JP2010145253A - Method for imaging cylindrical surface and obtaining rectangular plane image - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法に関し、例えば、雌ねじや雄ねじ、その他の円筒状の内面や外面に傷や打痕等が有るか否かを検出する表面検査に適用できる、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法に関する。 The present invention relates to a method for photographing a cylinder surface and obtaining a square planar image, and is applied to, for example, a surface inspection for detecting whether there are scratches, dents, or the like on internal and external surfaces of a female screw or a male screw. The present invention relates to a method for capturing a square plane image by photographing a cylinder surface.
例えば、エンジンシリンダ、ブレーキシリンダ、コンプレッサシリンダ、その他各種の作動シリンダの如き円筒状をなすものの内周面の傷或いは表面上の異物等を自動的に検査することが求められている。また、雌ねじや雄ねじ等の概略円筒面を有する部品について、ねじ山等に傷が有るか否かを自動的に検査することが求められている。 For example, it is required to automatically inspect for scratches on the inner peripheral surface or foreign matters on the surface of a cylindrical shape such as an engine cylinder, a brake cylinder, a compressor cylinder, and other various operating cylinders. In addition, it is required to automatically inspect whether a thread or the like is scratched on a part having a substantially cylindrical surface such as a female screw or a male screw.
従来、円筒状の被検査物の内周面を検査する表面検査装置として、例えば特許文献1〜5が提案されている。特許文献1の表面検査装置は、円筒状の被検査物へ検査光を投光する投光ファイバと被検査物からの反射光を受光する受光ファイバがファイバ保持筒に内装された検査ヘッドを、その軸線の回りに回転させつつ軸線方向に送り出して被検査物の内部に回転しつつ挿入し、投光ファイバから検査光としてのレーザ光を直角に光路を変更する光路変更手段と集光手段を介して被検査物に照射してその被検査物の内周面をその軸線方向一端から他端まで逐次走査し、その走査に対応した被検査物からの反射光を受光ファイバを介して受光し、その受光した反射光の光量に基づいて被検査物の内周面の状態、例えば欠陥(傷,異物等)の有無を判別する構成である。 Conventionally, for example, Patent Documents 1 to 5 have been proposed as surface inspection apparatuses for inspecting an inner peripheral surface of a cylindrical inspection object. The surface inspection apparatus of Patent Document 1 includes an inspection head in which a light projecting fiber for projecting inspection light onto a cylindrical inspection object and a light receiving fiber for receiving reflected light from the inspection object are housed in a fiber holding cylinder. An optical path changing means and a condensing means for changing the optical path of the laser light as the inspection light from the light projecting fiber at a right angle from the projecting fiber while being rotated around the axis and being sent out in the axial direction and inserted into the inspection object. Irradiates the inspection object through the inner circumferential surface of the inspection object sequentially from one end to the other end in the axial direction, and receives the reflected light from the inspection object corresponding to the scanning through the receiving fiber. In this configuration, the state of the inner peripheral surface of the object to be inspected, for example, the presence or absence of a defect (such as a scratch or a foreign object) is determined based on the amount of the received reflected light.
特許文献2と特許文献3の表面検査装置は、先端にミラー(光路変更手段)が設けられた軸状の検査ヘッド(プローブ)を駆動機構により走査回転させつつ走査移動させるとともに、検査ヘッド内に入射した検査光の光路をミラーにより変更し、光路が変更された検査光を被検査物に照射し、被検査物で反射して検査ヘッド内に再度入射した検査光の光量に基づいて検査物の表面状態を検出する構成であり、基本的な原理は特許文献1の表面検査装置と同じである。特許文献2の表面検査装置は、センサヘッドから反射部材を介して円筒体の内面へ至る距離と、センサヘッドの焦点距離との関係が一定となるように設定したことにより、内径の異なるあらゆる円筒体の内面を検査できる汎用性を有する構成としたものであり、特許文献3の表面検査装置は、ミラーの清掃及び交換を安価で且つ容易に行うことのできる構成としたものである。 In the surface inspection apparatuses of Patent Document 2 and Patent Document 3, a shaft-shaped inspection head (probe) provided with a mirror (optical path changing means) at the tip is scanned and rotated by a driving mechanism, and is moved into the inspection head. The optical path of the incident inspection light is changed by a mirror, the inspection light whose optical path is changed is irradiated on the inspection object, reflected by the inspection object, and the inspection object based on the amount of the inspection light incident again into the inspection head The basic principle is the same as that of the surface inspection apparatus of Patent Document 1. In the surface inspection apparatus of Patent Document 2, all the cylinders having different inner diameters are set by setting the relationship between the distance from the sensor head to the inner surface of the cylinder through the reflecting member and the focal length of the sensor head to be constant. The surface inspection device of Patent Document 3 is configured to be able to clean and replace the mirror at low cost and easily.
特許文献4の表面検査装置は、検査ヘッド(プローブ)の構成が少し相違しており、投光ファイバの周囲に受光ファイバが複数配置され、かつ受光ファイバの径が投光ファイバの径よりも大きくされていて、光源から投光ファイバを介して被検査物の内面に投光された光の反射光を受光ファイバを介して受光し、その受光量に基づいて被検査物の表面に対応した二次元画像を生成する構成であり、被検査物表面の微小サイズの欠陥が検査可能で且つ表面の荒れや汚れ等の影響を受けにくい構成としたものである。 In the surface inspection apparatus of Patent Document 4, the configuration of the inspection head (probe) is slightly different, a plurality of light receiving fibers are arranged around the light projecting fiber, and the diameter of the light receiving fiber is larger than the diameter of the light projecting fiber. The reflected light of the light projected from the light source to the inner surface of the object to be inspected through the light projecting fiber is received through the light receiving fiber, and the light corresponding to the surface of the object to be inspected based on the amount of the received light. This is a configuration for generating a three-dimensional image, which can inspect minute-size defects on the surface of the object to be inspected and is not easily affected by surface roughness or dirt.
特許文献5の表面検査装置は、光源から放射されレンズで絞られるレーザ光を、移動体と回転体の中心の光路に通し、回転体に備えたミラーで光路を90°方向転換して金属部品等の検査面に照射し、その反射光を回転体と共に回転する側のレーザ光の光路の周りに並設された多数の光ファイバで受光し、さらに固定側の光ファイバに伝送し、該光ファイバを通る光を光検出器で検出することにより被検査面の表面傷を検出する構成である。 In the surface inspection apparatus of Patent Document 5, laser light emitted from a light source and focused by a lens is passed through an optical path at the center of a moving body and a rotating body, and the optical path is changed by 90 ° with a mirror provided in the rotating body. The reflected light is received by a number of optical fibers arranged in parallel around the optical path of the laser light that rotates with the rotating body, and further transmitted to the optical fiber on the fixed side. In this configuration, light passing through the fiber is detected by a photodetector to detect a surface flaw on the surface to be inspected.
上記特許文献1〜5の管内表面傷検査装置のいずれも、被検査面(内周面)に画像撮影装置のプローブを対向させた状態に保ち、プローブを走査回転すると共に軸方向に走査移動し、一定時間毎に被検査面の一周分を撮影することを繰り返し各一周分の画像を撮影順に並べた方形平面画像を取得する構成である。 In any of the in-pipe surface flaw inspection apparatuses of Patent Documents 1 to 5, the probe of the imaging apparatus is kept facing the surface to be inspected (inner peripheral surface), the probe is scanned and rotated, and the probe is scanned in the axial direction. In this configuration, imaging of one round of the surface to be inspected is performed at regular intervals, and a rectangular planar image is obtained by arranging the images of each round in the order of imaging.
本発明者らは、特許文献1〜5の管内表面傷検査装置と実質的に同一の撮影原理により、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法によって、有底の穴に雌ねじが切られた円筒体の雌ねじの表面に傷あるいは異物が有るか無しかを高速で検査することを試みた。 The present inventors cut a female screw into a bottomed hole by a method of photographing a cylindrical surface and acquiring a rectangular planar image on the basis of the photographing principle substantially the same as that of the in-pipe surface flaw inspection apparatus of Patent Documents 1 to 5. An attempt was made to inspect at high speed whether there were any scratches or foreign objects on the surface of the internal thread of the cylindrical body.
