JP2010092981A

JP2010092981A - 太陽電池、裏面電極型太陽電池、配線基板および太陽電池の製造方法

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Publication number: JP2010092981A
Application number: JP2008259888A
Authority: JP
Inventors: Rui Mikami; 塁三上; Satoshi Okamoto; 諭岡本; Koji Funakoshi; 康志舩越; yoshiya Yasuhiko; 義哉安彦; Takayuki Isaka; 隆行伊坂; Hiroki Narutomi; 弘紀成富
Original assignee: Sharp Corp
Current assignee: Sharp Corp
Priority date: 2008-10-06
Filing date: 2008-10-06
Publication date: 2010-04-22

Abstract

【課題】裏面電極型太陽電池の位置合わせを容易に行なうことができるとともに、裏面電極型太陽電池の位置ズレを有効に抑止することができる太陽電池、裏面電極型太陽電池、配線基板および太陽電池の製造方法を提供する。
【解決手段】裏面電極型太陽電池の第１導電型用電極が配線基板の第１導電型用配線に接続され、裏面電極型太陽電池の第２導電型用電極が配線基板の第２導電型用配線に接続されており、裏面電極型太陽電池および配線基板の少なくとも一方が、裏面電極型太陽電池の配線基板に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部を有する太陽電池、裏面電極型太陽電池、配線基板および太陽電池の製造方法である。
【選択図】図１

Description

本発明は、太陽電池、裏面電極型太陽電池、配線基板および太陽電池の製造方法に関し、特に、裏面電極型太陽電池の位置合わせを容易に行なうことができるとともに、裏面電極型太陽電池の位置ズレを有効に抑止することができる太陽電池、裏面電極型太陽電池、配線基板および太陽電池の製造方法に関する。

近年、特に地球環境の保護の観点から、太陽光エネルギを電気エネルギに変換する太陽電池は次世代のエネルギ源としての期待が急激に高まっている。太陽電池の種類には、化合物半導体を用いたものや有機材料を用いたものなどの様々なものがあるが、現在、シリコン結晶を用いた太陽電池が主流となっている。そして、現在、最も多く製造および販売されている太陽電池は、太陽光が入射する側の面（受光面）にｎ電極が形成されており、受光面と反対側の面（裏面）にｐ電極が形成された構成のものである。このような太陽電池の受光面に形成されているｎ電極は太陽光の入射により発生した電流を外部に取り出すために不可欠なものであるが、ｎ電極の下方の部分には太陽光が入射しないためその部分には電流が発生しない。それゆえ、ｎ電極の面積が大きくなると太陽電池の特性が低下してしまうという問題があった。

そこで、たとえば特許文献１には、太陽電池の受光面には電極を形成せず、太陽電池の裏面のみにｎ電極およびｐ電極を形成した裏面電極型太陽電池が開示されている。
特開２００５−３１０８３０号公報

上記の特許文献１に開示されたような構成の裏面電極型太陽電池単体では利用できる電気エネルギが限られるため、上記構成の裏面電極型太陽電池の複数を電気的に接続して太陽電池を作製することが検討されている。

ここで、裏面電極型太陽電池の複数を電気的に接続して太陽電池を作製する方法として、たとえば、図５１（ａ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池８０を配線基板１００上に設置する方法が考えられている。

この方法は、図５１（ａ）に示すように、裏面電極型太陽電池８０の半導体基板１の裏面の第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用電極６を配線基板１００の絶縁性基板１１上に形成された第１導電型用配線１３上に設置し、裏面電極型太陽電池８０の半導体基板１の裏面の第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用電極７を配線基板１００の絶縁性基板１１上に形成された第２導電型用配線１２上に設置することによって裏面電極型太陽電池８０と配線基板１００とを絶縁性接着剤３４１によって接合して太陽電池を作製する方法である。

なお、裏面電極型太陽電池８０の半導体基板１の受光面にはテクスチャ構造が形成されており、そのテクスチャ構造上に反射防止膜５が形成されている。また、裏面電極型太陽電池８０の半導体基板１の裏面にはパッシベーション膜４が形成されている。

その後、図５１（ｂ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池８０と配線基板１００とを絶縁性接着剤３４１によって接合した後に、エチレンビニルアセテート３４３を備えたガラス基板３４２と、エチレンビニルアセテート３４４を備えたバックフィルム３４５との間に、裏面電極型太陽電池８０と配線基板１００との接合体である太陽電池を挟み込んで、当該太陽電池がエチレンビニルアセテート中に封止される。

また、上記方法の他の例としては、図５２（ａ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池８０と配線基板１００とを導電性接着剤３５１によって接合して太陽電池を作製する方法もある。この方法においては、裏面電極型太陽電池８０の第１導電型用電極６と配線基板１００の第１導電型用配線１３との接続、および裏面電極型太陽電池８０の第２導電型用電極７と配線基板１００の第２導電型用配線１２との接続をそれぞれ導電性接着剤３５１を用いて行なうことによって、裏面電極型太陽電池８０と配線基板１００とを接合して太陽電池を作製する。

その後は、上記と同様にして、図５２（ｂ）の模式的断面図に示すように、エチレンビニルアセテート３４３を備えたガラス基板３４２と、エチレンビニルアセテート３４４を備えたバックフィルム３４５との間に、裏面電極型太陽電池８０と配線基板１００との接合体である太陽電池を挟み込んで、当該太陽電池がエチレンビニルアセテート中に封止される。

また、上記方法のさらに他の例としては、図５３（ａ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池８０と配線基板１００とを導電性接着剤３５１および絶縁性接着剤３４１の双方によって接合して太陽電池を作製する方法もある。この方法においては、裏面電極型太陽電池８０の第１導電型用電極６と配線基板１００の第１導電型用配線１３との接続、および裏面電極型太陽電池８０の第２導電型用電極７と配線基板１００の第２導電型用配線１２との接続をそれぞれ導電性接着剤３５１を用いて行なうとともに、それ以外の箇所は絶縁性接着剤３４１を用いることによって、裏面電極型太陽電池８０と配線基板１００とを接合して太陽電池を作製する。

その後は、上記と同様にして、図５３（ｂ）の模式的断面図に示すように、エチレンビニルアセテート３４３を備えたガラス基板３４２と、エチレンビニルアセテート３４４を備えたバックフィルム３４５との間に、裏面電極型太陽電池８０と配線基板１００との接合体である太陽電池を挟み込んで、当該太陽電池がエチレンビニルアセテート中に封止される。

なお、上記のいずれの方法においても、絶縁性接着剤３４１および導電性接着剤３５１はそれぞれスクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布される。ここで、絶縁性接着剤３４１は、裏面電極型太陽電池８０の電極（第１導電型用電極６および第２導電型用電極７）間および配線基板１００の配線（第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２）間の領域に塗布され、導電性接着剤３５１は、裏面電極型太陽電池８０の電極と配線基板１００の配線とが接続される部分に塗布される。

また、上記のいずれの方法においても、絶縁性接着剤３４１および導電性接着剤３５１はそれぞれ紫外線照射や加熱などの処理によって硬化させられる。ここで、紫外線照射を用いて絶縁性接着剤３４１および導電性接着剤３５１を硬化させる場合には、太陽電池をエチレンビニルアセテート中に封止する前に硬化させる。また、加熱によって絶縁性接着剤３４１および導電性接着剤３５１を硬化させる場合には、太陽電池をエチレンビニルアセテート中に封止する前または封止と同時に硬化させる。

上記のような太陽電池の作製方法によれば、裏面電極型太陽電池８０を配線基板１００上に設置するだけで、複数の裏面電極型太陽電池８０を電気的に接続して太陽電池を作製することができる。

しかしながら、上記のいずれの方法においても、裏面電極型太陽電池８０の電極間ピッチ（第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間の距離）を非常に狭くした場合には、裏面電極型太陽電池８０の位置合わせにかなりの精度が要求されるという問題があった。

また、裏面電極型太陽電池８０の電極を配線基板１００の配線上に設置した場合にも裏面電極型太陽電池８０の位置ズレが生じやすいという問題もあった。

さらには、位置ズレを生じさせることなく裏面電極型太陽電池８０と配線基板１００とを接合して太陽電池を作製できた場合でも、封止工程などで熱が加えられて、配線基板１００の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮することによって、裏面電極型太陽電池８０の位置ズレが生じるという問題もあった。

上記の事情に鑑みて、本発明の目的は、裏面電極型太陽電池の位置合わせを容易に行なうことができるとともに、裏面電極型太陽電池の位置ズレを有効に抑止することができる太陽電池、裏面電極型太陽電池、配線基板および太陽電池の製造方法を提供することにある。

本発明は、裏面電極型太陽電池と、配線基板とを含み、裏面電極型太陽電池は、半導体基板と、半導体基板の裏面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、第１導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第１導電型用電極と、第２導電型不純物拡散領域対応して設けられた第２導電型用電極とを有し、配線基板は、絶縁性基板と、絶縁性基板に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、裏面電極型太陽電池の第１導電型用電極が配線基板の第１導電型用配線に接続され、裏面電極型太陽電池の第２導電型用電極が配線基板の第２導電型用配線に接続されており、裏面電極型太陽電池および配線基板の少なくとも一方が、裏面電極型太陽電池の配線基板に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部を有する太陽電池である。

