JP2010192261A - Method of manufacturing solid-sealing organic el device, its manufacturing device, and solid-sealing organic el device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、固体封止有機EL装置の製造方法および製造装置、固体封止有機EL装置に関し、特に作業性および歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置に関する。 The present invention relates to a manufacturing method and manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device, and a solid-sealed organic EL device, and more particularly, a manufacturing method for a solid-sealed organic EL device with improved workability and yield, a manufacturing apparatus therefor, and a solid sealing. The present invention relates to a stop organic EL device.
近年、有機発光素子として有機EL(EL:Electroluminescence)素子を用いた表示装置や照明装置が実用化に向けて開発が進められている。従来、有機EL素子は、水分により劣化が著しいので防湿する必要があり、そのため基板上に搭載された有機EL素子を封止板等で封止している。 In recent years, display devices and illumination devices using organic EL (EL) elements as organic light emitting elements have been developed for practical use. Conventionally, an organic EL element has been significantly deteriorated by moisture and therefore needs to be moisture-proof. For this reason, an organic EL element mounted on a substrate is sealed with a sealing plate or the like.
従来、有機EL素子を封止する方法として、例えば、有機EL素子が搭載された基板面にシール材を介して封止缶で密封し、封止された内部空間に不活性ガス等の気体を充填する中空封止技術が知られている(例えば、特許文献1参照。)。或いは有機EL素子が搭載された基板面にシール材を介して封止缶で密封し、封止された内部空間にシリコーンオイル等の液体からなる充填材を充填する液体封止技術が知られている(例えば、特許文献2参照。)また、樹脂などの流動性のある封止剤を基板面に適用し、ガラス板等を重ねてUV光照射や加熱などの方法により封止剤を硬化させて封止する固体封止技術が知られている。(例えば、特許文献3および特許文献4参照。)。 Conventionally, as a method of sealing an organic EL element, for example, the substrate surface on which the organic EL element is mounted is sealed with a sealing can via a sealing material, and a gas such as an inert gas is sealed in the sealed internal space. A hollow sealing technique for filling is known (for example, see Patent Document 1). Alternatively, a liquid sealing technique is known in which a substrate surface on which an organic EL element is mounted is sealed with a sealing can through a sealing material, and the sealed internal space is filled with a filler made of a liquid such as silicone oil. (For example, refer to Patent Document 2) In addition, a fluid sealant such as a resin is applied to the substrate surface, and a glass plate or the like is stacked to cure the sealant by a method such as UV light irradiation or heating. Solid sealing technology for sealing is known. (For example, refer to Patent Document 3 and Patent Document 4.)
樹脂等の固体封止剤を用いた従来例に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図16に示すように表される。 A method for manufacturing a solid-sealed organic EL device according to a conventional example using a solid sealant such as a resin is expressed as shown in FIG.
(a)まず、図16(a)に示すように、有機EL素子140を搭載したITOガラス基板100と、接着剤160を塗布した封止基板18を形成する。
(A) First, as shown in FIG. 16A, an ITO
(b)次に、図16(b)に示すように、位置合せ工程と共に、有機EL素子140を搭載したITOガラス基板100と、接着剤160を塗布した封止基板18を貼り合せ、有機EL素子140を接着剤160に接触させる。この場合、接着剤160は、硬い状態を保持している。
(B) Next, as shown in FIG. 16B, together with the alignment step, the
(c)次に、図16(c)に示すように、真空ラミネータを用いて、真空引きを行うと共に、接着剤を塗布した封止基板18を温度Tで加熱して、接着剤160を柔らかくする。
(C) Next, as shown in FIG. 16C, vacuuming is performed using a vacuum laminator, and the
(d)次に、図16(d)に示すように、真空ラミネータを用いて、有機EL素子140を搭載したITOガラス基板100と、接着剤160を塗布した封止基板18を上部からプレス(ダイヤフラム式:圧力P)して、密着させる。この際、接着剤を塗布した封止基板18を温度Tで加熱している。
(D) Next, as shown in FIG. 16 (d), the ITO
(e)その後、図16(e)に示すように、有機EL素子140を搭載したITOガラス基板100と、接着剤160を塗布した封止基板18の貼り合せを完成する。さらに、その後、接着剤160を完全に硬化させるための本硬化処理を行う。
(E) Thereafter, as shown in FIG. 16 (e), the bonding of the
これにより、有機EL素子140を搭載したITOガラス基板100と、接着剤160を塗布した封止基板18を貼り合せ、有機EL素子140を外部からの湿気や水分と接触するのを防ぐと共に、外部からの衝撃から保護することができる。
As a result, the ITO
しかしながら、UV光照射や加熱などの方法により接着剤160を硬化させる方法において、接着剤160をITOガラス基板100上に貼り付ける際、硬化前のUV樹脂の貼り合わせ方や接着時の粘度の大きさによっては、異物により有機EL素子140が傷つけられて、ショートが発生するおそれがある。
However, in the method of curing the
すなわち、熱可塑性の樹脂材料を有機EL素子140上に貼り付ける際に樹脂材料が硬い状態で有機EL素子140上に搭載すると、硬い状態の樹脂または樹脂と有機EL素子140間に存在する異物が、有機EL素子140を損傷して、有機EL素子140の陰極と陽極間の上下ショートが発生する。このため、従来の固体封止有機EL装置の歩留まりが低下するといった問題が生じる。
That is, when a thermoplastic resin material is attached onto the
本発明の目的は、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, a manufacturing device thereof, and a solid-sealed organic EL device capable of improving the manufacturing yield without causing physical damage to the organic EL element during solid-sealing. It is to provide.
本発明の一態様によれば、封止基板の表面に接着層を形成する工程と、基板上に有機EL素子を形成する工程と、前記封止基板と両端部に昇降手段を搭載した第1冶具を形成する工程と、前記基板を把持する第2冶具を形成する工程と、前記封止基板と前記基板とを、前記接着層と前記有機EL素子とが対面するように対向させ、かつ前記第2冶具を前記昇降手段に対向させて、前記基板を前記封止基板上に位置合せする工程と、真空加熱により前記接着層を軟化させた状態で、前記基板を前記封止基板に押圧し、前記有機EL素子と前記接着層とを貼り合せる工程とを有する有機発光素子の製造方法が提供される。 According to one aspect of the present invention, a step of forming an adhesive layer on the surface of the sealing substrate, a step of forming an organic EL element on the substrate, and a first lifting / lowering means mounted on both ends of the sealing substrate. A step of forming a jig, a step of forming a second jig for gripping the substrate, the sealing substrate and the substrate facing each other such that the adhesive layer and the organic EL element face each other, and A step of positioning the substrate on the sealing substrate with a second jig facing the elevating means, and pressing the substrate against the sealing substrate in a state where the adhesive layer is softened by vacuum heating. The manufacturing method of the organic light emitting element which has the process of bonding the said organic EL element and the said contact bonding layer is provided.