検査は、検査ヘッドの回転中心を円筒体の穴の中心に正確に合わせ、検査ヘッド(プローブ)を3000r.p.mで回転して円筒体の穴内の入口に位置させ、ここから、この試験に使用する検査ヘッドが撮影可能である0.1mm幅を1回転当たりの送りピッチとして穴内の奥まで走査移動して停止させ、これによって、筒表面を撮影し方形平面画像を取得し、表示装置に表示したところ、方形平面画像の上端付近及び下端付近で伸びた状態に歪んだ画像となった。 The inspection is performed by precisely aligning the center of rotation of the inspection head with the center of the hole in the cylindrical body, and rotating the inspection head (probe) at 3000 rpm to position the inlet in the hole in the cylindrical body. The inspection head that is used for photographing can be stopped by scanning and moving to the back of the hole with a 0.1 mm width as a feed pitch per revolution, thereby photographing the cylinder surface and obtaining a rectangular planar image. As a result, the image was distorted into a stretched state near the upper end and near the lower end of the rectangular planar image.
条件を変えて、検査ヘッドを30000r.p.mで回転して円筒体の穴内の入口に位置させ、ここから、0.1mm幅を1回転当たりの送りピッチとして穴内の奥まで走査移動して停止させ、これによって、筒表面を撮影し方形平面画像を取得し、表示装置に表示したところ、方形平面画像の上端付近及び下端付近で一層顕著に伸びた状態に歪んだ画像となった。 By changing the conditions, the inspection head is rotated at 30000 rpm and positioned at the entrance of the hole in the cylindrical body. From here, the 0.1 mm width is scanned and moved to the back of the hole as a feed pitch per rotation. When stopped, the surface of the cylinder was photographed to obtain a square planar image and displayed on the display device. As a result, the image was distorted into a more prominent extension near the upper and lower ends of the rectangular planar image.
本発明者らが鋭意に原因を探求したところ、上記の試験検査の場合、検査ヘッドの走査移動に関し、0.1mm幅を1回転当たりの送りピッチとして一定時間毎に一周分を撮影しているものであり、上記試験検査では、プローブが走査移動を開始し加速して定速になるまでの加速領域と、プローブの走査移動が定速から減速に変わり停止するまでの減速領域では、それぞれ定速領域に比べて撮影回数が多くなり、撮影した全部の線画像データを撮影順に並べた状態に表示装置に表示していることになるために、方形平面画像の上端付近及び下端付近で一層顕著に伸びた状態に歪んだ画像になることが分かった。さらに、検査ヘッドの走査回転を高速にするほど、加速領域と減速領域の時間が多くなり、これによって、定速領域に比べて撮影回数がさらに多くなり、もって、方形平面画像の上端付近及び下端付近で一層顕著に伸びた状態に歪んだ画像になることが分かった。
生産性を向上させるためには、雌ねじや雄ねじのような大量生産品の、表面検査の高速化が求められている。
When the present inventors have eagerly searched for the cause, in the case of the above-described test inspection, regarding the scanning movement of the inspection head, one round is photographed at a constant time with a width of 0.1 mm as a feed pitch per rotation. In the test and inspection described above, the acceleration region until the probe starts scanning movement and accelerates to a constant speed and the deceleration region where the scanning movement of the probe changes from constant speed to deceleration and stops are respectively constant. Since the number of shots is increased compared to the speed region, and all the captured line image data is displayed on the display device in the order of shooting, it is more prominent near the upper end and lower end of the rectangular planar image. It was found that the image was distorted in a stretched state. In addition, the faster the scanning rotation of the inspection head, the more time is required for the acceleration and deceleration areas, thereby increasing the number of times of shooting compared to the constant speed area, and thus the vicinity of the top and bottom edges of the rectangular planar image. It was found that the image was distorted into a more prominent state in the vicinity.
In order to improve productivity, high-speed surface inspection is required for mass-produced products such as female screws and male screws.
本発明では、上述した点に鑑み案出されたもので、その目的とするところは、検査ヘッドの走査移動に関し、定速移動の前側に加速、後側に減速のいずれかを伴う走査移動を行って高速で撮影し方形画像を得る場合でも、撮影により得られる方形画像の撮影開始側と撮影終了側で画像が伸びた状態になるゆがみが生じることがない正常な方形画像を取得できる、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法を提供することにある。 The present invention has been devised in view of the above-mentioned points. The object of the present invention relates to the scanning movement of the inspection head, and the scanning movement with either acceleration on the front side of the constant speed movement and deceleration on the rear side. Even when a square image is obtained by shooting at high speed, it is possible to obtain a normal square image that does not cause distortion that causes the image to expand on the shooting start side and shooting end side of the square image obtained by shooting. An object of the present invention is to provide a method for capturing a surface and acquiring a rectangular planar image.
上記課題を解決するため、本願第1の発明に係る、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法は、画像撮影装置のプローブの先端部の光の出入射方向を被撮影体の内周面又は外周面に対向させた状態に保ち、前記プローブと前記被撮影体のいずれか一方に、振れ回りを抑えることにより前記プローブと前記被撮影体の内周面又は外周面との対向距離を一定に保てる走査回転を相対的に与えると共に、前記プローブと前記被撮影体のいずれか一方に、走査移動を相対的に与え、かつ、該走査移動を前記走査回転が定速回転であるときの1回転当たりの走査移動を前記プローブの走査移動方向の撮影幅に一致させ、前記プローブから前記被撮影体の内周面又は外周面に検査光を照射し該プローブに入力する反射光の強さをデジタル変換して画素データを取得する撮影を、前記走査移動を定速にして前記プローブが1回転当たりの走査移動方向の撮影幅に等しい距離だけ走査移動する時間経過毎に、前記走査回転方向の原点位置から一周分について、かつ、前記被撮影体の内周面又は外周面の所要の被撮影エリアについて行い、撮影データをメモリに記憶し、各一周分単位の撮影データを線画像として撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法であって、前記被撮影体の内周面又は外周面の前記被撮影エリアの撮影開始側部分の撮影について、加速して定速となり減速して停止する走査移動を伴うときは、前記走査移動の加速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、前記定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、加速領域との境となる端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、また前記走査移動の減速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、前記定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、減速領域との境となる端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、前記選択した加速時の撮影データと、前記定速時に撮影した撮影データと、前記選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、ことを特徴とする。 In order to solve the above-described problem, according to the first invention of the present application, a method for photographing a cylindrical surface and obtaining a rectangular planar image is obtained by determining the light incident / incident direction of the tip of the probe of the image photographing device as the inner periphery of the subject. The distance between the probe and the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the object to be imaged is suppressed by suppressing the swinging of the probe or the object to be imaged while keeping the surface facing the surface or the outer peripheral surface. A scanning rotation that can be kept constant is relatively given, a scanning movement is relatively given to one of the probe and the subject, and the scanning movement is a constant speed rotation. The scanning movement per rotation is made to coincide with the imaging width of the probe in the scanning movement direction, and the intensity of the reflected light input to the probe by irradiating the probe with the inspection light from the probe on the inner or outer peripheral surface of the subject. Convert the pixel to digital When the probe moves by a distance equal to the imaging width in the scanning movement direction per rotation with the scanning movement set at a constant speed, the imaging for acquiring the data is made one round from the origin position in the scanning rotation direction. And the required shooting area on the inner or outer peripheral surface of the object to be shot, the shooting data is stored in the memory, and the shooting data for each round is arranged in the vertical direction in the shooting order as a line image. A method for acquiring a rectangular planar image, a method for acquiring a rectangular planar image by capturing a cylindrical surface, wherein the imaging of the imaging start side portion of the imaging area on the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the subject is accelerated. When there is a scanning movement that stops at a constant speed and decelerates, the photographing data that is shot in the acceleration area of the scanning movement and stored in the memory is shot in the constant speed area and stored in the memory. In the shadow data, at the position closest to each allocation position when allocating at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed area in the direction of zero acceleration starting from the imaging data at the boundary with the acceleration area The imaging data at a certain probe arrival position is selected, and the imaging data captured in the deceleration area of the scanning movement and stored in the memory is captured in the constant speed area and stored in the memory. 1 which is the closest to each allocation position when it is allocated at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed area in the direction of decelerating and stopping with the imaging data at the end bordering the deceleration area as the starting point The imaging data at the two probe arrival positions are selected, the selected imaging data at the time of acceleration, the imaging data acquired at the constant speed, and the selected imaging data at the time of deceleration. The rectangular planar images are obtained by arranging them in the vertical direction in the shooting order.
