JP2010162433A - 液滴吐出装置および液滴吐出ヘッドの保守方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ヘッド保守装置のメンテナンスを容易且つ安全に行え、また液滴吐出ヘッドの保
守中であっても使用していない他のヘッド保守装置のメンテナンスが行える液滴吐出装置
および液滴吐出ヘッドの保守方法を提供すること。
【解決手段】ワーク１０を第１走査方向Ａに移動させるテーブル１９と、ワーク１０に液
滴を吐出する液滴吐出ヘッド１５を搭載するキャリッジ１７と、キャリッジ１７を取り付
けて第２走査方向Ｂに移動させるとともに第１走査方向Ａに移動するキャリッジガイド３
１と、液滴吐出ヘッド１５の保守を行う複数のヘッド保守装置６０−１〜４とを備える。
複数のヘッド保守装置６０−１〜４は、複数のヘッド保守装置６０−１〜４を個別にキャ
リッジガイド３１の移動範囲内にあるヘッド保守位置Ｐ２と移動範囲外にあるメンテナン
ス位置Ｐ１とにわたって移動させる保守装置移動手段５５に搭載される。
【選択図】図１

Description

本発明は、ワークに対して液滴吐出ヘッドを相対的に移動させてワークに描画する液滴
吐出装置にかかり、特に液滴吐出ヘッドに対してクリ−ニングなどの保守を行う保守装置
を備えた液滴吐出装置および液滴吐出ヘッドの保守方法に関するものである。

従来、ワークに対して液滴を吐出する装置として、インクジェット式の液滴吐出装置が
知られている。この種の液滴吐出装置の中には、特許文献１の図２に示すように、基板な
どのワークを載置して１方向に移動させるテーブルと、テーブルの上方位置においてテー
ブルの移動方向と直交する方向に移動するインクジェットヘッド（液滴吐出ヘッド）とを
備えたものがある。

この種の液滴吐出装置には、インクジェットヘッドのノズルの目詰まり、インクジェッ
トヘッド表面への埃の付着、インクジェットヘッド内の液中に混入した気泡などに対応す
るため、ヘッド保守装置が複数設けられる。ヘッド保守装置としては、インクジェットヘ
ッドのノズル面に着いた汚れと液滴が乾燥して固化したものを拭き取るワイピング装置、
液滴を吐出してインクジェットヘッド内の気泡や増粘した液体を排出するフラッシング装
置、ノズル中の液の乾燥を防止するためにインクジェットヘッド表面を覆い空気の流れを
遮断するキャッピング装置などがある。

しかしながら、特許文献１の図２に示す液滴吐出装置では、ヘッド保守装置をテーブル
の可動範囲内の下方位置、すなわち液滴吐出装置の内部に設置しているので、ヘッド保守
装置をメンテナンスする場合は人が液滴吐出装置内に入り込まなければならない。このた
めメンテナンスが困難であった。

一方特許文献１の図７に示す液滴吐出装置では、ヘッド保守装置の待機中は、ヘッド保
守装置をテーブルの可動範囲外に移動することができる。しかしながらこの液滴吐出装置
においてはすべてのヘッド保守装置が同時に移動するので、いずれかのヘッド保守装置に
よって液滴吐出ヘッドを保守している最中は、他のヘッド保守装置も液滴吐出装置内に移
動してしまう。したがって使用していない他のヘッド保守装置のメンテナンスを、液滴吐
出ヘッドの保守中に同時に行うことはできず、作業効率の改善が図れなかった。

特開２００６−２１８４３０号公報

本発明は上述の点に鑑みてなされたものでありその目的は、ヘッド保守装置のメンテナ
ンスを容易且つ安全に行え、また液滴吐出ヘッドの保守中であっても使用していない他の
ヘッド保守装置のメンテナンスが行える液滴吐出装置および液滴吐出ヘッドの保守方法を
提供することにある。