本発明の他の態様によれば、封止基板の表面に接着層を形成する工程と、基板上に有機EL素子を形成する工程と、前記封止基板を昇降手段を介して搭載する第1冶具を形成する工程と、前記封止基板と前記基板とを、前記接着層と前記有機EL素子とが対面するように対向させ、前記基板を前記封止基板上に位置合せする工程と、真空加熱により前記接着層を軟化させた状態で、前記基板を前記封止基板に押圧し、前記有機EL素子と前記接着層とを貼り合せる工程とを有する有機発光素子の製造方法が提供される。 According to another aspect of the present invention, a step of forming an adhesive layer on the surface of the sealing substrate, a step of forming an organic EL element on the substrate, and a first mounting the sealing substrate via an elevating means. A step of forming a jig, a step of making the sealing substrate and the substrate face each other so that the adhesive layer and the organic EL element face each other, and aligning the substrate on the sealing substrate; There is provided a method for manufacturing an organic light-emitting element including a step of pressing the substrate against the sealing substrate in a state where the adhesive layer is softened by heating, and bonding the organic EL element and the adhesive layer.
本発明の他の態様によれば、昇降手段と、接着層を上面に形成した封止基板と、前記昇降手段とを搭載した第1冶具と、有機EL素子を上面に搭載した基板を把持する第2冶具とを備え、前記昇降手段によって、前記第1冶具と前記第2冶具を昇降させて、前記接着層を、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と前記封止基板と押圧して、前記基板と前記封止基板とを接着させる固体封止有機EL装置の製造装置が提供される。 According to another aspect of the present invention, the lifting means, the sealing substrate having the adhesive layer formed on the upper surface, the first jig having the lifting means mounted thereon, and the substrate having the organic EL element mounted on the upper surface are gripped. A second jig, the first and second jigs are lifted and lowered by the lifting means, and the adhesive layer is softened under vacuum heating, and the organic EL element and the sealing substrate An apparatus for manufacturing a solid-sealed organic EL device that presses and adheres the substrate and the sealing substrate is provided.
本発明の他の態様によれば、昇降手段と、有機EL素子を上面に搭載した基板と対向して、前記有機EL素子に対面する接着層を上面に形成した封止基板を前記昇降手段上に配置し、前記昇降手段を搭載した冶具とを備え、前記昇降手段によって、前記封止基板を昇降させて、前記接着層を、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と押圧して、前記基板と前記封止基板とを貼り合せる固体封止有機EL装置の製造装置が提供される。 According to another aspect of the present invention, an elevating means and a sealing substrate having an adhesive layer facing the organic EL element formed on the upper surface facing the substrate on which the organic EL element is mounted on the upper and lower means. And a jig on which the lifting means is mounted, the sealing substrate is lifted and lowered by the lifting means, and the adhesive layer is pressed against the organic EL element in a softened state under vacuum heating. Thus, a manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device for bonding the substrate and the sealing substrate is provided.
本発明の他の態様によれば、基板と、前記基板上に配置した有機EL素子と、前記有機EL素子を覆うように配置した接着層と、前記接着層を介して前記有機EL素子を封止する封止基板とを備え、前記接着層は、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と前記封止基板とを押圧して、前記基板と前記封止基板と貼り合せる固体封止有機EL装置が提供される。 According to another aspect of the present invention, a substrate, an organic EL element disposed on the substrate, an adhesive layer disposed to cover the organic EL element, and the organic EL element are sealed via the adhesive layer. A sealing substrate, and the adhesive layer presses the organic EL element and the sealing substrate in a softened state under vacuum heating to bond the substrate and the sealing substrate together. A stop organic EL device is provided.
本発明によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。 According to the present invention, there is provided a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, a manufacturing device thereof, and a solid-sealed organic EL device capable of improving the manufacturing yield without causing physical damage to the organic EL element during solid-sealing. Can be provided.
次に、図面を参照して、本発明の第1〜第6の実施の形態を説明する。以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。ただし、図面は模式的なものであり、厚みと平面寸法との関係、各層の厚みの比率等は現実のものとは異なることに留意すべきである。したがって、具体的な厚みや寸法は以下の説明を参酌して判断すべきものである。又、図面相互間においても互いの寸法の関係や比率が異なる部分が含まれていることはもちろんである。 Next, first to sixth embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description of the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. However, it should be noted that the drawings are schematic, and the relationship between the thickness and the planar dimensions, the ratio of the thickness of each layer, and the like are different from the actual ones. Therefore, specific thicknesses and dimensions should be determined in consideration of the following description. Moreover, it is a matter of course that portions having different dimensional relationships and ratios are included between the drawings.
又、以下に示す第1〜第6の実施の形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の実施の形態は、構成部品の材質、形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。この発明の実施の形態は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。 Also, the following first to sixth embodiments exemplify apparatuses and methods for embodying the technical idea of the present invention, and the embodiments of the present invention are components. The material, shape, structure, arrangement, etc. are not specified below. Various modifications can be made to the embodiment of the present invention within the scope of the claims.
(第1の実施の形態)
(固体封止有機EL装置)
本発明の第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置1の模式的平面パターン構成は、図1に示すように表される。また、図1のI−I線に沿う模式的断面構造は、図2に示すように表される。
(First embodiment)
(Solid sealing organic EL device)
A schematic planar pattern configuration of the solid-sealed
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置1は、図1〜図2に示すように、ITO基板10と、ITO基板10上に配置される有機EL素子40と、封止基板18と、封止基板18上に配置される接着層16とを備える。有機EL素子40は、ITO基板10上配置される陽極層12と、陽極層12上に配置される有機EL層30と、有機EL層30上に配置される陰極層14と、陰極層14上に配置される保護膜20を備える。有機EL層30は、陽極層12上に配置される正孔輸送層32と、正孔輸送層32上に配置される発光部(図示省略)と、発光部上に配置される電子輸送層31とを備える。
As shown in FIGS. 1 to 2, the solid-sealed
すなわち、第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置1は、封止基板18がITO基板10と対向されて配置され、接着層16を介してITO基板10と封止基板18とを貼り合わせた構成を備える。これにより、有機EL素子40を外部からの湿気や水分と接触するのを防ぐと共に、外部からの衝撃から保護することができる。
That is, in the solid-sealed
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置1は、ITO基板10側から光が発光するように構成されているため、ITO基板10は、光を透過する透明基板が用いられる。ITO基板10の材質としては、例えば、ガラスが挙げられる。厚さは、例えば、約0.1〜1.1mm程度であるのがよい。ITO基板10にポリカーボネートやポリエチレンテレフタレート等の透明な樹脂を用いてフレキシブル性を持たせることも可能である。この場合、固体封止有機EL装置1の寿命の劣化の原因となる水蒸気や酸素等の侵入を防止するために、ITO基板10と接着層16の間には、ガスバリア層を配置することが好ましい。ガスバリア層としては、例えば、酸化ケイ素や酸化アルミニウム等の金属酸化物又は窒化アルミニウム、窒化珪素等の金属窒化物が挙げられる。
Since the solid-sealed
陽極層12は、光を透過可能であり、厚さが、例えば、約150〜160nm程度のITO(インジウム−スズ酸化物)の透明電極からなる。
The
有機EL層30は、ITO基板10側から、正孔輸送層32、発光部(図示省略)および電子輸送層31が順次積層されている。
In the
正孔輸送層32は、陽極層12から注入された正孔を円滑に発光部に輸送するためのものであり、例えば、厚さが約60nm程度のNPB(N,N−ジ(ナフタリル)−N,N−ジフェニル−ベンジデン)からなる。
The
電子輸送層31は、陰極層14から注入された電子を円滑に発光部に輸送するためのものであり、例えば、厚さが約35nm程度のAlq3(アルミニウムキノリノール錯体)からなる。
The
発光部は、注入された正孔および電子が再結合して発光するためのものであり、例えば、発光種であるクマリン化合物(C545T)が約1%程度ドーピングされ、厚さが約30nm程度のAlq3からなる。 The light emitting portion is for emitting light by recombination of injected holes and electrons. For example, about 1% of a coumarin compound (C545T) which is a light emitting species is doped, and the thickness is about 30 nm. consisting of Alq 3.
