JP2010089197A - ワイヤ巻取り装置およびワイヤソー - Google Patents

Abstract

【課題】リールによるワイヤの巻取りを長期的に適切に行えるようにする。
【解決手段】ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａは、ワイヤＷを巻取るリール９Ａと、トラバーサ１２Ａとを有する。トラバーサ１２Ａは、ワイヤＷを案内するガイドプーリ４０とこれを移動させるトラバースモータ５４等の駆動手段と、この駆動手段を制御するコントローラ６０と、ガイドプーリ４０に対するワイヤＷの位置を検出するリニアセンサ５６等とを含む。コントローラ６０は、トラバースモータ５４を駆動制御してガイドプーリ４０を往復始動させると共に、リニアセンサ５６により検出されるワイヤＷの位置とその基準位置との偏差に基づきリール９Ａの所定の巻取りエリア内にワイヤＷが巻取られるようにガイドプーリ４０の移動範囲を変更する。
【選択図】図２

Description

本発明は、ワイヤソー等に適用されるワイヤ巻取り装置および当該ワイヤ巻取り装置を備えたワイヤソーに関するものである。

従来から半導体インゴット等のワークをスライス状に切り出す手段としてワイヤソーが知られている（例えば特許文献１）。ワイヤソーは、複数のガイドローラ間に切断用ワイヤが巻き掛けられることにより該ワイヤが多数本並んだ状態で張設され、ワイヤをその軸方向に高速走行させながら、当該ワイヤの軸方向と直交する方向にワークを切断送りすることにより、ワークをスライス状に多数毎同時に切り出すように構成されている。

ワイヤの両端は、それぞれワイヤ繰り出し・巻取り装置のリールに巻回されており、一方側のワイヤ繰り出し・巻取り装置のリールからワイヤを繰り出しつつ前記ガイドローラを経由して他方側のワイヤ繰り出し・巻取り装置のリールにより巻き取る状態と、これと逆の状態とに各装置によるワイヤ繰出し巻取り状態を切り替えることにより、ワイヤの走行方向を切り替えながら作業を行うようになっている。

なお、ワイヤ繰り出し・巻取り装置にはトラバーサ（トラバース装置）が組込まれ、リールに対してその軸方向に整列した状態で均等にワイヤを巻取ることにより、ワイヤの縺れ等の発生を防止して次回のワイヤ繰出しをスムーズに行い得るようにされている。
特開平１１−４２５４７号公報

トラバーサは、一般に、リールにワイヤを案内するガイドプーリを有し、このガイドプーリをリールの軸方向に往復移動させることによりリールによるワイヤの巻取り位置を変えるように構成されるが、その場合、特許文献１のように、ガイドプーリがリールの軸と直交する軸回りに回転するものでは、以下のような問題がある。

すなわち、ワイヤとの接触によりガイドプーリのワイヤ案内面（溝の内底面）が摩耗すると、その分、ガイドプーリに案内されるワイヤの位置がリールの軸方向にずれてしまう。このような場合には、リールの本来の巻取りエリアから軸方向一端側にワイヤが偏って巻取られることとなり、例えばリール端部の鍔部分にワイヤが接触した状態で巻取られるなどして断線や縺れ等を招くことが考えられる。従って、この点を改善することが望まれる。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたものであり、リールの所定の巻取りエリアに対して長期的に適切にワイヤを巻取らせ得るようにすることを目的とするものである。

上記の課題を解決するために、本発明は、ワイヤ巻取り用のリールと、その軸方向と直交する軸回りに回転自在に支持されて、前記リールに巻取られるワイヤを案内するガイドプーリとを有し、前記リールによるワイヤ巻取り中に前記ガイドプーリを前記リールに対してその軸方向に相対的に往復移動させることにより前記ワイヤを前記軸方向に整列させた状態で巻取るワイヤ巻取り装置において、前記リールに対してその軸方向に前記ガイドプーリを相対的に移動させる駆動手段と、この駆動手段を制御することにより、前記リールの所定の巻取りエリア内にワイヤが巻取られるように設定された範囲内でガイドプーリを相対的に往復移動させる制御手段と、前記ガイドプーリからリールに至る過程で前記ガイドプーリに対する前記ワイヤの位置を検出する検出手段と、この検出手段によるワイヤの検出位置とその基準位置との偏差に基づき、前記巻取りエリア内にワイヤが巻取られるようにガイドプーリの前記移動範囲の補正値を求める補正手段と、を備え、前記制御手段は、前記リールによるワイヤ巻取り中、前記補正値に基づいて前記ガイドプーリの相対的な移動範囲を変更することに特徴を有するものである。