上記目的を達成するため本発明にかかる液滴吐出装置は、ワークを第１走査方向に移動
させるテーブルと、前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジと
、前記キャリッジを取り付けて第２走査方向に移動させるとともに前記第１走査方向に移
動するキャリッジガイドと、前記液滴吐出ヘッドの保守を行う複数のヘッド保守装置と、
を備え、前記複数のヘッド保守装置は、これら複数のヘッド保守装置を個別にキャリッジ
ガイドの移動範囲内にあるヘッド保守位置と移動範囲外にあるメンテナンス位置とにわた
って移動させる保守装置移動手段に搭載されていることを特徴とする。この構成によれば
、ヘッド保守装置のメンテナンスをガイド移動範囲外の安全な位置で容易に行うことがで
きる。またいずれかのヘッド保守装置を用いて液滴吐出ヘッドを保守している最中であっ
ても、使用していない他のヘッド保守装置のメンテナンスを行うことができる。

また本発明は、前記保守装置移動手段がレールを具備し、前記レールに前記複数のヘッ
ド保守装置を搭載して移動させることを特徴とする。この構成によれば、複数のヘッド保
守装置を容易に個別にヘッド保守位置とメンテナンス位置とにわたって移動させることが
できる。

また本発明は、前記レールがリング状であることを特徴とする。この構成によれば、複
数のヘッド保守装置をリング状に回転させて移動することで、各ヘッド保守装置を効率よ
くスムーズにヘッド保守位置とメンテナンス位置とにわたって移動させることができる。

また本発明は、前記保守装置移動手段が、前記レールに取り付けられて移動する駆動機
構を有し、前記駆動機構に前記ヘッド保守装置を着脱自在に搭載することを特徴とする。
この構成によれば、必要に応じて駆動機構にヘッド保守装置を着脱することができ、容易
にヘッド保守装置の追加、変更、取り外しができる。

また本発明は、前記駆動機構が、ヘッド保守位置において前記ヘッド保守装置を上昇さ
せて前記液滴吐出ヘッドに接近させる昇降機構を有していることを特徴とする。この構成
によれば、容易に駆動機構に搭載したヘッド保守装置を液滴吐出ヘッドに接近させること
ができる。

また本発明は、前記保守装置移動手段が、前記各ヘッド保守装置の位置を検出する位置
検出手段を有していることを特徴とする。この構成によれば、位置検出手段によって各ヘ
ッド保守装置の位置を検出できるので、各ヘッド保守装置を容易且つ確実にヘッド保守位
置やメンテナンス位置に移動して停止させることができる。

また本発明は、前記複数の保守装置が、前記液滴吐出ヘッドを拭くワイピング装置、前
記液滴吐出ヘッドから液滴を吐出して排出するフラッシング装置、前記液滴吐出ヘッドを
覆って乾燥を防止するキャッピング装置、前記液滴吐出ヘッドの状態を撮影するカメラ装
置、前記液滴吐出ヘッドから吐出される液滴の重量を測定する重量測定装置、前記液滴吐
出ヘッドの交換を行うヘッド交換装置の内の何れかであることを特徴とする。この構成に
よれば、ワイピング装置によって液滴吐出ヘッドの表面の汚れを取り除くことができ、フ
ラッシング装置によって増粘した液や気泡の排出ができて液滴の吐出を確実に行うことが
でき、キャッピング装置によって液滴吐出ヘッドの乾燥を防止でき、カメラ装置によって
液滴吐出ヘッドの状態を撮影することができ、重量測定装置によって液滴吐出ヘッドから
吐出される液滴の重量を測定することができ、ヘッド交換装置によって液滴吐出ヘッドの
交換を行うことができる。