なお、有機EL層30は、上記、正孔輸送層32、電子輸送層31以外の層、例えば、正孔注入層、電子注入層等を用いて構成しても良い。
The
陰極層14は、例えば、厚さが約150nm程度で、材質が、例えば、アルミニウムからなる。
The
接着層16は、有機発EL層30を密封すると共に、有機EL層30で発生したジュール熱を封止基板18側に伝え、放熱させるためのものである。接着層16は、厚さが、例えば、約3〜500μm程度である。
The
接着層16の材質としては、上述の機能を有するのものであれば、特に限定はされないが、例えば、熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、或いはUV硬化樹脂等が挙げられる。好ましくは、熱可塑性樹脂を用いるのがよい。熱可塑性樹脂としては、例えば、塩化ビニル樹脂,ポリエチレン,ポリプロピレン、アクリル、ポリエチレンテレフタレート、ポリアミド、ポリカーボネート等の樹脂が挙げられる。熱可塑性樹脂は、好ましくは、加熱により軟化させた状態において、有機EL層30よりも流動性を有するのがよい。熱可塑性樹脂の粘度は、例えば、加熱により軟化させた状態において、約1×104Pa・s(パスカル・セカンド)未満であるのがよい。好ましくは、約1×10〜1×104Pa・s程度の範囲であるのがよい。熱硬化性樹脂としては、エポキシ樹脂、フェノール樹脂、ポリウレタン樹脂、メラミン樹脂等が挙げられる。また、UV硬化樹脂としては、アクリル系樹脂、エポキシ系樹脂、ポリエステル系樹脂等が挙げられる。
The material of the
また、封止基板18は、接着層16から伝わる熱を外部に放熱する機能を担っているので、熱伝導率の高いものが望ましい。
Further, since the sealing
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置1の動作は以下の通りである。
The operation of the solid-sealed
まず、固体封止有機EL装置1の陽極層12および陰極層14の間に一定の電圧が印加される。これにより、陽極層12から正孔輸送層32を介して発光部に正孔が注入されるとともに、陰極層14から電子輸送層31を介して発光部に電子が注入される。発光部に注入された正孔と電子とが再結合することによって、光を発光する。発光された光は、ITO基板1を介して外部に出射される。
First, a constant voltage is applied between the
(固体封止有機EL装置の製造方法)
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図3(a)〜図3(c)に示すように表される。
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
The manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment is expressed as shown in FIGS.
(a)まず、図3(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にバネ52aおよび52bとを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bを形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、以下の通りである。例えば、平面視において略四角形の形状を有するガラスからなる封止基板18表面に、粘度が、例えば、加熱により軟化させた状態において、約1×10〜1×104Pa・s程度の熱可塑性樹脂からなる接着層16を、厚さを、例えば、約3〜500μm程度にして、均一に形成する。温度の高い状態で流動性が高い接着層16を、例えば、スピンコート、ディスペンサー、或いはスプレーによる塗布やディップ、フレキソ印刷又はスクリーン印刷等を用いて形成することができる。一方、温度が低いときに流動性が低い接着層16をペレット状に成形したものを封止基板18上に載置した後、加熱してリフローさせることにより密着して形成することもできる。また、予めシート状に成形した接着層16をラミネータで封止基板18上に貼り付けて形成することもできる。第1の実施の形態においては、シート状の接着層16を封止基板18上に貼り付けて形成する。一方、ITO基板10上に陽極層12を形成後、正孔輸送層32、発光部、および電子輸送層31を順に成膜し、次いで、陰極層14を成膜して有機EL素子40を形成する。尚、バネ52aおよび52bの材料としては、金属、プラスティックを用いることができる。
(A) First, as shown in FIG. 3A, a
(b)次に、図3(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、かつ冶具54aおよび54bをバネ52aおよび52bに対向させて、貼り合わせの準備を行う。
(B) Next, as shown in FIG. 3A, the sealing
(c)次に、図3(b)に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように位置合せを行い、冶具54aおよび54bをバネ52aおよび52bに接触させる。さらに、例えば、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。
(C) Next, as shown in FIG. 3B, for example, in an argon atmosphere, the sealing
(d)次に、図3(c)に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、バネ52aおよび52bを収縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。なお、図3(a)〜(c)は側面図を表し、陽極層12、有機EL層30、保護膜20および陰極層14を省略し、簡略化して示している。ここで、注意すべき点は、位置合せを実施しただけでは、図3(b)に示すように、バネ52aおよび52bの効果によって、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図3(c)に示すように、バネ52aおよび52bが収縮して、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる点である。すなわち、バネ52aおよび52bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような強度を備え、かつプレスによって、収縮するような材料で形成されている。
(D) Next, as shown in FIG. 3 (c), the pressure is returned to atmospheric pressure and the
(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。
(E) Finally, it cools to room temperature, the
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。
According to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, when the
また、第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。
Further, according to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, thermoplastic resin, or the like is used for the
また、第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。
Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。 According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, the yield can be improved.