このワイヤ巻取り装置では、リールにワイヤを案内するガイドプーリがリールの軸方向と直交する軸回りに回転するものであるが、上記のように、ガイドプーリに対するワイヤの位置を検出し、この検出位置とその基準位置との偏差に基づき所定の巻取りエリア内にワイヤが巻取られるようにガイドプーリの移動範囲が変更（補正）されるので、仮にガイドプーリのワイヤ案内面に摩耗が生じてガイドプーリに対するワイヤの位置がずれた場合でも、そのずれに応じてガイドプーリの移動範囲が変更されることにより、ワイヤはリールの所定の巻取りエリア内に適切に巻取られることとなる。

このワイヤ巻取り装置において、前記駆動手段は、前記リールに対して相対的に移動可能に設けられかつ前記ガイドプーリを支持する支持部材を含み、前記検出手段は、この支持部材に組付けられている。この構成により、ガイドプーリに対するワイヤの位置の検出を正確に行うことが可能となる。

なお、このワイヤ巻取り装置において、前記ガイドプーリを所定ストロークだけ往復移動させるように前記制御手段が駆動手段を制御するものでは、前記補正手段は、前記所定ストロークを保ったまま前記ガイドプーリの移動範囲を前記リールの軸方向にシフトさせるように前記補正値を求めるものであるのが好適である。

例えば、ガイドプーリの移動範囲の補正に際して当該移動範囲の一端側の位置だけを変更するようにしてもよいが、上記のように所定ストロークを保ったまま移動範囲をリールの軸方向にシフトさせるようにすれば、リールの特定箇所に偏ってワイヤが巻取られることを防止して、所定の巻取りエリア内により均等にワイヤを巻取ることが可能となる。

一方、本発明に係るワイヤソーは、ワイヤ繰出し装置のリールから繰り出された切断用ワイヤが複数のガイドローラの周囲に巻回されてワイヤ巻取り装置のリールに巻き取られるワイヤソーにおいて、ワイヤ巻取り装置として、上述したようなワイヤ巻取り装置を備えていることを特徴とするものである。

このようなワイヤソーによれば、ワイヤ巻取り装置に組込まれたガイドプーリの摩耗に起因した切断用ワイヤの巻取り不良や断線等のトラブルを未然に防止することが可能となり、切断用ワイヤをより安定的に走行させることが可能となる。

本発明によると、ワイヤソー等のワイヤ巻取り装置において、リールの軸方向と直交する軸回りに回転するガイドプーリによりワイヤを案内しながらリールに巻取るようにしながらも、ガイドプーリのワイヤ案内面の摩耗による影響を受けることなくワイヤの巻取りを長期的に適切に行うことができるようになる。

本発明の好ましい実施の形態について図面を用いて説明する。

図１は、本発明に係るワイヤソー（本発明に係るワイヤ巻取り装置が適用されるワイヤソー）の実施の形態の概略的に示している。

この図に示すワイヤソーは、一対のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂ、ガイドプーリ１４Ａ，１４Ｂ、ガイドプーリ１６Ａ，１６Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８Ｂ、ガイドプーリ２２Ａ，２２Ｂ、及び４つのガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ａ，２６Ｂを備えている。

ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂは互いに同じ高さ位置に配され、ガイドローラ２６Ａ，２６Ｂはそれぞれガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの下方の位置に配されており、ガイドローラ２６Ａが駆動モータ２５によって回転駆動されるようになっている。

各ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂは、切断用のワイヤＷが巻かれるリール９Ａ，９Ｂと、これを回転駆動するリール駆動モータ１１Ａ，１１Ｂと、ワイヤＷをリール９Ａ，９Ｂに整列した状態で均等に巻取らせるためのトラバーサ１２Ａ，１２Ｂと、を含んでいる。一方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａにおいてリール９Ａから繰り出されたワイヤＷは、トラバーサ１２Ａのガイドプーリ４０、ガイドプーリ１４Ａ，１６Ａ、ワイヤ張力調節装置１８Ａのプーリ２０Ａ、及びガイドプーリ２２Ａの順に掛けられ、さらにガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ，２６Ｂ，２６Ａの外周面のガイド溝（図示省略）に嵌め込まれながらこれらガイドローラの外側に多数回螺旋状に巻回された（巻き掛けられた）後、ガイドプーリ２２Ｂ、ワイヤ張力調節装置１８Ｂのプーリ２０Ｂ、ガイドプーリ１６Ｂ，１４Ｂの順に掛けられ、他方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ｂのトラバーサ１２Ｂの後記ガイドプーリ４０により案内されつつリール９Ｂに巻き取られており、両ワイヤ張力調節装置１８Ａ，１８ＢによってワイヤＷに適当な張力が与えられている。そして、駆動モータ２５によるガイドローラ２６Ａの回転駆動方向と、各リール駆動モータ１１Ａ，１１Ｂによるリール９Ａ，９Ｂの回転駆動方向が正逆に切換えられることにより、ワイヤＷがリール９Ａから繰り出されてリール９Ｂに巻き取られる状態と、ワイヤＷがリール９Ｂから繰り出されてリール９Ａに巻き取られる状態とに切換えられるようになっている。

すなわち、このワイヤソーにおいては、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂの間に多数本のワイヤＷが互いに平行な状態で張られることによりワイヤ群が形成され、このワイヤ群がワイヤ軸方向に往復駆動されるようになっている。

前記ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られたワイヤＷの上方には、円柱状のワーク（例えば半導体インゴット）２８を移動させるワーク送り装置３０が設けられている。このワーク送り装置３０は、ワーク保持部３２と、ワーク送りモータ３４とを備えている。

ワーク保持部３２は、上記ワーク２８をその軸方向とワイヤ並び方向とが合致する向きに保持するものであり、ワーク送りモータ３４は、図略のボールネジとの組み合わせにより、上記ワーク保持部３２とワーク２８とを一体に昇降（切断送り）させるものである。

ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られたワイヤＷの上方において、ワーク２８の左右両側の位置には、砥粒供給装置３６Ａ，３６Ｂが設けられている。これらの砥粒供給装置３６Ａ，３６Ｂは、高速駆動される各ワイヤＷに対し、加工用砥粒が混合された加工液（スラリー）を同時供給し、ワイヤＷの表面に付着させるものである。

つまり、このワイヤソーでは、ガイドローラ２４Ａ，２４Ｂ間に張られた多数本のワイヤＷがその長手方向に同時高速駆動され、かつこれらのワイヤＷに砥粒供給装置３６Ａ，３６Ｂからスラリーが供給されながら、上記ワイヤＷに対してワーク２８が下方に切断送りされることにより、このワーク２８から一度に多数枚のウエハ（薄片）が同時に切り出されるようになっている。

次に、上記ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂの構成、主にはトラバーサ１２Ａ，１２Ｂの構成とその制御系について図２に基づいて説明する。なお、各ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂの構成は共通しているため、ここでは一方のワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａの構成について説明することとする。

図２に示すように、ワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａのトラバーサ１２Ａは、前記リール９Ａに巻取られるワイヤＷを案内するガイドプーリ４０と、このガイドプーリ４０をリール９Ａの軸方向と平行な方向に移動させるための駆動機構とを有しており、ガイドプーリ４０によってワイヤＷを案内しながら当該ガイドプーリ４０をリール９Ａの軸方向（上下方向）に往復移動させることにより、リール９Ａの所定の巻取りエリア内にワイヤＷを整列した状態で均等に巻取らせるように構成されている。

