looks like a deflated balloon 94 and the piston rod 91 is lowered.

(d)次に、図11(b)に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、ピストン82aおよび82bを圧縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。 (D) Next, as shown in FIG. 11 (b), the pressure is returned to the atmospheric pressure, and with the adhesive layer 16 softened, a pressure P of about 100 kPa is applied to the upper portion of the ITO substrate 1 to The adhesive layer 16, the organic EL element 40, the ITO substrate 10, and the sealing substrate 18 are brought into close contact with each other by compressing 82 a and 82 b. Since heating is performed from the sealing substrate 18 side, heat transfer to the adhesive layer 16 is fast, and the heating time can be shortened.

(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。 (E) Finally, it cools to room temperature, the contact bonding layer 16 is hardened, and the solid sealing organic electroluminescent apparatus 1 shown in FIGS. 1-2 is completed. In the case where a thermosetting resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by heating after being bonded to the organic EL element 40 in a softened state, and does not soften even when the temperature rises. Further, when a UV curable resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by irradiating with UV light and does not soften even when the temperature rises.

第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。   According to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, when the adhesive layer 16 comes into contact with the organic EL element 40, the adhesive layer 16 is in a softened state, Even if there is a foreign matter such as dust on the surface of the organic EL element 40, the adhesive layer 16 takes in the foreign matter such as dust or dust into the inside, so that the bonding can be performed without damaging the organic EL element 40. . In addition, since the manufacturing process is performed with the organic EL element 40 facing downward, the possibility that foreign matters such as dust adhere to the organic EL element 40 is reduced. As a result, the yield can be improved even in a manufacturing environment in which foreign matter such as dust or dust exists.

また、第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。   Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, the thermoplastic resin, or the like is used for the adhesive layer 16, the shape of the adhesive layer 16 at room temperature. Can be held. This is advantageous in terms of manufacturing process for increasing the size of the solid-sealed organic EL device.

また、第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。   Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the adhesive layer 16, in the manufacturing process, a roll type The supply form can be taken. This makes it possible to improve the efficiency of the manufacturing process.

第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。   According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, the yield can be improved.

(固体封止有機EL装置の製造装置)
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図11(a)〜図11(c)に示すように、ピストン92aおよび92bと、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン92aおよび92bとを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bとを備える。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
As shown in FIGS. 11 (a) to 11 (c), the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment has a sealing structure in which pistons 92a and 92b and an adhesive layer 16 are formed on the upper surface. A jig 50 on which the stop substrate 18 and pistons 92a and 92b are mounted at both ends, and jigs 54a and 54b for holding the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted on both ends are provided.

ピストン92aおよび92bは、位置合せを実施しただけでは、図11(a)に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図11(b)に示すように、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40と貼り合わせされる。すなわち、ピストン92aおよび92bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧力強度を備える。外気がある真空度になり、中の気体が膨張して風船93が破れた結果、しぼんだ風船94のようになり、ピストン棒91が下がり、かつプレスによって、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる。   As shown in FIG. 11 (a), the pistons 92a and 92b are not attached to each other as shown in FIG. 11 (a). As shown in (b), the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are bonded together by being compressed. That is, when the upper and lower jigs 54a, 54b, 50 are aligned, the pistons 92a and 92b are bonded together with a set weight including the upper jigs 54a, 54b, the organic EL element 40, and the ITO substrate 10. The layer 16 and the organic EL element 40 are provided with such a pressure strength that they do not come into contact with each other. As a result of the outside air becoming a certain degree of vacuum, the gas inside expands and the balloon 93 is torn, it becomes like a deflated balloon 94, the piston rod 91 is lowered, and the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are Are pasted together.

また、複数のピストンは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されている。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。   Further, for example, when the sealing substrate 18 has a substantially square shape in plan view, the plurality of pistons are arranged at the four corners. For example, when the sealing substrate 18 has an elongated rectangular shape in plan view, the sealing substrate 18 may be disposed at two locations on both ends of the rectangle.

第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、ピストン92aおよび92bを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the fifth embodiment, for example, a thermoplastic sheet-like resin material is used as the adhesive layer 16 for solid-sealing the organic EL element 40. In addition, since the thermoplastic sheet-like resin material is heated in a vacuum state and the resin is sufficiently melted, it can be bonded using the jig 50 equipped with the pistons 92a and 92b. The thermoplastic sheet resin material can be brought into close contact with the organic EL element 40 without causing physical damage.