(固体封止有機EL装置の製造装置)
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、昇降手段と、接着層16を上面に形成した封止基板18と昇降手段とを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を把持する冶具54aおよび54bとを備え、昇降手段によって、冶具50と冶具54aおよび54bを昇降させて、接着層16を、真空加熱下において、軟化した状態で有機EL素子40と押圧して、ITO基板10と封止基板18とを接着させる。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
The manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the first embodiment includes a lifting / lowering means, a
昇降手段は、冶具50および冶具54aおよび54bの位置合せを実施した際に、冶具50、有機EL素子40およびITO基板10を含む重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しない強度を備え、かつプレスによって、収縮されて、接着層16と有機EL素子40とを貼り合せることができる。
The elevating means is a weight that includes the
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置においては、昇降手段は、バネ52aおよび52bを用いる。
In the solid-sealed organic EL device manufacturing apparatus according to the first embodiment, the elevating means uses
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図3(a)〜図3(c)に示すように、バネ52aおよび52bと、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にバネ52aおよび52bとを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bとを備える。
As shown in FIGS. 3A to 3C, the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the first embodiment has a sealing structure in which springs 52a and 52b and an
る。尚、バネ52aおよび52bの材料としては、前述の通り、金属、プラスティックを用いることができる。バネ52aおよび52bは、位置合せを実施しただけでは、図3(b)に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図3(c)に示すように、収縮して、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる程度の強度を有する。すなわち、バネ52aおよび52bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような強度を備え、かつプレスによって、収縮するような材料で形成されていれば良い。
The As described above, metal and plastic can be used as the material for the
また、複数のバネは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されている。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。
In addition, for example, when the sealing
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、バネ52aおよび52bを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。
According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the first embodiment, for example, a thermoplastic sheet-like resin material is used for solid-sealing the
尚、バネ52aおよび52bを搭載した冶具50と、ITO基板10を両端部で把持する冶具54aおよび54bの上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、冶具の上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。
When the
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。
According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, since the jig that can be bonded under vacuum heating is used, the
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。
According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。 According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the first embodiment, the solid-sealing technology can be applied, so that it can be applied to a flexible element.
貼り合せ装置(真空ラミネータ)内に上下昇降機能を搭載した場合は、装置がチャンバーのような構造になり、大幅なコストアップになるのに対して、第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。 When the up-and-down moving function is mounted in the bonding apparatus (vacuum laminator), the apparatus becomes a chamber-like structure, which greatly increases the cost, whereas the solid sealing according to the first embodiment According to the manufacturing method of an organic EL device and the manufacturing apparatus thereof, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, so that the cost of the manufacturing apparatus can be significantly reduced.
第1の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。 According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the first embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility of bubbles remaining when the bonding is performed is drastically reduced.
第1の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。 According to the first embodiment, a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.
(第2の実施の形態)
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストン62は、図4に示すように、所定の気体63を充填したピストンシリンダ60と、ピストン棒61とを備える。ピストン62の動作方式として、リモコン制御による電気信号により、磁石やモータを用いてピストン棒61の高さを変える方式、圧力や温度によって、ピストン棒61の高さを変える方式がある。バネ方式では、バネの弾性率により、貼り合せプレスの際に、通常より加圧する必要がある。これに対して、ピストン方式では、ピストン棒61の高さが一定となるため、加圧の必要がなく、通常の条件で、貼り合せを実施することができる。
(Second Embodiment)
As shown in FIG. 4, the piston 62 applied to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment includes a
(固体封止有機EL装置の製造方法)
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図5(a)〜図5(c)に示すように表される。
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
A manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment is expressed as shown in FIGS.
(a)まず、図5(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン62aおよび62bとを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bを形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、第1の実施の形態と同様である。
(A) First, as shown in FIG. 5A, a
(b)次に、図5(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、かつ冶具54aおよび54bをピストン62aおよび62b上に対向させて、貼り合わせの準備を行う。
(B) Next, as shown in FIG. 5A, the sealing
(c)次に、図5(b)に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように位置合せを行い、冶具54aおよび54b、ITO基板10および有機EL素子40の重さによって、ピストン62aおよび62bを押し下げる。さらに、例えば、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。
(C) Next, as shown in FIG. 5B, for example, in an argon atmosphere, the sealing
(d)次に、図5(c)に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、ピストン62aおよび62bを圧縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。なお、位置合せを実施しただけでは、図5(b)に示すように、ピストン62aおよび62bの効果によって、接着層16と有機EL素子40とは貼り合せされず、真空加熱後、プレスすることによって、図5(c)に示すように、ピストン62aおよび62bが圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる。すなわち、ピストン62aおよび62bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧縮強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて接着層16と有機EL素子40とが貼り合せされるような圧縮強度を備えている。
(D) Next, as shown in FIG. 5C, the pressure is returned to the atmospheric pressure, and the pressure of about 100 kPa is applied to the upper portion of the
(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。
(E) Finally, it cools to room temperature, the
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。
According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, when the
また、第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。
Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, thermoplastic resin, or the like is used for the
また、第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。
Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。 According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, the yield can be improved.
(固体封止有機EL装置の製造装置)
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図5(a)〜図5(c)に示すように、昇降手段をバネからピストン62aおよび62bに変更したものであり、ピストン62aおよび62bと、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン62aおよび62bとを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bとを備える。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
As shown in FIGS. 5 (a) to 5 (c), the solid-sealed organic EL device manufacturing apparatus according to the second embodiment is obtained by changing the lifting means from a spring to
ピストン62aおよび62bは、位置合せを実施しただけでは、図5(b)に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図5(c)に示すように、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる。すなわち、ピストン62aおよび62bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧力強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる程度の圧力強度を有する。
As shown in FIG. 5 (b), the
また、複数のピストンは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されている。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。
Further, for example, when the sealing
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、ピストン62aおよび62bを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。
According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the second embodiment, as the
尚、ピストン62aおよび62bを搭載した冶具50と、ITO基板10を両端部で把持する冶具54aおよび54bの上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、冶具の上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。
When the
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。
According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, since the jig that can be bonded under vacuum heating is used, the
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。
According to the method of manufacturing a solid-sealed organic EL device and the manufacturing device thereof according to the second embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。 According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the second embodiment, the solid-sealing technology can be applied, so that it can be applied to a flexible element.
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。 According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, which can greatly reduce the cost of the manufacturing apparatus. it can.
第2の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。 According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the second embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility that air bubbles remain when the bonding is performed is drastically reduced.
第2の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。 According to the second embodiment, a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.
(第3の実施の形態)
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストン72は、図6に示すように、所定の熱可塑性材料73を充填したピストンシリンダ70と、ピストン棒71とを備える。熱可塑性材料73としては、例えばポリスチレン系、ポリオレフィン系、ポリエステル系、その他の複合材料等からなる熱可塑性エラストマーなどを適用することができる。
(Third embodiment)
As shown in FIG. 6, the
ピストン72内に充填される熱可塑性材料73としては、室温では硬いが、温度をある温度まで上昇すると、溶けて流動的になるような材料を使用する。熱可塑性材料73を内部に充填させたピストン72が、ある温度まで上昇すると、熱可塑性材料73が溶けて流動的になり、ピストン72のピストン棒71が下がる。バネ方式では、バネの弾性率により、貼り合せプレスの際に、通常より加圧する必要がある。これに対して、ピストン方式では、ピストン棒71の高さが一定となるため、加圧の必要がなく、通常の条件で、貼り合せを実施することができる点は第2の実施の形態と同様である。
As the
(固体封止有機EL装置の製造方法)
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図7(a)〜図7(c)に示すように表される。
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
A method for manufacturing a solid-sealed organic EL device according to the third embodiment is expressed as shown in FIGS.