ここで、本発明の太陽電池において、位置決め部は、配線基板の第１導電型用配線の表面に形成された凹部および配線基板の第２導電型用配線の表面に形成された凹部の少なくとも一方とすることができる。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、配線基板の第１導電型用配線の表面に設置された凸部および配線基板の第２導電型用配線の表面に設置された凸部の少なくとも一方とすることができる。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、配線基板の第１導電型用配線が複数に分離してなる第１導電型用分離配線および配線基板の第２導電型用配線が複数に分離してなる第２導電型用分離配線の少なくとも一方とすることができる。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、配線基板の絶縁性基板の表面の凹部に設けられた、第１導電型用配線の表面の凹部および第２導電型用配線の表面の凹部の少なくとも一方とすることができる。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、配線基板の絶縁性基板の表面に設置されて裏面電極型太陽電池側に突出する凸部とすることができる。ここで、第１導電型用配線の表面の一部および第２導電型用配線の表面の一部の少なくとも一方が凸部で覆われていてもよい。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、裏面電極型太陽電池の半導体基板の裏面側に設置されて配線基板側に突出する凸部とすることができる。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、裏面電極型太陽電池の第１導電型用電極の表面に形成された凹部および裏面電極型太陽電池の第２導電型用電極の表面に形成された凹部の少なくとも一方とすることができる。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、裏面電極型太陽電池の第１導電型用電極が複数に分離してなる第１導電型用分離電極および裏面電極型太陽電池の第２導電型用電極が複数に分離してなる第２導電型用分離電極の少なくとも一方とすることができる。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、裏面電極型太陽電池の裏面の凹部とすることができる。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、裏面電極型太陽電池の半導体基板の裏面側に設置されて配線基板側に突出する凸部および配線基板の絶縁性基板の表面に設置されて裏面電極型太陽電池側に突出する凸部とすることができる。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、配線基板の絶縁性基板の表面に設置されて裏面電極型太陽電池側に突出する凸部とすることができ、その凸部の間に裏面電極型太陽電池の半導体基板が嵌め込まれていてもよい。

また、本発明の太陽電池において、位置決め部は、裏面電極型太陽電池の半導体基板の裏面側に設置されて配線基板側に突出する凸部および配線基板の絶縁性基板の表面に設置されて裏面電極型太陽電池側に突出する凸部とすることができ、裏面電極型太陽電池の半導体基板の裏面側に設置された凸部と、配線基板の絶縁性基板の表面に設置された凸部とが、磁気および静電気の少なくとも一方を帯びていてもよい。

また、本発明は、半導体基板と、半導体基板の裏面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、第１導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第１導電型用電極と、第２導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第２導電型用電極とを有する裏面電極型太陽電池であって、裏面電極型太陽電池に接続される配線基板に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部を有する裏面電極型太陽電池である。

また、本発明は、裏面電極型太陽電池に接続するための配線基板であって、絶縁性基板と、絶縁性基板に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、配線基板に接続される裏面電極型太陽電池に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部を有する配線基板である。

さらに、本発明は、裏面電極型太陽電池を配線基板に接続する工程を含み、裏面電極型太陽電池は、半導体基板と、半導体基板の裏面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、第１導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第１導電型用電極と、第２導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第２導電型用電極とを有し、配線基板は、絶縁性基板と、絶縁性基板に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、裏面電極型太陽電池および配線基板の少なくとも一方が、裏面電極型太陽電池の配線基板に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部を有し、接続する工程においては、位置決め部により裏面電極型太陽電池と配線基板との位置関係を決めて、裏面電極型太陽電池の第１導電型用電極を配線基板の第１導電型用配線に接続するとともに、裏面電極型太陽電池の第２導電型用電極を配線基板の第２導電型用配線に接続する太陽電池の製造方法である。

ここで、本発明の太陽電池の製造方法は、裏面電極型太陽電池の第１導電型用電極を形成する工程と、裏面電極型太陽電池の第２導電型用電極を形成する工程とを含み、第１導電型用電極を形成する工程および第２導電型用電極を形成する工程の少なくとも一方の工程と同一の工程または連続する工程で位置決め部を形成することが好ましい。

また、本発明の太陽電池の製造方法は、配線基板の第１導電型用配線を形成する工程と、配線基板の第２導電型用配線を形成する工程とを含み、第１導電型用配線を形成する工程および第２導電型用配線を形成する工程の少なくとも一方の工程と同一の工程または連続する工程で位置決め部を形成することが好ましい。

本発明によれば、裏面電極型太陽電池の位置合わせを容易に行なうことができるとともに、裏面電極型太陽電池の位置ズレを有効に抑止することができる太陽電池、裏面電極型太陽電池、配線基板および太陽電池の製造方法を提供することができる。

以下、本発明の実施の形態について説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。

＜実施の形態１＞
図１に、本発明の太陽電池の一例の模式的な断面図を示す。図１に示す構成の太陽電池は、裏面電極型太陽電池８と配線基板１０とを含んでおり、裏面電極型太陽電池８は配線基板１０上に設置されている。

裏面電極型太陽電池８は、半導体基板１と、半導体基板１の裏面に形成された第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３と、第１導電型不純物拡散領域２に接するようにして形成された第１導電型用電極６と、第２導電型不純物拡散領域３に接するようにして形成された第２導電型用電極７とを含んでいる。

この例においては、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３はそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型不純物拡散領域２と第２導電型不純物拡散領域３とは半導体基板１の裏面において交互に所定の間隔をあけて配置されている。

また、裏面電極型太陽電池８の半導体基板１の受光面にはテクスチャ構造などの凹凸構造が形成されており、その凹凸構造を覆うようにして反射防止膜５が形成されている。裏面電極型太陽電池８の半導体基板１の裏面にはパッシベーション膜４が形成されている。

また、この例においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７もそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれパッシベーション膜４に設けられた開口部を通して、半導体基板１の裏面の第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３に沿って、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３にそれぞれ接するようにして形成されている。

一方、配線基板１０は、絶縁性基板１１と、絶縁性基板１１の表面上において所定の形状に形成された第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２とを含んでいる。

この例においては、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２もそれぞれ図１の紙面の表面側および／または裏面側に伸びる帯状に形成されており、第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面にはそれぞれ凹状に窪んだ部分である凹部が形成されている。したがって、第１導電型用配線１３の表面の凹部および第２導電型用配線１２の表面の凹部もそれぞれ図１の紙面の裏面側に伸びる帯状に形成されていることになる。

そして、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が、配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の凹部の窪みの中に収まるように設置されており、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７が、配線基板１０の第２導電型用配線１２の表面の凹部の窪みの中に収まるようにして設置されている。

これにより、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が配線基板１０の第１導電型用配線１３に接して電気的に接続され、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７が配線基板１０の第２導電型用配線１２に接して電気的に接続されて、太陽電池が構成される。

なお、本発明の図面においては、説明の便宜上、第１導電型不純物拡散領域２、第２導電型不純物拡散領域３、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２はそれぞれ２つずつしか示されていないが、この構成に限定されず、第１導電型不純物拡散領域２、第２導電型不純物拡散領域３、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２の数はそれぞれ２つに限定されるわけではないことは言うまでもない。

以下、図１に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。なお、以下においては、裏面電極型太陽電池８の形成方法を最初に説明した後に、配線基板１０の形成方法を次に説明し、最後に裏面電極型太陽電池８と配線基板１０とを接合して太陽電池を形成する方法について説明するが、本発明においては、裏面電極型太陽電池８と配線基板１０の形成順序については特に限定されない。

まず、図２（ａ）の模式的断面図に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって、半導体基板１の表面にスライスダメージ１ａが形成された半導体基板１を用意する。

ここで、半導体基板１としては、半導体材料からなる基板であれば特には限定なく用いることができ、たとえば、多結晶シリコンまたは単結晶シリコンなどからなるシリコン基板を用いることができる。また、半導体基板１は、ｎ型またはｐ型のいずれの導電型を有していてもよく、半導体基板１はｎ型およびｐ型のいずれの導電型を有していなくてもよい。

次に、図２（ｂ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する。ここで、スライスダメージ１ａの除去は、たとえば半導体基板１が上記のシリコン基板からなる場合には、上記のスライス後のシリコン基板の表面をフッ化水素水溶液と硝酸との混酸または水酸化ナトリウムなどのアルカリ水溶液などでエッチングすることなどによって行なうことができる。

ここで、スライスダメージ１ａの除去後の半導体基板１の大きさおよび形状も特に限定されないが、半導体基板１の厚さをたとえば５０μｍ以上４００μｍ以下とすることができ、特に１６０μｍ程度とすることが好ましい。

次に、図２（ｃ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面に、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３をそれぞれ形成する。ここで、第１導電型不純物拡散領域２は、たとえば、第１導電型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができ、第２導電型不純物拡散領域３は、たとえば、第２導電型不純物を含むガスを用いた気相拡散などの方法により形成することができる。

ここで、第１導電型不純物拡散領域２は、第１導電型不純物を含み、ｎ型またはｐ型の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、第１導電型不純物としては、第１導電型がｎ型である場合にはたとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができ、第１導電型がｐ型である場合にはたとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。

また、第２導電型不純物拡散領域３は、第２導電型不純物を含み、第１導電型不純物拡散領域２とは逆の導電型を示す領域であれば特に限定されない。なお、第２導電型不純物としては、第２導電型がｎ型である場合にはたとえばリンなどのｎ型不純物を用いることができ、第２導電型がｐ型である場合にはたとえばボロンまたはアルミニウムなどのｐ型不純物を用いることができる。

なお、第１導電型はｎ型またはｐ型のいずれの導電型であってもよく、第２導電型は第１導電型と反対の導電型であればよい。すなわち、第１導電型がｎ型のときは第２導電型がｐ型となり、第１導電型がｐ型のときは第２導電型がｎ型となる。

また、第１導電型不純物を含むガスとしては、第１導電型がｎ型である場合には、たとえばＰＯＣｌ₃のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、第１導電型がｐ型である場合には、たとえばＢＢｒ₃のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。

また、第２導電型不純物を含むガスとしては、第２導電型がｎ型である場合には、たとえばＰＯＣｌ₃のようなリンなどのｎ型不純物を含むガスを用いることができ、第２導電型がｐ型である場合には、たとえばＢＢｒ₃のようなボロンなどのｐ型不純物を含むガスを用いることができる。

次に、図２（ｄ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。ここで、パッシベーション膜４は、たとえば、熱酸化法またはプラズマＣＶＤ（Chemical Vapor Deposition）法などの方法により形成することができる。

ここで、パッシベーション膜４としては、たとえば、酸化シリコン膜、窒化シリコン膜、または酸化シリコン膜と窒化シリコン膜との積層体などを用いることができるが、これらに限定されるものではない。

また、パッシベーション膜４の厚みは、たとえば０．０５μｍ以上１μｍ以下とすることができ、特に０．２μｍ程度とすることが好ましい。

次に、図２（ｅ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。

ここで、テクスチャ構造は、たとえば、半導体基板１の受光面をエッチングすることにより形成することができる。たとえば、半導体基板１がシリコン基板である場合には、たとえば水酸化ナトリウムまたは水酸化カリウムなどのアルカリ水溶液にイソプロピルアルコールを添加した液をたとえば７０℃以上８０℃以下に加熱したエッチング液を用いて半導体基板１の受光面をエッチングすることによって形成することができる。