尚、ピストン92aおよび92bを搭載した冶具50と、ITO基板10を両端部で把持する冶具54aおよび54bの上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、冶具の上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。   When the jig 50 having the pistons 92a and 92b and the jigs 54a and 54b holding the ITO substrate 10 at both ends are moved up and down, signals from various sensors such as a temperature sensor and a pressure sensor are used as electrical signals. By detecting and moving up and down the jig, the ITO substrate on which the organic EL element 40 is mounted and the sealing substrate can be bonded together.

第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, since a jig that can be bonded under vacuum heating is used, bonding is performed with the adhesive layer 16 in a soft state. Therefore, workability is improved and mass production can be achieved.

第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the adhesive layer 16 is in contact with the organic EL element 40 for the first time. Therefore, since the organic EL element 40 can be bonded without physically damaging, the manufacturing yield is improved even in an environment where foreign matter exists.

第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the fifth embodiment, since the solid-sealing technique is applied, it can be applied to a flexible element.

第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, which can greatly reduce the cost of the manufacturing apparatus. it can.

第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the fifth embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility of bubbles remaining at the time of bonding is greatly reduced.

第5の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。   According to the fifth embodiment, a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.

(第6の実施の形態)
(固体封止有機EL装置の製造方法)
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図12〜図15に示すように表される。
(Sixth embodiment)
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
A method for manufacturing a solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment is expressed as shown in FIGS.

(a)まず、図12に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18をバネ51a〜51c上に配置し、当該バネ51a〜51cを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、第1の実施の形態と同様である。尚、バネ51a〜51cの材料としては、金属、プラスティックを用いることができる。また、図12に示すように、バネ51a〜51cおよび接着層16を上面に形成した封止基板18は、冶具50内に形成された溝内に配置されており、溝の側壁の肩部には、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を嵌合可能なITO基板嵌合部55aおよび55bが形成されている。 (A) First, as shown in FIG. 12, the sealing substrate 18 on which the adhesive layer 16 is formed is disposed on the springs 51a to 51c, and the jig 50 on which the springs 51a to 51c are mounted is formed. In addition, the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted is formed. Here, the method of forming the adhesive layer 16 on the upper surface of the sealing substrate 18 and the method of forming the organic EL element 40 on the upper surface of the ITO substrate 10 are the same as in the first embodiment. In addition, a metal and a plastic can be used as a material of the springs 51a to 51c. Further, as shown in FIG. 12, the sealing substrate 18 having the springs 51a to 51c and the adhesive layer 16 formed on the upper surface is disposed in a groove formed in the jig 50, and on the shoulder of the side wall of the groove. Are formed with ITO substrate fitting portions 55a and 55b capable of fitting the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted.

(b)次に、図13に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、貼り合わせの準備を行う。ここで、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10は、ITO基板嵌合部55aおよび55bに嵌合されている。図13に示す状態では、点線部分Aに示すように、有機EL素子40と接着層16とは接触していない。 (B) Next, as shown in FIG. 13, for example, in an argon atmosphere, the sealing substrate 18 having the adhesive layer 16 formed on the upper surface and the ITO substrate 10 having the organic EL element 40 mounted on the upper surface are bonded to the adhesive layer 16. And the organic EL element 40 face each other so as to face each other. Here, the ITO substrate 10 on which the organic EL element 40 is mounted is fitted to the ITO substrate fitting portions 55a and 55b. In the state shown in FIG. 13, as indicated by the dotted line portion A, the organic EL element 40 and the adhesive layer 16 are not in contact.

(c)次に、図13に示すように、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。 (C) Next, as shown in FIG. 13, vacuuming is performed to about 1 to 10 kPa, and the jig 50 side is heated at about 60 to 90 ° C., for example, at a temperature T, and the adhesive layer 16 is softened. To do.