(a)まず、図7(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン72aおよび72bとを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bを形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、第1の実施の形態と同様である。
(A) First, as shown in FIG. 7A, a
(b)次に、図7(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、かつ冶具54aおよび54bをピストン72aおよび72b上に対向させて、貼り合わせの準備を行う。
(B) Next, as shown in FIG. 7A, the sealing
(c)次に、図7(b)に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように位置合せを行い、冶具54aおよび54b、ITO基板10および有機EL素子40の重さによって、ピストン72aおよび72bを押し下げる。さらに、例えば、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。同時に、ピストンシリンダ70内に充填される熱可塑性材料73としては、室温では硬いが、温度をある温度まで上昇すると、溶けて流動的になるような材料を使用するため、熱可塑性材料73を内部に充填させたピストン72が、ある温度まで上昇すると、熱可塑性材料73が溶けて流動的になり、ピストン72のピストン棒71が下がる。
(C) Next, as shown in FIG. 7B, for example, in an argon atmosphere, the sealing
(d)次に、図7(c)に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、ピストン72aおよび72bを圧縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。なお、位置合せを実施しただけでは、図7(b)に示すように、ピストン72aおよび72bの効果によって、接着層16と有機EL素子40とは貼り合せされず、真空加熱後、プレスすることによって、図7(c)に示すように、ピストン72aおよび72bが圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる。すなわち、ピストン72aおよび72bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧縮強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて接着層16と有機EL素子40とが貼り合せされるような圧縮強度を備えている。
(D) Next, as shown in FIG. 7C, the pressure is returned to the atmospheric pressure, and the pressure of about 100 kPa is applied to the upper portion of the
(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。
(E) Finally, it cools to room temperature, the
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。
According to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, when the
また、第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。
Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, thermoplastic resin, or the like is used for the
また、第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。
Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。 According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, the yield can be improved.
(固体封止有機EL装置の製造装置)
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図7(a)〜図7(c)に示すように、ピストン72aおよび72bと、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン72aおよび72bとを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bとを備える。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
As shown in FIGS. 7 (a) to 7 (c), the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the third embodiment has a sealed structure in which
ピストン72aおよび72bは、位置合せを実施しただけでは、図7(b)に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図7(c)に示すように、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる。すなわち、ピストン72aおよび72bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧力強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる程度の圧力強度を有する。
As shown in FIG. 7 (b), the
また、複数のピストンは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されている。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。
Further, for example, when the sealing
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、ピストン72aおよび72bを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。
According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the third embodiment, for example, a thermoplastic sheet-like resin material is used for solid-sealing the
尚、ピストン72aおよび72bを搭載した冶具50と、ITO基板10を両端部で把持する冶具54aおよび54bの上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、冶具の上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。
When the
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。
According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, since the jig that can be bonded under vacuum heating is used, the
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。
According to the method of manufacturing a solid-sealed organic EL device and the manufacturing device thereof according to the third embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。 According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the third embodiment, the solid-sealing technology can be applied, so that it can be applied to a flexible element.
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。 According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, which can greatly reduce the cost of the manufacturing apparatus. it can.
第3の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。 According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the third embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility that air bubbles remain when the bonding is performed is drastically reduced.
第3の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。 According to the third embodiment, a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.
(第4の実施の形態)
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストン82は、図8に示すように、所定の感温性ゲル83を充填したピストンシリンダ80と、ピストン棒81とを備える。感温性ゲル83とは、溶媒を多く含むゲル(架橋高分子)が、温度変化によってゲル内部にある溶媒とゲル自身が分離する相分離(分離現象)を引き起こし、ゲルの体積が変化するものである。すなわち、図8に示すように、感温性ゲル83と空気、窒素ガス、希ガスなどの気体85を充填したピストンシリンダ80の温度が上昇して、所定の温度に達すると、感温性ゲル83が相分離を起こし、相分離した感温性ゲル84と相分離していない感温性ゲル83に分離し、相分離した感温性ゲル84の粘度が低いことから、ピストン棒81が下がる。第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法においても、ピストン棒81の高さが一定となるため、加圧の必要がなく、通常の条件で、貼り合せを実施することができる点は第2の実施の形態と同様である。
(Fourth embodiment)
As shown in FIG. 8, the
感温性ゲル83の例としては、イオン液体(イオン性液体)を構造内に多く有するゲルを適用することができ、具体的には、四級オニウム塩を有するポリスチレン系のゲル、イミダゾリウム塩を含むゲルなどを適用することができる。
As an example of the temperature-
(固体封止有機EL装置の製造方法)
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図9(a)〜図9(c)に示すように表される。
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
The manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment is expressed as shown in FIGS. 9 (a) to 9 (c).
(a)まず、図9(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン82aおよび82bとを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bを形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、第1の実施の形態と同様である。
(A) First, as shown in FIG. 9A, a
(b)次に、図9(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、かつ冶具54aおよび54bをピストン82aおよび82b上に対向させて、貼り合わせの準備を行う。
(B) Next, as shown in FIG. 9A, the sealing
(c)次に、図9(b)に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように位置合せを行い、冶具54aおよび54b、ITO基板10および有機EL素子40の重さによって、ピストン82aおよび82bを押し下げる。さらに、例えば、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。同時に、ピストンシリンダ80内に充填される感温性ゲル83としては、室温では粘性が高いが、温度をある温度まで上昇すると、相分離を起こし粘性が低くなるような材料を使用する。このため、感温性ゲル83を内部に充填させたピストン82が、ある温度まで上昇すると、感温性ゲル83が相分離をした感温性ゲル84に変化し、ピストン82のピストン棒81が下がる。
(C) Next, as shown in FIG. 9B, for example, in an argon atmosphere, the sealing
(d)次に、図9(c)に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、ピストン82aおよび82bを圧縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。なお、位置合せを実施しただけでは、図9(b)に示すように、ピストン82aおよび82bの効果によって、接着層16と有機EL素子40とは貼り合せされず、真空加熱後、プレスすることによって、図9(c)に示すように、ピストン82aおよび82bが圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる。すなわち、ピストン82aおよび82bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧縮強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて接着層16と有機EL素子40とが貼り合せされるような圧縮強度を備えている。
(D) Next, as shown in FIG. 9C, the pressure is returned to the atmospheric pressure, and the pressure of about 100 kPa is applied to the upper portion of the
(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。
(E) Finally, it cools to room temperature, the
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。
According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, when the
また、第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。
Further, according to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, thermoplastic resin, or the like is used for the
また、第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。
Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。 According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, the yield can be improved.
(固体封止有機EL装置の製造装置)
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図9(a)〜図9(c)に示すように、ピストン82aおよび82bと、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン82aおよび82bとを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bとを備える。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
As shown in FIGS. 9 (a) to 9 (c), a manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment has a sealed structure in which
ピストン82aおよび82bは、位置合せを実施しただけでは、図9(b)に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図9(c)に示すように、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる。すなわち、ピストン82aおよび82bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧力強度を備え、かつプレスによって、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる程度の圧力強度を有する。
As shown in FIG. 9 (b), the
また、複数のピストンは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されている。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。
Further, for example, when the sealing
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、ピストン82aおよび82bを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。
According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the fourth embodiment, as the
尚、ピストン82aおよび82bを搭載した冶具50と、ITO基板10を両端部で把持する冶具54aおよび54bの上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、冶具の上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。
When the
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。
According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, since the jig that can be bonded under vacuum heating is used, the
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。
According to the method of manufacturing a solid-sealed organic EL device and the manufacturing device thereof according to the fourth embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。 According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the fourth embodiment, the solid-sealing technology can be applied, so that it can be applied to a flexible element.