また、反射防止膜５は、たとえばプラズマＣＶＤ法などにより形成することができる。なお、反射防止膜５としては、たとえば、窒化シリコン膜などを用いることができるが、これに限定されるものではない。

次に、図２（ｆ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによってコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂを形成する。ここで、コンタクトホール４ａは、第１導電型不純物拡散領域２の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成され、コンタクトホール４ｂは、第２導電型不純物拡散領域３の表面の少なくとも一部を露出させるようにして形成される。

なお、コンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂはそれぞれ、たとえば、フォトリソグラフィ技術を用いてコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応する部分に開口を有するレジストパターンをパッシベーション膜４上に形成した後にレジストパターンの開口からパッシベーション膜４をエッチングなどにより除去する方法、またはコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂの形成箇所に対応するパッシベーション膜４の部分にエッチングペーストを塗布した後に加熱することによってパッシベーション膜４をエッチングして除去する方法などにより形成することができる。

次に、図２（ｇ）の模式的断面図に示すように、コンタクトホール４ａを通して第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用電極６と、コンタクトホール４ｂを通して第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用電極７とを形成して、裏面電極型太陽電池８を作製する。

ここで、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７としては、たとえば、銀などの金属からなる電極を用いることができるが、これに限定されるものではない。

また、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７のそれぞれの高さは、たとえば５μｍ以上５０μｍ以下とすることができ、特に１５μｍ程度とすることが好ましい。

図３に、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の裏面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、裏面電極型太陽電池８の裏面においては、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７はそれぞれ帯状に形成されている。そして、帯状の複数の第１導電型用電極６はそれぞれ１つの帯状の第１導電型用集電電極６０に接続されており、帯状の複数の第２導電型用電極７はそれぞれ１つの帯状の第２導電型用集電電極７０に接続されている。なお、この例においては、第１導電型用集電電極６０は、第１導電型用電極６に垂直な方向に伸びるようにして形成されており、第２導電型用集電電極７０は、第２導電型用電極７に垂直な方向に伸びるようにして形成されている。

したがって、図３に示す構成の裏面電極型太陽電池８の裏面においては、１つの第１導電型用集電電極６０と複数の第１導電型用電極６とによって１つの櫛形状電極が形成されており、１つの第２導電型用集電電極７０と複数の第２導電型用電極７とによって１つの櫛形状電極が形成されている。そして、当該櫛形状電極の櫛歯に相当する第１導電型用電極６と第２導電型用電極７とは互いに向かい合って当該櫛歯を１本ずつ噛み合わせるようにして配置されている。そして、帯状の第１導電型用電極６が接する半導体基板１の裏面部分に帯状の第１導電型不純物拡散領域２が配置されており、帯状の第２導電型用電極７が接する半導体基板１の裏面部分に帯状の第２導電型不純物拡散領域３が配置されている。

なお、裏面電極型太陽電池８の裏面の電極（第１導電型用電極６、第２導電型用電極７、第１導電型用集電電極６０、第２導電型用集電電極７０）および不純物拡散領域（第１導電型不純物拡散領域２、第２導電型不純物拡散領域３）の形状、配置および個数はそれぞれ上記の形状に限定されるものではないことは言うまでもない。

また、配線基板１０は、たとえば以下のようにして作製することができる。まず、図４（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面上に導電層１９を形成する。ここで、絶縁性基板１１としては、たとえば、ポリエステル、ポリエチレンナフタレートまたはポリイミドなどの樹脂からなる基板を用いることができるが、これに限定されるものではない。また、絶縁性基板１１の厚みは、たとえば１０μｍ以上２００μｍ以下とすることができ、特に２５μｍ程度とすることが好ましい。

また、導電層１９としては、たとえば、銅などの金属からなる層を用いることができるが、これに限定されるものではない。

次に、図４（ｂ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面の導電層１９上にレジストパターン１５ａを形成する。ここで、レジストパターン１５ａは、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２の形成箇所以外の箇所に開口を有する形状に形成する。レジストパターン１５ａを構成するレジストとしてはたとえば従来から公知のものを用いることができ、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布される。

次に、図４（ｃ）の模式的断面図に示すように、レジストパターン１５ａから露出している箇所の導電層１９を矢印１６ａの方向に除去することによって導電層１９のパターンニングを行ない、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２を形成する。

ここで、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２としては、導電層１９と同様に、銅などの金属からなる材料を用いることができる。また、導電層１９の除去は、たとえば、酸やアルカリの溶液を用いたウエットエッチングなどによって行なうことができる。また、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２のそれぞれの高さは、たとえば１０μｍ以上１００μｍ以下とすることができ、特に３５μｍ程度とすることが好ましい。

次に、図４（ｄ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面からレジストパターン１５ａをすべて除去する。

次に、図４（ｅ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面のそれぞれの一部が露出するようにレジストパターン１５ｂを形成する。レジストパターン１５ｂに関する説明は、レジストパターン１５ａに関する説明と同様であるため、ここでは省略する。

次に、図４（ｆ）の模式的断面図に示すように、レジストパターン１５ｂから露出している第１導電型用配線１３の表面の一部および第２導電型用配線１２の表面の一部をそれぞれ矢印１６ｂの方向に除去する。これにより、第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面にそれぞれ凹部が形成される。第１導電型用配線１３の表面の一部および第２導電型用配線１２の表面の一部の除去に関する説明は、導電層１９の除去に関する説明と同様であるため、ここでは省略する。

その後、図４（ｇ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面、第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面からレジストパターン１５ｂをすべて除去することによって、配線基板１０が作製される。

図５に、上記のようにして作製した配線基板１０の表面の一例の模式的な平面図を示す。ここで、配線基板１０の絶縁性基板１１の表面上において、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２はそれぞれ帯状に形成されている。また、配線基板１０の絶縁性基板１１の表面上には帯状の接続用配線１４が形成されており、接続用配線１４によって第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２とが電気的に接続されている。なお、接続用配線１４は、たとえば、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２と同時に形成することができ、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２と同一の材質を用いることができる。

なお、配線基板１０の表面の配線（第１導電型用配線１３、第２導電型用配線１２、接続用配線１４）の形状、配置および個数はそれぞれ上記のものに限定されない。

その後、図６の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の凹部の窪みの中に収まるように設置するとともに、第２導電型用電極７が第２導電型用配線１２の表面の凹部の窪みの中に収まるように設置することによって、図１に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の凹部の窪みの中に収まるように設置され、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７が配線基板１０の第２導電型用配線１２の表面の凹部の窪みの中に収まるようにして設置される。

したがって、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６を配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の凹部の窪みに設置し、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７を配線基板１０の第２導電型用配線１２の表面の凹部の窪みに設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２の表面の凹部によって裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、上記凹部の側壁によって裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の凹部および第２導電型用配線１２の表面の凹部がそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部となる。

なお、上記においては、配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面の双方に凹部を形成したが、第１導電型用配線１３の表面または第２導電型用配線１２の表面のいずれか一方にのみ凹部を形成してもよい。

また、上記においては、配線基板１０のすべての第１導電型用配線１３の表面およびすべての第２導電型用配線１２の表面にそれぞれ凹部を形成したが、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２の少なくとも１つの表面に凹部が形成されていればよい。

また、上記構成の本発明の太陽電池は、たとえばガラス基板のような透明基板と、たとえばポリエステルフィルムのような裏面フィルムとの間のたとえばエチレンビニルアセテートのような透明樹脂中に封止されてもよいことは言うまでもない。

また、本発明には、複数の裏面電極型太陽電池８を１つの配線基板１０上に設置する構成、１つの裏面電極型太陽電池８を１つの配線基板１０上に設置する構成および複数の裏面電極型太陽電池８を複数の配線基板１０上に設置する構成などがいずれも含まれる。

＜実施の形態２＞
図７に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図７に示す構成の太陽電池においては、配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面のそれぞれの両端に裏面電極型太陽電池８側に突出して図７の紙面の表面側および／または裏面側に向かって伸びる凸部１８および第２導電型用配線１２の表面のそれぞれの両端に裏面電極型太陽電池８側に突出して図７の紙面の表面側および／または裏面側に向かって伸びる凸部１８がそれぞれ位置決め部となっている点に特徴がある。

以下、図７に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図７に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図７に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０は、たとえば以下のようにして作製することができる。

まず、図８（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面上に導電層１９を形成した後に、図８（ｂ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面の導電層１９上にレジストパターン１５ａを形成する。

次に、図８（ｃ）の模式的断面図に示すように、レジストパターン１５ａから露出している箇所の導電層１９を矢印１６ａの方向に除去することによって導電層１９のパターンニングを行なって第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２を形成した後に、図８（ｄ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面からレジストパターン１５ａをすべて除去する。ここまでの工程は、実施の形態１と同様である。

次に、図８（ｅ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用配線１３の表面上および第２導電型用配線１２の表面上にそれぞれ、たとえば銅などの金属を含む金属ペースト１７を塗布する。ここで、金属ペースト１７としては、たとえば、金属粒子と有機溶剤とを含むペースト状のものを用いることができ、金属ペースト１７は、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布することができる。

また、金属ペースト１７は、第１導電型用配線１３の表面のそれぞれの両端および第２導電型用配線１２の表面のそれぞれの両端に塗布される。また、金属ペースト１７は、第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面の反対側に突出し、図８（ｅ）の紙面の裏側に伸びるようにして塗布される。さらに、金属ペースト１７は、第１導電型用配線１３の表面の両端に塗布される金属ペースト１７が互いに向かい合うとともに、第２導電型用配線１２の表面の両端に塗布される金属ペースト１７も互いに向かい合うようにして塗布される。

その後、上記のようにして塗布された金属ペースト１７を焼成することによって、図８（ｆ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用配線１３の表面の両端および第２導電型用配線１２の表面の両端にそれぞれ凸部１８が形成されることによって、配線基板１０が作製される。