また本発明にかかる液滴吐出ヘッドの保守方法は、前記キャリッジガイドとキャリッジ
とを移動することで前記液滴吐出ヘッドをヘッド保守位置に移動させる工程と、前記複数
のヘッド保守装置の内の所望のヘッド保守装置をヘッド保守位置に移動して前記液滴吐出
ヘッドに対向させる工程と、前記ヘッド保守位置のヘッド保守装置によって前記液滴吐出
ヘッドを保守させる工程と、を有することを特徴とする。なお、液滴吐出ヘッドをヘッド
保守位置に移動させる工程と、所望のヘッド保守装置をヘッド保守位置に移動して液滴吐
出ヘッドに対向させる工程は、この順番に限らず、同時に行ってもよいし、逆の順番で行
ってもよい。この構成によれば、本発明の液滴吐出装置を用いて複数のヘッド保守装置の
内の所望のヘッド保守装置を液滴吐出ヘッドに対向させて保守させることができる。

また本発明は、前記ヘッド保守位置に移動したヘッド保守装置によって前記液滴吐出ヘ
ッドを保守しているときに、保守しているヘッド保守装置以外のいずれかのヘッド保守装
置を前記メンテナンス位置に移動させる工程を有することを特徴とする。この構成によれ
ば、液滴吐出ヘッドの保守と、ヘッド保守装置のメンテナンスとを同時に行うことができ
、メンテナンスに要する時間を短く済ませることができる。

液滴吐出装置１−１の概略斜視図である。 液滴吐出装置１−１の概略平面図である。 液滴吐出ヘッド１５の保守時の液滴吐出装置１−１の概略斜視図である。 液滴吐出ヘッド１５の保守時の液滴吐出装置１−１の概略平面図である。 液滴吐出装置１−２の概略平面図である。 液滴吐出ヘッド１５の保守時の液滴吐出装置１−２の概略平面図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１は本発明の第１実施形
態にかかる液滴吐出装置１−１の概略斜視図、図２は液滴吐出装置１−１の概略平面図、
図３は液滴吐出ヘッド１５の保守時の液滴吐出装置１−１の概略斜視図、図４は液滴吐出
ヘッド１５の保守時の液滴吐出装置１−１の概略平面図である。液滴吐出装置１−１は、
ワークとしての基板１０の所定位置に機能液を液滴として吐出して付着させるための装置
である。

図１，図２において液滴吐出装置１−１は、ベース１３上に、液滴吐出ヘッド１５を下
面に搭載したキャリッジ１７と、基板１０を吸着するテーブル１９と、液滴吐出ヘッド１
５に対して基板１０を主走査移動させる主走査駆動装置２１と、基板１０に対して液滴吐
出ヘッド１５を副走査移動させる副走査駆動装置２３と、液滴吐出ヘッド１５の保守を行
う保守システム５０とを搭載して構成されている。

液滴吐出ヘッド１５は、この実施形態ではインクジェット方式の液滴吐出ヘッドであり
、その下面に複数のノズルが形成されている。

主走査駆動装置２１は、主走査方向（第１走査方向、Ｘ軸方向）Ａに向いて設置される
一対のガイドレール２５，２７と、ガイドレール２５，２７の間に設置されリニアモータ
支持台２８上に取り付けられるリニアモータ２９とを具備して構成されている。リニアモ
ータ２９は前記テーブル１９に連結され、テーブル１９を主走査方向Ａに駆動するもので
ある。リニアモータ２９とテーブル１９の間には基板位置制御装置が介在している。基板
位置制御装置はテーブル１９を回転することでテーブル１９上に吸着した基板１０の回転
方向の位置を制御するものである。

副走査駆動装置２３は、ベース１３上に設置され前記一対のガイドレール２５，２７の
外側をまたぐ門型のキャリッジガイド３１の上部の横架部分を構成するガイドレール部３
３と、ガイドレール部３３に沿って移動するキャリッジ１７とを有している。キャリッジ
１７はガイドレール部３３に沿って副走査方向（第２走査方向、Ｙ軸方向）Ｂに移動し、
主走査方向（Ｘ軸方向）Ａに動作するテーブル１９とほぼ直交する方向に移動する。なお
キャリッジガイド３１は、ガイドレール２５，２７のほぼ全長にわたる範囲で主走査方向
Ａに向かって移動するように構成されている。図２に一点鎖線で示すガイド移動範囲（危
険範囲）Ｓ１は、キャリッジガイド３１が移動する空間よりも安全のため少し大きな範囲
の空間である。