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。 According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fourth embodiment, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, which can greatly reduce the cost of the manufacturing apparatus. it can.
第4の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。 According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the manufacturing apparatus thereof according to the fourth embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility that bubbles remain when bonded is drastically reduced.
第4の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。 According to the fourth embodiment, a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.
(第5の実施の形態)
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストン92は、図10に示すように、風船93を内包するピストンシリンダ90と、ピストン棒91とを備える。風船93の中の気体は、一般的に害が少ないような気体(空気、窒素、アルゴンなど)を適用することができる。風船93は、再利用可能なものでも良く、或いは使い捨てタイプのものであっても良い。
(Fifth embodiment)
As shown in FIG. 10, the
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法に適用するピストン92は、圧力感知式のものであって、外気がある真空度になると、中の気体が膨張して風船93が破れるようなものを使用する。風船93が破れた結果、しぼんだ風船94のようになり、ピストン棒91が下がる。
The
(固体封止有機EL装置の製造方法)
第5実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図11(a)〜図11(b)に示すように表される。
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
A method for manufacturing a solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment is expressed as shown in FIGS.
(a)まず、図11(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン92aおよび92bとを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bを形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、第1の実施の形態と同様である。
(A) First, as shown in FIG. 11A, a
(b)次に、図11(a)に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、かつ冶具54aおよび54bをピストン82aおよび82b上に対向させて、貼り合わせの準備を行う。
(B) Next, as shown in FIG. 11A, the sealing
(c)次に、図11(b)に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように位置合せを行い、冶具54aおよび54b、ITO基板10および有機EL素子40の重さによって、ピストン92aおよび92bを押し下げる。さらに、例えば、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。同時に、ピストンシリンダ90内に内包される風船93は、外気がある真空度になると、中の気体が膨張して風船93が破れる。風船93が破れた結果、しぼんだ風船94のようになり、ピストン棒91が下がる。
(C) Next, as shown in FIG. 11B, for example, in an argon atmosphere, the sealing
(d)次に、図11(b)に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、ピストン82aおよび82bを圧縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。
(D) Next, as shown in FIG. 11 (b), the pressure is returned to the atmospheric pressure, and with the
(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。
(E) Finally, it cools to room temperature, the
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。
According to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, when the
また、第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。
Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, the thermoplastic resin, or the like is used for the
また、第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。
Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。 According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, the yield can be improved.
(固体封止有機EL装置の製造装置)
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図11(a)〜図11(c)に示すように、ピストン92aおよび92bと、接着層16を上面に形成した封止基板18と両端部にピストン92aおよび92bとを搭載した冶具50と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を両端部において把持する冶具54aおよび54bとを備える。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
As shown in FIGS. 11 (a) to 11 (c), the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment has a sealing structure in which
ピストン92aおよび92bは、位置合せを実施しただけでは、図11(a)に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図11(b)に示すように、圧縮されて、接着層16と有機EL素子40と貼り合わせされる。すなわち、ピストン92aおよび92bは、上下の冶具54a、54b、50の位置合せを実施した際に、上の冶具54a、54b、有機EL素子40およびITO基板10を含めた一式の重さで、接着層16と有機EL素子40とは接触しないような圧力強度を備える。外気がある真空度になり、中の気体が膨張して風船93が破れた結果、しぼんだ風船94のようになり、ピストン棒91が下がり、かつプレスによって、接着層16と有機EL素子40とは貼り合わせされる。
As shown in FIG. 11 (a), the
また、複数のピストンは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されている。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。
Further, for example, when the sealing
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、ピストン92aおよび92bを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。
According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the fifth embodiment, for example, a thermoplastic sheet-like resin material is used as the
尚、ピストン92aおよび92bを搭載した冶具50と、ITO基板10を両端部で把持する冶具54aおよび54bの上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、冶具の上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。
When the
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。
According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, since a jig that can be bonded under vacuum heating is used, bonding is performed with the
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。
According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。 According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the fifth embodiment, since the solid-sealing technique is applied, it can be applied to a flexible element.
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。 According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the fifth embodiment, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, which can greatly reduce the cost of the manufacturing apparatus. it can.
第5の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。 According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the fifth embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility of bubbles remaining at the time of bonding is greatly reduced.
第5の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。 According to the fifth embodiment, a method for manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.
(第6の実施の形態)
(固体封止有機EL装置の製造方法)
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法は、図12〜図15に示すように表される。
(Sixth embodiment)
(Method for producing solid-sealed organic EL device)
A method for manufacturing a solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment is expressed as shown in FIGS.
(a)まず、図12に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18をバネ51a〜51c上に配置し、当該バネ51a〜51cを搭載した冶具50を形成する。また、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を形成する。ここで、接着層16を封止基板18上面に形成する方法および有機EL素子40をITO基板10上面に形成する方法は、第1の実施の形態と同様である。尚、バネ51a〜51cの材料としては、金属、プラスティックを用いることができる。また、図12に示すように、バネ51a〜51cおよび接着層16を上面に形成した封止基板18は、冶具50内に形成された溝内に配置されており、溝の側壁の肩部には、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を嵌合可能なITO基板嵌合部55aおよび55bが形成されている。
(A) First, as shown in FIG. 12, the sealing