加速領域または減速領域との境となる端の撮影データの起点を求めたり、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振るためには、1回転毎の撮影開始とともに走査移動方向のプローブ到達位置を撮影データと関係付けて記録し定速領域のプローブ到達位置の間隔を求め、この間隔に基づいて処理することで実現できる。 In order to obtain the starting point of the imaging data at the end bordering the acceleration area or the deceleration area, or to allocate it at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed area, the probe arrival position in the scanning movement direction at the start of imaging every rotation Is recorded in association with imaging data, the interval between the probe arrival positions in the constant speed region is obtained, and processing is performed based on this interval.
上記構成の本願第1の発明は、画像撮影装置のプローブの走査移動について、撮影の開始側で加速を伴うと共に撮影の終了側で減速を伴う走査移動を行わせ、線画像データを取得し、方形平面画像を取得するものである。加速領域と減速領域については、補正を行う構成であることにより、画像が伸びるゆがみを除去できる。 The first invention of the present application having the above configuration acquires the line image data by causing the scanning movement of the probe of the image photographing apparatus to perform scanning movement accompanied by acceleration on the photographing start side and deceleration on the photographing end side, A rectangular planar image is acquired. Since the acceleration region and the deceleration region are configured to perform correction, it is possible to remove the distortion in which the image extends.
定速走査移動の前側で加速、後側で減速を伴う具体例として、例えば、被撮影体に、上端が開いていて下側が閉じている雌ねじを有し、かつ該雌ねじについて撮影し方形画像データを取得したい場合に適用できる。 As a specific example involving acceleration at the front side of the constant speed scanning movement and deceleration at the rear side, for example, the object to be imaged has a female screw whose upper end is open and whose lower side is closed, and the female screw is photographed and square image data is taken. Applicable when you want to get
詳述すると、画像撮影装置のプローブを被撮影体の上方に位置させて例えば3000r.p.m〜30000r.p.mの範囲で正確に定速走査回転し下降開始し、下降途中で走査移動方向の原点位置を検出しここからプローブの実ストロークを計測しつつさらに下降し、被撮影体の穴内の入口付近の撮影開始位置に到達したら、走査移動(下降)を一端停止させる。このとき、プローブの回転中心と被撮影体の穴の中心とが正確に一致していてプローブは振れ回りをしない回転であるものとする。ここから、走査移動(下降)を再開し同時に撮影を開始し一回転当たりに得られる線画像データとプローブの実ストロークの到達位置とを関係づけてメモリに記憶する。プローブの先端の撮影位置が雌ねじの下端にきたことを実ストロークの計測により検知したとき、撮影とメモリの記憶を停止し、走査移動を停止する。 More specifically, the probe of the image capturing apparatus is positioned above the object to be scanned, for example, in a range of 3000 rpm to 30000 rpm and starts to descend accurately, starts to descend, and moves in the middle of descending. When the origin position of the direction is detected and the actual stroke of the probe is further measured from this position and further descends and the imaging start position near the entrance in the hole of the subject is reached, the scanning movement (downward movement) is stopped once. At this time, it is assumed that the rotation center of the probe and the center of the hole of the object to be photographed exactly coincide with each other and the probe does not swing. From this point, the scanning movement (lowering) is resumed and imaging is started at the same time, and the line image data obtained per rotation and the arrival position of the actual stroke of the probe are related and stored in the memory. When it is detected by measuring the actual stroke that the imaging position of the tip of the probe has come to the lower end of the female screw, imaging and memory storage are stopped, and scanning movement is stopped.
プローブの走査移動と撮影とメモリの記憶を上記のように行うと、定速走査移動の前側に撮影を行っている加速領域があり、また定速走査移動の後側に撮影を行っている減速領域があり、撮影により得られる線画像データは、加速時の1回転当たりの経過時間が定速時の1回転当たりの経過時間よりも長くなるので加速領域及び減速領域の撮影回数が定速時の撮影回数よりも多くなる。 When the scanning movement, imaging, and memory storage of the probe are performed as described above, there is an acceleration area in which imaging is performed in front of the constant speed scanning movement, and deceleration in which imaging is performed after the constant speed scanning movement. The line image data obtained by photographing has an area, and the elapsed time per rotation at acceleration is longer than the elapsed time per revolution at constant speed, so the number of times of imaging in the acceleration area and the deceleration area is constant. More than the number of shots.
そこで、本願第1の発明では、走査移動の加速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、加速領域との境となる端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置(具体的には75%以上(好ましくは80%以上)の割合で近似する位置)にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択する。
また、走査移動の減速領域にて撮影しメモリに記憶した撮影データについて、定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、減速領域との境となる端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置(具体的には75%以上(好ましくは80%以上)の割合で近似する位置)にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択する。
そして、選択した加速時の撮影データと、定速時に撮影した撮影データと、選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する構成としたことにより、撮影により得られる方形画像の撮影開始側で画像が伸びた状態になるゆがみが生じることを回避でき、段差感がない正常な方形画像を取得できる。
従って、本願第1の発明によれば、方形画像のデータに基づいて表面の傷や打痕等の有無を検査する円筒面の検査方法に好適である。
Therefore, in the first invention of the present application, the shooting data captured in the acceleration region of the scanning movement and stored in the memory is the boundary between the acceleration region in the shooting data captured in the constant speed region and stored in the memory. The position closest to each allocation position (specifically, 75% or more (preferably 80% or more preferably) when allocated at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed region in the direction of zero acceleration starting from the imaging data of The imaging data of one probe arrival position at the position approximated at a ratio of% or more) is selected.
In addition, for the shooting data shot in the deceleration area of scanning movement and stored in the memory, the shooting data at the boundary with the deceleration area in the shooting data shot in the constant speed area and stored in the memory is the starting point. In the direction to decelerate and stop, the position closest to each allocation position (specifically, 75% or more (preferably 80% or more)) when allocated at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed region. Imaging data at one probe arrival position at an approximate position) is selected.
Then, by selecting the shooting data at the time of acceleration, the shooting data shot at a constant speed, and the shooting data at the time of deceleration selected in the vertical direction in the shooting order, a rectangular planar image is acquired, thereby enabling shooting. It is possible to avoid the occurrence of distortion in which the image is stretched on the imaging start side of the obtained square image, and it is possible to obtain a normal square image having no step feeling.
Therefore, according to the first invention of the present application, it is suitable for the cylindrical surface inspection method for inspecting the presence or absence of scratches or dents on the surface based on square image data.