(d)次に、図14に示すように、バネ51a〜51cは、熱膨張の高い金属材料で形成されているため、加熱により金属の熱膨張を利用して、封止基板18を持ち上げることができる。この結果、有機EL素子40と接着層16とは接触する。接着層16は充分に溶けた状態で接触する。バネ51a〜51cは、図14に示すように、加熱により金属の熱膨張を利用して、封止基板18を持ち上げると共に、さらに、ITO基板10も持ち上げることができる。 (D) Next, as shown in FIG. 14, the springs 51 a to 51 c are made of a metal material having a high thermal expansion, so that the sealing substrate 18 is lifted by utilizing the thermal expansion of the metal by heating. Can do. As a result, the organic EL element 40 and the adhesive layer 16 are in contact with each other. The adhesive layer 16 contacts in a sufficiently melted state. As shown in FIG. 14, the springs 51 a to 51 c can lift the sealing substrate 18 by utilizing the thermal expansion of metal by heating, and can also lift the ITO substrate 10.

(d)次に、図15に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、バネ51a〜51cを収縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。なお、図12〜図15は側面図を表し、陽極層12、有機EL層30、保護膜20および陰極層14を省略し、簡略化して示している。 (D) Next, as shown in FIG. 15, the pressure is returned to the atmospheric pressure, and with the adhesive layer 16 softened, a pressure P of about 100 kPa is applied to the top of the ITO substrate 1, and the springs 51 a to 51 c. The adhesive layer 16 and the organic EL element 40 and the ITO substrate 10 and the sealing substrate 18 are brought into close contact with each other. Since heating is performed from the sealing substrate 18 side, heat transfer to the adhesive layer 16 is fast, and the heating time can be shortened. 12 to 15 show side views, and the anode layer 12, the organic EL layer 30, the protective film 20, and the cathode layer 14 are omitted and simplified.

位置合せを実施しただけでは、図13に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、バネ51a〜51cが伸びることによって、図14に示すように、接着層16と有機EL素子40とが接触し、さらに、図15に示すように、プレスすることよって、貼りあわされる点である。   As shown in FIG. 13, the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are not attached to each other only by performing alignment, and the springs 51 a to 51 c are stretched after vacuum heating, as shown in FIG. 14. The adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are in contact with each other, and are further bonded together by pressing as shown in FIG.

(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。 (E) Finally, it cools to room temperature, the contact bonding layer 16 is hardened, and the solid sealing organic electroluminescent apparatus 1 shown in FIGS. 1-2 is completed. In the case where a thermosetting resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by heating after being bonded to the organic EL element 40 in a softened state, and does not soften even when the temperature rises. Further, when a UV curable resin is used as the adhesive layer 16, it is cured by irradiating with UV light and does not soften even when the temperature rises.

第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。   According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, when the adhesive layer 16 comes into contact with the organic EL element 40, the adhesive layer 16 is in a softened state. Even if there is a foreign matter such as dust on the surface of the organic EL element 40, the adhesive layer 16 takes in the foreign matter such as dust or dust into the inside, so that the bonding can be performed without damaging the organic EL element 40. . In addition, since the manufacturing process is performed with the organic EL element 40 facing downward, the possibility that foreign matters such as dust adhere to the organic EL element 40 is reduced. As a result, the yield can be improved even in a manufacturing environment in which foreign matter such as dust or dust exists.

また、第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。   Further, according to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, thermoplastic resin, or the like is used for the adhesive layer 16, the shape of the adhesive layer 16 at room temperature. Can be held. This is advantageous in terms of manufacturing process for increasing the size of the solid-sealed organic EL device.

また、第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。   Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the adhesive layer 16, in the manufacturing process, a roll type The supply form can be taken. This makes it possible to improve the efficiency of the manufacturing process.

第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。   According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, the yield can be improved.

(固体封止有機EL装置の製造装置)
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、昇降手段と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10と対向して、有機EL素子40に対面する接着層16を上面に形成した封止基板18を昇降手段上に配置し、昇降手段を搭載した冶具50とを備える。昇降手段によって、封止基板18を昇降させて、接着層16を、真空加熱下において、軟化した状態で有機EL素子40と押圧して、ITO基板10と封止基板18とを接着させる。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
The manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment has an adhesive layer 16 facing the organic EL element 40 so as to face the ITO substrate 10 on which the elevating means and the organic EL element 40 are mounted. A sealing substrate 18 formed on the upper surface is disposed on the lifting means, and a jig 50 on which the lifting means is mounted is provided. The sealing substrate 18 is moved up and down by the lifting means, and the adhesive layer 16 is pressed against the organic EL element 40 in a softened state under vacuum heating, so that the ITO substrate 10 and the sealing substrate 18 are bonded.