保守システム５０は、ベース１３上に設置されるレール５１と、レール５１上に取り付
けられる複数（この例では４つ）の駆動機構５３とを有する保守装置移動手段５５と、各
駆動機構５３上に搭載されるヘッド保守装置６０（６０−１〜４）とを具備している。

レール５１は円形のリング形状に構成されている。各駆動機構５３はレール５１に沿っ
て移動自在な構造、たとえばリニアガイド機構などを用いてレール５１上に保持されてい
る。駆動機構５３は前記レール５１との間にリニアモータなどの駆動部を設置することで
、レール５１上を移動するように構成されている。駆動機構５３の上面には各種ヘッド保
守装置６０が着脱自在に装着される。さらに駆動機構５３にはその上に装着したヘッド保
守装置６０を昇降させる昇降機構が内蔵されている。昇降機構としては、たとえばエアシ
リンダ、油圧シリンダ、パルスモータとボールねじなどがある。駆動機構５３はラジオコ
ントロールによってそれぞれ個別にレール５１上を移動するように制御され、また前記昇
降機構もラジオコントロールによってそれぞれ個別に駆動されるように制御される。複数
ある駆動機構５３は何れも同一（共通）の構成である。

レール５１はその一部が前記キャリッジガイド３１のガイド移動範囲Ｓ１内に位置して
いる。これによって各駆動機構５３は、個別に、ガイド移動範囲Ｓ１内にあるヘッド保守
位置Ｐ２とガイド移動範囲Ｓ１外にあるメンテナンス位置Ｐ１とにわたって移動するよう
に構成されている。保守装置移動手段５５には、各駆動機構５３の位置、つまりは各ヘッ
ド保守装置６０（６０−１〜４）の位置を検出する位置検出手段５７が取り付けられてい
る。この位置検出手段５７は、レール５１の複数個所に設けた検出センサーであり、個々
の駆動機構５３に設けた被検出部を検出してレール５１のどの位置に各駆動機構５３が位
置しているかを検出するものである。位置検出手段としては、この方法以外に、たとえば
各駆動機構５３にエンコーダを取り付けて各駆動機構５３の位置を検出する手段など、他
の各種構成のものがある。

ヘッド保守装置６０は前述のように駆動機構５３に着脱自在に装着されるものである。
４つのヘッド保守装置６０（６０−１，２，３，４）はそれぞれ異なる機能を有している
。この実施形態においては、ヘッド保守装置６０−１はワイピング装置、ヘッド保守装置
６０−２はフラッシング装置、ヘッド保守装置６０−３はキャッピング装置、ヘッド保守
装置６０−４は重量測定装置である。

ワイピング装置６０−１、フラッシング装置６０−２、キャッピング装置６０−３は、
液滴吐出ヘッド１５の液滴吐出性能を良好に維持するためのクリーニングに関する保守を
行うクリーニング装置である。クリーニング装置は、ノズルやノズル内の機能液を清浄な
状態に維持・復元する機能を有する。ワイピング装置６０−１は、液滴吐出ヘッド１５の
ノズル面をふき取る装置である。ワイピング装置６０−１は、洗浄液をつけたテープ状の
布でノズル面をふき取る方式のものを採用しているが、ゴム板、プラスチック板などの弾
性材でノズル面の汚れをかき取る方式のものを用いてもよい。

フラッシング装置６０−２は液滴吐出ヘッド１５のノズルから液滴を連続的に吐出して
ヘッド内の機能液および気泡を排出するフラッシングの際に液滴吐出ヘッド１５のノズル
から排出される液滴を受ける装置であり、箱状の容器を有する。フラッシング装置６０−
２はヘッド保守位置Ｐ２で作動されると、容器が液滴吐出ヘッド１５に密着してノズル面
を覆い、ノズルから排出される液滴の飛散を防止するようになっている。液滴吐出ヘッド
１５からフラッシングにより排出された排出液は、容器に接続された管を通して真空ポン
プにより吸い出される。