前記駆動機構は、いわゆるねじ送り機構からなり具体的には次のように構成されている。すなわち、リール９Ａを支持するワイヤソーのコラム（図示省略）にトラバーサ１２Ａのフレーム４８が固定されており、このフレーム４８にリール９Ａの軸方向と平行に延びる駆動軸４６が支持されている。駆動軸４６はフレーム４８に対してその軸方向の移動が可能でかつ回転が阻止された状態で支持されている。この駆動軸４６の先端にはプーリ取付用のブラケット４４（本発明の支持部材に相当する）が固定されており、このブラケット４４に、前記リール９Ａの軸方向と直交する方向（水平方向）に延びる支持軸４２が固定され、この支持軸４２に前記ガイドプーリ４０が回転自在に装着されている。そして、前記フレーム４８に駆動軸４６と平行なねじ軸５０が回転可能に支持されると共にこのねじ軸５０に対して前記駆動軸４６に固定されたナット部材５２が螺合装着され、さらに前記フレーム４８に固定されたトラバースモータ５４がこのねじ軸５０の一端に連結されている。この構成により、駆動軸４６の先端部分にガイドプーリ４０が回転自在に支持され、このガイドプーリ４０がトラバースモータ５４の駆動により駆動軸４６と一体に上下方向に移動するようになっている。

そして、ガイドプーリ４０の溝に嵌め込まれた状態でワイヤＷが当該ガイドプーリ４０に対してその下側から掛け渡されると共にガイドプーリ４０の接線方向に引き出されてリール９Ａに巻き取られている。

前記ブラケット４４には、さらにＣＣＤリニアセンサ５６（以下、リニアセンサ５６という；本発明の検出手段に相当する）が組付けされている。詳しく図示していないが、リニアセンサ５６は、撮像素子が上下方向、つまりリール９Ａの軸方向と平行に並ぶようにブラケット４４に対して固定されており、ガイドプーリ４０の近傍位置において当該ガイドプーリ４０からリール９Ａに至るワイヤＷを撮像してその画像信号を後記コントローラ６０に出力するようになっている。

ワイヤソーには、その駆動を統括的に制御するためのコントローラ６０が設けられている。コントローラ６０は、トラバーサ１２Ａ，１２Ｂの制御系として、偏差演算手段６１、反転位置補正手段６２およびモータ制御手段６３等を含んでいる。

偏差演算手段６１は、前記リニアセンサ５６から出力される画像信号に基づきワイヤＷを認識（検知）することによりガイドプーリ４０に対するワイヤＷの上下方向の位置を検出し、当該検出位置と予め記憶されている基準位置との偏差δを演算するもの、換言すればガイドプーリ４０のワイヤ案内面４０ａの摩耗量を演算するものである。つまり、図３の二点鎖線に示すように、ワイヤＷとの接触によりガイドプーリ４０のワイヤ案内面４０ａが摩耗してその位置が径方向にずれると、その分ワイヤＷの位置が上側にずれることとなる。偏差演算手段６１は、ガイドプーリ４０からリール９Ａに走行するワイヤＷの初期値（例えば稼働直後の位置）を上記基準位置（初期値）として記憶しており、この基準位置と実際のワイヤＷの位置とを比較してその偏差δを演算する。

反転位置補正手段６２は、上記偏差δが設定値Ａに達した場合にガイドプーリ４０の移動範囲を補正するもの、要するにトラバースモータ５４の駆動切り替え位置を補正するものである。つまり、ガイドプーリ４０の往復移動範囲は、リール９Ａの所定の巻取りエリアにワイヤＷが巻取られるように予め設定されるが、図３に示すように、ワイヤ案内面４０ａの摩耗によりワイヤＷの位置が上側にずれると、同図中に斜線で示す本来の巻取りエリアに対して実際のワイヤ巻取り範囲（二点鎖線に示す）が上記ずれ分だけ上側にシフトすることとなる。反転位置補正手段６２は、実際のワイヤＷの巻取り範囲が上記所定の巻取りエリアに一致するようにガイドプーリ４０の移動範囲を補正するもの、すなわちトラバースモータ５４の駆動切り替え位置の補正値を演算するものである。具体的には、往復移動時のガイドプーリ４０の移動ストロークを保ったまま上記設定値Ａだけガイドプーリ４０の移動範囲を下側にシフトするようにトラバースモータ５４の駆動切り替え位置の補正値を演算する。