(b)次に、図13に示すように、例えばアルゴン雰囲気中で、接着層16を上面に形成した封止基板18と有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10とを、接着層16と有機EL素子40とが対面するように対向させ、貼り合わせの準備を行う。ここで、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10は、ITO基板嵌合部55aおよび55bに嵌合されている。図13に示す状態では、点線部分Aに示すように、有機EL素子40と接着層16とは接触していない。
(B) Next, as shown in FIG. 13, for example, in an argon atmosphere, the sealing
(c)次に、図13に示すように、約1〜10kPa程度に真空引きを行い、冶具50側を、例えば、温度Tとして、約60〜90℃程度で加熱し、接着層16を軟化する。
(C) Next, as shown in FIG. 13, vacuuming is performed to about 1 to 10 kPa, and the
(d)次に、図14に示すように、バネ51a〜51cは、熱膨張の高い金属材料で形成されているため、加熱により金属の熱膨張を利用して、封止基板18を持ち上げることができる。この結果、有機EL素子40と接着層16とは接触する。接着層16は充分に溶けた状態で接触する。バネ51a〜51cは、図14に示すように、加熱により金属の熱膨張を利用して、封止基板18を持ち上げると共に、さらに、ITO基板10も持ち上げることができる。
(D) Next, as shown in FIG. 14, the
(d)次に、図15に示すように、気圧を大気圧に戻して、接着層16が軟化した状態で、ITO基板1の上部に約100kPa程度の圧力Pを加えて、バネ51a〜51cを収縮させて、接着層16と有機EL素子40およびITO基板10と封止基板18とを密着させる。加熱を封止基板18側から行うため、接着層16への伝熱が早く、加熱時間を短縮することができる。なお、図12〜図15は側面図を表し、陽極層12、有機EL層30、保護膜20および陰極層14を省略し、簡略化して示している。
(D) Next, as shown in FIG. 15, the pressure is returned to the atmospheric pressure, and with the
位置合せを実施しただけでは、図13に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、バネ51a〜51cが伸びることによって、図14に示すように、接着層16と有機EL素子40とが接触し、さらに、図15に示すように、プレスすることよって、貼りあわされる点である。
As shown in FIG. 13, the
(e)最後に、室温まで冷却し、接着層16を硬化させて、図1〜図2に示す固体封止有機EL装置1を完成する。なお、接着層16として、熱硬化性樹脂を用いた場合には、軟化した状態で有機EL素子40と接着した後、加熱することにより、硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。また、接着層16として、UV硬化樹脂を用いた場合には、UV光を照射することにより硬化し、温度が上昇しても軟化しなくなる。
(E) Finally, it cools to room temperature, the
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16が有機EL素子40と接触する際、接着層16は軟化した状態になっているので、たとえ塵や埃等の異物が有機EL素子40の表面にあったとしても接着層16が塵や埃等の異物を中に取り込んでしまうため、有機EL素子40を損傷することなく貼り合わせを行うことができる。また、有機EL素子40を下側に向けて製造工程を実施するため、有機EL素子40上に塵等の異物が付着するおそれが低減する。これにより、塵や埃等の異物が存在する製造環境においても歩留まりを向上させることが可能となる。
According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, when the
また、第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16にシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるため、室温において接着層16の形状を保持することができる。これにより固体封止有機EL装置の大型化にも製造プロセス上有利となる。
Further, according to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, since the sheet-like thermosetting resin, thermoplastic resin, or the like is used for the
また、第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、接着層16としてシート状の熱硬化性樹脂、熱可塑性樹脂等を用いるので、製造プロセスにおいて、ロール式の供給形態をとることができる。これにより、製造工程の効率化を図ることが可能となる。
Moreover, according to the manufacturing method of the solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, since a sheet-like thermosetting resin, a thermoplastic resin, or the like is used as the
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法によれば、歩留まりを向上することができる。 According to the method for manufacturing the solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, the yield can be improved.
(固体封止有機EL装置の製造装置)
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、昇降手段と、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10と対向して、有機EL素子40に対面する接着層16を上面に形成した封止基板18を昇降手段上に配置し、昇降手段を搭載した冶具50とを備える。昇降手段によって、封止基板18を昇降させて、接着層16を、真空加熱下において、軟化した状態で有機EL素子40と押圧して、ITO基板10と封止基板18とを接着させる。
(Manufacturing device for solid-sealed organic EL device)
The manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment has an
昇降手段は、冶具50およびITO基板10の位置合せを実施した際に、接着層16と有機EL素子40とは接触しない収縮度を備え、かつ真空加熱下において、膨張して、接着層16と有機EL素子40とを接触させる強度を有し、かつプレスによって、接着層16と有機EL素子60とを貼り合せることができる。
When the
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置において、昇降手段は、バネ51a〜51cを用いる。
In the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, the elevating means uses
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造装置は、図12〜図15に示すように、接着層16を上面に形成した封止基板18をバネ51a〜51c上に配置し、当該バネ51a〜51cを搭載した冶具50を備える。また、バネ51a〜51cおよび接着層16を上面に形成した封止基板18は、冶具50内に形成された溝内に配置されており、当該溝の側壁の肩部には、有機EL素子40を上面に搭載したITO基板10を嵌合可能なITO基板嵌合部55aおよび55bが形成されている。尚、バネ51a〜51cの材料としては、前述の通り、金属、プラスティックを用いることができる。
As shown in FIGS. 12 to 15, the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment arranges the sealing
バネ51a〜51cは、位置合せを実施しただけでは、図13に示すように、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされず、真空加熱後、プレスすることによって、図15に示すように、伸張して、接着層16と有機EL素子40とは貼りあわされる程度の強度を有する。
As shown in FIG. 13, the
また、複数のバネは、例えば、封止基板18が平面視において略四角形の形状を有する場合には、四隅に配置されていても良い。また、例えば、封止基板18が平面視において細長い長方形の形状を有する場合には、長方形の両端部の2箇所に配置されていても良い。
In addition, for example, when the sealing
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16として、例えば、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40の固体封止に用いる際に、熱可塑性シート状樹脂材料を真空状態で樹脂の加熱を行い、充分溶けた状態で、バネ51a〜51cを搭載した冶具50を用いて貼り合せを行うことができるため、有機EL素子40に物理的ダメージを与えずに、熱可塑性シート状樹脂材料を有機EL素子40に密着させることができる。
According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the sixth embodiment, as the
尚、バネ51a〜51cを搭載した冶具50と、ITO基板10の上下昇降に際しては、温度センサ、圧力センサなどの各種センサからの信号を電気的な信号として検出し、上下昇降を行い、有機EL素子40を搭載したITO基板と封止基板を貼り合せることができる。
Note that when the
尚、第6の実施の形態において、昇降手段として、バネ51a〜51cの代わりに、第2〜第4の実施の形態と同様に、ピストンを適用することもできる。或いは、第5の実施の形態と同様に、風船を適用することもできる。この場合の風船の内部には、例えば、最初はしぼんだ状態を保つために、低温で液体であり、加熱温度が、例えば、約60℃〜100℃において、気化して風船が膨張し、封止基板18を持ち上げるような溶剤を充填すると良い。
In the sixth embodiment, a piston can be applied as the lifting means instead of the
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空加熱下で貼り合せ可能な冶具を用いることから、接着層16が柔らかい状態で、貼り合せることができるため、作業性が向上し、量産化を図ることができる。
According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus of the solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, since the jig that can be bonded under vacuum heating is used, the
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、接着層16の熱可塑性樹脂が初めて有機EL素子40と接触するときに樹脂が柔らかい状態になっているため、有機EL素子40を物理的に損なうことなく貼り合せることができるため、異物が存在する環境下においても製造歩留りが向上する。
According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the manufacturing device according to the sixth embodiment, the resin becomes soft when the thermoplastic resin of the
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、固体封止技術を適用するため、フレキシブル素子へ適用することができる。 According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the sixth embodiment, the solid-sealing technique can be applied, so that it can be applied to a flexible element.
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、上下昇降機能付き冶具による貼り合せが可能となるため、製造装置のコストを大幅に削減することができる。 According to the manufacturing method and the manufacturing apparatus for a solid-sealed organic EL device according to the sixth embodiment, it is possible to perform bonding using a jig with an up-and-down lifting function, which can greatly reduce the cost of the manufacturing apparatus. it can.