キャッピング装置６０−３は、液滴吐出ヘッド１５が待機しているときにノズル内の機
能液のメカニカスが乾燥するのを防止するために液滴吐出ヘッド１５に蓋（キャップ）を
行う装置である。キャッピング装置６０−３はたとえば、上方を開口させた箱状の蓋を有
し、箱状の蓋を液滴吐出ヘッド１５のノズル面に押圧し、密閉する構造を有する。箱状の
蓋には液滴吐出ヘッド１５との接触部分に密閉度を上げるために弾性材が設けられている
。

重量測定装置６０−４は、吐出液の重量を測る装置である。液滴吐出ヘッド１５の各ノ
ズルからたとえば１００滴ほど吐出し、電子天秤にて重量を測定する。この測定値に基づ
き、例えば一滴当たりの吐出量が適量であるか否かを判断し、適量になるように液滴吐出
ヘッド１５から吐出する液滴の大きさ（重量）を調整する。これによって液滴吐出による
描画品質を向上することができる。

なおヘッド保守装置６０として用いることができる装置には、他にもカメラ装置やヘッ
ド交換装置などがある。カメラ装置は、撮像部と光源から構成され、液滴吐出ヘッド１５
の状態を撮影し、ノズルの状態（穴が潰れていないか、汚れていないかなど）を検査する
ものである。撮像部はＣＣＤ式、電子式のいずれでもよい。ヘッド交換装置は、液滴吐出
ヘッド１５の交換を行うものである。

次に液滴吐出装置１−１の動作の１例を説明する。まず電源投入前の液滴吐出装置１−
１は、図３，図４に示すように、キャリッジ１７および液滴吐出ヘッド１５をヘッド保守
位置Ｐ２に移動しており、同様にこのヘッド保守位置Ｐ２に移動させたキャッピング装置
６０−３によって蓋（キャップ）をしておく。液滴吐出装置１−１に電源を投入して作動
を開始すると、まずキャッピング装置６０−３の駆動機構５３を作動することでキャッピ
ング装置６０−３を下降し、キャッピング装置６０−３の蓋を液滴吐出ヘッド１５から退
避させる。

次にこのときクリーニングタイミングが到来していれば、ヘッド保守位置Ｐ２にあった
キャッピング装置６０−３を別の位置に移動してその代りにフラッシング装置６０−２を
ヘッド保守位置Ｐ２に移動する。そしてフラッシング装置６０−２の駆動機構５３を作動
することでフラッシング装置６０−２を上昇させ、液滴吐出ヘッド１５に対向させる。そ
して液滴吐出ヘッド１５のノズルから液滴を連続的に吐出させるフラッシングを行う。

次にフラッシング装置６０−２を下降してフラッシング装置６０−２をヘッド保守位置
Ｐ２から別の場所に移動し、その代りにワイピング装置６０−１をヘッド保守位置Ｐ２に
移動する。そしてワイピング装置６０−１の駆動機構５３を作動することでワイピング装
置６０−１を上昇させ、液滴吐出ヘッド１５に対向させる。そしてワイピング装置６０−
１を作動させることによりワイピングを行う。これによって液滴吐出ヘッド１５のクリー
ニング動作が終了する。

次にこのとき重量測定タイミングが到来していれば、ヘッド保守位置Ｐ２にあったワイ
ピング装置６０−１を別の位置に移動してその代りに重量測定装置６０−４をヘッド保守
位置Ｐ２に移動して上昇させ、液滴吐出ヘッド１５に対向させる。そして液滴吐出ヘッド
１５のノズルから所定量（例えば１００滴程度）の液滴を吐出させるとともにその吐出さ
れた機能液の量を電子天秤で測定する。そして各ノズルの機能液吐出特性に合わせて、各
ノズルから予め設定された適量の液滴が吐出されるように各ノズルに対応する圧電素子材
に印加する電圧を調節する。そして液滴の重量測定が完了すると、前記重量測定装置６０
−４を下降させる。