ここで、凸部１８は、金属ペースト１７から有機溶媒などを除去した残部から構成されるため、凸部１８の形状は金属ペースト１７と同様の形状とすることができる。すなわち、この例において、凸部１８は、第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面の反対側に突出し、図８（ｆ）の紙面の表面側および／または裏面側に伸びるようにして形成されている。さらに、凸部１８は、第１導電型用配線１３の表面の両端および第２導電型用配線１２の表面の両端にそれぞれ形成されている。

その後、図９の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の両端にそれぞれ形成された凸部１８の間に収まるように設置するとともに、第２導電型用電極７が配線基板１０の第２導電型用配線１２の表面の両端にそれぞれ形成された凸部１８の間に収まるように設置することによって、図７に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された本実施の形態の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の両端にそれぞれ形成された凸部１８の間に収まるように設置され、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７が配線基板１０の第２導電型用配線１２の表面の両端にそれぞれ形成された凸部１８の間に収まるようにして設置される。

したがって、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６を配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の両端にそれぞれ形成された凸部１８の間に設置し、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７を配線基板１０の第２導電型用配線１２の表面の両端にそれぞれ形成された凸部１８の間に設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、凸部１８によって裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、上記凸部１８によって裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の凸部１８および第２導電型用配線１２の表面の凸部１８がそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部となる。

なお、上記においては、配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面の双方に凸部１８を形成したが、第１導電型用配線１３の表面または第２導電型用配線１２の表面のいずれか一方にのみ凸部１８を形成してもよい。

また、上記においては、配線基板１０のすべての第１導電型用配線１３の表面およびすべての第２導電型用配線１２の表面にそれぞれ凸部１８を形成したが、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２の少なくとも１つの表面に凸部１８が形成されていればよい。

また、本実施の形態においては、金属ペースト１７から凸部１８を形成しているため、凸部１８は導電性物質から形成されているが、凸部１８の材質は導電性物質に限定されない。ただし、凸部１８が導電性物質から形成されている場合には、裏面電極型太陽電池８の電極と配線基板１０の配線との電気的な接続の信頼性が向上する点で好ましい。

また、本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略する。

＜実施の形態３＞
図１０に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図１０に示す構成の太陽電池においては、配線基板１０の絶縁性基板１１の表面の一方の端部に第１導電型用配線１３が複数に分離してなる第１導電型用分離配線１３ａと第１導電型用分離配線１３ｂとが形成されるとともに、配線基板１０の絶縁性基板１１の表面の他方の端部に第２導電型用配線１２が複数に分離してなる第２導電型用分離配線１２ａと第２導電型用分離配線１２ｂとが形成されており、第１導電型用分離配線１３ａ、第１導電型用分離配線１３ｂ、第２導電型用分離配線１２ａおよび第２導電型用分離配線１２ｂがそれぞれ位置決め部となっている点に特徴がある。

以下、図１０に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図１０に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図１０に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０は、たとえば以下のようにして作製することができる。

まず、図１１（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面上に導電層１９を形成した後に、図１１（ｂ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面の導電層１９上にレジストパターン１５ａを形成する。ここで、レジストパターン１５ａは、第１導電型用配線１３、第１導電型用分離配線１３ａ、第１導電型用分離配線１３ｂ、第２導電型用配線１２、第２導電型用分離配線１２ａおよび第２導電型用分離配線１２ｂの形成箇所以外の箇所に開口を有するように形成される。

次に、図１１（ｃ）の模式的断面図に示すように、レジストパターン１５ａから露出している箇所の導電層１９を矢印１６ａの方向に除去することによって導電層１９のパターンニングを行なって、第１導電型用配線１３、第１導電型用分離配線１３ａ、第１導電型用分離配線１３ｂ、第２導電型用配線１２、第２導電型用分離配線１２ａおよび第２導電型用分離配線１２ｂを形成する。ここで、第１導電型用分離配線１３ａおよび第１導電型用分離配線１３ｂは１対で第１導電型用配線１３となり、第２導電型用分離配線１２ａおよび第２導電型用分離配線１２ｂは１対で第２導電型用配線１２となる。

次に、図１１（ｄ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用配線１３、第１導電型用分離配線１３ａ、第１導電型用分離配線１３ｂ、第２導電型用配線１２、第２導電型用分離配線１２ａおよび第２導電型用分離配線１２ｂの表面からレジストパターン１５ａをすべて除去することによって配線基板１０を作製することができる。

その後、図１２の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の端部の第１導電型用電極６が配線基板１０の第１導電型用分離配線１３ａと第１導電型用分離配線１３ｂとの間隙に収まるように設置するとともに、裏面電極型太陽電池８の端部の第２導電型用電極７が配線基板１０の第２導電型用分離配線１２ａと第２導電型用分離配線１２ｂとの間隙に収まるように設置する。これにより、裏面電極型太陽電池８の内部の第１導電型用電極６が配線基板１０の内部の第１導電型用配線１３と接して電気的に接続され、裏面電極型太陽電池８の内部の第２導電型用電極７が配線基板１０の内部の第２導電型用配線１２と接して電気的に接続されて、図１０に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された本実施の形態の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が配線基板１０の第１導電型用分離配線１３ａと第１導電型用分離配線１３ｂとの間隙に収まるように設置され、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７が配線基板１０の第２導電型用分離配線１２ａと第２導電型用分離配線１２ｂとの間隙に収まるようにして設置される。

したがって、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６を配線基板１０の第１導電型用分離配線１３ａと第１導電型用分離配線１３ｂとの間隙に設置し、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７を配線基板１０の第２導電型用分離配線１２ａと第２導電型用分離配線１２ｂとの間隙に設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、これらの分離配線によって裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、上記の第１導電型用分離配線１３ａ、第１導電型用分離配線１３ｂ、第２導電型用分離配線１２ａおよび第２導電型用分離配線１２ｂによって裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、配線基板１０の第１導電型用分離配線１３ａ、第１導電型用分離配線１３ｂ、第２導電型用分離配線１２ａおよび第２導電型用分離配線１２ｂがそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

なお、上記においては、配線基板１０の絶縁性基板１１の表面の一方の端部に第１導電型用配線１３が分離してなる第１導電型用分離配線１３ａおよび第１導電型用分離配線１３ｂを形成するとともに、配線基板１０の絶縁性基板１１の表面の他方の端部に第２導電型用配線１２が分離してなる第２導電型用分離配線１２ａおよび第２導電型用分離配線１２ｂをそれぞれ形成したが、本発明においては、配線基板１０の絶縁性基板１１の表面上に形成された第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２の少なくとも１つが分離されて所定の間隙を有する第１導電型用分離配線および／または第２導電型用分離配線となっていればよい。

＜実施の形態４＞
図１３に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図１３に示す構成の太陽電池においては、配線基板１０の絶縁性基板１１の表面に凹部が設けられるとともに、絶縁性基板１１の表面の凹部に導電性シード層８２と金属メッキ層８４との積層体からなる第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２が交互に設けられており、第１導電型用配線１３の表面の凹部および第２導電型用配線１２の表面の凹部がそれぞれ位置決め部となっている点に特徴がある。

以下、図１３に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図１３に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図１３に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０は、たとえば以下のようにして作製することができる。

まず、図１４（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面に型押し機８１を押し付けることによって、絶縁性基板１１の表面に窪みである凹部１１ａを形成する。この例においては、凹部１１ａが、たとえば図１４（ａ）の紙面の裏側に向かう帯状に形成されるが、この形状に限定されるものではない。

次に、図１４（ｂ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面に導電性シード層８２を形成する。ここで、導電性シード層８２は、たとえばＰＶＤ（Physical Vapor Deposition）法または無電解メッキ法などによって金属などの導電体膜を絶縁性基板１１の表面に積層することによって形成することができる。また、導電性シード層８２の材質は、導電性物質であれば特に限定されない。

次に、図１４（ｃ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面の凹部１１ａに対応する箇所に開口部を有するレジストパターン８３を形成する。なお、レジストパターン８３に関する説明は、実施の形態１のレジストパターン１５ａに関する説明と同様であるため、ここでは省略する。

次に、図１４（ｄ）の模式的断面図に示すように、導電性シード層８２上にたとえば銅などの金属をメッキして金属メッキ層８４を形成する。ここでは、導電性シード層８２上に金属メッキ層８４を形成しているが、金属メッキ層８４の代わりに、導電性物質からなる導電層を導電性シード層８２上に形成してもよい。

次に、図１４（ｅ）の模式的断面図に示すように、レジストパターン８３をすべて除去することによって絶縁性基板１１の表面上に、導電性シード層８２と金属メッキ層８４との積層体からなる第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２が形成された配線基板１０を作製することができる。

その後、図１５の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の端部の第１導電型用電極６が配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の凹部の窪みの中に収まるように設置され、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７が配線基板１０の第２導電型用配線１２の表面の凹部の窪みの中に収まるようにして設置される。これにより、裏面電極型太陽電池８の内部の第１導電型用電極６が配線基板１０の内部の第１導電型用配線１３と接して電気的に接続され、裏面電極型太陽電池８の内部の第２導電型用電極７が配線基板１０の内部の第２導電型用配線１２と接して電気的に接続されて、図１３に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が、配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の凹部の窪みの中に収まるように設置され、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７が、配線基板１０の第２導電型用配線１２の表面の凹部の窪みの中に収まるようにして設置される。

したがって、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６を配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の凹部の窪みに設置し、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７を配線基板１０の第２導電型用配線１２の表面の凹部の窪みに設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２のそれぞれの表面の凹部により裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

すなわち、本実施の形態においては、配線基板１０の第１導電型用配線１３の表面の凹部および第２導電型用配線１２の表面の凹部がそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

＜実施の形態５＞
図１６に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図１６に示す構成の太陽電池においては、配線基板１０の第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２との間のそれぞれの領域に裏面電極型太陽電池８側に突出して図１６の紙面の表面側および／または裏面側に向かって伸びる絶縁性の凸部１０１が位置決め部となっている点に特徴がある。

以下、図１６に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図１６に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図１６に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０は、たとえば以下のようにして作製することができる。

まず、図１７（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面上に導電層１９を形成した後に、図１７（ｂ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面の導電層１９上にレジストパターン１５ａを形成する。