また上記課題を解決するため、本願第2の発明に係る、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法は、画像撮影装置のプローブの先端部の光の出入射方向を被撮影体の内周面又は外周面に対向させた状態に保ち、前記プローブと前記被撮影体のいずれか一方に、振れ回りを抑えることにより前記プローブと前記被撮影体の内周面又は外周面との対向距離を一定に保てる走査回転を相対的に与えると共に、前記プローブと前記被撮影体のいずれか一方に、走査移動を相対的に与え、かつ、該走査移動を前記走査回転が定速回転であるときの1回転当たりの走査移動を前記プローブの走査移動方向の撮影幅に一致させ、前記プローブから前記被撮影体の内周面又は外周面に検査光を照射し該プローブに入力する反射光の強さをデジタル変換して画素データを取得する撮影を、前記走査移動を定速にして前記プローブが1回転当たりの走査移動方向の撮影幅に等しい距離だけ走査移動する時間経過毎に、前記走査回転方向の原点位置から一周分について、かつ、前記被撮影体の内周面又は外周面の所要の被撮影エリアについて行い、撮影データをメモリに記憶し、各一周分単位の撮影データを線画像として撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法であって、前記被撮影体の内周面又は外周面の前記被撮影エリアの撮影終了側部分の撮影について、前記定速より減速して停止する走査移動を伴うときは、前記走査移動の減速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、前記定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、減速領域との境となる端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、前記定速時に撮影した撮影データと、前記選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、ことを特徴とする。 In order to solve the above-mentioned problem, according to the second invention of the present application, a method for capturing a cylindrical surface and acquiring a rectangular planar image is characterized in that the light exit / incident direction of the tip of the probe of the image capturing apparatus is determined within the object to be imaged. The distance between the probe and the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of the object to be imaged is kept by keeping the peripheral surface or the outer peripheral surface facing each other and suppressing swinging of the probe and the object to be imaged. When the scanning rotation is relatively applied, the scanning movement is relatively applied to one of the probe and the object to be imaged, and the scanning rotation is a constant speed rotation. The scanning movement per rotation of the probe is made to coincide with the imaging width of the probe in the scanning movement direction, the inspection light is irradiated from the probe to the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of the object, and the intensity of the reflected light input to the probe is increased. Digitally convert The imaging for obtaining the raw data is performed once from the origin position in the scanning rotation direction every time when the probe scans and moves by a distance equal to the imaging width in the scanning movement direction per rotation with the scanning movement as a constant speed. And the required shooting area on the inner or outer peripheral surface of the object to be shot, the shooting data is stored in the memory, and the shooting data for each round is arranged in the vertical direction in the shooting order as a line image. A method for obtaining a rectangular planar image, which is a method for obtaining a rectangular planar image by photographing a cylindrical surface, and for photographing an imaging end side portion of the subject area on the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the subject. When accompanied by a scanning movement that decelerates from the speed and stops, the imaging data that is shot in the deceleration area of the scanning movement and stored in the memory is shot in the constant speed area and stored in the memory. The position in the data that is closest to each allocation position when allocating at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed area in the direction to decelerate and stop starting from the imaging data at the edge that borders the deceleration area To obtain a rectangular planar image by arranging the photographing data taken at the constant speed and the photographing data taken at the constant speed and the selected photographing data at the deceleration in the vertical direction in the photographing order. Features.
上記構成の本願第2の発明は、本願第1の発明と比べ、画像撮影装置のプローブの走査移動について、撮影の開始側で加速を伴わないが撮影の終了側で減速を伴う走査移動を行わせ、線画像データを取得し、方形平面画像を取得する点が相違している。減速領域については、本願第1の発明と同一の補正を行う構成であることにより、画像が伸びるゆがみを除去できる。 Compared with the first invention of the present application, the second aspect of the present invention configured as described above performs the scanning movement of the probe of the imaging apparatus without acceleration on the imaging start side but with deceleration on the imaging end side. The difference is that line image data is acquired and a rectangular plane image is acquired. With respect to the deceleration region, the same correction as that of the first invention of the present application can be applied, so that distortion in which the image extends can be removed.
加速を伴わず減速を伴う走査移動の具体例として、例えば、被撮影体の穴が、雌ねじの上端が開いていて下端が閉じている形状で、かつ該雌ねじについて撮影し方形画像データを取得したい場合に適用できる。 As a specific example of scanning movement with deceleration without acceleration, for example, the hole of the object to be imaged has a shape in which the upper end of the female screw is open and the lower end is closed, and the female screw is photographed and square image data is to be acquired. Applicable to the case.
詳述すると、画像撮影装置のプローブを被撮影体の上方に位置させて例えば3000r.p.m〜30000r.p.mの範囲で正確に定速走査回転し下降開始し、下降途中で走査移動方向の原点位置を検出しここからプローブの実ストロークを計測しつつさらに下降し、被撮影体の穴内の入口付近の撮影開始位置に到達したら、一端停止させることなく走査移動(下降)を続行し撮影を開始し一回転当たりに得られる線画像データとプローブの実ストロークの到達位置とを関係づけてメモリに記憶する。このとき、プローブの回転中心と被撮影体の穴の中心とが正確に一致しているものとする。プローブの先端の撮影位置が雌ねじと円筒部との段差部にきたことを実ストロークの計測により検知したとき、撮影とメモリの記憶を停止し走査移動を停止する。 More specifically, the probe of the image capturing apparatus is positioned above the object to be scanned, for example, in a range of 3000 rpm to 30000 rpm and starts to descend accurately, starts to descend, and moves in the middle of descending. Detecting the origin position of the direction and further descending while measuring the actual stroke of the probe, and when it reaches the shooting start position near the entrance in the hole of the object to be scanned, the scanning movement (falling) is continued without stopping. The imaging is started and the line image data obtained per rotation is related to the arrival position of the actual stroke of the probe and stored in the memory. At this time, it is assumed that the center of rotation of the probe and the center of the hole of the object to be photographed exactly coincide with each other. When it is detected by measuring the actual stroke that the imaging position of the tip of the probe has come to the step portion between the female screw and the cylindrical portion, the imaging and memory storage are stopped and the scanning movement is stopped.
プローブの走査移動と撮影とメモリの記憶を上記のように行うと、定速走査移動の前側に加速領域がなく、定速走査移動の後側に撮影を行っている減速領域があり、撮影により得られる線画像データは、減速時の1回転当たりの経過時間が定速時の1回転当たりの経過時間よりも長くなるので減速領域の撮影回数が定速時の撮影回数よりも多くなる。 When the scanning movement of the probe, imaging, and storage of the memory are performed as described above, there is no acceleration area on the front side of the constant speed scanning movement, and there is a deceleration area on the back side of the constant speed scanning movement. In the obtained line image data, the elapsed time per rotation at the time of deceleration is longer than the elapsed time per rotation at the constant speed, so that the number of times of imaging in the deceleration region is larger than the number of imaging at the constant speed.
そこで、本願第2の発明では、走査移動の減速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、前記定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、減速領域との境となる端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置(具体的には75%以上(好ましくは80%以上)の割合で近似する位置)にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、定速時に撮影した撮影データと、選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する構成としたことにより、撮影により得られる方形画像の撮影終了側で画像が伸びた状態になるゆがみが生じることを回避でき、段差感がない正常な方形画像を取得できる。 Therefore, in the second invention of the present application, the shooting data captured in the deceleration area of the scanning movement and stored in the memory is the boundary between the imaging data captured in the constant speed area and stored in the memory. The position closest to each allocation position (specifically 75% or more (specifically, 75% or more)) The imaging data at one probe arrival position at a position approximated at a ratio of preferably 80% or more) is selected, and the imaging data taken at the constant speed and the selected imaging data at the deceleration are arranged in the vertical direction in the order of photography. By arranging to obtain a rectangular planar image arranged side by side, it is possible to avoid the occurrence of distortion that causes the image to expand on the shooting end side of the square image obtained by shooting, and there is no step difference You can obtain the normally square image.