そして上記クリーニングタイミングや重量測定タイミングが到来していない場合、ある
いはそれらの処理が終了した場合には、基板１０をテーブル１９上に載置して吸着して位
置決めし、液滴吐出ヘッド１５を基板１０に対する吐出開始位置へ移動させる。次にＸ方
向への主走査を開始し、同時に機能液の吐出を開始する。具体的には基板１０が主走査方
向Ａへ一定の速度で直線的に走査移動し、その移動途中でノズルが吐出位置に到達したと
きに、そのノズルから液滴を吐出する。

１回の主走査が終了すると、液滴吐出ヘッド１５を副走査方向Ｂへ予め決められた副走
査方向Ｂ成分だけ移動する。次に再び主走査および液滴吐出が行われる。そして上記一連
の動作が繰り返される。

以上のような液滴吐出ヘッド１５による機能液の吐出作業が基板１０の全領域に対して
完了すると、基板１０が外部に排出される。次に別の基板１０がテーブル１９上に載置さ
れ、上記と同様の機能液の吐出工程が行われる。基板１０に対する機能液の吐出工程が繰
り返し行われている途中に再びクリーニングタイミングや重量測定タイミングが到来すれ
ば、それを行う。

オペレータからの作業終了の指示があると、キャリッジ１７および液滴吐出ヘッド１５
を図３，図４に示すヘッド保守位置Ｐ２に移動し、同時にワイピング装置６０−１をヘッ
ド保守位置Ｐ２に移動して上昇し、液滴吐出ヘッド１５に対向させる。そしてワイピング
装置６０−１を作動させることによりワイピングを行う。次に前記ワイピング装置６０−
１の代わりに、キャッピング装置６０−３をヘッド保守位置Ｐ２に移動して上昇し、液滴
吐出ヘッド１５をキャッピングする。以上により一連の液滴吐出作業が終了する。

一方各ヘッド保守装置６０−１〜４のメンテナンス（たとえばワイピング装置６０−１
の布の交換など）は、上記液滴吐出装置１−１の動作中または停止中の何れの時であって
も行うことができる。すなわち各ヘッド保守装置６０−１〜４のメンテナンスは、必要に
応じて、メンテナンスしようとするヘッド保守装置６０−１〜４をガイド移動範囲Ｓ１外
にあるメンテナンス位置Ｐ１に移動することで、容易に行うことができる。各ヘッド保守
装置６０−１〜４はリング状に移動するので、いずれのヘッド保守装置６０−１〜４がヘ
ッド保守位置Ｐ２に位置していても、その左右何れかのルートから、メンテナンスしよう
とするヘッド保守装置６０−１〜４をメンテナンス位置Ｐ１に移動できる。

以上のように液滴吐出装置１−１は、複数のヘッド保守装置６０が個別にキャリッジガ
イド３１のガイド移動範囲Ｓ１内にあるヘッド保守位置Ｐ２とガイド移動範囲Ｓ１外にあ
るメンテナンス位置Ｐ１とにわたって移動するように構成されている。したがってヘッド
保守装置６０のメンテナンスをガイド移動範囲Ｓ１外の安全な位置で容易に行うことがで
きる。またいずれかのヘッド保守装置６０を用いて液滴吐出ヘッド１５を保守している最
中であっても、使用していない他のヘッド保守装置６０のメンテナンスを行うことができ
る。またレール５１に複数のヘッド保守装置６０を搭載して移動させるので、複数のヘッ
ド保守装置６０を容易に個別にヘッド保守位置Ｐ２とメンテナンス位置Ｐ１とにわたって
移動させることができる。

またレール５１をリング状に形成したので、複数のヘッド保守装置６０をリング状に回
転させて移動することで、各ヘッド保守装置６０を効率よくスムーズにヘッド保守位置Ｐ
２とメンテナンス位置Ｐ１とにわたって移動させることができる。また保守装置移動手段
５５が駆動機構５３を有しているので、必要に応じて駆動機構５３にヘッド保守装置６０
を着脱することができ、容易にヘッド保守装置６０の追加、変更、取り外しができ、メン
テナンスもさらに容易に行えるようになる。