第6の実施の形態に係る固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置によれば、真空下で貼り合せを実施するため、貼り合せた際に気泡が残る可能性が激減する。 According to the method for manufacturing a solid-sealed organic EL device and the device for manufacturing the same according to the sixth embodiment, since the bonding is performed under vacuum, the possibility that bubbles remain when bonded is drastically reduced.
第6の実施の形態によれば、固体封止の際に有機EL素子に物理的ダメージを与えず、製造歩留りが向上する固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置を提供することができる。 According to the sixth embodiment, a method of manufacturing a solid-sealed organic EL device, which does not physically damage the organic EL element during solid-sealing, and the manufacturing yield is improved, its manufacturing apparatus, and solid-sealing An organic EL device can be provided.
(その他の実施の形態)
上記のように、本発明は第1〜第6の実施の形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述および図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。この開示から当業者には様々な代替実施の形態、実施例および運用技術が明らかとなろう。
(Other embodiments)
As described above, the present invention has been described according to the first to sixth embodiments. However, it should not be understood that the description and drawings constituting a part of this disclosure limit the present invention. From this disclosure, various alternative embodiments, examples and operational techniques will be apparent to those skilled in the art.
このように、本発明はここでは記載していない様々な実施の形態等を含むことは勿論である。したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。 As described above, the present invention naturally includes various embodiments not described herein. Therefore, the technical scope of the present invention is defined only by the invention specifying matters according to the scope of claims reasonable from the above description.
本発明の固体封止有機EL装置の製造方法およびその製造装置、および固体封止有機EL装置は、有機ELディスプレイ分野、有機EL照明分野など、フレキシブルエレクトロニクスの分野に適用可能である。 The manufacturing method of the solid-sealed organic EL device of the present invention, the manufacturing device thereof, and the solid-sealed organic EL device can be applied to the field of flexible electronics such as the organic EL display field and the organic EL lighting field.
利用可能である。 Is available.
1…固体封止有機EL装置
10…ITO基板
12…陽極層
14…陰極層
16…接着層
18…封止基板
20…保護膜
30…有機EL層
31…電子輸送層
32…正孔輸送層
40…有機EL素子
50、54a、54b…冶具
51a、51b、51c、52a、52b…バネ
55a、55b…ITO基板嵌合部
60、70、80、90…ピストンシリンダ
61、71、81、91…ピストン棒
62、62a、62b、72、72a、72b、82、82a、82b、92、92a、92b…ピストン
63、85、95…気体
73…熱可塑性材料
83…感温性ゲル
84…相分離した感温性ゲル
93、94…風船
DESCRIPTION OF
Claims (5)
基板上に有機EL素子を形成する工程と、
前記封止基板と両端部に昇降手段を搭載した第1冶具を形成する工程と、
前記基板を把持する第2冶具を形成する工程と、
前記封止基板と前記基板とを、前記接着層と前記有機EL素子とが対面するように対向させ、かつ前記第2冶具を前記昇降手段に対向させて、前記基板を前記封止基板上に位置合せする工程と、
真空加熱により前記接着層を軟化させた状態で、前記基板を前記封止基板に押圧し、前記有機EL素子と前記接着層とを貼り合せる工程と
を有することを特徴とする固体封止有機EL装置の製造方法。 Forming an adhesive layer on the surface of the sealing substrate;
Forming an organic EL element on the substrate;
Forming a first jig mounted with lifting means on both ends of the sealing substrate;
Forming a second jig for gripping the substrate;
The sealing substrate and the substrate are opposed to each other so that the adhesive layer and the organic EL element face each other, and the second jig is opposed to the elevating means, and the substrate is placed on the sealing substrate. Aligning, and
A step of pressing the substrate against the sealing substrate in a state where the adhesive layer is softened by vacuum heating, and bonding the organic EL element and the adhesive layer together. Device manufacturing method.
基板上に有機EL素子を形成する工程と、
前記封止基板を昇降手段を介して搭載する第1冶具を形成する工程と、
前記封止基板と前記基板とを、前記接着層と前記有機EL素子とが対面するように対向させ、前記基板を前記封止基板上に位置合せする工程と、
真空加熱により前記接着層を軟化させた状態で、前記基板を前記封止基板に押圧し、前記有機EL素子と前記接着層とを貼り合せる工程と
を有することを特徴とする固体封止有機EL装置の製造方法。 Forming an adhesive layer on the surface of the sealing substrate;
Forming an organic EL element on the substrate;
Forming a first jig for mounting the sealing substrate via a lifting means;
The sealing substrate and the substrate are opposed to each other so that the adhesive layer and the organic EL element face each other, and the substrate is aligned on the sealing substrate;
A step of pressing the substrate against the sealing substrate in a state where the adhesive layer is softened by vacuum heating, and bonding the organic EL element and the adhesive layer together. Device manufacturing method.
接着層を上面に形成した封止基板と、前記昇降手段とを搭載した第1冶具と、
有機EL素子を上面に搭載した基板を把持する第2冶具と
を備え、前記昇降手段によって、前記第1冶具と前記第2冶具を昇降させて、前記接着層を、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と前記封止基板と押圧して、前記基板と前記封止基板とを接着させることを特徴とする固体封止有機EL装置の製造装置。 Elevating means;
A first jig on which a sealing substrate having an adhesive layer formed on the upper surface and the elevating means are mounted;
A second jig that holds a substrate on which an organic EL element is mounted, and the first and second jigs are moved up and down by the lifting means to soften the adhesive layer under vacuum heating. An apparatus for manufacturing a solid-sealed organic EL device, wherein the organic EL element and the sealing substrate are pressed in a state to bond the substrate and the sealing substrate.
有機EL素子を上面に搭載した基板と対向して、前記有機EL素子に対面する接着層を上面に形成した封止基板を前記昇降手段上に配置し、前記昇降手段を搭載した冶具と
を備え、前記昇降手段によって、前記封止基板を昇降させて、前記接着層を、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と押圧して、前記基板と前記封止基板とを貼り合せることを特徴とする固体封止有機EL装置の製造装置。 Elevating means;
A sealing substrate on which an adhesive layer facing the organic EL element is formed on the upper surface facing the substrate on which the organic EL element is mounted, and a jig on which the lifting means is mounted. The sealing substrate is lifted and lowered by the lifting means, and the adhesive layer is pressed against the organic EL element in a softened state under vacuum heating to bond the substrate and the sealing substrate together. An apparatus for producing a solid-sealed organic EL device characterized by the above.
前記基板上に配置した有機EL素子と、
前記有機EL素子を覆うように配置した接着層と、
前記接着層を介して前記有機EL素子を封止する封止基板と
を備え、前記接着層は、真空加熱下において、軟化した状態で前記有機EL素子と前記封止基板とを押圧して、前記基板と前記封止基板と貼り合せることを特徴とする固体封止有機EL装置。 A substrate,
An organic EL element disposed on the substrate;
An adhesive layer disposed so as to cover the organic EL element;
A sealing substrate that seals the organic EL element through the adhesive layer, and the adhesive layer presses the organic EL element and the sealing substrate in a softened state under vacuum heating, A solid-sealed organic EL device, wherein the substrate and the sealing substrate are bonded together.
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