さらに上記課題を解決するため、本願第3の発明に係る、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法は、画像撮影装置のプローブの先端部の光の出入射方向を被撮影体の内周面又は外周面に対向させた状態に保ち、前記プローブと前記被撮影体のいずれか一方に、振れ回りを抑えることにより前記プローブと前記被撮影体の内周面又は外周面との対向距離を一定に保てる走査回転を相対的に与えると共に、前記プローブと前記被撮影体のいずれか一方に、走査移動を相対的に与え、かつ、該走査移動を前記走査回転が定速回転であるときの1回転当たりの走査移動を前記プローブの走査移動方向の撮影幅に一致させ、前記プローブから前記被撮影体の内周面又は外周面に検査光を照射し該プローブに入力する反射光の強さをデジタル変換して画素データを取得する撮影を、前記走査移動を定速にして前記プローブが1回転当たりの走査移動方向の撮影幅に等しい距離だけ走査移動する時間経過毎に、前記走査回転方向の原点位置から一周分について、かつ、前記被撮影体の内周面又は外周面の所要の被撮影エリアについて行い、撮影データをメモリに記憶し、各一周分単位の撮影データを線画像として撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法であって、前記被撮影体の内周面又は外周面の前記被撮影エリアの撮影開始側部分の撮影について、加速して前記定速となる走査移動を伴うときは、前記走査移動の加速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、前記定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、加速領域との境となる端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、前記選択した加速時の撮影データと、前記定速時に撮影した撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、ことを特徴とする。 Furthermore, in order to solve the above-described problem, according to the third aspect of the present invention, a method for photographing a cylindrical surface and obtaining a rectangular planar image is obtained by determining the light incident / incident direction of the tip of a probe of an image photographing device. The distance between the probe and the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of the object to be imaged is kept by keeping the peripheral surface or the outer peripheral surface facing each other and suppressing swinging of the probe and the object to be imaged. When the scanning rotation is relatively applied, the scanning movement is relatively applied to one of the probe and the object to be imaged, and the scanning rotation is a constant speed rotation. The scanning movement per rotation of the probe is made to coincide with the imaging width of the probe in the scanning movement direction, the inspection light is irradiated from the probe to the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of the object, and the intensity of the reflected light input to the probe is increased. Digitally convert The imaging for obtaining pixel data is performed once from the origin position in the scanning rotation direction every time when the probe scans and moves by a distance equal to the imaging width in the scanning movement direction per rotation with the scanning movement as a constant speed. And the required shooting area on the inner or outer peripheral surface of the object to be shot, the shooting data is stored in the memory, and the shooting data for each round is arranged in the vertical direction in the shooting order as a line image. A method for acquiring a rectangular planar image, a method for acquiring a rectangular planar image by capturing a cylindrical surface, wherein the imaging of the imaging start side portion of the imaging area on the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the subject is accelerated. When the scanning movement is performed at a constant speed, the imaging data captured in the acceleration area of the scanning movement and stored in the memory is captured in the constant speed area and stored in the memory. In the data, the position is the closest to each allocation position when the imaging data at the edge that borders the acceleration area is used as the starting point and is allocated in the direction of zero acceleration at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed area. The imaging data at one probe arrival position is selected, and the rectangular plane image is obtained by arranging the selected imaging data at the time of acceleration and the imaging data acquired at the constant speed in the vertical direction in the imaging order. To do.
上記構成の本願第3の発明は、本願第1の発明と比べ、画像撮影装置のプローブの走査移動について、撮影の開始側で加速を伴い撮影の終了側で減速を伴わない走査移動を行わせ、線画像データを取得し、方形平面画像を取得する点が相違している。加速領域については、本願第1の発明と同一の補正を行う構成であることにより、画像が伸びるゆがみを除去できる。 Compared with the first invention of the present application, the third invention of the present application is configured such that the scanning movement of the probe of the image photographing apparatus is accelerated on the photographing start side and not decelerated on the photographing end side. The difference is that line image data is acquired and a rectangular planar image is acquired. The acceleration region is configured to perform the same correction as that of the first invention of the present application, so that it is possible to remove the distortion in which the image extends.
加速を伴い減速を伴わない走査移動の具体例として、例えば、被撮影体の穴が、上端が開いている雌ねじを上部に有し、かつ該雌ねじ下側に連設され該雌ねじよりも大径な円筒部を有する二段形状の孔であり、雌ねじについてのみ撮影し方形画像データを取得したい場合に適用できる。 As a specific example of scanning movement that accompanies acceleration and not deceleration, for example, the hole of the object to be imaged has a female screw with an upper end open at the top, and is continuously provided below the female screw and has a larger diameter than the female screw. This is a two-stage hole having a cylindrical portion, and can be applied to a case where only a female screw is photographed to obtain square image data.
詳述すると、画像撮影装置のプローブを被撮影体の上方に位置させて例えば3000r.p.m〜30000r.p.mの範囲で正確に定速走査回転し下降を開始し、下降途中で走査移動方向の原点位置を検出しここからプローブの実ストロークを計測しつつさらに下降し、被撮影体の穴内の入口付近の撮影開始位置に到達したら、本願第2の発明とは異なり、走査移動(下降)を一端停止し、ここから、走査移動(下降)を開始するとともに撮影を開始し一回転当たりに得られる線画像データとプローブの実ストロークの到達位置とを関係づけてメモリに記憶し、プローブの先端の撮影位置が雌ねじの下端にきたことを実ストロークの計測により検知したとき、撮影とメモリの記憶を停止し、走査移動を定速のまま続行して円筒部の途中で停止する。 More specifically, the probe of the image photographing apparatus is positioned above the object to be photographed, and, for example, the rotation is accurately rotated at a constant speed in the range of 3000 rpm to 30000 rpm, and the descent starts. When the origin position in the moving direction is detected and the actual stroke of the probe is further lowered from this position, and further reaches the imaging start position near the entrance in the hole of the object to be imaged, unlike the second invention of the present application, the scanning movement ( (The descent) is temporarily stopped, and from here, scanning movement (descent) is started and imaging is started and the line image data obtained per rotation and the arrival position of the actual stroke of the probe are related and stored in the memory, When it is detected by actual stroke measurement that the imaging position of the tip of the probe has come to the lower end of the female screw, the imaging and storage of the memory are stopped, the scanning movement is continued at a constant speed, and stopped in the middle of the cylindrical part. The
プローブの走査移動と撮影とメモリの記憶を上記のように行うと、定速走査移動の前側に撮影を行っている加速領域があり、撮影により得られる線画像データは、加速時の撮影数が定速時の撮影数よりも多くなる。 When the scanning movement of the probe, imaging, and storage of the memory are performed as described above, there is an acceleration area in which imaging is performed in front of the constant speed scanning movement, and the line image data obtained by imaging has the number of imaging at the time of acceleration. More than the number of shots at constant speed.
そこで、本願第3の発明では、被撮影体の内周面又は外周面の被撮影エリアの撮影開始側部分の撮影について、加速して前記定速となる走査移動を伴うときは、走査移動の加速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、定速領域にて撮影しメモリに記憶した撮影データの中、加速領域との境となる端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置(具体的には75%以上(好ましくは80%以上)の割合で近似する位置)にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、前記選択した加速時の撮影データと、定速時に撮影した撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する構成としたことにより、撮影により得られる方形画像の撮影開始側で画像が伸びた状態になるゆがみが生じることを回避でき、段差感がない正常な方形画像を取得できる。 Therefore, in the third invention of the present application, when the photographing of the photographing start side portion of the photographing area on the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of the subject is accelerated and accompanied by the scanning movement at the constant speed, the scanning movement is performed. For the shooting data shot in the acceleration area and stored in the memory, from the shooting data shot in the constant speed area and stored in the memory, the shooting data at the boundary with the acceleration area is set as the starting point in the direction of zero acceleration. 1 that is closest to each allocation position (specifically, a position approximated at a ratio of 75% or more (preferably 80% or more)) when allocated at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed region. By selecting the imaging data at the probe arrival position, and the configuration of acquiring the rectangular plane image by arranging the imaging data at the time of the acceleration and the imaging data captured at the constant speed in the vertical direction in the imaging order, Prevents the distortion of a state where the image is expanded in the shooting start side of the rectangular image obtained by the shadow caused, it can obtain normal rectangular image is not stepped sense.
本願第1〜3の発明によれば、被撮影体の内周面ではなく、外周面を撮影し方形平面画像を取得することも含まれる。具体的には、画像撮影装置のプローブは回転せず、被撮影体の外周面に対抗させ、被撮影体をチャック回転装置でチャックして振れ回りを生じないようにして高速回転させ、プローブを被撮影体の母線方向に走査移動し、筒表面を撮影し方形平面画像を取得することができる。 According to the first to third aspects of the present invention, capturing a rectangular planar image by capturing the outer peripheral surface, not the inner peripheral surface of the object to be imaged is also included. Specifically, the probe of the image capturing apparatus does not rotate, but opposes the outer peripheral surface of the object to be imaged, and the object to be imaged is chucked by the chuck rotating apparatus so as not to cause a whirling and is rotated at a high speed. It is possible to scan and move in the generatrix direction of the object to be photographed to capture the surface of the cylinder and obtain a square planar image.