また駆動機構５３に昇降機構を設けたので、容易に駆動機構５３に搭載したヘッド保守
装置６０を液滴吐出ヘッド１５に接近させることができる。また保守装置移動手段５５に
設けた位置検出手段（センサーなど）によって各ヘッド保守装置６０の位置を検出できる
ので、各ヘッド保守装置６０を容易且つ確実にヘッド保守位置Ｐ２やメンテナンス位置Ｐ
１に停止させることができる。

またヘッド保守装置６０によって液滴吐出ヘッド１５を保守しているときに別のヘッド
保守装置６０をメンテナンス位置Ｐ１に移動させることで、液滴吐出ヘッド１５の保守と
ヘッド保守装置６０のメンテナンスとを同時に行うことができる。これによってメンテナ
ンスに要する時間を短く済ませることができる。

図５は本発明の他の実施形態にかかる液滴吐出装置１−２の概略平面図、図６は液滴吐
出ヘッド１５の保守時の液滴吐出装置１−２の概略平面図である。両図に示す液滴吐出装
置１−２において、前記図１〜図４に示す液滴吐出装置１−２と同一又は相当部分には同
一符号を付す。なお以下で説明する事項以外の事項については、前記図１〜図４に示す実
施形態と同じである。

この液滴吐出装置１−２において前記液滴吐出装置１−１と相違する点は、駆動機構５
３とこれらに搭載するヘッド保守装置６０（６０−１〜５）の数を、４台から５台に増加
した点である。本実施形態においては、レール５１上に駆動機構５３を取り付ける構成な
ので駆動機構５３の着脱が容易であり、駆動機構５３を増加したり変更したり減少させる
ことができる。つまり多様なヘッド保守状況の変更に容易に対応できる。特に駆動機構５
３の着脱は、ガイド移動範囲（危険範囲）Ｓ１の外部において行えるので、容易かつ安全
に行える。またたとえば駆動機構５３を予め多数台レール５１に取り付けておき、それら
多数台の駆動機構５３の内の必要な台数の駆動機構５３にヘッド保守装置６０を装着する
ように構成してもよい。

また図５，図６に示すように、液滴吐出ヘッド１５の保守に使用していないヘッド保守
装置６０は、メンテナンス位置Ｐ１近傍に集結させておくのが好ましい。このように構成
すれば、複数のヘッド保守装置６０を連続してメンテナンスするような場合にヘッド保守
装置６０の移動時間を短くでき（またはヘッド保守装置６０を移動しないままでもメンテ
ナンスでき）、メンテナンスの作業効率を向上できる。

以上本発明の実施形態を説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく
、特許請求の範囲、及び明細書と図面に記載された技術的思想の範囲内において種々の変
形が可能である。なお直接明細書及び図面に記載がない何れの形状や構造であっても、本
願発明の作用・効果を奏する以上、本願発明の技術的思想の範囲内である。例えば、上記
実施形態ではレールを円形のリング状に構成したが、例えばレールを楕円形のリング状に
構成したり、Ｕ字状に構成したり、Ｊ字状に構成したり、直線状に構成したりしてもよい
。Ｕ字状に構成した場合は、その中央の屈曲部分をヘッド保守位置Ｐ２に配置し、その両
側部分をメンテナンス位置Ｐ１に配置すれば、２か所のメンテナンス位置Ｐ１にてヘッド
保守装置６０のメンテナンスができる。