昇降手段は、冶具50およびITO基板10の位置合せを実施した際に、接着層16と有機EL素子40とは接触しない収縮度を備え、かつ真空加熱下において、膨張して、接着層16と有機EL素子40とを接触させる強度を有し、かつプレスによって、接着層16と有機EL素子60とを貼り合せることができる。   When the jig 50 and the ITO substrate 10 are aligned, the elevating means has a degree of contraction that does not allow the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 to come into contact with each other, and expands under vacuum heating. The adhesive layer 16 and the organic EL element 60 can be bonded to each other by pressing so that the organic EL element 40 is brought into contact with the organic EL element 40.

第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置において、昇降手段は、バネ51a〜51cを用いる。   In the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, the elevating means uses springs 51a to 51c.

第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図12〜図15に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18をバネ51a〜51c上に配置し、当該バネ51a〜51cを搭載した冶具50を備える。また、バネ51a〜51cおよび接着層16を上面に形成した封止基板18は、冶具50内に形成された溝内に配置されており、当該溝の側壁の肩部には、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を嵌合可能なITO基板嵌合部55aおよび55bが形成されている。尚、バネ51a〜51cの材料としては、前述の通り、金属、プラスティックを用いることができる。   As shown in FIGS. 12 to 15, the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment arranges the sealing substrate 18 having the adhesive layer 16 formed on the upper surface on the springs 51 a to 51 c. And a jig 50 on which the springs 51a to 51c are mounted. Further, the sealing substrate 18 on which the springs 51a to 51c and the adhesive layer 16 are formed is arranged in a groove formed in the jig 50, and the organic EL element 40 is placed on the shoulder of the side wall of the groove. ITO substrate fitting portions 55a and 55b capable of fitting the ITO substrate 10 mounted on the upper surface are formed. As a material for the springs 51a to 51c, as described above, metal or plastic can be used.

バネ51a〜51cは、位置合せを実施しただけでは、図13に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図15に示すように、伸張して、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる程度の強度を有する。   As shown in FIG. 13, the springs 51 a to 51 c are not attached to each other as shown in FIG. 13, and are pressed after being heated in vacuum, as shown in FIG. 15. In addition, the adhesive layer 16 and the organic EL element 40 are stretched to have a strength enough to be bonded to each other.

また、複数のバネは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されていても良い。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。   In addition, for example, when the sealing substrate 18 has a substantially rectangular shape in plan view, the plurality of springs may be arranged at the four corners. For example, when the sealing substrate 18 has an elongated rectangular shape in plan view, the sealing substrate 18 may be disposed at two locations on both ends of the rectangle.

第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、バネ51a〜51cを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the sixth embodiment, as the adhesive layer 16, for example, a thermoplastic sheet-like resin material is used for solid-sealing the organic EL element 40. In addition, since the thermoplastic sheet-like resin material is heated in a vacuum state and can be bonded in a sufficiently melted state using the jig 50 equipped with the springs 51a to 51c, the organic EL element 40 can be bonded. The thermoplastic sheet resin material can be brought into close contact with the organic EL element 40 without causing physical damage.

尚、バネ51a〜51cを搭載した冶具50と、ITO基板10の上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。   Note that when the jig 50 mounted with the springs 51a to 51c and the ITO substrate 10 are moved up and down, signals from various sensors such as a temperature sensor and a pressure sensor are detected as electrical signals, and moved up and down. The ITO substrate on which the element 40 is mounted and the sealing substrate can be bonded together.