本発明の筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法によれば、検査ヘッドの走査移動に関し、定速移動の前側に加速、後側に減速のいずれかを伴う走査移動を行って高速で撮影し方形画像を得る場合でも、撮影により得られる方形画像の撮影開始側の加速領域と撮影終了側の減速領域については、線画像データの適切な選択を行い余分を排除する補正を行うので画像が伸びた状態になるゆがみが生じることがなく段差感がない正常な方形画像を取得でき、加速領域と減速領域の画像データも正常に得られるので、表面検査を高速化に寄与することができる。 According to the method for acquiring a square planar image by photographing the cylinder surface of the present invention, the scanning movement of the inspection head is performed at a high speed by performing scanning movement with either acceleration on the front side of constant speed movement and deceleration on the rear side. Even if a square image is obtained by shooting, the acceleration area on the shooting start side and the deceleration area on the shooting end side of the rectangular image obtained by shooting are corrected by selecting appropriate line image data and eliminating excess. The normal square image with no sense of level difference can be acquired without causing distortion, and the image data of the acceleration region and the deceleration region can be obtained normally, which can contribute to speeding up the surface inspection. .
以下、本発明の筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法の実施形態について図面を参照して説明する。 Hereinafter, an embodiment of a method for acquiring a square planar image by photographing a cylinder surface according to the present invention will be described with reference to the drawings.
図1は、本発明の筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法を用いた表面検査装置10を示す。この表面検査装置10は、特許文献5の図3と実質的に同一であり、基盤11上に、例えばパーツフィーダから供給される加工された金属部品等の被撮影体(被検査物)Wを高精密な自動彫心機能を有するチャック機構12により位置決めチャックされ、該被撮影体(被検査物)Wの中心と、走査回転用のモータ13により回転駆動される回転体(プローブ)14の中心とが高精密に一致するように構成されている。回転体(プローブ)14は、コントローラ15において設定され出力された制御信号で駆動されるモータ13により、例えば3000r.p.m〜30000r.p.mの範囲の適宜の一定速度で精密に回転し得、回転体(プローブ)14は、振れ回りがないように超精密に軸設されている。
FIG. 1 shows a
この表面検査装置10は、光源27から放射されレンズ(不図示)で絞られるレーザ光(検査光)を、移動体16と回転体(プローブ)14の中心の光路に通し、回転体14の下端の検査ヘッド18に備えたミラー(光路変更手段)17で光路を90°方向転換して金属部品等の被撮影体(被検査物)Wの内周面にほぼ垂直に照射し、その反射光を回転体14及び検査ヘッド18内のレーザ光の光路の周りに並設された多数の光ファイバー(不図示)で受光し、さらに固定側の光ファイバ19に伝送し、該光ファイバ19を通る反射光の強さをコントローラ15に導いてデジタル変換して画素データをメモリ20に記憶するように構成されている。
The
移動体16は、昇降台21より水平に伸びるアーム22の先端のボス部23に支持され、昇降台21が昇降ガイド24に係合案内されかつボールねじ軸25に螺合され、さらにボールねじ軸25がモータ26により回転駆動されることにより、走査移動(下降)される。そして、回転体14の回転位置の原点と、昇降台21の昇降開始基準位置の原点と、を検出するセンサを備えていて、それらの原点信号がコントローラ15に入力するようになっている。
The moving
この実施形態の表面検査装置は、本願第1の発明の筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法の構成を実施するようになっているものとする(動作をプログラムされているものとする)。なお、画像撮影装置と表面検査装置とは傷等の判定プログラムの有無の相違であり、符号10は画像撮影装置と表面検査装置とをオーバラップして示しているものとする。以下、詳述する。
The surface inspection apparatus according to this embodiment is configured to perform the configuration of the method for acquiring a square planar image by photographing the cylinder surface according to the first invention of the present application (assuming that the operation is programmed). ). It should be noted that the image capturing apparatus and the surface inspection apparatus are different in the presence or absence of a determination program for scratches and the like, and
画像撮影装置10のプローブ14の先端部の検査ヘッド18に備えたミラー(光路変更手段)17の光の出入射方向を被撮影体Wの内周面に対向させた状態に保ち、プローブ14に、例えば30000r.p.mの定速走査回転を与えかつ振れ回りを抑えてプローブ14と被撮影体Wの内周面との対向距離を精密一定に保つと共に、プローブ14の走査移動方向の撮影幅を仮に0.1mmとしたとき、該プローブ14に、定速走査回転の1回転の時間経過当たり0.1mmの走査移動(下降)を与える。
The light exit / incident direction of the mirror (optical path changing means) 17 provided in the
プローブ14を上方移動限度に移動させてから30000r.p.mで定速走査回転し下降開始し、下降途中で走査移動方向の原点位置を検出しここからプローブ14の実ストロークを計測しつつさらに下降し、図2に示すように、被撮影体Wの穴h内の入口付近の撮影開始位置に到達したら、走査移動(下降)を一端停止させる。ここから、プローブ14の走査移動(下降)を再開し同時に撮影を開始し一回転当たりに得られる線画像データとプローブ14の実ストロークの到達位置とを関係づけてメモリ20に記憶する。図3に示すように、プローブ14の先端の撮影位置が被撮影体Wの穴hの下端にきたことを実ストロークの計測により検知したとき、撮影とメモリ20の記憶を停止し、走査移動を停止する。
After moving the
プローブ14の走査移動とメモリ20の記憶を上記のように行うと、図4に示すように、定速走査移動領域aの前側に撮影を行っている加速領域bがあり、また定速走査移動領域aの後側に撮影を行っている減速領域cがあり、表1に示すように、撮影により得られる線画像データは、加速時の1回転当たりの経過時間が定速時の1回転当たりの経過時間よりも長くなるので加速領域の撮影回数が定速時の撮影回数よりも多くなる。
このまま、加速時の撮影データと、定速時に撮影した撮影データと、減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得するものとすると、図5に示すように、方形画像の撮影開始側と撮影終了側で画像が伸びた状態になるゆがみが生じる。この方形画像データを用いて傷等の検査を行うと、検査の品質が落ちることになる。図5は、図1の表面検査装置により取得した余分の線画像データを含む全部の線画像データにより形成され表示される方形画像図の一例である。
When the scanning movement of the
If the rectangular plane image is acquired by arranging the shooting data at the time of acceleration, the shooting data shot at the constant speed, and the shooting data at the time of deceleration in the vertical direction in this order, as shown in FIG. Distortion occurs in which the image is stretched on the image capturing start side and the image capturing end side. If the square image data is used to inspect a scratch or the like, the quality of the inspection deteriorates. FIG. 5 is an example of a square image diagram formed and displayed by all line image data including extra line image data acquired by the surface inspection apparatus of FIG.
そこで、この実施形態では、表1に示すように、走査移動の加速領域にて撮影しメモリ20に記憶した撮影データについて、定速領域にて撮影しメモリ20に記憶した撮影データの中、加速領域との境となる端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し75%以上(好ましくは80%以上)の割合で近似する位置にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、余分の線画像データを取り除く。また、走査移動の減速領域にて撮影しメモリに記憶した撮影データについて、定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、減速領域との境となる端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し75%以上(好ましくは80%以上)の割合で近似する位置にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択、余分の線画像データを取り除く。
Therefore, in this embodiment, as shown in Table 1, the shooting data captured in the acceleration area of the scanning movement and stored in the
そして、選択した加速時の撮影データと、定速時に撮影した撮影データと、選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する構成としたことにより、図6に示すように、撮影により得られる方形画像の撮影開始側で画像が伸びた状態になるゆがみが生じることを回避でき、段差感がない正常な方形画像を取得できる。従って、この実施形態によれば、方形画像のデータに基づいて表面の傷や打痕等の有無を検査する円筒面の検査方法に好適である。図6は、図1の表面検査装置により取得した線画像データのうち、加速領域の余分の線画像データと減速領域の余分の線画像データを除いた線画像データにより形成され表示される補正された方形画像図の一例である。 Then, by adopting a configuration in which the selected shooting data at the time of acceleration, shooting data shot at a constant speed, and selected shooting data at the time of deceleration are arranged in the vertical direction in the shooting order to obtain a rectangular planar image, FIG. As shown in FIG. 5, it is possible to avoid the occurrence of distortion that causes the image to be stretched on the shooting start side of the square image obtained by shooting, and it is possible to obtain a normal square image without a sense of level difference. Therefore, this embodiment is suitable for a cylindrical surface inspection method for inspecting the presence or absence of scratches or dents on the surface based on square image data. FIG. 6 shows a correction that is formed and displayed by line image data obtained by removing the extra line image data in the acceleration region and the extra line image data in the deceleration region from the line image data acquired by the surface inspection apparatus in FIG. It is an example of a rectangular image diagram.