１−１液滴吐出装置、１０ 基板（ワーク）、１３ ベース、１５ 液滴吐出ヘッド、１
７ キャリッジ、１９ テーブル、２１ 主走査駆動装置、２３ 副走査駆動装置、５０
保守システム、２５，２７ ガイドレール、２９ リニアモータ、３１ キャリッジガ
イド、３３ ガイドレール部、５１ レール（保守装置移動手段）、５３ 駆動機構（保
守装置移動手段）、５５ 保守装置移動手段、６０（６０−１〜４） ヘッド保守装置、
６０−１ ワイピング装置、６０−２ フラッシング装置、６０−３ キャッピング装置
、６０−４ 重量測定装置、Ｓ１ ガイド移動範囲（危険範囲）、Ｐ１ メンテナンス位
置、Ｐ２ ヘッド保守位置、Ａ 主走査方向（第１走査方向）、Ｂ 副走査方向（第２走
査方向）

Claims (9)

1. ワークを第１走査方向に移動させるテーブルと、
   前記ワークに液滴を吐出する液滴吐出ヘッドを搭載するキャリッジと、
   前記キャリッジを取り付けて第２走査方向に移動させるとともに前記第１走査方向に移
   動するキャリッジガイドと、
   前記液滴吐出ヘッドの保守を行う複数のヘッド保守装置と、を備え、
   前記複数のヘッド保守装置は、これら複数のヘッド保守装置を個別にキャリッジガイド
   の移動範囲内にあるヘッド保守位置と移動範囲外にあるメンテナンス位置とにわたって移
   動させる保守装置移動手段に搭載されていることを特徴とする液滴吐出装置。
2. 請求項１に記載の液滴吐出装置において、
   前記保守装置移動手段はレールを具備し、前記レールに前記複数のヘッド保守装置を搭
   載して移動させることを特徴とする液滴吐出装置。
3. 請求項２に記載の液滴吐出装置において、
   前記レールはリング状であることを特徴とする液滴吐出装置。
4. 請求項２または３に記載の液滴吐出装置において、
   前記保守装置移動手段は、前記レールに取り付けられて移動する駆動機構を有し、前記
   駆動機構に前記ヘッド保守装置を着脱自在に搭載することを特徴とする液滴吐出装置。
5. 請求項４に記載の液滴吐出装置において、
   前記駆動機構は、ヘッド保守位置において前記ヘッド保守装置を上昇させて前記液滴吐
   出ヘッドに接近させる昇降機構を有していることを特徴とする液滴吐出装置。
6. 請求項１乃至５の内のいずれかに記載の液滴吐出装置において、
   前記保守装置移動手段は、前記各ヘッド保守装置の位置を検出する位置検出手段を有し
   ていることを特徴とする液滴吐出装置。
7. 請求項１乃至６の内のいずれかに記載の液滴吐出装置において、
   前記複数の保守装置は、前記液滴吐出ヘッドを拭くワイピング装置、前記液滴吐出ヘッ
   ドから液滴を吐出して排出するフラッシング装置、前記液滴吐出ヘッドを覆って乾燥を防
   止するキャッピング装置、前記液滴吐出ヘッドの状態を撮影するカメラ装置、前記液滴吐
   出ヘッドから吐出される液滴の重量を測定する重量測定装置、前記液滴吐出ヘッドの交換
   を行うヘッド交換装置の内の何れかであることを特徴とする液滴吐出装置。
8. 請求項１乃至７の内のいずれかに記載の液滴吐出装置における液滴吐出ヘッドの保守方
   法であって、
   前記キャリッジガイドとキャリッジとを移動することで前記液滴吐出ヘッドをヘッド保
   守位置に移動させる工程と、
   前記複数のヘッド保守装置の内の所望のヘッド保守装置をヘッド保守位置に移動して前
   記液滴吐出ヘッドに対向させる工程と、
   前記ヘッド保守位置のヘッド保守装置によって前記液滴吐出ヘッドを保守させる工程と
   、を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの保守方法。
9. 請求項８に記載の液滴吐出ヘッドの保守方法において、
   前記ヘッド保守位置に移動したヘッド保守装置によって前記液滴吐出ヘッドを保守して
   いるときに、保守しているヘッド保守装置以外のいずれかのヘッド保守装置を前記メンテ
   ナンス位置に移動させる工程を有することを特徴とする液滴吐出ヘッドの保守方法。

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