次に、図１７（ｃ）の模式的断面図に示すように、レジストパターン１５ａから露出している箇所の導電層１９を矢印１６ａの方向に除去することによって導電層１９のパターンニングを行なって第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２を形成した後に、図１７（ｄ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面からレジストパターン１５ａをすべて除去する。ここまでの工程は、実施の形態１と同様である。

次に、図１７（ｅ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面における第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２との間の領域にそれぞれ絶縁性の凸部１０１を形成することによって、配線基板１０が作製される。ここで、絶縁性の凸部１０１は、絶縁性物質からなり、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２のそれぞれよりも背が高く形成されるものであれば特に限定されないが、たとえば、ガラスを含むペースト状のガラスペーストや絶縁性のレジストなどをたとえばスクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布した後に紫外線照射または加熱などの処理によって硬化させたものなどを用いることができる。

その後、図１８の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が配線基板１０の隣り合う絶縁性の凸部１０１の間に収まるように設置するとともに、第２導電型用電極７が配線基板１０の隣り合う絶縁性の凸部１０１の間に収まるように設置することによって、図１６に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された本実施の形態の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が配線基板１０の隣り合う絶縁性の凸部１０１の間に収まるように設置され、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７が配線基板１０の隣り合う絶縁性の凸部１０１の間に収まるようにして設置される。

したがって、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６を配線基板１０の隣り合う絶縁性の凸部１０１の間に収まるように設置し、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７を配線基板１０の隣り合う絶縁性の凸部１０１の間に収まるように設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、凸部１０１によって裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、上記凸部１０１によって裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、配線基板１０の凸部１０１がそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

なお、本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１と同様であるため、ここでは説明を省略する。

＜実施の形態６＞
図１９に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図１９に示す構成の太陽電池においては、配線基板１０の第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２との間のそれぞれの領域に裏面電極型太陽電池８側に突出して図１９の紙面の表面側および／または裏面側に向かって伸びる絶縁性の凸部１０１が位置決め部となっており、第１導電型用配線１３の表面の一部および第２導電型用配線１２の表面の一部がそれぞれ凸部１０１で覆われている点に特徴がある。

以下、図１９に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図１９に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図１９に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０は、たとえば図２０（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面における第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２との間の領域の絶縁性の凸部１０１が第１導電型用配線１３の表面の一部および第２導電型用配線１２の表面の一部をそれぞれ覆うように形成することによって配線基板１０が作製される。

その後、図２０（ｂ）の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６が配線基板１０の隣り合う絶縁性の凸部１０１の間に収まるように設置するとともに、第２導電型用電極７が配線基板１０の隣り合う絶縁性の凸部１０１の間に収まるように設置することによって、図１９に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

なお、上記においては、すべての第１導電型用配線１３の表面の一部およびすべての第２導電型用配線１２の表面の一部がそれぞれ凸部１０１で覆われているが、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２の少なくとも１つの表面の一部が凸部１０１で覆われていればよい。

また、本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１および実施の形態５と同様であるため、ここでは説明を省略する。

＜実施の形態７＞
図２１に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図２１に示す構成の太陽電池においては、配線基板１０の第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２との間の一部の領域において裏面電極型太陽電池８側に突出して図２１の紙面の表面側および／または裏面側に向かって伸びる絶縁性の凸部１０１が位置決め部となっており、絶縁性の凸部１０１に隣接する第１導電型用配線１３の表面の一部および第２導電型用配線１２の表面の一部がそれぞれ凸部１０１で覆われている点に特徴がある。

以下、図２１に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図２１に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図２１に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０は、たとえば図２２（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面における第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２との間の領域の絶縁性の凸部１０１が第１導電型用配線１３の表面の一部および第２導電型用配線１２の表面の一部をそれぞれ覆うように形成するとともに、第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２との間に絶縁性の凸部１０１が形成されない領域を設けることによって配線基板１０が作製される。

その後、図２２（ｂ）の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間に配線基板１０の絶縁性の凸部１０１が収まるように設置することによって、図２１に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された本実施の形態の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間に絶縁性の凸部１０１が収まるように設置され設置される。

したがって、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の隣り合う第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間に配線基板１０の絶縁性の凸部１０１が収まるように設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、絶縁性の凸部１０１により裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

なお、本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１、実施の形態５および実施の形態６と同様であるため、ここでは説明を省略する。

＜実施の形態８＞
図２３に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図２３に示す構成の太陽電池においては、配線基板１０の端部において裏面電極型太陽電池８側に突出して図２３の紙面の表面側および／または裏面側に向かって伸びる絶縁性の凸部１０１が位置決め部となっており、絶縁性の凸部１０１に隣接する第１導電型用配線１３の表面の一部および第２導電型用配線１２の表面の一部がそれぞれ絶縁性の凸部１０１で覆われている点に特徴がある。

以下、図２３に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図２３に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図２３に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０は、たとえば図２４（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面の両端部のみに、第１導電型用配線１３の表面の一部および第２導電型用配線１２の表面の一部をそれぞれ覆うように絶縁性の凸部１０１を形成することによって配線基板１０が作製される。

その後、図２４（ｂ）の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８のすべての第１導電型用電極６およびすべての第２導電型用電極７が、配線基板１０の両端の絶縁性の凸部１０１の間に収まるように設置することによって、図２３に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された本実施の形態の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８のすべての第１導電型用電極６およびすべての第２導電型用電極７が配線基板１０の両端の絶縁性の凸部１０１の間に収まるように設置される。

したがって、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８のすべての第１導電型用電極６およびすべての第２導電型用電極７が配線基板１０の両端の絶縁性の凸部１０１の間に収まるように設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

なお、本実施の形態においては、絶縁性の凸部１０１の代わりに導電性の凸部１０１を用いてもよい。

また、本実施の形態における上記以外の説明は、実施の形態１、実施の形態５および実施の形態６と同様であるため、ここでは説明を省略する。

＜実施の形態９＞
図２５に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図２５に示す構成の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の表面上の第１導電型用電極６と第２導電型用電極７との間の領域に半導体基板１側とは反対側に突出する絶縁性の凸部１５１が設置されており、絶縁性の凸部１５１が位置決め部となっている点に特徴がある。

以下、図２５に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図２５に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図２５に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８は、たとえば図２６（ａ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の表面上に絶縁性の凸部１５１を形成して作製される。

ここで、凸部１５１は、絶縁性物質からなり、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７よりも背が高く形成されるものであれば特に限定されないが、たとえば、ガラスを含むペースト状のガラスペーストや絶縁性のレジストなどをたとえばスクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布した後に紫外線照射または加熱などの処理によって硬化させたものなどを用いることができる。

その後、図２６（ｂ）の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６を配線基板１０の第１導電型用配線１３上に接するようにして設置し、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７を配線基板１０の第２導電型用配線１２上に接するようにして設置することによって、図２５に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された本実施の形態の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の半導体基板１の裏面側の凸部１５１が、配線基板１０の第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２との間の間隙に収まるように設置される。

したがって、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の半導体基板１の裏面側の凸部１５１を、配線基板１０の第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２との間の間隙に収まるように設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、凸部１５１によって裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、上記凸部１５１によって配線基板１０の第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の凸部１５１が、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

＜実施の形態１０＞
図２７に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図２７に示す構成の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の裏面の第１導電型用電極６の表面に形成された凹部および第２導電型用電極７の表面に形成された凹部が位置決め部となっている点に特徴がある。

以下、図２７に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図２７に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図２７に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８は、たとえば以下のようにして作製することができる。

まず、図２８（ａ）の模式的断面図に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって半導体基板１の表面にスライスダメージ１ａが形成された半導体基板１を用意し、図２８（ｂ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する。

次に、図２８（ｃ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面に、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３をそれぞれ形成し、図２８（ｄ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。

次に、図２８（ｅ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。

次に、図２８（ｆ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによってコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂを形成する。ここまでの工程は実施の形態１と同様である。

次に、図２８（ｇ）の模式的断面図に示すように、コンタクトホール４ａを通して第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用電極６と、コンタクトホール４ｂを通して第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用電極７とを形成して、裏面電極型太陽電池８を作製する。

ここで、第１導電型用電極６の表面の凹部および第２導電型用電極７の表面の凹部はそれぞれ、たとえば銅などの金属を含む金属ペーストを塗布し、金属ペーストのダレを利用して、塗布された金属ペーストの表面に窪みを形成した後に、乾燥させることによって形成することができる。なお、金属ペーストとしては、たとえば、金属を含むペースト状のものを用いることができ、金属ペーストは、たとえば、スクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布することができる。

その後、図２９の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６を配線基板１０の第１導電型用配線１３上に接するようにして設置し、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７を配線基板１０の第２導電型用配線１２上に接するようにして設置することによって、図２７に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された本実施の形態の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６の表面の凹部の窪みに配線基板１０の第１導電型用配線１３を収めるようにして設置され、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７の表面の凹部の窪みに配線基板１０の第２導電型用配線１２を収めるようにして設置される。

したがって、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６の表面の凹部の窪みに配線基板１０の第１導電型用配線１３を収めるようにして設置し、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７の表面の凹部の窪みに配線基板１０の第２導電型用配線１２を収めるようにして設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、第１導電型用電極６の表面の凹部および第２導電型用電極７の表面の凹部により、裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６の表面の凹部および第２導電型用電極７の表面の凹部によって配線基板１０の第１導電型用電極６と第２導電型用電極７の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６の表面の凹部および第２導電型用電極７の表面の凹部がそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

なお、上記においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６の表面および裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７の表面の双方に凹部を形成したが、第１導電型用電極６の表面または第２導電型用電極７の表面のいずれか一方にのみ凹部を形成してもよい。

また、上記においては、裏面電極型太陽電池８のすべての第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の表面にそれぞれ凹部を形成したが、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７の少なくとも１つの表面に凹部が形成されていればよい。

＜実施の形態１１＞
図３０に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図３０に示す構成の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の裏面の第１導電型用電極が複数に分離してなる第１導電型用分離電極６ａおよび第１導電型用分離電極６ｂ、ならびに裏面電極型太陽電池８の裏面の第２導電型用電極が複数に分離してなる第２導電型用分離電極７ａおよび第２導電型用分離電極７ｂが位置決め部となっている点に特徴がある。