以上説明したように、この実施形態の筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法によれば、画像撮影装置のプローブの走査移動と共に行い、該走査移動について、撮影の開始側で加速を経て定速とし撮影の終了側で減速を伴う走査移動を行わせ、もって、被撮影体(被検査物)Wの穴内の入口から奥行端までの線画像データを取得し、加速領域と減速領域の線画像データについては、余分な線画像データを取り除く補正を行うことにより、画像が伸びるゆがみを除去できる方形平面画像を取得することができ、さらに、この実施形態の表面検査方法によれば、この方形平面画像のデータを用いて欠陥識別を識別して被検査面の表面傷を検出する構成であるので、方形平面画像のデータ取得を良好に行えるから表面傷を検出することを正確に行うことができる。欠陥識別の方法としては、例えば、特開2008−076322号公報、特開2008−076320号公報に開示されているように、方形平面画像のデータを欠陥識別手段に入力し、この方形平面画像のデータに含まれる画素の濃度値に基づいて欠陥を識別することにより被検査面の表面傷を検出する構成とすることができるが、他の欠陥識別方法を適用し得るものである。 As described above, according to the method of photographing the cylinder surface of this embodiment and acquiring a rectangular planar image, the scanning movement is performed together with the scanning movement of the probe of the image photographing apparatus, and the scanning movement is accelerated on the photographing start side. Scanning movement with deceleration is performed at the end of imaging at a constant speed, and line image data from the entrance to the depth end in the hole of the object to be imaged (inspected object) W is acquired, and the acceleration area and the deceleration area are As for the line image data, a correction for removing the excess line image data can be performed to obtain a rectangular planar image that can remove the distortion of the image. Further, according to the surface inspection method of this embodiment, Since it is configured to identify defect identification using square plane image data and detect surface scratches on the surface to be inspected, it can accurately acquire data on square plane images, so it is possible to accurately detect surface scratches Ukoto can. As a defect identification method, for example, as disclosed in Japanese Patent Application Laid-Open Nos. 2008-076322 and 2008-076322, data of a rectangular plane image is input to a defect identification unit, and Although it can be configured to detect a surface flaw on the surface to be inspected by identifying the defect based on the density value of the pixel included in the data, other defect identification methods can be applied.
この実施形態の筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法によれば、加速して定速となり減速して停止する走査移動を伴うときは、加速領域の撮影データについて、定速領域の端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に近似する位置の1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、また減速領域の撮影データについて、減速領域との境となる定速領域の端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に近似する位置の1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、選択した加速時の撮影データと、定速時に撮影した撮影データと、選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する構成であり、延びた状態のゆがみが生じることがない正常な方形画像を取得できる。 According to the method for capturing a cylindrical planar image by photographing the cylinder surface of this embodiment, when accompanied by a scanning movement that accelerates to a constant speed and decelerates and stops, the end of the constant speed area The imaging data of one probe arrival position at a position approximating each allocation position when assigned at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed region in the direction of zero acceleration starting from the imaging data of For each of the allocation positions when the data is allocated at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed area, starting from the imaging data at the end of the constant speed area, which is the boundary with the deceleration area, in the direction of deceleration and stopping Select the imaging data at the probe arrival position of the approximate position, select the imaging data at the time of acceleration, the imaging data taken at the constant speed, and the imaging data at the selected deceleration Arranged longitudinally capturing order is configured to obtain a square planar image, it can be acquired normal rectangular image never distortion condition occurs extending.
この実施形態の筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法によれば、被撮影体の貫通孔(ねじ孔を含む)に撮影しゆがみのない方形平面画像データとして取得し得るので、該方形平面画像中に打痕や窪みなどの凹凸、圧延痕やツールマーク、引掻き傷のような鋭い傷の有無やその種類を正確に検出する表面検査に寄与し得る。 According to the method of photographing the cylinder surface of this embodiment and obtaining a rectangular planar image, it can be obtained as rectangular planar image data that is not distorted and photographed in a through-hole (including a screw hole) of the object to be photographed. It can contribute to surface inspection that accurately detects the presence or absence and types of sharp scratches such as dents and depressions, rolling marks, tool marks, and scratches in a planar image.
〔その他の実施形態〕
本発明は、上記の実施形態に限定されるものでなく、特許請求の範囲に記載された発明の要旨を逸脱しない範囲内での種々、設計変更した形態を技術的範囲に含むものである。
[Other Embodiments]
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but includes variously modified forms within the technical scope without departing from the gist of the invention described in the claims.
上記の実施形態では、定速走査移動の前側で加速、後側で減速を伴う場合を示したが、定速走査移動の前側で加速を伴い、後側では減速を伴わない場合、定速走査移動の前側で加速を伴わず、後側では減速を伴う場合も、本発明に含まれる。また上記の実施形態では、プローブに回転と移動を与えて被撮影体の穴の内周面を撮影して二次元画像を取得する場合を示したが、被撮影体に回転と移動を与えて被撮影体の穴の内周面を撮影して二次元画像を取得する場合も、本発明に含まれる。さらに、上記の実施形態では、被撮影体の外周面を撮影して二次元画像を取得する場合も、本発明に含まれる。さらに、本発明の筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法は、特許文献1〜5の表面検査装置のいずれにも、搭載することができ、特許文献1〜5の表面検査装置によって、本発明に含まれる筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法を実施できる。 In the above embodiment, the case where acceleration is performed on the front side of the constant-speed scanning movement and the deceleration is accompanied on the rear side is shown. However, the case where acceleration is performed on the front side of the constant-speed scanning movement and deceleration is not performed on the rear side is performed. The present invention includes a case where acceleration is not performed on the front side of movement and deceleration is performed on the rear side. In the above embodiment, the case where the probe is rotated and moved to photograph the inner peripheral surface of the hole of the object to be photographed to obtain a two-dimensional image is shown. However, the object to be imaged is rotated and moved. The present invention also includes a case where a two-dimensional image is acquired by photographing the inner peripheral surface of the hole of the subject. Furthermore, in the above-described embodiment, the present invention also includes a case where a two-dimensional image is acquired by photographing the outer peripheral surface of the subject. Furthermore, the method of photographing the cylinder surface of the present invention and obtaining a rectangular planar image can be mounted on any of the surface inspection apparatuses of Patent Documents 1 to 5, and by the surface inspection apparatus of Patent Documents 1 to 5, The method of acquiring a square planar image by photographing the cylinder surface included in the present invention can be implemented.
10 表面検査装置(画像撮影装置)
W 被撮影体(被検査物)
14 回転体(プローブ)
17 ミラー(光路変更手段)
18 検査ヘッド
20 メモリ
10 Surface inspection device (image capture device)
W Subject (inspection object)
14 Rotating body (probe)
17 Mirror (light path changing means)
18
Claims (3)
前記プローブから前記被撮影体の内周面又は外周面に検査光を照射し該プローブに入力する反射光の強さをデジタル変換して画素データを取得する撮影を、前記走査移動を定速にして前記プローブが1回転当たりの走査移動方向の撮影幅に等しい距離だけ走査移動する時間経過毎に、前記走査回転方向の原点位置から一周分について、かつ、前記被撮影体の内周面又は外周面の所要の被撮影エリアについて行い、撮影データをメモリに記憶し、
各一周分単位の撮影データを線画像として撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、
筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法であって、
前記被撮影体の内周面又は外周面の前記被撮影エリアの撮影開始側部分の撮影について、加速して定速となり減速して停止する走査移動を伴うときは、
前記走査移動の加速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、前記定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、加速領域との境となる端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、
また前記走査移動の減速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、前記定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、減速領域との境となる端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、
前記選択した加速時の撮影データと、前記定速時に撮影した撮影データと、前記選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、
ことを特徴とする筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法。 Keeping the light incident / incident direction of the tip of the probe of the image capturing apparatus facing the inner or outer peripheral surface of the object to be photographed, and suppressing swinging of either the probe or the object to be imaged Accordingly, a scanning rotation capable of maintaining a constant distance between the probe and the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of the object to be imaged is relatively applied, and a scanning movement is relatively applied to one of the probe and the object to be imaged. And the scanning movement per rotation when the scanning rotation is a constant speed rotation is made to coincide with the imaging width in the scanning movement direction of the probe,
The scanning movement is performed at a constant speed for imaging in which the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the object to be imaged is irradiated from the probe to obtain pixel data by digitally converting the intensity of reflected light input to the probe. For each time that the probe scans and moves by a distance equal to the imaging width in the scanning movement direction per rotation, the inner circumferential surface or the outer circumference of the subject to be scanned for one round from the origin position in the scanning rotation direction. Perform the required shooting area of the surface, store the shooting data in the memory,
A rectangular plane image is obtained by arranging the shooting data for each round as a line image in the vertical direction in the shooting order.