モータ制御手段６３は、前記トラバースモータ５４に内蔵されるエンコーダ４５ａからの出力に基づき前記トラバースモータ５４の駆動を制御するもので、上記反転位置補正手段により上記補正値が演算されると、その補正値に基づき前記トラバースモータ５４の駆動を制御する。

なお、この実施形態では、コントローラ６０の機能構成のうちモータ制御手段６３が本発明の制御手段として機能し、偏差演算手段６１及び反転位置補正手段６２が本発明の補正手段として機能する。

次に、ワイヤ繰出し・巻取り装置１０ＡによるワイヤＷの巻取り時の上記コントローラ６０によるトラバーサ１２Ａの制御について図４のフローチャートに従って説明する。

リール駆動モータ１１Ａの駆動によりワイヤ繰出し・巻取り装置１０ＡによるワイヤＷの巻取りが開始されると、これに同期してトラバースモータ５４が駆動され、例えばガイドプーリ４０がリール９Ａの下端側から上端側に一定速度で移動を開始する。これによりリール９Ａに対してその軸方向にワイヤＷが整列した状態で巻取られる。

ワイヤＷの巻取りが開始されると、リニアセンサ５６から出力される画像信号に基づき、偏差演算手段６１によりワイヤＷの位置とその基準位置との偏差δが演算され（ステップＳ１）、さらに反転位置補正手段６２により上記偏差δが設定値Ａに達しているか否かが判断される（ステップＳ３）。ここでＹＥＳと判断された場合には、反転位置補正手段６２によりトラバースモータ５４の駆動切り替え位置が補正され（ステップＳ５）、ステップＳ１で検出されたワイヤＷの位置が上記基準位置として更新設定される（ステップＳ７）。なお、ステップＳ３でＮＯと判断された場合には、ステップＳ９に移行される。

次いで、エンコーダ４５ａからの出力に基づき、ガイドプーリ４０が駆動切り替え位置に達したか否かが判断され（ステップＳ９）、ここでＮＯと判断された場合には、ステップＳ１にリターンする。これに対して、ガイドプーリ４０が駆動切り替え位置に達したと判断された場合には（ステップＳ９でＹＥＳ）、トラバースモータ５４が反転駆動されてガイドプーリ４０の移動方向が切替えられる（ステップＳ１１）。そして、ステップＳ１３で、所定長のワイヤＷがリール９Ａに巻取られたか否かが判断され、ここでＮＯと判断された場合にはステップＳ１に移行される。最終定にステップＳ１３でＹＥＳと判断されると、当該フローチャートを終了する。

なお、ここではワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ，１０Ｂの一方側のトラバーサ１２Ａの構成等について説明したが、他方側のトラバーサ１２Ｂも同様の構成となっている。

以上説明したワイヤ繰出し・巻取り装置１０Ａ（１０Ｂ）のトラバーサ１２Ａでは、リール９Ａの軸方向と直交する軸回りに回転するガイドプーリ４０によりワイヤＷを案内しながらリール９Ａに巻取るが、上記の通り、ガイドプーリ４０からリール９Ａに至るワイヤＷの位置をリニアセンサ５６により検出し、その検出位置と基準位置との偏差δに基づきトラバースモータ５４の駆動切り替え位置を補正する、すなわち、リール９Ａの前記所定の巻取りエリアにワイヤＷが巻き取られ得るようにガイドプーリ４０の移動範囲を補正するように構成されているので、ガイドプーリ４０のワイヤ案内面４０ａに摩耗が生じた場合でも、リール９Ａの所定の巻取りエリアに適切にワイヤＷを巻取らせることが可能となる。

特に、トラバースモータ５４の駆動切り替え位置が補正されると、その時のワイヤＷの検出位置が新たな基準位置として更新的に記憶されるようになっているので（図４のステップＳ７）、その後さらにワイヤ案内面４０ａが摩耗した場合でも、同様にしてリール９Ａの所定の巻取りエリアに適切にワイヤＷを巻取らせることが可能となる。従って、リール９ＡによるワイヤＷの巻取りを長期的に適切に行うことができるようになる。