以下、図３０に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図３０に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図３０に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８は、たとえば以下のようにして作製することができる。

まず、図３１（ａ）の模式的断面図に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって、半導体基板１の表面にスライスダメージ１ａが形成された半導体基板１を用意し、図３１（ｂ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する。

次に、図３１（ｃ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面に、第１導電型不純物拡散領域２と第２導電型不純物拡散領域３とをそれぞれ交互に形成し、図３１（ｄ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。

次に、図３１（ｅ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。ここまでの工程は実施の形態１と同様である。

次に、図３１（ｆ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによってコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂを形成する。ここで、コンタクトホール４ａは、第１導電型用分離電極６ａおよび第１導電型用分離電極６ｂのそれぞれの形状に第１導電型不純物拡散領域２の表面が露出するように形成され、コンタクトホール４ｂは、第２導電型用分離電極７ａおよび第２導電型用分離電極７ｂのそれぞれの形状に第２導電型不純物拡散領域３の表面が露出するように形成される。

次に、図３１（ｇ）の模式的断面図に示すように、コンタクトホール４ａを通して第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用分離電極６ａおよび第１導電型用分離電極６ｂ、ならびに第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用分離電極７ａおよび第２導電型用分離電極７ｂを形成して、裏面電極型太陽電池８を作製する。

なお、第１導電型用電極６は１対の第１導電型用分離電極６ａと第１導電型用分離電極６ｂとの組み合わせからなり、第２導電型用電極７は１対の第２導電型用分離電極７ａと第２導電型用分離電極７ｂとの組み合わせからなる。

その後、図３２の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の隣り合う第１導電型用分離電極６ａと第１導電型用分離電極６ｂとの間の間隙に配線基板１０の第１導電型用配線１３を収めるようにして設置し、裏面電極型太陽電池８の隣り合う第２導電型用分離電極７ａと第２導電型用分離電極７ｂとの間の間隙に配線基板１０の第２導電型用配線１２を収めるようにして設置することによって、図３０に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された本実施の形態の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の隣り合う第１導電型用分離電極６ａと第１導電型用分離電極６ｂとの間の間隙に配線基板１０の第１導電型用電極１３を収めるようにして設置し、裏面電極型太陽電池８の隣り合う第２導電型用分離電極７ａと第２導電型用分離電極７ｂとの間の間隙に配線基板１０の第２導電型用電極１２を収めるようにして設置される。

したがって、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の隣り合う第１導電型用分離電極６ａと第１導電型用分離電極６ｂとの間の間隙に配線基板１０の第１導電型用電極１３を収めるようにして設置し、隣り合う第２導電型用分離電極７ａと第２導電型用分離電極７ｂとの間の間隙に配線基板１０の第２導電型用電極１２を収めるようにして設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、これらの分離電極によって裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用分離電極６ａ、第１導電型用分離電極６ｂ、第２導電型用分離電極７ａおよび第２導電型用分離電極７ｂによって配線基板１０の第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用分離電極６ａ、第１導電型用分離電極６ｂ、第２導電型用分離電極７ａおよび第２導電型用分離電極７ｂがそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

なお、上記においては、裏面電極型太陽電池８の裏面のすべての電極を分離電極（第１導電型用分離電極６ａ、第１導電型用分離電極６ｂ、第２導電型用分離電極７ａおよび第２導電型用分離電極７ｂ）としたが、裏面電極型太陽電池８の裏面の一部の電極のみを分離電極としてもよい。

＜実施の形態１２＞
図３３に、本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図を示す。図３３に示す構成の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の裏面の凹部が位置決め部となっている点に特徴がある。

以下、図３３に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図３３に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図３３に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８は、たとえば以下のようにして作製することができる。

まず、図３４（ａ）の模式的断面図に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって生じたスライスダメージ１ａを除去した半導体基板１を用意する。

次に、図３４（ｂ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面に凹部１ｂを設ける。

次に、図３４（ｃ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面に凹部１ｂに、第１導電型不純物拡散領域２と第２導電型不純物拡散領域３とをそれぞれ交互に形成し、図３４（ｄ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。

次に、図３４（ｅ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。

次に、図３４（ｆ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによって、第１導電型不純物拡散領域２の表面および第２導電型不純物拡散領域３の表面をそれぞれ露出させる。

次に、図３４（ｇ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４から露出している第１導電型不純物拡散領域２の表面に第１導電型用電極６を形成するとともに、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４から露出している第２導電型不純物拡散領域３の表面に第２導電型用電極７を形成することによって裏面電極型太陽電池８が作製される。

その後、図３５の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６と配線基板１０の第１導電型用配線１３とを接触させ、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７と配線基板１０の第２導電型用配線１２とを接触させるように裏面電極型太陽電池８を設置することによって、図３３に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

以上のようにして作製された本実施の形態の太陽電池においては、裏面電極型太陽電池８の裏面の凹部に配線基板１０の第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２を収めるようにして裏面電極型太陽電池８が設置される。

したがって、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の裏面の凹部に配線基板１０の第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２を収めるようにして設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、裏面電極型太陽電池８の裏面の凹部によって裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、裏面電極型太陽電池８の裏面の凹部によって配線基板１０の第１導電型用電極６と第２導電型用電極７の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の裏面の凹部がそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

なお、上記においては、裏面電極型太陽電池８の裏面に複数の凹部を形成したが、裏面電極型太陽電池８の裏面に少なくとも１つの凹部を形成すればよい。

＜実施の形態１３＞
図３６に、本発明の太陽電池の一例の模式的な断面図を示す。図３６に示す構成の太陽電池は、裏面電極型太陽電池８の半導体基板１の裏面側の両端にそれぞれ設置されて配線基板１０側に突出して図３６の紙面の表面側および／または裏面側に向かって伸びる凸部２２１および配線基板１０の絶縁性基板１１の表面の両端にそれぞれ設置されて裏面電極型太陽電池８側に突出して図３６の紙面の裏面側に向かって伸びる凸部２２２が位置決め部となっている点に特徴がある。

以下、図３６に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。まず、図３７（ａ）の模式的断面図に示すように、たとえばインゴットからスライスすることなどによって、半導体基板１の表面にスライスダメージ１ａが形成された半導体基板１を用意し、図３７（ｂ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の表面のスライスダメージ１ａを除去する。

次に、図３７（ｃ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面に、第１導電型不純物拡散領域２および第２導電型不純物拡散領域３をそれぞれ形成し、図３７（ｄ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面にパッシベーション膜４を形成する。

次に、図３７（ｅ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の受光面の全面にテクスチャ構造などの凹凸構造を形成した後に、その凹凸構造上に反射防止膜５を形成する。

次に、図３７（ｆ）の模式的断面図に示すように、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の一部を除去することによってコンタクトホール４ａおよびコンタクトホール４ｂを形成する。ここで、コンタクトホール４ａは、第１導電型用電極６の形状に第１導電型不純物拡散領域２の表面が露出するように形成され、コンタクトホール４ｂは、第２導電型用電極７の形状に第２導電型不純物拡散領域３の表面が露出するように形成される。

次に、図３７（ｇ）の模式的断面図に示すように、コンタクトホール４ａを通して第１導電型不純物拡散領域２に接する第１導電型用電極６と、コンタクトホール４ｂを通して第２導電型不純物拡散領域３に接する第２導電型用電極７とを形成するとともに、半導体基板１の裏面のパッシベーション膜４の表面の両端にそれぞれ半導体基板１側とは反対側に突出する凸部２２１もこれらの電極と同一工程で形成して裏面電極型太陽電池８を作製する。ここで、凸部２２１は、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７と同一の材質で構成される。

一方、図３８（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面上に導電層１９を形成し、図３８（ｂ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面の導電層１９上にレジストパターン１５ａを形成する。

次に、図３８（ｃ）の模式的断面図に示すように、レジストパターン１５ａから露出している箇所の導電層１９を矢印１６ａの方向に除去することによって導電層１９のパターンニングを行なうことによって、第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２と凸部２２２とを同一工程で形成する。ここで、凸部２２２は、第１導電型用配線１３と第２導電型用配線１２と同一の材質で構成される。

次に、図３８（ｄ）の模式的断面図に示すように、第１導電型用配線１３の表面および第２導電型用配線１２の表面からレジストパターン１５ａをすべて除去して配線基板１０が作製される。

その後、図３９の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の凸部２２１が、配線基板１０の表面の端部の凸部２２２と第１導電型用配線１３との間の間隙および配線基板１０の表面の端部の凸部２２２と第２導電型用配線１２との間の間隙にそれぞれ収まるように設置する。

これにより、裏面電極型太陽電池８の第１導電型用電極６と配線基板１０の第１導電型用配線１３とが接するとともに、裏面電極型太陽電池８の第２導電型用電極７と配線基板１０の第２導電型用配線１２とが接することによって、図３６に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

したがって、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の凸部２２１を配線基板１０の凸部２２２と第１導電型用配線１３との間の間隙および配線基板１０の凸部２２２と第２導電型用配線１２との間の間隙にそれぞれ収まるように設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、裏面電極型太陽電池８の凸部２２１と配線基板１０の凸部２２２とによって、裏面電極型太陽電池８の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の凸部２２１と、配線基板１０の凸部２２２とがそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

なお、凸部２２１および凸部２２２の形状、配置および個数は上記のものに限定されず、凸部２２１および凸部２２２がそれぞれ裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を所定の範囲内に収める位置決め部として機能する形状、配置および個数であればよい。

また、凸部２２１は、第１導電型用電極６および／または第２導電型用電極７と同一工程で形成してもよく、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７と同一の材質から形成してもよいが、本実施の形態のように、凸部２２１と、第１導電型用電極６および第２導電型用電極７とを同一工程で、かつ同一の材質で形成することによって製造効率が向上する傾向にある点で好ましい。なお、凸部２２１は、第１導電型用電極６の形成工程および／または第２導電型用電極７の形成工程と連続する工程（第１導電型用電極６の形成工程および／または第２導電型用電極７の形成工程の直前の工程および／または直後の工程）で形成してもよい。