尚、第6の実施の形態において、昇降手段として、バネ51a〜51cの代わりに、第2〜第4の実施の形態と同様に、ピストンを適用することもできる。或いは、第5の実施の形態と同様に、風船を適用することもできる。この場合の風船の内部には、例えば、最初はしぼんだ状態を保つために、低温で液体であり、加熱温度が、例えば、約60℃〜100℃において、気化して風船が膨張し、封止基板18を持ち上げるような溶剤を充填すると良い。   In the sixth embodiment, a piston can be applied as the lifting means instead of the springs 51a to 51c, as in the second to fourth embodiments. Alternatively, a balloon can be applied as in the fifth embodiment. In this case, for example, in order to keep a deflated state at first, the balloon is liquid at a low temperature and heated at a heating temperature of, for example, about 60 ° C. to 100 ° C. A solvent that lifts the stop substrate 18 may be filled.

第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, since the jig that can be bonded under vacuum heating is used, the bonding layer 16 is bonded in a soft state. Therefore, workability is improved and mass production can be achieved.

第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the manufacturing device according to the sixth embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the adhesive layer 16 first contacts the organic EL element 40. Therefore, since the organic EL element 40 can be bonded without physically damaging, the manufacturing yield is improved even in an environment where foreign matter exists.

第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the sixth embodiment, the solid-sealing technique can be applied, so that it can be applied to a flexible element.

第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。   According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, which can greatly reduce the cost of the manufacturing apparatus. it can.

第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。   According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the sixth embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility that bubbles remain when bonded is drastically reduced.

第6の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。   According to the sixth embodiment, a method of manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.

(その他の実施の形態)
上記のように、本発明は第1〜第6の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
(Other embodiments)
As described above, the present invention has been described according to the first to sixth embodiments. However, it should not be understood that the description and drawings constituting a part of this disclosure limit the present invention. From this disclosure, various alternative embodiments, examples and operational techniques will be apparent to those skilled in the art.

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。   As described above, the present invention naturally includes various embodiments not described herein. Therefore, the technical scope of the present invention is defined only by the invention specifying matters according to the scope of claims reasonable from the above description.

本発明の固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置は、有機ELディスプレイ分野、有機EL照明分野など、フレキシブルエレクトロニクスの分野に適用可能である。   The manufacturing method of the solid-sealed organic EL device of the present invention, the manufacturing device thereof, and the solid-sealed organic EL device can be applied to the field of flexible electronics such as the organic EL display field and the organic EL lighting field.

利用可能である。 Is available.

1…固体封止有機EL装置
10…ITO基板
12…陽極層
14…陰極層
16…接着層
18…封止基板
20…保護膜
30…有機EL層
31…電子輸送層
32…正孔輸送層
40…有機EL素子
50、54a、54b…冶具
51a、51b、51c、52a、52b…バネ
55a、55b…ITO基板嵌合部
60、70、80、90…ピストンシリンダ
61、71、81、91…ピストン棒
62、62a、62b、72、72a、72b、82、82a、82b、92、92a、92b…ピストン
63、85、95…気体
73…熱可塑性材料
83…感温性ゲル
84…相分離した感温性ゲル
93、94…風船
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Solid sealing organic EL apparatus 10 ... ITO board | substrate 12 ... Anode layer 14 ... Cathode layer 16 ... Adhesion layer 18 ... Sealing substrate 20 ... Protective film 30 ... Organic EL layer 31 ... Electron transport layer 32 ... Hole transport layer 40 ... Organic EL elements 50, 54a, 54b ... Jigs 51a, 51b, 51c, 52a, 52b ... Springs 55a, 55b ... ITO substrate fitting portions 60, 70, 80, 90 ... Piston cylinders 61, 71, 81, 91 ... Pistons Rod 62, 62a, 62b, 72, 72a, 72b, 82, 82a, 82b, 92, 92a, 92b ... Piston 63, 85, 95 ... Gas 73 ... Thermoplastic material 83 ... Temperature sensitive gel 84 ... Phase separated feeling Thermal gel 93, 94 ... Balloons

Claims (5)