なお、このワイヤソーでは、ワイヤＷの位置を検出する手段としてＣＣＤリニアセンサ５６を適用しているが、当該検出手段はＣＣＤリニアセンサに限定されるものではなく、その他の非接触式のセンサを適用してワイヤＷの位置を検出するようにしてもよい。また、前記検出手段として非接触式のもの以外に接触式のものを適用してもよい。例えば、ロードセルを組込んだタッチローラを前記検出手段としてブラケット４４に組付け、前記タッチローラとワイヤＷとの接触に伴う前記ロードセルの歪みに応じてワイヤＷの位置を検出するようにしてもよい。

また、このワイヤソーでは、リール９Ａに対してその軸方向にガイドプーリ４０を往復移動させることによりリール９Ａの所定の巻取りエリア内にワイヤＷを整列した状態で巻取るように構成されているが、勿論、ガイドプーリ４０に対してリール９Ａ側をその軸方向に往復移動させるものであってもよい。この構成の場合、図４のステップＳ５の処理では、リール９Ａの往復移動方向における駆動切り替え位置を補正するようにすればよい。

本発明に係るワイヤソー（本発明に係るワイヤ巻取り装置が適用されるワイヤソー）の全体構成を示す概略図である。 ワイヤ巻取り装置の具体的な構成を示す概略図である。 ガイドプーリにおけるワイヤ案内面の摩耗とリールにおけるワイヤ巻取り位置のずれとの関係を説明する概略図である。 コントローラによるワイヤ繰出し・巻取り装置（主にトラバーサ）の駆動制御の一例を示すフローチャートである。

符号の説明

９Ａ，９Ｂ リール
１０Ａ，１０Ｂ ワイヤ繰出し・巻取り装置
４０ ガイドプーリ
５４ トラバースモータ
６０ コントローラ
６１ 偏差演算手段
６２ 反転位置補正手段
６３ モータ制御手段

Claims (4)

1. ワイヤ巻取り用のリールと、その軸方向と直交する軸回りに回転自在に支持されて、前記リールに巻取られるワイヤを案内するガイドプーリとを有し、前記リールによるワイヤ巻取り中に前記ガイドプーリを前記リールに対してその軸方向に相対的に往復移動させることにより前記ワイヤを前記軸方向に整列させた状態で巻取るワイヤ巻取り装置において、
   前記リールに対してその軸方向に前記ガイドプーリを相対的に移動させる駆動手段と、
   この駆動手段を制御することにより、前記リールの所定の巻取りエリア内にワイヤが巻取られるように設定された範囲内でガイドプーリを相対的に往復移動させる制御手段と、
   前記ガイドプーリからリールに至る過程で前記ガイドプーリに対する前記ワイヤの位置を検出する検出手段と、
   この検出手段によるワイヤの検出位置とその基準位置との偏差に基づき、前記巻取りエリア内にワイヤが巻取られるようにガイドプーリの前記移動範囲の補正値を求める補正手段と、を備え、
   前記制御手段は、前記リールによるワイヤ巻取り中、前記補正値に基づいて前記ガイドプーリの相対的な移動範囲を変更することを特徴とするワイヤ巻取り装置。
2. 請求項１に記載のワイヤ巻取り装置において、
   前記駆動手段は、前記リールに対して相対的に移動可能に設けられかつ前記ガイドプーリを支持する支持部材を含み、前記検出手段は、この支持部材に組付けられていることを特徴とするワイヤ巻取り装置。
3. 請求項１又は２に記載のワイヤ巻取り装置において、
   前記制御手段は、前記ガイドプーリを所定ストロークだけ往復移動させるように前記駆動手段を制御するものであり、前記補正手段は、前記所定ストロークを保ったまま前記ガイドプーリの移動範囲を前記リールの軸方向にシフトさせるように前記補正値を求めることを特徴とするワイヤ巻取り装置。
4. ワイヤ繰出し装置のリールから繰り出された切断用ワイヤが複数のガイドローラの周囲に巻回されてワイヤ巻取り装置のリールに巻き取られるワイヤソーにおいて、
   前記ワイヤ巻取り装置として、請求項１乃至３の何れか一項に記載のワイヤ巻取り装置を備えていることを特徴とするワイヤソー。

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