また、凸部２２２は、第１導電型用配線１３および／または第２導電型用配線１２と同一工程で形成してもよく、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２と同一の材質から形成してもよいが、本実施の形態のように、凸部２２２と、第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２とを同一工程で、かつ同一の材質で形成することによって製造効率が向上する傾向にある点で好ましい。なお、凸部２２２は、第１導電型用配線１３の形成工程および／または第２導電型用配線１２の形成工程と連続する工程（第１導電型用配線１３の形成工程および／または第２導電型用配線１２の形成工程の直前の工程および／または直後の工程）で形成してもよい。

＜実施の形態１４＞
図４０に、本発明の太陽電池の一例の模式的な断面図を示す。図４０に示す構成の太陽電池は、配線基板１０の表面の両端にそれぞれ設置されて裏面電極型太陽電池８側に突出して図４０の紙面の裏面側に向かって伸びる凸部２５１が位置決め部となっている点に特徴がある。

以下、図４０に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図４０に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８については、実施の形態１と同様にして作製される。

また、図４０に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０は、たとえば以下のようにして作製することができる。

まず、実施の形態１と同様にして、図４１（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面上に所定の形状にパターンニングされた第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２を設置する。

次に、図４１（ｂ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面の両端にそれぞれ凸部２５１を形成することによって配線基板１０が作製される。ここで、凸部２５１としては、たとえば、ガラスを含むペースト状のガラスペーストや、エポキシ、アクリル、ポリイミド、ポリアミドイミドおよびシリコーンなどの樹脂の少なくとも１種などをたとえばスクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布した後に紫外線照射または加熱などの処理によって硬化させたものなどを用いることができるが、これに限定されるものではない。なお、凸部２５１は、裏面電極型太陽電池８の半導体基板１を厚さ方向にわたって収めることができるように形成することができる。

その後、図４２の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した配線基板１０の表面の両端の凸部２５１の間の間隙に裏面電極型太陽電池８の半導体基板１が収まるように設置することによって、図４０に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

したがって、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、配線基板１０の表面の両端の凸部２５１の間の間隙に裏面電極型太陽電池８の半導体基板１が収まるように設置すればよいため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、凸部２５１によって裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、配線基板１０の表面の両端にそれぞれ設置された凸部２５１によって、裏面電極型太陽電池８の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、配線基板１０の表面の両端にそれぞれ設置された凸部２５１がそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

なお、凸部２５１の形状、配置および個数は上記のものに限定されず、凸部２５１が裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を所定の範囲内に収める位置決め部として機能する形状、配置および個数であればよい。

＜実施の形態１５＞
図４３（ａ）に本発明の太陽電池の一例の模式的な断面図を示し、図４３（ｂ）に図４３（ａ）の４３ｂ−４３ｂに沿った模式的な断面図を示す。図４３（ａ）および図４３（ｂ）に示す構成の太陽電池は、裏面電極型太陽電池８の半導体基板１の裏面側の両端に設置されて配線基板１０側に突出する凸部２７２および凸部２８２、ならびに配線基板１０の絶縁性基板１１の表面の両端に設置されて裏面電極型太陽電池８側に突出する凸部２７２および凸部２８２がそれぞれ位置決め部となっており、裏面電極型太陽電池８の凸部２７２および配線基板１０の凸部２８２、ならびに裏面電極型太陽電池８の凸部２８２および配線基板１０の凸部２７２がそれぞれ磁気を帯びている点に特徴がある。

以下、図４３（ａ）および図４３（ｂ）に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図４３（ａ）および図４３（ｂ）に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８については、たとえば以下のようにして作製することができる。

まず、実施の形態１と同様にして、図４４（ａ）の模式的断面図に示す構成の裏面電極型太陽電池８を作製する。

次に、図４４（ｂ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池８の裏面のパッシベーション膜４の表面の両端にそれぞれ、磁性体紛を含む磁性体ペースト２７１をたとえばスクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布する。その後、磁性体ペースト２７１は、たとえば紫外線照射または加熱などの処理によって硬化させられる。

次に、図４４（ｃ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池８の裏面のパッシベーション膜４の表面上の磁性体ペースト２７１を強磁性体で磁化することによって、裏面電極型太陽電池８の半導体基板１側に突出する凸部２７２および凸部２８２を形成する。これにより、図４３（ａ）および図４３（ｂ）に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８が作製される。

ここで、凸部２７２と凸部２８２とは反対の磁極を示す磁性体からなり、たとえば、凸部２７２の磁極がＳ極である場合には凸部２８２の磁極がＮ極となり、凸部２７２の磁極がＮ極である場合には凸部２８２の磁極がＳ極となる。

図４３（ａ）および図４３（ｂ）に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０については、たとえば以下のようにして作製することができる。

また、実施の形態１と同様にして、図４５（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面上に所定の形状にパターンニングされた第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２を設置する。

次に、図４５（ｂ）の模式的断面図に示すように、配線基板１０の表面の両端にそれぞれ、磁性体紛を含む磁性体ペースト２８１をたとえばスクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布する。その後、磁性体ペースト２８１は、たとえば紫外線照射または加熱などの処理によって硬化させられる。

次に、図４５（ｃ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池８の裏面のパッシベーション膜４の表面上の磁性体ペースト２７１を強磁性体で磁化することによって、裏面電極型太陽電池８の半導体基板１側に突出する凸部２７２および凸部２８２を形成する。これにより、図４３（ａ）および図４３（ｂ）に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０が作製される。

その後、図４６（ａ）の模式的断面図および図４６（ｂ）の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の裏面の凸部２７２と配線基板１０の表面の凸部２８２とが接し、裏面電極型太陽電池８の裏面の凸部２８２と配線基板１０の表面の凸部２７２とが接するように裏面電極型太陽電池８を設置することによって、図４３（ａ）および図４３（ｂ）に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。なお、図４６（ｂ）は、図４６（ａ）の４６ｂ−４６ｂに沿った模式的な断面図である。

したがって、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の裏面の凸部２７２と配線基板１０の表面の凸部２８２とが磁力によって引き合い、裏面電極型太陽電池８の裏面の凸部２８２と配線基板１０の表面の凸部２７２とが磁力によって引き合うため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、当該磁力によって裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、裏面電極型太陽電池８の裏面の凸部２７２と配線基板１０の表面の凸部２８２とは磁力を利用して接続され、裏面電極型太陽電池８の裏面の凸部２８２と配線基板１０の表面の凸部２７２とは磁力を利用して接続されていることから、これらの磁力により裏面電極型太陽電池８の移動が妨げられ、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の磁気を帯びている凸部２７２および凸部２８２、ならびに配線基板１０の磁気を帯びている凸部２７２および凸部２８２がそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

なお、磁気を帯びている凸部２７２および凸部２８２の形状、配置および個数は上記のものに限定されず、凸部２７２および凸部２８２が裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を所定の範囲内に収める位置決め部として機能する形状、配置および個数であればよい。

＜実施の形態１６＞
図４７に本発明の太陽電池の一例の模式的な断面図を示す。図４７に示す構成の太陽電池は、裏面電極型太陽電池８の半導体基板１の裏面側の両端に設置されて配線基板１０側に突出する凸部３１２、ならびに配線基板１０の絶縁性基板１１の表面の両端に設置されて裏面電極型太陽電池８側に突出する凸部３２２がそれぞれ位置決め部となっており、裏面電極型太陽電池８の凸部３１２および配線基板１０の凸部３２２がそれぞれ静電気を帯びている点に特徴がある。

以下、図４７に示す構成の太陽電池の製造方法の一例について説明する。図４７に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８については、たとえば以下のようにして作製することができる。

まず、実施の形態１と同様にして、図４８（ａ）の模式的断面図に示す構成の裏面電極型太陽電池８を作製する。

次に、図４８（ｂ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池８の裏面のパッシベーション膜４の表面の両端にそれぞれ、ガラスを含むガラスペースト３１１をたとえばスクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布する。その後、ガラスペースト３１１は、たとえば加熱などの処理によって硬化させられる。

次に、図４８（ｃ）の模式的断面図に示すように、裏面電極型太陽電池８の裏面のパッシベーション膜４上で硬化したガラスペースト３１１の表面に正の電荷を生じさせることによって正の静電気を帯びた凸部３１２を形成する。これにより、図４７に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池８が作製される。

ここで、ガラスペースト３１１の表面に正の電荷を生じさせる方法としては、たとえば、ガラスペースト３１１の表面をアクリル板で摩擦する方法またはイオナイザーを用いる方法などを用いることができる。

また、図４７に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０については、たとえば以下のようにして作製することができる。まず、実施の形態１と同様にして、図４９（ａ）の模式的断面図に示すように、絶縁性基板１１の表面上に所定の形状にパターンニングされた第１導電型用配線１３および第２導電型用配線１２を設置する。

次に、図４９（ｂ）の模式的断面図に示すように、配線基板１０の表面の両端にそれぞれ、アクリル樹脂を含む樹脂ペースト３２１をたとえばスクリーン印刷、ディスペンサ塗布またはインクジェット塗布などの方法によって塗布する。その後、樹脂ペースト３２１は、たとえば紫外線照射または加熱などの処理によって硬化させられる。

次に、図４９（ｃ）の模式的断面図に示すように、配線基板１０の表面上で硬化した樹脂ペースト３２１の表面に負の電荷を生じさせることによって負の静電気を帯びた凸部３２２を形成する。これにより、図４７に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板１０が作製される。ここで、樹脂ペースト３２１の表面に負の電荷を生じさせる方法としては、たとえば、樹脂ペースト３２１の表面をガラス板で摩擦する方法などを用いることができる。

その後、図５０の模式的断面図に示すように、上記のようにして作製した裏面電極型太陽電池８の裏面の凸部３１２と配線基板１０の表面の凸部３２２とが接するように裏面電極型太陽電池８を設置することによって、図４７に示す構成の本発明の太陽電池の一例が作製される。

したがって、裏面電極型太陽電池８の設置時においては、裏面電極型太陽電池８の裏面の凸部３１２と配線基板１０の表面の凸部３２２とが静電気力によって引き合うため、裏面電極型太陽電池８の位置合わせが容易になるとともに、裏面電極型太陽電池８の位置ズレも生じにくくなる。