A method for capturing a square plane image by photographing a cylinder surface,
For shooting of the shooting start side portion of the shooting area on the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the subject to be photographed, when accompanied by a scanning movement that accelerates to a constant speed and decelerates to stop,
For the shooting data captured in the acceleration area of the scanning movement and stored in the memory, the shooting data at the boundary with the acceleration area in the shooting data captured in the constant speed area and stored in the memory is the starting point. And select imaging data of one probe arrival position that is closest to each allocation position when allocating at a pitch interval of the probe arrival position in the constant speed region in the direction of zero acceleration,
Further, regarding the shooting data shot in the deceleration area of the scanning movement and stored in the memory, the shooting data at the boundary with the deceleration area in the shooting data shot in the constant speed area and stored in the memory Select the imaging data of one probe arrival position that is the closest to each allocation position when allocating at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed region in the direction of decelerating and stopping as the starting point,
The selected shooting data at the time of acceleration, shooting data shot at the constant speed, and the selected shooting data at the time of deceleration are arranged in the shooting direction in the vertical direction to obtain a rectangular planar image,
A method of acquiring a rectangular planar image by photographing a cylindrical surface characterized by the above.
前記プローブから前記被撮影体の内周面又は外周面に検査光を照射し該プローブに入力する反射光の強さをデジタル変換して画素データを取得する撮影を、前記走査移動を定速にして前記プローブが1回転当たりの走査移動方向の撮影幅に等しい距離だけ走査移動する時間経過毎に、前記走査回転方向の原点位置から一周分について、かつ、前記被撮影体の内周面又は外周面の所要の被撮影エリアについて行い、撮影データをメモリに記憶し、
各一周分単位の撮影データを線画像として撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、
筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法であって、
前記被撮影体の内周面又は外周面の前記被撮影エリアの撮影終了側部分の撮影について 前記定速より減速して停止する走査移動を伴うときは、
前記走査移動の減速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、前記定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、減速領域との境となる端の撮影データを起点とし減速して停止する方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、
前記定速時に撮影した撮影データと、前記選択した減速時の撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、
ことを特徴とする筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法。 Keeping the light incident / incident direction of the tip of the probe of the image capturing apparatus facing the inner or outer peripheral surface of the object to be photographed, and suppressing swinging of either the probe or the object to be imaged Accordingly, a scanning rotation capable of maintaining a constant distance between the probe and the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of the object to be imaged is relatively applied, and a scanning movement is relatively applied to one of the probe and the object to be imaged. And the scanning movement per rotation when the scanning rotation is a constant speed rotation is made to coincide with the imaging width in the scanning movement direction of the probe,
The scanning movement is performed at a constant speed for imaging in which the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the object to be imaged is irradiated from the probe to obtain pixel data by digitally converting the intensity of reflected light input to the probe. For each time that the probe scans and moves by a distance equal to the imaging width in the scanning movement direction per rotation, the inner circumferential surface or the outer circumference of the subject to be scanned for one round from the origin position in the scanning rotation direction. Perform the required shooting area of the surface, store the shooting data in the memory,
A rectangular plane image is obtained by arranging the shooting data for each round as a line image in the vertical direction in the shooting order.
A method for capturing a square plane image by photographing a cylinder surface,
When photographing with the photographing end side portion of the photographing area on the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the subject to be photographed, accompanied by a scanning movement that decelerates from the constant speed and stops.
For the photographic data captured in the deceleration area of the scanning movement and stored in the memory, the photographic data at the boundary with the deceleration area in the photographic data captured in the constant speed area and stored in the memory is the starting point. In the direction of decelerating and stopping, select imaging data of one probe arrival position that is closest to each allocation position when allocated at the pitch interval of the probe arrival position in the constant speed region,
A rectangular planar image is obtained by arranging the shooting data shot at the constant speed and the selected shooting data at the time of deceleration in the shooting direction in the vertical direction.
A method of acquiring a rectangular planar image by photographing a cylindrical surface characterized by the above.
前記プローブから前記被撮影体の内周面又は外周面に検査光を照射し該プローブに入力する反射光の強さをデジタル変換して画素データを取得する撮影を、前記走査移動を定速にして前記プローブが1回転当たりの走査移動方向の撮影幅に等しい距離だけ走査移動する時間経過毎に、前記走査回転方向の原点位置から一周分について、かつ、前記被撮影体の内周面又は外周面の所要の被撮影エリアについて行い、撮影データをメモリに記憶し、
各一周分単位の撮影データを線画像として撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、
筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法であって、
前記被撮影体の内周面又は外周面の前記被撮影エリアの撮影開始側部分の撮影について、加速して前記定速となる走査移動を伴うときは、
前記走査移動の加速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データについて、前記定速領域にて撮影し前記メモリに記憶した撮影データの中、加速領域との境となる端の撮影データを起点とし加速零の方向へ、定速領域におけるプローブ到達位置のピッチ間隔で割り振ったときの各割振位置に対し最も近似する位置にある1つのプローブ到達位置の撮影データを選択し、
前記選択した加速時の撮影データと、前記定速時に撮影した撮影データとを、撮影順に縦方向に並べて方形平面画像を取得する、
ことを特徴とする筒表面を撮影し方形平面画像を取得する方法。 Keeping the light incident / incident direction of the tip of the probe of the image capturing apparatus facing the inner or outer peripheral surface of the object to be photographed, and suppressing swinging of either the probe or the object to be imaged Accordingly, a scanning rotation capable of maintaining a constant distance between the probe and the inner peripheral surface or the outer peripheral surface of the object to be imaged is relatively applied, and a scanning movement is relatively applied to one of the probe and the object to be imaged. And the scanning movement per rotation when the scanning rotation is a constant speed rotation is made to coincide with the imaging width in the scanning movement direction of the probe,
The scanning movement is performed at a constant speed for imaging in which the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the object to be imaged is irradiated from the probe to obtain pixel data by digitally converting the intensity of reflected light input to the probe. For each time that the probe scans and moves by a distance equal to the imaging width in the scanning movement direction per rotation, the inner circumferential surface or the outer circumference of the subject to be scanned for one round from the origin position in the scanning rotation direction. Perform the required shooting area of the surface, store the shooting data in the memory,
A rectangular plane image is obtained by arranging the shooting data for each round as a line image in the vertical direction in the shooting order.
A method for capturing a square plane image by photographing a cylinder surface,
When shooting with respect to the shooting start side portion of the shooting area on the inner peripheral surface or outer peripheral surface of the subject to be photographed, accompanied by a scanning movement that accelerates to the constant speed,
For the shooting data captured in the acceleration area of the scanning movement and stored in the memory, the shooting data at the boundary with the acceleration area in the shooting data captured in the constant speed area and stored in the memory is the starting point. And select imaging data of one probe arrival position that is closest to each allocation position when allocating at a pitch interval of the probe arrival position in the constant speed region in the direction of zero acceleration,
A rectangular planar image is obtained by arranging the shooting data at the selected acceleration and the shooting data shot at the constant speed in the vertical direction in the shooting order.
A method of acquiring a rectangular planar image by photographing a cylindrical surface characterized by the above.
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