封止基板の表面に接着層を形成する工程と、
基板上に有機EL素子を形成する工程と、
前記封止基板と両端部に昇降手段を搭載した第1冶具を形成する工程と、
前記基板を把持する第2冶具を形成する工程と、
前記封止基板と前記基板とを、前記接着層と前記有機EL素子とが対面するように対向させ、かつ前記第2冶具を前記昇降手段に対向させて、前記基板を前記封止基板上に位置合せする工程と、
真空加熱により前記接着層を軟化させた状態で、前記基板を前記封止基板に押圧し、前記有機EL素子と前記接着層とを貼り合せる工程と
を有することを特徴とする固体封止有機EL装置の製造方法。
Forming an adhesive layer on the surface of the sealing substrate;
Forming an organic EL element on the substrate;
Forming a first jig mounted with lifting means on both ends of the sealing substrate;
Forming a second jig for gripping the substrate;
The sealing substrate and the substrate are opposed to each other so that the adhesive layer and the organic EL element face each other, and the second jig is opposed to the elevating means, and the substrate is placed on the sealing substrate. Aligning, and
A step of pressing the substrate against the sealing substrate in a state where the adhesive layer is softened by vacuum heating, and bonding the organic EL element and the adhesive layer together. Device manufacturing method.
封止基板の表面に接着層を形成する工程と、
基板上に有機EL素子を形成する工程と、
前記封止基板を昇降手段を介して搭載する第1冶具を形成する工程と、
前記封止基板と前記基板とを、前記接着層と前記有機EL素子とが対面するように対向させ、前記基板を前記封止基板上に位置合せする工程と、
真空加熱により前記接着層を軟化させた状態で、前記基板を前記封止基板に押圧し、前記有機EL素子と前記接着層とを貼り合せる工程と
を有することを特徴とする固体封止有機EL装置の製造方法。
Forming an adhesive layer on the surface of the sealing substrate;
Forming an organic EL element on the substrate;
Forming a first jig for mounting the sealing substrate via a lifting means;
The sealing substrate and the substrate are opposed to each other so that the adhesive layer and the organic EL element face each other, and the substrate is aligned on the sealing substrate;
A step of pressing the substrate against the sealing substrate in a state where the adhesive layer is softened by vacuum heating, and bonding the organic EL element and the adhesive layer together. Device manufacturing method.
昇降手段と、
接着層を上面に形成した封止基板と、前記昇降手段とを搭載した第1冶具と、
有機EL素子を上面に搭載した基板を把持する第2冶具と
を備え、前記昇降手段によって、前記第1冶具と前記第2冶具を昇降させて、前記接着層を、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と前記封止基板と押圧して、前記基板と前記封止基板とを接着させることを特徴とする固体封止有機EL装置の製造装置。
Elevating means;
A first jig on which a sealing substrate having an adhesive layer formed on the upper surface and the elevating means are mounted;
A second jig that holds a substrate on which an organic EL element is mounted, and the first and second jigs are moved up and down by the lifting means to soften the adhesive layer under vacuum heating. An apparatus for manufacturing a solid-sealed organic EL device, wherein the organic EL element and the sealing substrate are pressed in a state to bond the substrate and the sealing substrate.
昇降手段と、
有機EL素子を上面に搭載した基板と対向して、前記有機EL素子に対面する接着層を上面に形成した封止基板を前記昇降手段上に配置し、前記昇降手段を搭載した冶具と
を備え、前記昇降手段によって、前記封止基板を昇降させて、前記接着層を、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と押圧して、前記基板と前記封止基板とを貼り合せることを特徴とする固体封止有機EL装置の製造装置。
Elevating means;
A sealing substrate on which an adhesive layer facing the organic EL element is formed on the upper surface facing the substrate on which the organic EL element is mounted, and a jig on which the lifting means is mounted. The sealing substrate is lifted and lowered by the lifting means, and the adhesive layer is pressed against the organic EL element in a softened state under vacuum heating to bond the substrate and the sealing substrate together. An apparatus for producing a solid-sealed organic EL device characterized by the above.
基板と、
前記基板上に配置した有機EL素子と、
前記有機EL素子を覆うように配置した接着層と、
前記接着層を介して前記有機EL素子を封止する封止基板と
を備え、前記接着層は、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と前記封止基板とを押圧して、前記基板と前記封止基板と貼り合せることを特徴とする固体封止有機EL装置。
A substrate,
An organic EL element disposed on the substrate;
An adhesive layer disposed so as to cover the organic EL element;
A sealing substrate that seals the organic EL element through the adhesive layer, and the adhesive layer presses the organic EL element and the sealing substrate in a softened state under vacuum heating, A solid-sealed organic EL device, wherein the substrate and the sealing substrate are bonded together.
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