さらには裏面電極型太陽電池８を一旦設置した後には、その後の封止工程などにおける加熱によって、配線基板１０の絶縁性基板１１などの部材が膨張または収縮した場合であっても、裏面電極型太陽電池８の裏面の凸部３１２と配線基板１０の表面の凸部３２２とが静電気力を利用して接続されており、この静電気力により裏面電極型太陽電池８の移動が妨げられるため、裏面電極型太陽電池８の位置ズレを有効に抑止することができる。

すなわち、本実施の形態においては、裏面電極型太陽電池８の静電気を帯びている凸部３１２および配線基板１０の静電気を帯びている凸部３２２がそれぞれ、裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を決める位置決め部となる。

なお、静電気を帯びている凸部３１２および凸部３２２の形状、配置および個数は上記のものに限定されず、凸部３１２および凸部３２２が裏面電極型太陽電池８の配線基板１０に対する相対的な位置関係を所定の範囲内に収める位置決め部として機能する形状、配置および個数であればよい。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

本発明の太陽電池の一例の模式的な断面図である。（ａ）〜（ｇ）は、図１に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。本発明に用いられる裏面電極型太陽電池の一例の裏面の模式的な平面図である。（ａ）〜（ｇ）は、図１に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。本発明に用いられる配線基板の一例の表面の模式的な平面図である。図１に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）〜（ｆ）は、図７に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。図７に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）〜（ｄ）は、図１０に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。図１０に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）〜（ｅ）は、図１３に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。図１３に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）〜（ｅ）は、図１６に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。図１６に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）は図１９に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は図１９に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）は図２１に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は図２１に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）は図２３に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は図２３に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）は図２５に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池の一例の模式的な断面図であり、（ｂ）は図２５に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）〜（ｇ）は、図２７に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。図２７に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）〜（ｇ）は、図３０に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。図３０に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）〜（ｇ）は、図３３に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。図３３に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）〜（ｇ）は、図３６に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。（ａ）〜（ｄ）は、図３６に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。図３６に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）および（ｂ）は、図４０に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。図４０に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。（ａ）は本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図であり、（ｂ）は（ａ）の４３ｂ−４３ｂに沿った模式的な断面図である。（ａ）〜（ｃ）は、図４３に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。（ａ）〜（ｃ）は、図４３に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。（ａ）は図４３に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は（ａ）の４６ｂ−４６ｂに沿った模式的な断面図である。本発明の太陽電池の他の一例の模式的な断面図である。（ａ）〜（ｃ）は、図４７に示す構成の太陽電池に含まれる裏面電極型太陽電池を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。（ａ）〜（ｃ）は、図４７に示す構成の太陽電池に含まれる配線基板を製造する方法の一例を図解する模式的な断面図である。図４７に示す構成の太陽電池の製造方法の製造工程の一部を図解する模式的な断面図である。（ａ）は裏面電極型太陽電池の複数を電気的に接続して太陽電池を作製する方法の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は（ａ）で作製した太陽電池を透明樹脂中に封止する工程の一例を図解する模式的な断面図である。（ａ）は裏面電極型太陽電池の複数を電気的に接続して太陽電池を作製する方法の他の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は（ａ）で作製した太陽電池を透明樹脂中に封止する工程の一例を図解する模式的な断面図である。（ａ）は裏面電極型太陽電池の複数を電気的に接続して太陽電池を作製する方法のさらに他の一例を図解する模式的な断面図であり、（ｂ）は（ａ）で作製した太陽電池を透明樹脂中に封止する工程の一例を図解する模式的な断面図である。

符号の説明

１半導体基板、１ａスライスダメージ、１ｂ，１１ａ凹部、２第１導電型不純物拡散領域、３第２導電型不純物拡散領域、４パッシベーション膜、４ａ，４ｂコンタクトホール、５反射防止膜、６第１導電型用電極、６ａ，６ｂ第１導電型用分離電極、７第２導電型用電極、７ａ，７ｂ第２導電型用分離電極、８，８０裏面電極型太陽電池、９パッシベーション膜、１０，１００配線基板、１１絶縁性基板、１２第２導電型用配線、１２ａ第２導電型用分離配線、１２ｂ第１導電型用分離配線、１３第１導電型用配線、１４接続用配線、１５ａ，１５ｂ，８３レジストパターン、１６ａ，１６ｂ矢印、１７金属ペースト、１８，１０１，１５１，２２１，２２２，２５１，２７２，２８２，３１２，３２２凸部、１９導電層、６０第１導電型用集電電極、７０第２導電型用集電電極、８１型押し機、８２導電性シード層、８４金属メッキ層、２７１，２８１磁性体ペースト、３１１ガラスペースト、３２１樹脂ペースト、３４１絶縁性接着剤、３４２ガラス基板、３４３，３４４エチレンビニルアセテート、３４５バックフィルム、３５１導電性接着剤。

Claims

裏面電極型太陽電池と、
配線基板とを含み、
前記裏面電極型太陽電池は、半導体基板と、前記半導体基板の裏面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、前記第１導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第１導電型用電極と、前記第２導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第２導電型用電極とを有し、
前記配線基板は、絶縁性基板と、前記絶縁性基板に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、
前記裏面電極型太陽電池の前記第１導電型用電極が前記配線基板の前記第１導電型用配線に接続され、
前記裏面電極型太陽電池の前記第２導電型用電極が前記配線基板の前記第２導電型用配線に接続されており、
前記裏面電極型太陽電池および前記配線基板の少なくとも一方が、前記裏面電極型太陽電池の前記配線基板に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部を有する、太陽電池。
前記位置決め部は、前記配線基板の前記第１導電型用配線の表面に形成された凹部および前記配線基板の前記第２導電型用配線の表面に形成された凹部の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記配線基板の前記第１導電型用配線の表面に設置された凸部および前記配線基板の前記第２導電型用配線の表面に設置された凸部の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記配線基板の前記第１導電型用配線が複数に分離してなる第１導電型用分離配線および前記配線基板の前記第２導電型用配線が複数に分離してなる第２導電型用分離配線の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記配線基板の前記絶縁性基板の表面の凹部に設けられた、前記第１導電型用配線の表面の凹部および前記第２導電型用配線の表面の凹部の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記配線基板の前記絶縁性基板の表面に設置されて前記裏面電極型太陽電池側に突出する凸部であることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記第１導電型用配線の表面の一部および前記第２導電型用配線の表面の一部の少なくとも一方が前記凸部で覆われていることを特徴とする、請求項６に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記裏面電極型太陽電池の前記半導体基板の裏面側に設置されて前記配線基板側に突出する凸部であることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記裏面電極型太陽電池の前記第１導電型用電極の表面に形成された凹部および前記裏面電極型太陽電池の前記第２導電型用電極の表面に形成された凹部の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記裏面電極型太陽電池の前記第１導電型用電極が複数に分離してなる第１導電型用分離電極および前記裏面電極型太陽電池の前記第２導電型用電極が複数に分離してなる第２導電型用分離電極の少なくとも一方であることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記裏面電極型太陽電池の裏面の凹部であることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記裏面電極型太陽電池の前記半導体基板の裏面側に設置されて前記配線基板側に突出する凸部および前記配線基板の前記絶縁性基板の表面に設置されて前記裏面電極型太陽電池側に突出する凸部であることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記配線基板の前記絶縁性基板の表面に設置されて前記裏面電極型太陽電池側に突出する凸部であり、
前記凸部の間に前記裏面電極型太陽電池の前記半導体基板が嵌め込まれていることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
前記位置決め部は、前記裏面電極型太陽電池の前記半導体基板の裏面側に設置されて前記配線基板側に突出する凸部および前記配線基板の前記絶縁性基板の表面に設置されて前記裏面電極型太陽電池側に突出する凸部であり、
前記裏面電極型太陽電池の前記半導体基板の裏面側に設置された前記凸部と、前記配線基板の前記絶縁性基板の表面に設置された前記凸部とが、磁気および静電気の少なくとも一方を帯びていることを特徴とする、請求項１に記載の太陽電池。
半導体基板と、
前記半導体基板の裏面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、
前記第１導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第１導電型用電極と、
前記第２導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第２導電型用電極とを有する裏面電極型太陽電池であって、
前記裏面電極型太陽電池に接続される配線基板に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部を有する、裏面電極型太陽電池。
裏面電極型太陽電池に接続するための配線基板であって、
絶縁性基板と、
前記絶縁性基板に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、
前記配線基板に接続される裏面電極型太陽電池に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部を有する、配線基板。
裏面電極型太陽電池を配線基板に接続する工程を含み、
前記裏面電極型太陽電池は、半導体基板と、前記半導体基板の裏面側に形成された第１導電型不純物拡散領域および第２導電型不純物拡散領域と、前記第１導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第１導電型用電極と、前記第２導電型不純物拡散領域に対応して設けられた第２導電型用電極とを有し、
前記配線基板は、絶縁性基板と、前記絶縁性基板に設置された第１導電型用配線と第２導電型用配線とを有しており、
前記裏面電極型太陽電池および前記配線基板の少なくとも一方が、前記裏面電極型太陽電池の前記配線基板に対する相対的な位置関係を決めるための位置決め部を有し、
前記接続する工程においては、前記位置決め部により前記裏面電極型太陽電池と前記配線基板との位置関係を決めて、前記裏面電極型太陽電池の前記第１導電型用電極を前記配線基板の前記第１導電型用配線に接続するとともに、前記裏面電極型太陽電池の前記第２導電型用電極を前記配線基板の前記第２導電型用配線に接続する、太陽電池の製造方法。
前記裏面電極型太陽電池の前記第１導電型用電極を形成する工程と、
前記裏面電極型太陽電池の前記第２導電型用電極を形成する工程とを含み、
前記第１導電型用電極を形成する工程および前記第２導電型用電極を形成する工程の少なくとも一方の工程と同一の工程または連続する工程で前記位置決め部を形成することを特徴とする、請求項１７に記載の太陽電池の製造方法。
前記配線基板の第１導電型用配線を形成する工程と、
前記配線基板の第２導電型用配線を形成する工程とを含み、
前記第１導電型用配線を形成する工程および前記第２導電型用配線を形成する工程の少なくとも一方の工程と同一の工程または連続する工程で前記位置決め部を形成することを特徴とする、請求項１７に記載の太陽電池の製造方法。